0.000000e+00,1.010101e+00,1.333333e+00,2.020202e+00,2.666667e+00,3.030303e+00,4.000000e+00,4.040404e+00,5.050505e+00,5.333333e+00,6.060606e+00,6.666667e+00,7.070707e+00,8.000000e+00,8.080808e+00,9.090909e+00,9.333333e+00,1.010101e+01,1.066667e+01,1.111111e+01,1.200000e+01,1.212121e+01,1.313131e+01,1.333333e+01,1.414141e+01,1.466667e+01,1.515152e+01,1.600000e+01,1.616162e+01,1.717172e+01,1.733333e+01,1.818182e+01,1.866667e+01,1.919192e+01,2.000000e+01,2.020202e+01,2.121212e+01,2.133333e+01,2.222222e+01,2.266667e+01,2.323232e+01,2.400000e+01,2.424242e+01,2.525253e+01,2.533333e+01,2.626263e+01,2.666667e+01,2.727273e+01,2.800000e+01,2.828283e+01,2.929293e+01,2.933333e+01,3.030303e+01,3.066667e+01,3.131313e+01,3.200000e+01,3.232323e+01,3.333333e+01,3.434343e+01,3.466667e+01,3.535354e+01,3.600000e+01,3.636364e+01,3.733333e+01,3.737374e+01,3.838384e+01,3.866667e+01,3.939394e+01,4.000000e+01,4.040404e+01,4.133333e+01,4.141414e+01,4.242424e+01,4.266667e+01,4.343434e+01,4.400000e+01,4.444444e+01,4.533333e+01,4.545455e+01,4.646465e+01,4.666667e+01,4.747475e+01,4.800000e+01,4.848485e+01,4.933333e+01,4.949495e+01,5.050505e+01,5.066667e+01,5.151515e+01,5.200000e+01,5.252525e+01,5.333333e+01,5.353535e+01,5.454545e+01,5.466667e+01,5.555556e+01,5.600000e+01,5.656566e+01,5.733333e+01,5.757576e+01,5.858586e+01,5.866667e+01,5.959596e+01,6.000000e+01,6.060606e+01,6.133333e+01,6.161616e+01,6.262626e+01,6.266667e+01,6.363636e+01,6.400000e+01,6.464646e+01,6.533333e+01,6.565657e+01,6.666667e+01,6.767677e+01,6.800000e+01,6.868687e+01,6.933333e+01,6.969697e+01,7.066667e+01,7.070707e+01,7.171717e+01,7.200000e+01,7.272727e+01,7.333333e+01,7.373737e+01,7.466667e+01,7.474747e+01,7.575758e+01,7.600000e+01,7.676768e+01,7.733333e+01,7.777778e+01,7.866667e+01,7.878788e+01,7.979798e+01,8.000000e+01,8.080808e+01,8.133333e+01,8.181818e+01,8.266667e+01,8.282828e+01,8.383838e+01,8.400000e+01,8.484848e+01,8.533333e+01,8.585859e+01,8.666667e+01,8.686869e+01,8.787879e+01,8.800000e+01,8.888889e+01,8.933333e+01,8.989899e+01,9.066667e+01,9.090909e+01,9.191919e+01,9.200000e+01,9.292929e+01,9.333333e+01,9.393939e+01,9.466667e+01,9.494949e+01,9.595960e+01,9.600000e+01,9.696970e+01,9.733333e+01,9.797980e+01,9.866667e+01,9.898990e+01,1.000000e+02,1.013333e+02,1.026667e+02,1.040000e+02,1.053333e+02,1.066667e+02,1.080000e+02,1.093333e+02,1.106667e+02,1.120000e+02,1.133333e+02,1.146667e+02,1.160000e+02,1.173333e+02,1.186667e+02,1.200000e+02,1.213333e+02,1.226667e+02,1.240000e+02,1.253333e+02,1.266667e+02,1.280000e+02,1.293333e+02,1.306667e+02,1.320000e+02
0.000000e+00,4.007787e-13,2.595359e-12,4.061112e-11,2.449005e-10,5.523909e-10,3.116139e-09,3.314088e-09,1.273602e-08,1.757768e-08,3.702746e-08,6.386646e-08,8.901158e-08,1.765842e-07,1.865782e-07,3.528362e-07,4.059852e-07,6.158877e-07,8.173399e-07,1.007861e-06,1.486464e-06,1.562768e-06,2.313273e-06,2.489414e-06,3.287180e-06,3.888936e-06,4.504603e-06,5.723663e-06,5.976415e-06,7.703983e-06,8.003746e-06,9.679907e-06,1.071246e-05,1.188938e-05,1.381140e-05,1.431177e-05,1.692223e-05,1.724683e-05,1.969313e-05,2.095567e-05,2.259534e-05,2.487060e-05,2.559923e-05,2.867555e-05,2.892393e-05,3.179607e-05,3.305062e-05,3.493411e-05,3.719037e-05,3.806493e-05,4.116597e-05,4.128910e-05,4.421709e-05,4.529978e-05,4.720057e-05,4.918285e-05,5.010122e-05,5.290629e-05,5.560537e-05,5.644530e-05,5.819030e-05,5.978184e-05,6.065495e-05,6.290393e-05,6.299511e-05,6.520820e-05,6.580492e-05,6.729318e-05,6.848270e-05,6.925024e-05,7.093889e-05,7.108071e-05,7.278681e-05,7.317809e-05,7.437151e-05,7.520723e-05,7.583838e-05,7.703494e-05,7.719144e-05,7.843507e-05,7.867107e-05,7.957387e-05,8.012622e-05,8.061265e-05,8.141149e-05,8.155628e-05,8.240964e-05,8.253813e-05,8.317760e-05,8.351728e-05,8.386490e-05,8.435980e-05,8.447620e-05,8.501606e-05,8.507625e-05,8.548886e-05,8.567675e-05,8.589885e-05,8.617093e-05,8.625008e-05,8.654644e-05,8.656789e-05,8.679161e-05,8.687614e-05,8.698912e-05,8.710369e-05,8.714229e-05,8.725428e-05,8.725795e-05,8.732809e-05,8.734586e-05,8.736653e-05,8.737383e-05,8.737227e-05,8.734782e-05,8.729554e-05,8.727330e-05,8.721765e-05,8.715533e-05,8.711624e-05,8.699855e-05,8.699324e-05,8.685049e-05,8.680722e-05,8.668972e-05,8.658527e-05,8.651251e-05,8.633627e-05,8.632039e-05,8.611474e-05,8.606353e-05,8.589690e-05,8.577004e-05,8.566808e-05,8.545855e-05,8.542943e-05,8.518202e-05,8.513157e-05,8.492684e-05,8.479139e-05,8.466482e-05,8.444007e-05,8.439683e-05,8.412366e-05,8.407953e-05,8.384607e-05,8.371147e-05,8.356476e-05,8.333745e-05,8.328035e-05,8.299346e-05,8.295890e-05,8.270464e-05,8.257708e-05,8.241440e-05,8.219316e-05,8.212322e-05,8.183153e-05,8.180818e-05,8.153974e-05,8.142307e-05,8.124821e-05,8.103868e-05,8.095731e-05,8.066735e-05,8.065577e-05,8.037860e-05,8.027501e-05,8.009135e-05,7.989700e-05,7.980584e-05,7.952229e-05,7.915134e-05,7.878458e-05,7.842237e-05,7.806504e-05,7.771285e-05,7.736605e-05,7.702484e-05,7.668939e-05,7.635984e-05,7.603631e-05,7.571888e-05,7.540764e-05,7.510262e-05,7.480386e-05,7.451137e-05,7.422515e-05,7.394520e-05,7.367147e-05,7.340395e-05,7.314258e-05,7.288731e-05,7.263808e-05,7.239482e-05,7.215746e-05
0.000000e+00,2.794521e-09,6.663509e-09,2.391970e-08,5.554285e-08,8.167598e-08,1.881578e-07,1.939228e-07,3.793264e-07,4.471072e-07,6.586368e-07,8.809863e-07,1.055384e-06,1.545605e-06,1.594525e-06,2.296764e-06,2.490765e-06,3.169388e-06,3.729276e-06,4.202281e-06,5.227334e-06,5.374620e-06,6.664141e-06,6.934342e-06,8.051482e-06,8.806090e-06,9.520479e-06,1.080731e-05,1.105721e-05,1.264909e-05,1.290811e-05,1.428429e-05,1.508124e-05,1.595151e-05,1.730103e-05,1.763989e-05,1.933910e-05,1.954326e-05,2.103937e-05,2.178548e-05,2.273168e-05,2.400741e-05,2.440779e-05,2.606030e-05,2.619128e-05,2.768271e-05,2.832197e-05,2.926944e-05,3.038710e-05,3.081576e-05,3.231786e-05,3.237698e-05,3.377267e-05,3.428432e-05,3.517768e-05,3.610374e-05,3.653117e-05,3.783197e-05,3.907939e-05,3.946723e-05,4.027316e-05,4.100907e-05,4.141343e-05,4.245814e-05,4.250061e-05,4.353538e-05,4.381583e-05,4.451860e-05,4.508423e-05,4.545135e-05,4.626590e-05,4.633479e-05,4.717024e-05,4.736375e-05,4.795905e-05,4.838094e-05,4.870264e-05,4.932076e-05,4.940248e-05,5.006005e-05,5.018662e-05,5.067683e-05,5.098193e-05,5.125431e-05,5.171010e-05,5.179396e-05,5.229724e-05,5.237449e-05,5.276559e-05,5.297840e-05,5.320040e-05,5.352503e-05,5.360305e-05,5.397489e-05,5.401750e-05,5.431721e-05,5.445882e-05,5.463129e-05,5.485186e-05,5.491836e-05,5.517959e-05,5.519941e-05,5.541616e-05,5.550413e-05,5.562917e-05,5.576855e-05,5.581969e-05,5.598877e-05,5.599510e-05,5.613741e-05,5.618610e-05,5.626656e-05,5.634374e-05,5.637717e-05,5.647011e-05,5.654625e-05,5.656721e-05,5.660642e-05,5.663691e-05,5.665141e-05,5.668102e-05,5.668198e-05,5.669886e-05,5.670123e-05,5.670275e-05,5.669913e-05,5.669433e-05,5.667626e-05,5.667424e-05,5.664311e-05,5.663406e-05,5.660152e-05,5.657387e-05,5.655004e-05,5.649700e-05,5.648923e-05,5.641959e-05,5.640465e-05,5.634163e-05,5.629797e-05,5.625583e-05,5.617804e-05,5.616265e-05,5.606252e-05,5.604588e-05,5.595586e-05,5.590246e-05,5.584306e-05,5.574867e-05,5.572452e-05,5.560060e-05,5.558539e-05,5.547165e-05,5.541340e-05,5.533800e-05,5.523347e-05,5.519996e-05,5.505785e-05,5.504631e-05,5.491195e-05,5.485260e-05,5.476254e-05,5.465295e-05,5.460989e-05,5.445424e-05,5.444796e-05,5.429584e-05,5.423819e-05,5.413492e-05,5.402416e-05,5.397168e-05,5.380635e-05,5.358524e-05,5.336124e-05,5.313476e-05,5.290619e-05,5.267586e-05,5.244412e-05,5.221126e-05,5.197758e-05,5.174336e-05,5.150883e-05,5.127423e-05,5.103978e-05,5.080568e-05,5.057212e-05,5.033927e-05,5.010730e-05,4.987635e-05,4.964656e-05,4.941806e-05,4.919097e-05,4.896540e-05,4.874143e-05,4.851918e-05,4.829871e-05
0.000000e+00,1.211170e-08,2.790168e-08,9.680437e-08,2.219835e-07,3.254974e-07,7.512223e-07,7.744841e-07,1.534527e-06,1.817886e-06,2.718507e-06,3.686299e-06,4.455438e-06,6.632597e-06,6.849360e-06,9.915535e-06,1.074399e-05,1.357697e-05,1.584775e-05,1.772863e-05,2.171652e-05,2.228169e-05,2.716890e-05,2.818159e-05,3.233691e-05,3.511971e-05,3.773939e-05,4.242699e-05,4.333310e-05,4.907624e-05,5.000627e-05,5.492812e-05,5.776406e-05,6.084954e-05,6.561162e-05,6.680324e-05,7.275454e-05,7.346699e-05,7.867181e-05,8.125722e-05,8.452669e-05,8.891914e-05,9.029418e-05,9.595304e-05,9.640049e-05,1.014853e-04,1.036593e-04,1.068762e-04,1.106635e-04,1.121140e-04,1.171894e-04,1.173889e-04,1.220954e-04,1.238191e-04,1.268271e-04,1.299435e-04,1.313815e-04,1.357567e-04,1.399524e-04,1.412572e-04,1.439691e-04,1.464466e-04,1.478084e-04,1.513291e-04,1.514723e-04,1.549637e-04,1.559107e-04,1.582856e-04,1.601989e-04,1.614416e-04,1.642019e-04,1.644356e-04,1.672715e-04,1.679291e-04,1.699536e-04,1.713899e-04,1.724860e-04,1.745944e-04,1.748733e-04,1.771198e-04,1.775526e-04,1.792299e-04,1.802747e-04,1.812079e-04,1.827707e-04,1.830584e-04,1.847855e-04,1.850507e-04,1.863936e-04,1.871245e-04,1.878869e-04,1.890016e-04,1.892695e-04,1.905455e-04,1.906917e-04,1.917189e-04,1.922037e-04,1.927935e-04,1.935466e-04,1.937732e-04,1.946617e-04,1.947289e-04,1.954626e-04,1.957592e-04,1.961794e-04,1.966453e-04,1.968155e-04,1.973743e-04,1.973951e-04,1.978590e-04,1.980160e-04,1.982728e-04,1.985152e-04,1.986187e-04,1.988996e-04,1.991184e-04,1.991758e-04,1.992780e-04,1.993502e-04,1.993809e-04,1.994289e-04,1.994298e-04,1.994272e-04,1.994176e-04,1.993755e-04,1.993219e-04,1.992770e-04,1.991471e-04,1.991341e-04,1.989488e-04,1.988983e-04,1.987234e-04,1.985804e-04,1.984598e-04,1.981979e-04,1.981600e-04,1.978260e-04,1.977552e-04,1.974594e-04,1.972565e-04,1.970620e-04,1.967058e-04,1.966357e-04,1.961819e-04,1.961068e-04,1.957022e-04,1.954632e-04,1.951982e-04,1.947784e-04,1.946712e-04,1.941228e-04,1.940556e-04,1.935541e-04,1.932978e-04,1.929665e-04,1.925080e-04,1.923612e-04,1.917394e-04,1.916890e-04,1.911022e-04,1.908433e-04,1.904508e-04,1.899734e-04,1.897860e-04,1.891091e-04,1.890817e-04,1.884208e-04,1.881704e-04,1.877221e-04,1.872415e-04,1.870139e-04,1.862971e-04,1.853389e-04,1.843688e-04,1.833883e-04,1.823991e-04,1.814025e-04,1.804000e-04,1.793929e-04,1.783823e-04,1.773694e-04,1.763553e-04,1.753409e-04,1.743271e-04,1.733149e-04,1.723050e-04,1.712982e-04,1.702952e-04,1.692967e-04,1.683031e-04,1.673152e-04,1.663333e-04,1.653581e-04,1.643898e-04,1.634290e-04,1.624759e-04
0.000000e+00,1.941440e-12,1.192723e-11,1.675716e-10,9.179446e-10,1.966107e-09,9.743114e-09,1.030900e-08,3.509723e-08,4.694064e-08,9.166439e-08,1.492576e-07,2.007430e-07,3.699220e-07,3.885602e-07,6.869740e-07,7.790525e-07,1.132607e-06,1.460698e-06,1.763269e-06,2.496975e-06,2.610904e-06,3.693271e-06,3.938124e-06,5.008721e-06,5.778653e-06,6.536626e-06,7.959267e-06,8.242494e-06,1.008488e-05,1.038947e-05,1.202144e-05,1.297278e-05,1.401310e-05,1.562318e-05,1.602605e-05,1.803242e-05,1.827163e-05,2.000993e-05,2.086625e-05,2.194120e-05,2.336977e-05,2.381300e-05,2.561548e-05,2.575645e-05,2.734156e-05,2.800947e-05,2.898647e-05,3.011884e-05,3.054728e-05,3.202259e-05,3.207982e-05,3.341226e-05,3.389171e-05,3.471712e-05,3.555678e-05,3.593879e-05,3.707951e-05,3.814197e-05,3.846592e-05,3.912920e-05,3.972303e-05,4.004443e-05,4.085847e-05,4.089106e-05,4.167254e-05,4.188015e-05,4.239232e-05,4.279600e-05,4.305382e-05,4.361379e-05,4.366037e-05,4.421523e-05,4.434105e-05,4.472149e-05,4.498489e-05,4.518215e-05,4.555208e-05,4.560007e-05,4.597793e-05,4.604892e-05,4.631829e-05,4.648128e-05,4.662359e-05,4.685461e-05,4.689610e-05,4.713796e-05,4.717395e-05,4.735119e-05,4.744393e-05,4.753768e-05,4.766883e-05,4.769923e-05,4.783748e-05,4.785258e-05,4.795401e-05,4.799878e-05,4.805027e-05,4.811072e-05,4.812764e-05,4.818740e-05,4.819145e-05,4.823075e-05,4.824374e-05,4.825881e-05,4.827014e-05,4.827263e-05,4.827320e-05,4.827297e-05,4.826145e-05,4.825436e-05,4.823822e-05,4.821629e-05,4.820433e-05,4.816053e-05,4.810752e-05,4.808873e-05,4.804598e-05,4.800239e-05,4.797651e-05,4.790290e-05,4.789970e-05,4.781608e-05,4.779152e-05,4.772618e-05,4.766941e-05,4.763045e-05,4.753764e-05,4.752936e-05,4.742332e-05,4.739718e-05,4.731272e-05,4.724893e-05,4.719792e-05,4.709371e-05,4.707928e-05,4.695712e-05,4.693229e-05,4.683173e-05,4.676535e-05,4.670340e-05,4.659353e-05,4.657240e-05,4.643898e-05,4.641743e-05,4.630337e-05,4.623757e-05,4.616580e-05,4.605446e-05,4.602646e-05,4.588556e-05,4.586855e-05,4.574327e-05,4.568027e-05,4.559977e-05,4.549000e-05,4.545521e-05,4.530976e-05,4.529808e-05,4.516354e-05,4.510486e-05,4.501669e-05,4.491064e-05,4.486933e-05,4.472159e-05,4.471567e-05,4.457357e-05,4.452023e-05,4.442537e-05,4.432455e-05,4.427710e-05,4.412884e-05,4.393329e-05,4.373810e-05,4.354342e-05,4.334941e-05,4.315621e-05,4.296394e-05,4.277273e-05,4.258268e-05,4.239389e-05,4.220645e-05,4.202044e-05,4.183593e-05,4.165299e-05,4.147168e-05,4.129205e-05,4.111415e-05,4.093803e-05,4.076372e-05,4.059127e-05,4.042069e-05,4.025201e-05,4.008526e-05,3.992046e-05,3.975761e-05
0.000000e+00,1.449162e-13,9.736545e-13,1.645259e-11,1.064665e-10,2.496664e-10,1.557860e-09,1.663644e-09,7.067498e-09,1.002310e-08,2.260144e-08,4.117525e-08,5.945452e-08,1.275385e-07,1.356469e-07,2.777396e-07,3.254862e-07,5.223532e-07,7.214740e-07,9.173513e-07,1.436501e-06,1.522468e-06,2.409092e-06,2.627233e-06,3.658978e-06,4.482035e-06,5.361845e-06,7.211307e-06,7.612065e-06,1.050483e-05,1.103352e-05,1.413215e-05,1.615953e-05,1.857915e-05,2.277762e-05,2.392066e-05,3.021863e-05,3.104105e-05,3.752007e-05,4.105916e-05,4.585583e-05,5.289201e-05,5.523994e-05,6.566965e-05,6.654874e-05,7.712601e-05,8.198882e-05,8.957477e-05,9.912588e-05,1.029678e-04,1.172448e-04,1.178333e-04,1.323348e-04,1.379512e-04,1.481584e-04,1.592936e-04,1.646293e-04,1.816566e-04,1.991464e-04,2.048253e-04,2.170034e-04,2.285807e-04,2.351327e-04,2.527064e-04,2.534410e-04,2.718377e-04,2.769927e-04,2.902361e-04,3.012417e-04,3.085543e-04,3.252703e-04,3.267157e-04,3.446493e-04,3.489121e-04,3.622904e-04,3.720195e-04,3.795805e-04,3.944640e-04,3.964676e-04,4.129061e-04,4.161364e-04,4.288565e-04,4.369464e-04,4.442852e-04,4.568218e-04,4.591647e-04,4.734725e-04,4.757074e-04,4.871914e-04,4.935635e-04,5.003089e-04,5.103644e-04,5.128170e-04,5.247112e-04,5.260972e-04,5.359912e-04,5.407603e-04,5.466593e-04,5.543612e-04,5.567211e-04,5.661844e-04,5.669159e-04,5.750593e-04,5.784471e-04,5.833578e-04,5.889833e-04,5.910933e-04,5.982808e-04,5.985571e-04,6.049361e-04,6.072050e-04,6.110760e-04,6.149656e-04,6.167180e-04,6.218799e-04,6.265799e-04,6.279894e-04,6.308366e-04,6.333367e-04,6.346684e-04,6.379641e-04,6.380935e-04,6.411305e-04,6.419138e-04,6.437972e-04,6.452270e-04,6.461115e-04,6.479443e-04,6.480907e-04,6.497519e-04,6.501051e-04,6.511116e-04,6.517475e-04,6.521861e-04,6.529081e-04,6.529909e-04,6.535412e-04,6.536221e-04,6.538517e-04,6.539230e-04,6.539363e-04,6.538429e-04,6.538088e-04,6.534820e-04,6.534121e-04,6.529686e-04,6.526594e-04,6.522805e-04,6.516120e-04,6.514292e-04,6.504257e-04,6.502956e-04,6.492805e-04,6.487343e-04,6.480036e-04,6.469509e-04,6.466045e-04,6.450923e-04,6.449667e-04,6.434756e-04,6.428016e-04,6.417627e-04,6.404743e-04,6.399614e-04,6.380791e-04,6.380022e-04,6.361228e-04,6.354017e-04,6.340991e-04,6.326878e-04,6.320144e-04,6.298746e-04,6.269754e-04,6.240021e-04,6.209661e-04,6.178777e-04,6.147467e-04,6.115819e-04,6.083914e-04,6.051829e-04,6.019633e-04,5.987389e-04,5.955155e-04,5.922984e-04,5.890925e-04,5.859021e-04,5.827314e-04,5.795838e-04,5.764628e-04,5.733711e-04,5.703114e-04,5.672861e-04,5.642973e-04,5.613468e-04,5.584362e-04,5.555668e-04
0.000000e+00,2.098221e-12,1.281111e-11,1.777574e-10,9.629022e-10,2.049693e-09,9.990005e-09,1.056274e-08,3.529694e-08,4.694193e-08,9.024028e-08,1.448122e-07,1.927162e-07,3.456633e-07,3.621637e-07,6.191370e-07,6.961596e-07,9.845454e-07,1.244225e-06,1.478887e-06,2.035686e-06,2.121126e-06,2.927105e-06,3.109021e-06,3.907873e-06,4.488919e-06,5.068639e-06,6.182435e-06,6.408710e-06,7.922265e-06,8.179924e-06,9.599522e-06,1.045914e-05,1.142791e-05,1.298978e-05,1.339300e-05,1.547919e-05,1.573690e-05,1.767020e-05,1.866318e-05,1.994942e-05,2.173035e-05,2.230016e-05,2.470596e-05,2.490032e-05,2.715077e-05,2.813614e-05,2.961920e-05,3.140288e-05,3.209669e-05,3.456968e-05,3.466833e-05,3.702574e-05,3.790357e-05,3.945362e-05,4.108334e-05,4.184334e-05,4.418619e-05,4.647466e-05,4.719442e-05,4.870245e-05,5.009397e-05,5.086440e-05,5.287405e-05,5.295635e-05,5.497511e-05,5.552692e-05,5.691837e-05,5.804740e-05,5.878456e-05,6.043259e-05,6.057277e-05,6.228270e-05,6.268145e-05,6.391455e-05,6.479450e-05,6.546894e-05,6.677348e-05,6.694683e-05,6.834952e-05,6.862116e-05,6.967850e-05,7.034101e-05,7.093551e-05,7.193712e-05,7.212239e-05,7.324114e-05,7.341395e-05,7.429382e-05,7.477626e-05,7.528256e-05,7.602897e-05,7.620952e-05,7.707688e-05,7.717706e-05,7.788683e-05,7.822558e-05,7.864154e-05,7.917950e-05,7.934316e-05,7.999382e-05,8.004373e-05,8.059560e-05,8.082309e-05,8.115055e-05,8.152223e-05,8.166066e-05,8.212788e-05,8.214570e-05,8.255410e-05,8.269786e-05,8.294116e-05,8.318291e-05,8.329085e-05,8.360489e-05,8.388495e-05,8.396766e-05,8.413265e-05,8.427492e-05,8.434955e-05,8.453018e-05,8.453714e-05,8.469689e-05,8.473682e-05,8.483017e-05,8.489801e-05,8.493835e-05,8.501680e-05,8.502270e-05,8.508446e-05,8.509606e-05,8.512484e-05,8.513854e-05,8.514498e-05,8.514683e-05,8.514597e-05,8.512887e-05,8.512337e-05,8.509469e-05,8.507049e-05,8.504440e-05,8.499038e-05,8.497892e-05,8.489916e-05,8.488512e-05,8.480594e-05,8.475667e-05,8.470010e-05,8.460686e-05,8.458241e-05,8.445362e-05,8.443745e-05,8.431443e-05,8.425007e-05,8.416552e-05,8.404626e-05,8.400755e-05,8.384114e-05,8.382748e-05,8.366688e-05,8.359511e-05,8.348533e-05,8.335041e-05,8.329703e-05,8.310250e-05,8.309460e-05,8.290222e-05,8.282881e-05,8.269667e-05,8.255410e-05,8.248628e-05,8.227147e-05,8.198185e-05,8.168611e-05,8.138507e-05,8.107950e-05,8.077009e-05,8.045753e-05,8.014242e-05,7.982535e-05,7.950684e-05,7.918740e-05,7.886749e-05,7.854754e-05,7.822795e-05,7.790908e-05,7.759127e-05,7.727483e-05,7.696005e-05,7.664720e-05,7.633651e-05,7.602821e-05,7.572250e-05,7.541956e-05,7.511955e-05,7.482263e-05
0.000000e+00,4.920712e-09,1.133332e-08,3.927268e-08,8.986358e-08,1.315452e-07,3.016497e-07,3.108876e-07,6.099586e-07,7.202718e-07,1.067723e-06,1.437645e-06,1.730700e-06,2.565259e-06,2.649244e-06,3.864079e-06,4.201792e-06,5.386366e-06,6.364848e-06,7.190864e-06,8.976046e-06,9.231851e-06,1.146282e-05,1.192826e-05,1.384512e-05,1.513330e-05,1.634812e-05,1.852555e-05,1.894687e-05,2.161994e-05,2.205322e-05,2.434800e-05,2.567168e-05,2.711308e-05,2.934042e-05,2.989829e-05,3.268770e-05,3.302199e-05,3.546639e-05,3.668205e-05,3.822067e-05,4.028990e-05,4.093811e-05,4.360761e-05,4.381880e-05,4.621950e-05,4.724622e-05,4.876548e-05,5.055382e-05,5.123860e-05,5.363323e-05,5.372731e-05,5.594488e-05,5.675609e-05,5.817021e-05,5.963287e-05,6.030683e-05,6.235324e-05,6.430869e-05,6.491519e-05,6.617308e-05,6.731870e-05,6.794688e-05,6.956534e-05,6.963100e-05,7.122677e-05,7.165797e-05,7.273582e-05,7.360041e-05,7.416004e-05,7.539719e-05,7.550152e-05,7.676250e-05,7.705341e-05,7.794533e-05,7.857449e-05,7.905246e-05,7.996608e-05,8.008637e-05,8.104959e-05,8.123397e-05,8.194465e-05,8.238398e-05,8.277407e-05,8.342188e-05,8.354034e-05,8.424596e-05,8.435339e-05,8.489333e-05,8.518409e-05,8.548487e-05,8.591946e-05,8.602289e-05,8.650968e-05,8.656476e-05,8.694747e-05,8.712513e-05,8.733841e-05,8.760549e-05,8.768461e-05,8.798809e-05,8.801058e-05,8.825083e-05,8.834494e-05,8.847473e-05,8.861294e-05,8.866165e-05,8.881336e-05,8.881872e-05,8.893158e-05,8.896626e-05,8.901797e-05,8.905935e-05,8.907413e-05,8.910159e-05,8.910184e-05,8.909641e-05,8.907631e-05,8.904707e-05,8.902636e-05,8.895666e-05,8.895331e-05,8.885843e-05,8.882811e-05,8.874292e-05,8.866421e-05,8.860796e-05,8.846758e-05,8.845467e-05,8.828411e-05,8.824072e-05,8.809731e-05,8.798598e-05,8.789526e-05,8.770559e-05,8.767890e-05,8.744914e-05,8.740165e-05,8.720683e-05,8.707615e-05,8.695280e-05,8.673095e-05,8.668785e-05,8.641273e-05,8.636781e-05,8.612816e-05,8.598841e-05,8.583482e-05,8.559429e-05,8.553339e-05,8.522448e-05,8.518694e-05,8.490869e-05,8.476772e-05,8.458660e-05,8.433794e-05,8.425876e-05,8.392567e-05,8.389881e-05,8.358783e-05,8.345147e-05,8.324572e-05,8.299700e-05,8.289978e-05,8.255043e-05,8.253639e-05,8.219809e-05,8.207059e-05,8.184313e-05,8.160046e-05,8.148593e-05,8.112682e-05,8.065045e-05,8.017204e-05,7.969226e-05,7.921173e-05,7.873102e-05,7.825067e-05,7.777115e-05,7.729294e-05,7.681644e-05,7.634206e-05,7.587014e-05,7.540101e-05,7.493498e-05,7.447233e-05,7.401330e-05,7.355812e-05,7.310700e-05,7.266014e-05,7.221769e-05,7.177981e-05,7.134664e-05,7.091830e-05,7.049489e-05,7.007650e-05
0.000000e+00,1.108202e-13,7.345675e-13,1.206958e-11,7.615387e-11,1.761571e-10,1.062203e-09,1.132802e-09,4.663661e-09,6.561680e-09,1.452415e-08,2.611014e-08,3.741019e-08,7.909839e-08,8.403946e-08,1.702759e-07,1.991652e-07,3.180108e-07,4.378244e-07,5.552775e-07,8.643468e-07,9.151923e-07,1.433810e-06,1.559798e-06,2.147408e-06,2.606922e-06,3.089790e-06,4.079664e-06,4.290061e-06,5.771069e-06,6.035235e-06,7.548515e-06,8.509702e-06,9.630703e-06,1.151683e-05,1.201873e-05,1.470700e-05,1.504928e-05,1.768398e-05,1.908119e-05,2.093302e-05,2.357152e-05,2.443323e-05,2.816039e-05,2.846758e-05,3.208778e-05,3.370847e-05,3.618695e-05,3.922822e-05,4.042848e-05,4.478261e-05,4.495870e-05,4.921980e-05,5.083195e-05,5.371127e-05,5.678231e-05,5.822938e-05,6.274798e-05,6.724273e-05,6.867230e-05,7.169123e-05,7.450454e-05,7.607319e-05,8.020048e-05,8.037054e-05,8.456738e-05,8.572257e-05,8.865001e-05,9.103986e-05,9.260683e-05,9.612774e-05,9.642829e-05,1.001067e-04,1.009676e-04,1.036362e-04,1.055461e-04,1.070126e-04,1.098550e-04,1.102332e-04,1.132966e-04,1.138904e-04,1.162026e-04,1.176519e-04,1.189523e-04,1.211425e-04,1.215474e-04,1.239906e-04,1.243676e-04,1.262851e-04,1.273348e-04,1.284348e-04,1.300530e-04,1.304437e-04,1.323165e-04,1.325324e-04,1.340580e-04,1.347840e-04,1.356731e-04,1.368192e-04,1.371669e-04,1.385444e-04,1.386498e-04,1.398109e-04,1.402874e-04,1.409712e-04,1.417438e-04,1.420306e-04,1.429938e-04,1.430304e-04,1.438656e-04,1.441581e-04,1.446509e-04,1.451376e-04,1.453539e-04,1.459792e-04,1.465310e-04,1.466927e-04,1.470132e-04,1.472872e-04,1.474298e-04,1.477715e-04,1.477845e-04,1.480808e-04,1.481538e-04,1.483222e-04,1.484420e-04,1.485119e-04,1.486433e-04,1.486528e-04,1.487481e-04,1.487645e-04,1.488005e-04,1.488121e-04,1.488126e-04,1.487920e-04,1.487870e-04,1.487260e-04,1.487098e-04,1.486319e-04,1.485706e-04,1.485068e-04,1.483793e-04,1.483528e-04,1.481718e-04,1.481405e-04,1.479657e-04,1.478583e-04,1.477360e-04,1.475365e-04,1.474845e-04,1.472128e-04,1.471788e-04,1.469221e-04,1.467886e-04,1.466140e-04,1.463690e-04,1.462898e-04,1.459506e-04,1.459229e-04,1.455976e-04,1.454528e-04,1.452320e-04,1.449614e-04,1.448547e-04,1.444667e-04,1.444510e-04,1.440690e-04,1.439236e-04,1.436624e-04,1.433812e-04,1.432477e-04,1.428258e-04,1.422589e-04,1.416821e-04,1.410970e-04,1.405047e-04,1.399067e-04,1.393039e-04,1.386975e-04,1.380885e-04,1.374777e-04,1.368659e-04,1.362540e-04,1.356426e-04,1.350324e-04,1.344240e-04,1.338178e-04,1.332144e-04,1.326143e-04,1.320179e-04,1.314255e-04,1.308375e-04,1.302542e-04,1.296759e-04,1.291028e-04,1.285352e-04
0.000000e+00,3.573057e-13,2.298946e-12,3.549306e-11,2.114158e-10,4.736388e-10,2.625366e-09,2.790145e-09,1.053775e-08,1.447561e-08,3.013809e-08,5.150022e-08,7.134635e-08,1.396801e-07,1.474210e-07,2.750061e-07,3.154057e-07,4.735185e-07,6.234212e-07,7.637627e-07,1.111128e-06,1.165906e-06,1.697405e-06,1.820477e-06,2.371486e-06,2.781300e-06,3.196405e-06,4.008424e-06,4.175417e-06,5.307219e-06,5.502186e-06,6.586602e-06,7.250763e-06,8.005162e-06,9.232932e-06,9.551953e-06,1.121406e-05,1.142059e-05,1.297707e-05,1.378080e-05,1.482550e-05,1.627749e-05,1.674316e-05,1.871348e-05,1.887289e-05,2.071988e-05,2.152887e-05,2.274601e-05,2.420815e-05,2.477608e-05,2.679510e-05,2.687542e-05,2.878909e-05,2.949830e-05,3.074529e-05,3.204804e-05,3.265229e-05,3.450010e-05,3.628023e-05,3.683439e-05,3.798566e-05,3.903532e-05,3.961086e-05,4.109169e-05,4.115166e-05,4.260521e-05,4.299631e-05,4.396986e-05,4.474569e-05,4.524502e-05,4.633943e-05,4.643106e-05,4.752915e-05,4.777981e-05,4.854118e-05,4.907121e-05,4.946957e-05,5.021966e-05,5.031722e-05,5.108736e-05,5.123239e-05,5.178349e-05,5.211744e-05,5.240927e-05,5.288331e-05,5.296846e-05,5.346486e-05,5.353871e-05,5.390226e-05,5.409235e-05,5.428437e-05,5.455272e-05,5.461485e-05,5.489720e-05,5.492801e-05,5.513481e-05,5.522603e-05,5.533092e-05,5.545409e-05,5.548859e-05,5.561073e-05,5.561905e-05,5.570011e-05,5.572726e-05,5.575929e-05,5.578457e-05,5.579070e-05,5.579659e-05,5.579632e-05,5.577906e-05,5.576741e-05,5.574009e-05,5.570228e-05,5.568150e-05,5.560497e-05,5.551206e-05,5.547912e-05,5.540425e-05,5.532804e-05,5.528285e-05,5.515469e-05,5.514912e-05,5.500420e-05,5.496177e-05,5.484915e-05,5.475167e-05,5.468495e-05,5.452658e-05,5.451250e-05,5.433263e-05,5.428844e-05,5.414610e-05,5.403901e-05,5.395363e-05,5.377986e-05,5.375587e-05,5.355343e-05,5.351242e-05,5.334685e-05,5.323796e-05,5.313665e-05,5.295763e-05,5.292330e-05,5.270725e-05,5.267245e-05,5.248889e-05,5.238337e-05,5.226859e-05,5.209120e-05,5.204671e-05,5.182355e-05,5.179670e-05,5.159942e-05,5.150055e-05,5.137456e-05,5.120335e-05,5.114925e-05,5.092369e-05,5.090565e-05,5.069812e-05,5.060792e-05,5.047271e-05,5.031062e-05,5.024765e-05,5.002311e-05,5.001414e-05,4.979924e-05,4.971883e-05,4.957617e-05,4.942502e-05,4.935404e-05,4.913297e-05,4.884295e-05,4.855519e-05,4.826988e-05,4.798720e-05,4.770731e-05,4.743036e-05,4.715645e-05,4.688571e-05,4.661821e-05,4.635405e-05,4.609329e-05,4.583598e-05,4.558217e-05,4.533191e-05,4.508521e-05,4.484211e-05,4.460262e-05,4.436675e-05,4.413450e-05,4.390588e-05,4.368087e-05,4.345946e-05,4.324165e-05,4.302740e-05
0.000000e+00,1.286176e-13,8.638236e-13,1.459065e-11,9.444433e-11,2.215910e-10,1.386885e-09,1.481334e-09,6.333557e-09,9.004395e-09,2.046328e-08,3.758444e-08,5.460813e-08,1.190706e-07,1.268336e-07,2.648387e-07,3.118294e-07,5.075984e-07,7.077058e-07,9.057079e-07,1.432873e-06,1.520287e-06,2.420747e-06,2.641667e-06,3.681879e-06,4.505768e-06,5.380681e-06,7.201654e-06,7.593227e-06,1.039178e-05,1.089845e-05,1.384229e-05,1.574735e-05,1.800224e-05,2.187321e-05,2.291902e-05,2.862869e-05,2.936840e-05,3.515516e-05,3.828896e-05,4.250983e-05,4.865301e-05,5.069153e-05,5.968691e-05,6.044102e-05,6.947103e-05,7.359788e-05,8.000826e-05,8.803636e-05,9.125340e-05,1.031529e-04,1.036416e-04,1.156462e-04,1.202766e-04,1.286673e-04,1.377874e-04,1.421460e-04,1.560093e-04,1.701827e-04,1.747716e-04,1.845918e-04,1.939032e-04,1.991628e-04,2.132367e-04,2.138240e-04,2.285063e-04,2.326120e-04,2.431440e-04,2.518794e-04,2.576756e-04,2.709016e-04,2.720438e-04,2.861962e-04,2.895553e-04,3.000853e-04,3.077320e-04,3.136684e-04,3.253385e-04,3.269080e-04,3.397714e-04,3.422965e-04,3.522309e-04,3.585422e-04,3.642630e-04,3.740258e-04,3.758488e-04,3.869735e-04,3.887098e-04,3.976259e-04,4.025689e-04,4.077983e-04,4.155877e-04,4.174865e-04,4.266888e-04,4.277605e-04,4.354063e-04,4.390892e-04,4.436424e-04,4.495830e-04,4.514024e-04,4.586934e-04,4.592567e-04,4.655242e-04,4.681298e-04,4.719046e-04,4.762258e-04,4.778457e-04,4.833594e-04,4.835713e-04,4.884585e-04,4.901951e-04,4.931559e-04,4.961278e-04,4.974655e-04,5.014010e-04,5.049765e-04,5.060470e-04,5.082062e-04,5.100983e-04,5.111043e-04,5.135875e-04,5.136848e-04,5.159617e-04,5.165467e-04,5.179486e-04,5.190072e-04,5.196591e-04,5.209999e-04,5.211063e-04,5.223030e-04,5.225544e-04,5.232618e-04,5.236994e-04,5.239950e-04,5.244628e-04,5.245142e-04,5.248309e-04,5.248709e-04,5.249561e-04,5.249491e-04,5.249005e-04,5.247216e-04,5.246744e-04,5.242875e-04,5.242113e-04,5.237494e-04,5.234400e-04,5.230690e-04,5.224283e-04,5.222552e-04,5.213162e-04,5.211955e-04,5.202600e-04,5.197601e-04,5.190941e-04,5.181392e-04,5.178259e-04,5.164623e-04,5.163493e-04,5.150098e-04,5.144054e-04,5.134749e-04,5.123220e-04,5.118634e-04,5.101811e-04,5.101124e-04,5.084334e-04,5.077893e-04,5.066255e-04,5.053642e-04,5.047622e-04,5.028483e-04,5.002516e-04,4.975838e-04,4.948538e-04,4.920697e-04,4.892394e-04,4.863698e-04,4.834677e-04,4.805392e-04,4.775899e-04,4.746252e-04,4.716498e-04,4.686683e-04,4.656848e-04,4.627030e-04,4.597265e-04,4.567585e-04,4.538019e-04,4.508593e-04,4.479334e-04,4.450261e-04,4.421397e-04,4.392759e-04,4.364363e-04,4.336225e-04
0.000000e+00,3.518986e-12,2.169986e-11,3.073287e-10,1.696648e-09,3.650396e-09,1.832130e-08,1.939621e-08,6.701812e-08,9.003428e-08,1.779767e-07,2.930051e-07,3.971331e-07,7.456757e-07,7.845591e-07,1.416437e-06,1.614139e-06,2.380793e-06,3.098908e-06,3.764052e-06,5.380607e-06,5.631637e-06,8.012911e-06,8.550560e-06,1.089786e-05,1.258412e-05,1.424462e-05,1.736813e-05,1.799174e-05,2.206982e-05,2.274836e-05,2.640987e-05,2.856710e-05,3.094788e-05,3.468217e-05,3.562670e-05,4.039622e-05,4.097252e-05,4.521283e-05,4.733710e-05,5.003863e-05,5.369198e-05,5.484072e-05,5.959063e-05,5.996760e-05,6.426387e-05,6.610694e-05,6.883968e-05,7.206405e-05,7.330068e-05,7.763266e-05,7.780308e-05,8.182429e-05,8.329718e-05,8.586691e-05,8.852746e-05,8.975420e-05,9.348197e-05,9.704784e-05,9.815455e-05,1.004510e-04,1.025438e-04,1.036919e-04,1.066520e-04,1.067721e-04,1.096941e-04,1.104843e-04,1.124610e-04,1.140482e-04,1.150765e-04,1.173524e-04,1.175446e-04,1.198697e-04,1.204070e-04,1.220565e-04,1.232223e-04,1.241095e-04,1.258095e-04,1.260338e-04,1.278339e-04,1.281795e-04,1.295148e-04,1.303433e-04,1.310812e-04,1.323119e-04,1.325377e-04,1.338890e-04,1.340958e-04,1.351395e-04,1.357053e-04,1.362936e-04,1.371503e-04,1.373556e-04,1.383294e-04,1.384405e-04,1.392191e-04,1.395850e-04,1.400286e-04,1.405924e-04,1.407616e-04,1.414215e-04,1.414713e-04,1.420120e-04,1.422294e-04,1.425362e-04,1.428744e-04,1.429974e-04,1.433987e-04,1.434135e-04,1.437429e-04,1.438534e-04,1.440329e-04,1.442006e-04,1.442714e-04,1.444611e-04,1.446043e-04,1.446407e-04,1.447035e-04,1.447450e-04,1.447610e-04,1.447789e-04,1.447789e-04,1.447593e-04,1.447474e-04,1.447043e-04,1.446551e-04,1.446158e-04,1.445062e-04,1.444955e-04,1.443452e-04,1.443049e-04,1.441667e-04,1.440550e-04,1.439615e-04,1.437600e-04,1.437310e-04,1.434769e-04,1.434234e-04,1.432005e-04,1.430483e-04,1.429030e-04,1.426379e-04,1.425859e-04,1.422502e-04,1.421948e-04,1.418971e-04,1.417218e-04,1.415278e-04,1.412214e-04,1.411433e-04,1.407446e-04,1.406958e-04,1.403326e-04,1.401474e-04,1.399083e-04,1.395781e-04,1.394725e-04,1.390260e-04,1.389899e-04,1.385697e-04,1.383846e-04,1.381043e-04,1.377640e-04,1.376305e-04,1.371490e-04,1.371295e-04,1.366603e-04,1.364828e-04,1.361653e-04,1.358252e-04,1.356643e-04,1.351581e-04,1.344825e-04,1.337998e-04,1.331110e-04,1.324170e-04,1.317189e-04,1.310174e-04,1.303135e-04,1.296078e-04,1.289011e-04,1.281940e-04,1.274872e-04,1.267811e-04,1.260764e-04,1.253736e-04,1.246730e-04,1.239752e-04,1.232804e-04,1.225891e-04,1.219015e-04,1.212181e-04,1.205390e-04,1.198646e-04,1.191950e-04,1.185305e-04
0.000000e+00,1.812772e-12,1.090255e-11,1.467063e-10,7.734117e-10,1.622554e-09,7.626441e-09,8.052128e-09,2.601271e-08,3.429198e-08,6.453478e-08,1.018866e-07,1.342181e-07,2.356458e-07,2.464675e-07,4.130062e-07,4.623618e-07,6.455766e-07,8.089428e-07,9.555919e-07,1.300765e-06,1.353443e-06,1.847284e-06,1.958039e-06,2.441498e-06,2.790180e-06,3.135522e-06,3.791598e-06,3.923654e-06,4.795932e-06,4.942480e-06,5.739645e-06,6.213928e-06,6.740886e-06,7.573935e-06,7.785752e-06,8.861074e-06,8.991574e-06,9.954792e-06,1.043902e-05,1.105606e-05,1.189211e-05,1.215525e-05,1.324387e-05,1.333028e-05,1.431452e-05,1.473628e-05,1.536080e-05,1.609597e-05,1.637731e-05,1.735956e-05,1.739808e-05,1.830393e-05,1.863407e-05,1.920764e-05,1.979786e-05,2.006863e-05,2.088558e-05,2.165772e-05,2.189530e-05,2.238485e-05,2.282670e-05,2.306724e-05,2.368081e-05,2.370551e-05,2.430062e-05,2.445968e-05,2.485379e-05,2.516613e-05,2.536642e-05,2.580357e-05,2.584007e-05,2.627640e-05,2.637575e-05,2.667712e-05,2.688663e-05,2.704400e-05,2.734026e-05,2.737880e-05,2.768327e-05,2.774067e-05,2.795911e-05,2.809179e-05,2.820799e-05,2.839741e-05,2.843154e-05,2.863128e-05,2.866113e-05,2.880872e-05,2.888638e-05,2.896525e-05,2.907634e-05,2.910223e-05,2.922093e-05,2.923400e-05,2.932253e-05,2.936212e-05,2.940819e-05,2.946327e-05,2.947895e-05,2.953583e-05,2.953981e-05,2.957976e-05,2.959391e-05,2.961163e-05,2.962758e-05,2.963228e-05,2.964246e-05,2.964266e-05,2.964292e-05,2.964083e-05,2.963432e-05,2.962363e-05,2.961731e-05,2.959248e-05,2.956039e-05,2.954868e-05,2.952156e-05,2.949340e-05,2.947648e-05,2.942773e-05,2.942559e-05,2.936934e-05,2.935268e-05,2.930811e-05,2.926914e-05,2.924228e-05,2.917795e-05,2.917220e-05,2.909819e-05,2.907988e-05,2.902056e-05,2.897562e-05,2.893960e-05,2.886581e-05,2.885558e-05,2.876873e-05,2.875105e-05,2.867931e-05,2.863187e-05,2.858753e-05,2.850876e-05,2.849359e-05,2.839770e-05,2.838218e-05,2.830002e-05,2.825255e-05,2.820073e-05,2.812025e-05,2.809999e-05,2.799795e-05,2.798563e-05,2.789475e-05,2.784901e-05,2.779051e-05,2.771068e-05,2.768537e-05,2.757944e-05,2.757093e-05,2.747282e-05,2.743001e-05,2.736562e-05,2.728813e-05,2.725794e-05,2.714985e-05,2.714552e-05,2.704145e-05,2.700237e-05,2.693282e-05,2.685885e-05,2.682402e-05,2.671514e-05,2.657138e-05,2.642771e-05,2.628427e-05,2.614116e-05,2.599849e-05,2.585636e-05,2.571487e-05,2.557409e-05,2.543410e-05,2.529497e-05,2.515676e-05,2.501952e-05,2.488332e-05,2.474819e-05,2.461417e-05,2.448132e-05,2.434965e-05,2.421921e-05,2.409001e-05,2.396208e-05,2.383544e-05,2.371012e-05,2.358612e-05,2.346347e-05
0.000000e+00,1.063847e-12,7.209003e-12,1.240220e-10,8.160243e-10,1.931366e-09,1.234664e-08,1.319814e-08,5.745694e-08,8.203356e-08,1.881415e-07,3.475097e-07,5.063198e-07,1.108220e-06,1.180696e-06,2.468510e-06,2.906983e-06,4.735900e-06,6.611689e-06,8.476036e-06,1.348547e-05,1.432279e-05,2.305751e-05,2.523010e-05,3.560695e-05,4.398755e-05,5.303186e-05,7.229316e-05,7.650689e-05,1.072935e-04,1.129854e-04,1.467080e-04,1.690840e-04,1.960861e-04,2.436505e-04,2.567472e-04,3.299592e-04,3.396453e-04,4.169047e-04,4.597914e-04,5.186513e-04,6.064539e-04,6.361260e-04,7.700933e-04,7.815420e-04,9.211399e-04,9.864363e-04,1.089663e-03,1.221943e-03,1.275865e-03,1.479753e-03,1.488275e-03,1.701141e-03,1.785059e-03,1.939658e-03,2.111363e-03,2.194761e-03,2.465745e-03,2.751763e-03,2.846308e-03,3.051841e-03,3.250773e-03,3.364897e-03,3.676556e-03,3.689762e-03,4.025196e-03,4.120837e-03,4.369909e-03,4.580642e-03,4.722580e-03,5.052914e-03,5.081869e-03,5.446438e-03,5.534573e-03,5.814963e-03,6.022579e-03,6.186145e-03,6.513982e-03,6.558725e-03,6.931489e-03,7.005961e-03,7.303281e-03,7.495862e-03,7.673004e-03,7.981220e-03,8.039632e-03,8.402205e-03,8.459780e-03,8.759839e-03,8.929508e-03,9.111724e-03,9.388596e-03,9.457124e-03,9.795379e-03,9.835461e-03,1.012590e-02,1.026875e-02,1.044817e-02,1.068731e-02,1.076175e-02,1.106625e-02,1.109021e-02,1.136136e-02,1.147672e-02,1.164682e-02,1.184626e-02,1.192243e-02,1.218804e-02,1.219845e-02,1.244354e-02,1.253304e-02,1.268889e-02,1.284992e-02,1.292407e-02,1.314911e-02,1.336406e-02,1.343073e-02,1.356902e-02,1.369500e-02,1.376409e-02,1.394220e-02,1.394943e-02,1.412519e-02,1.417271e-02,1.429155e-02,1.438694e-02,1.444871e-02,1.458536e-02,1.459689e-02,1.473630e-02,1.476847e-02,1.486717e-02,1.493682e-02,1.498974e-02,1.509094e-02,1.510427e-02,1.521099e-02,1.523142e-02,1.531017e-02,1.535884e-02,1.540204e-02,1.547376e-02,1.548687e-02,1.556490e-02,1.557677e-02,1.563639e-02,1.566846e-02,1.570159e-02,1.574938e-02,1.576074e-02,1.581407e-02,1.582009e-02,1.586184e-02,1.588115e-02,1.590427e-02,1.593308e-02,1.594158e-02,1.597401e-02,1.597640e-02,1.600177e-02,1.601161e-02,1.602507e-02,1.603919e-02,1.604411e-02,1.605909e-02,1.605961e-02,1.607021e-02,1.607331e-02,1.607766e-02,1.608071e-02,1.608160e-02,1.608223e-02,1.607824e-02,1.606914e-02,1.605526e-02,1.603694e-02,1.601450e-02,1.598825e-02,1.595847e-02,1.592542e-02,1.588937e-02,1.585056e-02,1.580921e-02,1.576555e-02,1.571976e-02,1.567205e-02,1.562260e-02,1.557156e-02,1.551910e-02,1.546537e-02,1.541051e-02,1.535465e-02,1.529791e-02,1.524041e-02,1.518225e-02,1.512353e-02
0.000000e+00,3.948878e-09,9.241841e-09,3.240536e-08,7.411011e-08,1.081527e-07,2.442504e-07,2.515203e-07,4.810191e-07,5.630883e-07,8.139134e-07,1.070114e-06,1.266532e-06,1.801644e-06,1.853906e-06,2.587999e-06,2.786796e-06,3.474036e-06,4.035103e-06,4.506807e-06,5.525017e-06,5.670994e-06,6.945943e-06,7.212330e-06,8.310363e-06,9.048562e-06,9.744410e-06,1.098950e-05,1.122995e-05,1.275024e-05,1.299566e-05,1.428977e-05,1.503130e-05,1.583413e-05,1.706417e-05,1.737010e-05,1.888575e-05,1.906574e-05,2.037052e-05,2.101165e-05,2.181535e-05,2.288196e-05,2.321262e-05,2.455618e-05,2.466119e-05,2.584122e-05,2.633803e-05,2.706424e-05,2.790505e-05,2.822290e-05,2.931587e-05,2.935822e-05,3.034274e-05,3.069627e-05,3.130384e-05,3.192028e-05,3.220011e-05,3.303303e-05,3.380446e-05,3.403868e-05,3.451656e-05,3.494226e-05,3.517172e-05,3.574946e-05,3.577248e-05,3.632148e-05,3.646629e-05,3.682139e-05,3.709888e-05,3.727489e-05,3.765342e-05,3.768465e-05,3.805327e-05,3.813590e-05,3.838329e-05,3.855215e-05,3.867714e-05,3.890767e-05,3.893716e-05,3.916562e-05,3.920771e-05,3.936464e-05,3.945718e-05,3.953626e-05,3.966066e-05,3.968241e-05,3.980489e-05,3.982241e-05,3.990543e-05,3.994637e-05,3.998563e-05,4.003618e-05,4.004702e-05,4.009101e-05,4.009519e-05,4.011894e-05,4.012647e-05,4.013206e-05,4.013283e-05,4.013152e-05,4.011843e-05,4.011687e-05,4.009379e-05,4.008093e-05,4.005858e-05,4.002716e-05,4.001366e-05,3.995987e-05,3.995755e-05,3.989798e-05,3.987386e-05,3.982872e-05,3.977774e-05,3.975274e-05,3.967067e-05,3.958310e-05,3.955400e-05,3.949056e-05,3.942896e-05,3.939356e-05,3.929666e-05,3.929255e-05,3.918798e-05,3.915812e-05,3.908025e-05,3.901425e-05,3.896974e-05,3.886590e-05,3.885678e-05,3.874170e-05,3.871380e-05,3.862480e-05,3.855865e-05,3.850636e-05,3.840106e-05,3.838663e-05,3.826586e-05,3.824160e-05,3.814426e-05,3.808076e-05,3.802203e-05,3.791901e-05,3.789937e-05,3.777644e-05,3.775676e-05,3.765341e-05,3.759437e-05,3.753043e-05,3.743217e-05,3.740763e-05,3.728514e-05,3.727047e-05,3.716307e-05,3.710952e-05,3.704153e-05,3.694957e-05,3.692061e-05,3.680041e-05,3.679083e-05,3.668100e-05,3.663348e-05,3.656247e-05,3.647769e-05,3.644486e-05,3.632826e-05,3.632361e-05,3.621270e-05,3.617137e-05,3.609825e-05,3.602108e-05,3.598495e-05,3.587283e-05,3.572672e-05,3.558281e-05,3.544116e-05,3.530183e-05,3.516485e-05,3.503026e-05,3.489808e-05,3.476834e-05,3.464104e-05,3.451619e-05,3.439379e-05,3.427384e-05,3.415632e-05,3.404124e-05,3.392858e-05,3.381831e-05,3.371042e-05,3.360488e-05,3.350167e-05,3.340077e-05,3.330214e-05,3.320575e-05,3.311158e-05,3.301959e-05
0.000000e+00,1.138058e-09,2.774895e-09,1.017365e-08,2.379593e-08,3.504531e-08,8.063075e-08,8.308598e-08,1.613592e-07,1.896611e-07,2.770286e-07,3.674954e-07,4.376144e-07,6.315590e-07,6.507000e-07,9.223537e-07,9.966069e-07,1.254710e-06,1.466608e-06,1.645459e-06,2.033996e-06,2.090023e-06,2.583640e-06,2.687865e-06,3.122027e-06,3.418376e-06,3.701273e-06,4.216639e-06,4.317581e-06,4.967071e-06,5.073800e-06,5.645683e-06,5.980516e-06,6.349152e-06,6.926842e-06,7.073033e-06,7.812755e-06,7.902366e-06,8.563685e-06,8.896454e-06,9.321214e-06,9.898576e-06,1.008084e-05,1.083825e-05,1.089862e-05,1.158935e-05,1.188717e-05,1.233036e-05,1.285569e-05,1.305783e-05,1.376868e-05,1.379672e-05,1.446019e-05,1.470394e-05,1.513004e-05,1.557215e-05,1.577628e-05,1.639732e-05,1.699195e-05,1.717649e-05,1.755926e-05,1.790771e-05,1.809865e-05,1.858988e-05,1.860977e-05,1.909248e-05,1.922256e-05,1.954687e-05,1.980601e-05,1.997320e-05,2.034103e-05,2.037192e-05,2.074358e-05,2.082883e-05,2.108887e-05,2.127100e-05,2.140857e-05,2.166939e-05,2.170350e-05,2.197457e-05,2.202600e-05,2.222270e-05,2.234299e-05,2.244887e-05,2.262259e-05,2.265405e-05,2.283929e-05,2.286715e-05,2.300564e-05,2.307905e-05,2.315402e-05,2.326039e-05,2.328533e-05,2.340051e-05,2.341329e-05,2.350042e-05,2.353977e-05,2.358592e-05,2.364176e-05,2.365782e-05,2.371693e-05,2.372113e-05,2.376401e-05,2.377964e-05,2.379980e-05,2.381895e-05,2.382497e-05,2.384021e-05,2.384063e-05,2.384615e-05,2.384613e-05,2.384339e-05,2.383684e-05,2.383251e-05,2.381405e-05,2.378854e-05,2.377897e-05,2.375648e-05,2.373273e-05,2.371832e-05,2.367635e-05,2.367450e-05,2.362544e-05,2.361082e-05,2.357153e-05,2.353701e-05,2.351314e-05,2.345578e-05,2.345063e-05,2.338432e-05,2.336788e-05,2.331453e-05,2.327403e-05,2.324154e-05,2.317489e-05,2.316564e-05,2.308708e-05,2.307107e-05,2.300611e-05,2.296313e-05,2.292297e-05,2.285159e-05,2.283785e-05,2.275098e-05,2.273693e-05,2.266253e-05,2.261957e-05,2.257269e-05,2.249993e-05,2.248163e-05,2.238949e-05,2.237837e-05,2.229644e-05,2.225525e-05,2.220261e-05,2.213086e-05,2.210813e-05,2.201311e-05,2.200549e-05,2.191768e-05,2.187942e-05,2.182194e-05,2.175286e-05,2.172598e-05,2.162990e-05,2.162606e-05,2.153379e-05,2.149919e-05,2.143772e-05,2.137246e-05,2.134177e-05,2.124601e-05,2.112001e-05,2.099459e-05,2.086986e-05,2.074596e-05,2.062296e-05,2.050097e-05,2.038006e-05,2.026031e-05,2.014178e-05,2.002453e-05,1.990861e-05,1.979405e-05,1.968090e-05,1.956920e-05,1.945896e-05,1.935021e-05,1.924298e-05,1.913726e-05,1.903309e-05,1.893046e-05,1.882938e-05,1.872986e-05,1.863189e-05,1.853547e-05
0.000000e+00,4.755138e-11,2.495069e-10,2.583870e-09,1.100751e-08,2.076156e-08,7.676226e-08,8.034499e-08,2.153611e-07,2.721362e-07,4.675748e-07,6.964957e-07,8.895672e-07,1.483209e-06,1.546001e-06,2.504605e-06,2.785653e-06,3.811874e-06,4.698741e-06,5.469098e-06,7.184032e-06,7.434071e-06,9.644930e-06,1.011119e-05,1.204226e-05,1.334615e-05,1.457806e-05,1.678793e-05,1.721548e-05,1.992554e-05,2.036423e-05,2.268407e-05,2.401905e-05,2.546980e-05,2.770499e-05,2.826350e-05,3.104757e-05,3.138024e-05,3.380599e-05,3.500782e-05,3.652446e-05,3.855597e-05,3.919039e-05,4.179305e-05,4.199825e-05,4.432345e-05,4.531370e-05,4.677435e-05,4.848655e-05,4.914012e-05,5.141656e-05,5.150572e-05,5.360080e-05,5.436420e-05,5.569113e-05,5.705848e-05,5.768677e-05,5.958776e-05,6.139485e-05,6.195349e-05,6.310936e-05,6.415885e-05,6.473302e-05,6.620823e-05,6.626795e-05,6.771656e-05,6.810705e-05,6.908141e-05,6.986124e-05,7.036521e-05,7.147715e-05,7.157079e-05,7.270100e-05,7.296136e-05,7.375873e-05,7.432048e-05,7.474686e-05,7.556108e-05,7.566822e-05,7.652562e-05,7.668967e-05,7.732184e-05,7.771258e-05,7.805955e-05,7.863595e-05,7.874140e-05,7.936992e-05,7.946570e-05,7.994758e-05,8.020750e-05,8.047678e-05,8.086680e-05,8.095982e-05,8.139894e-05,8.144878e-05,8.179627e-05,8.195839e-05,8.215387e-05,8.240031e-05,8.247374e-05,8.275778e-05,8.277901e-05,8.300781e-05,8.309870e-05,8.322560e-05,8.336338e-05,8.341281e-05,8.357106e-05,8.357681e-05,8.370190e-05,8.374257e-05,8.380679e-05,8.386402e-05,8.388715e-05,8.394433e-05,8.397962e-05,8.398649e-05,8.399425e-05,8.399331e-05,8.398939e-05,8.396744e-05,8.396617e-05,8.392567e-05,8.391137e-05,8.386889e-05,8.382743e-05,8.379683e-05,8.371783e-05,8.371041e-05,8.361052e-05,8.358463e-05,8.349800e-05,8.342977e-05,8.337366e-05,8.325507e-05,8.323826e-05,8.309254e-05,8.306222e-05,8.293719e-05,8.285282e-05,8.277287e-05,8.262837e-05,8.260021e-05,8.241981e-05,8.239027e-05,8.223224e-05,8.213982e-05,8.203804e-05,8.187825e-05,8.183772e-05,8.163178e-05,8.160671e-05,8.142068e-05,8.132627e-05,8.120485e-05,8.103792e-05,8.098471e-05,8.076067e-05,8.074259e-05,8.053310e-05,8.044116e-05,8.030235e-05,8.013444e-05,8.006877e-05,7.983267e-05,7.982318e-05,7.959436e-05,7.950808e-05,7.935412e-05,7.918979e-05,7.911222e-05,7.886894e-05,7.854607e-05,7.822171e-05,7.789636e-05,7.757046e-05,7.724443e-05,7.691865e-05,7.659348e-05,7.626925e-05,7.594626e-05,7.562478e-05,7.530507e-05,7.498737e-05,7.467189e-05,7.435883e-05,7.404836e-05,7.374064e-05,7.343582e-05,7.313403e-05,7.283539e-05,7.254001e-05,7.224798e-05,7.195938e-05,7.167428e-05,7.139276e-05
0.000000e+00,1.829983e-12,1.142337e-11,1.658039e-10,9.348570e-10,2.033481e-09,1.046931e-08,1.109393e-08,3.910182e-08,5.275636e-08,1.051572e-07,1.737951e-07,2.358097e-07,4.419520e-07,4.648046e-07,8.326704e-07,9.466571e-07,1.385444e-06,1.793733e-06,2.171069e-06,3.089685e-06,3.232862e-06,4.602079e-06,4.914392e-06,6.293010e-06,7.298977e-06,8.302363e-06,1.022350e-05,1.061219e-05,1.319439e-05,1.363060e-05,1.601507e-05,1.744310e-05,1.903803e-05,2.157762e-05,2.222699e-05,2.554694e-05,2.595254e-05,2.896484e-05,3.049174e-05,3.244996e-05,3.512612e-05,3.597403e-05,3.951130e-05,3.979414e-05,4.303859e-05,4.444201e-05,4.653531e-05,4.902380e-05,4.998343e-05,5.336741e-05,5.350124e-05,5.667414e-05,5.784350e-05,5.989279e-05,6.202663e-05,6.301464e-05,6.603291e-05,6.894257e-05,6.985011e-05,7.174011e-05,7.347065e-05,7.442337e-05,7.689082e-05,7.699132e-05,7.944392e-05,8.011006e-05,8.178192e-05,8.313029e-05,8.400675e-05,8.595531e-05,8.612036e-05,8.812512e-05,8.859037e-05,9.002377e-05,9.104174e-05,9.181924e-05,9.331639e-05,9.351467e-05,9.511333e-05,9.542174e-05,9.661856e-05,9.736548e-05,9.803374e-05,9.915537e-05,9.936225e-05,1.006074e-04,1.007992e-04,1.017727e-04,1.023045e-04,1.028611e-04,1.036788e-04,1.038761e-04,1.048206e-04,1.049293e-04,1.056977e-04,1.060631e-04,1.065104e-04,1.070868e-04,1.072617e-04,1.079542e-04,1.080071e-04,1.085907e-04,1.088302e-04,1.091737e-04,1.095619e-04,1.097059e-04,1.101895e-04,1.102079e-04,1.106270e-04,1.107736e-04,1.110205e-04,1.112640e-04,1.113721e-04,1.116840e-04,1.119582e-04,1.120382e-04,1.121964e-04,1.123309e-04,1.124006e-04,1.125662e-04,1.125725e-04,1.127137e-04,1.127479e-04,1.128258e-04,1.128798e-04,1.129104e-04,1.129652e-04,1.129690e-04,1.130029e-04,1.130075e-04,1.130135e-04,1.130097e-04,1.130020e-04,1.129747e-04,1.129698e-04,1.129179e-04,1.129053e-04,1.128475e-04,1.128040e-04,1.127597e-04,1.126732e-04,1.126555e-04,1.125358e-04,1.125153e-04,1.124016e-04,1.123323e-04,1.122538e-04,1.121263e-04,1.120932e-04,1.119206e-04,1.118991e-04,1.117368e-04,1.116526e-04,1.115426e-04,1.113884e-04,1.113386e-04,1.111255e-04,1.111081e-04,1.109039e-04,1.108131e-04,1.106745e-04,1.105048e-04,1.104379e-04,1.101945e-04,1.101846e-04,1.099449e-04,1.098536e-04,1.096895e-04,1.095129e-04,1.094290e-04,1.091637e-04,1.088068e-04,1.084433e-04,1.080740e-04,1.076997e-04,1.073212e-04,1.069391e-04,1.065542e-04,1.061670e-04,1.057781e-04,1.053881e-04,1.049974e-04,1.046065e-04,1.042158e-04,1.038258e-04,1.034367e-04,1.030490e-04,1.026628e-04,1.022786e-04,1.018966e-04,1.015170e-04,1.011400e-04,1.007659e-04,1.003948e-04,1.000270e-04
0.000000e+00,4.487544e-09,1.045644e-08,3.662158e-08,8.411679e-08,1.232745e-07,2.832157e-07,2.919082e-07,5.737259e-07,6.778700e-07,1.006492e-06,1.357165e-06,1.635378e-06,2.428472e-06,2.508279e-06,3.660086e-06,3.978849e-06,5.089346e-06,5.995849e-06,6.752636e-06,8.361070e-06,8.588560e-06,1.054255e-05,1.094372e-05,1.257405e-05,1.365101e-05,1.465375e-05,1.642161e-05,1.675950e-05,1.887334e-05,1.921126e-05,2.098001e-05,2.198468e-05,2.306614e-05,2.471229e-05,2.511995e-05,2.713113e-05,2.736918e-05,2.909083e-05,2.993482e-05,3.099161e-05,3.239301e-05,3.282739e-05,3.459343e-05,3.473159e-05,3.628617e-05,3.694216e-05,3.790316e-05,3.901960e-05,3.944288e-05,4.090470e-05,4.096155e-05,4.228868e-05,4.276796e-05,4.359547e-05,4.444059e-05,4.482625e-05,4.598256e-05,4.706628e-05,4.739808e-05,4.807951e-05,4.869203e-05,4.902453e-05,4.986981e-05,4.990375e-05,5.071967e-05,5.093713e-05,5.147482e-05,5.189981e-05,5.217176e-05,5.276370e-05,5.281302e-05,5.340111e-05,5.353462e-05,5.393852e-05,5.421824e-05,5.442767e-05,5.482007e-05,5.487092e-05,5.527056e-05,5.534545e-05,5.562882e-05,5.579949e-05,5.594786e-05,5.618706e-05,5.622975e-05,5.647648e-05,5.651282e-05,5.668996e-05,5.678117e-05,5.687204e-05,5.699629e-05,5.702449e-05,5.714899e-05,5.716213e-05,5.724716e-05,5.728241e-05,5.732053e-05,5.736063e-05,5.737059e-05,5.739874e-05,5.740008e-05,5.740632e-05,5.740388e-05,5.739461e-05,5.737491e-05,5.736482e-05,5.731811e-05,5.731591e-05,5.725559e-05,5.722941e-05,5.717830e-05,5.711781e-05,5.708723e-05,5.698334e-05,5.686752e-05,5.682808e-05,5.674063e-05,5.665398e-05,5.660347e-05,5.646285e-05,5.645681e-05,5.630138e-05,5.625638e-05,5.613786e-05,5.603614e-05,5.596691e-05,5.580361e-05,5.578915e-05,5.560516e-05,5.556013e-05,5.541549e-05,5.530699e-05,5.522066e-05,5.504535e-05,5.502118e-05,5.481750e-05,5.477630e-05,5.461006e-05,5.450085e-05,5.439929e-05,5.421994e-05,5.418557e-05,5.396926e-05,5.393444e-05,5.375073e-05,5.364514e-05,5.353029e-05,5.335278e-05,5.330826e-05,5.308492e-05,5.305805e-05,5.286055e-05,5.276157e-05,5.263540e-05,5.246391e-05,5.240971e-05,5.218370e-05,5.216561e-05,5.195759e-05,5.186716e-05,5.173157e-05,5.156900e-05,5.150583e-05,5.128054e-05,5.127154e-05,5.105586e-05,5.097515e-05,5.083194e-05,5.068018e-05,5.060892e-05,5.038692e-05,5.009567e-05,4.980667e-05,4.952016e-05,4.923634e-05,4.895539e-05,4.867748e-05,4.840276e-05,4.813135e-05,4.786338e-05,4.759892e-05,4.733809e-05,4.708093e-05,4.682752e-05,4.657791e-05,4.633213e-05,4.609023e-05,4.585221e-05,4.561811e-05,4.538792e-05,4.516165e-05,4.493930e-05,4.472085e-05,4.450628e-05,4.429560e-05
0.000000e+00,2.091766e-09,4.824618e-09,1.669821e-08,3.805079e-08,5.551272e-08,1.257071e-07,1.294739e-07,2.492311e-07,2.924314e-07,4.255854e-07,5.632126e-07,6.697480e-07,9.640786e-07,9.931227e-07,1.406102e-06,1.519425e-06,1.915433e-06,2.243043e-06,2.521011e-06,3.127393e-06,3.214920e-06,3.984170e-06,4.145804e-06,4.814620e-06,5.266259e-06,5.693279e-06,6.460303e-06,6.608857e-06,7.551530e-06,7.704276e-06,8.512578e-06,8.978069e-06,9.484132e-06,1.026411e-05,1.045904e-05,1.143082e-05,1.154694e-05,1.239364e-05,1.281310e-05,1.334236e-05,1.405116e-05,1.427248e-05,1.518018e-05,1.525173e-05,1.606230e-05,1.640739e-05,1.691627e-05,1.751256e-05,1.774010e-05,1.853230e-05,1.856331e-05,1.929183e-05,1.955714e-05,2.001810e-05,2.049280e-05,2.071081e-05,2.136996e-05,2.199582e-05,2.218914e-05,2.258886e-05,2.295147e-05,2.314970e-05,2.365852e-05,2.367911e-05,2.417793e-05,2.431224e-05,2.464710e-05,2.491479e-05,2.508763e-05,2.546850e-05,2.550054e-05,2.588688e-05,2.597576e-05,2.624768e-05,2.643897e-05,2.658400e-05,2.686054e-05,2.689688e-05,2.718734e-05,2.724283e-05,2.745639e-05,2.758816e-05,2.770501e-05,2.789874e-05,2.793413e-05,2.814468e-05,2.817670e-05,2.833755e-05,2.842411e-05,2.851361e-05,2.864291e-05,2.867368e-05,2.881856e-05,2.883496e-05,2.894902e-05,2.900204e-05,2.906578e-05,2.914579e-05,2.916955e-05,2.926101e-05,2.926781e-05,2.934080e-05,2.936958e-05,2.940953e-05,2.945251e-05,2.946780e-05,2.951618e-05,2.951791e-05,2.955519e-05,2.956704e-05,2.958534e-05,2.960105e-05,2.960714e-05,2.962104e-05,2.962750e-05,2.962806e-05,2.962692e-05,2.962305e-05,2.961972e-05,2.960694e-05,2.960628e-05,2.958697e-05,2.958056e-05,2.956214e-05,2.954472e-05,2.953211e-05,2.950016e-05,2.949720e-05,2.945771e-05,2.944759e-05,2.941393e-05,2.938764e-05,2.936613e-05,2.932095e-05,2.931457e-05,2.925948e-05,2.924807e-05,2.920112e-05,2.916954e-05,2.913968e-05,2.908587e-05,2.907540e-05,2.900846e-05,2.899752e-05,2.893906e-05,2.890492e-05,2.886737e-05,2.880849e-05,2.879357e-05,2.871783e-05,2.870861e-05,2.864028e-05,2.860563e-05,2.856109e-05,2.849988e-05,2.848038e-05,2.839830e-05,2.839168e-05,2.831496e-05,2.828130e-05,2.823049e-05,2.816903e-05,2.814499e-05,2.805858e-05,2.805511e-05,2.797135e-05,2.793976e-05,2.788340e-05,2.782322e-05,2.779482e-05,2.770569e-05,2.758734e-05,2.746836e-05,2.734890e-05,2.722912e-05,2.710916e-05,2.698914e-05,2.686919e-05,2.674942e-05,2.662993e-05,2.651081e-05,2.639215e-05,2.627403e-05,2.615653e-05,2.603971e-05,2.592363e-05,2.580836e-05,2.569394e-05,2.558043e-05,2.546786e-05,2.535627e-05,2.524571e-05,2.513619e-05,2.502776e-05,2.492043e-05
0.000000e+00,3.636510e-09,8.504993e-09,2.984103e-08,6.838055e-08,9.994655e-08,2.269959e-07,2.338185e-07,4.509199e-07,5.293185e-07,7.711500e-07,1.021138e-06,1.214368e-06,1.744524e-06,1.796394e-06,2.521593e-06,2.716086e-06,3.380191e-06,3.912883e-06,4.354850e-06,5.294243e-06,5.427592e-06,6.581934e-06,6.821232e-06,7.802544e-06,8.458536e-06,9.074657e-06,1.017245e-05,1.038382e-05,1.171595e-05,1.193031e-05,1.305756e-05,1.370115e-05,1.439603e-05,1.545678e-05,1.571986e-05,1.701886e-05,1.717263e-05,1.828424e-05,1.882842e-05,1.950868e-05,2.040821e-05,2.068631e-05,2.181257e-05,2.190035e-05,2.288418e-05,2.329700e-05,2.389895e-05,2.459364e-05,2.485561e-05,2.575378e-05,2.578849e-05,2.659375e-05,2.688203e-05,2.737635e-05,2.787639e-05,2.810286e-05,2.877493e-05,2.939442e-05,2.958189e-05,2.996340e-05,3.030205e-05,3.048407e-05,3.094055e-05,3.095868e-05,3.138952e-05,3.150262e-05,3.177889e-05,3.199354e-05,3.212905e-05,3.241848e-05,3.244223e-05,3.272058e-05,3.278244e-05,3.296621e-05,3.309023e-05,3.318114e-05,3.334640e-05,3.336728e-05,3.352650e-05,3.355527e-05,3.366055e-05,3.372087e-05,3.377112e-05,3.384701e-05,3.385979e-05,3.392807e-05,3.393720e-05,3.397740e-05,3.399474e-05,3.400912e-05,3.402267e-05,3.402450e-05,3.402474e-05,3.402381e-05,3.401098e-05,3.400076e-05,3.398428e-05,3.395594e-05,3.394563e-05,3.389599e-05,3.389157e-05,3.383623e-05,3.380968e-05,3.376718e-05,3.371215e-05,3.368962e-05,3.360429e-05,3.360072e-05,3.351185e-05,3.347696e-05,3.341296e-05,3.334234e-05,3.330821e-05,3.319817e-05,3.308335e-05,3.304568e-05,3.296425e-05,3.288599e-05,3.284132e-05,3.272011e-05,3.271500e-05,3.258567e-05,3.254897e-05,3.245372e-05,3.237343e-05,3.231948e-05,3.219425e-05,3.218329e-05,3.204543e-05,3.201213e-05,3.190620e-05,3.182773e-05,3.176585e-05,3.164160e-05,3.162462e-05,3.148273e-05,3.145429e-05,3.134039e-05,3.126627e-05,3.119780e-05,3.107796e-05,3.105513e-05,3.091255e-05,3.088975e-05,3.077020e-05,3.070200e-05,3.062823e-05,3.051502e-05,3.048677e-05,3.034593e-05,3.032908e-05,3.020583e-05,3.014444e-05,3.006655e-05,2.996132e-05,2.992821e-05,2.979087e-05,2.977993e-05,2.965461e-05,2.960042e-05,2.951950e-05,2.942298e-05,2.938561e-05,2.925299e-05,2.924771e-05,2.912169e-05,2.907475e-05,2.899175e-05,2.890420e-05,2.886322e-05,2.873614e-05,2.857064e-05,2.840778e-05,2.824759e-05,2.809012e-05,2.793540e-05,2.778345e-05,2.763429e-05,2.748792e-05,2.734436e-05,2.720359e-05,2.706561e-05,2.693040e-05,2.679795e-05,2.666824e-05,2.654124e-05,2.641693e-05,2.629528e-05,2.617625e-05,2.605982e-05,2.594596e-05,2.583461e-05,2.572575e-05,2.561934e-05,2.551534e-05
0.000000e+00,5.831144e-09,1.357875e-08,4.750544e-08,1.088626e-07,1.591875e-07,3.621357e-07,3.730464e-07,7.205758e-07,8.461819e-07,1.233921e-06,1.635453e-06,1.946721e-06,2.808302e-06,2.893428e-06,4.105210e-06,4.438010e-06,5.601253e-06,6.563536e-06,7.379942e-06,9.161666e-06,9.419056e-06,1.168554e-05,1.216306e-05,1.414510e-05,1.548981e-05,1.676635e-05,1.907256e-05,1.952125e-05,2.238426e-05,2.285076e-05,2.533152e-05,2.676948e-05,2.834052e-05,3.077776e-05,3.138988e-05,3.445943e-05,3.482822e-05,3.753036e-05,3.887750e-05,4.058538e-05,4.288685e-05,4.360882e-05,4.658677e-05,4.682266e-05,4.950705e-05,5.065662e-05,5.235924e-05,5.436570e-05,5.513463e-05,5.782607e-05,5.793190e-05,6.042792e-05,6.134178e-05,6.293586e-05,6.458599e-05,6.534679e-05,6.765867e-05,6.987038e-05,7.055691e-05,7.198163e-05,7.328024e-05,7.399276e-05,7.583013e-05,7.590472e-05,7.771891e-05,7.820959e-05,7.943711e-05,8.042283e-05,8.106144e-05,8.247492e-05,8.259423e-05,8.403801e-05,8.437156e-05,8.539543e-05,8.611890e-05,8.666928e-05,8.772335e-05,8.786235e-05,8.897752e-05,8.919146e-05,9.001766e-05,9.052982e-05,9.098561e-05,9.174499e-05,9.188423e-05,9.271630e-05,9.284344e-05,9.348457e-05,9.383147e-05,9.419173e-05,9.471524e-05,9.484043e-05,9.543322e-05,9.550071e-05,9.597259e-05,9.619361e-05,9.646096e-05,9.679946e-05,9.690068e-05,9.729402e-05,9.732355e-05,9.764318e-05,9.777095e-05,9.795027e-05,9.814648e-05,9.821734e-05,9.844636e-05,9.845476e-05,9.863923e-05,9.870017e-05,9.879778e-05,9.888688e-05,9.892375e-05,9.901885e-05,9.908468e-05,9.909982e-05,9.912281e-05,9.913337e-05,9.913473e-05,9.912284e-05,9.912187e-05,9.908561e-05,9.907144e-05,9.902725e-05,9.898216e-05,9.894807e-05,9.885785e-05,9.884925e-05,9.873197e-05,9.870120e-05,9.859732e-05,9.851473e-05,9.844636e-05,9.830082e-05,9.828010e-05,9.809949e-05,9.806173e-05,9.790547e-05,9.779957e-05,9.769891e-05,9.751633e-05,9.748065e-05,9.725150e-05,9.721387e-05,9.701220e-05,9.689395e-05,9.676350e-05,9.655823e-05,9.650609e-05,9.624062e-05,9.620825e-05,9.596773e-05,9.584546e-05,9.568802e-05,9.547123e-05,9.540205e-05,9.511038e-05,9.508682e-05,9.481351e-05,9.469342e-05,9.451195e-05,9.429217e-05,9.420614e-05,9.389655e-05,9.388409e-05,9.358358e-05,9.347016e-05,9.326764e-05,9.305130e-05,9.294911e-05,9.262834e-05,9.220207e-05,9.177324e-05,9.134252e-05,9.091055e-05,9.047792e-05,9.004517e-05,8.961281e-05,8.918130e-05,8.875108e-05,8.832255e-05,8.789607e-05,8.747197e-05,8.705057e-05,8.663215e-05,8.621696e-05,8.580525e-05,8.539721e-05,8.499305e-05,8.459293e-05,8.419703e-05,8.380546e-05,8.341836e-05,8.303584e-05,8.265800e-05
0.000000e+00,4.551503e-10,1.748265e-09,1.089055e-08,3.313645e-08,5.399383e-08,1.497917e-07,1.553019e-07,3.430919e-07,4.155861e-07,6.509524e-07,9.096629e-07,1.118700e-06,1.726937e-06,1.788927e-06,2.695440e-06,2.949650e-06,3.844218e-06,4.582808e-06,5.203728e-06,6.532400e-06,6.721040e-06,8.346031e-06,8.680440e-06,1.004129e-05,1.094150e-05,1.178038e-05,1.326068e-05,1.354379e-05,1.531621e-05,1.559977e-05,1.708510e-05,1.792976e-05,1.883998e-05,2.022790e-05,2.057215e-05,2.227446e-05,2.247644e-05,2.394114e-05,2.466199e-05,2.556767e-05,2.677480e-05,2.715057e-05,2.868729e-05,2.880818e-05,3.017604e-05,3.075782e-05,3.161564e-05,3.262135e-05,3.300546e-05,3.434525e-05,3.439780e-05,3.563512e-05,3.608732e-05,3.687544e-05,3.769082e-05,3.806675e-05,3.920979e-05,4.030542e-05,4.064616e-05,4.135459e-05,4.200215e-05,4.235833e-05,4.328018e-05,4.331772e-05,4.423389e-05,4.448283e-05,4.510799e-05,4.561273e-05,4.594116e-05,4.667255e-05,4.673459e-05,4.748945e-05,4.766500e-05,4.820690e-05,4.859277e-05,4.888811e-05,4.945846e-05,4.953417e-05,5.014623e-05,5.026467e-05,5.072546e-05,5.101407e-05,5.127300e-05,5.170920e-05,5.178989e-05,5.227718e-05,5.235247e-05,5.273595e-05,5.294633e-05,5.316720e-05,5.349306e-05,5.357192e-05,5.395108e-05,5.399491e-05,5.430562e-05,5.445406e-05,5.463647e-05,5.487263e-05,5.494453e-05,5.523067e-05,5.525264e-05,5.549573e-05,5.559604e-05,5.574055e-05,5.590473e-05,5.596592e-05,5.617261e-05,5.618050e-05,5.636139e-05,5.642510e-05,5.653297e-05,5.664020e-05,5.668808e-05,5.682739e-05,5.695156e-05,5.698821e-05,5.706125e-05,5.712413e-05,5.715706e-05,5.723655e-05,5.723961e-05,5.730947e-05,5.732683e-05,5.736720e-05,5.739625e-05,5.741335e-05,5.744603e-05,5.744844e-05,5.747297e-05,5.747735e-05,5.748744e-05,5.749132e-05,5.749231e-05,5.748902e-05,5.748804e-05,5.747507e-05,5.747147e-05,5.745382e-05,5.743963e-05,5.742469e-05,5.739443e-05,5.738808e-05,5.734437e-05,5.733674e-05,5.729392e-05,5.726741e-05,5.723708e-05,5.718723e-05,5.717418e-05,5.710556e-05,5.709696e-05,5.703153e-05,5.699731e-05,5.695238e-05,5.688898e-05,5.686840e-05,5.677988e-05,5.677261e-05,5.668707e-05,5.664881e-05,5.659024e-05,5.651817e-05,5.648964e-05,5.638549e-05,5.638125e-05,5.627802e-05,5.623857e-05,5.616746e-05,5.609062e-05,5.605401e-05,5.593788e-05,5.578079e-05,5.561978e-05,5.545524e-05,5.528755e-05,5.511706e-05,5.494412e-05,5.476903e-05,5.459210e-05,5.441361e-05,5.423382e-05,5.405298e-05,5.387133e-05,5.368908e-05,5.350644e-05,5.332361e-05,5.314077e-05,5.295808e-05,5.277571e-05,5.259380e-05,5.241250e-05,5.223193e-05,5.205221e-05,5.187345e-05,5.169577e-05
0.000000e+00,4.141910e-09,9.581593e-09,3.324152e-08,7.577445e-08,1.105266e-07,2.499597e-07,2.574313e-07,4.944876e-07,5.798006e-07,8.422059e-07,1.112688e-06,1.321634e-06,1.897296e-06,1.953989e-06,2.758271e-06,2.978407e-06,3.745919e-06,4.378873e-06,4.914551e-06,6.079013e-06,6.246656e-06,7.715635e-06,8.023350e-06,9.293397e-06,1.014822e-05,1.095444e-05,1.239780e-05,1.267664e-05,1.444070e-05,1.472567e-05,1.622952e-05,1.709238e-05,1.802772e-05,1.946364e-05,1.982140e-05,2.159813e-05,2.180966e-05,2.334686e-05,2.410491e-05,2.505801e-05,2.632825e-05,2.672337e-05,2.833611e-05,2.846268e-05,2.989071e-05,3.049527e-05,3.138290e-05,3.241682e-05,3.280953e-05,3.416844e-05,3.422137e-05,3.545839e-05,3.590577e-05,3.667889e-05,3.746922e-05,3.783010e-05,3.891275e-05,3.992800e-05,4.023889e-05,4.087738e-05,4.145124e-05,4.176270e-05,4.255423e-05,4.258600e-05,4.334946e-05,4.355282e-05,4.405538e-05,4.445229e-05,4.470612e-05,4.525815e-05,4.530410e-05,4.585171e-05,4.597591e-05,4.635135e-05,4.661107e-05,4.680538e-05,4.716903e-05,4.721611e-05,4.758580e-05,4.765500e-05,4.791664e-05,4.807403e-05,4.821075e-05,4.843092e-05,4.847018e-05,4.869690e-05,4.873027e-05,4.889280e-05,4.897641e-05,4.905968e-05,4.917346e-05,4.919928e-05,4.931326e-05,4.932529e-05,4.940319e-05,4.943553e-05,4.947058e-05,4.950760e-05,4.951685e-05,4.954338e-05,4.954468e-05,4.955144e-05,4.954978e-05,4.954228e-05,4.952567e-05,4.951706e-05,4.947687e-05,4.947497e-05,4.942277e-05,4.940009e-05,4.935575e-05,4.930328e-05,4.927675e-05,4.918665e-05,4.908629e-05,4.905214e-05,4.897647e-05,4.890156e-05,4.885793e-05,4.873659e-05,4.873138e-05,4.859749e-05,4.855877e-05,4.845688e-05,4.836954e-05,4.831015e-05,4.817024e-05,4.815786e-05,4.800054e-05,4.796208e-05,4.783867e-05,4.774621e-05,4.767272e-05,4.752366e-05,4.750313e-05,4.733032e-05,4.729541e-05,4.715467e-05,4.706233e-05,4.697655e-05,4.682525e-05,4.679628e-05,4.661420e-05,4.658492e-05,4.643060e-05,4.634201e-05,4.624576e-05,4.609717e-05,4.605995e-05,4.587340e-05,4.585098e-05,4.568635e-05,4.560394e-05,4.549901e-05,4.535656e-05,4.531158e-05,4.512425e-05,4.510927e-05,4.493718e-05,4.486247e-05,4.475054e-05,4.461651e-05,4.456448e-05,4.437914e-05,4.437174e-05,4.419464e-05,4.412845e-05,4.401110e-05,4.388690e-05,4.382863e-05,4.364734e-05,4.340998e-05,4.317502e-05,4.294262e-05,4.271294e-05,4.248612e-05,4.226227e-05,4.204148e-05,4.182386e-05,4.160947e-05,4.139837e-05,4.119062e-05,4.098626e-05,4.078531e-05,4.058781e-05,4.039376e-05,4.020318e-05,4.001607e-05,3.983242e-05,3.965222e-05,3.947547e-05,3.930213e-05,3.913219e-05,3.896561e-05,3.880238e-05
0.000000e+00,4.891779e-12,2.998922e-11,4.192400e-10,2.285562e-09,4.883019e-09,2.407416e-08,2.546875e-08,8.661484e-08,1.159197e-07,2.272302e-07,3.719979e-07,5.025739e-07,9.370208e-07,9.852236e-07,1.759384e-06,1.997586e-06,2.901027e-06,3.717232e-06,4.447777e-06,6.128181e-06,6.377865e-06,8.612904e-06,9.086876e-06,1.104024e-05,1.233839e-05,1.354034e-05,1.561886e-05,1.600783e-05,1.836230e-05,1.872459e-05,2.055026e-05,2.153182e-05,2.254191e-05,2.398566e-05,2.432570e-05,2.590280e-05,2.607854e-05,2.728244e-05,2.783040e-05,2.847850e-05,2.927457e-05,2.950704e-05,3.038482e-05,3.044902e-05,3.112830e-05,3.139163e-05,3.175311e-05,3.213765e-05,3.227370e-05,3.270325e-05,3.271871e-05,3.305362e-05,3.316243e-05,3.333533e-05,3.349248e-05,3.355769e-05,3.372882e-05,3.385576e-05,3.388806e-05,3.394460e-05,3.398391e-05,3.400057e-05,3.402755e-05,3.402815e-05,3.403118e-05,3.402808e-05,3.401292e-05,3.399292e-05,3.397616e-05,3.392806e-05,3.392328e-05,3.385634e-05,3.383838e-05,3.377708e-05,3.372788e-05,3.368701e-05,3.359985e-05,3.358744e-05,3.347951e-05,3.345701e-05,3.336420e-05,3.330163e-05,3.324240e-05,3.313563e-05,3.311487e-05,3.298229e-05,3.296065e-05,3.284527e-05,3.277808e-05,3.270435e-05,3.258914e-05,3.256003e-05,3.241274e-05,3.239489e-05,3.226289e-05,3.219624e-05,3.211084e-05,3.199402e-05,3.195692e-05,3.180144e-05,3.178894e-05,3.164466e-05,3.158164e-05,3.148683e-05,3.137268e-05,3.132820e-05,3.116897e-05,3.116259e-05,3.100933e-05,3.095180e-05,3.084947e-05,3.074073e-05,3.068956e-05,3.052974e-05,3.037015e-05,3.031915e-05,3.021092e-05,3.010926e-05,3.005217e-05,2.990033e-05,2.989401e-05,2.973654e-05,2.969259e-05,2.957985e-05,2.948625e-05,2.942403e-05,2.928150e-05,2.926915e-05,2.911528e-05,2.907850e-05,2.896248e-05,2.887741e-05,2.881083e-05,2.867835e-05,2.866036e-05,2.851114e-05,2.848144e-05,2.836319e-05,2.828678e-05,2.821657e-05,2.809446e-05,2.807131e-05,2.792745e-05,2.790456e-05,2.778500e-05,2.771714e-05,2.764400e-05,2.753226e-05,2.750447e-05,2.736643e-05,2.734996e-05,2.722989e-05,2.717030e-05,2.709488e-05,2.699329e-05,2.696139e-05,2.682946e-05,2.681897e-05,2.669907e-05,2.664735e-05,2.657024e-05,2.647846e-05,2.644298e-05,2.631728e-05,2.631229e-05,2.619315e-05,2.614885e-05,2.607059e-05,2.598815e-05,2.594960e-05,2.583017e-05,2.567491e-05,2.552236e-05,2.537251e-05,2.522534e-05,2.508082e-05,2.493894e-05,2.479968e-05,2.466301e-05,2.452891e-05,2.439734e-05,2.426828e-05,2.414170e-05,2.401757e-05,2.389585e-05,2.377652e-05,2.365954e-05,2.354487e-05,2.343249e-05,2.332236e-05,2.321444e-05,2.310870e-05,2.300510e-05,2.290362e-05,2.280420e-05
0.000000e+00,2.048320e-12,1.288810e-11,1.900792e-10,1.086755e-09,2.381235e-09,1.247616e-08,1.322927e-08,4.731718e-08,6.405969e-08,1.286309e-07,2.135453e-07,2.903634e-07,5.454782e-07,5.737079e-07,1.026292e-06,1.165843e-06,1.700557e-06,2.195583e-06,2.651945e-06,3.762888e-06,3.936409e-06,5.606648e-06,5.991098e-06,7.706943e-06,8.979797e-06,1.026755e-05,1.278347e-05,1.330035e-05,1.679723e-05,1.739824e-05,2.073149e-05,2.276354e-05,2.506159e-05,2.877620e-05,2.973591e-05,3.469738e-05,3.530926e-05,3.988737e-05,4.222849e-05,4.524856e-05,4.940414e-05,5.072688e-05,5.627257e-05,5.671775e-05,6.184079e-05,6.406530e-05,6.739176e-05,7.135809e-05,7.289075e-05,7.830783e-05,7.852244e-05,8.361760e-05,8.549864e-05,8.879886e-05,9.223972e-05,9.383428e-05,9.871002e-05,1.034154e-04,1.048837e-04,1.079424e-04,1.107435e-04,1.122856e-04,1.162790e-04,1.164417e-04,1.204089e-04,1.214859e-04,1.241873e-04,1.263642e-04,1.277781e-04,1.309179e-04,1.311836e-04,1.344070e-04,1.351539e-04,1.374521e-04,1.390810e-04,1.403232e-04,1.427098e-04,1.430252e-04,1.455632e-04,1.460516e-04,1.479425e-04,1.491188e-04,1.501685e-04,1.519239e-04,1.522468e-04,1.541829e-04,1.544798e-04,1.559823e-04,1.567991e-04,1.576506e-04,1.588945e-04,1.591932e-04,1.606154e-04,1.607782e-04,1.619223e-04,1.624622e-04,1.631192e-04,1.639582e-04,1.642109e-04,1.652022e-04,1.652773e-04,1.660977e-04,1.664302e-04,1.669021e-04,1.674273e-04,1.676197e-04,1.682546e-04,1.682784e-04,1.688110e-04,1.689928e-04,1.692927e-04,1.695796e-04,1.697035e-04,1.700471e-04,1.703269e-04,1.704035e-04,1.705463e-04,1.706565e-04,1.707084e-04,1.708131e-04,1.708164e-04,1.708733e-04,1.708804e-04,1.708817e-04,1.708647e-04,1.708446e-04,1.707723e-04,1.707643e-04,1.706436e-04,1.706088e-04,1.704846e-04,1.703797e-04,1.702897e-04,1.700903e-04,1.700611e-04,1.698008e-04,1.697452e-04,1.695109e-04,1.693490e-04,1.691932e-04,1.689062e-04,1.688495e-04,1.684815e-04,1.684205e-04,1.680910e-04,1.678960e-04,1.676794e-04,1.673360e-04,1.672483e-04,1.667990e-04,1.667440e-04,1.663330e-04,1.661230e-04,1.658515e-04,1.654760e-04,1.653558e-04,1.648469e-04,1.648057e-04,1.643261e-04,1.641147e-04,1.637944e-04,1.634054e-04,1.632528e-04,1.627023e-04,1.626801e-04,1.621436e-04,1.619407e-04,1.615778e-04,1.611894e-04,1.610056e-04,1.604278e-04,1.596577e-04,1.588807e-04,1.580982e-04,1.573116e-04,1.565222e-04,1.557311e-04,1.549395e-04,1.541482e-04,1.533583e-04,1.525706e-04,1.517859e-04,1.510050e-04,1.502283e-04,1.494567e-04,1.486906e-04,1.479306e-04,1.471770e-04,1.464304e-04,1.456911e-04,1.449594e-04,1.442356e-04,1.435200e-04,1.428129e-04,1.421145e-04
0.000000e+00,5.865606e-09,1.430947e-08,5.261373e-08,1.235377e-07,1.824004e-07,4.229555e-07,4.359899e-07,8.548057e-07,1.007561e-06,1.482506e-06,1.978532e-06,2.365269e-06,3.443068e-06,3.550029e-06,5.080053e-06,5.502569e-06,6.987482e-06,8.225820e-06,9.283522e-06,1.161156e-05,1.194965e-05,1.493629e-05,1.556605e-05,1.817294e-05,1.992972e-05,2.158477e-05,2.453704e-05,2.510527e-05,2.868099e-05,2.925533e-05,3.227071e-05,3.398917e-05,3.584281e-05,3.867109e-05,3.937270e-05,4.284106e-05,4.325237e-05,4.623265e-05,4.769743e-05,4.953545e-05,5.198039e-05,5.274017e-05,5.583975e-05,5.608301e-05,5.882909e-05,5.999312e-05,6.170468e-05,6.370344e-05,6.446441e-05,6.710728e-05,6.721056e-05,6.963324e-05,7.051408e-05,7.204301e-05,7.361595e-05,7.433793e-05,7.651983e-05,7.859092e-05,7.923067e-05,8.055373e-05,8.175435e-05,8.241098e-05,8.409735e-05,8.416560e-05,8.582060e-05,8.626657e-05,8.737908e-05,8.826915e-05,8.884420e-05,9.011236e-05,9.021910e-05,9.150696e-05,9.180345e-05,9.271091e-05,9.334963e-05,9.383406e-05,9.475803e-05,9.487948e-05,9.585017e-05,9.603560e-05,9.674908e-05,9.718912e-05,9.757912e-05,9.822518e-05,9.834309e-05,9.904376e-05,9.915017e-05,9.968378e-05,9.997023e-05,1.002658e-04,1.006913e-04,1.007923e-04,1.012657e-04,1.013191e-04,1.016885e-04,1.018590e-04,1.020629e-04,1.023164e-04,1.023911e-04,1.026754e-04,1.026963e-04,1.029177e-04,1.030034e-04,1.031202e-04,1.032423e-04,1.032846e-04,1.034130e-04,1.034174e-04,1.035071e-04,1.035329e-04,1.035687e-04,1.035928e-04,1.035993e-04,1.036007e-04,1.035744e-04,1.035603e-04,1.035218e-04,1.034751e-04,1.034444e-04,1.033481e-04,1.033436e-04,1.032207e-04,1.031825e-04,1.030770e-04,1.029812e-04,1.029136e-04,1.027470e-04,1.027318e-04,1.025326e-04,1.024823e-04,1.023171e-04,1.021898e-04,1.020865e-04,1.018716e-04,1.018415e-04,1.015832e-04,1.015301e-04,1.013126e-04,1.011672e-04,1.010303e-04,1.007849e-04,1.007374e-04,1.004345e-04,1.003851e-04,1.001223e-04,9.996949e-05,9.980177e-05,9.953966e-05,9.947340e-05,9.913789e-05,9.909718e-05,9.879587e-05,9.864347e-05,9.844793e-05,9.817989e-05,9.809464e-05,9.773654e-05,9.770770e-05,9.737414e-05,9.722808e-05,9.700793e-05,9.674215e-05,9.663837e-05,9.626590e-05,9.625095e-05,9.589096e-05,9.575544e-05,9.551392e-05,9.525654e-05,9.513518e-05,9.475508e-05,9.425186e-05,9.374761e-05,9.324301e-05,9.273869e-05,9.223525e-05,9.173321e-05,9.123309e-05,9.073535e-05,9.024041e-05,8.974867e-05,8.926049e-05,8.877619e-05,8.829607e-05,8.782041e-05,8.734945e-05,8.688342e-05,8.642252e-05,8.596692e-05,8.551679e-05,8.507227e-05,8.463348e-05,8.420053e-05,8.377350e-05,8.335249e-05
0.000000e+00,1.139738e-09,2.704814e-09,9.639359e-09,2.224093e-08,3.257696e-08,7.409699e-08,7.632009e-08,1.466102e-07,1.717677e-07,2.486325e-07,3.270365e-07,3.870403e-07,5.499934e-07,5.658679e-07,7.882040e-07,8.482488e-07,1.055535e-06,1.224694e-06,1.367052e-06,1.675312e-06,1.719650e-06,2.108759e-06,2.190515e-06,2.529258e-06,2.758595e-06,2.975950e-06,3.367667e-06,3.443719e-06,3.927580e-06,4.006167e-06,4.422720e-06,4.663038e-06,4.924558e-06,5.327965e-06,5.428817e-06,5.931578e-06,5.991637e-06,6.429330e-06,6.645947e-06,6.919000e-06,7.284108e-06,7.397956e-06,7.864003e-06,7.900673e-06,8.315363e-06,8.491471e-06,8.750643e-06,9.053490e-06,9.168800e-06,9.569102e-06,9.584735e-06,9.951088e-06,1.008407e-05,1.031453e-05,1.055106e-05,1.065940e-05,1.098582e-05,1.129406e-05,1.138890e-05,1.158446e-05,1.176117e-05,1.185749e-05,1.210372e-05,1.211365e-05,1.235350e-05,1.241781e-05,1.257762e-05,1.270481e-05,1.278664e-05,1.296613e-05,1.298117e-05,1.316184e-05,1.320320e-05,1.332927e-05,1.341747e-05,1.348407e-05,1.361034e-05,1.362686e-05,1.375823e-05,1.378319e-05,1.387876e-05,1.393733e-05,1.398900e-05,1.407404e-05,1.408949e-05,1.418075e-05,1.419453e-05,1.426328e-05,1.429993e-05,1.433756e-05,1.439135e-05,1.440404e-05,1.446317e-05,1.446979e-05,1.451537e-05,1.453624e-05,1.456103e-05,1.459160e-05,1.460055e-05,1.463427e-05,1.463673e-05,1.466255e-05,1.467242e-05,1.468573e-05,1.469942e-05,1.470410e-05,1.471797e-05,1.471844e-05,1.472763e-05,1.473013e-05,1.473334e-05,1.473510e-05,1.473536e-05,1.473392e-05,1.472926e-05,1.472712e-05,1.472160e-05,1.471521e-05,1.471113e-05,1.469863e-05,1.469806e-05,1.468258e-05,1.467783e-05,1.466484e-05,1.465319e-05,1.464503e-05,1.462509e-05,1.462329e-05,1.459977e-05,1.459387e-05,1.457461e-05,1.455986e-05,1.454795e-05,1.452334e-05,1.451991e-05,1.449060e-05,1.448460e-05,1.446014e-05,1.444388e-05,1.442863e-05,1.440142e-05,1.439617e-05,1.436284e-05,1.435744e-05,1.432875e-05,1.431214e-05,1.429397e-05,1.426571e-05,1.425858e-05,1.422265e-05,1.421831e-05,1.418626e-05,1.417011e-05,1.414945e-05,1.412125e-05,1.411230e-05,1.407487e-05,1.407186e-05,1.403719e-05,1.402207e-05,1.399934e-05,1.397199e-05,1.396134e-05,1.392325e-05,1.392173e-05,1.388511e-05,1.387137e-05,1.384695e-05,1.382101e-05,1.380881e-05,1.377073e-05,1.372060e-05,1.367068e-05,1.362103e-05,1.357172e-05,1.352278e-05,1.347426e-05,1.342621e-05,1.337865e-05,1.333162e-05,1.328515e-05,1.323926e-05,1.319398e-05,1.314932e-05,1.310531e-05,1.306194e-05,1.301925e-05,1.297723e-05,1.293589e-05,1.289524e-05,1.285529e-05,1.281604e-05,1.277749e-05,1.273964e-05,1.270249e-05
0.000000e+00,9.422281e-14,6.395975e-13,1.104420e-11,7.291903e-11,1.729207e-10,1.111207e-09,1.188102e-09,5.200981e-09,7.437360e-09,1.712787e-08,3.174821e-08,4.636846e-08,1.020715e-07,1.088022e-07,2.289592e-07,2.700590e-07,4.422186e-07,6.197105e-07,7.968037e-07,1.275062e-06,1.355270e-06,2.195208e-06,2.404853e-06,3.409027e-06,4.222694e-06,5.102819e-06,6.982454e-06,7.394432e-06,1.041090e-05,1.096964e-05,1.428540e-05,1.648987e-05,1.915399e-05,2.385572e-05,2.515210e-05,3.241111e-05,3.337291e-05,4.105510e-05,4.532695e-05,5.119773e-05,5.997086e-05,6.293959e-05,7.636576e-05,7.751477e-05,9.154402e-05,9.811755e-05,1.085234e-04,1.218810e-04,1.273332e-04,1.479825e-04,1.488467e-04,1.704604e-04,1.789948e-04,1.947361e-04,2.122458e-04,2.207598e-04,2.484640e-04,2.777647e-04,2.874623e-04,3.085631e-04,3.290090e-04,3.407475e-04,3.728345e-04,3.741950e-04,4.087737e-04,4.186396e-04,4.443443e-04,4.661030e-04,4.807626e-04,5.148892e-04,5.178810e-04,5.555502e-04,5.646561e-04,5.936212e-04,6.150616e-04,6.319469e-04,6.657696e-04,6.703831e-04,7.087899e-04,7.164558e-04,7.470330e-04,7.668119e-04,7.849843e-04,8.165492e-04,8.225228e-04,8.595355e-04,8.654016e-04,8.959172e-04,9.131276e-04,9.315714e-04,9.595116e-04,9.664103e-04,1.000355e-03,1.004364e-03,1.033334e-03,1.047523e-03,1.065287e-03,1.088852e-03,1.096161e-03,1.125910e-03,1.128240e-03,1.154497e-03,1.165600e-03,1.181893e-03,1.200868e-03,1.208076e-03,1.233029e-03,1.234001e-03,1.256744e-03,1.264977e-03,1.279217e-03,1.293790e-03,1.300450e-03,1.320450e-03,1.339229e-03,1.344983e-03,1.356802e-03,1.367425e-03,1.373189e-03,1.387824e-03,1.388410e-03,1.402493e-03,1.406236e-03,1.415464e-03,1.422726e-03,1.427354e-03,1.437364e-03,1.438193e-03,1.448015e-03,1.450225e-03,1.456854e-03,1.461387e-03,1.464744e-03,1.470931e-03,1.471722e-03,1.477823e-03,1.478941e-03,1.483083e-03,1.485499e-03,1.487540e-03,1.490689e-03,1.491229e-03,1.494185e-03,1.494593e-03,1.496445e-03,1.497293e-03,1.498044e-03,1.498869e-03,1.499014e-03,1.499391e-03,1.499398e-03,1.499206e-03,1.498955e-03,1.498492e-03,1.497614e-03,1.497279e-03,1.495599e-03,1.495445e-03,1.493478e-03,1.492514e-03,1.490947e-03,1.488885e-03,1.488031e-03,1.484757e-03,1.484619e-03,1.481150e-03,1.479774e-03,1.477233e-03,1.474405e-03,1.473030e-03,1.468563e-03,1.462296e-03,1.455652e-03,1.448671e-03,1.441394e-03,1.433859e-03,1.426100e-03,1.418149e-03,1.410037e-03,1.401791e-03,1.393436e-03,1.384997e-03,1.376495e-03,1.367950e-03,1.359380e-03,1.350802e-03,1.342232e-03,1.333683e-03,1.325168e-03,1.316698e-03,1.308284e-03,1.299934e-03,1.291657e-03,1.283461e-03,1.275352e-03
0.000000e+00,2.601962e-12,1.551613e-11,2.053044e-10,1.067033e-09,2.222198e-09,1.026693e-08,1.083304e-08,3.450357e-08,4.533384e-08,8.469100e-08,1.330696e-07,1.748489e-07,3.057397e-07,3.197041e-07,5.348800e-07,5.987845e-07,8.366449e-07,1.049599e-06,1.241427e-06,1.695202e-06,1.764708e-06,2.419030e-06,2.566361e-06,3.211365e-06,3.677961e-06,4.140772e-06,5.020576e-06,5.197598e-06,6.364708e-06,6.560260e-06,7.620272e-06,8.247457e-06,8.940807e-06,1.002871e-05,1.030364e-05,1.168840e-05,1.185518e-05,1.307762e-05,1.368644e-05,1.445676e-05,1.549077e-05,1.581395e-05,1.713961e-05,1.724406e-05,1.842608e-05,1.892830e-05,1.966735e-05,2.053042e-05,2.085878e-05,2.199690e-05,2.204128e-05,2.307928e-05,2.345497e-05,2.410435e-05,2.476821e-05,2.507128e-05,2.597989e-05,2.683055e-05,2.709063e-05,2.762404e-05,2.810240e-05,2.836153e-05,2.901820e-05,2.904449e-05,2.967460e-05,2.984181e-05,3.025371e-05,3.057751e-05,3.078379e-05,3.122995e-05,3.126692e-05,3.170520e-05,3.180395e-05,3.210075e-05,3.230438e-05,3.245569e-05,3.273611e-05,3.277212e-05,3.305210e-05,3.310390e-05,3.329765e-05,3.341238e-05,3.351072e-05,3.366598e-05,3.369320e-05,3.384691e-05,3.386895e-05,3.397361e-05,3.402534e-05,3.407499e-05,3.413894e-05,3.415265e-05,3.420813e-05,3.421337e-05,3.424289e-05,3.425199e-05,3.425834e-05,3.425798e-05,3.425579e-05,3.423652e-05,3.423429e-05,3.420170e-05,3.418368e-05,3.415248e-05,3.410873e-05,3.408993e-05,3.401506e-05,3.401182e-05,3.392883e-05,3.389518e-05,3.383214e-05,3.376087e-05,3.372586e-05,3.361079e-05,3.348768e-05,3.344670e-05,3.335725e-05,3.327025e-05,3.322017e-05,3.308292e-05,3.307709e-05,3.292858e-05,3.288611e-05,3.277522e-05,3.268109e-05,3.261752e-05,3.246903e-05,3.245598e-05,3.229106e-05,3.225102e-05,3.212318e-05,3.202803e-05,3.195276e-05,3.180098e-05,3.178017e-05,3.160576e-05,3.157068e-05,3.142986e-05,3.133790e-05,3.125278e-05,3.110333e-05,3.107480e-05,3.089620e-05,3.086758e-05,3.071722e-05,3.063124e-05,3.053808e-05,3.039481e-05,3.035901e-05,3.018019e-05,3.015876e-05,3.000182e-05,2.992352e-05,2.982405e-05,2.968945e-05,2.964705e-05,2.947096e-05,2.945691e-05,2.929590e-05,2.922620e-05,2.912201e-05,2.899759e-05,2.894939e-05,2.877814e-05,2.877132e-05,2.860835e-05,2.854760e-05,2.844010e-05,2.832662e-05,2.827348e-05,2.810854e-05,2.789351e-05,2.768165e-05,2.747306e-05,2.726783e-05,2.706602e-05,2.686771e-05,2.667292e-05,2.648171e-05,2.629408e-05,2.611005e-05,2.592963e-05,2.575282e-05,2.557959e-05,2.540995e-05,2.524386e-05,2.508130e-05,2.492223e-05,2.476663e-05,2.461444e-05,2.446564e-05,2.432017e-05,2.417798e-05,2.403903e-05,2.390327e-05
0.000000e+00,7.984418e-14,5.406033e-13,9.283847e-12,6.098101e-11,1.441907e-10,9.193798e-10,9.826790e-10,4.266385e-09,6.086649e-09,1.393230e-08,2.569227e-08,3.739343e-08,8.164723e-08,8.696873e-08,1.813630e-07,2.134503e-07,3.471026e-07,4.839574e-07,6.198229e-07,9.843877e-07,1.045272e-06,1.679852e-06,1.837576e-06,2.590498e-06,3.198213e-06,3.853784e-06,5.249125e-06,5.554244e-06,7.782029e-06,8.193610e-06,1.063012e-05,1.224487e-05,1.419130e-05,1.761400e-05,1.855508e-05,2.380481e-05,2.449796e-05,3.001507e-05,3.306870e-05,3.724941e-05,4.346414e-05,4.555857e-05,5.497919e-05,5.578161e-05,6.553295e-05,7.007366e-05,7.722619e-05,8.634648e-05,9.005001e-05,1.039807e-04,1.045605e-04,1.189805e-04,1.246328e-04,1.349987e-04,1.464414e-04,1.519730e-04,1.698308e-04,1.884907e-04,1.946171e-04,2.078647e-04,2.205956e-04,2.278589e-04,2.475465e-04,2.483760e-04,2.693161e-04,2.752415e-04,2.905788e-04,3.034496e-04,3.120641e-04,3.319425e-04,3.336736e-04,3.553119e-04,3.604991e-04,3.768873e-04,3.889093e-04,3.983126e-04,4.169774e-04,4.195057e-04,4.403904e-04,4.445240e-04,4.608963e-04,4.713882e-04,4.809596e-04,4.974284e-04,5.005227e-04,5.195345e-04,5.225222e-04,5.379507e-04,5.465673e-04,5.557328e-04,5.694802e-04,5.728488e-04,5.892726e-04,5.911960e-04,6.049838e-04,6.116668e-04,6.199670e-04,6.308609e-04,6.342120e-04,6.477134e-04,6.487613e-04,6.604697e-04,6.653640e-04,6.724834e-04,6.806769e-04,6.837608e-04,6.943108e-04,6.947179e-04,7.041456e-04,7.075138e-04,7.132796e-04,7.190988e-04,7.217293e-04,7.295132e-04,7.366511e-04,7.388022e-04,7.431642e-04,7.470148e-04,7.490746e-04,7.542028e-04,7.544052e-04,7.591795e-04,7.604199e-04,7.634213e-04,7.657207e-04,7.671545e-04,7.701606e-04,7.704032e-04,7.731914e-04,7.737946e-04,7.755427e-04,7.766773e-04,7.774804e-04,7.788619e-04,7.790276e-04,7.802067e-04,7.804003e-04,7.810396e-04,7.813429e-04,7.815475e-04,7.817380e-04,7.817510e-04,7.816699e-04,7.816319e-04,7.813236e-04,7.810685e-04,7.807303e-04,7.800899e-04,7.799079e-04,7.788731e-04,7.787354e-04,7.776421e-04,7.770424e-04,7.762305e-04,7.750458e-04,7.746527e-04,7.729229e-04,7.727783e-04,7.710542e-04,7.702706e-04,7.690590e-04,7.675509e-04,7.669493e-04,7.647363e-04,7.646457e-04,7.624302e-04,7.615793e-04,7.600413e-04,7.583743e-04,7.575788e-04,7.550513e-04,7.516294e-04,7.481262e-04,7.445577e-04,7.409384e-04,7.372818e-04,7.335998e-04,7.299035e-04,7.262027e-04,7.225063e-04,7.188224e-04,7.151580e-04,7.115197e-04,7.079131e-04,7.043432e-04,7.008145e-04,6.973308e-04,6.938957e-04,6.905119e-04,6.871820e-04,6.839082e-04,6.806922e-04,6.775354e-04,6.744391e-04,6.714042e-04
0.000000e+00,9.071807e-09,2.117825e-08,7.438530e-08,1.710785e-07,2.507355e-07,5.746562e-07,5.921823e-07,1.155726e-06,1.361726e-06,2.004376e-06,2.679044e-06,3.207186e-06,4.684396e-06,4.831066e-06,6.917723e-06,7.487357e-06,9.455222e-06,1.105053e-05,1.237988e-05,1.520995e-05,1.561148e-05,1.907981e-05,1.979676e-05,2.272912e-05,2.468293e-05,2.651404e-05,2.976950e-05,3.039556e-05,3.433890e-05,3.497343e-05,3.831261e-05,4.022235e-05,4.228840e-05,4.545354e-05,4.624115e-05,5.014895e-05,5.061394e-05,5.399308e-05,5.566020e-05,5.775792e-05,6.055820e-05,6.143069e-05,6.500124e-05,6.528222e-05,6.846175e-05,6.981378e-05,7.180643e-05,7.414057e-05,7.503127e-05,7.813370e-05,7.825522e-05,8.111241e-05,8.215438e-05,8.396713e-05,8.583777e-05,8.669841e-05,8.930749e-05,9.179612e-05,9.256739e-05,9.416651e-05,9.562267e-05,9.642120e-05,9.847943e-05,9.856297e-05,1.005948e-04,1.011444e-04,1.025198e-04,1.036248e-04,1.043411e-04,1.059280e-04,1.060620e-04,1.076859e-04,1.080616e-04,1.092160e-04,1.100331e-04,1.106556e-04,1.118502e-04,1.120080e-04,1.132764e-04,1.135203e-04,1.144640e-04,1.150507e-04,1.155739e-04,1.164485e-04,1.166092e-04,1.175729e-04,1.177206e-04,1.184678e-04,1.188738e-04,1.192969e-04,1.199146e-04,1.200629e-04,1.207686e-04,1.208493e-04,1.214165e-04,1.216839e-04,1.220091e-04,1.224242e-04,1.225491e-04,1.230386e-04,1.230757e-04,1.234801e-04,1.236438e-04,1.238759e-04,1.241336e-04,1.242279e-04,1.245384e-04,1.245500e-04,1.248093e-04,1.248975e-04,1.250426e-04,1.251808e-04,1.252402e-04,1.254038e-04,1.255353e-04,1.255708e-04,1.256362e-04,1.256855e-04,1.257082e-04,1.257515e-04,1.257528e-04,1.257715e-04,1.257723e-04,1.257658e-04,1.257512e-04,1.257370e-04,1.256912e-04,1.256864e-04,1.256153e-04,1.255953e-04,1.255249e-04,1.254663e-04,1.254164e-04,1.253068e-04,1.252908e-04,1.251493e-04,1.251192e-04,1.249929e-04,1.249060e-04,1.248225e-04,1.246693e-04,1.246391e-04,1.244435e-04,1.244111e-04,1.242367e-04,1.241336e-04,1.240193e-04,1.238385e-04,1.237923e-04,1.235564e-04,1.235275e-04,1.233122e-04,1.232023e-04,1.230605e-04,1.228645e-04,1.228018e-04,1.225368e-04,1.225154e-04,1.222662e-04,1.221564e-04,1.219903e-04,1.217888e-04,1.217098e-04,1.214252e-04,1.214137e-04,1.211369e-04,1.210323e-04,1.208454e-04,1.206456e-04,1.205512e-04,1.202546e-04,1.198601e-04,1.194630e-04,1.190640e-04,1.186640e-04,1.182635e-04,1.178631e-04,1.174636e-04,1.170653e-04,1.166687e-04,1.162744e-04,1.158827e-04,1.154940e-04,1.151086e-04,1.147268e-04,1.143490e-04,1.139754e-04,1.136062e-04,1.132416e-04,1.128818e-04,1.125270e-04,1.121773e-04,1.118328e-04,1.114937e-04,1.111600e-04
0.000000e+00,1.973910e-12,1.161868e-11,1.497902e-10,7.612121e-10,1.566655e-09,7.032039e-09,7.411434e-09,2.299369e-08,3.000771e-08,5.515287e-08,8.558049e-08,1.115695e-07,1.918405e-07,2.003251e-07,3.296764e-07,3.676778e-07,5.077996e-07,6.316973e-07,7.421681e-07,9.994728e-07,1.038404e-06,1.398991e-06,1.478781e-06,1.822625e-06,2.066377e-06,2.304607e-06,2.749494e-06,2.837954e-06,3.414600e-06,3.510328e-06,4.026296e-06,4.330011e-06,4.665107e-06,5.190678e-06,5.323620e-06,5.994995e-06,6.076120e-06,6.672952e-06,6.971843e-06,7.351763e-06,7.865023e-06,8.026247e-06,8.691779e-06,8.744509e-06,9.344298e-06,9.600862e-06,9.980317e-06,1.042637e-05,1.059692e-05,1.119173e-05,1.121504e-05,1.176291e-05,1.196247e-05,1.230910e-05,1.266574e-05,1.282936e-05,1.332315e-05,1.379025e-05,1.393409e-05,1.423075e-05,1.449883e-05,1.464494e-05,1.501830e-05,1.503335e-05,1.539663e-05,1.549395e-05,1.573558e-05,1.592762e-05,1.605106e-05,1.632139e-05,1.634402e-05,1.661544e-05,1.667749e-05,1.686634e-05,1.699825e-05,1.709772e-05,1.728599e-05,1.731059e-05,1.750595e-05,1.754300e-05,1.768475e-05,1.777149e-05,1.784793e-05,1.797361e-05,1.799641e-05,1.813105e-05,1.815137e-05,1.825269e-05,1.830669e-05,1.836211e-05,1.844136e-05,1.846007e-05,1.854728e-05,1.855706e-05,1.862443e-05,1.865535e-05,1.869216e-05,1.873770e-05,1.875107e-05,1.880174e-05,1.880545e-05,1.884470e-05,1.885985e-05,1.888047e-05,1.890204e-05,1.890953e-05,1.893231e-05,1.893310e-05,1.894926e-05,1.895400e-05,1.896075e-05,1.896565e-05,1.896717e-05,1.896887e-05,1.896618e-05,1.896444e-05,1.895941e-05,1.895306e-05,1.894884e-05,1.893538e-05,1.893475e-05,1.891739e-05,1.891198e-05,1.889701e-05,1.888343e-05,1.887383e-05,1.885021e-05,1.884806e-05,1.881990e-05,1.881280e-05,1.878953e-05,1.877163e-05,1.875713e-05,1.872707e-05,1.872286e-05,1.868688e-05,1.867949e-05,1.864933e-05,1.862923e-05,1.861034e-05,1.857658e-05,1.857005e-05,1.852856e-05,1.852182e-05,1.848600e-05,1.846521e-05,1.844245e-05,1.840699e-05,1.839804e-05,1.835284e-05,1.834736e-05,1.830693e-05,1.828654e-05,1.826042e-05,1.822470e-05,1.821336e-05,1.816582e-05,1.816200e-05,1.811789e-05,1.809861e-05,1.806961e-05,1.803467e-05,1.802104e-05,1.797225e-05,1.797029e-05,1.792328e-05,1.790561e-05,1.787417e-05,1.784073e-05,1.782498e-05,1.777575e-05,1.771076e-05,1.764584e-05,1.758107e-05,1.751652e-05,1.745226e-05,1.738833e-05,1.732480e-05,1.726170e-05,1.719909e-05,1.713700e-05,1.707547e-05,1.701452e-05,1.695419e-05,1.689450e-05,1.683547e-05,1.677713e-05,1.671949e-05,1.666256e-05,1.660636e-05,1.655091e-05,1.649620e-05,1.644225e-05,1.638906e-05,1.633664e-05
0.000000e+00,1.038440e-13,6.842048e-13,1.109786e-11,6.913448e-11,1.587239e-10,9.367798e-10,9.981006e-10,4.007217e-09,5.595428e-09,1.213088e-08,2.140313e-08,3.026329e-08,6.193661e-08,6.561076e-08,1.279131e-07,1.481924e-07,2.294896e-07,3.089139e-07,3.850074e-07,5.794466e-07,6.108162e-07,9.237953e-07,9.982875e-07,1.339873e-06,1.601588e-06,1.872530e-06,2.417357e-06,2.531574e-06,3.322346e-06,3.461198e-06,4.245397e-06,4.734402e-06,5.296591e-06,6.224286e-06,6.467518e-06,7.746124e-06,7.906108e-06,9.117464e-06,9.745897e-06,1.056450e-05,1.170360e-05,1.206887e-05,1.361163e-05,1.373614e-05,1.517390e-05,1.580015e-05,1.673742e-05,1.785423e-05,1.828502e-05,1.980094e-05,1.986071e-05,2.127114e-05,2.178681e-05,2.268342e-05,2.360540e-05,2.402757e-05,2.529532e-05,2.648034e-05,2.684129e-05,2.757813e-05,2.823358e-05,2.858589e-05,2.946747e-05,2.950237e-05,3.032770e-05,3.054261e-05,3.106318e-05,3.146225e-05,3.171111e-05,3.223256e-05,3.227462e-05,3.275748e-05,3.286183e-05,3.316396e-05,3.335992e-05,3.349865e-05,3.373761e-05,3.376636e-05,3.397203e-05,3.400615e-05,3.412057e-05,3.417685e-05,3.421684e-05,3.426079e-05,3.426559e-05,3.427134e-05,3.426857e-05,3.423845e-05,3.421014e-05,3.417099e-05,3.409472e-05,3.407280e-05,3.394744e-05,3.393073e-05,3.379820e-05,3.372576e-05,3.362812e-05,3.348662e-05,3.343996e-05,3.323623e-05,3.321933e-05,3.301923e-05,3.292919e-05,3.279102e-05,3.262081e-05,3.255344e-05,3.230817e-05,3.229822e-05,3.205667e-05,3.196486e-05,3.180027e-05,3.162373e-05,3.154015e-05,3.127734e-05,3.101277e-05,3.092787e-05,3.074724e-05,3.057713e-05,3.048146e-05,3.022665e-05,3.021605e-05,2.995156e-05,2.987774e-05,2.968846e-05,2.953145e-05,2.942717e-05,2.918867e-05,2.916802e-05,2.891134e-05,2.885013e-05,2.865738e-05,2.851644e-05,2.840637e-05,2.818807e-05,2.815849e-05,2.791391e-05,2.786540e-05,2.767275e-05,2.754874e-05,2.743513e-05,2.723831e-05,2.720112e-05,2.697080e-05,2.693430e-05,2.674423e-05,2.663682e-05,2.652144e-05,2.634595e-05,2.630245e-05,2.608729e-05,2.606173e-05,2.587596e-05,2.578418e-05,2.566845e-05,2.551329e-05,2.546474e-05,2.526483e-05,2.524900e-05,2.506869e-05,2.499128e-05,2.487628e-05,2.474004e-05,2.468758e-05,2.450254e-05,2.449521e-05,2.432112e-05,2.425669e-05,2.414329e-05,2.402439e-05,2.396899e-05,2.379818e-05,2.357796e-05,2.336361e-05,2.315500e-05,2.295201e-05,2.275450e-05,2.256237e-05,2.237546e-05,2.219366e-05,2.201683e-05,2.184486e-05,2.167760e-05,2.151494e-05,2.135676e-05,2.120292e-05,2.105332e-05,2.090783e-05,2.076633e-05,2.062872e-05,2.049489e-05,2.036472e-05,2.023811e-05,2.011495e-05,1.999515e-05,1.987861e-05
0.000000e+00,3.052566e-10,6.976974e-10,2.386481e-09,5.394573e-09,7.837244e-09,1.754407e-08,1.806060e-08,3.428705e-08,4.005605e-08,5.759012e-08,7.536092e-08,8.889876e-08,1.254567e-07,1.290053e-07,1.785670e-07,1.919289e-07,2.380955e-07,2.759197e-07,3.079296e-07,3.780054e-07,3.881832e-07,4.786799e-07,4.979693e-07,5.789071e-07,6.346057e-07,6.880349e-07,7.858103e-07,8.050047e-07,9.286399e-07,9.489594e-07,1.057734e-06,1.121287e-06,1.191098e-06,1.300093e-06,1.327588e-06,1.466109e-06,1.482818e-06,1.605628e-06,1.667080e-06,1.745176e-06,1.850699e-06,1.883859e-06,2.020863e-06,2.031728e-06,2.155454e-06,2.208468e-06,2.286989e-06,2.379486e-06,2.414912e-06,2.538755e-06,2.543618e-06,2.658134e-06,2.699957e-06,2.772747e-06,2.847843e-06,2.882367e-06,2.986838e-06,3.086063e-06,3.116699e-06,3.180002e-06,3.237351e-06,3.268664e-06,3.348859e-06,3.352097e-06,3.430388e-06,3.451402e-06,3.503648e-06,3.545247e-06,3.572016e-06,3.630727e-06,3.635647e-06,3.694710e-06,3.708225e-06,3.749384e-06,3.778154e-06,3.799857e-06,3.840947e-06,3.846316e-06,3.888955e-06,3.897041e-06,3.927964e-06,3.946877e-06,3.963531e-06,3.990884e-06,3.995842e-06,4.025077e-06,4.029481e-06,4.051410e-06,4.063069e-06,4.075010e-06,4.092032e-06,4.096040e-06,4.114654e-06,4.116733e-06,4.131001e-06,4.137513e-06,4.145223e-06,4.154692e-06,4.157453e-06,4.167819e-06,4.168572e-06,4.176443e-06,4.179430e-06,4.183437e-06,4.187526e-06,4.188911e-06,4.192966e-06,4.193100e-06,4.195698e-06,4.196375e-06,4.197197e-06,4.197557e-06,4.197549e-06,4.196834e-06,4.195126e-06,4.194382e-06,4.192497e-06,4.190361e-06,4.189012e-06,4.184921e-06,4.184735e-06,4.179723e-06,4.178196e-06,4.174032e-06,4.170313e-06,4.167713e-06,4.161386e-06,4.160814e-06,4.153381e-06,4.151522e-06,4.145455e-06,4.140817e-06,4.137078e-06,4.129361e-06,4.128285e-06,4.119113e-06,4.117236e-06,4.109593e-06,4.104516e-06,4.099757e-06,4.091271e-06,4.089633e-06,4.079248e-06,4.077564e-06,4.068628e-06,4.063454e-06,4.057797e-06,4.048994e-06,4.046775e-06,4.035585e-06,4.034232e-06,4.024245e-06,4.019213e-06,4.012775e-06,4.003980e-06,4.001190e-06,3.989507e-06,3.988568e-06,3.977740e-06,3.973014e-06,3.965905e-06,3.957348e-06,3.954013e-06,3.942078e-06,3.941600e-06,3.930110e-06,3.925796e-06,3.918121e-06,3.909961e-06,3.906119e-06,3.894116e-06,3.878282e-06,3.862478e-06,3.846720e-06,3.831024e-06,3.815403e-06,3.799872e-06,3.784440e-06,3.769119e-06,3.753918e-06,3.738845e-06,3.723909e-06,3.709116e-06,3.694473e-06,3.679984e-06,3.665655e-06,3.651489e-06,3.637491e-06,3.623664e-06,3.610011e-06,3.596534e-06,3.583234e-06,3.570114e-06,3.557176e-06,3.544419e-06
0.000000e+00,3.893327e-12,2.345541e-11,3.168152e-10,1.676812e-09,3.526554e-09,1.670813e-08,1.764750e-08,5.765999e-08,7.630543e-08,1.452656e-07,2.320079e-07,3.083132e-07,5.539951e-07,5.807127e-07,1.001947e-06,1.129855e-06,1.613507e-06,2.052829e-06,2.450736e-06,3.390679e-06,3.533848e-06,4.864156e-06,5.158804e-06,6.427010e-06,7.323742e-06,8.198145e-06,9.826485e-06,1.014971e-05,1.225417e-05,1.260334e-05,1.448604e-05,1.559569e-05,1.682210e-05,1.875162e-05,1.924107e-05,2.172304e-05,2.202420e-05,2.424908e-05,2.536979e-05,2.680101e-05,2.874703e-05,2.936139e-05,3.191363e-05,3.211699e-05,3.444220e-05,3.544374e-05,3.693274e-05,3.869505e-05,3.937230e-05,4.174942e-05,4.184306e-05,4.405424e-05,4.486463e-05,4.627849e-05,4.774149e-05,4.841551e-05,5.046015e-05,5.240869e-05,5.301149e-05,5.425871e-05,5.539041e-05,5.600898e-05,5.759519e-05,5.765929e-05,5.921030e-05,5.962697e-05,6.066346e-05,6.148921e-05,6.202080e-05,6.318713e-05,6.328489e-05,6.445867e-05,6.472730e-05,6.554539e-05,6.611720e-05,6.654850e-05,6.736495e-05,6.747162e-05,6.831843e-05,6.847896e-05,6.909264e-05,6.946777e-05,6.979795e-05,7.033983e-05,7.043801e-05,7.101638e-05,7.110343e-05,7.153654e-05,7.176654e-05,7.200186e-05,7.233682e-05,7.241559e-05,7.278081e-05,7.282152e-05,7.310051e-05,7.322749e-05,7.337751e-05,7.356114e-05,7.361451e-05,7.381407e-05,7.382849e-05,7.397862e-05,7.403515e-05,7.411045e-05,7.418633e-05,7.421174e-05,7.428452e-05,7.428687e-05,7.433074e-05,7.434122e-05,7.435219e-05,7.435352e-05,7.435060e-05,7.432757e-05,7.428461e-05,7.426690e-05,7.422316e-05,7.417473e-05,7.414453e-05,7.405406e-05,7.404999e-05,7.394071e-05,7.390762e-05,7.381779e-05,7.373793e-05,7.368228e-05,7.354732e-05,7.353514e-05,7.337729e-05,7.333790e-05,7.320958e-05,7.311165e-05,7.303281e-05,7.287036e-05,7.284774e-05,7.265507e-05,7.261568e-05,7.245546e-05,7.234913e-05,7.224953e-05,7.207209e-05,7.203786e-05,7.182100e-05,7.178585e-05,7.159945e-05,7.149159e-05,7.137370e-05,7.119037e-05,7.114419e-05,7.091134e-05,7.088319e-05,7.067554e-05,7.057095e-05,7.043717e-05,7.025449e-05,7.019656e-05,6.995403e-05,6.993456e-05,6.970990e-05,6.961185e-05,6.946443e-05,6.928702e-05,6.921790e-05,6.897055e-05,6.896064e-05,6.872261e-05,6.863325e-05,6.847430e-05,6.830534e-05,6.822581e-05,6.797735e-05,6.764969e-05,6.732274e-05,6.699684e-05,6.667229e-05,6.634938e-05,6.602835e-05,6.570945e-05,6.539288e-05,6.507883e-05,6.476746e-05,6.445893e-05,6.415339e-05,6.385094e-05,6.355169e-05,6.325575e-05,6.296320e-05,6.267410e-05,6.238854e-05,6.210654e-05,6.182817e-05,6.155346e-05,6.128245e-05,6.101514e-05,6.075157e-05
0.000000e+00,1.420232e-09,3.338066e-09,1.179512e-08,2.715026e-08,3.975770e-08,9.055467e-08,9.328124e-08,1.798134e-07,2.109265e-07,3.064132e-07,4.044343e-07,4.798547e-07,6.863707e-07,7.066191e-07,9.926198e-07,1.070629e-06,1.342458e-06,1.567183e-06,1.758282e-06,2.177992e-06,2.238993e-06,2.780644e-06,2.895811e-06,3.377662e-06,3.707965e-06,4.023927e-06,4.600345e-06,4.713287e-06,5.439682e-06,5.558942e-06,6.197153e-06,6.570053e-06,6.979842e-06,7.620293e-06,7.782017e-06,8.598120e-06,8.696733e-06,9.422832e-06,9.787128e-06,1.025114e-05,1.088017e-05,1.107837e-05,1.190029e-05,1.196570e-05,1.271306e-05,1.303483e-05,1.351328e-05,1.408000e-05,1.429801e-05,1.506474e-05,1.509501e-05,1.581137e-05,1.607489e-05,1.653617e-05,1.701586e-05,1.723779e-05,1.791518e-05,1.856759e-05,1.877099e-05,1.919451e-05,1.958224e-05,1.979568e-05,2.034848e-05,2.037100e-05,2.092055e-05,2.106983e-05,2.144455e-05,2.174681e-05,2.194332e-05,2.238028e-05,2.241730e-05,2.286698e-05,2.297135e-05,2.329293e-05,2.352133e-05,2.369577e-05,2.403166e-05,2.407614e-05,2.443472e-05,2.450388e-05,2.477220e-05,2.493959e-05,2.508929e-05,2.534042e-05,2.538671e-05,2.566516e-05,2.570800e-05,2.592535e-05,2.604396e-05,2.616798e-05,2.634991e-05,2.639375e-05,2.660333e-05,2.662742e-05,2.679739e-05,2.687802e-05,2.697658e-05,2.710321e-05,2.714153e-05,2.729286e-05,2.730440e-05,2.743118e-05,2.748300e-05,2.755706e-05,2.764032e-05,2.767108e-05,2.777376e-05,2.777764e-05,2.786565e-05,2.789619e-05,2.794726e-05,2.799712e-05,2.801907e-05,2.808156e-05,2.813519e-05,2.815055e-05,2.818040e-05,2.820511e-05,2.821761e-05,2.824619e-05,2.824724e-05,2.826967e-05,2.827471e-05,2.828528e-05,2.829153e-05,2.829444e-05,2.829746e-05,2.829749e-05,2.829476e-05,2.829329e-05,2.828658e-05,2.827973e-05,2.827325e-05,2.825750e-05,2.825507e-05,2.823232e-05,2.822724e-05,2.820526e-05,2.818958e-05,2.817416e-05,2.814509e-05,2.813926e-05,2.810080e-05,2.809433e-05,2.805901e-05,2.803783e-05,2.801409e-05,2.797606e-05,2.796627e-05,2.791573e-05,2.790949e-05,2.786266e-05,2.783856e-05,2.780724e-05,2.776366e-05,2.774965e-05,2.769005e-05,2.768520e-05,2.762859e-05,2.760351e-05,2.756542e-05,2.751896e-05,2.750068e-05,2.743451e-05,2.743184e-05,2.736704e-05,2.734245e-05,2.729839e-05,2.725109e-05,2.722867e-05,2.715799e-05,2.706342e-05,2.696758e-05,2.687071e-05,2.677299e-05,2.667460e-05,2.657573e-05,2.647653e-05,2.637714e-05,2.627771e-05,2.617835e-05,2.607920e-05,2.598036e-05,2.588192e-05,2.578398e-05,2.568663e-05,2.558994e-05,2.549398e-05,2.539883e-05,2.530453e-05,2.521114e-05,2.511871e-05,2.502728e-05,2.493690e-05,2.484760e-05
0.000000e+00,2.278000e-13,1.470674e-12,2.286769e-11,1.371141e-10,3.083074e-10,1.725414e-09,1.834431e-09,6.995510e-09,9.635068e-09,2.019371e-08,3.469242e-08,4.822871e-08,9.515048e-08,1.004890e-07,1.889519e-07,2.171146e-07,3.278726e-07,4.335388e-07,5.329533e-07,7.807180e-07,8.199841e-07,1.203293e-06,1.292586e-06,1.694447e-06,1.995278e-06,2.301455e-06,2.904050e-06,3.028508e-06,3.876113e-06,4.022772e-06,4.841473e-06,5.345120e-06,5.918982e-06,6.856484e-06,7.100727e-06,8.376962e-06,8.535943e-06,9.736546e-06,1.035807e-05,1.116733e-05,1.229450e-05,1.265653e-05,1.419101e-05,1.431533e-05,1.575761e-05,1.639034e-05,1.734341e-05,1.849006e-05,1.893596e-05,2.052349e-05,2.058673e-05,2.209507e-05,2.265498e-05,2.364074e-05,2.467243e-05,2.515163e-05,2.661998e-05,2.803917e-05,2.848200e-05,2.940373e-05,3.024631e-05,3.070928e-05,3.190399e-05,3.195249e-05,3.313096e-05,3.344910e-05,3.424319e-05,3.487841e-05,3.528847e-05,3.619094e-05,3.626674e-05,3.717858e-05,3.738764e-05,3.802503e-05,3.847101e-05,3.880756e-05,3.944476e-05,3.952801e-05,4.018843e-05,4.031351e-05,4.079111e-05,4.108249e-05,4.133848e-05,4.175737e-05,4.183306e-05,4.227743e-05,4.234404e-05,4.267417e-05,4.284845e-05,4.302588e-05,4.327653e-05,4.333510e-05,4.360432e-05,4.363406e-05,4.383599e-05,4.392663e-05,4.403244e-05,4.415959e-05,4.419594e-05,4.432867e-05,4.433802e-05,4.443269e-05,4.446671e-05,4.450999e-05,4.455015e-05,4.456244e-05,4.459182e-05,4.459253e-05,4.459980e-05,4.459775e-05,4.458799e-05,4.456942e-05,4.455788e-05,4.451088e-05,4.444831e-05,4.442521e-05,4.437143e-05,4.431525e-05,4.428139e-05,4.418360e-05,4.417929e-05,4.406617e-05,4.403265e-05,4.394298e-05,4.386460e-05,4.381061e-05,4.368145e-05,4.366991e-05,4.352166e-05,4.348504e-05,4.336660e-05,4.327705e-05,4.320541e-05,4.305899e-05,4.303871e-05,4.286712e-05,4.283226e-05,4.269118e-05,4.259815e-05,4.251141e-05,4.235779e-05,4.232828e-05,4.214225e-05,4.211224e-05,4.195372e-05,4.186246e-05,4.176309e-05,4.160930e-05,4.157070e-05,4.137690e-05,4.135356e-05,4.118199e-05,4.109595e-05,4.098625e-05,4.083710e-05,4.078995e-05,4.059334e-05,4.057760e-05,4.039663e-05,4.031797e-05,4.020005e-05,4.005868e-05,4.000377e-05,3.980798e-05,3.980016e-05,3.961284e-05,3.954278e-05,3.941850e-05,3.928688e-05,3.922510e-05,3.903276e-05,3.878070e-05,3.853094e-05,3.828368e-05,3.803911e-05,3.779740e-05,3.755868e-05,3.732308e-05,3.709070e-05,3.686163e-05,3.663594e-05,3.641371e-05,3.619497e-05,3.597976e-05,3.576811e-05,3.556004e-05,3.535557e-05,3.515469e-05,3.495740e-05,3.476369e-05,3.457356e-05,3.438697e-05,3.420390e-05,3.402434e-05,3.384824e-05
0.000000e+00,1.297259e-09,3.477497e-09,1.410066e-08,3.461429e-08,5.193955e-08,1.237728e-07,1.276903e-07,2.541601e-07,3.004607e-07,4.447373e-07,5.958019e-07,7.138157e-07,1.043653e-06,1.076450e-06,1.546225e-06,1.675960e-06,2.130798e-06,2.507861e-06,2.827852e-06,3.525503e-06,3.626159e-06,4.510809e-06,4.696798e-06,5.467356e-06,5.988900e-06,6.483131e-06,7.373990e-06,7.547023e-06,8.648999e-06,8.828218e-06,9.779732e-06,1.033010e-05,1.093043e-05,1.185977e-05,1.209279e-05,1.325905e-05,1.339892e-05,1.442202e-05,1.493099e-05,1.557519e-05,1.644141e-05,1.671271e-05,1.782948e-05,1.791779e-05,1.892113e-05,1.934991e-05,1.998397e-05,2.072966e-05,2.101499e-05,2.201180e-05,2.205093e-05,2.297257e-05,2.330935e-05,2.389597e-05,2.450208e-05,2.478113e-05,2.562755e-05,2.643506e-05,2.668526e-05,2.720377e-05,2.767555e-05,2.793404e-05,2.859942e-05,2.862640e-05,2.928153e-05,2.945841e-05,2.990026e-05,3.025441e-05,3.048351e-05,3.098960e-05,3.103225e-05,3.154754e-05,3.166635e-05,3.203045e-05,3.228716e-05,3.248210e-05,3.285457e-05,3.290359e-05,3.329606e-05,3.337116e-05,3.366061e-05,3.383952e-05,3.399837e-05,3.426217e-05,3.431042e-05,3.459784e-05,3.464161e-05,3.486168e-05,3.498025e-05,3.510297e-05,3.528043e-05,3.532269e-05,3.552183e-05,3.554439e-05,3.570132e-05,3.577431e-05,3.586209e-05,3.597229e-05,3.600501e-05,3.613093e-05,3.614030e-05,3.624069e-05,3.628025e-05,3.633509e-05,3.639396e-05,3.641487e-05,3.648080e-05,3.648316e-05,3.653357e-05,3.654948e-05,3.657388e-05,3.659450e-05,3.660237e-05,3.661968e-05,3.662641e-05,3.662643e-05,3.662316e-05,3.661609e-05,3.661046e-05,3.658989e-05,3.658886e-05,3.655888e-05,3.654904e-05,3.652099e-05,3.649466e-05,3.647567e-05,3.642779e-05,3.642336e-05,3.636450e-05,3.634944e-05,3.629950e-05,3.626056e-05,3.622874e-05,3.616201e-05,3.615260e-05,3.607145e-05,3.605464e-05,3.598561e-05,3.593923e-05,3.589542e-05,3.581652e-05,3.580118e-05,3.570319e-05,3.568719e-05,3.560174e-05,3.555189e-05,3.549709e-05,3.541124e-05,3.538950e-05,3.527921e-05,3.526580e-05,3.516645e-05,3.511611e-05,3.505144e-05,3.496266e-05,3.493439e-05,3.481551e-05,3.480592e-05,3.469497e-05,3.464633e-05,3.457296e-05,3.448430e-05,3.444965e-05,3.432520e-05,3.432020e-05,3.419976e-05,3.415439e-05,3.407347e-05,3.398719e-05,3.394649e-05,3.381892e-05,3.364986e-05,3.348027e-05,3.331040e-05,3.314047e-05,3.297070e-05,3.280127e-05,3.263238e-05,3.246417e-05,3.229681e-05,3.213043e-05,3.196516e-05,3.180111e-05,3.163839e-05,3.147709e-05,3.131731e-05,3.115911e-05,3.100258e-05,3.084776e-05,3.069473e-05,3.054352e-05,3.039418e-05,3.024676e-05,3.010127e-05,2.995775e-05
0.000000e+00,5.988373e-12,3.467329e-11,4.324564e-10,2.135116e-09,4.327714e-09,1.871493e-08,1.969621e-08,5.910966e-08,7.650071e-08,1.378916e-07,2.109565e-07,2.727090e-07,4.612001e-07,4.809845e-07,7.804510e-07,8.677879e-07,1.187521e-06,1.467022e-06,1.713397e-06,2.275668e-06,2.359250e-06,3.114241e-06,3.276671e-06,3.958262e-06,4.424343e-06,4.867169e-06,5.663410e-06,5.817308e-06,6.787978e-06,6.943997e-06,7.762038e-06,8.226606e-06,8.725613e-06,9.481345e-06,9.667540e-06,1.057885e-05,1.068579e-05,1.145242e-05,1.182336e-05,1.228274e-05,1.288232e-05,1.306577e-05,1.379877e-05,1.385520e-05,1.448021e-05,1.473821e-05,1.510958e-05,1.553068e-05,1.568728e-05,1.621441e-05,1.623447e-05,1.669267e-05,1.685329e-05,1.712420e-05,1.739216e-05,1.751141e-05,1.785693e-05,1.816348e-05,1.825379e-05,1.843379e-05,1.858903e-05,1.867058e-05,1.886879e-05,1.887646e-05,1.905397e-05,1.909892e-05,1.920549e-05,1.928487e-05,1.933326e-05,1.943166e-05,1.943940e-05,1.952583e-05,1.954385e-05,1.959436e-05,1.962553e-05,1.964663e-05,1.968037e-05,1.968414e-05,1.970827e-05,1.971160e-05,1.972028e-05,1.972212e-05,1.972132e-05,1.971446e-05,1.971241e-05,1.969450e-05,1.969086e-05,1.966846e-05,1.965329e-05,1.963505e-05,1.960351e-05,1.959500e-05,1.954894e-05,1.954304e-05,1.949746e-05,1.947323e-05,1.944109e-05,1.939529e-05,1.938032e-05,1.931560e-05,1.931026e-05,1.924732e-05,1.921909e-05,1.917585e-05,1.912261e-05,1.910153e-05,1.902466e-05,1.902154e-05,1.894553e-05,1.891654e-05,1.886439e-05,1.880819e-05,1.878148e-05,1.869702e-05,1.861120e-05,1.858348e-05,1.852420e-05,1.846798e-05,1.843619e-05,1.835090e-05,1.834733e-05,1.825776e-05,1.823257e-05,1.816760e-05,1.811328e-05,1.807698e-05,1.799330e-05,1.798601e-05,1.789479e-05,1.787287e-05,1.780341e-05,1.775220e-05,1.771196e-05,1.763148e-05,1.762051e-05,1.752915e-05,1.751090e-05,1.743794e-05,1.739059e-05,1.734695e-05,1.727071e-05,1.725622e-05,1.716581e-05,1.715138e-05,1.707578e-05,1.703271e-05,1.698617e-05,1.691480e-05,1.689701e-05,1.680835e-05,1.679775e-05,1.672022e-05,1.668162e-05,1.663265e-05,1.656650e-05,1.654568e-05,1.645932e-05,1.645244e-05,1.637361e-05,1.633951e-05,1.628856e-05,1.622775e-05,1.620419e-05,1.612053e-05,1.611720e-05,1.603759e-05,1.600791e-05,1.595539e-05,1.589991e-05,1.587393e-05,1.579322e-05,1.568788e-05,1.558389e-05,1.548127e-05,1.538005e-05,1.528023e-05,1.518181e-05,1.508481e-05,1.498922e-05,1.489505e-05,1.480229e-05,1.471095e-05,1.462102e-05,1.453248e-05,1.444534e-05,1.435959e-05,1.427522e-05,1.419221e-05,1.411055e-05,1.403024e-05,1.395126e-05,1.387360e-05,1.379724e-05,1.372217e-05,1.364837e-05
0.000000e+00,6.076462e-09,1.460609e-08,5.283456e-08,1.231686e-07,1.815009e-07,4.211304e-07,4.341941e-07,8.591175e-07,1.016681e-06,1.515290e-06,2.049326e-06,2.474235e-06,3.690793e-06,3.813634e-06,5.595620e-06,6.091936e-06,7.831823e-06,9.263495e-06,1.046501e-05,1.303079e-05,1.339442e-05,1.651785e-05,1.715821e-05,1.975369e-05,2.146028e-05,2.304245e-05,2.581396e-05,2.634093e-05,2.961662e-05,3.013683e-05,3.284390e-05,3.436953e-05,3.600191e-05,3.846670e-05,3.907333e-05,4.204390e-05,4.239301e-05,4.490192e-05,4.612135e-05,4.763824e-05,4.963214e-05,5.024597e-05,5.272017e-05,5.291223e-05,5.505782e-05,5.595430e-05,5.725758e-05,5.875602e-05,5.931952e-05,6.124494e-05,6.131915e-05,6.303617e-05,6.364874e-05,6.469633e-05,6.575230e-05,6.622924e-05,6.763918e-05,6.893082e-05,6.931996e-05,7.010909e-05,7.080604e-05,7.117909e-05,7.210919e-05,7.214595e-05,7.301480e-05,7.324122e-05,7.379077e-05,7.421385e-05,7.447887e-05,7.503854e-05,7.508402e-05,7.561098e-05,7.572633e-05,7.606438e-05,7.628781e-05,7.644866e-05,7.673306e-05,7.676811e-05,7.702682e-05,7.707163e-05,7.722872e-05,7.731250e-05,7.737753e-05,7.746412e-05,7.747682e-05,7.752997e-05,7.753441e-05,7.754019e-05,7.753075e-05,7.751054e-05,7.746005e-05,7.744390e-05,7.734301e-05,7.732872e-05,7.721044e-05,7.714272e-05,7.704865e-05,7.690756e-05,7.685993e-05,7.664646e-05,7.662838e-05,7.641029e-05,7.630989e-05,7.615333e-05,7.595649e-05,7.587742e-05,7.558426e-05,7.557220e-05,7.527545e-05,7.516073e-05,7.495249e-05,7.472553e-05,7.461681e-05,7.426972e-05,7.391247e-05,7.379620e-05,7.354623e-05,7.330763e-05,7.317209e-05,7.280642e-05,7.279106e-05,7.240409e-05,7.229480e-05,7.201208e-05,7.177480e-05,7.161585e-05,7.124826e-05,7.121618e-05,7.081379e-05,7.071689e-05,7.040934e-05,7.018219e-05,7.000347e-05,6.964557e-05,6.959674e-05,6.918969e-05,6.910829e-05,6.878283e-05,6.857148e-05,6.837660e-05,6.803617e-05,6.797143e-05,6.756772e-05,6.750328e-05,6.716582e-05,6.697365e-05,6.676606e-05,6.644801e-05,6.636875e-05,6.597417e-05,6.592702e-05,6.558257e-05,6.541127e-05,6.519417e-05,6.490127e-05,6.480920e-05,6.442784e-05,6.439749e-05,6.405025e-05,6.390031e-05,6.367660e-05,6.341009e-05,6.330703e-05,6.294164e-05,6.292712e-05,6.258056e-05,6.245165e-05,6.222388e-05,6.198389e-05,6.187168e-05,6.152403e-05,6.107219e-05,6.062849e-05,6.019302e-05,5.976583e-05,5.934696e-05,5.893643e-05,5.853422e-05,5.814032e-05,5.775469e-05,5.737728e-05,5.700803e-05,5.664687e-05,5.629372e-05,5.594848e-05,5.561105e-05,5.528134e-05,5.495922e-05,5.464460e-05,5.433734e-05,5.403733e-05,5.374444e-05,5.345854e-05,5.317950e-05,5.290720e-05
0.000000e+00,1.698119e-10,8.750086e-10,8.767374e-09,3.642655e-08,6.789132e-08,2.446187e-07,2.557999e-07,6.719734e-07,8.450041e-07,1.435338e-06,2.119641e-06,2.692584e-06,4.438563e-06,4.622258e-06,7.414385e-06,8.230690e-06,1.121109e-05,1.379194e-05,1.604040e-05,2.107265e-05,2.180962e-05,2.836198e-05,2.975196e-05,3.553735e-05,3.946884e-05,4.320093e-05,4.993665e-05,5.124567e-05,5.958518e-05,6.094184e-05,6.814633e-05,7.231515e-05,7.686435e-05,8.391200e-05,8.568040e-05,9.454074e-05,9.560459e-05,1.033964e-04,1.072799e-04,1.122033e-04,1.188396e-04,1.209223e-04,1.295196e-04,1.302013e-04,1.379664e-04,1.412974e-04,1.462385e-04,1.520751e-04,1.543163e-04,1.621840e-04,1.624941e-04,1.698295e-04,1.725256e-04,1.772438e-04,1.821501e-04,1.844205e-04,1.913557e-04,1.980473e-04,2.001370e-04,2.044948e-04,2.084935e-04,2.106992e-04,2.164284e-04,2.166623e-04,2.223872e-04,2.239479e-04,2.278773e-04,2.310604e-04,2.331368e-04,2.377760e-04,2.381704e-04,2.429830e-04,2.441057e-04,2.475798e-04,2.500618e-04,2.519662e-04,2.556565e-04,2.561477e-04,2.601299e-04,2.609029e-04,2.639185e-04,2.658139e-04,2.675191e-04,2.704025e-04,2.709374e-04,2.741790e-04,2.746816e-04,2.772495e-04,2.786641e-04,2.801543e-04,2.823625e-04,2.828989e-04,2.854886e-04,2.857892e-04,2.879286e-04,2.889561e-04,2.902241e-04,2.918751e-04,2.923801e-04,2.944015e-04,2.945575e-04,2.962931e-04,2.970145e-04,2.980596e-04,2.992566e-04,2.997056e-04,3.012356e-04,3.012944e-04,3.026538e-04,3.031378e-04,3.039644e-04,3.047964e-04,3.051717e-04,3.062796e-04,3.072920e-04,3.075964e-04,3.082126e-04,3.087553e-04,3.090450e-04,3.097646e-04,3.097929e-04,3.104597e-04,3.106323e-04,3.110487e-04,3.113661e-04,3.115631e-04,3.119732e-04,3.120061e-04,3.123806e-04,3.124606e-04,3.126896e-04,3.128351e-04,3.129360e-04,3.131031e-04,3.131224e-04,3.132516e-04,3.132708e-04,3.133261e-04,3.133440e-04,3.133483e-04,3.133283e-04,3.133207e-04,3.132455e-04,3.132292e-04,3.131250e-04,3.130517e-04,3.129613e-04,3.128007e-04,3.127566e-04,3.125127e-04,3.124809e-04,3.122317e-04,3.120968e-04,3.119154e-04,3.116525e-04,3.115656e-04,3.111840e-04,3.111521e-04,3.107723e-04,3.105995e-04,3.103320e-04,3.099983e-04,3.098649e-04,3.093722e-04,3.093520e-04,3.088555e-04,3.086639e-04,3.083162e-04,3.079371e-04,3.077555e-04,3.071747e-04,3.063795e-04,3.055541e-04,3.047011e-04,3.038229e-04,3.029219e-04,3.020003e-04,3.010600e-04,3.001030e-04,2.991312e-04,2.981463e-04,2.971500e-04,2.961438e-04,2.951292e-04,2.941076e-04,2.930802e-04,2.920484e-04,2.910133e-04,2.899759e-04,2.889374e-04,2.878986e-04,2.868605e-04,2.858238e-04,2.847895e-04,2.837583e-04
0.000000e+00,1.859196e-09,5.073166e-09,2.090955e-08,5.160597e-08,7.753140e-08,1.848201e-07,1.906618e-07,3.788565e-07,4.476067e-07,6.615192e-07,8.851798e-07,1.059793e-06,1.547675e-06,1.596188e-06,2.291137e-06,2.483036e-06,3.155293e-06,3.711393e-06,4.181988e-06,5.202245e-06,5.348694e-06,6.626623e-06,6.893101e-06,7.988744e-06,8.722626e-06,9.412385e-06,1.064196e-05,1.087877e-05,1.237191e-05,1.261233e-05,1.387774e-05,1.460129e-05,1.538361e-05,1.658061e-05,1.687808e-05,1.835085e-05,1.852567e-05,1.979276e-05,2.041532e-05,2.119584e-05,2.223201e-05,2.255333e-05,2.385966e-05,2.396182e-05,2.511042e-05,2.559438e-05,2.630227e-05,2.712260e-05,2.743290e-05,2.850088e-05,2.854229e-05,2.950560e-05,2.985182e-05,3.044715e-05,3.105163e-05,3.132618e-05,3.214383e-05,3.290166e-05,3.313183e-05,3.360151e-05,3.401994e-05,3.424545e-05,3.481314e-05,3.483575e-05,3.537476e-05,3.551682e-05,3.586491e-05,3.613658e-05,3.630867e-05,3.667807e-05,3.670850e-05,3.706684e-05,3.714693e-05,3.738606e-05,3.754862e-05,3.766851e-05,3.788843e-05,3.791643e-05,3.813199e-05,3.817141e-05,3.831729e-05,3.840234e-05,3.847430e-05,3.858574e-05,3.860494e-05,3.871101e-05,3.872582e-05,3.879422e-05,3.882653e-05,3.885621e-05,3.889154e-05,3.889849e-05,3.892253e-05,3.892425e-05,3.892969e-05,3.892782e-05,3.892125e-05,3.890515e-05,3.889842e-05,3.886235e-05,3.885892e-05,3.881409e-05,3.879160e-05,3.875465e-05,3.870545e-05,3.868496e-05,3.860590e-05,3.860255e-05,3.851830e-05,3.848482e-05,3.842292e-05,3.835399e-05,3.832048e-05,3.821166e-05,3.809708e-05,3.805929e-05,3.797732e-05,3.789822e-05,3.785294e-05,3.772965e-05,3.772444e-05,3.759229e-05,3.755470e-05,3.745694e-05,3.737437e-05,3.731880e-05,3.718958e-05,3.717825e-05,3.703565e-05,3.700115e-05,3.689132e-05,3.680986e-05,3.674557e-05,3.661636e-05,3.659869e-05,3.645093e-05,3.642130e-05,3.630255e-05,3.622522e-05,3.615377e-05,3.602863e-05,3.600479e-05,3.585581e-05,3.583198e-05,3.570700e-05,3.563568e-05,3.555853e-05,3.544009e-05,3.541054e-05,3.526319e-05,3.524555e-05,3.511658e-05,3.505234e-05,3.497084e-05,3.486072e-05,3.482607e-05,3.468237e-05,3.467092e-05,3.453983e-05,3.448315e-05,3.439852e-05,3.429758e-05,3.425852e-05,3.411989e-05,3.411437e-05,3.398269e-05,3.393365e-05,3.384697e-05,3.375555e-05,3.371277e-05,3.358015e-05,3.340755e-05,3.323782e-05,3.307101e-05,3.290716e-05,3.274632e-05,3.258851e-05,3.243374e-05,3.228203e-05,3.213338e-05,3.198778e-05,3.184522e-05,3.170569e-05,3.156917e-05,3.143563e-05,3.130506e-05,3.117741e-05,3.105266e-05,3.093077e-05,3.081170e-05,3.069541e-05,3.058187e-05,3.047102e-05,3.036283e-05,3.025725e-05
0.000000e+00,1.616312e-10,7.538219e-10,6.339232e-09,2.323081e-08,4.091724e-08,1.319499e-07,1.374927e-07,3.379767e-07,4.199235e-07,6.986469e-07,1.022849e-06,1.295579e-06,2.127703e-06,2.214799e-06,3.510436e-06,3.876580e-06,5.160104e-06,6.208789e-06,7.081965e-06,8.928823e-06,9.189113e-06,1.141770e-05,1.187404e-05,1.372597e-05,1.494795e-05,1.608536e-05,1.809062e-05,1.847397e-05,2.087305e-05,2.125671e-05,2.326555e-05,2.440696e-05,2.563580e-05,2.750633e-05,2.796952e-05,3.025394e-05,3.052422e-05,3.247800e-05,3.343501e-05,3.463246e-05,3.621866e-05,3.670988e-05,3.870462e-05,3.886050e-05,4.061273e-05,4.135113e-05,4.243171e-05,4.368527e-05,4.416002e-05,4.579726e-05,4.586086e-05,4.734401e-05,4.787895e-05,4.880172e-05,4.974304e-05,5.017226e-05,5.145801e-05,5.266166e-05,5.302997e-05,5.378615e-05,5.446569e-05,5.483455e-05,5.577237e-05,5.581003e-05,5.671580e-05,5.695735e-05,5.755504e-05,5.802798e-05,5.833094e-05,5.899148e-05,5.904659e-05,5.970501e-05,5.985484e-05,6.030914e-05,6.062481e-05,6.086182e-05,6.130779e-05,6.136579e-05,6.182365e-05,6.190991e-05,6.223792e-05,6.243692e-05,6.261101e-05,6.289426e-05,6.294521e-05,6.324271e-05,6.328704e-05,6.350558e-05,6.362005e-05,6.373581e-05,6.389776e-05,6.393528e-05,6.410578e-05,6.412438e-05,6.424901e-05,6.430381e-05,6.436658e-05,6.443971e-05,6.446001e-05,6.453076e-05,6.453548e-05,6.458019e-05,6.459429e-05,6.460962e-05,6.461910e-05,6.462025e-05,6.461328e-05,6.461265e-05,6.458979e-05,6.457749e-05,6.455083e-05,6.451601e-05,6.449739e-05,6.443041e-05,6.435076e-05,6.432274e-05,6.425929e-05,6.419491e-05,6.415679e-05,6.404869e-05,6.404399e-05,6.392162e-05,6.388573e-05,6.379033e-05,6.370754e-05,6.365076e-05,6.351555e-05,6.350350e-05,6.334912e-05,6.331107e-05,6.318815e-05,6.309532e-05,6.302109e-05,6.286942e-05,6.284842e-05,6.267059e-05,6.263444e-05,6.248802e-05,6.239134e-05,6.230110e-05,6.214102e-05,6.211023e-05,6.191575e-05,6.188432e-05,6.171800e-05,6.162201e-05,6.151729e-05,6.135481e-05,6.131394e-05,6.110821e-05,6.108338e-05,6.090038e-05,6.080833e-05,6.069070e-05,6.053025e-05,6.047940e-05,6.026671e-05,6.024964e-05,6.005284e-05,5.996700e-05,5.983798e-05,5.968278e-05,5.962233e-05,5.940606e-05,5.939740e-05,5.918933e-05,5.911122e-05,5.897230e-05,5.882462e-05,5.875511e-05,5.853791e-05,5.825140e-05,5.796536e-05,5.768005e-05,5.739570e-05,5.711252e-05,5.683072e-05,5.655047e-05,5.627193e-05,5.599527e-05,5.572060e-05,5.544806e-05,5.517776e-05,5.490980e-05,5.464427e-05,5.438126e-05,5.412083e-05,5.386307e-05,5.360801e-05,5.335571e-05,5.310623e-05,5.285959e-05,5.261584e-05,5.237499e-05,5.213707e-05
0.000000e+00,4.616719e-13,2.988203e-12,4.671705e-11,2.815728e-10,6.350309e-10,3.584028e-09,3.811885e-09,1.468011e-08,2.027970e-08,4.285410e-08,7.417608e-08,1.036700e-07,2.072825e-07,2.191830e-07,4.189781e-07,4.834710e-07,7.405223e-07,9.901300e-07,1.228299e-06,1.833569e-06,1.930820e-06,2.895409e-06,3.123486e-06,4.162012e-06,4.949666e-06,5.757910e-06,7.361899e-06,7.694690e-06,9.967801e-06,1.036162e-05,1.255821e-05,1.390568e-05,1.543533e-05,1.791764e-05,1.856046e-05,2.189007e-05,2.230121e-05,2.537867e-05,2.695233e-05,2.898110e-05,3.176836e-05,3.265412e-05,3.635764e-05,3.665412e-05,4.005533e-05,4.152542e-05,4.371501e-05,4.631062e-05,4.730878e-05,5.081295e-05,5.095096e-05,5.420785e-05,5.540009e-05,5.747756e-05,5.962299e-05,6.060967e-05,6.359486e-05,6.642665e-05,6.729970e-05,6.910100e-05,7.072901e-05,7.161602e-05,7.388046e-05,7.397164e-05,7.616931e-05,7.675670e-05,7.821178e-05,7.936428e-05,8.010279e-05,8.171267e-05,8.184691e-05,8.344933e-05,8.381344e-05,8.491567e-05,8.567958e-05,8.625187e-05,8.732494e-05,8.746406e-05,8.855846e-05,8.876375e-05,8.954130e-05,9.001034e-05,9.041874e-05,9.107878e-05,9.119685e-05,9.188150e-05,9.198276e-05,9.247842e-05,9.273540e-05,9.299310e-05,9.334918e-05,9.343081e-05,9.379662e-05,9.383591e-05,9.409530e-05,9.420665e-05,9.433144e-05,9.447174e-05,9.450935e-05,9.463312e-05,9.464080e-05,9.470663e-05,9.472277e-05,9.473350e-05,9.472591e-05,9.471718e-05,9.466088e-05,9.465784e-05,9.456764e-05,9.452558e-05,9.444030e-05,9.433560e-05,9.428153e-05,9.409383e-05,9.387955e-05,9.380572e-05,9.364087e-05,9.347627e-05,9.337986e-05,9.311005e-05,9.309843e-05,9.279838e-05,9.271126e-05,9.248139e-05,9.228372e-05,9.214902e-05,9.183092e-05,9.180274e-05,9.144392e-05,9.135608e-05,9.107383e-05,9.086210e-05,9.069365e-05,9.035164e-05,9.030451e-05,8.990743e-05,8.982714e-05,8.950337e-05,8.929080e-05,8.909324e-05,8.874464e-05,8.867786e-05,8.825802e-05,8.819048e-05,8.783444e-05,8.762999e-05,8.740778e-05,8.706467e-05,8.697868e-05,8.654772e-05,8.649590e-05,8.611542e-05,8.592492e-05,8.568230e-05,8.535286e-05,8.524881e-05,8.481539e-05,8.478073e-05,8.438242e-05,8.420944e-05,8.395027e-05,8.363983e-05,8.351930e-05,8.308979e-05,8.307265e-05,8.266205e-05,8.250855e-05,8.223634e-05,8.194814e-05,8.181290e-05,8.139196e-05,8.084048e-05,8.029413e-05,7.975329e-05,7.921828e-05,7.868939e-05,7.816689e-05,7.765098e-05,7.714186e-05,7.663969e-05,7.614460e-05,7.565671e-05,7.517610e-05,7.470284e-05,7.423698e-05,7.377855e-05,7.332759e-05,7.288408e-05,7.244803e-05,7.201943e-05,7.159824e-05,7.118442e-05,7.077795e-05,7.037876e-05,6.998679e-05
0.000000e+00,8.957015e-12,5.116705e-11,6.224654e-10,3.016007e-09,6.060853e-09,2.579158e-08,2.713154e-08,8.094351e-08,1.047792e-07,1.896271e-07,2.921020e-07,3.798714e-07,6.527491e-07,6.817070e-07,1.123226e-06,1.252306e-06,1.722920e-06,2.130439e-06,2.486540e-06,3.291193e-06,3.410228e-06,4.485552e-06,4.717965e-06,5.702853e-06,6.388741e-06,7.052443e-06,8.281191e-06,8.524545e-06,1.010885e-05,1.037202e-05,1.179422e-05,1.263557e-05,1.356855e-05,1.504342e-05,1.541895e-05,1.733194e-05,1.756505e-05,1.929383e-05,2.016904e-05,2.129104e-05,2.282443e-05,2.331042e-05,2.533954e-05,2.550194e-05,2.736687e-05,2.817491e-05,2.938192e-05,3.081988e-05,3.137537e-05,3.333909e-05,3.341691e-05,3.526612e-05,3.594971e-05,3.715063e-05,3.840533e-05,3.898785e-05,4.077397e-05,4.250608e-05,4.304858e-05,4.418201e-05,4.522442e-05,4.580029e-05,4.729878e-05,4.736004e-05,4.886089e-05,4.927057e-05,5.030286e-05,5.113992e-05,5.168630e-05,5.290794e-05,5.301187e-05,5.428046e-05,5.457655e-05,5.549312e-05,5.614824e-05,5.665110e-05,5.762595e-05,5.775574e-05,5.880846e-05,5.901290e-05,5.981073e-05,6.031248e-05,6.076407e-05,6.152819e-05,6.167002e-05,6.253013e-05,6.266360e-05,6.334596e-05,6.372228e-05,6.411904e-05,6.470774e-05,6.485088e-05,6.554298e-05,6.562343e-05,6.619680e-05,6.647273e-05,6.681379e-05,6.725893e-05,6.739534e-05,6.794282e-05,6.798519e-05,6.845756e-05,6.865458e-05,6.894085e-05,6.927005e-05,6.939394e-05,6.981803e-05,6.983441e-05,7.021431e-05,7.035038e-05,7.058391e-05,7.082056e-05,7.092793e-05,7.124742e-05,7.154341e-05,7.163332e-05,7.181688e-05,7.198052e-05,7.206878e-05,7.229118e-05,7.230004e-05,7.251153e-05,7.256733e-05,7.270411e-05,7.281092e-05,7.287859e-05,7.302381e-05,7.303576e-05,7.317638e-05,7.320775e-05,7.330118e-05,7.336442e-05,7.341086e-05,7.349540e-05,7.350609e-05,7.358752e-05,7.360221e-05,7.365579e-05,7.368627e-05,7.371147e-05,7.374895e-05,7.375515e-05,7.378739e-05,7.379152e-05,7.380871e-05,7.381521e-05,7.381962e-05,7.382118e-05,7.382061e-05,7.381216e-05,7.381053e-05,7.379470e-05,7.378429e-05,7.376869e-05,7.374345e-05,7.373453e-05,7.369261e-05,7.368894e-05,7.364333e-05,7.362164e-05,7.358706e-05,7.354240e-05,7.352413e-05,7.345490e-05,7.345201e-05,7.337969e-05,7.335121e-05,7.329880e-05,7.324072e-05,7.321255e-05,7.312120e-05,7.299330e-05,7.285761e-05,7.271470e-05,7.256512e-05,7.240937e-05,7.224793e-05,7.208126e-05,7.190979e-05,7.173393e-05,7.155405e-05,7.137053e-05,7.118370e-05,7.099389e-05,7.080141e-05,7.060655e-05,7.040957e-05,7.021074e-05,7.001029e-05,6.980847e-05,6.960547e-05,6.940151e-05,6.919678e-05,6.899146e-05,6.878572e-05
0.000000e+00,2.131893e-12,1.314301e-11,1.859006e-10,1.023770e-09,2.198183e-09,1.094111e-08,1.157780e-08,3.943024e-08,5.269545e-08,1.025050e-07,1.660079e-07,2.222135e-07,4.036679e-07,4.233886e-07,7.331924e-07,8.268534e-07,1.179942e-06,1.500293e-06,1.791068e-06,2.483360e-06,2.589678e-06,3.590633e-06,3.815661e-06,4.797997e-06,5.505535e-06,6.204996e-06,7.529931e-06,7.796027e-06,9.549554e-06,9.843567e-06,1.144079e-05,1.238987e-05,1.344374e-05,1.510911e-05,1.553251e-05,1.768207e-05,1.794296e-05,1.986866e-05,2.083670e-05,2.207004e-05,2.374029e-05,2.426569e-05,2.643692e-05,2.660905e-05,2.856704e-05,2.940422e-05,3.064138e-05,3.209325e-05,3.264741e-05,3.457471e-05,3.465004e-05,3.641493e-05,3.705480e-05,3.816170e-05,3.929374e-05,3.981049e-05,4.135847e-05,4.280428e-05,4.324533e-05,4.414789e-05,4.495462e-05,4.539038e-05,4.648986e-05,4.653372e-05,4.758069e-05,4.785701e-05,4.853460e-05,4.906384e-05,4.939923e-05,5.011936e-05,5.017868e-05,5.087723e-05,5.103333e-05,5.149930e-05,5.181592e-05,5.204934e-05,5.247731e-05,5.253178e-05,5.295095e-05,5.302757e-05,5.331110e-05,5.347641e-05,5.361630e-05,5.383310e-05,5.387050e-05,5.407742e-05,5.410639e-05,5.424063e-05,5.430444e-05,5.436349e-05,5.443486e-05,5.444917e-05,5.450066e-05,5.450468e-05,5.452076e-05,5.452034e-05,5.451209e-05,5.448777e-05,5.447709e-05,5.441805e-05,5.441235e-05,5.433708e-05,5.429900e-05,5.423616e-05,5.415218e-05,5.411712e-05,5.398167e-05,5.397593e-05,5.383138e-05,5.377393e-05,5.366771e-05,5.354947e-05,5.349202e-05,5.330555e-05,5.310947e-05,5.304486e-05,5.290483e-05,5.276984e-05,5.269264e-05,5.248266e-05,5.247379e-05,5.224913e-05,5.218530e-05,5.201944e-05,5.187951e-05,5.178543e-05,5.156688e-05,5.154775e-05,5.130700e-05,5.124883e-05,5.106376e-05,5.092664e-05,5.081852e-05,5.060144e-05,5.057177e-05,5.032392e-05,5.027426e-05,5.007539e-05,4.994599e-05,4.982652e-05,4.961746e-05,4.957765e-05,4.932909e-05,4.928937e-05,4.908111e-05,4.896236e-05,4.883397e-05,4.863701e-05,4.858789e-05,4.834309e-05,4.831381e-05,4.809975e-05,4.799320e-05,4.785806e-05,4.767556e-05,4.761816e-05,4.738019e-05,4.736125e-05,4.714429e-05,4.705054e-05,4.691057e-05,4.674369e-05,4.667912e-05,4.645005e-05,4.644094e-05,4.622342e-05,4.614245e-05,4.599931e-05,4.584839e-05,4.577778e-05,4.555889e-05,4.527406e-05,4.499399e-05,4.471875e-05,4.444838e-05,4.418293e-05,4.392241e-05,4.366684e-05,4.341621e-05,4.317052e-05,4.292974e-05,4.269384e-05,4.246280e-05,4.223658e-05,4.201512e-05,4.179837e-05,4.158629e-05,4.137881e-05,4.117588e-05,4.097742e-05,4.078337e-05,4.059366e-05,4.040823e-05,4.022700e-05,4.004989e-05
0.000000e+00,3.982693e-09,1.098976e-08,4.583143e-08,1.137280e-07,1.712045e-07,4.095615e-07,4.225527e-07,8.413521e-07,9.943919e-07,1.470394e-06,1.967470e-06,2.354924e-06,3.434268e-06,3.541343e-06,5.071717e-06,5.493668e-06,6.972565e-06,8.199022e-06,9.240016e-06,1.150558e-05,1.183143e-05,1.467435e-05,1.526590e-05,1.768771e-05,1.929737e-05,2.079899e-05,2.344533e-05,2.395024e-05,2.709704e-05,2.759772e-05,3.020539e-05,3.167577e-05,3.324897e-05,3.562325e-05,3.620726e-05,3.906430e-05,3.939972e-05,4.180786e-05,4.297665e-05,4.442893e-05,4.633505e-05,4.692119e-05,4.928070e-05,4.946365e-05,5.150546e-05,5.235752e-05,5.359516e-05,5.501666e-05,5.555085e-05,5.737468e-05,5.744493e-05,5.906969e-05,5.964905e-05,6.063957e-05,6.163775e-05,6.208853e-05,6.342114e-05,6.464219e-05,6.501017e-05,6.575663e-05,6.641623e-05,6.676946e-05,6.765084e-05,6.768570e-05,6.851030e-05,6.872544e-05,6.924815e-05,6.965120e-05,6.990400e-05,7.043894e-05,7.048247e-05,7.098806e-05,7.109904e-05,7.142508e-05,7.164141e-05,7.179767e-05,7.207543e-05,7.210982e-05,7.236534e-05,7.240997e-05,7.256786e-05,7.265339e-05,7.272086e-05,7.281352e-05,7.282763e-05,7.289133e-05,7.289772e-05,7.291492e-05,7.291284e-05,7.290124e-05,7.286528e-05,7.285298e-05,7.277268e-05,7.276101e-05,7.266274e-05,7.260556e-05,7.252542e-05,7.240409e-05,7.236289e-05,7.217716e-05,7.216136e-05,7.197015e-05,7.188180e-05,7.174366e-05,7.156948e-05,7.149938e-05,7.123892e-05,7.122819e-05,7.096377e-05,7.086140e-05,7.067535e-05,7.047232e-05,7.037498e-05,7.006391e-05,6.974330e-05,6.963887e-05,6.941424e-05,6.919970e-05,6.907777e-05,6.874867e-05,6.873485e-05,6.838635e-05,6.828789e-05,6.803313e-05,6.781925e-05,6.767596e-05,6.734451e-05,6.731557e-05,6.695265e-05,6.686524e-05,6.658781e-05,6.638288e-05,6.622165e-05,6.589876e-05,6.585471e-05,6.548749e-05,6.541406e-05,6.512047e-05,6.492984e-05,6.475407e-05,6.444708e-05,6.438870e-05,6.402473e-05,6.396664e-05,6.366248e-05,6.348931e-05,6.330227e-05,6.301577e-05,6.294440e-05,6.258911e-05,6.254666e-05,6.223664e-05,6.208251e-05,6.188722e-05,6.162382e-05,6.154104e-05,6.119827e-05,6.117100e-05,6.085908e-05,6.072443e-05,6.052360e-05,6.028443e-05,6.019197e-05,5.986430e-05,5.985128e-05,5.954068e-05,5.942519e-05,5.922121e-05,5.900638e-05,5.890596e-05,5.859499e-05,5.819116e-05,5.779498e-05,5.740652e-05,5.702584e-05,5.665295e-05,5.628786e-05,5.593056e-05,5.558103e-05,5.523923e-05,5.490509e-05,5.457856e-05,5.425956e-05,5.394800e-05,5.364380e-05,5.334686e-05,5.305706e-05,5.277430e-05,5.249847e-05,5.222944e-05,5.196710e-05,5.171132e-05,5.146198e-05,5.121895e-05,5.098210e-05
0.000000e+00,3.772486e-14,2.569218e-13,4.468595e-12,2.972006e-11,7.078809e-11,4.608077e-10,4.929825e-10,2.192647e-09,3.151032e-09,7.357783e-09,1.381414e-08,2.036200e-08,4.587021e-08,4.899910e-08,1.060340e-07,1.259468e-07,2.109471e-07,3.006057e-07,3.915755e-07,6.426083e-07,6.853038e-07,1.139578e-06,1.254575e-06,1.811699e-06,2.268981e-06,2.767968e-06,3.844732e-06,4.082326e-06,5.834629e-06,6.161201e-06,8.108681e-06,9.410692e-06,1.099015e-05,1.379015e-05,1.456449e-05,1.891485e-05,1.949284e-05,2.412017e-05,2.670043e-05,3.025344e-05,3.557591e-05,3.738008e-05,4.555666e-05,4.625762e-05,5.482980e-05,5.885449e-05,6.523532e-05,7.344266e-05,7.679769e-05,8.952975e-05,9.006341e-05,1.034326e-04,1.087225e-04,1.184956e-04,1.293906e-04,1.346972e-04,1.520048e-04,1.703761e-04,1.764713e-04,1.897592e-04,2.026680e-04,2.100942e-04,2.304490e-04,2.313139e-04,2.533447e-04,2.596480e-04,2.761078e-04,2.900828e-04,2.995202e-04,3.215593e-04,3.234961e-04,3.479471e-04,3.538762e-04,3.727841e-04,3.868281e-04,3.979177e-04,4.202099e-04,4.232589e-04,4.487204e-04,4.538196e-04,4.742169e-04,4.874613e-04,4.996657e-04,5.209478e-04,5.249876e-04,5.501068e-04,5.541023e-04,5.749520e-04,5.867604e-04,5.994558e-04,6.187710e-04,6.235558e-04,6.471944e-04,6.499975e-04,6.703188e-04,6.803181e-04,6.928810e-04,7.096259e-04,7.148384e-04,7.361528e-04,7.378291e-04,7.567910e-04,7.648505e-04,7.767248e-04,7.906272e-04,7.959300e-04,8.143873e-04,8.151098e-04,8.320812e-04,8.382618e-04,8.490003e-04,8.600587e-04,8.651369e-04,8.804870e-04,8.950495e-04,8.995435e-04,9.088266e-04,9.172340e-04,9.218232e-04,9.335726e-04,9.340468e-04,9.455070e-04,9.485806e-04,9.562157e-04,9.622859e-04,9.661867e-04,9.747214e-04,9.754351e-04,9.839777e-04,9.859249e-04,9.918325e-04,9.959379e-04,9.990186e-04,1.004805e-03,1.005556e-03,1.011465e-03,1.012573e-03,1.016767e-03,1.019291e-03,1.021484e-03,1.025010e-03,1.025637e-03,1.029249e-03,1.029778e-03,1.032342e-03,1.033649e-03,1.034939e-03,1.036673e-03,1.037060e-03,1.038729e-03,1.038900e-03,1.039966e-03,1.040380e-03,1.040794e-03,1.041161e-03,1.041232e-03,1.041302e-03,1.041292e-03,1.041023e-03,1.040818e-03,1.040415e-03,1.039784e-03,1.039496e-03,1.038286e-03,1.038232e-03,1.036803e-03,1.036205e-03,1.035062e-03,1.033740e-03,1.033082e-03,1.030877e-03,1.027650e-03,1.024094e-03,1.020240e-03,1.016119e-03,1.011759e-03,1.007187e-03,1.002427e-03,9.975047e-04,9.924401e-04,9.872541e-04,9.819656e-04,9.765922e-04,9.711501e-04,9.656542e-04,9.601184e-04,9.545555e-04,9.489771e-04,9.433940e-04,9.378160e-04,9.322519e-04,9.267099e-04,9.211974e-04,9.157209e-04,9.102864e-04
0.000000e+00,6.843699e-13,4.315160e-12,6.392240e-11,3.669854e-10,8.060343e-10,4.251771e-09,4.509781e-09,1.626314e-08,2.207477e-08,4.465515e-08,7.466186e-08,1.020546e-07,1.943762e-07,2.047027e-07,3.726994e-07,4.252968e-07,6.295329e-07,8.215766e-07,1.000421e-06,1.440127e-06,1.509127e-06,2.174123e-06,2.326943e-06,3.005671e-06,3.504601e-06,4.004830e-06,4.968518e-06,5.164302e-06,6.470387e-06,6.691813e-06,7.905236e-06,8.633865e-06,9.448849e-06,1.074819e-05,1.108061e-05,1.278033e-05,1.298794e-05,1.452886e-05,1.530904e-05,1.630844e-05,1.767166e-05,1.810288e-05,1.989762e-05,2.004081e-05,2.167972e-05,2.238643e-05,2.343785e-05,2.468332e-05,2.516225e-05,2.684464e-05,2.691096e-05,2.847818e-05,2.905319e-05,3.005732e-05,3.109784e-05,3.157778e-05,3.303635e-05,3.443082e-05,3.486327e-05,3.575986e-05,3.657580e-05,3.702286e-05,3.817327e-05,3.821989e-05,3.935153e-05,3.965680e-05,4.041881e-05,4.102885e-05,4.142312e-05,4.229289e-05,4.236612e-05,4.324971e-05,4.345315e-05,4.407591e-05,4.451432e-05,4.484688e-05,4.548141e-05,4.556484e-05,4.623204e-05,4.635959e-05,4.685073e-05,4.715403e-05,4.742317e-05,4.786989e-05,4.795156e-05,4.843809e-05,4.851219e-05,4.888486e-05,4.908580e-05,4.929393e-05,4.959539e-05,4.966729e-05,5.000685e-05,5.004542e-05,5.031445e-05,5.044013e-05,5.059186e-05,5.078353e-05,5.084076e-05,5.106277e-05,5.107941e-05,5.125943e-05,5.133132e-05,5.143221e-05,5.154261e-05,5.158251e-05,5.171167e-05,5.171641e-05,5.182095e-05,5.185566e-05,5.191156e-05,5.196309e-05,5.198463e-05,5.204126e-05,5.208247e-05,5.209256e-05,5.210924e-05,5.211922e-05,5.212249e-05,5.212331e-05,5.212310e-05,5.211190e-05,5.210676e-05,5.208968e-05,5.207136e-05,5.205717e-05,5.201878e-05,5.201508e-05,5.196407e-05,5.195057e-05,5.190478e-05,5.186818e-05,5.183779e-05,5.177292e-05,5.176367e-05,5.168295e-05,5.166606e-05,5.159613e-05,5.154873e-05,5.150367e-05,5.142200e-05,5.140604e-05,5.130365e-05,5.128685e-05,5.119690e-05,5.114422e-05,5.108616e-05,5.099493e-05,5.097178e-05,5.085410e-05,5.083977e-05,5.073344e-05,5.067948e-05,5.061008e-05,5.051470e-05,5.048431e-05,5.035639e-05,5.034607e-05,5.022656e-05,5.017415e-05,5.009506e-05,4.999947e-05,4.996210e-05,4.982790e-05,4.982250e-05,4.969263e-05,4.964371e-05,4.955649e-05,4.946350e-05,4.941964e-05,4.928224e-05,4.910029e-05,4.891796e-05,4.873554e-05,4.855330e-05,4.837149e-05,4.819032e-05,4.801000e-05,4.783072e-05,4.765264e-05,4.747591e-05,4.730068e-05,4.712706e-05,4.695517e-05,4.678510e-05,4.661695e-05,4.645079e-05,4.628669e-05,4.612471e-05,4.596491e-05,4.580732e-05,4.565200e-05,4.549897e-05,4.534825e-05,4.519988e-05
0.000000e+00,1.587465e-11,8.107506e-11,7.979069e-10,3.261369e-09,6.022394e-09,2.113597e-08,2.207616e-08,5.615377e-08,6.989774e-08,1.153563e-07,1.658236e-07,2.066136e-07,3.247881e-07,3.367954e-07,5.125781e-07,5.622226e-07,7.396221e-07,8.904186e-07,1.020855e-06,1.312119e-06,1.354822e-06,1.735843e-06,1.817008e-06,2.155970e-06,2.387153e-06,2.607031e-06,3.004376e-06,3.081611e-06,3.573203e-06,3.653043e-06,4.076039e-06,4.319848e-06,4.584917e-06,4.993181e-06,5.095116e-06,5.602375e-06,5.662864e-06,6.102910e-06,6.320148e-06,6.593427e-06,6.957784e-06,7.071135e-06,7.533744e-06,7.570043e-06,7.979443e-06,8.152667e-06,8.406865e-06,8.702740e-06,8.815052e-06,9.203400e-06,9.218516e-06,9.571613e-06,9.699226e-06,9.919657e-06,1.014489e-05,1.024772e-05,1.055616e-05,1.084548e-05,1.093412e-05,1.111627e-05,1.128016e-05,1.136921e-05,1.159592e-05,1.160504e-05,1.182450e-05,1.188313e-05,1.202839e-05,1.214357e-05,1.221747e-05,1.237903e-05,1.239254e-05,1.255434e-05,1.259128e-05,1.270362e-05,1.278202e-05,1.284111e-05,1.295288e-05,1.296748e-05,1.308340e-05,1.310539e-05,1.318950e-05,1.324100e-05,1.328639e-05,1.336108e-05,1.337464e-05,1.345479e-05,1.346689e-05,1.352734e-05,1.355961e-05,1.359278e-05,1.364033e-05,1.365158e-05,1.370415e-05,1.371006e-05,1.375090e-05,1.376973e-05,1.379221e-05,1.382020e-05,1.382845e-05,1.385993e-05,1.386226e-05,1.388699e-05,1.389664e-05,1.390991e-05,1.392401e-05,1.392897e-05,1.394444e-05,1.394499e-05,1.395656e-05,1.396014e-05,1.396555e-05,1.397000e-05,1.397164e-05,1.397502e-05,1.397589e-05,1.397567e-05,1.397442e-05,1.397233e-05,1.397078e-05,1.396539e-05,1.396513e-05,1.395760e-05,1.395518e-05,1.394835e-05,1.394202e-05,1.393750e-05,1.392620e-05,1.392516e-05,1.391146e-05,1.390797e-05,1.389649e-05,1.388760e-05,1.388036e-05,1.386529e-05,1.386317e-05,1.384500e-05,1.384125e-05,1.382593e-05,1.381568e-05,1.380603e-05,1.378874e-05,1.378539e-05,1.376407e-05,1.376060e-05,1.374214e-05,1.373141e-05,1.371965e-05,1.370129e-05,1.369665e-05,1.367321e-05,1.367037e-05,1.364937e-05,1.363877e-05,1.362518e-05,1.360659e-05,1.360068e-05,1.357591e-05,1.357392e-05,1.355091e-05,1.354085e-05,1.352572e-05,1.350747e-05,1.350036e-05,1.347487e-05,1.347385e-05,1.344929e-05,1.344006e-05,1.342363e-05,1.340615e-05,1.339792e-05,1.337219e-05,1.333822e-05,1.330430e-05,1.327047e-05,1.323676e-05,1.320322e-05,1.316987e-05,1.313675e-05,1.310388e-05,1.307129e-05,1.303899e-05,1.300702e-05,1.297538e-05,1.294409e-05,1.291317e-05,1.288263e-05,1.285248e-05,1.282273e-05,1.279338e-05,1.276445e-05,1.273594e-05,1.270785e-05,1.268020e-05,1.265297e-05,1.262618e-05
0.000000e+00,1.338349e-12,8.197027e-12,1.143897e-10,6.222598e-10,1.327092e-09,6.490933e-09,6.863765e-09,2.297153e-08,3.055369e-08,5.872229e-08,9.417018e-08,1.252404e-07,2.241965e-07,2.348525e-07,4.003790e-07,4.498427e-07,6.344206e-07,7.997157e-07,9.482616e-07,1.297226e-06,1.350310e-06,1.844696e-06,1.954678e-06,2.430785e-06,2.770325e-06,3.103747e-06,3.730467e-06,3.855703e-06,4.676929e-06,4.814049e-06,5.556783e-06,5.996721e-06,6.484301e-06,7.253269e-06,7.448532e-06,8.438720e-06,8.558788e-06,9.444428e-06,9.889258e-06,1.045564e-05,1.122199e-05,1.146289e-05,1.245735e-05,1.253611e-05,1.343100e-05,1.381300e-05,1.437669e-05,1.503676e-05,1.528823e-05,1.616046e-05,1.619446e-05,1.698920e-05,1.727626e-05,1.777130e-05,1.827532e-05,1.850455e-05,1.918764e-05,1.982002e-05,2.001169e-05,2.040187e-05,2.074807e-05,2.093396e-05,2.139910e-05,2.141754e-05,2.185427e-05,2.196842e-05,2.224612e-05,2.246060e-05,2.259530e-05,2.288085e-05,2.290413e-05,2.317508e-05,2.323474e-05,2.341060e-05,2.352794e-05,2.361317e-05,2.376610e-05,2.378521e-05,2.392908e-05,2.395467e-05,2.404704e-05,2.409886e-05,2.414125e-05,2.420353e-05,2.421376e-05,2.426648e-05,2.427320e-05,2.430122e-05,2.431200e-05,2.431965e-05,2.432369e-05,2.432331e-05,2.431366e-05,2.431167e-05,2.429199e-05,2.427898e-05,2.425954e-05,2.422834e-05,2.421740e-05,2.416661e-05,2.416220e-05,2.410808e-05,2.408270e-05,2.404268e-05,2.399176e-05,2.397116e-05,2.389423e-05,2.389105e-05,2.381252e-05,2.378206e-05,2.372663e-05,2.366610e-05,2.363707e-05,2.354432e-05,2.344881e-05,2.341774e-05,2.335095e-05,2.328724e-05,2.325108e-05,2.315362e-05,2.314953e-05,2.304658e-05,2.301755e-05,2.294252e-05,2.287964e-05,2.283757e-05,2.274042e-05,2.273195e-05,2.262588e-05,2.260037e-05,2.251951e-05,2.245988e-05,2.241301e-05,2.231931e-05,2.230654e-05,2.220022e-05,2.217898e-05,2.209417e-05,2.203917e-05,2.198850e-05,2.190010e-05,2.188331e-05,2.177869e-05,2.176201e-05,2.167472e-05,2.162506e-05,2.157147e-05,2.148943e-05,2.146900e-05,2.136737e-05,2.135523e-05,2.126664e-05,2.122261e-05,2.116684e-05,2.109165e-05,2.106802e-05,2.097022e-05,2.096244e-05,2.087346e-05,2.083506e-05,2.077778e-05,2.070957e-05,2.068320e-05,2.058974e-05,2.058603e-05,2.049742e-05,2.046447e-05,2.040625e-05,2.034493e-05,2.031625e-05,2.022743e-05,2.011200e-05,1.999864e-05,1.988737e-05,1.977819e-05,1.967109e-05,1.956608e-05,1.946315e-05,1.936227e-05,1.926345e-05,1.916666e-05,1.907188e-05,1.897909e-05,1.888827e-05,1.879941e-05,1.871246e-05,1.862741e-05,1.854424e-05,1.846290e-05,1.838338e-05,1.830564e-05,1.822965e-05,1.815539e-05,1.808283e-05,1.801193e-05
0.000000e+00,1.283625e-13,8.300183e-13,1.294289e-11,7.775691e-11,1.749728e-10,9.798985e-10,1.041794e-09,3.966088e-09,5.457397e-09,1.139829e-08,1.950218e-08,2.702082e-08,5.279862e-08,5.570742e-08,1.033456e-07,1.183244e-07,1.765702e-07,2.313753e-07,2.824359e-07,4.082332e-07,4.280288e-07,6.200056e-07,6.644926e-07,8.640858e-07,1.013095e-06,1.164572e-06,1.462477e-06,1.523992e-06,1.942906e-06,2.015386e-06,2.419912e-06,2.668627e-06,2.951791e-06,3.413638e-06,3.533766e-06,4.159808e-06,4.237572e-06,4.822968e-06,5.124588e-06,5.515700e-06,6.057127e-06,6.230153e-06,6.958439e-06,7.017066e-06,7.692856e-06,7.986683e-06,8.426081e-06,8.949424e-06,9.151316e-06,9.862409e-06,9.890479e-06,1.055393e-05,1.079717e-05,1.122122e-05,1.165914e-05,1.186042e-05,1.246844e-05,1.304297e-05,1.321947e-05,1.358240e-05,1.390875e-05,1.408578e-05,1.453476e-05,1.455274e-05,1.498343e-05,1.509759e-05,1.537843e-05,1.559868e-05,1.573869e-05,1.604052e-05,1.606547e-05,1.636021e-05,1.642636e-05,1.662455e-05,1.675994e-05,1.686023e-05,1.704534e-05,1.706904e-05,1.725281e-05,1.728672e-05,1.741336e-05,1.748825e-05,1.755245e-05,1.765397e-05,1.767181e-05,1.777306e-05,1.778769e-05,1.785777e-05,1.789299e-05,1.792741e-05,1.797318e-05,1.798332e-05,1.802680e-05,1.803124e-05,1.805900e-05,1.806988e-05,1.808101e-05,1.809153e-05,1.809382e-05,1.809832e-05,1.809834e-05,1.809534e-05,1.809222e-05,1.808562e-05,1.807483e-05,1.806984e-05,1.804862e-05,1.804767e-05,1.802251e-05,1.801201e-05,1.799201e-05,1.796900e-05,1.795757e-05,1.791961e-05,1.787849e-05,1.786472e-05,1.783454e-05,1.780508e-05,1.778808e-05,1.774136e-05,1.773937e-05,1.768866e-05,1.767414e-05,1.763618e-05,1.760392e-05,1.758213e-05,1.753117e-05,1.752669e-05,1.747004e-05,1.745629e-05,1.741234e-05,1.737961e-05,1.735371e-05,1.730146e-05,1.729429e-05,1.723420e-05,1.722211e-05,1.717354e-05,1.714181e-05,1.711241e-05,1.706077e-05,1.705091e-05,1.698911e-05,1.697921e-05,1.692710e-05,1.689728e-05,1.686494e-05,1.681515e-05,1.680270e-05,1.674043e-05,1.673296e-05,1.667820e-05,1.665084e-05,1.661605e-05,1.656891e-05,1.655404e-05,1.649219e-05,1.648725e-05,1.643056e-05,1.640598e-05,1.636918e-05,1.632516e-05,1.630808e-05,1.624730e-05,1.624488e-05,1.618687e-05,1.616520e-05,1.612680e-05,1.608618e-05,1.606713e-05,1.600788e-05,1.593034e-05,1.585360e-05,1.577771e-05,1.570269e-05,1.562858e-05,1.555539e-05,1.548316e-05,1.541190e-05,1.534162e-05,1.527234e-05,1.520408e-05,1.513683e-05,1.507061e-05,1.500541e-05,1.494125e-05,1.487813e-05,1.481603e-05,1.475497e-05,1.469494e-05,1.463594e-05,1.457795e-05,1.452098e-05,1.446502e-05,1.441006e-05
0.000000e+00,1.996242e-12,1.229767e-11,1.735915e-10,9.536384e-10,2.044291e-09,1.012266e-08,1.070912e-08,3.622386e-08,4.830526e-08,9.338974e-08,1.503788e-07,2.004573e-07,3.603113e-07,3.775407e-07,6.452218e-07,7.251877e-07,1.023424e-06,1.290381e-06,1.530337e-06,2.094955e-06,2.181017e-06,2.985417e-06,3.165121e-06,3.946061e-06,4.505497e-06,5.056206e-06,6.092560e-06,6.299510e-06,7.651567e-06,7.876054e-06,9.082795e-06,9.788658e-06,1.056173e-05,1.175866e-05,1.205790e-05,1.354383e-05,1.372030e-05,1.499614e-05,1.561946e-05,1.639589e-05,1.741544e-05,1.772853e-05,1.898346e-05,1.908026e-05,2.015355e-05,2.059680e-05,2.123460e-05,2.195675e-05,2.222485e-05,2.312449e-05,2.315861e-05,2.393527e-05,2.420593e-05,2.466013e-05,2.510590e-05,2.530292e-05,2.586811e-05,2.636057e-05,2.650363e-05,2.678540e-05,2.702419e-05,2.714777e-05,2.744164e-05,2.745281e-05,2.770551e-05,2.776755e-05,2.791068e-05,2.801286e-05,2.807285e-05,2.818775e-05,2.819630e-05,2.828499e-05,2.830152e-05,2.834260e-05,2.836256e-05,2.837250e-05,2.837834e-05,2.837777e-05,2.836119e-05,2.835549e-05,2.832533e-05,2.829982e-05,2.827246e-05,2.821644e-05,2.820466e-05,2.812379e-05,2.810975e-05,2.803150e-05,2.798360e-05,2.792930e-05,2.784130e-05,2.781852e-05,2.770034e-05,2.768572e-05,2.757585e-05,2.751931e-05,2.744598e-05,2.734421e-05,2.731159e-05,2.717344e-05,2.716224e-05,2.703219e-05,2.697497e-05,2.688846e-05,2.678373e-05,2.674277e-05,2.659561e-05,2.658970e-05,2.644740e-05,2.639386e-05,2.629851e-05,2.619705e-05,2.614929e-05,2.600002e-05,2.585099e-05,2.580339e-05,2.570242e-05,2.560768e-05,2.555453e-05,2.541336e-05,2.540750e-05,2.526150e-05,2.522082e-05,2.511666e-05,2.503038e-05,2.497313e-05,2.484231e-05,2.483100e-05,2.469038e-05,2.465687e-05,2.455135e-05,2.447422e-05,2.441399e-05,2.429455e-05,2.427837e-05,2.414452e-05,2.411797e-05,2.401252e-05,2.394461e-05,2.388238e-05,2.377453e-05,2.375414e-05,2.362784e-05,2.360781e-05,2.350349e-05,2.344449e-05,2.338110e-05,2.328461e-05,2.326068e-05,2.314225e-05,2.312818e-05,2.302581e-05,2.297520e-05,2.291135e-05,2.282569e-05,2.279888e-05,2.268838e-05,2.267963e-05,2.257985e-05,2.253699e-05,2.247328e-05,2.239775e-05,2.236865e-05,2.226595e-05,2.226188e-05,2.216517e-05,2.212935e-05,2.206628e-05,2.200011e-05,2.196927e-05,2.187412e-05,2.175134e-05,2.163170e-05,2.151517e-05,2.140168e-05,2.129118e-05,2.118362e-05,2.107892e-05,2.097705e-05,2.087793e-05,2.078151e-05,2.068773e-05,2.059652e-05,2.050784e-05,2.042162e-05,2.033781e-05,2.025634e-05,2.017716e-05,2.010021e-05,2.002543e-05,1.995278e-05,1.988220e-05,1.981362e-05,1.974702e-05,1.968232e-05
0.000000e+00,5.674936e-09,1.297683e-08,4.451203e-08,1.012237e-07,1.478246e-07,3.381119e-07,3.484699e-07,6.857838e-07,8.111489e-07,1.208115e-06,1.630594e-06,1.961673e-06,2.869523e-06,2.957451e-06,4.160323e-06,4.474469e-06,5.523884e-06,6.344092e-06,7.013048e-06,8.407685e-06,8.603155e-06,1.027463e-05,1.061711e-05,1.200968e-05,1.293125e-05,1.379089e-05,1.531007e-05,1.560090e-05,1.742262e-05,1.771406e-05,1.923960e-05,2.010550e-05,2.103647e-05,2.245009e-05,2.279932e-05,2.451591e-05,2.471828e-05,2.617585e-05,2.688603e-05,2.777067e-05,2.893501e-05,2.929370e-05,3.073998e-05,3.085225e-05,3.210611e-05,3.262963e-05,3.339011e-05,3.426324e-05,3.459117e-05,3.570950e-05,3.575252e-05,3.674614e-05,3.709965e-05,3.770281e-05,3.830878e-05,3.858173e-05,3.938553e-05,4.011712e-05,4.033649e-05,4.077962e-05,4.116884e-05,4.137624e-05,4.189008e-05,4.191028e-05,4.238503e-05,4.250779e-05,4.280377e-05,4.302947e-05,4.316972e-05,4.346247e-05,4.348602e-05,4.375569e-05,4.381380e-05,4.398166e-05,4.409015e-05,4.416671e-05,4.429785e-05,4.431354e-05,4.442470e-05,4.444287e-05,4.450263e-05,4.453079e-05,4.454964e-05,4.456682e-05,4.456790e-05,4.455951e-05,4.455582e-05,4.452640e-05,4.450228e-05,4.447044e-05,4.441038e-05,4.439335e-05,4.429679e-05,4.428397e-05,4.418230e-05,4.412662e-05,4.405132e-05,4.394159e-05,4.390522e-05,4.374527e-05,4.373192e-05,4.357269e-05,4.350037e-05,4.338859e-05,4.324950e-05,4.319402e-05,4.298998e-05,4.298164e-05,4.277739e-05,4.269893e-05,4.255711e-05,4.240334e-05,4.232994e-05,4.209665e-05,4.185793e-05,4.178050e-05,4.161444e-05,4.145639e-05,4.136680e-05,4.112567e-05,4.111556e-05,4.086126e-05,4.078958e-05,4.060440e-05,4.044925e-05,4.034543e-05,4.010568e-05,4.008478e-05,3.982284e-05,3.975982e-05,3.955998e-05,3.941250e-05,3.929653e-05,3.906447e-05,3.903282e-05,3.876912e-05,3.871641e-05,3.850572e-05,3.836895e-05,3.824285e-05,3.802262e-05,3.798074e-05,3.771961e-05,3.767793e-05,3.745963e-05,3.733531e-05,3.720100e-05,3.699516e-05,3.694386e-05,3.668837e-05,3.665783e-05,3.643465e-05,3.632362e-05,3.618284e-05,3.599280e-05,3.593303e-05,3.568534e-05,3.566562e-05,3.543984e-05,3.534227e-05,3.519662e-05,3.502295e-05,3.495574e-05,3.471728e-05,3.470779e-05,3.448128e-05,3.439693e-05,3.424780e-05,3.409049e-05,3.401687e-05,3.378853e-05,3.349115e-05,3.319839e-05,3.291030e-05,3.262690e-05,3.234821e-05,3.207423e-05,3.180497e-05,3.154040e-05,3.128051e-05,3.102527e-05,3.077464e-05,3.052860e-05,3.028708e-05,3.005006e-05,2.981747e-05,2.958926e-05,2.936537e-05,2.914574e-05,2.893031e-05,2.871902e-05,2.851180e-05,2.830858e-05,2.810930e-05,2.791389e-05
0.000000e+00,6.602457e-09,1.510984e-08,5.189106e-08,1.180488e-07,1.723652e-07,3.934267e-07,4.054222e-07,7.938583e-07,9.371497e-07,1.387238e-06,1.860706e-06,2.228423e-06,3.227464e-06,3.323841e-06,4.642446e-06,4.987779e-06,6.146552e-06,7.058452e-06,7.806306e-06,9.376672e-06,9.597907e-06,1.149987e-05,1.189165e-05,1.349103e-05,1.455456e-05,1.554991e-05,1.731593e-05,1.765495e-05,1.978498e-05,2.012673e-05,2.191979e-05,2.294065e-05,2.404071e-05,2.571609e-05,2.613096e-05,2.817596e-05,2.841771e-05,3.016333e-05,3.101682e-05,3.208293e-05,3.349154e-05,3.392681e-05,3.568898e-05,3.582629e-05,3.736521e-05,3.801100e-05,3.895284e-05,4.004028e-05,4.045053e-05,4.185803e-05,4.191246e-05,4.317601e-05,4.362882e-05,4.440587e-05,4.519284e-05,4.554959e-05,4.660958e-05,4.758858e-05,4.788523e-05,4.848955e-05,4.902666e-05,4.931562e-05,5.004120e-05,5.007004e-05,5.075607e-05,5.093635e-05,5.137697e-05,5.171959e-05,5.193596e-05,5.239827e-05,5.243620e-05,5.288081e-05,5.297958e-05,5.327281e-05,5.347044e-05,5.361511e-05,5.387747e-05,5.391054e-05,5.416179e-05,5.420698e-05,5.437150e-05,5.446495e-05,5.454214e-05,5.465705e-05,5.467611e-05,5.477570e-05,5.478858e-05,5.484306e-05,5.486457e-05,5.488029e-05,5.488969e-05,5.488934e-05,5.487209e-05,5.486834e-05,5.483033e-05,5.480462e-05,5.476573e-05,5.470236e-05,5.467991e-05,5.457437e-05,5.456512e-05,5.445055e-05,5.439621e-05,5.430981e-05,5.419873e-05,5.415344e-05,5.398265e-05,5.397554e-05,5.379859e-05,5.372928e-05,5.360233e-05,5.346243e-05,5.339489e-05,5.317725e-05,5.295030e-05,5.287585e-05,5.271489e-05,5.256017e-05,5.247184e-05,5.223201e-05,5.222189e-05,5.196576e-05,5.189302e-05,5.170411e-05,5.154473e-05,5.143757e-05,5.118853e-05,5.116672e-05,5.089212e-05,5.082572e-05,5.061429e-05,5.045747e-05,5.033370e-05,5.008486e-05,5.005080e-05,4.976603e-05,4.970889e-05,4.947978e-05,4.933047e-05,4.919241e-05,4.895041e-05,4.890427e-05,4.861568e-05,4.856948e-05,4.832694e-05,4.818837e-05,4.803832e-05,4.780769e-05,4.775008e-05,4.746247e-05,4.742801e-05,4.717570e-05,4.704984e-05,4.688998e-05,4.667364e-05,4.660549e-05,4.632242e-05,4.629984e-05,4.604092e-05,4.592880e-05,4.576114e-05,4.556085e-05,4.548322e-05,4.520728e-05,4.519629e-05,4.493344e-05,4.483539e-05,4.466179e-05,4.447838e-05,4.439244e-05,4.412546e-05,4.377681e-05,4.343259e-05,4.309293e-05,4.275794e-05,4.242772e-05,4.210233e-05,4.178185e-05,4.146632e-05,4.115577e-05,4.085023e-05,4.054970e-05,4.025419e-05,3.996369e-05,3.967819e-05,3.939767e-05,3.912209e-05,3.885142e-05,3.858562e-05,3.832464e-05,3.806845e-05,3.781698e-05,3.757018e-05,3.732799e-05,3.709035e-05
0.000000e+00,8.223382e-11,4.210354e-10,4.165860e-09,1.712269e-08,3.173264e-08,1.127501e-07,1.178390e-07,3.055592e-07,3.829375e-07,6.451320e-07,9.467454e-07,1.198037e-06,1.959890e-06,2.039837e-06,3.253401e-06,3.608126e-06,4.904409e-06,6.028375e-06,7.008008e-06,9.197543e-06,9.517437e-06,1.234702e-05,1.294312e-05,1.540527e-05,1.705938e-05,1.861440e-05,2.138235e-05,2.191446e-05,2.526010e-05,2.579717e-05,2.861608e-05,3.022204e-05,3.195380e-05,3.459456e-05,3.524924e-05,3.848185e-05,3.886468e-05,4.163409e-05,4.299170e-05,4.469112e-05,4.694311e-05,4.764063e-05,5.047284e-05,5.069411e-05,5.318028e-05,5.422706e-05,5.575763e-05,5.753084e-05,5.820157e-05,6.051045e-05,6.059999e-05,6.268414e-05,6.343376e-05,6.472378e-05,6.603524e-05,6.663155e-05,6.841047e-05,7.006419e-05,7.056761e-05,7.159688e-05,7.251637e-05,7.301307e-05,7.426741e-05,7.431751e-05,7.551510e-05,7.583196e-05,7.661082e-05,7.722143e-05,7.760966e-05,7.844724e-05,7.851652e-05,7.933627e-05,7.952058e-05,8.007363e-05,8.045228e-05,8.073319e-05,8.125276e-05,8.131937e-05,8.183645e-05,8.193194e-05,8.228852e-05,8.249922e-05,8.267951e-05,8.296348e-05,8.301316e-05,8.329305e-05,8.333307e-05,8.352256e-05,8.361579e-05,8.370493e-05,8.381895e-05,8.384322e-05,8.394034e-05,8.394936e-05,8.399904e-05,8.401337e-05,8.402192e-05,8.401687e-05,8.401145e-05,8.396995e-05,8.396536e-05,8.389963e-05,8.386390e-05,8.380256e-05,8.371720e-05,8.368069e-05,8.353588e-05,8.352964e-05,8.336987e-05,8.330523e-05,8.318428e-05,8.304770e-05,8.298068e-05,8.276050e-05,8.252512e-05,8.244680e-05,8.227583e-05,8.210954e-05,8.201383e-05,8.175141e-05,8.174025e-05,8.145618e-05,8.137489e-05,8.116259e-05,8.098228e-05,8.086045e-05,8.057567e-05,8.055062e-05,8.023395e-05,8.015701e-05,7.991119e-05,7.972806e-05,7.958308e-05,7.929046e-05,7.925030e-05,7.891348e-05,7.884568e-05,7.857322e-05,7.839511e-05,7.823008e-05,7.793999e-05,7.788457e-05,7.753719e-05,7.748146e-05,7.718838e-05,7.702057e-05,7.683856e-05,7.655825e-05,7.648814e-05,7.613747e-05,7.609539e-05,7.578690e-05,7.563276e-05,7.543675e-05,7.517109e-05,7.508730e-05,7.473883e-05,7.471100e-05,7.439160e-05,7.425310e-05,7.404583e-05,7.379791e-05,7.370175e-05,7.335954e-05,7.334590e-05,7.301941e-05,7.289749e-05,7.268150e-05,7.245308e-05,7.234599e-05,7.201300e-05,7.157756e-05,7.114702e-05,7.072161e-05,7.030155e-05,6.988701e-05,6.947814e-05,6.907507e-05,6.867791e-05,6.828676e-05,6.790168e-05,6.752273e-05,6.714995e-05,6.678338e-05,6.642303e-05,6.606890e-05,6.572098e-05,6.537927e-05,6.504374e-05,6.471435e-05,6.439108e-05,6.407388e-05,6.376270e-05,6.345748e-05,6.315816e-05
0.000000e+00,2.588286e-09,8.191388e-09,3.968804e-08,1.055222e-07,1.628688e-07,4.061828e-07,4.195724e-07,8.536051e-07,1.012634e-06,1.506731e-06,2.020611e-06,2.419233e-06,3.520189e-06,3.628663e-06,5.165808e-06,5.585730e-06,7.046680e-06,8.247701e-06,9.261117e-06,1.145160e-05,1.176520e-05,1.448872e-05,1.505291e-05,1.735517e-05,1.887944e-05,2.029769e-05,2.278915e-05,2.326343e-05,2.621141e-05,2.667919e-05,2.910948e-05,3.047509e-05,3.193203e-05,3.412192e-05,3.465879e-05,3.727397e-05,3.757970e-05,3.976579e-05,4.082087e-05,4.212600e-05,4.382843e-05,4.434939e-05,4.643337e-05,4.659404e-05,4.837758e-05,4.911639e-05,5.018344e-05,5.139953e-05,5.185378e-05,5.339257e-05,5.345145e-05,5.480456e-05,5.528285e-05,5.609509e-05,5.690617e-05,5.726987e-05,5.833482e-05,5.929597e-05,5.958259e-05,6.015928e-05,6.066319e-05,6.093066e-05,6.159002e-05,6.161585e-05,6.222047e-05,6.237607e-05,6.274993e-05,6.303366e-05,6.320934e-05,6.357434e-05,6.360359e-05,6.393733e-05,6.400891e-05,6.421495e-05,6.434746e-05,6.444060e-05,6.459927e-05,6.461816e-05,6.475131e-05,6.477292e-05,6.484349e-05,6.487631e-05,6.489792e-05,6.491668e-05,6.491762e-05,6.490540e-05,6.490066e-05,6.486391e-05,6.483433e-05,6.479562e-05,6.472322e-05,6.470280e-05,6.458762e-05,6.457240e-05,6.445207e-05,6.438645e-05,6.429800e-05,6.416960e-05,6.412715e-05,6.394112e-05,6.392563e-05,6.374142e-05,6.365802e-05,6.352943e-05,6.336992e-05,6.330644e-05,6.307366e-05,6.306416e-05,6.283220e-05,6.274334e-05,6.258308e-05,6.240980e-05,6.232726e-05,6.206563e-05,6.179901e-05,6.171276e-05,6.152815e-05,6.135290e-05,6.125376e-05,6.098761e-05,6.097647e-05,6.069690e-05,6.061829e-05,6.041559e-05,6.024618e-05,6.013304e-05,5.987241e-05,5.984973e-05,5.956607e-05,5.949799e-05,5.928248e-05,5.912382e-05,5.899929e-05,5.875070e-05,5.871686e-05,5.843547e-05,5.837935e-05,5.815541e-05,5.801039e-05,5.787693e-05,5.764440e-05,5.760026e-05,5.732560e-05,5.728185e-05,5.705314e-05,5.692320e-05,5.678306e-05,5.656881e-05,5.651550e-05,5.625061e-05,5.621901e-05,5.598850e-05,5.587408e-05,5.572929e-05,5.553428e-05,5.547306e-05,5.521992e-05,5.519980e-05,5.496992e-05,5.487082e-05,5.472314e-05,5.454748e-05,5.447962e-05,5.423943e-05,5.422989e-05,5.400258e-05,5.391814e-05,5.376912e-05,5.361231e-05,5.353906e-05,5.331243e-05,5.301854e-05,5.273065e-05,5.244877e-05,5.217287e-05,5.190294e-05,5.163893e-05,5.138080e-05,5.112850e-05,5.088198e-05,5.064116e-05,5.040597e-05,5.017634e-05,4.995219e-05,4.973343e-05,4.951998e-05,4.931175e-05,4.910865e-05,4.891058e-05,4.871745e-05,4.852917e-05,4.834565e-05,4.816678e-05,4.799247e-05,4.782263e-05
0.000000e+00,4.191896e-09,9.628464e-09,3.319254e-08,7.558552e-08,1.103335e-07,2.509666e-07,2.585593e-07,5.024206e-07,5.915495e-07,8.699528e-07,1.163175e-06,1.393625e-06,2.043702e-06,2.108767e-06,3.046757e-06,3.307192e-06,4.221988e-06,4.979766e-06,5.620659e-06,7.006398e-06,7.204742e-06,8.928197e-06,9.285831e-06,1.074975e-05,1.172453e-05,1.263665e-05,1.425339e-05,1.456348e-05,1.650995e-05,1.682204e-05,1.845916e-05,1.939141e-05,2.039656e-05,2.192933e-05,2.230936e-05,2.418631e-05,2.440865e-05,2.601752e-05,2.680654e-05,2.779452e-05,2.910434e-05,2.951017e-05,3.115864e-05,3.128747e-05,3.273536e-05,3.334517e-05,3.423696e-05,3.527026e-05,3.566112e-05,3.700652e-05,3.705869e-05,3.827267e-05,3.870911e-05,3.945981e-05,4.022237e-05,4.056883e-05,4.160115e-05,4.255860e-05,4.284952e-05,4.344334e-05,4.397252e-05,4.425778e-05,4.497592e-05,4.500452e-05,4.568630e-05,4.586594e-05,4.630594e-05,4.664907e-05,4.686628e-05,4.733188e-05,4.737018e-05,4.782050e-05,4.792091e-05,4.822002e-05,4.842258e-05,4.857148e-05,4.884315e-05,4.887757e-05,4.914086e-05,4.918861e-05,4.936386e-05,4.946471e-05,4.954899e-05,4.967691e-05,4.969855e-05,4.981475e-05,4.983039e-05,4.989973e-05,4.993002e-05,4.995550e-05,4.998038e-05,4.998399e-05,4.998704e-05,4.998578e-05,4.996639e-05,4.995022e-05,4.992369e-05,4.987747e-05,4.986053e-05,4.977838e-05,4.977103e-05,4.967865e-05,4.963413e-05,4.956267e-05,4.946982e-05,4.943171e-05,4.928695e-05,4.928089e-05,4.912951e-05,4.906994e-05,4.896046e-05,4.883938e-05,4.878079e-05,4.859144e-05,4.839329e-05,4.832816e-05,4.818718e-05,4.805145e-05,4.797388e-05,4.776304e-05,4.775414e-05,4.752864e-05,4.746456e-05,4.729803e-05,4.715747e-05,4.706292e-05,4.684314e-05,4.682388e-05,4.658144e-05,4.652280e-05,4.633609e-05,4.619760e-05,4.608830e-05,4.586859e-05,4.583852e-05,4.558714e-05,4.553670e-05,4.533454e-05,4.520283e-05,4.508108e-05,4.486774e-05,4.482708e-05,4.457285e-05,4.453217e-05,4.431868e-05,4.419677e-05,4.406482e-05,4.386213e-05,4.381153e-05,4.355901e-05,4.352878e-05,4.330750e-05,4.319719e-05,4.305717e-05,4.286782e-05,4.280820e-05,4.256076e-05,4.254103e-05,4.231499e-05,4.221718e-05,4.207103e-05,4.189658e-05,4.182901e-05,4.158904e-05,4.157949e-05,4.135122e-05,4.126615e-05,4.111565e-05,4.095678e-05,4.088240e-05,4.065156e-05,4.035064e-05,4.005416e-05,3.976223e-05,3.947494e-05,3.919238e-05,3.891459e-05,3.864163e-05,3.837352e-05,3.811029e-05,3.785195e-05,3.759848e-05,3.734989e-05,3.710614e-05,3.686723e-05,3.663310e-05,3.640373e-05,3.617906e-05,3.595906e-05,3.574366e-05,3.553282e-05,3.532646e-05,3.512454e-05,3.492697e-05,3.473371e-05
0.000000e+00,1.698303e-12,1.005921e-11,1.313116e-10,6.744646e-10,1.395843e-09,6.348635e-09,6.694508e-09,2.100382e-08,2.748502e-08,5.082436e-08,7.919017e-08,1.034747e-07,1.786065e-07,1.865504e-07,3.075157e-07,3.429669e-07,4.732057e-07,5.876697e-07,6.891800e-07,9.238850e-07,9.592257e-07,1.285283e-06,1.357272e-06,1.667720e-06,1.888629e-06,2.105698e-06,2.515258e-06,2.597459e-06,3.140499e-06,3.231942e-06,3.731649e-06,4.031402e-06,4.367129e-06,4.904537e-06,5.042608e-06,5.753273e-06,5.840673e-06,6.493927e-06,6.827915e-06,7.259106e-06,7.853593e-06,8.043198e-06,8.840569e-06,8.904766e-06,9.645687e-06,9.968699e-06,1.045322e-05,1.103329e-05,1.125813e-05,1.205575e-05,1.208744e-05,1.284184e-05,1.312126e-05,1.361261e-05,1.412628e-05,1.436476e-05,1.509546e-05,1.580236e-05,1.602321e-05,1.648355e-05,1.690534e-05,1.713758e-05,1.773886e-05,1.776334e-05,1.836011e-05,1.852195e-05,1.892749e-05,1.925374e-05,1.946533e-05,1.993416e-05,1.997376e-05,2.045307e-05,2.056383e-05,2.090377e-05,2.114389e-05,2.132648e-05,2.167590e-05,2.172194e-05,2.209099e-05,2.216171e-05,2.243453e-05,2.260341e-05,2.275351e-05,2.300319e-05,2.304891e-05,2.332173e-05,2.336335e-05,2.357298e-05,2.368621e-05,2.380365e-05,2.397405e-05,2.401475e-05,2.420725e-05,2.422915e-05,2.438210e-05,2.445368e-05,2.454023e-05,2.464977e-05,2.468253e-05,2.480986e-05,2.481943e-05,2.492308e-05,2.496458e-05,2.502296e-05,2.508705e-05,2.511028e-05,2.518576e-05,2.518855e-05,2.525011e-05,2.527068e-05,2.530399e-05,2.533497e-05,2.534802e-05,2.538282e-05,2.540894e-05,2.541556e-05,2.542693e-05,2.543442e-05,2.543731e-05,2.544055e-05,2.544054e-05,2.543710e-05,2.543500e-05,2.542742e-05,2.541879e-05,2.541191e-05,2.539282e-05,2.539095e-05,2.536491e-05,2.535794e-05,2.533414e-05,2.531496e-05,2.529896e-05,2.526460e-05,2.525968e-05,2.521659e-05,2.520754e-05,2.516997e-05,2.514441e-05,2.512007e-05,2.507580e-05,2.506714e-05,2.501141e-05,2.500225e-05,2.495310e-05,2.492425e-05,2.489240e-05,2.484226e-05,2.482952e-05,2.476463e-05,2.475672e-05,2.469791e-05,2.466801e-05,2.462951e-05,2.457650e-05,2.455959e-05,2.448829e-05,2.448253e-05,2.441575e-05,2.438641e-05,2.434209e-05,2.428843e-05,2.426743e-05,2.419189e-05,2.418885e-05,2.411556e-05,2.408791e-05,2.403855e-05,2.398585e-05,2.396096e-05,2.388287e-05,2.377916e-05,2.367489e-05,2.357024e-05,2.346536e-05,2.336036e-05,2.325540e-05,2.315057e-05,2.304599e-05,2.294176e-05,2.283795e-05,2.273467e-05,2.263197e-05,2.252993e-05,2.242860e-05,2.232805e-05,2.222832e-05,2.212946e-05,2.203151e-05,2.193451e-05,2.183848e-05,2.174347e-05,2.164949e-05,2.155657e-05,2.146472e-05
0.000000e+00,5.774581e-09,1.327008e-08,4.585114e-08,1.048564e-07,1.535949e-07,3.541877e-07,3.651646e-07,7.249946e-07,8.596765e-07,1.288755e-06,1.749283e-06,2.112887e-06,3.121731e-06,3.220282e-06,4.579854e-06,4.937628e-06,6.137937e-06,7.079840e-06,7.849604e-06,9.457276e-06,9.682833e-06,1.161333e-05,1.200925e-05,1.362034e-05,1.468777e-05,1.568452e-05,1.744899e-05,1.778728e-05,1.991068e-05,2.025119e-05,2.203777e-05,2.305543e-05,2.415288e-05,2.582681e-05,2.624191e-05,2.829253e-05,2.853551e-05,3.029430e-05,3.115731e-05,3.223855e-05,3.367340e-05,3.411838e-05,3.592854e-05,3.607022e-05,3.766521e-05,3.833870e-05,3.932587e-05,4.047363e-05,4.090909e-05,4.241436e-05,4.247295e-05,4.384196e-05,4.433703e-05,4.519274e-05,4.606809e-05,4.646809e-05,4.766974e-05,4.879973e-05,4.914656e-05,4.986032e-05,5.050377e-05,5.085390e-05,5.174701e-05,5.178296e-05,5.265007e-05,5.288211e-05,5.345778e-05,5.391497e-05,5.420866e-05,5.485143e-05,5.490521e-05,5.554994e-05,5.569724e-05,5.614528e-05,5.645797e-05,5.669357e-05,5.713899e-05,5.719713e-05,5.765816e-05,5.774545e-05,5.807881e-05,5.828227e-05,5.846113e-05,5.875412e-05,5.880711e-05,5.911865e-05,5.916542e-05,5.939757e-05,5.952038e-05,5.964561e-05,5.982294e-05,5.986445e-05,6.005568e-05,6.007685e-05,6.022083e-05,6.028560e-05,6.036133e-05,6.045250e-05,6.047860e-05,6.057394e-05,6.058066e-05,6.064861e-05,6.067297e-05,6.070382e-05,6.073216e-05,6.074071e-05,6.076036e-05,6.076080e-05,6.076380e-05,6.076127e-05,6.075203e-05,6.073581e-05,6.072597e-05,6.068651e-05,6.063449e-05,6.061532e-05,6.057072e-05,6.052409e-05,6.049595e-05,6.041449e-05,6.041090e-05,6.031627e-05,6.028814e-05,6.021270e-05,6.014652e-05,6.010080e-05,5.999100e-05,5.998116e-05,5.985434e-05,5.982289e-05,5.972085e-05,5.964338e-05,5.958120e-05,5.945358e-05,5.943586e-05,5.928527e-05,5.925456e-05,5.912985e-05,5.904726e-05,5.897001e-05,5.883260e-05,5.880612e-05,5.863854e-05,5.861141e-05,5.846761e-05,5.838447e-05,5.829365e-05,5.815250e-05,5.811696e-05,5.793782e-05,5.791618e-05,5.775652e-05,5.767612e-05,5.757330e-05,5.743291e-05,5.738839e-05,5.720204e-05,5.718708e-05,5.701446e-05,5.693912e-05,5.682584e-05,5.668950e-05,5.663637e-05,5.644624e-05,5.643863e-05,5.625562e-05,5.618690e-05,5.606466e-05,5.593469e-05,5.587351e-05,5.568232e-05,5.543009e-05,5.517830e-05,5.492720e-05,5.467702e-05,5.442799e-05,5.418031e-05,5.393415e-05,5.368969e-05,5.344708e-05,5.320645e-05,5.296793e-05,5.273163e-05,5.249764e-05,5.226607e-05,5.203699e-05,5.181047e-05,5.158658e-05,5.136537e-05,5.114688e-05,5.093116e-05,5.071825e-05,5.050817e-05,5.030094e-05,5.009658e-05
0.000000e+00,1.140727e-10,5.255228e-10,4.324021e-09,1.556685e-08,2.714783e-08,8.495527e-08,8.839719e-08,2.082933e-07,2.551330e-07,4.072422e-07,5.734508e-07,7.067978e-07,1.091170e-06,1.130155e-06,1.700461e-06,1.861380e-06,2.435357e-06,2.921445e-06,3.340410e-06,4.271967e-06,4.408247e-06,5.624196e-06,5.883729e-06,6.972176e-06,7.720298e-06,8.437289e-06,9.748588e-06,1.000602e-05,1.166564e-05,1.193878e-05,1.340370e-05,1.426217e-05,1.520773e-05,1.669002e-05,1.706518e-05,1.896352e-05,1.919347e-05,2.089035e-05,2.174407e-05,2.283364e-05,2.431446e-05,2.478190e-05,2.672434e-05,2.687918e-05,2.865100e-05,2.941519e-05,3.055284e-05,3.190224e-05,3.242181e-05,3.425087e-05,3.432311e-05,3.603396e-05,3.666361e-05,3.776601e-05,3.891248e-05,3.944285e-05,4.106116e-05,4.261843e-05,4.310355e-05,4.411282e-05,4.503565e-05,4.554312e-05,4.685532e-05,4.690870e-05,4.820938e-05,4.856196e-05,4.944539e-05,5.015619e-05,5.061733e-05,5.163967e-05,5.172607e-05,5.277274e-05,5.301484e-05,5.375865e-05,5.428477e-05,5.468529e-05,5.545296e-05,5.555425e-05,5.636722e-05,5.652326e-05,5.712599e-05,5.749973e-05,5.783236e-05,5.838654e-05,5.848814e-05,5.909519e-05,5.918792e-05,5.965535e-05,5.990811e-05,6.017045e-05,6.055131e-05,6.064231e-05,6.107272e-05,6.112167e-05,6.146343e-05,6.162321e-05,6.181616e-05,6.205986e-05,6.213258e-05,6.241434e-05,6.243544e-05,6.266303e-05,6.275359e-05,6.288019e-05,6.301786e-05,6.306731e-05,6.322585e-05,6.323161e-05,6.335720e-05,6.339810e-05,6.346272e-05,6.352040e-05,6.354373e-05,6.360146e-05,6.363715e-05,6.364411e-05,6.365195e-05,6.365099e-05,6.364700e-05,6.362465e-05,6.362336e-05,6.358208e-05,6.356749e-05,6.352414e-05,6.348179e-05,6.345051e-05,6.336970e-05,6.336210e-05,6.325979e-05,6.323326e-05,6.314442e-05,6.307440e-05,6.301678e-05,6.289494e-05,6.287766e-05,6.272778e-05,6.269658e-05,6.256786e-05,6.248095e-05,6.239856e-05,6.224958e-05,6.222053e-05,6.203438e-05,6.200388e-05,6.184069e-05,6.174521e-05,6.164003e-05,6.147484e-05,6.143293e-05,6.121989e-05,6.119395e-05,6.100140e-05,6.090365e-05,6.077791e-05,6.060499e-05,6.054987e-05,6.031770e-05,6.029896e-05,6.008178e-05,5.998645e-05,5.984250e-05,5.966833e-05,5.960021e-05,5.935526e-05,5.934541e-05,5.910796e-05,5.901842e-05,5.885862e-05,5.868805e-05,5.860753e-05,5.835497e-05,5.801976e-05,5.768300e-05,5.734520e-05,5.700684e-05,5.666838e-05,5.633021e-05,5.599273e-05,5.565629e-05,5.532121e-05,5.498779e-05,5.465629e-05,5.432698e-05,5.400008e-05,5.367579e-05,5.335430e-05,5.303579e-05,5.272040e-05,5.240827e-05,5.209953e-05,5.179429e-05,5.149264e-05,5.119466e-05,5.090043e-05,5.061002e-05
0.000000e+00,2.214376e-14,1.495523e-13,2.554694e-12,1.669731e-11,3.937101e-11,2.491678e-10,2.662398e-10,1.146855e-09,1.632531e-09,3.715331e-09,6.817957e-09,9.890387e-09,2.142892e-08,2.281002e-08,4.715769e-08,5.538391e-08,8.945579e-08,1.240990e-07,1.583066e-07,2.494220e-07,2.645622e-07,4.214025e-07,4.601635e-07,6.443038e-07,7.920905e-07,9.508862e-07,1.287297e-06,1.360642e-06,1.894559e-06,1.992969e-06,2.574667e-06,2.959666e-06,3.423533e-06,4.239306e-06,4.463718e-06,5.717246e-06,5.883016e-06,7.205076e-06,7.939013e-06,8.946604e-06,1.045062e-05,1.095922e-05,1.325791e-05,1.345454e-05,1.585490e-05,1.697939e-05,1.875942e-05,2.104459e-05,2.197746e-05,2.551169e-05,2.565963e-05,2.936132e-05,3.082370e-05,3.352217e-05,3.652562e-05,3.798672e-05,4.274421e-05,4.778086e-05,4.944891e-05,5.308008e-05,5.660063e-05,5.862272e-05,6.415285e-05,6.438741e-05,7.035085e-05,7.205288e-05,7.648818e-05,8.024322e-05,8.277330e-05,8.866296e-05,8.917924e-05,9.567850e-05,9.724913e-05,1.022434e-04,1.059381e-04,1.088463e-04,1.146667e-04,1.154600e-04,1.220581e-04,1.233736e-04,1.286150e-04,1.320000e-04,1.351061e-04,1.404908e-04,1.415083e-04,1.478000e-04,1.487950e-04,1.539610e-04,1.568664e-04,1.599729e-04,1.646637e-04,1.658189e-04,1.714841e-04,1.721511e-04,1.769554e-04,1.792983e-04,1.822213e-04,1.860801e-04,1.872723e-04,1.921003e-04,1.924767e-04,1.966991e-04,1.984734e-04,2.010641e-04,2.040601e-04,2.051918e-04,2.090806e-04,2.092312e-04,2.127298e-04,2.139850e-04,2.161403e-04,2.183238e-04,2.193136e-04,2.222527e-04,2.249612e-04,2.257799e-04,2.274436e-04,2.289160e-04,2.297050e-04,2.316735e-04,2.317513e-04,2.335888e-04,2.340667e-04,2.352241e-04,2.361112e-04,2.366643e-04,2.378235e-04,2.379169e-04,2.389895e-04,2.392209e-04,2.398896e-04,2.403213e-04,2.406252e-04,2.411426e-04,2.412040e-04,2.416340e-04,2.417028e-04,2.419228e-04,2.420198e-04,2.420782e-04,2.421112e-04,2.421078e-04,2.420190e-04,2.419943e-04,2.418190e-04,2.416856e-04,2.415148e-04,2.412012e-04,2.411134e-04,2.406214e-04,2.405566e-04,2.400451e-04,2.397665e-04,2.393908e-04,2.388448e-04,2.386642e-04,2.378711e-04,2.378049e-04,2.370168e-04,2.366592e-04,2.361066e-04,2.354193e-04,2.351453e-04,2.341375e-04,2.340963e-04,2.330878e-04,2.327004e-04,2.320003e-04,2.312412e-04,2.308789e-04,2.297274e-04,2.281673e-04,2.265685e-04,2.249377e-04,2.232814e-04,2.216055e-04,2.199151e-04,2.182152e-04,2.165101e-04,2.148038e-04,2.130999e-04,2.114015e-04,2.097116e-04,2.080327e-04,2.063671e-04,2.047169e-04,2.030837e-04,2.014693e-04,1.998748e-04,1.983016e-04,1.967505e-04,1.952225e-04,1.937183e-04,1.922384e-04,1.907833e-04
0.000000e+00,1.225340e-08,2.878868e-08,1.019611e-07,2.358332e-07,3.466529e-07,8.007920e-07,8.255009e-07,1.626331e-06,1.921829e-06,2.851442e-06,3.836671e-06,4.611437e-06,6.776104e-06,6.989986e-06,1.000281e-05,1.081650e-05,1.361171e-05,1.587450e-05,1.776770e-05,2.184475e-05,2.242976e-05,2.756385e-05,2.864451e-05,3.313796e-05,3.619939e-05,3.911860e-05,4.442981e-05,4.546914e-05,5.214943e-05,5.324602e-05,5.911622e-05,6.254876e-05,6.632407e-05,7.223259e-05,7.372636e-05,8.127648e-05,8.219024e-05,8.892880e-05,9.231685e-05,9.663963e-05,1.025136e-04,1.043679e-04,1.120758e-04,1.126905e-04,1.197289e-04,1.227678e-04,1.272965e-04,1.326769e-04,1.347516e-04,1.420707e-04,1.423604e-04,1.492342e-04,1.517717e-04,1.562255e-04,1.608742e-04,1.630311e-04,1.696401e-04,1.760444e-04,1.780495e-04,1.822378e-04,1.860889e-04,1.882161e-04,1.937500e-04,1.939762e-04,1.995167e-04,2.010286e-04,2.048374e-04,2.079246e-04,2.099391e-04,2.144407e-04,2.148235e-04,2.194931e-04,2.205822e-04,2.239513e-04,2.263573e-04,2.282027e-04,2.317761e-04,2.322513e-04,2.361015e-04,2.368481e-04,2.397579e-04,2.415841e-04,2.432252e-04,2.459951e-04,2.465083e-04,2.496122e-04,2.500926e-04,2.525421e-04,2.538881e-04,2.553030e-04,2.573935e-04,2.579001e-04,2.603383e-04,2.606204e-04,2.626226e-04,2.635803e-04,2.647582e-04,2.662848e-04,2.667499e-04,2.686027e-04,2.687451e-04,2.703213e-04,2.709723e-04,2.719105e-04,2.729772e-04,2.733749e-04,2.747189e-04,2.747703e-04,2.759471e-04,2.763617e-04,2.770638e-04,2.777616e-04,2.780732e-04,2.789794e-04,2.797865e-04,2.800245e-04,2.804984e-04,2.809059e-04,2.811190e-04,2.816322e-04,2.816519e-04,2.821008e-04,2.822119e-04,2.824691e-04,2.826529e-04,2.827604e-04,2.829631e-04,2.829779e-04,2.831248e-04,2.831499e-04,2.832042e-04,2.832203e-04,2.832191e-04,2.831813e-04,2.831726e-04,2.830674e-04,2.830395e-04,2.829062e-04,2.828012e-04,2.826917e-04,2.824723e-04,2.824265e-04,2.821131e-04,2.820586e-04,2.817538e-04,2.815657e-04,2.813509e-04,2.809988e-04,2.809068e-04,2.804235e-04,2.803630e-04,2.799031e-04,2.796629e-04,2.793477e-04,2.789033e-04,2.787592e-04,2.781394e-04,2.780885e-04,2.774901e-04,2.772226e-04,2.768132e-04,2.763095e-04,2.761101e-04,2.753826e-04,2.753531e-04,2.746322e-04,2.743568e-04,2.738604e-04,2.733241e-04,2.730686e-04,2.722582e-04,2.711621e-04,2.700388e-04,2.688910e-04,2.677212e-04,2.665320e-04,2.653257e-04,2.641044e-04,2.628703e-04,2.616252e-04,2.603711e-04,2.591096e-04,2.578424e-04,2.565711e-04,2.552971e-04,2.540217e-04,2.527463e-04,2.514719e-04,2.501998e-04,2.489309e-04,2.476663e-04,2.464068e-04,2.451532e-04,2.439064e-04,2.426671e-04
0.000000e+00,7.040126e-10,1.908039e-09,7.825093e-09,1.929780e-08,2.899298e-08,6.909810e-08,7.127918e-08,1.412926e-07,1.667257e-07,2.453060e-07,3.265548e-07,3.893604e-07,5.622893e-07,5.793079e-07,8.207310e-07,8.869071e-07,1.118625e-06,1.311583e-06,1.476723e-06,1.842921e-06,1.896539e-06,2.376618e-06,2.479530e-06,2.912695e-06,3.211617e-06,3.498735e-06,4.024758e-06,4.128094e-06,4.794235e-06,4.903813e-06,5.490978e-06,5.834567e-06,6.212517e-06,6.803902e-06,6.953362e-06,7.708309e-06,7.799614e-06,8.472432e-06,8.810345e-06,9.241087e-06,9.825620e-06,1.000994e-05,1.077501e-05,1.083594e-05,1.153265e-05,1.183289e-05,1.227961e-05,1.280918e-05,1.301302e-05,1.373038e-05,1.375871e-05,1.442959e-05,1.467650e-05,1.510886e-05,1.555863e-05,1.576675e-05,1.640213e-05,1.701415e-05,1.720496e-05,1.760220e-05,1.796579e-05,1.816590e-05,1.868397e-05,1.870506e-05,1.921967e-05,1.935938e-05,1.970986e-05,1.999235e-05,2.017588e-05,2.058357e-05,2.061808e-05,2.103691e-05,2.113401e-05,2.143289e-05,2.164486e-05,2.180658e-05,2.211747e-05,2.215859e-05,2.248957e-05,2.255330e-05,2.280019e-05,2.295389e-05,2.309113e-05,2.332082e-05,2.336309e-05,2.361676e-05,2.365569e-05,2.385283e-05,2.396010e-05,2.407200e-05,2.423563e-05,2.427496e-05,2.446236e-05,2.448384e-05,2.463488e-05,2.470624e-05,2.479316e-05,2.490432e-05,2.493783e-05,2.506950e-05,2.507949e-05,2.518877e-05,2.523314e-05,2.529622e-05,2.536658e-05,2.539241e-05,2.547787e-05,2.548108e-05,2.555314e-05,2.557784e-05,2.561872e-05,2.565802e-05,2.567509e-05,2.572273e-05,2.576208e-05,2.577300e-05,2.579359e-05,2.580983e-05,2.581767e-05,2.583416e-05,2.583471e-05,2.584512e-05,2.584689e-05,2.584925e-05,2.584886e-05,2.584746e-05,2.584087e-05,2.584009e-05,2.582746e-05,2.582368e-05,2.580989e-05,2.579800e-05,2.578767e-05,2.576450e-05,2.576109e-05,2.573043e-05,2.572383e-05,2.569593e-05,2.567656e-05,2.565786e-05,2.562328e-05,2.561644e-05,2.557191e-05,2.556451e-05,2.552448e-05,2.550075e-05,2.547436e-05,2.543246e-05,2.542174e-05,2.536682e-05,2.536008e-05,2.530976e-05,2.528402e-05,2.525074e-05,2.520468e-05,2.518993e-05,2.512747e-05,2.512241e-05,2.506351e-05,2.503754e-05,2.499819e-05,2.495040e-05,2.493165e-05,2.486400e-05,2.486128e-05,2.479537e-05,2.477045e-05,2.472587e-05,2.467817e-05,2.465560e-05,2.458468e-05,2.449020e-05,2.439494e-05,2.429909e-05,2.420283e-05,2.410633e-05,2.400973e-05,2.391318e-05,2.381681e-05,2.372074e-05,2.362507e-05,2.352991e-05,2.343536e-05,2.334149e-05,2.324838e-05,2.315611e-05,2.306474e-05,2.297431e-05,2.288490e-05,2.279653e-05,2.270926e-05,2.262312e-05,2.253814e-05,2.245434e-05,2.237176e-05
0.000000e+00,8.079773e-11,3.221744e-10,2.113306e-09,6.597530e-09,1.083629e-08,3.021790e-08,3.132298e-08,6.822028e-08,8.207626e-08,1.257421e-07,1.717576e-07,2.077028e-07,3.076522e-07,3.175395e-07,4.583119e-07,4.970036e-07,6.326563e-07,7.457603e-07,8.426608e-07,1.058024e-06,1.089631e-06,1.373786e-06,1.435008e-06,1.694059e-06,1.874159e-06,2.048177e-06,2.369516e-06,2.433008e-06,2.844972e-06,2.913154e-06,3.280317e-06,3.496480e-06,3.735274e-06,4.110856e-06,4.206121e-06,4.689222e-06,4.747849e-06,5.181059e-06,5.399362e-06,5.678269e-06,6.057778e-06,6.177672e-06,6.676312e-06,6.716087e-06,7.171475e-06,7.368009e-06,7.660713e-06,8.008065e-06,8.141854e-06,8.613004e-06,8.631619e-06,9.072545e-06,9.234868e-06,9.519120e-06,9.814813e-06,9.951626e-06,1.036919e-05,1.077115e-05,1.089640e-05,1.115703e-05,1.139541e-05,1.152654e-05,1.186572e-05,1.187952e-05,1.221595e-05,1.230719e-05,1.253591e-05,1.272006e-05,1.283959e-05,1.310481e-05,1.312724e-05,1.339918e-05,1.346215e-05,1.365579e-05,1.379294e-05,1.389746e-05,1.409814e-05,1.412466e-05,1.433783e-05,1.437883e-05,1.453746e-05,1.463608e-05,1.472404e-05,1.487105e-05,1.489807e-05,1.506003e-05,1.508485e-05,1.521041e-05,1.527863e-05,1.534972e-05,1.545350e-05,1.547841e-05,1.559696e-05,1.561053e-05,1.570583e-05,1.575078e-05,1.580546e-05,1.587527e-05,1.589629e-05,1.597873e-05,1.598498e-05,1.605319e-05,1.608083e-05,1.612006e-05,1.616371e-05,1.617971e-05,1.623251e-05,1.623448e-05,1.627881e-05,1.629395e-05,1.631894e-05,1.634287e-05,1.635322e-05,1.638196e-05,1.640547e-05,1.641193e-05,1.642401e-05,1.643340e-05,1.643787e-05,1.644700e-05,1.644729e-05,1.645253e-05,1.645329e-05,1.645383e-05,1.645281e-05,1.645141e-05,1.644608e-05,1.644549e-05,1.643626e-05,1.643358e-05,1.642394e-05,1.641576e-05,1.640870e-05,1.639303e-05,1.639073e-05,1.637020e-05,1.636580e-05,1.634726e-05,1.633443e-05,1.632207e-05,1.629928e-05,1.629478e-05,1.626553e-05,1.626068e-05,1.623445e-05,1.621893e-05,1.620168e-05,1.617431e-05,1.616732e-05,1.613149e-05,1.612710e-05,1.609431e-05,1.607755e-05,1.605588e-05,1.602589e-05,1.601629e-05,1.597563e-05,1.597234e-05,1.593401e-05,1.591711e-05,1.589150e-05,1.586038e-05,1.584817e-05,1.580412e-05,1.580234e-05,1.575940e-05,1.574315e-05,1.571409e-05,1.568297e-05,1.566825e-05,1.562194e-05,1.556020e-05,1.549786e-05,1.543505e-05,1.537188e-05,1.530843e-05,1.524481e-05,1.518110e-05,1.511739e-05,1.505373e-05,1.499021e-05,1.492688e-05,1.486379e-05,1.480102e-05,1.473859e-05,1.467655e-05,1.461496e-05,1.455383e-05,1.449322e-05,1.443313e-05,1.437361e-05,1.431468e-05,1.425637e-05,1.419868e-05,1.414163e-05
0.000000e+00,2.527800e-13,1.718763e-12,2.978674e-11,1.973741e-10,4.690418e-10,3.032245e-09,3.242929e-09,1.429571e-08,2.048593e-08,4.745090e-08,8.841380e-08,1.296051e-07,2.879160e-07,3.071581e-07,6.535174e-07,7.729700e-07,1.277246e-06,1.802221e-06,2.329910e-06,3.769267e-06,4.012293e-06,6.577878e-06,7.223034e-06,1.033308e-05,1.287242e-05,1.563442e-05,2.157463e-05,2.288290e-05,3.251645e-05,3.430996e-05,4.500071e-05,5.214724e-05,6.081895e-05,7.620347e-05,8.046138e-05,1.044144e-04,1.076011e-04,1.331502e-04,1.474257e-04,1.671167e-04,1.966858e-04,2.067281e-04,2.523574e-04,2.562778e-04,3.043285e-04,3.269549e-04,3.629109e-04,4.093044e-04,4.283149e-04,5.006887e-04,5.037300e-04,5.801162e-04,6.104426e-04,6.666169e-04,7.294572e-04,7.601459e-04,8.605963e-04,9.678015e-04,1.003499e-03,1.081539e-03,1.157634e-03,1.201533e-03,1.322317e-03,1.327464e-03,1.458968e-03,1.496734e-03,1.595646e-03,1.679958e-03,1.737067e-03,1.870974e-03,1.882778e-03,2.032305e-03,2.068705e-03,2.185160e-03,2.272028e-03,2.340848e-03,2.479801e-03,2.498871e-03,2.658729e-03,2.690878e-03,2.819932e-03,2.904128e-03,2.981996e-03,3.118451e-03,3.144451e-03,3.306843e-03,3.332790e-03,3.468736e-03,3.546144e-03,3.629714e-03,3.757573e-03,3.789384e-03,3.947377e-03,3.966207e-03,4.103347e-03,4.171250e-03,4.256974e-03,4.371982e-03,4.407965e-03,4.556050e-03,4.567764e-03,4.700988e-03,4.758032e-03,4.842561e-03,4.942301e-03,4.980576e-03,5.114867e-03,5.120159e-03,5.245287e-03,5.291267e-03,5.371715e-03,5.455353e-03,5.494050e-03,5.612211e-03,5.726137e-03,5.761692e-03,5.835785e-03,5.903702e-03,5.941129e-03,6.038199e-03,6.042157e-03,6.138875e-03,6.165185e-03,6.231299e-03,6.284704e-03,6.319459e-03,6.396834e-03,6.403395e-03,6.483159e-03,6.501687e-03,6.558809e-03,6.599402e-03,6.630415e-03,6.690141e-03,6.698050e-03,6.761796e-03,6.774086e-03,6.821738e-03,6.851436e-03,6.877969e-03,6.922404e-03,6.930583e-03,6.979679e-03,6.987214e-03,7.025355e-03,7.046096e-03,7.067717e-03,7.099288e-03,7.106866e-03,7.142909e-03,7.147031e-03,7.175951e-03,7.189566e-03,7.206097e-03,7.227136e-03,7.233452e-03,7.258122e-03,7.259982e-03,7.280209e-03,7.288344e-03,7.299816e-03,7.312455e-03,7.317045e-03,7.331994e-03,7.332546e-03,7.344761e-03,7.348842e-03,7.355443e-03,7.361562e-03,7.364132e-03,7.370920e-03,7.377121e-03,7.380363e-03,7.380839e-03,7.378732e-03,7.374218e-03,7.367468e-03,7.358639e-03,7.347889e-03,7.335362e-03,7.321198e-03,7.305529e-03,7.288482e-03,7.270175e-03,7.250720e-03,7.230224e-03,7.208787e-03,7.186503e-03,7.163461e-03,7.139744e-03,7.115431e-03,7.090595e-03,7.065306e-03,7.039628e-03,7.013621e-03
0.000000e+00,2.086488e-09,4.925132e-09,1.749650e-08,4.057538e-08,5.981100e-08,1.402204e-07,1.446716e-07,2.926800e-07,3.486457e-07,5.256004e-07,7.090593e-07,8.480136e-07,1.211589e-06,1.245839e-06,1.706039e-06,1.824890e-06,2.221434e-06,2.532476e-06,2.787589e-06,3.324662e-06,3.400548e-06,4.055878e-06,4.191584e-06,4.748377e-06,5.121215e-06,5.472087e-06,6.099319e-06,6.220424e-06,6.986451e-06,7.110185e-06,7.763120e-06,8.137664e-06,8.543533e-06,9.166145e-06,9.321146e-06,1.008994e-05,1.018134e-05,1.084454e-05,1.117083e-05,1.158028e-05,1.212440e-05,1.229326e-05,1.298031e-05,1.303407e-05,1.363898e-05,1.389409e-05,1.426750e-05,1.470066e-05,1.486465e-05,1.542979e-05,1.545172e-05,1.596269e-05,1.614666e-05,1.646352e-05,1.678600e-05,1.693276e-05,1.737113e-05,1.777955e-05,1.790409e-05,1.815908e-05,1.838736e-05,1.851089e-05,1.882369e-05,1.883621e-05,1.913630e-05,1.921598e-05,1.941246e-05,1.956720e-05,1.966596e-05,1.988026e-05,1.989807e-05,2.011002e-05,2.015802e-05,2.030300e-05,2.040321e-05,2.047815e-05,2.061842e-05,2.063659e-05,2.077935e-05,2.080611e-05,2.090743e-05,2.096854e-05,2.102177e-05,2.110786e-05,2.112327e-05,2.121277e-05,2.122603e-05,2.129106e-05,2.132487e-05,2.135887e-05,2.140606e-05,2.141692e-05,2.146585e-05,2.147114e-05,2.150628e-05,2.152153e-05,2.153878e-05,2.155852e-05,2.156390e-05,2.158214e-05,2.158331e-05,2.159396e-05,2.159700e-05,2.159982e-05,2.160057e-05,2.160012e-05,2.159525e-05,2.159495e-05,2.158558e-05,2.158098e-05,2.157143e-05,2.155942e-05,2.155314e-05,2.153099e-05,2.150526e-05,2.149631e-05,2.147621e-05,2.145599e-05,2.144409e-05,2.141057e-05,2.140912e-05,2.137151e-05,2.136054e-05,2.133147e-05,2.130636e-05,2.128919e-05,2.124845e-05,2.124483e-05,2.119856e-05,2.118719e-05,2.115054e-05,2.112294e-05,2.110091e-05,2.105602e-05,2.104981e-05,2.099736e-05,2.098672e-05,2.094369e-05,2.091533e-05,2.088890e-05,2.084209e-05,2.083310e-05,2.077639e-05,2.076724e-05,2.071887e-05,2.069099e-05,2.066061e-05,2.061353e-05,2.060170e-05,2.054222e-05,2.053505e-05,2.048224e-05,2.045571e-05,2.042183e-05,2.037567e-05,2.036105e-05,2.029996e-05,2.029506e-05,2.023861e-05,2.021402e-05,2.017707e-05,2.013266e-05,2.011538e-05,2.005358e-05,2.005110e-05,1.999172e-05,1.996944e-05,1.992984e-05,1.988777e-05,1.986798e-05,1.980617e-05,1.972472e-05,1.964351e-05,1.956258e-05,1.948201e-05,1.940185e-05,1.932215e-05,1.924295e-05,1.916430e-05,1.908624e-05,1.900880e-05,1.893202e-05,1.885592e-05,1.878053e-05,1.870587e-05,1.863196e-05,1.855883e-05,1.848648e-05,1.841494e-05,1.834421e-05,1.827431e-05,1.820524e-05,1.813702e-05,1.806965e-05,1.800314e-05
0.000000e+00,1.346785e-13,9.178272e-13,1.598380e-11,1.064085e-10,2.535523e-10,1.651469e-09,1.766786e-09,7.854268e-09,1.128325e-08,2.630996e-08,4.931205e-08,7.258291e-08,1.628532e-07,1.738932e-07,3.743093e-07,4.440104e-07,7.405848e-07,1.052374e-06,1.368129e-06,2.238193e-06,2.386113e-06,3.960744e-06,4.359778e-06,6.296223e-06,7.889908e-06,9.633290e-06,1.340987e-05,1.424570e-05,2.043502e-05,2.159299e-05,2.852420e-05,3.318050e-05,3.885040e-05,4.895299e-05,5.175737e-05,6.758778e-05,6.969988e-05,8.667570e-05,9.618915e-05,1.093396e-04,1.291391e-04,1.358758e-04,1.665526e-04,1.691929e-04,2.016057e-04,2.168980e-04,2.412335e-04,2.726889e-04,2.855946e-04,3.348051e-04,3.368756e-04,3.889374e-04,4.096367e-04,4.480196e-04,4.910167e-04,5.120361e-04,5.809284e-04,6.545965e-04,6.791574e-04,7.329020e-04,7.853718e-04,8.156699e-04,8.991326e-04,9.026923e-04,9.937314e-04,1.019907e-03,1.088523e-03,1.147082e-03,1.186782e-03,1.279980e-03,1.288202e-03,1.392464e-03,1.417873e-03,1.499236e-03,1.559999e-03,1.608179e-03,1.705573e-03,1.718951e-03,1.831205e-03,1.853804e-03,1.944601e-03,2.003904e-03,2.058798e-03,2.155100e-03,2.173465e-03,2.288280e-03,2.306643e-03,2.402930e-03,2.457815e-03,2.517117e-03,2.607940e-03,2.630554e-03,2.742973e-03,2.756382e-03,2.854117e-03,2.902555e-03,2.963750e-03,3.045923e-03,3.071650e-03,3.177615e-03,3.186003e-03,3.281458e-03,3.322363e-03,3.383011e-03,3.454625e-03,3.482122e-03,3.578658e-03,3.582465e-03,3.672501e-03,3.705605e-03,3.763549e-03,3.823821e-03,3.851716e-03,3.936930e-03,4.019134e-03,4.044796e-03,4.098284e-03,4.147322e-03,4.174349e-03,4.244451e-03,4.247310e-03,4.317158e-03,4.336157e-03,4.383895e-03,4.422449e-03,4.447534e-03,4.503361e-03,4.508093e-03,4.565602e-03,4.578954e-03,4.620096e-03,4.649312e-03,4.671618e-03,4.714535e-03,4.720214e-03,4.765939e-03,4.774745e-03,4.808851e-03,4.830073e-03,4.849011e-03,4.880666e-03,4.886484e-03,4.921340e-03,4.926678e-03,4.953648e-03,4.968272e-03,4.983481e-03,5.005616e-03,5.010915e-03,5.036023e-03,5.038884e-03,5.058883e-03,5.068249e-03,5.079571e-03,5.093889e-03,5.098164e-03,5.114739e-03,5.115980e-03,5.129372e-03,5.134699e-03,5.142139e-03,5.150218e-03,5.153115e-03,5.162374e-03,5.162710e-03,5.169988e-03,5.172341e-03,5.176030e-03,5.179276e-03,5.180570e-03,5.183676e-03,5.185693e-03,5.185479e-03,5.183179e-03,5.178930e-03,5.172867e-03,5.165118e-03,5.155806e-03,5.145046e-03,5.132951e-03,5.119625e-03,5.105171e-03,5.089682e-03,5.073249e-03,5.055957e-03,5.037887e-03,5.019113e-03,4.999709e-03,4.979739e-03,4.959269e-03,4.938355e-03,4.917055e-03,4.895418e-03,4.873495e-03,4.851330e-03
0.000000e+00,7.300859e-09,1.680142e-08,5.808323e-08,1.325064e-07,1.935663e-07,4.407637e-07,4.541055e-07,8.820606e-07,1.038146e-06,1.524443e-06,2.034608e-06,2.434236e-06,3.556734e-06,3.668801e-06,5.282962e-06,5.731674e-06,7.314560e-06,8.637181e-06,9.765402e-06,1.223482e-05,1.259134e-05,1.571455e-05,1.636718e-05,1.904901e-05,2.084071e-05,2.251922e-05,2.549506e-05,2.606558e-05,2.964249e-05,3.021516e-05,3.321466e-05,3.491917e-05,3.675408e-05,3.954664e-05,4.023805e-05,4.364793e-05,4.405138e-05,4.696848e-05,4.839793e-05,5.018731e-05,5.255949e-05,5.329464e-05,5.628294e-05,5.651669e-05,5.914673e-05,6.025649e-05,6.188228e-05,6.377122e-05,6.448745e-05,6.696140e-05,6.705763e-05,6.930439e-05,7.011602e-05,7.151763e-05,7.294950e-05,7.360308e-05,7.556333e-05,7.740142e-05,7.796436e-05,7.912078e-05,8.016056e-05,8.072511e-05,8.216067e-05,8.221831e-05,8.360439e-05,8.397386e-05,8.488746e-05,8.560956e-05,8.607163e-05,8.707729e-05,8.716105e-05,8.815981e-05,8.838647e-05,8.907194e-05,8.954638e-05,8.990141e-05,9.056606e-05,9.065211e-05,9.132782e-05,9.145428e-05,9.193221e-05,9.221950e-05,9.246886e-05,9.286984e-05,9.294124e-05,9.335267e-05,9.341306e-05,9.370638e-05,9.385658e-05,9.400549e-05,9.420748e-05,9.425299e-05,9.445175e-05,9.447246e-05,9.460453e-05,9.465788e-05,9.471399e-05,9.476977e-05,9.478267e-05,9.481300e-05,9.481384e-05,9.480731e-05,9.479545e-05,9.476783e-05,9.471969e-05,9.469671e-05,9.459596e-05,9.459134e-05,9.446753e-05,9.441488e-05,9.431328e-05,9.419455e-05,9.413498e-05,9.393432e-05,9.371288e-05,9.363789e-05,9.347221e-05,9.330876e-05,9.321376e-05,9.295020e-05,9.293890e-05,9.264895e-05,9.256524e-05,9.234516e-05,9.215673e-05,9.202871e-05,9.172735e-05,9.170071e-05,9.136223e-05,9.127955e-05,9.101429e-05,9.081566e-05,9.065783e-05,9.033781e-05,9.029375e-05,8.992291e-05,8.984800e-05,8.954611e-05,8.934807e-05,8.916411e-05,8.883975e-05,8.877764e-05,8.838736e-05,8.832461e-05,8.799392e-05,8.780412e-05,8.759791e-05,8.727963e-05,8.719990e-05,8.680042e-05,8.675240e-05,8.639996e-05,8.622357e-05,8.599899e-05,8.569419e-05,8.559796e-05,8.519726e-05,8.516523e-05,8.479728e-05,8.463758e-05,8.439838e-05,8.411203e-05,8.400090e-05,8.360513e-05,8.358934e-05,8.321137e-05,8.307015e-05,8.281988e-05,8.255509e-05,8.243091e-05,8.204470e-05,8.153946e-05,8.103982e-05,8.054617e-05,8.005885e-05,7.957819e-05,7.910443e-05,7.863783e-05,7.817858e-05,7.772685e-05,7.728278e-05,7.684649e-05,7.641808e-05,7.599760e-05,7.558512e-05,7.518066e-05,7.478424e-05,7.439586e-05,7.401549e-05,7.364312e-05,7.327870e-05,7.292217e-05,7.257349e-05,7.223257e-05,7.189935e-05
0.000000e+00,4.004507e-09,9.824802e-09,3.639833e-08,8.603902e-08,1.276063e-07,3.006984e-07,3.102196e-07,6.234043e-07,7.409180e-07,1.116100e-06,1.521039e-06,1.843464e-06,2.755240e-06,2.845746e-06,4.116553e-06,4.456435e-06,5.607075e-06,6.517119e-06,7.263420e-06,8.825815e-06,9.045232e-06,1.092386e-05,1.130918e-05,1.287709e-05,1.391584e-05,1.488584e-05,1.660339e-05,1.693279e-05,1.900191e-05,1.933403e-05,2.107847e-05,2.207390e-05,2.314916e-05,2.479353e-05,2.520222e-05,2.722748e-05,2.746822e-05,2.921634e-05,3.007804e-05,3.116172e-05,3.260756e-05,3.305790e-05,3.490042e-05,3.504540e-05,3.668591e-05,3.738356e-05,3.841193e-05,3.961689e-05,4.007684e-05,4.167967e-05,4.174248e-05,4.322000e-05,4.375921e-05,4.469786e-05,4.566731e-05,4.611364e-05,4.746803e-05,4.876195e-05,4.916340e-05,4.999649e-05,5.075600e-05,5.117290e-05,5.224882e-05,5.229253e-05,5.335680e-05,5.364508e-05,5.436721e-05,5.494824e-05,5.532529e-05,5.616186e-05,5.623262e-05,5.709078e-05,5.728959e-05,5.790134e-05,5.833504e-05,5.866586e-05,5.930180e-05,5.938591e-05,6.006302e-05,6.019342e-05,6.069872e-05,6.101341e-05,6.129450e-05,6.176520e-05,6.185185e-05,6.237219e-05,6.245210e-05,6.285693e-05,6.307737e-05,6.330746e-05,6.364416e-05,6.372512e-05,6.411122e-05,6.415549e-05,6.446704e-05,6.461432e-05,6.479381e-05,6.502347e-05,6.509274e-05,6.536500e-05,6.538566e-05,6.561173e-05,6.570351e-05,6.583402e-05,6.597955e-05,6.603295e-05,6.620955e-05,6.621616e-05,6.636481e-05,6.641567e-05,6.649970e-05,6.658027e-05,6.661516e-05,6.671208e-05,6.679134e-05,6.681311e-05,6.685377e-05,6.688528e-05,6.690019e-05,6.693042e-05,6.693139e-05,6.694810e-05,6.695029e-05,6.695106e-05,6.694653e-05,6.694097e-05,6.692074e-05,6.691850e-05,6.688430e-05,6.687441e-05,6.683898e-05,6.680898e-05,6.678316e-05,6.672580e-05,6.671740e-05,6.664226e-05,6.662615e-05,6.655826e-05,6.651126e-05,6.646593e-05,6.638228e-05,6.636574e-05,6.625817e-05,6.624030e-05,6.614367e-05,6.608638e-05,6.602267e-05,6.592148e-05,6.589559e-05,6.576282e-05,6.574653e-05,6.562475e-05,6.556241e-05,6.548173e-05,6.536995e-05,6.533412e-05,6.518225e-05,6.516992e-05,6.502643e-05,6.496307e-05,6.486698e-05,6.475009e-05,6.470419e-05,6.453833e-05,6.453164e-05,6.436967e-05,6.430832e-05,6.419847e-05,6.408072e-05,6.402496e-05,6.384938e-05,6.361482e-05,6.337751e-05,6.313790e-05,6.289642e-05,6.265347e-05,6.240940e-05,6.216456e-05,6.191929e-05,6.167387e-05,6.142859e-05,6.118370e-05,6.093946e-05,6.069608e-05,6.045377e-05,6.021272e-05,5.997312e-05,5.973512e-05,5.949887e-05,5.926452e-05,5.903219e-05,5.880199e-05,5.857403e-05,5.834840e-05,5.812520e-05
0.000000e+00,2.153707e-09,4.937367e-09,1.693072e-08,3.832179e-08,5.572532e-08,1.252755e-07,1.289961e-07,2.470081e-07,2.895177e-07,4.205639e-07,5.562094e-07,6.613987e-07,9.526904e-07,9.814620e-07,1.389880e-06,1.501421e-06,1.888056e-06,2.203414e-06,2.467550e-06,3.033320e-06,3.113898e-06,3.812010e-06,3.956653e-06,4.548832e-06,4.943623e-06,5.313584e-06,5.970890e-06,6.097199e-06,6.891772e-06,7.019437e-06,7.690196e-06,8.072884e-06,8.485994e-06,9.116748e-06,9.273251e-06,1.004663e-05,1.013827e-05,1.080139e-05,1.112650e-05,1.153340e-05,1.207237e-05,1.223922e-05,1.291600e-05,1.296881e-05,1.356154e-05,1.381063e-05,1.417423e-05,1.459441e-05,1.475300e-05,1.529730e-05,1.531836e-05,1.580703e-05,1.598210e-05,1.628238e-05,1.658624e-05,1.672388e-05,1.713234e-05,1.750877e-05,1.762265e-05,1.785433e-05,1.805988e-05,1.817031e-05,1.844707e-05,1.845805e-05,1.871897e-05,1.878742e-05,1.895449e-05,1.908421e-05,1.916605e-05,1.934073e-05,1.935506e-05,1.952290e-05,1.956019e-05,1.967093e-05,1.974566e-05,1.980044e-05,1.990009e-05,1.991268e-05,2.000885e-05,2.002625e-05,2.009006e-05,2.012675e-05,2.015740e-05,2.020399e-05,2.021189e-05,2.025446e-05,2.026023e-05,2.028604e-05,2.029753e-05,2.030745e-05,2.031779e-05,2.031949e-05,2.032289e-05,2.032275e-05,2.031835e-05,2.031400e-05,2.030651e-05,2.029300e-05,2.028798e-05,2.026330e-05,2.026108e-05,2.023302e-05,2.021944e-05,2.019760e-05,2.016917e-05,2.015750e-05,2.011314e-05,2.011129e-05,2.006492e-05,2.004668e-05,2.001318e-05,1.997617e-05,1.995828e-05,1.990051e-05,1.984018e-05,1.982038e-05,1.977755e-05,1.973637e-05,1.971286e-05,1.964904e-05,1.964635e-05,1.957824e-05,1.955891e-05,1.950872e-05,1.946641e-05,1.943797e-05,1.937195e-05,1.936617e-05,1.929347e-05,1.927591e-05,1.922002e-05,1.917862e-05,1.914596e-05,1.908037e-05,1.907140e-05,1.899647e-05,1.898145e-05,1.892127e-05,1.888209e-05,1.884589e-05,1.878252e-05,1.877044e-05,1.869499e-05,1.868292e-05,1.861962e-05,1.858349e-05,1.854440e-05,1.848437e-05,1.846939e-05,1.839466e-05,1.838572e-05,1.832026e-05,1.828765e-05,1.824625e-05,1.819028e-05,1.817266e-05,1.809953e-05,1.809371e-05,1.802692e-05,1.799803e-05,1.795485e-05,1.790331e-05,1.788335e-05,1.781246e-05,1.780964e-05,1.774220e-05,1.771706e-05,1.767259e-05,1.762563e-05,1.760365e-05,1.753540e-05,1.744641e-05,1.735869e-05,1.727226e-05,1.718715e-05,1.710338e-05,1.702097e-05,1.693992e-05,1.686024e-05,1.678194e-05,1.670502e-05,1.662947e-05,1.655531e-05,1.648252e-05,1.641109e-05,1.634102e-05,1.627230e-05,1.620492e-05,1.613886e-05,1.607411e-05,1.601066e-05,1.594850e-05,1.588760e-05,1.582796e-05,1.576955e-05
0.000000e+00,4.815476e-09,1.134157e-08,4.036466e-08,9.397290e-08,1.388207e-07,3.267680e-07,3.371757e-07,6.835768e-07,8.154394e-07,1.242310e-06,1.711579e-06,2.090598e-06,3.184342e-06,3.294510e-06,4.867127e-06,5.294685e-06,6.757989e-06,7.927852e-06,8.892604e-06,1.092180e-05,1.120745e-05,1.365694e-05,1.415997e-05,1.620851e-05,1.756716e-05,1.883710e-05,2.108930e-05,2.152186e-05,2.424438e-05,2.468236e-05,2.698801e-05,2.830795e-05,2.973761e-05,3.193235e-05,3.247950e-05,3.520156e-05,3.552635e-05,3.789312e-05,3.906534e-05,4.054507e-05,4.252933e-05,4.314980e-05,4.570108e-05,4.590272e-05,4.819388e-05,4.917371e-05,5.062428e-05,5.233384e-05,5.298933e-05,5.528697e-05,5.537746e-05,5.751581e-05,5.830114e-05,5.967490e-05,6.110305e-05,6.176391e-05,6.378289e-05,6.573227e-05,6.634148e-05,6.761274e-05,6.878048e-05,6.942519e-05,7.110215e-05,7.117070e-05,7.285048e-05,7.330921e-05,7.446583e-05,7.540470e-05,7.601816e-05,7.739190e-05,7.750893e-05,7.893963e-05,7.927422e-05,8.031179e-05,8.105520e-05,8.162695e-05,8.273840e-05,8.288669e-05,8.409255e-05,8.432739e-05,8.524608e-05,8.582575e-05,8.634882e-05,8.723699e-05,8.740230e-05,8.840802e-05,8.856460e-05,8.936746e-05,8.981199e-05,9.028210e-05,9.098250e-05,9.115335e-05,9.198263e-05,9.207939e-05,9.277133e-05,9.310584e-05,9.352078e-05,9.406492e-05,9.423230e-05,9.490719e-05,9.495964e-05,9.554671e-05,9.579289e-05,9.615208e-05,9.656747e-05,9.672450e-05,9.726513e-05,9.728611e-05,9.777511e-05,9.795141e-05,9.825554e-05,9.856590e-05,9.870749e-05,9.913201e-05,9.953012e-05,9.965210e-05,9.990279e-05,1.001284e-04,1.002510e-04,1.005631e-04,1.005756e-04,1.008776e-04,1.009582e-04,1.011578e-04,1.013159e-04,1.014171e-04,1.016379e-04,1.016563e-04,1.018762e-04,1.019261e-04,1.020775e-04,1.021824e-04,1.022610e-04,1.024083e-04,1.024274e-04,1.025774e-04,1.026055e-04,1.027117e-04,1.027756e-04,1.028310e-04,1.029200e-04,1.029358e-04,1.030269e-04,1.030402e-04,1.031046e-04,1.031375e-04,1.031698e-04,1.032132e-04,1.032228e-04,1.032643e-04,1.032685e-04,1.032947e-04,1.033047e-04,1.033145e-04,1.033229e-04,1.033243e-04,1.033244e-04,1.033241e-04,1.033154e-04,1.033093e-04,1.032976e-04,1.032797e-04,1.032715e-04,1.032375e-04,1.032360e-04,1.031959e-04,1.031792e-04,1.031472e-04,1.031101e-04,1.030916e-04,1.030296e-04,1.029384e-04,1.028373e-04,1.027269e-04,1.026079e-04,1.024810e-04,1.023467e-04,1.022056e-04,1.020582e-04,1.019051e-04,1.017468e-04,1.015837e-04,1.014163e-04,1.012449e-04,1.010700e-04,1.008919e-04,1.007110e-04,1.005277e-04,1.003422e-04,1.001548e-04,9.996580e-05,9.977551e-05,9.958416e-05,9.939198e-05,9.919919e-05
0.000000e+00,2.806156e-09,7.913221e-09,3.386425e-08,8.530364e-08,1.293097e-07,3.145449e-07,3.247418e-07,6.578059e-07,7.813516e-07,1.170874e-06,1.584963e-06,1.912106e-06,2.839009e-06,2.931933e-06,4.270673e-06,4.641460e-06,5.939017e-06,7.008175e-06,7.909224e-06,9.852161e-06,1.013008e-05,1.254860e-05,1.305193e-05,1.512022e-05,1.650585e-05,1.780927e-05,2.013722e-05,2.058640e-05,2.342639e-05,2.388509e-05,2.630680e-05,2.769774e-05,2.920738e-05,3.152998e-05,3.210979e-05,3.499757e-05,3.534241e-05,3.785618e-05,3.910140e-05,4.067295e-05,4.277898e-05,4.343706e-05,4.613949e-05,4.635278e-05,4.877264e-05,4.980514e-05,5.133063e-05,5.312320e-05,5.380883e-05,5.620383e-05,5.629787e-05,5.851329e-05,5.932344e-05,6.073569e-05,6.219677e-05,6.287025e-05,6.491684e-05,6.687583e-05,6.748433e-05,6.874803e-05,6.990121e-05,7.053459e-05,7.217042e-05,7.223692e-05,7.385667e-05,7.429565e-05,7.539566e-05,7.628109e-05,7.685583e-05,7.813132e-05,7.823921e-05,7.954792e-05,7.985114e-05,8.078412e-05,8.144553e-05,8.194998e-05,8.291952e-05,8.304772e-05,8.407952e-05,8.427817e-05,8.504759e-05,8.552651e-05,8.595408e-05,8.666953e-05,8.680115e-05,8.759092e-05,8.771210e-05,8.832546e-05,8.865902e-05,8.900681e-05,8.951494e-05,8.963698e-05,9.021792e-05,9.028441e-05,9.075154e-05,9.097182e-05,9.123971e-05,9.158143e-05,9.168423e-05,9.208689e-05,9.211734e-05,9.244939e-05,9.258352e-05,9.277340e-05,9.298377e-05,9.306055e-05,9.331241e-05,9.332177e-05,9.353050e-05,9.360103e-05,9.371629e-05,9.382492e-05,9.387122e-05,9.399668e-05,9.409399e-05,9.411940e-05,9.416445e-05,9.419603e-05,9.420931e-05,9.422941e-05,9.422977e-05,9.422701e-05,9.422222e-05,9.420213e-05,9.417705e-05,9.415624e-05,9.409634e-05,9.409036e-05,9.400552e-05,9.398244e-05,9.390266e-05,9.383755e-05,9.378274e-05,9.366381e-05,9.364665e-05,9.349525e-05,9.346321e-05,9.332938e-05,9.323767e-05,9.314983e-05,9.298901e-05,9.295738e-05,9.275276e-05,9.271894e-05,9.253668e-05,9.242910e-05,9.230983e-05,9.212103e-05,9.207286e-05,9.182639e-05,9.179621e-05,9.157104e-05,9.145601e-05,9.130737e-05,9.110176e-05,9.103594e-05,9.075728e-05,9.073469e-05,9.047190e-05,9.035598e-05,9.018030e-05,8.996674e-05,8.988292e-05,8.958023e-05,8.956802e-05,8.927264e-05,8.916079e-05,8.896058e-05,8.874601e-05,8.864441e-05,8.832454e-05,8.789720e-05,8.746478e-05,8.702802e-05,8.658758e-05,8.614413e-05,8.569827e-05,8.525056e-05,8.480154e-05,8.435170e-05,8.390151e-05,8.345141e-05,8.300179e-05,8.255305e-05,8.210552e-05,8.165954e-05,8.121541e-05,8.077340e-05,8.033379e-05,7.989681e-05,7.946269e-05,7.903162e-05,7.860379e-05,7.817938e-05,7.775854e-05
0.000000e+00,2.126980e-09,4.890884e-09,1.686893e-08,3.838599e-08,5.598893e-08,1.269326e-07,1.307497e-07,2.526920e-07,2.969635e-07,4.343256e-07,5.776189e-07,6.893337e-07,1.000622e-06,1.031486e-06,1.471123e-06,1.591557e-06,2.009767e-06,2.351418e-06,2.637751e-06,3.251137e-06,3.338476e-06,4.094695e-06,4.251249e-06,4.891673e-06,5.318146e-06,5.717445e-06,6.426080e-06,6.562143e-06,7.417344e-06,7.554645e-06,8.275673e-06,8.686836e-06,9.130604e-06,9.808210e-06,9.976381e-06,1.080797e-05,1.090659e-05,1.162105e-05,1.197200e-05,1.241205e-05,1.299660e-05,1.317802e-05,1.391670e-05,1.397456e-05,1.462637e-05,1.490184e-05,1.530585e-05,1.577596e-05,1.595442e-05,1.657174e-05,1.659578e-05,1.715781e-05,1.736119e-05,1.771290e-05,1.807290e-05,1.823749e-05,1.873227e-05,1.919803e-05,1.934109e-05,1.963568e-05,1.990147e-05,2.004619e-05,2.041570e-05,2.043059e-05,2.078993e-05,2.088620e-05,2.112528e-05,2.131542e-05,2.143771e-05,2.170579e-05,2.172826e-05,2.199798e-05,2.205973e-05,2.224788e-05,2.237954e-05,2.247896e-05,2.266749e-05,2.269216e-05,2.288841e-05,2.292571e-05,2.306860e-05,2.315624e-05,2.323358e-05,2.336101e-05,2.338417e-05,2.352114e-05,2.354184e-05,2.364525e-05,2.370046e-05,2.375721e-05,2.383849e-05,2.385770e-05,2.394736e-05,2.395742e-05,2.402681e-05,2.405869e-05,2.409664e-05,2.414361e-05,2.415740e-05,2.420962e-05,2.421344e-05,2.425380e-05,2.426933e-05,2.429042e-05,2.431235e-05,2.431992e-05,2.434275e-05,2.434353e-05,2.435929e-05,2.436379e-05,2.436995e-05,2.437401e-05,2.437507e-05,2.437502e-05,2.437011e-05,2.436756e-05,2.436065e-05,2.435235e-05,2.434694e-05,2.433003e-05,2.432925e-05,2.430785e-05,2.430123e-05,2.428299e-05,2.426651e-05,2.425490e-05,2.422639e-05,2.422380e-05,2.418990e-05,2.418137e-05,2.415341e-05,2.413191e-05,2.411451e-05,2.407842e-05,2.407337e-05,2.403017e-05,2.402130e-05,2.398507e-05,2.396092e-05,2.393822e-05,2.389760e-05,2.388975e-05,2.383980e-05,2.383168e-05,2.378850e-05,2.376343e-05,2.373597e-05,2.369313e-05,2.368231e-05,2.362765e-05,2.362103e-05,2.357207e-05,2.354735e-05,2.351567e-05,2.347232e-05,2.345855e-05,2.340078e-05,2.339613e-05,2.334245e-05,2.331897e-05,2.328362e-05,2.324101e-05,2.322438e-05,2.316479e-05,2.316240e-05,2.310490e-05,2.308329e-05,2.304479e-05,2.300381e-05,2.298450e-05,2.292409e-05,2.284424e-05,2.276436e-05,2.268456e-05,2.260492e-05,2.252552e-05,2.244645e-05,2.236775e-05,2.228951e-05,2.221177e-05,2.213459e-05,2.205801e-05,2.198209e-05,2.190685e-05,2.183233e-05,2.175857e-05,2.168559e-05,2.161342e-05,2.154208e-05,2.147158e-05,2.140196e-05,2.133321e-05,2.126536e-05,2.119841e-05,2.113238e-05
0.000000e+00,3.735257e-13,2.393182e-12,3.662403e-11,2.164051e-10,4.826817e-10,2.645268e-09,2.810003e-09,1.049504e-08,1.437372e-08,2.970275e-08,5.045263e-08,6.962295e-08,1.351140e-07,1.424936e-07,2.632714e-07,3.012301e-07,4.487089e-07,5.871466e-07,7.156936e-07,1.030065e-06,1.079196e-06,1.550493e-06,1.658351e-06,2.136121e-06,2.486536e-06,2.837627e-06,3.514312e-06,3.651934e-06,4.572041e-06,4.728438e-06,5.587851e-06,6.105865e-06,6.686986e-06,7.616975e-06,7.855537e-06,9.078710e-06,9.228443e-06,1.034139e-05,1.090561e-05,1.162861e-05,1.261441e-05,1.292596e-05,1.421993e-05,1.432292e-05,1.549813e-05,1.600248e-05,1.674954e-05,1.762853e-05,1.796459e-05,1.913523e-05,1.918104e-05,2.025497e-05,2.064460e-05,2.131878e-05,2.200833e-05,2.232305e-05,2.326544e-05,2.414478e-05,2.441280e-05,2.496088e-05,2.545028e-05,2.571442e-05,2.638020e-05,2.640675e-05,2.703980e-05,2.720674e-05,2.761592e-05,2.793536e-05,2.813777e-05,2.857241e-05,2.860822e-05,2.903026e-05,2.912469e-05,2.940695e-05,2.959923e-05,2.974135e-05,3.000301e-05,3.003644e-05,3.029512e-05,3.034273e-05,3.052017e-05,3.062480e-05,3.071426e-05,3.085520e-05,3.087989e-05,3.101943e-05,3.103948e-05,3.113509e-05,3.118273e-05,3.122892e-05,3.128956e-05,3.130283e-05,3.135856e-05,3.136410e-05,3.139773e-05,3.141012e-05,3.142186e-05,3.143098e-05,3.143231e-05,3.143035e-05,3.142970e-05,3.141713e-05,3.140893e-05,3.139370e-05,3.137105e-05,3.136103e-05,3.131999e-05,3.131819e-05,3.127140e-05,3.125220e-05,3.121600e-05,3.117478e-05,3.115446e-05,3.108740e-05,3.101538e-05,3.099137e-05,3.093892e-05,3.088787e-05,3.085849e-05,3.077795e-05,3.077453e-05,3.068742e-05,3.066252e-05,3.059754e-05,3.054241e-05,3.050521e-05,3.041837e-05,3.041074e-05,3.031441e-05,3.029104e-05,3.021647e-05,3.016101e-05,3.011717e-05,3.002882e-05,3.001671e-05,2.991529e-05,2.989491e-05,2.981311e-05,2.975972e-05,2.971032e-05,2.962362e-05,2.960708e-05,2.950353e-05,2.948694e-05,2.939980e-05,2.934999e-05,2.929602e-05,2.921302e-05,2.919229e-05,2.908870e-05,2.907629e-05,2.898537e-05,2.894000e-05,2.888236e-05,2.880435e-05,2.877976e-05,2.867765e-05,2.866950e-05,2.857608e-05,2.853562e-05,2.847511e-05,2.840283e-05,2.837481e-05,2.827522e-05,2.827125e-05,2.817639e-05,2.814100e-05,2.807836e-05,2.801217e-05,2.798116e-05,2.788483e-05,2.775907e-05,2.763493e-05,2.751248e-05,2.739176e-05,2.727282e-05,2.715568e-05,2.704037e-05,2.692691e-05,2.681533e-05,2.670562e-05,2.659781e-05,2.649189e-05,2.638787e-05,2.628575e-05,2.618551e-05,2.608716e-05,2.599068e-05,2.589607e-05,2.580330e-05,2.571237e-05,2.562326e-05,2.553595e-05,2.545042e-05,2.536666e-05
0.000000e+00,7.389252e-13,4.539897e-12,6.378776e-11,3.492894e-10,7.477308e-10,3.694093e-09,3.907900e-09,1.321253e-08,1.762179e-08,3.409683e-08,5.496341e-08,7.333143e-08,1.321180e-07,1.384659e-07,2.373139e-07,2.669131e-07,3.775349e-07,4.768277e-07,5.662829e-07,7.775452e-07,8.098470e-07,1.113225e-06,1.181400e-06,1.479671e-06,1.695625e-06,1.910365e-06,2.321158e-06,2.404352e-06,2.958751e-06,3.052783e-06,3.569130e-06,3.880398e-06,4.229935e-06,4.790671e-06,4.934870e-06,5.677216e-06,5.768484e-06,6.450078e-06,6.798030e-06,7.246583e-06,7.863605e-06,8.060029e-06,8.884015e-06,8.950206e-06,9.712539e-06,1.004396e-05,1.054008e-05,1.113246e-05,1.136163e-05,1.217275e-05,1.220492e-05,1.296959e-05,1.325230e-05,1.374883e-05,1.426724e-05,1.450772e-05,1.524402e-05,1.595595e-05,1.617839e-05,1.664217e-05,1.706740e-05,1.730173e-05,1.790923e-05,1.793399e-05,1.853863e-05,1.870296e-05,1.911556e-05,1.944846e-05,1.966491e-05,2.014620e-05,2.018697e-05,2.068219e-05,2.079710e-05,2.115111e-05,2.140247e-05,2.159439e-05,2.196383e-05,2.201274e-05,2.240692e-05,2.248293e-05,2.277773e-05,2.296159e-05,2.312600e-05,2.340174e-05,2.345256e-05,2.375825e-05,2.380529e-05,2.404393e-05,2.417418e-05,2.431040e-05,2.451032e-05,2.455851e-05,2.478905e-05,2.481558e-05,2.500282e-05,2.509176e-05,2.520057e-05,2.534061e-05,2.538305e-05,2.555099e-05,2.556381e-05,2.570507e-05,2.576298e-05,2.584598e-05,2.593965e-05,2.597437e-05,2.609085e-05,2.609527e-05,2.619604e-05,2.623125e-05,2.629051e-05,2.634890e-05,2.637480e-05,2.644947e-05,2.651501e-05,2.653414e-05,2.657192e-05,2.660402e-05,2.662065e-05,2.666017e-05,2.666166e-05,2.669538e-05,2.670357e-05,2.672222e-05,2.673517e-05,2.674255e-05,2.675584e-05,2.675676e-05,2.676520e-05,2.676641e-05,2.676822e-05,2.676765e-05,2.676612e-05,2.676030e-05,2.675923e-05,2.674783e-05,2.674504e-05,2.673221e-05,2.672251e-05,2.671263e-05,2.669331e-05,2.668934e-05,2.666259e-05,2.665800e-05,2.663260e-05,2.661713e-05,2.659960e-05,2.657117e-05,2.656379e-05,2.652537e-05,2.652059e-05,2.648452e-05,2.646583e-05,2.644143e-05,2.640728e-05,2.639626e-05,2.634918e-05,2.634533e-05,2.630033e-05,2.628033e-05,2.624986e-05,2.621260e-05,2.619792e-05,2.614461e-05,2.614246e-05,2.609008e-05,2.607017e-05,2.603444e-05,2.599602e-05,2.597779e-05,2.592025e-05,2.584309e-05,2.576474e-05,2.568542e-05,2.560529e-05,2.552454e-05,2.544332e-05,2.536178e-05,2.528004e-05,2.519824e-05,2.511649e-05,2.503490e-05,2.495355e-05,2.487255e-05,2.479196e-05,2.471188e-05,2.463235e-05,2.455345e-05,2.447524e-05,2.439775e-05,2.432105e-05,2.424516e-05,2.417013e-05,2.409600e-05,2.402277e-05
0.000000e+00,1.480049e-13,9.426026e-13,1.425050e-11,8.329085e-11,1.846749e-10,9.965728e-10,1.057962e-09,3.889002e-09,5.302320e-09,1.082816e-08,1.820537e-08,2.494652e-08,4.760329e-08,5.012795e-08,9.088180e-08,1.035206e-07,1.521241e-07,1.972686e-07,2.389536e-07,3.405494e-07,3.564260e-07,5.093173e-07,5.445318e-07,7.018791e-07,8.188866e-07,9.376131e-07,1.170911e-06,1.219100e-06,1.547907e-06,1.604958e-06,1.924573e-06,2.122276e-06,2.348650e-06,2.721170e-06,2.818791e-06,3.332849e-06,3.397359e-06,3.887993e-06,4.144414e-06,4.480820e-06,4.954210e-06,5.107470e-06,5.763729e-06,5.817377e-06,6.445146e-06,6.723729e-06,7.147123e-06,7.662671e-06,7.865019e-06,8.594237e-06,8.623577e-06,9.330297e-06,9.596122e-06,1.006891e-05,1.057056e-05,1.080605e-05,1.153794e-05,1.226119e-05,1.249028e-05,1.297269e-05,1.342063e-05,1.366975e-05,1.432312e-05,1.434998e-05,1.501138e-05,1.519296e-05,1.565228e-05,1.602640e-05,1.627133e-05,1.682064e-05,1.686746e-05,1.743992e-05,1.757372e-05,1.798815e-05,1.828446e-05,1.851186e-05,1.895234e-05,1.901093e-05,1.948542e-05,1.957739e-05,1.993554e-05,2.016008e-05,2.036163e-05,2.070128e-05,2.076412e-05,2.114353e-05,2.120213e-05,2.150046e-05,2.166398e-05,2.183555e-05,2.208837e-05,2.214951e-05,2.244305e-05,2.247693e-05,2.271691e-05,2.283136e-05,2.297184e-05,2.315341e-05,2.320862e-05,2.342799e-05,2.344481e-05,2.363071e-05,2.370730e-05,2.381752e-05,2.394258e-05,2.398915e-05,2.414631e-05,2.415230e-05,2.428969e-05,2.433807e-05,2.441998e-05,2.450142e-05,2.453781e-05,2.464384e-05,2.473865e-05,2.476672e-05,2.482285e-05,2.487143e-05,2.489699e-05,2.495921e-05,2.496162e-05,2.501725e-05,2.503128e-05,2.506438e-05,2.508878e-05,2.510349e-05,2.513277e-05,2.513502e-05,2.515943e-05,2.516427e-05,2.517711e-05,2.518422e-05,2.518846e-05,2.519352e-05,2.519386e-05,2.519368e-05,2.519300e-05,2.518824e-05,2.518345e-05,2.517789e-05,2.516561e-05,2.516291e-05,2.514362e-05,2.514015e-05,2.512029e-05,2.510773e-05,2.509318e-05,2.506895e-05,2.506255e-05,2.502865e-05,2.502437e-05,2.499168e-05,2.497451e-05,2.495188e-05,2.491986e-05,2.490945e-05,2.486457e-05,2.486088e-05,2.481744e-05,2.479800e-05,2.476824e-05,2.473161e-05,2.471712e-05,2.466424e-05,2.466209e-05,2.460975e-05,2.458976e-05,2.455379e-05,2.451497e-05,2.449650e-05,2.443799e-05,2.435912e-05,2.427859e-05,2.419666e-05,2.411354e-05,2.402944e-05,2.394454e-05,2.385901e-05,2.377303e-05,2.368674e-05,2.360027e-05,2.351376e-05,2.342732e-05,2.334105e-05,2.325505e-05,2.316942e-05,2.308424e-05,2.299958e-05,2.291550e-05,2.283208e-05,2.274937e-05,2.266741e-05,2.258626e-05,2.250596e-05,2.242654e-05
0.000000e+00,1.470611e-09,3.363249e-09,1.152483e-08,2.611007e-08,3.798989e-08,8.546863e-08,8.800635e-08,1.682578e-07,1.970276e-07,2.851974e-07,3.756312e-07,4.452184e-07,6.359598e-07,6.546835e-07,9.196702e-07,9.921268e-07,1.245215e-06,1.455099e-06,1.633945e-06,2.027355e-06,2.084539e-06,2.591238e-06,2.698554e-06,3.145087e-06,3.448382e-06,3.736045e-06,4.254102e-06,4.354551e-06,4.992142e-06,5.095422e-06,5.641469e-06,5.955405e-06,6.296135e-06,6.819906e-06,6.950511e-06,7.599621e-06,7.676946e-06,8.239069e-06,8.516353e-06,8.865002e-06,9.329607e-06,9.474093e-06,1.006352e-05,1.010976e-05,1.063096e-05,1.085135e-05,1.117455e-05,1.155035e-05,1.169286e-05,1.218488e-05,1.220400e-05,1.264995e-05,1.281071e-05,1.308774e-05,1.336982e-05,1.349821e-05,1.388155e-05,1.423816e-05,1.434672e-05,1.456861e-05,1.476670e-05,1.487362e-05,1.514324e-05,1.515400e-05,1.541064e-05,1.547837e-05,1.564450e-05,1.577430e-05,1.585658e-05,1.603334e-05,1.604791e-05,1.621951e-05,1.625787e-05,1.637240e-05,1.645024e-05,1.650762e-05,1.661279e-05,1.662617e-05,1.672901e-05,1.674778e-05,1.681710e-05,1.685739e-05,1.689137e-05,1.694371e-05,1.695268e-05,1.700190e-05,1.700871e-05,1.703984e-05,1.705427e-05,1.706726e-05,1.708214e-05,1.708492e-05,1.709351e-05,1.709396e-05,1.709369e-05,1.709128e-05,1.708611e-05,1.707552e-05,1.707135e-05,1.704998e-05,1.704800e-05,1.702253e-05,1.700997e-05,1.698951e-05,1.696255e-05,1.695139e-05,1.690860e-05,1.690680e-05,1.686157e-05,1.684368e-05,1.681069e-05,1.677408e-05,1.675633e-05,1.669882e-05,1.663851e-05,1.661866e-05,1.657567e-05,1.653427e-05,1.651060e-05,1.644628e-05,1.644356e-05,1.637480e-05,1.635527e-05,1.630454e-05,1.626175e-05,1.623299e-05,1.616621e-05,1.616037e-05,1.608684e-05,1.606908e-05,1.601259e-05,1.597075e-05,1.593776e-05,1.587156e-05,1.586252e-05,1.578699e-05,1.577186e-05,1.571130e-05,1.567191e-05,1.563556e-05,1.557199e-05,1.555989e-05,1.548439e-05,1.547233e-05,1.540914e-05,1.537313e-05,1.533422e-05,1.527458e-05,1.525972e-05,1.518570e-05,1.517686e-05,1.511223e-05,1.508009e-05,1.503936e-05,1.498442e-05,1.496715e-05,1.489565e-05,1.488996e-05,1.482489e-05,1.479680e-05,1.475491e-05,1.470503e-05,1.468575e-05,1.461744e-05,1.461473e-05,1.455001e-05,1.452595e-05,1.448347e-05,1.443875e-05,1.441785e-05,1.435317e-05,1.426925e-05,1.418701e-05,1.410647e-05,1.402765e-05,1.395055e-05,1.387518e-05,1.380154e-05,1.372962e-05,1.365942e-05,1.359091e-05,1.352409e-05,1.345895e-05,1.339545e-05,1.333358e-05,1.327332e-05,1.321464e-05,1.315751e-05,1.310191e-05,1.304782e-05,1.299520e-05,1.294402e-05,1.289425e-05,1.284588e-05,1.279885e-05
0.000000e+00,2.325059e-09,5.476131e-09,1.935383e-08,4.448339e-08,6.507488e-08,1.478635e-07,1.523032e-07,2.931935e-07,3.438899e-07,4.997414e-07,6.602412e-07,7.841232e-07,1.125059e-06,1.158615e-06,1.634594e-06,1.764936e-06,2.220000e-06,2.596305e-06,2.915628e-06,3.612448e-06,3.713042e-06,4.596865e-06,4.782446e-06,5.549557e-06,6.066663e-06,6.554785e-06,7.429410e-06,7.598465e-06,8.668528e-06,8.841466e-06,9.754464e-06,1.027857e-05,1.084694e-05,1.171998e-05,1.193760e-05,1.301896e-05,1.314777e-05,1.408437e-05,1.454657e-05,1.512802e-05,1.590356e-05,1.614495e-05,1.713099e-05,1.720843e-05,1.808274e-05,1.845323e-05,1.899756e-05,1.963223e-05,1.987347e-05,2.070910e-05,2.074167e-05,2.150362e-05,2.177951e-05,2.225668e-05,2.274509e-05,2.296833e-05,2.363894e-05,2.426918e-05,2.446247e-05,2.485993e-05,2.521777e-05,2.541225e-05,2.590742e-05,2.592733e-05,2.640646e-05,2.653436e-05,2.685101e-05,2.710172e-05,2.726237e-05,2.761275e-05,2.764198e-05,2.799126e-05,2.807073e-05,2.831162e-05,2.847892e-05,2.860447e-05,2.884050e-05,2.887117e-05,2.911307e-05,2.915859e-05,2.933148e-05,2.943618e-05,2.952763e-05,2.967609e-05,2.970274e-05,2.985798e-05,2.988105e-05,2.999445e-05,3.005361e-05,3.011323e-05,3.019620e-05,3.021533e-05,3.030173e-05,3.031108e-05,3.037334e-05,3.040040e-05,3.043106e-05,3.046615e-05,3.047572e-05,3.050811e-05,3.051020e-05,3.052900e-05,3.053430e-05,3.053910e-05,3.054008e-05,3.053909e-05,3.052962e-05,3.052905e-05,3.051128e-05,3.050263e-05,3.048467e-05,3.046212e-05,3.045033e-05,3.040877e-05,3.036049e-05,3.034370e-05,3.030595e-05,3.026796e-05,3.024559e-05,3.018255e-05,3.017982e-05,3.010904e-05,3.008837e-05,3.003360e-05,2.998626e-05,2.995387e-05,2.987701e-05,2.987017e-05,2.978282e-05,2.976134e-05,2.969210e-05,2.963993e-05,2.959830e-05,2.951340e-05,2.950167e-05,2.940246e-05,2.938233e-05,2.930091e-05,2.924725e-05,2.919723e-05,2.910865e-05,2.909163e-05,2.898431e-05,2.896699e-05,2.887544e-05,2.882268e-05,2.876520e-05,2.867613e-05,2.865375e-05,2.854125e-05,2.852769e-05,2.842784e-05,2.837768e-05,2.831365e-05,2.822642e-05,2.819881e-05,2.808344e-05,2.807419e-05,2.796765e-05,2.792124e-05,2.785155e-05,2.776782e-05,2.773523e-05,2.761879e-05,2.761413e-05,2.750232e-05,2.746039e-05,2.738589e-05,2.730678e-05,2.726958e-05,2.715346e-05,2.700060e-05,2.684832e-05,2.669676e-05,2.654605e-05,2.639627e-05,2.624754e-05,2.609993e-05,2.595353e-05,2.580841e-05,2.566463e-05,2.552225e-05,2.538132e-05,2.524189e-05,2.510399e-05,2.496765e-05,2.483292e-05,2.469981e-05,2.456835e-05,2.443854e-05,2.431042e-05,2.418399e-05,2.405925e-05,2.393621e-05,2.381489e-05
0.000000e+00,7.191371e-09,1.728327e-08,6.249666e-08,1.455149e-07,2.141511e-07,4.937279e-07,5.088546e-07,9.943970e-07,1.171333e-06,1.721037e-06,2.294349e-06,2.740654e-06,3.980557e-06,4.103260e-06,5.851261e-06,6.331630e-06,8.012593e-06,9.407117e-06,1.059431e-05,1.320012e-05,1.357818e-05,1.691947e-05,1.762496e-05,2.054987e-05,2.252421e-05,2.438478e-05,2.769814e-05,2.833412e-05,3.231385e-05,3.294852e-05,3.625418e-05,3.811551e-05,4.010269e-05,4.309046e-05,4.382296e-05,4.739127e-05,4.780849e-05,5.079311e-05,5.223492e-05,5.402041e-05,5.635411e-05,5.706962e-05,5.994035e-05,6.016234e-05,6.263445e-05,6.366336e-05,6.515537e-05,6.686575e-05,6.750771e-05,6.969686e-05,6.978111e-05,7.172876e-05,7.242296e-05,7.360971e-05,7.480583e-05,7.534618e-05,7.694472e-05,7.841189e-05,7.885470e-05,7.975416e-05,8.055060e-05,8.097787e-05,8.204684e-05,8.208921e-05,8.309417e-05,8.335729e-05,8.399854e-05,8.449521e-05,8.480790e-05,8.547319e-05,8.552758e-05,8.616273e-05,8.630314e-05,8.671825e-05,8.699630e-05,8.719881e-05,8.756325e-05,8.760888e-05,8.795272e-05,8.801390e-05,8.823437e-05,8.835754e-05,8.845768e-05,8.860286e-05,8.862631e-05,8.874373e-05,8.875799e-05,8.881323e-05,8.883049e-05,8.883793e-05,8.882744e-05,8.882080e-05,8.876463e-05,8.875540e-05,8.867209e-05,8.862050e-05,8.854568e-05,8.842842e-05,8.838778e-05,8.820063e-05,8.818446e-05,8.798636e-05,8.789351e-05,8.774697e-05,8.756013e-05,8.748436e-05,8.720032e-05,8.718853e-05,8.689652e-05,8.678263e-05,8.657457e-05,8.634605e-05,8.623597e-05,8.588212e-05,8.551437e-05,8.539395e-05,8.513395e-05,8.488440e-05,8.474207e-05,8.435609e-05,8.433982e-05,8.392825e-05,8.381148e-05,8.350835e-05,8.325279e-05,8.308103e-05,8.268210e-05,8.264717e-05,8.220758e-05,8.210131e-05,8.176301e-05,8.151216e-05,8.131420e-05,8.091626e-05,8.086181e-05,8.040646e-05,8.031509e-05,7.994875e-05,7.970999e-05,7.948923e-05,7.910220e-05,7.902840e-05,7.856676e-05,7.849285e-05,7.810475e-05,7.788297e-05,7.764278e-05,7.727351e-05,7.718125e-05,7.672052e-05,7.666531e-05,7.626093e-05,7.605915e-05,7.580279e-05,7.545574e-05,7.534638e-05,7.489198e-05,7.485573e-05,7.443984e-05,7.425967e-05,7.399019e-05,7.366810e-05,7.354323e-05,7.309917e-05,7.308147e-05,7.265818e-05,7.250021e-05,7.222043e-05,7.192468e-05,7.178606e-05,7.135522e-05,7.079211e-05,7.023561e-05,6.968594e-05,6.914329e-05,6.860783e-05,6.807969e-05,6.755899e-05,6.704583e-05,6.654027e-05,6.604237e-05,6.555217e-05,6.506970e-05,6.459496e-05,6.412795e-05,6.366865e-05,6.321704e-05,6.277309e-05,6.233676e-05,6.190798e-05,6.148671e-05,6.107288e-05,6.066643e-05,6.026726e-05,5.987532e-05
0.000000e+00,2.020687e-09,5.484040e-09,2.250689e-08,5.550923e-08,8.340803e-08,1.990355e-07,2.053363e-07,4.083786e-07,4.825229e-07,7.128910e-07,9.530144e-07,1.139861e-06,1.659051e-06,1.710469e-06,2.444431e-06,2.646714e-06,3.356710e-06,3.948024e-06,4.452674e-06,5.562358e-06,5.723398e-06,7.144802e-06,7.444255e-06,8.682920e-06,9.516898e-06,1.030208e-05,1.170155e-05,1.197074e-05,1.366343e-05,1.393509e-05,1.536018e-05,1.617134e-05,1.704535e-05,1.837672e-05,1.870653e-05,2.033385e-05,2.052646e-05,2.191945e-05,2.260224e-05,2.345714e-05,2.459080e-05,2.494221e-05,2.637116e-05,2.648297e-05,2.774157e-05,2.827298e-05,2.905194e-05,2.995778e-05,3.030152e-05,3.149021e-05,3.153650e-05,3.261845e-05,3.300997e-05,3.368708e-05,3.438029e-05,3.469728e-05,3.565048e-05,3.654831e-05,3.682420e-05,3.739253e-05,3.790556e-05,3.818501e-05,3.889889e-05,3.892766e-05,3.962244e-05,3.980867e-05,4.027131e-05,4.063940e-05,4.087621e-05,4.139554e-05,4.143906e-05,4.196176e-05,4.208144e-05,4.244615e-05,4.270135e-05,4.289403e-05,4.325934e-05,4.330714e-05,4.368716e-05,4.375934e-05,4.403573e-05,4.420508e-05,4.435442e-05,4.460012e-05,4.464473e-05,4.490812e-05,4.494785e-05,4.514597e-05,4.525147e-05,4.535963e-05,4.551400e-05,4.555038e-05,4.571943e-05,4.573831e-05,4.586795e-05,4.592709e-05,4.599707e-05,4.608289e-05,4.610786e-05,4.620132e-05,4.620808e-05,4.627845e-05,4.630493e-05,4.634015e-05,4.637553e-05,4.638733e-05,4.642081e-05,4.642188e-05,4.644141e-05,4.644582e-05,4.644989e-05,4.644911e-05,4.644698e-05,4.643336e-05,4.640970e-05,4.640012e-05,4.637663e-05,4.635080e-05,4.633474e-05,4.628675e-05,4.628459e-05,4.622673e-05,4.620922e-05,4.616166e-05,4.611937e-05,4.608988e-05,4.601829e-05,4.601183e-05,4.592796e-05,4.590702e-05,4.583869e-05,4.578648e-05,4.574440e-05,4.565758e-05,4.564548e-05,4.554227e-05,4.552114e-05,4.543510e-05,4.537792e-05,4.532431e-05,4.522865e-05,4.521018e-05,4.509301e-05,4.507400e-05,4.497306e-05,4.491458e-05,4.485059e-05,4.475097e-05,4.472585e-05,4.459905e-05,4.458371e-05,4.447042e-05,4.441329e-05,4.434016e-05,4.424019e-05,4.420846e-05,4.407551e-05,4.406483e-05,4.394148e-05,4.388760e-05,4.380653e-05,4.370888e-05,4.367081e-05,4.353446e-05,4.352900e-05,4.339764e-05,4.334828e-05,4.326045e-05,4.316702e-05,4.312303e-05,4.298548e-05,4.280391e-05,4.262253e-05,4.244156e-05,4.226119e-05,4.208159e-05,4.190294e-05,4.172536e-05,4.154901e-05,4.137400e-05,4.120045e-05,4.102845e-05,4.085809e-05,4.068947e-05,4.052264e-05,4.035768e-05,4.019464e-05,4.003358e-05,3.987454e-05,3.971755e-05,3.956266e-05,3.940989e-05,3.925926e-05,3.911079e-05,3.896449e-05
0.000000e+00,3.843727e-09,9.574911e-09,3.601503e-08,8.553413e-08,1.268707e-07,2.969195e-07,3.061703e-07,6.048739e-07,7.144328e-07,1.056809e-06,1.416588e-06,1.698036e-06,2.481873e-06,2.559319e-06,3.653277e-06,3.949923e-06,4.972863e-06,5.804896e-06,6.503328e-06,8.013308e-06,8.230539e-06,1.014199e-05,1.054533e-05,1.222548e-05,1.337261e-05,1.446795e-05,1.646393e-05,1.685491e-05,1.937037e-05,1.978363e-05,2.199705e-05,2.329203e-05,2.471672e-05,2.694684e-05,2.751068e-05,3.036022e-05,3.070503e-05,3.324714e-05,3.452469e-05,3.615400e-05,3.836642e-05,3.906441e-05,4.196325e-05,4.219423e-05,4.483685e-05,4.597645e-05,4.767304e-05,4.968587e-05,5.046113e-05,5.319193e-05,5.329986e-05,5.585766e-05,5.680012e-05,5.845188e-05,6.017233e-05,6.096922e-05,6.340505e-05,6.575619e-05,6.649030e-05,6.802049e-05,6.942338e-05,7.019654e-05,7.220184e-05,7.228361e-05,7.428154e-05,7.482501e-05,7.619062e-05,7.729372e-05,7.801161e-05,7.961005e-05,7.974559e-05,8.139391e-05,8.177693e-05,8.295814e-05,8.379803e-05,8.444004e-05,8.567752e-05,8.584152e-05,8.716459e-05,8.741998e-05,8.841135e-05,8.903023e-05,8.958397e-05,9.051327e-05,9.068463e-05,9.171556e-05,9.187419e-05,9.267900e-05,9.311813e-05,9.357717e-05,9.425021e-05,9.441230e-05,9.518658e-05,9.527551e-05,9.590219e-05,9.619902e-05,9.656127e-05,9.702565e-05,9.716592e-05,9.771820e-05,9.776018e-05,9.822015e-05,9.840728e-05,9.867374e-05,9.897146e-05,9.908090e-05,9.944352e-05,9.945712e-05,9.976343e-05,9.986848e-05,1.000424e-04,1.002096e-04,1.002822e-04,1.004845e-04,1.006510e-04,1.006970e-04,1.007832e-04,1.008505e-04,1.008827e-04,1.009488e-04,1.009509e-04,1.009894e-04,1.009950e-04,1.009994e-04,1.009924e-04,1.009825e-04,1.009441e-04,1.009398e-04,1.008726e-04,1.008530e-04,1.007823e-04,1.007219e-04,1.006698e-04,1.005535e-04,1.005364e-04,1.003832e-04,1.003503e-04,1.002112e-04,1.001147e-04,1.000214e-04,9.984904e-05,9.981490e-05,9.959252e-05,9.955553e-05,9.935520e-05,9.923624e-05,9.910382e-05,9.889316e-05,9.883923e-05,9.856221e-05,9.852817e-05,9.827356e-05,9.814306e-05,9.797401e-05,9.773950e-05,9.766427e-05,9.734504e-05,9.731911e-05,9.701697e-05,9.688341e-05,9.668068e-05,9.643382e-05,9.633679e-05,9.598588e-05,9.597170e-05,9.562848e-05,9.549834e-05,9.526515e-05,9.501494e-05,9.489637e-05,9.452265e-05,9.402254e-05,9.351562e-05,9.300285e-05,9.248511e-05,9.196326e-05,9.143808e-05,9.091032e-05,9.038066e-05,8.984976e-05,8.931822e-05,8.878661e-05,8.825546e-05,8.772526e-05,8.719647e-05,8.666952e-05,8.614479e-05,8.562266e-05,8.510346e-05,8.458750e-05,8.407507e-05,8.356644e-05,8.306184e-05,8.256149e-05,8.206560e-05
0.000000e+00,1.013574e-09,2.364078e-09,8.284383e-09,1.899483e-08,2.777704e-08,6.314990e-08,6.504934e-08,1.254222e-07,1.471809e-07,2.141456e-07,2.831765e-07,3.364736e-07,4.830371e-07,4.974419e-07,7.010305e-07,7.564743e-07,9.487990e-07,1.106371e-06,1.239171e-06,1.526911e-06,1.568301e-06,1.931535e-06,2.007863e-06,2.324242e-06,2.538626e-06,2.742016e-06,3.109229e-06,3.180640e-06,3.636031e-06,3.710183e-06,4.104229e-06,4.332390e-06,4.581432e-06,4.967247e-06,5.064034e-06,5.548682e-06,5.606828e-06,6.032314e-06,6.244074e-06,6.512198e-06,6.872916e-06,6.985936e-06,7.451461e-06,7.488294e-06,7.907040e-06,8.086160e-06,8.351259e-06,8.663418e-06,8.782988e-06,9.201355e-06,9.217802e-06,9.605726e-06,9.747783e-06,9.995664e-06,1.025244e-05,1.037091e-05,1.073134e-05,1.107697e-05,1.118446e-05,1.140791e-05,1.161208e-05,1.172434e-05,1.201471e-05,1.202653e-05,1.231477e-05,1.239303e-05,1.258942e-05,1.274783e-05,1.285084e-05,1.308001e-05,1.309943e-05,1.333560e-05,1.339048e-05,1.355976e-05,1.368020e-05,1.377233e-05,1.395014e-05,1.397374e-05,1.416438e-05,1.420126e-05,1.434468e-05,1.443448e-05,1.451503e-05,1.465074e-05,1.467584e-05,1.482747e-05,1.485091e-05,1.497032e-05,1.503586e-05,1.510473e-05,1.520642e-05,1.523105e-05,1.534964e-05,1.536337e-05,1.546081e-05,1.550746e-05,1.556489e-05,1.563943e-05,1.566217e-05,1.575296e-05,1.575995e-05,1.583752e-05,1.586967e-05,1.591615e-05,1.596922e-05,1.598909e-05,1.605660e-05,1.605919e-05,1.611891e-05,1.614012e-05,1.617627e-05,1.621255e-05,1.622889e-05,1.627698e-05,1.632075e-05,1.633388e-05,1.636040e-05,1.638370e-05,1.639611e-05,1.642685e-05,1.642806e-05,1.645643e-05,1.646375e-05,1.648138e-05,1.649477e-05,1.650306e-05,1.652026e-05,1.652163e-05,1.653724e-05,1.654056e-05,1.655002e-05,1.655600e-05,1.656011e-05,1.656686e-05,1.656763e-05,1.657271e-05,1.657344e-05,1.657546e-05,1.657601e-05,1.657599e-05,1.657481e-05,1.657442e-05,1.657084e-05,1.657008e-05,1.656535e-05,1.656206e-05,1.655804e-05,1.655096e-05,1.654902e-05,1.653835e-05,1.653696e-05,1.652613e-05,1.652028e-05,1.651243e-05,1.650108e-05,1.649733e-05,1.648090e-05,1.647953e-05,1.646321e-05,1.645579e-05,1.644432e-05,1.643002e-05,1.642431e-05,1.640322e-05,1.640236e-05,1.638112e-05,1.637293e-05,1.635807e-05,1.634187e-05,1.633411e-05,1.630930e-05,1.627533e-05,1.624007e-05,1.620361e-05,1.616605e-05,1.612749e-05,1.608800e-05,1.604767e-05,1.600657e-05,1.596477e-05,1.592234e-05,1.587935e-05,1.583585e-05,1.579189e-05,1.574755e-05,1.570285e-05,1.565786e-05,1.561261e-05,1.556715e-05,1.552151e-05,1.547574e-05,1.542987e-05,1.538393e-05,1.533796e-05,1.529198e-05
0.000000e+00,1.090626e-09,2.978406e-09,1.233965e-08,3.069020e-08,4.635951e-08,1.126010e-07,1.162671e-07,2.373166e-07,2.828484e-07,4.282941e-07,5.850526e-07,7.094556e-07,1.058844e-06,1.093375e-06,1.578249e-06,1.708616e-06,2.154680e-06,2.514071e-06,2.813818e-06,3.457071e-06,3.549160e-06,4.355637e-06,4.525060e-06,5.228592e-06,5.707204e-06,6.163161e-06,6.991911e-06,7.153985e-06,8.195133e-06,8.365963e-06,9.280168e-06,9.814576e-06,1.040225e-05,1.132184e-05,1.155430e-05,1.272920e-05,1.287138e-05,1.391989e-05,1.444704e-05,1.511959e-05,1.603339e-05,1.632183e-05,1.752065e-05,1.761624e-05,1.871064e-05,1.918306e-05,1.988695e-05,2.072299e-05,2.104529e-05,2.218197e-05,2.222694e-05,2.329384e-05,2.368752e-05,2.437829e-05,2.509895e-05,2.543319e-05,2.645687e-05,2.744805e-05,2.775821e-05,2.840582e-05,2.900096e-05,2.932957e-05,3.018406e-05,3.021898e-05,3.107394e-05,3.130718e-05,3.189458e-05,3.237060e-05,3.268117e-05,3.337511e-05,3.343412e-05,3.415397e-05,3.432188e-05,3.484134e-05,3.521234e-05,3.549694e-05,3.604818e-05,3.612151e-05,3.671588e-05,3.683120e-05,3.728086e-05,3.756332e-05,3.781732e-05,3.824655e-05,3.832614e-05,3.880819e-05,3.888289e-05,3.926434e-05,3.947436e-05,3.969549e-05,4.002299e-05,4.010250e-05,4.048622e-05,4.053074e-05,4.084750e-05,4.099957e-05,4.118717e-05,4.143137e-05,4.150604e-05,4.180491e-05,4.182797e-05,4.208453e-05,4.219117e-05,4.234568e-05,4.252267e-05,4.258908e-05,4.281543e-05,4.282414e-05,4.302544e-05,4.309717e-05,4.321977e-05,4.334329e-05,4.339907e-05,4.356396e-05,4.371505e-05,4.376058e-05,4.385293e-05,4.393450e-05,4.397816e-05,4.408700e-05,4.409130e-05,4.419286e-05,4.421930e-05,4.428336e-05,4.433256e-05,4.436329e-05,4.442790e-05,4.443313e-05,4.449332e-05,4.450638e-05,4.454431e-05,4.456900e-05,4.458651e-05,4.461672e-05,4.462035e-05,4.464621e-05,4.465045e-05,4.466446e-05,4.467107e-05,4.467547e-05,4.467939e-05,4.467960e-05,4.467716e-05,4.467619e-05,4.466849e-05,4.466221e-05,4.465390e-05,4.463816e-05,4.463368e-05,4.460812e-05,4.460471e-05,4.457750e-05,4.456249e-05,4.454208e-05,4.451210e-05,4.450210e-05,4.445782e-05,4.445410e-05,4.440947e-05,4.438904e-05,4.435727e-05,4.431742e-05,4.430143e-05,4.424217e-05,4.423973e-05,4.417968e-05,4.415642e-05,4.411414e-05,4.406793e-05,4.404575e-05,4.397466e-05,4.387701e-05,4.377532e-05,4.366995e-05,4.356123e-05,4.344946e-05,4.333493e-05,4.321792e-05,4.309867e-05,4.297744e-05,4.285445e-05,4.272993e-05,4.260406e-05,4.247705e-05,4.234907e-05,4.222029e-05,4.209087e-05,4.196095e-05,4.183069e-05,4.170020e-05,4.156962e-05,4.143905e-05,4.130861e-05,4.117839e-05,4.104848e-05
0.000000e+00,2.086036e-09,4.797154e-09,1.660534e-08,3.796464e-08,5.552825e-08,1.268001e-07,1.306509e-07,2.542292e-07,2.993028e-07,4.396781e-07,5.868426e-07,7.020551e-07,1.025345e-06,1.057589e-06,1.520971e-06,1.649343e-06,2.100402e-06,2.475427e-06,2.794561e-06,3.493839e-06,3.595194e-06,4.491957e-06,4.681972e-06,5.475178e-06,6.017763e-06,6.536364e-06,7.482400e-06,7.667864e-06,8.862438e-06,9.058947e-06,1.011296e-05,1.073099e-05,1.141230e-05,1.248208e-05,1.275325e-05,1.412865e-05,1.429568e-05,1.553140e-05,1.615548e-05,1.695458e-05,1.804576e-05,1.839154e-05,1.983602e-05,1.995172e-05,2.128213e-05,2.185981e-05,2.272449e-05,2.375790e-05,2.415820e-05,2.557884e-05,2.563534e-05,2.698254e-05,2.748305e-05,2.836588e-05,2.929342e-05,2.972594e-05,3.106019e-05,3.236653e-05,3.277836e-05,3.364320e-05,3.444405e-05,3.488881e-05,3.605435e-05,3.610226e-05,3.728269e-05,3.760720e-05,3.842948e-05,3.910125e-05,3.954225e-05,4.053574e-05,4.062076e-05,4.166494e-05,4.191043e-05,4.267484e-05,4.322547e-05,4.365064e-05,4.448134e-05,4.459260e-05,4.550109e-05,4.567881e-05,4.637653e-05,4.681885e-05,4.721939e-05,4.790260e-05,4.803019e-05,4.880949e-05,4.893130e-05,4.955789e-05,4.990632e-05,5.027600e-05,5.082910e-05,5.096446e-05,5.162391e-05,5.170113e-05,5.225503e-05,5.252392e-05,5.285848e-05,5.329901e-05,5.343493e-05,5.398506e-05,5.402795e-05,5.450954e-05,5.471230e-05,5.500904e-05,5.535360e-05,5.548425e-05,5.593581e-05,5.595339e-05,5.636439e-05,5.651318e-05,5.677064e-05,5.703447e-05,5.715521e-05,5.751871e-05,5.786178e-05,5.796735e-05,5.818504e-05,5.838180e-05,5.848908e-05,5.876343e-05,5.877450e-05,5.904188e-05,5.911359e-05,5.929179e-05,5.943358e-05,5.952479e-05,5.972468e-05,5.974142e-05,5.994223e-05,5.998813e-05,6.012773e-05,6.022512e-05,6.029844e-05,6.043683e-05,6.045486e-05,6.059748e-05,6.062439e-05,6.072677e-05,6.078889e-05,6.084321e-05,6.093140e-05,6.094723e-05,6.103930e-05,6.105295e-05,6.111983e-05,6.115452e-05,6.118926e-05,6.123707e-05,6.124798e-05,6.129640e-05,6.130154e-05,6.133491e-05,6.134881e-05,6.136388e-05,6.137975e-05,6.138369e-05,6.139468e-05,6.139519e-05,6.139722e-05,6.139593e-05,6.139162e-05,6.138275e-05,6.137823e-05,6.135736e-05,6.135637e-05,6.132932e-05,6.131753e-05,6.129441e-05,6.126689e-05,6.125292e-05,6.120514e-05,6.113289e-05,6.105076e-05,6.095934e-05,6.085917e-05,6.075082e-05,6.063478e-05,6.051155e-05,6.038161e-05,6.024541e-05,6.010338e-05,5.995594e-05,5.980349e-05,5.964641e-05,5.948506e-05,5.931978e-05,5.915092e-05,5.897877e-05,5.880365e-05,5.862584e-05,5.844561e-05,5.826323e-05,5.807893e-05,5.789297e-05,5.770556e-05
0.000000e+00,2.341801e-10,1.048349e-09,8.228307e-09,2.871003e-08,4.939407e-08,1.504770e-07,1.564319e-07,3.615775e-07,4.408633e-07,6.960557e-07,9.717164e-07,1.190884e-06,1.814446e-06,1.877098e-06,2.783599e-06,3.036521e-06,3.931124e-06,4.681984e-06,5.325928e-06,6.752097e-06,6.960435e-06,8.819806e-06,9.217195e-06,1.088728e-05,1.203897e-05,1.314584e-05,1.517794e-05,1.557802e-05,1.816547e-05,1.859258e-05,2.088872e-05,2.223814e-05,2.372732e-05,2.606711e-05,2.666020e-05,2.966602e-05,3.003061e-05,3.272370e-05,3.408022e-05,3.581283e-05,3.816965e-05,3.891406e-05,4.200935e-05,4.225621e-05,4.508224e-05,4.630175e-05,4.811795e-05,5.027326e-05,5.110346e-05,5.402751e-05,5.414305e-05,5.688052e-05,5.788864e-05,5.965457e-05,6.149247e-05,6.234322e-05,6.494143e-05,6.744539e-05,6.822628e-05,6.985238e-05,7.134112e-05,7.216065e-05,7.428291e-05,7.436934e-05,7.647829e-05,7.705097e-05,7.848795e-05,7.964647e-05,8.039929e-05,8.207211e-05,8.221374e-05,8.393307e-05,8.433177e-05,8.555931e-05,8.643019e-05,8.709476e-05,8.837279e-05,8.854187e-05,8.990323e-05,9.016544e-05,9.118153e-05,9.181434e-05,9.237954e-05,9.332585e-05,9.350004e-05,9.454583e-05,9.470641e-05,9.551971e-05,9.596244e-05,9.642445e-05,9.710031e-05,9.726280e-05,9.803748e-05,9.812629e-05,9.875115e-05,9.904651e-05,9.940641e-05,9.986691e-05,1.000058e-04,1.005518e-04,1.005933e-04,1.010468e-04,1.012311e-04,1.014932e-04,1.017858e-04,1.018933e-04,1.022491e-04,1.022625e-04,1.025630e-04,1.026661e-04,1.028368e-04,1.030012e-04,1.030727e-04,1.032725e-04,1.034381e-04,1.034841e-04,1.035712e-04,1.036402e-04,1.036736e-04,1.037445e-04,1.037469e-04,1.037927e-04,1.038008e-04,1.038125e-04,1.038125e-04,1.038078e-04,1.037830e-04,1.037799e-04,1.037303e-04,1.037153e-04,1.036602e-04,1.036124e-04,1.035708e-04,1.034772e-04,1.034634e-04,1.033390e-04,1.033121e-04,1.031987e-04,1.031198e-04,1.030436e-04,1.029025e-04,1.028746e-04,1.026928e-04,1.026625e-04,1.024989e-04,1.024018e-04,1.022939e-04,1.021224e-04,1.020786e-04,1.018538e-04,1.018262e-04,1.016201e-04,1.015147e-04,1.013784e-04,1.011897e-04,1.011293e-04,1.008734e-04,1.008527e-04,1.006114e-04,1.005050e-04,1.003438e-04,1.001480e-04,1.000712e-04,9.979415e-05,9.978298e-05,9.951308e-05,9.941102e-05,9.922851e-05,9.903322e-05,9.894087e-05,9.865059e-05,9.826406e-05,9.787450e-05,9.748272e-05,9.708946e-05,9.669541e-05,9.630121e-05,9.590746e-05,9.551470e-05,9.512342e-05,9.473409e-05,9.434713e-05,9.396293e-05,9.358183e-05,9.320415e-05,9.283019e-05,9.246020e-05,9.209442e-05,9.173305e-05,9.137629e-05,9.102430e-05,9.067723e-05,9.033520e-05,8.999832e-05,8.966668e-05
0.000000e+00,2.224336e-10,8.176677e-10,4.787368e-09,1.404122e-08,2.251389e-08,6.022093e-08,6.234643e-08,1.328168e-07,1.591865e-07,2.423796e-07,3.304808e-07,3.997169e-07,5.942549e-07,6.136504e-07,8.919748e-07,9.689534e-07,1.239223e-06,1.463991e-06,1.655546e-06,2.076882e-06,2.138180e-06,2.683472e-06,2.799728e-06,3.287789e-06,3.624177e-06,3.947555e-06,4.541904e-06,4.659061e-06,5.418300e-06,5.543921e-06,6.220896e-06,6.620159e-06,7.062093e-06,7.759440e-06,7.936814e-06,8.839737e-06,8.949724e-06,9.765397e-06,1.017847e-05,1.070829e-05,1.143306e-05,1.166298e-05,1.262418e-05,1.270120e-05,1.358686e-05,1.397127e-05,1.454629e-05,1.523260e-05,1.549811e-05,1.643834e-05,1.647565e-05,1.736343e-05,1.769214e-05,1.827026e-05,1.887508e-05,1.915613e-05,2.001876e-05,2.085623e-05,2.111864e-05,2.166701e-05,2.217134e-05,2.244991e-05,2.317445e-05,2.320406e-05,2.392883e-05,2.412645e-05,2.462388e-05,2.502658e-05,2.528907e-05,2.587470e-05,2.592444e-05,2.653021e-05,2.667122e-05,2.710672e-05,2.741696e-05,2.765445e-05,2.811308e-05,2.817395e-05,2.866587e-05,2.876100e-05,2.913090e-05,2.936235e-05,2.956981e-05,2.991887e-05,2.998337e-05,3.037239e-05,3.043241e-05,3.073770e-05,3.090487e-05,3.108014e-05,3.133817e-05,3.140053e-05,3.169971e-05,3.173423e-05,3.197851e-05,3.209494e-05,3.223774e-05,3.242216e-05,3.247820e-05,3.270067e-05,3.271771e-05,3.290591e-05,3.298335e-05,3.309467e-05,3.322078e-05,3.326767e-05,3.342561e-05,3.343163e-05,3.356917e-05,3.361746e-05,3.369901e-05,3.377978e-05,3.381575e-05,3.392000e-05,3.401237e-05,3.403951e-05,3.409341e-05,3.413958e-05,3.416366e-05,3.422145e-05,3.422365e-05,3.427389e-05,3.428628e-05,3.431486e-05,3.433518e-05,3.434701e-05,3.436920e-05,3.437080e-05,3.438665e-05,3.438932e-05,3.439497e-05,3.439648e-05,3.439615e-05,3.439157e-05,3.439055e-05,3.437856e-05,3.437542e-05,3.436049e-05,3.434881e-05,3.433669e-05,3.431250e-05,3.430747e-05,3.427312e-05,3.426717e-05,3.423394e-05,3.421349e-05,3.419019e-05,3.415209e-05,3.414215e-05,3.409006e-05,3.408354e-05,3.403415e-05,3.400841e-05,3.397467e-05,3.392720e-05,3.391182e-05,3.384581e-05,3.384040e-05,3.377685e-05,3.374848e-05,3.370512e-05,3.365187e-05,3.363081e-05,3.355409e-05,3.355097e-05,3.347511e-05,3.344616e-05,3.339405e-05,3.333780e-05,3.331104e-05,3.322623e-05,3.311177e-05,3.299470e-05,3.287530e-05,3.275385e-05,3.263057e-05,3.250571e-05,3.237946e-05,3.225204e-05,3.212364e-05,3.199442e-05,3.186455e-05,3.173418e-05,3.160346e-05,3.147253e-05,3.134149e-05,3.121048e-05,3.107960e-05,3.094894e-05,3.081861e-05,3.068869e-05,3.055925e-05,3.043038e-05,3.030215e-05,3.017460e-05
0.000000e+00,1.198549e-13,8.087171e-13,1.379378e-11,9.009697e-11,2.124553e-10,1.347341e-09,1.439877e-09,6.239160e-09,8.902906e-09,2.042240e-08,3.779618e-08,5.518979e-08,1.216760e-07,1.297295e-07,2.739287e-07,3.233584e-07,5.305056e-07,7.437788e-07,9.559847e-07,1.525418e-06,1.620374e-06,2.605740e-06,2.849275e-06,4.003999e-06,4.926956e-06,5.914228e-06,7.990000e-06,8.439746e-06,1.168514e-05,1.227814e-05,1.575337e-05,1.802758e-05,2.074304e-05,2.546011e-05,2.674583e-05,3.384433e-05,3.477331e-05,4.211003e-05,4.613234e-05,5.160170e-05,5.966342e-05,6.236417e-05,7.442737e-05,7.544916e-05,8.780583e-05,9.352578e-05,1.024985e-04,1.138823e-04,1.184889e-04,1.357456e-04,1.364616e-04,1.542232e-04,1.611630e-04,1.738629e-04,1.878461e-04,1.945942e-04,2.163364e-04,2.389995e-04,2.464305e-04,2.624865e-04,2.779033e-04,2.866946e-04,3.105137e-04,3.115170e-04,3.368443e-04,3.440114e-04,3.625663e-04,3.781431e-04,3.885730e-04,4.126576e-04,4.147562e-04,4.410104e-04,4.473106e-04,4.672339e-04,4.818692e-04,4.933296e-04,5.161151e-04,5.192058e-04,5.447766e-04,5.498470e-04,5.699624e-04,5.828823e-04,5.946902e-04,6.150589e-04,6.188937e-04,6.425136e-04,6.462350e-04,6.654972e-04,6.762896e-04,6.877986e-04,7.051220e-04,7.093785e-04,7.302037e-04,7.326507e-04,7.502471e-04,7.588128e-04,7.694873e-04,7.835627e-04,7.879083e-04,8.054991e-04,8.068703e-04,8.222531e-04,8.287198e-04,8.381682e-04,8.491085e-04,8.532461e-04,8.674920e-04,8.680446e-04,8.809140e-04,8.855464e-04,8.935234e-04,9.016404e-04,9.053336e-04,9.163604e-04,9.266211e-04,9.297459e-04,9.361350e-04,9.418412e-04,9.449223e-04,9.526945e-04,9.530045e-04,9.604039e-04,9.623565e-04,9.671433e-04,9.708799e-04,9.732462e-04,9.783189e-04,9.787361e-04,9.836370e-04,9.847282e-04,9.879726e-04,9.901625e-04,9.917667e-04,9.946764e-04,9.950429e-04,9.978245e-04,9.983235e-04,1.000134e-03,1.001157e-03,1.001995e-03,1.003227e-03,1.003428e-03,1.004456e-03,1.004585e-03,1.005099e-03,1.005277e-03,1.005378e-03,1.005352e-03,1.005312e-03,1.004921e-03,1.004853e-03,1.004223e-03,1.003823e-03,1.003235e-03,1.002302e-03,1.001976e-03,1.000461e-03,1.000330e-03,9.987072e-04,9.979419e-04,9.967288e-04,9.951737e-04,9.945407e-04,9.921571e-04,9.920579e-04,9.895913e-04,9.886254e-04,9.868560e-04,9.849055e-04,9.839635e-04,9.809255e-04,9.767113e-04,9.722872e-04,9.676757e-04,9.628981e-04,9.579742e-04,9.529223e-04,9.477598e-04,9.425026e-04,9.371655e-04,9.317623e-04,9.263058e-04,9.208077e-04,9.152792e-04,9.097301e-04,9.041699e-04,8.986071e-04,8.930495e-04,8.875043e-04,8.819782e-04,8.764771e-04,8.710065e-04,8.655715e-04,8.601764e-04,8.548255e-04
0.000000e+00,2.704654e-10,1.014496e-09,6.100986e-09,1.814348e-08,2.924264e-08,7.892890e-08,8.173758e-08,1.751140e-07,2.101489e-07,3.209204e-07,4.385573e-07,5.312181e-07,7.926276e-07,8.187865e-07,1.196687e-06,1.302191e-06,1.676619e-06,1.992901e-06,2.265678e-06,2.873552e-06,2.962599e-06,3.756630e-06,3.925645e-06,4.630783e-06,5.110879e-06,5.566763e-06,6.388660e-06,6.548134e-06,7.561190e-06,7.725434e-06,8.594597e-06,9.095009e-06,9.638833e-06,1.047649e-05,1.068572e-05,1.172815e-05,1.185263e-05,1.275988e-05,1.320904e-05,1.377552e-05,1.453375e-05,1.477040e-05,1.574061e-05,1.581706e-05,1.668290e-05,1.705139e-05,1.759467e-05,1.823109e-05,1.847390e-05,1.931914e-05,1.935222e-05,2.012936e-05,2.041235e-05,2.090399e-05,2.141027e-05,2.164279e-05,2.234585e-05,2.301349e-05,2.321974e-05,2.364624e-05,2.403321e-05,2.424480e-05,2.478803e-05,2.481001e-05,2.534279e-05,2.548630e-05,2.584415e-05,2.613033e-05,2.631515e-05,2.672259e-05,2.675687e-05,2.717043e-05,2.726561e-05,2.755693e-05,2.776197e-05,2.791748e-05,2.821419e-05,2.825320e-05,2.856516e-05,2.862480e-05,2.885443e-05,2.899622e-05,2.912203e-05,2.933081e-05,2.936897e-05,2.959623e-05,2.963082e-05,2.980474e-05,2.989844e-05,2.999542e-05,3.013571e-05,3.016914e-05,3.032674e-05,3.034461e-05,3.046904e-05,3.052700e-05,3.059680e-05,3.068463e-05,3.071076e-05,3.081166e-05,3.081918e-05,3.090015e-05,3.093222e-05,3.097690e-05,3.102524e-05,3.104253e-05,3.109763e-05,3.109962e-05,3.114277e-05,3.115669e-05,3.117849e-05,3.119767e-05,3.120532e-05,3.122374e-05,3.123422e-05,3.123597e-05,3.123722e-05,3.123541e-05,3.123316e-05,3.122299e-05,3.122244e-05,3.120546e-05,3.119964e-05,3.118259e-05,3.116618e-05,3.115417e-05,3.112341e-05,3.112054e-05,3.108202e-05,3.107208e-05,3.103891e-05,3.101287e-05,3.099150e-05,3.094644e-05,3.094006e-05,3.088486e-05,3.087339e-05,3.082614e-05,3.079430e-05,3.076414e-05,3.070969e-05,3.069908e-05,3.063117e-05,3.062006e-05,3.056062e-05,3.052587e-05,3.048761e-05,3.042757e-05,3.041234e-05,3.033496e-05,3.032555e-05,3.025565e-05,3.022019e-05,3.017457e-05,3.011184e-05,3.009185e-05,3.000764e-05,3.000085e-05,2.992208e-05,2.988750e-05,2.983529e-05,2.977210e-05,2.974738e-05,2.965847e-05,2.965490e-05,2.956868e-05,2.953616e-05,2.947810e-05,2.941610e-05,2.938682e-05,2.929494e-05,2.917289e-05,2.905012e-05,2.892682e-05,2.880314e-05,2.867923e-05,2.855523e-05,2.843126e-05,2.830746e-05,2.818392e-05,2.806074e-05,2.793803e-05,2.781587e-05,2.769433e-05,2.757349e-05,2.745341e-05,2.733416e-05,2.721580e-05,2.709836e-05,2.698191e-05,2.686648e-05,2.675210e-05,2.663882e-05,2.652667e-05,2.641567e-05
0.000000e+00,5.971074e-10,2.540627e-09,1.840157e-08,6.106960e-08,1.029399e-07,3.024965e-07,3.141372e-07,7.133281e-07,8.675617e-07,1.366163e-06,1.909600e-06,2.345249e-06,3.597440e-06,3.723895e-06,5.553576e-06,6.061689e-06,7.843134e-06,9.317606e-06,1.056796e-05,1.329852e-05,1.369367e-05,1.718815e-05,1.792870e-05,2.102218e-05,2.314058e-05,2.516705e-05,2.886702e-05,2.959268e-05,3.426688e-05,3.503555e-05,3.915543e-05,4.156764e-05,4.422271e-05,4.838087e-05,4.943249e-05,5.474881e-05,5.539226e-05,6.013683e-05,6.252167e-05,6.556350e-05,6.969463e-05,7.099811e-05,7.641259e-05,7.684411e-05,8.178177e-05,8.391170e-05,8.708353e-05,9.084818e-05,9.229871e-05,9.741101e-05,9.761316e-05,1.024069e-04,1.041746e-04,1.072752e-04,1.105082e-04,1.120071e-04,1.165959e-04,1.210365e-04,1.224256e-04,1.253256e-04,1.279900e-04,1.294610e-04,1.332855e-04,1.334418e-04,1.372681e-04,1.383118e-04,1.409407e-04,1.430712e-04,1.444613e-04,1.475679e-04,1.478321e-04,1.510556e-04,1.518076e-04,1.541348e-04,1.557974e-04,1.570730e-04,1.595448e-04,1.598738e-04,1.625407e-04,1.630583e-04,1.650776e-04,1.663466e-04,1.674883e-04,1.694186e-04,1.697767e-04,1.719469e-04,1.722834e-04,1.740027e-04,1.749500e-04,1.759480e-04,1.774273e-04,1.777867e-04,1.795227e-04,1.797243e-04,1.811598e-04,1.818497e-04,1.827016e-04,1.838118e-04,1.841517e-04,1.855137e-04,1.856190e-04,1.867912e-04,1.872792e-04,1.879873e-04,1.888001e-04,1.891055e-04,1.901490e-04,1.901892e-04,1.911208e-04,1.914536e-04,1.920239e-04,1.926003e-04,1.928613e-04,1.936359e-04,1.943503e-04,1.945666e-04,1.950072e-04,1.953987e-04,1.956092e-04,1.961378e-04,1.961588e-04,1.966584e-04,1.967896e-04,1.971102e-04,1.973593e-04,1.975165e-04,1.978520e-04,1.978795e-04,1.982013e-04,1.982726e-04,1.984837e-04,1.986255e-04,1.987289e-04,1.989152e-04,1.989385e-04,1.991145e-04,1.991458e-04,1.992585e-04,1.993213e-04,1.993722e-04,1.994454e-04,1.994571e-04,1.995149e-04,1.995217e-04,1.995468e-04,1.995535e-04,1.995545e-04,1.995440e-04,1.995392e-04,1.995021e-04,1.994963e-04,1.994446e-04,1.994132e-04,1.993679e-04,1.992974e-04,1.992730e-04,1.991612e-04,1.991515e-04,1.990333e-04,1.989779e-04,1.988905e-04,1.987790e-04,1.987337e-04,1.985638e-04,1.985567e-04,1.983817e-04,1.983133e-04,1.981882e-04,1.980505e-04,1.979841e-04,1.977703e-04,1.974742e-04,1.971640e-04,1.968410e-04,1.965068e-04,1.961625e-04,1.958096e-04,1.954490e-04,1.950820e-04,1.947095e-04,1.943325e-04,1.939518e-04,1.935683e-04,1.931828e-04,1.927959e-04,1.924084e-04,1.920207e-04,1.916336e-04,1.912476e-04,1.908630e-04,1.904805e-04,1.901003e-04,1.897228e-04,1.893485e-04,1.889776e-04
0.000000e+00,8.424418e-10,2.691884e-09,1.324277e-08,3.561375e-08,5.528842e-08,1.398806e-07,1.445749e-07,2.983158e-07,3.552830e-07,5.340482e-07,7.224744e-07,8.702248e-07,1.284832e-06,1.326167e-06,1.920261e-06,2.085039e-06,2.665574e-06,3.150666e-06,3.565413e-06,4.480421e-06,4.613719e-06,5.799764e-06,6.052487e-06,7.112121e-06,7.840863e-06,8.540023e-06,9.821298e-06,1.007329e-05,1.170191e-05,1.197066e-05,1.341571e-05,1.426554e-05,1.520426e-05,1.668174e-05,1.705686e-05,1.896264e-05,1.919439e-05,2.091073e-05,2.177853e-05,2.289044e-05,2.440979e-05,2.489143e-05,2.690382e-05,2.706502e-05,2.891840e-05,2.972290e-05,3.092662e-05,3.236426e-05,3.292079e-05,3.489386e-05,3.497225e-05,3.683967e-05,3.753243e-05,3.875283e-05,4.003278e-05,4.062878e-05,4.246361e-05,4.425414e-05,4.481731e-05,4.599776e-05,4.708810e-05,4.769244e-05,4.927185e-05,4.933663e-05,5.092923e-05,5.136581e-05,5.246952e-05,5.336842e-05,5.395713e-05,5.527912e-05,5.539197e-05,5.677419e-05,5.709813e-05,5.810417e-05,5.882633e-05,5.938244e-05,6.046510e-05,6.060970e-05,6.178677e-05,6.201624e-05,6.291455e-05,6.348185e-05,6.399405e-05,6.486428e-05,6.502631e-05,6.601244e-05,6.616601e-05,6.695357e-05,6.738968e-05,6.785088e-05,6.853796e-05,6.870553e-05,6.951872e-05,6.961358e-05,7.029164e-05,7.061927e-05,7.102547e-05,7.155776e-05,7.172139e-05,7.238056e-05,7.243174e-05,7.300415e-05,7.324388e-05,7.359329e-05,7.399677e-05,7.414910e-05,7.467268e-05,7.469296e-05,7.516509e-05,7.533494e-05,7.562740e-05,7.592510e-05,7.606064e-05,7.646580e-05,7.684388e-05,7.695930e-05,7.719582e-05,7.740778e-05,7.752257e-05,7.781338e-05,7.782502e-05,7.810407e-05,7.817812e-05,7.836056e-05,7.850398e-05,7.859534e-05,7.879285e-05,7.880921e-05,7.900296e-05,7.904655e-05,7.917735e-05,7.926683e-05,7.933312e-05,7.945537e-05,7.947100e-05,7.959167e-05,7.961380e-05,7.969581e-05,7.974365e-05,7.978407e-05,7.984641e-05,7.985709e-05,7.991548e-05,7.992351e-05,7.995983e-05,7.997630e-05,7.999072e-05,8.000610e-05,8.000869e-05,8.001429e-05,8.001415e-05,8.000803e-05,8.000165e-05,7.999041e-05,7.996973e-05,7.996193e-05,7.992305e-05,7.991950e-05,7.987421e-05,7.985199e-05,7.981587e-05,7.976821e-05,7.974843e-05,7.967232e-05,7.966910e-05,7.958791e-05,7.955557e-05,7.949560e-05,7.942850e-05,7.939575e-05,7.928870e-05,7.913698e-05,7.897408e-05,7.880072e-05,7.861758e-05,7.842532e-05,7.822456e-05,7.801589e-05,7.779987e-05,7.757705e-05,7.734792e-05,7.711298e-05,7.687268e-05,7.662747e-05,7.637776e-05,7.612395e-05,7.586641e-05,7.560551e-05,7.534158e-05,7.507494e-05,7.480590e-05,7.453475e-05,7.426177e-05,7.398721e-05,7.371131e-05
0.000000e+00,3.923614e-13,2.569061e-12,4.114506e-11,2.535361e-10,5.788141e-10,3.371731e-09,3.590722e-09,1.427170e-08,1.988577e-08,4.294157e-08,7.564443e-08,1.069419e-07,2.193770e-07,2.324770e-07,4.562181e-07,5.296090e-07,8.258855e-07,1.117654e-06,1.398598e-06,2.119963e-06,2.236608e-06,3.401514e-06,3.678756e-06,4.948642e-06,5.919579e-06,6.922805e-06,8.934842e-06,9.355888e-06,1.226609e-05,1.277651e-05,1.565841e-05,1.745634e-05,1.952589e-05,2.295069e-05,2.385126e-05,2.860867e-05,2.920710e-05,3.376540e-05,3.615123e-05,3.928346e-05,4.369316e-05,4.512095e-05,5.123338e-05,5.173288e-05,5.757480e-05,6.016507e-05,6.409876e-05,6.888314e-05,7.075920e-05,7.751126e-05,7.778263e-05,8.431185e-05,8.676402e-05,9.112025e-05,9.573495e-05,9.789853e-05,1.046119e-04,1.112287e-04,1.133211e-04,1.177210e-04,1.217993e-04,1.240642e-04,1.299937e-04,1.302371e-04,1.362220e-04,1.378620e-04,1.420041e-04,1.453711e-04,1.475719e-04,1.524973e-04,1.529164e-04,1.580314e-04,1.592244e-04,1.629128e-04,1.655435e-04,1.675585e-04,1.714516e-04,1.719683e-04,1.761435e-04,1.769506e-04,1.800867e-04,1.820467e-04,1.838017e-04,1.867492e-04,1.872930e-04,1.905662e-04,1.910700e-04,1.936272e-04,1.950231e-04,1.964826e-04,1.986235e-04,1.991392e-04,2.016042e-04,2.018874e-04,2.038847e-04,2.048316e-04,2.059881e-04,2.074728e-04,2.079217e-04,2.096930e-04,2.098279e-04,2.113090e-04,2.119136e-04,2.127770e-04,2.137462e-04,2.141039e-04,2.152964e-04,2.153414e-04,2.163613e-04,2.167147e-04,2.173049e-04,2.178805e-04,2.181335e-04,2.188531e-04,2.194693e-04,2.196457e-04,2.199879e-04,2.202710e-04,2.204141e-04,2.207411e-04,2.207531e-04,2.210097e-04,2.210675e-04,2.211888e-04,2.212608e-04,2.212947e-04,2.213313e-04,2.213318e-04,2.213042e-04,2.212884e-04,2.212158e-04,2.211411e-04,2.210703e-04,2.208979e-04,2.208714e-04,2.206223e-04,2.205668e-04,2.203264e-04,2.201550e-04,2.199866e-04,2.196696e-04,2.196060e-04,2.191874e-04,2.191170e-04,2.187332e-04,2.185034e-04,2.182461e-04,2.178344e-04,2.177285e-04,2.171826e-04,2.171153e-04,2.166105e-04,2.163510e-04,2.160143e-04,2.155462e-04,2.153959e-04,2.147571e-04,2.147052e-04,2.140997e-04,2.138319e-04,2.134253e-04,2.129301e-04,2.127355e-04,2.120317e-04,2.120033e-04,2.113153e-04,2.110546e-04,2.105876e-04,2.100870e-04,2.098499e-04,2.091034e-04,2.081062e-04,2.070979e-04,2.060807e-04,2.050565e-04,2.040274e-04,2.029949e-04,2.019608e-04,2.009264e-04,1.998932e-04,1.988624e-04,1.978351e-04,1.968123e-04,1.957950e-04,1.947841e-04,1.937804e-04,1.927845e-04,1.917972e-04,1.908190e-04,1.898504e-04,1.888919e-04,1.879439e-04,1.870069e-04,1.860810e-04,1.851667e-04
0.000000e+00,1.061203e-09,2.534444e-09,9.005547e-09,2.058874e-08,2.998240e-08,6.719954e-08,6.917737e-08,1.313536e-07,1.535218e-07,2.212297e-07,2.904370e-07,3.435696e-07,4.886889e-07,5.028885e-07,7.027202e-07,7.569270e-07,9.444521e-07,1.097496e-06,1.225902e-06,1.501110e-06,1.540224e-06,1.876173e-06,1.944779e-06,2.220335e-06,2.398300e-06,2.560262e-06,2.835603e-06,2.886634e-06,3.193659e-06,3.240760e-06,3.478405e-06,3.606826e-06,3.739877e-06,3.932398e-06,3.978264e-06,4.194433e-06,4.218937e-06,4.389622e-06,4.469223e-06,4.565257e-06,4.686580e-06,4.722832e-06,4.863855e-06,4.874467e-06,4.989795e-06,5.036265e-06,5.102057e-06,5.175163e-06,5.201965e-06,5.290750e-06,5.294086e-06,5.369545e-06,5.395668e-06,5.439384e-06,5.482240e-06,5.501202e-06,5.555842e-06,5.604059e-06,5.618244e-06,5.646525e-06,5.670964e-06,5.683838e-06,5.715300e-06,5.716525e-06,5.745055e-06,5.752355e-06,5.769840e-06,5.783068e-06,5.791247e-06,5.808234e-06,5.809596e-06,5.825172e-06,5.828527e-06,5.838228e-06,5.844523e-06,5.848986e-06,5.856711e-06,5.857645e-06,5.864380e-06,5.865511e-06,5.869350e-06,5.871284e-06,5.872695e-06,5.874342e-06,5.874541e-06,5.875002e-06,5.874955e-06,5.874182e-06,5.873361e-06,5.872173e-06,5.869767e-06,5.869060e-06,5.864921e-06,5.864358e-06,5.859825e-06,5.857297e-06,5.853838e-06,5.848729e-06,5.847020e-06,5.839426e-06,5.838786e-06,5.831105e-06,5.827585e-06,5.822107e-06,5.815233e-06,5.812475e-06,5.802249e-06,5.801828e-06,5.791468e-06,5.787458e-06,5.780167e-06,5.772203e-06,5.768381e-06,5.756140e-06,5.743474e-06,5.739335e-06,5.730411e-06,5.721854e-06,5.716977e-06,5.703754e-06,5.703197e-06,5.689094e-06,5.685090e-06,5.674690e-06,5.665912e-06,5.660006e-06,5.646267e-06,5.645063e-06,5.629877e-06,5.626199e-06,5.614468e-06,5.605748e-06,5.598853e-06,5.584953e-06,5.583046e-06,5.567064e-06,5.563848e-06,5.550921e-06,5.542468e-06,5.534631e-06,5.520842e-06,5.518206e-06,5.501659e-06,5.499001e-06,5.485002e-06,5.476971e-06,5.468247e-06,5.454779e-06,5.451403e-06,5.434482e-06,5.432446e-06,5.417492e-06,5.409998e-06,5.400444e-06,5.387453e-06,5.383345e-06,5.366205e-06,5.364832e-06,5.349031e-06,5.342154e-06,5.331831e-06,5.319435e-06,5.314612e-06,5.297382e-06,5.296692e-06,5.280146e-06,5.273941e-06,5.262911e-06,5.251195e-06,5.245683e-06,5.228468e-06,5.205772e-06,5.183120e-06,5.160522e-06,5.137989e-06,5.115530e-06,5.093154e-06,5.070870e-06,5.048685e-06,5.026608e-06,5.004644e-06,4.982801e-06,4.961083e-06,4.939497e-06,4.918048e-06,4.896741e-06,4.875579e-06,4.854567e-06,4.833709e-06,4.813007e-06,4.792466e-06,4.772087e-06,4.751874e-06,4.731829e-06,4.711954e-06
0.000000e+00,6.618085e-12,3.730699e-11,4.420229e-10,2.093208e-09,4.155365e-09,1.714417e-08,1.801225e-08,5.209178e-08,6.684394e-08,1.182327e-07,1.785797e-07,2.291570e-07,3.818305e-07,3.977211e-07,6.351379e-07,7.032624e-07,9.485017e-07,1.158073e-06,1.339759e-06,1.746875e-06,1.806784e-06,2.345090e-06,2.460820e-06,2.949004e-06,3.286868e-06,3.612129e-06,4.209805e-06,4.327461e-06,5.087436e-06,5.212645e-06,5.884043e-06,6.277000e-06,6.709009e-06,7.383819e-06,7.554037e-06,8.411052e-06,8.514332e-06,9.272425e-06,9.650977e-06,1.013114e-05,1.077811e-05,1.098094e-05,1.181636e-05,1.188243e-05,1.263281e-05,1.295319e-05,1.342649e-05,1.398213e-05,1.419441e-05,1.493430e-05,1.496329e-05,1.564453e-05,1.589274e-05,1.632404e-05,1.676825e-05,1.697225e-05,1.758898e-05,1.817438e-05,1.835516e-05,1.872889e-05,1.906785e-05,1.925315e-05,1.972870e-05,1.974794e-05,2.021420e-05,2.033977e-05,2.065292e-05,2.090338e-05,2.106517e-05,2.142201e-05,2.145205e-05,2.181466e-05,2.189820e-05,2.215412e-05,2.233451e-05,2.247152e-05,2.273344e-05,2.276794e-05,2.304443e-05,2.309743e-05,2.330201e-05,2.342881e-05,2.354166e-05,2.372980e-05,2.376432e-05,2.397090e-05,2.400251e-05,2.416226e-05,2.424895e-05,2.433922e-05,2.447097e-05,2.450259e-05,2.465310e-05,2.467033e-05,2.479147e-05,2.484868e-05,2.491837e-05,2.500755e-05,2.503445e-05,2.514032e-05,2.514836e-05,2.523654e-05,2.527245e-05,2.532367e-05,2.538107e-05,2.540223e-05,2.547270e-05,2.547535e-05,2.553554e-05,2.555639e-05,2.559121e-05,2.562517e-05,2.564010e-05,2.568261e-05,2.571912e-05,2.572959e-05,2.574997e-05,2.576690e-05,2.577550e-05,2.579528e-05,2.579601e-05,2.581181e-05,2.581543e-05,2.582318e-05,2.582798e-05,2.583038e-05,2.583353e-05,2.583366e-05,2.583326e-05,2.583264e-05,2.582940e-05,2.582581e-05,2.582230e-05,2.581353e-05,2.581216e-05,2.579916e-05,2.579623e-05,2.578349e-05,2.577434e-05,2.576531e-05,2.574822e-05,2.574479e-05,2.572208e-05,2.571825e-05,2.569732e-05,2.568475e-05,2.567065e-05,2.564803e-05,2.564220e-05,2.561209e-05,2.560837e-05,2.558043e-05,2.556604e-05,2.554734e-05,2.552129e-05,2.551292e-05,2.547726e-05,2.547436e-05,2.544046e-05,2.542544e-05,2.540261e-05,2.537475e-05,2.536378e-05,2.532407e-05,2.532246e-05,2.528354e-05,2.526876e-05,2.524226e-05,2.521379e-05,2.520030e-05,2.515772e-05,2.510068e-05,2.504279e-05,2.498419e-05,2.492497e-05,2.486525e-05,2.480511e-05,2.474466e-05,2.468398e-05,2.462313e-05,2.456220e-05,2.450125e-05,2.444033e-05,2.437952e-05,2.431886e-05,2.425840e-05,2.419818e-05,2.413825e-05,2.407864e-05,2.401940e-05,2.396055e-05,2.390212e-05,2.384415e-05,2.378665e-05,2.372965e-05
0.000000e+00,1.047979e-10,5.226686e-10,4.935945e-09,1.962808e-08,3.586141e-08,1.244541e-07,1.300004e-07,3.360229e-07,4.221207e-07,7.189237e-07,1.066845e-06,1.358179e-06,2.223707e-06,2.311881e-06,3.575794e-06,3.920220e-06,5.102042e-06,6.052589e-06,6.842103e-06,8.524054e-06,8.763447e-06,1.084594e-05,1.128045e-05,1.307484e-05,1.428713e-05,1.543618e-05,1.751092e-05,1.791467e-05,2.049299e-05,2.091353e-05,2.315198e-05,2.445093e-05,2.587104e-05,2.807523e-05,2.862887e-05,3.140411e-05,3.173732e-05,3.417602e-05,3.538950e-05,3.692501e-05,3.898777e-05,3.963308e-05,4.228418e-05,4.249338e-05,4.486437e-05,4.587388e-05,4.736189e-05,4.910345e-05,4.976716e-05,5.207274e-05,5.216280e-05,5.427313e-05,5.503875e-05,5.636463e-05,5.772351e-05,5.834513e-05,6.021390e-05,6.197142e-05,6.251053e-05,6.361910e-05,6.461699e-05,6.515920e-05,6.653913e-05,6.659458e-05,6.792860e-05,6.828447e-05,6.916499e-05,6.986160e-05,7.030770e-05,7.127981e-05,7.136086e-05,7.232867e-05,7.254871e-05,7.321534e-05,7.367799e-05,7.402506e-05,7.467722e-05,7.476193e-05,7.542996e-05,7.555566e-05,7.603304e-05,7.632222e-05,7.657490e-05,7.698537e-05,7.705911e-05,7.748910e-05,7.755309e-05,7.786814e-05,7.803290e-05,7.819932e-05,7.843179e-05,7.848558e-05,7.872969e-05,7.875628e-05,7.893429e-05,7.901244e-05,7.910186e-05,7.920588e-05,7.923473e-05,7.933510e-05,7.934179e-05,7.940505e-05,7.942495e-05,7.944652e-05,7.945979e-05,7.946136e-05,7.945128e-05,7.945038e-05,7.941791e-05,7.940049e-05,7.936277e-05,7.931357e-05,7.928729e-05,7.919281e-05,7.908060e-05,7.904115e-05,7.895186e-05,7.886129e-05,7.880768e-05,7.865573e-05,7.864912e-05,7.847717e-05,7.842675e-05,7.829275e-05,7.817648e-05,7.809673e-05,7.790685e-05,7.788993e-05,7.767312e-05,7.761968e-05,7.744703e-05,7.731661e-05,7.721233e-05,7.699918e-05,7.696966e-05,7.671963e-05,7.666879e-05,7.646281e-05,7.632675e-05,7.619972e-05,7.597425e-05,7.593087e-05,7.565674e-05,7.561242e-05,7.537777e-05,7.524226e-05,7.509437e-05,7.486474e-05,7.480696e-05,7.451589e-05,7.448073e-05,7.422152e-05,7.409104e-05,7.392419e-05,7.369642e-05,7.362419e-05,7.332183e-05,7.329755e-05,7.301739e-05,7.289508e-05,7.271111e-05,7.248961e-05,7.240326e-05,7.209406e-05,7.208167e-05,7.178374e-05,7.167178e-05,7.147249e-05,7.126041e-05,7.116051e-05,7.084799e-05,7.043492e-05,7.002157e-05,6.960829e-05,6.919539e-05,6.878317e-05,6.837189e-05,6.796180e-05,6.755314e-05,6.714612e-05,6.674093e-05,6.633776e-05,6.593676e-05,6.553808e-05,6.514187e-05,6.474826e-05,6.435735e-05,6.396926e-05,6.358408e-05,6.320189e-05,6.282277e-05,6.244680e-05,6.207403e-05,6.170453e-05,6.133834e-05
0.000000e+00,3.266408e-09,7.776646e-09,2.798473e-08,6.541512e-08,9.670541e-08,2.272327e-07,2.344306e-07,4.724080e-07,5.622772e-07,8.506976e-07,1.162901e-06,1.410733e-06,2.103094e-06,2.171121e-06,3.119101e-06,3.372062e-06,4.233423e-06,4.924195e-06,5.498994e-06,6.730384e-06,6.906559e-06,8.449459e-06,8.773735e-06,1.012142e-05,1.103956e-05,1.191542e-05,1.351074e-05,1.382327e-05,1.583548e-05,1.616642e-05,1.794147e-05,1.898231e-05,2.012977e-05,2.193161e-05,2.238836e-05,2.470495e-05,2.498626e-05,2.706729e-05,2.811812e-05,2.946343e-05,3.130004e-05,3.188193e-05,3.431204e-05,3.450665e-05,3.674380e-05,3.771490e-05,3.916810e-05,4.090434e-05,4.157675e-05,4.396249e-05,4.405735e-05,4.631900e-05,4.715910e-05,4.864077e-05,5.019729e-05,5.092309e-05,5.316200e-05,5.535422e-05,5.604543e-05,5.749714e-05,5.884175e-05,5.958864e-05,6.154641e-05,6.162690e-05,6.361069e-05,6.415627e-05,6.553916e-05,6.666942e-05,6.741171e-05,6.908480e-05,6.922803e-05,7.098810e-05,7.140216e-05,7.269205e-05,7.362186e-05,7.434019e-05,7.574471e-05,7.593293e-05,7.747086e-05,7.777192e-05,7.895464e-05,7.970506e-05,8.038503e-05,8.154591e-05,8.176286e-05,8.308901e-05,8.329646e-05,8.436439e-05,8.495884e-05,8.558999e-05,8.653529e-05,8.676680e-05,8.789583e-05,8.802815e-05,8.897811e-05,8.943978e-05,9.001470e-05,9.077258e-05,9.100663e-05,9.195497e-05,9.202899e-05,9.286078e-05,9.321143e-05,9.372510e-05,9.432231e-05,9.454898e-05,9.533347e-05,9.536404e-05,9.607959e-05,9.633900e-05,9.678838e-05,9.724953e-05,9.746083e-05,9.809795e-05,9.870072e-05,9.888651e-05,9.927012e-05,9.961746e-05,9.980709e-05,1.002930e-04,1.003126e-04,1.007875e-04,1.009151e-04,1.012328e-04,1.014861e-04,1.016493e-04,1.020078e-04,1.020379e-04,1.023995e-04,1.024823e-04,1.027348e-04,1.029115e-04,1.030448e-04,1.032973e-04,1.033303e-04,1.035919e-04,1.036414e-04,1.038305e-04,1.039457e-04,1.040468e-04,1.042118e-04,1.042416e-04,1.044155e-04,1.044415e-04,1.045693e-04,1.046362e-04,1.047037e-04,1.047976e-04,1.048193e-04,1.049167e-04,1.049273e-04,1.049967e-04,1.050265e-04,1.050598e-04,1.050968e-04,1.051065e-04,1.051376e-04,1.051395e-04,1.051536e-04,1.051558e-04,1.051550e-04,1.051472e-04,1.051423e-04,1.051161e-04,1.051148e-04,1.050769e-04,1.050597e-04,1.050252e-04,1.049832e-04,1.049615e-04,1.048863e-04,1.047700e-04,1.046354e-04,1.044835e-04,1.043152e-04,1.041314e-04,1.039329e-04,1.037206e-04,1.034954e-04,1.032579e-04,1.030090e-04,1.027492e-04,1.024794e-04,1.022002e-04,1.019121e-04,1.016158e-04,1.013119e-04,1.010009e-04,1.006833e-04,1.003597e-04,1.000306e-04,9.969627e-05,9.935731e-05,9.901411e-05,9.866707e-05
0.000000e+00,4.423597e-13,2.763572e-12,4.014909e-11,2.263385e-10,4.920529e-10,2.525077e-09,2.675209e-09,9.368123e-09,1.260929e-08,2.494919e-08,4.092636e-08,5.521579e-08,1.019385e-07,1.070558e-07,1.880935e-07,2.127714e-07,3.062887e-07,3.916120e-07,4.693362e-07,6.551502e-07,6.837633e-07,9.539274e-07,1.014834e-06,1.281320e-06,1.473794e-06,1.664445e-06,2.026413e-06,2.099219e-06,2.579652e-06,2.660290e-06,3.098572e-06,3.359060e-06,3.648239e-06,4.104829e-06,4.220800e-06,4.808588e-06,4.879795e-06,5.404322e-06,5.667195e-06,6.001224e-06,6.451818e-06,6.593103e-06,7.174406e-06,7.220303e-06,7.740258e-06,7.961312e-06,8.286478e-06,8.665624e-06,8.809594e-06,9.306827e-06,9.326146e-06,9.776072e-06,9.937847e-06,1.021586e-05,1.049760e-05,1.062528e-05,1.100399e-05,1.135205e-05,1.145703e-05,1.166995e-05,1.185793e-05,1.195848e-05,1.220882e-05,1.221871e-05,1.245186e-05,1.251248e-05,1.265933e-05,1.277210e-05,1.284261e-05,1.299115e-05,1.300320e-05,1.314267e-05,1.317316e-05,1.326254e-05,1.332166e-05,1.336431e-05,1.344006e-05,1.344944e-05,1.351932e-05,1.353158e-05,1.357525e-05,1.359924e-05,1.361848e-05,1.364582e-05,1.365016e-05,1.367136e-05,1.367385e-05,1.368309e-05,1.368563e-05,1.368627e-05,1.368322e-05,1.368173e-05,1.367026e-05,1.366845e-05,1.365256e-05,1.364297e-05,1.362928e-05,1.360821e-05,1.360100e-05,1.356828e-05,1.356548e-05,1.353158e-05,1.351589e-05,1.349136e-05,1.346045e-05,1.344802e-05,1.340191e-05,1.340002e-05,1.335338e-05,1.333537e-05,1.330272e-05,1.326719e-05,1.325020e-05,1.319606e-05,1.314054e-05,1.312251e-05,1.308382e-05,1.304699e-05,1.302611e-05,1.296991e-05,1.296755e-05,1.290831e-05,1.289161e-05,1.284851e-05,1.281242e-05,1.278829e-05,1.273260e-05,1.272775e-05,1.266700e-05,1.265240e-05,1.260613e-05,1.257202e-05,1.254522e-05,1.249165e-05,1.248435e-05,1.242359e-05,1.241146e-05,1.236300e-05,1.233158e-05,1.230264e-05,1.225216e-05,1.224256e-05,1.218281e-05,1.217328e-05,1.212342e-05,1.209506e-05,1.206444e-05,1.201758e-05,1.200590e-05,1.194783e-05,1.194090e-05,1.189026e-05,1.186509e-05,1.183321e-05,1.179022e-05,1.177671e-05,1.172077e-05,1.171632e-05,1.166541e-05,1.164343e-05,1.161064e-05,1.157159e-05,1.155649e-05,1.150296e-05,1.150083e-05,1.145005e-05,1.143117e-05,1.139779e-05,1.136262e-05,1.134618e-05,1.129521e-05,1.122895e-05,1.116384e-05,1.109989e-05,1.103710e-05,1.097547e-05,1.091500e-05,1.085568e-05,1.079752e-05,1.074049e-05,1.068460e-05,1.062984e-05,1.057618e-05,1.052363e-05,1.047217e-05,1.042179e-05,1.037247e-05,1.032420e-05,1.027696e-05,1.023074e-05,1.018552e-05,1.014129e-05,1.009803e-05,1.005572e-05,1.001436e-05
0.000000e+00,9.446700e-14,6.308795e-13,1.053178e-11,6.745519e-11,1.573687e-10,9.710816e-10,1.036638e-09,4.375512e-09,6.200474e-09,1.398445e-08,2.554515e-08,3.699889e-08,8.023219e-08,8.543365e-08,1.780206e-07,2.096436e-07,3.420846e-07,4.786383e-07,6.148421e-07,9.818888e-07,1.043276e-06,1.682053e-06,1.840184e-06,2.589691e-06,3.187213e-06,3.823796e-06,5.151005e-06,5.436319e-06,7.469562e-06,7.836109e-06,9.953361e-06,1.131082e-05,1.290354e-05,1.560091e-05,1.632153e-05,2.019500e-05,2.068937e-05,2.449916e-05,2.652064e-05,2.919857e-05,3.300763e-05,3.424920e-05,3.960065e-05,4.004015e-05,4.519819e-05,4.749336e-05,5.098474e-05,5.523572e-05,5.690268e-05,6.289533e-05,6.313581e-05,6.890823e-05,7.106785e-05,7.489016e-05,7.891591e-05,8.079391e-05,8.657684e-05,9.220119e-05,9.396200e-05,9.763425e-05,1.009981e-04,1.028484e-04,1.076269e-04,1.078210e-04,1.125340e-04,1.138053e-04,1.169742e-04,1.195033e-04,1.211322e-04,1.247036e-04,1.250025e-04,1.285830e-04,1.293992e-04,1.318745e-04,1.335927e-04,1.348805e-04,1.372940e-04,1.376066e-04,1.400604e-04,1.405193e-04,1.422510e-04,1.432894e-04,1.441885e-04,1.456287e-04,1.458842e-04,1.473499e-04,1.475639e-04,1.485978e-04,1.491232e-04,1.496406e-04,1.503355e-04,1.504907e-04,1.511608e-04,1.512297e-04,1.516630e-04,1.518340e-04,1.520095e-04,1.521758e-04,1.522119e-04,1.522813e-04,1.522814e-04,1.522286e-04,1.521756e-04,1.520639e-04,1.518814e-04,1.517969e-04,1.514368e-04,1.514206e-04,1.509922e-04,1.508131e-04,1.504712e-04,1.500771e-04,1.498813e-04,1.492294e-04,1.485223e-04,1.482853e-04,1.477658e-04,1.472584e-04,1.469656e-04,1.461612e-04,1.461269e-04,1.452544e-04,1.450047e-04,1.443526e-04,1.437990e-04,1.434253e-04,1.425530e-04,1.424763e-04,1.415090e-04,1.412745e-04,1.405265e-04,1.399707e-04,1.395316e-04,1.386478e-04,1.385267e-04,1.375144e-04,1.373112e-04,1.364966e-04,1.359659e-04,1.354753e-04,1.346160e-04,1.344523e-04,1.334290e-04,1.332654e-04,1.324070e-04,1.319172e-04,1.313875e-04,1.305744e-04,1.303716e-04,1.293604e-04,1.292394e-04,1.283548e-04,1.279144e-04,1.273557e-04,1.266012e-04,1.263638e-04,1.253797e-04,1.253014e-04,1.244041e-04,1.240163e-04,1.234374e-04,1.227471e-04,1.224801e-04,1.215326e-04,1.214949e-04,1.205952e-04,1.202603e-04,1.196683e-04,1.190440e-04,1.187520e-04,1.178467e-04,1.166687e-04,1.155103e-04,1.143719e-04,1.132535e-04,1.121553e-04,1.110773e-04,1.100196e-04,1.089820e-04,1.079644e-04,1.069668e-04,1.059890e-04,1.050308e-04,1.040921e-04,1.031724e-04,1.022717e-04,1.013897e-04,1.005261e-04,9.968064e-05,9.885301e-05,9.804293e-05,9.725010e-05,9.647422e-05,9.571499e-05,9.497209e-05
0.000000e+00,5.929256e-10,1.380497e-09,4.834180e-09,1.109408e-08,1.623760e-08,3.703586e-08,3.815600e-08,7.391334e-08,8.686863e-08,1.269473e-07,1.685720e-07,2.009142e-07,2.907309e-07,2.996257e-07,4.265518e-07,4.614888e-07,5.837793e-07,6.851111e-07,7.712123e-07,9.597145e-07,9.870326e-07,1.228835e-06,1.280107e-06,1.494318e-06,1.641033e-06,1.781409e-06,2.037848e-06,2.088175e-06,2.412712e-06,2.466158e-06,2.753082e-06,2.921498e-06,3.107283e-06,3.399218e-06,3.473254e-06,3.848899e-06,3.894527e-06,4.232117e-06,4.402597e-06,4.620837e-06,4.918706e-06,5.013053e-06,5.406851e-06,5.438368e-06,5.800438e-06,5.957439e-06,6.192161e-06,6.472195e-06,6.580514e-06,6.964152e-06,6.979382e-06,7.341891e-06,7.476230e-06,7.712703e-06,7.960447e-06,8.075715e-06,8.430197e-06,8.775556e-06,8.884064e-06,9.111321e-06,9.321005e-06,9.437133e-06,9.740309e-06,9.752735e-06,1.005796e-05,1.014155e-05,1.035271e-05,1.052453e-05,1.063697e-05,1.088925e-05,1.091077e-05,1.117420e-05,1.123590e-05,1.142739e-05,1.156475e-05,1.167048e-05,1.187620e-05,1.190367e-05,1.212717e-05,1.217073e-05,1.234121e-05,1.244885e-05,1.254602e-05,1.271113e-05,1.274187e-05,1.292900e-05,1.295815e-05,1.310768e-05,1.319052e-05,1.327817e-05,1.340885e-05,1.344074e-05,1.359565e-05,1.361374e-05,1.374317e-05,1.380579e-05,1.388353e-05,1.398559e-05,1.401701e-05,1.414385e-05,1.415372e-05,1.426429e-05,1.431073e-05,1.437857e-05,1.445716e-05,1.448691e-05,1.458955e-05,1.459354e-05,1.468670e-05,1.472037e-05,1.477856e-05,1.483812e-05,1.486535e-05,1.494726e-05,1.502449e-05,1.504824e-05,1.509721e-05,1.514147e-05,1.516561e-05,1.522736e-05,1.522985e-05,1.529012e-05,1.530630e-05,1.534655e-05,1.537864e-05,1.539932e-05,1.544475e-05,1.544856e-05,1.549442e-05,1.550494e-05,1.553705e-05,1.555955e-05,1.557656e-05,1.560887e-05,1.561310e-05,1.564678e-05,1.565318e-05,1.567772e-05,1.569276e-05,1.570604e-05,1.572787e-05,1.573184e-05,1.575523e-05,1.575876e-05,1.577632e-05,1.578565e-05,1.579520e-05,1.580877e-05,1.581196e-05,1.582669e-05,1.582833e-05,1.583949e-05,1.584453e-05,1.585043e-05,1.585756e-05,1.585960e-05,1.586707e-05,1.586759e-05,1.587291e-05,1.587481e-05,1.587720e-05,1.587937e-05,1.588001e-05,1.588140e-05,1.588143e-05,1.588143e-05,1.588112e-05,1.588017e-05,1.587860e-05,1.587767e-05,1.587400e-05,1.586743e-05,1.585901e-05,1.584887e-05,1.583710e-05,1.582380e-05,1.580908e-05,1.579303e-05,1.577572e-05,1.575725e-05,1.573768e-05,1.571710e-05,1.569558e-05,1.567317e-05,1.564995e-05,1.562597e-05,1.560129e-05,1.557597e-05,1.555005e-05,1.552359e-05,1.549662e-05,1.546919e-05,1.544135e-05,1.541314e-05,1.538458e-05
0.000000e+00,1.241452e-08,2.870989e-08,1.000062e-07,2.295535e-07,3.364909e-07,7.737533e-07,7.975216e-07,1.567329e-06,1.851186e-06,2.743493e-06,3.687681e-06,4.428690e-06,6.489666e-06,6.692448e-06,9.531795e-06,1.029337e-05,1.289440e-05,1.498472e-05,1.672435e-05,2.044523e-05,2.097648e-05,2.561273e-05,2.658291e-05,3.059714e-05,3.331457e-05,3.589327e-05,4.055541e-05,4.146348e-05,4.726928e-05,4.821749e-05,5.327212e-05,5.621233e-05,5.943425e-05,6.445431e-05,6.571957e-05,7.209429e-05,7.286376e-05,7.852734e-05,8.136900e-05,8.499061e-05,8.990739e-05,9.145906e-05,9.791064e-05,9.842545e-05,1.043262e-04,1.068785e-04,1.106891e-04,1.152299e-04,1.169854e-04,1.232031e-04,1.234500e-04,1.293322e-04,1.315153e-04,1.353643e-04,1.394072e-04,1.412927e-04,1.471116e-04,1.528167e-04,1.546177e-04,1.584043e-04,1.619174e-04,1.638717e-04,1.690054e-04,1.692168e-04,1.744381e-04,1.758777e-04,1.795346e-04,1.825323e-04,1.845057e-04,1.889682e-04,1.893512e-04,1.940713e-04,1.951855e-04,1.986663e-04,2.011852e-04,2.031369e-04,2.069688e-04,2.074840e-04,2.117085e-04,2.125388e-04,2.158116e-04,2.178976e-04,2.197946e-04,2.230485e-04,2.236589e-04,2.274061e-04,2.279948e-04,2.310377e-04,2.327403e-04,2.345554e-04,2.372888e-04,2.379610e-04,2.412563e-04,2.416444e-04,2.444431e-04,2.458114e-04,2.475233e-04,2.497941e-04,2.504988e-04,2.533715e-04,2.535969e-04,2.561434e-04,2.572244e-04,2.588165e-04,2.606810e-04,2.613927e-04,2.638740e-04,2.639713e-04,2.662624e-04,2.670999e-04,2.685599e-04,2.700713e-04,2.707685e-04,2.728901e-04,2.749267e-04,2.755608e-04,2.768803e-04,2.780879e-04,2.787527e-04,2.804757e-04,2.805460e-04,2.822619e-04,2.827288e-04,2.839024e-04,2.848513e-04,2.854694e-04,2.868476e-04,2.869646e-04,2.883900e-04,2.887219e-04,2.897472e-04,2.904782e-04,2.910381e-04,2.921206e-04,2.922644e-04,2.934278e-04,2.936531e-04,2.945301e-04,2.950796e-04,2.955728e-04,2.964038e-04,2.965576e-04,2.974861e-04,2.976295e-04,2.983599e-04,2.987604e-04,2.991806e-04,2.997999e-04,2.999496e-04,3.006685e-04,3.007515e-04,3.013388e-04,3.016186e-04,3.019618e-04,3.024046e-04,3.025390e-04,3.030718e-04,3.031125e-04,3.035615e-04,3.037456e-04,3.040095e-04,3.043069e-04,3.044170e-04,3.047853e-04,3.047992e-04,3.051157e-04,3.052256e-04,3.054093e-04,3.055887e-04,3.056675e-04,3.058913e-04,3.061360e-04,3.063253e-04,3.064618e-04,3.065478e-04,3.065857e-04,3.065776e-04,3.065258e-04,3.064324e-04,3.062993e-04,3.061286e-04,3.059222e-04,3.056818e-04,3.054093e-04,3.051064e-04,3.047748e-04,3.044159e-04,3.040314e-04,3.036228e-04,3.031914e-04,3.027387e-04,3.022659e-04,3.017743e-04,3.012653e-04,3.007398e-04
0.000000e+00,3.994018e-10,9.560747e-10,3.441450e-09,7.987959e-09,1.173450e-08,2.690130e-08,2.771810e-08,5.376913e-08,6.319494e-08,9.230948e-08,1.224690e-07,1.458373e-07,2.103158e-07,2.166597e-07,3.061601e-07,3.304409e-07,4.142970e-07,4.826517e-07,5.401194e-07,6.645843e-07,6.825114e-07,8.404424e-07,8.738063e-07,1.012920e-06,1.108015e-06,1.198903e-06,1.364727e-06,1.397241e-06,1.606662e-06,1.641107e-06,1.825776e-06,1.933961e-06,2.053099e-06,2.239827e-06,2.287081e-06,2.526148e-06,2.555104e-06,2.768735e-06,2.876194e-06,3.013319e-06,3.199641e-06,3.258448e-06,3.502765e-06,3.522238e-06,3.745029e-06,3.841105e-06,3.984121e-06,4.153746e-06,4.219057e-06,4.448985e-06,4.458067e-06,4.673186e-06,4.752380e-06,4.891070e-06,5.035377e-06,5.102164e-06,5.306107e-06,5.502638e-06,5.563931e-06,5.691584e-06,5.808484e-06,5.872853e-06,6.039626e-06,6.046421e-06,6.212320e-06,6.257408e-06,6.370634e-06,6.462031e-06,6.521485e-06,6.653810e-06,6.665029e-06,6.801449e-06,6.833151e-06,6.930946e-06,7.000521e-06,7.053737e-06,7.156428e-06,7.170052e-06,7.280123e-06,7.301409e-06,7.384190e-06,7.436010e-06,7.482490e-06,7.560781e-06,7.575263e-06,7.662743e-06,7.676264e-06,7.745160e-06,7.782989e-06,7.822740e-06,7.881469e-06,7.895703e-06,7.964259e-06,7.972200e-06,8.028615e-06,8.055652e-06,8.088967e-06,8.132274e-06,8.145505e-06,8.198412e-06,8.202493e-06,8.247861e-06,8.266710e-06,8.294019e-06,8.325304e-06,8.337045e-06,8.377092e-06,8.378634e-06,8.414304e-06,8.427033e-06,8.448820e-06,8.470818e-06,8.480771e-06,8.510282e-06,8.537473e-06,8.545702e-06,8.562456e-06,8.577337e-06,8.585340e-06,8.605428e-06,8.606227e-06,8.625214e-06,8.630202e-06,8.642394e-06,8.651872e-06,8.657855e-06,8.670634e-06,8.671682e-06,8.683952e-06,8.686674e-06,8.694743e-06,8.700167e-06,8.704126e-06,8.711273e-06,8.712170e-06,8.718938e-06,8.720145e-06,8.724495e-06,8.726925e-06,8.728898e-06,8.731746e-06,8.732203e-06,8.734464e-06,8.734732e-06,8.735732e-06,8.736002e-06,8.736054e-06,8.735663e-06,8.735478e-06,8.734046e-06,8.733819e-06,8.731801e-06,8.730566e-06,8.728782e-06,8.725994e-06,8.725028e-06,8.720574e-06,8.720189e-06,8.715455e-06,8.713229e-06,8.709705e-06,8.705190e-06,8.703353e-06,8.696431e-06,8.696143e-06,8.688967e-06,8.686153e-06,8.680988e-06,8.675282e-06,8.672521e-06,8.663590e-06,8.651132e-06,8.637959e-06,8.624121e-06,8.609663e-06,8.594629e-06,8.579061e-06,8.562997e-06,8.546474e-06,8.529526e-06,8.512185e-06,8.494484e-06,8.476450e-06,8.458112e-06,8.439495e-06,8.420625e-06,8.401524e-06,8.382214e-06,8.362717e-06,8.343053e-06,8.323239e-06,8.303294e-06,8.283235e-06,8.263077e-06,8.242836e-06
0.000000e+00,3.197459e-11,1.728466e-10,1.890639e-09,8.393157e-09,1.613425e-08,6.189048e-08,6.485136e-08,1.769360e-07,2.239455e-07,3.840480e-07,5.677439e-07,7.195815e-07,1.171676e-06,1.218405e-06,1.913480e-06,2.112412e-06,2.828312e-06,3.440564e-06,3.972060e-06,5.166344e-06,5.342558e-06,6.932746e-06,7.276456e-06,8.734863e-06,9.753266e-06,1.074154e-05,1.257978e-05,1.294529e-05,1.533769e-05,1.573734e-05,1.790874e-05,1.920289e-05,2.064656e-05,2.294768e-05,2.353735e-05,2.656548e-05,2.693728e-05,2.971371e-05,3.113224e-05,3.296352e-05,3.548938e-05,3.629548e-05,3.968957e-05,3.996318e-05,4.312564e-05,4.450733e-05,4.658370e-05,4.907617e-05,5.004429e-05,5.348872e-05,5.362591e-05,5.689940e-05,5.811579e-05,6.025995e-05,6.250880e-05,6.355541e-05,6.677232e-05,6.989879e-05,7.087842e-05,7.292449e-05,7.480396e-05,7.584068e-05,7.853049e-05,7.864016e-05,8.131714e-05,8.204412e-05,8.386726e-05,8.533509e-05,8.628740e-05,8.839744e-05,8.857561e-05,9.073101e-05,9.122853e-05,9.275365e-05,9.382865e-05,9.464443e-05,9.620049e-05,9.640495e-05,9.803745e-05,9.834883e-05,9.954471e-05,1.002800e-04,1.009299e-04,1.020018e-04,1.021967e-04,1.033488e-04,1.035228e-04,1.043904e-04,1.048523e-04,1.053256e-04,1.060001e-04,1.061588e-04,1.068945e-04,1.069764e-04,1.075370e-04,1.077913e-04,1.080907e-04,1.084548e-04,1.085600e-04,1.089493e-04,1.089771e-04,1.092627e-04,1.093678e-04,1.095045e-04,1.096364e-04,1.096785e-04,1.097889e-04,1.097920e-04,1.098392e-04,1.098433e-04,1.098332e-04,1.097988e-04,1.097744e-04,1.096662e-04,1.095117e-04,1.094530e-04,1.093142e-04,1.091665e-04,1.090765e-04,1.088131e-04,1.088015e-04,1.084918e-04,1.083993e-04,1.081501e-04,1.079307e-04,1.077788e-04,1.074130e-04,1.073801e-04,1.069564e-04,1.068512e-04,1.065096e-04,1.062501e-04,1.060417e-04,1.056141e-04,1.055547e-04,1.050502e-04,1.049473e-04,1.045299e-04,1.042536e-04,1.039954e-04,1.035365e-04,1.034481e-04,1.028896e-04,1.027993e-04,1.023210e-04,1.020449e-04,1.017436e-04,1.012762e-04,1.011586e-04,1.005670e-04,1.004957e-04,9.996997e-05,9.970575e-05,9.936832e-05,9.890857e-05,9.876300e-05,9.815486e-05,9.810610e-05,9.754466e-05,9.730017e-05,9.693314e-05,9.649242e-05,9.632099e-05,9.570884e-05,9.568436e-05,9.509728e-05,9.487737e-05,9.448686e-05,9.407269e-05,9.387809e-05,9.327145e-05,9.247467e-05,9.168326e-05,9.089804e-05,9.011976e-05,8.934906e-05,8.858653e-05,8.783268e-05,8.708796e-05,8.635276e-05,8.562741e-05,8.491220e-05,8.420737e-05,8.351313e-05,8.282963e-05,8.215700e-05,8.149534e-05,8.084471e-05,8.020514e-05,7.957666e-05,7.895926e-05,7.835291e-05,7.775756e-05,7.717316e-05,7.659962e-05
0.000000e+00,8.062641e-10,2.865656e-09,1.602817e-08,4.583709e-08,7.275611e-08,1.909574e-07,1.975759e-07,4.157007e-07,4.968920e-07,7.521609e-07,1.021518e-06,1.232740e-06,1.825209e-06,1.884265e-06,2.733896e-06,2.970190e-06,3.807063e-06,4.513512e-06,5.123808e-06,6.491903e-06,6.693591e-06,8.509725e-06,8.900560e-06,1.054620e-05,1.167845e-05,1.276005e-05,1.471885e-05,1.509940e-05,1.751290e-05,1.790284e-05,1.995616e-05,2.112880e-05,2.239393e-05,2.432197e-05,2.479946e-05,2.715279e-05,2.743093e-05,2.943914e-05,3.042100e-05,3.164763e-05,3.326903e-05,3.377031e-05,3.580157e-05,3.596000e-05,3.773763e-05,3.848486e-05,3.957625e-05,4.083911e-05,4.131642e-05,4.295816e-05,4.302179e-05,4.450236e-05,4.503468e-05,4.595058e-05,4.688161e-05,4.730494e-05,4.856799e-05,4.974261e-05,5.010032e-05,5.083193e-05,5.148584e-05,5.183923e-05,5.273223e-05,5.276791e-05,5.362144e-05,5.384743e-05,5.440327e-05,5.483939e-05,5.511686e-05,5.571602e-05,5.576561e-05,5.635286e-05,5.648502e-05,5.688188e-05,5.715387e-05,5.735581e-05,5.772973e-05,5.777772e-05,5.815055e-05,5.821948e-05,5.847714e-05,5.862961e-05,5.876023e-05,5.896630e-05,5.900240e-05,5.920616e-05,5.923536e-05,5.937389e-05,5.944227e-05,5.950785e-05,5.959217e-05,5.961021e-05,5.968302e-05,5.968987e-05,5.972823e-05,5.973987e-05,5.974771e-05,5.974637e-05,5.974319e-05,5.971637e-05,5.971331e-05,5.966881e-05,5.964432e-05,5.960201e-05,5.954280e-05,5.951739e-05,5.941628e-05,5.941191e-05,5.929996e-05,5.925458e-05,5.916960e-05,5.907353e-05,5.902635e-05,5.887127e-05,5.870535e-05,5.865012e-05,5.852955e-05,5.841226e-05,5.834475e-05,5.815965e-05,5.815179e-05,5.795146e-05,5.789415e-05,5.774450e-05,5.761744e-05,5.753161e-05,5.733107e-05,5.731344e-05,5.709061e-05,5.703650e-05,5.686368e-05,5.673502e-05,5.663321e-05,5.642786e-05,5.639969e-05,5.616360e-05,5.611611e-05,5.592538e-05,5.580080e-05,5.568545e-05,5.548286e-05,5.544418e-05,5.520195e-05,5.516313e-05,5.495908e-05,5.484238e-05,5.471590e-05,5.452131e-05,5.447268e-05,5.422971e-05,5.420058e-05,5.398722e-05,5.388074e-05,5.374545e-05,5.356233e-05,5.350462e-05,5.326493e-05,5.324581e-05,5.302655e-05,5.293161e-05,5.278966e-05,5.262010e-05,5.255441e-05,5.232094e-05,5.231164e-05,5.208938e-05,5.200651e-05,5.185986e-05,5.170499e-05,5.163247e-05,5.140732e-05,5.111369e-05,5.082429e-05,5.053927e-05,5.025877e-05,4.998289e-05,4.971173e-05,4.944536e-05,4.918384e-05,4.892721e-05,4.867550e-05,4.842874e-05,4.818692e-05,4.795005e-05,4.771810e-05,4.749107e-05,4.726893e-05,4.705163e-05,4.683914e-05,4.663141e-05,4.642839e-05,4.623003e-05,4.603627e-05,4.584704e-05,4.566229e-05
0.000000e+00,3.682758e-10,1.056055e-09,4.586707e-09,1.158693e-08,1.754804e-08,4.231622e-08,4.366480e-08,8.694110e-08,1.026448e-07,1.510935e-07,2.010821e-07,2.396600e-07,3.456553e-07,3.560721e-07,5.036360e-07,5.440289e-07,6.853094e-07,8.027689e-07,9.031357e-07,1.125031e-06,1.157429e-06,1.446332e-06,1.507972e-06,1.766306e-06,1.943584e-06,2.113167e-06,2.422307e-06,2.482827e-06,2.871545e-06,2.935277e-06,3.275899e-06,3.474596e-06,3.692684e-06,4.032999e-06,4.118835e-06,4.551385e-06,4.603584e-06,4.987465e-06,5.179740e-06,5.424306e-06,5.755189e-06,5.859276e-06,6.289898e-06,6.324090e-06,6.713884e-06,6.881147e-06,7.129155e-06,7.421704e-06,7.533857e-06,7.926375e-06,7.941802e-06,8.305334e-06,8.438213e-06,8.669594e-06,8.908424e-06,9.018249e-06,9.350610e-06,9.666190e-06,9.763579e-06,9.964693e-06,1.014671e-05,1.024599e-05,1.049986e-05,1.051009e-05,1.075716e-05,1.082332e-05,1.098745e-05,1.111771e-05,1.120131e-05,1.138394e-05,1.139919e-05,1.158157e-05,1.162310e-05,1.174900e-05,1.183645e-05,1.190207e-05,1.202536e-05,1.204137e-05,1.216754e-05,1.219125e-05,1.228120e-05,1.233558e-05,1.238300e-05,1.245979e-05,1.247355e-05,1.255349e-05,1.256534e-05,1.262342e-05,1.265360e-05,1.268393e-05,1.272594e-05,1.273559e-05,1.277897e-05,1.278364e-05,1.281458e-05,1.282793e-05,1.284296e-05,1.285997e-05,1.286457e-05,1.287989e-05,1.288086e-05,1.288936e-05,1.289160e-05,1.289339e-05,1.289315e-05,1.289239e-05,1.288672e-05,1.288641e-05,1.287675e-05,1.287218e-05,1.286281e-05,1.285122e-05,1.284521e-05,1.282424e-05,1.280018e-05,1.279187e-05,1.277330e-05,1.275472e-05,1.274383e-05,1.271332e-05,1.271201e-05,1.267804e-05,1.266818e-05,1.264214e-05,1.261974e-05,1.260448e-05,1.256843e-05,1.256523e-05,1.252457e-05,1.251462e-05,1.248265e-05,1.245867e-05,1.243960e-05,1.240090e-05,1.239556e-05,1.235065e-05,1.234158e-05,1.230499e-05,1.228098e-05,1.225868e-05,1.221935e-05,1.221182e-05,1.216450e-05,1.215689e-05,1.211681e-05,1.209381e-05,1.206883e-05,1.203028e-05,1.202063e-05,1.197228e-05,1.196647e-05,1.192383e-05,1.190251e-05,1.187536e-05,1.183854e-05,1.182691e-05,1.177853e-05,1.177467e-05,1.173028e-05,1.171101e-05,1.168218e-05,1.164767e-05,1.163428e-05,1.158661e-05,1.158471e-05,1.153921e-05,1.152222e-05,1.149211e-05,1.146026e-05,1.144533e-05,1.139890e-05,1.133818e-05,1.127816e-05,1.121887e-05,1.116035e-05,1.110262e-05,1.104572e-05,1.098967e-05,1.093448e-05,1.088017e-05,1.082676e-05,1.077424e-05,1.072263e-05,1.067193e-05,1.062215e-05,1.057328e-05,1.052532e-05,1.047828e-05,1.043214e-05,1.038691e-05,1.034257e-05,1.029912e-05,1.025655e-05,1.021485e-05,1.017401e-05
0.000000e+00,3.151408e-09,7.251145e-09,2.514280e-08,5.765982e-08,8.454803e-08,1.949908e-07,2.010162e-07,3.972421e-07,4.700725e-07,7.005259e-07,9.469620e-07,1.142496e-06,1.698232e-06,1.753932e-06,2.551807e-06,2.770591e-06,3.527126e-06,4.140325e-06,4.651035e-06,5.737949e-06,5.892183e-06,7.225602e-06,7.501631e-06,8.632603e-06,9.388315e-06,1.009840e-05,1.136583e-05,1.161037e-05,1.315712e-05,1.340711e-05,1.472813e-05,1.548796e-05,1.631372e-05,1.758669e-05,1.790501e-05,1.949406e-05,1.968425e-05,2.107381e-05,2.176435e-05,2.263815e-05,2.381350e-05,2.418187e-05,2.570058e-05,2.582088e-05,2.719068e-05,2.777803e-05,2.864925e-05,2.967858e-05,3.007398e-05,3.146311e-05,3.151791e-05,3.281529e-05,3.329284e-05,3.412960e-05,3.500136e-05,3.540540e-05,3.664236e-05,3.784034e-05,3.821547e-05,3.899941e-05,3.972089e-05,4.011978e-05,4.115924e-05,4.120179e-05,4.224587e-05,4.253149e-05,4.325255e-05,4.383884e-05,4.422241e-05,4.508271e-05,4.515608e-05,4.605426e-05,4.626462e-05,4.691765e-05,4.738622e-05,4.774698e-05,4.844924e-05,4.854303e-05,4.930655e-05,4.945542e-05,5.003833e-05,5.040657e-05,5.073915e-05,5.130449e-05,5.140980e-05,5.205107e-05,5.215100e-05,5.266374e-05,5.294789e-05,5.324858e-05,5.369694e-05,5.380638e-05,5.433788e-05,5.439994e-05,5.484386e-05,5.505860e-05,5.532506e-05,5.567464e-05,5.578220e-05,5.621602e-05,5.624973e-05,5.662721e-05,5.678552e-05,5.701650e-05,5.728359e-05,5.738454e-05,5.773203e-05,5.774551e-05,5.805960e-05,5.817279e-05,5.836792e-05,5.856690e-05,5.865761e-05,5.892928e-05,5.918354e-05,5.926133e-05,5.942098e-05,5.956437e-05,5.964216e-05,5.983973e-05,5.984766e-05,6.003800e-05,6.008866e-05,6.021374e-05,6.031238e-05,6.037537e-05,6.051207e-05,6.052342e-05,6.065837e-05,6.068886e-05,6.078070e-05,6.084386e-05,6.089087e-05,6.097813e-05,6.098934e-05,6.107655e-05,6.109268e-05,6.115292e-05,6.118849e-05,6.121887e-05,6.126651e-05,6.127481e-05,6.132111e-05,6.132766e-05,6.135818e-05,6.137279e-05,6.138637e-05,6.140277e-05,6.140604e-05,6.141754e-05,6.141839e-05,6.142121e-05,6.142042e-05,6.141737e-05,6.140962e-05,6.140634e-05,6.138842e-05,6.138670e-05,6.136392e-05,6.135234e-05,6.133312e-05,6.130720e-05,6.129630e-05,6.125373e-05,6.125191e-05,6.120567e-05,6.118707e-05,6.115237e-05,6.111326e-05,6.109408e-05,6.103103e-05,6.094092e-05,6.084342e-05,6.073903e-05,6.062819e-05,6.051137e-05,6.038896e-05,6.026139e-05,6.012903e-05,5.999226e-05,5.985141e-05,5.970682e-05,5.955881e-05,5.940769e-05,5.925373e-05,5.909722e-05,5.893842e-05,5.877756e-05,5.861489e-05,5.845063e-05,5.828500e-05,5.811818e-05,5.795038e-05,5.778178e-05,5.761253e-05
0.000000e+00,1.127557e-09,2.767065e-09,1.022032e-08,2.400228e-08,3.541062e-08,8.176415e-08,8.426446e-08,1.640799e-07,1.929701e-07,2.821910e-07,3.745903e-07,4.462097e-07,6.445077e-07,6.641156e-07,9.440288e-07,1.021294e-06,1.293365e-06,1.521329e-06,1.717059e-06,2.151661e-06,2.215233e-06,2.782048e-06,2.902790e-06,3.407285e-06,3.751657e-06,4.079447e-06,4.672555e-06,4.787977e-06,5.523946e-06,5.643731e-06,6.279878e-06,6.647904e-06,7.049366e-06,7.670886e-06,7.826739e-06,8.606872e-06,8.700447e-06,9.385078e-06,9.725760e-06,1.015707e-05,1.073721e-05,1.091894e-05,1.166720e-05,1.172637e-05,1.239873e-05,1.268605e-05,1.311087e-05,1.361030e-05,1.380133e-05,1.446824e-05,1.449440e-05,1.511009e-05,1.533480e-05,1.572575e-05,1.612901e-05,1.631440e-05,1.687553e-05,1.740887e-05,1.757366e-05,1.791441e-05,1.822344e-05,1.839233e-05,1.882547e-05,1.884298e-05,1.926685e-05,1.938082e-05,1.966455e-05,1.989090e-05,2.003679e-05,2.035742e-05,2.038433e-05,2.070802e-05,2.078225e-05,2.100873e-05,2.116741e-05,2.128734e-05,2.151498e-05,2.154479e-05,2.178198e-05,2.182706e-05,2.199983e-05,2.210576e-05,2.219924e-05,2.235315e-05,2.238110e-05,2.254629e-05,2.257123e-05,2.269566e-05,2.276198e-05,2.283003e-05,2.292727e-05,2.295021e-05,2.305696e-05,2.306891e-05,2.315103e-05,2.318859e-05,2.323314e-05,2.328796e-05,2.330396e-05,2.336415e-05,2.336853e-05,2.341434e-05,2.343175e-05,2.345513e-05,2.347900e-05,2.348708e-05,2.351075e-05,2.351153e-05,2.352663e-05,2.353054e-05,2.353524e-05,2.353717e-05,2.353702e-05,2.353244e-05,2.352190e-05,2.351734e-05,2.350581e-05,2.349277e-05,2.348454e-05,2.345959e-05,2.345845e-05,2.342789e-05,2.341857e-05,2.339317e-05,2.337046e-05,2.335459e-05,2.331594e-05,2.331244e-05,2.326700e-05,2.325563e-05,2.321852e-05,2.319013e-05,2.316724e-05,2.311998e-05,2.311339e-05,2.305719e-05,2.304569e-05,2.299884e-05,2.296772e-05,2.293854e-05,2.288651e-05,2.287646e-05,2.281278e-05,2.280245e-05,2.274765e-05,2.271592e-05,2.268123e-05,2.262726e-05,2.261366e-05,2.254508e-05,2.253679e-05,2.247561e-05,2.244479e-05,2.240537e-05,2.235154e-05,2.233447e-05,2.226301e-05,2.225727e-05,2.219110e-05,2.216223e-05,2.211882e-05,2.206661e-05,2.204627e-05,2.197352e-05,2.197061e-05,2.190065e-05,2.187440e-05,2.182773e-05,2.177815e-05,2.175482e-05,2.168199e-05,2.158607e-05,2.149051e-05,2.139541e-05,2.130088e-05,2.120702e-05,2.111389e-05,2.102158e-05,2.093015e-05,2.083967e-05,2.075018e-05,2.066174e-05,2.057438e-05,2.048815e-05,2.040306e-05,2.031916e-05,2.023646e-05,2.015498e-05,2.007474e-05,1.999576e-05,1.991804e-05,1.984159e-05,1.976641e-05,1.969252e-05,1.961990e-05
0.000000e+00,8.899483e-12,5.154845e-11,6.435141e-10,3.180211e-09,6.449681e-09,2.793237e-08,2.939864e-08,8.833864e-08,1.143601e-07,2.062289e-07,3.155398e-07,4.078780e-07,6.894135e-07,7.189390e-07,1.165546e-06,1.295789e-06,1.773328e-06,2.192618e-06,2.564382e-06,3.422846e-06,3.551814e-06,4.734180e-06,4.992746e-06,6.093720e-06,6.860878e-06,7.599852e-06,8.951352e-06,9.215701e-06,1.090411e-05,1.117867e-05,1.263140e-05,1.346569e-05,1.436889e-05,1.575014e-05,1.609287e-05,1.778407e-05,1.798403e-05,1.942687e-05,2.013106e-05,2.100880e-05,2.216421e-05,2.252003e-05,2.395311e-05,2.406420e-05,2.530268e-05,2.581830e-05,2.656530e-05,2.741946e-05,2.773915e-05,2.882390e-05,2.886545e-05,2.982046e-05,3.015798e-05,3.073075e-05,3.130186e-05,3.155755e-05,3.230422e-05,3.297464e-05,3.317374e-05,3.357297e-05,3.392006e-05,3.410354e-05,3.455327e-05,3.457080e-05,3.497913e-05,3.508349e-05,3.533285e-05,3.552063e-05,3.563617e-05,3.587414e-05,3.589308e-05,3.610740e-05,3.615290e-05,3.628272e-05,3.636513e-05,3.642241e-05,3.651837e-05,3.652962e-05,3.660728e-05,3.661950e-05,3.665808e-05,3.667471e-05,3.668451e-05,3.668957e-05,3.668888e-05,3.667329e-05,3.666907e-05,3.663968e-05,3.661767e-05,3.658982e-05,3.653932e-05,3.652532e-05,3.644768e-05,3.643755e-05,3.635824e-05,3.631547e-05,3.625824e-05,3.617586e-05,3.614879e-05,3.603093e-05,3.602116e-05,3.590559e-05,3.585355e-05,3.577362e-05,3.567494e-05,3.563580e-05,3.549284e-05,3.548703e-05,3.534539e-05,3.529132e-05,3.519403e-05,3.508915e-05,3.503930e-05,3.488168e-05,3.472164e-05,3.466997e-05,3.455956e-05,3.445494e-05,3.439583e-05,3.423740e-05,3.423077e-05,3.406471e-05,3.401807e-05,3.389791e-05,3.379759e-05,3.373065e-05,3.357654e-05,3.356314e-05,3.339561e-05,3.335542e-05,3.322824e-05,3.313465e-05,3.306121e-05,3.291464e-05,3.289469e-05,3.272882e-05,3.269573e-05,3.256372e-05,3.247822e-05,3.239952e-05,3.226237e-05,3.223634e-05,3.207426e-05,3.204843e-05,3.191337e-05,3.183659e-05,3.175376e-05,3.162704e-05,3.159549e-05,3.143864e-05,3.141992e-05,3.128326e-05,3.121537e-05,3.112939e-05,3.101350e-05,3.097709e-05,3.082640e-05,3.081441e-05,3.067735e-05,3.061819e-05,3.052996e-05,3.042490e-05,3.038428e-05,3.024032e-05,3.023459e-05,3.009809e-05,3.004732e-05,2.995762e-05,2.986311e-05,2.981892e-05,2.968200e-05,2.950399e-05,2.932910e-05,2.915734e-05,2.898870e-05,2.882317e-05,2.866074e-05,2.850140e-05,2.834513e-05,2.819190e-05,2.804169e-05,2.789447e-05,2.775020e-05,2.760885e-05,2.747039e-05,2.733479e-05,2.720199e-05,2.707197e-05,2.694468e-05,2.682009e-05,2.669815e-05,2.657882e-05,2.646205e-05,2.634781e-05,2.623605e-05
0.000000e+00,4.182199e-14,2.810313e-13,4.750055e-12,3.074488e-11,7.210586e-11,4.500621e-10,4.806292e-10,2.042548e-09,2.897070e-09,6.534949e-09,1.190946e-08,1.720108e-08,3.692558e-08,3.927595e-08,8.049850e-08,9.436229e-08,1.515729e-07,2.094987e-07,2.665241e-07,4.177971e-07,4.428594e-07,7.014304e-07,7.650561e-07,1.065925e-06,1.305794e-06,1.562005e-06,2.099800e-06,2.216183e-06,3.054582e-06,3.207491e-06,4.101696e-06,4.684965e-06,5.379280e-06,6.579584e-06,6.905423e-06,8.693850e-06,8.926562e-06,1.075347e-05,1.174680e-05,1.308816e-05,1.504596e-05,1.569675e-05,1.857322e-05,1.881462e-05,2.170698e-05,2.302937e-05,2.508340e-05,2.765457e-05,2.868427e-05,3.248844e-05,3.264451e-05,3.647242e-05,3.794585e-05,4.061097e-05,4.350007e-05,4.487775e-05,4.924584e-05,5.368828e-05,5.512121e-05,5.817852e-05,6.106542e-05,6.269082e-05,6.702058e-05,6.720062e-05,7.168479e-05,7.293279e-05,7.612181e-05,7.875313e-05,8.049201e-05,8.443824e-05,8.477759e-05,8.896274e-05,8.995065e-05,9.303360e-05,9.525885e-05,9.697828e-05,1.003372e-04,1.007868e-04,1.044510e-04,1.051659e-04,1.079643e-04,1.097301e-04,1.113221e-04,1.140199e-04,1.145210e-04,1.175589e-04,1.180300e-04,1.204352e-04,1.217584e-04,1.231502e-04,1.252069e-04,1.257053e-04,1.281026e-04,1.283798e-04,1.303452e-04,1.312838e-04,1.324366e-04,1.339274e-04,1.343808e-04,1.361825e-04,1.363206e-04,1.378465e-04,1.384746e-04,1.393778e-04,1.404012e-04,1.407818e-04,1.420638e-04,1.421127e-04,1.432295e-04,1.436217e-04,1.442843e-04,1.449411e-04,1.452337e-04,1.460832e-04,1.468380e-04,1.470604e-04,1.475034e-04,1.478847e-04,1.480845e-04,1.485676e-04,1.485862e-04,1.490133e-04,1.491202e-04,1.493704e-04,1.495529e-04,1.496618e-04,1.498757e-04,1.498919e-04,1.500647e-04,1.500980e-04,1.501839e-04,1.502287e-04,1.502534e-04,1.502761e-04,1.502765e-04,1.502566e-04,1.502477e-04,1.501968e-04,1.501509e-04,1.501000e-04,1.499922e-04,1.499691e-04,1.498066e-04,1.497778e-04,1.496150e-04,1.495134e-04,1.493967e-04,1.492043e-04,1.491539e-04,1.488886e-04,1.488553e-04,1.486027e-04,1.484708e-04,1.482980e-04,1.480550e-04,1.479763e-04,1.476391e-04,1.476115e-04,1.472879e-04,1.471438e-04,1.469241e-04,1.466551e-04,1.465490e-04,1.461637e-04,1.461481e-04,1.457695e-04,1.456256e-04,1.453673e-04,1.450898e-04,1.449582e-04,1.445431e-04,1.439873e-04,1.434243e-04,1.428557e-04,1.422830e-04,1.417075e-04,1.411306e-04,1.405532e-04,1.399764e-04,1.394011e-04,1.388281e-04,1.382581e-04,1.376918e-04,1.371298e-04,1.365727e-04,1.360208e-04,1.354745e-04,1.349344e-04,1.344006e-04,1.338736e-04,1.333534e-04,1.328404e-04,1.323347e-04,1.318365e-04,1.313458e-04
0.000000e+00,4.397669e-09,1.009512e-08,3.472260e-08,7.882375e-08,1.148102e-07,2.592197e-07,2.669653e-07,5.133503e-07,6.023561e-07,8.772768e-07,1.162387e-06,1.383671e-06,1.996494e-06,2.056988e-06,2.914180e-06,3.147680e-06,3.954965e-06,4.611379e-06,5.160203e-06,6.334501e-06,6.501740e-06,7.952167e-06,8.253192e-06,9.488119e-06,1.031394e-05,1.108980e-05,1.247318e-05,1.273975e-05,1.442202e-05,1.469318e-05,1.612176e-05,1.693974e-05,1.782511e-05,1.918175e-05,1.951927e-05,2.119261e-05,2.139150e-05,2.283478e-05,2.354511e-05,2.443684e-05,2.562286e-05,2.599120e-05,2.749170e-05,2.760926e-05,2.893347e-05,2.949289e-05,3.031291e-05,3.126606e-05,3.162750e-05,3.287576e-05,3.292430e-05,3.405705e-05,3.446591e-05,3.517146e-05,3.589142e-05,3.621973e-05,3.720307e-05,3.812310e-05,3.840444e-05,3.898174e-05,3.950005e-05,3.978116e-05,4.049503e-05,4.052367e-05,4.121169e-05,4.139490e-05,4.184770e-05,4.220538e-05,4.243421e-05,4.293224e-05,4.297373e-05,4.346871e-05,4.358115e-05,4.392157e-05,4.415765e-05,4.433465e-05,4.466706e-05,4.471022e-05,4.505046e-05,4.511446e-05,4.535748e-05,4.550466e-05,4.563326e-05,4.584219e-05,4.587973e-05,4.609868e-05,4.613128e-05,4.629185e-05,4.637588e-05,4.646084e-05,4.657967e-05,4.660721e-05,4.673242e-05,4.674609e-05,4.683784e-05,4.687829e-05,4.692477e-05,4.697923e-05,4.699444e-05,4.704800e-05,4.705162e-05,4.708653e-05,4.709797e-05,4.711107e-05,4.712061e-05,4.712256e-05,4.712193e-05,4.712166e-05,4.711001e-05,4.710311e-05,4.708761e-05,4.706677e-05,4.705547e-05,4.701431e-05,4.696480e-05,4.694729e-05,4.690754e-05,4.686710e-05,4.684313e-05,4.677507e-05,4.677211e-05,4.669501e-05,4.667239e-05,4.661230e-05,4.656017e-05,4.652444e-05,4.643943e-05,4.643186e-05,4.633496e-05,4.631110e-05,4.623411e-05,4.617604e-05,4.612966e-05,4.603504e-05,4.602195e-05,4.591129e-05,4.588883e-05,4.579796e-05,4.573807e-05,4.568224e-05,4.558338e-05,4.556439e-05,4.544464e-05,4.542532e-05,4.532321e-05,4.526440e-05,4.520032e-05,4.510110e-05,4.507617e-05,4.495094e-05,4.493585e-05,4.482480e-05,4.476905e-05,4.469791e-05,4.460106e-05,4.457042e-05,4.444248e-05,4.443223e-05,4.431421e-05,4.426285e-05,4.418575e-05,4.409320e-05,4.405720e-05,4.392867e-05,4.392353e-05,4.380027e-05,4.375409e-05,4.367208e-05,4.358508e-05,4.354420e-05,4.341670e-05,4.324911e-05,4.308249e-05,4.291697e-05,4.275269e-05,4.258976e-05,4.242829e-05,4.226837e-05,4.211009e-05,4.195353e-05,4.179875e-05,4.164581e-05,4.149476e-05,4.134565e-05,4.119851e-05,4.105339e-05,4.091031e-05,4.076928e-05,4.063034e-05,4.049349e-05,4.035874e-05,4.022611e-05,4.009559e-05,3.996719e-05,3.984090e-05
0.000000e+00,1.313177e-13,8.504153e-13,1.330620e-11,8.022999e-11,1.809521e-10,1.020830e-09,1.085691e-09,4.175547e-09,5.765237e-09,1.216286e-08,2.101774e-08,2.933841e-08,5.847446e-08,6.181349e-08,1.177170e-07,1.357157e-07,2.073187e-07,2.767322e-07,3.429283e-07,5.112359e-07,5.383052e-07,8.073717e-07,8.711566e-07,1.162359e-06,1.383958e-06,1.611883e-06,2.065334e-06,2.159539e-06,2.803355e-06,2.914873e-06,3.536110e-06,3.916179e-06,4.346315e-06,5.040594e-06,5.219515e-06,6.139642e-06,6.252426e-06,7.090236e-06,7.514015e-06,8.055408e-06,8.789632e-06,9.020535e-06,9.972684e-06,1.004795e-05,1.090084e-05,1.126328e-05,1.179593e-05,1.241583e-05,1.265078e-05,1.345998e-05,1.349133e-05,1.421966e-05,1.448051e-05,1.492736e-05,1.537820e-05,1.558179e-05,1.618267e-05,1.673053e-05,1.689482e-05,1.722655e-05,1.751759e-05,1.767247e-05,1.805535e-05,1.807037e-05,1.842267e-05,1.851350e-05,1.873197e-05,1.889802e-05,1.900096e-05,1.921522e-05,1.923242e-05,1.942911e-05,1.947145e-05,1.959375e-05,1.967292e-05,1.972896e-05,1.982561e-05,1.983727e-05,1.992110e-05,1.993513e-05,1.998270e-05,2.000666e-05,2.002420e-05,2.004498e-05,2.004757e-05,2.005464e-05,2.005437e-05,2.004707e-05,2.003870e-05,2.002641e-05,2.000140e-05,1.999406e-05,1.995129e-05,1.994552e-05,1.989927e-05,1.987372e-05,1.983903e-05,1.978834e-05,1.977152e-05,1.969760e-05,1.969143e-05,1.961802e-05,1.958476e-05,1.953347e-05,1.946987e-05,1.944457e-05,1.935188e-05,1.934810e-05,1.925589e-05,1.922061e-05,1.915705e-05,1.908841e-05,1.905576e-05,1.895237e-05,1.884722e-05,1.881324e-05,1.874058e-05,1.867168e-05,1.863273e-05,1.852826e-05,1.852389e-05,1.841428e-05,1.838347e-05,1.830408e-05,1.823775e-05,1.819347e-05,1.809147e-05,1.808259e-05,1.797160e-05,1.794496e-05,1.786062e-05,1.779851e-05,1.774975e-05,1.765237e-05,1.763911e-05,1.752879e-05,1.750677e-05,1.741886e-05,1.736188e-05,1.730941e-05,1.721789e-05,1.720051e-05,1.709221e-05,1.707495e-05,1.698458e-05,1.693317e-05,1.687767e-05,1.679268e-05,1.677151e-05,1.666616e-05,1.665357e-05,1.656165e-05,1.651594e-05,1.645801e-05,1.637984e-05,1.635527e-05,1.625346e-05,1.624535e-05,1.615260e-05,1.611253e-05,1.605272e-05,1.598141e-05,1.595382e-05,1.585593e-05,1.585204e-05,1.575907e-05,1.572445e-05,1.566324e-05,1.559866e-05,1.556844e-05,1.547470e-05,1.535259e-05,1.523232e-05,1.511392e-05,1.499739e-05,1.488271e-05,1.476991e-05,1.465896e-05,1.454986e-05,1.444261e-05,1.433718e-05,1.423358e-05,1.413177e-05,1.403175e-05,1.393350e-05,1.383700e-05,1.374224e-05,1.364918e-05,1.355781e-05,1.346812e-05,1.338007e-05,1.329364e-05,1.320882e-05,1.312557e-05,1.304388e-05
0.000000e+00,1.339673e-12,8.157938e-12,1.125080e-10,6.055885e-10,1.284161e-09,6.190165e-09,6.541888e-09,2.158645e-08,2.860213e-08,5.444861e-08,8.664358e-08,1.146478e-07,2.028955e-07,2.123297e-07,3.576110e-07,4.006477e-07,5.601384e-07,7.018964e-07,8.287486e-07,1.125882e-06,1.171065e-06,1.592873e-06,1.687101e-06,2.097201e-06,2.391977e-06,2.683246e-06,3.234834e-06,3.345566e-06,4.074037e-06,4.195842e-06,4.854768e-06,5.243409e-06,5.671727e-06,6.340309e-06,6.508481e-06,7.349646e-06,7.450221e-06,8.181808e-06,8.542175e-06,8.993929e-06,9.592337e-06,9.777368e-06,1.052570e-05,1.058390e-05,1.123439e-05,1.150606e-05,1.190050e-05,1.235276e-05,1.252238e-05,1.309944e-05,1.312159e-05,1.363191e-05,1.381283e-05,1.412065e-05,1.442870e-05,1.456703e-05,1.497280e-05,1.533996e-05,1.544965e-05,1.567070e-05,1.586430e-05,1.596728e-05,1.622204e-05,1.623204e-05,1.646729e-05,1.652818e-05,1.667528e-05,1.678790e-05,1.685820e-05,1.700614e-05,1.701814e-05,1.715706e-05,1.718749e-05,1.727683e-05,1.733618e-05,1.737915e-05,1.745604e-05,1.746563e-05,1.753774e-05,1.755055e-05,1.759681e-05,1.762279e-05,1.764408e-05,1.767550e-05,1.768069e-05,1.770765e-05,1.771113e-05,1.772590e-05,1.773182e-05,1.773628e-05,1.773944e-05,1.773956e-05,1.773643e-05,1.773566e-05,1.772752e-05,1.772192e-05,1.771340e-05,1.769950e-05,1.769457e-05,1.767151e-05,1.766949e-05,1.764463e-05,1.763289e-05,1.761431e-05,1.759055e-05,1.758090e-05,1.754471e-05,1.754321e-05,1.750603e-05,1.749155e-05,1.746511e-05,1.743613e-05,1.742219e-05,1.737748e-05,1.733117e-05,1.731604e-05,1.728344e-05,1.725222e-05,1.723445e-05,1.718638e-05,1.718435e-05,1.713328e-05,1.711882e-05,1.708135e-05,1.704984e-05,1.702869e-05,1.697968e-05,1.697540e-05,1.692157e-05,1.690858e-05,1.686730e-05,1.683674e-05,1.681266e-05,1.676434e-05,1.675773e-05,1.670259e-05,1.669154e-05,1.664729e-05,1.661849e-05,1.659189e-05,1.654533e-05,1.653646e-05,1.648104e-05,1.647217e-05,1.642567e-05,1.639913e-05,1.637041e-05,1.632630e-05,1.631529e-05,1.626035e-05,1.625377e-05,1.620562e-05,1.618162e-05,1.615114e-05,1.610991e-05,1.609692e-05,1.604301e-05,1.603871e-05,1.598942e-05,1.596808e-05,1.593618e-05,1.589807e-05,1.588331e-05,1.583082e-05,1.582873e-05,1.577874e-05,1.576009e-05,1.572708e-05,1.569220e-05,1.567585e-05,1.562508e-05,1.555876e-05,1.549327e-05,1.542863e-05,1.536486e-05,1.530197e-05,1.523997e-05,1.517889e-05,1.511872e-05,1.505947e-05,1.500116e-05,1.494377e-05,1.488732e-05,1.483181e-05,1.477723e-05,1.472358e-05,1.467087e-05,1.461907e-05,1.456820e-05,1.451825e-05,1.446921e-05,1.442106e-05,1.437382e-05,1.432746e-05,1.428198e-05
0.000000e+00,1.431772e-09,3.257824e-09,1.103556e-08,2.478235e-08,3.593346e-08,8.063357e-08,8.303782e-08,1.602292e-07,1.884953e-07,2.770075e-07,3.702077e-07,4.429573e-07,6.425418e-07,6.619004e-07,9.263030e-07,9.949139e-07,1.221513e-06,1.395103e-06,1.534082e-06,1.815991e-06,1.854657e-06,2.177069e-06,2.241370e-06,2.496979e-06,2.661197e-06,2.811010e-06,3.068175e-06,3.116339e-06,3.410548e-06,3.456448e-06,3.691602e-06,3.821335e-06,3.957849e-06,4.159337e-06,4.208047e-06,4.441363e-06,4.468201e-06,4.657356e-06,4.746871e-06,4.855941e-06,4.995352e-06,5.037343e-06,5.202039e-06,5.214512e-06,5.350691e-06,5.405834e-06,5.484100e-06,5.571232e-06,5.603192e-06,5.708955e-06,5.712922e-06,5.802384e-06,5.833190e-06,5.884466e-06,5.934293e-06,5.956165e-06,6.018413e-06,6.072080e-06,6.087568e-06,6.117928e-06,6.143487e-06,6.156646e-06,6.187713e-06,6.188886e-06,6.215253e-06,6.221661e-06,6.236305e-06,6.246617e-06,6.252620e-06,6.263990e-06,6.264825e-06,6.273306e-06,6.274830e-06,6.278433e-06,6.279957e-06,6.280520e-06,6.280075e-06,6.279860e-06,6.276704e-06,6.275794e-06,6.271289e-06,6.267652e-06,6.263828e-06,6.256119e-06,6.254511e-06,6.243508e-06,6.241601e-06,6.230973e-06,6.224453e-06,6.217046e-06,6.204988e-06,6.201854e-06,6.185512e-06,6.183479e-06,6.168126e-06,6.160170e-06,6.149790e-06,6.135275e-06,6.130593e-06,6.110615e-06,6.108985e-06,6.089928e-06,6.081471e-06,6.068601e-06,6.052884e-06,6.046695e-06,6.024268e-06,6.023361e-06,6.001373e-06,5.993025e-06,5.978057e-06,5.961986e-06,5.954368e-06,5.930345e-06,5.906029e-06,5.898191e-06,5.881454e-06,5.865607e-06,5.856655e-06,5.832666e-06,5.831663e-06,5.806507e-06,5.799437e-06,5.781213e-06,5.765982e-06,5.755808e-06,5.732356e-06,5.730314e-06,5.704754e-06,5.698612e-06,5.679148e-06,5.664795e-06,5.653515e-06,5.630950e-06,5.627873e-06,5.602238e-06,5.597113e-06,5.576626e-06,5.563322e-06,5.551052e-06,5.529609e-06,5.525529e-06,5.500070e-06,5.496003e-06,5.474686e-06,5.462532e-06,5.449389e-06,5.429220e-06,5.424188e-06,5.399094e-06,5.396090e-06,5.374115e-06,5.363163e-06,5.349260e-06,5.330457e-06,5.324535e-06,5.299949e-06,5.297988e-06,5.275507e-06,5.265773e-06,5.251217e-06,5.233825e-06,5.227083e-06,5.203111e-06,5.202156e-06,5.179306e-06,5.170777e-06,5.155671e-06,5.139699e-06,5.132212e-06,5.108931e-06,5.078480e-06,5.048353e-06,5.018556e-06,4.989095e-06,4.959974e-06,4.931197e-06,4.902767e-06,4.874686e-06,4.846958e-06,4.819582e-06,4.792560e-06,4.765893e-06,4.739581e-06,4.713624e-06,4.688021e-06,4.662771e-06,4.637873e-06,4.613326e-06,4.589128e-06,4.565277e-06,4.541771e-06,4.518608e-06,4.495785e-06,4.473299e-06
0.000000e+00,3.479889e-12,2.110366e-11,2.889148e-10,1.547429e-09,3.275052e-09,1.575639e-08,1.665203e-08,5.513117e-08,7.318951e-08,1.403041e-07,2.250829e-07,2.997974e-07,5.405370e-07,5.667149e-07,9.794021e-07,1.104811e-06,1.580399e-06,2.015425e-06,2.412775e-06,3.366272e-06,3.513461e-06,4.906384e-06,5.220994e-06,6.599179e-06,7.596007e-06,8.584577e-06,1.046560e-05,1.084477e-05,1.335612e-05,1.377953e-05,1.609284e-05,1.747889e-05,1.902906e-05,2.150486e-05,2.213980e-05,2.540103e-05,2.580139e-05,2.878961e-05,3.031511e-05,3.228305e-05,3.499468e-05,3.585942e-05,3.949734e-05,3.979041e-05,4.317608e-05,4.465451e-05,4.687572e-05,4.954173e-05,5.057733e-05,5.426320e-05,5.441007e-05,5.791694e-05,5.922149e-05,6.152362e-05,6.394240e-05,6.506987e-05,6.854390e-05,7.193549e-05,7.300192e-05,7.523595e-05,7.729703e-05,7.843806e-05,8.141414e-05,8.153599e-05,8.452516e-05,8.534215e-05,8.740215e-05,8.907348e-05,9.016460e-05,9.260361e-05,9.281103e-05,9.534083e-05,9.593062e-05,9.775406e-05,9.905478e-05,1.000514e-04,1.019781e-04,1.022340e-04,1.043036e-04,1.047042e-04,1.062622e-04,1.072375e-04,1.081120e-04,1.095836e-04,1.098556e-04,1.114957e-04,1.117487e-04,1.130351e-04,1.137392e-04,1.144770e-04,1.155622e-04,1.158242e-04,1.170800e-04,1.172247e-04,1.182475e-04,1.187340e-04,1.193297e-04,1.200972e-04,1.203299e-04,1.212511e-04,1.213214e-04,1.220963e-04,1.224138e-04,1.228686e-04,1.233812e-04,1.235710e-04,1.242064e-04,1.242304e-04,1.247775e-04,1.249679e-04,1.252871e-04,1.256000e-04,1.257381e-04,1.261328e-04,1.264740e-04,1.265723e-04,1.267641e-04,1.269241e-04,1.270055e-04,1.271935e-04,1.272005e-04,1.273513e-04,1.273859e-04,1.274602e-04,1.275062e-04,1.275291e-04,1.275591e-04,1.275602e-04,1.275554e-04,1.275492e-04,1.275166e-04,1.274807e-04,1.274456e-04,1.273578e-04,1.273441e-04,1.272138e-04,1.271844e-04,1.270563e-04,1.269642e-04,1.268733e-04,1.267008e-04,1.266661e-04,1.264362e-04,1.263974e-04,1.261850e-04,1.260572e-04,1.259138e-04,1.256833e-04,1.256239e-04,1.253165e-04,1.252785e-04,1.249927e-04,1.248453e-04,1.246537e-04,1.243865e-04,1.243005e-04,1.239341e-04,1.239043e-04,1.235556e-04,1.234010e-04,1.231659e-04,1.228788e-04,1.227658e-04,1.223562e-04,1.223396e-04,1.219379e-04,1.217853e-04,1.215116e-04,1.212177e-04,1.210783e-04,1.206384e-04,1.200490e-04,1.194509e-04,1.188456e-04,1.182343e-04,1.176181e-04,1.169982e-04,1.163757e-04,1.157514e-04,1.151264e-04,1.145013e-04,1.138771e-04,1.132545e-04,1.126340e-04,1.120163e-04,1.114019e-04,1.107915e-04,1.101854e-04,1.095841e-04,1.089880e-04,1.083974e-04,1.078127e-04,1.072342e-04,1.066621e-04,1.060967e-04
0.000000e+00,2.339507e-09,5.383949e-09,1.863371e-08,4.258774e-08,6.229290e-08,1.424550e-07,1.467972e-07,2.868012e-07,3.381783e-07,4.991679e-07,6.693460e-07,8.034092e-07,1.182488e-06,1.220472e-06,1.768202e-06,1.920209e-06,2.453590e-06,2.894842e-06,3.267863e-06,4.075166e-06,4.190915e-06,5.200298e-06,5.410756e-06,6.276624e-06,6.857503e-06,7.404433e-06,8.382421e-06,8.571295e-06,9.766766e-06,9.960070e-06,1.098168e-05,1.156928e-05,1.220776e-05,1.319157e-05,1.343747e-05,1.466394e-05,1.481060e-05,1.588100e-05,1.641208e-05,1.708315e-05,1.798386e-05,1.826562e-05,1.942432e-05,1.951588e-05,2.055581e-05,2.100015e-05,2.165732e-05,2.243058e-05,2.272664e-05,2.376210e-05,2.380279e-05,2.476247e-05,2.511386e-05,2.572697e-05,2.636210e-05,2.665514e-05,2.754684e-05,2.840217e-05,2.866824e-05,2.922144e-05,2.972707e-05,3.000513e-05,3.072458e-05,3.075386e-05,3.146836e-05,3.166239e-05,3.214942e-05,3.254238e-05,3.279793e-05,3.336658e-05,3.341479e-05,3.400095e-05,3.413716e-05,3.455737e-05,3.485634e-05,3.508503e-05,3.552636e-05,3.558491e-05,3.605796e-05,3.614944e-05,3.650516e-05,3.672780e-05,3.692744e-05,3.726359e-05,3.732575e-05,3.770098e-05,3.775893e-05,3.805403e-05,3.821587e-05,3.838577e-05,3.863638e-05,3.869703e-05,3.898865e-05,3.902236e-05,3.926141e-05,3.937565e-05,3.951609e-05,3.969801e-05,3.975343e-05,3.997414e-05,3.999110e-05,4.017894e-05,4.025655e-05,4.036849e-05,4.049588e-05,4.054343e-05,4.070440e-05,4.071056e-05,4.085201e-05,4.090198e-05,4.098682e-05,4.107147e-05,4.110940e-05,4.122029e-05,4.132002e-05,4.134965e-05,4.140907e-05,4.146068e-05,4.148792e-05,4.155447e-05,4.155705e-05,4.161689e-05,4.163204e-05,4.166787e-05,4.169437e-05,4.171039e-05,4.174239e-05,4.174486e-05,4.177165e-05,4.177698e-05,4.179113e-05,4.179897e-05,4.180363e-05,4.180914e-05,4.180950e-05,4.180906e-05,4.180824e-05,4.180261e-05,4.179698e-05,4.179046e-05,4.177604e-05,4.177287e-05,4.175014e-05,4.174604e-05,4.172251e-05,4.170758e-05,4.169024e-05,4.166124e-05,4.165356e-05,4.161271e-05,4.160754e-05,4.156791e-05,4.154701e-05,4.151937e-05,4.148011e-05,4.146730e-05,4.141187e-05,4.140730e-05,4.135329e-05,4.132902e-05,4.129173e-05,4.124566e-05,4.122736e-05,4.116035e-05,4.115761e-05,4.109084e-05,4.106524e-05,4.101899e-05,4.096888e-05,4.094495e-05,4.086885e-05,4.076547e-05,4.065901e-05,4.054976e-05,4.043797e-05,4.032387e-05,4.020770e-05,4.008966e-05,3.996998e-05,3.984882e-05,3.972638e-05,3.960282e-05,3.947830e-05,3.935297e-05,3.922698e-05,3.910044e-05,3.897350e-05,3.884626e-05,3.871884e-05,3.859133e-05,3.846384e-05,3.833645e-05,3.820925e-05,3.808232e-05,3.795573e-05
0.000000e+00,1.898345e-09,4.355353e-09,1.498036e-08,3.402340e-08,4.957314e-08,1.120264e-07,1.153777e-07,2.220209e-07,2.605538e-07,3.795729e-07,5.029896e-07,5.987757e-07,8.641987e-07,8.904257e-07,1.263030e-06,1.364935e-06,1.718886e-06,2.008569e-06,2.251952e-06,2.775661e-06,2.850515e-06,3.501784e-06,3.637327e-06,4.194375e-06,4.567601e-06,4.918672e-06,5.545503e-06,5.666402e-06,6.430197e-06,6.553438e-06,7.203331e-06,7.575914e-06,7.979610e-06,8.599060e-06,8.753350e-06,9.519403e-06,9.610589e-06,1.027319e-05,1.059992e-05,1.101071e-05,1.155825e-05,1.172859e-05,1.242403e-05,1.247863e-05,1.309480e-05,1.335580e-05,1.373919e-05,1.418613e-05,1.435600e-05,1.494441e-05,1.496735e-05,1.550400e-05,1.569837e-05,1.603467e-05,1.637908e-05,1.653659e-05,1.701012e-05,1.745586e-05,1.759274e-05,1.787451e-05,1.812860e-05,1.826689e-05,1.861969e-05,1.863389e-05,1.897649e-05,1.906817e-05,1.929567e-05,1.947636e-05,1.959244e-05,1.984658e-05,1.986785e-05,2.012291e-05,2.018121e-05,2.035862e-05,2.048253e-05,2.057596e-05,2.075278e-05,2.077588e-05,2.095932e-05,2.099410e-05,2.112716e-05,2.120856e-05,2.128027e-05,2.139810e-05,2.141948e-05,2.154556e-05,2.156457e-05,2.165928e-05,2.170969e-05,2.176136e-05,2.183510e-05,2.185248e-05,2.193329e-05,2.194232e-05,2.200440e-05,2.203277e-05,2.206641e-05,2.210779e-05,2.211987e-05,2.216531e-05,2.216861e-05,2.220322e-05,2.221639e-05,2.223409e-05,2.225219e-05,2.225834e-05,2.227642e-05,2.227702e-05,2.228871e-05,2.229179e-05,2.229559e-05,2.229736e-05,2.229741e-05,2.229453e-05,2.228724e-05,2.228403e-05,2.227585e-05,2.226654e-05,2.226065e-05,2.224271e-05,2.224189e-05,2.221984e-05,2.221311e-05,2.219472e-05,2.217828e-05,2.216677e-05,2.213872e-05,2.213618e-05,2.210317e-05,2.209491e-05,2.206791e-05,2.204726e-05,2.203059e-05,2.199617e-05,2.199137e-05,2.195040e-05,2.194201e-05,2.190784e-05,2.188512e-05,2.186382e-05,2.182581e-05,2.181847e-05,2.177191e-05,2.176436e-05,2.172427e-05,2.170105e-05,2.167565e-05,2.163612e-05,2.162615e-05,2.157587e-05,2.156979e-05,2.152490e-05,2.150227e-05,2.147332e-05,2.143377e-05,2.142122e-05,2.136866e-05,2.136444e-05,2.131572e-05,2.129446e-05,2.126247e-05,2.122397e-05,2.120897e-05,2.115527e-05,2.115312e-05,2.110143e-05,2.108202e-05,2.104750e-05,2.101080e-05,2.099353e-05,2.093956e-05,2.086840e-05,2.079740e-05,2.072666e-05,2.065624e-05,2.058620e-05,2.051662e-05,2.044754e-05,2.037902e-05,2.031111e-05,2.024384e-05,2.017724e-05,2.011136e-05,2.004622e-05,1.998186e-05,1.991828e-05,1.985551e-05,1.979357e-05,1.973247e-05,1.967223e-05,1.961286e-05,1.955436e-05,1.949674e-05,1.944001e-05,1.938416e-05
0.000000e+00,3.359390e-09,7.717585e-09,2.673015e-08,6.140275e-08,9.023704e-08,2.103694e-07,2.170004e-07,4.366190e-07,5.195277e-07,7.836868e-07,1.063689e-06,1.280509e-06,1.862804e-06,1.918454e-06,2.672934e-06,2.868892e-06,3.523182e-06,4.035505e-06,4.454448e-06,5.331518e-06,5.454848e-06,6.513274e-06,6.730948e-06,7.618627e-06,8.208252e-06,8.759765e-06,9.737978e-06,9.925773e-06,1.110626e-05,1.129583e-05,1.229166e-05,1.285983e-05,1.347340e-05,1.441113e-05,1.464405e-05,1.579732e-05,1.593428e-05,1.692800e-05,1.741723e-05,1.803190e-05,1.885091e-05,1.910575e-05,2.014714e-05,2.022899e-05,2.115430e-05,2.154730e-05,2.212606e-05,2.280339e-05,2.306171e-05,2.396093e-05,2.399614e-05,2.482377e-05,2.512552e-05,2.565042e-05,2.619206e-05,2.644127e-05,2.719693e-05,2.791807e-05,2.814167e-05,2.860549e-05,2.902814e-05,2.926004e-05,2.985832e-05,2.988263e-05,3.047414e-05,3.063433e-05,3.103554e-05,3.135832e-05,3.156777e-05,3.203249e-05,3.207180e-05,3.254858e-05,3.265905e-05,3.299905e-05,3.324018e-05,3.342416e-05,3.377800e-05,3.382482e-05,3.420193e-05,3.427461e-05,3.455639e-05,3.473205e-05,3.488907e-05,3.515229e-05,3.520079e-05,3.549240e-05,3.553724e-05,3.576469e-05,3.588876e-05,3.601844e-05,3.620860e-05,3.625441e-05,3.647333e-05,3.649849e-05,3.667591e-05,3.676005e-05,3.686284e-05,3.699485e-05,3.703479e-05,3.719239e-05,3.720440e-05,3.733628e-05,3.739012e-05,3.746704e-05,3.755340e-05,3.758527e-05,3.769152e-05,3.769552e-05,3.778632e-05,3.781775e-05,3.787020e-05,3.792126e-05,3.794367e-05,3.800719e-05,3.806123e-05,3.807660e-05,3.810625e-05,3.813052e-05,3.814267e-05,3.816992e-05,3.817090e-05,3.819134e-05,3.819572e-05,3.820437e-05,3.820878e-05,3.821036e-05,3.820995e-05,3.820965e-05,3.820260e-05,3.820000e-05,3.818952e-05,3.817968e-05,3.817072e-05,3.814969e-05,3.814651e-05,3.811716e-05,3.811070e-05,3.808296e-05,3.806334e-05,3.804417e-05,3.800822e-05,3.800104e-05,3.795381e-05,3.794589e-05,3.790272e-05,3.787689e-05,3.784799e-05,3.780172e-05,3.778983e-05,3.772844e-05,3.772087e-05,3.766403e-05,3.763478e-05,3.759677e-05,3.754387e-05,3.752686e-05,3.745445e-05,3.744855e-05,3.737971e-05,3.734920e-05,3.730280e-05,3.724617e-05,3.722388e-05,3.714307e-05,3.713980e-05,3.706053e-05,3.703041e-05,3.697637e-05,3.691829e-05,3.689073e-05,3.680373e-05,3.668698e-05,3.656831e-05,3.644794e-05,3.632609e-05,3.620296e-05,3.607876e-05,3.595366e-05,3.582783e-05,3.570144e-05,3.557463e-05,3.544754e-05,3.532030e-05,3.519303e-05,3.506586e-05,3.493887e-05,3.481219e-05,3.468588e-05,3.456005e-05,3.443477e-05,3.431011e-05,3.418614e-05,3.406293e-05,3.394054e-05,3.381901e-05
0.000000e+00,4.850309e-14,3.230865e-13,5.361871e-12,3.412468e-11,7.929077e-11,4.830960e-10,5.153994e-10,2.138499e-09,3.013615e-09,6.689193e-09,1.203506e-08,1.723958e-08,3.634464e-08,3.859936e-08,7.766882e-08,9.065436e-08,1.436581e-07,1.965687e-07,2.480598e-07,3.823394e-07,4.043063e-07,6.271507e-07,6.810566e-07,9.318807e-07,1.127714e-06,1.333492e-06,1.755954e-06,1.845916e-06,2.481359e-06,2.595146e-06,3.249783e-06,3.668127e-06,4.158540e-06,4.989712e-06,5.212136e-06,6.412133e-06,6.565936e-06,7.757162e-06,8.393939e-06,9.243034e-06,1.046239e-05,1.086293e-05,1.260768e-05,1.275233e-05,1.446604e-05,1.523835e-05,1.642508e-05,1.788995e-05,1.847051e-05,2.058712e-05,2.067304e-05,2.275909e-05,2.355146e-05,2.497038e-05,2.648837e-05,2.720506e-05,2.944759e-05,3.168312e-05,3.239470e-05,3.389765e-05,3.529791e-05,3.607825e-05,3.812879e-05,3.821317e-05,4.029193e-05,4.086264e-05,4.230538e-05,4.347879e-05,4.424570e-05,4.596060e-05,4.610639e-05,4.788225e-05,4.829537e-05,4.956929e-05,5.047412e-05,5.116465e-05,5.249131e-05,5.266657e-05,5.407422e-05,5.434442e-05,5.538764e-05,5.603361e-05,5.660762e-05,5.756123e-05,5.773561e-05,5.877359e-05,5.893148e-05,5.972405e-05,6.015001e-05,6.058983e-05,6.122359e-05,6.137407e-05,6.208016e-05,6.215980e-05,6.271160e-05,6.296673e-05,6.327205e-05,6.365278e-05,6.376519e-05,6.419471e-05,6.422643e-05,6.456427e-05,6.469613e-05,6.487750e-05,6.507013e-05,6.513792e-05,6.534894e-05,6.535640e-05,6.551388e-05,6.556259e-05,6.563590e-05,6.569592e-05,6.571805e-05,6.576321e-05,6.577412e-05,6.577081e-05,6.575339e-05,6.572464e-05,6.570344e-05,6.563017e-05,6.562660e-05,6.552503e-05,6.549243e-05,6.540075e-05,6.531607e-05,6.525566e-05,6.510534e-05,6.509155e-05,6.491006e-05,6.486409e-05,6.471274e-05,6.459586e-05,6.450101e-05,6.430384e-05,6.427622e-05,6.403959e-05,6.399095e-05,6.379228e-05,6.365981e-05,6.353535e-05,6.331282e-05,6.326978e-05,6.299650e-05,6.295211e-05,6.271634e-05,6.257966e-05,6.243009e-05,6.219719e-05,6.213847e-05,6.184216e-05,6.180632e-05,6.154177e-05,6.140845e-05,6.123787e-05,6.100489e-05,6.093100e-05,6.062164e-05,6.059680e-05,6.031025e-05,6.018522e-05,5.999724e-05,5.977109e-05,5.968299e-05,5.936787e-05,5.935525e-05,5.905220e-05,5.893848e-05,5.873627e-05,5.852145e-05,5.842038e-05,5.810477e-05,5.768899e-05,5.727461e-05,5.686208e-05,5.645178e-05,5.604408e-05,5.563928e-05,5.523767e-05,5.483949e-05,5.444497e-05,5.405430e-05,5.366764e-05,5.328515e-05,5.290696e-05,5.253317e-05,5.216389e-05,5.179918e-05,5.143912e-05,5.108377e-05,5.073315e-05,5.038731e-05,5.004627e-05,4.971005e-05,4.937864e-05,4.905205e-05
0.000000e+00,3.095598e-10,1.038707e-09,5.410337e-09,1.494252e-08,2.341725e-08,6.014413e-08,6.218827e-08,1.292140e-07,1.540505e-07,2.318976e-07,3.137569e-07,3.777968e-07,5.568810e-07,5.746932e-07,8.302148e-07,9.010139e-07,1.150619e-06,1.359654e-06,1.538788e-06,1.935016e-06,1.992803e-06,2.506699e-06,2.615988e-06,3.072721e-06,3.385055e-06,3.683118e-06,4.224940e-06,4.330805e-06,5.009375e-06,5.120411e-06,5.712906e-06,6.057820e-06,6.435828e-06,7.024560e-06,7.172846e-06,7.918929e-06,8.008840e-06,8.669335e-06,8.999733e-06,9.419649e-06,9.987318e-06,1.016582e-05,1.090419e-05,1.096282e-05,1.163153e-05,1.191873e-05,1.234501e-05,1.284876e-05,1.304222e-05,1.372117e-05,1.374792e-05,1.438022e-05,1.461235e-05,1.501808e-05,1.543922e-05,1.563378e-05,1.622663e-05,1.679619e-05,1.697348e-05,1.734222e-05,1.767931e-05,1.786469e-05,1.834419e-05,1.836371e-05,1.883952e-05,1.896864e-05,1.929248e-05,1.955348e-05,1.972304e-05,2.009980e-05,2.013170e-05,2.051903e-05,2.060888e-05,2.088564e-05,2.108212e-05,2.123215e-05,2.152098e-05,2.155922e-05,2.186752e-05,2.192699e-05,2.215772e-05,2.230170e-05,2.243050e-05,2.264664e-05,2.268650e-05,2.292641e-05,2.296334e-05,2.315085e-05,2.325328e-05,2.336048e-05,2.351792e-05,2.355589e-05,2.373771e-05,2.375864e-05,2.390651e-05,2.397681e-05,2.406287e-05,2.417371e-05,2.420733e-05,2.434042e-05,2.435060e-05,2.446267e-05,2.450864e-05,2.457456e-05,2.464898e-05,2.467657e-05,2.476917e-05,2.477268e-05,2.485279e-05,2.488077e-05,2.492785e-05,2.497422e-05,2.499478e-05,2.505395e-05,2.510574e-05,2.512082e-05,2.515052e-05,2.517566e-05,2.518863e-05,2.521925e-05,2.522041e-05,2.524616e-05,2.525233e-05,2.526619e-05,2.527559e-05,2.528081e-05,2.528970e-05,2.529027e-05,2.529486e-05,2.529526e-05,2.529482e-05,2.529287e-05,2.529040e-05,2.528308e-05,2.528184e-05,2.526935e-05,2.526640e-05,2.525316e-05,2.524334e-05,2.523346e-05,2.521435e-05,2.521045e-05,2.518432e-05,2.517986e-05,2.515524e-05,2.514029e-05,2.512339e-05,2.509602e-05,2.508892e-05,2.505200e-05,2.504741e-05,2.501277e-05,2.499481e-05,2.497137e-05,2.493854e-05,2.492794e-05,2.488260e-05,2.487889e-05,2.483548e-05,2.481616e-05,2.478670e-05,2.475061e-05,2.473637e-05,2.468459e-05,2.468249e-05,2.463147e-05,2.461204e-05,2.457710e-05,2.453947e-05,2.452158e-05,2.446499e-05,2.438881e-05,2.431109e-05,2.423202e-05,2.415175e-05,2.407044e-05,2.398822e-05,2.390522e-05,2.382158e-05,2.373740e-05,2.365280e-05,2.356787e-05,2.348271e-05,2.339741e-05,2.331204e-05,2.322670e-05,2.314144e-05,2.305633e-05,2.297144e-05,2.288682e-05,2.280253e-05,2.271861e-05,2.263511e-05,2.255208e-05,2.246955e-05
0.000000e+00,8.937237e-10,2.169189e-09,7.925892e-09,1.853282e-08,2.730371e-08,6.293196e-08,6.485411e-08,1.262541e-07,1.484994e-07,2.172655e-07,2.885671e-07,3.438696e-07,4.969338e-07,5.120479e-07,7.267855e-07,7.855790e-07,9.903134e-07,1.158756e-06,1.301070e-06,1.610206e-06,1.654742e-06,2.046157e-06,2.128525e-06,2.470355e-06,2.702373e-06,2.922796e-06,3.321563e-06,3.399237e-06,3.895602e-06,3.976603e-06,4.407919e-06,4.658354e-06,4.932309e-06,5.357987e-06,5.465020e-06,6.002477e-06,6.067129e-06,6.541336e-06,6.778074e-06,7.078517e-06,7.483927e-06,7.611234e-06,8.137023e-06,8.178721e-06,8.653750e-06,8.857485e-06,9.159597e-06,9.516212e-06,9.653057e-06,1.013291e-05,1.015181e-05,1.059821e-05,1.076201e-05,1.104824e-05,1.134528e-05,1.148250e-05,1.190067e-05,1.230259e-05,1.242776e-05,1.268823e-05,1.292654e-05,1.305770e-05,1.339733e-05,1.341117e-05,1.374891e-05,1.384070e-05,1.407124e-05,1.425739e-05,1.437852e-05,1.464828e-05,1.467117e-05,1.494960e-05,1.501436e-05,1.521427e-05,1.535664e-05,1.546563e-05,1.567620e-05,1.570416e-05,1.593030e-05,1.597409e-05,1.614454e-05,1.625139e-05,1.634732e-05,1.650914e-05,1.653911e-05,1.672033e-05,1.674837e-05,1.689142e-05,1.697007e-05,1.705280e-05,1.717519e-05,1.720488e-05,1.734805e-05,1.736465e-05,1.748270e-05,1.753934e-05,1.760919e-05,1.770008e-05,1.772787e-05,1.783909e-05,1.784768e-05,1.794319e-05,1.798290e-05,1.804046e-05,1.810645e-05,1.813123e-05,1.821578e-05,1.821903e-05,1.829438e-05,1.832128e-05,1.836732e-05,1.841381e-05,1.843484e-05,1.849719e-05,1.855462e-05,1.857199e-05,1.860734e-05,1.863871e-05,1.865557e-05,1.869785e-05,1.869952e-05,1.873940e-05,1.874985e-05,1.877538e-05,1.879517e-05,1.880765e-05,1.883421e-05,1.883638e-05,1.886175e-05,1.886735e-05,1.888391e-05,1.889497e-05,1.890301e-05,1.891740e-05,1.891919e-05,1.893261e-05,1.893497e-05,1.894339e-05,1.894799e-05,1.895165e-05,1.895674e-05,1.895753e-05,1.896113e-05,1.896150e-05,1.896257e-05,1.896253e-05,1.896196e-05,1.896005e-05,1.895939e-05,1.895497e-05,1.895432e-05,1.894878e-05,1.894553e-05,1.894092e-05,1.893389e-05,1.893148e-05,1.892053e-05,1.891959e-05,1.890814e-05,1.890281e-05,1.889441e-05,1.888372e-05,1.887939e-05,1.886316e-05,1.886249e-05,1.884578e-05,1.883925e-05,1.882731e-05,1.881416e-05,1.880782e-05,1.878735e-05,1.875894e-05,1.872906e-05,1.869782e-05,1.866531e-05,1.863165e-05,1.859693e-05,1.856124e-05,1.852465e-05,1.848725e-05,1.844912e-05,1.841032e-05,1.837093e-05,1.833099e-05,1.829058e-05,1.824975e-05,1.820855e-05,1.816702e-05,1.812523e-05,1.808320e-05,1.804099e-05,1.799862e-05,1.795615e-05,1.791359e-05,1.787099e-05
0.000000e+00,1.704156e-09,3.922356e-09,1.357206e-08,3.098344e-08,4.526764e-08,1.030017e-07,1.061120e-07,2.055294e-07,2.416179e-07,3.534873e-07,4.699631e-07,5.605814e-07,8.120621e-07,8.369075e-07,1.189109e-06,1.285129e-06,1.617897e-06,1.890096e-06,2.119335e-06,2.616342e-06,2.687940e-06,3.318348e-06,3.451399e-06,4.005517e-06,4.383631e-06,4.744478e-06,5.401489e-06,5.530108e-06,6.357024e-06,6.492789e-06,7.219588e-06,7.644574e-06,8.111973e-06,8.843381e-06,9.028271e-06,9.962617e-06,1.007568e-05,1.090930e-05,1.132834e-05,1.186288e-05,1.258906e-05,1.281825e-05,1.377073e-05,1.384667e-05,1.471607e-05,1.509135e-05,1.565051e-05,1.631468e-05,1.657074e-05,1.747393e-05,1.750966e-05,1.835770e-05,1.867071e-05,1.922007e-05,1.979344e-05,2.005946e-05,2.087462e-05,2.166460e-05,2.191196e-05,2.242874e-05,2.290401e-05,2.316660e-05,2.385000e-05,2.387794e-05,2.456272e-05,2.474971e-05,2.522102e-05,2.560337e-05,2.585305e-05,2.641159e-05,2.645913e-05,2.703964e-05,2.717522e-05,2.759507e-05,2.789533e-05,2.812591e-05,2.857316e-05,2.863273e-05,2.911613e-05,2.921005e-05,2.957671e-05,2.980740e-05,3.001510e-05,3.036666e-05,3.043194e-05,3.082787e-05,3.088933e-05,3.120355e-05,3.137687e-05,3.155961e-05,3.183077e-05,3.189669e-05,3.221542e-05,3.225247e-05,3.251643e-05,3.264341e-05,3.280031e-05,3.300498e-05,3.306767e-05,3.331910e-05,3.333854e-05,3.355516e-05,3.364541e-05,3.377642e-05,3.392686e-05,3.398341e-05,3.417668e-05,3.418413e-05,3.435672e-05,3.441840e-05,3.452405e-05,3.463082e-05,3.467915e-05,3.482248e-05,3.495451e-05,3.499444e-05,3.507567e-05,3.514772e-05,3.518641e-05,3.528328e-05,3.528712e-05,3.537821e-05,3.540205e-05,3.546007e-05,3.550492e-05,3.553308e-05,3.559274e-05,3.559759e-05,3.565396e-05,3.566632e-05,3.570253e-05,3.572644e-05,3.574361e-05,3.577383e-05,3.577753e-05,3.580460e-05,3.580921e-05,3.582509e-05,3.583325e-05,3.583931e-05,3.584659e-05,3.584751e-05,3.584997e-05,3.584984e-05,3.584693e-05,3.584359e-05,3.583864e-05,3.582839e-05,3.582534e-05,3.580726e-05,3.580478e-05,3.578460e-05,3.577324e-05,3.575759e-05,3.573427e-05,3.572643e-05,3.569130e-05,3.568832e-05,3.565240e-05,3.563583e-05,3.560992e-05,3.557720e-05,3.556401e-05,3.551486e-05,3.551283e-05,3.546262e-05,3.544309e-05,3.540745e-05,3.536833e-05,3.534949e-05,3.528890e-05,3.520511e-05,3.511726e-05,3.502564e-05,3.493053e-05,3.483218e-05,3.473085e-05,3.462676e-05,3.452013e-05,3.441119e-05,3.430012e-05,3.418711e-05,3.407235e-05,3.395600e-05,3.383822e-05,3.371917e-05,3.359899e-05,3.347780e-05,3.335576e-05,3.323296e-05,3.310953e-05,3.298558e-05,3.286121e-05,3.273652e-05,3.261159e-05
0.000000e+00,2.074026e-09,4.811472e-09,1.673038e-08,3.814941e-08,5.563523e-08,1.256592e-07,1.294059e-07,2.480188e-07,2.905922e-07,4.211997e-07,5.553207e-07,6.585806e-07,9.413843e-07,9.690900e-07,1.358873e-06,1.464423e-06,1.828548e-06,2.124686e-06,2.372903e-06,2.907144e-06,2.983644e-06,3.651993e-06,3.791834e-06,4.369619e-06,4.759622e-06,5.128613e-06,5.792518e-06,5.921300e-06,6.740121e-06,6.873059e-06,7.577646e-06,7.984168e-06,8.426646e-06,9.109452e-06,9.280213e-06,1.013187e-05,1.023365e-05,1.097568e-05,1.134308e-05,1.180633e-05,1.242593e-05,1.261916e-05,1.341020e-05,1.347244e-05,1.417615e-05,1.447490e-05,1.491439e-05,1.542760e-05,1.562288e-05,1.630016e-05,1.632658e-05,1.694524e-05,1.716947e-05,1.755759e-05,1.795521e-05,1.813707e-05,1.868385e-05,1.919834e-05,1.935626e-05,1.968119e-05,1.997399e-05,2.013323e-05,2.053906e-05,2.055539e-05,2.094871e-05,2.105382e-05,2.131431e-05,2.152084e-05,2.165333e-05,2.194279e-05,2.196697e-05,2.225640e-05,2.232240e-05,2.252281e-05,2.266238e-05,2.276736e-05,2.296539e-05,2.299120e-05,2.319543e-05,2.323402e-05,2.338113e-05,2.347072e-05,2.354934e-05,2.367784e-05,2.370105e-05,2.383723e-05,2.385763e-05,2.395877e-05,2.401218e-05,2.406657e-05,2.414345e-05,2.416143e-05,2.424416e-05,2.425330e-05,2.431549e-05,2.434345e-05,2.437614e-05,2.441550e-05,2.442678e-05,2.446804e-05,2.447095e-05,2.450052e-05,2.451118e-05,2.452479e-05,2.453748e-05,2.454139e-05,2.455081e-05,2.455105e-05,2.455355e-05,2.455298e-05,2.455004e-05,2.454430e-05,2.454071e-05,2.452596e-05,2.450617e-05,2.449883e-05,2.448169e-05,2.446372e-05,2.445286e-05,2.442138e-05,2.441999e-05,2.438337e-05,2.437249e-05,2.434330e-05,2.431769e-05,2.430001e-05,2.425758e-05,2.425378e-05,2.420482e-05,2.419269e-05,2.415336e-05,2.412352e-05,2.409960e-05,2.405054e-05,2.404373e-05,2.398594e-05,2.397417e-05,2.392640e-05,2.389480e-05,2.386527e-05,2.381280e-05,2.380270e-05,2.373883e-05,2.372849e-05,2.367379e-05,2.364220e-05,2.360771e-05,2.355418e-05,2.354072e-05,2.347291e-05,2.346472e-05,2.340439e-05,2.337404e-05,2.333526e-05,2.328237e-05,2.326561e-05,2.319553e-05,2.318991e-05,2.312510e-05,2.309684e-05,2.305438e-05,2.300334e-05,2.298346e-05,2.291240e-05,2.290955e-05,2.284125e-05,2.281564e-05,2.277009e-05,2.272171e-05,2.269896e-05,2.262791e-05,2.253432e-05,2.244107e-05,2.234823e-05,2.225589e-05,2.216413e-05,2.207301e-05,2.198259e-05,2.189294e-05,2.180410e-05,2.171612e-05,2.162903e-05,2.154288e-05,2.145770e-05,2.137351e-05,2.129034e-05,2.120820e-05,2.112713e-05,2.104713e-05,2.096822e-05,2.089041e-05,2.081370e-05,2.073811e-05,2.066364e-05,2.059028e-05
0.000000e+00,8.743224e-10,2.497739e-09,1.084430e-08,2.748796e-08,4.173845e-08,1.014775e-07,1.047499e-07,2.105605e-07,2.492752e-07,3.695462e-07,4.947073e-07,5.918940e-07,8.609741e-07,8.875512e-07,1.265923e-06,1.369991e-06,1.735245e-06,2.040184e-06,2.301595e-06,2.882425e-06,2.967583e-06,3.731041e-06,3.894854e-06,4.584381e-06,5.059690e-06,5.515296e-06,6.346263e-06,6.508784e-06,7.549503e-06,7.719437e-06,8.623431e-06,9.147098e-06,9.718524e-06,1.060301e-05,1.082471e-05,1.193365e-05,1.206656e-05,1.303839e-05,1.352162e-05,1.413317e-05,1.495555e-05,1.521319e-05,1.627449e-05,1.635848e-05,1.731385e-05,1.772284e-05,1.832867e-05,1.904298e-05,1.931691e-05,2.027703e-05,2.031483e-05,2.120787e-05,2.153564e-05,2.210864e-05,2.270372e-05,2.297885e-05,2.381826e-05,2.462685e-05,2.487911e-05,2.540477e-05,2.588667e-05,2.615231e-05,2.684174e-05,2.686987e-05,2.755794e-05,2.774540e-05,2.821710e-05,2.859898e-05,2.884797e-05,2.940396e-05,2.945122e-05,3.002755e-05,3.016195e-05,3.057769e-05,3.087459e-05,3.110235e-05,3.154358e-05,3.160229e-05,3.207826e-05,3.217064e-05,3.253099e-05,3.275748e-05,3.296124e-05,3.330580e-05,3.336972e-05,3.375717e-05,3.381726e-05,3.412430e-05,3.429351e-05,3.447181e-05,3.473615e-05,3.480038e-05,3.511069e-05,3.514673e-05,3.540339e-05,3.552677e-05,3.567913e-05,3.587772e-05,3.593852e-05,3.618219e-05,3.620102e-05,3.641071e-05,3.649801e-05,3.662467e-05,3.677002e-05,3.682463e-05,3.701113e-05,3.701832e-05,3.718469e-05,3.724411e-05,3.734584e-05,3.744858e-05,3.749506e-05,3.763284e-05,3.775963e-05,3.779796e-05,3.787590e-05,3.794499e-05,3.798208e-05,3.807490e-05,3.807858e-05,3.816582e-05,3.818864e-05,3.824419e-05,3.828712e-05,3.831408e-05,3.837119e-05,3.837584e-05,3.842983e-05,3.844167e-05,3.847640e-05,3.849936e-05,3.851587e-05,3.854500e-05,3.854857e-05,3.857481e-05,3.857930e-05,3.859487e-05,3.860296e-05,3.860905e-05,3.861662e-05,3.861762e-05,3.862085e-05,3.862089e-05,3.861899e-05,3.861636e-05,3.861229e-05,3.860360e-05,3.860098e-05,3.858530e-05,3.858313e-05,3.856546e-05,3.855547e-05,3.854168e-05,3.852109e-05,3.851416e-05,3.848309e-05,3.848046e-05,3.844867e-05,3.843400e-05,3.841107e-05,3.838212e-05,3.837046e-05,3.832702e-05,3.832523e-05,3.828091e-05,3.826369e-05,3.823228e-05,3.819784e-05,3.818127e-05,3.812803e-05,3.805458e-05,3.797777e-05,3.789789e-05,3.781522e-05,3.773000e-05,3.764248e-05,3.755288e-05,3.746141e-05,3.736829e-05,3.727369e-05,3.717779e-05,3.708078e-05,3.698280e-05,3.688401e-05,3.678455e-05,3.668456e-05,3.658415e-05,3.648344e-05,3.638255e-05,3.628158e-05,3.618063e-05,3.607978e-05,3.597912e-05,3.587874e-05
0.000000e+00,4.390564e-09,1.009366e-08,3.485673e-08,7.942719e-08,1.159124e-07,2.627677e-07,2.706537e-07,5.214260e-07,6.118639e-07,8.903331e-07,1.177493e-06,1.399181e-06,2.008286e-06,2.068090e-06,2.911771e-06,3.140980e-06,3.934088e-06,4.581533e-06,5.125520e-06,6.298951e-06,6.467156e-06,7.937202e-06,8.244750e-06,9.514747e-06,1.037112e-05,1.118060e-05,1.263521e-05,1.291710e-05,1.470780e-05,1.499830e-05,1.653738e-05,1.742518e-05,1.839169e-05,1.988423e-05,2.025783e-05,2.212427e-05,2.234776e-05,2.398084e-05,2.479230e-05,2.581878e-05,2.719853e-05,2.763066e-05,2.941030e-05,2.955112e-05,3.115268e-05,3.183828e-05,3.285382e-05,3.405133e-05,3.451062e-05,3.612078e-05,3.618419e-05,3.768265e-05,3.823289e-05,3.919518e-05,4.019519e-05,4.065776e-05,4.207018e-05,4.343256e-05,4.385800e-05,4.474525e-05,4.555956e-05,4.600884e-05,4.717637e-05,4.722406e-05,4.839179e-05,4.871037e-05,4.951298e-05,5.016380e-05,5.058870e-05,5.153913e-05,5.162003e-05,5.260813e-05,5.283897e-05,5.355416e-05,5.406601e-05,5.445931e-05,5.522297e-05,5.532477e-05,5.615173e-05,5.631261e-05,5.694138e-05,5.733765e-05,5.769490e-05,5.830078e-05,5.841345e-05,5.909818e-05,5.920467e-05,5.975021e-05,6.005190e-05,6.037065e-05,6.084498e-05,6.096058e-05,6.152106e-05,6.158639e-05,6.205312e-05,6.227849e-05,6.255777e-05,6.292358e-05,6.303600e-05,6.348875e-05,6.352390e-05,6.391695e-05,6.408157e-05,6.432152e-05,6.459866e-05,6.470332e-05,6.506320e-05,6.507715e-05,6.540200e-05,6.551896e-05,6.572051e-05,6.592590e-05,6.601950e-05,6.629973e-05,6.656192e-05,6.664213e-05,6.680678e-05,6.695471e-05,6.703498e-05,6.723900e-05,6.724718e-05,6.744403e-05,6.749647e-05,6.762612e-05,6.772854e-05,6.779406e-05,6.793655e-05,6.794841e-05,6.808974e-05,6.812178e-05,6.821857e-05,6.828545e-05,6.833542e-05,6.842873e-05,6.844078e-05,6.853515e-05,6.855274e-05,6.861897e-05,6.865854e-05,6.869270e-05,6.874714e-05,6.875676e-05,6.881158e-05,6.881951e-05,6.885754e-05,6.887657e-05,6.889504e-05,6.891919e-05,6.892444e-05,6.894611e-05,6.894821e-05,6.896039e-05,6.896442e-05,6.896761e-05,6.896857e-05,6.896808e-05,6.896213e-05,6.896138e-05,6.895004e-05,6.894355e-05,6.893209e-05,6.891571e-05,6.890857e-05,6.887974e-05,6.887848e-05,6.884585e-05,6.883246e-05,6.880715e-05,6.877820e-05,6.876387e-05,6.871624e-05,6.864707e-05,6.857118e-05,6.848902e-05,6.840102e-05,6.830760e-05,6.820914e-05,6.810602e-05,6.799858e-05,6.788716e-05,6.777206e-05,6.765360e-05,6.753205e-05,6.740769e-05,6.728076e-05,6.715151e-05,6.702017e-05,6.688695e-05,6.675206e-05,6.661570e-05,6.647804e-05,6.633926e-05,6.619952e-05,6.605898e-05,6.591779e-05
0.000000e+00,7.744426e-11,3.536947e-10,2.868796e-09,1.022838e-08,1.776026e-08,5.505084e-08,5.726043e-08,1.337088e-07,1.633376e-07,2.587597e-07,3.617629e-07,4.435387e-07,6.755839e-07,6.988564e-07,1.035330e-06,1.129315e-06,1.463247e-06,1.746369e-06,1.991920e-06,2.546128e-06,2.628327e-06,3.375362e-06,3.537938e-06,4.230798e-06,4.716350e-06,5.187855e-06,6.063351e-06,6.236960e-06,7.367510e-06,7.555242e-06,8.568889e-06,9.167684e-06,9.830851e-06,1.087742e-05,1.114356e-05,1.249753e-05,1.266234e-05,1.388359e-05,1.450133e-05,1.529287e-05,1.637419e-05,1.671685e-05,1.814741e-05,1.826190e-05,1.957691e-05,2.014681e-05,2.099826e-05,2.201291e-05,2.240495e-05,2.379109e-05,2.384603e-05,2.515145e-05,2.563396e-05,2.648143e-05,2.736644e-05,2.777710e-05,2.903514e-05,3.025279e-05,3.063354e-05,3.142787e-05,3.215678e-05,3.255870e-05,3.360152e-05,3.364404e-05,3.468309e-05,3.496566e-05,3.567540e-05,3.624828e-05,3.662083e-05,3.744936e-05,3.751954e-05,3.837193e-05,3.856967e-05,3.917859e-05,3.961062e-05,3.994029e-05,4.057411e-05,4.065794e-05,4.133256e-05,4.146242e-05,4.196529e-05,4.227813e-05,4.255730e-05,4.302403e-05,4.310984e-05,4.362419e-05,4.370303e-05,4.410167e-05,4.431815e-05,4.454360e-05,4.487243e-05,4.495130e-05,4.532610e-05,4.536893e-05,4.566932e-05,4.581066e-05,4.598225e-05,4.620061e-05,4.626618e-05,4.652235e-05,4.654168e-05,4.675200e-05,4.683671e-05,4.695633e-05,4.708842e-05,4.713650e-05,4.729365e-05,4.729947e-05,4.742888e-05,4.747240e-05,4.754325e-05,4.760965e-05,4.763782e-05,4.771356e-05,4.777145e-05,4.778636e-05,4.781243e-05,4.783018e-05,4.783737e-05,4.784705e-05,4.784716e-05,4.784262e-05,4.783889e-05,4.782455e-05,4.780754e-05,4.779372e-05,4.775472e-05,4.775086e-05,4.769669e-05,4.768208e-05,4.763188e-05,4.759118e-05,4.755708e-05,4.748349e-05,4.747292e-05,4.737999e-05,4.736040e-05,4.727886e-05,4.722321e-05,4.717007e-05,4.707316e-05,4.705416e-05,4.693161e-05,4.691142e-05,4.680291e-05,4.673907e-05,4.666850e-05,4.655716e-05,4.652882e-05,4.638429e-05,4.636664e-05,4.623529e-05,4.616841e-05,4.608220e-05,4.596335e-05,4.592539e-05,4.576518e-05,4.575223e-05,4.560190e-05,4.553580e-05,4.543586e-05,4.531477e-05,4.526735e-05,4.509665e-05,4.508978e-05,4.492402e-05,4.486145e-05,4.474970e-05,4.463033e-05,4.457394e-05,4.439696e-05,4.416183e-05,4.392539e-05,4.368807e-05,4.345026e-05,4.321232e-05,4.297459e-05,4.273737e-05,4.250096e-05,4.226562e-05,4.203157e-05,4.179905e-05,4.156826e-05,4.133937e-05,4.111255e-05,4.088796e-05,4.066572e-05,4.044596e-05,4.022879e-05,4.001429e-05,3.980256e-05,3.959368e-05,3.938769e-05,3.918467e-05,3.898465e-05
0.000000e+00,1.847874e-09,4.320402e-09,1.517404e-08,3.481858e-08,5.092555e-08,1.157699e-07,1.192503e-07,2.297861e-07,2.695839e-07,3.919451e-07,5.179216e-07,6.151058e-07,8.822678e-07,9.085378e-07,1.280723e-06,1.382522e-06,1.737737e-06,2.031538e-06,2.281179e-06,2.828094e-06,2.907385e-06,3.608939e-06,3.757519e-06,4.377012e-06,4.799763e-06,5.202820e-06,5.935033e-06,6.078067e-06,6.994908e-06,7.144956e-06,7.945805e-06,8.412177e-06,8.923445e-06,9.720031e-06,9.920726e-06,1.093080e-05,1.105255e-05,1.194712e-05,1.239468e-05,1.296355e-05,1.373259e-05,1.397440e-05,1.497449e-05,1.505389e-05,1.595919e-05,1.634784e-05,1.692445e-05,1.760542e-05,1.786678e-05,1.878322e-05,1.881931e-05,1.967139e-05,1.998382e-05,2.052935e-05,2.109474e-05,2.135564e-05,2.214921e-05,2.290937e-05,2.314550e-05,2.363575e-05,2.408285e-05,2.432825e-05,2.496131e-05,2.498702e-05,2.561241e-05,2.578160e-05,2.620492e-05,2.654490e-05,2.676519e-05,2.725283e-05,2.729400e-05,2.779217e-05,2.790727e-05,2.826061e-05,2.851030e-05,2.870027e-05,2.906416e-05,2.911215e-05,2.949725e-05,2.957114e-05,2.985658e-05,3.003359e-05,3.019117e-05,3.045384e-05,3.050202e-05,3.079015e-05,3.083420e-05,3.105652e-05,3.117694e-05,3.130211e-05,3.148424e-05,3.152785e-05,3.173465e-05,3.175824e-05,3.192342e-05,3.200098e-05,3.209500e-05,3.221442e-05,3.225023e-05,3.238991e-05,3.240044e-05,3.251481e-05,3.256080e-05,3.262568e-05,3.269722e-05,3.272323e-05,3.280815e-05,3.281129e-05,3.288109e-05,3.290454e-05,3.294269e-05,3.297841e-05,3.299355e-05,3.303425e-05,3.306535e-05,3.307336e-05,3.308738e-05,3.309694e-05,3.310083e-05,3.310614e-05,3.310620e-05,3.310395e-05,3.310201e-05,3.309452e-05,3.308558e-05,3.307832e-05,3.305779e-05,3.305577e-05,3.302723e-05,3.301954e-05,3.299309e-05,3.297164e-05,3.295368e-05,3.291490e-05,3.290933e-05,3.286037e-05,3.285005e-05,3.280708e-05,3.277777e-05,3.274977e-05,3.269871e-05,3.268869e-05,3.262412e-05,3.261347e-05,3.255628e-05,3.252263e-05,3.248542e-05,3.242671e-05,3.241177e-05,3.233552e-05,3.232620e-05,3.225688e-05,3.222158e-05,3.217605e-05,3.211326e-05,3.209320e-05,3.200850e-05,3.200165e-05,3.192212e-05,3.188713e-05,3.183421e-05,3.177006e-05,3.174492e-05,3.165439e-05,3.165075e-05,3.156275e-05,3.152951e-05,3.147012e-05,3.140662e-05,3.137662e-05,3.128236e-05,3.115696e-05,3.103065e-05,3.090364e-05,3.077614e-05,3.064831e-05,3.052034e-05,3.039237e-05,3.026455e-05,3.013701e-05,3.000987e-05,2.988325e-05,2.975725e-05,2.963196e-05,2.950747e-05,2.938386e-05,2.926120e-05,2.913956e-05,2.901900e-05,2.889957e-05,2.878132e-05,2.866429e-05,2.854853e-05,2.843406e-05,2.832093e-05
0.000000e+00,1.202497e-12,7.533772e-12,1.101641e-10,6.253008e-10,1.365102e-09,7.094642e-09,7.520823e-09,2.676279e-08,3.620548e-08,7.267364e-08,1.208334e-07,1.646301e-07,3.116484e-07,3.280589e-07,5.945693e-07,6.778930e-07,1.001089e-06,1.304517e-06,1.586666e-06,2.278565e-06,2.386912e-06,3.428251e-06,3.666900e-06,4.724496e-06,5.500069e-06,6.276633e-06,7.771367e-06,8.075017e-06,1.010252e-05,1.044677e-05,1.233754e-05,1.347714e-05,1.475638e-05,1.680744e-05,1.733470e-05,2.004838e-05,2.038200e-05,2.287392e-05,2.414670e-05,2.578858e-05,2.804982e-05,2.877046e-05,3.179859e-05,3.204223e-05,3.485295e-05,3.607775e-05,3.791460e-05,4.011350e-05,4.096583e-05,4.399026e-05,4.411047e-05,4.697300e-05,4.803396e-05,4.990068e-05,5.185399e-05,5.276154e-05,5.554545e-05,5.824387e-05,5.908813e-05,6.084983e-05,6.246651e-05,6.335781e-05,6.566945e-05,6.576368e-05,6.806454e-05,6.868969e-05,7.025861e-05,7.152344e-05,7.234512e-05,7.416978e-05,7.432416e-05,7.619655e-05,7.663020e-05,7.796372e-05,7.890810e-05,7.962765e-05,8.100839e-05,8.119071e-05,8.265562e-05,8.293709e-05,8.402535e-05,8.470104e-05,8.530306e-05,8.630763e-05,8.649204e-05,8.759569e-05,8.776458e-05,8.861741e-05,8.907975e-05,8.956065e-05,9.026102e-05,9.042881e-05,9.122528e-05,9.131620e-05,9.195338e-05,9.225292e-05,9.261634e-05,9.307859e-05,9.321734e-05,9.375944e-05,9.380035e-05,9.424560e-05,9.442505e-05,9.467870e-05,9.495923e-05,9.506150e-05,9.539665e-05,9.540911e-05,9.568671e-05,9.578057e-05,9.593412e-05,9.607919e-05,9.614122e-05,9.631024e-05,9.644334e-05,9.647868e-05,9.654255e-05,9.658916e-05,9.660982e-05,9.664608e-05,9.664701e-05,9.665590e-05,9.665355e-05,9.663817e-05,9.661542e-05,9.659542e-05,9.653531e-05,9.652918e-05,9.644090e-05,9.641660e-05,9.633198e-05,9.626245e-05,9.620371e-05,9.607583e-05,9.605735e-05,9.589407e-05,9.585949e-05,9.571502e-05,9.561602e-05,9.552124e-05,9.534784e-05,9.531376e-05,9.509353e-05,9.505717e-05,9.486147e-05,9.474613e-05,9.461844e-05,9.441667e-05,9.436526e-05,9.410270e-05,9.407060e-05,9.383151e-05,9.370962e-05,9.355236e-05,9.333531e-05,9.326594e-05,9.297285e-05,9.294913e-05,9.267369e-05,9.255246e-05,9.236902e-05,9.214654e-05,9.205937e-05,9.174523e-05,9.173258e-05,9.142708e-05,9.131165e-05,9.110536e-05,9.088477e-05,9.078050e-05,9.045289e-05,9.001688e-05,8.957754e-05,8.913562e-05,8.869182e-05,8.824677e-05,8.780106e-05,8.735524e-05,8.690980e-05,8.646522e-05,8.602191e-05,8.558026e-05,8.514064e-05,8.470336e-05,8.426873e-05,8.383702e-05,8.340847e-05,8.298332e-05,8.256176e-05,8.214398e-05,8.173015e-05,8.132041e-05,8.091490e-05,8.051373e-05,8.011701e-05
0.000000e+00,2.335737e-12,1.422121e-11,1.961688e-10,1.057062e-09,2.243863e-09,1.086478e-08,1.148491e-08,3.819195e-08,5.074541e-08,9.742545e-08,1.563758e-07,2.082808e-07,3.751068e-07,3.932041e-07,6.772218e-07,7.630186e-07,1.086052e-06,1.378237e-06,1.642418e-06,2.266654e-06,2.361897e-06,3.250651e-06,3.448606e-06,4.305935e-06,4.917581e-06,5.518415e-06,6.648751e-06,6.874843e-06,8.360137e-06,8.608697e-06,9.958618e-06,1.076148e-05,1.165459e-05,1.307108e-05,1.343247e-05,1.527682e-05,1.550189e-05,1.717232e-05,1.801862e-05,1.910376e-05,2.058647e-05,2.105618e-05,2.301506e-05,2.317163e-05,2.496647e-05,2.574196e-05,2.689728e-05,2.826787e-05,2.879540e-05,3.064987e-05,3.072300e-05,3.245101e-05,3.308471e-05,3.419047e-05,3.533446e-05,3.586128e-05,3.745777e-05,3.897559e-05,3.944413e-05,4.041160e-05,4.128673e-05,4.176376e-05,4.298202e-05,4.303108e-05,4.421342e-05,4.452931e-05,4.531143e-05,4.593029e-05,4.632644e-05,4.718854e-05,4.726032e-05,4.811537e-05,4.830914e-05,4.889427e-05,4.929828e-05,4.959996e-05,5.016290e-05,5.023558e-05,5.080440e-05,5.091044e-05,5.130976e-05,5.154858e-05,5.175503e-05,5.208509e-05,5.214358e-05,5.247873e-05,5.252762e-05,5.276373e-05,5.288365e-05,5.300174e-05,5.316039e-05,5.319583e-05,5.334893e-05,5.336468e-05,5.346386e-05,5.350304e-05,5.354332e-05,5.358155e-05,5.358985e-05,5.360591e-05,5.360595e-05,5.359379e-05,5.358154e-05,5.355566e-05,5.351326e-05,5.349357e-05,5.340945e-05,5.340565e-05,5.330510e-05,5.326292e-05,5.318223e-05,5.308891e-05,5.304243e-05,5.288718e-05,5.271787e-05,5.266094e-05,5.253582e-05,5.241317e-05,5.234222e-05,5.214656e-05,5.213822e-05,5.192486e-05,5.186358e-05,5.170312e-05,5.156645e-05,5.147393e-05,5.125721e-05,5.123812e-05,5.099649e-05,5.093772e-05,5.074977e-05,5.060964e-05,5.049864e-05,5.027449e-05,5.024372e-05,4.998560e-05,4.993364e-05,4.972483e-05,4.958834e-05,4.946190e-05,4.923970e-05,4.919727e-05,4.893137e-05,4.888873e-05,4.866460e-05,4.853634e-05,4.839731e-05,4.818334e-05,4.812985e-05,4.786253e-05,4.783047e-05,4.759561e-05,4.747837e-05,4.732938e-05,4.712764e-05,4.706406e-05,4.679987e-05,4.677879e-05,4.653701e-05,4.643228e-05,4.627567e-05,4.608853e-05,4.601600e-05,4.575817e-05,4.574789e-05,4.550230e-05,4.541069e-05,4.524852e-05,4.507720e-05,4.499694e-05,4.474767e-05,4.442230e-05,4.410127e-05,4.378475e-05,4.347284e-05,4.316567e-05,4.286332e-05,4.256585e-05,4.227332e-05,4.198577e-05,4.170321e-05,4.142566e-05,4.115312e-05,4.088558e-05,4.062303e-05,4.036543e-05,4.011277e-05,3.986499e-05,3.962206e-05,3.938393e-05,3.915054e-05,3.892185e-05,3.869778e-05,3.847828e-05,3.826328e-05
0.000000e+00,3.325321e-09,7.634659e-09,2.631280e-08,5.987496e-08,8.732221e-08,1.977015e-07,2.036269e-07,3.920844e-07,4.600943e-07,6.697637e-07,8.864944e-07,1.054236e-06,1.517316e-06,1.562971e-06,2.210869e-06,2.388144e-06,3.005491e-06,3.513488e-06,3.942571e-06,4.873063e-06,5.006826e-06,6.177847e-06,6.423049e-06,7.435424e-06,8.117507e-06,8.761577e-06,9.916973e-06,1.014057e-05,1.155838e-05,1.178797e-05,1.300231e-05,1.370123e-05,1.446075e-05,1.563081e-05,1.592313e-05,1.737991e-05,1.755393e-05,1.882262e-05,1.945101e-05,2.024387e-05,2.130575e-05,2.163735e-05,2.299775e-05,2.310502e-05,2.432075e-05,2.483867e-05,2.560290e-05,2.649924e-05,2.684156e-05,2.803483e-05,2.808159e-05,2.918138e-05,2.958254e-05,3.028046e-05,3.100054e-05,3.133175e-05,3.233528e-05,3.329140e-05,3.358743e-05,3.420071e-05,3.475848e-05,3.506404e-05,3.585046e-05,3.588235e-05,3.665671e-05,3.686582e-05,3.738833e-05,3.780731e-05,3.807846e-05,3.867784e-05,3.872839e-05,3.933944e-05,3.948046e-05,3.991298e-05,4.021827e-05,4.045034e-05,4.089438e-05,4.095289e-05,4.142197e-05,4.151188e-05,4.185887e-05,4.207378e-05,4.226490e-05,4.258301e-05,4.264130e-05,4.298931e-05,4.304244e-05,4.331014e-05,4.345482e-05,4.360495e-05,4.382283e-05,4.387489e-05,4.412104e-05,4.414904e-05,4.434449e-05,4.443588e-05,4.454626e-05,4.468572e-05,4.472735e-05,4.488872e-05,4.490081e-05,4.503130e-05,4.508328e-05,4.515599e-05,4.523518e-05,4.526366e-05,4.535512e-05,4.535845e-05,4.543119e-05,4.545495e-05,4.549262e-05,4.552642e-05,4.554017e-05,4.557453e-05,4.559640e-05,4.560087e-05,4.560643e-05,4.560692e-05,4.560523e-05,4.559410e-05,4.559343e-05,4.557158e-05,4.556375e-05,4.554026e-05,4.551713e-05,4.549998e-05,4.545545e-05,4.545125e-05,4.539457e-05,4.537983e-05,4.533038e-05,4.529134e-05,4.525915e-05,4.519098e-05,4.518130e-05,4.509722e-05,4.507970e-05,4.500732e-05,4.495839e-05,4.491196e-05,4.482790e-05,4.481149e-05,4.470626e-05,4.468901e-05,4.459659e-05,4.454247e-05,4.448279e-05,4.438897e-05,4.436515e-05,4.424396e-05,4.422919e-05,4.411947e-05,4.406372e-05,4.399195e-05,4.389316e-05,4.386164e-05,4.372877e-05,4.371804e-05,4.359356e-05,4.353887e-05,4.345623e-05,4.335614e-05,4.331696e-05,4.317596e-05,4.317028e-05,4.303340e-05,4.298172e-05,4.288945e-05,4.279085e-05,4.274427e-05,4.259803e-05,4.240360e-05,4.220788e-05,4.201117e-05,4.181374e-05,4.161585e-05,4.141774e-05,4.121963e-05,4.102173e-05,4.082423e-05,4.062729e-05,4.043110e-05,4.023579e-05,4.004151e-05,3.984839e-05,3.965653e-05,3.946605e-05,3.927704e-05,3.908960e-05,3.890381e-05,3.871973e-05,3.853744e-05,3.835700e-05,3.817845e-05,3.800185e-05
0.000000e+00,3.546366e-11,1.885111e-10,1.997396e-09,8.643476e-09,1.640553e-08,6.112853e-08,6.398388e-08,1.703791e-07,2.143502e-07,3.623604e-07,5.298772e-07,6.670408e-07,1.071077e-06,1.112602e-06,1.729125e-06,1.906034e-06,2.548158e-06,3.106589e-06,3.599348e-06,4.733256e-06,4.903416e-06,6.464589e-06,6.806686e-06,8.268262e-06,9.292848e-06,1.028587e-05,1.212084e-05,1.248302e-05,1.482578e-05,1.521204e-05,1.728367e-05,1.849640e-05,1.983009e-05,2.191521e-05,2.244172e-05,2.509759e-05,2.541834e-05,2.777843e-05,2.896124e-05,3.046629e-05,3.250336e-05,3.314433e-05,3.579681e-05,3.600746e-05,3.840911e-05,3.943975e-05,4.096788e-05,4.277022e-05,4.346106e-05,4.587802e-05,4.597298e-05,4.820958e-05,4.902650e-05,5.044800e-05,5.191367e-05,5.258701e-05,5.462170e-05,5.654848e-05,5.714184e-05,5.836499e-05,5.946909e-05,6.007002e-05,6.160179e-05,6.166339e-05,6.314577e-05,6.354111e-05,6.451852e-05,6.529038e-05,6.578369e-05,6.685487e-05,6.694390e-05,6.800222e-05,6.824143e-05,6.896206e-05,6.945792e-05,6.982712e-05,7.051309e-05,7.060133e-05,7.128873e-05,7.141615e-05,7.189341e-05,7.217653e-05,7.241952e-05,7.280378e-05,7.287122e-05,7.325264e-05,7.330742e-05,7.356783e-05,7.369675e-05,7.382071e-05,7.398076e-05,7.401515e-05,7.415487e-05,7.416813e-05,7.424346e-05,7.426715e-05,7.428439e-05,7.428566e-05,7.428096e-05,7.423633e-05,7.423107e-05,7.415351e-05,7.411034e-05,7.403539e-05,7.393001e-05,7.388468e-05,7.370398e-05,7.369616e-05,7.349572e-05,7.341446e-05,7.326223e-05,7.309015e-05,7.300566e-05,7.272810e-05,7.243145e-05,7.233279e-05,7.211754e-05,7.190838e-05,7.178808e-05,7.145865e-05,7.144466e-05,7.108879e-05,7.098711e-05,7.072186e-05,7.049695e-05,7.034519e-05,6.999110e-05,6.996000e-05,6.956743e-05,6.947223e-05,6.916855e-05,6.894279e-05,6.876435e-05,6.840499e-05,6.835576e-05,6.794362e-05,6.786084e-05,6.752875e-05,6.731217e-05,6.711186e-05,6.676063e-05,6.669366e-05,6.627476e-05,6.620771e-05,6.585575e-05,6.565475e-05,6.543718e-05,6.510296e-05,6.501952e-05,6.460325e-05,6.455341e-05,6.418877e-05,6.400707e-05,6.377648e-05,6.346480e-05,6.336671e-05,6.295979e-05,6.292736e-05,6.255600e-05,6.239542e-05,6.215561e-05,6.186957e-05,6.175886e-05,6.136595e-05,6.135032e-05,6.097709e-05,6.083812e-05,6.059243e-05,6.033335e-05,6.021214e-05,5.983634e-05,5.934736e-05,5.886664e-05,5.839437e-05,5.793070e-05,5.747572e-05,5.702954e-05,5.659219e-05,5.616370e-05,5.574407e-05,5.533329e-05,5.493132e-05,5.453810e-05,5.415357e-05,5.377764e-05,5.341023e-05,5.305123e-05,5.270053e-05,5.235801e-05,5.202355e-05,5.169702e-05,5.137829e-05,5.106721e-05,5.076365e-05,5.046746e-05
0.000000e+00,2.156761e-11,1.194248e-10,1.367627e-09,6.301657e-09,1.234188e-08,4.941350e-08,5.185976e-08,1.466005e-07,1.871633e-07,3.275105e-07,4.914336e-07,6.286106e-07,1.043972e-06,1.087436e-06,1.745498e-06,1.937979e-06,2.646945e-06,3.273972e-06,3.833508e-06,5.137728e-06,5.335039e-06,7.159023e-06,7.561254e-06,9.286122e-06,1.049899e-05,1.167548e-05,1.384779e-05,1.427587e-05,1.703605e-05,1.748937e-05,1.991057e-05,2.131953e-05,2.286147e-05,2.525609e-05,2.585766e-05,2.887361e-05,2.923581e-05,3.188806e-05,3.320921e-05,3.488306e-05,3.713678e-05,3.784336e-05,4.075601e-05,4.098663e-05,4.361011e-05,4.473327e-05,4.639660e-05,4.835679e-05,4.910808e-05,5.173865e-05,5.184212e-05,5.428375e-05,5.517839e-05,5.674004e-05,5.835837e-05,5.910521e-05,6.137786e-05,6.355738e-05,6.423515e-05,6.564381e-05,6.693054e-05,6.763776e-05,6.946589e-05,6.954025e-05,7.135270e-05,7.184428e-05,7.307683e-05,7.406972e-05,7.471459e-05,7.614686e-05,7.626809e-05,7.773958e-05,7.808080e-05,7.913139e-05,7.987688e-05,8.044590e-05,8.154068e-05,8.168557e-05,8.285286e-05,8.307785e-05,8.395023e-05,8.449404e-05,8.498012e-05,8.579484e-05,8.594494e-05,8.684708e-05,8.698577e-05,8.768893e-05,8.807227e-05,8.847278e-05,8.905963e-05,8.920090e-05,8.987550e-05,8.995296e-05,9.049874e-05,9.075725e-05,9.107273e-05,9.147729e-05,9.159952e-05,9.208109e-05,9.211772e-05,9.251937e-05,9.268298e-05,9.291622e-05,9.317734e-05,9.327348e-05,9.359288e-05,9.360490e-05,9.387614e-05,9.396958e-05,9.412488e-05,9.427513e-05,9.434071e-05,9.452514e-05,9.467965e-05,9.472301e-05,9.480567e-05,9.487201e-05,9.490458e-05,9.497525e-05,9.497769e-05,9.502629e-05,9.503567e-05,9.505160e-05,9.505610e-05,9.505480e-05,9.503919e-05,9.503702e-05,9.499937e-05,9.498750e-05,9.494289e-05,9.490342e-05,9.486859e-05,9.478924e-05,9.477745e-05,9.467038e-05,9.464714e-05,9.454829e-05,9.447915e-05,9.441204e-05,9.428724e-05,9.426244e-05,9.410028e-05,9.407322e-05,9.392633e-05,9.383885e-05,9.374130e-05,9.358577e-05,9.354589e-05,9.334077e-05,9.331553e-05,9.312656e-05,9.302960e-05,9.290389e-05,9.272936e-05,9.267334e-05,9.243545e-05,9.241612e-05,9.219077e-05,9.209111e-05,9.193980e-05,9.175549e-05,9.168304e-05,9.142093e-05,9.141035e-05,9.115394e-05,9.105671e-05,9.088248e-05,9.069554e-05,9.060696e-05,9.032776e-05,8.995420e-05,8.957567e-05,8.919292e-05,8.880665e-05,8.841752e-05,8.802614e-05,8.763309e-05,8.723889e-05,8.684406e-05,8.644906e-05,8.605432e-05,8.566024e-05,8.526720e-05,8.487555e-05,8.448560e-05,8.409766e-05,8.371200e-05,8.332886e-05,8.294849e-05,8.257109e-05,8.219686e-05,8.182597e-05,8.145859e-05,8.109486e-05
0.000000e+00,8.721769e-14,5.877992e-13,1.000403e-11,6.524681e-11,1.537737e-10,9.749539e-10,1.041946e-09,4.523387e-09,6.460572e-09,1.486730e-08,2.761381e-08,4.043755e-08,8.988950e-08,9.591882e-08,2.049829e-07,2.427733e-07,4.028509e-07,5.699114e-07,7.378422e-07,1.194433e-06,1.271218e-06,2.075279e-06,2.275530e-06,3.230164e-06,3.997227e-06,4.819983e-06,6.553149e-06,6.928820e-06,9.637003e-06,1.013095e-05,1.301788e-05,1.489880e-05,1.713524e-05,2.099492e-05,2.204132e-05,2.777556e-05,2.852070e-05,3.436383e-05,3.753683e-05,4.181820e-05,4.806231e-05,5.013714e-05,5.930615e-05,6.007567e-05,6.929854e-05,7.351794e-05,8.007658e-05,8.829688e-05,9.159270e-05,1.037909e-04,1.042921e-04,1.166081e-04,1.213608e-04,1.299758e-04,1.393432e-04,1.438211e-04,1.580685e-04,1.726411e-04,1.773604e-04,1.874616e-04,1.970415e-04,2.024536e-04,2.169379e-04,2.175424e-04,2.326561e-04,2.368830e-04,2.477261e-04,2.567200e-04,2.626877e-04,2.763047e-04,2.774806e-04,2.920493e-04,2.955066e-04,3.063430e-04,3.142103e-04,3.203164e-04,3.323156e-04,3.339289e-04,3.471451e-04,3.497381e-04,3.599348e-04,3.664082e-04,3.722724e-04,3.822712e-04,3.841370e-04,3.955119e-04,3.972855e-04,4.063846e-04,4.114225e-04,4.167465e-04,4.246645e-04,4.265923e-04,4.359200e-04,4.370045e-04,4.447306e-04,4.484443e-04,4.530276e-04,4.589933e-04,4.608168e-04,4.681060e-04,4.686678e-04,4.749048e-04,4.774894e-04,4.812243e-04,4.854846e-04,4.870770e-04,4.924762e-04,4.926830e-04,4.974363e-04,4.991172e-04,5.019721e-04,5.048220e-04,5.060992e-04,5.098333e-04,5.131904e-04,5.141877e-04,5.161868e-04,5.179225e-04,5.188384e-04,5.210746e-04,5.211614e-04,5.231714e-04,5.236803e-04,5.248843e-04,5.257756e-04,5.263149e-04,5.273949e-04,5.274785e-04,5.283894e-04,5.285720e-04,5.290619e-04,5.293393e-04,5.295094e-04,5.297278e-04,5.297453e-04,5.297823e-04,5.297670e-04,5.296327e-04,5.294850e-04,5.293080e-04,5.289084e-04,5.288197e-04,5.281785e-04,5.280624e-04,5.273946e-04,5.269706e-04,5.264779e-04,5.256552e-04,5.254377e-04,5.242829e-04,5.241370e-04,5.230219e-04,5.224355e-04,5.216628e-04,5.205689e-04,5.202131e-04,5.186801e-04,5.185541e-04,5.170706e-04,5.164069e-04,5.153911e-04,5.141419e-04,5.136476e-04,5.118459e-04,5.117727e-04,5.099913e-04,5.093118e-04,5.080892e-04,5.067709e-04,5.061441e-04,5.041608e-04,5.014913e-04,4.987717e-04,4.960102e-04,4.932147e-04,4.903923e-04,4.875494e-04,4.846920e-04,4.818257e-04,4.789553e-04,4.760854e-04,4.732202e-04,4.703634e-04,4.675185e-04,4.646885e-04,4.618762e-04,4.590841e-04,4.563145e-04,4.535695e-04,4.508508e-04,4.481601e-04,4.454987e-04,4.428680e-04,4.402690e-04,4.377028e-04
0.000000e+00,1.427379e-12,8.906702e-12,1.291208e-10,7.269069e-10,1.579535e-09,8.106087e-09,8.588449e-09,3.015122e-08,4.063195e-08,8.073627e-08,1.330804e-07,1.802500e-07,3.365098e-07,3.537954e-07,6.313978e-07,7.172298e-07,1.047078e-06,1.353378e-06,1.636013e-06,2.322463e-06,2.429252e-06,3.447695e-06,3.679271e-06,4.698141e-06,5.438027e-06,6.172913e-06,7.571096e-06,7.852546e-06,9.709821e-06,1.002142e-05,1.171373e-05,1.271834e-05,1.383253e-05,1.558971e-05,1.603569e-05,1.829483e-05,1.856843e-05,2.058409e-05,2.159481e-05,2.288015e-05,2.461675e-05,2.516208e-05,2.741114e-05,2.758913e-05,2.961067e-05,3.047327e-05,3.174602e-05,3.323652e-05,3.380448e-05,3.577526e-05,3.585214e-05,3.764949e-05,3.829917e-05,3.942014e-05,4.056226e-05,4.108194e-05,4.263134e-05,4.406632e-05,4.450121e-05,4.538630e-05,4.617101e-05,4.659198e-05,4.764359e-05,4.768519e-05,4.866866e-05,4.892483e-05,4.954590e-05,5.002297e-05,5.032107e-05,5.094801e-05,5.099875e-05,5.158389e-05,5.171112e-05,5.208161e-05,5.232410e-05,5.249715e-05,5.279904e-05,5.283579e-05,5.310276e-05,5.314800e-05,5.330318e-05,5.338275e-05,5.344202e-05,5.351459e-05,5.352410e-05,5.355402e-05,5.355427e-05,5.353616e-05,5.351184e-05,5.347465e-05,5.339663e-05,5.337338e-05,5.323601e-05,5.321726e-05,5.306597e-05,5.298163e-05,5.286644e-05,5.269691e-05,5.264039e-05,5.239057e-05,5.236963e-05,5.211952e-05,5.200568e-05,5.182958e-05,5.161037e-05,5.152294e-05,5.120158e-05,5.118844e-05,5.086733e-05,5.074418e-05,5.052189e-05,5.028138e-05,5.016678e-05,4.980342e-05,4.943311e-05,4.931333e-05,4.905701e-05,4.881378e-05,4.867622e-05,4.830714e-05,4.829170e-05,4.790436e-05,4.779551e-05,4.751501e-05,4.728074e-05,4.712438e-05,4.676444e-05,4.673313e-05,4.634189e-05,4.624805e-05,4.595118e-05,4.573281e-05,4.556152e-05,4.521983e-05,4.517334e-05,4.478704e-05,4.471004e-05,4.440299e-05,4.420428e-05,4.402151e-05,4.370325e-05,4.364287e-05,4.326736e-05,4.320758e-05,4.289518e-05,4.271777e-05,4.252653e-05,4.223429e-05,4.216161e-05,4.180055e-05,4.175749e-05,4.144350e-05,4.128769e-05,4.109056e-05,4.082514e-05,4.074184e-05,4.039741e-05,4.037005e-05,4.005735e-05,3.992256e-05,3.972171e-05,3.948281e-05,3.939053e-05,3.906385e-05,3.905088e-05,3.874169e-05,3.862682e-05,3.842406e-05,3.821067e-05,3.811097e-05,3.780243e-05,3.740208e-05,3.700959e-05,3.662492e-05,3.624799e-05,3.587874e-05,3.551708e-05,3.516291e-05,3.481613e-05,3.447663e-05,3.414431e-05,3.381903e-05,3.350069e-05,3.318915e-05,3.288428e-05,3.258597e-05,3.229407e-05,3.200846e-05,3.172901e-05,3.145559e-05,3.118807e-05,3.092631e-05,3.067019e-05,3.041959e-05,3.017437e-05
0.000000e+00,4.934967e-11,2.606631e-10,2.731241e-09,1.172731e-08,2.218474e-08,8.220128e-08,8.602900e-08,2.287673e-07,2.878822e-07,4.875105e-07,7.145992e-07,9.013555e-07,1.454935e-06,1.512071e-06,2.364092e-06,2.609510e-06,3.502061e-06,4.279022e-06,4.964155e-06,6.536158e-06,6.771316e-06,8.917619e-06,9.385036e-06,1.136973e-05,1.274916e-05,1.407694e-05,1.650770e-05,1.698411e-05,2.004045e-05,2.054031e-05,2.320269e-05,2.474734e-05,2.643467e-05,2.904981e-05,2.970588e-05,3.299012e-05,3.338399e-05,3.626460e-05,3.769704e-05,3.950939e-05,4.194481e-05,4.270715e-05,4.584297e-05,4.609077e-05,4.890425e-05,5.010547e-05,5.188053e-05,5.396602e-05,5.476340e-05,5.754630e-05,5.765546e-05,6.022428e-05,6.116194e-05,6.279379e-05,6.447794e-05,6.525266e-05,6.759977e-05,6.983492e-05,7.052660e-05,7.195872e-05,7.326010e-05,7.397247e-05,7.580373e-05,7.587789e-05,7.767713e-05,7.816222e-05,7.937270e-05,8.034142e-05,8.096736e-05,8.234782e-05,8.246402e-05,8.386574e-05,8.418837e-05,8.517567e-05,8.587034e-05,8.639703e-05,8.740112e-05,8.753304e-05,8.858693e-05,8.878814e-05,8.956191e-05,9.003877e-05,9.046115e-05,9.116026e-05,9.128777e-05,9.204484e-05,9.215971e-05,9.273535e-05,9.304402e-05,9.336225e-05,9.381987e-05,9.392837e-05,9.443651e-05,9.449372e-05,9.488935e-05,9.507176e-05,9.528950e-05,9.555995e-05,9.563951e-05,9.594180e-05,9.596400e-05,9.619876e-05,9.628936e-05,9.641265e-05,9.654123e-05,9.658569e-05,9.671999e-05,9.672459e-05,9.681760e-05,9.684414e-05,9.688048e-05,9.690437e-05,9.691052e-05,9.690954e-05,9.687928e-05,9.686369e-05,9.682142e-05,9.677065e-05,9.673757e-05,9.663404e-05,9.662925e-05,9.649797e-05,9.645728e-05,9.634511e-05,9.624361e-05,9.617205e-05,9.599609e-05,9.598007e-05,9.577041e-05,9.571759e-05,9.554426e-05,9.541083e-05,9.530275e-05,9.507837e-05,9.504695e-05,9.477791e-05,9.472260e-05,9.449660e-05,9.434578e-05,9.420396e-05,9.395004e-05,9.390088e-05,9.358823e-05,9.353737e-05,9.326680e-05,9.310963e-05,9.293738e-05,9.266857e-05,9.260069e-05,9.225743e-05,9.221583e-05,9.190826e-05,9.175292e-05,9.155383e-05,9.128129e-05,9.119471e-05,9.083148e-05,9.080226e-05,9.046469e-05,9.031708e-05,9.009482e-05,8.982689e-05,8.972238e-05,8.934780e-05,8.933278e-05,8.897153e-05,8.883574e-05,8.859398e-05,8.833670e-05,8.821551e-05,8.783651e-05,8.733597e-05,8.683581e-05,8.633670e-05,8.583928e-05,8.534409e-05,8.485168e-05,8.436252e-05,8.387705e-05,8.339565e-05,8.291871e-05,8.244653e-05,8.197941e-05,8.151763e-05,8.106140e-05,8.061094e-05,8.016644e-05,7.972804e-05,7.929589e-05,7.887012e-05,7.845080e-05,7.803804e-05,7.763190e-05,7.723242e-05,7.683964e-05
0.000000e+00,3.966885e-14,2.691547e-13,4.643669e-12,3.064064e-11,7.264259e-11,4.666584e-10,4.989507e-10,2.184977e-09,3.125256e-09,7.204012e-09,1.336852e-08,1.954330e-08,4.313949e-08,4.599682e-08,9.717022e-08,1.147313e-07,1.885180e-07,2.648767e-07,3.412744e-07,5.483221e-07,5.831254e-07,9.485264e-07,1.039940e-06,1.478642e-06,1.834923e-06,2.220944e-06,3.047151e-06,3.228523e-06,4.559182e-06,4.806134e-06,6.274357e-06,7.252920e-06,8.437936e-06,1.053538e-05,1.111501e-05,1.437059e-05,1.480318e-05,1.826834e-05,2.020266e-05,2.286937e-05,2.687197e-05,2.823104e-05,3.440593e-05,3.493649e-05,4.144084e-05,4.450487e-05,4.937605e-05,5.566567e-05,5.824453e-05,6.807153e-05,6.848481e-05,7.887414e-05,8.300385e-05,9.066113e-05,9.923909e-05,1.034329e-04,1.171815e-04,1.318910e-04,1.367973e-04,1.475378e-04,1.580296e-04,1.640910e-04,1.808001e-04,1.815131e-04,1.997606e-04,2.050112e-04,2.187845e-04,2.305495e-04,2.385314e-04,2.572878e-04,2.589439e-04,2.799613e-04,2.850885e-04,3.015207e-04,3.138067e-04,3.235576e-04,3.432928e-04,3.460062e-04,3.688006e-04,3.733952e-04,3.918750e-04,4.039628e-04,4.151646e-04,4.348474e-04,4.386055e-04,4.621360e-04,4.659052e-04,4.856963e-04,4.969988e-04,5.092288e-04,5.279981e-04,5.326790e-04,5.559950e-04,5.587816e-04,5.791283e-04,5.892372e-04,6.020333e-04,6.192624e-04,6.246679e-04,6.469932e-04,6.487648e-04,6.689736e-04,6.776619e-04,6.905770e-04,7.058815e-04,7.117743e-04,7.325396e-04,7.333609e-04,7.528503e-04,7.600470e-04,7.726865e-04,7.858954e-04,7.920313e-04,8.108703e-04,8.291918e-04,8.349439e-04,8.469866e-04,8.580954e-04,8.642475e-04,8.803110e-04,8.809695e-04,8.971495e-04,9.015826e-04,9.127864e-04,9.219079e-04,9.278805e-04,9.412893e-04,9.424337e-04,9.564493e-04,9.597335e-04,9.699317e-04,9.772510e-04,9.828866e-04,9.938558e-04,9.953206e-04,1.007241e-03,1.009564e-03,1.018656e-03,1.024396e-03,1.029575e-03,1.038371e-03,1.040007e-03,1.049963e-03,1.051512e-03,1.059451e-03,1.063844e-03,1.068485e-03,1.075390e-03,1.077073e-03,1.085227e-03,1.086177e-03,1.092960e-03,1.096231e-03,1.100281e-03,1.105577e-03,1.107203e-03,1.113737e-03,1.114243e-03,1.119894e-03,1.122254e-03,1.125687e-03,1.129637e-03,1.131125e-03,1.136221e-03,1.136418e-03,1.140986e-03,1.142622e-03,1.145429e-03,1.148273e-03,1.149563e-03,1.153397e-03,1.158017e-03,1.162157e-03,1.165838e-03,1.169083e-03,1.171912e-03,1.174346e-03,1.176404e-03,1.178106e-03,1.179469e-03,1.180511e-03,1.181248e-03,1.181696e-03,1.181872e-03,1.181788e-03,1.181460e-03,1.180901e-03,1.180123e-03,1.179140e-03,1.177962e-03,1.176600e-03,1.175066e-03,1.173369e-03,1.171519e-03,1.169526e-03
0.000000e+00,3.611427e-10,1.302273e-09,7.428108e-09,2.147886e-08,3.424977e-08,9.073796e-08,9.391428e-08,1.991154e-07,2.384845e-07,3.628515e-07,4.948830e-07,5.988619e-07,8.915778e-07,9.207658e-07,1.338180e-06,1.452827e-06,1.851314e-06,2.177338e-06,2.451209e-06,3.041294e-06,3.125809e-06,3.864062e-06,4.018492e-06,4.656414e-06,5.086904e-06,5.494139e-06,6.226741e-06,6.368834e-06,7.272229e-06,7.418891e-06,8.196214e-06,8.644729e-06,9.132969e-06,9.886593e-06,1.007512e-05,1.101587e-05,1.112836e-05,1.194910e-05,1.235593e-05,1.286945e-05,1.355743e-05,1.377230e-05,1.465382e-05,1.472332e-05,1.551087e-05,1.584627e-05,1.634099e-05,1.692094e-05,1.714232e-05,1.791351e-05,1.794372e-05,1.865370e-05,1.891247e-05,1.936240e-05,1.982625e-05,2.003947e-05,2.068503e-05,2.129942e-05,2.148952e-05,2.188315e-05,2.224096e-05,2.243690e-05,2.294098e-05,2.296141e-05,2.345755e-05,2.359150e-05,2.392621e-05,2.419461e-05,2.436834e-05,2.475250e-05,2.478490e-05,2.517688e-05,2.526741e-05,2.554525e-05,2.574159e-05,2.589099e-05,2.617728e-05,2.621505e-05,2.651839e-05,2.657665e-05,2.680192e-05,2.694182e-05,2.706653e-05,2.727483e-05,2.731311e-05,2.754248e-05,2.757764e-05,2.775547e-05,2.785211e-05,2.795286e-05,2.810005e-05,2.813540e-05,2.830384e-05,2.832313e-05,2.845885e-05,2.852298e-05,2.860112e-05,2.870112e-05,2.873129e-05,2.884998e-05,2.885899e-05,2.895777e-05,2.899796e-05,2.905523e-05,2.911931e-05,2.914290e-05,2.922130e-05,2.922425e-05,2.929092e-05,2.931393e-05,2.935223e-05,2.938941e-05,2.940568e-05,2.945171e-05,2.949071e-05,2.950177e-05,2.952308e-05,2.954049e-05,2.954919e-05,2.956870e-05,2.956940e-05,2.958404e-05,2.958718e-05,2.959344e-05,2.959668e-05,2.959789e-05,2.959789e-05,2.959771e-05,2.959315e-05,2.959144e-05,2.958449e-05,2.957794e-05,2.957198e-05,2.955797e-05,2.955585e-05,2.953634e-05,2.953205e-05,2.951365e-05,2.950067e-05,2.948800e-05,2.946431e-05,2.945958e-05,2.942858e-05,2.942339e-05,2.939517e-05,2.937833e-05,2.935952e-05,2.932949e-05,2.932179e-05,2.928212e-05,2.927724e-05,2.924067e-05,2.922191e-05,2.919758e-05,2.916380e-05,2.915295e-05,2.910693e-05,2.910320e-05,2.905963e-05,2.904038e-05,2.901115e-05,2.897558e-05,2.896161e-05,2.891110e-05,2.890906e-05,2.885970e-05,2.884101e-05,2.880752e-05,2.877164e-05,2.875464e-05,2.870114e-05,2.862968e-05,2.855742e-05,2.848452e-05,2.841112e-05,2.833734e-05,2.826330e-05,2.818912e-05,2.811489e-05,2.804072e-05,2.796668e-05,2.789287e-05,2.781934e-05,2.774618e-05,2.767344e-05,2.760118e-05,2.752945e-05,2.745830e-05,2.738777e-05,2.731790e-05,2.724874e-05,2.718030e-05,2.711262e-05,2.704572e-05,2.697963e-05
0.000000e+00,5.979778e-14,4.045228e-13,6.934371e-12,4.547315e-11,1.074242e-10,6.833302e-10,7.303065e-10,3.163127e-09,4.509716e-09,1.030542e-08,1.897771e-08,2.759538e-08,6.012557e-08,6.403245e-08,1.332191e-07,1.566990e-07,2.543482e-07,3.541409e-07,4.530590e-07,7.179028e-07,7.620647e-07,1.221438e-06,1.335395e-06,1.878438e-06,2.315794e-06,2.786811e-06,3.787179e-06,4.005598e-06,5.597510e-06,5.891144e-06,7.627039e-06,8.775579e-06,1.015841e-05,1.258658e-05,1.325355e-05,1.697011e-05,1.746039e-05,2.135977e-05,2.351614e-05,2.646669e-05,3.084983e-05,3.232634e-05,3.896458e-05,3.952982e-05,4.639711e-05,4.959406e-05,5.462922e-05,6.104897e-05,6.365580e-05,7.346159e-05,7.386971e-05,8.402178e-05,8.800189e-05,9.530267e-05,1.033644e-04,1.072626e-04,1.198527e-04,1.330182e-04,1.373431e-04,1.466995e-04,1.556971e-04,1.608332e-04,1.747655e-04,1.753529e-04,1.901907e-04,1.943930e-04,2.052781e-04,2.144218e-04,2.205466e-04,2.346954e-04,2.359286e-04,2.513585e-04,2.550617e-04,2.667729e-04,2.753755e-04,2.821112e-04,2.955006e-04,2.973164e-04,3.123348e-04,3.153117e-04,3.271170e-04,3.346951e-04,3.416174e-04,3.535497e-04,3.557949e-04,3.696123e-04,3.717874e-04,3.830370e-04,3.893328e-04,3.960404e-04,4.061233e-04,4.085981e-04,4.206894e-04,4.221082e-04,4.322976e-04,4.372486e-04,4.434095e-04,4.515163e-04,4.540151e-04,4.641077e-04,4.648929e-04,4.736836e-04,4.773689e-04,4.827415e-04,4.889430e-04,4.912826e-04,4.993106e-04,4.996211e-04,5.068307e-04,5.094150e-04,5.138503e-04,5.183421e-04,5.203781e-04,5.264242e-04,5.320000e-04,5.336869e-04,5.371178e-04,5.401588e-04,5.417906e-04,5.458707e-04,5.460323e-04,5.498572e-04,5.508555e-04,5.532801e-04,5.551472e-04,5.563161e-04,5.587807e-04,5.589805e-04,5.612885e-04,5.617912e-04,5.632557e-04,5.642140e-04,5.648972e-04,5.660844e-04,5.662282e-04,5.672638e-04,5.674367e-04,5.680186e-04,5.683051e-04,5.685073e-04,5.687224e-04,5.687439e-04,5.687423e-04,5.687208e-04,5.685159e-04,5.683312e-04,5.680777e-04,5.675832e-04,5.674404e-04,5.666161e-04,5.665052e-04,5.656166e-04,5.651243e-04,5.644533e-04,5.634664e-04,5.631371e-04,5.616785e-04,5.615559e-04,5.600875e-04,5.594162e-04,5.583737e-04,5.570690e-04,5.565464e-04,5.546144e-04,5.545350e-04,5.525859e-04,5.518337e-04,5.504692e-04,5.489831e-04,5.482715e-04,5.460004e-04,5.429012e-04,5.397006e-04,5.364122e-04,5.330488e-04,5.296223e-04,5.261438e-04,5.226232e-04,5.190702e-04,5.154931e-04,5.119000e-04,5.082981e-04,5.046941e-04,5.010941e-04,4.975035e-04,4.939274e-04,4.903703e-04,4.868365e-04,4.833295e-04,4.798527e-04,4.764092e-04,4.730014e-04,4.696319e-04,4.663027e-04,4.630155e-04
0.000000e+00,1.731221e-14,1.149437e-13,1.895004e-12,1.199207e-11,2.778345e-11,1.681896e-10,1.793963e-10,7.413094e-10,1.044030e-09,2.316461e-09,4.171782e-09,5.983481e-09,1.267102e-08,1.346333e-08,2.725545e-08,3.185646e-08,5.066872e-08,6.944908e-08,8.769305e-08,1.350258e-07,1.427306e-07,2.202564e-07,2.388388e-07,3.244801e-07,3.904702e-07,4.590590e-07,5.977039e-07,6.268833e-07,8.299416e-07,8.657827e-07,1.069256e-06,1.197056e-06,1.344878e-06,1.590956e-06,1.655930e-06,2.000685e-06,2.044210e-06,2.376672e-06,2.551222e-06,2.780794e-06,3.104548e-06,3.209460e-06,3.658716e-06,3.695422e-06,4.124380e-06,4.314280e-06,4.602163e-06,4.951263e-06,5.087783e-06,5.577068e-06,5.596658e-06,6.066042e-06,6.241273e-06,6.550996e-06,6.876724e-06,7.028540e-06,7.495647e-06,7.949671e-06,8.091818e-06,8.388363e-06,8.660206e-06,8.809866e-06,9.196965e-06,9.212705e-06,9.595770e-06,9.699372e-06,9.958288e-06,1.016573e-05,1.029980e-05,1.059526e-05,1.062011e-05,1.091928e-05,1.098796e-05,1.119757e-05,1.134445e-05,1.145543e-05,1.166589e-05,1.169342e-05,1.191226e-05,1.195380e-05,1.211273e-05,1.220999e-05,1.229567e-05,1.243646e-05,1.246199e-05,1.261258e-05,1.263528e-05,1.274839e-05,1.280859e-05,1.287032e-05,1.295847e-05,1.297927e-05,1.307613e-05,1.308698e-05,1.316173e-05,1.319605e-05,1.323690e-05,1.328752e-05,1.330240e-05,1.335895e-05,1.336311e-05,1.340725e-05,1.342441e-05,1.344794e-05,1.347286e-05,1.348161e-05,1.350884e-05,1.350980e-05,1.353012e-05,1.353643e-05,1.354596e-05,1.355384e-05,1.355678e-05,1.356300e-05,1.356501e-05,1.356481e-05,1.356313e-05,1.356005e-05,1.355771e-05,1.354942e-05,1.354902e-05,1.353733e-05,1.353356e-05,1.352291e-05,1.351303e-05,1.350596e-05,1.348833e-05,1.348671e-05,1.346535e-05,1.345992e-05,1.344204e-05,1.342820e-05,1.341696e-05,1.339353e-05,1.339025e-05,1.336205e-05,1.335624e-05,1.333249e-05,1.331662e-05,1.330169e-05,1.327494e-05,1.326976e-05,1.323679e-05,1.323143e-05,1.320289e-05,1.318630e-05,1.316813e-05,1.313976e-05,1.313260e-05,1.309637e-05,1.309198e-05,1.305951e-05,1.304311e-05,1.302209e-05,1.299330e-05,1.298416e-05,1.294578e-05,1.294269e-05,1.290701e-05,1.289140e-05,1.286789e-05,1.283954e-05,1.282847e-05,1.278880e-05,1.278721e-05,1.274890e-05,1.273450e-05,1.270883e-05,1.268149e-05,1.266861e-05,1.262828e-05,1.257492e-05,1.252149e-05,1.246805e-05,1.241464e-05,1.236133e-05,1.230816e-05,1.225517e-05,1.220240e-05,1.214989e-05,1.209768e-05,1.204579e-05,1.199425e-05,1.194308e-05,1.189232e-05,1.184198e-05,1.179207e-05,1.174263e-05,1.169366e-05,1.164517e-05,1.159719e-05,1.154972e-05,1.150277e-05,1.145634e-05,1.141046e-05
0.000000e+00,2.086038e-09,4.882124e-09,1.717543e-08,3.953365e-08,5.798784e-08,1.335081e-07,1.376187e-07,2.712080e-07,3.207228e-07,4.773888e-07,6.450372e-07,7.781424e-07,1.156299e-06,1.194147e-06,1.734171e-06,1.881428e-06,2.387731e-06,2.794921e-06,3.131993e-06,3.843451e-06,3.943776e-06,4.804801e-06,4.981654e-06,5.701463e-06,6.178240e-06,6.623261e-06,7.410640e-06,7.561556e-06,8.508856e-06,8.660802e-06,9.458456e-06,9.913282e-06,1.040431e-05,1.115462e-05,1.134099e-05,1.226368e-05,1.237326e-05,1.316821e-05,1.355952e-05,1.405106e-05,1.470572e-05,1.490933e-05,1.574070e-05,1.580599e-05,1.654339e-05,1.685615e-05,1.731618e-05,1.785358e-05,1.805821e-05,1.876893e-05,1.879671e-05,1.944824e-05,1.968510e-05,2.009621e-05,2.051911e-05,2.071320e-05,2.129972e-05,2.185642e-05,2.202838e-05,2.238403e-05,2.270683e-05,2.288340e-05,2.333706e-05,2.335542e-05,2.380102e-05,2.392119e-05,2.422116e-05,2.446141e-05,2.461679e-05,2.495996e-05,2.498888e-05,2.533840e-05,2.541903e-05,2.566628e-05,2.584079e-05,2.597345e-05,2.622736e-05,2.626083e-05,2.652927e-05,2.658077e-05,2.677965e-05,2.690298e-05,2.701279e-05,2.719588e-05,2.722948e-05,2.743049e-05,2.746125e-05,2.761657e-05,2.770079e-05,2.778841e-05,2.791611e-05,2.794672e-05,2.809213e-05,2.810875e-05,2.822529e-05,2.828014e-05,2.834678e-05,2.843167e-05,2.845718e-05,2.855705e-05,2.856460e-05,2.864691e-05,2.868016e-05,2.872726e-05,2.877949e-05,2.879858e-05,2.886133e-05,2.886367e-05,2.891595e-05,2.893370e-05,2.896286e-05,2.899055e-05,2.900245e-05,2.903510e-05,2.906118e-05,2.906820e-05,2.908103e-05,2.909063e-05,2.909499e-05,2.910313e-05,2.910336e-05,2.910645e-05,2.910641e-05,2.910455e-05,2.910112e-05,2.909791e-05,2.908786e-05,2.908681e-05,2.907149e-05,2.906722e-05,2.905219e-05,2.903973e-05,2.902913e-05,2.900590e-05,2.900252e-05,2.897257e-05,2.896620e-05,2.893948e-05,2.892108e-05,2.890342e-05,2.887096e-05,2.886457e-05,2.882310e-05,2.881623e-05,2.877917e-05,2.875725e-05,2.873293e-05,2.869438e-05,2.868453e-05,2.863410e-05,2.862792e-05,2.858178e-05,2.855819e-05,2.852769e-05,2.848546e-05,2.847194e-05,2.841466e-05,2.841001e-05,2.835595e-05,2.833208e-05,2.829591e-05,2.825191e-05,2.823463e-05,2.817223e-05,2.816971e-05,2.810877e-05,2.808569e-05,2.804435e-05,2.800003e-05,2.797904e-05,2.791293e-05,2.782454e-05,2.773503e-05,2.764455e-05,2.755322e-05,2.746118e-05,2.736854e-05,2.727544e-05,2.718195e-05,2.708820e-05,2.699426e-05,2.690023e-05,2.680618e-05,2.671219e-05,2.661833e-05,2.652466e-05,2.643124e-05,2.633813e-05,2.624539e-05,2.615305e-05,2.606117e-05,2.596979e-05,2.587894e-05,2.578866e-05,2.569898e-05
0.000000e+00,1.172461e-13,7.499433e-13,1.144130e-11,6.742588e-11,1.501767e-10,8.199577e-10,8.708837e-10,3.239202e-09,4.430710e-09,9.123327e-09,1.544459e-08,2.126051e-08,4.100174e-08,4.321641e-08,7.927841e-08,9.056325e-08,1.343182e-07,1.753932e-07,2.136358e-07,3.079111e-07,3.227645e-07,4.671948e-07,5.007752e-07,6.519903e-07,7.654737e-07,8.813390e-07,1.110592e-06,1.158147e-06,1.483779e-06,1.540417e-06,1.857999e-06,2.054429e-06,2.279089e-06,2.647747e-06,2.744080e-06,3.249040e-06,3.312107e-06,3.789357e-06,4.037010e-06,4.359998e-06,4.810741e-06,4.955718e-06,5.571237e-06,5.621177e-06,6.201366e-06,6.456381e-06,6.841110e-06,7.305015e-06,7.485744e-06,8.130864e-06,8.156621e-06,8.772433e-06,9.001813e-06,9.406801e-06,9.832385e-06,1.003072e-05,1.064136e-05,1.123628e-05,1.142299e-05,1.181344e-05,1.217271e-05,1.237117e-05,1.288706e-05,1.290813e-05,1.342333e-05,1.356358e-05,1.391605e-05,1.420070e-05,1.438585e-05,1.479761e-05,1.483249e-05,1.525596e-05,1.535416e-05,1.565641e-05,1.587071e-05,1.603414e-05,1.634806e-05,1.638955e-05,1.672316e-05,1.678732e-05,1.703557e-05,1.718986e-05,1.732742e-05,1.755720e-05,1.759941e-05,1.785226e-05,1.789099e-05,1.808673e-05,1.819296e-05,1.830356e-05,1.846485e-05,1.850353e-05,1.868737e-05,1.870839e-05,1.885585e-05,1.892530e-05,1.900969e-05,1.911725e-05,1.914960e-05,1.927628e-05,1.928587e-05,1.939041e-05,1.943270e-05,1.949264e-05,1.955923e-05,1.958359e-05,1.966388e-05,1.966687e-05,1.973406e-05,1.975697e-05,1.979471e-05,1.983078e-05,1.984636e-05,1.988950e-05,1.992463e-05,1.993425e-05,1.995220e-05,1.996609e-05,1.997266e-05,1.998600e-05,1.998643e-05,1.999389e-05,1.999491e-05,1.999544e-05,1.999368e-05,1.999143e-05,1.998313e-05,1.998221e-05,1.996809e-05,1.996401e-05,1.994939e-05,1.993702e-05,1.992639e-05,1.990283e-05,1.989938e-05,1.986862e-05,1.986204e-05,1.983436e-05,1.981524e-05,1.979683e-05,1.976294e-05,1.975626e-05,1.971285e-05,1.970566e-05,1.966682e-05,1.964384e-05,1.961834e-05,1.957793e-05,1.956761e-05,1.951478e-05,1.950831e-05,1.946002e-05,1.943536e-05,1.940349e-05,1.935942e-05,1.934532e-05,1.928566e-05,1.928082e-05,1.922462e-05,1.919985e-05,1.916234e-05,1.911679e-05,1.909893e-05,1.903449e-05,1.903189e-05,1.896913e-05,1.894540e-05,1.890295e-05,1.885752e-05,1.883603e-05,1.876847e-05,1.867843e-05,1.858758e-05,1.849608e-05,1.840408e-05,1.831172e-05,1.821913e-05,1.812641e-05,1.803369e-05,1.794105e-05,1.784860e-05,1.775642e-05,1.766458e-05,1.757315e-05,1.748220e-05,1.739179e-05,1.730197e-05,1.721280e-05,1.712431e-05,1.703654e-05,1.694954e-05,1.686334e-05,1.677796e-05,1.669343e-05,1.660977e-05
0.000000e+00,2.537990e-12,1.500577e-11,1.951734e-10,9.992789e-10,2.064510e-09,9.348939e-09,9.856524e-09,3.079023e-08,4.024251e-08,7.418150e-08,1.152726e-07,1.503447e-07,2.583733e-07,2.697608e-07,4.425876e-07,4.930915e-07,6.783869e-07,8.412342e-07,9.858719e-07,1.321696e-06,1.372466e-06,1.843563e-06,1.948200e-06,2.401634e-06,2.725993e-06,3.045609e-06,3.649675e-06,3.770909e-06,4.570111e-06,4.704238e-06,5.433928e-06,5.868531e-06,6.352158e-06,7.118906e-06,7.314371e-06,8.310354e-06,8.431672e-06,9.330349e-06,9.784369e-06,1.036519e-05,1.115633e-05,1.140636e-05,1.244607e-05,1.252896e-05,1.347725e-05,1.388590e-05,1.449361e-05,1.521311e-05,1.548967e-05,1.646069e-05,1.649895e-05,1.740275e-05,1.773416e-05,1.831263e-05,1.891167e-05,1.918784e-05,2.002650e-05,2.082734e-05,2.107547e-05,2.158956e-05,2.205696e-05,2.231286e-05,2.297065e-05,2.299728e-05,2.364323e-05,2.381728e-05,2.425136e-05,2.459844e-05,2.482254e-05,2.531631e-05,2.535785e-05,2.585845e-05,2.597357e-05,2.632563e-05,2.657315e-05,2.676074e-05,2.711822e-05,2.716519e-05,2.754037e-05,2.761202e-05,2.788772e-05,2.805781e-05,2.820863e-05,2.845879e-05,2.850450e-05,2.877667e-05,2.881811e-05,2.902645e-05,2.913877e-05,2.925511e-05,2.942365e-05,2.946387e-05,2.965389e-05,2.967549e-05,2.982630e-05,2.989686e-05,2.998217e-05,3.009019e-05,3.012250e-05,3.024827e-05,3.025773e-05,3.036038e-05,3.040159e-05,3.045970e-05,3.052376e-05,3.054705e-05,3.062322e-05,3.062604e-05,3.068891e-05,3.071014e-05,3.074484e-05,3.077762e-05,3.079164e-05,3.082992e-05,3.086027e-05,3.086840e-05,3.088323e-05,3.089428e-05,3.089930e-05,3.090870e-05,3.090897e-05,3.091268e-05,3.091271e-05,3.091087e-05,3.090729e-05,3.090392e-05,3.089331e-05,3.089221e-05,3.087610e-05,3.087161e-05,3.085590e-05,3.084293e-05,3.083195e-05,3.080798e-05,3.080451e-05,3.077387e-05,3.076738e-05,3.074027e-05,3.072172e-05,3.070397e-05,3.067155e-05,3.066519e-05,3.062413e-05,3.061736e-05,3.058100e-05,3.055961e-05,3.053598e-05,3.049872e-05,3.048924e-05,3.044095e-05,3.043506e-05,3.039126e-05,3.036899e-05,3.034031e-05,3.030084e-05,3.028825e-05,3.023518e-05,3.023090e-05,3.018124e-05,3.015944e-05,3.012653e-05,3.008671e-05,3.007115e-05,3.001520e-05,3.001295e-05,2.995877e-05,2.993836e-05,2.990195e-05,2.986312e-05,2.984481e-05,2.978742e-05,2.971142e-05,2.963526e-05,2.955907e-05,2.948298e-05,2.940709e-05,2.933150e-05,2.925631e-05,2.918160e-05,2.910744e-05,2.903389e-05,2.896102e-05,2.888888e-05,2.881751e-05,2.874697e-05,2.867729e-05,2.860849e-05,2.854061e-05,2.847368e-05,2.840772e-05,2.834274e-05,2.827876e-05,2.821579e-05,2.815385e-05,2.809293e-05
0.000000e+00,9.130654e-14,6.196753e-13,1.070202e-11,7.074770e-11,1.679886e-10,1.086059e-09,1.161614e-09,5.143301e-09,7.385917e-09,1.723170e-08,3.236253e-08,4.773003e-08,1.076951e-07,1.150534e-07,2.489478e-07,2.955310e-07,4.932176e-07,6.997276e-07,9.073344e-07,1.471804e-06,1.566751e-06,2.562050e-06,2.810354e-06,3.997177e-06,4.955044e-06,5.987020e-06,8.176975e-06,8.654559e-06,1.212776e-05,1.276691e-05,1.653636e-05,1.902255e-05,2.200866e-05,2.723579e-05,2.866847e-05,3.663211e-05,3.768054e-05,4.600586e-05,5.060170e-05,5.688351e-05,6.620577e-05,6.934446e-05,8.345203e-05,8.465327e-05,9.925233e-05,1.060533e-04,1.167735e-04,1.304604e-04,1.360252e-04,1.569988e-04,1.578733e-04,1.796679e-04,1.882359e-04,2.039886e-04,2.214401e-04,2.299010e-04,2.573303e-04,2.861881e-04,2.957082e-04,3.163743e-04,3.363401e-04,3.477787e-04,3.789630e-04,3.802827e-04,4.137610e-04,4.232920e-04,4.480838e-04,4.690274e-04,4.831178e-04,5.158614e-04,5.187283e-04,5.547809e-04,5.634844e-04,5.911421e-04,6.115904e-04,6.276814e-04,6.598824e-04,6.642719e-04,7.007914e-04,7.080764e-04,7.371233e-04,7.559049e-04,7.731572e-04,8.031193e-04,8.087893e-04,8.439232e-04,8.494924e-04,8.784699e-04,8.948195e-04,9.123478e-04,9.389189e-04,9.454834e-04,9.778106e-04,9.816327e-04,1.009271e-03,1.022826e-03,1.039814e-03,1.062386e-03,1.069396e-03,1.097979e-03,1.100222e-03,1.125535e-03,1.136264e-03,1.152039e-03,1.170461e-03,1.177474e-03,1.201828e-03,1.202779e-03,1.225093e-03,1.233202e-03,1.247268e-03,1.261725e-03,1.268355e-03,1.288360e-03,1.307294e-03,1.313128e-03,1.325169e-03,1.336061e-03,1.342002e-03,1.357199e-03,1.357812e-03,1.372620e-03,1.376590e-03,1.386448e-03,1.394286e-03,1.399322e-03,1.410346e-03,1.411268e-03,1.422312e-03,1.424832e-03,1.432483e-03,1.437808e-03,1.441810e-03,1.449343e-03,1.450322e-03,1.458049e-03,1.459503e-03,1.465020e-03,1.468356e-03,1.471266e-03,1.475973e-03,1.476815e-03,1.481698e-03,1.482420e-03,1.485944e-03,1.487764e-03,1.489581e-03,1.492071e-03,1.492638e-03,1.495142e-03,1.495406e-03,1.497120e-03,1.497831e-03,1.498599e-03,1.499405e-03,1.499605e-03,1.500162e-03,1.500188e-03,1.500295e-03,1.500235e-03,1.500028e-03,1.499599e-03,1.499382e-03,1.498379e-03,1.498332e-03,1.497042e-03,1.496482e-03,1.495389e-03,1.494095e-03,1.493441e-03,1.491216e-03,1.487885e-03,1.484143e-03,1.480025e-03,1.475567e-03,1.470802e-03,1.465759e-03,1.460469e-03,1.454957e-03,1.449249e-03,1.443368e-03,1.437336e-03,1.431173e-03,1.424899e-03,1.418530e-03,1.412083e-03,1.405573e-03,1.399014e-03,1.392419e-03,1.385799e-03,1.379166e-03,1.372529e-03,1.365897e-03,1.359280e-03,1.352685e-03
0.000000e+00,7.862424e-13,5.011819e-12,7.593476e-11,4.450182e-10,9.886082e-10,5.373146e-09,5.706267e-09,2.122545e-08,2.906293e-08,6.013885e-08,1.024944e-07,1.419153e-07,2.784272e-07,2.939675e-07,5.518923e-07,6.341103e-07,9.573515e-07,1.264843e-06,1.552794e-06,2.263133e-06,2.374665e-06,3.447945e-06,3.693991e-06,4.783695e-06,5.581702e-06,6.379537e-06,7.911421e-06,8.221966e-06,1.028937e-05,1.063929e-05,1.255493e-05,1.370415e-05,1.498904e-05,1.703706e-05,1.756101e-05,2.024039e-05,2.056772e-05,2.299773e-05,2.422842e-05,2.580519e-05,2.795636e-05,2.863686e-05,3.146902e-05,3.169495e-05,3.428029e-05,3.539463e-05,3.705176e-05,3.901324e-05,3.976697e-05,4.241193e-05,4.251609e-05,4.497502e-05,4.587582e-05,4.744688e-05,4.907187e-05,4.982028e-05,5.208990e-05,5.425216e-05,5.492103e-05,5.630500e-05,5.756099e-05,5.824766e-05,6.000932e-05,6.008054e-05,6.180492e-05,6.226857e-05,6.342288e-05,6.434365e-05,6.493706e-05,6.624114e-05,6.635060e-05,6.766696e-05,6.796884e-05,6.888987e-05,6.953531e-05,7.002318e-05,7.094952e-05,7.107086e-05,7.203688e-05,7.222064e-05,7.292522e-05,7.335776e-05,7.373978e-05,7.436981e-05,7.448440e-05,7.516280e-05,7.526544e-05,7.577857e-05,7.605292e-05,7.633520e-05,7.674016e-05,7.683601e-05,7.728420e-05,7.733459e-05,7.768281e-05,7.784325e-05,7.803476e-05,7.827273e-05,7.834280e-05,7.860957e-05,7.862920e-05,7.883755e-05,7.891842e-05,7.902911e-05,7.914575e-05,7.918650e-05,7.931182e-05,7.931619e-05,7.940708e-05,7.943438e-05,7.947417e-05,7.950462e-05,7.951489e-05,7.953091e-05,7.952384e-05,7.951695e-05,7.949518e-05,7.946617e-05,7.944635e-05,7.938175e-05,7.937870e-05,7.929348e-05,7.926664e-05,7.919190e-05,7.912356e-05,7.907506e-05,7.895502e-05,7.894404e-05,7.879983e-05,7.876336e-05,7.864337e-05,7.855073e-05,7.847554e-05,7.831912e-05,7.829719e-05,7.810909e-05,7.807037e-05,7.791200e-05,7.780619e-05,7.770661e-05,7.752816e-05,7.749358e-05,7.727353e-05,7.723771e-05,7.704705e-05,7.693621e-05,7.681467e-05,7.662489e-05,7.657693e-05,7.633431e-05,7.630489e-05,7.608726e-05,7.597728e-05,7.583623e-05,7.564303e-05,7.558161e-05,7.532380e-05,7.530305e-05,7.506314e-05,7.495816e-05,7.479999e-05,7.460915e-05,7.453465e-05,7.426743e-05,7.425671e-05,7.399861e-05,7.390150e-05,7.372846e-05,7.354413e-05,7.345723e-05,7.318514e-05,7.282505e-05,7.246434e-05,7.210342e-05,7.174271e-05,7.138256e-05,7.102332e-05,7.066528e-05,7.030873e-05,6.995393e-05,6.960111e-05,6.925049e-05,6.890226e-05,6.855659e-05,6.821366e-05,6.787360e-05,6.753654e-05,6.720260e-05,6.687189e-05,6.654451e-05,6.622052e-05,6.590001e-05,6.558305e-05,6.526968e-05,6.495996e-05
0.000000e+00,5.697632e-09,1.311254e-08,4.552456e-08,1.046187e-07,1.536483e-07,3.564551e-07,3.675811e-07,7.328612e-07,8.696172e-07,1.304409e-06,1.768561e-06,2.132979e-06,3.138211e-06,3.236281e-06,4.595788e-06,4.956998e-06,6.183529e-06,7.163662e-06,7.976842e-06,9.710980e-06,9.958138e-06,1.211173e-05,1.256175e-05,1.442180e-05,1.567932e-05,1.687150e-05,1.902412e-05,1.944297e-05,2.211763e-05,2.255390e-05,2.487667e-05,2.622551e-05,2.770156e-05,2.999694e-05,3.057458e-05,3.347908e-05,3.382900e-05,3.639984e-05,3.768653e-05,3.932312e-05,4.153896e-05,4.223676e-05,4.513018e-05,4.536050e-05,4.799422e-05,4.912984e-05,5.082115e-05,5.282989e-05,5.360452e-05,5.633906e-05,5.644736e-05,5.902041e-05,5.997195e-05,6.164494e-05,6.339576e-05,6.420995e-05,6.671329e-05,6.915337e-05,6.992064e-05,7.152908e-05,7.301539e-05,7.383966e-05,7.599617e-05,7.608471e-05,7.826407e-05,7.886253e-05,8.037784e-05,8.161474e-05,8.242631e-05,8.425361e-05,8.440993e-05,8.632926e-05,8.678040e-05,8.818500e-05,8.919673e-05,8.997794e-05,9.150448e-05,9.170896e-05,9.337898e-05,9.370575e-05,9.498900e-05,9.580284e-05,9.654004e-05,9.779813e-05,9.803319e-05,9.946953e-05,9.969415e-05,1.008502e-04,1.014935e-04,1.021763e-04,1.031988e-04,1.034491e-04,1.046697e-04,1.048127e-04,1.058392e-04,1.063379e-04,1.069588e-04,1.077771e-04,1.080298e-04,1.090532e-04,1.091331e-04,1.100303e-04,1.104084e-04,1.109622e-04,1.116058e-04,1.118500e-04,1.126950e-04,1.127279e-04,1.134982e-04,1.137773e-04,1.142607e-04,1.147565e-04,1.149836e-04,1.156681e-04,1.163152e-04,1.165146e-04,1.169260e-04,1.172983e-04,1.175015e-04,1.180216e-04,1.180427e-04,1.185506e-04,1.186870e-04,1.190262e-04,1.192965e-04,1.194706e-04,1.198526e-04,1.198846e-04,1.202691e-04,1.203572e-04,1.206252e-04,1.208125e-04,1.209537e-04,1.212206e-04,1.212554e-04,1.215313e-04,1.215834e-04,1.217821e-04,1.219029e-04,1.220087e-04,1.221809e-04,1.222119e-04,1.223925e-04,1.224193e-04,1.225512e-04,1.226199e-04,1.226888e-04,1.227842e-04,1.228061e-04,1.229037e-04,1.229141e-04,1.229823e-04,1.230111e-04,1.230426e-04,1.230767e-04,1.230854e-04,1.231111e-04,1.231124e-04,1.231205e-04,1.231198e-04,1.231141e-04,1.231001e-04,1.230926e-04,1.230566e-04,1.230548e-04,1.230065e-04,1.229852e-04,1.229430e-04,1.228924e-04,1.228666e-04,1.227778e-04,1.226424e-04,1.224874e-04,1.223140e-04,1.221230e-04,1.219157e-04,1.216928e-04,1.214553e-04,1.212041e-04,1.209402e-04,1.206642e-04,1.203770e-04,1.200794e-04,1.197720e-04,1.194556e-04,1.191308e-04,1.187983e-04,1.184587e-04,1.181125e-04,1.177603e-04,1.174028e-04,1.170402e-04,1.166733e-04,1.163023e-04,1.159279e-04
0.000000e+00,2.643554e-09,6.116546e-09,2.131433e-08,4.894348e-08,7.177083e-08,1.653522e-07,1.704510e-07,3.362919e-07,3.977846e-07,5.922051e-07,7.995304e-07,9.631360e-07,1.420676e-06,1.465811e-06,2.098525e-06,2.268303e-06,2.848058e-06,3.313858e-06,3.701497e-06,4.530910e-06,4.649393e-06,5.684464e-06,5.901357e-06,6.800085e-06,7.409788e-06,7.989403e-06,9.039953e-06,9.244968e-06,1.055866e-05,1.077368e-05,1.192182e-05,1.259107e-05,1.332542e-05,1.447124e-05,1.476028e-05,1.621736e-05,1.639328e-05,1.768790e-05,1.833705e-05,1.916362e-05,2.028389e-05,2.063685e-05,2.210060e-05,2.221710e-05,2.354865e-05,2.412222e-05,2.497552e-05,2.598709e-05,2.637651e-05,2.774764e-05,2.780181e-05,2.908559e-05,2.955860e-05,3.038770e-05,3.125156e-05,3.165186e-05,3.287650e-05,3.406046e-05,3.443060e-05,3.520299e-05,3.591227e-05,3.630369e-05,3.732086e-05,3.736241e-05,3.837927e-05,3.865653e-05,3.935460e-05,3.992005e-05,4.028887e-05,4.111267e-05,4.118270e-05,4.203683e-05,4.223600e-05,4.285208e-05,4.329196e-05,4.362932e-05,4.428261e-05,4.436951e-05,4.507362e-05,4.521020e-05,4.574266e-05,4.607703e-05,4.637764e-05,4.688546e-05,4.697959e-05,4.754956e-05,4.763785e-05,4.808857e-05,4.833659e-05,4.859763e-05,4.898401e-05,4.907777e-05,4.952997e-05,4.958240e-05,4.995520e-05,5.013401e-05,5.035444e-05,5.064104e-05,5.072861e-05,5.107863e-05,5.110562e-05,5.140541e-05,5.152981e-05,5.170981e-05,5.191560e-05,5.199269e-05,5.225486e-05,5.226493e-05,5.249713e-05,5.257963e-05,5.272029e-05,5.286150e-05,5.292508e-05,5.311225e-05,5.328250e-05,5.333352e-05,5.343652e-05,5.352688e-05,5.357498e-05,5.369385e-05,5.369852e-05,5.380776e-05,5.383587e-05,5.390331e-05,5.395432e-05,5.398576e-05,5.405051e-05,5.405566e-05,5.411355e-05,5.412572e-05,5.415996e-05,5.418113e-05,5.419541e-05,5.421790e-05,5.422036e-05,5.423530e-05,5.423713e-05,5.424068e-05,5.423985e-05,5.423694e-05,5.422706e-05,5.422450e-05,5.420376e-05,5.419970e-05,5.417512e-05,5.415868e-05,5.413895e-05,5.410485e-05,5.409562e-05,5.404548e-05,5.403902e-05,5.398886e-05,5.396198e-05,5.392608e-05,5.387445e-05,5.385746e-05,5.378330e-05,5.377713e-05,5.370388e-05,5.367070e-05,5.361948e-05,5.355578e-05,5.353037e-05,5.343681e-05,5.343297e-05,5.333903e-05,5.330284e-05,5.323728e-05,5.316593e-05,5.313178e-05,5.302275e-05,5.287378e-05,5.271948e-05,5.256029e-05,5.239662e-05,5.222886e-05,5.205738e-05,5.188253e-05,5.170463e-05,5.152401e-05,5.134095e-05,5.115573e-05,5.096862e-05,5.077986e-05,5.058970e-05,5.039834e-05,5.020600e-05,5.001288e-05,4.981916e-05,4.962500e-05,4.943058e-05,4.923606e-05,4.904156e-05,4.884723e-05,4.865320e-05
0.000000e+00,1.474793e-09,3.390967e-09,1.175136e-08,2.694622e-08,3.951225e-08,9.114509e-08,9.396300e-08,1.857969e-07,2.199141e-07,3.279579e-07,4.435400e-07,5.351642e-07,7.943810e-07,8.202281e-07,1.187515e-06,1.287370e-06,1.630846e-06,1.908217e-06,2.139179e-06,2.631998e-06,2.702149e-06,3.311521e-06,3.438360e-06,3.960646e-06,4.311962e-06,4.643742e-06,5.239866e-06,5.355447e-06,6.090624e-06,6.210097e-06,6.844322e-06,7.211277e-06,7.611809e-06,8.232720e-06,8.388627e-06,9.170653e-06,9.264664e-06,9.954141e-06,1.029846e-05,1.073575e-05,1.132668e-05,1.151253e-05,1.228194e-05,1.234310e-05,1.304181e-05,1.334268e-05,1.379034e-05,1.432139e-05,1.452601e-05,1.524758e-05,1.527613e-05,1.595406e-05,1.620455e-05,1.664469e-05,1.710494e-05,1.731886e-05,1.797613e-05,1.861620e-05,1.881735e-05,1.923887e-05,1.962820e-05,1.984404e-05,2.040851e-05,2.043168e-05,2.100184e-05,2.115836e-05,2.155460e-05,2.187797e-05,2.209011e-05,2.256770e-05,2.260855e-05,2.311012e-05,2.322802e-05,2.359506e-05,2.385946e-05,2.406362e-05,2.446261e-05,2.451606e-05,2.495267e-05,2.503812e-05,2.537375e-05,2.558667e-05,2.577959e-05,2.610896e-05,2.617051e-05,2.654682e-05,2.660570e-05,2.690884e-05,2.707762e-05,2.725688e-05,2.752547e-05,2.759127e-05,2.791233e-05,2.794997e-05,2.822037e-05,2.835187e-05,2.851573e-05,2.873190e-05,2.879870e-05,2.906962e-05,2.909078e-05,2.932878e-05,2.942923e-05,2.957651e-05,2.974796e-05,2.981310e-05,3.003885e-05,3.004766e-05,3.025406e-05,3.032902e-05,3.045903e-05,3.059270e-05,3.065404e-05,3.083937e-05,3.101531e-05,3.106966e-05,3.118211e-05,3.128421e-05,3.134006e-05,3.148361e-05,3.148942e-05,3.163044e-05,3.166847e-05,3.176337e-05,3.183936e-05,3.188847e-05,3.199684e-05,3.200597e-05,3.211611e-05,3.214147e-05,3.221912e-05,3.227378e-05,3.231523e-05,3.239427e-05,3.240466e-05,3.248762e-05,3.250345e-05,3.256432e-05,3.260181e-05,3.263498e-05,3.268980e-05,3.269979e-05,3.275894e-05,3.276789e-05,3.281263e-05,3.283651e-05,3.286104e-05,3.289610e-05,3.290436e-05,3.294276e-05,3.294705e-05,3.297641e-05,3.298976e-05,3.300549e-05,3.302462e-05,3.303014e-05,3.305054e-05,3.305199e-05,3.306684e-05,3.307224e-05,3.307918e-05,3.308570e-05,3.308771e-05,3.309258e-05,3.309270e-05,3.309393e-05,3.309357e-05,3.309188e-05,3.308862e-05,3.308657e-05,3.307812e-05,3.306238e-05,3.304167e-05,3.301625e-05,3.298636e-05,3.295227e-05,3.291419e-05,3.287236e-05,3.282699e-05,3.277829e-05,3.272646e-05,3.267168e-05,3.261415e-05,3.255403e-05,3.249150e-05,3.242671e-05,3.235983e-05,3.229099e-05,3.222034e-05,3.214802e-05,3.207416e-05,3.199888e-05,3.192229e-05,3.184451e-05,3.176566e-05
0.000000e+00,2.079531e-12,1.278206e-11,1.796173e-10,9.829848e-10,2.103194e-09,1.037335e-08,1.097300e-08,3.705359e-08,4.941437e-08,9.566585e-08,1.544543e-07,2.064275e-07,3.742782e-07,3.925426e-07,6.803549e-07,7.677232e-07,1.098540e-06,1.400429e-06,1.675577e-06,2.333346e-06,2.434536e-06,3.386527e-06,3.599924e-06,4.526218e-06,5.186408e-06,5.831993e-06,7.032832e-06,7.270261e-06,8.801579e-06,9.052537e-06,1.038628e-05,1.115511e-05,1.198830e-05,1.326167e-05,1.357712e-05,1.512822e-05,1.531086e-05,1.662268e-05,1.725851e-05,1.804639e-05,1.907470e-05,1.938916e-05,2.064397e-05,2.074041e-05,2.180636e-05,2.224484e-05,2.287394e-05,2.358347e-05,2.384605e-05,2.472347e-05,2.475662e-05,2.550819e-05,2.576854e-05,2.620318e-05,2.662643e-05,2.681223e-05,2.733976e-05,2.779061e-05,2.791953e-05,2.816995e-05,2.837764e-05,2.848308e-05,2.872637e-05,2.873536e-05,2.893207e-05,2.897790e-05,2.907835e-05,2.914398e-05,2.917913e-05,2.923569e-05,2.923909e-05,2.926259e-05,2.926327e-05,2.925373e-05,2.923604e-05,2.921625e-05,2.916235e-05,2.915361e-05,2.906893e-05,2.904961e-05,2.896507e-05,2.890433e-05,2.884457e-05,2.873219e-05,2.870974e-05,2.856264e-05,2.853809e-05,2.840510e-05,2.832625e-05,2.823874e-05,2.810028e-05,2.806501e-05,2.788520e-05,2.786326e-05,2.770042e-05,2.761781e-05,2.751168e-05,2.736613e-05,2.731986e-05,2.712572e-05,2.711011e-05,2.692994e-05,2.685131e-05,2.673313e-05,2.659107e-05,2.653579e-05,2.633839e-05,2.633050e-05,2.614133e-05,2.607054e-05,2.594495e-05,2.581196e-05,2.574957e-05,2.555544e-05,2.536280e-05,2.530150e-05,2.517184e-05,2.505060e-05,2.498275e-05,2.480311e-05,2.479566e-05,2.461072e-05,2.455933e-05,2.442802e-05,2.431951e-05,2.424765e-05,2.408385e-05,2.406970e-05,2.389424e-05,2.385250e-05,2.372131e-05,2.362559e-05,2.355095e-05,2.340319e-05,2.338320e-05,2.321809e-05,2.318538e-05,2.305563e-05,2.297220e-05,2.289583e-05,2.276366e-05,2.273870e-05,2.258424e-05,2.255977e-05,2.243245e-05,2.236053e-05,2.228331e-05,2.216591e-05,2.213682e-05,2.199297e-05,2.197588e-05,2.185172e-05,2.179040e-05,2.171307e-05,2.160941e-05,2.157698e-05,2.144344e-05,2.143286e-05,2.131241e-05,2.126070e-05,2.118387e-05,2.109285e-05,2.105779e-05,2.093414e-05,2.092924e-05,2.081288e-05,2.076980e-05,2.069398e-05,2.061446e-05,2.057741e-05,2.046314e-05,2.031576e-05,2.017224e-05,2.003249e-05,1.989644e-05,1.976401e-05,1.963511e-05,1.950965e-05,1.938757e-05,1.926878e-05,1.915319e-05,1.904074e-05,1.893134e-05,1.882491e-05,1.872138e-05,1.862068e-05,1.852272e-05,1.842745e-05,1.833478e-05,1.824466e-05,1.815700e-05,1.807175e-05,1.798884e-05,1.790820e-05,1.782978e-05
0.000000e+00,1.761803e-14,1.194798e-13,2.059951e-12,1.359025e-11,3.222494e-11,2.073227e-10,2.216913e-10,9.743028e-10,1.395548e-09,3.231367e-09,6.024758e-09,8.839201e-09,1.969393e-08,2.101632e-08,4.487704e-08,5.311883e-08,8.791136e-08,1.240709e-07,1.603193e-07,2.586346e-07,2.751548e-07,4.482857e-07,4.914913e-07,6.981993e-07,8.653202e-07,1.045687e-06,1.429538e-06,1.513440e-06,2.125574e-06,2.238577e-06,2.907112e-06,3.349879e-06,3.883446e-06,4.821721e-06,5.079776e-06,6.520571e-06,6.711013e-06,8.229034e-06,9.071156e-06,1.022661e-05,1.195007e-05,1.253256e-05,1.516351e-05,1.538846e-05,1.813323e-05,1.941844e-05,2.145226e-05,2.406244e-05,2.512781e-05,2.916364e-05,2.933259e-05,3.355999e-05,3.523042e-05,3.831365e-05,4.174701e-05,4.341804e-05,4.886337e-05,5.463683e-05,5.655117e-05,6.072287e-05,6.477374e-05,6.710344e-05,7.348708e-05,7.375827e-05,8.066525e-05,8.264120e-05,8.780070e-05,9.218131e-05,9.513970e-05,1.020492e-04,1.026564e-04,1.103244e-04,1.121843e-04,1.181169e-04,1.225251e-04,1.260071e-04,1.330101e-04,1.339684e-04,1.419745e-04,1.435789e-04,1.500001e-04,1.541728e-04,1.580203e-04,1.647358e-04,1.660115e-04,1.739509e-04,1.752150e-04,1.818172e-04,1.855611e-04,1.895903e-04,1.957289e-04,1.972513e-04,2.047831e-04,2.056774e-04,2.121695e-04,2.153697e-04,2.193962e-04,2.247736e-04,2.264501e-04,2.333197e-04,2.338609e-04,2.399946e-04,2.426081e-04,2.464661e-04,2.509954e-04,2.527266e-04,2.587699e-04,2.590070e-04,2.645908e-04,2.666311e-04,2.701855e-04,2.738591e-04,2.755510e-04,2.806855e-04,2.855880e-04,2.871078e-04,2.902586e-04,2.931264e-04,2.946980e-04,2.987437e-04,2.989077e-04,3.028899e-04,3.039645e-04,3.066472e-04,3.087951e-04,3.101831e-04,3.132438e-04,3.135014e-04,3.166062e-04,3.173201e-04,3.195022e-04,3.210345e-04,3.221942e-04,3.243986e-04,3.246875e-04,3.269876e-04,3.274249e-04,3.290999e-04,3.301261e-04,3.310303e-04,3.325156e-04,3.327847e-04,3.343690e-04,3.346071e-04,3.357892e-04,3.364144e-04,3.370514e-04,3.379514e-04,3.381615e-04,3.391257e-04,3.392319e-04,3.399498e-04,3.402695e-04,3.406397e-04,3.410779e-04,3.412013e-04,3.416403e-04,3.416703e-04,3.419623e-04,3.420596e-04,3.421728e-04,3.422584e-04,3.422773e-04,3.422808e-04,3.422789e-04,3.421886e-04,3.421330e-04,3.420057e-04,3.418319e-04,3.417367e-04,3.413865e-04,3.408074e-04,3.401046e-04,3.392874e-04,3.383651e-04,3.373462e-04,3.362388e-04,3.350508e-04,3.337893e-04,3.324614e-04,3.310733e-04,3.296313e-04,3.281410e-04,3.266077e-04,3.250366e-04,3.234322e-04,3.217991e-04,3.201411e-04,3.184623e-04,3.167660e-04,3.150557e-04,3.133343e-04,3.116047e-04,3.098695e-04,3.081310e-04
0.000000e+00,7.325686e-09,1.929220e-08,7.683261e-08,1.879449e-07,2.827064e-07,6.880317e-07,7.107483e-07,1.477983e-06,1.774663e-06,2.748348e-06,3.838005e-06,4.730862e-06,7.366260e-06,7.636345e-06,1.157061e-05,1.266040e-05,1.642069e-05,1.942696e-05,2.188380e-05,2.693412e-05,2.762940e-05,3.341107e-05,3.455700e-05,3.907686e-05,4.194684e-05,4.454042e-05,4.893773e-05,4.975380e-05,5.469072e-05,5.545391e-05,5.933725e-05,6.146239e-05,6.368716e-05,6.695271e-05,6.773945e-05,7.149705e-05,7.192841e-05,7.496584e-05,7.640269e-05,7.815422e-05,8.039625e-05,8.107267e-05,8.373300e-05,8.393505e-05,8.614802e-05,8.704835e-05,8.833120e-05,8.976725e-05,9.029628e-05,9.205703e-05,9.212340e-05,9.362702e-05,9.414809e-05,9.501950e-05,9.587152e-05,9.624722e-05,9.732239e-05,9.825659e-05,9.852757e-05,9.906078e-05,9.951201e-05,9.974525e-05,1.002986e-04,1.003196e-04,1.007929e-04,1.009084e-04,1.011734e-04,1.013605e-04,1.014690e-04,1.016722e-04,1.016869e-04,1.018337e-04,1.018591e-04,1.019156e-04,1.019353e-04,1.019384e-04,1.019137e-04,1.019073e-04,1.018271e-04,1.018055e-04,1.017023e-04,1.016212e-04,1.015371e-04,1.013698e-04,1.013352e-04,1.011002e-04,1.010597e-04,1.008353e-04,1.006983e-04,1.005434e-04,1.002923e-04,1.002272e-04,9.988936e-05,9.984746e-05,9.953207e-05,9.936926e-05,9.915747e-05,9.886241e-05,9.876752e-05,9.836401e-05,9.833119e-05,9.794857e-05,9.777941e-05,9.752274e-05,9.721048e-05,9.708788e-05,9.664529e-05,9.662744e-05,9.619613e-05,9.603303e-05,9.574146e-05,9.542966e-05,9.528229e-05,9.481951e-05,9.435396e-05,9.420452e-05,9.388638e-05,9.358640e-05,9.341749e-05,9.296671e-05,9.294792e-05,9.247825e-05,9.234679e-05,9.200901e-05,9.172788e-05,9.154069e-05,9.111103e-05,9.107374e-05,9.060855e-05,9.049721e-05,9.014549e-05,8.988724e-05,8.968491e-05,8.928187e-05,8.922709e-05,8.877233e-05,8.868176e-05,8.832086e-05,8.808748e-05,8.787292e-05,8.749952e-05,8.742870e-05,8.698840e-05,8.691832e-05,8.655216e-05,8.634426e-05,8.612014e-05,8.577765e-05,8.569247e-05,8.526926e-05,8.521878e-05,8.485060e-05,8.466787e-05,8.443660e-05,8.412512e-05,8.402732e-05,8.362284e-05,8.359069e-05,8.322319e-05,8.306470e-05,8.282844e-05,8.254727e-05,8.243862e-05,8.205375e-05,8.203846e-05,8.167386e-05,8.153832e-05,8.129897e-05,8.104689e-05,8.092907e-05,8.056418e-05,8.009019e-05,7.962490e-05,7.916829e-05,7.872029e-05,7.828088e-05,7.784998e-05,7.742752e-05,7.701342e-05,7.660761e-05,7.620999e-05,7.582046e-05,7.543893e-05,7.506530e-05,7.469945e-05,7.434128e-05,7.399067e-05,7.364752e-05,7.331170e-05,7.298311e-05,7.266162e-05,7.234712e-05,7.203948e-05,7.173859e-05,7.144434e-05
0.000000e+00,4.303312e-09,9.870387e-09,3.396815e-08,7.727212e-08,1.127422e-07,2.561754e-07,2.639154e-07,5.123882e-07,6.031602e-07,8.865778e-07,1.184835e-06,1.418963e-06,2.077072e-06,2.142676e-06,3.080865e-06,3.338451e-06,4.232399e-06,4.960754e-06,5.569301e-06,6.866848e-06,7.050948e-06,8.638783e-06,8.966216e-06,1.030158e-05,1.118748e-05,1.201472e-05,1.347792e-05,1.375818e-05,1.551497e-05,1.579627e-05,1.727018e-05,1.810819e-05,1.901062e-05,2.038442e-05,2.072458e-05,2.240186e-05,2.260023e-05,2.403370e-05,2.473539e-05,2.561284e-05,2.677408e-05,2.713341e-05,2.859089e-05,2.870465e-05,2.998198e-05,3.051930e-05,3.130448e-05,3.221350e-05,3.255719e-05,3.373974e-05,3.378559e-05,3.485248e-05,3.523614e-05,3.589633e-05,3.656751e-05,3.687270e-05,3.778336e-05,3.863036e-05,3.888832e-05,3.941596e-05,3.988764e-05,4.014258e-05,4.078695e-05,4.081270e-05,4.142889e-05,4.159210e-05,4.199369e-05,4.230896e-05,4.250965e-05,4.294335e-05,4.297928e-05,4.340503e-05,4.350095e-05,4.378929e-05,4.398722e-05,4.413438e-05,4.440742e-05,4.444251e-05,4.471584e-05,4.476651e-05,4.495642e-05,4.506923e-05,4.516620e-05,4.532000e-05,4.534707e-05,4.550082e-05,4.552301e-05,4.562913e-05,4.568217e-05,4.573363e-05,4.580112e-05,4.581585e-05,4.587723e-05,4.588327e-05,4.591917e-05,4.593179e-05,4.594295e-05,4.594964e-05,4.594981e-05,4.594091e-05,4.593955e-05,4.591736e-05,4.590407e-05,4.588019e-05,4.584555e-05,4.583039e-05,4.576888e-05,4.576618e-05,4.569652e-05,4.566798e-05,4.561415e-05,4.555281e-05,4.552253e-05,4.542240e-05,4.531445e-05,4.527835e-05,4.519931e-05,4.512213e-05,4.507759e-05,4.495509e-05,4.494987e-05,4.481669e-05,4.477849e-05,4.467855e-05,4.459348e-05,4.453592e-05,4.440111e-05,4.438924e-05,4.423894e-05,4.420238e-05,4.408541e-05,4.399816e-05,4.392901e-05,4.378928e-05,4.377009e-05,4.360897e-05,4.357651e-05,4.344595e-05,4.336053e-05,4.328132e-05,4.314197e-05,4.311534e-05,4.294825e-05,4.292143e-05,4.278029e-05,4.269942e-05,4.261167e-05,4.247643e-05,4.244259e-05,4.227325e-05,4.225291e-05,4.210380e-05,4.202926e-05,4.193443e-05,4.180584e-05,4.176527e-05,4.159648e-05,4.158299e-05,4.142817e-05,4.136101e-05,4.126047e-05,4.114016e-05,4.109349e-05,4.092733e-05,4.092070e-05,4.076210e-05,4.070285e-05,4.059787e-05,4.048681e-05,4.043473e-05,4.027275e-05,4.006083e-05,3.985120e-05,3.964398e-05,3.943928e-05,3.923719e-05,3.903780e-05,3.884118e-05,3.864739e-05,3.845648e-05,3.826849e-05,3.808347e-05,3.790142e-05,3.772238e-05,3.754634e-05,3.737334e-05,3.720335e-05,3.703639e-05,3.687244e-05,3.671149e-05,3.655352e-05,3.639852e-05,3.624647e-05,3.609734e-05,3.595110e-05
0.000000e+00,1.162946e-11,6.155289e-11,6.474572e-10,2.788523e-09,5.282881e-09,1.963658e-08,2.055319e-08,5.477451e-08,6.895963e-08,1.168835e-07,1.714204e-07,2.162828e-07,3.493447e-07,3.630879e-07,5.683585e-07,6.276338e-07,8.439770e-07,1.033515e-06,1.201785e-06,1.592578e-06,1.651652e-06,2.198765e-06,2.319841e-06,2.841477e-06,3.210883e-06,3.571353e-06,4.242422e-06,4.375477e-06,5.239467e-06,5.382328e-06,6.149697e-06,6.599473e-06,7.094304e-06,7.867980e-06,8.063311e-06,9.048323e-06,9.167250e-06,1.004220e-05,1.048070e-05,1.103879e-05,1.179465e-05,1.203267e-05,1.301912e-05,1.309759e-05,1.399398e-05,1.437986e-05,1.495365e-05,1.563345e-05,1.589503e-05,1.681552e-05,1.685187e-05,1.771296e-05,1.803006e-05,1.858564e-05,1.916422e-05,1.943222e-05,2.025171e-05,2.104343e-05,2.129084e-05,2.180696e-05,2.228075e-05,2.254215e-05,2.322127e-05,2.324901e-05,2.392774e-05,2.411278e-05,2.457868e-05,2.495610e-05,2.520230e-05,2.575237e-05,2.579915e-05,2.636984e-05,2.650299e-05,2.691506e-05,2.720953e-05,2.743554e-05,2.787369e-05,2.793203e-05,2.840531e-05,2.849725e-05,2.885617e-05,2.908201e-05,2.928538e-05,2.962975e-05,2.969371e-05,3.008194e-05,3.014224e-05,3.045082e-05,3.062123e-05,3.080111e-05,3.106843e-05,3.113352e-05,3.144877e-05,3.148548e-05,3.174753e-05,3.187393e-05,3.203047e-05,3.223532e-05,3.229823e-05,3.255145e-05,3.257110e-05,3.279073e-05,3.288267e-05,3.301665e-05,3.317136e-05,3.322977e-05,3.343063e-05,3.343842e-05,3.361975e-05,3.368505e-05,3.379763e-05,3.391241e-05,3.396475e-05,3.412158e-05,3.426855e-05,3.431357e-05,3.440609e-05,3.448936e-05,3.453462e-05,3.464988e-05,3.465452e-05,3.476617e-05,3.479600e-05,3.486993e-05,3.492854e-05,3.496615e-05,3.504829e-05,3.505515e-05,3.513727e-05,3.515598e-05,3.521279e-05,3.525232e-05,3.528202e-05,3.533795e-05,3.534523e-05,3.540269e-05,3.541352e-05,3.545466e-05,3.547960e-05,3.550138e-05,3.553675e-05,3.554310e-05,3.558003e-05,3.558551e-05,3.561240e-05,3.562637e-05,3.564040e-05,3.565980e-05,3.566425e-05,3.568412e-05,3.568625e-05,3.570020e-05,3.570613e-05,3.571268e-05,3.571984e-05,3.572170e-05,3.572744e-05,3.572776e-05,3.573005e-05,3.573025e-05,3.572968e-05,3.572764e-05,3.572645e-05,3.572053e-05,3.572023e-05,3.571202e-05,3.570835e-05,3.570106e-05,3.569226e-05,3.568776e-05,3.567224e-05,3.564853e-05,3.562138e-05,3.559102e-05,3.555765e-05,3.552148e-05,3.548270e-05,3.544148e-05,3.539801e-05,3.535244e-05,3.530493e-05,3.525562e-05,3.520464e-05,3.515212e-05,3.509820e-05,3.504297e-05,3.498656e-05,3.492907e-05,3.487058e-05,3.481120e-05,3.475102e-05,3.469011e-05,3.462856e-05,3.456643e-05,3.450380e-05
0.000000e+00,9.171578e-14,5.905447e-13,9.132460e-12,5.448802e-11,1.221866e-10,6.789716e-10,7.216594e-10,2.731885e-09,3.754873e-09,7.826937e-09,1.338362e-08,1.854586e-08,3.630936e-08,3.832041e-08,7.144297e-08,8.192804e-08,1.229989e-07,1.620510e-07,1.987654e-07,2.904654e-07,3.050467e-07,4.483898e-07,4.820742e-07,6.351447e-07,7.513173e-07,8.709066e-07,1.110002e-06,1.159959e-06,1.504860e-06,1.565298e-06,1.906258e-06,2.118706e-06,2.362940e-06,2.766225e-06,2.872062e-06,3.429482e-06,3.499385e-06,4.030129e-06,4.306663e-06,4.668341e-06,5.174846e-06,5.338163e-06,6.033584e-06,6.090146e-06,6.748716e-06,7.039016e-06,7.477925e-06,8.008687e-06,8.215921e-06,8.957814e-06,8.987507e-06,9.699154e-06,9.965117e-06,1.043594e-05,1.093254e-05,1.116464e-05,1.188217e-05,1.258588e-05,1.280777e-05,1.327353e-05,1.370434e-05,1.394329e-05,1.456805e-05,1.459368e-05,1.522356e-05,1.539612e-05,1.583208e-05,1.618669e-05,1.641867e-05,1.693868e-05,1.698300e-05,1.752492e-05,1.765165e-05,1.804448e-05,1.832573e-05,1.854186e-05,1.896147e-05,1.901739e-05,1.947147e-05,1.955976e-05,1.990461e-05,2.012175e-05,2.031737e-05,2.064877e-05,2.071035e-05,2.108419e-05,2.114227e-05,2.143956e-05,2.160378e-05,2.177715e-05,2.203486e-05,2.209762e-05,2.240168e-05,2.243709e-05,2.268999e-05,2.281203e-05,2.296322e-05,2.316119e-05,2.322202e-05,2.346702e-05,2.348604e-05,2.369883e-05,2.378800e-05,2.391805e-05,2.406842e-05,2.412525e-05,2.432098e-05,2.432858e-05,2.450576e-05,2.456970e-05,2.468011e-05,2.479294e-05,2.484449e-05,2.499938e-05,2.514522e-05,2.519004e-05,2.528242e-05,2.536589e-05,2.541139e-05,2.552782e-05,2.553252e-05,2.564616e-05,2.567668e-05,2.575266e-05,2.581327e-05,2.585235e-05,2.593833e-05,2.594555e-05,2.603255e-05,2.605255e-05,2.611365e-05,2.615659e-05,2.618911e-05,2.625105e-05,2.625919e-05,2.632413e-05,2.633652e-05,2.638417e-05,2.641352e-05,2.643953e-05,2.648257e-05,2.649042e-05,2.653704e-05,2.654412e-05,2.657959e-05,2.659862e-05,2.661825e-05,2.664649e-05,2.665319e-05,2.668458e-05,2.668811e-05,2.671257e-05,2.672385e-05,2.673731e-05,2.675404e-05,2.675896e-05,2.677764e-05,2.677901e-05,2.679349e-05,2.679906e-05,2.680663e-05,2.681447e-05,2.681717e-05,2.682524e-05,2.682552e-05,2.683095e-05,2.683244e-05,2.683438e-05,2.683548e-05,2.683565e-05,2.683485e-05,2.683077e-05,2.682344e-05,2.681304e-05,2.679974e-05,2.678372e-05,2.676513e-05,2.674411e-05,2.672081e-05,2.669536e-05,2.666789e-05,2.663851e-05,2.660733e-05,2.657447e-05,2.654002e-05,2.650409e-05,2.646675e-05,2.642810e-05,2.638822e-05,2.634719e-05,2.630507e-05,2.626195e-05,2.621789e-05,2.617295e-05,2.612719e-05
0.000000e+00,6.930309e-10,2.448229e-09,1.368213e-08,3.953786e-08,6.339016e-08,1.733857e-07,1.797871e-07,4.041642e-07,4.939630e-07,7.959645e-07,1.141516e-06,1.426424e-06,2.256178e-06,2.339563e-06,3.517694e-06,3.834388e-06,4.911698e-06,5.770705e-06,6.480661e-06,7.985244e-06,8.198661e-06,1.004871e-05,1.043337e-05,1.201757e-05,1.308428e-05,1.409306e-05,1.590998e-05,1.626300e-05,1.851492e-05,1.888199e-05,2.083617e-05,2.197130e-05,2.321423e-05,2.514941e-05,2.563697e-05,2.809295e-05,2.838938e-05,3.057154e-05,3.166676e-05,3.306310e-05,3.496002e-05,3.555901e-05,3.805159e-05,3.825064e-05,4.053418e-05,4.152311e-05,4.300105e-05,4.476464e-05,4.544724e-05,4.786859e-05,4.796488e-05,5.026158e-05,5.111553e-05,5.262327e-05,5.421007e-05,5.495121e-05,5.724339e-05,5.949819e-05,6.021160e-05,6.171427e-05,6.311175e-05,6.389059e-05,6.594168e-05,6.602632e-05,6.812085e-05,6.869987e-05,7.017372e-05,7.138532e-05,7.218463e-05,7.399743e-05,7.415338e-05,7.607988e-05,7.653596e-05,7.796416e-05,7.900093e-05,7.980628e-05,8.139261e-05,8.160642e-05,8.336478e-05,8.371146e-05,8.508163e-05,8.595809e-05,8.675729e-05,8.813326e-05,8.839210e-05,8.998647e-05,9.023784e-05,9.154080e-05,9.227278e-05,9.305554e-05,9.423914e-05,9.453116e-05,9.596815e-05,9.613802e-05,9.736702e-05,9.797059e-05,9.872830e-05,9.973805e-05,1.000525e-04,1.013402e-04,1.014417e-04,1.025920e-04,1.030827e-04,1.038083e-04,1.046625e-04,1.049898e-04,1.061371e-04,1.061823e-04,1.072507e-04,1.076435e-04,1.083313e-04,1.090475e-04,1.093793e-04,1.103955e-04,1.113803e-04,1.116889e-04,1.123343e-04,1.129291e-04,1.132583e-04,1.141174e-04,1.141526e-04,1.150180e-04,1.152551e-04,1.158549e-04,1.163436e-04,1.166640e-04,1.173842e-04,1.174457e-04,1.182008e-04,1.183781e-04,1.189297e-04,1.193267e-04,1.196330e-04,1.202312e-04,1.203113e-04,1.209650e-04,1.210928e-04,1.215947e-04,1.219129e-04,1.222010e-04,1.226925e-04,1.227843e-04,1.233453e-04,1.234330e-04,1.238843e-04,1.241354e-04,1.244019e-04,1.248009e-04,1.248986e-04,1.253749e-04,1.254307e-04,1.258312e-04,1.260258e-04,1.262681e-04,1.265873e-04,1.266859e-04,1.270852e-04,1.271164e-04,1.274665e-04,1.276140e-04,1.278300e-04,1.280811e-04,1.281764e-04,1.285060e-04,1.285188e-04,1.288192e-04,1.289280e-04,1.291165e-04,1.293097e-04,1.293982e-04,1.296648e-04,1.299943e-04,1.302989e-04,1.305795e-04,1.308371e-04,1.310724e-04,1.312862e-04,1.314793e-04,1.316525e-04,1.318065e-04,1.319420e-04,1.320597e-04,1.321603e-04,1.322444e-04,1.323128e-04,1.323660e-04,1.324046e-04,1.324292e-04,1.324405e-04,1.324388e-04,1.324249e-04,1.323992e-04,1.323622e-04,1.323144e-04,1.322563e-04
0.000000e+00,2.291448e-12,1.347006e-11,1.731763e-10,8.777897e-10,1.804027e-09,8.068687e-09,8.502823e-09,2.629565e-08,3.429048e-08,6.291844e-08,9.752927e-08,1.270849e-07,2.184191e-07,2.280804e-07,3.756183e-07,4.190608e-07,5.796694e-07,7.222559e-07,8.498455e-07,1.148592e-06,1.193970e-06,1.615998e-06,1.709716e-06,2.114309e-06,2.401329e-06,2.681542e-06,3.202873e-06,3.306105e-06,3.974439e-06,4.084518e-06,4.673022e-06,5.015418e-06,5.389582e-06,5.968633e-06,6.113582e-06,6.836231e-06,6.922499e-06,7.550291e-06,7.860186e-06,8.249829e-06,8.768752e-06,8.930005e-06,9.586911e-06,9.638361e-06,1.021745e-05,1.046173e-05,1.081926e-05,1.123377e-05,1.139060e-05,1.193035e-05,1.195127e-05,1.243788e-05,1.261266e-05,1.291302e-05,1.321771e-05,1.335598e-05,1.376728e-05,1.414771e-05,1.426309e-05,1.449827e-05,1.470748e-05,1.482011e-05,1.510322e-05,1.511448e-05,1.538272e-05,1.545333e-05,1.562619e-05,1.576096e-05,1.584628e-05,1.602931e-05,1.604438e-05,1.622183e-05,1.626149e-05,1.637995e-05,1.646054e-05,1.652002e-05,1.662932e-05,1.664326e-05,1.675083e-05,1.677056e-05,1.684383e-05,1.688678e-05,1.692330e-05,1.698033e-05,1.699024e-05,1.704556e-05,1.705339e-05,1.709012e-05,1.710793e-05,1.712474e-05,1.714579e-05,1.715017e-05,1.716712e-05,1.716862e-05,1.717625e-05,1.717795e-05,1.717817e-05,1.717515e-05,1.717344e-05,1.716260e-05,1.716148e-05,1.714614e-05,1.713808e-05,1.712451e-05,1.710597e-05,1.709814e-05,1.706742e-05,1.706610e-05,1.703272e-05,1.701932e-05,1.699437e-05,1.696638e-05,1.695270e-05,1.690799e-05,1.686051e-05,1.684478e-05,1.681052e-05,1.677732e-05,1.675825e-05,1.670613e-05,1.670392e-05,1.664772e-05,1.663168e-05,1.658985e-05,1.655439e-05,1.653047e-05,1.647466e-05,1.646975e-05,1.640784e-05,1.639282e-05,1.634488e-05,1.630920e-05,1.628098e-05,1.622409e-05,1.621629e-05,1.615089e-05,1.613774e-05,1.608491e-05,1.605039e-05,1.601843e-05,1.596226e-05,1.595154e-05,1.588432e-05,1.587354e-05,1.581686e-05,1.578441e-05,1.574922e-05,1.569503e-05,1.568147e-05,1.561367e-05,1.560554e-05,1.554588e-05,1.551607e-05,1.547815e-05,1.542674e-05,1.541052e-05,1.534305e-05,1.533766e-05,1.527577e-05,1.524892e-05,1.520873e-05,1.516062e-05,1.514195e-05,1.507548e-05,1.507283e-05,1.500934e-05,1.498561e-05,1.494356e-05,1.489905e-05,1.487816e-05,1.481318e-05,1.472806e-05,1.464374e-05,1.456025e-05,1.447764e-05,1.439593e-05,1.431515e-05,1.423533e-05,1.415648e-05,1.407862e-05,1.400176e-05,1.392593e-05,1.385112e-05,1.377735e-05,1.370462e-05,1.363294e-05,1.356231e-05,1.349272e-05,1.342418e-05,1.335669e-05,1.329024e-05,1.322484e-05,1.316046e-05,1.309712e-05,1.303480e-05
0.000000e+00,2.253894e-09,5.298440e-09,1.870889e-08,4.305957e-08,6.308897e-08,1.443366e-07,1.487262e-07,2.897161e-07,3.412237e-07,5.019158e-07,6.705536e-07,8.023310e-07,1.168172e-06,1.204193e-06,1.710000e-06,1.846149e-06,2.312425e-06,2.688255e-06,3.001588e-06,3.673089e-06,3.769093e-06,4.608222e-06,4.784118e-06,5.513075e-06,6.007659e-06,6.477860e-06,7.330146e-06,7.496478e-06,8.562365e-06,8.736829e-06,9.668471e-06,1.021151e-05,1.080734e-05,1.173685e-05,1.197126e-05,1.315240e-05,1.329493e-05,1.434300e-05,1.486790e-05,1.553551e-05,1.643867e-05,1.672276e-05,1.789804e-05,1.799136e-05,1.905521e-05,1.951175e-05,2.018876e-05,2.098754e-05,2.129384e-05,2.236630e-05,2.240847e-05,2.340265e-05,2.376633e-05,2.440006e-05,2.505490e-05,2.535632e-05,2.626980e-05,2.713938e-05,2.740826e-05,2.796442e-05,2.846894e-05,2.874468e-05,2.945173e-05,2.948031e-05,3.017173e-05,3.035750e-05,3.081965e-05,3.118790e-05,3.142499e-05,3.194522e-05,3.198883e-05,3.251239e-05,3.263220e-05,3.299701e-05,3.325190e-05,3.344408e-05,3.380762e-05,3.385509e-05,3.423151e-05,3.430277e-05,3.457485e-05,3.474082e-05,3.488662e-05,3.512520e-05,3.516831e-05,3.542136e-05,3.545929e-05,3.564723e-05,3.574640e-05,3.584731e-05,3.598972e-05,3.602295e-05,3.617547e-05,3.619228e-05,3.630613e-05,3.635701e-05,3.641615e-05,3.648668e-05,3.650669e-05,3.657887e-05,3.658388e-05,3.663375e-05,3.665110e-05,3.667237e-05,3.669064e-05,3.669568e-05,3.670461e-05,3.670468e-05,3.670004e-05,3.669526e-05,3.668281e-05,3.666427e-05,3.665372e-05,3.661350e-05,3.656289e-05,3.654461e-05,3.650255e-05,3.645913e-05,3.643313e-05,3.635851e-05,3.635524e-05,3.626945e-05,3.624409e-05,3.617630e-05,3.611710e-05,3.607632e-05,3.597871e-05,3.596998e-05,3.585774e-05,3.582998e-05,3.574005e-05,3.567192e-05,3.561731e-05,3.550544e-05,3.548992e-05,3.535823e-05,3.533140e-05,3.522259e-05,3.515061e-05,3.508333e-05,3.496378e-05,3.494076e-05,3.479517e-05,3.477161e-05,3.464683e-05,3.457473e-05,3.449600e-05,3.437372e-05,3.434293e-05,3.418785e-05,3.416911e-05,3.403096e-05,3.396141e-05,3.387248e-05,3.375109e-05,3.371260e-05,3.355149e-05,3.353856e-05,3.338934e-05,3.332422e-05,3.322629e-05,3.310843e-05,3.306250e-05,3.289812e-05,3.289153e-05,3.273327e-05,3.267383e-05,3.256808e-05,3.245561e-05,3.240266e-05,3.223713e-05,3.201864e-05,3.180034e-05,3.158246e-05,3.136516e-05,3.114863e-05,3.093301e-05,3.071845e-05,3.050508e-05,3.029301e-05,3.008236e-05,2.987321e-05,2.966566e-05,2.945978e-05,2.925565e-05,2.905333e-05,2.885287e-05,2.865432e-05,2.845773e-05,2.826313e-05,2.807056e-05,2.788005e-05,2.769161e-05,2.750528e-05,2.732106e-05
0.000000e+00,1.309082e-13,8.901689e-13,1.542892e-11,1.022519e-10,2.430201e-10,1.571714e-09,1.680954e-09,7.414993e-09,1.062826e-08,2.463539e-08,4.593538e-08,6.737295e-08,1.498831e-07,1.599218e-07,3.408612e-07,4.033425e-07,6.673844e-07,9.425584e-07,1.219319e-06,1.974557e-06,2.102086e-06,3.448057e-06,3.786374e-06,5.416186e-06,6.745528e-06,8.190028e-06,1.129207e-05,1.197446e-05,1.699142e-05,1.792402e-05,2.347486e-05,2.717838e-05,3.166546e-05,3.960964e-05,4.180495e-05,5.413061e-05,5.576753e-05,6.886990e-05,7.617526e-05,8.623545e-05,1.013094e-04,1.064205e-04,1.295949e-04,1.315825e-04,1.559017e-04,1.673280e-04,1.854547e-04,2.087904e-04,2.183362e-04,2.545958e-04,2.561168e-04,2.942502e-04,3.093546e-04,3.372827e-04,3.684507e-04,3.836445e-04,4.332554e-04,4.860064e-04,5.035282e-04,5.417607e-04,5.789462e-04,6.003574e-04,6.591144e-04,6.616132e-04,7.253261e-04,7.435766e-04,7.912779e-04,8.318280e-04,8.592375e-04,9.233266e-04,9.289639e-04,1.000209e-03,1.017506e-03,1.072720e-03,1.113786e-03,1.146245e-03,1.211583e-03,1.220529e-03,1.295324e-03,1.310323e-03,1.370386e-03,1.409445e-03,1.445477e-03,1.508410e-03,1.520370e-03,1.594846e-03,1.606710e-03,1.668699e-03,1.703870e-03,1.741734e-03,1.799451e-03,1.813769e-03,1.884636e-03,1.893054e-03,1.954180e-03,1.984324e-03,2.022261e-03,2.072944e-03,2.088750e-03,2.153535e-03,2.158642e-03,2.216517e-03,2.241185e-03,2.277608e-03,2.320382e-03,2.336735e-03,2.393837e-03,2.396078e-03,2.448862e-03,2.468156e-03,2.501774e-03,2.536531e-03,2.552543e-03,2.601150e-03,2.647588e-03,2.661989e-03,2.691854e-03,2.719048e-03,2.733956e-03,2.772351e-03,2.773908e-03,2.811731e-03,2.821943e-03,2.847450e-03,2.867886e-03,2.881099e-03,2.910258e-03,2.912713e-03,2.942333e-03,2.949150e-03,2.970002e-03,2.984663e-03,2.995769e-03,3.016908e-03,3.019681e-03,3.041793e-03,3.046003e-03,3.062156e-03,3.072072e-03,3.080826e-03,3.095242e-03,3.097859e-03,3.113312e-03,3.115641e-03,3.127241e-03,3.133403e-03,3.139704e-03,3.148657e-03,3.150757e-03,3.160458e-03,3.161534e-03,3.168863e-03,3.172165e-03,3.176027e-03,3.180675e-03,3.182004e-03,3.186849e-03,3.187190e-03,3.190615e-03,3.191830e-03,3.193352e-03,3.194714e-03,3.195111e-03,3.195940e-03,3.195955e-03,3.195888e-03,3.195663e-03,3.195001e-03,3.193943e-03,3.193322e-03,3.190896e-03,3.186620e-03,3.181205e-03,3.174741e-03,3.167309e-03,3.158989e-03,3.149856e-03,3.139980e-03,3.129428e-03,3.118262e-03,3.106541e-03,3.094320e-03,3.081652e-03,3.068584e-03,3.055162e-03,3.041428e-03,3.027423e-03,3.013182e-03,2.998740e-03,2.984130e-03,2.969380e-03,2.954518e-03,2.939570e-03,2.924560e-03,2.909508e-03
0.000000e+00,1.557558e-10,6.879850e-10,5.280781e-09,1.815446e-08,3.103882e-08,9.353369e-08,9.720660e-08,2.238509e-07,2.729689e-07,4.320016e-07,6.054844e-07,7.445872e-07,1.144595e-06,1.185015e-06,1.770333e-06,1.932919e-06,2.502063e-06,2.971025e-06,3.366517e-06,4.221786e-06,4.344535e-06,5.418545e-06,5.643527e-06,6.573744e-06,7.202127e-06,7.796954e-06,8.867805e-06,9.075600e-06,1.039722e-05,1.061184e-05,1.174944e-05,1.240579e-05,1.312011e-05,1.422208e-05,1.449759e-05,1.587100e-05,1.603506e-05,1.723045e-05,1.782188e-05,1.856715e-05,1.956312e-05,1.987352e-05,2.114320e-05,2.124302e-05,2.237102e-05,2.284949e-05,2.355295e-05,2.437379e-05,2.468597e-05,2.576797e-05,2.581017e-05,2.679768e-05,2.715543e-05,2.777447e-05,2.840843e-05,2.869832e-05,2.956969e-05,3.038939e-05,3.064096e-05,3.115858e-05,3.162497e-05,3.187862e-05,3.252506e-05,3.255106e-05,3.317760e-05,3.334503e-05,3.375997e-05,3.408896e-05,3.430001e-05,3.476102e-05,3.479954e-05,3.526040e-05,3.536545e-05,3.568441e-05,3.590643e-05,3.607337e-05,3.638804e-05,3.642902e-05,3.675307e-05,3.681423e-05,3.704717e-05,3.718879e-05,3.731291e-05,3.751534e-05,3.755183e-05,3.776540e-05,3.779731e-05,3.795504e-05,3.803796e-05,3.812209e-05,3.824034e-05,3.826785e-05,3.839355e-05,3.840734e-05,3.850036e-05,3.854166e-05,3.858940e-05,3.864585e-05,3.866174e-05,3.871839e-05,3.872227e-05,3.876031e-05,3.877315e-05,3.878840e-05,3.880056e-05,3.880354e-05,3.880654e-05,3.880642e-05,3.879819e-05,3.879255e-05,3.877922e-05,3.876061e-05,3.875033e-05,3.871217e-05,3.866539e-05,3.864869e-05,3.861056e-05,3.857151e-05,3.854825e-05,3.848188e-05,3.847898e-05,3.840327e-05,3.838098e-05,3.832158e-05,3.826988e-05,3.823436e-05,3.814959e-05,3.814203e-05,3.804499e-05,3.802104e-05,3.794362e-05,3.788509e-05,3.783827e-05,3.774254e-05,3.772927e-05,3.761696e-05,3.759412e-05,3.750161e-05,3.744053e-05,3.738352e-05,3.728240e-05,3.726295e-05,3.714015e-05,3.712031e-05,3.701535e-05,3.695480e-05,3.688877e-05,3.678637e-05,3.676063e-05,3.663112e-05,3.661549e-05,3.650042e-05,3.644258e-05,3.636871e-05,3.626803e-05,3.623615e-05,3.610289e-05,3.609221e-05,3.596908e-05,3.591543e-05,3.583485e-05,3.573802e-05,3.570033e-05,3.556564e-05,3.556025e-05,3.543089e-05,3.538238e-05,3.529617e-05,3.520464e-05,3.516159e-05,3.502725e-05,3.485040e-05,3.467428e-05,3.449905e-05,3.432487e-05,3.415185e-05,3.398014e-05,3.380983e-05,3.364103e-05,3.347383e-05,3.330830e-05,3.314453e-05,3.298256e-05,3.282247e-05,3.266429e-05,3.250807e-05,3.235385e-05,3.220165e-05,3.205151e-05,3.190344e-05,3.175746e-05,3.161358e-05,3.147181e-05,3.133216e-05,3.119463e-05
0.000000e+00,4.431772e-14,2.978816e-13,5.037823e-12,3.262007e-11,7.651385e-11,4.775659e-10,5.099938e-10,2.165718e-09,3.070667e-09,6.917831e-09,1.258905e-08,1.816127e-08,3.885528e-08,4.131445e-08,8.426600e-08,9.864717e-08,1.577273e-07,2.171939e-07,2.754622e-07,4.290365e-07,4.543675e-07,7.143726e-07,7.780560e-07,1.078122e-06,1.316439e-06,1.570417e-06,2.102413e-06,2.217430e-06,3.045735e-06,3.196839e-06,4.081254e-06,4.659106e-06,5.348192e-06,6.542927e-06,6.868050e-06,8.658769e-06,8.892555e-06,1.073405e-05,1.173982e-05,1.310288e-05,1.510214e-05,1.576922e-05,1.873197e-05,1.898165e-05,2.198498e-05,2.336517e-05,2.551735e-05,2.822519e-05,2.931375e-05,3.335493e-05,3.352136e-05,3.761825e-05,3.920260e-05,4.207827e-05,4.520943e-05,4.670739e-05,5.147646e-05,5.635540e-05,5.793490e-05,6.131377e-05,6.451482e-05,6.632132e-05,7.114734e-05,7.134844e-05,7.636664e-05,7.776641e-05,8.134885e-05,8.431029e-05,8.626975e-05,9.072271e-05,9.110597e-05,9.583630e-05,9.695366e-05,1.004417e-04,1.029599e-04,1.049056e-04,1.087053e-04,1.092136e-04,1.133535e-04,1.141604e-04,1.173156e-04,1.193029e-04,1.210920e-04,1.241165e-04,1.246771e-04,1.280670e-04,1.285910e-04,1.312595e-04,1.327215e-04,1.342540e-04,1.365077e-04,1.370516e-04,1.396541e-04,1.399534e-04,1.420648e-04,1.430658e-04,1.442879e-04,1.458550e-04,1.463283e-04,1.481917e-04,1.483333e-04,1.498841e-04,1.505146e-04,1.514121e-04,1.524144e-04,1.527827e-04,1.540029e-04,1.540487e-04,1.550800e-04,1.554341e-04,1.560213e-04,1.565875e-04,1.568341e-04,1.575255e-04,1.581028e-04,1.582646e-04,1.585729e-04,1.588206e-04,1.589425e-04,1.592089e-04,1.592182e-04,1.594063e-04,1.594441e-04,1.595129e-04,1.595402e-04,1.595439e-04,1.595102e-04,1.595046e-04,1.594005e-04,1.593664e-04,1.592365e-04,1.591202e-04,1.590173e-04,1.587822e-04,1.587473e-04,1.584308e-04,1.583623e-04,1.580717e-04,1.578694e-04,1.576738e-04,1.573120e-04,1.572404e-04,1.567749e-04,1.566976e-04,1.562802e-04,1.560332e-04,1.557592e-04,1.553252e-04,1.552145e-04,1.546486e-04,1.545793e-04,1.540637e-04,1.538009e-04,1.534619e-04,1.529945e-04,1.528453e-04,1.522155e-04,1.521646e-04,1.515744e-04,1.513150e-04,1.509233e-04,1.504493e-04,1.502639e-04,1.495974e-04,1.495706e-04,1.489250e-04,1.486817e-04,1.482479e-04,1.477853e-04,1.475671e-04,1.468836e-04,1.459786e-04,1.450723e-04,1.441662e-04,1.432619e-04,1.423607e-04,1.414638e-04,1.405721e-04,1.396866e-04,1.388082e-04,1.379376e-04,1.370754e-04,1.362222e-04,1.353784e-04,1.345446e-04,1.337210e-04,1.329079e-04,1.321057e-04,1.313145e-04,1.305346e-04,1.297660e-04,1.290089e-04,1.282634e-04,1.275296e-04,1.268074e-04
0.000000e+00,2.644084e-09,6.431835e-09,2.355363e-08,5.517102e-08,8.138594e-08,1.885765e-07,1.943921e-07,3.818964e-07,4.506318e-07,6.655977e-07,8.920519e-07,1.069831e-06,1.569231e-06,1.618981e-06,2.329880e-06,2.524947e-06,3.202007e-06,3.754218e-06,4.216323e-06,5.204752e-06,5.345400e-06,6.563263e-06,6.815537e-06,7.848640e-06,8.537891e-06,9.184352e-06,1.033463e-05,1.055596e-05,1.195075e-05,1.217529e-05,1.335724e-05,1.403338e-05,1.476491e-05,1.588543e-05,1.616419e-05,1.754649e-05,1.771085e-05,1.890422e-05,1.949212e-05,2.023084e-05,2.121483e-05,2.152083e-05,2.276969e-05,2.286771e-05,2.397386e-05,2.444238e-05,2.513064e-05,2.593308e-05,2.623813e-05,2.729511e-05,2.733632e-05,2.830096e-05,2.865051e-05,2.925557e-05,2.987559e-05,3.015926e-05,3.101269e-05,3.181681e-05,3.206389e-05,3.257277e-05,3.303193e-05,3.328193e-05,3.392003e-05,3.394573e-05,3.456574e-05,3.473171e-05,3.514357e-05,3.547070e-05,3.568086e-05,3.614080e-05,3.617928e-05,3.664049e-05,3.674582e-05,3.706613e-05,3.728956e-05,3.745783e-05,3.777572e-05,3.781718e-05,3.814574e-05,3.820789e-05,3.844500e-05,3.858953e-05,3.871643e-05,3.892396e-05,3.896145e-05,3.918141e-05,3.921436e-05,3.937762e-05,3.946374e-05,3.955134e-05,3.967495e-05,3.970379e-05,3.983612e-05,3.985070e-05,3.994944e-05,3.999355e-05,4.004481e-05,4.010592e-05,4.012325e-05,4.018573e-05,4.019007e-05,4.023317e-05,4.024813e-05,4.026644e-05,4.028211e-05,4.028640e-05,4.029384e-05,4.029389e-05,4.028952e-05,4.028523e-05,4.027417e-05,4.025778e-05,4.024848e-05,4.021310e-05,4.016867e-05,4.015263e-05,4.011577e-05,4.007773e-05,4.005496e-05,3.998965e-05,3.998679e-05,3.991175e-05,3.988958e-05,3.983033e-05,3.977861e-05,3.974300e-05,3.965779e-05,3.965017e-05,3.955226e-05,3.952805e-05,3.944967e-05,3.939031e-05,3.934275e-05,3.924537e-05,3.923187e-05,3.911734e-05,3.909403e-05,3.899949e-05,3.893698e-05,3.887860e-05,3.877491e-05,3.875496e-05,3.862883e-05,3.860844e-05,3.850046e-05,3.843812e-05,3.837009e-05,3.826451e-05,3.823795e-05,3.810423e-05,3.808808e-05,3.796914e-05,3.790931e-05,3.783286e-05,3.772861e-05,3.769558e-05,3.755745e-05,3.754637e-05,3.741864e-05,3.736296e-05,3.727929e-05,3.717870e-05,3.713954e-05,3.699951e-05,3.699391e-05,3.685934e-05,3.680886e-05,3.671913e-05,3.662382e-05,3.657899e-05,3.643903e-05,3.625470e-05,3.607103e-05,3.588821e-05,3.570641e-05,3.552577e-05,3.534644e-05,3.516854e-05,3.499218e-05,3.481747e-05,3.464449e-05,3.447334e-05,3.430407e-05,3.413677e-05,3.397147e-05,3.380824e-05,3.364711e-05,3.348813e-05,3.333132e-05,3.317670e-05,3.302431e-05,3.287415e-05,3.272623e-05,3.258058e-05,3.243718e-05
0.000000e+00,1.115107e-09,2.734585e-09,1.007985e-08,2.363114e-08,3.483676e-08,8.036768e-08,8.282557e-08,1.614806e-07,1.900582e-07,2.787013e-07,3.710914e-07,4.430590e-07,6.433514e-07,6.631940e-07,9.455756e-07,1.022860e-06,1.291083e-06,1.510167e-06,1.693877e-06,2.088171e-06,2.144432e-06,2.633190e-06,2.734785e-06,3.152040e-06,3.431458e-06,3.694248e-06,4.163479e-06,4.253995e-06,4.826010e-06,4.918338e-06,5.405376e-06,5.684711e-06,5.987458e-06,6.452144e-06,6.567905e-06,7.142694e-06,7.211112e-06,7.708179e-06,7.953197e-06,8.261131e-06,8.671257e-06,8.798757e-06,9.318725e-06,9.359501e-06,9.819164e-06,1.001353e-05,1.029862e-05,1.063022e-05,1.075603e-05,1.119070e-05,1.120761e-05,1.160228e-05,1.174477e-05,1.199067e-05,1.224160e-05,1.235603e-05,1.269871e-05,1.301922e-05,1.311720e-05,1.331820e-05,1.349858e-05,1.359638e-05,1.384462e-05,1.385458e-05,1.409364e-05,1.415726e-05,1.431444e-05,1.443854e-05,1.451790e-05,1.469052e-05,1.470490e-05,1.487634e-05,1.491527e-05,1.503309e-05,1.511476e-05,1.517599e-05,1.529093e-05,1.530586e-05,1.542348e-05,1.544561e-05,1.552962e-05,1.558051e-05,1.562499e-05,1.569727e-05,1.571027e-05,1.578610e-05,1.579740e-05,1.585311e-05,1.588230e-05,1.591186e-05,1.595328e-05,1.596289e-05,1.600674e-05,1.601154e-05,1.604386e-05,1.605819e-05,1.607473e-05,1.609426e-05,1.609975e-05,1.611934e-05,1.612068e-05,1.613386e-05,1.613833e-05,1.614367e-05,1.614800e-05,1.614909e-05,1.615043e-05,1.615040e-05,1.614798e-05,1.614622e-05,1.614201e-05,1.613606e-05,1.613276e-05,1.612049e-05,1.610540e-05,1.610001e-05,1.608770e-05,1.607510e-05,1.606759e-05,1.604619e-05,1.604525e-05,1.602085e-05,1.601367e-05,1.599455e-05,1.597792e-05,1.596650e-05,1.593926e-05,1.593683e-05,1.590568e-05,1.589799e-05,1.587317e-05,1.585441e-05,1.583941e-05,1.580876e-05,1.580451e-05,1.576858e-05,1.576127e-05,1.573170e-05,1.571218e-05,1.569396e-05,1.566167e-05,1.565546e-05,1.561626e-05,1.560993e-05,1.557643e-05,1.555712e-05,1.553606e-05,1.550340e-05,1.549519e-05,1.545389e-05,1.544891e-05,1.541221e-05,1.539377e-05,1.537022e-05,1.533812e-05,1.532795e-05,1.528546e-05,1.528205e-05,1.524278e-05,1.522567e-05,1.519996e-05,1.516906e-05,1.515703e-05,1.511404e-05,1.511232e-05,1.507101e-05,1.505552e-05,1.502798e-05,1.499872e-05,1.498496e-05,1.494201e-05,1.488542e-05,1.482903e-05,1.477287e-05,1.471699e-05,1.466144e-05,1.460625e-05,1.455146e-05,1.449709e-05,1.444318e-05,1.438975e-05,1.433682e-05,1.428441e-05,1.423254e-05,1.418123e-05,1.413049e-05,1.408034e-05,1.403078e-05,1.398183e-05,1.393349e-05,1.388577e-05,1.383868e-05,1.379222e-05,1.374639e-05,1.370120e-05
0.000000e+00,9.350614e-10,2.307469e-09,8.582350e-09,2.023491e-08,2.989871e-08,6.919310e-08,7.131180e-08,1.388039e-07,1.631486e-07,2.380003e-07,3.149680e-07,3.742397e-07,5.366529e-07,5.525827e-07,7.776483e-07,8.390547e-07,1.053098e-06,1.230141e-06,1.380773e-06,1.711957e-06,1.760142e-06,2.188753e-06,2.280094e-06,2.663231e-06,2.926876e-06,3.179918e-06,3.643811e-06,3.735059e-06,4.324776e-06,4.422073e-06,4.945037e-06,5.252387e-06,5.591654e-06,6.125038e-06,6.260329e-06,6.946709e-06,7.030059e-06,7.646470e-06,7.957509e-06,8.355385e-06,8.897778e-06,9.069396e-06,9.784675e-06,9.841844e-06,1.049767e-05,1.078148e-05,1.120512e-05,1.170940e-05,1.190410e-05,1.259203e-05,1.261929e-05,1.326665e-05,1.350587e-05,1.392601e-05,1.436483e-05,1.456850e-05,1.519277e-05,1.579774e-05,1.598712e-05,1.638260e-05,1.674605e-05,1.694671e-05,1.746835e-05,1.748966e-05,1.801120e-05,1.815338e-05,1.851122e-05,1.880091e-05,1.898975e-05,1.941113e-05,1.944692e-05,1.988295e-05,1.998449e-05,2.029815e-05,2.052169e-05,2.069287e-05,2.102362e-05,2.106754e-05,2.142261e-05,2.149131e-05,2.175857e-05,2.192589e-05,2.207594e-05,2.232855e-05,2.237525e-05,2.265704e-05,2.270054e-05,2.292187e-05,2.304313e-05,2.317030e-05,2.335760e-05,2.340288e-05,2.362016e-05,2.364523e-05,2.382270e-05,2.390729e-05,2.401104e-05,2.414501e-05,2.418571e-05,2.434724e-05,2.435961e-05,2.449614e-05,2.455227e-05,2.463291e-05,2.472415e-05,2.475805e-05,2.487202e-05,2.487636e-05,2.497531e-05,2.500996e-05,2.506835e-05,2.512600e-05,2.515160e-05,2.522546e-05,2.529036e-05,2.530931e-05,2.534670e-05,2.537844e-05,2.539486e-05,2.543375e-05,2.543522e-05,2.546813e-05,2.547606e-05,2.549394e-05,2.550617e-05,2.551300e-05,2.552484e-05,2.552562e-05,2.553212e-05,2.553280e-05,2.553280e-05,2.553075e-05,2.552795e-05,2.551933e-05,2.551785e-05,2.550277e-05,2.549918e-05,2.548296e-05,2.547088e-05,2.545869e-05,2.543501e-05,2.543017e-05,2.539766e-05,2.539210e-05,2.536136e-05,2.534266e-05,2.532149e-05,2.528716e-05,2.527825e-05,2.523184e-05,2.522607e-05,2.518245e-05,2.515982e-05,2.513026e-05,2.508882e-05,2.507543e-05,2.501813e-05,2.501345e-05,2.495853e-05,2.493407e-05,2.489677e-05,2.485105e-05,2.483300e-05,2.476735e-05,2.476469e-05,2.469997e-05,2.467531e-05,2.463098e-05,2.458320e-05,2.456049e-05,2.448864e-05,2.439187e-05,2.429314e-05,2.419269e-05,2.409072e-05,2.398743e-05,2.388302e-05,2.377767e-05,2.367153e-05,2.356477e-05,2.345753e-05,2.334995e-05,2.324216e-05,2.313427e-05,2.302639e-05,2.291863e-05,2.281109e-05,2.270385e-05,2.259700e-05,2.249061e-05,2.238476e-05,2.227951e-05,2.217492e-05,2.207104e-05,2.196793e-05
0.000000e+00,8.841996e-10,2.794321e-09,1.349004e-08,3.577358e-08,5.517350e-08,1.378114e-07,1.423818e-07,2.921560e-07,3.478699e-07,5.238300e-07,7.109973e-07,8.585235e-07,1.271504e-06,1.312293e-06,1.883072e-06,2.035208e-06,2.548244e-06,2.951186e-06,3.279354e-06,3.958819e-06,4.053369e-06,4.853648e-06,5.015701e-06,5.667621e-06,6.092824e-06,6.485008e-06,7.167739e-06,7.296953e-06,8.095727e-06,8.221850e-06,8.874683e-06,9.239871e-06,9.628277e-06,1.020989e-05,1.035209e-05,1.104281e-05,1.112336e-05,1.169816e-05,1.197492e-05,1.231677e-05,1.276198e-05,1.289810e-05,1.344227e-05,1.348422e-05,1.394995e-05,1.414304e-05,1.442221e-05,1.474107e-05,1.486042e-05,1.526614e-05,1.528172e-05,1.564110e-05,1.576889e-05,1.598706e-05,1.620666e-05,1.630581e-05,1.659912e-05,1.686871e-05,1.695025e-05,1.711624e-05,1.726381e-05,1.734327e-05,1.754332e-05,1.755130e-05,1.774170e-05,1.779203e-05,1.791579e-05,1.801291e-05,1.807476e-05,1.820864e-05,1.821975e-05,1.835178e-05,1.838165e-05,1.847181e-05,1.853412e-05,1.858073e-05,1.866802e-05,1.867933e-05,1.876838e-05,1.878511e-05,1.884856e-05,1.888696e-05,1.892050e-05,1.897500e-05,1.898479e-05,1.904197e-05,1.905049e-05,1.909252e-05,1.911457e-05,1.913691e-05,1.916828e-05,1.917557e-05,1.920887e-05,1.921252e-05,1.923718e-05,1.924814e-05,1.926083e-05,1.927588e-05,1.928013e-05,1.929537e-05,1.929643e-05,1.930682e-05,1.931038e-05,1.931471e-05,1.931832e-05,1.931928e-05,1.932074e-05,1.932073e-05,1.931929e-05,1.931809e-05,1.931511e-05,1.931081e-05,1.930839e-05,1.929927e-05,1.928792e-05,1.928384e-05,1.927447e-05,1.926482e-05,1.925905e-05,1.924253e-05,1.924180e-05,1.922283e-05,1.921722e-05,1.920224e-05,1.918916e-05,1.918014e-05,1.915857e-05,1.915664e-05,1.913181e-05,1.912567e-05,1.910575e-05,1.909065e-05,1.907854e-05,1.905371e-05,1.905026e-05,1.902097e-05,1.901500e-05,1.899075e-05,1.897469e-05,1.895967e-05,1.893293e-05,1.892778e-05,1.889514e-05,1.888985e-05,1.886181e-05,1.884558e-05,1.882784e-05,1.880023e-05,1.879327e-05,1.875817e-05,1.875392e-05,1.872257e-05,1.870676e-05,1.868651e-05,1.865882e-05,1.865003e-05,1.861318e-05,1.861022e-05,1.857599e-05,1.856102e-05,1.853849e-05,1.851131e-05,1.850071e-05,1.846269e-05,1.846117e-05,1.842446e-05,1.841065e-05,1.838605e-05,1.835983e-05,1.834747e-05,1.830876e-05,1.825751e-05,1.820611e-05,1.815463e-05,1.810310e-05,1.805158e-05,1.800009e-05,1.794868e-05,1.789738e-05,1.784623e-05,1.779526e-05,1.774448e-05,1.769394e-05,1.764365e-05,1.759364e-05,1.754392e-05,1.749453e-05,1.744547e-05,1.739676e-05,1.734842e-05,1.730046e-05,1.725290e-05,1.720574e-05,1.715900e-05,1.711269e-05
0.000000e+00,2.894499e-13,1.867941e-12,2.901767e-11,1.738136e-10,3.905807e-10,2.181564e-09,2.319188e-09,8.821210e-09,1.213944e-08,2.538104e-08,4.350310e-08,6.037410e-08,1.185926e-07,1.251956e-07,2.341799e-07,2.687471e-07,4.043404e-07,5.334281e-07,6.548264e-07,9.577789e-07,1.005883e-06,1.477215e-06,1.587492e-06,2.085988e-06,2.461326e-06,2.844986e-06,3.604054e-06,3.761370e-06,4.836240e-06,5.022690e-06,6.064920e-06,6.706640e-06,7.437726e-06,8.630686e-06,8.941026e-06,1.055832e-05,1.075919e-05,1.227125e-05,1.305028e-05,1.406052e-05,1.545938e-05,1.590657e-05,1.779020e-05,1.794196e-05,1.969299e-05,2.045554e-05,2.159761e-05,2.296107e-05,2.348813e-05,2.535010e-05,2.542380e-05,2.717073e-05,2.781384e-05,2.893888e-05,3.010636e-05,3.064510e-05,3.228158e-05,3.384207e-05,3.432456e-05,3.532182e-05,3.622488e-05,3.671747e-05,3.797617e-05,3.802687e-05,3.924903e-05,3.957557e-05,4.038389e-05,4.102322e-05,4.143228e-05,4.232172e-05,4.239572e-05,4.327631e-05,4.347560e-05,4.407664e-05,4.449087e-05,4.479969e-05,4.537461e-05,4.544870e-05,4.602710e-05,4.613462e-05,4.653846e-05,4.677908e-05,4.698642e-05,4.731637e-05,4.737462e-05,4.770668e-05,4.775484e-05,4.798616e-05,4.810265e-05,4.821652e-05,4.836771e-05,4.840112e-05,4.854320e-05,4.855754e-05,4.864583e-05,4.867927e-05,4.871199e-05,4.873960e-05,4.874447e-05,4.874592e-05,4.874477e-05,4.871886e-05,4.870059e-05,4.866565e-05,4.861239e-05,4.858850e-05,4.848949e-05,4.848510e-05,4.837056e-05,4.832322e-05,4.823353e-05,4.813089e-05,4.808011e-05,4.791186e-05,4.773027e-05,4.766956e-05,4.753669e-05,4.740710e-05,4.733239e-05,4.712728e-05,4.711856e-05,4.689628e-05,4.683267e-05,4.666657e-05,4.652557e-05,4.643036e-05,4.620804e-05,4.618851e-05,4.594182e-05,4.588198e-05,4.569103e-05,4.554905e-05,4.543682e-05,4.521078e-05,4.517981e-05,4.492058e-05,4.486851e-05,4.465966e-05,4.452347e-05,4.439753e-05,4.417674e-05,4.413464e-05,4.387140e-05,4.382928e-05,4.360819e-05,4.348196e-05,4.334534e-05,4.313553e-05,4.308317e-05,4.282195e-05,4.279068e-05,4.256196e-05,4.244801e-05,4.230342e-05,4.210803e-05,4.204654e-05,4.179152e-05,4.177121e-05,4.153854e-05,4.143795e-05,4.128774e-05,4.110860e-05,4.103927e-05,4.079324e-05,4.078345e-05,4.054978e-05,4.046278e-05,4.030898e-05,4.014679e-05,4.007092e-05,3.983567e-05,3.952958e-05,3.922862e-05,3.893291e-05,3.864252e-05,3.835751e-05,3.807790e-05,3.780373e-05,3.753499e-05,3.727168e-05,3.701378e-05,3.676126e-05,3.651408e-05,3.627221e-05,3.603557e-05,3.580412e-05,3.557779e-05,3.535651e-05,3.514021e-05,3.492881e-05,3.472224e-05,3.452041e-05,3.432324e-05,3.413064e-05,3.394254e-05
0.000000e+00,4.362698e-09,1.033370e-08,3.675305e-08,8.487304e-08,1.245449e-07,2.862440e-07,2.950149e-07,5.784984e-07,6.828675e-07,1.010991e-06,1.359285e-06,1.634355e-06,2.412846e-06,2.490747e-06,3.607095e-06,3.913633e-06,4.974336e-06,5.832443e-06,6.543681e-06,8.039649e-06,8.249480e-06,1.003339e-05,1.039549e-05,1.185222e-05,1.280131e-05,1.367551e-05,1.519436e-05,1.548140e-05,1.725344e-05,1.753293e-05,1.897883e-05,1.978741e-05,2.064750e-05,2.193621e-05,2.225153e-05,2.378494e-05,2.396398e-05,2.524340e-05,2.586060e-05,2.662409e-05,2.762043e-05,2.792550e-05,2.914724e-05,2.924155e-05,3.028986e-05,3.072502e-05,3.135466e-05,3.207419e-05,3.234357e-05,3.325900e-05,3.329413e-05,3.410362e-05,3.439092e-05,3.488041e-05,3.537148e-05,3.559249e-05,3.624301e-05,3.683516e-05,3.701284e-05,3.737211e-05,3.768824e-05,3.785699e-05,3.827631e-05,3.829284e-05,3.868259e-05,3.878385e-05,3.902908e-05,3.921736e-05,3.933507e-05,3.958303e-05,3.960314e-05,3.983577e-05,3.988658e-05,4.003528e-05,4.013338e-05,4.020390e-05,4.032838e-05,4.034371e-05,4.045669e-05,4.047624e-05,4.054472e-05,4.058122e-05,4.060954e-05,4.064727e-05,4.065281e-05,4.067608e-05,4.067804e-05,4.068080e-05,4.067688e-05,4.066834e-05,4.064688e-05,4.064000e-05,4.059697e-05,4.059087e-05,4.054037e-05,4.051145e-05,4.047128e-05,4.041102e-05,4.039068e-05,4.029950e-05,4.029177e-05,4.019860e-05,4.015571e-05,4.008881e-05,4.000467e-05,3.997087e-05,3.984550e-05,3.984034e-05,3.971337e-05,3.966426e-05,3.957509e-05,3.947785e-05,3.943125e-05,3.928239e-05,3.912901e-05,3.907905e-05,3.897159e-05,3.886892e-05,3.881056e-05,3.865297e-05,3.864634e-05,3.847932e-05,3.843210e-05,3.830985e-05,3.820713e-05,3.813826e-05,3.797879e-05,3.796486e-05,3.778994e-05,3.774777e-05,3.761378e-05,3.751467e-05,3.743661e-05,3.728007e-05,3.725868e-05,3.708020e-05,3.704446e-05,3.690137e-05,3.680830e-05,3.672237e-05,3.657201e-05,3.654338e-05,3.636456e-05,3.633598e-05,3.618606e-05,3.610053e-05,3.600801e-05,3.586599e-05,3.583055e-05,3.565378e-05,3.563261e-05,3.547781e-05,3.540066e-05,3.530274e-05,3.517036e-05,3.512868e-05,3.495568e-05,3.494189e-05,3.478385e-05,3.471545e-05,3.461323e-05,3.449118e-05,3.444391e-05,3.427592e-05,3.426923e-05,3.410934e-05,3.404972e-05,3.394421e-05,3.383276e-05,3.378056e-05,3.361844e-05,3.340684e-05,3.319803e-05,3.299207e-05,3.278900e-05,3.258887e-05,3.239172e-05,3.219755e-05,3.200639e-05,3.181826e-05,3.163316e-05,3.145108e-05,3.127203e-05,3.109599e-05,3.092296e-05,3.075291e-05,3.058584e-05,3.042172e-05,3.026052e-05,3.010222e-05,2.994679e-05,2.979421e-05,2.964444e-05,2.949744e-05,2.935319e-05
0.000000e+00,1.343270e-11,7.478964e-11,8.652299e-10,4.017488e-09,7.895883e-09,3.181528e-08,3.339605e-08,9.457484e-08,1.206984e-07,2.106400e-07,3.147676e-07,4.011551e-07,6.588804e-07,6.855385e-07,1.082844e-06,1.197020e-06,1.610706e-06,1.968654e-06,2.282669e-06,2.998403e-06,3.105035e-06,4.075930e-06,4.287297e-06,5.187280e-06,5.816984e-06,6.427734e-06,7.560319e-06,7.784744e-06,9.245436e-06,9.487900e-06,1.079677e-05,1.156973e-05,1.242550e-05,1.377514e-05,1.411812e-05,1.586099e-05,1.607286e-05,1.764052e-05,1.843169e-05,1.944342e-05,2.082135e-05,2.125690e-05,2.306894e-05,2.321350e-05,2.486845e-05,2.558247e-05,2.664541e-05,2.790582e-05,2.839092e-05,3.009727e-05,3.016462e-05,3.175792e-05,3.234349e-05,3.336744e-05,3.443045e-05,3.492149e-05,3.641668e-05,3.785054e-05,3.829612e-05,3.922137e-05,4.006515e-05,4.052820e-05,4.172216e-05,4.177062e-05,4.294878e-05,4.326722e-05,4.406324e-05,4.470171e-05,4.511492e-05,4.602806e-05,4.610504e-05,4.703505e-05,4.724949e-05,4.790659e-05,4.836977e-05,4.872144e-05,4.939310e-05,4.948147e-05,5.018863e-05,5.032389e-05,5.084491e-05,5.116674e-05,5.145233e-05,5.192627e-05,5.201290e-05,5.252862e-05,5.260711e-05,5.300148e-05,5.321379e-05,5.343341e-05,5.375077e-05,5.382632e-05,5.418207e-05,5.422235e-05,5.450245e-05,5.463267e-05,5.478922e-05,5.498573e-05,5.504407e-05,5.526862e-05,5.528533e-05,5.546447e-05,5.553511e-05,5.563312e-05,5.573852e-05,5.577602e-05,5.589458e-05,5.589884e-05,5.599014e-05,5.601916e-05,5.606399e-05,5.610242e-05,5.611734e-05,5.615138e-05,5.616724e-05,5.616865e-05,5.616598e-05,5.615667e-05,5.614863e-05,5.611775e-05,5.611618e-05,5.606954e-05,5.605407e-05,5.600962e-05,5.596764e-05,5.593725e-05,5.586038e-05,5.585325e-05,5.575838e-05,5.573408e-05,5.565337e-05,5.559040e-05,5.553892e-05,5.543092e-05,5.541569e-05,5.528429e-05,5.525709e-05,5.514534e-05,5.507028e-05,5.499939e-05,5.487177e-05,5.484697e-05,5.468861e-05,5.466275e-05,5.452478e-05,5.444434e-05,5.435594e-05,5.421755e-05,5.418252e-05,5.400494e-05,5.398336e-05,5.382357e-05,5.374267e-05,5.363880e-05,5.349630e-05,5.345096e-05,5.326039e-05,5.324504e-05,5.306740e-05,5.298959e-05,5.287228e-05,5.273064e-05,5.267531e-05,5.247675e-05,5.246878e-05,5.227685e-05,5.220460e-05,5.207584e-05,5.193863e-05,5.187394e-05,5.167135e-05,5.140321e-05,5.113463e-05,5.086599e-05,5.059765e-05,5.032992e-05,5.006310e-05,4.979747e-05,4.953326e-05,4.927071e-05,4.901002e-05,4.875138e-05,4.849495e-05,4.824089e-05,4.798932e-05,4.774039e-05,4.749418e-05,4.725081e-05,4.701034e-05,4.677287e-05,4.653844e-05,4.630712e-05,4.607895e-05,4.585396e-05,4.563220e-05
0.000000e+00,3.521024e-11,1.851433e-10,1.922608e-09,8.190848e-09,1.542989e-08,5.656537e-08,5.917370e-08,1.556801e-07,1.953269e-07,3.282421e-07,4.780329e-07,6.003292e-07,9.590956e-07,9.958487e-07,1.538734e-06,1.693449e-06,2.250336e-06,2.727951e-06,3.143753e-06,4.079735e-06,4.217714e-06,5.455592e-06,5.720601e-06,6.831045e-06,7.591050e-06,8.315321e-06,9.626615e-06,9.881772e-06,1.150721e-05,1.177137e-05,1.317152e-05,1.397894e-05,1.485706e-05,1.621018e-05,1.654815e-05,1.823085e-05,1.843161e-05,1.989286e-05,2.061479e-05,2.152354e-05,2.273631e-05,2.311389e-05,2.465652e-05,2.477768e-05,2.614553e-05,2.672508e-05,2.757648e-05,2.856897e-05,2.894617e-05,3.025255e-05,3.030346e-05,3.149452e-05,3.192578e-05,3.267178e-05,3.343552e-05,3.378471e-05,3.483424e-05,3.582172e-05,3.612487e-05,3.674882e-05,3.731136e-05,3.761747e-05,3.839834e-05,3.842978e-05,3.918794e-05,3.939084e-05,3.989426e-05,4.029412e-05,4.055103e-05,4.111350e-05,4.116058e-05,4.172519e-05,4.185426e-05,4.224710e-05,4.252153e-05,4.272849e-05,4.312026e-05,4.317146e-05,4.357805e-05,4.365517e-05,4.395023e-05,4.413078e-05,4.428987e-05,4.455134e-05,4.459877e-05,4.487863e-05,4.492082e-05,4.513108e-05,4.524298e-05,4.535768e-05,4.552136e-05,4.555992e-05,4.573920e-05,4.575923e-05,4.589684e-05,4.595968e-05,4.603411e-05,4.612556e-05,4.615221e-05,4.625227e-05,4.625953e-05,4.633538e-05,4.636410e-05,4.640253e-05,4.644155e-05,4.645470e-05,4.649280e-05,4.649404e-05,4.651768e-05,4.652356e-05,4.653016e-05,4.653196e-05,4.653101e-05,4.652096e-05,4.650070e-05,4.649216e-05,4.647087e-05,4.644704e-05,4.643208e-05,4.638697e-05,4.638493e-05,4.632994e-05,4.631322e-05,4.626766e-05,4.622698e-05,4.619855e-05,4.612935e-05,4.612309e-05,4.604170e-05,4.602134e-05,4.595482e-05,4.590390e-05,4.586281e-05,4.577790e-05,4.576605e-05,4.566489e-05,4.564415e-05,4.555965e-05,4.550342e-05,4.545064e-05,4.535639e-05,4.533817e-05,4.522249e-05,4.520371e-05,4.510389e-05,4.504598e-05,4.498259e-05,4.488377e-05,4.485883e-05,4.473284e-05,4.471758e-05,4.460481e-05,4.454789e-05,4.447495e-05,4.437515e-05,4.434344e-05,4.421046e-05,4.419976e-05,4.407616e-05,4.402211e-05,4.394071e-05,4.384255e-05,4.380425e-05,4.366692e-05,4.366141e-05,4.352885e-05,4.347898e-05,4.339016e-05,4.329555e-05,4.325096e-05,4.311138e-05,4.292670e-05,4.274173e-05,4.255669e-05,4.237174e-05,4.218708e-05,4.200286e-05,4.181922e-05,4.163631e-05,4.145424e-05,4.127314e-05,4.109309e-05,4.091422e-05,4.073659e-05,4.056028e-05,4.038538e-05,4.021195e-05,4.004005e-05,3.986972e-05,3.970102e-05,3.953400e-05,3.936869e-05,3.920512e-05,3.904332e-05,3.888333e-05
0.000000e+00,1.571849e-14,1.031491e-13,1.659314e-12,1.026295e-11,2.347341e-11,1.372611e-10,1.461933e-10,5.820243e-10,8.109544e-10,1.749116e-09,3.074104e-09,4.336325e-09,8.831491e-09,9.351788e-09,1.815459e-08,2.101465e-08,3.246805e-08,4.365022e-08,5.436466e-08,8.177538e-08,8.620390e-08,1.305096e-07,1.410903e-07,1.897962e-07,2.273266e-07,2.663761e-07,3.454972e-07,3.621841e-07,4.786448e-07,4.992596e-07,6.165960e-07,6.905354e-07,7.762637e-07,9.194059e-07,9.572809e-07,1.158738e-06,1.184225e-06,1.379251e-06,1.481868e-06,1.617045e-06,1.808053e-06,1.870036e-06,2.135912e-06,2.157665e-06,2.412213e-06,2.525085e-06,2.696400e-06,2.904462e-06,2.985918e-06,3.278256e-06,3.289974e-06,3.570989e-06,3.676022e-06,3.861821e-06,4.057405e-06,4.148619e-06,4.429437e-06,4.702533e-06,4.788037e-06,4.966381e-06,5.129781e-06,5.219680e-06,5.451917e-06,5.461349e-06,5.690526e-06,5.752364e-06,5.906559e-06,6.029673e-06,6.108993e-06,6.282985e-06,6.297556e-06,6.472143e-06,6.511966e-06,6.632798e-06,6.716740e-06,6.779697e-06,6.897816e-06,6.913128e-06,7.033475e-06,7.056013e-06,7.141197e-06,7.192396e-06,7.236819e-06,7.308205e-06,7.320909e-06,7.394071e-06,7.404804e-06,7.456928e-06,7.483625e-06,7.510115e-06,7.546129e-06,7.554267e-06,7.590014e-06,7.593769e-06,7.617973e-06,7.627962e-06,7.638741e-06,7.650071e-06,7.652895e-06,7.660985e-06,7.661386e-06,7.663534e-06,7.663114e-06,7.661037e-06,7.656377e-06,7.653959e-06,7.642733e-06,7.642204e-06,7.627766e-06,7.621535e-06,7.609433e-06,7.595223e-06,7.588082e-06,7.564034e-06,7.537584e-06,7.528658e-06,7.509003e-06,7.489707e-06,7.478537e-06,7.447729e-06,7.446415e-06,7.412842e-06,7.403208e-06,7.378008e-06,7.356573e-06,7.342081e-06,7.308199e-06,7.305219e-06,7.267561e-06,7.258419e-06,7.229235e-06,7.207524e-06,7.190357e-06,7.155769e-06,7.151030e-06,7.111349e-06,7.103378e-06,7.071399e-06,7.050544e-06,7.031256e-06,6.997439e-06,6.990991e-06,6.950664e-06,6.944210e-06,6.910333e-06,6.890988e-06,6.870049e-06,6.837885e-06,6.829856e-06,6.789796e-06,6.785000e-06,6.749906e-06,6.732417e-06,6.710219e-06,6.680211e-06,6.670765e-06,6.631569e-06,6.628445e-06,6.592656e-06,6.577175e-06,6.554047e-06,6.526446e-06,6.515759e-06,6.477811e-06,6.476301e-06,6.440216e-06,6.426771e-06,6.402988e-06,6.377889e-06,6.366139e-06,6.329677e-06,6.282156e-06,6.235343e-06,6.189252e-06,6.143892e-06,6.099273e-06,6.055400e-06,6.012276e-06,5.969904e-06,5.928283e-06,5.887413e-06,5.847292e-06,5.807915e-06,5.769279e-06,5.731378e-06,5.694205e-06,5.657754e-06,5.622017e-06,5.586986e-06,5.552653e-06,5.519008e-06,5.486043e-06,5.453748e-06,5.422113e-06,5.391128e-06
0.000000e+00,4.741523e-10,1.774337e-09,1.064028e-08,3.160517e-08,5.092134e-08,1.373717e-07,1.422577e-07,3.046299e-07,3.655116e-07,5.578325e-07,7.617547e-07,9.221190e-07,1.372986e-06,1.417954e-06,2.063487e-06,2.242091e-06,2.869078e-06,3.389845e-06,3.832624e-06,4.801209e-06,4.941366e-06,6.178081e-06,6.439241e-06,7.525509e-06,8.264541e-06,8.967560e-06,1.024091e-05,1.048909e-05,1.207550e-05,1.233439e-05,1.371251e-05,1.451215e-05,1.538620e-05,1.674250e-05,1.708313e-05,1.879059e-05,1.899562e-05,2.049673e-05,2.124420e-05,2.219079e-05,2.346425e-05,2.386318e-05,2.550554e-05,2.563541e-05,2.711074e-05,2.774106e-05,2.867288e-05,2.976824e-05,3.018719e-05,3.164994e-05,3.170734e-05,3.305837e-05,3.355171e-05,3.441055e-05,3.529725e-05,3.570527e-05,3.694196e-05,3.812057e-05,3.848551e-05,3.924149e-05,3.992895e-05,4.030548e-05,4.127430e-05,4.131356e-05,4.226700e-05,4.252437e-05,4.316723e-05,4.368247e-05,4.401580e-05,4.475229e-05,4.481437e-05,4.556465e-05,4.573773e-05,4.626839e-05,4.664280e-05,4.692734e-05,4.747157e-05,4.754326e-05,4.811791e-05,4.822804e-05,4.865300e-05,4.891617e-05,4.915021e-05,4.953980e-05,4.961119e-05,5.003755e-05,5.010266e-05,5.043084e-05,5.060831e-05,5.079256e-05,5.106020e-05,5.112418e-05,5.142710e-05,5.146158e-05,5.170267e-05,5.181560e-05,5.195220e-05,5.212519e-05,5.217694e-05,5.237808e-05,5.239319e-05,5.255680e-05,5.262225e-05,5.271418e-05,5.281489e-05,5.285130e-05,5.296916e-05,5.297349e-05,5.306874e-05,5.310030e-05,5.315097e-05,5.319743e-05,5.321674e-05,5.326689e-05,5.330224e-05,5.331056e-05,5.332357e-05,5.333021e-05,5.333162e-05,5.332750e-05,5.332709e-05,5.331066e-05,5.330401e-05,5.328297e-05,5.326122e-05,5.324465e-05,5.320050e-05,5.319627e-05,5.313841e-05,5.312316e-05,5.307158e-05,5.303044e-05,5.299631e-05,5.292347e-05,5.291308e-05,5.282234e-05,5.280334e-05,5.272455e-05,5.267106e-05,5.262013e-05,5.252758e-05,5.250947e-05,5.239296e-05,5.237380e-05,5.227095e-05,5.221055e-05,5.214381e-05,5.203862e-05,5.201186e-05,5.187540e-05,5.185874e-05,5.173476e-05,5.167162e-05,5.159020e-05,5.147788e-05,5.144200e-05,5.129042e-05,5.127815e-05,5.113570e-05,5.107299e-05,5.097809e-05,5.086294e-05,5.081780e-05,5.065504e-05,5.064848e-05,5.049002e-05,5.043009e-05,5.032293e-05,5.020822e-05,5.015395e-05,4.998326e-05,4.975559e-05,4.952559e-05,4.929358e-05,4.905988e-05,4.882477e-05,4.858854e-05,4.835143e-05,4.811370e-05,4.787555e-05,4.763719e-05,4.739882e-05,4.716063e-05,4.692276e-05,4.668539e-05,4.644865e-05,4.621268e-05,4.597760e-05,4.574353e-05,4.551058e-05,4.527884e-05,4.504840e-05,4.481935e-05,4.459176e-05,4.436571e-05
0.000000e+00,1.438509e-09,3.452222e-09,1.241211e-08,2.868549e-08,4.200789e-08,9.534577e-08,9.819553e-08,1.881126e-07,2.202397e-07,3.183404e-07,4.184317e-07,4.951148e-07,7.039534e-07,7.243531e-07,1.011223e-06,1.089064e-06,1.358853e-06,1.579968e-06,1.766442e-06,2.170498e-06,2.228572e-06,2.737002e-06,2.843474e-06,3.283117e-06,3.579366e-06,3.859130e-06,4.361037e-06,4.458169e-06,5.074035e-06,5.173746e-06,5.700985e-06,6.004263e-06,6.333630e-06,6.840435e-06,6.966911e-06,7.596136e-06,7.671163e-06,8.217018e-06,8.486557e-06,8.825723e-06,9.278118e-06,9.418905e-06,9.993727e-06,1.003885e-05,1.054785e-05,1.076328e-05,1.107944e-05,1.144744e-05,1.158712e-05,1.206994e-05,1.208873e-05,1.252735e-05,1.268574e-05,1.295912e-05,1.323811e-05,1.336533e-05,1.374630e-05,1.410256e-05,1.421145e-05,1.443480e-05,1.463519e-05,1.474382e-05,1.501949e-05,1.503054e-05,1.529594e-05,1.536656e-05,1.554102e-05,1.567876e-05,1.576684e-05,1.595847e-05,1.597443e-05,1.616483e-05,1.620808e-05,1.633906e-05,1.642993e-05,1.649810e-05,1.662626e-05,1.664292e-05,1.677442e-05,1.679920e-05,1.689348e-05,1.695076e-05,1.700094e-05,1.708282e-05,1.709759e-05,1.718416e-05,1.719713e-05,1.726136e-05,1.729529e-05,1.732985e-05,1.737879e-05,1.739024e-05,1.744312e-05,1.744899e-05,1.748903e-05,1.750715e-05,1.752846e-05,1.755439e-05,1.756190e-05,1.758977e-05,1.759177e-05,1.761249e-05,1.762022e-05,1.763043e-05,1.764060e-05,1.764396e-05,1.765340e-05,1.765370e-05,1.765906e-05,1.766022e-05,1.766121e-05,1.766081e-05,1.766013e-05,1.765606e-05,1.764923e-05,1.764649e-05,1.763985e-05,1.763260e-05,1.762812e-05,1.761482e-05,1.761423e-05,1.759834e-05,1.759355e-05,1.758061e-05,1.756916e-05,1.756120e-05,1.754197e-05,1.754024e-05,1.751785e-05,1.751228e-05,1.749417e-05,1.748038e-05,1.746930e-05,1.744651e-05,1.744334e-05,1.741640e-05,1.741090e-05,1.738856e-05,1.737376e-05,1.735991e-05,1.733527e-05,1.733052e-05,1.730048e-05,1.729561e-05,1.726984e-05,1.725495e-05,1.723868e-05,1.721342e-05,1.720706e-05,1.717502e-05,1.717115e-05,1.714263e-05,1.712828e-05,1.710993e-05,1.708490e-05,1.707697e-05,1.704379e-05,1.704112e-05,1.701042e-05,1.699704e-05,1.697692e-05,1.695273e-05,1.694331e-05,1.690963e-05,1.690828e-05,1.687590e-05,1.686375e-05,1.684215e-05,1.681921e-05,1.680842e-05,1.677473e-05,1.673034e-05,1.668611e-05,1.664208e-05,1.659829e-05,1.655477e-05,1.651156e-05,1.646869e-05,1.642618e-05,1.638407e-05,1.634237e-05,1.630111e-05,1.626030e-05,1.621996e-05,1.618011e-05,1.614074e-05,1.610189e-05,1.606355e-05,1.602573e-05,1.598845e-05,1.595170e-05,1.591549e-05,1.587982e-05,1.584471e-05,1.581014e-05
0.000000e+00,1.129646e-11,6.236869e-11,7.098991e-10,3.252159e-09,6.347887e-09,2.516341e-08,2.639713e-08,7.366923e-08,9.366013e-08,1.619102e-07,2.400865e-07,3.044069e-07,4.939905e-07,5.134291e-07,8.000396e-07,8.814820e-07,1.173952e-06,1.424565e-06,1.643234e-06,2.139803e-06,2.213732e-06,2.888180e-06,3.035506e-06,3.665248e-06,4.108103e-06,4.539059e-06,5.340615e-06,5.499632e-06,6.534163e-06,6.705615e-06,7.628570e-06,8.170996e-06,8.768773e-06,9.704916e-06,9.941444e-06,1.113436e-05,1.127834e-05,1.233654e-05,1.286586e-05,1.353819e-05,1.444576e-05,1.473072e-05,1.590667e-05,1.599983e-05,1.705966e-05,1.751319e-05,1.818433e-05,1.897407e-05,1.927631e-05,2.033208e-05,2.037352e-05,2.134895e-05,2.170510e-05,2.232494e-05,2.296456e-05,2.325871e-05,2.414947e-05,2.499688e-05,2.525890e-05,2.580100e-05,2.629309e-05,2.656223e-05,2.725325e-05,2.728121e-05,2.795881e-05,2.814126e-05,2.859607e-05,2.895953e-05,2.919412e-05,2.971080e-05,2.975424e-05,3.027773e-05,3.039807e-05,3.076595e-05,3.102446e-05,3.122029e-05,3.159317e-05,3.164213e-05,3.203286e-05,3.210739e-05,3.239385e-05,3.257027e-05,3.272646e-05,3.298489e-05,3.303201e-05,3.331178e-05,3.335423e-05,3.356702e-05,3.368117e-05,3.379894e-05,3.396848e-05,3.400872e-05,3.419749e-05,3.421879e-05,3.436635e-05,3.443461e-05,3.451634e-05,3.461832e-05,3.464846e-05,3.476367e-05,3.477219e-05,3.486292e-05,3.489834e-05,3.494707e-05,3.499880e-05,3.501699e-05,3.507347e-05,3.507546e-05,3.511729e-05,3.513010e-05,3.514918e-05,3.516442e-05,3.516986e-05,3.517999e-05,3.518021e-05,3.517829e-05,3.517113e-05,3.516071e-05,3.515333e-05,3.512855e-05,3.512736e-05,3.509375e-05,3.508304e-05,3.505299e-05,3.502531e-05,3.500557e-05,3.495643e-05,3.495192e-05,3.489248e-05,3.487740e-05,3.482765e-05,3.478914e-05,3.475783e-05,3.469253e-05,3.468336e-05,3.460461e-05,3.458838e-05,3.452190e-05,3.447743e-05,3.443554e-05,3.436039e-05,3.434582e-05,3.425304e-05,3.423792e-05,3.415744e-05,3.411063e-05,3.405928e-05,3.397907e-05,3.395880e-05,3.385622e-05,3.384377e-05,3.375175e-05,3.370523e-05,3.364559e-05,3.356389e-05,3.353793e-05,3.342895e-05,3.342018e-05,3.331882e-05,3.327447e-05,3.320769e-05,3.312714e-05,3.309571e-05,3.298303e-05,3.297851e-05,3.286977e-05,3.282888e-05,3.275606e-05,3.267855e-05,3.264202e-05,3.252776e-05,3.237677e-05,3.222580e-05,3.207503e-05,3.192467e-05,3.177488e-05,3.162581e-05,3.147761e-05,3.133041e-05,3.118431e-05,3.103944e-05,3.089588e-05,3.075372e-05,3.061303e-05,3.047389e-05,3.033636e-05,3.020048e-05,3.006632e-05,2.993390e-05,2.980326e-05,2.967444e-05,2.954745e-05,2.942233e-05,2.929908e-05,2.917772e-05
0.000000e+00,8.504225e-14,5.723731e-13,9.708160e-12,6.305098e-11,1.481676e-10,9.300206e-10,9.934286e-10,4.249234e-09,6.038683e-09,1.369399e-08,2.507597e-08,3.634040e-08,7.866603e-08,8.373690e-08,1.733217e-07,2.036641e-07,3.296515e-07,4.581301e-07,5.852342e-07,9.243603e-07,9.807434e-07,1.564554e-06,1.708654e-06,2.391704e-06,2.937831e-06,3.522450e-06,4.753500e-06,5.020582e-06,6.951658e-06,7.305204e-06,9.381242e-06,1.074338e-05,1.237323e-05,1.521266e-05,1.598829e-05,2.028249e-05,2.084588e-05,2.530604e-05,2.775890e-05,3.110228e-05,3.604638e-05,3.770677e-05,4.514662e-05,4.577851e-05,5.344001e-05,5.699866e-05,6.259583e-05,6.972212e-05,7.261358e-05,8.348342e-05,8.393570e-05,9.518636e-05,9.959828e-05,1.076947e-04,1.166423e-04,1.209723e-04,1.349757e-04,1.496544e-04,1.544851e-04,1.649519e-04,1.750388e-04,1.808066e-04,1.964904e-04,1.971528e-04,2.139215e-04,2.186828e-04,2.310414e-04,2.414517e-04,2.484399e-04,2.646299e-04,2.660440e-04,2.837812e-04,2.880500e-04,3.015801e-04,3.115484e-04,3.193711e-04,3.349675e-04,3.370873e-04,3.546648e-04,3.581582e-04,3.720432e-04,3.809823e-04,3.891659e-04,4.033132e-04,4.059808e-04,4.224399e-04,4.250373e-04,4.384997e-04,4.460550e-04,4.541214e-04,4.662802e-04,4.692708e-04,4.839181e-04,4.856408e-04,4.980381e-04,5.040783e-04,5.116097e-04,5.215469e-04,5.246161e-04,5.370441e-04,5.380130e-04,5.488844e-04,5.534546e-04,5.601313e-04,5.678599e-04,5.707820e-04,5.808366e-04,5.812265e-04,5.902981e-04,5.935600e-04,5.991718e-04,6.048738e-04,6.074650e-04,6.151871e-04,6.223493e-04,6.245249e-04,6.289639e-04,6.329162e-04,6.350447e-04,6.403939e-04,6.406066e-04,6.456651e-04,6.469935e-04,6.502366e-04,6.527528e-04,6.543380e-04,6.577110e-04,6.579866e-04,6.611998e-04,6.619082e-04,6.639954e-04,6.653851e-04,6.663911e-04,6.681825e-04,6.684045e-04,6.700532e-04,6.703406e-04,6.713544e-04,6.718994e-04,6.723253e-04,6.728977e-04,6.729825e-04,6.733425e-04,6.733736e-04,6.734212e-04,6.733636e-04,6.732341e-04,6.729033e-04,6.727964e-04,6.721226e-04,6.720265e-04,6.712268e-04,6.707658e-04,6.701226e-04,6.691521e-04,6.688231e-04,6.673410e-04,6.672149e-04,6.656883e-04,6.649820e-04,6.638766e-04,6.624800e-04,6.619171e-04,6.598203e-04,6.597337e-04,6.575964e-04,6.567666e-04,6.552552e-04,6.536007e-04,6.528057e-04,6.502567e-04,6.467539e-04,6.431103e-04,6.393427e-04,6.354670e-04,6.314976e-04,6.274481e-04,6.233311e-04,6.191581e-04,6.149400e-04,6.106865e-04,6.064070e-04,6.021097e-04,5.978023e-04,5.934920e-04,5.891853e-04,5.848879e-04,5.806055e-04,5.763427e-04,5.721042e-04,5.678938e-04,5.637153e-04,5.595719e-04,5.554665e-04,5.514018e-04
0.000000e+00,8.750385e-12,4.950569e-11,5.910024e-10,2.818334e-09,5.616777e-09,2.341770e-08,2.461430e-08,7.199124e-08,9.268096e-08,1.653725e-07,2.517494e-07,3.248916e-07,5.497310e-07,5.734944e-07,9.374133e-07,1.045088e-06,1.445367e-06,1.803202e-06,2.124794e-06,2.880312e-06,2.995170e-06,4.062114e-06,4.298520e-06,5.316672e-06,6.037084e-06,6.739770e-06,8.048437e-06,8.308179e-06,9.998931e-06,1.027938e-05,1.179132e-05,1.268236e-05,1.366725e-05,1.521741e-05,1.561083e-05,1.760778e-05,1.785037e-05,1.964499e-05,2.055094e-05,2.171021e-05,2.329142e-05,2.379195e-05,2.587945e-05,2.604640e-05,2.796274e-05,2.879279e-05,3.003265e-05,3.151002e-05,3.208090e-05,3.410008e-05,3.418015e-05,3.608372e-05,3.678803e-05,3.802623e-05,3.932119e-05,3.992287e-05,4.176974e-05,4.356368e-05,4.412615e-05,4.530224e-05,4.638497e-05,4.698356e-05,4.854260e-05,4.860638e-05,5.016990e-05,5.059700e-05,5.167374e-05,5.254738e-05,5.311790e-05,5.439407e-05,5.450268e-05,5.582864e-05,5.613820e-05,5.709656e-05,5.778159e-05,5.830739e-05,5.932657e-05,5.946223e-05,6.056230e-05,6.077585e-05,6.160889e-05,6.213244e-05,6.260338e-05,6.339952e-05,6.354718e-05,6.444176e-05,6.458042e-05,6.528858e-05,6.567853e-05,6.608914e-05,6.669728e-05,6.684492e-05,6.755740e-05,6.764006e-05,6.822805e-05,6.851026e-05,6.885832e-05,6.931121e-05,6.944965e-05,7.000342e-05,7.004614e-05,7.052102e-05,7.071824e-05,7.100379e-05,7.133056e-05,7.145305e-05,7.187008e-05,7.188611e-05,7.225614e-05,7.238777e-05,7.261243e-05,7.283831e-05,7.294014e-05,7.324041e-05,7.351437e-05,7.359665e-05,7.376309e-05,7.390951e-05,7.398762e-05,7.418135e-05,7.418897e-05,7.436813e-05,7.441444e-05,7.452604e-05,7.461098e-05,7.466363e-05,7.477303e-05,7.478178e-05,7.488136e-05,7.490258e-05,7.496318e-05,7.500155e-05,7.502805e-05,7.507173e-05,7.507675e-05,7.511001e-05,7.511487e-05,7.512856e-05,7.513262e-05,7.513309e-05,7.512654e-05,7.512426e-05,7.510272e-05,7.509813e-05,7.506909e-05,7.504883e-05,7.502396e-05,7.497997e-05,7.496791e-05,7.490150e-05,7.489286e-05,7.482525e-05,7.478872e-05,7.473968e-05,7.466871e-05,7.464527e-05,7.454251e-05,7.453394e-05,7.443184e-05,7.438546e-05,7.431370e-05,7.422426e-05,7.418852e-05,7.405670e-05,7.405129e-05,7.391862e-05,7.386745e-05,7.377465e-05,7.367358e-05,7.362516e-05,7.347048e-05,7.325893e-05,7.303963e-05,7.281326e-05,7.258048e-05,7.234190e-05,7.209808e-05,7.184956e-05,7.159687e-05,7.134049e-05,7.108086e-05,7.081842e-05,7.055359e-05,7.028672e-05,7.001819e-05,6.974833e-05,6.947745e-05,6.920586e-05,6.893383e-05,6.866162e-05,6.838948e-05,6.811763e-05,6.784629e-05,6.757566e-05,6.730591e-05
0.000000e+00,1.675252e-10,6.858417e-10,4.673552e-09,1.490902e-08,2.469916e-08,7.002419e-08,7.262674e-08,1.603295e-07,1.936269e-07,2.997521e-07,4.134667e-07,5.035792e-07,7.595812e-07,7.853013e-07,1.157556e-06,1.261386e-06,1.627878e-06,1.933808e-06,2.194401e-06,2.764230e-06,2.846543e-06,3.570100e-06,3.722149e-06,4.351428e-06,4.776569e-06,5.178751e-06,5.901782e-06,6.041911e-06,6.931799e-06,7.076089e-06,7.839964e-06,8.280019e-06,8.758436e-06,9.495555e-06,9.679679e-06,1.059664e-05,1.070608e-05,1.150284e-05,1.189663e-05,1.239243e-05,1.305421e-05,1.326025e-05,1.410190e-05,1.416799e-05,1.491371e-05,1.522940e-05,1.569273e-05,1.623203e-05,1.643670e-05,1.714402e-05,1.717153e-05,1.781367e-05,1.804541e-05,1.844516e-05,1.885270e-05,1.903837e-05,1.959358e-05,2.011139e-05,2.026932e-05,2.059264e-05,2.088195e-05,2.103842e-05,2.143410e-05,2.144991e-05,2.182845e-05,2.192873e-05,2.217544e-05,2.236909e-05,2.249233e-05,2.275853e-05,2.278057e-05,2.304165e-05,2.310044e-05,2.327704e-05,2.339816e-05,2.348815e-05,2.365497e-05,2.367640e-05,2.384314e-05,2.387402e-05,2.398969e-05,2.405833e-05,2.411730e-05,2.421073e-05,2.422717e-05,2.432045e-05,2.433391e-05,2.439824e-05,2.443039e-05,2.446158e-05,2.450250e-05,2.451144e-05,2.454877e-05,2.455245e-05,2.457443e-05,2.458225e-05,2.458927e-05,2.459378e-05,2.459405e-05,2.458951e-05,2.458877e-05,2.457635e-05,2.456882e-05,2.455522e-05,2.453541e-05,2.452672e-05,2.449143e-05,2.448989e-05,2.444989e-05,2.443351e-05,2.440261e-05,2.436741e-05,2.435004e-05,2.429264e-05,2.423082e-05,2.421017e-05,2.416497e-05,2.412088e-05,2.409545e-05,2.402557e-05,2.402260e-05,2.394673e-05,2.392499e-05,2.386815e-05,2.381981e-05,2.378713e-05,2.371065e-05,2.370392e-05,2.361878e-05,2.359808e-05,2.353192e-05,2.348261e-05,2.344356e-05,2.336471e-05,2.335389e-05,2.326309e-05,2.324481e-05,2.317133e-05,2.312330e-05,2.307878e-05,2.300053e-05,2.298558e-05,2.289186e-05,2.287683e-05,2.279776e-05,2.275249e-05,2.270339e-05,2.262777e-05,2.260886e-05,2.251427e-05,2.250293e-05,2.241973e-05,2.237816e-05,2.232531e-05,2.225368e-05,2.223109e-05,2.213715e-05,2.212965e-05,2.204357e-05,2.200625e-05,2.195040e-05,2.188360e-05,2.185770e-05,2.176552e-05,2.176184e-05,2.167392e-05,2.164109e-05,2.158294e-05,2.152145e-05,2.149262e-05,2.140300e-05,2.128583e-05,2.117001e-05,2.105559e-05,2.094265e-05,2.083121e-05,2.072132e-05,2.061301e-05,2.050631e-05,2.040125e-05,2.029784e-05,2.019609e-05,2.009601e-05,1.999762e-05,1.990090e-05,1.980587e-05,1.971252e-05,1.962085e-05,1.953084e-05,1.944249e-05,1.935579e-05,1.927072e-05,1.918727e-05,1.910543e-05,1.902517e-05
0.000000e+00,2.160579e-09,5.007432e-09,1.744745e-08,3.996452e-08,5.847722e-08,1.336032e-07,1.376636e-07,2.681106e-07,3.157659e-07,4.644191e-07,6.205094e-07,7.427233e-07,1.084414e-06,1.118308e-06,1.599476e-06,1.730490e-06,2.182474e-06,2.548949e-06,2.854961e-06,3.509889e-06,3.603286e-06,4.415822e-06,4.585160e-06,5.282916e-06,5.752509e-06,6.196039e-06,6.992764e-06,7.147178e-06,8.128546e-06,8.287859e-06,9.132530e-06,9.620296e-06,1.015175e-05,1.097335e-05,1.117916e-05,1.220821e-05,1.233151e-05,1.323287e-05,1.368092e-05,1.424775e-05,1.500957e-05,1.524810e-05,1.622985e-05,1.630748e-05,1.718958e-05,1.756666e-05,1.812449e-05,1.878097e-05,1.903233e-05,1.991139e-05,1.994593e-05,2.076039e-05,2.105850e-05,2.157847e-05,2.211683e-05,2.236511e-05,2.312008e-05,2.384338e-05,2.406818e-05,2.453523e-05,2.496168e-05,2.519601e-05,2.580160e-05,2.582623e-05,2.642652e-05,2.658932e-05,2.699756e-05,2.732647e-05,2.754014e-05,2.801485e-05,2.805504e-05,2.854311e-05,2.865635e-05,2.900520e-05,2.925295e-05,2.944218e-05,2.980665e-05,2.985493e-05,3.024429e-05,3.031944e-05,3.061115e-05,3.079329e-05,3.095632e-05,3.123014e-05,3.128066e-05,3.158498e-05,3.163186e-05,3.187006e-05,3.200029e-05,3.213668e-05,3.233720e-05,3.238560e-05,3.261755e-05,3.264427e-05,3.283323e-05,3.292316e-05,3.303334e-05,3.317542e-05,3.321854e-05,3.338947e-05,3.340254e-05,3.354675e-05,3.360597e-05,3.369098e-05,3.378706e-05,3.382273e-05,3.394257e-05,3.394712e-05,3.405102e-05,3.408738e-05,3.414861e-05,3.420901e-05,3.423583e-05,3.431315e-05,3.438103e-05,3.440084e-05,3.443993e-05,3.447309e-05,3.449025e-05,3.453087e-05,3.453240e-05,3.456678e-05,3.457507e-05,3.459377e-05,3.460655e-05,3.461371e-05,3.462614e-05,3.462696e-05,3.463384e-05,3.463458e-05,3.463468e-05,3.463262e-05,3.462978e-05,3.462095e-05,3.461943e-05,3.460390e-05,3.460020e-05,3.458348e-05,3.457100e-05,3.455841e-05,3.453394e-05,3.452894e-05,3.449530e-05,3.448955e-05,3.445773e-05,3.443836e-05,3.441644e-05,3.438086e-05,3.437163e-05,3.432350e-05,3.431751e-05,3.427224e-05,3.424874e-05,3.421804e-05,3.417498e-05,3.416106e-05,3.410148e-05,3.409660e-05,3.403944e-05,3.401398e-05,3.397511e-05,3.392745e-05,3.390863e-05,3.384013e-05,3.383735e-05,3.376975e-05,3.374398e-05,3.369762e-05,3.364763e-05,3.362385e-05,3.354857e-05,3.344706e-05,3.334334e-05,3.323763e-05,3.313016e-05,3.302111e-05,3.291068e-05,3.279905e-05,3.268638e-05,3.257282e-05,3.245853e-05,3.234365e-05,3.222829e-05,3.211259e-05,3.199666e-05,3.188059e-05,3.176450e-05,3.164846e-05,3.153258e-05,3.141693e-05,3.130158e-05,3.118660e-05,3.107207e-05,3.095804e-05,3.084456e-05
0.000000e+00,1.081096e-13,7.173563e-13,1.180784e-11,7.457054e-11,1.725119e-10,1.038606e-09,1.107493e-09,4.535578e-09,6.367308e-09,1.399014e-08,2.494677e-08,3.551377e-08,7.375379e-08,7.822341e-08,1.546907e-07,1.797891e-07,2.811184e-07,3.809788e-07,4.773052e-07,7.259517e-07,7.663811e-07,1.174268e-06,1.272533e-06,1.728836e-06,2.084705e-06,2.458766e-06,3.228085e-06,3.392233e-06,4.555546e-06,4.764609e-06,5.971893e-06,6.747386e-06,7.660303e-06,9.216568e-06,9.634872e-06,1.190429e-05,1.219664e-05,1.447164e-05,1.569521e-05,1.733441e-05,1.970303e-05,2.048472e-05,2.390976e-05,2.419515e-05,2.759224e-05,2.913269e-05,3.151101e-05,3.446526e-05,3.564170e-05,3.995740e-05,4.013348e-05,4.442933e-05,4.607172e-05,4.902749e-05,5.221074e-05,5.372130e-05,5.848018e-05,6.327406e-05,6.481071e-05,6.807387e-05,7.113598e-05,7.285188e-05,7.739412e-05,7.758210e-05,8.224048e-05,8.352891e-05,8.680509e-05,8.949060e-05,9.125632e-05,9.523638e-05,9.557684e-05,9.975171e-05,1.007306e-04,1.037683e-04,1.059445e-04,1.076162e-04,1.108563e-04,1.112872e-04,1.147752e-04,1.154504e-04,1.180758e-04,1.197171e-04,1.211864e-04,1.236518e-04,1.241062e-04,1.268355e-04,1.272546e-04,1.293760e-04,1.305292e-04,1.317306e-04,1.334828e-04,1.339029e-04,1.358976e-04,1.361252e-04,1.377197e-04,1.384683e-04,1.393751e-04,1.405253e-04,1.408698e-04,1.422103e-04,1.423110e-04,1.434032e-04,1.438407e-04,1.444555e-04,1.451299e-04,1.453740e-04,1.461656e-04,1.461947e-04,1.468371e-04,1.470507e-04,1.473952e-04,1.477134e-04,1.478467e-04,1.481979e-04,1.484552e-04,1.485186e-04,1.486245e-04,1.486895e-04,1.487118e-04,1.487237e-04,1.487227e-04,1.486626e-04,1.486338e-04,1.485366e-04,1.484314e-04,1.483496e-04,1.481277e-04,1.481063e-04,1.478111e-04,1.477330e-04,1.474682e-04,1.472568e-04,1.470816e-04,1.467082e-04,1.466550e-04,1.461919e-04,1.460952e-04,1.456957e-04,1.454256e-04,1.451694e-04,1.447064e-04,1.446162e-04,1.440385e-04,1.439440e-04,1.434392e-04,1.431445e-04,1.428205e-04,1.423132e-04,1.421848e-04,1.415340e-04,1.414550e-04,1.408703e-04,1.405746e-04,1.401954e-04,1.396760e-04,1.395110e-04,1.388188e-04,1.387631e-04,1.381201e-04,1.378391e-04,1.374164e-04,1.369073e-04,1.367089e-04,1.359987e-04,1.359703e-04,1.352871e-04,1.350307e-04,1.345749e-04,1.340908e-04,1.338631e-04,1.331526e-04,1.322178e-04,1.312883e-04,1.303653e-04,1.294501e-04,1.285440e-04,1.276479e-04,1.267627e-04,1.258891e-04,1.250278e-04,1.241793e-04,1.233441e-04,1.225227e-04,1.217153e-04,1.209221e-04,1.201435e-04,1.193795e-04,1.186302e-04,1.178958e-04,1.171762e-04,1.164714e-04,1.157813e-04,1.151059e-04,1.144452e-04,1.137989e-04
0.000000e+00,6.250955e-10,2.118444e-09,1.118067e-08,3.114406e-08,4.902894e-08,1.276698e-07,1.320966e-07,2.799537e-07,3.360184e-07,5.158483e-07,7.108144e-07,8.666208e-07,1.310402e-06,1.354745e-06,1.983969e-06,2.154543e-06,2.739862e-06,3.211733e-06,3.604719e-06,4.445025e-06,4.564927e-06,5.610267e-06,5.828766e-06,6.731900e-06,7.342421e-06,7.921116e-06,8.965651e-06,9.168826e-06,1.046547e-05,1.067682e-05,1.180117e-05,1.245324e-05,1.316594e-05,1.427210e-05,1.455000e-05,1.594393e-05,1.611144e-05,1.733896e-05,1.795101e-05,1.872703e-05,1.977287e-05,2.010097e-05,2.145448e-05,2.156171e-05,2.278214e-05,2.330493e-05,2.407944e-05,2.499259e-05,2.534268e-05,2.656892e-05,2.661717e-05,2.775589e-05,2.817325e-05,2.890193e-05,2.965726e-05,3.000592e-05,3.106719e-05,3.208548e-05,3.240225e-05,3.306082e-05,3.366265e-05,3.399355e-05,3.484939e-05,3.488422e-05,3.573354e-05,3.596405e-05,3.654238e-05,3.700866e-05,3.731173e-05,3.798555e-05,3.804264e-05,3.873624e-05,3.889728e-05,3.939370e-05,3.974652e-05,4.001619e-05,4.053603e-05,4.060494e-05,4.116114e-05,4.126858e-05,4.168599e-05,4.194693e-05,4.218069e-05,4.257380e-05,4.264642e-05,4.308432e-05,4.315187e-05,4.349552e-05,4.368373e-05,4.388112e-05,4.417189e-05,4.424219e-05,4.457977e-05,4.461875e-05,4.489488e-05,4.502666e-05,4.518849e-05,4.539783e-05,4.546154e-05,4.571496e-05,4.573441e-05,4.594961e-05,4.603842e-05,4.616637e-05,4.631180e-05,4.636603e-05,4.654940e-05,4.655641e-05,4.671723e-05,4.677399e-05,4.687026e-05,4.696622e-05,4.700918e-05,4.713467e-05,4.724738e-05,4.728085e-05,4.734794e-05,4.740619e-05,4.743693e-05,4.751202e-05,4.751494e-05,4.758250e-05,4.759962e-05,4.764015e-05,4.767020e-05,4.768840e-05,4.772489e-05,4.772772e-05,4.775857e-05,4.776477e-05,4.778141e-05,4.779086e-05,4.779666e-05,4.780411e-05,4.780471e-05,4.780597e-05,4.780543e-05,4.780079e-05,4.779568e-05,4.778955e-05,4.777565e-05,4.777256e-05,4.775018e-05,4.774611e-05,4.772269e-05,4.770777e-05,4.769040e-05,4.766130e-05,4.765359e-05,4.761254e-05,4.760734e-05,4.756750e-05,4.754648e-05,4.751872e-05,4.747928e-05,4.746643e-05,4.741085e-05,4.740627e-05,4.735222e-05,4.732795e-05,4.729072e-05,4.724477e-05,4.722655e-05,4.715990e-05,4.715719e-05,4.709095e-05,4.706559e-05,4.701986e-05,4.697039e-05,4.694680e-05,4.687192e-05,4.677054e-05,4.666656e-05,4.656028e-05,4.645197e-05,4.634191e-05,4.623032e-05,4.611744e-05,4.600349e-05,4.588866e-05,4.577313e-05,4.565709e-05,4.554068e-05,4.542407e-05,4.530739e-05,4.519077e-05,4.507433e-05,4.495818e-05,4.484243e-05,4.472718e-05,4.461250e-05,4.449849e-05,4.438522e-05,4.427275e-05,4.416115e-05
0.000000e+00,3.593184e-12,2.134387e-11,2.802571e-10,1.447203e-09,3.003994e-09,1.377380e-08,1.452924e-08,4.600520e-08,6.036945e-08,1.125054e-07,1.765763e-07,2.319538e-07,4.059187e-07,4.245253e-07,7.122799e-07,7.980528e-07,1.117992e-06,1.404564e-06,1.662134e-06,2.266834e-06,2.358723e-06,3.212542e-06,3.401936e-06,4.219372e-06,4.800018e-06,5.368532e-06,6.433524e-06,6.645889e-06,8.036153e-06,8.268052e-06,9.524151e-06,1.026879e-05,1.109526e-05,1.240252e-05,1.273542e-05,1.443107e-05,1.463765e-05,1.616900e-05,1.694376e-05,1.793636e-05,1.929155e-05,1.972069e-05,2.151007e-05,2.165309e-05,2.329320e-05,2.400232e-05,2.505957e-05,2.631555e-05,2.679958e-05,2.850461e-05,2.857197e-05,3.016708e-05,3.075386e-05,3.178046e-05,3.284671e-05,3.333932e-05,3.483921e-05,3.627668e-05,3.672304e-05,3.764916e-05,3.849262e-05,3.895492e-05,4.014474e-05,4.019295e-05,4.136289e-05,4.167828e-05,4.246492e-05,4.309382e-05,4.349975e-05,4.439334e-05,4.446844e-05,4.537241e-05,4.557991e-05,4.621334e-05,4.665742e-05,4.699312e-05,4.763039e-05,4.771382e-05,4.837761e-05,4.850373e-05,4.898673e-05,4.928264e-05,4.954350e-05,4.997242e-05,5.005024e-05,5.050926e-05,5.057844e-05,5.092289e-05,5.110597e-05,5.129338e-05,5.156022e-05,5.162297e-05,5.191382e-05,5.194622e-05,5.216804e-05,5.226883e-05,5.238768e-05,5.253270e-05,5.257471e-05,5.273102e-05,5.274225e-05,5.285843e-05,5.290170e-05,5.295870e-05,5.301502e-05,5.303348e-05,5.308438e-05,5.308594e-05,5.311292e-05,5.311800e-05,5.312055e-05,5.311450e-05,5.310865e-05,5.307853e-05,5.303145e-05,5.301299e-05,5.296857e-05,5.292057e-05,5.289104e-05,5.280379e-05,5.279990e-05,5.269616e-05,5.266499e-05,5.258079e-05,5.250635e-05,5.245467e-05,5.232989e-05,5.231867e-05,5.217358e-05,5.213749e-05,5.202017e-05,5.193089e-05,5.185914e-05,5.171169e-05,5.169119e-05,5.151694e-05,5.148138e-05,5.133699e-05,5.124135e-05,5.115191e-05,5.099286e-05,5.096223e-05,5.076844e-05,5.073709e-05,5.057103e-05,5.047511e-05,5.037042e-05,5.020791e-05,5.016703e-05,4.996126e-05,4.993642e-05,4.975345e-05,4.966147e-05,4.954397e-05,4.938382e-05,4.933311e-05,4.912118e-05,4.910419e-05,4.890846e-05,4.882322e-05,4.869522e-05,4.854149e-05,4.848168e-05,4.826809e-05,4.825954e-05,4.805464e-05,4.797788e-05,4.784154e-05,4.769692e-05,4.762897e-05,4.741710e-05,4.713875e-05,4.686222e-05,4.658780e-05,4.631575e-05,4.604632e-05,4.577971e-05,4.551611e-05,4.525568e-05,4.499858e-05,4.474493e-05,4.449483e-05,4.424839e-05,4.400567e-05,4.376674e-05,4.353166e-05,4.330047e-05,4.307319e-05,4.284985e-05,4.263046e-05,4.241503e-05,4.220355e-05,4.199602e-05,4.179242e-05,4.159273e-05
0.000000e+00,6.293057e-10,2.277814e-09,1.310434e-08,3.829824e-08,6.154638e-08,1.678568e-07,1.739939e-07,3.860578e-07,4.694513e-07,7.442986e-07,1.048298e-06,1.290972e-06,1.966339e-06,2.032353e-06,2.947432e-06,3.190645e-06,4.017894e-06,4.681499e-06,5.234376e-06,6.421721e-06,6.591946e-06,8.086460e-06,8.401373e-06,9.712784e-06,1.060837e-05,1.146407e-05,1.302538e-05,1.333157e-05,1.530475e-05,1.562948e-05,1.737159e-05,1.839311e-05,1.951894e-05,2.128551e-05,2.173298e-05,2.399959e-05,2.427444e-05,2.630472e-05,2.732766e-05,2.863476e-05,3.041424e-05,3.097675e-05,3.331862e-05,3.350562e-05,3.564932e-05,3.657622e-05,3.795894e-05,3.960382e-05,4.023868e-05,4.248091e-05,4.256972e-05,4.467912e-05,4.545861e-05,4.682783e-05,4.825836e-05,4.892257e-05,5.095974e-05,5.293657e-05,5.355606e-05,5.485100e-05,5.604281e-05,5.670160e-05,5.841731e-05,5.848750e-05,6.020828e-05,6.067843e-05,6.186396e-05,6.282625e-05,6.345488e-05,6.486185e-05,6.498165e-05,6.644515e-05,6.678709e-05,6.784643e-05,6.860441e-05,6.918669e-05,7.031670e-05,7.046727e-05,7.168958e-05,7.192719e-05,7.285514e-05,7.343931e-05,7.396548e-05,7.485665e-05,7.502218e-05,7.602686e-05,7.618289e-05,7.698112e-05,7.742172e-05,7.788656e-05,7.857685e-05,7.874480e-05,7.955742e-05,7.965194e-05,8.032598e-05,8.065059e-05,8.105202e-05,8.157631e-05,8.173706e-05,8.238257e-05,8.243254e-05,8.299000e-05,8.322262e-05,8.356076e-05,8.394977e-05,8.409622e-05,8.459774e-05,8.461711e-05,8.506661e-05,8.522765e-05,8.550409e-05,8.578428e-05,8.591142e-05,8.628978e-05,8.664033e-05,8.674681e-05,8.696418e-05,8.715794e-05,8.726242e-05,8.752561e-05,8.753610e-05,8.778622e-05,8.785217e-05,8.801377e-05,8.813986e-05,8.821969e-05,8.839081e-05,8.840488e-05,8.857024e-05,8.860707e-05,8.871661e-05,8.879059e-05,8.884482e-05,8.894324e-05,8.895565e-05,8.904986e-05,8.906677e-05,8.912820e-05,8.916289e-05,8.919136e-05,8.923320e-05,8.924004e-05,8.927489e-05,8.927922e-05,8.929654e-05,8.930243e-05,8.930561e-05,8.930420e-05,8.930268e-05,8.928831e-05,8.928584e-05,8.926305e-05,8.924862e-05,8.922743e-05,8.919373e-05,8.918194e-05,8.912707e-05,8.912229e-05,8.906328e-05,8.903537e-05,8.899103e-05,8.893401e-05,8.891074e-05,8.882283e-05,8.881916e-05,8.872769e-05,8.869174e-05,8.862570e-05,8.855263e-05,8.851724e-05,8.840265e-05,8.824259e-05,8.807318e-05,8.789514e-05,8.770912e-05,8.751576e-05,8.731565e-05,8.710936e-05,8.689744e-05,8.668037e-05,8.645864e-05,8.623272e-05,8.600301e-05,8.576993e-05,8.553386e-05,8.529515e-05,8.505416e-05,8.481119e-05,8.456656e-05,8.432054e-05,8.407340e-05,8.382540e-05,8.357677e-05,8.332774e-05,8.307852e-05
0.000000e+00,4.812122e-09,1.172232e-08,4.305500e-08,1.013916e-07,1.502687e-07,3.550171e-07,3.663476e-07,7.431511e-07,8.864982e-07,1.350462e-06,1.860395e-06,2.271959e-06,3.455395e-06,3.574071e-06,5.253560e-06,5.705015e-06,7.233023e-06,8.436453e-06,9.417656e-06,1.145144e-05,1.173470e-05,1.413625e-05,1.462372e-05,1.659051e-05,1.787964e-05,1.907424e-05,2.116937e-05,2.156843e-05,2.405603e-05,2.445236e-05,2.652110e-05,2.769188e-05,2.894860e-05,3.085406e-05,3.132446e-05,3.363592e-05,3.390841e-05,3.587160e-05,3.682873e-05,3.802182e-05,3.959390e-05,4.007867e-05,4.203588e-05,4.218801e-05,4.388894e-05,4.460031e-05,4.563495e-05,4.682492e-05,4.727245e-05,4.880127e-05,4.886017e-05,5.022238e-05,5.070794e-05,5.153767e-05,5.237304e-05,5.274998e-05,5.386251e-05,5.487887e-05,5.518446e-05,5.580318e-05,5.634838e-05,5.663970e-05,5.736431e-05,5.739290e-05,5.806724e-05,5.824254e-05,5.866720e-05,5.899331e-05,5.919719e-05,5.962671e-05,5.966154e-05,6.006444e-05,6.015243e-05,6.040989e-05,6.057969e-05,6.070175e-05,6.091720e-05,6.094372e-05,6.113929e-05,6.117314e-05,6.129180e-05,6.135514e-05,6.140438e-05,6.147024e-05,6.147997e-05,6.152136e-05,6.152498e-05,6.153116e-05,6.152536e-05,6.151181e-05,6.147690e-05,6.146562e-05,6.139473e-05,6.138465e-05,6.130113e-05,6.125325e-05,6.118671e-05,6.108691e-05,6.105322e-05,6.090227e-05,6.088949e-05,6.073539e-05,6.066450e-05,6.055400e-05,6.041516e-05,6.035942e-05,6.015286e-05,6.014436e-05,5.993547e-05,5.985477e-05,5.970831e-05,5.954877e-05,5.947237e-05,5.922857e-05,5.897775e-05,5.889614e-05,5.872071e-05,5.855328e-05,5.845818e-05,5.820162e-05,5.819084e-05,5.791933e-05,5.784264e-05,5.764423e-05,5.747767e-05,5.736608e-05,5.710793e-05,5.708539e-05,5.680263e-05,5.673450e-05,5.651822e-05,5.635838e-05,5.623257e-05,5.598046e-05,5.594604e-05,5.565898e-05,5.560153e-05,5.537170e-05,5.522232e-05,5.508449e-05,5.484348e-05,5.479762e-05,5.451134e-05,5.446561e-05,5.422588e-05,5.408921e-05,5.394144e-05,5.371476e-05,5.365822e-05,5.337640e-05,5.334268e-05,5.309613e-05,5.297334e-05,5.281755e-05,5.260706e-05,5.254082e-05,5.226604e-05,5.224415e-05,5.199334e-05,5.188486e-05,5.172280e-05,5.152941e-05,5.145453e-05,5.118860e-05,5.117801e-05,5.092509e-05,5.083083e-05,5.066406e-05,5.048801e-05,5.040558e-05,5.014969e-05,4.981597e-05,4.948694e-05,4.916267e-05,4.884323e-05,4.852866e-05,4.821899e-05,4.791425e-05,4.761444e-05,4.731957e-05,4.702964e-05,4.674463e-05,4.646453e-05,4.618931e-05,4.591894e-05,4.565338e-05,4.539261e-05,4.513657e-05,4.488521e-05,4.463850e-05,4.439637e-05,4.415878e-05,4.392566e-05,4.369697e-05,4.347263e-05
0.000000e+00,6.415058e-14,4.363111e-13,7.565658e-12,5.015403e-11,1.192114e-10,7.709693e-10,8.245454e-10,3.635066e-09,5.208852e-09,1.206193e-08,2.246610e-08,3.292186e-08,7.306196e-08,7.793693e-08,1.655844e-07,1.957774e-07,3.231088e-07,4.555151e-07,5.885103e-07,9.510342e-07,1.012228e-06,1.658246e-06,1.820740e-06,2.604487e-06,3.245039e-06,3.942448e-06,5.444843e-06,5.776178e-06,8.220695e-06,8.676676e-06,1.139997e-05,1.322518e-05,1.544463e-05,1.939389e-05,2.048938e-05,2.667042e-05,2.749494e-05,3.412271e-05,3.783846e-05,4.297744e-05,5.072208e-05,5.335942e-05,6.538476e-05,6.642102e-05,7.915876e-05,8.517917e-05,9.477392e-05,1.072014e-04,1.123084e-04,1.318246e-04,1.326472e-04,1.533683e-04,1.616263e-04,1.769676e-04,1.941955e-04,2.026332e-04,2.303576e-04,2.601159e-04,2.700616e-04,2.918659e-04,3.132048e-04,3.255491e-04,3.596354e-04,3.610918e-04,3.984058e-04,4.091576e-04,4.373900e-04,4.615359e-04,4.779320e-04,5.165013e-04,5.199092e-04,5.631906e-04,5.737570e-04,6.076384e-04,6.329854e-04,6.531094e-04,6.938538e-04,6.994568e-04,7.465314e-04,7.560204e-04,7.941833e-04,8.191408e-04,8.422630e-04,8.828724e-04,8.906227e-04,9.391176e-04,9.468798e-04,9.876065e-04,1.010839e-03,1.035953e-03,1.074440e-03,1.084027e-03,1.131703e-03,1.137392e-03,1.178864e-03,1.199423e-03,1.225399e-03,1.260283e-03,1.271205e-03,1.316187e-03,1.319747e-03,1.360256e-03,1.377611e-03,1.403335e-03,1.433697e-03,1.445350e-03,1.486238e-03,1.487850e-03,1.525944e-03,1.539939e-03,1.564418e-03,1.589856e-03,1.601620e-03,1.637515e-03,1.672076e-03,1.682850e-03,1.705281e-03,1.725814e-03,1.737116e-03,1.766378e-03,1.767570e-03,1.796640e-03,1.804531e-03,1.824326e-03,1.840276e-03,1.850635e-03,1.873629e-03,1.875574e-03,1.899158e-03,1.904618e-03,1.921402e-03,1.933282e-03,1.942328e-03,1.959670e-03,1.961958e-03,1.980316e-03,1.983837e-03,1.997430e-03,2.005847e-03,2.013329e-03,2.025767e-03,2.028044e-03,2.041606e-03,2.043671e-03,2.054049e-03,2.059635e-03,2.065408e-03,2.073737e-03,2.075716e-03,2.085009e-03,2.086058e-03,2.093322e-03,2.096679e-03,2.100692e-03,2.105683e-03,2.107153e-03,2.112742e-03,2.113152e-03,2.117493e-03,2.119167e-03,2.121442e-03,2.123808e-03,2.124623e-03,2.127070e-03,2.127153e-03,2.128817e-03,2.129281e-03,2.129897e-03,2.130266e-03,2.130340e-03,2.130180e-03,2.129095e-03,2.127077e-03,2.124194e-03,2.120506e-03,2.116075e-03,2.110957e-03,2.105206e-03,2.098876e-03,2.092014e-03,2.084668e-03,2.076882e-03,2.068698e-03,2.060154e-03,2.051288e-03,2.042135e-03,2.032728e-03,2.023096e-03,2.013269e-03,2.003273e-03,1.993134e-03,1.982875e-03,1.972516e-03,1.962080e-03,1.951584e-03
0.000000e+00,3.455093e-09,8.154814e-09,2.907966e-08,6.770474e-08,9.995697e-08,2.343769e-07,2.417846e-07,4.863168e-07,5.784522e-07,8.736416e-07,1.193502e-06,1.448843e-06,2.173764e-06,2.245987e-06,3.266978e-06,3.542569e-06,4.484361e-06,5.239008e-06,5.864227e-06,7.191099e-06,7.379339e-06,9.009668e-06,9.348130e-06,1.073949e-05,1.167371e-05,1.255504e-05,1.413681e-05,1.444328e-05,1.639135e-05,1.670774e-05,1.838652e-05,1.935725e-05,2.041631e-05,2.205699e-05,2.246873e-05,2.453244e-05,2.478034e-05,2.659698e-05,2.750316e-05,2.865287e-05,3.020431e-05,3.069164e-05,3.270591e-05,3.286579e-05,3.468934e-05,3.547285e-05,3.663659e-05,3.801369e-05,3.854324e-05,4.040571e-05,4.047925e-05,4.222119e-05,4.286281e-05,4.398749e-05,4.515966e-05,4.570304e-05,4.736673e-05,4.897790e-05,4.948232e-05,5.053623e-05,5.150581e-05,5.204170e-05,5.343741e-05,5.349452e-05,5.489510e-05,5.527798e-05,5.624405e-05,5.702892e-05,5.754206e-05,5.869197e-05,5.878998e-05,5.998871e-05,6.026920e-05,6.113923e-05,6.176285e-05,6.224257e-05,6.317533e-05,6.329980e-05,6.431201e-05,6.450914e-05,6.528031e-05,6.576685e-05,6.620584e-05,6.695105e-05,6.708972e-05,6.793309e-05,6.806434e-05,6.873707e-05,6.910932e-05,6.950279e-05,7.008856e-05,7.023135e-05,7.092386e-05,7.100459e-05,7.158139e-05,7.185990e-05,7.220502e-05,7.265694e-05,7.279578e-05,7.335472e-05,7.339809e-05,7.388284e-05,7.408568e-05,7.438112e-05,7.472196e-05,7.485055e-05,7.529206e-05,7.530915e-05,7.570658e-05,7.584937e-05,7.609502e-05,7.634471e-05,7.645825e-05,7.679714e-05,7.711253e-05,7.720863e-05,7.740524e-05,7.758103e-05,7.767605e-05,7.791615e-05,7.792575e-05,7.815508e-05,7.821574e-05,7.836478e-05,7.848147e-05,7.855555e-05,7.871496e-05,7.872811e-05,7.888310e-05,7.891776e-05,7.902119e-05,7.909137e-05,7.914301e-05,7.923724e-05,7.924917e-05,7.934027e-05,7.935674e-05,7.941689e-05,7.945120e-05,7.947959e-05,7.952189e-05,7.952891e-05,7.956537e-05,7.957005e-05,7.958950e-05,7.959684e-05,7.960178e-05,7.960340e-05,7.960269e-05,7.959270e-05,7.959079e-05,7.957225e-05,7.956006e-05,7.954178e-05,7.951219e-05,7.950172e-05,7.945245e-05,7.944813e-05,7.939439e-05,7.936879e-05,7.932791e-05,7.927504e-05,7.925338e-05,7.917115e-05,7.916770e-05,7.908157e-05,7.904758e-05,7.898497e-05,7.891544e-05,7.888168e-05,7.877199e-05,7.861794e-05,7.845395e-05,7.828064e-05,7.809863e-05,7.790850e-05,7.771078e-05,7.750601e-05,7.729469e-05,7.707730e-05,7.685428e-05,7.662609e-05,7.639312e-05,7.615578e-05,7.591444e-05,7.566945e-05,7.542115e-05,7.516987e-05,7.491591e-05,7.465956e-05,7.440110e-05,7.414080e-05,7.387890e-05,7.361565e-05,7.335126e-05
0.000000e+00,1.550546e-13,1.054692e-12,1.829738e-11,1.214050e-10,2.887817e-10,1.873220e-09,2.003716e-09,8.878637e-09,1.274577e-08,2.967826e-08,5.558470e-08,8.179340e-08,1.835009e-07,1.959441e-07,4.219133e-07,5.005047e-07,8.346905e-07,1.185400e-06,1.539761e-06,2.511668e-06,2.676246e-06,4.417267e-06,4.855526e-06,6.967636e-06,8.689777e-06,1.055935e-05,1.456585e-05,1.544552e-05,2.189324e-05,2.308804e-05,3.017604e-05,3.488378e-05,4.056613e-05,5.057298e-05,5.332698e-05,6.870637e-05,7.073885e-05,8.693014e-05,9.590197e-05,1.081969e-04,1.264986e-04,1.326734e-04,1.604916e-04,1.628644e-04,1.917456e-04,2.052231e-04,2.264912e-04,2.536805e-04,2.647445e-04,3.064831e-04,3.082244e-04,3.516471e-04,3.687274e-04,4.001411e-04,4.349547e-04,4.518364e-04,5.065743e-04,5.641693e-04,5.831696e-04,6.244125e-04,6.642531e-04,6.870753e-04,7.492811e-04,7.519132e-04,8.186692e-04,8.376686e-04,8.870777e-04,9.288034e-04,9.568676e-04,1.022060e-03,1.027766e-03,1.099500e-03,1.116810e-03,1.171801e-03,1.212438e-03,1.244405e-03,1.308346e-03,1.317059e-03,1.389516e-03,1.403963e-03,1.461543e-03,1.498753e-03,1.532919e-03,1.592220e-03,1.603437e-03,1.672905e-03,1.683910e-03,1.741143e-03,1.773413e-03,1.807991e-03,1.860369e-03,1.873302e-03,1.936944e-03,1.944463e-03,1.998800e-03,2.025425e-03,2.058771e-03,2.103034e-03,2.116770e-03,2.172723e-03,2.177109e-03,2.226573e-03,2.247512e-03,2.278272e-03,2.314144e-03,2.327786e-03,2.375092e-03,2.376939e-03,2.420179e-03,2.435865e-03,2.463042e-03,2.490922e-03,2.503689e-03,2.542133e-03,2.578398e-03,2.589546e-03,2.612511e-03,2.633229e-03,2.644506e-03,2.673267e-03,2.674425e-03,2.702310e-03,2.709760e-03,2.728212e-03,2.742822e-03,2.752181e-03,2.772574e-03,2.774274e-03,2.794546e-03,2.799147e-03,2.813058e-03,2.822678e-03,2.829870e-03,2.843307e-03,2.845044e-03,2.858641e-03,2.861177e-03,2.870726e-03,2.876433e-03,2.881360e-03,2.889218e-03,2.890607e-03,2.898527e-03,2.899675e-03,2.905183e-03,2.907946e-03,2.910635e-03,2.914169e-03,2.914942e-03,2.918162e-03,2.918479e-03,2.920353e-03,2.921005e-03,2.921569e-03,2.921875e-03,2.921865e-03,2.921293e-03,2.921211e-03,2.919902e-03,2.919128e-03,2.917744e-03,2.915740e-03,2.914863e-03,2.911307e-03,2.911151e-03,2.907119e-03,2.905465e-03,2.902341e-03,2.898775e-03,2.897013e-03,2.891174e-03,2.882746e-03,2.873573e-03,2.863730e-03,2.853288e-03,2.842314e-03,2.830868e-03,2.819011e-03,2.806794e-03,2.794269e-03,2.781482e-03,2.768475e-03,2.755288e-03,2.741959e-03,2.728520e-03,2.715003e-03,2.701437e-03,2.687846e-03,2.674256e-03,2.660687e-03,2.647160e-03,2.633692e-03,2.620301e-03,2.607000e-03,2.593803e-03
0.000000e+00,3.235652e-13,2.043793e-12,3.038402e-11,1.749713e-10,3.849043e-10,2.037724e-09,2.161667e-09,7.817688e-09,1.061805e-08,2.150682e-08,3.598217e-08,4.919281e-08,9.363176e-08,9.859091e-08,1.788213e-07,2.037448e-07,2.995754e-07,3.883498e-07,4.699636e-07,6.670070e-07,6.975371e-07,9.878034e-07,1.053717e-06,1.344209e-06,1.556285e-06,1.768391e-06,2.177229e-06,2.260500e-06,2.819488e-06,2.915009e-06,3.443308e-06,3.764945e-06,4.129046e-06,4.719755e-06,4.873000e-06,5.670749e-06,5.769859e-06,6.517209e-06,6.903643e-06,7.406719e-06,8.107773e-06,8.333135e-06,9.289948e-06,9.367605e-06,1.027042e-05,1.066770e-05,1.126770e-05,1.199234e-05,1.227501e-05,1.328573e-05,1.332614e-05,1.429353e-05,1.465447e-05,1.529248e-05,1.596390e-05,1.627712e-05,1.724252e-05,1.818435e-05,1.848013e-05,1.909885e-05,1.966831e-05,1.998287e-05,2.080044e-05,2.083382e-05,2.164970e-05,2.187165e-05,2.242901e-05,2.287861e-05,2.317075e-05,2.381947e-05,2.387435e-05,2.453961e-05,2.469358e-05,2.516669e-05,2.550134e-05,2.575604e-05,2.624399e-05,2.630833e-05,2.682447e-05,2.692345e-05,2.730550e-05,2.754215e-05,2.775260e-05,2.810286e-05,2.816703e-05,2.855013e-05,2.860862e-05,2.890329e-05,2.906257e-05,2.922789e-05,2.946795e-05,2.952534e-05,2.979702e-05,2.982796e-05,3.004432e-05,3.014574e-05,3.026855e-05,3.042434e-05,3.047102e-05,3.065297e-05,3.066668e-05,3.081561e-05,3.087552e-05,3.096009e-05,3.105349e-05,3.108751e-05,3.119892e-05,3.120305e-05,3.129530e-05,3.132650e-05,3.137760e-05,3.142597e-05,3.144670e-05,3.150345e-05,3.154863e-05,3.156077e-05,3.158300e-05,3.159964e-05,3.160724e-05,3.162161e-05,3.162203e-05,3.162798e-05,3.162814e-05,3.162567e-05,3.162055e-05,3.161565e-05,3.160005e-05,3.159842e-05,3.157448e-05,3.156778e-05,3.154426e-05,3.152476e-05,3.150820e-05,3.147194e-05,3.146669e-05,3.142009e-05,3.141020e-05,3.136877e-05,3.134032e-05,3.131305e-05,3.126306e-05,3.125323e-05,3.118960e-05,3.117909e-05,3.112244e-05,3.108902e-05,3.105199e-05,3.099343e-05,3.097850e-05,3.090219e-05,3.089286e-05,3.082327e-05,3.078777e-05,3.074194e-05,3.067864e-05,3.065839e-05,3.057279e-05,3.056586e-05,3.048530e-05,3.044981e-05,3.039608e-05,3.033086e-05,3.030528e-05,3.021303e-05,3.020931e-05,3.011946e-05,3.008548e-05,3.002470e-05,2.995963e-05,2.992885e-05,2.983203e-05,2.970291e-05,2.957249e-05,2.944097e-05,2.930854e-05,2.917538e-05,2.904163e-05,2.890746e-05,2.877299e-05,2.863836e-05,2.850368e-05,2.836907e-05,2.823462e-05,2.810042e-05,2.796658e-05,2.783315e-05,2.770022e-05,2.756786e-05,2.743612e-05,2.730507e-05,2.717476e-05,2.704523e-05,2.691654e-05,2.678872e-05,2.666182e-05
0.000000e+00,1.449003e-12,9.082081e-12,1.329288e-10,7.551621e-10,1.649363e-09,8.581407e-09,9.097266e-09,3.239868e-08,4.383599e-08,8.800007e-08,1.462757e-07,1.992018e-07,3.761862e-07,3.958648e-07,7.128971e-07,8.109752e-07,1.186716e-06,1.533172e-06,1.850521e-06,2.612808e-06,2.730475e-06,3.844053e-06,4.095733e-06,5.200273e-06,6.002246e-06,6.800943e-06,8.331647e-06,8.642085e-06,1.071515e-05,1.106759e-05,1.300789e-05,1.418206e-05,1.550506e-05,1.763810e-05,1.818886e-05,2.103947e-05,2.139175e-05,2.403547e-05,2.539402e-05,2.715444e-05,2.959296e-05,3.037341e-05,3.366945e-05,3.393578e-05,3.702013e-05,3.837084e-05,4.040396e-05,4.284944e-05,4.380074e-05,4.719183e-05,4.732711e-05,5.056033e-05,5.176450e-05,5.389118e-05,5.612786e-05,5.717121e-05,6.038907e-05,6.353520e-05,6.452548e-05,6.660168e-05,6.851942e-05,6.958213e-05,7.235777e-05,7.247154e-05,7.526617e-05,7.603128e-05,7.796331e-05,7.953406e-05,8.056125e-05,8.286294e-05,8.305907e-05,8.545655e-05,8.601704e-05,8.775403e-05,8.899725e-05,8.995237e-05,9.180589e-05,9.205282e-05,9.405695e-05,9.444638e-05,9.596660e-05,9.692294e-05,9.778380e-05,9.924042e-05,9.951076e-05,1.011498e-04,1.014041e-04,1.027033e-04,1.034194e-04,1.041739e-04,1.052922e-04,1.055638e-04,1.068758e-04,1.070281e-04,1.081123e-04,1.086332e-04,1.092759e-04,1.101130e-04,1.103690e-04,1.113941e-04,1.114733e-04,1.123537e-04,1.127197e-04,1.132501e-04,1.138577e-04,1.140856e-04,1.148626e-04,1.148925e-04,1.155832e-04,1.158293e-04,1.162497e-04,1.166731e-04,1.168642e-04,1.174288e-04,1.179453e-04,1.181008e-04,1.184159e-04,1.186938e-04,1.188424e-04,1.192120e-04,1.192266e-04,1.195702e-04,1.196595e-04,1.198751e-04,1.200402e-04,1.201429e-04,1.203579e-04,1.203752e-04,1.205735e-04,1.206162e-04,1.207394e-04,1.208186e-04,1.208742e-04,1.209684e-04,1.209795e-04,1.210565e-04,1.210686e-04,1.211066e-04,1.211224e-04,1.211310e-04,1.211325e-04,1.211309e-04,1.211075e-04,1.211016e-04,1.210619e-04,1.210324e-04,1.209952e-04,1.209274e-04,1.209085e-04,1.208027e-04,1.207887e-04,1.206788e-04,1.206188e-04,1.205377e-04,1.204196e-04,1.203804e-04,1.202077e-04,1.201932e-04,1.200204e-04,1.199415e-04,1.198192e-04,1.196663e-04,1.196051e-04,1.193787e-04,1.193693e-04,1.191406e-04,1.190522e-04,1.188916e-04,1.187164e-04,1.186324e-04,1.183635e-04,1.179947e-04,1.176114e-04,1.172149e-04,1.168063e-04,1.163867e-04,1.159571e-04,1.155185e-04,1.150719e-04,1.146181e-04,1.141580e-04,1.136923e-04,1.132217e-04,1.127470e-04,1.122688e-04,1.117876e-04,1.113041e-04,1.108188e-04,1.103323e-04,1.098449e-04,1.093571e-04,1.088694e-04,1.083820e-04,1.078955e-04,1.074101e-04
0.000000e+00,1.444307e-13,9.708661e-13,1.642289e-11,1.063855e-10,2.496282e-10,1.560271e-09,1.666340e-09,7.092485e-09,1.006419e-08,2.272839e-08,4.146183e-08,5.992422e-08,1.288419e-07,1.370621e-07,2.814277e-07,3.300488e-07,5.309843e-07,7.348588e-07,9.359451e-07,1.471077e-06,1.559965e-06,2.480660e-06,2.708195e-06,3.789152e-06,4.656620e-06,5.588461e-06,7.561087e-06,7.990805e-06,1.111411e-05,1.168876e-05,1.507811e-05,1.731413e-05,2.000031e-05,2.470325e-05,2.599230e-05,3.315639e-05,3.409927e-05,4.158283e-05,4.571054e-05,5.134771e-05,5.970188e-05,6.251132e-05,7.511717e-05,7.618885e-05,8.919152e-05,9.523503e-05,1.047434e-04,1.168517e-04,1.217647e-04,1.402315e-04,1.409997e-04,1.601042e-04,1.675927e-04,1.813296e-04,1.965022e-04,2.038416e-04,2.275630e-04,2.524072e-04,2.605792e-04,2.782794e-04,2.953307e-04,3.050786e-04,3.315799e-04,3.326991e-04,3.610319e-04,3.690777e-04,3.899662e-04,4.075693e-04,4.193909e-04,4.467997e-04,4.491955e-04,4.792716e-04,4.865184e-04,5.095136e-04,5.264836e-04,5.398199e-04,5.664650e-04,5.700930e-04,6.002406e-04,6.062474e-04,6.301761e-04,6.456316e-04,6.598185e-04,6.844366e-04,6.890929e-04,7.179308e-04,7.225002e-04,7.462699e-04,7.596788e-04,7.740541e-04,7.958481e-04,8.012334e-04,8.277638e-04,8.309020e-04,8.536071e-04,8.647519e-04,8.787308e-04,8.973263e-04,9.031073e-04,9.267143e-04,9.285691e-04,9.495340e-04,9.584383e-04,9.715529e-04,9.869052e-04,9.927616e-04,1.013154e-03,1.013953e-03,1.032728e-03,1.039575e-03,1.051485e-03,1.063774e-03,1.069427e-03,1.086561e-03,1.102895e-03,1.107954e-03,1.118438e-03,1.127977e-03,1.133203e-03,1.146658e-03,1.147204e-03,1.160453e-03,1.164031e-03,1.172968e-03,1.180131e-03,1.184765e-03,1.194999e-03,1.195861e-03,1.206274e-03,1.208674e-03,1.216023e-03,1.221199e-03,1.225126e-03,1.232618e-03,1.233603e-03,1.241472e-03,1.242974e-03,1.248753e-03,1.252313e-03,1.255465e-03,1.260677e-03,1.261627e-03,1.267259e-03,1.268112e-03,1.272379e-03,1.274661e-03,1.277006e-03,1.280365e-03,1.281158e-03,1.284853e-03,1.285267e-03,1.288109e-03,1.289407e-03,1.290944e-03,1.292826e-03,1.293373e-03,1.295415e-03,1.295562e-03,1.297084e-03,1.297652e-03,1.298398e-03,1.299132e-03,1.299371e-03,1.300018e-03,1.300038e-03,1.300354e-03,1.300402e-03,1.300393e-03,1.300257e-03,1.300149e-03,1.299635e-03,1.298565e-03,1.297075e-03,1.295192e-03,1.292944e-03,1.290355e-03,1.287448e-03,1.284247e-03,1.280773e-03,1.277046e-03,1.273087e-03,1.268913e-03,1.264543e-03,1.259993e-03,1.255279e-03,1.250417e-03,1.245420e-03,1.240302e-03,1.235076e-03,1.229754e-03,1.224347e-03,1.218866e-03,1.213321e-03,1.207722e-03,1.202078e-03
0.000000e+00,5.490247e-13,3.451875e-12,5.082964e-11,2.901573e-10,6.351805e-10,3.318741e-09,3.518633e-09,1.254154e-08,1.696054e-08,3.395026e-08,5.619507e-08,7.624349e-08,1.424198e-07,1.497095e-07,2.658307e-07,3.013813e-07,4.366350e-07,5.606148e-07,6.739570e-07,9.464170e-07,9.885640e-07,1.389244e-06,1.480298e-06,1.882084e-06,2.175909e-06,2.470107e-06,3.037675e-06,3.153296e-06,3.928876e-06,4.061230e-06,4.791737e-06,5.234922e-06,5.734896e-06,6.541625e-06,6.749946e-06,7.827463e-06,7.960489e-06,8.957383e-06,9.468479e-06,1.012933e-05,1.104173e-05,1.133293e-05,1.255802e-05,1.265667e-05,1.379494e-05,1.429097e-05,1.503464e-05,1.592425e-05,1.626882e-05,1.749006e-05,1.753855e-05,1.869180e-05,1.911854e-05,1.986841e-05,2.065168e-05,2.101512e-05,2.212803e-05,2.320402e-05,2.354013e-05,2.424070e-05,2.488272e-05,2.523633e-05,2.615243e-05,2.618975e-05,2.710028e-05,2.734750e-05,2.796769e-05,2.846748e-05,2.879211e-05,2.951297e-05,2.957397e-05,3.031394e-05,3.048540e-05,3.101291e-05,3.138680e-05,3.167190e-05,3.221967e-05,3.229208e-05,3.287469e-05,3.298682e-05,3.342104e-05,3.369126e-05,3.393248e-05,3.433612e-05,3.441039e-05,3.485614e-05,3.492457e-05,3.527113e-05,3.545980e-05,3.565671e-05,3.594492e-05,3.601424e-05,3.634504e-05,3.638300e-05,3.665038e-05,3.677699e-05,3.693152e-05,3.712976e-05,3.718968e-05,3.742602e-05,3.744402e-05,3.764168e-05,3.772240e-05,3.783775e-05,3.796738e-05,3.801527e-05,3.817525e-05,3.818130e-05,3.831866e-05,3.836641e-05,3.844642e-05,3.852481e-05,3.855941e-05,3.865848e-05,3.874444e-05,3.876930e-05,3.881805e-05,3.885903e-05,3.888006e-05,3.892932e-05,3.893117e-05,3.897203e-05,3.898173e-05,3.900330e-05,3.901770e-05,3.902557e-05,3.903860e-05,3.903941e-05,3.904538e-05,3.904570e-05,3.904400e-05,3.904019e-05,3.903575e-05,3.902319e-05,3.902111e-05,3.900053e-05,3.899573e-05,3.897441e-05,3.895878e-05,3.894317e-05,3.891324e-05,3.890718e-05,3.886680e-05,3.885995e-05,3.882237e-05,3.879970e-05,3.877420e-05,3.873319e-05,3.872262e-05,3.866789e-05,3.866112e-05,3.861029e-05,3.858411e-05,3.855009e-05,3.850273e-05,3.848751e-05,3.842279e-05,3.841753e-05,3.835614e-05,3.832899e-05,3.828777e-05,3.823758e-05,3.821787e-05,3.814661e-05,3.814373e-05,3.807417e-05,3.804783e-05,3.800070e-05,3.795023e-05,3.792635e-05,3.785127e-05,3.775126e-05,3.765048e-05,3.754918e-05,3.744760e-05,3.734595e-05,3.724444e-05,3.714323e-05,3.704250e-05,3.694239e-05,3.684302e-05,3.674453e-05,3.664702e-05,3.655058e-05,3.645531e-05,3.636127e-05,3.626853e-05,3.617716e-05,3.608720e-05,3.599869e-05,3.591168e-05,3.582619e-05,3.574226e-05,3.565989e-05,3.557911e-05
0.000000e+00,7.168217e-14,4.845836e-13,8.295962e-12,5.434664e-11,1.283271e-10,8.156884e-10,8.717523e-10,3.776578e-09,5.385761e-09,1.232155e-08,2.272490e-08,3.308746e-08,7.237761e-08,7.711197e-08,1.613796e-07,1.901315e-07,3.103430e-07,4.340265e-07,5.572556e-07,8.893745e-07,9.449889e-07,1.526043e-06,1.670704e-06,2.361652e-06,2.919217e-06,3.520101e-06,4.796067e-06,5.074466e-06,7.100045e-06,7.472897e-06,9.671685e-06,1.112130e-05,1.286120e-05,1.590255e-05,1.673500e-05,2.135203e-05,2.195848e-05,2.676203e-05,2.940416e-05,3.300424e-05,3.832246e-05,4.010648e-05,4.808460e-05,4.876088e-05,5.694229e-05,6.073019e-05,6.667127e-05,7.420495e-05,7.725172e-05,8.865300e-05,8.912559e-05,1.008346e-04,1.054017e-04,1.137470e-04,1.229161e-04,1.273333e-04,1.415299e-04,1.562683e-04,1.610873e-04,1.714761e-04,1.814208e-04,1.870781e-04,2.023560e-04,2.029980e-04,2.191589e-04,2.237167e-04,2.354847e-04,2.453282e-04,2.519009e-04,2.670216e-04,2.683354e-04,2.847190e-04,2.886362e-04,3.009864e-04,3.100223e-04,3.170761e-04,3.310426e-04,3.329310e-04,3.484988e-04,3.515737e-04,3.637320e-04,3.715067e-04,3.785879e-04,3.907475e-04,3.930288e-04,4.070216e-04,4.092169e-04,4.205381e-04,4.268497e-04,4.335546e-04,4.435948e-04,4.460519e-04,4.580147e-04,4.594137e-04,4.694316e-04,4.742801e-04,4.802951e-04,4.881784e-04,4.906008e-04,5.003474e-04,5.011030e-04,5.095365e-04,5.130569e-04,5.181722e-04,5.240508e-04,5.262609e-04,5.338108e-04,5.341018e-04,5.408322e-04,5.432327e-04,5.473366e-04,5.514709e-04,5.533370e-04,5.588476e-04,5.638832e-04,5.653968e-04,5.684596e-04,5.711550e-04,5.725931e-04,5.761600e-04,5.763003e-04,5.795984e-04,5.804508e-04,5.825044e-04,5.840669e-04,5.850355e-04,5.870479e-04,5.872090e-04,5.890418e-04,5.894328e-04,5.905508e-04,5.912606e-04,5.917526e-04,5.925690e-04,5.926635e-04,5.932994e-04,5.933949e-04,5.936758e-04,5.937741e-04,5.938079e-04,5.937408e-04,5.937103e-04,5.933972e-04,5.933280e-04,5.928822e-04,5.925672e-04,5.921785e-04,5.914882e-04,5.912987e-04,5.902551e-04,5.901194e-04,5.890592e-04,5.884877e-04,5.877222e-04,5.866182e-04,5.862547e-04,5.846668e-04,5.845349e-04,5.829683e-04,5.822599e-04,5.811683e-04,5.798143e-04,5.792755e-04,5.772982e-04,5.772174e-04,5.752442e-04,5.744875e-04,5.731211e-04,5.716413e-04,5.709357e-04,5.686947e-04,5.656620e-04,5.625568e-04,5.593913e-04,5.561770e-04,5.529243e-04,5.496429e-04,5.463415e-04,5.430283e-04,5.397104e-04,5.363946e-04,5.330868e-04,5.297927e-04,5.265170e-04,5.232643e-04,5.200385e-04,5.168432e-04,5.136816e-04,5.105563e-04,5.074700e-04,5.044247e-04,5.014224e-04,4.984645e-04,4.955526e-04,4.926876e-04
0.000000e+00,8.843807e-11,4.407224e-10,4.151171e-09,1.643235e-08,2.990552e-08,1.020314e-07,1.064766e-07,2.667723e-07,3.313782e-07,5.460818e-07,7.870182e-07,9.839416e-07,1.564786e-06,1.624555e-06,2.510188e-06,2.762502e-06,3.664759e-06,4.426893e-06,5.079582e-06,6.511225e-06,6.718127e-06,8.534007e-06,8.914568e-06,1.048448e-05,1.153998e-05,1.253442e-05,1.431204e-05,1.465503e-05,1.682163e-05,1.717105e-05,1.901210e-05,2.006598e-05,2.120613e-05,2.295128e-05,2.338500e-05,2.553168e-05,2.578638e-05,2.763098e-05,2.853618e-05,2.966969e-05,3.117166e-05,3.163668e-05,3.352294e-05,3.367013e-05,3.532147e-05,3.601511e-05,3.702715e-05,3.819580e-05,3.863661e-05,4.014800e-05,4.020641e-05,4.156083e-05,4.204540e-05,4.287567e-05,4.371452e-05,4.409401e-05,4.521813e-05,4.625087e-05,4.656256e-05,4.719546e-05,4.775540e-05,4.805553e-05,4.880520e-05,4.883488e-05,4.953743e-05,4.972093e-05,5.016720e-05,5.051180e-05,5.072819e-05,5.118694e-05,5.122434e-05,5.165950e-05,5.175528e-05,5.203744e-05,5.222546e-05,5.236181e-05,5.260572e-05,5.263610e-05,5.286364e-05,5.290383e-05,5.304764e-05,5.312712e-05,5.319112e-05,5.328246e-05,5.329698e-05,5.336794e-05,5.337622e-05,5.340657e-05,5.341436e-05,5.341532e-05,5.340234e-05,5.339647e-05,5.335218e-05,5.334525e-05,5.328448e-05,5.324777e-05,5.319527e-05,5.311419e-05,5.308633e-05,5.295935e-05,5.294846e-05,5.281587e-05,5.275420e-05,5.265738e-05,5.253474e-05,5.248524e-05,5.230072e-05,5.229310e-05,5.210504e-05,5.203207e-05,5.189929e-05,5.175418e-05,5.168453e-05,5.146173e-05,5.123178e-05,5.115683e-05,5.099553e-05,5.084138e-05,5.075375e-05,5.051713e-05,5.050719e-05,5.025650e-05,5.018566e-05,5.000233e-05,4.984839e-05,4.974524e-05,4.950661e-05,4.948578e-05,4.922445e-05,4.916150e-05,4.896170e-05,4.881411e-05,4.869797e-05,4.846538e-05,4.843364e-05,4.816909e-05,4.811618e-05,4.790464e-05,4.776727e-05,4.764060e-05,4.741934e-05,4.737726e-05,4.711487e-05,4.707299e-05,4.685368e-05,4.672879e-05,4.659389e-05,4.638721e-05,4.633571e-05,4.607932e-05,4.604868e-05,4.582488e-05,4.571358e-05,4.557253e-05,4.538224e-05,4.532242e-05,4.507466e-05,4.505494e-05,4.482936e-05,4.473195e-05,4.458662e-05,4.441347e-05,4.434652e-05,4.410913e-05,4.409970e-05,4.387453e-05,4.379077e-05,4.364278e-05,4.348683e-05,4.341391e-05,4.318798e-05,4.289430e-05,4.260586e-05,4.232269e-05,4.204484e-05,4.177232e-05,4.150513e-05,4.124326e-05,4.098670e-05,4.073542e-05,4.048938e-05,4.024854e-05,4.001285e-05,3.978225e-05,3.955670e-05,3.933611e-05,3.912043e-05,3.890958e-05,3.870349e-05,3.850208e-05,3.830528e-05,3.811300e-05,3.792517e-05,3.774170e-05,3.756251e-05
0.000000e+00,1.803262e-09,5.510716e-09,2.572658e-08,6.739407e-08,1.035650e-07,2.571481e-07,2.656180e-07,5.415186e-07,6.432837e-07,9.617475e-07,1.296399e-06,1.558100e-06,2.287536e-06,2.359720e-06,3.382434e-06,3.660716e-06,4.622705e-06,5.407054e-06,6.066237e-06,7.492503e-06,7.697737e-06,9.503244e-06,9.884035e-06,1.146912e-05,1.255000e-05,1.358092e-05,1.545611e-05,1.582288e-05,1.817790e-05,1.856399e-05,2.062778e-05,2.183188e-05,2.315364e-05,2.521619e-05,2.573639e-05,2.835722e-05,2.867340e-05,3.099801e-05,3.216183e-05,3.364165e-05,3.564294e-05,3.627233e-05,3.887573e-05,3.908244e-05,4.143913e-05,4.245075e-05,4.395143e-05,4.572327e-05,4.640317e-05,4.878642e-05,4.888023e-05,5.109475e-05,5.190639e-05,5.332308e-05,5.479063e-05,5.546755e-05,5.752542e-05,5.949490e-05,6.010629e-05,6.137505e-05,6.253135e-05,6.316567e-05,6.480080e-05,6.486716e-05,6.648043e-05,6.691651e-05,6.800684e-05,6.888168e-05,6.944807e-05,7.070047e-05,7.080610e-05,7.208310e-05,7.237779e-05,7.328144e-05,7.391906e-05,7.440358e-05,7.533006e-05,7.545208e-05,7.642954e-05,7.661674e-05,7.733860e-05,7.778516e-05,7.818191e-05,7.884139e-05,7.896208e-05,7.968173e-05,7.979143e-05,8.034340e-05,8.064115e-05,8.094962e-05,8.139632e-05,8.150284e-05,8.200546e-05,8.206249e-05,8.245981e-05,8.264502e-05,8.286816e-05,8.314909e-05,8.323269e-05,8.355555e-05,8.357964e-05,8.383876e-05,8.394140e-05,8.408433e-05,8.423889e-05,8.429414e-05,8.447005e-05,8.447641e-05,8.461381e-05,8.465803e-05,8.472713e-05,8.478763e-05,8.481163e-05,8.486888e-05,8.490038e-05,8.490526e-05,8.490758e-05,8.490006e-05,8.489184e-05,8.485638e-05,8.485448e-05,8.479678e-05,8.477714e-05,8.471993e-05,8.466512e-05,8.462509e-05,8.452290e-05,8.451337e-05,8.438581e-05,8.435296e-05,8.424343e-05,8.415758e-05,8.408718e-05,8.393893e-05,8.391797e-05,8.373668e-05,8.369905e-05,8.354415e-05,8.343985e-05,8.334115e-05,8.316311e-05,8.312846e-05,8.290678e-05,8.287052e-05,8.267680e-05,8.256365e-05,8.243917e-05,8.224397e-05,8.219451e-05,8.194340e-05,8.191286e-05,8.168641e-05,8.157160e-05,8.142405e-05,8.122139e-05,8.115685e-05,8.088526e-05,8.086336e-05,8.060975e-05,8.049855e-05,8.033075e-05,8.012793e-05,8.004865e-05,7.976385e-05,7.975241e-05,7.947671e-05,7.937283e-05,7.918757e-05,7.898998e-05,7.889676e-05,7.860459e-05,7.821732e-05,7.782880e-05,7.743961e-05,7.705029e-05,7.666132e-05,7.627316e-05,7.588623e-05,7.550092e-05,7.511756e-05,7.473649e-05,7.435800e-05,7.398236e-05,7.360981e-05,7.324057e-05,7.287484e-05,7.251280e-05,7.215461e-05,7.180041e-05,7.145033e-05,7.110447e-05,7.076294e-05,7.042582e-05,7.009318e-05,6.976508e-05
0.000000e+00,3.698737e-09,8.517916e-09,2.939904e-08,6.683072e-08,9.736977e-08,2.197117e-07,2.262622e-07,4.339665e-07,5.086839e-07,7.384886e-07,9.754315e-07,1.158548e-06,1.663439e-06,1.713188e-06,2.419011e-06,2.612094e-06,3.284294e-06,3.837065e-06,4.303643e-06,5.314431e-06,5.459634e-06,6.730010e-06,6.995881e-06,8.093328e-06,8.832613e-06,9.530694e-06,1.078309e-05,1.102549e-05,1.256267e-05,1.281161e-05,1.412829e-05,1.488600e-05,1.570922e-05,1.697670e-05,1.729316e-05,1.886861e-05,1.905659e-05,2.042505e-05,2.110137e-05,2.195298e-05,2.308994e-05,2.344402e-05,2.489093e-05,2.500459e-05,2.628767e-05,2.683118e-05,2.762931e-05,2.855897e-05,2.891199e-05,3.013289e-05,3.018041e-05,3.129009e-05,3.169086e-05,3.238250e-05,3.308810e-05,3.340972e-05,3.437194e-05,3.526993e-05,3.554390e-05,3.610485e-05,3.660680e-05,3.687823e-05,3.756445e-05,3.759188e-05,3.824780e-05,3.842141e-05,3.884819e-05,3.918271e-05,3.939532e-05,3.985367e-05,3.989156e-05,4.033929e-05,4.043980e-05,4.074093e-05,4.094661e-05,4.109887e-05,4.137958e-05,4.141546e-05,4.169300e-05,4.174401e-05,4.193371e-05,4.204504e-05,4.213976e-05,4.228759e-05,4.231325e-05,4.245618e-05,4.247634e-05,4.257048e-05,4.261572e-05,4.265800e-05,4.270990e-05,4.272047e-05,4.275959e-05,4.276279e-05,4.277694e-05,4.277807e-05,4.277403e-05,4.275916e-05,4.275230e-05,4.271310e-05,4.270925e-05,4.265771e-05,4.263130e-05,4.258736e-05,4.252808e-05,4.250318e-05,4.240625e-05,4.240212e-05,4.229759e-05,4.225579e-05,4.217816e-05,4.209126e-05,4.204886e-05,4.191055e-05,4.176401e-05,4.171551e-05,4.161000e-05,4.150784e-05,4.144922e-05,4.128912e-05,4.128233e-05,4.110996e-05,4.106079e-05,4.093267e-05,4.082416e-05,4.075101e-05,4.058046e-05,4.056549e-05,4.037659e-05,4.033079e-05,4.018474e-05,4.007618e-05,3.999037e-05,3.981754e-05,3.979386e-05,3.959556e-05,3.955572e-05,3.939583e-05,3.929150e-05,3.919497e-05,3.902558e-05,3.899327e-05,3.879100e-05,3.875860e-05,3.858841e-05,3.849113e-05,3.838574e-05,3.822369e-05,3.818320e-05,3.798100e-05,3.795677e-05,3.777931e-05,3.769078e-05,3.757832e-05,3.742611e-05,3.737816e-05,3.717900e-05,3.716311e-05,3.698096e-05,3.690208e-05,3.678416e-05,3.664330e-05,3.658872e-05,3.639473e-05,3.638701e-05,3.620230e-05,3.613342e-05,3.601150e-05,3.588273e-05,3.582241e-05,3.563510e-05,3.539068e-05,3.514959e-05,3.491193e-05,3.467781e-05,3.444728e-05,3.422042e-05,3.399726e-05,3.377785e-05,3.356221e-05,3.335036e-05,3.314230e-05,3.293804e-05,3.273756e-05,3.254086e-05,3.234792e-05,3.215871e-05,3.197320e-05,3.179136e-05,3.161315e-05,3.143854e-05,3.126748e-05,3.109993e-05,3.093584e-05,3.077516e-05
0.000000e+00,6.188212e-12,3.533256e-11,4.290927e-10,2.073362e-09,4.157514e-09,1.753916e-08,1.844173e-08,5.419347e-08,6.976571e-08,1.241262e-07,1.879231e-07,2.412555e-07,4.014536e-07,4.180755e-07,6.661846e-07,7.375308e-07,9.960774e-07,1.220015e-06,1.416901e-06,1.868368e-06,1.936050e-06,2.558554e-06,2.695686e-06,3.286260e-06,3.705702e-06,4.116994e-06,4.889618e-06,5.043992e-06,6.055997e-06,6.224855e-06,7.138202e-06,7.677689e-06,8.273794e-06,9.209163e-06,9.445633e-06,1.063759e-05,1.078128e-05,1.183536e-05,1.236101e-05,1.302677e-05,1.392172e-05,1.420176e-05,1.535221e-05,1.544298e-05,1.647167e-05,1.690961e-05,1.755514e-05,1.831078e-05,1.859884e-05,1.960003e-05,1.963917e-05,2.055687e-05,2.089024e-05,2.146824e-05,2.206173e-05,2.233365e-05,2.315311e-05,2.392705e-05,2.416522e-05,2.465625e-05,2.509993e-05,2.534174e-05,2.595984e-05,2.598476e-05,2.658669e-05,2.674807e-05,2.714903e-05,2.746808e-05,2.767335e-05,2.812352e-05,2.816125e-05,2.861435e-05,2.871810e-05,2.903428e-05,2.925555e-05,2.942264e-05,2.973953e-05,2.978100e-05,3.011089e-05,3.017358e-05,3.041381e-05,3.056116e-05,3.069122e-05,3.090553e-05,3.094449e-05,3.117498e-05,3.120983e-05,3.138395e-05,3.147698e-05,3.157264e-05,3.170979e-05,3.174223e-05,3.189382e-05,3.191086e-05,3.202849e-05,3.208264e-05,3.214724e-05,3.222744e-05,3.225103e-05,3.234079e-05,3.234739e-05,3.241737e-05,3.244450e-05,3.248159e-05,3.252062e-05,3.253424e-05,3.257605e-05,3.257750e-05,3.260770e-05,3.261675e-05,3.262988e-05,3.263985e-05,3.264319e-05,3.264822e-05,3.264553e-05,3.264313e-05,3.263565e-05,3.262578e-05,3.261907e-05,3.259728e-05,3.259625e-05,3.256766e-05,3.255867e-05,3.253369e-05,3.251089e-05,3.249474e-05,3.245484e-05,3.245119e-05,3.240339e-05,3.239132e-05,3.235165e-05,3.232109e-05,3.229631e-05,3.224484e-05,3.223764e-05,3.217593e-05,3.216324e-05,3.211143e-05,3.207687e-05,3.204439e-05,3.198629e-05,3.197505e-05,3.190361e-05,3.189200e-05,3.183028e-05,3.179447e-05,3.175526e-05,3.169414e-05,3.167871e-05,3.160082e-05,3.159139e-05,3.152174e-05,3.148661e-05,3.144163e-05,3.138013e-05,3.136061e-05,3.127882e-05,3.127225e-05,3.119639e-05,3.116326e-05,3.111343e-05,3.105343e-05,3.103005e-05,3.094635e-05,3.094299e-05,3.086242e-05,3.083217e-05,3.077836e-05,3.072116e-05,3.069424e-05,3.061015e-05,3.049930e-05,3.038877e-05,3.027870e-05,3.016922e-05,3.006043e-05,2.995245e-05,2.984536e-05,2.973925e-05,2.963419e-05,2.953026e-05,2.942751e-05,2.932599e-05,2.922576e-05,2.912686e-05,2.902931e-05,2.893315e-05,2.883841e-05,2.874510e-05,2.865325e-05,2.856287e-05,2.847396e-05,2.838655e-05,2.830062e-05,2.821619e-05
0.000000e+00,1.886796e-14,1.265105e-13,2.128780e-12,1.372290e-11,3.211324e-11,1.993152e-10,2.128041e-10,8.994780e-10,1.273960e-09,2.863643e-09,5.204662e-09,7.504463e-09,1.605280e-08,1.706972e-08,3.487311e-08,4.085146e-08,6.549498e-08,9.042028e-08,1.149442e-07,1.799692e-07,1.907404e-07,3.018685e-07,3.292170e-07,4.585755e-07,5.617564e-07,6.720208e-07,9.036601e-07,9.538233e-07,1.315566e-06,1.381613e-06,1.768307e-06,2.020957e-06,2.322144e-06,2.843945e-06,2.985843e-06,3.766559e-06,3.868382e-06,4.669642e-06,5.106717e-06,5.698515e-06,6.565557e-06,6.854637e-06,8.137524e-06,8.245573e-06,9.544818e-06,1.014171e-05,1.107241e-05,1.224363e-05,1.271460e-05,1.446426e-05,1.453636e-05,1.631303e-05,1.700107e-05,1.825155e-05,1.961584e-05,2.026963e-05,2.235652e-05,2.450105e-05,2.519762e-05,2.669186e-05,2.811301e-05,2.891758e-05,3.107667e-05,3.116696e-05,3.342907e-05,3.406330e-05,3.569339e-05,3.704885e-05,3.794991e-05,4.001093e-05,4.018924e-05,4.240266e-05,4.292912e-05,4.458218e-05,4.578517e-05,4.672056e-05,4.856317e-05,4.881136e-05,5.084887e-05,5.124953e-05,5.282818e-05,5.383301e-05,5.474512e-05,5.630460e-05,5.659623e-05,5.837874e-05,5.865743e-05,6.009053e-05,6.088659e-05,6.173005e-05,6.298897e-05,6.329634e-05,6.478890e-05,6.496305e-05,6.620774e-05,6.680875e-05,6.755322e-05,6.852717e-05,6.882609e-05,7.002741e-05,7.012046e-05,7.115851e-05,7.159162e-05,7.222093e-05,7.294434e-05,7.321644e-05,7.414695e-05,7.418284e-05,7.501447e-05,7.531177e-05,7.582115e-05,7.633607e-05,7.656920e-05,7.726084e-05,7.789837e-05,7.809132e-05,7.848406e-05,7.883274e-05,7.902018e-05,7.949034e-05,7.950901e-05,7.995275e-05,8.006922e-05,8.035359e-05,8.057440e-05,8.071367e-05,8.101072e-05,8.103506e-05,8.131976e-05,8.138285e-05,8.156974e-05,8.169527e-05,8.178689e-05,8.195224e-05,8.197299e-05,8.212981e-05,8.215781e-05,8.225901e-05,8.231581e-05,8.236219e-05,8.242986e-05,8.244087e-05,8.249650e-05,8.250335e-05,8.253048e-05,8.253949e-05,8.254413e-05,8.254126e-05,8.253871e-05,8.251542e-05,8.251148e-05,8.247539e-05,8.245276e-05,8.241970e-05,8.236753e-05,8.234937e-05,8.226537e-05,8.225809e-05,8.216861e-05,8.212652e-05,8.205995e-05,8.197481e-05,8.194022e-05,8.181018e-05,8.180478e-05,8.167057e-05,8.161811e-05,8.152208e-05,8.141637e-05,8.136536e-05,8.120103e-05,8.097343e-05,8.073482e-05,8.048635e-05,8.022910e-05,7.996405e-05,7.969211e-05,7.941414e-05,7.913092e-05,7.884315e-05,7.855152e-05,7.825665e-05,7.795909e-05,7.765938e-05,7.735800e-05,7.705540e-05,7.675200e-05,7.644816e-05,7.614424e-05,7.584056e-05,7.553742e-05,7.523509e-05,7.493381e-05,7.463381e-05,7.433531e-05
0.000000e+00,5.204349e-14,3.539105e-13,6.136166e-12,4.066705e-11,9.663768e-11,6.242659e-10,6.676039e-10,2.936775e-09,4.204791e-09,9.711679e-09,1.803913e-08,2.637794e-08,5.819157e-08,6.203786e-08,1.307181e-07,1.542083e-07,2.525641e-07,3.538957e-07,4.549404e-07,7.276429e-07,7.733643e-07,1.252202e-06,1.371772e-06,1.945063e-06,2.410447e-06,2.914835e-06,3.995719e-06,4.233311e-06,5.980370e-06,6.305385e-06,8.242743e-06,9.538569e-06,1.111237e-05,1.390921e-05,1.468444e-05,1.905529e-05,1.963801e-05,2.432009e-05,2.694365e-05,3.057068e-05,3.603379e-05,3.789337e-05,4.636708e-05,4.709686e-05,5.606155e-05,6.029480e-05,6.703600e-05,7.575733e-05,7.933796e-05,9.300251e-05,9.357779e-05,1.080518e-04,1.138107e-04,1.244949e-04,1.364709e-04,1.423279e-04,1.615341e-04,1.820848e-04,1.889388e-04,2.039401e-04,2.185892e-04,2.270495e-04,2.503588e-04,2.513530e-04,2.767826e-04,2.840945e-04,3.032627e-04,3.196214e-04,3.307120e-04,3.567471e-04,3.590441e-04,3.881690e-04,3.952666e-04,4.179939e-04,4.349666e-04,4.484247e-04,4.756295e-04,4.793663e-04,5.107240e-04,5.170372e-04,5.424042e-04,5.589747e-04,5.743149e-04,6.012327e-04,6.063669e-04,6.384734e-04,6.436100e-04,6.705517e-04,6.859157e-04,7.025223e-04,7.279707e-04,7.343103e-04,7.658449e-04,7.696089e-04,7.970602e-04,8.106777e-04,8.278946e-04,8.510390e-04,8.582915e-04,8.881989e-04,8.905689e-04,9.175697e-04,9.291581e-04,9.463613e-04,9.667111e-04,9.745357e-04,1.002059e-03,1.003146e-03,1.028903e-03,1.038395e-03,1.055041e-03,1.072401e-03,1.080453e-03,1.105121e-03,1.129031e-03,1.136520e-03,1.152172e-03,1.166575e-03,1.174537e-03,1.195272e-03,1.196120e-03,1.216921e-03,1.222605e-03,1.236939e-03,1.248575e-03,1.256177e-03,1.273191e-03,1.274640e-03,1.292334e-03,1.296467e-03,1.309268e-03,1.318423e-03,1.325452e-03,1.339083e-03,1.340898e-03,1.355616e-03,1.358474e-03,1.369622e-03,1.376628e-03,1.382930e-03,1.393579e-03,1.395554e-03,1.407511e-03,1.409363e-03,1.418818e-03,1.424018e-03,1.429490e-03,1.437584e-03,1.439546e-03,1.449004e-03,1.450099e-03,1.457880e-03,1.461606e-03,1.466193e-03,1.472145e-03,1.473960e-03,1.481200e-03,1.481757e-03,1.487931e-03,1.490485e-03,1.494170e-03,1.498367e-03,1.499935e-03,1.505242e-03,1.505445e-03,1.510111e-03,1.511759e-03,1.514556e-03,1.517346e-03,1.518595e-03,1.522245e-03,1.526492e-03,1.530123e-03,1.533173e-03,1.535675e-03,1.537662e-03,1.539164e-03,1.540211e-03,1.540833e-03,1.541057e-03,1.540908e-03,1.540413e-03,1.539595e-03,1.538476e-03,1.537080e-03,1.535426e-03,1.533535e-03,1.531424e-03,1.529112e-03,1.526615e-03,1.523950e-03,1.521131e-03,1.518173e-03,1.515089e-03,1.511891e-03
0.000000e+00,6.625058e-10,2.215785e-09,1.146788e-08,3.149974e-08,4.922487e-08,1.255860e-07,1.298221e-07,2.682994e-07,3.194831e-07,4.797123e-07,6.480696e-07,7.797718e-07,1.148236e-06,1.184901e-06,1.711117e-06,1.856957e-06,2.370933e-06,2.800733e-06,3.168186e-06,3.976365e-06,4.093542e-06,5.125444e-06,5.342232e-06,6.236736e-06,6.837198e-06,7.401441e-06,8.405078e-06,8.597882e-06,9.808806e-06,1.000294e-05,1.102050e-05,1.159903e-05,1.222182e-05,1.316918e-05,1.340358e-05,1.455815e-05,1.469455e-05,1.567919e-05,1.616047e-05,1.676158e-05,1.755579e-05,1.780123e-05,1.879509e-05,1.887256e-05,1.974100e-05,2.010561e-05,2.063760e-05,2.125224e-05,2.148425e-05,2.228092e-05,2.231176e-05,2.302809e-05,2.328512e-05,2.372666e-05,2.417455e-05,2.437788e-05,2.498323e-05,2.554441e-05,2.571495e-05,2.606324e-05,2.637394e-05,2.654163e-05,2.696466e-05,2.698154e-05,2.738494e-05,2.749162e-05,2.775380e-05,2.795933e-05,2.809003e-05,2.837215e-05,2.839550e-05,2.867204e-05,2.873430e-05,2.892139e-05,2.904977e-05,2.914521e-05,2.932233e-05,2.934510e-05,2.952258e-05,2.955551e-05,2.967908e-05,2.975262e-05,2.981596e-05,2.991671e-05,2.993449e-05,3.003590e-05,3.005061e-05,3.012131e-05,3.015694e-05,3.019180e-05,3.023812e-05,3.024837e-05,3.029197e-05,3.029637e-05,3.032348e-05,3.033373e-05,3.034373e-05,3.035208e-05,3.035351e-05,3.035353e-05,3.035313e-05,3.034449e-05,3.033848e-05,3.032702e-05,3.030957e-05,3.030173e-05,3.026917e-05,3.026773e-05,3.022988e-05,3.021418e-05,3.018434e-05,3.015004e-05,3.013302e-05,3.007634e-05,3.001472e-05,2.999402e-05,2.994853e-05,2.990394e-05,2.987813e-05,2.980689e-05,2.980385e-05,2.972600e-05,2.970360e-05,2.964486e-05,2.959473e-05,2.956073e-05,2.948089e-05,2.947384e-05,2.938445e-05,2.936265e-05,2.929277e-05,2.924052e-05,2.919902e-05,2.911496e-05,2.910339e-05,2.900608e-05,2.898642e-05,2.890724e-05,2.885530e-05,2.880705e-05,2.872195e-05,2.870565e-05,2.860319e-05,2.858671e-05,2.849980e-05,2.844989e-05,2.839562e-05,2.831177e-05,2.829074e-05,2.818530e-05,2.817261e-05,2.807938e-05,2.803265e-05,2.797308e-05,2.789210e-05,2.786650e-05,2.775972e-05,2.775117e-05,2.765282e-05,2.761004e-05,2.754587e-05,2.746887e-05,2.743894e-05,2.733210e-05,2.732783e-05,2.722540e-05,2.718704e-05,2.711891e-05,2.704665e-05,2.701268e-05,2.690676e-05,2.676748e-05,2.662892e-05,2.649116e-05,2.635429e-05,2.621837e-05,2.608347e-05,2.594965e-05,2.581697e-05,2.568548e-05,2.555522e-05,2.542623e-05,2.529854e-05,2.517218e-05,2.504719e-05,2.492358e-05,2.480138e-05,2.468060e-05,2.456125e-05,2.444336e-05,2.432692e-05,2.421196e-05,2.409846e-05,2.398644e-05,2.387589e-05
0.000000e+00,1.800112e-12,1.126923e-11,1.644878e-10,9.316526e-10,2.030953e-09,1.050226e-08,1.113032e-08,3.930390e-08,5.302886e-08,1.055786e-07,1.740948e-07,2.356978e-07,4.386191e-07,4.609554e-07,8.168679e-07,9.259513e-07,1.341781e-06,1.724226e-06,2.074944e-06,2.921916e-06,3.053370e-06,4.307565e-06,4.593471e-06,5.857489e-06,6.783238e-06,7.710372e-06,9.497365e-06,9.860907e-06,1.229321e-05,1.270703e-05,1.498356e-05,1.635823e-05,1.790304e-05,2.038217e-05,2.101967e-05,2.430003e-05,2.470307e-05,2.771033e-05,2.924340e-05,3.121721e-05,3.392706e-05,3.478830e-05,3.839272e-05,3.868163e-05,4.200140e-05,4.343997e-05,4.558746e-05,4.814158e-05,4.912644e-05,5.259648e-05,5.273357e-05,5.597848e-05,5.717120e-05,5.925606e-05,6.141811e-05,6.241560e-05,6.544608e-05,6.833899e-05,6.923459e-05,7.108809e-05,7.277005e-05,7.368923e-05,7.604496e-05,7.614010e-05,7.844003e-05,7.905703e-05,8.058973e-05,8.180819e-05,8.259111e-05,8.430382e-05,8.444702e-05,8.616115e-05,8.655191e-05,8.773778e-05,8.856239e-05,8.918167e-05,9.034658e-05,9.049797e-05,9.169204e-05,9.191666e-05,9.276939e-05,9.328535e-05,9.373563e-05,9.446550e-05,9.459635e-05,9.535713e-05,9.546994e-05,9.602342e-05,9.631126e-05,9.660059e-05,9.700167e-05,9.709385e-05,9.750825e-05,9.755291e-05,9.784866e-05,9.797621e-05,9.811976e-05,9.828221e-05,9.832604e-05,9.847180e-05,9.848097e-05,9.856114e-05,9.858195e-05,9.859795e-05,9.859403e-05,9.858596e-05,9.852867e-05,9.852549e-05,9.842944e-05,9.838407e-05,9.829143e-05,9.817696e-05,9.811762e-05,9.791085e-05,9.767376e-05,9.759191e-05,9.740889e-05,9.722588e-05,9.711858e-05,9.681803e-05,9.680507e-05,9.647046e-05,9.637325e-05,9.611670e-05,9.589603e-05,9.574565e-05,9.539051e-05,9.535905e-05,9.495851e-05,9.486047e-05,9.454555e-05,9.430941e-05,9.412161e-05,9.374052e-05,9.368802e-05,9.324602e-05,9.315671e-05,9.279677e-05,9.256066e-05,9.234136e-05,9.195481e-05,9.188081e-05,9.141606e-05,9.134136e-05,9.094797e-05,9.072235e-05,9.047738e-05,9.009960e-05,9.000503e-05,8.953162e-05,8.947478e-05,8.905781e-05,8.884937e-05,8.858420e-05,8.822473e-05,8.811134e-05,8.763975e-05,8.760209e-05,8.716989e-05,8.698253e-05,8.670220e-05,8.636703e-05,8.623708e-05,8.577490e-05,8.575647e-05,8.531598e-05,8.515163e-05,8.486063e-05,8.455318e-05,8.440914e-05,8.396174e-05,8.337782e-05,8.280190e-05,8.223436e-05,8.167555e-05,8.112575e-05,8.058521e-05,8.005411e-05,7.953262e-05,7.902085e-05,7.851888e-05,7.802678e-05,7.754456e-05,7.707224e-05,7.660981e-05,7.615721e-05,7.571441e-05,7.528134e-05,7.485790e-05,7.444401e-05,7.403956e-05,7.364443e-05,7.325850e-05,7.288163e-05,7.251369e-05
0.000000e+00,1.666746e-11,9.433271e-11,1.125244e-09,5.352131e-09,1.064356e-08,4.403039e-08,4.626258e-08,1.338695e-07,1.717728e-07,3.037630e-07,4.588181e-07,5.889609e-07,9.839879e-07,1.025361e-06,1.651367e-06,1.834041e-06,2.503477e-06,3.089270e-06,3.605676e-06,4.782477e-06,4.957050e-06,6.527562e-06,6.863682e-06,8.266163e-06,9.217280e-06,1.011468e-05,1.171258e-05,1.201908e-05,1.393492e-05,1.424009e-05,1.582791e-05,1.672063e-05,1.767241e-05,1.910013e-05,1.944938e-05,2.114465e-05,2.134207e-05,2.274781e-05,2.342199e-05,2.425137e-05,2.532434e-05,2.565039e-05,2.694206e-05,2.704072e-05,2.812549e-05,2.856867e-05,2.920142e-05,2.991071e-05,3.017204e-05,3.104070e-05,3.107338e-05,3.181166e-05,3.206622e-05,3.248984e-05,3.290073e-05,3.308061e-05,3.358965e-05,3.402278e-05,3.414631e-05,3.438586e-05,3.458411e-05,3.468461e-05,3.491607e-05,3.492461e-05,3.511119e-05,3.515455e-05,3.524939e-05,3.531108e-05,3.534396e-05,3.539624e-05,3.539932e-05,3.541957e-05,3.541963e-05,3.540848e-05,3.538990e-05,3.536954e-05,3.531476e-05,3.530591e-05,3.522048e-05,3.520101e-05,3.511587e-05,3.505469e-05,3.499446e-05,3.488107e-05,3.485840e-05,3.470963e-05,3.468477e-05,3.454991e-05,3.446982e-05,3.438081e-05,3.423972e-05,3.420373e-05,3.401994e-05,3.399749e-05,3.383058e-05,3.374576e-05,3.363666e-05,3.348679e-05,3.343909e-05,3.323868e-05,3.322254e-05,3.303615e-05,3.295470e-05,3.283216e-05,3.268470e-05,3.262727e-05,3.242199e-05,3.241378e-05,3.221678e-05,3.214300e-05,3.201204e-05,3.187327e-05,3.180812e-05,3.160535e-05,3.140398e-05,3.133989e-05,3.120428e-05,3.107743e-05,3.100644e-05,3.081845e-05,3.081066e-05,3.061710e-05,3.056332e-05,3.042590e-05,3.031236e-05,3.023717e-05,3.006581e-05,3.005102e-05,2.986754e-05,2.982391e-05,2.968679e-05,2.958680e-05,2.950885e-05,2.935461e-05,2.933375e-05,2.916153e-05,2.912744e-05,2.899223e-05,2.890535e-05,2.882585e-05,2.868837e-05,2.866242e-05,2.850194e-05,2.847654e-05,2.834440e-05,2.826983e-05,2.818981e-05,2.806825e-05,2.803815e-05,2.788941e-05,2.787175e-05,2.774356e-05,2.768030e-05,2.760059e-05,2.749384e-05,2.746047e-05,2.732318e-05,2.731232e-05,2.718868e-05,2.713566e-05,2.705695e-05,2.696379e-05,2.692794e-05,2.680162e-05,2.679663e-05,2.667797e-05,2.663409e-05,2.655693e-05,2.647610e-05,2.643847e-05,2.632256e-05,2.617338e-05,2.602846e-05,2.588771e-05,2.575104e-05,2.561835e-05,2.548955e-05,2.536453e-05,2.524321e-05,2.512550e-05,2.501129e-05,2.490049e-05,2.479303e-05,2.468880e-05,2.458771e-05,2.448969e-05,2.439465e-05,2.430250e-05,2.421316e-05,2.412655e-05,2.404259e-05,2.396121e-05,2.388233e-05,2.380588e-05,2.373179e-05
0.000000e+00,1.924258e-14,1.308442e-13,2.267490e-12,1.502221e-11,3.569237e-11,2.305441e-10,2.465505e-10,1.085083e-09,1.553986e-09,3.592533e-09,6.680374e-09,9.777366e-09,2.162673e-08,2.306234e-08,4.877867e-08,5.760330e-08,9.467196e-08,1.330157e-07,1.713650e-07,2.752512e-07,2.927094e-07,4.759692e-07,5.218114e-07,7.418097e-07,9.204861e-07,1.114093e-06,1.528518e-06,1.619501e-06,2.287018e-06,2.410895e-06,3.147300e-06,3.637976e-06,4.231976e-06,5.282698e-06,5.572901e-06,7.201409e-06,7.417602e-06,9.147580e-06,1.011187e-05,1.143955e-05,1.342855e-05,1.410288e-05,1.716004e-05,1.742222e-05,2.062992e-05,2.213694e-05,2.452753e-05,2.760491e-05,2.886371e-05,3.364501e-05,3.384557e-05,3.887365e-05,4.086519e-05,4.454754e-05,4.865710e-05,5.066045e-05,5.720216e-05,6.415877e-05,6.646977e-05,7.151295e-05,7.641899e-05,7.924435e-05,8.700000e-05,8.732991e-05,9.574427e-05,9.815554e-05,1.044602e-04,1.098225e-04,1.134489e-04,1.219336e-04,1.226804e-04,1.321240e-04,1.344186e-04,1.417487e-04,1.472060e-04,1.515232e-04,1.602239e-04,1.614164e-04,1.713977e-04,1.734019e-04,1.814372e-04,1.866710e-04,1.915058e-04,1.999655e-04,2.015756e-04,2.116199e-04,2.132229e-04,2.216132e-04,2.263848e-04,2.315315e-04,2.393971e-04,2.413525e-04,2.510551e-04,2.522105e-04,2.606200e-04,2.647804e-04,2.700296e-04,2.770670e-04,2.792677e-04,2.883197e-04,2.890354e-04,2.971727e-04,3.006556e-04,3.058152e-04,3.119018e-04,3.142372e-04,3.224300e-04,3.227528e-04,3.303863e-04,3.331915e-04,3.381002e-04,3.432046e-04,3.455668e-04,3.527824e-04,3.597445e-04,3.619185e-04,3.664514e-04,3.706095e-04,3.729024e-04,3.788547e-04,3.790976e-04,3.850380e-04,3.866558e-04,3.907251e-04,3.940167e-04,3.961612e-04,4.009431e-04,4.013490e-04,4.062920e-04,4.074423e-04,4.109939e-04,4.135232e-04,4.154589e-04,4.191957e-04,4.196915e-04,4.236967e-04,4.244708e-04,4.274794e-04,4.293603e-04,4.310450e-04,4.338764e-04,4.343991e-04,4.375472e-04,4.380322e-04,4.404951e-04,4.418408e-04,4.432487e-04,4.453156e-04,4.458139e-04,4.481965e-04,4.484704e-04,4.504024e-04,4.513186e-04,4.524377e-04,4.538739e-04,4.543080e-04,4.560194e-04,4.561496e-04,4.575774e-04,4.581589e-04,4.589877e-04,4.599149e-04,4.602560e-04,4.613877e-04,4.614302e-04,4.623882e-04,4.627173e-04,4.632628e-04,4.637883e-04,4.640167e-04,4.646548e-04,4.653282e-04,4.658195e-04,4.661391e-04,4.662972e-04,4.663034e-04,4.661672e-04,4.658974e-04,4.655025e-04,4.649906e-04,4.643695e-04,4.636466e-04,4.628288e-04,4.619228e-04,4.609351e-04,4.598714e-04,4.587376e-04,4.575391e-04,4.562808e-04,4.549678e-04,4.536044e-04,4.521950e-04,4.507438e-04,4.492544e-04,4.477306e-04
0.000000e+00,3.507058e-09,8.213594e-09,2.901684e-08,6.726402e-08,9.920108e-08,2.330598e-07,2.404829e-07,4.885505e-07,5.834820e-07,8.918853e-07,1.230390e-06,1.501215e-06,2.261280e-06,2.335943e-06,3.370717e-06,3.644371e-06,4.566771e-06,5.295713e-06,5.895163e-06,7.159266e-06,7.338045e-06,8.884122e-06,9.204963e-06,1.052506e-05,1.141337e-05,1.225342e-05,1.376723e-05,1.406155e-05,1.594113e-05,1.624789e-05,1.788300e-05,1.883434e-05,1.987724e-05,2.150325e-05,2.191328e-05,2.398019e-05,2.422976e-05,2.606685e-05,2.698839e-05,2.816225e-05,2.975398e-05,3.025566e-05,3.233687e-05,3.250254e-05,3.439631e-05,3.521199e-05,3.642519e-05,3.786258e-05,3.841560e-05,4.036052e-05,4.043728e-05,4.225388e-05,4.292184e-05,4.409052e-05,4.530485e-05,4.586621e-05,4.757754e-05,4.922191e-05,4.973364e-05,5.079746e-05,5.176912e-05,5.230300e-05,5.368187e-05,5.373791e-05,5.510209e-05,5.547143e-05,5.639592e-05,5.713875e-05,5.762016e-05,5.868591e-05,5.877588e-05,5.986445e-05,6.011589e-05,6.088745e-05,6.143234e-05,6.184665e-05,6.263946e-05,6.274393e-05,6.358132e-05,6.374179e-05,6.436088e-05,6.474410e-05,6.508474e-05,6.565132e-05,6.575507e-05,6.637400e-05,6.646841e-05,6.694371e-05,6.720030e-05,6.746630e-05,6.785188e-05,6.794389e-05,6.837853e-05,6.842790e-05,6.877221e-05,6.893296e-05,6.912689e-05,6.937153e-05,6.944446e-05,6.972675e-05,6.974786e-05,6.997553e-05,7.006604e-05,7.019250e-05,7.032996e-05,7.037933e-05,7.053757e-05,7.054333e-05,7.066876e-05,7.070965e-05,7.077434e-05,7.083223e-05,7.085571e-05,7.091420e-05,7.095109e-05,7.095853e-05,7.096760e-05,7.096800e-05,7.096488e-05,7.094522e-05,7.094405e-05,7.090617e-05,7.089265e-05,7.085225e-05,7.081260e-05,7.078325e-05,7.070725e-05,7.070009e-05,7.060364e-05,7.057861e-05,7.049474e-05,7.042861e-05,7.037417e-05,7.025902e-05,7.024269e-05,7.010100e-05,7.007150e-05,6.994980e-05,6.986763e-05,6.978973e-05,6.964886e-05,6.962139e-05,6.944538e-05,6.941655e-05,6.926226e-05,6.917198e-05,6.907253e-05,6.891634e-05,6.887671e-05,6.867526e-05,6.865073e-05,6.846865e-05,6.837620e-05,6.825728e-05,6.809371e-05,6.804157e-05,6.782190e-05,6.780416e-05,6.759862e-05,6.750839e-05,6.737210e-05,6.720717e-05,6.714264e-05,6.691056e-05,6.690123e-05,6.667615e-05,6.659125e-05,6.643969e-05,6.627785e-05,6.620143e-05,6.596163e-05,6.564311e-05,6.532280e-05,6.500117e-05,6.467864e-05,6.435562e-05,6.403248e-05,6.370954e-05,6.338714e-05,6.306557e-05,6.274507e-05,6.242591e-05,6.210832e-05,6.179248e-05,6.147861e-05,6.116686e-05,6.085739e-05,6.055036e-05,6.024588e-05,5.994408e-05,5.964506e-05,5.934891e-05,5.905573e-05,5.876558e-05,5.847854e-05
0.000000e+00,1.962576e-13,1.271628e-12,1.992625e-11,1.203697e-10,2.718254e-10,1.539833e-09,1.637995e-09,6.335390e-09,8.763394e-09,1.858448e-08,3.226955e-08,4.519702e-08,9.077905e-08,9.602292e-08,1.840168e-07,2.123409e-07,3.245539e-07,4.323059e-07,5.339652e-07,7.875878e-07,8.277629e-07,1.219111e-06,1.310017e-06,1.717843e-06,2.021793e-06,2.330042e-06,2.933793e-06,3.058049e-06,3.900759e-06,4.045999e-06,4.854037e-06,5.349003e-06,5.911190e-06,6.825863e-06,7.063442e-06,8.300389e-06,8.453973e-06,9.610429e-06,1.020683e-05,1.098116e-05,1.205564e-05,1.239978e-05,1.385339e-05,1.397081e-05,1.532934e-05,1.592323e-05,1.681547e-05,1.788534e-05,1.830036e-05,1.977346e-05,1.983200e-05,2.122528e-05,2.174106e-05,2.264739e-05,2.359370e-05,2.403252e-05,2.537456e-05,2.666846e-05,2.707166e-05,2.791025e-05,2.867623e-05,2.909694e-05,3.018235e-05,3.022641e-05,3.129734e-05,3.158661e-05,3.230909e-05,3.288769e-05,3.326162e-05,3.408604e-05,3.415540e-05,3.499135e-05,3.518350e-05,3.577071e-05,3.618301e-05,3.649504e-05,3.708833e-05,3.716611e-05,3.778584e-05,3.790381e-05,3.835629e-05,3.863414e-05,3.887956e-05,3.928424e-05,3.935783e-05,3.979324e-05,3.985908e-05,4.018797e-05,4.036361e-05,4.054414e-05,4.080270e-05,4.086381e-05,4.114902e-05,4.118102e-05,4.140172e-05,4.150310e-05,4.162380e-05,4.177323e-05,4.181708e-05,4.198330e-05,4.199548e-05,4.212413e-05,4.217370e-05,4.224114e-05,4.231151e-05,4.233587e-05,4.240974e-05,4.241228e-05,4.246414e-05,4.247920e-05,4.250035e-05,4.251521e-05,4.251960e-05,4.252306e-05,4.251184e-05,4.250532e-05,4.248696e-05,4.246434e-05,4.244942e-05,4.240232e-05,4.240014e-05,4.233999e-05,4.232131e-05,4.226980e-05,4.222319e-05,4.219034e-05,4.210969e-05,4.210235e-05,4.200652e-05,4.198243e-05,4.190349e-05,4.184287e-05,4.179387e-05,4.169240e-05,4.167823e-05,4.155711e-05,4.153227e-05,4.143102e-05,4.136364e-05,4.130042e-05,4.118757e-05,4.116577e-05,4.102748e-05,4.100505e-05,4.088595e-05,4.081697e-05,4.074153e-05,4.062415e-05,4.059457e-05,4.044540e-05,4.042736e-05,4.029431e-05,4.022729e-05,4.014158e-05,4.002457e-05,3.998747e-05,3.983224e-05,3.981978e-05,3.967610e-05,3.961344e-05,3.951928e-05,3.940605e-05,3.936196e-05,3.920435e-05,3.919804e-05,3.904660e-05,3.898981e-05,3.888887e-05,3.878172e-05,3.873133e-05,3.857410e-05,3.836725e-05,3.816145e-05,3.795692e-05,3.775389e-05,3.755256e-05,3.735310e-05,3.715566e-05,3.696039e-05,3.676740e-05,3.657680e-05,3.638868e-05,3.620312e-05,3.602020e-05,3.583997e-05,3.566249e-05,3.548778e-05,3.531588e-05,3.514682e-05,3.498061e-05,3.481727e-05,3.465679e-05,3.449919e-05,3.434445e-05,3.419256e-05
0.000000e+00,4.088108e-12,2.389821e-11,3.040231e-10,1.528225e-09,3.128174e-09,1.387317e-08,1.461550e-08,4.496236e-08,5.858159e-08,1.073747e-07,1.664960e-07,2.171215e-07,3.743280e-07,3.910142e-07,6.465696e-07,7.219073e-07,9.997657e-07,1.244654e-06,1.461812e-06,1.962154e-06,2.037169e-06,2.724081e-06,2.874377e-06,3.516628e-06,3.967877e-06,4.406782e-06,5.223469e-06,5.385682e-06,6.444179e-06,6.620305e-06,7.572952e-06,8.136940e-06,8.762488e-06,9.751338e-06,1.000306e-05,1.128481e-05,1.144092e-05,1.259786e-05,1.318299e-05,1.393245e-05,1.495534e-05,1.527918e-05,1.662912e-05,1.673700e-05,1.797399e-05,1.850880e-05,1.930624e-05,2.025383e-05,2.061913e-05,2.190679e-05,2.195770e-05,2.316418e-05,2.360860e-05,2.438711e-05,2.519725e-05,2.557217e-05,2.671667e-05,2.781861e-05,2.816200e-05,2.887658e-05,2.953017e-05,2.988968e-05,3.081965e-05,3.085749e-05,3.177996e-05,3.203015e-05,3.265735e-05,3.316236e-05,3.349020e-05,3.421774e-05,3.427928e-05,3.502554e-05,3.519839e-05,3.573007e-05,3.610681e-05,3.639405e-05,3.694583e-05,3.701877e-05,3.760554e-05,3.771846e-05,3.815572e-05,3.842781e-05,3.867069e-05,3.907707e-05,3.915183e-05,3.960052e-05,3.966939e-05,4.001811e-05,4.020791e-05,4.040595e-05,4.069567e-05,4.076533e-05,4.109755e-05,4.113564e-05,4.140382e-05,4.153068e-05,4.168537e-05,4.188353e-05,4.194336e-05,4.217890e-05,4.219681e-05,4.239309e-05,4.247302e-05,4.258697e-05,4.271455e-05,4.276154e-05,4.291777e-05,4.292365e-05,4.305658e-05,4.310246e-05,4.317886e-05,4.325301e-05,4.328546e-05,4.337720e-05,4.345485e-05,4.347685e-05,4.351916e-05,4.355365e-05,4.357084e-05,4.360920e-05,4.361057e-05,4.363900e-05,4.364503e-05,4.365676e-05,4.366253e-05,4.366443e-05,4.366306e-05,4.366257e-05,4.365174e-05,4.364786e-05,4.363244e-05,4.361811e-05,4.360515e-05,4.357492e-05,4.357036e-05,4.352850e-05,4.351932e-05,4.348000e-05,4.345229e-05,4.342526e-05,4.337474e-05,4.336467e-05,4.329858e-05,4.328752e-05,4.322736e-05,4.319145e-05,4.315133e-05,4.308725e-05,4.307080e-05,4.298609e-05,4.297565e-05,4.289746e-05,4.285730e-05,4.280521e-05,4.273282e-05,4.270957e-05,4.261080e-05,4.260277e-05,4.250913e-05,4.246770e-05,4.240478e-05,4.232811e-05,4.229797e-05,4.218889e-05,4.218448e-05,4.207773e-05,4.203724e-05,4.196467e-05,4.188680e-05,4.184989e-05,4.173354e-05,4.157783e-05,4.142000e-05,4.126035e-05,4.109917e-05,4.093674e-05,4.077331e-05,4.060911e-05,4.044435e-05,4.027925e-05,4.011397e-05,3.994871e-05,3.978361e-05,3.961883e-05,3.945451e-05,3.929077e-05,3.912772e-05,3.896549e-05,3.880416e-05,3.864383e-05,3.848458e-05,3.832649e-05,3.816963e-05,3.801406e-05,3.785984e-05
0.000000e+00,3.285029e-09,8.280843e-09,3.146183e-08,7.491693e-08,1.111560e-07,2.598899e-07,2.679681e-07,5.283403e-07,6.236785e-07,9.213608e-07,1.234220e-06,1.479396e-06,2.166672e-06,2.235052e-06,3.211181e-06,3.478823e-06,4.407562e-06,5.165130e-06,5.799367e-06,7.157425e-06,7.350864e-06,9.028197e-06,9.376195e-06,1.080329e-05,1.175714e-05,1.265298e-05,1.424966e-05,1.455725e-05,1.649814e-05,1.681095e-05,1.845910e-05,1.940296e-05,2.042487e-05,2.199148e-05,2.238143e-05,2.431614e-05,2.454629e-05,2.621784e-05,2.704158e-05,2.807687e-05,2.945615e-05,2.988511e-05,3.163586e-05,3.177327e-05,3.332389e-05,3.398062e-05,3.494526e-05,3.606976e-05,3.649717e-05,3.797787e-05,3.803560e-05,3.938646e-05,3.987586e-05,4.072283e-05,4.159053e-05,4.198745e-05,4.318134e-05,4.430590e-05,4.465140e-05,4.536287e-05,4.600476e-05,4.635421e-05,4.724616e-05,4.728208e-05,4.814876e-05,4.838078e-05,4.895660e-05,4.941407e-05,4.970801e-05,5.035154e-05,5.040540e-05,5.105117e-05,5.119874e-05,5.164769e-05,5.196111e-05,5.219731e-05,5.264397e-05,5.270228e-05,5.316483e-05,5.325244e-05,5.358711e-05,5.379146e-05,5.397117e-05,5.426572e-05,5.431902e-05,5.463258e-05,5.467969e-05,5.491368e-05,5.503760e-05,5.516409e-05,5.534347e-05,5.538551e-05,5.557953e-05,5.560105e-05,5.574772e-05,5.581391e-05,5.589153e-05,5.598538e-05,5.601236e-05,5.611156e-05,5.611860e-05,5.619039e-05,5.621649e-05,5.625006e-05,5.628181e-05,5.629172e-05,5.631647e-05,5.631713e-05,5.632535e-05,5.632485e-05,5.631933e-05,5.630722e-05,5.629936e-05,5.626633e-05,5.622108e-05,5.620415e-05,5.616440e-05,5.612248e-05,5.609706e-05,5.602305e-05,5.601977e-05,5.593322e-05,5.590742e-05,5.583805e-05,5.577707e-05,5.573487e-05,5.563337e-05,5.562426e-05,5.550677e-05,5.547761e-05,5.538292e-05,5.531096e-05,5.525319e-05,5.513454e-05,5.511805e-05,5.497794e-05,5.494936e-05,5.483327e-05,5.475637e-05,5.468443e-05,5.455646e-05,5.453180e-05,5.437571e-05,5.435044e-05,5.421651e-05,5.413908e-05,5.405451e-05,5.392308e-05,5.388999e-05,5.372323e-05,5.370309e-05,5.355451e-05,5.347970e-05,5.338405e-05,5.325349e-05,5.321210e-05,5.303887e-05,5.302496e-05,5.286457e-05,5.279459e-05,5.268939e-05,5.256282e-05,5.251351e-05,5.233711e-05,5.233005e-05,5.216035e-05,5.209665e-05,5.198337e-05,5.186298e-05,5.180632e-05,5.162934e-05,5.139602e-05,5.116329e-05,5.093139e-05,5.070055e-05,5.047097e-05,5.024283e-05,5.001629e-05,4.979153e-05,4.956866e-05,4.934782e-05,4.912912e-05,4.891266e-05,4.869852e-05,4.848680e-05,4.827755e-05,4.807084e-05,4.786673e-05,4.766525e-05,4.746646e-05,4.727037e-05,4.707703e-05,4.688644e-05,4.669863e-05,4.651360e-05
0.000000e+00,3.966522e-10,1.614863e-09,1.090839e-08,3.462763e-08,5.728190e-08,1.625126e-07,1.685829e-07,3.753537e-07,4.550248e-07,7.130960e-07,9.957795e-07,1.223280e-06,1.877834e-06,1.943725e-06,2.885660e-06,3.142369e-06,4.022940e-06,4.728678e-06,5.311432e-06,6.538059e-06,6.710724e-06,8.189954e-06,8.493214e-06,9.725337e-06,1.053926e-05,1.129707e-05,1.263247e-05,1.288751e-05,1.448047e-05,1.473457e-05,1.606110e-05,1.681142e-05,1.761599e-05,1.883342e-05,1.913340e-05,2.060336e-05,2.077617e-05,2.201780e-05,2.262088e-05,2.337044e-05,2.435426e-05,2.465674e-05,2.587375e-05,2.596806e-05,2.701989e-05,2.745838e-05,2.809478e-05,2.882487e-05,2.909899e-05,3.003389e-05,3.006987e-05,3.090141e-05,3.119767e-05,3.170397e-05,3.221399e-05,3.244430e-05,3.312534e-05,3.375014e-05,3.393871e-05,3.432182e-05,3.466123e-05,3.484344e-05,3.529995e-05,3.531807e-05,3.574864e-05,3.586170e-05,3.613802e-05,3.635302e-05,3.648893e-05,3.678003e-05,3.680398e-05,3.708560e-05,3.714847e-05,3.733611e-05,3.746363e-05,3.755769e-05,3.773038e-05,3.775239e-05,3.792211e-05,3.795322e-05,3.806866e-05,3.813627e-05,3.819371e-05,3.828326e-05,3.829880e-05,3.838539e-05,3.839762e-05,3.845484e-05,3.848245e-05,3.850840e-05,3.854060e-05,3.854724e-05,3.857247e-05,3.857463e-05,3.858508e-05,3.858689e-05,3.858604e-05,3.857950e-05,3.857620e-05,3.855640e-05,3.855441e-05,3.852738e-05,3.851336e-05,3.848987e-05,3.845797e-05,3.844451e-05,3.839192e-05,3.838968e-05,3.833267e-05,3.830981e-05,3.826729e-05,3.821958e-05,3.819628e-05,3.812009e-05,3.803915e-05,3.801232e-05,3.795388e-05,3.789719e-05,3.786463e-05,3.777554e-05,3.777176e-05,3.767559e-05,3.764811e-05,3.757642e-05,3.751560e-05,3.747453e-05,3.737863e-05,3.737020e-05,3.726366e-05,3.723779e-05,3.715515e-05,3.709361e-05,3.704488e-05,3.694655e-05,3.693305e-05,3.681985e-05,3.679706e-05,3.670545e-05,3.664554e-05,3.659002e-05,3.649236e-05,3.647370e-05,3.635664e-05,3.633785e-05,3.623898e-05,3.618232e-05,3.612083e-05,3.602604e-05,3.600232e-05,3.588354e-05,3.586928e-05,3.576461e-05,3.571226e-05,3.564562e-05,3.555519e-05,3.552665e-05,3.540779e-05,3.539829e-05,3.528911e-05,3.524171e-05,3.517069e-05,3.508562e-05,3.505259e-05,3.493487e-05,3.493017e-05,3.481760e-05,3.477550e-05,3.470082e-05,3.462172e-05,3.458459e-05,3.446894e-05,3.431728e-05,3.416680e-05,3.401761e-05,3.386976e-05,3.372334e-05,3.357838e-05,3.343496e-05,3.329312e-05,3.315288e-05,3.301431e-05,3.287741e-05,3.274223e-05,3.260878e-05,3.247708e-05,3.234715e-05,3.221900e-05,3.209264e-05,3.196809e-05,3.184533e-05,3.172438e-05,3.160523e-05,3.148788e-05,3.137233e-05,3.125858e-05
0.000000e+00,9.740520e-14,6.512122e-13,1.090392e-11,7.011714e-11,1.640472e-10,1.022810e-09,1.092434e-09,4.685168e-09,6.675490e-09,1.529418e-08,2.834146e-08,4.144718e-08,9.169346e-08,9.778176e-08,2.063929e-07,2.433836e-07,3.969161e-07,5.526048e-07,7.053676e-07,1.106419e-06,1.172205e-06,1.840111e-06,2.001604e-06,2.751841e-06,3.336010e-06,3.948340e-06,5.201091e-06,5.467192e-06,7.341414e-06,7.676192e-06,9.598572e-06,1.082458e-05,1.226017e-05,1.469102e-05,1.534132e-05,1.885055e-05,1.930059e-05,2.278993e-05,2.465865e-05,2.715523e-05,3.075168e-05,3.193632e-05,3.711764e-05,3.754886e-05,4.267881e-05,4.500425e-05,4.859524e-05,5.305939e-05,5.483885e-05,6.137881e-05,6.164611e-05,6.818224e-05,7.068941e-05,7.521490e-05,8.011024e-05,8.244187e-05,8.982811e-05,9.733902e-05,9.976331e-05,1.049409e-04,1.098389e-04,1.126014e-04,1.199820e-04,1.202896e-04,1.279767e-04,1.301252e-04,1.356357e-04,1.402073e-04,1.432419e-04,1.501735e-04,1.507727e-04,1.582078e-04,1.599759e-04,1.655290e-04,1.695732e-04,1.727206e-04,1.789307e-04,1.797684e-04,1.866607e-04,1.880196e-04,1.933874e-04,1.968170e-04,1.999402e-04,2.053052e-04,2.063124e-04,2.124986e-04,2.134709e-04,2.184951e-04,2.213051e-04,2.242990e-04,2.288025e-04,2.299089e-04,2.353239e-04,2.359606e-04,2.405444e-04,2.427799e-04,2.455712e-04,2.492630e-04,2.504059e-04,2.550508e-04,2.554143e-04,2.595085e-04,2.612398e-04,2.637819e-04,2.667467e-04,2.678746e-04,2.717903e-04,2.719433e-04,2.755327e-04,2.768384e-04,2.791062e-04,2.814417e-04,2.825148e-04,2.857630e-04,2.888553e-04,2.898126e-04,2.917961e-04,2.936008e-04,2.945899e-04,2.971379e-04,2.972413e-04,2.997547e-04,3.004344e-04,3.021347e-04,3.035005e-04,3.043856e-04,3.063463e-04,3.065119e-04,3.085177e-04,3.089817e-04,3.104075e-04,3.114165e-04,3.121852e-04,3.136602e-04,3.138550e-04,3.154210e-04,3.157220e-04,3.168869e-04,3.176109e-04,3.182565e-04,3.193354e-04,3.195337e-04,3.207220e-04,3.209041e-04,3.218248e-04,3.223249e-04,3.228457e-04,3.236056e-04,3.237879e-04,3.246546e-04,3.247537e-04,3.254490e-04,3.257764e-04,3.261741e-04,3.266806e-04,3.268328e-04,3.274280e-04,3.274729e-04,3.279623e-04,3.281596e-04,3.284385e-04,3.287469e-04,3.288592e-04,3.292268e-04,3.292404e-04,3.295437e-04,3.296458e-04,3.298123e-04,3.299684e-04,3.300347e-04,3.302132e-04,3.303850e-04,3.304885e-04,3.305279e-04,3.305076e-04,3.304314e-04,3.303032e-04,3.301265e-04,3.299047e-04,3.296412e-04,3.293389e-04,3.290008e-04,3.286297e-04,3.282282e-04,3.277988e-04,3.273438e-04,3.268655e-04,3.263659e-04,3.258471e-04,3.253110e-04,3.247592e-04,3.241936e-04,3.236156e-04,3.230269e-04,3.224286e-04
0.000000e+00,2.936707e-09,7.250547e-09,2.700402e-08,6.384598e-08,9.457444e-08,2.212529e-07,2.281638e-07,4.526238e-07,5.356022e-07,7.969970e-07,1.074503e-06,1.293023e-06,1.904516e-06,1.964974e-06,2.815980e-06,3.045333e-06,3.830638e-06,4.462932e-06,4.989404e-06,6.115267e-06,6.275943e-06,7.677147e-06,7.970120e-06,9.181470e-06,1.000075e-05,1.077767e-05,1.218106e-05,1.245422e-05,1.419911e-05,1.448381e-05,1.599997e-05,1.688058e-05,1.784425e-05,1.934259e-05,1.971953e-05,2.161374e-05,2.184177e-05,2.351544e-05,2.435179e-05,2.541403e-05,2.684892e-05,2.729988e-05,2.916436e-05,2.931236e-05,3.099995e-05,3.172461e-05,3.280018e-05,3.407137e-05,3.455963e-05,3.627383e-05,3.634140e-05,3.793922e-05,3.852626e-05,3.955305e-05,4.061995e-05,4.111330e-05,4.261858e-05,4.406804e-05,4.452001e-05,4.546133e-05,4.632354e-05,4.679846e-05,4.802962e-05,4.807981e-05,4.930601e-05,4.963958e-05,5.047793e-05,5.115546e-05,5.159661e-05,5.257980e-05,5.266324e-05,5.367911e-05,5.391551e-05,5.464559e-05,5.516577e-05,5.556411e-05,5.633390e-05,5.643614e-05,5.726318e-05,5.742332e-05,5.804672e-05,5.843747e-05,5.878827e-05,5.937981e-05,5.948931e-05,6.015132e-05,6.025372e-05,6.077575e-05,6.106254e-05,6.136401e-05,6.180952e-05,6.191750e-05,6.243757e-05,6.249779e-05,6.292554e-05,6.313041e-05,6.338269e-05,6.371029e-05,6.381029e-05,6.420952e-05,6.424027e-05,6.458156e-05,6.472303e-05,6.492756e-05,6.516115e-05,6.524859e-05,6.554571e-05,6.555711e-05,6.581995e-05,6.591327e-05,6.607229e-05,6.623186e-05,6.630368e-05,6.651502e-05,6.670721e-05,6.676480e-05,6.688108e-05,6.698312e-05,6.703745e-05,6.717183e-05,6.717710e-05,6.730080e-05,6.733267e-05,6.740925e-05,6.746730e-05,6.750316e-05,6.757729e-05,6.758320e-05,6.765000e-05,6.766414e-05,6.770419e-05,6.772925e-05,6.774636e-05,6.777397e-05,6.777707e-05,6.779688e-05,6.779958e-05,6.780630e-05,6.780726e-05,6.780584e-05,6.779817e-05,6.779598e-05,6.777718e-05,6.777337e-05,6.774989e-05,6.773389e-05,6.771452e-05,6.768070e-05,6.767150e-05,6.762121e-05,6.761470e-05,6.756402e-05,6.753677e-05,6.750030e-05,6.744771e-05,6.743038e-05,6.735460e-05,6.734830e-05,6.727328e-05,6.723927e-05,6.718672e-05,6.712131e-05,6.709520e-05,6.699901e-05,6.699506e-05,6.689841e-05,6.686116e-05,6.679365e-05,6.672017e-05,6.668499e-05,6.657265e-05,6.641912e-05,6.626006e-05,6.609594e-05,6.592719e-05,6.575423e-05,6.557744e-05,6.539719e-05,6.521382e-05,6.502767e-05,6.483903e-05,6.464820e-05,6.445544e-05,6.426102e-05,6.406518e-05,6.386814e-05,6.367011e-05,6.347130e-05,6.327190e-05,6.307209e-05,6.287202e-05,6.267186e-05,6.247175e-05,6.227184e-05,6.207223e-05
0.000000e+00,2.616667e-14,1.777934e-13,3.076776e-12,2.036227e-11,4.835922e-11,3.122263e-10,3.339065e-10,1.471034e-09,2.107966e-09,4.884068e-09,9.106386e-09,1.335789e-08,2.974122e-08,3.173663e-08,6.777285e-08,8.024529e-08,1.330933e-07,1.883797e-07,2.441688e-07,3.971671e-07,4.230949e-07,6.979910e-07,7.673842e-07,1.102917e-06,1.377768e-06,1.677311e-06,2.322758e-06,2.465043e-06,3.513183e-06,3.708305e-06,4.870615e-06,5.646527e-06,6.586582e-06,8.249944e-06,8.709257e-06,1.128439e-05,1.162586e-05,1.435411e-05,1.587130e-05,1.795582e-05,2.106874e-05,2.212137e-05,2.687637e-05,2.728284e-05,3.223965e-05,3.455816e-05,3.822300e-05,4.291783e-05,4.483104e-05,5.206123e-05,5.236327e-05,5.990413e-05,6.287466e-05,6.834366e-05,7.441220e-05,7.735754e-05,8.691787e-05,9.699164e-05,1.003177e-04,1.075415e-04,1.145243e-04,1.185262e-04,1.294396e-04,1.299016e-04,1.416210e-04,1.449576e-04,1.536363e-04,1.609670e-04,1.658981e-04,1.773539e-04,1.783566e-04,1.909623e-04,1.940040e-04,2.036660e-04,2.108050e-04,2.164199e-04,2.276481e-04,2.291778e-04,2.418950e-04,2.444298e-04,2.545292e-04,2.610529e-04,2.670407e-04,2.774281e-04,2.793921e-04,2.915488e-04,2.934737e-04,3.034794e-04,3.091172e-04,3.151550e-04,3.242944e-04,3.265498e-04,3.376410e-04,3.389505e-04,3.484084e-04,3.530391e-04,3.588350e-04,3.665223e-04,3.689063e-04,3.786102e-04,3.793704e-04,3.879376e-04,3.915614e-04,3.968812e-04,4.030802e-04,4.054362e-04,4.135999e-04,4.139183e-04,4.213714e-04,4.240732e-04,4.287514e-04,4.335474e-04,4.357425e-04,4.423485e-04,4.485745e-04,4.504876e-04,4.544270e-04,4.579799e-04,4.599133e-04,4.648431e-04,4.650415e-04,4.698207e-04,4.710977e-04,4.742606e-04,4.767658e-04,4.783712e-04,4.818712e-04,4.821631e-04,4.856474e-04,4.864390e-04,4.888350e-04,4.904948e-04,4.917375e-04,4.940648e-04,4.943661e-04,4.967325e-04,4.971753e-04,4.988479e-04,4.998526e-04,5.007239e-04,5.021229e-04,5.023717e-04,5.038023e-04,5.040118e-04,5.050266e-04,5.055442e-04,5.060553e-04,5.067445e-04,5.068989e-04,5.075673e-04,5.076362e-04,5.080706e-04,5.082421e-04,5.084181e-04,5.085838e-04,5.086191e-04,5.086826e-04,5.086820e-04,5.086171e-04,5.085566e-04,5.084307e-04,5.082262e-04,5.081315e-04,5.077269e-04,5.077087e-04,5.072243e-04,5.070207e-04,5.066305e-04,5.061780e-04,5.059521e-04,5.051955e-04,5.040869e-04,5.028653e-04,5.015427e-04,5.001304e-04,4.986388e-04,4.970776e-04,4.954559e-04,4.937820e-04,4.920634e-04,4.903072e-04,4.885199e-04,4.867076e-04,4.848756e-04,4.830290e-04,4.811723e-04,4.793097e-04,4.774451e-04,4.755818e-04,4.737229e-04,4.718714e-04,4.700297e-04,4.682001e-04,4.663847e-04,4.645853e-04
0.000000e+00,7.677443e-12,4.544993e-11,5.928443e-10,3.044824e-09,6.303394e-09,2.873959e-08,3.031021e-08,9.566058e-08,1.254752e-07,2.338128e-07,3.673163e-07,4.830345e-07,8.480703e-07,8.872041e-07,1.492642e-06,1.672704e-06,2.340343e-06,2.931420e-06,3.456462e-06,4.666545e-06,4.847843e-06,6.504721e-06,6.866296e-06,8.406960e-06,9.484904e-06,1.052966e-05,1.246383e-05,1.284647e-05,1.533100e-05,1.574234e-05,1.795700e-05,1.926005e-05,2.069831e-05,2.295685e-05,2.352885e-05,2.642283e-05,2.677316e-05,2.935502e-05,3.065102e-05,3.230126e-05,3.453577e-05,3.523885e-05,3.814695e-05,3.837775e-05,4.100689e-05,4.213363e-05,4.380231e-05,4.576714e-05,4.651927e-05,4.914622e-05,4.924929e-05,5.167391e-05,5.255815e-05,5.409525e-05,5.567834e-05,5.640515e-05,5.860027e-05,6.067880e-05,6.131919e-05,6.264025e-05,6.383439e-05,6.448525e-05,6.614829e-05,6.621531e-05,6.783272e-05,6.826578e-05,6.934032e-05,7.019350e-05,7.074133e-05,7.193912e-05,7.203924e-05,7.323778e-05,7.351108e-05,7.434094e-05,7.491860e-05,7.535289e-05,7.617130e-05,7.627784e-05,7.711998e-05,7.727883e-05,7.788341e-05,7.825063e-05,7.857215e-05,7.909582e-05,7.919009e-05,7.974099e-05,7.982316e-05,8.022850e-05,8.044104e-05,8.065615e-05,8.095743e-05,8.102730e-05,8.134518e-05,8.137989e-05,8.161288e-05,8.171555e-05,8.183340e-05,8.197120e-05,8.200959e-05,8.214416e-05,8.215320e-05,8.223966e-05,8.226748e-05,8.229856e-05,8.231960e-05,8.232317e-05,8.231573e-05,8.231479e-05,8.227833e-05,8.225792e-05,8.221296e-05,8.215351e-05,8.212152e-05,8.200577e-05,8.186739e-05,8.181860e-05,8.170801e-05,8.159568e-05,8.152912e-05,8.134039e-05,8.133218e-05,8.111854e-05,8.105590e-05,8.088947e-05,8.074512e-05,8.064617e-05,8.041076e-05,8.038979e-05,8.012140e-05,8.005532e-05,7.984202e-05,7.968112e-05,7.955260e-05,7.929032e-05,7.925403e-05,7.894718e-05,7.888489e-05,7.863284e-05,7.846668e-05,7.831176e-05,7.803736e-05,7.798464e-05,7.765216e-05,7.759851e-05,7.731493e-05,7.715155e-05,7.697355e-05,7.669783e-05,7.662856e-05,7.628049e-05,7.623854e-05,7.592981e-05,7.577481e-05,7.557699e-05,7.530767e-05,7.522244e-05,7.486658e-05,7.483806e-05,7.450977e-05,7.436685e-05,7.415235e-05,7.389483e-05,7.379467e-05,7.343702e-05,7.342272e-05,7.307968e-05,7.295117e-05,7.272293e-05,7.248079e-05,7.236700e-05,7.201213e-05,7.154568e-05,7.108190e-05,7.062118e-05,7.016390e-05,6.971038e-05,6.926092e-05,6.881578e-05,6.837521e-05,6.793939e-05,6.750853e-05,6.708278e-05,6.666227e-05,6.624712e-05,6.583744e-05,6.543332e-05,6.503481e-05,6.464197e-05,6.425486e-05,6.387348e-05,6.349788e-05,6.312805e-05,6.276399e-05,6.240571e-05,6.205318e-05
0.000000e+00,3.339305e-10,1.346545e-09,8.985015e-09,2.836580e-08,4.683820e-08,1.323931e-07,1.373155e-07,3.040245e-07,3.677452e-07,5.723081e-07,7.936999e-07,9.704500e-07,1.476423e-06,1.527410e-06,2.263910e-06,2.468155e-06,3.183562e-06,3.775011e-06,4.276138e-06,5.369400e-06,5.527507e-06,6.924931e-06,7.220959e-06,8.457464e-06,9.304377e-06,1.011486e-05,1.159591e-05,1.188663e-05,1.376152e-05,1.407027e-05,1.572737e-05,1.669950e-05,1.777118e-05,1.945318e-05,1.987927e-05,2.203763e-05,2.229934e-05,2.423216e-05,2.520561e-05,2.644898e-05,2.814045e-05,2.867478e-05,3.089696e-05,3.107422e-05,3.310385e-05,3.397990e-05,3.528482e-05,3.683369e-05,3.743037e-05,3.953218e-05,3.961524e-05,4.158307e-05,4.230774e-05,4.357702e-05,4.489779e-05,4.550905e-05,4.737528e-05,4.917274e-05,4.973299e-05,5.089906e-05,5.196590e-05,5.255285e-05,5.407151e-05,5.413332e-05,5.564019e-05,5.604897e-05,5.707380e-05,5.789904e-05,5.843478e-05,5.962365e-05,5.972419e-05,6.094338e-05,6.122569e-05,6.209384e-05,6.270874e-05,6.317735e-05,6.407693e-05,6.419577e-05,6.515110e-05,6.533477e-05,6.604539e-05,6.648701e-05,6.688077e-05,6.753853e-05,6.765938e-05,6.838337e-05,6.849428e-05,6.905489e-05,6.935921e-05,6.967607e-05,7.013817e-05,7.024900e-05,7.077575e-05,7.083596e-05,7.125835e-05,7.145721e-05,7.169876e-05,7.200644e-05,7.209890e-05,7.246064e-05,7.248797e-05,7.278578e-05,7.290598e-05,7.307607e-05,7.326445e-05,7.333319e-05,7.355879e-05,7.356718e-05,7.375443e-05,7.381782e-05,7.392162e-05,7.401980e-05,7.406181e-05,7.417640e-05,7.426673e-05,7.429073e-05,7.433410e-05,7.436573e-05,7.437973e-05,7.440418e-05,7.440480e-05,7.441045e-05,7.440870e-05,7.439777e-05,7.438179e-05,7.436778e-05,7.432577e-05,7.432149e-05,7.425984e-05,7.424286e-05,7.418374e-05,7.413513e-05,7.409405e-05,7.400455e-05,7.399161e-05,7.387719e-05,7.385294e-05,7.375156e-05,7.368204e-05,7.361543e-05,7.349347e-05,7.346949e-05,7.331438e-05,7.328876e-05,7.315074e-05,7.306934e-05,7.297916e-05,7.283655e-05,7.280019e-05,7.261438e-05,7.259165e-05,7.242224e-05,7.233582e-05,7.222426e-05,7.207017e-05,7.202089e-05,7.181258e-05,7.179571e-05,7.159975e-05,7.151343e-05,7.138278e-05,7.122423e-05,7.116207e-05,7.093796e-05,7.092893e-05,7.071081e-05,7.062834e-05,7.048092e-05,7.032319e-05,7.024861e-05,7.001416e-05,6.970189e-05,6.938697e-05,6.906995e-05,6.875135e-05,6.843164e-05,6.811126e-05,6.779062e-05,6.747009e-05,6.715004e-05,6.683077e-05,6.651260e-05,6.619578e-05,6.588058e-05,6.556722e-05,6.525591e-05,6.494685e-05,6.464022e-05,6.433617e-05,6.403485e-05,6.373638e-05,6.344089e-05,6.314848e-05,6.285925e-05,6.257328e-05
0.000000e+00,3.439793e-09,8.072138e-09,2.846510e-08,6.562241e-08,9.636742e-08,2.229698e-07,2.298962e-07,4.565945e-07,5.411375e-07,8.082713e-07,1.089278e-06,1.305944e-06,1.884256e-06,1.939244e-06,2.679788e-06,2.870652e-06,3.503787e-06,3.995337e-06,4.394711e-06,5.223701e-06,5.339526e-06,6.326313e-06,6.527682e-06,7.343464e-06,7.880605e-06,8.379653e-06,9.256850e-06,9.424093e-06,1.046685e-05,1.063292e-05,1.149908e-05,1.198854e-05,1.251321e-05,1.330721e-05,1.350295e-05,1.446330e-05,1.457638e-05,1.539045e-05,1.578713e-05,1.628164e-05,1.693373e-05,1.713503e-05,1.794957e-05,1.801304e-05,1.872483e-05,1.902395e-05,1.946092e-05,1.996690e-05,2.015831e-05,2.081779e-05,2.084340e-05,2.144039e-05,2.165573e-05,2.202729e-05,2.240664e-05,2.257977e-05,2.309917e-05,2.358690e-05,2.373651e-05,2.404434e-05,2.432186e-05,2.447290e-05,2.485840e-05,2.487393e-05,2.524879e-05,2.534924e-05,2.559877e-05,2.579734e-05,2.592513e-05,2.620555e-05,2.622906e-05,2.651174e-05,2.657655e-05,2.677428e-05,2.691289e-05,2.701772e-05,2.721696e-05,2.724308e-05,2.745132e-05,2.749100e-05,2.764336e-05,2.773711e-05,2.782007e-05,2.795726e-05,2.798227e-05,2.813075e-05,2.815328e-05,2.826624e-05,2.832687e-05,2.838946e-05,2.847964e-05,2.850106e-05,2.860169e-05,2.861306e-05,2.869194e-05,2.872851e-05,2.877239e-05,2.882729e-05,2.884355e-05,2.890596e-05,2.891059e-05,2.896008e-05,2.897951e-05,2.900637e-05,2.903510e-05,2.904527e-05,2.907719e-05,2.907832e-05,2.910250e-05,2.911007e-05,2.912158e-05,2.913118e-05,2.913478e-05,2.914242e-05,2.914481e-05,2.914452e-05,2.914226e-05,2.913815e-05,2.913503e-05,2.912394e-05,2.912339e-05,2.910761e-05,2.910247e-05,2.908790e-05,2.907429e-05,2.906450e-05,2.903990e-05,2.903762e-05,2.900747e-05,2.899977e-05,2.897423e-05,2.895434e-05,2.893810e-05,2.890404e-05,2.889923e-05,2.885781e-05,2.884923e-05,2.881397e-05,2.879027e-05,2.876788e-05,2.872751e-05,2.871966e-05,2.866946e-05,2.866125e-05,2.861740e-05,2.859179e-05,2.856360e-05,2.851939e-05,2.850818e-05,2.845124e-05,2.844431e-05,2.839289e-05,2.836680e-05,2.833323e-05,2.828706e-05,2.827234e-05,2.821032e-05,2.820532e-05,2.814726e-05,2.812176e-05,2.808322e-05,2.803656e-05,2.801830e-05,2.795256e-05,2.794991e-05,2.788606e-05,2.786195e-05,2.781888e-05,2.777284e-05,2.775108e-05,2.768272e-05,2.759172e-05,2.749996e-05,2.740755e-05,2.731460e-05,2.722122e-05,2.712750e-05,2.703352e-05,2.693937e-05,2.684513e-05,2.675087e-05,2.665665e-05,2.656254e-05,2.646859e-05,2.637487e-05,2.628142e-05,2.618830e-05,2.609554e-05,2.600318e-05,2.591127e-05,2.581985e-05,2.572894e-05,2.563857e-05,2.554878e-05,2.545960e-05
0.000000e+00,2.297290e-09,5.269927e-09,1.815539e-08,4.132718e-08,6.029434e-08,1.367061e-07,1.408136e-07,2.717214e-07,3.190822e-07,4.654587e-07,6.173044e-07,7.351667e-07,1.061802e-06,1.094085e-06,1.553149e-06,1.678932e-06,2.117152e-06,2.477932e-06,2.782960e-06,3.446415e-06,3.542112e-06,4.384666e-06,4.562338e-06,5.301167e-06,5.804069e-06,6.282943e-06,7.152084e-06,7.321809e-06,8.409772e-06,8.587871e-06,9.538868e-06,1.009310e-05,1.070113e-05,1.164950e-05,1.188865e-05,1.309365e-05,1.323907e-05,1.430867e-05,1.484460e-05,1.552660e-05,1.645008e-05,1.674083e-05,1.794532e-05,1.804109e-05,1.913465e-05,1.960505e-05,2.030406e-05,2.113132e-05,2.144936e-05,2.256701e-05,2.261110e-05,2.365415e-05,2.403757e-05,2.470839e-05,2.540553e-05,2.572791e-05,2.671136e-05,2.765779e-05,2.795272e-05,2.856661e-05,2.912839e-05,2.943758e-05,3.023811e-05,3.027071e-05,3.106626e-05,3.128233e-05,3.182464e-05,3.226207e-05,3.254645e-05,3.317885e-05,3.323242e-05,3.388338e-05,3.403450e-05,3.450023e-05,3.483112e-05,3.508392e-05,3.557096e-05,3.563548e-05,3.615594e-05,3.625639e-05,3.664635e-05,3.688984e-05,3.710777e-05,3.747374e-05,3.754126e-05,3.794788e-05,3.801051e-05,3.832866e-05,3.850256e-05,3.868463e-05,3.895222e-05,3.901680e-05,3.932613e-05,3.936176e-05,3.961359e-05,3.973338e-05,3.988010e-05,4.006919e-05,4.012656e-05,4.035385e-05,4.037123e-05,4.056281e-05,4.064145e-05,4.075426e-05,4.088170e-05,4.092898e-05,4.108774e-05,4.109377e-05,4.123126e-05,4.127934e-05,4.136026e-05,4.144002e-05,4.147540e-05,4.157734e-05,4.166670e-05,4.169274e-05,4.174409e-05,4.178761e-05,4.181009e-05,4.186324e-05,4.186524e-05,4.191008e-05,4.192086e-05,4.194512e-05,4.196164e-05,4.197085e-05,4.198669e-05,4.198773e-05,4.199622e-05,4.199705e-05,4.199674e-05,4.199370e-05,4.198970e-05,4.197758e-05,4.197551e-05,4.195453e-05,4.194955e-05,4.192713e-05,4.191046e-05,4.189365e-05,4.186108e-05,4.185443e-05,4.180977e-05,4.180214e-05,4.175999e-05,4.173436e-05,4.170537e-05,4.165838e-05,4.164619e-05,4.158270e-05,4.157481e-05,4.151518e-05,4.148425e-05,4.144385e-05,4.138723e-05,4.136894e-05,4.129068e-05,4.128428e-05,4.120928e-05,4.117588e-05,4.112493e-05,4.106249e-05,4.103783e-05,4.094817e-05,4.094453e-05,4.085611e-05,4.082242e-05,4.076183e-05,4.069653e-05,4.066548e-05,4.056721e-05,4.043481e-05,4.029965e-05,4.016201e-05,4.002217e-05,3.988040e-05,3.973694e-05,3.959202e-05,3.944585e-05,3.929864e-05,3.915058e-05,3.900184e-05,3.885258e-05,3.870297e-05,3.855315e-05,3.840324e-05,3.825339e-05,3.810370e-05,3.795428e-05,3.780524e-05,3.765667e-05,3.750866e-05,3.736129e-05,3.721464e-05,3.706877e-05
0.000000e+00,7.934138e-12,4.536543e-11,5.523540e-10,2.674240e-09,5.367608e-09,2.269665e-08,2.386684e-08,7.030611e-08,9.057665e-08,1.615100e-07,2.450666e-07,3.151561e-07,5.268964e-07,5.489641e-07,8.803258e-07,9.762348e-07,1.325742e-06,1.630465e-06,1.899472e-06,2.518258e-06,2.611077e-06,3.462399e-06,3.648911e-06,4.445568e-06,5.003579e-06,5.543634e-06,6.538143e-06,6.733712e-06,7.990922e-06,8.196685e-06,9.291513e-06,9.924929e-06,1.061454e-05,1.167716e-05,1.194238e-05,1.326054e-05,1.341749e-05,1.455729e-05,1.511857e-05,1.582320e-05,1.676004e-05,1.705085e-05,1.823449e-05,1.832714e-05,1.936984e-05,1.980976e-05,2.045392e-05,2.120159e-05,2.148480e-05,2.246152e-05,2.249945e-05,2.338385e-05,2.370265e-05,2.425224e-05,2.481239e-05,2.506762e-05,2.583132e-05,2.654497e-05,2.676307e-05,2.721043e-05,2.761195e-05,2.782968e-05,2.838263e-05,2.840481e-05,2.893795e-05,2.907999e-05,2.943121e-05,2.970892e-05,2.988673e-05,3.027423e-05,3.030655e-05,3.069270e-05,3.078058e-05,3.104711e-05,3.123241e-05,3.137164e-05,3.163392e-05,3.166807e-05,3.193809e-05,3.198907e-05,3.218333e-05,3.230156e-05,3.240529e-05,3.257482e-05,3.260543e-05,3.278511e-05,3.281205e-05,3.294562e-05,3.301621e-05,3.308817e-05,3.319004e-05,3.321389e-05,3.332387e-05,3.333606e-05,3.341911e-05,3.345660e-05,3.350056e-05,3.355380e-05,3.356912e-05,3.362561e-05,3.362963e-05,3.367083e-05,3.368593e-05,3.370551e-05,3.372435e-05,3.373035e-05,3.374599e-05,3.374644e-05,3.375306e-05,3.375361e-05,3.375211e-05,3.374716e-05,3.374369e-05,3.372830e-05,3.370642e-05,3.369812e-05,3.367849e-05,3.365764e-05,3.364494e-05,3.360779e-05,3.360615e-05,3.356249e-05,3.354944e-05,3.351431e-05,3.348337e-05,3.346193e-05,3.341031e-05,3.340567e-05,3.334580e-05,3.333093e-05,3.328260e-05,3.324585e-05,3.321632e-05,3.315564e-05,3.314720e-05,3.307547e-05,3.306083e-05,3.300133e-05,3.296189e-05,3.292498e-05,3.285929e-05,3.284662e-05,3.276641e-05,3.275341e-05,3.268452e-05,3.264466e-05,3.260110e-05,3.253337e-05,3.251631e-05,3.243027e-05,3.241987e-05,3.234313e-05,3.230446e-05,3.225499e-05,3.218741e-05,3.216597e-05,3.207619e-05,3.206898e-05,3.198574e-05,3.194940e-05,3.189472e-05,3.182888e-05,3.180322e-05,3.171132e-05,3.170763e-05,3.161910e-05,3.158584e-05,3.152663e-05,3.146365e-05,3.143400e-05,3.134125e-05,3.121876e-05,3.109633e-05,3.097406e-05,3.085209e-05,3.073050e-05,3.060939e-05,3.048886e-05,3.036897e-05,3.024981e-05,3.013143e-05,3.001391e-05,2.989728e-05,2.978162e-05,2.966696e-05,2.955334e-05,2.944080e-05,2.932937e-05,2.921908e-05,2.910997e-05,2.900205e-05,2.889534e-05,2.878986e-05,2.868563e-05,2.858266e-05
0.000000e+00,1.210233e-12,7.497009e-12,1.070569e-10,5.943398e-10,1.281430e-09,6.440278e-09,6.817526e-09,2.340506e-08,3.133822e-08,6.121542e-08,9.941258e-08,1.332686e-07,2.426674e-07,2.545577e-07,4.411665e-07,4.974795e-07,7.091787e-07,9.003190e-07,1.072986e-06,1.480906e-06,1.543170e-06,2.124871e-06,2.254628e-06,2.817383e-06,3.219520e-06,3.614894e-06,4.359001e-06,4.507802e-06,5.484061e-06,5.647112e-06,6.530248e-06,7.053142e-06,7.632320e-06,8.544691e-06,8.776111e-06,9.947666e-06,1.008947e-05,1.113349e-05,1.165644e-05,1.232078e-05,1.321673e-05,1.349761e-05,1.465314e-05,1.474436e-05,1.577772e-05,1.621697e-05,1.686303e-05,1.761620e-05,1.790215e-05,1.888953e-05,1.892788e-05,1.982100e-05,2.014205e-05,2.069367e-05,2.125258e-05,2.150583e-05,2.225685e-05,2.294698e-05,2.315512e-05,2.357728e-05,2.395002e-05,2.414942e-05,2.464597e-05,2.466557e-05,2.512828e-05,2.524865e-05,2.554037e-05,2.576455e-05,2.590479e-05,2.620061e-05,2.622463e-05,2.650295e-05,2.656390e-05,2.674280e-05,2.686142e-05,2.694714e-05,2.709987e-05,2.711884e-05,2.726062e-05,2.728562e-05,2.737505e-05,2.742456e-05,2.746456e-05,2.752214e-05,2.753140e-05,2.757767e-05,2.758330e-05,2.760532e-05,2.761250e-05,2.761612e-05,2.761376e-05,2.761174e-05,2.759366e-05,2.759064e-05,2.756328e-05,2.754634e-05,2.752185e-05,2.748368e-05,2.747051e-05,2.741031e-05,2.740514e-05,2.734219e-05,2.731293e-05,2.726702e-05,2.720898e-05,2.718558e-05,2.709858e-05,2.709499e-05,2.700666e-05,2.697248e-05,2.691041e-05,2.684276e-05,2.681036e-05,2.670699e-05,2.660074e-05,2.656619e-05,2.649200e-05,2.642128e-05,2.638114e-05,2.627303e-05,2.626849e-05,2.615434e-05,2.612215e-05,2.603896e-05,2.596925e-05,2.592261e-05,2.581488e-05,2.580549e-05,2.568783e-05,2.565952e-05,2.556979e-05,2.550360e-05,2.545156e-05,2.534748e-05,2.533328e-05,2.521510e-05,2.519149e-05,2.509715e-05,2.503593e-05,2.497952e-05,2.488106e-05,2.486234e-05,2.474570e-05,2.472709e-05,2.462968e-05,2.457423e-05,2.451436e-05,2.442265e-05,2.439980e-05,2.428609e-05,2.427250e-05,2.417326e-05,2.412392e-05,2.406139e-05,2.397702e-05,2.395050e-05,2.384064e-05,2.383190e-05,2.373185e-05,2.368865e-05,2.362417e-05,2.354734e-05,2.351762e-05,2.341222e-05,2.340803e-05,2.330801e-05,2.327078e-05,2.320499e-05,2.313563e-05,2.310319e-05,2.300262e-05,2.287177e-05,2.274311e-05,2.261664e-05,2.249239e-05,2.237035e-05,2.225053e-05,2.213293e-05,2.201753e-05,2.190432e-05,2.179330e-05,2.168446e-05,2.157776e-05,2.147319e-05,2.137074e-05,2.127037e-05,2.117207e-05,2.107581e-05,2.098156e-05,2.088929e-05,2.079898e-05,2.071060e-05,2.062411e-05,2.053949e-05,2.045671e-05
0.000000e+00,1.515116e-12,9.229494e-12,1.273369e-10,6.854494e-10,1.453396e-09,7.002356e-09,7.400013e-09,2.439772e-08,3.231904e-08,6.148724e-08,9.780485e-08,1.293925e-07,2.289698e-07,2.396207e-07,4.038082e-07,4.525065e-07,6.331678e-07,7.938651e-07,9.376110e-07,1.273331e-06,1.324184e-06,1.795164e-06,1.899271e-06,2.346876e-06,2.662776e-06,2.970045e-06,3.539110e-06,3.651429e-06,4.375899e-06,4.494785e-06,5.128241e-06,5.495058e-06,5.894331e-06,6.508664e-06,6.661704e-06,7.419731e-06,7.509628e-06,8.159559e-06,8.477403e-06,8.873969e-06,9.396334e-06,9.557212e-06,1.020486e-05,1.025502e-05,1.081366e-05,1.104579e-05,1.138146e-05,1.176416e-05,1.190703e-05,1.239000e-05,1.240843e-05,1.283069e-05,1.297916e-05,1.323006e-05,1.347873e-05,1.358951e-05,1.391085e-05,1.419614e-05,1.428017e-05,1.444760e-05,1.459186e-05,1.466756e-05,1.485130e-05,1.485841e-05,1.502246e-05,1.506391e-05,1.516200e-05,1.523488e-05,1.527922e-05,1.536913e-05,1.537619e-05,1.545483e-05,1.547118e-05,1.551695e-05,1.554515e-05,1.556422e-05,1.559475e-05,1.559817e-05,1.562018e-05,1.562326e-05,1.563152e-05,1.563358e-05,1.563333e-05,1.562825e-05,1.562665e-05,1.561239e-05,1.560947e-05,1.559141e-05,1.557916e-05,1.556443e-05,1.553899e-05,1.553213e-05,1.549512e-05,1.549038e-05,1.545392e-05,1.543459e-05,1.540902e-05,1.537268e-05,1.536084e-05,1.530977e-05,1.530557e-05,1.525617e-05,1.523409e-05,1.520034e-05,1.515892e-05,1.514256e-05,1.508309e-05,1.508068e-05,1.502216e-05,1.499990e-05,1.495996e-05,1.491704e-05,1.489669e-05,1.483252e-05,1.476759e-05,1.474668e-05,1.470206e-05,1.465985e-05,1.463603e-05,1.457230e-05,1.456964e-05,1.450298e-05,1.448428e-05,1.443614e-05,1.439599e-05,1.436922e-05,1.430765e-05,1.430229e-05,1.423543e-05,1.421940e-05,1.416870e-05,1.413141e-05,1.410216e-05,1.404381e-05,1.403587e-05,1.396987e-05,1.395671e-05,1.390421e-05,1.387022e-05,1.383894e-05,1.378443e-05,1.377408e-05,1.370967e-05,1.369941e-05,1.364575e-05,1.361525e-05,1.358235e-05,1.353201e-05,1.351948e-05,1.345717e-05,1.344973e-05,1.339544e-05,1.336847e-05,1.333432e-05,1.328827e-05,1.327380e-05,1.321392e-05,1.320916e-05,1.315468e-05,1.313117e-05,1.309610e-05,1.305433e-05,1.303818e-05,1.298094e-05,1.297866e-05,1.292437e-05,1.290418e-05,1.286849e-05,1.283089e-05,1.281331e-05,1.275881e-05,1.268795e-05,1.261831e-05,1.254989e-05,1.248269e-05,1.241671e-05,1.235195e-05,1.228840e-05,1.222606e-05,1.216491e-05,1.210495e-05,1.204616e-05,1.198853e-05,1.193206e-05,1.187673e-05,1.182252e-05,1.176942e-05,1.171742e-05,1.166650e-05,1.161665e-05,1.156784e-05,1.152007e-05,1.147332e-05,1.142756e-05,1.138280e-05
0.000000e+00,5.378643e-09,1.235502e-08,4.275180e-08,9.785593e-08,1.432933e-07,3.287845e-07,3.388547e-07,6.643646e-07,7.841174e-07,1.160006e-06,1.557899e-06,1.871354e-06,2.755221e-06,2.843447e-06,4.105883e-06,4.452775e-06,5.659448e-06,6.648594e-06,7.481404e-06,9.283026e-06,9.541952e-06,1.181408e-05,1.229184e-05,1.427511e-05,1.562286e-05,1.690525e-05,1.923175e-05,1.968605e-05,2.259946e-05,2.307671e-05,2.562748e-05,2.711636e-05,2.875214e-05,3.130947e-05,3.195564e-05,3.522066e-05,3.561580e-05,3.853059e-05,3.999712e-05,4.186979e-05,4.441817e-05,4.522373e-05,4.857914e-05,4.884727e-05,5.192407e-05,5.325669e-05,5.524790e-05,5.762269e-05,5.854128e-05,6.179612e-05,6.192541e-05,6.500549e-05,6.614857e-05,6.816351e-05,7.027909e-05,7.126527e-05,7.430671e-05,7.728456e-05,7.822360e-05,8.019622e-05,8.202398e-05,8.303965e-05,8.570377e-05,8.581336e-05,8.851627e-05,8.926029e-05,9.114769e-05,9.269206e-05,9.370725e-05,9.599850e-05,9.619486e-05,9.861067e-05,9.917981e-05,1.009550e-04,1.022368e-04,1.032284e-04,1.051708e-04,1.054314e-04,1.075650e-04,1.079834e-04,1.096298e-04,1.106767e-04,1.116270e-04,1.132530e-04,1.135574e-04,1.154223e-04,1.157146e-04,1.172226e-04,1.180642e-04,1.189597e-04,1.203046e-04,1.206346e-04,1.222487e-04,1.224383e-04,1.238030e-04,1.244684e-04,1.252990e-04,1.263976e-04,1.267378e-04,1.281207e-04,1.282289e-04,1.294490e-04,1.299652e-04,1.307238e-04,1.316094e-04,1.319466e-04,1.331185e-04,1.331643e-04,1.342407e-04,1.346328e-04,1.353145e-04,1.360177e-04,1.363412e-04,1.373218e-04,1.382577e-04,1.385479e-04,1.391499e-04,1.396986e-04,1.399997e-04,1.407766e-04,1.408081e-04,1.415764e-04,1.417845e-04,1.423056e-04,1.427248e-04,1.429968e-04,1.436000e-04,1.436511e-04,1.442695e-04,1.444127e-04,1.448530e-04,1.451650e-04,1.454028e-04,1.458594e-04,1.459197e-04,1.464048e-04,1.464980e-04,1.468589e-04,1.470832e-04,1.472831e-04,1.476170e-04,1.476783e-04,1.480453e-04,1.481015e-04,1.483850e-04,1.485387e-04,1.486984e-04,1.489306e-04,1.489861e-04,1.492491e-04,1.492790e-04,1.494881e-04,1.495859e-04,1.497040e-04,1.498530e-04,1.498974e-04,1.500692e-04,1.500821e-04,1.502201e-04,1.502747e-04,1.503507e-04,1.504326e-04,1.504618e-04,1.505540e-04,1.505574e-04,1.506281e-04,1.506504e-04,1.506846e-04,1.507133e-04,1.507241e-04,1.507474e-04,1.507540e-04,1.507346e-04,1.506904e-04,1.506226e-04,1.505325e-04,1.504211e-04,1.502896e-04,1.501390e-04,1.499703e-04,1.497846e-04,1.495829e-04,1.493659e-04,1.491346e-04,1.488899e-04,1.486325e-04,1.483632e-04,1.480829e-04,1.477921e-04,1.474916e-04,1.471821e-04,1.468642e-04,1.465385e-04,1.462056e-04,1.458661e-04
0.000000e+00,2.940275e-09,7.872841e-09,3.186934e-08,7.821952e-08,1.174519e-07,2.813784e-07,2.903836e-07,5.849684e-07,6.946909e-07,1.042625e-06,1.415265e-06,1.710628e-06,2.542804e-06,2.625307e-06,3.784966e-06,4.096066e-06,5.154171e-06,5.997444e-06,6.693676e-06,8.165508e-06,8.373765e-06,1.017239e-05,1.054469e-05,1.207114e-05,1.309229e-05,1.405268e-05,1.576856e-05,1.609978e-05,1.819499e-05,1.853352e-05,2.032084e-05,2.134707e-05,2.246018e-05,2.417032e-05,2.459662e-05,2.671492e-05,2.696722e-05,2.880121e-05,2.970583e-05,3.084328e-05,3.235914e-05,3.283060e-05,3.475441e-05,3.490534e-05,3.660761e-05,3.732784e-05,3.838473e-05,3.961483e-05,4.008175e-05,4.169597e-05,4.175879e-05,4.322585e-05,4.375582e-05,4.467084e-05,4.560507e-05,4.603124e-05,4.730804e-05,4.850279e-05,4.886810e-05,4.961751e-05,5.029001e-05,5.065456e-05,5.157949e-05,5.161657e-05,5.250633e-05,5.274291e-05,5.332678e-05,5.378703e-05,5.408093e-05,5.471881e-05,5.477183e-05,5.540249e-05,5.554522e-05,5.597593e-05,5.627316e-05,5.649510e-05,5.690936e-05,5.696287e-05,5.738206e-05,5.746030e-05,5.775536e-05,5.793222e-05,5.808539e-05,5.833103e-05,5.837467e-05,5.862561e-05,5.866235e-05,5.884050e-05,5.893150e-05,5.902156e-05,5.914346e-05,5.917089e-05,5.929048e-05,5.930292e-05,5.938224e-05,5.941427e-05,5.944798e-05,5.948160e-05,5.948941e-05,5.950817e-05,5.950873e-05,5.950579e-05,5.949924e-05,5.948373e-05,5.945644e-05,5.944337e-05,5.938603e-05,5.938340e-05,5.931293e-05,5.928298e-05,5.922524e-05,5.915784e-05,5.912406e-05,5.901043e-05,5.888533e-05,5.884302e-05,5.874967e-05,5.865772e-05,5.860434e-05,5.845648e-05,5.845015e-05,5.828787e-05,5.824108e-05,5.811822e-05,5.801318e-05,5.794189e-05,5.777431e-05,5.775952e-05,5.757170e-05,5.752588e-05,5.737901e-05,5.726918e-05,5.718198e-05,5.700539e-05,5.698110e-05,5.677684e-05,5.673563e-05,5.656965e-05,5.646088e-05,5.635991e-05,5.618207e-05,5.614804e-05,5.593437e-05,5.590004e-05,5.571924e-05,5.561556e-05,5.550298e-05,5.532934e-05,5.528586e-05,5.506817e-05,5.504202e-05,5.485015e-05,5.475419e-05,5.463205e-05,5.446637e-05,5.441408e-05,5.419645e-05,5.417906e-05,5.397935e-05,5.389269e-05,5.376295e-05,5.360766e-05,5.354741e-05,5.333289e-05,5.332433e-05,5.311952e-05,5.304302e-05,5.290744e-05,5.276402e-05,5.269676e-05,5.248758e-05,5.221395e-05,5.194332e-05,5.167588e-05,5.141179e-05,5.115119e-05,5.089419e-05,5.064090e-05,5.039141e-05,5.014580e-05,4.990411e-05,4.966641e-05,4.943272e-05,4.920308e-05,4.897750e-05,4.875599e-05,4.853855e-05,4.832518e-05,4.811587e-05,4.791060e-05,4.770934e-05,4.751207e-05,4.731877e-05,4.712938e-05,4.694388e-05
0.000000e+00,2.854456e-09,6.870238e-09,2.492188e-08,5.817789e-08,8.572435e-08,1.981357e-07,2.042234e-07,3.998414e-07,4.712294e-07,6.934350e-07,9.259308e-07,1.107437e-06,1.613235e-06,1.663333e-06,2.374797e-06,2.568918e-06,3.240920e-06,3.788784e-06,4.248342e-06,5.237811e-06,5.379520e-06,6.617902e-06,6.877127e-06,7.948850e-06,8.673066e-06,9.359030e-06,1.059556e-05,1.083581e-05,1.236696e-05,1.261619e-05,1.394062e-05,1.470771e-05,1.554541e-05,1.684442e-05,1.717059e-05,1.880617e-05,1.900269e-05,2.044303e-05,2.116152e-05,2.207303e-05,2.330279e-05,2.368899e-05,2.528473e-05,2.541135e-05,2.685497e-05,2.747492e-05,2.839533e-05,2.948384e-05,2.990221e-05,3.137275e-05,3.143078e-05,3.280469e-05,3.331041e-05,3.419637e-05,3.511909e-05,3.554659e-05,3.685454e-05,3.811980e-05,3.851563e-05,3.934220e-05,4.010210e-05,4.052187e-05,4.161441e-05,4.165909e-05,4.275436e-05,4.305359e-05,4.380826e-05,4.442104e-05,4.482151e-05,4.571848e-05,4.579491e-05,4.672932e-05,4.694788e-05,4.762566e-05,4.811133e-05,4.848488e-05,4.921106e-05,4.930796e-05,5.009590e-05,5.024936e-05,5.084970e-05,5.122853e-05,5.157038e-05,5.215090e-05,5.225896e-05,5.291642e-05,5.301879e-05,5.354377e-05,5.383450e-05,5.414200e-05,5.460027e-05,5.471207e-05,5.525495e-05,5.531831e-05,5.577155e-05,5.599078e-05,5.626282e-05,5.661978e-05,5.672963e-05,5.717288e-05,5.720734e-05,5.759341e-05,5.775545e-05,5.799207e-05,5.826601e-05,5.836966e-05,5.872699e-05,5.874087e-05,5.906482e-05,5.918181e-05,5.938390e-05,5.959053e-05,5.968495e-05,5.996870e-05,6.023581e-05,6.031789e-05,6.048696e-05,6.063962e-05,6.072279e-05,6.093536e-05,6.094393e-05,6.115097e-05,6.120649e-05,6.134450e-05,6.145437e-05,6.152509e-05,6.168027e-05,6.169328e-05,6.184960e-05,6.188541e-05,6.199457e-05,6.207097e-05,6.212867e-05,6.223807e-05,6.225238e-05,6.236616e-05,6.238777e-05,6.247046e-05,6.252109e-05,6.256570e-05,6.263900e-05,6.265229e-05,6.273063e-05,6.274243e-05,6.280111e-05,6.283225e-05,6.286409e-05,6.290931e-05,6.291992e-05,6.296896e-05,6.297440e-05,6.301152e-05,6.302829e-05,6.304794e-05,6.307168e-05,6.307850e-05,6.310351e-05,6.310528e-05,6.312324e-05,6.312972e-05,6.313797e-05,6.314562e-05,6.314795e-05,6.315345e-05,6.315358e-05,6.315469e-05,6.315414e-05,6.315191e-05,6.314783e-05,6.314532e-05,6.313515e-05,6.311657e-05,6.309254e-05,6.306347e-05,6.302978e-05,6.299183e-05,6.294997e-05,6.290456e-05,6.285589e-05,6.280428e-05,6.275000e-05,6.269332e-05,6.263448e-05,6.257372e-05,6.251126e-05,6.244731e-05,6.238206e-05,6.231569e-05,6.224837e-05,6.218026e-05,6.211151e-05,6.204225e-05,6.197262e-05,6.190274e-05,6.183272e-05
0.000000e+00,3.581769e-09,8.228437e-09,2.845397e-08,6.509741e-08,9.532639e-08,2.190909e-07,2.258303e-07,4.449448e-07,5.261643e-07,7.829099e-07,1.056717e-06,1.272920e-06,1.878955e-06,1.938877e-06,2.781185e-06,3.007721e-06,3.781725e-06,4.403133e-06,4.919403e-06,6.020257e-06,6.177032e-06,7.540971e-06,7.825455e-06,8.999321e-06,9.791182e-06,1.054065e-05,1.189103e-05,1.215338e-05,1.382560e-05,1.409787e-05,1.554518e-05,1.638384e-05,1.730000e-05,1.872125e-05,1.907820e-05,2.086831e-05,2.108341e-05,2.265974e-05,2.344583e-05,2.444270e-05,2.578665e-05,2.620841e-05,2.794912e-05,2.808709e-05,2.965812e-05,3.033153e-05,3.132974e-05,3.250750e-05,3.295931e-05,3.454306e-05,3.460541e-05,3.607800e-05,3.661818e-05,3.756190e-05,3.854096e-05,3.899316e-05,4.037072e-05,4.169403e-05,4.210599e-05,4.296291e-05,4.374651e-05,4.417755e-05,4.529299e-05,4.533840e-05,4.644614e-05,4.674691e-05,4.750165e-05,4.811031e-05,4.850597e-05,4.938569e-05,4.946022e-05,5.036564e-05,5.057582e-05,5.122354e-05,5.168371e-05,5.203526e-05,5.271248e-05,5.280220e-05,5.352574e-05,5.366536e-05,5.420730e-05,5.454559e-05,5.484829e-05,5.535641e-05,5.545013e-05,5.601419e-05,5.610102e-05,5.654185e-05,5.678260e-05,5.703447e-05,5.740422e-05,5.749336e-05,5.791984e-05,5.796889e-05,5.831516e-05,5.847955e-05,5.868056e-05,5.893901e-05,5.901726e-05,5.932643e-05,5.935001e-05,5.960921e-05,5.971518e-05,5.986671e-05,6.003706e-05,6.010001e-05,6.031014e-05,6.031808e-05,6.049813e-05,6.056057e-05,6.066494e-05,6.076677e-05,6.081153e-05,6.093881e-05,6.104766e-05,6.107874e-05,6.113893e-05,6.118851e-05,6.121346e-05,6.126998e-05,6.127203e-05,6.131541e-05,6.132494e-05,6.134434e-05,6.135506e-05,6.135953e-05,6.136196e-05,6.136166e-05,6.135140e-05,6.134717e-05,6.132938e-05,6.131214e-05,6.129621e-05,6.125826e-05,6.125247e-05,6.119874e-05,6.118684e-05,6.113555e-05,6.109912e-05,6.106342e-05,6.099629e-05,6.098286e-05,6.089434e-05,6.087947e-05,6.079833e-05,6.074971e-05,6.069526e-05,6.060801e-05,6.058557e-05,6.046965e-05,6.045534e-05,6.034790e-05,6.029258e-05,6.022069e-05,6.012058e-05,6.008838e-05,5.995131e-05,5.994015e-05,5.980981e-05,5.975204e-05,5.966419e-05,5.955697e-05,5.951476e-05,5.936179e-05,5.935560e-05,5.920556e-05,5.914858e-05,5.904634e-05,5.893649e-05,5.888438e-05,5.871991e-05,5.849935e-05,5.827533e-05,5.804830e-05,5.781870e-05,5.758695e-05,5.735343e-05,5.711850e-05,5.688249e-05,5.664573e-05,5.640851e-05,5.617110e-05,5.593377e-05,5.569674e-05,5.546024e-05,5.522447e-05,5.498964e-05,5.475591e-05,5.452345e-05,5.429241e-05,5.406293e-05,5.383513e-05,5.360914e-05,5.338505e-05,5.316298e-05
0.000000e+00,4.697333e-12,2.742773e-11,3.480965e-10,1.746124e-09,3.570287e-09,1.579282e-08,1.663624e-08,5.106995e-08,6.650645e-08,1.217713e-07,1.886970e-07,2.459998e-07,4.240882e-07,4.430162e-07,7.340590e-07,8.204131e-07,1.141857e-06,1.429630e-06,1.688619e-06,2.298864e-06,2.391892e-06,3.259481e-06,3.452509e-06,4.286461e-06,4.878348e-06,5.456308e-06,6.532062e-06,6.745205e-06,8.126943e-06,8.354927e-06,9.576462e-06,1.028967e-05,1.107158e-05,1.228769e-05,1.259338e-05,1.412588e-05,1.430983e-05,1.565552e-05,1.632461e-05,1.717069e-05,1.830630e-05,1.866133e-05,2.011880e-05,2.023374e-05,2.153570e-05,2.208967e-05,2.290580e-05,2.386037e-05,2.422398e-05,2.548620e-05,2.553548e-05,2.668938e-05,2.710763e-05,2.783136e-05,2.857225e-05,2.891083e-05,2.992719e-05,3.088051e-05,3.117234e-05,3.177139e-05,3.230926e-05,3.260089e-05,3.334082e-05,3.337047e-05,3.408188e-05,3.427091e-05,3.473708e-05,3.510410e-05,3.533822e-05,3.584547e-05,3.588756e-05,3.638746e-05,3.650034e-05,3.684028e-05,3.707418e-05,3.724840e-05,3.757244e-05,3.761417e-05,3.793993e-05,3.800048e-05,3.822793e-05,3.836350e-05,3.848037e-05,3.866649e-05,3.869937e-05,3.888696e-05,3.891419e-05,3.904509e-05,3.911109e-05,3.917565e-05,3.926143e-05,3.928039e-05,3.936103e-05,3.936916e-05,3.941916e-05,3.943801e-05,3.945632e-05,3.947141e-05,3.947393e-05,3.947336e-05,3.947257e-05,3.945590e-05,3.944446e-05,3.942276e-05,3.938984e-05,3.937509e-05,3.931395e-05,3.931124e-05,3.924038e-05,3.921103e-05,3.915531e-05,3.909135e-05,3.905964e-05,3.895422e-05,3.883984e-05,3.880147e-05,3.871724e-05,3.863479e-05,3.858712e-05,3.845573e-05,3.845013e-05,3.830688e-05,3.826573e-05,3.815795e-05,3.806609e-05,3.800388e-05,3.785802e-05,3.784517e-05,3.768228e-05,3.764262e-05,3.751567e-05,3.742090e-05,3.734575e-05,3.719378e-05,3.717290e-05,3.699748e-05,3.696211e-05,3.681982e-05,3.672667e-05,3.664026e-05,3.648815e-05,3.645906e-05,3.627653e-05,3.624721e-05,3.609289e-05,3.600443e-05,3.590840e-05,3.576034e-05,3.572328e-05,3.553772e-05,3.551543e-05,3.535193e-05,3.527015e-05,3.516608e-05,3.502489e-05,3.498033e-05,3.479484e-05,3.478002e-05,3.460976e-05,3.453586e-05,3.442520e-05,3.429272e-05,3.424130e-05,3.405817e-05,3.405086e-05,3.387590e-05,3.381052e-05,3.369460e-05,3.357191e-05,3.351435e-05,3.333523e-05,3.310066e-05,3.286834e-05,3.263841e-05,3.241099e-05,3.218618e-05,3.196407e-05,3.174475e-05,3.152827e-05,3.131470e-05,3.110408e-05,3.089645e-05,3.069183e-05,3.049026e-05,3.029175e-05,3.009631e-05,2.990393e-05,2.971463e-05,2.952840e-05,2.934522e-05,2.916509e-05,2.898798e-05,2.881388e-05,2.864277e-05,2.847462e-05
0.000000e+00,1.422815e-14,9.462747e-14,1.564988e-12,9.927916e-12,2.302551e-11,1.395749e-10,1.488755e-10,6.142431e-10,8.641793e-10,1.909788e-09,3.422939e-09,4.890294e-09,1.024554e-08,1.087514e-08,2.173234e-08,2.532464e-08,3.993358e-08,5.445789e-08,6.855592e-08,1.052173e-07,1.112050e-07,1.718566e-07,1.865105e-07,2.546405e-07,3.077884e-07,3.636050e-07,4.781192e-07,5.024930e-07,6.745527e-07,7.053449e-07,8.823925e-07,9.954437e-07,1.127882e-06,1.352132e-06,1.412098e-06,1.735304e-06,1.776692e-06,2.096972e-06,2.267986e-06,2.495818e-06,2.822614e-06,2.929867e-06,3.396532e-06,3.435185e-06,3.892705e-06,4.098657e-06,4.414851e-06,4.804721e-06,4.959109e-06,5.521397e-06,5.544204e-06,6.097506e-06,6.307470e-06,6.683191e-06,7.084784e-06,7.274262e-06,7.866654e-06,8.456495e-06,8.644105e-06,9.040158e-06,9.408907e-06,9.614307e-06,1.015373e-05,1.017592e-05,1.072233e-05,1.087228e-05,1.125121e-05,1.155929e-05,1.176059e-05,1.221059e-05,1.224884e-05,1.271469e-05,1.282305e-05,1.315716e-05,1.339448e-05,1.357559e-05,1.392361e-05,1.396959e-05,1.433900e-05,1.440994e-05,1.468390e-05,1.485365e-05,1.500456e-05,1.525549e-05,1.530140e-05,1.557501e-05,1.561667e-05,1.582606e-05,1.593878e-05,1.605534e-05,1.622367e-05,1.626372e-05,1.645208e-05,1.647339e-05,1.662139e-05,1.669009e-05,1.677260e-05,1.687601e-05,1.690668e-05,1.702462e-05,1.703339e-05,1.712737e-05,1.716443e-05,1.721588e-05,1.727130e-05,1.729106e-05,1.735380e-05,1.735606e-05,1.740495e-05,1.742068e-05,1.744533e-05,1.746703e-05,1.747571e-05,1.749684e-05,1.750941e-05,1.751173e-05,1.751408e-05,1.751321e-05,1.751147e-05,1.750266e-05,1.750217e-05,1.748671e-05,1.748135e-05,1.746561e-05,1.745043e-05,1.743933e-05,1.741098e-05,1.740833e-05,1.737302e-05,1.736394e-05,1.733376e-05,1.731019e-05,1.729093e-05,1.725053e-05,1.724484e-05,1.719580e-05,1.718567e-05,1.714410e-05,1.711625e-05,1.708999e-05,1.704285e-05,1.703371e-05,1.697549e-05,1.696601e-05,1.691554e-05,1.688620e-05,1.685404e-05,1.680385e-05,1.679117e-05,1.672709e-05,1.671933e-05,1.666196e-05,1.663300e-05,1.659591e-05,1.654517e-05,1.652906e-05,1.646155e-05,1.645612e-05,1.639347e-05,1.636610e-05,1.632493e-05,1.627534e-05,1.625602e-05,1.618682e-05,1.618405e-05,1.611742e-05,1.609240e-05,1.604789e-05,1.600057e-05,1.597830e-05,1.590870e-05,1.581693e-05,1.572538e-05,1.563416e-05,1.554335e-05,1.545306e-05,1.536336e-05,1.527432e-05,1.518599e-05,1.509844e-05,1.501172e-05,1.492586e-05,1.484091e-05,1.475691e-05,1.467387e-05,1.459182e-05,1.451079e-05,1.443080e-05,1.435186e-05,1.427398e-05,1.419717e-05,1.412145e-05,1.404681e-05,1.397327e-05,1.390082e-05
0.000000e+00,1.638540e-09,3.786595e-09,1.314847e-08,3.003134e-08,4.385648e-08,9.945707e-08,1.024395e-07,1.970799e-07,2.311133e-07,3.355927e-07,4.428620e-07,5.253625e-07,7.506866e-07,7.727050e-07,1.081515e-06,1.164911e-06,1.452458e-06,1.686746e-06,1.883827e-06,2.311178e-06,2.372784e-06,2.915883e-06,3.030658e-06,3.509119e-06,3.835916e-06,4.147907e-06,4.715962e-06,4.827130e-06,5.541244e-06,5.658354e-06,6.284428e-06,6.649740e-06,7.050753e-06,7.676519e-06,7.834342e-06,8.629511e-06,8.725451e-06,9.430892e-06,9.784171e-06,1.023352e-05,1.084155e-05,1.103288e-05,1.182496e-05,1.188791e-05,1.260627e-05,1.291508e-05,1.337379e-05,1.391642e-05,1.412498e-05,1.485778e-05,1.488668e-05,1.557047e-05,1.582185e-05,1.626173e-05,1.671903e-05,1.693058e-05,1.757630e-05,1.819844e-05,1.839249e-05,1.879673e-05,1.916709e-05,1.937111e-05,1.990008e-05,1.992164e-05,2.044854e-05,2.059187e-05,2.095208e-05,2.124316e-05,2.143267e-05,2.185491e-05,2.189074e-05,2.232679e-05,2.242823e-05,2.274138e-05,2.296438e-05,2.313506e-05,2.346468e-05,2.350843e-05,2.386210e-05,2.393052e-05,2.419668e-05,2.436332e-05,2.451279e-05,2.476450e-05,2.481105e-05,2.509208e-05,2.513549e-05,2.535649e-05,2.547768e-05,2.560488e-05,2.579246e-05,2.583784e-05,2.605596e-05,2.608117e-05,2.625981e-05,2.634512e-05,2.644993e-05,2.658559e-05,2.662689e-05,2.679120e-05,2.680381e-05,2.694338e-05,2.700097e-05,2.708394e-05,2.717821e-05,2.721335e-05,2.733209e-05,2.733662e-05,2.744061e-05,2.747726e-05,2.753936e-05,2.760115e-05,2.762877e-05,2.770925e-05,2.778119e-05,2.780248e-05,2.784499e-05,2.788173e-05,2.790102e-05,2.794783e-05,2.794964e-05,2.799119e-05,2.800160e-05,2.802601e-05,2.804380e-05,2.805442e-05,2.807516e-05,2.807673e-05,2.809324e-05,2.809637e-05,2.810424e-05,2.810810e-05,2.811000e-05,2.811095e-05,2.811080e-05,2.810687e-05,2.810554e-05,2.809848e-05,2.809243e-05,2.808586e-05,2.807215e-05,2.806923e-05,2.804881e-05,2.804521e-05,2.802481e-05,2.801208e-05,2.799744e-05,2.797323e-05,2.796687e-05,2.793331e-05,2.792909e-05,2.789692e-05,2.788006e-05,2.785788e-05,2.782653e-05,2.781634e-05,2.777246e-05,2.776886e-05,2.772640e-05,2.770739e-05,2.767829e-05,2.764246e-05,2.762827e-05,2.757647e-05,2.757436e-05,2.752301e-05,2.750339e-05,2.746803e-05,2.742982e-05,2.741162e-05,2.735390e-05,2.727587e-05,2.719597e-05,2.711441e-05,2.703138e-05,2.694708e-05,2.686167e-05,2.677534e-05,2.668823e-05,2.660049e-05,2.651225e-05,2.642364e-05,2.633479e-05,2.624579e-05,2.615676e-05,2.606780e-05,2.597898e-05,2.589040e-05,2.580213e-05,2.571424e-05,2.562680e-05,2.553987e-05,2.545351e-05,2.536776e-05,2.528268e-05
0.000000e+00,7.882862e-13,4.795188e-12,6.604556e-11,3.555758e-10,7.546279e-10,3.656140e-09,3.865086e-09,1.289149e-08,1.715124e-08,3.306923e-08,5.330676e-08,7.120856e-08,1.289192e-07,1.351750e-07,2.326439e-07,2.617363e-07,3.695889e-07,4.649213e-07,5.494900e-07,7.442701e-07,7.734655e-07,1.040851e-06,1.099388e-06,1.349758e-06,1.525916e-06,1.697442e-06,2.016986e-06,2.080493e-06,2.494941e-06,2.563874e-06,2.936337e-06,3.156377e-06,3.399868e-06,3.783242e-06,3.880486e-06,4.373068e-06,4.432741e-06,4.872574e-06,5.093300e-06,5.374198e-06,5.754093e-06,5.873487e-06,6.366438e-06,6.405492e-06,6.849559e-06,7.039374e-06,7.319892e-06,7.649235e-06,7.775018e-06,8.213036e-06,8.230179e-06,8.632522e-06,8.778798e-06,9.032488e-06,9.292991e-06,9.412325e-06,9.771751e-06,1.011075e-05,1.021495e-05,1.042954e-05,1.062314e-05,1.072851e-05,1.099736e-05,1.100818e-05,1.126919e-05,1.133901e-05,1.151222e-05,1.164972e-05,1.173803e-05,1.193124e-05,1.194741e-05,1.214113e-05,1.218538e-05,1.231999e-05,1.241395e-05,1.248477e-05,1.261874e-05,1.263624e-05,1.277513e-05,1.280146e-05,1.290216e-05,1.296375e-05,1.301801e-05,1.310718e-05,1.312335e-05,1.321880e-05,1.323319e-05,1.330494e-05,1.334316e-05,1.338235e-05,1.343835e-05,1.345156e-05,1.351307e-05,1.351996e-05,1.356735e-05,1.358907e-05,1.361486e-05,1.364669e-05,1.365601e-05,1.369121e-05,1.369378e-05,1.372082e-05,1.373118e-05,1.374520e-05,1.375970e-05,1.376468e-05,1.377957e-05,1.378008e-05,1.379017e-05,1.379298e-05,1.379674e-05,1.379904e-05,1.379955e-05,1.379884e-05,1.379484e-05,1.379290e-05,1.378776e-05,1.378171e-05,1.377780e-05,1.376572e-05,1.376516e-05,1.375002e-05,1.374535e-05,1.373253e-05,1.372098e-05,1.371286e-05,1.369296e-05,1.369116e-05,1.366756e-05,1.366163e-05,1.364220e-05,1.362728e-05,1.361521e-05,1.359018e-05,1.358669e-05,1.355675e-05,1.355061e-05,1.352551e-05,1.350878e-05,1.349306e-05,1.346493e-05,1.345949e-05,1.342488e-05,1.341925e-05,1.338932e-05,1.337194e-05,1.335288e-05,1.332315e-05,1.331564e-05,1.327767e-05,1.327306e-05,1.323902e-05,1.322181e-05,1.319975e-05,1.316954e-05,1.315994e-05,1.311962e-05,1.311637e-05,1.307885e-05,1.306243e-05,1.303768e-05,1.300782e-05,1.299615e-05,1.295431e-05,1.295263e-05,1.291219e-05,1.289697e-05,1.286984e-05,1.284092e-05,1.282728e-05,1.278456e-05,1.272796e-05,1.267119e-05,1.261432e-05,1.255740e-05,1.250049e-05,1.244363e-05,1.238687e-05,1.233026e-05,1.227383e-05,1.221762e-05,1.216167e-05,1.210600e-05,1.205064e-05,1.199562e-05,1.194096e-05,1.188668e-05,1.183281e-05,1.177936e-05,1.172634e-05,1.167378e-05,1.162168e-05,1.157006e-05,1.151893e-05,1.146830e-05
0.000000e+00,1.032138e-10,4.714473e-10,3.827491e-09,1.366732e-08,2.375648e-08,7.387509e-08,7.685126e-08,1.801193e-07,2.202632e-07,3.498742e-07,4.902020e-07,6.018417e-07,9.194069e-07,9.513042e-07,1.413047e-06,1.542136e-06,2.000810e-06,2.389379e-06,2.725907e-06,3.483183e-06,3.595202e-06,4.609761e-06,4.829809e-06,5.765414e-06,6.419702e-06,7.054661e-06,8.234250e-06,8.468422e-06,9.996910e-06,1.025144e-05,1.162990e-05,1.244774e-05,1.335676e-05,1.479845e-05,1.516648e-05,1.704779e-05,1.727781e-05,1.898924e-05,1.985959e-05,2.097945e-05,2.251772e-05,2.300723e-05,2.506184e-05,2.522705e-05,2.713302e-05,2.796397e-05,2.921122e-05,3.070686e-05,3.128757e-05,3.335407e-05,3.343642e-05,3.540349e-05,3.613584e-05,3.742944e-05,3.879080e-05,3.942633e-05,4.138936e-05,4.331440e-05,4.392181e-05,4.519802e-05,4.638047e-05,4.703740e-05,4.875946e-05,4.883026e-05,5.057483e-05,5.105446e-05,5.226975e-05,5.326246e-05,5.391408e-05,5.538163e-05,5.550718e-05,5.704875e-05,5.741104e-05,5.853870e-05,5.935057e-05,5.997718e-05,6.120072e-05,6.136451e-05,6.270120e-05,6.296251e-05,6.398785e-05,6.463736e-05,6.522518e-05,6.622701e-05,6.641400e-05,6.755520e-05,6.773344e-05,6.864973e-05,6.915881e-05,6.969857e-05,7.050545e-05,7.070276e-05,7.166335e-05,7.177574e-05,7.258141e-05,7.297217e-05,7.345803e-05,7.409722e-05,7.429430e-05,7.509132e-05,7.515342e-05,7.585019e-05,7.614330e-05,7.657199e-05,7.706935e-05,7.725781e-05,7.790872e-05,7.793405e-05,7.852578e-05,7.873984e-05,7.911003e-05,7.948911e-05,7.966251e-05,8.018422e-05,8.067616e-05,8.082745e-05,8.113930e-05,8.142105e-05,8.157461e-05,8.196719e-05,8.198302e-05,8.236544e-05,8.246798e-05,8.272277e-05,8.292549e-05,8.305589e-05,8.334171e-05,8.336565e-05,8.365288e-05,8.371856e-05,8.391841e-05,8.405791e-05,8.416301e-05,8.436158e-05,8.438747e-05,8.459254e-05,8.463129e-05,8.477895e-05,8.486874e-05,8.494741e-05,8.507555e-05,8.509861e-05,8.523323e-05,8.525327e-05,8.535192e-05,8.540342e-05,8.545531e-05,8.552743e-05,8.554403e-05,8.561867e-05,8.562671e-05,8.567981e-05,8.570259e-05,8.572802e-05,8.575635e-05,8.576385e-05,8.578781e-05,8.578923e-05,8.580043e-05,8.580241e-05,8.580220e-05,8.579703e-05,8.579361e-05,8.577512e-05,8.577418e-05,8.574718e-05,8.573490e-05,8.571023e-05,8.568018e-05,8.566470e-05,8.561098e-05,8.552821e-05,8.543276e-05,8.532545e-05,8.520707e-05,8.507840e-05,8.494016e-05,8.479304e-05,8.463771e-05,8.447478e-05,8.430487e-05,8.412854e-05,8.394634e-05,8.375878e-05,8.356635e-05,8.336952e-05,8.316874e-05,8.296442e-05,8.275696e-05,8.254675e-05,8.233413e-05,8.211945e-05,8.190303e-05,8.168516e-05,8.146614e-05
0.000000e+00,3.104410e-09,7.912260e-09,3.044041e-08,7.298363e-08,1.086125e-07,2.556377e-07,2.636506e-07,5.229931e-07,6.183851e-07,9.173547e-07,1.232911e-06,1.480764e-06,2.175395e-06,2.244324e-06,3.220605e-06,3.485329e-06,4.394303e-06,5.126771e-06,5.735767e-06,7.032873e-06,7.217278e-06,8.816908e-06,9.149369e-06,1.051648e-05,1.143423e-05,1.229944e-05,1.384986e-05,1.414979e-05,1.605176e-05,1.635983e-05,1.798986e-05,1.892857e-05,1.994916e-05,2.152238e-05,2.191559e-05,2.387617e-05,2.411048e-05,2.581920e-05,2.666586e-05,2.773436e-05,2.916572e-05,2.961277e-05,3.144694e-05,3.159157e-05,3.323074e-05,3.392901e-05,3.495925e-05,3.616737e-05,3.662868e-05,3.823625e-05,3.829923e-05,3.978003e-05,4.031993e-05,4.125885e-05,4.222705e-05,4.267218e-05,4.402001e-05,4.530278e-05,4.569965e-05,4.652129e-05,4.726790e-05,4.767661e-05,4.872750e-05,4.877007e-05,4.980316e-05,5.008182e-05,5.077750e-05,5.133463e-05,5.169483e-05,5.248997e-05,5.255695e-05,5.336570e-05,5.355207e-05,5.412295e-05,5.452522e-05,5.483059e-05,5.541375e-05,5.549048e-05,5.610449e-05,5.622195e-05,5.667447e-05,5.695406e-05,5.720222e-05,5.761420e-05,5.768952e-05,5.813810e-05,5.820639e-05,5.854965e-05,5.873453e-05,5.892582e-05,5.920237e-05,5.926823e-05,5.957841e-05,5.961353e-05,5.985787e-05,5.997148e-05,6.010807e-05,6.027953e-05,6.033043e-05,6.052629e-05,6.054086e-05,6.069698e-05,6.075849e-05,6.084375e-05,6.093531e-05,6.096783e-05,6.107038e-05,6.107405e-05,6.115254e-05,6.117734e-05,6.121539e-05,6.124763e-05,6.125997e-05,6.128727e-05,6.129826e-05,6.129849e-05,6.129386e-05,6.128337e-05,6.127495e-05,6.124392e-05,6.124236e-05,6.119692e-05,6.118200e-05,6.113939e-05,6.109938e-05,6.107051e-05,6.099774e-05,6.099100e-05,6.090153e-05,6.087864e-05,6.080273e-05,6.074357e-05,6.069525e-05,6.059393e-05,6.057965e-05,6.045650e-05,6.043101e-05,6.032634e-05,6.025606e-05,6.018969e-05,6.007023e-05,6.004702e-05,5.989880e-05,5.987460e-05,5.974548e-05,5.967019e-05,5.958747e-05,5.945795e-05,5.942517e-05,5.925896e-05,5.923877e-05,5.908921e-05,5.901349e-05,5.891626e-05,5.878287e-05,5.874042e-05,5.856202e-05,5.854765e-05,5.838135e-05,5.830851e-05,5.819868e-05,5.806606e-05,5.801427e-05,5.782838e-05,5.782091e-05,5.764123e-05,5.757360e-05,5.745306e-05,5.732463e-05,5.726407e-05,5.707447e-05,5.682356e-05,5.657230e-05,5.632107e-05,5.607020e-05,5.582002e-05,5.557081e-05,5.532285e-05,5.507637e-05,5.483160e-05,5.458874e-05,5.434798e-05,5.410949e-05,5.387341e-05,5.363989e-05,5.340904e-05,5.318098e-05,5.295579e-05,5.273358e-05,5.251440e-05,5.229832e-05,5.208540e-05,5.187569e-05,5.166922e-05,5.146602e-05
0.000000e+00,1.951572e-09,4.566406e-09,1.601421e-08,3.666783e-08,5.357640e-08,1.216647e-07,1.253245e-07,2.420592e-07,2.843669e-07,4.154733e-07,5.521123e-07,6.586561e-07,9.563159e-07,9.859364e-07,1.411371e-06,1.529360e-06,1.945081e-06,2.292114e-06,2.588027e-06,3.235539e-06,3.329009e-06,4.147666e-06,4.318685e-06,5.021179e-06,5.490200e-06,5.929309e-06,6.707014e-06,6.855981e-06,7.788864e-06,7.938033e-06,8.718415e-06,9.161128e-06,9.637038e-06,1.035985e-05,1.053851e-05,1.141766e-05,1.152144e-05,1.227014e-05,1.263583e-05,1.309236e-05,1.369519e-05,1.388141e-05,1.463501e-05,1.469371e-05,1.535149e-05,1.562742e-05,1.602974e-05,1.649404e-05,1.666914e-05,1.726954e-05,1.729275e-05,1.783119e-05,1.802399e-05,1.835466e-05,1.868924e-05,1.884081e-05,1.929075e-05,1.970575e-05,1.983139e-05,2.008719e-05,2.031440e-05,2.043659e-05,2.074330e-05,2.075549e-05,2.104549e-05,2.112172e-05,2.130816e-05,2.145331e-05,2.154509e-05,2.174166e-05,2.175782e-05,2.194785e-05,2.199025e-05,2.211664e-05,2.220241e-05,2.226558e-05,2.238129e-05,2.239601e-05,2.250918e-05,2.252985e-05,2.260629e-05,2.265083e-05,2.268849e-05,2.274678e-05,2.275683e-05,2.281232e-05,2.282007e-05,2.285591e-05,2.287286e-05,2.288847e-05,2.290713e-05,2.291083e-05,2.292376e-05,2.292471e-05,2.292797e-05,2.292724e-05,2.292415e-05,2.291625e-05,2.291291e-05,2.289483e-05,2.289311e-05,2.287046e-05,2.285907e-05,2.284031e-05,2.281527e-05,2.280483e-05,2.276447e-05,2.276276e-05,2.271963e-05,2.270246e-05,2.267068e-05,2.263524e-05,2.261799e-05,2.256187e-05,2.250263e-05,2.248306e-05,2.244055e-05,2.239944e-05,2.237588e-05,2.231161e-05,2.230889e-05,2.223978e-05,2.222008e-05,2.216877e-05,2.212534e-05,2.209606e-05,2.202782e-05,2.202183e-05,2.194625e-05,2.192793e-05,2.186947e-05,2.182601e-05,2.179164e-05,2.172240e-05,2.171290e-05,2.163338e-05,2.161739e-05,2.155318e-05,2.151125e-05,2.147243e-05,2.140424e-05,2.139121e-05,2.130964e-05,2.129656e-05,2.122779e-05,2.118843e-05,2.114574e-05,2.108002e-05,2.106358e-05,2.098137e-05,2.097150e-05,2.089918e-05,2.086303e-05,2.081706e-05,2.075474e-05,2.073508e-05,2.065329e-05,2.064676e-05,2.057173e-05,2.053919e-05,2.049046e-05,2.043213e-05,2.040950e-05,2.032891e-05,2.032569e-05,2.024871e-05,2.021994e-05,2.016894e-05,2.011495e-05,2.008962e-05,2.001080e-05,1.990754e-05,1.980522e-05,1.970390e-05,1.960361e-05,1.950440e-05,1.940629e-05,1.930931e-05,1.921349e-05,1.911885e-05,1.902541e-05,1.893319e-05,1.884219e-05,1.875242e-05,1.866390e-05,1.857662e-05,1.849060e-05,1.840583e-05,1.832232e-05,1.824007e-05,1.815906e-05,1.807930e-05,1.800079e-05,1.792351e-05,1.784747e-05
0.000000e+00,7.656913e-10,2.292899e-09,1.036686e-08,2.649874e-08,4.020044e-08,9.655258e-08,9.959526e-08,1.960580e-07,2.305658e-07,3.356443e-07,4.421589e-07,5.232023e-07,7.413414e-07,7.624506e-07,1.055865e-06,1.134487e-06,1.404373e-06,1.623288e-06,1.806861e-06,2.202806e-06,2.259589e-06,2.755635e-06,2.859195e-06,3.284757e-06,3.568758e-06,3.834061e-06,4.300846e-06,4.389588e-06,4.938264e-06,5.024658e-06,5.469338e-06,5.715576e-06,5.974913e-06,6.357399e-06,6.449723e-06,6.890639e-06,6.941186e-06,7.296143e-06,7.463223e-06,7.665887e-06,7.923257e-06,8.000367e-06,8.300679e-06,8.323271e-06,8.568342e-06,8.666662e-06,8.805157e-06,8.957667e-06,9.013100e-06,9.194241e-06,9.200959e-06,9.350679e-06,9.401350e-06,9.484488e-06,9.563579e-06,9.597673e-06,9.692157e-06,9.769756e-06,9.791302e-06,9.832167e-06,9.864871e-06,9.880962e-06,9.916339e-06,9.917587e-06,9.943368e-06,9.948810e-06,9.959508e-06,9.965023e-06,9.967098e-06,9.967377e-06,9.967122e-06,9.960469e-06,9.957969e-06,9.947934e-06,9.938615e-06,9.930232e-06,9.910887e-06,9.907999e-06,9.881802e-06,9.876133e-06,9.852149e-06,9.835515e-06,9.819490e-06,9.790031e-06,9.784230e-06,9.746727e-06,9.740540e-06,9.707300e-06,9.687777e-06,9.666235e-06,9.632373e-06,9.623783e-06,9.580171e-06,9.574869e-06,9.535599e-06,9.515731e-06,9.490248e-06,9.455358e-06,9.444276e-06,9.397827e-06,9.394095e-06,9.351028e-06,9.332235e-06,9.303991e-06,9.270035e-06,9.256818e-06,9.209600e-06,9.207711e-06,9.162416e-06,9.145452e-06,9.115339e-06,9.083420e-06,9.068432e-06,9.021753e-06,8.975353e-06,8.960572e-06,8.929277e-06,8.899976e-06,8.883564e-06,8.840055e-06,8.838251e-06,8.793368e-06,8.780882e-06,8.748944e-06,8.722519e-06,8.705002e-06,8.665019e-06,8.661563e-06,8.618647e-06,8.608426e-06,8.576268e-06,8.552776e-06,8.534441e-06,8.498100e-06,8.493178e-06,8.452488e-06,8.444419e-06,8.412379e-06,8.391754e-06,8.372858e-06,8.340118e-06,8.333929e-06,8.295597e-06,8.289520e-06,8.257865e-06,8.239967e-06,8.220733e-06,8.191461e-06,8.184203e-06,8.148274e-06,8.144003e-06,8.112945e-06,8.097590e-06,8.078214e-06,8.052218e-06,8.044080e-06,8.010539e-06,8.007881e-06,7.977587e-06,7.964570e-06,7.945221e-06,7.922277e-06,7.913435e-06,7.882226e-06,7.880990e-06,7.851588e-06,7.840697e-06,7.821515e-06,7.801386e-06,7.792002e-06,7.763042e-06,7.725651e-06,7.689197e-06,7.653667e-06,7.619042e-06,7.585308e-06,7.552447e-06,7.520443e-06,7.489278e-06,7.458936e-06,7.429399e-06,7.400651e-06,7.372674e-06,7.345452e-06,7.318966e-06,7.293202e-06,7.268141e-06,7.243767e-06,7.220065e-06,7.197018e-06,7.174609e-06,7.152824e-06,7.131647e-06,7.111063e-06,7.091056e-06
0.000000e+00,2.513216e-09,5.838842e-09,2.047745e-08,4.727707e-08,6.954596e-08,1.617411e-07,1.668006e-07,3.330361e-07,3.953846e-07,5.943808e-07,8.086529e-07,9.784938e-07,1.454374e-06,1.501330e-06,2.160079e-06,2.337189e-06,2.943877e-06,3.433878e-06,3.843595e-06,4.726454e-06,4.853274e-06,5.968728e-06,6.204184e-06,7.186204e-06,7.858274e-06,8.501589e-06,9.678626e-06,9.909994e-06,1.140562e-05,1.165257e-05,1.298174e-05,1.376470e-05,1.463086e-05,1.599727e-05,1.634485e-05,1.811511e-05,1.833091e-05,1.993286e-05,2.074543e-05,2.178924e-05,2.322056e-05,2.367554e-05,2.558334e-05,2.573665e-05,2.750461e-05,2.827518e-05,2.943183e-05,3.081919e-05,3.135805e-05,3.327692e-05,3.335344e-05,3.518270e-05,3.586458e-05,3.707030e-05,3.834115e-05,3.893520e-05,4.077348e-05,4.258177e-05,4.315361e-05,4.435719e-05,4.547507e-05,4.609732e-05,4.773280e-05,4.780017e-05,4.946414e-05,4.992290e-05,5.108794e-05,5.204253e-05,5.267060e-05,5.408971e-05,5.421142e-05,5.570991e-05,5.606322e-05,5.716581e-05,5.796245e-05,5.857899e-05,5.978730e-05,5.994952e-05,6.127757e-05,6.153810e-05,6.256342e-05,6.321552e-05,6.380747e-05,6.482049e-05,6.501016e-05,6.617204e-05,6.635419e-05,6.729369e-05,6.781796e-05,6.837572e-05,6.921327e-05,6.941881e-05,7.042365e-05,7.054169e-05,7.139097e-05,7.180489e-05,7.232150e-05,7.300457e-05,7.321600e-05,7.407525e-05,7.414249e-05,7.490000e-05,7.522042e-05,7.569105e-05,7.624016e-05,7.644916e-05,7.717513e-05,7.720351e-05,7.786972e-05,7.811224e-05,7.853371e-05,7.896814e-05,7.916787e-05,7.977296e-05,8.034973e-05,8.052844e-05,8.089893e-05,8.123628e-05,8.142129e-05,8.189818e-05,8.191754e-05,8.238840e-05,8.251578e-05,8.283456e-05,8.309070e-05,8.325673e-05,8.362452e-05,8.365558e-05,8.403179e-05,8.411878e-05,8.438600e-05,8.457500e-05,8.471887e-05,8.499464e-05,8.503103e-05,8.532310e-05,8.537915e-05,8.559567e-05,8.572991e-05,8.584936e-05,8.604829e-05,8.608474e-05,8.630238e-05,8.633560e-05,8.650284e-05,8.659312e-05,8.668666e-05,8.682209e-05,8.685437e-05,8.700650e-05,8.702373e-05,8.714355e-05,8.719921e-05,8.726602e-05,8.734964e-05,8.737439e-05,8.746913e-05,8.747614e-05,8.755071e-05,8.757975e-05,8.761957e-05,8.766152e-05,8.767615e-05,8.772088e-05,8.772243e-05,8.775417e-05,8.776344e-05,8.777644e-05,8.778547e-05,8.778806e-05,8.778943e-05,8.777618e-05,8.774655e-05,8.770135e-05,8.764135e-05,8.756729e-05,8.747991e-05,8.737990e-05,8.726792e-05,8.714461e-05,8.701060e-05,8.686649e-05,8.671283e-05,8.655020e-05,8.637911e-05,8.620007e-05,8.601357e-05,8.582009e-05,8.562006e-05,8.541393e-05,8.520211e-05,8.498499e-05,8.476295e-05,8.453637e-05,8.430559e-05
0.000000e+00,1.494448e-11,8.095390e-11,8.892240e-10,3.963292e-09,7.636822e-09,2.951283e-08,3.093576e-08,8.530000e-08,1.083549e-07,1.878488e-07,2.807351e-07,3.587497e-07,5.971153e-07,6.222468e-07,1.006291e-06,1.119551e-06,1.538077e-06,1.907545e-06,2.234895e-06,2.984627e-06,3.096207e-06,4.104377e-06,4.321345e-06,5.232804e-06,5.857957e-06,6.454297e-06,7.535003e-06,7.745440e-06,9.087436e-06,9.305829e-06,1.046527e-05,1.113566e-05,1.186659e-05,1.299736e-05,1.328076e-05,1.469838e-05,1.486831e-05,1.611099e-05,1.672895e-05,1.751094e-05,1.856218e-05,1.889137e-05,2.024622e-05,2.035334e-05,2.157023e-05,2.209016e-05,2.285890e-05,2.376275e-05,2.410853e-05,2.531615e-05,2.536355e-05,2.647948e-05,2.688709e-05,2.759686e-05,2.832987e-05,2.866723e-05,2.968999e-05,3.066497e-05,3.096690e-05,3.159238e-05,3.216118e-05,3.247271e-05,3.327422e-05,3.330670e-05,3.409529e-05,3.430810e-05,3.483958e-05,3.526539e-05,3.554078e-05,3.614896e-05,3.620021e-05,3.681923e-05,3.696194e-05,3.739926e-05,3.770759e-05,3.794174e-05,3.838921e-05,3.844811e-05,3.891982e-05,3.901012e-05,3.935828e-05,3.957362e-05,3.976492e-05,4.008290e-05,4.014110e-05,4.048817e-05,4.054109e-05,4.080746e-05,4.095122e-05,4.110022e-05,4.131617e-05,4.136770e-05,4.161110e-05,4.163874e-05,4.183156e-05,4.192158e-05,4.203019e-05,4.216722e-05,4.220807e-05,4.236623e-05,4.237806e-05,4.250564e-05,4.255638e-05,4.262728e-05,4.270435e-05,4.273203e-05,4.282078e-05,4.282401e-05,4.289436e-05,4.291729e-05,4.295357e-05,4.298601e-05,4.299917e-05,4.303191e-05,4.305247e-05,4.305659e-05,4.306153e-05,4.306159e-05,4.305973e-05,4.304834e-05,4.304767e-05,4.302595e-05,4.301821e-05,4.299511e-05,4.297245e-05,4.295568e-05,4.291226e-05,4.290818e-05,4.285308e-05,4.283878e-05,4.279084e-05,4.275304e-05,4.272191e-05,4.265604e-05,4.264670e-05,4.256560e-05,4.254871e-05,4.247900e-05,4.243191e-05,4.238726e-05,4.230647e-05,4.229071e-05,4.218970e-05,4.217314e-05,4.208452e-05,4.203264e-05,4.197547e-05,4.188564e-05,4.186284e-05,4.174689e-05,4.173276e-05,4.162787e-05,4.157459e-05,4.150603e-05,4.141169e-05,4.138160e-05,4.125479e-05,4.124455e-05,4.112581e-05,4.107366e-05,4.099486e-05,4.089946e-05,4.086212e-05,4.072778e-05,4.072237e-05,4.059199e-05,4.054278e-05,4.045492e-05,4.036105e-05,4.031672e-05,4.017753e-05,3.999251e-05,3.980629e-05,3.961916e-05,3.943135e-05,3.924310e-05,3.905464e-05,3.886616e-05,3.867785e-05,3.848988e-05,3.830242e-05,3.811560e-05,3.792958e-05,3.774446e-05,3.756037e-05,3.737741e-05,3.719568e-05,3.701527e-05,3.683626e-05,3.665871e-05,3.648271e-05,3.630831e-05,3.613556e-05,3.596450e-05,3.579520e-05
0.000000e+00,9.553424e-09,2.190230e-08,7.559035e-08,1.729561e-07,2.534704e-07,5.852004e-07,6.033599e-07,1.198578e-06,1.421303e-06,2.131090e-06,2.894841e-06,3.500778e-06,5.202785e-06,5.370924e-06,7.724652e-06,8.353888e-06,1.049065e-05,1.219180e-05,1.359603e-05,1.656527e-05,1.698557e-05,2.061819e-05,2.137084e-05,2.446010e-05,2.653024e-05,2.848017e-05,3.197219e-05,3.264760e-05,3.693118e-05,3.762522e-05,4.129926e-05,4.341667e-05,4.572029e-05,4.927448e-05,5.016344e-05,5.459924e-05,5.512972e-05,5.900023e-05,6.091907e-05,6.334131e-05,6.658659e-05,6.760011e-05,7.175711e-05,7.208475e-05,7.579569e-05,7.737479e-05,7.970207e-05,8.242648e-05,8.346516e-05,8.707636e-05,8.721755e-05,9.052933e-05,9.173278e-05,9.381977e-05,9.596308e-05,9.694515e-05,9.990446e-05,1.026980e-04,1.035571e-04,1.053272e-04,1.069247e-04,1.077943e-04,1.100132e-04,1.101025e-04,1.122553e-04,1.128308e-04,1.142569e-04,1.153871e-04,1.161117e-04,1.176926e-04,1.178245e-04,1.194001e-04,1.197584e-04,1.208437e-04,1.215963e-04,1.221603e-04,1.232179e-04,1.233550e-04,1.244330e-04,1.246351e-04,1.253994e-04,1.258594e-04,1.262590e-04,1.269023e-04,1.270169e-04,1.276778e-04,1.277749e-04,1.282464e-04,1.284879e-04,1.287273e-04,1.290518e-04,1.291249e-04,1.294435e-04,1.294766e-04,1.296872e-04,1.297718e-04,1.298602e-04,1.299466e-04,1.299661e-04,1.300089e-04,1.300097e-04,1.299920e-04,1.299694e-04,1.299190e-04,1.298335e-04,1.297931e-04,1.296176e-04,1.296096e-04,1.293955e-04,1.293046e-04,1.291297e-04,1.289254e-04,1.288230e-04,1.284781e-04,1.280977e-04,1.279688e-04,1.276841e-04,1.274030e-04,1.272396e-04,1.267861e-04,1.267666e-04,1.262672e-04,1.261228e-04,1.257433e-04,1.254180e-04,1.251969e-04,1.246759e-04,1.246298e-04,1.240439e-04,1.239007e-04,1.234407e-04,1.230960e-04,1.228219e-04,1.222656e-04,1.221889e-04,1.215432e-04,1.214127e-04,1.208861e-04,1.205404e-04,1.202189e-04,1.196516e-04,1.195428e-04,1.188590e-04,1.187489e-04,1.181684e-04,1.178349e-04,1.174722e-04,1.169119e-04,1.167714e-04,1.160667e-04,1.159819e-04,1.153591e-04,1.150471e-04,1.146494e-04,1.141091e-04,1.139383e-04,1.132266e-04,1.131697e-04,1.125149e-04,1.122304e-04,1.118038e-04,1.112926e-04,1.110940e-04,1.103859e-04,1.103576e-04,1.096801e-04,1.094267e-04,1.089771e-04,1.085008e-04,1.082773e-04,1.075811e-04,1.066682e-04,1.057632e-04,1.048667e-04,1.039793e-04,1.031016e-04,1.022342e-04,1.013774e-04,1.005318e-04,9.969762e-05,9.887517e-05,9.806471e-05,9.726645e-05,9.648057e-05,9.570719e-05,9.494644e-05,9.419836e-05,9.346303e-05,9.274044e-05,9.203061e-05,9.133349e-05,9.064906e-05,8.997724e-05,8.931795e-05,8.867110e-05
0.000000e+00,5.176985e-13,3.256600e-12,4.799037e-11,2.741045e-10,6.002518e-10,3.140969e-09,3.330455e-09,1.191110e-08,1.613098e-08,3.244854e-08,5.401414e-08,7.362655e-08,1.394051e-07,1.467398e-07,2.655856e-07,3.026279e-07,4.457454e-07,5.792669e-07,7.026832e-07,1.002355e-06,1.048909e-06,1.491431e-06,1.591639e-06,2.030623e-06,2.347492e-06,2.660695e-06,3.252644e-06,3.371208e-06,4.148933e-06,4.278649e-06,4.979484e-06,5.392680e-06,5.848532e-06,6.562357e-06,6.742545e-06,7.649170e-06,7.758274e-06,8.557361e-06,8.954910e-06,9.457392e-06,1.013069e-05,1.034078e-05,1.120022e-05,1.126775e-05,1.202955e-05,1.235166e-05,1.282363e-05,1.337120e-05,1.357836e-05,1.429061e-05,1.431818e-05,1.495814e-05,1.518720e-05,1.557955e-05,1.597541e-05,1.615421e-05,1.668218e-05,1.716409e-05,1.730875e-05,1.760108e-05,1.785788e-05,1.799470e-05,1.833350e-05,1.834681e-05,1.865949e-05,1.874028e-05,1.893499e-05,1.908341e-05,1.917564e-05,1.936831e-05,1.938383e-05,1.956191e-05,1.960043e-05,1.971221e-05,1.978509e-05,1.983698e-05,1.992737e-05,1.993837e-05,2.001841e-05,2.003203e-05,2.007902e-05,2.010345e-05,2.012198e-05,2.014566e-05,2.014897e-05,2.016152e-05,2.016228e-05,2.016103e-05,2.015655e-05,2.014880e-05,2.013136e-05,2.012601e-05,2.009374e-05,2.008928e-05,2.005296e-05,2.003256e-05,2.000457e-05,1.996319e-05,1.994936e-05,1.988808e-05,1.988293e-05,1.982137e-05,1.979330e-05,1.974983e-05,1.969564e-05,1.967401e-05,1.959440e-05,1.959114e-05,1.951143e-05,1.948081e-05,1.942550e-05,1.936557e-05,1.933698e-05,1.924620e-05,1.915345e-05,1.912340e-05,1.905900e-05,1.899778e-05,1.896310e-05,1.886988e-05,1.886598e-05,1.876782e-05,1.874018e-05,1.866882e-05,1.860909e-05,1.856915e-05,1.847699e-05,1.846895e-05,1.836838e-05,1.834419e-05,1.826754e-05,1.821100e-05,1.816656e-05,1.807767e-05,1.806555e-05,1.796461e-05,1.794443e-05,1.786381e-05,1.781148e-05,1.776324e-05,1.767900e-05,1.766298e-05,1.756309e-05,1.754714e-05,1.746363e-05,1.741606e-05,1.736467e-05,1.728588e-05,1.726624e-05,1.716841e-05,1.715671e-05,1.707120e-05,1.702864e-05,1.697467e-05,1.690177e-05,1.687883e-05,1.678373e-05,1.677616e-05,1.668940e-05,1.665188e-05,1.659585e-05,1.652900e-05,1.650312e-05,1.641122e-05,1.640756e-05,1.632017e-05,1.628760e-05,1.622999e-05,1.616916e-05,1.614068e-05,1.605228e-05,1.593697e-05,1.582326e-05,1.571117e-05,1.560070e-05,1.549187e-05,1.538469e-05,1.527915e-05,1.517525e-05,1.507301e-05,1.497240e-05,1.487342e-05,1.477607e-05,1.468034e-05,1.458621e-05,1.449368e-05,1.440272e-05,1.431333e-05,1.422549e-05,1.413919e-05,1.405439e-05,1.397110e-05,1.388928e-05,1.380893e-05,1.373002e-05
0.000000e+00,1.208403e-10,6.453873e-10,6.910332e-09,3.023524e-08,5.779116e-08,2.203222e-07,2.308707e-07,6.353665e-07,8.082864e-07,1.411794e-06,2.130690e-06,2.744731e-06,4.667639e-06,4.873749e-06,8.077270e-06,9.035574e-06,1.260195e-05,1.576145e-05,1.855685e-05,2.492005e-05,2.586137e-05,3.429717e-05,3.609707e-05,4.360538e-05,4.871177e-05,5.355497e-05,6.227431e-05,6.396472e-05,7.469822e-05,7.643830e-05,8.565079e-05,9.096050e-05,9.673802e-05,1.056564e-04,1.078884e-04,1.190393e-04,1.203747e-04,1.301346e-04,1.349859e-04,1.411244e-04,1.493787e-04,1.519645e-04,1.626157e-04,1.634586e-04,1.730448e-04,1.771478e-04,1.832237e-04,1.903842e-04,1.931290e-04,2.027423e-04,2.031206e-04,2.120493e-04,2.153227e-04,2.210394e-04,2.269678e-04,2.297054e-04,2.380429e-04,2.460500e-04,2.485424e-04,2.537268e-04,2.584674e-04,2.610752e-04,2.678237e-04,2.680984e-04,2.748008e-04,2.766207e-04,2.811878e-04,2.848711e-04,2.872654e-04,2.925893e-04,2.930403e-04,2.985195e-04,2.997914e-04,3.037105e-04,3.064945e-04,3.086210e-04,3.127163e-04,3.132587e-04,3.176316e-04,3.184751e-04,3.217476e-04,3.237891e-04,3.256147e-04,3.286766e-04,3.292409e-04,3.326341e-04,3.331559e-04,3.358019e-04,3.372447e-04,3.387522e-04,3.409608e-04,3.414924e-04,3.440301e-04,3.443213e-04,3.463725e-04,3.473431e-04,3.485267e-04,3.500424e-04,3.504998e-04,3.522987e-04,3.524352e-04,3.539298e-04,3.545368e-04,3.553999e-04,3.563621e-04,3.567151e-04,3.578817e-04,3.579254e-04,3.589057e-04,3.592406e-04,3.597929e-04,3.603210e-04,3.605490e-04,3.611794e-04,3.616896e-04,3.618283e-04,3.620846e-04,3.622794e-04,3.623696e-04,3.625441e-04,3.625493e-04,3.626286e-04,3.626334e-04,3.626118e-04,3.625576e-04,3.625036e-04,3.623268e-04,3.623080e-04,3.620293e-04,3.619505e-04,3.616715e-04,3.614379e-04,3.612383e-04,3.607978e-04,3.607335e-04,3.601608e-04,3.600383e-04,3.595234e-04,3.591676e-04,3.588249e-04,3.581932e-04,3.580684e-04,3.572571e-04,3.571223e-04,3.563938e-04,3.559619e-04,3.554816e-04,3.547184e-04,3.545231e-04,3.535211e-04,3.533980e-04,3.524781e-04,3.520069e-04,3.513966e-04,3.505504e-04,3.502790e-04,3.491276e-04,3.490341e-04,3.479446e-04,3.474630e-04,3.467320e-04,3.458418e-04,3.454919e-04,3.442264e-04,3.441752e-04,3.429371e-04,3.424675e-04,3.416260e-04,3.407228e-04,3.402947e-04,3.389449e-04,3.371376e-04,3.353042e-04,3.334481e-04,3.315723e-04,3.296797e-04,3.277732e-04,3.258552e-04,3.239281e-04,3.219944e-04,3.200561e-04,3.181152e-04,3.161737e-04,3.142332e-04,3.122955e-04,3.103621e-04,3.084344e-04,3.065137e-04,3.046014e-04,3.026985e-04,3.008062e-04,2.989255e-04,2.970572e-04,2.952022e-04,2.933613e-04
0.000000e+00,1.372842e-13,9.001863e-13,1.445349e-11,8.921321e-11,2.037927e-10,1.187267e-09,1.264318e-09,5.011097e-09,6.972675e-09,1.498344e-08,2.624584e-08,3.693499e-08,7.478227e-08,7.914502e-08,1.525288e-07,1.762225e-07,2.705069e-07,3.617587e-07,4.485557e-07,6.682096e-07,7.034131e-07,1.052039e-06,1.134459e-06,1.510521e-06,1.797170e-06,2.093099e-06,2.686979e-06,2.811425e-06,3.674060e-06,3.825871e-06,4.686228e-06,5.225846e-06,5.849751e-06,6.888648e-06,7.163135e-06,8.621764e-06,8.806232e-06,1.021817e-05,1.096174e-05,1.194235e-05,1.333076e-05,1.378213e-05,1.572355e-05,1.588281e-05,1.775127e-05,1.858288e-05,1.984893e-05,2.139305e-05,2.199959e-05,2.418608e-05,2.427405e-05,2.639140e-05,2.718670e-05,2.859896e-05,3.009327e-05,3.079294e-05,3.295853e-05,3.508205e-05,3.575064e-05,3.715119e-05,3.844181e-05,3.915505e-05,4.100860e-05,4.108423e-05,4.293081e-05,4.343215e-05,4.468838e-05,4.569805e-05,4.635193e-05,4.779621e-05,4.791782e-05,4.938369e-05,4.972045e-05,5.074830e-05,5.146816e-05,5.201149e-05,5.303976e-05,5.317398e-05,5.423733e-05,5.443828e-05,5.520374e-05,5.566887e-05,5.607600e-05,5.673831e-05,5.685736e-05,5.755142e-05,5.765462e-05,5.816205e-05,5.842671e-05,5.869333e-05,5.906402e-05,5.914943e-05,5.953458e-05,5.957624e-05,5.985304e-05,5.997311e-05,6.010899e-05,6.026426e-05,6.030657e-05,6.044979e-05,6.045902e-05,6.054255e-05,6.056636e-05,6.058858e-05,6.059480e-05,6.059146e-05,6.055461e-05,6.055235e-05,6.048125e-05,6.044650e-05,6.037445e-05,6.028420e-05,6.023709e-05,6.007188e-05,5.988136e-05,5.981543e-05,5.966789e-05,5.952026e-05,5.943369e-05,5.919128e-05,5.918083e-05,5.891121e-05,5.883296e-05,5.862661e-05,5.844936e-05,5.832869e-05,5.804413e-05,5.801895e-05,5.769882e-05,5.762058e-05,5.736958e-05,5.718168e-05,5.703244e-05,5.673010e-05,5.668850e-05,5.633877e-05,5.626821e-05,5.598419e-05,5.579817e-05,5.562561e-05,5.532189e-05,5.526382e-05,5.489954e-05,5.484107e-05,5.453343e-05,5.435722e-05,5.416608e-05,5.387170e-05,5.379806e-05,5.342987e-05,5.338570e-05,5.306195e-05,5.290027e-05,5.269474e-05,5.241636e-05,5.232860e-05,5.196389e-05,5.193478e-05,5.160090e-05,5.145626e-05,5.123993e-05,5.098143e-05,5.088123e-05,5.052503e-05,5.051084e-05,5.017153e-05,5.004497e-05,4.982092e-05,4.958423e-05,4.947335e-05,4.912899e-05,4.867954e-05,4.823614e-05,4.779900e-05,4.736831e-05,4.694420e-05,4.652678e-05,4.611614e-05,4.571235e-05,4.531543e-05,4.492542e-05,4.454231e-05,4.416610e-05,4.379676e-05,4.343425e-05,4.307852e-05,4.272952e-05,4.238719e-05,4.205146e-05,4.172223e-05,4.139944e-05,4.108300e-05,4.077281e-05,4.046879e-05,4.017082e-05
0.000000e+00,2.439668e-09,5.761775e-09,2.044838e-08,4.720943e-08,6.928515e-08,1.593241e-07,1.642092e-07,3.220843e-07,3.801866e-07,5.627567e-07,7.564245e-07,9.093283e-07,1.342150e-06,1.385485e-06,2.007510e-06,2.178769e-06,2.773576e-06,3.257940e-06,3.662025e-06,4.520992e-06,4.642543e-06,5.687447e-06,5.902164e-06,6.775324e-06,7.352505e-06,7.890093e-06,8.838024e-06,9.019197e-06,1.015226e-05,1.033330e-05,1.128031e-05,1.181764e-05,1.239544e-05,1.327350e-05,1.349064e-05,1.455974e-05,1.468602e-05,1.559747e-05,1.604297e-05,1.659941e-05,1.733472e-05,1.756199e-05,1.848248e-05,1.855424e-05,1.935889e-05,1.969679e-05,2.018990e-05,2.075973e-05,2.097487e-05,2.171364e-05,2.174223e-05,2.240650e-05,2.264481e-05,2.305412e-05,2.346915e-05,2.365748e-05,2.421780e-05,2.473648e-05,2.489391e-05,2.521505e-05,2.550104e-05,2.565515e-05,2.604301e-05,2.605845e-05,2.642669e-05,2.652375e-05,2.676159e-05,2.694725e-05,2.706487e-05,2.731742e-05,2.733823e-05,2.758330e-05,2.763809e-05,2.780169e-05,2.791290e-05,2.799493e-05,2.814536e-05,2.816451e-05,2.831186e-05,2.833878e-05,2.843834e-05,2.849630e-05,2.854525e-05,2.862084e-05,2.863383e-05,2.870526e-05,2.871518e-05,2.876066e-05,2.878187e-05,2.880108e-05,2.882331e-05,2.882752e-05,2.884095e-05,2.884172e-05,2.884224e-05,2.883919e-05,2.883225e-05,2.881761e-05,2.881178e-05,2.878158e-05,2.877877e-05,2.874236e-05,2.872430e-05,2.869480e-05,2.865573e-05,2.863951e-05,2.857709e-05,2.857446e-05,2.850811e-05,2.848177e-05,2.843308e-05,2.837886e-05,2.835250e-05,2.826683e-05,2.817650e-05,2.814668e-05,2.808193e-05,2.801935e-05,2.798349e-05,2.788570e-05,2.788156e-05,2.777645e-05,2.774650e-05,2.766850e-05,2.760248e-05,2.755799e-05,2.745431e-05,2.744521e-05,2.733041e-05,2.730258e-05,2.721383e-05,2.714786e-05,2.709571e-05,2.699066e-05,2.697626e-05,2.685568e-05,2.683144e-05,2.673414e-05,2.667063e-05,2.661183e-05,2.650862e-05,2.648891e-05,2.636553e-05,2.634576e-05,2.624183e-05,2.618237e-05,2.611793e-05,2.601876e-05,2.599397e-05,2.587005e-05,2.585519e-05,2.574628e-05,2.569189e-05,2.562276e-05,2.552910e-05,2.549957e-05,2.537681e-05,2.536701e-05,2.525455e-05,2.520580e-05,2.513285e-05,2.504563e-05,2.501180e-05,2.489144e-05,2.488664e-05,2.477184e-05,2.472898e-05,2.465304e-05,2.457274e-05,2.453510e-05,2.441805e-05,2.426498e-05,2.411362e-05,2.396405e-05,2.381631e-05,2.367047e-05,2.352658e-05,2.338466e-05,2.324476e-05,2.310689e-05,2.297108e-05,2.283735e-05,2.270571e-05,2.257616e-05,2.244870e-05,2.232334e-05,2.220008e-05,2.207890e-05,2.195980e-05,2.184277e-05,2.172780e-05,2.161486e-05,2.150395e-05,2.139504e-05,2.128812e-05
0.000000e+00,5.229921e-14,3.557486e-13,6.170644e-12,4.092531e-11,9.730986e-11,6.301597e-10,6.739971e-10,2.977696e-09,4.270065e-09,9.910306e-09,1.850024e-08,2.715640e-08,6.053880e-08,6.460588e-08,1.380621e-07,1.634828e-07,2.711557e-07,3.837240e-07,4.972467e-07,8.082967e-07,8.609768e-07,1.419159e-06,1.559998e-06,2.240855e-06,2.798606e-06,3.406653e-06,4.717959e-06,5.007272e-06,7.141648e-06,7.539627e-06,9.914667e-06,1.150432e-05,1.343469e-05,1.686203e-05,1.781101e-05,2.315130e-05,2.386189e-05,2.955918e-05,3.274223e-05,3.713200e-05,4.372156e-05,4.595873e-05,5.611826e-05,5.699070e-05,6.767785e-05,7.270637e-05,8.069201e-05,9.098635e-05,9.520157e-05,1.112332e-04,1.119063e-04,1.287990e-04,1.354983e-04,1.478967e-04,1.617504e-04,1.685100e-04,1.906088e-04,2.141500e-04,2.219791e-04,2.390786e-04,2.557311e-04,2.653288e-04,2.917017e-04,2.928244e-04,3.214812e-04,3.297007e-04,3.512070e-04,3.695150e-04,3.819038e-04,4.109140e-04,4.134687e-04,4.457951e-04,4.536547e-04,4.787740e-04,4.974862e-04,5.122952e-04,5.421546e-04,5.462481e-04,5.805228e-04,5.874068e-04,6.150112e-04,6.329945e-04,6.496077e-04,6.786769e-04,6.842095e-04,7.187178e-04,7.242241e-04,7.530381e-04,7.694184e-04,7.870804e-04,8.140570e-04,8.207600e-04,8.539973e-04,8.579525e-04,8.867183e-04,9.009342e-04,9.188547e-04,9.428486e-04,9.503438e-04,9.811287e-04,9.835595e-04,1.011158e-03,1.022948e-03,1.040386e-03,1.060912e-03,1.068773e-03,1.096283e-03,1.097365e-03,1.122887e-03,1.132237e-03,1.148559e-03,1.165474e-03,1.173280e-03,1.197034e-03,1.219808e-03,1.226887e-03,1.241595e-03,1.255019e-03,1.262391e-03,1.281423e-03,1.282196e-03,1.301011e-03,1.306103e-03,1.318843e-03,1.329073e-03,1.335699e-03,1.350354e-03,1.351590e-03,1.366529e-03,1.369974e-03,1.380530e-03,1.387967e-03,1.393610e-03,1.404372e-03,1.405786e-03,1.417079e-03,1.419233e-03,1.427508e-03,1.432597e-03,1.437096e-03,1.444515e-03,1.445863e-03,1.453835e-03,1.455038e-03,1.461033e-03,1.464221e-03,1.467483e-03,1.472120e-03,1.473208e-03,1.478234e-03,1.478791e-03,1.482585e-03,1.484292e-03,1.486285e-03,1.488678e-03,1.489360e-03,1.491833e-03,1.492006e-03,1.493730e-03,1.494333e-03,1.495074e-03,1.495712e-03,1.495888e-03,1.496197e-03,1.496199e-03,1.496023e-03,1.495846e-03,1.495388e-03,1.494705e-03,1.494315e-03,1.492825e-03,1.490255e-03,1.487042e-03,1.483231e-03,1.478866e-03,1.473987e-03,1.468635e-03,1.462848e-03,1.456663e-03,1.450114e-03,1.443233e-03,1.436053e-03,1.428603e-03,1.420910e-03,1.413003e-03,1.404904e-03,1.396639e-03,1.388229e-03,1.379696e-03,1.371058e-03,1.362334e-03,1.353542e-03,1.344697e-03,1.335814e-03,1.326908e-03
0.000000e+00,1.936876e-09,4.465733e-09,1.546375e-08,3.531804e-08,5.163823e-08,1.180348e-07,1.216335e-07,2.378164e-07,2.804938e-07,4.139714e-07,5.536656e-07,6.618359e-07,9.550199e-07,9.832742e-07,1.369682e-06,1.470869e-06,1.810470e-06,2.077816e-06,2.297129e-06,2.757767e-06,2.822670e-06,3.380624e-06,3.495541e-06,3.964601e-06,4.276441e-06,4.568251e-06,5.085986e-06,5.185388e-06,5.810166e-06,5.910474e-06,6.437238e-06,6.737631e-06,7.061866e-06,7.557048e-06,7.679977e-06,8.288176e-06,8.360356e-06,8.883718e-06,9.141175e-06,9.464459e-06,9.894914e-06,1.002879e-05,1.057555e-05,1.061851e-05,1.110400e-05,1.131014e-05,1.161369e-05,1.196895e-05,1.210445e-05,1.257631e-05,1.259480e-05,1.302948e-05,1.318809e-05,1.346426e-05,1.374962e-05,1.388108e-05,1.428041e-05,1.466279e-05,1.478166e-05,1.502877e-05,1.525466e-05,1.537893e-05,1.570073e-05,1.571384e-05,1.603410e-05,1.612123e-05,1.634028e-05,1.651747e-05,1.663295e-05,1.689076e-05,1.691267e-05,1.717998e-05,1.724234e-05,1.743539e-05,1.757342e-05,1.767942e-05,1.788514e-05,1.791256e-05,1.813527e-05,1.817860e-05,1.834800e-05,1.845482e-05,1.855119e-05,1.871480e-05,1.874525e-05,1.893058e-05,1.895945e-05,1.910756e-05,1.918965e-05,1.927655e-05,1.940622e-05,1.943789e-05,1.959192e-05,1.960992e-05,1.973895e-05,1.980150e-05,1.987928e-05,1.998163e-05,2.001320e-05,2.014098e-05,2.015095e-05,2.026289e-05,2.031006e-05,2.037917e-05,2.045954e-05,2.049007e-05,2.059580e-05,2.059992e-05,2.069658e-05,2.073170e-05,2.079263e-05,2.085534e-05,2.088413e-05,2.097128e-05,2.105425e-05,2.107995e-05,2.113322e-05,2.118173e-05,2.120834e-05,2.127699e-05,2.127978e-05,2.134768e-05,2.136607e-05,2.141217e-05,2.144930e-05,2.147341e-05,2.152698e-05,2.153152e-05,2.158661e-05,2.159940e-05,2.163882e-05,2.166684e-05,2.168825e-05,2.172954e-05,2.173501e-05,2.177920e-05,2.178774e-05,2.182093e-05,2.184168e-05,2.186028e-05,2.189157e-05,2.189736e-05,2.193223e-05,2.193761e-05,2.196500e-05,2.198000e-05,2.199573e-05,2.201891e-05,2.202451e-05,2.205140e-05,2.205451e-05,2.207649e-05,2.208697e-05,2.209983e-05,2.211644e-05,2.212149e-05,2.214153e-05,2.214306e-05,2.216001e-05,2.216698e-05,2.217700e-05,2.218833e-05,2.219254e-05,2.220668e-05,2.220722e-05,2.221949e-05,2.222378e-05,2.223100e-05,2.223811e-05,2.224126e-05,2.225033e-05,2.226053e-05,2.226882e-05,2.227528e-05,2.227999e-05,2.228305e-05,2.228454e-05,2.228452e-05,2.228307e-05,2.228025e-05,2.227614e-05,2.227080e-05,2.226429e-05,2.225665e-05,2.224796e-05,2.223825e-05,2.222759e-05,2.221601e-05,2.220357e-05,2.219031e-05,2.217627e-05,2.216148e-05,2.214600e-05,2.212986e-05,2.211308e-05
0.000000e+00,1.726976e-09,4.752826e-09,1.979110e-08,4.915675e-08,7.408695e-08,1.781347e-07,1.838349e-07,3.690859e-07,4.374546e-07,6.520483e-07,8.784462e-07,1.055668e-06,1.546735e-06,1.594914e-06,2.267089e-06,2.446661e-06,3.057947e-06,3.547194e-06,3.953146e-06,4.818067e-06,4.941201e-06,6.012124e-06,6.235395e-06,7.156102e-06,7.776462e-06,8.362885e-06,9.417241e-06,9.621689e-06,1.092137e-05,1.113236e-05,1.225071e-05,1.289608e-05,1.359872e-05,1.468352e-05,1.495494e-05,1.630967e-05,1.647171e-05,1.765413e-05,1.824040e-05,1.898055e-05,1.997241e-05,2.028225e-05,2.155359e-05,2.165384e-05,2.278998e-05,2.327390e-05,2.398775e-05,2.482464e-05,2.514412e-05,2.625706e-05,2.630066e-05,2.732523e-05,2.769864e-05,2.834785e-05,2.901704e-05,2.932463e-05,3.025569e-05,3.114149e-05,3.141549e-05,3.198273e-05,3.249816e-05,3.278035e-05,3.350602e-05,3.353542e-05,3.424917e-05,3.444178e-05,3.492288e-05,3.530845e-05,3.555791e-05,3.610917e-05,3.615565e-05,3.671751e-05,3.684717e-05,3.724490e-05,3.752571e-05,3.773924e-05,3.814800e-05,3.820189e-05,3.863423e-05,3.871718e-05,3.903759e-05,3.923631e-05,3.941325e-05,3.970832e-05,3.976247e-05,4.008647e-05,4.013605e-05,4.038643e-05,4.052220e-05,4.066347e-05,4.086934e-05,4.091869e-05,4.115313e-05,4.117992e-05,4.136780e-05,4.145624e-05,4.156367e-05,4.170052e-05,4.174165e-05,4.190264e-05,4.191481e-05,4.204749e-05,4.210109e-05,4.217700e-05,4.226119e-05,4.229195e-05,4.239309e-05,4.239686e-05,4.248111e-05,4.250973e-05,4.255671e-05,4.260134e-05,4.262052e-05,4.267315e-05,4.271521e-05,4.272652e-05,4.274724e-05,4.276273e-05,4.276979e-05,4.278298e-05,4.278335e-05,4.278843e-05,4.278839e-05,4.278548e-05,4.278004e-05,4.277494e-05,4.275891e-05,4.275724e-05,4.273278e-05,4.272594e-05,4.270193e-05,4.268201e-05,4.266507e-05,4.262792e-05,4.262253e-05,4.257465e-05,4.256446e-05,4.252175e-05,4.249235e-05,4.246411e-05,4.241226e-05,4.240204e-05,4.233579e-05,4.232482e-05,4.226563e-05,4.223063e-05,4.219180e-05,4.213026e-05,4.211454e-05,4.203407e-05,4.202421e-05,4.195060e-05,4.191298e-05,4.186434e-05,4.179702e-05,4.177547e-05,4.168417e-05,4.167677e-05,4.159064e-05,4.155263e-05,4.149501e-05,4.142497e-05,4.139747e-05,4.129814e-05,4.129414e-05,4.119719e-05,4.116047e-05,4.109474e-05,4.102428e-05,4.099091e-05,4.088584e-05,4.074544e-05,4.060332e-05,4.045971e-05,4.031485e-05,4.016893e-05,4.002215e-05,3.987468e-05,3.972670e-05,3.957836e-05,3.942981e-05,3.928118e-05,3.913260e-05,3.898419e-05,3.883605e-05,3.868829e-05,3.854100e-05,3.839428e-05,3.824820e-05,3.810283e-05,3.795826e-05,3.781453e-05,3.767171e-05,3.752986e-05,3.738903e-05
0.000000e+00,5.064293e-13,3.264654e-12,5.060787e-11,3.026264e-10,6.795077e-10,3.790313e-09,4.029315e-09,1.532867e-08,2.110297e-08,4.420024e-08,7.594145e-08,1.056133e-07,2.087638e-07,2.205276e-07,4.161598e-07,4.786753e-07,7.253455e-07,9.615502e-07,1.184289e-06,1.740553e-06,1.828786e-06,2.690063e-06,2.890554e-06,3.791533e-06,4.464240e-06,5.147136e-06,6.485658e-06,6.761189e-06,8.629317e-06,8.951108e-06,1.073991e-05,1.183424e-05,1.307576e-05,1.509236e-05,1.561549e-05,1.833487e-05,1.867204e-05,2.120781e-05,2.251358e-05,2.420716e-05,2.655425e-05,2.730535e-05,3.047496e-05,3.073080e-05,3.368912e-05,3.498143e-05,3.692198e-05,3.924738e-05,4.014900e-05,4.334729e-05,4.347432e-05,4.649583e-05,4.761342e-05,4.957572e-05,5.162221e-05,5.257025e-05,5.546505e-05,5.824803e-05,5.911330e-05,6.090938e-05,6.254522e-05,6.344151e-05,6.574561e-05,6.583887e-05,6.809782e-05,6.870523e-05,7.021648e-05,7.142013e-05,7.219449e-05,7.389088e-05,7.403285e-05,7.573372e-05,7.612180e-05,7.730023e-05,7.812022e-05,7.873629e-05,7.989571e-05,8.004645e-05,8.123573e-05,8.145955e-05,8.230950e-05,8.282407e-05,8.327336e-05,8.400226e-05,8.413305e-05,8.489431e-05,8.500737e-05,8.556291e-05,8.585258e-05,8.614448e-05,8.655079e-05,8.664454e-05,8.706844e-05,8.711444e-05,8.742134e-05,8.755540e-05,8.770816e-05,8.788486e-05,8.793362e-05,8.810217e-05,8.811333e-05,8.821806e-05,8.825056e-05,8.828526e-05,8.830561e-05,8.830753e-05,8.828839e-05,8.828681e-05,8.823115e-05,8.820182e-05,8.813889e-05,8.805763e-05,8.801450e-05,8.786066e-05,8.767988e-05,8.761673e-05,8.747449e-05,8.733114e-05,8.724666e-05,8.700870e-05,8.699841e-05,8.673159e-05,8.665380e-05,8.644796e-05,8.627038e-05,8.614911e-05,8.586203e-05,8.583655e-05,8.551166e-05,8.543199e-05,8.517571e-05,8.498321e-05,8.482991e-05,8.451833e-05,8.447535e-05,8.411305e-05,8.403975e-05,8.374396e-05,8.354964e-05,8.336894e-05,8.304994e-05,8.298881e-05,8.260431e-05,8.254243e-05,8.221614e-05,8.202870e-05,8.182493e-05,8.151018e-05,8.143128e-05,8.103573e-05,8.098816e-05,8.063878e-05,8.046381e-05,8.024091e-05,7.993817e-05,7.984254e-05,7.944407e-05,7.941219e-05,7.904586e-05,7.888672e-05,7.864824e-05,7.836251e-05,7.825154e-05,7.785604e-05,7.784025e-05,7.746200e-05,7.732054e-05,7.706965e-05,7.680395e-05,7.667924e-05,7.629094e-05,7.578196e-05,7.527739e-05,7.477756e-05,7.428279e-05,7.379331e-05,7.330938e-05,7.283118e-05,7.235888e-05,7.189264e-05,7.143258e-05,7.097880e-05,7.053137e-05,7.009038e-05,6.965587e-05,6.922787e-05,6.880642e-05,6.839151e-05,6.798316e-05,6.758135e-05,6.718607e-05,6.679729e-05,6.641497e-05,6.603909e-05,6.566959e-05
0.000000e+00,2.334015e-12,1.453977e-11,2.101134e-10,1.179911e-09,2.560883e-09,1.311311e-08,1.389255e-08,4.873685e-08,6.568400e-08,1.306221e-07,2.155885e-07,2.923365e-07,5.475526e-07,5.758594e-07,1.031786e-06,1.173090e-06,1.716621e-06,2.221156e-06,2.685912e-06,3.809736e-06,3.983839e-06,5.633732e-06,6.006240e-06,7.634034e-06,8.805383e-06,9.960555e-06,1.213757e-05,1.257273e-05,1.542085e-05,1.589493e-05,1.845221e-05,1.995710e-05,2.161529e-05,2.420831e-05,2.486229e-05,2.815017e-05,2.854560e-05,3.144103e-05,3.288131e-05,3.470201e-05,3.714289e-05,3.790497e-05,4.102621e-05,4.127176e-05,4.404613e-05,4.522209e-05,4.694899e-05,4.895956e-05,4.972254e-05,5.235772e-05,5.246016e-05,5.484841e-05,5.570893e-05,5.719102e-05,5.869863e-05,5.938417e-05,6.142839e-05,6.332574e-05,6.390239e-05,6.507957e-05,6.612868e-05,6.669423e-05,6.811809e-05,6.817481e-05,6.952701e-05,6.988344e-05,7.075686e-05,7.143864e-05,7.187061e-05,7.279817e-05,7.287459e-05,7.377512e-05,7.397655e-05,7.457845e-05,7.498813e-05,7.529066e-05,7.584672e-05,7.591764e-05,7.646507e-05,7.656548e-05,7.693832e-05,7.715683e-05,7.734256e-05,7.763236e-05,7.768266e-05,7.796321e-05,7.800287e-05,7.818858e-05,7.827836e-05,7.836284e-05,7.846803e-05,7.848982e-05,7.857311e-05,7.858033e-05,7.861605e-05,7.862298e-05,7.862179e-05,7.860308e-05,7.859325e-05,7.853316e-05,7.852707e-05,7.844407e-05,7.840085e-05,7.832834e-05,7.822977e-05,7.818819e-05,7.802567e-05,7.801874e-05,7.784270e-05,7.777217e-05,7.764105e-05,7.749411e-05,7.742237e-05,7.718822e-05,7.694000e-05,7.685783e-05,7.667907e-05,7.650597e-05,7.640664e-05,7.613537e-05,7.612388e-05,7.583183e-05,7.574854e-05,7.553150e-05,7.534772e-05,7.522381e-05,7.493496e-05,7.490961e-05,7.458968e-05,7.451213e-05,7.426477e-05,7.408090e-05,7.393556e-05,7.364280e-05,7.360268e-05,7.326671e-05,7.319920e-05,7.292821e-05,7.275135e-05,7.258766e-05,7.230037e-05,7.224554e-05,7.190229e-05,7.184729e-05,7.155829e-05,7.139302e-05,7.121392e-05,7.093839e-05,7.086953e-05,7.052542e-05,7.048416e-05,7.018189e-05,7.003099e-05,6.983921e-05,6.957949e-05,6.949762e-05,6.915736e-05,6.913020e-05,6.881862e-05,6.868360e-05,6.848161e-05,6.824013e-05,6.814651e-05,6.781346e-05,6.780018e-05,6.748263e-05,6.736409e-05,6.715414e-05,6.693217e-05,6.682812e-05,6.650468e-05,6.608186e-05,6.566392e-05,6.525104e-05,6.484337e-05,6.444104e-05,6.404418e-05,6.365287e-05,6.326719e-05,6.288720e-05,6.251294e-05,6.214445e-05,6.178176e-05,6.142487e-05,6.107379e-05,6.072851e-05,6.038901e-05,6.005528e-05,5.972727e-05,5.940497e-05,5.908833e-05,5.877731e-05,5.847185e-05,5.817191e-05,5.787742e-05
0.000000e+00,3.143950e-09,7.287288e-09,2.538521e-08,5.810278e-08,8.496079e-08,1.935768e-07,1.994306e-07,3.866222e-07,4.545962e-07,6.651806e-07,8.836966e-07,1.052670e-06,1.514387e-06,1.559353e-06,2.184922e-06,2.352173e-06,2.924016e-06,3.385372e-06,3.770980e-06,4.601200e-06,4.720337e-06,5.766031e-06,5.986122e-06,6.900907e-06,7.523549e-06,8.116576e-06,9.193239e-06,9.403520e-06,1.075135e-05,1.097192e-05,1.214911e-05,1.283450e-05,1.358566e-05,1.475539e-05,1.504995e-05,1.653131e-05,1.670974e-05,1.801972e-05,1.867444e-05,1.950592e-05,2.062879e-05,2.098157e-05,2.243928e-05,2.255492e-05,2.387264e-05,2.443792e-05,2.527621e-05,2.626575e-05,2.664545e-05,2.797669e-05,2.802911e-05,2.926702e-05,2.972109e-05,3.051424e-05,3.133688e-05,3.171674e-05,3.287346e-05,3.398379e-05,3.432925e-05,3.504751e-05,3.570387e-05,3.606473e-05,3.699787e-05,3.703584e-05,3.796143e-05,3.821254e-05,3.884229e-05,3.934971e-05,3.967934e-05,4.041162e-05,4.047362e-05,4.122624e-05,4.140080e-05,4.193839e-05,4.231997e-05,4.261130e-05,4.317199e-05,4.324622e-05,4.384442e-05,4.395977e-05,4.440718e-05,4.468623e-05,4.493577e-05,4.535429e-05,4.543144e-05,4.589544e-05,4.596682e-05,4.632899e-05,4.652664e-05,4.673330e-05,4.703648e-05,4.710954e-05,4.745884e-05,4.749900e-05,4.778233e-05,4.791677e-05,4.808110e-05,4.829226e-05,4.835618e-05,4.860860e-05,4.862784e-05,4.883935e-05,4.892579e-05,4.904938e-05,4.918829e-05,4.923962e-05,4.941095e-05,4.941742e-05,4.956424e-05,4.961517e-05,4.970032e-05,4.978343e-05,4.981998e-05,4.992400e-05,5.001311e-05,5.003860e-05,5.008803e-05,5.012885e-05,5.014945e-05,5.019632e-05,5.019802e-05,5.023438e-05,5.024245e-05,5.025913e-05,5.026866e-05,5.027286e-05,5.027625e-05,5.027614e-05,5.026949e-05,5.026648e-05,5.025344e-05,5.024053e-05,5.022849e-05,5.019953e-05,5.019509e-05,5.015372e-05,5.014453e-05,5.010481e-05,5.007653e-05,5.004877e-05,4.999648e-05,4.998600e-05,4.991689e-05,4.990527e-05,4.984181e-05,4.980375e-05,4.976111e-05,4.969272e-05,4.967511e-05,4.958415e-05,4.957292e-05,4.948853e-05,4.944506e-05,4.938854e-05,4.930981e-05,4.928447e-05,4.917658e-05,4.916779e-05,4.906513e-05,4.901961e-05,4.895037e-05,4.886582e-05,4.883252e-05,4.871182e-05,4.870693e-05,4.858847e-05,4.854345e-05,4.846268e-05,4.837584e-05,4.833464e-05,4.820453e-05,4.802994e-05,4.785244e-05,4.767240e-05,4.749016e-05,4.730602e-05,4.712029e-05,4.693325e-05,4.674515e-05,4.655624e-05,4.636675e-05,4.617688e-05,4.598684e-05,4.579680e-05,4.560694e-05,4.541742e-05,4.522839e-05,4.503998e-05,4.485233e-05,4.466554e-05,4.447973e-05,4.429500e-05,4.411145e-05,4.392915e-05,4.374818e-05
0.000000e+00,1.825657e-08,4.203485e-08,1.484327e-07,3.545259e-07,5.374685e-07,1.399547e-06,1.451316e-06,3.355758e-06,4.148655e-06,6.827826e-06,9.776687e-06,1.206120e-05,1.801390e-05,1.856456e-05,2.569880e-05,2.745510e-05,3.306122e-05,3.720290e-05,4.044797e-05,4.688479e-05,4.775525e-05,5.492291e-05,5.633582e-05,6.190906e-05,6.545881e-05,6.868023e-05,7.418053e-05,7.520745e-05,8.146640e-05,8.244152e-05,8.743698e-05,9.019572e-05,9.310370e-05,9.741078e-05,9.845565e-05,1.034870e-04,1.040691e-04,1.081958e-04,1.101660e-04,1.125841e-04,1.157078e-04,1.166569e-04,1.204215e-04,1.207097e-04,1.238876e-04,1.251927e-04,1.270658e-04,1.291827e-04,1.299683e-04,1.326074e-04,1.327077e-04,1.349963e-04,1.357975e-04,1.371478e-04,1.384818e-04,1.390749e-04,1.407904e-04,1.423066e-04,1.427518e-04,1.436357e-04,1.443935e-04,1.447892e-04,1.457417e-04,1.457782e-04,1.466133e-04,1.468209e-04,1.473046e-04,1.476544e-04,1.478617e-04,1.482635e-04,1.482937e-04,1.486092e-04,1.486685e-04,1.488164e-04,1.488880e-04,1.489229e-04,1.489391e-04,1.489360e-04,1.488625e-04,1.488380e-04,1.487089e-04,1.485994e-04,1.484812e-04,1.482368e-04,1.481851e-04,1.478258e-04,1.477628e-04,1.474085e-04,1.471890e-04,1.469379e-04,1.465258e-04,1.464182e-04,1.458537e-04,1.457832e-04,1.452483e-04,1.449698e-04,1.446055e-04,1.440941e-04,1.439288e-04,1.432213e-04,1.431634e-04,1.424859e-04,1.421847e-04,1.417256e-04,1.411641e-04,1.409428e-04,1.401400e-04,1.401075e-04,1.393194e-04,1.390200e-04,1.384831e-04,1.379065e-04,1.376331e-04,1.367713e-04,1.358993e-04,1.356184e-04,1.350187e-04,1.344513e-04,1.341310e-04,1.332734e-04,1.332375e-04,1.323396e-04,1.320875e-04,1.314384e-04,1.308965e-04,1.305350e-04,1.297028e-04,1.296304e-04,1.287255e-04,1.285084e-04,1.278213e-04,1.273155e-04,1.269185e-04,1.261259e-04,1.260179e-04,1.251202e-04,1.249410e-04,1.242259e-04,1.237624e-04,1.233357e-04,1.225914e-04,1.224500e-04,1.215695e-04,1.214291e-04,1.206944e-04,1.202765e-04,1.198253e-04,1.191345e-04,1.189625e-04,1.181063e-04,1.180040e-04,1.172570e-04,1.168856e-04,1.164150e-04,1.157800e-04,1.155803e-04,1.147534e-04,1.146876e-04,1.139343e-04,1.136089e-04,1.131233e-04,1.125444e-04,1.123204e-04,1.115259e-04,1.114943e-04,1.107398e-04,1.104589e-04,1.099622e-04,1.094384e-04,1.091933e-04,1.084330e-04,1.074429e-04,1.064680e-04,1.055085e-04,1.045645e-04,1.036358e-04,1.027224e-04,1.018244e-04,1.009416e-04,1.000739e-04,9.922130e-05,9.838357e-05,9.756061e-05,9.675227e-05,9.595838e-05,9.517879e-05,9.441330e-05,9.366175e-05,9.292394e-05,9.219968e-05,9.148876e-05,9.079100e-05,9.010618e-05,8.943410e-05,8.877455e-05
0.000000e+00,4.335894e-09,9.956156e-09,3.435885e-08,7.838940e-08,1.145718e-07,2.616325e-07,2.695960e-07,5.263726e-07,6.206137e-07,9.157532e-07,1.226696e-06,1.470058e-06,2.145249e-06,2.211610e-06,3.140250e-06,3.389195e-06,4.238833e-06,4.920745e-06,5.487499e-06,6.697153e-06,6.869565e-06,8.370998e-06,8.684460e-06,9.978778e-06,1.085252e-05,1.167981e-05,1.317081e-05,1.346049e-05,1.530668e-05,1.560718e-05,1.720390e-05,1.812844e-05,1.913768e-05,2.070151e-05,2.109388e-05,2.305901e-05,2.329481e-05,2.502046e-05,2.587932e-05,2.696671e-05,2.842932e-05,2.888748e-05,3.077377e-05,3.092294e-05,3.261784e-05,3.334215e-05,3.441322e-05,3.567274e-05,3.615463e-05,3.783788e-05,3.790395e-05,3.945975e-05,4.002813e-05,4.101793e-05,4.204030e-05,4.251087e-05,4.393771e-05,4.529813e-05,4.571946e-05,4.659232e-05,4.738610e-05,4.782087e-05,4.893936e-05,4.898468e-05,5.008495e-05,5.038182e-05,5.112307e-05,5.171676e-05,5.210062e-05,5.294792e-05,5.301928e-05,5.388085e-05,5.407934e-05,5.468717e-05,5.511529e-05,5.544014e-05,5.606013e-05,5.614166e-05,5.679367e-05,5.691830e-05,5.739807e-05,5.769417e-05,5.795675e-05,5.839210e-05,5.847160e-05,5.894444e-05,5.901632e-05,5.937708e-05,5.957099e-05,5.977128e-05,6.006011e-05,6.012874e-05,6.045114e-05,6.048755e-05,6.074010e-05,6.085705e-05,6.099718e-05,6.117219e-05,6.122391e-05,6.142175e-05,6.143637e-05,6.159212e-05,6.165288e-05,6.173638e-05,6.182483e-05,6.185586e-05,6.195183e-05,6.195520e-05,6.202550e-05,6.204680e-05,6.207806e-05,6.210232e-05,6.211063e-05,6.212430e-05,6.212011e-05,6.211516e-05,6.209906e-05,6.207718e-05,6.206210e-05,6.201251e-05,6.201016e-05,6.194411e-05,6.192320e-05,6.186479e-05,6.181117e-05,6.177301e-05,6.167823e-05,6.166954e-05,6.155512e-05,6.152611e-05,6.143045e-05,6.135641e-05,6.129620e-05,6.117065e-05,6.115302e-05,6.100151e-05,6.097026e-05,6.084227e-05,6.075659e-05,6.067584e-05,6.053088e-05,6.050276e-05,6.032354e-05,6.029433e-05,6.013866e-05,6.004804e-05,5.994858e-05,5.979306e-05,5.975373e-05,5.955453e-05,5.953035e-05,5.935137e-05,5.926082e-05,5.914463e-05,5.898534e-05,5.893467e-05,5.872182e-05,5.870468e-05,5.850641e-05,5.841959e-05,5.828873e-05,5.813077e-05,5.806908e-05,5.784774e-05,5.783885e-05,5.762495e-05,5.754444e-05,5.740097e-05,5.724809e-05,5.717602e-05,5.695033e-05,5.665162e-05,5.635242e-05,5.605313e-05,5.575414e-05,5.545579e-05,5.515842e-05,5.486230e-05,5.456773e-05,5.427494e-05,5.398417e-05,5.369562e-05,5.340949e-05,5.312594e-05,5.284512e-05,5.256719e-05,5.229225e-05,5.202043e-05,5.175182e-05,5.148651e-05,5.122457e-05,5.096607e-05,5.071106e-05,5.045960e-05,5.021171e-05
0.000000e+00,4.213345e-09,9.646057e-09,3.316757e-08,7.555682e-08,1.104081e-07,2.524776e-07,2.601924e-07,5.101024e-07,6.023445e-07,8.928816e-07,1.201766e-06,1.445781e-06,2.135294e-06,2.204128e-06,3.185595e-06,3.453259e-06,4.373317e-06,5.111741e-06,5.720970e-06,6.998347e-06,7.177406e-06,8.702266e-06,9.012763e-06,1.026687e-05,1.108904e-05,1.185036e-05,1.318312e-05,1.343650e-05,1.501194e-05,1.526224e-05,1.656539e-05,1.730036e-05,1.808728e-05,1.927665e-05,1.956962e-05,2.100590e-05,2.117490e-05,2.239099e-05,2.298318e-05,2.372103e-05,2.469333e-05,2.499330e-05,2.620605e-05,2.630047e-05,2.735841e-05,2.780237e-05,2.845018e-05,2.919894e-05,2.948176e-05,3.045400e-05,3.049167e-05,3.136812e-05,3.168326e-05,3.222561e-05,3.277721e-05,3.302816e-05,3.377761e-05,3.447590e-05,3.468886e-05,3.512500e-05,3.551555e-05,3.572694e-05,3.626231e-05,3.628374e-05,3.679742e-05,3.693379e-05,3.726995e-05,3.753453e-05,3.770327e-05,3.806893e-05,3.809928e-05,3.845981e-05,3.854125e-05,3.878664e-05,3.895560e-05,3.908151e-05,3.931586e-05,3.934606e-05,3.958191e-05,3.962577e-05,3.979058e-05,3.988884e-05,3.997354e-05,4.010839e-05,4.013220e-05,4.026790e-05,4.028757e-05,4.038194e-05,4.042935e-05,4.047555e-05,4.053651e-05,4.054990e-05,4.060611e-05,4.061169e-05,4.064526e-05,4.065734e-05,4.066836e-05,4.067578e-05,4.067638e-05,4.067026e-05,4.066918e-05,4.065086e-05,4.063957e-05,4.061902e-05,4.058885e-05,4.057555e-05,4.052119e-05,4.051879e-05,4.045666e-05,4.043107e-05,4.038264e-05,4.032722e-05,4.029978e-05,4.020870e-05,4.010997e-05,4.007685e-05,4.000415e-05,3.993294e-05,3.989175e-05,3.977813e-05,3.977328e-05,3.964921e-05,3.961352e-05,3.951997e-05,3.944012e-05,3.938598e-05,3.925887e-05,3.924765e-05,3.910535e-05,3.907065e-05,3.895944e-05,3.887627e-05,3.881024e-05,3.867649e-05,3.865809e-05,3.850327e-05,3.847201e-05,3.834607e-05,3.826347e-05,3.818675e-05,3.805148e-05,3.802558e-05,3.786278e-05,3.783659e-05,3.769857e-05,3.761932e-05,3.753318e-05,3.740013e-05,3.736679e-05,3.719959e-05,3.717948e-05,3.703175e-05,3.695775e-05,3.686345e-05,3.673533e-05,3.669484e-05,3.652605e-05,3.651254e-05,3.635723e-05,3.628972e-05,3.618850e-05,3.606714e-05,3.601998e-05,3.585179e-05,3.584507e-05,3.568402e-05,3.562375e-05,3.551678e-05,3.540340e-05,3.535015e-05,3.518422e-05,3.496640e-05,3.475009e-05,3.453546e-05,3.432263e-05,3.411172e-05,3.390285e-05,3.369612e-05,3.349161e-05,3.328939e-05,3.308954e-05,3.289211e-05,3.269715e-05,3.250471e-05,3.231483e-05,3.212752e-05,3.194283e-05,3.176076e-05,3.158133e-05,3.140455e-05,3.123042e-05,3.105895e-05,3.089013e-05,3.072396e-05,3.056043e-05
0.000000e+00,3.621904e-09,8.288906e-09,2.843649e-08,6.453738e-08,9.404148e-08,2.129047e-07,2.193012e-07,4.238283e-07,4.981830e-07,7.292032e-07,9.705383e-07,1.158717e-06,1.681489e-06,1.733089e-06,2.460894e-06,2.657607e-06,3.331715e-06,3.873302e-06,4.322181e-06,5.272769e-06,5.407220e-06,6.565416e-06,6.804230e-06,7.779141e-06,8.427154e-06,9.033339e-06,1.010826e-05,1.031455e-05,1.161045e-05,1.181838e-05,1.290967e-05,1.353139e-05,1.420186e-05,1.522427e-05,1.547774e-05,1.672919e-05,1.687739e-05,1.794931e-05,1.847472e-05,1.913237e-05,2.000388e-05,2.027383e-05,2.137021e-05,2.145589e-05,2.241899e-05,2.282479e-05,2.341855e-05,2.410722e-05,2.436800e-05,2.526711e-05,2.530203e-05,2.611625e-05,2.640983e-05,2.691608e-05,2.743228e-05,2.766758e-05,2.837209e-05,2.903111e-05,2.923265e-05,2.964626e-05,3.001773e-05,3.021928e-05,3.073140e-05,3.075195e-05,3.124608e-05,3.137778e-05,3.170346e-05,3.196100e-05,3.212588e-05,3.248512e-05,3.251508e-05,3.287277e-05,3.295411e-05,3.320061e-05,3.337176e-05,3.350019e-05,3.374168e-05,3.377306e-05,3.402069e-05,3.406731e-05,3.424448e-05,3.435188e-05,3.444579e-05,3.459846e-05,3.462590e-05,3.478604e-05,3.480988e-05,3.492736e-05,3.498884e-05,3.505098e-05,3.513783e-05,3.515793e-05,3.524922e-05,3.525917e-05,3.532579e-05,3.535505e-05,3.538853e-05,3.542748e-05,3.543828e-05,3.547584e-05,3.547834e-05,3.550197e-05,3.550939e-05,3.551739e-05,3.552223e-05,3.552276e-05,3.551873e-05,3.551839e-05,3.550591e-05,3.549925e-05,3.548486e-05,3.546612e-05,3.545611e-05,3.542019e-05,3.537757e-05,3.536259e-05,3.532870e-05,3.529434e-05,3.527401e-05,3.521641e-05,3.521391e-05,3.514878e-05,3.512969e-05,3.507897e-05,3.503499e-05,3.500483e-05,3.493308e-05,3.492668e-05,3.484482e-05,3.482466e-05,3.475954e-05,3.471039e-05,3.467110e-05,3.459087e-05,3.457976e-05,3.448576e-05,3.446667e-05,3.438933e-05,3.433829e-05,3.429067e-05,3.420623e-05,3.418999e-05,3.408748e-05,3.407092e-05,3.398331e-05,3.393278e-05,3.387766e-05,3.379218e-05,3.377068e-05,3.366252e-05,3.364947e-05,3.355333e-05,3.350499e-05,3.344323e-05,3.335902e-05,3.333234e-05,3.322080e-05,3.321185e-05,3.310870e-05,3.306373e-05,3.299616e-05,3.291490e-05,3.288326e-05,3.277010e-05,3.276557e-05,3.265677e-05,3.261594e-05,3.254335e-05,3.246621e-05,3.242991e-05,3.231653e-05,3.216706e-05,3.201795e-05,3.186933e-05,3.172132e-05,3.157402e-05,3.142755e-05,3.128199e-05,3.113743e-05,3.099394e-05,3.085159e-05,3.071044e-05,3.057055e-05,3.043198e-05,3.029477e-05,3.015895e-05,3.002457e-05,2.989165e-05,2.976023e-05,2.963033e-05,2.950196e-05,2.937515e-05,2.924992e-05,2.912627e-05,2.900421e-05
0.000000e+00,1.087375e-09,2.800900e-09,1.081909e-08,2.579955e-08,3.820002e-08,8.827485e-08,9.096035e-08,1.759200e-07,2.063404e-07,2.993393e-07,3.943330e-07,4.671536e-07,6.655141e-07,6.848839e-07,9.568287e-07,1.030403e-06,1.284351e-06,1.491086e-06,1.664416e-06,2.037016e-06,2.090267e-06,2.553731e-06,2.650231e-06,3.046953e-06,3.312828e-06,3.562918e-06,4.009295e-06,4.095347e-06,4.638482e-06,4.726013e-06,5.186947e-06,5.450612e-06,5.735706e-06,6.171763e-06,6.280074e-06,6.815764e-06,6.879277e-06,7.338943e-06,7.564299e-06,7.846273e-06,8.219493e-06,8.334940e-06,8.802671e-06,8.839129e-06,9.247720e-06,9.419089e-06,9.668821e-06,9.956726e-06,1.006519e-05,1.043646e-05,1.045079e-05,1.078261e-05,1.090111e-05,1.110390e-05,1.130846e-05,1.140089e-05,1.167432e-05,1.192507e-05,1.200069e-05,1.215416e-05,1.228992e-05,1.236269e-05,1.254457e-05,1.255177e-05,1.272258e-05,1.276728e-05,1.287626e-05,1.296072e-05,1.301395e-05,1.312747e-05,1.313677e-05,1.324578e-05,1.327000e-05,1.334198e-05,1.339063e-05,1.342636e-05,1.349155e-05,1.349981e-05,1.356319e-05,1.357473e-05,1.361729e-05,1.364200e-05,1.366284e-05,1.369501e-05,1.370054e-05,1.373102e-05,1.373527e-05,1.375487e-05,1.376412e-05,1.377262e-05,1.378277e-05,1.378478e-05,1.379180e-05,1.379231e-05,1.379410e-05,1.379372e-05,1.379207e-05,1.378785e-05,1.378606e-05,1.377641e-05,1.377548e-05,1.376340e-05,1.375732e-05,1.374732e-05,1.373399e-05,1.372842e-05,1.370694e-05,1.370603e-05,1.368308e-05,1.367395e-05,1.365704e-05,1.363819e-05,1.362902e-05,1.359916e-05,1.356764e-05,1.355722e-05,1.353459e-05,1.351269e-05,1.350014e-05,1.346587e-05,1.346442e-05,1.342754e-05,1.341702e-05,1.338961e-05,1.336639e-05,1.335072e-05,1.331418e-05,1.331097e-05,1.327043e-05,1.326059e-05,1.322919e-05,1.320582e-05,1.318732e-05,1.315001e-05,1.314489e-05,1.310196e-05,1.309331e-05,1.305858e-05,1.303587e-05,1.301482e-05,1.297781e-05,1.297073e-05,1.292635e-05,1.291923e-05,1.288174e-05,1.286025e-05,1.283692e-05,1.280095e-05,1.279194e-05,1.274684e-05,1.274142e-05,1.270165e-05,1.268175e-05,1.265641e-05,1.262200e-05,1.261114e-05,1.256587e-05,1.256225e-05,1.252063e-05,1.250255e-05,1.247544e-05,1.244296e-05,1.243033e-05,1.238532e-05,1.238352e-05,1.234043e-05,1.232430e-05,1.229567e-05,1.226533e-05,1.225107e-05,1.220664e-05,1.214828e-05,1.209029e-05,1.203267e-05,1.197548e-05,1.191873e-05,1.186244e-05,1.180663e-05,1.175133e-05,1.169654e-05,1.164229e-05,1.158859e-05,1.153544e-05,1.148286e-05,1.143086e-05,1.137945e-05,1.132863e-05,1.127841e-05,1.122879e-05,1.117978e-05,1.113138e-05,1.108359e-05,1.103641e-05,1.098985e-05,1.094390e-05
0.000000e+00,4.101931e-09,9.490068e-09,3.307152e-08,7.606043e-08,1.117352e-07,2.595828e-07,2.677102e-07,5.355970e-07,6.364334e-07,9.592279e-07,1.308149e-06,1.585614e-06,2.365669e-06,2.442665e-06,3.516261e-06,3.801396e-06,4.761979e-06,5.517404e-06,6.134445e-06,7.419643e-06,7.599446e-06,9.132296e-06,9.445268e-06,1.071397e-05,1.155037e-05,1.232856e-05,1.369994e-05,1.396203e-05,1.560179e-05,1.586396e-05,1.723658e-05,1.801654e-05,1.885646e-05,2.013584e-05,2.045288e-05,2.201863e-05,2.220416e-05,2.354780e-05,2.420779e-05,2.503569e-05,2.613662e-05,2.647868e-05,2.787413e-05,2.798365e-05,2.922017e-05,2.974448e-05,3.051568e-05,3.141681e-05,3.176008e-05,3.295327e-05,3.299993e-05,3.409552e-05,3.449437e-05,3.518742e-05,3.590155e-05,3.622977e-05,3.722358e-05,3.816998e-05,3.846301e-05,3.907019e-05,3.962268e-05,3.992552e-05,4.070566e-05,4.073732e-05,4.150697e-05,4.171511e-05,4.223587e-05,4.265422e-05,4.292541e-05,4.352623e-05,4.357699e-05,4.419198e-05,4.433429e-05,4.477175e-05,4.508154e-05,4.531764e-05,4.577102e-05,4.583094e-05,4.631293e-05,4.640569e-05,4.676487e-05,4.698841e-05,4.718797e-05,4.752194e-05,4.758340e-05,4.795231e-05,4.800895e-05,4.829581e-05,4.845198e-05,4.861497e-05,4.885348e-05,4.891083e-05,4.918440e-05,4.921578e-05,4.943665e-05,4.954112e-05,4.966850e-05,4.983164e-05,4.988088e-05,5.007463e-05,5.008936e-05,5.025062e-05,5.031621e-05,5.040963e-05,5.051405e-05,5.055245e-05,5.067983e-05,5.068462e-05,5.079249e-05,5.082958e-05,5.089112e-05,5.095051e-05,5.097638e-05,5.104892e-05,5.110934e-05,5.112621e-05,5.115823e-05,5.118374e-05,5.119617e-05,5.122279e-05,5.122369e-05,5.124132e-05,5.124455e-05,5.124955e-05,5.125018e-05,5.124886e-05,5.124075e-05,5.123972e-05,5.122256e-05,5.121729e-05,5.119780e-05,5.118077e-05,5.116585e-05,5.113209e-05,5.112709e-05,5.108191e-05,5.107213e-05,5.103064e-05,5.100170e-05,5.097364e-05,5.092156e-05,5.091122e-05,5.084370e-05,5.083245e-05,5.077138e-05,5.073505e-05,5.069454e-05,5.063000e-05,5.061346e-05,5.052839e-05,5.051792e-05,5.043958e-05,5.039938e-05,5.034728e-05,5.027493e-05,5.025170e-05,5.015308e-05,5.014506e-05,5.005161e-05,5.001027e-05,4.994749e-05,4.987100e-05,4.984092e-05,4.973208e-05,4.972768e-05,4.962113e-05,4.958071e-05,4.950825e-05,4.943046e-05,4.939359e-05,4.927730e-05,4.912155e-05,4.896351e-05,4.880350e-05,4.864178e-05,4.847860e-05,4.831421e-05,4.814885e-05,4.798270e-05,4.781599e-05,4.764888e-05,4.748157e-05,4.731419e-05,4.714692e-05,4.697989e-05,4.681322e-05,4.664705e-05,4.648148e-05,4.631662e-05,4.615257e-05,4.598941e-05,4.582724e-05,4.566613e-05,4.550614e-05,4.534735e-05
0.000000e+00,1.179928e-09,4.205648e-09,2.370972e-08,6.856974e-08,1.097668e-07,2.974906e-07,3.083140e-07,6.822569e-07,8.295477e-07,1.318308e-06,1.869908e-06,2.321746e-06,3.633728e-06,3.765533e-06,5.627071e-06,6.126666e-06,7.821101e-06,9.165300e-06,1.027120e-05,1.259956e-05,1.292816e-05,1.576007e-05,1.634522e-05,1.874237e-05,2.034518e-05,2.185273e-05,2.454806e-05,2.506880e-05,2.836772e-05,2.890169e-05,3.172635e-05,3.335294e-05,3.512175e-05,3.784961e-05,3.853176e-05,4.193559e-05,4.234271e-05,4.531415e-05,4.678823e-05,4.865036e-05,5.114830e-05,5.192930e-05,5.513824e-05,5.539160e-05,5.826655e-05,5.949332e-05,6.130565e-05,6.343469e-05,6.424875e-05,6.709067e-05,6.720219e-05,6.982774e-05,7.078692e-05,7.245755e-05,7.418381e-05,7.497873e-05,7.739083e-05,7.969419e-05,8.040844e-05,8.188974e-05,8.323896e-05,8.397892e-05,8.588618e-05,8.596358e-05,8.784589e-05,8.835492e-05,8.962827e-05,9.065080e-05,9.131332e-05,9.277996e-05,9.290378e-05,9.440250e-05,9.474886e-05,9.581237e-05,9.656418e-05,9.713632e-05,9.823265e-05,9.837728e-05,9.953817e-05,9.976099e-05,1.006219e-04,1.011559e-04,1.016313e-04,1.024239e-04,1.025693e-04,1.034386e-04,1.035715e-04,1.042419e-04,1.046048e-04,1.049819e-04,1.055300e-04,1.056611e-04,1.062821e-04,1.063528e-04,1.068473e-04,1.070790e-04,1.073592e-04,1.077139e-04,1.078199e-04,1.082319e-04,1.082628e-04,1.085971e-04,1.087306e-04,1.089178e-04,1.091222e-04,1.091959e-04,1.094334e-04,1.094420e-04,1.096322e-04,1.096946e-04,1.097941e-04,1.098840e-04,1.099209e-04,1.100142e-04,1.100758e-04,1.100890e-04,1.101071e-04,1.101120e-04,1.101098e-04,1.100866e-04,1.100851e-04,1.100347e-04,1.100161e-04,1.099597e-04,1.099035e-04,1.098615e-04,1.097517e-04,1.097413e-04,1.096004e-04,1.095636e-04,1.094398e-04,1.093418e-04,1.092608e-04,1.090887e-04,1.090642e-04,1.088511e-04,1.088066e-04,1.086226e-04,1.084979e-04,1.083795e-04,1.081647e-04,1.081227e-04,1.078531e-04,1.078088e-04,1.075714e-04,1.074322e-04,1.072786e-04,1.070367e-04,1.069752e-04,1.066621e-04,1.066239e-04,1.063399e-04,1.061954e-04,1.060093e-04,1.057527e-04,1.056708e-04,1.053251e-04,1.052972e-04,1.049728e-04,1.048302e-04,1.046144e-04,1.043529e-04,1.042504e-04,1.038813e-04,1.038664e-04,1.035076e-04,1.033720e-04,1.031297e-04,1.028706e-04,1.027481e-04,1.023631e-04,1.018505e-04,1.013336e-04,1.008133e-04,1.002901e-04,9.976488e-05,9.923823e-05,9.871075e-05,9.818301e-05,9.765552e-05,9.712877e-05,9.660322e-05,9.607927e-05,9.555732e-05,9.503772e-05,9.452081e-05,9.400689e-05,9.349624e-05,9.298911e-05,9.248576e-05,9.198639e-05,9.149119e-05,9.100035e-05,9.051404e-05,9.003238e-05
0.000000e+00,1.271460e-11,7.180405e-11,8.544430e-10,4.066376e-09,8.099373e-09,3.380258e-08,3.553465e-08,1.045862e-07,1.350251e-07,2.432298e-07,3.740439e-07,4.863625e-07,8.372425e-07,8.746009e-07,1.445627e-06,1.612709e-06,2.220693e-06,2.744454e-06,3.199430e-06,4.217209e-06,4.366535e-06,5.701450e-06,5.986773e-06,7.184197e-06,8.007670e-06,8.797002e-06,1.024045e-05,1.052375e-05,1.234901e-05,1.264917e-05,1.425741e-05,1.519839e-05,1.623334e-05,1.785218e-05,1.826114e-05,2.032528e-05,2.057471e-05,2.241079e-05,2.333150e-05,2.450351e-05,2.609071e-05,2.659038e-05,2.865964e-05,2.882410e-05,3.070092e-05,3.150755e-05,3.270527e-05,3.412125e-05,3.466515e-05,3.657432e-05,3.664956e-05,3.842783e-05,3.908068e-05,4.022179e-05,4.140618e-05,4.195336e-05,4.362052e-05,4.522203e-05,4.572054e-05,4.675729e-05,4.770502e-05,4.822621e-05,4.957429e-05,4.962915e-05,5.096686e-05,5.132985e-05,5.224034e-05,5.297411e-05,5.345085e-05,5.451014e-05,5.459983e-05,5.568886e-05,5.594149e-05,5.671960e-05,5.727201e-05,5.769382e-05,5.850581e-05,5.861332e-05,5.947992e-05,5.964706e-05,6.029548e-05,6.070001e-05,6.106183e-05,6.166889e-05,6.178082e-05,6.245425e-05,6.255789e-05,6.308391e-05,6.337112e-05,6.367156e-05,6.411259e-05,6.421891e-05,6.472765e-05,6.478618e-05,6.519939e-05,6.539566e-05,6.563575e-05,6.594466e-05,6.603825e-05,6.640841e-05,6.643667e-05,6.674767e-05,6.687505e-05,6.705745e-05,6.726300e-05,6.733910e-05,6.759393e-05,6.760359e-05,6.782322e-05,6.789975e-05,6.802819e-05,6.815428e-05,6.821001e-05,6.836983e-05,6.850873e-05,6.854894e-05,6.862777e-05,6.869400e-05,6.872796e-05,6.880732e-05,6.881028e-05,6.887566e-05,6.889105e-05,6.892499e-05,6.894724e-05,6.895913e-05,6.897785e-05,6.897892e-05,6.898514e-05,6.898470e-05,6.897856e-05,6.896955e-05,6.895990e-05,6.893404e-05,6.892986e-05,6.888910e-05,6.887972e-05,6.883828e-05,6.880807e-05,6.877798e-05,6.872046e-05,6.870882e-05,6.863133e-05,6.861819e-05,6.854605e-05,6.850251e-05,6.845350e-05,6.837455e-05,6.835416e-05,6.824850e-05,6.823542e-05,6.813696e-05,6.808613e-05,6.801996e-05,6.792764e-05,6.789791e-05,6.777119e-05,6.776087e-05,6.764018e-05,6.758664e-05,6.750520e-05,6.740576e-05,6.736661e-05,6.722472e-05,6.721898e-05,6.707982e-05,6.702697e-05,6.693220e-05,6.683041e-05,6.678214e-05,6.662989e-05,6.642599e-05,6.621922e-05,6.601010e-05,6.579908e-05,6.558658e-05,6.537301e-05,6.515873e-05,6.494410e-05,6.472942e-05,6.451499e-05,6.430108e-05,6.408794e-05,6.387580e-05,6.366487e-05,6.345534e-05,6.324740e-05,6.304120e-05,6.283689e-05,6.263460e-05,6.243445e-05,6.223656e-05,6.204102e-05,6.184791e-05,6.165731e-05
0.000000e+00,1.262731e-09,2.920244e-09,1.013384e-08,2.312064e-08,3.374879e-08,7.653179e-08,7.883035e-08,1.520506e-07,1.785323e-07,2.603807e-07,3.453211e-07,4.112954e-07,5.944501e-07,6.125848e-07,8.713003e-07,9.424844e-07,1.191403e-06,1.397067e-06,1.571072e-06,1.948359e-06,2.002521e-06,2.475113e-06,2.573639e-06,2.978601e-06,3.249715e-06,3.504425e-06,3.958245e-06,4.045619e-06,4.596388e-06,4.685058e-06,5.151756e-06,5.418662e-06,5.707350e-06,6.149374e-06,6.259303e-06,6.804212e-06,6.868983e-06,7.339121e-06,7.570649e-06,7.861514e-06,8.248859e-06,8.369298e-06,8.860785e-06,8.899358e-06,9.334663e-06,9.519057e-06,9.789965e-06,1.010590e-05,1.022603e-05,1.064246e-05,1.065871e-05,1.103910e-05,1.117704e-05,1.141597e-05,1.166104e-05,1.177326e-05,1.211131e-05,1.243052e-05,1.252878e-05,1.273141e-05,1.291463e-05,1.301455e-05,1.327021e-05,1.328053e-05,1.353000e-05,1.359698e-05,1.376361e-05,1.389644e-05,1.398203e-05,1.417012e-05,1.418591e-05,1.437591e-05,1.441952e-05,1.455269e-05,1.464614e-05,1.471687e-05,1.485141e-05,1.486906e-05,1.500987e-05,1.503672e-05,1.513987e-05,1.520339e-05,1.525962e-05,1.535267e-05,1.536964e-05,1.547046e-05,1.548577e-05,1.556256e-05,1.560381e-05,1.564641e-05,1.570785e-05,1.572246e-05,1.579113e-05,1.579890e-05,1.585284e-05,1.587789e-05,1.590797e-05,1.594570e-05,1.595689e-05,1.599996e-05,1.600316e-05,1.603750e-05,1.605104e-05,1.606983e-05,1.609006e-05,1.609726e-05,1.612007e-05,1.612089e-05,1.613853e-05,1.614417e-05,1.615291e-05,1.616047e-05,1.616343e-05,1.617035e-05,1.617387e-05,1.617431e-05,1.617420e-05,1.617284e-05,1.617155e-05,1.616637e-05,1.616610e-05,1.615802e-05,1.615531e-05,1.614749e-05,1.614006e-05,1.613466e-05,1.612097e-05,1.611969e-05,1.610272e-05,1.609836e-05,1.608388e-05,1.607256e-05,1.606330e-05,1.604385e-05,1.604111e-05,1.601741e-05,1.601250e-05,1.599232e-05,1.597876e-05,1.596594e-05,1.594285e-05,1.593836e-05,1.590968e-05,1.590499e-05,1.587998e-05,1.586539e-05,1.584935e-05,1.582423e-05,1.581787e-05,1.578560e-05,1.578168e-05,1.575262e-05,1.573790e-05,1.571900e-05,1.569305e-05,1.568479e-05,1.565005e-05,1.564725e-05,1.561484e-05,1.560064e-05,1.557921e-05,1.555333e-05,1.554321e-05,1.550689e-05,1.550543e-05,1.547029e-05,1.545706e-05,1.543346e-05,1.540829e-05,1.539642e-05,1.535922e-05,1.530993e-05,1.526049e-05,1.521097e-05,1.516144e-05,1.511195e-05,1.506255e-05,1.501331e-05,1.496425e-05,1.491542e-05,1.486687e-05,1.481862e-05,1.477072e-05,1.472317e-05,1.467602e-05,1.462929e-05,1.458300e-05,1.453717e-05,1.449181e-05,1.444694e-05,1.440258e-05,1.435874e-05,1.431543e-05,1.427265e-05,1.423042e-05
0.000000e+00,3.423169e-09,1.131883e-08,5.850439e-08,1.639827e-07,2.613397e-07,7.227414e-07,7.502764e-07,1.754787e-06,2.173033e-06,3.609714e-06,5.250218e-06,6.567422e-06,1.018232e-05,1.052964e-05,1.522575e-05,1.643867e-05,2.046692e-05,2.360213e-05,2.615756e-05,3.149641e-05,3.224698e-05,3.869979e-05,4.003107e-05,4.548294e-05,4.912908e-05,5.256087e-05,5.870554e-05,5.989435e-05,6.744085e-05,6.866509e-05,7.515552e-05,7.890485e-05,8.299275e-05,8.932110e-05,9.090845e-05,9.886026e-05,9.981501e-05,1.068090e-04,1.102961e-04,1.147189e-04,1.206847e-04,1.225581e-04,1.302988e-04,1.309130e-04,1.379170e-04,1.409253e-04,1.453924e-04,1.506769e-04,1.527085e-04,1.598514e-04,1.601333e-04,1.668104e-04,1.692689e-04,1.735771e-04,1.780654e-04,1.801453e-04,1.865105e-04,1.926700e-04,1.945974e-04,1.986223e-04,2.023228e-04,2.043669e-04,2.096869e-04,2.099045e-04,2.152362e-04,2.166925e-04,2.203642e-04,2.233441e-04,2.252907e-04,2.296479e-04,2.300189e-04,2.345518e-04,2.356111e-04,2.388931e-04,2.412419e-04,2.430465e-04,2.465491e-04,2.470158e-04,2.508053e-04,2.515419e-04,2.544190e-04,2.562300e-04,2.578611e-04,2.606231e-04,2.611361e-04,2.642481e-04,2.647312e-04,2.672015e-04,2.685640e-04,2.700005e-04,2.721316e-04,2.726496e-04,2.751530e-04,2.754438e-04,2.775149e-04,2.785104e-04,2.797395e-04,2.813409e-04,2.818310e-04,2.837934e-04,2.839449e-04,2.856307e-04,2.863315e-04,2.873470e-04,2.885100e-04,2.889461e-04,2.904319e-04,2.904890e-04,2.918081e-04,2.922774e-04,2.930783e-04,2.938834e-04,2.942462e-04,2.953154e-04,2.962892e-04,2.965812e-04,2.971710e-04,2.976886e-04,2.979641e-04,2.986451e-04,2.986718e-04,2.992971e-04,2.994579e-04,2.998431e-04,3.001339e-04,3.003129e-04,3.006801e-04,3.007092e-04,3.010350e-04,3.011030e-04,3.012929e-04,3.014087e-04,3.014857e-04,3.016035e-04,3.016159e-04,3.016861e-04,3.016932e-04,3.016988e-04,3.016834e-04,3.016563e-04,3.015796e-04,3.015609e-04,3.014149e-04,3.013870e-04,3.012205e-04,3.011106e-04,3.009798e-04,3.007553e-04,3.006949e-04,3.003677e-04,3.003257e-04,3.000002e-04,2.998262e-04,2.995942e-04,2.992611e-04,2.991516e-04,2.986741e-04,2.986344e-04,2.981634e-04,2.979502e-04,2.976211e-04,2.972121e-04,2.970489e-04,2.964483e-04,2.964237e-04,2.958208e-04,2.955885e-04,2.951677e-04,2.947098e-04,2.944905e-04,2.937906e-04,2.928340e-04,2.918429e-04,2.908199e-04,2.897677e-04,2.886887e-04,2.875853e-04,2.864598e-04,2.853142e-04,2.841507e-04,2.829712e-04,2.817774e-04,2.805712e-04,2.793542e-04,2.781279e-04,2.768939e-04,2.756536e-04,2.744083e-04,2.731592e-04,2.719076e-04,2.706546e-04,2.694012e-04,2.681485e-04,2.668974e-04,2.656488e-04
0.000000e+00,1.692799e-13,1.148238e-12,1.979672e-11,1.305326e-10,3.093297e-10,1.984526e-09,2.121726e-09,9.276003e-09,1.326093e-08,3.052318e-08,5.656530e-08,8.261166e-08,1.819131e-07,1.939192e-07,4.085209e-07,4.820356e-07,7.905323e-07,1.109448e-06,1.428438e-06,2.293373e-06,2.438880e-06,3.969196e-06,4.352829e-06,6.198094e-06,7.701333e-06,9.334130e-06,1.284058e-05,1.361213e-05,1.928792e-05,2.034368e-05,2.663182e-05,3.083086e-05,3.592151e-05,4.494097e-05,4.743459e-05,6.144130e-05,6.330203e-05,7.819769e-05,8.650320e-05,9.793942e-05,1.150699e-04,1.208763e-04,1.471880e-04,1.494433e-04,1.770201e-04,1.899644e-04,2.104819e-04,2.368634e-04,2.476446e-04,2.885405e-04,2.902541e-04,3.331632e-04,3.501323e-04,3.814685e-04,4.163798e-04,4.333756e-04,4.887699e-04,5.475049e-04,5.669778e-04,6.094057e-04,6.505921e-04,6.742721e-04,7.391278e-04,7.418819e-04,8.119949e-04,8.320407e-04,8.843560e-04,9.287414e-04,9.586990e-04,1.028610e-03,1.034750e-03,1.112231e-03,1.131008e-03,1.190861e-03,1.235293e-03,1.270364e-03,1.340829e-03,1.350463e-03,1.430893e-03,1.446995e-03,1.511392e-03,1.553196e-03,1.591712e-03,1.658868e-03,1.671615e-03,1.750876e-03,1.763484e-03,1.829284e-03,1.866558e-03,1.906642e-03,1.967650e-03,1.982768e-03,2.057497e-03,2.066363e-03,2.130676e-03,2.162349e-03,2.202171e-03,2.255305e-03,2.271860e-03,2.339638e-03,2.344975e-03,2.405413e-03,2.431144e-03,2.469107e-03,2.513642e-03,2.530657e-03,2.590009e-03,2.592336e-03,2.647123e-03,2.667131e-03,2.701971e-03,2.737963e-03,2.754533e-03,2.804801e-03,2.852773e-03,2.867641e-03,2.898458e-03,2.926503e-03,2.941871e-03,2.981430e-03,2.983034e-03,3.021973e-03,3.032483e-03,3.058724e-03,3.079739e-03,3.093322e-03,3.123289e-03,3.125812e-03,3.156237e-03,3.163237e-03,3.184647e-03,3.199695e-03,3.211093e-03,3.232783e-03,3.235628e-03,3.258308e-03,3.262626e-03,3.279188e-03,3.289354e-03,3.298327e-03,3.313100e-03,3.315782e-03,3.331612e-03,3.333998e-03,3.345876e-03,3.352183e-03,3.358631e-03,3.367789e-03,3.369937e-03,3.379850e-03,3.380948e-03,3.388428e-03,3.391794e-03,3.395727e-03,3.400452e-03,3.401802e-03,3.406707e-03,3.407050e-03,3.410495e-03,3.411710e-03,3.413219e-03,3.414549e-03,3.414928e-03,3.415673e-03,3.415683e-03,3.415500e-03,3.415222e-03,3.414456e-03,3.413271e-03,3.412586e-03,3.409934e-03,3.405306e-03,3.399482e-03,3.392550e-03,3.384594e-03,3.375695e-03,3.365929e-03,3.355368e-03,3.344081e-03,3.332131e-03,3.319580e-03,3.306485e-03,3.292899e-03,3.278875e-03,3.264459e-03,3.249696e-03,3.234628e-03,3.219295e-03,3.203733e-03,3.187977e-03,3.172059e-03,3.156008e-03,3.139853e-03,3.123619e-03,3.107331e-03
0.000000e+00,1.875315e-12,1.152806e-11,1.621627e-10,8.891236e-10,1.905062e-09,9.442747e-09,9.991007e-09,3.396945e-08,4.540014e-08,8.842750e-08,1.435482e-07,1.925783e-07,3.522550e-07,3.697212e-07,6.462383e-07,7.304163e-07,1.048932e-06,1.338330e-06,1.600533e-06,2.220904e-06,2.315589e-06,3.198957e-06,3.395630e-06,4.246979e-06,4.853956e-06,5.449903e-06,6.570286e-06,6.794268e-06,8.264612e-06,8.510466e-06,9.844470e-06,1.063673e-05,1.151689e-05,1.290993e-05,1.326470e-05,1.507070e-05,1.529052e-05,1.691787e-05,1.773938e-05,1.878963e-05,2.021880e-05,2.067008e-05,2.254430e-05,2.269355e-05,2.439854e-05,2.513184e-05,2.622048e-05,2.750611e-05,2.799926e-05,2.972563e-05,2.979348e-05,3.139190e-05,3.197581e-05,3.299190e-05,3.403958e-05,3.452091e-05,3.597551e-05,3.735351e-05,3.777807e-05,3.865373e-05,3.944490e-05,3.987592e-05,4.097626e-05,4.102057e-05,4.208883e-05,4.237447e-05,4.308235e-05,4.364342e-05,4.400318e-05,4.478819e-05,4.485371e-05,4.563651e-05,4.581462e-05,4.635437e-05,4.672905e-05,4.701012e-05,4.753812e-05,4.760668e-05,4.814698e-05,4.824855e-05,4.863393e-05,4.886700e-05,4.907037e-05,4.940001e-05,4.945911e-05,4.980286e-05,4.985386e-05,5.010425e-05,5.023461e-05,5.036580e-05,5.054799e-05,5.058993e-05,5.077898e-05,5.079941e-05,5.093515e-05,5.099399e-05,5.106055e-05,5.113651e-05,5.115719e-05,5.122697e-05,5.123145e-05,5.127169e-05,5.128296e-05,5.129307e-05,5.129492e-05,5.129272e-05,5.127216e-05,5.127094e-05,5.123284e-05,5.121436e-05,5.117611e-05,5.112825e-05,5.110326e-05,5.101549e-05,5.091394e-05,5.087871e-05,5.079968e-05,5.072035e-05,5.067372e-05,5.054266e-05,5.053700e-05,5.039040e-05,5.034770e-05,5.023478e-05,5.013740e-05,5.007090e-05,4.991349e-05,4.989952e-05,4.972130e-05,4.967759e-05,4.953692e-05,4.943119e-05,4.934696e-05,4.917564e-05,4.915200e-05,4.895258e-05,4.891220e-05,4.874918e-05,4.864201e-05,4.854229e-05,4.836611e-05,4.833232e-05,4.811970e-05,4.808546e-05,4.790481e-05,4.780096e-05,4.768799e-05,4.751338e-05,4.746959e-05,4.724991e-05,4.722348e-05,4.702924e-05,4.693191e-05,4.680785e-05,4.663927e-05,4.658600e-05,4.636390e-05,4.634613e-05,4.614179e-05,4.605298e-05,4.591985e-05,4.576028e-05,4.569829e-05,4.547727e-05,4.546844e-05,4.525694e-05,4.517783e-05,4.503747e-05,4.488878e-05,4.481898e-05,4.460160e-05,4.431657e-05,4.403391e-05,4.375385e-05,4.347657e-05,4.320226e-05,4.293105e-05,4.266308e-05,4.239846e-05,4.213729e-05,4.187966e-05,4.162562e-05,4.137525e-05,4.112859e-05,4.088567e-05,4.064653e-05,4.041117e-05,4.017963e-05,3.995189e-05,3.972795e-05,3.950782e-05,3.929147e-05,3.907889e-05,3.887006e-05,3.866495e-05
0.000000e+00,5.341493e-13,3.413427e-12,5.198681e-11,3.060961e-10,6.816959e-10,3.727747e-09,3.959783e-09,1.480563e-08,2.029693e-08,4.210524e-08,7.186106e-08,9.955747e-08,1.953709e-07,2.062656e-07,3.867130e-07,4.441039e-07,6.692999e-07,8.830989e-07,1.083126e-06,1.576515e-06,1.654031e-06,2.401417e-06,2.573220e-06,3.336675e-06,3.898670e-06,4.463169e-06,5.554692e-06,5.777216e-06,7.269505e-06,7.523957e-06,8.926551e-06,9.775728e-06,1.073198e-05,1.227097e-05,1.266760e-05,1.471417e-05,1.496629e-05,1.685213e-05,1.781676e-05,1.906206e-05,2.077812e-05,2.132512e-05,2.362341e-05,2.380828e-05,2.594017e-05,2.686856e-05,2.826006e-05,2.992447e-05,3.056921e-05,3.285534e-05,3.294615e-05,3.510776e-05,3.590858e-05,3.731735e-05,3.879145e-05,3.947647e-05,4.157887e-05,4.361961e-05,4.425898e-05,4.559488e-05,4.682337e-05,4.750189e-05,4.926664e-05,4.933876e-05,5.110435e-05,5.158586e-05,5.279820e-05,5.378008e-05,5.442038e-05,5.584994e-05,5.597142e-05,5.745221e-05,5.779727e-05,5.886393e-05,5.962485e-05,6.020801e-05,6.133610e-05,6.148603e-05,6.269974e-05,6.293492e-05,6.385096e-05,6.442552e-05,6.494158e-05,6.581230e-05,6.597355e-05,6.694882e-05,6.709973e-05,6.786934e-05,6.829232e-05,6.873708e-05,6.939456e-05,6.955396e-05,7.032188e-05,7.041083e-05,7.104272e-05,7.134544e-05,7.171829e-05,7.220255e-05,7.235039e-05,7.294074e-05,7.298622e-05,7.349105e-05,7.370033e-05,7.400295e-05,7.434863e-05,7.447802e-05,7.491782e-05,7.493469e-05,7.532381e-05,7.546197e-05,7.569745e-05,7.593375e-05,7.604011e-05,7.635314e-05,7.663783e-05,7.672315e-05,7.689542e-05,7.704661e-05,7.712711e-05,7.732623e-05,7.733405e-05,7.751735e-05,7.756458e-05,7.767807e-05,7.776410e-05,7.781725e-05,7.792710e-05,7.793586e-05,7.803485e-05,7.805579e-05,7.811514e-05,7.815226e-05,7.817759e-05,7.821846e-05,7.822305e-05,7.825231e-05,7.825629e-05,7.826616e-05,7.826751e-05,7.826533e-05,7.825381e-05,7.825053e-05,7.822244e-05,7.821676e-05,7.818172e-05,7.815788e-05,7.812900e-05,7.807858e-05,7.806487e-05,7.798991e-05,7.798021e-05,7.790467e-05,7.786405e-05,7.780969e-05,7.773129e-05,7.770546e-05,7.759248e-05,7.758308e-05,7.747121e-05,7.742048e-05,7.734209e-05,7.724451e-05,7.720556e-05,7.706201e-05,7.705613e-05,7.691185e-05,7.685624e-05,7.675544e-05,7.664570e-05,7.659315e-05,7.642532e-05,7.619585e-05,7.595802e-05,7.571250e-05,7.545993e-05,7.520093e-05,7.493605e-05,7.466583e-05,7.439079e-05,7.411139e-05,7.382810e-05,7.354132e-05,7.325147e-05,7.295891e-05,7.266400e-05,7.236708e-05,7.206846e-05,7.176842e-05,7.146726e-05,7.116522e-05,7.086256e-05,7.055951e-05,7.025627e-05,6.995306e-05,6.965006e-05
0.000000e+00,7.494340e-13,4.721961e-12,6.978722e-11,3.994055e-10,8.753409e-10,4.584070e-09,4.860556e-09,1.735569e-08,2.348299e-08,4.707925e-08,7.806112e-08,1.060657e-07,1.990312e-07,2.093191e-07,3.743470e-07,4.252584e-07,6.202971e-07,8.005378e-07,9.661623e-07,1.366106e-06,1.428077e-06,2.016677e-06,2.150048e-06,2.735641e-06,3.160221e-06,3.581833e-06,4.384759e-06,4.546619e-06,5.617715e-06,5.798022e-06,6.780951e-06,7.367712e-06,8.021631e-06,9.060251e-06,9.325380e-06,1.067858e-05,1.084367e-05,1.206848e-05,1.268857e-05,1.348318e-05,1.456801e-05,1.491145e-05,1.634270e-05,1.645702e-05,1.776679e-05,1.833226e-05,1.917412e-05,2.017189e-05,2.055559e-05,2.190267e-05,2.195572e-05,2.320753e-05,2.366556e-05,2.446311e-05,2.528554e-05,2.566318e-05,2.680245e-05,2.787660e-05,2.820600e-05,2.888228e-05,2.948885e-05,2.981713e-05,3.064664e-05,3.067975e-05,3.146961e-05,3.167775e-05,3.218701e-05,3.258308e-05,3.283299e-05,3.336563e-05,3.340920e-05,3.391786e-05,3.403017e-05,3.436160e-05,3.458285e-05,3.474343e-05,3.503082e-05,3.506662e-05,3.533462e-05,3.538190e-05,3.555098e-05,3.564427e-05,3.571929e-05,3.582617e-05,3.584314e-05,3.592603e-05,3.593572e-05,3.597139e-05,3.598079e-05,3.598248e-05,3.596881e-05,3.596246e-05,3.591427e-05,3.590673e-05,3.584071e-05,3.580097e-05,3.574436e-05,3.565740e-05,3.562765e-05,3.549281e-05,3.548130e-05,3.534188e-05,3.527743e-05,3.517675e-05,3.505003e-05,3.499913e-05,3.481060e-05,3.480286e-05,3.461257e-05,3.453921e-05,3.440633e-05,3.426199e-05,3.419303e-05,3.397372e-05,3.374934e-05,3.367661e-05,3.352074e-05,3.337257e-05,3.328867e-05,3.306326e-05,3.305382e-05,3.281679e-05,3.275011e-05,3.257813e-05,3.243435e-05,3.233832e-05,3.211706e-05,3.209780e-05,3.185695e-05,3.179913e-05,3.161612e-05,3.148137e-05,3.137561e-05,3.116446e-05,3.113571e-05,3.089665e-05,3.084896e-05,3.065865e-05,3.053537e-05,3.042191e-05,3.022414e-05,3.018659e-05,2.995285e-05,2.991561e-05,2.972082e-05,2.961010e-05,2.949063e-05,2.930787e-05,2.926237e-05,2.903614e-05,2.900914e-05,2.881202e-05,2.871410e-05,2.859008e-05,2.842290e-05,2.837038e-05,2.815296e-05,2.813567e-05,2.793789e-05,2.785252e-05,2.772518e-05,2.757352e-05,2.751488e-05,2.730702e-05,2.729875e-05,2.710160e-05,2.702825e-05,2.689865e-05,2.676206e-05,2.669818e-05,2.650020e-05,2.624267e-05,2.598949e-05,2.574064e-05,2.549611e-05,2.525587e-05,2.501990e-05,2.478816e-05,2.456062e-05,2.433723e-05,2.411795e-05,2.390273e-05,2.369152e-05,2.348427e-05,2.328091e-05,2.308139e-05,2.288566e-05,2.269365e-05,2.250530e-05,2.232055e-05,2.213934e-05,2.196161e-05,2.178730e-05,2.161633e-05,2.144866e-05
0.000000e+00,1.248017e-09,2.927663e-09,1.031225e-08,2.367553e-08,3.462081e-08,7.856159e-08,8.091440e-08,1.553538e-07,1.820255e-07,2.636303e-07,3.470631e-07,4.110592e-07,5.855553e-07,6.026138e-07,8.428088e-07,9.081260e-07,1.135289e-06,1.322760e-06,1.482075e-06,1.831963e-06,1.882832e-06,2.334833e-06,2.431016e-06,2.833709e-06,3.109964e-06,3.374350e-06,3.856894e-06,3.951465e-06,4.559778e-06,4.659654e-06,5.194072e-06,5.506246e-06,5.849195e-06,6.384876e-06,6.520071e-06,7.201743e-06,7.284039e-06,7.889419e-06,8.192711e-06,8.578531e-06,9.100568e-06,9.264794e-06,9.944249e-06,9.998201e-06,1.061330e-05,1.087728e-05,1.126874e-05,1.173063e-05,1.190776e-05,1.252795e-05,1.255233e-05,1.312730e-05,1.333764e-05,1.370417e-05,1.408293e-05,1.425727e-05,1.478565e-05,1.528864e-05,1.544416e-05,1.576584e-05,1.605763e-05,1.621709e-05,1.662590e-05,1.664242e-05,1.704205e-05,1.714939e-05,1.741635e-05,1.762896e-05,1.776580e-05,1.806586e-05,1.809100e-05,1.839263e-05,1.846159e-05,1.867141e-05,1.881784e-05,1.892814e-05,1.913646e-05,1.916363e-05,1.937874e-05,1.941939e-05,1.957431e-05,1.966858e-05,1.975122e-05,1.988603e-05,1.991033e-05,2.005248e-05,2.007371e-05,2.017852e-05,2.023354e-05,2.028928e-05,2.036742e-05,2.038556e-05,2.046814e-05,2.047717e-05,2.053778e-05,2.056452e-05,2.059523e-05,2.063116e-05,2.064117e-05,2.067631e-05,2.067867e-05,2.070129e-05,2.070858e-05,2.071674e-05,2.072230e-05,2.072326e-05,2.072143e-05,2.072119e-05,2.071180e-05,2.070652e-05,2.069489e-05,2.067949e-05,2.067120e-05,2.064121e-05,2.060537e-05,2.059273e-05,2.056410e-05,2.053504e-05,2.051782e-05,2.046904e-05,2.046692e-05,2.041175e-05,2.039559e-05,2.035267e-05,2.031548e-05,2.029000e-05,2.022945e-05,2.022406e-05,2.015514e-05,2.013819e-05,2.008352e-05,2.004232e-05,2.000945e-05,1.994245e-05,1.993319e-05,1.985496e-05,1.983910e-05,1.977499e-05,1.973279e-05,1.969348e-05,1.962397e-05,1.961063e-05,1.952662e-05,1.951308e-05,1.944162e-05,1.940051e-05,1.935578e-05,1.928661e-05,1.926926e-05,1.918220e-05,1.917173e-05,1.909474e-05,1.905615e-05,1.900698e-05,1.894017e-05,1.891906e-05,1.883107e-05,1.882403e-05,1.874312e-05,1.870797e-05,1.865529e-05,1.859218e-05,1.856768e-05,1.848036e-05,1.847687e-05,1.839341e-05,1.836221e-05,1.830689e-05,1.824835e-05,1.822088e-05,1.813542e-05,1.802356e-05,1.791287e-05,1.780346e-05,1.769541e-05,1.758879e-05,1.748368e-05,1.738014e-05,1.727820e-05,1.717792e-05,1.707932e-05,1.698244e-05,1.688730e-05,1.679391e-05,1.670229e-05,1.661244e-05,1.652438e-05,1.643808e-05,1.635356e-05,1.627081e-05,1.618981e-05,1.611056e-05,1.603303e-05,1.595722e-05,1.588310e-05
0.000000e+00,5.182332e-11,2.400638e-10,1.992773e-09,7.212286e-09,1.260186e-08,3.950904e-08,4.110906e-08,9.660720e-08,1.181518e-07,1.875709e-07,2.624974e-07,3.219506e-07,4.904275e-07,5.073035e-07,7.508057e-07,8.186445e-07,1.058964e-06,1.261742e-06,1.436795e-06,1.828776e-06,1.886525e-06,2.406612e-06,2.518679e-06,2.992067e-06,3.320044e-06,3.635873e-06,4.216173e-06,4.330388e-06,5.068057e-06,5.189599e-06,5.841618e-06,6.223613e-06,6.644074e-06,7.302282e-06,7.468648e-06,8.308782e-06,8.410341e-06,9.158172e-06,9.533282e-06,1.001084e-05,1.065760e-05,1.086118e-05,1.170407e-05,1.177103e-05,1.253484e-05,1.286282e-05,1.334940e-05,1.392381e-05,1.414417e-05,1.491612e-05,1.494649e-05,1.566276e-05,1.592495e-05,1.638207e-05,1.685478e-05,1.707250e-05,1.773293e-05,1.836261e-05,1.855754e-05,1.896113e-05,1.932774e-05,1.952834e-05,2.004352e-05,2.006437e-05,2.056954e-05,2.070552e-05,2.104434e-05,2.131490e-05,2.148941e-05,2.187328e-05,2.190552e-05,2.229350e-05,2.238253e-05,2.265427e-05,2.284477e-05,2.298878e-05,2.326222e-05,2.329803e-05,2.358303e-05,2.363722e-05,2.384482e-05,2.397210e-05,2.408439e-05,2.426923e-05,2.430279e-05,2.450100e-05,2.453090e-05,2.468000e-05,2.475938e-05,2.484076e-05,2.495686e-05,2.498421e-05,2.511126e-05,2.512545e-05,2.522278e-05,2.526715e-05,2.531961e-05,2.538388e-05,2.540257e-05,2.547242e-05,2.547747e-05,2.552993e-05,2.554963e-05,2.557580e-05,2.560202e-05,2.561074e-05,2.563539e-05,2.563617e-05,2.565037e-05,2.565352e-05,2.565629e-05,2.565544e-05,2.565372e-05,2.564320e-05,2.562525e-05,2.561802e-05,2.560036e-05,2.558101e-05,2.556900e-05,2.553321e-05,2.553160e-05,2.548860e-05,2.547561e-05,2.544040e-05,2.540913e-05,2.538736e-05,2.533461e-05,2.532986e-05,2.526823e-05,2.525286e-05,2.520280e-05,2.516461e-05,2.513386e-05,2.507054e-05,2.506172e-05,2.498665e-05,2.497130e-05,2.490890e-05,2.486749e-05,2.482871e-05,2.475964e-05,2.474632e-05,2.466195e-05,2.464828e-05,2.457580e-05,2.453387e-05,2.448806e-05,2.441685e-05,2.439892e-05,2.430855e-05,2.429763e-05,2.421710e-05,2.417657e-05,2.412474e-05,2.405402e-05,2.403160e-05,2.393783e-05,2.393030e-05,2.384353e-05,2.380570e-05,2.374884e-05,2.368048e-05,2.365386e-05,2.355870e-05,2.355490e-05,2.346346e-05,2.342917e-05,2.336822e-05,2.330350e-05,2.327307e-05,2.317809e-05,2.305309e-05,2.292868e-05,2.280498e-05,2.268213e-05,2.256025e-05,2.243943e-05,2.231978e-05,2.220137e-05,2.208429e-05,2.196859e-05,2.185433e-05,2.174158e-05,2.163036e-05,2.152071e-05,2.141268e-05,2.130628e-05,2.120154e-05,2.109848e-05,2.099710e-05,2.089742e-05,2.079945e-05,2.070318e-05,2.060862e-05,2.051577e-05
0.000000e+00,3.415247e-13,2.194584e-12,3.379388e-11,2.008354e-10,4.493838e-10,2.483147e-09,2.638664e-09,9.934334e-09,1.363466e-08,2.832180e-08,4.830047e-08,6.682244e-08,1.304039e-07,1.375923e-07,2.558211e-07,2.931968e-07,4.394006e-07,5.780955e-07,7.081511e-07,1.031288e-06,1.082425e-06,1.581259e-06,1.697445e-06,2.220566e-06,2.612538e-06,3.011853e-06,3.798897e-06,3.961636e-06,5.071511e-06,5.263814e-06,6.338645e-06,7.000925e-06,7.756482e-06,8.992932e-06,9.315488e-06,1.100385e-05,1.121452e-05,1.280809e-05,1.363491e-05,1.471353e-05,1.621988e-05,1.670475e-05,1.876592e-05,1.893335e-05,2.088108e-05,2.173873e-05,2.303448e-05,2.459993e-05,2.521071e-05,2.739502e-05,2.748236e-05,2.957342e-05,3.035366e-05,3.173290e-05,3.318440e-05,3.386152e-05,3.594851e-05,3.798433e-05,3.862359e-05,3.996069e-05,4.119106e-05,4.187056e-05,4.363606e-05,4.370812e-05,4.546872e-05,4.594739e-05,4.714883e-05,4.811716e-05,4.874591e-05,5.014052e-05,5.025838e-05,5.168548e-05,5.201527e-05,5.302721e-05,5.374149e-05,5.428418e-05,5.532114e-05,5.545759e-05,5.654909e-05,5.675774e-05,5.756073e-05,5.805599e-05,5.849486e-05,5.922151e-05,5.935407e-05,6.014114e-05,6.026058e-05,6.085901e-05,6.117988e-05,6.151067e-05,6.198639e-05,6.209918e-05,6.262761e-05,6.268713e-05,6.309901e-05,6.328914e-05,6.351640e-05,6.379931e-05,6.388273e-05,6.420090e-05,6.422436e-05,6.447372e-05,6.457076e-05,6.470390e-05,6.484471e-05,6.489407e-05,6.504674e-05,6.505211e-05,6.516433e-05,6.519852e-05,6.524914e-05,6.528921e-05,6.530337e-05,6.532910e-05,6.532834e-05,6.532281e-05,6.530297e-05,6.527464e-05,6.525477e-05,6.518859e-05,6.518543e-05,6.509656e-05,6.506839e-05,6.498967e-05,6.491748e-05,6.486618e-05,6.473905e-05,6.472742e-05,6.457467e-05,6.453606e-05,6.440911e-05,6.431123e-05,6.423186e-05,6.406705e-05,6.404398e-05,6.384643e-05,6.380585e-05,6.364016e-05,6.352973e-05,6.342602e-05,6.324066e-05,6.320483e-05,6.297734e-05,6.294041e-05,6.274428e-05,6.263062e-05,6.250630e-05,6.231280e-05,6.226403e-05,6.201804e-05,6.198830e-05,6.176889e-05,6.165839e-05,6.151707e-05,6.132419e-05,6.126305e-05,6.100728e-05,6.098675e-05,6.075016e-05,6.064702e-05,6.049207e-05,6.030584e-05,6.023335e-05,5.997435e-05,5.996399e-05,5.971536e-05,5.962218e-05,5.945666e-05,5.928104e-05,5.919850e-05,5.894114e-05,5.860300e-05,5.826707e-05,5.793377e-05,5.760347e-05,5.727649e-05,5.695311e-05,5.663360e-05,5.631817e-05,5.600702e-05,5.570031e-05,5.539818e-05,5.510076e-05,5.480814e-05,5.452040e-05,5.423762e-05,5.395982e-05,5.368706e-05,5.341935e-05,5.315669e-05,5.289910e-05,5.264656e-05,5.239905e-05,5.215654e-05,5.191901e-05
0.000000e+00,1.879471e-09,4.473404e-09,1.602122e-08,3.715367e-08,5.460595e-08,1.256871e-07,1.295353e-07,2.533137e-07,2.985754e-07,4.398034e-07,5.880171e-07,7.038773e-07,1.026166e-06,1.057971e-06,1.506089e-06,1.627144e-06,2.042690e-06,2.378306e-06,2.658310e-06,3.258321e-06,3.344054e-06,4.092404e-06,4.248988e-06,4.896624e-06,5.334722e-06,5.750146e-06,6.500290e-06,6.646242e-06,7.577933e-06,7.729828e-06,8.538028e-06,9.006827e-06,9.519259e-06,1.031463e-05,1.051444e-05,1.151663e-05,1.163705e-05,1.251929e-05,1.295902e-05,1.351631e-05,1.426687e-05,1.450219e-05,1.547208e-05,1.554885e-05,1.642179e-05,1.679521e-05,1.734776e-05,1.799810e-05,1.824707e-05,1.911738e-05,1.915156e-05,1.995690e-05,2.025133e-05,2.076433e-05,2.129458e-05,2.153878e-05,2.227977e-05,2.298711e-05,2.320636e-05,2.366090e-05,2.407467e-05,2.430148e-05,2.488567e-05,2.490936e-05,2.548520e-05,2.564079e-05,2.602978e-05,2.634188e-05,2.654397e-05,2.699100e-05,2.702872e-05,2.748502e-05,2.759040e-05,2.791387e-05,2.814244e-05,2.831633e-05,2.864949e-05,2.869343e-05,2.904622e-05,2.911394e-05,2.937571e-05,2.953818e-05,2.968292e-05,2.992449e-05,2.996885e-05,3.023445e-05,3.027512e-05,3.048067e-05,3.059224e-05,3.070842e-05,3.087791e-05,3.091857e-05,3.111198e-05,3.113411e-05,3.128947e-05,3.136272e-05,3.145181e-05,3.156553e-05,3.159976e-05,3.173405e-05,3.174423e-05,3.185538e-05,3.190043e-05,3.196440e-05,3.203563e-05,3.206175e-05,3.214803e-05,3.215126e-05,3.222384e-05,3.224867e-05,3.228972e-05,3.232912e-05,3.234620e-05,3.239380e-05,3.243298e-05,3.244381e-05,3.246420e-05,3.248022e-05,3.248792e-05,3.250401e-05,3.250454e-05,3.251446e-05,3.251609e-05,3.251806e-05,3.251734e-05,3.251570e-05,3.250856e-05,3.250772e-05,3.249446e-05,3.249052e-05,3.247621e-05,3.246393e-05,3.245329e-05,3.242946e-05,3.242596e-05,3.239450e-05,3.238773e-05,3.235916e-05,3.233933e-05,3.232018e-05,3.228480e-05,3.227780e-05,3.223223e-05,3.222466e-05,3.218368e-05,3.215938e-05,3.213235e-05,3.208941e-05,3.207843e-05,3.202210e-05,3.201518e-05,3.196352e-05,3.193707e-05,3.190285e-05,3.185545e-05,3.184026e-05,3.177588e-05,3.177066e-05,3.170986e-05,3.168302e-05,3.164232e-05,3.159283e-05,3.157339e-05,3.150319e-05,3.150036e-05,3.143183e-05,3.140588e-05,3.135942e-05,3.130962e-05,3.128605e-05,3.121182e-05,3.111268e-05,3.101240e-05,3.091117e-05,3.080914e-05,3.070649e-05,3.060335e-05,3.049987e-05,3.039617e-05,3.029237e-05,3.018858e-05,3.008489e-05,2.998141e-05,2.987822e-05,2.977540e-05,2.967303e-05,2.957117e-05,2.946989e-05,2.936924e-05,2.926927e-05,2.917005e-05,2.907160e-05,2.897397e-05,2.887720e-05,2.878132e-05
0.000000e+00,1.249800e-09,3.960317e-09,1.927840e-08,5.162422e-08,8.010824e-08,2.037965e-07,2.107291e-07,4.420835e-07,5.299077e-07,8.122577e-07,1.119204e-06,1.364724e-06,2.062564e-06,2.132043e-06,3.110273e-06,3.372620e-06,4.262757e-06,4.968888e-06,5.549344e-06,6.768442e-06,6.940054e-06,8.413196e-06,8.716135e-06,9.951256e-06,1.077143e-05,1.153844e-05,1.289860e-05,1.315969e-05,1.480048e-05,1.506388e-05,1.644699e-05,1.723552e-05,1.808635e-05,1.938483e-05,1.970693e-05,2.129847e-05,2.148707e-05,2.285224e-05,2.352201e-05,2.436101e-05,2.547396e-05,2.581898e-05,2.722169e-05,2.733141e-05,2.856592e-05,2.908672e-05,2.984952e-05,3.073545e-05,3.107126e-05,3.223071e-05,3.227579e-05,3.332806e-05,3.370803e-05,3.436403e-05,3.503400e-05,3.533976e-05,3.625673e-05,3.711662e-05,3.738004e-05,3.792134e-05,3.840832e-05,3.867288e-05,3.934628e-05,3.937334e-05,4.002486e-05,4.019880e-05,4.062956e-05,4.097081e-05,4.118959e-05,4.166718e-05,4.170706e-05,4.218402e-05,4.229269e-05,4.262249e-05,4.285196e-05,4.302443e-05,4.334943e-05,4.339174e-05,4.372623e-05,4.378935e-05,4.402967e-05,4.417576e-05,4.430375e-05,4.451247e-05,4.455009e-05,4.477023e-05,4.480312e-05,4.496566e-05,4.505111e-05,4.513779e-05,4.525963e-05,4.528798e-05,4.541750e-05,4.543171e-05,4.552758e-05,4.557016e-05,4.561939e-05,4.567763e-05,4.569403e-05,4.575257e-05,4.575658e-05,4.579599e-05,4.580934e-05,4.582525e-05,4.583805e-05,4.584124e-05,4.584483e-05,4.584473e-05,4.583683e-05,4.583126e-05,4.581800e-05,4.579938e-05,4.578906e-05,4.575071e-05,4.570361e-05,4.568678e-05,4.564836e-05,4.560899e-05,4.558555e-05,4.551865e-05,4.551573e-05,4.543943e-05,4.541697e-05,4.535714e-05,4.530509e-05,4.526933e-05,4.518403e-05,4.517642e-05,4.507885e-05,4.505479e-05,4.497701e-05,4.491824e-05,4.487125e-05,4.477524e-05,4.476194e-05,4.464940e-05,4.462654e-05,4.453395e-05,4.447285e-05,4.441586e-05,4.431485e-05,4.429543e-05,4.417290e-05,4.415312e-05,4.404853e-05,4.398824e-05,4.392254e-05,4.382073e-05,4.379514e-05,4.366655e-05,4.365105e-05,4.353695e-05,4.347965e-05,4.340651e-05,4.330693e-05,4.327541e-05,4.314380e-05,4.313326e-05,4.301184e-05,4.295898e-05,4.287965e-05,4.278441e-05,4.274737e-05,4.261511e-05,4.260983e-05,4.248300e-05,4.243549e-05,4.235113e-05,4.226165e-05,4.221961e-05,4.208852e-05,4.191628e-05,4.174513e-05,4.157523e-05,4.140672e-05,4.123973e-05,4.107439e-05,4.091080e-05,4.074905e-05,4.058923e-05,4.043141e-05,4.027567e-05,4.012204e-05,3.997059e-05,3.982135e-05,3.967436e-05,3.952964e-05,3.938723e-05,3.924713e-05,3.910935e-05,3.897392e-05,3.884082e-05,3.871007e-05,3.858166e-05,3.845558e-05
0.000000e+00,4.220194e-14,2.866903e-13,4.959028e-12,3.279537e-11,7.784277e-11,5.014531e-10,5.362081e-10,2.353257e-09,3.367526e-09,7.769357e-09,1.442298e-08,2.108593e-08,4.652330e-08,4.960098e-08,1.046426e-07,1.235038e-07,2.026547e-07,2.844650e-07,3.662747e-07,5.880164e-07,6.253105e-07,1.017472e-06,1.115777e-06,1.588695e-06,1.974106e-06,2.392935e-06,3.293165e-06,3.491400e-06,4.951279e-06,5.223133e-06,6.844086e-06,7.928079e-06,9.243750e-06,1.157839e-05,1.222458e-05,1.585921e-05,1.634263e-05,2.021668e-05,2.237958e-05,2.536057e-05,2.983100e-05,3.134747e-05,3.822560e-05,3.881558e-05,4.603375e-05,4.942417e-05,5.480049e-05,6.171655e-05,6.454366e-05,7.527012e-05,7.571961e-05,8.697576e-05,9.142696e-05,9.964575e-05,1.087998e-04,1.132550e-04,1.277687e-04,1.431432e-04,1.482366e-04,1.593269e-04,1.700822e-04,1.762610e-04,1.931638e-04,1.938809e-04,2.121169e-04,2.173234e-04,2.308954e-04,2.423912e-04,2.501399e-04,2.681893e-04,2.697723e-04,2.897133e-04,2.945363e-04,3.098838e-04,3.212503e-04,3.302055e-04,3.481526e-04,3.506016e-04,3.709976e-04,3.750704e-04,3.913218e-04,4.018392e-04,4.115059e-04,4.283048e-04,4.314852e-04,4.511993e-04,4.543251e-04,4.705920e-04,4.797708e-04,4.896113e-04,5.045263e-04,5.082104e-04,5.263466e-04,5.284900e-04,5.439823e-04,5.515746e-04,5.610841e-04,5.737067e-04,5.776235e-04,5.935761e-04,5.948264e-04,6.089220e-04,6.148868e-04,6.236452e-04,6.338533e-04,6.377334e-04,6.511783e-04,6.517026e-04,6.639745e-04,6.684220e-04,6.761203e-04,6.840081e-04,6.876164e-04,6.984664e-04,7.086764e-04,7.118097e-04,7.182545e-04,7.240576e-04,7.272110e-04,7.352352e-04,7.355575e-04,7.433077e-04,7.453728e-04,7.504761e-04,7.545044e-04,7.570785e-04,7.626674e-04,7.631319e-04,7.686536e-04,7.699017e-04,7.736619e-04,7.762491e-04,7.781752e-04,7.817527e-04,7.822127e-04,7.857933e-04,7.864562e-04,7.889363e-04,7.904041e-04,7.916610e-04,7.936405e-04,7.939865e-04,7.959319e-04,7.962091e-04,7.975158e-04,7.981531e-04,7.987567e-04,7.995146e-04,7.996727e-04,8.002815e-04,8.003347e-04,8.006002e-04,8.006529e-04,8.006458e-04,8.005076e-04,8.004343e-04,7.999816e-04,7.999355e-04,7.993029e-04,7.989715e-04,7.984129e-04,7.976491e-04,7.973255e-04,7.960545e-04,7.960000e-04,7.946127e-04,7.940543e-04,7.930127e-04,7.918403e-04,7.912662e-04,7.893847e-04,7.867125e-04,7.838472e-04,7.808108e-04,7.776237e-04,7.743049e-04,7.708720e-04,7.673416e-04,7.637286e-04,7.600470e-04,7.563098e-04,7.525287e-04,7.487146e-04,7.448773e-04,7.410260e-04,7.371689e-04,7.333135e-04,7.294667e-04,7.256346e-04,7.218227e-04,7.180362e-04,7.142794e-04,7.105564e-04,7.068707e-04,7.032256e-04
0.000000e+00,1.187052e-13,8.062752e-13,1.394404e-11,9.223136e-11,2.189806e-10,1.412833e-09,1.510895e-09,6.652117e-09,9.530818e-09,2.207321e-08,4.113900e-08,6.032460e-08,1.341330e-07,1.431079e-07,3.045993e-07,3.602279e-07,5.944839e-07,8.372425e-07,1.080107e-06,1.737195e-06,1.847435e-06,3.000806e-06,3.288209e-06,4.661588e-06,5.770409e-06,6.965924e-06,9.506872e-06,1.006176e-05,1.410533e-05,1.485096e-05,1.925728e-05,2.217129e-05,2.567864e-05,3.183566e-05,3.352676e-05,4.295139e-05,4.419500e-05,5.409105e-05,5.956838e-05,6.706979e-05,7.823003e-05,8.199442e-05,9.895225e-05,1.003988e-04,1.180095e-04,1.262308e-04,1.392101e-04,1.558145e-04,1.625753e-04,1.881038e-04,1.891696e-04,2.157718e-04,2.262481e-04,2.455347e-04,2.669377e-04,2.773276e-04,3.110675e-04,3.466550e-04,3.584149e-04,3.839760e-04,4.087133e-04,4.229042e-04,4.616608e-04,4.633032e-04,5.050282e-04,5.169284e-04,5.479287e-04,5.741689e-04,5.918499e-04,6.330244e-04,6.366353e-04,6.821276e-04,6.931335e-04,7.281709e-04,7.541385e-04,7.746119e-04,8.156904e-04,8.213014e-04,8.680950e-04,8.774539e-04,9.148542e-04,9.391114e-04,9.614474e-04,1.000366e-03,1.007750e-03,1.053646e-03,1.060944e-03,1.099026e-03,1.120595e-03,1.143790e-03,1.179096e-03,1.187846e-03,1.231112e-03,1.236247e-03,1.273512e-03,1.291876e-03,1.314979e-03,1.345835e-03,1.355456e-03,1.394890e-03,1.397998e-03,1.433238e-03,1.448265e-03,1.470464e-03,1.496555e-03,1.506539e-03,1.541438e-03,1.542809e-03,1.575144e-03,1.586983e-03,1.607645e-03,1.629054e-03,1.638935e-03,1.669011e-03,1.697876e-03,1.706857e-03,1.725535e-03,1.742609e-03,1.751999e-03,1.776291e-03,1.777280e-03,1.801395e-03,1.807940e-03,1.824360e-03,1.837597e-03,1.846198e-03,1.865312e-03,1.866930e-03,1.886581e-03,1.891139e-03,1.905176e-03,1.915137e-03,1.922741e-03,1.937369e-03,1.939305e-03,1.954895e-03,1.957899e-03,1.969541e-03,1.976794e-03,1.983272e-03,1.994121e-03,1.996118e-03,2.008108e-03,2.009949e-03,2.019272e-03,2.024345e-03,2.029639e-03,2.037379e-03,2.039239e-03,2.048101e-03,2.049116e-03,2.056253e-03,2.059622e-03,2.063724e-03,2.068963e-03,2.070541e-03,2.076731e-03,2.077200e-03,2.082321e-03,2.084395e-03,2.087337e-03,2.090608e-03,2.091804e-03,2.095747e-03,2.095894e-03,2.099189e-03,2.100310e-03,2.102153e-03,2.103908e-03,2.104663e-03,2.106739e-03,2.108851e-03,2.110292e-03,2.111104e-03,2.111330e-03,2.111011e-03,2.110183e-03,2.108884e-03,2.107147e-03,2.105005e-03,2.102488e-03,2.099626e-03,2.096445e-03,2.092971e-03,2.089229e-03,2.085241e-03,2.081029e-03,2.076613e-03,2.072011e-03,2.067242e-03,2.062323e-03,2.057269e-03,2.052094e-03,2.046813e-03,2.041438e-03
0.000000e+00,8.767693e-10,2.794966e-09,1.368255e-08,3.663498e-08,5.674047e-08,1.427336e-07,1.474910e-07,3.027891e-07,3.601457e-07,5.396484e-07,7.281072e-07,8.752951e-07,1.284698e-06,1.325155e-06,1.897418e-06,2.052752e-06,2.587594e-06,3.020180e-06,3.380593e-06,4.148961e-06,4.258153e-06,5.203340e-06,5.399149e-06,6.201210e-06,6.736392e-06,7.238246e-06,8.130450e-06,8.301944e-06,9.380690e-06,9.553959e-06,1.046382e-05,1.098243e-05,1.154176e-05,1.239469e-05,1.260611e-05,1.364969e-05,1.377323e-05,1.466658e-05,1.510428e-05,1.565199e-05,1.637754e-05,1.660222e-05,1.751456e-05,1.758585e-05,1.838711e-05,1.872471e-05,1.921871e-05,1.979177e-05,2.000879e-05,2.075729e-05,2.078636e-05,2.146452e-05,2.170913e-05,2.213113e-05,2.256166e-05,2.275800e-05,2.334622e-05,2.389697e-05,2.406550e-05,2.441155e-05,2.472253e-05,2.489133e-05,2.532048e-05,2.533771e-05,2.575210e-05,2.586259e-05,2.613593e-05,2.635215e-05,2.649060e-05,2.679233e-05,2.681750e-05,2.711796e-05,2.718629e-05,2.739333e-05,2.753704e-05,2.764486e-05,2.784749e-05,2.787381e-05,2.808136e-05,2.812041e-05,2.826866e-05,2.835843e-05,2.843682e-05,2.856406e-05,2.858690e-05,2.871991e-05,2.873968e-05,2.883683e-05,2.888750e-05,2.893858e-05,2.900965e-05,2.902605e-05,2.910008e-05,2.910810e-05,2.916149e-05,2.918471e-05,2.921105e-05,2.924123e-05,2.924947e-05,2.927747e-05,2.927928e-05,2.929570e-05,2.930040e-05,2.930479e-05,2.930601e-05,2.930534e-05,2.929791e-05,2.929746e-05,2.928305e-05,2.927598e-05,2.926126e-05,2.924274e-05,2.923303e-05,2.919881e-05,2.915905e-05,2.914521e-05,2.911414e-05,2.908288e-05,2.906448e-05,2.901267e-05,2.901043e-05,2.895235e-05,2.893541e-05,2.889056e-05,2.885184e-05,2.882537e-05,2.876265e-05,2.875707e-05,2.868595e-05,2.866849e-05,2.861225e-05,2.856995e-05,2.853623e-05,2.846759e-05,2.845811e-05,2.837812e-05,2.836192e-05,2.829646e-05,2.825340e-05,2.821332e-05,2.814248e-05,2.812889e-05,2.804332e-05,2.802954e-05,2.795680e-05,2.791496e-05,2.786945e-05,2.779908e-05,2.778143e-05,2.769287e-05,2.768221e-05,2.760389e-05,2.756463e-05,2.751460e-05,2.744660e-05,2.742511e-05,2.733554e-05,2.732837e-05,2.724596e-05,2.721014e-05,2.715646e-05,2.709213e-05,2.706714e-05,2.697806e-05,2.697450e-05,2.688930e-05,2.685744e-05,2.680092e-05,2.674107e-05,2.671298e-05,2.662554e-05,2.651098e-05,2.639748e-05,2.628515e-05,2.617407e-05,2.606432e-05,2.595596e-05,2.584907e-05,2.574368e-05,2.563985e-05,2.553761e-05,2.543700e-05,2.533803e-05,2.524074e-05,2.514514e-05,2.505125e-05,2.495906e-05,2.486859e-05,2.477983e-05,2.469280e-05,2.460747e-05,2.452385e-05,2.444192e-05,2.436168e-05,2.428312e-05
0.000000e+00,3.631840e-13,2.345181e-12,3.660476e-11,2.216284e-10,5.028333e-10,2.927264e-09,3.119039e-09,1.275716e-08,1.801102e-08,4.056889e-08,7.442638e-08,1.081219e-07,2.340845e-07,2.489969e-07,5.036536e-07,5.860616e-07,9.095184e-07,1.213017e-06,1.492127e-06,2.158857e-06,2.260850e-06,3.209288e-06,3.419054e-06,4.318620e-06,4.950361e-06,5.562064e-06,6.687902e-06,6.909101e-06,8.328768e-06,8.560666e-06,9.791881e-06,1.050179e-05,1.127227e-05,1.245370e-05,1.274731e-05,1.419794e-05,1.436960e-05,1.560850e-05,1.621310e-05,1.696636e-05,1.795691e-05,1.826162e-05,1.948677e-05,1.958158e-05,2.063642e-05,2.107431e-05,2.170708e-05,2.242795e-05,2.269690e-05,2.360549e-05,2.364015e-05,2.443371e-05,2.471253e-05,2.518347e-05,2.564989e-05,2.585756e-05,2.645947e-05,2.699317e-05,2.715025e-05,2.746299e-05,2.773224e-05,2.787346e-05,2.821594e-05,2.822918e-05,2.853472e-05,2.861188e-05,2.879452e-05,2.893024e-05,2.901286e-05,2.918057e-05,2.919376e-05,2.934098e-05,2.937170e-05,2.945801e-05,2.951155e-05,2.954802e-05,2.960719e-05,2.961392e-05,2.965831e-05,2.966482e-05,2.968355e-05,2.968981e-05,2.969174e-05,2.968681e-05,2.968474e-05,2.966422e-05,2.965978e-05,2.963165e-05,2.961212e-05,2.958833e-05,2.954671e-05,2.953541e-05,2.947392e-05,2.946601e-05,2.940476e-05,2.937211e-05,2.932874e-05,2.926681e-05,2.924656e-05,2.915886e-05,2.915162e-05,2.906621e-05,2.902788e-05,2.896911e-05,2.889670e-05,2.886802e-05,2.876335e-05,2.875910e-05,2.865548e-05,2.861592e-05,2.854472e-05,2.846793e-05,2.843140e-05,2.831580e-05,2.819815e-05,2.816011e-05,2.807870e-05,2.800141e-05,2.795766e-05,2.784016e-05,2.783524e-05,2.771160e-05,2.767679e-05,2.758693e-05,2.751169e-05,2.746138e-05,2.734521e-05,2.733509e-05,2.720819e-05,2.717766e-05,2.708082e-05,2.700932e-05,2.695308e-05,2.684046e-05,2.682509e-05,2.669694e-05,2.667130e-05,2.656873e-05,2.650206e-05,2.644054e-05,2.633294e-05,2.631246e-05,2.618456e-05,2.616412e-05,2.605691e-05,2.599575e-05,2.592958e-05,2.582799e-05,2.580263e-05,2.567611e-05,2.566096e-05,2.555009e-05,2.549480e-05,2.542460e-05,2.532961e-05,2.529969e-05,2.517541e-05,2.516549e-05,2.505179e-05,2.500254e-05,2.492888e-05,2.484083e-05,2.480670e-05,2.468529e-05,2.468045e-05,2.456468e-05,2.452145e-05,2.444488e-05,2.436391e-05,2.432594e-05,2.420786e-05,2.405337e-05,2.390047e-05,2.374920e-05,2.359960e-05,2.345168e-05,2.330549e-05,2.316103e-05,2.301833e-05,2.287740e-05,2.273825e-05,2.260089e-05,2.246532e-05,2.233155e-05,2.219959e-05,2.206943e-05,2.194106e-05,2.181449e-05,2.168971e-05,2.156672e-05,2.144550e-05,2.132604e-05,2.120834e-05,2.109238e-05,2.097815e-05
0.000000e+00,6.463829e-14,4.408731e-13,7.693576e-12,5.133617e-11,1.225055e-10,8.017087e-10,8.578835e-10,3.838679e-09,5.526387e-09,1.296613e-08,2.444443e-08,3.613062e-08,8.187955e-08,8.750562e-08,1.902438e-07,2.261300e-07,3.791182e-07,5.399839e-07,7.026334e-07,1.148808e-06,1.224353e-06,2.023399e-06,2.224534e-06,3.194171e-06,3.985440e-06,4.845392e-06,6.692278e-06,7.098579e-06,1.008602e-05,1.064146e-05,1.394840e-05,1.615596e-05,1.883211e-05,2.357474e-05,2.488645e-05,3.226065e-05,3.324125e-05,4.110100e-05,4.549170e-05,5.154798e-05,6.064386e-05,6.373369e-05,7.777935e-05,7.898670e-05,9.379327e-05,1.007714e-04,1.118690e-04,1.262042e-04,1.320838e-04,1.544980e-04,1.554410e-04,1.791537e-04,1.885837e-04,2.060748e-04,2.256788e-04,2.352670e-04,2.667178e-04,3.003976e-04,3.116387e-04,3.362597e-04,3.603288e-04,3.742423e-04,4.126296e-04,4.142689e-04,4.562498e-04,4.683412e-04,5.000839e-04,5.272279e-04,5.456596e-04,5.890240e-04,5.928564e-04,6.415469e-04,6.534401e-04,6.915974e-04,7.201685e-04,7.428701e-04,7.888892e-04,7.952240e-04,8.485165e-04,8.592750e-04,9.026042e-04,9.309966e-04,9.573444e-04,1.003727e-03,1.012596e-03,1.068220e-03,1.077146e-03,1.124082e-03,1.150941e-03,1.180050e-03,1.224815e-03,1.235997e-03,1.291801e-03,1.298483e-03,1.347348e-03,1.371678e-03,1.402526e-03,1.444152e-03,1.457233e-03,1.511370e-03,1.515674e-03,1.564847e-03,1.586034e-03,1.617580e-03,1.655044e-03,1.669492e-03,1.720510e-03,1.722532e-03,1.770572e-03,1.788348e-03,1.819618e-03,1.852363e-03,1.867597e-03,1.914463e-03,1.960176e-03,1.974555e-03,2.004701e-03,2.032560e-03,2.048010e-03,2.088419e-03,2.090077e-03,2.130885e-03,2.142084e-03,2.170419e-03,2.193523e-03,2.208668e-03,2.242716e-03,2.245625e-03,2.281289e-03,2.289656e-03,2.315660e-03,2.334345e-03,2.348743e-03,2.376795e-03,2.380544e-03,2.411074e-03,2.417028e-03,2.440344e-03,2.455072e-03,2.468370e-03,2.490962e-03,2.495167e-03,2.520755e-03,2.524739e-03,2.545154e-03,2.556449e-03,2.568385e-03,2.586143e-03,2.590470e-03,2.611433e-03,2.613875e-03,2.631301e-03,2.639701e-03,2.650097e-03,2.663681e-03,2.667847e-03,2.684580e-03,2.685876e-03,2.700322e-03,2.706347e-03,2.715100e-03,2.725159e-03,2.728942e-03,2.741876e-03,2.742374e-03,2.753929e-03,2.758057e-03,2.765128e-03,2.772271e-03,2.775502e-03,2.785078e-03,2.796542e-03,2.806723e-03,2.815681e-03,2.823476e-03,2.830165e-03,2.835804e-03,2.840448e-03,2.844149e-03,2.846959e-03,2.848926e-03,2.850100e-03,2.850525e-03,2.850246e-03,2.849305e-03,2.847743e-03,2.845599e-03,2.842911e-03,2.839714e-03,2.836042e-03,2.831928e-03,2.827403e-03,2.822496e-03,2.817236e-03,2.811649e-03
0.000000e+00,5.271760e-14,3.547273e-13,6.018736e-12,3.916180e-11,9.220031e-11,5.837077e-10,6.238076e-10,2.711228e-09,3.875701e-09,8.949007e-09,1.668682e-08,2.450964e-08,5.486630e-08,5.857880e-08,1.258052e-07,1.490691e-07,2.471892e-07,3.487655e-07,4.500505e-07,7.218652e-07,7.671324e-07,1.235127e-06,1.350239e-06,1.892928e-06,2.323080e-06,2.779856e-06,3.729876e-06,3.933995e-06,5.390749e-06,5.654082e-06,7.181630e-06,8.167970e-06,9.333304e-06,1.132880e-05,1.186688e-05,1.479743e-05,1.517625e-05,1.813369e-05,1.973101e-05,2.187801e-05,2.499438e-05,2.602641e-05,3.056882e-05,3.094879e-05,3.548944e-05,3.755904e-05,4.076725e-05,4.477417e-05,4.637652e-05,5.228749e-05,5.252974e-05,5.846701e-05,6.075056e-05,6.487930e-05,6.935339e-05,7.148657e-05,7.824983e-05,8.512946e-05,8.734904e-05,9.208589e-05,9.656026e-05,9.908014e-05,1.057951e-04,1.060744e-04,1.130323e-04,1.149693e-04,1.199196e-04,1.240046e-04,1.267041e-04,1.328297e-04,1.333564e-04,1.398493e-04,1.413811e-04,1.461588e-04,1.496039e-04,1.522635e-04,1.574515e-04,1.581449e-04,1.637874e-04,1.648860e-04,1.691780e-04,1.718780e-04,1.743064e-04,1.784058e-04,1.791648e-04,1.837477e-04,1.844551e-04,1.880518e-04,1.900182e-04,1.920758e-04,1.950937e-04,1.958203e-04,1.992875e-04,1.996851e-04,2.024811e-04,2.038009e-04,2.054061e-04,2.074531e-04,2.080685e-04,2.104753e-04,2.106570e-04,2.126344e-04,2.134306e-04,2.145543e-04,2.157936e-04,2.162440e-04,2.177130e-04,2.177673e-04,2.189710e-04,2.193741e-04,2.200278e-04,2.206367e-04,2.208936e-04,2.215782e-04,2.220918e-04,2.222216e-04,2.224441e-04,2.225894e-04,2.226449e-04,2.227038e-04,2.227036e-04,2.226294e-04,2.225861e-04,2.224314e-04,2.222568e-04,2.221183e-04,2.217356e-04,2.216982e-04,2.211793e-04,2.210409e-04,2.205692e-04,2.201904e-04,2.198752e-04,2.192006e-04,2.191043e-04,2.182631e-04,2.180870e-04,2.173578e-04,2.168638e-04,2.163945e-04,2.155444e-04,2.153786e-04,2.143154e-04,2.141413e-04,2.132099e-04,2.126656e-04,2.120667e-04,2.111280e-04,2.108902e-04,2.096843e-04,2.095379e-04,2.084530e-04,2.079041e-04,2.071998e-04,2.062346e-04,2.059279e-04,2.046404e-04,2.045368e-04,2.033401e-04,2.028171e-04,2.020298e-04,2.010815e-04,2.007118e-04,1.993884e-04,1.993353e-04,1.980616e-04,1.975834e-04,1.967333e-04,1.958301e-04,1.954053e-04,1.940792e-04,1.923341e-04,1.905980e-04,1.888734e-04,1.871628e-04,1.854683e-04,1.837916e-04,1.821344e-04,1.804980e-04,1.788836e-04,1.772921e-04,1.757244e-04,1.741811e-04,1.726629e-04,1.711701e-04,1.697030e-04,1.682619e-04,1.668470e-04,1.654583e-04,1.640957e-04,1.627594e-04,1.614491e-04,1.601647e-04,1.589060e-04,1.576728e-04
0.000000e+00,1.522462e-09,3.496625e-09,1.201789e-08,2.723689e-08,3.962591e-08,8.914173e-08,9.178996e-08,1.757083e-07,2.058920e-07,2.987689e-07,3.946198e-07,4.687464e-07,6.730993e-07,6.932113e-07,9.773416e-07,1.054515e-06,1.320774e-06,1.536739e-06,1.716985e-06,2.101742e-06,2.156439e-06,2.629791e-06,2.727800e-06,3.129014e-06,3.396521e-06,3.647248e-06,4.092807e-06,4.178433e-06,4.717025e-06,4.803538e-06,5.257875e-06,5.516869e-06,5.796208e-06,6.222101e-06,6.327640e-06,6.848227e-06,6.909799e-06,7.354506e-06,7.571956e-06,7.843521e-06,8.202106e-06,8.312832e-06,8.760507e-06,8.795339e-06,9.185097e-06,9.348231e-06,9.585602e-06,9.858703e-06,9.961425e-06,1.031233e-05,1.032584e-05,1.063838e-05,1.074972e-05,1.093990e-05,1.113118e-05,1.121741e-05,1.147162e-05,1.170333e-05,1.177288e-05,1.191348e-05,1.203711e-05,1.210305e-05,1.226662e-05,1.227305e-05,1.242455e-05,1.246379e-05,1.255859e-05,1.263106e-05,1.267621e-05,1.277081e-05,1.277844e-05,1.286628e-05,1.288533e-05,1.294069e-05,1.297685e-05,1.300261e-05,1.304746e-05,1.305291e-05,1.309245e-05,1.309913e-05,1.312200e-05,1.313368e-05,1.314234e-05,1.315283e-05,1.315418e-05,1.315817e-05,1.315813e-05,1.315496e-05,1.315103e-05,1.314513e-05,1.313287e-05,1.312923e-05,1.310778e-05,1.310486e-05,1.308126e-05,1.306811e-05,1.305012e-05,1.302362e-05,1.301478e-05,1.297563e-05,1.297234e-05,1.293303e-05,1.291510e-05,1.288732e-05,1.285266e-05,1.283881e-05,1.278780e-05,1.278571e-05,1.273456e-05,1.271489e-05,1.267933e-05,1.264076e-05,1.262235e-05,1.256383e-05,1.250398e-05,1.248457e-05,1.244297e-05,1.240340e-05,1.238098e-05,1.232070e-05,1.231817e-05,1.225467e-05,1.223679e-05,1.219063e-05,1.215200e-05,1.212617e-05,1.206659e-05,1.206140e-05,1.199642e-05,1.198081e-05,1.193133e-05,1.189487e-05,1.186623e-05,1.180898e-05,1.180118e-05,1.173627e-05,1.172331e-05,1.167156e-05,1.163802e-05,1.160712e-05,1.155323e-05,1.154300e-05,1.147925e-05,1.146908e-05,1.141591e-05,1.138567e-05,1.135304e-05,1.130310e-05,1.129067e-05,1.122883e-05,1.122144e-05,1.116755e-05,1.114078e-05,1.110687e-05,1.106116e-05,1.104680e-05,1.098737e-05,1.098265e-05,1.092860e-05,1.090528e-05,1.087051e-05,1.082910e-05,1.081310e-05,1.075640e-05,1.075414e-05,1.070040e-05,1.068042e-05,1.064513e-05,1.060797e-05,1.059059e-05,1.053679e-05,1.046689e-05,1.039830e-05,1.033100e-05,1.026500e-05,1.020030e-05,1.013689e-05,1.007477e-05,1.001393e-05,9.954347e-06,9.896022e-06,9.838938e-06,9.783080e-06,9.728432e-06,9.674979e-06,9.622702e-06,9.571584e-06,9.521607e-06,9.472752e-06,9.424999e-06,9.378330e-06,9.332724e-06,9.288162e-06,9.244624e-06,9.202091e-06
0.000000e+00,2.165934e-09,6.872269e-09,3.354460e-08,9.002738e-08,1.398472e-07,3.564695e-07,3.686158e-07,7.738851e-07,9.276597e-07,1.421948e-06,1.959954e-06,2.391734e-06,3.632858e-06,3.757909e-06,5.552099e-06,6.043792e-06,7.740796e-06,9.112919e-06,1.025406e-05,1.267966e-05,1.302363e-05,1.599566e-05,1.661052e-05,1.912827e-05,2.080898e-05,2.238673e-05,2.519842e-05,2.574015e-05,2.916000e-05,2.971153e-05,3.261952e-05,3.428679e-05,3.609380e-05,3.886836e-05,3.955991e-05,4.299721e-05,4.340686e-05,4.638748e-05,4.786016e-05,4.971499e-05,5.219366e-05,5.296645e-05,5.613097e-05,5.638010e-05,5.919984e-05,6.039903e-05,6.216631e-05,6.423591e-05,6.502541e-05,6.777370e-05,6.788129e-05,7.040904e-05,7.132989e-05,7.293041e-05,7.457977e-05,7.533772e-05,7.763163e-05,7.981343e-05,8.048821e-05,8.188491e-05,8.315375e-05,8.384824e-05,8.563361e-05,8.570592e-05,8.746066e-05,8.793393e-05,8.911536e-05,9.006142e-05,9.067304e-05,9.202308e-05,9.213679e-05,9.350977e-05,9.382613e-05,9.479513e-05,9.547785e-05,9.599605e-05,9.698551e-05,9.711568e-05,9.815713e-05,9.835631e-05,9.912347e-05,9.959729e-05,1.000177e-04,1.007154e-04,1.008428e-04,1.016017e-04,1.017172e-04,1.022972e-04,1.026093e-04,1.029320e-04,1.033979e-04,1.035088e-04,1.040302e-04,1.040891e-04,1.044987e-04,1.046887e-04,1.049168e-04,1.052022e-04,1.052867e-04,1.056109e-04,1.056350e-04,1.058916e-04,1.059921e-04,1.061307e-04,1.062784e-04,1.063305e-04,1.064928e-04,1.064985e-04,1.066196e-04,1.066569e-04,1.067128e-04,1.067578e-04,1.067740e-04,1.068051e-04,1.068076e-04,1.068027e-04,1.067832e-04,1.067541e-04,1.067332e-04,1.066627e-04,1.066593e-04,1.065627e-04,1.065318e-04,1.064448e-04,1.063644e-04,1.063069e-04,1.061634e-04,1.061502e-04,1.059759e-04,1.059316e-04,1.057851e-04,1.056714e-04,1.055789e-04,1.053854e-04,1.053582e-04,1.051242e-04,1.050758e-04,1.048777e-04,1.047448e-04,1.046196e-04,1.043944e-04,1.043507e-04,1.040720e-04,1.040265e-04,1.037841e-04,1.036429e-04,1.034879e-04,1.032453e-04,1.031839e-04,1.028730e-04,1.028352e-04,1.025557e-04,1.024142e-04,1.022326e-04,1.019836e-04,1.019044e-04,1.015715e-04,1.015447e-04,1.012346e-04,1.010987e-04,1.008940e-04,1.006468e-04,1.005503e-04,1.002039e-04,1.001900e-04,9.985527e-05,9.972928e-05,9.950477e-05,9.926557e-05,9.915280e-05,9.879970e-05,9.833249e-05,9.786465e-05,9.739686e-05,9.692975e-05,9.646390e-05,9.599984e-05,9.553806e-05,9.507902e-05,9.462312e-05,9.417074e-05,9.372222e-05,9.327788e-05,9.283799e-05,9.240282e-05,9.197259e-05,9.154751e-05,9.112776e-05,9.071350e-05,9.030487e-05,8.990199e-05,8.950498e-05,8.911390e-05,8.872885e-05,8.834988e-05
0.000000e+00,5.702653e-09,1.485450e-08,5.840655e-08,1.413336e-07,2.109957e-07,4.991376e-07,5.148584e-07,1.024235e-06,1.211840e-06,1.800742e-06,2.424282e-06,2.916023e-06,4.308737e-06,4.448472e-06,6.467063e-06,7.028347e-06,9.000428e-06,1.063325e-05,1.201312e-05,1.499309e-05,1.541927e-05,1.912018e-05,1.988782e-05,2.302970e-05,2.512189e-05,2.707987e-05,3.055142e-05,3.121743e-05,3.539925e-05,3.606994e-05,3.958895e-05,4.159340e-05,4.375503e-05,4.705220e-05,4.786986e-05,5.190922e-05,5.238785e-05,5.585220e-05,5.755188e-05,5.968101e-05,6.250541e-05,6.338097e-05,6.694035e-05,6.721873e-05,7.035011e-05,7.167058e-05,7.360375e-05,7.584728e-05,7.669710e-05,7.962798e-05,7.974182e-05,8.239591e-05,8.335262e-05,8.500187e-05,8.668248e-05,8.744804e-05,8.973762e-05,9.187453e-05,9.252682e-05,9.386332e-05,9.506071e-05,9.570900e-05,9.735113e-05,9.741687e-05,9.899245e-05,9.941067e-05,1.004414e-04,1.012523e-04,1.017694e-04,1.028891e-04,1.029820e-04,1.040850e-04,1.043340e-04,1.050838e-04,1.055997e-04,1.059839e-04,1.066983e-04,1.067903e-04,1.075082e-04,1.076416e-04,1.081425e-04,1.084409e-04,1.086979e-04,1.091068e-04,1.091790e-04,1.095899e-04,1.096495e-04,1.099350e-04,1.100783e-04,1.102181e-04,1.104025e-04,1.104430e-04,1.106133e-04,1.106303e-04,1.107325e-04,1.107696e-04,1.108039e-04,1.108279e-04,1.108304e-04,1.108151e-04,1.108121e-04,1.107607e-04,1.107286e-04,1.106700e-04,1.105835e-04,1.105453e-04,1.103891e-04,1.103823e-04,1.102037e-04,1.101302e-04,1.099911e-04,1.098321e-04,1.097534e-04,1.094925e-04,1.092102e-04,1.091156e-04,1.089081e-04,1.087052e-04,1.085879e-04,1.082649e-04,1.082511e-04,1.078992e-04,1.077981e-04,1.075333e-04,1.073078e-04,1.071550e-04,1.067968e-04,1.067652e-04,1.063652e-04,1.062678e-04,1.059561e-04,1.057233e-04,1.055387e-04,1.051653e-04,1.051140e-04,1.046830e-04,1.045961e-04,1.042464e-04,1.040174e-04,1.038050e-04,1.034311e-04,1.033596e-04,1.029108e-04,1.028387e-04,1.024592e-04,1.022417e-04,1.020055e-04,1.016414e-04,1.015502e-04,1.010939e-04,1.010391e-04,1.006370e-04,1.004358e-04,1.001799e-04,9.983271e-05,9.972313e-05,9.926707e-05,9.923062e-05,9.881206e-05,9.863043e-05,9.835845e-05,9.803290e-05,9.790656e-05,9.745668e-05,9.743873e-05,9.700909e-05,9.684856e-05,9.656402e-05,9.626294e-05,9.612172e-05,9.568240e-05,9.510738e-05,9.453829e-05,9.397551e-05,9.341934e-05,9.287007e-05,9.232794e-05,9.179316e-05,9.126592e-05,9.074637e-05,9.023464e-05,8.973083e-05,8.923502e-05,8.874728e-05,8.826765e-05,8.779616e-05,8.733281e-05,8.687762e-05,8.643055e-05,8.599159e-05,8.556071e-05,8.513785e-05,8.472296e-05,8.431599e-05,8.391686e-05
0.000000e+00,1.054401e-09,3.201300e-09,1.486750e-08,3.895286e-08,5.993786e-08,1.498177e-07,1.548088e-07,3.191548e-07,3.805707e-07,5.752439e-07,7.835211e-07,9.488682e-07,1.420873e-06,1.468477e-06,2.160334e-06,2.354017e-06,3.038998e-06,3.611624e-06,4.099624e-06,5.167007e-06,5.321220e-06,6.677348e-06,6.962511e-06,8.143786e-06,8.943133e-06,9.700533e-06,1.106587e-05,1.133112e-05,1.302142e-05,1.329655e-05,1.475881e-05,1.560605e-05,1.653170e-05,1.796830e-05,1.832930e-05,2.014157e-05,2.035958e-05,2.195927e-05,2.275857e-05,2.377396e-05,2.514642e-05,2.557807e-05,2.736489e-05,2.750691e-05,2.912859e-05,2.982645e-05,3.086416e-05,3.209398e-05,3.256742e-05,3.423487e-05,3.430078e-05,3.586359e-05,3.644002e-05,3.745141e-05,3.850686e-05,3.899660e-05,4.049791e-05,4.195452e-05,4.241111e-05,4.336593e-05,4.424539e-05,4.473191e-05,4.600053e-05,4.605248e-05,4.732789e-05,4.767696e-05,4.855853e-05,4.927564e-05,4.974494e-05,5.079794e-05,5.088778e-05,5.198780e-05,5.224552e-05,5.304580e-05,5.362026e-05,5.406267e-05,5.492422e-05,5.503932e-05,5.597670e-05,5.615955e-05,5.687578e-05,5.732849e-05,5.773754e-05,5.843331e-05,5.856298e-05,5.935310e-05,5.947631e-05,6.010890e-05,6.045978e-05,6.083136e-05,6.138598e-05,6.152146e-05,6.218019e-05,6.225718e-05,6.280850e-05,6.307557e-05,6.340734e-05,6.384332e-05,6.397763e-05,6.452029e-05,6.456254e-05,6.503621e-05,6.523529e-05,6.552627e-05,6.586357e-05,6.599132e-05,6.643220e-05,6.644934e-05,6.684973e-05,6.699448e-05,6.724470e-05,6.750080e-05,6.761791e-05,6.797009e-05,6.830200e-05,6.840404e-05,6.861434e-05,6.880430e-05,6.890783e-05,6.917246e-05,6.918313e-05,6.944091e-05,6.951004e-05,6.968181e-05,6.981851e-05,6.990645e-05,7.009929e-05,7.011545e-05,7.030937e-05,7.035374e-05,7.048881e-05,7.058316e-05,7.065430e-05,7.078882e-05,7.080638e-05,7.094557e-05,7.097191e-05,7.107238e-05,7.113358e-05,7.118728e-05,7.127495e-05,7.129076e-05,7.138327e-05,7.139708e-05,7.146525e-05,7.150099e-05,7.153713e-05,7.158763e-05,7.159932e-05,7.165222e-05,7.165796e-05,7.169622e-05,7.171286e-05,7.173170e-05,7.175318e-05,7.175901e-05,7.177851e-05,7.177974e-05,7.179053e-05,7.179332e-05,7.179540e-05,7.179466e-05,7.179344e-05,7.178495e-05,7.178448e-05,7.177022e-05,7.176345e-05,7.174954e-05,7.173222e-05,7.172318e-05,7.169141e-05,7.164162e-05,7.158340e-05,7.151730e-05,7.144382e-05,7.136346e-05,7.127667e-05,7.118390e-05,7.108557e-05,7.098209e-05,7.087383e-05,7.076116e-05,7.064443e-05,7.052395e-05,7.040005e-05,7.027302e-05,7.014313e-05,7.001067e-05,6.987587e-05,6.973898e-05,6.960024e-05,6.945984e-05,6.931801e-05,6.917493e-05,6.903078e-05
0.000000e+00,1.048096e-09,2.582176e-09,9.570031e-09,2.248832e-08,3.316643e-08,7.638111e-08,7.870412e-08,1.524404e-07,1.789364e-07,2.601514e-07,3.433446e-07,4.072316e-07,5.816305e-07,5.986884e-07,8.388403e-07,9.040835e-07,1.130523e-06,1.316645e-06,1.474173e-06,1.818046e-06,1.867818e-06,2.308076e-06,2.401383e-06,2.791077e-06,3.057802e-06,3.312810e-06,3.777977e-06,3.869140e-06,4.455760e-06,4.552133e-06,5.068183e-06,5.369953e-06,5.701771e-06,6.220710e-06,6.351805e-06,7.013570e-06,7.093549e-06,7.682439e-06,7.977837e-06,8.353963e-06,8.863501e-06,9.023941e-06,9.688486e-06,9.741306e-06,1.034406e-05,1.060306e-05,1.098751e-05,1.144174e-05,1.161610e-05,1.222745e-05,1.225152e-05,1.281961e-05,1.302778e-05,1.339100e-05,1.376703e-05,1.394037e-05,1.446681e-05,1.496969e-05,1.512557e-05,1.544864e-05,1.574254e-05,1.590352e-05,1.631761e-05,1.633439e-05,1.674146e-05,1.685123e-05,1.712512e-05,1.734426e-05,1.748583e-05,1.779792e-05,1.782418e-05,1.814081e-05,1.821365e-05,1.843644e-05,1.859310e-05,1.871182e-05,1.893801e-05,1.896772e-05,1.920495e-05,1.925023e-05,1.942431e-05,1.953159e-05,1.962662e-05,1.978396e-05,1.981266e-05,1.998325e-05,2.000916e-05,2.013914e-05,2.020897e-05,2.028109e-05,2.038511e-05,2.040984e-05,2.052610e-05,2.053924e-05,2.063055e-05,2.067293e-05,2.072385e-05,2.078769e-05,2.080663e-05,2.087951e-05,2.088493e-05,2.094305e-05,2.096599e-05,2.099783e-05,2.103213e-05,2.104435e-05,2.108313e-05,2.108453e-05,2.111464e-05,2.112430e-05,2.113934e-05,2.115247e-05,2.115767e-05,2.117002e-05,2.117680e-05,2.117785e-05,2.117836e-05,2.117679e-05,2.117507e-05,2.116763e-05,2.116724e-05,2.115519e-05,2.115110e-05,2.113921e-05,2.112786e-05,2.111959e-05,2.109855e-05,2.109659e-05,2.107045e-05,2.106374e-05,2.104141e-05,2.102397e-05,2.100970e-05,2.097975e-05,2.097552e-05,2.093907e-05,2.093153e-05,2.090054e-05,2.087973e-05,2.086009e-05,2.082476e-05,2.081790e-05,2.077412e-05,2.076698e-05,2.072890e-05,2.070672e-05,2.068237e-05,2.064430e-05,2.063467e-05,2.058591e-05,2.057999e-05,2.053621e-05,2.051407e-05,2.048568e-05,2.044678e-05,2.043441e-05,2.038251e-05,2.037834e-05,2.033006e-05,2.030895e-05,2.027715e-05,2.023881e-05,2.022385e-05,2.017024e-05,2.016809e-05,2.011638e-05,2.009694e-05,2.006234e-05,2.002552e-05,2.000818e-05,1.995395e-05,1.988236e-05,1.981086e-05,1.973955e-05,1.966852e-05,1.959786e-05,1.952763e-05,1.945792e-05,1.938878e-05,1.932027e-05,1.925243e-05,1.918532e-05,1.911896e-05,1.905340e-05,1.898867e-05,1.892480e-05,1.886180e-05,1.879969e-05,1.873851e-05,1.867825e-05,1.861893e-05,1.856057e-05,1.850316e-05,1.844671e-05,1.839122e-05
0.000000e+00,6.351764e-12,3.768103e-11,4.934740e-10,2.542278e-09,5.270403e-09,2.408739e-08,2.540513e-08,8.017979e-08,1.051184e-07,1.954375e-07,3.061232e-07,4.015826e-07,7.005303e-07,7.324360e-07,1.224618e-06,1.370961e-06,1.915804e-06,2.402842e-06,2.840077e-06,3.865515e-06,4.021265e-06,5.468269e-06,5.789270e-06,7.175177e-06,8.160213e-06,9.125237e-06,1.093465e-05,1.129572e-05,1.366170e-05,1.405672e-05,1.619816e-05,1.746904e-05,1.888077e-05,2.111623e-05,2.168596e-05,2.459077e-05,2.494497e-05,2.757270e-05,2.890347e-05,3.060968e-05,3.294134e-05,3.368020e-05,3.676349e-05,3.701011e-05,3.983979e-05,4.106415e-05,4.289055e-05,4.506164e-05,4.589870e-05,4.884880e-05,4.896540e-05,5.172717e-05,5.274349e-05,5.452195e-05,5.636946e-05,5.722309e-05,5.982234e-05,6.231311e-05,6.308639e-05,6.469043e-05,6.615070e-05,6.695079e-05,6.900866e-05,6.909201e-05,7.111309e-05,7.165744e-05,7.301405e-05,7.409732e-05,7.479581e-05,7.633120e-05,7.646006e-05,7.800911e-05,7.836405e-05,7.944578e-05,8.020242e-05,8.077330e-05,8.185406e-05,8.199524e-05,8.311541e-05,8.332757e-05,8.413777e-05,8.463209e-05,8.506640e-05,8.577704e-05,8.590544e-05,8.665903e-05,8.677195e-05,8.733131e-05,8.762632e-05,8.792635e-05,8.834946e-05,8.844815e-05,8.890062e-05,8.895044e-05,8.928757e-05,8.943802e-05,8.961269e-05,8.982062e-05,8.987953e-05,9.009155e-05,9.010624e-05,9.025204e-05,9.030252e-05,9.036416e-05,9.041665e-05,9.043095e-05,9.045530e-05,9.045543e-05,9.043997e-05,9.042525e-05,9.038760e-05,9.033212e-05,9.030070e-05,9.018165e-05,9.003271e-05,8.997909e-05,8.985603e-05,8.972934e-05,8.965365e-05,8.943696e-05,8.942748e-05,8.917937e-05,8.910620e-05,8.891103e-05,8.874100e-05,8.862409e-05,8.834501e-05,8.832010e-05,8.800051e-05,8.792165e-05,8.766670e-05,8.747403e-05,8.731995e-05,8.700508e-05,8.696148e-05,8.659245e-05,8.651747e-05,8.621393e-05,8.601369e-05,8.582694e-05,8.549602e-05,8.543243e-05,8.503130e-05,8.496656e-05,8.462438e-05,8.442724e-05,8.421247e-05,8.387985e-05,8.379631e-05,8.337659e-05,8.332601e-05,8.295395e-05,8.276723e-05,8.252901e-05,8.220486e-05,8.210232e-05,8.167442e-05,8.164015e-05,8.124580e-05,8.107425e-05,8.081691e-05,8.050819e-05,8.038819e-05,7.996003e-05,7.994292e-05,7.953280e-05,7.937929e-05,7.910684e-05,7.881808e-05,7.868247e-05,7.825998e-05,7.770564e-05,7.715561e-05,7.661040e-05,7.607047e-05,7.553621e-05,7.500798e-05,7.448609e-05,7.397080e-05,7.346237e-05,7.296098e-05,7.246681e-05,7.198000e-05,7.150066e-05,7.102890e-05,7.056477e-05,7.010833e-05,6.965962e-05,6.921865e-05,6.878542e-05,6.835993e-05,6.794213e-05,6.753201e-05,6.712952e-05,6.673459e-05
0.000000e+00,2.715442e-09,7.320253e-09,2.986662e-08,7.352644e-08,1.104317e-07,2.633890e-07,2.717232e-07,5.401708e-07,6.381283e-07,9.422023e-07,1.258616e-06,1.504317e-06,2.183195e-06,2.250006e-06,3.192073e-06,3.447422e-06,4.328601e-06,5.046297e-06,5.649406e-06,6.954911e-06,7.142860e-06,8.797323e-06,9.146470e-06,1.060043e-05,1.159230e-05,1.253847e-05,1.425960e-05,1.459621e-05,1.675719e-05,1.711137e-05,1.900402e-05,2.010779e-05,2.131897e-05,2.320811e-05,2.368441e-05,2.608326e-05,2.637259e-05,2.849936e-05,2.956400e-05,3.091774e-05,3.274881e-05,3.332479e-05,3.570842e-05,3.589778e-05,3.805804e-05,3.898627e-05,4.036454e-05,4.199419e-05,4.262029e-05,4.481898e-05,4.490567e-05,4.695554e-05,4.770870e-05,4.902602e-05,5.039464e-05,5.102744e-05,5.295771e-05,5.481548e-05,5.539452e-05,5.660003e-05,5.770363e-05,5.831121e-05,5.988519e-05,5.994931e-05,6.151503e-05,6.194059e-05,6.300937e-05,6.387223e-05,6.443359e-05,6.568317e-05,6.578913e-05,6.707761e-05,6.737706e-05,6.830077e-05,6.895789e-05,6.946044e-05,7.042992e-05,7.055850e-05,7.159689e-05,7.179758e-05,7.257757e-05,7.306536e-05,7.350250e-05,7.423780e-05,7.437365e-05,7.519296e-05,7.531937e-05,7.596238e-05,7.631453e-05,7.668378e-05,7.722760e-05,7.735906e-05,7.799002e-05,7.806284e-05,7.857846e-05,7.882436e-05,7.912614e-05,7.951615e-05,7.963473e-05,8.010591e-05,8.014204e-05,8.054128e-05,8.070575e-05,8.094239e-05,8.121082e-05,8.131075e-05,8.164783e-05,8.166068e-05,8.195504e-05,8.205859e-05,8.223375e-05,8.240766e-05,8.248527e-05,8.271089e-05,8.291182e-05,8.297111e-05,8.308927e-05,8.319103e-05,8.324436e-05,8.337324e-05,8.337820e-05,8.349185e-05,8.352019e-05,8.358633e-05,8.363421e-05,8.366260e-05,8.371752e-05,8.372163e-05,8.376430e-05,8.377221e-05,8.379150e-05,8.380027e-05,8.380404e-05,8.380360e-05,8.380274e-05,8.378836e-05,8.378398e-05,8.376163e-05,8.374309e-05,8.372327e-05,8.368255e-05,8.367394e-05,8.361430e-05,8.360385e-05,8.354497e-05,8.350842e-05,8.346653e-05,8.339762e-05,8.337957e-05,8.328461e-05,8.327270e-05,8.318218e-05,8.313487e-05,8.307278e-05,8.298526e-05,8.295687e-05,8.283492e-05,8.282492e-05,8.270736e-05,8.265486e-05,8.257460e-05,8.247601e-05,8.243702e-05,8.229502e-05,8.228925e-05,8.214894e-05,8.209542e-05,8.199912e-05,8.189528e-05,8.184590e-05,8.168958e-05,8.147899e-05,8.126415e-05,8.104565e-05,8.082407e-05,8.059991e-05,8.037367e-05,8.014580e-05,7.991672e-05,7.968682e-05,7.945648e-05,7.922602e-05,7.899575e-05,7.876598e-05,7.853697e-05,7.830896e-05,7.808218e-05,7.785685e-05,7.763314e-05,7.741125e-05,7.719131e-05,7.697349e-05,7.675791e-05,7.654470e-05,7.633395e-05
0.000000e+00,1.735694e-12,1.075190e-11,1.536174e-10,8.540123e-10,1.843534e-09,9.311426e-09,9.859478e-09,3.413323e-08,4.583942e-08,9.035945e-08,1.481005e-07,1.999335e-07,3.709354e-07,3.898087e-07,6.921853e-07,7.854437e-07,1.142849e-06,1.473285e-06,1.776919e-06,2.509502e-06,2.622895e-06,3.697950e-06,3.941053e-06,5.006500e-06,5.777362e-06,6.541870e-06,7.996362e-06,8.289488e-06,1.023011e-05,1.055710e-05,1.234231e-05,1.341064e-05,1.460405e-05,1.650640e-05,1.699346e-05,1.948913e-05,1.979475e-05,2.207020e-05,2.322768e-05,2.471639e-05,2.675888e-05,2.740796e-05,3.012587e-05,3.034389e-05,3.285184e-05,3.394057e-05,3.556856e-05,3.750972e-05,3.825982e-05,4.091071e-05,4.101571e-05,4.350774e-05,4.442712e-05,4.603891e-05,4.771711e-05,4.849381e-05,5.086361e-05,5.314100e-05,5.384926e-05,5.532016e-05,5.666118e-05,5.739668e-05,5.929065e-05,5.936742e-05,6.123041e-05,6.173260e-05,6.298475e-05,6.398517e-05,6.463044e-05,6.604921e-05,6.616830e-05,6.759981e-05,6.792776e-05,6.892703e-05,6.962566e-05,7.015251e-05,7.114907e-05,7.127916e-05,7.231018e-05,7.250521e-05,7.324903e-05,7.370199e-05,7.409930e-05,7.474777e-05,7.486469e-05,7.554897e-05,7.565118e-05,7.615594e-05,7.642094e-05,7.668938e-05,7.706570e-05,7.715303e-05,7.755056e-05,7.759399e-05,7.788558e-05,7.801409e-05,7.816160e-05,7.833401e-05,7.838202e-05,7.855014e-05,7.856143e-05,7.866915e-05,7.870369e-05,7.874210e-05,7.876777e-05,7.877194e-05,7.876148e-05,7.876026e-05,7.871341e-05,7.868740e-05,7.863032e-05,7.855505e-05,7.851464e-05,7.836871e-05,7.819476e-05,7.813353e-05,7.799490e-05,7.785431e-05,7.777112e-05,7.753556e-05,7.752532e-05,7.725931e-05,7.718144e-05,7.697478e-05,7.679584e-05,7.667333e-05,7.638238e-05,7.635650e-05,7.602570e-05,7.594438e-05,7.568228e-05,7.548494e-05,7.532753e-05,7.500692e-05,7.496264e-05,7.458873e-05,7.451296e-05,7.420686e-05,7.400548e-05,7.381803e-05,7.348671e-05,7.342317e-05,7.302314e-05,7.295872e-05,7.261878e-05,7.242337e-05,7.221084e-05,7.188240e-05,7.180004e-05,7.138705e-05,7.133737e-05,7.097249e-05,7.078973e-05,7.055693e-05,7.024078e-05,7.014093e-05,6.972497e-05,6.969171e-05,6.930953e-05,6.914360e-05,6.889504e-05,6.859741e-05,6.848189e-05,6.807045e-05,6.805403e-05,6.766106e-05,6.751425e-05,6.725404e-05,6.697877e-05,6.684967e-05,6.644822e-05,6.592316e-05,6.540409e-05,6.489144e-05,6.438560e-05,6.388689e-05,6.339560e-05,6.291197e-05,6.243620e-05,6.196845e-05,6.150886e-05,6.105753e-05,6.061454e-05,6.017994e-05,5.975375e-05,5.933599e-05,5.892665e-05,5.852570e-05,5.813309e-05,5.774878e-05,5.737269e-05,5.700474e-05,5.664486e-05,5.629293e-05,5.594887e-05
0.000000e+00,8.223769e-09,1.876994e-08,6.407073e-08,1.448119e-07,2.105773e-07,4.745407e-07,4.887187e-07,9.414692e-07,1.105954e-06,1.617198e-06,2.152122e-06,2.570188e-06,3.738045e-06,3.853934e-06,5.501772e-06,5.951178e-06,7.500445e-06,8.749978e-06,9.784468e-06,1.195922e-05,1.226424e-05,1.485744e-05,1.538378e-05,1.750065e-05,1.887892e-05,2.014735e-05,2.234764e-05,2.276284e-05,2.532027e-05,2.572259e-05,2.779831e-05,2.895440e-05,3.017984e-05,3.200638e-05,3.245133e-05,3.460245e-05,3.485211e-05,3.662578e-05,3.747424e-05,3.851656e-05,3.986337e-05,4.027243e-05,4.189308e-05,4.201693e-05,4.337999e-05,4.393792e-05,4.473605e-05,4.563361e-05,4.596528e-05,4.707265e-05,4.711449e-05,4.806384e-05,4.839339e-05,4.894492e-05,4.948438e-05,4.972221e-05,5.040217e-05,5.099126e-05,5.116162e-05,5.149583e-05,5.177726e-05,5.192206e-05,5.226308e-05,5.227592e-05,5.256314e-05,5.263236e-05,5.278913e-05,5.289750e-05,5.295906e-05,5.307003e-05,5.307774e-05,5.314973e-05,5.316054e-05,5.317927e-05,5.317875e-05,5.317031e-05,5.313350e-05,5.312652e-05,5.305132e-05,5.303279e-05,5.294786e-05,5.288387e-05,5.281906e-05,5.269327e-05,5.266762e-05,5.249602e-05,5.246684e-05,5.230653e-05,5.220985e-05,5.210127e-05,5.192700e-05,5.188215e-05,5.165095e-05,5.162248e-05,5.140929e-05,5.130002e-05,5.115864e-05,5.096297e-05,5.090036e-05,5.063568e-05,5.061427e-05,5.036575e-05,5.025653e-05,5.009157e-05,4.989207e-05,4.981410e-05,4.953417e-05,4.952293e-05,4.925256e-05,4.915091e-05,4.896997e-05,4.877757e-05,4.868703e-05,4.840431e-05,4.812232e-05,4.803232e-05,4.784154e-05,4.766265e-05,4.756236e-05,4.729621e-05,4.728517e-05,4.701029e-05,4.693377e-05,4.673801e-05,4.657601e-05,4.646861e-05,4.622349e-05,4.620230e-05,4.593929e-05,4.587668e-05,4.567976e-05,4.553600e-05,4.542385e-05,4.520175e-05,4.517170e-05,4.492341e-05,4.487423e-05,4.467908e-05,4.455362e-05,4.443879e-05,4.424011e-05,4.420259e-05,4.397054e-05,4.393380e-05,4.374266e-05,4.363477e-05,4.351898e-05,4.334307e-05,4.329952e-05,4.308428e-05,4.305873e-05,4.287325e-05,4.278173e-05,4.266643e-05,4.251205e-05,4.246380e-05,4.226534e-05,4.224964e-05,4.207100e-05,4.199442e-05,4.188077e-05,4.174632e-05,4.169460e-05,4.151245e-05,4.150525e-05,4.133427e-05,4.127109e-05,4.116001e-05,4.104373e-05,4.098963e-05,4.082307e-05,4.060895e-05,4.040127e-05,4.019987e-05,4.000463e-05,3.981539e-05,3.963202e-05,3.945438e-05,3.928231e-05,3.911568e-05,3.895435e-05,3.879816e-05,3.864699e-05,3.850069e-05,3.835912e-05,3.822215e-05,3.808964e-05,3.796147e-05,3.783750e-05,3.771762e-05,3.760169e-05,3.748960e-05,3.738123e-05,3.727646e-05,3.717518e-05
0.000000e+00,1.047661e-10,5.186155e-10,4.837237e-09,1.906768e-08,3.468669e-08,1.189383e-07,1.241687e-07,3.155265e-07,3.940461e-07,6.599352e-07,9.658252e-07,1.220315e-06,1.984363e-06,2.063554e-06,3.235814e-06,3.567721e-06,4.744840e-06,5.730221e-06,6.571288e-06,8.420842e-06,8.689716e-06,1.107886e-05,1.158766e-05,1.372214e-05,1.519229e-05,1.660519e-05,1.920177e-05,1.971364e-05,2.303186e-05,2.358111e-05,2.654256e-05,2.829056e-05,3.022682e-05,3.328565e-05,3.406444e-05,3.803437e-05,3.851864e-05,4.211531e-05,4.394061e-05,4.628609e-05,4.950334e-05,5.052623e-05,5.481620e-05,5.516099e-05,5.913772e-05,6.087133e-05,6.347392e-05,6.659638e-05,6.780943e-05,7.213047e-05,7.230284e-05,7.642485e-05,7.796218e-05,8.068181e-05,8.355034e-05,8.489200e-05,8.904742e-05,9.314123e-05,9.443727e-05,9.716767e-05,9.970697e-05,1.011219e-04,1.048464e-04,1.050000e-04,1.087988e-04,1.098479e-04,1.125157e-04,1.147057e-04,1.161487e-04,1.194157e-04,1.196963e-04,1.231576e-04,1.239754e-04,1.265318e-04,1.283831e-04,1.298185e-04,1.326384e-04,1.330176e-04,1.361294e-04,1.367413e-04,1.391542e-04,1.406928e-04,1.420924e-04,1.444941e-04,1.449448e-04,1.477121e-04,1.481471e-04,1.503953e-04,1.516537e-04,1.529954e-04,1.550163e-04,1.555134e-04,1.579505e-04,1.582376e-04,1.603079e-04,1.613202e-04,1.625868e-04,1.642671e-04,1.647886e-04,1.669145e-04,1.670813e-04,1.689659e-04,1.697659e-04,1.709442e-04,1.723240e-04,1.728507e-04,1.746869e-04,1.747589e-04,1.764541e-04,1.770737e-04,1.781538e-04,1.792717e-04,1.797873e-04,1.813562e-04,1.828617e-04,1.833303e-04,1.843053e-04,1.851974e-04,1.856884e-04,1.869606e-04,1.870124e-04,1.882786e-04,1.886230e-04,1.894884e-04,1.901878e-04,1.906432e-04,1.916581e-04,1.917443e-04,1.927929e-04,1.930370e-04,1.937905e-04,1.943273e-04,1.947383e-04,1.955322e-04,1.956375e-04,1.964895e-04,1.966543e-04,1.972955e-04,1.976967e-04,1.980566e-04,1.986621e-04,1.987740e-04,1.994490e-04,1.995532e-04,2.000827e-04,2.003726e-04,2.006763e-04,2.011230e-04,2.012308e-04,2.017473e-04,2.018068e-04,2.022270e-04,2.024267e-04,2.026709e-04,2.029849e-04,2.030799e-04,2.034553e-04,2.034838e-04,2.037978e-04,2.039258e-04,2.041085e-04,2.043131e-04,2.043884e-04,2.046384e-04,2.046478e-04,2.048594e-04,2.049320e-04,2.050523e-04,2.051679e-04,2.052180e-04,2.053573e-04,2.055023e-04,2.056047e-04,2.056663e-04,2.056890e-04,2.056743e-04,2.056241e-04,2.055398e-04,2.054231e-04,2.052754e-04,2.050983e-04,2.048931e-04,2.046612e-04,2.044039e-04,2.041224e-04,2.038182e-04,2.034922e-04,2.031457e-04,2.027797e-04,2.023954e-04,2.019938e-04,2.015758e-04,2.011425e-04,2.006947e-04,2.002333e-04
0.000000e+00,7.320780e-14,4.935213e-13,8.405231e-12,5.484959e-11,1.293051e-10,8.203549e-10,8.767466e-10,3.808814e-09,5.441109e-09,1.252789e-08,2.327476e-08,3.408017e-08,7.560841e-08,8.065280e-08,1.711342e-07,2.021607e-07,3.319880e-07,4.651885e-07,5.972136e-07,9.491333e-07,1.007511e-06,1.608895e-06,1.756427e-06,2.450998e-06,3.001071e-06,3.585229e-06,4.801347e-06,5.062936e-06,6.933640e-06,7.272562e-06,9.243411e-06,1.052037e-05,1.203343e-05,1.463502e-05,1.533876e-05,1.918736e-05,1.968674e-05,2.359934e-05,2.572244e-05,2.858651e-05,3.276377e-05,3.415213e-05,4.029093e-05,4.080645e-05,4.698941e-05,4.982099e-05,5.422625e-05,5.975438e-05,6.197294e-05,7.019461e-05,7.053280e-05,7.885086e-05,8.206495e-05,8.789672e-05,9.424579e-05,9.728364e-05,1.069605e-04,1.168744e-04,1.200882e-04,1.269719e-04,1.335059e-04,1.371995e-04,1.470918e-04,1.475049e-04,1.578370e-04,1.607281e-04,1.681471e-04,1.743033e-04,1.783890e-04,1.877143e-04,1.885197e-04,1.984992e-04,2.008677e-04,2.082914e-04,2.136810e-04,2.178637e-04,2.260824e-04,2.271872e-04,2.362367e-04,2.380117e-04,2.449905e-04,2.494196e-04,2.534307e-04,2.602672e-04,2.615425e-04,2.693146e-04,2.705260e-04,2.767383e-04,2.801762e-04,2.838080e-04,2.892067e-04,2.905206e-04,2.968751e-04,2.976136e-04,3.028728e-04,3.053995e-04,3.085168e-04,3.125726e-04,3.138119e-04,3.187642e-04,3.191458e-04,3.233811e-04,3.251358e-04,3.276710e-04,3.305624e-04,3.316432e-04,3.353076e-04,3.354479e-04,3.386748e-04,3.398164e-04,3.417558e-04,3.436930e-04,3.445616e-04,3.471038e-04,3.493937e-04,3.500751e-04,3.514429e-04,3.526333e-04,3.532627e-04,3.548044e-04,3.548644e-04,3.562592e-04,3.566141e-04,3.574577e-04,3.580871e-04,3.584707e-04,3.592476e-04,3.593083e-04,3.599806e-04,3.601184e-04,3.604971e-04,3.607217e-04,3.608670e-04,3.610783e-04,3.610992e-04,3.612022e-04,3.612081e-04,3.611842e-04,3.611297e-04,3.610530e-04,3.608607e-04,3.608159e-04,3.604801e-04,3.604176e-04,3.600521e-04,3.598157e-04,3.595383e-04,3.590696e-04,3.589448e-04,3.582772e-04,3.581923e-04,3.575409e-04,3.571965e-04,3.567411e-04,3.560937e-04,3.558825e-04,3.549697e-04,3.548945e-04,3.540070e-04,3.536089e-04,3.529984e-04,3.522459e-04,3.519477e-04,3.508584e-04,3.508141e-04,3.497340e-04,3.493212e-04,3.485775e-04,3.477744e-04,3.473920e-04,3.461802e-04,3.445447e-04,3.428736e-04,3.411718e-04,3.394441e-04,3.376948e-04,3.359279e-04,3.341470e-04,3.323554e-04,3.305561e-04,3.287518e-04,3.269452e-04,3.251386e-04,3.233340e-04,3.215333e-04,3.197384e-04,3.179507e-04,3.161718e-04,3.144030e-04,3.126454e-04,3.109001e-04,3.091681e-04,3.074502e-04,3.057473e-04,3.040600e-04
0.000000e+00,7.705838e-15,5.195157e-14,8.848047e-13,5.768710e-12,1.358502e-11,8.572197e-11,9.158514e-11,3.935326e-10,5.598498e-10,1.272353e-09,2.332593e-09,3.381802e-09,7.318992e-09,7.790045e-09,1.609049e-08,1.889382e-08,3.050133e-08,4.229946e-08,5.394627e-08,8.495742e-08,9.010893e-08,1.434535e-07,1.566313e-07,2.192066e-07,2.693971e-07,3.232982e-07,4.374024e-07,4.622651e-07,6.431233e-07,6.764356e-07,8.732151e-07,1.003348e-06,1.160040e-06,1.435379e-06,1.511077e-06,1.933603e-06,1.989443e-06,2.434518e-06,2.681415e-06,3.020176e-06,3.525466e-06,3.696240e-06,4.467541e-06,4.533483e-06,5.337976e-06,5.714587e-06,6.310418e-06,7.074786e-06,7.386656e-06,8.567364e-06,8.616763e-06,9.852092e-06,1.033979e-05,1.123928e-05,1.223978e-05,1.272629e-05,1.430947e-05,1.598425e-05,1.653866e-05,1.774518e-05,1.891456e-05,1.958607e-05,2.142220e-05,2.150007e-05,2.347981e-05,2.404486e-05,2.551747e-05,2.676449e-05,2.760492e-05,2.956220e-05,2.973384e-05,3.189577e-05,3.241861e-05,3.408227e-05,3.531432e-05,3.628497e-05,3.823022e-05,3.849566e-05,4.070636e-05,4.114782e-05,4.290939e-05,4.404948e-05,4.509741e-05,4.691867e-05,4.726350e-05,4.940113e-05,4.974011e-05,5.150428e-05,5.249989e-05,5.356737e-05,5.518557e-05,5.558532e-05,5.755355e-05,5.778620e-05,5.946797e-05,6.029233e-05,6.132499e-05,6.269600e-05,6.312150e-05,6.485484e-05,6.499071e-05,6.652284e-05,6.717133e-05,6.812372e-05,6.923402e-05,6.965613e-05,7.111911e-05,7.117618e-05,7.251205e-05,7.299631e-05,7.383469e-05,7.469394e-05,7.508707e-05,7.626952e-05,7.738262e-05,7.772429e-05,7.842720e-05,7.906024e-05,7.940429e-05,8.027993e-05,8.031511e-05,8.116105e-05,8.138649e-05,8.194364e-05,8.238346e-05,8.266452e-05,8.327474e-05,8.332545e-05,8.392827e-05,8.406451e-05,8.447489e-05,8.475717e-05,8.496726e-05,8.535726e-05,8.540739e-05,8.579730e-05,8.586943e-05,8.613904e-05,8.629838e-05,8.643464e-05,8.664880e-05,8.668617e-05,8.689563e-05,8.692537e-05,8.706503e-05,8.713269e-05,8.719634e-05,8.727528e-05,8.729151e-05,8.735244e-05,8.735754e-05,8.738098e-05,8.738375e-05,8.737895e-05,8.735803e-05,8.734809e-05,8.729013e-05,8.728437e-05,8.720670e-05,8.716656e-05,8.709941e-05,8.700825e-05,8.696980e-05,8.681933e-05,8.681290e-05,8.664945e-05,8.658380e-05,8.646150e-05,8.632405e-05,8.625680e-05,8.603660e-05,8.572422e-05,8.538950e-05,8.503488e-05,8.466264e-05,8.427491e-05,8.387367e-05,8.346076e-05,8.303788e-05,8.260662e-05,8.216844e-05,8.172469e-05,8.127660e-05,8.082532e-05,8.037189e-05,7.991726e-05,7.946231e-05,7.900782e-05,7.855453e-05,7.810308e-05,7.765407e-05,7.720802e-05,7.676542e-05,7.632669e-05,7.589222e-05
0.000000e+00,2.649906e-14,1.744961e-13,2.826231e-12,1.758140e-11,4.033184e-11,2.374951e-10,2.530162e-10,1.013152e-09,1.413577e-09,3.057931e-09,5.384503e-09,7.602654e-09,1.550405e-08,1.641836e-08,3.187071e-08,3.688368e-08,5.692250e-08,7.643763e-08,9.509956e-08,1.427255e-07,1.504088e-07,2.271861e-07,2.455090e-07,3.298555e-07,3.948858e-07,4.626045e-07,6.000096e-07,6.290213e-07,8.317573e-07,8.676815e-07,1.072276e-06,1.201238e-06,1.350718e-06,1.600018e-06,1.665891e-06,2.015372e-06,2.059460e-06,2.395685e-06,2.571703e-06,2.802520e-06,3.126460e-06,3.230988e-06,3.675857e-06,3.711995e-06,4.131775e-06,4.316048e-06,4.593466e-06,4.926612e-06,5.055884e-06,5.514344e-06,5.532538e-06,5.964606e-06,6.123959e-06,6.402939e-06,6.692539e-06,6.826148e-06,7.231583e-06,7.617129e-06,7.736029e-06,7.981187e-06,8.202369e-06,8.322633e-06,8.628503e-06,8.640777e-06,8.935318e-06,9.013558e-06,9.206294e-06,9.357693e-06,9.454030e-06,9.661905e-06,9.679092e-06,9.882243e-06,9.927837e-06,1.006439e-05,1.015760e-05,1.022657e-05,1.035365e-05,1.036988e-05,1.049549e-05,1.051858e-05,1.060455e-05,1.065513e-05,1.069827e-05,1.076597e-05,1.077778e-05,1.084424e-05,1.085373e-05,1.089873e-05,1.092093e-05,1.094228e-05,1.096992e-05,1.097589e-05,1.100048e-05,1.100286e-05,1.101691e-05,1.102176e-05,1.102598e-05,1.102842e-05,1.102845e-05,1.102498e-05,1.102446e-05,1.101620e-05,1.101133e-05,1.100268e-05,1.099032e-05,1.098495e-05,1.096348e-05,1.096255e-05,1.093868e-05,1.092902e-05,1.091096e-05,1.089061e-05,1.088065e-05,1.084807e-05,1.081350e-05,1.080207e-05,1.077721e-05,1.075317e-05,1.073941e-05,1.070189e-05,1.070031e-05,1.066010e-05,1.064866e-05,1.061894e-05,1.059385e-05,1.057698e-05,1.053779e-05,1.053436e-05,1.049120e-05,1.048077e-05,1.044760e-05,1.042303e-05,1.040366e-05,1.036478e-05,1.035947e-05,1.031511e-05,1.030622e-05,1.027065e-05,1.024751e-05,1.022615e-05,1.018878e-05,1.018167e-05,1.013726e-05,1.013017e-05,1.009298e-05,1.007178e-05,1.004886e-05,1.001370e-05,1.000493e-05,9.961244e-06,9.956019e-06,9.917822e-06,9.898807e-06,9.874693e-06,9.842127e-06,9.831883e-06,9.789414e-06,9.786032e-06,9.747307e-06,9.730570e-06,9.705580e-06,9.675781e-06,9.664250e-06,9.623330e-06,9.621702e-06,9.582834e-06,9.568361e-06,9.542774e-06,9.515787e-06,9.503159e-06,9.463998e-06,9.413014e-06,9.362848e-06,9.313513e-06,9.265016e-06,9.217366e-06,9.170565e-06,9.124618e-06,9.079524e-06,9.035284e-06,8.991894e-06,8.949353e-06,8.907655e-06,8.866794e-06,8.826765e-06,8.787560e-06,8.749171e-06,8.711589e-06,8.674806e-06,8.638811e-06,8.603595e-06,8.569147e-06,8.535457e-06,8.502512e-06,8.470303e-06
0.000000e+00,1.138691e-11,6.319594e-11,7.264926e-10,3.356260e-09,6.580975e-09,2.641751e-08,2.772828e-08,7.862484e-08,1.004904e-07,1.764801e-07,2.658778e-07,3.411993e-07,5.718097e-07,5.961373e-07,9.678173e-07,1.077376e-06,1.482031e-06,1.839097e-06,2.155387e-06,2.879441e-06,2.987130e-06,3.958495e-06,4.167006e-06,5.039964e-06,5.635309e-06,6.200148e-06,7.215126e-06,7.411370e-06,8.651404e-06,8.851270e-06,9.902967e-06,1.050371e-05,1.115246e-05,1.214311e-05,1.238889e-05,1.360310e-05,1.374693e-05,1.478732e-05,1.529714e-05,1.593497e-05,1.677929e-05,1.704053e-05,1.809953e-05,1.818212e-05,1.910845e-05,1.949740e-05,2.006476e-05,2.071973e-05,2.096675e-05,2.181355e-05,2.184627e-05,2.260502e-05,2.287647e-05,2.334161e-05,2.381164e-05,2.402432e-05,2.465453e-05,2.523399e-05,2.540902e-05,2.576470e-05,2.607978e-05,2.624884e-05,2.667187e-05,2.668864e-05,2.708644e-05,2.719062e-05,2.744460e-05,2.764144e-05,2.776546e-05,2.802968e-05,2.805132e-05,2.830444e-05,2.836056e-05,2.852698e-05,2.863904e-05,2.872104e-05,2.886982e-05,2.888859e-05,2.903152e-05,2.905731e-05,2.915162e-05,2.920561e-05,2.925056e-05,2.931848e-05,2.932993e-05,2.939120e-05,2.939942e-05,2.943578e-05,2.945162e-05,2.946495e-05,2.947801e-05,2.947992e-05,2.948184e-05,2.948124e-05,2.947174e-05,2.946374e-05,2.945061e-05,2.942773e-05,2.941935e-05,2.937882e-05,2.937521e-05,2.932981e-05,2.930799e-05,2.927303e-05,2.922772e-05,2.920916e-05,2.913885e-05,2.913591e-05,2.906266e-05,2.903390e-05,2.898114e-05,2.892292e-05,2.889479e-05,2.880409e-05,2.870945e-05,2.867840e-05,2.861127e-05,2.854676e-05,2.850994e-05,2.841001e-05,2.840579e-05,2.829914e-05,2.826887e-05,2.819029e-05,2.812403e-05,2.807950e-05,2.797609e-05,2.796704e-05,2.785313e-05,2.782561e-05,2.773800e-05,2.767307e-05,2.762184e-05,2.751892e-05,2.750485e-05,2.738718e-05,2.736358e-05,2.726901e-05,2.720740e-05,2.715047e-05,2.705072e-05,2.703171e-05,2.691285e-05,2.689383e-05,2.679401e-05,2.673700e-05,2.667528e-05,2.658046e-05,2.655678e-05,2.643860e-05,2.642444e-05,2.632081e-05,2.626913e-05,2.620349e-05,2.611469e-05,2.608672e-05,2.597056e-05,2.596130e-05,2.585507e-05,2.580907e-05,2.574030e-05,2.565814e-05,2.562631e-05,2.551313e-05,2.550862e-05,2.540082e-05,2.536060e-05,2.528940e-05,2.521416e-05,2.517891e-05,2.506939e-05,2.492634e-05,2.478507e-05,2.464563e-05,2.450807e-05,2.437240e-05,2.423868e-05,2.410690e-05,2.397711e-05,2.384930e-05,2.372349e-05,2.359968e-05,2.347788e-05,2.335808e-05,2.324028e-05,2.312448e-05,2.301066e-05,2.289882e-05,2.278894e-05,2.268102e-05,2.257502e-05,2.247094e-05,2.236876e-05,2.226846e-05,2.217002e-05
0.000000e+00,4.074440e-13,2.537810e-12,3.663504e-11,2.053068e-10,4.448662e-10,2.263638e-09,2.397404e-09,8.326979e-09,1.118408e-08,2.201690e-08,3.598129e-08,4.843703e-08,8.905967e-08,9.350410e-08,1.638895e-07,1.853480e-07,2.668770e-07,3.416447e-07,4.101305e-07,5.754625e-07,6.011281e-07,8.461025e-07,9.019544e-07,1.148685e-06,1.328937e-06,1.508814e-06,1.852922e-06,1.922417e-06,2.381990e-06,2.459154e-06,2.877753e-06,3.125424e-06,3.398961e-06,3.827103e-06,3.935022e-06,4.476269e-06,4.541157e-06,5.014387e-06,5.248348e-06,5.542516e-06,5.933807e-06,6.055197e-06,6.548220e-06,6.586711e-06,7.018432e-06,7.199594e-06,7.463556e-06,7.767611e-06,7.882034e-06,8.272901e-06,8.287953e-06,8.635683e-06,8.759385e-06,8.970314e-06,9.181916e-06,9.277078e-06,9.556543e-06,9.809522e-06,9.885041e-06,1.003702e-05,1.016978e-05,1.024020e-05,1.041355e-05,1.042033e-05,1.057877e-05,1.061943e-05,1.071691e-05,1.079064e-05,1.083617e-05,1.093043e-05,1.093796e-05,1.102365e-05,1.104197e-05,1.109459e-05,1.112835e-05,1.115205e-05,1.119244e-05,1.119726e-05,1.123134e-05,1.123691e-05,1.125536e-05,1.126422e-05,1.127033e-05,1.127656e-05,1.127714e-05,1.127663e-05,1.127592e-05,1.126957e-05,1.126406e-05,1.125665e-05,1.124252e-05,1.123850e-05,1.121570e-05,1.121268e-05,1.118876e-05,1.117572e-05,1.115814e-05,1.113267e-05,1.112427e-05,1.108750e-05,1.108444e-05,1.104818e-05,1.103181e-05,1.100661e-05,1.097543e-05,1.096305e-05,1.091775e-05,1.091590e-05,1.087092e-05,1.085373e-05,1.082276e-05,1.078934e-05,1.077345e-05,1.072314e-05,1.067197e-05,1.065544e-05,1.062007e-05,1.058653e-05,1.056756e-05,1.051668e-05,1.051455e-05,1.046112e-05,1.044610e-05,1.040737e-05,1.037500e-05,1.035337e-05,1.030353e-05,1.029919e-05,1.024491e-05,1.023187e-05,1.019056e-05,1.016013e-05,1.013622e-05,1.008844e-05,1.008193e-05,1.002774e-05,1.001691e-05,9.973680e-06,9.945636e-06,9.919795e-06,9.874691e-06,9.866117e-06,9.812678e-06,9.804152e-06,9.759505e-06,9.734085e-06,9.706625e-06,9.664548e-06,9.654061e-06,9.601835e-06,9.595592e-06,9.549967e-06,9.527263e-06,9.498475e-06,9.459602e-06,9.447375e-06,9.396681e-06,9.392644e-06,9.346407e-06,9.326418e-06,9.296565e-06,9.260952e-06,9.247166e-06,9.198218e-06,9.196269e-06,9.149731e-06,9.132389e-06,9.101711e-06,9.069329e-06,9.054167e-06,9.007103e-06,8.945724e-06,8.885199e-06,8.825538e-06,8.766746e-06,8.708825e-06,8.651780e-06,8.595611e-06,8.540317e-06,8.485897e-06,8.432348e-06,8.379668e-06,8.327851e-06,8.276892e-06,8.226785e-06,8.177524e-06,8.129102e-06,8.081510e-06,8.034740e-06,7.988785e-06,7.943635e-06,7.899281e-06,7.855713e-06,7.812922e-06,7.770897e-06
0.000000e+00,2.086342e-09,4.788279e-09,1.647699e-08,3.744448e-08,5.458402e-08,1.235938e-07,1.273046e-07,2.457747e-07,2.887540e-07,4.220183e-07,5.609068e-07,6.690990e-07,9.701523e-07,9.999665e-07,1.423879e-06,1.539744e-06,1.941189e-06,2.268169e-06,2.541612e-06,3.125935e-06,3.209006e-06,3.927342e-06,4.075894e-06,4.683229e-06,5.087457e-06,5.465844e-06,6.137262e-06,6.266171e-06,7.076395e-06,7.206475e-06,7.889567e-06,8.279083e-06,8.699461e-06,9.341269e-06,9.500535e-06,1.028794e-05,1.038131e-05,1.105755e-05,1.138961e-05,1.180587e-05,1.235863e-05,1.253013e-05,1.322816e-05,1.328281e-05,1.389837e-05,1.415841e-05,1.453969e-05,1.498319e-05,1.515151e-05,1.573359e-05,1.575626e-05,1.628602e-05,1.647769e-05,1.680914e-05,1.714840e-05,1.730351e-05,1.776986e-05,1.820901e-05,1.834395e-05,1.862191e-05,1.887285e-05,1.900955e-05,1.935886e-05,1.937294e-05,1.971314e-05,1.980439e-05,2.003120e-05,2.021184e-05,2.032816e-05,2.058360e-05,2.060503e-05,2.086282e-05,2.092195e-05,2.110249e-05,2.122913e-05,2.132497e-05,2.150725e-05,2.153116e-05,2.172192e-05,2.175829e-05,2.189806e-05,2.198415e-05,2.206039e-05,2.218660e-05,2.220963e-05,2.234650e-05,2.236729e-05,2.247167e-05,2.252779e-05,2.258579e-05,2.266953e-05,2.268945e-05,2.278325e-05,2.279386e-05,2.286771e-05,2.290205e-05,2.294336e-05,2.299526e-05,2.301068e-05,2.307015e-05,2.307458e-05,2.312218e-05,2.314101e-05,2.316720e-05,2.319549e-05,2.320560e-05,2.323775e-05,2.323891e-05,2.326399e-05,2.327206e-05,2.328467e-05,2.329570e-05,2.330008e-05,2.331053e-05,2.331630e-05,2.331720e-05,2.331766e-05,2.331632e-05,2.331484e-05,2.330844e-05,2.330809e-05,2.329764e-05,2.329408e-05,2.328370e-05,2.327374e-05,2.326646e-05,2.324786e-05,2.324612e-05,2.322286e-05,2.321687e-05,2.319685e-05,2.318115e-05,2.316825e-05,2.314107e-05,2.313722e-05,2.310390e-05,2.309697e-05,2.306842e-05,2.304916e-05,2.303092e-05,2.299795e-05,2.299153e-05,2.295035e-05,2.294360e-05,2.290750e-05,2.288638e-05,2.286309e-05,2.282651e-05,2.281722e-05,2.276998e-05,2.276423e-05,2.272147e-05,2.269974e-05,2.267176e-05,2.263323e-05,2.262094e-05,2.256909e-05,2.256490e-05,2.251628e-05,2.249490e-05,2.246258e-05,2.242340e-05,2.240806e-05,2.235278e-05,2.235055e-05,2.229680e-05,2.227648e-05,2.224017e-05,2.220133e-05,2.218296e-05,2.212521e-05,2.204825e-05,2.197054e-05,2.189218e-05,2.181328e-05,2.173391e-05,2.165416e-05,2.157411e-05,2.149382e-05,2.141336e-05,2.133280e-05,2.125219e-05,2.117160e-05,2.109106e-05,2.101064e-05,2.093036e-05,2.085028e-05,2.077044e-05,2.069087e-05,2.061160e-05,2.053267e-05,2.045410e-05,2.037593e-05,2.029817e-05,2.022086e-05
0.000000e+00,2.118932e-09,4.856670e-09,1.667116e-08,3.779263e-08,5.500602e-08,1.239297e-07,1.276202e-07,2.447045e-07,2.868573e-07,4.166013e-07,5.504743e-07,6.539550e-07,9.390621e-07,9.671211e-07,1.364112e-06,1.472268e-06,1.846994e-06,2.152874e-06,2.409414e-06,2.960114e-06,3.038674e-06,3.720484e-06,3.861983e-06,4.441984e-06,4.829178e-06,5.192322e-06,5.838074e-06,5.962225e-06,6.743493e-06,6.869045e-06,7.528703e-06,7.904992e-06,8.311086e-06,8.930809e-06,9.084502e-06,9.843470e-06,9.933341e-06,1.058320e-05,1.090151e-05,1.129962e-05,1.182642e-05,1.198937e-05,1.264980e-05,1.270130e-05,1.327891e-05,1.352145e-05,1.387529e-05,1.428392e-05,1.443809e-05,1.496692e-05,1.498737e-05,1.546182e-05,1.563175e-05,1.592317e-05,1.621804e-05,1.635160e-05,1.674800e-05,1.711339e-05,1.722396e-05,1.744896e-05,1.764864e-05,1.775595e-05,1.802499e-05,1.803568e-05,1.828949e-05,1.835610e-05,1.851875e-05,1.864508e-05,1.872480e-05,1.889500e-05,1.890896e-05,1.907254e-05,1.910887e-05,1.921677e-05,1.928955e-05,1.934288e-05,1.943979e-05,1.945203e-05,1.954532e-05,1.956218e-05,1.962382e-05,1.965913e-05,1.968853e-05,1.973292e-05,1.974040e-05,1.978032e-05,1.978566e-05,1.980917e-05,1.981931e-05,1.982772e-05,1.983567e-05,1.983674e-05,1.983695e-05,1.983641e-05,1.982900e-05,1.982308e-05,1.981351e-05,1.979708e-05,1.979109e-05,1.976228e-05,1.975971e-05,1.972759e-05,1.971218e-05,1.968751e-05,1.965557e-05,1.964249e-05,1.959295e-05,1.959088e-05,1.953928e-05,1.951902e-05,1.948186e-05,1.944084e-05,1.942103e-05,1.935711e-05,1.929039e-05,1.926850e-05,1.922117e-05,1.917568e-05,1.914971e-05,1.907921e-05,1.907623e-05,1.900098e-05,1.897962e-05,1.892416e-05,1.887740e-05,1.884597e-05,1.877299e-05,1.876660e-05,1.868620e-05,1.866678e-05,1.860495e-05,1.855913e-05,1.852299e-05,1.845038e-05,1.844044e-05,1.835745e-05,1.834081e-05,1.827413e-05,1.823070e-05,1.819058e-05,1.812030e-05,1.810691e-05,1.802321e-05,1.800982e-05,1.793957e-05,1.789946e-05,1.785606e-05,1.778940e-05,1.777276e-05,1.768974e-05,1.767980e-05,1.760706e-05,1.757080e-05,1.752478e-05,1.746254e-05,1.744294e-05,1.736160e-05,1.735512e-05,1.728081e-05,1.724865e-05,1.720059e-05,1.714321e-05,1.712099e-05,1.704204e-05,1.703890e-05,1.696377e-05,1.693577e-05,1.688622e-05,1.683389e-05,1.680939e-05,1.673332e-05,1.663409e-05,1.653624e-05,1.643982e-05,1.634485e-05,1.625134e-05,1.615932e-05,1.606880e-05,1.597979e-05,1.589230e-05,1.580632e-05,1.572186e-05,1.563892e-05,1.555750e-05,1.547757e-05,1.539914e-05,1.532220e-05,1.524673e-05,1.517273e-05,1.510017e-05,1.502904e-05,1.495932e-05,1.489100e-05,1.482406e-05,1.475848e-05
0.000000e+00,1.163417e-09,2.672707e-09,9.194986e-09,2.085090e-08,3.033477e-08,6.812773e-08,7.014270e-08,1.336049e-07,1.562375e-07,2.252279e-07,2.954362e-07,3.490994e-07,4.947008e-07,5.088826e-07,7.076784e-07,7.614637e-07,9.476659e-07,1.100376e-06,1.229495e-06,1.511002e-06,1.551695e-06,1.910634e-06,1.986396e-06,2.301219e-06,2.514964e-06,2.717826e-06,3.083824e-06,3.154915e-06,3.607279e-06,3.680746e-06,4.070073e-06,4.294589e-06,4.538812e-06,4.915292e-06,5.009360e-06,5.477936e-06,5.533867e-06,5.941137e-06,6.142451e-06,6.395949e-06,6.734375e-06,6.839762e-06,7.270372e-06,7.304193e-06,7.685968e-06,7.847670e-06,8.085121e-06,8.361711e-06,8.466753e-06,8.830102e-06,8.844249e-06,9.174693e-06,9.294102e-06,9.500298e-06,9.710854e-06,9.806911e-06,1.009470e-05,1.036398e-05,1.044631e-05,1.061520e-05,1.076674e-05,1.084888e-05,1.105729e-05,1.106564e-05,1.126612e-05,1.131943e-05,1.145102e-05,1.155477e-05,1.162105e-05,1.176496e-05,1.177692e-05,1.191937e-05,1.195164e-05,1.204911e-05,1.211647e-05,1.216683e-05,1.226103e-05,1.227322e-05,1.236893e-05,1.238685e-05,1.245461e-05,1.249539e-05,1.253085e-05,1.258804e-05,1.259826e-05,1.265737e-05,1.266610e-05,1.270873e-05,1.273077e-05,1.275282e-05,1.278320e-05,1.279014e-05,1.282112e-05,1.282444e-05,1.284620e-05,1.285546e-05,1.286577e-05,1.287719e-05,1.288021e-05,1.288987e-05,1.289045e-05,1.289510e-05,1.289602e-05,1.289620e-05,1.289461e-05,1.289348e-05,1.288720e-05,1.288688e-05,1.287763e-05,1.287343e-05,1.286502e-05,1.285482e-05,1.284959e-05,1.283156e-05,1.281113e-05,1.280412e-05,1.278849e-05,1.277293e-05,1.276382e-05,1.273838e-05,1.273728e-05,1.270903e-05,1.270084e-05,1.267922e-05,1.266064e-05,1.264798e-05,1.261809e-05,1.261544e-05,1.258172e-05,1.257346e-05,1.254693e-05,1.252702e-05,1.251117e-05,1.247899e-05,1.247455e-05,1.243716e-05,1.242960e-05,1.239908e-05,1.237903e-05,1.236039e-05,1.232748e-05,1.232117e-05,1.228149e-05,1.227510e-05,1.224141e-05,1.222205e-05,1.220099e-05,1.216846e-05,1.216030e-05,1.211938e-05,1.211446e-05,1.207828e-05,1.206016e-05,1.203706e-05,1.200567e-05,1.199574e-05,1.195439e-05,1.195108e-05,1.191302e-05,1.189648e-05,1.187168e-05,1.184195e-05,1.183040e-05,1.178921e-05,1.178756e-05,1.174813e-05,1.173338e-05,1.170720e-05,1.167946e-05,1.166643e-05,1.162585e-05,1.157262e-05,1.151979e-05,1.146741e-05,1.141551e-05,1.136412e-05,1.131327e-05,1.126299e-05,1.121329e-05,1.116419e-05,1.111572e-05,1.106789e-05,1.102070e-05,1.097416e-05,1.092830e-05,1.088310e-05,1.083858e-05,1.079475e-05,1.075159e-05,1.070913e-05,1.066735e-05,1.062625e-05,1.058584e-05,1.054611e-05,1.050706e-05
0.000000e+00,1.029772e-08,2.412730e-08,8.498990e-08,1.954764e-07,2.862941e-07,6.535734e-07,6.733541e-07,1.304735e-06,1.533429e-06,2.240515e-06,2.973899e-06,3.542797e-06,5.117205e-06,5.272636e-06,7.480341e-06,8.084618e-06,1.018804e-05,1.191656e-05,1.337417e-05,1.652581e-05,1.697773e-05,2.092096e-05,2.174364e-05,2.512943e-05,2.740096e-05,2.953906e-05,3.335865e-05,3.409555e-05,3.875197e-05,3.950344e-05,4.346694e-05,4.573996e-05,4.820367e-05,5.198666e-05,5.292952e-05,5.761581e-05,5.817428e-05,6.223770e-05,6.424535e-05,6.677407e-05,7.015356e-05,7.120731e-05,7.552309e-05,7.586291e-05,7.970999e-05,8.134662e-05,8.375926e-05,8.658580e-05,8.766444e-05,9.142105e-05,9.156818e-05,9.502633e-05,9.628688e-05,9.847890e-05,1.007393e-04,1.017786e-04,1.049262e-04,1.079233e-04,1.088509e-04,1.107721e-04,1.125187e-04,1.134753e-04,1.159362e-04,1.160359e-04,1.184574e-04,1.191110e-04,1.207435e-04,1.220516e-04,1.228978e-04,1.247669e-04,1.249244e-04,1.268272e-04,1.272660e-04,1.286104e-04,1.295582e-04,1.302779e-04,1.316528e-04,1.318338e-04,1.332821e-04,1.335592e-04,1.346268e-04,1.352863e-04,1.358717e-04,1.368431e-04,1.370207e-04,1.380776e-04,1.382384e-04,1.390461e-04,1.394806e-04,1.399297e-04,1.405779e-04,1.407321e-04,1.414565e-04,1.415384e-04,1.421065e-04,1.423697e-04,1.426851e-04,1.430792e-04,1.431956e-04,1.436411e-04,1.436740e-04,1.440244e-04,1.441610e-04,1.443485e-04,1.445467e-04,1.446161e-04,1.448299e-04,1.448374e-04,1.449926e-04,1.450391e-04,1.451066e-04,1.451576e-04,1.451744e-04,1.451982e-04,1.451804e-04,1.451662e-04,1.451231e-04,1.450666e-04,1.450284e-04,1.449041e-04,1.448983e-04,1.447347e-04,1.446832e-04,1.445396e-04,1.444081e-04,1.443146e-04,1.440828e-04,1.440616e-04,1.437821e-04,1.437112e-04,1.434777e-04,1.432970e-04,1.431501e-04,1.428436e-04,1.428005e-04,1.424305e-04,1.423542e-04,1.420413e-04,1.418318e-04,1.416343e-04,1.412795e-04,1.412106e-04,1.407715e-04,1.406999e-04,1.403181e-04,1.400956e-04,1.398513e-04,1.394691e-04,1.393724e-04,1.388822e-04,1.388226e-04,1.383816e-04,1.381584e-04,1.378717e-04,1.374783e-04,1.373532e-04,1.368269e-04,1.367845e-04,1.362936e-04,1.360785e-04,1.357541e-04,1.353621e-04,1.352090e-04,1.346591e-04,1.346370e-04,1.341049e-04,1.339044e-04,1.335470e-04,1.331659e-04,1.329861e-04,1.324227e-04,1.316760e-04,1.309269e-04,1.301765e-04,1.294257e-04,1.286755e-04,1.279265e-04,1.271798e-04,1.264358e-04,1.256954e-04,1.249591e-04,1.242274e-04,1.235009e-04,1.227800e-04,1.220652e-04,1.213569e-04,1.206554e-04,1.199609e-04,1.192739e-04,1.185945e-04,1.179230e-04,1.172596e-04,1.166045e-04,1.159577e-04,1.153195e-04
0.000000e+00,3.518578e-14,2.342896e-13,3.884885e-12,2.470431e-11,5.737485e-11,3.491217e-10,3.724466e-10,1.543287e-09,2.174023e-09,4.821094e-09,8.667674e-09,1.241039e-08,2.614172e-08,2.776196e-08,5.584527e-08,6.518629e-08,1.033683e-07,1.415826e-07,1.788722e-07,2.765655e-07,2.926053e-07,4.561274e-07,4.958805e-07,6.816877e-07,8.275694e-07,9.814849e-07,1.299069e-06,1.366928e-06,1.847989e-06,1.934400e-06,2.432705e-06,2.751969e-06,3.126831e-06,3.763204e-06,3.933659e-06,4.853973e-06,4.971982e-06,5.886110e-06,6.374736e-06,7.026121e-06,7.961036e-06,8.267978e-06,9.603847e-06,9.714507e-06,1.102437e-05,1.161394e-05,1.251896e-05,1.363452e-05,1.407614e-05,1.568380e-05,1.574898e-05,1.732951e-05,1.792887e-05,1.900078e-05,2.014553e-05,2.068528e-05,2.237110e-05,2.404689e-05,2.457926e-05,2.570203e-05,2.674593e-05,2.732674e-05,2.884963e-05,2.891219e-05,3.045054e-05,3.087188e-05,3.193496e-05,3.279727e-05,3.335966e-05,3.461355e-05,3.471991e-05,3.601191e-05,3.631150e-05,3.723285e-05,3.788478e-05,3.838078e-05,3.932966e-05,3.945458e-05,4.045385e-05,4.064478e-05,4.137888e-05,4.183082e-05,4.223052e-05,4.289018e-05,4.301015e-05,4.371955e-05,4.382668e-05,4.436089e-05,4.464527e-05,4.493661e-05,4.535173e-05,4.544939e-05,4.590205e-05,4.595247e-05,4.629757e-05,4.645427e-05,4.663897e-05,4.686412e-05,4.692930e-05,4.717164e-05,4.718904e-05,4.736899e-05,4.743600e-05,4.752432e-05,4.761177e-05,4.764053e-05,4.772040e-05,4.772288e-05,4.776663e-05,4.777553e-05,4.778178e-05,4.777558e-05,4.776829e-05,4.772851e-05,4.766461e-05,4.763941e-05,4.757868e-05,4.751302e-05,4.747265e-05,4.735365e-05,4.734835e-05,4.720748e-05,4.716528e-05,4.705162e-05,4.695152e-05,4.688224e-05,4.671565e-05,4.670072e-05,4.650831e-05,4.646065e-05,4.630620e-05,4.618919e-05,4.609547e-05,4.590368e-05,4.587711e-05,4.565204e-05,4.560630e-05,4.542112e-05,4.529898e-05,4.518511e-05,4.498346e-05,4.494474e-05,4.470065e-05,4.466130e-05,4.445346e-05,4.433386e-05,4.420370e-05,4.400239e-05,4.395189e-05,4.369848e-05,4.366799e-05,4.344391e-05,4.333162e-05,4.318854e-05,4.299415e-05,4.293273e-05,4.267680e-05,4.265633e-05,4.242105e-05,4.231885e-05,4.216573e-05,4.198230e-05,4.191108e-05,4.165734e-05,4.164721e-05,4.140468e-05,4.131402e-05,4.115329e-05,4.098316e-05,4.090334e-05,4.065498e-05,4.032977e-05,4.000782e-05,3.968935e-05,3.937457e-05,3.906364e-05,3.875672e-05,3.845392e-05,3.815534e-05,3.786107e-05,3.757118e-05,3.728571e-05,3.700470e-05,3.672818e-05,3.645617e-05,3.618866e-05,3.592566e-05,3.566716e-05,3.541314e-05,3.516357e-05,3.491843e-05,3.467769e-05,3.444129e-05,3.420921e-05,3.398140e-05
0.000000e+00,1.569088e-15,1.058061e-14,1.804009e-13,1.177636e-12,2.775167e-12,1.754188e-11,1.874302e-11,8.067354e-11,1.148202e-10,2.612401e-10,4.793500e-10,6.953523e-10,1.506718e-09,1.603851e-09,3.316692e-09,3.895571e-09,6.293902e-09,8.733384e-09,1.114294e-08,1.756417e-08,1.863155e-08,2.969533e-08,3.243143e-08,4.543971e-08,5.589218e-08,6.713583e-08,9.099956e-08,9.621032e-08,1.342292e-07,1.412533e-07,1.828763e-07,2.105207e-07,2.439271e-07,3.029317e-07,3.192188e-07,4.106178e-07,4.227568e-07,5.199861e-07,5.742729e-07,6.491468e-07,7.616262e-07,7.998496e-07,9.737383e-07,9.886973e-07,1.172320e-06,1.258974e-06,1.396937e-06,1.575437e-06,1.648742e-06,1.928674e-06,1.940468e-06,2.237448e-06,2.355765e-06,2.575534e-06,2.822298e-06,2.943153e-06,3.340271e-06,3.766601e-06,3.909115e-06,4.221605e-06,4.527505e-06,4.704503e-06,5.193392e-06,5.214285e-06,5.749724e-06,5.904055e-06,6.309395e-06,6.656169e-06,6.891695e-06,7.445883e-06,7.494860e-06,8.116994e-06,8.268907e-06,8.756085e-06,9.120604e-06,9.410034e-06,9.996081e-06,1.007668e-05,1.075380e-05,1.089029e-05,1.143918e-05,1.179810e-05,1.213059e-05,1.271441e-05,1.282581e-05,1.352268e-05,1.363419e-05,1.421908e-05,1.455258e-05,1.491295e-05,1.546491e-05,1.560234e-05,1.628536e-05,1.636681e-05,1.696026e-05,1.725420e-05,1.762535e-05,1.812331e-05,1.827910e-05,1.892008e-05,1.897077e-05,1.954700e-05,1.979355e-05,2.015865e-05,2.058900e-05,2.075400e-05,2.133211e-05,2.135486e-05,2.189216e-05,2.208922e-05,2.243346e-05,2.279053e-05,2.295543e-05,2.345760e-05,2.393961e-05,2.408954e-05,2.440118e-05,2.468578e-05,2.484215e-05,2.524601e-05,2.526243e-05,2.566201e-05,2.577020e-05,2.604098e-05,2.625852e-05,2.639947e-05,2.671137e-05,2.673769e-05,2.705590e-05,2.712932e-05,2.735441e-05,2.751311e-05,2.763359e-05,2.786359e-05,2.789384e-05,2.813559e-05,2.818176e-05,2.835930e-05,2.846868e-05,2.856549e-05,2.872550e-05,2.875464e-05,2.892731e-05,2.895344e-05,2.908403e-05,2.915375e-05,2.922535e-05,2.932771e-05,2.935185e-05,2.946407e-05,2.947661e-05,2.956260e-05,2.960175e-05,2.964799e-05,2.970444e-05,2.972080e-05,2.978159e-05,2.978595e-05,2.983092e-05,2.984755e-05,2.986931e-05,2.989047e-05,2.989729e-05,2.991539e-05,2.991592e-05,2.992412e-05,2.992506e-05,2.992395e-05,2.991901e-05,2.991538e-05,2.989887e-05,2.986567e-05,2.982041e-05,2.976404e-05,2.969745e-05,2.962152e-05,2.953703e-05,2.944477e-05,2.934546e-05,2.923976e-05,2.912833e-05,2.901175e-05,2.889060e-05,2.876538e-05,2.863660e-05,2.850470e-05,2.837010e-05,2.823320e-05,2.809435e-05,2.795390e-05,2.781216e-05,2.766941e-05,2.752592e-05,2.738193e-05,2.723767e-05
0.000000e+00,6.729085e-10,2.337983e-09,1.273591e-08,3.603117e-08,5.701739e-08,1.492414e-07,1.544133e-07,3.253518e-07,3.891993e-07,5.905853e-07,8.039737e-07,9.718122e-07,1.444025e-06,1.491143e-06,2.167500e-06,2.354509e-06,3.010355e-06,3.554640e-06,4.017595e-06,5.033127e-06,5.180577e-06,6.489400e-06,6.767823e-06,7.934555e-06,8.736806e-06,9.506641e-06,1.091811e-05,1.119582e-05,1.299153e-05,1.328799e-05,1.488245e-05,1.582041e-05,1.685662e-05,1.848761e-05,1.890170e-05,2.100524e-05,2.126100e-05,2.315492e-05,2.411231e-05,2.533883e-05,2.701448e-05,2.754561e-05,2.976469e-05,2.994245e-05,3.198630e-05,3.287364e-05,3.420160e-05,3.578823e-05,3.640269e-05,3.858260e-05,3.866927e-05,4.073526e-05,4.150251e-05,4.285542e-05,4.427627e-05,4.493865e-05,4.698124e-05,4.898015e-05,4.961016e-05,5.093293e-05,5.215758e-05,5.283763e-05,5.461956e-05,5.469280e-05,5.649737e-05,5.699347e-05,5.825062e-05,5.927776e-05,5.995215e-05,6.147173e-05,6.160179e-05,6.319963e-05,6.357543e-05,6.474592e-05,6.558948e-05,6.624108e-05,6.751494e-05,6.768563e-05,6.908024e-05,6.935324e-05,7.042566e-05,7.110610e-05,7.172269e-05,7.277544e-05,7.297221e-05,7.417515e-05,7.436336e-05,7.533247e-05,7.587207e-05,7.644516e-05,7.730386e-05,7.751424e-05,7.854072e-05,7.866109e-05,7.952566e-05,7.994614e-05,8.047009e-05,8.116141e-05,8.137505e-05,8.224160e-05,8.230929e-05,8.307075e-05,8.339218e-05,8.386355e-05,8.441242e-05,8.462101e-05,8.534413e-05,8.537236e-05,8.603392e-05,8.627427e-05,8.669134e-05,8.712040e-05,8.731737e-05,8.791295e-05,8.847902e-05,8.865407e-05,8.901648e-05,8.934586e-05,8.952624e-05,8.999035e-05,9.000917e-05,9.046612e-05,9.058953e-05,9.089795e-05,9.114533e-05,9.130547e-05,9.165962e-05,9.168949e-05,9.205079e-05,9.213420e-05,9.239013e-05,9.257085e-05,9.270826e-05,9.297125e-05,9.300591e-05,9.328379e-05,9.333706e-05,9.354259e-05,9.366985e-05,9.378299e-05,9.397117e-05,9.400563e-05,9.421116e-05,9.424250e-05,9.440020e-05,9.448525e-05,9.457334e-05,9.470082e-05,9.473119e-05,9.487430e-05,9.489051e-05,9.500324e-05,9.505562e-05,9.511854e-05,9.519736e-05,9.522072e-05,9.531029e-05,9.531692e-05,9.538774e-05,9.541544e-05,9.545355e-05,9.549399e-05,9.550819e-05,9.555211e-05,9.555364e-05,9.558573e-05,9.559539e-05,9.560948e-05,9.562021e-05,9.562378e-05,9.562901e-05,9.562270e-05,9.560212e-05,9.556809e-05,9.552139e-05,9.546277e-05,9.539295e-05,9.531261e-05,9.522241e-05,9.512298e-05,9.501492e-05,9.489880e-05,9.477516e-05,9.464453e-05,9.450741e-05,9.436428e-05,9.421558e-05,9.406176e-05,9.390321e-05,9.374034e-05,9.357353e-05,9.340311e-05,9.322944e-05,9.305284e-05,9.287360e-05
0.000000e+00,1.409178e-10,6.538640e-10,5.448009e-09,1.979231e-08,3.466109e-08,1.093914e-07,1.138553e-07,2.697291e-07,3.307066e-07,5.286693e-07,7.445851e-07,9.173855e-07,1.413147e-06,1.463242e-06,2.192807e-06,2.397795e-06,3.127278e-06,3.744410e-06,4.276830e-06,5.465034e-06,5.639536e-06,7.205781e-06,7.542379e-06,8.963165e-06,9.948252e-06,1.089875e-05,1.265271e-05,1.299934e-05,1.525116e-05,1.562452e-05,1.763952e-05,1.882987e-05,2.014877e-05,2.223216e-05,2.276243e-05,2.546346e-05,2.579264e-05,2.823458e-05,2.947165e-05,3.105863e-05,3.323000e-05,3.391890e-05,3.679940e-05,3.703025e-05,3.968510e-05,4.083768e-05,4.256212e-05,4.462106e-05,4.541783e-05,4.824095e-05,4.835305e-05,5.102150e-05,5.201038e-05,5.375083e-05,5.557367e-05,5.642150e-05,5.902730e-05,6.156312e-05,6.235911e-05,6.402486e-05,6.555999e-05,6.640932e-05,6.862348e-05,6.871411e-05,7.093759e-05,7.154544e-05,7.307872e-05,7.432363e-05,7.513699e-05,7.695741e-05,7.711240e-05,7.900532e-05,7.944742e-05,8.081647e-05,8.179537e-05,8.254687e-05,8.400379e-05,8.419774e-05,8.577052e-05,8.607583e-05,8.726676e-05,8.801512e-05,8.868817e-05,8.982565e-05,9.003656e-05,9.131378e-05,9.151166e-05,9.252177e-05,9.307758e-05,9.366247e-05,9.452791e-05,9.473786e-05,9.574993e-05,9.586722e-05,9.670067e-05,9.710008e-05,9.759207e-05,9.823105e-05,9.842609e-05,9.920467e-05,9.926462e-05,9.992974e-05,1.002052e-04,1.006032e-04,1.010571e-04,1.012269e-04,1.018026e-04,1.018246e-04,1.023321e-04,1.025118e-04,1.028173e-04,1.031227e-04,1.032597e-04,1.036610e-04,1.040229e-04,1.041307e-04,1.043470e-04,1.045352e-04,1.046347e-04,1.048782e-04,1.048876e-04,1.051071e-04,1.051628e-04,1.052947e-04,1.053924e-04,1.054516e-04,1.055700e-04,1.055792e-04,1.056788e-04,1.056987e-04,1.057517e-04,1.057812e-04,1.057990e-04,1.058204e-04,1.058219e-04,1.058215e-04,1.058187e-04,1.057989e-04,1.057788e-04,1.057553e-04,1.057030e-04,1.056915e-04,1.056086e-04,1.055936e-04,1.055075e-04,1.054528e-04,1.053892e-04,1.052826e-04,1.052544e-04,1.051042e-04,1.050851e-04,1.049392e-04,1.048622e-04,1.047603e-04,1.046155e-04,1.045683e-04,1.043638e-04,1.043469e-04,1.041476e-04,1.040580e-04,1.039204e-04,1.037503e-04,1.036828e-04,1.034354e-04,1.034254e-04,1.031789e-04,1.030844e-04,1.029138e-04,1.027290e-04,1.026407e-04,1.023601e-04,1.019792e-04,1.015872e-04,1.011853e-04,1.007744e-04,1.003556e-04,9.992962e-05,9.949745e-05,9.905985e-05,9.861758e-05,9.817134e-05,9.772181e-05,9.726962e-05,9.681535e-05,9.635958e-05,9.590282e-05,9.544555e-05,9.498824e-05,9.453131e-05,9.407517e-05,9.362019e-05,9.316672e-05,9.271507e-05,9.226555e-05,9.181844e-05
0.000000e+00,1.012942e-11,5.633476e-11,6.499201e-10,3.008934e-09,5.903735e-09,2.368777e-08,2.486076e-08,7.017892e-08,8.951377e-08,1.561254e-07,2.334345e-07,2.977810e-07,4.910360e-07,5.111401e-07,8.133626e-07,9.011162e-07,1.222449e-06,1.504757e-06,1.755636e-06,2.338086e-06,2.426027e-06,3.237969e-06,3.416868e-06,4.183396e-06,4.721382e-06,5.241872e-06,6.197537e-06,6.384798e-06,7.581343e-06,7.775814e-06,8.803254e-06,9.391740e-06,1.002727e-05,1.099585e-05,1.123555e-05,1.241495e-05,1.255405e-05,1.355595e-05,1.404401e-05,1.465180e-05,1.545150e-05,1.569779e-05,1.669072e-05,1.676779e-05,1.762859e-05,1.798806e-05,1.851037e-05,1.911038e-05,1.933585e-05,2.010548e-05,2.013511e-05,2.082024e-05,2.106440e-05,2.148160e-05,2.190173e-05,2.209137e-05,2.265162e-05,2.316465e-05,2.331923e-05,2.363286e-05,2.391014e-05,2.405874e-05,2.443009e-05,2.444480e-05,2.479353e-05,2.488481e-05,2.510737e-05,2.527991e-05,2.538869e-05,2.562075e-05,2.563978e-05,2.586280e-05,2.591238e-05,2.605983e-05,2.615953e-05,2.623280e-05,2.636656e-05,2.638354e-05,2.651376e-05,2.653748e-05,2.662504e-05,2.667593e-05,2.671888e-05,2.678523e-05,2.679664e-05,2.685960e-05,2.686838e-05,2.690893e-05,2.692809e-05,2.694572e-05,2.696680e-05,2.697097e-05,2.698560e-05,2.698669e-05,2.699048e-05,2.698973e-05,2.698637e-05,2.697769e-05,2.697401e-05,2.695407e-05,2.695216e-05,2.692714e-05,2.691455e-05,2.689382e-05,2.686615e-05,2.685460e-05,2.680998e-05,2.680809e-05,2.676040e-05,2.674141e-05,2.670626e-05,2.666704e-05,2.664795e-05,2.658582e-05,2.652018e-05,2.649849e-05,2.645134e-05,2.640573e-05,2.637958e-05,2.630817e-05,2.630514e-05,2.622828e-05,2.620635e-05,2.614920e-05,2.610078e-05,2.606811e-05,2.599190e-05,2.598521e-05,2.590067e-05,2.588015e-05,2.581465e-05,2.576589e-05,2.572730e-05,2.564946e-05,2.563878e-05,2.554920e-05,2.553117e-05,2.545870e-05,2.541131e-05,2.536739e-05,2.529014e-05,2.527538e-05,2.518276e-05,2.516789e-05,2.508963e-05,2.504477e-05,2.499608e-05,2.492099e-05,2.490219e-05,2.480803e-05,2.479671e-05,2.471368e-05,2.467212e-05,2.461920e-05,2.454735e-05,2.452465e-05,2.443010e-05,2.442254e-05,2.433560e-05,2.429782e-05,2.424119e-05,2.417331e-05,2.414693e-05,2.405286e-05,2.404911e-05,2.395903e-05,2.392531e-05,2.386546e-05,2.380201e-05,2.377220e-05,2.367929e-05,2.355721e-05,2.343585e-05,2.331527e-05,2.319552e-05,2.307666e-05,2.295872e-05,2.284176e-05,2.272580e-05,2.261089e-05,2.249705e-05,2.238431e-05,2.227270e-05,2.216223e-05,2.205292e-05,2.194480e-05,2.183787e-05,2.173215e-05,2.162764e-05,2.152436e-05,2.142231e-05,2.132150e-05,2.122193e-05,2.112360e-05,2.102652e-05
0.000000e+00,4.014674e-14,2.652760e-13,4.328375e-12,2.711165e-11,6.243232e-11,3.713104e-10,3.957373e-10,1.600341e-09,2.238758e-09,4.874807e-09,8.627874e-09,1.222168e-08,2.509510e-08,2.658976e-08,5.194305e-08,6.019448e-08,9.325470e-08,1.255253e-07,1.564251e-07,2.353728e-07,2.481156e-07,3.754837e-07,4.058827e-07,5.458215e-07,6.537263e-07,7.661281e-07,9.944189e-07,1.042673e-06,1.380610e-06,1.440648e-06,1.783670e-06,2.000957e-06,2.253972e-06,2.678965e-06,2.791933e-06,3.396270e-06,3.473129e-06,4.064089e-06,4.376966e-06,4.791033e-06,5.379631e-06,5.571472e-06,6.398718e-06,6.466699e-06,7.265261e-06,7.621082e-06,8.163008e-06,8.823976e-06,9.083518e-06,1.001822e-05,1.005578e-05,1.095862e-05,1.129696e-05,1.189648e-05,1.252877e-05,1.282400e-05,1.373389e-05,1.461954e-05,1.489684e-05,1.547505e-05,1.600437e-05,1.629532e-05,1.704558e-05,1.707600e-05,1.781360e-05,1.801201e-05,1.850538e-05,1.889760e-05,1.914935e-05,1.969849e-05,1.974426e-05,2.028948e-05,2.041292e-05,2.078498e-05,2.104090e-05,2.123125e-05,2.158400e-05,2.162925e-05,2.198031e-05,2.204503e-05,2.228609e-05,2.242782e-05,2.254849e-05,2.273694e-05,2.276964e-05,2.295178e-05,2.297747e-05,2.309728e-05,2.315481e-05,2.320853e-05,2.327449e-05,2.328795e-05,2.333793e-05,2.334206e-05,2.336084e-05,2.336293e-05,2.335896e-05,2.334232e-05,2.333450e-05,2.328959e-05,2.328517e-05,2.322621e-05,2.319612e-05,2.314627e-05,2.307947e-05,2.305155e-05,2.294370e-05,2.293914e-05,2.282427e-05,2.277872e-05,2.269468e-05,2.260144e-05,2.255626e-05,2.241020e-05,2.225761e-05,2.220757e-05,2.209950e-05,2.199583e-05,2.193678e-05,2.177700e-05,2.177028e-05,2.160075e-05,2.155284e-05,2.142887e-05,2.132487e-05,2.125524e-05,2.109443e-05,2.108041e-05,2.090485e-05,2.086265e-05,2.072900e-05,2.063054e-05,2.055324e-05,2.039892e-05,2.037792e-05,2.020333e-05,2.016852e-05,2.002974e-05,1.993994e-05,1.985737e-05,1.971369e-05,1.968644e-05,1.951712e-05,1.949019e-05,1.934956e-05,1.926980e-05,1.918389e-05,1.905280e-05,1.902023e-05,1.885866e-05,1.883942e-05,1.869927e-05,1.862985e-05,1.854213e-05,1.842423e-05,1.838728e-05,1.823476e-05,1.822266e-05,1.808462e-05,1.802524e-05,1.793688e-05,1.783200e-05,1.779155e-05,1.764864e-05,1.764297e-05,1.750815e-05,1.745817e-05,1.737009e-05,1.727760e-05,1.723445e-05,1.710122e-05,1.692901e-05,1.676093e-05,1.659692e-05,1.643694e-05,1.628092e-05,1.612879e-05,1.598048e-05,1.583593e-05,1.569504e-05,1.555775e-05,1.542398e-05,1.529365e-05,1.516667e-05,1.504298e-05,1.492248e-05,1.480510e-05,1.469076e-05,1.457939e-05,1.447089e-05,1.436521e-05,1.426225e-05,1.416196e-05,1.406426e-05,1.396907e-05
0.000000e+00,7.598051e-13,4.788640e-12,7.087144e-11,4.065023e-10,8.923002e-10,4.697480e-09,4.982042e-09,1.791107e-08,2.428492e-08,4.895961e-08,8.156998e-08,1.111916e-07,2.101852e-07,2.211882e-07,3.986011e-07,4.536178e-07,6.653643e-07,8.622634e-07,1.044138e-06,1.486852e-06,1.555885e-06,2.217275e-06,2.368559e-06,3.038887e-06,3.531012e-06,4.024677e-06,4.978214e-06,5.172516e-06,6.475312e-06,6.697459e-06,7.922265e-06,8.664156e-06,9.500014e-06,1.084634e-05,1.119355e-05,1.298692e-05,1.320805e-05,1.486375e-05,1.571177e-05,1.680768e-05,1.832008e-05,1.880271e-05,2.083344e-05,2.099700e-05,2.288534e-05,2.370897e-05,2.494491e-05,2.642557e-05,2.699981e-05,2.903898e-05,2.912007e-05,3.105263e-05,3.176963e-05,3.303231e-05,3.435535e-05,3.497080e-05,3.686210e-05,3.870136e-05,3.927827e-05,4.048471e-05,4.159533e-05,4.220924e-05,4.380751e-05,4.387286e-05,4.547418e-05,4.591127e-05,4.701244e-05,4.790500e-05,4.848739e-05,4.978861e-05,4.989924e-05,5.124857e-05,5.156319e-05,5.253623e-05,5.323079e-05,5.376333e-05,5.479412e-05,5.493118e-05,5.604122e-05,5.625643e-05,5.709501e-05,5.762129e-05,5.809418e-05,5.889251e-05,5.904042e-05,5.993546e-05,6.007403e-05,6.078103e-05,6.116986e-05,6.157889e-05,6.218399e-05,6.233077e-05,6.303839e-05,6.312041e-05,6.370343e-05,6.398299e-05,6.432755e-05,6.477553e-05,6.491239e-05,6.545953e-05,6.550172e-05,6.597052e-05,6.616512e-05,6.644685e-05,6.676917e-05,6.688999e-05,6.730134e-05,6.731716e-05,6.768229e-05,6.781225e-05,6.803416e-05,6.825746e-05,6.835821e-05,6.865570e-05,6.892780e-05,6.900970e-05,6.917567e-05,6.932211e-05,6.940042e-05,6.959541e-05,6.960311e-05,6.978476e-05,6.983199e-05,6.994637e-05,7.003411e-05,7.008888e-05,7.020390e-05,7.021320e-05,7.032020e-05,7.034340e-05,7.041074e-05,7.045455e-05,7.048561e-05,7.053916e-05,7.054559e-05,7.059143e-05,7.059896e-05,7.062384e-05,7.063561e-05,7.064349e-05,7.065063e-05,7.065106e-05,7.064716e-05,7.064551e-05,7.063239e-05,7.062162e-05,7.060734e-05,7.058027e-05,7.057256e-05,7.052858e-05,7.052270e-05,7.047589e-05,7.045008e-05,7.041500e-05,7.036351e-05,7.034635e-05,7.027040e-05,7.026402e-05,7.018757e-05,7.015261e-05,7.009827e-05,7.003018e-05,7.000288e-05,6.990178e-05,6.989762e-05,6.979531e-05,6.975574e-05,6.968383e-05,6.960532e-05,6.956765e-05,6.944709e-05,6.928172e-05,6.910987e-05,6.893214e-05,6.874910e-05,6.856128e-05,6.836920e-05,6.817332e-05,6.797408e-05,6.777190e-05,6.756717e-05,6.736026e-05,6.715151e-05,6.694124e-05,6.672975e-05,6.651732e-05,6.630421e-05,6.609067e-05,6.587692e-05,6.566319e-05,6.544966e-05,6.523652e-05,6.502394e-05,6.481209e-05,6.460111e-05
0.000000e+00,6.550075e-12,3.595438e-11,4.044938e-10,1.834811e-09,3.563681e-09,1.398069e-08,1.466131e-08,4.071202e-08,5.174903e-08,8.963836e-08,1.334862e-07,1.698960e-07,2.783780e-07,2.895531e-07,4.538963e-07,5.001461e-07,6.634338e-07,7.992855e-07,9.145943e-07,1.165752e-06,1.201958e-06,1.519890e-06,1.586671e-06,1.863078e-06,2.049840e-06,2.226489e-06,2.543790e-06,2.605214e-06,2.994408e-06,3.057331e-06,3.389332e-06,3.579591e-06,3.785464e-06,4.100414e-06,4.178621e-06,4.565072e-06,4.610837e-06,4.941612e-06,5.103449e-06,5.305605e-06,5.572559e-06,5.654989e-06,5.988250e-06,6.014180e-06,6.304374e-06,6.425884e-06,6.602790e-06,6.806564e-06,6.883305e-06,7.146032e-06,7.156176e-06,7.391331e-06,7.475472e-06,7.619745e-06,7.765767e-06,7.831957e-06,8.028737e-06,8.210912e-06,8.266262e-06,8.379334e-06,8.480303e-06,8.534861e-06,8.672818e-06,8.678336e-06,8.810577e-06,8.845699e-06,8.932366e-06,9.000733e-06,9.044446e-06,9.139586e-06,9.147515e-06,9.242230e-06,9.263787e-06,9.329199e-06,9.374732e-06,9.408989e-06,9.473683e-06,9.482124e-06,9.549086e-06,9.561777e-06,9.610321e-06,9.640038e-06,9.666241e-06,9.709382e-06,9.717222e-06,9.763612e-06,9.770630e-06,9.805731e-06,9.824517e-06,9.843872e-06,9.871703e-06,9.878305e-06,9.909280e-06,9.912776e-06,9.937027e-06,9.948267e-06,9.961755e-06,9.978652e-06,9.983662e-06,1.000293e-05,1.000436e-05,1.001972e-05,1.002578e-05,1.003419e-05,1.004325e-05,1.004648e-05,1.005673e-05,1.005710e-05,1.006507e-05,1.006762e-05,1.007159e-05,1.007505e-05,1.007642e-05,1.007965e-05,1.008138e-05,1.008163e-05,1.008169e-05,1.008118e-05,1.008066e-05,1.007849e-05,1.007838e-05,1.007491e-05,1.007373e-05,1.007032e-05,1.006705e-05,1.006467e-05,1.005860e-05,1.005803e-05,1.005046e-05,1.004850e-05,1.004199e-05,1.003688e-05,1.003269e-05,1.002386e-05,1.002261e-05,1.001178e-05,1.000953e-05,1.000025e-05,9.993995e-06,9.988066e-06,9.977347e-06,9.975258e-06,9.961865e-06,9.959670e-06,9.947921e-06,9.941042e-06,9.933460e-06,9.921539e-06,9.918512e-06,9.903107e-06,9.901229e-06,9.887273e-06,9.880177e-06,9.871037e-06,9.858444e-06,9.854424e-06,9.837460e-06,9.836088e-06,9.820166e-06,9.813162e-06,9.802566e-06,9.789716e-06,9.784680e-06,9.766528e-06,9.765797e-06,9.748130e-06,9.741449e-06,9.729503e-06,9.716716e-06,9.710666e-06,9.691635e-06,9.666244e-06,9.640578e-06,9.614670e-06,9.588550e-06,9.562247e-06,9.535790e-06,9.509203e-06,9.482512e-06,9.455738e-06,9.428905e-06,9.402031e-06,9.375136e-06,9.348238e-06,9.321355e-06,9.294501e-06,9.267692e-06,9.240943e-06,9.214266e-06,9.187674e-06,9.161178e-06,9.134790e-06,9.108519e-06,9.082375e-06,9.056367e-06
0.000000e+00,3.814155e-10,1.174941e-09,5.521793e-09,1.448894e-08,2.227513e-08,5.540552e-08,5.723711e-08,1.172051e-07,1.394748e-07,2.096521e-07,2.841050e-07,3.427781e-07,5.082887e-07,5.248276e-07,7.623621e-07,8.279939e-07,1.057432e-06,1.246177e-06,1.404788e-06,1.743866e-06,1.791897e-06,2.202982e-06,2.286763e-06,2.623817e-06,2.842859e-06,3.043870e-06,3.390853e-06,3.456063e-06,3.855785e-06,3.918366e-06,4.240038e-06,4.418388e-06,4.606896e-06,4.887047e-06,4.955182e-06,5.284269e-06,5.322455e-06,5.593954e-06,5.724091e-06,5.884361e-06,6.092402e-06,6.155867e-06,6.409037e-06,6.428518e-06,6.644571e-06,6.734022e-06,6.863262e-06,7.010767e-06,7.065961e-06,7.253545e-06,7.260746e-06,7.426899e-06,7.485991e-06,7.586896e-06,7.688501e-06,7.734389e-06,7.870197e-06,7.995105e-06,8.032896e-06,8.109856e-06,8.178291e-06,8.215151e-06,8.307950e-06,8.311649e-06,8.399969e-06,8.423313e-06,8.480688e-06,8.525696e-06,8.554343e-06,8.616299e-06,8.621436e-06,8.682432e-06,8.696213e-06,8.737765e-06,8.766429e-06,8.787836e-06,8.827842e-06,8.833018e-06,8.873656e-06,8.881267e-06,8.910072e-06,8.927439e-06,8.942562e-06,8.967022e-06,8.971402e-06,8.996848e-06,9.000620e-06,9.019136e-06,9.028779e-06,9.038488e-06,9.051992e-06,9.055107e-06,9.069183e-06,9.070709e-06,9.080891e-06,9.085336e-06,9.090396e-06,9.096239e-06,9.097848e-06,9.103389e-06,9.103753e-06,9.107148e-06,9.108181e-06,9.109250e-06,9.109800e-06,9.109807e-06,9.108925e-06,9.108862e-06,9.106704e-06,9.105594e-06,9.103234e-06,9.100207e-06,9.098603e-06,9.092890e-06,9.086169e-06,9.083817e-06,9.078512e-06,9.073149e-06,9.069982e-06,9.061032e-06,9.060643e-06,9.050551e-06,9.047598e-06,9.039760e-06,9.032971e-06,9.028320e-06,9.017264e-06,9.016279e-06,9.003681e-06,9.000579e-06,8.990567e-06,8.983013e-06,8.976977e-06,8.964652e-06,8.962946e-06,8.948510e-06,8.945577e-06,8.933700e-06,8.925862e-06,8.918548e-06,8.905576e-06,8.903082e-06,8.887328e-06,8.884783e-06,8.871313e-06,8.863540e-06,8.855061e-06,8.841903e-06,8.838593e-06,8.821931e-06,8.819920e-06,8.805096e-06,8.797639e-06,8.788106e-06,8.775101e-06,8.770979e-06,8.753732e-06,8.752348e-06,8.736381e-06,8.729415e-06,8.718941e-06,8.706336e-06,8.701425e-06,8.683848e-06,8.683144e-06,8.666222e-06,8.659867e-06,8.648559e-06,8.636533e-06,8.630870e-06,8.613166e-06,8.589791e-06,8.566428e-06,8.543098e-06,8.519819e-06,8.496609e-06,8.473483e-06,8.450456e-06,8.427541e-06,8.404752e-06,8.382099e-06,8.359594e-06,8.337247e-06,8.315065e-06,8.293058e-06,8.271233e-06,8.249597e-06,8.228157e-06,8.206917e-06,8.185883e-06,8.165060e-06,8.144452e-06,8.124063e-06,8.103895e-06,8.083953e-06
0.000000e+00,1.341802e-11,7.198315e-11,7.756798e-10,3.401171e-09,6.497958e-09,2.459578e-08,2.576081e-08,6.969488e-08,8.809399e-08,1.508648e-07,2.232459e-07,2.834050e-07,4.641050e-07,4.828919e-07,7.636349e-07,8.441506e-07,1.133099e-06,1.378054e-06,1.588371e-06,2.051485e-06,2.118632e-06,2.710496e-06,2.835143e-06,3.351680e-06,3.701139e-06,4.032035e-06,4.627631e-06,4.743170e-06,5.477737e-06,5.596981e-06,6.228911e-06,6.593443e-06,6.990143e-06,7.602100e-06,7.755090e-06,8.517674e-06,8.608750e-06,9.272187e-06,9.600248e-06,1.001340e-05,1.056495e-05,1.073667e-05,1.143800e-05,1.149306e-05,1.211408e-05,1.237682e-05,1.276227e-05,1.321056e-05,1.338059e-05,1.396770e-05,1.399052e-05,1.452280e-05,1.471473e-05,1.504562e-05,1.538277e-05,1.553633e-05,1.599540e-05,1.642362e-05,1.655430e-05,1.682202e-05,1.706189e-05,1.719179e-05,1.752098e-05,1.753417e-05,1.785051e-05,1.793461e-05,1.814222e-05,1.830600e-05,1.841068e-05,1.863834e-05,1.865729e-05,1.888343e-05,1.893480e-05,1.909042e-05,1.919845e-05,1.927953e-05,1.943211e-05,1.945195e-05,1.960884e-05,1.963846e-05,1.975129e-05,1.981999e-05,1.988030e-05,1.997898e-05,1.999682e-05,2.010175e-05,2.011751e-05,2.019589e-05,2.023748e-05,2.028003e-05,2.034062e-05,2.035487e-05,2.042109e-05,2.042849e-05,2.047929e-05,2.050250e-05,2.053003e-05,2.056393e-05,2.057384e-05,2.061121e-05,2.061393e-05,2.064258e-05,2.065355e-05,2.066838e-05,2.068371e-05,2.068898e-05,2.070474e-05,2.070528e-05,2.071600e-05,2.071901e-05,2.072306e-05,2.072560e-05,2.072619e-05,2.072568e-05,2.072175e-05,2.071981e-05,2.071465e-05,2.070853e-05,2.070457e-05,2.069229e-05,2.069173e-05,2.067629e-05,2.067153e-05,2.065844e-05,2.064664e-05,2.063834e-05,2.061798e-05,2.061613e-05,2.059196e-05,2.058588e-05,2.056595e-05,2.055064e-05,2.053824e-05,2.051252e-05,2.050893e-05,2.047813e-05,2.047180e-05,2.044594e-05,2.042869e-05,2.041247e-05,2.038342e-05,2.037780e-05,2.034201e-05,2.033619e-05,2.030519e-05,2.028717e-05,2.026741e-05,2.023654e-05,2.022874e-05,2.018924e-05,2.018445e-05,2.014899e-05,2.013106e-05,2.010804e-05,2.007649e-05,2.006645e-05,2.002427e-05,2.002088e-05,1.998156e-05,1.996433e-05,1.993835e-05,1.990696e-05,1.989470e-05,1.985065e-05,1.984888e-05,1.980623e-05,1.979016e-05,1.976150e-05,1.973091e-05,1.971647e-05,1.967120e-05,1.961111e-05,1.955071e-05,1.949007e-05,1.942925e-05,1.936830e-05,1.930729e-05,1.924626e-05,1.918526e-05,1.912433e-05,1.906352e-05,1.900286e-05,1.894238e-05,1.888213e-05,1.882212e-05,1.876240e-05,1.870299e-05,1.864391e-05,1.858518e-05,1.852683e-05,1.846887e-05,1.841133e-05,1.835422e-05,1.829755e-05,1.824134e-05
0.000000e+00,6.175924e-11,3.026234e-10,2.768326e-09,1.073179e-08,1.934290e-08,6.460069e-08,6.736097e-08,1.654822e-07,2.043940e-07,3.315820e-07,4.709410e-07,5.825692e-07,9.023013e-07,9.345416e-07,1.402790e-06,1.534065e-06,2.001257e-06,2.397600e-06,2.741058e-06,3.514012e-06,3.628320e-06,4.662770e-06,4.886871e-06,5.838375e-06,6.502331e-06,7.145410e-06,8.336524e-06,8.572409e-06,1.010720e-05,1.036193e-05,1.173727e-05,1.254982e-05,1.344989e-05,1.487075e-05,1.523215e-05,1.707105e-05,1.729491e-05,1.895370e-05,1.979266e-05,2.086750e-05,2.233533e-05,2.280032e-05,2.474069e-05,2.489592e-05,2.667794e-05,2.744975e-05,2.860230e-05,2.997487e-05,3.050496e-05,3.237813e-05,3.245235e-05,3.421503e-05,3.486628e-05,3.600983e-05,3.720372e-05,3.775766e-05,3.945452e-05,4.109721e-05,4.161102e-05,4.268328e-05,4.366779e-05,4.421091e-05,4.562132e-05,4.567888e-05,4.708647e-05,4.746973e-05,4.843342e-05,4.921250e-05,4.971982e-05,5.085021e-05,5.094611e-05,5.211300e-05,5.238431e-05,5.322142e-05,5.381700e-05,5.427247e-05,5.515095e-05,5.526743e-05,5.620768e-05,5.638929e-05,5.709468e-05,5.753539e-05,5.792998e-05,5.859285e-05,5.871518e-05,5.945191e-05,5.956539e-05,6.014179e-05,6.045679e-05,6.078650e-05,6.127085e-05,6.138768e-05,6.194696e-05,6.201134e-05,6.246598e-05,6.268200e-05,6.294631e-05,6.328647e-05,6.338955e-05,6.379722e-05,6.382834e-05,6.417082e-05,6.431106e-05,6.451184e-05,6.473799e-05,6.482169e-05,6.510177e-05,6.511238e-05,6.535344e-05,6.543733e-05,6.557799e-05,6.571586e-05,6.577671e-05,6.595082e-05,6.610151e-05,6.614498e-05,6.622993e-05,6.630094e-05,6.633719e-05,6.642123e-05,6.642435e-05,6.649245e-05,6.650823e-05,6.654248e-05,6.656422e-05,6.657539e-05,6.659135e-05,6.659212e-05,6.659353e-05,6.659169e-05,6.658048e-05,6.656717e-05,6.655380e-05,6.651965e-05,6.651425e-05,6.646260e-05,6.645088e-05,6.639957e-05,6.636252e-05,6.632584e-05,6.625613e-05,6.624208e-05,6.614893e-05,6.613320e-05,6.604699e-05,6.599511e-05,6.593685e-05,6.584320e-05,6.581905e-05,6.569414e-05,6.567869e-05,6.556261e-05,6.550278e-05,6.542497e-05,6.531654e-05,6.528165e-05,6.513312e-05,6.512103e-05,6.497979e-05,6.491721e-05,6.482207e-05,6.470600e-05,6.466033e-05,6.449494e-05,6.448825e-05,6.432625e-05,6.426477e-05,6.415458e-05,6.403631e-05,6.398026e-05,6.380357e-05,6.356721e-05,6.332784e-05,6.308603e-05,6.284231e-05,6.259719e-05,6.235111e-05,6.210451e-05,6.185777e-05,6.161128e-05,6.136536e-05,6.112032e-05,6.087645e-05,6.063402e-05,6.039326e-05,6.015439e-05,5.991762e-05,5.968313e-05,5.945107e-05,5.922161e-05,5.899487e-05,5.877097e-05,5.855002e-05,5.833211e-05,5.811732e-05
0.000000e+00,3.469159e-12,2.064119e-11,2.719602e-10,1.408768e-09,2.929295e-09,1.349278e-08,1.423549e-08,4.528548e-08,5.950074e-08,1.112379e-07,1.750161e-07,2.302503e-07,4.041227e-07,4.227386e-07,7.108487e-07,7.967786e-07,1.117518e-06,1.405221e-06,1.664257e-06,2.274316e-06,2.367249e-06,3.233033e-06,3.425464e-06,4.256336e-06,4.845819e-06,5.421501e-06,6.493750e-06,6.706366e-06,8.086423e-06,8.314445e-06,9.537812e-06,1.025336e-05,1.103887e-05,1.226260e-05,1.257057e-05,1.411643e-05,1.430219e-05,1.566226e-05,1.633921e-05,1.719587e-05,1.834676e-05,1.870683e-05,2.018632e-05,2.030309e-05,2.162701e-05,2.219105e-05,2.302295e-05,2.399764e-05,2.436945e-05,2.566296e-05,2.571356e-05,2.690098e-05,2.733274e-05,2.808187e-05,2.885180e-05,2.920480e-05,3.026957e-05,3.127653e-05,3.158666e-05,3.222646e-05,3.280499e-05,3.312049e-05,3.392749e-05,3.396004e-05,3.474672e-05,3.495775e-05,3.548228e-05,3.589986e-05,3.616859e-05,3.675815e-05,3.680757e-05,3.740117e-05,3.753710e-05,3.795136e-05,3.824123e-05,3.846008e-05,3.887499e-05,3.892926e-05,3.936079e-05,3.944274e-05,3.975650e-05,3.994871e-05,4.011818e-05,4.039695e-05,4.044755e-05,4.074628e-05,4.079134e-05,4.101597e-05,4.113556e-05,4.125817e-05,4.143313e-05,4.147435e-05,4.166593e-05,4.168733e-05,4.183425e-05,4.190129e-05,4.198062e-05,4.207794e-05,4.210627e-05,4.221238e-05,4.222005e-05,4.230006e-05,4.233021e-05,4.237038e-05,4.241084e-05,4.242437e-05,4.246299e-05,4.246423e-05,4.248716e-05,4.249249e-05,4.249775e-05,4.249763e-05,4.249560e-05,4.248150e-05,4.245619e-05,4.244584e-05,4.242039e-05,4.239228e-05,4.237476e-05,4.232232e-05,4.231996e-05,4.225658e-05,4.223738e-05,4.218521e-05,4.213878e-05,4.210638e-05,4.202773e-05,4.202062e-05,4.192842e-05,4.190538e-05,4.183023e-05,4.177279e-05,4.172649e-05,4.163095e-05,4.161763e-05,4.150403e-05,4.148077e-05,4.138607e-05,4.132312e-05,4.126409e-05,4.115877e-05,4.113843e-05,4.100941e-05,4.098847e-05,4.087731e-05,4.081290e-05,4.074243e-05,4.063270e-05,4.060503e-05,4.046535e-05,4.044844e-05,4.032363e-05,4.026069e-05,4.018010e-05,4.006993e-05,4.003497e-05,3.988842e-05,3.987665e-05,3.974066e-05,3.968126e-05,3.959186e-05,3.948417e-05,3.944218e-05,3.929178e-05,3.928575e-05,3.914080e-05,3.908634e-05,3.898939e-05,3.888625e-05,3.883767e-05,3.868577e-05,3.848516e-05,3.828468e-05,3.808455e-05,3.788497e-05,3.768614e-05,3.748822e-05,3.729138e-05,3.709575e-05,3.690147e-05,3.670866e-05,3.651743e-05,3.632786e-05,3.614006e-05,3.595410e-05,3.577004e-05,3.558796e-05,3.540790e-05,3.522992e-05,3.505405e-05,3.488034e-05,3.470881e-05,3.453950e-05,3.437242e-05,3.420758e-05
0.000000e+00,8.644525e-13,5.594078e-12,8.741708e-11,5.266095e-10,1.187247e-09,6.692314e-09,7.117328e-09,2.735560e-08,3.776370e-08,7.963096e-08,1.375366e-07,1.919088e-07,3.820056e-07,4.037609e-07,7.669889e-07,8.834975e-07,1.344692e-06,1.788132e-06,2.207669e-06,3.260544e-06,3.428171e-06,5.072678e-06,5.457523e-06,7.195752e-06,8.502438e-06,9.836177e-06,1.247026e-05,1.301557e-05,1.673892e-05,1.738467e-05,2.099630e-05,2.322331e-05,2.576511e-05,2.992662e-05,3.101253e-05,3.669774e-05,3.740721e-05,4.277391e-05,4.555824e-05,4.919000e-05,5.426055e-05,5.589225e-05,6.282558e-05,6.338857e-05,6.993471e-05,7.281535e-05,7.716525e-05,8.241680e-05,8.446462e-05,9.178276e-05,9.207520e-05,9.907286e-05,1.016820e-04,1.062918e-04,1.111399e-04,1.134004e-04,1.203640e-04,1.271520e-04,1.292828e-04,1.337385e-04,1.378378e-04,1.401016e-04,1.459835e-04,1.462235e-04,1.520905e-04,1.536860e-04,1.576920e-04,1.609224e-04,1.630209e-04,1.676791e-04,1.680730e-04,1.728466e-04,1.739508e-04,1.773422e-04,1.797391e-04,1.815622e-04,1.850511e-04,1.855108e-04,1.891933e-04,1.898984e-04,1.926163e-04,1.942961e-04,1.957872e-04,1.982618e-04,1.987141e-04,2.014056e-04,2.018150e-04,2.038708e-04,2.049764e-04,2.061188e-04,2.077671e-04,2.081590e-04,2.100008e-04,2.102089e-04,2.116535e-04,2.123231e-04,2.131263e-04,2.141310e-04,2.144284e-04,2.155687e-04,2.156532e-04,2.165557e-04,2.169096e-04,2.173980e-04,2.179194e-04,2.181036e-04,2.186805e-04,2.187010e-04,2.191361e-04,2.192719e-04,2.194778e-04,2.196486e-04,2.197125e-04,2.198469e-04,2.198873e-04,2.198815e-04,2.198400e-04,2.197664e-04,2.197107e-04,2.195146e-04,2.195050e-04,2.192280e-04,2.191384e-04,2.188849e-04,2.186493e-04,2.184805e-04,2.180580e-04,2.180191e-04,2.175052e-04,2.173745e-04,2.169427e-04,2.166080e-04,2.163356e-04,2.157673e-04,2.156875e-04,2.150018e-04,2.148605e-04,2.142818e-04,2.138949e-04,2.135306e-04,2.128775e-04,2.127510e-04,2.119459e-04,2.118148e-04,2.111177e-04,2.107127e-04,2.102689e-04,2.095767e-04,2.094019e-04,2.085187e-04,2.084118e-04,2.076214e-04,2.072226e-04,2.067119e-04,2.060136e-04,2.057920e-04,2.048633e-04,2.047887e-04,2.039274e-04,2.035514e-04,2.029858e-04,2.023051e-04,2.020399e-04,2.010908e-04,2.010528e-04,2.001400e-04,1.997974e-04,1.991883e-04,1.985413e-04,1.982369e-04,1.972868e-04,1.960361e-04,1.947911e-04,1.935533e-04,1.923245e-04,1.911060e-04,1.898990e-04,1.887046e-04,1.875238e-04,1.863575e-04,1.852065e-04,1.840714e-04,1.829528e-04,1.818511e-04,1.807668e-04,1.797003e-04,1.786518e-04,1.776215e-04,1.766096e-04,1.756162e-04,1.746414e-04,1.736852e-04,1.727476e-04,1.718286e-04,1.709281e-04
0.000000e+00,3.284801e-09,8.565909e-09,3.382452e-08,8.240288e-08,1.236527e-07,2.981292e-07,3.078158e-07,6.299672e-07,7.522552e-07,1.146235e-06,1.575236e-06,1.917917e-06,2.885167e-06,2.980835e-06,4.318189e-06,4.674777e-06,5.882353e-06,6.840337e-06,7.629130e-06,9.292047e-06,9.526953e-06,1.155303e-05,1.197196e-05,1.368878e-05,1.483702e-05,1.591711e-05,1.784816e-05,1.822121e-05,2.058415e-05,2.096655e-05,2.298908e-05,2.415351e-05,2.541952e-05,2.737153e-05,2.785958e-05,3.029442e-05,3.058559e-05,3.271040e-05,3.376427e-05,3.509534e-05,3.688051e-05,3.743856e-05,3.973090e-05,3.991185e-05,4.196465e-05,4.284027e-05,4.413345e-05,4.565197e-05,4.623241e-05,4.825791e-05,4.833736e-05,5.020729e-05,5.089007e-05,5.207881e-05,5.330648e-05,5.387156e-05,5.558529e-05,5.722030e-05,5.772698e-05,5.877733e-05,5.973342e-05,6.025753e-05,6.160756e-05,6.166233e-05,6.299345e-05,6.335320e-05,6.425263e-05,6.497430e-05,6.544156e-05,6.647522e-05,6.656245e-05,6.761777e-05,6.786151e-05,6.860956e-05,6.913807e-05,6.954012e-05,7.031014e-05,7.041168e-05,7.122632e-05,7.138262e-05,7.198628e-05,7.236055e-05,7.269366e-05,7.324877e-05,7.335056e-05,7.395900e-05,7.405199e-05,7.452099e-05,7.477482e-05,7.503850e-05,7.542176e-05,7.551343e-05,7.594764e-05,7.599709e-05,7.634288e-05,7.650490e-05,7.670090e-05,7.694912e-05,7.702335e-05,7.731184e-05,7.733350e-05,7.756794e-05,7.766165e-05,7.779315e-05,7.793701e-05,7.798895e-05,7.815672e-05,7.816287e-05,7.829781e-05,7.834232e-05,7.841351e-05,7.847832e-05,7.850506e-05,7.857365e-05,7.862045e-05,7.863100e-05,7.864654e-05,7.865287e-05,7.865300e-05,7.864167e-05,7.864084e-05,7.861103e-05,7.859966e-05,7.856452e-05,7.852896e-05,7.850219e-05,7.843162e-05,7.842490e-05,7.833349e-05,7.830953e-05,7.822873e-05,7.816451e-05,7.811138e-05,7.799827e-05,7.798216e-05,7.784178e-05,7.781242e-05,7.769088e-05,7.760848e-05,7.753011e-05,7.738788e-05,7.736007e-05,7.718134e-05,7.715197e-05,7.699446e-05,7.690203e-05,7.679998e-05,7.663925e-05,7.659838e-05,7.639017e-05,7.636476e-05,7.617578e-05,7.607961e-05,7.595567e-05,7.578482e-05,7.573026e-05,7.549993e-05,7.548131e-05,7.526508e-05,7.516996e-05,7.502607e-05,7.485160e-05,7.478325e-05,7.453693e-05,7.452701e-05,7.428745e-05,7.419692e-05,7.403509e-05,7.386199e-05,7.378015e-05,7.352289e-05,7.318019e-05,7.283447e-05,7.248624e-05,7.213600e-05,7.178421e-05,7.143128e-05,7.107762e-05,7.072360e-05,7.036956e-05,7.001582e-05,6.966269e-05,6.931044e-05,6.895932e-05,6.860958e-05,6.826143e-05,6.791507e-05,6.757070e-05,6.722848e-05,6.688857e-05,6.655112e-05,6.621626e-05,6.588411e-05,6.555478e-05,6.522837e-05
0.000000e+00,7.346815e-15,4.988374e-14,8.625520e-13,5.702461e-12,1.353258e-11,8.711590e-11,9.315061e-11,4.083845e-10,5.841874e-10,1.346303e-09,2.496430e-09,3.646520e-09,8.026488e-09,8.555488e-09,1.799107e-08,2.121534e-08,3.470777e-08,4.860145e-08,6.245312e-08,9.983607e-08,1.061044e-07,1.717730e-07,1.881774e-07,2.668629e-07,3.307743e-07,4.000732e-07,5.486661e-07,5.813422e-07,8.217342e-07,8.664754e-07,1.133277e-06,1.311822e-06,1.528758e-06,1.914511e-06,2.021487e-06,2.625044e-06,2.705565e-06,3.353004e-06,3.716162e-06,4.218670e-06,4.976550e-06,5.234798e-06,6.413345e-06,6.514980e-06,7.765223e-06,8.356716e-06,9.300087e-06,1.052316e-05,1.102614e-05,1.294997e-05,1.303112e-05,1.507645e-05,1.589224e-05,1.740862e-05,1.911264e-05,1.994761e-05,2.269270e-05,2.564125e-05,2.662708e-05,2.878879e-05,3.090482e-05,3.212905e-05,3.550970e-05,3.565414e-05,3.935458e-05,4.042068e-05,4.321949e-05,4.561239e-05,4.723674e-05,5.105580e-05,5.139310e-05,5.567441e-05,5.671888e-05,6.006579e-05,6.256728e-05,6.455175e-05,6.856506e-05,6.911644e-05,7.374376e-05,7.467532e-05,7.841754e-05,8.086091e-05,8.312167e-05,8.708498e-05,8.784028e-05,9.255785e-05,9.331155e-05,9.725931e-05,9.950599e-05,1.019301e-04,1.056354e-04,1.065565e-04,1.111252e-04,1.116690e-04,1.156239e-04,1.175782e-04,1.200412e-04,1.233372e-04,1.243663e-04,1.285895e-04,1.289227e-04,1.327020e-04,1.343142e-04,1.366958e-04,1.394940e-04,1.405641e-04,1.443005e-04,1.444472e-04,1.479000e-04,1.491614e-04,1.513582e-04,1.536271e-04,1.546714e-04,1.578371e-04,1.608532e-04,1.617866e-04,1.637185e-04,1.654728e-04,1.664323e-04,1.688951e-04,1.689947e-04,1.714064e-04,1.720548e-04,1.736684e-04,1.749545e-04,1.757825e-04,1.775986e-04,1.777507e-04,1.795756e-04,1.799925e-04,1.812600e-04,1.821430e-04,1.828070e-04,1.840576e-04,1.842203e-04,1.855034e-04,1.857447e-04,1.866603e-04,1.872133e-04,1.876950e-04,1.884729e-04,1.886119e-04,1.894151e-04,1.895334e-04,1.901092e-04,1.904049e-04,1.906986e-04,1.910978e-04,1.911878e-04,1.915812e-04,1.916222e-04,1.918835e-04,1.919887e-04,1.920990e-04,1.922074e-04,1.922321e-04,1.922873e-04,1.922885e-04,1.922688e-04,1.922417e-04,1.921808e-04,1.920767e-04,1.920273e-04,1.918125e-04,1.918027e-04,1.915402e-04,1.914289e-04,1.912142e-04,1.909637e-04,1.908381e-04,1.904154e-04,1.897921e-04,1.891010e-04,1.883495e-04,1.875441e-04,1.866912e-04,1.857968e-04,1.848664e-04,1.839053e-04,1.829182e-04,1.819096e-04,1.808838e-04,1.798445e-04,1.787953e-04,1.777395e-04,1.766800e-04,1.756195e-04,1.745606e-04,1.735054e-04,1.724560e-04,1.714142e-04,1.703816e-04,1.693597e-04,1.683498e-04,1.673530e-04
0.000000e+00,3.284073e-09,8.493234e-09,3.355182e-08,8.308298e-08,1.266095e-07,3.246145e-07,3.362098e-07,7.491945e-07,9.156425e-07,1.462184e-06,2.044790e-06,2.489546e-06,3.650283e-06,3.758925e-06,5.202244e-06,5.569781e-06,6.780997e-06,7.715946e-06,8.473831e-06,1.004614e-05,1.026601e-05,1.214434e-05,1.252916e-05,1.409521e-05,1.513353e-05,1.610406e-05,1.782515e-05,1.815564e-05,2.023444e-05,2.056855e-05,2.232525e-05,2.332882e-05,2.441362e-05,2.607361e-05,2.648629e-05,2.853139e-05,2.877444e-05,3.053861e-05,3.140749e-05,3.249926e-05,3.395372e-05,3.440613e-05,3.625353e-05,3.639861e-05,3.803713e-05,3.873198e-05,3.975384e-05,4.094723e-05,4.140155e-05,4.297906e-05,4.304069e-05,4.448591e-05,4.501109e-05,4.592225e-05,4.685899e-05,4.728872e-05,4.858636e-05,4.981655e-05,5.019624e-05,5.098097e-05,5.169243e-05,5.208125e-05,5.307895e-05,5.311930e-05,5.409712e-05,5.436038e-05,5.501672e-05,5.554141e-05,5.588020e-05,5.662683e-05,5.668964e-05,5.744710e-05,5.762139e-05,5.815464e-05,5.852981e-05,5.881428e-05,5.935674e-05,5.942803e-05,5.999782e-05,6.010667e-05,6.052555e-05,6.078395e-05,6.101304e-05,6.139276e-05,6.146210e-05,6.187445e-05,6.193713e-05,6.225176e-05,6.242090e-05,6.259565e-05,6.284775e-05,6.290768e-05,6.318936e-05,6.322119e-05,6.344212e-05,6.354454e-05,6.366736e-05,6.382097e-05,6.386643e-05,6.404061e-05,6.405351e-05,6.419114e-05,6.424499e-05,6.431920e-05,6.439813e-05,6.442593e-05,6.451243e-05,6.451548e-05,6.457974e-05,6.459946e-05,6.462886e-05,6.465236e-05,6.466075e-05,6.467634e-05,6.467650e-05,6.467343e-05,6.466207e-05,6.464555e-05,6.463386e-05,6.459452e-05,6.459264e-05,6.453914e-05,6.452205e-05,6.447406e-05,6.442975e-05,6.439809e-05,6.431912e-05,6.431185e-05,6.421597e-05,6.419159e-05,6.411102e-05,6.404850e-05,6.399756e-05,6.389111e-05,6.387613e-05,6.374723e-05,6.372060e-05,6.361135e-05,6.353809e-05,6.346895e-05,6.334461e-05,6.332046e-05,6.316631e-05,6.314115e-05,6.300690e-05,6.292862e-05,6.284260e-05,6.270789e-05,6.267378e-05,6.250078e-05,6.247976e-05,6.232394e-05,6.224499e-05,6.214356e-05,6.200429e-05,6.195994e-05,6.177336e-05,6.175831e-05,6.158409e-05,6.150769e-05,6.139240e-05,6.125300e-05,6.119851e-05,6.100266e-05,6.099478e-05,6.080507e-05,6.073355e-05,6.060594e-05,6.046976e-05,6.040548e-05,6.020386e-05,5.993627e-05,5.966736e-05,5.939750e-05,5.912701e-05,5.885620e-05,5.858537e-05,5.831477e-05,5.804464e-05,5.777523e-05,5.750674e-05,5.723937e-05,5.697329e-05,5.670867e-05,5.644566e-05,5.618441e-05,5.592503e-05,5.566765e-05,5.541238e-05,5.515931e-05,5.490852e-05,5.466011e-05,5.441413e-05,5.417065e-05,5.392974e-05
0.000000e+00,7.531547e-10,1.835497e-09,6.741506e-09,1.581793e-08,2.334529e-08,5.406700e-08,5.573014e-08,1.091200e-07,1.285803e-07,1.890919e-07,2.523438e-07,3.017078e-07,4.393425e-07,4.529887e-07,6.472934e-07,7.005292e-07,8.858263e-07,1.038274e-06,1.167247e-06,1.448659e-06,1.489398e-06,1.850275e-06,1.926942e-06,2.248148e-06,2.469129e-06,2.681409e-06,3.071484e-06,3.148395e-06,3.647277e-06,3.729924e-06,4.175995e-06,4.439709e-06,4.732240e-06,5.195354e-06,5.313469e-06,5.916929e-06,5.990702e-06,6.539706e-06,6.819066e-06,7.178759e-06,7.673420e-06,7.830991e-06,8.493297e-06,8.546624e-06,9.162609e-06,9.431624e-06,9.835947e-06,1.032164e-05,1.051046e-05,1.118345e-05,1.121030e-05,1.185241e-05,1.209180e-05,1.251505e-05,1.296094e-05,1.316926e-05,1.381318e-05,1.444518e-05,1.464467e-05,1.506384e-05,1.545221e-05,1.566794e-05,1.623326e-05,1.625649e-05,1.682865e-05,1.698583e-05,1.738376e-05,1.770843e-05,1.792132e-05,1.840009e-05,1.844100e-05,1.894258e-05,1.906025e-05,1.942597e-05,1.968871e-05,1.989116e-05,2.028557e-05,2.033827e-05,2.076746e-05,2.085117e-05,2.117899e-05,2.138610e-05,2.157315e-05,2.189106e-05,2.195027e-05,2.231075e-05,2.236691e-05,2.265499e-05,2.281458e-05,2.298343e-05,2.323514e-05,2.329657e-05,2.359487e-05,2.362969e-05,2.387880e-05,2.399930e-05,2.414882e-05,2.434500e-05,2.440536e-05,2.464891e-05,2.466785e-05,2.487992e-05,2.496892e-05,2.509885e-05,2.524923e-05,2.530611e-05,2.550215e-05,2.550977e-05,2.568739e-05,2.575151e-05,2.586224e-05,2.597541e-05,2.602710e-05,2.618235e-05,2.632838e-05,2.637322e-05,2.646555e-05,2.654885e-05,2.659420e-05,2.671001e-05,2.671468e-05,2.682730e-05,2.685747e-05,2.693239e-05,2.699195e-05,2.703025e-05,2.711414e-05,2.712116e-05,2.720543e-05,2.722469e-05,2.728330e-05,2.732422e-05,2.735505e-05,2.741333e-05,2.742093e-05,2.748117e-05,2.749256e-05,2.753601e-05,2.756246e-05,2.758567e-05,2.762353e-05,2.763036e-05,2.767029e-05,2.767624e-05,2.770565e-05,2.772106e-05,2.773663e-05,2.775839e-05,2.776342e-05,2.778620e-05,2.778867e-05,2.780511e-05,2.781226e-05,2.782033e-05,2.782953e-05,2.783202e-05,2.784031e-05,2.784083e-05,2.784535e-05,2.784649e-05,2.784728e-05,2.784682e-05,2.784623e-05,2.784233e-05,2.784211e-05,2.783568e-05,2.783264e-05,2.782642e-05,2.781868e-05,2.781465e-05,2.780048e-05,2.777827e-05,2.775228e-05,2.772272e-05,2.768980e-05,2.765371e-05,2.761463e-05,2.757273e-05,2.752819e-05,2.748115e-05,2.743176e-05,2.738017e-05,2.732651e-05,2.727091e-05,2.721348e-05,2.715434e-05,2.709360e-05,2.703137e-05,2.696774e-05,2.690281e-05,2.683666e-05,2.676939e-05,2.670107e-05,2.663178e-05,2.656159e-05
0.000000e+00,1.345521e-12,9.124743e-12,1.572476e-10,1.036388e-09,2.455325e-09,1.573842e-08,1.682576e-08,7.346143e-08,1.049696e-07,2.412537e-07,4.463975e-07,6.511618e-07,1.429076e-06,1.522890e-06,3.193182e-06,3.762996e-06,6.144112e-06,8.592051e-06,1.102976e-05,1.759898e-05,1.869943e-05,3.021500e-05,3.308864e-05,4.685988e-05,5.803298e-05,7.013769e-05,9.606334e-05,1.017597e-04,1.436220e-04,1.514053e-04,1.977732e-04,2.287626e-04,2.663758e-04,3.331619e-04,3.516622e-04,4.558880e-04,4.697743e-04,5.812838e-04,6.437245e-04,7.300082e-04,8.599026e-04,9.041027e-04,1.105449e-03,1.122786e-03,1.335730e-03,1.436279e-03,1.596401e-03,1.803582e-03,1.888655e-03,2.213407e-03,2.227083e-03,2.571277e-03,2.708287e-03,2.962577e-03,3.247771e-03,3.387312e-03,3.845180e-03,4.335577e-03,4.499237e-03,4.857615e-03,5.207797e-03,5.410129e-03,5.967906e-03,5.991707e-03,6.600704e-03,6.775889e-03,7.235271e-03,7.627449e-03,7.893382e-03,8.517766e-03,8.572857e-03,9.271394e-03,9.441615e-03,9.986596e-03,1.039347e-02,1.071599e-02,1.136762e-02,1.145708e-02,1.220733e-02,1.235825e-02,1.296421e-02,1.335958e-02,1.372524e-02,1.436591e-02,1.448796e-02,1.525000e-02,1.537170e-02,1.600904e-02,1.637167e-02,1.676289e-02,1.736080e-02,1.750943e-02,1.824669e-02,1.833444e-02,1.897279e-02,1.928829e-02,1.968601e-02,2.021844e-02,2.038474e-02,2.106751e-02,2.112140e-02,2.173300e-02,2.199408e-02,2.238001e-02,2.283382e-02,2.300749e-02,2.361452e-02,2.363836e-02,2.420029e-02,2.440584e-02,2.476416e-02,2.513479e-02,2.530556e-02,2.582408e-02,2.631939e-02,2.647295e-02,2.679128e-02,2.708094e-02,2.723963e-02,2.764789e-02,2.766443e-02,2.806573e-02,2.817390e-02,2.844368e-02,2.865933e-02,2.879849e-02,2.910472e-02,2.913045e-02,2.943989e-02,2.951084e-02,2.972720e-02,2.987860e-02,2.999285e-02,3.020907e-02,3.023730e-02,3.046109e-02,3.050341e-02,3.066476e-02,3.076292e-02,3.084891e-02,3.098895e-02,3.101414e-02,3.116106e-02,3.118292e-02,3.129033e-02,3.134629e-02,3.140258e-02,3.148058e-02,3.149848e-02,3.157869e-02,3.158729e-02,3.164386e-02,3.166795e-02,3.169466e-02,3.172406e-02,3.173175e-02,3.175577e-02,3.175714e-02,3.176736e-02,3.176867e-02,3.176717e-02,3.176008e-02,3.175580e-02,3.173388e-02,3.173279e-02,3.170199e-02,3.168818e-02,3.166071e-02,3.162757e-02,3.161061e-02,3.155224e-02,3.146343e-02,3.136231e-02,3.124999e-02,3.112757e-02,3.099604e-02,3.085637e-02,3.070948e-02,3.055620e-02,3.039736e-02,3.023369e-02,3.006591e-02,2.989468e-02,2.972060e-02,2.954424e-02,2.936614e-02,2.918677e-02,2.900658e-02,2.882599e-02,2.864537e-02,2.846508e-02,2.828542e-02,2.810668e-02,2.792912e-02,2.775297e-02
0.000000e+00,1.490082e-12,9.096293e-12,1.261604e-10,6.831272e-10,1.453827e-09,7.082293e-09,7.488205e-09,2.501691e-08,3.327051e-08,6.397091e-08,1.026969e-07,1.367227e-07,2.455583e-07,2.573175e-07,4.408710e-07,4.960315e-07,7.030852e-07,8.901471e-07,1.059605e-06,1.462871e-06,1.524860e-06,2.110293e-06,2.242483e-06,2.822508e-06,3.243434e-06,3.662198e-06,4.462484e-06,4.624290e-06,5.699123e-06,5.880741e-06,6.874029e-06,7.469383e-06,8.134791e-06,9.195354e-06,9.466738e-06,1.085544e-05,1.102524e-05,1.228711e-05,1.292728e-05,1.374878e-05,1.487229e-05,1.522844e-05,1.671504e-05,1.683396e-05,1.819856e-05,1.878906e-05,1.967003e-05,2.071751e-05,2.112149e-05,2.254605e-05,2.260239e-05,2.393782e-05,2.442985e-05,2.529187e-05,2.618901e-05,2.660421e-05,2.787168e-05,2.909190e-05,2.947210e-05,3.026318e-05,3.098658e-05,3.138443e-05,3.241324e-05,3.245510e-05,3.347509e-05,3.375164e-05,3.444469e-05,3.500250e-05,3.536450e-05,3.616748e-05,3.623538e-05,3.705839e-05,3.724893e-05,3.783478e-05,3.824969e-05,3.856590e-05,3.917298e-05,3.925319e-05,3.989817e-05,4.002223e-05,4.050240e-05,4.080101e-05,4.106743e-05,4.151294e-05,4.159486e-05,4.208626e-05,4.216165e-05,4.254319e-05,4.275071e-05,4.296716e-05,4.328363e-05,4.335969e-05,4.372222e-05,4.376378e-05,4.405618e-05,4.419443e-05,4.436295e-05,4.457872e-05,4.464385e-05,4.490016e-05,4.491965e-05,4.513314e-05,4.522006e-05,4.534395e-05,4.548267e-05,4.553376e-05,4.570365e-05,4.571005e-05,4.585469e-05,4.590464e-05,4.598787e-05,4.606873e-05,4.610416e-05,4.620449e-05,4.628973e-05,4.631396e-05,4.636073e-05,4.639907e-05,4.641830e-05,4.646163e-05,4.646319e-05,4.649615e-05,4.650334e-05,4.651787e-05,4.652578e-05,4.652901e-05,4.653047e-05,4.653022e-05,4.652209e-05,4.651881e-05,4.650520e-05,4.649212e-05,4.648009e-05,4.645162e-05,4.644729e-05,4.640730e-05,4.639847e-05,4.636057e-05,4.633377e-05,4.630757e-05,4.625850e-05,4.624871e-05,4.618440e-05,4.617363e-05,4.611502e-05,4.608002e-05,4.604093e-05,4.597851e-05,4.596249e-05,4.588002e-05,4.586986e-05,4.579382e-05,4.575480e-05,4.570421e-05,4.563398e-05,4.561144e-05,4.551580e-05,4.550803e-05,4.541752e-05,4.537753e-05,4.531686e-05,4.524302e-05,4.521402e-05,4.510923e-05,4.510500e-05,4.500268e-05,4.496394e-05,4.489457e-05,4.482026e-05,4.478508e-05,4.467437e-05,4.452665e-05,4.437743e-05,4.422704e-05,4.407577e-05,4.392389e-05,4.377166e-05,4.361931e-05,4.346704e-05,4.331507e-05,4.316357e-05,4.301270e-05,4.286261e-05,4.271346e-05,4.256535e-05,4.241841e-05,4.227273e-05,4.212842e-05,4.198556e-05,4.184422e-05,4.170447e-05,4.156638e-05,4.142999e-05,4.129536e-05,4.116252e-05
0.000000e+00,2.956555e-14,1.995312e-13,3.403478e-12,2.221550e-11,5.234455e-11,3.306578e-10,3.532866e-10,1.519068e-09,2.161329e-09,4.912971e-09,9.007454e-09,1.305901e-08,2.825967e-08,3.007803e-08,6.211196e-08,7.292815e-08,1.177017e-07,1.631919e-07,2.080807e-07,3.275126e-07,3.473392e-07,5.524129e-07,6.030055e-07,8.428759e-07,1.034830e-06,1.240545e-06,1.674600e-06,1.768929e-06,2.452573e-06,2.578027e-06,3.316331e-06,3.802118e-06,4.384624e-06,5.402210e-06,5.680710e-06,7.225999e-06,7.429109e-06,9.039431e-06,9.926517e-06,1.113695e-05,1.292890e-05,1.353107e-05,1.623056e-05,1.645989e-05,1.924023e-05,2.053125e-05,2.256082e-05,2.514248e-05,2.618904e-05,3.011767e-05,3.028092e-05,3.433572e-05,3.592240e-05,3.882878e-05,4.203230e-05,4.357929e-05,4.856698e-05,5.376924e-05,5.547532e-05,5.916160e-05,6.270056e-05,6.471817e-05,7.018201e-05,7.041206e-05,7.621585e-05,7.785684e-05,8.210192e-05,8.566166e-05,8.804292e-05,9.353407e-05,9.401202e-05,9.998324e-05,1.014139e-04,1.059317e-04,1.092441e-04,1.118339e-04,1.169720e-04,1.176678e-04,1.234129e-04,1.245496e-04,1.290505e-04,1.319340e-04,1.345638e-04,1.390877e-04,1.399376e-04,1.451586e-04,1.459790e-04,1.502154e-04,1.525813e-04,1.550981e-04,1.588735e-04,1.597987e-04,1.643109e-04,1.648394e-04,1.686295e-04,1.704675e-04,1.727512e-04,1.757505e-04,1.766737e-04,1.803960e-04,1.806852e-04,1.839183e-04,1.852715e-04,1.872417e-04,1.895126e-04,1.903683e-04,1.933008e-04,1.934141e-04,1.960428e-04,1.969840e-04,1.985983e-04,2.002320e-04,2.009721e-04,2.031692e-04,2.051949e-04,2.058079e-04,2.070550e-04,2.081613e-04,2.087555e-04,2.102432e-04,2.103022e-04,2.117016e-04,2.120678e-04,2.129596e-04,2.136492e-04,2.140827e-04,2.150020e-04,2.150769e-04,2.159485e-04,2.161401e-04,2.167036e-04,2.170778e-04,2.173481e-04,2.178284e-04,2.178878e-04,2.183284e-04,2.184051e-04,2.186755e-04,2.188208e-04,2.189343e-04,2.190874e-04,2.191102e-04,2.192080e-04,2.192168e-04,2.192326e-04,2.192198e-04,2.191887e-04,2.191071e-04,2.190805e-04,2.189125e-04,2.188885e-04,2.186885e-04,2.185733e-04,2.184125e-04,2.181702e-04,2.180882e-04,2.177189e-04,2.176875e-04,2.173081e-04,2.171328e-04,2.168589e-04,2.165133e-04,2.163742e-04,2.158569e-04,2.158355e-04,2.153096e-04,2.151057e-04,2.147349e-04,2.143296e-04,2.141351e-04,2.135126e-04,2.126594e-04,2.117746e-04,2.108625e-04,2.099268e-04,2.089711e-04,2.079986e-04,2.070124e-04,2.060151e-04,2.050092e-04,2.039972e-04,2.029809e-04,2.019624e-04,2.009433e-04,1.999253e-04,1.989098e-04,1.978980e-04,1.968911e-04,1.958903e-04,1.948963e-04,1.939102e-04,1.929326e-04,1.919642e-04,1.910056e-04,1.900574e-04
0.000000e+00,1.612142e-09,4.034081e-09,1.523034e-08,3.623872e-08,5.381831e-08,1.266269e-07,1.306118e-07,2.606329e-07,3.089672e-07,4.621392e-07,6.264227e-07,7.572488e-07,1.132190e-06,1.170071e-06,1.719786e-06,1.872920e-06,2.409873e-06,2.852172e-06,3.224067e-06,4.021883e-06,4.135478e-06,5.118110e-06,5.321286e-06,6.151567e-06,6.703862e-06,7.220704e-06,8.137808e-06,8.313937e-06,9.421847e-06,9.599917e-06,1.053630e-05,1.107138e-05,1.164998e-05,1.253586e-05,1.275621e-05,1.384890e-05,1.397885e-05,1.492253e-05,1.538760e-05,1.597221e-05,1.675133e-05,1.699372e-05,1.798344e-05,1.806115e-05,1.893842e-05,1.931014e-05,1.985634e-05,2.049331e-05,2.073548e-05,2.157465e-05,2.160737e-05,2.237314e-05,2.265058e-05,2.313068e-05,2.362244e-05,2.384735e-05,2.452361e-05,2.516015e-05,2.535560e-05,2.575789e-05,2.612056e-05,2.631788e-05,2.682110e-05,2.684136e-05,2.732961e-05,2.746020e-05,2.778402e-05,2.804101e-05,2.820599e-05,2.856678e-05,2.859695e-05,2.895833e-05,2.904082e-05,2.929155e-05,2.946638e-05,2.959801e-05,2.984666e-05,2.987909e-05,3.013612e-05,3.018475e-05,3.037039e-05,3.048363e-05,3.058314e-05,3.074611e-05,3.077559e-05,3.094887e-05,3.097490e-05,3.110411e-05,3.117252e-05,3.124234e-05,3.134137e-05,3.136458e-05,3.147179e-05,3.148369e-05,3.156487e-05,3.160157e-05,3.164468e-05,3.169698e-05,3.171206e-05,3.176778e-05,3.177176e-05,3.181258e-05,3.182759e-05,3.184715e-05,3.186608e-05,3.187215e-05,3.188822e-05,3.188868e-05,3.189593e-05,3.189678e-05,3.189586e-05,3.189163e-05,3.188853e-05,3.187443e-05,3.185403e-05,3.184625e-05,3.182778e-05,3.180811e-05,3.179610e-05,3.176094e-05,3.175938e-05,3.171799e-05,3.170562e-05,3.167229e-05,3.164293e-05,3.162260e-05,3.157363e-05,3.156923e-05,3.151248e-05,3.149839e-05,3.145262e-05,3.141785e-05,3.138992e-05,3.133258e-05,3.132462e-05,3.125694e-05,3.124314e-05,3.118711e-05,3.115001e-05,3.111532e-05,3.105365e-05,3.104177e-05,3.096664e-05,3.095449e-05,3.089010e-05,3.085291e-05,3.081230e-05,3.074927e-05,3.073340e-05,3.065354e-05,3.064389e-05,3.057284e-05,3.053709e-05,3.049142e-05,3.042914e-05,3.040941e-05,3.032692e-05,3.032030e-05,3.024403e-05,3.021079e-05,3.016086e-05,3.010084e-05,3.007748e-05,2.999398e-05,2.999064e-05,2.991044e-05,2.988037e-05,2.982693e-05,2.977019e-05,2.974351e-05,2.966026e-05,2.955070e-05,2.944165e-05,2.933322e-05,2.922551e-05,2.911861e-05,2.901260e-05,2.890757e-05,2.880357e-05,2.870067e-05,2.859893e-05,2.849838e-05,2.839907e-05,2.830103e-05,2.820431e-05,2.810892e-05,2.801489e-05,2.792223e-05,2.783097e-05,2.774112e-05,2.765268e-05,2.756566e-05,2.748007e-05,2.739591e-05,2.731318e-05
0.000000e+00,3.674598e-09,8.417904e-09,2.880938e-08,6.506517e-08,9.448236e-08,2.114795e-07,2.177157e-07,4.144559e-07,4.848543e-07,7.004505e-07,9.215571e-07,1.091760e-06,1.558637e-06,1.604484e-06,2.252933e-06,2.429881e-06,3.045311e-06,3.551087e-06,3.977713e-06,4.899372e-06,5.031285e-06,6.177058e-06,6.414546e-06,7.384623e-06,8.028037e-06,8.627706e-06,9.683877e-06,9.885353e-06,1.114102e-05,1.134081e-05,1.238135e-05,1.296797e-05,1.359536e-05,1.454138e-05,1.477385e-05,1.590919e-05,1.604222e-05,1.699515e-05,1.745601e-05,1.802681e-05,1.877225e-05,1.900049e-05,1.991362e-05,1.998401e-05,2.076475e-05,2.108769e-05,2.155332e-05,2.208248e-05,2.227960e-05,2.294458e-05,2.296992e-05,2.354980e-05,2.375343e-05,2.409728e-05,2.443777e-05,2.458937e-05,2.502869e-05,2.541804e-05,2.553254e-05,2.576030e-05,2.595599e-05,2.605841e-05,2.630577e-05,2.631529e-05,2.653383e-05,2.658853e-05,2.671683e-05,2.681069e-05,2.686699e-05,2.697836e-05,2.698690e-05,2.707904e-05,2.709727e-05,2.714571e-05,2.717275e-05,2.718912e-05,2.720971e-05,2.721132e-05,2.721422e-05,2.721264e-05,2.719960e-05,2.718564e-05,2.716913e-05,2.713241e-05,2.712434e-05,2.706665e-05,2.705631e-05,2.699736e-05,2.696035e-05,2.691769e-05,2.684723e-05,2.682875e-05,2.673155e-05,2.671938e-05,2.662704e-05,2.657897e-05,2.651608e-05,2.642792e-05,2.639945e-05,2.627788e-05,2.626796e-05,2.615202e-05,2.610062e-05,2.602249e-05,2.592725e-05,2.588982e-05,2.575452e-05,2.574906e-05,2.561706e-05,2.556712e-05,2.547784e-05,2.538237e-05,2.533726e-05,2.519564e-05,2.505332e-05,2.500767e-05,2.491056e-05,2.481910e-05,2.476764e-05,2.463050e-05,2.462478e-05,2.448220e-05,2.444236e-05,2.434009e-05,2.425512e-05,2.419861e-05,2.406915e-05,2.405793e-05,2.391818e-05,2.388479e-05,2.377949e-05,2.370232e-05,2.364196e-05,2.352198e-05,2.350570e-05,2.337080e-05,2.334398e-05,2.323732e-05,2.316851e-05,2.310535e-05,2.299569e-05,2.297494e-05,2.284613e-05,2.282568e-05,2.271898e-05,2.265855e-05,2.259353e-05,2.249440e-05,2.246979e-05,2.234781e-05,2.233329e-05,2.222760e-05,2.217528e-05,2.210918e-05,2.202039e-05,2.199257e-05,2.187776e-05,2.186865e-05,2.176477e-05,2.172008e-05,2.165360e-05,2.157468e-05,2.154424e-05,2.143670e-05,2.143244e-05,2.133097e-05,2.129335e-05,2.122704e-05,2.115739e-05,2.112490e-05,2.102454e-05,2.089477e-05,2.076805e-05,2.064433e-05,2.052359e-05,2.040577e-05,2.029083e-05,2.017872e-05,2.006940e-05,1.996282e-05,1.985892e-05,1.975765e-05,1.965896e-05,1.956280e-05,1.946912e-05,1.937786e-05,1.928897e-05,1.920240e-05,1.911809e-05,1.903600e-05,1.895607e-05,1.887825e-05,1.880249e-05,1.872874e-05,1.865695e-05
0.000000e+00,3.222910e-09,7.381870e-09,2.534856e-08,5.752123e-08,8.376984e-08,1.889843e-07,1.946206e-07,3.734346e-07,4.377891e-07,6.357296e-07,8.397075e-07,9.971820e-07,1.430154e-06,1.472695e-06,2.073287e-06,2.236525e-06,2.801087e-06,3.261145e-06,3.646788e-06,4.475095e-06,4.593389e-06,5.622288e-06,5.836412e-06,6.716527e-06,7.306356e-06,7.861270e-06,8.852211e-06,9.043347e-06,1.025082e-05,1.044562e-05,1.147274e-05,1.206143e-05,1.269914e-05,1.367741e-05,1.392102e-05,1.513041e-05,1.527436e-05,1.632039e-05,1.683629e-05,1.748510e-05,1.835035e-05,1.861967e-05,1.972024e-05,1.980672e-05,2.078380e-05,2.119834e-05,2.180814e-05,2.252049e-05,2.279172e-05,2.373360e-05,2.377040e-05,2.463335e-05,2.494694e-05,2.549096e-05,2.605021e-05,2.630675e-05,2.708132e-05,2.781551e-05,2.804208e-05,2.851031e-05,2.893481e-05,2.916683e-05,2.976220e-05,2.978628e-05,3.036994e-05,3.052713e-05,3.091913e-05,3.123265e-05,3.143517e-05,3.188181e-05,3.191941e-05,3.237317e-05,3.247769e-05,3.279777e-05,3.302329e-05,3.319449e-05,3.352154e-05,3.356459e-05,3.390929e-05,3.397529e-05,3.422978e-05,3.438725e-05,3.452721e-05,3.476004e-05,3.480269e-05,3.505727e-05,3.509613e-05,3.529199e-05,3.539790e-05,3.550784e-05,3.566756e-05,3.570575e-05,3.588664e-05,3.590724e-05,3.605136e-05,3.611894e-05,3.620076e-05,3.630454e-05,3.633563e-05,3.645671e-05,3.646583e-05,3.656474e-05,3.660446e-05,3.666041e-05,3.672201e-05,3.674438e-05,3.681727e-05,3.681996e-05,3.687969e-05,3.689970e-05,3.693220e-05,3.696253e-05,3.697535e-05,3.700966e-05,3.703563e-05,3.704225e-05,3.705371e-05,3.706136e-05,3.706437e-05,3.706801e-05,3.706803e-05,3.706509e-05,3.706313e-05,3.705593e-05,3.704761e-05,3.704093e-05,3.702227e-05,3.702043e-05,3.699477e-05,3.698788e-05,3.696426e-05,3.694517e-05,3.692920e-05,3.689480e-05,3.688987e-05,3.684655e-05,3.683743e-05,3.679949e-05,3.677363e-05,3.674894e-05,3.670395e-05,3.669513e-05,3.663829e-05,3.662892e-05,3.657861e-05,3.654902e-05,3.651630e-05,3.646469e-05,3.645155e-05,3.638454e-05,3.637636e-05,3.631544e-05,3.628442e-05,3.624441e-05,3.618923e-05,3.617160e-05,3.609716e-05,3.609114e-05,3.602123e-05,3.599047e-05,3.594393e-05,3.588751e-05,3.586540e-05,3.578575e-05,3.578254e-05,3.570508e-05,3.567582e-05,3.562352e-05,3.556759e-05,3.554115e-05,3.545807e-05,3.534748e-05,3.523600e-05,3.512382e-05,3.501111e-05,3.489801e-05,3.478468e-05,3.467124e-05,3.455783e-05,3.444456e-05,3.433153e-05,3.421884e-05,3.410658e-05,3.399484e-05,3.388369e-05,3.377321e-05,3.366346e-05,3.355449e-05,3.344637e-05,3.333914e-05,3.323284e-05,3.312753e-05,3.302323e-05,3.291998e-05,3.281781e-05
0.000000e+00,6.519892e-13,4.423417e-12,7.630599e-11,5.034262e-10,1.193390e-09,7.662470e-09,8.192455e-09,3.583647e-08,5.123551e-08,1.179292e-07,2.184851e-07,3.189825e-07,7.015034e-07,7.476918e-07,1.571436e-06,1.852925e-06,3.031074e-06,4.244765e-06,5.455366e-06,8.725593e-06,9.274385e-06,1.503121e-05,1.647142e-05,2.339097e-05,2.902470e-05,3.514623e-05,4.831441e-05,5.121741e-05,7.264764e-05,7.664952e-05,1.005915e-04,1.166820e-04,1.362983e-04,1.713396e-04,1.810900e-04,2.363368e-04,2.437350e-04,3.034292e-04,3.370600e-04,3.837503e-04,4.544726e-04,4.786472e-04,5.894042e-04,5.989864e-04,7.172177e-04,7.733663e-04,8.631734e-04,9.800372e-04,1.028227e-03,1.213186e-03,1.221009e-03,1.418700e-03,1.497815e-03,1.645248e-03,1.811475e-03,1.893129e-03,2.162469e-03,2.453208e-03,2.550730e-03,2.765112e-03,2.975659e-03,3.097777e-03,3.436139e-03,3.450632e-03,3.822954e-03,3.930578e-03,4.213876e-03,4.456947e-03,4.622401e-03,5.012835e-03,5.047415e-03,5.487703e-03,5.595502e-03,5.941962e-03,6.201939e-03,6.408815e-03,6.828927e-03,6.886830e-03,7.374529e-03,7.473099e-03,7.870407e-03,8.130991e-03,8.372943e-03,8.799103e-03,8.880613e-03,9.391901e-03,9.473943e-03,9.905314e-03,1.015208e-02,1.041939e-02,1.083016e-02,1.093269e-02,1.144385e-02,1.150498e-02,1.195154e-02,1.217350e-02,1.245449e-02,1.283283e-02,1.295151e-02,1.344146e-02,1.348032e-02,1.392328e-02,1.411351e-02,1.439599e-02,1.473018e-02,1.485867e-02,1.531050e-02,1.532834e-02,1.575072e-02,1.590622e-02,1.617865e-02,1.646231e-02,1.659368e-02,1.699528e-02,1.738301e-02,1.750408e-02,1.775646e-02,1.798783e-02,1.811532e-02,1.844586e-02,1.845933e-02,1.878831e-02,1.887771e-02,1.910212e-02,1.928308e-02,1.940067e-02,1.966185e-02,1.968395e-02,1.995197e-02,2.001403e-02,2.020480e-02,2.033980e-02,2.044256e-02,2.063944e-02,2.066540e-02,2.087350e-02,2.091337e-02,2.106708e-02,2.116208e-02,2.124639e-02,2.138618e-02,2.141170e-02,2.156331e-02,2.158632e-02,2.170154e-02,2.176324e-02,2.182673e-02,2.191773e-02,2.193923e-02,2.203941e-02,2.205062e-02,2.212764e-02,2.216278e-02,2.220432e-02,2.225510e-02,2.226982e-02,2.232456e-02,2.232849e-02,2.236894e-02,2.238387e-02,2.240335e-02,2.242218e-02,2.242820e-02,2.244388e-02,2.244433e-02,2.245081e-02,2.245124e-02,2.244938e-02,2.244383e-02,2.243998e-02,2.242299e-02,2.238959e-02,2.234450e-02,2.228855e-02,2.222254e-02,2.214725e-02,2.206343e-02,2.197181e-02,2.187307e-02,2.176788e-02,2.165687e-02,2.154064e-02,2.141974e-02,2.129473e-02,2.116611e-02,2.103436e-02,2.089992e-02,2.076323e-02,2.062467e-02,2.048462e-02,2.034342e-02,2.020140e-02,2.005884e-02,1.991603e-02,1.977321e-02
0.000000e+00,4.772050e-11,2.150484e-10,1.704439e-09,5.977837e-09,1.030190e-08,3.143899e-08,3.268348e-08,7.549451e-08,9.201189e-08,1.450963e-07,2.023443e-07,2.478171e-07,3.771082e-07,3.900972e-07,5.781018e-07,6.305881e-07,8.163121e-07,9.721809e-07,1.105741e-06,1.400813e-06,1.443809e-06,1.826089e-06,1.907436e-06,2.247932e-06,2.481485e-06,2.705037e-06,3.113298e-06,3.193365e-06,3.708948e-06,3.793703e-06,4.247747e-06,4.513401e-06,4.805608e-06,5.262772e-06,5.378289e-06,5.961516e-06,6.032011e-06,6.551068e-06,6.811413e-06,7.142851e-06,7.591700e-06,7.732984e-06,8.317856e-06,8.364318e-06,8.894183e-06,9.121653e-06,9.459038e-06,9.857183e-06,1.000987e-05,1.054451e-05,1.056554e-05,1.106118e-05,1.124249e-05,1.155843e-05,1.188491e-05,1.203518e-05,1.249065e-05,1.292432e-05,1.305845e-05,1.333595e-05,1.358779e-05,1.372548e-05,1.407878e-05,1.409307e-05,1.443900e-05,1.453203e-05,1.476369e-05,1.494854e-05,1.506768e-05,1.532959e-05,1.535158e-05,1.561604e-05,1.567670e-05,1.586178e-05,1.599150e-05,1.608955e-05,1.627572e-05,1.630010e-05,1.649422e-05,1.653114e-05,1.667266e-05,1.675951e-05,1.683619e-05,1.696257e-05,1.698555e-05,1.712149e-05,1.714204e-05,1.724470e-05,1.729953e-05,1.735589e-05,1.743662e-05,1.745571e-05,1.754480e-05,1.755480e-05,1.762377e-05,1.765546e-05,1.769321e-05,1.773995e-05,1.775367e-05,1.780569e-05,1.780950e-05,1.784977e-05,1.786528e-05,1.788639e-05,1.790839e-05,1.791600e-05,1.793905e-05,1.793984e-05,1.795593e-05,1.796057e-05,1.796704e-05,1.797148e-05,1.797273e-05,1.797336e-05,1.796926e-05,1.796699e-05,1.796072e-05,1.795307e-05,1.794805e-05,1.793224e-05,1.793151e-05,1.791137e-05,1.790512e-05,1.788787e-05,1.787226e-05,1.786125e-05,1.783418e-05,1.783172e-05,1.779948e-05,1.779136e-05,1.776473e-05,1.774424e-05,1.772765e-05,1.769323e-05,1.768842e-05,1.764719e-05,1.763871e-05,1.760412e-05,1.758104e-05,1.755935e-05,1.752053e-05,1.751302e-05,1.746525e-05,1.745748e-05,1.741617e-05,1.739218e-05,1.736589e-05,1.732487e-05,1.731452e-05,1.726215e-05,1.725580e-05,1.720888e-05,1.718518e-05,1.715481e-05,1.711322e-05,1.710000e-05,1.704455e-05,1.704009e-05,1.698853e-05,1.696598e-05,1.693201e-05,1.689104e-05,1.687505e-05,1.681771e-05,1.681541e-05,1.676006e-05,1.673924e-05,1.670215e-05,1.666264e-05,1.664402e-05,1.658574e-05,1.650863e-05,1.643141e-05,1.635418e-05,1.627702e-05,1.619999e-05,1.612318e-05,1.604664e-05,1.597043e-05,1.589461e-05,1.581922e-05,1.574431e-05,1.566992e-05,1.559608e-05,1.552284e-05,1.545021e-05,1.537822e-05,1.530691e-05,1.523628e-05,1.516637e-05,1.509719e-05,1.502875e-05,1.496106e-05,1.489414e-05,1.482801e-05
0.000000e+00,3.811761e-13,2.436283e-12,3.711391e-11,2.185323e-10,4.866430e-10,2.659326e-09,2.824734e-09,1.054562e-08,1.444854e-08,2.991927e-08,5.097060e-08,7.051910e-08,1.378880e-07,1.455270e-07,2.715499e-07,3.114620e-07,4.674623e-07,6.148646e-07,7.523203e-07,1.090164e-06,1.143139e-06,1.653316e-06,1.770553e-06,2.291959e-06,2.676600e-06,3.063946e-06,3.816369e-06,3.970383e-06,5.009212e-06,5.187432e-06,6.175779e-06,6.779187e-06,7.463316e-06,8.574784e-06,8.863327e-06,1.036591e-05,1.055260e-05,1.196003e-05,1.268741e-05,1.363381e-05,1.495150e-05,1.537478e-05,1.717012e-05,1.731571e-05,1.900699e-05,1.975052e-05,2.087273e-05,2.222704e-05,2.275509e-05,2.464247e-05,2.471791e-05,2.652402e-05,2.719801e-05,2.838983e-05,2.964499e-05,3.023098e-05,3.203957e-05,3.380880e-05,3.436567e-05,3.553288e-05,3.661034e-05,3.720702e-05,3.876364e-05,3.882738e-05,4.039100e-05,4.081834e-05,4.189571e-05,4.276963e-05,4.334005e-05,4.461478e-05,4.472317e-05,4.604477e-05,4.635281e-05,4.730501e-05,4.798414e-05,4.850446e-05,4.951037e-05,4.964398e-05,5.072473e-05,5.093395e-05,5.174808e-05,5.225804e-05,5.271555e-05,5.348627e-05,5.362882e-05,5.448962e-05,5.462260e-05,5.529977e-05,5.567119e-05,5.606112e-05,5.663632e-05,5.677553e-05,5.744489e-05,5.752227e-05,5.807104e-05,5.833333e-05,5.865582e-05,5.907370e-05,5.920103e-05,5.970843e-05,5.974744e-05,6.017972e-05,6.035850e-05,6.061657e-05,6.091068e-05,6.102058e-05,6.139331e-05,6.140759e-05,6.173626e-05,6.185272e-05,6.205088e-05,6.224934e-05,6.233855e-05,6.260060e-05,6.283831e-05,6.290945e-05,6.305292e-05,6.317868e-05,6.324559e-05,6.341095e-05,6.341744e-05,6.356955e-05,6.360875e-05,6.370295e-05,6.377442e-05,6.381862e-05,6.391018e-05,6.391749e-05,6.400046e-05,6.401811e-05,6.406839e-05,6.410015e-05,6.412207e-05,6.415816e-05,6.416230e-05,6.418981e-05,6.419385e-05,6.420530e-05,6.420883e-05,6.420945e-05,6.420464e-05,6.420290e-05,6.418626e-05,6.418270e-05,6.416011e-05,6.414434e-05,6.412499e-05,6.409081e-05,6.408145e-05,6.402997e-05,6.402329e-05,6.397105e-05,6.394287e-05,6.390512e-05,6.385060e-05,6.383262e-05,6.375397e-05,6.374742e-05,6.366955e-05,6.363425e-05,6.357974e-05,6.351193e-05,6.348489e-05,6.338533e-05,6.338125e-05,6.328139e-05,6.324296e-05,6.317337e-05,6.309774e-05,6.306156e-05,6.294624e-05,6.278907e-05,6.262679e-05,6.245994e-05,6.228901e-05,6.211446e-05,6.193673e-05,6.175620e-05,6.157327e-05,6.138828e-05,6.120155e-05,6.101340e-05,6.082410e-05,6.063392e-05,6.044311e-05,6.025189e-05,6.006047e-05,5.986907e-05,5.967784e-05,5.948698e-05,5.929663e-05,5.910694e-05,5.891804e-05,5.873007e-05,5.854312e-05
0.000000e+00,4.641379e-13,3.037708e-12,4.859072e-11,2.989431e-10,6.817059e-10,3.954777e-09,4.210741e-09,1.662595e-08,2.311192e-08,4.955217e-08,8.665303e-08,1.218210e-07,2.461577e-07,2.604786e-07,5.011985e-07,5.788866e-07,8.880272e-07,1.187339e-06,1.472214e-06,2.194057e-06,2.309872e-06,3.458594e-06,3.730610e-06,4.973608e-06,5.922853e-06,6.904183e-06,8.876922e-06,9.290788e-06,1.216321e-05,1.266926e-05,1.553964e-05,1.734167e-05,1.942648e-05,2.290051e-05,2.381882e-05,2.870121e-05,2.931894e-05,3.404880e-05,3.654087e-05,3.982859e-05,4.448602e-05,4.600079e-05,5.252022e-05,5.305532e-05,5.933766e-05,6.213652e-05,6.640125e-05,7.160957e-05,7.365773e-05,8.105366e-05,8.135165e-05,8.853643e-05,9.124163e-05,9.605524e-05,1.011639e-04,1.035619e-04,1.110112e-04,1.183620e-04,1.206873e-04,1.255769e-04,1.301075e-04,1.326226e-04,1.392006e-04,1.394704e-04,1.460955e-04,1.479078e-04,1.524775e-04,1.561830e-04,1.585999e-04,1.639919e-04,1.644497e-04,1.700175e-04,1.713110e-04,1.752969e-04,1.781261e-04,1.802846e-04,1.844315e-04,1.849794e-04,1.893824e-04,1.902283e-04,1.934968e-04,1.955237e-04,1.973271e-04,2.003294e-04,2.008793e-04,2.041605e-04,2.046608e-04,2.071785e-04,2.085363e-04,2.099421e-04,2.119760e-04,2.124605e-04,2.147431e-04,2.150016e-04,2.167997e-04,2.176356e-04,2.186403e-04,2.199008e-04,2.202749e-04,2.217133e-04,2.218202e-04,2.229653e-04,2.234162e-04,2.240407e-04,2.247109e-04,2.249489e-04,2.256991e-04,2.257259e-04,2.263002e-04,2.264819e-04,2.267610e-04,2.269985e-04,2.270898e-04,2.272947e-04,2.273833e-04,2.273884e-04,2.273632e-04,2.272966e-04,2.272415e-04,2.270354e-04,2.270250e-04,2.267201e-04,2.266198e-04,2.263331e-04,2.260640e-04,2.258699e-04,2.253812e-04,2.253361e-04,2.247369e-04,2.245840e-04,2.240776e-04,2.236838e-04,2.233628e-04,2.226915e-04,2.225971e-04,2.217848e-04,2.216171e-04,2.209300e-04,2.204699e-04,2.200365e-04,2.192587e-04,2.191079e-04,2.181477e-04,2.179913e-04,2.171590e-04,2.166753e-04,2.161450e-04,2.153175e-04,2.151085e-04,2.140522e-04,2.139242e-04,2.129785e-04,2.125013e-04,2.118899e-04,2.110540e-04,2.107887e-04,2.096768e-04,2.095874e-04,2.085562e-04,2.081060e-04,2.074288e-04,2.066138e-04,2.062963e-04,2.051602e-04,2.051147e-04,2.040221e-04,2.036121e-04,2.028833e-04,2.021092e-04,2.017451e-04,2.006087e-04,1.991133e-04,1.976253e-04,1.961468e-04,1.946797e-04,1.932257e-04,1.917863e-04,1.903628e-04,1.889564e-04,1.875681e-04,1.861989e-04,1.848494e-04,1.835205e-04,1.822126e-04,1.809262e-04,1.796617e-04,1.784194e-04,1.771996e-04,1.760023e-04,1.748276e-04,1.736757e-04,1.725466e-04,1.714401e-04,1.703561e-04,1.692947e-04
0.000000e+00,1.662262e-12,1.059298e-11,1.605749e-10,9.431738e-10,2.099937e-09,1.153021e-08,1.225212e-08,4.644667e-08,6.404163e-08,1.353665e-07,2.355982e-07,3.312033e-07,6.735752e-07,7.133412e-07,1.386188e-06,1.603776e-06,2.464901e-06,3.286590e-06,4.055220e-06,5.942481e-06,6.237510e-06,9.060005e-06,9.703346e-06,1.254014e-05,1.460802e-05,1.667045e-05,2.062424e-05,2.142566e-05,2.676904e-05,2.767572e-05,3.265709e-05,3.566303e-05,3.904259e-05,4.447624e-05,4.587651e-05,5.310906e-05,5.400138e-05,6.069030e-05,6.412370e-05,6.857060e-05,7.472956e-05,7.670113e-05,8.503427e-05,8.570829e-05,9.352410e-05,9.695402e-05,1.021269e-04,1.083676e-04,1.108014e-04,1.195095e-04,1.198580e-04,1.282161e-04,1.313439e-04,1.368895e-04,1.427538e-04,1.455013e-04,1.540267e-04,1.624438e-04,1.651113e-04,1.707342e-04,1.759660e-04,1.788819e-04,1.865575e-04,1.868740e-04,1.946997e-04,1.968598e-04,2.023503e-04,2.068539e-04,2.098193e-04,2.165259e-04,2.171015e-04,2.241933e-04,2.258667e-04,2.310924e-04,2.348711e-04,2.377974e-04,2.435370e-04,2.443080e-04,2.506244e-04,2.518645e-04,2.567478e-04,2.598562e-04,2.626797e-04,2.675159e-04,2.684221e-04,2.739773e-04,2.748489e-04,2.793481e-04,2.818614e-04,2.845373e-04,2.885601e-04,2.895481e-04,2.943839e-04,2.949526e-04,2.990479e-04,3.010467e-04,3.035439e-04,3.068505e-04,3.078752e-04,3.120457e-04,3.123725e-04,3.160589e-04,3.176209e-04,3.199185e-04,3.226045e-04,3.236283e-04,3.271920e-04,3.273316e-04,3.306132e-04,3.318106e-04,3.338955e-04,3.360501e-04,3.370427e-04,3.400583e-04,3.429458e-04,3.438433e-04,3.457087e-04,3.474132e-04,3.483506e-04,3.507759e-04,3.508747e-04,3.532845e-04,3.539392e-04,3.555832e-04,3.569105e-04,3.577741e-04,3.596971e-04,3.598603e-04,3.618449e-04,3.623064e-04,3.637310e-04,3.647453e-04,3.655216e-04,3.670206e-04,3.672195e-04,3.688278e-04,3.691389e-04,3.703491e-04,3.711067e-04,3.717862e-04,3.729302e-04,3.731418e-04,3.744184e-04,3.746155e-04,3.756187e-04,3.761684e-04,3.767451e-04,3.775946e-04,3.778000e-04,3.787859e-04,3.788996e-04,3.797050e-04,3.800888e-04,3.805595e-04,3.811672e-04,3.813517e-04,3.820837e-04,3.821398e-04,3.827576e-04,3.830114e-04,3.833754e-04,3.837866e-04,3.839391e-04,3.844506e-04,3.844700e-04,3.849117e-04,3.850658e-04,3.853244e-04,3.855781e-04,3.856902e-04,3.860111e-04,3.863684e-04,3.866539e-04,3.868711e-04,3.870235e-04,3.871143e-04,3.871467e-04,3.871238e-04,3.870486e-04,3.869238e-04,3.867522e-04,3.865363e-04,3.862787e-04,3.859818e-04,3.856478e-04,3.852790e-04,3.848774e-04,3.844452e-04,3.839841e-04,3.834962e-04,3.829832e-04,3.824467e-04,3.818884e-04,3.813098e-04,3.807125e-04
0.000000e+00,1.499707e-09,4.308698e-09,1.876998e-08,4.753945e-08,7.210870e-08,1.747329e-07,1.803432e-07,3.614781e-07,4.277022e-07,6.335321e-07,8.481029e-07,1.015060e-06,1.478856e-06,1.524767e-06,2.179032e-06,2.358768e-06,2.986263e-06,3.503600e-06,3.940634e-06,4.886726e-06,5.022426e-06,6.205960e-06,6.452671e-06,7.466910e-06,8.146220e-06,8.784687e-06,9.922829e-06,1.014203e-05,1.152404e-05,1.174655e-05,1.291755e-05,1.358701e-05,1.431078e-05,1.541806e-05,1.569322e-05,1.705561e-05,1.721735e-05,1.838991e-05,1.896632e-05,1.968936e-05,2.065014e-05,2.094835e-05,2.216243e-05,2.225750e-05,2.332818e-05,2.378037e-05,2.444313e-05,2.521349e-05,2.550563e-05,2.651475e-05,2.655400e-05,2.747021e-05,2.780108e-05,2.837228e-05,2.895550e-05,2.922158e-05,3.001901e-05,3.076585e-05,3.099439e-05,3.146354e-05,3.188500e-05,3.211368e-05,3.269466e-05,3.271798e-05,3.327824e-05,3.342747e-05,3.379628e-05,3.408761e-05,3.427395e-05,3.467932e-05,3.471307e-05,3.511548e-05,3.520680e-05,3.548298e-05,3.567419e-05,3.581732e-05,3.608547e-05,3.612021e-05,3.639331e-05,3.644450e-05,3.663823e-05,3.675496e-05,3.685651e-05,3.702037e-05,3.704965e-05,3.721907e-05,3.724407e-05,3.736615e-05,3.742919e-05,3.749219e-05,3.757873e-05,3.759846e-05,3.768615e-05,3.769548e-05,3.775640e-05,3.778206e-05,3.781029e-05,3.784096e-05,3.784888e-05,3.787313e-05,3.787448e-05,3.788398e-05,3.788478e-05,3.788234e-05,3.787388e-05,3.786903e-05,3.784485e-05,3.784367e-05,3.781058e-05,3.779591e-05,3.776692e-05,3.773223e-05,3.771456e-05,3.765415e-05,3.758628e-05,3.756309e-05,3.751155e-05,3.746036e-05,3.743048e-05,3.734719e-05,3.734360e-05,3.725140e-05,3.722469e-05,3.715433e-05,3.709393e-05,3.705282e-05,3.695587e-05,3.694728e-05,3.683810e-05,3.681140e-05,3.672563e-05,3.666135e-05,3.661022e-05,3.650648e-05,3.649219e-05,3.637183e-05,3.634751e-05,3.624944e-05,3.618507e-05,3.612527e-05,3.601977e-05,3.599957e-05,3.587257e-05,3.585215e-05,3.574451e-05,3.568271e-05,3.561557e-05,3.551193e-05,3.548596e-05,3.535584e-05,3.534020e-05,3.522540e-05,3.516793e-05,3.509477e-05,3.499547e-05,3.496412e-05,3.483357e-05,3.482313e-05,3.470325e-05,3.465121e-05,3.457327e-05,3.447997e-05,3.444376e-05,3.431480e-05,3.430965e-05,3.418648e-05,3.414047e-05,3.405891e-05,3.397261e-05,3.393214e-05,3.380627e-05,3.364158e-05,3.347870e-05,3.331774e-05,3.315882e-05,3.300202e-05,3.284744e-05,3.269513e-05,3.254518e-05,3.239762e-05,3.225249e-05,3.210984e-05,3.196969e-05,3.183206e-05,3.169696e-05,3.156440e-05,3.143439e-05,3.130692e-05,3.118199e-05,3.105958e-05,3.093969e-05,3.082229e-05,3.070736e-05,3.059489e-05,3.048485e-05
0.000000e+00,5.108424e-14,3.348686e-13,5.372753e-12,3.313193e-11,7.563621e-11,4.397158e-10,4.682047e-10,1.850321e-09,2.572181e-09,5.512296e-09,9.630753e-09,1.352760e-08,2.725831e-08,2.883570e-08,5.524705e-08,6.373537e-08,9.737794e-08,1.297859e-07,1.605132e-07,2.379904e-07,2.503803e-07,3.728263e-07,4.017248e-07,5.334244e-07,6.336764e-07,7.370734e-07,9.442844e-07,9.876560e-07,1.287799e-06,1.340524e-06,1.638751e-06,1.825264e-06,2.040363e-06,2.397179e-06,2.491161e-06,2.988469e-06,3.051105e-06,3.528581e-06,3.778642e-06,4.106937e-06,4.568873e-06,4.718318e-06,5.357027e-06,5.409126e-06,6.017070e-06,6.285688e-06,6.692317e-06,7.184473e-06,7.376655e-06,8.064119e-06,8.091601e-06,8.749005e-06,8.993891e-06,9.425971e-06,9.879263e-06,1.009012e-05,1.073703e-05,1.136286e-05,1.155812e-05,1.196430e-05,1.233512e-05,1.253860e-05,1.306240e-05,1.308361e-05,1.359770e-05,1.373594e-05,1.407974e-05,1.435331e-05,1.452911e-05,1.491348e-05,1.494559e-05,1.532936e-05,1.541664e-05,1.568091e-05,1.586399e-05,1.600103e-05,1.625755e-05,1.629075e-05,1.655126e-05,1.659998e-05,1.678392e-05,1.689437e-05,1.699017e-05,1.714413e-05,1.717154e-05,1.732956e-05,1.735279e-05,1.746582e-05,1.752394e-05,1.758185e-05,1.766113e-05,1.767917e-05,1.775925e-05,1.776777e-05,1.782350e-05,1.784710e-05,1.787325e-05,1.790216e-05,1.790979e-05,1.793431e-05,1.793579e-05,1.794792e-05,1.795054e-05,1.795165e-05,1.794877e-05,1.794648e-05,1.793328e-05,1.793260e-05,1.791288e-05,1.790391e-05,1.788601e-05,1.786440e-05,1.785336e-05,1.781555e-05,1.777314e-05,1.775869e-05,1.772666e-05,1.769498e-05,1.767656e-05,1.762545e-05,1.762326e-05,1.756716e-05,1.755099e-05,1.750859e-05,1.747239e-05,1.744786e-05,1.739034e-05,1.738527e-05,1.732105e-05,1.730543e-05,1.725545e-05,1.721818e-05,1.718867e-05,1.712907e-05,1.712089e-05,1.705229e-05,1.703849e-05,1.698303e-05,1.694680e-05,1.691324e-05,1.685430e-05,1.684304e-05,1.677256e-05,1.676126e-05,1.670189e-05,1.666793e-05,1.663113e-05,1.657451e-05,1.656036e-05,1.648967e-05,1.648119e-05,1.641911e-05,1.638813e-05,1.634876e-05,1.629546e-05,1.627867e-05,1.620889e-05,1.620333e-05,1.613948e-05,1.611183e-05,1.607047e-05,1.602106e-05,1.600191e-05,1.593383e-05,1.593111e-05,1.586625e-05,1.584206e-05,1.579922e-05,1.575396e-05,1.573275e-05,1.566688e-05,1.558086e-05,1.549595e-05,1.541218e-05,1.532959e-05,1.524820e-05,1.516804e-05,1.508911e-05,1.501144e-05,1.493504e-05,1.485991e-05,1.478605e-05,1.471348e-05,1.464218e-05,1.457216e-05,1.450342e-05,1.443594e-05,1.436973e-05,1.430478e-05,1.424106e-05,1.417858e-05,1.411733e-05,1.405728e-05,1.399843e-05,1.394077e-05
0.000000e+00,8.034184e-13,4.892033e-12,6.750488e-11,3.639655e-10,7.729782e-10,3.750527e-09,3.965056e-09,1.323627e-08,1.761237e-08,3.396767e-08,5.477904e-08,7.322496e-08,1.331142e-07,1.396558e-07,2.430656e-07,2.744869e-07,3.930649e-07,5.002906e-07,5.969672e-07,8.238240e-07,8.582160e-07,1.176238e-06,1.246377e-06,1.547434e-06,1.759741e-06,1.966488e-06,2.351107e-06,2.427420e-06,2.924193e-06,3.006610e-06,3.450974e-06,3.712835e-06,4.002163e-06,4.457060e-06,4.572370e-06,5.156373e-06,5.227139e-06,5.749119e-06,6.011437e-06,6.345750e-06,6.798944e-06,6.941662e-06,7.532573e-06,7.579510e-06,8.114583e-06,8.344104e-06,8.684231e-06,9.085024e-06,9.238526e-06,9.774967e-06,9.796023e-06,1.029154e-05,1.047233e-05,1.078670e-05,1.111059e-05,1.125933e-05,1.170873e-05,1.213454e-05,1.226580e-05,1.253671e-05,1.278177e-05,1.291544e-05,1.325736e-05,1.327115e-05,1.360444e-05,1.369384e-05,1.391602e-05,1.409290e-05,1.420672e-05,1.445649e-05,1.447743e-05,1.472907e-05,1.478673e-05,1.496259e-05,1.508581e-05,1.517897e-05,1.535594e-05,1.537914e-05,1.556403e-05,1.559925e-05,1.573455e-05,1.581783e-05,1.589157e-05,1.601364e-05,1.603592e-05,1.616840e-05,1.618854e-05,1.628974e-05,1.634425e-05,1.640068e-05,1.648237e-05,1.650186e-05,1.659392e-05,1.660439e-05,1.667746e-05,1.671165e-05,1.675301e-05,1.680541e-05,1.682110e-05,1.688220e-05,1.688681e-05,1.693678e-05,1.695687e-05,1.698524e-05,1.701656e-05,1.702797e-05,1.706535e-05,1.706674e-05,1.709771e-05,1.710819e-05,1.712537e-05,1.714164e-05,1.714862e-05,1.716775e-05,1.718300e-05,1.718710e-05,1.719461e-05,1.720025e-05,1.720282e-05,1.720769e-05,1.720784e-05,1.720985e-05,1.720990e-05,1.720904e-05,1.720727e-05,1.720558e-05,1.720020e-05,1.719964e-05,1.719137e-05,1.718905e-05,1.718089e-05,1.717412e-05,1.716836e-05,1.715573e-05,1.715390e-05,1.713761e-05,1.713414e-05,1.711961e-05,1.710961e-05,1.710001e-05,1.708238e-05,1.707890e-05,1.705638e-05,1.705265e-05,1.703252e-05,1.702062e-05,1.700742e-05,1.698649e-05,1.698115e-05,1.695378e-05,1.695042e-05,1.692538e-05,1.691258e-05,1.689602e-05,1.687311e-05,1.686577e-05,1.683467e-05,1.683214e-05,1.680278e-05,1.678982e-05,1.677016e-05,1.674625e-05,1.673686e-05,1.670291e-05,1.670154e-05,1.666838e-05,1.665581e-05,1.663330e-05,1.660915e-05,1.659771e-05,1.656165e-05,1.651338e-05,1.646445e-05,1.641491e-05,1.636484e-05,1.631430e-05,1.626335e-05,1.621205e-05,1.616046e-05,1.610863e-05,1.605660e-05,1.600441e-05,1.595211e-05,1.589974e-05,1.584734e-05,1.579493e-05,1.574256e-05,1.569025e-05,1.563803e-05,1.558592e-05,1.553396e-05,1.548216e-05,1.543055e-05,1.537915e-05,1.532798e-05
0.000000e+00,1.083150e-09,2.479648e-09,8.471890e-09,1.912823e-08,2.779774e-08,6.259999e-08,6.447132e-08,1.244175e-07,1.462976e-07,2.146587e-07,2.867145e-07,3.433482e-07,5.025850e-07,5.184402e-07,7.440693e-07,8.054937e-07,1.016243e-06,1.184746e-06,1.323129e-06,1.610686e-06,1.650662e-06,1.987241e-06,2.054876e-06,2.324782e-06,2.498826e-06,2.657926e-06,2.931677e-06,2.983040e-06,3.297535e-06,3.346732e-06,3.599472e-06,3.739490e-06,3.887363e-06,4.106793e-06,4.160078e-06,4.416797e-06,4.446501e-06,4.657008e-06,4.757397e-06,4.880455e-06,5.039043e-06,5.087120e-06,5.277205e-06,5.291706e-06,5.451096e-06,5.516234e-06,5.609330e-06,5.713928e-06,5.752563e-06,5.881536e-06,5.886410e-06,5.997051e-06,6.035501e-06,6.099941e-06,6.163126e-06,6.191050e-06,6.271216e-06,6.341262e-06,6.361673e-06,6.401996e-06,6.436334e-06,6.454184e-06,6.496913e-06,6.498546e-06,6.535760e-06,6.544987e-06,6.566462e-06,6.582003e-06,6.591238e-06,6.609265e-06,6.610630e-06,6.625138e-06,6.627944e-06,6.635218e-06,6.639087e-06,6.641291e-06,6.643624e-06,6.643738e-06,6.642908e-06,6.642377e-06,6.639118e-06,6.636074e-06,6.632657e-06,6.625357e-06,6.623786e-06,6.612745e-06,6.610792e-06,6.599749e-06,6.592875e-06,6.584995e-06,6.572047e-06,6.568663e-06,6.550913e-06,6.548695e-06,6.531895e-06,6.523159e-06,6.511741e-06,6.495741e-06,6.490575e-06,6.468507e-06,6.466705e-06,6.445638e-06,6.436288e-06,6.422062e-06,6.404697e-06,6.397863e-06,6.373116e-06,6.372116e-06,6.347894e-06,6.338709e-06,6.322259e-06,6.304622e-06,6.296271e-06,6.269983e-06,6.243446e-06,6.234908e-06,6.216703e-06,6.199499e-06,6.189797e-06,6.163848e-06,6.162765e-06,6.135642e-06,6.128036e-06,6.108461e-06,6.092137e-06,6.081251e-06,6.056215e-06,6.054039e-06,6.026849e-06,6.020329e-06,5.999704e-06,5.984531e-06,5.972626e-06,5.948867e-06,5.945633e-06,5.918743e-06,5.913379e-06,5.891972e-06,5.878103e-06,5.865335e-06,5.843073e-06,5.838845e-06,5.812515e-06,5.808318e-06,5.786356e-06,5.773864e-06,5.760379e-06,5.739734e-06,5.734593e-06,5.709006e-06,5.705950e-06,5.683627e-06,5.672527e-06,5.658462e-06,5.639483e-06,5.633517e-06,5.608799e-06,5.606832e-06,5.584313e-06,5.574584e-06,5.560062e-06,5.542751e-06,5.536052e-06,5.512286e-06,5.511341e-06,5.488767e-06,5.480361e-06,5.465497e-06,5.449818e-06,5.442480e-06,5.419717e-06,5.390061e-06,5.360853e-06,5.332096e-06,5.303790e-06,5.275937e-06,5.248536e-06,5.221587e-06,5.195088e-06,5.169037e-06,5.143432e-06,5.118271e-06,5.093550e-06,5.069266e-06,5.045416e-06,5.021996e-06,4.999001e-06,4.976427e-06,4.954269e-06,4.932523e-06,4.911184e-06,4.890247e-06,4.869706e-06,4.849557e-06,4.829793e-06
0.000000e+00,4.697399e-10,1.440768e-09,6.753600e-09,1.771754e-08,2.723017e-08,6.748958e-08,6.970257e-08,1.413365e-07,1.675339e-07,2.487574e-07,3.329699e-07,3.981300e-07,5.775452e-07,5.951924e-07,8.451880e-07,9.135839e-07,1.152600e-06,1.351083e-06,1.520581e-06,1.895379e-06,1.950149e-06,2.439602e-06,2.544344e-06,2.984742e-06,3.288339e-06,3.579797e-06,4.113563e-06,4.218401e-06,4.894161e-06,5.005313e-06,5.600871e-06,5.949322e-06,6.332558e-06,6.932028e-06,7.083485e-06,7.848169e-06,7.940605e-06,8.621403e-06,8.963064e-06,9.398305e-06,9.988406e-06,1.017435e-05,1.094541e-05,1.100677e-05,1.170778e-05,1.200954e-05,1.245816e-05,1.298940e-05,1.319371e-05,1.391199e-05,1.394033e-05,1.461095e-05,1.485751e-05,1.528893e-05,1.573729e-05,1.594462e-05,1.657700e-05,1.718535e-05,1.737487e-05,1.776920e-05,1.812987e-05,1.832828e-05,1.884163e-05,1.886253e-05,1.937202e-05,1.951028e-05,1.985699e-05,2.013634e-05,2.031777e-05,2.072068e-05,2.075478e-05,2.116854e-05,2.126444e-05,2.155961e-05,2.176892e-05,2.192860e-05,2.223557e-05,2.227617e-05,2.260298e-05,2.266592e-05,2.290974e-05,2.306156e-05,2.319714e-05,2.342412e-05,2.346590e-05,2.371671e-05,2.375522e-05,2.395028e-05,2.405647e-05,2.416731e-05,2.432948e-05,2.436848e-05,2.455447e-05,2.457580e-05,2.472593e-05,2.479693e-05,2.488350e-05,2.499434e-05,2.502780e-05,2.515943e-05,2.516944e-05,2.527900e-05,2.532357e-05,2.538705e-05,2.545804e-05,2.548416e-05,2.557083e-05,2.557409e-05,2.564760e-05,2.567291e-05,2.571496e-05,2.575562e-05,2.577337e-05,2.582330e-05,2.586520e-05,2.587698e-05,2.589948e-05,2.591762e-05,2.592656e-05,2.594613e-05,2.594682e-05,2.596064e-05,2.596340e-05,2.596838e-05,2.597025e-05,2.597038e-05,2.596745e-05,2.596698e-05,2.595849e-05,2.595573e-05,2.594522e-05,2.593580e-05,2.592745e-05,2.590831e-05,2.590545e-05,2.587951e-05,2.587387e-05,2.584986e-05,2.583306e-05,2.581675e-05,2.578643e-05,2.578041e-05,2.574105e-05,2.573449e-05,2.569890e-05,2.567773e-05,2.565414e-05,2.561659e-05,2.560697e-05,2.555758e-05,2.555151e-05,2.550612e-05,2.548287e-05,2.545277e-05,2.541105e-05,2.539768e-05,2.534101e-05,2.533641e-05,2.528288e-05,2.525926e-05,2.522345e-05,2.517991e-05,2.516282e-05,2.510114e-05,2.509865e-05,2.503850e-05,2.501573e-05,2.497502e-05,2.493142e-05,2.491079e-05,2.484593e-05,2.475948e-05,2.467228e-05,2.458450e-05,2.449631e-05,2.440788e-05,2.431935e-05,2.423085e-05,2.414252e-05,2.405446e-05,2.396678e-05,2.387958e-05,2.379294e-05,2.370694e-05,2.362167e-05,2.353718e-05,2.345354e-05,2.337079e-05,2.328900e-05,2.320820e-05,2.312842e-05,2.304971e-05,2.297210e-05,2.289561e-05,2.282026e-05
0.000000e+00,1.468847e-13,9.638576e-13,1.550395e-11,9.589184e-11,2.193395e-10,1.283432e-09,1.367014e-09,5.452202e-09,7.602547e-09,1.643992e-08,2.897673e-08,4.096893e-08,8.397923e-08,8.898294e-08,1.742289e-07,2.021148e-07,3.143987e-07,4.246307e-07,5.305419e-07,8.017819e-07,8.455705e-07,1.282135e-06,1.385875e-06,1.860433e-06,2.222664e-06,2.596423e-06,3.344440e-06,3.500700e-06,4.578033e-06,4.766478e-06,5.827455e-06,6.486659e-06,7.242745e-06,8.487309e-06,8.813154e-06,1.052425e-05,1.073824e-05,1.235879e-05,1.320018e-05,1.429753e-05,1.582812e-05,1.632004e-05,1.840539e-05,1.857431e-05,2.053273e-05,2.139086e-05,2.268183e-05,2.423182e-05,2.483349e-05,2.696985e-05,2.705475e-05,2.907467e-05,2.982183e-05,3.113347e-05,3.250065e-05,3.313363e-05,3.506443e-05,3.691701e-05,3.749212e-05,3.868433e-05,3.976814e-05,4.036105e-05,4.188195e-05,4.194340e-05,4.342905e-05,4.382753e-05,4.481695e-05,4.560276e-05,4.610717e-05,4.720877e-05,4.730074e-05,4.839950e-05,4.864937e-05,4.940597e-05,4.993040e-05,5.032320e-05,5.105926e-05,5.115463e-05,5.190403e-05,5.204441e-05,5.257537e-05,5.289498e-05,5.317277e-05,5.362046e-05,5.370036e-05,5.416233e-05,5.423043e-05,5.456277e-05,5.473432e-05,5.490573e-05,5.514133e-05,5.519511e-05,5.543467e-05,5.546025e-05,5.562805e-05,5.569939e-05,5.577867e-05,5.586658e-05,5.588983e-05,5.596460e-05,5.596910e-05,5.600592e-05,5.601369e-05,5.601651e-05,5.600657e-05,5.599896e-05,5.595565e-05,5.595342e-05,5.588884e-05,5.585944e-05,5.580061e-05,5.572937e-05,5.569290e-05,5.556752e-05,5.542613e-05,5.537776e-05,5.527029e-05,5.516364e-05,5.510144e-05,5.492832e-05,5.492089e-05,5.472987e-05,5.467467e-05,5.452953e-05,5.440528e-05,5.432089e-05,5.412246e-05,5.410493e-05,5.388254e-05,5.382830e-05,5.365454e-05,5.352469e-05,5.342167e-05,5.321328e-05,5.318464e-05,5.294408e-05,5.289559e-05,5.270057e-05,5.257297e-05,5.245466e-05,5.224661e-05,5.220685e-05,5.195758e-05,5.191759e-05,5.170728e-05,5.158688e-05,5.145633e-05,5.125533e-05,5.120507e-05,5.095383e-05,5.092369e-05,5.070290e-05,5.059266e-05,5.045255e-05,5.026282e-05,5.020302e-05,4.995454e-05,4.993471e-05,4.970731e-05,4.960881e-05,4.946151e-05,4.928551e-05,4.921730e-05,4.897485e-05,4.896519e-05,4.873428e-05,4.864816e-05,4.849572e-05,4.833471e-05,4.825929e-05,4.802507e-05,4.771945e-05,4.741804e-05,4.712097e-05,4.682838e-05,4.654037e-05,4.625703e-05,4.597841e-05,4.570458e-05,4.543556e-05,4.517138e-05,4.491205e-05,4.465757e-05,4.440794e-05,4.416314e-05,4.392315e-05,4.368793e-05,4.345744e-05,4.323166e-05,4.301052e-05,4.279399e-05,4.258200e-05,4.237451e-05,4.217145e-05,4.197275e-05
0.000000e+00,7.481329e-12,4.252073e-11,5.116441e-10,2.452647e-09,4.897929e-09,2.047145e-08,2.151784e-08,6.282865e-08,8.079206e-08,1.435531e-07,2.174872e-07,2.796078e-07,4.681715e-07,4.879111e-07,7.863448e-07,8.733929e-07,1.192692e-06,1.473024e-06,1.721301e-06,2.292437e-06,2.377887e-06,3.155995e-06,3.324820e-06,4.038390e-06,4.530917e-06,5.002184e-06,5.857553e-06,6.024061e-06,7.083283e-06,7.255021e-06,8.162563e-06,8.683483e-06,9.247745e-06,1.011222e-05,1.032714e-05,1.139092e-05,1.151712e-05,1.243078e-05,1.287887e-05,1.343967e-05,1.418208e-05,1.441175e-05,1.534230e-05,1.541483e-05,1.622768e-05,1.656856e-05,1.706525e-05,1.763772e-05,1.785333e-05,1.859107e-05,1.861953e-05,1.927835e-05,1.951350e-05,1.991569e-05,2.032106e-05,2.050412e-05,2.104509e-05,2.154036e-05,2.168951e-05,2.199192e-05,2.225897e-05,2.240192e-05,2.275851e-05,2.277262e-05,2.310628e-05,2.319339e-05,2.340522e-05,2.356884e-05,2.367167e-05,2.389000e-05,2.390783e-05,2.411583e-05,2.416178e-05,2.429768e-05,2.438883e-05,2.445532e-05,2.457547e-05,2.459057e-05,2.470516e-05,2.472574e-05,2.480068e-05,2.484332e-05,2.487865e-05,2.493162e-05,2.494049e-05,2.498749e-05,2.499371e-05,2.502088e-05,2.503240e-05,2.504178e-05,2.505021e-05,2.505123e-05,2.505020e-05,2.504941e-05,2.503956e-05,2.503205e-05,2.502014e-05,2.499997e-05,2.499270e-05,2.495797e-05,2.495489e-05,2.491660e-05,2.489833e-05,2.486920e-05,2.483164e-05,2.481631e-05,2.475845e-05,2.475604e-05,2.469609e-05,2.467263e-05,2.462968e-05,2.458240e-05,2.455960e-05,2.448623e-05,2.440989e-05,2.438489e-05,2.433091e-05,2.427911e-05,2.424958e-05,2.416953e-05,2.416616e-05,2.408091e-05,2.405674e-05,2.399405e-05,2.394125e-05,2.390579e-05,2.382352e-05,2.381633e-05,2.372584e-05,2.370399e-05,2.363449e-05,2.358303e-05,2.354245e-05,2.346098e-05,2.344984e-05,2.335680e-05,2.333815e-05,2.326344e-05,2.321481e-05,2.316989e-05,2.309123e-05,2.307624e-05,2.298258e-05,2.296761e-05,2.288901e-05,2.284415e-05,2.279561e-05,2.272105e-05,2.270244e-05,2.260958e-05,2.259846e-05,2.251709e-05,2.247652e-05,2.242502e-05,2.235537e-05,2.233343e-05,2.224237e-05,2.223511e-05,2.215189e-05,2.211586e-05,2.206201e-05,2.199770e-05,2.197278e-05,2.188424e-05,2.188071e-05,2.179641e-05,2.176497e-05,2.170931e-05,2.165053e-05,2.162299e-05,2.153745e-05,2.142578e-05,2.131556e-05,2.120682e-05,2.109960e-05,2.099391e-05,2.088979e-05,2.078724e-05,2.068627e-05,2.058690e-05,2.048913e-05,2.039297e-05,2.029841e-05,2.020545e-05,2.011409e-05,2.002433e-05,1.993614e-05,1.984954e-05,1.976450e-05,1.968101e-05,1.959906e-05,1.951864e-05,1.943973e-05,1.936231e-05,1.928637e-05
0.000000e+00,2.121956e-09,5.464298e-09,2.125349e-08,5.127424e-08,7.655046e-08,1.819507e-07,1.877430e-07,3.776769e-07,4.486474e-07,6.742481e-07,9.161090e-07,1.107428e-06,1.642481e-06,1.695167e-06,2.430157e-06,2.626011e-06,3.289862e-06,3.817540e-06,4.252830e-06,5.172839e-06,5.303040e-06,6.428095e-06,6.661120e-06,7.617122e-06,8.257203e-06,8.859586e-06,9.936755e-06,1.014482e-05,1.146199e-05,1.167497e-05,1.280022e-05,1.344693e-05,1.414891e-05,1.522855e-05,1.549792e-05,1.683786e-05,1.699763e-05,1.816023e-05,1.873454e-05,1.945754e-05,2.042275e-05,2.072337e-05,2.195239e-05,2.204898e-05,2.314026e-05,2.360312e-05,2.428366e-05,2.507796e-05,2.538013e-05,2.642798e-05,2.646887e-05,2.742624e-05,2.777338e-05,2.837451e-05,2.899081e-05,2.927288e-05,3.012185e-05,3.092225e-05,3.116829e-05,3.167517e-05,3.213271e-05,3.238190e-05,3.301823e-05,3.304387e-05,3.366263e-05,3.382836e-05,3.423980e-05,3.456682e-05,3.477703e-05,3.523744e-05,3.527599e-05,3.573837e-05,3.584408e-05,3.616581e-05,3.639054e-05,3.655996e-05,3.688054e-05,3.692241e-05,3.725472e-05,3.731769e-05,3.755838e-05,3.770546e-05,3.783487e-05,3.804713e-05,3.808557e-05,3.831183e-05,3.834585e-05,3.851494e-05,3.860458e-05,3.869614e-05,3.882613e-05,3.885662e-05,3.899749e-05,3.901313e-05,3.911985e-05,3.916809e-05,3.922472e-05,3.929333e-05,3.931308e-05,3.938586e-05,3.939103e-05,3.944394e-05,3.946325e-05,3.948818e-05,3.951191e-05,3.951938e-05,3.953829e-05,3.953880e-05,3.954565e-05,3.954560e-05,3.954214e-05,3.953388e-05,3.952841e-05,3.950508e-05,3.947275e-05,3.946059e-05,3.943197e-05,3.940168e-05,3.938326e-05,3.932952e-05,3.932714e-05,3.926407e-05,3.924523e-05,3.919451e-05,3.914983e-05,3.911888e-05,3.904430e-05,3.903759e-05,3.895103e-05,3.892951e-05,3.885955e-05,3.880630e-05,3.876350e-05,3.867546e-05,3.866321e-05,3.855898e-05,3.853769e-05,3.845112e-05,3.839368e-05,3.833988e-05,3.824404e-05,3.822554e-05,3.810835e-05,3.808935e-05,3.798854e-05,3.793016e-05,3.786633e-05,3.776697e-05,3.774193e-05,3.761553e-05,3.760024e-05,3.748734e-05,3.743041e-05,3.735752e-05,3.725788e-05,3.722625e-05,3.709367e-05,3.708302e-05,3.695995e-05,3.690617e-05,3.682522e-05,3.672767e-05,3.668962e-05,3.655327e-05,3.654780e-05,3.641629e-05,3.636685e-05,3.627880e-05,3.618507e-05,3.614090e-05,3.600270e-05,3.581995e-05,3.563704e-05,3.545414e-05,3.527143e-05,3.508906e-05,3.490720e-05,3.472597e-05,3.454549e-05,3.436588e-05,3.418725e-05,3.400969e-05,3.383329e-05,3.365812e-05,3.348427e-05,3.331180e-05,3.314076e-05,3.297122e-05,3.280322e-05,3.263680e-05,3.247200e-05,3.230887e-05,3.214742e-05,3.198768e-05,3.182969e-05
0.000000e+00,2.170307e-11,1.088284e-10,1.036583e-09,4.136339e-09,7.553730e-09,2.590844e-08,2.703975e-08,6.767499e-08,8.393806e-08,1.374528e-07,1.965499e-07,2.441607e-07,3.816408e-07,3.955860e-07,5.996349e-07,6.573133e-07,8.640807e-07,1.041125e-06,1.195571e-06,1.545833e-06,1.597871e-06,2.070384e-06,2.172949e-06,2.608345e-06,2.911610e-06,3.204591e-06,3.744828e-06,3.851411e-06,4.541556e-06,4.655553e-06,5.268464e-06,5.628658e-06,6.026126e-06,6.650592e-06,6.808890e-06,7.611347e-06,7.708714e-06,8.428259e-06,8.790971e-06,9.254574e-06,9.885873e-06,1.008545e-05,1.091631e-05,1.098265e-05,1.174288e-05,1.207142e-05,1.256126e-05,1.314343e-05,1.336793e-05,1.415977e-05,1.419110e-05,1.493410e-05,1.520811e-05,1.568862e-05,1.618940e-05,1.642145e-05,1.713109e-05,1.781638e-05,1.803039e-05,1.847650e-05,1.888549e-05,1.911089e-05,1.969543e-05,1.971927e-05,2.030157e-05,2.045996e-05,2.085793e-05,2.117940e-05,2.138862e-05,2.185455e-05,2.189407e-05,2.237483e-05,2.248660e-05,2.283150e-05,2.307697e-05,2.326478e-05,2.362732e-05,2.367542e-05,2.406420e-05,2.413940e-05,2.443191e-05,2.461507e-05,2.477937e-05,2.505620e-05,2.510741e-05,2.541684e-05,2.546468e-05,2.570847e-05,2.584236e-05,2.598309e-05,2.619106e-05,2.624148e-05,2.648440e-05,2.651254e-05,2.671257e-05,2.680848e-05,2.692671e-05,2.708049e-05,2.712750e-05,2.731559e-05,2.733010e-05,2.749161e-05,2.755877e-05,2.765616e-05,2.776786e-05,2.780982e-05,2.795315e-05,2.795867e-05,2.808666e-05,2.813241e-05,2.821085e-05,2.829022e-05,2.832619e-05,2.843316e-05,2.853216e-05,2.856223e-05,2.862361e-05,2.867836e-05,2.870791e-05,2.878244e-05,2.878541e-05,2.885648e-05,2.887526e-05,2.892143e-05,2.895761e-05,2.898060e-05,2.903017e-05,2.903427e-05,2.908273e-05,2.909362e-05,2.912626e-05,2.914858e-05,2.916511e-05,2.919562e-05,2.919952e-05,2.922972e-05,2.923528e-05,2.925594e-05,2.926806e-05,2.927838e-05,2.929445e-05,2.929723e-05,2.931269e-05,2.931486e-05,2.932494e-05,2.932972e-05,2.933414e-05,2.933941e-05,2.934045e-05,2.934403e-05,2.934428e-05,2.934502e-05,2.934467e-05,2.934356e-05,2.934089e-05,2.933978e-05,2.933381e-05,2.933324e-05,2.932576e-05,2.932199e-05,2.931575e-05,2.930738e-05,2.930388e-05,2.929026e-05,2.928968e-05,2.927498e-05,2.926909e-05,2.925813e-05,2.924583e-05,2.923981e-05,2.922010e-05,2.919208e-05,2.916194e-05,2.912986e-05,2.909597e-05,2.906042e-05,2.902335e-05,2.898489e-05,2.894514e-05,2.890423e-05,2.886226e-05,2.881932e-05,2.877552e-05,2.873092e-05,2.868562e-05,2.863970e-05,2.859322e-05,2.854626e-05,2.849887e-05,2.845111e-05,2.840305e-05,2.835474e-05,2.830622e-05,2.825755e-05,2.820876e-05
0.000000e+00,2.383622e-09,5.536691e-09,1.931324e-08,4.416839e-08,6.451027e-08,1.461795e-07,1.505541e-07,2.890686e-07,3.387484e-07,4.908896e-07,6.466209e-07,7.661719e-07,1.092474e-06,1.124394e-06,1.574220e-06,1.696674e-06,2.123164e-06,2.476126e-06,2.777038e-06,3.441929e-06,3.539122e-06,4.409139e-06,4.595758e-06,5.382285e-06,5.926040e-06,6.448863e-06,7.406953e-06,7.595033e-06,8.804566e-06,9.002854e-06,1.006090e-05,1.067597e-05,1.134860e-05,1.239211e-05,1.265402e-05,1.396541e-05,1.412268e-05,1.527273e-05,1.584441e-05,1.656746e-05,1.753853e-05,1.784235e-05,1.909131e-05,1.918995e-05,2.030923e-05,2.078674e-05,2.149191e-05,2.231969e-05,2.263597e-05,2.373875e-05,2.378197e-05,2.479825e-05,2.516879e-05,2.581306e-05,2.647712e-05,2.678226e-05,2.770540e-05,2.858238e-05,2.885330e-05,2.941344e-05,2.992144e-05,3.019908e-05,3.091124e-05,3.094003e-05,3.163719e-05,3.182468e-05,3.229161e-05,3.266422e-05,3.290445e-05,3.343261e-05,3.347696e-05,3.401045e-05,3.413282e-05,3.450626e-05,3.476797e-05,3.496577e-05,3.534122e-05,3.539037e-05,3.578145e-05,3.585577e-05,3.614039e-05,3.631479e-05,3.646855e-05,3.672140e-05,3.676727e-05,3.703788e-05,3.707866e-05,3.728166e-05,3.738951e-05,3.749985e-05,3.765682e-05,3.769369e-05,3.786436e-05,3.788333e-05,3.801299e-05,3.807169e-05,3.814069e-05,3.822441e-05,3.824854e-05,3.833756e-05,3.834390e-05,3.840875e-05,3.843245e-05,3.846306e-05,3.849223e-05,3.850141e-05,3.852469e-05,3.852532e-05,3.853373e-05,3.853366e-05,3.852935e-05,3.851910e-05,3.851233e-05,3.848341e-05,3.844330e-05,3.842822e-05,3.839270e-05,3.835510e-05,3.833225e-05,3.826552e-05,3.826256e-05,3.818425e-05,3.816086e-05,3.809788e-05,3.804241e-05,3.800398e-05,3.791140e-05,3.790308e-05,3.779568e-05,3.776898e-05,3.768223e-05,3.761622e-05,3.756318e-05,3.745413e-05,3.743897e-05,3.730999e-05,3.728366e-05,3.717664e-05,3.710568e-05,3.703927e-05,3.692103e-05,3.689823e-05,3.675386e-05,3.673048e-05,3.660647e-05,3.653474e-05,3.645636e-05,3.633449e-05,3.630380e-05,3.614906e-05,3.613036e-05,3.599240e-05,3.592292e-05,3.583405e-05,3.571272e-05,3.567424e-05,3.551319e-05,3.550026e-05,3.535110e-05,3.528601e-05,3.518815e-05,3.507040e-05,3.502453e-05,3.486040e-05,3.485383e-05,3.469593e-05,3.463667e-05,3.453127e-05,3.441926e-05,3.436655e-05,3.420192e-05,3.398493e-05,3.376857e-05,3.355307e-05,3.333866e-05,3.312554e-05,3.291391e-05,3.270391e-05,3.249572e-05,3.228946e-05,3.208526e-05,3.188323e-05,3.168347e-05,3.148608e-05,3.129112e-05,3.109866e-05,3.090876e-05,3.072148e-05,3.053685e-05,3.035490e-05,3.017568e-05,2.999918e-05,2.982545e-05,2.965447e-05,2.948627e-05
0.000000e+00,6.034469e-14,3.984234e-13,6.494196e-12,4.067741e-11,9.371973e-11,5.594377e-10,5.963809e-10,2.432066e-09,3.413497e-09,7.511389e-09,1.344220e-08,1.920308e-08,4.030699e-08,4.279426e-08,8.576228e-08,9.997954e-08,1.576332e-07,2.145683e-07,2.694061e-07,4.100303e-07,4.327381e-07,6.591124e-07,7.129075e-07,9.591343e-07,1.147374e-06,1.342008e-06,1.733164e-06,1.815194e-06,2.384205e-06,2.484402e-06,3.052533e-06,3.409112e-06,3.821636e-06,4.509194e-06,4.690999e-06,5.658232e-06,5.780698e-06,6.719208e-06,7.214318e-06,7.868222e-06,8.796036e-06,9.098185e-06,1.040083e-05,1.050792e-05,1.176696e-05,1.232899e-05,1.318666e-05,1.423619e-05,1.464954e-05,1.614498e-05,1.620533e-05,1.766237e-05,1.821199e-05,1.919128e-05,2.023238e-05,2.072168e-05,2.224406e-05,2.374958e-05,2.422645e-05,2.523019e-05,2.616132e-05,2.667864e-05,2.803300e-05,2.808859e-05,2.945456e-05,2.982851e-05,3.077199e-05,3.153756e-05,3.203716e-05,3.315245e-05,3.324717e-05,3.439990e-05,3.466786e-05,3.549395e-05,3.608066e-05,3.652853e-05,3.738961e-05,3.750346e-05,3.841903e-05,3.859508e-05,3.927598e-05,3.969879e-05,4.007543e-05,4.070355e-05,4.081879e-05,4.150771e-05,4.161301e-05,4.214406e-05,4.243142e-05,4.272984e-05,4.316347e-05,4.326717e-05,4.375821e-05,4.381413e-05,4.420518e-05,4.438846e-05,4.461031e-05,4.489159e-05,4.497581e-05,4.530385e-05,4.532854e-05,4.559657e-05,4.570423e-05,4.585603e-05,4.602337e-05,4.608423e-05,4.628310e-05,4.629047e-05,4.645449e-05,4.650980e-05,4.660014e-05,4.668534e-05,4.672174e-05,4.682087e-05,4.689905e-05,4.691988e-05,4.695770e-05,4.698560e-05,4.699815e-05,4.702105e-05,4.702168e-05,4.702947e-05,4.702898e-05,4.702264e-05,4.701196e-05,4.700223e-05,4.697232e-05,4.696924e-05,4.692457e-05,4.691221e-05,4.686909e-05,4.683361e-05,4.680361e-05,4.673832e-05,4.672888e-05,4.664561e-05,4.662799e-05,4.655445e-05,4.650414e-05,4.645603e-05,4.636815e-05,4.635091e-05,4.623963e-05,4.622129e-05,4.612271e-05,4.606472e-05,4.600061e-05,4.589949e-05,4.587377e-05,4.574259e-05,4.572658e-05,4.560747e-05,4.554687e-05,4.546877e-05,4.536116e-05,4.532681e-05,4.518191e-05,4.517020e-05,4.503437e-05,4.497467e-05,4.488445e-05,4.477518e-05,4.473242e-05,4.457851e-05,4.457231e-05,4.442294e-05,4.436658e-05,4.426594e-05,4.415845e-05,4.410768e-05,4.394837e-05,4.373673e-05,4.352390e-05,4.331022e-05,4.309599e-05,4.288148e-05,4.266697e-05,4.245267e-05,4.223881e-05,4.202558e-05,4.181316e-05,4.160170e-05,4.139137e-05,4.118229e-05,4.097459e-05,4.076838e-05,4.056375e-05,4.036081e-05,4.015963e-05,3.996029e-05,3.976285e-05,3.956737e-05,3.937390e-05,3.918250e-05,3.899319e-05
0.000000e+00,3.202341e-09,8.752438e-09,3.626937e-08,9.020015e-08,1.362622e-07,3.311591e-07,3.419524e-07,6.984561e-07,8.325615e-07,1.261164e-06,1.724954e-06,2.096144e-06,3.164157e-06,3.272196e-06,4.838559e-06,5.273818e-06,6.794500e-06,8.039943e-06,9.081924e-06,1.130133e-05,1.161561e-05,1.431710e-05,1.487196e-05,1.712672e-05,1.861557e-05,2.000110e-05,2.244159e-05,2.290768e-05,2.582055e-05,2.628570e-05,2.871813e-05,3.009802e-05,3.158196e-05,3.383794e-05,3.439612e-05,3.714705e-05,3.747236e-05,3.982342e-05,4.097495e-05,4.241599e-05,4.432576e-05,4.491750e-05,4.732245e-05,4.751055e-05,4.962698e-05,5.052009e-05,5.182868e-05,5.334954e-05,5.392640e-05,5.592004e-05,5.599763e-05,5.781043e-05,5.846590e-05,5.959876e-05,6.075750e-05,6.128698e-05,6.287751e-05,6.437297e-05,6.483192e-05,6.577633e-05,6.662757e-05,6.709068e-05,6.827168e-05,6.831921e-05,6.946515e-05,6.977165e-05,7.053174e-05,7.113497e-05,7.152225e-05,7.236908e-05,7.243989e-05,7.328782e-05,7.348129e-05,7.406913e-05,7.447870e-05,7.478684e-05,7.536815e-05,7.544388e-05,7.604310e-05,7.615625e-05,7.658724e-05,7.684932e-05,7.707898e-05,7.745341e-05,7.752086e-05,7.791537e-05,7.797426e-05,7.826487e-05,7.841732e-05,7.857164e-05,7.878776e-05,7.883786e-05,7.906564e-05,7.909049e-05,7.925699e-05,7.933014e-05,7.941383e-05,7.951108e-05,7.953800e-05,7.963126e-05,7.963744e-05,7.969531e-05,7.971311e-05,7.973175e-05,7.974175e-05,7.974211e-05,7.972788e-05,7.972682e-05,7.969045e-05,7.967156e-05,7.963116e-05,7.957901e-05,7.955129e-05,7.945205e-05,7.933460e-05,7.929336e-05,7.920005e-05,7.910545e-05,7.904945e-05,7.889071e-05,7.888381e-05,7.870408e-05,7.865135e-05,7.851117e-05,7.838945e-05,7.830594e-05,7.810696e-05,7.808921e-05,7.786178e-05,7.780569e-05,7.762438e-05,7.748735e-05,7.737773e-05,7.715354e-05,7.712248e-05,7.685929e-05,7.680576e-05,7.658876e-05,7.644538e-05,7.631147e-05,7.607372e-05,7.602796e-05,7.573876e-05,7.569199e-05,7.544435e-05,7.530132e-05,7.514520e-05,7.490278e-05,7.484177e-05,7.453445e-05,7.449734e-05,7.422367e-05,7.408592e-05,7.390979e-05,7.366938e-05,7.359316e-05,7.327414e-05,7.324852e-05,7.295304e-05,7.282408e-05,7.263015e-05,7.239674e-05,7.230578e-05,7.198018e-05,7.196714e-05,7.165362e-05,7.153587e-05,7.132634e-05,7.110349e-05,7.099856e-05,7.067050e-05,7.023738e-05,6.980456e-05,6.937244e-05,6.894139e-05,6.851176e-05,6.808387e-05,6.765799e-05,6.723441e-05,6.681335e-05,6.639505e-05,6.597970e-05,6.556749e-05,6.515859e-05,6.475314e-05,6.435130e-05,6.395317e-05,6.355886e-05,6.316849e-05,6.278212e-05,6.239984e-05,6.202170e-05,6.164778e-05,6.127812e-05,6.091274e-05
0.000000e+00,2.366026e-14,1.576154e-13,2.616122e-12,1.664934e-11,3.868187e-11,2.355314e-10,2.512711e-10,1.041196e-09,1.466532e-09,3.249993e-09,5.837529e-09,8.351136e-09,1.754453e-08,1.862669e-08,3.731025e-08,4.349744e-08,6.866882e-08,9.369667e-08,1.179848e-07,1.811091e-07,1.914138e-07,2.957290e-07,3.209190e-07,4.379963e-07,5.293126e-07,6.252246e-07,8.221019e-07,8.640316e-07,1.160349e-06,1.213446e-06,1.519179e-06,1.714811e-06,1.944411e-06,2.334228e-06,2.438690e-06,3.003341e-06,3.075841e-06,3.638343e-06,3.939731e-06,4.342350e-06,4.921983e-06,5.112750e-06,5.945755e-06,6.014962e-06,6.836525e-06,7.207747e-06,7.779313e-06,8.486709e-06,8.767626e-06,9.794396e-06,9.836162e-06,1.085215e-05,1.123905e-05,1.193320e-05,1.267767e-05,1.302979e-05,1.413426e-05,1.523917e-05,1.559167e-05,1.633745e-05,1.703379e-05,1.742248e-05,1.844599e-05,1.848818e-05,1.952904e-05,1.981536e-05,2.054023e-05,2.113092e-05,2.151753e-05,2.238368e-05,2.245742e-05,2.335702e-05,2.356666e-05,2.421406e-05,2.467479e-05,2.502691e-05,2.570476e-05,2.579445e-05,2.651612e-05,2.665492e-05,2.719177e-05,2.752502e-05,2.782171e-05,2.831600e-05,2.840659e-05,2.894734e-05,2.902985e-05,2.944520e-05,2.966933e-05,2.990156e-05,3.023785e-05,3.031803e-05,3.069631e-05,3.073922e-05,3.103819e-05,3.117757e-05,3.134554e-05,3.155720e-05,3.162025e-05,3.186420e-05,3.188244e-05,3.207927e-05,3.215762e-05,3.226729e-05,3.238694e-05,3.243008e-05,3.256934e-05,3.257445e-05,3.268676e-05,3.272400e-05,3.278393e-05,3.283922e-05,3.286237e-05,3.292350e-05,3.296868e-05,3.297998e-05,3.299919e-05,3.301157e-05,3.301622e-05,3.302091e-05,3.302087e-05,3.301419e-05,3.301042e-05,3.299714e-05,3.298231e-05,3.297062e-05,3.293857e-05,3.293546e-05,3.289241e-05,3.288099e-05,3.284220e-05,3.281120e-05,3.278547e-05,3.273064e-05,3.272283e-05,3.265483e-05,3.264063e-05,3.258197e-05,3.254233e-05,3.250474e-05,3.243680e-05,3.242356e-05,3.233883e-05,3.232497e-05,3.225091e-05,3.220768e-05,3.216015e-05,3.208570e-05,3.206685e-05,3.197129e-05,3.195969e-05,3.187374e-05,3.183025e-05,3.177444e-05,3.169793e-05,3.167360e-05,3.157144e-05,3.156321e-05,3.146813e-05,3.142652e-05,3.136385e-05,3.128826e-05,3.125877e-05,3.115302e-05,3.114878e-05,3.104675e-05,3.100839e-05,3.094008e-05,3.086737e-05,3.083312e-05,3.072598e-05,3.058446e-05,3.044301e-05,3.030181e-05,3.016103e-05,3.002083e-05,2.988134e-05,2.974269e-05,2.960498e-05,2.946832e-05,2.933279e-05,2.919849e-05,2.906547e-05,2.893380e-05,2.880355e-05,2.867475e-05,2.854745e-05,2.842168e-05,2.829750e-05,2.817491e-05,2.805395e-05,2.793463e-05,2.781698e-05,2.770100e-05,2.758670e-05
0.000000e+00,1.369753e-10,7.038869e-10,7.008920e-09,2.892584e-08,5.368154e-08,1.907642e-07,1.993508e-07,5.135780e-07,6.416293e-07,1.069353e-06,1.550550e-06,1.943643e-06,3.100217e-06,3.219042e-06,4.981790e-06,5.486589e-06,7.311184e-06,8.883738e-06,1.025693e-05,1.335584e-05,1.381305e-05,1.791169e-05,1.878745e-05,2.244657e-05,2.493945e-05,2.730560e-05,3.156541e-05,3.239073e-05,3.762230e-05,3.846846e-05,4.293592e-05,4.549957e-05,4.827809e-05,5.254140e-05,5.360302e-05,5.887095e-05,5.949758e-05,6.404735e-05,6.628814e-05,6.910251e-05,7.284779e-05,7.401142e-05,7.875354e-05,7.912518e-05,8.331256e-05,8.508201e-05,8.767611e-05,9.069174e-05,9.183534e-05,9.578455e-05,9.593810e-05,9.952077e-05,1.008135e-04,1.030433e-04,1.053172e-04,1.063534e-04,1.094540e-04,1.123490e-04,1.132329e-04,1.150436e-04,1.166657e-04,1.175437e-04,1.197668e-04,1.198557e-04,1.219865e-04,1.225517e-04,1.239432e-04,1.250367e-04,1.257331e-04,1.272387e-04,1.273634e-04,1.288414e-04,1.291743e-04,1.301744e-04,1.308602e-04,1.313694e-04,1.323123e-04,1.324333e-04,1.333728e-04,1.335464e-04,1.341946e-04,1.345774e-04,1.349049e-04,1.354199e-04,1.355098e-04,1.360153e-04,1.360873e-04,1.364269e-04,1.365927e-04,1.367501e-04,1.369486e-04,1.369902e-04,1.371520e-04,1.371664e-04,1.372403e-04,1.372571e-04,1.372598e-04,1.372311e-04,1.372146e-04,1.371090e-04,1.370981e-04,1.369469e-04,1.368671e-04,1.367320e-04,1.365466e-04,1.364679e-04,1.361580e-04,1.361447e-04,1.358055e-04,1.356688e-04,1.354135e-04,1.351258e-04,1.349849e-04,1.345223e-04,1.340285e-04,1.338642e-04,1.335058e-04,1.331572e-04,1.329566e-04,1.324066e-04,1.323832e-04,1.317876e-04,1.316172e-04,1.311718e-04,1.307934e-04,1.305377e-04,1.299396e-04,1.298869e-04,1.292213e-04,1.290595e-04,1.285423e-04,1.281567e-04,1.278514e-04,1.272346e-04,1.271500e-04,1.264394e-04,1.262963e-04,1.257208e-04,1.253445e-04,1.249955e-04,1.243818e-04,1.242645e-04,1.235287e-04,1.234106e-04,1.227892e-04,1.224332e-04,1.220469e-04,1.214515e-04,1.213025e-04,1.205569e-04,1.204674e-04,1.198108e-04,1.194826e-04,1.190649e-04,1.184986e-04,1.183199e-04,1.175762e-04,1.175168e-04,1.168346e-04,1.165386e-04,1.160954e-04,1.155650e-04,1.153591e-04,1.146263e-04,1.145971e-04,1.138973e-04,1.136359e-04,1.131725e-04,1.126822e-04,1.124522e-04,1.117368e-04,1.108003e-04,1.098735e-04,1.089568e-04,1.080506e-04,1.071555e-04,1.062717e-04,1.053996e-04,1.045395e-04,1.036915e-04,1.028559e-04,1.020327e-04,1.012222e-04,1.004243e-04,9.963912e-05,9.886671e-05,9.810706e-05,9.736015e-05,9.662593e-05,9.590436e-05,9.519535e-05,9.449884e-05,9.381471e-05,9.314286e-05,9.248317e-05
0.000000e+00,2.290477e-09,5.958603e-09,2.338599e-08,5.647554e-08,8.418078e-08,1.978968e-07,2.040608e-07,4.016287e-07,4.733910e-07,6.954745e-07,9.259141e-07,1.104683e-06,1.599581e-06,1.648466e-06,2.343752e-06,2.534461e-06,3.200073e-06,3.749507e-06,4.214853e-06,5.228338e-06,5.374557e-06,6.660766e-06,6.931540e-06,8.055055e-06,8.817156e-06,9.540625e-06,1.084780e-05,1.110215e-05,1.272523e-05,1.298971e-05,1.439605e-05,1.521105e-05,1.610122e-05,1.748138e-05,1.782780e-05,1.956343e-05,1.977175e-05,2.129646e-05,2.205537e-05,2.301614e-05,2.430810e-05,2.471267e-05,2.637731e-05,2.650887e-05,2.800248e-05,2.864000e-05,2.958169e-05,3.068721e-05,3.110957e-05,3.258179e-05,3.263947e-05,3.399498e-05,3.448878e-05,3.534667e-05,3.622982e-05,3.663520e-05,3.785960e-05,3.901952e-05,3.937709e-05,4.011513e-05,4.078283e-05,4.114704e-05,4.207866e-05,4.211624e-05,4.302400e-05,4.326737e-05,4.387186e-05,4.435252e-05,4.466152e-05,4.533821e-05,4.539485e-05,4.607380e-05,4.622888e-05,4.670038e-05,4.702917e-05,4.727667e-05,4.774384e-05,4.780473e-05,4.828666e-05,4.837769e-05,4.872450e-05,4.893544e-05,4.912030e-05,4.942174e-05,4.947605e-05,4.979370e-05,4.984111e-05,5.007514e-05,5.019791e-05,5.032222e-05,5.049634e-05,5.053671e-05,5.072035e-05,5.074039e-05,5.087478e-05,5.093389e-05,5.100160e-05,5.108047e-05,5.110235e-05,5.117849e-05,5.118356e-05,5.123143e-05,5.124641e-05,5.126252e-05,5.127210e-05,5.127305e-05,5.126425e-05,5.126352e-05,5.123730e-05,5.122337e-05,5.119332e-05,5.115423e-05,5.113338e-05,5.105849e-05,5.096963e-05,5.093840e-05,5.086772e-05,5.079606e-05,5.075364e-05,5.063345e-05,5.062823e-05,5.049227e-05,5.045241e-05,5.034652e-05,5.025467e-05,5.019169e-05,5.004182e-05,5.002847e-05,4.985749e-05,4.981537e-05,4.967937e-05,4.957672e-05,4.949468e-05,4.932716e-05,4.930398e-05,4.910777e-05,4.906791e-05,4.890655e-05,4.880009e-05,4.870079e-05,4.852476e-05,4.849092e-05,4.827735e-05,4.824287e-05,4.806049e-05,4.795533e-05,4.784069e-05,4.766297e-05,4.761830e-05,4.739366e-05,4.736657e-05,4.716708e-05,4.706684e-05,4.693884e-05,4.676444e-05,4.670922e-05,4.647847e-05,4.645997e-05,4.624686e-05,4.615401e-05,4.601459e-05,4.584707e-05,4.578188e-05,4.554895e-05,4.553963e-05,4.531596e-05,4.523211e-05,4.508311e-05,4.492493e-05,4.485056e-05,4.461845e-05,4.431301e-05,4.400891e-05,4.370643e-05,4.340583e-05,4.310734e-05,4.281116e-05,4.251748e-05,4.222647e-05,4.193828e-05,4.165304e-05,4.137088e-05,4.109189e-05,4.081618e-05,4.054381e-05,4.027486e-05,4.000939e-05,3.974743e-05,3.948904e-05,3.923425e-05,3.898307e-05,3.873552e-05,3.849161e-05,3.825135e-05,3.801474e-05
0.000000e+00,3.564937e-09,8.617144e-09,3.135966e-08,7.320684e-08,1.077938e-07,2.482337e-07,2.558087e-07,4.977035e-07,5.853047e-07,8.559735e-07,1.136436e-06,1.353871e-06,1.955654e-06,2.015107e-06,2.861625e-06,3.094269e-06,3.908469e-06,4.583589e-06,5.157651e-06,6.414607e-06,6.596632e-06,8.203694e-06,8.543148e-06,9.954817e-06,1.091475e-05,1.182742e-05,1.347933e-05,1.380114e-05,1.585746e-05,1.619297e-05,1.797916e-05,1.901601e-05,2.015004e-05,2.191179e-05,2.235473e-05,2.457877e-05,2.484631e-05,2.680867e-05,2.778843e-05,2.903198e-05,3.071031e-05,3.123743e-05,3.341492e-05,3.358763e-05,3.555558e-05,3.639979e-05,3.765179e-05,3.912985e-05,3.969706e-05,4.168599e-05,4.176431e-05,4.361421e-05,4.429283e-05,4.547832e-05,4.670792e-05,4.727570e-05,4.900452e-05,5.066359e-05,5.117964e-05,5.225226e-05,5.323199e-05,5.377040e-05,5.516171e-05,5.521828e-05,5.659651e-05,5.697005e-05,5.790598e-05,5.865911e-05,5.914781e-05,6.023170e-05,6.032334e-05,6.143402e-05,6.169110e-05,6.248144e-05,6.304099e-05,6.346728e-05,6.428527e-05,6.439329e-05,6.526124e-05,6.542803e-05,6.607297e-05,6.647346e-05,6.683031e-05,6.742579e-05,6.753510e-05,6.818916e-05,6.828923e-05,6.879433e-05,6.906797e-05,6.935240e-05,6.976614e-05,6.986515e-05,7.033432e-05,7.038778e-05,7.076163e-05,7.093682e-05,7.114876e-05,7.141710e-05,7.149733e-05,7.180896e-05,7.183234e-05,7.208520e-05,7.218613e-05,7.232756e-05,7.248192e-05,7.253753e-05,7.271653e-05,7.272307e-05,7.286596e-05,7.291277e-05,7.298715e-05,7.305411e-05,7.308142e-05,7.315002e-05,7.319419e-05,7.320335e-05,7.321509e-05,7.321678e-05,7.321387e-05,7.319290e-05,7.319162e-05,7.314942e-05,7.313417e-05,7.308829e-05,7.304293e-05,7.300921e-05,7.292142e-05,7.291313e-05,7.280097e-05,7.277175e-05,7.267361e-05,7.259596e-05,7.253189e-05,7.239596e-05,7.237664e-05,7.220863e-05,7.217357e-05,7.202862e-05,7.193052e-05,7.183734e-05,7.166845e-05,7.163546e-05,7.142367e-05,7.138890e-05,7.120259e-05,7.109335e-05,7.097284e-05,7.078319e-05,7.073500e-05,7.048964e-05,7.045972e-05,7.023730e-05,7.012419e-05,6.997848e-05,6.977776e-05,6.971369e-05,6.944338e-05,6.942153e-05,6.916802e-05,6.905655e-05,6.888803e-05,6.868380e-05,6.860381e-05,6.831578e-05,6.830418e-05,6.802428e-05,6.791857e-05,6.772970e-05,6.752778e-05,6.743235e-05,6.713257e-05,6.673366e-05,6.633170e-05,6.592735e-05,6.552116e-05,6.511370e-05,6.470548e-05,6.429696e-05,6.388859e-05,6.348079e-05,6.307393e-05,6.266837e-05,6.226444e-05,6.186243e-05,6.146263e-05,6.106530e-05,6.067066e-05,6.027894e-05,5.989033e-05,5.950501e-05,5.912314e-05,5.874488e-05,5.837035e-05,5.799967e-05,5.763294e-05
0.000000e+00,2.613034e-11,1.312522e-10,1.251562e-09,4.989542e-09,9.104148e-09,3.118530e-08,3.254756e-08,8.174626e-08,1.016200e-07,1.678682e-07,2.425750e-07,3.038936e-07,4.857933e-07,5.045754e-07,7.834155e-07,8.628316e-07,1.145625e-06,1.382068e-06,1.582134e-06,2.011538e-06,2.072435e-06,2.593741e-06,2.700000e-06,3.127699e-06,3.406003e-06,3.661796e-06,4.104576e-06,4.187995e-06,4.700979e-06,4.781561e-06,5.196929e-06,5.428036e-06,5.672867e-06,6.037579e-06,6.126391e-06,6.555571e-06,6.605362e-06,6.958943e-06,7.127979e-06,7.335519e-06,7.603460e-06,7.684781e-06,8.006659e-06,8.031234e-06,8.301490e-06,8.411993e-06,8.569961e-06,8.747473e-06,8.813043e-06,9.031928e-06,9.040199e-06,9.227964e-06,9.293220e-06,9.402597e-06,9.509885e-06,9.557323e-06,9.693642e-06,9.813030e-06,9.847893e-06,9.916912e-06,9.975887e-06,1.000664e-05,1.008065e-05,1.008349e-05,1.014865e-05,1.016495e-05,1.020322e-05,1.023129e-05,1.024818e-05,1.028187e-05,1.028448e-05,1.031292e-05,1.031867e-05,1.033428e-05,1.034339e-05,1.034922e-05,1.035754e-05,1.035835e-05,1.036224e-05,1.036243e-05,1.036136e-05,1.035918e-05,1.035618e-05,1.034879e-05,1.034708e-05,1.033444e-05,1.033210e-05,1.031856e-05,1.030988e-05,1.029974e-05,1.028276e-05,1.027826e-05,1.025433e-05,1.025131e-05,1.022819e-05,1.021603e-05,1.020002e-05,1.017737e-05,1.017001e-05,1.013831e-05,1.013570e-05,1.010507e-05,1.009137e-05,1.007043e-05,1.004469e-05,1.003451e-05,9.997433e-06,9.995927e-06,9.959294e-06,9.945323e-06,9.920192e-06,9.893098e-06,9.880216e-06,9.839449e-06,9.797968e-06,9.784555e-06,9.755843e-06,9.728575e-06,9.713139e-06,9.671657e-06,9.669919e-06,9.626238e-06,9.613932e-06,9.582151e-06,9.555524e-06,9.537707e-06,9.496543e-06,9.492952e-06,9.447931e-06,9.437090e-06,9.402683e-06,9.377259e-06,9.357245e-06,9.317133e-06,9.311655e-06,9.265944e-06,9.256790e-06,9.220144e-06,9.196303e-06,9.174285e-06,9.135737e-06,9.128393e-06,9.082494e-06,9.075151e-06,9.036613e-06,9.014603e-06,8.990772e-06,8.954142e-06,8.944992e-06,8.899293e-06,8.893815e-06,8.853693e-06,8.833665e-06,8.808211e-06,8.773733e-06,8.762862e-06,8.717662e-06,8.714052e-06,8.672624e-06,8.654658e-06,8.627764e-06,8.595580e-06,8.583092e-06,8.538620e-06,8.536846e-06,8.494361e-06,8.478481e-06,8.450323e-06,8.420509e-06,8.406516e-06,8.362950e-06,8.305823e-06,8.249147e-06,8.192936e-06,8.137204e-06,8.081965e-06,8.027229e-06,7.973007e-06,7.919307e-06,7.866137e-06,7.813503e-06,7.761411e-06,7.709867e-06,7.658874e-06,7.608435e-06,7.558553e-06,7.509230e-06,7.460467e-06,7.412265e-06,7.364623e-06,7.317542e-06,7.271020e-06,7.225057e-06,7.179650e-06,7.134798e-06
0.000000e+00,8.297764e-11,4.040147e-10,3.648517e-09,1.398299e-08,2.504678e-08,8.232224e-08,8.578362e-08,2.073596e-07,2.549692e-07,4.088633e-07,5.750725e-07,7.067259e-07,1.077854e-06,1.114845e-06,1.644550e-06,1.790768e-06,2.304127e-06,2.731954e-06,3.097622e-06,3.905191e-06,4.022941e-06,5.070413e-06,5.293206e-06,6.223564e-06,6.858275e-06,7.462065e-06,8.552941e-06,8.764869e-06,1.011200e-05,1.033041e-05,1.148516e-05,1.214860e-05,1.286780e-05,1.397067e-05,1.424503e-05,1.560368e-05,1.576490e-05,1.693228e-05,1.750477e-05,1.822109e-05,1.916898e-05,1.946210e-05,2.064894e-05,2.074139e-05,2.177682e-05,2.221066e-05,2.284236e-05,2.356973e-05,2.384346e-05,2.477911e-05,2.481518e-05,2.564925e-05,2.594658e-05,2.645458e-05,2.696584e-05,2.719643e-05,2.787663e-05,2.849737e-05,2.868384e-05,2.906112e-05,2.939322e-05,2.957052e-05,3.001099e-05,3.002835e-05,3.043741e-05,3.054359e-05,3.080052e-05,3.099749e-05,3.112047e-05,3.137905e-05,3.139998e-05,3.164172e-05,3.169440e-05,3.184822e-05,3.194938e-05,3.202193e-05,3.214953e-05,3.216518e-05,3.228021e-05,3.230001e-05,3.236909e-05,3.240564e-05,3.243381e-05,3.247089e-05,3.247626e-05,3.249818e-05,3.249990e-05,3.250124e-05,3.249646e-05,3.248697e-05,3.246405e-05,3.245681e-05,3.241213e-05,3.240585e-05,3.235416e-05,3.232476e-05,3.228409e-05,3.222342e-05,3.220302e-05,3.211195e-05,3.210426e-05,3.201185e-05,3.196947e-05,3.190358e-05,3.182104e-05,3.178797e-05,3.166577e-05,3.166076e-05,3.153770e-05,3.149028e-05,3.140440e-05,3.131109e-05,3.126649e-05,3.112451e-05,3.097900e-05,3.093177e-05,3.083043e-05,3.073394e-05,3.067924e-05,3.053202e-05,3.052584e-05,3.037062e-05,3.032688e-05,3.021392e-05,3.011933e-05,3.005607e-05,2.991008e-05,2.989736e-05,2.973805e-05,2.969976e-05,2.957841e-05,2.948895e-05,2.941867e-05,2.927816e-05,2.925902e-05,2.909967e-05,2.906785e-05,2.894079e-05,2.885841e-05,2.878254e-05,2.865020e-05,2.862507e-05,2.846851e-05,2.844355e-05,2.831298e-05,2.823872e-05,2.815859e-05,2.803597e-05,2.800545e-05,2.785363e-05,2.783551e-05,2.770322e-05,2.763751e-05,2.755430e-05,2.744215e-05,2.740692e-05,2.726114e-05,2.724955e-05,2.711701e-05,2.705983e-05,2.697457e-05,2.687309e-05,2.683387e-05,2.669493e-05,2.668941e-05,2.655778e-05,2.650885e-05,2.642245e-05,2.633147e-05,2.628895e-05,2.615729e-05,2.598636e-05,2.581869e-05,2.565428e-05,2.549313e-05,2.533524e-05,2.518060e-05,2.502918e-05,2.488097e-05,2.473593e-05,2.459403e-05,2.445523e-05,2.431951e-05,2.418681e-05,2.405709e-05,2.393032e-05,2.380643e-05,2.368539e-05,2.356715e-05,2.345165e-05,2.333884e-05,2.322868e-05,2.312112e-05,2.301609e-05,2.291355e-05
0.000000e+00,8.698177e-09,1.997930e-08,6.918714e-08,1.587049e-07,2.328530e-07,5.387825e-07,5.555387e-07,1.104937e-06,1.310623e-06,1.967137e-06,2.677083e-06,3.244566e-06,4.866592e-06,5.029321e-06,7.352037e-06,7.985265e-06,1.016341e-05,1.191928e-05,1.337785e-05,1.647734e-05,1.691706e-05,2.072117e-05,2.150957e-05,2.474425e-05,2.690998e-05,2.894832e-05,3.259477e-05,3.329953e-05,3.776629e-05,3.848967e-05,4.231863e-05,4.452573e-05,4.692810e-05,5.063885e-05,5.156808e-05,5.621402e-05,5.677086e-05,6.084370e-05,6.287043e-05,6.543736e-05,6.889373e-05,6.997772e-05,7.444997e-05,7.480442e-05,7.884164e-05,8.057334e-05,8.314230e-05,8.617762e-05,8.734353e-05,9.143869e-05,9.160021e-05,9.542253e-05,9.682867e-05,9.929114e-05,1.018545e-04,1.030418e-04,1.066726e-04,1.101827e-04,1.112804e-04,1.135718e-04,1.156773e-04,1.168400e-04,1.198646e-04,1.199882e-04,1.230176e-04,1.238447e-04,1.259295e-04,1.276211e-04,1.287258e-04,1.311978e-04,1.314083e-04,1.339791e-04,1.345797e-04,1.364405e-04,1.377719e-04,1.387947e-04,1.407797e-04,1.410442e-04,1.431914e-04,1.436088e-04,1.452388e-04,1.462649e-04,1.471890e-04,1.487539e-04,1.490445e-04,1.508079e-04,1.510817e-04,1.524817e-04,1.532540e-04,1.540684e-04,1.552768e-04,1.555705e-04,1.569907e-04,1.571557e-04,1.583312e-04,1.588965e-04,1.595946e-04,1.605047e-04,1.607833e-04,1.618996e-04,1.619859e-04,1.629459e-04,1.633453e-04,1.639244e-04,1.645883e-04,1.648374e-04,1.656872e-04,1.657199e-04,1.664758e-04,1.667451e-04,1.672053e-04,1.676688e-04,1.678779e-04,1.684956e-04,1.690603e-04,1.692301e-04,1.695739e-04,1.698767e-04,1.700384e-04,1.704398e-04,1.704556e-04,1.708272e-04,1.709233e-04,1.711550e-04,1.713314e-04,1.714408e-04,1.716679e-04,1.716861e-04,1.718925e-04,1.719365e-04,1.720617e-04,1.721407e-04,1.721951e-04,1.722841e-04,1.722942e-04,1.723605e-04,1.723699e-04,1.723953e-04,1.724014e-04,1.724000e-04,1.723816e-04,1.723759e-04,1.723243e-04,1.723135e-04,1.722463e-04,1.721999e-04,1.721433e-04,1.720435e-04,1.720163e-04,1.718665e-04,1.718470e-04,1.716949e-04,1.716128e-04,1.715027e-04,1.713433e-04,1.712907e-04,1.710601e-04,1.710409e-04,1.708117e-04,1.707076e-04,1.705465e-04,1.703457e-04,1.702654e-04,1.699692e-04,1.699571e-04,1.696588e-04,1.695437e-04,1.693349e-04,1.691073e-04,1.689983e-04,1.686498e-04,1.681727e-04,1.676776e-04,1.671661e-04,1.666396e-04,1.660995e-04,1.655470e-04,1.649834e-04,1.644098e-04,1.638275e-04,1.632374e-04,1.626405e-04,1.620378e-04,1.614302e-04,1.608185e-04,1.602036e-04,1.595861e-04,1.589669e-04,1.583465e-04,1.577257e-04,1.571050e-04,1.564849e-04,1.558661e-04,1.552490e-04,1.546340e-04
0.000000e+00,2.192341e-09,5.152169e-09,1.822794e-08,4.205316e-08,6.168474e-08,1.413393e-07,1.456385e-07,2.832367e-07,3.332339e-07,4.882716e-07,6.496819e-07,7.751867e-07,1.122761e-06,1.157021e-06,1.640880e-06,1.772240e-06,2.226168e-06,2.596608e-06,2.908438e-06,3.585264e-06,3.682924e-06,4.545234e-06,4.727850e-06,5.490916e-06,6.014006e-06,6.515026e-06,7.431771e-06,7.611907e-06,8.775157e-06,8.966972e-06,9.997710e-06,1.060339e-05,1.127199e-05,1.232335e-05,1.259009e-05,1.394395e-05,1.410844e-05,1.532559e-05,1.594028e-05,1.672719e-05,1.780116e-05,1.814131e-05,1.956093e-05,1.967454e-05,2.097959e-05,2.154543e-05,2.239137e-05,2.340060e-05,2.379099e-05,2.517375e-05,2.522865e-05,2.653558e-05,2.702001e-05,2.787294e-05,2.876684e-05,2.918287e-05,3.046288e-05,3.171095e-05,3.210331e-05,3.292546e-05,3.368456e-05,3.410519e-05,3.520413e-05,3.524920e-05,3.635687e-05,3.666044e-05,3.742781e-05,3.805267e-05,3.846186e-05,3.938062e-05,3.945904e-05,4.041951e-05,4.064460e-05,4.134359e-05,4.184534e-05,4.223170e-05,4.298388e-05,4.308434e-05,4.390210e-05,4.406152e-05,4.468563e-05,4.507976e-05,4.543562e-05,4.604023e-05,4.615281e-05,4.683798e-05,4.694468e-05,4.749190e-05,4.779492e-05,4.811538e-05,4.859280e-05,4.870924e-05,4.927430e-05,4.934021e-05,4.981137e-05,5.003903e-05,5.032129e-05,5.069117e-05,5.080487e-05,5.126291e-05,5.129848e-05,5.169622e-05,5.186279e-05,5.210558e-05,5.238593e-05,5.249178e-05,5.285557e-05,5.286967e-05,5.319771e-05,5.331572e-05,5.351893e-05,5.372578e-05,5.381995e-05,5.410148e-05,5.436421e-05,5.444442e-05,5.460880e-05,5.475613e-05,5.483591e-05,5.503809e-05,5.504619e-05,5.524025e-05,5.529176e-05,5.541870e-05,5.551852e-05,5.558213e-05,5.571971e-05,5.573111e-05,5.586620e-05,5.589662e-05,5.598795e-05,5.605049e-05,5.609687e-05,5.618252e-05,5.619348e-05,5.627828e-05,5.629387e-05,5.635174e-05,5.638562e-05,5.641434e-05,5.645884e-05,5.646651e-05,5.650870e-05,5.651456e-05,5.654134e-05,5.655373e-05,5.656482e-05,5.657730e-05,5.657956e-05,5.658593e-05,5.658615e-05,5.658430e-05,5.658115e-05,5.657504e-05,5.656311e-05,5.655849e-05,5.653498e-05,5.653281e-05,5.650485e-05,5.649101e-05,5.646839e-05,5.643841e-05,5.642593e-05,5.637774e-05,5.637569e-05,5.632411e-05,5.630352e-05,5.626531e-05,5.622251e-05,5.620160e-05,5.613325e-05,5.603630e-05,5.593221e-05,5.582148e-05,5.570461e-05,5.558206e-05,5.545426e-05,5.532164e-05,5.518460e-05,5.504351e-05,5.489873e-05,5.475061e-05,5.459947e-05,5.444561e-05,5.428933e-05,5.413090e-05,5.397058e-05,5.380861e-05,5.364523e-05,5.348066e-05,5.331511e-05,5.314877e-05,5.298183e-05,5.281446e-05,5.264682e-05
0.000000e+00,7.612394e-10,2.776132e-09,1.609356e-08,4.698722e-08,7.522585e-08,2.007612e-07,2.078341e-07,4.421838e-07,5.297970e-07,8.058833e-07,1.097685e-06,1.326590e-06,1.968106e-06,2.031960e-06,2.947281e-06,3.200365e-06,4.089662e-06,4.830545e-06,5.462956e-06,6.856806e-06,7.059857e-06,8.868287e-06,9.254217e-06,1.087528e-05,1.199305e-05,1.306770e-05,1.504257e-05,1.543175e-05,1.795255e-05,1.836937e-05,2.061401e-05,2.193645e-05,2.339890e-05,2.570358e-05,2.628918e-05,2.926630e-05,2.962850e-05,3.231164e-05,3.366845e-05,3.540687e-05,3.778169e-05,3.853429e-05,4.167713e-05,4.192875e-05,4.481973e-05,4.607344e-05,4.794772e-05,5.018349e-05,5.104813e-05,5.410941e-05,5.423090e-05,5.712142e-05,5.819196e-05,6.007543e-05,6.204719e-05,6.296402e-05,6.578101e-05,6.852136e-05,6.938140e-05,7.118106e-05,7.283950e-05,7.375705e-05,7.614916e-05,7.624709e-05,7.864968e-05,7.930660e-05,8.096393e-05,8.230994e-05,8.318954e-05,8.515894e-05,8.532666e-05,8.737584e-05,8.785465e-05,8.933798e-05,9.039919e-05,9.121426e-05,9.279548e-05,9.300609e-05,9.471506e-05,9.504706e-05,9.634292e-05,9.715798e-05,9.789155e-05,9.913262e-05,9.936293e-05,1.007591e-04,1.009756e-04,1.020821e-04,1.026918e-04,1.033341e-04,1.042860e-04,1.045173e-04,1.056337e-04,1.057632e-04,1.066855e-04,1.071283e-04,1.076748e-04,1.083862e-04,1.086038e-04,1.094744e-04,1.095416e-04,1.102888e-04,1.105993e-04,1.110490e-04,1.115639e-04,1.117569e-04,1.124145e-04,1.124398e-04,1.130237e-04,1.132314e-04,1.135862e-04,1.139430e-04,1.141039e-04,1.145786e-04,1.150119e-04,1.151421e-04,1.154055e-04,1.156373e-04,1.157610e-04,1.160680e-04,1.160800e-04,1.163641e-04,1.164375e-04,1.166146e-04,1.167494e-04,1.168330e-04,1.170068e-04,1.170207e-04,1.171790e-04,1.172128e-04,1.173093e-04,1.173704e-04,1.174127e-04,1.174825e-04,1.174905e-04,1.175439e-04,1.175518e-04,1.175740e-04,1.175808e-04,1.175819e-04,1.175721e-04,1.175686e-04,1.175352e-04,1.175280e-04,1.174826e-04,1.174509e-04,1.174119e-04,1.173427e-04,1.173238e-04,1.172193e-04,1.172057e-04,1.170993e-04,1.170418e-04,1.169645e-04,1.168527e-04,1.168158e-04,1.166538e-04,1.166403e-04,1.164794e-04,1.164063e-04,1.162932e-04,1.161522e-04,1.160959e-04,1.158882e-04,1.158797e-04,1.156706e-04,1.155900e-04,1.154438e-04,1.152846e-04,1.152083e-04,1.149647e-04,1.146317e-04,1.142866e-04,1.139306e-04,1.135647e-04,1.131898e-04,1.128069e-04,1.124169e-04,1.120206e-04,1.116188e-04,1.112122e-04,1.108016e-04,1.103874e-04,1.099705e-04,1.095513e-04,1.091304e-04,1.087083e-04,1.082854e-04,1.078623e-04,1.074393e-04,1.070168e-04,1.065952e-04,1.061749e-04,1.057561e-04,1.053391e-04
0.000000e+00,3.411380e-09,8.728834e-09,3.367861e-08,8.089319e-08,1.205742e-07,2.859878e-07,2.950836e-07,5.938622e-07,7.057734e-07,1.062634e-06,1.447869e-06,1.755519e-06,2.635747e-06,2.724235e-06,3.990754e-06,4.336362e-06,5.520059e-06,6.462656e-06,7.234295e-06,8.833457e-06,9.055593e-06,1.092773e-05,1.130478e-05,1.281409e-05,1.379218e-05,1.469021e-05,1.624517e-05,1.653841e-05,1.834505e-05,1.862948e-05,2.009915e-05,2.091981e-05,2.179195e-05,2.309737e-05,2.341657e-05,2.496795e-05,2.514902e-05,2.644264e-05,2.706665e-05,2.783866e-05,2.884655e-05,2.915531e-05,3.039299e-05,3.048862e-05,3.155296e-05,3.199561e-05,3.263720e-05,3.337234e-05,3.364820e-05,3.458885e-05,3.462505e-05,3.546229e-05,3.576091e-05,3.627181e-05,3.678750e-05,3.702079e-05,3.771259e-05,3.835054e-05,3.854384e-05,3.893787e-05,3.928866e-05,3.947772e-05,3.995409e-05,3.997309e-05,4.042683e-05,4.054680e-05,4.084167e-05,4.107298e-05,4.122018e-05,4.153841e-05,4.156478e-05,4.187775e-05,4.194839e-05,4.216121e-05,4.230782e-05,4.241718e-05,4.262117e-05,4.264752e-05,4.285399e-05,4.289256e-05,4.303821e-05,4.312573e-05,4.320172e-05,4.332410e-05,4.334594e-05,4.347219e-05,4.349081e-05,4.358171e-05,4.362869e-05,4.367567e-05,4.374033e-05,4.375511e-05,4.382105e-05,4.382810e-05,4.387442e-05,4.389415e-05,4.391608e-05,4.394042e-05,4.394685e-05,4.396748e-05,4.396872e-05,4.397868e-05,4.398067e-05,4.398111e-05,4.397777e-05,4.397537e-05,4.396204e-05,4.396136e-05,4.394166e-05,4.393269e-05,4.391472e-05,4.389290e-05,4.388169e-05,4.384302e-05,4.379910e-05,4.378400e-05,4.375032e-05,4.371671e-05,4.369703e-05,4.364195e-05,4.363958e-05,4.357827e-05,4.356045e-05,4.351339e-05,4.347287e-05,4.344522e-05,4.337983e-05,4.337403e-05,4.330004e-05,4.328189e-05,4.322348e-05,4.317957e-05,4.314457e-05,4.307334e-05,4.306350e-05,4.298047e-05,4.296364e-05,4.289565e-05,4.285088e-05,4.280919e-05,4.273543e-05,4.272126e-05,4.263201e-05,4.261761e-05,4.254156e-05,4.249776e-05,4.245005e-05,4.237616e-05,4.235759e-05,4.226431e-05,4.225307e-05,4.217030e-05,4.212873e-05,4.207567e-05,4.200339e-05,4.198051e-05,4.188491e-05,4.187724e-05,4.178895e-05,4.175048e-05,4.169271e-05,4.162329e-05,4.159627e-05,4.149969e-05,4.149582e-05,4.140304e-05,4.136824e-05,4.130638e-05,4.124067e-05,4.120977e-05,4.111325e-05,4.098610e-05,4.085932e-05,4.073302e-05,4.060729e-05,4.048220e-05,4.035784e-05,4.023429e-05,4.011159e-05,3.998982e-05,3.986903e-05,3.974926e-05,3.963057e-05,3.951298e-05,3.939655e-05,3.928130e-05,3.916725e-05,3.905445e-05,3.894290e-05,3.883264e-05,3.872367e-05,3.861602e-05,3.850970e-05,3.840471e-05,3.830107e-05
0.000000e+00,1.265631e-13,8.417085e-13,1.392016e-11,8.829195e-11,2.047468e-10,1.240540e-09,1.323171e-09,5.454950e-09,7.672359e-09,1.694002e-08,3.033210e-08,4.330108e-08,9.051626e-08,9.605694e-08,1.913393e-07,2.227731e-07,3.502586e-07,4.765989e-07,5.989737e-07,9.165804e-07,9.684134e-07,1.493601e-06,1.620636e-06,2.212545e-06,2.676062e-06,3.164704e-06,4.173329e-06,4.389063e-06,5.921959e-06,6.198043e-06,7.794807e-06,8.821992e-06,1.003194e-05,1.209461e-05,1.264875e-05,1.565039e-05,1.603628e-05,1.903099e-05,2.063455e-05,2.277369e-05,2.584389e-05,2.685123e-05,3.122722e-05,3.158892e-05,3.585774e-05,3.777026e-05,4.069326e-05,4.427205e-05,4.568070e-05,5.076538e-05,5.097001e-05,5.589289e-05,5.773907e-05,6.101069e-05,6.445990e-05,6.606943e-05,7.102400e-05,7.583420e-05,7.733713e-05,8.046525e-05,8.332139e-05,8.488798e-05,8.891589e-05,8.907883e-05,9.301961e-05,9.407631e-05,9.669724e-05,9.877383e-05,1.001033e-04,1.029935e-04,1.032338e-04,1.060882e-04,1.067324e-04,1.086694e-04,1.099975e-04,1.109829e-04,1.128037e-04,1.130367e-04,1.148404e-04,1.151720e-04,1.164049e-04,1.171280e-04,1.177425e-04,1.187000e-04,1.188659e-04,1.197882e-04,1.199181e-04,1.205230e-04,1.208130e-04,1.210836e-04,1.214155e-04,1.214832e-04,1.217346e-04,1.217554e-04,1.218503e-04,1.218612e-04,1.218421e-04,1.217602e-04,1.217216e-04,1.214994e-04,1.214776e-04,1.211858e-04,1.210368e-04,1.207901e-04,1.204595e-04,1.203213e-04,1.197877e-04,1.197651e-04,1.191968e-04,1.189714e-04,1.185557e-04,1.180944e-04,1.178709e-04,1.171483e-04,1.163933e-04,1.161457e-04,1.156110e-04,1.150980e-04,1.148058e-04,1.140151e-04,1.139818e-04,1.131428e-04,1.129056e-04,1.122920e-04,1.117772e-04,1.114326e-04,1.106365e-04,1.105672e-04,1.096982e-04,1.094894e-04,1.088279e-04,1.083407e-04,1.079582e-04,1.071948e-04,1.070909e-04,1.062274e-04,1.060553e-04,1.053692e-04,1.049255e-04,1.045175e-04,1.038078e-04,1.036733e-04,1.028375e-04,1.027046e-04,1.020109e-04,1.016177e-04,1.011943e-04,1.005486e-04,1.003883e-04,9.959325e-05,9.949861e-05,9.880972e-05,9.846870e-05,9.803803e-05,9.745966e-05,9.727848e-05,9.653132e-05,9.647208e-05,9.579670e-05,9.550641e-05,9.507480e-05,9.456294e-05,9.436569e-05,9.366944e-05,9.364186e-05,9.298607e-05,9.274322e-05,9.231560e-05,9.186702e-05,9.165798e-05,9.101316e-05,9.018149e-05,8.937179e-05,8.858380e-05,8.781722e-05,8.707173e-05,8.634695e-05,8.564252e-05,8.495804e-05,8.429309e-05,8.364725e-05,8.302009e-05,8.241119e-05,8.182009e-05,8.124637e-05,8.068960e-05,8.014932e-05,7.962513e-05,7.911658e-05,7.862326e-05,7.814474e-05,7.768062e-05,7.723050e-05,7.679397e-05,7.637066e-05
0.000000e+00,2.270241e-09,6.538127e-09,2.874072e-08,7.397001e-08,1.136776e-07,2.899443e-07,3.000527e-07,6.512661e-07,7.910307e-07,1.259463e-06,1.792710e-06,2.230165e-06,3.492510e-06,3.618357e-06,5.374018e-06,5.838213e-06,7.390679e-06,8.598472e-06,9.576717e-06,1.159251e-05,1.187240e-05,1.424025e-05,1.472010e-05,1.665471e-05,1.792198e-05,1.909609e-05,2.115530e-05,2.154758e-05,2.399399e-05,2.438399e-05,2.642129e-05,2.757580e-05,2.881667e-05,3.070222e-05,3.116863e-05,3.346710e-05,3.373890e-05,3.570340e-05,3.666576e-05,3.787032e-05,3.946739e-05,3.996244e-05,4.197576e-05,4.213333e-05,4.390739e-05,4.465675e-05,4.575564e-05,4.703431e-05,4.751979e-05,4.919986e-05,4.926533e-05,5.079660e-05,5.135125e-05,5.231124e-05,5.329505e-05,5.374528e-05,5.510085e-05,5.638019e-05,5.677389e-05,5.758582e-05,5.831987e-05,5.872020e-05,5.974459e-05,5.978593e-05,6.078564e-05,6.105409e-05,6.172196e-05,6.225442e-05,6.259751e-05,6.335156e-05,6.341487e-05,6.417654e-05,6.435134e-05,6.488502e-05,6.525942e-05,6.554268e-05,6.608124e-05,6.615185e-05,6.671478e-05,6.682201e-05,6.723364e-05,6.748672e-05,6.771050e-05,6.808009e-05,6.814738e-05,6.854621e-05,6.860661e-05,6.890883e-05,6.907055e-05,6.923701e-05,6.947592e-05,6.953247e-05,6.979681e-05,6.982652e-05,7.003160e-05,7.012594e-05,7.023833e-05,7.037755e-05,7.041841e-05,7.057320e-05,7.058453e-05,7.070399e-05,7.074987e-05,7.081203e-05,7.087639e-05,7.089849e-05,7.096450e-05,7.096673e-05,7.101113e-05,7.102337e-05,7.103941e-05,7.104865e-05,7.105031e-05,7.104476e-05,7.102366e-05,7.101375e-05,7.098783e-05,7.095756e-05,7.093810e-05,7.087799e-05,7.087523e-05,7.079994e-05,7.077673e-05,7.071294e-05,7.065539e-05,7.061488e-05,7.051545e-05,7.050640e-05,7.038810e-05,7.035831e-05,7.026054e-05,7.018528e-05,7.012429e-05,6.999760e-05,6.997985e-05,6.982772e-05,6.979641e-05,6.966836e-05,6.958280e-05,6.950224e-05,6.935777e-05,6.932976e-05,6.915135e-05,6.912227e-05,6.896737e-05,6.887720e-05,6.877821e-05,6.862338e-05,6.858421e-05,6.838570e-05,6.836160e-05,6.818301e-05,6.809257e-05,6.797642e-05,6.781699e-05,6.776624e-05,6.755272e-05,6.753550e-05,6.733613e-05,6.724870e-05,6.711673e-05,6.695714e-05,6.689473e-05,6.667037e-05,6.666135e-05,6.644386e-05,6.636182e-05,6.621539e-05,6.605902e-05,6.598517e-05,6.575337e-05,6.544528e-05,6.513512e-05,6.482325e-05,6.450999e-05,6.419565e-05,6.388052e-05,6.356486e-05,6.324893e-05,6.293297e-05,6.261718e-05,6.230178e-05,6.198694e-05,6.167285e-05,6.135968e-05,6.104757e-05,6.073666e-05,6.042709e-05,6.011897e-05,5.981243e-05,5.950756e-05,5.920446e-05,5.890321e-05,5.860391e-05,5.830663e-05
0.000000e+00,3.541573e-11,1.863138e-10,1.938226e-09,8.285613e-09,1.565589e-08,5.818452e-08,6.091506e-08,1.644987e-07,2.084111e-07,3.609368e-07,5.418505e-07,6.959438e-07,1.175632e-06,1.226727e-06,2.010070e-06,2.239920e-06,3.075875e-06,3.791725e-06,4.407510e-06,5.757087e-06,5.951413e-06,7.643695e-06,7.994864e-06,9.429346e-06,1.038072e-05,1.126757e-05,1.283096e-05,1.312953e-05,1.499439e-05,1.529192e-05,1.684623e-05,1.772665e-05,1.867230e-05,2.010743e-05,2.046202e-05,2.220655e-05,2.241249e-05,2.389857e-05,2.462487e-05,2.553224e-05,2.673197e-05,2.710303e-05,2.860766e-05,2.872510e-05,3.004396e-05,3.059904e-05,3.141070e-05,3.235146e-05,3.270754e-05,3.393484e-05,3.398250e-05,3.509352e-05,3.549410e-05,3.618495e-05,3.688958e-05,3.721087e-05,3.817325e-05,3.907428e-05,3.935003e-05,3.991627e-05,4.042524e-05,4.070158e-05,4.140439e-05,4.143262e-05,4.211183e-05,4.229304e-05,4.274158e-05,4.309667e-05,4.332422e-05,4.382062e-05,4.386205e-05,4.435729e-05,4.447006e-05,4.481212e-05,4.504994e-05,4.522860e-05,4.556497e-05,4.560873e-05,4.595444e-05,4.601961e-05,4.626755e-05,4.641808e-05,4.654983e-05,4.676434e-05,4.680295e-05,4.702851e-05,4.706214e-05,4.722802e-05,4.731497e-05,4.740295e-05,4.752611e-05,4.755466e-05,4.768446e-05,4.769863e-05,4.779361e-05,4.783539e-05,4.788327e-05,4.793908e-05,4.795458e-05,4.800860e-05,4.801220e-05,4.804633e-05,4.805708e-05,4.806874e-05,4.807589e-05,4.807672e-05,4.807115e-05,4.807066e-05,4.805283e-05,4.804327e-05,4.802255e-05,4.799549e-05,4.798102e-05,4.792894e-05,4.786698e-05,4.784516e-05,4.779574e-05,4.774556e-05,4.771582e-05,4.763145e-05,4.762778e-05,4.753215e-05,4.750408e-05,4.742941e-05,4.736457e-05,4.732006e-05,4.721398e-05,4.720452e-05,4.708323e-05,4.705331e-05,4.695659e-05,4.688348e-05,4.682498e-05,4.670533e-05,4.668875e-05,4.654824e-05,4.651966e-05,4.640378e-05,4.632721e-05,4.625568e-05,4.612865e-05,4.610420e-05,4.594964e-05,4.592464e-05,4.579224e-05,4.571576e-05,4.563226e-05,4.550256e-05,4.546991e-05,4.530542e-05,4.528555e-05,4.513899e-05,4.506520e-05,4.497083e-05,4.484197e-05,4.480110e-05,4.462999e-05,4.461624e-05,4.445765e-05,4.438841e-05,4.428426e-05,4.415883e-05,4.410994e-05,4.393484e-05,4.392783e-05,4.375910e-05,4.369570e-05,4.358283e-05,4.346273e-05,4.340616e-05,4.322919e-05,4.299530e-05,4.276130e-05,4.252737e-05,4.229372e-05,4.206053e-05,4.182795e-05,4.159614e-05,4.136524e-05,4.113537e-05,4.090666e-05,4.067920e-05,4.045310e-05,4.022845e-05,4.000532e-05,3.978381e-05,3.956397e-05,3.934585e-05,3.912953e-05,3.891505e-05,3.870246e-05,3.849179e-05,3.828308e-05,3.807637e-05,3.787168e-05
0.000000e+00,1.421050e-11,8.139540e-11,9.950066e-10,4.839321e-09,9.743771e-09,4.167730e-08,4.385251e-08,1.316780e-07,1.708264e-07,3.112016e-07,4.826057e-07,6.308729e-07,1.099566e-06,1.149937e-06,1.930511e-06,2.162400e-06,3.016925e-06,3.762968e-06,4.415334e-06,5.878143e-06,6.092320e-06,7.991270e-06,8.392247e-06,1.005118e-05,1.116757e-05,1.221794e-05,1.408825e-05,1.444774e-05,1.670616e-05,1.706825e-05,1.896588e-05,2.004436e-05,2.120480e-05,2.296861e-05,2.340470e-05,2.555052e-05,2.580377e-05,2.762992e-05,2.852120e-05,2.963310e-05,3.109985e-05,3.155257e-05,3.338295e-05,3.352542e-05,3.512077e-05,3.578952e-05,3.676418e-05,3.788867e-05,3.831273e-05,3.976719e-05,3.982343e-05,4.112927e-05,4.159747e-05,4.240145e-05,4.321670e-05,4.358674e-05,4.468852e-05,4.571043e-05,4.602119e-05,4.665626e-05,4.722345e-05,4.752987e-05,4.830413e-05,4.833507e-05,4.907564e-05,4.927193e-05,4.975528e-05,5.013529e-05,5.037752e-05,5.090224e-05,5.094579e-05,5.146335e-05,5.158037e-05,5.193332e-05,5.217681e-05,5.235863e-05,5.269820e-05,5.274209e-05,5.308634e-05,5.315071e-05,5.339386e-05,5.354004e-05,5.366699e-05,5.387146e-05,5.390794e-05,5.411877e-05,5.414984e-05,5.430143e-05,5.437964e-05,5.445774e-05,5.456498e-05,5.458942e-05,5.469806e-05,5.470962e-05,5.478518e-05,5.481706e-05,5.485218e-05,5.489046e-05,5.490038e-05,5.493102e-05,5.493275e-05,5.494527e-05,5.494663e-05,5.494421e-05,5.493455e-05,5.492887e-05,5.490019e-05,5.489878e-05,5.485908e-05,5.484140e-05,5.480638e-05,5.476432e-05,5.474287e-05,5.466930e-05,5.458636e-05,5.455794e-05,5.449469e-05,5.443174e-05,5.439492e-05,5.429205e-05,5.428762e-05,5.417331e-05,5.414012e-05,5.405252e-05,5.397713e-05,5.392571e-05,5.380412e-05,5.379333e-05,5.365580e-05,5.362207e-05,5.351352e-05,5.343190e-05,5.336685e-05,5.323443e-05,5.321614e-05,5.306173e-05,5.303043e-05,5.290391e-05,5.282060e-05,5.274299e-05,5.260561e-05,5.257923e-05,5.241288e-05,5.238605e-05,5.224420e-05,5.216248e-05,5.207341e-05,5.193541e-05,5.190073e-05,5.172635e-05,5.170532e-05,5.155047e-05,5.147265e-05,5.137326e-05,5.123780e-05,5.119490e-05,5.101554e-05,5.100115e-05,5.083533e-05,5.076304e-05,5.065442e-05,5.052380e-05,5.047293e-05,5.029100e-05,5.028371e-05,5.010873e-05,5.004306e-05,4.992625e-05,4.980209e-05,4.974365e-05,4.956104e-05,4.932012e-05,4.907953e-05,4.883946e-05,4.860007e-05,4.836152e-05,4.812396e-05,4.788751e-05,4.765229e-05,4.741843e-05,4.718601e-05,4.695513e-05,4.672589e-05,4.649835e-05,4.627258e-05,4.604866e-05,4.582663e-05,4.560656e-05,4.538849e-05,4.517246e-05,4.495851e-05,4.474667e-05,4.453697e-05,4.432944e-05,4.412409e-05
0.000000e+00,1.364582e-09,3.928597e-09,1.720365e-08,4.381020e-08,6.666721e-08,1.630426e-07,1.683455e-07,3.410574e-07,4.048375e-07,6.048903e-07,8.159299e-07,9.815524e-07,1.445867e-06,1.492029e-06,2.150240e-06,2.330660e-06,2.958327e-06,3.474142e-06,3.910050e-06,4.859571e-06,4.996840e-06,6.210505e-06,6.467780e-06,7.543297e-06,8.280829e-06,8.987328e-06,1.028009e-05,1.053411e-05,1.217434e-05,1.244478e-05,1.389789e-05,1.475164e-05,1.569395e-05,1.717540e-05,1.755118e-05,1.945799e-05,1.968958e-05,2.140277e-05,2.226757e-05,2.337417e-05,2.488348e-05,2.536124e-05,2.735366e-05,2.751299e-05,2.934183e-05,3.013392e-05,3.131700e-05,3.272661e-05,3.327128e-05,3.519769e-05,3.527407e-05,3.709014e-05,3.776208e-05,3.894343e-05,4.017904e-05,4.075319e-05,4.251580e-05,4.422834e-05,4.476540e-05,4.588856e-05,4.692283e-05,4.749475e-05,4.898477e-05,4.904574e-05,5.054076e-05,5.094928e-05,5.197947e-05,5.281563e-05,5.336183e-05,5.458404e-05,5.468809e-05,5.595874e-05,5.625550e-05,5.717449e-05,5.783163e-05,5.833617e-05,5.931452e-05,5.944479e-05,6.050143e-05,6.070663e-05,6.150729e-05,6.201068e-05,6.246361e-05,6.322959e-05,6.337170e-05,6.423288e-05,6.436641e-05,6.504851e-05,6.542424e-05,6.581997e-05,6.640625e-05,6.654862e-05,6.723584e-05,6.731559e-05,6.788300e-05,6.815540e-05,6.849143e-05,6.892876e-05,6.906247e-05,6.959744e-05,6.963872e-05,7.009762e-05,7.028823e-05,7.056427e-05,7.088020e-05,7.099863e-05,7.140191e-05,7.141741e-05,7.177528e-05,7.190259e-05,7.211988e-05,7.233836e-05,7.243685e-05,7.272726e-05,7.299217e-05,7.307172e-05,7.323260e-05,7.337409e-05,7.344955e-05,7.363663e-05,7.364399e-05,7.381685e-05,7.386151e-05,7.396904e-05,7.405079e-05,7.410142e-05,7.420646e-05,7.421486e-05,7.431017e-05,7.433043e-05,7.438814e-05,7.442452e-05,7.444954e-05,7.449046e-05,7.449512e-05,7.452558e-05,7.452992e-05,7.454162e-05,7.454448e-05,7.454390e-05,7.453565e-05,7.453306e-05,7.450973e-05,7.450488e-05,7.447450e-05,7.445354e-05,7.442795e-05,7.438294e-05,7.437064e-05,7.430309e-05,7.429432e-05,7.422582e-05,7.418887e-05,7.413933e-05,7.406772e-05,7.404409e-05,7.394057e-05,7.393194e-05,7.382920e-05,7.378255e-05,7.371041e-05,7.362052e-05,7.358461e-05,7.345219e-05,7.344676e-05,7.331352e-05,7.326214e-05,7.316898e-05,7.306751e-05,7.301890e-05,7.286363e-05,7.265125e-05,7.243108e-05,7.220378e-05,7.196998e-05,7.173029e-05,7.148526e-05,7.123543e-05,7.098131e-05,7.072337e-05,7.046206e-05,7.019780e-05,6.993100e-05,6.966203e-05,6.939126e-05,6.911900e-05,6.884557e-05,6.857128e-05,6.829639e-05,6.802117e-05,6.774585e-05,6.747068e-05,6.719586e-05,6.692159e-05,6.664806e-05
0.000000e+00,3.263694e-11,1.835550e-10,2.166555e-09,1.023699e-08,2.030841e-08,8.380644e-08,8.805633e-08,2.555432e-07,3.284158e-07,5.838563e-07,8.866799e-07,1.142599e-06,1.925002e-06,2.007173e-06,3.247545e-06,3.607054e-06,4.911093e-06,6.035385e-06,7.016242e-06,9.232630e-06,9.560852e-06,1.253361e-05,1.317831e-05,1.592031e-05,1.783982e-05,1.970515e-05,2.317876e-05,2.386975e-05,2.839200e-05,2.914704e-05,3.324546e-05,3.568392e-05,3.839948e-05,4.271615e-05,4.381976e-05,4.946933e-05,5.016086e-05,5.530953e-05,5.792950e-05,6.130114e-05,6.593210e-05,6.740534e-05,7.358459e-05,7.408109e-05,7.980333e-05,8.229439e-05,8.602852e-05,9.049759e-05,9.222998e-05,9.838064e-05,9.862526e-05,1.044566e-04,1.066215e-04,1.104370e-04,1.144399e-04,1.163041e-04,1.220431e-04,1.276416e-04,1.294018e-04,1.330898e-04,1.364941e-04,1.383799e-04,1.433041e-04,1.435060e-04,1.484641e-04,1.498218e-04,1.532514e-04,1.560413e-04,1.578667e-04,1.619603e-04,1.623094e-04,1.665802e-04,1.675798e-04,1.706804e-04,1.729027e-04,1.746120e-04,1.779342e-04,1.783773e-04,1.819793e-04,1.826804e-04,1.854212e-04,1.871488e-04,1.887064e-04,1.913477e-04,1.918387e-04,1.948219e-04,1.952856e-04,1.976599e-04,1.989717e-04,2.003567e-04,2.024153e-04,2.029165e-04,2.053433e-04,2.056257e-04,2.076411e-04,2.086124e-04,2.098142e-04,2.113847e-04,2.118664e-04,2.138018e-04,2.139517e-04,2.156243e-04,2.163226e-04,2.173378e-04,2.185061e-04,2.189460e-04,2.204528e-04,2.205110e-04,2.218616e-04,2.223455e-04,2.231761e-04,2.240179e-04,2.243998e-04,2.255361e-04,2.265882e-04,2.269076e-04,2.275593e-04,2.281398e-04,2.284527e-04,2.292399e-04,2.292712e-04,2.300180e-04,2.302146e-04,2.306958e-04,2.310705e-04,2.313074e-04,2.318140e-04,2.318556e-04,2.323429e-04,2.324511e-04,2.327719e-04,2.329876e-04,2.331450e-04,2.334290e-04,2.334646e-04,2.337330e-04,2.337808e-04,2.339525e-04,2.340479e-04,2.341251e-04,2.342354e-04,2.342529e-04,2.343380e-04,2.343478e-04,2.343823e-04,2.343897e-04,2.343877e-04,2.343652e-04,2.343560e-04,2.342888e-04,2.342785e-04,2.341880e-04,2.341334e-04,2.340551e-04,2.339336e-04,2.338916e-04,2.336992e-04,2.336826e-04,2.334792e-04,2.333838e-04,2.332331e-04,2.330404e-04,2.329622e-04,2.326677e-04,2.326555e-04,2.323510e-04,2.322318e-04,2.320133e-04,2.317722e-04,2.316557e-04,2.312793e-04,2.307555e-04,2.302032e-04,2.296246e-04,2.290219e-04,2.283970e-04,2.277520e-04,2.270885e-04,2.264083e-04,2.257130e-04,2.250041e-04,2.242831e-04,2.235514e-04,2.228102e-04,2.220608e-04,2.213043e-04,2.205419e-04,2.197744e-04,2.190029e-04,2.182283e-04,2.174514e-04,2.166731e-04,2.158941e-04,2.151151e-04,2.143367e-04
0.000000e+00,1.555026e-11,8.077939e-11,8.206132e-10,3.438778e-09,6.427585e-09,2.317020e-08,2.422406e-08,6.289038e-08,7.864712e-08,1.311048e-07,1.896892e-07,2.371755e-07,3.750168e-07,3.890310e-07,5.942660e-07,6.522787e-07,8.601221e-07,1.038020e-06,1.193334e-06,1.546978e-06,1.599783e-06,2.083899e-06,2.190284e-06,2.647861e-06,2.972518e-06,3.290774e-06,3.888716e-06,4.008240e-06,4.792670e-06,4.923759e-06,5.634286e-06,6.055437e-06,6.522388e-06,7.259209e-06,7.446398e-06,8.396480e-06,8.511811e-06,9.363779e-06,9.792787e-06,1.034044e-05,1.108465e-05,1.131951e-05,1.229486e-05,1.237256e-05,1.326108e-05,1.364393e-05,1.421345e-05,1.488826e-05,1.514787e-05,1.606085e-05,1.609688e-05,1.694942e-05,1.726284e-05,1.781114e-05,1.838076e-05,1.864406e-05,1.944666e-05,2.021781e-05,2.045780e-05,2.095673e-05,2.141251e-05,2.166298e-05,2.231004e-05,2.233635e-05,2.297689e-05,2.315039e-05,2.358485e-05,2.393416e-05,2.416065e-05,2.466243e-05,2.470482e-05,2.521803e-05,2.533668e-05,2.570104e-05,2.595864e-05,2.615467e-05,2.653025e-05,2.657979e-05,2.697732e-05,2.705360e-05,2.734821e-05,2.753085e-05,2.769340e-05,2.796422e-05,2.801387e-05,2.831057e-05,2.835591e-05,2.858447e-05,2.870813e-05,2.883652e-05,2.902304e-05,2.906763e-05,2.927873e-05,2.930276e-05,2.947071e-05,2.954935e-05,2.964444e-05,2.976478e-05,2.980076e-05,2.994049e-05,2.995097e-05,3.006443e-05,3.010975e-05,3.017334e-05,3.024288e-05,3.026798e-05,3.034906e-05,3.035203e-05,3.041726e-05,3.043878e-05,3.047325e-05,3.050467e-05,3.051767e-05,3.055113e-05,3.057423e-05,3.057953e-05,3.058753e-05,3.059115e-05,3.059157e-05,3.058723e-05,3.058688e-05,3.057395e-05,3.056892e-05,3.055326e-05,3.053731e-05,3.052526e-05,3.049343e-05,3.049040e-05,3.044909e-05,3.043826e-05,3.040172e-05,3.037270e-05,3.034869e-05,3.029762e-05,3.029036e-05,3.022706e-05,3.021384e-05,3.015914e-05,3.012210e-05,3.008691e-05,3.002313e-05,3.001068e-05,2.993072e-05,2.991760e-05,2.984731e-05,2.980613e-05,2.976072e-05,2.968931e-05,2.967118e-05,2.957895e-05,2.956771e-05,2.948423e-05,2.944182e-05,2.938725e-05,2.931215e-05,2.928820e-05,2.918728e-05,2.917913e-05,2.908467e-05,2.904319e-05,2.898055e-05,2.890473e-05,2.887507e-05,2.876840e-05,2.876411e-05,2.866067e-05,2.862166e-05,2.855204e-05,2.847772e-05,2.844263e-05,2.833257e-05,2.818649e-05,2.803974e-05,2.789254e-05,2.774512e-05,2.759768e-05,2.745041e-05,2.730347e-05,2.715703e-05,2.701123e-05,2.686621e-05,2.672208e-05,2.657895e-05,2.643694e-05,2.629612e-05,2.615659e-05,2.601841e-05,2.588167e-05,2.574640e-05,2.561268e-05,2.548055e-05,2.535005e-05,2.522122e-05,2.509408e-05,2.496867e-05
0.000000e+00,1.521530e-11,8.568935e-11,1.013150e-09,4.788130e-09,9.494760e-09,3.907170e-08,4.104628e-08,1.185041e-07,1.520294e-07,2.689254e-07,4.065709e-07,5.223564e-07,8.750285e-07,9.120589e-07,1.474031e-06,1.638501e-06,2.242491e-06,2.772138e-06,3.239629e-06,4.306736e-06,4.465282e-06,5.895938e-06,6.203456e-06,7.493763e-06,8.376972e-06,9.217734e-06,1.073597e-05,1.103066e-05,1.290144e-05,1.320436e-05,1.480457e-05,1.572318e-05,1.671876e-05,1.824580e-05,1.862586e-05,2.051005e-05,2.073393e-05,2.235753e-05,2.315566e-05,2.415639e-05,2.548473e-05,2.589654e-05,2.756973e-05,2.770049e-05,2.916948e-05,2.978769e-05,3.069100e-05,3.173619e-05,3.213107e-05,3.348790e-05,3.354043e-05,3.476090e-05,3.519872e-05,3.595054e-05,3.671252e-05,3.705814e-05,3.808574e-05,3.903591e-05,3.932409e-05,3.991163e-05,4.043452e-05,4.071617e-05,4.142478e-05,4.145300e-05,4.212565e-05,4.230299e-05,4.273773e-05,4.307739e-05,4.329280e-05,4.375613e-05,4.379437e-05,4.424584e-05,4.434710e-05,4.465050e-05,4.485784e-05,4.501151e-05,4.529548e-05,4.533187e-05,4.561443e-05,4.566665e-05,4.586187e-05,4.597750e-05,4.607670e-05,4.623372e-05,4.626132e-05,4.641796e-05,4.644057e-05,4.654870e-05,4.660283e-05,4.665548e-05,4.672487e-05,4.674011e-05,4.680430e-05,4.681071e-05,4.684963e-05,4.686398e-05,4.687757e-05,4.688800e-05,4.688947e-05,4.688661e-05,4.688578e-05,4.687017e-05,4.686004e-05,4.684125e-05,4.681327e-05,4.680087e-05,4.674997e-05,4.674773e-05,4.668944e-05,4.666545e-05,4.662010e-05,4.656829e-05,4.654269e-05,4.645792e-05,4.636646e-05,4.633587e-05,4.626890e-05,4.620353e-05,4.616581e-05,4.606213e-05,4.605772e-05,4.594511e-05,4.591283e-05,4.582843e-05,4.575664e-05,4.570810e-05,4.559451e-05,4.558451e-05,4.545803e-05,4.542728e-05,4.532899e-05,4.525572e-05,4.519770e-05,4.508053e-05,4.506445e-05,4.492951e-05,4.490234e-05,4.479313e-05,4.472173e-05,4.465555e-05,4.453920e-05,4.451697e-05,4.437760e-05,4.435524e-05,4.423763e-05,4.417027e-05,4.409722e-05,4.398468e-05,4.395653e-05,4.381572e-05,4.379882e-05,4.367492e-05,4.361300e-05,4.353425e-05,4.342751e-05,4.339384e-05,4.325379e-05,4.324260e-05,4.311420e-05,4.305851e-05,4.297516e-05,4.287545e-05,4.283676e-05,4.269908e-05,4.269359e-05,4.256219e-05,4.251312e-05,4.242616e-05,4.233418e-05,4.229105e-05,4.215691e-05,4.198142e-05,4.180782e-05,4.163621e-05,4.146667e-05,4.129926e-05,4.113406e-05,4.097111e-05,4.081047e-05,4.065216e-05,4.049622e-05,4.034268e-05,4.019156e-05,4.004286e-05,3.989661e-05,3.975280e-05,3.961145e-05,3.947254e-05,3.933607e-05,3.920204e-05,3.907043e-05,3.894124e-05,3.881443e-05,3.869001e-05,3.856795e-05
0.000000e+00,3.300956e-13,2.119475e-12,3.259613e-11,1.935786e-10,4.330773e-10,2.394499e-09,2.544622e-09,9.605321e-09,1.319792e-08,2.751719e-08,4.711972e-08,6.539814e-08,1.287570e-07,1.359718e-07,2.558544e-07,2.941711e-07,4.456498e-07,5.913603e-07,7.294938e-07,1.077809e-06,1.133495e-06,1.682862e-06,1.812123e-06,2.398364e-06,2.840865e-06,3.293354e-06,4.187358e-06,4.372260e-06,5.630704e-06,5.848013e-06,7.056849e-06,7.796028e-06,8.633347e-06,9.988860e-06,1.033935e-05,1.215229e-05,1.237593e-05,1.404923e-05,1.490471e-05,1.600787e-05,1.752469e-05,1.800715e-05,2.002765e-05,2.018966e-05,2.205170e-05,2.285872e-05,2.406354e-05,2.549663e-05,2.604926e-05,2.799678e-05,2.807373e-05,2.989574e-05,3.056576e-05,3.173746e-05,3.295344e-05,3.351482e-05,3.522211e-05,3.685499e-05,3.736125e-05,3.841030e-05,3.936401e-05,3.988600e-05,4.122672e-05,4.128097e-05,4.259496e-05,4.294842e-05,4.382845e-05,4.453032e-05,4.498251e-05,4.597544e-05,4.605872e-05,4.705909e-05,4.728815e-05,4.798594e-05,4.847382e-05,4.884186e-05,4.953858e-05,4.962960e-05,5.035205e-05,5.048897e-05,5.101217e-05,5.133179e-05,5.161294e-05,5.207392e-05,5.215736e-05,5.264840e-05,5.272220e-05,5.308895e-05,5.328331e-05,5.348185e-05,5.376372e-05,5.382986e-05,5.413563e-05,5.416961e-05,5.440173e-05,5.450688e-05,5.463060e-05,5.478109e-05,5.482458e-05,5.498592e-05,5.499748e-05,5.511673e-05,5.516096e-05,5.521903e-05,5.527612e-05,5.529475e-05,5.534569e-05,5.534723e-05,5.537356e-05,5.537826e-05,5.537998e-05,5.537287e-05,5.536647e-05,5.533447e-05,5.528534e-05,5.526621e-05,5.522035e-05,5.517099e-05,5.514070e-05,5.505148e-05,5.504750e-05,5.494184e-05,5.491015e-05,5.482469e-05,5.474927e-05,5.469699e-05,5.457094e-05,5.455961e-05,5.441339e-05,5.437706e-05,5.425908e-05,5.416941e-05,5.409741e-05,5.394960e-05,5.392907e-05,5.375467e-05,5.371912e-05,5.357483e-05,5.347934e-05,5.339008e-05,5.323150e-05,5.320097e-05,5.300796e-05,5.297675e-05,5.281151e-05,5.271612e-05,5.261206e-05,5.245059e-05,5.240999e-05,5.220567e-05,5.218102e-05,5.199946e-05,5.190821e-05,5.179168e-05,5.163290e-05,5.158262e-05,5.137257e-05,5.135573e-05,5.116179e-05,5.107733e-05,5.095052e-05,5.079823e-05,5.073899e-05,5.052740e-05,5.051894e-05,5.031596e-05,5.023991e-05,5.010484e-05,4.996156e-05,4.989422e-05,4.968424e-05,4.940831e-05,4.913405e-05,4.886174e-05,4.859163e-05,4.832393e-05,4.805884e-05,4.779652e-05,4.753713e-05,4.728080e-05,4.702765e-05,4.677779e-05,4.653129e-05,4.628823e-05,4.604868e-05,4.581268e-05,4.558029e-05,4.535152e-05,4.512641e-05,4.490497e-05,4.468720e-05,4.447312e-05,4.426271e-05,4.405598e-05,4.385290e-05
0.000000e+00,3.245992e-09,7.421583e-09,2.542098e-08,5.760935e-08,8.386996e-08,1.893253e-07,1.949864e-07,3.753483e-07,4.406409e-07,6.427619e-07,8.530697e-07,1.016798e-06,1.472864e-06,1.518127e-06,2.165479e-06,2.344016e-06,2.969259e-06,3.486477e-06,3.924142e-06,4.871897e-06,5.007694e-06,6.188206e-06,6.433117e-06,7.434508e-06,8.099792e-06,8.720843e-06,9.817543e-06,1.002723e-05,1.133817e-05,1.154748e-05,1.264129e-05,1.326097e-05,1.392647e-05,1.493601e-05,1.518532e-05,1.641082e-05,1.655536e-05,1.759723e-05,1.810564e-05,1.873994e-05,1.957694e-05,1.983538e-05,2.088098e-05,2.096242e-05,2.187503e-05,2.225798e-05,2.281657e-05,2.346179e-05,2.370534e-05,2.454166e-05,2.457403e-05,2.532626e-05,2.559626e-05,2.606026e-05,2.653121e-05,2.674511e-05,2.738247e-05,2.797415e-05,2.815415e-05,2.852209e-05,2.885075e-05,2.902831e-05,2.947690e-05,2.949483e-05,2.992369e-05,3.003730e-05,3.031693e-05,3.053661e-05,3.067654e-05,3.097934e-05,3.100445e-05,3.130252e-05,3.136982e-05,3.157255e-05,3.171217e-05,3.181627e-05,3.201027e-05,3.203531e-05,3.223123e-05,3.226778e-05,3.240553e-05,3.248809e-05,3.255961e-05,3.267437e-05,3.269478e-05,3.281230e-05,3.282955e-05,3.291335e-05,3.295634e-05,3.299905e-05,3.305725e-05,3.307043e-05,3.312849e-05,3.313460e-05,3.317413e-05,3.319051e-05,3.320824e-05,3.322694e-05,3.323161e-05,3.324502e-05,3.324569e-05,3.324918e-05,3.324841e-05,3.324476e-05,3.323662e-05,3.323239e-05,3.321265e-05,3.321171e-05,3.318610e-05,3.317497e-05,3.315325e-05,3.312757e-05,3.311460e-05,3.307058e-05,3.302163e-05,3.300498e-05,3.296814e-05,3.293169e-05,3.291048e-05,3.285153e-05,3.284900e-05,3.278403e-05,3.276526e-05,3.271587e-05,3.267356e-05,3.264481e-05,3.257709e-05,3.257111e-05,3.249502e-05,3.247643e-05,3.241677e-05,3.237210e-05,3.233659e-05,3.226459e-05,3.225468e-05,3.217122e-05,3.215436e-05,3.208640e-05,3.204181e-05,3.200038e-05,3.192732e-05,3.191332e-05,3.182537e-05,3.181122e-05,3.173665e-05,3.169384e-05,3.164730e-05,3.157545e-05,3.155744e-05,3.146718e-05,3.145632e-05,3.137661e-05,3.133669e-05,3.128584e-05,3.121677e-05,3.119495e-05,3.110403e-05,3.109676e-05,3.101315e-05,3.097683e-05,3.092240e-05,3.085716e-05,3.083183e-05,3.074150e-05,3.073790e-05,3.065148e-05,3.061916e-05,3.056182e-05,3.050108e-05,3.047257e-05,3.038377e-05,3.026733e-05,3.015184e-05,3.003739e-05,2.992405e-05,2.981187e-05,2.970093e-05,2.959127e-05,2.948292e-05,2.937595e-05,2.927036e-05,2.916620e-05,2.906349e-05,2.896226e-05,2.886250e-05,2.876425e-05,2.866751e-05,2.857229e-05,2.847859e-05,2.838641e-05,2.829577e-05,2.820664e-05,2.811904e-05,2.803295e-05,2.794838e-05
0.000000e+00,4.176169e-09,9.571496e-09,3.300706e-08,7.556964e-08,1.108935e-07,2.580102e-07,2.661410e-07,5.370246e-07,6.404705e-07,9.769909e-07,1.349617e-06,1.652141e-06,2.528750e-06,2.617101e-06,3.873806e-06,4.213278e-06,5.366082e-06,6.277131e-06,7.021351e-06,8.566419e-06,8.781787e-06,1.060837e-05,1.097918e-05,1.247517e-05,1.345549e-05,1.436375e-05,1.595638e-05,1.625970e-05,1.815064e-05,1.845197e-05,2.002539e-05,2.091644e-05,2.187357e-05,2.332650e-05,2.368557e-05,2.545263e-05,2.566127e-05,2.716682e-05,2.790250e-05,2.882130e-05,3.003522e-05,3.041036e-05,3.192936e-05,3.204774e-05,3.337477e-05,3.393173e-05,3.474409e-05,3.568199e-05,3.603579e-05,3.724930e-05,3.729621e-05,3.838482e-05,3.877463e-05,3.944302e-05,4.011911e-05,4.042527e-05,4.133340e-05,4.216953e-05,4.242228e-05,4.293614e-05,4.339151e-05,4.363589e-05,4.424733e-05,4.427156e-05,4.484610e-05,4.499641e-05,4.536244e-05,4.564554e-05,4.582353e-05,4.620146e-05,4.623230e-05,4.659164e-05,4.667084e-05,4.690436e-05,4.706015e-05,4.717321e-05,4.737561e-05,4.740083e-05,4.758978e-05,4.762315e-05,4.774251e-05,4.780839e-05,4.786135e-05,4.793662e-05,4.794854e-05,4.800620e-05,4.801282e-05,4.803635e-05,4.804162e-05,4.804091e-05,4.802736e-05,4.802170e-05,4.798043e-05,4.797407e-05,4.791872e-05,4.788549e-05,4.783811e-05,4.776509e-05,4.774003e-05,4.762585e-05,4.761606e-05,4.749684e-05,4.744136e-05,4.735422e-05,4.724374e-05,4.719911e-05,4.703258e-05,4.702569e-05,4.685562e-05,4.678954e-05,4.666917e-05,4.653741e-05,4.647411e-05,4.627126e-05,4.606140e-05,4.599288e-05,4.584525e-05,4.570392e-05,4.562347e-05,4.540587e-05,4.539671e-05,4.516556e-05,4.510012e-05,4.493056e-05,4.478792e-05,4.469222e-05,4.447043e-05,4.445104e-05,4.420746e-05,4.414869e-05,4.396189e-05,4.382365e-05,4.371473e-05,4.349619e-05,4.346633e-05,4.321703e-05,4.316709e-05,4.296714e-05,4.283706e-05,4.271695e-05,4.250675e-05,4.246672e-05,4.221672e-05,4.217676e-05,4.196716e-05,4.184760e-05,4.171827e-05,4.151976e-05,4.147023e-05,4.122322e-05,4.119366e-05,4.097742e-05,4.086969e-05,4.073297e-05,4.054818e-05,4.049002e-05,4.024868e-05,4.022945e-05,4.000909e-05,3.991376e-05,3.977134e-05,3.960136e-05,3.953553e-05,3.930175e-05,3.929245e-05,3.907008e-05,3.898721e-05,3.884059e-05,3.868581e-05,3.861333e-05,3.838838e-05,3.809504e-05,3.780589e-05,3.752102e-05,3.724048e-05,3.696433e-05,3.669261e-05,3.642535e-05,3.616256e-05,3.590426e-05,3.565044e-05,3.540109e-05,3.515621e-05,3.491576e-05,3.467972e-05,3.444807e-05,3.422075e-05,3.399773e-05,3.377897e-05,3.356442e-05,3.335403e-05,3.314775e-05,3.294551e-05,3.274727e-05,3.255297e-05
0.000000e+00,4.434715e-09,1.016322e-08,3.507246e-08,8.052862e-08,1.184876e-07,2.785633e-07,2.874889e-07,5.879961e-07,7.038570e-07,1.082774e-06,1.503877e-06,1.846110e-06,2.838282e-06,2.938285e-06,4.357468e-06,4.738554e-06,6.019072e-06,7.011775e-06,7.807960e-06,9.415972e-06,9.635248e-06,1.144802e-05,1.180599e-05,1.321722e-05,1.411428e-05,1.492657e-05,1.630887e-05,1.656624e-05,1.812988e-05,1.837270e-05,1.961328e-05,2.029600e-05,2.101386e-05,2.207379e-05,2.233034e-05,2.356261e-05,2.370486e-05,2.471158e-05,2.519116e-05,2.577898e-05,2.653712e-05,2.676723e-05,2.767928e-05,2.774905e-05,2.851845e-05,2.883452e-05,2.928835e-05,2.980186e-05,2.999268e-05,3.063524e-05,3.065971e-05,3.121978e-05,3.141673e-05,3.174999e-05,3.208133e-05,3.222944e-05,3.266155e-05,3.304960e-05,3.316498e-05,3.339668e-05,3.359866e-05,3.370569e-05,3.396909e-05,3.397939e-05,3.422033e-05,3.428225e-05,3.443090e-05,3.454360e-05,3.461333e-05,3.475812e-05,3.476971e-05,3.490196e-05,3.493032e-05,3.501188e-05,3.506430e-05,3.510113e-05,3.516379e-05,3.517124e-05,3.522366e-05,3.523214e-05,3.525971e-05,3.527239e-05,3.528061e-05,3.528730e-05,3.528751e-05,3.528146e-05,3.527936e-05,3.526344e-05,3.525081e-05,3.523436e-05,3.520370e-05,3.519506e-05,3.514632e-05,3.513987e-05,3.508885e-05,3.506098e-05,3.502334e-05,3.496856e-05,3.495041e-05,3.487063e-05,3.486396e-05,3.478454e-05,3.474845e-05,3.469263e-05,3.462313e-05,3.459538e-05,3.449322e-05,3.448904e-05,3.438654e-05,3.434710e-05,3.427572e-05,3.419817e-05,3.416110e-05,3.404301e-05,3.392174e-05,3.388232e-05,3.379759e-05,3.371674e-05,3.367081e-05,3.354686e-05,3.354165e-05,3.341032e-05,3.337319e-05,3.327705e-05,3.319624e-05,3.314204e-05,3.301644e-05,3.300546e-05,3.286750e-05,3.283419e-05,3.272830e-05,3.264987e-05,3.258803e-05,3.246381e-05,3.244683e-05,3.230482e-05,3.227633e-05,3.216213e-05,3.208770e-05,3.201888e-05,3.189819e-05,3.187517e-05,3.173111e-05,3.170803e-05,3.158679e-05,3.151745e-05,3.144230e-05,3.132664e-05,3.129772e-05,3.115313e-05,3.113578e-05,3.100861e-05,3.094505e-05,3.086421e-05,3.075460e-05,3.072001e-05,3.057607e-05,3.056456e-05,3.043243e-05,3.037508e-05,3.028916e-05,3.018626e-05,3.014630e-05,3.000390e-05,2.999821e-05,2.986199e-05,2.981104e-05,2.972063e-05,2.962483e-05,2.957984e-05,2.943967e-05,2.925563e-05,2.907279e-05,2.889120e-05,2.871092e-05,2.853200e-05,2.835449e-05,2.817844e-05,2.800387e-05,2.783082e-05,2.765933e-05,2.748942e-05,2.732110e-05,2.715442e-05,2.698937e-05,2.682598e-05,2.666426e-05,2.650422e-05,2.634586e-05,2.618920e-05,2.603425e-05,2.588099e-05,2.572944e-05,2.557959e-05,2.543144e-05
0.000000e+00,2.660219e-10,1.124283e-09,8.056041e-09,2.655443e-08,4.463497e-08,1.305119e-07,1.355147e-07,3.069656e-07,3.732000e-07,5.874126e-07,8.211943e-07,1.009012e-06,1.552720e-06,1.608084e-06,2.422915e-06,2.654538e-06,3.486809e-06,4.198535e-06,4.816122e-06,6.197708e-06,6.400265e-06,8.204310e-06,8.587534e-06,1.018300e-05,1.126645e-05,1.229358e-05,1.414245e-05,1.450090e-05,1.677700e-05,1.714599e-05,1.909915e-05,2.022438e-05,2.144806e-05,2.333500e-05,2.380678e-05,2.616015e-05,2.644154e-05,2.849451e-05,2.951240e-05,3.079761e-05,3.252036e-05,3.305865e-05,3.526823e-05,3.544252e-05,3.741835e-05,3.826021e-05,3.950236e-05,4.095885e-05,4.151489e-05,4.345180e-05,4.352766e-05,4.531003e-05,4.595928e-05,4.708742e-05,4.824922e-05,4.878275e-05,5.039553e-05,5.192582e-05,5.239816e-05,5.337420e-05,5.425868e-05,5.474180e-05,5.597999e-05,5.603002e-05,5.724055e-05,5.756584e-05,5.837537e-05,5.902079e-05,5.943659e-05,6.034985e-05,6.042647e-05,6.134738e-05,6.155840e-05,6.220173e-05,6.265199e-05,6.299194e-05,6.363621e-05,6.372046e-05,6.438974e-05,6.451670e-05,6.500223e-05,6.529907e-05,6.556031e-05,6.598877e-05,6.606633e-05,6.652261e-05,6.659114e-05,6.693139e-05,6.711138e-05,6.729487e-05,6.755447e-05,6.761518e-05,6.789439e-05,6.792523e-05,6.813452e-05,6.822829e-05,6.833750e-05,6.846807e-05,6.850520e-05,6.863944e-05,6.864879e-05,6.874197e-05,6.877448e-05,6.881446e-05,6.884897e-05,6.885854e-05,6.887576e-05,6.887591e-05,6.886761e-05,6.885875e-05,6.883554e-05,6.880077e-05,6.878092e-05,6.870507e-05,6.860927e-05,6.857459e-05,6.849471e-05,6.841210e-05,6.836258e-05,6.822022e-05,6.821397e-05,6.804995e-05,6.800140e-05,6.787154e-05,6.775799e-05,6.767970e-05,6.749216e-05,6.747537e-05,6.725943e-05,6.720597e-05,6.703272e-05,6.690135e-05,6.679604e-05,6.658013e-05,6.655016e-05,6.629582e-05,6.624400e-05,6.603370e-05,6.589455e-05,6.576447e-05,6.553328e-05,6.548876e-05,6.520716e-05,6.516159e-05,6.492024e-05,6.478078e-05,6.462853e-05,6.439207e-05,6.433256e-05,6.403280e-05,6.399660e-05,6.372971e-05,6.359542e-05,6.342374e-05,6.318952e-05,6.311528e-05,6.280474e-05,6.277981e-05,6.249247e-05,6.236716e-05,6.217882e-05,6.195233e-05,6.186413e-05,6.154871e-05,6.153608e-05,6.123284e-05,6.111907e-05,6.091679e-05,6.070192e-05,6.060084e-05,6.028522e-05,5.986948e-05,5.945521e-05,5.904284e-05,5.863278e-05,5.822541e-05,5.782107e-05,5.742006e-05,5.702266e-05,5.662913e-05,5.623969e-05,5.585454e-05,5.547387e-05,5.509783e-05,5.472656e-05,5.436018e-05,5.399881e-05,5.364252e-05,5.329139e-05,5.294548e-05,5.260485e-05,5.226952e-05,5.193953e-05,5.161488e-05,5.129560e-05
0.000000e+00,4.024525e-09,9.279317e-09,3.218350e-08,7.358642e-08,1.075943e-07,2.452753e-07,2.527006e-07,4.903240e-07,5.766852e-07,8.445814e-07,1.123545e-06,1.340374e-06,1.939813e-06,1.998788e-06,2.829314e-06,3.054053e-06,3.828529e-06,4.458338e-06,4.987080e-06,6.130476e-06,6.294992e-06,7.742621e-06,8.048051e-06,9.320027e-06,1.018802e-05,1.101639e-05,1.252459e-05,1.281980e-05,1.471729e-05,1.502871e-05,1.669511e-05,1.766884e-05,1.873908e-05,2.041226e-05,2.083490e-05,2.296856e-05,2.322649e-05,2.512660e-05,2.608058e-05,2.729639e-05,2.894606e-05,2.946624e-05,3.162560e-05,3.179761e-05,3.376505e-05,3.461337e-05,3.587635e-05,3.737502e-05,3.795239e-05,3.998714e-05,4.006760e-05,4.197561e-05,4.267932e-05,4.391371e-05,4.520116e-05,4.579818e-05,4.762650e-05,4.939678e-05,4.995079e-05,5.110775e-05,5.217124e-05,5.275857e-05,5.428642e-05,5.434887e-05,5.587859e-05,5.629608e-05,5.734799e-05,5.820088e-05,5.875758e-05,6.000220e-05,6.010808e-05,6.140036e-05,6.170195e-05,6.263543e-05,6.330251e-05,6.381444e-05,6.480655e-05,6.493860e-05,6.600919e-05,6.621700e-05,6.702754e-05,6.753690e-05,6.799503e-05,6.876942e-05,6.891303e-05,6.978297e-05,6.991779e-05,7.060624e-05,7.098526e-05,7.138428e-05,7.197508e-05,7.211848e-05,7.281025e-05,7.289048e-05,7.346097e-05,7.373463e-05,7.407200e-05,7.451068e-05,7.464470e-05,7.518038e-05,7.522167e-05,7.568033e-05,7.587060e-05,7.614585e-05,7.646039e-05,7.657816e-05,7.697849e-05,7.699386e-05,7.734803e-05,7.747375e-05,7.768794e-05,7.790273e-05,7.799934e-05,7.828336e-05,7.854104e-05,7.861812e-05,7.877345e-05,7.890940e-05,7.898160e-05,7.915951e-05,7.916647e-05,7.932902e-05,7.937066e-05,7.947017e-05,7.954498e-05,7.959084e-05,7.968451e-05,7.969189e-05,7.977417e-05,7.979122e-05,7.983850e-05,7.986699e-05,7.988568e-05,7.991362e-05,7.991647e-05,7.993162e-05,7.993283e-05,7.993184e-05,7.992629e-05,7.991783e-05,7.989556e-05,7.989027e-05,7.984979e-05,7.984216e-05,7.979703e-05,7.976752e-05,7.973260e-05,7.967303e-05,7.965707e-05,7.957100e-05,7.955999e-05,7.947495e-05,7.942966e-05,7.936943e-05,7.928321e-05,7.925495e-05,7.913199e-05,7.912180e-05,7.900102e-05,7.894650e-05,7.886250e-05,7.875833e-05,7.871686e-05,7.856450e-05,7.855827e-05,7.840584e-05,7.834726e-05,7.824127e-05,7.812616e-05,7.807114e-05,7.789582e-05,7.765704e-05,7.741055e-05,7.715708e-05,7.689729e-05,7.663184e-05,7.636131e-05,7.608629e-05,7.580732e-05,7.552489e-05,7.523949e-05,7.495158e-05,7.466158e-05,7.436989e-05,7.407689e-05,7.378294e-05,7.348836e-05,7.319348e-05,7.289858e-05,7.260393e-05,7.230981e-05,7.201643e-05,7.172403e-05,7.143282e-05,7.114299e-05
0.000000e+00,2.470290e-12,1.364310e-11,1.552051e-10,7.097340e-10,1.383330e-09,5.457444e-09,5.723779e-09,1.588931e-08,2.017377e-08,3.477370e-08,5.148389e-08,6.524273e-08,1.059107e-07,1.100907e-07,1.718560e-07,1.894165e-07,2.522771e-07,3.056603e-07,3.517239e-07,4.542192e-07,4.692163e-07,6.029813e-07,6.315112e-07,7.510255e-07,8.330074e-07,9.114237e-07,1.054381e-06,1.082369e-06,1.262122e-06,1.291585e-06,1.448952e-06,1.540629e-06,1.641102e-06,1.797458e-06,1.836795e-06,2.034255e-06,2.057985e-06,2.231742e-06,2.318212e-06,2.427593e-06,2.574387e-06,2.620259e-06,2.808338e-06,2.823148e-06,2.990598e-06,3.061631e-06,3.165992e-06,3.287539e-06,3.333669e-06,3.492967e-06,3.499157e-06,3.643408e-06,3.695335e-06,3.784688e-06,3.875444e-06,3.916659e-06,4.039307e-06,4.152738e-06,4.187120e-06,4.257155e-06,4.319377e-06,4.352837e-06,4.436793e-06,4.440129e-06,4.519415e-06,4.540237e-06,4.591114e-06,4.630673e-06,4.655662e-06,4.709111e-06,4.713501e-06,4.765076e-06,4.776570e-06,4.810821e-06,4.834050e-06,4.851160e-06,4.882509e-06,4.886499e-06,4.917227e-06,4.922851e-06,4.943708e-06,4.955916e-06,4.966288e-06,4.982476e-06,4.985288e-06,5.001006e-06,5.003235e-06,5.013719e-06,5.018830e-06,5.023683e-06,5.029834e-06,5.031134e-06,5.036287e-06,5.036760e-06,5.039341e-06,5.040067e-06,5.040477e-06,5.040161e-06,5.039862e-06,5.037648e-06,5.037406e-06,5.033972e-06,5.032122e-06,5.028963e-06,5.024595e-06,5.022734e-06,5.015393e-06,5.015078e-06,5.007036e-06,5.003795e-06,4.997750e-06,4.990947e-06,4.987617e-06,4.976711e-06,4.965100e-06,4.961245e-06,4.952845e-06,4.944691e-06,4.940004e-06,4.927174e-06,4.926629e-06,4.912770e-06,4.908808e-06,4.898469e-06,4.889695e-06,4.883769e-06,4.869925e-06,4.868708e-06,4.853320e-06,4.849583e-06,4.837639e-06,4.828741e-06,4.821695e-06,4.807468e-06,4.805515e-06,4.789126e-06,4.785825e-06,4.772551e-06,4.763867e-06,4.755814e-06,4.741644e-06,4.738934e-06,4.721933e-06,4.719203e-06,4.704828e-06,4.696585e-06,4.687635e-06,4.673830e-06,4.670372e-06,4.653053e-06,4.650971e-06,4.635691e-06,4.628041e-06,4.618299e-06,4.605070e-06,4.600891e-06,4.583477e-06,4.582084e-06,4.566067e-06,4.559107e-06,4.548672e-06,4.536162e-06,4.531301e-06,4.513963e-06,4.513271e-06,4.496666e-06,4.490451e-06,4.479418e-06,4.467720e-06,4.462225e-06,4.445094e-06,4.422587e-06,4.400214e-06,4.377984e-06,4.355910e-06,4.334002e-06,4.312268e-06,4.290717e-06,4.269356e-06,4.248192e-06,4.227230e-06,4.206477e-06,4.185937e-06,4.165613e-06,4.145511e-06,4.125632e-06,4.105980e-06,4.086556e-06,4.067364e-06,4.048404e-06,4.029678e-06,4.011187e-06,3.992931e-06,3.974911e-06,3.957127e-06
0.000000e+00,1.106735e-09,2.615686e-09,9.311926e-09,2.156269e-08,3.168962e-08,7.303361e-08,7.527605e-08,1.476070e-07,1.741462e-07,2.572458e-07,3.449301e-07,4.138285e-07,6.072443e-07,6.264752e-07,8.999996e-07,9.746156e-07,1.232514e-06,1.442280e-06,1.617969e-06,1.995784e-06,2.049872e-06,2.522685e-06,2.621732e-06,3.031693e-06,3.309245e-06,3.572588e-06,4.048505e-06,4.141163e-06,4.733182e-06,4.829795e-06,5.344350e-06,5.643245e-06,5.970356e-06,6.478983e-06,6.606948e-06,7.250013e-06,7.327428e-06,7.895652e-06,8.179604e-06,8.540245e-06,9.027395e-06,9.180495e-06,9.813455e-06,9.863697e-06,1.043654e-05,1.068250e-05,1.104754e-05,1.147890e-05,1.164457e-05,1.222609e-05,1.224901e-05,1.279087e-05,1.298990e-05,1.333794e-05,1.369947e-05,1.386660e-05,1.437634e-05,1.486685e-05,1.501973e-05,1.533799e-05,1.562934e-05,1.578974e-05,1.620529e-05,1.622222e-05,1.663561e-05,1.674798e-05,1.703021e-05,1.725808e-05,1.740635e-05,1.773643e-05,1.776442e-05,1.810486e-05,1.818399e-05,1.842813e-05,1.860184e-05,1.873471e-05,1.899109e-05,1.902509e-05,1.929980e-05,1.935290e-05,1.955934e-05,1.968848e-05,1.980423e-05,1.999898e-05,2.003497e-05,2.025209e-05,2.028560e-05,2.045608e-05,2.054948e-05,2.064744e-05,2.079176e-05,2.082666e-05,2.099420e-05,2.101354e-05,2.115053e-05,2.121588e-05,2.129611e-05,2.139983e-05,2.143137e-05,2.155675e-05,2.156636e-05,2.167265e-05,2.171645e-05,2.177949e-05,2.185101e-05,2.187764e-05,2.196750e-05,2.197092e-05,2.204941e-05,2.207702e-05,2.212373e-05,2.217012e-05,2.219081e-05,2.225098e-05,2.230454e-05,2.232033e-05,2.235180e-05,2.237889e-05,2.239307e-05,2.242730e-05,2.242862e-05,2.245872e-05,2.246621e-05,2.248364e-05,2.249621e-05,2.250363e-05,2.251788e-05,2.251894e-05,2.252979e-05,2.253176e-05,2.253642e-05,2.253836e-05,2.253903e-05,2.253818e-05,2.253784e-05,2.253304e-05,2.253166e-05,2.252482e-05,2.251926e-05,2.251338e-05,2.250139e-05,2.249887e-05,2.248148e-05,2.247844e-05,2.246136e-05,2.245079e-05,2.243868e-05,2.241877e-05,2.241356e-05,2.238617e-05,2.238274e-05,2.235663e-05,2.234299e-05,2.232508e-05,2.229983e-05,2.229164e-05,2.225643e-05,2.225354e-05,2.221956e-05,2.220437e-05,2.218115e-05,2.215259e-05,2.214129e-05,2.210009e-05,2.209842e-05,2.205765e-05,2.204208e-05,2.201405e-05,2.198378e-05,2.196938e-05,2.192373e-05,2.186209e-05,2.179905e-05,2.173476e-05,2.166938e-05,2.160306e-05,2.153592e-05,2.146810e-05,2.139970e-05,2.133085e-05,2.126164e-05,2.119217e-05,2.112253e-05,2.105280e-05,2.098307e-05,2.091340e-05,2.084386e-05,2.077452e-05,2.070544e-05,2.063666e-05,2.056824e-05,2.050022e-05,2.043265e-05,2.036556e-05,2.029900e-05
0.000000e+00,1.468383e-09,4.860927e-09,2.497704e-08,6.883072e-08,1.080617e-07,2.813576e-07,2.911634e-07,6.219069e-07,7.488769e-07,1.161351e-06,1.616860e-06,1.986908e-06,3.071364e-06,3.182274e-06,4.803791e-06,5.257015e-06,6.844318e-06,8.148102e-06,9.242440e-06,1.158956e-05,1.192415e-05,1.482817e-05,1.543141e-05,1.790888e-05,1.956884e-05,2.113150e-05,2.392720e-05,2.446753e-05,2.789192e-05,2.844646e-05,3.138166e-05,3.307357e-05,3.491521e-05,3.776002e-05,3.847244e-05,4.203457e-05,4.246152e-05,4.558449e-05,4.713856e-05,4.910681e-05,5.175688e-05,5.258793e-05,5.601607e-05,5.628772e-05,5.938124e-05,6.070777e-05,6.267515e-05,6.499867e-05,6.589084e-05,6.902282e-05,6.914629e-05,7.206688e-05,7.314058e-05,7.501991e-05,7.697483e-05,7.787973e-05,8.064497e-05,8.331496e-05,8.414921e-05,8.588960e-05,8.748748e-05,8.836925e-05,9.066104e-05,9.075466e-05,9.304693e-05,9.367225e-05,9.524739e-05,9.652424e-05,9.735761e-05,9.922077e-05,9.937929e-05,1.013143e-04,1.017660e-04,1.031645e-04,1.041644e-04,1.049321e-04,1.064207e-04,1.066190e-04,1.082274e-04,1.085398e-04,1.097593e-04,1.105265e-04,1.112170e-04,1.123856e-04,1.126026e-04,1.139181e-04,1.141223e-04,1.151658e-04,1.157412e-04,1.163477e-04,1.172472e-04,1.174658e-04,1.185222e-04,1.186450e-04,1.195190e-04,1.199391e-04,1.204579e-04,1.211341e-04,1.213411e-04,1.221704e-04,1.222344e-04,1.229475e-04,1.232442e-04,1.236744e-04,1.241677e-04,1.243528e-04,1.249844e-04,1.250087e-04,1.255709e-04,1.257714e-04,1.261140e-04,1.264592e-04,1.266151e-04,1.270760e-04,1.274980e-04,1.276251e-04,1.278827e-04,1.281099e-04,1.282314e-04,1.285337e-04,1.285456e-04,1.288267e-04,1.288996e-04,1.290758e-04,1.292105e-04,1.292943e-04,1.294694e-04,1.294835e-04,1.296444e-04,1.296790e-04,1.297783e-04,1.298419e-04,1.298863e-04,1.299607e-04,1.299694e-04,1.300287e-04,1.300379e-04,1.300653e-04,1.300756e-04,1.300801e-04,1.300763e-04,1.300740e-04,1.300480e-04,1.300420e-04,1.300029e-04,1.299748e-04,1.299397e-04,1.298766e-04,1.298592e-04,1.297620e-04,1.297493e-04,1.296492e-04,1.295947e-04,1.295213e-04,1.294144e-04,1.293790e-04,1.292232e-04,1.292102e-04,1.290545e-04,1.289835e-04,1.288735e-04,1.287359e-04,1.286808e-04,1.284771e-04,1.284687e-04,1.282629e-04,1.281833e-04,1.280388e-04,1.278810e-04,1.278053e-04,1.275630e-04,1.272304e-04,1.268844e-04,1.265261e-04,1.261563e-04,1.257761e-04,1.253864e-04,1.249880e-04,1.245817e-04,1.241684e-04,1.237487e-04,1.233233e-04,1.228929e-04,1.224581e-04,1.220195e-04,1.215777e-04,1.211331e-04,1.206863e-04,1.202378e-04,1.197880e-04,1.193373e-04,1.188860e-04,1.184347e-04,1.179836e-04,1.175330e-04
0.000000e+00,2.892307e-09,6.730546e-09,2.344468e-08,5.343898e-08,7.789315e-08,1.756628e-07,1.808897e-07,3.463081e-07,4.056930e-07,5.880521e-07,7.757286e-07,9.205813e-07,1.319204e-06,1.358419e-06,1.913355e-06,2.064639e-06,2.589430e-06,3.018905e-06,3.380188e-06,4.160160e-06,4.272001e-06,5.249624e-06,5.454189e-06,6.299158e-06,6.869257e-06,7.408493e-06,8.378596e-06,8.566791e-06,9.763924e-06,9.958413e-06,1.099012e-05,1.158620e-05,1.223580e-05,1.324005e-05,1.349157e-05,1.474830e-05,1.489875e-05,1.599722e-05,1.654213e-05,1.723011e-05,1.815166e-05,1.843934e-05,1.961803e-05,1.971082e-05,2.076014e-05,2.120555e-05,2.186049e-05,2.262442e-05,2.291476e-05,2.391949e-05,2.395861e-05,2.487208e-05,2.520188e-05,2.577072e-05,2.635039e-05,2.661430e-05,2.740239e-05,2.813513e-05,2.835800e-05,2.881314e-05,2.921882e-05,2.943748e-05,2.998767e-05,3.000957e-05,3.053107e-05,3.066829e-05,3.100391e-05,3.126509e-05,3.143013e-05,3.178296e-05,3.181192e-05,3.215152e-05,3.222700e-05,3.245122e-05,3.260248e-05,3.271332e-05,3.291465e-05,3.294007e-05,3.313370e-05,3.316864e-05,3.329635e-05,3.336937e-05,3.343010e-05,3.352158e-05,3.353695e-05,3.361883e-05,3.362973e-05,3.367755e-05,3.369802e-05,3.371484e-05,3.373034e-05,3.373233e-05,3.373158e-05,3.373033e-05,3.371402e-05,3.370132e-05,3.368101e-05,3.364639e-05,3.363384e-05,3.357370e-05,3.356836e-05,3.350168e-05,3.346979e-05,3.341884e-05,3.335303e-05,3.332613e-05,3.322446e-05,3.322022e-05,3.311465e-05,3.307328e-05,3.299748e-05,3.291397e-05,3.287367e-05,3.274389e-05,3.260875e-05,3.256447e-05,3.246883e-05,3.237702e-05,3.232466e-05,3.218270e-05,3.217671e-05,3.202546e-05,3.198257e-05,3.187131e-05,3.177760e-05,3.171466e-05,3.156863e-05,3.155585e-05,3.139523e-05,3.135644e-05,3.123309e-05,3.114173e-05,3.106971e-05,3.092513e-05,3.090536e-05,3.074027e-05,3.070719e-05,3.057467e-05,3.048842e-05,3.040875e-05,3.026927e-05,3.024270e-05,3.007669e-05,3.005014e-05,2.991088e-05,2.983140e-05,2.974541e-05,2.961337e-05,2.958042e-05,2.941602e-05,2.939634e-05,2.925233e-05,2.918056e-05,2.908945e-05,2.896626e-05,2.892747e-05,2.876647e-05,2.875364e-05,2.860654e-05,2.854288e-05,2.844773e-05,2.833413e-05,2.829012e-05,2.813376e-05,2.812753e-05,2.797870e-05,2.792321e-05,2.782499e-05,2.772126e-05,2.767267e-05,2.752177e-05,2.732482e-05,2.713047e-05,2.693878e-05,2.674979e-05,2.656353e-05,2.638003e-05,2.619932e-05,2.602140e-05,2.584628e-05,2.567397e-05,2.550446e-05,2.533775e-05,2.517382e-05,2.501267e-05,2.485427e-05,2.469860e-05,2.454565e-05,2.439539e-05,2.424778e-05,2.410281e-05,2.396045e-05,2.382066e-05,2.368341e-05,2.354866e-05
0.000000e+00,9.034870e-09,2.071903e-08,7.143668e-08,1.630659e-07,2.385190e-07,5.467558e-07,5.635188e-07,1.107786e-06,1.309292e-06,1.946121e-06,2.626363e-06,3.165531e-06,4.692785e-06,4.845274e-06,7.014997e-06,7.605193e-06,9.632802e-06,1.126458e-05,1.261794e-05,1.548641e-05,1.589245e-05,1.939520e-05,2.011881e-05,2.307915e-05,2.505348e-05,2.690604e-05,3.020670e-05,3.084266e-05,3.485889e-05,3.550699e-05,3.892691e-05,4.089034e-05,4.302104e-05,4.629927e-05,4.711777e-05,5.119586e-05,5.168306e-05,5.523651e-05,5.699821e-05,5.922330e-05,6.220854e-05,6.314223e-05,6.698152e-05,6.728492e-05,7.073152e-05,7.220472e-05,7.438447e-05,7.695105e-05,7.793433e-05,8.137656e-05,8.151196e-05,8.470792e-05,8.587963e-05,8.792627e-05,9.004956e-05,9.103043e-05,9.401998e-05,9.689519e-05,9.779122e-05,9.965686e-05,1.013653e-04,1.023062e-04,1.047455e-04,1.048450e-04,1.072749e-04,1.079361e-04,1.095982e-04,1.109419e-04,1.118171e-04,1.137684e-04,1.139341e-04,1.159518e-04,1.164215e-04,1.178727e-04,1.189071e-04,1.196995e-04,1.212315e-04,1.214350e-04,1.230819e-04,1.234008e-04,1.246427e-04,1.254213e-04,1.261203e-04,1.272991e-04,1.275173e-04,1.288363e-04,1.290403e-04,1.300799e-04,1.306509e-04,1.312508e-04,1.321367e-04,1.323513e-04,1.333841e-04,1.335036e-04,1.343514e-04,1.347569e-04,1.352557e-04,1.359023e-04,1.360994e-04,1.368845e-04,1.369449e-04,1.376134e-04,1.378897e-04,1.382882e-04,1.387418e-04,1.389110e-04,1.394838e-04,1.395057e-04,1.400086e-04,1.401861e-04,1.404873e-04,1.407874e-04,1.409217e-04,1.413138e-04,1.416651e-04,1.417692e-04,1.419775e-04,1.421577e-04,1.422525e-04,1.424829e-04,1.424918e-04,1.426969e-04,1.427484e-04,1.428693e-04,1.429577e-04,1.430104e-04,1.431139e-04,1.431217e-04,1.432044e-04,1.432202e-04,1.432599e-04,1.432796e-04,1.432895e-04,1.432949e-04,1.432943e-04,1.432755e-04,1.432690e-04,1.432342e-04,1.432042e-04,1.431716e-04,1.431032e-04,1.430886e-04,1.429864e-04,1.429683e-04,1.428659e-04,1.428018e-04,1.427279e-04,1.426056e-04,1.425735e-04,1.424034e-04,1.423820e-04,1.422186e-04,1.421328e-04,1.420198e-04,1.418599e-04,1.418079e-04,1.415835e-04,1.415650e-04,1.413473e-04,1.412497e-04,1.411001e-04,1.409157e-04,1.408426e-04,1.405753e-04,1.405644e-04,1.402989e-04,1.401973e-04,1.400139e-04,1.398156e-04,1.397210e-04,1.394207e-04,1.390137e-04,1.385958e-04,1.381680e-04,1.377315e-04,1.372870e-04,1.368356e-04,1.363781e-04,1.359153e-04,1.354480e-04,1.349768e-04,1.345025e-04,1.340256e-04,1.335468e-04,1.330667e-04,1.325857e-04,1.321044e-04,1.316232e-04,1.311425e-04,1.306628e-04,1.301844e-04,1.297076e-04,1.292329e-04,1.287604e-04,1.282906e-04
0.000000e+00,1.619020e-10,6.282706e-10,3.957451e-09,1.205707e-08,1.960503e-08,5.365133e-08,5.558042e-08,1.196991e-07,1.437081e-07,2.193431e-07,2.991544e-07,3.616353e-07,5.361034e-07,5.534209e-07,8.009817e-07,8.693000e-07,1.109432e-06,1.310005e-06,1.481790e-06,1.862252e-06,1.917836e-06,2.413125e-06,2.518584e-06,2.958823e-06,3.258570e-06,3.542852e-06,4.053383e-06,4.152009e-06,4.773982e-06,4.873966e-06,5.398456e-06,5.696629e-06,6.017311e-06,6.504137e-06,6.624360e-06,7.214954e-06,7.284546e-06,7.785644e-06,8.029766e-06,8.333916e-06,8.734501e-06,8.858006e-06,9.356758e-06,9.395541e-06,9.829515e-06,1.001127e-05,1.027603e-05,1.058131e-05,1.069639e-05,1.109094e-05,1.110619e-05,1.146024e-05,1.158715e-05,1.180502e-05,1.202588e-05,1.212611e-05,1.242442e-05,1.270095e-05,1.278499e-05,1.295668e-05,1.310990e-05,1.319263e-05,1.340148e-05,1.340982e-05,1.360925e-05,1.366204e-05,1.379188e-05,1.389380e-05,1.395867e-05,1.409891e-05,1.411053e-05,1.424832e-05,1.427940e-05,1.437289e-05,1.443718e-05,1.448504e-05,1.457405e-05,1.458552e-05,1.467505e-05,1.469170e-05,1.475432e-05,1.479170e-05,1.482397e-05,1.487548e-05,1.488460e-05,1.493681e-05,1.494441e-05,1.498112e-05,1.499973e-05,1.501804e-05,1.504259e-05,1.504807e-05,1.507164e-05,1.507406e-05,1.508919e-05,1.509511e-05,1.510111e-05,1.510665e-05,1.510779e-05,1.510957e-05,1.510951e-05,1.510679e-05,1.510447e-05,1.509975e-05,1.509222e-05,1.508876e-05,1.507408e-05,1.507342e-05,1.505598e-05,1.504867e-05,1.503469e-05,1.501852e-05,1.501046e-05,1.498348e-05,1.495396e-05,1.494401e-05,1.492210e-05,1.490055e-05,1.488806e-05,1.485350e-05,1.485202e-05,1.481413e-05,1.480321e-05,1.477453e-05,1.475002e-05,1.473338e-05,1.469424e-05,1.469078e-05,1.464688e-05,1.463616e-05,1.460178e-05,1.457604e-05,1.455559e-05,1.451412e-05,1.450840e-05,1.446033e-05,1.445061e-05,1.441144e-05,1.438573e-05,1.436184e-05,1.431967e-05,1.431159e-05,1.426077e-05,1.425259e-05,1.420944e-05,1.418465e-05,1.415768e-05,1.411600e-05,1.410554e-05,1.405309e-05,1.404677e-05,1.400036e-05,1.397709e-05,1.394742e-05,1.390708e-05,1.389432e-05,1.384108e-05,1.383682e-05,1.378777e-05,1.376643e-05,1.373441e-05,1.369598e-05,1.368104e-05,1.362770e-05,1.362556e-05,1.357441e-05,1.355525e-05,1.352121e-05,1.348510e-05,1.346813e-05,1.341518e-05,1.334555e-05,1.327626e-05,1.320736e-05,1.313888e-05,1.307087e-05,1.300337e-05,1.293639e-05,1.286998e-05,1.280416e-05,1.273895e-05,1.267437e-05,1.261044e-05,1.254718e-05,1.248461e-05,1.242272e-05,1.236155e-05,1.230108e-05,1.224134e-05,1.218233e-05,1.212405e-05,1.206651e-05,1.200971e-05,1.195365e-05,1.189834e-05
0.000000e+00,5.638548e-10,1.662638e-09,7.448755e-09,1.910723e-08,2.911378e-08,7.106182e-08,7.335792e-08,1.475055e-07,1.746001e-07,2.587168e-07,3.462445e-07,4.142494e-07,6.028805e-07,6.215442e-07,8.878550e-07,9.612534e-07,1.218961e-06,1.433672e-06,1.616939e-06,2.020037e-06,2.078572e-06,2.596399e-06,2.705918e-06,3.161462e-06,3.471106e-06,3.765283e-06,4.296975e-06,4.400424e-06,5.060338e-06,5.167819e-06,5.739073e-06,6.069907e-06,6.431069e-06,6.990663e-06,7.131056e-06,7.834027e-06,7.918356e-06,8.535262e-06,8.842110e-06,9.230368e-06,9.752059e-06,9.915322e-06,1.058651e-05,1.063952e-05,1.124077e-05,1.149710e-05,1.187535e-05,1.231878e-05,1.248800e-05,1.307685e-05,1.309989e-05,1.364051e-05,1.383704e-05,1.417791e-05,1.452798e-05,1.468837e-05,1.517152e-05,1.562726e-05,1.576732e-05,1.605572e-05,1.631578e-05,1.645726e-05,1.681787e-05,1.683237e-05,1.718172e-05,1.727502e-05,1.750606e-05,1.768900e-05,1.780623e-05,1.806182e-05,1.808313e-05,1.833773e-05,1.839562e-05,1.857099e-05,1.869267e-05,1.878391e-05,1.895523e-05,1.897747e-05,1.915268e-05,1.918560e-05,1.931049e-05,1.938599e-05,1.945186e-05,1.955858e-05,1.957771e-05,1.968894e-05,1.970544e-05,1.978642e-05,1.982857e-05,1.987098e-05,1.992985e-05,1.994341e-05,2.000448e-05,2.001108e-05,2.005491e-05,2.007391e-05,2.009540e-05,2.011992e-05,2.012660e-05,2.014914e-05,2.015059e-05,2.016361e-05,2.016726e-05,2.017056e-05,2.017122e-05,2.017054e-05,2.016403e-05,2.016364e-05,2.015150e-05,2.014561e-05,2.013341e-05,2.011814e-05,2.011017e-05,2.008217e-05,2.004979e-05,2.003856e-05,2.001337e-05,1.998809e-05,1.997323e-05,1.993151e-05,1.992970e-05,1.988306e-05,1.986948e-05,1.983357e-05,1.980262e-05,1.978150e-05,1.973151e-05,1.972707e-05,1.967052e-05,1.965666e-05,1.961206e-05,1.957856e-05,1.955188e-05,1.949764e-05,1.949015e-05,1.942707e-05,1.941430e-05,1.936278e-05,1.932892e-05,1.929743e-05,1.924183e-05,1.923118e-05,1.916414e-05,1.915334e-05,1.909643e-05,1.906374e-05,1.902819e-05,1.897326e-05,1.895950e-05,1.889046e-05,1.888216e-05,1.882118e-05,1.879064e-05,1.875174e-05,1.869890e-05,1.868220e-05,1.861266e-05,1.860710e-05,1.854318e-05,1.851542e-05,1.847382e-05,1.842399e-05,1.840464e-05,1.833569e-05,1.833294e-05,1.826703e-05,1.824239e-05,1.819870e-05,1.815245e-05,1.813075e-05,1.806321e-05,1.797475e-05,1.788715e-05,1.780048e-05,1.771479e-05,1.763014e-05,1.754657e-05,1.746412e-05,1.738282e-05,1.730271e-05,1.722380e-05,1.714613e-05,1.706970e-05,1.699452e-05,1.692061e-05,1.684797e-05,1.677661e-05,1.670653e-05,1.663772e-05,1.657019e-05,1.650393e-05,1.643893e-05,1.637519e-05,1.631269e-05,1.625143e-05
0.000000e+00,2.289910e-09,5.539049e-09,2.009606e-08,4.674770e-08,6.873733e-08,1.582723e-07,1.631235e-07,3.196932e-07,3.772618e-07,5.581239e-07,7.499390e-07,9.012205e-07,1.327083e-06,1.369420e-06,1.968536e-06,2.130418e-06,2.682736e-06,3.122658e-06,3.484290e-06,4.240959e-06,4.346997e-06,5.250991e-06,5.435398e-06,6.181785e-06,6.672617e-06,7.128281e-06,7.928713e-06,8.081288e-06,9.032739e-06,9.184329e-06,9.975322e-06,1.042263e-05,1.090238e-05,1.162880e-05,1.180792e-05,1.268670e-05,1.279014e-05,1.353428e-05,1.389637e-05,1.434703e-05,1.493967e-05,1.512214e-05,1.585767e-05,1.591476e-05,1.655240e-05,1.681872e-05,1.720579e-05,1.765065e-05,1.781791e-05,1.838929e-05,1.841131e-05,1.892093e-05,1.910284e-05,1.941415e-05,1.972829e-05,1.987036e-05,2.029127e-05,2.067867e-05,2.079587e-05,2.103442e-05,2.124637e-05,2.136042e-05,2.164712e-05,2.165853e-05,2.193058e-05,2.200233e-05,2.217834e-05,2.231605e-05,2.240352e-05,2.259211e-05,2.260771e-05,2.279246e-05,2.283406e-05,2.295918e-05,2.304518e-05,2.310923e-05,2.322848e-05,2.324386e-05,2.336423e-05,2.338669e-05,2.347142e-05,2.352228e-05,2.356643e-05,2.363751e-05,2.365019e-05,2.372354e-05,2.373436e-05,2.378727e-05,2.381466e-05,2.384211e-05,2.388003e-05,2.388872e-05,2.392772e-05,2.393192e-05,2.395968e-05,2.397165e-05,2.398512e-05,2.400038e-05,2.400451e-05,2.401830e-05,2.401917e-05,2.402690e-05,2.402897e-05,2.403068e-05,2.403062e-05,2.402999e-05,2.402516e-05,2.402489e-05,2.401648e-05,2.401247e-05,2.400423e-05,2.399399e-05,2.398866e-05,2.397001e-05,2.394849e-05,2.394104e-05,2.392432e-05,2.390754e-05,2.389768e-05,2.386995e-05,2.386875e-05,2.383769e-05,2.382863e-05,2.380466e-05,2.378395e-05,2.376980e-05,2.373622e-05,2.373324e-05,2.369511e-05,2.368574e-05,2.365553e-05,2.363277e-05,2.361460e-05,2.357756e-05,2.357243e-05,2.352912e-05,2.352033e-05,2.348476e-05,2.346130e-05,2.343943e-05,2.340066e-05,2.339321e-05,2.334617e-05,2.333858e-05,2.329840e-05,2.327523e-05,2.324995e-05,2.321075e-05,2.320089e-05,2.315128e-05,2.314529e-05,2.310117e-05,2.307898e-05,2.305062e-05,2.301193e-05,2.299967e-05,2.294838e-05,2.294426e-05,2.289678e-05,2.287607e-05,2.284493e-05,2.280746e-05,2.279286e-05,2.274060e-05,2.273851e-05,2.268820e-05,2.266931e-05,2.263568e-05,2.259993e-05,2.258309e-05,2.253044e-05,2.246092e-05,2.239141e-05,2.232199e-05,2.225270e-05,2.218359e-05,2.211470e-05,2.204609e-05,2.197778e-05,2.190982e-05,2.184223e-05,2.177506e-05,2.170832e-05,2.164205e-05,2.157626e-05,2.151098e-05,2.144624e-05,2.138205e-05,2.131842e-05,2.125537e-05,2.119292e-05,2.113108e-05,2.106987e-05,2.100928e-05,2.094933e-05
0.000000e+00,1.779938e-13,1.204310e-12,2.065465e-11,1.355303e-10,3.203100e-10,2.040508e-09,2.180944e-09,9.466480e-09,1.350628e-08,3.093006e-08,5.707847e-08,8.312829e-08,1.818778e-07,1.937730e-07,4.053383e-07,4.774562e-07,7.786622e-07,1.088125e-06,1.396111e-06,2.225041e-06,2.363737e-06,3.811946e-06,4.172401e-06,5.894491e-06,7.285316e-06,8.785910e-06,1.197950e-05,1.267769e-05,1.777354e-05,1.871463e-05,2.428402e-05,2.797387e-05,3.242109e-05,4.024175e-05,4.239246e-05,5.439634e-05,5.598229e-05,6.861645e-05,7.561865e-05,8.521765e-05,9.951546e-05,1.043422e-04,1.261065e-04,1.279645e-04,1.505991e-04,1.611743e-04,1.778789e-04,1.992634e-04,2.079743e-04,2.408830e-04,2.422575e-04,2.765728e-04,2.900910e-04,3.149824e-04,3.426105e-04,3.560235e-04,3.995823e-04,4.455222e-04,4.607009e-04,4.936868e-04,5.256000e-04,5.439021e-04,5.938637e-04,5.959801e-04,6.497212e-04,6.650386e-04,7.049177e-04,7.386455e-04,7.613561e-04,8.141906e-04,8.188204e-04,8.770940e-04,8.911762e-04,9.359626e-04,9.691102e-04,9.952157e-04,1.047514e-03,1.054649e-03,1.114065e-03,1.125930e-03,1.173277e-03,1.203927e-03,1.232106e-03,1.281104e-03,1.290386e-03,1.347960e-03,1.357096e-03,1.404685e-03,1.431573e-03,1.460431e-03,1.504243e-03,1.515079e-03,1.568522e-03,1.574850e-03,1.620666e-03,1.643177e-03,1.671431e-03,1.709044e-03,1.720744e-03,1.768547e-03,1.772304e-03,1.814791e-03,1.832844e-03,1.859439e-03,1.890579e-03,1.902460e-03,1.943834e-03,1.945455e-03,1.983551e-03,1.997442e-03,2.021604e-03,2.046532e-03,2.057998e-03,2.092740e-03,2.125845e-03,2.136096e-03,2.157334e-03,2.176649e-03,2.187229e-03,2.214457e-03,2.215560e-03,2.242359e-03,2.249592e-03,2.267658e-03,2.282135e-03,2.291497e-03,2.312172e-03,2.313914e-03,2.334951e-03,2.339799e-03,2.354649e-03,2.365111e-03,2.373051e-03,2.388209e-03,2.390203e-03,2.406148e-03,2.409197e-03,2.420931e-03,2.428174e-03,2.434597e-03,2.445246e-03,2.447190e-03,2.458754e-03,2.460512e-03,2.469333e-03,2.474073e-03,2.478969e-03,2.486027e-03,2.487704e-03,2.495580e-03,2.496469e-03,2.502637e-03,2.505492e-03,2.508913e-03,2.513185e-03,2.514447e-03,2.519276e-03,2.519632e-03,2.523434e-03,2.524918e-03,2.526958e-03,2.529121e-03,2.529880e-03,2.532232e-03,2.532314e-03,2.534045e-03,2.534571e-03,2.535349e-03,2.535959e-03,2.536172e-03,2.536542e-03,2.536381e-03,2.535533e-03,2.534052e-03,2.531989e-03,2.529391e-03,2.526304e-03,2.522770e-03,2.518827e-03,2.514512e-03,2.509860e-03,2.504903e-03,2.499671e-03,2.494191e-03,2.488490e-03,2.482591e-03,2.476518e-03,2.470291e-03,2.463929e-03,2.457451e-03,2.450872e-03,2.444210e-03,2.437477e-03,2.430687e-03,2.423852e-03
0.000000e+00,1.752363e-14,1.191787e-13,2.066639e-12,1.370459e-11,3.258548e-11,2.110617e-10,2.257482e-10,9.980109e-10,1.431550e-09,3.325331e-09,6.213278e-09,9.126845e-09,2.038492e-08,2.175843e-08,4.661787e-08,5.524014e-08,9.184793e-08,1.302468e-07,1.690820e-07,2.759596e-07,2.941199e-07,4.873915e-07,5.363691e-07,7.741019e-07,9.698323e-07,1.184022e-06,1.648200e-06,1.750956e-06,2.511963e-06,2.654341e-06,3.506403e-06,4.078557e-06,4.774893e-06,6.014442e-06,6.358236e-06,8.296373e-06,8.554626e-06,1.062740e-05,1.178675e-05,1.338669e-05,1.578992e-05,1.660609e-05,2.031332e-05,2.063169e-05,2.453140e-05,2.636587e-05,2.927830e-05,3.303083e-05,3.456668e-05,4.040374e-05,4.064867e-05,4.679120e-05,4.922489e-05,5.372544e-05,5.874873e-05,6.119761e-05,6.919391e-05,7.769594e-05,8.051981e-05,8.668106e-05,9.267298e-05,9.612280e-05,1.055888e-04,1.059913e-04,1.162540e-04,1.191934e-04,1.268755e-04,1.334053e-04,1.378188e-04,1.481378e-04,1.490454e-04,1.605155e-04,1.633002e-04,1.721890e-04,1.787999e-04,1.840254e-04,1.945442e-04,1.959844e-04,2.080262e-04,2.104411e-04,2.201119e-04,2.264011e-04,2.322034e-04,2.423381e-04,2.442643e-04,2.562594e-04,2.581703e-04,2.681555e-04,2.738212e-04,2.799211e-04,2.892196e-04,2.915265e-04,3.029444e-04,3.043007e-04,3.141492e-04,3.190058e-04,3.251177e-04,3.332827e-04,3.358288e-04,3.462635e-04,3.470858e-04,3.564048e-04,3.603758e-04,3.662380e-04,3.731198e-04,3.757502e-04,3.849305e-04,3.852907e-04,3.937699e-04,3.968672e-04,4.022612e-04,4.078335e-04,4.103988e-04,4.181789e-04,4.255990e-04,4.278973e-04,4.326582e-04,4.369867e-04,4.393567e-04,4.454494e-04,4.456961e-04,4.516790e-04,4.532908e-04,4.573092e-04,4.605198e-04,4.625912e-04,4.671477e-04,4.675304e-04,4.721332e-04,4.731885e-04,4.764063e-04,4.786579e-04,4.803571e-04,4.835737e-04,4.839937e-04,4.873245e-04,4.879547e-04,4.903582e-04,4.918212e-04,4.931038e-04,4.951943e-04,4.955706e-04,4.977683e-04,4.980956e-04,4.997064e-04,5.005473e-04,5.013945e-04,5.025718e-04,5.028426e-04,5.040604e-04,5.041915e-04,5.050576e-04,5.054290e-04,5.058439e-04,5.063064e-04,5.064289e-04,5.068220e-04,5.068455e-04,5.070327e-04,5.070679e-04,5.070699e-04,5.069944e-04,5.069427e-04,5.066599e-04,5.066455e-04,5.062301e-04,5.060410e-04,5.056615e-04,5.051998e-04,5.049623e-04,5.041404e-04,5.028804e-04,5.014366e-04,4.998252e-04,4.980614e-04,4.961598e-04,4.941342e-04,4.919977e-04,4.897625e-04,4.874402e-04,4.850416e-04,4.825770e-04,4.800558e-04,4.774869e-04,4.748786e-04,4.722387e-04,4.695741e-04,4.668917e-04,4.641974e-04,4.614969e-04,4.587954e-04,4.560977e-04,4.534080e-04,4.507304e-04,4.480684e-04
0.000000e+00,1.972186e-09,5.709676e-09,2.497437e-08,6.315843e-08,9.565488e-08,2.308673e-07,2.382473e-07,4.765418e-07,5.638071e-07,8.359099e-07,1.121186e-06,1.344327e-06,1.969086e-06,2.031277e-06,2.922679e-06,3.168834e-06,4.030346e-06,4.740995e-06,5.339904e-06,6.626292e-06,6.809228e-06,8.382769e-06,8.705233e-06,1.000871e-05,1.086109e-05,1.164690e-05,1.301119e-05,1.326865e-05,1.485378e-05,1.510298e-05,1.638787e-05,1.710289e-05,1.786037e-05,1.898875e-05,1.926354e-05,2.059174e-05,2.074588e-05,2.184113e-05,2.236524e-05,2.300937e-05,2.384232e-05,2.409549e-05,2.509960e-05,2.517642e-05,2.602282e-05,2.636989e-05,2.686715e-05,2.742762e-05,2.763512e-05,2.832978e-05,2.835609e-05,2.895462e-05,2.916317e-05,2.951331e-05,2.985740e-05,3.000970e-05,3.044768e-05,3.083116e-05,3.094300e-05,3.116398e-05,3.135212e-05,3.144986e-05,3.168346e-05,3.169237e-05,3.189491e-05,3.194491e-05,3.206073e-05,3.214385e-05,3.219284e-05,3.228708e-05,3.229411e-05,3.236718e-05,3.238080e-05,3.241452e-05,3.243065e-05,3.243841e-05,3.244174e-05,3.244099e-05,3.242420e-05,3.241868e-05,3.238985e-05,3.236560e-05,3.233960e-05,3.228621e-05,3.227496e-05,3.219735e-05,3.218382e-05,3.210805e-05,3.206139e-05,3.200824e-05,3.192155e-05,3.189900e-05,3.178132e-05,3.176668e-05,3.165611e-05,3.159885e-05,3.152420e-05,3.141994e-05,3.138635e-05,3.124326e-05,3.123161e-05,3.109557e-05,3.103534e-05,3.094386e-05,3.083243e-05,3.078866e-05,3.063046e-05,3.062407e-05,3.046971e-05,3.041130e-05,3.030682e-05,3.019502e-05,3.014216e-05,2.997607e-05,2.980887e-05,2.975518e-05,2.964085e-05,2.953299e-05,2.947225e-05,2.931008e-05,2.930332e-05,2.913428e-05,2.908695e-05,2.896532e-05,2.886406e-05,2.879662e-05,2.864180e-05,2.862836e-05,2.846067e-05,2.842053e-05,2.829370e-05,2.820056e-05,2.812757e-05,2.798216e-05,2.796239e-05,2.779826e-05,2.776556e-05,2.763527e-05,2.755099e-05,2.747351e-05,2.733863e-05,2.731304e-05,2.715394e-05,2.712862e-05,2.699627e-05,2.692111e-05,2.684008e-05,2.671622e-05,2.668541e-05,2.653231e-05,2.651404e-05,2.638081e-05,2.631466e-05,2.623094e-05,2.611816e-05,2.608274e-05,2.593623e-05,2.592458e-05,2.579142e-05,2.573397e-05,2.564833e-05,2.554638e-05,2.550698e-05,2.536737e-05,2.536182e-05,2.522952e-05,2.518032e-05,2.509343e-05,2.500189e-05,2.495910e-05,2.482653e-05,2.465424e-05,2.448501e-05,2.431884e-05,2.415570e-05,2.399558e-05,2.383845e-05,2.368429e-05,2.353307e-05,2.338476e-05,2.323933e-05,2.309673e-05,2.295694e-05,2.281992e-05,2.268563e-05,2.255403e-05,2.242508e-05,2.229873e-05,2.217495e-05,2.205369e-05,2.193492e-05,2.181858e-05,2.170465e-05,2.159306e-05,2.148379e-05
0.000000e+00,9.131069e-10,2.176303e-09,7.796981e-09,1.804692e-08,2.647148e-08,6.039677e-08,6.221587e-08,1.198193e-07,1.404675e-07,2.036265e-07,2.681412e-07,3.175696e-07,4.520463e-07,4.651677e-07,6.494458e-07,6.994054e-07,8.726895e-07,1.015206e-06,1.136026e-06,1.400687e-06,1.439110e-06,1.780292e-06,1.852892e-06,2.157116e-06,2.366211e-06,2.566721e-06,2.933854e-06,3.005998e-06,3.471630e-06,3.548345e-06,3.960112e-06,4.201630e-06,4.467788e-06,4.885231e-06,4.990910e-06,5.525708e-06,5.590490e-06,6.068460e-06,6.308858e-06,6.615568e-06,7.032169e-06,7.163610e-06,7.709402e-06,7.752879e-06,8.250026e-06,8.464232e-06,8.782863e-06,9.160373e-06,9.305600e-06,9.816242e-06,9.836392e-06,1.031310e-05,1.048832e-05,1.079478e-05,1.111306e-05,1.126016e-05,1.170838e-05,1.213882e-05,1.227273e-05,1.255106e-05,1.280522e-05,1.294486e-05,1.330550e-05,1.332016e-05,1.367701e-05,1.377365e-05,1.401561e-05,1.421012e-05,1.433623e-05,1.461563e-05,1.463924e-05,1.492506e-05,1.499115e-05,1.519417e-05,1.533776e-05,1.544709e-05,1.565669e-05,1.568436e-05,1.590655e-05,1.594923e-05,1.611424e-05,1.621670e-05,1.630801e-05,1.646045e-05,1.648844e-05,1.665612e-05,1.668181e-05,1.681162e-05,1.688210e-05,1.695550e-05,1.706260e-05,1.708830e-05,1.721056e-05,1.722455e-05,1.732281e-05,1.736915e-05,1.742553e-05,1.749754e-05,1.751923e-05,1.760436e-05,1.761081e-05,1.768137e-05,1.770999e-05,1.775069e-05,1.779607e-05,1.781274e-05,1.786790e-05,1.786997e-05,1.791657e-05,1.793257e-05,1.795910e-05,1.798468e-05,1.799583e-05,1.802709e-05,1.805320e-05,1.806051e-05,1.807445e-05,1.808563e-05,1.809112e-05,1.810308e-05,1.810350e-05,1.811183e-05,1.811347e-05,1.811636e-05,1.811735e-05,1.811732e-05,1.811524e-05,1.811493e-05,1.810940e-05,1.810763e-05,1.810093e-05,1.809497e-05,1.808970e-05,1.807769e-05,1.807591e-05,1.805971e-05,1.805619e-05,1.804127e-05,1.803084e-05,1.802073e-05,1.800198e-05,1.799826e-05,1.797397e-05,1.796992e-05,1.794800e-05,1.793498e-05,1.792048e-05,1.789743e-05,1.789152e-05,1.786123e-05,1.785752e-05,1.782972e-05,1.781549e-05,1.779708e-05,1.777158e-05,1.776341e-05,1.772879e-05,1.772599e-05,1.769332e-05,1.767890e-05,1.765706e-05,1.763051e-05,1.762009e-05,1.758249e-05,1.758098e-05,1.754432e-05,1.753045e-05,1.750565e-05,1.747909e-05,1.746652e-05,1.742701e-05,1.737433e-05,1.732118e-05,1.726766e-05,1.721387e-05,1.715989e-05,1.710580e-05,1.705169e-05,1.699763e-05,1.694367e-05,1.688987e-05,1.683630e-05,1.678300e-05,1.673001e-05,1.667738e-05,1.662515e-05,1.657334e-05,1.652200e-05,1.647114e-05,1.642079e-05,1.637099e-05,1.632173e-05,1.627305e-05,1.622496e-05,1.617747e-05
0.000000e+00,1.486457e-09,3.436150e-09,1.190683e-08,2.711508e-08,3.952930e-08,8.926149e-08,9.192347e-08,1.762479e-07,2.065352e-07,2.995031e-07,3.950342e-07,4.686180e-07,6.703061e-07,6.900799e-07,9.686207e-07,1.044160e-06,1.305009e-06,1.517211e-06,1.694904e-06,2.076171e-06,2.130591e-06,2.603732e-06,2.702169e-06,3.106727e-06,3.377824e-06,3.632859e-06,4.088236e-06,4.176060e-06,4.730736e-06,4.820197e-06,5.291696e-06,5.561768e-06,5.854155e-06,6.302266e-06,6.413769e-06,6.966672e-06,7.032405e-06,7.509503e-06,7.744405e-06,8.039413e-06,8.432040e-06,8.554053e-06,9.051552e-06,9.090566e-06,9.530476e-06,9.716600e-06,9.989786e-06,1.030794e-05,1.042879e-05,1.084710e-05,1.086339e-05,1.124456e-05,1.138255e-05,1.162125e-05,1.186566e-05,1.197742e-05,1.231342e-05,1.262975e-05,1.272691e-05,1.292696e-05,1.310742e-05,1.320567e-05,1.345644e-05,1.346654e-05,1.371026e-05,1.377553e-05,1.393753e-05,1.406628e-05,1.414904e-05,1.433031e-05,1.434549e-05,1.452759e-05,1.456923e-05,1.469600e-05,1.478457e-05,1.485138e-05,1.497785e-05,1.499438e-05,1.512561e-05,1.515050e-05,1.524567e-05,1.530389e-05,1.535515e-05,1.543932e-05,1.545458e-05,1.554450e-05,1.555804e-05,1.562541e-05,1.566119e-05,1.569780e-05,1.574989e-05,1.576213e-05,1.581884e-05,1.582515e-05,1.586834e-05,1.588794e-05,1.591104e-05,1.593917e-05,1.594731e-05,1.597753e-05,1.597969e-05,1.600202e-05,1.601029e-05,1.602112e-05,1.603171e-05,1.603514e-05,1.604437e-05,1.604464e-05,1.604908e-05,1.604973e-05,1.604956e-05,1.604759e-05,1.604604e-05,1.603877e-05,1.602797e-05,1.602381e-05,1.601386e-05,1.600319e-05,1.599664e-05,1.597737e-05,1.597651e-05,1.595364e-05,1.594677e-05,1.592821e-05,1.591180e-05,1.590039e-05,1.587282e-05,1.587034e-05,1.583819e-05,1.583018e-05,1.580409e-05,1.578419e-05,1.576817e-05,1.573516e-05,1.573056e-05,1.569138e-05,1.568337e-05,1.565074e-05,1.562907e-05,1.560875e-05,1.557250e-05,1.556550e-05,1.552110e-05,1.551389e-05,1.547563e-05,1.545345e-05,1.542918e-05,1.539137e-05,1.538183e-05,1.533366e-05,1.532783e-05,1.528475e-05,1.526300e-05,1.523515e-05,1.519704e-05,1.518494e-05,1.513418e-05,1.513009e-05,1.508292e-05,1.506229e-05,1.503122e-05,1.499376e-05,1.497914e-05,1.492672e-05,1.492462e-05,1.487401e-05,1.485497e-05,1.482105e-05,1.478492e-05,1.476789e-05,1.471456e-05,1.464398e-05,1.457326e-05,1.450247e-05,1.443168e-05,1.436095e-05,1.429034e-05,1.421991e-05,1.414970e-05,1.407976e-05,1.401014e-05,1.394087e-05,1.387200e-05,1.380354e-05,1.373554e-05,1.366802e-05,1.360100e-05,1.353451e-05,1.346857e-05,1.340320e-05,1.333841e-05,1.327423e-05,1.321065e-05,1.314770e-05,1.308538e-05
0.000000e+00,9.467257e-13,5.800036e-12,8.102632e-11,4.415582e-10,9.429890e-10,4.634955e-09,4.902390e-09,1.652723e-08,2.203591e-08,4.265165e-08,6.886192e-08,9.203461e-08,1.668342e-07,1.749675e-07,3.029158e-07,3.416662e-07,4.880063e-07,6.210608e-07,7.419973e-07,1.030286e-06,1.074581e-06,1.491535e-06,1.585209e-06,1.993632e-06,2.287178e-06,2.576781e-06,3.123621e-06,3.233167e-06,3.952718e-06,4.072976e-06,4.724429e-06,5.110130e-06,5.537299e-06,6.210191e-06,6.380894e-06,7.245628e-06,7.350396e-06,8.122856e-06,8.510784e-06,9.004909e-06,9.674328e-06,9.885069e-06,1.075753e-05,1.082684e-05,1.161735e-05,1.195679e-05,1.246042e-05,1.305514e-05,1.328337e-05,1.408355e-05,1.411505e-05,1.485891e-05,1.513167e-05,1.560799e-05,1.610182e-05,1.632978e-05,1.702371e-05,1.768954e-05,1.789667e-05,1.832731e-05,1.872089e-05,1.893733e-05,1.949725e-05,1.952005e-05,2.007608e-05,2.022709e-05,2.060616e-05,2.091208e-05,2.111108e-05,2.155411e-05,2.159168e-05,2.204886e-05,2.215519e-05,2.248351e-05,2.271741e-05,2.289653e-05,2.324283e-05,2.328884e-05,2.366131e-05,2.373350e-05,2.401481e-05,2.419142e-05,2.435019e-05,2.461850e-05,2.466827e-05,2.496983e-05,2.501659e-05,2.525563e-05,2.538744e-05,2.552642e-05,2.573271e-05,2.578289e-05,2.602570e-05,2.605396e-05,2.625551e-05,2.635267e-05,2.647293e-05,2.663024e-05,2.667854e-05,2.687290e-05,2.688798e-05,2.705655e-05,2.712712e-05,2.722998e-05,2.734879e-05,2.739368e-05,2.754811e-05,2.755410e-05,2.769370e-05,2.774404e-05,2.783088e-05,2.791956e-05,2.796004e-05,2.808155e-05,2.819577e-05,2.823084e-05,2.830305e-05,2.836821e-05,2.840370e-05,2.849437e-05,2.849803e-05,2.858634e-05,2.861002e-05,2.866890e-05,2.871579e-05,2.874598e-05,2.881227e-05,2.881784e-05,2.888470e-05,2.890004e-05,2.894681e-05,2.897959e-05,2.900438e-05,2.905144e-05,2.905761e-05,2.910670e-05,2.911604e-05,2.915185e-05,2.917382e-05,2.919322e-05,2.922519e-05,2.923100e-05,2.926533e-05,2.927052e-05,2.929639e-05,2.931017e-05,2.932431e-05,2.934448e-05,2.934924e-05,2.937130e-05,2.937377e-05,2.939064e-05,2.939832e-05,2.940737e-05,2.941842e-05,2.942162e-05,2.943348e-05,2.943433e-05,2.944307e-05,2.944629e-05,2.945049e-05,2.945454e-05,2.945583e-05,2.945920e-05,2.945930e-05,2.946068e-05,2.946076e-05,2.946035e-05,2.945914e-05,2.945830e-05,2.945461e-05,2.944733e-05,2.943749e-05,2.942523e-05,2.941069e-05,2.939402e-05,2.937535e-05,2.935480e-05,2.933248e-05,2.930851e-05,2.928299e-05,2.925602e-05,2.922770e-05,2.919811e-05,2.916734e-05,2.913547e-05,2.910258e-05,2.906874e-05,2.903401e-05,2.899846e-05,2.896216e-05,2.892516e-05,2.888751e-05,2.884928e-05,2.881052e-05
0.000000e+00,9.259317e-12,5.072506e-11,5.690883e-10,2.578266e-09,5.006112e-09,1.963104e-08,2.058620e-08,5.707331e-08,7.248012e-08,1.251111e-07,1.855577e-07,2.354639e-07,3.835838e-07,3.988593e-07,6.259297e-07,6.910436e-07,9.267086e-07,1.130499e-06,1.309323e-06,1.717469e-06,1.778367e-06,2.334206e-06,2.455558e-06,2.973698e-06,3.337603e-06,3.691606e-06,4.350729e-06,4.481735e-06,5.337511e-06,5.480078e-06,6.252172e-06,6.710093e-06,7.218773e-06,8.024666e-06,8.230186e-06,9.279139e-06,9.407188e-06,1.035830e-05,1.084081e-05,1.146037e-05,1.230888e-05,1.257824e-05,1.370507e-05,1.379541e-05,1.483442e-05,1.528551e-05,1.596032e-05,1.676575e-05,1.707732e-05,1.818055e-05,1.822433e-05,1.926573e-05,1.965124e-05,2.032914e-05,2.103820e-05,2.136765e-05,2.237865e-05,2.336001e-05,2.366750e-05,2.431007e-05,2.490110e-05,2.522760e-05,2.607702e-05,2.611174e-05,2.696193e-05,2.719385e-05,2.777790e-05,2.825104e-05,2.855964e-05,2.924876e-05,2.930733e-05,3.002134e-05,3.018774e-05,3.070216e-05,3.106916e-05,3.135043e-05,3.189453e-05,3.196685e-05,3.255222e-05,3.266564e-05,3.310739e-05,3.338444e-05,3.363326e-05,3.405301e-05,3.413074e-05,3.460078e-05,3.467351e-05,3.504434e-05,3.524811e-05,3.546235e-05,3.577902e-05,3.585579e-05,3.622559e-05,3.626842e-05,3.657268e-05,3.671844e-05,3.689798e-05,3.713118e-05,3.720238e-05,3.748676e-05,3.750867e-05,3.775196e-05,3.785287e-05,3.799883e-05,3.816567e-05,3.822816e-05,3.844074e-05,3.844890e-05,3.863731e-05,3.870430e-05,3.881861e-05,3.893353e-05,3.898534e-05,3.913819e-05,3.927779e-05,3.931978e-05,3.940480e-05,3.947974e-05,3.951980e-05,3.961945e-05,3.962339e-05,3.971612e-05,3.974021e-05,3.979853e-05,3.984324e-05,3.987114e-05,3.992972e-05,3.993445e-05,3.998893e-05,4.000074e-05,4.003504e-05,4.005736e-05,4.007320e-05,4.010056e-05,4.010385e-05,4.012739e-05,4.013127e-05,4.014418e-05,4.015038e-05,4.015462e-05,4.015872e-05,4.015903e-05,4.015777e-05,4.015707e-05,4.015116e-05,4.014617e-05,4.013949e-05,4.012672e-05,4.012306e-05,4.010216e-05,4.009937e-05,4.007706e-05,4.006474e-05,4.004800e-05,4.002342e-05,4.001523e-05,3.997900e-05,3.997595e-05,3.993950e-05,3.992285e-05,3.989698e-05,3.986459e-05,3.985161e-05,3.980360e-05,3.980163e-05,3.975313e-05,3.973439e-05,3.970037e-05,3.966328e-05,3.964550e-05,3.958867e-05,3.951091e-05,3.943033e-05,3.934724e-05,3.926192e-05,3.917465e-05,3.908567e-05,3.899522e-05,3.890353e-05,3.881079e-05,3.871720e-05,3.862293e-05,3.852815e-05,3.843301e-05,3.833766e-05,3.824223e-05,3.814683e-05,3.805159e-05,3.795661e-05,3.786199e-05,3.776781e-05,3.767415e-05,3.758110e-05,3.748871e-05,3.739706e-05
0.000000e+00,1.949657e-09,5.803072e-09,2.635088e-08,6.821487e-08,1.043905e-07,2.572540e-07,2.656580e-07,5.381280e-07,6.380171e-07,9.485749e-07,1.271863e-06,1.522836e-06,2.216914e-06,2.285373e-06,3.256935e-06,3.522844e-06,4.450161e-06,5.216369e-06,5.867236e-06,7.295331e-06,7.502882e-06,9.348494e-06,9.741937e-06,1.139383e-05,1.253247e-05,1.362705e-05,1.563825e-05,1.603454e-05,1.860091e-05,1.902515e-05,2.130915e-05,2.265421e-05,2.414112e-05,2.648308e-05,2.707791e-05,3.010035e-05,3.046789e-05,3.318945e-05,3.456501e-05,3.632681e-05,3.873264e-05,3.949488e-05,4.267729e-05,4.293204e-05,4.585896e-05,4.712831e-05,4.902623e-05,5.129085e-05,5.216691e-05,5.527024e-05,5.539346e-05,5.832689e-05,5.941429e-05,6.132890e-05,6.333559e-05,6.426958e-05,6.714341e-05,6.994590e-05,7.082701e-05,7.267342e-05,7.437839e-05,7.532324e-05,7.779212e-05,7.789337e-05,8.038241e-05,8.106467e-05,8.278949e-05,8.419426e-05,8.511431e-05,8.718054e-05,8.735693e-05,8.951778e-05,9.002429e-05,9.159758e-05,9.272724e-05,9.359736e-05,9.529198e-05,9.551840e-05,9.736223e-05,9.772186e-05,9.913036e-05,1.000204e-04,1.008243e-04,1.021912e-04,1.024458e-04,1.039966e-04,1.042383e-04,1.054785e-04,1.061659e-04,1.068933e-04,1.079781e-04,1.082429e-04,1.095291e-04,1.096793e-04,1.107538e-04,1.112737e-04,1.119189e-04,1.127656e-04,1.130262e-04,1.140775e-04,1.141593e-04,1.150747e-04,1.154589e-04,1.160196e-04,1.166684e-04,1.169138e-04,1.177590e-04,1.177919e-04,1.185571e-04,1.188332e-04,1.193097e-04,1.197962e-04,1.200183e-04,1.206845e-04,1.213100e-04,1.215018e-04,1.218962e-04,1.222514e-04,1.224445e-04,1.229367e-04,1.229565e-04,1.234336e-04,1.235611e-04,1.238770e-04,1.241274e-04,1.242881e-04,1.246389e-04,1.246682e-04,1.250185e-04,1.250983e-04,1.253403e-04,1.255085e-04,1.256347e-04,1.258721e-04,1.259029e-04,1.261459e-04,1.261916e-04,1.263649e-04,1.264696e-04,1.265609e-04,1.267084e-04,1.267348e-04,1.268877e-04,1.269103e-04,1.270205e-04,1.270774e-04,1.271341e-04,1.272117e-04,1.272293e-04,1.273071e-04,1.273153e-04,1.273683e-04,1.273901e-04,1.274136e-04,1.274379e-04,1.274438e-04,1.274596e-04,1.274603e-04,1.274618e-04,1.274590e-04,1.274511e-04,1.274357e-04,1.274280e-04,1.273933e-04,1.273917e-04,1.273476e-04,1.273285e-04,1.272914e-04,1.272475e-04,1.272253e-04,1.271499e-04,1.270370e-04,1.269099e-04,1.267697e-04,1.266175e-04,1.264543e-04,1.262809e-04,1.260984e-04,1.259075e-04,1.257090e-04,1.255037e-04,1.252924e-04,1.250756e-04,1.248540e-04,1.246282e-04,1.243988e-04,1.241662e-04,1.239311e-04,1.236938e-04,1.234549e-04,1.232146e-04,1.229734e-04,1.227317e-04,1.224898e-04,1.222480e-04
0.000000e+00,4.374447e-10,1.582287e-09,9.061227e-09,2.624479e-08,4.186161e-08,1.107702e-07,1.146350e-07,2.419777e-07,2.893007e-07,4.376478e-07,5.933799e-07,7.149131e-07,1.053172e-06,1.086685e-06,1.565039e-06,1.696854e-06,2.159524e-06,2.545042e-06,2.874414e-06,3.601092e-06,3.706968e-06,4.648740e-06,4.849238e-06,5.688606e-06,6.264242e-06,6.814960e-06,7.819635e-06,8.016469e-06,9.282104e-06,9.489829e-06,1.060100e-05,1.124983e-05,1.196240e-05,1.307497e-05,1.335567e-05,1.477042e-05,1.494115e-05,1.619662e-05,1.682530e-05,1.762476e-05,1.870596e-05,1.904597e-05,2.045212e-05,2.056374e-05,2.183592e-05,2.238171e-05,2.319093e-05,2.414555e-05,2.451158e-05,2.579319e-05,2.584358e-05,2.703189e-05,2.746671e-05,2.822463e-05,2.900819e-05,2.936901e-05,3.046331e-05,3.150646e-05,3.182936e-05,3.249787e-05,3.310509e-05,3.343731e-05,3.429050e-05,3.432503e-05,3.516161e-05,3.538679e-05,3.594786e-05,3.639589e-05,3.668485e-05,3.732042e-05,3.737380e-05,3.801612e-05,3.816350e-05,3.861329e-05,3.892858e-05,3.916691e-05,3.961939e-05,3.967864e-05,4.015013e-05,4.023975e-05,4.058306e-05,4.079350e-05,4.097911e-05,4.128452e-05,4.133995e-05,4.166724e-05,4.171660e-05,4.196259e-05,4.209348e-05,4.222758e-05,4.241876e-05,4.246377e-05,4.267264e-05,4.269593e-05,4.285565e-05,4.292835e-05,4.301421e-05,4.311920e-05,4.314968e-05,4.326336e-05,4.327155e-05,4.335649e-05,4.338826e-05,4.343028e-05,4.347209e-05,4.348589e-05,4.352442e-05,4.352562e-05,4.354691e-05,4.355128e-05,4.355438e-05,4.355137e-05,4.354779e-05,4.352805e-05,4.349603e-05,4.348333e-05,4.345257e-05,4.341912e-05,4.339846e-05,4.333718e-05,4.333443e-05,4.326122e-05,4.323917e-05,4.317949e-05,4.312664e-05,4.308989e-05,4.300103e-05,4.299303e-05,4.288948e-05,4.286369e-05,4.277979e-05,4.271587e-05,4.266447e-05,4.255874e-05,4.254403e-05,4.241891e-05,4.239337e-05,4.228956e-05,4.222076e-05,4.215639e-05,4.204186e-05,4.201978e-05,4.188012e-05,4.185751e-05,4.173773e-05,4.166852e-05,4.159295e-05,4.147561e-05,4.144609e-05,4.129743e-05,4.127948e-05,4.114724e-05,4.108074e-05,4.099578e-05,4.087997e-05,4.084329e-05,4.069000e-05,4.067771e-05,4.053610e-05,4.047442e-05,4.038181e-05,4.027057e-05,4.022730e-05,4.007274e-05,4.006655e-05,3.991829e-05,3.986275e-05,3.976411e-05,3.965949e-05,3.961033e-05,3.945709e-05,3.925582e-05,3.905594e-05,3.885768e-05,3.866123e-05,3.846679e-05,3.827452e-05,3.808457e-05,3.789705e-05,3.771209e-05,3.752978e-05,3.735020e-05,3.717344e-05,3.699954e-05,3.682857e-05,3.666056e-05,3.649553e-05,3.633353e-05,3.617455e-05,3.601862e-05,3.586573e-05,3.571588e-05,3.556907e-05,3.542527e-05,3.528448e-05
0.000000e+00,1.613969e-09,3.759506e-09,1.314985e-08,3.011144e-08,4.400522e-08,9.989219e-08,1.028907e-07,1.981091e-07,2.323934e-07,3.378310e-07,4.464440e-07,5.302821e-07,7.610023e-07,7.837102e-07,1.105892e-06,1.194178e-06,1.502838e-06,1.758796e-06,1.976654e-06,2.454438e-06,2.523688e-06,3.134931e-06,3.263870e-06,3.798726e-06,4.160774e-06,4.503487e-06,5.119596e-06,5.238956e-06,5.996349e-06,6.119047e-06,6.768101e-06,7.141666e-06,7.547587e-06,8.172786e-06,8.328951e-06,9.107007e-06,9.199928e-06,9.877187e-06,1.021253e-05,1.063551e-05,1.120180e-05,1.137859e-05,1.210354e-05,1.216068e-05,1.280804e-05,1.308368e-05,1.349021e-05,1.396672e-05,1.414860e-05,1.478218e-05,1.480699e-05,1.539022e-05,1.560278e-05,1.597232e-05,1.635323e-05,1.652830e-05,1.705821e-05,1.756227e-05,1.771816e-05,1.804084e-05,1.833398e-05,1.849442e-05,1.890685e-05,1.892356e-05,1.932890e-05,1.943823e-05,1.971115e-05,1.992972e-05,2.007103e-05,2.038302e-05,2.040930e-05,2.072673e-05,2.079990e-05,2.102410e-05,2.118215e-05,2.130218e-05,2.153155e-05,2.156175e-05,2.180357e-05,2.184987e-05,2.202839e-05,2.213882e-05,2.223694e-05,2.240007e-05,2.242994e-05,2.260808e-05,2.263525e-05,2.277205e-05,2.284591e-05,2.292249e-05,2.303354e-05,2.306005e-05,2.318534e-05,2.319957e-05,2.329894e-05,2.334537e-05,2.340142e-05,2.347221e-05,2.349334e-05,2.357521e-05,2.358134e-05,2.364755e-05,2.367393e-05,2.371085e-05,2.375108e-05,2.376556e-05,2.381213e-05,2.381383e-05,2.385099e-05,2.386318e-05,2.388256e-05,2.390006e-05,2.390722e-05,2.392536e-05,2.393732e-05,2.393990e-05,2.394346e-05,2.394448e-05,2.394409e-05,2.393983e-05,2.393955e-05,2.393012e-05,2.392664e-05,2.391609e-05,2.390557e-05,2.389773e-05,2.387725e-05,2.387531e-05,2.384907e-05,2.384223e-05,2.381925e-05,2.380108e-05,2.378609e-05,2.375429e-05,2.374978e-05,2.371054e-05,2.370236e-05,2.366857e-05,2.364572e-05,2.362404e-05,2.358480e-05,2.357714e-05,2.352804e-05,2.351999e-05,2.347689e-05,2.345166e-05,2.342385e-05,2.338016e-05,2.336907e-05,2.331267e-05,2.330580e-05,2.325480e-05,2.322890e-05,2.319557e-05,2.314973e-05,2.313511e-05,2.307353e-05,2.306856e-05,2.301093e-05,2.298563e-05,2.294742e-05,2.290117e-05,2.288308e-05,2.281802e-05,2.281540e-05,2.275232e-05,2.272852e-05,2.268605e-05,2.264071e-05,2.261930e-05,2.255214e-05,2.246297e-05,2.237335e-05,2.228343e-05,2.219332e-05,2.210315e-05,2.201303e-05,2.192305e-05,2.183332e-05,2.174391e-05,2.165490e-05,2.156638e-05,2.147840e-05,2.139102e-05,2.130431e-05,2.121831e-05,2.113306e-05,2.104862e-05,2.096501e-05,2.088228e-05,2.080044e-05,2.071953e-05,2.063958e-05,2.056060e-05,2.048261e-05
0.000000e+00,2.675246e-13,1.816329e-12,3.137788e-11,2.072883e-10,4.917517e-10,3.164058e-09,3.383219e-09,1.483694e-08,2.122948e-08,4.897673e-08,9.094010e-08,1.329901e-07,2.937546e-07,3.132275e-07,6.621204e-07,7.819074e-07,1.285543e-06,1.807297e-06,2.329886e-06,3.748898e-06,3.987793e-06,6.501652e-06,7.132037e-06,1.016435e-05,1.263449e-05,1.531731e-05,2.107850e-05,2.234625e-05,3.167491e-05,3.341089e-05,4.375738e-05,5.067426e-05,5.906952e-05,7.397253e-05,7.809959e-05,1.013387e-04,1.044334e-04,1.292712e-04,1.431698e-04,1.623653e-04,1.912425e-04,2.010638e-04,2.457760e-04,2.496241e-04,2.968698e-04,3.191675e-04,3.546647e-04,4.005777e-04,4.194263e-04,4.913610e-04,4.943898e-04,5.706126e-04,6.009515e-04,6.572596e-04,7.204127e-04,7.513139e-04,8.527203e-04,9.613575e-04,9.976199e-04,1.077040e-03,1.154662e-03,1.199519e-03,1.323213e-03,1.328492e-03,1.463598e-03,1.502472e-03,1.604430e-03,1.691492e-03,1.750537e-03,1.889196e-03,1.901432e-03,2.056594e-03,2.094408e-03,2.215479e-03,2.305871e-03,2.377522e-03,2.522275e-03,2.542147e-03,2.708770e-03,2.742283e-03,2.876805e-03,2.964548e-03,3.045670e-03,3.187738e-03,3.214791e-03,3.383610e-03,3.410556e-03,3.551582e-03,3.631754e-03,3.718187e-03,3.850150e-03,3.882926e-03,4.045327e-03,4.064637e-03,4.204950e-03,4.274196e-03,4.361381e-03,4.477899e-03,4.514241e-03,4.663181e-03,4.674917e-03,4.807889e-03,4.864522e-03,4.948082e-03,5.046086e-03,5.083514e-03,5.213971e-03,5.219083e-03,5.339270e-03,5.383085e-03,5.459260e-03,5.537758e-03,5.573820e-03,5.682857e-03,5.786307e-03,5.818224e-03,5.884130e-03,5.943776e-03,5.976312e-03,6.059508e-03,6.062862e-03,6.143808e-03,6.165475e-03,6.219201e-03,6.261797e-03,6.289106e-03,6.348643e-03,6.353606e-03,6.412799e-03,6.426228e-03,6.466796e-03,6.494809e-03,6.515718e-03,6.554675e-03,6.559696e-03,6.598873e-03,6.606145e-03,6.633394e-03,6.649557e-03,6.663415e-03,6.685270e-03,6.689094e-03,6.710592e-03,6.713655e-03,6.728076e-03,6.735091e-03,6.741711e-03,6.749962e-03,6.751667e-03,6.758110e-03,6.758655e-03,6.761208e-03,6.761555e-03,6.761128e-03,6.759042e-03,6.758033e-03,6.752086e-03,6.751492e-03,6.743445e-03,6.739269e-03,6.732266e-03,6.722732e-03,6.718703e-03,6.702902e-03,6.702226e-03,6.685009e-03,6.678083e-03,6.665165e-03,6.650625e-03,6.643504e-03,6.620156e-03,6.586969e-03,6.551341e-03,6.513535e-03,6.473799e-03,6.432367e-03,6.389459e-03,6.345281e-03,6.300026e-03,6.253872e-03,6.206985e-03,6.159519e-03,6.111617e-03,6.063409e-03,6.015016e-03,5.966548e-03,5.918104e-03,5.869778e-03,5.821652e-03,5.773801e-03,5.726293e-03,5.679188e-03,5.632540e-03,5.586397e-03,5.540801e-03
0.000000e+00,8.186961e-14,5.549715e-13,9.556013e-12,6.294012e-11,1.490680e-10,9.550809e-10,1.021059e-09,4.459052e-09,6.372983e-09,1.466054e-08,2.715857e-08,3.965612e-08,8.729491e-08,9.305443e-08,1.960031e-07,2.312721e-07,3.792959e-07,5.323600e-07,6.855049e-07,1.100987e-06,1.170915e-06,1.906925e-06,2.091584e-06,2.980546e-06,3.705562e-06,4.493788e-06,6.188618e-06,6.561874e-06,9.310497e-06,9.822233e-06,1.287236e-05,1.491081e-05,1.738335e-05,2.176639e-05,2.297852e-05,2.978826e-05,3.069296e-05,3.793473e-05,4.197166e-05,4.752863e-05,5.584806e-05,5.866656e-05,7.142882e-05,7.252197e-05,8.587783e-05,9.214010e-05,1.020570e-04,1.147916e-04,1.199903e-04,1.396819e-04,1.405060e-04,1.611169e-04,1.692544e-04,1.842617e-04,2.009513e-04,2.090651e-04,2.354600e-04,2.633642e-04,2.725972e-04,2.926829e-04,3.121405e-04,3.233097e-04,3.538350e-04,3.551291e-04,3.880177e-04,3.974007e-04,4.218466e-04,4.425401e-04,4.564828e-04,4.889447e-04,4.917909e-04,5.276347e-04,5.363019e-04,5.638788e-04,5.843005e-04,6.003897e-04,6.326363e-04,6.370370e-04,6.736944e-04,6.810164e-04,7.102409e-04,7.291627e-04,7.465611e-04,7.768153e-04,7.825461e-04,8.180939e-04,8.237345e-04,8.531095e-04,8.697020e-04,8.875056e-04,9.145225e-04,9.212024e-04,9.541278e-04,9.580239e-04,9.862174e-04,1.000057e-03,1.017414e-03,1.040496e-03,1.047669e-03,1.076938e-03,1.079236e-03,1.105187e-03,1.116195e-03,1.132387e-03,1.151308e-03,1.158514e-03,1.183552e-03,1.184531e-03,1.207489e-03,1.215836e-03,1.230320e-03,1.245211e-03,1.252041e-03,1.272657e-03,1.292174e-03,1.298189e-03,1.310603e-03,1.321832e-03,1.327957e-03,1.343621e-03,1.344253e-03,1.359510e-03,1.363598e-03,1.373749e-03,1.381815e-03,1.386995e-03,1.398326e-03,1.399273e-03,1.410608e-03,1.413192e-03,1.421029e-03,1.426477e-03,1.430565e-03,1.438247e-03,1.439245e-03,1.447098e-03,1.448572e-03,1.454156e-03,1.457522e-03,1.460449e-03,1.465166e-03,1.466007e-03,1.470861e-03,1.471574e-03,1.475042e-03,1.476818e-03,1.478578e-03,1.480964e-03,1.481501e-03,1.483838e-03,1.484081e-03,1.485619e-03,1.486234e-03,1.486871e-03,1.487486e-03,1.487622e-03,1.487899e-03,1.487901e-03,1.487726e-03,1.487537e-03,1.487129e-03,1.486451e-03,1.486133e-03,1.484760e-03,1.484697e-03,1.483033e-03,1.482329e-03,1.480975e-03,1.479396e-03,1.478605e-03,1.475945e-03,1.472021e-03,1.467666e-03,1.462920e-03,1.457821e-03,1.452403e-03,1.446701e-03,1.440744e-03,1.434563e-03,1.428184e-03,1.421632e-03,1.414931e-03,1.408102e-03,1.401166e-03,1.394142e-03,1.387047e-03,1.379896e-03,1.372705e-03,1.365486e-03,1.358253e-03,1.351017e-03,1.343789e-03,1.336577e-03,1.329391e-03,1.322238e-03
0.000000e+00,8.524160e-13,5.432568e-12,8.228227e-11,4.820840e-10,1.070764e-09,5.815772e-09,6.176101e-09,2.294280e-08,3.139789e-08,6.485792e-08,1.103269e-07,1.525302e-07,2.980204e-07,3.145298e-07,5.874223e-07,6.740746e-07,1.013782e-06,1.336098e-06,1.637636e-06,2.381785e-06,2.498773e-06,3.628168e-06,3.888194e-06,5.045785e-06,5.900234e-06,6.760600e-06,8.430523e-06,8.772022e-06,1.107185e-05,1.146572e-05,1.364618e-05,1.497418e-05,1.647694e-05,1.891213e-05,1.954310e-05,2.282150e-05,2.322801e-05,2.628750e-05,2.786541e-05,2.991554e-05,3.276517e-05,3.367952e-05,3.755330e-05,3.786717e-05,4.151105e-05,4.311202e-05,4.552770e-05,4.844260e-05,4.957920e-05,5.364292e-05,5.380542e-05,5.769783e-05,5.915169e-05,6.172473e-05,6.443814e-05,6.570636e-05,6.962740e-05,7.347456e-05,7.468813e-05,7.723645e-05,7.959484e-05,8.090354e-05,8.432749e-05,8.446801e-05,8.792365e-05,8.887105e-05,9.126569e-05,9.321490e-05,9.449067e-05,9.735223e-05,9.759624e-05,1.005811e-04,1.012794e-04,1.034447e-04,1.049955e-04,1.061874e-04,1.085016e-04,1.088100e-04,1.113140e-04,1.118007e-04,1.137012e-04,1.148971e-04,1.159738e-04,1.177960e-04,1.181343e-04,1.201853e-04,1.205035e-04,1.221298e-04,1.230262e-04,1.239707e-04,1.253710e-04,1.257112e-04,1.273542e-04,1.275450e-04,1.289030e-04,1.295555e-04,1.303608e-04,1.314098e-04,1.317307e-04,1.330159e-04,1.331151e-04,1.342194e-04,1.346786e-04,1.353442e-04,1.361071e-04,1.363935e-04,1.373700e-04,1.374076e-04,1.382767e-04,1.385866e-04,1.391164e-04,1.396504e-04,1.398917e-04,1.406053e-04,1.412598e-04,1.414572e-04,1.418577e-04,1.422118e-04,1.424014e-04,1.428746e-04,1.428933e-04,1.433355e-04,1.434507e-04,1.437303e-04,1.439454e-04,1.440799e-04,1.443633e-04,1.443862e-04,1.446513e-04,1.447090e-04,1.448770e-04,1.449869e-04,1.450652e-04,1.452011e-04,1.452176e-04,1.453360e-04,1.453557e-04,1.454220e-04,1.454544e-04,1.454772e-04,1.455008e-04,1.455031e-04,1.455012e-04,1.454984e-04,1.454728e-04,1.454502e-04,1.454194e-04,1.453595e-04,1.453423e-04,1.452426e-04,1.452292e-04,1.451216e-04,1.450619e-04,1.449805e-04,1.448604e-04,1.448203e-04,1.446422e-04,1.446272e-04,1.444470e-04,1.443644e-04,1.442359e-04,1.440745e-04,1.440097e-04,1.437694e-04,1.437595e-04,1.435158e-04,1.434214e-04,1.432497e-04,1.430621e-04,1.429720e-04,1.426833e-04,1.422867e-04,1.418739e-04,1.414464e-04,1.410056e-04,1.405529e-04,1.400894e-04,1.396163e-04,1.391348e-04,1.386459e-04,1.381506e-04,1.376497e-04,1.371441e-04,1.366347e-04,1.361222e-04,1.356073e-04,1.350906e-04,1.345728e-04,1.340545e-04,1.335362e-04,1.330183e-04,1.325014e-04,1.319859e-04,1.314722e-04,1.309607e-04
0.000000e+00,3.194848e-09,1.034020e-08,5.161610e-08,1.399470e-07,2.181913e-07,5.598552e-07,5.790604e-07,1.222009e-06,1.466950e-06,2.257449e-06,3.122481e-06,3.819341e-06,5.829066e-06,6.031731e-06,8.934193e-06,9.726700e-06,1.244989e-05,1.463830e-05,1.644992e-05,2.027855e-05,2.081929e-05,2.547216e-05,2.643081e-05,3.034381e-05,3.294566e-05,3.538129e-05,3.970660e-05,4.053783e-05,4.577018e-05,4.661164e-05,5.103775e-05,5.356744e-05,5.630257e-05,6.048885e-05,6.152969e-05,6.668770e-05,6.730067e-05,7.174892e-05,7.393891e-05,7.668953e-05,8.035137e-05,8.148966e-05,8.613316e-05,8.649747e-05,9.060738e-05,9.234746e-05,9.490289e-05,9.788120e-05,9.901313e-05,1.029342e-04,1.030871e-04,1.066639e-04,1.079596e-04,1.102019e-04,1.124989e-04,1.135496e-04,1.167095e-04,1.196852e-04,1.205992e-04,1.224810e-04,1.241782e-04,1.251019e-04,1.274583e-04,1.275532e-04,1.298405e-04,1.304524e-04,1.319698e-04,1.331741e-04,1.339472e-04,1.356374e-04,1.357787e-04,1.374705e-04,1.378564e-04,1.390286e-04,1.398450e-04,1.404590e-04,1.416168e-04,1.417676e-04,1.429602e-04,1.431853e-04,1.440423e-04,1.445632e-04,1.450195e-04,1.457632e-04,1.458971e-04,1.466801e-04,1.467970e-04,1.473736e-04,1.476761e-04,1.479823e-04,1.484114e-04,1.485109e-04,1.489636e-04,1.490131e-04,1.493449e-04,1.494911e-04,1.496588e-04,1.498546e-04,1.499091e-04,1.500997e-04,1.501125e-04,1.502342e-04,1.502730e-04,1.503158e-04,1.503438e-04,1.503480e-04,1.503339e-04,1.503324e-04,1.502763e-04,1.502456e-04,1.501783e-04,1.500899e-04,1.500425e-04,1.498714e-04,1.496676e-04,1.495958e-04,1.494333e-04,1.492685e-04,1.491709e-04,1.488943e-04,1.488823e-04,1.485697e-04,1.484781e-04,1.482349e-04,1.480241e-04,1.478797e-04,1.475364e-04,1.475058e-04,1.471149e-04,1.470187e-04,1.467085e-04,1.464747e-04,1.462880e-04,1.459074e-04,1.458548e-04,1.454103e-04,1.453201e-04,1.449556e-04,1.447155e-04,1.444918e-04,1.440961e-04,1.440202e-04,1.435417e-04,1.434645e-04,1.430572e-04,1.428229e-04,1.425678e-04,1.421732e-04,1.420742e-04,1.415772e-04,1.415174e-04,1.410777e-04,1.408573e-04,1.405763e-04,1.401944e-04,1.400737e-04,1.395704e-04,1.395302e-04,1.390672e-04,1.388660e-04,1.385645e-04,1.382031e-04,1.380628e-04,1.375626e-04,1.375426e-04,1.370644e-04,1.368855e-04,1.365685e-04,1.362328e-04,1.360753e-04,1.355852e-04,1.349435e-04,1.343085e-04,1.336806e-04,1.330604e-04,1.324485e-04,1.318452e-04,1.312509e-04,1.306659e-04,1.300905e-04,1.295250e-04,1.289694e-04,1.284240e-04,1.278889e-04,1.273642e-04,1.268499e-04,1.263461e-04,1.258528e-04,1.253700e-04,1.248977e-04,1.244359e-04,1.239844e-04,1.235432e-04,1.231122e-04,1.226914e-04
0.000000e+00,6.515495e-14,4.424054e-13,7.644507e-12,5.051279e-11,1.198471e-10,7.713611e-10,8.247988e-10,3.617834e-09,5.176717e-09,1.194260e-08,2.217256e-08,3.242069e-08,7.157714e-08,7.631776e-08,1.611898e-07,1.903064e-07,3.126360e-07,4.392623e-07,5.660273e-07,9.100887e-07,9.680039e-07,1.577498e-06,1.730378e-06,2.466108e-06,3.065889e-06,3.717770e-06,5.119131e-06,5.427753e-06,7.701110e-06,8.124579e-06,1.065069e-05,1.234129e-05,1.439484e-05,1.804378e-05,1.905494e-05,2.475280e-05,2.551201e-05,3.160815e-05,3.502107e-05,3.973608e-05,4.683127e-05,4.924474e-05,6.023320e-05,6.117892e-05,7.278947e-05,7.826831e-05,8.698894e-05,9.826505e-05,1.028930e-04,1.205479e-04,1.212910e-04,1.399842e-04,1.474206e-04,1.612163e-04,1.766797e-04,1.842425e-04,2.090446e-04,2.355891e-04,2.444438e-04,2.638275e-04,2.827606e-04,2.936970e-04,3.238362e-04,3.251221e-04,3.580152e-04,3.674752e-04,3.922784e-04,4.134497e-04,4.278045e-04,4.615055e-04,4.644788e-04,5.021802e-04,5.113674e-04,5.407826e-04,5.627454e-04,5.801566e-04,6.153396e-04,6.201707e-04,6.606926e-04,6.688463e-04,7.015901e-04,7.229619e-04,7.427328e-04,7.773881e-04,7.839923e-04,8.252440e-04,8.318354e-04,8.663672e-04,8.860265e-04,9.072461e-04,9.396991e-04,9.477704e-04,9.878358e-04,9.926080e-04,1.027344e-03,1.044527e-03,1.066203e-03,1.095250e-03,1.104329e-03,1.141644e-03,1.144592e-03,1.178077e-03,1.192388e-03,1.213564e-03,1.238497e-03,1.248048e-03,1.281480e-03,1.282795e-03,1.313816e-03,1.325181e-03,1.345019e-03,1.365575e-03,1.375059e-03,1.403911e-03,1.431556e-03,1.440146e-03,1.457981e-03,1.474248e-03,1.483176e-03,1.506204e-03,1.507139e-03,1.529870e-03,1.536014e-03,1.551373e-03,1.563689e-03,1.571658e-03,1.589254e-03,1.590736e-03,1.608623e-03,1.612740e-03,1.625336e-03,1.634191e-03,1.640897e-03,1.653656e-03,1.655328e-03,1.668655e-03,1.671190e-03,1.680904e-03,1.686856e-03,1.692103e-03,1.700720e-03,1.702281e-03,1.711470e-03,1.712850e-03,1.719700e-03,1.723319e-03,1.727003e-03,1.732201e-03,1.733413e-03,1.738962e-03,1.739571e-03,1.743682e-03,1.745505e-03,1.747607e-03,1.750079e-03,1.750771e-03,1.753205e-03,1.753369e-03,1.754942e-03,1.755449e-03,1.756015e-03,1.756393e-03,1.756454e-03,1.756292e-03,1.756273e-03,1.755558e-03,1.755159e-03,1.754282e-03,1.753120e-03,1.752494e-03,1.750221e-03,1.746526e-03,1.742097e-03,1.736993e-03,1.731269e-03,1.724979e-03,1.718175e-03,1.710905e-03,1.703214e-03,1.695147e-03,1.686745e-03,1.678045e-03,1.669085e-03,1.659898e-03,1.650515e-03,1.640968e-03,1.631283e-03,1.621486e-03,1.611602e-03,1.601652e-03,1.591656e-03,1.581635e-03,1.571605e-03,1.561582e-03,1.551582e-03
0.000000e+00,3.348394e-14,2.258417e-13,3.848283e-12,2.510515e-11,5.914800e-11,3.738926e-10,3.995046e-10,1.722045e-09,2.452679e-09,5.594509e-09,1.029574e-08,1.497146e-08,3.267028e-08,3.480117e-08,7.270602e-08,8.563531e-08,1.397017e-07,1.953648e-07,2.508696e-07,4.007065e-07,4.258312e-07,6.888580e-07,7.544774e-07,1.068521e-06,1.322581e-06,1.596901e-06,2.180844e-06,2.308465e-06,3.238759e-06,3.410275e-06,4.423038e-06,5.091684e-06,5.894961e-06,7.300476e-06,7.685411e-06,9.821494e-06,1.010217e-05,1.232575e-05,1.354893e-05,1.521555e-05,1.767716e-05,1.850275e-05,2.219349e-05,2.250623e-05,2.628817e-05,2.803817e-05,3.078162e-05,3.425815e-05,3.566338e-05,4.091805e-05,4.113573e-05,4.652581e-05,4.862658e-05,5.246291e-05,5.667454e-05,5.870224e-05,6.521395e-05,7.196602e-05,7.417199e-05,7.892484e-05,8.347103e-05,8.605579e-05,9.303087e-05,9.332378e-05,1.006937e-04,1.027708e-04,1.081309e-04,1.126113e-04,1.156015e-04,1.224759e-04,1.230729e-04,1.305138e-04,1.322918e-04,1.378950e-04,1.419919e-04,1.451886e-04,1.515144e-04,1.523693e-04,1.594137e-04,1.608043e-04,1.663004e-04,1.698129e-04,1.730107e-04,1.784986e-04,1.795278e-04,1.858370e-04,1.868264e-04,1.919261e-04,1.947675e-04,1.977846e-04,2.022998e-04,2.034042e-04,2.087784e-04,2.094066e-04,2.139025e-04,2.160769e-04,2.187732e-04,2.223046e-04,2.233891e-04,2.277499e-04,2.280878e-04,2.318566e-04,2.334286e-04,2.357115e-04,2.383328e-04,2.393177e-04,2.426794e-04,2.428088e-04,2.458014e-04,2.468677e-04,2.486893e-04,2.505226e-04,2.513494e-04,2.537882e-04,2.560128e-04,2.566807e-04,2.580306e-04,2.592170e-04,2.598493e-04,2.614150e-04,2.614765e-04,2.629202e-04,2.632927e-04,2.641885e-04,2.648685e-04,2.652892e-04,2.661608e-04,2.662304e-04,2.670199e-04,2.671877e-04,2.676656e-04,2.679671e-04,2.681750e-04,2.685165e-04,2.685556e-04,2.688149e-04,2.688528e-04,2.689598e-04,2.689923e-04,2.689973e-04,2.689507e-04,2.689341e-04,2.687765e-04,2.687430e-04,2.685309e-04,2.683834e-04,2.682031e-04,2.678856e-04,2.677989e-04,2.673238e-04,2.672622e-04,2.667829e-04,2.665254e-04,2.661814e-04,2.656865e-04,2.655239e-04,2.648150e-04,2.647561e-04,2.640589e-04,2.637442e-04,2.632598e-04,2.626599e-04,2.624214e-04,2.615475e-04,2.615118e-04,2.606414e-04,2.603079e-04,2.597064e-04,2.590557e-04,2.587456e-04,2.577618e-04,2.564326e-04,2.550739e-04,2.536911e-04,2.522888e-04,2.508718e-04,2.494438e-04,2.480088e-04,2.465700e-04,2.451304e-04,2.436930e-04,2.422600e-04,2.408338e-04,2.394163e-04,2.380095e-04,2.366148e-04,2.352337e-04,2.338674e-04,2.325171e-04,2.311837e-04,2.298680e-04,2.285708e-04,2.272927e-04,2.260342e-04,2.247957e-04
0.000000e+00,1.909213e-10,8.088554e-10,5.804531e-09,1.909030e-08,3.200798e-08,9.261265e-08,9.610979e-08,2.141417e-07,2.589057e-07,4.010156e-07,5.521100e-07,6.709141e-07,1.004157e-06,1.037321e-06,1.512509e-06,1.643915e-06,2.106418e-06,2.493298e-06,2.824980e-06,3.560539e-06,3.668109e-06,4.627852e-06,4.832478e-06,5.687577e-06,6.270374e-06,6.823248e-06,7.815525e-06,8.006999e-06,9.211615e-06,9.404666e-06,1.041388e-05,1.098467e-05,1.159585e-05,1.251797e-05,1.274457e-05,1.385101e-05,1.398063e-05,1.490914e-05,1.535837e-05,1.591514e-05,1.664342e-05,1.686678e-05,1.776305e-05,1.783236e-05,1.860388e-05,1.892480e-05,1.938987e-05,1.992246e-05,2.012219e-05,2.080239e-05,2.082854e-05,2.143232e-05,2.164718e-05,2.201403e-05,2.238315e-05,2.254969e-05,2.304154e-05,2.349188e-05,2.362758e-05,2.390295e-05,2.414646e-05,2.427698e-05,2.460321e-05,2.461613e-05,2.492252e-05,2.500272e-05,2.519817e-05,2.534960e-05,2.544500e-05,2.564823e-05,2.566487e-05,2.585954e-05,2.590270e-05,2.603069e-05,2.611686e-05,2.617990e-05,2.629425e-05,2.630867e-05,2.641839e-05,2.643817e-05,2.651040e-05,2.655166e-05,2.658594e-05,2.663752e-05,2.664618e-05,2.669223e-05,2.669835e-05,2.672512e-05,2.673652e-05,2.674582e-05,2.675422e-05,2.675525e-05,2.675425e-05,2.675346e-05,2.674362e-05,2.673608e-05,2.672410e-05,2.670377e-05,2.669641e-05,2.666119e-05,2.665807e-05,2.661905e-05,2.660039e-05,2.657058e-05,2.653204e-05,2.651629e-05,2.645669e-05,2.645420e-05,2.639225e-05,2.636795e-05,2.632341e-05,2.627428e-05,2.625056e-05,2.617410e-05,2.609437e-05,2.606822e-05,2.601170e-05,2.595740e-05,2.592641e-05,2.584233e-05,2.583878e-05,2.574908e-05,2.572362e-05,2.565755e-05,2.560185e-05,2.556443e-05,2.547754e-05,2.546994e-05,2.537427e-05,2.535115e-05,2.527761e-05,2.522311e-05,2.518013e-05,2.509381e-05,2.508201e-05,2.498338e-05,2.496360e-05,2.488438e-05,2.483280e-05,2.478515e-05,2.470170e-05,2.468580e-05,2.458644e-05,2.457054e-05,2.448717e-05,2.443959e-05,2.438809e-05,2.430903e-05,2.428929e-05,2.419085e-05,2.417906e-05,2.409283e-05,2.404986e-05,2.399532e-05,2.392157e-05,2.389836e-05,2.380202e-05,2.379434e-05,2.370635e-05,2.366828e-05,2.361139e-05,2.354349e-05,2.351720e-05,2.342380e-05,2.342008e-05,2.333124e-05,2.329813e-05,2.323955e-05,2.317771e-05,2.314875e-05,2.305888e-05,2.294170e-05,2.282622e-05,2.271247e-05,2.260048e-05,2.249029e-05,2.238191e-05,2.227537e-05,2.217066e-05,2.206781e-05,2.196680e-05,2.186765e-05,2.177035e-05,2.167489e-05,2.158126e-05,2.148946e-05,2.139948e-05,2.131129e-05,2.122488e-05,2.114023e-05,2.105733e-05,2.097616e-05,2.089669e-05,2.081890e-05,2.074276e-05
0.000000e+00,2.411078e-14,1.621146e-13,2.745259e-12,1.781317e-11,4.184881e-11,2.626883e-10,2.806052e-10,1.201642e-09,1.708535e-09,3.880641e-09,7.117709e-09,1.032775e-08,2.242880e-08,2.388194e-08,4.964452e-08,5.840389e-08,9.492686e-08,1.323952e-07,1.696576e-07,2.698936e-07,2.866615e-07,4.617247e-07,5.052930e-07,7.134072e-07,8.814272e-07,1.062625e-06,1.447901e-06,1.532061e-06,2.145477e-06,2.258597e-06,2.926984e-06,3.368817e-06,3.900323e-06,4.832419e-06,5.088195e-06,6.511646e-06,6.699213e-06,8.189552e-06,9.012736e-06,1.013818e-05,1.180850e-05,1.237083e-05,1.489764e-05,1.511272e-05,1.772537e-05,1.894157e-05,2.085734e-05,2.330083e-05,2.429348e-05,2.803038e-05,2.818602e-05,3.206143e-05,3.358286e-05,3.637705e-05,3.946800e-05,4.096487e-05,4.581006e-05,5.089559e-05,5.257069e-05,5.620259e-05,5.970590e-05,6.171059e-05,6.716726e-05,6.739791e-05,7.324195e-05,7.490321e-05,7.921947e-05,8.286025e-05,8.530689e-05,9.098407e-05,9.148058e-05,9.771706e-05,9.922058e-05,1.039932e-04,1.075168e-04,1.102866e-04,1.158217e-04,1.165754e-04,1.228388e-04,1.240866e-04,1.290569e-04,1.322662e-04,1.352111e-04,1.403184e-04,1.412839e-04,1.472589e-04,1.482048e-04,1.531212e-04,1.558911e-04,1.588572e-04,1.633467e-04,1.644545e-04,1.699021e-04,1.705452e-04,1.751902e-04,1.774642e-04,1.803104e-04,1.840849e-04,1.852554e-04,1.900191e-04,1.903922e-04,1.945966e-04,1.963746e-04,1.989840e-04,2.020236e-04,2.031785e-04,2.071780e-04,2.073339e-04,2.109816e-04,2.123029e-04,2.145891e-04,2.169303e-04,2.180009e-04,2.212184e-04,2.242434e-04,2.251711e-04,2.270783e-04,2.287942e-04,2.297260e-04,2.320950e-04,2.321901e-04,2.344743e-04,2.350822e-04,2.365827e-04,2.377652e-04,2.385198e-04,2.401548e-04,2.402904e-04,2.418993e-04,2.422620e-04,2.433518e-04,2.440987e-04,2.446529e-04,2.456770e-04,2.458081e-04,2.468228e-04,2.470094e-04,2.477025e-04,2.481083e-04,2.484526e-04,2.489865e-04,2.490786e-04,2.495859e-04,2.496565e-04,2.499800e-04,2.501306e-04,2.502662e-04,2.504210e-04,2.504498e-04,2.505358e-04,2.505398e-04,2.505294e-04,2.504986e-04,2.504355e-04,2.503085e-04,2.502588e-04,2.500041e-04,2.499805e-04,2.496760e-04,2.495252e-04,2.492788e-04,2.489525e-04,2.488168e-04,2.482942e-04,2.482721e-04,2.477148e-04,2.474932e-04,2.470827e-04,2.466246e-04,2.464014e-04,2.456745e-04,2.446509e-04,2.435611e-04,2.424123e-04,2.412108e-04,2.399629e-04,2.386744e-04,2.373507e-04,2.359968e-04,2.346174e-04,2.332169e-04,2.317992e-04,2.303682e-04,2.289272e-04,2.274795e-04,2.260280e-04,2.245754e-04,2.231240e-04,2.216762e-04,2.202340e-04,2.187993e-04,2.173737e-04,2.159587e-04,2.145558e-04,2.131661e-04
0.000000e+00,3.875932e-11,1.708442e-10,1.305848e-09,4.470889e-09,7.624044e-09,2.277363e-08,2.365751e-08,5.375718e-08,6.525091e-08,1.018598e-07,1.408718e-07,1.715651e-07,2.576471e-07,2.662113e-07,3.889022e-07,4.228388e-07,5.424001e-07,6.426299e-07,7.287669e-07,9.206029e-07,9.487619e-07,1.201411e-06,1.255659e-06,1.484229e-06,1.642141e-06,1.793939e-06,2.072343e-06,2.127079e-06,2.480274e-06,2.538427e-06,2.850265e-06,3.032893e-06,3.233880e-06,3.548485e-06,3.628003e-06,4.029587e-06,4.078136e-06,4.435666e-06,4.615027e-06,4.843397e-06,5.152721e-06,5.250099e-06,5.653286e-06,5.685319e-06,6.050696e-06,6.207583e-06,6.440316e-06,6.715022e-06,6.820389e-06,7.189422e-06,7.203936e-06,7.546178e-06,7.671407e-06,7.889668e-06,8.115268e-06,8.219134e-06,8.534034e-06,8.834018e-06,8.926830e-06,9.118909e-06,9.293299e-06,9.388677e-06,9.633520e-06,9.643424e-06,9.883359e-06,9.947926e-06,1.010878e-05,1.023722e-05,1.032006e-05,1.050232e-05,1.051763e-05,1.070197e-05,1.074429e-05,1.087356e-05,1.096429e-05,1.103296e-05,1.116355e-05,1.118068e-05,1.131728e-05,1.134331e-05,1.144330e-05,1.150483e-05,1.155928e-05,1.164933e-05,1.166575e-05,1.176322e-05,1.177801e-05,1.185219e-05,1.189202e-05,1.193315e-05,1.199246e-05,1.200657e-05,1.207288e-05,1.208038e-05,1.213251e-05,1.215674e-05,1.218588e-05,1.222249e-05,1.223337e-05,1.227534e-05,1.227847e-05,1.231214e-05,1.232549e-05,1.234411e-05,1.236430e-05,1.237155e-05,1.239476e-05,1.239560e-05,1.241401e-05,1.242002e-05,1.242957e-05,1.243817e-05,1.244169e-05,1.245059e-05,1.245649e-05,1.245778e-05,1.245960e-05,1.246022e-05,1.246011e-05,1.245833e-05,1.245821e-05,1.245406e-05,1.245251e-05,1.244782e-05,1.244314e-05,1.243964e-05,1.243053e-05,1.242967e-05,1.241803e-05,1.241501e-05,1.240486e-05,1.239685e-05,1.239026e-05,1.237632e-05,1.237435e-05,1.235723e-05,1.235367e-05,1.233899e-05,1.232910e-05,1.231973e-05,1.230282e-05,1.229953e-05,1.227847e-05,1.227503e-05,1.225662e-05,1.224588e-05,1.223406e-05,1.221555e-05,1.221085e-05,1.218706e-05,1.218417e-05,1.216273e-05,1.215187e-05,1.213793e-05,1.211879e-05,1.211270e-05,1.208709e-05,1.208503e-05,1.206115e-05,1.205069e-05,1.203492e-05,1.201588e-05,1.200844e-05,1.198174e-05,1.198067e-05,1.195487e-05,1.194515e-05,1.192784e-05,1.190939e-05,1.190070e-05,1.187346e-05,1.183742e-05,1.180133e-05,1.176523e-05,1.172917e-05,1.169321e-05,1.165737e-05,1.162169e-05,1.158620e-05,1.155094e-05,1.151594e-05,1.148120e-05,1.144677e-05,1.141265e-05,1.137887e-05,1.134543e-05,1.131237e-05,1.127968e-05,1.124737e-05,1.121547e-05,1.118398e-05,1.115289e-05,1.112223e-05,1.109200e-05,1.106219e-05
0.000000e+00,1.684474e-09,5.014996e-09,2.269029e-08,5.846875e-08,8.926395e-08,2.190599e-07,2.261965e-07,4.584509e-07,5.441841e-07,8.132117e-07,1.097492e-06,1.321147e-06,1.952003e-06,2.015100e-06,2.923050e-06,3.174448e-06,4.054631e-06,4.780251e-06,5.391645e-06,6.707711e-06,6.895554e-06,8.524024e-06,8.861338e-06,1.024086e-05,1.115881e-05,1.201755e-05,1.353949e-05,1.383140e-05,1.566362e-05,1.595737e-05,1.749799e-05,1.837496e-05,1.932013e-05,2.076040e-05,2.111726e-05,2.287809e-05,2.308646e-05,2.459278e-05,2.533041e-05,2.625294e-05,2.747391e-05,2.785170e-05,2.938358e-05,2.950311e-05,3.084446e-05,3.140826e-05,3.223150e-05,3.318342e-05,3.354295e-05,3.477809e-05,3.482591e-05,3.593702e-05,3.633573e-05,3.702058e-05,3.771502e-05,3.803014e-05,3.896764e-05,3.983536e-05,4.009870e-05,4.063584e-05,4.111412e-05,4.137182e-05,4.202035e-05,4.204618e-05,4.266183e-05,4.282410e-05,4.322174e-05,4.353215e-05,4.372884e-05,4.415121e-05,4.418602e-05,4.459610e-05,4.468782e-05,4.496184e-05,4.514827e-05,4.528587e-05,4.553853e-05,4.557072e-05,4.581884e-05,4.586427e-05,4.603254e-05,4.613080e-05,4.621403e-05,4.634312e-05,4.636539e-05,4.648861e-05,4.650584e-05,4.658556e-05,4.662329e-05,4.665801e-05,4.669946e-05,4.670763e-05,4.673599e-05,4.673804e-05,4.674458e-05,4.674246e-05,4.673479e-05,4.671586e-05,4.670792e-05,4.666521e-05,4.666114e-05,4.660781e-05,4.658098e-05,4.653681e-05,4.647784e-05,4.645322e-05,4.635801e-05,4.635397e-05,4.625206e-05,4.621146e-05,4.613622e-05,4.605220e-05,4.601127e-05,4.587796e-05,4.573697e-05,4.569034e-05,4.558895e-05,4.549081e-05,4.543451e-05,4.528073e-05,4.527421e-05,4.510859e-05,4.506133e-05,4.493814e-05,4.483376e-05,4.476334e-05,4.459904e-05,4.458461e-05,4.440237e-05,4.435815e-05,4.421699e-05,4.411195e-05,4.402884e-05,4.386124e-05,4.383825e-05,4.364553e-05,4.360675e-05,4.345096e-05,4.334915e-05,4.325483e-05,4.308906e-05,4.305739e-05,4.285887e-05,4.282702e-05,4.265950e-05,4.256356e-05,4.245948e-05,4.229913e-05,4.225901e-05,4.205826e-05,4.203416e-05,4.185741e-05,4.176904e-05,4.165660e-05,4.150411e-05,4.145599e-05,4.125571e-05,4.123970e-05,4.105588e-05,4.097610e-05,4.085662e-05,4.071356e-05,4.065803e-05,4.046023e-05,4.045234e-05,4.026330e-05,4.019263e-05,4.006732e-05,3.993465e-05,3.987238e-05,3.967855e-05,3.942451e-05,3.917265e-05,3.892311e-05,3.867599e-05,3.843139e-05,3.818941e-05,3.795012e-05,3.771358e-05,3.747984e-05,3.724897e-05,3.702099e-05,3.679595e-05,3.657386e-05,3.635476e-05,3.613865e-05,3.592555e-05,3.571546e-05,3.550838e-05,3.530431e-05,3.510325e-05,3.490518e-05,3.471010e-05,3.451798e-05,3.432882e-05
0.000000e+00,6.132306e-14,4.167406e-13,7.214221e-12,4.775520e-11,1.134243e-10,7.322595e-10,7.830953e-10,3.447652e-09,4.938873e-09,1.143051e-08,2.128507e-08,3.118986e-08,6.923483e-08,7.385754e-08,1.570389e-07,1.857193e-07,3.067787e-07,4.327984e-07,5.594725e-07,9.050430e-07,9.633983e-07,1.579574e-06,1.734555e-06,2.481806e-06,3.092066e-06,3.755926e-06,5.183859e-06,5.498361e-06,7.814157e-06,8.245265e-06,1.081464e-05,1.253178e-05,1.461485e-05,1.830885e-05,1.933085e-05,2.507709e-05,2.584116e-05,3.196378e-05,3.538221e-05,4.009452e-05,4.716459e-05,4.956407e-05,6.045644e-05,6.139154e-05,7.284327e-05,7.822992e-05,8.678251e-05,9.780492e-05,1.023175e-04,1.194761e-04,1.201965e-04,1.382709e-04,1.454375e-04,1.586987e-04,1.735136e-04,1.807410e-04,2.043646e-04,2.295222e-04,2.378872e-04,2.561536e-04,2.739383e-04,2.841867e-04,3.123404e-04,3.135387e-04,3.441173e-04,3.528857e-04,3.758225e-04,3.953423e-04,4.085477e-04,4.394595e-04,4.421809e-04,4.766066e-04,4.849736e-04,5.117066e-04,5.316127e-04,5.473616e-04,5.791023e-04,5.834522e-04,6.198599e-04,6.271693e-04,6.564684e-04,6.755463e-04,6.931640e-04,7.239752e-04,7.298369e-04,7.663816e-04,7.722100e-04,8.026972e-04,8.200191e-04,8.386885e-04,8.671875e-04,8.742657e-04,9.093452e-04,9.135175e-04,9.438495e-04,9.588305e-04,9.777073e-04,1.002967e-03,1.010854e-03,1.043231e-03,1.045786e-03,1.074786e-03,1.087167e-03,1.105473e-03,1.127007e-03,1.135252e-03,1.164089e-03,1.165222e-03,1.191954e-03,1.201744e-03,1.218826e-03,1.236521e-03,1.244685e-03,1.269518e-03,1.293317e-03,1.300713e-03,1.316075e-03,1.330095e-03,1.337793e-03,1.357667e-03,1.358474e-03,1.378123e-03,1.383441e-03,1.396749e-03,1.407439e-03,1.414365e-03,1.429690e-03,1.430984e-03,1.446623e-03,1.450232e-03,1.461300e-03,1.469107e-03,1.475037e-03,1.486363e-03,1.487853e-03,1.499773e-03,1.502052e-03,1.510820e-03,1.516228e-03,1.521019e-03,1.528950e-03,1.530396e-03,1.538977e-03,1.540278e-03,1.546788e-03,1.550271e-03,1.553856e-03,1.558993e-03,1.560208e-03,1.565871e-03,1.566505e-03,1.570871e-03,1.572869e-03,1.575237e-03,1.578146e-03,1.578993e-03,1.582166e-03,1.582396e-03,1.584782e-03,1.585678e-03,1.586867e-03,1.588052e-03,1.588443e-03,1.589537e-03,1.589571e-03,1.590172e-03,1.590292e-03,1.590370e-03,1.590267e-03,1.590154e-03,1.589546e-03,1.588179e-03,1.586212e-03,1.583689e-03,1.580654e-03,1.577147e-03,1.573206e-03,1.568868e-03,1.564168e-03,1.559137e-03,1.553807e-03,1.548207e-03,1.542364e-03,1.536303e-03,1.530049e-03,1.523623e-03,1.517048e-03,1.510342e-03,1.503524e-03,1.496611e-03,1.489618e-03,1.482561e-03,1.475452e-03,1.468305e-03,1.461132e-03
0.000000e+00,2.728290e-14,1.852686e-13,3.201654e-12,2.115537e-11,5.019047e-11,3.229129e-10,3.452752e-10,1.513249e-09,2.164610e-09,4.988740e-09,9.252300e-09,1.351756e-08,2.977557e-08,3.174051e-08,6.682790e-08,7.883250e-08,1.291325e-07,1.810194e-07,2.328242e-07,3.729292e-07,3.964570e-07,6.433990e-07,7.051946e-07,1.002045e-06,1.243567e-06,1.505739e-06,2.068544e-06,2.192383e-06,3.103735e-06,3.273357e-06,4.284461e-06,4.960495e-06,5.781010e-06,7.237240e-06,7.640383e-06,9.908879e-06,1.021073e-05,1.263088e-05,1.398300e-05,1.584769e-05,1.864648e-05,1.959654e-05,2.390973e-05,2.428000e-05,2.881387e-05,3.094580e-05,3.432943e-05,3.868729e-05,4.047032e-05,4.724372e-05,4.752784e-05,5.465009e-05,5.747035e-05,6.268325e-05,6.849765e-05,7.133062e-05,8.057360e-05,9.038801e-05,9.364466e-05,1.007446e-04,1.076420e-04,1.116096e-04,1.224835e-04,1.229455e-04,1.347112e-04,1.380768e-04,1.468633e-04,1.543211e-04,1.593562e-04,1.711104e-04,1.721430e-04,1.851758e-04,1.883349e-04,1.984065e-04,2.058843e-04,2.117873e-04,2.236490e-04,2.252709e-04,2.388112e-04,2.415220e-04,2.523633e-04,2.594007e-04,2.658842e-04,2.771875e-04,2.793328e-04,2.926704e-04,2.947916e-04,3.058604e-04,3.121291e-04,3.188689e-04,3.291239e-04,3.316646e-04,3.442186e-04,3.457076e-04,3.565050e-04,3.618201e-04,3.685004e-04,3.774094e-04,3.801841e-04,3.915379e-04,3.924315e-04,4.025462e-04,4.068498e-04,4.131959e-04,4.206354e-04,4.234760e-04,4.333780e-04,4.337661e-04,4.428952e-04,4.462263e-04,4.520232e-04,4.580065e-04,4.607593e-04,4.691023e-04,4.770530e-04,4.795146e-04,4.846133e-04,4.892486e-04,4.917867e-04,4.983132e-04,4.985776e-04,5.049917e-04,5.067210e-04,5.110356e-04,5.144874e-04,5.167168e-04,5.216302e-04,5.220435e-04,5.270244e-04,5.281694e-04,5.316690e-04,5.341267e-04,5.359871e-04,5.395250e-04,5.399889e-04,5.436848e-04,5.443883e-04,5.470857e-04,5.487411e-04,5.502023e-04,5.526085e-04,5.530455e-04,5.556264e-04,5.560158e-04,5.579560e-04,5.589880e-04,5.600450e-04,5.615504e-04,5.619044e-04,5.635448e-04,5.637274e-04,5.649767e-04,5.655434e-04,5.662106e-04,5.670220e-04,5.672564e-04,5.681241e-04,5.681861e-04,5.688233e-04,5.690580e-04,5.693635e-04,5.696590e-04,5.697536e-04,5.700025e-04,5.700097e-04,5.701188e-04,5.701297e-04,5.701105e-04,5.700378e-04,5.699856e-04,5.697518e-04,5.692887e-04,5.686644e-04,5.678941e-04,5.669921e-04,5.659716e-04,5.648453e-04,5.636250e-04,5.623214e-04,5.609450e-04,5.595051e-04,5.580106e-04,5.564697e-04,5.548898e-04,5.532781e-04,5.516408e-04,5.499840e-04,5.483129e-04,5.466325e-04,5.449474e-04,5.432616e-04,5.415788e-04,5.399026e-04,5.382357e-04,5.365811e-04
0.000000e+00,3.471124e-09,7.995632e-09,2.762528e-08,6.288588e-08,9.170720e-08,2.075483e-07,2.137658e-07,4.115773e-07,4.830142e-07,7.034671e-07,9.316397e-07,1.108327e-06,1.595322e-06,1.643187e-06,2.317250e-06,2.499623e-06,3.127230e-06,3.635691e-06,4.060633e-06,4.972273e-06,5.102560e-06,6.239089e-06,6.476615e-06,7.457520e-06,8.119445e-06,8.745750e-06,9.873045e-06,1.009180e-05,1.148365e-05,1.170979e-05,1.290926e-05,1.360205e-05,1.435677e-05,1.552282e-05,1.581471e-05,1.727220e-05,1.744658e-05,1.871920e-05,1.935016e-05,2.014658e-05,2.121328e-05,2.154630e-05,2.291137e-05,2.301890e-05,2.423594e-05,2.475330e-05,2.551517e-05,2.640598e-05,2.674527e-05,2.792333e-05,2.796934e-05,2.904733e-05,2.943847e-05,3.011598e-05,3.081069e-05,3.112862e-05,3.208517e-05,3.298601e-05,3.326262e-05,3.383189e-05,3.434491e-05,3.462391e-05,3.533479e-05,3.536338e-05,3.605183e-05,3.623568e-05,3.669093e-05,3.705144e-05,3.728246e-05,3.778622e-05,3.782825e-05,3.833019e-05,3.844434e-05,3.879019e-05,3.903018e-05,3.921016e-05,3.954811e-05,3.959197e-05,3.993750e-05,4.000241e-05,4.024856e-05,4.039727e-05,4.052691e-05,4.073673e-05,4.077430e-05,4.099237e-05,4.102465e-05,4.118274e-05,4.126473e-05,4.134695e-05,4.146049e-05,4.148649e-05,4.160279e-05,4.161525e-05,4.169721e-05,4.173216e-05,4.177105e-05,4.181418e-05,4.182557e-05,4.186194e-05,4.186410e-05,4.188130e-05,4.188452e-05,4.188472e-05,4.187790e-05,4.187324e-05,4.184782e-05,4.184653e-05,4.180940e-05,4.179255e-05,4.175884e-05,4.171796e-05,4.169698e-05,4.162462e-05,4.154250e-05,4.151428e-05,4.145133e-05,4.138854e-05,4.135178e-05,4.124892e-05,4.124448e-05,4.113005e-05,4.109680e-05,4.100904e-05,4.093350e-05,4.088199e-05,4.076021e-05,4.074941e-05,4.061178e-05,4.057805e-05,4.046954e-05,4.038804e-05,4.032314e-05,4.019116e-05,4.017295e-05,4.001938e-05,3.998829e-05,3.986276e-05,3.978023e-05,3.970344e-05,3.956775e-05,3.954173e-05,3.937793e-05,3.935155e-05,3.921232e-05,3.913226e-05,3.904515e-05,3.891047e-05,3.887668e-05,3.870714e-05,3.868673e-05,3.853673e-05,3.846154e-05,3.836568e-05,3.823535e-05,3.819415e-05,3.802234e-05,3.800858e-05,3.785040e-05,3.778162e-05,3.767849e-05,3.755482e-05,3.750676e-05,3.733534e-05,3.732849e-05,3.716436e-05,3.710293e-05,3.699393e-05,3.687841e-05,3.682416e-05,3.665515e-05,3.643338e-05,3.621329e-05,3.599506e-05,3.577885e-05,3.556480e-05,3.535302e-05,3.514365e-05,3.493676e-05,3.473245e-05,3.453079e-05,3.433184e-05,3.413566e-05,3.394229e-05,3.375177e-05,3.356412e-05,3.337938e-05,3.319755e-05,3.301865e-05,3.284267e-05,3.266963e-05,3.249951e-05,3.233231e-05,3.216802e-05,3.200661e-05
0.000000e+00,4.404799e-12,2.567546e-11,3.250187e-10,1.628966e-09,3.331757e-09,1.479793e-08,1.559263e-08,4.836238e-08,6.323606e-08,1.172744e-07,1.841408e-07,2.424580e-07,4.287733e-07,4.489549e-07,7.657786e-07,8.614892e-07,1.221033e-06,1.543964e-06,1.833184e-06,2.503771e-06,2.604386e-06,3.521333e-06,3.720328e-06,4.561810e-06,5.143579e-06,5.701594e-06,6.719475e-06,6.918566e-06,8.194051e-06,8.402487e-06,9.512582e-06,1.015687e-05,1.086113e-05,1.195394e-05,1.222840e-05,1.360441e-05,1.376968e-05,1.498020e-05,1.558338e-05,1.634778e-05,1.737726e-05,1.770008e-05,1.903096e-05,1.913634e-05,2.033518e-05,2.084840e-05,2.160839e-05,2.250387e-05,2.284703e-05,2.404835e-05,2.409560e-05,2.521025e-05,2.561858e-05,2.633123e-05,2.706961e-05,2.741032e-05,2.844697e-05,2.944103e-05,2.975015e-05,3.039263e-05,3.097953e-05,3.130215e-05,3.213625e-05,3.217018e-05,3.299748e-05,3.322194e-05,3.378490e-05,3.423861e-05,3.453341e-05,3.518856e-05,3.524404e-05,3.591786e-05,3.607422e-05,3.655598e-05,3.689817e-05,3.715956e-05,3.766303e-05,3.772973e-05,3.826764e-05,3.837145e-05,3.877443e-05,3.902603e-05,3.925121e-05,3.962933e-05,3.969910e-05,4.011918e-05,4.018388e-05,4.051252e-05,4.069214e-05,4.088017e-05,4.115648e-05,4.122314e-05,4.154242e-05,4.157919e-05,4.183897e-05,4.196249e-05,4.211373e-05,4.230853e-05,4.236760e-05,4.260147e-05,4.261934e-05,4.281618e-05,4.289689e-05,4.301256e-05,4.314305e-05,4.319141e-05,4.335348e-05,4.335963e-05,4.349953e-05,4.354833e-05,4.363028e-05,4.371079e-05,4.374640e-05,4.384858e-05,4.393745e-05,4.396318e-05,4.401363e-05,4.405601e-05,4.407772e-05,4.412839e-05,4.413028e-05,4.417187e-05,4.418162e-05,4.420302e-05,4.421690e-05,4.422423e-05,4.423539e-05,4.423600e-05,4.423879e-05,4.423818e-05,4.423307e-05,4.422630e-05,4.421925e-05,4.420074e-05,4.419777e-05,4.416901e-05,4.416242e-05,4.413337e-05,4.411223e-05,4.409120e-05,4.405100e-05,4.404287e-05,4.398871e-05,4.397952e-05,4.392904e-05,4.389853e-05,4.386417e-05,4.380874e-05,4.379441e-05,4.372003e-05,4.371081e-05,4.364132e-05,4.360538e-05,4.355853e-05,4.349303e-05,4.347191e-05,4.338170e-05,4.337433e-05,4.328813e-05,4.324981e-05,4.319142e-05,4.311997e-05,4.309178e-05,4.298941e-05,4.298527e-05,4.288451e-05,4.284616e-05,4.277725e-05,4.270305e-05,4.266780e-05,4.255635e-05,4.240642e-05,4.225360e-05,4.209823e-05,4.194062e-05,4.178104e-05,4.161978e-05,4.145709e-05,4.129320e-05,4.112835e-05,4.096273e-05,4.079655e-05,4.062999e-05,4.046323e-05,4.029641e-05,4.012969e-05,3.996322e-05,3.979711e-05,3.963150e-05,3.946649e-05,3.930219e-05,3.913870e-05,3.897609e-05,3.881446e-05,3.865389e-05
0.000000e+00,3.864667e-14,2.618472e-13,4.503952e-12,2.963413e-11,7.014409e-11,4.487087e-10,4.796753e-10,2.091598e-09,2.988198e-09,6.867950e-09,1.271509e-08,1.856013e-08,4.083642e-08,4.352962e-08,9.167652e-08,1.081740e-07,1.774178e-07,2.490030e-07,3.205844e-07,5.144613e-07,5.470372e-07,8.888249e-07,9.742602e-07,1.383806e-06,1.715784e-06,2.074784e-06,2.840613e-06,3.008257e-06,4.232932e-06,4.459204e-06,5.798113e-06,6.684606e-06,7.752082e-06,9.626025e-06,1.014055e-05,1.300525e-05,1.338282e-05,1.638273e-05,1.803932e-05,2.030329e-05,2.366076e-05,2.479027e-05,2.985942e-05,3.029039e-05,3.551865e-05,3.794782e-05,4.176789e-05,4.662854e-05,4.859923e-05,5.599718e-05,5.630458e-05,6.393914e-05,6.692600e-05,7.239600e-05,7.842314e-05,8.133279e-05,9.070949e-05,1.004818e-04,1.036848e-04,1.106021e-04,1.172385e-04,1.210200e-04,1.312530e-04,1.316836e-04,1.425399e-04,1.456070e-04,1.535359e-04,1.601786e-04,1.646190e-04,1.748480e-04,1.757376e-04,1.868420e-04,1.894996e-04,1.978845e-04,2.040244e-04,2.088201e-04,2.183213e-04,2.196065e-04,2.302047e-04,2.322986e-04,2.405790e-04,2.458743e-04,2.506971e-04,2.589771e-04,2.605301e-04,2.700528e-04,2.715462e-04,2.792435e-04,2.835315e-04,2.880836e-04,2.948931e-04,2.965581e-04,3.046551e-04,3.056009e-04,3.123655e-04,3.156340e-04,3.196833e-04,3.249799e-04,3.266049e-04,3.331291e-04,3.336339e-04,3.392572e-04,3.415981e-04,3.449922e-04,3.488806e-04,3.503390e-04,3.553041e-04,3.554948e-04,3.598955e-04,3.614586e-04,3.641222e-04,3.667933e-04,3.679946e-04,3.715236e-04,3.747210e-04,3.756761e-04,3.775992e-04,3.792795e-04,3.801708e-04,3.823634e-04,3.824490e-04,3.844471e-04,3.849582e-04,3.861784e-04,3.870947e-04,3.876564e-04,3.888037e-04,3.888942e-04,3.899052e-04,3.901155e-04,3.907021e-04,3.910597e-04,3.912979e-04,3.916655e-04,3.917047e-04,3.919348e-04,3.919606e-04,3.919997e-04,3.919720e-04,3.919108e-04,3.917253e-04,3.916790e-04,3.913146e-04,3.912447e-04,3.908279e-04,3.905535e-04,3.902281e-04,3.896732e-04,3.895246e-04,3.887259e-04,3.886241e-04,3.878403e-04,3.874252e-04,3.868756e-04,3.860942e-04,3.858393e-04,3.847381e-04,3.846475e-04,3.835789e-04,3.831003e-04,3.823677e-04,3.814668e-04,3.811104e-04,3.798124e-04,3.797597e-04,3.784789e-04,3.779910e-04,3.771146e-04,3.761715e-04,3.757239e-04,3.743110e-04,3.724186e-04,3.705023e-04,3.685695e-04,3.666269e-04,3.646804e-04,3.627355e-04,3.607968e-04,3.588687e-04,3.569549e-04,3.550587e-04,3.531831e-04,3.513307e-04,3.495036e-04,3.477038e-04,3.459329e-04,3.441922e-04,3.424831e-04,3.408063e-04,3.391626e-04,3.375527e-04,3.359770e-04,3.344357e-04,3.329291e-04,3.314572e-04
0.000000e+00,9.535037e-14,6.275031e-13,1.015343e-11,6.313067e-11,1.448104e-10,8.532159e-10,9.090232e-10,3.647522e-09,5.093511e-09,1.104981e-08,1.951661e-08,2.762314e-08,5.671108e-08,6.009513e-08,1.177410e-07,1.366013e-07,2.126253e-07,2.874816e-07,3.596921e-07,5.462092e-07,5.765529e-07,8.827802e-07,9.565388e-07,1.298638e-06,1.564698e-06,1.843402e-06,2.412845e-06,2.533622e-06,3.381644e-06,3.532530e-06,4.394656e-06,4.940197e-06,5.574293e-06,6.635601e-06,6.916771e-06,8.413403e-06,8.602786e-06,1.005137e-05,1.081281e-05,1.181461e-05,1.322722e-05,1.368476e-05,1.564198e-05,1.580170e-05,1.766575e-05,1.848928e-05,1.973552e-05,2.124297e-05,2.183128e-05,2.393393e-05,2.401792e-05,2.602565e-05,2.677281e-05,2.809014e-05,2.947089e-05,3.011274e-05,3.208053e-05,3.398239e-05,3.457548e-05,3.580895e-05,3.693482e-05,3.755255e-05,3.914277e-05,3.920718e-05,4.076837e-05,4.118830e-05,4.223304e-05,4.306474e-05,4.359944e-05,4.476920e-05,4.486696e-05,4.603602e-05,4.630206e-05,4.710790e-05,4.766645e-05,4.808467e-05,4.886767e-05,4.896902e-05,4.976413e-05,4.991276e-05,5.047363e-05,5.081002e-05,5.110141e-05,5.156861e-05,5.165160e-05,5.212847e-05,5.219826e-05,5.253635e-05,5.270890e-05,5.287956e-05,5.311047e-05,5.316242e-05,5.338913e-05,5.341276e-05,5.356380e-05,5.362520e-05,5.369042e-05,5.375685e-05,5.377277e-05,5.381452e-05,5.381621e-05,5.381909e-05,5.381126e-05,5.378977e-05,5.374940e-05,5.372962e-05,5.364151e-05,5.363744e-05,5.352815e-05,5.348164e-05,5.339203e-05,5.328768e-05,5.323550e-05,5.306071e-05,5.286967e-05,5.280541e-05,5.266421e-05,5.252594e-05,5.244603e-05,5.222607e-05,5.221670e-05,5.197764e-05,5.190914e-05,5.173017e-05,5.157815e-05,5.147549e-05,5.123575e-05,5.121469e-05,5.094878e-05,5.088430e-05,5.067866e-05,5.052587e-05,5.040517e-05,5.016231e-05,5.012906e-05,4.985101e-05,4.979522e-05,4.957164e-05,4.942604e-05,4.929153e-05,4.905601e-05,4.901116e-05,4.873100e-05,4.868622e-05,4.845147e-05,4.831762e-05,4.817293e-05,4.795104e-05,4.789572e-05,4.762013e-05,4.758718e-05,4.734644e-05,4.722668e-05,4.707488e-05,4.687005e-05,4.680566e-05,4.653897e-05,4.651775e-05,4.627498e-05,4.617017e-05,4.601382e-05,4.582762e-05,4.575564e-05,4.550053e-05,4.549039e-05,4.524860e-05,4.515870e-05,4.499992e-05,4.483272e-05,4.475457e-05,4.451261e-05,4.419847e-05,4.389039e-05,4.358843e-05,4.329262e-05,4.300298e-05,4.271950e-05,4.244219e-05,4.217099e-05,4.190588e-05,4.164679e-05,4.139368e-05,4.114646e-05,4.090508e-05,4.066944e-05,4.043948e-05,4.021508e-05,3.999618e-05,3.978267e-05,3.957445e-05,3.937144e-05,3.917352e-05,3.898060e-05,3.879258e-05,3.860936e-05
0.000000e+00,4.629418e-10,1.466808e-09,7.123718e-09,1.897743e-08,2.931782e-08,7.324341e-08,7.566149e-08,1.540233e-07,1.827143e-07,2.717737e-07,3.642889e-07,4.360063e-07,6.340704e-07,6.535954e-07,9.307763e-07,1.006715e-06,1.271917e-06,1.491421e-06,1.678003e-06,2.087052e-06,2.146401e-06,2.672265e-06,2.783848e-06,3.250056e-06,3.569184e-06,3.874233e-06,4.430403e-06,4.539348e-06,5.239951e-06,5.354973e-06,5.970511e-06,6.330171e-06,6.725399e-06,7.342999e-06,7.498920e-06,8.285386e-06,8.380365e-06,9.079208e-06,9.429421e-06,9.874989e-06,1.047793e-05,1.066760e-05,1.145228e-05,1.151458e-05,1.222466e-05,1.252928e-05,1.298085e-05,1.351334e-05,1.371743e-05,1.443148e-05,1.445953e-05,1.512055e-05,1.536211e-05,1.578267e-05,1.621674e-05,1.641633e-05,1.702041e-05,1.759417e-05,1.777129e-05,1.813720e-05,1.846856e-05,1.864941e-05,1.911227e-05,1.913094e-05,1.958218e-05,1.970318e-05,2.000369e-05,2.024261e-05,2.039617e-05,2.073233e-05,2.076045e-05,2.109747e-05,2.117441e-05,2.140822e-05,2.157116e-05,2.169376e-05,2.192502e-05,2.195515e-05,2.219351e-05,2.223851e-05,2.240993e-05,2.251417e-05,2.260552e-05,2.275451e-05,2.278136e-05,2.293851e-05,2.296199e-05,2.307802e-05,2.313902e-05,2.320090e-05,2.328787e-05,2.330810e-05,2.340058e-05,2.341073e-05,2.347923e-05,2.350968e-05,2.354492e-05,2.358667e-05,2.359846e-05,2.364064e-05,2.364354e-05,2.367220e-05,2.368201e-05,2.369385e-05,2.370368e-05,2.370626e-05,2.371008e-05,2.371006e-05,2.370588e-05,2.370253e-05,2.369426e-05,2.368238e-05,2.367573e-05,2.365081e-05,2.361997e-05,2.360893e-05,2.358366e-05,2.355775e-05,2.354230e-05,2.349822e-05,2.349630e-05,2.344601e-05,2.343121e-05,2.339179e-05,2.335752e-05,2.333398e-05,2.327788e-05,2.327287e-05,2.320877e-05,2.319297e-05,2.314194e-05,2.310342e-05,2.307264e-05,2.300979e-05,2.300110e-05,2.292755e-05,2.291262e-05,2.285220e-05,2.281237e-05,2.277524e-05,2.270950e-05,2.269687e-05,2.261725e-05,2.260440e-05,2.253653e-05,2.249745e-05,2.245488e-05,2.238898e-05,2.237243e-05,2.228931e-05,2.227930e-05,2.220565e-05,2.216869e-05,2.212155e-05,2.205741e-05,2.203713e-05,2.195247e-05,2.194569e-05,2.186769e-05,2.183375e-05,2.178285e-05,2.172178e-05,2.169804e-05,2.161334e-05,2.160995e-05,2.152880e-05,2.149842e-05,2.144450e-05,2.138734e-05,2.136050e-05,2.127684e-05,2.116703e-05,2.105801e-05,2.094989e-05,2.084274e-05,2.073665e-05,2.063167e-05,2.052787e-05,2.042529e-05,2.032399e-05,2.022400e-05,2.012536e-05,2.002809e-05,1.993222e-05,1.983777e-05,1.974474e-05,1.965317e-05,1.956305e-05,1.947438e-05,1.938719e-05,1.930145e-05,1.921718e-05,1.913437e-05,1.905301e-05,1.897310e-05
0.000000e+00,6.562345e-09,1.509036e-08,5.261884e-08,1.223819e-07,1.816208e-07,4.389289e-07,4.535735e-07,9.586229e-07,1.156865e-06,1.802048e-06,2.492326e-06,3.024682e-06,4.437289e-06,4.571071e-06,6.369345e-06,6.832769e-06,8.373251e-06,9.574759e-06,1.055579e-05,1.260932e-05,1.289833e-05,1.538451e-05,1.589752e-05,1.799752e-05,1.940048e-05,2.071936e-05,2.307584e-05,2.353089e-05,2.641217e-05,2.687830e-05,2.934313e-05,3.076185e-05,3.230418e-05,3.468213e-05,3.527670e-05,3.824332e-05,3.859815e-05,4.118826e-05,4.247356e-05,4.409784e-05,4.627819e-05,4.696032e-05,4.976562e-05,4.998732e-05,5.250548e-05,5.358156e-05,5.517323e-05,5.704636e-05,5.776361e-05,6.027262e-05,6.037125e-05,6.269741e-05,6.354933e-05,6.503611e-05,6.657662e-05,6.728749e-05,6.945067e-05,7.152611e-05,7.217186e-05,7.351458e-05,7.474194e-05,7.541698e-05,7.716359e-05,7.723469e-05,7.896910e-05,7.944004e-05,8.062196e-05,8.157529e-05,8.219510e-05,8.357365e-05,8.369047e-05,8.511008e-05,8.543976e-05,8.645609e-05,8.717850e-05,8.773064e-05,8.879484e-05,8.893589e-05,9.007399e-05,9.029375e-05,9.114711e-05,9.168017e-05,9.215739e-05,9.295903e-05,9.310697e-05,9.399795e-05,9.413521e-05,9.483243e-05,9.521350e-05,9.561243e-05,9.619855e-05,9.633995e-05,9.701694e-05,9.709488e-05,9.764532e-05,9.790688e-05,9.822693e-05,9.863882e-05,9.876362e-05,9.925715e-05,9.929482e-05,9.970924e-05,9.987885e-05,1.001216e-04,1.003947e-04,1.004958e-04,1.008334e-04,1.008462e-04,1.011361e-04,1.012367e-04,1.014052e-04,1.015698e-04,1.016422e-04,1.018486e-04,1.020256e-04,1.020763e-04,1.021746e-04,1.022558e-04,1.022968e-04,1.023901e-04,1.023935e-04,1.024659e-04,1.024819e-04,1.025150e-04,1.025338e-04,1.025420e-04,1.025482e-04,1.025479e-04,1.025338e-04,1.025276e-04,1.025007e-04,1.024742e-04,1.024495e-04,1.023902e-04,1.023811e-04,1.022964e-04,1.022776e-04,1.021963e-04,1.021384e-04,1.020815e-04,1.019744e-04,1.019529e-04,1.018112e-04,1.017874e-04,1.016572e-04,1.015791e-04,1.014915e-04,1.013510e-04,1.013149e-04,1.011279e-04,1.011048e-04,1.009312e-04,1.008417e-04,1.007253e-04,1.005632e-04,1.005110e-04,1.002886e-04,1.002705e-04,1.000588e-04,9.996484e-05,9.982194e-05,9.964740e-05,9.957865e-05,9.932934e-05,9.931924e-05,9.907444e-05,9.898140e-05,9.881440e-05,9.863483e-05,9.854960e-05,9.828045e-05,9.791913e-05,9.755167e-05,9.717885e-05,9.680137e-05,9.641993e-05,9.603515e-05,9.564764e-05,9.525795e-05,9.486661e-05,9.447413e-05,9.408094e-05,9.368750e-05,9.329419e-05,9.290141e-05,9.250950e-05,9.211878e-05,9.172956e-05,9.134212e-05,9.095673e-05,9.057362e-05,9.019302e-05,8.981514e-05,8.944016e-05,8.906825e-05
0.000000e+00,3.857359e-09,8.873552e-09,3.085567e-08,7.136728e-08,1.054729e-07,2.513682e-07,2.595874e-07,5.399321e-07,6.491172e-07,1.004680e-06,1.388114e-06,1.686325e-06,2.484891e-06,2.560861e-06,3.584105e-06,3.847959e-06,4.724281e-06,5.406446e-06,5.962375e-06,7.122772e-06,7.285722e-06,8.683873e-06,8.971590e-06,1.014666e-05,1.092935e-05,1.166346e-05,1.297118e-05,1.322314e-05,1.481424e-05,1.507096e-05,1.642527e-05,1.720234e-05,1.804506e-05,1.934007e-05,1.966305e-05,2.126954e-05,2.146112e-05,2.285583e-05,2.354540e-05,2.441431e-05,2.557614e-05,2.593852e-05,2.742306e-05,2.753997e-05,2.886360e-05,2.942671e-05,3.025676e-05,3.122906e-05,3.160003e-05,3.289172e-05,3.294230e-05,3.413078e-05,3.456384e-05,3.531665e-05,3.609261e-05,3.644925e-05,3.752888e-05,3.855614e-05,3.887395e-05,3.953192e-05,4.012990e-05,4.045731e-05,4.129945e-05,4.133358e-05,4.216208e-05,4.238570e-05,4.294429e-05,4.339203e-05,4.368173e-05,4.432207e-05,4.437607e-05,4.502905e-05,4.517979e-05,4.564225e-05,4.596882e-05,4.621717e-05,4.669269e-05,4.675539e-05,4.725839e-05,4.735489e-05,4.772764e-05,4.795880e-05,4.816459e-05,4.850769e-05,4.857064e-05,4.894716e-05,4.900475e-05,4.929545e-05,4.945297e-05,4.961677e-05,4.985525e-05,4.991236e-05,5.018340e-05,5.021433e-05,5.043105e-05,5.053288e-05,5.065639e-05,5.081339e-05,5.086049e-05,5.104437e-05,5.105824e-05,5.120900e-05,5.126968e-05,5.135534e-05,5.144987e-05,5.148427e-05,5.159666e-05,5.160083e-05,5.169335e-05,5.172447e-05,5.177513e-05,5.182261e-05,5.184276e-05,5.189696e-05,5.193844e-05,5.194913e-05,5.196785e-05,5.198064e-05,5.198584e-05,5.199294e-05,5.199302e-05,5.198998e-05,5.198737e-05,5.197726e-05,5.196521e-05,5.195541e-05,5.192767e-05,5.192492e-05,5.188630e-05,5.187587e-05,5.184000e-05,5.181088e-05,5.178646e-05,5.173370e-05,5.172611e-05,5.165935e-05,5.164526e-05,5.158657e-05,5.154647e-05,5.150814e-05,5.143814e-05,5.142440e-05,5.133569e-05,5.132106e-05,5.124233e-05,5.119596e-05,5.114462e-05,5.106352e-05,5.104286e-05,5.093732e-05,5.092441e-05,5.082825e-05,5.077922e-05,5.071592e-05,5.062851e-05,5.060056e-05,5.048240e-05,5.047283e-05,5.036165e-05,5.031267e-05,5.023851e-05,5.014850e-05,5.011320e-05,4.998588e-05,4.998075e-05,4.985675e-05,4.980985e-05,4.972596e-05,4.963616e-05,4.959368e-05,4.946006e-05,4.928187e-05,4.910191e-05,4.892048e-05,4.873784e-05,4.855425e-05,4.836994e-05,4.818515e-05,4.800008e-05,4.781491e-05,4.762984e-05,4.744501e-05,4.726059e-05,4.707672e-05,4.689353e-05,4.671115e-05,4.652968e-05,4.634923e-05,4.616990e-05,4.599177e-05,4.581492e-05,4.563944e-05,4.546538e-05,4.529281e-05,4.512179e-05
0.000000e+00,5.087326e-09,1.199274e-08,4.244353e-08,9.767081e-08,1.429858e-07,3.256019e-07,3.354116e-07,6.474136e-07,7.599582e-07,1.106617e-06,1.464360e-06,1.740792e-06,2.501993e-06,2.576905e-06,3.638621e-06,3.929022e-06,4.941986e-06,5.779145e-06,6.489691e-06,8.041712e-06,8.265926e-06,1.023575e-05,1.064885e-05,1.235147e-05,1.349249e-05,1.456292e-05,1.646159e-05,1.682543e-05,1.910293e-05,1.946676e-05,2.136757e-05,2.244357e-05,2.359805e-05,2.534677e-05,2.577811e-05,2.789529e-05,2.814466e-05,2.994021e-05,3.081520e-05,3.190588e-05,3.334370e-05,3.378739e-05,3.558152e-05,3.572121e-05,3.728643e-05,3.794324e-05,3.890150e-05,4.000886e-05,4.042703e-05,4.186410e-05,4.191976e-05,4.321439e-05,4.367965e-05,4.448004e-05,4.529360e-05,4.566355e-05,4.676766e-05,4.779528e-05,4.810845e-05,4.874942e-05,4.932293e-05,4.963317e-05,5.041818e-05,5.044958e-05,5.120174e-05,5.140124e-05,5.189265e-05,5.227903e-05,5.252526e-05,5.305826e-05,5.310246e-05,5.362704e-05,5.374541e-05,5.410169e-05,5.434666e-05,5.452902e-05,5.486792e-05,5.491154e-05,5.525164e-05,5.531478e-05,5.555165e-05,5.569254e-05,5.581376e-05,5.600620e-05,5.604009e-05,5.623264e-05,5.626045e-05,5.639335e-05,5.645972e-05,5.652405e-05,5.660817e-05,5.662647e-05,5.670230e-05,5.670968e-05,5.675309e-05,5.676790e-05,5.678036e-05,5.678624e-05,5.678554e-05,5.676999e-05,5.676788e-05,5.673498e-05,5.671581e-05,5.668175e-05,5.663280e-05,5.661146e-05,5.652521e-05,5.652144e-05,5.642404e-05,5.638415e-05,5.630893e-05,5.622318e-05,5.618083e-05,5.604063e-05,5.588917e-05,5.583845e-05,5.572724e-05,5.561846e-05,5.555559e-05,5.538234e-05,5.537495e-05,5.518599e-05,5.513167e-05,5.498934e-05,5.486791e-05,5.478561e-05,5.459242e-05,5.457537e-05,5.435916e-05,5.430644e-05,5.413750e-05,5.401116e-05,5.391085e-05,5.370765e-05,5.367968e-05,5.344442e-05,5.339691e-05,5.320546e-05,5.307987e-05,5.296320e-05,5.275741e-05,5.271799e-05,5.247017e-05,5.243030e-05,5.222007e-05,5.209930e-05,5.196798e-05,5.176507e-05,5.171419e-05,5.145896e-05,5.142825e-05,5.120256e-05,5.108942e-05,5.094520e-05,5.074912e-05,5.068712e-05,5.042853e-05,5.040783e-05,5.016962e-05,5.006601e-05,4.991058e-05,4.972408e-05,4.965157e-05,4.939277e-05,4.938242e-05,4.913432e-05,4.904139e-05,4.887636e-05,4.870130e-05,4.861904e-05,4.836246e-05,4.802513e-05,4.768955e-05,4.735596e-05,4.702455e-05,4.669551e-05,4.636901e-05,4.604519e-05,4.572419e-05,4.540614e-05,4.509113e-05,4.477927e-05,4.447064e-05,4.416532e-05,4.386336e-05,4.356482e-05,4.326975e-05,4.297819e-05,4.269017e-05,4.240571e-05,4.212484e-05,4.184756e-05,4.157389e-05,4.130383e-05,4.103738e-05
0.000000e+00,2.738848e-13,1.856342e-12,3.200363e-11,2.115736e-10,5.028349e-10,3.271206e-09,3.500150e-09,1.570920e-08,2.267475e-08,5.374516e-08,1.025557e-07,1.530456e-07,3.556551e-07,3.809647e-07,8.519249e-07,1.019051e-06,1.739406e-06,2.504149e-06,3.280498e-06,5.412047e-06,5.772371e-06,9.562436e-06,1.050955e-05,1.503465e-05,1.867905e-05,2.259406e-05,3.085752e-05,3.265128e-05,4.560777e-05,4.797561e-05,6.184280e-05,7.090324e-05,8.170226e-05,1.004049e-04,1.054896e-04,1.334587e-04,1.371060e-04,1.658090e-04,1.814697e-04,2.026823e-04,2.337842e-04,2.441615e-04,2.902706e-04,2.941587e-04,3.409763e-04,3.625278e-04,3.961910e-04,4.386616e-04,4.557761e-04,5.195463e-04,5.221811e-04,5.872751e-04,6.125770e-04,6.587000e-04,7.092315e-04,7.335276e-04,8.114399e-04,8.920995e-04,9.184337e-04,9.751551e-04,1.029402e-03,1.060247e-03,1.143512e-03,1.147010e-03,1.235083e-03,1.259928e-03,1.324104e-03,1.377826e-03,1.413724e-03,1.496409e-03,1.503601e-03,1.593410e-03,1.614920e-03,1.682840e-03,1.732645e-03,1.771597e-03,1.848928e-03,1.859406e-03,1.946014e-03,1.963170e-03,2.031185e-03,2.074834e-03,2.114705e-03,2.183446e-03,2.196383e-03,2.276045e-03,2.288594e-03,2.353540e-03,2.389928e-03,2.428735e-03,2.487158e-03,2.501516e-03,2.571788e-03,2.580048e-03,2.639473e-03,2.668418e-03,2.704509e-03,2.752135e-03,2.766849e-03,2.826460e-03,2.831111e-03,2.883325e-03,2.905299e-03,2.937435e-03,2.974690e-03,2.988794e-03,3.037417e-03,3.039306e-03,3.083328e-03,3.099197e-03,3.126557e-03,3.154440e-03,3.167143e-03,3.205132e-03,3.240575e-03,3.251388e-03,3.273528e-03,3.293338e-03,3.304051e-03,3.331125e-03,3.332207e-03,3.358063e-03,3.364900e-03,3.381689e-03,3.394822e-03,3.403154e-03,3.421057e-03,3.422532e-03,3.439894e-03,3.443770e-03,3.455316e-03,3.463132e-03,3.468870e-03,3.479312e-03,3.480631e-03,3.490672e-03,3.492481e-03,3.499066e-03,3.502805e-03,3.505886e-03,3.510449e-03,3.511202e-03,3.515084e-03,3.515577e-03,3.517601e-03,3.518344e-03,3.518820e-03,3.518904e-03,3.518806e-03,3.517623e-03,3.517406e-03,3.515334e-03,3.513992e-03,3.511999e-03,3.508801e-03,3.507677e-03,3.502424e-03,3.501965e-03,3.496295e-03,3.493611e-03,3.489344e-03,3.483859e-03,3.481622e-03,3.473178e-03,3.472826e-03,3.464059e-03,3.460621e-03,3.454313e-03,3.447348e-03,3.443981e-03,3.433108e-03,3.417993e-03,3.402092e-03,3.385489e-03,3.368262e-03,3.350486e-03,3.332229e-03,3.313558e-03,3.294532e-03,3.275210e-03,3.255644e-03,3.235884e-03,3.215977e-03,3.195964e-03,3.175886e-03,3.155780e-03,3.135680e-03,3.115617e-03,3.095619e-03,3.075714e-03,3.055925e-03,3.036275e-03,3.016783e-03,2.997469e-03,2.978348e-03
0.000000e+00,2.526681e-13,1.709357e-12,2.935102e-11,1.932719e-10,4.582839e-10,2.962277e-09,3.168722e-09,1.412044e-08,2.033959e-08,4.795367e-08,9.110367e-08,1.355715e-07,3.131792e-07,3.353086e-07,7.460087e-07,8.914535e-07,1.517489e-06,2.181196e-06,2.854396e-06,4.700777e-06,5.012672e-06,8.290288e-06,9.108579e-06,1.301460e-05,1.615653e-05,1.952835e-05,2.663494e-05,2.817588e-05,3.929052e-05,4.131900e-05,5.318359e-05,6.092287e-05,7.013543e-05,8.606341e-05,9.038826e-05,1.141411e-04,1.172344e-04,1.415462e-04,1.547900e-04,1.727074e-04,1.989376e-04,2.076796e-04,2.464692e-04,2.497364e-04,2.890366e-04,3.071039e-04,3.352979e-04,3.708252e-04,3.851292e-04,4.383698e-04,4.405677e-04,4.948265e-04,5.158965e-04,5.542785e-04,5.962928e-04,6.164814e-04,6.811724e-04,7.480744e-04,7.699033e-04,8.169003e-04,8.618236e-04,8.873575e-04,9.562573e-04,9.591510e-04,1.031988e-03,1.052529e-03,1.105579e-03,1.149978e-03,1.179643e-03,1.247965e-03,1.253907e-03,1.328113e-03,1.345886e-03,1.402013e-03,1.443176e-03,1.475374e-03,1.539314e-03,1.547980e-03,1.619631e-03,1.633830e-03,1.690141e-03,1.726300e-03,1.759344e-03,1.816354e-03,1.827090e-03,1.893244e-03,1.903673e-03,1.957689e-03,1.987985e-03,2.020323e-03,2.069068e-03,2.081059e-03,2.139825e-03,2.146741e-03,2.196560e-03,2.220868e-03,2.251218e-03,2.291349e-03,2.303766e-03,2.354179e-03,2.358119e-03,2.402444e-03,2.421147e-03,2.448556e-03,2.480427e-03,2.492521e-03,2.534349e-03,2.535978e-03,2.574060e-03,2.587842e-03,2.611678e-03,2.636079e-03,2.647234e-03,2.680763e-03,2.712303e-03,2.721983e-03,2.741898e-03,2.759839e-03,2.769593e-03,2.794438e-03,2.795436e-03,2.819478e-03,2.825894e-03,2.841771e-03,2.854329e-03,2.862367e-03,2.879864e-03,2.881321e-03,2.898688e-03,2.902626e-03,2.914522e-03,2.922741e-03,2.928880e-03,2.940336e-03,2.941815e-03,2.953383e-03,2.955537e-03,2.963638e-03,2.968469e-03,2.972633e-03,2.979254e-03,2.980421e-03,2.987054e-03,2.988011e-03,2.992582e-03,2.994858e-03,2.997056e-03,2.999908e-03,3.000524e-03,3.003033e-03,3.003272e-03,3.004630e-03,3.005056e-03,3.005360e-03,3.005362e-03,3.005267e-03,3.004393e-03,3.004290e-03,3.002779e-03,3.001935e-03,3.000464e-03,2.998386e-03,2.997488e-03,2.993887e-03,2.993731e-03,2.989697e-03,2.988052e-03,2.984953e-03,2.981428e-03,2.979688e-03,2.973933e-03,2.965640e-03,2.956616e-03,2.946925e-03,2.936626e-03,2.925779e-03,2.914436e-03,2.902649e-03,2.890466e-03,2.877931e-03,2.865088e-03,2.851977e-03,2.838633e-03,2.825094e-03,2.811391e-03,2.797555e-03,2.783615e-03,2.769598e-03,2.755527e-03,2.741427e-03,2.727318e-03,2.713221e-03,2.699154e-03,2.685133e-03,2.671175e-03
0.000000e+00,2.798455e-14,1.849530e-13,3.019666e-12,1.893247e-11,4.362894e-11,2.601733e-10,2.773270e-10,1.126203e-09,1.577769e-09,3.450601e-09,6.134113e-09,8.718255e-09,1.806302e-08,1.915549e-08,3.787322e-08,4.403001e-08,6.895231e-08,9.360330e-08,1.174490e-07,1.792081e-07,1.892690e-07,2.908905e-07,3.153788e-07,4.289751e-07,5.173403e-07,6.099375e-07,7.993286e-07,8.395462e-07,1.122604e-06,1.173112e-06,1.462725e-06,1.646980e-06,1.862215e-06,2.225239e-06,2.322029e-06,2.841806e-06,2.908145e-06,3.419946e-06,3.692152e-06,4.053722e-06,4.570345e-06,4.739415e-06,5.472456e-06,5.532991e-06,6.247578e-06,6.568122e-06,7.058965e-06,7.662139e-06,7.900399e-06,8.765400e-06,8.800397e-06,9.647364e-06,9.967749e-06,1.053968e-05,1.114906e-05,1.143587e-05,1.232963e-05,1.321501e-05,1.349564e-05,1.408641e-05,1.463438e-05,1.493869e-05,1.573456e-05,1.576718e-05,1.656777e-05,1.678643e-05,1.733687e-05,1.778193e-05,1.807144e-05,1.871462e-05,1.876901e-05,1.942764e-05,1.957975e-05,2.004589e-05,2.037411e-05,2.062283e-05,2.109596e-05,2.115796e-05,2.165121e-05,2.174485e-05,2.210285e-05,2.232146e-05,2.251351e-05,2.282744e-05,2.288408e-05,2.321572e-05,2.326526e-05,2.350976e-05,2.363797e-05,2.376770e-05,2.394915e-05,2.399117e-05,2.418190e-05,2.420267e-05,2.434167e-05,2.440263e-05,2.447229e-05,2.455319e-05,2.457559e-05,2.465339e-05,2.465856e-05,2.470748e-05,2.472287e-05,2.473961e-05,2.475010e-05,2.475148e-05,2.474472e-05,2.474408e-05,2.472090e-05,2.470843e-05,2.468150e-05,2.464654e-05,2.462795e-05,2.456157e-05,2.448361e-05,2.445641e-05,2.439524e-05,2.433374e-05,2.429756e-05,2.419597e-05,2.419158e-05,2.407824e-05,2.404530e-05,2.395840e-05,2.388372e-05,2.383287e-05,2.371299e-05,2.370239e-05,2.356762e-05,2.353471e-05,2.342919e-05,2.335028e-05,2.328766e-05,2.316096e-05,2.314355e-05,2.299731e-05,2.296785e-05,2.284939e-05,2.277192e-05,2.270015e-05,2.257403e-05,2.254995e-05,2.239911e-05,2.237494e-05,2.224791e-05,2.217528e-05,2.209660e-05,2.197564e-05,2.194542e-05,2.179457e-05,2.177650e-05,2.164424e-05,2.157830e-05,2.149458e-05,2.138140e-05,2.134576e-05,2.119790e-05,2.118612e-05,2.105112e-05,2.099273e-05,2.090551e-05,2.080146e-05,2.076117e-05,2.061819e-05,2.061250e-05,2.047663e-05,2.042602e-05,2.033654e-05,2.024216e-05,2.019799e-05,2.006102e-05,1.988270e-05,1.970727e-05,1.953479e-05,1.936529e-05,1.919881e-05,1.903537e-05,1.887497e-05,1.871762e-05,1.856330e-05,1.841201e-05,1.826374e-05,1.811844e-05,1.797610e-05,1.783669e-05,1.770017e-05,1.756651e-05,1.743566e-05,1.730759e-05,1.718226e-05,1.705961e-05,1.693960e-05,1.682220e-05,1.670734e-05,1.659500e-05
0.000000e+00,5.965653e-14,4.030178e-13,6.890664e-12,4.508956e-11,1.064067e-10,6.754543e-10,7.218454e-10,3.124208e-09,4.454657e-09,1.018905e-08,1.879293e-08,2.736690e-08,5.990471e-08,6.382786e-08,1.336993e-07,1.575454e-07,2.572029e-07,3.595930e-07,4.614156e-07,7.348213e-07,7.804613e-07,1.255109e-06,1.372716e-06,1.931873e-06,2.380462e-06,2.861762e-06,3.877946e-06,4.098788e-06,5.698365e-06,5.991647e-06,7.715674e-06,8.848134e-06,1.020406e-05,1.256768e-05,1.321351e-05,1.678929e-05,1.725838e-05,2.097070e-05,2.301099e-05,2.579008e-05,2.989489e-05,3.127196e-05,3.743251e-05,3.795495e-05,4.427913e-05,4.720985e-05,5.181038e-05,5.765141e-05,6.001605e-05,6.887741e-05,6.924515e-05,7.836775e-05,8.193189e-05,8.845297e-05,9.563017e-05,9.909234e-05,1.102394e-04,1.218427e-04,1.256432e-04,1.338471e-04,1.417136e-04,1.461944e-04,1.583146e-04,1.588245e-04,1.716762e-04,1.753060e-04,1.846881e-04,1.925468e-04,1.977995e-04,2.098988e-04,2.109510e-04,2.240852e-04,2.272287e-04,2.371471e-04,2.444108e-04,2.500849e-04,2.613287e-04,2.628499e-04,2.753971e-04,2.778768e-04,2.876856e-04,2.939608e-04,2.996780e-04,3.094985e-04,3.113413e-04,3.226462e-04,3.244201e-04,3.335678e-04,3.386676e-04,3.440847e-04,3.521949e-04,3.541793e-04,3.638377e-04,3.649669e-04,3.730492e-04,3.769586e-04,3.818062e-04,3.881548e-04,3.901043e-04,3.979416e-04,3.985487e-04,4.053188e-04,4.081413e-04,4.122385e-04,4.169402e-04,4.187057e-04,4.247271e-04,4.249588e-04,4.303107e-04,4.322154e-04,4.354660e-04,4.387325e-04,4.402038e-04,4.445357e-04,4.484741e-04,4.496534e-04,4.520321e-04,4.541158e-04,4.552233e-04,4.579546e-04,4.580615e-04,4.605611e-04,4.612022e-04,4.627363e-04,4.638916e-04,4.646014e-04,4.660559e-04,4.661709e-04,4.674589e-04,4.677276e-04,4.684793e-04,4.689391e-04,4.692461e-04,4.697217e-04,4.697726e-04,4.700720e-04,4.701058e-04,4.701572e-04,4.701210e-04,4.700406e-04,4.697956e-04,4.697343e-04,4.692498e-04,4.691565e-04,4.685983e-04,4.682295e-04,4.677907e-04,4.670391e-04,4.668372e-04,4.657478e-04,4.656084e-04,4.645318e-04,4.639591e-04,4.631983e-04,4.621116e-04,4.617560e-04,4.602128e-04,4.600853e-04,4.585768e-04,4.578980e-04,4.568551e-04,4.555665e-04,4.550549e-04,4.531828e-04,4.531065e-04,4.512450e-04,4.505325e-04,4.492475e-04,4.478580e-04,4.471959e-04,4.450954e-04,4.422563e-04,4.393515e-04,4.363906e-04,4.333829e-04,4.303366e-04,4.272594e-04,4.241582e-04,4.210396e-04,4.179094e-04,4.147729e-04,4.116350e-04,4.085002e-04,4.053725e-04,4.022555e-04,3.991525e-04,3.960665e-04,3.930003e-04,3.899561e-04,3.869361e-04,3.839423e-04,3.809763e-04,3.780396e-04,3.751336e-04,3.722594e-04
0.000000e+00,1.299046e-09,2.987259e-09,1.033361e-08,2.361140e-08,3.452780e-08,7.885928e-08,8.125685e-08,1.583570e-07,1.865569e-07,2.746372e-07,3.673427e-07,4.401309e-07,6.450166e-07,6.654814e-07,9.595458e-07,1.040869e-06,1.325591e-06,1.560773e-06,1.759645e-06,2.191195e-06,2.253267e-06,2.797415e-06,2.911592e-06,3.384243e-06,3.704054e-06,4.007229e-06,4.554369e-06,4.660778e-06,5.339850e-06,5.450552e-06,6.039743e-06,6.381768e-06,6.755990e-06,7.337895e-06,7.484335e-06,8.220750e-06,8.309481e-06,8.961468e-06,9.287840e-06,9.703012e-06,1.026518e-05,1.044222e-05,1.117627e-05,1.123469e-05,1.190266e-05,1.219058e-05,1.261923e-05,1.312802e-05,1.332411e-05,1.401576e-05,1.404313e-05,1.469288e-05,1.493288e-05,1.535442e-05,1.579494e-05,1.599955e-05,1.662762e-05,1.723818e-05,1.742980e-05,1.783089e-05,1.820077e-05,1.840556e-05,1.894019e-05,1.896210e-05,1.950051e-05,1.964802e-05,2.002086e-05,2.032447e-05,2.052331e-05,2.096990e-05,2.100803e-05,2.147527e-05,2.158484e-05,2.192532e-05,2.216994e-05,2.235846e-05,2.272591e-05,2.277504e-05,2.317539e-05,2.325354e-05,2.355986e-05,2.375363e-05,2.392883e-05,2.422704e-05,2.428265e-05,2.462172e-05,2.467463e-05,2.494642e-05,2.509727e-05,2.525711e-05,2.549584e-05,2.555418e-05,2.583802e-05,2.587121e-05,2.610899e-05,2.622423e-05,2.636746e-05,2.655578e-05,2.661381e-05,2.684840e-05,2.686667e-05,2.707157e-05,2.715772e-05,2.728369e-05,2.742975e-05,2.748509e-05,2.767611e-05,2.768354e-05,2.785708e-05,2.791984e-05,2.802834e-05,2.813939e-05,2.819018e-05,2.834293e-05,2.848688e-05,2.853113e-05,2.862233e-05,2.870469e-05,2.874957e-05,2.886425e-05,2.886887e-05,2.898052e-05,2.901044e-05,2.908477e-05,2.914389e-05,2.918189e-05,2.926516e-05,2.927214e-05,2.935574e-05,2.937485e-05,2.943295e-05,2.947348e-05,2.950399e-05,2.956159e-05,2.956910e-05,2.962849e-05,2.963970e-05,2.968237e-05,2.970828e-05,2.973094e-05,2.976780e-05,2.977442e-05,2.981300e-05,2.981873e-05,2.984685e-05,2.986148e-05,2.987617e-05,2.989649e-05,2.990114e-05,2.992192e-05,2.992414e-05,2.993868e-05,2.994483e-05,2.995159e-05,2.995892e-05,2.996080e-05,2.996646e-05,2.996676e-05,2.996871e-05,2.996869e-05,2.996771e-05,2.996505e-05,2.996358e-05,2.995647e-05,2.995612e-05,2.994649e-05,2.994222e-05,2.993378e-05,2.992363e-05,2.991845e-05,2.990062e-05,2.987345e-05,2.984237e-05,2.980762e-05,2.976942e-05,2.972800e-05,2.968355e-05,2.963628e-05,2.958638e-05,2.953402e-05,2.947938e-05,2.942263e-05,2.936391e-05,2.930338e-05,2.924119e-05,2.917745e-05,2.911231e-05,2.904589e-05,2.897830e-05,2.890966e-05,2.884006e-05,2.876961e-05,2.869841e-05,2.862654e-05,2.855410e-05
0.000000e+00,1.061450e-14,7.107549e-14,1.192469e-12,7.664170e-12,1.790288e-11,1.105295e-10,1.179815e-10,4.954441e-10,7.002906e-10,1.565215e-09,2.829782e-09,4.064629e-09,8.610337e-09,9.147443e-09,1.845964e-08,2.155522e-08,3.419028e-08,4.680656e-08,5.909389e-08,9.121435e-08,9.648241e-08,1.501851e-07,1.632526e-07,2.244745e-07,2.727609e-07,3.239585e-07,4.305087e-07,4.534425e-07,6.177710e-07,6.476155e-07,8.216596e-07,9.348914e-07,1.069529e-06,1.302178e-06,1.365351e-06,1.712512e-06,1.757757e-06,2.113708e-06,2.307875e-06,2.570854e-06,2.956403e-06,3.085033e-06,3.656468e-06,3.704643e-06,4.284515e-06,4.551280e-06,4.967688e-06,5.492452e-06,5.703699e-06,6.489519e-06,6.521937e-06,7.321452e-06,7.631430e-06,8.195225e-06,8.810877e-06,9.106078e-06,1.004887e-05,1.101816e-05,1.133303e-05,1.200837e-05,1.265044e-05,1.301379e-05,1.398804e-05,1.402875e-05,1.504767e-05,1.533293e-05,1.606514e-05,1.667276e-05,1.707599e-05,1.799593e-05,1.807535e-05,1.905870e-05,1.929185e-05,2.002188e-05,2.055105e-05,2.096116e-05,2.176529e-05,2.187320e-05,2.275512e-05,2.292766e-05,2.360444e-05,2.403251e-05,2.441912e-05,2.507547e-05,2.519752e-05,2.593839e-05,2.605339e-05,2.664084e-05,2.696420e-05,2.730433e-05,2.780690e-05,2.792862e-05,2.851377e-05,2.858136e-05,2.906007e-05,2.928826e-05,2.956806e-05,2.992895e-05,3.003846e-05,3.047218e-05,3.050532e-05,3.087023e-05,3.101972e-05,3.123378e-05,3.147486e-05,3.156406e-05,3.186238e-05,3.187367e-05,3.213011e-05,3.221927e-05,3.236864e-05,3.251489e-05,3.257940e-05,3.276379e-05,3.292323e-05,3.296921e-05,3.305911e-05,3.313433e-05,3.317279e-05,3.326228e-05,3.326561e-05,3.333885e-05,3.335602e-05,3.339377e-05,3.341843e-05,3.343157e-05,3.345220e-05,3.345338e-05,3.346032e-05,3.345989e-05,3.345343e-05,3.344390e-05,3.343369e-05,3.340645e-05,3.340205e-05,3.335940e-05,3.334962e-05,3.330657e-05,3.327534e-05,3.324435e-05,3.318537e-05,3.317348e-05,3.309465e-05,3.308134e-05,3.300851e-05,3.296475e-05,3.291567e-05,3.283696e-05,3.281670e-05,3.271213e-05,3.269923e-05,3.260245e-05,3.255269e-05,3.248812e-05,3.239839e-05,3.236957e-05,3.224720e-05,3.223726e-05,3.212138e-05,3.207017e-05,3.199246e-05,3.189790e-05,3.186075e-05,3.172656e-05,3.172114e-05,3.159015e-05,3.154056e-05,3.145179e-05,3.135672e-05,3.131172e-05,3.117014e-05,3.098132e-05,3.079068e-05,3.059861e-05,3.040547e-05,3.021157e-05,3.001721e-05,2.982265e-05,2.962813e-05,2.943386e-05,2.924004e-05,2.904684e-05,2.885442e-05,2.866293e-05,2.847251e-05,2.828325e-05,2.809527e-05,2.790866e-05,2.772351e-05,2.753989e-05,2.735787e-05,2.717750e-05,2.699885e-05,2.682195e-05,2.664685e-05
0.000000e+00,1.062232e-08,2.452983e-08,8.519443e-08,1.950935e-07,2.856642e-07,6.555612e-07,6.756626e-07,1.327139e-06,1.567731e-06,2.326160e-06,3.134006e-06,3.773672e-06,5.590200e-06,5.772388e-06,8.390055e-06,9.111113e-06,1.161583e-05,1.365660e-05,1.536084e-05,1.899208e-05,1.950710e-05,2.394880e-05,2.486493e-05,2.860320e-05,3.108576e-05,3.340633e-05,3.751775e-05,3.830637e-05,4.325905e-05,4.405368e-05,4.822509e-05,5.060301e-05,5.316910e-05,5.708687e-05,5.805915e-05,6.286679e-05,6.343695e-05,6.756710e-05,6.959561e-05,7.213873e-05,7.551602e-05,7.656386e-05,8.082804e-05,8.116186e-05,8.492005e-05,8.650671e-05,8.883169e-05,9.153324e-05,9.255753e-05,9.609433e-05,9.623184e-05,9.944054e-05,1.005986e-04,1.025967e-04,1.046352e-04,1.055646e-04,1.083473e-04,1.109487e-04,1.117436e-04,1.133735e-04,1.148352e-04,1.156271e-04,1.176345e-04,1.177149e-04,1.196429e-04,1.201550e-04,1.214173e-04,1.224109e-04,1.230444e-04,1.244165e-04,1.245304e-04,1.258815e-04,1.261864e-04,1.271041e-04,1.277348e-04,1.282042e-04,1.290756e-04,1.291877e-04,1.300606e-04,1.302224e-04,1.308285e-04,1.311882e-04,1.314970e-04,1.319855e-04,1.320713e-04,1.325566e-04,1.326264e-04,1.329579e-04,1.331221e-04,1.332800e-04,1.334836e-04,1.335274e-04,1.337045e-04,1.337212e-04,1.338155e-04,1.338445e-04,1.338645e-04,1.338627e-04,1.338554e-04,1.337918e-04,1.337844e-04,1.336772e-04,1.336179e-04,1.335151e-04,1.333707e-04,1.333085e-04,1.330607e-04,1.330499e-04,1.327743e-04,1.326624e-04,1.324524e-04,1.322144e-04,1.320973e-04,1.317118e-04,1.312980e-04,1.311600e-04,1.308583e-04,1.305643e-04,1.303949e-04,1.299294e-04,1.299096e-04,1.294045e-04,1.292597e-04,1.288813e-04,1.285594e-04,1.283418e-04,1.278324e-04,1.277875e-04,1.272201e-04,1.270821e-04,1.266409e-04,1.263120e-04,1.260514e-04,1.255250e-04,1.254527e-04,1.248461e-04,1.247240e-04,1.242328e-04,1.239116e-04,1.236138e-04,1.230902e-04,1.229901e-04,1.223627e-04,1.222620e-04,1.217324e-04,1.214291e-04,1.211001e-04,1.205934e-04,1.204666e-04,1.198326e-04,1.197565e-04,1.191987e-04,1.189200e-04,1.185656e-04,1.180854e-04,1.179339e-04,1.173042e-04,1.172539e-04,1.166769e-04,1.164267e-04,1.160525e-04,1.156050e-04,1.154315e-04,1.148142e-04,1.147896e-04,1.142011e-04,1.139815e-04,1.135925e-04,1.131814e-04,1.129887e-04,1.123900e-04,1.116079e-04,1.108357e-04,1.100739e-04,1.093229e-04,1.085830e-04,1.078546e-04,1.071379e-04,1.064331e-04,1.057405e-04,1.050601e-04,1.043920e-04,1.037364e-04,1.030932e-04,1.024626e-04,1.018444e-04,1.012386e-04,1.006452e-04,1.000641e-04,9.949531e-05,9.893861e-05,9.839393e-05,9.786113e-05,9.734008e-05,9.683064e-05
0.000000e+00,1.196148e-09,2.751542e-09,9.490605e-09,2.157110e-08,3.142292e-08,7.081452e-08,7.291949e-08,1.394075e-07,1.631973e-07,2.359331e-07,3.102598e-07,3.672649e-07,5.227294e-07,5.379316e-07,7.520794e-07,8.103378e-07,1.012986e-06,1.180216e-06,1.322291e-06,1.634188e-06,1.679526e-06,2.082493e-06,2.168309e-06,2.528091e-06,2.775525e-06,3.012921e-06,3.447950e-06,3.533500e-06,4.086282e-06,4.177474e-06,4.667623e-06,4.955711e-06,5.273761e-06,5.773926e-06,5.900824e-06,6.544866e-06,6.623104e-06,7.201916e-06,7.494121e-06,7.868033e-06,8.377975e-06,8.539371e-06,9.212229e-06,9.266017e-06,9.883107e-06,1.015016e-05,1.054874e-05,1.102307e-05,1.120615e-05,1.185264e-05,1.187823e-05,1.248581e-05,1.271009e-05,1.310361e-05,1.351401e-05,1.370426e-05,1.428627e-05,1.484846e-05,1.502401e-05,1.538990e-05,1.572520e-05,1.590990e-05,1.638852e-05,1.640802e-05,1.688397e-05,1.701325e-05,1.733768e-05,1.759925e-05,1.776921e-05,1.814679e-05,1.817875e-05,1.856663e-05,1.865653e-05,1.893324e-05,1.912943e-05,1.927906e-05,1.956663e-05,1.960465e-05,1.991060e-05,1.996949e-05,2.019754e-05,2.033945e-05,2.046612e-05,2.067804e-05,2.071703e-05,2.095094e-05,2.098683e-05,2.116855e-05,2.126741e-05,2.137054e-05,2.152135e-05,2.155760e-05,2.173039e-05,2.175020e-05,2.188958e-05,2.195548e-05,2.203580e-05,2.213864e-05,2.216968e-05,2.229182e-05,2.230110e-05,2.240280e-05,2.244419e-05,2.250318e-05,2.256919e-05,2.259350e-05,2.267428e-05,2.267732e-05,2.274603e-05,2.276974e-05,2.280921e-05,2.284752e-05,2.286429e-05,2.291169e-05,2.295184e-05,2.296322e-05,2.298513e-05,2.300301e-05,2.301194e-05,2.303192e-05,2.303264e-05,2.304755e-05,2.305074e-05,2.305702e-05,2.306022e-05,2.306135e-05,2.306105e-05,2.306084e-05,2.305576e-05,2.305389e-05,2.304639e-05,2.303936e-05,2.303297e-05,2.301802e-05,2.301576e-05,2.299497e-05,2.299040e-05,2.297082e-05,2.295701e-05,2.294352e-05,2.291830e-05,2.291327e-05,2.288025e-05,2.287472e-05,2.284463e-05,2.282666e-05,2.280659e-05,2.277451e-05,2.276628e-05,2.272385e-05,2.271862e-05,2.267945e-05,2.265932e-05,2.263320e-05,2.259690e-05,2.258524e-05,2.253570e-05,2.253167e-05,2.248468e-05,2.246388e-05,2.243229e-05,2.239378e-05,2.237864e-05,2.232383e-05,2.232161e-05,2.226794e-05,2.224758e-05,2.221108e-05,2.217189e-05,2.215331e-05,2.209473e-05,2.201627e-05,2.193668e-05,2.185610e-05,2.177468e-05,2.169255e-05,2.160984e-05,2.152664e-05,2.144308e-05,2.135925e-05,2.127523e-05,2.119112e-05,2.110699e-05,2.102292e-05,2.093897e-05,2.085521e-05,2.077169e-05,2.068847e-05,2.060559e-05,2.052311e-05,2.044106e-05,2.035949e-05,2.027842e-05,2.019790e-05,2.011795e-05
0.000000e+00,2.233265e-14,1.519030e-13,2.634522e-12,1.747063e-11,4.153779e-11,2.689504e-10,2.876587e-10,1.270804e-09,1.822382e-09,4.230019e-09,7.898021e-09,1.159567e-08,2.586613e-08,2.760573e-08,5.905318e-08,6.994622e-08,1.161269e-07,1.644599e-07,2.132407e-07,3.470224e-07,3.696923e-07,6.100138e-07,6.706719e-07,9.639564e-07,1.204220e-06,1.466122e-06,2.030762e-06,2.155300e-06,3.073583e-06,3.244712e-06,4.265340e-06,4.947878e-06,5.776104e-06,7.245044e-06,7.651434e-06,9.935793e-06,1.023944e-05,1.267148e-05,1.402840e-05,1.589766e-05,1.869939e-05,1.964947e-05,2.395723e-05,2.432666e-05,2.884588e-05,3.096846e-05,3.433443e-05,3.866505e-05,4.043562e-05,4.715571e-05,4.743741e-05,5.449443e-05,5.728670e-05,6.244499e-05,6.819441e-05,7.099426e-05,8.012308e-05,8.980656e-05,9.301764e-05,1.000146e-04,1.068072e-04,1.107124e-04,1.214070e-04,1.218610e-04,1.334179e-04,1.367208e-04,1.453374e-04,1.526434e-04,1.575719e-04,1.690631e-04,1.700717e-04,1.827861e-04,1.858639e-04,1.956641e-04,2.029281e-04,2.086544e-04,2.201385e-04,2.217064e-04,2.347703e-04,2.373802e-04,2.477979e-04,2.545423e-04,2.607426e-04,2.715196e-04,2.735601e-04,2.862083e-04,2.882136e-04,2.986476e-04,3.045335e-04,3.108415e-04,3.203969e-04,3.227560e-04,3.343603e-04,3.357306e-04,3.456267e-04,3.504703e-04,3.565303e-04,3.645610e-04,3.670495e-04,3.771655e-04,3.779569e-04,3.868626e-04,3.906211e-04,3.961277e-04,4.025254e-04,4.049508e-04,4.133241e-04,4.136496e-04,4.212425e-04,4.239811e-04,4.287032e-04,4.335146e-04,4.357055e-04,4.422508e-04,4.483424e-04,4.501967e-04,4.539852e-04,4.573640e-04,4.591857e-04,4.637692e-04,4.639516e-04,4.682923e-04,4.694328e-04,4.722177e-04,4.743784e-04,4.757392e-04,4.786324e-04,4.788687e-04,4.816188e-04,4.822238e-04,4.840027e-04,4.851829e-04,4.860342e-04,4.875415e-04,4.877272e-04,4.890961e-04,4.893323e-04,4.901553e-04,4.905885e-04,4.909192e-04,4.913435e-04,4.914025e-04,4.916196e-04,4.916306e-04,4.915848e-04,4.914828e-04,4.913122e-04,4.909324e-04,4.908159e-04,4.901095e-04,4.900112e-04,4.892063e-04,4.887499e-04,4.881193e-04,4.871781e-04,4.868612e-04,4.854442e-04,4.853244e-04,4.838803e-04,4.832161e-04,4.821808e-04,4.808793e-04,4.803567e-04,4.784186e-04,4.783389e-04,4.763767e-04,4.756180e-04,4.742406e-04,4.727390e-04,4.720195e-04,4.697224e-04,4.665877e-04,4.633531e-04,4.600354e-04,4.566502e-04,4.532119e-04,4.497338e-04,4.462283e-04,4.427063e-04,4.391782e-04,4.356531e-04,4.321395e-04,4.286448e-04,4.251759e-04,4.217387e-04,4.183387e-04,4.149805e-04,4.116683e-04,4.084058e-04,4.051959e-04,4.020415e-04,3.989447e-04,3.959073e-04,3.929308e-04,3.900164e-04
0.000000e+00,6.135926e-14,4.175831e-13,7.250117e-12,4.811997e-11,1.144540e-10,7.415360e-10,7.931260e-10,3.503016e-09,5.022174e-09,1.164441e-08,2.171028e-08,3.183458e-08,7.074420e-08,7.547270e-08,1.605472e-07,1.898724e-07,3.136112e-07,4.423720e-07,5.717826e-07,9.248774e-07,9.845242e-07,1.614910e-06,1.773651e-06,2.540143e-06,3.167472e-06,3.851213e-06,5.326166e-06,5.651744e-06,8.056139e-06,8.504991e-06,1.118720e-05,1.298579e-05,1.517335e-05,1.906605e-05,2.014573e-05,2.623511e-05,2.704700e-05,3.356894e-05,3.722161e-05,4.226852e-05,4.986328e-05,5.244645e-05,6.420426e-05,6.521589e-05,7.763055e-05,8.348534e-05,9.279932e-05,1.048331e-04,1.097688e-04,1.285807e-04,1.293719e-04,1.492595e-04,1.571629e-04,1.718128e-04,1.882155e-04,1.962309e-04,2.224882e-04,2.505429e-04,2.598913e-04,2.803390e-04,3.002907e-04,3.118067e-04,3.435125e-04,3.448642e-04,3.794188e-04,3.893486e-04,4.153683e-04,4.375621e-04,4.526028e-04,4.878935e-04,4.910060e-04,5.304564e-04,5.400665e-04,5.708292e-04,5.937936e-04,6.119973e-04,6.487812e-04,6.538324e-04,6.962068e-04,7.047352e-04,7.389938e-04,7.613646e-04,7.820688e-04,8.183856e-04,8.253106e-04,8.686015e-04,8.755250e-04,9.118284e-04,9.325226e-04,9.548831e-04,9.891336e-04,9.976628e-04,1.040071e-03,1.045130e-03,1.082016e-03,1.100303e-03,1.123413e-03,1.154461e-03,1.164185e-03,1.204258e-03,1.207432e-03,1.243568e-03,1.259065e-03,1.282055e-03,1.309226e-03,1.319666e-03,1.356353e-03,1.357801e-03,1.392076e-03,1.404692e-03,1.426798e-03,1.449821e-03,1.460489e-03,1.493124e-03,1.524683e-03,1.534552e-03,1.555150e-03,1.574071e-03,1.584515e-03,1.611660e-03,1.612769e-03,1.639909e-03,1.647308e-03,1.665935e-03,1.681018e-03,1.690851e-03,1.712798e-03,1.714663e-03,1.737379e-03,1.742669e-03,1.759012e-03,1.770658e-03,1.779575e-03,1.796797e-03,1.799083e-03,1.817554e-03,1.821125e-03,1.835006e-03,1.843686e-03,1.851462e-03,1.864529e-03,1.866941e-03,1.881466e-03,1.883703e-03,1.895062e-03,1.901264e-03,1.907751e-03,1.917267e-03,1.919559e-03,1.930511e-03,1.931769e-03,1.940633e-03,1.944830e-03,1.949949e-03,1.956508e-03,1.958487e-03,1.966271e-03,1.966862e-03,1.973328e-03,1.975953e-03,1.979684e-03,1.983839e-03,1.985362e-03,1.990390e-03,1.990578e-03,1.994792e-03,1.996228e-03,1.998592e-03,2.000844e-03,2.001814e-03,2.004483e-03,2.007197e-03,2.009039e-03,2.010059e-03,2.010306e-03,2.009828e-03,2.008671e-03,2.006877e-03,2.004490e-03,2.001550e-03,1.998094e-03,1.994161e-03,1.989786e-03,1.985002e-03,1.979841e-03,1.974334e-03,1.968509e-03,1.962395e-03,1.956017e-03,1.949400e-03,1.942567e-03,1.935540e-03,1.928341e-03,1.920988e-03,1.913501e-03
0.000000e+00,4.971048e-14,3.329185e-13,5.588212e-12,3.594657e-11,8.402647e-11,5.202317e-10,5.553912e-10,2.343773e-09,3.318776e-09,7.459112e-09,1.356327e-08,1.956851e-08,4.195453e-08,4.462344e-08,9.149098e-08,1.072740e-07,1.724645e-07,2.384966e-07,3.034650e-07,4.753883e-07,5.037969e-07,7.954715e-07,8.668383e-07,1.202224e-06,1.467299e-06,1.748383e-06,2.332334e-06,2.457738e-06,3.352492e-06,3.514217e-06,4.452367e-06,5.058153e-06,5.773880e-06,6.999392e-06,7.329809e-06,9.128835e-06,9.361307e-06,1.117534e-05,1.215438e-05,1.346939e-05,1.537598e-05,1.600677e-05,1.877927e-05,1.901089e-05,2.177492e-05,2.303234e-05,2.497842e-05,2.740352e-05,2.837156e-05,3.193372e-05,3.207941e-05,3.564236e-05,3.700875e-05,3.947356e-05,4.213616e-05,4.340253e-05,4.740407e-05,5.145305e-05,5.275469e-05,5.552480e-05,5.813162e-05,5.959548e-05,6.348127e-05,6.364242e-05,6.764433e-05,6.875407e-05,7.158151e-05,7.390522e-05,7.543605e-05,7.889539e-05,7.919187e-05,8.283482e-05,8.369093e-05,8.635265e-05,8.826405e-05,8.973502e-05,9.259268e-05,9.297345e-05,9.606123e-05,9.666024e-05,9.899333e-05,1.004553e-04,1.017663e-04,1.039710e-04,1.043780e-04,1.068278e-04,1.072047e-04,1.091161e-04,1.101576e-04,1.112445e-04,1.128336e-04,1.132153e-04,1.150319e-04,1.152396e-04,1.166979e-04,1.173845e-04,1.182180e-04,1.192786e-04,1.195970e-04,1.208402e-04,1.209339e-04,1.219530e-04,1.223630e-04,1.229413e-04,1.235790e-04,1.238109e-04,1.245676e-04,1.245956e-04,1.252174e-04,1.254263e-04,1.257662e-04,1.260845e-04,1.262196e-04,1.265836e-04,1.268635e-04,1.269362e-04,1.270647e-04,1.271546e-04,1.271925e-04,1.272507e-04,1.272518e-04,1.272475e-04,1.272355e-04,1.271842e-04,1.271197e-04,1.270662e-04,1.269129e-04,1.268977e-04,1.266827e-04,1.266245e-04,1.264249e-04,1.262631e-04,1.261278e-04,1.258366e-04,1.257949e-04,1.254292e-04,1.253524e-04,1.250338e-04,1.248173e-04,1.246113e-04,1.242374e-04,1.241643e-04,1.236954e-04,1.236185e-04,1.232068e-04,1.229659e-04,1.227006e-04,1.222844e-04,1.221789e-04,1.216433e-04,1.215782e-04,1.210957e-04,1.208514e-04,1.205377e-04,1.201076e-04,1.199708e-04,1.193962e-04,1.193500e-04,1.188153e-04,1.185815e-04,1.182293e-04,1.178048e-04,1.176393e-04,1.170462e-04,1.170224e-04,1.164510e-04,1.162363e-04,1.158545e-04,1.154486e-04,1.152576e-04,1.146609e-04,1.138748e-04,1.130916e-04,1.123127e-04,1.115390e-04,1.107716e-04,1.100113e-04,1.092589e-04,1.085150e-04,1.077801e-04,1.070548e-04,1.063394e-04,1.056344e-04,1.049400e-04,1.042564e-04,1.035839e-04,1.029227e-04,1.022727e-04,1.016341e-04,1.010070e-04,1.003914e-04,9.978719e-05,9.919446e-05,9.861315e-05,9.804317e-05
0.000000e+00,2.281215e-09,5.788082e-09,2.211928e-08,5.272861e-08,7.819533e-08,1.820033e-07,1.876078e-07,3.664456e-07,4.310993e-07,6.304026e-07,8.361877e-07,9.952559e-07,1.433683e-06,1.476873e-06,2.090035e-06,2.258088e-06,2.845241e-06,3.331321e-06,3.744302e-06,4.647859e-06,4.778641e-06,5.932646e-06,6.176249e-06,7.188698e-06,7.876560e-06,8.530077e-06,9.711644e-06,9.941622e-06,1.140945e-05,1.164865e-05,1.292056e-05,1.365760e-05,1.446256e-05,1.571043e-05,1.602361e-05,1.759244e-05,1.778070e-05,1.915839e-05,1.984393e-05,2.071161e-05,2.187794e-05,2.224306e-05,2.374466e-05,2.386328e-05,2.520931e-05,2.578343e-05,2.663092e-05,2.762494e-05,2.800441e-05,2.932562e-05,2.937734e-05,3.059137e-05,3.103298e-05,3.179926e-05,3.258672e-05,3.294767e-05,3.403563e-05,3.506281e-05,3.537869e-05,3.602938e-05,3.661645e-05,3.693596e-05,3.775073e-05,3.778351e-05,3.857334e-05,3.878435e-05,3.930696e-05,3.972087e-05,3.998611e-05,4.056442e-05,4.061265e-05,4.118855e-05,4.131946e-05,4.171587e-05,4.199073e-05,4.219670e-05,4.258305e-05,4.263315e-05,4.302731e-05,4.310125e-05,4.338126e-05,4.355010e-05,4.369704e-05,4.393428e-05,4.397667e-05,4.422210e-05,4.425832e-05,4.443520e-05,4.452655e-05,4.461782e-05,4.474315e-05,4.477171e-05,4.489857e-05,4.491205e-05,4.500002e-05,4.503702e-05,4.507763e-05,4.512158e-05,4.513288e-05,4.516720e-05,4.516908e-05,4.518193e-05,4.518263e-05,4.517837e-05,4.516517e-05,4.515775e-05,4.512122e-05,4.511944e-05,4.506989e-05,4.504799e-05,4.500481e-05,4.495321e-05,4.492697e-05,4.483732e-05,4.473674e-05,4.470238e-05,4.462606e-05,4.455031e-05,4.450610e-05,4.438288e-05,4.437758e-05,4.424124e-05,4.420174e-05,4.409772e-05,4.400843e-05,4.394766e-05,4.380433e-05,4.379165e-05,4.363025e-05,4.359077e-05,4.346399e-05,4.336894e-05,4.329336e-05,4.313996e-05,4.311882e-05,4.294082e-05,4.290483e-05,4.275975e-05,4.266451e-05,4.257601e-05,4.241986e-05,4.238995e-05,4.220192e-05,4.217167e-05,4.201223e-05,4.192067e-05,4.182117e-05,4.166753e-05,4.162903e-05,4.143605e-05,4.141285e-05,4.124249e-05,4.115720e-05,4.104857e-05,4.090108e-05,4.085450e-05,4.066047e-05,4.064495e-05,4.046666e-05,4.038924e-05,4.027325e-05,4.013432e-05,4.008039e-05,3.988822e-05,3.988055e-05,3.969689e-05,3.962823e-05,3.950651e-05,3.937765e-05,3.931720e-05,3.912906e-05,3.888269e-05,3.863873e-05,3.839737e-05,3.815877e-05,3.792306e-05,3.769037e-05,3.746080e-05,3.723445e-05,3.701138e-05,3.679167e-05,3.657536e-05,3.636250e-05,3.615313e-05,3.594725e-05,3.574490e-05,3.554608e-05,3.535079e-05,3.515902e-05,3.497077e-05,3.478602e-05,3.460475e-05,3.442694e-05,3.425256e-05,3.408157e-05
0.000000e+00,4.245304e-10,1.498230e-09,8.323077e-09,2.379348e-08,3.782169e-08,1.000998e-07,1.036187e-07,2.213303e-07,2.659642e-07,4.089417e-07,5.637267e-07,6.874942e-07,1.042475e-06,1.078258e-06,1.593801e-06,1.736039e-06,2.230895e-06,2.635877e-06,2.976187e-06,3.710452e-06,3.815795e-06,4.738709e-06,4.932493e-06,5.736161e-06,6.281695e-06,6.800360e-06,7.740290e-06,7.923672e-06,9.098234e-06,9.290377e-06,1.031587e-05,1.091316e-05,1.156815e-05,1.258921e-05,1.284658e-05,1.414275e-05,1.429910e-05,1.544855e-05,1.602417e-05,1.675633e-05,1.774718e-05,1.805901e-05,1.935017e-05,1.945279e-05,2.062412e-05,2.112775e-05,2.187592e-05,2.276110e-05,2.310135e-05,2.429688e-05,2.434404e-05,2.545967e-05,2.586981e-05,2.658748e-05,2.733352e-05,2.767860e-05,2.873183e-05,2.974639e-05,3.006281e-05,3.072187e-05,3.132560e-05,3.165815e-05,3.252025e-05,3.255540e-05,3.341400e-05,3.364756e-05,3.423452e-05,3.470883e-05,3.501764e-05,3.570580e-05,3.576420e-05,3.647508e-05,3.664049e-05,3.715126e-05,3.751514e-05,3.779375e-05,3.833211e-05,3.840360e-05,3.898188e-05,3.909385e-05,3.952967e-05,3.980282e-05,4.004802e-05,4.046148e-05,4.053802e-05,4.100071e-05,4.107228e-05,4.143714e-05,4.163759e-05,4.184831e-05,4.215974e-05,4.223523e-05,4.259884e-05,4.264096e-05,4.294011e-05,4.308342e-05,4.325993e-05,4.348921e-05,4.355920e-05,4.383877e-05,4.386031e-05,4.409947e-05,4.419865e-05,4.434210e-05,4.450603e-05,4.456742e-05,4.477618e-05,4.478420e-05,4.496910e-05,4.503480e-05,4.514686e-05,4.525942e-05,4.531013e-05,4.545954e-05,4.559572e-05,4.563659e-05,4.571924e-05,4.579191e-05,4.583067e-05,4.592678e-05,4.593056e-05,4.601943e-05,4.604241e-05,4.609778e-05,4.613994e-05,4.616609e-05,4.622046e-05,4.622482e-05,4.627441e-05,4.628500e-05,4.631529e-05,4.633453e-05,4.634787e-05,4.636997e-05,4.637253e-05,4.638965e-05,4.639220e-05,4.639958e-05,4.640202e-05,4.640268e-05,4.640024e-05,4.639927e-05,4.638966e-05,4.638757e-05,4.637416e-05,4.636472e-05,4.635306e-05,4.633234e-05,4.632664e-05,4.629516e-05,4.629106e-05,4.625888e-05,4.624146e-05,4.621804e-05,4.618410e-05,4.617288e-05,4.612361e-05,4.611950e-05,4.607046e-05,4.604816e-05,4.601362e-05,4.597054e-05,4.595331e-05,4.588969e-05,4.588708e-05,4.582297e-05,4.579821e-05,4.575329e-05,4.570432e-05,4.568085e-05,4.560578e-05,4.550294e-05,4.539614e-05,4.528568e-05,4.517187e-05,4.505498e-05,4.493527e-05,4.481299e-05,4.468839e-05,4.456167e-05,4.443304e-05,4.430272e-05,4.417087e-05,4.403768e-05,4.390330e-05,4.376791e-05,4.363164e-05,4.349464e-05,4.335703e-05,4.321893e-05,4.308046e-05,4.294173e-05,4.280285e-05,4.266390e-05,4.252497e-05
0.000000e+00,3.302302e-10,1.179475e-09,6.664286e-09,1.924950e-08,3.073947e-08,8.217901e-08,8.509997e-08,1.833976e-07,2.208987e-07,3.415269e-07,4.723349e-07,5.765326e-07,8.708201e-07,9.000451e-07,1.313540e-06,1.425808e-06,1.813753e-06,2.130705e-06,2.398034e-06,2.980525e-06,3.064862e-06,3.812909e-06,3.972116e-06,4.640323e-06,5.101074e-06,5.544364e-06,6.360264e-06,6.521286e-06,7.566380e-06,7.739559e-06,8.674059e-06,9.226150e-06,9.838030e-06,1.080517e-05,1.105148e-05,1.230724e-05,1.246042e-05,1.359800e-05,1.417515e-05,1.491652e-05,1.593284e-05,1.625580e-05,1.760910e-05,1.771778e-05,1.897013e-05,1.951538e-05,2.033307e-05,2.131257e-05,2.169261e-05,2.304400e-05,2.309782e-05,2.438301e-05,2.486129e-05,2.570593e-05,2.659468e-05,2.700958e-05,2.829121e-05,2.954854e-05,2.994543e-05,3.077966e-05,3.155308e-05,3.198301e-05,3.311096e-05,3.315736e-05,3.430176e-05,3.461672e-05,3.541550e-05,3.606881e-05,3.649807e-05,3.746625e-05,3.754917e-05,3.856864e-05,3.880860e-05,3.955646e-05,4.009585e-05,4.051274e-05,4.132831e-05,4.143766e-05,4.233150e-05,4.250656e-05,4.319461e-05,4.363141e-05,4.402739e-05,4.470382e-05,4.483030e-05,4.560383e-05,4.572490e-05,4.634849e-05,4.669584e-05,4.706484e-05,4.761791e-05,4.775344e-05,4.841488e-05,4.849245e-05,4.904974e-05,4.932082e-05,4.965864e-05,5.010440e-05,5.024217e-05,5.080094e-05,5.084459e-05,5.133557e-05,5.154280e-05,5.184666e-05,5.220040e-05,5.233481e-05,5.280062e-05,5.281880e-05,5.324470e-05,5.339936e-05,5.366763e-05,5.394343e-05,5.406998e-05,5.445234e-05,5.481527e-05,5.492740e-05,5.515933e-05,5.536987e-05,5.548505e-05,5.578101e-05,5.579299e-05,5.608366e-05,5.616203e-05,5.635759e-05,5.651412e-05,5.661528e-05,5.683843e-05,5.685722e-05,5.708391e-05,5.713610e-05,5.729583e-05,5.740822e-05,5.749343e-05,5.765584e-05,5.767717e-05,5.784749e-05,5.787999e-05,5.800484e-05,5.808167e-05,5.814963e-05,5.826186e-05,5.828228e-05,5.840319e-05,5.842147e-05,5.851275e-05,5.856143e-05,5.861135e-05,5.868259e-05,5.869937e-05,5.877716e-05,5.878582e-05,5.884508e-05,5.887192e-05,5.890347e-05,5.894169e-05,5.895268e-05,5.899302e-05,5.899588e-05,5.902482e-05,5.903522e-05,5.904839e-05,5.906043e-05,5.906403e-05,5.907202e-05,5.907219e-05,5.907266e-05,5.907115e-05,5.906622e-05,5.905794e-05,5.905297e-05,5.903317e-05,5.899744e-05,5.895129e-05,5.889528e-05,5.882992e-05,5.875571e-05,5.867313e-05,5.858265e-05,5.848471e-05,5.837973e-05,5.826812e-05,5.815028e-05,5.802657e-05,5.789736e-05,5.776299e-05,5.762379e-05,5.748009e-05,5.733218e-05,5.718035e-05,5.702489e-05,5.686605e-05,5.670409e-05,5.653925e-05,5.637177e-05,5.620185e-05
0.000000e+00,7.954602e-14,5.341203e-13,9.013445e-12,5.825206e-11,1.365019e-10,8.500391e-10,9.076832e-10,3.847873e-09,5.453799e-09,1.227930e-08,2.234248e-08,3.223472e-08,6.902155e-08,7.339825e-08,1.500012e-07,1.757109e-07,2.816016e-07,3.885537e-07,4.936405e-07,7.716484e-07,8.176182e-07,1.290739e-06,1.406884e-06,1.954975e-06,2.390862e-06,2.855634e-06,3.829190e-06,4.039597e-06,5.553420e-06,5.829254e-06,7.441460e-06,8.492706e-06,9.744154e-06,1.190862e-05,1.249654e-05,1.572704e-05,1.614790e-05,1.945657e-05,2.125926e-05,2.369794e-05,2.726671e-05,2.845553e-05,3.372528e-05,3.416867e-05,3.949485e-05,4.193837e-05,4.574409e-05,5.052542e-05,5.244558e-05,5.956542e-05,5.985838e-05,6.706410e-05,6.984796e-05,7.489737e-05,8.039079e-05,8.301732e-05,9.137327e-05,9.991284e-05,1.026756e-04,1.085828e-04,1.141756e-04,1.173302e-04,1.257520e-04,1.261028e-04,1.348500e-04,1.372880e-04,1.435236e-04,1.486735e-04,1.520783e-04,1.598070e-04,1.604716e-04,1.686651e-04,1.705979e-04,1.766239e-04,1.809666e-04,1.843171e-04,1.908459e-04,1.917178e-04,1.988031e-04,2.001806e-04,2.055543e-04,2.089276e-04,2.119561e-04,2.170551e-04,2.179971e-04,2.236693e-04,2.245422e-04,2.289679e-04,2.313779e-04,2.338911e-04,2.375599e-04,2.384398e-04,2.426172e-04,2.430938e-04,2.464288e-04,2.479918e-04,2.498820e-04,2.522721e-04,2.529857e-04,2.557503e-04,2.559571e-04,2.581872e-04,2.590731e-04,2.603091e-04,2.616490e-04,2.621289e-04,2.636605e-04,2.637160e-04,2.649180e-04,2.653063e-04,2.659156e-04,2.664529e-04,2.666678e-04,2.671890e-04,2.674934e-04,2.675474e-04,2.675951e-04,2.675602e-04,2.675078e-04,2.672586e-04,2.672448e-04,2.668192e-04,2.666726e-04,2.662435e-04,2.658310e-04,2.655296e-04,2.647607e-04,2.646891e-04,2.637330e-04,2.634876e-04,2.626719e-04,2.620354e-04,2.615155e-04,2.604266e-04,2.602733e-04,2.589543e-04,2.586820e-04,2.575666e-04,2.568206e-04,2.561183e-04,2.548601e-04,2.546165e-04,2.530683e-04,2.528166e-04,2.514798e-04,2.507049e-04,2.498573e-04,2.485383e-04,2.482061e-04,2.465314e-04,2.463291e-04,2.448379e-04,2.440880e-04,2.431302e-04,2.418252e-04,2.414121e-04,2.396874e-04,2.395492e-04,2.379595e-04,2.372681e-04,2.362315e-04,2.349889e-04,2.345062e-04,2.327863e-04,2.327176e-04,2.310740e-04,2.304598e-04,2.293714e-04,2.282203e-04,2.276806e-04,2.260033e-04,2.238123e-04,2.216504e-04,2.195204e-04,2.174244e-04,2.153643e-04,2.133417e-04,2.113578e-04,2.094134e-04,2.075095e-04,2.056464e-04,2.038245e-04,2.020439e-04,2.003047e-04,1.986067e-04,1.969498e-04,1.953335e-04,1.937575e-04,1.922212e-04,1.907242e-04,1.892658e-04,1.878453e-04,1.864621e-04,1.851155e-04,1.838047e-04
0.000000e+00,8.261229e-13,5.114841e-12,7.293971e-11,4.043276e-10,8.709360e-10,4.364668e-09,4.619725e-09,1.580189e-08,2.113343e-08,4.114632e-08,6.661471e-08,8.910060e-08,1.613142e-07,1.691280e-07,2.910614e-07,3.276448e-07,4.645547e-07,5.875975e-07,6.984916e-07,9.601896e-07,1.000146e-06,1.374115e-06,1.457745e-06,1.821409e-06,2.082176e-06,2.339165e-06,2.824007e-06,2.921086e-06,3.558368e-06,3.664797e-06,4.240741e-06,4.581118e-06,4.957373e-06,5.548115e-06,5.697527e-06,6.450972e-06,6.541820e-06,7.208229e-06,7.540379e-06,7.960693e-06,8.524608e-06,8.700699e-06,9.421555e-06,9.478218e-06,1.011755e-05,1.038789e-05,1.078394e-05,1.124327e-05,1.141697e-05,1.201377e-05,1.203685e-05,1.257234e-05,1.276383e-05,1.309152e-05,1.342177e-05,1.357080e-05,1.401035e-05,1.441084e-05,1.453092e-05,1.477338e-05,1.498616e-05,1.509944e-05,1.537972e-05,1.539072e-05,1.564914e-05,1.571588e-05,1.587670e-05,1.599929e-05,1.607549e-05,1.623475e-05,1.624759e-05,1.639505e-05,1.642701e-05,1.651989e-05,1.658063e-05,1.662401e-05,1.669996e-05,1.670925e-05,1.677732e-05,1.678901e-05,1.682981e-05,1.685145e-05,1.686822e-05,1.689060e-05,1.689391e-05,1.690816e-05,1.690945e-05,1.691211e-05,1.691066e-05,1.690681e-05,1.689657e-05,1.689323e-05,1.687223e-05,1.686925e-05,1.684460e-05,1.683052e-05,1.681104e-05,1.678198e-05,1.677221e-05,1.672868e-05,1.672501e-05,1.668098e-05,1.666084e-05,1.662958e-05,1.659051e-05,1.657490e-05,1.651732e-05,1.651497e-05,1.645721e-05,1.643501e-05,1.639486e-05,1.635134e-05,1.633057e-05,1.626458e-05,1.619713e-05,1.617527e-05,1.612843e-05,1.608389e-05,1.605867e-05,1.599086e-05,1.598802e-05,1.591663e-05,1.589654e-05,1.584466e-05,1.580125e-05,1.577223e-05,1.570528e-05,1.569945e-05,1.562644e-05,1.560889e-05,1.555329e-05,1.551229e-05,1.548008e-05,1.541569e-05,1.540691e-05,1.533384e-05,1.531925e-05,1.526095e-05,1.522313e-05,1.518828e-05,1.512747e-05,1.511591e-05,1.504387e-05,1.503238e-05,1.497223e-05,1.493798e-05,1.490101e-05,1.484436e-05,1.483025e-05,1.476000e-05,1.475160e-05,1.469028e-05,1.465978e-05,1.462112e-05,1.456895e-05,1.455254e-05,1.448458e-05,1.447917e-05,1.441725e-05,1.439050e-05,1.435057e-05,1.430297e-05,1.428455e-05,1.421922e-05,1.421662e-05,1.415458e-05,1.413148e-05,1.409064e-05,1.404757e-05,1.402742e-05,1.396492e-05,1.388354e-05,1.380344e-05,1.372464e-05,1.364715e-05,1.357096e-05,1.349608e-05,1.342250e-05,1.335023e-05,1.327926e-05,1.320959e-05,1.314120e-05,1.307409e-05,1.300825e-05,1.294366e-05,1.288032e-05,1.281821e-05,1.275732e-05,1.269763e-05,1.263913e-05,1.258181e-05,1.252564e-05,1.247061e-05,1.241670e-05,1.236391e-05
0.000000e+00,1.003792e-09,3.421075e-09,1.821534e-08,5.112198e-08,8.085695e-08,2.138839e-07,2.214721e-07,4.800640e-07,5.802819e-07,9.062580e-07,1.260713e-06,1.540259e-06,2.308734e-06,2.383395e-06,3.415157e-06,3.688973e-06,4.620444e-06,5.368189e-06,5.991574e-06,7.331197e-06,7.523305e-06,9.209756e-06,9.564962e-06,1.104307e-05,1.205114e-05,1.301304e-05,1.476433e-05,1.510716e-05,1.731103e-05,1.767279e-05,1.960883e-05,2.074026e-05,2.198388e-05,2.392812e-05,2.441919e-05,2.689792e-05,2.719751e-05,2.940385e-05,3.051109e-05,3.192166e-05,3.383440e-05,3.443722e-05,3.693771e-05,3.713675e-05,3.941177e-05,4.039171e-05,4.184944e-05,4.357719e-05,4.424220e-05,4.658288e-05,4.667534e-05,4.886557e-05,4.967219e-05,5.108549e-05,5.255724e-05,5.323892e-05,5.532305e-05,5.733587e-05,5.796469e-05,5.927608e-05,6.047936e-05,6.114296e-05,6.286599e-05,6.293631e-05,6.465635e-05,6.512490e-05,6.630365e-05,6.725747e-05,6.787908e-05,6.926594e-05,6.938374e-05,7.081892e-05,7.115318e-05,7.218607e-05,7.292253e-05,7.348674e-05,7.457766e-05,7.472260e-05,7.589536e-05,7.612249e-05,7.700678e-05,7.756107e-05,7.805865e-05,7.889754e-05,7.905279e-05,7.999101e-05,8.013606e-05,8.087511e-05,8.128078e-05,8.170688e-05,8.233583e-05,8.248811e-05,8.322054e-05,8.330524e-05,8.390590e-05,8.419298e-05,8.454588e-05,8.500293e-05,8.514213e-05,8.569627e-05,8.573883e-05,8.620988e-05,8.640433e-05,8.668452e-05,8.700297e-05,8.712168e-05,8.752282e-05,8.753814e-05,8.788938e-05,8.801314e-05,8.822272e-05,8.843111e-05,8.852420e-05,8.879511e-05,8.903672e-05,8.910805e-05,8.925025e-05,8.937272e-05,8.943688e-05,8.959181e-05,8.959776e-05,8.973400e-05,8.976788e-05,8.984667e-05,8.990338e-05,8.993680e-05,9.000068e-05,9.000539e-05,9.005342e-05,9.006199e-05,9.008181e-05,9.008947e-05,9.009146e-05,9.008515e-05,9.008324e-05,9.005800e-05,9.005097e-05,9.001652e-05,8.998880e-05,8.995960e-05,8.990040e-05,8.988798e-05,8.980239e-05,8.978744e-05,8.970351e-05,8.965153e-05,8.959202e-05,8.949418e-05,8.946856e-05,8.933375e-05,8.931684e-05,8.918819e-05,8.912088e-05,8.903245e-05,8.890761e-05,8.886707e-05,8.869260e-05,8.867826e-05,8.850953e-05,8.843401e-05,8.831836e-05,8.817597e-05,8.811956e-05,8.791357e-05,8.790519e-05,8.770083e-05,8.762267e-05,8.748176e-05,8.732937e-05,8.725675e-05,8.702618e-05,8.671395e-05,8.639348e-05,8.606553e-05,8.573082e-05,8.539003e-05,8.504380e-05,8.469273e-05,8.433739e-05,8.397833e-05,8.361605e-05,8.325102e-05,8.288370e-05,8.251451e-05,8.214385e-05,8.177208e-05,8.139957e-05,8.102663e-05,8.065359e-05,8.028072e-05,7.990830e-05,7.953658e-05,7.916580e-05,7.879618e-05,7.842792e-05
0.000000e+00,1.085307e-09,2.581644e-09,9.221633e-09,2.130343e-08,3.122451e-08,7.118138e-08,7.332560e-08,1.413834e-07,1.658665e-07,2.410776e-07,3.184167e-07,3.780184e-07,5.416059e-07,5.576720e-07,7.849626e-07,8.470370e-07,1.063392e-06,1.242085e-06,1.393720e-06,1.724962e-06,1.772832e-06,2.193860e-06,2.282318e-06,2.647800e-06,2.893768e-06,3.125450e-06,3.538955e-06,3.618602e-06,4.120364e-06,4.201051e-06,4.625063e-06,4.866954e-06,5.128016e-06,5.526494e-06,5.625348e-06,6.113860e-06,6.171759e-06,6.590930e-06,6.796655e-06,7.054446e-06,7.396618e-06,7.502751e-06,7.934592e-06,7.968399e-06,8.349074e-06,8.509866e-06,8.745611e-06,9.019818e-06,9.123885e-06,9.483802e-06,9.497818e-06,9.825459e-06,9.944029e-06,1.014910e-05,1.035908e-05,1.045510e-05,1.074392e-05,1.101611e-05,1.109978e-05,1.127223e-05,1.142802e-05,1.151294e-05,1.173010e-05,1.173886e-05,1.195066e-05,1.200753e-05,1.214900e-05,1.226182e-05,1.233454e-05,1.249448e-05,1.250792e-05,1.266977e-05,1.270697e-05,1.282070e-05,1.290067e-05,1.296131e-05,1.307695e-05,1.309215e-05,1.321379e-05,1.323706e-05,1.332674e-05,1.338220e-05,1.343150e-05,1.351352e-05,1.352855e-05,1.361834e-05,1.363207e-05,1.370131e-05,1.373883e-05,1.377786e-05,1.383474e-05,1.384838e-05,1.391323e-05,1.392064e-05,1.397276e-05,1.399735e-05,1.402729e-05,1.406559e-05,1.407715e-05,1.412261e-05,1.412607e-05,1.416396e-05,1.417940e-05,1.420145e-05,1.422619e-05,1.423533e-05,1.426583e-05,1.426698e-05,1.429317e-05,1.430228e-05,1.431755e-05,1.433254e-05,1.433917e-05,1.435820e-05,1.437483e-05,1.437966e-05,1.438920e-05,1.439729e-05,1.440148e-05,1.441142e-05,1.441179e-05,1.442029e-05,1.442236e-05,1.442709e-05,1.443041e-05,1.443232e-05,1.443583e-05,1.443608e-05,1.443848e-05,1.443886e-05,1.443962e-05,1.443974e-05,1.443958e-05,1.443866e-05,1.443847e-05,1.443635e-05,1.443581e-05,1.443331e-05,1.443139e-05,1.442942e-05,1.442554e-05,1.442474e-05,1.441934e-05,1.441841e-05,1.441328e-05,1.441015e-05,1.440661e-05,1.440088e-05,1.439939e-05,1.439167e-05,1.439071e-05,1.438349e-05,1.437975e-05,1.437489e-05,1.436810e-05,1.436591e-05,1.435660e-05,1.435584e-05,1.434699e-05,1.434306e-05,1.433710e-05,1.432984e-05,1.432698e-05,1.431665e-05,1.431623e-05,1.430614e-05,1.430231e-05,1.429547e-05,1.428813e-05,1.428466e-05,1.427375e-05,1.425920e-05,1.424454e-05,1.422980e-05,1.421502e-05,1.420024e-05,1.418547e-05,1.417075e-05,1.415610e-05,1.414155e-05,1.412710e-05,1.411279e-05,1.409862e-05,1.408461e-05,1.407077e-05,1.405711e-05,1.404364e-05,1.403037e-05,1.401731e-05,1.400446e-05,1.399182e-05,1.397940e-05,1.396720e-05,1.395523e-05,1.394349e-05
0.000000e+00,7.779169e-13,4.887234e-12,7.185181e-11,4.096135e-10,8.960918e-10,4.675928e-09,4.957386e-09,1.766405e-08,2.389133e-08,4.786765e-08,7.934677e-08,1.078015e-07,2.022650e-07,2.127192e-07,3.804577e-07,4.322384e-07,6.308879e-07,8.150368e-07,9.848837e-07,1.398016e-06,1.462442e-06,2.080234e-06,2.221721e-06,2.849508e-06,3.311266e-06,3.775133e-06,4.672743e-06,4.855880e-06,6.085506e-06,6.295440e-06,7.454105e-06,8.156842e-06,8.949355e-06,1.022752e-05,1.055748e-05,1.226392e-05,1.247459e-05,1.405372e-05,1.486377e-05,1.591186e-05,1.736058e-05,1.782344e-05,1.977383e-05,1.993111e-05,2.174884e-05,2.254268e-05,2.373489e-05,2.516444e-05,2.571914e-05,2.768965e-05,2.776803e-05,2.963549e-05,3.032803e-05,3.154684e-05,3.282239e-05,3.341504e-05,3.523260e-05,3.699326e-05,3.754378e-05,3.869187e-05,3.974451e-05,4.032440e-05,4.182665e-05,4.188783e-05,4.338010e-05,4.378499e-05,4.479996e-05,4.561690e-05,4.614694e-05,4.732192e-05,4.742119e-05,4.862345e-05,4.890140e-05,4.975488e-05,5.035812e-05,5.081706e-05,5.169597e-05,5.181185e-05,5.274137e-05,5.291964e-05,5.360791e-05,5.403442e-05,5.441388e-05,5.504591e-05,5.516178e-05,5.585414e-05,5.595994e-05,5.649353e-05,5.678237e-05,5.708249e-05,5.751902e-05,5.762351e-05,5.811905e-05,5.817558e-05,5.857151e-05,5.875753e-05,5.898317e-05,5.927014e-05,5.935629e-05,5.969299e-05,5.971842e-05,5.999534e-05,6.010710e-05,6.026530e-05,6.044067e-05,6.050474e-05,6.071544e-05,6.072330e-05,6.089910e-05,6.095891e-05,6.105732e-05,6.115116e-05,6.119162e-05,6.130345e-05,6.139417e-05,6.141896e-05,6.146507e-05,6.150061e-05,6.151737e-05,6.155115e-05,6.155222e-05,6.157070e-05,6.157309e-05,6.157385e-05,6.156878e-05,6.156262e-05,6.154038e-05,6.153793e-05,6.150064e-05,6.148991e-05,6.145156e-05,6.141921e-05,6.139146e-05,6.133002e-05,6.132105e-05,6.124102e-05,6.122391e-05,6.115200e-05,6.110236e-05,6.105460e-05,6.096673e-05,6.094940e-05,6.083692e-05,6.081828e-05,6.071767e-05,6.065817e-05,6.059214e-05,6.048748e-05,6.046076e-05,6.032397e-05,6.030721e-05,6.018217e-05,6.011828e-05,6.003572e-05,5.992155e-05,5.988500e-05,5.973033e-05,5.971779e-05,5.957203e-05,5.950776e-05,5.941040e-05,5.929213e-05,5.924572e-05,5.907827e-05,5.907151e-05,5.890828e-05,5.884651e-05,5.873600e-05,5.861765e-05,5.856164e-05,5.838543e-05,5.815032e-05,5.791274e-05,5.767309e-05,5.743174e-05,5.718903e-05,5.694527e-05,5.670076e-05,5.645577e-05,5.621054e-05,5.596530e-05,5.572028e-05,5.547566e-05,5.523163e-05,5.498836e-05,5.474600e-05,5.450469e-05,5.426457e-05,5.402576e-05,5.378836e-05,5.355249e-05,5.331822e-05,5.308566e-05,5.285487e-05,5.262592e-05
0.000000e+00,1.010565e-13,6.593285e-13,1.047809e-11,6.407484e-11,1.456202e-10,8.371509e-10,8.909946e-10,3.484359e-09,4.830358e-09,1.028196e-08,1.786922e-08,2.501506e-08,5.003734e-08,5.290051e-08,1.006126e-07,1.158768e-07,1.761452e-07,2.339480e-07,2.885925e-07,4.259367e-07,4.478620e-07,6.643118e-07,7.153807e-07,9.483016e-07,1.125972e-06,1.309675e-06,1.679507e-06,1.757228e-06,2.298240e-06,2.393865e-06,2.938124e-06,3.281452e-06,3.680226e-06,4.348391e-06,4.525759e-06,5.473857e-06,5.594407e-06,6.521709e-06,7.013248e-06,7.664752e-06,8.593430e-06,8.896894e-06,1.021075e-05,1.031914e-05,1.159788e-05,1.217120e-05,1.304903e-05,1.412797e-05,1.455433e-05,1.610357e-05,1.616631e-05,1.768635e-05,1.826235e-05,1.929228e-05,2.039232e-05,2.091116e-05,2.253314e-05,2.414883e-05,2.466306e-05,2.574940e-05,2.676204e-05,2.732671e-05,2.881215e-05,2.887334e-05,3.038264e-05,3.079773e-05,3.184875e-05,3.270556e-05,3.326663e-05,3.452481e-05,3.463202e-05,3.594142e-05,3.624703e-05,3.719209e-05,3.786601e-05,3.838196e-05,3.937761e-05,3.950961e-05,4.057419e-05,4.077951e-05,4.157541e-05,4.207104e-05,4.251343e-05,4.325294e-05,4.338883e-05,4.420256e-05,4.432711e-05,4.495585e-05,4.529640e-05,4.565022e-05,4.616443e-05,4.628737e-05,4.686920e-05,4.693539e-05,4.739771e-05,4.761391e-05,4.787502e-05,4.820487e-05,4.830331e-05,4.868477e-05,4.871334e-05,4.902165e-05,4.914442e-05,4.931617e-05,4.950324e-05,4.957054e-05,4.978693e-05,4.979483e-05,4.996747e-05,5.002409e-05,5.011424e-05,5.019577e-05,5.022923e-05,5.031440e-05,5.037162e-05,5.038432e-05,5.040268e-05,5.040963e-05,5.040930e-05,5.039421e-05,5.039314e-05,5.035576e-05,5.034170e-05,5.029866e-05,5.025553e-05,5.022326e-05,5.013888e-05,5.013089e-05,5.002285e-05,4.999472e-05,4.990033e-05,4.982583e-05,4.976448e-05,4.963476e-05,4.961638e-05,4.945704e-05,4.942390e-05,4.928741e-05,4.919544e-05,4.910841e-05,4.895141e-05,4.892087e-05,4.872559e-05,4.869368e-05,4.852333e-05,4.842396e-05,4.831477e-05,4.814385e-05,4.810059e-05,4.788140e-05,4.785478e-05,4.765777e-05,4.755810e-05,4.743024e-05,4.725503e-05,4.719932e-05,4.696549e-05,4.694667e-05,4.672917e-05,4.663405e-05,4.649079e-05,4.631810e-05,4.625073e-05,4.600934e-05,4.599966e-05,4.576696e-05,4.567952e-05,4.552389e-05,4.535836e-05,4.528042e-05,4.503682e-05,4.471547e-05,4.439485e-05,4.407541e-05,4.375758e-05,4.344173e-05,4.312820e-05,4.281731e-05,4.250930e-05,4.220443e-05,4.190290e-05,4.160489e-05,4.131057e-05,4.102006e-05,4.073350e-05,4.045097e-05,4.017257e-05,3.989835e-05,3.962838e-05,3.936270e-05,3.910133e-05,3.884430e-05,3.859161e-05,3.834327e-05,3.809928e-05
0.000000e+00,7.841613e-12,4.632941e-11,6.014935e-10,3.073779e-09,6.343638e-09,2.865558e-08,3.020891e-08,9.426011e-08,1.232062e-07,2.273891e-07,3.541492e-07,4.629047e-07,8.008358e-07,8.366770e-07,1.383644e-06,1.543949e-06,2.130527e-06,2.640964e-06,3.088377e-06,4.101233e-06,4.251022e-06,5.599570e-06,5.889403e-06,7.108546e-06,7.947475e-06,8.750396e-06,1.021216e-05,1.049772e-05,1.232397e-05,1.262177e-05,1.420360e-05,1.511754e-05,1.611209e-05,1.764399e-05,1.802619e-05,1.992418e-05,2.014990e-05,2.178636e-05,2.258980e-05,2.359532e-05,2.492530e-05,2.533622e-05,2.699694e-05,2.712603e-05,2.856806e-05,2.916982e-05,3.004278e-05,3.104232e-05,3.141669e-05,3.268754e-05,3.273622e-05,3.385494e-05,3.425006e-05,3.492006e-05,3.558711e-05,3.588533e-05,3.675417e-05,3.753075e-05,3.776052e-05,3.821974e-05,3.861703e-05,3.882615e-05,3.933544e-05,3.935518e-05,3.981206e-05,3.992777e-05,4.020199e-05,4.040593e-05,4.053004e-05,4.078140e-05,4.080110e-05,4.101986e-05,4.106507e-05,4.119074e-05,4.126710e-05,4.131793e-05,4.139683e-05,4.140535e-05,4.145663e-05,4.146285e-05,4.147516e-05,4.147292e-05,4.146410e-05,4.143405e-05,4.142633e-05,4.136451e-05,4.135256e-05,4.128112e-05,4.123409e-05,4.117839e-05,4.108367e-05,4.105839e-05,4.092301e-05,4.090581e-05,4.077398e-05,4.070449e-05,4.061287e-05,4.048325e-05,4.044114e-05,4.026008e-05,4.024523e-05,4.007090e-05,3.999320e-05,3.987468e-05,3.972961e-05,3.967242e-05,3.946503e-05,3.945664e-05,3.925332e-05,3.917620e-05,3.903804e-05,3.888996e-05,3.881987e-05,3.859942e-05,3.837725e-05,3.830587e-05,3.815386e-05,3.801047e-05,3.792972e-05,3.771421e-05,3.770523e-05,3.748077e-05,3.741798e-05,3.725668e-05,3.712254e-05,3.703327e-05,3.682855e-05,3.681080e-05,3.658952e-05,3.653662e-05,3.636965e-05,3.624722e-05,3.615140e-05,3.596081e-05,3.593493e-05,3.572040e-05,3.567774e-05,3.550795e-05,3.539834e-05,3.529771e-05,3.512288e-05,3.508977e-05,3.488424e-05,3.485158e-05,3.468119e-05,3.458464e-05,3.448070e-05,3.432219e-05,3.428283e-05,3.408763e-05,3.406438e-05,3.389513e-05,3.381130e-05,3.370537e-05,3.356301e-05,3.351839e-05,3.333420e-05,3.331958e-05,3.315281e-05,3.308104e-05,3.297423e-05,3.284740e-05,3.279848e-05,3.262554e-05,3.261868e-05,3.245541e-05,3.239485e-05,3.228809e-05,3.217591e-05,3.212357e-05,3.196182e-05,3.175254e-05,3.154803e-05,3.134824e-05,3.115310e-05,3.096255e-05,3.077654e-05,3.059498e-05,3.041781e-05,3.024495e-05,3.007632e-05,2.991185e-05,2.975145e-05,2.959504e-05,2.944255e-05,2.929388e-05,2.914897e-05,2.900773e-05,2.887007e-05,2.873591e-05,2.860518e-05,2.847780e-05,2.835369e-05,2.823277e-05,2.811496e-05
0.000000e+00,1.212220e-13,7.937796e-13,1.271002e-11,7.826285e-11,1.785536e-10,1.037206e-09,1.104403e-09,4.368071e-09,6.075536e-09,1.304805e-08,2.285653e-08,3.217499e-08,6.524723e-08,6.906727e-08,1.335439e-07,1.544450e-07,2.379738e-07,3.192961e-07,3.970221e-07,5.950183e-07,6.268918e-07,9.439960e-07,1.019246e-06,1.363297e-06,1.625838e-06,1.896723e-06,2.438795e-06,2.552011e-06,3.332137e-06,3.468486e-06,4.235297e-06,4.710854e-06,5.255325e-06,6.148981e-06,6.382378e-06,7.603759e-06,7.755981e-06,8.904761e-06,9.498348e-06,1.026946e-05,1.133911e-05,1.168141e-05,1.312425e-05,1.324053e-05,1.458218e-05,1.516622e-05,1.604036e-05,1.708268e-05,1.748514e-05,1.890431e-05,1.896039e-05,2.028718e-05,2.077433e-05,2.162465e-05,2.250429e-05,2.290918e-05,2.413480e-05,2.529697e-05,2.565491e-05,2.639251e-05,2.705773e-05,2.741945e-05,2.833996e-05,2.837693e-05,2.926502e-05,2.950136e-05,3.008462e-05,3.054412e-05,3.083727e-05,3.147239e-05,3.152508e-05,3.215058e-05,3.229173e-05,3.271658e-05,3.300870e-05,3.322617e-05,3.363046e-05,3.368252e-05,3.408888e-05,3.416445e-05,3.444853e-05,3.461814e-05,3.476465e-05,3.499887e-05,3.504040e-05,3.527879e-05,3.531366e-05,3.548272e-05,3.556917e-05,3.565491e-05,3.577157e-05,3.579796e-05,3.591429e-05,3.592656e-05,3.600615e-05,3.603936e-05,3.607565e-05,3.611471e-05,3.612473e-05,3.615518e-05,3.615686e-05,3.616867e-05,3.616965e-05,3.616670e-05,3.615650e-05,3.615067e-05,3.612185e-05,3.612044e-05,3.608140e-05,3.606420e-05,3.603039e-05,3.599016e-05,3.596978e-05,3.590046e-05,3.582322e-05,3.579695e-05,3.573880e-05,3.568133e-05,3.564789e-05,3.555506e-05,3.555108e-05,3.544895e-05,3.541947e-05,3.534201e-05,3.527574e-05,3.523073e-05,3.512489e-05,3.511554e-05,3.499683e-05,3.496786e-05,3.487497e-05,3.480547e-05,3.475028e-05,3.463846e-05,3.462308e-05,3.449364e-05,3.446750e-05,3.436222e-05,3.429318e-05,3.422907e-05,3.411604e-05,3.409440e-05,3.395843e-05,3.393657e-05,3.382135e-05,3.375521e-05,3.368333e-05,3.357234e-05,3.354453e-05,3.340511e-05,3.338834e-05,3.326521e-05,3.320353e-05,3.312495e-05,3.301819e-05,3.298446e-05,3.284384e-05,3.283259e-05,3.270321e-05,3.264697e-05,3.256265e-05,3.246155e-05,3.242226e-05,3.228212e-05,3.227652e-05,3.214231e-05,3.209207e-05,3.200289e-05,3.190836e-05,3.186395e-05,3.172553e-05,3.154374e-05,3.136309e-05,3.118370e-05,3.100567e-05,3.082909e-05,3.065405e-05,3.048060e-05,3.030882e-05,3.013876e-05,2.997049e-05,2.980403e-05,2.963943e-05,2.947674e-05,2.931597e-05,2.915715e-05,2.900030e-05,2.884545e-05,2.869260e-05,2.854177e-05,2.839296e-05,2.824617e-05,2.810142e-05,2.795870e-05,2.781800e-05
0.000000e+00,1.499405e-10,6.852949e-10,5.536300e-09,1.956487e-08,3.375310e-08,1.025379e-07,1.065585e-07,2.432806e-07,2.953472e-07,4.607305e-07,6.364267e-07,7.744007e-07,1.160448e-06,1.198772e-06,1.744861e-06,1.894468e-06,2.413725e-06,2.837107e-06,3.190847e-06,3.943479e-06,4.049941e-06,4.962998e-06,5.149922e-06,5.906586e-06,6.403120e-06,6.862548e-06,7.664549e-06,7.816544e-06,8.756743e-06,8.905202e-06,9.673117e-06,1.010197e-05,1.055719e-05,1.123648e-05,1.140202e-05,1.220217e-05,1.229498e-05,1.295371e-05,1.326830e-05,1.365415e-05,1.415153e-05,1.430230e-05,1.489813e-05,1.494356e-05,1.544255e-05,1.564627e-05,1.593723e-05,1.626385e-05,1.638442e-05,1.678678e-05,1.680198e-05,1.714721e-05,1.726728e-05,1.746873e-05,1.766671e-05,1.775442e-05,1.800725e-05,1.823014e-05,1.829560e-05,1.842583e-05,1.853798e-05,1.859688e-05,1.874012e-05,1.874567e-05,1.887439e-05,1.890710e-05,1.898501e-05,1.904346e-05,1.907936e-05,1.915319e-05,1.915906e-05,1.922557e-05,1.923972e-05,1.928022e-05,1.930609e-05,1.932418e-05,1.935488e-05,1.935852e-05,1.938418e-05,1.938835e-05,1.940200e-05,1.940842e-05,1.941273e-05,1.941676e-05,1.941705e-05,1.941555e-05,1.941481e-05,1.940878e-05,1.940380e-05,1.939722e-05,1.938483e-05,1.938132e-05,1.936146e-05,1.935883e-05,1.933801e-05,1.932663e-05,1.931128e-05,1.928896e-05,1.928157e-05,1.924916e-05,1.924645e-05,1.921427e-05,1.919968e-05,1.917714e-05,1.914913e-05,1.913797e-05,1.909694e-05,1.909527e-05,1.905424e-05,1.903848e-05,1.901001e-05,1.897915e-05,1.896441e-05,1.891757e-05,1.886962e-05,1.885406e-05,1.882067e-05,1.878887e-05,1.877083e-05,1.872224e-05,1.872020e-05,1.866888e-05,1.865440e-05,1.861695e-05,1.858554e-05,1.856450e-05,1.851584e-05,1.851159e-05,1.845830e-05,1.844546e-05,1.840470e-05,1.837457e-05,1.835084e-05,1.830329e-05,1.829679e-05,1.824260e-05,1.823174e-05,1.818831e-05,1.816006e-05,1.813398e-05,1.808833e-05,1.807964e-05,1.802534e-05,1.801666e-05,1.797112e-05,1.794513e-05,1.791701e-05,1.787383e-05,1.786305e-05,1.780926e-05,1.780282e-05,1.775568e-05,1.773217e-05,1.770232e-05,1.766195e-05,1.764923e-05,1.759641e-05,1.759220e-05,1.754389e-05,1.752298e-05,1.749170e-05,1.745433e-05,1.743985e-05,1.738835e-05,1.738629e-05,1.733722e-05,1.731891e-05,1.728648e-05,1.725221e-05,1.723614e-05,1.718622e-05,1.712097e-05,1.705648e-05,1.699277e-05,1.692986e-05,1.686777e-05,1.680651e-05,1.674609e-05,1.668652e-05,1.662781e-05,1.656996e-05,1.651299e-05,1.645688e-05,1.640165e-05,1.634729e-05,1.629381e-05,1.624120e-05,1.618947e-05,1.613860e-05,1.608860e-05,1.603945e-05,1.599116e-05,1.594372e-05,1.589712e-05,1.585136e-05
0.000000e+00,8.374569e-11,4.196116e-10,3.996272e-09,1.599313e-08,2.930812e-08,1.023454e-07,1.069284e-07,2.774759e-07,3.488394e-07,5.953342e-07,8.864929e-07,1.133629e-06,1.894399e-06,1.974412e-06,3.170614e-06,3.510537e-06,4.708687e-06,5.694985e-06,6.520813e-06,8.278874e-06,8.527670e-06,1.066530e-05,1.110428e-05,1.288877e-05,1.406809e-05,1.516659e-05,1.710439e-05,1.747493e-05,1.979409e-05,2.016498e-05,2.210679e-05,2.320997e-05,2.439752e-05,2.620494e-05,2.665245e-05,2.885941e-05,2.912051e-05,3.100801e-05,3.193264e-05,3.308967e-05,3.462265e-05,3.509749e-05,3.702630e-05,3.717707e-05,3.887244e-05,3.958719e-05,4.063361e-05,4.184836e-05,4.230866e-05,4.389741e-05,4.395917e-05,4.540053e-05,4.592094e-05,4.681938e-05,4.773697e-05,4.815578e-05,4.941198e-05,5.059050e-05,5.095166e-05,5.169408e-05,5.236235e-05,5.272557e-05,5.365072e-05,5.368793e-05,5.458412e-05,5.482359e-05,5.541709e-05,5.588776e-05,5.618979e-05,5.684991e-05,5.690509e-05,5.756579e-05,5.771654e-05,5.817462e-05,5.849389e-05,5.873421e-05,5.918794e-05,5.924710e-05,5.971574e-05,5.980436e-05,6.014246e-05,6.034854e-05,6.052951e-05,6.082554e-05,6.087903e-05,6.119307e-05,6.124015e-05,6.147358e-05,6.159686e-05,6.172242e-05,6.189989e-05,6.194136e-05,6.213210e-05,6.215317e-05,6.229622e-05,6.236040e-05,6.243526e-05,6.252504e-05,6.255066e-05,6.264379e-05,6.265032e-05,6.271596e-05,6.273923e-05,6.276840e-05,6.279460e-05,6.280228e-05,6.281873e-05,6.281904e-05,6.281878e-05,6.281498e-05,6.280345e-05,6.278472e-05,6.277367e-05,6.273036e-05,6.267434e-05,6.265387e-05,6.260644e-05,6.255710e-05,6.252741e-05,6.244174e-05,6.243797e-05,6.233881e-05,6.230940e-05,6.223058e-05,6.216154e-05,6.211388e-05,6.199955e-05,6.198930e-05,6.185739e-05,6.182469e-05,6.171865e-05,6.163817e-05,6.157359e-05,6.144108e-05,6.142267e-05,6.126633e-05,6.123445e-05,6.110498e-05,6.101923e-05,6.093902e-05,6.079632e-05,6.076882e-05,6.059472e-05,6.056653e-05,6.041707e-05,6.033062e-05,6.023617e-05,6.008932e-05,6.005233e-05,5.986582e-05,5.984327e-05,5.967690e-05,5.959309e-05,5.948584e-05,5.933934e-05,5.929286e-05,5.909819e-05,5.908255e-05,5.890204e-05,5.882321e-05,5.870461e-05,5.856177e-05,5.850608e-05,5.830664e-05,5.829865e-05,5.810645e-05,5.803423e-05,5.790567e-05,5.776888e-05,5.770445e-05,5.750292e-05,5.723666e-05,5.697039e-05,5.670437e-05,5.643884e-05,5.617402e-05,5.591011e-05,5.564730e-05,5.538578e-05,5.512568e-05,5.486717e-05,5.461037e-05,5.435541e-05,5.410239e-05,5.385141e-05,5.360257e-05,5.335595e-05,5.311162e-05,5.286965e-05,5.263010e-05,5.239302e-05,5.215845e-05,5.192644e-05,5.169702e-05,5.147023e-05
0.000000e+00,1.686201e-09,4.213630e-09,1.589809e-08,3.795349e-08,5.658656e-08,1.356411e-07,1.400550e-07,2.886437e-07,3.459178e-07,5.331724e-07,7.408558e-07,9.088601e-07,1.389075e-06,1.436819e-06,2.102698e-06,2.278670e-06,2.866030e-06,3.320849e-06,3.687318e-06,4.435949e-06,4.539134e-06,5.404057e-06,5.577532e-06,6.270550e-06,6.718882e-06,7.130220e-06,7.842146e-06,7.976382e-06,8.803436e-06,8.933662e-06,9.606621e-06,9.982473e-06,1.038194e-05,1.097992e-05,1.112614e-05,1.183668e-05,1.191958e-05,1.251177e-05,1.279727e-05,1.315030e-05,1.361076e-05,1.375170e-05,1.431596e-05,1.435950e-05,1.484345e-05,1.504431e-05,1.533492e-05,1.566702e-05,1.579136e-05,1.621402e-05,1.623024e-05,1.660425e-05,1.673709e-05,1.696357e-05,1.719103e-05,1.729351e-05,1.759556e-05,1.787127e-05,1.795419e-05,1.812219e-05,1.827043e-05,1.834976e-05,1.854762e-05,1.855544e-05,1.874062e-05,1.878897e-05,1.890660e-05,1.899749e-05,1.905462e-05,1.917597e-05,1.918588e-05,1.930148e-05,1.932702e-05,1.940250e-05,1.945307e-05,1.948992e-05,1.955635e-05,1.956468e-05,1.962765e-05,1.963891e-05,1.967966e-05,1.970264e-05,1.972148e-05,1.974927e-05,1.975383e-05,1.977739e-05,1.978038e-05,1.979278e-05,1.979744e-05,1.980059e-05,1.980176e-05,1.980138e-05,1.979567e-05,1.979457e-05,1.978392e-05,1.977696e-05,1.976660e-05,1.974996e-05,1.974412e-05,1.971687e-05,1.971450e-05,1.968522e-05,1.967141e-05,1.964952e-05,1.962148e-05,1.961007e-05,1.956719e-05,1.956541e-05,1.952114e-05,1.950384e-05,1.947219e-05,1.943737e-05,1.942057e-05,1.936653e-05,1.931026e-05,1.929181e-05,1.925196e-05,1.921368e-05,1.919183e-05,1.913253e-05,1.913003e-05,1.906672e-05,1.904874e-05,1.900206e-05,1.896267e-05,1.893618e-05,1.887461e-05,1.886921e-05,1.880129e-05,1.878486e-05,1.873252e-05,1.869367e-05,1.866300e-05,1.860130e-05,1.859285e-05,1.852215e-05,1.850795e-05,1.845099e-05,1.841383e-05,1.837945e-05,1.831912e-05,1.830760e-05,1.823553e-05,1.822398e-05,1.816329e-05,1.812857e-05,1.809094e-05,1.803303e-05,1.801855e-05,1.794616e-05,1.793747e-05,1.787383e-05,1.784203e-05,1.780160e-05,1.774680e-05,1.772952e-05,1.765762e-05,1.765188e-05,1.758595e-05,1.755735e-05,1.751453e-05,1.746329e-05,1.744341e-05,1.737261e-05,1.736978e-05,1.730215e-05,1.727688e-05,1.723207e-05,1.718464e-05,1.716239e-05,1.709313e-05,1.700238e-05,1.691244e-05,1.682335e-05,1.673513e-05,1.664783e-05,1.656147e-05,1.647607e-05,1.639165e-05,1.630823e-05,1.622582e-05,1.614444e-05,1.606409e-05,1.598479e-05,1.590654e-05,1.582935e-05,1.575322e-05,1.567815e-05,1.560415e-05,1.553121e-05,1.545932e-05,1.538850e-05,1.531873e-05,1.525001e-05,1.518234e-05
0.000000e+00,2.918257e-09,6.954317e-09,2.486503e-08,5.743327e-08,8.416608e-08,1.918371e-07,1.976174e-07,3.813050e-07,4.475063e-07,6.513139e-07,8.615867e-07,1.024108e-06,1.472208e-06,1.516373e-06,2.144147e-06,2.316578e-06,2.921100e-06,3.424887e-06,3.855904e-06,4.809677e-06,4.948954e-06,6.189416e-06,6.453377e-06,7.554411e-06,8.302984e-06,9.011854e-06,1.028154e-05,1.052624e-05,1.206438e-05,1.231075e-05,1.359870e-05,1.432737e-05,1.510799e-05,1.628674e-05,1.657662e-05,1.799333e-05,1.815944e-05,1.935017e-05,1.992673e-05,2.064166e-05,2.157721e-05,2.186420e-05,2.301566e-05,2.310467e-05,2.409508e-05,2.450664e-05,2.510244e-05,2.578352e-05,2.603849e-05,2.690459e-05,2.693780e-05,2.770255e-05,2.797356e-05,2.843460e-05,2.889601e-05,2.910323e-05,2.971112e-05,3.026110e-05,3.042533e-05,3.075606e-05,3.104531e-05,3.119893e-05,3.157778e-05,3.159262e-05,3.194002e-05,3.202938e-05,3.224393e-05,3.240655e-05,3.250710e-05,3.271550e-05,3.273216e-05,3.292166e-05,3.296212e-05,3.307801e-05,3.315196e-05,3.320354e-05,3.329026e-05,3.330045e-05,3.337082e-05,3.338189e-05,3.341663e-05,3.343137e-05,3.343974e-05,3.344291e-05,3.344192e-05,3.342481e-05,3.342039e-05,3.338998e-05,3.336740e-05,3.333888e-05,3.328721e-05,3.327288e-05,3.319327e-05,3.318286e-05,3.310124e-05,3.305710e-05,3.299791e-05,3.291248e-05,3.288434e-05,3.276151e-05,3.275131e-05,3.263032e-05,3.257570e-05,3.249164e-05,3.238759e-05,3.234625e-05,3.219488e-05,3.218871e-05,3.203824e-05,3.198068e-05,3.187695e-05,3.176492e-05,3.171160e-05,3.154276e-05,3.137092e-05,3.131538e-05,3.119657e-05,3.108386e-05,3.102013e-05,3.084916e-05,3.084201e-05,3.066259e-05,3.061217e-05,3.048221e-05,3.037365e-05,3.030119e-05,3.013433e-05,3.011982e-05,2.993837e-05,2.989483e-05,2.975708e-05,2.965572e-05,2.957620e-05,2.941751e-05,2.939591e-05,2.921642e-05,2.918063e-05,2.903789e-05,2.894548e-05,2.886048e-05,2.871243e-05,2.868434e-05,2.850959e-05,2.848177e-05,2.833635e-05,2.825377e-05,2.816474e-05,2.802867e-05,2.799483e-05,2.782672e-05,2.780667e-05,2.766048e-05,2.758795e-05,2.749618e-05,2.737264e-05,2.733387e-05,2.717362e-05,2.716088e-05,2.701545e-05,2.695278e-05,2.685941e-05,2.674840e-05,2.670553e-05,2.655383e-05,2.654781e-05,2.640435e-05,2.635107e-05,2.625708e-05,2.615822e-05,2.611205e-05,2.596926e-05,2.578422e-05,2.560309e-05,2.542588e-05,2.525255e-05,2.508309e-05,2.491746e-05,2.475564e-05,2.459757e-05,2.444322e-05,2.429254e-05,2.414547e-05,2.400196e-05,2.386195e-05,2.372539e-05,2.359220e-05,2.346234e-05,2.333574e-05,2.321233e-05,2.309205e-05,2.297483e-05,2.286061e-05,2.274933e-05,2.264092e-05,2.253532e-05
0.000000e+00,2.743757e-14,1.851839e-13,3.159235e-12,2.062683e-11,4.861200e-11,3.073525e-10,3.284022e-10,1.414244e-09,2.013310e-09,4.584414e-09,8.420084e-09,1.222426e-08,2.655315e-08,2.827213e-08,5.868529e-08,6.900084e-08,1.118972e-07,1.557433e-07,1.992189e-07,3.156804e-07,3.351061e-07,5.372011e-07,5.873301e-07,8.260957e-07,1.018191e-06,1.224819e-06,1.662690e-06,1.758111e-06,2.451564e-06,2.579095e-06,3.330711e-06,3.825934e-06,4.420122e-06,5.458430e-06,5.742578e-06,7.318332e-06,7.525293e-06,9.164501e-06,1.006610e-05,1.129459e-05,1.310938e-05,1.371816e-05,1.644061e-05,1.667138e-05,1.946313e-05,2.075562e-05,2.278271e-05,2.535298e-05,2.639236e-05,3.028126e-05,3.044243e-05,3.443514e-05,3.599215e-05,3.883664e-05,4.196099e-05,4.346575e-05,4.830019e-05,5.331595e-05,5.495517e-05,5.848768e-05,6.186736e-05,6.378917e-05,6.897595e-05,6.919378e-05,7.467479e-05,7.621956e-05,8.020582e-05,8.353769e-05,8.576110e-05,9.087201e-05,9.131580e-05,9.684621e-05,9.816738e-05,1.023300e-04,1.053727e-04,1.077463e-04,1.124415e-04,1.130759e-04,1.183013e-04,1.193324e-04,1.234067e-04,1.260093e-04,1.283781e-04,1.324414e-04,1.332032e-04,1.378714e-04,1.386032e-04,1.423740e-04,1.444742e-04,1.467036e-04,1.500387e-04,1.508544e-04,1.548221e-04,1.552858e-04,1.586038e-04,1.602083e-04,1.621977e-04,1.648029e-04,1.656030e-04,1.688203e-04,1.690696e-04,1.718508e-04,1.730112e-04,1.746967e-04,1.766330e-04,1.773608e-04,1.798466e-04,1.799424e-04,1.821581e-04,1.829485e-04,1.842999e-04,1.856618e-04,1.862767e-04,1.880939e-04,1.897567e-04,1.902572e-04,1.912709e-04,1.921646e-04,1.926422e-04,1.938296e-04,1.938764e-04,1.949793e-04,1.952654e-04,1.959569e-04,1.964857e-04,1.968150e-04,1.975038e-04,1.975593e-04,1.981956e-04,1.983328e-04,1.987294e-04,1.989856e-04,1.991661e-04,1.994745e-04,1.995112e-04,1.997697e-04,1.998115e-04,1.999467e-04,2.000082e-04,2.000470e-04,2.000754e-04,2.000752e-04,2.000359e-04,2.000236e-04,1.999332e-04,1.998627e-04,1.997714e-04,1.996020e-04,1.995544e-04,1.992859e-04,1.992504e-04,1.989695e-04,1.988160e-04,1.986087e-04,1.983067e-04,1.982066e-04,1.977664e-04,1.977296e-04,1.972910e-04,1.970916e-04,1.967831e-04,1.963988e-04,1.962454e-04,1.956803e-04,1.956572e-04,1.950903e-04,1.948722e-04,1.944774e-04,1.940487e-04,1.938438e-04,1.931915e-04,1.923049e-04,1.913928e-04,1.904589e-04,1.895066e-04,1.885388e-04,1.875586e-04,1.865684e-04,1.855706e-04,1.845675e-04,1.835609e-04,1.825528e-04,1.815447e-04,1.805382e-04,1.795346e-04,1.785351e-04,1.775409e-04,1.765529e-04,1.755721e-04,1.745993e-04,1.736351e-04,1.726802e-04,1.717352e-04,1.708006e-04,1.698769e-04
0.000000e+00,5.927486e-11,2.650015e-10,2.072688e-09,7.203090e-09,1.236140e-08,3.737472e-08,3.884048e-08,8.894913e-08,1.081459e-07,1.694140e-07,2.348362e-07,2.863695e-07,4.310824e-07,4.454907e-07,6.520582e-07,7.092394e-07,9.108387e-07,1.080040e-06,1.225631e-06,1.550669e-06,1.598490e-06,2.029095e-06,2.121950e-06,2.514867e-06,2.787965e-06,3.051774e-06,3.538887e-06,3.635153e-06,4.260187e-06,4.363736e-06,4.922052e-06,5.251410e-06,5.615908e-06,6.190745e-06,6.336870e-06,7.080006e-06,7.170437e-06,7.840357e-06,8.179089e-06,8.612981e-06,9.205389e-06,9.393019e-06,1.017576e-05,1.023835e-05,1.095669e-05,1.126760e-05,1.173160e-05,1.228359e-05,1.249657e-05,1.324805e-05,1.327778e-05,1.398287e-05,1.424278e-05,1.469825e-05,1.517238e-05,1.539183e-05,1.606163e-05,1.670604e-05,1.690669e-05,1.732385e-05,1.770485e-05,1.791415e-05,1.845441e-05,1.847635e-05,1.901014e-05,1.915449e-05,1.951545e-05,1.980503e-05,1.999244e-05,2.040654e-05,2.044144e-05,2.086295e-05,2.096009e-05,2.125760e-05,2.146714e-05,2.162612e-05,2.192945e-05,2.196933e-05,2.228811e-05,2.234901e-05,2.258339e-05,2.272798e-05,2.285615e-05,2.306858e-05,2.310737e-05,2.333803e-05,2.337310e-05,2.354914e-05,2.364382e-05,2.374167e-05,2.388297e-05,2.391659e-05,2.407483e-05,2.409274e-05,2.421730e-05,2.427522e-05,2.434489e-05,2.443244e-05,2.445847e-05,2.455883e-05,2.456632e-05,2.464679e-05,2.467866e-05,2.472307e-05,2.477117e-05,2.478840e-05,2.484346e-05,2.484546e-05,2.488891e-05,2.490303e-05,2.492534e-05,2.494527e-05,2.495335e-05,2.497349e-05,2.498627e-05,2.498889e-05,2.499219e-05,2.499258e-05,2.499170e-05,2.498562e-05,2.498525e-05,2.497325e-05,2.496894e-05,2.495608e-05,2.494345e-05,2.493411e-05,2.490995e-05,2.490768e-05,2.487711e-05,2.486920e-05,2.484271e-05,2.482188e-05,2.480476e-05,2.476865e-05,2.476353e-05,2.471927e-05,2.471008e-05,2.467221e-05,2.464671e-05,2.462258e-05,2.457906e-05,2.457059e-05,2.451642e-05,2.450756e-05,2.446026e-05,2.443265e-05,2.440229e-05,2.435472e-05,2.434267e-05,2.428154e-05,2.427411e-05,2.421904e-05,2.419115e-05,2.415532e-05,2.410615e-05,2.409050e-05,2.402469e-05,2.401939e-05,2.395801e-05,2.393111e-05,2.389055e-05,2.384155e-05,2.382241e-05,2.375369e-05,2.375093e-05,2.368446e-05,2.365943e-05,2.361481e-05,2.356725e-05,2.354482e-05,2.347454e-05,2.338147e-05,2.328816e-05,2.319475e-05,2.310136e-05,2.300808e-05,2.291502e-05,2.282227e-05,2.272991e-05,2.263802e-05,2.254665e-05,2.245588e-05,2.236575e-05,2.227633e-05,2.218765e-05,2.209975e-05,2.201268e-05,2.192646e-05,2.184113e-05,2.175671e-05,2.167323e-05,2.159070e-05,2.150914e-05,2.142857e-05,2.134900e-05
0.000000e+00,3.526554e-12,2.089749e-11,2.730226e-10,1.403402e-09,2.905752e-09,1.323684e-08,1.395912e-08,4.391311e-08,5.752115e-08,1.067087e-07,1.668411e-07,2.186028e-07,3.802372e-07,3.974513e-07,6.622460e-07,7.407364e-07,1.032144e-06,1.291690e-06,1.524013e-06,2.066367e-06,2.148418e-06,2.906018e-06,3.072810e-06,3.786845e-06,4.287806e-06,4.772899e-06,5.666427e-06,5.842160e-06,6.972097e-06,7.157088e-06,8.141823e-06,8.711930e-06,9.332970e-06,1.029064e-05,1.052979e-05,1.171896e-05,1.186059e-05,1.288929e-05,1.339580e-05,1.403145e-05,1.487590e-05,1.513781e-05,1.620226e-05,1.628545e-05,1.722005e-05,1.761329e-05,1.818773e-05,1.885207e-05,1.910295e-05,1.996436e-05,1.999769e-05,2.077145e-05,2.104873e-05,2.152443e-05,2.200593e-05,2.222408e-05,2.287167e-05,2.346879e-05,2.364952e-05,2.401734e-05,2.434387e-05,2.451938e-05,2.495963e-05,2.497711e-05,2.539279e-05,2.550196e-05,2.576870e-05,2.597610e-05,2.610711e-05,2.638725e-05,2.641025e-05,2.668030e-05,2.674043e-05,2.691936e-05,2.704045e-05,2.712943e-05,2.729187e-05,2.731246e-05,2.747028e-05,2.749897e-05,2.760462e-05,2.766576e-05,2.771714e-05,2.779593e-05,2.780939e-05,2.788283e-05,2.789293e-05,2.793884e-05,2.795992e-05,2.797871e-05,2.799981e-05,2.800366e-05,2.801482e-05,2.801528e-05,2.801325e-05,2.800878e-05,2.799995e-05,2.798256e-05,2.797584e-05,2.794180e-05,2.793868e-05,2.789865e-05,2.787900e-05,2.784712e-05,2.780524e-05,2.778794e-05,2.772176e-05,2.771897e-05,2.764919e-05,2.762161e-05,2.757081e-05,2.751446e-05,2.748715e-05,2.739871e-05,2.730594e-05,2.727542e-05,2.720929e-05,2.714558e-05,2.710915e-05,2.701007e-05,2.700589e-05,2.689986e-05,2.686972e-05,2.679138e-05,2.672525e-05,2.668076e-05,2.657732e-05,2.656826e-05,2.645415e-05,2.642655e-05,2.633867e-05,2.627348e-05,2.622203e-05,2.611861e-05,2.610445e-05,2.598612e-05,2.596238e-05,2.586721e-05,2.580520e-05,2.574789e-05,2.564745e-05,2.562830e-05,2.550859e-05,2.548944e-05,2.538889e-05,2.533148e-05,2.526932e-05,2.517383e-05,2.514998e-05,2.503099e-05,2.501673e-05,2.491242e-05,2.486041e-05,2.479437e-05,2.470505e-05,2.467692e-05,2.456013e-05,2.455082e-05,2.444408e-05,2.439788e-05,2.432882e-05,2.424636e-05,2.421441e-05,2.410090e-05,2.409638e-05,2.398834e-05,2.394805e-05,2.387676e-05,2.380146e-05,2.376620e-05,2.365669e-05,2.351381e-05,2.337287e-05,2.323394e-05,2.309704e-05,2.296222e-05,2.282951e-05,2.269892e-05,2.257047e-05,2.244417e-05,2.232003e-05,2.219805e-05,2.207823e-05,2.196056e-05,2.184504e-05,2.173165e-05,2.162038e-05,2.151122e-05,2.140414e-05,2.129913e-05,2.119617e-05,2.109523e-05,2.099630e-05,2.089933e-05,2.080432e-05
0.000000e+00,8.293496e-12,5.090972e-11,7.144282e-10,3.912602e-09,8.382540e-09,4.164140e-08,4.406703e-08,1.508872e-07,2.022514e-07,3.977196e-07,6.522842e-07,8.820445e-07,1.647772e-06,1.732909e-06,3.108264e-06,3.535299e-06,5.176140e-06,6.692083e-06,8.079657e-06,1.139576e-05,1.190457e-05,1.666762e-05,1.772991e-05,2.232662e-05,2.559757e-05,2.880106e-05,3.479774e-05,3.599225e-05,4.379746e-05,4.509657e-05,5.211766e-05,5.626679e-05,6.086011e-05,6.809998e-05,6.993863e-05,7.927271e-05,8.040633e-05,8.878662e-05,9.301114e-05,9.840887e-05,1.057527e-04,1.080722e-04,1.177137e-04,1.184823e-04,1.272755e-04,1.310659e-04,1.367051e-04,1.433860e-04,1.459557e-04,1.549865e-04,1.553427e-04,1.637628e-04,1.668542e-04,1.722557e-04,1.778569e-04,1.804420e-04,1.883037e-04,1.958277e-04,1.981626e-04,2.030054e-04,2.074148e-04,2.098317e-04,2.160528e-04,2.163049e-04,2.224264e-04,2.240778e-04,2.281996e-04,2.314986e-04,2.336300e-04,2.383294e-04,2.387248e-04,2.434922e-04,2.445887e-04,2.479416e-04,2.502980e-04,2.520829e-04,2.554808e-04,2.559267e-04,2.594839e-04,2.601619e-04,2.627654e-04,2.643666e-04,2.657825e-04,2.681205e-04,2.685461e-04,2.710674e-04,2.714490e-04,2.733571e-04,2.743771e-04,2.754259e-04,2.769289e-04,2.772842e-04,2.789420e-04,2.791279e-04,2.804092e-04,2.809968e-04,2.816952e-04,2.825571e-04,2.828093e-04,2.837603e-04,2.838296e-04,2.845567e-04,2.848339e-04,2.852068e-04,2.855887e-04,2.857184e-04,2.860991e-04,2.861117e-04,2.863561e-04,2.864197e-04,2.864964e-04,2.865285e-04,2.865266e-04,2.864532e-04,2.862821e-04,2.862077e-04,2.860192e-04,2.858054e-04,2.856701e-04,2.852588e-04,2.852401e-04,2.847341e-04,2.845795e-04,2.841570e-04,2.837786e-04,2.835135e-04,2.828665e-04,2.828078e-04,2.820442e-04,2.818527e-04,2.812266e-04,2.807465e-04,2.803587e-04,2.795563e-04,2.794442e-04,2.784864e-04,2.782900e-04,2.774887e-04,2.769551e-04,2.764540e-04,2.755584e-04,2.753853e-04,2.742853e-04,2.741066e-04,2.731568e-04,2.726056e-04,2.720021e-04,2.710611e-04,2.708236e-04,2.696236e-04,2.694783e-04,2.684042e-04,2.678620e-04,2.671674e-04,2.662169e-04,2.659151e-04,2.646490e-04,2.645472e-04,2.633709e-04,2.628567e-04,2.620825e-04,2.611491e-04,2.607851e-04,2.594802e-04,2.594279e-04,2.581692e-04,2.576960e-04,2.568533e-04,2.559564e-04,2.555338e-04,2.542117e-04,2.524645e-04,2.507169e-04,2.489712e-04,2.472291e-04,2.454924e-04,2.437628e-04,2.420418e-04,2.403306e-04,2.386306e-04,2.369428e-04,2.352682e-04,2.336078e-04,2.319624e-04,2.303327e-04,2.287193e-04,2.271229e-04,2.255440e-04,2.239829e-04,2.224402e-04,2.209162e-04,2.194111e-04,2.179251e-04,2.164586e-04,2.150116e-04
0.000000e+00,4.078312e-09,1.011296e-08,3.774745e-08,8.906977e-08,1.316407e-07,3.050349e-07,3.144023e-07,6.139941e-07,7.226512e-07,1.058690e-06,1.407117e-06,1.677229e-06,2.424028e-06,2.497719e-06,3.545085e-06,3.832409e-06,4.837183e-06,5.670534e-06,6.380061e-06,7.937585e-06,8.163526e-06,1.015901e-05,1.057985e-05,1.232206e-05,1.349556e-05,1.459974e-05,1.656320e-05,1.693986e-05,1.929773e-05,1.967417e-05,2.163853e-05,2.274822e-05,2.393661e-05,2.573177e-05,2.617359e-05,2.833656e-05,2.859068e-05,3.041656e-05,3.130386e-05,3.240763e-05,3.385897e-05,3.430599e-05,3.610964e-05,3.624981e-05,3.781788e-05,3.847451e-05,3.943109e-05,4.053441e-05,4.095048e-05,4.237789e-05,4.243310e-05,4.371562e-05,4.417577e-05,4.496637e-05,4.576868e-05,4.613306e-05,4.721880e-05,4.822679e-05,4.853346e-05,4.916031e-05,4.972018e-05,5.002262e-05,5.078648e-05,5.081700e-05,5.154664e-05,5.173977e-05,5.221470e-05,5.258726e-05,5.282426e-05,5.333594e-05,5.337828e-05,5.387968e-05,5.399249e-05,5.433122e-05,5.456332e-05,5.473561e-05,5.505452e-05,5.509543e-05,5.541314e-05,5.547185e-05,5.569115e-05,5.582077e-05,5.593171e-05,5.610644e-05,5.613700e-05,5.630911e-05,5.633370e-05,5.645001e-05,5.650712e-05,5.656160e-05,5.663098e-05,5.664567e-05,5.670396e-05,5.670929e-05,5.673807e-05,5.674583e-05,5.674958e-05,5.674412e-05,5.673995e-05,5.671059e-05,5.670743e-05,5.666283e-05,5.663886e-05,5.659793e-05,5.654126e-05,5.651708e-05,5.642143e-05,5.641731e-05,5.631205e-05,5.626951e-05,5.618995e-05,5.610016e-05,5.605611e-05,5.591143e-05,5.575677e-05,5.570531e-05,5.559296e-05,5.548367e-05,5.542076e-05,5.524824e-05,5.524090e-05,5.505407e-05,5.500060e-05,5.486092e-05,5.474225e-05,5.466205e-05,5.447454e-05,5.445805e-05,5.424945e-05,5.419876e-05,5.403676e-05,5.391606e-05,5.382048e-05,5.362752e-05,5.360104e-05,5.337887e-05,5.333414e-05,5.315437e-05,5.303684e-05,5.292793e-05,5.273646e-05,5.269987e-05,5.247055e-05,5.243376e-05,5.224026e-05,5.212946e-05,5.200929e-05,5.182420e-05,5.177791e-05,5.154637e-05,5.151859e-05,5.131492e-05,5.121316e-05,5.108376e-05,5.090840e-05,5.085310e-05,5.062313e-05,5.060477e-05,5.039403e-05,5.030267e-05,5.016597e-05,5.000248e-05,4.993908e-05,4.971351e-05,4.970452e-05,4.948940e-05,4.940910e-05,4.926685e-05,4.911647e-05,4.904598e-05,4.882689e-05,4.854056e-05,4.825768e-05,4.797842e-05,4.770291e-05,4.743128e-05,4.716365e-05,4.690011e-05,4.664074e-05,4.638559e-05,4.613473e-05,4.588818e-05,4.564598e-05,4.540814e-05,4.517467e-05,4.494558e-05,4.472085e-05,4.450047e-05,4.428444e-05,4.407271e-05,4.386526e-05,4.366207e-05,4.346308e-05,4.326826e-05,4.307756e-05
0.000000e+00,5.671970e-13,3.648566e-12,5.631398e-11,3.353771e-10,7.512772e-10,4.162543e-09,4.423685e-09,1.668995e-08,2.291640e-08,4.763502e-08,8.124396e-08,1.123726e-07,2.189675e-07,2.309928e-07,4.280601e-07,4.901027e-07,7.318180e-07,9.599628e-07,1.173141e-06,1.700785e-06,1.784117e-06,2.596100e-06,2.785183e-06,3.637277e-06,4.277035e-06,4.930192e-06,6.221987e-06,6.489818e-06,8.322554e-06,8.641106e-06,1.042622e-05,1.152956e-05,1.279084e-05,1.485946e-05,1.539982e-05,1.823144e-05,1.858502e-05,2.126020e-05,2.264818e-05,2.445819e-05,2.698386e-05,2.779615e-05,3.124450e-05,3.152425e-05,3.477404e-05,3.620224e-05,3.835665e-05,4.095398e-05,4.196572e-05,4.557657e-05,4.572071e-05,4.916663e-05,5.044999e-05,5.271567e-05,5.509638e-05,5.620584e-05,5.962165e-05,6.294995e-05,6.399469e-05,6.617984e-05,6.819115e-05,6.930247e-05,7.219285e-05,7.231093e-05,7.520006e-05,7.598711e-05,7.796628e-05,7.956604e-05,8.060737e-05,8.292579e-05,8.312234e-05,8.551121e-05,8.606586e-05,8.777490e-05,8.898847e-05,8.991506e-05,9.169799e-05,9.193394e-05,9.383429e-05,9.420041e-05,9.561925e-05,9.650295e-05,9.729224e-05,9.861370e-05,9.885693e-05,1.003171e-04,1.005413e-04,1.016767e-04,1.022948e-04,1.029397e-04,1.038832e-04,1.041101e-04,1.051918e-04,1.053159e-04,1.061888e-04,1.066017e-04,1.071050e-04,1.077496e-04,1.079442e-04,1.087101e-04,1.087683e-04,1.094062e-04,1.096659e-04,1.100361e-04,1.104506e-04,1.106032e-04,1.111108e-04,1.111299e-04,1.115620e-04,1.117112e-04,1.119598e-04,1.122014e-04,1.123072e-04,1.126070e-04,1.128619e-04,1.129344e-04,1.130744e-04,1.131893e-04,1.132470e-04,1.133774e-04,1.133821e-04,1.134819e-04,1.135039e-04,1.135487e-04,1.135736e-04,1.135843e-04,1.135913e-04,1.135908e-04,1.135701e-04,1.135613e-04,1.135239e-04,1.134876e-04,1.134540e-04,1.133740e-04,1.133618e-04,1.132491e-04,1.132242e-04,1.131171e-04,1.130414e-04,1.129674e-04,1.128288e-04,1.128011e-04,1.126196e-04,1.125892e-04,1.124240e-04,1.123255e-04,1.122155e-04,1.120401e-04,1.119951e-04,1.117638e-04,1.117354e-04,1.115226e-04,1.114135e-04,1.112723e-04,1.110766e-04,1.110139e-04,1.107480e-04,1.107265e-04,1.104755e-04,1.103648e-04,1.101971e-04,1.099934e-04,1.099135e-04,1.096252e-04,1.096136e-04,1.093330e-04,1.092269e-04,1.090373e-04,1.088345e-04,1.087387e-04,1.084377e-04,1.080374e-04,1.076347e-04,1.072306e-04,1.068259e-04,1.064213e-04,1.060175e-04,1.056152e-04,1.052150e-04,1.048174e-04,1.044229e-04,1.040319e-04,1.036449e-04,1.032621e-04,1.028838e-04,1.025104e-04,1.021421e-04,1.017791e-04,1.014216e-04,1.010698e-04,1.007237e-04,1.003835e-04,1.000493e-04,9.972122e-05,9.939923e-05
0.000000e+00,1.221335e-09,3.303624e-09,1.348367e-08,3.313250e-08,4.971326e-08,1.184618e-07,1.222144e-07,2.436975e-07,2.883572e-07,4.281633e-07,5.754881e-07,6.911371e-07,1.016204e-06,1.048631e-06,1.513977e-06,1.642528e-06,2.092138e-06,2.462443e-06,2.774068e-06,3.442190e-06,3.537097e-06,4.352885e-06,4.520014e-06,5.195796e-06,5.638095e-06,6.046274e-06,6.756195e-06,6.890376e-06,7.718202e-06,7.848635e-06,8.522591e-06,8.898771e-06,9.298283e-06,9.895545e-06,1.004142e-05,1.074928e-05,1.083176e-05,1.142005e-05,1.170316e-05,1.205274e-05,1.250790e-05,1.264703e-05,1.320312e-05,1.324598e-05,1.372173e-05,1.391890e-05,1.420389e-05,1.452919e-05,1.465089e-05,1.506422e-05,1.508008e-05,1.544552e-05,1.557527e-05,1.579648e-05,1.601867e-05,1.611881e-05,1.641426e-05,1.668452e-05,1.676595e-05,1.693122e-05,1.707749e-05,1.715597e-05,1.735247e-05,1.736027e-05,1.754556e-05,1.759422e-05,1.771319e-05,1.780582e-05,1.786443e-05,1.799012e-05,1.800047e-05,1.812241e-05,1.814970e-05,1.823130e-05,1.828693e-05,1.832809e-05,1.840397e-05,1.841367e-05,1.848889e-05,1.850275e-05,1.855449e-05,1.858505e-05,1.861121e-05,1.865246e-05,1.865968e-05,1.870054e-05,1.870641e-05,1.873433e-05,1.874820e-05,1.876159e-05,1.877902e-05,1.878280e-05,1.879840e-05,1.879992e-05,1.880882e-05,1.881186e-05,1.881444e-05,1.881571e-05,1.881560e-05,1.881266e-05,1.881225e-05,1.880590e-05,1.880220e-05,1.879563e-05,1.878619e-05,1.878209e-05,1.876554e-05,1.876481e-05,1.874620e-05,1.873859e-05,1.872428e-05,1.870801e-05,1.869999e-05,1.867351e-05,1.864500e-05,1.863548e-05,1.861463e-05,1.859428e-05,1.858253e-05,1.855024e-05,1.854886e-05,1.851374e-05,1.850367e-05,1.847729e-05,1.845483e-05,1.843963e-05,1.840399e-05,1.840084e-05,1.836105e-05,1.835136e-05,1.832033e-05,1.829716e-05,1.827877e-05,1.824158e-05,1.823646e-05,1.819346e-05,1.818479e-05,1.814986e-05,1.812696e-05,1.810570e-05,1.806823e-05,1.806106e-05,1.801599e-05,1.800874e-05,1.797055e-05,1.794862e-05,1.792478e-05,1.788797e-05,1.787874e-05,1.783248e-05,1.782691e-05,1.778602e-05,1.776553e-05,1.773941e-05,1.770391e-05,1.769269e-05,1.764590e-05,1.764215e-05,1.759905e-05,1.758031e-05,1.755220e-05,1.751847e-05,1.750536e-05,1.745856e-05,1.745669e-05,1.741182e-05,1.739502e-05,1.736518e-05,1.733352e-05,1.731864e-05,1.727224e-05,1.721123e-05,1.715052e-05,1.709016e-05,1.703018e-05,1.697061e-05,1.691148e-05,1.685281e-05,1.679464e-05,1.673698e-05,1.667985e-05,1.662327e-05,1.656725e-05,1.651182e-05,1.645698e-05,1.640275e-05,1.634913e-05,1.629613e-05,1.624376e-05,1.619203e-05,1.614095e-05,1.609051e-05,1.604072e-05,1.599158e-05,1.594310e-05
0.000000e+00,1.106485e-08,2.608782e-08,9.268055e-08,2.145373e-07,3.153562e-07,7.278755e-07,7.502910e-07,1.475320e-06,1.742215e-06,2.580373e-06,3.468049e-06,4.167405e-06,6.137353e-06,6.333666e-06,9.131941e-06,9.896621e-06,1.254044e-05,1.468865e-05,1.648437e-05,2.033061e-05,2.087926e-05,2.565199e-05,2.664638e-05,3.074200e-05,3.349657e-05,3.609684e-05,4.076443e-05,4.166859e-05,4.741194e-05,4.834388e-05,5.328357e-05,5.613532e-05,5.924224e-05,6.404574e-05,6.524924e-05,7.126876e-05,7.199037e-05,7.726841e-05,7.989437e-05,8.321924e-05,8.769354e-05,8.909599e-05,9.487708e-05,9.533486e-05,1.005442e-04,1.027756e-04,1.060821e-04,1.099826e-04,1.114788e-04,1.167246e-04,1.169312e-04,1.218123e-04,1.236041e-04,1.267366e-04,1.299899e-04,1.314939e-04,1.360821e-04,1.405003e-04,1.418782e-04,1.447487e-04,1.473789e-04,1.488282e-04,1.525873e-04,1.527407e-04,1.564883e-04,1.575084e-04,1.600738e-04,1.621487e-04,1.635004e-04,1.665154e-04,1.667714e-04,1.698903e-04,1.706166e-04,1.728608e-04,1.744610e-04,1.756869e-04,1.780574e-04,1.783724e-04,1.809213e-04,1.814151e-04,1.833377e-04,1.845432e-04,1.856255e-04,1.874508e-04,1.877888e-04,1.898314e-04,1.901473e-04,1.917574e-04,1.926415e-04,1.935705e-04,1.949424e-04,1.952747e-04,1.968736e-04,1.970586e-04,1.983711e-04,1.989987e-04,1.997705e-04,2.007708e-04,2.010756e-04,2.022897e-04,2.023830e-04,2.034163e-04,2.038431e-04,2.044586e-04,2.051586e-04,2.054198e-04,2.063030e-04,2.063368e-04,2.071114e-04,2.073846e-04,2.078478e-04,2.083089e-04,2.085151e-04,2.091162e-04,2.096537e-04,2.098127e-04,2.101303e-04,2.104045e-04,2.105484e-04,2.108972e-04,2.109107e-04,2.112194e-04,2.112966e-04,2.114770e-04,2.116078e-04,2.116855e-04,2.118360e-04,2.118473e-04,2.119644e-04,2.119861e-04,2.120388e-04,2.120626e-04,2.120726e-04,2.120701e-04,2.120675e-04,2.120255e-04,2.120128e-04,2.119483e-04,2.118948e-04,2.118376e-04,2.117199e-04,2.116950e-04,2.115221e-04,2.114918e-04,2.113206e-04,2.112141e-04,2.110918e-04,2.108900e-04,2.108371e-04,2.105580e-04,2.105229e-04,2.102557e-04,2.101157e-04,2.099316e-04,2.096713e-04,2.095868e-04,2.092225e-04,2.091925e-04,2.088398e-04,2.086819e-04,2.084400e-04,2.081419e-04,2.080239e-04,2.075925e-04,2.075750e-04,2.071470e-04,2.069833e-04,2.066881e-04,2.063689e-04,2.062168e-04,2.057339e-04,2.050802e-04,2.044095e-04,2.037235e-04,2.030240e-04,2.023123e-04,2.015899e-04,2.008582e-04,2.001184e-04,1.993718e-04,1.986195e-04,1.978625e-04,1.971019e-04,1.963386e-04,1.955734e-04,1.948072e-04,1.940409e-04,1.932750e-04,1.925104e-04,1.917475e-04,1.909871e-04,1.902297e-04,1.894757e-04,1.887257e-04,1.879802e-04
0.000000e+00,7.403183e-12,4.120384e-11,4.762949e-10,2.209937e-09,4.341780e-09,1.748346e-08,1.835191e-08,5.198243e-08,6.635900e-08,1.159459e-07,1.735345e-07,2.214556e-07,3.650964e-07,3.800022e-07,6.027907e-07,6.669178e-07,8.990198e-07,1.099016e-06,1.273527e-06,1.667522e-06,1.725763e-06,2.250891e-06,2.364057e-06,2.841797e-06,3.172458e-06,3.490614e-06,4.074579e-06,4.189425e-06,4.930440e-06,5.052403e-06,5.705969e-06,6.088246e-06,6.508412e-06,7.164723e-06,7.330307e-06,8.164437e-06,8.265024e-06,9.003943e-06,9.373366e-06,9.842454e-06,1.047548e-05,1.067419e-05,1.149405e-05,1.155899e-05,1.229761e-05,1.261361e-05,1.308116e-05,1.363122e-05,1.384171e-05,1.457688e-05,1.460573e-05,1.528491e-05,1.553290e-05,1.596456e-05,1.641011e-05,1.661508e-05,1.723609e-05,1.782756e-05,1.801063e-05,1.838976e-05,1.873441e-05,1.892315e-05,1.940871e-05,1.942839e-05,1.990626e-05,2.003528e-05,2.035764e-05,2.061615e-05,2.078349e-05,2.115358e-05,2.118481e-05,2.156262e-05,2.164991e-05,2.191795e-05,2.210750e-05,2.225183e-05,2.252871e-05,2.256527e-05,2.285927e-05,2.291582e-05,2.313479e-05,2.327106e-05,2.339275e-05,2.359653e-05,2.363406e-05,2.385957e-05,2.389424e-05,2.407011e-05,2.416609e-05,2.426648e-05,2.441386e-05,2.444941e-05,2.461962e-05,2.463923e-05,2.477779e-05,2.484374e-05,2.492457e-05,2.502887e-05,2.506055e-05,2.518633e-05,2.519596e-05,2.530244e-05,2.534629e-05,2.540941e-05,2.548104e-05,2.550772e-05,2.559784e-05,2.560128e-05,2.568021e-05,2.570805e-05,2.575524e-05,2.580227e-05,2.582333e-05,2.588484e-05,2.594013e-05,2.595657e-05,2.598953e-05,2.601820e-05,2.603336e-05,2.607046e-05,2.607190e-05,2.610545e-05,2.611398e-05,2.613426e-05,2.614938e-05,2.615859e-05,2.617722e-05,2.617868e-05,2.619475e-05,2.619804e-05,2.620702e-05,2.621231e-05,2.621569e-05,2.622049e-05,2.622095e-05,2.622298e-05,2.622302e-05,2.622196e-05,2.622028e-05,2.621805e-05,2.621265e-05,2.621141e-05,2.620217e-05,2.620047e-05,2.619049e-05,2.618405e-05,2.617649e-05,2.616371e-05,2.616031e-05,2.614205e-05,2.613973e-05,2.612184e-05,2.611235e-05,2.609978e-05,2.608184e-05,2.607597e-05,2.605052e-05,2.604841e-05,2.602351e-05,2.601230e-05,2.599504e-05,2.597368e-05,2.596519e-05,2.593404e-05,2.593276e-05,2.590166e-05,2.588972e-05,2.586813e-05,2.584471e-05,2.583352e-05,2.579789e-05,2.574941e-05,2.569940e-05,2.564800e-05,2.559533e-05,2.554150e-05,2.548661e-05,2.543077e-05,2.537406e-05,2.531659e-05,2.525844e-05,2.519967e-05,2.514038e-05,2.508061e-05,2.502045e-05,2.495996e-05,2.489918e-05,2.483819e-05,2.477702e-05,2.471572e-05,2.465435e-05,2.459294e-05,2.453154e-05,2.447019e-05,2.440891e-05
0.000000e+00,6.685632e-12,3.671056e-11,4.118926e-10,1.856140e-09,3.585906e-09,1.379343e-08,1.445068e-08,3.899402e-08,4.910587e-08,8.286353e-08,1.205142e-07,1.509231e-07,2.385729e-07,2.474353e-07,3.763380e-07,4.125016e-07,5.411382e-07,6.500214e-07,7.440298e-07,9.536831e-07,9.843942e-07,1.257801e-06,1.315813e-06,1.556627e-06,1.719108e-06,1.872004e-06,2.143674e-06,2.195744e-06,2.521350e-06,2.573283e-06,2.844119e-06,2.997034e-06,3.160763e-06,3.408060e-06,3.468919e-06,3.766767e-06,3.801742e-06,4.052802e-06,4.174574e-06,4.325722e-06,4.523666e-06,4.584394e-06,4.827869e-06,4.846667e-06,5.055400e-06,5.141825e-06,5.266469e-06,5.408078e-06,5.460795e-06,5.638330e-06,5.645084e-06,5.799253e-06,5.853185e-06,5.943939e-06,6.033325e-06,6.072938e-06,6.186942e-06,6.286757e-06,6.315844e-06,6.373266e-06,6.422069e-06,6.447381e-06,6.507731e-06,6.510028e-06,6.562135e-06,6.574961e-06,6.604606e-06,6.625826e-06,6.638311e-06,6.662300e-06,6.664089e-06,6.682728e-06,6.686220e-06,6.694950e-06,6.699247e-06,6.701434e-06,6.702884e-06,6.702796e-06,6.699592e-06,6.698449e-06,6.692327e-06,6.687098e-06,6.681459e-06,6.669848e-06,6.667400e-06,6.650514e-06,6.647572e-06,6.631126e-06,6.621018e-06,6.609527e-06,6.590833e-06,6.585979e-06,6.560714e-06,6.557576e-06,6.533933e-06,6.521718e-06,6.505821e-06,6.483665e-06,6.476538e-06,6.446232e-06,6.443768e-06,6.415033e-06,6.402330e-06,6.383057e-06,6.359612e-06,6.350408e-06,6.317177e-06,6.315837e-06,6.283448e-06,6.271198e-06,6.249296e-06,6.225868e-06,6.214791e-06,6.179994e-06,6.144961e-06,6.133708e-06,6.109741e-06,6.087124e-06,6.074381e-06,6.040343e-06,6.038923e-06,6.003405e-06,5.993455e-06,5.967863e-06,5.946539e-06,5.932328e-06,5.899667e-06,5.896830e-06,5.861394e-06,5.852902e-06,5.826047e-06,5.806299e-06,5.790809e-06,5.759908e-06,5.755703e-06,5.720747e-06,5.713775e-06,5.685958e-06,5.667939e-06,5.651352e-06,5.622435e-06,5.616943e-06,5.582746e-06,5.577294e-06,5.548771e-06,5.532546e-06,5.515030e-06,5.488213e-06,5.481534e-06,5.448291e-06,5.444319e-06,5.415309e-06,5.400882e-06,5.382596e-06,5.357918e-06,5.350159e-06,5.318003e-06,5.315443e-06,5.286134e-06,5.273468e-06,5.254557e-06,5.232005e-06,5.223276e-06,5.192294e-06,5.191062e-06,5.161616e-06,5.150646e-06,5.131243e-06,5.110765e-06,5.101178e-06,5.071422e-06,5.032621e-06,4.994366e-06,4.956656e-06,4.919494e-06,4.882879e-06,4.846810e-06,4.811286e-06,4.776304e-06,4.741862e-06,4.707957e-06,4.674586e-06,4.641743e-06,4.609425e-06,4.577627e-06,4.546345e-06,4.515572e-06,4.485303e-06,4.455533e-06,4.426256e-06,4.397465e-06,4.369155e-06,4.341319e-06,4.313950e-06,4.287043e-06
0.000000e+00,5.628428e-11,2.787882e-10,2.597468e-09,1.019703e-08,1.848180e-08,6.242966e-08,6.512301e-08,1.614300e-07,1.998654e-07,3.262829e-07,4.660394e-07,5.788371e-07,9.056206e-07,9.388461e-07,1.425986e-06,1.563821e-06,2.057248e-06,2.477680e-06,2.841983e-06,3.656942e-06,3.776516e-06,4.842824e-06,5.069560e-06,6.013416e-06,6.653421e-06,7.258670e-06,8.342710e-06,8.551877e-06,9.870890e-06,1.008308e-05,1.119778e-05,1.183308e-05,1.251792e-05,1.356101e-05,1.381927e-05,1.509186e-05,1.524223e-05,1.632751e-05,1.685773e-05,1.751962e-05,1.839329e-05,1.866305e-05,1.975398e-05,1.983890e-05,2.078973e-05,2.118818e-05,2.176866e-05,2.243786e-05,2.269003e-05,2.355381e-05,2.358717e-05,2.436058e-05,2.463726e-05,2.511143e-05,2.559079e-05,2.580780e-05,2.645143e-05,2.704427e-05,2.722359e-05,2.758841e-05,2.791210e-05,2.808602e-05,2.852201e-05,2.853932e-05,2.895054e-05,2.905844e-05,2.932190e-05,2.952648e-05,2.965556e-05,2.993107e-05,2.995366e-05,3.021824e-05,3.027697e-05,3.045129e-05,3.056874e-05,3.065472e-05,3.081070e-05,3.083036e-05,3.097996e-05,3.100690e-05,3.110517e-05,3.116117e-05,3.120757e-05,3.127708e-05,3.128868e-05,3.134991e-05,3.135796e-05,3.139262e-05,3.140691e-05,3.141807e-05,3.142682e-05,3.142747e-05,3.142197e-05,3.142036e-05,3.140263e-05,3.139000e-05,3.137047e-05,3.133803e-05,3.132643e-05,3.127142e-05,3.126657e-05,3.120628e-05,3.117757e-05,3.113181e-05,3.107283e-05,3.104875e-05,3.095780e-05,3.095401e-05,3.085963e-05,3.082263e-05,3.075484e-05,3.068011e-05,3.064402e-05,3.052772e-05,3.040644e-05,3.036666e-05,3.028066e-05,3.019801e-05,3.015084e-05,3.002278e-05,3.001738e-05,2.988068e-05,2.984187e-05,2.974110e-05,2.965612e-05,2.959900e-05,2.946630e-05,2.945468e-05,2.930845e-05,2.927311e-05,2.916059e-05,2.907717e-05,2.901136e-05,2.887909e-05,2.886099e-05,2.870972e-05,2.867938e-05,2.855776e-05,2.847853e-05,2.840529e-05,2.827697e-05,2.825251e-05,2.809958e-05,2.807511e-05,2.794666e-05,2.787331e-05,2.779389e-05,2.767188e-05,2.764141e-05,2.748934e-05,2.747113e-05,2.733780e-05,2.727131e-05,2.718689e-05,2.707267e-05,2.703670e-05,2.688734e-05,2.687542e-05,2.673887e-05,2.667975e-05,2.659138e-05,2.648583e-05,2.644494e-05,2.629960e-05,2.629381e-05,2.615542e-05,2.610382e-05,2.601247e-05,2.591598e-05,2.587077e-05,2.573039e-05,2.554714e-05,2.536630e-05,2.518795e-05,2.501213e-05,2.483890e-05,2.466828e-05,2.450030e-05,2.433500e-05,2.417237e-05,2.401244e-05,2.385520e-05,2.370066e-05,2.354880e-05,2.339963e-05,2.325311e-05,2.310925e-05,2.296802e-05,2.282939e-05,2.269335e-05,2.255987e-05,2.242891e-05,2.230046e-05,2.217447e-05,2.205093e-05
0.000000e+00,1.537083e-09,3.972750e-09,1.542049e-08,3.691400e-08,5.477770e-08,1.274375e-07,1.313559e-07,2.563547e-07,3.015782e-07,4.412652e-07,5.860402e-07,6.983297e-07,1.009002e-06,1.039647e-06,1.473262e-06,1.591112e-06,1.997280e-06,2.325795e-06,2.599137e-06,3.179896e-06,3.262163e-06,3.971337e-06,4.117605e-06,4.714625e-06,5.111297e-06,5.482213e-06,6.139530e-06,6.265611e-06,7.057094e-06,7.183995e-06,7.849467e-06,8.228132e-06,8.636020e-06,9.256906e-06,9.410583e-06,1.016760e-05,1.025703e-05,1.090222e-05,1.121728e-05,1.161034e-05,1.212871e-05,1.228863e-05,1.293452e-05,1.298473e-05,1.354618e-05,1.378097e-05,1.412243e-05,1.451509e-05,1.466275e-05,1.516709e-05,1.518652e-05,1.563585e-05,1.579604e-05,1.606981e-05,1.634555e-05,1.647003e-05,1.683779e-05,1.717454e-05,1.727601e-05,1.748184e-05,1.766380e-05,1.776130e-05,1.800492e-05,1.801457e-05,1.824329e-05,1.830316e-05,1.844909e-05,1.856221e-05,1.863352e-05,1.878564e-05,1.879811e-05,1.894430e-05,1.897680e-05,1.907346e-05,1.913885e-05,1.918690e-05,1.927468e-05,1.928583e-05,1.937138e-05,1.938698e-05,1.944463e-05,1.947819e-05,1.950656e-05,1.955050e-05,1.955808e-05,1.960004e-05,1.960592e-05,1.963322e-05,1.964625e-05,1.965835e-05,1.967310e-05,1.967608e-05,1.968704e-05,1.968792e-05,1.969178e-05,1.969203e-05,1.969083e-05,1.968660e-05,1.968467e-05,1.967372e-05,1.967266e-05,1.965841e-05,1.965115e-05,1.963911e-05,1.962292e-05,1.961614e-05,1.958984e-05,1.958872e-05,1.956049e-05,1.954923e-05,1.952836e-05,1.950505e-05,1.949370e-05,1.945673e-05,1.941767e-05,1.940476e-05,1.937671e-05,1.934958e-05,1.933403e-05,1.929159e-05,1.928979e-05,1.924415e-05,1.923114e-05,1.919725e-05,1.916857e-05,1.914923e-05,1.910415e-05,1.910020e-05,1.905027e-05,1.903817e-05,1.899956e-05,1.897085e-05,1.894816e-05,1.890242e-05,1.889615e-05,1.884363e-05,1.883307e-05,1.879067e-05,1.876298e-05,1.873734e-05,1.869231e-05,1.868371e-05,1.862984e-05,1.862120e-05,1.857579e-05,1.854980e-05,1.852162e-05,1.847822e-05,1.846737e-05,1.841309e-05,1.840658e-05,1.835883e-05,1.833496e-05,1.830461e-05,1.826348e-05,1.825050e-05,1.819651e-05,1.819219e-05,1.814268e-05,1.812120e-05,1.808904e-05,1.805055e-05,1.803561e-05,1.798243e-05,1.798031e-05,1.792952e-05,1.791054e-05,1.787689e-05,1.784128e-05,1.782458e-05,1.777259e-05,1.770450e-05,1.763705e-05,1.757028e-05,1.750420e-05,1.743886e-05,1.737426e-05,1.731043e-05,1.724740e-05,1.718517e-05,1.712375e-05,1.706317e-05,1.700342e-05,1.694451e-05,1.688646e-05,1.682927e-05,1.677293e-05,1.671745e-05,1.666284e-05,1.660909e-05,1.655619e-05,1.650416e-05,1.645298e-05,1.640266e-05,1.635317e-05
0.000000e+00,4.751750e-14,3.203296e-13,5.451999e-12,3.552680e-11,8.364670e-11,5.278238e-10,5.639387e-10,2.426404e-09,3.454153e-09,7.868813e-09,1.446575e-08,2.101962e-08,4.577693e-08,4.875265e-08,1.015125e-07,1.194348e-07,1.939873e-07,2.701189e-07,3.454618e-07,5.463908e-07,5.797724e-07,9.248940e-07,1.009929e-06,1.412233e-06,1.733044e-06,2.075717e-06,2.795064e-06,2.950769e-06,4.073222e-06,4.278142e-06,5.478236e-06,6.262922e-06,7.199262e-06,8.824411e-06,9.267085e-06,1.170897e-05,1.202828e-05,1.454797e-05,1.592782e-05,1.780231e-05,2.056162e-05,2.148504e-05,2.560372e-05,2.595215e-05,3.016037e-05,3.210507e-05,3.515152e-05,3.900946e-05,4.056838e-05,4.639715e-05,4.663863e-05,5.261947e-05,5.495162e-05,5.921283e-05,6.389508e-05,6.615117e-05,7.340543e-05,8.094415e-05,8.341122e-05,8.873405e-05,9.383550e-05,9.674062e-05,1.045981e-04,1.049287e-04,1.132628e-04,1.156178e-04,1.217080e-04,1.268140e-04,1.302298e-04,1.381089e-04,1.387949e-04,1.473714e-04,1.494280e-04,1.559288e-04,1.607020e-04,1.644387e-04,1.718669e-04,1.728744e-04,1.812115e-04,1.828651e-04,1.894275e-04,1.936452e-04,1.975022e-04,2.041623e-04,2.054174e-04,2.131570e-04,2.143781e-04,2.207072e-04,2.242604e-04,2.280559e-04,2.337828e-04,2.351929e-04,2.421099e-04,2.429248e-04,2.488001e-04,2.516706e-04,2.552585e-04,2.600095e-04,2.614813e-04,2.674662e-04,2.679346e-04,2.732119e-04,2.754431e-04,2.787183e-04,2.825352e-04,2.839863e-04,2.890176e-04,2.892140e-04,2.938148e-04,2.954851e-04,2.983811e-04,3.013561e-04,3.027201e-04,3.068362e-04,3.107342e-04,3.119362e-04,3.144190e-04,3.166678e-04,3.178960e-04,3.210436e-04,3.211708e-04,3.242493e-04,3.250768e-04,3.271372e-04,3.287810e-04,3.298406e-04,3.321700e-04,3.323656e-04,3.347183e-04,3.352580e-04,3.369047e-04,3.380588e-04,3.389310e-04,3.405863e-04,3.408030e-04,3.425267e-04,3.428542e-04,3.441080e-04,3.448759e-04,3.455526e-04,3.466645e-04,3.468661e-04,3.480539e-04,3.482327e-04,3.491215e-04,3.495928e-04,3.500740e-04,3.507566e-04,3.509166e-04,3.516541e-04,3.517357e-04,3.522913e-04,3.525411e-04,3.528329e-04,3.531832e-04,3.532832e-04,3.536468e-04,3.536723e-04,3.539277e-04,3.540178e-04,3.541299e-04,3.542290e-04,3.542574e-04,3.543139e-04,3.543147e-04,3.543029e-04,3.542831e-04,3.542280e-04,3.541422e-04,3.540925e-04,3.538995e-04,3.535621e-04,3.531367e-04,3.526296e-04,3.520470e-04,3.513945e-04,3.506775e-04,3.499010e-04,3.490699e-04,3.481887e-04,3.472616e-04,3.462926e-04,3.452854e-04,3.442438e-04,3.431709e-04,3.420699e-04,3.409437e-04,3.397952e-04,3.386268e-04,3.374411e-04,3.362402e-04,3.350264e-04,3.338016e-04,3.325676e-04,3.313263e-04
0.000000e+00,1.705408e-10,7.126718e-10,5.013156e-09,1.630788e-08,2.723274e-08,7.829145e-08,8.123337e-08,1.804127e-07,2.179857e-07,3.371479e-07,4.636638e-07,5.630277e-07,8.413388e-07,8.690135e-07,1.265427e-06,1.375091e-06,1.761620e-06,2.085992e-06,2.365123e-06,2.988435e-06,3.080154e-06,3.905808e-06,4.083696e-06,4.834983e-06,5.355055e-06,5.855131e-06,6.770955e-06,6.950620e-06,8.105200e-06,8.294372e-06,9.303553e-06,9.890195e-06,1.053187e-05,1.152779e-05,1.177786e-05,1.303062e-05,1.318094e-05,1.428048e-05,1.482725e-05,1.551887e-05,1.644773e-05,1.673831e-05,1.793233e-05,1.802658e-05,1.909543e-05,1.955096e-05,2.022306e-05,2.101089e-05,2.131154e-05,2.235801e-05,2.239897e-05,2.336035e-05,2.371009e-05,2.431709e-05,2.494117e-05,2.522738e-05,2.609084e-05,2.690754e-05,2.715907e-05,2.767791e-05,2.814697e-05,2.840270e-05,2.905649e-05,2.908286e-05,2.971957e-05,2.989023e-05,3.031414e-05,3.065124e-05,3.086799e-05,3.134285e-05,3.138262e-05,3.185958e-05,3.196862e-05,3.230044e-05,3.253215e-05,3.270680e-05,3.303710e-05,3.308022e-05,3.342227e-05,3.348705e-05,3.373448e-05,3.388553e-05,3.401834e-05,3.423595e-05,3.427532e-05,3.450681e-05,3.454158e-05,3.471418e-05,3.480554e-05,3.489874e-05,3.503081e-05,3.506175e-05,3.520442e-05,3.522023e-05,3.532790e-05,3.537645e-05,3.543331e-05,3.550198e-05,3.552170e-05,3.559408e-05,3.559921e-05,3.565140e-05,3.567033e-05,3.569459e-05,3.571743e-05,3.572452e-05,3.574201e-05,3.574246e-05,3.574784e-05,3.574723e-05,3.574277e-05,3.573345e-05,3.572750e-05,3.570270e-05,3.566901e-05,3.565645e-05,3.562703e-05,3.559608e-05,3.557734e-05,3.552288e-05,3.552047e-05,3.545695e-05,3.543803e-05,3.538724e-05,3.534264e-05,3.531181e-05,3.523774e-05,3.523110e-05,3.514551e-05,3.512429e-05,3.505543e-05,3.500317e-05,3.496123e-05,3.487520e-05,3.486325e-05,3.476181e-05,3.474114e-05,3.465723e-05,3.460170e-05,3.454979e-05,3.445753e-05,3.443976e-05,3.432741e-05,3.430924e-05,3.421298e-05,3.415738e-05,3.409669e-05,3.400247e-05,3.397876e-05,3.385939e-05,3.384498e-05,3.373877e-05,3.368535e-05,3.361708e-05,3.352399e-05,3.349449e-05,3.337116e-05,3.336126e-05,3.324723e-05,3.319752e-05,3.312284e-05,3.303307e-05,3.299812e-05,3.287320e-05,3.286820e-05,3.274819e-05,3.270318e-05,3.262319e-05,3.253825e-05,3.249830e-05,3.237363e-05,3.220952e-05,3.204611e-05,3.188356e-05,3.172203e-05,3.156165e-05,3.140255e-05,3.124485e-05,3.108863e-05,3.093399e-05,3.078102e-05,3.062978e-05,3.048033e-05,3.033274e-05,3.018704e-05,3.004328e-05,2.990150e-05,2.976172e-05,2.962397e-05,2.948826e-05,2.935462e-05,2.922305e-05,2.909355e-05,2.896614e-05,2.884082e-05
0.000000e+00,2.122749e-09,4.927602e-09,1.719868e-08,3.943696e-08,5.774056e-08,1.321859e-07,1.362169e-07,2.660935e-07,3.137145e-07,4.628379e-07,6.203805e-07,7.444757e-07,1.095608e-06,1.130828e-06,1.639904e-06,1.781662e-06,2.280973e-06,2.696300e-06,3.048916e-06,3.816209e-06,3.926632e-06,4.893145e-06,5.095377e-06,5.929584e-06,6.490992e-06,7.020771e-06,7.970770e-06,8.154622e-06,9.321128e-06,9.510203e-06,1.051155e-05,1.108908e-05,1.171793e-05,1.268954e-05,1.293287e-05,1.414944e-05,1.429523e-05,1.536116e-05,1.589121e-05,1.656202e-05,1.746405e-05,1.774658e-05,1.890996e-05,1.900198e-05,2.004786e-05,2.049504e-05,2.115661e-05,2.193510e-05,2.223312e-05,2.327490e-05,2.331582e-05,2.427998e-05,2.463253e-05,2.524689e-05,2.588205e-05,2.617461e-05,2.706253e-05,2.791039e-05,2.817324e-05,2.871823e-05,2.921437e-05,2.948635e-05,3.018686e-05,3.021528e-05,3.090570e-05,3.109223e-05,3.155846e-05,3.193243e-05,3.217451e-05,3.270976e-05,3.275490e-05,3.330072e-05,3.342671e-05,3.381314e-05,3.408593e-05,3.429332e-05,3.469017e-05,3.474246e-05,3.516177e-05,3.524215e-05,3.555243e-05,3.574464e-05,3.591561e-05,3.620030e-05,3.625248e-05,3.656417e-05,3.661178e-05,3.685181e-05,3.698164e-05,3.711646e-05,3.731235e-05,3.735919e-05,3.758099e-05,3.760625e-05,3.778285e-05,3.786560e-05,3.796572e-05,3.809257e-05,3.813051e-05,3.827810e-05,3.828919e-05,3.840932e-05,3.845741e-05,3.852499e-05,3.859907e-05,3.862588e-05,3.871273e-05,3.871592e-05,3.878625e-05,3.880959e-05,3.884714e-05,3.888165e-05,3.889603e-05,3.893356e-05,3.896031e-05,3.896669e-05,3.897686e-05,3.898235e-05,3.898376e-05,3.898177e-05,3.898151e-05,3.897063e-05,3.896609e-05,3.895157e-05,3.893641e-05,3.892480e-05,3.889373e-05,3.889075e-05,3.884982e-05,3.883902e-05,3.880241e-05,3.877317e-05,3.874890e-05,3.869704e-05,3.868963e-05,3.862496e-05,3.861140e-05,3.855520e-05,3.851702e-05,3.848066e-05,3.841457e-05,3.840164e-05,3.831842e-05,3.830473e-05,3.823126e-05,3.818810e-05,3.814042e-05,3.806527e-05,3.804615e-05,3.794866e-05,3.793676e-05,3.784819e-05,3.780308e-05,3.774493e-05,3.766472e-05,3.763910e-05,3.753087e-05,3.752211e-05,3.742043e-05,3.737567e-05,3.730795e-05,3.722579e-05,3.719359e-05,3.707751e-05,3.707283e-05,3.695985e-05,3.691713e-05,3.684076e-05,3.675902e-05,3.672036e-05,3.659878e-05,3.643671e-05,3.627305e-05,3.610805e-05,3.594193e-05,3.577492e-05,3.560721e-05,3.543898e-05,3.527039e-05,3.510163e-05,3.493282e-05,3.476411e-05,3.459563e-05,3.442750e-05,3.425982e-05,3.409271e-05,3.392625e-05,3.376054e-05,3.359565e-05,3.343165e-05,3.326863e-05,3.310664e-05,3.294574e-05,3.278598e-05,3.262741e-05
0.000000e+00,1.153954e-11,6.295934e-11,7.009077e-10,3.156505e-09,6.111901e-09,2.384732e-08,2.500441e-08,6.926095e-08,8.801073e-08,1.524339e-07,2.271945e-07,2.895549e-07,4.779412e-07,4.976390e-07,7.957878e-07,8.829457e-07,1.203371e-06,1.485349e-06,1.735347e-06,2.310772e-06,2.396886e-06,3.181759e-06,3.352363e-06,4.075740e-06,4.578045e-06,5.061716e-06,5.948988e-06,6.123310e-06,7.246302e-06,7.430844e-06,8.418567e-06,8.995611e-06,9.629546e-06,1.061977e-05,1.086970e-05,1.213014e-05,1.228235e-05,1.340243e-05,1.396391e-05,1.467854e-05,1.564625e-05,1.595088e-05,1.721235e-05,1.731260e-05,1.845645e-05,1.894788e-05,1.967729e-05,2.053896e-05,2.086970e-05,2.202919e-05,2.207483e-05,2.315203e-05,2.354666e-05,2.423513e-05,2.494769e-05,2.527610e-05,2.627313e-05,2.722503e-05,2.751997e-05,2.813106e-05,2.868671e-05,2.899095e-05,2.977315e-05,2.980483e-05,3.057313e-05,3.078018e-05,3.129657e-05,3.170949e-05,3.197611e-05,3.256346e-05,3.261286e-05,3.320809e-05,3.334492e-05,3.376318e-05,3.405704e-05,3.427958e-05,3.470321e-05,3.475881e-05,3.520240e-05,3.528697e-05,3.561190e-05,3.581187e-05,3.598884e-05,3.628143e-05,3.633475e-05,3.665111e-05,3.669909e-05,3.693940e-05,3.706823e-05,3.720104e-05,3.739209e-05,3.743741e-05,3.764983e-05,3.767377e-05,3.783959e-05,3.791623e-05,3.800793e-05,3.812226e-05,3.815602e-05,3.828501e-05,3.829453e-05,3.839597e-05,3.843553e-05,3.848993e-05,3.854761e-05,3.856788e-05,3.863076e-05,3.863298e-05,3.867946e-05,3.869369e-05,3.871483e-05,3.873168e-05,3.873768e-05,3.874876e-05,3.874882e-05,3.874662e-05,3.873853e-05,3.872682e-05,3.871855e-05,3.869083e-05,3.868950e-05,3.865197e-05,3.864002e-05,3.860651e-05,3.857565e-05,3.855365e-05,3.849891e-05,3.849388e-05,3.842768e-05,3.841089e-05,3.835550e-05,3.831261e-05,3.827774e-05,3.820504e-05,3.819482e-05,3.810712e-05,3.808903e-05,3.801497e-05,3.796542e-05,3.791873e-05,3.783496e-05,3.781872e-05,3.771522e-05,3.769836e-05,3.760853e-05,3.755626e-05,3.749891e-05,3.740928e-05,3.738662e-05,3.727189e-05,3.725797e-05,3.715496e-05,3.710286e-05,3.703603e-05,3.694443e-05,3.691530e-05,3.679297e-05,3.678312e-05,3.666921e-05,3.661935e-05,3.654419e-05,3.645349e-05,3.641807e-05,3.629099e-05,3.628589e-05,3.616311e-05,3.611690e-05,3.603454e-05,3.594679e-05,3.590542e-05,3.577586e-05,3.560436e-05,3.543251e-05,3.526055e-05,3.508867e-05,3.491705e-05,3.474587e-05,3.457526e-05,3.440539e-05,3.423637e-05,3.406833e-05,3.390136e-05,3.373558e-05,3.357106e-05,3.340789e-05,3.324615e-05,3.308588e-05,3.292717e-05,3.277005e-05,3.261458e-05,3.246079e-05,3.230872e-05,3.215841e-05,3.200987e-05,3.186314e-05
0.000000e+00,3.855680e-09,9.412517e-09,3.462524e-08,8.129748e-08,1.200192e-07,2.781808e-07,2.867485e-07,5.620639e-07,6.625328e-07,9.752745e-07,1.302681e-06,1.558601e-06,2.274886e-06,2.346197e-06,3.369300e-06,3.652347e-06,4.645940e-06,5.470373e-06,6.169802e-06,7.691110e-06,7.909965e-06,9.823825e-06,1.022371e-05,1.187025e-05,1.297509e-05,1.401488e-05,1.587172e-05,1.622985e-05,1.849216e-05,1.885717e-05,2.078218e-05,2.188613e-05,2.308279e-05,2.492070e-05,2.537889e-05,2.765721e-05,2.792885e-05,2.990619e-05,3.088382e-05,3.211588e-05,3.376375e-05,3.427790e-05,3.638532e-05,3.655138e-05,3.843258e-05,3.923362e-05,4.041531e-05,4.180105e-05,4.233026e-05,4.417510e-05,4.424741e-05,4.594837e-05,4.656906e-05,4.764929e-05,4.876447e-05,4.927767e-05,5.083383e-05,5.231849e-05,5.277864e-05,5.373270e-05,5.460141e-05,5.507776e-05,5.630538e-05,5.635520e-05,5.756667e-05,5.789431e-05,5.871399e-05,5.937237e-05,5.979904e-05,6.074395e-05,6.082376e-05,6.179013e-05,6.201360e-05,6.270016e-05,6.318592e-05,6.355585e-05,6.426550e-05,6.435921e-05,6.511221e-05,6.525694e-05,6.581682e-05,6.616473e-05,6.647496e-05,6.699325e-05,6.708850e-05,6.765927e-05,6.774674e-05,6.818906e-05,6.842933e-05,6.867963e-05,6.904498e-05,6.913266e-05,6.954982e-05,6.959755e-05,6.993270e-05,7.009071e-05,7.028284e-05,7.052799e-05,7.060175e-05,7.089088e-05,7.091277e-05,7.115162e-05,7.124828e-05,7.138534e-05,7.153761e-05,7.159333e-05,7.177685e-05,7.178370e-05,7.193711e-05,7.198934e-05,7.207529e-05,7.215720e-05,7.219249e-05,7.228982e-05,7.236829e-05,7.238958e-05,7.242891e-05,7.245879e-05,7.247264e-05,7.249958e-05,7.250040e-05,7.251306e-05,7.251402e-05,7.251149e-05,7.250404e-05,7.249648e-05,7.247147e-05,7.246881e-05,7.242924e-05,7.241805e-05,7.237846e-05,7.234540e-05,7.231718e-05,7.225507e-05,7.224603e-05,7.216565e-05,7.214851e-05,7.207662e-05,7.202711e-05,7.197953e-05,7.189214e-05,7.187491e-05,7.176329e-05,7.174482e-05,7.164517e-05,7.158630e-05,7.152101e-05,7.141764e-05,7.139127e-05,7.125638e-05,7.123987e-05,7.111675e-05,7.105391e-05,7.097277e-05,7.086067e-05,7.082482e-05,7.067324e-05,7.066097e-05,7.051837e-05,7.045558e-05,7.036054e-05,7.024524e-05,7.020005e-05,7.003719e-05,7.003063e-05,6.987222e-05,6.981237e-05,6.970542e-05,6.959107e-05,6.953703e-05,6.936727e-05,6.914149e-05,6.891421e-05,6.868586e-05,6.845686e-05,6.822759e-05,6.799840e-05,6.776961e-05,6.754153e-05,6.731444e-05,6.708857e-05,6.686418e-05,6.664146e-05,6.642062e-05,6.620182e-05,6.598523e-05,6.577100e-05,6.555924e-05,6.535009e-05,6.514363e-05,6.493997e-05,6.473917e-05,6.454132e-05,6.434647e-05,6.415468e-05
0.000000e+00,3.416231e-09,8.004461e-09,2.817816e-08,6.475737e-08,9.480327e-08,2.162543e-07,2.227953e-07,4.317324e-07,5.075195e-07,7.423269e-07,9.867547e-07,1.177042e-06,1.706944e-06,1.759526e-06,2.511633e-06,2.719187e-06,3.447071e-06,4.051030e-06,4.563869e-06,5.681372e-06,5.842361e-06,7.251866e-06,7.546591e-06,8.760004e-06,9.573501e-06,1.033811e-05,1.170023e-05,1.196236e-05,1.361311e-05,1.387855e-05,1.527385e-05,1.607032e-05,1.693044e-05,1.824445e-05,1.857066e-05,2.018396e-05,2.037530e-05,2.176131e-05,2.244194e-05,2.329508e-05,2.442771e-05,2.477902e-05,2.620813e-05,2.631997e-05,2.757857e-05,2.810965e-05,2.888754e-05,2.979088e-05,3.013321e-05,3.131455e-05,3.136046e-05,3.243123e-05,3.281745e-05,3.348353e-05,3.416269e-05,3.447220e-05,3.539841e-05,3.626362e-05,3.652789e-05,3.706957e-05,3.755515e-05,3.781816e-05,3.848473e-05,3.851143e-05,3.915150e-05,3.932149e-05,3.974056e-05,4.007043e-05,4.028082e-05,4.073665e-05,4.077448e-05,4.122374e-05,4.132520e-05,4.163075e-05,4.184101e-05,4.199762e-05,4.228891e-05,4.232642e-05,4.261914e-05,4.267353e-05,4.287773e-05,4.299932e-05,4.310404e-05,4.327052e-05,4.329988e-05,4.346697e-05,4.349115e-05,4.360698e-05,4.366504e-05,4.372150e-05,4.379579e-05,4.381205e-05,4.388007e-05,4.388679e-05,4.392696e-05,4.394124e-05,4.395403e-05,4.396214e-05,4.396255e-05,4.395372e-05,4.395230e-05,4.392867e-05,4.391435e-05,4.388849e-05,4.385077e-05,4.383420e-05,4.376680e-05,4.376384e-05,4.368719e-05,4.365572e-05,4.359627e-05,4.352840e-05,4.349486e-05,4.338375e-05,4.326370e-05,4.322351e-05,4.313541e-05,4.304929e-05,4.299954e-05,4.286257e-05,4.285674e-05,4.270759e-05,4.266476e-05,4.255266e-05,4.245715e-05,4.239248e-05,4.224091e-05,4.222755e-05,4.205836e-05,4.201716e-05,4.188533e-05,4.178692e-05,4.170890e-05,4.155114e-05,4.152946e-05,4.134737e-05,4.131067e-05,4.116299e-05,4.106632e-05,4.097665e-05,4.081883e-05,4.078866e-05,4.059929e-05,4.056888e-05,4.040883e-05,4.031709e-05,4.021753e-05,4.006403e-05,4.002562e-05,3.983332e-05,3.981023e-05,3.964085e-05,3.955616e-05,3.944839e-05,3.930225e-05,3.925614e-05,3.906424e-05,3.904891e-05,3.887287e-05,3.879650e-05,3.868216e-05,3.854534e-05,3.849226e-05,3.830327e-05,3.829574e-05,3.811533e-05,3.804795e-05,3.792854e-05,3.780222e-05,3.774299e-05,3.755877e-05,3.731779e-05,3.707945e-05,3.684390e-05,3.661128e-05,3.638171e-05,3.615528e-05,3.593208e-05,3.571219e-05,3.549567e-05,3.528256e-05,3.507292e-05,3.486677e-05,3.466413e-05,3.446502e-05,3.426944e-05,3.407740e-05,3.388889e-05,3.370390e-05,3.352241e-05,3.334441e-05,3.316987e-05,3.299877e-05,3.283106e-05,3.266672e-05
0.000000e+00,7.095286e-09,1.618589e-08,5.505241e-08,1.237709e-07,1.793127e-07,3.989932e-07,4.106587e-07,7.768628e-07,9.071204e-07,1.303688e-06,1.706829e-06,2.014744e-06,2.848852e-06,2.929952e-06,4.062750e-06,4.367645e-06,5.416633e-06,6.268375e-06,6.981902e-06,8.514787e-06,8.733651e-06,1.063198e-05,1.102484e-05,1.262530e-05,1.368049e-05,1.465680e-05,1.635296e-05,1.667240e-05,1.862740e-05,1.893224e-05,2.048950e-05,2.134391e-05,2.223823e-05,2.354796e-05,2.386261e-05,2.535839e-05,2.552922e-05,2.672590e-05,2.728774e-05,2.796843e-05,2.883227e-05,2.909110e-05,3.010019e-05,3.017621e-05,3.100257e-05,3.133525e-05,3.180540e-05,3.232585e-05,3.251588e-05,3.314106e-05,3.316439e-05,3.368776e-05,3.386662e-05,3.416247e-05,3.444729e-05,3.457130e-05,3.491999e-05,3.521385e-05,3.529712e-05,3.545781e-05,3.558988e-05,3.565643e-05,3.580830e-05,3.581386e-05,3.593393e-05,3.596134e-05,3.602014e-05,3.605696e-05,3.607569e-05,3.610220e-05,3.610347e-05,3.610614e-05,3.610332e-05,3.608611e-05,3.606582e-05,3.604560e-05,3.599459e-05,3.598660e-05,3.591094e-05,3.589395e-05,3.582028e-05,3.576771e-05,3.571613e-05,3.561923e-05,3.559987e-05,3.547275e-05,3.545148e-05,3.533592e-05,3.526710e-05,3.519041e-05,3.506839e-05,3.503717e-05,3.487706e-05,3.485743e-05,3.471088e-05,3.463602e-05,3.453934e-05,3.440579e-05,3.436309e-05,3.418274e-05,3.416815e-05,3.399882e-05,3.392437e-05,3.381184e-05,3.367558e-05,3.362226e-05,3.343049e-05,3.342277e-05,3.323690e-05,3.316683e-05,3.304184e-05,3.290852e-05,3.284563e-05,3.264855e-05,3.245087e-05,3.238753e-05,3.225283e-05,3.212601e-05,3.205466e-05,3.186448e-05,3.185656e-05,3.165870e-05,3.160337e-05,3.146126e-05,3.134306e-05,3.126439e-05,3.108390e-05,3.106824e-05,3.087292e-05,3.082618e-05,3.067856e-05,3.057018e-05,3.048526e-05,3.031611e-05,3.029312e-05,3.010222e-05,3.006420e-05,2.991265e-05,2.981461e-05,2.972447e-05,2.956753e-05,2.953775e-05,2.935255e-05,2.932307e-05,2.916893e-05,2.908136e-05,2.898692e-05,2.884251e-05,2.880657e-05,2.862792e-05,2.860660e-05,2.845099e-05,2.837370e-05,2.827582e-05,2.814389e-05,2.810244e-05,2.793085e-05,2.791720e-05,2.776108e-05,2.769369e-05,2.759315e-05,2.747338e-05,2.742706e-05,2.726284e-05,2.725631e-05,2.710047e-05,2.704248e-05,2.693997e-05,2.683191e-05,2.678135e-05,2.662460e-05,2.642056e-05,2.621977e-05,2.602223e-05,2.582792e-05,2.563683e-05,2.544893e-05,2.526420e-05,2.508262e-05,2.490416e-05,2.472878e-05,2.455646e-05,2.438716e-05,2.422084e-05,2.405747e-05,2.389702e-05,2.373943e-05,2.358468e-05,2.343273e-05,2.328352e-05,2.313704e-05,2.299322e-05,2.285203e-05,2.271343e-05,2.257739e-05
0.000000e+00,4.121293e-10,1.469303e-09,8.267255e-09,2.379181e-08,3.792462e-08,1.010243e-07,1.046036e-07,2.250245e-07,2.709835e-07,4.190485e-07,5.804094e-07,7.099563e-07,1.082591e-06,1.120164e-06,1.659683e-06,1.807568e-06,2.317448e-06,2.728699e-06,3.069848e-06,3.792228e-06,3.894369e-06,4.774035e-06,4.955408e-06,5.696020e-06,6.188609e-06,6.649738e-06,7.468457e-06,7.625750e-06,8.615325e-06,8.774365e-06,9.610367e-06,1.008773e-05,1.060348e-05,1.139211e-05,1.158805e-05,1.255832e-05,1.267355e-05,1.350940e-05,1.392074e-05,1.443729e-05,1.512497e-05,1.533878e-05,1.621142e-05,1.627993e-05,1.705343e-05,1.738136e-05,1.786359e-05,1.842676e-05,1.864117e-05,1.938586e-05,1.941496e-05,2.009766e-05,2.034591e-05,2.077686e-05,2.122032e-05,2.142392e-05,2.203951e-05,2.262437e-05,2.280518e-05,2.317937e-05,2.351932e-05,2.370542e-05,2.418409e-05,2.420348e-05,2.467453e-05,2.480172e-05,2.511956e-05,2.537450e-05,2.553956e-05,2.590469e-05,2.593551e-05,2.630837e-05,2.639453e-05,2.665911e-05,2.684620e-05,2.698863e-05,2.726180e-05,2.729786e-05,2.758766e-05,2.764337e-05,2.785888e-05,2.799285e-05,2.811234e-05,2.831210e-05,2.834884e-05,2.856912e-05,2.860291e-05,2.877393e-05,2.886695e-05,2.896397e-05,2.910583e-05,2.913992e-05,2.930243e-05,2.932106e-05,2.945212e-05,2.951408e-05,2.958959e-05,2.968625e-05,2.971542e-05,2.983014e-05,2.983886e-05,2.993430e-05,2.997312e-05,3.002839e-05,3.009017e-05,3.011289e-05,3.018826e-05,3.019109e-05,3.025494e-05,3.027690e-05,3.031336e-05,3.034857e-05,3.036392e-05,3.040699e-05,3.044296e-05,3.045302e-05,3.047217e-05,3.048746e-05,3.049495e-05,3.051107e-05,3.051162e-05,3.052250e-05,3.052455e-05,3.052787e-05,3.052857e-05,3.052802e-05,3.052376e-05,3.052320e-05,3.051368e-05,3.051073e-05,3.049970e-05,3.049001e-05,3.048149e-05,3.046214e-05,3.045927e-05,3.043325e-05,3.042761e-05,3.040364e-05,3.038688e-05,3.037062e-05,3.034040e-05,3.033439e-05,3.029512e-05,3.028856e-05,3.025297e-05,3.023176e-05,3.020810e-05,3.017036e-05,3.016068e-05,3.011083e-05,3.010470e-05,3.005872e-05,3.003510e-05,3.000446e-05,2.996186e-05,2.994818e-05,2.989001e-05,2.988527e-05,2.983006e-05,2.980560e-05,2.976844e-05,2.972310e-05,2.970525e-05,2.964061e-05,2.963799e-05,2.957460e-05,2.955052e-05,2.950731e-05,2.946088e-05,2.943884e-05,2.936927e-05,2.927588e-05,2.918088e-05,2.908443e-05,2.898669e-05,2.888781e-05,2.878791e-05,2.868713e-05,2.858559e-05,2.848339e-05,2.838066e-05,2.827747e-05,2.817394e-05,2.807014e-05,2.796616e-05,2.786208e-05,2.775797e-05,2.765389e-05,2.754991e-05,2.744610e-05,2.734250e-05,2.723916e-05,2.713615e-05,2.703349e-05,2.693124e-05
0.000000e+00,8.852153e-10,2.293691e-09,8.905874e-09,2.127490e-08,3.151875e-08,7.293297e-08,7.515657e-08,1.456629e-07,1.709869e-07,2.486525e-07,3.283013e-07,3.894890e-07,5.559857e-07,5.721791e-07,7.969242e-07,8.566779e-07,1.059042e-06,1.219522e-06,1.351471e-06,1.628519e-06,1.667489e-06,2.001390e-06,2.069869e-06,2.348185e-06,2.532082e-06,2.703293e-06,3.004850e-06,3.062408e-06,3.421504e-06,3.478706e-06,3.776896e-06,3.945192e-06,4.125318e-06,4.397144e-06,4.463979e-06,4.790599e-06,4.828896e-06,5.103416e-06,5.236338e-06,5.401159e-06,5.616843e-06,5.683010e-06,5.948553e-06,5.969087e-06,6.197710e-06,6.292821e-06,6.430680e-06,6.588624e-06,6.647882e-06,6.849898e-06,6.857672e-06,7.037424e-06,7.101533e-06,7.211232e-06,7.322000e-06,7.372136e-06,7.520963e-06,7.658535e-06,7.700312e-06,7.785649e-06,7.861871e-06,7.903074e-06,8.007359e-06,8.011534e-06,8.111711e-06,8.138363e-06,8.204238e-06,8.256330e-06,8.289704e-06,8.362562e-06,8.368650e-06,8.441573e-06,8.458229e-06,8.508928e-06,8.544371e-06,8.571130e-06,8.621909e-06,8.628560e-06,8.681562e-06,8.691659e-06,8.730451e-06,8.754345e-06,8.775515e-06,8.810604e-06,8.817014e-06,8.855188e-06,8.861002e-06,8.890254e-06,8.906041e-06,8.922412e-06,8.946167e-06,8.951844e-06,8.978717e-06,8.981777e-06,9.003182e-06,9.013221e-06,9.025382e-06,9.040818e-06,9.045445e-06,9.063491e-06,9.064851e-06,9.079633e-06,9.085579e-06,9.093972e-06,9.103234e-06,9.106605e-06,9.117619e-06,9.118027e-06,9.127099e-06,9.130151e-06,9.135121e-06,9.139780e-06,9.141758e-06,9.147078e-06,9.151146e-06,9.152193e-06,9.154020e-06,9.155260e-06,9.155759e-06,9.156408e-06,9.156414e-06,9.156037e-06,9.155753e-06,9.154675e-06,9.153404e-06,9.152374e-06,9.149464e-06,9.149176e-06,9.145123e-06,9.144027e-06,9.140252e-06,9.137182e-06,9.134602e-06,9.129012e-06,9.128207e-06,9.121100e-06,9.119596e-06,9.113314e-06,9.109006e-06,9.104878e-06,9.097312e-06,9.095823e-06,9.086175e-06,9.084578e-06,9.075961e-06,9.070866e-06,9.065208e-06,9.056233e-06,9.053939e-06,9.042178e-06,9.040734e-06,9.029947e-06,9.024422e-06,9.017268e-06,9.007345e-06,9.004162e-06,8.990648e-06,8.989550e-06,8.976746e-06,8.971080e-06,8.962474e-06,8.951978e-06,8.947849e-06,8.932888e-06,8.932283e-06,8.917609e-06,8.912033e-06,8.902026e-06,8.891264e-06,8.886155e-06,8.870009e-06,8.848302e-06,8.826173e-06,8.803651e-06,8.780765e-06,8.757540e-06,8.734003e-06,8.710177e-06,8.686086e-06,8.661752e-06,8.637195e-06,8.612435e-06,8.587492e-06,8.562383e-06,8.537127e-06,8.511738e-06,8.486234e-06,8.460629e-06,8.434937e-06,8.409172e-06,8.383347e-06,8.357475e-06,8.331567e-06,8.305634e-06,8.279688e-06
0.000000e+00,1.368529e-12,8.488293e-12,1.215632e-10,6.769396e-10,1.462264e-09,7.390518e-09,7.825416e-09,2.705149e-08,3.629789e-08,7.132219e-08,1.164481e-07,1.567007e-07,2.880504e-07,3.024286e-07,5.303027e-07,5.998264e-07,8.641142e-07,1.106599e-06,1.328752e-06,1.865061e-06,1.948310e-06,2.742835e-06,2.923982e-06,3.724461e-06,4.309786e-06,4.894645e-06,6.016588e-06,6.243797e-06,7.753215e-06,8.008002e-06,9.398261e-06,1.022805e-05,1.115155e-05,1.261352e-05,1.298547e-05,1.487382e-05,1.510291e-05,1.679264e-05,1.764096e-05,1.872050e-05,2.018001e-05,2.063851e-05,2.253018e-05,2.267993e-05,2.438122e-05,2.510747e-05,2.617944e-05,2.743561e-05,2.791456e-05,2.957808e-05,2.964303e-05,3.116323e-05,3.171366e-05,3.266482e-05,3.363622e-05,3.407913e-05,3.540377e-05,3.663759e-05,3.701318e-05,3.778048e-05,3.846456e-05,3.883328e-05,3.976072e-05,3.979762e-05,4.067578e-05,4.090659e-05,4.147055e-05,4.190872e-05,4.218517e-05,4.277483e-05,4.282314e-05,4.338820e-05,4.351340e-05,4.388423e-05,4.413332e-05,4.431516e-05,4.464364e-05,4.468491e-05,4.499741e-05,4.505338e-05,4.525646e-05,4.537129e-05,4.546580e-05,4.560583e-05,4.562898e-05,4.574947e-05,4.576500e-05,4.583054e-05,4.585637e-05,4.587532e-05,4.588700e-05,4.588676e-05,4.586766e-05,4.586345e-05,4.582065e-05,4.579175e-05,4.574817e-05,4.567748e-05,4.565254e-05,4.553590e-05,4.552573e-05,4.540028e-05,4.534113e-05,4.524752e-05,4.512791e-05,4.507938e-05,4.489746e-05,4.488992e-05,4.470325e-05,4.463060e-05,4.449814e-05,4.435310e-05,4.428341e-05,4.406024e-05,4.382972e-05,4.375456e-05,4.359285e-05,4.343835e-05,4.335055e-05,4.311364e-05,4.310369e-05,4.285303e-05,4.278226e-05,4.259930e-05,4.244586e-05,4.234315e-05,4.210588e-05,4.208519e-05,4.182597e-05,4.176362e-05,4.156599e-05,4.142024e-05,4.130571e-05,4.107675e-05,4.104555e-05,4.078589e-05,4.073404e-05,4.052707e-05,4.039292e-05,4.026940e-05,4.005407e-05,4.001318e-05,3.975865e-05,3.971810e-05,3.950604e-05,3.938553e-05,3.925556e-05,3.905684e-05,3.900740e-05,3.876171e-05,3.873240e-05,3.851864e-05,3.841255e-05,3.827832e-05,3.809758e-05,3.804086e-05,3.780636e-05,3.778773e-05,3.757491e-05,3.748319e-05,3.734657e-05,3.718413e-05,3.712141e-05,3.689948e-05,3.689067e-05,3.668081e-05,3.660290e-05,3.646545e-05,3.632091e-05,3.625342e-05,3.604473e-05,3.577439e-05,3.550991e-05,3.525128e-05,3.499846e-05,3.475143e-05,3.451015e-05,3.427456e-05,3.404459e-05,3.382018e-05,3.360124e-05,3.338770e-05,3.317947e-05,3.297646e-05,3.277857e-05,3.258571e-05,3.239778e-05,3.221469e-05,3.203632e-05,3.186259e-05,3.169339e-05,3.152861e-05,3.136817e-05,3.121195e-05,3.105986e-05
0.000000e+00,1.547763e-11,8.814176e-11,1.064696e-09,5.121074e-09,1.024575e-08,4.304018e-08,4.525015e-08,1.329227e-07,1.712561e-07,3.059910e-07,4.660883e-07,6.015858e-07,1.017099e-06,1.060877e-06,1.725727e-06,1.919885e-06,2.628891e-06,3.244387e-06,3.782808e-06,4.997814e-06,5.177040e-06,6.785652e-06,7.130330e-06,8.577052e-06,9.570507e-06,1.052056e-05,1.225053e-05,1.258880e-05,1.475742e-05,1.511221e-05,1.700415e-05,1.810408e-05,1.930779e-05,2.117775e-05,2.164764e-05,2.400338e-05,2.428619e-05,2.635519e-05,2.738380e-05,2.868403e-05,3.042757e-05,3.097208e-05,3.320300e-05,3.337856e-05,3.536230e-05,3.620310e-05,3.743750e-05,3.887364e-05,3.941820e-05,4.129620e-05,4.136909e-05,4.306536e-05,4.367475e-05,4.472152e-05,4.578190e-05,4.626234e-05,4.768712e-05,4.899656e-05,4.939151e-05,5.019258e-05,5.089981e-05,5.127808e-05,5.221962e-05,5.225677e-05,5.313298e-05,5.336060e-05,5.391149e-05,5.433380e-05,5.459738e-05,5.515112e-05,5.519591e-05,5.571243e-05,5.582479e-05,5.615228e-05,5.636707e-05,5.652071e-05,5.678994e-05,5.682286e-05,5.706367e-05,5.710489e-05,5.724788e-05,5.732282e-05,5.738003e-05,5.745394e-05,5.746439e-05,5.750500e-05,5.750770e-05,5.750565e-05,5.749282e-05,5.746988e-05,5.741726e-05,5.740098e-05,5.730204e-05,5.728828e-05,5.717588e-05,5.711244e-05,5.702515e-05,5.689567e-05,5.685229e-05,5.665954e-05,5.664332e-05,5.644897e-05,5.636018e-05,5.622248e-05,5.605054e-05,5.598183e-05,5.572862e-05,5.571825e-05,5.546432e-05,5.536672e-05,5.519028e-05,5.499901e-05,5.490775e-05,5.461784e-05,5.432161e-05,5.422564e-05,5.402000e-05,5.382454e-05,5.371387e-05,5.341647e-05,5.340401e-05,5.309115e-05,5.300310e-05,5.277595e-05,5.258595e-05,5.245900e-05,5.216633e-05,5.214085e-05,5.182200e-05,5.174542e-05,5.150290e-05,5.132426e-05,5.118397e-05,5.090375e-05,5.086558e-05,5.054807e-05,5.048470e-05,5.023174e-05,5.006781e-05,4.991687e-05,4.965370e-05,4.960372e-05,4.929251e-05,4.924291e-05,4.898345e-05,4.883591e-05,4.867671e-05,4.843311e-05,4.837247e-05,4.807086e-05,4.803486e-05,4.777203e-05,4.764145e-05,4.747608e-05,4.725315e-05,4.718312e-05,4.689323e-05,4.687017e-05,4.660649e-05,4.649270e-05,4.632298e-05,4.612088e-05,4.604274e-05,4.576583e-05,4.575483e-05,4.549229e-05,4.539465e-05,4.522215e-05,4.504041e-05,4.495544e-05,4.469218e-05,4.434997e-05,4.401381e-05,4.368371e-05,4.335966e-05,4.304163e-05,4.272961e-05,4.242354e-05,4.212339e-05,4.182910e-05,4.154061e-05,4.125786e-05,4.098078e-05,4.070930e-05,4.044334e-05,4.018283e-05,3.992767e-05,3.967779e-05,3.943311e-05,3.919353e-05,3.895897e-05,3.872935e-05,3.850457e-05,3.828454e-05,3.806918e-05
0.000000e+00,4.010537e-10,1.350402e-09,7.055631e-09,1.949175e-08,3.053384e-08,7.824865e-08,8.089866e-08,1.675288e-07,1.995190e-07,2.994723e-07,4.041230e-07,4.856919e-07,7.123104e-07,7.347170e-07,1.052875e-06,1.139824e-06,1.441941e-06,1.689982e-06,1.899499e-06,2.355648e-06,2.421568e-06,3.004133e-06,3.127560e-06,3.643235e-06,3.996533e-06,4.334674e-06,4.952543e-06,5.073801e-06,5.855449e-06,5.984087e-06,6.673972e-06,7.078205e-06,7.523353e-06,8.220876e-06,8.397337e-06,9.289582e-06,9.397579e-06,1.019381e-05,1.059389e-05,1.110394e-05,1.179603e-05,1.201422e-05,1.291927e-05,1.299130e-05,1.381423e-05,1.416839e-05,1.469474e-05,1.531758e-05,1.555697e-05,1.639767e-05,1.643081e-05,1.721410e-05,1.750164e-05,1.800406e-05,1.852520e-05,1.876580e-05,1.949803e-05,2.019985e-05,2.041791e-05,2.087071e-05,2.128368e-05,2.151036e-05,2.209509e-05,2.211883e-05,2.269638e-05,2.285260e-05,2.324342e-05,2.355725e-05,2.376056e-05,2.421051e-05,2.424849e-05,2.470804e-05,2.481420e-05,2.514007e-05,2.537034e-05,2.554552e-05,2.588111e-05,2.592537e-05,2.628060e-05,2.634878e-05,2.661221e-05,2.677565e-05,2.692121e-05,2.716400e-05,2.720857e-05,2.747528e-05,2.751610e-05,2.772230e-05,2.783414e-05,2.795054e-05,2.812024e-05,2.816093e-05,2.835432e-05,2.837643e-05,2.853157e-05,2.860465e-05,2.869348e-05,2.880675e-05,2.884083e-05,2.897438e-05,2.898448e-05,2.909482e-05,2.913949e-05,2.920286e-05,2.927332e-05,2.929913e-05,2.938426e-05,2.938745e-05,2.945885e-05,2.948323e-05,2.952345e-05,2.956196e-05,2.957861e-05,2.962484e-05,2.966261e-05,2.967300e-05,2.969241e-05,2.970749e-05,2.971465e-05,2.972929e-05,2.972977e-05,2.973815e-05,2.973934e-05,2.974017e-05,2.973849e-05,2.973620e-05,2.972753e-05,2.972656e-05,2.971159e-05,2.970724e-05,2.969158e-05,2.967829e-05,2.966684e-05,2.964135e-05,2.963762e-05,2.960420e-05,2.959703e-05,2.956682e-05,2.954590e-05,2.952573e-05,2.948849e-05,2.948113e-05,2.943325e-05,2.942530e-05,2.938228e-05,2.935678e-05,2.932843e-05,2.928338e-05,2.927186e-05,2.921275e-05,2.920549e-05,2.915127e-05,2.912350e-05,2.908757e-05,2.903776e-05,2.902180e-05,2.895409e-05,2.894860e-05,2.888459e-05,2.885631e-05,2.881342e-05,2.876120e-05,2.874069e-05,2.866653e-05,2.866353e-05,2.859103e-05,2.856355e-05,2.851431e-05,2.846149e-05,2.843646e-05,2.835757e-05,2.825200e-05,2.814497e-05,2.803665e-05,2.792722e-05,2.781682e-05,2.770561e-05,2.759371e-05,2.748126e-05,2.736837e-05,2.725515e-05,2.714171e-05,2.702814e-05,2.691454e-05,2.680097e-05,2.668753e-05,2.657429e-05,2.646131e-05,2.634865e-05,2.623638e-05,2.612455e-05,2.601320e-05,2.590239e-05,2.579215e-05,2.568253e-05
0.000000e+00,3.020223e-13,1.896665e-12,2.785939e-11,1.586814e-10,3.469594e-10,1.807672e-09,1.916343e-09,6.814240e-09,9.210225e-09,1.841573e-08,3.046408e-08,4.132413e-08,7.720319e-08,8.115924e-08,1.442950e-07,1.636692e-07,2.375684e-07,3.055570e-07,3.679037e-07,5.184363e-07,5.417970e-07,7.647233e-07,8.155714e-07,1.040641e-06,1.205857e-06,1.371735e-06,1.692851e-06,1.758428e-06,2.199573e-06,2.275062e-06,2.692732e-06,2.946943e-06,3.234456e-06,3.699991e-06,3.820532e-06,4.446190e-06,4.523687e-06,5.106261e-06,5.406202e-06,5.795317e-06,6.334964e-06,6.507795e-06,7.238104e-06,7.297133e-06,7.980732e-06,8.280029e-06,8.730341e-06,9.271517e-06,9.481850e-06,1.023051e-05,1.026034e-05,1.097197e-05,1.123635e-05,1.170228e-05,1.219074e-05,1.241799e-05,1.311607e-05,1.379401e-05,1.400633e-05,1.444969e-05,1.485687e-05,1.508146e-05,1.566429e-05,1.568806e-05,1.626859e-05,1.642638e-05,1.682248e-05,1.714189e-05,1.734944e-05,1.781043e-05,1.784944e-05,1.832266e-05,1.843229e-05,1.876947e-05,1.900833e-05,1.919038e-05,1.953985e-05,1.958601e-05,1.995710e-05,2.002844e-05,2.030444e-05,2.047595e-05,2.062887e-05,2.088434e-05,2.093129e-05,2.121259e-05,2.125570e-05,2.147370e-05,2.159212e-05,2.171552e-05,2.189570e-05,2.193896e-05,2.214491e-05,2.216849e-05,2.233424e-05,2.241250e-05,2.250780e-05,2.262966e-05,2.266640e-05,2.281084e-05,2.282181e-05,2.294188e-05,2.299071e-05,2.306025e-05,2.313802e-05,2.316665e-05,2.326174e-05,2.326532e-05,2.334616e-05,2.337406e-05,2.342053e-05,2.346565e-05,2.348541e-05,2.354136e-05,2.358890e-05,2.360242e-05,2.362852e-05,2.364994e-05,2.366069e-05,2.368498e-05,2.368585e-05,2.370444e-05,2.370851e-05,2.371683e-05,2.372146e-05,2.372342e-05,2.372466e-05,2.372456e-05,2.372059e-05,2.371891e-05,2.371182e-05,2.370493e-05,2.369856e-05,2.368340e-05,2.368109e-05,2.365969e-05,2.365496e-05,2.363461e-05,2.362019e-05,2.360608e-05,2.357963e-05,2.357435e-05,2.353961e-05,2.353379e-05,2.350209e-05,2.348314e-05,2.346196e-05,2.342811e-05,2.341942e-05,2.337462e-05,2.336911e-05,2.332775e-05,2.330650e-05,2.327894e-05,2.324064e-05,2.322834e-05,2.317609e-05,2.317185e-05,2.312233e-05,2.310042e-05,2.306716e-05,2.302664e-05,2.301071e-05,2.295308e-05,2.295076e-05,2.289439e-05,2.287301e-05,2.283472e-05,2.279363e-05,2.277416e-05,2.271281e-05,2.263075e-05,2.254762e-05,2.246358e-05,2.237879e-05,2.229339e-05,2.220750e-05,2.212124e-05,2.203473e-05,2.194808e-05,2.186136e-05,2.177468e-05,2.168811e-05,2.160173e-05,2.151561e-05,2.142981e-05,2.134439e-05,2.125940e-05,2.117489e-05,2.109091e-05,2.100750e-05,2.092469e-05,2.084253e-05,2.076103e-05,2.068024e-05
0.000000e+00,1.506337e-09,3.589914e-09,1.283522e-08,2.965654e-08,4.348097e-08,9.936460e-08,1.023747e-07,1.985918e-07,2.335338e-07,3.419290e-07,4.548764e-07,5.427362e-07,7.857908e-07,8.096948e-07,1.145110e-06,1.235210e-06,1.542311e-06,1.787378e-06,1.989529e-06,2.415164e-06,2.475124e-06,2.989461e-06,3.095058e-06,3.524618e-06,3.808833e-06,4.073773e-06,4.541382e-06,4.630800e-06,5.190112e-06,5.279468e-06,5.746638e-06,6.011430e-06,6.295852e-06,6.727291e-06,6.833816e-06,7.357203e-06,7.418895e-06,7.863306e-06,8.079950e-06,8.350009e-06,8.705950e-06,8.815752e-06,9.259473e-06,9.293998e-06,9.680550e-06,9.842572e-06,1.007873e-05,1.035127e-05,1.045408e-05,1.080690e-05,1.082055e-05,1.113771e-05,1.125154e-05,1.144717e-05,1.164579e-05,1.173603e-05,1.200513e-05,1.225537e-05,1.233161e-05,1.248766e-05,1.262732e-05,1.270291e-05,1.289438e-05,1.290204e-05,1.308596e-05,1.313485e-05,1.325553e-05,1.335074e-05,1.341160e-05,1.354395e-05,1.355497e-05,1.368643e-05,1.371628e-05,1.380670e-05,1.386943e-05,1.391649e-05,1.400496e-05,1.401646e-05,1.410722e-05,1.412432e-05,1.418936e-05,1.422886e-05,1.426344e-05,1.431981e-05,1.432997e-05,1.438944e-05,1.439833e-05,1.444230e-05,1.446546e-05,1.448899e-05,1.452216e-05,1.452990e-05,1.456541e-05,1.456933e-05,1.459588e-05,1.460777e-05,1.462163e-05,1.463824e-05,1.464297e-05,1.466020e-05,1.466141e-05,1.467358e-05,1.467791e-05,1.468336e-05,1.468832e-05,1.468979e-05,1.469309e-05,1.469316e-05,1.469347e-05,1.469293e-05,1.469112e-05,1.468807e-05,1.468623e-05,1.467897e-05,1.466951e-05,1.466603e-05,1.465798e-05,1.464959e-05,1.464454e-05,1.462996e-05,1.462932e-05,1.461244e-05,1.460744e-05,1.459403e-05,1.458229e-05,1.457418e-05,1.455476e-05,1.455302e-05,1.453062e-05,1.452508e-05,1.450710e-05,1.449346e-05,1.448252e-05,1.446009e-05,1.445698e-05,1.443054e-05,1.442515e-05,1.440329e-05,1.438881e-05,1.437528e-05,1.435122e-05,1.434659e-05,1.431726e-05,1.431252e-05,1.428737e-05,1.427283e-05,1.425696e-05,1.423228e-05,1.422607e-05,1.419477e-05,1.419098e-05,1.416308e-05,1.414903e-05,1.413106e-05,1.410653e-05,1.409875e-05,1.406617e-05,1.406356e-05,1.403337e-05,1.402020e-05,1.400038e-05,1.397652e-05,1.396723e-05,1.393394e-05,1.393261e-05,1.390055e-05,1.388851e-05,1.386708e-05,1.384429e-05,1.383356e-05,1.380000e-05,1.375570e-05,1.371142e-05,1.366722e-05,1.362313e-05,1.357918e-05,1.353542e-05,1.349187e-05,1.344855e-05,1.340551e-05,1.336275e-05,1.332030e-05,1.327819e-05,1.323642e-05,1.319502e-05,1.315400e-05,1.311337e-05,1.307315e-05,1.303334e-05,1.299396e-05,1.295502e-05,1.291652e-05,1.287847e-05,1.284087e-05,1.280374e-05
0.000000e+00,1.596324e-13,1.089930e-12,1.905328e-11,1.272513e-10,3.037044e-10,1.984840e-09,2.123667e-09,9.457449e-09,1.358814e-08,3.166974e-08,5.927921e-08,8.713356e-08,1.945854e-07,2.076713e-07,4.436499e-07,5.251488e-07,8.695443e-07,1.228515e-06,1.589749e-06,2.577269e-06,2.744341e-06,4.514362e-06,4.961296e-06,7.126082e-06,8.905900e-06,1.085371e-05,1.508216e-05,1.602020e-05,2.299596e-05,2.430711e-05,3.219565e-05,3.753338e-05,4.407314e-05,5.582923e-05,5.911503e-05,7.783299e-05,8.035115e-05,1.007552e-04,1.123110e-04,1.284175e-04,1.529399e-04,1.613538e-04,2.000869e-04,2.034512e-04,2.451197e-04,2.650040e-04,2.969261e-04,3.386683e-04,3.559438e-04,4.225665e-04,4.253946e-04,4.971381e-04,5.259871e-04,5.799472e-04,6.410823e-04,6.712233e-04,7.711335e-04,8.797804e-04,9.164005e-04,9.972013e-04,1.076945e-03,1.123368e-03,1.252632e-03,1.258189e-03,1.401509e-03,1.443134e-03,1.553114e-03,1.647943e-03,1.712732e-03,1.866382e-03,1.880041e-03,2.054668e-03,2.097622e-03,2.236198e-03,2.340702e-03,2.424177e-03,2.594546e-03,2.618117e-03,2.817502e-03,2.857985e-03,3.021793e-03,3.129779e-03,3.230434e-03,3.408637e-03,3.442855e-03,3.658477e-03,3.693235e-03,3.876721e-03,3.982238e-03,4.097004e-03,4.274313e-03,4.318753e-03,4.541399e-03,4.568151e-03,4.764389e-03,4.862474e-03,4.987182e-03,5.156052e-03,5.209257e-03,5.430110e-03,5.447711e-03,5.649263e-03,5.736345e-03,5.866259e-03,6.020918e-03,6.080667e-03,6.292082e-03,6.300471e-03,6.500126e-03,6.574128e-03,6.704448e-03,6.841096e-03,6.904726e-03,7.100664e-03,7.291997e-03,7.352210e-03,7.478483e-03,7.595192e-03,7.659911e-03,7.829148e-03,7.836093e-03,8.006868e-03,8.053697e-03,8.172100e-03,8.268530e-03,8.331676e-03,8.473412e-03,8.485505e-03,8.633520e-03,8.668172e-03,8.775672e-03,8.852704e-03,8.911932e-03,9.026959e-03,9.042291e-03,9.166755e-03,9.190942e-03,9.285346e-03,9.344705e-03,9.398103e-03,9.488345e-03,9.505075e-03,9.606326e-03,9.622001e-03,9.701932e-03,9.745842e-03,9.791976e-03,9.860072e-03,9.876555e-03,9.955769e-03,9.964919e-03,1.002973e-02,1.006064e-02,1.009855e-02,1.014750e-02,1.016236e-02,1.022128e-02,1.022578e-02,1.027544e-02,1.029580e-02,1.032497e-02,1.035785e-02,1.037002e-02,1.041072e-02,1.041226e-02,1.044721e-02,1.045935e-02,1.047964e-02,1.049943e-02,1.050814e-02,1.053285e-02,1.055991e-02,1.058095e-02,1.059627e-02,1.060620e-02,1.061103e-02,1.061106e-02,1.060659e-02,1.059790e-02,1.058526e-02,1.056894e-02,1.054918e-02,1.052624e-02,1.050035e-02,1.047172e-02,1.044059e-02,1.040715e-02,1.037159e-02,1.033411e-02,1.029488e-02,1.025407e-02,1.021182e-02,1.016831e-02,1.012365e-02,1.007799e-02
0.000000e+00,2.486619e-09,5.713945e-09,1.971227e-08,4.488355e-08,6.548155e-08,1.484235e-07,1.528808e-07,2.949074e-07,3.462883e-07,5.051249e-07,6.700017e-07,7.980844e-07,1.153677e-06,1.188880e-06,1.690744e-06,1.828677e-06,2.310538e-06,2.708504e-06,3.045585e-06,3.779722e-06,3.885649e-06,4.817763e-06,5.014107e-06,5.829407e-06,6.383118e-06,6.909356e-06,7.861847e-06,8.047453e-06,9.234180e-06,9.427954e-06,1.046037e-05,1.106033e-05,1.171709e-05,1.273855e-05,1.299558e-05,1.428736e-05,1.444288e-05,1.558432e-05,1.615463e-05,1.687880e-05,1.785656e-05,1.816371e-05,1.943259e-05,1.953323e-05,2.067963e-05,2.117117e-05,2.189978e-05,2.275916e-05,2.308867e-05,2.424263e-05,2.428802e-05,2.535864e-05,2.575063e-05,2.643432e-05,2.714180e-05,2.746786e-05,2.845798e-05,2.940385e-05,2.969710e-05,3.030506e-05,3.085836e-05,3.116156e-05,3.194196e-05,3.197359e-05,3.274167e-05,3.294895e-05,3.346650e-05,3.388101e-05,3.414898e-05,3.474032e-05,3.479012e-05,3.539106e-05,3.552944e-05,3.595303e-05,3.625117e-05,3.647729e-05,3.690850e-05,3.696517e-05,3.741802e-05,3.750450e-05,3.783718e-05,3.804229e-05,3.822402e-05,3.852498e-05,3.857989e-05,3.890611e-05,3.895564e-05,3.920400e-05,3.933730e-05,3.947484e-05,3.967288e-05,3.971988e-05,3.994034e-05,3.996520e-05,4.013741e-05,4.021700e-05,4.031222e-05,4.043088e-05,4.046588e-05,4.059948e-05,4.060933e-05,4.071402e-05,4.075473e-05,4.081051e-05,4.086935e-05,4.088991e-05,4.095311e-05,4.095532e-05,4.100102e-05,4.101468e-05,4.103446e-05,4.104935e-05,4.105424e-05,4.106114e-05,4.105590e-05,4.105177e-05,4.103922e-05,4.102285e-05,4.101177e-05,4.097590e-05,4.097422e-05,4.092716e-05,4.091236e-05,4.087118e-05,4.083356e-05,4.080686e-05,4.074076e-05,4.073472e-05,4.065526e-05,4.063516e-05,4.056899e-05,4.051787e-05,4.047635e-05,4.038992e-05,4.037779e-05,4.027373e-05,4.025229e-05,4.016456e-05,4.010591e-05,4.005067e-05,3.995161e-05,3.993241e-05,3.981012e-05,3.979020e-05,3.968413e-05,3.962243e-05,3.955474e-05,3.944899e-05,3.942225e-05,3.928694e-05,3.927053e-05,3.914907e-05,3.908766e-05,3.900888e-05,3.890094e-05,3.886662e-05,3.872251e-05,3.871090e-05,3.857675e-05,3.851803e-05,3.842955e-05,3.832278e-05,3.828110e-05,3.813157e-05,3.812557e-05,3.798114e-05,3.792680e-05,3.782997e-05,3.772682e-05,3.767820e-05,3.752597e-05,3.732457e-05,3.712289e-05,3.692121e-05,3.671977e-05,3.651880e-05,3.631849e-05,3.611904e-05,3.592062e-05,3.572340e-05,3.552751e-05,3.533308e-05,3.514025e-05,3.494911e-05,3.475975e-05,3.457228e-05,3.438677e-05,3.420328e-05,3.402188e-05,3.384262e-05,3.366556e-05,3.349072e-05,3.331815e-05,3.314787e-05,3.297992e-05
0.000000e+00,3.611363e-13,2.422695e-12,4.081256e-11,2.634038e-10,6.168442e-10,3.836917e-09,4.096994e-09,1.736503e-08,2.461601e-08,5.546751e-08,1.010397e-07,1.459223e-07,3.134039e-07,3.333807e-07,6.843554e-07,8.026180e-07,1.291558e-06,1.787746e-06,2.276997e-06,3.577065e-06,3.792642e-06,6.017759e-06,6.565279e-06,9.152840e-06,1.121322e-05,1.341100e-05,1.801381e-05,1.900805e-05,2.615246e-05,2.745230e-05,3.503623e-05,3.996862e-05,4.582716e-05,5.592671e-05,5.866294e-05,7.364712e-05,7.559317e-05,9.084677e-05,9.912554e-05,1.102919e-04,1.265694e-04,1.319762e-04,1.558589e-04,1.578625e-04,1.818679e-04,1.928452e-04,2.099027e-04,2.312732e-04,2.398390e-04,2.715322e-04,2.728343e-04,3.048220e-04,3.171644e-04,3.395364e-04,3.638644e-04,3.754956e-04,4.125156e-04,4.504116e-04,4.626933e-04,4.890004e-04,5.139783e-04,5.281037e-04,5.659670e-04,5.675493e-04,6.071733e-04,6.182787e-04,6.468212e-04,6.705609e-04,6.863488e-04,7.224933e-04,7.256230e-04,7.645220e-04,7.737894e-04,8.029354e-04,8.241974e-04,8.407641e-04,8.734998e-04,8.779204e-04,9.143271e-04,9.215124e-04,9.499174e-04,9.680825e-04,9.846343e-04,1.013086e-03,1.018430e-03,1.051264e-03,1.056426e-03,1.083106e-03,1.098030e-03,1.113931e-03,1.137846e-03,1.143721e-03,1.172464e-03,1.175843e-03,1.200154e-03,1.212003e-03,1.226788e-03,1.246325e-03,1.252369e-03,1.276903e-03,1.278821e-03,1.300399e-03,1.309510e-03,1.322870e-03,1.338422e-03,1.344330e-03,1.364796e-03,1.365594e-03,1.384286e-03,1.391067e-03,1.402820e-03,1.414888e-03,1.420420e-03,1.437107e-03,1.452906e-03,1.457777e-03,1.467838e-03,1.476952e-03,1.481929e-03,1.494686e-03,1.495202e-03,1.507682e-03,1.511038e-03,1.519394e-03,1.526063e-03,1.530362e-03,1.539816e-03,1.540610e-03,1.550162e-03,1.552354e-03,1.559043e-03,1.563731e-03,1.567275e-03,1.574001e-03,1.574881e-03,1.581886e-03,1.583216e-03,1.588310e-03,1.591428e-03,1.594176e-03,1.598687e-03,1.599505e-03,1.604318e-03,1.605042e-03,1.608636e-03,1.610538e-03,1.612478e-03,1.615222e-03,1.615863e-03,1.618812e-03,1.619137e-03,1.621341e-03,1.622326e-03,1.623469e-03,1.624828e-03,1.625213e-03,1.626589e-03,1.626684e-03,1.627615e-03,1.627930e-03,1.628305e-03,1.628603e-03,1.628675e-03,1.628740e-03,1.628736e-03,1.628513e-03,1.628363e-03,1.628010e-03,1.627516e-03,1.627243e-03,1.626224e-03,1.624517e-03,1.622421e-03,1.619964e-03,1.617169e-03,1.614061e-03,1.610663e-03,1.606996e-03,1.603080e-03,1.598935e-03,1.594579e-03,1.590031e-03,1.585306e-03,1.580420e-03,1.575389e-03,1.570226e-03,1.564945e-03,1.559558e-03,1.554078e-03,1.548515e-03,1.542881e-03,1.537185e-03,1.531437e-03,1.525646e-03,1.519819e-03
0.000000e+00,6.515660e-09,1.583729e-08,5.840849e-08,1.389491e-07,2.075566e-07,5.043140e-07,5.211282e-07,1.099121e-06,1.326929e-06,2.084275e-06,2.935966e-06,3.626741e-06,5.587569e-06,5.781107e-06,8.466394e-06,9.175710e-06,1.155905e-05,1.343210e-05,1.496468e-05,1.817293e-05,1.862409e-05,2.250001e-05,2.329875e-05,2.656612e-05,2.874832e-05,3.080048e-05,3.447199e-05,3.518205e-05,3.968912e-05,4.042038e-05,4.429885e-05,4.654102e-05,4.898739e-05,5.277847e-05,5.373018e-05,5.850253e-05,5.907604e-05,6.328017e-05,6.537794e-05,6.803974e-05,7.163134e-05,7.275925e-05,7.741844e-05,7.778800e-05,8.199897e-05,8.380545e-05,8.648462e-05,8.964756e-05,9.086132e-05,9.511713e-05,9.528470e-05,9.924218e-05,1.006936e-04,1.032286e-04,1.058569e-04,1.070701e-04,1.107625e-04,1.143026e-04,1.154029e-04,1.176887e-04,1.197747e-04,1.209203e-04,1.238777e-04,1.239978e-04,1.269225e-04,1.277143e-04,1.296963e-04,1.312891e-04,1.323216e-04,1.346084e-04,1.348015e-04,1.371393e-04,1.376796e-04,1.393387e-04,1.405113e-04,1.414035e-04,1.431123e-04,1.433377e-04,1.451455e-04,1.454923e-04,1.468311e-04,1.476607e-04,1.483987e-04,1.496274e-04,1.498525e-04,1.511968e-04,1.514020e-04,1.524358e-04,1.529942e-04,1.535734e-04,1.544134e-04,1.546139e-04,1.555611e-04,1.556687e-04,1.564189e-04,1.567690e-04,1.571911e-04,1.577230e-04,1.578814e-04,1.584933e-04,1.585389e-04,1.590302e-04,1.592248e-04,1.594956e-04,1.597882e-04,1.598927e-04,1.602246e-04,1.602366e-04,1.604944e-04,1.605769e-04,1.607050e-04,1.608159e-04,1.608592e-04,1.609598e-04,1.610094e-04,1.610149e-04,1.610105e-04,1.609869e-04,1.609655e-04,1.608812e-04,1.608769e-04,1.607468e-04,1.607032e-04,1.605774e-04,1.604578e-04,1.603708e-04,1.601496e-04,1.601290e-04,1.598539e-04,1.597832e-04,1.595474e-04,1.593627e-04,1.592113e-04,1.588922e-04,1.588471e-04,1.584566e-04,1.583755e-04,1.580413e-04,1.578160e-04,1.576027e-04,1.572173e-04,1.571422e-04,1.566612e-04,1.565824e-04,1.561610e-04,1.559145e-04,1.556429e-04,1.552162e-04,1.551080e-04,1.545575e-04,1.544904e-04,1.539924e-04,1.537395e-04,1.534140e-04,1.529659e-04,1.528230e-04,1.522205e-04,1.521719e-04,1.516075e-04,1.513595e-04,1.509847e-04,1.505307e-04,1.503530e-04,1.497132e-04,1.496874e-04,1.490660e-04,1.488313e-04,1.484122e-04,1.479641e-04,1.477524e-04,1.470873e-04,1.462023e-04,1.453105e-04,1.444132e-04,1.435114e-04,1.426064e-04,1.416992e-04,1.407906e-04,1.398817e-04,1.389732e-04,1.380659e-04,1.371606e-04,1.362578e-04,1.353583e-04,1.344625e-04,1.335710e-04,1.326844e-04,1.318030e-04,1.309272e-04,1.300575e-04,1.291942e-04,1.283376e-04,1.274879e-04,1.266455e-04,1.258106e-04
0.000000e+00,2.343559e-13,1.522582e-12,2.399174e-11,1.456611e-10,3.298475e-10,1.881771e-09,2.002302e-09,7.798254e-09,1.080703e-08,2.302563e-08,4.013239e-08,5.635012e-08,1.138418e-07,1.204809e-07,2.324929e-07,2.687600e-07,4.132756e-07,5.531100e-07,6.858324e-07,1.019666e-06,1.072849e-06,1.594318e-06,1.716207e-06,2.265801e-06,2.677871e-06,3.097513e-06,3.923561e-06,4.094141e-06,5.255164e-06,5.455900e-06,6.575464e-06,7.263270e-06,8.046047e-06,9.322665e-06,9.654802e-06,1.138720e-05,1.160264e-05,1.322697e-05,1.406601e-05,1.515665e-05,1.667223e-05,1.715817e-05,1.921330e-05,1.937948e-05,2.130407e-05,2.214645e-05,2.341316e-05,2.493380e-05,2.552417e-05,2.762191e-05,2.770534e-05,2.969253e-05,3.042889e-05,3.172369e-05,3.307676e-05,3.370459e-05,3.562603e-05,3.748036e-05,3.805852e-05,3.926140e-05,4.036055e-05,4.096439e-05,4.252261e-05,4.258587e-05,4.412355e-05,4.453889e-05,4.557617e-05,4.640673e-05,4.694338e-05,4.812617e-05,4.822564e-05,4.942406e-05,4.969938e-05,5.054030e-05,5.113026e-05,5.157645e-05,5.242397e-05,5.253499e-05,5.341862e-05,5.358662e-05,5.423028e-05,5.462491e-05,5.497301e-05,5.554592e-05,5.564994e-05,5.626423e-05,5.635691e-05,5.681905e-05,5.706516e-05,5.731754e-05,5.767783e-05,5.776276e-05,5.815772e-05,5.820188e-05,5.850534e-05,5.864402e-05,5.880842e-05,5.901065e-05,5.906968e-05,5.929170e-05,5.930784e-05,5.947698e-05,5.954133e-05,5.962787e-05,5.971649e-05,5.974663e-05,5.983540e-05,5.983835e-05,5.989620e-05,5.991162e-05,5.993097e-05,5.994066e-05,5.994151e-05,5.992954e-05,5.989669e-05,5.988202e-05,5.984448e-05,5.980157e-05,5.977435e-05,5.969143e-05,5.968766e-05,5.958567e-05,5.955455e-05,5.946960e-05,5.939367e-05,5.934057e-05,5.921133e-05,5.919964e-05,5.904780e-05,5.900984e-05,5.888598e-05,5.879134e-05,5.871507e-05,5.855780e-05,5.853588e-05,5.834919e-05,5.831101e-05,5.815571e-05,5.805264e-05,5.795611e-05,5.778420e-05,5.775104e-05,5.754108e-05,5.750707e-05,5.732679e-05,5.722254e-05,5.710868e-05,5.693177e-05,5.688723e-05,5.666291e-05,5.663581e-05,5.643612e-05,5.633565e-05,5.620726e-05,5.603217e-05,5.597670e-05,5.574478e-05,5.572617e-05,5.551181e-05,5.541840e-05,5.527810e-05,5.510952e-05,5.504391e-05,5.480951e-05,5.480013e-05,5.457513e-05,5.449080e-05,5.434099e-05,5.418202e-05,5.410729e-05,5.387424e-05,5.356787e-05,5.326327e-05,5.296079e-05,5.266070e-05,5.236328e-05,5.206876e-05,5.177735e-05,5.148922e-05,5.120455e-05,5.092346e-05,5.064609e-05,5.037254e-05,5.010290e-05,4.983724e-05,4.957562e-05,4.931809e-05,4.906469e-05,4.881545e-05,4.857038e-05,4.832950e-05,4.809281e-05,4.786030e-05,4.763197e-05,4.740779e-05
0.000000e+00,4.277833e-09,1.003741e-08,3.560723e-08,8.298275e-08,1.228525e-07,2.924795e-07,3.019894e-07,6.246492e-07,7.502162e-07,1.164630e-06,1.630091e-06,2.010406e-06,3.113504e-06,3.224386e-06,4.792745e-06,5.213980e-06,6.640333e-06,7.766300e-06,8.687198e-06,1.060664e-05,1.087527e-05,1.316685e-05,1.363524e-05,1.553694e-05,1.679419e-05,1.796727e-05,2.004427e-05,2.044282e-05,2.294995e-05,2.335314e-05,2.547551e-05,2.669054e-05,2.800662e-05,3.002699e-05,3.053063e-05,3.303524e-05,3.333393e-05,3.550893e-05,3.658479e-05,3.794110e-05,3.975581e-05,4.032211e-05,4.264348e-05,4.282638e-05,4.489793e-05,4.577957e-05,4.707939e-05,4.860205e-05,4.918298e-05,5.120506e-05,5.128420e-05,5.314280e-05,5.381935e-05,5.499435e-05,5.620368e-05,5.675881e-05,5.843595e-05,6.002622e-05,6.051691e-05,6.153063e-05,6.244902e-05,6.295057e-05,6.423586e-05,6.428778e-05,6.554432e-05,6.588200e-05,6.672248e-05,6.739276e-05,6.782470e-05,6.877388e-05,6.885355e-05,6.981166e-05,7.003138e-05,7.070173e-05,7.117145e-05,7.152645e-05,7.220029e-05,7.228852e-05,7.299060e-05,7.312405e-05,7.363532e-05,7.394876e-05,7.422524e-05,7.468026e-05,7.476287e-05,7.525066e-05,7.532424e-05,7.569096e-05,7.588612e-05,7.608607e-05,7.637111e-05,7.643820e-05,7.674946e-05,7.678417e-05,7.702192e-05,7.713002e-05,7.725754e-05,7.741314e-05,7.745821e-05,7.762574e-05,7.763777e-05,7.776187e-05,7.780790e-05,7.786825e-05,7.792733e-05,7.794648e-05,7.799808e-05,7.799962e-05,7.802450e-05,7.802812e-05,7.802713e-05,7.801600e-05,7.800728e-05,7.796623e-05,7.790518e-05,7.788161e-05,7.782528e-05,7.776475e-05,7.772762e-05,7.761813e-05,7.761325e-05,7.748316e-05,7.744404e-05,7.733830e-05,7.724467e-05,7.717957e-05,7.702203e-05,7.700783e-05,7.682390e-05,7.677803e-05,7.662856e-05,7.651446e-05,7.642254e-05,7.623298e-05,7.620655e-05,7.598127e-05,7.593515e-05,7.574731e-05,7.562243e-05,7.550530e-05,7.529620e-05,7.525580e-05,7.499936e-05,7.495773e-05,7.473651e-05,7.460820e-05,7.446772e-05,7.424875e-05,7.419348e-05,7.391423e-05,7.388040e-05,7.363038e-05,7.350413e-05,7.334234e-05,7.312085e-05,7.305048e-05,7.275518e-05,7.273141e-05,7.245676e-05,7.233659e-05,7.215555e-05,7.193714e-05,7.185187e-05,7.154600e-05,7.153372e-05,7.123821e-05,7.112699e-05,7.092878e-05,7.071754e-05,7.061793e-05,7.030592e-05,6.989264e-05,6.947819e-05,6.906299e-05,6.864747e-05,6.823201e-05,6.781696e-05,6.740264e-05,6.698936e-05,6.657740e-05,6.616701e-05,6.575844e-05,6.535189e-05,6.494757e-05,6.454566e-05,6.414634e-05,6.374975e-05,6.335604e-05,6.296533e-05,6.257774e-05,6.219337e-05,6.181231e-05,6.143466e-05,6.106048e-05,6.068984e-05
0.000000e+00,1.979246e-11,1.073303e-10,1.180853e-09,5.265704e-09,1.014387e-08,3.908495e-08,4.096092e-08,1.120796e-07,1.419337e-07,2.436101e-07,3.601729e-07,4.563951e-07,7.421182e-07,7.715849e-07,1.208560e-06,1.333190e-06,1.780082e-06,2.160011e-06,2.487839e-06,3.216506e-06,3.322988e-06,4.270708e-06,4.472307e-06,5.314490e-06,5.889833e-06,6.438210e-06,7.432721e-06,7.626604e-06,8.865178e-06,9.067075e-06,1.014012e-05,1.076114e-05,1.143836e-05,1.248550e-05,1.274772e-05,1.405712e-05,1.421377e-05,1.535670e-05,1.592315e-05,1.663790e-05,1.759483e-05,1.789350e-05,1.911757e-05,1.921398e-05,2.030537e-05,2.076949e-05,2.145327e-05,2.225351e-05,2.255859e-05,2.361951e-05,2.366101e-05,2.463490e-05,2.498918e-05,2.560423e-05,2.623701e-05,2.652743e-05,2.740486e-05,2.823715e-05,2.849409e-05,2.902519e-05,2.950679e-05,2.977003e-05,3.044557e-05,3.047290e-05,3.113507e-05,3.131337e-05,3.175792e-05,3.211333e-05,3.234284e-05,3.284869e-05,3.289125e-05,3.340459e-05,3.352273e-05,3.388428e-05,3.413873e-05,3.433172e-05,3.469988e-05,3.474828e-05,3.513532e-05,3.520931e-05,3.549417e-05,3.567005e-05,3.582609e-05,3.608502e-05,3.613234e-05,3.641412e-05,3.645701e-05,3.667258e-05,3.678870e-05,3.690886e-05,3.708263e-05,3.712402e-05,3.731911e-05,3.734122e-05,3.749512e-05,3.756677e-05,3.765302e-05,3.776146e-05,3.779371e-05,3.791808e-05,3.792736e-05,3.802698e-05,3.806639e-05,3.812122e-05,3.818042e-05,3.820156e-05,3.826874e-05,3.827117e-05,3.832348e-05,3.834027e-05,3.836645e-05,3.838928e-05,3.839830e-05,3.841963e-05,3.843105e-05,3.843270e-05,3.843310e-05,3.842975e-05,3.842633e-05,3.841201e-05,3.841125e-05,3.838834e-05,3.838059e-05,3.835807e-05,3.833656e-05,3.832088e-05,3.828091e-05,3.827719e-05,3.822740e-05,3.821458e-05,3.817189e-05,3.813844e-05,3.811102e-05,3.805331e-05,3.804515e-05,3.797460e-05,3.795995e-05,3.789967e-05,3.785909e-05,3.782068e-05,3.775139e-05,3.773791e-05,3.765161e-05,3.763749e-05,3.756205e-05,3.751797e-05,3.746946e-05,3.739338e-05,3.737409e-05,3.727614e-05,3.726423e-05,3.717583e-05,3.713099e-05,3.707335e-05,3.699413e-05,3.696889e-05,3.686263e-05,3.685406e-05,3.675473e-05,3.671115e-05,3.664536e-05,3.656578e-05,3.653466e-05,3.642279e-05,3.641829e-05,3.630987e-05,3.626898e-05,3.619603e-05,3.611816e-05,3.608140e-05,3.596608e-05,3.581301e-05,3.565918e-05,3.550481e-05,3.535009e-05,3.519522e-05,3.504037e-05,3.488570e-05,3.473135e-05,3.457747e-05,3.442417e-05,3.427158e-05,3.411980e-05,3.396893e-05,3.381906e-05,3.367026e-05,3.352262e-05,3.337620e-05,3.323107e-05,3.308727e-05,3.294486e-05,3.280388e-05,3.266437e-05,3.252638e-05,3.238992e-05
0.000000e+00,1.415111e-12,9.639133e-12,1.676653e-10,1.114641e-09,2.653503e-09,1.722836e-08,1.842848e-08,8.154407e-08,1.169598e-07,2.714563e-07,5.064570e-07,7.429124e-07,1.651956e-06,1.762441e-06,3.750275e-06,4.435429e-06,7.326008e-06,1.033315e-05,1.335481e-05,2.159700e-05,2.298908e-05,3.769974e-05,4.140402e-05,5.929298e-05,7.393948e-05,8.991080e-05,1.243969e-04,1.320159e-04,1.883628e-04,1.988976e-04,2.619573e-04,3.043446e-04,3.560069e-04,4.482238e-04,4.738641e-04,6.189657e-04,6.383730e-04,7.947681e-04,8.827297e-04,1.004684e-03,1.189073e-03,1.252016e-03,1.539900e-03,1.564772e-03,1.871242e-03,2.016546e-03,2.248668e-03,2.550255e-03,2.674478e-03,3.150603e-03,3.170718e-03,3.678577e-03,3.881567e-03,4.259506e-03,4.685143e-03,4.894054e-03,5.582436e-03,6.324411e-03,6.573062e-03,7.119292e-03,7.655279e-03,7.965954e-03,8.826040e-03,8.862858e-03,9.808070e-03,1.008108e-02,1.079929e-02,1.141503e-02,1.183389e-02,1.282153e-02,1.290895e-02,1.402126e-02,1.429338e-02,1.516742e-02,1.582273e-02,1.634384e-02,1.740116e-02,1.754679e-02,1.877242e-02,1.901992e-02,2.001683e-02,2.067003e-02,2.127607e-02,2.234242e-02,2.254622e-02,2.382338e-02,2.402812e-02,2.510373e-02,2.571832e-02,2.638351e-02,2.740449e-02,2.765911e-02,2.892702e-02,2.907850e-02,3.018392e-02,3.073265e-02,3.142664e-02,3.235977e-02,3.265219e-02,3.385778e-02,3.395328e-02,3.504081e-02,3.550717e-02,3.619891e-02,3.701606e-02,3.732988e-02,3.843174e-02,3.847518e-02,3.950272e-02,3.988041e-02,4.054127e-02,4.122825e-02,4.154601e-02,4.251578e-02,4.344960e-02,4.374070e-02,4.434667e-02,4.490122e-02,4.520637e-02,4.599610e-02,4.602824e-02,4.681199e-02,4.702458e-02,4.755745e-02,4.798635e-02,4.826462e-02,4.888150e-02,4.893361e-02,4.956466e-02,4.971050e-02,5.015811e-02,5.047417e-02,5.071439e-02,5.117361e-02,5.123405e-02,5.171771e-02,5.181018e-02,5.216604e-02,5.238547e-02,5.257981e-02,5.290126e-02,5.295983e-02,5.330696e-02,5.335950e-02,5.362209e-02,5.376227e-02,5.390617e-02,5.411173e-02,5.416017e-02,5.438507e-02,5.441015e-02,5.458188e-02,5.465984e-02,5.475163e-02,5.486316e-02,5.489533e-02,5.501400e-02,5.502245e-02,5.510870e-02,5.514009e-02,5.518043e-02,5.521842e-02,5.523020e-02,5.525902e-02,5.525976e-02,5.526789e-02,5.526638e-02,5.525777e-02,5.524053e-02,5.522962e-02,5.518438e-02,5.510004e-02,5.498956e-02,5.485492e-02,5.469801e-02,5.452065e-02,5.432457e-02,5.411144e-02,5.388283e-02,5.364023e-02,5.338507e-02,5.311869e-02,5.284234e-02,5.255722e-02,5.226445e-02,5.196505e-02,5.166003e-02,5.135028e-02,5.103666e-02,5.071996e-02,5.040091e-02,5.008020e-02,4.975844e-02,4.943623e-02,4.911409e-02
0.000000e+00,1.638121e-10,6.887682e-10,4.883166e-09,1.594005e-08,2.664981e-08,7.684574e-08,7.974630e-08,1.782054e-07,2.158859e-07,3.369022e-07,4.679819e-07,5.727989e-07,8.746259e-07,9.052519e-07,1.353724e-06,1.480321e-06,1.931085e-06,2.310583e-06,2.634962e-06,3.343909e-06,3.445980e-06,4.336089e-06,4.521144e-06,5.278341e-06,5.781541e-06,6.251205e-06,7.080133e-06,7.238539e-06,8.228135e-06,8.386011e-06,9.210388e-06,9.676905e-06,1.017745e-05,1.093570e-05,1.112274e-05,1.204071e-05,1.214880e-05,1.292673e-05,1.330547e-05,1.377707e-05,1.439763e-05,1.458880e-05,1.535978e-05,1.541965e-05,1.608861e-05,1.636815e-05,1.677454e-05,1.724174e-05,1.741742e-05,1.801759e-05,1.804072e-05,1.857578e-05,1.876666e-05,1.909311e-05,1.942223e-05,1.957091e-05,2.001074e-05,2.041429e-05,2.053606e-05,2.078336e-05,2.100230e-05,2.111975e-05,2.141369e-05,2.142534e-05,2.170195e-05,2.177445e-05,2.195137e-05,2.208871e-05,2.217536e-05,2.236040e-05,2.237558e-05,2.255365e-05,2.259326e-05,2.271110e-05,2.279081e-05,2.284939e-05,2.295632e-05,2.296988e-05,2.307387e-05,2.309279e-05,2.316253e-05,2.320295e-05,2.323699e-05,2.328933e-05,2.329830e-05,2.334745e-05,2.335424e-05,2.338534e-05,2.339978e-05,2.341281e-05,2.342783e-05,2.343067e-05,2.343963e-05,2.344014e-05,2.344038e-05,2.343827e-05,2.343355e-05,2.342365e-05,2.341973e-05,2.339945e-05,2.339757e-05,2.337323e-05,2.336119e-05,2.334154e-05,2.331558e-05,2.330481e-05,2.326343e-05,2.326169e-05,2.321780e-05,2.320040e-05,2.316825e-05,2.313249e-05,2.311511e-05,2.305869e-05,2.299925e-05,2.297964e-05,2.293707e-05,2.289594e-05,2.287238e-05,2.280812e-05,2.280540e-05,2.273636e-05,2.271668e-05,2.266543e-05,2.262205e-05,2.259281e-05,2.252464e-05,2.251865e-05,2.244313e-05,2.242482e-05,2.236638e-05,2.232292e-05,2.228855e-05,2.221926e-05,2.220975e-05,2.213012e-05,2.211410e-05,2.204975e-05,2.200770e-05,2.196875e-05,2.190030e-05,2.188722e-05,2.180526e-05,2.179211e-05,2.172293e-05,2.168331e-05,2.164033e-05,2.157409e-05,2.155751e-05,2.147457e-05,2.146461e-05,2.139154e-05,2.135500e-05,2.130850e-05,2.124542e-05,2.122551e-05,2.114260e-05,2.113597e-05,2.105983e-05,2.102677e-05,2.097725e-05,2.091792e-05,2.089489e-05,2.081280e-05,2.080952e-05,2.073100e-05,2.070164e-05,2.064955e-05,2.059436e-05,2.056845e-05,2.048775e-05,2.038188e-05,2.027680e-05,2.017256e-05,2.006921e-05,1.996679e-05,1.986533e-05,1.976487e-05,1.966545e-05,1.956707e-05,1.946978e-05,1.937358e-05,1.927849e-05,1.918453e-05,1.909172e-05,1.900006e-05,1.890955e-05,1.882022e-05,1.873205e-05,1.864506e-05,1.855925e-05,1.847461e-05,1.839115e-05,1.830886e-05,1.822774e-05
0.000000e+00,3.287812e-12,1.963122e-11,2.603799e-10,1.356633e-09,2.830314e-09,1.317137e-08,1.390327e-08,4.489451e-08,5.929564e-08,1.126179e-07,1.800001e-07,2.395859e-07,4.328960e-07,4.540034e-07,7.868344e-07,8.874212e-07,1.263365e-06,1.597182e-06,1.892467e-06,2.562892e-06,2.661749e-06,3.542014e-06,3.728186e-06,4.496625e-06,5.010379e-06,5.489971e-06,6.332314e-06,6.492265e-06,7.480848e-06,7.636589e-06,8.439531e-06,8.885646e-06,9.357145e-06,1.005651e-05,1.022616e-05,1.104160e-05,1.113569e-05,1.180035e-05,1.211576e-05,1.250071e-05,1.299359e-05,1.314218e-05,1.372522e-05,1.376937e-05,1.425115e-05,1.444596e-05,1.472200e-05,1.502835e-05,1.514037e-05,1.550926e-05,1.552303e-05,1.583196e-05,1.593749e-05,1.611193e-05,1.627968e-05,1.635265e-05,1.655757e-05,1.673000e-05,1.677884e-05,1.687311e-05,1.695068e-05,1.698985e-05,1.707966e-05,1.708296e-05,1.715498e-05,1.717169e-05,1.720819e-05,1.723196e-05,1.724467e-05,1.726505e-05,1.726627e-05,1.727466e-05,1.727488e-05,1.727134e-05,1.726486e-05,1.725763e-05,1.723790e-05,1.723470e-05,1.720358e-05,1.719646e-05,1.716521e-05,1.714266e-05,1.712040e-05,1.707831e-05,1.706987e-05,1.701427e-05,1.700494e-05,1.695416e-05,1.692387e-05,1.689007e-05,1.683623e-05,1.682244e-05,1.675167e-05,1.674299e-05,1.667814e-05,1.664500e-05,1.660217e-05,1.654298e-05,1.652405e-05,1.644404e-05,1.643757e-05,1.636239e-05,1.632932e-05,1.627931e-05,1.621872e-05,1.619500e-05,1.610963e-05,1.610620e-05,1.602337e-05,1.599213e-05,1.593637e-05,1.587686e-05,1.584876e-05,1.576067e-05,1.567220e-05,1.564383e-05,1.558346e-05,1.552658e-05,1.549455e-05,1.540912e-05,1.540556e-05,1.531656e-05,1.529165e-05,1.522763e-05,1.517433e-05,1.513883e-05,1.505731e-05,1.505023e-05,1.496189e-05,1.494073e-05,1.487386e-05,1.482471e-05,1.478618e-05,1.470936e-05,1.469891e-05,1.461208e-05,1.459477e-05,1.452573e-05,1.448102e-05,1.443989e-05,1.436821e-05,1.435460e-05,1.426988e-05,1.425638e-05,1.418577e-05,1.414561e-05,1.410228e-05,1.403595e-05,1.401943e-05,1.393726e-05,1.392744e-05,1.385576e-05,1.382013e-05,1.377497e-05,1.371405e-05,1.369490e-05,1.361555e-05,1.360923e-05,1.353694e-05,1.350570e-05,1.345908e-05,1.340348e-05,1.338197e-05,1.330564e-05,1.330260e-05,1.323007e-05,1.320306e-05,1.315528e-05,1.310487e-05,1.308128e-05,1.300806e-05,1.291261e-05,1.281855e-05,1.272586e-05,1.263455e-05,1.254463e-05,1.245607e-05,1.236889e-05,1.228307e-05,1.219861e-05,1.211549e-05,1.203371e-05,1.195325e-05,1.187412e-05,1.179628e-05,1.171974e-05,1.164447e-05,1.157046e-05,1.149770e-05,1.142618e-05,1.135587e-05,1.128677e-05,1.121885e-05,1.115210e-05,1.108651e-05
0.000000e+00,1.696204e-09,4.522126e-09,1.827894e-08,4.502372e-08,6.784553e-08,1.648710e-07,1.702735e-07,3.506507e-07,4.194587e-07,6.425097e-07,8.882257e-07,1.087063e-06,1.662255e-06,1.720268e-06,2.548976e-06,2.774392e-06,3.546277e-06,4.164142e-06,4.674437e-06,5.750638e-06,5.902486e-06,7.208604e-06,7.477744e-06,8.577100e-06,9.309170e-06,9.995548e-06,1.121767e-05,1.145307e-05,1.293949e-05,1.317934e-05,1.444500e-05,1.517162e-05,1.596010e-05,1.717299e-05,1.747575e-05,1.898345e-05,1.916346e-05,2.047536e-05,2.112496e-05,2.194446e-05,2.304189e-05,2.338457e-05,2.479042e-05,2.490126e-05,2.615757e-05,2.669277e-05,2.748246e-05,2.840862e-05,2.876230e-05,2.999503e-05,3.004334e-05,3.117917e-05,3.159338e-05,3.231386e-05,3.305700e-05,3.339872e-05,3.443370e-05,3.541918e-05,3.572417e-05,3.635576e-05,3.692989e-05,3.724429e-05,3.805306e-05,3.808583e-05,3.888156e-05,3.909632e-05,3.963275e-05,4.006267e-05,4.034079e-05,4.095528e-05,4.100708e-05,4.163307e-05,4.177747e-05,4.222022e-05,4.253261e-05,4.277000e-05,4.322405e-05,4.328387e-05,4.376326e-05,4.385512e-05,4.420959e-05,4.442908e-05,4.462425e-05,4.494908e-05,4.500859e-05,4.536393e-05,4.541818e-05,4.569155e-05,4.583933e-05,4.599270e-05,4.621536e-05,4.626857e-05,4.652033e-05,4.654897e-05,4.674909e-05,4.684275e-05,4.695594e-05,4.709914e-05,4.714192e-05,4.730802e-05,4.732048e-05,4.745521e-05,4.750900e-05,4.758441e-05,4.766680e-05,4.769651e-05,4.779236e-05,4.779587e-05,4.787278e-05,4.789811e-05,4.793855e-05,4.797529e-05,4.799041e-05,4.802910e-05,4.805529e-05,4.806114e-05,4.806964e-05,4.807291e-05,4.807279e-05,4.806583e-05,4.806534e-05,4.804785e-05,4.804124e-05,4.802090e-05,4.800039e-05,4.798499e-05,4.794449e-05,4.794064e-05,4.788832e-05,4.787463e-05,4.782850e-05,4.779188e-05,4.776160e-05,4.769723e-05,4.768806e-05,4.760827e-05,4.759160e-05,4.752261e-05,4.747587e-05,4.743145e-05,4.735087e-05,4.733513e-05,4.723398e-05,4.721737e-05,4.712832e-05,4.707609e-05,4.701845e-05,4.692771e-05,4.690465e-05,4.678721e-05,4.677288e-05,4.666637e-05,4.661219e-05,4.654239e-05,4.644621e-05,4.641551e-05,4.628594e-05,4.627546e-05,4.615390e-05,4.610044e-05,4.601960e-05,4.592161e-05,4.588322e-05,4.574496e-05,4.573940e-05,4.560499e-05,4.555422e-05,4.546347e-05,4.536644e-05,4.532057e-05,4.517643e-05,4.498451e-05,4.479100e-05,4.459618e-05,4.440032e-05,4.420367e-05,4.400647e-05,4.380893e-05,4.361126e-05,4.341365e-05,4.321627e-05,4.301928e-05,4.282284e-05,4.262708e-05,4.243214e-05,4.223813e-05,4.204516e-05,4.185333e-05,4.166275e-05,4.147348e-05,4.128561e-05,4.109922e-05,4.091436e-05,4.073110e-05,4.054948e-05
0.000000e+00,4.036716e-09,1.046652e-08,4.107149e-08,9.966416e-08,1.492197e-07,3.570983e-07,3.685628e-07,7.458650e-07,8.873317e-07,1.338418e-06,1.825186e-06,2.213912e-06,3.328347e-06,3.440744e-06,5.063194e-06,5.511785e-06,7.072665e-06,8.345559e-06,9.408319e-06,1.167015e-05,1.199057e-05,1.474959e-05,1.531769e-05,1.763253e-05,1.916718e-05,2.060005e-05,2.313556e-05,2.362154e-05,2.667185e-05,2.716110e-05,2.972953e-05,3.119425e-05,3.277591e-05,3.519390e-05,3.579476e-05,3.877207e-05,3.912597e-05,4.169593e-05,4.296286e-05,4.455640e-05,4.668291e-05,4.734537e-05,5.005644e-05,5.026980e-05,5.268462e-05,5.371181e-05,5.522620e-05,5.700106e-05,5.767865e-05,6.004030e-05,6.013286e-05,6.231032e-05,6.310504e-05,6.448854e-05,6.591746e-05,6.657533e-05,6.857149e-05,7.047821e-05,7.106969e-05,7.229693e-05,7.341551e-05,7.402936e-05,7.561306e-05,7.567739e-05,7.724296e-05,7.766682e-05,7.872814e-05,7.958157e-05,8.013510e-05,8.136229e-05,8.146602e-05,8.272313e-05,8.301411e-05,8.390866e-05,8.454211e-05,8.502482e-05,8.595143e-05,8.607384e-05,8.705792e-05,8.724713e-05,8.797925e-05,8.843426e-05,8.884000e-05,8.951775e-05,8.964227e-05,9.038817e-05,9.050242e-05,9.107973e-05,9.139297e-05,9.171895e-05,9.219398e-05,9.230781e-05,9.284821e-05,9.290989e-05,9.334202e-05,9.354501e-05,9.379106e-05,9.410349e-05,9.419711e-05,9.456189e-05,9.458934e-05,9.488708e-05,9.500644e-05,9.517431e-05,9.535850e-05,9.542517e-05,9.564118e-05,9.564912e-05,9.582384e-05,9.588172e-05,9.597460e-05,9.605960e-05,9.609484e-05,9.618593e-05,9.624917e-05,9.626373e-05,9.628583e-05,9.629591e-05,9.629713e-05,9.628523e-05,9.628427e-05,9.624837e-05,9.623435e-05,9.619055e-05,9.614578e-05,9.611187e-05,9.602195e-05,9.601336e-05,9.589601e-05,9.586515e-05,9.576078e-05,9.567758e-05,9.560858e-05,9.546132e-05,9.544031e-05,9.525681e-05,9.521836e-05,9.505892e-05,9.495059e-05,9.484742e-05,9.465981e-05,9.462308e-05,9.438663e-05,9.434772e-05,9.413878e-05,9.401596e-05,9.388019e-05,9.366604e-05,9.361153e-05,9.333342e-05,9.329944e-05,9.304646e-05,9.291754e-05,9.275123e-05,9.252165e-05,9.244827e-05,9.213812e-05,9.211302e-05,9.182129e-05,9.169280e-05,9.149827e-05,9.126213e-05,9.116953e-05,9.083551e-05,9.082204e-05,9.049663e-05,9.037353e-05,9.015333e-05,8.991754e-05,8.980597e-05,8.945496e-05,8.898660e-05,8.851327e-05,8.803569e-05,8.755457e-05,8.707055e-05,8.658426e-05,8.609627e-05,8.560712e-05,8.511732e-05,8.462734e-05,8.413762e-05,8.364858e-05,8.316060e-05,8.267405e-05,8.218927e-05,8.170655e-05,8.122619e-05,8.074846e-05,8.027361e-05,7.980186e-05,7.933343e-05,7.886850e-05,7.840726e-05,7.794987e-05
0.000000e+00,1.778906e-14,1.186320e-13,1.974328e-12,1.260645e-11,2.935523e-11,1.801331e-10,1.922447e-10,8.057790e-10,1.139365e-09,2.554054e-09,4.638879e-09,6.690598e-09,1.434306e-08,1.525536e-08,3.124756e-08,3.661564e-08,5.867329e-08,8.082338e-08,1.024376e-07,1.588820e-07,1.681156e-07,2.616602e-07,2.842454e-07,3.890952e-07,4.706979e-07,5.562248e-07,7.312071e-07,7.683778e-07,1.030193e-06,1.076958e-06,1.345451e-06,1.516617e-06,1.716943e-06,2.055821e-06,2.146394e-06,2.634413e-06,2.696899e-06,3.180496e-06,3.438795e-06,3.783054e-06,4.277199e-06,4.439479e-06,5.146234e-06,5.204824e-06,5.898971e-06,6.211833e-06,6.692656e-06,7.286353e-06,7.521716e-06,8.380179e-06,8.415042e-06,9.261825e-06,9.583674e-06,1.016032e-05,1.077770e-05,1.106936e-05,1.198275e-05,1.289458e-05,1.318510e-05,1.379922e-05,1.437199e-05,1.469146e-05,1.553193e-05,1.556655e-05,1.642019e-05,1.665485e-05,1.724864e-05,1.773223e-05,1.804863e-05,1.875713e-05,1.881743e-05,1.955280e-05,1.972412e-05,2.025300e-05,2.062925e-05,2.091674e-05,2.146994e-05,2.154312e-05,2.213167e-05,2.224482e-05,2.268224e-05,2.295358e-05,2.319502e-05,2.359685e-05,2.367044e-05,2.410918e-05,2.417603e-05,2.451213e-05,2.469313e-05,2.488033e-05,2.515066e-05,2.521497e-05,2.551732e-05,2.555150e-05,2.578877e-05,2.589878e-05,2.603073e-05,2.619580e-05,2.624466e-05,2.643204e-05,2.644593e-05,2.659434e-05,2.665256e-05,2.673302e-05,2.681905e-05,2.684952e-05,2.694525e-05,2.694867e-05,2.702158e-05,2.704456e-05,2.707982e-05,2.710975e-05,2.712125e-05,2.714708e-05,2.715846e-05,2.715924e-05,2.715651e-05,2.714874e-05,2.714225e-05,2.711791e-05,2.711668e-05,2.708072e-05,2.706891e-05,2.703525e-05,2.700375e-05,2.698109e-05,2.692423e-05,2.691899e-05,2.684968e-05,2.683205e-05,2.677382e-05,2.672870e-05,2.669202e-05,2.661560e-05,2.660488e-05,2.651292e-05,2.649399e-05,2.641664e-05,2.636502e-05,2.631650e-05,2.622973e-05,2.621294e-05,2.610635e-05,2.608904e-05,2.599709e-05,2.594380e-05,2.588550e-05,2.579476e-05,2.577189e-05,2.565655e-05,2.564261e-05,2.553974e-05,2.548794e-05,2.542170e-05,2.533131e-05,2.530266e-05,2.518282e-05,2.517321e-05,2.506238e-05,2.501407e-05,2.494150e-05,2.485429e-05,2.482035e-05,2.469907e-05,2.469422e-05,2.457780e-05,2.453417e-05,2.445666e-05,2.437441e-05,2.433575e-05,2.421520e-05,2.405674e-05,2.389925e-05,2.374288e-05,2.358780e-05,2.343413e-05,2.328198e-05,2.313148e-05,2.298269e-05,2.283570e-05,2.269057e-05,2.254737e-05,2.240613e-05,2.226690e-05,2.212972e-05,2.199459e-05,2.186156e-05,2.173062e-05,2.160180e-05,2.147508e-05,2.135048e-05,2.122800e-05,2.110762e-05,2.098934e-05,2.087315e-05
0.000000e+00,4.187757e-12,2.409034e-11,2.969683e-10,1.453757e-09,2.935464e-09,1.260521e-08,1.326344e-08,3.968163e-08,5.134363e-08,9.257915e-08,1.418077e-07,1.835382e-07,3.115455e-07,3.250326e-07,5.302919e-07,5.905460e-07,8.127256e-07,1.009169e-06,1.184208e-06,1.590825e-06,1.652156e-06,2.216889e-06,2.340938e-06,2.871338e-06,3.243166e-06,3.603282e-06,4.267558e-06,4.398441e-06,5.242814e-06,5.381616e-06,6.123804e-06,6.556413e-06,7.030471e-06,7.767911e-06,7.953385e-06,8.884372e-06,8.996285e-06,9.816316e-06,1.022505e-05,1.074303e-05,1.144050e-05,1.165915e-05,1.256013e-05,1.263144e-05,1.344215e-05,1.378893e-05,1.430208e-05,1.490612e-05,1.513742e-05,1.594624e-05,1.597802e-05,1.672711e-05,1.700118e-05,1.747905e-05,1.797351e-05,1.820144e-05,1.889399e-05,1.955665e-05,1.976242e-05,2.018961e-05,2.057927e-05,2.079321e-05,2.134549e-05,2.136793e-05,2.191438e-05,2.206240e-05,2.243321e-05,2.273156e-05,2.292517e-05,2.335470e-05,2.339103e-05,2.383160e-05,2.393366e-05,2.424769e-05,2.447033e-05,2.464015e-05,2.496663e-05,2.500981e-05,2.535750e-05,2.542448e-05,2.568405e-05,2.584576e-05,2.599026e-05,2.623235e-05,2.627694e-05,2.654485e-05,2.658603e-05,2.679478e-05,2.690857e-05,2.702745e-05,2.720165e-05,2.724359e-05,2.744390e-05,2.746690e-05,2.762905e-05,2.770589e-05,2.779972e-05,2.792012e-05,2.795652e-05,2.810008e-05,2.811101e-05,2.823099e-05,2.827994e-05,2.834982e-05,2.842821e-05,2.845712e-05,2.855343e-05,2.855706e-05,2.863926e-05,2.866768e-05,2.871509e-05,2.876119e-05,2.878140e-05,2.883865e-05,2.888727e-05,2.890108e-05,2.892769e-05,2.894943e-05,2.896030e-05,2.898462e-05,2.898549e-05,2.900365e-05,2.900751e-05,2.901511e-05,2.901892e-05,2.902022e-05,2.901960e-05,2.901932e-05,2.901271e-05,2.901031e-05,2.900069e-05,2.899171e-05,2.898356e-05,2.896447e-05,2.896159e-05,2.893504e-05,2.892920e-05,2.890417e-05,2.888648e-05,2.886921e-05,2.883687e-05,2.883041e-05,2.878798e-05,2.878087e-05,2.874213e-05,2.871897e-05,2.869307e-05,2.865164e-05,2.864099e-05,2.858608e-05,2.857931e-05,2.852851e-05,2.850238e-05,2.846845e-05,2.842124e-05,2.840606e-05,2.834150e-05,2.833625e-05,2.827492e-05,2.824775e-05,2.820645e-05,2.815606e-05,2.813623e-05,2.806439e-05,2.806148e-05,2.799104e-05,2.796429e-05,2.791631e-05,2.786476e-05,2.784031e-05,2.776314e-05,2.765966e-05,2.755454e-05,2.744798e-05,2.734018e-05,2.723132e-05,2.712157e-05,2.701109e-05,2.690002e-05,2.678850e-05,2.667666e-05,2.656463e-05,2.645251e-05,2.634041e-05,2.622843e-05,2.611665e-05,2.600517e-05,2.589406e-05,2.578339e-05,2.567323e-05,2.556364e-05,2.545469e-05,2.534641e-05,2.523887e-05,2.513210e-05
0.000000e+00,3.609189e-09,8.328494e-09,2.886731e-08,6.586526e-08,9.614585e-08,2.178780e-07,2.244073e-07,4.316505e-07,5.062201e-07,7.353645e-07,9.711022e-07,1.152852e-06,1.652072e-06,1.701133e-06,2.395882e-06,2.585849e-06,3.248784e-06,3.797405e-06,4.263926e-06,5.287443e-06,5.436009e-06,6.752462e-06,7.031701e-06,8.197427e-06,8.994166e-06,9.754611e-06,1.113789e-05,1.140835e-05,1.314372e-05,1.342798e-05,1.494636e-05,1.583143e-05,1.680240e-05,1.831666e-05,1.869845e-05,2.062165e-05,2.085367e-05,2.255982e-05,2.341439e-05,2.450155e-05,2.597313e-05,2.643631e-05,2.835453e-05,2.850701e-05,3.024766e-05,3.099616e-05,3.210818e-05,3.342387e-05,3.392959e-05,3.570638e-05,3.577646e-05,3.743396e-05,3.804310e-05,3.910862e-05,4.021563e-05,4.072743e-05,4.228818e-05,4.378931e-05,4.425690e-05,4.522981e-05,4.611965e-05,4.660916e-05,4.787572e-05,4.792728e-05,4.918442e-05,4.952556e-05,5.038116e-05,5.107055e-05,5.151833e-05,5.251279e-05,5.259696e-05,5.361825e-05,5.385498e-05,5.458356e-05,5.510021e-05,5.549432e-05,5.625189e-05,5.635207e-05,5.715841e-05,5.731365e-05,5.791497e-05,5.828925e-05,5.862340e-05,5.918253e-05,5.928540e-05,5.990262e-05,5.999733e-05,6.047674e-05,6.073750e-05,6.100942e-05,6.140683e-05,6.150230e-05,6.195697e-05,6.200904e-05,6.237502e-05,6.254776e-05,6.275799e-05,6.302652e-05,6.310740e-05,6.342472e-05,6.344876e-05,6.371137e-05,6.381777e-05,6.396877e-05,6.413673e-05,6.419825e-05,6.440113e-05,6.440871e-05,6.457868e-05,6.463663e-05,6.473213e-05,6.482331e-05,6.486266e-05,6.497143e-05,6.505954e-05,6.508355e-05,6.512806e-05,6.516211e-05,6.517802e-05,6.520944e-05,6.521041e-05,6.522617e-05,6.522774e-05,6.522624e-05,6.521911e-05,6.521148e-05,6.518555e-05,6.518276e-05,6.514087e-05,6.512895e-05,6.508660e-05,6.505109e-05,6.502070e-05,6.495366e-05,6.494389e-05,6.485685e-05,6.483828e-05,6.476024e-05,6.470644e-05,6.465470e-05,6.455957e-05,6.454082e-05,6.441917e-05,6.439903e-05,6.429033e-05,6.422607e-05,6.415479e-05,6.404190e-05,6.401308e-05,6.386567e-05,6.384762e-05,6.371302e-05,6.364430e-05,6.355556e-05,6.343293e-05,6.339371e-05,6.322786e-05,6.321443e-05,6.305839e-05,6.298967e-05,6.288567e-05,6.275948e-05,6.271002e-05,6.253178e-05,6.252460e-05,6.235124e-05,6.228575e-05,6.216871e-05,6.204359e-05,6.198446e-05,6.179875e-05,6.155179e-05,6.130326e-05,6.105365e-05,6.080342e-05,6.055300e-05,6.030278e-05,6.005313e-05,5.980438e-05,5.955683e-05,5.931078e-05,5.906648e-05,5.882417e-05,5.858405e-05,5.834633e-05,5.811118e-05,5.787877e-05,5.764922e-05,5.742267e-05,5.719924e-05,5.697901e-05,5.676207e-05,5.654850e-05,5.633836e-05,5.613171e-05
0.000000e+00,5.203569e-09,1.268902e-08,4.664906e-08,1.094906e-07,1.615738e-07,3.735717e-07,3.850178e-07,7.506145e-07,8.829619e-07,1.291449e-06,1.713873e-06,2.040757e-06,2.943052e-06,3.032041e-06,4.297787e-06,4.645663e-06,5.865641e-06,6.882347e-06,7.751916e-06,9.675012e-06,9.955786e-06,1.245945e-05,1.299376e-05,1.523449e-05,1.677414e-05,1.824893e-05,2.094301e-05,2.147132e-05,2.487199e-05,2.543076e-05,2.842302e-05,3.017307e-05,3.209785e-05,3.510980e-05,3.587117e-05,3.971874e-05,4.018434e-05,4.361759e-05,4.534369e-05,4.754605e-05,5.053900e-05,5.148394e-05,5.541273e-05,5.572612e-05,5.931558e-05,6.086603e-05,6.317744e-05,6.592507e-05,6.698502e-05,7.072675e-05,7.087490e-05,7.439274e-05,7.569230e-05,7.797465e-05,8.035877e-05,8.146561e-05,8.486007e-05,8.815368e-05,8.918577e-05,9.134316e-05,9.332867e-05,9.442620e-05,9.728439e-05,9.740131e-05,1.002677e-04,1.010508e-04,1.030253e-04,1.046278e-04,1.056745e-04,1.080168e-04,1.082162e-04,1.106515e-04,1.112203e-04,1.129820e-04,1.142421e-04,1.152097e-04,1.170864e-04,1.173364e-04,1.193644e-04,1.197584e-04,1.212961e-04,1.222633e-04,1.231339e-04,1.246069e-04,1.248803e-04,1.265379e-04,1.267951e-04,1.281093e-04,1.288338e-04,1.295972e-04,1.307291e-04,1.310041e-04,1.323327e-04,1.324870e-04,1.335856e-04,1.341135e-04,1.347653e-04,1.356146e-04,1.358745e-04,1.369156e-04,1.369960e-04,1.378911e-04,1.382635e-04,1.388034e-04,1.394225e-04,1.396549e-04,1.404479e-04,1.404785e-04,1.411847e-04,1.414366e-04,1.418674e-04,1.423019e-04,1.424983e-04,1.430794e-04,1.436127e-04,1.437736e-04,1.441003e-04,1.443892e-04,1.445440e-04,1.449305e-04,1.449458e-04,1.453074e-04,1.454017e-04,1.456307e-04,1.458069e-04,1.459172e-04,1.461498e-04,1.461687e-04,1.463867e-04,1.464343e-04,1.465729e-04,1.466637e-04,1.467286e-04,1.468417e-04,1.468554e-04,1.469546e-04,1.469712e-04,1.470275e-04,1.470555e-04,1.470755e-04,1.470975e-04,1.470999e-04,1.471017e-04,1.471000e-04,1.470823e-04,1.470657e-04,1.470427e-04,1.469972e-04,1.469839e-04,1.469071e-04,1.468967e-04,1.468133e-04,1.467668e-04,1.467033e-04,1.466095e-04,1.465781e-04,1.464387e-04,1.464270e-04,1.462858e-04,1.462211e-04,1.461204e-04,1.459939e-04,1.459431e-04,1.457547e-04,1.457470e-04,1.455560e-04,1.454821e-04,1.453477e-04,1.452009e-04,1.451304e-04,1.449048e-04,1.445953e-04,1.442736e-04,1.439412e-04,1.435990e-04,1.432484e-04,1.428903e-04,1.425257e-04,1.421556e-04,1.417808e-04,1.414022e-04,1.410205e-04,1.406365e-04,1.402508e-04,1.398641e-04,1.394770e-04,1.390899e-04,1.387035e-04,1.383181e-04,1.379343e-04,1.375523e-04,1.371727e-04,1.367957e-04,1.364217e-04,1.360509e-04
0.000000e+00,2.543420e-11,1.152203e-10,9.213943e-10,3.251445e-09,5.618541e-09,1.723496e-08,1.792003e-08,4.150425e-08,5.060212e-08,7.980283e-08,1.112030e-07,1.360677e-07,2.063905e-07,2.134269e-07,3.148410e-07,3.430563e-07,4.428379e-07,5.267639e-07,5.989670e-07,7.596871e-07,7.832487e-07,9.941508e-07,1.039313e-06,1.229148e-06,1.359914e-06,1.485358e-06,1.714854e-06,1.759895e-06,2.049958e-06,2.097627e-06,2.352832e-06,2.501981e-06,2.665864e-06,2.921862e-06,2.986466e-06,3.312130e-06,3.351435e-06,3.640464e-06,3.785193e-06,3.969223e-06,4.218083e-06,4.296336e-06,4.619934e-06,4.645618e-06,4.938359e-06,5.063952e-06,5.250178e-06,5.469906e-06,5.554176e-06,5.849352e-06,5.860964e-06,6.134908e-06,6.235229e-06,6.410230e-06,6.591370e-06,6.674873e-06,6.928542e-06,7.171073e-06,7.246319e-06,7.402414e-06,7.544616e-06,7.622608e-06,7.823621e-06,7.831778e-06,8.030111e-06,8.083734e-06,8.217847e-06,8.325517e-06,8.395265e-06,8.549643e-06,8.562675e-06,8.720410e-06,8.756865e-06,8.868816e-06,8.947982e-06,9.008252e-06,9.123823e-06,9.139080e-06,9.261663e-06,9.285222e-06,9.376362e-06,9.433008e-06,9.483531e-06,9.567988e-06,9.583517e-06,9.676660e-06,9.690950e-06,9.763290e-06,9.802653e-06,9.843726e-06,9.903822e-06,9.918275e-06,9.987232e-06,9.995144e-06,1.005088e-05,1.007727e-05,1.010949e-05,1.015082e-05,1.016332e-05,1.021262e-05,1.021637e-05,1.025762e-05,1.027447e-05,1.029856e-05,1.032564e-05,1.033564e-05,1.036908e-05,1.037034e-05,1.039906e-05,1.040905e-05,1.042578e-05,1.044217e-05,1.044940e-05,1.047010e-05,1.048804e-05,1.049322e-05,1.050336e-05,1.051186e-05,1.051622e-05,1.052636e-05,1.052674e-05,1.053506e-05,1.053701e-05,1.054130e-05,1.054409e-05,1.054557e-05,1.054787e-05,1.054800e-05,1.054868e-05,1.054859e-05,1.054771e-05,1.054648e-05,1.054519e-05,1.054176e-05,1.054120e-05,1.053585e-05,1.053462e-05,1.052919e-05,1.052524e-05,1.052132e-05,1.051382e-05,1.051230e-05,1.050220e-05,1.050049e-05,1.049110e-05,1.048543e-05,1.047905e-05,1.046876e-05,1.046610e-05,1.045233e-05,1.045062e-05,1.043778e-05,1.043114e-05,1.042249e-05,1.041042e-05,1.040653e-05,1.038994e-05,1.038858e-05,1.037275e-05,1.036572e-05,1.035501e-05,1.034192e-05,1.033676e-05,1.031804e-05,1.031728e-05,1.029888e-05,1.029188e-05,1.027932e-05,1.026580e-05,1.025938e-05,1.023909e-05,1.021184e-05,1.018411e-05,1.015594e-05,1.012740e-05,1.009854e-05,1.006940e-05,1.004003e-05,1.001046e-05,9.980743e-06,9.950906e-06,9.920984e-06,9.891008e-06,9.861007e-06,9.831007e-06,9.801034e-06,9.771110e-06,9.741258e-06,9.711497e-06,9.681846e-06,9.652322e-06,9.622941e-06,9.593718e-06,9.564666e-06,9.535798e-06
0.000000e+00,2.679603e-14,1.780364e-13,2.939909e-12,1.862407e-11,4.316145e-11,2.611270e-10,2.785051e-10,1.146832e-09,1.612596e-09,3.558677e-09,6.370488e-09,9.093756e-09,1.901279e-08,2.017728e-08,4.021543e-08,4.682965e-08,7.365977e-08,1.002402e-07,1.259644e-07,1.925769e-07,2.034241e-07,3.129185e-07,3.392902e-07,4.616064e-07,5.567878e-07,6.566104e-07,8.611904e-07,9.047209e-07,1.212135e-06,1.267198e-06,1.584240e-06,1.787162e-06,2.025437e-06,2.430394e-06,2.539020e-06,3.127084e-06,3.202711e-06,3.790489e-06,4.106201e-06,4.528852e-06,5.139202e-06,5.340578e-06,6.222929e-06,6.296461e-06,7.172108e-06,7.569459e-06,8.183379e-06,8.946858e-06,9.251200e-06,1.036936e-05,1.041504e-05,1.153116e-05,1.195873e-05,1.272950e-05,1.356154e-05,1.395711e-05,1.520664e-05,1.647081e-05,1.687726e-05,1.774250e-05,1.855718e-05,1.901491e-05,2.023110e-05,2.028158e-05,2.153649e-05,2.188499e-05,2.277411e-05,2.350627e-05,2.398942e-05,2.508395e-05,2.517796e-05,2.633580e-05,2.660872e-05,2.745956e-05,2.807290e-05,2.854641e-05,2.947043e-05,2.959400e-05,3.060049e-05,3.079673e-05,3.156448e-05,3.204862e-05,3.248499e-05,3.322416e-05,3.336141e-05,3.419347e-05,3.432249e-05,3.498124e-05,3.534371e-05,3.572500e-05,3.628870e-05,3.642532e-05,3.708292e-05,3.715900e-05,3.769871e-05,3.795669e-05,3.827376e-05,3.868424e-05,3.880920e-05,3.930630e-05,3.934445e-05,3.976636e-05,3.994033e-05,4.019076e-05,4.047502e-05,4.058088e-05,4.093814e-05,4.095177e-05,4.126396e-05,4.137383e-05,4.155975e-05,4.174444e-05,4.182689e-05,4.206678e-05,4.228075e-05,4.234396e-05,4.247011e-05,4.257898e-05,4.263614e-05,4.277472e-05,4.278007e-05,4.290310e-05,4.293396e-05,4.300638e-05,4.305933e-05,4.309101e-05,4.315331e-05,4.315805e-05,4.320851e-05,4.321826e-05,4.324337e-05,4.325642e-05,4.326355e-05,4.326987e-05,4.326994e-05,4.326337e-05,4.326057e-05,4.324465e-05,4.323037e-05,4.321454e-05,4.318098e-05,4.317376e-05,4.312300e-05,4.311400e-05,4.306291e-05,4.303094e-05,4.299411e-05,4.293319e-05,4.291718e-05,4.283268e-05,4.282205e-05,4.274113e-05,4.269874e-05,4.264302e-05,4.256437e-05,4.253884e-05,4.242901e-05,4.242000e-05,4.231397e-05,4.226658e-05,4.219410e-05,4.210502e-05,4.206979e-05,4.194138e-05,4.193616e-05,4.180921e-05,4.176077e-05,4.167360e-05,4.157956e-05,4.153483e-05,4.139321e-05,4.120232e-05,4.100746e-05,4.080917e-05,4.060792e-05,4.040418e-05,4.019836e-05,3.999083e-05,3.978196e-05,3.957208e-05,3.936148e-05,3.915043e-05,3.893921e-05,3.872804e-05,3.851713e-05,3.830669e-05,3.809690e-05,3.788793e-05,3.767992e-05,3.747302e-05,3.726735e-05,3.706303e-05,3.686017e-05,3.665885e-05,3.645917e-05
0.000000e+00,3.689863e-10,1.513802e-09,1.033415e-08,3.296055e-08,5.458177e-08,1.546198e-07,1.603662e-07,3.545105e-07,4.285478e-07,6.659245e-07,9.226239e-07,1.127550e-06,1.714226e-06,1.773325e-06,2.624875e-06,2.859796e-06,3.675673e-06,4.339837e-06,4.894085e-06,6.074481e-06,6.241896e-06,7.686442e-06,7.984616e-06,9.202262e-06,1.001172e-05,1.076884e-05,1.211093e-05,1.236840e-05,1.398474e-05,1.424388e-05,1.560264e-05,1.637557e-05,1.720786e-05,1.847401e-05,1.878722e-05,2.032883e-05,2.051077e-05,2.182222e-05,2.246168e-05,2.325850e-05,2.430743e-05,2.463053e-05,2.593274e-05,2.603378e-05,2.716115e-05,2.763123e-05,2.831322e-05,2.909472e-05,2.938773e-05,3.038457e-05,3.042283e-05,3.130458e-05,3.161726e-05,3.214939e-05,3.268204e-05,3.292126e-05,3.362293e-05,3.425746e-05,3.444688e-05,3.482819e-05,3.516156e-05,3.533856e-05,3.577501e-05,3.579210e-05,3.619232e-05,3.629530e-05,3.654269e-05,3.673040e-05,3.684660e-05,3.708797e-05,3.710731e-05,3.732795e-05,3.737527e-05,3.751148e-05,3.759912e-05,3.766075e-05,3.776586e-05,3.777839e-05,3.786691e-05,3.788133e-05,3.792865e-05,3.795090e-05,3.796579e-05,3.797946e-05,3.798036e-05,3.797425e-05,3.797148e-05,3.794923e-05,3.793098e-05,3.790692e-05,3.786164e-05,3.784883e-05,3.777636e-05,3.776676e-05,3.769080e-05,3.764931e-05,3.759334e-05,3.751199e-05,3.748508e-05,3.736706e-05,3.735722e-05,3.724020e-05,3.718718e-05,3.710537e-05,3.700382e-05,3.696338e-05,3.681497e-05,3.680891e-05,3.666081e-05,3.660403e-05,3.650153e-05,3.639060e-05,3.633773e-05,3.616992e-05,3.599860e-05,3.594312e-05,3.582424e-05,3.571124e-05,3.564724e-05,3.547520e-05,3.546799e-05,3.528685e-05,3.523584e-05,3.510415e-05,3.499391e-05,3.492019e-05,3.475007e-05,3.473524e-05,3.454957e-05,3.450493e-05,3.436341e-05,3.425902e-05,3.417697e-05,3.401283e-05,3.399045e-05,3.380405e-05,3.376680e-05,3.361792e-05,3.352130e-05,3.343222e-05,3.327668e-05,3.324710e-05,3.306268e-05,3.303324e-05,3.287908e-05,3.279127e-05,3.269640e-05,3.255100e-05,3.251476e-05,3.233423e-05,3.231265e-05,3.215491e-05,3.207640e-05,3.197686e-05,3.184243e-05,3.180015e-05,3.162484e-05,3.161088e-05,3.145100e-05,3.138188e-05,3.127866e-05,3.115554e-05,3.110788e-05,3.093869e-05,3.093196e-05,3.077113e-05,3.071121e-05,3.060522e-05,3.049337e-05,3.044100e-05,3.027849e-05,3.006663e-05,2.985782e-05,2.965208e-05,2.944945e-05,2.924994e-05,2.905355e-05,2.886028e-05,2.867015e-05,2.848313e-05,2.829922e-05,2.811840e-05,2.794066e-05,2.776597e-05,2.759431e-05,2.742565e-05,2.725997e-05,2.709723e-05,2.693740e-05,2.678045e-05,2.662634e-05,2.647504e-05,2.632651e-05,2.618070e-05,2.603759e-05
0.000000e+00,1.966999e-08,4.534107e-08,1.594472e-07,3.757063e-07,5.628782e-07,1.403694e-06,1.452640e-06,3.193486e-06,3.901908e-06,6.307089e-06,9.060683e-06,1.130884e-05,1.768060e-05,1.830556e-05,2.685358e-05,2.906814e-05,3.636840e-05,4.195575e-05,4.643345e-05,5.554963e-05,5.680507e-05,6.734005e-05,6.945787e-05,7.794445e-05,8.346210e-05,8.854735e-05,9.740886e-05,9.908921e-05,1.095171e-04,1.111718e-04,1.197838e-04,1.246422e-04,1.298479e-04,1.377291e-04,1.396736e-04,1.492311e-04,1.503588e-04,1.584962e-04,1.624752e-04,1.674502e-04,1.740385e-04,1.760793e-04,1.843741e-04,1.850230e-04,1.923290e-04,1.954151e-04,1.999416e-04,2.052108e-04,2.072122e-04,2.141434e-04,2.144137e-04,2.207395e-04,2.230330e-04,2.270060e-04,2.310824e-04,2.329498e-04,2.385784e-04,2.439001e-04,2.455396e-04,2.489234e-04,2.519858e-04,2.536573e-04,2.579380e-04,2.581109e-04,2.622934e-04,2.634172e-04,2.662140e-04,2.684445e-04,2.698819e-04,2.730411e-04,2.733063e-04,2.764960e-04,2.772276e-04,2.794600e-04,2.810244e-04,2.822068e-04,2.844513e-04,2.847451e-04,2.870831e-04,2.875274e-04,2.892289e-04,2.902714e-04,2.911904e-04,2.927013e-04,2.929753e-04,2.945910e-04,2.948343e-04,2.960448e-04,2.966872e-04,2.973436e-04,2.982758e-04,2.984944e-04,2.995036e-04,2.996155e-04,3.003777e-04,3.007210e-04,3.011227e-04,3.016064e-04,3.017448e-04,3.022496e-04,3.022850e-04,3.026426e-04,3.027697e-04,3.029293e-04,3.030727e-04,3.031148e-04,3.032040e-04,3.032057e-04,3.032019e-04,3.031796e-04,3.031130e-04,3.030052e-04,3.029417e-04,3.026923e-04,3.023690e-04,3.022506e-04,3.019758e-04,3.016891e-04,3.015163e-04,3.010164e-04,3.009944e-04,3.004134e-04,3.002406e-04,2.997768e-04,2.993695e-04,2.990879e-04,2.984104e-04,2.983496e-04,2.975651e-04,2.973702e-04,2.967371e-04,2.962555e-04,2.958684e-04,2.950724e-04,2.949617e-04,2.940194e-04,2.938268e-04,2.930439e-04,2.925243e-04,2.920376e-04,2.911701e-04,2.910027e-04,2.899412e-04,2.897691e-04,2.888552e-04,2.883258e-04,2.877467e-04,2.868448e-04,2.866174e-04,2.854692e-04,2.853302e-04,2.843036e-04,2.837857e-04,2.831223e-04,2.822150e-04,2.819269e-04,2.807188e-04,2.806217e-04,2.794994e-04,2.790088e-04,2.782700e-04,2.773794e-04,2.770319e-04,2.757862e-04,2.757363e-04,2.745342e-04,2.740821e-04,2.732769e-04,2.724194e-04,2.720153e-04,2.707505e-04,2.690774e-04,2.674023e-04,2.657270e-04,2.640533e-04,2.623827e-04,2.607169e-04,2.590571e-04,2.574048e-04,2.557611e-04,2.541270e-04,2.525037e-04,2.508920e-04,2.492929e-04,2.477071e-04,2.461352e-04,2.445781e-04,2.430362e-04,2.415101e-04,2.400002e-04,2.385071e-04,2.370310e-04,2.355723e-04,2.341313e-04,2.327082e-04
0.000000e+00,8.300610e-09,1.954290e-08,6.933595e-08,1.606304e-07,2.364629e-07,5.501476e-07,5.673554e-07,1.132754e-06,1.344887e-06,2.022252e-06,2.751787e-06,3.329709e-06,4.943591e-06,5.102172e-06,7.308979e-06,7.895873e-06,9.884003e-06,1.146458e-05,1.276941e-05,1.553187e-05,1.592342e-05,1.931431e-05,2.001845e-05,2.291443e-05,2.486025e-05,2.669681e-05,2.999454e-05,3.063362e-05,3.469572e-05,3.535528e-05,3.885297e-05,4.087327e-05,4.307484e-05,4.647850e-05,4.733106e-05,5.159232e-05,5.210268e-05,5.583097e-05,5.768215e-05,6.002147e-05,6.315977e-05,6.414078e-05,6.816859e-05,6.848632e-05,7.208740e-05,7.362102e-05,7.588252e-05,7.853157e-05,7.954194e-05,8.305624e-05,8.319369e-05,8.641828e-05,8.759031e-05,8.962303e-05,9.171075e-05,9.266737e-05,9.554987e-05,9.827052e-05,9.910710e-05,1.008304e-04,1.023854e-04,1.032317e-04,1.053902e-04,1.054770e-04,1.075698e-04,1.081289e-04,1.095139e-04,1.106108e-04,1.113137e-04,1.128462e-04,1.129740e-04,1.144998e-04,1.148466e-04,1.158962e-04,1.166235e-04,1.171683e-04,1.181892e-04,1.183214e-04,1.193610e-04,1.195558e-04,1.202927e-04,1.207365e-04,1.211223e-04,1.217439e-04,1.218548e-04,1.224947e-04,1.225889e-04,1.230470e-04,1.232822e-04,1.235160e-04,1.238344e-04,1.239063e-04,1.242221e-04,1.242551e-04,1.244673e-04,1.245540e-04,1.246461e-04,1.247398e-04,1.247622e-04,1.248192e-04,1.248213e-04,1.248206e-04,1.248064e-04,1.247699e-04,1.247029e-04,1.246702e-04,1.245246e-04,1.245178e-04,1.243360e-04,1.242581e-04,1.241072e-04,1.239300e-04,1.238409e-04,1.235396e-04,1.232058e-04,1.230925e-04,1.228419e-04,1.225941e-04,1.224499e-04,1.220492e-04,1.220320e-04,1.215902e-04,1.214625e-04,1.211264e-04,1.208383e-04,1.206423e-04,1.201806e-04,1.201397e-04,1.196202e-04,1.194932e-04,1.190854e-04,1.187796e-04,1.185365e-04,1.180432e-04,1.179752e-04,1.174025e-04,1.172867e-04,1.168198e-04,1.165132e-04,1.162283e-04,1.157253e-04,1.156289e-04,1.150228e-04,1.149252e-04,1.144108e-04,1.141153e-04,1.137941e-04,1.132977e-04,1.131732e-04,1.125492e-04,1.124742e-04,1.119228e-04,1.116466e-04,1.112946e-04,1.108164e-04,1.106654e-04,1.100357e-04,1.099853e-04,1.094062e-04,1.091545e-04,1.087773e-04,1.083253e-04,1.081497e-04,1.075238e-04,1.074988e-04,1.069001e-04,1.066761e-04,1.062789e-04,1.058581e-04,1.056606e-04,1.050456e-04,1.042394e-04,1.034402e-04,1.026487e-04,1.018654e-04,1.010907e-04,1.003251e-04,9.956904e-05,9.882281e-05,9.808670e-05,9.736096e-05,9.664581e-05,9.594141e-05,9.524790e-05,9.456540e-05,9.389399e-05,9.323372e-05,9.258463e-05,9.194672e-05,9.131999e-05,9.070441e-05,9.009994e-05,8.950651e-05,8.892406e-05,8.835250e-05
0.000000e+00,1.127953e-09,2.580692e-09,8.824197e-09,1.992344e-08,2.892575e-08,6.467825e-08,6.658123e-08,1.264581e-07,1.478069e-07,2.129380e-07,2.793586e-07,3.302453e-07,4.688596e-07,4.824013e-07,6.727896e-07,7.244171e-07,9.031339e-07,1.049277e-06,1.172248e-06,1.437737e-06,1.475779e-06,1.807485e-06,1.876627e-06,2.160871e-06,2.351215e-06,2.530053e-06,2.848608e-06,2.909912e-06,3.295974e-06,3.358048e-06,3.684271e-06,3.870391e-06,4.071255e-06,4.377758e-06,4.453763e-06,4.829005e-06,4.873427e-06,5.194571e-06,5.351818e-06,5.548430e-06,5.808500e-06,5.888925e-06,6.214761e-06,6.240164e-06,6.524985e-06,6.644550e-06,6.818956e-06,7.020336e-06,7.096310e-06,7.356932e-06,7.367010e-06,7.600908e-06,7.684709e-06,7.828494e-06,7.974089e-06,8.040089e-06,8.236197e-06,8.417400e-06,8.472342e-06,8.584345e-06,8.684022e-06,8.737715e-06,8.872833e-06,8.878215e-06,9.006557e-06,9.040411e-06,9.123452e-06,9.188386e-06,9.229599e-06,9.318350e-06,9.325681e-06,9.412358e-06,9.431831e-06,9.490260e-06,9.530277e-06,9.559986e-06,9.615038e-06,9.622109e-06,9.677166e-06,9.687375e-06,9.725666e-06,9.748453e-06,9.768084e-06,9.799343e-06,9.804867e-06,9.836431e-06,9.841024e-06,9.863166e-06,9.874390e-06,9.885433e-06,9.900258e-06,9.903571e-06,9.917894e-06,9.919370e-06,9.928693e-06,9.932399e-06,9.936240e-06,9.939956e-06,9.940787e-06,9.942566e-06,9.942595e-06,9.941795e-06,9.940817e-06,9.938674e-06,9.935077e-06,9.933390e-06,9.926116e-06,9.925786e-06,9.917013e-06,9.913316e-06,9.906228e-06,9.898006e-06,9.893901e-06,9.880160e-06,9.865124e-06,9.860057e-06,9.848902e-06,9.837946e-06,9.831599e-06,9.814058e-06,9.813308e-06,9.794119e-06,9.788597e-06,9.774115e-06,9.761753e-06,9.753371e-06,9.733695e-06,9.731959e-06,9.709946e-06,9.704580e-06,9.687392e-06,9.674547e-06,9.664355e-06,9.643725e-06,9.640888e-06,9.617042e-06,9.612231e-06,9.592862e-06,9.580170e-06,9.568391e-06,9.547640e-06,9.543669e-06,9.518735e-06,9.514728e-06,9.493622e-06,9.481513e-06,9.468362e-06,9.448070e-06,9.442987e-06,9.417524e-06,9.414464e-06,9.391999e-06,9.380755e-06,9.366438e-06,9.346999e-06,9.340861e-06,9.315290e-06,9.313245e-06,9.289746e-06,9.279540e-06,9.264246e-06,9.245923e-06,9.238807e-06,9.213446e-06,9.212433e-06,9.188176e-06,9.179105e-06,9.163012e-06,9.145967e-06,9.137966e-06,9.113050e-06,9.080377e-06,9.047971e-06,9.015852e-06,8.984040e-06,8.952549e-06,8.921396e-06,8.890592e-06,8.860149e-06,8.830078e-06,8.800387e-06,8.771084e-06,8.742174e-06,8.713665e-06,8.685559e-06,8.657862e-06,8.630575e-06,8.603701e-06,8.577241e-06,8.551197e-06,8.525569e-06,8.500356e-06,8.475558e-06,8.451173e-06,8.427201e-06
0.000000e+00,3.201515e-14,2.119116e-13,3.469778e-12,2.180387e-11,5.030013e-11,3.006016e-10,3.204419e-10,1.302587e-09,1.824960e-09,3.989696e-09,7.086168e-09,1.006239e-08,2.078522e-08,2.203515e-08,4.335159e-08,5.032716e-08,7.841382e-08,1.059946e-07,1.325169e-07,2.006276e-07,2.116555e-07,3.221977e-07,3.486369e-07,4.704672e-07,5.644465e-07,6.623025e-07,8.607692e-07,9.026573e-07,1.195287e-06,1.247136e-06,1.542538e-06,1.728924e-06,1.945247e-06,2.306938e-06,2.402736e-06,2.912879e-06,2.977484e-06,3.472238e-06,3.732806e-06,4.076243e-06,4.561786e-06,4.719388e-06,5.395462e-06,5.450772e-06,6.097762e-06,6.384468e-06,6.819315e-06,7.346797e-06,7.553078e-06,8.292124e-06,8.321700e-06,9.029800e-06,9.293810e-06,9.759860e-06,1.024900e-05,1.047657e-05,1.117479e-05,1.185003e-05,1.206061e-05,1.249845e-05,1.289789e-05,1.311691e-05,1.368013e-05,1.370292e-05,1.425464e-05,1.440279e-05,1.477081e-05,1.506313e-05,1.525072e-05,1.566003e-05,1.569416e-05,1.610135e-05,1.619374e-05,1.647286e-05,1.666566e-05,1.680961e-05,1.707810e-05,1.711275e-05,1.738363e-05,1.743407e-05,1.762378e-05,1.773704e-05,1.783481e-05,1.799081e-05,1.801841e-05,1.817631e-05,1.819931e-05,1.831025e-05,1.836653e-05,1.842193e-05,1.849638e-05,1.851303e-05,1.858518e-05,1.859264e-05,1.863994e-05,1.865890e-05,1.867878e-05,1.869853e-05,1.870312e-05,1.871427e-05,1.871463e-05,1.871346e-05,1.871005e-05,1.870185e-05,1.868740e-05,1.868050e-05,1.865040e-05,1.864902e-05,1.861244e-05,1.859702e-05,1.856746e-05,1.853326e-05,1.851623e-05,1.845943e-05,1.839770e-05,1.837700e-05,1.833162e-05,1.828728e-05,1.826170e-05,1.819142e-05,1.818843e-05,1.811224e-05,1.809044e-05,1.803351e-05,1.798521e-05,1.795261e-05,1.787652e-05,1.786984e-05,1.778549e-05,1.776504e-05,1.769984e-05,1.765138e-05,1.761310e-05,1.753606e-05,1.752551e-05,1.743724e-05,1.741952e-05,1.734847e-05,1.730217e-05,1.725936e-05,1.718435e-05,1.717005e-05,1.708067e-05,1.706637e-05,1.699133e-05,1.694849e-05,1.690213e-05,1.683095e-05,1.681318e-05,1.672455e-05,1.671394e-05,1.663632e-05,1.659765e-05,1.654857e-05,1.648222e-05,1.646134e-05,1.637470e-05,1.636780e-05,1.628870e-05,1.625449e-05,1.620338e-05,1.614240e-05,1.611878e-05,1.603494e-05,1.603161e-05,1.595189e-05,1.592219e-05,1.586966e-05,1.581422e-05,1.578827e-05,1.570774e-05,1.560280e-05,1.549944e-05,1.539768e-05,1.529756e-05,1.519909e-05,1.510228e-05,1.500715e-05,1.491369e-05,1.482191e-05,1.473181e-05,1.464338e-05,1.455662e-05,1.447152e-05,1.438807e-05,1.430625e-05,1.422605e-05,1.414745e-05,1.407044e-05,1.399499e-05,1.392110e-05,1.384873e-05,1.377786e-05,1.370849e-05,1.364057e-05
0.000000e+00,2.608608e-08,6.113770e-08,2.171748e-07,5.082892e-07,7.551257e-07,1.820407e-06,1.880729e-06,3.950604e-06,4.762665e-06,7.434821e-06,1.037406e-05,1.270253e-05,1.907695e-05,1.969062e-05,2.800644e-05,3.015541e-05,3.727522e-05,4.278449e-05,4.724651e-05,5.647086e-05,5.775620e-05,6.868313e-05,7.090943e-05,7.992550e-05,8.586522e-05,9.139080e-05,1.011307e-04,1.029928e-04,1.146516e-04,1.165173e-04,1.262944e-04,1.318578e-04,1.378560e-04,1.470090e-04,1.492805e-04,1.605196e-04,1.618539e-04,1.715335e-04,1.762996e-04,1.822896e-04,1.902760e-04,1.927625e-04,2.029325e-04,2.037325e-04,2.127849e-04,2.166346e-04,2.223097e-04,2.289608e-04,2.315002e-04,2.403529e-04,2.406999e-04,2.488665e-04,2.518486e-04,2.570421e-04,2.624097e-04,2.648822e-04,2.723908e-04,2.795724e-04,2.818024e-04,2.864329e-04,2.906578e-04,2.929783e-04,2.989718e-04,2.992154e-04,3.051514e-04,3.067605e-04,3.107936e-04,3.140411e-04,3.161496e-04,3.208309e-04,3.212271e-04,3.260338e-04,3.271480e-04,3.305777e-04,3.330103e-04,3.348665e-04,3.384360e-04,3.389082e-04,3.427104e-04,3.434428e-04,3.462809e-04,3.480485e-04,3.496273e-04,3.522706e-04,3.527571e-04,3.556777e-04,3.561261e-04,3.583964e-04,3.596318e-04,3.609204e-04,3.628040e-04,3.632566e-04,3.654119e-04,3.656587e-04,3.673931e-04,3.682113e-04,3.692066e-04,3.704768e-04,3.708590e-04,3.723564e-04,3.724696e-04,3.737049e-04,3.742040e-04,3.749105e-04,3.756933e-04,3.759790e-04,3.769159e-04,3.769507e-04,3.777267e-04,3.779888e-04,3.784168e-04,3.788197e-04,3.789913e-04,3.794552e-04,3.798133e-04,3.799063e-04,3.800703e-04,3.801839e-04,3.802308e-04,3.802982e-04,3.802992e-04,3.802798e-04,3.802592e-04,3.801766e-04,3.800762e-04,3.799938e-04,3.797585e-04,3.797351e-04,3.794043e-04,3.793146e-04,3.790050e-04,3.787527e-04,3.785406e-04,3.780809e-04,3.780146e-04,3.774302e-04,3.773066e-04,3.767904e-04,3.764369e-04,3.760984e-04,3.754789e-04,3.753570e-04,3.745691e-04,3.744389e-04,3.737372e-04,3.733231e-04,3.728641e-04,3.721376e-04,3.719522e-04,3.710039e-04,3.708878e-04,3.700216e-04,3.695791e-04,3.690074e-04,3.682167e-04,3.679635e-04,3.668920e-04,3.668051e-04,3.657948e-04,3.653491e-04,3.646737e-04,3.638529e-04,3.635308e-04,3.623675e-04,3.623206e-04,3.611857e-04,3.607561e-04,3.599870e-04,3.591629e-04,3.587728e-04,3.575447e-04,3.559045e-04,3.542455e-04,3.525705e-04,3.508824e-04,3.491836e-04,3.474766e-04,3.457636e-04,3.440468e-04,3.423281e-04,3.406094e-04,3.388925e-04,3.371789e-04,3.354703e-04,3.337679e-04,3.320732e-04,3.303873e-04,3.287114e-04,3.270465e-04,3.253937e-04,3.237537e-04,3.221274e-04,3.205155e-04,3.189188e-04,3.173379e-04
0.000000e+00,5.548291e-14,3.773764e-13,6.544127e-12,4.338180e-11,1.031097e-10,6.666223e-10,7.129325e-10,3.140687e-09,4.499107e-09,1.040841e-08,1.936614e-08,2.835573e-08,6.278253e-08,6.695619e-08,1.417938e-07,1.675025e-07,2.756268e-07,3.876731e-07,4.999223e-07,8.048364e-07,8.561879e-07,1.396908e-06,1.532606e-06,2.185943e-06,2.718864e-06,3.298351e-06,4.544944e-06,4.819627e-06,6.844464e-06,7.221910e-06,9.475104e-06,1.098450e-05,1.281939e-05,1.608335e-05,1.698858e-05,2.209513e-05,2.277621e-05,2.825026e-05,3.131867e-05,3.556179e-05,4.195506e-05,4.413186e-05,5.405495e-05,5.490987e-05,6.541606e-05,7.038011e-05,7.828911e-05,8.852896e-05,9.273563e-05,1.088038e-04,1.094808e-04,1.265276e-04,1.333176e-04,1.459264e-04,1.600775e-04,1.670051e-04,1.897538e-04,2.141485e-04,2.222966e-04,2.401515e-04,2.576146e-04,2.677122e-04,2.955783e-04,2.967684e-04,3.272467e-04,3.360244e-04,3.590643e-04,3.787601e-04,3.921300e-04,4.235682e-04,4.263453e-04,4.616060e-04,4.702121e-04,4.978032e-04,5.184411e-04,5.348249e-04,5.679953e-04,5.725568e-04,6.108836e-04,6.186102e-04,6.496902e-04,6.700213e-04,6.888625e-04,7.219676e-04,7.282882e-04,7.678580e-04,7.741954e-04,8.074659e-04,8.264610e-04,8.470098e-04,8.785333e-04,8.863924e-04,9.255212e-04,9.301954e-04,9.643091e-04,9.812465e-04,1.002674e-03,1.031503e-03,1.040541e-03,1.077840e-03,1.080797e-03,1.114506e-03,1.128982e-03,1.150481e-03,1.175925e-03,1.185713e-03,1.220154e-03,1.221515e-03,1.253765e-03,1.265655e-03,1.286509e-03,1.308264e-03,1.318356e-03,1.349280e-03,1.379260e-03,1.388651e-03,1.408280e-03,1.426343e-03,1.436328e-03,1.462332e-03,1.463396e-03,1.489479e-03,1.496606e-03,1.514577e-03,1.529163e-03,1.538691e-03,1.560011e-03,1.561826e-03,1.583991e-03,1.589167e-03,1.605194e-03,1.616653e-03,1.625449e-03,1.642499e-03,1.644769e-03,1.663170e-03,1.666741e-03,1.680669e-03,1.689418e-03,1.697285e-03,1.710574e-03,1.713037e-03,1.727946e-03,1.730255e-03,1.742033e-03,1.748510e-03,1.755321e-03,1.765390e-03,1.767831e-03,1.779587e-03,1.780948e-03,1.790611e-03,1.795236e-03,1.800927e-03,1.808308e-03,1.810558e-03,1.819527e-03,1.820216e-03,1.827857e-03,1.831015e-03,1.835571e-03,1.840756e-03,1.842692e-03,1.849241e-03,1.849492e-03,1.855242e-03,1.857272e-03,1.860715e-03,1.864146e-03,1.865681e-03,1.870162e-03,1.875367e-03,1.879806e-03,1.883522e-03,1.886557e-03,1.888951e-03,1.890742e-03,1.891968e-03,1.892663e-03,1.892861e-03,1.892593e-03,1.891891e-03,1.890783e-03,1.889296e-03,1.887456e-03,1.885289e-03,1.882816e-03,1.880060e-03,1.877042e-03,1.873781e-03,1.870295e-03,1.866603e-03,1.862720e-03,1.858661e-03,1.854442e-03
0.000000e+00,7.084449e-13,4.809174e-12,8.304811e-11,5.483744e-10,1.300503e-09,8.358885e-09,8.937403e-09,3.913418e-08,5.596601e-08,1.289146e-07,2.390010e-07,3.491078e-07,7.687405e-07,8.194561e-07,1.725171e-06,2.035111e-06,3.334177e-06,4.674884e-06,6.014075e-06,9.638425e-06,1.024737e-05,1.664283e-05,1.824421e-05,2.594060e-05,3.220589e-05,3.900916e-05,5.361867e-05,5.683386e-05,8.049747e-05,8.490189e-05,1.111545e-04,1.287046e-04,1.500017e-04,1.877880e-04,1.982461e-04,2.570727e-04,2.648976e-04,3.276142e-04,3.626383e-04,4.109221e-04,4.833602e-04,5.079413e-04,6.194896e-04,6.290623e-04,7.462397e-04,8.013173e-04,8.887074e-04,1.001220e-03,1.047243e-03,1.222026e-03,1.229356e-03,1.413069e-03,1.485799e-03,1.620213e-03,1.770115e-03,1.843145e-03,2.081396e-03,2.334361e-03,2.418300e-03,2.601306e-03,2.779102e-03,2.881388e-03,3.161751e-03,3.173664e-03,3.477113e-03,3.563935e-03,3.790648e-03,3.983139e-03,4.113131e-03,4.416712e-03,4.443391e-03,4.780235e-03,4.861924e-03,5.122464e-03,5.316020e-03,5.468886e-03,5.776269e-03,5.818322e-03,6.169622e-03,6.240007e-03,6.521670e-03,6.704674e-03,6.873395e-03,7.167844e-03,7.223773e-03,7.571834e-03,7.627248e-03,7.916669e-03,8.080792e-03,8.257428e-03,8.526570e-03,8.593325e-03,8.923639e-03,8.962870e-03,9.247716e-03,9.388179e-03,9.564964e-03,9.801178e-03,9.874856e-03,1.017693e-02,1.020074e-02,1.047078e-02,1.058593e-02,1.075606e-02,1.095599e-02,1.103248e-02,1.129981e-02,1.131032e-02,1.155787e-02,1.164847e-02,1.180651e-02,1.197016e-02,1.204565e-02,1.227522e-02,1.249522e-02,1.256360e-02,1.270566e-02,1.283536e-02,1.290660e-02,1.309064e-02,1.309812e-02,1.328033e-02,1.332970e-02,1.345335e-02,1.355281e-02,1.361734e-02,1.376037e-02,1.377245e-02,1.391889e-02,1.395276e-02,1.405684e-02,1.413047e-02,1.418652e-02,1.429396e-02,1.430814e-02,1.442193e-02,1.444376e-02,1.452812e-02,1.458041e-02,1.462694e-02,1.470444e-02,1.471865e-02,1.480347e-02,1.481642e-02,1.488165e-02,1.491689e-02,1.495344e-02,1.500642e-02,1.501907e-02,1.507879e-02,1.508557e-02,1.513282e-02,1.515486e-02,1.518142e-02,1.521485e-02,1.522480e-02,1.526319e-02,1.526605e-02,1.529681e-02,1.530897e-02,1.532588e-02,1.534411e-02,1.535061e-02,1.537120e-02,1.537194e-02,1.538786e-02,1.539293e-02,1.540077e-02,1.540751e-02,1.541012e-02,1.541611e-02,1.541913e-02,1.541698e-02,1.541001e-02,1.539858e-02,1.538302e-02,1.536365e-02,1.534078e-02,1.531468e-02,1.528563e-02,1.525387e-02,1.521966e-02,1.518321e-02,1.514473e-02,1.510442e-02,1.506248e-02,1.501907e-02,1.497436e-02,1.492851e-02,1.488164e-02,1.483391e-02,1.478543e-02,1.473632e-02,1.468670e-02,1.463665e-02
0.000000e+00,1.829265e-09,5.166943e-09,2.220475e-08,5.617056e-08,8.535213e-08,2.089360e-07,2.157653e-07,4.398656e-07,5.234044e-07,7.879382e-07,1.070857e-06,1.295564e-06,1.938356e-06,2.003344e-06,2.952591e-06,3.220230e-06,4.174589e-06,4.982102e-06,5.676988e-06,7.215768e-06,7.439953e-06,9.427493e-06,9.848556e-06,1.160193e-05,1.279557e-05,1.393110e-05,1.598802e-05,1.638902e-05,1.895432e-05,1.937347e-05,2.160860e-05,2.290934e-05,2.433526e-05,2.655829e-05,2.711886e-05,2.994486e-05,3.028617e-05,3.279948e-05,3.406121e-05,3.566977e-05,3.785423e-05,3.854369e-05,4.141015e-05,4.163884e-05,4.425909e-05,4.539170e-05,4.708147e-05,4.909263e-05,4.986933e-05,5.261570e-05,5.272460e-05,5.531457e-05,5.627352e-05,5.796085e-05,5.972811e-05,6.055035e-05,6.307962e-05,6.554595e-05,6.632151e-05,6.794717e-05,6.944899e-05,7.028162e-05,7.245876e-05,7.254810e-05,7.474583e-05,7.534880e-05,7.687436e-05,7.811821e-05,7.893360e-05,8.076707e-05,8.092375e-05,8.284521e-05,8.329619e-05,8.469856e-05,8.570697e-05,8.648458e-05,8.800132e-05,8.820420e-05,8.985852e-05,9.018167e-05,9.144892e-05,9.225112e-05,9.297670e-05,9.421244e-05,9.444296e-05,9.584904e-05,9.606851e-05,9.719622e-05,9.782233e-05,9.848581e-05,9.947692e-05,9.971916e-05,1.008976e-04,1.010354e-04,1.020226e-04,1.025010e-04,1.030954e-04,1.038767e-04,1.041174e-04,1.050899e-04,1.051656e-04,1.060144e-04,1.063710e-04,1.068920e-04,1.074957e-04,1.077242e-04,1.085123e-04,1.085429e-04,1.092574e-04,1.095155e-04,1.099610e-04,1.104164e-04,1.106243e-04,1.112484e-04,1.118347e-04,1.120144e-04,1.123841e-04,1.127171e-04,1.128981e-04,1.133590e-04,1.133776e-04,1.138238e-04,1.139429e-04,1.142377e-04,1.144711e-04,1.146206e-04,1.149462e-04,1.149734e-04,1.152971e-04,1.153705e-04,1.155927e-04,1.157463e-04,1.158612e-04,1.160759e-04,1.161037e-04,1.163209e-04,1.163614e-04,1.165138e-04,1.166048e-04,1.166834e-04,1.168083e-04,1.168304e-04,1.169557e-04,1.169738e-04,1.170601e-04,1.171030e-04,1.171445e-04,1.171980e-04,1.172095e-04,1.172560e-04,1.172604e-04,1.172847e-04,1.172919e-04,1.172963e-04,1.172942e-04,1.172915e-04,1.172710e-04,1.172687e-04,1.172354e-04,1.172171e-04,1.171854e-04,1.171408e-04,1.171216e-04,1.170446e-04,1.170412e-04,1.169549e-04,1.169197e-04,1.168532e-04,1.167774e-04,1.167399e-04,1.166157e-04,1.164358e-04,1.162388e-04,1.160257e-04,1.157977e-04,1.155558e-04,1.153009e-04,1.150339e-04,1.147557e-04,1.144672e-04,1.141692e-04,1.138624e-04,1.135476e-04,1.132254e-04,1.128966e-04,1.125618e-04,1.122215e-04,1.118765e-04,1.115271e-04,1.111740e-04,1.108176e-04,1.104584e-04,1.100969e-04,1.097334e-04,1.093685e-04
0.000000e+00,8.425111e-09,2.035496e-08,7.391228e-08,1.726305e-07,2.547500e-07,5.950327e-07,6.137247e-07,1.229068e-06,1.460363e-06,2.199358e-06,2.994245e-06,3.621742e-06,5.355126e-06,5.523493e-06,7.821828e-06,8.418271e-06,1.039236e-05,1.191267e-05,1.313697e-05,1.564420e-05,1.599082e-05,1.890903e-05,1.949721e-05,2.185649e-05,2.339050e-05,2.480276e-05,2.725643e-05,2.772022e-05,3.058365e-05,3.103525e-05,3.337063e-05,3.467539e-05,3.606170e-05,3.813457e-05,3.864076e-05,4.109512e-05,4.138078e-05,4.341545e-05,4.439225e-05,4.559560e-05,4.715661e-05,4.763223e-05,4.952446e-05,4.966963e-05,5.127349e-05,5.193360e-05,5.288217e-05,5.395582e-05,5.435467e-05,5.569611e-05,5.574712e-05,5.691224e-05,5.732056e-05,5.800930e-05,5.869065e-05,5.899389e-05,5.987275e-05,6.065250e-05,6.088214e-05,6.133962e-05,6.173370e-05,6.194045e-05,6.244170e-05,6.246106e-05,6.290723e-05,6.301958e-05,6.328445e-05,6.347985e-05,6.359790e-05,6.383414e-05,6.385245e-05,6.405267e-05,6.409312e-05,6.420282e-05,6.426653e-05,6.430688e-05,6.436328e-05,6.436856e-05,6.439131e-05,6.439147e-05,6.437832e-05,6.435845e-05,6.433258e-05,6.427087e-05,6.425685e-05,6.415367e-05,6.413477e-05,6.402541e-05,6.395559e-05,6.387427e-05,6.373825e-05,6.370228e-05,6.351131e-05,6.348720e-05,6.330310e-05,6.320644e-05,6.307926e-05,6.289961e-05,6.284128e-05,6.259052e-05,6.256995e-05,6.232827e-05,6.222042e-05,6.205570e-05,6.185367e-05,6.177389e-05,6.148386e-05,6.147210e-05,6.118652e-05,6.107785e-05,6.088273e-05,6.067289e-05,6.057330e-05,6.025895e-05,5.994036e-05,5.983763e-05,5.961817e-05,5.941033e-05,5.929294e-05,5.897836e-05,5.896520e-05,5.863547e-05,5.854284e-05,5.830417e-05,5.810483e-05,5.797175e-05,5.766525e-05,5.763858e-05,5.730502e-05,5.722494e-05,5.697140e-05,5.678466e-05,5.663802e-05,5.634507e-05,5.630516e-05,5.597308e-05,5.590678e-05,5.564201e-05,5.547033e-05,5.531217e-05,5.503620e-05,5.498376e-05,5.465695e-05,5.460482e-05,5.433192e-05,5.417658e-05,5.400881e-05,5.375180e-05,5.368776e-05,5.336891e-05,5.333080e-05,5.305235e-05,5.291383e-05,5.273821e-05,5.250112e-05,5.242656e-05,5.211750e-05,5.209289e-05,5.181110e-05,5.168930e-05,5.150743e-05,5.129050e-05,5.120654e-05,5.090850e-05,5.089664e-05,5.061334e-05,5.050780e-05,5.032111e-05,5.012409e-05,5.003185e-05,4.974558e-05,4.937233e-05,4.900439e-05,4.864178e-05,4.828454e-05,4.793267e-05,4.758617e-05,4.724504e-05,4.690928e-05,4.657885e-05,4.625373e-05,4.593389e-05,4.561930e-05,4.530991e-05,4.500568e-05,4.470655e-05,4.441249e-05,4.412343e-05,4.383932e-05,4.356009e-05,4.328569e-05,4.301606e-05,4.275113e-05,4.249084e-05,4.223511e-05
0.000000e+00,1.366687e-10,5.723891e-10,4.045969e-09,1.323631e-08,2.219215e-08,6.474506e-08,6.722896e-08,1.528218e-07,1.861375e-07,2.947865e-07,4.147569e-07,5.120201e-07,7.966473e-07,8.257948e-07,1.255162e-06,1.376658e-06,1.808284e-06,2.169752e-06,2.477435e-06,3.148056e-06,3.244648e-06,4.091064e-06,4.268436e-06,5.001406e-06,5.496069e-06,5.964016e-06,6.806118e-06,6.969541e-06,8.009812e-06,8.178966e-06,9.077202e-06,9.597008e-06,1.016433e-05,1.104340e-05,1.126399e-05,1.236921e-05,1.250189e-05,1.347333e-05,1.395717e-05,1.457011e-05,1.539521e-05,1.565383e-05,1.671936e-05,1.680368e-05,1.776220e-05,1.817209e-05,1.877846e-05,1.949189e-05,1.976494e-05,2.071899e-05,2.075644e-05,2.163853e-05,2.196081e-05,2.252204e-05,2.310169e-05,2.336846e-05,2.417711e-05,2.494772e-05,2.518628e-05,2.568031e-05,2.612934e-05,2.637516e-05,2.700717e-05,2.703277e-05,2.765382e-05,2.782127e-05,2.823913e-05,2.857355e-05,2.878965e-05,2.926628e-05,2.930640e-05,2.979047e-05,2.990191e-05,3.024299e-05,3.048305e-05,3.066511e-05,3.101235e-05,3.105799e-05,3.142280e-05,3.149250e-05,3.176072e-05,3.192619e-05,3.207288e-05,3.231603e-05,3.236043e-05,3.262446e-05,3.266460e-05,3.286607e-05,3.297438e-05,3.308629e-05,3.324777e-05,3.328616e-05,3.346666e-05,3.348707e-05,3.362874e-05,3.369446e-05,3.377333e-05,3.387206e-05,3.390130e-05,3.401352e-05,3.402184e-05,3.411079e-05,3.414570e-05,3.419392e-05,3.424543e-05,3.426364e-05,3.432069e-05,3.432272e-05,3.436576e-05,3.437918e-05,3.439950e-05,3.441630e-05,3.442256e-05,3.443553e-05,3.443900e-05,3.443819e-05,3.443351e-05,3.442554e-05,3.441960e-05,3.439878e-05,3.439776e-05,3.436848e-05,3.435901e-05,3.433222e-05,3.430729e-05,3.428940e-05,3.424458e-05,3.424045e-05,3.418576e-05,3.417182e-05,3.412570e-05,3.408986e-05,3.406064e-05,3.399952e-05,3.399091e-05,3.391684e-05,3.390154e-05,3.383874e-05,3.379663e-05,3.375690e-05,3.368546e-05,3.367159e-05,3.358309e-05,3.356865e-05,3.349164e-05,3.344677e-05,3.339748e-05,3.332035e-05,3.330084e-05,3.320192e-05,3.318991e-05,3.310094e-05,3.305591e-05,3.299809e-05,3.291878e-05,3.289355e-05,3.278749e-05,3.277894e-05,3.268007e-05,3.263676e-05,3.257145e-05,3.249259e-05,3.246179e-05,3.235120e-05,3.234676e-05,3.223984e-05,3.219958e-05,3.212781e-05,3.205132e-05,3.201524e-05,3.190224e-05,3.175259e-05,3.160259e-05,3.145244e-05,3.130235e-05,3.115247e-05,3.100298e-05,3.085402e-05,3.070573e-05,3.055823e-05,3.041164e-05,3.026606e-05,3.012159e-05,2.997831e-05,2.983630e-05,2.969564e-05,2.955638e-05,2.941858e-05,2.928230e-05,2.914758e-05,2.901445e-05,2.888296e-05,2.875313e-05,2.862499e-05,2.849855e-05
0.000000e+00,2.830976e-10,9.098245e-10,4.505388e-09,1.215691e-08,1.890107e-08,4.800734e-08,4.962719e-08,1.029209e-07,1.227806e-07,1.854573e-07,2.520494e-07,3.046006e-07,4.533541e-07,4.682709e-07,6.838105e-07,7.438325e-07,9.554235e-07,1.131801e-06,1.281952e-06,1.610459e-06,1.657976e-06,2.076987e-06,2.165426e-06,2.533279e-06,2.783695e-06,3.022156e-06,3.455006e-06,3.539547e-06,4.081660e-06,4.170443e-06,4.644767e-06,4.921419e-06,5.225132e-06,5.699329e-06,5.819004e-06,6.422661e-06,6.495583e-06,7.032468e-06,7.301827e-06,7.644940e-06,8.110172e-06,8.256794e-06,8.864997e-06,8.913411e-06,9.466798e-06,9.705166e-06,1.005974e-05,1.047997e-05,1.064169e-05,1.121080e-05,1.123327e-05,1.176553e-05,1.196145e-05,1.230460e-05,1.266171e-05,1.282702e-05,1.333200e-05,1.381899e-05,1.397096e-05,1.428760e-05,1.457776e-05,1.473762e-05,1.515208e-05,1.516898e-05,1.558171e-05,1.569396e-05,1.597597e-05,1.620376e-05,1.635199e-05,1.668207e-05,1.671006e-05,1.705055e-05,1.712969e-05,1.737384e-05,1.754753e-05,1.768037e-05,1.793662e-05,1.797061e-05,1.824502e-05,1.829805e-05,1.850411e-05,1.863294e-05,1.874836e-05,1.894244e-05,1.897829e-05,1.919439e-05,1.922771e-05,1.939716e-05,1.948990e-05,1.958709e-05,1.973012e-05,1.976467e-05,1.993037e-05,1.994948e-05,2.008467e-05,2.014906e-05,2.022801e-05,2.032990e-05,2.036085e-05,2.048361e-05,2.049300e-05,2.059671e-05,2.063934e-05,2.070057e-05,2.076984e-05,2.079557e-05,2.088210e-05,2.088539e-05,2.096052e-05,2.098684e-05,2.103120e-05,2.107501e-05,2.109448e-05,2.115069e-05,2.120014e-05,2.121460e-05,2.124316e-05,2.126745e-05,2.128004e-05,2.130992e-05,2.131105e-05,2.133649e-05,2.134264e-05,2.135660e-05,2.136623e-05,2.137166e-05,2.138125e-05,2.138190e-05,2.138755e-05,2.138825e-05,2.138885e-05,2.138775e-05,2.138601e-05,2.138025e-05,2.137923e-05,2.136873e-05,2.136620e-05,2.135468e-05,2.134604e-05,2.133729e-05,2.132021e-05,2.131671e-05,2.129312e-05,2.128908e-05,2.126668e-05,2.125303e-05,2.123755e-05,2.121241e-05,2.120588e-05,2.117181e-05,2.116757e-05,2.113548e-05,2.111881e-05,2.109701e-05,2.106643e-05,2.105654e-05,2.101418e-05,2.101071e-05,2.097004e-05,2.095192e-05,2.092425e-05,2.089030e-05,2.087689e-05,2.082809e-05,2.082610e-05,2.077792e-05,2.075954e-05,2.072648e-05,2.069082e-05,2.067386e-05,2.062014e-05,2.054770e-05,2.047365e-05,2.039818e-05,2.032143e-05,2.024355e-05,2.016468e-05,2.008494e-05,2.000447e-05,1.992336e-05,1.984173e-05,1.975967e-05,1.967729e-05,1.959466e-05,1.951188e-05,1.942901e-05,1.934612e-05,1.926330e-05,1.918059e-05,1.909806e-05,1.901575e-05,1.893373e-05,1.885204e-05,1.877071e-05,1.868980e-05
0.000000e+00,1.606879e-14,1.079398e-13,1.823433e-12,1.179577e-11,2.765511e-11,1.724199e-10,1.841199e-10,7.811428e-10,1.107289e-09,2.493244e-09,4.535406e-09,6.541310e-09,1.398790e-08,1.487260e-08,3.032057e-08,3.549164e-08,5.673118e-08,7.810557e-08,9.904726e-08,1.542411e-07,1.633456e-07,2.568227e-07,2.797280e-07,3.877249e-07,4.735962e-07,5.652211e-07,7.575574e-07,7.992188e-07,1.100133e-06,1.155200e-06,1.478619e-06,1.690972e-06,1.945291e-06,2.389054e-06,2.510436e-06,3.183739e-06,3.272234e-06,3.974031e-06,4.360864e-06,4.889069e-06,5.671979e-06,5.935354e-06,7.117982e-06,7.218600e-06,8.440542e-06,9.009252e-06,9.905052e-06,1.104769e-05,1.151194e-05,1.326003e-05,1.333286e-05,1.514664e-05,1.585898e-05,1.716762e-05,1.861587e-05,1.931745e-05,2.158938e-05,2.397558e-05,2.476189e-05,2.646727e-05,2.811293e-05,2.905489e-05,3.161982e-05,3.172827e-05,3.447677e-05,3.525833e-05,3.728946e-05,3.900328e-05,4.015526e-05,4.282917e-05,4.306308e-05,4.600195e-05,4.671070e-05,4.896113e-05,5.062325e-05,5.193022e-05,5.454328e-05,5.489924e-05,5.785872e-05,5.844868e-05,6.079974e-05,6.231898e-05,6.371396e-05,6.613555e-05,6.659369e-05,6.943191e-05,6.988173e-05,7.222223e-05,7.354286e-05,7.495894e-05,7.710629e-05,7.763699e-05,8.025196e-05,8.056133e-05,8.280006e-05,8.389920e-05,8.527810e-05,8.711290e-05,8.768343e-05,9.001396e-05,9.019712e-05,9.226809e-05,9.314807e-05,9.444467e-05,9.596338e-05,9.654299e-05,9.856272e-05,9.864188e-05,1.005039e-04,1.011835e-04,1.023668e-04,1.035893e-04,1.041522e-04,1.058608e-04,1.074939e-04,1.080007e-04,1.090526e-04,1.100119e-04,1.105385e-04,1.118979e-04,1.119531e-04,1.132982e-04,1.136626e-04,1.145756e-04,1.153102e-04,1.157871e-04,1.168452e-04,1.169347e-04,1.180204e-04,1.182720e-04,1.190462e-04,1.195953e-04,1.200142e-04,1.208198e-04,1.209263e-04,1.217847e-04,1.219501e-04,1.225913e-04,1.229909e-04,1.233481e-04,1.239467e-04,1.240570e-04,1.247201e-04,1.248221e-04,1.253393e-04,1.256214e-04,1.259163e-04,1.263487e-04,1.264529e-04,1.269510e-04,1.270083e-04,1.274123e-04,1.276040e-04,1.278383e-04,1.281396e-04,1.282308e-04,1.285913e-04,1.286188e-04,1.289212e-04,1.290449e-04,1.292221e-04,1.294215e-04,1.294953e-04,1.297422e-04,1.297515e-04,1.299641e-04,1.300381e-04,1.301622e-04,1.302840e-04,1.303378e-04,1.304920e-04,1.306646e-04,1.308042e-04,1.309132e-04,1.309937e-04,1.310477e-04,1.310773e-04,1.310841e-04,1.310699e-04,1.310364e-04,1.309849e-04,1.309170e-04,1.308340e-04,1.307371e-04,1.306276e-04,1.305064e-04,1.303747e-04,1.302334e-04,1.300834e-04,1.299257e-04,1.297609e-04,1.295898e-04,1.294131e-04,1.292315e-04,1.290455e-04
0.000000e+00,7.009587e-12,3.747960e-11,4.006291e-10,1.740681e-09,3.305854e-09,1.227286e-08,1.284218e-08,3.381114e-08,4.235181e-08,7.063945e-08,1.019046e-07,1.269840e-07,1.985157e-07,2.056886e-07,3.088413e-07,3.374037e-07,4.378191e-07,5.216013e-07,5.932709e-07,7.518415e-07,7.750081e-07,9.817975e-07,1.025965e-06,1.211131e-06,1.338065e-06,1.459160e-06,1.678377e-06,1.720972e-06,1.991182e-06,2.034840e-06,2.264571e-06,2.395540e-06,2.536512e-06,2.750407e-06,2.803152e-06,3.061413e-06,3.091721e-06,3.308912e-06,3.413924e-06,3.543869e-06,3.713251e-06,3.765016e-06,3.971532e-06,3.987406e-06,4.162974e-06,4.235294e-06,4.339222e-06,4.456786e-06,4.500423e-06,4.646944e-06,4.652507e-06,4.779321e-06,4.823638e-06,4.898215e-06,4.971741e-06,5.004376e-06,5.098608e-06,5.181742e-06,5.206137e-06,5.254611e-06,5.296241e-06,5.318036e-06,5.370774e-06,5.372808e-06,5.419683e-06,5.431491e-06,5.459372e-06,5.480014e-06,5.492539e-06,5.517822e-06,5.519799e-06,5.541718e-06,5.546242e-06,5.558814e-06,5.566459e-06,5.571559e-06,5.579515e-06,5.580379e-06,5.585663e-06,5.586327e-06,5.587760e-06,5.587698e-06,5.586988e-06,5.584331e-06,5.583632e-06,5.577951e-06,5.576842e-06,5.570175e-06,5.565760e-06,5.560511e-06,5.551549e-06,5.549149e-06,5.536258e-06,5.534616e-06,5.521993e-06,5.515316e-06,5.506488e-06,5.493954e-06,5.489870e-06,5.472252e-06,5.470803e-06,5.453738e-06,5.446102e-06,5.434419e-06,5.420059e-06,5.414380e-06,5.393700e-06,5.392860e-06,5.372447e-06,5.364668e-06,5.350686e-06,5.335630e-06,5.328478e-06,5.305874e-06,5.282925e-06,5.275515e-06,5.259674e-06,5.244655e-06,5.236164e-06,5.213386e-06,5.212433e-06,5.188518e-06,5.181793e-06,5.164450e-06,5.149949e-06,5.140260e-06,5.117922e-06,5.115976e-06,5.091623e-06,5.085771e-06,5.067225e-06,5.053551e-06,5.042804e-06,5.021311e-06,5.018381e-06,4.993975e-06,4.989097e-06,4.969603e-06,4.956949e-06,4.945282e-06,4.924903e-06,4.921027e-06,4.896851e-06,4.892991e-06,4.872767e-06,4.861243e-06,4.848788e-06,4.829687e-06,4.824923e-06,4.801184e-06,4.798344e-06,4.777579e-06,4.767238e-06,4.754118e-06,4.736387e-06,4.730807e-06,4.707654e-06,4.705809e-06,4.684666e-06,4.675519e-06,4.661849e-06,4.645530e-06,4.639209e-06,4.616750e-06,4.615855e-06,4.594477e-06,4.586505e-06,4.572394e-06,4.557488e-06,4.550505e-06,4.528813e-06,4.500487e-06,4.472515e-06,4.444903e-06,4.417655e-06,4.390774e-06,4.364263e-06,4.338123e-06,4.312356e-06,4.286962e-06,4.261942e-06,4.237296e-06,4.213022e-06,4.189119e-06,4.165586e-06,4.142421e-06,4.119623e-06,4.097187e-06,4.075113e-06,4.053396e-06,4.032034e-06,4.011023e-06,3.990360e-06,3.970042e-06,3.950064e-06
0.000000e+00,6.562427e-12,3.720390e-11,4.454807e-10,2.126584e-09,4.237189e-09,1.760083e-08,1.849546e-08,5.359578e-08,6.874865e-08,1.212609e-07,1.823686e-07,2.331506e-07,3.845433e-07,4.001745e-07,6.322562e-07,6.986444e-07,9.382540e-07,1.144806e-06,1.325805e-06,1.739125e-06,1.800905e-06,2.367119e-06,2.491379e-06,3.024586e-06,3.401372e-06,3.769299e-06,4.456477e-06,4.593188e-06,5.485091e-06,5.633259e-06,6.432146e-06,6.902411e-06,7.421067e-06,8.233695e-06,8.439021e-06,9.474100e-06,9.598935e-06,1.051550e-05,1.097318e-05,1.155353e-05,1.233488e-05,1.257964e-05,1.358634e-05,1.366583e-05,1.456719e-05,1.495105e-05,1.551678e-05,1.617859e-05,1.643065e-05,1.730525e-05,1.733938e-05,1.813789e-05,1.842698e-05,1.892667e-05,1.943734e-05,1.967037e-05,2.036841e-05,2.102073e-05,2.121987e-05,2.162774e-05,2.199279e-05,2.219021e-05,2.268929e-05,2.270924e-05,2.318615e-05,2.331234e-05,2.362246e-05,2.386545e-05,2.401984e-05,2.435253e-05,2.438001e-05,2.470480e-05,2.477768e-05,2.499602e-05,2.514512e-05,2.525550e-05,2.545904e-05,2.548507e-05,2.568649e-05,2.572355e-05,2.586149e-05,2.594262e-05,2.601176e-05,2.612005e-05,2.613890e-05,2.624445e-05,2.625944e-05,2.632990e-05,2.636419e-05,2.639664e-05,2.643747e-05,2.644601e-05,2.647926e-05,2.648223e-05,2.649759e-05,2.650122e-05,2.650211e-05,2.649698e-05,2.649390e-05,2.647393e-05,2.647185e-05,2.644314e-05,2.642800e-05,2.640241e-05,2.636739e-05,2.635256e-05,2.629435e-05,2.629186e-05,2.622851e-05,2.620307e-05,2.615570e-05,2.610253e-05,2.607655e-05,2.599165e-05,2.590154e-05,2.587169e-05,2.580673e-05,2.574380e-05,2.570769e-05,2.560905e-05,2.560487e-05,2.549868e-05,2.546840e-05,2.538950e-05,2.532270e-05,2.527768e-05,2.517277e-05,2.516356e-05,2.504745e-05,2.501931e-05,2.492961e-05,2.486298e-05,2.481034e-05,2.470437e-05,2.468985e-05,2.456839e-05,2.454400e-05,2.444616e-05,2.438237e-05,2.432336e-05,2.421990e-05,2.420017e-05,2.407675e-05,2.405699e-05,2.395326e-05,2.389400e-05,2.382983e-05,2.373122e-05,2.370660e-05,2.358368e-05,2.356896e-05,2.346119e-05,2.340745e-05,2.333922e-05,2.324694e-05,2.321787e-05,2.309722e-05,2.308760e-05,2.297735e-05,2.292964e-05,2.285833e-05,2.277319e-05,2.274022e-05,2.262307e-05,2.261841e-05,2.250695e-05,2.246540e-05,2.239189e-05,2.231428e-05,2.227794e-05,2.216514e-05,2.201804e-05,2.187307e-05,2.173028e-05,2.158970e-05,2.145138e-05,2.131535e-05,2.118163e-05,2.105023e-05,2.092116e-05,2.079443e-05,2.067003e-05,2.054796e-05,2.042822e-05,2.031078e-05,2.019564e-05,2.008277e-05,1.997215e-05,1.986377e-05,1.975759e-05,1.965360e-05,1.955175e-05,1.945203e-05,1.935441e-05,1.925884e-05
0.000000e+00,7.537481e-14,5.031026e-13,8.384496e-12,5.356294e-11,1.247065e-10,7.634771e-10,8.146771e-10,3.393648e-09,4.786599e-09,1.064311e-08,1.916490e-08,2.745910e-08,5.786414e-08,6.144782e-08,1.234112e-07,1.439603e-07,2.276850e-07,3.111260e-07,3.922897e-07,6.041312e-07,6.388381e-07,9.921333e-07,1.077968e-06,1.479437e-06,1.795299e-06,2.129456e-06,2.822440e-06,2.971170e-06,4.032606e-06,4.224596e-06,5.339683e-06,6.061170e-06,6.915206e-06,8.381736e-06,8.778045e-06,1.094252e-05,1.122302e-05,1.341799e-05,1.460700e-05,1.620868e-05,1.854002e-05,1.931363e-05,2.272684e-05,2.301293e-05,2.643759e-05,2.800195e-05,3.043076e-05,3.347021e-05,3.468739e-05,3.918516e-05,3.936974e-05,4.389903e-05,4.564373e-05,4.880179e-05,5.222895e-05,5.386472e-05,5.905814e-05,6.435198e-05,6.606231e-05,6.971628e-05,7.317281e-05,7.512168e-05,8.032314e-05,8.053976e-05,8.594348e-05,8.745043e-05,9.130734e-05,9.449661e-05,9.660770e-05,1.014093e-04,1.018229e-04,1.069333e-04,1.081422e-04,1.119215e-04,1.146557e-04,1.167721e-04,1.209165e-04,1.214721e-04,1.260102e-04,1.268976e-04,1.303774e-04,1.325784e-04,1.345665e-04,1.379435e-04,1.385719e-04,1.423898e-04,1.429831e-04,1.460178e-04,1.476915e-04,1.494551e-04,1.520676e-04,1.527017e-04,1.557591e-04,1.561134e-04,1.586294e-04,1.598339e-04,1.613159e-04,1.632368e-04,1.638221e-04,1.661527e-04,1.663316e-04,1.683123e-04,1.691294e-04,1.703063e-04,1.716425e-04,1.721402e-04,1.738200e-04,1.738840e-04,1.753515e-04,1.758677e-04,1.767408e-04,1.776075e-04,1.779941e-04,1.791176e-04,1.801173e-04,1.804120e-04,1.809992e-04,1.815047e-04,1.817694e-04,1.824091e-04,1.824337e-04,1.829977e-04,1.831384e-04,1.834670e-04,1.837053e-04,1.838469e-04,1.841220e-04,1.841427e-04,1.843594e-04,1.844001e-04,1.845017e-04,1.845507e-04,1.845743e-04,1.845841e-04,1.845817e-04,1.845281e-04,1.845104e-04,1.844176e-04,1.843389e-04,1.842540e-04,1.840783e-04,1.840410e-04,1.837822e-04,1.837368e-04,1.834810e-04,1.833222e-04,1.831403e-04,1.828416e-04,1.827634e-04,1.823531e-04,1.823017e-04,1.819120e-04,1.817088e-04,1.814427e-04,1.810687e-04,1.809477e-04,1.804291e-04,1.803867e-04,1.798893e-04,1.796678e-04,1.793301e-04,1.789167e-04,1.787536e-04,1.781615e-04,1.781375e-04,1.775555e-04,1.773343e-04,1.769373e-04,1.765107e-04,1.763083e-04,1.756699e-04,1.748152e-04,1.739492e-04,1.730746e-04,1.721938e-04,1.713088e-04,1.704217e-04,1.695343e-04,1.686483e-04,1.677650e-04,1.668858e-04,1.660120e-04,1.651445e-04,1.642845e-04,1.634328e-04,1.625901e-04,1.617572e-04,1.609346e-04,1.601229e-04,1.593225e-04,1.585338e-04,1.577573e-04,1.569931e-04,1.562416e-04,1.555029e-04
0.000000e+00,6.126844e-14,4.139592e-13,7.077615e-12,4.629920e-11,1.092267e-10,6.923143e-10,7.397995e-10,3.192730e-09,4.547468e-09,1.036630e-08,1.905262e-08,2.766972e-08,6.012500e-08,6.401760e-08,1.328417e-07,1.561651e-07,2.530515e-07,3.519345e-07,4.498601e-07,7.117259e-07,7.553540e-07,1.208660e-06,1.320980e-06,1.855584e-06,2.285429e-06,2.747695e-06,3.727370e-06,3.940913e-06,5.493728e-06,5.779507e-06,7.465225e-06,8.577292e-06,9.913042e-06,1.225085e-05,1.289141e-05,1.644937e-05,1.691736e-05,2.062921e-05,2.267450e-05,2.546522e-05,2.959537e-05,3.098273e-05,3.719751e-05,3.772506e-05,4.411546e-05,4.707895e-05,5.173255e-05,5.764247e-05,6.003513e-05,6.900036e-05,6.937234e-05,7.859692e-05,8.219894e-05,8.878583e-05,9.602956e-05,9.952139e-05,1.107522e-04,1.224223e-04,1.262399e-04,1.344722e-04,1.423549e-04,1.468399e-04,1.589530e-04,1.594619e-04,1.722744e-04,1.758874e-04,1.852139e-04,1.930125e-04,1.982180e-04,2.101871e-04,2.112265e-04,2.241815e-04,2.272766e-04,2.370282e-04,2.441558e-04,2.497153e-04,2.607100e-04,2.621952e-04,2.744243e-04,2.768365e-04,2.863632e-04,2.924449e-04,2.979768e-04,3.074579e-04,3.092340e-04,3.201080e-04,3.218108e-04,3.305763e-04,3.354513e-04,3.406200e-04,3.483392e-04,3.502243e-04,3.593777e-04,3.604454e-04,3.680723e-04,3.717512e-04,3.763032e-04,3.822472e-04,3.840683e-04,3.913684e-04,3.919324e-04,3.982064e-04,4.008134e-04,4.045876e-04,4.089030e-04,4.105189e-04,4.160092e-04,4.162198e-04,4.210685e-04,4.227866e-04,4.257084e-04,4.286303e-04,4.299413e-04,4.337805e-04,4.372401e-04,4.382693e-04,4.403345e-04,4.421302e-04,4.430787e-04,4.453978e-04,4.454879e-04,4.475774e-04,4.481073e-04,4.493627e-04,4.502941e-04,4.508589e-04,4.519932e-04,4.520813e-04,4.530448e-04,4.532392e-04,4.537642e-04,4.540659e-04,4.542539e-04,4.545059e-04,4.545279e-04,4.545996e-04,4.545909e-04,4.544825e-04,4.543511e-04,4.541890e-04,4.538154e-04,4.537317e-04,4.531221e-04,4.530112e-04,4.523716e-04,4.519646e-04,4.514911e-04,4.507001e-04,4.504909e-04,4.493809e-04,4.492407e-04,4.481703e-04,4.476081e-04,4.468682e-04,4.458224e-04,4.454828e-04,4.440222e-04,4.439024e-04,4.424940e-04,4.418653e-04,4.409051e-04,4.397274e-04,4.392624e-04,4.375720e-04,4.375035e-04,4.358399e-04,4.352072e-04,4.340716e-04,4.328512e-04,4.322724e-04,4.304470e-04,4.280051e-04,4.255351e-04,4.230458e-04,4.205450e-04,4.180399e-04,4.155369e-04,4.130419e-04,4.105600e-04,4.080958e-04,4.056535e-04,4.032366e-04,4.008485e-04,3.984918e-04,3.961690e-04,3.938822e-04,3.916333e-04,3.894237e-04,3.872546e-04,3.851272e-04,3.830422e-04,3.810002e-04,3.790017e-04,3.770469e-04,3.751361e-04
0.000000e+00,2.338019e-10,7.940451e-10,4.179956e-09,1.155438e-08,1.808286e-08,4.612858e-08,4.767990e-08,9.813769e-08,1.166710e-07,1.743301e-07,2.343962e-07,2.810633e-07,4.103830e-07,4.231653e-07,6.052940e-07,6.554154e-07,8.312271e-07,9.776064e-07,1.102544e-06,1.377403e-06,1.417316e-06,1.770068e-06,1.844529e-06,2.153309e-06,2.362072e-06,2.559380e-06,2.913112e-06,2.981475e-06,3.413852e-06,3.483653e-06,3.851670e-06,4.062511e-06,4.290761e-06,4.640471e-06,4.727457e-06,5.158496e-06,5.209698e-06,5.580968e-06,5.763469e-06,5.992307e-06,6.296096e-06,6.390286e-06,6.773023e-06,6.802935e-06,7.138981e-06,7.280387e-06,7.486963e-06,7.725877e-06,7.816097e-06,8.125816e-06,8.137796e-06,8.415833e-06,8.515402e-06,8.686109e-06,8.858705e-06,8.936823e-06,9.168328e-06,9.381124e-06,9.445367e-06,9.575842e-06,9.691306e-06,9.753207e-06,9.907876e-06,9.914000e-06,1.005905e-05,1.009696e-05,1.018923e-05,1.026056e-05,1.030540e-05,1.040066e-05,1.040844e-05,1.049918e-05,1.051922e-05,1.057847e-05,1.061817e-05,1.064711e-05,1.069932e-05,1.070587e-05,1.075550e-05,1.076440e-05,1.079669e-05,1.081499e-05,1.083008e-05,1.085255e-05,1.085628e-05,1.087587e-05,1.087842e-05,1.088937e-05,1.089385e-05,1.089730e-05,1.089993e-05,1.090010e-05,1.089820e-05,1.089767e-05,1.089199e-05,1.088799e-05,1.088184e-05,1.087170e-05,1.086808e-05,1.085104e-05,1.084954e-05,1.083099e-05,1.082218e-05,1.080820e-05,1.079023e-05,1.078291e-05,1.075535e-05,1.075420e-05,1.072572e-05,1.071459e-05,1.069423e-05,1.067183e-05,1.066103e-05,1.062630e-05,1.059019e-05,1.057836e-05,1.055283e-05,1.052832e-05,1.051434e-05,1.047645e-05,1.047485e-05,1.043447e-05,1.042301e-05,1.039329e-05,1.036824e-05,1.035140e-05,1.031232e-05,1.030890e-05,1.026586e-05,1.025546e-05,1.022235e-05,1.019781e-05,1.017844e-05,1.013952e-05,1.013420e-05,1.008967e-05,1.008074e-05,1.004492e-05,1.002158e-05,9.999996e-06,9.962153e-06,9.954937e-06,9.909789e-06,9.902560e-06,9.864591e-06,9.842890e-06,9.819380e-06,9.783225e-06,9.774190e-06,9.729050e-06,9.723638e-06,9.683990e-06,9.664197e-06,9.639038e-06,9.604960e-06,9.594216e-06,9.549549e-06,9.545982e-06,9.505056e-06,9.487313e-06,9.460758e-06,9.428994e-06,9.416673e-06,9.372817e-06,9.371067e-06,9.329205e-06,9.313567e-06,9.285852e-06,9.256526e-06,9.242770e-06,9.199971e-06,9.143929e-06,9.088422e-06,9.033471e-06,8.979091e-06,8.925300e-06,8.872110e-06,8.819533e-06,8.767579e-06,8.716255e-06,8.665570e-06,8.615529e-06,8.566137e-06,8.517395e-06,8.469308e-06,8.421876e-06,8.375100e-06,8.328980e-06,8.283515e-06,8.238702e-06,8.194541e-06,8.151028e-06,8.108159e-06,8.065932e-06,8.024342e-06
0.000000e+00,3.576989e-09,8.334243e-09,2.924817e-08,6.729495e-08,9.865700e-08,2.261813e-07,2.330775e-07,4.544829e-07,5.352399e-07,7.866002e-07,1.049720e-06,1.255323e-06,1.829862e-06,1.886940e-06,2.701856e-06,2.925720e-06,3.705641e-06,4.346606e-06,4.887264e-06,6.058945e-06,6.227483e-06,7.706926e-06,8.017983e-06,9.308562e-06,1.018463e-05,1.101726e-05,1.252494e-05,1.281888e-05,1.469972e-05,1.500710e-05,1.664634e-05,1.760020e-05,1.864558e-05,2.027431e-05,2.068474e-05,2.275175e-05,2.300112e-05,2.483532e-05,2.575464e-05,2.692510e-05,2.851169e-05,2.901173e-05,3.108690e-05,3.125220e-05,3.314333e-05,3.395921e-05,3.517472e-05,3.661877e-05,3.717571e-05,3.914182e-05,3.921968e-05,4.106932e-05,4.175316e-05,4.295518e-05,4.421254e-05,4.479700e-05,4.659291e-05,4.834148e-05,4.889085e-05,5.004170e-05,5.110414e-05,5.169289e-05,5.323155e-05,5.329467e-05,5.484687e-05,5.527261e-05,5.634957e-05,5.722752e-05,5.780299e-05,5.909692e-05,5.920749e-05,6.056357e-05,6.088189e-05,6.187182e-05,6.258379e-05,6.313289e-05,6.420420e-05,6.434753e-05,6.551652e-05,6.574492e-05,6.664070e-05,6.720785e-05,6.772093e-05,6.859502e-05,6.875812e-05,6.975317e-05,6.990853e-05,7.070702e-05,7.115051e-05,7.162062e-05,7.232314e-05,7.249490e-05,7.333083e-05,7.342861e-05,7.412935e-05,7.446909e-05,7.489142e-05,7.544679e-05,7.561797e-05,7.630996e-05,7.636386e-05,7.696832e-05,7.722245e-05,7.759395e-05,7.802467e-05,7.818779e-05,7.875072e-05,7.877261e-05,7.928364e-05,7.946831e-05,7.978742e-05,8.011378e-05,8.026291e-05,8.071098e-05,8.113244e-05,8.126183e-05,8.152813e-05,8.176820e-05,8.189883e-05,8.223192e-05,8.224533e-05,8.256840e-05,8.265477e-05,8.286880e-05,8.303846e-05,8.314726e-05,8.338469e-05,8.340451e-05,8.364124e-05,8.369508e-05,8.385816e-05,8.397122e-05,8.405592e-05,8.421463e-05,8.423519e-05,8.439661e-05,8.442680e-05,8.454080e-05,8.460917e-05,8.466837e-05,8.476312e-05,8.477992e-05,8.487602e-05,8.489000e-05,8.495725e-05,8.499111e-05,8.502414e-05,8.506770e-05,8.507724e-05,8.511705e-05,8.512096e-05,8.514410e-05,8.515209e-05,8.515887e-05,8.516218e-05,8.516184e-05,8.515348e-05,8.515233e-05,8.513423e-05,8.512358e-05,8.510454e-05,8.507693e-05,8.506483e-05,8.501552e-05,8.501335e-05,8.495701e-05,8.493376e-05,8.488968e-05,8.483906e-05,8.481393e-05,8.473010e-05,8.460771e-05,8.447268e-05,8.432575e-05,8.416768e-05,8.399914e-05,8.382081e-05,8.363332e-05,8.343730e-05,8.323333e-05,8.302197e-05,8.280376e-05,8.257921e-05,8.234882e-05,8.211304e-05,8.187234e-05,8.162714e-05,8.137785e-05,8.112485e-05,8.086852e-05,8.060920e-05,8.034725e-05,8.008297e-05,7.981668e-05,7.954865e-05
0.000000e+00,3.147301e-11,1.678661e-10,1.790505e-09,7.792709e-09,1.483636e-08,5.572637e-08,5.834885e-08,1.567014e-07,1.976286e-07,3.362725e-07,4.944690e-07,6.247845e-07,1.011567e-06,1.051503e-06,1.646775e-06,1.818041e-06,2.439736e-06,2.979135e-06,3.453242e-06,4.535172e-06,4.696285e-06,6.157474e-06,6.473400e-06,7.805375e-06,8.721908e-06,9.596876e-06,1.118026e-05,1.148782e-05,1.343980e-05,1.375562e-05,1.542209e-05,1.637715e-05,1.741086e-05,1.899389e-05,1.938749e-05,2.133719e-05,2.156875e-05,2.324809e-05,2.407406e-05,2.511065e-05,2.648916e-05,2.691731e-05,2.866218e-05,2.879896e-05,3.034086e-05,3.099305e-05,3.195021e-05,3.306485e-05,3.348823e-05,3.495381e-05,3.501092e-05,3.634665e-05,3.683030e-05,3.766705e-05,3.852394e-05,3.891583e-05,4.009422e-05,4.120375e-05,4.154454e-05,4.224620e-05,4.287906e-05,4.322352e-05,4.410239e-05,4.413778e-05,4.499110e-05,4.521941e-05,4.578568e-05,4.623515e-05,4.652373e-05,4.715471e-05,4.720746e-05,4.783908e-05,4.798315e-05,4.842074e-05,4.872546e-05,4.895461e-05,4.938653e-05,4.944276e-05,4.988724e-05,4.997108e-05,5.029005e-05,5.048368e-05,5.065311e-05,5.092874e-05,5.097831e-05,5.126748e-05,5.131052e-05,5.152238e-05,5.163305e-05,5.174470e-05,5.190019e-05,5.193606e-05,5.209802e-05,5.211556e-05,5.223210e-05,5.228263e-05,5.233974e-05,5.240473e-05,5.242234e-05,5.248124e-05,5.248497e-05,5.251772e-05,5.252631e-05,5.253300e-05,5.253153e-05,5.252825e-05,5.250460e-05,5.250328e-05,5.246314e-05,5.244406e-05,5.240491e-05,5.235623e-05,5.233088e-05,5.224200e-05,5.213916e-05,5.210345e-05,5.202323e-05,5.194254e-05,5.189501e-05,5.176111e-05,5.175531e-05,5.160485e-05,5.156089e-05,5.144436e-05,5.134353e-05,5.127451e-05,5.111054e-05,5.109594e-05,5.090928e-05,5.086334e-05,5.071510e-05,5.060329e-05,5.051396e-05,5.033163e-05,5.030640e-05,5.009290e-05,5.004954e-05,4.987396e-05,4.975811e-05,4.965003e-05,4.945838e-05,4.942153e-05,4.918889e-05,4.915130e-05,4.895247e-05,4.883777e-05,4.871266e-05,4.851860e-05,4.846980e-05,4.822423e-05,4.819459e-05,4.797625e-05,4.786646e-05,4.772617e-05,4.753487e-05,4.747426e-05,4.722079e-05,4.720046e-05,4.696602e-05,4.686379e-05,4.671017e-05,4.652542e-05,4.645348e-05,4.619614e-05,4.618584e-05,4.593838e-05,4.584551e-05,4.568036e-05,4.550486e-05,4.542227e-05,4.516427e-05,4.482413e-05,4.448475e-05,4.414645e-05,4.380951e-05,4.347420e-05,4.314074e-05,4.280935e-05,4.248024e-05,4.215357e-05,4.182952e-05,4.150823e-05,4.118983e-05,4.087443e-05,4.056215e-05,4.025308e-05,3.994729e-05,3.964486e-05,3.934586e-05,3.905033e-05,3.875832e-05,3.846987e-05,3.818500e-05,3.790375e-05,3.762612e-05
0.000000e+00,1.239100e-13,8.291535e-13,1.389686e-11,8.930208e-11,2.086709e-10,1.291771e-09,1.379107e-09,5.828100e-09,8.258269e-09,1.860527e-08,3.392142e-08,4.904447e-08,1.057754e-07,1.125699e-07,2.327174e-07,2.734806e-07,4.431572e-07,6.168377e-07,7.892071e-07,1.251091e-06,1.328095e-06,2.127437e-06,2.325059e-06,3.261976e-06,4.010150e-06,4.809182e-06,6.483090e-06,6.844486e-06,9.436867e-06,9.907448e-06,1.264523e-05,1.441815e-05,1.651580e-05,2.011104e-05,2.108057e-05,2.635667e-05,2.703787e-05,3.234663e-05,3.520593e-05,3.903919e-05,4.458123e-05,4.641059e-05,5.442620e-05,5.509402e-05,6.304228e-05,6.664562e-05,7.220780e-05,7.911563e-05,8.186624e-05,9.195730e-05,9.236906e-05,1.024184e-04,1.062629e-04,1.131863e-04,1.206516e-04,1.241981e-04,1.353922e-04,1.467095e-04,1.503477e-04,1.580937e-04,1.653903e-04,1.694922e-04,1.804028e-04,1.808561e-04,1.921407e-04,1.952805e-04,2.033052e-04,2.099311e-04,2.143135e-04,2.242754e-04,2.251333e-04,2.357365e-04,2.382463e-04,2.460989e-04,2.517889e-04,2.561999e-04,2.648590e-04,2.660225e-04,2.755526e-04,2.774225e-04,2.847794e-04,2.894546e-04,2.936945e-04,3.009380e-04,3.022921e-04,3.105684e-04,3.118627e-04,3.185218e-04,3.222246e-04,3.261520e-04,3.320246e-04,3.334607e-04,3.404504e-04,3.412680e-04,3.471251e-04,3.499634e-04,3.534896e-04,3.581225e-04,3.595494e-04,3.653109e-04,3.657592e-04,3.707809e-04,3.728889e-04,3.759666e-04,3.795285e-04,3.808756e-04,3.855159e-04,3.856961e-04,3.898955e-04,3.914098e-04,3.940225e-04,3.966888e-04,3.979051e-04,4.015518e-04,4.049705e-04,4.060177e-04,4.081695e-04,4.101053e-04,4.111569e-04,4.138331e-04,4.139406e-04,4.165285e-04,4.172191e-04,4.189282e-04,4.202809e-04,4.211473e-04,4.230356e-04,4.231930e-04,4.250725e-04,4.254997e-04,4.267928e-04,4.276892e-04,4.283607e-04,4.296194e-04,4.297825e-04,4.310648e-04,4.313051e-04,4.322137e-04,4.327604e-04,4.332352e-04,4.339989e-04,4.341349e-04,4.349185e-04,4.350335e-04,4.355914e-04,4.358765e-04,4.361586e-04,4.365398e-04,4.366253e-04,4.369962e-04,4.370345e-04,4.372760e-04,4.373714e-04,4.374692e-04,4.375606e-04,4.375799e-04,4.376125e-04,4.376118e-04,4.375708e-04,4.375341e-04,4.374586e-04,4.373363e-04,4.372797e-04,4.370376e-04,4.370266e-04,4.367356e-04,4.366129e-04,4.363770e-04,4.361024e-04,4.359649e-04,4.355024e-04,4.348193e-04,4.340596e-04,4.332291e-04,4.323335e-04,4.313780e-04,4.303677e-04,4.293072e-04,4.282012e-04,4.270536e-04,4.258686e-04,4.246499e-04,4.234009e-04,4.221250e-04,4.208253e-04,4.195046e-04,4.181659e-04,4.168115e-04,4.154440e-04,4.140656e-04,4.126785e-04,4.112845e-04,4.098857e-04,4.084836e-04,4.070800e-04
0.000000e+00,2.232069e-13,1.515051e-12,2.615835e-11,1.727171e-10,4.096180e-10,2.633473e-09,2.815785e-09,1.233742e-08,1.764828e-08,4.068461e-08,7.549098e-08,1.103414e-07,2.434023e-07,2.595042e-07,5.475905e-07,6.463565e-07,1.061026e-06,1.489855e-06,1.918800e-06,3.081470e-06,3.276975e-06,5.331244e-06,5.845658e-06,8.316871e-06,1.032645e-05,1.250592e-05,1.717614e-05,1.820209e-05,2.573367e-05,2.713192e-05,3.544525e-05,4.098444e-05,4.768876e-05,5.954216e-05,6.281436e-05,8.116158e-05,8.359520e-05,1.030509e-04,1.138813e-04,1.287765e-04,1.510557e-04,1.585995e-04,1.927428e-04,1.956666e-04,2.313870e-04,2.481368e-04,2.746673e-04,3.087513e-04,3.226721e-04,3.754420e-04,3.776520e-04,4.329706e-04,4.548371e-04,4.952056e-04,5.401665e-04,5.620513e-04,6.333712e-04,7.089915e-04,7.340653e-04,7.887049e-04,8.417613e-04,8.722747e-04,9.558867e-04,9.594388e-04,1.049914e-03,1.075800e-03,1.143402e-03,1.200810e-03,1.239589e-03,1.330189e-03,1.338154e-03,1.438773e-03,1.463191e-03,1.541119e-03,1.599064e-03,1.644864e-03,1.737064e-03,1.749689e-03,1.855280e-03,1.876463e-03,1.961332e-03,2.016563e-03,2.067551e-03,2.156699e-03,2.173657e-03,2.279382e-03,2.296245e-03,2.384473e-03,2.434621e-03,2.488693e-03,2.571294e-03,2.591822e-03,2.693656e-03,2.705779e-03,2.794004e-03,2.837643e-03,2.892697e-03,2.966500e-03,2.989578e-03,3.084506e-03,3.092013e-03,3.177358e-03,3.213892e-03,3.268023e-03,3.331894e-03,3.356406e-03,3.442425e-03,3.445815e-03,3.526009e-03,3.555493e-03,3.607104e-03,3.660801e-03,3.685662e-03,3.761649e-03,3.835041e-03,3.857976e-03,3.905822e-03,3.949749e-03,3.973986e-03,4.036961e-03,4.039533e-03,4.102471e-03,4.119629e-03,4.162817e-03,4.197788e-03,4.220590e-03,4.271491e-03,4.275816e-03,4.328527e-03,4.340808e-03,4.378759e-03,4.405820e-03,4.426550e-03,4.466622e-03,4.471944e-03,4.514985e-03,4.523315e-03,4.555721e-03,4.576010e-03,4.594203e-03,4.624824e-03,4.630483e-03,4.664614e-03,4.669880e-03,4.696651e-03,4.711301e-03,4.726649e-03,4.749218e-03,4.754665e-03,4.780754e-03,4.783759e-03,4.804975e-03,4.815054e-03,4.827382e-03,4.843235e-03,4.848034e-03,4.866987e-03,4.868431e-03,4.884295e-03,4.890771e-03,4.900016e-03,4.910383e-03,4.914204e-03,4.926912e-03,4.927391e-03,4.938195e-03,4.941918e-03,4.948105e-03,4.954086e-03,4.956694e-03,4.964011e-03,4.971808e-03,4.977588e-03,4.981458e-03,4.983523e-03,4.983884e-03,4.982638e-03,4.979879e-03,4.975697e-03,4.970180e-03,4.963409e-03,4.955467e-03,4.946428e-03,4.936367e-03,4.925354e-03,4.913457e-03,4.900738e-03,4.887260e-03,4.873081e-03,4.858255e-03,4.842837e-03,4.826877e-03,4.810422e-03,4.793517e-03,4.776207e-03
0.000000e+00,1.535167e-13,1.038225e-12,1.779272e-11,1.167005e-10,2.757723e-10,1.756903e-09,1.877849e-09,8.156918e-09,1.164167e-08,2.668902e-08,4.931033e-08,7.188188e-08,1.576811e-07,1.680371e-07,3.527949e-07,4.159846e-07,6.808325e-07,9.542706e-07,1.227537e-06,1.967711e-06,2.092142e-06,3.399694e-06,3.727215e-06,5.301415e-06,6.582641e-06,7.973314e-06,1.095710e-05,1.161325e-05,1.643683e-05,1.733357e-05,2.267243e-05,2.623619e-05,3.055590e-05,3.820896e-05,4.032496e-05,5.221379e-05,5.379373e-05,6.644789e-05,7.350910e-05,8.323927e-05,9.783131e-05,1.027822e-04,1.252494e-04,1.271777e-04,1.507891e-04,1.618933e-04,1.795223e-04,2.022407e-04,2.115414e-04,2.469083e-04,2.483931e-04,2.856543e-04,3.004312e-04,3.277801e-04,3.583420e-04,3.732556e-04,4.220219e-04,4.739919e-04,4.912812e-04,5.290525e-04,5.658506e-04,5.870661e-04,6.453900e-04,6.478738e-04,7.112967e-04,7.294976e-04,7.771396e-04,8.177202e-04,8.451928e-04,9.095640e-04,9.152352e-04,9.870365e-04,1.004504e-03,1.060360e-03,1.101997e-03,1.134966e-03,1.201487e-03,1.210611e-03,1.287054e-03,1.302417e-03,1.364054e-03,1.404237e-03,1.441378e-03,1.506411e-03,1.518794e-03,1.596082e-03,1.608422e-03,1.673027e-03,1.709778e-03,1.749424e-03,1.810017e-03,1.825080e-03,1.899813e-03,1.908711e-03,1.973451e-03,2.005463e-03,2.045835e-03,2.099918e-03,2.116819e-03,2.186268e-03,2.191754e-03,2.254062e-03,2.280691e-03,2.320090e-03,2.366482e-03,2.384256e-03,2.446475e-03,2.448922e-03,2.506672e-03,2.527836e-03,2.564787e-03,2.603088e-03,2.620767e-03,2.674571e-03,2.726168e-03,2.742210e-03,2.775536e-03,2.805956e-03,2.822662e-03,2.865787e-03,2.867539e-03,2.910171e-03,2.921707e-03,2.950567e-03,2.973738e-03,2.988743e-03,3.021923e-03,3.024721e-03,3.058528e-03,3.066322e-03,3.090196e-03,3.107009e-03,3.119761e-03,3.144072e-03,3.147265e-03,3.172752e-03,3.177611e-03,3.196268e-03,3.207734e-03,3.217863e-03,3.234556e-03,3.237589e-03,3.255499e-03,3.258200e-03,3.271650e-03,3.278794e-03,3.286097e-03,3.296466e-03,3.298898e-03,3.310110e-03,3.311352e-03,3.319792e-03,3.323583e-03,3.328003e-03,3.333296e-03,3.334801e-03,3.340244e-03,3.340623e-03,3.344390e-03,3.345698e-03,3.347296e-03,3.348652e-03,3.349019e-03,3.349613e-03,3.349614e-03,3.349133e-03,3.348708e-03,3.347633e-03,3.346057e-03,3.345165e-03,3.341780e-03,3.335991e-03,3.328802e-03,3.320319e-03,3.310645e-03,3.299876e-03,3.288107e-03,3.275426e-03,3.261918e-03,3.247663e-03,3.232737e-03,3.217212e-03,3.201155e-03,3.184630e-03,3.167696e-03,3.150411e-03,3.132825e-03,3.114988e-03,3.096946e-03,3.078741e-03,3.060413e-03,3.041998e-03,3.023531e-03,3.005042e-03,2.986561e-03
0.000000e+00,5.171714e-12,2.984009e-11,3.698887e-10,1.818547e-09,3.679850e-09,1.588015e-08,1.671262e-08,5.024428e-08,6.510511e-08,1.178836e-07,1.813111e-07,2.353917e-07,4.026895e-07,4.204097e-07,6.909842e-07,7.704085e-07,1.061666e-06,1.315966e-06,1.539542e-06,2.048184e-06,2.123725e-06,2.808067e-06,2.956243e-06,3.584382e-06,4.021655e-06,4.444434e-06,5.225999e-06,5.380604e-06,6.385766e-06,6.552528e-06,7.452906e-06,7.985037e-06,8.574786e-06,9.506577e-06,9.743755e-06,1.095169e-05,1.109886e-05,1.219006e-05,1.274231e-05,1.345004e-05,1.441661e-05,1.472274e-05,1.599930e-05,1.610134e-05,1.727118e-05,1.777679e-05,1.853026e-05,1.942460e-05,1.976899e-05,2.098052e-05,2.102833e-05,2.215878e-05,2.257377e-05,2.329851e-05,2.404922e-05,2.439528e-05,2.544550e-05,2.644640e-05,2.675592e-05,2.739594e-05,2.797606e-05,2.829281e-05,2.910359e-05,2.913630e-05,2.992629e-05,3.013794e-05,3.066316e-05,3.108009e-05,3.134769e-05,3.193221e-05,3.198102e-05,3.256459e-05,3.269742e-05,3.310005e-05,3.337957e-05,3.358924e-05,3.398301e-05,3.403412e-05,3.443674e-05,3.451237e-05,3.479919e-05,3.497250e-05,3.512360e-05,3.536824e-05,3.541207e-05,3.566668e-05,3.570441e-05,3.588947e-05,3.598570e-05,3.608243e-05,3.621660e-05,3.624746e-05,3.638641e-05,3.640141e-05,3.650102e-05,3.654418e-05,3.659299e-05,3.664871e-05,3.666389e-05,3.671523e-05,3.671854e-05,3.674844e-05,3.675695e-05,3.676485e-05,3.676697e-05,3.676572e-05,3.675223e-05,3.675141e-05,3.672549e-05,3.671282e-05,3.668654e-05,3.665356e-05,3.663633e-05,3.657578e-05,3.650572e-05,3.648143e-05,3.642695e-05,3.637230e-05,3.634019e-05,3.625002e-05,3.624613e-05,3.614539e-05,3.611607e-05,3.603858e-05,3.597180e-05,3.592623e-05,3.581842e-05,3.580886e-05,3.568694e-05,3.565705e-05,3.556091e-05,3.548869e-05,3.543118e-05,3.531426e-05,3.529813e-05,3.516212e-05,3.513459e-05,3.502347e-05,3.495043e-05,3.488249e-05,3.476247e-05,3.473946e-05,3.459464e-05,3.457132e-05,3.444828e-05,3.437755e-05,3.430061e-05,3.418166e-05,3.415183e-05,3.400214e-05,3.398412e-05,3.385172e-05,3.378535e-05,3.370074e-05,3.358572e-05,3.354935e-05,3.339771e-05,3.338557e-05,3.324594e-05,3.318522e-05,3.309417e-05,3.298495e-05,3.294251e-05,3.279107e-05,3.278502e-05,3.263995e-05,3.258564e-05,3.248924e-05,3.238704e-05,3.233903e-05,3.218939e-05,3.199286e-05,3.179760e-05,3.160376e-05,3.141144e-05,3.122076e-05,3.103181e-05,3.084468e-05,3.065945e-05,3.047617e-05,3.029491e-05,3.011572e-05,2.993864e-05,2.976370e-05,2.959095e-05,2.942040e-05,2.925207e-05,2.908598e-05,2.892214e-05,2.876057e-05,2.860126e-05,2.844421e-05,2.828943e-05,2.813691e-05,2.798665e-05
0.000000e+00,1.668514e-09,3.963204e-09,1.417028e-08,3.284227e-08,4.825699e-08,1.109646e-07,1.143554e-07,2.231921e-07,2.628815e-07,3.864276e-07,5.158422e-07,6.170947e-07,9.011282e-07,9.294685e-07,1.337690e-06,1.451247e-06,1.852408e-06,2.188560e-06,2.476200e-06,3.109453e-06,3.201366e-06,4.012859e-06,4.184001e-06,4.893622e-06,5.373741e-06,5.828135e-06,6.645096e-06,6.803415e-06,7.808720e-06,7.971729e-06,8.834949e-06,9.332605e-06,9.874164e-06,1.071011e-05,1.091929e-05,1.196394e-05,1.208899e-05,1.300238e-05,1.345597e-05,1.402944e-05,1.479958e-05,1.504057e-05,1.603180e-05,1.611013e-05,1.699970e-05,1.737968e-05,1.794144e-05,1.860196e-05,1.885468e-05,1.973757e-05,1.977223e-05,2.058869e-05,2.088712e-05,2.140704e-05,2.194446e-05,2.219197e-05,2.294312e-05,2.366041e-05,2.388281e-05,2.434399e-05,2.476393e-05,2.499419e-05,2.558742e-05,2.561149e-05,2.619652e-05,2.635464e-05,2.675000e-05,2.706726e-05,2.727271e-05,2.772719e-05,2.776554e-05,2.822937e-05,2.833648e-05,2.866516e-05,2.889731e-05,2.907386e-05,2.941185e-05,2.945641e-05,2.981378e-05,2.988232e-05,3.014693e-05,3.031091e-05,3.045681e-05,3.069981e-05,3.074435e-05,3.101047e-05,3.105112e-05,3.125606e-05,3.136692e-05,3.148201e-05,3.164919e-05,3.168916e-05,3.187834e-05,3.189988e-05,3.205037e-05,3.212083e-05,3.220601e-05,3.231381e-05,3.234603e-05,3.247115e-05,3.248054e-05,3.258207e-05,3.262262e-05,3.267948e-05,3.274162e-05,3.276403e-05,3.283635e-05,3.283900e-05,3.289704e-05,3.291616e-05,3.294669e-05,3.297444e-05,3.298586e-05,3.301509e-05,3.303489e-05,3.303932e-05,3.304576e-05,3.304825e-05,3.304818e-05,3.304297e-05,3.304260e-05,3.302946e-05,3.302448e-05,3.300918e-05,3.299375e-05,3.298216e-05,3.295168e-05,3.294878e-05,3.290942e-05,3.289912e-05,3.286442e-05,3.283689e-05,3.281413e-05,3.276574e-05,3.275886e-05,3.269892e-05,3.268639e-05,3.263460e-05,3.259952e-05,3.256619e-05,3.250576e-05,3.249396e-05,3.241815e-05,3.240571e-05,3.233902e-05,3.229993e-05,3.225680e-05,3.218894e-05,3.217170e-05,3.208395e-05,3.207325e-05,3.199375e-05,3.195333e-05,3.190127e-05,3.182959e-05,3.180672e-05,3.171026e-05,3.170247e-05,3.161207e-05,3.157234e-05,3.151229e-05,3.143955e-05,3.141108e-05,3.130858e-05,3.130445e-05,3.120493e-05,3.116735e-05,3.110025e-05,3.102855e-05,3.099468e-05,3.088831e-05,3.074690e-05,3.060455e-05,3.046149e-05,3.031792e-05,3.017403e-05,3.003001e-05,2.988602e-05,2.974221e-05,2.959872e-05,2.945569e-05,2.931324e-05,2.917148e-05,2.903052e-05,2.889044e-05,2.875133e-05,2.861328e-05,2.847636e-05,2.834063e-05,2.820615e-05,2.807298e-05,2.794116e-05,2.781074e-05,2.768176e-05,2.755425e-05
0.000000e+00,8.695123e-14,5.864743e-13,9.992275e-12,6.515514e-11,1.534349e-10,9.679347e-10,1.034123e-09,4.441332e-09,6.317342e-09,1.435108e-08,2.630042e-08,3.812203e-08,8.246894e-08,8.777390e-08,1.812456e-07,2.128143e-07,3.435440e-07,4.764548e-07,6.076976e-07,9.573159e-07,1.015415e-06,1.617313e-06,1.766060e-06,2.472554e-06,3.039268e-06,3.647770e-06,4.935009e-06,5.215262e-06,7.250587e-06,7.624753e-06,9.829768e-06,1.128273e-05,1.302639e-05,1.607439e-05,1.690877e-05,2.153748e-05,2.214560e-05,2.696320e-05,2.961354e-05,3.322509e-05,3.856019e-05,4.034971e-05,4.835038e-05,4.902837e-05,5.722702e-05,6.102041e-05,6.696642e-05,7.449905e-05,7.754290e-05,8.891922e-05,8.939027e-05,1.010477e-04,1.055875e-04,1.138718e-04,1.229569e-04,1.273270e-04,1.413430e-04,1.558448e-04,1.605752e-04,1.707540e-04,1.804728e-04,1.859907e-04,2.008513e-04,2.014744e-04,2.171255e-04,2.215271e-04,2.328659e-04,2.423215e-04,2.486203e-04,2.630649e-04,2.643169e-04,2.798879e-04,2.835991e-04,2.952701e-04,3.037797e-04,3.104052e-04,3.234775e-04,3.252402e-04,3.397274e-04,3.425792e-04,3.538243e-04,3.609881e-04,3.674942e-04,3.786234e-04,3.807052e-04,3.934308e-04,3.954203e-04,4.056492e-04,4.113287e-04,4.173433e-04,4.263123e-04,4.285003e-04,4.391115e-04,4.403478e-04,4.491717e-04,4.534232e-04,4.586795e-04,4.655367e-04,4.676363e-04,4.760463e-04,4.766957e-04,4.839163e-04,4.869150e-04,4.912550e-04,4.962160e-04,4.980733e-04,5.043834e-04,5.046255e-04,5.101992e-04,5.121746e-04,5.155353e-04,5.188980e-04,5.204076e-04,5.248326e-04,5.288271e-04,5.300173e-04,5.324086e-04,5.344921e-04,5.355946e-04,5.382976e-04,5.384029e-04,5.408511e-04,5.414744e-04,5.429567e-04,5.440628e-04,5.447370e-04,5.461022e-04,5.462090e-04,5.473896e-04,5.476313e-04,5.482949e-04,5.486877e-04,5.489410e-04,5.493072e-04,5.493431e-04,5.495163e-04,5.495247e-04,5.494749e-04,5.493732e-04,5.492327e-04,5.488840e-04,5.488032e-04,5.481991e-04,5.480871e-04,5.474325e-04,5.470104e-04,5.465153e-04,5.456804e-04,5.454584e-04,5.442725e-04,5.441220e-04,5.429677e-04,5.423584e-04,5.415535e-04,5.404113e-04,5.400391e-04,5.384331e-04,5.383009e-04,5.367435e-04,5.360460e-04,5.349781e-04,5.336641e-04,5.331441e-04,5.312483e-04,5.311713e-04,5.292973e-04,5.285825e-04,5.272969e-04,5.259115e-04,5.252531e-04,5.231710e-04,5.203725e-04,5.175269e-04,5.146438e-04,5.117322e-04,5.088004e-04,5.058556e-04,5.029048e-04,4.999540e-04,4.970088e-04,4.940742e-04,4.911547e-04,4.882544e-04,4.853769e-04,4.825254e-04,4.797029e-04,4.769118e-04,4.741543e-04,4.714326e-04,4.687481e-04,4.661025e-04,4.634968e-04,4.609323e-04,4.584098e-04,4.559299e-04
0.000000e+00,3.257189e-13,2.189833e-12,3.707834e-11,2.405935e-10,5.652585e-10,3.549055e-09,3.791172e-09,1.624143e-08,2.309552e-08,5.247564e-08,9.627790e-08,1.397276e-07,3.035938e-07,3.232770e-07,6.723613e-07,7.910902e-07,1.286276e-06,1.794436e-06,2.299911e-06,3.660032e-06,3.887607e-06,6.264368e-06,6.856108e-06,9.684083e-06,1.196903e-05,1.443510e-05,1.968554e-05,2.083373e-05,2.921651e-05,3.076507e-05,3.993175e-05,4.600686e-05,5.333091e-05,6.621568e-05,6.976018e-05,8.955251e-05,9.216868e-05,1.130203e-04,1.245851e-04,1.404489e-04,1.641004e-04,1.720909e-04,2.081619e-04,2.112444e-04,2.488363e-04,2.664258e-04,2.942451e-04,3.299210e-04,3.444742e-04,3.995638e-04,4.018685e-04,4.595083e-04,4.822685e-04,5.242578e-04,5.709864e-04,5.937195e-04,6.677603e-04,7.462097e-04,7.722120e-04,8.288627e-04,8.838591e-04,9.154839e-04,1.002130e-03,1.005811e-03,1.099559e-03,1.126381e-03,1.196425e-03,1.255908e-03,1.296088e-03,1.389965e-03,1.398219e-03,1.502480e-03,1.527782e-03,1.608530e-03,1.668572e-03,1.716026e-03,1.811549e-03,1.824628e-03,1.934001e-03,1.955938e-03,2.043815e-03,2.100988e-03,2.153754e-03,2.245974e-03,2.263510e-03,2.372788e-03,2.390209e-03,2.481308e-03,2.533050e-03,2.588805e-03,2.673899e-03,2.695031e-03,2.799754e-03,2.812210e-03,2.902760e-03,2.947486e-03,3.003849e-03,3.079285e-03,3.102844e-03,3.199580e-03,3.207217e-03,3.293912e-03,3.330942e-03,3.385711e-03,3.450174e-03,3.474865e-03,3.561275e-03,3.564673e-03,3.644861e-03,3.674247e-03,3.725555e-03,3.778747e-03,3.803303e-03,3.878065e-03,3.949813e-03,3.972132e-03,4.018529e-03,4.060913e-03,4.084208e-03,4.144406e-03,4.146853e-03,4.206479e-03,4.222636e-03,4.263106e-03,4.295655e-03,4.316764e-03,4.363539e-03,4.367491e-03,4.415327e-03,4.426383e-03,4.460323e-03,4.484299e-03,4.502531e-03,4.537415e-03,4.542011e-03,4.578822e-03,4.585870e-03,4.613032e-03,4.629815e-03,4.644707e-03,4.669408e-03,4.673919e-03,4.700740e-03,4.704814e-03,4.725244e-03,4.736204e-03,4.747505e-03,4.763750e-03,4.767599e-03,4.785603e-03,4.787627e-03,4.801593e-03,4.808010e-03,4.815646e-03,4.825076e-03,4.827836e-03,4.838240e-03,4.838997e-03,4.846931e-03,4.849945e-03,4.853984e-03,4.858088e-03,4.859471e-03,4.863462e-03,4.863592e-03,4.866028e-03,4.866616e-03,4.867237e-03,4.867318e-03,4.867155e-03,4.865848e-03,4.862352e-03,4.856972e-03,4.849843e-03,4.841095e-03,4.830851e-03,4.819232e-03,4.806348e-03,4.792309e-03,4.777215e-03,4.761163e-03,4.744244e-03,4.726545e-03,4.708148e-03,4.689127e-03,4.669556e-03,4.649502e-03,4.629029e-03,4.608195e-03,4.587056e-03,4.565664e-03,4.544067e-03,4.522309e-03,4.500432e-03,4.478474e-03
0.000000e+00,6.436261e-12,3.673166e-11,4.458226e-10,2.154091e-09,4.320154e-09,1.824643e-08,1.918673e-08,5.650983e-08,7.280610e-08,1.298463e-07,1.970452e-07,2.534055e-07,4.235613e-07,4.412832e-07,7.070863e-07,7.839142e-07,1.063521e-06,1.306904e-06,1.521536e-06,2.014889e-06,2.088899e-06,2.768785e-06,2.918181e-06,3.559284e-06,4.012118e-06,4.454149e-06,5.279834e-06,5.444210e-06,6.518741e-06,6.697749e-06,7.666377e-06,8.239834e-06,8.875635e-06,9.879786e-06,1.013518e-05,1.143401e-05,1.159201e-05,1.276156e-05,1.335219e-05,1.410785e-05,1.513781e-05,1.546358e-05,1.682025e-05,1.692858e-05,1.817021e-05,1.870678e-05,1.950673e-05,2.045737e-05,2.082394e-05,2.211687e-05,2.216803e-05,2.338136e-05,2.382894e-05,2.461402e-05,2.543266e-05,2.581217e-05,2.697375e-05,2.809725e-05,2.844855e-05,2.918165e-05,2.985485e-05,3.022634e-05,3.119163e-05,3.123105e-05,3.219582e-05,3.245883e-05,3.312093e-05,3.365714e-05,3.400685e-05,3.478783e-05,3.485422e-05,3.566381e-05,3.585258e-05,3.643648e-05,3.685341e-05,3.717319e-05,3.779252e-05,3.787491e-05,3.854270e-05,3.867228e-05,3.917762e-05,3.949515e-05,3.978075e-05,4.026360e-05,4.035317e-05,4.089596e-05,4.098013e-05,4.141021e-05,4.164722e-05,4.189696e-05,4.226728e-05,4.235728e-05,4.279218e-05,4.284270e-05,4.320266e-05,4.337579e-05,4.358970e-05,4.386877e-05,4.395426e-05,4.429727e-05,4.432381e-05,4.461962e-05,4.474297e-05,4.492218e-05,4.512825e-05,4.520580e-05,4.547129e-05,4.548155e-05,4.571946e-05,4.580470e-05,4.595105e-05,4.609945e-05,4.616681e-05,4.636744e-05,4.655363e-05,4.661027e-05,4.672604e-05,4.682945e-05,4.688530e-05,4.702639e-05,4.703203e-05,4.716681e-05,4.720248e-05,4.729020e-05,4.735900e-05,4.740275e-05,4.749717e-05,4.750498e-05,4.759739e-05,4.761816e-05,4.768046e-05,4.772307e-05,4.775465e-05,4.781295e-05,4.782041e-05,4.787816e-05,4.788879e-05,4.792831e-05,4.795151e-05,4.797124e-05,4.800200e-05,4.800734e-05,4.803695e-05,4.804111e-05,4.806043e-05,4.806961e-05,4.807809e-05,4.808826e-05,4.809027e-05,4.809725e-05,4.809775e-05,4.809933e-05,4.809876e-05,4.809677e-05,4.809190e-05,4.808986e-05,4.807883e-05,4.807778e-05,4.806393e-05,4.805693e-05,4.804538e-05,4.802990e-05,4.802342e-05,4.799824e-05,4.799717e-05,4.797005e-05,4.795920e-05,4.793904e-05,4.791644e-05,4.790540e-05,4.786929e-05,4.781814e-05,4.776335e-05,4.770527e-05,4.764420e-05,4.758046e-05,4.751431e-05,4.744603e-05,4.737586e-05,4.730403e-05,4.723076e-05,4.715624e-05,4.708067e-05,4.700421e-05,4.692704e-05,4.684930e-05,4.677114e-05,4.669269e-05,4.661407e-05,4.653540e-05,4.645677e-05,4.637829e-05,4.630005e-05,4.622213e-05,4.614461e-05
0.000000e+00,6.107686e-12,3.630104e-11,4.768767e-10,2.461220e-09,5.105233e-09,2.333215e-08,2.460742e-08,7.748389e-08,1.014803e-07,1.880412e-07,2.934846e-07,3.839350e-07,6.647296e-07,6.945021e-07,1.149879e-06,1.284080e-06,1.780144e-06,2.220124e-06,2.613343e-06,3.532042e-06,3.671333e-06,4.963569e-06,5.249721e-06,6.481431e-06,7.351263e-06,8.196884e-06,9.759325e-06,1.006687e-05,1.204116e-05,1.236334e-05,1.407001e-05,1.504998e-05,1.610926e-05,1.772346e-05,1.812259e-05,2.008177e-05,2.031217e-05,2.196571e-05,2.276672e-05,2.375924e-05,2.505526e-05,2.545188e-05,2.703696e-05,2.715899e-05,2.851073e-05,2.906872e-05,2.987189e-05,3.078245e-05,3.112100e-05,3.226021e-05,3.230353e-05,3.329282e-05,3.363926e-05,3.422308e-05,3.479968e-05,3.505590e-05,3.579665e-05,3.645094e-05,3.664299e-05,3.702453e-05,3.735193e-05,3.752316e-05,3.793657e-05,3.795248e-05,3.831794e-05,3.840954e-05,3.862477e-05,3.878280e-05,3.887793e-05,3.906746e-05,3.908209e-05,3.924163e-05,3.927373e-05,3.936060e-05,3.941092e-05,3.944277e-05,3.948742e-05,3.949163e-05,3.951037e-05,3.951077e-05,3.950193e-05,3.948771e-05,3.946901e-05,3.942423e-05,3.941405e-05,3.933930e-05,3.932564e-05,3.924681e-05,3.919666e-05,3.913844e-05,3.904145e-05,3.901588e-05,3.888067e-05,3.886367e-05,3.873423e-05,3.866656e-05,3.857782e-05,3.845300e-05,3.841260e-05,3.823962e-05,3.822548e-05,3.805984e-05,3.798622e-05,3.787413e-05,3.773718e-05,3.768327e-05,3.748797e-05,3.748008e-05,3.728890e-05,3.721642e-05,3.708663e-05,3.694754e-05,3.688171e-05,3.667463e-05,3.646583e-05,3.639872e-05,3.625571e-05,3.612072e-05,3.604465e-05,3.584145e-05,3.583297e-05,3.562098e-05,3.556160e-05,3.540895e-05,3.528182e-05,3.519713e-05,3.500265e-05,3.498576e-05,3.477504e-05,3.472458e-05,3.456515e-05,3.444804e-05,3.435626e-05,3.417339e-05,3.414853e-05,3.394209e-05,3.390097e-05,3.373707e-05,3.363105e-05,3.353357e-05,3.336388e-05,3.333170e-05,3.313154e-05,3.309968e-05,3.293318e-05,3.283863e-05,3.273670e-05,3.258089e-05,3.254214e-05,3.234957e-05,3.232659e-05,3.215903e-05,3.207585e-05,3.197058e-05,3.182876e-05,3.178423e-05,3.160004e-05,3.158540e-05,3.141801e-05,3.134582e-05,3.123819e-05,3.111008e-05,3.106057e-05,3.088518e-05,3.087821e-05,3.071202e-05,3.065024e-05,3.054111e-05,3.042618e-05,3.037245e-05,3.020604e-05,2.998982e-05,2.977750e-05,2.956908e-05,2.936454e-05,2.916384e-05,2.896696e-05,2.877386e-05,2.858452e-05,2.839888e-05,2.821691e-05,2.803856e-05,2.786378e-05,2.769253e-05,2.752476e-05,2.736040e-05,2.719942e-05,2.704175e-05,2.688735e-05,2.673615e-05,2.658811e-05,2.644317e-05,2.630128e-05,2.616237e-05,2.602639e-05
0.000000e+00,7.771508e-14,5.073680e-13,8.076004e-12,4.949539e-11,1.126794e-10,6.522644e-10,6.944771e-10,2.749140e-09,3.828258e-09,8.263484e-09,1.457058e-08,2.062506e-08,4.249993e-08,4.505908e-08,8.899145e-08,1.034657e-07,1.620461e-07,2.198020e-07,2.753573e-07,4.173658e-07,4.402186e-07,6.664946e-07,7.198045e-07,9.612956e-07,1.143013e-06,1.328208e-06,1.692173e-06,1.767134e-06,2.274606e-06,2.361779e-06,2.844401e-06,3.137678e-06,3.468282e-06,3.999962e-06,4.136736e-06,4.839631e-06,4.925805e-06,5.566746e-06,5.891782e-06,6.308189e-06,6.875529e-06,7.054680e-06,7.797755e-06,7.856821e-06,8.529881e-06,8.818166e-06,9.244514e-06,9.745068e-06,9.936112e-06,1.060012e-05,1.062605e-05,1.123293e-05,1.145255e-05,1.183180e-05,1.221865e-05,1.239484e-05,1.292085e-05,1.340932e-05,1.355770e-05,1.386030e-05,1.412946e-05,1.427429e-05,1.463779e-05,1.465223e-05,1.499537e-05,1.508541e-05,1.530520e-05,1.547580e-05,1.558340e-05,1.581296e-05,1.583178e-05,1.605220e-05,1.610116e-05,1.624658e-05,1.634477e-05,1.641682e-05,1.654812e-05,1.656475e-05,1.669219e-05,1.671537e-05,1.680085e-05,1.685047e-05,1.689235e-05,1.695706e-05,1.696821e-05,1.702986e-05,1.703849e-05,1.707860e-05,1.709777e-05,1.711565e-05,1.713762e-05,1.714212e-05,1.715900e-05,1.716043e-05,1.716724e-05,1.716833e-05,1.716765e-05,1.716319e-05,1.716098e-05,1.714793e-05,1.714663e-05,1.712909e-05,1.712007e-05,1.710503e-05,1.708475e-05,1.707624e-05,1.704317e-05,1.704176e-05,1.700622e-05,1.699204e-05,1.696576e-05,1.693640e-05,1.692210e-05,1.687557e-05,1.682640e-05,1.681016e-05,1.677486e-05,1.674073e-05,1.672117e-05,1.666778e-05,1.666552e-05,1.660810e-05,1.659173e-05,1.654909e-05,1.651297e-05,1.648862e-05,1.643184e-05,1.642686e-05,1.636392e-05,1.634865e-05,1.629992e-05,1.626366e-05,1.623498e-05,1.617713e-05,1.616920e-05,1.610266e-05,1.608928e-05,1.603547e-05,1.600030e-05,1.596771e-05,1.591039e-05,1.589944e-05,1.583074e-05,1.581971e-05,1.576168e-05,1.572842e-05,1.569231e-05,1.563665e-05,1.562271e-05,1.555291e-05,1.554452e-05,1.548298e-05,1.545217e-05,1.541295e-05,1.535969e-05,1.534287e-05,1.527279e-05,1.526719e-05,1.520274e-05,1.517474e-05,1.513277e-05,1.508244e-05,1.506289e-05,1.499315e-05,1.499037e-05,1.492358e-05,1.489858e-05,1.485420e-05,1.480714e-05,1.478504e-05,1.471612e-05,1.462556e-05,1.453552e-05,1.444604e-05,1.435715e-05,1.426890e-05,1.418133e-05,1.409445e-05,1.400830e-05,1.392291e-05,1.383828e-05,1.375446e-05,1.367145e-05,1.358927e-05,1.350793e-05,1.342744e-05,1.334782e-05,1.326908e-05,1.319121e-05,1.311424e-05,1.303816e-05,1.296297e-05,1.288868e-05,1.281530e-05,1.274281e-05
0.000000e+00,3.728567e-10,1.397828e-09,8.407214e-09,2.502859e-08,4.037510e-08,1.093154e-07,1.132226e-07,2.436305e-07,2.927910e-07,4.489487e-07,6.158497e-07,7.479707e-07,1.122950e-06,1.160595e-06,1.704646e-06,1.856073e-06,2.389345e-06,2.833206e-06,3.210648e-06,4.035245e-06,4.154385e-06,5.203316e-06,5.424274e-06,6.341357e-06,6.963597e-06,7.554373e-06,8.621923e-06,8.829657e-06,1.015534e-05,1.037136e-05,1.152007e-05,1.218579e-05,1.291292e-05,1.404040e-05,1.432343e-05,1.574174e-05,1.591202e-05,1.715869e-05,1.777954e-05,1.856596e-05,1.962442e-05,1.995614e-05,2.132274e-05,2.143087e-05,2.266022e-05,2.318600e-05,2.396396e-05,2.487962e-05,2.523019e-05,2.645594e-05,2.650410e-05,2.763897e-05,2.805408e-05,2.877770e-05,2.952619e-05,2.987111e-05,3.091863e-05,3.192006e-05,3.223080e-05,3.287559e-05,3.346324e-05,3.378567e-05,3.461719e-05,3.465095e-05,3.547227e-05,3.569451e-05,3.625068e-05,3.669757e-05,3.698725e-05,3.762899e-05,3.768321e-05,3.833985e-05,3.849174e-05,3.895854e-05,3.928897e-05,3.954073e-05,4.002394e-05,4.008777e-05,4.060094e-05,4.069962e-05,4.108158e-05,4.131911e-05,4.153104e-05,4.188542e-05,4.195059e-05,4.234146e-05,4.240142e-05,4.270491e-05,4.286997e-05,4.304213e-05,4.329381e-05,4.335429e-05,4.364252e-05,4.367556e-05,4.390791e-05,4.401771e-05,4.415149e-05,4.432267e-05,4.437430e-05,4.457731e-05,4.459273e-05,4.476148e-05,4.483007e-05,4.492770e-05,4.503676e-05,4.507686e-05,4.520979e-05,4.521478e-05,4.532731e-05,4.536599e-05,4.543018e-05,4.549215e-05,4.551916e-05,4.559495e-05,4.565824e-05,4.567596e-05,4.570969e-05,4.573669e-05,4.574991e-05,4.577854e-05,4.577952e-05,4.579909e-05,4.580284e-05,4.580916e-05,4.581086e-05,4.581026e-05,4.580378e-05,4.580289e-05,4.578754e-05,4.578271e-05,4.576465e-05,4.574872e-05,4.573468e-05,4.570278e-05,4.569804e-05,4.565513e-05,4.564583e-05,4.560632e-05,4.557874e-05,4.555199e-05,4.550234e-05,4.549248e-05,4.542813e-05,4.541740e-05,4.535923e-05,4.532465e-05,4.528611e-05,4.522476e-05,4.520904e-05,4.512830e-05,4.511838e-05,4.504414e-05,4.500610e-05,4.495682e-05,4.488849e-05,4.486657e-05,4.477362e-05,4.476607e-05,4.467817e-05,4.463934e-05,4.458044e-05,4.450876e-05,4.448061e-05,4.437887e-05,4.437476e-05,4.427539e-05,4.423774e-05,4.417033e-05,4.409808e-05,4.406386e-05,4.395613e-05,4.381221e-05,4.366665e-05,4.351971e-05,4.337168e-05,4.322278e-05,4.307327e-05,4.292334e-05,4.277319e-05,4.262302e-05,4.247299e-05,4.232326e-05,4.217398e-05,4.202527e-05,4.187727e-05,4.173008e-05,4.158382e-05,4.143857e-05,4.129443e-05,4.115147e-05,4.100978e-05,4.086941e-05,4.073042e-05,4.059287e-05,4.045681e-05
0.000000e+00,7.332205e-10,1.962578e-09,7.957328e-09,1.955533e-08,2.936408e-08,7.008243e-08,7.230378e-08,1.439715e-07,1.701704e-07,2.516257e-07,3.365932e-07,4.027465e-07,5.867469e-07,6.049846e-07,8.656127e-07,9.375304e-07,1.190186e-06,1.400847e-06,1.580839e-06,1.977856e-06,2.035689e-06,2.550085e-06,2.659617e-06,3.118388e-06,3.433335e-06,3.734988e-06,4.286360e-06,4.394570e-06,5.092050e-06,5.206830e-06,5.822461e-06,6.183315e-06,6.580904e-06,7.204586e-06,7.362539e-06,8.162620e-06,8.259649e-06,8.976548e-06,9.337923e-06,9.799930e-06,1.042947e-05,1.062863e-05,1.145881e-05,1.152519e-05,1.228699e-05,1.261697e-05,1.310999e-05,1.369775e-05,1.392500e-05,1.472957e-05,1.476150e-05,1.552157e-05,1.580325e-05,1.629918e-05,1.681896e-05,1.706090e-05,1.780546e-05,1.853187e-05,1.876035e-05,1.923933e-05,1.968188e-05,1.992725e-05,2.056886e-05,2.059519e-05,2.124287e-05,2.142057e-05,2.187014e-05,2.223667e-05,2.247694e-05,2.301715e-05,2.306331e-05,2.362939e-05,2.376225e-05,2.417536e-05,2.447240e-05,2.470146e-05,2.514822e-05,2.520798e-05,2.569524e-05,2.579042e-05,2.616360e-05,2.639980e-05,2.661342e-05,2.697724e-05,2.704511e-05,2.745907e-05,2.752368e-05,2.785572e-05,2.804008e-05,2.823548e-05,2.852743e-05,2.859880e-05,2.894609e-05,2.898671e-05,2.927781e-05,2.941894e-05,2.959437e-05,2.982509e-05,2.989622e-05,3.018377e-05,3.020617e-05,3.045745e-05,3.056313e-05,3.071768e-05,3.089694e-05,3.096486e-05,3.119941e-05,3.120854e-05,3.142172e-05,3.149883e-05,3.163218e-05,3.176872e-05,3.183118e-05,3.201908e-05,3.219626e-05,3.225075e-05,3.236308e-05,3.246456e-05,3.251988e-05,3.266130e-05,3.266701e-05,3.280480e-05,3.284175e-05,3.293358e-05,3.300665e-05,3.305366e-05,3.315673e-05,3.316536e-05,3.326898e-05,3.329268e-05,3.336481e-05,3.341517e-05,3.345313e-05,3.352486e-05,3.353422e-05,3.360836e-05,3.362237e-05,3.367580e-05,3.370831e-05,3.373680e-05,3.378324e-05,3.379161e-05,3.384046e-05,3.384774e-05,3.388359e-05,3.390233e-05,3.392123e-05,3.394753e-05,3.395359e-05,3.398089e-05,3.398384e-05,3.400333e-05,3.401172e-05,3.402112e-05,3.403164e-05,3.403444e-05,3.404349e-05,3.404403e-05,3.404844e-05,3.404931e-05,3.404947e-05,3.404788e-05,3.404675e-05,3.404044e-05,3.404012e-05,3.403071e-05,3.402640e-05,3.401771e-05,3.400708e-05,3.400159e-05,3.398248e-05,3.395294e-05,3.391876e-05,3.388022e-05,3.383762e-05,3.379122e-05,3.374128e-05,3.368803e-05,3.363172e-05,3.357257e-05,3.351077e-05,3.344655e-05,3.338008e-05,3.331156e-05,3.324115e-05,3.316902e-05,3.309532e-05,3.302021e-05,3.294383e-05,3.286631e-05,3.278777e-05,3.270835e-05,3.262815e-05,3.254728e-05,3.246585e-05
0.000000e+00,8.354794e-10,2.749816e-09,1.396094e-08,3.798185e-08,5.912819e-08,1.496380e-07,1.546373e-07,3.170434e-07,3.766126e-07,5.616493e-07,7.539106e-07,9.029145e-07,1.314153e-06,1.354676e-06,1.930072e-06,2.087929e-06,2.641055e-06,3.102187e-06,3.497340e-06,4.375795e-06,4.504715e-06,5.662830e-06,5.911950e-06,6.963153e-06,7.690085e-06,8.388346e-06,9.664293e-06,9.914020e-06,1.151237e-05,1.177298e-05,1.315599e-05,1.395366e-05,1.482035e-05,1.615274e-05,1.648476e-05,1.813223e-05,1.832811e-05,1.974903e-05,2.044778e-05,2.132412e-05,2.248779e-05,2.284867e-05,2.431569e-05,2.443039e-05,2.571976e-05,2.626282e-05,2.705684e-05,2.797639e-05,2.832405e-05,2.951956e-05,2.956587e-05,3.064245e-05,3.102886e-05,3.169256e-05,3.236530e-05,3.267040e-05,3.357706e-05,3.441405e-05,3.466747e-05,3.518328e-05,3.564103e-05,3.588694e-05,3.650303e-05,3.652747e-05,3.710743e-05,3.725933e-05,3.762952e-05,3.791613e-05,3.809648e-05,3.847981e-05,3.851112e-05,3.887619e-05,3.895674e-05,3.919445e-05,3.935324e-05,3.946860e-05,3.967546e-05,3.970127e-05,3.989502e-05,3.992931e-05,4.005230e-05,4.012048e-05,4.017551e-05,4.025433e-05,4.026691e-05,4.032868e-05,4.033596e-05,4.036290e-05,4.037013e-05,4.037155e-05,4.036132e-05,4.035650e-05,4.031952e-05,4.031370e-05,4.026231e-05,4.023114e-05,4.018645e-05,4.011725e-05,4.009344e-05,3.998470e-05,3.997536e-05,3.986155e-05,3.980855e-05,3.972526e-05,3.961964e-05,3.957698e-05,3.941784e-05,3.941126e-05,3.924886e-05,3.918581e-05,3.907102e-05,3.894549e-05,3.888522e-05,3.869231e-05,3.849308e-05,3.842812e-05,3.828828e-05,3.815461e-05,3.807860e-05,3.787332e-05,3.786469e-05,3.764713e-05,3.758564e-05,3.742650e-05,3.729286e-05,3.720330e-05,3.699612e-05,3.697803e-05,3.675113e-05,3.669648e-05,3.652301e-05,3.639487e-05,3.629406e-05,3.609217e-05,3.606462e-05,3.583504e-05,3.578913e-05,3.560560e-05,3.548645e-05,3.537660e-05,3.518475e-05,3.514827e-05,3.492087e-05,3.488458e-05,3.469459e-05,3.458644e-05,3.446965e-05,3.429077e-05,3.424621e-05,3.402443e-05,3.399794e-05,3.380448e-05,3.370831e-05,3.358647e-05,3.342216e-05,3.337053e-05,3.315677e-05,3.313977e-05,3.294529e-05,3.286135e-05,3.273616e-05,3.258709e-05,3.252946e-05,3.232527e-05,3.231715e-05,3.212363e-05,3.205168e-05,3.192460e-05,3.179077e-05,3.172822e-05,3.153453e-05,3.128301e-05,3.103628e-05,3.079435e-05,3.055726e-05,3.032501e-05,3.009760e-05,2.987501e-05,2.965720e-05,2.944417e-05,2.923585e-05,2.903220e-05,2.883317e-05,2.863871e-05,2.844874e-05,2.826321e-05,2.808204e-05,2.790516e-05,2.773249e-05,2.756397e-05,2.739952e-05,2.723904e-05,2.708247e-05,2.692973e-05,2.678073e-05
0.000000e+00,1.403873e-11,8.406224e-11,1.121764e-09,5.874729e-09,1.228502e-08,5.734351e-08,6.052977e-08,1.946077e-07,2.563007e-07,4.814762e-07,7.595263e-07,1.000292e-06,1.756433e-06,1.837185e-06,3.081465e-06,3.450659e-06,4.822040e-06,6.044978e-06,7.141971e-06,9.717588e-06,1.010961e-05,1.376772e-05,1.458362e-05,1.812531e-05,2.066043e-05,2.315679e-05,2.786527e-05,2.880837e-05,3.500805e-05,3.604553e-05,4.167530e-05,4.501755e-05,4.872827e-05,5.459512e-05,5.608798e-05,6.368061e-05,6.460410e-05,7.143850e-05,7.488832e-05,7.930041e-05,8.531108e-05,8.721155e-05,9.512343e-05,9.575511e-05,1.029937e-04,1.061218e-04,1.107858e-04,1.163301e-04,1.184687e-04,1.260163e-04,1.263151e-04,1.334073e-04,1.360262e-04,1.406243e-04,1.454253e-04,1.476536e-04,1.544849e-04,1.611103e-04,1.631860e-04,1.675244e-04,1.715170e-04,1.737239e-04,1.794718e-04,1.797070e-04,1.854733e-04,1.870491e-04,1.910235e-04,1.942506e-04,1.963594e-04,2.010811e-04,2.014833e-04,2.063984e-04,2.075474e-04,2.111082e-04,2.136576e-04,2.156168e-04,2.194211e-04,2.199282e-04,2.240470e-04,2.248481e-04,2.279780e-04,2.299494e-04,2.317258e-04,2.347361e-04,2.352954e-04,2.386918e-04,2.392195e-04,2.419199e-04,2.434111e-04,2.449847e-04,2.473223e-04,2.478912e-04,2.506443e-04,2.509646e-04,2.532489e-04,2.543491e-04,2.557098e-04,2.574870e-04,2.580319e-04,2.602198e-04,2.603891e-04,2.622781e-04,2.630661e-04,2.642113e-04,2.655284e-04,2.660240e-04,2.677205e-04,2.677860e-04,2.693049e-04,2.698487e-04,2.707816e-04,2.717262e-04,2.721545e-04,2.734277e-04,2.746049e-04,2.749620e-04,2.756900e-04,2.763377e-04,2.766865e-04,2.775633e-04,2.775982e-04,2.784284e-04,2.786467e-04,2.791804e-04,2.795955e-04,2.798576e-04,2.804173e-04,2.804632e-04,2.810002e-04,2.811192e-04,2.814715e-04,2.817079e-04,2.818801e-04,2.821901e-04,2.822288e-04,2.825203e-04,2.825719e-04,2.827571e-04,2.828596e-04,2.829419e-04,2.830587e-04,2.830770e-04,2.831649e-04,2.831747e-04,2.832078e-04,2.832131e-04,2.832080e-04,2.831787e-04,2.831675e-04,2.830884e-04,2.830764e-04,2.829727e-04,2.829107e-04,2.828224e-04,2.826861e-04,2.826392e-04,2.824249e-04,2.824065e-04,2.821813e-04,2.820761e-04,2.819101e-04,2.816985e-04,2.816126e-04,2.812906e-04,2.812773e-04,2.809455e-04,2.808159e-04,2.805786e-04,2.803175e-04,2.801914e-04,2.797852e-04,2.792218e-04,2.786302e-04,2.780129e-04,2.773723e-04,2.767109e-04,2.760307e-04,2.753339e-04,2.746224e-04,2.738980e-04,2.731626e-04,2.724176e-04,2.716648e-04,2.709055e-04,2.701410e-04,2.693727e-04,2.686017e-04,2.678291e-04,2.670561e-04,2.662835e-04,2.655122e-04,2.647432e-04,2.639771e-04,2.632148e-04,2.624568e-04
0.000000e+00,4.309851e-09,9.899827e-09,3.412291e-08,7.762038e-08,1.131715e-07,2.560032e-07,2.636655e-07,5.071610e-07,5.949483e-07,8.653608e-07,1.144574e-06,1.360498e-06,1.955995e-06,2.014668e-06,2.847043e-06,3.074789e-06,3.868310e-06,4.522033e-06,5.074848e-06,6.275589e-06,6.448389e-06,7.962512e-06,8.279762e-06,9.589850e-06,1.047245e-05,1.130562e-05,1.279929e-05,1.308818e-05,1.491843e-05,1.521453e-05,1.677928e-05,1.767875e-05,1.865525e-05,2.015746e-05,2.053234e-05,2.239800e-05,2.262056e-05,2.424108e-05,2.504234e-05,2.605191e-05,2.740144e-05,2.782223e-05,2.954517e-05,2.968079e-05,3.121519e-05,3.186736e-05,3.282790e-05,3.395167e-05,3.438000e-05,3.586915e-05,3.592738e-05,3.729386e-05,3.779082e-05,3.865337e-05,3.954049e-05,3.994752e-05,4.117664e-05,4.234151e-05,4.270088e-05,4.344324e-05,4.411583e-05,4.448319e-05,4.542489e-05,4.546294e-05,4.638425e-05,4.663199e-05,4.724895e-05,4.774140e-05,4.805897e-05,4.875758e-05,4.881627e-05,4.952286e-05,4.968512e-05,5.018073e-05,5.052860e-05,5.079187e-05,5.129257e-05,5.135824e-05,5.188177e-05,5.198150e-05,5.236434e-05,5.259971e-05,5.280781e-05,5.315142e-05,5.321397e-05,5.358456e-05,5.364066e-05,5.392126e-05,5.407132e-05,5.422571e-05,5.444710e-05,5.449947e-05,5.474407e-05,5.477154e-05,5.496097e-05,5.504799e-05,5.515156e-05,5.527965e-05,5.531720e-05,5.545918e-05,5.546955e-05,5.557873e-05,5.562055e-05,5.567706e-05,5.573536e-05,5.575531e-05,5.581455e-05,5.581654e-05,5.585584e-05,5.586650e-05,5.588018e-05,5.588753e-05,5.588851e-05,5.588176e-05,5.586079e-05,5.585121e-05,5.582643e-05,5.579779e-05,5.577949e-05,5.572328e-05,5.572071e-05,5.565082e-05,5.562935e-05,5.557050e-05,5.551758e-05,5.548042e-05,5.538945e-05,5.538119e-05,5.527342e-05,5.524634e-05,5.515766e-05,5.508956e-05,5.503447e-05,5.492031e-05,5.490434e-05,5.476778e-05,5.473973e-05,5.462524e-05,5.454891e-05,5.447717e-05,5.434882e-05,5.432398e-05,5.416608e-05,5.414040e-05,5.400383e-05,5.392452e-05,5.383761e-05,5.370200e-05,5.366776e-05,5.349459e-05,5.347360e-05,5.331841e-05,5.324001e-05,5.313951e-05,5.300190e-05,5.295817e-05,5.277466e-05,5.275989e-05,5.258921e-05,5.251454e-05,5.240206e-05,5.226639e-05,5.221344e-05,5.202355e-05,5.201593e-05,5.183259e-05,5.176362e-05,5.164075e-05,5.150989e-05,5.144820e-05,5.125512e-05,5.099969e-05,5.074394e-05,5.048817e-05,5.023268e-05,4.997773e-05,4.972356e-05,4.947041e-05,4.921848e-05,4.896796e-05,4.871902e-05,4.847182e-05,4.822650e-05,4.798321e-05,4.774204e-05,4.750312e-05,4.726654e-05,4.703238e-05,4.680072e-05,4.657163e-05,4.634518e-05,4.612140e-05,4.590035e-05,4.568206e-05,4.546658e-05
0.000000e+00,1.095039e-12,6.807137e-12,9.792441e-11,5.476093e-10,1.185859e-09,6.039752e-09,6.397497e-09,2.235474e-08,3.010654e-08,5.981753e-08,9.876596e-08,1.340411e-07,2.519770e-07,2.651112e-07,4.776784e-07,5.438132e-07,7.984709e-07,1.034407e-06,1.250786e-06,1.768758e-06,1.848263e-06,2.591504e-06,2.756798e-06,3.468866e-06,3.971597e-06,4.460109e-06,5.362893e-06,5.540759e-06,6.685732e-06,6.873299e-06,7.871653e-06,8.449276e-06,9.077930e-06,1.004572e-05,1.028702e-05,1.148422e-05,1.162648e-05,1.265728e-05,1.316310e-05,1.379604e-05,1.463334e-05,1.489212e-05,1.593864e-05,1.602005e-05,1.693018e-05,1.731042e-05,1.786255e-05,1.849551e-05,1.873279e-05,1.953907e-05,1.956997e-05,2.028057e-05,2.053165e-05,2.095743e-05,2.138125e-05,2.157064e-05,2.212186e-05,2.261334e-05,2.275844e-05,2.304782e-05,2.329735e-05,2.342832e-05,2.374586e-05,2.375812e-05,2.404061e-05,2.411170e-05,2.427923e-05,2.440277e-05,2.447740e-05,2.462685e-05,2.463844e-05,2.476557e-05,2.479138e-05,2.486186e-05,2.490341e-05,2.493022e-05,2.496943e-05,2.497336e-05,2.499381e-05,2.499538e-05,2.499390e-05,2.498662e-05,2.497577e-05,2.494791e-05,2.494139e-05,2.489252e-05,2.488347e-05,2.483079e-05,2.479702e-05,2.475766e-05,2.469184e-05,2.467446e-05,2.458239e-05,2.457079e-05,2.448252e-05,2.443636e-05,2.437583e-05,2.429072e-05,2.426318e-05,2.414537e-05,2.413574e-05,2.402308e-05,2.397306e-05,2.389697e-05,2.380411e-05,2.376759e-05,2.363545e-05,2.363012e-05,2.350102e-05,2.345214e-05,2.336470e-05,2.327112e-05,2.322687e-05,2.308785e-05,2.294794e-05,2.290302e-05,2.280741e-05,2.271726e-05,2.266650e-05,2.253107e-05,2.252543e-05,2.238439e-05,2.234493e-05,2.224356e-05,2.215923e-05,2.210310e-05,2.197432e-05,2.196314e-05,2.182382e-05,2.179049e-05,2.168524e-05,2.160800e-05,2.154751e-05,2.142709e-05,2.141073e-05,2.127497e-05,2.124794e-05,2.114030e-05,2.107073e-05,2.100680e-05,2.089560e-05,2.087452e-05,2.074351e-05,2.072267e-05,2.061382e-05,2.055205e-05,2.048548e-05,2.038382e-05,2.035854e-05,2.023302e-05,2.021805e-05,2.010894e-05,2.005481e-05,1.998633e-05,1.989414e-05,1.986521e-05,1.974559e-05,1.973609e-05,1.962748e-05,1.958066e-05,1.951090e-05,1.942790e-05,1.939584e-05,1.928232e-05,1.927781e-05,1.917033e-05,1.913040e-05,1.905989e-05,1.898566e-05,1.895098e-05,1.884360e-05,1.870420e-05,1.856745e-05,1.843333e-05,1.830183e-05,1.817291e-05,1.804656e-05,1.792274e-05,1.780143e-05,1.768260e-05,1.756620e-05,1.745221e-05,1.734059e-05,1.723131e-05,1.712432e-05,1.701959e-05,1.691709e-05,1.681677e-05,1.671860e-05,1.662254e-05,1.652854e-05,1.643657e-05,1.634660e-05,1.625857e-05,1.617246e-05
0.000000e+00,1.096992e-11,5.978215e-11,6.629591e-10,2.969870e-09,5.729876e-09,2.210166e-08,2.316176e-08,6.324204e-08,8.001410e-08,1.369773e-07,2.020981e-07,2.557951e-07,4.154183e-07,4.319221e-07,6.783719e-07,7.493939e-07,1.007211e-06,1.230288e-06,1.425351e-06,1.865198e-06,1.929957e-06,2.507697e-06,2.630335e-06,3.138892e-06,3.481350e-06,3.803055e-06,4.373380e-06,4.482508e-06,5.163478e-06,5.271844e-06,5.835656e-06,6.152844e-06,6.491356e-06,7.000075e-06,7.124731e-06,7.731262e-06,7.802066e-06,8.307445e-06,8.550641e-06,8.850634e-06,9.240204e-06,9.358942e-06,9.831191e-06,9.867393e-06,1.026684e-05,1.043084e-05,1.066592e-05,1.093090e-05,1.102897e-05,1.135695e-05,1.136935e-05,1.165115e-05,1.174909e-05,1.191314e-05,1.207379e-05,1.214467e-05,1.234761e-05,1.252390e-05,1.257500e-05,1.267549e-05,1.276044e-05,1.280431e-05,1.290830e-05,1.291224e-05,1.300108e-05,1.302277e-05,1.307255e-05,1.310776e-05,1.312825e-05,1.316687e-05,1.316969e-05,1.319826e-05,1.320334e-05,1.321524e-05,1.322013e-05,1.322182e-05,1.321985e-05,1.321906e-05,1.320795e-05,1.320480e-05,1.318938e-05,1.317705e-05,1.316416e-05,1.313838e-05,1.313303e-05,1.309664e-05,1.309037e-05,1.305558e-05,1.303438e-05,1.301041e-05,1.297163e-05,1.296160e-05,1.290959e-05,1.290315e-05,1.285477e-05,1.282986e-05,1.279751e-05,1.275254e-05,1.273811e-05,1.267686e-05,1.267189e-05,1.261403e-05,1.258851e-05,1.254985e-05,1.250293e-05,1.248453e-05,1.241827e-05,1.241560e-05,1.235122e-05,1.232692e-05,1.228355e-05,1.223725e-05,1.221540e-05,1.214690e-05,1.207815e-05,1.205611e-05,1.200926e-05,1.196514e-05,1.194033e-05,1.187419e-05,1.187144e-05,1.180267e-05,1.178344e-05,1.173408e-05,1.169304e-05,1.166574e-05,1.160314e-05,1.159770e-05,1.153003e-05,1.151384e-05,1.146275e-05,1.142527e-05,1.139592e-05,1.133750e-05,1.132957e-05,1.126373e-05,1.125063e-05,1.119844e-05,1.116471e-05,1.113372e-05,1.107981e-05,1.106959e-05,1.100608e-05,1.099598e-05,1.094321e-05,1.091326e-05,1.088099e-05,1.083170e-05,1.081944e-05,1.075857e-05,1.075131e-05,1.069838e-05,1.067212e-05,1.063890e-05,1.059416e-05,1.058012e-05,1.052205e-05,1.051744e-05,1.046471e-05,1.044197e-05,1.040808e-05,1.036776e-05,1.035219e-05,1.029702e-05,1.029482e-05,1.024257e-05,1.022315e-05,1.018886e-05,1.015275e-05,1.013587e-05,1.008361e-05,1.001574e-05,9.949124e-06,9.883756e-06,9.819629e-06,9.756730e-06,9.695050e-06,9.634576e-06,9.575294e-06,9.517190e-06,9.460249e-06,9.404456e-06,9.349795e-06,9.296250e-06,9.243803e-06,9.192439e-06,9.142140e-06,9.092888e-06,9.044667e-06,8.997458e-06,8.951244e-06,8.906006e-06,8.861729e-06,8.818393e-06,8.775981e-06
0.000000e+00,2.190521e-13,1.383265e-12,2.054152e-11,1.180821e-10,2.594090e-10,1.366435e-09,1.449169e-09,5.198916e-09,7.041273e-09,1.414057e-08,2.345505e-08,3.185881e-08,5.962074e-08,6.267967e-08,1.114060e-07,1.263212e-07,1.830578e-07,2.350663e-07,2.826293e-07,3.971029e-07,4.148341e-07,5.837849e-07,6.222807e-07,7.925896e-07,9.175429e-07,1.042927e-06,1.285314e-06,1.334733e-06,1.666107e-06,1.722581e-06,2.033479e-06,2.221206e-06,2.431956e-06,2.769273e-06,2.855767e-06,3.298703e-06,3.352841e-06,3.754496e-06,3.957550e-06,4.217111e-06,4.569792e-06,4.680942e-06,5.140945e-06,5.177443e-06,5.592701e-06,5.770228e-06,6.032442e-06,6.339840e-06,6.457048e-06,6.864016e-06,6.879899e-06,7.251430e-06,7.385830e-06,7.617906e-06,7.854673e-06,7.962544e-06,8.284870e-06,8.584779e-06,8.676041e-06,8.862479e-06,9.028758e-06,9.118437e-06,9.344326e-06,9.353327e-06,9.567983e-06,9.624588e-06,9.763358e-06,9.871754e-06,9.940482e-06,1.008825e-05,1.010044e-05,1.024432e-05,1.027658e-05,1.037323e-05,1.043929e-05,1.048825e-05,1.057882e-05,1.059043e-05,1.068077e-05,1.069750e-05,1.076022e-05,1.079753e-05,1.082968e-05,1.088093e-05,1.089000e-05,1.094195e-05,1.094954e-05,1.098627e-05,1.100502e-05,1.102361e-05,1.104888e-05,1.105460e-05,1.107980e-05,1.108246e-05,1.109973e-05,1.110695e-05,1.111486e-05,1.112341e-05,1.112561e-05,1.113238e-05,1.113276e-05,1.113552e-05,1.113583e-05,1.113535e-05,1.113335e-05,1.113217e-05,1.112624e-05,1.112595e-05,1.111780e-05,1.111419e-05,1.110707e-05,1.109857e-05,1.109426e-05,1.107954e-05,1.106309e-05,1.105748e-05,1.104505e-05,1.103274e-05,1.102557e-05,1.100562e-05,1.100477e-05,1.098277e-05,1.097641e-05,1.095968e-05,1.094534e-05,1.093559e-05,1.091263e-05,1.091060e-05,1.088479e-05,1.087848e-05,1.085824e-05,1.084308e-05,1.083102e-05,1.080657e-05,1.080320e-05,1.077484e-05,1.076911e-05,1.074599e-05,1.073082e-05,1.071672e-05,1.069183e-05,1.068706e-05,1.065706e-05,1.065224e-05,1.062678e-05,1.061215e-05,1.059623e-05,1.057164e-05,1.056548e-05,1.053454e-05,1.053081e-05,1.050345e-05,1.048973e-05,1.047224e-05,1.044846e-05,1.044094e-05,1.040958e-05,1.040707e-05,1.037817e-05,1.036561e-05,1.034675e-05,1.032413e-05,1.031534e-05,1.028395e-05,1.028269e-05,1.025260e-05,1.024133e-05,1.022132e-05,1.020009e-05,1.019012e-05,1.015900e-05,1.011810e-05,1.007742e-05,1.003699e-05,9.996830e-06,9.956965e-06,9.917418e-06,9.878206e-06,9.839348e-06,9.800859e-06,9.762754e-06,9.725045e-06,9.687742e-06,9.650857e-06,9.614398e-06,9.578372e-06,9.542787e-06,9.507647e-06,9.472959e-06,9.438725e-06,9.404950e-06,9.371635e-06,9.338783e-06,9.306396e-06,9.274473e-06
0.000000e+00,1.943456e-14,1.291249e-13,2.131470e-12,1.349831e-11,3.127782e-11,1.891969e-10,2.017883e-10,8.312023e-10,1.169027e-09,2.581937e-09,4.626745e-09,6.610329e-09,1.385605e-08,1.470853e-08,2.942384e-08,3.429698e-08,5.412430e-08,7.383830e-08,9.296489e-08,1.426297e-07,1.507293e-07,2.325675e-07,2.522844e-07,3.436806e-07,4.146863e-07,4.890052e-07,6.407528e-07,6.729362e-07,8.991059e-07,9.394081e-07,1.170230e-06,1.316878e-06,1.488014e-06,1.776312e-06,1.853114e-06,2.265144e-06,2.317686e-06,2.722727e-06,2.937934e-06,3.223567e-06,3.631248e-06,3.764552e-06,4.341870e-06,4.389498e-06,4.951141e-06,5.202728e-06,5.587547e-06,6.059699e-06,6.245974e-06,6.921140e-06,6.948419e-06,7.607719e-06,7.856667e-06,8.300464e-06,8.772452e-06,8.994298e-06,9.684410e-06,1.036632e-05,1.058213e-05,1.103595e-05,1.145636e-05,1.168964e-05,1.229920e-05,1.232417e-05,1.293683e-05,1.310413e-05,1.352533e-05,1.386607e-05,1.408787e-05,1.458126e-05,1.462304e-05,1.512988e-05,1.524723e-05,1.560778e-05,1.586266e-05,1.605649e-05,1.642722e-05,1.647603e-05,1.686671e-05,1.694143e-05,1.722906e-05,1.740652e-05,1.756379e-05,1.782427e-05,1.787179e-05,1.815403e-05,1.819688e-05,1.841162e-05,1.852685e-05,1.864571e-05,1.881687e-05,1.885750e-05,1.904821e-05,1.906974e-05,1.921906e-05,1.928826e-05,1.937128e-05,1.947524e-05,1.950605e-05,1.962455e-05,1.963336e-05,1.972789e-05,1.976523e-05,1.981716e-05,1.987330e-05,1.989338e-05,1.995753e-05,1.995986e-05,2.001053e-05,2.002705e-05,2.005325e-05,2.007684e-05,2.008650e-05,2.011104e-05,2.012758e-05,2.013129e-05,2.013678e-05,2.013910e-05,2.013925e-05,2.013581e-05,2.013555e-05,2.012621e-05,2.012265e-05,2.011171e-05,2.010072e-05,2.009249e-05,2.007100e-05,2.006897e-05,2.004153e-05,2.003439e-05,2.001050e-05,1.999168e-05,1.997621e-05,1.994357e-05,1.993895e-05,1.989900e-05,1.989071e-05,1.985660e-05,1.983366e-05,1.981198e-05,1.977293e-05,1.976534e-05,1.971689e-05,1.970899e-05,1.966680e-05,1.964223e-05,1.961524e-05,1.957303e-05,1.956236e-05,1.950829e-05,1.950173e-05,1.945317e-05,1.942862e-05,1.939712e-05,1.935396e-05,1.934024e-05,1.928265e-05,1.927801e-05,1.922442e-05,1.920098e-05,1.916566e-05,1.912306e-05,1.910643e-05,1.904683e-05,1.904443e-05,1.898690e-05,1.896527e-05,1.892673e-05,1.888570e-05,1.886637e-05,1.880588e-05,1.872591e-05,1.864592e-05,1.856599e-05,1.848622e-05,1.840670e-05,1.832750e-05,1.824868e-05,1.817032e-05,1.809246e-05,1.801516e-05,1.793846e-05,1.786241e-05,1.778704e-05,1.771239e-05,1.763848e-05,1.756535e-05,1.749302e-05,1.742152e-05,1.735085e-05,1.728103e-05,1.721209e-05,1.714402e-05,1.707685e-05,1.701058e-05
0.000000e+00,7.076210e-12,4.060284e-11,4.979197e-10,2.425980e-09,4.885745e-09,2.083135e-08,2.191247e-08,6.503556e-08,8.394576e-08,1.503575e-07,2.288951e-07,2.949405e-07,4.950180e-07,5.159026e-07,8.298464e-07,9.207593e-07,1.251848e-06,1.539890e-06,1.793449e-06,2.373606e-06,2.460246e-06,3.250700e-06,3.423032e-06,4.157031e-06,4.670271e-06,5.167349e-06,6.086225e-06,6.267743e-06,7.443656e-06,7.637838e-06,8.680605e-06,9.291864e-06,9.964506e-06,1.101634e-05,1.128186e-05,1.261990e-05,1.278128e-05,1.396675e-05,1.455931e-05,1.531155e-05,1.632621e-05,1.664459e-05,1.795738e-05,1.806130e-05,1.924267e-05,1.974769e-05,2.049442e-05,2.137212e-05,2.170774e-05,2.287880e-05,2.292472e-05,2.400476e-05,2.439866e-05,2.508361e-05,2.578965e-05,2.611409e-05,2.709555e-05,2.802789e-05,2.831590e-05,2.891141e-05,2.945155e-05,2.974680e-05,3.050435e-05,3.053499e-05,3.127713e-05,3.147686e-05,3.197456e-05,3.237214e-05,3.262870e-05,3.319359e-05,3.324108e-05,3.381326e-05,3.394478e-05,3.434684e-05,3.462938e-05,3.484342e-05,3.525107e-05,3.530459e-05,3.573194e-05,3.581348e-05,3.612700e-05,3.632017e-05,3.649128e-05,3.677458e-05,3.682627e-05,3.713337e-05,3.718001e-05,3.741397e-05,3.753964e-05,3.766941e-05,3.785649e-05,3.790095e-05,3.810983e-05,3.813343e-05,3.829724e-05,3.837319e-05,3.846431e-05,3.857835e-05,3.861212e-05,3.874171e-05,3.875132e-05,3.885408e-05,3.889442e-05,3.895017e-05,3.900979e-05,3.903089e-05,3.909711e-05,3.909947e-05,3.914964e-05,3.916535e-05,3.918928e-05,3.920925e-05,3.921677e-05,3.923282e-05,3.923812e-05,3.923764e-05,3.923330e-05,3.922520e-05,3.921899e-05,3.919685e-05,3.919576e-05,3.916417e-05,3.915390e-05,3.912476e-05,3.909755e-05,3.907801e-05,3.902893e-05,3.902440e-05,3.896439e-05,3.894909e-05,3.889841e-05,3.885900e-05,3.882686e-05,3.875960e-05,3.875013e-05,3.866858e-05,3.865172e-05,3.858257e-05,3.853618e-05,3.849241e-05,3.841371e-05,3.839843e-05,3.830092e-05,3.828500e-05,3.820015e-05,3.815071e-05,3.809640e-05,3.801142e-05,3.798992e-05,3.788093e-05,3.786770e-05,3.776968e-05,3.772006e-05,3.765636e-05,3.756899e-05,3.754119e-05,3.742435e-05,3.741493e-05,3.730601e-05,3.725830e-05,3.718636e-05,3.709949e-05,3.706555e-05,3.694374e-05,3.693885e-05,3.682106e-05,3.677671e-05,3.669765e-05,3.661338e-05,3.657364e-05,3.644914e-05,3.628426e-05,3.611897e-05,3.595351e-05,3.578807e-05,3.562285e-05,3.545801e-05,3.529373e-05,3.513015e-05,3.496739e-05,3.480560e-05,3.464487e-05,3.448530e-05,3.432700e-05,3.417005e-05,3.401452e-05,3.386048e-05,3.370799e-05,3.355711e-05,3.340788e-05,3.326035e-05,3.311456e-05,3.297053e-05,3.282831e-05,3.268790e-05
0.000000e+00,4.776888e-10,1.473845e-09,6.900297e-09,1.795234e-08,2.742559e-08,6.674802e-08,6.888165e-08,1.368418e-07,1.612622e-07,2.358604e-07,3.117552e-07,3.696490e-07,5.260002e-07,5.411668e-07,7.525881e-07,8.094241e-07,1.005094e-06,1.164425e-06,1.298429e-06,1.588551e-06,1.630267e-06,1.995712e-06,2.072224e-06,2.387460e-06,2.598705e-06,2.796857e-06,3.148040e-06,3.215258e-06,3.634972e-06,3.701803e-06,4.049616e-06,4.245297e-06,4.454071e-06,4.767555e-06,4.844302e-06,5.217195e-06,5.260659e-06,5.570411e-06,5.719140e-06,5.902279e-06,6.139531e-06,6.211709e-06,6.498119e-06,6.520030e-06,6.761359e-06,6.860206e-06,7.001648e-06,7.160726e-06,7.219505e-06,7.415692e-06,7.423101e-06,7.591157e-06,7.649457e-06,7.746982e-06,7.842314e-06,7.884327e-06,8.004407e-06,8.108463e-06,8.138578e-06,8.197726e-06,8.247647e-06,8.273398e-06,8.334336e-06,8.336641e-06,8.388568e-06,8.401224e-06,8.430228e-06,8.450708e-06,8.462606e-06,8.484985e-06,8.486619e-06,8.503118e-06,8.506048e-06,8.512888e-06,8.515690e-06,8.516648e-06,8.515512e-06,8.515059e-06,8.508719e-06,8.506930e-06,8.498171e-06,8.491189e-06,8.483908e-06,8.469383e-06,8.466375e-06,8.445976e-06,8.442471e-06,8.423074e-06,8.411288e-06,8.397995e-06,8.376563e-06,8.371034e-06,8.342454e-06,8.338927e-06,8.312491e-06,8.298924e-06,8.281357e-06,8.257030e-06,8.249242e-06,8.216317e-06,8.213652e-06,8.182733e-06,8.169146e-06,8.148627e-06,8.123816e-06,8.114121e-06,8.079322e-06,8.077925e-06,8.044328e-06,8.031699e-06,8.009225e-06,7.985333e-06,7.974091e-06,7.938994e-06,7.903995e-06,7.892826e-06,7.869149e-06,7.846950e-06,7.834503e-06,7.801471e-06,7.800100e-06,7.765978e-06,7.756479e-06,7.732170e-06,7.712048e-06,7.698704e-06,7.668242e-06,7.665608e-06,7.632902e-06,7.625113e-06,7.600606e-06,7.582706e-06,7.568737e-06,7.541057e-06,7.537309e-06,7.506333e-06,7.500194e-06,7.475821e-06,7.460140e-06,7.445779e-06,7.420913e-06,7.416216e-06,7.387135e-06,7.382527e-06,7.358542e-06,7.344991e-06,7.330438e-06,7.308310e-06,7.302827e-06,7.275707e-06,7.272486e-06,7.249080e-06,7.237519e-06,7.222944e-06,7.203408e-06,7.197297e-06,7.172138e-06,7.170146e-06,7.147463e-06,7.137729e-06,7.123270e-06,7.106147e-06,7.099555e-06,7.076312e-06,7.075392e-06,7.053539e-06,7.045454e-06,7.031229e-06,7.016321e-06,7.009379e-06,6.987981e-06,6.960421e-06,6.933628e-06,6.907587e-06,6.882284e-06,6.857704e-06,6.833833e-06,6.810655e-06,6.788155e-06,6.766318e-06,6.745129e-06,6.724571e-06,6.704631e-06,6.685293e-06,6.666541e-06,6.648361e-06,6.630738e-06,6.613658e-06,6.597106e-06,6.581068e-06,6.565530e-06,6.550479e-06,6.535900e-06,6.521781e-06,6.508109e-06
0.000000e+00,5.988856e-10,2.092595e-09,1.143275e-08,3.226072e-08,5.092993e-08,1.323779e-07,1.369270e-07,2.867759e-07,3.426248e-07,5.187788e-07,7.057609e-07,8.532109e-07,1.270164e-06,1.311941e-06,1.914664e-06,2.082087e-06,2.669952e-06,3.156032e-06,3.565998e-06,4.447444e-06,4.572964e-06,5.656239e-06,5.879333e-06,6.786459e-06,7.385136e-06,7.941498e-06,8.918643e-06,9.104746e-06,1.026321e-05,1.044738e-05,1.140625e-05,1.194676e-05,1.252497e-05,1.339736e-05,1.361189e-05,1.466089e-05,1.478397e-05,1.566701e-05,1.609512e-05,1.662651e-05,1.732288e-05,1.753673e-05,1.839597e-05,1.846248e-05,1.920346e-05,1.951192e-05,1.995913e-05,2.047145e-05,2.066359e-05,2.131792e-05,2.134307e-05,2.192363e-05,2.213012e-05,2.248252e-05,2.283685e-05,2.299662e-05,2.346807e-05,2.389912e-05,2.402890e-05,2.429207e-05,2.452461e-05,2.464919e-05,2.496041e-05,2.497273e-05,2.526487e-05,2.534132e-05,2.552769e-05,2.567216e-05,2.576321e-05,2.595742e-05,2.597334e-05,2.615989e-05,2.620134e-05,2.632455e-05,2.640781e-05,2.646893e-05,2.658041e-05,2.659454e-05,2.670276e-05,2.672244e-05,2.679492e-05,2.683690e-05,2.687223e-05,2.692654e-05,2.693584e-05,2.698678e-05,2.699383e-05,2.702606e-05,2.704104e-05,2.705458e-05,2.707022e-05,2.707319e-05,2.708267e-05,2.708323e-05,2.708375e-05,2.708174e-05,2.707710e-05,2.706727e-05,2.706336e-05,2.704310e-05,2.704122e-05,2.701687e-05,2.700481e-05,2.698515e-05,2.695918e-05,2.694842e-05,2.690710e-05,2.690536e-05,2.686159e-05,2.684426e-05,2.681226e-05,2.677671e-05,2.675946e-05,2.670349e-05,2.664466e-05,2.662527e-05,2.658324e-05,2.654268e-05,2.651947e-05,2.645628e-05,2.645361e-05,2.638586e-05,2.636658e-05,2.631643e-05,2.627405e-05,2.624551e-05,2.617910e-05,2.617328e-05,2.609988e-05,2.608212e-05,2.602549e-05,2.598344e-05,2.595023e-05,2.588339e-05,2.587423e-05,2.579763e-05,2.578224e-05,2.572052e-05,2.568026e-05,2.564302e-05,2.557768e-05,2.556521e-05,2.548720e-05,2.547471e-05,2.540906e-05,2.537153e-05,2.533087e-05,2.526833e-05,2.525270e-05,2.517462e-05,2.516526e-05,2.509669e-05,2.506246e-05,2.501897e-05,2.496007e-05,2.494150e-05,2.486434e-05,2.485818e-05,2.478753e-05,2.475692e-05,2.471112e-05,2.465637e-05,2.463514e-05,2.455963e-05,2.455662e-05,2.448461e-05,2.445773e-05,2.441012e-05,2.435979e-05,2.433620e-05,2.426285e-05,2.416696e-05,2.407216e-05,2.397851e-05,2.388603e-05,2.379476e-05,2.370473e-05,2.361595e-05,2.352844e-05,2.344223e-05,2.335732e-05,2.327373e-05,2.319146e-05,2.311051e-05,2.303090e-05,2.295261e-05,2.287566e-05,2.280002e-05,2.272572e-05,2.265272e-05,2.258104e-05,2.251065e-05,2.244156e-05,2.237375e-05,2.230721e-05
0.000000e+00,1.022444e-12,6.187503e-12,8.428638e-11,4.490052e-10,9.470989e-10,4.509858e-09,4.763956e-09,1.556656e-08,2.057971e-08,3.899074e-08,6.186558e-08,8.174485e-08,1.444064e-07,1.511114e-07,2.545887e-07,2.853309e-07,3.996217e-07,5.016579e-07,5.932885e-07,8.089072e-07,8.417943e-07,1.149680e-06,1.218605e-06,1.518815e-06,1.734564e-06,1.947497e-06,2.349600e-06,2.430101e-06,2.957557e-06,3.045374e-06,3.518524e-06,3.796108e-06,4.100813e-06,4.574053e-06,4.692661e-06,5.283602e-06,5.354020e-06,5.864891e-06,6.115748e-06,6.429584e-06,6.844365e-06,6.972432e-06,7.489659e-06,7.529847e-06,7.978715e-06,8.166074e-06,8.438050e-06,8.749919e-06,8.866910e-06,9.265170e-06,9.280468e-06,9.633194e-06,9.758413e-06,9.971721e-06,1.018558e-05,1.028177e-05,1.056457e-05,1.082146e-05,1.089844e-05,1.105391e-05,1.119053e-05,1.126340e-05,1.144429e-05,1.145141e-05,1.161944e-05,1.166311e-05,1.176893e-05,1.185030e-05,1.190125e-05,1.200898e-05,1.201775e-05,1.211967e-05,1.214210e-05,1.220821e-05,1.225235e-05,1.228445e-05,1.234222e-05,1.234945e-05,1.240416e-05,1.241395e-05,1.244947e-05,1.246959e-05,1.248620e-05,1.251098e-05,1.251511e-05,1.253690e-05,1.253977e-05,1.255220e-05,1.255742e-05,1.256161e-05,1.256526e-05,1.256567e-05,1.256487e-05,1.256447e-05,1.255966e-05,1.255608e-05,1.255045e-05,1.254103e-05,1.253764e-05,1.252156e-05,1.252015e-05,1.250254e-05,1.249418e-05,1.248087e-05,1.246377e-05,1.245680e-05,1.243060e-05,1.242951e-05,1.240247e-05,1.239192e-05,1.237263e-05,1.235146e-05,1.234126e-05,1.230854e-05,1.227461e-05,1.226353e-05,1.223964e-05,1.221676e-05,1.220373e-05,1.216851e-05,1.216703e-05,1.212964e-05,1.211906e-05,1.209166e-05,1.206863e-05,1.205318e-05,1.201742e-05,1.201430e-05,1.197508e-05,1.196563e-05,1.193561e-05,1.191341e-05,1.189594e-05,1.186091e-05,1.185613e-05,1.181625e-05,1.180827e-05,1.177634e-05,1.175559e-05,1.173645e-05,1.170299e-05,1.169663e-05,1.165690e-05,1.165056e-05,1.161731e-05,1.159837e-05,1.157789e-05,1.154649e-05,1.153867e-05,1.149967e-05,1.149501e-05,1.146092e-05,1.144396e-05,1.142245e-05,1.139341e-05,1.138427e-05,1.134640e-05,1.134338e-05,1.130886e-05,1.129394e-05,1.127166e-05,1.124510e-05,1.123482e-05,1.119834e-05,1.119689e-05,1.116225e-05,1.114935e-05,1.112654e-05,1.110249e-05,1.109124e-05,1.105633e-05,1.101089e-05,1.096618e-05,1.092220e-05,1.087898e-05,1.083650e-05,1.079478e-05,1.075383e-05,1.071363e-05,1.067419e-05,1.063551e-05,1.059758e-05,1.056041e-05,1.052398e-05,1.048829e-05,1.045334e-05,1.041912e-05,1.038561e-05,1.035282e-05,1.032073e-05,1.028934e-05,1.025864e-05,1.022861e-05,1.019925e-05,1.017055e-05
0.000000e+00,1.005727e-09,2.396800e-09,8.579701e-09,1.985161e-08,2.912560e-08,6.663815e-08,6.865862e-08,1.331860e-07,1.565874e-07,2.290756e-07,3.044684e-07,3.630430e-07,5.248764e-07,5.407829e-07,7.641313e-07,8.242853e-07,1.030433e-06,1.196708e-06,1.335380e-06,1.632602e-06,1.675092e-06,2.046308e-06,2.124066e-06,2.446014e-06,2.664111e-06,2.871149e-06,3.245547e-06,3.318470e-06,3.784530e-06,3.860600e-06,4.265721e-06,4.500983e-06,4.758348e-06,5.158204e-06,5.258724e-06,5.763255e-06,5.823913e-06,6.268520e-06,6.490241e-06,6.771340e-06,7.150056e-06,7.268822e-06,7.758394e-06,7.797149e-06,8.237822e-06,8.426317e-06,8.705212e-06,9.033390e-06,9.159003e-06,9.597950e-06,9.615184e-06,1.002110e-05,1.016943e-05,1.042777e-05,1.069465e-05,1.081750e-05,1.119007e-05,1.154539e-05,1.165547e-05,1.188357e-05,1.209110e-05,1.220482e-05,1.249757e-05,1.250944e-05,1.279785e-05,1.287575e-05,1.307049e-05,1.322672e-05,1.332788e-05,1.355167e-05,1.357056e-05,1.379909e-05,1.385190e-05,1.401405e-05,1.412872e-05,1.421602e-05,1.438347e-05,1.440558e-05,1.458329e-05,1.461746e-05,1.474973e-05,1.483200e-05,1.490543e-05,1.502832e-05,1.505094e-05,1.518675e-05,1.520762e-05,1.531337e-05,1.537102e-05,1.543127e-05,1.551962e-05,1.554090e-05,1.564270e-05,1.565441e-05,1.573708e-05,1.577635e-05,1.582443e-05,1.588634e-05,1.590512e-05,1.597952e-05,1.598521e-05,1.604796e-05,1.607374e-05,1.611076e-05,1.615266e-05,1.616823e-05,1.622065e-05,1.622264e-05,1.626829e-05,1.628432e-05,1.631142e-05,1.633829e-05,1.635027e-05,1.638508e-05,1.641606e-05,1.642521e-05,1.644343e-05,1.645914e-05,1.646738e-05,1.648733e-05,1.648810e-05,1.650575e-05,1.651017e-05,1.652051e-05,1.652805e-05,1.653254e-05,1.654131e-05,1.654198e-05,1.654897e-05,1.655030e-05,1.655365e-05,1.655530e-05,1.655614e-05,1.655662e-05,1.655657e-05,1.655504e-05,1.655451e-05,1.655167e-05,1.654922e-05,1.654655e-05,1.654098e-05,1.653979e-05,1.653148e-05,1.653001e-05,1.652169e-05,1.651650e-05,1.651053e-05,1.650065e-05,1.649805e-05,1.648435e-05,1.648263e-05,1.646948e-05,1.646259e-05,1.645352e-05,1.644070e-05,1.643653e-05,1.641857e-05,1.641710e-05,1.639970e-05,1.639191e-05,1.637997e-05,1.636527e-05,1.635944e-05,1.633815e-05,1.633729e-05,1.631616e-05,1.630807e-05,1.629350e-05,1.627773e-05,1.627022e-05,1.624636e-05,1.621404e-05,1.618086e-05,1.614691e-05,1.611224e-05,1.607695e-05,1.604107e-05,1.600469e-05,1.596786e-05,1.593062e-05,1.589304e-05,1.585515e-05,1.581701e-05,1.577865e-05,1.574012e-05,1.570145e-05,1.566267e-05,1.562382e-05,1.558493e-05,1.554603e-05,1.550714e-05,1.546829e-05,1.542951e-05,1.539081e-05,1.535221e-05
0.000000e+00,4.597528e-14,3.017961e-13,4.856110e-12,3.002755e-11,6.865336e-11,4.007202e-10,4.267531e-10,1.693416e-09,2.356723e-09,5.065053e-09,8.870041e-09,1.247805e-08,2.522784e-08,2.669517e-08,5.131334e-08,5.923929e-08,9.068965e-08,1.210144e-07,1.497727e-07,2.222403e-07,2.338179e-07,3.479889e-07,3.748590e-07,4.968977e-07,5.893116e-07,6.841691e-07,8.728545e-07,9.121095e-07,1.181521e-06,1.228447e-06,1.491665e-06,1.654411e-06,1.840354e-06,2.144779e-06,2.224143e-06,2.638574e-06,2.690125e-06,3.078456e-06,3.278621e-06,3.538142e-06,3.897159e-06,4.011798e-06,4.493634e-06,4.532365e-06,4.978102e-06,5.171456e-06,5.460052e-06,5.802870e-06,5.934846e-06,6.398435e-06,6.416695e-06,6.847396e-06,7.004886e-06,7.278945e-06,7.561322e-06,7.690915e-06,8.081730e-06,8.450344e-06,8.563508e-06,8.796195e-06,9.005507e-06,9.119130e-06,9.407772e-06,9.419350e-06,9.697341e-06,9.771288e-06,9.953816e-06,1.009774e-05,1.018966e-05,1.038928e-05,1.040588e-05,1.060357e-05,1.064838e-05,1.078386e-05,1.087765e-05,1.094790e-05,1.107972e-05,1.109683e-05,1.123178e-05,1.125718e-05,1.135380e-05,1.141248e-05,1.146392e-05,1.154793e-05,1.156310e-05,1.165225e-05,1.166564e-05,1.173220e-05,1.176754e-05,1.180372e-05,1.185535e-05,1.186753e-05,1.192426e-05,1.193063e-05,1.197453e-05,1.199474e-05,1.201886e-05,1.204890e-05,1.205776e-05,1.209166e-05,1.209417e-05,1.212097e-05,1.213149e-05,1.214606e-05,1.216169e-05,1.216725e-05,1.218486e-05,1.218550e-05,1.219915e-05,1.220354e-05,1.221038e-05,1.221638e-05,1.221876e-05,1.222451e-05,1.222781e-05,1.222838e-05,1.222884e-05,1.222838e-05,1.222775e-05,1.222484e-05,1.222468e-05,1.221978e-05,1.221810e-05,1.221316e-05,1.220842e-05,1.220494e-05,1.219606e-05,1.219523e-05,1.218412e-05,1.218125e-05,1.217170e-05,1.216420e-05,1.215805e-05,1.214510e-05,1.214327e-05,1.212741e-05,1.212412e-05,1.211056e-05,1.210143e-05,1.209278e-05,1.207716e-05,1.207412e-05,1.205465e-05,1.205147e-05,1.203443e-05,1.202446e-05,1.201349e-05,1.199627e-05,1.199190e-05,1.196969e-05,1.196699e-05,1.194691e-05,1.193672e-05,1.192361e-05,1.190557e-05,1.189982e-05,1.187557e-05,1.187362e-05,1.185091e-05,1.184094e-05,1.182586e-05,1.180761e-05,1.180047e-05,1.177475e-05,1.177371e-05,1.174873e-05,1.173930e-05,1.172245e-05,1.170444e-05,1.169593e-05,1.166919e-05,1.163360e-05,1.159773e-05,1.156161e-05,1.152530e-05,1.148884e-05,1.145226e-05,1.141560e-05,1.137889e-05,1.134217e-05,1.130546e-05,1.126879e-05,1.123220e-05,1.119569e-05,1.115930e-05,1.112304e-05,1.108693e-05,1.105100e-05,1.101526e-05,1.097972e-05,1.094440e-05,1.090931e-05,1.087447e-05,1.083988e-05,1.080556e-05
0.000000e+00,1.400792e-11,7.217166e-11,7.210109e-10,2.976721e-09,5.519248e-09,1.949065e-08,2.036021e-08,5.179938e-08,6.442166e-08,1.059105e-07,1.515161e-07,1.880494e-07,2.924297e-07,3.029260e-07,4.547114e-07,4.970484e-07,6.470280e-07,7.735237e-07,8.826818e-07,1.127093e-06,1.163113e-06,1.487879e-06,1.557975e-06,1.854646e-06,2.060778e-06,2.259745e-06,2.626508e-06,2.698871e-06,3.167558e-06,3.244995e-06,3.661378e-06,3.906053e-06,4.175961e-06,4.599670e-06,4.706984e-06,5.250153e-06,5.315947e-06,5.801214e-06,6.045099e-06,6.355984e-06,6.777587e-06,6.910406e-06,7.460602e-06,7.504324e-06,8.002934e-06,8.216904e-06,8.534055e-06,8.907814e-06,9.050949e-06,9.550957e-06,9.570572e-06,1.003180e-05,1.019983e-05,1.049158e-05,1.079142e-05,1.092879e-05,1.134231e-05,1.173134e-05,1.185057e-05,1.209542e-05,1.231525e-05,1.243439e-05,1.273625e-05,1.274833e-05,1.303758e-05,1.311420e-05,1.330264e-05,1.345034e-05,1.354419e-05,1.374634e-05,1.376303e-05,1.396008e-05,1.400424e-05,1.413631e-05,1.422628e-05,1.429275e-05,1.441489e-05,1.443046e-05,1.455053e-05,1.457253e-05,1.465404e-05,1.470167e-05,1.474204e-05,1.480474e-05,1.481558e-05,1.487566e-05,1.488410e-05,1.492328e-05,1.494198e-05,1.495935e-05,1.498049e-05,1.498477e-05,1.500036e-05,1.500161e-05,1.500693e-05,1.500716e-05,1.500523e-05,1.499882e-05,1.499594e-05,1.497973e-05,1.497815e-05,1.495720e-05,1.494654e-05,1.492891e-05,1.490528e-05,1.489540e-05,1.485715e-05,1.485553e-05,1.481461e-05,1.479832e-05,1.476819e-05,1.473461e-05,1.471829e-05,1.466524e-05,1.460938e-05,1.459096e-05,1.455101e-05,1.451246e-05,1.449040e-05,1.443035e-05,1.442781e-05,1.436346e-05,1.434516e-05,1.429758e-05,1.425739e-05,1.423035e-05,1.416747e-05,1.416196e-05,1.409257e-05,1.407578e-05,1.402233e-05,1.398268e-05,1.395138e-05,1.388847e-05,1.387986e-05,1.380786e-05,1.379342e-05,1.373551e-05,1.369777e-05,1.366289e-05,1.360176e-05,1.359010e-05,1.351723e-05,1.350556e-05,1.344434e-05,1.340936e-05,1.337150e-05,1.331331e-05,1.329878e-05,1.322623e-05,1.321754e-05,1.315391e-05,1.312217e-05,1.308186e-05,1.302732e-05,1.301013e-05,1.293876e-05,1.293307e-05,1.286778e-05,1.283951e-05,1.279723e-05,1.274672e-05,1.272714e-05,1.265753e-05,1.265476e-05,1.258843e-05,1.256368e-05,1.251986e-05,1.247354e-05,1.245184e-05,1.238439e-05,1.229625e-05,1.220916e-05,1.212316e-05,1.203825e-05,1.195446e-05,1.187181e-05,1.179031e-05,1.170997e-05,1.163079e-05,1.155278e-05,1.147594e-05,1.140028e-05,1.132578e-05,1.125246e-05,1.118030e-05,1.110929e-05,1.103944e-05,1.097073e-05,1.090316e-05,1.083671e-05,1.077138e-05,1.070715e-05,1.064401e-05,1.058195e-05
0.000000e+00,1.169575e-13,7.716988e-13,1.255581e-11,7.846420e-11,1.804879e-10,1.071286e-09,1.141705e-09,4.616221e-09,6.460086e-09,1.409295e-08,2.501015e-08,3.551307e-08,7.346599e-08,7.790198e-08,1.539044e-07,1.789033e-07,2.800630e-07,3.800087e-07,4.765273e-07,7.255471e-07,7.659685e-07,1.171834e-06,1.268978e-06,1.716366e-06,2.060874e-06,2.418816e-06,3.141986e-06,3.294119e-06,4.352116e-06,4.538723e-06,5.597275e-06,6.261393e-06,7.028815e-06,8.304602e-06,8.641098e-06,1.042420e-05,1.064904e-05,1.236456e-05,1.326397e-05,1.444566e-05,1.610992e-05,1.664870e-05,1.895325e-05,1.914136e-05,2.133783e-05,2.230916e-05,2.378050e-05,2.556284e-05,2.625929e-05,2.875272e-05,2.885247e-05,3.124016e-05,3.213038e-05,3.370214e-05,3.535249e-05,3.612065e-05,3.847935e-05,4.076371e-05,4.147689e-05,4.296112e-05,4.431683e-05,4.506092e-05,4.697681e-05,4.705442e-05,4.893482e-05,4.944035e-05,5.069718e-05,5.169651e-05,5.233824e-05,5.373945e-05,5.385637e-05,5.525132e-05,5.556787e-05,5.652415e-05,5.718435e-05,5.767700e-05,5.859471e-05,5.871298e-05,5.963595e-05,5.980737e-05,6.045041e-05,6.083269e-05,6.116136e-05,6.168246e-05,6.177413e-05,6.229432e-05,6.236934e-05,6.272764e-05,6.290646e-05,6.307984e-05,6.330704e-05,6.335664e-05,6.356367e-05,6.358409e-05,6.370640e-05,6.375020e-05,6.379011e-05,6.381739e-05,6.381987e-05,6.380050e-05,6.379697e-05,6.373654e-05,6.369945e-05,6.363229e-05,6.353453e-05,6.349174e-05,6.331864e-05,6.331109e-05,6.311645e-05,6.303717e-05,6.288838e-05,6.272002e-05,6.263737e-05,6.236615e-05,6.207721e-05,6.198138e-05,6.177281e-05,6.157085e-05,6.145504e-05,6.113913e-05,6.112576e-05,6.078671e-05,6.069024e-05,6.043943e-05,6.022770e-05,6.008533e-05,5.975462e-05,5.972567e-05,5.936160e-05,5.927368e-05,5.899415e-05,5.878725e-05,5.862425e-05,5.829738e-05,5.825273e-05,5.788034e-05,5.780582e-05,5.750776e-05,5.731413e-05,5.713557e-05,5.682364e-05,5.676432e-05,5.639449e-05,5.633547e-05,5.602649e-05,5.585062e-05,5.566072e-05,5.536992e-05,5.529749e-05,5.493711e-05,5.489407e-05,5.457984e-05,5.442369e-05,5.422591e-05,5.395928e-05,5.387552e-05,5.352884e-05,5.350127e-05,5.318603e-05,5.305002e-05,5.284722e-05,5.260581e-05,5.251252e-05,5.218202e-05,5.216889e-05,5.185581e-05,5.173943e-05,5.153395e-05,5.131759e-05,5.121649e-05,5.090347e-05,5.049715e-05,5.009867e-05,4.970805e-05,4.932530e-05,4.895039e-05,4.858329e-05,4.822395e-05,4.787230e-05,4.752827e-05,4.719178e-05,4.686274e-05,4.654104e-05,4.622659e-05,4.591927e-05,4.561898e-05,4.532559e-05,4.503898e-05,4.475904e-05,4.448564e-05,4.421866e-05,4.395797e-05,4.370343e-05,4.345494e-05,4.321236e-05
0.000000e+00,7.013475e-10,1.647101e-09,5.802215e-09,1.331810e-08,1.947837e-08,4.430186e-08,4.563618e-08,8.816614e-08,1.035587e-07,1.511511e-07,2.005064e-07,2.387376e-07,3.437580e-07,3.540288e-07,4.972808e-07,5.355738e-07,6.659919e-07,7.703664e-07,8.569123e-07,1.041005e-06,1.067173e-06,1.294282e-06,1.341518e-06,1.535886e-06,1.666465e-06,1.789618e-06,2.010354e-06,2.053055e-06,2.323739e-06,2.367557e-06,2.599230e-06,2.732475e-06,2.877168e-06,3.099784e-06,3.155335e-06,3.431697e-06,3.464651e-06,3.704445e-06,3.822896e-06,3.972009e-06,4.171069e-06,4.233069e-06,4.486549e-06,4.506473e-06,4.731603e-06,4.827117e-06,4.967600e-06,5.131656e-06,5.194100e-06,5.410830e-06,5.419293e-06,5.617658e-06,5.689687e-06,5.814575e-06,5.942858e-06,6.001668e-06,6.179105e-06,6.347115e-06,6.398931e-06,6.505972e-06,6.602980e-06,6.655987e-06,6.791989e-06,6.797490e-06,6.930830e-06,6.966751e-06,7.056361e-06,7.128079e-06,7.174438e-06,7.276790e-06,7.285415e-06,7.389637e-06,7.413683e-06,7.487443e-06,7.539534e-06,7.579161e-06,7.655087e-06,7.665106e-06,7.745582e-06,7.761046e-06,7.820876e-06,7.858074e-06,7.891266e-06,7.946796e-06,7.957014e-06,8.018370e-06,8.027795e-06,8.075569e-06,8.101615e-06,8.128836e-06,8.168760e-06,8.178381e-06,8.224405e-06,8.229700e-06,8.267095e-06,8.284869e-06,8.306631e-06,8.334672e-06,8.343180e-06,8.376902e-06,8.379482e-06,8.407947e-06,8.419647e-06,8.436455e-06,8.455485e-06,8.462559e-06,8.486387e-06,8.487295e-06,8.508057e-06,8.515351e-06,8.527680e-06,8.539910e-06,8.545363e-06,8.561207e-06,8.575304e-06,8.579461e-06,8.587745e-06,8.594877e-06,8.598614e-06,8.607644e-06,8.607991e-06,8.615952e-06,8.617936e-06,8.622567e-06,8.625919e-06,8.627905e-06,8.631742e-06,8.632029e-06,8.635001e-06,8.635549e-06,8.636878e-06,8.637471e-06,8.637714e-06,8.637631e-06,8.637562e-06,8.636471e-06,8.636144e-06,8.634487e-06,8.633117e-06,8.631654e-06,8.628650e-06,8.628015e-06,8.623610e-06,8.622837e-06,8.618477e-06,8.615765e-06,8.612652e-06,8.607517e-06,8.606170e-06,8.599063e-06,8.598170e-06,8.591364e-06,8.587796e-06,8.583101e-06,8.576462e-06,8.574304e-06,8.564999e-06,8.564233e-06,8.555212e-06,8.551168e-06,8.544969e-06,8.537324e-06,8.534292e-06,8.523205e-06,8.522753e-06,8.511728e-06,8.507506e-06,8.499883e-06,8.491628e-06,8.487689e-06,8.475166e-06,8.458160e-06,8.440650e-06,8.422673e-06,8.404265e-06,8.385458e-06,8.366285e-06,8.346774e-06,8.326955e-06,8.306852e-06,8.286493e-06,8.265900e-06,8.245096e-06,8.224102e-06,8.202940e-06,8.181627e-06,8.160182e-06,8.138623e-06,8.116966e-06,8.095225e-06,8.073417e-06,8.051554e-06,8.029651e-06,8.007719e-06,7.985770e-06
0.000000e+00,4.028185e-13,2.731245e-12,4.705412e-11,3.101028e-10,7.347414e-10,4.713993e-09,5.039994e-09,2.205736e-08,3.154876e-08,7.274301e-08,1.350735e-07,1.975854e-07,4.370558e-07,4.661089e-07,9.880184e-07,1.167709e-06,1.925273e-06,2.712727e-06,3.503330e-06,5.656013e-06,6.018980e-06,9.842608e-06,1.080187e-05,1.541413e-05,1.916595e-05,2.323320e-05,3.193604e-05,3.384505e-05,4.782367e-05,5.041175e-05,6.575358e-05,7.593358e-05,8.821163e-05,1.098104e-04,1.157496e-04,1.488784e-04,1.532519e-04,1.880543e-04,2.073106e-04,2.336675e-04,2.728357e-04,2.860331e-04,3.453846e-04,3.504396e-04,4.118702e-04,4.404785e-04,4.855508e-04,5.430451e-04,5.664009e-04,6.543108e-04,6.579716e-04,7.490908e-04,7.848447e-04,8.504769e-04,9.230261e-04,9.581374e-04,1.071680e-03,1.190662e-03,1.229805e-03,1.314593e-03,1.396267e-03,1.442953e-03,1.569833e-03,1.575190e-03,1.710737e-03,1.749205e-03,1.849016e-03,1.933052e-03,1.989443e-03,2.120037e-03,2.131441e-03,2.274440e-03,2.308847e-03,2.417886e-03,2.498210e-03,2.561243e-03,2.686917e-03,2.704000e-03,2.845673e-03,2.873836e-03,2.985806e-03,3.057924e-03,3.123975e-03,3.238233e-03,3.259790e-03,3.392894e-03,3.413917e-03,3.522963e-03,3.584233e-03,3.649710e-03,3.748542e-03,3.772879e-03,3.892248e-03,3.906307e-03,4.007628e-03,4.057090e-03,4.118861e-03,4.200544e-03,4.225818e-03,4.328398e-03,4.336413e-03,4.426526e-03,4.464519e-03,4.520153e-03,4.584762e-03,4.609253e-03,4.693819e-03,4.697108e-03,4.773866e-03,4.801582e-03,4.849425e-03,4.898265e-03,4.920543e-03,4.987284e-03,5.049720e-03,5.068805e-03,5.107939e-03,5.143028e-03,5.162034e-03,5.210184e-03,5.212111e-03,5.258280e-03,5.270523e-03,5.300658e-03,5.324316e-03,5.339367e-03,5.371846e-03,5.374532e-03,5.406281e-03,5.413407e-03,5.434744e-03,5.449298e-03,5.460054e-03,5.479822e-03,5.482341e-03,5.501738e-03,5.505282e-03,5.518375e-03,5.525979e-03,5.532383e-03,5.542211e-03,5.543889e-03,5.553021e-03,5.554270e-03,5.559900e-03,5.562438e-03,5.564649e-03,5.566993e-03,5.567385e-03,5.568222e-03,5.568200e-03,5.567273e-03,5.566318e-03,5.564646e-03,5.561591e-03,5.560445e-03,5.554772e-03,5.554257e-03,5.547724e-03,5.544541e-03,5.539395e-03,5.532657e-03,5.529877e-03,5.519255e-03,5.518808e-03,5.507612e-03,5.503186e-03,5.495028e-03,5.485972e-03,5.481578e-03,5.467336e-03,5.447439e-03,5.426430e-03,5.404449e-03,5.381627e-03,5.358086e-03,5.333940e-03,5.309292e-03,5.284240e-03,5.258875e-03,5.233277e-03,5.207524e-03,5.181685e-03,5.155823e-03,5.129997e-03,5.104259e-03,5.078657e-03,5.053235e-03,5.028031e-03,5.003081e-03,4.978415e-03,4.954062e-03,4.930046e-03,4.906388e-03,4.883108e-03
0.000000e+00,7.632082e-09,2.034706e-08,8.240922e-08,2.038334e-07,3.081753e-07,7.580190e-07,7.833255e-07,1.640206e-06,1.971995e-06,3.060237e-06,4.273650e-06,5.261375e-06,8.121781e-06,8.409379e-06,1.248115e-05,1.357570e-05,1.728424e-05,2.021486e-05,2.261465e-05,2.762783e-05,2.833082e-05,3.434291e-05,3.557509e-05,4.058884e-05,4.391246e-05,4.701913e-05,5.253045e-05,5.358932e-05,6.025703e-05,6.133014e-05,6.698106e-05,7.021690e-05,7.372185e-05,7.910129e-05,8.044193e-05,8.710645e-05,8.790091e-05,9.368365e-05,9.654268e-05,1.001457e-04,1.049648e-04,1.064684e-04,1.126312e-04,1.131168e-04,1.186174e-04,1.209593e-04,1.244134e-04,1.284626e-04,1.300085e-04,1.353954e-04,1.356064e-04,1.405685e-04,1.423779e-04,1.455248e-04,1.487704e-04,1.502629e-04,1.547828e-04,1.590859e-04,1.604175e-04,1.631747e-04,1.656804e-04,1.670523e-04,1.705798e-04,1.707227e-04,1.741903e-04,1.751255e-04,1.774599e-04,1.793288e-04,1.805368e-04,1.832019e-04,1.834263e-04,1.861341e-04,1.867575e-04,1.886658e-04,1.900087e-04,1.910271e-04,1.929687e-04,1.932238e-04,1.952617e-04,1.956507e-04,1.971464e-04,1.980679e-04,1.988837e-04,2.002331e-04,2.004790e-04,2.019379e-04,2.021590e-04,2.032657e-04,2.038581e-04,2.044677e-04,2.053423e-04,2.055491e-04,2.065149e-04,2.066233e-04,2.073700e-04,2.077124e-04,2.081192e-04,2.086206e-04,2.087671e-04,2.093182e-04,2.093582e-04,2.097769e-04,2.099355e-04,2.101475e-04,2.103620e-04,2.104340e-04,2.106405e-04,2.106472e-04,2.107708e-04,2.107998e-04,2.108287e-04,2.108285e-04,2.108176e-04,2.107412e-04,2.106028e-04,2.105459e-04,2.104055e-04,2.102499e-04,2.101526e-04,2.098602e-04,2.098470e-04,2.094916e-04,2.093835e-04,2.090892e-04,2.088263e-04,2.086425e-04,2.081946e-04,2.081541e-04,2.076264e-04,2.074942e-04,2.070618e-04,2.067304e-04,2.064626e-04,2.059084e-04,2.058310e-04,2.051691e-04,2.050333e-04,2.044789e-04,2.041095e-04,2.037624e-04,2.031415e-04,2.030213e-04,2.022575e-04,2.021333e-04,2.014727e-04,2.010890e-04,2.006685e-04,2.000122e-04,1.998464e-04,1.990079e-04,1.989063e-04,1.981545e-04,1.977746e-04,1.972875e-04,1.966202e-04,1.964081e-04,1.955177e-04,1.954460e-04,1.946173e-04,1.942547e-04,1.937082e-04,1.930488e-04,1.927913e-04,1.918678e-04,1.918307e-04,1.909384e-04,1.906027e-04,1.900043e-04,1.893668e-04,1.890662e-04,1.881250e-04,1.868791e-04,1.856308e-04,1.843817e-04,1.831333e-04,1.818869e-04,1.806438e-04,1.794052e-04,1.781721e-04,1.769456e-04,1.757265e-04,1.745157e-04,1.733140e-04,1.721221e-04,1.709407e-04,1.697702e-04,1.686113e-04,1.674643e-04,1.663298e-04,1.652082e-04,1.640996e-04,1.630045e-04,1.619232e-04,1.608557e-04,1.598023e-04
0.000000e+00,7.368027e-12,4.501739e-11,6.259767e-10,3.402619e-09,7.263373e-09,3.581602e-08,3.789374e-08,1.293307e-07,1.733541e-07,3.415304e-07,5.621818e-07,7.628291e-07,1.440098e-06,1.516088e-06,2.757428e-06,3.146854e-06,4.653907e-06,6.055215e-06,7.341187e-06,1.041517e-05,1.088613e-05,1.527667e-05,1.625049e-05,2.043816e-05,2.339090e-05,2.626037e-05,3.157273e-05,3.262188e-05,3.940594e-05,4.052341e-05,4.650772e-05,5.000215e-05,5.383604e-05,5.980863e-05,6.131231e-05,6.886833e-05,6.977750e-05,7.644444e-05,7.977052e-05,8.398806e-05,8.967072e-05,9.145279e-05,9.879790e-05,9.937924e-05,1.059880e-04,1.088137e-04,1.129930e-04,1.179076e-04,1.197876e-04,1.263515e-04,1.266090e-04,1.326686e-04,1.348800e-04,1.387270e-04,1.426945e-04,1.445183e-04,1.500375e-04,1.552823e-04,1.569026e-04,1.602528e-04,1.632908e-04,1.649511e-04,1.692089e-04,1.693810e-04,1.735476e-04,1.746679e-04,1.774571e-04,1.796823e-04,1.811164e-04,1.842686e-04,1.845332e-04,1.877155e-04,1.884452e-04,1.906715e-04,1.922313e-04,1.934099e-04,1.956464e-04,1.959392e-04,1.982679e-04,1.987104e-04,2.004047e-04,2.014428e-04,2.023580e-04,2.038629e-04,2.041360e-04,2.057468e-04,2.059895e-04,2.071983e-04,2.078407e-04,2.084982e-04,2.094340e-04,2.096540e-04,2.106729e-04,2.107863e-04,2.115618e-04,2.119135e-04,2.123274e-04,2.128309e-04,2.129764e-04,2.135148e-04,2.135533e-04,2.139487e-04,2.140943e-04,2.142838e-04,2.144671e-04,2.145257e-04,2.146797e-04,2.146841e-04,2.147508e-04,2.147571e-04,2.147440e-04,2.146972e-04,2.146638e-04,2.145147e-04,2.143010e-04,2.142196e-04,2.140267e-04,2.138211e-04,2.136957e-04,2.133280e-04,2.133117e-04,2.128782e-04,2.127484e-04,2.123985e-04,2.120900e-04,2.118760e-04,2.113600e-04,2.113136e-04,2.107142e-04,2.105651e-04,2.100805e-04,2.097118e-04,2.094153e-04,2.088058e-04,2.087210e-04,2.079999e-04,2.078527e-04,2.072544e-04,2.068577e-04,2.064864e-04,2.058256e-04,2.056982e-04,2.048915e-04,2.047608e-04,2.040682e-04,2.036676e-04,2.032300e-04,2.025498e-04,2.023786e-04,2.015154e-04,2.014111e-04,2.006420e-04,2.002548e-04,1.997596e-04,1.990839e-04,1.988697e-04,1.979734e-04,1.979015e-04,1.970719e-04,1.967100e-04,1.961662e-04,1.955122e-04,1.952574e-04,1.943465e-04,1.943100e-04,1.934343e-04,1.931058e-04,1.925218e-04,1.919014e-04,1.916096e-04,1.906986e-04,1.894990e-04,1.883041e-04,1.871153e-04,1.859338e-04,1.847607e-04,1.835970e-04,1.824438e-04,1.813017e-04,1.801716e-04,1.790542e-04,1.779499e-04,1.768594e-04,1.757831e-04,1.747214e-04,1.736747e-04,1.726432e-04,1.716273e-04,1.706270e-04,1.696426e-04,1.686742e-04,1.677219e-04,1.667857e-04,1.658657e-04,1.649619e-04
0.000000e+00,4.576580e-14,3.003228e-13,4.830443e-12,2.986964e-11,6.830954e-11,3.994260e-10,4.254240e-10,1.695248e-09,2.363244e-09,5.107064e-09,8.997378e-09,1.271761e-08,2.605781e-08,2.760975e-08,5.405193e-08,6.270253e-08,9.753258e-08,1.317125e-07,1.645305e-07,2.484426e-07,2.619685e-07,3.964738e-07,4.283415e-07,5.736570e-07,6.840758e-07,7.975700e-07,1.023435e-06,1.070412e-06,1.392470e-06,1.448489e-06,1.762239e-06,1.955829e-06,2.176660e-06,2.537476e-06,2.631411e-06,3.121226e-06,3.182084e-06,3.640184e-06,3.876144e-06,4.181989e-06,4.605077e-06,4.740200e-06,5.308433e-06,5.354138e-06,5.880529e-06,6.109135e-06,6.450685e-06,6.856976e-06,7.013557e-06,7.564335e-06,7.586053e-06,8.098795e-06,8.286491e-06,8.613325e-06,8.950272e-06,9.104938e-06,9.571255e-06,1.001049e-05,1.014511e-05,1.042141e-05,1.066919e-05,1.080330e-05,1.114233e-05,1.115587e-05,1.147928e-05,1.156466e-05,1.177398e-05,1.193734e-05,1.204076e-05,1.226239e-05,1.228061e-05,1.249471e-05,1.254240e-05,1.268436e-05,1.278041e-05,1.285098e-05,1.297971e-05,1.299602e-05,1.312097e-05,1.314367e-05,1.322728e-05,1.327568e-05,1.331641e-05,1.337903e-05,1.338976e-05,1.344866e-05,1.345683e-05,1.349440e-05,1.351203e-05,1.352817e-05,1.354732e-05,1.355109e-05,1.356421e-05,1.356517e-05,1.356849e-05,1.356780e-05,1.356482e-05,1.355721e-05,1.355400e-05,1.353679e-05,1.353516e-05,1.351385e-05,1.350321e-05,1.348579e-05,1.346273e-05,1.345317e-05,1.341649e-05,1.341494e-05,1.337620e-05,1.336089e-05,1.333270e-05,1.330148e-05,1.328636e-05,1.323752e-05,1.318646e-05,1.316970e-05,1.313346e-05,1.309864e-05,1.307876e-05,1.302485e-05,1.302257e-05,1.296509e-05,1.294879e-05,1.290650e-05,1.287088e-05,1.284696e-05,1.279146e-05,1.278661e-05,1.272558e-05,1.271084e-05,1.266399e-05,1.262930e-05,1.260195e-05,1.254706e-05,1.253956e-05,1.247690e-05,1.246434e-05,1.241406e-05,1.238133e-05,1.235111e-05,1.229819e-05,1.228812e-05,1.222514e-05,1.221507e-05,1.216225e-05,1.213210e-05,1.209948e-05,1.204939e-05,1.203689e-05,1.197451e-05,1.196704e-05,1.191239e-05,1.188515e-05,1.185057e-05,1.180379e-05,1.178907e-05,1.172792e-05,1.172305e-05,1.166716e-05,1.164297e-05,1.160681e-05,1.156362e-05,1.154688e-05,1.148741e-05,1.148504e-05,1.142841e-05,1.140729e-05,1.136990e-05,1.133040e-05,1.131189e-05,1.125439e-05,1.117932e-05,1.110518e-05,1.103202e-05,1.095984e-05,1.088866e-05,1.081849e-05,1.074934e-05,1.068122e-05,1.061414e-05,1.054810e-05,1.048309e-05,1.041912e-05,1.035619e-05,1.029429e-05,1.023343e-05,1.017358e-05,1.011476e-05,1.005695e-05,1.000014e-05,9.944325e-06,9.889497e-06,9.835646e-06,9.782760e-06,9.730828e-06
0.000000e+00,4.339096e-09,1.007926e-08,3.520322e-08,8.088917e-08,1.186988e-07,2.746695e-07,2.832164e-07,5.637331e-07,6.687711e-07,1.002754e-06,1.358860e-06,1.637595e-06,2.399245e-06,2.472825e-06,3.477154e-06,3.738914e-06,4.612087e-06,5.293284e-06,5.848031e-06,7.002049e-06,7.163514e-06,8.541290e-06,8.822944e-06,9.965888e-06,1.072027e-05,1.142258e-05,1.266061e-05,1.289719e-05,1.437623e-05,1.461244e-05,1.584723e-05,1.654709e-05,1.729893e-05,1.843977e-05,1.872155e-05,2.010684e-05,2.027023e-05,2.144809e-05,2.202289e-05,2.274007e-05,2.368658e-05,2.397888e-05,2.516189e-05,2.525406e-05,2.628747e-05,2.672145e-05,2.735494e-05,2.808752e-05,2.836432e-05,2.931625e-05,2.935315e-05,3.021183e-05,3.052072e-05,3.105252e-05,3.159372e-05,3.184006e-05,3.257637e-05,3.326350e-05,3.347333e-05,3.390356e-05,3.428950e-05,3.449872e-05,3.502985e-05,3.505115e-05,3.556297e-05,3.569929e-05,3.603629e-05,3.630264e-05,3.647313e-05,3.684452e-05,3.687548e-05,3.724524e-05,3.732933e-05,3.758422e-05,3.776126e-05,3.789418e-05,3.814425e-05,3.817677e-05,3.843360e-05,3.848201e-05,3.866617e-05,3.877800e-05,3.887591e-05,3.903545e-05,3.906419e-05,3.923228e-05,3.925738e-05,3.938141e-05,3.944661e-05,3.951274e-05,3.960572e-05,3.962736e-05,3.972629e-05,3.973715e-05,3.981051e-05,3.984315e-05,3.988094e-05,3.992578e-05,3.993845e-05,3.998385e-05,3.998699e-05,4.001793e-05,4.002855e-05,4.004139e-05,4.005211e-05,4.005495e-05,4.005923e-05,4.005922e-05,4.005486e-05,4.005128e-05,4.004241e-05,4.002960e-05,4.002242e-05,3.999540e-05,3.996183e-05,3.994978e-05,3.992217e-05,3.989379e-05,3.987685e-05,3.982838e-05,3.982626e-05,3.977080e-05,3.975444e-05,3.971081e-05,3.967279e-05,3.964664e-05,3.958417e-05,3.957860e-05,3.950698e-05,3.948930e-05,3.943209e-05,3.938881e-05,3.935416e-05,3.928329e-05,3.927347e-05,3.919024e-05,3.917331e-05,3.910469e-05,3.905936e-05,3.901704e-05,3.894193e-05,3.892747e-05,3.883618e-05,3.882143e-05,3.874334e-05,3.869827e-05,3.864911e-05,3.857283e-05,3.855364e-05,3.845709e-05,3.844544e-05,3.835958e-05,3.831641e-05,3.826125e-05,3.818604e-05,3.816221e-05,3.806259e-05,3.805459e-05,3.796247e-05,3.792232e-05,3.786198e-05,3.778944e-05,3.776119e-05,3.766021e-05,3.765616e-05,3.755910e-05,3.752268e-05,3.745795e-05,3.738918e-05,3.735683e-05,3.725581e-05,3.712273e-05,3.699006e-05,3.685794e-05,3.672648e-05,3.659579e-05,3.646595e-05,3.633705e-05,3.620918e-05,3.608240e-05,3.595678e-05,3.583237e-05,3.570923e-05,3.558741e-05,3.546694e-05,3.534786e-05,3.523021e-05,3.511401e-05,3.499929e-05,3.488606e-05,3.477435e-05,3.466416e-05,3.455552e-05,3.444843e-05,3.434290e-05
0.000000e+00,5.252831e-09,1.223277e-08,4.281183e-08,9.818109e-08,1.436615e-07,3.276862e-07,3.376069e-07,6.549609e-07,7.702597e-07,1.127844e-06,1.500119e-06,1.789452e-06,2.589325e-06,2.668006e-06,3.774268e-06,4.072521e-06,5.093873e-06,5.914855e-06,6.596269e-06,8.043509e-06,8.248730e-06,1.002231e-05,1.038930e-05,1.189188e-05,1.289441e-05,1.383483e-05,1.550832e-05,1.583032e-05,1.785902e-05,1.818548e-05,1.990314e-05,2.088501e-05,2.194661e-05,2.357130e-05,2.397521e-05,2.597663e-05,2.621446e-05,2.794049e-05,2.879042e-05,2.985825e-05,3.128066e-05,3.172308e-05,3.352962e-05,3.367150e-05,3.527395e-05,3.595361e-05,3.695331e-05,3.812120e-05,3.856594e-05,4.011091e-05,4.017129e-05,4.158797e-05,4.210314e-05,4.299746e-05,4.391767e-05,4.434012e-05,4.561707e-05,4.682971e-05,4.720443e-05,4.797963e-05,4.868346e-05,4.906858e-05,5.005833e-05,5.009841e-05,5.107107e-05,5.133344e-05,5.198852e-05,5.251333e-05,5.285277e-05,5.360261e-05,5.366581e-05,5.442964e-05,5.460586e-05,5.514623e-05,5.552760e-05,5.581751e-05,5.637226e-05,5.644538e-05,5.703170e-05,5.714413e-05,5.757827e-05,5.784737e-05,5.808686e-05,5.848598e-05,5.855918e-05,5.899687e-05,5.906379e-05,5.940154e-05,5.958450e-05,5.977473e-05,6.005162e-05,6.011793e-05,6.043259e-05,6.046849e-05,6.072008e-05,6.083832e-05,6.098175e-05,6.116414e-05,6.121888e-05,6.143269e-05,6.144882e-05,6.162437e-05,6.169510e-05,6.179506e-05,6.190558e-05,6.194585e-05,6.207778e-05,6.208268e-05,6.219186e-05,6.222874e-05,6.228904e-05,6.234594e-05,6.237024e-05,6.243635e-05,6.248819e-05,6.250190e-05,6.252658e-05,6.254445e-05,6.255229e-05,6.256571e-05,6.256604e-05,6.256855e-05,6.256732e-05,6.256047e-05,6.255081e-05,6.254245e-05,6.251761e-05,6.251510e-05,6.247899e-05,6.246909e-05,6.243469e-05,6.240650e-05,6.238273e-05,6.233105e-05,6.232359e-05,6.225777e-05,6.224385e-05,6.218573e-05,6.214594e-05,6.210788e-05,6.203832e-05,6.202466e-05,6.193645e-05,6.192189e-05,6.184362e-05,6.179753e-05,6.174653e-05,6.166602e-05,6.164552e-05,6.154091e-05,6.152813e-05,6.143301e-05,6.138456e-05,6.132209e-05,6.123595e-05,6.120844e-05,6.109232e-05,6.108293e-05,6.097396e-05,6.092605e-05,6.085361e-05,6.076585e-05,6.073149e-05,6.060780e-05,6.060282e-05,6.048274e-05,6.043742e-05,6.035650e-05,6.027008e-05,6.022926e-05,6.010118e-05,5.993109e-05,5.976015e-05,5.958868e-05,5.941696e-05,5.924526e-05,5.907382e-05,5.890287e-05,5.873262e-05,5.856325e-05,5.839495e-05,5.822786e-05,5.806214e-05,5.789790e-05,5.773528e-05,5.757438e-05,5.741528e-05,5.725809e-05,5.710287e-05,5.694970e-05,5.679862e-05,5.664970e-05,5.650297e-05,5.635848e-05,5.621625e-05
0.000000e+00,3.554966e-09,8.151465e-09,2.809644e-08,6.406789e-08,9.361347e-08,2.135375e-07,2.200235e-07,4.287313e-07,5.051492e-07,7.441540e-07,9.962556e-07,1.194617e-06,1.755354e-06,1.811591e-06,2.625584e-06,2.852925e-06,3.657309e-06,4.331323e-06,4.907083e-06,6.169161e-06,6.351586e-06,7.952741e-06,8.288172e-06,9.670503e-06,1.059808e-05,1.147037e-05,1.302541e-05,1.332484e-05,1.521231e-05,1.551615e-05,1.711537e-05,1.803007e-05,1.901965e-05,2.053570e-05,2.091296e-05,2.278486e-05,2.300761e-05,2.462637e-05,2.542499e-05,2.642986e-05,2.777111e-05,2.818894e-05,2.989835e-05,3.003283e-05,3.155391e-05,3.220031e-05,3.315240e-05,3.426663e-05,3.469148e-05,3.616956e-05,3.622740e-05,3.758576e-05,3.808037e-05,3.893976e-05,3.982502e-05,4.023174e-05,4.146228e-05,4.263230e-05,4.299411e-05,4.374298e-05,4.442331e-05,4.479572e-05,4.575329e-05,4.579208e-05,4.673375e-05,4.698785e-05,4.762247e-05,4.813105e-05,4.846008e-05,4.918712e-05,4.924842e-05,4.998935e-05,5.016033e-05,5.068475e-05,5.105496e-05,5.133644e-05,5.187523e-05,5.194626e-05,5.251597e-05,5.262526e-05,5.304733e-05,5.330904e-05,5.354202e-05,5.393043e-05,5.400169e-05,5.442794e-05,5.449315e-05,5.482233e-05,5.500075e-05,5.518633e-05,5.545662e-05,5.552138e-05,5.582888e-05,5.586399e-05,5.611015e-05,5.622594e-05,5.636649e-05,5.654538e-05,5.659911e-05,5.680920e-05,5.682506e-05,5.699789e-05,5.706762e-05,5.716627e-05,5.727551e-05,5.731538e-05,5.744621e-05,5.745108e-05,5.755973e-05,5.759653e-05,5.765683e-05,5.771394e-05,5.773840e-05,5.780526e-05,5.785822e-05,5.787236e-05,5.789804e-05,5.791696e-05,5.792543e-05,5.794070e-05,5.794111e-05,5.794572e-05,5.794512e-05,5.793991e-05,5.793167e-05,5.792427e-05,5.790170e-05,5.789939e-05,5.786580e-05,5.785650e-05,5.782404e-05,5.779727e-05,5.777460e-05,5.772512e-05,5.771796e-05,5.765457e-05,5.764112e-05,5.758486e-05,5.754625e-05,5.750925e-05,5.744145e-05,5.742812e-05,5.734184e-05,5.732758e-05,5.725078e-05,5.720546e-05,5.715526e-05,5.707585e-05,5.705561e-05,5.695213e-05,5.693947e-05,5.684512e-05,5.679698e-05,5.673484e-05,5.664901e-05,5.662156e-05,5.650553e-05,5.649613e-05,5.638698e-05,5.633891e-05,5.626614e-05,5.617784e-05,5.614322e-05,5.601843e-05,5.601340e-05,5.589195e-05,5.584603e-05,5.576396e-05,5.567616e-05,5.563464e-05,5.550415e-05,5.533038e-05,5.515517e-05,5.497884e-05,5.480167e-05,5.462393e-05,5.444586e-05,5.426770e-05,5.408967e-05,5.391194e-05,5.373472e-05,5.355816e-05,5.338242e-05,5.320764e-05,5.303395e-05,5.286147e-05,5.269030e-05,5.252056e-05,5.235232e-05,5.218568e-05,5.202069e-05,5.185744e-05,5.169598e-05,5.153636e-05,5.137863e-05
0.000000e+00,1.379920e-12,8.386137e-12,1.151899e-10,6.179381e-10,1.308094e-09,6.280079e-09,6.635899e-09,2.182104e-08,2.888815e-08,5.488180e-08,8.720046e-08,1.152761e-07,2.036013e-07,2.130334e-07,3.581011e-07,4.010207e-07,5.599158e-07,7.009722e-07,8.270880e-07,1.122185e-06,1.167026e-06,1.585340e-06,1.678726e-06,2.084991e-06,2.376922e-06,2.665398e-06,3.212065e-06,3.321912e-06,4.045983e-06,4.167361e-06,4.826015e-06,5.216406e-06,5.648607e-06,6.327946e-06,6.499816e-06,7.366137e-06,7.470508e-06,8.235169e-06,8.615523e-06,9.095958e-06,9.738809e-06,9.939114e-06,1.075680e-05,1.082091e-05,1.154263e-05,1.184687e-05,1.229157e-05,1.280577e-05,1.299979e-05,1.366453e-05,1.369019e-05,1.428404e-05,1.449578e-05,1.485736e-05,1.522072e-05,1.538431e-05,1.586530e-05,1.630125e-05,1.643146e-05,1.669353e-05,1.692243e-05,1.704381e-05,1.734235e-05,1.735402e-05,1.762625e-05,1.769597e-05,1.786272e-05,1.798837e-05,1.806569e-05,1.822480e-05,1.823745e-05,1.838025e-05,1.841046e-05,1.849631e-05,1.855041e-05,1.858775e-05,1.864948e-05,1.865662e-05,1.870486e-05,1.871220e-05,1.873431e-05,1.874278e-05,1.874669e-05,1.874509e-05,1.874362e-05,1.872657e-05,1.872265e-05,1.869695e-05,1.867865e-05,1.865604e-05,1.861597e-05,1.860500e-05,1.854494e-05,1.853718e-05,1.847685e-05,1.844458e-05,1.840163e-05,1.834021e-05,1.832011e-05,1.823307e-05,1.822589e-05,1.814118e-05,1.810322e-05,1.804509e-05,1.797362e-05,1.794536e-05,1.784251e-05,1.783834e-05,1.773702e-05,1.769848e-05,1.762932e-05,1.755502e-05,1.751979e-05,1.740879e-05,1.729664e-05,1.726055e-05,1.718362e-05,1.711095e-05,1.706999e-05,1.696055e-05,1.695599e-05,1.684182e-05,1.680985e-05,1.672769e-05,1.665929e-05,1.661375e-05,1.650924e-05,1.650016e-05,1.638707e-05,1.636001e-05,1.627459e-05,1.621191e-05,1.616283e-05,1.606516e-05,1.605190e-05,1.594187e-05,1.591998e-05,1.583283e-05,1.577654e-05,1.572484e-05,1.563498e-05,1.561796e-05,1.551224e-05,1.549544e-05,1.540774e-05,1.535802e-05,1.530448e-05,1.522280e-05,1.520251e-05,1.510185e-05,1.508986e-05,1.500252e-05,1.495924e-05,1.490455e-05,1.483100e-05,1.480794e-05,1.471272e-05,1.470516e-05,1.461888e-05,1.458174e-05,1.452644e-05,1.446076e-05,1.443541e-05,1.434577e-05,1.434221e-05,1.425753e-05,1.422611e-05,1.417069e-05,1.411243e-05,1.408524e-05,1.400117e-05,1.389231e-05,1.378583e-05,1.368170e-05,1.357989e-05,1.348038e-05,1.338313e-05,1.328811e-05,1.319529e-05,1.310462e-05,1.301607e-05,1.292959e-05,1.284516e-05,1.276273e-05,1.268226e-05,1.260371e-05,1.252704e-05,1.245222e-05,1.237919e-05,1.230792e-05,1.223838e-05,1.217052e-05,1.210430e-05,1.203969e-05,1.197664e-05
0.000000e+00,2.484254e-11,1.321323e-10,1.404003e-09,6.107393e-09,1.164205e-08,4.414992e-08,4.625627e-08,1.269771e-07,1.615006e-07,2.821873e-07,4.263485e-07,5.497313e-07,9.362173e-07,9.775515e-07,1.614195e-06,1.801928e-06,2.488246e-06,3.080975e-06,3.595242e-06,4.739308e-06,4.906192e-06,6.385423e-06,6.698608e-06,8.002070e-06,8.889043e-06,9.732859e-06,1.126210e-05,1.156041e-05,1.347084e-05,1.378336e-05,1.545185e-05,1.642434e-05,1.749166e-05,1.915792e-05,1.957847e-05,2.170036e-05,2.195677e-05,2.384536e-05,2.479344e-05,2.600171e-05,2.764108e-05,2.815799e-05,3.030340e-05,3.047425e-05,3.242788e-05,3.326974e-05,3.452230e-05,3.600704e-05,3.657848e-05,3.858929e-05,3.866869e-05,4.054863e-05,4.124037e-05,4.245137e-05,4.371076e-05,4.429338e-05,4.607138e-05,4.778292e-05,4.831628e-05,4.942627e-05,5.044171e-05,5.100035e-05,5.244580e-05,5.250463e-05,5.393908e-05,5.432826e-05,5.530408e-05,5.609003e-05,5.660034e-05,5.773307e-05,5.782889e-05,5.899098e-05,5.926015e-05,6.008804e-05,6.067458e-05,6.112166e-05,6.198013e-05,6.209356e-05,6.300552e-05,6.318089e-05,6.385941e-05,6.428110e-05,6.465710e-05,6.528514e-05,6.540053e-05,6.609160e-05,6.619744e-05,6.673224e-05,6.702240e-05,6.732436e-05,6.776439e-05,6.786984e-05,6.837053e-05,6.842769e-05,6.882825e-05,6.901649e-05,6.924478e-05,6.953486e-05,6.962185e-05,6.996118e-05,6.998674e-05,7.026440e-05,7.037594e-05,7.053311e-05,7.070610e-05,7.076888e-05,7.097321e-05,7.098075e-05,7.114756e-05,7.120327e-05,7.129335e-05,7.137686e-05,7.141192e-05,7.150462e-05,7.157269e-05,7.158948e-05,7.161738e-05,7.163425e-05,7.163985e-05,7.164159e-05,7.164126e-05,7.162269e-05,7.161405e-05,7.158519e-05,7.155403e-05,7.152979e-05,7.146383e-05,7.145744e-05,7.136910e-05,7.134562e-05,7.126565e-05,7.120145e-05,7.114797e-05,7.103328e-05,7.101686e-05,7.087314e-05,7.084295e-05,7.071755e-05,7.063220e-05,7.055083e-05,7.040270e-05,7.037368e-05,7.018676e-05,7.015599e-05,6.999071e-05,6.989355e-05,6.978615e-05,6.961676e-05,6.957366e-05,6.935380e-05,6.932694e-05,6.912710e-05,6.902532e-05,6.889407e-05,6.871304e-05,6.865521e-05,6.841098e-05,6.839122e-05,6.816182e-05,6.806087e-05,6.790815e-05,6.772295e-05,6.765038e-05,6.738890e-05,6.737837e-05,6.712407e-05,6.702798e-05,6.685624e-05,6.667258e-05,6.658575e-05,6.631290e-05,6.594964e-05,6.558346e-05,6.521497e-05,6.484472e-05,6.447326e-05,6.410107e-05,6.372860e-05,6.335630e-05,6.298454e-05,6.261371e-05,6.224413e-05,6.187611e-05,6.150996e-05,6.114592e-05,6.078425e-05,6.042517e-05,6.006888e-05,5.971557e-05,5.936541e-05,5.901855e-05,5.867513e-05,5.833527e-05,5.799909e-05,5.766668e-05
0.000000e+00,1.792760e-12,1.092856e-11,1.511542e-10,8.165275e-10,1.735609e-09,8.431286e-09,8.913610e-09,2.971716e-08,3.950525e-08,7.590797e-08,1.218479e-07,1.622476e-07,2.917410e-07,3.057575e-07,5.251271e-07,5.912351e-07,8.398907e-07,1.064887e-06,1.268687e-06,1.752429e-06,1.826548e-06,2.522421e-06,2.678447e-06,3.358263e-06,3.847018e-06,4.329865e-06,5.244687e-06,5.428577e-06,6.643067e-06,6.847290e-06,7.960601e-06,8.625716e-06,9.367850e-06,1.054916e-05,1.085130e-05,1.239747e-05,1.258659e-05,1.399307e-05,1.470744e-05,1.562512e-05,1.688212e-05,1.728109e-05,1.894906e-05,1.908268e-05,2.061791e-05,2.128336e-05,2.227737e-05,2.346115e-05,2.391822e-05,2.553225e-05,2.559615e-05,2.711237e-05,2.767172e-05,2.865255e-05,2.967447e-05,3.014780e-05,3.159414e-05,3.298845e-05,3.342326e-05,3.432848e-05,3.515686e-05,3.561266e-05,3.679211e-05,3.684011e-05,3.801046e-05,3.832793e-05,3.912382e-05,3.976468e-05,4.018070e-05,4.110386e-05,4.118193e-05,4.212860e-05,4.234782e-05,4.302199e-05,4.349955e-05,4.386356e-05,4.456251e-05,4.465487e-05,4.539759e-05,4.554045e-05,4.609342e-05,4.643730e-05,4.674411e-05,4.725709e-05,4.735142e-05,4.791710e-05,4.800386e-05,4.844290e-05,4.868163e-05,4.893054e-05,4.929431e-05,4.938170e-05,4.979803e-05,4.984572e-05,5.018112e-05,5.033956e-05,5.053254e-05,5.077936e-05,5.085378e-05,5.114631e-05,5.116852e-05,5.141153e-05,5.151027e-05,5.165078e-05,5.180769e-05,5.186536e-05,5.205653e-05,5.206371e-05,5.222549e-05,5.228110e-05,5.237337e-05,5.246246e-05,5.250129e-05,5.261028e-05,5.270136e-05,5.272689e-05,5.277550e-05,5.281448e-05,5.283361e-05,5.287513e-05,5.287657e-05,5.290522e-05,5.291079e-05,5.292037e-05,5.292329e-05,5.292276e-05,5.291434e-05,5.291315e-05,5.289221e-05,5.288558e-05,5.286062e-05,5.283851e-05,5.281900e-05,5.277456e-05,5.276796e-05,5.270807e-05,5.269507e-05,5.263986e-05,5.260129e-05,5.256387e-05,5.249439e-05,5.248059e-05,5.239048e-05,5.237546e-05,5.229400e-05,5.224555e-05,5.219156e-05,5.210560e-05,5.208358e-05,5.197043e-05,5.195653e-05,5.185249e-05,5.179917e-05,5.173010e-05,5.163430e-05,5.160358e-05,5.147326e-05,5.146268e-05,5.133942e-05,5.128497e-05,5.120236e-05,5.110183e-05,5.106234e-05,5.091961e-05,5.091385e-05,5.077441e-05,5.072158e-05,5.062698e-05,5.052556e-05,5.047753e-05,5.032626e-05,5.012413e-05,4.991960e-05,4.971306e-05,4.950487e-05,4.929537e-05,4.908487e-05,4.887366e-05,4.866202e-05,4.845020e-05,4.823842e-05,4.802690e-05,4.781585e-05,4.760544e-05,4.739583e-05,4.718720e-05,4.697967e-05,4.677338e-05,4.656845e-05,4.636498e-05,4.616309e-05,4.596285e-05,4.576435e-05,4.556766e-05,4.537286e-05
0.000000e+00,2.423029e-09,5.909164e-09,2.168437e-08,5.090036e-08,7.523870e-08,1.760426e-07,1.815733e-07,3.631924e-07,4.312492e-07,6.480742e-07,8.804940e-07,1.063613e-06,1.569668e-06,1.618955e-06,2.296805e-06,2.474644e-06,3.070005e-06,3.536007e-06,3.916171e-06,4.708454e-06,4.819445e-06,5.767928e-06,5.962147e-06,6.751550e-06,7.273792e-06,7.760922e-06,8.622004e-06,8.786908e-06,9.820569e-06,9.986085e-06,1.085327e-05,1.134622e-05,1.187689e-05,1.268423e-05,1.288400e-05,1.386798e-05,1.398423e-05,1.482316e-05,1.523307e-05,1.574484e-05,1.642061e-05,1.662935e-05,1.747394e-05,1.753972e-05,1.827671e-05,1.858584e-05,1.903654e-05,1.955675e-05,1.975297e-05,2.042610e-05,2.045213e-05,2.105650e-05,2.127316e-05,2.164516e-05,2.202218e-05,2.219322e-05,2.270209e-05,2.317339e-05,2.331653e-05,2.360876e-05,2.386935e-05,2.400996e-05,2.436460e-05,2.437875e-05,2.471687e-05,2.480629e-05,2.502604e-05,2.519835e-05,2.530793e-05,2.554457e-05,2.556416e-05,2.579629e-05,2.584858e-05,2.600580e-05,2.611378e-05,2.619411e-05,2.634334e-05,2.636255e-05,2.651239e-05,2.654024e-05,2.664484e-05,2.670721e-05,2.676101e-05,2.684680e-05,2.686198e-05,2.694872e-05,2.696134e-05,2.702218e-05,2.705297e-05,2.708322e-05,2.712367e-05,2.713267e-05,2.717129e-05,2.717523e-05,2.719981e-05,2.720932e-05,2.721888e-05,2.722746e-05,2.722915e-05,2.723119e-05,2.723102e-05,2.722556e-05,2.722128e-05,2.721278e-05,2.719942e-05,2.719332e-05,2.716764e-05,2.716649e-05,2.713616e-05,2.712348e-05,2.709927e-05,2.707128e-05,2.705734e-05,2.701073e-05,2.695975e-05,2.694257e-05,2.690472e-05,2.686750e-05,2.684591e-05,2.678616e-05,2.678360e-05,2.671804e-05,2.669914e-05,2.664947e-05,2.660696e-05,2.657809e-05,2.651014e-05,2.650413e-05,2.642779e-05,2.640913e-05,2.634923e-05,2.630434e-05,2.626864e-05,2.619617e-05,2.618618e-05,2.610200e-05,2.608497e-05,2.601625e-05,2.597108e-05,2.592906e-05,2.585480e-05,2.584056e-05,2.575086e-05,2.573641e-05,2.566009e-05,2.561616e-05,2.556834e-05,2.549431e-05,2.547572e-05,2.538233e-05,2.537107e-05,2.528824e-05,2.524665e-05,2.519356e-05,2.512124e-05,2.509834e-05,2.500268e-05,2.499501e-05,2.490663e-05,2.486812e-05,2.481027e-05,2.474074e-05,2.471366e-05,2.461686e-05,2.461299e-05,2.451992e-05,2.448500e-05,2.442290e-05,2.435690e-05,2.432584e-05,2.422879e-05,2.410078e-05,2.397296e-05,2.384541e-05,2.371823e-05,2.359148e-05,2.346523e-05,2.333954e-05,2.321448e-05,2.309009e-05,2.296643e-05,2.284355e-05,2.272147e-05,2.260024e-05,2.247990e-05,2.236048e-05,2.224200e-05,2.212449e-05,2.200797e-05,2.189247e-05,2.177801e-05,2.166459e-05,2.155225e-05,2.144097e-05,2.133079e-05
0.000000e+00,1.507705e-11,8.647595e-11,1.061175e-09,5.187207e-09,1.048141e-08,4.539434e-08,4.779325e-08,1.461834e-07,1.908210e-07,3.538902e-07,5.580464e-07,7.380973e-07,1.321783e-06,1.385474e-06,2.386252e-06,2.686859e-06,3.801597e-06,4.780966e-06,5.641177e-06,7.583691e-06,7.869880e-06,1.043109e-05,1.097802e-05,1.326679e-05,1.483283e-05,1.632696e-05,1.904107e-05,1.957104e-05,2.296574e-05,2.352091e-05,2.648233e-05,2.820583e-05,3.009461e-05,3.303668e-05,3.377785e-05,3.750833e-05,3.795807e-05,4.126338e-05,4.291782e-05,4.502163e-05,4.786780e-05,4.876329e-05,5.247036e-05,5.276494e-05,5.612688e-05,5.757215e-05,5.971895e-05,6.225859e-05,6.323470e-05,6.666423e-05,6.679950e-05,6.999953e-05,7.117589e-05,7.323424e-05,7.537389e-05,7.636357e-05,7.938407e-05,8.229350e-05,8.320084e-05,8.509064e-05,8.682168e-05,8.777511e-05,9.024649e-05,9.034723e-05,9.280793e-05,9.347713e-05,9.515859e-05,9.651691e-05,9.740101e-05,9.937019e-05,9.953724e-05,1.015696e-04,1.020422e-04,1.035006e-04,1.045387e-04,1.053329e-04,1.068658e-04,1.070692e-04,1.087122e-04,1.090299e-04,1.102649e-04,1.110375e-04,1.117300e-04,1.128951e-04,1.131103e-04,1.144088e-04,1.146091e-04,1.156282e-04,1.161862e-04,1.167712e-04,1.176324e-04,1.178406e-04,1.188390e-04,1.189541e-04,1.197690e-04,1.201572e-04,1.206332e-04,1.212476e-04,1.214342e-04,1.221742e-04,1.222308e-04,1.228557e-04,1.231124e-04,1.234810e-04,1.238976e-04,1.240523e-04,1.245718e-04,1.245915e-04,1.250416e-04,1.251989e-04,1.254637e-04,1.257245e-04,1.258401e-04,1.261728e-04,1.264636e-04,1.265481e-04,1.267143e-04,1.268545e-04,1.269266e-04,1.270958e-04,1.271022e-04,1.272427e-04,1.272760e-04,1.273497e-04,1.273985e-04,1.274248e-04,1.274668e-04,1.274692e-04,1.274846e-04,1.274841e-04,1.274721e-04,1.274535e-04,1.274332e-04,1.273781e-04,1.273691e-04,1.272810e-04,1.272605e-04,1.271700e-04,1.271036e-04,1.270373e-04,1.269098e-04,1.268840e-04,1.267111e-04,1.266816e-04,1.265196e-04,1.264213e-04,1.263104e-04,1.261311e-04,1.260846e-04,1.258430e-04,1.258130e-04,1.255864e-04,1.254690e-04,1.253157e-04,1.251010e-04,1.250317e-04,1.247350e-04,1.247108e-04,1.244265e-04,1.243000e-04,1.241069e-04,1.238702e-04,1.237768e-04,1.234368e-04,1.234230e-04,1.230876e-04,1.229598e-04,1.227298e-04,1.224818e-04,1.223639e-04,1.219905e-04,1.214870e-04,1.209724e-04,1.204478e-04,1.199143e-04,1.193728e-04,1.188242e-04,1.182694e-04,1.177092e-04,1.171443e-04,1.165754e-04,1.160032e-04,1.154285e-04,1.148516e-04,1.142733e-04,1.136940e-04,1.131142e-04,1.125344e-04,1.119550e-04,1.113764e-04,1.107990e-04,1.102232e-04,1.096492e-04,1.090774e-04,1.085081e-04
0.000000e+00,7.695041e-10,2.123947e-09,8.878611e-09,2.210649e-08,3.335445e-08,8.037102e-08,8.294843e-08,1.667225e-07,1.976341e-07,2.946651e-07,3.972703e-07,4.780520e-07,7.062745e-07,7.291405e-07,1.059465e-06,1.151479e-06,1.476087e-06,1.746854e-06,1.977232e-06,2.479376e-06,2.551655e-06,3.183260e-06,3.315020e-06,3.856386e-06,4.218418e-06,4.558126e-06,5.162205e-06,5.278323e-06,6.008847e-06,6.126223e-06,6.742938e-06,7.094836e-06,7.474796e-06,8.055255e-06,8.199365e-06,8.912224e-06,8.996792e-06,9.609551e-06,9.910597e-06,1.028810e-05,1.078956e-05,1.094517e-05,1.157861e-05,1.162821e-05,1.218676e-05,1.242264e-05,1.276839e-05,1.317027e-05,1.332269e-05,1.384923e-05,1.386971e-05,1.434787e-05,1.452057e-05,1.481874e-05,1.512325e-05,1.526219e-05,1.567872e-05,1.606895e-05,1.618839e-05,1.643363e-05,1.665400e-05,1.677358e-05,1.707747e-05,1.708966e-05,1.738279e-05,1.746087e-05,1.765388e-05,1.780636e-05,1.790390e-05,1.811610e-05,1.813377e-05,1.834446e-05,1.839228e-05,1.853694e-05,1.863713e-05,1.871215e-05,1.885272e-05,1.887094e-05,1.901414e-05,1.904098e-05,1.914258e-05,1.920380e-05,1.925705e-05,1.934296e-05,1.935830e-05,1.944705e-05,1.946014e-05,1.952399e-05,1.955693e-05,1.958979e-05,1.963484e-05,1.964509e-05,1.969048e-05,1.969528e-05,1.972653e-05,1.973959e-05,1.975381e-05,1.976898e-05,1.977282e-05,1.978406e-05,1.978463e-05,1.978800e-05,1.978764e-05,1.978510e-05,1.977901e-05,1.977577e-05,1.976043e-05,1.975969e-05,1.973945e-05,1.973059e-05,1.971320e-05,1.969251e-05,1.968202e-05,1.964625e-05,1.960618e-05,1.959250e-05,1.956212e-05,1.953195e-05,1.951434e-05,1.946522e-05,1.946311e-05,1.940867e-05,1.939288e-05,1.935126e-05,1.931548e-05,1.929110e-05,1.923352e-05,1.922841e-05,1.916339e-05,1.914745e-05,1.909621e-05,1.905772e-05,1.902707e-05,1.896472e-05,1.895612e-05,1.888353e-05,1.886883e-05,1.880945e-05,1.877038e-05,1.873402e-05,1.866971e-05,1.865737e-05,1.857963e-05,1.856710e-05,1.850092e-05,1.846283e-05,1.842135e-05,1.835715e-05,1.834103e-05,1.826005e-05,1.825029e-05,1.817851e-05,1.814247e-05,1.809649e-05,1.803390e-05,1.801409e-05,1.793138e-05,1.792475e-05,1.784843e-05,1.781520e-05,1.776531e-05,1.770540e-05,1.768209e-05,1.759882e-05,1.759549e-05,1.751557e-05,1.748561e-05,1.743238e-05,1.737588e-05,1.734931e-05,1.726640e-05,1.715729e-05,1.704864e-05,1.694052e-05,1.683302e-05,1.672621e-05,1.662015e-05,1.651490e-05,1.641052e-05,1.630704e-05,1.620451e-05,1.610297e-05,1.600245e-05,1.590299e-05,1.580460e-05,1.570731e-05,1.561114e-05,1.551611e-05,1.542223e-05,1.532951e-05,1.523797e-05,1.514760e-05,1.505841e-05,1.497042e-05,1.488361e-05
0.000000e+00,4.831191e-13,3.276925e-12,5.649892e-11,3.725728e-10,8.829795e-10,5.666420e-09,6.058245e-09,2.649484e-08,3.788030e-08,8.720907e-08,1.616390e-07,2.360869e-07,5.199264e-07,5.542435e-07,1.167553e-06,1.377606e-06,2.258781e-06,3.169206e-06,4.079327e-06,6.544691e-06,6.959118e-06,1.131320e-05,1.240363e-05,1.764413e-05,2.190942e-05,2.653998e-05,3.648101e-05,3.866845e-05,5.476768e-05,5.776457e-05,7.563440e-05,8.758965e-05,1.021103e-04,1.279146e-04,1.350668e-04,1.753897e-04,1.807656e-04,2.239626e-04,2.481724e-04,2.816513e-04,3.321050e-04,3.492878e-04,4.276558e-04,4.344110e-04,5.174767e-04,5.567594e-04,6.193970e-04,7.005902e-04,7.339778e-04,8.616847e-04,8.670715e-04,1.002881e-03,1.057066e-03,1.157821e-03,1.271109e-03,1.326648e-03,1.509392e-03,1.705967e-03,1.771763e-03,1.916176e-03,2.057729e-03,2.139715e-03,2.366475e-03,2.376175e-03,2.625051e-03,2.696882e-03,2.885747e-03,3.047559e-03,3.157585e-03,3.416874e-03,3.439816e-03,3.731628e-03,3.802993e-03,4.032154e-03,4.203917e-03,4.340485e-03,4.617524e-03,4.655678e-03,4.976767e-03,5.041606e-03,5.302771e-03,5.473908e-03,5.632703e-03,5.912163e-03,5.965581e-03,6.300432e-03,6.354127e-03,6.636302e-03,6.797607e-03,6.972260e-03,7.240483e-03,7.307406e-03,7.640875e-03,7.680739e-03,7.971842e-03,8.116471e-03,8.299523e-03,8.545909e-03,8.623182e-03,8.942131e-03,8.967424e-03,9.255729e-03,9.379537e-03,9.563388e-03,9.780922e-03,9.864571e-03,1.015879e-02,1.017041e-02,1.044562e-02,1.054698e-02,1.072465e-02,1.090978e-02,1.099558e-02,1.125809e-02,1.151195e-02,1.159133e-02,1.175697e-02,1.190906e-02,1.199298e-02,1.221097e-02,1.221986e-02,1.243755e-02,1.249685e-02,1.264599e-02,1.276661e-02,1.284518e-02,1.302027e-02,1.303512e-02,1.321588e-02,1.325790e-02,1.338752e-02,1.347970e-02,1.355015e-02,1.368589e-02,1.370387e-02,1.384884e-02,1.387680e-02,1.398520e-02,1.405276e-02,1.411313e-02,1.421420e-02,1.423280e-02,1.434442e-02,1.436154e-02,1.444819e-02,1.449527e-02,1.454432e-02,1.461587e-02,1.463303e-02,1.471455e-02,1.472386e-02,1.478911e-02,1.481977e-02,1.485694e-02,1.490413e-02,1.491827e-02,1.497335e-02,1.497749e-02,1.502239e-02,1.504038e-02,1.506565e-02,1.509333e-02,1.510334e-02,1.513570e-02,1.513689e-02,1.516296e-02,1.517157e-02,1.518534e-02,1.519787e-02,1.520305e-02,1.521631e-02,1.522737e-02,1.523150e-02,1.522918e-02,1.522083e-02,1.520688e-02,1.518772e-02,1.516374e-02,1.513532e-02,1.510279e-02,1.506648e-02,1.502673e-02,1.498381e-02,1.493801e-02,1.488960e-02,1.483883e-02,1.478593e-02,1.473113e-02,1.467462e-02,1.461662e-02,1.455729e-02,1.449681e-02,1.443533e-02,1.437301e-02,1.430998e-02
0.000000e+00,3.399823e-09,7.817446e-09,2.694949e-08,6.126319e-08,8.928333e-08,2.017587e-07,2.077906e-07,3.995055e-07,4.686677e-07,6.819332e-07,9.025145e-07,1.073318e-06,1.544744e-06,1.591170e-06,2.247537e-06,2.426022e-06,3.042984e-06,3.545303e-06,3.966263e-06,4.871224e-06,5.000652e-06,6.129547e-06,6.365335e-06,7.338164e-06,7.993696e-06,8.613201e-06,9.726415e-06,9.942174e-06,1.131302e-05,1.153544e-05,1.271392e-05,1.339365e-05,1.413340e-05,1.527492e-05,1.556042e-05,1.698457e-05,1.715482e-05,1.839625e-05,1.901115e-05,1.978673e-05,2.082456e-05,2.114833e-05,2.247442e-05,2.257880e-05,2.375942e-05,2.426086e-05,2.499879e-05,2.586085e-05,2.618898e-05,2.732732e-05,2.737175e-05,2.841199e-05,2.878910e-05,2.944188e-05,3.011063e-05,3.041649e-05,3.133589e-05,3.220059e-05,3.246587e-05,3.301146e-05,3.350271e-05,3.376969e-05,3.444938e-05,3.447670e-05,3.513409e-05,3.530951e-05,3.574361e-05,3.608709e-05,3.630707e-05,3.678641e-05,3.682638e-05,3.730345e-05,3.741187e-05,3.774021e-05,3.796790e-05,3.813858e-05,3.845888e-05,3.850044e-05,3.882765e-05,3.888909e-05,3.912200e-05,3.926266e-05,3.938525e-05,3.958358e-05,3.961908e-05,3.982513e-05,3.985563e-05,4.000495e-05,4.008240e-05,4.016005e-05,4.026729e-05,4.029186e-05,4.040174e-05,4.041352e-05,4.049101e-05,4.052409e-05,4.056092e-05,4.060182e-05,4.061263e-05,4.064729e-05,4.064936e-05,4.066595e-05,4.066917e-05,4.066964e-05,4.066356e-05,4.065931e-05,4.063588e-05,4.063468e-05,4.060021e-05,4.058453e-05,4.055311e-05,4.051496e-05,4.049537e-05,4.042771e-05,4.035082e-05,4.032438e-05,4.026536e-05,4.020646e-05,4.017195e-05,4.007534e-05,4.007117e-05,3.996357e-05,3.993230e-05,3.984968e-05,3.977852e-05,3.972997e-05,3.961512e-05,3.960493e-05,3.947498e-05,3.944310e-05,3.934053e-05,3.926342e-05,3.920197e-05,3.907694e-05,3.905968e-05,3.891399e-05,3.888447e-05,3.876523e-05,3.868676e-05,3.861370e-05,3.848450e-05,3.845970e-05,3.830349e-05,3.827831e-05,3.814533e-05,3.806878e-05,3.798545e-05,3.785646e-05,3.782408e-05,3.766144e-05,3.764184e-05,3.749772e-05,3.742538e-05,3.733310e-05,3.720750e-05,3.716776e-05,3.700187e-05,3.698858e-05,3.683558e-05,3.676899e-05,3.666904e-05,3.654904e-05,3.650236e-05,3.633569e-05,3.632903e-05,3.616915e-05,3.610924e-05,3.600283e-05,3.588992e-05,3.583684e-05,3.567129e-05,3.545356e-05,3.523692e-05,3.502155e-05,3.480759e-05,3.459519e-05,3.438448e-05,3.417556e-05,3.396855e-05,3.376352e-05,3.356057e-05,3.335977e-05,3.316117e-05,3.296484e-05,3.277082e-05,3.257914e-05,3.238986e-05,3.220299e-05,3.201855e-05,3.183657e-05,3.165707e-05,3.148004e-05,3.130549e-05,3.113343e-05,3.096386e-05
0.000000e+00,2.757718e-10,9.999679e-10,5.749038e-09,1.669879e-08,2.667343e-08,7.083658e-08,7.331905e-08,1.553627e-07,1.859566e-07,2.821672e-07,3.835939e-07,4.629982e-07,6.848091e-07,7.068267e-07,1.021103e-06,1.107532e-06,1.409578e-06,1.659326e-06,1.871256e-06,2.334723e-06,2.401856e-06,2.995877e-06,3.121788e-06,3.647572e-06,4.007308e-06,4.351080e-06,4.977638e-06,5.100336e-06,5.889021e-06,6.018436e-06,6.710609e-06,7.114710e-06,7.558464e-06,8.251217e-06,8.425981e-06,9.306726e-06,9.413009e-06,1.019456e-05,1.058597e-05,1.108377e-05,1.175723e-05,1.196909e-05,1.284586e-05,1.291550e-05,1.370995e-05,1.405121e-05,1.455776e-05,1.515639e-05,1.538627e-05,1.619299e-05,1.622478e-05,1.697588e-05,1.725158e-05,1.773338e-05,1.823336e-05,1.846431e-05,1.916784e-05,1.984345e-05,2.005371e-05,2.049090e-05,2.089047e-05,2.111016e-05,2.167829e-05,2.170140e-05,2.226495e-05,2.241784e-05,2.280125e-05,2.311019e-05,2.331088e-05,2.375672e-05,2.379447e-05,2.425273e-05,2.435903e-05,2.468641e-05,2.491883e-05,2.509630e-05,2.543796e-05,2.548320e-05,2.584795e-05,2.591831e-05,2.619137e-05,2.636179e-05,2.651428e-05,2.677029e-05,2.681752e-05,2.710188e-05,2.714568e-05,2.736818e-05,2.748981e-05,2.761719e-05,2.780446e-05,2.784967e-05,2.806637e-05,2.809134e-05,2.826800e-05,2.835213e-05,2.845528e-05,2.858842e-05,2.862887e-05,2.878943e-05,2.880173e-05,2.893759e-05,2.899352e-05,2.907396e-05,2.916518e-05,2.919913e-05,2.931365e-05,2.931802e-05,2.941807e-05,2.945329e-05,2.951292e-05,2.957219e-05,2.959868e-05,2.967584e-05,2.974485e-05,2.976528e-05,2.980615e-05,2.984154e-05,2.986017e-05,2.990555e-05,2.990731e-05,2.994794e-05,2.995821e-05,2.998244e-05,3.000035e-05,3.001116e-05,3.003276e-05,3.003443e-05,3.005258e-05,3.005620e-05,3.006589e-05,3.007136e-05,3.007468e-05,3.007888e-05,3.007921e-05,3.007975e-05,3.007941e-05,3.007656e-05,3.007350e-05,3.006986e-05,3.006170e-05,3.005989e-05,3.004687e-05,3.004452e-05,3.003100e-05,3.002243e-05,3.001248e-05,2.999588e-05,2.999149e-05,2.996822e-05,2.996529e-05,2.994283e-05,2.993103e-05,2.991549e-05,2.989349e-05,2.988633e-05,2.985551e-05,2.985298e-05,2.982317e-05,2.980983e-05,2.978943e-05,2.976434e-05,2.975441e-05,2.971824e-05,2.971677e-05,2.968102e-05,2.966738e-05,2.964285e-05,2.961640e-05,2.960383e-05,2.956406e-05,2.951056e-05,2.945609e-05,2.940081e-05,2.934490e-05,2.928850e-05,2.923175e-05,2.917477e-05,2.911768e-05,2.906060e-05,2.900360e-05,2.894679e-05,2.889025e-05,2.883405e-05,2.877826e-05,2.872294e-05,2.866815e-05,2.861393e-05,2.856033e-05,2.850739e-05,2.845515e-05,2.840363e-05,2.835287e-05,2.830288e-05,2.825369e-05
0.000000e+00,1.008735e-09,2.306889e-09,7.909730e-09,1.797097e-08,2.622551e-08,5.982746e-08,6.165219e-08,1.208551e-07,1.427470e-07,2.116015e-07,2.839953e-07,3.400987e-07,4.920098e-07,5.066401e-07,7.068398e-07,7.593538e-07,9.360542e-07,1.075767e-06,1.190849e-06,1.434141e-06,1.468607e-06,1.766980e-06,1.828921e-06,2.083579e-06,2.254565e-06,2.415825e-06,2.704969e-06,2.760929e-06,3.115927e-06,3.173440e-06,3.477742e-06,3.652923e-06,3.843275e-06,4.136338e-06,4.209497e-06,4.573522e-06,4.616928e-06,4.932675e-06,5.088527e-06,5.284541e-06,5.545769e-06,5.626999e-06,5.958242e-06,5.984210e-06,6.276779e-06,6.400361e-06,6.581428e-06,6.791668e-06,6.871303e-06,7.145785e-06,7.156438e-06,7.404500e-06,7.493742e-06,7.647289e-06,7.803294e-06,7.874175e-06,8.085339e-06,8.281087e-06,8.340535e-06,8.461829e-06,8.569853e-06,8.628056e-06,8.774487e-06,8.780316e-06,8.919203e-06,8.955779e-06,9.045335e-06,9.115157e-06,9.159349e-06,9.254087e-06,9.261883e-06,9.353574e-06,9.374037e-06,9.435050e-06,9.476443e-06,9.506922e-06,9.562696e-06,9.569783e-06,9.624205e-06,9.634125e-06,9.670734e-06,9.691986e-06,9.709895e-06,9.737460e-06,9.742184e-06,9.768074e-06,9.771652e-06,9.788010e-06,9.795589e-06,9.802413e-06,9.810219e-06,9.811680e-06,9.816185e-06,9.816422e-06,9.816277e-06,9.815005e-06,9.812286e-06,9.806713e-06,9.804520e-06,9.793269e-06,9.792226e-06,9.778800e-06,9.772170e-06,9.761369e-06,9.747116e-06,9.741209e-06,9.718543e-06,9.717587e-06,9.693576e-06,9.684062e-06,9.666500e-06,9.646976e-06,9.637495e-06,9.606728e-06,9.574356e-06,9.563681e-06,9.540523e-06,9.518167e-06,9.505366e-06,9.470487e-06,9.469012e-06,9.431577e-06,9.420918e-06,9.393173e-06,9.369708e-06,9.353902e-06,9.317089e-06,9.313859e-06,9.273132e-06,9.263266e-06,9.231806e-06,9.208429e-06,9.189956e-06,9.152752e-06,9.147654e-06,9.104967e-06,9.096389e-06,9.061958e-06,9.039484e-06,9.018683e-06,8.982167e-06,8.975197e-06,8.931550e-06,8.924554e-06,8.887787e-06,8.866753e-06,8.843952e-06,8.808859e-06,8.800084e-06,8.756222e-06,8.750960e-06,8.712398e-06,8.693136e-06,8.668645e-06,8.635458e-06,8.624992e-06,8.581467e-06,8.577991e-06,8.538095e-06,8.520794e-06,8.494898e-06,8.463917e-06,8.451899e-06,8.409116e-06,8.407410e-06,8.366569e-06,8.351313e-06,8.324274e-06,8.295665e-06,8.282246e-06,8.240500e-06,8.185846e-06,8.131732e-06,8.078179e-06,8.025209e-06,7.972840e-06,7.921086e-06,7.869960e-06,7.819475e-06,7.769639e-06,7.720460e-06,7.671943e-06,7.624094e-06,7.576916e-06,7.530411e-06,7.484579e-06,7.439421e-06,7.394936e-06,7.351123e-06,7.307978e-06,7.265499e-06,7.223683e-06,7.182524e-06,7.142018e-06,7.102160e-06
0.000000e+00,6.658846e-14,4.264316e-13,6.518539e-12,3.846361e-11,8.571022e-11,4.682099e-10,4.972886e-10,1.848570e-09,2.527712e-09,5.198884e-09,8.790161e-09,1.208886e-08,2.325687e-08,2.450749e-08,4.482290e-08,5.116427e-08,7.569320e-08,9.864347e-08,1.199488e-07,1.722163e-07,1.804179e-07,2.596833e-07,2.779859e-07,3.598132e-07,4.206015e-07,4.821376e-07,6.024150e-07,6.271316e-07,7.944166e-07,8.231842e-07,9.828545e-07,1.080324e-06,1.190696e-06,1.369475e-06,1.415744e-06,1.655511e-06,1.685147e-06,1.907343e-06,2.021273e-06,2.168531e-06,2.371634e-06,2.436386e-06,2.708299e-06,2.730152e-06,2.981788e-06,3.091098e-06,3.254530e-06,3.449234e-06,3.524387e-06,3.789429e-06,3.799906e-06,4.047943e-06,4.139117e-06,4.298445e-06,4.463564e-06,4.539686e-06,4.770647e-06,4.990532e-06,5.058456e-06,5.198763e-06,5.325732e-06,5.394961e-06,5.571806e-06,5.578929e-06,5.750638e-06,5.796531e-06,5.910197e-06,6.000193e-06,6.057840e-06,6.183436e-06,6.193904e-06,6.318804e-06,6.347171e-06,6.433020e-06,6.492509e-06,6.537078e-06,6.620685e-06,6.631532e-06,6.716954e-06,6.733006e-06,6.793923e-06,6.830797e-06,6.863013e-06,6.915370e-06,6.924785e-06,6.979784e-06,6.987991e-06,7.028533e-06,7.049858e-06,7.071527e-06,7.102095e-06,7.109235e-06,7.142098e-06,7.145735e-06,7.170525e-06,7.181726e-06,7.194895e-06,7.210922e-06,7.215562e-06,7.232846e-06,7.234091e-06,7.247044e-06,7.251922e-06,7.258429e-06,7.265025e-06,7.267249e-06,7.273731e-06,7.273944e-06,7.278079e-06,7.279160e-06,7.280483e-06,7.281094e-06,7.281112e-06,7.280119e-06,7.277647e-06,7.276565e-06,7.273823e-06,7.270719e-06,7.268762e-06,7.262840e-06,7.262572e-06,7.255349e-06,7.253153e-06,7.247180e-06,7.241859e-06,7.238146e-06,7.229134e-06,7.228321e-06,7.217771e-06,7.215138e-06,7.206557e-06,7.200010e-06,7.194738e-06,7.183877e-06,7.182364e-06,7.169485e-06,7.166852e-06,7.156143e-06,7.149037e-06,7.142380e-06,7.130522e-06,7.128234e-06,7.113740e-06,7.111391e-06,7.098930e-06,7.091718e-06,7.083835e-06,7.071572e-06,7.068482e-06,7.052899e-06,7.051015e-06,7.037110e-06,7.030103e-06,7.021137e-06,7.008889e-06,7.005003e-06,6.988726e-06,6.987419e-06,6.972327e-06,6.965737e-06,6.955822e-06,6.943882e-06,6.939228e-06,6.922560e-06,6.921892e-06,6.905833e-06,6.899799e-06,6.889060e-06,6.877635e-06,6.872254e-06,6.855428e-06,6.833205e-06,6.810989e-06,6.788804e-06,6.766669e-06,6.744603e-06,6.722625e-06,6.700749e-06,6.678991e-06,6.657363e-06,6.635880e-06,6.614551e-06,6.593387e-06,6.572399e-06,6.551594e-06,6.530980e-06,6.510564e-06,6.490353e-06,6.470352e-06,6.450567e-06,6.431002e-06,6.411661e-06,6.392548e-06,6.373665e-06,6.355016e-06
0.000000e+00,1.103602e-13,7.269256e-13,1.178388e-11,7.339281e-11,1.685068e-10,9.952036e-10,1.060400e-09,4.264744e-09,5.959066e-09,1.294711e-08,2.289511e-08,3.242993e-08,6.669229e-08,7.068192e-08,1.387104e-07,1.609849e-07,2.507967e-07,3.392045e-07,4.244138e-07,6.439966e-07,6.796398e-07,1.038039e-06,1.124017e-06,1.521211e-06,1.828557e-06,2.149313e-06,2.801796e-06,2.939807e-06,3.906578e-06,4.078334e-06,5.059429e-06,5.680688e-06,6.403926e-06,7.618604e-06,7.941502e-06,9.669726e-06,9.889677e-06,1.158268e-05,1.248068e-05,1.367137e-05,1.536925e-05,1.592418e-05,1.832726e-05,1.852553e-05,2.086495e-05,2.191393e-05,2.352016e-05,2.549453e-05,2.627475e-05,2.910983e-05,2.922463e-05,3.200609e-05,3.305999e-05,3.494416e-05,3.695612e-05,3.790484e-05,4.086940e-05,4.381979e-05,4.475810e-05,4.673889e-05,4.858326e-05,4.961070e-05,5.230940e-05,5.242042e-05,5.515468e-05,5.590509e-05,5.780153e-05,5.934327e-05,6.035052e-05,6.260149e-05,6.279276e-05,6.512084e-05,6.566191e-05,6.732886e-05,6.851118e-05,6.941233e-05,7.114025e-05,7.136813e-05,7.319439e-05,7.354402e-05,7.489041e-05,7.572095e-05,7.645655e-05,7.767267e-05,7.789412e-05,7.920524e-05,7.940347e-05,8.039279e-05,8.091992e-05,8.146023e-05,8.223036e-05,8.241154e-05,8.325112e-05,8.334458e-05,8.398369e-05,8.427338e-05,8.461419e-05,8.502826e-05,8.514775e-05,8.558958e-05,8.562112e-05,8.594492e-05,8.606402e-05,8.621901e-05,8.636895e-05,8.641703e-05,8.654405e-05,8.654772e-05,8.660503e-05,8.661175e-05,8.660479e-05,8.657203e-05,8.654796e-05,8.643899e-05,8.628214e-05,8.622250e-05,8.608146e-05,8.593181e-05,8.584080e-05,8.557552e-05,8.556379e-05,8.525386e-05,8.516163e-05,8.491425e-05,8.469750e-05,8.454798e-05,8.418989e-05,8.415787e-05,8.374658e-05,8.364500e-05,8.331657e-05,8.306844e-05,8.287012e-05,8.246534e-05,8.240936e-05,8.193626e-05,8.184032e-05,8.145264e-05,8.119755e-05,8.096016e-05,8.054079e-05,8.046039e-05,7.995474e-05,7.987338e-05,7.944451e-05,7.919833e-05,7.893090e-05,7.851832e-05,7.841501e-05,7.789783e-05,7.783573e-05,7.738028e-05,7.715265e-05,7.686318e-05,7.647095e-05,7.634729e-05,7.583328e-05,7.579226e-05,7.532178e-05,7.511800e-05,7.481333e-05,7.444943e-05,7.430845e-05,7.380757e-05,7.378762e-05,7.331109e-05,7.313351e-05,7.281937e-05,7.248788e-05,7.233273e-05,7.185143e-05,7.122471e-05,7.060821e-05,7.000232e-05,6.940734e-05,6.882352e-05,6.825105e-05,6.769006e-05,6.714063e-05,6.660280e-05,6.607658e-05,6.556193e-05,6.505881e-05,6.456714e-05,6.408680e-05,6.361768e-05,6.315965e-05,6.271255e-05,6.227622e-05,6.185048e-05,6.143516e-05,6.103007e-05,6.063502e-05,6.024982e-05,5.987426e-05
0.000000e+00,2.303831e-13,1.475858e-12,2.260511e-11,1.339207e-10,2.994429e-10,1.659228e-09,1.763648e-09,6.722325e-09,9.276088e-09,1.961964e-08,3.412838e-08,4.795292e-08,9.754557e-08,1.033255e-07,2.020409e-07,2.343562e-07,3.640181e-07,4.900407e-07,6.095941e-07,9.083427e-07,9.555739e-07,1.412363e-06,1.517411e-06,1.983002e-06,2.323741e-06,2.663837e-06,3.314590e-06,3.446098e-06,4.317706e-06,4.464546e-06,5.264881e-06,5.742172e-06,6.273357e-06,7.114883e-06,7.329195e-06,8.419261e-06,8.551783e-06,9.531472e-06,1.002500e-05,1.065488e-05,1.151008e-05,1.177967e-05,1.289716e-05,1.298601e-05,1.399971e-05,1.443503e-05,1.508071e-05,1.584249e-05,1.613453e-05,1.715644e-05,1.719660e-05,1.814260e-05,1.848826e-05,1.908996e-05,1.971082e-05,1.999625e-05,2.085986e-05,2.167981e-05,2.193288e-05,2.245565e-05,2.292905e-05,2.318743e-05,2.384888e-05,2.387558e-05,2.452087e-05,2.469400e-05,2.512433e-05,2.546685e-05,2.568723e-05,2.617048e-05,2.621098e-05,2.669712e-05,2.680838e-05,2.714727e-05,2.738425e-05,2.756309e-05,2.790196e-05,2.794627e-05,2.829848e-05,2.836536e-05,2.862139e-05,2.877826e-05,2.891661e-05,2.914435e-05,2.918572e-05,2.943024e-05,2.946718e-05,2.965164e-05,2.975010e-05,2.985130e-05,2.999629e-05,3.003057e-05,3.019071e-05,3.020869e-05,3.033291e-05,3.039009e-05,3.045832e-05,3.054305e-05,3.056800e-05,3.066296e-05,3.066995e-05,3.074416e-05,3.077298e-05,3.081248e-05,3.085418e-05,3.086878e-05,3.091384e-05,3.091542e-05,3.094840e-05,3.095840e-05,3.097315e-05,3.098472e-05,3.098875e-05,3.099581e-05,3.099491e-05,3.099302e-05,3.098657e-05,3.097758e-05,3.097132e-05,3.095059e-05,3.094961e-05,3.092189e-05,3.091311e-05,3.088857e-05,3.086607e-05,3.085006e-05,3.081034e-05,3.080670e-05,3.075885e-05,3.074674e-05,3.070683e-05,3.067598e-05,3.065093e-05,3.059876e-05,3.059144e-05,3.052863e-05,3.051569e-05,3.046274e-05,3.042734e-05,3.039401e-05,3.033424e-05,3.032266e-05,3.024889e-05,3.023687e-05,3.017290e-05,3.013569e-05,3.009487e-05,3.003109e-05,3.001497e-05,2.993336e-05,2.992346e-05,2.985019e-05,2.981315e-05,2.976561e-05,2.970047e-05,2.967975e-05,2.959274e-05,2.958573e-05,2.950468e-05,2.946919e-05,2.941570e-05,2.935112e-05,2.932590e-05,2.923537e-05,2.923173e-05,2.914421e-05,2.911125e-05,2.905251e-05,2.898988e-05,2.896034e-05,2.886779e-05,2.874515e-05,2.862213e-05,2.849886e-05,2.837548e-05,2.825210e-05,2.812885e-05,2.800582e-05,2.788311e-05,2.776081e-05,2.763900e-05,2.751775e-05,2.739713e-05,2.727720e-05,2.715803e-05,2.703965e-05,2.692213e-05,2.680551e-05,2.668982e-05,2.657510e-05,2.646138e-05,2.634870e-05,2.623707e-05,2.612653e-05,2.601709e-05
0.000000e+00,1.096784e-12,6.587969e-12,8.840299e-11,4.648063e-10,9.736566e-10,4.558257e-09,4.811900e-09,1.548370e-08,2.039045e-08,3.827618e-08,6.031538e-08,7.936453e-08,1.390316e-07,1.453925e-07,2.432210e-07,2.722001e-07,3.797410e-07,4.755771e-07,5.615379e-07,7.634446e-07,7.941889e-07,1.081175e-06,1.145184e-06,1.422807e-06,1.621085e-06,1.815757e-06,2.180790e-06,2.253500e-06,2.727401e-06,2.805950e-06,3.227986e-06,3.474986e-06,3.745951e-06,4.167094e-06,4.272804e-06,4.801154e-06,4.864349e-06,5.324763e-06,5.552284e-06,5.838478e-06,6.219680e-06,6.338120e-06,6.820365e-06,6.858111e-06,7.282635e-06,7.461501e-06,7.723013e-06,8.025756e-06,8.140158e-06,8.533238e-06,8.548454e-06,8.901857e-06,9.028557e-06,9.245995e-06,9.466164e-06,9.565945e-06,9.862257e-06,1.013568e-05,1.021849e-05,1.038712e-05,1.053697e-05,1.061759e-05,1.082012e-05,1.082818e-05,1.102001e-05,1.107052e-05,1.119424e-05,1.129080e-05,1.135200e-05,1.148355e-05,1.149441e-05,1.162254e-05,1.165129e-05,1.173745e-05,1.179639e-05,1.184011e-05,1.192107e-05,1.193147e-05,1.201239e-05,1.202739e-05,1.208370e-05,1.211724e-05,1.214616e-05,1.219231e-05,1.220049e-05,1.224733e-05,1.225418e-05,1.228731e-05,1.230422e-05,1.232098e-05,1.234371e-05,1.234885e-05,1.237140e-05,1.237377e-05,1.238908e-05,1.239541e-05,1.240227e-05,1.240953e-05,1.241135e-05,1.241666e-05,1.241693e-05,1.241851e-05,1.241834e-05,1.241718e-05,1.241440e-05,1.241293e-05,1.240601e-05,1.240568e-05,1.239664e-05,1.239270e-05,1.238502e-05,1.237592e-05,1.237133e-05,1.235576e-05,1.233846e-05,1.233258e-05,1.231958e-05,1.230672e-05,1.229924e-05,1.227848e-05,1.227759e-05,1.225472e-05,1.224812e-05,1.223076e-05,1.221589e-05,1.220579e-05,1.218202e-05,1.217992e-05,1.215322e-05,1.214670e-05,1.212577e-05,1.211011e-05,1.209766e-05,1.207241e-05,1.206893e-05,1.203967e-05,1.203376e-05,1.200992e-05,1.199428e-05,1.197975e-05,1.195410e-05,1.194919e-05,1.191831e-05,1.191334e-05,1.188714e-05,1.187209e-05,1.185572e-05,1.183044e-05,1.182410e-05,1.179231e-05,1.178848e-05,1.176038e-05,1.174629e-05,1.172834e-05,1.170394e-05,1.169623e-05,1.166407e-05,1.166149e-05,1.163188e-05,1.161900e-05,1.159969e-05,1.157653e-05,1.156752e-05,1.153540e-05,1.153411e-05,1.150333e-05,1.149181e-05,1.147135e-05,1.144965e-05,1.143946e-05,1.140768e-05,1.136594e-05,1.132444e-05,1.128322e-05,1.124231e-05,1.120172e-05,1.116149e-05,1.112162e-05,1.108214e-05,1.104305e-05,1.100439e-05,1.096615e-05,1.092834e-05,1.089099e-05,1.085409e-05,1.081765e-05,1.078168e-05,1.074618e-05,1.071116e-05,1.067663e-05,1.064258e-05,1.060901e-05,1.057593e-05,1.054335e-05,1.051125e-05
0.000000e+00,1.493895e-11,8.224390e-11,9.313893e-10,4.252555e-09,8.290655e-09,3.285358e-08,3.446727e-08,9.668018e-08,1.232240e-07,2.149066e-07,3.219004e-07,4.114606e-07,6.829534e-07,7.113848e-07,1.141662e-06,1.267208e-06,1.726878e-06,2.128328e-06,2.481624e-06,3.285770e-06,3.405115e-06,4.482885e-06,4.715099e-06,5.693332e-06,6.367603e-06,7.013767e-06,8.192731e-06,8.423523e-06,9.904613e-06,1.014713e-05,1.144124e-05,1.219433e-05,1.301920e-05,1.430249e-05,1.462538e-05,1.624758e-05,1.644277e-05,1.787441e-05,1.858895e-05,1.949539e-05,2.071754e-05,2.110102e-05,2.268280e-05,2.280809e-05,2.423336e-05,2.484339e-05,2.574638e-05,2.680954e-05,2.721665e-05,2.863994e-05,2.869584e-05,3.001299e-05,3.049450e-05,3.133338e-05,3.220030e-05,3.259946e-05,3.381024e-05,3.496532e-05,3.532317e-05,3.606474e-05,3.673938e-05,3.710900e-05,3.806032e-05,3.809888e-05,3.903545e-05,3.928831e-05,3.991998e-05,4.042631e-05,4.075390e-05,4.147773e-05,4.153876e-05,4.227617e-05,4.244628e-05,4.296784e-05,4.333582e-05,4.361546e-05,4.415030e-05,4.422076e-05,4.478547e-05,4.489369e-05,4.531127e-05,4.556988e-05,4.579986e-05,4.618271e-05,4.625286e-05,4.667190e-05,4.673589e-05,4.705851e-05,4.723302e-05,4.741423e-05,4.767753e-05,4.774050e-05,4.803874e-05,4.807271e-05,4.831032e-05,4.842171e-05,4.855654e-05,4.872749e-05,4.877866e-05,4.897790e-05,4.899288e-05,4.915540e-05,4.922057e-05,4.931230e-05,4.941309e-05,4.944964e-05,4.956845e-05,4.957283e-05,4.966970e-05,4.970204e-05,4.975433e-05,4.980284e-05,4.982323e-05,4.987724e-05,4.991718e-05,4.992712e-05,4.994382e-05,4.995424e-05,4.995791e-05,4.996027e-05,4.996015e-05,4.995120e-05,4.994678e-05,4.993172e-05,4.991522e-05,4.990231e-05,4.986698e-05,4.986355e-05,4.981600e-05,4.980334e-05,4.976018e-05,4.972551e-05,4.969661e-05,4.963462e-05,4.962575e-05,4.954807e-05,4.953175e-05,4.946399e-05,4.941788e-05,4.937392e-05,4.929394e-05,4.927827e-05,4.917740e-05,4.916080e-05,4.907167e-05,4.901929e-05,4.896141e-05,4.887015e-05,4.884694e-05,4.872857e-05,4.871412e-05,4.860659e-05,4.855184e-05,4.848126e-05,4.838395e-05,4.835286e-05,4.822163e-05,4.821102e-05,4.808781e-05,4.803360e-05,4.795161e-05,4.785220e-05,4.781325e-05,4.767293e-05,4.766728e-05,4.753084e-05,4.747929e-05,4.738716e-05,4.728864e-05,4.724206e-05,4.709571e-05,4.690086e-05,4.670442e-05,4.650670e-05,4.630798e-05,4.610854e-05,4.590862e-05,4.570844e-05,4.550824e-05,4.530818e-05,4.510848e-05,4.490928e-05,4.471075e-05,4.451303e-05,4.431626e-05,4.412056e-05,4.392603e-05,4.373278e-05,4.354091e-05,4.335050e-05,4.316163e-05,4.297436e-05,4.278877e-05,4.260491e-05,4.242284e-05
0.000000e+00,5.569934e-09,1.279126e-08,4.417971e-08,1.008340e-07,1.473503e-07,3.357201e-07,3.458843e-07,6.715688e-07,7.901617e-07,1.158961e-06,1.544757e-06,1.846142e-06,2.688030e-06,2.771633e-06,3.964287e-06,4.291601e-06,5.431256e-06,6.367704e-06,7.157952e-06,8.872735e-06,9.119702e-06,1.129129e-05,1.174874e-05,1.364988e-05,1.494327e-05,1.617458e-05,1.840904e-05,1.884537e-05,2.164248e-05,2.210042e-05,2.454603e-05,2.597168e-05,2.753607e-05,2.997707e-05,3.059282e-05,3.369688e-05,3.407165e-05,3.682963e-05,3.821255e-05,3.997346e-05,4.236007e-05,4.311202e-05,4.623038e-05,4.647856e-05,4.931512e-05,5.053691e-05,5.235441e-05,5.450872e-05,5.533796e-05,5.825696e-05,5.837227e-05,6.110407e-05,6.211024e-05,6.387327e-05,6.570933e-05,6.655975e-05,6.915980e-05,7.167068e-05,7.245500e-05,7.409051e-05,7.559086e-05,7.641815e-05,7.856552e-05,7.865314e-05,8.079553e-05,8.137887e-05,8.284586e-05,8.403225e-05,8.480507e-05,8.652814e-05,8.667442e-05,8.845543e-05,8.886991e-05,9.014984e-05,9.106160e-05,9.175959e-05,9.310776e-05,9.328672e-05,9.473340e-05,9.501328e-05,9.610186e-05,9.678331e-05,9.739440e-05,9.842316e-05,9.861334e-05,9.976103e-05,9.993820e-05,1.008398e-04,1.013338e-04,1.018520e-04,1.026154e-04,1.028000e-04,1.036860e-04,1.037882e-04,1.045123e-04,1.048575e-04,1.052812e-04,1.058284e-04,1.059948e-04,1.066552e-04,1.067058e-04,1.072647e-04,1.074946e-04,1.078251e-04,1.081995e-04,1.083386e-04,1.088070e-04,1.088249e-04,1.092323e-04,1.093752e-04,1.096163e-04,1.098547e-04,1.099607e-04,1.102674e-04,1.105379e-04,1.106171e-04,1.107740e-04,1.109077e-04,1.109771e-04,1.111426e-04,1.111489e-04,1.112907e-04,1.113253e-04,1.114041e-04,1.114590e-04,1.114904e-04,1.115470e-04,1.115509e-04,1.115869e-04,1.115920e-04,1.115996e-04,1.115971e-04,1.115903e-04,1.115648e-04,1.115601e-04,1.115101e-04,1.114978e-04,1.114413e-04,1.113985e-04,1.113549e-04,1.112693e-04,1.112517e-04,1.111328e-04,1.111123e-04,1.109990e-04,1.109297e-04,1.108512e-04,1.107234e-04,1.106902e-04,1.105170e-04,1.104954e-04,1.103322e-04,1.102474e-04,1.101366e-04,1.099811e-04,1.099309e-04,1.097158e-04,1.096982e-04,1.094919e-04,1.094000e-04,1.092599e-04,1.090882e-04,1.090204e-04,1.087739e-04,1.087639e-04,1.085211e-04,1.084286e-04,1.082623e-04,1.080833e-04,1.079982e-04,1.077292e-04,1.073674e-04,1.069989e-04,1.066246e-04,1.062454e-04,1.058621e-04,1.054756e-04,1.050864e-04,1.046953e-04,1.043029e-04,1.039099e-04,1.035167e-04,1.031239e-04,1.027319e-04,1.023412e-04,1.019521e-04,1.015652e-04,1.011806e-04,1.007988e-04,1.004199e-04,1.000444e-04,9.967238e-05,9.930411e-05,9.893979e-05,9.857961e-05
0.000000e+00,1.359112e-10,6.570333e-10,5.868652e-09,2.236658e-08,4.001213e-08,1.318452e-07,1.374284e-07,3.361169e-07,4.152791e-07,6.760860e-07,9.653673e-07,1.199189e-06,1.873557e-06,1.941577e-06,2.920624e-06,3.190775e-06,4.133434e-06,4.910211e-06,5.567671e-06,7.002118e-06,7.209688e-06,9.046015e-06,9.435360e-06,1.106225e-05,1.217643e-05,1.324198e-05,1.518566e-05,1.556647e-05,1.801482e-05,1.841657e-05,2.056459e-05,2.181765e-05,2.319240e-05,2.533504e-05,2.587475e-05,2.858869e-05,2.891543e-05,3.131236e-05,3.250859e-05,3.402555e-05,3.606922e-05,3.670995e-05,3.934946e-05,3.955825e-05,4.193023e-05,4.294341e-05,4.444060e-05,4.619907e-05,4.687109e-05,4.921420e-05,4.930602e-05,5.146426e-05,5.225068e-05,5.361722e-05,5.502439e-05,5.567048e-05,5.762264e-05,5.947336e-05,6.004424e-05,6.122317e-05,6.229063e-05,6.287329e-05,6.436530e-05,6.442554e-05,6.588217e-05,6.627325e-05,6.724580e-05,6.802052e-05,6.851930e-05,6.961394e-05,6.970572e-05,7.080825e-05,7.106073e-05,7.183014e-05,7.236840e-05,7.277469e-05,7.354452e-05,7.364518e-05,7.444487e-05,7.459660e-05,7.517699e-05,7.553204e-05,7.584469e-05,7.635803e-05,7.645105e-05,7.699904e-05,7.708150e-05,7.749159e-05,7.770914e-05,7.793148e-05,7.824731e-05,7.832143e-05,7.866404e-05,7.870209e-05,7.896181e-05,7.907925e-05,7.921715e-05,7.938425e-05,7.943236e-05,7.960965e-05,7.962226e-05,7.975112e-05,7.979814e-05,7.985881e-05,7.991650e-05,7.993462e-05,7.998042e-05,7.998165e-05,7.999795e-05,7.999766e-05,7.998888e-05,7.996834e-05,7.995481e-05,7.989726e-05,7.981768e-05,7.978779e-05,7.971744e-05,7.964305e-05,7.959785e-05,7.946600e-05,7.946016e-05,7.930555e-05,7.925938e-05,7.913513e-05,7.902575e-05,7.894999e-05,7.876752e-05,7.875112e-05,7.853950e-05,7.848692e-05,7.831604e-05,7.818605e-05,7.808160e-05,7.786686e-05,7.783699e-05,7.758301e-05,7.753115e-05,7.732038e-05,7.718063e-05,7.704980e-05,7.681686e-05,7.677194e-05,7.648741e-05,7.644131e-05,7.619682e-05,7.605535e-05,7.590072e-05,7.566023e-05,7.559964e-05,7.529408e-05,7.525713e-05,7.498451e-05,7.484715e-05,7.467139e-05,7.443129e-05,7.435512e-05,7.403612e-05,7.401049e-05,7.371476e-05,7.358563e-05,7.339138e-05,7.315749e-05,7.306633e-05,7.273992e-05,7.272684e-05,7.241244e-05,7.229434e-05,7.208417e-05,7.186064e-05,7.175539e-05,7.142632e-05,7.099192e-05,7.055793e-05,7.012481e-05,6.969297e-05,6.926280e-05,6.883464e-05,6.840882e-05,6.798563e-05,6.756532e-05,6.714815e-05,6.673432e-05,6.632404e-05,6.591748e-05,6.551479e-05,6.511611e-05,6.472158e-05,6.433129e-05,6.394536e-05,6.356385e-05,6.318684e-05,6.281439e-05,6.244655e-05,6.208336e-05,6.172486e-05
0.000000e+00,1.440127e-09,3.838565e-09,1.538495e-08,3.751584e-08,5.623385e-08,1.351790e-07,1.395624e-07,2.858545e-07,3.416408e-07,5.215188e-07,7.155467e-07,8.676449e-07,1.279492e-06,1.318854e-06,1.848030e-06,1.983612e-06,2.429933e-06,2.772776e-06,3.049228e-06,3.618444e-06,3.697604e-06,4.370152e-06,4.507231e-06,5.063183e-06,5.430481e-06,5.773127e-06,6.379690e-06,6.496055e-06,7.227574e-06,7.345097e-06,7.962851e-06,8.315621e-06,8.696764e-06,9.279394e-06,9.424079e-06,1.013962e-05,1.022446e-05,1.083847e-05,1.113950e-05,1.151614e-05,1.201454e-05,1.216866e-05,1.279265e-05,1.284125e-05,1.338537e-05,1.361321e-05,1.394471e-05,1.432593e-05,1.446922e-05,1.495803e-05,1.497684e-05,1.541084e-05,1.556505e-05,1.582780e-05,1.609116e-05,1.620952e-05,1.655700e-05,1.687142e-05,1.696525e-05,1.715410e-05,1.731912e-05,1.740669e-05,1.762241e-05,1.763085e-05,1.782832e-05,1.787908e-05,1.800088e-05,1.809318e-05,1.815026e-05,1.826870e-05,1.827818e-05,1.838630e-05,1.840948e-05,1.847619e-05,1.851913e-05,1.854936e-05,1.860102e-05,1.860719e-05,1.865102e-05,1.865822e-05,1.868207e-05,1.869355e-05,1.870148e-05,1.870955e-05,1.871029e-05,1.870946e-05,1.870849e-05,1.869987e-05,1.869240e-05,1.868233e-05,1.866307e-05,1.865757e-05,1.862627e-05,1.862210e-05,1.858903e-05,1.857091e-05,1.854640e-05,1.851072e-05,1.849890e-05,1.844697e-05,1.844263e-05,1.839103e-05,1.836762e-05,1.833147e-05,1.828653e-05,1.826862e-05,1.820280e-05,1.820011e-05,1.813430e-05,1.810903e-05,1.806338e-05,1.801388e-05,1.799027e-05,1.791519e-05,1.783835e-05,1.781341e-05,1.775992e-05,1.770897e-05,1.768008e-05,1.760224e-05,1.759897e-05,1.751675e-05,1.749354e-05,1.743353e-05,1.738318e-05,1.734945e-05,1.727143e-05,1.726462e-05,1.717913e-05,1.715853e-05,1.709309e-05,1.704469e-05,1.700658e-05,1.693013e-05,1.691968e-05,1.683248e-05,1.681501e-05,1.674504e-05,1.669950e-05,1.665743e-05,1.658375e-05,1.656971e-05,1.648194e-05,1.646789e-05,1.639417e-05,1.635205e-05,1.630645e-05,1.623634e-05,1.621883e-05,1.613135e-05,1.612086e-05,1.604405e-05,1.600571e-05,1.595697e-05,1.589096e-05,1.587015e-05,1.578361e-05,1.577670e-05,1.569739e-05,1.566299e-05,1.561151e-05,1.554991e-05,1.552601e-05,1.544090e-05,1.543750e-05,1.535620e-05,1.532582e-05,1.527195e-05,1.521492e-05,1.518816e-05,1.510484e-05,1.499562e-05,1.488730e-05,1.477990e-05,1.467346e-05,1.456799e-05,1.446353e-05,1.436009e-05,1.425769e-05,1.415633e-05,1.405605e-05,1.395684e-05,1.385871e-05,1.376168e-05,1.366574e-05,1.357090e-05,1.347717e-05,1.338454e-05,1.329302e-05,1.320260e-05,1.311329e-05,1.302507e-05,1.293795e-05,1.285192e-05,1.276698e-05
0.000000e+00,5.273086e-11,2.442949e-10,2.028005e-09,7.338496e-09,1.281992e-08,4.015937e-08,4.178386e-08,9.805632e-08,1.198655e-07,1.900134e-07,2.655297e-07,3.253163e-07,4.941528e-07,5.110210e-07,7.536595e-07,8.210450e-07,1.059253e-06,1.259931e-06,1.433209e-06,1.822454e-06,1.880041e-06,2.402840e-06,2.516646e-06,3.002557e-06,3.344311e-06,3.677324e-06,4.298628e-06,4.422249e-06,5.229902e-06,5.364360e-06,6.091313e-06,6.521101e-06,6.997007e-06,7.747192e-06,7.937703e-06,8.904671e-06,9.022083e-06,9.889845e-06,1.032716e-05,1.088581e-05,1.164576e-05,1.188577e-05,1.288351e-05,1.296306e-05,1.387336e-05,1.426594e-05,1.485024e-05,1.554297e-05,1.580957e-05,1.674735e-05,1.678436e-05,1.766009e-05,1.798197e-05,1.854485e-05,1.912922e-05,1.939915e-05,2.022102e-05,2.100893e-05,2.125369e-05,2.176173e-05,2.222474e-05,2.247868e-05,2.313283e-05,2.315936e-05,2.380362e-05,2.397751e-05,2.441162e-05,2.475914e-05,2.498369e-05,2.547874e-05,2.552039e-05,2.602241e-05,2.613783e-05,2.649059e-05,2.673834e-05,2.692587e-05,2.728250e-05,2.732926e-05,2.770184e-05,2.777276e-05,2.804474e-05,2.821170e-05,2.835911e-05,2.860200e-05,2.864613e-05,2.890697e-05,2.894635e-05,2.914280e-05,2.924746e-05,2.935479e-05,2.950799e-05,2.954408e-05,2.971180e-05,2.973053e-05,2.985903e-05,2.991760e-05,2.998684e-05,3.007163e-05,3.009627e-05,3.018831e-05,3.019496e-05,3.026394e-05,3.028979e-05,3.032406e-05,3.035826e-05,3.036959e-05,3.040136e-05,3.040236e-05,3.042021e-05,3.042398e-05,3.042691e-05,3.042492e-05,3.042222e-05,3.040686e-05,3.038150e-05,3.037138e-05,3.034679e-05,3.031996e-05,3.030336e-05,3.025400e-05,3.025179e-05,3.019264e-05,3.017480e-05,3.012645e-05,3.008356e-05,3.005372e-05,2.998144e-05,2.997493e-05,2.989053e-05,2.986949e-05,2.980095e-05,2.974868e-05,2.970661e-05,2.961995e-05,2.960788e-05,2.950514e-05,2.948414e-05,2.939873e-05,2.934205e-05,2.928897e-05,2.919442e-05,2.917618e-05,2.906064e-05,2.904191e-05,2.894263e-05,2.888518e-05,2.882240e-05,2.872480e-05,2.870022e-05,2.857629e-05,2.856131e-05,2.845085e-05,2.839522e-05,2.832409e-05,2.822699e-05,2.819620e-05,2.806738e-05,2.805704e-05,2.793778e-05,2.788576e-05,2.780756e-05,2.771351e-05,2.767688e-05,2.754587e-05,2.754063e-05,2.741467e-05,2.736741e-05,2.728340e-05,2.719415e-05,2.715216e-05,2.702108e-05,2.684845e-05,2.667646e-05,2.650531e-05,2.633517e-05,2.616620e-05,2.599854e-05,2.583232e-05,2.566766e-05,2.550465e-05,2.534340e-05,2.518398e-05,2.502646e-05,2.487090e-05,2.471736e-05,2.456588e-05,2.441651e-05,2.426928e-05,2.412420e-05,2.398131e-05,2.384061e-05,2.370213e-05,2.356586e-05,2.343182e-05,2.329999e-05
0.000000e+00,2.148856e-09,4.923221e-09,1.693577e-08,3.852683e-08,5.620286e-08,1.274989e-07,1.313362e-07,2.539243e-07,2.984189e-07,4.364206e-07,5.803320e-07,6.925442e-07,1.005708e-06,1.036825e-06,1.482239e-06,1.605141e-06,2.035583e-06,2.391828e-06,2.693706e-06,3.350472e-06,3.445079e-06,4.275116e-06,4.449320e-06,5.170082e-06,5.657150e-06,6.118229e-06,6.948370e-06,7.109491e-06,8.134937e-06,8.301624e-06,9.186346e-06,9.697958e-06,1.025598e-05,1.111987e-05,1.133651e-05,1.242101e-05,1.255111e-05,1.350301e-05,1.397674e-05,1.457655e-05,1.538343e-05,1.563622e-05,1.667723e-05,1.675957e-05,1.769541e-05,1.809547e-05,1.868719e-05,1.938326e-05,1.964963e-05,2.058035e-05,2.061689e-05,2.147748e-05,2.179195e-05,2.233966e-05,2.290549e-05,2.316595e-05,2.395580e-05,2.470900e-05,2.494229e-05,2.542562e-05,2.586518e-05,2.610595e-05,2.672541e-05,2.675052e-05,2.735999e-05,2.752446e-05,2.793516e-05,2.826418e-05,2.847695e-05,2.894674e-05,2.898632e-05,2.946432e-05,2.957449e-05,2.991203e-05,3.014992e-05,3.033054e-05,3.067556e-05,3.072097e-05,3.108443e-05,3.115398e-05,3.142203e-05,3.158773e-05,3.173488e-05,3.197932e-05,3.202404e-05,3.229056e-05,3.233118e-05,3.253549e-05,3.264567e-05,3.275980e-05,3.292507e-05,3.296449e-05,3.315047e-05,3.317158e-05,3.331867e-05,3.338726e-05,3.346995e-05,3.357412e-05,3.360515e-05,3.372509e-05,3.373405e-05,3.383054e-05,3.386883e-05,3.392225e-05,3.398018e-05,3.400094e-05,3.406728e-05,3.406969e-05,3.412195e-05,3.413889e-05,3.416555e-05,3.418920e-05,3.419871e-05,3.422199e-05,3.423593e-05,3.423851e-05,3.424107e-05,3.423997e-05,3.423791e-05,3.422750e-05,3.422691e-05,3.420855e-05,3.420215e-05,3.418325e-05,3.416491e-05,3.415143e-05,3.411673e-05,3.411347e-05,3.406977e-05,3.405847e-05,3.402067e-05,3.399095e-05,3.396652e-05,3.391495e-05,3.390765e-05,3.384435e-05,3.383119e-05,3.377693e-05,3.374034e-05,3.370567e-05,3.364303e-05,3.363083e-05,3.355266e-05,3.353986e-05,3.347141e-05,3.343138e-05,3.338731e-05,3.331811e-05,3.330056e-05,3.321138e-05,3.320053e-05,3.311997e-05,3.307908e-05,3.302650e-05,3.295421e-05,3.293116e-05,3.283411e-05,3.282628e-05,3.273552e-05,3.269568e-05,3.263553e-05,3.256275e-05,3.253428e-05,3.243191e-05,3.242779e-05,3.232855e-05,3.229112e-05,3.222432e-05,3.215300e-05,3.211933e-05,3.201369e-05,3.187344e-05,3.173245e-05,3.159094e-05,3.144910e-05,3.130710e-05,3.116511e-05,3.102328e-05,3.088174e-05,3.074063e-05,3.060006e-05,3.046015e-05,3.032098e-05,3.018267e-05,3.004528e-05,2.990889e-05,2.977358e-05,2.963940e-05,2.950642e-05,2.937469e-05,2.924425e-05,2.911515e-05,2.898741e-05,2.886109e-05,2.873619e-05
0.000000e+00,1.910656e-13,1.220579e-12,1.855775e-11,1.089466e-10,2.420853e-10,1.312935e-09,1.394078e-09,5.148175e-09,7.028205e-09,1.440385e-08,2.429933e-08,3.338231e-08,6.415155e-08,6.760115e-08,1.237931e-07,1.413961e-07,2.097542e-07,2.740517e-07,3.339763e-07,4.816372e-07,5.048614e-07,7.295032e-07,7.813342e-07,1.012367e-06,1.182919e-06,1.354358e-06,1.685318e-06,1.752594e-06,2.200852e-06,2.276661e-06,2.690477e-06,2.937274e-06,3.211450e-06,3.643799e-06,3.753366e-06,4.306204e-06,4.372835e-06,4.860853e-06,5.103384e-06,5.409390e-06,5.818068e-06,5.945193e-06,6.462917e-06,6.503422e-06,6.958408e-06,7.149652e-06,7.428567e-06,7.750143e-06,7.871220e-06,8.284979e-06,8.300916e-06,8.669127e-06,8.800126e-06,9.023507e-06,9.247619e-06,9.348420e-06,9.644548e-06,9.912869e-06,9.993051e-06,1.015459e-05,1.029597e-05,1.037110e-05,1.055662e-05,1.056390e-05,1.073454e-05,1.077857e-05,1.088464e-05,1.096550e-05,1.101578e-05,1.112103e-05,1.112953e-05,1.122738e-05,1.124867e-05,1.131079e-05,1.135169e-05,1.138109e-05,1.143314e-05,1.143957e-05,1.148737e-05,1.149575e-05,1.152558e-05,1.154198e-05,1.155517e-05,1.157401e-05,1.157703e-05,1.159195e-05,1.159375e-05,1.160066e-05,1.160283e-05,1.160381e-05,1.160270e-05,1.160195e-05,1.159562e-05,1.159458e-05,1.158526e-05,1.157953e-05,1.157128e-05,1.155847e-05,1.155405e-05,1.153389e-05,1.153216e-05,1.151108e-05,1.150128e-05,1.148589e-05,1.146641e-05,1.145854e-05,1.142925e-05,1.142804e-05,1.139819e-05,1.138661e-05,1.136554e-05,1.134250e-05,1.133144e-05,1.129604e-05,1.125946e-05,1.124753e-05,1.122182e-05,1.119721e-05,1.118321e-05,1.114533e-05,1.114374e-05,1.110349e-05,1.109209e-05,1.106254e-05,1.103768e-05,1.102098e-05,1.098225e-05,1.097886e-05,1.093626e-05,1.092596e-05,1.089322e-05,1.086896e-05,1.084981e-05,1.081135e-05,1.080609e-05,1.076208e-05,1.075326e-05,1.071785e-05,1.069478e-05,1.067344e-05,1.063601e-05,1.062887e-05,1.058420e-05,1.057704e-05,1.053945e-05,1.051795e-05,1.049465e-05,1.045880e-05,1.044984e-05,1.040504e-05,1.039966e-05,1.036027e-05,1.034060e-05,1.031558e-05,1.028166e-05,1.027097e-05,1.022646e-05,1.022291e-05,1.018209e-05,1.016438e-05,1.013786e-05,1.010612e-05,1.009380e-05,1.004991e-05,1.004816e-05,1.000622e-05,9.990545e-06,9.962743e-06,9.933303e-06,9.919486e-06,9.876465e-06,9.820055e-06,9.764099e-06,9.708619e-06,9.653633e-06,9.599159e-06,9.545214e-06,9.491812e-06,9.438964e-06,9.386682e-06,9.334975e-06,9.283852e-06,9.233320e-06,9.183384e-06,9.134051e-06,9.085324e-06,9.037205e-06,8.989698e-06,8.942804e-06,8.896524e-06,8.850858e-06,8.805805e-06,8.761365e-06,8.717535e-06,8.674315e-06
0.000000e+00,4.992143e-14,3.392454e-13,5.871901e-12,3.885940e-11,9.227543e-11,5.951694e-10,6.364553e-10,2.797389e-09,4.004895e-09,9.251276e-09,1.719303e-08,2.515513e-08,5.560499e-08,5.929324e-08,1.253433e-07,1.480029e-07,2.431635e-07,3.415688e-07,4.399690e-07,7.064887e-07,7.512774e-07,1.221549e-06,1.339242e-06,1.904495e-06,2.364208e-06,2.863053e-06,3.933537e-06,4.169053e-06,5.902603e-06,6.225399e-06,8.151206e-06,9.440818e-06,1.100867e-05,1.379929e-05,1.457380e-05,1.894901e-05,1.953341e-05,2.423867e-05,2.688283e-05,3.054753e-05,3.608765e-05,3.797903e-05,4.663356e-05,4.738167e-05,5.660688e-05,6.098576e-05,6.798847e-05,7.710148e-05,8.086012e-05,9.529452e-05,9.590532e-05,1.113542e-04,1.175437e-04,1.290903e-04,1.421291e-04,1.485422e-04,1.697366e-04,1.926870e-04,2.004025e-04,2.173941e-04,2.341233e-04,2.438453e-04,2.708559e-04,2.720153e-04,3.018662e-04,3.105192e-04,3.333483e-04,3.529958e-04,3.664010e-04,3.981355e-04,4.009530e-04,4.369239e-04,4.457583e-04,4.742248e-04,4.956587e-04,5.127595e-04,5.476096e-04,5.524257e-04,5.931159e-04,6.013671e-04,6.347186e-04,6.566747e-04,6.771194e-04,7.132677e-04,7.202019e-04,7.638491e-04,7.708772e-04,8.079438e-04,8.292341e-04,8.523700e-04,8.880726e-04,8.970132e-04,9.417616e-04,9.471333e-04,9.865065e-04,1.006166e-03,1.031143e-03,1.064932e-03,1.075570e-03,1.119692e-03,1.123206e-03,1.163418e-03,1.180778e-03,1.206662e-03,1.237454e-03,1.249344e-03,1.291389e-03,1.293057e-03,1.332730e-03,1.347427e-03,1.373302e-03,1.400423e-03,1.413049e-03,1.451920e-03,1.489868e-03,1.501810e-03,1.526854e-03,1.550004e-03,1.562843e-03,1.596426e-03,1.597805e-03,1.631715e-03,1.641018e-03,1.664553e-03,1.683735e-03,1.696304e-03,1.724544e-03,1.726956e-03,1.756502e-03,1.763429e-03,1.784939e-03,1.800379e-03,1.812267e-03,1.835400e-03,1.838488e-03,1.863609e-03,1.868501e-03,1.887638e-03,1.899706e-03,1.910587e-03,1.929040e-03,1.932470e-03,1.953302e-03,1.956539e-03,1.973100e-03,1.982242e-03,1.991884e-03,2.006195e-03,2.009674e-03,2.026492e-03,2.028445e-03,2.042359e-03,2.049046e-03,2.057301e-03,2.068051e-03,2.071340e-03,2.084502e-03,2.085518e-03,2.096812e-03,2.101503e-03,2.108296e-03,2.116067e-03,2.118979e-03,2.128888e-03,2.129268e-03,2.138047e-03,2.141166e-03,2.146484e-03,2.151820e-03,2.154223e-03,2.161289e-03,2.169631e-03,2.176903e-03,2.183160e-03,2.188457e-03,2.192845e-03,2.196378e-03,2.199103e-03,2.201068e-03,2.202320e-03,2.202901e-03,2.202856e-03,2.202223e-03,2.201041e-03,2.199348e-03,2.197178e-03,2.194565e-03,2.191539e-03,2.188132e-03,2.184371e-03,2.180284e-03,2.175896e-03,2.171230e-03,2.166311e-03,2.161158e-03
0.000000e+00,1.453140e-09,3.335574e-09,1.148946e-08,2.614098e-08,3.813269e-08,8.649958e-08,8.910331e-08,1.723377e-07,2.025786e-07,2.964757e-07,3.945428e-07,4.710941e-07,6.849991e-07,7.062677e-07,1.010799e-06,1.094824e-06,1.388917e-06,1.631917e-06,1.837388e-06,2.282404e-06,2.346234e-06,2.902694e-06,3.018602e-06,3.494678e-06,3.813112e-06,4.112078e-06,4.644289e-06,4.746691e-06,5.391764e-06,5.495552e-06,6.041577e-06,6.353697e-06,6.691196e-06,7.207843e-06,7.336321e-06,7.973217e-06,8.048934e-06,8.598673e-06,8.869535e-06,9.209982e-06,9.663726e-06,9.804914e-06,1.038169e-05,1.042700e-05,1.093893e-05,1.115613e-05,1.147566e-05,1.184902e-05,1.199121e-05,1.248518e-05,1.250449e-05,1.295744e-05,1.312215e-05,1.340807e-05,1.370226e-05,1.383731e-05,1.424552e-05,1.463320e-05,1.475301e-05,1.500090e-05,1.522604e-05,1.534927e-05,1.566612e-05,1.567895e-05,1.599067e-05,1.607483e-05,1.628513e-05,1.645382e-05,1.656305e-05,1.680473e-05,1.682513e-05,1.707209e-05,1.712918e-05,1.730460e-05,1.742875e-05,1.752334e-05,1.770497e-05,1.772897e-05,1.792211e-05,1.795929e-05,1.810336e-05,1.819310e-05,1.827330e-05,1.840773e-05,1.843250e-05,1.858149e-05,1.860441e-05,1.872078e-05,1.878433e-05,1.885085e-05,1.894860e-05,1.897218e-05,1.908521e-05,1.909824e-05,1.919036e-05,1.923423e-05,1.928802e-05,1.935748e-05,1.937859e-05,1.946242e-05,1.946884e-05,1.953986e-05,1.956912e-05,1.961124e-05,1.965905e-05,1.967686e-05,1.973703e-05,1.973933e-05,1.979202e-05,1.981061e-05,1.984211e-05,1.987349e-05,1.988754e-05,1.992855e-05,1.996537e-05,1.997631e-05,1.999823e-05,2.001727e-05,2.002732e-05,2.005188e-05,2.005283e-05,2.007496e-05,2.008058e-05,2.009388e-05,2.010377e-05,2.010976e-05,2.012182e-05,2.012276e-05,2.013302e-05,2.013509e-05,2.014069e-05,2.014391e-05,2.014591e-05,2.014857e-05,2.014880e-05,2.014949e-05,2.014938e-05,2.014810e-05,2.014659e-05,2.014473e-05,2.014046e-05,2.013950e-05,2.013250e-05,2.013122e-05,2.012382e-05,2.011909e-05,2.011356e-05,2.010428e-05,2.010181e-05,2.008864e-05,2.008697e-05,2.007414e-05,2.006736e-05,2.005838e-05,2.004561e-05,2.004143e-05,2.002336e-05,2.002187e-05,2.000423e-05,1.999630e-05,1.998411e-05,1.996903e-05,1.996305e-05,1.994110e-05,1.994021e-05,1.991833e-05,1.990994e-05,1.989477e-05,1.987834e-05,1.987049e-05,1.984552e-05,1.981159e-05,1.977663e-05,1.974075e-05,1.970401e-05,1.966650e-05,1.962830e-05,1.958947e-05,1.955009e-05,1.951020e-05,1.946987e-05,1.942916e-05,1.938811e-05,1.934678e-05,1.930520e-05,1.926342e-05,1.922148e-05,1.917943e-05,1.913728e-05,1.909508e-05,1.905286e-05,1.901065e-05,1.896847e-05,1.892635e-05,1.888432e-05
0.000000e+00,3.320270e-12,1.937016e-11,2.453526e-10,1.228131e-09,2.507701e-09,1.104176e-08,1.162881e-08,3.545473e-08,4.606210e-08,8.373854e-08,1.288320e-07,1.670424e-07,2.838110e-07,2.960649e-07,4.813278e-07,5.352961e-07,7.329339e-07,9.062857e-07,1.060019e-06,1.415958e-06,1.469623e-06,1.965217e-06,2.074641e-06,2.545708e-06,2.879436e-06,3.205597e-06,3.814927e-06,3.936140e-06,4.726829e-06,4.858182e-06,5.566603e-06,5.983915e-06,6.444577e-06,7.167486e-06,7.350406e-06,8.274408e-06,8.386076e-06,9.207605e-06,9.618970e-06,1.014174e-05,1.084765e-05,1.106928e-05,1.198350e-05,1.205588e-05,1.287844e-05,1.322984e-05,1.374897e-05,1.435818e-05,1.459078e-05,1.540036e-05,1.543203e-05,1.617495e-05,1.644482e-05,1.691250e-05,1.739215e-05,1.761163e-05,1.827150e-05,1.889180e-05,1.908194e-05,1.947263e-05,1.982385e-05,2.001446e-05,2.049865e-05,2.051807e-05,2.098446e-05,2.110854e-05,2.141483e-05,2.165631e-05,2.181050e-05,2.214512e-05,2.217293e-05,2.250360e-05,2.257841e-05,2.280407e-05,2.295972e-05,2.307589e-05,2.329261e-05,2.332060e-05,2.353974e-05,2.358063e-05,2.373480e-05,2.382720e-05,2.390723e-05,2.403563e-05,2.405845e-05,2.418980e-05,2.420906e-05,2.430258e-05,2.435048e-05,2.439802e-05,2.446269e-05,2.447731e-05,2.454154e-05,2.454829e-05,2.459180e-05,2.460974e-05,2.462907e-05,2.464929e-05,2.465430e-05,2.466837e-05,2.466904e-05,2.467214e-05,2.467094e-05,2.466638e-05,2.465675e-05,2.465184e-05,2.462920e-05,2.462814e-05,2.459913e-05,2.458661e-05,2.456223e-05,2.453354e-05,2.451908e-05,2.447021e-05,2.441611e-05,2.439777e-05,2.435726e-05,2.431731e-05,2.429410e-05,2.422978e-05,2.422702e-05,2.415642e-05,2.413607e-05,2.408265e-05,2.403701e-05,2.400604e-05,2.393331e-05,2.392690e-05,2.384551e-05,2.382567e-05,2.376214e-05,2.371468e-05,2.367704e-05,2.360092e-05,2.359045e-05,2.350258e-05,2.348487e-05,2.341362e-05,2.336700e-05,2.332377e-05,2.324773e-05,2.323320e-05,2.314205e-05,2.312743e-05,2.305049e-05,2.300644e-05,2.295865e-05,2.288507e-05,2.286666e-05,2.277463e-05,2.276359e-05,2.268266e-05,2.264225e-05,2.259087e-05,2.252128e-05,2.249934e-05,2.240815e-05,2.240087e-05,2.231738e-05,2.228121e-05,2.222711e-05,2.216246e-05,2.213739e-05,2.204829e-05,2.204474e-05,2.195986e-05,2.192820e-05,2.187215e-05,2.181294e-05,2.178520e-05,2.169905e-05,2.158663e-05,2.147574e-05,2.136644e-05,2.125880e-05,2.115286e-05,2.104865e-05,2.094620e-05,2.084554e-05,2.074669e-05,2.064965e-05,2.055445e-05,2.046107e-05,2.036953e-05,2.027982e-05,2.019193e-05,2.010585e-05,2.002157e-05,1.993907e-05,1.985835e-05,1.977938e-05,1.970214e-05,1.962662e-05,1.955278e-05,1.948062e-05
0.000000e+00,5.688383e-11,2.684732e-10,2.294864e-09,8.453849e-09,1.487516e-08,4.723576e-08,4.916958e-08,1.167331e-07,1.432094e-07,2.294894e-07,3.243138e-07,4.008009e-07,6.230137e-07,6.456629e-07,9.777120e-07,1.071204e-06,1.401621e-06,1.675859e-06,1.907124e-06,2.403057e-06,2.473493e-06,3.079394e-06,3.203764e-06,3.708269e-06,4.040345e-06,4.348459e-06,4.888731e-06,4.991527e-06,5.630835e-06,5.732388e-06,6.260730e-06,6.558240e-06,6.876190e-06,7.355144e-06,7.472748e-06,8.046494e-06,8.113648e-06,8.594137e-06,8.826125e-06,9.113037e-06,9.486945e-06,9.601230e-06,1.005741e-05,1.009250e-05,1.048089e-05,1.064108e-05,1.087153e-05,1.113265e-05,1.122970e-05,1.155614e-05,1.156855e-05,1.185194e-05,1.195118e-05,1.211844e-05,1.228368e-05,1.235714e-05,1.256965e-05,1.275765e-05,1.281292e-05,1.292286e-05,1.301741e-05,1.306696e-05,1.318696e-05,1.319159e-05,1.329834e-05,1.332523e-05,1.338872e-05,1.343569e-05,1.346416e-05,1.352150e-05,1.352598e-05,1.357543e-05,1.358559e-05,1.361366e-05,1.363057e-05,1.364173e-05,1.365880e-05,1.366061e-05,1.367120e-05,1.367239e-05,1.367431e-05,1.367321e-05,1.367067e-05,1.366289e-05,1.366096e-05,1.364579e-05,1.364289e-05,1.362571e-05,1.361448e-05,1.360124e-05,1.357880e-05,1.357282e-05,1.354088e-05,1.353683e-05,1.350578e-05,1.348942e-05,1.346786e-05,1.343735e-05,1.342744e-05,1.338479e-05,1.338129e-05,1.334016e-05,1.332181e-05,1.329379e-05,1.325945e-05,1.324589e-05,1.319664e-05,1.319465e-05,1.314623e-05,1.312782e-05,1.309479e-05,1.305931e-05,1.304249e-05,1.298945e-05,1.293579e-05,1.291850e-05,1.288162e-05,1.284672e-05,1.282703e-05,1.277433e-05,1.277213e-05,1.271698e-05,1.270151e-05,1.266168e-05,1.262845e-05,1.260629e-05,1.255529e-05,1.255086e-05,1.249547e-05,1.248218e-05,1.244015e-05,1.240923e-05,1.238497e-05,1.233656e-05,1.232997e-05,1.227518e-05,1.226425e-05,1.222065e-05,1.219240e-05,1.216640e-05,1.212108e-05,1.211247e-05,1.205889e-05,1.205035e-05,1.200568e-05,1.198028e-05,1.195286e-05,1.191091e-05,1.190047e-05,1.184850e-05,1.184230e-05,1.179699e-05,1.177448e-05,1.174595e-05,1.170748e-05,1.169539e-05,1.164533e-05,1.164135e-05,1.159577e-05,1.157609e-05,1.154673e-05,1.151175e-05,1.149821e-05,1.145023e-05,1.144832e-05,1.140278e-05,1.138583e-05,1.135588e-05,1.132430e-05,1.130953e-05,1.126373e-05,1.120412e-05,1.114549e-05,1.108783e-05,1.103116e-05,1.097546e-05,1.092074e-05,1.086699e-05,1.081421e-05,1.076239e-05,1.071154e-05,1.066163e-05,1.061267e-05,1.056464e-05,1.051754e-05,1.047135e-05,1.042607e-05,1.038168e-05,1.033817e-05,1.029554e-05,1.025377e-05,1.021284e-05,1.017276e-05,1.013349e-05,1.009504e-05
0.000000e+00,3.631144e-12,2.154149e-11,2.821294e-10,1.453550e-09,3.013302e-09,1.376592e-08,1.451851e-08,4.575371e-08,5.994441e-08,1.111846e-07,1.736655e-07,2.272887e-07,3.937805e-07,4.114304e-07,6.812239e-07,7.606677e-07,1.054107e-06,1.314191e-06,1.546628e-06,2.090437e-06,2.173065e-06,2.943652e-06,3.115599e-06,3.863317e-06,4.400506e-06,4.931627e-06,5.940435e-06,6.143737e-06,7.491714e-06,7.719359e-06,8.965692e-06,9.714744e-06,1.055462e-05,1.190059e-05,1.224666e-05,1.402942e-05,1.424884e-05,1.589007e-05,1.673004e-05,1.781543e-05,1.931375e-05,1.979213e-05,2.180677e-05,2.196919e-05,2.384614e-05,2.466592e-05,2.589738e-05,2.737468e-05,2.794817e-05,2.998692e-05,3.006807e-05,3.200289e-05,3.272114e-05,3.398627e-05,3.531185e-05,3.592831e-05,3.782129e-05,3.965857e-05,4.023379e-05,4.143456e-05,4.253687e-05,4.314467e-05,4.472103e-05,4.478529e-05,4.635365e-05,4.677957e-05,4.784784e-05,4.870822e-05,4.926665e-05,5.050491e-05,5.060954e-05,5.187654e-05,5.216937e-05,5.306817e-05,5.370290e-05,5.418538e-05,5.510801e-05,5.522949e-05,5.620212e-05,5.638822e-05,5.710510e-05,5.754781e-05,5.794050e-05,5.859162e-05,5.871052e-05,5.941747e-05,5.952489e-05,6.006374e-05,6.035312e-05,6.065179e-05,6.108195e-05,6.118407e-05,6.166305e-05,6.171707e-05,6.209119e-05,6.226409e-05,6.247091e-05,6.272859e-05,6.280460e-05,6.309460e-05,6.311598e-05,6.334317e-05,6.343151e-05,6.355255e-05,6.368024e-05,6.372488e-05,6.386222e-05,6.386702e-05,6.396660e-05,6.399647e-05,6.403992e-05,6.407300e-05,6.408406e-05,6.410080e-05,6.409183e-05,6.408380e-05,6.405880e-05,6.402575e-05,6.400326e-05,6.393015e-05,6.392671e-05,6.383056e-05,6.380031e-05,6.371617e-05,6.363932e-05,6.358483e-05,6.345009e-05,6.343778e-05,6.327617e-05,6.323534e-05,6.310111e-05,6.299760e-05,6.291366e-05,6.273925e-05,6.271481e-05,6.250551e-05,6.246248e-05,6.228665e-05,6.216935e-05,6.205908e-05,6.186178e-05,6.182360e-05,6.158098e-05,6.154154e-05,6.133191e-05,6.121027e-05,6.107708e-05,6.086950e-05,6.081713e-05,6.055265e-05,6.052064e-05,6.028422e-05,6.016499e-05,6.001236e-05,5.980376e-05,5.973757e-05,5.946032e-05,5.943805e-05,5.918106e-05,5.906889e-05,5.890020e-05,5.869720e-05,5.861812e-05,5.833519e-05,5.832386e-05,5.805175e-05,5.794965e-05,5.776812e-05,5.757529e-05,5.748459e-05,5.720144e-05,5.682870e-05,5.645761e-05,5.608867e-05,5.572232e-05,5.535896e-05,5.499896e-05,5.464263e-05,5.429026e-05,5.394211e-05,5.359840e-05,5.325932e-05,5.292506e-05,5.259575e-05,5.227151e-05,5.195246e-05,5.163867e-05,5.133021e-05,5.102715e-05,5.072950e-05,5.043731e-05,5.015057e-05,4.986930e-05,4.959348e-05,4.932309e-05
0.000000e+00,1.358627e-10,5.466014e-10,3.627525e-09,1.138547e-08,1.873171e-08,5.235888e-08,5.427745e-08,1.184410e-07,1.426019e-07,2.190355e-07,3.001170e-07,3.638556e-07,5.428681e-07,5.607062e-07,8.164914e-07,8.871694e-07,1.134980e-06,1.340459e-06,1.514938e-06,1.896008e-06,1.951094e-06,2.436764e-06,2.539261e-06,2.965489e-06,3.255461e-06,3.531351e-06,4.031278e-06,4.128756e-06,4.752219e-06,4.854025e-06,5.396255e-06,5.711087e-06,6.055375e-06,6.589881e-06,6.724153e-06,7.397316e-06,7.478148e-06,8.069845e-06,8.364339e-06,8.737071e-06,9.237985e-06,9.394747e-06,1.003911e-05,1.008998e-05,1.066689e-05,1.091273e-05,1.127536e-05,1.170022e-05,1.186228e-05,1.242593e-05,1.244797e-05,1.296501e-05,1.315289e-05,1.347866e-05,1.381315e-05,1.396638e-05,1.442800e-05,1.486362e-05,1.499757e-05,1.527356e-05,1.552268e-05,1.565834e-05,1.600468e-05,1.601864e-05,1.635523e-05,1.644535e-05,1.666899e-05,1.684668e-05,1.696086e-05,1.721088e-05,1.723181e-05,1.748282e-05,1.754021e-05,1.771491e-05,1.783698e-05,1.792906e-05,1.810345e-05,1.812624e-05,1.830742e-05,1.834181e-05,1.847350e-05,1.855420e-05,1.862538e-05,1.874261e-05,1.876391e-05,1.888991e-05,1.890896e-05,1.900415e-05,1.905503e-05,1.910737e-05,1.918248e-05,1.920026e-05,1.928348e-05,1.929285e-05,1.935766e-05,1.938758e-05,1.942337e-05,1.946798e-05,1.948116e-05,1.953156e-05,1.953528e-05,1.957504e-05,1.959060e-05,1.961206e-05,1.963495e-05,1.964305e-05,1.966840e-05,1.966930e-05,1.968849e-05,1.969451e-05,1.970368e-05,1.971136e-05,1.971428e-05,1.972060e-05,1.972294e-05,1.972289e-05,1.972156e-05,1.971884e-05,1.971671e-05,1.970902e-05,1.970864e-05,1.969755e-05,1.969394e-05,1.968367e-05,1.967407e-05,1.966718e-05,1.964986e-05,1.964826e-05,1.962709e-05,1.962169e-05,1.960382e-05,1.958994e-05,1.957861e-05,1.955493e-05,1.955160e-05,1.952292e-05,1.951700e-05,1.949269e-05,1.947640e-05,1.946104e-05,1.943342e-05,1.942806e-05,1.939386e-05,1.938829e-05,1.935855e-05,1.934123e-05,1.932220e-05,1.929244e-05,1.928491e-05,1.924676e-05,1.924213e-05,1.920782e-05,1.919046e-05,1.916816e-05,1.913759e-05,1.912786e-05,1.908696e-05,1.908367e-05,1.904554e-05,1.902884e-05,1.900365e-05,1.897322e-05,1.896133e-05,1.891865e-05,1.891693e-05,1.887564e-05,1.886009e-05,1.883236e-05,1.880278e-05,1.878883e-05,1.874511e-05,1.868715e-05,1.862899e-05,1.857070e-05,1.851234e-05,1.845398e-05,1.839568e-05,1.833748e-05,1.827944e-05,1.822160e-05,1.816401e-05,1.810669e-05,1.804969e-05,1.799304e-05,1.793676e-05,1.788089e-05,1.782545e-05,1.777046e-05,1.771594e-05,1.766191e-05,1.760839e-05,1.755539e-05,1.750293e-05,1.745102e-05,1.739966e-05
0.000000e+00,2.329549e-13,1.521737e-12,2.424531e-11,1.486297e-10,3.382732e-10,1.952770e-09,2.078751e-09,8.169818e-09,1.134327e-08,2.424984e-08,4.231434e-08,5.940915e-08,1.197302e-07,1.266704e-07,2.432161e-07,2.808036e-07,4.303383e-07,5.751275e-07,7.129776e-07,1.062540e-06,1.118663e-06,1.675835e-06,1.807896e-06,2.411835e-06,2.873464e-06,3.350970e-06,4.311435e-06,4.512995e-06,5.912172e-06,6.158692e-06,7.556882e-06,8.434521e-06,9.449681e-06,1.114076e-05,1.158766e-05,1.396301e-05,1.426347e-05,1.656364e-05,1.777537e-05,1.937389e-05,2.163850e-05,2.237512e-05,2.554640e-05,2.580677e-05,2.886505e-05,3.022847e-05,3.230728e-05,3.484848e-05,3.584862e-05,3.946450e-05,3.961034e-05,4.313060e-05,4.445811e-05,4.682330e-05,4.933794e-05,5.052000e-05,5.419941e-05,5.784180e-05,5.899655e-05,6.142912e-05,6.368856e-05,6.494519e-05,6.824029e-05,6.837571e-05,7.170833e-05,7.262244e-05,7.493257e-05,7.681143e-05,7.803981e-05,8.078922e-05,8.102320e-05,8.387753e-05,8.454292e-05,8.659911e-05,8.806430e-05,8.918564e-05,9.134922e-05,9.163608e-05,9.395047e-05,9.439709e-05,9.612982e-05,9.721030e-05,9.817597e-05,9.979365e-05,1.000915e-04,1.018794e-04,1.021539e-04,1.035434e-04,1.042992e-04,1.050873e-04,1.062389e-04,1.065155e-04,1.078322e-04,1.079830e-04,1.090421e-04,1.095419e-04,1.101499e-04,1.109263e-04,1.111601e-04,1.120773e-04,1.121469e-04,1.129063e-04,1.132142e-04,1.136515e-04,1.141386e-04,1.143172e-04,1.149078e-04,1.149299e-04,1.154274e-04,1.155978e-04,1.158800e-04,1.161514e-04,1.162693e-04,1.165992e-04,1.168731e-04,1.169495e-04,1.170944e-04,1.172099e-04,1.172663e-04,1.173877e-04,1.173919e-04,1.174739e-04,1.174895e-04,1.175153e-04,1.175217e-04,1.175186e-04,1.174901e-04,1.174862e-04,1.174206e-04,1.174001e-04,1.173239e-04,1.172569e-04,1.171982e-04,1.170652e-04,1.170455e-04,1.168676e-04,1.168292e-04,1.166664e-04,1.165531e-04,1.164435e-04,1.162405e-04,1.162003e-04,1.159386e-04,1.158950e-04,1.156595e-04,1.155197e-04,1.153644e-04,1.151177e-04,1.150546e-04,1.147312e-04,1.146915e-04,1.143953e-04,1.142438e-04,1.140480e-04,1.137769e-04,1.136901e-04,1.133227e-04,1.132930e-04,1.129466e-04,1.127939e-04,1.125626e-04,1.122817e-04,1.121715e-04,1.117739e-04,1.117578e-04,1.113705e-04,1.112240e-04,1.109620e-04,1.106816e-04,1.105490e-04,1.101320e-04,1.095764e-04,1.090159e-04,1.084515e-04,1.078842e-04,1.073148e-04,1.067442e-04,1.061731e-04,1.056022e-04,1.050320e-04,1.044632e-04,1.038963e-04,1.033317e-04,1.027699e-04,1.022112e-04,1.016561e-04,1.011048e-04,1.005576e-04,1.000148e-04,9.947669e-05,9.894340e-05,9.841516e-05,9.789213e-05,9.737447e-05,9.686230e-05
0.000000e+00,5.148603e-10,1.330378e-09,5.164143e-09,1.235961e-08,1.833348e-08,4.254504e-08,4.384625e-08,8.509627e-08,9.989312e-08,1.451737e-07,1.914568e-07,2.269390e-07,3.235518e-07,3.329822e-07,4.653530e-07,5.011744e-07,6.249370e-07,7.258758e-07,8.106238e-07,9.929451e-07,1.018990e-06,1.245084e-06,1.291965e-06,1.483696e-06,1.611136e-06,1.730140e-06,1.940291e-06,1.980459e-06,2.231331e-06,2.271328e-06,2.479956e-06,2.597790e-06,2.723973e-06,2.914527e-06,2.961403e-06,3.190626e-06,3.217517e-06,3.410354e-06,3.503763e-06,3.619607e-06,3.771197e-06,3.817690e-06,4.004163e-06,4.018571e-06,4.178805e-06,4.245336e-06,4.341585e-06,4.451507e-06,4.492628e-06,4.632188e-06,4.637537e-06,4.760616e-06,4.804205e-06,4.878336e-06,4.952513e-06,4.985829e-06,5.083607e-06,5.172204e-06,5.198705e-06,5.252163e-06,5.299053e-06,5.324024e-06,5.385884e-06,5.388317e-06,5.445560e-06,5.460393e-06,5.496250e-06,5.523717e-06,5.540862e-06,5.576928e-06,5.579850e-06,5.613641e-06,5.621023e-06,5.642637e-06,5.656923e-06,5.667216e-06,5.685474e-06,5.687732e-06,5.704517e-06,5.707453e-06,5.717878e-06,5.723569e-06,5.728102e-06,5.734460e-06,5.735454e-06,5.740180e-06,5.740709e-06,5.742510e-06,5.742840e-06,5.742654e-06,5.741327e-06,5.740808e-06,5.737151e-06,5.736599e-06,5.731851e-06,5.729038e-06,5.725061e-06,5.718992e-06,5.716923e-06,5.707568e-06,5.706771e-06,5.697116e-06,5.692654e-06,5.685680e-06,5.676893e-06,5.673360e-06,5.660251e-06,5.659711e-06,5.646440e-06,5.641312e-06,5.632008e-06,5.621876e-06,5.617027e-06,5.601566e-06,5.585686e-06,5.580526e-06,5.569446e-06,5.558888e-06,5.552899e-06,5.536768e-06,5.536091e-06,5.519069e-06,5.514270e-06,5.501872e-06,5.491487e-06,5.484539e-06,5.468502e-06,5.467104e-06,5.449599e-06,5.445390e-06,5.432052e-06,5.422217e-06,5.414490e-06,5.399042e-06,5.396937e-06,5.379415e-06,5.375917e-06,5.361946e-06,5.352888e-06,5.344546e-06,5.329997e-06,5.327234e-06,5.310023e-06,5.307280e-06,5.292929e-06,5.284769e-06,5.275963e-06,5.262491e-06,5.259137e-06,5.242461e-06,5.240471e-06,5.225944e-06,5.218730e-06,5.209595e-06,5.197286e-06,5.193421e-06,5.177428e-06,5.176156e-06,5.161622e-06,5.155353e-06,5.146008e-06,5.134888e-06,5.130591e-06,5.115375e-06,5.114770e-06,5.100362e-06,5.095008e-06,5.085555e-06,5.075606e-06,5.070958e-06,5.056571e-06,5.037905e-06,5.019611e-06,5.001690e-06,4.984143e-06,4.966969e-06,4.950167e-06,4.933736e-06,4.917672e-06,4.901974e-06,4.886638e-06,4.871659e-06,4.857035e-06,4.842761e-06,4.828831e-06,4.815242e-06,4.801988e-06,4.789063e-06,4.776463e-06,4.764182e-06,4.752213e-06,4.740552e-06,4.729193e-06,4.718129e-06,4.707355e-06
0.000000e+00,1.404784e-11,7.811707e-11,9.008983e-10,4.168976e-09,8.177185e-09,3.277292e-08,3.439389e-08,9.693177e-08,1.235706e-07,2.151932e-07,3.212846e-07,4.094163e-07,6.732592e-07,7.006329e-07,1.110173e-06,1.228274e-06,1.656735e-06,2.027068e-06,2.350805e-06,3.082232e-06,3.190276e-06,4.161451e-06,4.369769e-06,5.244230e-06,5.844257e-06,6.417304e-06,7.458027e-06,7.661032e-06,8.958120e-06,9.169562e-06,1.029329e-05,1.094359e-05,1.165269e-05,1.274902e-05,1.302351e-05,1.439376e-05,1.455761e-05,1.575226e-05,1.634361e-05,1.708878e-05,1.808413e-05,1.839412e-05,1.966025e-05,1.975963e-05,2.088036e-05,2.135423e-05,2.204890e-05,2.285588e-05,2.316160e-05,2.421537e-05,2.425626e-05,2.520822e-05,2.555051e-05,2.613916e-05,2.673676e-05,2.700810e-05,2.781565e-05,2.856307e-05,2.878982e-05,2.925211e-05,2.966342e-05,2.988488e-05,3.044164e-05,3.046380e-05,3.099145e-05,3.113038e-05,3.147056e-05,3.173588e-05,3.190390e-05,3.226453e-05,3.229424e-05,3.264432e-05,3.272265e-05,3.295681e-05,3.311636e-05,3.323430e-05,3.345150e-05,3.347926e-05,3.369404e-05,3.373358e-05,3.388087e-05,3.396767e-05,3.404183e-05,3.415849e-05,3.417889e-05,3.429389e-05,3.431036e-05,3.438852e-05,3.442719e-05,3.446438e-05,3.451254e-05,3.452293e-05,3.456554e-05,3.456964e-05,3.459347e-05,3.460140e-05,3.460787e-05,3.461044e-05,3.460984e-05,3.460035e-05,3.459913e-05,3.458034e-05,3.456958e-05,3.455064e-05,3.452370e-05,3.451203e-05,3.446524e-05,3.446320e-05,3.441092e-05,3.438964e-05,3.434970e-05,3.430441e-05,3.428213e-05,3.420875e-05,3.413004e-05,3.410379e-05,3.404644e-05,3.399056e-05,3.395837e-05,3.386997e-05,3.386621e-05,3.377032e-05,3.374285e-05,3.367104e-05,3.360996e-05,3.356866e-05,3.347198e-05,3.346347e-05,3.335573e-05,3.332952e-05,3.324569e-05,3.318315e-05,3.313358e-05,3.303338e-05,3.301961e-05,3.290398e-05,3.288068e-05,3.278688e-05,3.272546e-05,3.266847e-05,3.256811e-05,3.254891e-05,3.242836e-05,3.240899e-05,3.230696e-05,3.224842e-05,3.218483e-05,3.208668e-05,3.206209e-05,3.193886e-05,3.192405e-05,3.181525e-05,3.176077e-05,3.169136e-05,3.159707e-05,3.156727e-05,3.144308e-05,3.143314e-05,3.131886e-05,3.126919e-05,3.119470e-05,3.110537e-05,3.107065e-05,3.094680e-05,3.094185e-05,3.082319e-05,3.077877e-05,3.069990e-05,3.061626e-05,3.057696e-05,3.045444e-05,3.029341e-05,3.013329e-05,2.997416e-05,2.981610e-05,2.965918e-05,2.950348e-05,2.934906e-05,2.919597e-05,2.904427e-05,2.889399e-05,2.874517e-05,2.859786e-05,2.845208e-05,2.830787e-05,2.816524e-05,2.802421e-05,2.788481e-05,2.774704e-05,2.761093e-05,2.747647e-05,2.734369e-05,2.721257e-05,2.708313e-05,2.695537e-05
0.000000e+00,5.113060e-14,3.464276e-13,5.958390e-12,3.919779e-11,9.276686e-11,5.929627e-10,6.338555e-10,2.759477e-09,3.939936e-09,9.037378e-09,1.669575e-08,2.432958e-08,5.327876e-08,5.676611e-08,1.187743e-07,1.399023e-07,2.280955e-07,3.186371e-07,4.086948e-07,6.509238e-07,6.914397e-07,1.114426e-06,1.219711e-06,1.722885e-06,2.129555e-06,2.568672e-06,3.504537e-06,3.709388e-06,5.207197e-06,5.484320e-06,7.127441e-06,8.218854e-06,9.537101e-06,1.186228e-05,1.250320e-05,1.609117e-05,1.656651e-05,2.036332e-05,2.247488e-05,2.537736e-05,2.971630e-05,3.118505e-05,3.783107e-05,3.840012e-05,4.535204e-05,4.861196e-05,5.377578e-05,6.041061e-05,6.312076e-05,7.339581e-05,7.382618e-05,8.460004e-05,8.885929e-05,9.672292e-05,1.054814e-04,1.097446e-04,1.236363e-04,1.383613e-04,1.432421e-04,1.538749e-04,1.641943e-04,1.701262e-04,1.863687e-04,1.870583e-04,2.046093e-04,2.096257e-04,2.227137e-04,2.338134e-04,2.413027e-04,2.587719e-04,2.603057e-04,2.796508e-04,2.843366e-04,2.992659e-04,3.103415e-04,3.190792e-04,3.366227e-04,3.390200e-04,3.590196e-04,3.630207e-04,3.790114e-04,3.893828e-04,3.989316e-04,4.155650e-04,4.187198e-04,4.383189e-04,4.414335e-04,4.576755e-04,4.668660e-04,4.767405e-04,4.917520e-04,4.954687e-04,5.138188e-04,5.159936e-04,5.317539e-04,5.395053e-04,5.492412e-04,5.622142e-04,5.662519e-04,5.827611e-04,5.840595e-04,5.987477e-04,6.049920e-04,6.141944e-04,6.249737e-04,6.290872e-04,6.434154e-04,6.439767e-04,6.571715e-04,6.619826e-04,6.703507e-04,6.789818e-04,6.829509e-04,6.949726e-04,7.064183e-04,7.099600e-04,7.172928e-04,7.239555e-04,7.276023e-04,7.369755e-04,7.373550e-04,7.465604e-04,7.490413e-04,7.552293e-04,7.601779e-04,7.633734e-04,7.704136e-04,7.710057e-04,7.781396e-04,7.797792e-04,7.847894e-04,7.883072e-04,7.909697e-04,7.960321e-04,7.966958e-04,8.019828e-04,8.029890e-04,8.068466e-04,8.092136e-04,8.113026e-04,8.147420e-04,8.153666e-04,8.190542e-04,8.196103e-04,8.223810e-04,8.238542e-04,8.253623e-04,8.275088e-04,8.280133e-04,8.303488e-04,8.306086e-04,8.323834e-04,8.331870e-04,8.341314e-04,8.352766e-04,8.356065e-04,8.368224e-04,8.369089e-04,8.377922e-04,8.381141e-04,8.385285e-04,8.389211e-04,8.390437e-04,8.393496e-04,8.393577e-04,8.394577e-04,8.394504e-04,8.393791e-04,8.392244e-04,8.391243e-04,8.387035e-04,8.379105e-04,8.368666e-04,8.355920e-04,8.341058e-04,8.324256e-04,8.305685e-04,8.285501e-04,8.263851e-04,8.240874e-04,8.216699e-04,8.191446e-04,8.165228e-04,8.138148e-04,8.110304e-04,8.081787e-04,8.052680e-04,8.023062e-04,7.993005e-04,7.962575e-04,7.931836e-04,7.900844e-04,7.869653e-04,7.838312e-04,7.806866e-04
0.000000e+00,6.740421e-14,4.578317e-13,7.918601e-12,5.236543e-11,1.242892e-10,8.005272e-10,8.560032e-10,3.755673e-09,5.373830e-09,1.239414e-08,2.300063e-08,3.361743e-08,7.412003e-08,7.901791e-08,1.665432e-07,1.965104e-07,3.221568e-07,4.518636e-07,5.814277e-07,9.319875e-07,9.908668e-07,1.608799e-06,1.763388e-06,2.505609e-06,3.108952e-06,3.763313e-06,5.166136e-06,5.474488e-06,7.740659e-06,8.161919e-06,1.067027e-05,1.234521e-05,1.437633e-05,1.797754e-05,1.897390e-05,2.457750e-05,2.532288e-05,3.129850e-05,3.463723e-05,3.924260e-05,4.615864e-05,4.850758e-05,5.918112e-05,6.009821e-05,7.133900e-05,7.663222e-05,8.504360e-05,9.589606e-05,1.003427e-04,1.172687e-04,1.179798e-04,1.358379e-04,1.429257e-04,1.560508e-04,1.707271e-04,1.778917e-04,2.013297e-04,2.263190e-04,2.346339e-04,2.528000e-04,2.704978e-04,2.807005e-04,3.087427e-04,3.099367e-04,3.404151e-04,3.491579e-04,3.720334e-04,3.915063e-04,4.046823e-04,4.355309e-04,4.382470e-04,4.726087e-04,4.809606e-04,5.076457e-04,5.275157e-04,5.432353e-04,5.749137e-04,5.792546e-04,6.155820e-04,6.228739e-04,6.520982e-04,6.711224e-04,6.886869e-04,7.193953e-04,7.252361e-04,7.616383e-04,7.674422e-04,7.977918e-04,8.150286e-04,8.336003e-04,8.619381e-04,8.689740e-04,9.038296e-04,9.079738e-04,9.380906e-04,9.529587e-04,9.716870e-04,9.967370e-04,1.004556e-03,1.036642e-03,1.039173e-03,1.067894e-03,1.080152e-03,1.098271e-03,1.119579e-03,1.127735e-03,1.156256e-03,1.157377e-03,1.183809e-03,1.193488e-03,1.210376e-03,1.227869e-03,1.235940e-03,1.260495e-03,1.284034e-03,1.291352e-03,1.306557e-03,1.320440e-03,1.328067e-03,1.347771e-03,1.348572e-03,1.368080e-03,1.373366e-03,1.386605e-03,1.397254e-03,1.404161e-03,1.419473e-03,1.420767e-03,1.436441e-03,1.440067e-03,1.451205e-03,1.459084e-03,1.465081e-03,1.476577e-03,1.478093e-03,1.490266e-03,1.492602e-03,1.501624e-03,1.507217e-03,1.512195e-03,1.520484e-03,1.522004e-03,1.531079e-03,1.532464e-03,1.539446e-03,1.543218e-03,1.547132e-03,1.552809e-03,1.554164e-03,1.560569e-03,1.561296e-03,1.566372e-03,1.568742e-03,1.571600e-03,1.575204e-03,1.576278e-03,1.580431e-03,1.580742e-03,1.584084e-03,1.585410e-03,1.587260e-03,1.589264e-03,1.589982e-03,1.592273e-03,1.592356e-03,1.594154e-03,1.594736e-03,1.595648e-03,1.596452e-03,1.596774e-03,1.597551e-03,1.598076e-03,1.598070e-03,1.597571e-03,1.596618e-03,1.595246e-03,1.593488e-03,1.591376e-03,1.588939e-03,1.586206e-03,1.583202e-03,1.579952e-03,1.576479e-03,1.572805e-03,1.568949e-03,1.564930e-03,1.560765e-03,1.556472e-03,1.552063e-03,1.547555e-03,1.542960e-03,1.538289e-03,1.533555e-03,1.528767e-03,1.523935e-03
0.000000e+00,1.770015e-09,4.286331e-09,1.565283e-08,3.666651e-08,5.410723e-08,1.254748e-07,1.293471e-07,2.541112e-07,2.997951e-07,4.424961e-07,5.926232e-07,7.104189e-07,1.041531e-06,1.074561e-06,1.548161e-06,1.678794e-06,2.135182e-06,2.511418e-06,2.829416e-06,3.520210e-06,3.619740e-06,4.494999e-06,4.679368e-06,5.445546e-06,5.966770e-06,6.463003e-06,7.363733e-06,7.539670e-06,8.668088e-06,8.852942e-06,9.840824e-06,1.041729e-05,1.105041e-05,1.203959e-05,1.228937e-05,1.355036e-05,1.370281e-05,1.482620e-05,1.539051e-05,1.611008e-05,1.708722e-05,1.739556e-05,1.867675e-05,1.877890e-05,1.994828e-05,2.045309e-05,2.120535e-05,2.209909e-05,2.244374e-05,2.365982e-05,2.370796e-05,2.485050e-05,2.527242e-05,2.601321e-05,2.678678e-05,2.714584e-05,2.824676e-05,2.931470e-05,2.964932e-05,3.034875e-05,3.099246e-05,3.134831e-05,3.227512e-05,3.231304e-05,3.324283e-05,3.349692e-05,3.413778e-05,3.465812e-05,3.499813e-05,3.575943e-05,3.582428e-05,3.661672e-05,3.680196e-05,3.737607e-05,3.778709e-05,3.810298e-05,3.871642e-05,3.879820e-05,3.946250e-05,3.959172e-05,4.009669e-05,4.041485e-05,4.070160e-05,4.118772e-05,4.127808e-05,4.182697e-05,4.191229e-05,4.234913e-05,4.259053e-05,4.284542e-05,4.322440e-05,4.331669e-05,4.376377e-05,4.381583e-05,4.418750e-05,4.436674e-05,4.458868e-05,4.487899e-05,4.496811e-05,4.532658e-05,4.535438e-05,4.566486e-05,4.579468e-05,4.598367e-05,4.620158e-05,4.628376e-05,4.656583e-05,4.657675e-05,4.683057e-05,4.692176e-05,4.707864e-05,4.723814e-05,4.731069e-05,4.752735e-05,4.772924e-05,4.779082e-05,4.791693e-05,4.802988e-05,4.809101e-05,4.824583e-05,4.825202e-05,4.840051e-05,4.843991e-05,4.853698e-05,4.861330e-05,4.866193e-05,4.876714e-05,4.877586e-05,4.887921e-05,4.890250e-05,4.897246e-05,4.902042e-05,4.905602e-05,4.912188e-05,4.913032e-05,4.919576e-05,4.920782e-05,4.925274e-05,4.927914e-05,4.930161e-05,4.933668e-05,4.934276e-05,4.937652e-05,4.938126e-05,4.940324e-05,4.941366e-05,4.942323e-05,4.943459e-05,4.943681e-05,4.944428e-05,4.944478e-05,4.944592e-05,4.944487e-05,4.944202e-05,4.943551e-05,4.943283e-05,4.941863e-05,4.941728e-05,4.939965e-05,4.939077e-05,4.937613e-05,4.935652e-05,4.934831e-05,4.931640e-05,4.931504e-05,4.928061e-05,4.926681e-05,4.924114e-05,4.921231e-05,4.919820e-05,4.915196e-05,4.908620e-05,4.901541e-05,4.893996e-05,4.886022e-05,4.877651e-05,4.868916e-05,4.859847e-05,4.850472e-05,4.840818e-05,4.830910e-05,4.820774e-05,4.810431e-05,4.799903e-05,4.789210e-05,4.778371e-05,4.767406e-05,4.756329e-05,4.745159e-05,4.733909e-05,4.722594e-05,4.711227e-05,4.699822e-05,4.688390e-05,4.676941e-05
0.000000e+00,2.008505e-09,4.631877e-09,1.601466e-08,3.645890e-08,5.317173e-08,1.204144e-07,1.240277e-07,2.392584e-07,2.810130e-07,4.103585e-07,5.450048e-07,6.497775e-07,9.404959e-07,9.691950e-07,1.374711e-06,1.484630e-06,1.862571e-06,2.167743e-06,2.421770e-06,2.963136e-06,3.040089e-06,3.707015e-06,3.845438e-06,4.413772e-06,4.794435e-06,5.152626e-06,5.792778e-06,5.916359e-06,6.698022e-06,6.824298e-06,7.490880e-06,7.873516e-06,8.288464e-06,8.925815e-06,9.084667e-06,9.873840e-06,9.967821e-06,1.065089e-05,1.098776e-05,1.141131e-05,1.197572e-05,1.215126e-05,1.286753e-05,1.292372e-05,1.355753e-05,1.382570e-05,1.421926e-05,1.467738e-05,1.485129e-05,1.545264e-05,1.547605e-05,1.602278e-05,1.622035e-05,1.656154e-05,1.691004e-05,1.706907e-05,1.754577e-05,1.799224e-05,1.812885e-05,1.840927e-05,1.866114e-05,1.879777e-05,1.914480e-05,1.915872e-05,1.949320e-05,1.958226e-05,1.980232e-05,1.997608e-05,2.008720e-05,2.032886e-05,2.034898e-05,2.058880e-05,2.064322e-05,2.080778e-05,2.092171e-05,2.100701e-05,2.116684e-05,2.118756e-05,2.135045e-05,2.138100e-05,2.149668e-05,2.156646e-05,2.162722e-05,2.172541e-05,2.174297e-05,2.184481e-05,2.185988e-05,2.193359e-05,2.197179e-05,2.201009e-05,2.206297e-05,2.207508e-05,2.212926e-05,2.213507e-05,2.217333e-05,2.218968e-05,2.220793e-05,2.222827e-05,2.223367e-05,2.225113e-05,2.225218e-05,2.226085e-05,2.226269e-05,2.226335e-05,2.226096e-05,2.225912e-05,2.224862e-05,2.224808e-05,2.223229e-05,2.222506e-05,2.221052e-05,2.219282e-05,2.218371e-05,2.215222e-05,2.211639e-05,2.210407e-05,2.207655e-05,2.204909e-05,2.203300e-05,2.198796e-05,2.198602e-05,2.193588e-05,2.192131e-05,2.188284e-05,2.184972e-05,2.182713e-05,2.177372e-05,2.176898e-05,2.170860e-05,2.169379e-05,2.164618e-05,2.161041e-05,2.158191e-05,2.152397e-05,2.151597e-05,2.144852e-05,2.143486e-05,2.137972e-05,2.134345e-05,2.130970e-05,2.125005e-05,2.123860e-05,2.116656e-05,2.115496e-05,2.109369e-05,2.105845e-05,2.102010e-05,2.096079e-05,2.094590e-05,2.087119e-05,2.086219e-05,2.079605e-05,2.076288e-05,2.072058e-05,2.066305e-05,2.064486e-05,2.056895e-05,2.056287e-05,2.049294e-05,2.046252e-05,2.041688e-05,2.036213e-05,2.034085e-05,2.026488e-05,2.026185e-05,2.018905e-05,2.016180e-05,2.011340e-05,2.006208e-05,2.003798e-05,1.996282e-05,1.986409e-05,1.976599e-05,1.966858e-05,1.957194e-05,1.947613e-05,1.938121e-05,1.928723e-05,1.919422e-05,1.910224e-05,1.901131e-05,1.892146e-05,1.883272e-05,1.874512e-05,1.865867e-05,1.857339e-05,1.848929e-05,1.840638e-05,1.832467e-05,1.824418e-05,1.816489e-05,1.808682e-05,1.800996e-05,1.793431e-05,1.785988e-05
0.000000e+00,3.326080e-09,7.619130e-09,2.620537e-08,5.961529e-08,8.697452e-08,1.974184e-07,2.033673e-07,3.936597e-07,4.628408e-07,6.776873e-07,9.018590e-07,1.076362e-06,1.559048e-06,1.606489e-06,2.271887e-06,2.450825e-06,3.063264e-06,3.556544e-06,3.967565e-06,4.847625e-06,4.973344e-06,6.070788e-06,6.300457e-06,7.250553e-06,7.893388e-06,8.503006e-06,9.603794e-06,9.817946e-06,1.118465e-05,1.140739e-05,1.259206e-05,1.327882e-05,1.402909e-05,1.519271e-05,1.548486e-05,1.694901e-05,1.712480e-05,1.841187e-05,1.905281e-05,1.986462e-05,2.095708e-05,2.129941e-05,2.270937e-05,2.282091e-05,2.408866e-05,2.463066e-05,2.543238e-05,2.637558e-05,2.673658e-05,2.799813e-05,2.804767e-05,2.921468e-05,2.964128e-05,3.038456e-05,3.115283e-05,3.150667e-05,3.258043e-05,3.360569e-05,3.392356e-05,3.458267e-05,3.518282e-05,3.551187e-05,3.635964e-05,3.639404e-05,3.723013e-05,3.745612e-05,3.802122e-05,3.847479e-05,3.876854e-05,3.941851e-05,3.947337e-05,4.013706e-05,4.029038e-05,4.076101e-05,4.109360e-05,4.134664e-05,4.183143e-05,4.189537e-05,4.240863e-05,4.250714e-05,4.288781e-05,4.312398e-05,4.333430e-05,4.368510e-05,4.374947e-05,4.413466e-05,4.419359e-05,4.449115e-05,4.465245e-05,4.482022e-05,4.506455e-05,4.512309e-05,4.540095e-05,4.543267e-05,4.565495e-05,4.575943e-05,4.588619e-05,4.604738e-05,4.609575e-05,4.628467e-05,4.629892e-05,4.645392e-05,4.651634e-05,4.660447e-05,4.670181e-05,4.673724e-05,4.685310e-05,4.685740e-05,4.695290e-05,4.698506e-05,4.703745e-05,4.708664e-05,4.710753e-05,4.716389e-05,4.720723e-05,4.721847e-05,4.723825e-05,4.725193e-05,4.725759e-05,4.726575e-05,4.726588e-05,4.726371e-05,4.726132e-05,4.725168e-05,4.723994e-05,4.723031e-05,4.720286e-05,4.720013e-05,4.716164e-05,4.715122e-05,4.711533e-05,4.708614e-05,4.706163e-05,4.700863e-05,4.700100e-05,4.693384e-05,4.691966e-05,4.686055e-05,4.682015e-05,4.678151e-05,4.671094e-05,4.669708e-05,4.660760e-05,4.659284e-05,4.651340e-05,4.646660e-05,4.641479e-05,4.633293e-05,4.631207e-05,4.620553e-05,4.619250e-05,4.609543e-05,4.604592e-05,4.598202e-05,4.589378e-05,4.586557e-05,4.574629e-05,4.573663e-05,4.562441e-05,4.557498e-05,4.550014e-05,4.540930e-05,4.537368e-05,4.524523e-05,4.524005e-05,4.511496e-05,4.506765e-05,4.498304e-05,4.489248e-05,4.484964e-05,4.471492e-05,4.453531e-05,4.435396e-05,4.417118e-05,4.398725e-05,4.380241e-05,4.361692e-05,4.343100e-05,4.324486e-05,4.305869e-05,4.287267e-05,4.268697e-05,4.250174e-05,4.231713e-05,4.213327e-05,4.195028e-05,4.176827e-05,4.158734e-05,4.140760e-05,4.122912e-05,4.105200e-05,4.087629e-05,4.070207e-05,4.052940e-05,4.035833e-05
0.000000e+00,4.938651e-09,1.176922e-08,4.223984e-08,9.812613e-08,1.443538e-07,3.330642e-07,3.432956e-07,6.729980e-07,7.938054e-07,1.171505e-06,1.569203e-06,1.881214e-06,2.755712e-06,2.842588e-06,4.077026e-06,4.413231e-06,5.572316e-06,6.510722e-06,7.293164e-06,8.964256e-06,9.202192e-06,1.126854e-05,1.169841e-05,1.346697e-05,1.465491e-05,1.577527e-05,1.778384e-05,1.817255e-05,2.063863e-05,2.103827e-05,2.315388e-05,2.437308e-05,2.569942e-05,2.774568e-05,2.825748e-05,3.081158e-05,3.111708e-05,3.334684e-05,3.445293e-05,3.585008e-05,3.772403e-05,3.830987e-05,4.071649e-05,4.090647e-05,4.306189e-05,4.398141e-05,4.533959e-05,4.693469e-05,4.754446e-05,4.967263e-05,4.975612e-05,5.172133e-05,5.243903e-05,5.368874e-05,5.497961e-05,5.557386e-05,5.737636e-05,5.909651e-05,5.962967e-05,6.073502e-05,6.174132e-05,6.229300e-05,6.371422e-05,6.377188e-05,6.517330e-05,6.555207e-05,6.649914e-05,6.725920e-05,6.775141e-05,6.884033e-05,6.893221e-05,7.004373e-05,7.030042e-05,7.108817e-05,7.164461e-05,7.206781e-05,7.287809e-05,7.298491e-05,7.384173e-05,7.400605e-05,7.464050e-05,7.503366e-05,7.538344e-05,7.596597e-05,7.607274e-05,7.671054e-05,7.680795e-05,7.729894e-05,7.756442e-05,7.783998e-05,7.824007e-05,7.833568e-05,7.878797e-05,7.883942e-05,7.919876e-05,7.936684e-05,7.956989e-05,7.982651e-05,7.990313e-05,8.020023e-05,8.022249e-05,8.046285e-05,8.055861e-05,8.069262e-05,8.083859e-05,8.089110e-05,8.105980e-05,8.106595e-05,8.120019e-05,8.124406e-05,8.131366e-05,8.137614e-05,8.140158e-05,8.146525e-05,8.150592e-05,8.151428e-05,8.152482e-05,8.152601e-05,8.152309e-05,8.150307e-05,8.150186e-05,8.146221e-05,8.144794e-05,8.140516e-05,8.136299e-05,8.133170e-05,8.125044e-05,8.124278e-05,8.113932e-05,8.111242e-05,8.102218e-05,8.095093e-05,8.089221e-05,8.076784e-05,8.075019e-05,8.059691e-05,8.056497e-05,8.043309e-05,8.034397e-05,8.025943e-05,8.010645e-05,8.007661e-05,7.988526e-05,7.985389e-05,7.968600e-05,7.958772e-05,7.947941e-05,7.930925e-05,7.926606e-05,7.904647e-05,7.901972e-05,7.882115e-05,7.872032e-05,7.859058e-05,7.841213e-05,7.835523e-05,7.811553e-05,7.809618e-05,7.787191e-05,7.777345e-05,7.762476e-05,7.744484e-05,7.737446e-05,7.712137e-05,7.711119e-05,7.686582e-05,7.677329e-05,7.660816e-05,7.643188e-05,7.634867e-05,7.608766e-05,7.574125e-05,7.539326e-05,7.504424e-05,7.469472e-05,7.434516e-05,7.399600e-05,7.364767e-05,7.330054e-05,7.295495e-05,7.261123e-05,7.226967e-05,7.193054e-05,7.159409e-05,7.126053e-05,7.093009e-05,7.060293e-05,7.027923e-05,6.995914e-05,6.964279e-05,6.933030e-05,6.902177e-05,6.871730e-05,6.841696e-05,6.812083e-05
0.000000e+00,1.515734e-09,3.481540e-09,1.202245e-08,2.746220e-08,4.018119e-08,9.217578e-08,9.500488e-08,1.869361e-07,2.210097e-07,3.288645e-07,4.444963e-07,5.366278e-07,8.013297e-07,8.281527e-07,1.219850e-06,1.329937e-06,1.719742e-06,2.045154e-06,2.321401e-06,2.920007e-06,3.005709e-06,3.749367e-06,3.903330e-06,4.531873e-06,4.948769e-06,5.337636e-06,6.024047e-06,6.155298e-06,6.976459e-06,7.107716e-06,7.794643e-06,8.184749e-06,8.604646e-06,9.243827e-06,9.402143e-06,1.018350e-05,1.027603e-05,1.094565e-05,1.127423e-05,1.168603e-05,1.223289e-05,1.240260e-05,1.309369e-05,1.314783e-05,1.375806e-05,1.401612e-05,1.439485e-05,1.483593e-05,1.500350e-05,1.558378e-05,1.560640e-05,1.613568e-05,1.632745e-05,1.665941e-05,1.699965e-05,1.715537e-05,1.762409e-05,1.806622e-05,1.820221e-05,1.848251e-05,1.873575e-05,1.887377e-05,1.922662e-05,1.924085e-05,1.958465e-05,1.967686e-05,1.990606e-05,2.008854e-05,2.020600e-05,2.046376e-05,2.048537e-05,2.074508e-05,2.080459e-05,2.098602e-05,2.111307e-05,2.120905e-05,2.139117e-05,2.141501e-05,2.160473e-05,2.164080e-05,2.177900e-05,2.186377e-05,2.193858e-05,2.206183e-05,2.208422e-05,2.221662e-05,2.223662e-05,2.233646e-05,2.238972e-05,2.244441e-05,2.252261e-05,2.254107e-05,2.262706e-05,2.263669e-05,2.270295e-05,2.273328e-05,2.276928e-05,2.281362e-05,2.282657e-05,2.287533e-05,2.287887e-05,2.291602e-05,2.293014e-05,2.294911e-05,2.296846e-05,2.297501e-05,2.299415e-05,2.299478e-05,2.300691e-05,2.301002e-05,2.301367e-05,2.301502e-05,2.301478e-05,2.301057e-05,2.300136e-05,2.299741e-05,2.298747e-05,2.297625e-05,2.296917e-05,2.294772e-05,2.294674e-05,2.292045e-05,2.291243e-05,2.289054e-05,2.287096e-05,2.285725e-05,2.282382e-05,2.282080e-05,2.278139e-05,2.277152e-05,2.273924e-05,2.271451e-05,2.269454e-05,2.265322e-05,2.264745e-05,2.259817e-05,2.258806e-05,2.254684e-05,2.251939e-05,2.249362e-05,2.244757e-05,2.243866e-05,2.238210e-05,2.237291e-05,2.232407e-05,2.229572e-05,2.226468e-05,2.221629e-05,2.220407e-05,2.214234e-05,2.213487e-05,2.207960e-05,2.205170e-05,2.201594e-05,2.196701e-05,2.195147e-05,2.188626e-05,2.188101e-05,2.182041e-05,2.179391e-05,2.175399e-05,2.170586e-05,2.168708e-05,2.161975e-05,2.161705e-05,2.155207e-05,2.152764e-05,2.148411e-05,2.143775e-05,2.141591e-05,2.134754e-05,2.125711e-05,2.116659e-05,2.107609e-05,2.098569e-05,2.089549e-05,2.080557e-05,2.071600e-05,2.062687e-05,2.053822e-05,2.045012e-05,2.036263e-05,2.027578e-05,2.018963e-05,2.010422e-05,2.001957e-05,1.993574e-05,1.985273e-05,1.977059e-05,1.968933e-05,1.960898e-05,1.952955e-05,1.945106e-05,1.937352e-05,1.929694e-05
0.000000e+00,2.773113e-12,1.669137e-11,2.252123e-10,1.192235e-09,2.509192e-09,1.193870e-08,1.261318e-08,4.157649e-08,5.520371e-08,1.061701e-07,1.712763e-07,2.292309e-07,4.183264e-07,4.390127e-07,7.650145e-07,8.634022e-07,1.231131e-06,1.558962e-06,1.851257e-06,2.527967e-06,2.629712e-06,3.564384e-06,3.769620e-06,4.649855e-06,5.271660e-06,5.879300e-06,7.017819e-06,7.245207e-06,8.739406e-06,8.989794e-06,1.035287e-05,1.116679e-05,1.207556e-05,1.352492e-05,1.389637e-05,1.580331e-05,1.603733e-05,1.778368e-05,1.867496e-05,1.982446e-05,2.140777e-05,2.191253e-05,2.403507e-05,2.420599e-05,2.617978e-05,2.704124e-05,2.833508e-05,2.988743e-05,3.049031e-05,3.263579e-05,3.272128e-05,3.476291e-05,3.552269e-05,3.686409e-05,3.827470e-05,3.893280e-05,4.096347e-05,4.295147e-05,4.357796e-05,4.489297e-05,4.610968e-05,4.678491e-05,4.855234e-05,4.862492e-05,5.041118e-05,5.090152e-05,5.214241e-05,5.315437e-05,5.381777e-05,5.530934e-05,5.543678e-05,5.699930e-05,5.736591e-05,5.850547e-05,5.932443e-05,5.995563e-05,6.118588e-05,6.135033e-05,6.269028e-05,6.295177e-05,6.397630e-05,6.462402e-05,6.520932e-05,6.620485e-05,6.639036e-05,6.752051e-05,6.769668e-05,6.860089e-05,6.910213e-05,6.963267e-05,7.042392e-05,7.061707e-05,7.155529e-05,7.166484e-05,7.244857e-05,7.282770e-05,7.329815e-05,7.391535e-05,7.410525e-05,7.487111e-05,7.493064e-05,7.559697e-05,7.587638e-05,7.628402e-05,7.675534e-05,7.693347e-05,7.754650e-05,7.757028e-05,7.812429e-05,7.832388e-05,7.866797e-05,7.901877e-05,7.917868e-05,7.965752e-05,8.010558e-05,8.024263e-05,8.052391e-05,8.077653e-05,8.091356e-05,8.126158e-05,8.127554e-05,8.161085e-05,8.170008e-05,8.192044e-05,8.209425e-05,8.220527e-05,8.244623e-05,8.246625e-05,8.270428e-05,8.275809e-05,8.292024e-05,8.303185e-05,8.311496e-05,8.326942e-05,8.328928e-05,8.344400e-05,8.347266e-05,8.357990e-05,8.364339e-05,8.369774e-05,8.378330e-05,8.379825e-05,8.388214e-05,8.389407e-05,8.395011e-05,8.397728e-05,8.400283e-05,8.403447e-05,8.404096e-05,8.406511e-05,8.406710e-05,8.407590e-05,8.407657e-05,8.407393e-05,8.406424e-05,8.405976e-05,8.403395e-05,8.403140e-05,8.399703e-05,8.397928e-05,8.394953e-05,8.390906e-05,8.389195e-05,8.382477e-05,8.382189e-05,8.374846e-05,8.371884e-05,8.366347e-05,8.360094e-05,8.357024e-05,8.346919e-05,8.332452e-05,8.316783e-05,8.299997e-05,8.282178e-05,8.263401e-05,8.243742e-05,8.223271e-05,8.202054e-05,8.180156e-05,8.157636e-05,8.134553e-05,8.110961e-05,8.086912e-05,8.062454e-05,8.037634e-05,8.012497e-05,7.987083e-05,7.961432e-05,7.935581e-05,7.909565e-05,7.883418e-05,7.857171e-05,7.830853e-05,7.804491e-05
0.000000e+00,4.647394e-14,3.127122e-13,5.300666e-12,3.440107e-11,8.080294e-11,5.063947e-10,5.408794e-10,2.308393e-09,3.278047e-09,7.417047e-09,1.355139e-08,1.960532e-08,4.224460e-08,4.494772e-08,9.247035e-08,1.084871e-07,1.746909e-07,2.418357e-07,3.080015e-07,4.836713e-07,5.127852e-07,8.131463e-07,8.870319e-07,1.236189e-06,1.514234e-06,1.810874e-06,2.432321e-06,2.566589e-06,3.531598e-06,3.707185e-06,4.731562e-06,5.397569e-06,6.188245e-06,7.549943e-06,7.918507e-06,9.933613e-06,1.019488e-05,1.223887e-05,1.334513e-05,1.483355e-05,1.699527e-05,1.771113e-05,2.085963e-05,2.112274e-05,2.426229e-05,2.568995e-05,2.789819e-05,3.064695e-05,3.174306e-05,3.577004e-05,3.593451e-05,3.995047e-05,4.148728e-05,4.425462e-05,4.723677e-05,4.865243e-05,5.311404e-05,5.761041e-05,5.905200e-05,6.211370e-05,6.498726e-05,6.659771e-05,7.086160e-05,7.103809e-05,7.541259e-05,7.662286e-05,7.970117e-05,8.222560e-05,8.388608e-05,8.763134e-05,8.795189e-05,9.188543e-05,9.280854e-05,9.567575e-05,9.773238e-05,9.931399e-05,1.023844e-04,1.027933e-04,1.061087e-04,1.067517e-04,1.092567e-04,1.108270e-04,1.122358e-04,1.146072e-04,1.150454e-04,1.176864e-04,1.180934e-04,1.201606e-04,1.212898e-04,1.224709e-04,1.242036e-04,1.246210e-04,1.266149e-04,1.268439e-04,1.284576e-04,1.292218e-04,1.301542e-04,1.313494e-04,1.317103e-04,1.331316e-04,1.332397e-04,1.344241e-04,1.349064e-04,1.355938e-04,1.363633e-04,1.366467e-04,1.375888e-04,1.376242e-04,1.384261e-04,1.387029e-04,1.391644e-04,1.396128e-04,1.398094e-04,1.403667e-04,1.408416e-04,1.409771e-04,1.412394e-04,1.414558e-04,1.415649e-04,1.418139e-04,1.418230e-04,1.420182e-04,1.420621e-04,1.421547e-04,1.422101e-04,1.422366e-04,1.422672e-04,1.422680e-04,1.422523e-04,1.422420e-04,1.421932e-04,1.421423e-04,1.420938e-04,1.419755e-04,1.419572e-04,1.417864e-04,1.417484e-04,1.415841e-04,1.414673e-04,1.413528e-04,1.411378e-04,1.410948e-04,1.408125e-04,1.407652e-04,1.405079e-04,1.403543e-04,1.401829e-04,1.399095e-04,1.398394e-04,1.394790e-04,1.394347e-04,1.391034e-04,1.389337e-04,1.387140e-04,1.384097e-04,1.383122e-04,1.378993e-04,1.378658e-04,1.374764e-04,1.373047e-04,1.370446e-04,1.367289e-04,1.366051e-04,1.361587e-04,1.361407e-04,1.357063e-04,1.355421e-04,1.352488e-04,1.349351e-04,1.347869e-04,1.343213e-04,1.337023e-04,1.330795e-04,1.324540e-04,1.318272e-04,1.311999e-04,1.305732e-04,1.299479e-04,1.293247e-04,1.287043e-04,1.280874e-04,1.274745e-04,1.268662e-04,1.262628e-04,1.256647e-04,1.250724e-04,1.244860e-04,1.239060e-04,1.233326e-04,1.227659e-04,1.222062e-04,1.216536e-04,1.211083e-04,1.205703e-04,1.200398e-04
0.000000e+00,2.802713e-14,1.840831e-13,2.965228e-12,1.835193e-11,4.197828e-11,2.452835e-10,2.612286e-10,1.037459e-09,1.444097e-09,3.104818e-09,5.438404e-09,7.651307e-09,1.547116e-08,1.637112e-08,3.147032e-08,3.633205e-08,5.562844e-08,7.424526e-08,9.191359e-08,1.365070e-07,1.436419e-07,2.141788e-07,2.308289e-07,3.067011e-07,3.644371e-07,4.239585e-07,5.431440e-07,5.680726e-07,7.403970e-07,7.706332e-07,9.414460e-07,1.048086e-06,1.170887e-06,1.374142e-06,1.427582e-06,1.709677e-06,1.745123e-06,2.014699e-06,2.155424e-06,2.339686e-06,2.597988e-06,2.681305e-06,3.035985e-06,3.064814e-06,3.400029e-06,3.547435e-06,3.769726e-06,4.037367e-06,4.141451e-06,4.511743e-06,4.526478e-06,4.877379e-06,5.007294e-06,5.235426e-06,5.473219e-06,5.583278e-06,5.918686e-06,6.239763e-06,6.339223e-06,6.544990e-06,6.731464e-06,6.833200e-06,7.093102e-06,7.103566e-06,7.355574e-06,7.422808e-06,7.588990e-06,7.720116e-06,7.803836e-06,7.985294e-06,8.000349e-06,8.178952e-06,8.219212e-06,8.340217e-06,8.423206e-06,8.484837e-06,8.598955e-06,8.613597e-06,8.727345e-06,8.748371e-06,8.826971e-06,8.873498e-06,8.913388e-06,8.976439e-06,8.987510e-06,9.050244e-06,9.059284e-06,9.102471e-06,9.124060e-06,9.145044e-06,9.172701e-06,9.178779e-06,9.204448e-06,9.207021e-06,9.222780e-06,9.228699e-06,9.234455e-06,9.239268e-06,9.240107e-06,9.240321e-06,9.240120e-06,9.235638e-06,9.232506e-06,9.226553e-06,9.217542e-06,9.213520e-06,9.196952e-06,9.196221e-06,9.177227e-06,9.169420e-06,9.154686e-06,9.137910e-06,9.129641e-06,9.102370e-06,9.073130e-06,9.063395e-06,9.042149e-06,9.021504e-06,9.009634e-06,8.977152e-06,8.975774e-06,8.940736e-06,8.930736e-06,8.904675e-06,8.882604e-06,8.867727e-06,8.833059e-06,8.830017e-06,8.791658e-06,8.782367e-06,8.752752e-06,8.730761e-06,8.713391e-06,8.678444e-06,8.673660e-06,8.633633e-06,8.625598e-06,8.593380e-06,8.572380e-06,8.552963e-06,8.518928e-06,8.512440e-06,8.471860e-06,8.465366e-06,8.431273e-06,8.411800e-06,8.390718e-06,8.358326e-06,8.350237e-06,8.309864e-06,8.305029e-06,8.269632e-06,8.251982e-06,8.229570e-06,8.199252e-06,8.189704e-06,8.150059e-06,8.146897e-06,8.110657e-06,8.094968e-06,8.071517e-06,8.043510e-06,8.032659e-06,7.994099e-06,7.992563e-06,7.955850e-06,7.942160e-06,7.917927e-06,7.892333e-06,7.880344e-06,7.843108e-06,7.794508e-06,7.746552e-06,7.699258e-06,7.652639e-06,7.606705e-06,7.561468e-06,7.516933e-06,7.473106e-06,7.429991e-06,7.387590e-06,7.345905e-06,7.304935e-06,7.264679e-06,7.225135e-06,7.186299e-06,7.148168e-06,7.110736e-06,7.073999e-06,7.037950e-06,7.002583e-06,6.967891e-06,6.933866e-06,6.900501e-06,6.867788e-06
0.000000e+00,7.115055e-09,1.684981e-08,5.987775e-08,1.380176e-07,2.021980e-07,4.615380e-07,4.755047e-07,9.218594e-07,1.083927e-06,1.586635e-06,2.110470e-06,2.518038e-06,3.646445e-06,3.757531e-06,5.319650e-06,5.740675e-06,7.181646e-06,8.339153e-06,9.299593e-06,1.133955e-05,1.162891e-05,1.413161e-05,1.465003e-05,1.677526e-05,1.819590e-05,1.953068e-05,2.191139e-05,2.237027e-05,2.526745e-05,2.573462e-05,2.819661e-05,2.960675e-05,3.113336e-05,3.347286e-05,3.405493e-05,3.694053e-05,3.728348e-05,3.977165e-05,4.099587e-05,4.253226e-05,4.457476e-05,4.520885e-05,4.779041e-05,4.799255e-05,5.026826e-05,5.122887e-05,5.263605e-05,5.427020e-05,5.488944e-05,5.702587e-05,5.710888e-05,5.904430e-05,5.974206e-05,6.094503e-05,6.217106e-05,6.272961e-05,6.440012e-05,6.595935e-05,6.643538e-05,6.741088e-05,6.828507e-05,6.875850e-05,6.995830e-05,7.000635e-05,7.115879e-05,7.146497e-05,7.222021e-05,7.281523e-05,7.319505e-05,7.401919e-05,7.408768e-05,7.490244e-05,7.508687e-05,7.564357e-05,7.602799e-05,7.631520e-05,7.685190e-05,7.692130e-05,7.746570e-05,7.756750e-05,7.795205e-05,7.818319e-05,7.838387e-05,7.870690e-05,7.876450e-05,7.909709e-05,7.914606e-05,7.938468e-05,7.950757e-05,7.963009e-05,7.979789e-05,7.983604e-05,8.000508e-05,8.002300e-05,8.013962e-05,8.018848e-05,8.024193e-05,8.029946e-05,8.031417e-05,8.035833e-05,8.036071e-05,8.037635e-05,8.037663e-05,8.036999e-05,8.035128e-05,8.034096e-05,8.029084e-05,8.028842e-05,8.022111e-05,8.019149e-05,8.013320e-05,8.006369e-05,8.002840e-05,7.990796e-05,7.977306e-05,7.972701e-05,7.962477e-05,7.952333e-05,7.946414e-05,7.929920e-05,7.929212e-05,7.910962e-05,7.905676e-05,7.891749e-05,7.879793e-05,7.871654e-05,7.852451e-05,7.850751e-05,7.829111e-05,7.823815e-05,7.806800e-05,7.794036e-05,7.783880e-05,7.763253e-05,7.760409e-05,7.736442e-05,7.731594e-05,7.712030e-05,7.699176e-05,7.687221e-05,7.666108e-05,7.662060e-05,7.636590e-05,7.632488e-05,7.610849e-05,7.598408e-05,7.584875e-05,7.563951e-05,7.558702e-05,7.532364e-05,7.529194e-05,7.505891e-05,7.494207e-05,7.479310e-05,7.459054e-05,7.452649e-05,7.425933e-05,7.423794e-05,7.399185e-05,7.388481e-05,7.372426e-05,7.353165e-05,7.345677e-05,7.318958e-05,7.317890e-05,7.292285e-05,7.282698e-05,7.265676e-05,7.247625e-05,7.239144e-05,7.212706e-05,7.177972e-05,7.143451e-05,7.109169e-05,7.075148e-05,7.041408e-05,7.007970e-05,6.974849e-05,6.942060e-05,6.909617e-05,6.877532e-05,6.845814e-05,6.814473e-05,6.783516e-05,6.752951e-05,6.722783e-05,6.693016e-05,6.663656e-05,6.634703e-05,6.606162e-05,6.578034e-05,6.550319e-05,6.523019e-05,6.496133e-05,6.469662e-05
0.000000e+00,7.450897e-09,1.726589e-08,6.025897e-08,1.387022e-07,2.038580e-07,4.744506e-07,4.893511e-07,9.818122e-07,1.167800e-06,1.765297e-06,2.414869e-06,2.934364e-06,4.409578e-06,4.556326e-06,6.619179e-06,7.170893e-06,9.035060e-06,1.050265e-05,1.170008e-05,1.418592e-05,1.453260e-05,1.747565e-05,1.807373e-05,2.048842e-05,2.207191e-05,2.353938e-05,2.611244e-05,2.660236e-05,2.965480e-05,3.014086e-05,3.267700e-05,3.411181e-05,3.565191e-05,3.798798e-05,3.856506e-05,4.140444e-05,4.173972e-05,4.416039e-05,4.534459e-05,4.682546e-05,4.878669e-05,4.939417e-05,5.186274e-05,5.205582e-05,5.422875e-05,5.514619e-05,5.649122e-05,5.805598e-05,5.865002e-05,6.070590e-05,6.078601e-05,6.266026e-05,6.333933e-05,6.451501e-05,6.572052e-05,6.627249e-05,6.793535e-05,6.950641e-05,6.999024e-05,7.098862e-05,7.189202e-05,7.238504e-05,7.364777e-05,7.369877e-05,7.493293e-05,7.526465e-05,7.609059e-05,7.674976e-05,7.717484e-05,7.811008e-05,7.818866e-05,7.913503e-05,7.935244e-05,8.001680e-05,8.048343e-05,8.083679e-05,8.150944e-05,8.159772e-05,8.230222e-05,8.243658e-05,8.295285e-05,8.327070e-05,8.355205e-05,8.401740e-05,8.410222e-05,8.460564e-05,8.468200e-05,8.506452e-05,8.526958e-05,8.548097e-05,8.578496e-05,8.585704e-05,8.619468e-05,8.623270e-05,8.649577e-05,8.661713e-05,8.676211e-05,8.694236e-05,8.699543e-05,8.719739e-05,8.721224e-05,8.736958e-05,8.743046e-05,8.751352e-05,8.760047e-05,8.763065e-05,8.772237e-05,8.772553e-05,8.779002e-05,8.780872e-05,8.783486e-05,8.785295e-05,8.785812e-05,8.786095e-05,8.784447e-05,8.783529e-05,8.780973e-05,8.777840e-05,8.775777e-05,8.769256e-05,8.768953e-05,8.760595e-05,8.757992e-05,8.750791e-05,8.744249e-05,8.739624e-05,8.728218e-05,8.727176e-05,8.713523e-05,8.710075e-05,8.698738e-05,8.689990e-05,8.682890e-05,8.668118e-05,8.666047e-05,8.648270e-05,8.644608e-05,8.629621e-05,8.619598e-05,8.610157e-05,8.593218e-05,8.589933e-05,8.569001e-05,8.565589e-05,8.547410e-05,8.536827e-05,8.525208e-05,8.507037e-05,8.502440e-05,8.479149e-05,8.476321e-05,8.455375e-05,8.444772e-05,8.431157e-05,8.412477e-05,8.406532e-05,8.381536e-05,8.379521e-05,8.356200e-05,8.345979e-05,8.330558e-05,8.311923e-05,8.304640e-05,8.278473e-05,8.277421e-05,8.252085e-05,8.242536e-05,8.225502e-05,8.207326e-05,8.198748e-05,8.171847e-05,8.136150e-05,8.100282e-05,8.064287e-05,8.028208e-05,7.992083e-05,7.955946e-05,7.919833e-05,7.883773e-05,7.847795e-05,7.811926e-05,7.776190e-05,7.740611e-05,7.705209e-05,7.670003e-05,7.635012e-05,7.600251e-05,7.565736e-05,7.531481e-05,7.497498e-05,7.463799e-05,7.430393e-05,7.397291e-05,7.364500e-05,7.332029e-05
0.000000e+00,5.250053e-13,3.384259e-12,5.244768e-11,3.134606e-10,7.035177e-10,3.916900e-09,4.163457e-09,1.578622e-08,2.170617e-08,4.528914e-08,7.750031e-08,1.074465e-07,2.106026e-07,2.222896e-07,4.149373e-07,4.759621e-07,7.150449e-07,9.422544e-07,1.155580e-06,1.686445e-06,1.770542e-06,2.591702e-06,2.783106e-06,3.645102e-06,4.290863e-06,4.948280e-06,6.241817e-06,6.508810e-06,8.324243e-06,8.637713e-06,1.038307e-05,1.145243e-05,1.266633e-05,1.463811e-05,1.514938e-05,1.780369e-05,1.813226e-05,2.059836e-05,2.186425e-05,2.350140e-05,2.576048e-05,2.648082e-05,2.950539e-05,2.974840e-05,3.254530e-05,3.375924e-05,3.557268e-05,3.773015e-05,3.856191e-05,4.148993e-05,4.160548e-05,4.433638e-05,4.533766e-05,4.708367e-05,4.888755e-05,4.971706e-05,5.222452e-05,5.459670e-05,5.532605e-05,5.682674e-05,5.817718e-05,5.891008e-05,6.076977e-05,6.084426e-05,6.262869e-05,6.310160e-05,6.426442e-05,6.517545e-05,6.575390e-05,6.699813e-05,6.710073e-05,6.830950e-05,6.857963e-05,6.938551e-05,6.993227e-05,7.033466e-05,7.106996e-05,7.116324e-05,7.187780e-05,7.200761e-05,7.248502e-05,7.276059e-05,7.299163e-05,7.334431e-05,7.340430e-05,7.372956e-05,7.377392e-05,7.397378e-05,7.406403e-05,7.414308e-05,7.422854e-05,7.424334e-05,7.428017e-05,7.428059e-05,7.425890e-05,7.423243e-05,7.418453e-05,7.409543e-05,7.406181e-05,7.389516e-05,7.388006e-05,7.368872e-05,7.359587e-05,7.344633e-05,7.325159e-05,7.317160e-05,7.286785e-05,7.285514e-05,7.253816e-05,7.241368e-05,7.218539e-05,7.193367e-05,7.181216e-05,7.142091e-05,7.101385e-05,7.088060e-05,7.059306e-05,7.031741e-05,7.016040e-05,6.973550e-05,6.971762e-05,6.926629e-05,6.913858e-05,6.880786e-05,6.852995e-05,6.834366e-05,6.791254e-05,6.787490e-05,6.740267e-05,6.728894e-05,6.692800e-05,6.666145e-05,6.645178e-05,6.603209e-05,6.597485e-05,6.549797e-05,6.540266e-05,6.502181e-05,6.477471e-05,6.454701e-05,6.414963e-05,6.407411e-05,6.360362e-05,6.352860e-05,6.313600e-05,6.291267e-05,6.267163e-05,6.230274e-05,6.221090e-05,6.175411e-05,6.169958e-05,6.130157e-05,6.110385e-05,6.085351e-05,6.051613e-05,6.041016e-05,5.997173e-05,5.993687e-05,5.953837e-05,5.936649e-05,5.911024e-05,5.880529e-05,5.868746e-05,5.827013e-05,5.825356e-05,5.785835e-05,5.771148e-05,5.745219e-05,5.717923e-05,5.705169e-05,5.665690e-05,5.614458e-05,5.564231e-05,5.515009e-05,5.466791e-05,5.419572e-05,5.373346e-05,5.328106e-05,5.283842e-05,5.240543e-05,5.198197e-05,5.156791e-05,5.116311e-05,5.076743e-05,5.038072e-05,5.000281e-05,4.963355e-05,4.927278e-05,4.892033e-05,4.857604e-05,4.823973e-05,4.791124e-05,4.759040e-05,4.727705e-05,4.697101e-05
0.000000e+00,3.941839e-09,9.605525e-09,3.544927e-08,8.407958e-08,1.252183e-07,3.004770e-07,3.102914e-07,6.418420e-07,7.700269e-07,1.189390e-06,1.653012e-06,2.025634e-06,3.076872e-06,3.180449e-06,4.618253e-06,4.998590e-06,6.278670e-06,7.286874e-06,8.113050e-06,9.845227e-06,1.008902e-05,1.218435e-05,1.261616e-05,1.438157e-05,1.555915e-05,1.666496e-05,1.863834e-05,1.901913e-05,2.142850e-05,2.181806e-05,2.387729e-05,2.506209e-05,2.634982e-05,2.833474e-05,2.883094e-05,3.130626e-05,3.160226e-05,3.376245e-05,3.483397e-05,3.618749e-05,3.800309e-05,3.857075e-05,4.090305e-05,4.108720e-05,4.317670e-05,4.406827e-05,4.538535e-05,4.693248e-05,4.752400e-05,4.958882e-05,4.966983e-05,5.157703e-05,5.227366e-05,5.348681e-05,5.474012e-05,5.531715e-05,5.706771e-05,5.873874e-05,5.925679e-05,6.033098e-05,6.130917e-05,6.184555e-05,6.322780e-05,6.328389e-05,6.464769e-05,6.501645e-05,6.593883e-05,6.667947e-05,6.715932e-05,6.822162e-05,6.831131e-05,6.939697e-05,6.964791e-05,7.041856e-05,7.096350e-05,7.137833e-05,7.217358e-05,7.227853e-05,7.312141e-05,7.328331e-05,7.390920e-05,7.429779e-05,7.464406e-05,7.522202e-05,7.532815e-05,7.596355e-05,7.606084e-05,7.655232e-05,7.681894e-05,7.709643e-05,7.750086e-05,7.759781e-05,7.805834e-05,7.811095e-05,7.847983e-05,7.865337e-05,7.886403e-05,7.913212e-05,7.921262e-05,7.952725e-05,7.955100e-05,7.980948e-05,7.991365e-05,8.006084e-05,8.022352e-05,8.028279e-05,8.047672e-05,8.048392e-05,8.064401e-05,8.069795e-05,8.078593e-05,8.086860e-05,8.090375e-05,8.099866e-05,8.107182e-05,8.109082e-05,8.112433e-05,8.114759e-05,8.115724e-05,8.117136e-05,8.117159e-05,8.116833e-05,8.116439e-05,8.114841e-05,8.112883e-05,8.111271e-05,8.106668e-05,8.106210e-05,8.099740e-05,8.097986e-05,8.091939e-05,8.087017e-05,8.082882e-05,8.073931e-05,8.072642e-05,8.061286e-05,8.058887e-05,8.048881e-05,8.042037e-05,8.035490e-05,8.023522e-05,8.021172e-05,8.005985e-05,8.003478e-05,7.989984e-05,7.982030e-05,7.973222e-05,7.959297e-05,7.955748e-05,7.937609e-05,7.935390e-05,7.918853e-05,7.910415e-05,7.899521e-05,7.884470e-05,7.879656e-05,7.859297e-05,7.857649e-05,7.838482e-05,7.830037e-05,7.817247e-05,7.801717e-05,7.795626e-05,7.773651e-05,7.772765e-05,7.751354e-05,7.743254e-05,7.728765e-05,7.713251e-05,7.705911e-05,7.682819e-05,7.652017e-05,7.620900e-05,7.589520e-05,7.557926e-05,7.526162e-05,7.494272e-05,7.462293e-05,7.430263e-05,7.398216e-05,7.366183e-05,7.334194e-05,7.302277e-05,7.270456e-05,7.238756e-05,7.207198e-05,7.175801e-05,7.144586e-05,7.113568e-05,7.082763e-05,7.052186e-05,7.021850e-05,6.991767e-05,6.961948e-05,6.932403e-05
0.000000e+00,3.089719e-10,1.316340e-09,9.544180e-09,3.165616e-08,5.331662e-08,1.561301e-07,1.621090e-07,3.661464e-07,4.445270e-07,6.964877e-07,9.690441e-07,1.186326e-06,1.807034e-06,1.869527e-06,2.772779e-06,3.023663e-06,3.903803e-06,4.632148e-06,5.248826e-06,6.589638e-06,6.782810e-06,8.479628e-06,8.836399e-06,1.031553e-05,1.131790e-05,1.226879e-05,1.398508e-05,1.431872e-05,1.644508e-05,1.679105e-05,1.862799e-05,1.969018e-05,2.084816e-05,2.263873e-05,2.308721e-05,2.532799e-05,2.559624e-05,2.755490e-05,2.852670e-05,2.975405e-05,3.139935e-05,3.191338e-05,3.402269e-05,3.418901e-05,3.607354e-05,3.687595e-05,3.805919e-05,3.944552e-05,3.997445e-05,4.181551e-05,4.188757e-05,4.357974e-05,4.419572e-05,4.526554e-05,4.636668e-05,4.687219e-05,4.839976e-05,4.984887e-05,5.029618e-05,5.122064e-05,5.205867e-05,5.251660e-05,5.369109e-05,5.373857e-05,5.488860e-05,5.519802e-05,5.596891e-05,5.658461e-05,5.698185e-05,5.785632e-05,5.792983e-05,5.881532e-05,5.901882e-05,5.964081e-05,6.007780e-05,6.040876e-05,6.103887e-05,6.112158e-05,6.178170e-05,6.190761e-05,6.239148e-05,6.268943e-05,6.295320e-05,6.338955e-05,6.346910e-05,6.394133e-05,6.401298e-05,6.437200e-05,6.456455e-05,6.476312e-05,6.504887e-05,6.511666e-05,6.543450e-05,6.547032e-05,6.571844e-05,6.583309e-05,6.597024e-05,6.614113e-05,6.619155e-05,6.638399e-05,6.639818e-05,6.654908e-05,6.660779e-05,6.668830e-05,6.677332e-05,6.680307e-05,6.689471e-05,6.689791e-05,6.696452e-05,6.698455e-05,6.701374e-05,6.703604e-05,6.704353e-05,6.705501e-05,6.704926e-05,6.704395e-05,6.702729e-05,6.700518e-05,6.699008e-05,6.694089e-05,6.693856e-05,6.687361e-05,6.685313e-05,6.679606e-05,6.674382e-05,6.670672e-05,6.661478e-05,6.660636e-05,6.649569e-05,6.646767e-05,6.637541e-05,6.630410e-05,6.624617e-05,6.612552e-05,6.610859e-05,6.596328e-05,6.593334e-05,6.581078e-05,6.572883e-05,6.565164e-05,6.551320e-05,6.548636e-05,6.531543e-05,6.528759e-05,6.513929e-05,6.505303e-05,6.495839e-05,6.481052e-05,6.477314e-05,6.458391e-05,6.456096e-05,6.439109e-05,6.430520e-05,6.419502e-05,6.404404e-05,6.399603e-05,6.379444e-05,6.377820e-05,6.359053e-05,6.350839e-05,6.338460e-05,6.323523e-05,6.317691e-05,6.296770e-05,6.295930e-05,6.275722e-05,6.268117e-05,6.254568e-05,6.240133e-05,6.233329e-05,6.212026e-05,6.183839e-05,6.155611e-05,6.127381e-05,6.099182e-05,6.071045e-05,6.042999e-05,6.015072e-05,5.987286e-05,5.959665e-05,5.932229e-05,5.904995e-05,5.877982e-05,5.851204e-05,5.824674e-05,5.798406e-05,5.772410e-05,5.746697e-05,5.721274e-05,5.696151e-05,5.671332e-05,5.646825e-05,5.622635e-05,5.598766e-05,5.575221e-05
0.000000e+00,4.363661e-11,2.046037e-10,1.731572e-09,6.342199e-09,1.113446e-08,3.519665e-08,3.663095e-08,8.649416e-08,1.058978e-07,1.685814e-07,2.365293e-07,2.906695e-07,4.451672e-07,4.607266e-07,6.866275e-07,7.499224e-07,9.747017e-07,1.164267e-06,1.327249e-06,1.688335e-06,1.740987e-06,2.208236e-06,2.307285e-06,2.719634e-06,2.999974e-06,3.266158e-06,3.746493e-06,3.839797e-06,4.433508e-06,4.529933e-06,5.040958e-06,5.335689e-06,5.656330e-06,6.150692e-06,6.274227e-06,6.889651e-06,6.963114e-06,7.498031e-06,7.762411e-06,8.095256e-06,8.539437e-06,8.677702e-06,9.242272e-06,9.286585e-06,9.786399e-06,9.997849e-06,1.030803e-05,1.066879e-05,1.080562e-05,1.127807e-05,1.129644e-05,1.172472e-05,1.187913e-05,1.214526e-05,1.241632e-05,1.253972e-05,1.290837e-05,1.325175e-05,1.335639e-05,1.357053e-05,1.376203e-05,1.386556e-05,1.412730e-05,1.413776e-05,1.438814e-05,1.445448e-05,1.461775e-05,1.474600e-05,1.482768e-05,1.500434e-05,1.501899e-05,1.519275e-05,1.523196e-05,1.535003e-05,1.543128e-05,1.549183e-05,1.560460e-05,1.561915e-05,1.573292e-05,1.575413e-05,1.583405e-05,1.588193e-05,1.592340e-05,1.598993e-05,1.600177e-05,1.606993e-05,1.607994e-05,1.612860e-05,1.615359e-05,1.617846e-05,1.621242e-05,1.622013e-05,1.625421e-05,1.625782e-05,1.628126e-05,1.629107e-05,1.630179e-05,1.631333e-05,1.631628e-05,1.632518e-05,1.632567e-05,1.632891e-05,1.632905e-05,1.632787e-05,1.632436e-05,1.632241e-05,1.631287e-05,1.631240e-05,1.629956e-05,1.629390e-05,1.628278e-05,1.626953e-05,1.626280e-05,1.623988e-05,1.621424e-05,1.620550e-05,1.618611e-05,1.616689e-05,1.615569e-05,1.612451e-05,1.612317e-05,1.608873e-05,1.607877e-05,1.605254e-05,1.603004e-05,1.601473e-05,1.597866e-05,1.597547e-05,1.593488e-05,1.592495e-05,1.589308e-05,1.586920e-05,1.585020e-05,1.581165e-05,1.580633e-05,1.576159e-05,1.575254e-05,1.571605e-05,1.569210e-05,1.566982e-05,1.563051e-05,1.562297e-05,1.557558e-05,1.556795e-05,1.552772e-05,1.550460e-05,1.547945e-05,1.544059e-05,1.543085e-05,1.538195e-05,1.537607e-05,1.533283e-05,1.531115e-05,1.528352e-05,1.524596e-05,1.523409e-05,1.518456e-05,1.518059e-05,1.513498e-05,1.511515e-05,1.508539e-05,1.504970e-05,1.503583e-05,1.498633e-05,1.498435e-05,1.493691e-05,1.491915e-05,1.488761e-05,1.485417e-05,1.483845e-05,1.478947e-05,1.472510e-05,1.466112e-05,1.459757e-05,1.453448e-05,1.447190e-05,1.440986e-05,1.434838e-05,1.428750e-05,1.422723e-05,1.416760e-05,1.410862e-05,1.405032e-05,1.399270e-05,1.393579e-05,1.387958e-05,1.382409e-05,1.376932e-05,1.371529e-05,1.366199e-05,1.360944e-05,1.355763e-05,1.350656e-05,1.345624e-05,1.340666e-05
0.000000e+00,1.398957e-13,9.118599e-13,1.446337e-11,8.830306e-11,2.005212e-10,1.150740e-09,1.224679e-09,4.783724e-09,6.630366e-09,1.411023e-08,2.452549e-08,3.434166e-08,6.876754e-08,7.271175e-08,1.385748e-07,1.596951e-07,2.432852e-07,3.237105e-07,3.999303e-07,5.921223e-07,6.228682e-07,9.270164e-07,9.988886e-07,1.326906e-06,1.577117e-06,1.835628e-06,2.354967e-06,2.463870e-06,3.219208e-06,3.352180e-06,4.105729e-06,4.578145e-06,5.123974e-06,6.031633e-06,6.271144e-06,7.541502e-06,7.701857e-06,8.926856e-06,9.570293e-06,1.041709e-05,1.161277e-05,1.200070e-05,1.366526e-05,1.380154e-05,1.539789e-05,1.610709e-05,1.718561e-05,1.849969e-05,1.901565e-05,2.087574e-05,2.095060e-05,2.275425e-05,2.343292e-05,2.464039e-05,2.592222e-05,2.652425e-05,2.839689e-05,3.025038e-05,3.083828e-05,3.207774e-05,3.323072e-05,3.387296e-05,3.556137e-05,3.563092e-05,3.734738e-05,3.782006e-05,3.901885e-05,3.999896e-05,4.064258e-05,4.209241e-05,4.221645e-05,4.373892e-05,4.409655e-05,4.520897e-05,4.600905e-05,4.662599e-05,4.782893e-05,4.798977e-05,4.930044e-05,4.955623e-05,5.055837e-05,5.119186e-05,5.176420e-05,5.273740e-05,5.291872e-05,5.402290e-05,5.419497e-05,5.507783e-05,5.556706e-05,5.608471e-05,5.685647e-05,5.704480e-05,5.795942e-05,5.806618e-05,5.882993e-05,5.919933e-05,5.965770e-05,6.025910e-05,6.044415e-05,6.119067e-05,6.124870e-05,6.189865e-05,6.217136e-05,6.256948e-05,6.303024e-05,6.320453e-05,6.380514e-05,6.382846e-05,6.437263e-05,6.456907e-05,6.490830e-05,6.525502e-05,6.541340e-05,6.588917e-05,6.633681e-05,6.647431e-05,6.675748e-05,6.701308e-05,6.715231e-05,6.750806e-05,6.752240e-05,6.786881e-05,6.796170e-05,6.819256e-05,6.837634e-05,6.849464e-05,6.875425e-05,6.877602e-05,6.903763e-05,6.909757e-05,6.928035e-05,6.940835e-05,6.950505e-05,6.968854e-05,6.971256e-05,6.990368e-05,6.994000e-05,7.007917e-05,7.016451e-05,7.023979e-05,7.036373e-05,7.038624e-05,7.051921e-05,7.053928e-05,7.063936e-05,7.069267e-05,7.074732e-05,7.082532e-05,7.084370e-05,7.092908e-05,7.093862e-05,7.100403e-05,7.103384e-05,7.106908e-05,7.111221e-05,7.112474e-05,7.117152e-05,7.117489e-05,7.120988e-05,7.122297e-05,7.124028e-05,7.125748e-05,7.126315e-05,7.127892e-05,7.127941e-05,7.128797e-05,7.128967e-05,7.129070e-05,7.128913e-05,7.128747e-05,7.127862e-05,7.125891e-05,7.123073e-05,7.119476e-05,7.115166e-05,7.110202e-05,7.104643e-05,7.098541e-05,7.091948e-05,7.084910e-05,7.077472e-05,7.069676e-05,7.061560e-05,7.053161e-05,7.044513e-05,7.035647e-05,7.026594e-05,7.017381e-05,7.008035e-05,6.998578e-05,6.989034e-05,6.979423e-05,6.969765e-05,6.960077e-05,6.950377e-05
0.000000e+00,4.661222e-11,2.489898e-10,2.662935e-09,1.161420e-08,2.213693e-08,8.342613e-08,8.736633e-08,2.358362e-07,2.979982e-07,5.101535e-07,7.550839e-07,9.590084e-07,1.574474e-06,1.638787e-06,2.609383e-06,2.891388e-06,3.917180e-06,4.802313e-06,5.571830e-06,7.289501e-06,7.540533e-06,9.766391e-06,1.023712e-05,1.219069e-05,1.351292e-05,1.476410e-05,1.701233e-05,1.744776e-05,2.021025e-05,2.065772e-05,2.302454e-05,2.438652e-05,2.586607e-05,2.814341e-05,2.871185e-05,3.154027e-05,3.187755e-05,3.433130e-05,3.554272e-05,3.706666e-05,3.909823e-05,3.973012e-05,4.230767e-05,4.250980e-05,4.478761e-05,4.575007e-05,4.716052e-05,4.879863e-05,4.941922e-05,5.155860e-05,5.164164e-05,5.357542e-05,5.427112e-05,5.546811e-05,5.668411e-05,5.723652e-05,5.888173e-05,6.040586e-05,6.086848e-05,6.181192e-05,6.265151e-05,6.310358e-05,6.423976e-05,6.428495e-05,6.536051e-05,6.564336e-05,6.633503e-05,6.687324e-05,6.721331e-05,6.794048e-05,6.800019e-05,6.870064e-05,6.885643e-05,6.931954e-05,6.963227e-05,6.986164e-05,7.027889e-05,7.033163e-05,7.073400e-05,7.080674e-05,7.107302e-05,7.122566e-05,7.135283e-05,7.154501e-05,7.157739e-05,7.175046e-05,7.177362e-05,7.187563e-05,7.191970e-05,7.195628e-05,7.199091e-05,7.199562e-05,7.199670e-05,7.199439e-05,7.196236e-05,7.193673e-05,7.189530e-05,7.182402e-05,7.179807e-05,7.167304e-05,7.166190e-05,7.152246e-05,7.145556e-05,7.134844e-05,7.120974e-05,7.115294e-05,7.093782e-05,7.092883e-05,7.070481e-05,7.061685e-05,7.045551e-05,7.027747e-05,7.019146e-05,6.991406e-05,6.962465e-05,6.952970e-05,6.932444e-05,6.912719e-05,6.901461e-05,6.870911e-05,6.869622e-05,6.837028e-05,6.827779e-05,6.803771e-05,6.783535e-05,6.769938e-05,6.738374e-05,6.735611e-05,6.700865e-05,6.692471e-05,6.665769e-05,6.645987e-05,6.630388e-05,6.599065e-05,6.594782e-05,6.559007e-05,6.551837e-05,6.523115e-05,6.504421e-05,6.487153e-05,6.456924e-05,6.451166e-05,6.415194e-05,6.409442e-05,6.379274e-05,6.362061e-05,6.343441e-05,6.314860e-05,6.307728e-05,6.272163e-05,6.267906e-05,6.236773e-05,6.221263e-05,6.201582e-05,6.174985e-05,6.166613e-05,6.131887e-05,6.129120e-05,6.097422e-05,6.083713e-05,6.063235e-05,6.038800e-05,6.029340e-05,5.995753e-05,5.994416e-05,5.962485e-05,5.950588e-05,5.929547e-05,5.907343e-05,5.896949e-05,5.864700e-05,5.822678e-05,5.781292e-05,5.740554e-05,5.700474e-05,5.661060e-05,5.622317e-05,5.584248e-05,5.546857e-05,5.510143e-05,5.474106e-05,5.438744e-05,5.404053e-05,5.370031e-05,5.336671e-05,5.303969e-05,5.271918e-05,5.240511e-05,5.209741e-05,5.179599e-05,5.150079e-05,5.121170e-05,5.092864e-05,5.065152e-05,5.038025e-05
0.000000e+00,8.743021e-14,5.749317e-13,9.290272e-12,5.772356e-11,1.323980e-10,7.810798e-10,8.322578e-10,3.354029e-09,4.692330e-09,1.024243e-08,1.821338e-08,2.591661e-08,5.398977e-08,5.729165e-08,1.143563e-07,1.332854e-07,2.104095e-07,2.871518e-07,3.615544e-07,5.540608e-07,5.853285e-07,8.988129e-07,9.736322e-07,1.316755e-06,1.579186e-06,1.850124e-06,2.392151e-06,2.505281e-06,3.283753e-06,3.419607e-06,4.182482e-06,4.654645e-06,5.194396e-06,6.078560e-06,6.309154e-06,7.513955e-06,7.663908e-06,8.794331e-06,9.377683e-06,1.013486e-05,1.118420e-05,1.151980e-05,1.293360e-05,1.304750e-05,1.436136e-05,1.493320e-05,1.578909e-05,1.680982e-05,1.720402e-05,1.859471e-05,1.864969e-05,1.995115e-05,2.042939e-05,2.126480e-05,2.212998e-05,2.252860e-05,2.373686e-05,2.488527e-05,2.523957e-05,2.597069e-05,2.663135e-05,2.699115e-05,2.790873e-05,2.794564e-05,2.883402e-05,2.907099e-05,2.965691e-05,3.011968e-05,3.041551e-05,3.105814e-05,3.111157e-05,3.174723e-05,3.189106e-05,3.232492e-05,3.262410e-05,3.284733e-05,3.326355e-05,3.331727e-05,3.373766e-05,3.381604e-05,3.411143e-05,3.428835e-05,3.444153e-05,3.468717e-05,3.473084e-05,3.498218e-05,3.501906e-05,3.519827e-05,3.529024e-05,3.538171e-05,3.550663e-05,3.553499e-05,3.566045e-05,3.567375e-05,3.576031e-05,3.579668e-05,3.583666e-05,3.588015e-05,3.589142e-05,3.592643e-05,3.592842e-05,3.594336e-05,3.594542e-05,3.594378e-05,3.593468e-05,3.592914e-05,3.590078e-05,3.589938e-05,3.585994e-05,3.584240e-05,3.580775e-05,3.576631e-05,3.574526e-05,3.567343e-05,3.559317e-05,3.556583e-05,3.550526e-05,3.544535e-05,3.541048e-05,3.531365e-05,3.530950e-05,3.520296e-05,3.517221e-05,3.509143e-05,3.502235e-05,3.497545e-05,3.486524e-05,3.485551e-05,3.473206e-05,3.470195e-05,3.460550e-05,3.453342e-05,3.447622e-05,3.436048e-05,3.434457e-05,3.421086e-05,3.418389e-05,3.407538e-05,3.400433e-05,3.393842e-05,3.382239e-05,3.380021e-05,3.366098e-05,3.363862e-05,3.352094e-05,3.345350e-05,3.338029e-05,3.326745e-05,3.323921e-05,3.309785e-05,3.308088e-05,3.295637e-05,3.289411e-05,3.281490e-05,3.270748e-05,3.267358e-05,3.253251e-05,3.252124e-05,3.239182e-05,3.233566e-05,3.225158e-05,3.215096e-05,3.211191e-05,3.197287e-05,3.196732e-05,3.183454e-05,3.178493e-05,3.169700e-05,3.160396e-05,3.156031e-05,3.142453e-05,3.124677e-05,3.107079e-05,3.089669e-05,3.072456e-05,3.055446e-05,3.038646e-05,3.022062e-05,3.005699e-05,2.989560e-05,2.973649e-05,2.957968e-05,2.942520e-05,2.927306e-05,2.912327e-05,2.897584e-05,2.883078e-05,2.868809e-05,2.854775e-05,2.840977e-05,2.827413e-05,2.814083e-05,2.800985e-05,2.788117e-05,2.775479e-05
0.000000e+00,3.248381e-10,1.346438e-09,9.354257e-09,3.022878e-08,5.038787e-08,1.450924e-07,1.505854e-07,3.385704e-07,4.112749e-07,6.473131e-07,9.066342e-07,1.116059e-06,1.724380e-06,1.786231e-06,2.685459e-06,2.935542e-06,3.808307e-06,4.521909e-06,5.118565e-06,6.390590e-06,6.571017e-06,8.126845e-06,8.447660e-06,9.756261e-06,1.062474e-05,1.143600e-05,1.287167e-05,1.314675e-05,1.487166e-05,1.514793e-05,1.659566e-05,1.741884e-05,1.830527e-05,1.965454e-05,1.998858e-05,2.163532e-05,2.183004e-05,2.323681e-05,2.392526e-05,2.478602e-05,2.592503e-05,2.627747e-05,2.770709e-05,2.781869e-05,2.907206e-05,2.959953e-05,3.037069e-05,3.126417e-05,3.160222e-05,3.276667e-05,3.281186e-05,3.386477e-05,3.424406e-05,3.489765e-05,3.556350e-05,3.586681e-05,3.677409e-05,3.762154e-05,3.788045e-05,3.841140e-05,3.888774e-05,3.914596e-05,3.980130e-05,3.982758e-05,4.045863e-05,4.062658e-05,4.104146e-05,4.136898e-05,4.157840e-05,4.203379e-05,4.207171e-05,4.252360e-05,4.262613e-05,4.293622e-05,4.315091e-05,4.331165e-05,4.361283e-05,4.365186e-05,4.395876e-05,4.401631e-05,4.423420e-05,4.436557e-05,4.447991e-05,4.466457e-05,4.469758e-05,4.488879e-05,4.491703e-05,4.505507e-05,4.512645e-05,4.519785e-05,4.529609e-05,4.531852e-05,4.541837e-05,4.542902e-05,4.549866e-05,4.552809e-05,4.556055e-05,4.559598e-05,4.560517e-05,4.563356e-05,4.563516e-05,4.564674e-05,4.564797e-05,4.564566e-05,4.563655e-05,4.563121e-05,4.560425e-05,4.560292e-05,4.556558e-05,4.554894e-05,4.551597e-05,4.547636e-05,4.545614e-05,4.538678e-05,4.530853e-05,4.528171e-05,4.522200e-05,4.516254e-05,4.512777e-05,4.503057e-05,4.502638e-05,4.491836e-05,4.488699e-05,4.480418e-05,4.473292e-05,4.468431e-05,4.456939e-05,4.455919e-05,4.442923e-05,4.439736e-05,4.429480e-05,4.421772e-05,4.415629e-05,4.403128e-05,4.401402e-05,4.386834e-05,4.383882e-05,4.371954e-05,4.364104e-05,4.356792e-05,4.343858e-05,4.341375e-05,4.325729e-05,4.323206e-05,4.309878e-05,4.302203e-05,4.293844e-05,4.280901e-05,4.277650e-05,4.261316e-05,4.259348e-05,4.244861e-05,4.237587e-05,4.228303e-05,4.215660e-05,4.211659e-05,4.194944e-05,4.193604e-05,4.178174e-05,4.171454e-05,4.161363e-05,4.149241e-05,4.144524e-05,4.127669e-05,4.126995e-05,4.110811e-05,4.104743e-05,4.093959e-05,4.082509e-05,4.077125e-05,4.060317e-05,4.038188e-05,4.016140e-05,3.994191e-05,3.972358e-05,3.950654e-05,3.929093e-05,3.907687e-05,3.886447e-05,3.865383e-05,3.844503e-05,3.823817e-05,3.803330e-05,3.783050e-05,3.762981e-05,3.743129e-05,3.723499e-05,3.704093e-05,3.684916e-05,3.665970e-05,3.647257e-05,3.628779e-05,3.610537e-05,3.592533e-05,3.574768e-05
0.000000e+00,1.399163e-09,3.989198e-09,1.730498e-08,4.396440e-08,6.692875e-08,1.646665e-07,1.700893e-07,3.492017e-07,4.164877e-07,6.308280e-07,8.608038e-07,1.042669e-06,1.551365e-06,1.601519e-06,2.304141e-06,2.492606e-06,3.136148e-06,3.653164e-06,4.083325e-06,5.002985e-06,5.134238e-06,6.278992e-06,6.518362e-06,7.507966e-06,8.177023e-06,8.811180e-06,9.955602e-06,1.017816e-05,1.159808e-05,1.182944e-05,1.306001e-05,1.377350e-05,1.455322e-05,1.576339e-05,1.606744e-05,1.759307e-05,1.777648e-05,1.912133e-05,1.979254e-05,2.064437e-05,2.179412e-05,2.215530e-05,2.364818e-05,2.376668e-05,2.511798e-05,2.569846e-05,2.656049e-05,2.758026e-05,2.797230e-05,2.935067e-05,2.940507e-05,3.069345e-05,3.116782e-05,3.199907e-05,3.286508e-05,3.326641e-05,3.449469e-05,3.568336e-05,3.605533e-05,3.683221e-05,3.754658e-05,3.794125e-05,3.896863e-05,3.901064e-05,4.004075e-05,4.032220e-05,4.103205e-05,4.160844e-05,4.198512e-05,4.282876e-05,4.290064e-05,4.377936e-05,4.398486e-05,4.462213e-05,4.507875e-05,4.542994e-05,4.611260e-05,4.620368e-05,4.694416e-05,4.708833e-05,4.765224e-05,4.800794e-05,4.832883e-05,4.887347e-05,4.897480e-05,4.959100e-05,4.968689e-05,5.017832e-05,5.045023e-05,5.073762e-05,5.116546e-05,5.126975e-05,5.177557e-05,5.183454e-05,5.225589e-05,5.245936e-05,5.271152e-05,5.304180e-05,5.314328e-05,5.355195e-05,5.358367e-05,5.393830e-05,5.408675e-05,5.430308e-05,5.455278e-05,5.464703e-05,5.497087e-05,5.498341e-05,5.527530e-05,5.538028e-05,5.556102e-05,5.574496e-05,5.582868e-05,5.607895e-05,5.631245e-05,5.638373e-05,5.652979e-05,5.666070e-05,5.673159e-05,5.691122e-05,5.691842e-05,5.709084e-05,5.713661e-05,5.724941e-05,5.733813e-05,5.739466e-05,5.751698e-05,5.752711e-05,5.764726e-05,5.767432e-05,5.775560e-05,5.781128e-05,5.785259e-05,5.792892e-05,5.793869e-05,5.801436e-05,5.802827e-05,5.808000e-05,5.811032e-05,5.813605e-05,5.817600e-05,5.818289e-05,5.822092e-05,5.822622e-05,5.825052e-05,5.826184e-05,5.827204e-05,5.828369e-05,5.828585e-05,5.829226e-05,5.829255e-05,5.829162e-05,5.828919e-05,5.828425e-05,5.827432e-05,5.827044e-05,5.825049e-05,5.824863e-05,5.822468e-05,5.821278e-05,5.819330e-05,5.816740e-05,5.815661e-05,5.811485e-05,5.811308e-05,5.806829e-05,5.805040e-05,5.801716e-05,5.797989e-05,5.796168e-05,5.790208e-05,5.781746e-05,5.772650e-05,5.762965e-05,5.752733e-05,5.741995e-05,5.730789e-05,5.719152e-05,5.707118e-05,5.694721e-05,5.681991e-05,5.668960e-05,5.655654e-05,5.642101e-05,5.628326e-05,5.614352e-05,5.600204e-05,5.585901e-05,5.571465e-05,5.556915e-05,5.542269e-05,5.527544e-05,5.512756e-05,5.497921e-05,5.483054e-05
0.000000e+00,8.982795e-14,5.965643e-13,9.838993e-12,6.226872e-11,1.442471e-10,8.721927e-10,9.302339e-10,3.832539e-09,5.391102e-09,1.191492e-08,2.136883e-08,3.055105e-08,6.416473e-08,6.812567e-08,1.366565e-07,1.594058e-07,2.521800e-07,3.446968e-07,4.346604e-07,6.689669e-07,7.072563e-07,1.095022e-06,1.188639e-06,1.623298e-06,1.961594e-06,2.316084e-06,3.040797e-06,3.194610e-06,4.276224e-06,4.469047e-06,5.573636e-06,6.275492e-06,7.094502e-06,8.473917e-06,8.841299e-06,1.081147e-05,1.106260e-05,1.299772e-05,1.402529e-05,1.538851e-05,1.733304e-05,1.796859e-05,2.071966e-05,2.094653e-05,2.362102e-05,2.481866e-05,2.665022e-05,2.889722e-05,2.978372e-05,3.299750e-05,3.312738e-05,3.626758e-05,3.745406e-05,3.957057e-05,4.182389e-05,4.288402e-05,4.618680e-05,4.945935e-05,5.049722e-05,5.268388e-05,5.471496e-05,5.584451e-05,5.880564e-05,5.892730e-05,6.192029e-05,6.274083e-05,6.481346e-05,6.649798e-05,6.759866e-05,7.006015e-05,7.026948e-05,7.282119e-05,7.341549e-05,7.525054e-05,7.655677e-05,7.755563e-05,7.948078e-05,7.973581e-05,8.179146e-05,8.218774e-05,8.372387e-05,8.468068e-05,8.553512e-05,8.696491e-05,8.722793e-05,8.880554e-05,8.904750e-05,9.027161e-05,9.093688e-05,9.163015e-05,9.264237e-05,9.288535e-05,9.404160e-05,9.417391e-05,9.510336e-05,9.554176e-05,9.607513e-05,9.675625e-05,9.696139e-05,9.776659e-05,9.782764e-05,9.849508e-05,9.876596e-05,9.915111e-05,9.958089e-05,9.973878e-05,1.002621e-04,1.002817e-04,1.007248e-04,1.008773e-04,1.011306e-04,1.013758e-04,1.014830e-04,1.017853e-04,1.020407e-04,1.021130e-04,1.022521e-04,1.023657e-04,1.024224e-04,1.025497e-04,1.025543e-04,1.026502e-04,1.026710e-04,1.027126e-04,1.027349e-04,1.027437e-04,1.027464e-04,1.027456e-04,1.027202e-04,1.027103e-04,1.026695e-04,1.026306e-04,1.025951e-04,1.025114e-04,1.024987e-04,1.023819e-04,1.023562e-04,1.022460e-04,1.021683e-04,1.020925e-04,1.019508e-04,1.019226e-04,1.017374e-04,1.017064e-04,1.015381e-04,1.014378e-04,1.013258e-04,1.011471e-04,1.011013e-04,1.008657e-04,1.008367e-04,1.006197e-04,1.005084e-04,1.003642e-04,1.001642e-04,1.001000e-04,9.982769e-05,9.980558e-05,9.954800e-05,9.943420e-05,9.926155e-05,9.905144e-05,9.896891e-05,9.867064e-05,9.865860e-05,9.836726e-05,9.825689e-05,9.805925e-05,9.784739e-05,9.774707e-05,9.743114e-05,9.700905e-05,9.658200e-05,9.615077e-05,9.571610e-05,9.527867e-05,9.483908e-05,9.439792e-05,9.395572e-05,9.351295e-05,9.307007e-05,9.262749e-05,9.218560e-05,9.174474e-05,9.130523e-05,9.086737e-05,9.043144e-05,8.999768e-05,8.956631e-05,8.913757e-05,8.871162e-05,8.828865e-05,8.786882e-05,8.745228e-05,8.703914e-05
0.000000e+00,5.842817e-14,3.871711e-13,6.356574e-12,4.005654e-11,9.256656e-11,5.560571e-10,5.928980e-10,2.425900e-09,3.405760e-09,7.488927e-09,1.337335e-08,1.906444e-08,3.976986e-08,4.219987e-08,8.402787e-08,9.784493e-08,1.539576e-07,2.096415e-07,2.635999e-07,4.034951e-07,4.262844e-07,6.561655e-07,7.114422e-07,9.670847e-07,1.164988e-06,1.371429e-06,1.790664e-06,1.879177e-06,2.497233e-06,2.606640e-06,3.229070e-06,3.620890e-06,4.074664e-06,4.830889e-06,5.030651e-06,6.090652e-06,6.224441e-06,7.245714e-06,7.781277e-06,8.484810e-06,9.475033e-06,9.795369e-06,1.116379e-05,1.127534e-05,1.257593e-05,1.314983e-05,1.401755e-05,1.506593e-05,1.547472e-05,1.693410e-05,1.699234e-05,1.838325e-05,1.890021e-05,1.981080e-05,2.076397e-05,2.120661e-05,2.256182e-05,2.386891e-05,2.427597e-05,2.512170e-05,2.589268e-05,2.631530e-05,2.740203e-05,2.744602e-05,2.851132e-05,2.879765e-05,2.950968e-05,3.007629e-05,3.044051e-05,3.123737e-05,3.130399e-05,3.210102e-05,3.228257e-05,3.283306e-05,3.321531e-05,3.350203e-05,3.404039e-05,3.411025e-05,3.466029e-05,3.476356e-05,3.515494e-05,3.539124e-05,3.559714e-05,3.593022e-05,3.598986e-05,3.633614e-05,3.638743e-05,3.663897e-05,3.676976e-05,3.690129e-05,3.708391e-05,3.712596e-05,3.731575e-05,3.733631e-05,3.747329e-05,3.753304e-05,3.760109e-05,3.767979e-05,3.770152e-05,3.777682e-05,3.778182e-05,3.782907e-05,3.784396e-05,3.786023e-05,3.787063e-05,3.787212e-05,3.786641e-05,3.786584e-05,3.784467e-05,3.783321e-05,3.780835e-05,3.777600e-05,3.775877e-05,3.769716e-05,3.762464e-05,3.759931e-05,3.754225e-05,3.748477e-05,3.745092e-05,3.735566e-05,3.735154e-05,3.724488e-05,3.721382e-05,3.713169e-05,3.706092e-05,3.701264e-05,3.689844e-05,3.688832e-05,3.675930e-05,3.672770e-05,3.662611e-05,3.654986e-05,3.648919e-05,3.636599e-05,3.634900e-05,3.620592e-05,3.617699e-05,3.606032e-05,3.598373e-05,3.591253e-05,3.578692e-05,3.576285e-05,3.561157e-05,3.558723e-05,3.545894e-05,3.538527e-05,3.530520e-05,3.518155e-05,3.515056e-05,3.499523e-05,3.497656e-05,3.483940e-05,3.477071e-05,3.468322e-05,3.456440e-05,3.452687e-05,3.437047e-05,3.435796e-05,3.421417e-05,3.415171e-05,3.405809e-05,3.394591e-05,3.390234e-05,3.374703e-05,3.374083e-05,3.359224e-05,3.353667e-05,3.343807e-05,3.333363e-05,3.328461e-05,3.313191e-05,3.293165e-05,3.273300e-05,3.253609e-05,3.234103e-05,3.214791e-05,3.195683e-05,3.176787e-05,3.158109e-05,3.139656e-05,3.121432e-05,3.103441e-05,3.085688e-05,3.068175e-05,3.050905e-05,3.033880e-05,3.017102e-05,3.000571e-05,2.984287e-05,2.968253e-05,2.952466e-05,2.936927e-05,2.921635e-05,2.906589e-05,2.891788e-05
0.000000e+00,1.655362e-09,5.861606e-09,3.279862e-08,9.474286e-08,1.518776e-07,4.158134e-07,4.312019e-07,9.721649e-07,1.189310e-06,1.921679e-06,2.764953e-06,3.466790e-06,5.557440e-06,5.771593e-06,8.859044e-06,9.701885e-06,1.257643e-05,1.485288e-05,1.671144e-05,2.056049e-05,2.109570e-05,2.562029e-05,2.653549e-05,3.021603e-05,3.261769e-05,3.483562e-05,3.870825e-05,3.944346e-05,4.401072e-05,4.473605e-05,4.851332e-05,5.064551e-05,5.293097e-05,5.639248e-05,5.724679e-05,6.144704e-05,6.194275e-05,6.552084e-05,6.727104e-05,6.945993e-05,7.235980e-05,7.325835e-05,7.691208e-05,7.719805e-05,8.041881e-05,8.178009e-05,8.377760e-05,8.610441e-05,8.698866e-05,9.005312e-05,9.017267e-05,9.297283e-05,9.398894e-05,9.575022e-05,9.755901e-05,9.838817e-05,1.008899e-04,1.032588e-04,1.039895e-04,1.054987e-04,1.068662e-04,1.076132e-04,1.095287e-04,1.096062e-04,1.114815e-04,1.119861e-04,1.132432e-04,1.142472e-04,1.148951e-04,1.163211e-04,1.164410e-04,1.178848e-04,1.182165e-04,1.192303e-04,1.199422e-04,1.204811e-04,1.215065e-04,1.216410e-04,1.227135e-04,1.229178e-04,1.237021e-04,1.241841e-04,1.246101e-04,1.253131e-04,1.254410e-04,1.261979e-04,1.263123e-04,1.268839e-04,1.271889e-04,1.275022e-04,1.279499e-04,1.280556e-04,1.285471e-04,1.286020e-04,1.289794e-04,1.291515e-04,1.293552e-04,1.296046e-04,1.296771e-04,1.299477e-04,1.299672e-04,1.301693e-04,1.302448e-04,1.303444e-04,1.304429e-04,1.304751e-04,1.305638e-04,1.305665e-04,1.306124e-04,1.306205e-04,1.306230e-04,1.306095e-04,1.305976e-04,1.305381e-04,1.304462e-04,1.304103e-04,1.303238e-04,1.302302e-04,1.301725e-04,1.300015e-04,1.299939e-04,1.297895e-04,1.297279e-04,1.295609e-04,1.294127e-04,1.293095e-04,1.290592e-04,1.290366e-04,1.287436e-04,1.286705e-04,1.284318e-04,1.282493e-04,1.281023e-04,1.277986e-04,1.277562e-04,1.273948e-04,1.273208e-04,1.270191e-04,1.268184e-04,1.266300e-04,1.262937e-04,1.262287e-04,1.258159e-04,1.257488e-04,1.253925e-04,1.251859e-04,1.249596e-04,1.246068e-04,1.245177e-04,1.240678e-04,1.240133e-04,1.236105e-04,1.234072e-04,1.231466e-04,1.227900e-04,1.226767e-04,1.222015e-04,1.221632e-04,1.217215e-04,1.215284e-04,1.212375e-04,1.208867e-04,1.207498e-04,1.202591e-04,1.202394e-04,1.197658e-04,1.195877e-04,1.192704e-04,1.189326e-04,1.187734e-04,1.182751e-04,1.176163e-04,1.169569e-04,1.162978e-04,1.156397e-04,1.149833e-04,1.143294e-04,1.136784e-04,1.130309e-04,1.123874e-04,1.117485e-04,1.111145e-04,1.104858e-04,1.098628e-04,1.092458e-04,1.086352e-04,1.080310e-04,1.074337e-04,1.068434e-04,1.062604e-04,1.056847e-04,1.051165e-04,1.045559e-04,1.040031e-04,1.034582e-04
0.000000e+00,6.618280e-11,3.254352e-10,2.986528e-09,1.156314e-08,2.079823e-08,6.886547e-08,7.177757e-08,1.743610e-07,2.146744e-07,3.455284e-07,4.878254e-07,6.012667e-07,9.243428e-07,9.567858e-07,1.424817e-06,1.554733e-06,2.010790e-06,2.388256e-06,2.707230e-06,3.395460e-06,3.493730e-06,4.343817e-06,4.519170e-06,5.232233e-06,5.702249e-06,6.138128e-06,6.900462e-06,7.045074e-06,7.940066e-06,8.081427e-06,8.812667e-06,9.221034e-06,9.654509e-06,1.030137e-05,1.045902e-05,1.122128e-05,1.130973e-05,1.193786e-05,1.223810e-05,1.260669e-05,1.308250e-05,1.322691e-05,1.379863e-05,1.384230e-05,1.432281e-05,1.451950e-05,1.480101e-05,1.511798e-05,1.523528e-05,1.562800e-05,1.564288e-05,1.598175e-05,1.610007e-05,1.629919e-05,1.649569e-05,1.658302e-05,1.683588e-05,1.706035e-05,1.712660e-05,1.725889e-05,1.737339e-05,1.743374e-05,1.758126e-05,1.758700e-05,1.772069e-05,1.775487e-05,1.783660e-05,1.789833e-05,1.793643e-05,1.801538e-05,1.802170e-05,1.809378e-05,1.810926e-05,1.815396e-05,1.818289e-05,1.820338e-05,1.823880e-05,1.824308e-05,1.827398e-05,1.827919e-05,1.829695e-05,1.830601e-05,1.831275e-05,1.832098e-05,1.832206e-05,1.832552e-05,1.832557e-05,1.832369e-05,1.832109e-05,1.831709e-05,1.830868e-05,1.830617e-05,1.829137e-05,1.828935e-05,1.827306e-05,1.826398e-05,1.825158e-05,1.823334e-05,1.822726e-05,1.820038e-05,1.819813e-05,1.817120e-05,1.815894e-05,1.813996e-05,1.811632e-05,1.810688e-05,1.807215e-05,1.807073e-05,1.803595e-05,1.802260e-05,1.799846e-05,1.797231e-05,1.795983e-05,1.792018e-05,1.787966e-05,1.786653e-05,1.783839e-05,1.781162e-05,1.779645e-05,1.775568e-05,1.775397e-05,1.771102e-05,1.769893e-05,1.766770e-05,1.764156e-05,1.762408e-05,1.758374e-05,1.758023e-05,1.753621e-05,1.752563e-05,1.749210e-05,1.746737e-05,1.744793e-05,1.740907e-05,1.740378e-05,1.735967e-05,1.735086e-05,1.731566e-05,1.729283e-05,1.727178e-05,1.723506e-05,1.722808e-05,1.718458e-05,1.717765e-05,1.714132e-05,1.712065e-05,1.709833e-05,1.706414e-05,1.705562e-05,1.701323e-05,1.700817e-05,1.697118e-05,1.695279e-05,1.692949e-05,1.689805e-05,1.688817e-05,1.684724e-05,1.684398e-05,1.680671e-05,1.679062e-05,1.676661e-05,1.673800e-05,1.672693e-05,1.668770e-05,1.668614e-05,1.664892e-05,1.663507e-05,1.661059e-05,1.658480e-05,1.657274e-05,1.653535e-05,1.648673e-05,1.643896e-05,1.639203e-05,1.634597e-05,1.630076e-05,1.625641e-05,1.621293e-05,1.617031e-05,1.612854e-05,1.608763e-05,1.604757e-05,1.600836e-05,1.596998e-05,1.593243e-05,1.589570e-05,1.585979e-05,1.582468e-05,1.579037e-05,1.575683e-05,1.572407e-05,1.569208e-05,1.566083e-05,1.563032e-05,1.560053e-05
0.000000e+00,8.427466e-13,5.407027e-12,8.302005e-11,4.921491e-10,1.099785e-09,6.058823e-09,6.437587e-09,2.418442e-08,3.317914e-08,6.887919e-08,1.174746e-07,1.625771e-07,3.178036e-07,3.353916e-07,6.256825e-07,7.178128e-07,1.079567e-06,1.424360e-06,1.748738e-06,2.557525e-06,2.685749e-06,3.937544e-06,4.229039e-06,5.539415e-06,6.518005e-06,7.511283e-06,9.456752e-06,9.856863e-06,1.256514e-05,1.303073e-05,1.561316e-05,1.718782e-05,1.896921e-05,2.185076e-05,2.259580e-05,2.645213e-05,2.692833e-05,3.049601e-05,3.232382e-05,3.468522e-05,3.794082e-05,3.897858e-05,4.333659e-05,4.368689e-05,4.772204e-05,4.947605e-05,5.210032e-05,5.523034e-05,5.643977e-05,6.071184e-05,6.088095e-05,6.489125e-05,6.636882e-05,6.895604e-05,7.164497e-05,7.288755e-05,7.667039e-05,8.029223e-05,8.141561e-05,8.374371e-05,8.586005e-05,8.701814e-05,8.999111e-05,9.011133e-05,9.302126e-05,9.380316e-05,9.574789e-05,9.729648e-05,9.829281e-05,1.004762e-04,1.006590e-04,1.028508e-04,1.033514e-04,1.048731e-04,1.059338e-04,1.067320e-04,1.082376e-04,1.084337e-04,1.099852e-04,1.102781e-04,1.113934e-04,1.120715e-04,1.126657e-04,1.136345e-04,1.138091e-04,1.148309e-04,1.149836e-04,1.157382e-04,1.161350e-04,1.165378e-04,1.171045e-04,1.172365e-04,1.178406e-04,1.179071e-04,1.183565e-04,1.185570e-04,1.187899e-04,1.190677e-04,1.191466e-04,1.194319e-04,1.194518e-04,1.196508e-04,1.197209e-04,1.198082e-04,1.198859e-04,1.199085e-04,1.199559e-04,1.199568e-04,1.199545e-04,1.199428e-04,1.199081e-04,1.198525e-04,1.198201e-04,1.196937e-04,1.195322e-04,1.194736e-04,1.193383e-04,1.191985e-04,1.191148e-04,1.188747e-04,1.188642e-04,1.185887e-04,1.185075e-04,1.182907e-04,1.181018e-04,1.179721e-04,1.176624e-04,1.176348e-04,1.172806e-04,1.171932e-04,1.169111e-04,1.166982e-04,1.165280e-04,1.161806e-04,1.161325e-04,1.157262e-04,1.156437e-04,1.153100e-04,1.150902e-04,1.148854e-04,1.145228e-04,1.144532e-04,1.140145e-04,1.139438e-04,1.135702e-04,1.133553e-04,1.131212e-04,1.127592e-04,1.126683e-04,1.122122e-04,1.121573e-04,1.117536e-04,1.115511e-04,1.112931e-04,1.109422e-04,1.108313e-04,1.103687e-04,1.103317e-04,1.099059e-04,1.097209e-04,1.094434e-04,1.091107e-04,1.089815e-04,1.085207e-04,1.085023e-04,1.080612e-04,1.078963e-04,1.076036e-04,1.072935e-04,1.071480e-04,1.066947e-04,1.061005e-04,1.055113e-04,1.049277e-04,1.043501e-04,1.037789e-04,1.032143e-04,1.026568e-04,1.021064e-04,1.015636e-04,1.010283e-04,1.005009e-04,9.998132e-05,9.946978e-05,9.896632e-05,9.847101e-05,9.798389e-05,9.750498e-05,9.703429e-05,9.657181e-05,9.611753e-05,9.567141e-05,9.523343e-05,9.480352e-05,9.438165e-05
0.000000e+00,1.817396e-09,4.177154e-09,1.438904e-08,3.266722e-08,4.755375e-08,1.069313e-07,1.100983e-07,2.098372e-07,2.453913e-07,3.536745e-07,4.636872e-07,5.476361e-07,7.747869e-07,7.968643e-07,1.105564e-06,1.188876e-06,1.476889e-06,1.712959e-06,1.912759e-06,2.350092e-06,2.413595e-06,2.978011e-06,3.098257e-06,3.602526e-06,3.949224e-06,4.281467e-06,4.888330e-06,5.007247e-06,5.771004e-06,5.896105e-06,6.563406e-06,6.951236e-06,7.375340e-06,8.033232e-06,8.198337e-06,9.024745e-06,9.123812e-06,9.847781e-06,1.020729e-05,1.066150e-05,1.127051e-05,1.146076e-05,1.224117e-05,1.230267e-05,1.299901e-05,1.329513e-05,1.373125e-05,1.424121e-05,1.443544e-05,1.510969e-05,1.513601e-05,1.575260e-05,1.597618e-05,1.636323e-05,1.675972e-05,1.694102e-05,1.748576e-05,1.799753e-05,1.815437e-05,1.847664e-05,1.876637e-05,1.892363e-05,1.932317e-05,1.933920e-05,1.972418e-05,1.982662e-05,2.007951e-05,2.027889e-05,2.040620e-05,2.068238e-05,2.070532e-05,2.097799e-05,2.103962e-05,2.122534e-05,2.135322e-05,2.144851e-05,2.162581e-05,2.164865e-05,2.182687e-05,2.185999e-05,2.198431e-05,2.205832e-05,2.212204e-05,2.222329e-05,2.224113e-05,2.234262e-05,2.235729e-05,2.242749e-05,2.246262e-05,2.249672e-05,2.254147e-05,2.255124e-05,2.259192e-05,2.259592e-05,2.261964e-05,2.262794e-05,2.263521e-05,2.263939e-05,2.263940e-05,2.263297e-05,2.263202e-05,2.261663e-05,2.260747e-05,2.259106e-05,2.256729e-05,2.255689e-05,2.251475e-05,2.251290e-05,2.246520e-05,2.244566e-05,2.240881e-05,2.236683e-05,2.234610e-05,2.227756e-05,2.220366e-05,2.217895e-05,2.212484e-05,2.207201e-05,2.204153e-05,2.195768e-05,2.195411e-05,2.186295e-05,2.183681e-05,2.176842e-05,2.171022e-05,2.167085e-05,2.157865e-05,2.157053e-05,2.146777e-05,2.144278e-05,2.136285e-05,2.130325e-05,2.125602e-05,2.116063e-05,2.114753e-05,2.103761e-05,2.101547e-05,2.092646e-05,2.086825e-05,2.081430e-05,2.071943e-05,2.070130e-05,2.058765e-05,2.056942e-05,2.047351e-05,2.041859e-05,2.035903e-05,2.026730e-05,2.024435e-05,2.012961e-05,2.011584e-05,2.001493e-05,1.996452e-05,1.990043e-05,1.981359e-05,1.978621e-05,1.967237e-05,1.966328e-05,1.955900e-05,1.951380e-05,1.944618e-05,1.936535e-05,1.933400e-05,1.922253e-05,1.921809e-05,1.911183e-05,1.907217e-05,1.900195e-05,1.892774e-05,1.889297e-05,1.878491e-05,1.864379e-05,1.850447e-05,1.836703e-05,1.823155e-05,1.809807e-05,1.796666e-05,1.783734e-05,1.771016e-05,1.758514e-05,1.746230e-05,1.734165e-05,1.722321e-05,1.710696e-05,1.699292e-05,1.688108e-05,1.677142e-05,1.666394e-05,1.655861e-05,1.645543e-05,1.635436e-05,1.625539e-05,1.615850e-05,1.606365e-05,1.597081e-05
0.000000e+00,2.228719e-12,1.325192e-11,1.744567e-10,9.037179e-10,1.879890e-09,8.682336e-09,9.161795e-09,2.931790e-08,3.860955e-08,7.271562e-08,1.153101e-07,1.526350e-07,2.723880e-07,2.853883e-07,4.900148e-07,5.520431e-07,7.861698e-07,9.982871e-07,1.190004e-06,1.641705e-06,1.710400e-06,2.348069e-06,2.489262e-06,3.097411e-06,3.528247e-06,3.949319e-06,4.736641e-06,4.893477e-06,5.919618e-06,6.090750e-06,7.018000e-06,7.568163e-06,8.179418e-06,9.148011e-06,9.395067e-06,1.065641e-05,1.081045e-05,1.195513e-05,1.253630e-05,1.328310e-05,1.430710e-05,1.463251e-05,1.599589e-05,1.610535e-05,1.736623e-05,1.791485e-05,1.873708e-05,1.972106e-05,2.010252e-05,2.145731e-05,2.151122e-05,2.279680e-05,2.327447e-05,2.411695e-05,2.500183e-05,2.541432e-05,2.668604e-05,2.792974e-05,2.832147e-05,2.914348e-05,2.990383e-05,3.032574e-05,3.143004e-05,3.147538e-05,3.259156e-05,3.289801e-05,3.367371e-05,3.430652e-05,3.472150e-05,3.565503e-05,3.573482e-05,3.671371e-05,3.694354e-05,3.765834e-05,3.817248e-05,3.856902e-05,3.934264e-05,3.944613e-05,4.029018e-05,4.045506e-05,4.110168e-05,4.151100e-05,4.188124e-05,4.251185e-05,4.262949e-05,4.334710e-05,4.345912e-05,4.403476e-05,4.435440e-05,4.469318e-05,4.519935e-05,4.532308e-05,4.592520e-05,4.599562e-05,4.650026e-05,4.674490e-05,4.704900e-05,4.744889e-05,4.757215e-05,4.807044e-05,4.810925e-05,4.854460e-05,4.872766e-05,4.899533e-05,4.930575e-05,4.942334e-05,4.982934e-05,4.984513e-05,5.021399e-05,5.034738e-05,5.057799e-05,5.081403e-05,5.092197e-05,5.124661e-05,5.155252e-05,5.164656e-05,5.184034e-05,5.201532e-05,5.211066e-05,5.235427e-05,5.236409e-05,5.260120e-05,5.266474e-05,5.282256e-05,5.294804e-05,5.302872e-05,5.320543e-05,5.322022e-05,5.339759e-05,5.343811e-05,5.356133e-05,5.364726e-05,5.371195e-05,5.383402e-05,5.384993e-05,5.397573e-05,5.399947e-05,5.408982e-05,5.414467e-05,5.419264e-05,5.427062e-05,5.428463e-05,5.436620e-05,5.437831e-05,5.443776e-05,5.446867e-05,5.449970e-05,5.454260e-05,5.455242e-05,5.459628e-05,5.460097e-05,5.463164e-05,5.464460e-05,5.465886e-05,5.467430e-05,5.467827e-05,5.469020e-05,5.469084e-05,5.469497e-05,5.469494e-05,5.469288e-05,5.468731e-05,5.468424e-05,5.466934e-05,5.466862e-05,5.464845e-05,5.463951e-05,5.462184e-05,5.460062e-05,5.458978e-05,5.455252e-05,5.449577e-05,5.443093e-05,5.435851e-05,5.427900e-05,5.419287e-05,5.410056e-05,5.400252e-05,5.389915e-05,5.379083e-05,5.367794e-05,5.356084e-05,5.343986e-05,5.331531e-05,5.318751e-05,5.305675e-05,5.292330e-05,5.278742e-05,5.264937e-05,5.250937e-05,5.236765e-05,5.222443e-05,5.207990e-05,5.193426e-05,5.178769e-05
0.000000e+00,3.277639e-09,7.473638e-09,2.545107e-08,5.739674e-08,8.336397e-08,1.873277e-07,1.929038e-07,3.707373e-07,4.352739e-07,6.357629e-07,8.454998e-07,1.009463e-06,1.468009e-06,1.513567e-06,2.162632e-06,2.340046e-06,2.952585e-06,3.447086e-06,3.856321e-06,4.714812e-06,4.834935e-06,5.852657e-06,6.058395e-06,6.882920e-06,7.417276e-06,7.907396e-06,8.754081e-06,8.913390e-06,9.891768e-06,1.004527e-05,1.083572e-05,1.127503e-05,1.174011e-05,1.243254e-05,1.260112e-05,1.341604e-05,1.351064e-05,1.418315e-05,1.450530e-05,1.490163e-05,1.541508e-05,1.557140e-05,1.619305e-05,1.624073e-05,1.676768e-05,1.698470e-05,1.729683e-05,1.765068e-05,1.778235e-05,1.822636e-05,1.824329e-05,1.863114e-05,1.876773e-05,1.899910e-05,1.922944e-05,1.933251e-05,1.963368e-05,1.990491e-05,1.998574e-05,2.014838e-05,2.029062e-05,2.036621e-05,2.055307e-05,2.056041e-05,2.073285e-05,2.077747e-05,2.088528e-05,2.096782e-05,2.101935e-05,2.112777e-05,2.113657e-05,2.123835e-05,2.126063e-05,2.132599e-05,2.136934e-05,2.140069e-05,2.145659e-05,2.146355e-05,2.151557e-05,2.152476e-05,2.155769e-05,2.157596e-05,2.159076e-05,2.161211e-05,2.161555e-05,2.163278e-05,2.163488e-05,2.164311e-05,2.164579e-05,2.164713e-05,2.164617e-05,2.164539e-05,2.163840e-05,2.163723e-05,2.162661e-05,2.162002e-05,2.161045e-05,2.159549e-05,2.159031e-05,2.156655e-05,2.156450e-05,2.153948e-05,2.152780e-05,2.150941e-05,2.148606e-05,2.147662e-05,2.144136e-05,2.143990e-05,2.140386e-05,2.138986e-05,2.136435e-05,2.133642e-05,2.132300e-05,2.128002e-05,2.123557e-05,2.122106e-05,2.118980e-05,2.115989e-05,2.114286e-05,2.109682e-05,2.109488e-05,2.104598e-05,2.103214e-05,2.099628e-05,2.096612e-05,2.094588e-05,2.089898e-05,2.089488e-05,2.084337e-05,2.083094e-05,2.079143e-05,2.076219e-05,2.073914e-05,2.069290e-05,2.068658e-05,2.063379e-05,2.062322e-05,2.058086e-05,2.055330e-05,2.052784e-05,2.048326e-05,2.047477e-05,2.042171e-05,2.041322e-05,2.036870e-05,2.034329e-05,2.031579e-05,2.027355e-05,2.026301e-05,2.021040e-05,2.020410e-05,2.015800e-05,2.013501e-05,2.010583e-05,2.006635e-05,2.005392e-05,2.000230e-05,1.999818e-05,1.995099e-05,1.993056e-05,1.990001e-05,1.986353e-05,1.984939e-05,1.979915e-05,1.979715e-05,1.974930e-05,1.973145e-05,1.969985e-05,1.966647e-05,1.965083e-05,1.960224e-05,1.953878e-05,1.947613e-05,1.941430e-05,1.935332e-05,1.929319e-05,1.923393e-05,1.917556e-05,1.911807e-05,1.906149e-05,1.900580e-05,1.895103e-05,1.889716e-05,1.884420e-05,1.879215e-05,1.874100e-05,1.869076e-05,1.864143e-05,1.859298e-05,1.854543e-05,1.849877e-05,1.845298e-05,1.840806e-05,1.836401e-05,1.832081e-05
0.000000e+00,3.788895e-10,1.655610e-09,1.249894e-08,4.253533e-08,7.241080e-08,2.161895e-07,2.245973e-07,5.122430e-07,6.227187e-07,9.766664e-07,1.356924e-06,1.658060e-06,2.510468e-06,2.595830e-06,3.827554e-06,4.170650e-06,5.384937e-06,6.406884e-06,7.286115e-06,9.242170e-06,9.528739e-06,1.209139e-05,1.263961e-05,1.494242e-05,1.652764e-05,1.804793e-05,2.082911e-05,2.137502e-05,2.489202e-05,2.547030e-05,2.856805e-05,3.038010e-05,3.237274e-05,3.548910e-05,3.627634e-05,4.025003e-05,4.073027e-05,4.426641e-05,4.604046e-05,4.829980e-05,5.136192e-05,5.232656e-05,5.632543e-05,5.664356e-05,6.027753e-05,6.184150e-05,6.416641e-05,6.691930e-05,6.797805e-05,7.170069e-05,7.184760e-05,7.532469e-05,7.660365e-05,7.884235e-05,8.117051e-05,8.224771e-05,8.553634e-05,8.870517e-05,8.969355e-05,9.175229e-05,9.363813e-05,9.467681e-05,9.736892e-05,9.747864e-05,1.001584e-04,1.008871e-04,1.027174e-04,1.041956e-04,1.051574e-04,1.072987e-04,1.074803e-04,1.096887e-04,1.102019e-04,1.117852e-04,1.129113e-04,1.137726e-04,1.154336e-04,1.156539e-04,1.174322e-04,1.177758e-04,1.191107e-04,1.199452e-04,1.206926e-04,1.219490e-04,1.221810e-04,1.235792e-04,1.237947e-04,1.248903e-04,1.254897e-04,1.261176e-04,1.270410e-04,1.272640e-04,1.283327e-04,1.284559e-04,1.293268e-04,1.297412e-04,1.302490e-04,1.309037e-04,1.311023e-04,1.318896e-04,1.319498e-04,1.326135e-04,1.328859e-04,1.332766e-04,1.337180e-04,1.338817e-04,1.344312e-04,1.344521e-04,1.349275e-04,1.350937e-04,1.353731e-04,1.356482e-04,1.357701e-04,1.361208e-04,1.364274e-04,1.365165e-04,1.366919e-04,1.368400e-04,1.369163e-04,1.370958e-04,1.371025e-04,1.372525e-04,1.372882e-04,1.373679e-04,1.374213e-04,1.374506e-04,1.374991e-04,1.375022e-04,1.375242e-04,1.375253e-04,1.375184e-04,1.375034e-04,1.374860e-04,1.374368e-04,1.374286e-04,1.373476e-04,1.373286e-04,1.372442e-04,1.371820e-04,1.371197e-04,1.369997e-04,1.369754e-04,1.368123e-04,1.367846e-04,1.366317e-04,1.365391e-04,1.364346e-04,1.362657e-04,1.362220e-04,1.359949e-04,1.359668e-04,1.357543e-04,1.356444e-04,1.355011e-04,1.353007e-04,1.352361e-04,1.349601e-04,1.349376e-04,1.346740e-04,1.345569e-04,1.343785e-04,1.341603e-04,1.340743e-04,1.337621e-04,1.337495e-04,1.334427e-04,1.333260e-04,1.331165e-04,1.328912e-04,1.327842e-04,1.324465e-04,1.319931e-04,1.315322e-04,1.310650e-04,1.305924e-04,1.301154e-04,1.296351e-04,1.291521e-04,1.286673e-04,1.281815e-04,1.276952e-04,1.272092e-04,1.267241e-04,1.262403e-04,1.257584e-04,1.252789e-04,1.248022e-04,1.243287e-04,1.238587e-04,1.233926e-04,1.229307e-04,1.224733e-04,1.220205e-04,1.215727e-04,1.211301e-04
0.000000e+00,3.409794e-12,2.034909e-11,2.696172e-10,1.402594e-09,2.922150e-09,1.350805e-08,1.425298e-08,4.538922e-08,5.962721e-08,1.113284e-07,1.748088e-07,2.295783e-07,4.009401e-07,4.192067e-07,7.004455e-07,7.839180e-07,1.094559e-06,1.372730e-06,1.623440e-06,2.217213e-06,2.308262e-06,3.166697e-06,3.360300e-06,4.209079e-06,4.824169e-06,5.435035e-06,6.598109e-06,6.832387e-06,8.378989e-06,8.638449e-06,1.004645e-05,1.088076e-05,1.180416e-05,1.325530e-05,1.362247e-05,1.547462e-05,1.569801e-05,1.733745e-05,1.815532e-05,1.919143e-05,2.058449e-05,2.102040e-05,2.281105e-05,2.295230e-05,2.455250e-05,2.523327e-05,2.623597e-05,2.740818e-05,2.785446e-05,2.940256e-05,2.946296e-05,3.087621e-05,3.138793e-05,3.227263e-05,3.317716e-05,3.359009e-05,3.482786e-05,3.598603e-05,3.633994e-05,3.706541e-05,3.771549e-05,3.806741e-05,3.895832e-05,3.899396e-05,3.984736e-05,4.007356e-05,4.063024e-05,4.106730e-05,4.134546e-05,4.194629e-05,4.199603e-05,4.258507e-05,4.271763e-05,4.311573e-05,4.338859e-05,4.359119e-05,4.396644e-05,4.401460e-05,4.438903e-05,4.445831e-05,4.471750e-05,4.487111e-05,4.500291e-05,4.521144e-05,4.524808e-05,4.545568e-05,4.548558e-05,4.562827e-05,4.569941e-05,4.576831e-05,4.585845e-05,4.587810e-05,4.595983e-05,4.596785e-05,4.601557e-05,4.603237e-05,4.604728e-05,4.605642e-05,4.605677e-05,4.604577e-05,4.604405e-05,4.601589e-05,4.599899e-05,4.596865e-05,4.592467e-05,4.590545e-05,4.582762e-05,4.582422e-05,4.573639e-05,4.570050e-05,4.563292e-05,4.555613e-05,4.551829e-05,4.539349e-05,4.525946e-05,4.521477e-05,4.511707e-05,4.502193e-05,4.496713e-05,4.481679e-05,4.481040e-05,4.464758e-05,4.460098e-05,4.447931e-05,4.437599e-05,4.430621e-05,4.414317e-05,4.412883e-05,4.394770e-05,4.390373e-05,4.376331e-05,4.365880e-05,4.357611e-05,4.340937e-05,4.338650e-05,4.319488e-05,4.315635e-05,4.300161e-05,4.290057e-05,4.280702e-05,4.264277e-05,4.261141e-05,4.241507e-05,4.238361e-05,4.221826e-05,4.212370e-05,4.202122e-05,4.186358e-05,4.182418e-05,4.162733e-05,4.160373e-05,4.143088e-05,4.134460e-05,4.123498e-05,4.108658e-05,4.103981e-05,4.084551e-05,4.083001e-05,4.065221e-05,4.057520e-05,4.046004e-05,4.032243e-05,4.026910e-05,4.007951e-05,4.007196e-05,3.989135e-05,3.982398e-05,3.970471e-05,3.957870e-05,3.951966e-05,3.933628e-05,3.909686e-05,3.886057e-05,3.862752e-05,3.839780e-05,3.817149e-05,3.794864e-05,3.772931e-05,3.751353e-05,3.730135e-05,3.709278e-05,3.688782e-05,3.668650e-05,3.648879e-05,3.629471e-05,3.610422e-05,3.591732e-05,3.573399e-05,3.555419e-05,3.537789e-05,3.520507e-05,3.503569e-05,3.486971e-05,3.470709e-05,3.454779e-05
0.000000e+00,1.593977e-13,1.058137e-12,1.743534e-11,1.102152e-10,2.551080e-10,1.538100e-09,1.640219e-09,6.728374e-09,9.450452e-09,2.079375e-08,3.712823e-08,5.290696e-08,1.101591e-07,1.168638e-07,2.318941e-07,2.697634e-07,4.231006e-07,5.747861e-07,7.215236e-07,1.101681e-06,1.163638e-06,1.790112e-06,1.941294e-06,2.643872e-06,3.191937e-06,3.767732e-06,4.950096e-06,5.201965e-06,6.982118e-06,7.301090e-06,9.137271e-06,1.031154e-05,1.168881e-05,1.402444e-05,1.464970e-05,1.802425e-05,1.845688e-05,2.180821e-05,2.359995e-05,2.598921e-05,2.942035e-05,3.054739e-05,3.545624e-05,3.586317e-05,4.068350e-05,4.285541e-05,4.619217e-05,5.030992e-05,5.194154e-05,5.788822e-05,5.812956e-05,6.398714e-05,6.621122e-05,7.019254e-05,7.444973e-05,7.645882e-05,8.274137e-05,8.899732e-05,9.098690e-05,9.518610e-05,9.909410e-05,1.012700e-04,1.069797e-04,1.072144e-04,1.129884e-04,1.145708e-04,1.185648e-04,1.218057e-04,1.239199e-04,1.286342e-04,1.290341e-04,1.338915e-04,1.350176e-04,1.384797e-04,1.409281e-04,1.427899e-04,1.463483e-04,1.468163e-04,1.505562e-04,1.512698e-04,1.540095e-04,1.556927e-04,1.571785e-04,1.596240e-04,1.600677e-04,1.626831e-04,1.630767e-04,1.650327e-04,1.660686e-04,1.671253e-04,1.686211e-04,1.689710e-04,1.705807e-04,1.707586e-04,1.719658e-04,1.725071e-04,1.731380e-04,1.738939e-04,1.741094e-04,1.748920e-04,1.749468e-04,1.754979e-04,1.756935e-04,1.759390e-04,1.761611e-04,1.762269e-04,1.763729e-04,1.763759e-04,1.763879e-04,1.763633e-04,1.762825e-04,1.761472e-04,1.760667e-04,1.757501e-04,1.753417e-04,1.751930e-04,1.748501e-04,1.744955e-04,1.742833e-04,1.736756e-04,1.736490e-04,1.729542e-04,1.727497e-04,1.722054e-04,1.717329e-04,1.714089e-04,1.706388e-04,1.705703e-04,1.696949e-04,1.694798e-04,1.687875e-04,1.682672e-04,1.678528e-04,1.670107e-04,1.668947e-04,1.659171e-04,1.657195e-04,1.649235e-04,1.644015e-04,1.639170e-04,1.630638e-04,1.629006e-04,1.618769e-04,1.617126e-04,1.608483e-04,1.603535e-04,1.598171e-04,1.589915e-04,1.587851e-04,1.577542e-04,1.576306e-04,1.567260e-04,1.562748e-04,1.557020e-04,1.549273e-04,1.546834e-04,1.536715e-04,1.535909e-04,1.526673e-04,1.522680e-04,1.516717e-04,1.509606e-04,1.506855e-04,1.497095e-04,1.496707e-04,1.487443e-04,1.483996e-04,1.477905e-04,1.471486e-04,1.468485e-04,1.459188e-04,1.447109e-04,1.435256e-04,1.423636e-04,1.412251e-04,1.401104e-04,1.390196e-04,1.379530e-04,1.369104e-04,1.358917e-04,1.348969e-04,1.339258e-04,1.329781e-04,1.320535e-04,1.311518e-04,1.302727e-04,1.294157e-04,1.285805e-04,1.277668e-04,1.269740e-04,1.262019e-04,1.254500e-04,1.247178e-04,1.240050e-04,1.233111e-04
0.000000e+00,7.531236e-09,1.806408e-08,6.538366e-08,1.528286e-07,2.255985e-07,5.258501e-07,5.422601e-07,1.077342e-06,1.276176e-06,1.905862e-06,2.579285e-06,3.112642e-06,4.616719e-06,4.766196e-06,6.881081e-06,7.453857e-06,9.421660e-06,1.101215e-05,1.233996e-05,1.518899e-05,1.559660e-05,1.916159e-05,1.990935e-05,2.300992e-05,2.511517e-05,2.711787e-05,3.075140e-05,3.146107e-05,3.601356e-05,3.675956e-05,4.074779e-05,4.307633e-05,4.563488e-05,4.963471e-05,5.064521e-05,5.574906e-05,5.636642e-05,6.091722e-05,6.320425e-05,6.612145e-05,7.008432e-05,7.133510e-05,7.653343e-05,7.694794e-05,8.169382e-05,8.374272e-05,8.679594e-05,9.042323e-05,9.182186e-05,9.675593e-05,9.695118e-05,1.015848e-04,1.032952e-04,1.062972e-04,1.094303e-04,1.108839e-04,1.153376e-04,1.196524e-04,1.210030e-04,1.238240e-04,1.264173e-04,1.278495e-04,1.315747e-04,1.317270e-04,1.354554e-04,1.364727e-04,1.390348e-04,1.411111e-04,1.424658e-04,1.454927e-04,1.457500e-04,1.488891e-04,1.496211e-04,1.518852e-04,1.535016e-04,1.547410e-04,1.571403e-04,1.574593e-04,1.600432e-04,1.605441e-04,1.624958e-04,1.637204e-04,1.648206e-04,1.666771e-04,1.670210e-04,1.691005e-04,1.694223e-04,1.710628e-04,1.719640e-04,1.729113e-04,1.743107e-04,1.746498e-04,1.762816e-04,1.764705e-04,1.778105e-04,1.784514e-04,1.792398e-04,1.802617e-04,1.805731e-04,1.818137e-04,1.819090e-04,1.829649e-04,1.834012e-04,1.840301e-04,1.847456e-04,1.850125e-04,1.859151e-04,1.859496e-04,1.867410e-04,1.870202e-04,1.874933e-04,1.879642e-04,1.881748e-04,1.887883e-04,1.893367e-04,1.894989e-04,1.898226e-04,1.901020e-04,1.902486e-04,1.906035e-04,1.906172e-04,1.909309e-04,1.910092e-04,1.911921e-04,1.913245e-04,1.914030e-04,1.915547e-04,1.915660e-04,1.916831e-04,1.917047e-04,1.917565e-04,1.917793e-04,1.917882e-04,1.917831e-04,1.917801e-04,1.917342e-04,1.917206e-04,1.916522e-04,1.915959e-04,1.915359e-04,1.914130e-04,1.913871e-04,1.912074e-04,1.911758e-04,1.909983e-04,1.908879e-04,1.907614e-04,1.905528e-04,1.904981e-04,1.902100e-04,1.901738e-04,1.898983e-04,1.897540e-04,1.895643e-04,1.892964e-04,1.892094e-04,1.888348e-04,1.888040e-04,1.884415e-04,1.882793e-04,1.880309e-04,1.877250e-04,1.876038e-04,1.871615e-04,1.871435e-04,1.867048e-04,1.865371e-04,1.862348e-04,1.859080e-04,1.857523e-04,1.852583e-04,1.845899e-04,1.839048e-04,1.832046e-04,1.824910e-04,1.817657e-04,1.810300e-04,1.802854e-04,1.795331e-04,1.787745e-04,1.780107e-04,1.772428e-04,1.764717e-04,1.756986e-04,1.749242e-04,1.741494e-04,1.733750e-04,1.726018e-04,1.718304e-04,1.710615e-04,1.702956e-04,1.695334e-04,1.687753e-04,1.680219e-04,1.672735e-04
0.000000e+00,2.617486e-09,6.303786e-09,2.292341e-08,5.374270e-08,7.946266e-08,1.861382e-07,1.919912e-07,3.838925e-07,4.556391e-07,6.839703e-07,9.293669e-07,1.124103e-06,1.672490e-06,1.726810e-06,2.489877e-06,2.694601e-06,3.391537e-06,3.947917e-06,4.407978e-06,5.382568e-06,5.520679e-06,6.715504e-06,6.963255e-06,7.980543e-06,8.662434e-06,9.304762e-06,1.045499e-05,1.067743e-05,1.208802e-05,1.231654e-05,1.352627e-05,1.422356e-05,1.498242e-05,1.615410e-05,1.644738e-05,1.791282e-05,1.808835e-05,1.937134e-05,2.000919e-05,2.081645e-05,2.190227e-05,2.224253e-05,2.364488e-05,2.375592e-05,2.501961e-05,2.556103e-05,2.636355e-05,2.731071e-05,2.767423e-05,2.894970e-05,2.899997e-05,3.018856e-05,3.062538e-05,3.138980e-05,3.218482e-05,3.255279e-05,3.367716e-05,3.476285e-05,3.510211e-05,3.580996e-05,3.646000e-05,3.681878e-05,3.775160e-05,3.778972e-05,3.872327e-05,3.897805e-05,3.962006e-05,4.014076e-05,4.048075e-05,4.124132e-05,4.130607e-05,4.209677e-05,4.228148e-05,4.285366e-05,4.326305e-05,4.357755e-05,4.418794e-05,4.426927e-05,4.492968e-05,4.505808e-05,4.555961e-05,4.587541e-05,4.615991e-05,4.664188e-05,4.673143e-05,4.727500e-05,4.735944e-05,4.779147e-05,4.802998e-05,4.828165e-05,4.865541e-05,4.874635e-05,4.918638e-05,4.923756e-05,4.960251e-05,4.977824e-05,4.999553e-05,5.027923e-05,5.036619e-05,5.071523e-05,5.074224e-05,5.104338e-05,5.116894e-05,5.135134e-05,5.156096e-05,5.163981e-05,5.190946e-05,5.191986e-05,5.216096e-05,5.224718e-05,5.239494e-05,5.254437e-05,5.261204e-05,5.281286e-05,5.299799e-05,5.305401e-05,5.316801e-05,5.326916e-05,5.332349e-05,5.345957e-05,5.346497e-05,5.359297e-05,5.362646e-05,5.370801e-05,5.377102e-05,5.381058e-05,5.389436e-05,5.390118e-05,5.398026e-05,5.399758e-05,5.404830e-05,5.408173e-05,5.410571e-05,5.414779e-05,5.415293e-05,5.419038e-05,5.419674e-05,5.421846e-05,5.422948e-05,5.423754e-05,5.424690e-05,5.424801e-05,5.425023e-05,5.424985e-05,5.424455e-05,5.423912e-05,5.423131e-05,5.421550e-05,5.421084e-05,5.418345e-05,5.417972e-05,5.414945e-05,5.413248e-05,5.410914e-05,5.407446e-05,5.406281e-05,5.401072e-05,5.400631e-05,5.395315e-05,5.392864e-05,5.389035e-05,5.384204e-05,5.382257e-05,5.375006e-05,5.374707e-05,5.367304e-05,5.364426e-05,5.359174e-05,5.353413e-05,5.350638e-05,5.341715e-05,5.329381e-05,5.316453e-05,5.302973e-05,5.288983e-05,5.274519e-05,5.259619e-05,5.244317e-05,5.228645e-05,5.212635e-05,5.196317e-05,5.179718e-05,5.162866e-05,5.145785e-05,5.128501e-05,5.111035e-05,5.093410e-05,5.075645e-05,5.057761e-05,5.039776e-05,5.021708e-05,5.003572e-05,4.985384e-05,4.967160e-05,4.948912e-05
0.000000e+00,1.324874e-09,3.664214e-09,1.541141e-08,3.865429e-08,5.859971e-08,1.433548e-07,1.480577e-07,3.036207e-07,3.621982e-07,5.493147e-07,7.508377e-07,9.106103e-07,1.358648e-06,1.402890e-06,2.024157e-06,2.191384e-06,2.764832e-06,3.228655e-06,3.616885e-06,4.454387e-06,4.574768e-06,5.633894e-06,5.857458e-06,6.789464e-06,7.426657e-06,8.035886e-06,9.148316e-06,9.366596e-06,1.077411e-05,1.100590e-05,1.225022e-05,1.298057e-05,1.378620e-05,1.505206e-05,1.537307e-05,1.700188e-05,1.719974e-05,1.866385e-05,1.940345e-05,2.035061e-05,2.164425e-05,2.205428e-05,2.376758e-05,2.390486e-05,2.548391e-05,2.616994e-05,2.719732e-05,2.842619e-05,2.890255e-05,3.059496e-05,3.066234e-05,3.227057e-05,3.286899e-05,3.392592e-05,3.503848e-05,3.555810e-05,3.716465e-05,3.874354e-05,3.924265e-05,4.029308e-05,4.126876e-05,4.181194e-05,4.324018e-05,4.329905e-05,4.475357e-05,4.515491e-05,4.617490e-05,4.701158e-05,4.756261e-05,4.880936e-05,4.891641e-05,5.023617e-05,5.054783e-05,5.152184e-05,5.222694e-05,5.277349e-05,5.384691e-05,5.399127e-05,5.517539e-05,5.540820e-05,5.632614e-05,5.691144e-05,5.744383e-05,5.835743e-05,5.852885e-05,5.958160e-05,5.974707e-05,6.060251e-05,6.108137e-05,6.159204e-05,6.236141e-05,6.255069e-05,6.347895e-05,6.358833e-05,6.437734e-05,6.476330e-05,6.524638e-05,6.588756e-05,6.608662e-05,6.689858e-05,6.696234e-05,6.768283e-05,6.798889e-05,6.843991e-05,6.896850e-05,6.917038e-05,6.987478e-05,6.990242e-05,7.055368e-05,7.079195e-05,7.120763e-05,7.163834e-05,7.183717e-05,7.244285e-05,7.302522e-05,7.320675e-05,7.358482e-05,7.393125e-05,7.412217e-05,7.461759e-05,7.463780e-05,7.513225e-05,7.526696e-05,7.560601e-05,7.588056e-05,7.605961e-05,7.645954e-05,7.649354e-05,7.690830e-05,7.700505e-05,7.730438e-05,7.751820e-05,7.768226e-05,7.800010e-05,7.804240e-05,7.838527e-05,7.845182e-05,7.871134e-05,7.887440e-05,7.902104e-05,7.926887e-05,7.931483e-05,7.959312e-05,7.963624e-05,7.985635e-05,7.997747e-05,8.010493e-05,8.029353e-05,8.033927e-05,8.055978e-05,8.058533e-05,8.076683e-05,8.085377e-05,8.096082e-05,8.109975e-05,8.114212e-05,8.131110e-05,8.132410e-05,8.146812e-05,8.152766e-05,8.161354e-05,8.171124e-05,8.174769e-05,8.187091e-05,8.187562e-05,8.198354e-05,8.202156e-05,8.208590e-05,8.214979e-05,8.217829e-05,8.226104e-05,8.235599e-05,8.243533e-05,8.249969e-05,8.254971e-05,8.258601e-05,8.260917e-05,8.261976e-05,8.261835e-05,8.260546e-05,8.258161e-05,8.254731e-05,8.250303e-05,8.244925e-05,8.238641e-05,8.231496e-05,8.223530e-05,8.214786e-05,8.205301e-05,8.195114e-05,8.184261e-05,8.172777e-05,8.160696e-05,8.148051e-05,8.134873e-05
0.000000e+00,3.528436e-09,8.708782e-09,3.248218e-08,7.701817e-08,1.143294e-07,2.694559e-07,2.779720e-07,5.567512e-07,6.604890e-07,9.869890e-07,1.329188e-06,1.593558e-06,2.309739e-06,2.378989e-06,3.336163e-06,3.590744e-06,4.459291e-06,5.159217e-06,5.744336e-06,7.005739e-06,7.187007e-06,8.781417e-06,9.117837e-06,1.051947e-05,1.147665e-05,1.239074e-05,1.405644e-05,1.438269e-05,1.648104e-05,1.682562e-05,1.867019e-05,1.974845e-05,2.093378e-05,2.278707e-05,2.325517e-05,2.561790e-05,2.590345e-05,2.800611e-05,2.906107e-05,3.040472e-05,3.222603e-05,3.279985e-05,3.517904e-05,3.536835e-05,3.753123e-05,3.846232e-05,3.984670e-05,4.148640e-05,4.211717e-05,4.433568e-05,4.442325e-05,4.649650e-05,4.725936e-05,4.859505e-05,4.998463e-05,5.062774e-05,5.259192e-05,5.448571e-05,5.507665e-05,5.630792e-05,5.743628e-05,5.805796e-05,5.967000e-05,5.973572e-05,6.134152e-05,6.177834e-05,6.287603e-05,6.376290e-05,6.434019e-05,6.562610e-05,6.573518e-05,6.706236e-05,6.737096e-05,6.832324e-05,6.900097e-05,6.951943e-05,7.051992e-05,7.065263e-05,7.172461e-05,7.193181e-05,7.273716e-05,7.324080e-05,7.369209e-05,7.445106e-05,7.459126e-05,7.543648e-05,7.556683e-05,7.622957e-05,7.659227e-05,7.697234e-05,7.753152e-05,7.766657e-05,7.831400e-05,7.838863e-05,7.891636e-05,7.916755e-05,7.947533e-05,7.987213e-05,7.999254e-05,8.046962e-05,8.050610e-05,8.090812e-05,8.107306e-05,8.130957e-05,8.157650e-05,8.167544e-05,8.200719e-05,8.201977e-05,8.230620e-05,8.240610e-05,8.257384e-05,8.273858e-05,8.281141e-05,8.302018e-05,8.320139e-05,8.325376e-05,8.335624e-05,8.344203e-05,8.348586e-05,8.358761e-05,8.359138e-05,8.367386e-05,8.369297e-05,8.373435e-05,8.376050e-05,8.377385e-05,8.379247e-05,8.379331e-05,8.379369e-05,8.379104e-05,8.377586e-05,8.375825e-05,8.374070e-05,8.369609e-05,8.368905e-05,8.362169e-05,8.360641e-05,8.353942e-05,8.349098e-05,8.344296e-05,8.335150e-05,8.333304e-05,8.321034e-05,8.318957e-05,8.307553e-05,8.300671e-05,8.292924e-05,8.280436e-05,8.277209e-05,8.260466e-05,8.258390e-05,8.242752e-05,8.234664e-05,8.224120e-05,8.209379e-05,8.204624e-05,8.184313e-05,8.182654e-05,8.163235e-05,8.154599e-05,8.141435e-05,8.125319e-05,8.118960e-05,8.095849e-05,8.094912e-05,8.072145e-05,8.063474e-05,8.047886e-05,8.031092e-05,8.023109e-05,7.997851e-05,7.963830e-05,7.929103e-05,7.893742e-05,7.857814e-05,7.821380e-05,7.784501e-05,7.747233e-05,7.709627e-05,7.671733e-05,7.633599e-05,7.595268e-05,7.556780e-05,7.518175e-05,7.479488e-05,7.440755e-05,7.402006e-05,7.363271e-05,7.324579e-05,7.285955e-05,7.247423e-05,7.209007e-05,7.170727e-05,7.132602e-05,7.094652e-05
0.000000e+00,2.774363e-14,1.872629e-13,3.195079e-12,2.086168e-11,4.916471e-11,3.107812e-10,3.320606e-10,1.429154e-09,2.034036e-09,4.627822e-09,8.492113e-09,1.231985e-08,2.670507e-08,2.842791e-08,5.882938e-08,6.911145e-08,1.117393e-07,1.551301e-07,1.980056e-07,3.122793e-07,3.312713e-07,5.279761e-07,5.765650e-07,8.071946e-07,9.920213e-07,1.190330e-06,1.609480e-06,1.700692e-06,2.362983e-06,2.484748e-06,3.202727e-06,3.676401e-06,4.245663e-06,5.243369e-06,5.517133e-06,7.041470e-06,7.242483e-06,8.841425e-06,9.726127e-06,1.093764e-05,1.274010e-05,1.334815e-05,1.608802e-05,1.632181e-05,1.916898e-05,2.049882e-05,2.259920e-05,2.528788e-05,2.638315e-05,3.052149e-05,3.069436e-05,3.501111e-05,3.671217e-05,3.984523e-05,4.332411e-05,4.501357e-05,5.050255e-05,5.629558e-05,5.821049e-05,6.237339e-05,6.640276e-05,6.871439e-05,7.502749e-05,7.529500e-05,8.209010e-05,8.402760e-05,8.907335e-05,9.334234e-05,9.621760e-05,1.029088e-04,1.034952e-04,1.108786e-04,1.126632e-04,1.183401e-04,1.225425e-04,1.258527e-04,1.324852e-04,1.333901e-04,1.409271e-04,1.424323e-04,1.484393e-04,1.523283e-04,1.559040e-04,1.621219e-04,1.632997e-04,1.706065e-04,1.717661e-04,1.778060e-04,1.812186e-04,1.848814e-04,1.904423e-04,1.918177e-04,1.986015e-04,1.994047e-04,2.052208e-04,2.080785e-04,2.116655e-04,2.164411e-04,2.179266e-04,2.239970e-04,2.244742e-04,2.298706e-04,2.321639e-04,2.355429e-04,2.395002e-04,2.410103e-04,2.462706e-04,2.464766e-04,2.513224e-04,2.530900e-04,2.561656e-04,2.593399e-04,2.608006e-04,2.652287e-04,2.694522e-04,2.707608e-04,2.734735e-04,2.759425e-04,2.772959e-04,2.807817e-04,2.809231e-04,2.843592e-04,2.852877e-04,2.876087e-04,2.894708e-04,2.906764e-04,2.933422e-04,2.935671e-04,2.962861e-04,2.969137e-04,2.988387e-04,3.001975e-04,3.012303e-04,3.032062e-04,3.034665e-04,3.055528e-04,3.059525e-04,3.074947e-04,3.084492e-04,3.092977e-04,3.107089e-04,3.109674e-04,3.125091e-04,3.127443e-04,3.139282e-04,3.145674e-04,3.152301e-04,3.161905e-04,3.164197e-04,3.175022e-04,3.176251e-04,3.184824e-04,3.188826e-04,3.193652e-04,3.199738e-04,3.201552e-04,3.208569e-04,3.209094e-04,3.214747e-04,3.216993e-04,3.220129e-04,3.223533e-04,3.224754e-04,3.228663e-04,3.228805e-04,3.231894e-04,3.232898e-04,3.234482e-04,3.235894e-04,3.236464e-04,3.237872e-04,3.238908e-04,3.239072e-04,3.238431e-04,3.237049e-04,3.234986e-04,3.232296e-04,3.229033e-04,3.225246e-04,3.220983e-04,3.216285e-04,3.211195e-04,3.205750e-04,3.199986e-04,3.193937e-04,3.187633e-04,3.181103e-04,3.174376e-04,3.167475e-04,3.160425e-04,3.153248e-04,3.145963e-04,3.138590e-04,3.131146e-04,3.123647e-04
0.000000e+00,5.850550e-09,1.336802e-08,4.590095e-08,1.049471e-07,1.540594e-07,3.599777e-07,3.714159e-07,7.542841e-07,9.006530e-07,1.372742e-06,1.881319e-06,2.279278e-06,3.352065e-06,3.454090e-06,4.813227e-06,5.157067e-06,6.274104e-06,7.115396e-06,7.782431e-06,9.122332e-06,9.304991e-06,1.081956e-05,1.111998e-05,1.230932e-05,1.306951e-05,1.376049e-05,1.494127e-05,1.516169e-05,1.650361e-05,1.671231e-05,1.777907e-05,1.836610e-05,1.898293e-05,1.989224e-05,2.011196e-05,2.116449e-05,2.128564e-05,2.214045e-05,2.254590e-05,2.304109e-05,2.367646e-05,2.386850e-05,2.462550e-05,2.468312e-05,2.531541e-05,2.557338e-05,2.594181e-05,2.635560e-05,2.650846e-05,2.701917e-05,2.703849e-05,2.747771e-05,2.763072e-05,2.788774e-05,2.814067e-05,2.825281e-05,2.857625e-05,2.886126e-05,2.894484e-05,2.911082e-05,2.925322e-05,2.932770e-05,2.950759e-05,2.951452e-05,2.967368e-05,2.971360e-05,2.980742e-05,2.987633e-05,2.991780e-05,3.000038e-05,3.000674e-05,3.007600e-05,3.008988e-05,3.012720e-05,3.014855e-05,3.016184e-05,3.017973e-05,3.018130e-05,3.018686e-05,3.018640e-05,3.017967e-05,3.017126e-05,3.016082e-05,3.013670e-05,3.013130e-05,3.009203e-05,3.008489e-05,3.004384e-05,3.001777e-05,2.998751e-05,2.993708e-05,2.992377e-05,2.985326e-05,2.984437e-05,2.977660e-05,2.974106e-05,2.969434e-05,2.962840e-05,2.960701e-05,2.951507e-05,2.950753e-05,2.941898e-05,2.937948e-05,2.931914e-05,2.924515e-05,2.921593e-05,2.910969e-05,2.910538e-05,2.900075e-05,2.896092e-05,2.888940e-05,2.881245e-05,2.877592e-05,2.866056e-05,2.854356e-05,2.850581e-05,2.842514e-05,2.834870e-05,2.830550e-05,2.818967e-05,2.818483e-05,2.806330e-05,2.802913e-05,2.794106e-05,2.786745e-05,2.781828e-05,2.770496e-05,2.769509e-05,2.757161e-05,2.754195e-05,2.744796e-05,2.737869e-05,2.732426e-05,2.721544e-05,2.720060e-05,2.707709e-05,2.705241e-05,2.695379e-05,2.688979e-05,2.683080e-05,2.672778e-05,2.670820e-05,2.658604e-05,2.656654e-05,2.646439e-05,2.640620e-05,2.634331e-05,2.624689e-05,2.622286e-05,2.610308e-05,2.608875e-05,2.598402e-05,2.593187e-05,2.586572e-05,2.577634e-05,2.574822e-05,2.563156e-05,2.562226e-05,2.551576e-05,2.546969e-05,2.540086e-05,2.531870e-05,2.528688e-05,2.517385e-05,2.516935e-05,2.506179e-05,2.502169e-05,2.495072e-05,2.487577e-05,2.484066e-05,2.473162e-05,2.458927e-05,2.444876e-05,2.431011e-05,2.417333e-05,2.403844e-05,2.390545e-05,2.377437e-05,2.364521e-05,2.351796e-05,2.339264e-05,2.326922e-05,2.314771e-05,2.302811e-05,2.291040e-05,2.279457e-05,2.268062e-05,2.256852e-05,2.245827e-05,2.234986e-05,2.224325e-05,2.213844e-05,2.203541e-05,2.193414e-05,2.183461e-05
0.000000e+00,4.082756e-11,2.096824e-10,2.081469e-09,8.548597e-09,1.581095e-08,5.558789e-08,5.806194e-08,1.477164e-07,1.838880e-07,3.037046e-07,4.371829e-07,5.454843e-07,8.614351e-07,8.937115e-07,1.369247e-06,1.504357e-06,1.988675e-06,2.400686e-06,2.756054e-06,3.541944e-06,3.655952e-06,4.655377e-06,4.863670e-06,5.714283e-06,6.275952e-06,6.796050e-06,7.701392e-06,7.872307e-06,8.922943e-06,9.087676e-06,9.934171e-06,1.040266e-05,1.089655e-05,1.162688e-05,1.180364e-05,1.265117e-05,1.274873e-05,1.343652e-05,1.376202e-05,1.415848e-05,1.466470e-05,1.481700e-05,1.541304e-05,1.545807e-05,1.594837e-05,1.614603e-05,1.642541e-05,1.673441e-05,1.684707e-05,1.721661e-05,1.723035e-05,1.753749e-05,1.764179e-05,1.781330e-05,1.797695e-05,1.804763e-05,1.824398e-05,1.840576e-05,1.845076e-05,1.853619e-05,1.860462e-05,1.863830e-05,1.871232e-05,1.871493e-05,1.876872e-05,1.878001e-05,1.880206e-05,1.881317e-05,1.881715e-05,1.881666e-05,1.881601e-05,1.880046e-05,1.879476e-05,1.877212e-05,1.875124e-05,1.873250e-05,1.868935e-05,1.868291e-05,1.862457e-05,1.861194e-05,1.855853e-05,1.852147e-05,1.848576e-05,1.842008e-05,1.840713e-05,1.832341e-05,1.830959e-05,1.823528e-05,1.819159e-05,1.814336e-05,1.806747e-05,1.804821e-05,1.795031e-05,1.793840e-05,1.785012e-05,1.780541e-05,1.774803e-05,1.766938e-05,1.764438e-05,1.753951e-05,1.753107e-05,1.743368e-05,1.739114e-05,1.732716e-05,1.725017e-05,1.722018e-05,1.711293e-05,1.710864e-05,1.700561e-05,1.696698e-05,1.689837e-05,1.682557e-05,1.679136e-05,1.668471e-05,1.657854e-05,1.654469e-05,1.647296e-05,1.640573e-05,1.636804e-05,1.626804e-05,1.626389e-05,1.616057e-05,1.613180e-05,1.605815e-05,1.599715e-05,1.595669e-05,1.586422e-05,1.585623e-05,1.575682e-05,1.573312e-05,1.565850e-05,1.560393e-05,1.556130e-05,1.547673e-05,1.546526e-05,1.537040e-05,1.535157e-05,1.527674e-05,1.522852e-05,1.518430e-05,1.510760e-05,1.509309e-05,1.500312e-05,1.498884e-05,1.491440e-05,1.487227e-05,1.482695e-05,1.475789e-05,1.474075e-05,1.465583e-05,1.464572e-05,1.457217e-05,1.453576e-05,1.448978e-05,1.442800e-05,1.440865e-05,1.432877e-05,1.432244e-05,1.425016e-05,1.421906e-05,1.417279e-05,1.411785e-05,1.409666e-05,1.402176e-05,1.401879e-05,1.394808e-05,1.392185e-05,1.387562e-05,1.382703e-05,1.380435e-05,1.373428e-05,1.364359e-05,1.355493e-05,1.346826e-05,1.338355e-05,1.330078e-05,1.321991e-05,1.314091e-05,1.306375e-05,1.298838e-05,1.291479e-05,1.284293e-05,1.277277e-05,1.270427e-05,1.263741e-05,1.257214e-05,1.250844e-05,1.244627e-05,1.238559e-05,1.232639e-05,1.226861e-05,1.221224e-05,1.215723e-05,1.210356e-05,1.205120e-05
0.000000e+00,4.640698e-13,3.024625e-12,4.797571e-11,2.930061e-10,6.656118e-10,3.826485e-09,4.072761e-09,1.596274e-08,2.215311e-08,4.733537e-08,8.262533e-08,1.160767e-07,2.345145e-07,2.481766e-07,4.783929e-07,5.528794e-07,8.498484e-07,1.137845e-06,1.412066e-06,2.106371e-06,2.217628e-06,3.318306e-06,3.578142e-06,4.761583e-06,5.661291e-06,6.588079e-06,8.442302e-06,8.829986e-06,1.151042e-05,1.198105e-05,1.464339e-05,1.630983e-05,1.823419e-05,2.143487e-05,2.228006e-05,2.677096e-05,2.733905e-05,3.169038e-05,3.398519e-05,3.701630e-05,4.131959e-05,4.272203e-05,4.877711e-05,4.927563e-05,5.514823e-05,5.777730e-05,6.180006e-05,6.674271e-05,6.869608e-05,7.579935e-05,7.608727e-05,8.307316e-05,8.572653e-05,9.048164e-05,9.557866e-05,9.799029e-05,1.055663e-04,1.131790e-04,1.156181e-04,1.207998e-04,1.256694e-04,1.284028e-04,1.356630e-04,1.359644e-04,1.434633e-04,1.455492e-04,1.508810e-04,1.552856e-04,1.582008e-04,1.648366e-04,1.654088e-04,1.724926e-04,1.741731e-04,1.794420e-04,1.832718e-04,1.862485e-04,1.921145e-04,1.929051e-04,1.994063e-04,2.006875e-04,2.057477e-04,2.089810e-04,2.119261e-04,2.169884e-04,2.179394e-04,2.237862e-04,2.247062e-04,2.294659e-04,2.321329e-04,2.349786e-04,2.392689e-04,2.403249e-04,2.455058e-04,2.461165e-04,2.505228e-04,2.526789e-04,2.553778e-04,2.589606e-04,2.600729e-04,2.646104e-04,2.649667e-04,2.689929e-04,2.707031e-04,2.732232e-04,2.761762e-04,2.773039e-04,2.812382e-04,2.813926e-04,2.850291e-04,2.863592e-04,2.886795e-04,2.910833e-04,2.921928e-04,2.955720e-04,2.988203e-04,2.998327e-04,3.019410e-04,3.038727e-04,3.049372e-04,3.076993e-04,3.078120e-04,3.105687e-04,3.113198e-04,3.132103e-04,3.147413e-04,3.157399e-04,3.179710e-04,3.181607e-04,3.204756e-04,3.210158e-04,3.226876e-04,3.238825e-04,3.247996e-04,3.265778e-04,3.268145e-04,3.287352e-04,3.291082e-04,3.305644e-04,3.314803e-04,3.323048e-04,3.337001e-04,3.339591e-04,3.355301e-04,3.357738e-04,3.370201e-04,3.377074e-04,3.384318e-04,3.395064e-04,3.397676e-04,3.410300e-04,3.411766e-04,3.422212e-04,3.427234e-04,3.433436e-04,3.441519e-04,3.443994e-04,3.453907e-04,3.454673e-04,3.463199e-04,3.466746e-04,3.471888e-04,3.477784e-04,3.479996e-04,3.487543e-04,3.487833e-04,3.494547e-04,3.496939e-04,3.501028e-04,3.505145e-04,3.507003e-04,3.512491e-04,3.519018e-04,3.524765e-04,3.529768e-04,3.534065e-04,3.537688e-04,3.540672e-04,3.543048e-04,3.544848e-04,3.546101e-04,3.546835e-04,3.547078e-04,3.546857e-04,3.546195e-04,3.545119e-04,3.543650e-04,3.541811e-04,3.539624e-04,3.537109e-04,3.534286e-04,3.531174e-04,3.527790e-04,3.524152e-04,3.520276e-04,3.516179e-04
0.000000e+00,9.048794e-10,2.104709e-09,7.318943e-09,1.664219e-08,2.421519e-08,5.426433e-08,5.586100e-08,1.059068e-07,1.236526e-07,1.774620e-07,2.318311e-07,2.731529e-07,3.843819e-07,3.951536e-07,5.451768e-07,5.854961e-07,7.244009e-07,8.377359e-07,9.333055e-07,1.141340e-06,1.171410e-06,1.437010e-06,1.493186e-06,1.727102e-06,1.886320e-06,2.037663e-06,2.311037e-06,2.364157e-06,2.702013e-06,2.756831e-06,3.046907e-06,3.213779e-06,3.394878e-06,3.673050e-06,3.742343e-06,4.086096e-06,4.126958e-06,4.423296e-06,4.568936e-06,4.751463e-06,4.993509e-06,5.068473e-06,5.372554e-06,5.396277e-06,5.662273e-06,5.773881e-06,5.936524e-06,6.123947e-06,6.194507e-06,6.435703e-06,6.444997e-06,6.659847e-06,6.736350e-06,6.866896e-06,6.997994e-06,7.057000e-06,7.230471e-06,7.387754e-06,7.434754e-06,7.529402e-06,7.612141e-06,7.656047e-06,7.764155e-06,7.768383e-06,7.867144e-06,7.892467e-06,7.953088e-06,7.998822e-06,8.026984e-06,8.084987e-06,8.089599e-06,8.141691e-06,8.152709e-06,8.183999e-06,8.203686e-06,8.217240e-06,8.239539e-06,8.242102e-06,8.259242e-06,8.261800e-06,8.269287e-06,8.271904e-06,8.272827e-06,8.271183e-06,8.270420e-06,8.262590e-06,8.260867e-06,8.249825e-06,8.242081e-06,8.232583e-06,8.215854e-06,8.211290e-06,8.186342e-06,8.183120e-06,8.158105e-06,8.144727e-06,8.126919e-06,8.101440e-06,8.093099e-06,8.056934e-06,8.053947e-06,8.018691e-06,8.002868e-06,7.978618e-06,7.948758e-06,7.936939e-06,7.893863e-06,7.892113e-06,7.849581e-06,7.833378e-06,7.804268e-06,7.772948e-06,7.758083e-06,7.711175e-06,7.663677e-06,7.648373e-06,7.615711e-06,7.584819e-06,7.567389e-06,7.520760e-06,7.518814e-06,7.470077e-06,7.456413e-06,7.421263e-06,7.391970e-06,7.372449e-06,7.327599e-06,7.323703e-06,7.275090e-06,7.263449e-06,7.226665e-06,7.199649e-06,7.178480e-06,7.136313e-06,7.130582e-06,7.083011e-06,7.073539e-06,7.035804e-06,7.011412e-06,6.988996e-06,6.950006e-06,6.942614e-06,6.896686e-06,6.889382e-06,6.851235e-06,6.829593e-06,6.806280e-06,6.770686e-06,6.761840e-06,6.717929e-06,6.712696e-06,6.674561e-06,6.655654e-06,6.631747e-06,6.599585e-06,6.589496e-06,6.547817e-06,6.544507e-06,6.506714e-06,6.490436e-06,6.466193e-06,6.437381e-06,6.426258e-06,6.386910e-06,6.385349e-06,6.348152e-06,6.334343e-06,6.309982e-06,6.284363e-06,6.272401e-06,6.235408e-06,6.187473e-06,6.140551e-06,6.094634e-06,6.049712e-06,6.005776e-06,5.962811e-06,5.920806e-06,5.879746e-06,5.839617e-06,5.800404e-06,5.762091e-06,5.724663e-06,5.688102e-06,5.652392e-06,5.617518e-06,5.583461e-06,5.550205e-06,5.517733e-06,5.486030e-06,5.455077e-06,5.424858e-06,5.395358e-06,5.366559e-06,5.338445e-06
0.000000e+00,8.239653e-14,5.515173e-13,9.245730e-12,5.939124e-11,1.387043e-10,8.562085e-10,9.139421e-10,3.840278e-09,5.429834e-09,1.215041e-08,2.199727e-08,3.163229e-08,6.723132e-08,7.144922e-08,1.448908e-07,1.694181e-07,2.700106e-07,3.711074e-07,4.700947e-07,7.308574e-07,7.738613e-07,1.215251e-06,1.323359e-06,1.832694e-06,2.237090e-06,2.667864e-06,3.569318e-06,3.764034e-06,5.164230e-06,5.419256e-06,6.909403e-06,7.880727e-06,9.036751e-06,1.103553e-05,1.157832e-05,1.455991e-05,1.494824e-05,1.800034e-05,1.966269e-05,2.191099e-05,2.520021e-05,2.629571e-05,3.115089e-05,3.155936e-05,3.646583e-05,3.871687e-05,4.222320e-05,4.662957e-05,4.839967e-05,5.496668e-05,5.523702e-05,6.189116e-05,6.446451e-05,6.913641e-05,7.422632e-05,7.666290e-05,8.442908e-05,9.239216e-05,9.497487e-05,1.005089e-04,1.057643e-04,1.087361e-04,1.166989e-04,1.170316e-04,1.253542e-04,1.276840e-04,1.336647e-04,1.386296e-04,1.419259e-04,1.494530e-04,1.501033e-04,1.581646e-04,1.600788e-04,1.660808e-04,1.704405e-04,1.738254e-04,1.804800e-04,1.813750e-04,1.887091e-04,1.901485e-04,1.958102e-04,1.994057e-04,2.026635e-04,2.082197e-04,2.092567e-04,2.155803e-04,2.165665e-04,2.216268e-04,2.244293e-04,2.273914e-04,2.317978e-04,2.328708e-04,2.380637e-04,2.386677e-04,2.429707e-04,2.450397e-04,2.475936e-04,2.509189e-04,2.519355e-04,2.560007e-04,2.563141e-04,2.597945e-04,2.612374e-04,2.633231e-04,2.657031e-04,2.665931e-04,2.696121e-04,2.697278e-04,2.723879e-04,2.733292e-04,2.749287e-04,2.765265e-04,2.772429e-04,2.793393e-04,2.812265e-04,2.817877e-04,2.829135e-04,2.838921e-04,2.844089e-04,2.856725e-04,2.857216e-04,2.868601e-04,2.871489e-04,2.878330e-04,2.883407e-04,2.886486e-04,2.892669e-04,2.893149e-04,2.898400e-04,2.899459e-04,2.902315e-04,2.903951e-04,2.904968e-04,2.906317e-04,2.906432e-04,2.906775e-04,2.906716e-04,2.906066e-04,2.905302e-04,2.904367e-04,2.902221e-04,2.901741e-04,2.898246e-04,2.897610e-04,2.893938e-04,2.891598e-04,2.888873e-04,2.884309e-04,2.883101e-04,2.876671e-04,2.875858e-04,2.869631e-04,2.866351e-04,2.862024e-04,2.855891e-04,2.853894e-04,2.845280e-04,2.844571e-04,2.836220e-04,2.832480e-04,2.826751e-04,2.819700e-04,2.816907e-04,2.806721e-04,2.806307e-04,2.796222e-04,2.792372e-04,2.785441e-04,2.777962e-04,2.774404e-04,2.763138e-04,2.747957e-04,2.732471e-04,2.716730e-04,2.700776e-04,2.684654e-04,2.668399e-04,2.652048e-04,2.635632e-04,2.619182e-04,2.602724e-04,2.586283e-04,2.569881e-04,2.553540e-04,2.537277e-04,2.521110e-04,2.505055e-04,2.489124e-04,2.473332e-04,2.457687e-04,2.442202e-04,2.426884e-04,2.411741e-04,2.396780e-04,2.382008e-04
0.000000e+00,1.588610e-09,4.713752e-09,2.130580e-08,5.501081e-08,8.411912e-08,2.074230e-07,2.142237e-07,4.362727e-07,5.184848e-07,7.768915e-07,1.050137e-06,1.264854e-06,1.866745e-06,1.926490e-06,2.773656e-06,3.003803e-06,3.795813e-06,4.436074e-06,4.969738e-06,6.109969e-06,6.272422e-06,7.684590e-06,7.978658e-06,9.189420e-06,1.000327e-05,1.077105e-05,1.214757e-05,1.241390e-05,1.410256e-05,1.437599e-05,1.582202e-05,1.665407e-05,1.755797e-05,1.894960e-05,1.929707e-05,2.102727e-05,2.123377e-05,2.273786e-05,2.348188e-05,2.441963e-05,2.567366e-05,2.606480e-05,2.766699e-05,2.779315e-05,2.922114e-05,2.982843e-05,3.072332e-05,3.177106e-05,3.217066e-05,3.356119e-05,3.361561e-05,3.489369e-05,3.535906e-05,3.616760e-05,3.700036e-05,3.738289e-05,3.853995e-05,3.963953e-05,3.997942e-05,4.068266e-05,4.132118e-05,4.167055e-05,4.256825e-05,4.260460e-05,4.348634e-05,4.372407e-05,4.431737e-05,4.479233e-05,4.509934e-05,4.577688e-05,4.583395e-05,4.652290e-05,4.668165e-05,4.716792e-05,4.751057e-05,4.777070e-05,4.826754e-05,4.833292e-05,4.885624e-05,4.895637e-05,4.934226e-05,4.958078e-05,4.979257e-05,5.014436e-05,5.020871e-05,5.059218e-05,5.065060e-05,5.094443e-05,5.110284e-05,5.126687e-05,5.150427e-05,5.156085e-05,5.182770e-05,5.185796e-05,5.206869e-05,5.216684e-05,5.228503e-05,5.243370e-05,5.247791e-05,5.264847e-05,5.266119e-05,5.279780e-05,5.285183e-05,5.292695e-05,5.300801e-05,5.303692e-05,5.312870e-05,5.313200e-05,5.320320e-05,5.322596e-05,5.326131e-05,5.329192e-05,5.330391e-05,5.333179e-05,5.334576e-05,5.334741e-05,5.334656e-05,5.334049e-05,5.333491e-05,5.331265e-05,5.331150e-05,5.327699e-05,5.326543e-05,5.323201e-05,5.320025e-05,5.317716e-05,5.311848e-05,5.311302e-05,5.304014e-05,5.302141e-05,5.295904e-05,5.291023e-05,5.287023e-05,5.278607e-05,5.277418e-05,5.267135e-05,5.265001e-05,5.256218e-05,5.250304e-05,5.244708e-05,5.234610e-05,5.232645e-05,5.220067e-05,5.218009e-05,5.207009e-05,5.200581e-05,5.193507e-05,5.182407e-05,5.179592e-05,5.165296e-05,5.163557e-05,5.150649e-05,5.144100e-05,5.135679e-05,5.124102e-05,5.120412e-05,5.104874e-05,5.103620e-05,5.089089e-05,5.082712e-05,5.073081e-05,5.061429e-05,5.056871e-05,5.040480e-05,5.039821e-05,5.023928e-05,5.017933e-05,5.007234e-05,4.995809e-05,4.990414e-05,4.973487e-05,4.951006e-05,4.928398e-05,4.905698e-05,4.882934e-05,4.860135e-05,4.837326e-05,4.814530e-05,4.791772e-05,4.769070e-05,4.746443e-05,4.723910e-05,4.701487e-05,4.679187e-05,4.657025e-05,4.635013e-05,4.613163e-05,4.591485e-05,4.569989e-05,4.548682e-05,4.527574e-05,4.506670e-05,4.485978e-05,4.465502e-05,4.445248e-05
0.000000e+00,1.164495e-09,2.970755e-09,1.143414e-08,2.737476e-08,4.066918e-08,9.494201e-08,9.787233e-08,1.912214e-07,2.248610e-07,3.280970e-07,4.338892e-07,5.150870e-07,7.363499e-07,7.579565e-07,1.061563e-06,1.143912e-06,1.429680e-06,1.664959e-06,1.864682e-06,2.303262e-06,2.367069e-06,2.935027e-06,3.056155e-06,3.564362e-06,3.913923e-06,4.249054e-06,4.861855e-06,4.982088e-06,5.756152e-06,5.883323e-06,6.563992e-06,6.961676e-06,7.398571e-06,8.080941e-06,8.253142e-06,9.121304e-06,9.226108e-06,9.997061e-06,1.038335e-05,1.087486e-05,1.154024e-05,1.174966e-05,1.261693e-05,1.268587e-05,1.347267e-05,1.381095e-05,1.431343e-05,1.490782e-05,1.513625e-05,1.593868e-05,1.597032e-05,1.671872e-05,1.699373e-05,1.747477e-05,1.797455e-05,1.820563e-05,1.891041e-05,1.958852e-05,1.979982e-05,2.023963e-05,2.064210e-05,2.086360e-05,2.143715e-05,2.146051e-05,2.203057e-05,2.218542e-05,2.257412e-05,2.288770e-05,2.309160e-05,2.354511e-05,2.358354e-05,2.405055e-05,2.415899e-05,2.449326e-05,2.473082e-05,2.491237e-05,2.526222e-05,2.530858e-05,2.568262e-05,2.575484e-05,2.603525e-05,2.621040e-05,2.636720e-05,2.663061e-05,2.667923e-05,2.697207e-05,2.701719e-05,2.724646e-05,2.737183e-05,2.750313e-05,2.769617e-05,2.774277e-05,2.796610e-05,2.799184e-05,2.817379e-05,2.826038e-05,2.836649e-05,2.850332e-05,2.854486e-05,2.870951e-05,2.872211e-05,2.886106e-05,2.891815e-05,2.900010e-05,2.909277e-05,2.912718e-05,2.924286e-05,2.924725e-05,2.934766e-05,2.938283e-05,2.944211e-05,2.950067e-05,2.952669e-05,2.960189e-05,2.966815e-05,2.968753e-05,2.972591e-05,2.975862e-05,2.977561e-05,2.981611e-05,2.981765e-05,2.985241e-05,2.986090e-05,2.988028e-05,2.989385e-05,2.990162e-05,2.991578e-05,2.991677e-05,2.992607e-05,2.992746e-05,2.992983e-05,2.992963e-05,2.992835e-05,2.992296e-05,2.992194e-05,2.991087e-05,2.990812e-05,2.989541e-05,2.988572e-05,2.987581e-05,2.985633e-05,2.985232e-05,2.982518e-05,2.982052e-05,2.979461e-05,2.977879e-05,2.976083e-05,2.973163e-05,2.972404e-05,2.968443e-05,2.967950e-05,2.964220e-05,2.962283e-05,2.959752e-05,2.956203e-05,2.955056e-05,2.950149e-05,2.949748e-05,2.945046e-05,2.942953e-05,2.939762e-05,2.935853e-05,2.934310e-05,2.928705e-05,2.928478e-05,2.922959e-05,2.920858e-05,2.917084e-05,2.913021e-05,2.911092e-05,2.904993e-05,2.896799e-05,2.888460e-05,2.879998e-05,2.871432e-05,2.862782e-05,2.854064e-05,2.845295e-05,2.836489e-05,2.827660e-05,2.818821e-05,2.809983e-05,2.801159e-05,2.792357e-05,2.783588e-05,2.774859e-05,2.766180e-05,2.757556e-05,2.748996e-05,2.740504e-05,2.732088e-05,2.723750e-05,2.715497e-05,2.707333e-05,2.699261e-05
0.000000e+00,2.693224e-14,1.789529e-13,2.953964e-12,1.870386e-11,4.333237e-11,2.619007e-10,2.793177e-10,1.148788e-09,1.614759e-09,3.559965e-09,6.367360e-09,9.084031e-09,1.896769e-08,2.012726e-08,4.007134e-08,4.665411e-08,7.337572e-08,9.989910e-08,1.256300e-07,1.925803e-07,2.035275e-07,3.147163e-07,3.416727e-07,4.674972e-07,5.662117e-07,6.703800e-07,8.855338e-07,9.315553e-07,1.258366e-06,1.317172e-06,1.656847e-06,1.874933e-06,2.131384e-06,2.567539e-06,2.684506e-06,3.316805e-06,3.397959e-06,4.026981e-06,4.363401e-06,4.811973e-06,5.455801e-06,5.667143e-06,6.586516e-06,6.662635e-06,7.563034e-06,7.967897e-06,8.588811e-06,9.353141e-06,9.655393e-06,1.075399e-05,1.079847e-05,1.187570e-05,1.228346e-05,1.301169e-05,1.378794e-05,1.415341e-05,1.529266e-05,1.642180e-05,1.677981e-05,1.753374e-05,1.823338e-05,1.862210e-05,1.963945e-05,1.968119e-05,2.070607e-05,2.098631e-05,2.169254e-05,2.226452e-05,2.263714e-05,2.346682e-05,2.353713e-05,2.439041e-05,2.458808e-05,2.519557e-05,2.562509e-05,2.595173e-05,2.657636e-05,2.665858e-05,2.731626e-05,2.744194e-05,2.792535e-05,2.822316e-05,2.848676e-05,2.892239e-05,2.900172e-05,2.947172e-05,2.954286e-05,2.989844e-05,3.008842e-05,3.028370e-05,3.056337e-05,3.062946e-05,3.093776e-05,3.097233e-05,3.121064e-05,3.132003e-05,3.145020e-05,3.161125e-05,3.165851e-05,3.183759e-05,3.185072e-05,3.198945e-05,3.204301e-05,3.211602e-05,3.219254e-05,3.221915e-05,3.230063e-05,3.230346e-05,3.236213e-05,3.237970e-05,3.240527e-05,3.242489e-05,3.243155e-05,3.244238e-05,3.243910e-05,3.243527e-05,3.242294e-05,3.240637e-05,3.239505e-05,3.235824e-05,3.235650e-05,3.230828e-05,3.229317e-05,3.225130e-05,3.221326e-05,3.218640e-05,3.212036e-05,3.211436e-05,3.203588e-05,3.201617e-05,3.195163e-05,3.190215e-05,3.186220e-05,3.177966e-05,3.176815e-05,3.166997e-05,3.164988e-05,3.156813e-05,3.151387e-05,3.146305e-05,3.137255e-05,3.135511e-05,3.124466e-05,3.122678e-05,3.113204e-05,3.107729e-05,3.101752e-05,3.092474e-05,3.090139e-05,3.078389e-05,3.076971e-05,3.066525e-05,3.061273e-05,3.054566e-05,3.045427e-05,3.042533e-05,3.030441e-05,3.029472e-05,3.018307e-05,3.013445e-05,3.006146e-05,2.997380e-05,2.993970e-05,2.981792e-05,2.981305e-05,2.969622e-05,2.965245e-05,2.957472e-05,2.949225e-05,2.945349e-05,2.933263e-05,2.917379e-05,2.901589e-05,2.885907e-05,2.870345e-05,2.854916e-05,2.839630e-05,2.824494e-05,2.809518e-05,2.794708e-05,2.780069e-05,2.765608e-05,2.751329e-05,2.737235e-05,2.723330e-05,2.709617e-05,2.696097e-05,2.682774e-05,2.669647e-05,2.656718e-05,2.643987e-05,2.631456e-05,2.619124e-05,2.606990e-05,2.595055e-05
0.000000e+00,7.612243e-10,1.933054e-09,7.389671e-09,1.760768e-08,2.610000e-08,6.064256e-08,6.250434e-08,1.217605e-07,1.431136e-07,2.087187e-07,2.761192e-07,3.279823e-07,4.698020e-07,4.836778e-07,6.786366e-07,7.313757e-07,9.132851e-07,1.061316e-06,1.185528e-06,1.453442e-06,1.491878e-06,1.828481e-06,1.899092e-06,2.191469e-06,2.389362e-06,2.576953e-06,2.915256e-06,2.980982e-06,3.399548e-06,3.467598e-06,3.828633e-06,4.037167e-06,4.264290e-06,4.614989e-06,4.702723e-06,5.140370e-06,5.192677e-06,5.573964e-06,5.762695e-06,6.000581e-06,6.318560e-06,6.417670e-06,6.823058e-06,6.854928e-06,7.214954e-06,7.367602e-06,7.591926e-06,7.853479e-06,7.952880e-06,8.297029e-06,8.310437e-06,8.623857e-06,8.737216e-06,8.933090e-06,9.133274e-06,9.224657e-06,9.498659e-06,9.755340e-06,9.833876e-06,9.995061e-06,1.013979e-05,1.021827e-05,1.041750e-05,1.042549e-05,1.061730e-05,1.066832e-05,1.079429e-05,1.089364e-05,1.095711e-05,1.109494e-05,1.110640e-05,1.124280e-05,1.127370e-05,1.136698e-05,1.143141e-05,1.147955e-05,1.156953e-05,1.158116e-05,1.167240e-05,1.168946e-05,1.175387e-05,1.179256e-05,1.182613e-05,1.188013e-05,1.188974e-05,1.194522e-05,1.195338e-05,1.199307e-05,1.201347e-05,1.203377e-05,1.206149e-05,1.206778e-05,1.209552e-05,1.209845e-05,1.211741e-05,1.212528e-05,1.213383e-05,1.214289e-05,1.214516e-05,1.215175e-05,1.215209e-05,1.215393e-05,1.215363e-05,1.215200e-05,1.214824e-05,1.214626e-05,1.213700e-05,1.213656e-05,1.212446e-05,1.211919e-05,1.210890e-05,1.209671e-05,1.209055e-05,1.206963e-05,1.204634e-05,1.203842e-05,1.202088e-05,1.200353e-05,1.199342e-05,1.196535e-05,1.196415e-05,1.193321e-05,1.192427e-05,1.190076e-05,1.188063e-05,1.186694e-05,1.183473e-05,1.183189e-05,1.179572e-05,1.178688e-05,1.175855e-05,1.173734e-05,1.172050e-05,1.168635e-05,1.168165e-05,1.164212e-05,1.163414e-05,1.160198e-05,1.158090e-05,1.156133e-05,1.152683e-05,1.152023e-05,1.147877e-05,1.147210e-05,1.143700e-05,1.141686e-05,1.139500e-05,1.136126e-05,1.135281e-05,1.131051e-05,1.130542e-05,1.126813e-05,1.124947e-05,1.122572e-05,1.119350e-05,1.118334e-05,1.114101e-05,1.113762e-05,1.109878e-05,1.108192e-05,1.105668e-05,1.102647e-05,1.101474e-05,1.097300e-05,1.097134e-05,1.093148e-05,1.091660e-05,1.089021e-05,1.086230e-05,1.084921e-05,1.080850e-05,1.075525e-05,1.070257e-05,1.065051e-05,1.059911e-05,1.054838e-05,1.049835e-05,1.044904e-05,1.040047e-05,1.035265e-05,1.030560e-05,1.025932e-05,1.021382e-05,1.016911e-05,1.012519e-05,1.008205e-05,1.003971e-05,9.998160e-06,9.957396e-06,9.917418e-06,9.878219e-06,9.839795e-06,9.802139e-06,9.765246e-06,9.729107e-06
0.000000e+00,2.271742e-09,5.292106e-09,1.848478e-08,4.227979e-08,6.177735e-08,1.405104e-07,1.447528e-07,2.806168e-07,3.301001e-07,4.840855e-07,6.451633e-07,7.707276e-07,1.118108e-06,1.152215e-06,1.628918e-06,1.756395e-06,2.189684e-06,2.534851e-06,2.819666e-06,3.420800e-06,3.505711e-06,4.237039e-06,4.387906e-06,5.004378e-06,5.414777e-06,5.799197e-06,6.482098e-06,6.613328e-06,7.438877e-06,7.571514e-06,8.268279e-06,8.665654e-06,9.094430e-06,9.748613e-06,9.910822e-06,1.071166e-05,1.080647e-05,1.149193e-05,1.182761e-05,1.224740e-05,1.280286e-05,1.297469e-05,1.367116e-05,1.372549e-05,1.433492e-05,1.459096e-05,1.496471e-05,1.539672e-05,1.555984e-05,1.612012e-05,1.614180e-05,1.664574e-05,1.682658e-05,1.713726e-05,1.745241e-05,1.759548e-05,1.802141e-05,1.841621e-05,1.853617e-05,1.878114e-05,1.899965e-05,1.911756e-05,1.941497e-05,1.942684e-05,1.971036e-05,1.978533e-05,1.996953e-05,2.011391e-05,2.020570e-05,2.040382e-05,2.042021e-05,2.061435e-05,2.065806e-05,2.078937e-05,2.087946e-05,2.094644e-05,2.107072e-05,2.108670e-05,2.121125e-05,2.123436e-05,2.132109e-05,2.137272e-05,2.141720e-05,2.148798e-05,2.150048e-05,2.157181e-05,2.158217e-05,2.163200e-05,2.165715e-05,2.168179e-05,2.171464e-05,2.172192e-05,2.175306e-05,2.175622e-05,2.177583e-05,2.178335e-05,2.179082e-05,2.179736e-05,2.179859e-05,2.179966e-05,2.179948e-05,2.179452e-05,2.179083e-05,2.178362e-05,2.177244e-05,2.176738e-05,2.174620e-05,2.174526e-05,2.172046e-05,2.171015e-05,2.169051e-05,2.166790e-05,2.165667e-05,2.161924e-05,2.157852e-05,2.156484e-05,2.153477e-05,2.150529e-05,2.148823e-05,2.144116e-05,2.143915e-05,2.138774e-05,2.137296e-05,2.133421e-05,2.130115e-05,2.127875e-05,2.122617e-05,2.122153e-05,2.116272e-05,2.114839e-05,2.110249e-05,2.106819e-05,2.104097e-05,2.098588e-05,2.097830e-05,2.091462e-05,2.090177e-05,2.085004e-05,2.081613e-05,2.078466e-05,2.072922e-05,2.071861e-05,2.065197e-05,2.064126e-05,2.058484e-05,2.055246e-05,2.051729e-05,2.046302e-05,2.044942e-05,2.038129e-05,2.037310e-05,2.031297e-05,2.028287e-05,2.024454e-05,2.019248e-05,2.017604e-05,2.010754e-05,2.010206e-05,2.003908e-05,2.001173e-05,1.997072e-05,1.992159e-05,1.990251e-05,1.983448e-05,1.983176e-05,1.976667e-05,1.974232e-05,1.969912e-05,1.965335e-05,1.963186e-05,1.956493e-05,1.947713e-05,1.939001e-05,1.930362e-05,1.921801e-05,1.913323e-05,1.904932e-05,1.896631e-05,1.888423e-05,1.880311e-05,1.872297e-05,1.864384e-05,1.856573e-05,1.848865e-05,1.841263e-05,1.833766e-05,1.826376e-05,1.819094e-05,1.811919e-05,1.804852e-05,1.797894e-05,1.791043e-05,1.784301e-05,1.777666e-05,1.771139e-05
0.000000e+00,1.136609e-09,2.602883e-09,8.961791e-09,2.046924e-08,2.997893e-08,6.921450e-08,7.136684e-08,1.422600e-07,1.689656e-07,2.546274e-07,3.474003e-07,4.210982e-07,6.268040e-07,6.469613e-07,9.257844e-07,9.993735e-07,1.246990e-06,1.442199e-06,1.602409e-06,1.939251e-06,1.986773e-06,2.396455e-06,2.481164e-06,2.828495e-06,3.061059e-06,3.280077e-06,3.672384e-06,3.748292e-06,4.230063e-06,4.308192e-06,4.722175e-06,4.961093e-06,5.221327e-06,5.623499e-06,5.724222e-06,6.227648e-06,6.287948e-06,6.728558e-06,6.947424e-06,7.224128e-06,7.595611e-06,7.711811e-06,8.189366e-06,8.227072e-06,8.654862e-06,8.837311e-06,9.106685e-06,9.422790e-06,9.543536e-06,9.964413e-06,9.980905e-06,1.036858e-05,1.050989e-05,1.075554e-05,1.100871e-05,1.112503e-05,1.147696e-05,1.181140e-05,1.191476e-05,1.212855e-05,1.232260e-05,1.242873e-05,1.270131e-05,1.271234e-05,1.297985e-05,1.305193e-05,1.323177e-05,1.337568e-05,1.346867e-05,1.367384e-05,1.369112e-05,1.389971e-05,1.394778e-05,1.409506e-05,1.419888e-05,1.427774e-05,1.442851e-05,1.444836e-05,1.460750e-05,1.463800e-05,1.475572e-05,1.482866e-05,1.489357e-05,1.500173e-05,1.502156e-05,1.514022e-05,1.515837e-05,1.525003e-05,1.529972e-05,1.535144e-05,1.542684e-05,1.544492e-05,1.553087e-05,1.554070e-05,1.560971e-05,1.564225e-05,1.568182e-05,1.573234e-05,1.574756e-05,1.580727e-05,1.581179e-05,1.586128e-05,1.588136e-05,1.590991e-05,1.594175e-05,1.595344e-05,1.599215e-05,1.599361e-05,1.602631e-05,1.603754e-05,1.605617e-05,1.607413e-05,1.608195e-05,1.610388e-05,1.612218e-05,1.612730e-05,1.613703e-05,1.614482e-05,1.614864e-05,1.615688e-05,1.615717e-05,1.616279e-05,1.616387e-05,1.616567e-05,1.616614e-05,1.616596e-05,1.616405e-05,1.616379e-05,1.615930e-05,1.615790e-05,1.615263e-05,1.614798e-05,1.614389e-05,1.613458e-05,1.613320e-05,1.612066e-05,1.611794e-05,1.610638e-05,1.609830e-05,1.609046e-05,1.607588e-05,1.607298e-05,1.605405e-05,1.605089e-05,1.603373e-05,1.602351e-05,1.601212e-05,1.599394e-05,1.598928e-05,1.596528e-05,1.596233e-05,1.594020e-05,1.592884e-05,1.591410e-05,1.589362e-05,1.588704e-05,1.585908e-05,1.585681e-05,1.583027e-05,1.581852e-05,1.580066e-05,1.577889e-05,1.577032e-05,1.573927e-05,1.573801e-05,1.570757e-05,1.569601e-05,1.567526e-05,1.565297e-05,1.564239e-05,1.560899e-05,1.556415e-05,1.551853e-05,1.547222e-05,1.542527e-05,1.537776e-05,1.532976e-05,1.528131e-05,1.523248e-05,1.518331e-05,1.513386e-05,1.508416e-05,1.503427e-05,1.498423e-05,1.493407e-05,1.488382e-05,1.483353e-05,1.478322e-05,1.473293e-05,1.468267e-05,1.463248e-05,1.458238e-05,1.453239e-05,1.448254e-05,1.443285e-05
0.000000e+00,1.031258e-11,6.185643e-11,8.282911e-10,4.350822e-09,9.112899e-09,4.271238e-08,4.509331e-08,1.456025e-07,1.920006e-07,3.619137e-07,5.726914e-07,7.559189e-07,1.334912e-06,1.397025e-06,2.359576e-06,2.646816e-06,3.718254e-06,4.677412e-06,5.538956e-06,7.560297e-06,7.867390e-06,1.072203e-05,1.135581e-05,1.409506e-05,1.604533e-05,1.795896e-05,2.155527e-05,2.227420e-05,2.699509e-05,2.778487e-05,3.207339e-05,3.462352e-05,3.746003e-05,4.195844e-05,4.310606e-05,4.896309e-05,4.967786e-05,5.498391e-05,5.767315e-05,6.112299e-05,6.584109e-05,6.733711e-05,7.358593e-05,7.408620e-05,7.983241e-05,8.232272e-05,8.604310e-05,9.047586e-05,9.218837e-05,9.824237e-05,9.848231e-05,1.041830e-04,1.062902e-04,1.099916e-04,1.138582e-04,1.156530e-04,1.211548e-04,1.264876e-04,1.281571e-04,1.316440e-04,1.348491e-04,1.366190e-04,1.412211e-04,1.414092e-04,1.460128e-04,1.472683e-04,1.504294e-04,1.529897e-04,1.546594e-04,1.583876e-04,1.587044e-04,1.625666e-04,1.634666e-04,1.662488e-04,1.682334e-04,1.697543e-04,1.726958e-04,1.730867e-04,1.762500e-04,1.768627e-04,1.792484e-04,1.807438e-04,1.820861e-04,1.843490e-04,1.847678e-04,1.872979e-04,1.876889e-04,1.896809e-04,1.907739e-04,1.919215e-04,1.936146e-04,1.940244e-04,1.959939e-04,1.962215e-04,1.978347e-04,1.986050e-04,1.995513e-04,2.007754e-04,2.011479e-04,2.026290e-04,2.027426e-04,2.039988e-04,2.045164e-04,2.052614e-04,2.061064e-04,2.064209e-04,2.074813e-04,2.075217e-04,2.084464e-04,2.087713e-04,2.093201e-04,2.098639e-04,2.101060e-04,2.108077e-04,2.114286e-04,2.116108e-04,2.119722e-04,2.122810e-04,2.124417e-04,2.128256e-04,2.128402e-04,2.131709e-04,2.132518e-04,2.134368e-04,2.135664e-04,2.136407e-04,2.137760e-04,2.137855e-04,2.138738e-04,2.138868e-04,2.139082e-04,2.139049e-04,2.138913e-04,2.138359e-04,2.138255e-04,2.137132e-04,2.136853e-04,2.135566e-04,2.134583e-04,2.133579e-04,2.131600e-04,2.131192e-04,2.128426e-04,2.127950e-04,2.125300e-04,2.123678e-04,2.121834e-04,2.118827e-04,2.118044e-04,2.113950e-04,2.113439e-04,2.109567e-04,2.107551e-04,2.104912e-04,2.101201e-04,2.100000e-04,2.094847e-04,2.094424e-04,2.089466e-04,2.087253e-04,2.083872e-04,2.079719e-04,2.078077e-04,2.072095e-04,2.071852e-04,2.065938e-04,2.063680e-04,2.059617e-04,2.055231e-04,2.053143e-04,2.046528e-04,2.037597e-04,2.028460e-04,2.019137e-04,2.009650e-04,2.000017e-04,1.990256e-04,1.980384e-04,1.970416e-04,1.960368e-04,1.950254e-04,1.940086e-04,1.929878e-04,1.919640e-04,1.909383e-04,1.899119e-04,1.888855e-04,1.878602e-04,1.868367e-04,1.858157e-04,1.847981e-04,1.837845e-04,1.827754e-04,1.817716e-04,1.807734e-04
0.000000e+00,6.941534e-10,2.014592e-09,8.881359e-09,2.264891e-08,3.446508e-08,8.420065e-08,8.693445e-08,1.759015e-07,2.087414e-07,3.117745e-07,4.205971e-07,5.061571e-07,7.471113e-07,7.711722e-07,1.116442e-06,1.211719e-06,1.544456e-06,1.818336e-06,2.049340e-06,2.549181e-06,2.620950e-06,3.249185e-06,3.380847e-06,3.925482e-06,4.293710e-06,4.642599e-06,5.271774e-06,5.394060e-06,6.173729e-06,6.300692e-06,6.975598e-06,7.366630e-06,7.793712e-06,8.455949e-06,8.622198e-06,9.455335e-06,9.555361e-06,1.028765e-05,1.065227e-05,1.111399e-05,1.173508e-05,1.192961e-05,1.273026e-05,1.279355e-05,1.351219e-05,1.381898e-05,1.427217e-05,1.480423e-05,1.500750e-05,1.571599e-05,1.574374e-05,1.639593e-05,1.663346e-05,1.704606e-05,1.747067e-05,1.766552e-05,1.825381e-05,1.881074e-05,1.898235e-05,1.933641e-05,1.965656e-05,1.983112e-05,2.027739e-05,2.029538e-05,2.072987e-05,2.084629e-05,2.113536e-05,2.136511e-05,2.151275e-05,2.183594e-05,2.186298e-05,2.218708e-05,2.226109e-05,2.248608e-05,2.264295e-05,2.276104e-05,2.298397e-05,2.301304e-05,2.324313e-05,2.328661e-05,2.345238e-05,2.355329e-05,2.364181e-05,2.378637e-05,2.381244e-05,2.396526e-05,2.398812e-05,2.410121e-05,2.416074e-05,2.422121e-05,2.430633e-05,2.432616e-05,2.441690e-05,2.442687e-05,2.449424e-05,2.452424e-05,2.455898e-05,2.460021e-05,2.461185e-05,2.465357e-05,2.465645e-05,2.468482e-05,2.469453e-05,2.470624e-05,2.471593e-05,2.471845e-05,2.472203e-05,2.472200e-05,2.471754e-05,2.471404e-05,2.470549e-05,2.469324e-05,2.468639e-05,2.466072e-05,2.462891e-05,2.461751e-05,2.459140e-05,2.456458e-05,2.454858e-05,2.450283e-05,2.450083e-05,2.444851e-05,2.443309e-05,2.439196e-05,2.435614e-05,2.433151e-05,2.427269e-05,2.426744e-05,2.420005e-05,2.418341e-05,2.412960e-05,2.408892e-05,2.405636e-05,2.398978e-05,2.398056e-05,2.390242e-05,2.388653e-05,2.382216e-05,2.377966e-05,2.373998e-05,2.366961e-05,2.365608e-05,2.357061e-05,2.355681e-05,2.348376e-05,2.344163e-05,2.339569e-05,2.332444e-05,2.330653e-05,2.321643e-05,2.320556e-05,2.312552e-05,2.308529e-05,2.303392e-05,2.296392e-05,2.294175e-05,2.284912e-05,2.284169e-05,2.275612e-05,2.271884e-05,2.266286e-05,2.259559e-05,2.256941e-05,2.247587e-05,2.247213e-05,2.238232e-05,2.234865e-05,2.228882e-05,2.222530e-05,2.219544e-05,2.210225e-05,2.197962e-05,2.185754e-05,2.173614e-05,2.161550e-05,2.149573e-05,2.137690e-05,2.125910e-05,2.114239e-05,2.102684e-05,2.091249e-05,2.079939e-05,2.068760e-05,2.057714e-05,2.046804e-05,2.036034e-05,2.025406e-05,2.014921e-05,2.004582e-05,1.994389e-05,1.984344e-05,1.974448e-05,1.964700e-05,1.955101e-05,1.945651e-05
0.000000e+00,8.428290e-10,1.928196e-09,6.603333e-09,1.494381e-08,2.172850e-08,4.879741e-08,5.024267e-08,9.589052e-08,1.122326e-07,1.622518e-07,2.134582e-07,2.527927e-07,3.602944e-07,3.708216e-07,5.193214e-07,5.597750e-07,7.006339e-07,8.170215e-07,9.159861e-07,1.133330e-06,1.164906e-06,1.444727e-06,1.504002e-06,1.750542e-06,1.917716e-06,2.075861e-06,2.359117e-06,2.413750e-06,2.757837e-06,2.813095e-06,3.102810e-06,3.267440e-06,3.444470e-06,3.713206e-06,3.779573e-06,4.105628e-06,4.144051e-06,4.420737e-06,4.555534e-06,4.723468e-06,4.944608e-06,5.012774e-06,5.287926e-06,5.309311e-06,5.548468e-06,5.648536e-06,5.794171e-06,5.961863e-06,6.025000e-06,6.241078e-06,6.249417e-06,6.442659e-06,6.511745e-06,6.630099e-06,6.749701e-06,6.803835e-06,6.964363e-06,7.112221e-06,7.156951e-06,7.247974e-06,7.328771e-06,7.372202e-06,7.481163e-06,7.485491e-06,7.588424e-06,7.615468e-06,7.681574e-06,7.733002e-06,7.765500e-06,7.835033e-06,7.840746e-06,7.907833e-06,7.922776e-06,7.967262e-06,7.997377e-06,8.019513e-06,8.059917e-06,8.065040e-06,8.104277e-06,8.111405e-06,8.137632e-06,8.152782e-06,8.165493e-06,8.184919e-06,8.188226e-06,8.206175e-06,8.208625e-06,8.219664e-06,8.224645e-06,8.228999e-06,8.233670e-06,8.234467e-06,8.236338e-06,8.236333e-06,8.234863e-06,8.233217e-06,8.230282e-06,8.224859e-06,8.222815e-06,8.212673e-06,8.211752e-06,8.200050e-06,8.194349e-06,8.185131e-06,8.173064e-06,8.168087e-06,8.149080e-06,8.148281e-06,8.128259e-06,8.120347e-06,8.105766e-06,8.089584e-06,8.081734e-06,8.056287e-06,8.029539e-06,8.020724e-06,8.001601e-06,7.983143e-06,7.972574e-06,7.943770e-06,7.942552e-06,7.911624e-06,7.902814e-06,7.879875e-06,7.860464e-06,7.847382e-06,7.816895e-06,7.814219e-06,7.780452e-06,7.772266e-06,7.746148e-06,7.726724e-06,7.711364e-06,7.680403e-06,7.676157e-06,7.640580e-06,7.633424e-06,7.604681e-06,7.585901e-06,7.568505e-06,7.537936e-06,7.532096e-06,7.495494e-06,7.489622e-06,7.458736e-06,7.441046e-06,7.421856e-06,7.392286e-06,7.384887e-06,7.347860e-06,7.343414e-06,7.310802e-06,7.294495e-06,7.273741e-06,7.245588e-06,7.236701e-06,7.199704e-06,7.196747e-06,7.162773e-06,7.148023e-06,7.125927e-06,7.099461e-06,7.089184e-06,7.052562e-06,7.051100e-06,7.016077e-06,7.002979e-06,6.979743e-06,6.955130e-06,6.943575e-06,6.907584e-06,6.860369e-06,6.813508e-06,6.767025e-06,6.720940e-06,6.675268e-06,6.630028e-06,6.585231e-06,6.540891e-06,6.497019e-06,6.453623e-06,6.410711e-06,6.368291e-06,6.326368e-06,6.284946e-06,6.244029e-06,6.203621e-06,6.163722e-06,6.124335e-06,6.085460e-06,6.047096e-06,6.009244e-06,5.971902e-06,5.935069e-06,5.898742e-06
0.000000e+00,7.620045e-09,1.753733e-08,6.049801e-08,1.375380e-07,2.004360e-07,4.528620e-07,4.663985e-07,8.966834e-07,1.051957e-06,1.530990e-06,2.026914e-06,2.411291e-06,3.473984e-06,3.578780e-06,5.062602e-06,5.466591e-06,6.863173e-06,7.998916e-06,8.948815e-06,1.098281e-05,1.127269e-05,1.378958e-05,1.431261e-05,1.646094e-05,1.789999e-05,1.925381e-05,2.167204e-05,2.213864e-05,2.508798e-05,2.556411e-05,2.807594e-05,2.951665e-05,3.107811e-05,3.347475e-05,3.407178e-05,3.703618e-05,3.738904e-05,3.995273e-05,4.121658e-05,4.280517e-05,4.492154e-05,4.557965e-05,4.826472e-05,4.847538e-05,5.085121e-05,5.185657e-05,5.333213e-05,5.505009e-05,5.570238e-05,5.795860e-05,5.804645e-05,6.009903e-05,6.084111e-05,6.212317e-05,6.343340e-05,6.403157e-05,6.582573e-05,6.750788e-05,6.802296e-05,6.908085e-05,7.003174e-05,7.054789e-05,7.185995e-05,7.191262e-05,7.317889e-05,7.351635e-05,7.435073e-05,7.501021e-05,7.543223e-05,7.635099e-05,7.642754e-05,7.734077e-05,7.754818e-05,7.817598e-05,7.861111e-05,7.893717e-05,7.954889e-05,7.962824e-05,8.025296e-05,8.037027e-05,8.081499e-05,8.108364e-05,8.131783e-05,8.169697e-05,8.176489e-05,8.215939e-05,8.221785e-05,8.250445e-05,8.265339e-05,8.280302e-05,8.301031e-05,8.305793e-05,8.327186e-05,8.329490e-05,8.344737e-05,8.351305e-05,8.358688e-05,8.367025e-05,8.369270e-05,8.376701e-05,8.377165e-05,8.381188e-05,8.382202e-05,8.382926e-05,8.382581e-05,8.382102e-05,8.378891e-05,8.378715e-05,8.373458e-05,8.370988e-05,8.365959e-05,8.359757e-05,8.356544e-05,8.345350e-05,8.332511e-05,8.328075e-05,8.318149e-05,8.308214e-05,8.302384e-05,8.286030e-05,8.285324e-05,8.267073e-05,8.261764e-05,8.247731e-05,8.235640e-05,8.227389e-05,8.207866e-05,8.206134e-05,8.184047e-05,8.178631e-05,8.161206e-05,8.148112e-05,8.137682e-05,8.116471e-05,8.113544e-05,8.088856e-05,8.083857e-05,8.063677e-05,8.050408e-05,8.038063e-05,8.016250e-05,8.012067e-05,7.985740e-05,7.981499e-05,7.959126e-05,7.946263e-05,7.932270e-05,7.910637e-05,7.905211e-05,7.877990e-05,7.874714e-05,7.850639e-05,7.838573e-05,7.823195e-05,7.802292e-05,7.795686e-05,7.768143e-05,7.765939e-05,7.740592e-05,7.729575e-05,7.713059e-05,7.693259e-05,7.685566e-05,7.658137e-05,7.657042e-05,7.630791e-05,7.620970e-05,7.603547e-05,7.585088e-05,7.576422e-05,7.549433e-05,7.514041e-05,7.478942e-05,7.444165e-05,7.409734e-05,7.375673e-05,7.342002e-05,7.308737e-05,7.275894e-05,7.243487e-05,7.211527e-05,7.180024e-05,7.148986e-05,7.118420e-05,7.088332e-05,7.058725e-05,7.029605e-05,7.000971e-05,6.972827e-05,6.945172e-05,6.918006e-05,6.891329e-05,6.865137e-05,6.839430e-05,6.814204e-05
0.000000e+00,2.653305e-11,1.313573e-10,1.222568e-09,4.794396e-09,8.683591e-09,2.925814e-08,3.051637e-08,7.532994e-08,9.312565e-08,1.513362e-07,2.151725e-07,2.663450e-07,4.131193e-07,4.279367e-07,6.434854e-07,7.040193e-07,9.196997e-07,1.102787e-06,1.261343e-06,1.617084e-06,1.669504e-06,2.140896e-06,2.242226e-06,2.669062e-06,2.963608e-06,3.246346e-06,3.763694e-06,3.865212e-06,4.518659e-06,4.625978e-06,5.200150e-06,5.535390e-06,5.903460e-06,6.477774e-06,6.622581e-06,7.351701e-06,7.439600e-06,8.085249e-06,8.408041e-06,8.817953e-06,9.371221e-06,9.544926e-06,1.026172e-05,1.031850e-05,1.096437e-05,1.124067e-05,1.164942e-05,1.213012e-05,1.231397e-05,1.295561e-05,1.298077e-05,1.357243e-05,1.378812e-05,1.416300e-05,1.454904e-05,1.472628e-05,1.526166e-05,1.576882e-05,1.592514e-05,1.624776e-05,1.653956e-05,1.669870e-05,1.710568e-05,1.712210e-05,1.751854e-05,1.762481e-05,1.788877e-05,1.809867e-05,1.823362e-05,1.852926e-05,1.855401e-05,1.885091e-05,1.891878e-05,1.912530e-05,1.926952e-05,1.937822e-05,1.958384e-05,1.961069e-05,1.982371e-05,1.986407e-05,2.001829e-05,2.011251e-05,2.019541e-05,2.033139e-05,2.035602e-05,2.050105e-05,2.052287e-05,2.063138e-05,2.068897e-05,2.074787e-05,2.083165e-05,2.085134e-05,2.094256e-05,2.095272e-05,2.102229e-05,2.105391e-05,2.109123e-05,2.113681e-05,2.115004e-05,2.119937e-05,2.120292e-05,2.123981e-05,2.125363e-05,2.127195e-05,2.129023e-05,2.129630e-05,2.131339e-05,2.131393e-05,2.132369e-05,2.132583e-05,2.132766e-05,2.132696e-05,2.132572e-05,2.131827e-05,2.130569e-05,2.130065e-05,2.128835e-05,2.127490e-05,2.126657e-05,2.124178e-05,2.124066e-05,2.121094e-05,2.120197e-05,2.117767e-05,2.115612e-05,2.114113e-05,2.110482e-05,2.110155e-05,2.105916e-05,2.104860e-05,2.101420e-05,2.098797e-05,2.096686e-05,2.092339e-05,2.091734e-05,2.086581e-05,2.085528e-05,2.081246e-05,2.078404e-05,2.075743e-05,2.071002e-05,2.070088e-05,2.064295e-05,2.063356e-05,2.058378e-05,2.055497e-05,2.052348e-05,2.047452e-05,2.046218e-05,2.039998e-05,2.039247e-05,2.033700e-05,2.030906e-05,2.027331e-05,2.022451e-05,2.020903e-05,2.014422e-05,2.013902e-05,2.007897e-05,2.005277e-05,2.001336e-05,1.996594e-05,1.994746e-05,1.988133e-05,1.987868e-05,1.981503e-05,1.979113e-05,1.974862e-05,1.970342e-05,1.968215e-05,1.961568e-05,1.952801e-05,1.944052e-05,1.935328e-05,1.926640e-05,1.917994e-05,1.909398e-05,1.900857e-05,1.892377e-05,1.883964e-05,1.875622e-05,1.867355e-05,1.859168e-05,1.851063e-05,1.843044e-05,1.835112e-05,1.827271e-05,1.819522e-05,1.811868e-05,1.804309e-05,1.796847e-05,1.789484e-05,1.782219e-05,1.775054e-05,1.767988e-05
0.000000e+00,1.335505e-13,8.965856e-13,1.512609e-11,9.774660e-11,2.290518e-10,1.426781e-09,1.523567e-09,6.463381e-09,9.163401e-09,2.064872e-08,3.760171e-08,5.428251e-08,1.164021e-07,1.237995e-07,2.534176e-07,2.969650e-07,4.764687e-07,6.579337e-07,8.363420e-07,1.308689e-06,1.386835e-06,2.191681e-06,2.389401e-06,3.323063e-06,4.066210e-06,4.859077e-06,6.520993e-06,6.880300e-06,9.465849e-06,9.936938e-06,1.268938e-05,1.448268e-05,1.661547e-05,2.029797e-05,2.129669e-05,2.677154e-05,2.748313e-05,3.306330e-05,3.609301e-05,4.017969e-05,4.613563e-05,4.811330e-05,5.684265e-05,5.757443e-05,6.633358e-05,7.033343e-05,7.654105e-05,8.430406e-05,8.741101e-05,9.888238e-05,9.935282e-05,1.108889e-04,1.153290e-04,1.233612e-04,1.320719e-04,1.362278e-04,1.494174e-04,1.628596e-04,1.672032e-04,1.764860e-04,1.852732e-04,1.902311e-04,2.034809e-04,2.040333e-04,2.178348e-04,2.216917e-04,2.315822e-04,2.397842e-04,2.452268e-04,2.576512e-04,2.587246e-04,2.720362e-04,2.751993e-04,2.851268e-04,2.923495e-04,2.979659e-04,3.090355e-04,3.105274e-04,3.227890e-04,3.252036e-04,3.347321e-04,3.408115e-04,3.463417e-04,3.558271e-04,3.576057e-04,3.685150e-04,3.702271e-04,3.790632e-04,3.839967e-04,3.892461e-04,3.971278e-04,3.990614e-04,4.085091e-04,4.096181e-04,4.175903e-04,4.214706e-04,4.263079e-04,4.326925e-04,4.346658e-04,4.426690e-04,4.432941e-04,4.503235e-04,4.532890e-04,4.576357e-04,4.626928e-04,4.646131e-04,4.712634e-04,4.715227e-04,4.775947e-04,4.797975e-04,4.836155e-04,4.875367e-04,4.893345e-04,4.947605e-04,4.999026e-04,5.014895e-04,5.047697e-04,5.077444e-04,5.093708e-04,5.135459e-04,5.137149e-04,5.178108e-04,5.189144e-04,5.216674e-04,5.238701e-04,5.252933e-04,5.284327e-04,5.286971e-04,5.318869e-04,5.326215e-04,5.348710e-04,5.364552e-04,5.376574e-04,5.399520e-04,5.402538e-04,5.426678e-04,5.431294e-04,5.449070e-04,5.460045e-04,5.469783e-04,5.485936e-04,5.488888e-04,5.506452e-04,5.509124e-04,5.522542e-04,5.529759e-04,5.537219e-04,5.547986e-04,5.550546e-04,5.562581e-04,5.563941e-04,5.573382e-04,5.577758e-04,5.583004e-04,5.589561e-04,5.591501e-04,5.598923e-04,5.599472e-04,5.605321e-04,5.607604e-04,5.610742e-04,5.614066e-04,5.615232e-04,5.618836e-04,5.618962e-04,5.621596e-04,5.622392e-04,5.623554e-04,5.624448e-04,5.624749e-04,5.625219e-04,5.624791e-04,5.623244e-04,5.620654e-04,5.617092e-04,5.612628e-04,5.607326e-04,5.601248e-04,5.594452e-04,5.586992e-04,5.578922e-04,5.570288e-04,5.561140e-04,5.551519e-04,5.541467e-04,5.531024e-04,5.520227e-04,5.509109e-04,5.497704e-04,5.486042e-04,5.474153e-04,5.462064e-04,5.449800e-04,5.437385e-04,5.424843e-04
0.000000e+00,2.573403e-09,5.849608e-09,1.980085e-08,4.438594e-08,6.422473e-08,1.426278e-07,1.467921e-07,2.777726e-07,3.245262e-07,4.675573e-07,6.141458e-07,7.269398e-07,1.035718e-06,1.065946e-06,1.490011e-06,1.604222e-06,1.995024e-06,2.308287e-06,2.567197e-06,3.112297e-06,3.188972e-06,3.844387e-06,3.978328e-06,4.520636e-06,4.877063e-06,5.207547e-06,5.786610e-06,5.896721e-06,6.580938e-06,6.689517e-06,7.253842e-06,7.571142e-06,7.909823e-06,8.419119e-06,8.544001e-06,9.152249e-06,9.223328e-06,9.731200e-06,9.975959e-06,1.027826e-05,1.067154e-05,1.079160e-05,1.127008e-05,1.130684e-05,1.171319e-05,1.188053e-05,1.212098e-05,1.239301e-05,1.249399e-05,1.283313e-05,1.284601e-05,1.313964e-05,1.324227e-05,1.341498e-05,1.358524e-05,1.366078e-05,1.387877e-05,1.407073e-05,1.412696e-05,1.423847e-05,1.433392e-05,1.438374e-05,1.450368e-05,1.450828e-05,1.461376e-05,1.464009e-05,1.470175e-05,1.474678e-05,1.477376e-05,1.482710e-05,1.483119e-05,1.487534e-05,1.488410e-05,1.490742e-05,1.492054e-05,1.492856e-05,1.493891e-05,1.493976e-05,1.494199e-05,1.494144e-05,1.493611e-05,1.493010e-05,1.492289e-05,1.490665e-05,1.490306e-05,1.487727e-05,1.487263e-05,1.484612e-05,1.482942e-05,1.481015e-05,1.477824e-05,1.476985e-05,1.472567e-05,1.472013e-05,1.467803e-05,1.465606e-05,1.462727e-05,1.458684e-05,1.457376e-05,1.451778e-05,1.451320e-05,1.445962e-05,1.443580e-05,1.439953e-05,1.435521e-05,1.433775e-05,1.427448e-05,1.427192e-05,1.420991e-05,1.418639e-05,1.414423e-05,1.409901e-05,1.407759e-05,1.401013e-05,1.394199e-05,1.392007e-05,1.387330e-05,1.382910e-05,1.380416e-05,1.373746e-05,1.373468e-05,1.366494e-05,1.364538e-05,1.359504e-05,1.355306e-05,1.352506e-05,1.346066e-05,1.345506e-05,1.338512e-05,1.336834e-05,1.331528e-05,1.327624e-05,1.324561e-05,1.318448e-05,1.317616e-05,1.310698e-05,1.309318e-05,1.303810e-05,1.300242e-05,1.296957e-05,1.291229e-05,1.290142e-05,1.283368e-05,1.282288e-05,1.276638e-05,1.273425e-05,1.269956e-05,1.264645e-05,1.263322e-05,1.256740e-05,1.255954e-05,1.250212e-05,1.247357e-05,1.243739e-05,1.238858e-05,1.237323e-05,1.230965e-05,1.230459e-05,1.224667e-05,1.222165e-05,1.218430e-05,1.213978e-05,1.212255e-05,1.206142e-05,1.205899e-05,1.200093e-05,1.197931e-05,1.194107e-05,1.190074e-05,1.188187e-05,1.182331e-05,1.174702e-05,1.167188e-05,1.159789e-05,1.152505e-05,1.145337e-05,1.138284e-05,1.131346e-05,1.124522e-05,1.117812e-05,1.111215e-05,1.104731e-05,1.098358e-05,1.092096e-05,1.085944e-05,1.079900e-05,1.073963e-05,1.068133e-05,1.062407e-05,1.056785e-05,1.051266e-05,1.045847e-05,1.040528e-05,1.035307e-05,1.030182e-05
0.000000e+00,2.508244e-10,9.538991e-10,5.840242e-09,1.751422e-08,2.830271e-08,7.660141e-08,7.932871e-08,1.697511e-07,2.035541e-07,3.100283e-07,4.225091e-07,5.107321e-07,7.580540e-07,7.826830e-07,1.136038e-06,1.233832e-06,1.577581e-06,1.863713e-06,2.107383e-06,2.641112e-06,2.718368e-06,3.399578e-06,3.543228e-06,4.139593e-06,4.544138e-06,4.928004e-06,5.620818e-06,5.755479e-06,6.613448e-06,6.753007e-06,7.493833e-06,7.922102e-06,8.388918e-06,9.110602e-06,9.291330e-06,1.019410e-05,1.030214e-05,1.109073e-05,1.148176e-05,1.197530e-05,1.263620e-05,1.284248e-05,1.368765e-05,1.375419e-05,1.450684e-05,1.482650e-05,1.529682e-05,1.584603e-05,1.605498e-05,1.677938e-05,1.680764e-05,1.746864e-05,1.770799e-05,1.812189e-05,1.854531e-05,1.873874e-05,1.931918e-05,1.986354e-05,2.003022e-05,2.037245e-05,2.067993e-05,2.084675e-05,2.127048e-05,2.128748e-05,2.169581e-05,2.180450e-05,2.207297e-05,2.228483e-05,2.242024e-05,2.271449e-05,2.273897e-05,2.303055e-05,2.309665e-05,2.329637e-05,2.343448e-05,2.353778e-05,2.373112e-05,2.375615e-05,2.395282e-05,2.398966e-05,2.412908e-05,2.421308e-05,2.428616e-05,2.440418e-05,2.442528e-05,2.454759e-05,2.456567e-05,2.465422e-05,2.470016e-05,2.474631e-05,2.481023e-05,2.482492e-05,2.489092e-05,2.489804e-05,2.494518e-05,2.496555e-05,2.498853e-05,2.501464e-05,2.502171e-05,2.504545e-05,2.504697e-05,2.506044e-05,2.506413e-05,2.506730e-05,2.506755e-05,2.506663e-05,2.505900e-05,2.505856e-05,2.504493e-05,2.503839e-05,2.502492e-05,2.500815e-05,2.499942e-05,2.496886e-05,2.493366e-05,2.492148e-05,2.489420e-05,2.486686e-05,2.485082e-05,2.480580e-05,2.480386e-05,2.475362e-05,2.473901e-05,2.470041e-05,2.466716e-05,2.464448e-05,2.459085e-05,2.458610e-05,2.452549e-05,2.451064e-05,2.446289e-05,2.442703e-05,2.439848e-05,2.434048e-05,2.433248e-05,2.426506e-05,2.425141e-05,2.419637e-05,2.416022e-05,2.412659e-05,2.406723e-05,2.405586e-05,2.398430e-05,2.397279e-05,2.391206e-05,2.387717e-05,2.383924e-05,2.378064e-05,2.376595e-05,2.369231e-05,2.368345e-05,2.361839e-05,2.358581e-05,2.354430e-05,2.348792e-05,2.347011e-05,2.339590e-05,2.338996e-05,2.332173e-05,2.329210e-05,2.324769e-05,2.319448e-05,2.317381e-05,2.310017e-05,2.309723e-05,2.302681e-05,2.300048e-05,2.295378e-05,2.290433e-05,2.288112e-05,2.280888e-05,2.271422e-05,2.262042e-05,2.252756e-05,2.243570e-05,2.234489e-05,2.225517e-05,2.216660e-05,2.207920e-05,2.199301e-05,2.190806e-05,2.182436e-05,2.174194e-05,2.166080e-05,2.158097e-05,2.150245e-05,2.142524e-05,2.134936e-05,2.127479e-05,2.120154e-05,2.112961e-05,2.105900e-05,2.098969e-05,2.092167e-05,2.085495e-05
0.000000e+00,9.887888e-10,3.026278e-09,1.418317e-08,3.729871e-08,5.743977e-08,1.433749e-07,1.481273e-07,3.033398e-07,3.607161e-07,5.404814e-07,7.296196e-07,8.777407e-07,1.292780e-06,1.334126e-06,1.928403e-06,2.093402e-06,2.676103e-06,3.165187e-06,3.585096e-06,4.516737e-06,4.652971e-06,5.869108e-06,6.128891e-06,7.219276e-06,7.969489e-06,8.688982e-06,1.000593e-05,1.026461e-05,1.193344e-05,1.220829e-05,1.368334e-05,1.454863e-05,1.550254e-05,1.700006e-05,1.737954e-05,1.930311e-05,1.953655e-05,2.126242e-05,2.213315e-05,2.324710e-05,2.476637e-05,2.524736e-05,2.725409e-05,2.741466e-05,2.925896e-05,3.005866e-05,3.125439e-05,3.268144e-05,3.323364e-05,3.519074e-05,3.526848e-05,3.712050e-05,3.780764e-05,3.901847e-05,4.028897e-05,4.088086e-05,4.270452e-05,4.448686e-05,4.504813e-05,4.622578e-05,4.731514e-05,4.791966e-05,4.950224e-05,4.956724e-05,5.116765e-05,5.160722e-05,5.272028e-05,5.362878e-05,5.422479e-05,5.556634e-05,5.568107e-05,5.708919e-05,5.742000e-05,5.844939e-05,5.919029e-05,5.976203e-05,6.087819e-05,6.102760e-05,6.224667e-05,6.248497e-05,6.341992e-05,6.401214e-05,6.454807e-05,6.546142e-05,6.563189e-05,6.667221e-05,6.683468e-05,6.766988e-05,6.813388e-05,6.862580e-05,6.936107e-05,6.954086e-05,7.041599e-05,7.051836e-05,7.125211e-05,7.160789e-05,7.205017e-05,7.263182e-05,7.281111e-05,7.353586e-05,7.359231e-05,7.422537e-05,7.449152e-05,7.488058e-05,7.533160e-05,7.550240e-05,7.609176e-05,7.611467e-05,7.664957e-05,7.684282e-05,7.717672e-05,7.751812e-05,7.767410e-05,7.814260e-05,7.858306e-05,7.871822e-05,7.899633e-05,7.924695e-05,7.938326e-05,7.973067e-05,7.974464e-05,8.008130e-05,8.017124e-05,8.039401e-05,8.057046e-05,8.068354e-05,8.093009e-05,8.095065e-05,8.119608e-05,8.125184e-05,8.142055e-05,8.153736e-05,8.162477e-05,8.178828e-05,8.180942e-05,8.197519e-05,8.200613e-05,8.212273e-05,8.219245e-05,8.225267e-05,8.234870e-05,8.236566e-05,8.246230e-05,8.247629e-05,8.254319e-05,8.257659e-05,8.260890e-05,8.265093e-05,8.266001e-05,8.269705e-05,8.270058e-05,8.272058e-05,8.272678e-05,8.273111e-05,8.273073e-05,8.272915e-05,8.271518e-05,8.271356e-05,8.268970e-05,8.267639e-05,8.265317e-05,8.262028e-05,8.260604e-05,8.254875e-05,8.254625e-05,8.248172e-05,8.245529e-05,8.240538e-05,8.234835e-05,8.232012e-05,8.222634e-05,8.209014e-05,8.194059e-05,8.177849e-05,8.160462e-05,8.141973e-05,8.122452e-05,8.101968e-05,8.080587e-05,8.058370e-05,8.035378e-05,8.011669e-05,7.987296e-05,7.962312e-05,7.936768e-05,7.910711e-05,7.884186e-05,7.857238e-05,7.829907e-05,7.802234e-05,7.774255e-05,7.746007e-05,7.717523e-05,7.688837e-05,7.659979e-05
0.000000e+00,1.291069e-11,7.366961e-11,8.935835e-10,4.313547e-09,8.645512e-09,3.644027e-08,3.831458e-08,1.125684e-07,1.449270e-07,2.579967e-07,3.909383e-07,5.022860e-07,8.379265e-07,8.728522e-07,1.396321e-06,1.547558e-06,2.097987e-06,2.577338e-06,3.000371e-06,3.974083e-06,4.120312e-06,5.465113e-06,5.760841e-06,7.029766e-06,7.925016e-06,8.797224e-06,1.041984e-05,1.074161e-05,1.283259e-05,1.317866e-05,1.503900e-05,1.613022e-05,1.733097e-05,1.920758e-05,1.968100e-05,2.206413e-05,2.235124e-05,2.445799e-05,2.550946e-05,2.684263e-05,2.863787e-05,2.920044e-05,3.151613e-05,3.169916e-05,3.377660e-05,3.466282e-05,3.597093e-05,3.750481e-05,3.809020e-05,4.012743e-05,4.020713e-05,4.207736e-05,4.275721e-05,4.393632e-05,4.514725e-05,4.570206e-05,4.737349e-05,4.895058e-05,4.943545e-05,5.043418e-05,5.133529e-05,5.182581e-05,5.307720e-05,5.312757e-05,5.434203e-05,5.466682e-05,5.547207e-05,5.611086e-05,5.652081e-05,5.741669e-05,5.749156e-05,5.838771e-05,5.859207e-05,5.921272e-05,5.964493e-05,5.997002e-05,6.058316e-05,6.066304e-05,6.129515e-05,6.141455e-05,6.186962e-05,6.214664e-05,6.238967e-05,6.278669e-05,6.285836e-05,6.327867e-05,6.334163e-05,6.365347e-05,6.381802e-05,6.398549e-05,6.422206e-05,6.427734e-05,6.453151e-05,6.455959e-05,6.475038e-05,6.483608e-05,6.493619e-05,6.505662e-05,6.509109e-05,6.521710e-05,6.522600e-05,6.531615e-05,6.534863e-05,6.539005e-05,6.542866e-05,6.544052e-05,6.546918e-05,6.546990e-05,6.547756e-05,6.547590e-05,6.546712e-05,6.544995e-05,6.543920e-05,6.539510e-05,6.533603e-05,6.531415e-05,6.526312e-05,6.520970e-05,6.517745e-05,6.508415e-05,6.508003e-05,6.497181e-05,6.493970e-05,6.485368e-05,6.477839e-05,6.472647e-05,6.460210e-05,6.459098e-05,6.444794e-05,6.441256e-05,6.429804e-05,6.421135e-05,6.414195e-05,6.399993e-05,6.398026e-05,6.381354e-05,6.377965e-05,6.364235e-05,6.355172e-05,6.346717e-05,6.331728e-05,6.328847e-05,6.310671e-05,6.307737e-05,6.292227e-05,6.283291e-05,6.273556e-05,6.258480e-05,6.254693e-05,6.235672e-05,6.233380e-05,6.216523e-05,6.208065e-05,6.197276e-05,6.182599e-05,6.177957e-05,6.158593e-05,6.157042e-05,6.139206e-05,6.131450e-05,6.119818e-05,6.105870e-05,6.100450e-05,6.081120e-05,6.080348e-05,6.061846e-05,6.054924e-05,6.042644e-05,6.029635e-05,6.023528e-05,6.004512e-05,5.979586e-05,5.954883e-05,5.930427e-05,5.906238e-05,5.882334e-05,5.858732e-05,5.835446e-05,5.812489e-05,5.789871e-05,5.767600e-05,5.745686e-05,5.724134e-05,5.702948e-05,5.682135e-05,5.661695e-05,5.641632e-05,5.621947e-05,5.602639e-05,5.583709e-05,5.565156e-05,5.546978e-05,5.529174e-05,5.511740e-05,5.494674e-05
0.000000e+00,4.533524e-10,1.545176e-09,8.213543e-09,2.293619e-08,3.610321e-08,9.347074e-08,9.667106e-08,2.017238e-07,2.406516e-07,3.624925e-07,4.901984e-07,5.897555e-07,8.664647e-07,8.938546e-07,1.284532e-06,1.392178e-06,1.770515e-06,2.086993e-06,2.358769e-06,2.964395e-06,3.053415e-06,3.854488e-06,4.027129e-06,4.757039e-06,5.263375e-06,5.751251e-06,6.647517e-06,6.823775e-06,7.959757e-06,8.146412e-06,9.144564e-06,9.726620e-06,1.036479e-05,1.135849e-05,1.160863e-05,1.286581e-05,1.301713e-05,1.412748e-05,1.468203e-05,1.538602e-05,1.633635e-05,1.663488e-05,1.786849e-05,1.796637e-05,1.908213e-05,1.956110e-05,2.027189e-05,2.111188e-05,2.143453e-05,2.256745e-05,2.261212e-05,2.366863e-05,2.405697e-05,2.473651e-05,2.544306e-05,2.576997e-05,2.676827e-05,2.773099e-05,2.803151e-05,2.865796e-05,2.923248e-05,2.954925e-05,3.037156e-05,3.040512e-05,3.122599e-05,3.144963e-05,3.201238e-05,3.246794e-05,3.276495e-05,3.342805e-05,3.348441e-05,3.417154e-05,3.433173e-05,3.482718e-05,3.518090e-05,3.545219e-05,3.597757e-05,3.604747e-05,3.661391e-05,3.672382e-05,3.715243e-05,3.742173e-05,3.766394e-05,3.807341e-05,3.814936e-05,3.860959e-05,3.868095e-05,3.904553e-05,3.924640e-05,3.945804e-05,3.977177e-05,3.984800e-05,4.021625e-05,4.025902e-05,4.056362e-05,4.071006e-05,4.089092e-05,4.112673e-05,4.119894e-05,4.148844e-05,4.151082e-05,4.176017e-05,4.186405e-05,4.201486e-05,4.218808e-05,4.225321e-05,4.247591e-05,4.248450e-05,4.268360e-05,4.275483e-05,4.287695e-05,4.300054e-05,4.305655e-05,4.322302e-05,4.337694e-05,4.342363e-05,4.351885e-05,4.360363e-05,4.364931e-05,4.376425e-05,4.376883e-05,4.387792e-05,4.390666e-05,4.397705e-05,4.403195e-05,4.406671e-05,4.414120e-05,4.414733e-05,4.421935e-05,4.423541e-05,4.428320e-05,4.431552e-05,4.433926e-05,4.438246e-05,4.438792e-05,4.442957e-05,4.443709e-05,4.446455e-05,4.448022e-05,4.449320e-05,4.451263e-05,4.451587e-05,4.453285e-05,4.453506e-05,4.454446e-05,4.454821e-05,4.455099e-05,4.455275e-05,4.455272e-05,4.454991e-05,4.454928e-05,4.454283e-05,4.453842e-05,4.453172e-05,4.452072e-05,4.451681e-05,4.449833e-05,4.449671e-05,4.447651e-05,4.446688e-05,4.445154e-05,4.443172e-05,4.442362e-05,4.439294e-05,4.439166e-05,4.435970e-05,4.434713e-05,4.432405e-05,4.429852e-05,4.428616e-05,4.424620e-05,4.419052e-05,4.413181e-05,4.407039e-05,4.400653e-05,4.394052e-05,4.387261e-05,4.380304e-05,4.373204e-05,4.365980e-05,4.358654e-05,4.351243e-05,4.343763e-05,4.336232e-05,4.328664e-05,4.321072e-05,4.313470e-05,4.305869e-05,4.298279e-05,4.290712e-05,4.283176e-05,4.275680e-05,4.268232e-05,4.260839e-05,4.253507e-05
0.000000e+00,5.009822e-11,2.770579e-10,3.163925e-09,1.453682e-08,2.842133e-08,1.132082e-07,1.187851e-07,3.336608e-07,4.251387e-07,7.398447e-07,1.104530e-06,1.407723e-06,2.316411e-06,2.410748e-06,3.822419e-06,4.229365e-06,5.704051e-06,6.975975e-06,8.085815e-06,1.058832e-05,1.095766e-05,1.427883e-05,1.499227e-05,1.799497e-05,2.006484e-05,2.205034e-05,2.568037e-05,2.639227e-05,3.097138e-05,3.172287e-05,3.574043e-05,3.808353e-05,4.065358e-05,4.465791e-05,4.566635e-05,5.073591e-05,5.134612e-05,5.582181e-05,5.805499e-05,6.088653e-05,6.470051e-05,6.589609e-05,7.082035e-05,7.120980e-05,7.563322e-05,7.752211e-05,8.031267e-05,8.358898e-05,8.484064e-05,8.920274e-05,8.937361e-05,9.338801e-05,9.484980e-05,9.738849e-05,1.000005e-04,1.011989e-04,1.048164e-04,1.082400e-04,1.092947e-04,1.114704e-04,1.134375e-04,1.145098e-04,1.172510e-04,1.173615e-04,1.200296e-04,1.207444e-04,1.225188e-04,1.239288e-04,1.248347e-04,1.268172e-04,1.269830e-04,1.289697e-04,1.294232e-04,1.308011e-04,1.317612e-04,1.324835e-04,1.338458e-04,1.340233e-04,1.354267e-04,1.356916e-04,1.367001e-04,1.373129e-04,1.378495e-04,1.387237e-04,1.388811e-04,1.398007e-04,1.399378e-04,1.406140e-04,1.409682e-04,1.413265e-04,1.418276e-04,1.419437e-04,1.424707e-04,1.425281e-04,1.429125e-04,1.430811e-04,1.432738e-04,1.434975e-04,1.435594e-04,1.437736e-04,1.437877e-04,1.439206e-04,1.439615e-04,1.440045e-04,1.440281e-04,1.440292e-04,1.439984e-04,1.439961e-04,1.439157e-04,1.438738e-04,1.437843e-04,1.436689e-04,1.436076e-04,1.433885e-04,1.431300e-04,1.430394e-04,1.428349e-04,1.426280e-04,1.425058e-04,1.421602e-04,1.421452e-04,1.417554e-04,1.416414e-04,1.413388e-04,1.410769e-04,1.408975e-04,1.404714e-04,1.404335e-04,1.399487e-04,1.398294e-04,1.394449e-04,1.391552e-04,1.389239e-04,1.384524e-04,1.383872e-04,1.378365e-04,1.377248e-04,1.372731e-04,1.369756e-04,1.366984e-04,1.362080e-04,1.361138e-04,1.355204e-04,1.354247e-04,1.349193e-04,1.346284e-04,1.343117e-04,1.338216e-04,1.336986e-04,1.330808e-04,1.330064e-04,1.324594e-04,1.321850e-04,1.318351e-04,1.313592e-04,1.312087e-04,1.305810e-04,1.305308e-04,1.299526e-04,1.297012e-04,1.293243e-04,1.288721e-04,1.286964e-04,1.280698e-04,1.280448e-04,1.274448e-04,1.272203e-04,1.268219e-04,1.263999e-04,1.262017e-04,1.255844e-04,1.247749e-04,1.239722e-04,1.231768e-04,1.223896e-04,1.216111e-04,1.208417e-04,1.200820e-04,1.193323e-04,1.185930e-04,1.178643e-04,1.171466e-04,1.164400e-04,1.157447e-04,1.150608e-04,1.143885e-04,1.137278e-04,1.130787e-04,1.124413e-04,1.118156e-04,1.112016e-04,1.105991e-04,1.100083e-04,1.094289e-04,1.088610e-04
0.000000e+00,2.544119e-09,6.666741e-09,2.631553e-08,6.363213e-08,9.486498e-08,2.230922e-07,2.300486e-07,4.536176e-07,5.351763e-07,7.889504e-07,1.054506e-06,1.261975e-06,1.841326e-06,1.898817e-06,2.716989e-06,2.940599e-06,3.714790e-06,4.345066e-06,4.872507e-06,6.002993e-06,6.164261e-06,7.566459e-06,7.858370e-06,9.059551e-06,9.866296e-06,1.062695e-05,1.199005e-05,1.225374e-05,1.392580e-05,1.419661e-05,1.562940e-05,1.645436e-05,1.735107e-05,1.873262e-05,1.907774e-05,2.079682e-05,2.100203e-05,2.249646e-05,2.323529e-05,2.416570e-05,2.540785e-05,2.579463e-05,2.737451e-05,2.749855e-05,2.889785e-05,2.948991e-05,3.035841e-05,3.136830e-05,3.175121e-05,3.307244e-05,3.312376e-05,3.431942e-05,3.474980e-05,3.549048e-05,3.624302e-05,3.658487e-05,3.760263e-05,3.854449e-05,3.883006e-05,3.941177e-05,3.992852e-05,4.020630e-05,4.090265e-05,4.093028e-05,4.158623e-05,4.175806e-05,4.217683e-05,4.250100e-05,4.270492e-05,4.313809e-05,4.317345e-05,4.358539e-05,4.367616e-05,4.394370e-05,4.412206e-05,4.425141e-05,4.448271e-05,4.451151e-05,4.472695e-05,4.476493e-05,4.490056e-05,4.497522e-05,4.503509e-05,4.511986e-05,4.513322e-05,4.519753e-05,4.520484e-05,4.523049e-05,4.523591e-05,4.523464e-05,4.521895e-05,4.521253e-05,4.516615e-05,4.515903e-05,4.509734e-05,4.506046e-05,4.500800e-05,4.492737e-05,4.489976e-05,4.477422e-05,4.476347e-05,4.463288e-05,4.457224e-05,4.447715e-05,4.435684e-05,4.430832e-05,4.412761e-05,4.412015e-05,4.393618e-05,4.386485e-05,4.373510e-05,4.359336e-05,4.352537e-05,4.330792e-05,4.308362e-05,4.301052e-05,4.285326e-05,4.270301e-05,4.261761e-05,4.238703e-05,4.237734e-05,4.213312e-05,4.206411e-05,4.188554e-05,4.173561e-05,4.163516e-05,4.140278e-05,4.138249e-05,4.112801e-05,4.106672e-05,4.087216e-05,4.072843e-05,4.061534e-05,4.038883e-05,4.035792e-05,4.010026e-05,4.004872e-05,3.984266e-05,3.970884e-05,3.958542e-05,3.936982e-05,3.932881e-05,3.907308e-05,3.903225e-05,3.881843e-05,3.869665e-05,3.856509e-05,3.836347e-05,3.831323e-05,3.806302e-05,3.803312e-05,3.781462e-05,3.770594e-05,3.756818e-05,3.738225e-05,3.732380e-05,3.708161e-05,3.706233e-05,3.684170e-05,3.674640e-05,3.660417e-05,3.643467e-05,3.636910e-05,3.613655e-05,3.612731e-05,3.590659e-05,3.582445e-05,3.567928e-05,3.552623e-05,3.545464e-05,3.523273e-05,3.494404e-05,3.466020e-05,3.438127e-05,3.410727e-05,3.383821e-05,3.357410e-05,3.331493e-05,3.306068e-05,3.281132e-05,3.256683e-05,3.232715e-05,3.209225e-05,3.186206e-05,3.163655e-05,3.141564e-05,3.119928e-05,3.098739e-05,3.077992e-05,3.057678e-05,3.037792e-05,3.018324e-05,2.999269e-05,2.980618e-05,2.962365e-05
0.000000e+00,4.826640e-10,1.978686e-09,1.353117e-08,4.333189e-08,7.195055e-08,2.052736e-07,2.129592e-07,4.732347e-07,5.725603e-07,8.904847e-07,1.232963e-06,1.505456e-06,2.284292e-06,2.362920e-06,3.509508e-06,3.832493e-06,4.985344e-06,5.964105e-06,6.809856e-06,8.695651e-06,8.971860e-06,1.143490e-05,1.195955e-05,1.415239e-05,1.565091e-05,1.707939e-05,1.967109e-05,2.017665e-05,2.341045e-05,2.393850e-05,2.675099e-05,2.838434e-05,3.017123e-05,3.294790e-05,3.364610e-05,3.715221e-05,3.757399e-05,4.066775e-05,4.221233e-05,4.417261e-05,4.681780e-05,4.764844e-05,5.107876e-05,5.135077e-05,5.444905e-05,5.577748e-05,5.774675e-05,6.007005e-05,6.096113e-05,6.408330e-05,6.420617e-05,6.710615e-05,6.816894e-05,7.002406e-05,7.194608e-05,7.283279e-05,7.552946e-05,7.811229e-05,7.891458e-05,8.058040e-05,8.209977e-05,8.293382e-05,8.508587e-05,8.517328e-05,8.730006e-05,8.787561e-05,8.931601e-05,9.047328e-05,9.122333e-05,9.288423e-05,9.302448e-05,9.472222e-05,9.511461e-05,9.631949e-05,9.717122e-05,9.781935e-05,9.906116e-05,9.922496e-05,1.005395e-04,1.007918e-04,1.017663e-04,1.023706e-04,1.029086e-04,1.038051e-04,1.039695e-04,1.049524e-04,1.051026e-04,1.058604e-04,1.062705e-04,1.066965e-04,1.073158e-04,1.074639e-04,1.081655e-04,1.082454e-04,1.088042e-04,1.090661e-04,1.093829e-04,1.097842e-04,1.099042e-04,1.103708e-04,1.104058e-04,1.107853e-04,1.109371e-04,1.111502e-04,1.113836e-04,1.114679e-04,1.117407e-04,1.117507e-04,1.119708e-04,1.120436e-04,1.121604e-04,1.122673e-04,1.123116e-04,1.124263e-04,1.125066e-04,1.125253e-04,1.125541e-04,1.125683e-04,1.125708e-04,1.125594e-04,1.125583e-04,1.125182e-04,1.125023e-04,1.124522e-04,1.124007e-04,1.123616e-04,1.122579e-04,1.122480e-04,1.121127e-04,1.120771e-04,1.119570e-04,1.118614e-04,1.117823e-04,1.116136e-04,1.115896e-04,1.113802e-04,1.113364e-04,1.111552e-04,1.110323e-04,1.109155e-04,1.107037e-04,1.106623e-04,1.103965e-04,1.103529e-04,1.101190e-04,1.099819e-04,1.098306e-04,1.095927e-04,1.095322e-04,1.092246e-04,1.091871e-04,1.089086e-04,1.087670e-04,1.085848e-04,1.083340e-04,1.082539e-04,1.079167e-04,1.078895e-04,1.075737e-04,1.074350e-04,1.072254e-04,1.069718e-04,1.068725e-04,1.065155e-04,1.065012e-04,1.061549e-04,1.060243e-04,1.057912e-04,1.055423e-04,1.054248e-04,1.050561e-04,1.045667e-04,1.040749e-04,1.035816e-04,1.030875e-04,1.025933e-04,1.020996e-04,1.016071e-04,1.011163e-04,1.006276e-04,1.001416e-04,9.965874e-05,9.917930e-05,9.870369e-05,9.823222e-05,9.776518e-05,9.730284e-05,9.684543e-05,9.639318e-05,9.594626e-05,9.550485e-05,9.506910e-05,9.463912e-05,9.421505e-05,9.379697e-05
0.000000e+00,4.785897e-09,1.102092e-08,3.804907e-08,8.657567e-08,1.262476e-07,2.859381e-07,2.945228e-07,5.684857e-07,6.678424e-07,9.758987e-07,1.297087e-06,1.547508e-06,2.246126e-06,2.315505e-06,3.307050e-06,3.579951e-06,4.532392e-06,5.315904e-06,5.975948e-06,7.398388e-06,7.601697e-06,9.367822e-06,9.734478e-06,1.123693e-05,1.223920e-05,1.317853e-05,1.484721e-05,1.516781e-05,1.718396e-05,1.750780e-05,1.920886e-05,2.017911e-05,2.122634e-05,2.282519e-05,2.322191e-05,2.518257e-05,2.541495e-05,2.709688e-05,2.792188e-05,2.895492e-05,3.032420e-05,3.074834e-05,3.247028e-05,3.260478e-05,3.411538e-05,3.475097e-05,3.567964e-05,3.675425e-05,3.716030e-05,3.855575e-05,3.860979e-05,3.986542e-05,4.031594e-05,4.108964e-05,4.187379e-05,4.222940e-05,4.328617e-05,4.426203e-05,4.455762e-05,4.515947e-05,4.569391e-05,4.598119e-05,4.670156e-05,4.673016e-05,4.740949e-05,4.758766e-05,4.802238e-05,4.835955e-05,4.857202e-05,4.902461e-05,4.906165e-05,4.949445e-05,4.959022e-05,4.987358e-05,5.006359e-05,5.020210e-05,5.045171e-05,5.048300e-05,5.071915e-05,5.076126e-05,5.091334e-05,5.099862e-05,5.106823e-05,5.116985e-05,5.118638e-05,5.127023e-05,5.128062e-05,5.132210e-05,5.133628e-05,5.134419e-05,5.134184e-05,5.133860e-05,5.130733e-05,5.130194e-05,5.125226e-05,5.122095e-05,5.117517e-05,5.110290e-05,5.107775e-05,5.096159e-05,5.095153e-05,5.082817e-05,5.077030e-05,5.067893e-05,5.056242e-05,5.051518e-05,5.033817e-05,5.033083e-05,5.014909e-05,5.007828e-05,4.994903e-05,4.980725e-05,4.973903e-05,4.952007e-05,4.929305e-05,4.921885e-05,4.905883e-05,4.890553e-05,4.881821e-05,4.858189e-05,4.857194e-05,4.832070e-05,4.824956e-05,4.806516e-05,4.791003e-05,4.780593e-05,4.756465e-05,4.754356e-05,4.727860e-05,4.721467e-05,4.701152e-05,4.686121e-05,4.674280e-05,4.650530e-05,4.647285e-05,4.620207e-05,4.614785e-05,4.593083e-05,4.578971e-05,4.565946e-05,4.543165e-05,4.538828e-05,4.511758e-05,4.507433e-05,4.484763e-05,4.471839e-05,4.457866e-05,4.436436e-05,4.431091e-05,4.404459e-05,4.401274e-05,4.377989e-05,4.366397e-05,4.351697e-05,4.331845e-05,4.325600e-05,4.299713e-05,4.297651e-05,4.274047e-05,4.263846e-05,4.248616e-05,4.230457e-05,4.223430e-05,4.198498e-05,4.197506e-05,4.173829e-05,4.165014e-05,4.149431e-05,4.132998e-05,4.125309e-05,4.101471e-05,4.070446e-05,4.039932e-05,4.009938e-05,3.980468e-05,3.951528e-05,3.923120e-05,3.895246e-05,3.867905e-05,3.841097e-05,3.814819e-05,3.789070e-05,3.763845e-05,3.739140e-05,3.714950e-05,3.691270e-05,3.668094e-05,3.645415e-05,3.623227e-05,3.601522e-05,3.580294e-05,3.559534e-05,3.539236e-05,3.519391e-05,3.499991e-05
0.000000e+00,3.643570e-09,8.363851e-09,2.885568e-08,6.578461e-08,9.606991e-08,2.184974e-07,2.250955e-07,4.361574e-07,5.128480e-07,7.507546e-07,9.985497e-07,1.191220e-06,1.724244e-06,1.776711e-06,2.515478e-06,2.715152e-06,3.401381e-06,3.956449e-06,4.419913e-06,5.413405e-06,5.555336e-06,6.793167e-06,7.051831e-06,8.120004e-06,8.840837e-06,9.522926e-06,1.075085e-05,1.098919e-05,1.250621e-05,1.275282e-05,1.406170e-05,1.481852e-05,1.564389e-05,1.692142e-05,1.724174e-05,1.884510e-05,1.903743e-05,2.044484e-05,2.114546e-05,2.203288e-05,2.322761e-05,2.360220e-05,2.514681e-05,2.526915e-05,2.666170e-05,2.725838e-05,2.814276e-05,2.918629e-05,2.958668e-05,3.099088e-05,3.104619e-05,3.235337e-05,3.283337e-05,3.367275e-05,3.454480e-05,3.494807e-05,3.617878e-05,3.736465e-05,3.773466e-05,3.850572e-05,3.921262e-05,3.960227e-05,4.061350e-05,4.065476e-05,4.166379e-05,4.193862e-05,4.263008e-05,4.318968e-05,4.355446e-05,4.436864e-05,4.443782e-05,4.528113e-05,4.547767e-05,4.608538e-05,4.651908e-05,4.685161e-05,4.749526e-05,4.758086e-05,4.827421e-05,4.840866e-05,4.893272e-05,4.926174e-05,4.955749e-05,5.005699e-05,5.014957e-05,5.071003e-05,5.079684e-05,5.123992e-05,5.148373e-05,5.174030e-05,5.212003e-05,5.221218e-05,5.265657e-05,5.270809e-05,5.307446e-05,5.325018e-05,5.346682e-05,5.374852e-05,5.383460e-05,5.417873e-05,5.420526e-05,5.450011e-05,5.462249e-05,5.479963e-05,5.500222e-05,5.507814e-05,5.533649e-05,5.534642e-05,5.557549e-05,5.565694e-05,5.579593e-05,5.593562e-05,5.599858e-05,5.618419e-05,5.635348e-05,5.640432e-05,5.650715e-05,5.659763e-05,5.664589e-05,5.676564e-05,5.677036e-05,5.688118e-05,5.690985e-05,5.697898e-05,5.703166e-05,5.706436e-05,5.713242e-05,5.713788e-05,5.720012e-05,5.721343e-05,5.725160e-05,5.727592e-05,5.729284e-05,5.732106e-05,5.732435e-05,5.734660e-05,5.734999e-05,5.736007e-05,5.736375e-05,5.736520e-05,5.736339e-05,5.736243e-05,5.735216e-05,5.734985e-05,5.733481e-05,5.732407e-05,5.731075e-05,5.728693e-05,5.728036e-05,5.724399e-05,5.723924e-05,5.720199e-05,5.718180e-05,5.715468e-05,5.711537e-05,5.710238e-05,5.704539e-05,5.704064e-05,5.698401e-05,5.695829e-05,5.691851e-05,5.686896e-05,5.684917e-05,5.677623e-05,5.677324e-05,5.669995e-05,5.667172e-05,5.662056e-05,5.656491e-05,5.653828e-05,5.645334e-05,5.633747e-05,5.621777e-05,5.609465e-05,5.596852e-05,5.583975e-05,5.570869e-05,5.557568e-05,5.544103e-05,5.530502e-05,5.516794e-05,5.503004e-05,5.489155e-05,5.475270e-05,5.461369e-05,5.447472e-05,5.433598e-05,5.419761e-05,5.405978e-05,5.392264e-05,5.378630e-05,5.365090e-05,5.351654e-05,5.338333e-05,5.325136e-05
0.000000e+00,6.839929e-09,1.856171e-08,7.628168e-08,1.886875e-07,2.842109e-07,6.848192e-07,7.068626e-07,1.428407e-06,1.696974e-06,2.545849e-06,3.447114e-06,4.153684e-06,6.106425e-06,6.297438e-06,8.955556e-06,9.664744e-06,1.208063e-05,1.401853e-05,1.563045e-05,1.907819e-05,1.957055e-05,2.386895e-05,2.476874e-05,2.849227e-05,3.101281e-05,3.340397e-05,3.772358e-05,3.856418e-05,4.393034e-05,4.480510e-05,4.945828e-05,5.215607e-05,5.510348e-05,5.967464e-05,6.082224e-05,6.657278e-05,6.726310e-05,7.231612e-05,7.483159e-05,7.801664e-05,8.230071e-05,8.364257e-05,8.916612e-05,8.960284e-05,9.456350e-05,9.668256e-05,9.981486e-05,1.034962e-04,1.049040e-04,1.098180e-04,1.100107e-04,1.145471e-04,1.162030e-04,1.190846e-04,1.220581e-04,1.234257e-04,1.275683e-04,1.315112e-04,1.327308e-04,1.352552e-04,1.375477e-04,1.388020e-04,1.420241e-04,1.421545e-04,1.453161e-04,1.461678e-04,1.482912e-04,1.499887e-04,1.510846e-04,1.534984e-04,1.537014e-04,1.561472e-04,1.567093e-04,1.584277e-04,1.596349e-04,1.605492e-04,1.622899e-04,1.625183e-04,1.643407e-04,1.646881e-04,1.660222e-04,1.668429e-04,1.675687e-04,1.687675e-04,1.689858e-04,1.702790e-04,1.704748e-04,1.714540e-04,1.719775e-04,1.725160e-04,1.732878e-04,1.734703e-04,1.743218e-04,1.744173e-04,1.750755e-04,1.753773e-04,1.757360e-04,1.761786e-04,1.763080e-04,1.767960e-04,1.768315e-04,1.772041e-04,1.773459e-04,1.775365e-04,1.777313e-04,1.777973e-04,1.779900e-04,1.779964e-04,1.781185e-04,1.781497e-04,1.781863e-04,1.781994e-04,1.781967e-04,1.781530e-04,1.780583e-04,1.780177e-04,1.779155e-04,1.778003e-04,1.777276e-04,1.775072e-04,1.774972e-04,1.772270e-04,1.771446e-04,1.769195e-04,1.767180e-04,1.765770e-04,1.762330e-04,1.762019e-04,1.757962e-04,1.756946e-04,1.753622e-04,1.751075e-04,1.749017e-04,1.744761e-04,1.744167e-04,1.739089e-04,1.738048e-04,1.733801e-04,1.730974e-04,1.728320e-04,1.723576e-04,1.722659e-04,1.716835e-04,1.715889e-04,1.710862e-04,1.707945e-04,1.704752e-04,1.699774e-04,1.698518e-04,1.692173e-04,1.691405e-04,1.685728e-04,1.682863e-04,1.679193e-04,1.674173e-04,1.672579e-04,1.665896e-04,1.665358e-04,1.659152e-04,1.656440e-04,1.652357e-04,1.647438e-04,1.645519e-04,1.638645e-04,1.638370e-04,1.631743e-04,1.629253e-04,1.624820e-04,1.620103e-04,1.617882e-04,1.610935e-04,1.601762e-04,1.592597e-04,1.583450e-04,1.574333e-04,1.565255e-04,1.556225e-04,1.547250e-04,1.538339e-04,1.529498e-04,1.520733e-04,1.512049e-04,1.503452e-04,1.494946e-04,1.486534e-04,1.478221e-04,1.470009e-04,1.461902e-04,1.453900e-04,1.446008e-04,1.438225e-04,1.430554e-04,1.422995e-04,1.415550e-04,1.408220e-04
0.000000e+00,3.793528e-09,8.738938e-09,3.023019e-08,6.902290e-08,1.009264e-07,2.309766e-07,2.380390e-07,4.669589e-07,5.515665e-07,8.185874e-07,1.103264e-06,1.328444e-06,1.963021e-06,2.026041e-06,2.914667e-06,3.153776e-06,3.967864e-06,4.616360e-06,5.150908e-06,6.277240e-06,6.436161e-06,7.804023e-06,8.086153e-06,9.239663e-06,1.000873e-05,1.073041e-05,1.201649e-05,1.226434e-05,1.382971e-05,1.408231e-05,1.541485e-05,1.617934e-05,1.700822e-05,1.828133e-05,1.859867e-05,2.017561e-05,2.036346e-05,2.172928e-05,2.240320e-05,2.325083e-05,2.438089e-05,2.473248e-05,2.616755e-05,2.628017e-05,2.755050e-05,2.808805e-05,2.887686e-05,2.979482e-05,3.014318e-05,3.134699e-05,3.139382e-05,3.248666e-05,3.288106e-05,3.356134e-05,3.425486e-05,3.457081e-05,3.551546e-05,3.639613e-05,3.666462e-05,3.721405e-05,3.770529e-05,3.797076e-05,3.864129e-05,3.866806e-05,3.930794e-05,3.947711e-05,3.989253e-05,4.021765e-05,4.042403e-05,4.086809e-05,4.090473e-05,4.133693e-05,4.143370e-05,4.172294e-05,4.191979e-05,4.206506e-05,4.233160e-05,4.236553e-05,4.262659e-05,4.267426e-05,4.285037e-05,4.295271e-05,4.303897e-05,4.317166e-05,4.319437e-05,4.331854e-05,4.333564e-05,4.341338e-05,4.344903e-05,4.348073e-05,4.351600e-05,4.352234e-05,4.353984e-05,4.354039e-05,4.353478e-05,4.352580e-05,4.350867e-05,4.347564e-05,4.346295e-05,4.339899e-05,4.339312e-05,4.331806e-05,4.328121e-05,4.322138e-05,4.314268e-05,4.311012e-05,4.298538e-05,4.298013e-05,4.284820e-05,4.279596e-05,4.269957e-05,4.259243e-05,4.254041e-05,4.237161e-05,4.219399e-05,4.213542e-05,4.200833e-05,4.188564e-05,4.181537e-05,4.162391e-05,4.161581e-05,4.141029e-05,4.135176e-05,4.119943e-05,4.107060e-05,4.098381e-05,4.078171e-05,4.076398e-05,4.054044e-05,4.048629e-05,4.031366e-05,4.018543e-05,4.008411e-05,3.988013e-05,3.985219e-05,3.961830e-05,3.957132e-05,3.938281e-05,3.925983e-05,3.914606e-05,3.894644e-05,3.890836e-05,3.867003e-05,3.863185e-05,3.843133e-05,3.831670e-05,3.819253e-05,3.800158e-05,3.795386e-05,3.771556e-05,3.768700e-05,3.747782e-05,3.737345e-05,3.724084e-05,3.706135e-05,3.700480e-05,3.676985e-05,3.675111e-05,3.653615e-05,3.644306e-05,3.630384e-05,3.613751e-05,3.607305e-05,3.584389e-05,3.583476e-05,3.561646e-05,3.553503e-05,3.539087e-05,3.523856e-05,3.516721e-05,3.494554e-05,3.465613e-05,3.437048e-05,3.408871e-05,3.381093e-05,3.353723e-05,3.326767e-05,3.300233e-05,3.274124e-05,3.248444e-05,3.223194e-05,3.198377e-05,3.173991e-05,3.150038e-05,3.126515e-05,3.103420e-05,3.080751e-05,3.058506e-05,3.036679e-05,3.015268e-05,2.994267e-05,2.973673e-05,2.953480e-05,2.933683e-05,2.914276e-05
0.000000e+00,3.403803e-09,9.554980e-09,4.057021e-08,1.014594e-07,1.531268e-07,3.674818e-07,3.791562e-07,7.546273e-07,8.913774e-07,1.315195e-06,1.755547e-06,2.097393e-06,3.044055e-06,3.137542e-06,4.465266e-06,4.828462e-06,6.091232e-06,7.126999e-06,7.999275e-06,9.883518e-06,1.015369e-05,1.251332e-05,1.300641e-05,1.503969e-05,1.640775e-05,1.769845e-05,2.001127e-05,2.045846e-05,2.329066e-05,2.374866e-05,2.616760e-05,2.755671e-05,2.906323e-05,3.137671e-05,3.195312e-05,3.481472e-05,3.515522e-05,3.762764e-05,3.884516e-05,4.037383e-05,4.240662e-05,4.303771e-05,4.560631e-05,4.580735e-05,4.806912e-05,4.902272e-05,5.041795e-05,5.203511e-05,5.264685e-05,5.475184e-05,5.483342e-05,5.673073e-05,5.741210e-05,5.858287e-05,5.977022e-05,6.030892e-05,6.191064e-05,6.339068e-05,6.383912e-05,6.475239e-05,6.556359e-05,6.599971e-05,6.709352e-05,6.713695e-05,6.816875e-05,6.843941e-05,6.909990e-05,6.961233e-05,6.993533e-05,7.062363e-05,7.067997e-05,7.133879e-05,7.148468e-05,7.191667e-05,7.220670e-05,7.241835e-05,7.280045e-05,7.284843e-05,7.321137e-05,7.327629e-05,7.351148e-05,7.364408e-05,7.375289e-05,7.391318e-05,7.393952e-05,7.407514e-05,7.409235e-05,7.416332e-05,7.418979e-05,7.420744e-05,7.421319e-05,7.421073e-05,7.417621e-05,7.416967e-05,7.410677e-05,7.406585e-05,7.400509e-05,7.390784e-05,7.387374e-05,7.371511e-05,7.370131e-05,7.353146e-05,7.345148e-05,7.332491e-05,7.316313e-05,7.309744e-05,7.285092e-05,7.284069e-05,7.258710e-05,7.248821e-05,7.230761e-05,7.210940e-05,7.201399e-05,7.170766e-05,7.138996e-05,7.128611e-05,7.106215e-05,7.084758e-05,7.072538e-05,7.039467e-05,7.038074e-05,7.002925e-05,6.992973e-05,6.967184e-05,6.945493e-05,6.930940e-05,6.897220e-05,6.894273e-05,6.857260e-05,6.848333e-05,6.819970e-05,6.798991e-05,6.782468e-05,6.749340e-05,6.744815e-05,6.707067e-05,6.699511e-05,6.669275e-05,6.649622e-05,6.631487e-05,6.599779e-05,6.593746e-05,6.556092e-05,6.550078e-05,6.518564e-05,6.500605e-05,6.481194e-05,6.451434e-05,6.444015e-05,6.407054e-05,6.402634e-05,6.370337e-05,6.354265e-05,6.333888e-05,6.306380e-05,6.297729e-05,6.261879e-05,6.259025e-05,6.226356e-05,6.212242e-05,6.191175e-05,6.166065e-05,6.156350e-05,6.121895e-05,6.120524e-05,6.087819e-05,6.075647e-05,6.054134e-05,6.031455e-05,6.020847e-05,5.987966e-05,5.945195e-05,5.903154e-05,5.861852e-05,5.821296e-05,5.781490e-05,5.742438e-05,5.704138e-05,5.666591e-05,5.629794e-05,5.593742e-05,5.558432e-05,5.523857e-05,5.490011e-05,5.456885e-05,5.424472e-05,5.392761e-05,5.361744e-05,5.331411e-05,5.301751e-05,5.272753e-05,5.244406e-05,5.216700e-05,5.189622e-05,5.163161e-05
0.000000e+00,2.757401e-10,8.552104e-10,4.026648e-09,1.050120e-08,1.605509e-08,3.911584e-08,4.036707e-08,8.020707e-08,9.451438e-08,1.381856e-07,1.825582e-07,2.163641e-07,3.074669e-07,3.162885e-07,4.389674e-07,4.718544e-07,5.847941e-07,6.764735e-07,7.534214e-07,9.197093e-07,9.436037e-07,1.153046e-06,1.196964e-06,1.378330e-06,1.500303e-06,1.615036e-06,1.819001e-06,1.858106e-06,2.102426e-06,2.141313e-06,2.343371e-06,2.456677e-06,2.577151e-06,2.757061e-06,2.800900e-06,3.012603e-06,3.037129e-06,3.210950e-06,3.293781e-06,3.395191e-06,3.525572e-06,3.565009e-06,3.720424e-06,3.732242e-06,3.861709e-06,3.914365e-06,3.989327e-06,4.073084e-06,4.103882e-06,4.206075e-06,4.209916e-06,4.296667e-06,4.326593e-06,4.376453e-06,4.424946e-06,4.446237e-06,4.506815e-06,4.558961e-06,4.573989e-06,4.603417e-06,4.628159e-06,4.640885e-06,4.670893e-06,4.672025e-06,4.697451e-06,4.703624e-06,4.717729e-06,4.727644e-06,4.733381e-06,4.744104e-06,4.744882e-06,4.752666e-06,4.754026e-06,4.757128e-06,4.758310e-06,4.758624e-06,4.757742e-06,4.757474e-06,4.753970e-06,4.753010e-06,4.748372e-06,4.744712e-06,4.740914e-06,4.733367e-06,4.731807e-06,4.721240e-06,4.719426e-06,4.709383e-06,4.703278e-06,4.696388e-06,4.685264e-06,4.682391e-06,4.667516e-06,4.665677e-06,4.651872e-06,4.644771e-06,4.635558e-06,4.622767e-06,4.618664e-06,4.601270e-06,4.599859e-06,4.583448e-06,4.576214e-06,4.565263e-06,4.551977e-06,4.546773e-06,4.528032e-06,4.527277e-06,4.509087e-06,4.502225e-06,4.489981e-06,4.476917e-06,4.470754e-06,4.451440e-06,4.432072e-06,4.425868e-06,4.412679e-06,4.400266e-06,4.393286e-06,4.374692e-06,4.373918e-06,4.354596e-06,4.349197e-06,4.335339e-06,4.323824e-06,4.316165e-06,4.298612e-06,4.297090e-06,4.278128e-06,4.273596e-06,4.259293e-06,4.248804e-06,4.240595e-06,4.224263e-06,4.222045e-06,4.203654e-06,4.199996e-06,4.185429e-06,4.176021e-06,4.167379e-06,4.152356e-06,4.149509e-06,4.131826e-06,4.129015e-06,4.114336e-06,4.106010e-06,4.097042e-06,4.083352e-06,4.079949e-06,4.063061e-06,4.061048e-06,4.046380e-06,4.039107e-06,4.029909e-06,4.017533e-06,4.013650e-06,3.997606e-06,3.996332e-06,3.981777e-06,3.975506e-06,3.966164e-06,3.955057e-06,3.950769e-06,3.935591e-06,3.934988e-06,3.920631e-06,3.915299e-06,3.905889e-06,3.895989e-06,3.891364e-06,3.877057e-06,3.858502e-06,3.840323e-06,3.822516e-06,3.805078e-06,3.788007e-06,3.771299e-06,3.754950e-06,3.738955e-06,3.723310e-06,3.708012e-06,3.693054e-06,3.678431e-06,3.664140e-06,3.650174e-06,3.636529e-06,3.623199e-06,3.610178e-06,3.597462e-06,3.585044e-06,3.572920e-06,3.561084e-06,3.549530e-06,3.538252e-06,3.527247e-06
0.000000e+00,2.676974e-09,6.231301e-09,2.175598e-08,4.973458e-08,7.262077e-08,1.645555e-07,1.694854e-07,3.260270e-07,3.824117e-07,5.559438e-07,7.349100e-07,8.731702e-07,1.253814e-06,1.291261e-06,1.821088e-06,1.965509e-06,2.466374e-06,2.875836e-06,3.219612e-06,3.958160e-06,4.063532e-06,4.977517e-06,5.167005e-06,5.942689e-06,6.459463e-06,6.943299e-06,7.801567e-06,7.966266e-06,9.000451e-06,9.166297e-06,1.003617e-05,1.053133e-05,1.106495e-05,1.187799e-05,1.207943e-05,1.307329e-05,1.319091e-05,1.404127e-05,1.445783e-05,1.497903e-05,1.566941e-05,1.588320e-05,1.675119e-05,1.681901e-05,1.758119e-05,1.790227e-05,1.837203e-05,1.891683e-05,1.912311e-05,1.983424e-05,1.986185e-05,2.050568e-05,2.073778e-05,2.113797e-05,2.154596e-05,2.173190e-05,2.228843e-05,2.280871e-05,2.296773e-05,2.329394e-05,2.358671e-05,2.374545e-05,2.414840e-05,2.416456e-05,2.455266e-05,2.465596e-05,2.491114e-05,2.511258e-05,2.524137e-05,2.552139e-05,2.554470e-05,2.582244e-05,2.588544e-05,2.607589e-05,2.620768e-05,2.630630e-05,2.649095e-05,2.651487e-05,2.670277e-05,2.673797e-05,2.687112e-05,2.695129e-05,2.702099e-05,2.713336e-05,2.715341e-05,2.726938e-05,2.728647e-05,2.736984e-05,2.741282e-05,2.745569e-05,2.751443e-05,2.752779e-05,2.758696e-05,2.759323e-05,2.763398e-05,2.765101e-05,2.766960e-05,2.768947e-05,2.769451e-05,2.770939e-05,2.771017e-05,2.771488e-05,2.771458e-05,2.771158e-05,2.770409e-05,2.770007e-05,2.768088e-05,2.767996e-05,2.765454e-05,2.764341e-05,2.762154e-05,2.759552e-05,2.758233e-05,2.753735e-05,2.748703e-05,2.746986e-05,2.743174e-05,2.739393e-05,2.737187e-05,2.731040e-05,2.730776e-05,2.723974e-05,2.722004e-05,2.716813e-05,2.712356e-05,2.709322e-05,2.702163e-05,2.701529e-05,2.693460e-05,2.691485e-05,2.685141e-05,2.680381e-05,2.676594e-05,2.668902e-05,2.667841e-05,2.658904e-05,2.657097e-05,2.649802e-05,2.645010e-05,2.640554e-05,2.632684e-05,2.631175e-05,2.621684e-05,2.620156e-05,2.612095e-05,2.607462e-05,2.602423e-05,2.594634e-05,2.592680e-05,2.582881e-05,2.581702e-05,2.573036e-05,2.568693e-05,2.563157e-05,2.555633e-05,2.553254e-05,2.543337e-05,2.542544e-05,2.533416e-05,2.529448e-05,2.523498e-05,2.516364e-05,2.513592e-05,2.503704e-05,2.503309e-05,2.493843e-05,2.490301e-05,2.484014e-05,2.477353e-05,2.474224e-05,2.464478e-05,2.451689e-05,2.438997e-05,2.426410e-05,2.413940e-05,2.401592e-05,2.389374e-05,2.377293e-05,2.365354e-05,2.353561e-05,2.341919e-05,2.330432e-05,2.319103e-05,2.307934e-05,2.296928e-05,2.286086e-05,2.275410e-05,2.264900e-05,2.254558e-05,2.244383e-05,2.234376e-05,2.224538e-05,2.214866e-05,2.205362e-05,2.196024e-05
0.000000e+00,9.504873e-13,5.904209e-12,8.481589e-11,4.736083e-10,1.024580e-09,5.198484e-09,5.505266e-09,1.910663e-08,2.566621e-08,5.058085e-08,8.279487e-08,1.116102e-07,2.060060e-07,2.163645e-07,3.808655e-07,4.310948e-07,6.217032e-07,7.956260e-07,9.538100e-07,1.330290e-06,1.388013e-06,1.929557e-06,2.050803e-06,2.578066e-06,2.956050e-06,3.328538e-06,4.031735e-06,4.172684e-06,5.100151e-06,5.255519e-06,6.099422e-06,6.601040e-06,7.158416e-06,8.040376e-06,8.264880e-06,9.406650e-06,9.545468e-06,1.057188e-05,1.108906e-05,1.174921e-05,1.264548e-05,1.292797e-05,1.409835e-05,1.419134e-05,1.525148e-05,1.570613e-05,1.637961e-05,1.717259e-05,1.747607e-05,1.853535e-05,1.857688e-05,1.955307e-05,1.990860e-05,2.052589e-05,2.116052e-05,2.145144e-05,2.232825e-05,2.315560e-05,2.340988e-05,2.393343e-05,2.440548e-05,2.466226e-05,2.531671e-05,2.534303e-05,2.597706e-05,2.614642e-05,2.656593e-05,2.689831e-05,2.711143e-05,2.757662e-05,2.761547e-05,2.808006e-05,2.818592e-05,2.850724e-05,2.873089e-05,2.889907e-05,2.921625e-05,2.925757e-05,2.958471e-05,2.964655e-05,2.988242e-05,3.002620e-05,3.015252e-05,3.035938e-05,3.039679e-05,3.061691e-05,3.065000e-05,3.081446e-05,3.090171e-05,3.099094e-05,3.111791e-05,3.114777e-05,3.128627e-05,3.130172e-05,3.140769e-05,3.145601e-05,3.151319e-05,3.158341e-05,3.160387e-05,3.168075e-05,3.168633e-05,3.174477e-05,3.176698e-05,3.179682e-05,3.182736e-05,3.183775e-05,3.186830e-05,3.186932e-05,3.188922e-05,3.189452e-05,3.190116e-05,3.190449e-05,3.190477e-05,3.190061e-05,3.188924e-05,3.188416e-05,3.187116e-05,3.185629e-05,3.184685e-05,3.181806e-05,3.181675e-05,3.178128e-05,3.177043e-05,3.174081e-05,3.171429e-05,3.169572e-05,3.165044e-05,3.164634e-05,3.159298e-05,3.157962e-05,3.153594e-05,3.150250e-05,3.147550e-05,3.141970e-05,3.141191e-05,3.134541e-05,3.133178e-05,3.127624e-05,3.123928e-05,3.120459e-05,3.114266e-05,3.113069e-05,3.105470e-05,3.104236e-05,3.097680e-05,3.093878e-05,3.089717e-05,3.083231e-05,3.081594e-05,3.073328e-05,3.072327e-05,3.064931e-05,3.061198e-05,3.056416e-05,3.049873e-05,3.047795e-05,3.039080e-05,3.038379e-05,3.030281e-05,3.026740e-05,3.021409e-05,3.014980e-05,3.012471e-05,3.003479e-05,3.003118e-05,2.994439e-05,2.991174e-05,2.985359e-05,2.979167e-05,2.976248e-05,2.967111e-05,2.955023e-05,2.942917e-05,2.930804e-05,2.918698e-05,2.906609e-05,2.894548e-05,2.882522e-05,2.870543e-05,2.858616e-05,2.846749e-05,2.834949e-05,2.823223e-05,2.811574e-05,2.800010e-05,2.788534e-05,2.777151e-05,2.765864e-05,2.754677e-05,2.743593e-05,2.732615e-05,2.721746e-05,2.710988e-05,2.700342e-05,2.689811e-05
0.000000e+00,4.774888e-09,1.211958e-08,4.645081e-08,1.112527e-07,1.655586e-07,3.901785e-07,4.024459e-07,8.009059e-07,9.481353e-07,1.411694e-06,1.904093e-06,2.292790e-06,3.389751e-06,3.499149e-06,5.057835e-06,5.483186e-06,6.950848e-06,8.139799e-06,9.131281e-06,1.124841e-05,1.154975e-05,1.416514e-05,1.470881e-05,1.694399e-05,1.844388e-05,1.985738e-05,2.238912e-05,2.287874e-05,2.598280e-05,2.648549e-05,2.914525e-05,3.067709e-05,3.234282e-05,3.491138e-05,3.555358e-05,3.875721e-05,3.914027e-05,4.193530e-05,4.332127e-05,4.507146e-05,4.741803e-05,4.815140e-05,5.116300e-05,5.140066e-05,5.409622e-05,5.524568e-05,5.694292e-05,5.893533e-05,5.969673e-05,6.235283e-05,6.245699e-05,6.490784e-05,6.580244e-05,6.735956e-05,6.896709e-05,6.970682e-05,7.194949e-05,7.408789e-05,7.475028e-05,7.612293e-05,7.737183e-05,7.805619e-05,7.981809e-05,7.988953e-05,8.162518e-05,8.209398e-05,8.326561e-05,8.420525e-05,8.481344e-05,8.615800e-05,8.627139e-05,8.764228e-05,8.795866e-05,8.892901e-05,8.961390e-05,9.013449e-05,9.113041e-05,9.126163e-05,9.231334e-05,9.251488e-05,9.329249e-05,9.377392e-05,9.420192e-05,9.491401e-05,9.504442e-05,9.582272e-05,9.594146e-05,9.653947e-05,9.686242e-05,9.719728e-05,9.768279e-05,9.779868e-05,9.834613e-05,9.840832e-05,9.884203e-05,9.904448e-05,9.928867e-05,9.959657e-05,9.968832e-05,1.000431e-04,1.000696e-04,1.003552e-04,1.004685e-04,1.006265e-04,1.007978e-04,1.008591e-04,1.010548e-04,1.010619e-04,1.012154e-04,1.012650e-04,1.013427e-04,1.014110e-04,1.014383e-04,1.015039e-04,1.015410e-04,1.015471e-04,1.015511e-04,1.015441e-04,1.015357e-04,1.014981e-04,1.014960e-04,1.014336e-04,1.014121e-04,1.013495e-04,1.012892e-04,1.012450e-04,1.011319e-04,1.011214e-04,1.009796e-04,1.009430e-04,1.008208e-04,1.007248e-04,1.006460e-04,1.004797e-04,1.004562e-04,1.002522e-04,1.002098e-04,1.000351e-04,9.991725e-05,9.980561e-05,9.960391e-05,9.956460e-05,9.931285e-05,9.927163e-05,9.905110e-05,9.892212e-05,9.878007e-05,9.855701e-05,9.850043e-05,9.821283e-05,9.817781e-05,9.791789e-05,9.778595e-05,9.761621e-05,9.738276e-05,9.730833e-05,9.699481e-05,9.696950e-05,9.667614e-05,9.654734e-05,9.635281e-05,9.611739e-05,9.602529e-05,9.569401e-05,9.568069e-05,9.535939e-05,9.523819e-05,9.502183e-05,9.479080e-05,9.468170e-05,9.433936e-05,9.388466e-05,9.342743e-05,9.296836e-05,9.250808e-05,9.204718e-05,9.158621e-05,9.112568e-05,9.066606e-05,9.020779e-05,8.975127e-05,8.929688e-05,8.884494e-05,8.839579e-05,8.794970e-05,8.750693e-05,8.706774e-05,8.663234e-05,8.620093e-05,8.577368e-05,8.535076e-05,8.493231e-05,8.451846e-05,8.410933e-05,8.370502e-05
0.000000e+00,1.967772e-09,4.538784e-09,1.570417e-08,3.576760e-08,5.216385e-08,1.179967e-07,1.215266e-07,2.336240e-07,2.740109e-07,3.983625e-07,5.267300e-07,6.260173e-07,9.001425e-07,9.271896e-07,1.312067e-06,1.417858e-06,1.788557e-06,2.096729e-06,2.359424e-06,2.936408e-06,3.020109e-06,3.759420e-06,3.915455e-06,4.562814e-06,5.000991e-06,5.415655e-06,6.160630e-06,6.304864e-06,7.219228e-06,7.367200e-06,8.149161e-06,8.598581e-06,9.086368e-06,9.836460e-06,1.002359e-05,1.095442e-05,1.106542e-05,1.187325e-05,1.227245e-05,1.277518e-05,1.344673e-05,1.365600e-05,1.451218e-05,1.457952e-05,1.534079e-05,1.566398e-05,1.613953e-05,1.669509e-05,1.690660e-05,1.764074e-05,1.766941e-05,1.834110e-05,1.858487e-05,1.900724e-05,1.944060e-05,1.963905e-05,2.023670e-05,2.080061e-05,2.097403e-05,2.133139e-05,2.165406e-05,2.182982e-05,2.227870e-05,2.229678e-05,2.273328e-05,2.285018e-05,2.314037e-05,2.337097e-05,2.351916e-05,2.384364e-05,2.387080e-05,2.419643e-05,2.427084e-05,2.449721e-05,2.465523e-05,2.477430e-05,2.499944e-05,2.502883e-05,2.526191e-05,2.530605e-05,2.547462e-05,2.557754e-05,2.566803e-05,2.581632e-05,2.584315e-05,2.600097e-05,2.602468e-05,2.614243e-05,2.620479e-05,2.626845e-05,2.635874e-05,2.637991e-05,2.647764e-05,2.648848e-05,2.656244e-05,2.659585e-05,2.663507e-05,2.668259e-05,2.669627e-05,2.674673e-05,2.675032e-05,2.678711e-05,2.680058e-05,2.681803e-05,2.683478e-05,2.684010e-05,2.685388e-05,2.685427e-05,2.685991e-05,2.686029e-05,2.685870e-05,2.685400e-05,2.685074e-05,2.683648e-05,2.681636e-05,2.680875e-05,2.679078e-05,2.677173e-05,2.676014e-05,2.672631e-05,2.672481e-05,2.668514e-05,2.667329e-05,2.664144e-05,2.661343e-05,2.659404e-05,2.654741e-05,2.654323e-05,2.648928e-05,2.647589e-05,2.643246e-05,2.639947e-05,2.637300e-05,2.631870e-05,2.631116e-05,2.624714e-05,2.623409e-05,2.618114e-05,2.614611e-05,2.611338e-05,2.605522e-05,2.604402e-05,2.597324e-05,2.596179e-05,2.590120e-05,2.586622e-05,2.582806e-05,2.576885e-05,2.575395e-05,2.567902e-05,2.566998e-05,2.560338e-05,2.556991e-05,2.552716e-05,2.546891e-05,2.545047e-05,2.537340e-05,2.536722e-05,2.529606e-05,2.526507e-05,2.521854e-05,2.516266e-05,2.514092e-05,2.506329e-05,2.506018e-05,2.498571e-05,2.495780e-05,2.490825e-05,2.485568e-05,2.483098e-05,2.475396e-05,2.465277e-05,2.455222e-05,2.445243e-05,2.435348e-05,2.425546e-05,2.415845e-05,2.406252e-05,2.396773e-05,2.387413e-05,2.378176e-05,2.369068e-05,2.360090e-05,2.351248e-05,2.342542e-05,2.333975e-05,2.325549e-05,2.317265e-05,2.309124e-05,2.301127e-05,2.293274e-05,2.285565e-05,2.278000e-05,2.270579e-05,2.263302e-05
0.000000e+00,7.199632e-10,1.954902e-09,8.028317e-09,1.980148e-08,2.974611e-08,7.085320e-08,7.308779e-08,1.447925e-07,1.708339e-07,2.512968e-07,3.345192e-07,3.988793e-07,5.762309e-07,5.936949e-07,8.415171e-07,9.094332e-07,1.146924e-06,1.344016e-06,1.511991e-06,1.881650e-06,1.935428e-06,2.413173e-06,2.514774e-06,2.939849e-06,3.231193e-06,3.509854e-06,4.018168e-06,4.117762e-06,4.758338e-06,4.863519e-06,5.426466e-06,5.755471e-06,6.117104e-06,6.682478e-06,6.825281e-06,7.546129e-06,7.633257e-06,8.274941e-06,8.596973e-06,9.007223e-06,9.563473e-06,9.738761e-06,1.046566e-05,1.052350e-05,1.118439e-05,1.146887e-05,1.189179e-05,1.239253e-05,1.258509e-05,1.326192e-05,1.328862e-05,1.392028e-05,1.415243e-05,1.455851e-05,1.498033e-05,1.517531e-05,1.576966e-05,1.634085e-05,1.651865e-05,1.688838e-05,1.722626e-05,1.741199e-05,1.789208e-05,1.791160e-05,1.838729e-05,1.851623e-05,1.883929e-05,1.909925e-05,1.926793e-05,1.964201e-05,1.967364e-05,2.005692e-05,2.014563e-05,2.041835e-05,2.061142e-05,2.075853e-05,2.104083e-05,2.107811e-05,2.137778e-05,2.143538e-05,2.165822e-05,2.179668e-05,2.192013e-05,2.212634e-05,2.216423e-05,2.239121e-05,2.242598e-05,2.260177e-05,2.269720e-05,2.279659e-05,2.294158e-05,2.297636e-05,2.314174e-05,2.316065e-05,2.329337e-05,2.335589e-05,2.343187e-05,2.352874e-05,2.355787e-05,2.367195e-05,2.368057e-05,2.377467e-05,2.381271e-05,2.386659e-05,2.392639e-05,2.394825e-05,2.402015e-05,2.402283e-05,2.408278e-05,2.410316e-05,2.413663e-05,2.416846e-05,2.418215e-05,2.421977e-05,2.424991e-05,2.425805e-05,2.427298e-05,2.428422e-05,2.428937e-05,2.429914e-05,2.429943e-05,2.430352e-05,2.430365e-05,2.430199e-05,2.429850e-05,2.429515e-05,2.428444e-05,2.428331e-05,2.426677e-05,2.426213e-05,2.424581e-05,2.423224e-05,2.422069e-05,2.419536e-05,2.419168e-05,2.415902e-05,2.415207e-05,2.412293e-05,2.410289e-05,2.408365e-05,2.404834e-05,2.404139e-05,2.399634e-05,2.398889e-05,2.394870e-05,2.392497e-05,2.389865e-05,2.385700e-05,2.384637e-05,2.379202e-05,2.378537e-05,2.373577e-05,2.371044e-05,2.367774e-05,2.363256e-05,2.361811e-05,2.355698e-05,2.355203e-05,2.349450e-05,2.346916e-05,2.343079e-05,2.338422e-05,2.336596e-05,2.330013e-05,2.329747e-05,2.323339e-05,2.320916e-05,2.316584e-05,2.311950e-05,2.309758e-05,2.302870e-05,2.293697e-05,2.284447e-05,2.275138e-05,2.265786e-05,2.256405e-05,2.247008e-05,2.237607e-05,2.228215e-05,2.218841e-05,2.209495e-05,2.200187e-05,2.190924e-05,2.181714e-05,2.172564e-05,2.163481e-05,2.154469e-05,2.145535e-05,2.136682e-05,2.127916e-05,2.119240e-05,2.110657e-05,2.102171e-05,2.093784e-05,2.085499e-05
0.000000e+00,9.201805e-09,2.132502e-08,7.450616e-08,1.714971e-07,2.518486e-07,5.827270e-07,6.008102e-07,1.191159e-06,1.410891e-06,2.107727e-06,2.853948e-06,3.445253e-06,5.112121e-06,5.277619e-06,7.613292e-06,8.243488e-06,1.039938e-05,1.213107e-05,1.356934e-05,1.663349e-05,1.706951e-05,2.085935e-05,2.164905e-05,2.490519e-05,2.709980e-05,2.917576e-05,3.291393e-05,3.363989e-05,3.826581e-05,3.901883e-05,4.302133e-05,4.534057e-05,4.787436e-05,5.180593e-05,5.279362e-05,5.774928e-05,5.834506e-05,6.271351e-05,6.489383e-05,6.766084e-05,7.139538e-05,7.256846e-05,7.741629e-05,7.780099e-05,8.218694e-05,8.407020e-05,8.686568e-05,9.017047e-05,9.144022e-05,9.590054e-05,9.607646e-05,1.002387e-04,1.017692e-04,1.044484e-04,1.072353e-04,1.085252e-04,1.124659e-04,1.162683e-04,1.174557e-04,1.199315e-04,1.222028e-04,1.234553e-04,1.267074e-04,1.268401e-04,1.300871e-04,1.309718e-04,1.331978e-04,1.349997e-04,1.361743e-04,1.387959e-04,1.390186e-04,1.417335e-04,1.423661e-04,1.443216e-04,1.457166e-04,1.467858e-04,1.488541e-04,1.491291e-04,1.513545e-04,1.517858e-04,1.534653e-04,1.545187e-04,1.554646e-04,1.570602e-04,1.573556e-04,1.591415e-04,1.594177e-04,1.608254e-04,1.615984e-04,1.624105e-04,1.636096e-04,1.639000e-04,1.652969e-04,1.654585e-04,1.666044e-04,1.671521e-04,1.678253e-04,1.686972e-04,1.689627e-04,1.700194e-04,1.701005e-04,1.709983e-04,1.713687e-04,1.719022e-04,1.725081e-04,1.727338e-04,1.734957e-04,1.735248e-04,1.741906e-04,1.744248e-04,1.748209e-04,1.752139e-04,1.753892e-04,1.758978e-04,1.763490e-04,1.764817e-04,1.767453e-04,1.769710e-04,1.770886e-04,1.773706e-04,1.773813e-04,1.776254e-04,1.776853e-04,1.778229e-04,1.779198e-04,1.779757e-04,1.780786e-04,1.780859e-04,1.781551e-04,1.781659e-04,1.781853e-04,1.781858e-04,1.781782e-04,1.781423e-04,1.781353e-04,1.780585e-04,1.780391e-04,1.779491e-04,1.778799e-04,1.778088e-04,1.776681e-04,1.776390e-04,1.774411e-04,1.774069e-04,1.772165e-04,1.770996e-04,1.769666e-04,1.767492e-04,1.766925e-04,1.763956e-04,1.763585e-04,1.760770e-04,1.759303e-04,1.757379e-04,1.754671e-04,1.753794e-04,1.750025e-04,1.749716e-04,1.746083e-04,1.744460e-04,1.741978e-04,1.738926e-04,1.737718e-04,1.733315e-04,1.733136e-04,1.728775e-04,1.727110e-04,1.724109e-04,1.720867e-04,1.719323e-04,1.714426e-04,1.707805e-04,1.701020e-04,1.694086e-04,1.687020e-04,1.679834e-04,1.672543e-04,1.665158e-04,1.657693e-04,1.650157e-04,1.642563e-04,1.634919e-04,1.627236e-04,1.619523e-04,1.611787e-04,1.604037e-04,1.596280e-04,1.588523e-04,1.580773e-04,1.573036e-04,1.565317e-04,1.557622e-04,1.549957e-04,1.542324e-04,1.534730e-04
0.000000e+00,6.697691e-12,3.991607e-11,5.270497e-10,2.731293e-09,5.676885e-09,2.606304e-08,2.749215e-08,8.689017e-08,1.139050e-07,2.115420e-07,3.307775e-07,4.332744e-07,7.525400e-07,7.864769e-07,1.307173e-06,1.461077e-06,2.030859e-06,2.536239e-06,2.986928e-06,4.032827e-06,4.190302e-06,5.635156e-06,5.951092e-06,7.295176e-06,8.230303e-06,9.129868e-06,1.077209e-05,1.109288e-05,1.313873e-05,1.347094e-05,1.522665e-05,1.623338e-05,1.732196e-05,1.898402e-05,1.939590e-05,2.142475e-05,2.166422e-05,2.338911e-05,2.422880e-05,2.527314e-05,2.664332e-05,2.706409e-05,2.875201e-05,2.888235e-05,3.032953e-05,3.092843e-05,3.179167e-05,3.277136e-05,3.313571e-05,3.436089e-05,3.440743e-05,3.546827e-05,3.583855e-05,3.646044e-05,3.707121e-05,3.734122e-05,3.811549e-05,3.878886e-05,3.898403e-05,3.936750e-05,3.969110e-05,3.985788e-05,4.025176e-05,4.026663e-05,4.060037e-05,4.068126e-05,4.086559e-05,4.099447e-05,4.106860e-05,4.120557e-05,4.121538e-05,4.131160e-05,4.132776e-05,4.136257e-05,4.137320e-05,4.137321e-05,4.135284e-05,4.134808e-05,4.129133e-05,4.127652e-05,4.120676e-05,4.115295e-05,4.109782e-05,4.098977e-05,4.096763e-05,4.081901e-05,4.079369e-05,4.065446e-05,4.057050e-05,4.047627e-05,4.032525e-05,4.028645e-05,4.008680e-05,4.006226e-05,3.987893e-05,3.978523e-05,3.966426e-05,3.949736e-05,3.944407e-05,3.921948e-05,3.920135e-05,3.899147e-05,3.889951e-05,3.876093e-05,3.859382e-05,3.852864e-05,3.829529e-05,3.828594e-05,3.806146e-05,3.797727e-05,3.782770e-05,3.766903e-05,3.759448e-05,3.736220e-05,3.713123e-05,3.705764e-05,3.690187e-05,3.675606e-05,3.667441e-05,3.645805e-05,3.644908e-05,3.622609e-05,3.616409e-05,3.600561e-05,3.587460e-05,3.578781e-05,3.558991e-05,3.557282e-05,3.536074e-05,3.531028e-05,3.515167e-05,3.503593e-05,3.494569e-05,3.476703e-05,3.474286e-05,3.454323e-05,3.450369e-05,3.434684e-05,3.424601e-05,3.415372e-05,3.399405e-05,3.396390e-05,3.377738e-05,3.374784e-05,3.359417e-05,3.350740e-05,3.341426e-05,3.327272e-05,3.323766e-05,3.306435e-05,3.304378e-05,3.289432e-05,3.282053e-05,3.272753e-05,3.260294e-05,3.256398e-05,3.240363e-05,3.239094e-05,3.224645e-05,3.218446e-05,3.209241e-05,3.198342e-05,3.194147e-05,3.179360e-05,3.178775e-05,3.164876e-05,3.159735e-05,3.150691e-05,3.141214e-05,3.136801e-05,3.123201e-05,3.105688e-05,3.088663e-05,3.072117e-05,3.056040e-05,3.040420e-05,3.025248e-05,3.010513e-05,2.996205e-05,2.982313e-05,2.968827e-05,2.955736e-05,2.943031e-05,2.930702e-05,2.918738e-05,2.907131e-05,2.895870e-05,2.884946e-05,2.874350e-05,2.864072e-05,2.854105e-05,2.844439e-05,2.835065e-05,2.825976e-05,2.817163e-05
0.000000e+00,7.901931e-09,1.843920e-08,6.456949e-08,1.479919e-07,2.164945e-07,4.941355e-07,5.091364e-07,9.913947e-07,1.167840e-06,1.719259e-06,2.299345e-06,2.753423e-06,4.015194e-06,4.139318e-06,5.873498e-06,6.336236e-06,7.903837e-06,9.146402e-06,1.016767e-05,1.231226e-05,1.261409e-05,1.520381e-05,1.573598e-05,1.790387e-05,1.934144e-05,2.068413e-05,2.306044e-05,2.351580e-05,2.637111e-05,2.682836e-05,2.922364e-05,3.058456e-05,3.204880e-05,3.427420e-05,3.482436e-05,3.753071e-05,3.785000e-05,4.015118e-05,4.127333e-05,4.267202e-05,4.451445e-05,4.508238e-05,4.737410e-05,4.755213e-05,4.954152e-05,5.037284e-05,5.158116e-05,5.296963e-05,5.349145e-05,5.527243e-05,5.534100e-05,5.692548e-05,5.748971e-05,5.845306e-05,5.942180e-05,5.985847e-05,6.114567e-05,6.231911e-05,6.267136e-05,6.338356e-05,6.400990e-05,6.434399e-05,6.517288e-05,6.520551e-05,6.597325e-05,6.617211e-05,6.665233e-05,6.701931e-05,6.724777e-05,6.772596e-05,6.776451e-05,6.820733e-05,6.830313e-05,6.858086e-05,6.876144e-05,6.888955e-05,6.911096e-05,6.913767e-05,6.932930e-05,6.936119e-05,6.946830e-05,6.952102e-05,6.955837e-05,6.959879e-05,6.960301e-05,6.960554e-05,6.960225e-05,6.956910e-05,6.953864e-05,6.949665e-05,6.941465e-05,6.939099e-05,6.925476e-05,6.923648e-05,6.909043e-05,6.900983e-05,6.890034e-05,6.874000e-05,6.868669e-05,6.845153e-05,6.843185e-05,6.819680e-05,6.808983e-05,6.792430e-05,6.771806e-05,6.763574e-05,6.733270e-05,6.732029e-05,6.701666e-05,6.689998e-05,6.668902e-05,6.646026e-05,6.635107e-05,6.600402e-05,6.564900e-05,6.553388e-05,6.528706e-05,6.505223e-05,6.491917e-05,6.456125e-05,6.454625e-05,6.416913e-05,6.406290e-05,6.378862e-05,6.355898e-05,6.340543e-05,6.305111e-05,6.302023e-05,6.263366e-05,6.254074e-05,6.224628e-05,6.202920e-05,6.185863e-05,6.151767e-05,6.147121e-05,6.108446e-05,6.100722e-05,6.069879e-05,6.049880e-05,6.031460e-05,5.999327e-05,5.993222e-05,5.955198e-05,5.949136e-05,5.917418e-05,5.899377e-05,5.879906e-05,5.850108e-05,5.842689e-05,5.805786e-05,5.801380e-05,5.769219e-05,5.753240e-05,5.733004e-05,5.705726e-05,5.697157e-05,5.661693e-05,5.658873e-05,5.626624e-05,5.612709e-05,5.591961e-05,5.567260e-05,5.557713e-05,5.523888e-05,5.522544e-05,5.490495e-05,5.478580e-05,5.457539e-05,5.435380e-05,5.425024e-05,5.392954e-05,5.351310e-05,5.310453e-05,5.270385e-05,5.231106e-05,5.192616e-05,5.154911e-05,5.117988e-05,5.081841e-05,5.046463e-05,5.011846e-05,4.977982e-05,4.944862e-05,4.912475e-05,4.880812e-05,4.849860e-05,4.819609e-05,4.790046e-05,4.761160e-05,4.732939e-05,4.705368e-05,4.678438e-05,4.652133e-05,4.626442e-05,4.601353e-05
0.000000e+00,2.729313e-13,1.752561e-12,2.694365e-11,1.598562e-10,3.573307e-10,1.968872e-09,2.091923e-09,7.850943e-09,1.076537e-08,2.230785e-08,3.796523e-08,5.244907e-08,1.020032e-07,1.075927e-07,1.992372e-07,2.281157e-07,3.407576e-07,4.472437e-07,5.468499e-07,7.935653e-07,8.325250e-07,1.211530e-06,1.299536e-06,1.694415e-06,1.988671e-06,2.286821e-06,2.869089e-06,2.988521e-06,3.793437e-06,3.931122e-06,4.690500e-06,5.149593e-06,5.664970e-06,6.488937e-06,6.699913e-06,7.777549e-06,7.908894e-06,8.880368e-06,9.369296e-06,9.991929e-06,1.083337e-05,1.109741e-05,1.218390e-05,1.226965e-05,1.324050e-05,1.365272e-05,1.425836e-05,1.496325e-05,1.523053e-05,1.615185e-05,1.618759e-05,1.701875e-05,1.731705e-05,1.782905e-05,1.834719e-05,1.858178e-05,1.927695e-05,1.991541e-05,2.010797e-05,2.049866e-05,2.084386e-05,2.102869e-05,2.148965e-05,2.150788e-05,2.193885e-05,2.205126e-05,2.232439e-05,2.253510e-05,2.266736e-05,2.294779e-05,2.297066e-05,2.323711e-05,2.329588e-05,2.346949e-05,2.358573e-05,2.367044e-05,2.382331e-05,2.384252e-05,2.398810e-05,2.401424e-05,2.410943e-05,2.416364e-05,2.420860e-05,2.427621e-05,2.428756e-05,2.434811e-05,2.435620e-05,2.439188e-05,2.440740e-05,2.442042e-05,2.443322e-05,2.443511e-05,2.443723e-05,2.443670e-05,2.442794e-05,2.442052e-05,2.440832e-05,2.438709e-05,2.437932e-05,2.434184e-05,2.433850e-05,2.429669e-05,2.427664e-05,2.424459e-05,2.420316e-05,2.418622e-05,2.412219e-05,2.411952e-05,2.405306e-05,2.402702e-05,2.397933e-05,2.392680e-05,2.390147e-05,2.381989e-05,2.373499e-05,2.370718e-05,2.364713e-05,2.358949e-05,2.355662e-05,2.346751e-05,2.346375e-05,2.336881e-05,2.334189e-05,2.327205e-05,2.321320e-05,2.317368e-05,2.308195e-05,2.307392e-05,2.297297e-05,2.294858e-05,2.287100e-05,2.281351e-05,2.276817e-05,2.267710e-05,2.266465e-05,2.256056e-05,2.253968e-05,2.245603e-05,2.240155e-05,2.235119e-05,2.226296e-05,2.224614e-05,2.214099e-05,2.212416e-05,2.203581e-05,2.198535e-05,2.193071e-05,2.184673e-05,2.182576e-05,2.172102e-05,2.170848e-05,2.161658e-05,2.157074e-05,2.151249e-05,2.143366e-05,2.140881e-05,2.130559e-05,2.129736e-05,2.120289e-05,2.116195e-05,2.110073e-05,2.102755e-05,2.099917e-05,2.089825e-05,2.089422e-05,2.079799e-05,2.076207e-05,2.069843e-05,2.063115e-05,2.059960e-05,2.050153e-05,2.037326e-05,2.024641e-05,2.012100e-05,1.999707e-05,1.987467e-05,1.975381e-05,1.963452e-05,1.951681e-05,1.940071e-05,1.928623e-05,1.917337e-05,1.906215e-05,1.895255e-05,1.884460e-05,1.873828e-05,1.863359e-05,1.853053e-05,1.842909e-05,1.832926e-05,1.823104e-05,1.813442e-05,1.803937e-05,1.794590e-05,1.785399e-05
0.000000e+00,3.827176e-10,1.257666e-09,6.370426e-09,1.730484e-08,2.692077e-08,6.803688e-08,7.030698e-08,1.440521e-07,1.711127e-07,2.552518e-07,3.428457e-07,4.108665e-07,5.991846e-07,6.177802e-07,8.821337e-07,9.546116e-07,1.207559e-06,1.416453e-06,1.593548e-06,1.980167e-06,2.036080e-06,2.529764e-06,2.634161e-06,3.069248e-06,3.366209e-06,3.649530e-06,4.164978e-06,4.265803e-06,4.913254e-06,5.019413e-06,5.586953e-06,5.918164e-06,6.281818e-06,6.849460e-06,6.992653e-06,7.714210e-06,7.801268e-06,8.441279e-06,8.761620e-06,9.168784e-06,9.718984e-06,9.891873e-06,1.060600e-05,1.066261e-05,1.130698e-05,1.158284e-05,1.199107e-05,1.247127e-05,1.265495e-05,1.329581e-05,1.332093e-05,1.391128e-05,1.412625e-05,1.449946e-05,1.488309e-05,1.505891e-05,1.558860e-05,1.608786e-05,1.624114e-05,1.655639e-05,1.684011e-05,1.699419e-05,1.738579e-05,1.740150e-05,1.777882e-05,1.787918e-05,1.812682e-05,1.832189e-05,1.844633e-05,1.871594e-05,1.873831e-05,1.900381e-05,1.906371e-05,1.924394e-05,1.936777e-05,1.945987e-05,1.963082e-05,1.965280e-05,1.982393e-05,1.985565e-05,1.997447e-05,2.004501e-05,2.010561e-05,2.020163e-05,2.021852e-05,2.031433e-05,2.032815e-05,2.039416e-05,2.042711e-05,2.045905e-05,2.050091e-05,2.051004e-05,2.054810e-05,2.055184e-05,2.057416e-05,2.058205e-05,2.058909e-05,2.059353e-05,2.059375e-05,2.058890e-05,2.058813e-05,2.057531e-05,2.056758e-05,2.055366e-05,2.053346e-05,2.052462e-05,2.048880e-05,2.048723e-05,2.044678e-05,2.043024e-05,2.039910e-05,2.036371e-05,2.034627e-05,2.028875e-05,2.022699e-05,2.020639e-05,2.016138e-05,2.011756e-05,2.009232e-05,2.002310e-05,2.002016e-05,1.994522e-05,1.992378e-05,1.986781e-05,1.982030e-05,1.978822e-05,1.971329e-05,1.970671e-05,1.962351e-05,1.960332e-05,1.953887e-05,1.949091e-05,1.945298e-05,1.937653e-05,1.936604e-05,1.927824e-05,1.926059e-05,1.918972e-05,1.914347e-05,1.910066e-05,1.902552e-05,1.901118e-05,1.892143e-05,1.890705e-05,1.883151e-05,1.878832e-05,1.874154e-05,1.866959e-05,1.865162e-05,1.856184e-05,1.855108e-05,1.847229e-05,1.843298e-05,1.838305e-05,1.831548e-05,1.829419e-05,1.820577e-05,1.819872e-05,1.811785e-05,1.808284e-05,1.803050e-05,1.796797e-05,1.794375e-05,1.785765e-05,1.785422e-05,1.777225e-05,1.774168e-05,1.768758e-05,1.763044e-05,1.760367e-05,1.752056e-05,1.741210e-05,1.730513e-05,1.719968e-05,1.709579e-05,1.699349e-05,1.689281e-05,1.679377e-05,1.669638e-05,1.660065e-05,1.650658e-05,1.641419e-05,1.632346e-05,1.623440e-05,1.614699e-05,1.606124e-05,1.597712e-05,1.589462e-05,1.581374e-05,1.573445e-05,1.565674e-05,1.558059e-05,1.550599e-05,1.543290e-05,1.536131e-05
0.000000e+00,1.089103e-09,3.664263e-09,1.911741e-08,5.276046e-08,8.261900e-08,2.117047e-07,2.188803e-07,4.539968e-07,5.411173e-07,8.144442e-07,1.102464e-06,1.328259e-06,1.961358e-06,2.024402e-06,2.927411e-06,3.176403e-06,4.046348e-06,4.762974e-06,5.367513e-06,6.674217e-06,6.861540e-06,8.496326e-06,8.837597e-06,1.024351e-05,1.118830e-05,1.207890e-05,1.367311e-05,1.398113e-05,1.593053e-05,1.624556e-05,1.790855e-05,1.886299e-05,1.989767e-05,2.148587e-05,2.188145e-05,2.384474e-05,2.407830e-05,2.577389e-05,2.660874e-05,2.765686e-05,2.905064e-05,2.948336e-05,3.124481e-05,3.138269e-05,3.293432e-05,3.358874e-05,3.454661e-05,3.565749e-05,3.607793e-05,3.752586e-05,3.758202e-05,3.888912e-05,3.935909e-05,4.016747e-05,4.098854e-05,4.136155e-05,4.247277e-05,4.350291e-05,4.381579e-05,4.445426e-05,4.502304e-05,4.532957e-05,4.610100e-05,4.613172e-05,4.686385e-05,4.705673e-05,4.752917e-05,4.789765e-05,4.813095e-05,4.863129e-05,4.867247e-05,4.915700e-05,4.926517e-05,4.958774e-05,4.980663e-05,4.996781e-05,5.026276e-05,5.030023e-05,5.058793e-05,5.064036e-05,5.083373e-05,5.094589e-05,5.104034e-05,5.118548e-05,5.121032e-05,5.134614e-05,5.136485e-05,5.145012e-05,5.148938e-05,5.152448e-05,5.156406e-05,5.157132e-05,5.159263e-05,5.159356e-05,5.159028e-05,5.158221e-05,5.156604e-05,5.153400e-05,5.152157e-05,5.145845e-05,5.145264e-05,5.137815e-05,5.134153e-05,5.128206e-05,5.120383e-05,5.117148e-05,5.104764e-05,5.104243e-05,5.091169e-05,5.085999e-05,5.076469e-05,5.065895e-05,5.060767e-05,5.044155e-05,5.026723e-05,5.020985e-05,5.008552e-05,4.996572e-05,4.989721e-05,4.971088e-05,4.970301e-05,4.950358e-05,4.944690e-05,4.929957e-05,4.917521e-05,4.909155e-05,4.889711e-05,4.888007e-05,4.866564e-05,4.861379e-05,4.844872e-05,4.832632e-05,4.822976e-05,4.803570e-05,4.800915e-05,4.778729e-05,4.774280e-05,4.756452e-05,4.744843e-05,4.734117e-05,4.715331e-05,4.711752e-05,4.689387e-05,4.685811e-05,4.667047e-05,4.656340e-05,4.644755e-05,4.626971e-05,4.622534e-05,4.600402e-05,4.597754e-05,4.578379e-05,4.568728e-05,4.556482e-05,4.539933e-05,4.534725e-05,4.513123e-05,4.511402e-05,4.491689e-05,4.483165e-05,4.470433e-05,4.455247e-05,4.449368e-05,4.428501e-05,4.427671e-05,4.407843e-05,4.400458e-05,4.387399e-05,4.373624e-05,4.367178e-05,4.347184e-05,4.321151e-05,4.295535e-05,4.270345e-05,4.245587e-05,4.221267e-05,4.197388e-05,4.173954e-05,4.150965e-05,4.128423e-05,4.106327e-05,4.084675e-05,4.063466e-05,4.042697e-05,4.022364e-05,4.002463e-05,3.982992e-05,3.963943e-05,3.945314e-05,3.927097e-05,3.909288e-05,3.891881e-05,3.874869e-05,3.858246e-05,3.842006e-05
0.000000e+00,1.181732e-08,2.734752e-08,9.528275e-08,2.187178e-07,3.206605e-07,7.383929e-07,7.611481e-07,1.501197e-06,1.775661e-06,2.644552e-06,3.575579e-06,4.316261e-06,6.432483e-06,6.645535e-06,9.716406e-06,1.056447e-05,1.351478e-05,1.592327e-05,1.793823e-05,2.224503e-05,2.285755e-05,2.815986e-05,2.925815e-05,3.375719e-05,3.676100e-05,3.958072e-05,4.460550e-05,4.557364e-05,5.168636e-05,5.267247e-05,5.787399e-05,6.085839e-05,6.409516e-05,6.907050e-05,7.031173e-05,7.648889e-05,7.722597e-05,8.259528e-05,8.525241e-05,8.860326e-05,9.308861e-05,9.448882e-05,1.002314e-04,1.006842e-04,1.058144e-04,1.079998e-04,1.112241e-04,1.150057e-04,1.164498e-04,1.214836e-04,1.216809e-04,1.263200e-04,1.280121e-04,1.309556e-04,1.339923e-04,1.353888e-04,1.396196e-04,1.436492e-04,1.448966e-04,1.474800e-04,1.498287e-04,1.511150e-04,1.544242e-04,1.545583e-04,1.578143e-04,1.586930e-04,1.608879e-04,1.626467e-04,1.637844e-04,1.662975e-04,1.665093e-04,1.690681e-04,1.696582e-04,1.714665e-04,1.727417e-04,1.737102e-04,1.755612e-04,1.758049e-04,1.777563e-04,1.781299e-04,1.795701e-04,1.804607e-04,1.812517e-04,1.825661e-04,1.828066e-04,1.842402e-04,1.844587e-04,1.855576e-04,1.861502e-04,1.867640e-04,1.876525e-04,1.878643e-04,1.888632e-04,1.889765e-04,1.897655e-04,1.901330e-04,1.905756e-04,1.911324e-04,1.912980e-04,1.919368e-04,1.919845e-04,1.924962e-04,1.926986e-04,1.929801e-04,1.932838e-04,1.933922e-04,1.937363e-04,1.937487e-04,1.940158e-04,1.941013e-04,1.942342e-04,1.943495e-04,1.943948e-04,1.945006e-04,1.945547e-04,1.945616e-04,1.945600e-04,1.945390e-04,1.945192e-04,1.944392e-04,1.944351e-04,1.943101e-04,1.942682e-04,1.941468e-04,1.940314e-04,1.939474e-04,1.937342e-04,1.937143e-04,1.934496e-04,1.933816e-04,1.931553e-04,1.929783e-04,1.928333e-04,1.925287e-04,1.924857e-04,1.921141e-04,1.920370e-04,1.917203e-04,1.915072e-04,1.913059e-04,1.909430e-04,1.908724e-04,1.904215e-04,1.903478e-04,1.899544e-04,1.897249e-04,1.894725e-04,1.890773e-04,1.889772e-04,1.884696e-04,1.884079e-04,1.879508e-04,1.877194e-04,1.874221e-04,1.870142e-04,1.868844e-04,1.863388e-04,1.862948e-04,1.857861e-04,1.855633e-04,1.852274e-04,1.848218e-04,1.846634e-04,1.840949e-04,1.840721e-04,1.835227e-04,1.833159e-04,1.829475e-04,1.825551e-04,1.823701e-04,1.817910e-04,1.810250e-04,1.802585e-04,1.794928e-04,1.787287e-04,1.779675e-04,1.772101e-04,1.764572e-04,1.757097e-04,1.749684e-04,1.742338e-04,1.735065e-04,1.727872e-04,1.720762e-04,1.713740e-04,1.706810e-04,1.699975e-04,1.693238e-04,1.686602e-04,1.680068e-04,1.673640e-04,1.667319e-04,1.661105e-04,1.655000e-04,1.649004e-04
0.000000e+00,5.472680e-09,1.257424e-08,4.353931e-08,9.987835e-08,1.465816e-07,3.397669e-07,3.503718e-07,6.993826e-07,8.306511e-07,1.251574e-06,1.709713e-06,2.077893e-06,3.138720e-06,3.245772e-06,4.783895e-06,5.205977e-06,6.664404e-06,7.845731e-06,8.829885e-06,1.092800e-05,1.122632e-05,1.381376e-05,1.435152e-05,1.656387e-05,1.805095e-05,1.945528e-05,2.198010e-05,2.247006e-05,2.559161e-05,2.609988e-05,2.880361e-05,3.037266e-05,3.208956e-05,3.476030e-05,3.543269e-05,3.881613e-05,3.922405e-05,4.222312e-05,4.372542e-05,4.563730e-05,4.822720e-05,4.904298e-05,5.242539e-05,5.269456e-05,5.577084e-05,5.709583e-05,5.906685e-05,6.140306e-05,6.230228e-05,6.546734e-05,6.559235e-05,6.855358e-05,6.964391e-05,7.155386e-05,7.354192e-05,7.446232e-05,7.727426e-05,7.998604e-05,8.083220e-05,8.259504e-05,8.421001e-05,8.509950e-05,8.740452e-05,8.749845e-05,8.979161e-05,9.041476e-05,9.197928e-05,9.324156e-05,9.406227e-05,9.588725e-05,9.604185e-05,9.791961e-05,9.835533e-05,9.969747e-05,1.006502e-04,1.013776e-04,1.027770e-04,1.029622e-04,1.044540e-04,1.047414e-04,1.058554e-04,1.065494e-04,1.071692e-04,1.082071e-04,1.083982e-04,1.095451e-04,1.097211e-04,1.106126e-04,1.110977e-04,1.116037e-04,1.123433e-04,1.125210e-04,1.133673e-04,1.134643e-04,1.141454e-04,1.144668e-04,1.148578e-04,1.153570e-04,1.155073e-04,1.160963e-04,1.161408e-04,1.166272e-04,1.168240e-04,1.171027e-04,1.174120e-04,1.175250e-04,1.178964e-04,1.179102e-04,1.182191e-04,1.183238e-04,1.184954e-04,1.186577e-04,1.187272e-04,1.189167e-04,1.190659e-04,1.191054e-04,1.191765e-04,1.192279e-04,1.192504e-04,1.192886e-04,1.192895e-04,1.192954e-04,1.192913e-04,1.192697e-04,1.192399e-04,1.192141e-04,1.191379e-04,1.191301e-04,1.190191e-04,1.189887e-04,1.188826e-04,1.187955e-04,1.187219e-04,1.185616e-04,1.185384e-04,1.183332e-04,1.182897e-04,1.181077e-04,1.179827e-04,1.178629e-04,1.176432e-04,1.176000e-04,1.173201e-04,1.172738e-04,1.170241e-04,1.168766e-04,1.167131e-04,1.164541e-04,1.163880e-04,1.160497e-04,1.160083e-04,1.156991e-04,1.155412e-04,1.153370e-04,1.150547e-04,1.149643e-04,1.145815e-04,1.145505e-04,1.141896e-04,1.140304e-04,1.137892e-04,1.134960e-04,1.133809e-04,1.129654e-04,1.129486e-04,1.125433e-04,1.123898e-04,1.121152e-04,1.118209e-04,1.116816e-04,1.112430e-04,1.106574e-04,1.100652e-04,1.094674e-04,1.088649e-04,1.082586e-04,1.076494e-04,1.070382e-04,1.064255e-04,1.058122e-04,1.051988e-04,1.045860e-04,1.039743e-04,1.033641e-04,1.027561e-04,1.021507e-04,1.015482e-04,1.009490e-04,1.003535e-04,9.976201e-05,9.917481e-05,9.859219e-05,9.801437e-05,9.744160e-05,9.687406e-05
0.000000e+00,1.497360e-09,3.439400e-09,1.189099e-08,2.718894e-08,3.979103e-08,9.119657e-08,9.398692e-08,1.842408e-07,2.174907e-07,3.220738e-07,4.331557e-07,5.209195e-07,7.692958e-07,7.941385e-07,1.149948e-06,1.247716e-06,1.587476e-06,1.865522e-06,2.099305e-06,2.604219e-06,2.676708e-06,3.312243e-06,3.445779e-06,3.999921e-06,4.376410e-06,4.734649e-06,5.384728e-06,5.511712e-06,6.326450e-06,6.459989e-06,7.174109e-06,7.591245e-06,8.049787e-06,8.767132e-06,8.948465e-06,9.865083e-06,9.976043e-06,1.079462e-05,1.120644e-05,1.173218e-05,1.244721e-05,1.267309e-05,1.361294e-05,1.368796e-05,1.454765e-05,1.491925e-05,1.547352e-05,1.613281e-05,1.638726e-05,1.728598e-05,1.732158e-05,1.816720e-05,1.847971e-05,1.902872e-05,1.960239e-05,1.986878e-05,2.068594e-05,2.147906e-05,2.172763e-05,2.224730e-05,2.272562e-05,2.299005e-05,2.367872e-05,2.370690e-05,2.439764e-05,2.458636e-05,2.506225e-05,2.544850e-05,2.570081e-05,2.626548e-05,2.631356e-05,2.690080e-05,2.703798e-05,2.746293e-05,2.776694e-05,2.800044e-05,2.845347e-05,2.851382e-05,2.900365e-05,2.909884e-05,2.947052e-05,2.970443e-05,2.991505e-05,3.027165e-05,3.033787e-05,3.073962e-05,3.080199e-05,3.112097e-05,3.129695e-05,3.148255e-05,3.175802e-05,3.182502e-05,3.214901e-05,3.218668e-05,3.245518e-05,3.258441e-05,3.274414e-05,3.295262e-05,3.301650e-05,3.327288e-05,3.329272e-05,3.351385e-05,3.360606e-05,3.374000e-05,3.389396e-05,3.395189e-05,3.415005e-05,3.415770e-05,3.433502e-05,3.439848e-05,3.450732e-05,3.461750e-05,3.466745e-05,3.481588e-05,3.495309e-05,3.499471e-05,3.507954e-05,3.515502e-05,3.519566e-05,3.529781e-05,3.530187e-05,3.539860e-05,3.542403e-05,3.548622e-05,3.553460e-05,3.556514e-05,3.563037e-05,3.563572e-05,3.569831e-05,3.571218e-05,3.575326e-05,3.578082e-05,3.580091e-05,3.583704e-05,3.584156e-05,3.587554e-05,3.588156e-05,3.590314e-05,3.591506e-05,3.592464e-05,3.593819e-05,3.594032e-05,3.595045e-05,3.595158e-05,3.595529e-05,3.595580e-05,3.595507e-05,3.595142e-05,3.595004e-05,3.594042e-05,3.593897e-05,3.592643e-05,3.591895e-05,3.590829e-05,3.589185e-05,3.588620e-05,3.586035e-05,3.585812e-05,3.583093e-05,3.581820e-05,3.579812e-05,3.577250e-05,3.576209e-05,3.572302e-05,3.572139e-05,3.568105e-05,3.566527e-05,3.563635e-05,3.560447e-05,3.558906e-05,3.553933e-05,3.547016e-05,3.539726e-05,3.532092e-05,3.524140e-05,3.515896e-05,3.507384e-05,3.498626e-05,3.489644e-05,3.480458e-05,3.471088e-05,3.461551e-05,3.451865e-05,3.442046e-05,3.432110e-05,3.422070e-05,3.411941e-05,3.401734e-05,3.391464e-05,3.381140e-05,3.370774e-05,3.360375e-05,3.349953e-05,3.339518e-05,3.329077e-05
0.000000e+00,2.528438e-12,1.422356e-11,1.676282e-10,7.888497e-10,1.559614e-09,6.351379e-09,6.668882e-09,1.895465e-08,2.418705e-08,4.210780e-08,6.266260e-08,7.956151e-08,1.292087e-07,1.342829e-07,2.087228e-07,2.297484e-07,3.048163e-07,3.686329e-07,4.239646e-07,5.485289e-07,5.669553e-07,7.337970e-07,7.699605e-07,9.235038e-07,1.030526e-06,1.133945e-06,1.324414e-06,1.361907e-06,1.603413e-06,1.643025e-06,1.854173e-06,1.976582e-06,2.109998e-06,2.315725e-06,2.367073e-06,2.622076e-06,2.652398e-06,2.872203e-06,2.980104e-06,3.115148e-06,3.293822e-06,3.349050e-06,3.572460e-06,3.589845e-06,3.784293e-06,3.865606e-06,3.983794e-06,4.119527e-06,4.170497e-06,4.344195e-06,4.350872e-06,4.504897e-06,4.559600e-06,4.652794e-06,4.746219e-06,4.788228e-06,4.911653e-06,5.023612e-06,5.057114e-06,5.124707e-06,5.184002e-06,5.215580e-06,5.293812e-06,5.296889e-06,5.369297e-06,5.388066e-06,5.433458e-06,5.468261e-06,5.490006e-06,5.535832e-06,5.539552e-06,5.582674e-06,5.592129e-06,5.619919e-06,5.638401e-06,5.651797e-06,5.675788e-06,5.678783e-06,5.701314e-06,5.705322e-06,5.719796e-06,5.727931e-06,5.734600e-06,5.744440e-06,5.746063e-06,5.754496e-06,5.755584e-06,5.760182e-06,5.762012e-06,5.763378e-06,5.764301e-06,5.764319e-06,5.763219e-06,5.762959e-06,5.760269e-06,5.758432e-06,5.755646e-06,5.751110e-06,5.749506e-06,5.741996e-06,5.741340e-06,5.733247e-06,5.729428e-06,5.723378e-06,5.715641e-06,5.712498e-06,5.700704e-06,5.700214e-06,5.688086e-06,5.683358e-06,5.674728e-06,5.665259e-06,5.660703e-06,5.646080e-06,5.630921e-06,5.625966e-06,5.615283e-06,5.605048e-06,5.599219e-06,5.583440e-06,5.582776e-06,5.565999e-06,5.561247e-06,5.548928e-06,5.538561e-06,5.531602e-06,5.515465e-06,5.514053e-06,5.496314e-06,5.492032e-06,5.478414e-06,5.468330e-06,5.460380e-06,5.444419e-06,5.442237e-06,5.424008e-06,5.420354e-06,5.405715e-06,5.396184e-06,5.387378e-06,5.371953e-06,5.369014e-06,5.350640e-06,5.347701e-06,5.332273e-06,5.323463e-06,5.313926e-06,5.299273e-06,5.295614e-06,5.277349e-06,5.275161e-06,5.259142e-06,5.251152e-06,5.241004e-06,5.227272e-06,5.222946e-06,5.204976e-06,5.203542e-06,5.187103e-06,5.179982e-06,5.169334e-06,5.156609e-06,5.151677e-06,5.134138e-06,5.133439e-06,5.116724e-06,5.110486e-06,5.099439e-06,5.087762e-06,5.082290e-06,5.065280e-06,5.043048e-06,5.021076e-06,4.999371e-06,4.977941e-06,4.956791e-06,4.935925e-06,4.915349e-06,4.895065e-06,4.875076e-06,4.855386e-06,4.835994e-06,4.816904e-06,4.798114e-06,4.779626e-06,4.761439e-06,4.743553e-06,4.725966e-06,4.708679e-06,4.691689e-06,4.674994e-06,4.658593e-06,4.642484e-06,4.626664e-06,4.611131e-06
0.000000e+00,5.530395e-13,3.525944e-12,5.341097e-11,3.127500e-10,6.942788e-10,3.763870e-09,3.996731e-09,1.481694e-08,2.026763e-08,4.182726e-08,7.112536e-08,9.833438e-08,1.922934e-07,2.029717e-07,3.799118e-07,4.362388e-07,6.574602e-07,8.675639e-07,1.063940e-06,1.546239e-06,1.621630e-06,2.341369e-06,2.504737e-06,3.220088e-06,3.734960e-06,4.241746e-06,5.191776e-06,5.380625e-06,6.605537e-06,6.807312e-06,7.883775e-06,8.506995e-06,9.184148e-06,1.022160e-05,1.047892e-05,1.174480e-05,1.189383e-05,1.296320e-05,1.348047e-05,1.412002e-05,1.495168e-05,1.520517e-05,1.621205e-05,1.628909e-05,1.713692e-05,1.748352e-05,1.797838e-05,1.853282e-05,1.873695e-05,1.941458e-05,1.944004e-05,2.001436e-05,2.021195e-05,2.054019e-05,2.085780e-05,2.099658e-05,2.138838e-05,2.172062e-05,2.181519e-05,2.199840e-05,2.214992e-05,2.222673e-05,2.240391e-05,2.241046e-05,2.255420e-05,2.258787e-05,2.266226e-05,2.271166e-05,2.273866e-05,2.278416e-05,2.278708e-05,2.281085e-05,2.281324e-05,2.281300e-05,2.280578e-05,2.279623e-05,2.276774e-05,2.276295e-05,2.271529e-05,2.270421e-05,2.265515e-05,2.261949e-05,2.258417e-05,2.251724e-05,2.250381e-05,2.241535e-05,2.240052e-05,2.231990e-05,2.227189e-05,2.221843e-05,2.213351e-05,2.211181e-05,2.200078e-05,2.198719e-05,2.188598e-05,2.183444e-05,2.176801e-05,2.167653e-05,2.164735e-05,2.152447e-05,2.151455e-05,2.139974e-05,2.134941e-05,2.127352e-05,2.118189e-05,2.114612e-05,2.101781e-05,2.101266e-05,2.088884e-05,2.084230e-05,2.075944e-05,2.067129e-05,2.062979e-05,2.050008e-05,2.037046e-05,2.032903e-05,2.024108e-05,2.015846e-05,2.011207e-05,1.998867e-05,1.998353e-05,1.985559e-05,1.981988e-05,1.972832e-05,1.965233e-05,1.960183e-05,1.948619e-05,1.947617e-05,1.935143e-05,1.932164e-05,1.922767e-05,1.915881e-05,1.910494e-05,1.899783e-05,1.898329e-05,1.886277e-05,1.883880e-05,1.874341e-05,1.868182e-05,1.862526e-05,1.852696e-05,1.850834e-05,1.839268e-05,1.837429e-05,1.827830e-05,1.822387e-05,1.816523e-05,1.807573e-05,1.805349e-05,1.794308e-05,1.792992e-05,1.783402e-05,1.778646e-05,1.772632e-05,1.764538e-05,1.761999e-05,1.751503e-05,1.750669e-05,1.741144e-05,1.737040e-05,1.730924e-05,1.723651e-05,1.720842e-05,1.710897e-05,1.710502e-05,1.701090e-05,1.697593e-05,1.691420e-05,1.684923e-05,1.681887e-05,1.672490e-05,1.660294e-05,1.648332e-05,1.636602e-05,1.625103e-05,1.613831e-05,1.602784e-05,1.591959e-05,1.581354e-05,1.570965e-05,1.560790e-05,1.550825e-05,1.541068e-05,1.531514e-05,1.522160e-05,1.513004e-05,1.504042e-05,1.495270e-05,1.486685e-05,1.478284e-05,1.470063e-05,1.462019e-05,1.454149e-05,1.446449e-05,1.438915e-05
0.000000e+00,2.147920e-11,1.154423e-10,1.248439e-09,5.488061e-09,1.049451e-08,3.971554e-08,4.159225e-08,1.118617e-07,1.409853e-07,2.390096e-07,3.496531e-07,4.398814e-07,7.033736e-07,7.302507e-07,1.124884e-06,1.236657e-06,1.637438e-06,1.980538e-06,2.279876e-06,2.959875e-06,3.061146e-06,3.985171e-06,4.186973e-06,5.048867e-06,5.653897e-06,6.241482e-06,7.330575e-06,7.545991e-06,8.941867e-06,9.172255e-06,1.040784e-05,1.113042e-05,1.192375e-05,1.316012e-05,1.347138e-05,1.503461e-05,1.522255e-05,1.659931e-05,1.728500e-05,1.815312e-05,1.932009e-05,1.968533e-05,2.118672e-05,2.130525e-05,2.264949e-05,2.322230e-05,2.406719e-05,2.505707e-05,2.543464e-05,2.674782e-05,2.679918e-05,2.800379e-05,2.844153e-05,2.920057e-05,2.997997e-05,3.033705e-05,3.141282e-05,3.242814e-05,3.274038e-05,3.338376e-05,3.396456e-05,3.428087e-05,3.508847e-05,3.512100e-05,3.590592e-05,3.611607e-05,3.663759e-05,3.705191e-05,3.731812e-05,3.790092e-05,3.794970e-05,3.853457e-05,3.866824e-05,3.907497e-05,3.935900e-05,3.957313e-05,3.997831e-05,4.003124e-05,4.045144e-05,4.053112e-05,4.083581e-05,4.102219e-05,4.118636e-05,4.145607e-05,4.150499e-05,4.179355e-05,4.183705e-05,4.205380e-05,4.216916e-05,4.228742e-05,4.245620e-05,4.249598e-05,4.268097e-05,4.270165e-05,4.284381e-05,4.290879e-05,4.298584e-05,4.308065e-05,4.310833e-05,4.321246e-05,4.322004e-05,4.329938e-05,4.332956e-05,4.337013e-05,4.341162e-05,4.342571e-05,4.346706e-05,4.346843e-05,4.349507e-05,4.350205e-05,4.351057e-05,4.351436e-05,4.351434e-05,4.350713e-05,4.348961e-05,4.348194e-05,4.346246e-05,4.344030e-05,4.342628e-05,4.338358e-05,4.338164e-05,4.332911e-05,4.331305e-05,4.326918e-05,4.322987e-05,4.320234e-05,4.313513e-05,4.312904e-05,4.304971e-05,4.302982e-05,4.296476e-05,4.291487e-05,4.287456e-05,4.279113e-05,4.277948e-05,4.267984e-05,4.265939e-05,4.257596e-05,4.252038e-05,4.246816e-05,4.237477e-05,4.235670e-05,4.224185e-05,4.222318e-05,4.212387e-05,4.206620e-05,4.200299e-05,4.190436e-05,4.187944e-05,4.175343e-05,4.173815e-05,4.162515e-05,4.156804e-05,4.149480e-05,4.139445e-05,4.136255e-05,4.122857e-05,4.121778e-05,4.109302e-05,4.103839e-05,4.095605e-05,4.085663e-05,4.081779e-05,4.067840e-05,4.067280e-05,4.053798e-05,4.048720e-05,4.039666e-05,4.030011e-05,4.025455e-05,4.011177e-05,3.992242e-05,3.973227e-05,3.954153e-05,3.935039e-05,3.915902e-05,3.896758e-05,3.877621e-05,3.858507e-05,3.839427e-05,3.820393e-05,3.801416e-05,3.782508e-05,3.763676e-05,3.744930e-05,3.726278e-05,3.707727e-05,3.689285e-05,3.670956e-05,3.652748e-05,3.634664e-05,3.616711e-05,3.598893e-05,3.581213e-05,3.563675e-05
0.000000e+00,6.318473e-13,3.992236e-12,5.933733e-11,3.412942e-10,7.499705e-10,3.953305e-09,4.192818e-09,1.506054e-08,2.040818e-08,4.105925e-08,6.825334e-08,9.287849e-08,1.747806e-07,1.838533e-07,3.295177e-07,3.744926e-07,5.469327e-07,7.065123e-07,8.533600e-07,1.208807e-06,1.263985e-06,1.789171e-06,1.908392e-06,2.432333e-06,2.812294e-06,3.189267e-06,3.905154e-06,4.049011e-06,4.995671e-06,5.153974e-06,6.010549e-06,6.516160e-06,7.074049e-06,7.947006e-06,8.167112e-06,9.272116e-06,9.404750e-06,1.037333e-05,1.085308e-05,1.145711e-05,1.226191e-05,1.251185e-05,1.352786e-05,1.360722e-05,1.449726e-05,1.487052e-05,1.541379e-05,1.603822e-05,1.627269e-05,1.707057e-05,1.710118e-05,1.780532e-05,1.805414e-05,1.847593e-05,1.889528e-05,1.908243e-05,1.962572e-05,2.010748e-05,2.024900e-05,2.052998e-05,2.077056e-05,2.089602e-05,2.119724e-05,2.120877e-05,2.147166e-05,2.153682e-05,2.168827e-05,2.179754e-05,2.186224e-05,2.198777e-05,2.199721e-05,2.209672e-05,2.211571e-05,2.216420e-05,2.218921e-05,2.220288e-05,2.221555e-05,2.221585e-05,2.220594e-05,2.220145e-05,2.217580e-05,2.215294e-05,2.212784e-05,2.207540e-05,2.206426e-05,2.198706e-05,2.197357e-05,2.189804e-05,2.185158e-05,2.179879e-05,2.171301e-05,2.169076e-05,2.157523e-05,2.156092e-05,2.145334e-05,2.139795e-05,2.132608e-05,2.122633e-05,2.119434e-05,2.105892e-05,2.104795e-05,2.092050e-05,2.086443e-05,2.077968e-05,2.067712e-05,2.063701e-05,2.049295e-05,2.048716e-05,2.034791e-05,2.029553e-05,2.020226e-05,2.010303e-05,2.005631e-05,1.991035e-05,1.976461e-05,1.971806e-05,1.961933e-05,1.952666e-05,1.947467e-05,1.933656e-05,1.933082e-05,1.918792e-05,1.914809e-05,1.904609e-05,1.896155e-05,1.890544e-05,1.877718e-05,1.876608e-05,1.862809e-05,1.859518e-05,1.849154e-05,1.841573e-05,1.835650e-05,1.823895e-05,1.822302e-05,1.809114e-05,1.806496e-05,1.796091e-05,1.789386e-05,1.783237e-05,1.772571e-05,1.770553e-05,1.758043e-05,1.756057e-05,1.745707e-05,1.739849e-05,1.733548e-05,1.723948e-05,1.721566e-05,1.709761e-05,1.708357e-05,1.698135e-05,1.693076e-05,1.686687e-05,1.678105e-05,1.675416e-05,1.664323e-05,1.663443e-05,1.653407e-05,1.649089e-05,1.642666e-05,1.635041e-05,1.632100e-05,1.621708e-05,1.621296e-05,1.611488e-05,1.607851e-05,1.601439e-05,1.594702e-05,1.591559e-05,1.581847e-05,1.569281e-05,1.556999e-05,1.544998e-05,1.533273e-05,1.521819e-05,1.510632e-05,1.499706e-05,1.489037e-05,1.478619e-05,1.468448e-05,1.458518e-05,1.448825e-05,1.439364e-05,1.430129e-05,1.421115e-05,1.412318e-05,1.403733e-05,1.395354e-05,1.387178e-05,1.379198e-05,1.371412e-05,1.363813e-05,1.356398e-05,1.349163e-05
0.000000e+00,8.698578e-14,5.780612e-13,9.551820e-12,6.061477e-11,1.407024e-10,8.573894e-10,9.148175e-10,3.817028e-09,5.393258e-09,1.208016e-08,2.195290e-08,3.169260e-08,6.820117e-08,7.256997e-08,1.495615e-07,1.755362e-07,2.826857e-07,3.906769e-07,4.962148e-07,7.717852e-07,8.168057e-07,1.271217e-06,1.380388e-06,1.884128e-06,2.272587e-06,2.676368e-06,3.492132e-06,3.663699e-06,4.856130e-06,5.066306e-06,6.257700e-06,7.004428e-06,7.866622e-06,9.298378e-06,9.675690e-06,1.167287e-05,1.192445e-05,1.384203e-05,1.484601e-05,1.616365e-05,1.801654e-05,1.861565e-05,2.117415e-05,2.138269e-05,2.381421e-05,2.488739e-05,2.651048e-05,2.847251e-05,2.923790e-05,3.197217e-05,3.208135e-05,3.469024e-05,3.566060e-05,3.737070e-05,3.916189e-05,3.999404e-05,4.254287e-05,4.500207e-05,4.576792e-05,4.735880e-05,4.880837e-05,4.960252e-05,5.164248e-05,5.172496e-05,5.371995e-05,5.425510e-05,5.558332e-05,5.663713e-05,5.731274e-05,5.878486e-05,5.890750e-05,6.036838e-05,6.069927e-05,6.169739e-05,6.238516e-05,6.289765e-05,6.385052e-05,6.397314e-05,6.492856e-05,6.510570e-05,6.576918e-05,6.616280e-05,6.650066e-05,6.703510e-05,6.712895e-05,6.766016e-05,6.773656e-05,6.810049e-05,6.828137e-05,6.845608e-05,6.868363e-05,6.873300e-05,6.893718e-05,6.895707e-05,6.907436e-05,6.911491e-05,6.915003e-05,6.916965e-05,6.916945e-05,6.913762e-05,6.913300e-05,6.905923e-05,6.901584e-05,6.893871e-05,6.882817e-05,6.878018e-05,6.858749e-05,6.857913e-05,6.836423e-05,6.827701e-05,6.811370e-05,6.792932e-05,6.783895e-05,6.754279e-05,6.722781e-05,6.712343e-05,6.689637e-05,6.667660e-05,6.655062e-05,6.620707e-05,6.619253e-05,6.582390e-05,6.571903e-05,6.544637e-05,6.521620e-05,6.506142e-05,6.470186e-05,6.467038e-05,6.427450e-05,6.417888e-05,6.387485e-05,6.364979e-05,6.347245e-05,6.311676e-05,6.306818e-05,6.266286e-05,6.258173e-05,6.225720e-05,6.204634e-05,6.185186e-05,6.151205e-05,6.144742e-05,6.104441e-05,6.098010e-05,6.064330e-05,6.045156e-05,6.024449e-05,5.992736e-05,5.984837e-05,5.945526e-05,5.940830e-05,5.906545e-05,5.889505e-05,5.867921e-05,5.838819e-05,5.829675e-05,5.791828e-05,5.788818e-05,5.754397e-05,5.739545e-05,5.717397e-05,5.691031e-05,5.680841e-05,5.644739e-05,5.643305e-05,5.609102e-05,5.596387e-05,5.573936e-05,5.550295e-05,5.539248e-05,5.505043e-05,5.460638e-05,5.417087e-05,5.374393e-05,5.332557e-05,5.291578e-05,5.251452e-05,5.212174e-05,5.173738e-05,5.136136e-05,5.099359e-05,5.063399e-05,5.028243e-05,4.993882e-05,4.960303e-05,4.927494e-05,4.895443e-05,4.864136e-05,4.833561e-05,4.803704e-05,4.774551e-05,4.746089e-05,4.718305e-05,4.691183e-05,4.664712e-05
0.000000e+00,1.795323e-11,9.742945e-11,1.072927e-09,4.784941e-09,9.215410e-09,3.544781e-08,3.714549e-08,1.013130e-07,1.281547e-07,2.192387e-07,3.231465e-07,4.086004e-07,6.612066e-07,6.871951e-07,1.072326e-06,1.182309e-06,1.578172e-06,1.917124e-06,2.211572e-06,2.872400e-06,2.969648e-06,3.841660e-06,4.028480e-06,4.813062e-06,5.352413e-06,5.868698e-06,6.809989e-06,6.994202e-06,8.176156e-06,8.369651e-06,9.401861e-06,1.000215e-05,1.065914e-05,1.167981e-05,1.193629e-05,1.322214e-05,1.337652e-05,1.450624e-05,1.506817e-05,1.577897e-05,1.673331e-05,1.703173e-05,1.825702e-05,1.835366e-05,1.944850e-05,1.991442e-05,2.060097e-05,2.140424e-05,2.171031e-05,2.277348e-05,2.281501e-05,2.378835e-05,2.414162e-05,2.475366e-05,2.538146e-05,2.566886e-05,2.653403e-05,2.734976e-05,2.760050e-05,2.811704e-05,2.858328e-05,2.883720e-05,2.948567e-05,2.951180e-05,3.014260e-05,3.031162e-05,3.073144e-05,3.106542e-05,3.128028e-05,3.175156e-05,3.179107e-05,3.226578e-05,3.237456e-05,3.270635e-05,3.293888e-05,3.311470e-05,3.344886e-05,3.349267e-05,3.384203e-05,3.390862e-05,3.416449e-05,3.432207e-05,3.446164e-05,3.469284e-05,3.473505e-05,3.498616e-05,3.502437e-05,3.521636e-05,3.531980e-05,3.542692e-05,3.558207e-05,3.561908e-05,3.579398e-05,3.581386e-05,3.595270e-05,3.601767e-05,3.609623e-05,3.619575e-05,3.622553e-05,3.634148e-05,3.635021e-05,3.644491e-05,3.648295e-05,3.653659e-05,3.659573e-05,3.661724e-05,3.668756e-05,3.669016e-05,3.674816e-05,3.676772e-05,3.679965e-05,3.682975e-05,3.684259e-05,3.687749e-05,3.690484e-05,3.691208e-05,3.692511e-05,3.693456e-05,3.693872e-05,3.694590e-05,3.694608e-05,3.694757e-05,3.694698e-05,3.694353e-05,3.693860e-05,3.693431e-05,3.692151e-05,3.692021e-05,3.690154e-05,3.689641e-05,3.687857e-05,3.686392e-05,3.685156e-05,3.682464e-05,3.682076e-05,3.678639e-05,3.677911e-05,3.674869e-05,3.672783e-05,3.670785e-05,3.667126e-05,3.666406e-05,3.661753e-05,3.660984e-05,3.656841e-05,3.654396e-05,3.651687e-05,3.647400e-05,3.646306e-05,3.640714e-05,3.640029e-05,3.634924e-05,3.632317e-05,3.628949e-05,3.624292e-05,3.622802e-05,3.616494e-05,3.615983e-05,3.610037e-05,3.607414e-05,3.603441e-05,3.598611e-05,3.596716e-05,3.589872e-05,3.589596e-05,3.582918e-05,3.580389e-05,3.575862e-05,3.571011e-05,3.568713e-05,3.561479e-05,3.551810e-05,3.542021e-05,3.532126e-05,3.522140e-05,3.512075e-05,3.501944e-05,3.491758e-05,3.481528e-05,3.471264e-05,3.460975e-05,3.450670e-05,3.440357e-05,3.430045e-05,3.419739e-05,3.409448e-05,3.399177e-05,3.388931e-05,3.378718e-05,3.368542e-05,3.358406e-05,3.348318e-05,3.338279e-05,3.328294e-05,3.318367e-05
0.000000e+00,6.958109e-10,1.991430e-09,8.623329e-09,2.174001e-08,3.289571e-08,7.920977e-08,8.173127e-08,1.626981e-07,1.921112e-07,2.829713e-07,3.768738e-07,4.494142e-07,6.488048e-07,6.683914e-07,9.452475e-07,1.020742e-06,1.283403e-06,1.499801e-06,1.683077e-06,2.082339e-06,2.139906e-06,2.644319e-06,2.749760e-06,3.182785e-06,3.471361e-06,3.740724e-06,4.214912e-06,4.305221e-06,4.866161e-06,4.955049e-06,5.416061e-06,5.674436e-06,5.949495e-06,6.361711e-06,6.462541e-06,6.952402e-06,7.009528e-06,7.417155e-06,7.613353e-06,7.855573e-06,8.170741e-06,8.267008e-06,8.651281e-06,8.680853e-06,9.008595e-06,9.144077e-06,9.339457e-06,9.561709e-06,9.644611e-06,9.924975e-06,9.935688e-06,1.018160e-05,1.026838e-05,1.041560e-05,1.056241e-05,1.062818e-05,1.082052e-05,1.099382e-05,1.104545e-05,1.114927e-05,1.123993e-05,1.128803e-05,1.140655e-05,1.141119e-05,1.151984e-05,1.154780e-05,1.161500e-05,1.166601e-05,1.169761e-05,1.176333e-05,1.176860e-05,1.182882e-05,1.184176e-05,1.187908e-05,1.190316e-05,1.192014e-05,1.194923e-05,1.195271e-05,1.197746e-05,1.198153e-05,1.199500e-05,1.200147e-05,1.200592e-05,1.201036e-05,1.201075e-05,1.200999e-05,1.200938e-05,1.200412e-05,1.199961e-05,1.199357e-05,1.198203e-05,1.197874e-05,1.196002e-05,1.195753e-05,1.193776e-05,1.192692e-05,1.191227e-05,1.189093e-05,1.188386e-05,1.185279e-05,1.185020e-05,1.181933e-05,1.180533e-05,1.178372e-05,1.175687e-05,1.174617e-05,1.170689e-05,1.170529e-05,1.166607e-05,1.165103e-05,1.162389e-05,1.159450e-05,1.158050e-05,1.153605e-05,1.149069e-05,1.147601e-05,1.144454e-05,1.141465e-05,1.139773e-05,1.135225e-05,1.135035e-05,1.130251e-05,1.128905e-05,1.125431e-05,1.122525e-05,1.120583e-05,1.116104e-05,1.115714e-05,1.110833e-05,1.109660e-05,1.105945e-05,1.103208e-05,1.101058e-05,1.096761e-05,1.096175e-05,1.091304e-05,1.090332e-05,1.086448e-05,1.083931e-05,1.081612e-05,1.077569e-05,1.076800e-05,1.072016e-05,1.071253e-05,1.067262e-05,1.064992e-05,1.062542e-05,1.058792e-05,1.057858e-05,1.053213e-05,1.052658e-05,1.048609e-05,1.046597e-05,1.044049e-05,1.040613e-05,1.039533e-05,1.035064e-05,1.034709e-05,1.030643e-05,1.028889e-05,1.026272e-05,1.023155e-05,1.021950e-05,1.017680e-05,1.017510e-05,1.013462e-05,1.011956e-05,1.009296e-05,1.006495e-05,1.005185e-05,1.001127e-05,9.958533e-06,9.906753e-06,9.855929e-06,9.806065e-06,9.757159e-06,9.709209e-06,9.662214e-06,9.616167e-06,9.571063e-06,9.526895e-06,9.483654e-06,9.441330e-06,9.399915e-06,9.359397e-06,9.319765e-06,9.281007e-06,9.243111e-06,9.206064e-06,9.169854e-06,9.134466e-06,9.099888e-06,9.066106e-06,9.033105e-06,9.000873e-06
0.000000e+00,9.228688e-11,4.420380e-10,3.888456e-09,1.467507e-08,2.614944e-08,8.562947e-08,8.924223e-08,2.179277e-07,2.693142e-07,4.392446e-07,6.291708e-07,7.841464e-07,1.241223e-06,1.288318e-06,1.989406e-06,2.190659e-06,2.917361e-06,3.540373e-06,4.080523e-06,5.284736e-06,5.460764e-06,7.024154e-06,7.355609e-06,8.735244e-06,9.673201e-06,1.056414e-05,1.217385e-05,1.248697e-05,1.448409e-05,1.480935e-05,1.653842e-05,1.754021e-05,1.863443e-05,2.033153e-05,2.075772e-05,2.289489e-05,2.315169e-05,2.503359e-05,2.597216e-05,2.716256e-05,2.876785e-05,2.927175e-05,3.135233e-05,3.151731e-05,3.339669e-05,3.420281e-05,3.539839e-05,3.681019e-05,3.735213e-05,3.925363e-05,3.932855e-05,4.109952e-05,4.174991e-05,4.288727e-05,4.406878e-05,4.461507e-05,4.628172e-05,4.788654e-05,4.838698e-05,4.942933e-05,5.038421e-05,5.091023e-05,5.227411e-05,5.232972e-05,5.368850e-05,5.405821e-05,5.498751e-05,5.573867e-05,5.622783e-05,5.731813e-05,5.741068e-05,5.853735e-05,5.879955e-05,5.960925e-05,6.018612e-05,6.062780e-05,6.148114e-05,6.159445e-05,6.251071e-05,6.268806e-05,6.337817e-05,6.381048e-05,6.419838e-05,6.485195e-05,6.497285e-05,6.570304e-05,6.581586e-05,6.639046e-05,6.670569e-05,6.703664e-05,6.752483e-05,6.764299e-05,6.821090e-05,6.827654e-05,6.874181e-05,6.896404e-05,6.923708e-05,6.959047e-05,6.969804e-05,7.012599e-05,7.015884e-05,7.052218e-05,7.067204e-05,7.088786e-05,7.113294e-05,7.122425e-05,7.153251e-05,7.154427e-05,7.181378e-05,7.190864e-05,7.206915e-05,7.222857e-05,7.229971e-05,7.250649e-05,7.269049e-05,7.274472e-05,7.285269e-05,7.294549e-05,7.299403e-05,7.311094e-05,7.311543e-05,7.321776e-05,7.324311e-05,7.330188e-05,7.334395e-05,7.336861e-05,7.341534e-05,7.341876e-05,7.345308e-05,7.345904e-05,7.347232e-05,7.347677e-05,7.347719e-05,7.347015e-05,7.346840e-05,7.344658e-05,7.344072e-05,7.341241e-05,7.338995e-05,7.336648e-05,7.331925e-05,7.330939e-05,7.324172e-05,7.322995e-05,7.316401e-05,7.312331e-05,7.307681e-05,7.300055e-05,7.298062e-05,7.287592e-05,7.286281e-05,7.276320e-05,7.271117e-05,7.264290e-05,7.254668e-05,7.251547e-05,7.238132e-05,7.237031e-05,7.224085e-05,7.218298e-05,7.209445e-05,7.198558e-05,7.194249e-05,7.178533e-05,7.177894e-05,7.162331e-05,7.156385e-05,7.145675e-05,7.134106e-05,7.128597e-05,7.111127e-05,7.087515e-05,7.063333e-05,7.038640e-05,7.013492e-05,6.987944e-05,6.962043e-05,6.935839e-05,6.909374e-05,6.882690e-05,6.855827e-05,6.828821e-05,6.801706e-05,6.774516e-05,6.747280e-05,6.720027e-05,6.692783e-05,6.665574e-05,6.638421e-05,6.611347e-05,6.584372e-05,6.557515e-05,6.530792e-05,6.504221e-05,6.477815e-05
0.000000e+00,1.145762e-11,6.501009e-11,7.840451e-10,3.806007e-09,7.699192e-09,3.415445e-08,3.602049e-08,1.168799e-07,1.558010e-07,3.053925e-07,5.005078e-07,6.735283e-07,1.213904e-06,1.270298e-06,2.092168e-06,2.318721e-06,3.098401e-06,3.724290e-06,4.241200e-06,5.329137e-06,5.482288e-06,6.795191e-06,7.064683e-06,8.161582e-06,8.888449e-06,9.567269e-06,1.076919e-05,1.099967e-05,1.244667e-05,1.267875e-05,1.389643e-05,1.458992e-05,1.533755e-05,1.647707e-05,1.675944e-05,1.815264e-05,1.831749e-05,1.950900e-05,2.009235e-05,2.082183e-05,2.178716e-05,2.208584e-05,2.329714e-05,2.339168e-05,2.445307e-05,2.489956e-05,2.555206e-05,2.630769e-05,2.659347e-05,2.757739e-05,2.761556e-05,2.850456e-05,2.882467e-05,2.937617e-05,2.993791e-05,3.019377e-05,3.095916e-05,3.167432e-05,3.189291e-05,3.234135e-05,3.274398e-05,3.296239e-05,3.351734e-05,3.353961e-05,3.407516e-05,3.421794e-05,3.457117e-05,3.485065e-05,3.502968e-05,3.542013e-05,3.545271e-05,3.584218e-05,3.593086e-05,3.619993e-05,3.638707e-05,3.652773e-05,3.679276e-05,3.682727e-05,3.710015e-05,3.715167e-05,3.734790e-05,3.746728e-05,3.757197e-05,3.774288e-05,3.777372e-05,3.795445e-05,3.798150e-05,3.811539e-05,3.818596e-05,3.825770e-05,3.835888e-05,3.838249e-05,3.849077e-05,3.850271e-05,3.858355e-05,3.861969e-05,3.866173e-05,3.871192e-05,3.872618e-05,3.877774e-05,3.878133e-05,3.881718e-05,3.882972e-05,3.884522e-05,3.885875e-05,3.886257e-05,3.886987e-05,3.886996e-05,3.886773e-05,3.886476e-05,3.885673e-05,3.884448e-05,3.883743e-05,3.881033e-05,3.877592e-05,3.876345e-05,3.873467e-05,3.870488e-05,3.868700e-05,3.863559e-05,3.863333e-05,3.857403e-05,3.855647e-05,3.850948e-05,3.846837e-05,3.844001e-05,3.837204e-05,3.836596e-05,3.828762e-05,3.826821e-05,3.820528e-05,3.815754e-05,3.811923e-05,3.804063e-05,3.802971e-05,3.793698e-05,3.791806e-05,3.784125e-05,3.779036e-05,3.774275e-05,3.765802e-05,3.764169e-05,3.753825e-05,3.752149e-05,3.743263e-05,3.738120e-05,3.732499e-05,3.723754e-05,3.721550e-05,3.710432e-05,3.709087e-05,3.699159e-05,3.694153e-05,3.687745e-05,3.678984e-05,3.676203e-05,3.664546e-05,3.663609e-05,3.652785e-05,3.648054e-05,3.640932e-05,3.632346e-05,3.628997e-05,3.616990e-05,3.616508e-05,3.604920e-05,3.600561e-05,3.592796e-05,3.584526e-05,3.580628e-05,3.568421e-05,3.552265e-05,3.536073e-05,3.519860e-05,3.503640e-05,3.487427e-05,3.471232e-05,3.455067e-05,3.438942e-05,3.422867e-05,3.406850e-05,3.390899e-05,3.375023e-05,3.359229e-05,3.343522e-05,3.327909e-05,3.312395e-05,3.296985e-05,3.281684e-05,3.266497e-05,3.251426e-05,3.236476e-05,3.221650e-05,3.206950e-05,3.192379e-05
0.000000e+00,9.011332e-09,2.098504e-08,7.348908e-08,1.688690e-07,2.475594e-07,5.693129e-07,5.868115e-07,1.154417e-06,1.364104e-06,2.023661e-06,2.719626e-06,3.262280e-06,4.747780e-06,4.891953e-06,6.878250e-06,7.402294e-06,9.170907e-06,1.057283e-05,1.172872e-05,1.417296e-05,1.451910e-05,1.751280e-05,1.813339e-05,2.068061e-05,2.238666e-05,2.399222e-05,2.686223e-05,2.741635e-05,3.092140e-05,3.148762e-05,3.447635e-05,3.619169e-05,3.805162e-05,4.090793e-05,4.161976e-05,4.515601e-05,4.557715e-05,4.863858e-05,5.014899e-05,5.204883e-05,5.458255e-05,5.537118e-05,5.859297e-05,5.884606e-05,6.170430e-05,6.291618e-05,6.469781e-05,6.677721e-05,6.756834e-05,7.031257e-05,7.041969e-05,7.292880e-05,7.383919e-05,7.541669e-05,7.703557e-05,7.777714e-05,8.001161e-05,8.212230e-05,8.277206e-05,8.411218e-05,8.532378e-05,8.598447e-05,8.767458e-05,8.774277e-05,8.939090e-05,8.983318e-05,9.093284e-05,9.180868e-05,9.237256e-05,9.361029e-05,9.371409e-05,9.496149e-05,9.524730e-05,9.611876e-05,9.672894e-05,9.718985e-05,9.806421e-05,9.817864e-05,9.908890e-05,9.926185e-05,9.992428e-05,1.003303e-04,1.006883e-04,1.012776e-04,1.013845e-04,1.020162e-04,1.021115e-04,1.025865e-04,1.028393e-04,1.030985e-04,1.034682e-04,1.035553e-04,1.039596e-04,1.040048e-04,1.043143e-04,1.044553e-04,1.046219e-04,1.048257e-04,1.048849e-04,1.051058e-04,1.051217e-04,1.052868e-04,1.053486e-04,1.054302e-04,1.055113e-04,1.055380e-04,1.056123e-04,1.056146e-04,1.056549e-04,1.056629e-04,1.056677e-04,1.056603e-04,1.056525e-04,1.056109e-04,1.055444e-04,1.055181e-04,1.054546e-04,1.053856e-04,1.053430e-04,1.052165e-04,1.052108e-04,1.050595e-04,1.050138e-04,1.048901e-04,1.047804e-04,1.047040e-04,1.045189e-04,1.045022e-04,1.042857e-04,1.042317e-04,1.040557e-04,1.039213e-04,1.038130e-04,1.035897e-04,1.035586e-04,1.032933e-04,1.032390e-04,1.030180e-04,1.028711e-04,1.027334e-04,1.024877e-04,1.024403e-04,1.021394e-04,1.020905e-04,1.018313e-04,1.016810e-04,1.015166e-04,1.012606e-04,1.011961e-04,1.008701e-04,1.008307e-04,1.005393e-04,1.003924e-04,1.002042e-04,9.994697e-05,9.986530e-05,9.952295e-05,9.949543e-05,9.917765e-05,9.903878e-05,9.882977e-05,9.857794e-05,9.847972e-05,9.812785e-05,9.811374e-05,9.777450e-05,9.764700e-05,9.742000e-05,9.717843e-05,9.706464e-05,9.670871e-05,9.623848e-05,9.576829e-05,9.529869e-05,9.483016e-05,9.436316e-05,9.389809e-05,9.343534e-05,9.297525e-05,9.251815e-05,9.206431e-05,9.161400e-05,9.116746e-05,9.072491e-05,9.028654e-05,8.985252e-05,8.942301e-05,8.899815e-05,8.857806e-05,8.816285e-05,8.775262e-05,8.734744e-05,8.694738e-05,8.655250e-05,8.616286e-05
0.000000e+00,7.949265e-13,5.048902e-12,7.591040e-11,4.415432e-10,9.765316e-10,5.238452e-09,5.559917e-09,2.034288e-08,2.770837e-08,5.648137e-08,9.489702e-08,1.300342e-07,2.484563e-07,2.616845e-07,4.760039e-07,5.427206e-07,8.000034e-07,1.039521e-06,1.260744e-06,1.798686e-06,1.882484e-06,2.684306e-06,2.867511e-06,3.678841e-06,4.274390e-06,4.872040e-06,6.027850e-06,6.263674e-06,7.848139e-06,8.118929e-06,9.615342e-06,1.052459e-05,1.155153e-05,1.321102e-05,1.364003e-05,1.586194e-05,1.613657e-05,1.819677e-05,1.925436e-05,2.062305e-05,2.251473e-05,2.311891e-05,2.566264e-05,2.586757e-05,2.823315e-05,2.926432e-05,3.081042e-05,3.265973e-05,3.337584e-05,3.591245e-05,3.601310e-05,3.840515e-05,3.928916e-05,4.084073e-05,4.245850e-05,4.320797e-05,4.549755e-05,4.770196e-05,4.838840e-05,4.981542e-05,5.111828e-05,5.183368e-05,5.367901e-05,5.375392e-05,5.557451e-05,5.606632e-05,5.729491e-05,5.827918e-05,5.891550e-05,6.031926e-05,6.043742e-05,6.186243e-05,6.219026e-05,6.319282e-05,6.389749e-05,6.443126e-05,6.544740e-05,6.558075e-05,6.664449e-05,6.684724e-05,6.762585e-05,6.810475e-05,6.852829e-05,6.922793e-05,6.935534e-05,7.011050e-05,7.022490e-05,7.079730e-05,7.110370e-05,7.141918e-05,7.187223e-05,7.197953e-05,7.248165e-05,7.253815e-05,7.292875e-05,7.310884e-05,7.332391e-05,7.359135e-05,7.367014e-05,7.397030e-05,7.399241e-05,7.422715e-05,7.431836e-05,7.444333e-05,7.457521e-05,7.462136e-05,7.476365e-05,7.476863e-05,7.487248e-05,7.490390e-05,7.495006e-05,7.498601e-05,7.499844e-05,7.501960e-05,7.501541e-05,7.500901e-05,7.498764e-05,7.495828e-05,7.493798e-05,7.487118e-05,7.486801e-05,7.477923e-05,7.475120e-05,7.467308e-05,7.460160e-05,7.455088e-05,7.442538e-05,7.441391e-05,7.426337e-05,7.422535e-05,7.410039e-05,7.400408e-05,7.392602e-05,7.376396e-05,7.374128e-05,7.354710e-05,7.350721e-05,7.334438e-05,7.323586e-05,7.313394e-05,7.295178e-05,7.291657e-05,7.269301e-05,7.265672e-05,7.246395e-05,7.235224e-05,7.223004e-05,7.203983e-05,7.199189e-05,7.175006e-05,7.172082e-05,7.150509e-05,7.139643e-05,7.125747e-05,7.106781e-05,7.100768e-05,7.075615e-05,7.073597e-05,7.050328e-05,7.040185e-05,7.024946e-05,7.006631e-05,6.999503e-05,6.974032e-05,6.973013e-05,6.948564e-05,6.939402e-05,6.923127e-05,6.905862e-05,6.897748e-05,6.872450e-05,6.839220e-05,6.806218e-05,6.773487e-05,6.741064e-05,6.708983e-05,6.677273e-05,6.645962e-05,6.615072e-05,6.584624e-05,6.554633e-05,6.525116e-05,6.496085e-05,6.467550e-05,6.439520e-05,6.412001e-05,6.384999e-05,6.358517e-05,6.332558e-05,6.307122e-05,6.282210e-05,6.257820e-05,6.233951e-05,6.210600e-05,6.187762e-05
0.000000e+00,3.007363e-09,6.931679e-09,2.398012e-08,5.467030e-08,7.981004e-08,1.812952e-07,1.867612e-07,3.615924e-07,4.251479e-07,6.225294e-07,8.285564e-07,9.890758e-07,1.434306e-06,1.478185e-06,2.095573e-06,2.261969e-06,2.831117e-06,3.287846e-06,3.666552e-06,4.470416e-06,4.584411e-06,5.570323e-06,5.774572e-06,6.612064e-06,7.172102e-06,7.698464e-06,8.637739e-06,8.818857e-06,9.962940e-06,1.014753e-05,1.112085e-05,1.167882e-05,1.228334e-05,1.321087e-05,1.344189e-05,1.458891e-05,1.472545e-05,1.571773e-05,1.620717e-05,1.682272e-05,1.764365e-05,1.789919e-05,1.894338e-05,1.902543e-05,1.995239e-05,2.034564e-05,2.092408e-05,2.159975e-05,2.185700e-05,2.275025e-05,2.278515e-05,2.360344e-05,2.390077e-05,2.441656e-05,2.494674e-05,2.518993e-05,2.592416e-05,2.662005e-05,2.683479e-05,2.727856e-05,2.768089e-05,2.790078e-05,2.846505e-05,2.848787e-05,2.904107e-05,2.919006e-05,2.956163e-05,2.985883e-05,3.005083e-05,3.047431e-05,3.050996e-05,3.094030e-05,3.103943e-05,3.134309e-05,3.155709e-05,3.171958e-05,3.203008e-05,3.207096e-05,3.239838e-05,3.246110e-05,3.270299e-05,3.285273e-05,3.298587e-05,3.320747e-05,3.324807e-05,3.349061e-05,3.352766e-05,3.371446e-05,3.381554e-05,3.392055e-05,3.407324e-05,3.410978e-05,3.428299e-05,3.430274e-05,3.444102e-05,3.450595e-05,3.458464e-05,3.468463e-05,3.471461e-05,3.483163e-05,3.484046e-05,3.493639e-05,3.497501e-05,3.502954e-05,3.508977e-05,3.511170e-05,3.518346e-05,3.518612e-05,3.524538e-05,3.526537e-05,3.529800e-05,3.532873e-05,3.534183e-05,3.537736e-05,3.540505e-05,3.541233e-05,3.542534e-05,3.543463e-05,3.543864e-05,3.544522e-05,3.544537e-05,3.544589e-05,3.544498e-05,3.544057e-05,3.543472e-05,3.542976e-05,3.541523e-05,3.541376e-05,3.539291e-05,3.538722e-05,3.536749e-05,3.535136e-05,3.533778e-05,3.530830e-05,3.530405e-05,3.526655e-05,3.525862e-05,3.522552e-05,3.520287e-05,3.518119e-05,3.514156e-05,3.513378e-05,3.508349e-05,3.507519e-05,3.503051e-05,3.500419e-05,3.497504e-05,3.492899e-05,3.491725e-05,3.485731e-05,3.484998e-05,3.479537e-05,3.476752e-05,3.473159e-05,3.468197e-05,3.466611e-05,3.459906e-05,3.459363e-05,3.453058e-05,3.450281e-05,3.446078e-05,3.440978e-05,3.438979e-05,3.431771e-05,3.431480e-05,3.424464e-05,3.421812e-05,3.417069e-05,3.411995e-05,3.409595e-05,3.402050e-05,3.391998e-05,3.381856e-05,3.371642e-05,3.361370e-05,3.351055e-05,3.340711e-05,3.330351e-05,3.319986e-05,3.309627e-05,3.299284e-05,3.288966e-05,3.278682e-05,3.268440e-05,3.258246e-05,3.248109e-05,3.238033e-05,3.228024e-05,3.218088e-05,3.208230e-05,3.198454e-05,3.188763e-05,3.179161e-05,3.169652e-05,3.160239e-05
0.000000e+00,3.683503e-09,1.094204e-08,4.950931e-08,1.278481e-07,1.954612e-07,4.813162e-07,4.970545e-07,1.009285e-06,1.198135e-06,1.789065e-06,2.410056e-06,2.895851e-06,4.252804e-06,4.387479e-06,6.306923e-06,6.833074e-06,8.661827e-06,1.015862e-05,1.141569e-05,1.411872e-05,1.450485e-05,1.786249e-05,1.856089e-05,2.142976e-05,2.335063e-05,2.515641e-05,2.837759e-05,2.899838e-05,3.291606e-05,3.354746e-05,3.687347e-05,3.877744e-05,4.083802e-05,4.399514e-05,4.478062e-05,4.867575e-05,4.913890e-05,5.250151e-05,5.415802e-05,5.623955e-05,5.901243e-05,5.987484e-05,6.339552e-05,6.367193e-05,6.679243e-05,6.811495e-05,7.005885e-05,7.232728e-05,7.319029e-05,7.618391e-05,7.630076e-05,7.903836e-05,8.003185e-05,8.175360e-05,8.352089e-05,8.433056e-05,8.677096e-05,8.907719e-05,8.978731e-05,9.125215e-05,9.257672e-05,9.329910e-05,9.514706e-05,9.522161e-05,9.702347e-05,9.750690e-05,9.870859e-05,9.966528e-05,1.002810e-04,1.016314e-04,1.017446e-04,1.031037e-04,1.034147e-04,1.043621e-04,1.050243e-04,1.055239e-04,1.064695e-04,1.065931e-04,1.075735e-04,1.077593e-04,1.084689e-04,1.089022e-04,1.092832e-04,1.099069e-04,1.100197e-04,1.106822e-04,1.107816e-04,1.112740e-04,1.115340e-04,1.117985e-04,1.121717e-04,1.122588e-04,1.126581e-04,1.127021e-04,1.129994e-04,1.131320e-04,1.132856e-04,1.134680e-04,1.135195e-04,1.137039e-04,1.137165e-04,1.138412e-04,1.138835e-04,1.139340e-04,1.139747e-04,1.139848e-04,1.139958e-04,1.139954e-04,1.139692e-04,1.139509e-04,1.139072e-04,1.138459e-04,1.138119e-04,1.136851e-04,1.135288e-04,1.134729e-04,1.133448e-04,1.132133e-04,1.131348e-04,1.129103e-04,1.129004e-04,1.126433e-04,1.125674e-04,1.123648e-04,1.121881e-04,1.120665e-04,1.117758e-04,1.117498e-04,1.114158e-04,1.113333e-04,1.110660e-04,1.108636e-04,1.107014e-04,1.103693e-04,1.103232e-04,1.099326e-04,1.098530e-04,1.095304e-04,1.093171e-04,1.091177e-04,1.087637e-04,1.086955e-04,1.082646e-04,1.081949e-04,1.078258e-04,1.076126e-04,1.073799e-04,1.070187e-04,1.069278e-04,1.064701e-04,1.064148e-04,1.060074e-04,1.058025e-04,1.055406e-04,1.051833e-04,1.050700e-04,1.045964e-04,1.045584e-04,1.041203e-04,1.039293e-04,1.036422e-04,1.032969e-04,1.031625e-04,1.026818e-04,1.026625e-04,1.022004e-04,1.020270e-04,1.017188e-04,1.013914e-04,1.012374e-04,1.007564e-04,1.001230e-04,9.949174e-05,9.886336e-05,9.823845e-05,9.761758e-05,9.700124e-05,9.638991e-05,9.578398e-05,9.518384e-05,9.458982e-05,9.400223e-05,9.342134e-05,9.284738e-05,9.228056e-05,9.172107e-05,9.116907e-05,9.062468e-05,9.008802e-05,8.955919e-05,8.903826e-05,8.852529e-05,8.802032e-05,8.752337e-05,8.703446e-05
0.000000e+00,1.462161e-09,3.429694e-09,1.211126e-08,2.796342e-08,4.108518e-08,9.501372e-08,9.795757e-08,1.940033e-07,2.297586e-07,3.432924e-07,4.651576e-07,5.618980e-07,8.349693e-07,8.620854e-07,1.244398e-06,1.347392e-06,1.699175e-06,1.981133e-06,2.214934e-06,2.711989e-06,2.782615e-06,3.395555e-06,3.523095e-06,4.048460e-06,4.402184e-06,4.736591e-06,5.338455e-06,5.455313e-06,6.199891e-06,6.321099e-06,6.965450e-06,7.338908e-06,7.747000e-06,8.380380e-06,8.539523e-06,9.338069e-06,9.434070e-06,1.013786e-05,1.048898e-05,1.093436e-05,1.153489e-05,1.172336e-05,1.250104e-05,1.256266e-05,1.326404e-05,1.356445e-05,1.400939e-05,1.453369e-05,1.473459e-05,1.543752e-05,1.546515e-05,1.611651e-05,1.635482e-05,1.677024e-05,1.719982e-05,1.739771e-05,1.799827e-05,1.857150e-05,1.874913e-05,1.911724e-05,1.945211e-05,1.963556e-05,2.010753e-05,2.012666e-05,2.059086e-05,2.071608e-05,2.102863e-05,2.127885e-05,2.144056e-05,2.179726e-05,2.182728e-05,2.218951e-05,2.227289e-05,2.252800e-05,2.270747e-05,2.284353e-05,2.310285e-05,2.313691e-05,2.340895e-05,2.346088e-05,2.366049e-05,2.378346e-05,2.389234e-05,2.407247e-05,2.410531e-05,2.430022e-05,2.432978e-05,2.447785e-05,2.455721e-05,2.463898e-05,2.475651e-05,2.478436e-05,2.491473e-05,2.492940e-05,2.503081e-05,2.507753e-05,2.513327e-05,2.520246e-05,2.522280e-05,2.530004e-05,2.530571e-05,2.536562e-05,2.538871e-05,2.542012e-05,2.545284e-05,2.546414e-05,2.549822e-05,2.549938e-05,2.552290e-05,2.552958e-05,2.553869e-05,2.554460e-05,2.554608e-05,2.554555e-05,2.553754e-05,2.553347e-05,2.552249e-05,2.550935e-05,2.550080e-05,2.547411e-05,2.547288e-05,2.543909e-05,2.542863e-05,2.539981e-05,2.537374e-05,2.535537e-05,2.531021e-05,2.530610e-05,2.525231e-05,2.523876e-05,2.519431e-05,2.516009e-05,2.513237e-05,2.507483e-05,2.506677e-05,2.499777e-05,2.498358e-05,2.492561e-05,2.488692e-05,2.485053e-05,2.478536e-05,2.477274e-05,2.469247e-05,2.467941e-05,2.460990e-05,2.456952e-05,2.452524e-05,2.445612e-05,2.443866e-05,2.435034e-05,2.433963e-05,2.426043e-05,2.422041e-05,2.416910e-05,2.409883e-05,2.407649e-05,2.398274e-05,2.397519e-05,2.388798e-05,2.384982e-05,2.379234e-05,2.372299e-05,2.369593e-05,2.359887e-05,2.359497e-05,2.350126e-05,2.346600e-05,2.340320e-05,2.333631e-05,2.330478e-05,2.320611e-05,2.307559e-05,2.294493e-05,2.281430e-05,2.268385e-05,2.255373e-05,2.242406e-05,2.229496e-05,2.216654e-05,2.203891e-05,2.191214e-05,2.178633e-05,2.166155e-05,2.153787e-05,2.141535e-05,2.129404e-05,2.117399e-05,2.105525e-05,2.093786e-05,2.082184e-05,2.070724e-05,2.059407e-05,2.048236e-05,2.037213e-05,2.026338e-05
0.000000e+00,4.618441e-14,3.050445e-13,4.976263e-12,3.119197e-11,7.189016e-11,4.294104e-10,4.577752e-10,1.867092e-09,2.620358e-09,5.763948e-09,1.031058e-08,1.472589e-08,3.091937e-08,3.283155e-08,6.604493e-08,7.711779e-08,1.224532e-07,1.678598e-07,2.121213e-07,3.275660e-07,3.464289e-07,5.370184e-07,5.828639e-07,7.946377e-07,9.581264e-07,1.128141e-06,1.471594e-06,1.543791e-06,2.044905e-06,2.133076e-06,2.631792e-06,2.943322e-06,3.301926e-06,3.894671e-06,4.050286e-06,4.869772e-06,4.972490e-06,5.751670e-06,6.156965e-06,6.686114e-06,7.424944e-06,7.662531e-06,8.670032e-06,8.751648e-06,9.697763e-06,1.011215e-05,1.073520e-05,1.148254e-05,1.177238e-05,1.280010e-05,1.284089e-05,1.381002e-05,1.416780e-05,1.479480e-05,1.544681e-05,1.574810e-05,1.666459e-05,1.753998e-05,1.781085e-05,1.837093e-05,1.887826e-05,1.915502e-05,1.986215e-05,1.989064e-05,2.057695e-05,2.076024e-05,2.121376e-05,2.157223e-05,2.180147e-05,2.229954e-05,2.234096e-05,2.283349e-05,2.294489e-05,2.328068e-05,2.351199e-05,2.368438e-05,2.400529e-05,2.404664e-05,2.436962e-05,2.442970e-05,2.465557e-05,2.479039e-05,2.490678e-05,2.509261e-05,2.512552e-05,2.531406e-05,2.534157e-05,2.547459e-05,2.554232e-05,2.560922e-05,2.569966e-05,2.572000e-05,2.580886e-05,2.581813e-05,2.587762e-05,2.590196e-05,2.592802e-05,2.595503e-05,2.596166e-05,2.598004e-05,2.598090e-05,2.598456e-05,2.598278e-05,2.597652e-05,2.596361e-05,2.595709e-05,2.592739e-05,2.592600e-05,2.588841e-05,2.587229e-05,2.584108e-05,2.580456e-05,2.578624e-05,2.572466e-05,2.565705e-05,2.563425e-05,2.558406e-05,2.553478e-05,2.550626e-05,2.542755e-05,2.542419e-05,2.533833e-05,2.531368e-05,2.524913e-05,2.519418e-05,2.515699e-05,2.506993e-05,2.506227e-05,2.496530e-05,2.494173e-05,2.486639e-05,2.481026e-05,2.476582e-05,2.467613e-05,2.466382e-05,2.456063e-05,2.453987e-05,2.445647e-05,2.440197e-05,2.435151e-05,2.426285e-05,2.424592e-05,2.413988e-05,2.412288e-05,2.403352e-05,2.398239e-05,2.392697e-05,2.384167e-05,2.382035e-05,2.371377e-05,2.370099e-05,2.360734e-05,2.356058e-05,2.350114e-05,2.342064e-05,2.339526e-05,2.328977e-05,2.328136e-05,2.318475e-05,2.314289e-05,2.308026e-05,2.300538e-05,2.297635e-05,2.287308e-05,2.286896e-05,2.277049e-05,2.273374e-05,2.266864e-05,2.259981e-05,2.256755e-05,2.246727e-05,2.233618e-05,2.220662e-05,2.207865e-05,2.195231e-05,2.182764e-05,2.170469e-05,2.158348e-05,2.146404e-05,2.134639e-05,2.123055e-05,2.111652e-05,2.100432e-05,2.089394e-05,2.078540e-05,2.067869e-05,2.057380e-05,2.047074e-05,2.036949e-05,2.027004e-05,2.017238e-05,2.007651e-05,1.998239e-05,1.989003e-05,1.979939e-05
0.000000e+00,7.139957e-10,2.183995e-09,1.015979e-08,2.644354e-08,4.045969e-08,9.912638e-08,1.023293e-07,2.052320e-07,2.425848e-07,3.577665e-07,4.764697e-07,5.679630e-07,8.187831e-07,8.433850e-07,1.190864e-06,1.285613e-06,1.615577e-06,1.887996e-06,2.119218e-06,2.624681e-06,2.697770e-06,3.340789e-06,3.475869e-06,4.033589e-06,4.408366e-06,4.760807e-06,5.388187e-06,5.508756e-06,6.266061e-06,6.387450e-06,7.023394e-06,7.384606e-06,7.773037e-06,8.362844e-06,8.508541e-06,9.224519e-06,9.308904e-06,9.916524e-06,1.021246e-05,1.058097e-05,1.106577e-05,1.121506e-05,1.181676e-05,1.186345e-05,1.238470e-05,1.260223e-05,1.291812e-05,1.328065e-05,1.341678e-05,1.388089e-05,1.389874e-05,1.431105e-05,1.445776e-05,1.470815e-05,1.495985e-05,1.507331e-05,1.540783e-05,1.571313e-05,1.580491e-05,1.599073e-05,1.615455e-05,1.624215e-05,1.646033e-05,1.646895e-05,1.667267e-05,1.672579e-05,1.685482e-05,1.695436e-05,1.701686e-05,1.714937e-05,1.716018e-05,1.728612e-05,1.731391e-05,1.739596e-05,1.745089e-05,1.749090e-05,1.756300e-05,1.757205e-05,1.764048e-05,1.765273e-05,1.769717e-05,1.772232e-05,1.774304e-05,1.777384e-05,1.777895e-05,1.780569e-05,1.780917e-05,1.782401e-05,1.783000e-05,1.783457e-05,1.783787e-05,1.783802e-05,1.783495e-05,1.783416e-05,1.782588e-05,1.782013e-05,1.781133e-05,1.779689e-05,1.779176e-05,1.776759e-05,1.776547e-05,1.773921e-05,1.772677e-05,1.770700e-05,1.768163e-05,1.767130e-05,1.763240e-05,1.763078e-05,1.759060e-05,1.757490e-05,1.754617e-05,1.751458e-05,1.749935e-05,1.745037e-05,1.739944e-05,1.738276e-05,1.734676e-05,1.731220e-05,1.729250e-05,1.723908e-05,1.723683e-05,1.717991e-05,1.716377e-05,1.712188e-05,1.708658e-05,1.706287e-05,1.700782e-05,1.700301e-05,1.694240e-05,1.692776e-05,1.688116e-05,1.684662e-05,1.681938e-05,1.676464e-05,1.675715e-05,1.669456e-05,1.668201e-05,1.663169e-05,1.659890e-05,1.656860e-05,1.651549e-05,1.650536e-05,1.644204e-05,1.643190e-05,1.637869e-05,1.634829e-05,1.631537e-05,1.626476e-05,1.625212e-05,1.618899e-05,1.618143e-05,1.612603e-05,1.609838e-05,1.606326e-05,1.601572e-05,1.600074e-05,1.593848e-05,1.593351e-05,1.587653e-05,1.585184e-05,1.581490e-05,1.577075e-05,1.575364e-05,1.569275e-05,1.569032e-05,1.563226e-05,1.561059e-05,1.557220e-05,1.553161e-05,1.551258e-05,1.545341e-05,1.537604e-05,1.529953e-05,1.522390e-05,1.514918e-05,1.507539e-05,1.500254e-05,1.493066e-05,1.485975e-05,1.478983e-05,1.472090e-05,1.465298e-05,1.458606e-05,1.452014e-05,1.445524e-05,1.439134e-05,1.432845e-05,1.426657e-05,1.420569e-05,1.414581e-05,1.408692e-05,1.402902e-05,1.397210e-05,1.391615e-05,1.386116e-05
0.000000e+00,1.714653e-11,9.387988e-11,1.052407e-09,4.768260e-09,9.263280e-09,3.646578e-08,3.824974e-08,1.070372e-07,1.364428e-07,2.384074e-07,3.581936e-07,4.590324e-07,7.666325e-07,7.989177e-07,1.285965e-06,1.426938e-06,1.936877e-06,2.374131e-06,2.753423e-06,3.602413e-06,3.727181e-06,4.846470e-06,5.086797e-06,6.100332e-06,6.802366e-06,7.479406e-06,8.728445e-06,8.975299e-06,1.057970e-05,1.084589e-05,1.228373e-05,1.313423e-05,1.407764e-05,1.557030e-05,1.595069e-05,1.789131e-05,1.812815e-05,1.988724e-05,2.077971e-05,2.192580e-05,2.349576e-05,2.399423e-05,2.607989e-05,2.624712e-05,2.817057e-05,2.900562e-05,3.025466e-05,3.174503e-05,3.232136e-05,3.436077e-05,3.444165e-05,3.636401e-05,3.707478e-05,3.832325e-05,3.962690e-05,4.023172e-05,4.208370e-05,4.387449e-05,4.443398e-05,4.560032e-05,4.666939e-05,4.725831e-05,4.878423e-05,4.884639e-05,5.036322e-05,5.077505e-05,5.180808e-05,5.264037e-05,5.318083e-05,5.438035e-05,5.448181e-05,5.571176e-05,5.599649e-05,5.687178e-05,5.749136e-05,5.796326e-05,5.886835e-05,5.898782e-05,5.994726e-05,6.013150e-05,6.084352e-05,6.128529e-05,6.167866e-05,6.233450e-05,6.245481e-05,6.317413e-05,6.328410e-05,6.383883e-05,6.413913e-05,6.445112e-05,6.490468e-05,6.501318e-05,6.552720e-05,6.558575e-05,6.599530e-05,6.618727e-05,6.641959e-05,6.671401e-05,6.680211e-05,6.714485e-05,6.717061e-05,6.744974e-05,6.756152e-05,6.771866e-05,6.789102e-05,6.795340e-05,6.815573e-05,6.816317e-05,6.832732e-05,6.838187e-05,6.846978e-05,6.855082e-05,6.858468e-05,6.867349e-05,6.873766e-05,6.875322e-05,6.877855e-05,6.879311e-05,6.879746e-05,6.879612e-05,6.879566e-05,6.877433e-05,6.876502e-05,6.873463e-05,6.870244e-05,6.867764e-05,6.861083e-05,6.860440e-05,6.851591e-05,6.849250e-05,6.841311e-05,6.834963e-05,6.829690e-05,6.818423e-05,6.816815e-05,6.802767e-05,6.799823e-05,6.787623e-05,6.779341e-05,6.771459e-05,6.757143e-05,6.754343e-05,6.736344e-05,6.733387e-05,6.717525e-05,6.708218e-05,6.697945e-05,6.681774e-05,6.677664e-05,6.656734e-05,6.654181e-05,6.635207e-05,6.625559e-05,6.613134e-05,6.596020e-05,6.590559e-05,6.567528e-05,6.565667e-05,6.544081e-05,6.534596e-05,6.520260e-05,6.502897e-05,6.496101e-05,6.471639e-05,6.470655e-05,6.446908e-05,6.437946e-05,6.421941e-05,6.404843e-05,6.396766e-05,6.371413e-05,6.337719e-05,6.303818e-05,6.269764e-05,6.235606e-05,6.201390e-05,6.167159e-05,6.132951e-05,6.098801e-05,6.064745e-05,6.030811e-05,5.997027e-05,5.963420e-05,5.930012e-05,5.896826e-05,5.863879e-05,5.831190e-05,5.798775e-05,5.766648e-05,5.734823e-05,5.703310e-05,5.672120e-05,5.641262e-05,5.610745e-05,5.580575e-05
0.000000e+00,2.015437e-13,1.298456e-12,2.011340e-11,1.202791e-10,2.701713e-10,1.510624e-09,1.606113e-09,6.140743e-09,8.469704e-09,1.783946e-08,3.081184e-08,4.300176e-08,8.558664e-08,9.045046e-08,1.711684e-07,1.968406e-07,2.974089e-07,3.926536e-07,4.816379e-07,7.011177e-07,7.356448e-07,1.069948e-06,1.147260e-06,1.493469e-06,1.751412e-06,2.013381e-06,2.528585e-06,2.635061e-06,3.362088e-06,3.488333e-06,4.196261e-06,4.634805e-06,5.137643e-06,5.966912e-06,6.184626e-06,7.334030e-06,7.478635e-06,8.581234e-06,9.159511e-06,9.920351e-06,1.099530e-05,1.134442e-05,1.284562e-05,1.296880e-05,1.441551e-05,1.506073e-05,1.604526e-05,1.725068e-05,1.772585e-05,1.944827e-05,1.951791e-05,2.120371e-05,2.184212e-05,2.298371e-05,2.420403e-05,2.478025e-05,2.658583e-05,2.839356e-05,2.897145e-05,3.019718e-05,3.134672e-05,3.199107e-05,3.369939e-05,3.377022e-05,3.553025e-05,3.601910e-05,3.726735e-05,3.829724e-05,3.897828e-05,4.052682e-05,4.066025e-05,4.231098e-05,4.270229e-05,4.392858e-05,4.481937e-05,4.551151e-05,4.687486e-05,4.705859e-05,4.856890e-05,4.886649e-05,5.004179e-05,5.079276e-05,5.147683e-05,5.265282e-05,5.287376e-05,5.423249e-05,5.444635e-05,5.555309e-05,5.617347e-05,5.683571e-05,5.783465e-05,5.808063e-05,5.928821e-05,5.943062e-05,6.045886e-05,6.096237e-05,6.159307e-05,6.243103e-05,6.269138e-05,6.375436e-05,6.383789e-05,6.478261e-05,6.518433e-05,6.577676e-05,6.647181e-05,6.673748e-05,6.766541e-05,6.770186e-05,6.856125e-05,6.887603e-05,6.942569e-05,6.999591e-05,7.025940e-05,7.106310e-05,7.183748e-05,7.207920e-05,7.258323e-05,7.304581e-05,7.330105e-05,7.396451e-05,7.399161e-05,7.465562e-05,7.483687e-05,7.529373e-05,7.566444e-05,7.590662e-05,7.644876e-05,7.649494e-05,7.705935e-05,7.719132e-05,7.760049e-05,7.789360e-05,7.811899e-05,7.855703e-05,7.861546e-05,7.909052e-05,7.918302e-05,7.954477e-05,7.977295e-05,7.997879e-05,8.032817e-05,8.039317e-05,8.078846e-05,8.084997e-05,8.116522e-05,8.133964e-05,8.152399e-05,8.179841e-05,8.186530e-05,8.218968e-05,8.222749e-05,8.249762e-05,8.262804e-05,8.278964e-05,8.300121e-05,8.306620e-05,8.332779e-05,8.334808e-05,8.357487e-05,8.366973e-05,8.380788e-05,8.396719e-05,8.402728e-05,8.423348e-05,8.424146e-05,8.442692e-05,8.449351e-05,8.460799e-05,8.472427e-05,8.477711e-05,8.493465e-05,8.512551e-05,8.529772e-05,8.545208e-05,8.558939e-05,8.571039e-05,8.581583e-05,8.590641e-05,8.598281e-05,8.604569e-05,8.609568e-05,8.613340e-05,8.615943e-05,8.617433e-05,8.617865e-05,8.617291e-05,8.615762e-05,8.613326e-05,8.610029e-05,8.605917e-05,8.601033e-05,8.595417e-05,8.589109e-05,8.582148e-05,8.574570e-05
0.000000e+00,7.538213e-09,1.734762e-08,6.005546e-08,1.372012e-07,2.005379e-07,4.567071e-07,4.705110e-07,9.116247e-07,1.071646e-06,1.567210e-06,2.082445e-06,2.482945e-06,3.594571e-06,3.704535e-06,5.269276e-06,5.698236e-06,7.193147e-06,8.424410e-06,9.465899e-06,1.173348e-05,1.206087e-05,1.494740e-05,1.555710e-05,1.809641e-05,1.982853e-05,2.148064e-05,2.448585e-05,2.507368e-05,2.884913e-05,2.946836e-05,3.278032e-05,3.471471e-05,3.684036e-05,4.016323e-05,4.100259e-05,4.524090e-05,4.575341e-05,4.953025e-05,5.142758e-05,5.384701e-05,5.713253e-05,5.816928e-05,6.247709e-05,6.282054e-05,6.675254e-05,6.845004e-05,7.097978e-05,7.398574e-05,7.514505e-05,7.923650e-05,7.939848e-05,8.324414e-05,8.466473e-05,8.715969e-05,8.976619e-05,9.097646e-05,9.468923e-05,9.829397e-05,9.942413e-05,1.017875e-04,1.039639e-04,1.051676e-04,1.083048e-04,1.084332e-04,1.115835e-04,1.124449e-04,1.146186e-04,1.163845e-04,1.175389e-04,1.201250e-04,1.203454e-04,1.230393e-04,1.236692e-04,1.256220e-04,1.270205e-04,1.280954e-04,1.301830e-04,1.304613e-04,1.327219e-04,1.331616e-04,1.348794e-04,1.359613e-04,1.369360e-04,1.385874e-04,1.388942e-04,1.407563e-04,1.410455e-04,1.425248e-04,1.433412e-04,1.442022e-04,1.454803e-04,1.457911e-04,1.472937e-04,1.474684e-04,1.487127e-04,1.493112e-04,1.500506e-04,1.510145e-04,1.513096e-04,1.524924e-04,1.525837e-04,1.536011e-04,1.540245e-04,1.546383e-04,1.553420e-04,1.556062e-04,1.565070e-04,1.565417e-04,1.573430e-04,1.576286e-04,1.581165e-04,1.586077e-04,1.588294e-04,1.594840e-04,1.600823e-04,1.602622e-04,1.606263e-04,1.609468e-04,1.611179e-04,1.615423e-04,1.615590e-04,1.619516e-04,1.620531e-04,1.622974e-04,1.624832e-04,1.625983e-04,1.628368e-04,1.628558e-04,1.630718e-04,1.631176e-04,1.632477e-04,1.633294e-04,1.633854e-04,1.634759e-04,1.634861e-04,1.635515e-04,1.635605e-04,1.635831e-04,1.635866e-04,1.635822e-04,1.635573e-04,1.635501e-04,1.634883e-04,1.634757e-04,1.633980e-04,1.633449e-04,1.632805e-04,1.631676e-04,1.631369e-04,1.629685e-04,1.629467e-04,1.627764e-04,1.626846e-04,1.625616e-04,1.623839e-04,1.623253e-04,1.620684e-04,1.620470e-04,1.617921e-04,1.616763e-04,1.614971e-04,1.612738e-04,1.611846e-04,1.608552e-04,1.608417e-04,1.605101e-04,1.603821e-04,1.601498e-04,1.598967e-04,1.597754e-04,1.593875e-04,1.588562e-04,1.583045e-04,1.577339e-04,1.571459e-04,1.565421e-04,1.559237e-04,1.552922e-04,1.546486e-04,1.539942e-04,1.533301e-04,1.526574e-04,1.519770e-04,1.512900e-04,1.505973e-04,1.498996e-04,1.491978e-04,1.484927e-04,1.477850e-04,1.470754e-04,1.463644e-04,1.456529e-04,1.449412e-04,1.442300e-04,1.435197e-04
0.000000e+00,4.180314e-09,9.682257e-09,3.374670e-08,7.743155e-08,1.134729e-07,2.608511e-07,2.688661e-07,5.288532e-07,6.249459e-07,9.278355e-07,1.249504e-06,1.502519e-06,2.206849e-06,2.276097e-06,3.243233e-06,3.501767e-06,4.382200e-06,5.087411e-06,5.673122e-06,6.923494e-06,7.101837e-06,8.657362e-06,8.982786e-06,1.032944e-05,1.124142e-05,1.210723e-05,1.367355e-05,1.397877e-05,1.593098e-05,1.624989e-05,1.794982e-05,1.893826e-05,2.002068e-05,2.170486e-05,2.212874e-05,2.425936e-05,2.451588e-05,2.639844e-05,2.733885e-05,2.853268e-05,3.014388e-05,3.064983e-05,3.273884e-05,3.290445e-05,3.478993e-05,3.559780e-05,3.679459e-05,3.820512e-05,3.874565e-05,4.063716e-05,4.071151e-05,4.246435e-05,4.310564e-05,4.422351e-05,4.537947e-05,4.591195e-05,4.752778e-05,4.906993e-05,4.954777e-05,5.053796e-05,5.143863e-05,5.193198e-05,5.320116e-05,5.325258e-05,5.450077e-05,5.483745e-05,5.567784e-05,5.635059e-05,5.678536e-05,5.774436e-05,5.782509e-05,5.879897e-05,5.902313e-05,5.970904e-05,6.019160e-05,6.055744e-05,6.125472e-05,6.134632e-05,6.207790e-05,6.221753e-05,6.275438e-05,6.308511e-05,6.337797e-05,6.386251e-05,6.395085e-05,6.447518e-05,6.455471e-05,6.495308e-05,6.516658e-05,6.538660e-05,6.570283e-05,6.577777e-05,6.612855e-05,6.616802e-05,6.644084e-05,6.656653e-05,6.671649e-05,6.690258e-05,6.695729e-05,6.716496e-05,6.718019e-05,6.734116e-05,6.740319e-05,6.748750e-05,6.757524e-05,6.760551e-05,6.769669e-05,6.769980e-05,6.776246e-05,6.778018e-05,6.780418e-05,6.781949e-05,6.782318e-05,6.782070e-05,6.779796e-05,6.778659e-05,6.775610e-05,6.771980e-05,6.769625e-05,6.762283e-05,6.761945e-05,6.752672e-05,6.749803e-05,6.741902e-05,6.734760e-05,6.729728e-05,6.717363e-05,6.716237e-05,6.701515e-05,6.697808e-05,6.685642e-05,6.676278e-05,6.668693e-05,6.652947e-05,6.650743e-05,6.631860e-05,6.627977e-05,6.612111e-05,6.601521e-05,6.591560e-05,6.573720e-05,6.570266e-05,6.548286e-05,6.544710e-05,6.525676e-05,6.514614e-05,6.502486e-05,6.483550e-05,6.478766e-05,6.454562e-05,6.451627e-05,6.429919e-05,6.418948e-05,6.404879e-05,6.385607e-05,6.379482e-05,6.353765e-05,6.351695e-05,6.327765e-05,6.317293e-05,6.301515e-05,6.282480e-05,6.275049e-05,6.248395e-05,6.247326e-05,6.221584e-05,6.211898e-05,6.194641e-05,6.176259e-05,6.167594e-05,6.140466e-05,6.104573e-05,6.068628e-05,6.032677e-05,5.996762e-05,5.960923e-05,5.925194e-05,5.889609e-05,5.854198e-05,5.818989e-05,5.784006e-05,5.749272e-05,5.714810e-05,5.680636e-05,5.646770e-05,5.613225e-05,5.580016e-05,5.547156e-05,5.514654e-05,5.482522e-05,5.450767e-05,5.419396e-05,5.388417e-05,5.357834e-05,5.327651e-05
0.000000e+00,4.252702e-10,1.656879e-09,1.053253e-08,3.239229e-08,5.296847e-08,1.473600e-07,1.527707e-07,3.356033e-07,4.053801e-07,6.292306e-07,8.714144e-07,1.064873e-06,1.620882e-06,1.677213e-06,2.500800e-06,2.733062e-06,3.560891e-06,4.260839e-06,4.863007e-06,6.197408e-06,6.392061e-06,8.122342e-06,8.490173e-06,1.002747e-05,1.107943e-05,1.208435e-05,1.391482e-05,1.427314e-05,1.657602e-05,1.695394e-05,1.897628e-05,2.015824e-05,2.145779e-05,2.349091e-05,2.400481e-05,2.660203e-05,2.691637e-05,2.923474e-05,3.040074e-05,3.188896e-05,3.391250e-05,3.455166e-05,3.721088e-05,3.742313e-05,3.985574e-05,4.090744e-05,4.247653e-05,4.434380e-05,4.506479e-05,4.761310e-05,4.771411e-05,5.011521e-05,5.100362e-05,5.256585e-05,5.420063e-05,5.496067e-05,5.729617e-05,5.956959e-05,6.028362e-05,6.177883e-05,6.315833e-05,6.392235e-05,6.591736e-05,6.599914e-05,6.800861e-05,6.855916e-05,6.995052e-05,7.108326e-05,7.182495e-05,7.349010e-05,7.363222e-05,7.537290e-05,7.578083e-05,7.704771e-05,7.795715e-05,7.865753e-05,8.002122e-05,8.020338e-05,8.168635e-05,8.197550e-05,8.310763e-05,8.382272e-05,8.446846e-05,8.556581e-05,8.577016e-05,8.701404e-05,8.720779e-05,8.820147e-05,8.875179e-05,8.933384e-05,9.020102e-05,9.041253e-05,9.143895e-05,9.155868e-05,9.241449e-05,9.282798e-05,9.334056e-05,9.401212e-05,9.421852e-05,9.504977e-05,9.511429e-05,9.583566e-05,9.613762e-05,9.657754e-05,9.708519e-05,9.727674e-05,9.793456e-05,9.796003e-05,9.855230e-05,9.876512e-05,9.913122e-05,9.950334e-05,9.967256e-05,1.001775e-04,1.006474e-04,1.007905e-04,1.010832e-04,1.013448e-04,1.014862e-04,1.018432e-04,1.018574e-04,1.021981e-04,1.022881e-04,1.025091e-04,1.026820e-04,1.027917e-04,1.030274e-04,1.030468e-04,1.032753e-04,1.033264e-04,1.034784e-04,1.035813e-04,1.036568e-04,1.037943e-04,1.038116e-04,1.039437e-04,1.039674e-04,1.040538e-04,1.041027e-04,1.041429e-04,1.042020e-04,1.042117e-04,1.042611e-04,1.042673e-04,1.042919e-04,1.043003e-04,1.043048e-04,1.043027e-04,1.043005e-04,1.042798e-04,1.042762e-04,1.042433e-04,1.042225e-04,1.041918e-04,1.041430e-04,1.041258e-04,1.040461e-04,1.040391e-04,1.039531e-04,1.039124e-04,1.038476e-04,1.037642e-04,1.037301e-04,1.036010e-04,1.035957e-04,1.034611e-04,1.034082e-04,1.033108e-04,1.032029e-04,1.031506e-04,1.029809e-04,1.027434e-04,1.024914e-04,1.022258e-04,1.019477e-04,1.016579e-04,1.013573e-04,1.010468e-04,1.007271e-04,1.003990e-04,1.000632e-04,9.972045e-05,9.937133e-05,9.901648e-05,9.865650e-05,9.829194e-05,9.792335e-05,9.755123e-05,9.717605e-05,9.679828e-05,9.641835e-05,9.603668e-05,9.565363e-05,9.526959e-05,9.488490e-05
0.000000e+00,7.235782e-12,4.277831e-11,5.564038e-10,2.849546e-09,5.889101e-09,2.671587e-08,2.816945e-08,8.834576e-08,1.156508e-07,2.143101e-07,3.349667e-07,4.389288e-07,7.643730e-07,7.991082e-07,1.335055e-06,1.494401e-06,2.087077e-06,2.615417e-06,3.088029e-06,4.188666e-06,4.354809e-06,5.885205e-06,6.221563e-06,7.661604e-06,8.673999e-06,9.657743e-06,1.148299e-05,1.184448e-05,1.419307e-05,1.458202e-05,1.667631e-05,1.790851e-05,1.926854e-05,2.140429e-05,2.194524e-05,2.468277e-05,2.501427e-05,2.745825e-05,2.868577e-05,3.024965e-05,3.236884e-05,3.303605e-05,3.579789e-05,3.601723e-05,3.851730e-05,3.958953e-05,4.117827e-05,4.305005e-05,4.376683e-05,4.627111e-05,4.636939e-05,4.868137e-05,4.952449e-05,5.098985e-05,5.249845e-05,5.319076e-05,5.528005e-05,5.725528e-05,5.786305e-05,5.911539e-05,6.024550e-05,6.086058e-05,6.242893e-05,6.249202e-05,6.401179e-05,6.441767e-05,6.542262e-05,6.621817e-05,6.672780e-05,6.783843e-05,6.793103e-05,6.903631e-05,6.928747e-05,7.004785e-05,7.057499e-05,7.096999e-05,7.171100e-05,7.180711e-05,7.256360e-05,7.270560e-05,7.324380e-05,7.356877e-05,7.385197e-05,7.431023e-05,7.439228e-05,7.486875e-05,7.493932e-05,7.528524e-05,7.546496e-05,7.564548e-05,7.589556e-05,7.595301e-05,7.621124e-05,7.623907e-05,7.642339e-05,7.650293e-05,7.659251e-05,7.669407e-05,7.672152e-05,7.681314e-05,7.681894e-05,7.686998e-05,7.688353e-05,7.689448e-05,7.689340e-05,7.688895e-05,7.685554e-05,7.685365e-05,7.679631e-05,7.676903e-05,7.671316e-05,7.664390e-05,7.660792e-05,7.648225e-05,7.633777e-05,7.628780e-05,7.617595e-05,7.606393e-05,7.599818e-05,7.581375e-05,7.580579e-05,7.559999e-05,7.554012e-05,7.538194e-05,7.524568e-05,7.515271e-05,7.493281e-05,7.491331e-05,7.466468e-05,7.460373e-05,7.440770e-05,7.426045e-05,7.414320e-05,7.390482e-05,7.387194e-05,7.359465e-05,7.353853e-05,7.331201e-05,7.316312e-05,7.302463e-05,7.278000e-05,7.273310e-05,7.243799e-05,7.239047e-05,7.213978e-05,7.199569e-05,7.183897e-05,7.159674e-05,7.153599e-05,7.123126e-05,7.119459e-05,7.092517e-05,7.079015e-05,7.061807e-05,7.038421e-05,7.031030e-05,7.000218e-05,6.997752e-05,6.969398e-05,6.957074e-05,6.938598e-05,6.916448e-05,6.907842e-05,6.877153e-05,6.875928e-05,6.846554e-05,6.835564e-05,6.816063e-05,6.795400e-05,6.785698e-05,6.755478e-05,6.715833e-05,6.676497e-05,6.637500e-05,6.598868e-05,6.560623e-05,6.522786e-05,6.485374e-05,6.448404e-05,6.411889e-05,6.375840e-05,6.340268e-05,6.305180e-05,6.270584e-05,6.236486e-05,6.202889e-05,6.169797e-05,6.137213e-05,6.105137e-05,6.073570e-05,6.042512e-05,6.011961e-05,5.981918e-05,5.952378e-05,5.923340e-05
0.000000e+00,1.450527e-09,3.322483e-09,1.139677e-08,2.581743e-08,3.755478e-08,8.440532e-08,8.690722e-08,1.659323e-07,1.942232e-07,2.808089e-07,3.694383e-07,4.375051e-07,6.233607e-07,6.415366e-07,8.969893e-07,9.661386e-07,1.204745e-06,1.398823e-06,1.561423e-06,1.910791e-06,1.960725e-06,2.395710e-06,2.486411e-06,2.859948e-06,3.110966e-06,3.347631e-06,3.771460e-06,3.853383e-06,4.372137e-06,4.456020e-06,4.899097e-06,5.153619e-06,5.429767e-06,5.854177e-06,5.960004e-06,6.486075e-06,6.548762e-06,7.004689e-06,7.229772e-06,7.513023e-06,7.891016e-06,8.008722e-06,8.489880e-06,8.527697e-06,8.955016e-06,9.136326e-06,9.403033e-06,9.714569e-06,9.833176e-06,1.024499e-05,1.026108e-05,1.063827e-05,1.077531e-05,1.101303e-05,1.125737e-05,1.136945e-05,1.170785e-05,1.202867e-05,1.212770e-05,1.233241e-05,1.251811e-05,1.261965e-05,1.288044e-05,1.289100e-05,1.314709e-05,1.321615e-05,1.338858e-05,1.352674e-05,1.361613e-05,1.381370e-05,1.383037e-05,1.403195e-05,1.407851e-05,1.422149e-05,1.432260e-05,1.439959e-05,1.454733e-05,1.456685e-05,1.472382e-05,1.475402e-05,1.487104e-05,1.494391e-05,1.500902e-05,1.511815e-05,1.513826e-05,1.525922e-05,1.527784e-05,1.537234e-05,1.542398e-05,1.547805e-05,1.555753e-05,1.557673e-05,1.566876e-05,1.567938e-05,1.575451e-05,1.579034e-05,1.583431e-05,1.589118e-05,1.590848e-05,1.597732e-05,1.598260e-05,1.604111e-05,1.606528e-05,1.610013e-05,1.613980e-05,1.615462e-05,1.620483e-05,1.620676e-05,1.625099e-05,1.626666e-05,1.629331e-05,1.632000e-05,1.633199e-05,1.636723e-05,1.639921e-05,1.640878e-05,1.642809e-05,1.644502e-05,1.645404e-05,1.647634e-05,1.647721e-05,1.649775e-05,1.650305e-05,1.651580e-05,1.652549e-05,1.653149e-05,1.654393e-05,1.654493e-05,1.655625e-05,1.655866e-05,1.656555e-05,1.656992e-05,1.657295e-05,1.657796e-05,1.657853e-05,1.658240e-05,1.658298e-05,1.658465e-05,1.658520e-05,1.658535e-05,1.658481e-05,1.658460e-05,1.658246e-05,1.658199e-05,1.657900e-05,1.657690e-05,1.657431e-05,1.656971e-05,1.656844e-05,1.656146e-05,1.656055e-05,1.655342e-05,1.654956e-05,1.654438e-05,1.653688e-05,1.653440e-05,1.652353e-05,1.652262e-05,1.651181e-05,1.650690e-05,1.649930e-05,1.648982e-05,1.648603e-05,1.647205e-05,1.647148e-05,1.645740e-05,1.645197e-05,1.644212e-05,1.643139e-05,1.642624e-05,1.640981e-05,1.638731e-05,1.636396e-05,1.633984e-05,1.631500e-05,1.628951e-05,1.626343e-05,1.623680e-05,1.620968e-05,1.618212e-05,1.615416e-05,1.612584e-05,1.609721e-05,1.606829e-05,1.603914e-05,1.600977e-05,1.598023e-05,1.595053e-05,1.592072e-05,1.589081e-05,1.586083e-05,1.583081e-05,1.580076e-05,1.577071e-05,1.574068e-05
0.000000e+00,5.511597e-10,1.696800e-09,7.932820e-09,2.065051e-08,3.157251e-08,7.709568e-08,7.957379e-08,1.588995e-07,1.875806e-07,2.757343e-07,3.662124e-07,4.357385e-07,6.255482e-07,6.441101e-07,9.053465e-07,9.762988e-07,1.222553e-06,1.424969e-06,1.596209e-06,1.968944e-06,2.022669e-06,2.493437e-06,2.591871e-06,2.996301e-06,3.266016e-06,3.517921e-06,3.961651e-06,4.046186e-06,4.571280e-06,4.654470e-06,5.085705e-06,5.327136e-06,5.583868e-06,5.967886e-06,6.061656e-06,6.516099e-06,6.568957e-06,6.945133e-06,7.125494e-06,7.347436e-06,7.634860e-06,7.722311e-06,8.069579e-06,8.096173e-06,8.389496e-06,8.509931e-06,8.682673e-06,8.877695e-06,8.950002e-06,9.192574e-06,9.201779e-06,9.411636e-06,9.485001e-06,9.608540e-06,9.730493e-06,9.784689e-06,9.941505e-06,1.008040e-05,1.012129e-05,1.020275e-05,1.027300e-05,1.030989e-05,1.039961e-05,1.040309e-05,1.048353e-05,1.050392e-05,1.055233e-05,1.058847e-05,1.061055e-05,1.065559e-05,1.065914e-05,1.069901e-05,1.070737e-05,1.073096e-05,1.074568e-05,1.075574e-05,1.077217e-05,1.077405e-05,1.078649e-05,1.078833e-05,1.079364e-05,1.079544e-05,1.079601e-05,1.079466e-05,1.079407e-05,1.078825e-05,1.078698e-05,1.077892e-05,1.077331e-05,1.076644e-05,1.075440e-05,1.075113e-05,1.073326e-05,1.073095e-05,1.071310e-05,1.070356e-05,1.069088e-05,1.067275e-05,1.066682e-05,1.064112e-05,1.063899e-05,1.061394e-05,1.060269e-05,1.058545e-05,1.056421e-05,1.055580e-05,1.052512e-05,1.052388e-05,1.049353e-05,1.048196e-05,1.046115e-05,1.043872e-05,1.042806e-05,1.039437e-05,1.036017e-05,1.034913e-05,1.032552e-05,1.030315e-05,1.029050e-05,1.025660e-05,1.025518e-05,1.021961e-05,1.020961e-05,1.018385e-05,1.016232e-05,1.014795e-05,1.011484e-05,1.011196e-05,1.007591e-05,1.006725e-05,1.003985e-05,1.001966e-05,1.000381e-05,9.972146e-06,9.967832e-06,9.931937e-06,9.924770e-06,9.896155e-06,9.877602e-06,9.860512e-06,9.830697e-06,9.825032e-06,9.789735e-06,9.784106e-06,9.754642e-06,9.737875e-06,9.719770e-06,9.692044e-06,9.685137e-06,9.650756e-06,9.646648e-06,9.616643e-06,9.601720e-06,9.582808e-06,9.557287e-06,9.549263e-06,9.516019e-06,9.513373e-06,9.483085e-06,9.469999e-06,9.450468e-06,9.427185e-06,9.418177e-06,9.386217e-06,9.384946e-06,9.354596e-06,9.343296e-06,9.323317e-06,9.302246e-06,9.292387e-06,9.261807e-06,9.221987e-06,9.182791e-06,9.144224e-06,9.106290e-06,9.068992e-06,9.032331e-06,8.996306e-06,8.960916e-06,8.926162e-06,8.892039e-06,8.858545e-06,8.825676e-06,8.793427e-06,8.761795e-06,8.730774e-06,8.700357e-06,8.670540e-06,8.641315e-06,8.612675e-06,8.584615e-06,8.557126e-06,8.530201e-06,8.503833e-06,8.478013e-06
0.000000e+00,1.002447e-09,3.238616e-09,1.608240e-08,4.332551e-08,6.725969e-08,1.701506e-07,1.758670e-07,3.639221e-07,4.341069e-07,6.563242e-07,8.937052e-07,1.081818e-06,1.615700e-06,1.669169e-06,2.434721e-06,2.644592e-06,3.370520e-06,3.959463e-06,4.450526e-06,5.497633e-06,5.646453e-06,6.935498e-06,7.202878e-06,8.300246e-06,9.035056e-06,9.726537e-06,1.096294e-05,1.120176e-05,1.271391e-05,1.295848e-05,1.425114e-05,1.499447e-05,1.580173e-05,1.704409e-05,1.735419e-05,1.889742e-05,1.908148e-05,2.042097e-05,2.108260e-05,2.191524e-05,2.302594e-05,2.337159e-05,2.478248e-05,2.489319e-05,2.614156e-05,2.666948e-05,2.744362e-05,2.834350e-05,2.868463e-05,2.986163e-05,2.990735e-05,3.097266e-05,3.135626e-05,3.201668e-05,3.268818e-05,3.299344e-05,3.390340e-05,3.474758e-05,3.500406e-05,3.552748e-05,3.599374e-05,3.624499e-05,3.687711e-05,3.690228e-05,3.750175e-05,3.765958e-05,3.804596e-05,3.834707e-05,3.853757e-05,3.894571e-05,3.897927e-05,3.937377e-05,3.946172e-05,3.972375e-05,3.990129e-05,4.003186e-05,4.027040e-05,4.030066e-05,4.053264e-05,4.057482e-05,4.073017e-05,4.082004e-05,4.089555e-05,4.101122e-05,4.103096e-05,4.113846e-05,4.115321e-05,4.122003e-05,4.125052e-05,4.127751e-05,4.130732e-05,4.131263e-05,4.132705e-05,4.132746e-05,4.132228e-05,4.131448e-05,4.129978e-05,4.127165e-05,4.126089e-05,4.120689e-05,4.120195e-05,4.113895e-05,4.110813e-05,4.105818e-05,4.099266e-05,4.096561e-05,4.086220e-05,4.085785e-05,4.074884e-05,4.070577e-05,4.062638e-05,4.053831e-05,4.049560e-05,4.035721e-05,4.021191e-05,4.016405e-05,4.006031e-05,3.996026e-05,3.990301e-05,3.974714e-05,3.974055e-05,3.957344e-05,3.952588e-05,3.940216e-05,3.929757e-05,3.922715e-05,3.906319e-05,3.904881e-05,3.886753e-05,3.882363e-05,3.868367e-05,3.857970e-05,3.849755e-05,3.833215e-05,3.830949e-05,3.811976e-05,3.808164e-05,3.792864e-05,3.782879e-05,3.773637e-05,3.757414e-05,3.754318e-05,3.734928e-05,3.731821e-05,3.715488e-05,3.706144e-05,3.696015e-05,3.680425e-05,3.676527e-05,3.657039e-05,3.654701e-05,3.637566e-05,3.629006e-05,3.618121e-05,3.603370e-05,3.598718e-05,3.579367e-05,3.577822e-05,3.560081e-05,3.552386e-05,3.540867e-05,3.527084e-05,3.521736e-05,3.502697e-05,3.501937e-05,3.483756e-05,3.476963e-05,3.464921e-05,3.452177e-05,3.446199e-05,3.427595e-05,3.403229e-05,3.379091e-05,3.355190e-05,3.331536e-05,3.308136e-05,3.284996e-05,3.262124e-05,3.239523e-05,3.217197e-05,3.195151e-05,3.173387e-05,3.151906e-05,3.130712e-05,3.109804e-05,3.089183e-05,3.068849e-05,3.048803e-05,3.029044e-05,3.009570e-05,2.990381e-05,2.971476e-05,2.952852e-05,2.934508e-05,2.916442e-05
0.000000e+00,1.416979e-14,9.481518e-14,1.589217e-12,1.021261e-11,2.386278e-11,1.476744e-10,1.576552e-10,6.657326e-10,9.430389e-10,2.122540e-09,3.865860e-09,5.584757e-09,1.201469e-08,1.278299e-08,2.630764e-08,3.087055e-08,4.973159e-08,6.883471e-08,8.761354e-08,1.371943e-07,1.453702e-07,2.290494e-07,2.494560e-07,3.450483e-07,4.202879e-07,4.998177e-07,6.643495e-07,6.995785e-07,9.500674e-07,9.952012e-07,1.256321e-06,1.424391e-06,1.622504e-06,1.960760e-06,2.051778e-06,2.546215e-06,2.609983e-06,3.106756e-06,3.374325e-06,3.733200e-06,4.252607e-06,4.424237e-06,5.177503e-06,5.240360e-06,5.989675e-06,6.330126e-06,6.856568e-06,7.511879e-06,7.773266e-06,8.734252e-06,8.773529e-06,9.733545e-06,1.010146e-05,1.076484e-05,1.148109e-05,1.182165e-05,1.289740e-05,1.398560e-05,1.433541e-05,1.507989e-05,1.578060e-05,1.617417e-05,1.721929e-05,1.726265e-05,1.833993e-05,1.863888e-05,1.940105e-05,2.002805e-05,2.044147e-05,2.137692e-05,2.145718e-05,2.244463e-05,2.267706e-05,2.340076e-05,2.392154e-05,2.432301e-05,2.510488e-05,2.520928e-05,2.605789e-05,2.622297e-05,2.686759e-05,2.727297e-05,2.763754e-05,2.825319e-05,2.836722e-05,2.905644e-05,2.916297e-05,2.970531e-05,3.000254e-05,3.031419e-05,3.077289e-05,3.088367e-05,3.141452e-05,3.147567e-05,3.190768e-05,3.211300e-05,3.236422e-05,3.268744e-05,3.278535e-05,3.317232e-05,3.320184e-05,3.352648e-05,3.365926e-05,3.384921e-05,3.406292e-05,3.414194e-05,3.440610e-05,3.441609e-05,3.464312e-05,3.472207e-05,3.485442e-05,3.498413e-05,3.504141e-05,3.520548e-05,3.534796e-05,3.538921e-05,3.547017e-05,3.553832e-05,3.557336e-05,3.565566e-05,3.565875e-05,3.572751e-05,3.574393e-05,3.578075e-05,3.580570e-05,3.581955e-05,3.584337e-05,3.584493e-05,3.585783e-05,3.585918e-05,3.585919e-05,3.585522e-05,3.584986e-05,3.583345e-05,3.583065e-05,3.580234e-05,3.579566e-05,3.576566e-05,3.574349e-05,3.572126e-05,3.567849e-05,3.566981e-05,3.561188e-05,3.560205e-05,3.554804e-05,3.551546e-05,3.547882e-05,3.541989e-05,3.540470e-05,3.532613e-05,3.531642e-05,3.524354e-05,3.520603e-05,3.515732e-05,3.508960e-05,3.506785e-05,3.497547e-05,3.496796e-05,3.488048e-05,3.484183e-05,3.478320e-05,3.471189e-05,3.468390e-05,3.458282e-05,3.457875e-05,3.448022e-05,3.444295e-05,3.437630e-05,3.430499e-05,3.427128e-05,3.416534e-05,3.402438e-05,3.388250e-05,3.374002e-05,3.359724e-05,3.345443e-05,3.331183e-05,3.316967e-05,3.302813e-05,3.288739e-05,3.274761e-05,3.260892e-05,3.247145e-05,3.233532e-05,3.220061e-05,3.206742e-05,3.193581e-05,3.180587e-05,3.167763e-05,3.155115e-05,3.142648e-05,3.130365e-05,3.118268e-05,3.106361e-05,3.094644e-05
0.000000e+00,5.378941e-09,1.309943e-08,4.811386e-08,1.129578e-07,1.667693e-07,3.864770e-07,3.983702e-07,7.798603e-07,9.187148e-07,1.349700e-06,1.799027e-06,2.149098e-06,3.124920e-06,3.221838e-06,4.610626e-06,4.994962e-06,6.347974e-06,7.478214e-06,8.444496e-06,1.057474e-05,1.088471e-05,1.363531e-05,1.421925e-05,1.665740e-05,1.832368e-05,1.991375e-05,2.280538e-05,2.337068e-05,2.699766e-05,2.759183e-05,3.076629e-05,3.261761e-05,3.464967e-05,3.782163e-05,3.862202e-05,4.265864e-05,4.314623e-05,4.673604e-05,4.853725e-05,5.083206e-05,5.394476e-05,5.492611e-05,5.899928e-05,5.932370e-05,6.303448e-05,6.463446e-05,6.701649e-05,6.984302e-05,7.093194e-05,7.476930e-05,7.492103e-05,7.851878e-05,7.984546e-05,8.217222e-05,8.459825e-05,8.572296e-05,8.916574e-05,9.249652e-05,9.353821e-05,9.571236e-05,9.770922e-05,9.881127e-05,1.016752e-04,1.017921e-04,1.046546e-04,1.054348e-04,1.073987e-04,1.089888e-04,1.100254e-04,1.123393e-04,1.125358e-04,1.149315e-04,1.154896e-04,1.172143e-04,1.184441e-04,1.193863e-04,1.212079e-04,1.214499e-04,1.234076e-04,1.237866e-04,1.252618e-04,1.261861e-04,1.270155e-04,1.284127e-04,1.286711e-04,1.302317e-04,1.304728e-04,1.317000e-04,1.323729e-04,1.330789e-04,1.341195e-04,1.343711e-04,1.355796e-04,1.357191e-04,1.367070e-04,1.371782e-04,1.377563e-04,1.385031e-04,1.387300e-04,1.396310e-04,1.397000e-04,1.404617e-04,1.407750e-04,1.412249e-04,1.417340e-04,1.419230e-04,1.425586e-04,1.425828e-04,1.431340e-04,1.433269e-04,1.436517e-04,1.439719e-04,1.441139e-04,1.445229e-04,1.448808e-04,1.449849e-04,1.451898e-04,1.453629e-04,1.454520e-04,1.456616e-04,1.456694e-04,1.458439e-04,1.458854e-04,1.459775e-04,1.460387e-04,1.460718e-04,1.461256e-04,1.461288e-04,1.461502e-04,1.461502e-04,1.461376e-04,1.461163e-04,1.460926e-04,1.460275e-04,1.460168e-04,1.459118e-04,1.458874e-04,1.457788e-04,1.456992e-04,1.456195e-04,1.454662e-04,1.454351e-04,1.452269e-04,1.451915e-04,1.449962e-04,1.448779e-04,1.447443e-04,1.445282e-04,1.444723e-04,1.441813e-04,1.441452e-04,1.438724e-04,1.437312e-04,1.435468e-04,1.432886e-04,1.432053e-04,1.428490e-04,1.428199e-04,1.424788e-04,1.423270e-04,1.420956e-04,1.418121e-04,1.417003e-04,1.412936e-04,1.412772e-04,1.408765e-04,1.407239e-04,1.404497e-04,1.401542e-04,1.400138e-04,1.395697e-04,1.389719e-04,1.383622e-04,1.377422e-04,1.371131e-04,1.364762e-04,1.358326e-04,1.351834e-04,1.345297e-04,1.338725e-04,1.332126e-04,1.325509e-04,1.318883e-04,1.312254e-04,1.305631e-04,1.299018e-04,1.292424e-04,1.285852e-04,1.279309e-04,1.272800e-04,1.266328e-04,1.259899e-04,1.253516e-04,1.247182e-04,1.240902e-04
0.000000e+00,1.841743e-13,1.196163e-12,1.882918e-11,1.141447e-10,2.581767e-10,1.466139e-09,1.559665e-09,6.026761e-09,8.328209e-09,1.758798e-08,3.037701e-08,4.235686e-08,8.400945e-08,8.875452e-08,1.674301e-07,1.924829e-07,2.910371e-07,3.851680e-07,4.739080e-07,6.962162e-07,7.316310e-07,1.080481e-06,1.162623e-06,1.536637e-06,1.821317e-06,2.115139e-06,2.705017e-06,2.828688e-06,3.686461e-06,3.837474e-06,4.693212e-06,5.229519e-06,5.848806e-06,6.877244e-06,7.148245e-06,8.582107e-06,8.762614e-06,1.013730e-05,1.085601e-05,1.179796e-05,1.311972e-05,1.354634e-05,1.536372e-05,1.551152e-05,1.723111e-05,1.798788e-05,1.912991e-05,2.050647e-05,2.104235e-05,2.295189e-05,2.302799e-05,2.484342e-05,2.551731e-05,2.670342e-05,2.794411e-05,2.852006e-05,3.028317e-05,3.198422e-05,3.251428e-05,3.361628e-05,3.462200e-05,3.517386e-05,3.659526e-05,3.665287e-05,3.805042e-05,3.842688e-05,3.936478e-05,4.011310e-05,4.059516e-05,4.165300e-05,4.174165e-05,4.280506e-05,4.304806e-05,4.378683e-05,4.430166e-05,4.468890e-05,4.541866e-05,4.551363e-05,4.626371e-05,4.640502e-05,4.694206e-05,4.726749e-05,4.755181e-05,4.801333e-05,4.809617e-05,4.857845e-05,4.865008e-05,4.900197e-05,4.918536e-05,4.937004e-05,4.962677e-05,4.968593e-05,4.995284e-05,4.998173e-05,5.017390e-05,5.025742e-05,5.035213e-05,5.046075e-05,5.049045e-05,5.059166e-05,5.059823e-05,5.065841e-05,5.067605e-05,5.069328e-05,5.069999e-05,5.069866e-05,5.067687e-05,5.067547e-05,5.063008e-05,5.060751e-05,5.056033e-05,5.050078e-05,5.046955e-05,5.035957e-05,5.023208e-05,5.018786e-05,5.008870e-05,4.998928e-05,4.993090e-05,4.976717e-05,4.976011e-05,4.957762e-05,4.952460e-05,4.938466e-05,4.926434e-05,4.918237e-05,4.898893e-05,4.897181e-05,4.875396e-05,4.870070e-05,4.852975e-05,4.840173e-05,4.830002e-05,4.809393e-05,4.806557e-05,4.782712e-05,4.777902e-05,4.758536e-05,4.745855e-05,4.734092e-05,4.713393e-05,4.709436e-05,4.684623e-05,4.680642e-05,4.659702e-05,4.647715e-05,4.634718e-05,4.614713e-05,4.609712e-05,4.584722e-05,4.581726e-05,4.559784e-05,4.548836e-05,4.534930e-05,4.516114e-05,4.510188e-05,4.485585e-05,4.483624e-05,4.461146e-05,4.451420e-05,4.436891e-05,4.419553e-05,4.412841e-05,4.389014e-05,4.388066e-05,4.365425e-05,4.356995e-05,4.342089e-05,4.326372e-05,4.319019e-05,4.296225e-05,4.266578e-05,4.237449e-05,4.208855e-05,4.180808e-05,4.153319e-05,4.126394e-05,4.100040e-05,4.074260e-05,4.049055e-05,4.024425e-05,4.000368e-05,3.976882e-05,3.953963e-05,3.931606e-05,3.909804e-05,3.888551e-05,3.867840e-05,3.847663e-05,3.828011e-05,3.808877e-05,3.790249e-05,3.772121e-05,3.754481e-05,3.737320e-05
0.000000e+00,3.335775e-09,7.659678e-09,2.645885e-08,6.050159e-08,8.859889e-08,2.039132e-07,2.102072e-07,4.157064e-07,4.923080e-07,7.360287e-07,9.988184e-07,1.208685e-06,1.809166e-06,1.869505e-06,2.732374e-06,2.967852e-06,3.777120e-06,4.427677e-06,4.966408e-06,6.105777e-06,6.266824e-06,7.654443e-06,7.940852e-06,9.112256e-06,9.893569e-06,1.062699e-05,1.193488e-05,1.218709e-05,1.378166e-05,1.403928e-05,1.540011e-05,1.618240e-05,1.703206e-05,1.834054e-05,1.866741e-05,2.029654e-05,2.049118e-05,2.191043e-05,2.261356e-05,2.350084e-05,2.468928e-05,2.506040e-05,2.658263e-05,2.670262e-05,2.806203e-05,2.864073e-05,2.949400e-05,3.049356e-05,3.087487e-05,3.220177e-05,3.225369e-05,3.347262e-05,3.391611e-05,3.468601e-05,3.547786e-05,3.584114e-05,3.693773e-05,3.797598e-05,3.829597e-05,3.895642e-05,3.955397e-05,3.987994e-05,4.071401e-05,4.074766e-05,4.156091e-05,4.177906e-05,4.232118e-05,4.275259e-05,4.303010e-05,4.363840e-05,4.368935e-05,4.430071e-05,4.444051e-05,4.486598e-05,4.516307e-05,4.538697e-05,4.581026e-05,4.586551e-05,4.630340e-05,4.638626e-05,4.670245e-05,4.689518e-05,4.706441e-05,4.734105e-05,4.739100e-05,4.768390e-05,4.772775e-05,4.794477e-05,4.805907e-05,4.817517e-05,4.833860e-05,4.837666e-05,4.855072e-05,4.856983e-05,4.869878e-05,4.875605e-05,4.882223e-05,4.890041e-05,4.892240e-05,4.900056e-05,4.900590e-05,4.905796e-05,4.907536e-05,4.909575e-05,4.911146e-05,4.911508e-05,4.911701e-05,4.911674e-05,4.910259e-05,4.909359e-05,4.907281e-05,4.904426e-05,4.902860e-05,4.897088e-05,4.890050e-05,4.887544e-05,4.881828e-05,4.875981e-05,4.872501e-05,4.862576e-05,4.862143e-05,4.850826e-05,4.847495e-05,4.838617e-05,4.830891e-05,4.825581e-05,4.812909e-05,4.811778e-05,4.797267e-05,4.793685e-05,4.782104e-05,4.773347e-05,4.766340e-05,4.752011e-05,4.750026e-05,4.733208e-05,4.729788e-05,4.715933e-05,4.706782e-05,4.698241e-05,4.683089e-05,4.680174e-05,4.661770e-05,4.658796e-05,4.643064e-05,4.633988e-05,4.624090e-05,4.608741e-05,4.604882e-05,4.585469e-05,4.583127e-05,4.565879e-05,4.557211e-05,4.546141e-05,4.531056e-05,4.526280e-05,4.506319e-05,4.504718e-05,4.486281e-05,4.478250e-05,4.466188e-05,4.451699e-05,4.446060e-05,4.425916e-05,4.425110e-05,4.405772e-05,4.398524e-05,4.385646e-05,4.371979e-05,4.365554e-05,4.345509e-05,4.319146e-05,4.292918e-05,4.266852e-05,4.240971e-05,4.215298e-05,4.189851e-05,4.164648e-05,4.139706e-05,4.115037e-05,4.090655e-05,4.066572e-05,4.042795e-05,4.019334e-05,3.996196e-05,3.973388e-05,3.950914e-05,3.928779e-05,3.906986e-05,3.885538e-05,3.864436e-05,3.843682e-05,3.823277e-05,3.803220e-05,3.783512e-05
0.000000e+00,7.096287e-14,4.662942e-13,7.525349e-12,4.672600e-11,1.071600e-10,6.326529e-10,6.741516e-10,2.724515e-09,3.816174e-09,8.362166e-09,1.492844e-08,2.130192e-08,4.464027e-08,4.739027e-08,9.486428e-08,1.105543e-07,1.740632e-07,2.365824e-07,2.966098e-07,4.497296e-07,4.743509e-07,7.183587e-07,7.759847e-07,1.038168e-06,1.237009e-06,1.441293e-06,1.848219e-06,1.932993e-06,2.516228e-06,2.618120e-06,3.191742e-06,3.548454e-06,3.958221e-06,4.634830e-06,4.812503e-06,5.749804e-06,5.867580e-06,6.763970e-06,7.232712e-06,7.847721e-06,8.712920e-06,8.992905e-06,1.019075e-05,1.028857e-05,1.143208e-05,1.193870e-05,1.270758e-05,1.364188e-05,1.400797e-05,1.532419e-05,1.537704e-05,1.664757e-05,1.712416e-05,1.796996e-05,1.886474e-05,1.928381e-05,2.058225e-05,2.185916e-05,2.226232e-05,2.310915e-05,2.389285e-05,2.432759e-05,2.546398e-05,2.551058e-05,2.665491e-05,2.696804e-05,2.775806e-05,2.839935e-05,2.881809e-05,2.975403e-05,2.983361e-05,3.080376e-05,3.102978e-05,3.172808e-05,3.222565e-05,3.260652e-05,3.334180e-05,3.343935e-05,3.422712e-05,3.437933e-05,3.497062e-05,3.534006e-05,3.567081e-05,3.622634e-05,3.632884e-05,3.694594e-05,3.704096e-05,3.752344e-05,3.778699e-05,3.806276e-05,3.846768e-05,3.856532e-05,3.903261e-05,3.908638e-05,3.946609e-05,3.964649e-05,3.986723e-05,4.015136e-05,4.023748e-05,4.057828e-05,4.060431e-05,4.089103e-05,4.100858e-05,4.117708e-05,4.136726e-05,4.143777e-05,4.167438e-05,4.168336e-05,4.188813e-05,4.195972e-05,4.208023e-05,4.219907e-05,4.225181e-05,4.240398e-05,4.253778e-05,4.257688e-05,4.265422e-05,4.272009e-05,4.275427e-05,4.283574e-05,4.283884e-05,4.290880e-05,4.292589e-05,4.296499e-05,4.299243e-05,4.300821e-05,4.303715e-05,4.303920e-05,4.305869e-05,4.306173e-05,4.306735e-05,4.306773e-05,4.306585e-05,4.305660e-05,4.305479e-05,4.303476e-05,4.302973e-05,4.300632e-05,4.298838e-05,4.296999e-05,4.293374e-05,4.292627e-05,4.287564e-05,4.286693e-05,4.281855e-05,4.278898e-05,4.275543e-05,4.270086e-05,4.268667e-05,4.261267e-05,4.260346e-05,4.253379e-05,4.249762e-05,4.245037e-05,4.238413e-05,4.236273e-05,4.227119e-05,4.226370e-05,4.217603e-05,4.213702e-05,4.207754e-05,4.200470e-05,4.197597e-05,4.187158e-05,4.186735e-05,4.176459e-05,4.172548e-05,4.165523e-05,4.157963e-05,4.154372e-05,4.143024e-05,4.127776e-05,4.112259e-05,4.096510e-05,4.080565e-05,4.064456e-05,4.048212e-05,4.031862e-05,4.015430e-05,3.998941e-05,3.982416e-05,3.965877e-05,3.949341e-05,3.932825e-05,3.916347e-05,3.899919e-05,3.883557e-05,3.867271e-05,3.851074e-05,3.834976e-05,3.818986e-05,3.803113e-05,3.787364e-05,3.771748e-05,3.756270e-05
0.000000e+00,1.645986e-14,1.084512e-13,1.758644e-12,1.095163e-11,2.513659e-11,1.481926e-10,1.578838e-10,6.326588e-10,8.827757e-10,1.909567e-09,3.361179e-09,4.743796e-09,9.658814e-09,1.022661e-08,1.979637e-08,2.289127e-08,3.522210e-08,4.717590e-08,5.856377e-08,8.746758e-08,9.211218e-08,1.383074e-07,1.492833e-07,1.996341e-07,2.383088e-07,2.784957e-07,3.598992e-07,3.770785e-07,4.972223e-07,5.185458e-07,6.403120e-07,7.174181e-07,8.072029e-07,9.580635e-07,9.981801e-07,1.212956e-06,1.240294e-06,1.450694e-06,1.562246e-06,1.710060e-06,1.920565e-06,1.989280e-06,2.286220e-06,2.310670e-06,2.598460e-06,2.727057e-06,2.923373e-06,3.163614e-06,3.258203e-06,3.600133e-06,3.613919e-06,3.946355e-06,4.071514e-06,4.294123e-06,4.530141e-06,4.640808e-06,4.983940e-06,5.321240e-06,5.427601e-06,5.650648e-06,5.856474e-06,5.970339e-06,6.266636e-06,6.278737e-06,6.574517e-06,6.654921e-06,6.856600e-06,7.018920e-06,7.124154e-06,7.356947e-06,7.376573e-06,7.613467e-06,7.667986e-06,7.834643e-06,7.951623e-06,8.040084e-06,8.207967e-06,8.229933e-06,8.404466e-06,8.437567e-06,8.564073e-06,8.641329e-06,8.709242e-06,8.820436e-06,8.840535e-06,8.958572e-06,8.976271e-06,9.064014e-06,9.110355e-06,9.157552e-06,9.224284e-06,9.239889e-06,9.311735e-06,9.319685e-06,9.373791e-06,9.398173e-06,9.426747e-06,9.461322e-06,9.471274e-06,9.508016e-06,9.510638e-06,9.537589e-06,9.547543e-06,9.560579e-06,9.573367e-06,9.577539e-06,9.588988e-06,9.589338e-06,9.595413e-06,9.596584e-06,9.597267e-06,9.596132e-06,9.594969e-06,9.588908e-06,9.579441e-06,9.575746e-06,9.566896e-06,9.557392e-06,9.551575e-06,9.534511e-06,9.533754e-06,9.513685e-06,9.507695e-06,9.491599e-06,9.477467e-06,9.467705e-06,9.444291e-06,9.442195e-06,9.415242e-06,9.408576e-06,9.387004e-06,9.370684e-06,9.357625e-06,9.330932e-06,9.327236e-06,9.295956e-06,9.289603e-06,9.263893e-06,9.246943e-06,9.231145e-06,9.203173e-06,9.197801e-06,9.163943e-06,9.158484e-06,9.129646e-06,9.113047e-06,9.094976e-06,9.067014e-06,9.059996e-06,9.024761e-06,9.020519e-06,8.989325e-06,8.973681e-06,8.953734e-06,8.926607e-06,8.918030e-06,8.882254e-06,8.879390e-06,8.846441e-06,8.832114e-06,8.810625e-06,8.784853e-06,8.774836e-06,8.739102e-06,8.737674e-06,8.703448e-06,8.690637e-06,8.667899e-06,8.643795e-06,8.632474e-06,8.597196e-06,8.550881e-06,8.504890e-06,8.459256e-06,8.414009e-06,8.369175e-06,8.324779e-06,8.280842e-06,8.237383e-06,8.194416e-06,8.151959e-06,8.110021e-06,8.068614e-06,8.027747e-06,7.987429e-06,7.947664e-06,7.908458e-06,7.869815e-06,7.831738e-06,7.794227e-06,7.757286e-06,7.720913e-06,7.685108e-06,7.649871e-06,7.615198e-06
0.000000e+00,9.656688e-14,6.402206e-13,1.052038e-11,6.634551e-11,1.533750e-10,9.219886e-10,9.830914e-10,4.022657e-09,5.646726e-09,1.240810e-08,2.213624e-08,3.152937e-08,6.560276e-08,6.959297e-08,1.380689e-07,1.606217e-07,2.519982e-07,3.424856e-07,4.301126e-07,6.575439e-07,6.946650e-07,1.070832e-06,1.161819e-06,1.585611e-06,1.917171e-06,2.266289e-06,2.985245e-06,3.138699e-06,4.225542e-06,4.420624e-06,5.545001e-06,6.264918e-06,7.109761e-06,8.542861e-06,8.926471e-06,1.099565e-05,1.126072e-05,1.331191e-05,1.440673e-05,1.586445e-05,1.795302e-05,1.863776e-05,2.161238e-05,2.185838e-05,2.476570e-05,2.607155e-05,2.807286e-05,3.053451e-05,3.150750e-05,3.504249e-05,3.518559e-05,3.865061e-05,3.996225e-05,4.230510e-05,4.480343e-05,4.598017e-05,4.965139e-05,5.329595e-05,5.445312e-05,5.689298e-05,5.916133e-05,6.042361e-05,6.373500e-05,6.387111e-05,6.722089e-05,6.813957e-05,7.046049e-05,7.234697e-05,7.357953e-05,7.633530e-05,7.656959e-05,7.942411e-05,8.008846e-05,8.213825e-05,8.359557e-05,8.470874e-05,8.685045e-05,8.713373e-05,8.941266e-05,8.985095e-05,9.154606e-05,9.259838e-05,9.353544e-05,9.509691e-05,9.538313e-05,9.709218e-05,9.735299e-05,9.866619e-05,9.937494e-05,1.001093e-04,1.011724e-04,1.014258e-04,1.026207e-04,1.027561e-04,1.036987e-04,1.041373e-04,1.046650e-04,1.053279e-04,1.055248e-04,1.062831e-04,1.063395e-04,1.069452e-04,1.071843e-04,1.075162e-04,1.078737e-04,1.080010e-04,1.084047e-04,1.084192e-04,1.087319e-04,1.088319e-04,1.089873e-04,1.091222e-04,1.091753e-04,1.093003e-04,1.093665e-04,1.093758e-04,1.093777e-04,1.093578e-04,1.093377e-04,1.092547e-04,1.092503e-04,1.091187e-04,1.090745e-04,1.089464e-04,1.088247e-04,1.087363e-04,1.085122e-04,1.084914e-04,1.082146e-04,1.081436e-04,1.079083e-04,1.077250e-04,1.075752e-04,1.072617e-04,1.072176e-04,1.068376e-04,1.067592e-04,1.064374e-04,1.062220e-04,1.060189e-04,1.056546e-04,1.055840e-04,1.051343e-04,1.050611e-04,1.046715e-04,1.044451e-04,1.041970e-04,1.038101e-04,1.037124e-04,1.032189e-04,1.031592e-04,1.027178e-04,1.024952e-04,1.022102e-04,1.018208e-04,1.016973e-04,1.011799e-04,1.011384e-04,1.006591e-04,1.004500e-04,1.001357e-04,9.975774e-05,9.961056e-05,9.908438e-05,9.906332e-05,9.855788e-05,9.836839e-05,9.803170e-05,9.767438e-05,9.750643e-05,9.698262e-05,9.629428e-05,9.561043e-05,9.493200e-05,9.425983e-05,9.359468e-05,9.293718e-05,9.228793e-05,9.164741e-05,9.101607e-05,9.039427e-05,8.978232e-05,8.918050e-05,8.858900e-05,8.800801e-05,8.743766e-05,8.687804e-05,8.632923e-05,8.579127e-05,8.526415e-05,8.474787e-05,8.424241e-05,8.374769e-05,8.326365e-05,8.279020e-05
0.000000e+00,1.364397e-09,4.752677e-09,2.597918e-08,7.402520e-08,1.180253e-07,3.204120e-07,3.322072e-07,7.479069e-07,9.152899e-07,1.479611e-06,2.122456e-06,2.646495e-06,4.130166e-06,4.275556e-06,6.260438e-06,6.773269e-06,8.458794e-06,9.743041e-06,1.076825e-05,1.284338e-05,1.312780e-05,1.549993e-05,1.597343e-05,1.785829e-05,1.907202e-05,2.018164e-05,2.209267e-05,2.245157e-05,2.465168e-05,2.499623e-05,2.676778e-05,2.775014e-05,2.878816e-05,3.032926e-05,3.070360e-05,3.250751e-05,3.271626e-05,3.419573e-05,3.490134e-05,3.576638e-05,3.688140e-05,3.721949e-05,3.855673e-05,3.865878e-05,3.978105e-05,4.024003e-05,4.089643e-05,4.163463e-05,4.190751e-05,4.281946e-05,4.285395e-05,4.363771e-05,4.391042e-05,4.436783e-05,4.481682e-05,4.501540e-05,4.558588e-05,4.608461e-05,4.622989e-05,4.651670e-05,4.676054e-05,4.688705e-05,4.718878e-05,4.720026e-05,4.746072e-05,4.752475e-05,4.767250e-05,4.777782e-05,4.783945e-05,4.795651e-05,4.796512e-05,4.805286e-05,4.806862e-05,4.810574e-05,4.812122e-05,4.812666e-05,4.812073e-05,4.811825e-05,4.808300e-05,4.807294e-05,4.802319e-05,4.798308e-05,4.794092e-05,4.785589e-05,4.783814e-05,4.771667e-05,4.769561e-05,4.757817e-05,4.750610e-05,4.742418e-05,4.729080e-05,4.725613e-05,4.707532e-05,4.705282e-05,4.688297e-05,4.679498e-05,4.668021e-05,4.651979e-05,4.646807e-05,4.624751e-05,4.622952e-05,4.601940e-05,4.592623e-05,4.578456e-05,4.561174e-05,4.554375e-05,4.529766e-05,4.528772e-05,4.504693e-05,4.495565e-05,4.479216e-05,4.461688e-05,4.453388e-05,4.427261e-05,4.400881e-05,4.392393e-05,4.374291e-05,4.357181e-05,4.347530e-05,4.321713e-05,4.320635e-05,4.293640e-05,4.286068e-05,4.266576e-05,4.250316e-05,4.239471e-05,4.214521e-05,4.212352e-05,4.185242e-05,4.178740e-05,4.158165e-05,4.143024e-05,4.131141e-05,4.107419e-05,4.104189e-05,4.077325e-05,4.071965e-05,4.050566e-05,4.036698e-05,4.023927e-05,4.001652e-05,3.997421e-05,3.971059e-05,3.966855e-05,3.944853e-05,3.932333e-05,3.918814e-05,3.898108e-05,3.892950e-05,3.867269e-05,3.864200e-05,3.841780e-05,3.830627e-05,3.816489e-05,3.797404e-05,3.791403e-05,3.766526e-05,3.764545e-05,3.741864e-05,3.732060e-05,3.717420e-05,3.699959e-05,3.693200e-05,3.669206e-05,3.668251e-05,3.645442e-05,3.636943e-05,3.621909e-05,3.606041e-05,3.598611e-05,3.575548e-05,3.545468e-05,3.515805e-05,3.486559e-05,3.457732e-05,3.429324e-05,3.401334e-05,3.373762e-05,3.346607e-05,3.319865e-05,3.293536e-05,3.267616e-05,3.242103e-05,3.216993e-05,3.192282e-05,3.167966e-05,3.144043e-05,3.120506e-05,3.097353e-05,3.074577e-05,3.052176e-05,3.030143e-05,3.008474e-05,2.987165e-05,2.966209e-05
0.000000e+00,4.123353e-09,9.476526e-09,3.266933e-08,7.427989e-08,1.082526e-07,2.444332e-07,2.517253e-07,4.827949e-07,5.658042e-07,8.205872e-07,1.082337e-06,1.283923e-06,1.836651e-06,1.890886e-06,2.656912e-06,2.865609e-06,3.590706e-06,4.186404e-06,4.689438e-06,5.780847e-06,5.937835e-06,7.313110e-06,7.601243e-06,8.791135e-06,9.592823e-06,1.034964e-05,1.170640e-05,1.196878e-05,1.363076e-05,1.389955e-05,1.531939e-05,1.613501e-05,1.701990e-05,1.837979e-05,1.871886e-05,2.040419e-05,2.060499e-05,2.206523e-05,2.278596e-05,2.369273e-05,2.490236e-05,2.527890e-05,2.681727e-05,2.693811e-05,2.830271e-05,2.888114e-05,2.973127e-05,3.072295e-05,3.110007e-05,3.240719e-05,3.245817e-05,3.365155e-05,3.408406e-05,3.483277e-05,3.560004e-05,3.595109e-05,3.700720e-05,3.800218e-05,3.830789e-05,3.893745e-05,3.950545e-05,3.981468e-05,4.060393e-05,4.063572e-05,4.140255e-05,4.160782e-05,4.211723e-05,4.252191e-05,4.278192e-05,4.335112e-05,4.339875e-05,4.396991e-05,4.410042e-05,4.449752e-05,4.477475e-05,4.498370e-05,4.537893e-05,4.543055e-05,4.584007e-05,4.591767e-05,4.621425e-05,4.639548e-05,4.655497e-05,4.681665e-05,4.686405e-05,4.714326e-05,4.718527e-05,4.739427e-05,4.750522e-05,4.761871e-05,4.778017e-05,4.781813e-05,4.799400e-05,4.801359e-05,4.814775e-05,4.820873e-05,4.828071e-05,4.836864e-05,4.839416e-05,4.848932e-05,4.849618e-05,4.856736e-05,4.859403e-05,4.862937e-05,4.866468e-05,4.867640e-05,4.870944e-05,4.871049e-05,4.872943e-05,4.873361e-05,4.873727e-05,4.873608e-05,4.873379e-05,4.871979e-05,4.869603e-05,4.868648e-05,4.866322e-05,4.863779e-05,4.862204e-05,4.857523e-05,4.857313e-05,4.851708e-05,4.850019e-05,4.845447e-05,4.841398e-05,4.838584e-05,4.831780e-05,4.831168e-05,4.823248e-05,4.821277e-05,4.814867e-05,4.809989e-05,4.806070e-05,4.798014e-05,4.796894e-05,4.787378e-05,4.785437e-05,4.777557e-05,4.772340e-05,4.767464e-05,4.758797e-05,4.757129e-05,4.746582e-05,4.744876e-05,4.735850e-05,4.730640e-05,4.724959e-05,4.716147e-05,4.713932e-05,4.702792e-05,4.701448e-05,4.691559e-05,4.686593e-05,4.680255e-05,4.671625e-05,4.668895e-05,4.657498e-05,4.656586e-05,4.646080e-05,4.641510e-05,4.634655e-05,4.626432e-05,4.623237e-05,4.611838e-05,4.611383e-05,4.600471e-05,4.596388e-05,4.589146e-05,4.581474e-05,4.577873e-05,4.566662e-05,4.551973e-05,4.537425e-05,4.523032e-05,4.508811e-05,4.494773e-05,4.480929e-05,4.467289e-05,4.453862e-05,4.440654e-05,4.427671e-05,4.414918e-05,4.402401e-05,4.390121e-05,4.378081e-05,4.366284e-05,4.354730e-05,4.343420e-05,4.332354e-05,4.321532e-05,4.310952e-05,4.300613e-05,4.290514e-05,4.280653e-05,4.271027e-05
0.000000e+00,5.229984e-12,2.930345e-11,3.432160e-10,1.610162e-09,3.181300e-09,1.297693e-08,1.362794e-08,3.898536e-08,4.987288e-08,8.749838e-08,1.312111e-07,1.675398e-07,2.760435e-07,2.872695e-07,4.545500e-07,5.026184e-07,6.769230e-07,8.281919e-07,9.614984e-07,1.268439e-06,1.314612e-06,1.741157e-06,1.835554e-06,2.243699e-06,2.535029e-06,2.821772e-06,3.363189e-06,3.471804e-06,4.187782e-06,4.307971e-06,4.962249e-06,5.352426e-06,5.787218e-06,6.478215e-06,6.654759e-06,7.557297e-06,7.667610e-06,8.487701e-06,8.904167e-06,9.439281e-06,1.017278e-05,1.040579e-05,1.138141e-05,1.145969e-05,1.236077e-05,1.275244e-05,1.333893e-05,1.403993e-05,1.431141e-05,1.527420e-05,1.531246e-05,1.622376e-05,1.656175e-05,1.715699e-05,1.778089e-05,1.807124e-05,1.896428e-05,1.983428e-05,2.010755e-05,2.067974e-05,2.120741e-05,2.149952e-05,2.226154e-05,2.229275e-05,2.305885e-05,2.326844e-05,2.379744e-05,2.422731e-05,2.450835e-05,2.513793e-05,2.519157e-05,2.584724e-05,2.600053e-05,2.647564e-05,2.681576e-05,2.707713e-05,2.758454e-05,2.765216e-05,2.820127e-05,2.830802e-05,2.872501e-05,2.898755e-05,2.922403e-05,2.962457e-05,2.969897e-05,3.015050e-05,3.022062e-05,3.057932e-05,3.077730e-05,3.098614e-05,3.129623e-05,3.137167e-05,3.173661e-05,3.177905e-05,3.208168e-05,3.222739e-05,3.240757e-05,3.264285e-05,3.271498e-05,3.300459e-05,3.302701e-05,3.327706e-05,3.338139e-05,3.353304e-05,3.370750e-05,3.377317e-05,3.399808e-05,3.400677e-05,3.420837e-05,3.428061e-05,3.440462e-05,3.453036e-05,3.458742e-05,3.475732e-05,3.491486e-05,3.496274e-05,3.506055e-05,3.514781e-05,3.519490e-05,3.531366e-05,3.531840e-05,3.543153e-05,3.546141e-05,3.553473e-05,3.559208e-05,3.562846e-05,3.570668e-05,3.571313e-05,3.578916e-05,3.580616e-05,3.585693e-05,3.589143e-05,3.591684e-05,3.596334e-05,3.596924e-05,3.601450e-05,3.602273e-05,3.605295e-05,3.607036e-05,3.608492e-05,3.610700e-05,3.611072e-05,3.613066e-05,3.613333e-05,3.614503e-05,3.615003e-05,3.615411e-05,3.615774e-05,3.615816e-05,3.615745e-05,3.615706e-05,3.615222e-05,3.614856e-05,3.614272e-05,3.613278e-05,3.612917e-05,3.611178e-05,3.611023e-05,3.609078e-05,3.608141e-05,3.606636e-05,3.604676e-05,3.603871e-05,3.600802e-05,3.600674e-05,3.597448e-05,3.596174e-05,3.593824e-05,3.591215e-05,3.589948e-05,3.585835e-05,3.580067e-05,3.573945e-05,3.567500e-05,3.560760e-05,3.553753e-05,3.546505e-05,3.539040e-05,3.531381e-05,3.523549e-05,3.515565e-05,3.507448e-05,3.499215e-05,3.490884e-05,3.482470e-05,3.473988e-05,3.465451e-05,3.456872e-05,3.448264e-05,3.439637e-05,3.431003e-05,3.422370e-05,3.413749e-05,3.405147e-05,3.396572e-05
0.000000e+00,1.060161e-13,7.156005e-13,1.222018e-11,7.996014e-11,1.888032e-10,1.203307e-09,1.286280e-09,5.617460e-09,8.037531e-09,1.858616e-08,3.466910e-08,5.091696e-08,1.139072e-07,1.216086e-07,2.611921e-07,3.095844e-07,5.143168e-07,7.273412e-07,9.407864e-07,1.518107e-06,1.614827e-06,2.622916e-06,2.872913e-06,4.060678e-06,5.011597e-06,6.029312e-06,8.168666e-06,8.631907e-06,1.196989e-05,1.257875e-05,1.613974e-05,1.846315e-05,2.123011e-05,2.601821e-05,2.731931e-05,3.447328e-05,3.540594e-05,4.274405e-05,4.674708e-05,5.216857e-05,6.011648e-05,6.276806e-05,7.454777e-05,7.554092e-05,8.749709e-05,9.299900e-05,1.015901e-04,1.124231e-04,1.167864e-04,1.330322e-04,1.337030e-04,1.502616e-04,1.566905e-04,1.683982e-04,1.812059e-04,1.873564e-04,2.070437e-04,2.273617e-04,2.339800e-04,2.482081e-04,2.617788e-04,2.694782e-04,2.901983e-04,2.910666e-04,3.128685e-04,3.189972e-04,3.347809e-04,3.479396e-04,3.567037e-04,3.767993e-04,3.785409e-04,4.002013e-04,4.053638e-04,4.215989e-04,4.334369e-04,4.426541e-04,4.608410e-04,4.632935e-04,4.834504e-04,4.874184e-04,5.030648e-04,5.130320e-04,5.220836e-04,5.375652e-04,5.404606e-04,5.581562e-04,5.609219e-04,5.751371e-04,5.830260e-04,5.913766e-04,6.038199e-04,6.068534e-04,6.215524e-04,6.232634e-04,6.354631e-04,6.413325e-04,6.485802e-04,6.580177e-04,6.609028e-04,6.724340e-04,6.733224e-04,6.831805e-04,6.872616e-04,6.931526e-04,6.998601e-04,7.023631e-04,7.108276e-04,7.111509e-04,7.185639e-04,7.211744e-04,7.255916e-04,7.299765e-04,7.319319e-04,7.376074e-04,7.426417e-04,7.441212e-04,7.470590e-04,7.495739e-04,7.508844e-04,7.540233e-04,7.541431e-04,7.568606e-04,7.575280e-04,7.590625e-04,7.601466e-04,7.607741e-04,7.619375e-04,7.620207e-04,7.628271e-04,7.629579e-04,7.632178e-04,7.632639e-04,7.632166e-04,7.629099e-04,7.628468e-04,7.621311e-04,7.619483e-04,7.610913e-04,7.604296e-04,7.597487e-04,7.584020e-04,7.581239e-04,7.562363e-04,7.559112e-04,7.541050e-04,7.530008e-04,7.517481e-04,7.497117e-04,7.491828e-04,7.464257e-04,7.460827e-04,7.434924e-04,7.421499e-04,7.403980e-04,7.379473e-04,7.371567e-04,7.337818e-04,7.335064e-04,7.302862e-04,7.288568e-04,7.266818e-04,7.240258e-04,7.229801e-04,7.191917e-04,7.190385e-04,7.153267e-04,7.139184e-04,7.113947e-04,7.086870e-04,7.074043e-04,7.033641e-04,6.979677e-04,6.925145e-04,6.870197e-04,6.814969e-04,6.759588e-04,6.704167e-04,6.648809e-04,6.593607e-04,6.538643e-04,6.483993e-04,6.429722e-04,6.375890e-04,6.322551e-04,6.269748e-04,6.217525e-04,6.165915e-04,6.114949e-04,6.064654e-04,6.015051e-04,5.966160e-04,5.917995e-04,5.870569e-04,5.823892e-04,5.777970e-04
0.000000e+00,1.153026e-12,6.934866e-12,9.331098e-11,4.917724e-10,1.031400e-09,4.841783e-09,5.111685e-09,1.647692e-08,2.170372e-08,4.074374e-08,6.416236e-08,8.435795e-08,1.473210e-07,1.540067e-07,2.562076e-07,2.862680e-07,3.970530e-07,4.948784e-07,5.820169e-07,7.849649e-07,8.157048e-07,1.101441e-06,1.165003e-06,1.440707e-06,1.638097e-06,1.832646e-06,2.200203e-06,2.273916e-06,2.759032e-06,2.840268e-06,3.281034e-06,3.542451e-06,3.832240e-06,4.288997e-06,4.404873e-06,4.991474e-06,5.062471e-06,5.585139e-06,5.846957e-06,6.179631e-06,6.628563e-06,6.769410e-06,7.349639e-06,7.395516e-06,7.916163e-06,8.138130e-06,8.465485e-06,8.848712e-06,8.994738e-06,9.501650e-06,9.521435e-06,9.984499e-06,1.015219e-05,1.044207e-05,1.073838e-05,1.087361e-05,1.127876e-05,1.165749e-05,1.177315e-05,1.201009e-05,1.222228e-05,1.233709e-05,1.262756e-05,1.263918e-05,1.291723e-05,1.299090e-05,1.317220e-05,1.331454e-05,1.340515e-05,1.360095e-05,1.361717e-05,1.380938e-05,1.385270e-05,1.398293e-05,1.407239e-05,1.413894e-05,1.426259e-05,1.427850e-05,1.440269e-05,1.442578e-05,1.451255e-05,1.456435e-05,1.460907e-05,1.468054e-05,1.469320e-05,1.476584e-05,1.477645e-05,1.482783e-05,1.485405e-05,1.487999e-05,1.491513e-05,1.492305e-05,1.495772e-05,1.496135e-05,1.498466e-05,1.499422e-05,1.500448e-05,1.501514e-05,1.501777e-05,1.502504e-05,1.502538e-05,1.502680e-05,1.502606e-05,1.502350e-05,1.501823e-05,1.501557e-05,1.500341e-05,1.500284e-05,1.498738e-05,1.498073e-05,1.496783e-05,1.495269e-05,1.494508e-05,1.491941e-05,1.489109e-05,1.488151e-05,1.486038e-05,1.483957e-05,1.482750e-05,1.479411e-05,1.479268e-05,1.475611e-05,1.474559e-05,1.471798e-05,1.469442e-05,1.467845e-05,1.464099e-05,1.463768e-05,1.459582e-05,1.458563e-05,1.455300e-05,1.452865e-05,1.450935e-05,1.447034e-05,1.446498e-05,1.441999e-05,1.441093e-05,1.437449e-05,1.435065e-05,1.432856e-05,1.428972e-05,1.428230e-05,1.423576e-05,1.422830e-05,1.418904e-05,1.416656e-05,1.414218e-05,1.410465e-05,1.409526e-05,1.404833e-05,1.404270e-05,1.400143e-05,1.398082e-05,1.395462e-05,1.391913e-05,1.390794e-05,1.386143e-05,1.385772e-05,1.381513e-05,1.379667e-05,1.376906e-05,1.373606e-05,1.372326e-05,1.367776e-05,1.367595e-05,1.363258e-05,1.361640e-05,1.358775e-05,1.355747e-05,1.354328e-05,1.349920e-05,1.344164e-05,1.338481e-05,1.332875e-05,1.327348e-05,1.321902e-05,1.316540e-05,1.311263e-05,1.306072e-05,1.300969e-05,1.295953e-05,1.291026e-05,1.286188e-05,1.281438e-05,1.276778e-05,1.272206e-05,1.267723e-05,1.263328e-05,1.259020e-05,1.254800e-05,1.250665e-05,1.246616e-05,1.242652e-05,1.238771e-05,1.234973e-05
0.000000e+00,3.210549e-14,2.113909e-13,3.425355e-12,2.132113e-11,4.892784e-11,2.883652e-10,3.072210e-10,1.231005e-09,1.717712e-09,3.716081e-09,6.541907e-09,9.233923e-09,1.880598e-08,1.991190e-08,3.855282e-08,4.458126e-08,6.859610e-08,9.186797e-08,1.140283e-07,1.702266e-07,1.792508e-07,2.689113e-07,2.901906e-07,3.877009e-07,4.624917e-07,5.401186e-07,6.971164e-07,7.302102e-07,9.612996e-07,1.002251e-06,1.235744e-06,1.383277e-06,1.554745e-06,1.842032e-06,1.918246e-06,2.324914e-06,2.376507e-06,2.772218e-06,2.981014e-06,3.256568e-06,3.646738e-06,3.773513e-06,4.317951e-06,4.362530e-06,4.884358e-06,5.115790e-06,5.466999e-06,5.893320e-06,6.060124e-06,6.658134e-06,6.682080e-06,7.255717e-06,7.469781e-06,7.847954e-06,8.245330e-06,8.430396e-06,8.999111e-06,9.550710e-06,9.723128e-06,1.008235e-05,1.041104e-05,1.059172e-05,1.105809e-05,1.107702e-05,1.153693e-05,1.166102e-05,1.197056e-05,1.221789e-05,1.237740e-05,1.272789e-05,1.275729e-05,1.311039e-05,1.319118e-05,1.343707e-05,1.360869e-05,1.373793e-05,1.398194e-05,1.401375e-05,1.426541e-05,1.431294e-05,1.449394e-05,1.460398e-05,1.470039e-05,1.485757e-05,1.488589e-05,1.505159e-05,1.507634e-05,1.519864e-05,1.526293e-05,1.532818e-05,1.541998e-05,1.544135e-05,1.553925e-05,1.555003e-05,1.562295e-05,1.565554e-05,1.569345e-05,1.573883e-05,1.575176e-05,1.579878e-05,1.580208e-05,1.583540e-05,1.584733e-05,1.586246e-05,1.587646e-05,1.588073e-05,1.589095e-05,1.589120e-05,1.589380e-05,1.589314e-05,1.588992e-05,1.588374e-05,1.587990e-05,1.586430e-05,1.584364e-05,1.583603e-05,1.581838e-05,1.580001e-05,1.578896e-05,1.575720e-05,1.575581e-05,1.571928e-05,1.570850e-05,1.567973e-05,1.565468e-05,1.563748e-05,1.559647e-05,1.559282e-05,1.554602e-05,1.553450e-05,1.549734e-05,1.546934e-05,1.544700e-05,1.540151e-05,1.539522e-05,1.534219e-05,1.533145e-05,1.528809e-05,1.525959e-05,1.523308e-05,1.518628e-05,1.517731e-05,1.512093e-05,1.511186e-05,1.506405e-05,1.503661e-05,1.500680e-05,1.496079e-05,1.494927e-05,1.489157e-05,1.488464e-05,1.483379e-05,1.480836e-05,1.477600e-05,1.473212e-05,1.471828e-05,1.466070e-05,1.465610e-05,1.460332e-05,1.458043e-05,1.454619e-05,1.450524e-05,1.448937e-05,1.443289e-05,1.443064e-05,1.437682e-05,1.435673e-05,1.432117e-05,1.428359e-05,1.426598e-05,1.421129e-05,1.413991e-05,1.406949e-05,1.400008e-05,1.393172e-05,1.386445e-05,1.379829e-05,1.373327e-05,1.366940e-05,1.360670e-05,1.354518e-05,1.348484e-05,1.342569e-05,1.336773e-05,1.331095e-05,1.325536e-05,1.320095e-05,1.314770e-05,1.309561e-05,1.304468e-05,1.299488e-05,1.294620e-05,1.289864e-05,1.285218e-05,1.280679e-05
0.000000e+00,3.219602e-12,1.923280e-11,2.549476e-10,1.324483e-09,2.755449e-09,1.266404e-08,1.335852e-08,4.219248e-08,5.528803e-08,1.025435e-07,1.601365e-07,2.095740e-07,3.633199e-07,3.796483e-07,6.300012e-07,7.039539e-07,9.775573e-07,1.219902e-06,1.435643e-06,1.934435e-06,2.009268e-06,2.692051e-06,2.840368e-06,3.467168e-06,3.899167e-06,4.311554e-06,5.056482e-06,5.200829e-06,6.112913e-06,6.259693e-06,7.029720e-06,7.467239e-06,7.937352e-06,8.649786e-06,8.825437e-06,9.686237e-06,9.787403e-06,1.051382e-05,1.086619e-05,1.130348e-05,1.187589e-05,1.205141e-05,1.275450e-05,1.280873e-05,1.341029e-05,1.365894e-05,1.401699e-05,1.442275e-05,1.457345e-05,1.507923e-05,1.509841e-05,1.553456e-05,1.568627e-05,1.594028e-05,1.618854e-05,1.629781e-05,1.660904e-05,1.687623e-05,1.695285e-05,1.710195e-05,1.722591e-05,1.728895e-05,1.743472e-05,1.744011e-05,1.755834e-05,1.758594e-05,1.764655e-05,1.768623e-05,1.770754e-05,1.774195e-05,1.774403e-05,1.775858e-05,1.775908e-05,1.775360e-05,1.774312e-05,1.773131e-05,1.769902e-05,1.769378e-05,1.764286e-05,1.763122e-05,1.758026e-05,1.754360e-05,1.750750e-05,1.743954e-05,1.742596e-05,1.733686e-05,1.732198e-05,1.724129e-05,1.719341e-05,1.714023e-05,1.705599e-05,1.703452e-05,1.692492e-05,1.691154e-05,1.681210e-05,1.676160e-05,1.669665e-05,1.660746e-05,1.657908e-05,1.645984e-05,1.645024e-05,1.633933e-05,1.629086e-05,1.621791e-05,1.613009e-05,1.609587e-05,1.597349e-05,1.596859e-05,1.585100e-05,1.580692e-05,1.572862e-05,1.564555e-05,1.560652e-05,1.548486e-05,1.536379e-05,1.532519e-05,1.524342e-05,1.516681e-05,1.512388e-05,1.500997e-05,1.500524e-05,1.488761e-05,1.485485e-05,1.477103e-05,1.470163e-05,1.465559e-05,1.455044e-05,1.454134e-05,1.442832e-05,1.440138e-05,1.431658e-05,1.425457e-05,1.420614e-05,1.411007e-05,1.409705e-05,1.398932e-05,1.396794e-05,1.388298e-05,1.382823e-05,1.377803e-05,1.369097e-05,1.367450e-05,1.357240e-05,1.355619e-05,1.347172e-05,1.342391e-05,1.337248e-05,1.329413e-05,1.327468e-05,1.317832e-05,1.316685e-05,1.308339e-05,1.304207e-05,1.298989e-05,1.291979e-05,1.289782e-05,1.280717e-05,1.279997e-05,1.271792e-05,1.268262e-05,1.263008e-05,1.256770e-05,1.254363e-05,1.245856e-05,1.245518e-05,1.237485e-05,1.234505e-05,1.229250e-05,1.223727e-05,1.221149e-05,1.213180e-05,1.202863e-05,1.192770e-05,1.182898e-05,1.173244e-05,1.163804e-05,1.154574e-05,1.145550e-05,1.136728e-05,1.128104e-05,1.119674e-05,1.111434e-05,1.103380e-05,1.095509e-05,1.087816e-05,1.080297e-05,1.072949e-05,1.065768e-05,1.058749e-05,1.051890e-05,1.045187e-05,1.038636e-05,1.032233e-05,1.025975e-05,1.019859e-05
0.000000e+00,3.206268e-09,7.351768e-09,2.525934e-08,5.731593e-08,8.346947e-08,1.883881e-07,1.940140e-07,3.728871e-07,4.374612e-07,6.367725e-07,8.432656e-07,1.003433e-06,1.447029e-06,1.490858e-06,2.113942e-06,2.284582e-06,2.878303e-06,3.365325e-06,3.775001e-06,4.656600e-06,4.782481e-06,5.874630e-06,6.101030e-06,7.027374e-06,7.643975e-06,8.220792e-06,9.242770e-06,9.438702e-06,1.066771e-05,1.086459e-05,1.189644e-05,1.248320e-05,1.311510e-05,1.407705e-05,1.431524e-05,1.548963e-05,1.562852e-05,1.663219e-05,1.712351e-05,1.773794e-05,1.855122e-05,1.880292e-05,1.982410e-05,1.990384e-05,2.079934e-05,2.117622e-05,2.172721e-05,2.236551e-05,2.260697e-05,2.343842e-05,2.347068e-05,2.422185e-05,2.449225e-05,2.495792e-05,2.543187e-05,2.564759e-05,2.629207e-05,2.689275e-05,2.707596e-05,2.745115e-05,2.778708e-05,2.796888e-05,2.842919e-05,2.844761e-05,2.888903e-05,2.900618e-05,2.929486e-05,2.952198e-05,2.966679e-05,2.998045e-05,3.000648e-05,3.031557e-05,3.038538e-05,3.059566e-05,3.074042e-05,3.084828e-05,3.104906e-05,3.107494e-05,3.127705e-05,3.131465e-05,3.145601e-05,3.154035e-05,3.161313e-05,3.172916e-05,3.174967e-05,3.186685e-05,3.188388e-05,3.196581e-05,3.200717e-05,3.204766e-05,3.210151e-05,3.211342e-05,3.216410e-05,3.216921e-05,3.220063e-05,3.221246e-05,3.222392e-05,3.223328e-05,3.223480e-05,3.223408e-05,3.223355e-05,3.222253e-05,3.221504e-05,3.220086e-05,3.217938e-05,3.216975e-05,3.212986e-05,3.212809e-05,3.208179e-05,3.206259e-05,3.202612e-05,3.198420e-05,3.196339e-05,3.189412e-05,3.181880e-05,3.179350e-05,3.173789e-05,3.168337e-05,3.165181e-05,3.156471e-05,3.156099e-05,3.146580e-05,3.143841e-05,3.136660e-05,3.130531e-05,3.126375e-05,3.116617e-05,3.115756e-05,3.104833e-05,3.102170e-05,3.093636e-05,3.087256e-05,3.082191e-05,3.071935e-05,3.070524e-05,3.058658e-05,3.056263e-05,3.046616e-05,3.040291e-05,3.034418e-05,3.024067e-05,3.022086e-05,3.009636e-05,3.007635e-05,2.997087e-05,2.991033e-05,2.984456e-05,2.974301e-05,2.971756e-05,2.959003e-05,2.957470e-05,2.946210e-05,2.940572e-05,2.933390e-05,2.923635e-05,2.920554e-05,2.907713e-05,2.906686e-05,2.894879e-05,2.889748e-05,2.882059e-05,2.872843e-05,2.869264e-05,2.856501e-05,2.855991e-05,2.843778e-05,2.839209e-05,2.831103e-05,2.822515e-05,2.818482e-05,2.805922e-05,2.789444e-05,2.773093e-05,2.756881e-05,2.740816e-05,2.724908e-05,2.709164e-05,2.693591e-05,2.678195e-05,2.662982e-05,2.647956e-05,2.633120e-05,2.618479e-05,2.604035e-05,2.589791e-05,2.575748e-05,2.561907e-05,2.548270e-05,2.534837e-05,2.521609e-05,2.508586e-05,2.495766e-05,2.483151e-05,2.470739e-05,2.458528e-05
0.000000e+00,8.056942e-13,5.498488e-12,9.602229e-11,6.406897e-10,1.528282e-09,9.973938e-09,1.067093e-08,4.745401e-08,6.815388e-08,1.586911e-07,2.968054e-07,4.360503e-07,9.727139e-07,1.038034e-06,2.215156e-06,2.621439e-06,4.337364e-06,6.124728e-06,7.922439e-06,1.283314e-05,1.366347e-05,2.245278e-05,2.467009e-05,3.539942e-05,4.420867e-05,5.383799e-05,7.470484e-05,7.932766e-05,1.136415e-04,1.200795e-04,1.587463e-04,1.848504e-04,2.167752e-04,2.740226e-04,2.899936e-04,3.807604e-04,3.929459e-04,4.914860e-04,5.471522e-04,6.245888e-04,7.421812e-04,7.824512e-04,9.673765e-04,9.834060e-04,1.181548e-03,1.275865e-03,1.426991e-03,1.624110e-03,1.705538e-03,2.018801e-03,2.032073e-03,2.368143e-03,2.502959e-03,2.754664e-03,3.039163e-03,3.179179e-03,3.642217e-03,4.144008e-03,4.312764e-03,4.684493e-03,5.050560e-03,5.263322e-03,5.854491e-03,5.879866e-03,6.533231e-03,6.722621e-03,7.222272e-03,7.652257e-03,7.945611e-03,8.640013e-03,8.701660e-03,9.488641e-03,9.681906e-03,1.030461e-02,1.077344e-02,1.114748e-02,1.190971e-02,1.201505e-02,1.290501e-02,1.308548e-02,1.381500e-02,1.429530e-02,1.474258e-02,1.553357e-02,1.568532e-02,1.664076e-02,1.679464e-02,1.760645e-02,1.807290e-02,1.857996e-02,1.936281e-02,1.955893e-02,2.054104e-02,2.065900e-02,2.152405e-02,2.195629e-02,2.250578e-02,2.324977e-02,2.348417e-02,2.445724e-02,2.453479e-02,2.542311e-02,2.580704e-02,2.638002e-02,2.706253e-02,2.732634e-02,2.826051e-02,2.829760e-02,2.918113e-02,2.950897e-02,3.008689e-02,3.069371e-02,3.097661e-02,3.184923e-02,3.270378e-02,3.297328e-02,3.353943e-02,3.406397e-02,3.435543e-02,3.511971e-02,3.515115e-02,3.592604e-02,3.613922e-02,3.667968e-02,3.712150e-02,3.741169e-02,3.806582e-02,3.812182e-02,3.880988e-02,3.897171e-02,3.947575e-02,3.983892e-02,4.011938e-02,4.066741e-02,4.074081e-02,4.134010e-02,4.145732e-02,4.191741e-02,4.220897e-02,4.247291e-02,4.292284e-02,4.300683e-02,4.351946e-02,4.359952e-02,4.401109e-02,4.423973e-02,4.448209e-02,4.484427e-02,4.493282e-02,4.536367e-02,4.541406e-02,4.577508e-02,4.595006e-02,4.616749e-02,4.645328e-02,4.654134e-02,4.689711e-02,4.692481e-02,4.723528e-02,4.736573e-02,4.755634e-02,4.777718e-02,4.786078e-02,4.814910e-02,4.816030e-02,4.842180e-02,4.851624e-02,4.867937e-02,4.884614e-02,4.892232e-02,4.915114e-02,4.943238e-02,4.969096e-02,4.992798e-02,5.014450e-02,5.034156e-02,5.052018e-02,5.068134e-02,5.082598e-02,5.095502e-02,5.106934e-02,5.116979e-02,5.125719e-02,5.133230e-02,5.139588e-02,5.144863e-02,5.149123e-02,5.152433e-02,5.154853e-02,5.156442e-02,5.157256e-02,5.157346e-02,5.156764e-02,5.155554e-02,5.153764e-02
0.000000e+00,8.825901e-14,5.877861e-13,9.749718e-12,6.201339e-11,1.440349e-10,8.764061e-10,9.349486e-10,3.871828e-09,5.452665e-09,1.207923e-08,2.168982e-08,3.102309e-08,6.514418e-08,6.915949e-08,1.384683e-07,1.614195e-07,2.548275e-07,3.478054e-07,4.381701e-07,6.737663e-07,7.123341e-07,1.104480e-06,1.199631e-06,1.643989e-06,1.992755e-06,2.360848e-06,3.121124e-06,3.283727e-06,4.437993e-06,4.645591e-06,5.843966e-06,6.612599e-06,7.515578e-06,9.048914e-06,9.459577e-06,1.167524e-05,1.195907e-05,1.415458e-05,1.532545e-05,1.688289e-05,1.911046e-05,1.983962e-05,2.299941e-05,2.326012e-05,2.633320e-05,2.770840e-05,2.980934e-05,3.238176e-05,3.339474e-05,3.705583e-05,3.720337e-05,4.075943e-05,4.209693e-05,4.447357e-05,4.698971e-05,4.816806e-05,5.181499e-05,5.538905e-05,5.651361e-05,5.886779e-05,6.103504e-05,6.223174e-05,6.533779e-05,6.546440e-05,6.855223e-05,6.938934e-05,7.148451e-05,7.316576e-05,7.425320e-05,7.665108e-05,7.685272e-05,7.927975e-05,7.983639e-05,8.153300e-05,8.271902e-05,8.361294e-05,8.530149e-05,8.552159e-05,8.726226e-05,8.759062e-05,8.883940e-05,8.959661e-05,9.025830e-05,9.133229e-05,9.152500e-05,9.264604e-05,9.281236e-05,9.362838e-05,9.405274e-05,9.447920e-05,9.507008e-05,9.520582e-05,9.581561e-05,9.588128e-05,9.631589e-05,9.650318e-05,9.671385e-05,9.695221e-05,9.701653e-05,9.723074e-05,9.724425e-05,9.736304e-05,9.739444e-05,9.741972e-05,9.741708e-05,9.740677e-05,9.732989e-05,9.732556e-05,9.719444e-05,9.713232e-05,9.700548e-05,9.684887e-05,9.676778e-05,9.648578e-05,9.616367e-05,9.605276e-05,9.580531e-05,9.555862e-05,9.541432e-05,9.501139e-05,9.499406e-05,9.454762e-05,9.441833e-05,9.407789e-05,9.378598e-05,9.358751e-05,9.312023e-05,9.307893e-05,9.255439e-05,9.242636e-05,9.201598e-05,9.170912e-05,9.146560e-05,9.097275e-05,9.090499e-05,9.033576e-05,9.022102e-05,8.975939e-05,8.945730e-05,8.917720e-05,8.868458e-05,8.859043e-05,8.800021e-05,8.790552e-05,8.740754e-05,8.712247e-05,8.681337e-05,8.633753e-05,8.621855e-05,8.562385e-05,8.555253e-05,8.502998e-05,8.476910e-05,8.443756e-05,8.398866e-05,8.384719e-05,8.325939e-05,8.321249e-05,8.267461e-05,8.244165e-05,8.209330e-05,8.167711e-05,8.151583e-05,8.094254e-05,8.091970e-05,8.037374e-05,8.017013e-05,7.980971e-05,7.942901e-05,7.925068e-05,7.869688e-05,7.797417e-05,7.726127e-05,7.655849e-05,7.586608e-05,7.518426e-05,7.451317e-05,7.385295e-05,7.320367e-05,7.256539e-05,7.193813e-05,7.132189e-05,7.071664e-05,7.012235e-05,6.953895e-05,6.896637e-05,6.840451e-05,6.785329e-05,6.731257e-05,6.678225e-05,6.626219e-05,6.575226e-05,6.525232e-05,6.476223e-05,6.428182e-05
0.000000e+00,1.991722e-14,1.320931e-13,2.172212e-12,1.370920e-11,3.170767e-11,1.909081e-10,2.035760e-10,8.349626e-10,1.173018e-09,2.583943e-09,4.621293e-09,6.594757e-09,1.379174e-08,1.463779e-08,2.923682e-08,3.407250e-08,5.377060e-08,7.340792e-08,9.251839e-08,1.424218e-07,1.505979e-07,2.337461e-07,2.539109e-07,3.479380e-07,4.215111e-07,4.988985e-07,6.577910e-07,6.916014e-07,9.298412e-07,9.723629e-07,1.215938e-06,1.370532e-06,1.550592e-06,1.852706e-06,1.932878e-06,2.360362e-06,2.414532e-06,2.829299e-06,3.047556e-06,3.334879e-06,3.740201e-06,3.871500e-06,4.433049e-06,4.478859e-06,5.013147e-06,5.248942e-06,5.605389e-06,6.035808e-06,6.203535e-06,6.801669e-06,6.825515e-06,7.394324e-06,7.605370e-06,7.976566e-06,8.364303e-06,8.544054e-06,9.093066e-06,9.620502e-06,9.784302e-06,1.012387e-05,1.043250e-05,1.060127e-05,1.103386e-05,1.105133e-05,1.147317e-05,1.158616e-05,1.186636e-05,1.208849e-05,1.223085e-05,1.254107e-05,1.256693e-05,1.287514e-05,1.294505e-05,1.315629e-05,1.330227e-05,1.341134e-05,1.361508e-05,1.364141e-05,1.384770e-05,1.388622e-05,1.403151e-05,1.411864e-05,1.419415e-05,1.431538e-05,1.433695e-05,1.446126e-05,1.447952e-05,1.456838e-05,1.461406e-05,1.465958e-05,1.472191e-05,1.473609e-05,1.479910e-05,1.480580e-05,1.484971e-05,1.486833e-05,1.488899e-05,1.491187e-05,1.491792e-05,1.493744e-05,1.493862e-05,1.494840e-05,1.495057e-05,1.495161e-05,1.494954e-05,1.494781e-05,1.493768e-05,1.493715e-05,1.492185e-05,1.491488e-05,1.490091e-05,1.488401e-05,1.487536e-05,1.484571e-05,1.481239e-05,1.480101e-05,1.477579e-05,1.475083e-05,1.473629e-05,1.469595e-05,1.469422e-05,1.464988e-05,1.463710e-05,1.460354e-05,1.457489e-05,1.455546e-05,1.450987e-05,1.450585e-05,1.445493e-05,1.444254e-05,1.440288e-05,1.437330e-05,1.434987e-05,1.430255e-05,1.429605e-05,1.424156e-05,1.423060e-05,1.418653e-05,1.415774e-05,1.413107e-05,1.408422e-05,1.407528e-05,1.401926e-05,1.401028e-05,1.396309e-05,1.393610e-05,1.390685e-05,1.386186e-05,1.385061e-05,1.379444e-05,1.378770e-05,1.373838e-05,1.371377e-05,1.368251e-05,1.364019e-05,1.362685e-05,1.357146e-05,1.356704e-05,1.351638e-05,1.349443e-05,1.346163e-05,1.342244e-05,1.340726e-05,1.335328e-05,1.335113e-05,1.329974e-05,1.328057e-05,1.324664e-05,1.321080e-05,1.319401e-05,1.314188e-05,1.307384e-05,1.300672e-05,1.294055e-05,1.287535e-05,1.281114e-05,1.274794e-05,1.268576e-05,1.262462e-05,1.256452e-05,1.250546e-05,1.244745e-05,1.239050e-05,1.233459e-05,1.227973e-05,1.222592e-05,1.217314e-05,1.212139e-05,1.207068e-05,1.202097e-05,1.197228e-05,1.192458e-05,1.187787e-05,1.183213e-05,1.178736e-05
0.000000e+00,1.814272e-11,1.003398e-10,1.146871e-09,5.278003e-09,1.033148e-08,4.130905e-08,4.335139e-08,1.222929e-07,1.559990e-07,2.721964e-07,4.070936e-07,5.193280e-07,8.558043e-07,8.907401e-07,1.414056e-06,1.565296e-06,2.116162e-06,2.596200e-06,3.019719e-06,3.992700e-06,4.138505e-06,5.475111e-06,5.768098e-06,7.022787e-06,7.907057e-06,8.769326e-06,1.037954e-05,1.070026e-05,1.280041e-05,1.315111e-05,1.505428e-05,1.618611e-05,1.744604e-05,1.944784e-05,1.995948e-05,2.257808e-05,2.289860e-05,2.528528e-05,2.650026e-05,2.806465e-05,3.021543e-05,3.090028e-05,3.377699e-05,3.400847e-05,3.668056e-05,3.784652e-05,3.959785e-05,4.170005e-05,4.251694e-05,4.542709e-05,4.554317e-05,4.831882e-05,4.935371e-05,5.118385e-05,5.311310e-05,5.401498e-05,5.680609e-05,5.955201e-05,6.042043e-05,6.224843e-05,6.394649e-05,6.489180e-05,6.737688e-05,6.747927e-05,7.000857e-05,7.070611e-05,7.247797e-05,7.393029e-05,7.488615e-05,7.704685e-05,7.723223e-05,7.951563e-05,8.005428e-05,8.173605e-05,8.295196e-05,8.389347e-05,8.574001e-05,8.598805e-05,8.802013e-05,8.841908e-05,8.999018e-05,9.099029e-05,9.189881e-05,9.345511e-05,9.374672e-05,9.553471e-05,9.581529e-05,9.726365e-05,9.807283e-05,9.893446e-05,1.002299e-04,1.005481e-04,1.021056e-04,1.022888e-04,1.036080e-04,1.042519e-04,1.050564e-04,1.061217e-04,1.064518e-04,1.077954e-04,1.079007e-04,1.090883e-04,1.095915e-04,1.103316e-04,1.111967e-04,1.115264e-04,1.126739e-04,1.127188e-04,1.137751e-04,1.141605e-04,1.148313e-04,1.155243e-04,1.158434e-04,1.168127e-04,1.177402e-04,1.180283e-04,1.186270e-04,1.191736e-04,1.194741e-04,1.202510e-04,1.202826e-04,1.210536e-04,1.212629e-04,1.217881e-04,1.222117e-04,1.224871e-04,1.230997e-04,1.231516e-04,1.237826e-04,1.239291e-04,1.243810e-04,1.247022e-04,1.249478e-04,1.254212e-04,1.254839e-04,1.259903e-04,1.260881e-04,1.264679e-04,1.267051e-04,1.269174e-04,1.272740e-04,1.273398e-04,1.277360e-04,1.277970e-04,1.281067e-04,1.282758e-04,1.284527e-04,1.287123e-04,1.287749e-04,1.290740e-04,1.291084e-04,1.293508e-04,1.294656e-04,1.296059e-04,1.297859e-04,1.298402e-04,1.300544e-04,1.300706e-04,1.302490e-04,1.303216e-04,1.304248e-04,1.305402e-04,1.305825e-04,1.307227e-04,1.307279e-04,1.308459e-04,1.308863e-04,1.309529e-04,1.310166e-04,1.310442e-04,1.311203e-04,1.311985e-04,1.312527e-04,1.312839e-04,1.312933e-04,1.312820e-04,1.312512e-04,1.312019e-04,1.311350e-04,1.310516e-04,1.309525e-04,1.308386e-04,1.307109e-04,1.305701e-04,1.304170e-04,1.302524e-04,1.300770e-04,1.298915e-04,1.296966e-04,1.294929e-04,1.292810e-04,1.290616e-04,1.288352e-04,1.286023e-04,1.283634e-04
0.000000e+00,1.304791e-14,8.739478e-14,1.467035e-12,9.433640e-12,2.204285e-11,1.362083e-10,1.453974e-10,6.112365e-10,8.642548e-10,1.933571e-09,3.498969e-09,5.029246e-09,1.067265e-08,1.134032e-08,2.293828e-08,2.680157e-08,4.260282e-08,5.842504e-08,7.387093e-08,1.143901e-07,1.210530e-07,1.892099e-07,2.058527e-07,2.840821e-07,3.460453e-07,4.119619e-07,5.497547e-07,5.795076e-07,7.935081e-07,8.325081e-07,1.060619e-06,1.209555e-06,1.387093e-06,1.694806e-06,1.778532e-06,2.239664e-06,2.299871e-06,2.774182e-06,3.033315e-06,3.384616e-06,3.900161e-06,4.072260e-06,4.837157e-06,4.901658e-06,5.678110e-06,6.035292e-06,6.592738e-06,7.294973e-06,7.577555e-06,8.628074e-06,8.671389e-06,9.738933e-06,1.015246e-05,1.090402e-05,1.172384e-05,1.211661e-05,1.336954e-05,1.465527e-05,1.507239e-05,1.596613e-05,1.681467e-05,1.729434e-05,1.857861e-05,1.863221e-05,1.997222e-05,2.034681e-05,2.130710e-05,2.210268e-05,2.262995e-05,2.383076e-05,2.393429e-05,2.521410e-05,2.551699e-05,2.646392e-05,2.714885e-05,2.767881e-05,2.871557e-05,2.885444e-05,2.998705e-05,3.020812e-05,3.107345e-05,3.161923e-05,3.211103e-05,3.294335e-05,3.309774e-05,3.403205e-05,3.417660e-05,3.491293e-05,3.531658e-05,3.573980e-05,3.636231e-05,3.651253e-05,3.723135e-05,3.731402e-05,3.789687e-05,3.817303e-05,3.850997e-05,3.894157e-05,3.907181e-05,3.958379e-05,3.962264e-05,4.004749e-05,4.021984e-05,4.046465e-05,4.073722e-05,4.083712e-05,4.116685e-05,4.117918e-05,4.145588e-05,4.155036e-05,4.170625e-05,4.185548e-05,4.192005e-05,4.209935e-05,4.224621e-05,4.228669e-05,4.236268e-05,4.242217e-05,4.245071e-05,4.251028e-05,4.251226e-05,4.254917e-05,4.255534e-05,4.256326e-05,4.256147e-05,4.255623e-05,4.253254e-05,4.252974e-05,4.248535e-05,4.247220e-05,4.242454e-05,4.238384e-05,4.234871e-05,4.227061e-05,4.225919e-05,4.215721e-05,4.213543e-05,4.204395e-05,4.198095e-05,4.192048e-05,4.180962e-05,4.178782e-05,4.164693e-05,4.162368e-05,4.149867e-05,4.142513e-05,4.134387e-05,4.121582e-05,4.118328e-05,4.101759e-05,4.099740e-05,4.084746e-05,4.077135e-05,4.067348e-05,4.053901e-05,4.049619e-05,4.031610e-05,4.030158e-05,4.013367e-05,4.006013e-05,3.994932e-05,3.981562e-05,3.976344e-05,3.957640e-05,3.956890e-05,3.938851e-05,3.932072e-05,3.920007e-05,3.907176e-05,3.901136e-05,3.882261e-05,3.857379e-05,3.832576e-05,3.807893e-05,3.783366e-05,3.759025e-05,3.734897e-05,3.711007e-05,3.687374e-05,3.664017e-05,3.640950e-05,3.618185e-05,3.595734e-05,3.573606e-05,3.551807e-05,3.530345e-05,3.509223e-05,3.488445e-05,3.468013e-05,3.447930e-05,3.428195e-05,3.408810e-05,3.389772e-05,3.371083e-05,3.352739e-05
0.000000e+00,1.865048e-12,1.136614e-11,1.571607e-10,8.491973e-10,1.805815e-09,8.792378e-09,9.296620e-09,3.113742e-08,4.146565e-08,8.011353e-08,1.293379e-07,1.729837e-07,3.147775e-07,3.302791e-07,5.761262e-07,6.512514e-07,9.372540e-07,1.199831e-06,1.440076e-06,2.016982e-06,2.106009e-06,2.947193e-06,3.136755e-06,3.964895e-06,4.561431e-06,5.150905e-06,6.266612e-06,6.490561e-06,7.965861e-06,8.213226e-06,9.557804e-06,1.035786e-05,1.124776e-05,1.265839e-05,1.301808e-05,1.485235e-05,1.507603e-05,1.673534e-05,1.757561e-05,1.865295e-05,2.012546e-05,2.059220e-05,2.254120e-05,2.269721e-05,2.448914e-05,2.526581e-05,2.642633e-05,2.780959e-05,2.834419e-05,3.023524e-05,3.031023e-05,3.209307e-05,3.275269e-05,3.391228e-05,3.512499e-05,3.568844e-05,3.741798e-05,3.909810e-05,3.962494e-05,4.072672e-05,4.174131e-05,4.230238e-05,4.376429e-05,4.382412e-05,4.529146e-05,4.569254e-05,4.670428e-05,4.752589e-05,4.806280e-05,4.926509e-05,4.936750e-05,5.061906e-05,5.091162e-05,5.181835e-05,5.246749e-05,5.296637e-05,5.393510e-05,5.406424e-05,5.511314e-05,5.531715e-05,5.611433e-05,5.661653e-05,5.706912e-05,5.783625e-05,5.797883e-05,5.884480e-05,5.897939e-05,5.966839e-05,6.004905e-05,6.045094e-05,6.104835e-05,6.119381e-05,6.189831e-05,6.198034e-05,6.256577e-05,6.284804e-05,6.319746e-05,6.365441e-05,6.379466e-05,6.435860e-05,6.440232e-05,6.489051e-05,6.509456e-05,6.539156e-05,6.573385e-05,6.586290e-05,6.630567e-05,6.632280e-05,6.672096e-05,6.686394e-05,6.710983e-05,6.735969e-05,6.747331e-05,6.781240e-05,6.812808e-05,6.822430e-05,6.842128e-05,6.859756e-05,6.869293e-05,6.893424e-05,6.894389e-05,6.917503e-05,6.923631e-05,6.938718e-05,6.950568e-05,6.958112e-05,6.974414e-05,6.975764e-05,6.991747e-05,6.995343e-05,7.006133e-05,7.013519e-05,7.018993e-05,7.029100e-05,7.030393e-05,7.040398e-05,7.042237e-05,7.049069e-05,7.053072e-05,7.056468e-05,7.061742e-05,7.062652e-05,7.067676e-05,7.068376e-05,7.071596e-05,7.073100e-05,7.074461e-05,7.076029e-05,7.076323e-05,7.077229e-05,7.077276e-05,7.077226e-05,7.076948e-05,7.076357e-05,7.075145e-05,7.074666e-05,7.072194e-05,7.071964e-05,7.068980e-05,7.067495e-05,7.065062e-05,7.061826e-05,7.060477e-05,7.055260e-05,7.055039e-05,7.049445e-05,7.047211e-05,7.043064e-05,7.038417e-05,7.036147e-05,7.028726e-05,7.018205e-05,7.006917e-05,6.994922e-05,6.982275e-05,6.969031e-05,6.955239e-05,6.940947e-05,6.926201e-05,6.911043e-05,6.895513e-05,6.879649e-05,6.863487e-05,6.847062e-05,6.830403e-05,6.813543e-05,6.796508e-05,6.779326e-05,6.762022e-05,6.744619e-05,6.727138e-05,6.709602e-05,6.692029e-05,6.674437e-05,6.656844e-05
0.000000e+00,5.865843e-14,3.986783e-13,6.904801e-12,4.571797e-11,1.085862e-10,7.006443e-10,7.492536e-10,3.293232e-09,4.714447e-09,1.088664e-08,2.022279e-08,2.957589e-08,6.529775e-08,6.962045e-08,1.469301e-07,1.734192e-07,2.845519e-07,3.993629e-07,5.141155e-07,8.248762e-07,8.771062e-07,1.425788e-06,1.563193e-06,2.223588e-06,2.761153e-06,3.344814e-06,4.597941e-06,4.873680e-06,6.902720e-06,7.280315e-06,9.530708e-06,1.103494e-05,1.286025e-05,1.609879e-05,1.699517e-05,2.203789e-05,2.270876e-05,2.808686e-05,3.109119e-05,3.523412e-05,4.145230e-05,4.356314e-05,5.314698e-05,5.396982e-05,6.404673e-05,6.878628e-05,7.631029e-05,8.600414e-05,8.997159e-05,1.050501e-04,1.056829e-04,1.215507e-04,1.278377e-04,1.394639e-04,1.524403e-04,1.587661e-04,1.794206e-04,2.013780e-04,2.086700e-04,2.245780e-04,2.400457e-04,2.489497e-04,2.733751e-04,2.744135e-04,3.008824e-04,3.084612e-04,3.282629e-04,3.450879e-04,3.564566e-04,3.830255e-04,3.853616e-04,4.148738e-04,4.220353e-04,4.448875e-04,4.618749e-04,4.752973e-04,5.023024e-04,5.059985e-04,5.368884e-04,5.430802e-04,5.678669e-04,5.839784e-04,5.988371e-04,6.247777e-04,6.297063e-04,6.603861e-04,6.652716e-04,6.907930e-04,7.052681e-04,7.208486e-04,7.445910e-04,7.504801e-04,7.796202e-04,7.830810e-04,8.082073e-04,8.205957e-04,8.361853e-04,8.570102e-04,8.635042e-04,8.901191e-04,8.922166e-04,9.159908e-04,9.261236e-04,9.410854e-04,9.586560e-04,9.653742e-04,9.888331e-04,9.897539e-04,1.011443e-03,1.019372e-03,1.033189e-03,1.047477e-03,1.054060e-03,1.074049e-03,1.093154e-03,1.099080e-03,1.111374e-03,1.122571e-03,1.128712e-03,1.144533e-03,1.145175e-03,1.160770e-03,1.164983e-03,1.175510e-03,1.183947e-03,1.189405e-03,1.201457e-03,1.202472e-03,1.214727e-03,1.217549e-03,1.226186e-03,1.232263e-03,1.236870e-03,1.245646e-03,1.246798e-03,1.255990e-03,1.257742e-03,1.264469e-03,1.268603e-03,1.272255e-03,1.278278e-03,1.279373e-03,1.285844e-03,1.286820e-03,1.291691e-03,1.294282e-03,1.296937e-03,1.300717e-03,1.301605e-03,1.305719e-03,1.306176e-03,1.309300e-03,1.310713e-03,1.312371e-03,1.314378e-03,1.314954e-03,1.317071e-03,1.317221e-03,1.318743e-03,1.319292e-03,1.319991e-03,1.320638e-03,1.320835e-03,1.321296e-03,1.321306e-03,1.321392e-03,1.321341e-03,1.321143e-03,1.320785e-03,1.320566e-03,1.319680e-03,1.318066e-03,1.315980e-03,1.313459e-03,1.310537e-03,1.307247e-03,1.303619e-03,1.299684e-03,1.295469e-03,1.291001e-03,1.286303e-03,1.281400e-03,1.276312e-03,1.271061e-03,1.265666e-03,1.260145e-03,1.254514e-03,1.248789e-03,1.242985e-03,1.237116e-03,1.231193e-03,1.225229e-03,1.219235e-03,1.213221e-03,1.207196e-03
0.000000e+00,2.070516e-09,5.158802e-09,1.935258e-08,4.576837e-08,6.769603e-08,1.570353e-07,1.618615e-07,3.161812e-07,3.721371e-07,5.451886e-07,7.246893e-07,8.639341e-07,1.249344e-06,1.287398e-06,1.827862e-06,1.975717e-06,2.489770e-06,2.911229e-06,3.265887e-06,4.030747e-06,4.140254e-06,5.094940e-06,5.294061e-06,6.113935e-06,6.664634e-06,7.183634e-06,8.112625e-06,8.292138e-06,9.428638e-06,9.612396e-06,1.058310e-05,1.114085e-05,1.174616e-05,1.267698e-05,1.290920e-05,1.406436e-05,1.420211e-05,1.520468e-05,1.570011e-05,1.632406e-05,1.715758e-05,1.741735e-05,1.848028e-05,1.856389e-05,1.950943e-05,1.991103e-05,2.050220e-05,2.119336e-05,2.145667e-05,2.237156e-05,2.240732e-05,2.324613e-05,2.355104e-05,2.408011e-05,2.462409e-05,2.487364e-05,2.562713e-05,2.634129e-05,2.656166e-05,2.701702e-05,2.742979e-05,2.765536e-05,2.823406e-05,2.825747e-05,2.882461e-05,2.897732e-05,2.935809e-05,2.966259e-05,2.985926e-05,3.029295e-05,3.032946e-05,3.077003e-05,3.087151e-05,3.118231e-05,3.140132e-05,3.156761e-05,3.188537e-05,3.192721e-05,3.226234e-05,3.232654e-05,3.257421e-05,3.272757e-05,3.286397e-05,3.309111e-05,3.313275e-05,3.338161e-05,3.341964e-05,3.361157e-05,3.371554e-05,3.382364e-05,3.398103e-05,3.401873e-05,3.419776e-05,3.421820e-05,3.436157e-05,3.442904e-05,3.451098e-05,3.461539e-05,3.464677e-05,3.476967e-05,3.477897e-05,3.488039e-05,3.492142e-05,3.497960e-05,3.504425e-05,3.506792e-05,3.514596e-05,3.514888e-05,3.521430e-05,3.523663e-05,3.527348e-05,3.530875e-05,3.532401e-05,3.536638e-05,3.540106e-05,3.541061e-05,3.542849e-05,3.544243e-05,3.544909e-05,3.546280e-05,3.546325e-05,3.547135e-05,3.547258e-05,3.547374e-05,3.547258e-05,3.547078e-05,3.546358e-05,3.546277e-05,3.545002e-05,3.544628e-05,3.543282e-05,3.542134e-05,3.541144e-05,3.538938e-05,3.538615e-05,3.535719e-05,3.535098e-05,3.532479e-05,3.530665e-05,3.528917e-05,3.525692e-05,3.525055e-05,3.520912e-05,3.520224e-05,3.516507e-05,3.514305e-05,3.511858e-05,3.507974e-05,3.506982e-05,3.501895e-05,3.501271e-05,3.496612e-05,3.494229e-05,3.491147e-05,3.486881e-05,3.485515e-05,3.479728e-05,3.479259e-05,3.473799e-05,3.471390e-05,3.467738e-05,3.463300e-05,3.461558e-05,3.455269e-05,3.455015e-05,3.448879e-05,3.446557e-05,3.442400e-05,3.437947e-05,3.435840e-05,3.429206e-05,3.420352e-05,3.411403e-05,3.402373e-05,3.393278e-05,3.384133e-05,3.374949e-05,3.365738e-05,3.356512e-05,3.347281e-05,3.338055e-05,3.328842e-05,3.319650e-05,3.310487e-05,3.301360e-05,3.292275e-05,3.283239e-05,3.274256e-05,3.265332e-05,3.256472e-05,3.247679e-05,3.238957e-05,3.230310e-05,3.221742e-05,3.213254e-05
0.000000e+00,9.251617e-14,6.302480e-13,1.096631e-11,7.292430e-11,1.736243e-10,1.127515e-09,1.206062e-09,5.336495e-09,7.653737e-09,1.775891e-08,3.312043e-08,4.856771e-08,1.078854e-07,1.150885e-07,2.445027e-07,2.890404e-07,4.766446e-07,6.714150e-07,8.668139e-07,1.398668e-06,1.488370e-06,2.434783e-06,2.672766e-06,3.820765e-06,4.759481e-06,5.782169e-06,7.987717e-06,8.474553e-06,1.207049e-05,1.274196e-05,1.675583e-05,1.944869e-05,2.272523e-05,2.855870e-05,3.017725e-05,3.930933e-05,4.052725e-05,5.031273e-05,5.579407e-05,6.336796e-05,7.476463e-05,7.864042e-05,9.627681e-05,9.779374e-05,1.164020e-04,1.251723e-04,1.391165e-04,1.571173e-04,1.644951e-04,1.925856e-04,1.937660e-04,2.234082e-04,2.351726e-04,2.569559e-04,2.813089e-04,2.931953e-04,3.320673e-04,3.734892e-04,3.872661e-04,4.173559e-04,4.466566e-04,4.635424e-04,5.099318e-04,5.119062e-04,5.622891e-04,5.767351e-04,6.145201e-04,6.466706e-04,6.684176e-04,7.193122e-04,7.237919e-04,7.804476e-04,7.942135e-04,8.381855e-04,8.709167e-04,8.968051e-04,9.489606e-04,9.561061e-04,1.015891e-03,1.027888e-03,1.075964e-03,1.107254e-03,1.136138e-03,1.186627e-03,1.196229e-03,1.256062e-03,1.265601e-03,1.315471e-03,1.343790e-03,1.374298e-03,1.420841e-03,1.432395e-03,1.489625e-03,1.496428e-03,1.545859e-03,1.570256e-03,1.600981e-03,1.642064e-03,1.654885e-03,1.707476e-03,1.711624e-03,1.758668e-03,1.778736e-03,1.808387e-03,1.843235e-03,1.856567e-03,1.903155e-03,1.904985e-03,1.948104e-03,1.963877e-03,1.991377e-03,2.019831e-03,2.032947e-03,2.072792e-03,2.110899e-03,2.122725e-03,2.147263e-03,2.169621e-03,2.181884e-03,2.213486e-03,2.214768e-03,2.245928e-03,2.254346e-03,2.275381e-03,2.292242e-03,2.303148e-03,2.327226e-03,2.329255e-03,2.353731e-03,2.359366e-03,2.376609e-03,2.388736e-03,2.397925e-03,2.415420e-03,2.417716e-03,2.436022e-03,2.439509e-03,2.452886e-03,2.461100e-03,2.468351e-03,2.480292e-03,2.482460e-03,2.495259e-03,2.497189e-03,2.506795e-03,2.511896e-03,2.517112e-03,2.524521e-03,2.526259e-03,2.534280e-03,2.535169e-03,2.541223e-03,2.543948e-03,2.547134e-03,2.550963e-03,2.552057e-03,2.556038e-03,2.556317e-03,2.559122e-03,2.560113e-03,2.561350e-03,2.562449e-03,2.562766e-03,2.563412e-03,2.563423e-03,2.563327e-03,2.563126e-03,2.562552e-03,2.561649e-03,2.561123e-03,2.559079e-03,2.555499e-03,2.550989e-03,2.545623e-03,2.539475e-03,2.532612e-03,2.525100e-03,2.517000e-03,2.508369e-03,2.499263e-03,2.489733e-03,2.479826e-03,2.469588e-03,2.459061e-03,2.448284e-03,2.437294e-03,2.426125e-03,2.414809e-03,2.403374e-03,2.391849e-03,2.380258e-03,2.368625e-03,2.356970e-03,2.345313e-03,2.333673e-03
0.000000e+00,9.925410e-14,6.769010e-13,1.180840e-11,7.873910e-11,1.877886e-10,1.225937e-09,1.311661e-09,5.843850e-09,8.399967e-09,1.961399e-08,3.680058e-08,5.420220e-08,1.217770e-07,1.300467e-07,2.803107e-07,3.326216e-07,5.554632e-07,7.901687e-07,1.028288e-06,1.686488e-06,1.798670e-06,2.997313e-06,3.302236e-06,4.787710e-06,6.016466e-06,7.366119e-06,1.030627e-05,1.095964e-05,1.582270e-05,1.673684e-05,2.223232e-05,2.594414e-05,3.048257e-05,3.861276e-05,4.087843e-05,5.372958e-05,5.545140e-05,6.934403e-05,7.716760e-05,8.802207e-05,1.044434e-04,1.100505e-04,1.356973e-04,1.379129e-04,1.652072e-04,1.781424e-04,1.987972e-04,2.256140e-04,2.366532e-04,2.789277e-04,2.807124e-04,3.257374e-04,3.437155e-04,3.771618e-04,4.147893e-04,4.332428e-04,4.939847e-04,5.593544e-04,5.812398e-04,6.292827e-04,6.763827e-04,7.036659e-04,7.791387e-04,7.823677e-04,8.652212e-04,8.891384e-04,9.520320e-04,1.005928e-03,1.042581e-03,1.128979e-03,1.136625e-03,1.233905e-03,1.257703e-03,1.334143e-03,1.391461e-03,1.437049e-03,1.529577e-03,1.542325e-03,1.649661e-03,1.671348e-03,1.758747e-03,1.816059e-03,1.869269e-03,1.962989e-03,1.980915e-03,2.093375e-03,2.111423e-03,2.206343e-03,2.260660e-03,2.319521e-03,2.410020e-03,2.432620e-03,2.545361e-03,2.558853e-03,2.657474e-03,2.706539e-03,2.768704e-03,2.852498e-03,2.878808e-03,2.987556e-03,2.996190e-03,3.094733e-03,3.137119e-03,3.200139e-03,3.274831e-03,3.303590e-03,3.404915e-03,3.408922e-03,3.503959e-03,3.539029e-03,3.600582e-03,3.664839e-03,3.694660e-03,3.786080e-03,3.874746e-03,3.902524e-03,3.960575e-03,4.013984e-03,4.043497e-03,4.120313e-03,4.123454e-03,4.200400e-03,4.221401e-03,4.274302e-03,4.317172e-03,4.345136e-03,4.407581e-03,4.412888e-03,4.477555e-03,4.492617e-03,4.539142e-03,4.572291e-03,4.597663e-03,4.646642e-03,4.653139e-03,4.705597e-03,4.715730e-03,4.755073e-03,4.779635e-03,4.801607e-03,4.838455e-03,4.845244e-03,4.886036e-03,4.892302e-03,4.924037e-03,4.941303e-03,4.959305e-03,4.985594e-03,4.991903e-03,5.021895e-03,5.025322e-03,5.049348e-03,5.060641e-03,5.074332e-03,5.091712e-03,5.096918e-03,5.117177e-03,5.118699e-03,5.135183e-03,5.141771e-03,5.151010e-03,5.161098e-03,5.164732e-03,5.176424e-03,5.176851e-03,5.186161e-03,5.189202e-03,5.194016e-03,5.198321e-03,5.200064e-03,5.204377e-03,5.207537e-03,5.207964e-03,5.205819e-03,5.201259e-03,5.194436e-03,5.185498e-03,5.174588e-03,5.161846e-03,5.147404e-03,5.131391e-03,5.113930e-03,5.095140e-03,5.075133e-03,5.054017e-03,5.031895e-03,5.008865e-03,4.985019e-03,4.960446e-03,4.935228e-03,4.909445e-03,4.883171e-03,4.856477e-03,4.829427e-03,4.802084e-03
0.000000e+00,1.841488e-13,1.253334e-12,2.176952e-11,1.445775e-10,3.440438e-10,2.233171e-09,2.388773e-09,1.058369e-08,1.519070e-08,3.534376e-08,6.613146e-08,9.723591e-08,2.176778e-07,2.323921e-07,4.991791e-07,5.918586e-07,9.858187e-07,1.399482e-06,1.817983e-06,2.969312e-06,3.164804e-06,5.241889e-06,5.767177e-06,8.310744e-06,1.039773e-05,1.267479e-05,1.758839e-05,1.867264e-05,2.666937e-05,2.815970e-05,3.704665e-05,4.298725e-05,5.019232e-05,6.296024e-05,6.648993e-05,8.630888e-05,8.894052e-05,1.099952e-04,1.217248e-04,1.378636e-04,1.620121e-04,1.701903e-04,2.072077e-04,2.103776e-04,2.490999e-04,2.672534e-04,2.960003e-04,3.329168e-04,3.479891e-04,4.050939e-04,4.074843e-04,4.672896e-04,4.909132e-04,5.345003e-04,5.830068e-04,6.066021e-04,6.834260e-04,7.647617e-04,7.917026e-04,8.503619e-04,9.072560e-04,9.399467e-04,1.029411e-03,1.033208e-03,1.129816e-03,1.157418e-03,1.229420e-03,1.290470e-03,1.331658e-03,1.427723e-03,1.436157e-03,1.542540e-03,1.568309e-03,1.650427e-03,1.711361e-03,1.759443e-03,1.856016e-03,1.869216e-03,1.979386e-03,2.001436e-03,2.089600e-03,2.146816e-03,2.199521e-03,2.291393e-03,2.308828e-03,2.417215e-03,2.434452e-03,2.524395e-03,2.575334e-03,2.630100e-03,2.713435e-03,2.734083e-03,2.836114e-03,2.848217e-03,2.935986e-03,2.979197e-03,3.033513e-03,3.105960e-03,3.128525e-03,3.220877e-03,3.228146e-03,3.310440e-03,3.345459e-03,3.397104e-03,3.457655e-03,3.480777e-03,3.561386e-03,3.564546e-03,3.638871e-03,3.665993e-03,3.713191e-03,3.761904e-03,3.784315e-03,3.852229e-03,3.916931e-03,3.936959e-03,3.978430e-03,4.016116e-03,4.036744e-03,4.089757e-03,4.091904e-03,4.143946e-03,4.157966e-03,4.192918e-03,4.220849e-03,4.238871e-03,4.278534e-03,4.281866e-03,4.321965e-03,4.331166e-03,4.359238e-03,4.378904e-03,4.393759e-03,4.421921e-03,4.425603e-03,4.454850e-03,4.460395e-03,4.481581e-03,4.494514e-03,4.505879e-03,4.524470e-03,4.527827e-03,4.547513e-03,4.550458e-03,4.565019e-03,4.572673e-03,4.580432e-03,4.591313e-03,4.593837e-03,4.605318e-03,4.606570e-03,4.614958e-03,4.618638e-03,4.622840e-03,4.627704e-03,4.629045e-03,4.633651e-03,4.633953e-03,4.636737e-03,4.637563e-03,4.638379e-03,4.638708e-03,4.638651e-03,4.637624e-03,4.637557e-03,4.635370e-03,4.634271e-03,4.631955e-03,4.629004e-03,4.627446e-03,4.621906e-03,4.613118e-03,4.602776e-03,4.591009e-03,4.577937e-03,4.563678e-03,4.548339e-03,4.532024e-03,4.514829e-03,4.496847e-03,4.478162e-03,4.458854e-03,4.438998e-03,4.418665e-03,4.397919e-03,4.376822e-03,4.355430e-03,4.333796e-03,4.311967e-03,4.289990e-03,4.267907e-03,4.245754e-03,4.223569e-03,4.201383e-03,4.179227e-03
0.000000e+00,2.119505e-14,1.394386e-13,2.253921e-12,1.399406e-11,3.206596e-11,1.882017e-10,2.004719e-10,7.995434e-10,1.114150e-09,2.401693e-09,4.214899e-09,5.936707e-09,1.202996e-08,1.273170e-08,2.451024e-08,2.830323e-08,4.335452e-08,5.786896e-08,7.163848e-08,1.063813e-07,1.119404e-07,1.669416e-07,1.799424e-07,2.393152e-07,2.846691e-07,3.316083e-07,4.262195e-07,4.461189e-07,5.847775e-07,6.093085e-07,7.490406e-07,8.372689e-07,9.398087e-07,1.111725e-06,1.157375e-06,1.401404e-06,1.432427e-06,1.670951e-06,1.797264e-06,1.964499e-06,2.202418e-06,2.280024e-06,2.615078e-06,2.642644e-06,2.966870e-06,3.111600e-06,3.332366e-06,3.602219e-06,3.708373e-06,4.091633e-06,4.107068e-06,4.478899e-06,4.618683e-06,4.867010e-06,5.129862e-06,5.252951e-06,5.633908e-06,6.007302e-06,6.124807e-06,6.370827e-06,6.597359e-06,6.722465e-06,7.047255e-06,7.060496e-06,7.383506e-06,7.471097e-06,7.690372e-06,7.866383e-06,7.980256e-06,8.231457e-06,8.252588e-06,8.507044e-06,8.565437e-06,8.743521e-06,8.868125e-06,8.962118e-06,9.139900e-06,9.163101e-06,9.346885e-06,9.381623e-06,9.514006e-06,9.594530e-06,9.665096e-06,9.780140e-06,9.800864e-06,9.922070e-06,9.940165e-06,1.002951e-05,1.007644e-05,1.012402e-05,1.019085e-05,1.020640e-05,1.027749e-05,1.028530e-05,1.033809e-05,1.036164e-05,1.038899e-05,1.042164e-05,1.043093e-05,1.046465e-05,1.046701e-05,1.049081e-05,1.049932e-05,1.051008e-05,1.052003e-05,1.052306e-05,1.053031e-05,1.053049e-05,1.053236e-05,1.053192e-05,1.052969e-05,1.052542e-05,1.052276e-05,1.051199e-05,1.049774e-05,1.049251e-05,1.048037e-05,1.046776e-05,1.046019e-05,1.043846e-05,1.043750e-05,1.041256e-05,1.040521e-05,1.038561e-05,1.036856e-05,1.035686e-05,1.032900e-05,1.032651e-05,1.029475e-05,1.028694e-05,1.026173e-05,1.024275e-05,1.022761e-05,1.019677e-05,1.019252e-05,1.015657e-05,1.014929e-05,1.011988e-05,1.010055e-05,1.008256e-05,1.005078e-05,1.004469e-05,1.000635e-05,1.000017e-05,9.967618e-06,9.948910e-06,9.928567e-06,9.897139e-06,9.889259e-06,9.849750e-06,9.844998e-06,9.810093e-06,9.792610e-06,9.770336e-06,9.740079e-06,9.730521e-06,9.690689e-06,9.687503e-06,9.650876e-06,9.634964e-06,9.611117e-06,9.582540e-06,9.571441e-06,9.531876e-06,9.530296e-06,9.492448e-06,9.478293e-06,9.453182e-06,9.426584e-06,9.414098e-06,9.375217e-06,9.324234e-06,9.273674e-06,9.223569e-06,9.173949e-06,9.124841e-06,9.076267e-06,9.028248e-06,8.980801e-06,8.933942e-06,8.887683e-06,8.842038e-06,8.797013e-06,8.752618e-06,8.708859e-06,8.665741e-06,8.623267e-06,8.581440e-06,8.540262e-06,8.499731e-06,8.459849e-06,8.420614e-06,8.382023e-06,8.344075e-06,8.306766e-06
0.000000e+00,3.402667e-09,7.737951e-09,2.611283e-08,5.827260e-08,8.408956e-08,1.854113e-07,1.907702e-07,3.586006e-07,4.182649e-07,6.003091e-07,7.863423e-07,9.291785e-07,1.318577e-06,1.356539e-06,1.885016e-06,2.025862e-06,2.502619e-06,2.879123e-06,3.186784e-06,3.825304e-06,3.914212e-06,4.666214e-06,4.818269e-06,5.428851e-06,5.826000e-06,6.191478e-06,6.825714e-06,6.945452e-06,7.683393e-06,7.799534e-06,8.398861e-06,8.732620e-06,9.086231e-06,9.612652e-06,9.740718e-06,1.035841e-05,1.042991e-05,1.093631e-05,1.117741e-05,1.147234e-05,1.185092e-05,1.196526e-05,1.241467e-05,1.244875e-05,1.282091e-05,1.297150e-05,1.318491e-05,1.342164e-05,1.350814e-05,1.379244e-05,1.380303e-05,1.403995e-05,1.412050e-05,1.425301e-05,1.437945e-05,1.443405e-05,1.458559e-05,1.471013e-05,1.474466e-05,1.480996e-05,1.486197e-05,1.488742e-05,1.494275e-05,1.494468e-05,1.498380e-05,1.499176e-05,1.500668e-05,1.501336e-05,1.501510e-05,1.501144e-05,1.501064e-05,1.499479e-05,1.498944e-05,1.496887e-05,1.495042e-05,1.493410e-05,1.489703e-05,1.489154e-05,1.484218e-05,1.483157e-05,1.478688e-05,1.475603e-05,1.472641e-05,1.467214e-05,1.466148e-05,1.459269e-05,1.458137e-05,1.452060e-05,1.448497e-05,1.444569e-05,1.438403e-05,1.436840e-05,1.428912e-05,1.427949e-05,1.420819e-05,1.417214e-05,1.412591e-05,1.406265e-05,1.404256e-05,1.395838e-05,1.395162e-05,1.387359e-05,1.383954e-05,1.378837e-05,1.372684e-05,1.370289e-05,1.361732e-05,1.361389e-05,1.353177e-05,1.350101e-05,1.344638e-05,1.338846e-05,1.336125e-05,1.327648e-05,1.319215e-05,1.316527e-05,1.310834e-05,1.305500e-05,1.302511e-05,1.294582e-05,1.294253e-05,1.286064e-05,1.283785e-05,1.277950e-05,1.273119e-05,1.269915e-05,1.262594e-05,1.261961e-05,1.254093e-05,1.252217e-05,1.246312e-05,1.241995e-05,1.238622e-05,1.231932e-05,1.231025e-05,1.223522e-05,1.222032e-05,1.216114e-05,1.212300e-05,1.208803e-05,1.202737e-05,1.201590e-05,1.194475e-05,1.193346e-05,1.187460e-05,1.184127e-05,1.180544e-05,1.175082e-05,1.173727e-05,1.167010e-05,1.166211e-05,1.160393e-05,1.157514e-05,1.153876e-05,1.148989e-05,1.147458e-05,1.141138e-05,1.140637e-05,1.134917e-05,1.132456e-05,1.128794e-05,1.124446e-05,1.122768e-05,1.116839e-05,1.116603e-05,1.111005e-05,1.108928e-05,1.105266e-05,1.101417e-05,1.099621e-05,1.094069e-05,1.086882e-05,1.079852e-05,1.072979e-05,1.066259e-05,1.059691e-05,1.053270e-05,1.046996e-05,1.040864e-05,1.034873e-05,1.029020e-05,1.023302e-05,1.017717e-05,1.012261e-05,1.006932e-05,1.001728e-05,9.966459e-06,9.916829e-06,9.868366e-06,9.821043e-06,9.774836e-06,9.729721e-06,9.685671e-06,9.642663e-06,9.600673e-06
0.000000e+00,4.234677e-11,2.196967e-10,2.227768e-09,9.329944e-09,1.744148e-08,6.300049e-08,6.587500e-08,1.718489e-07,2.152994e-07,3.609679e-07,5.253642e-07,6.598580e-07,1.056072e-06,1.096812e-06,1.702192e-06,1.876056e-06,2.507498e-06,3.056903e-06,3.541770e-06,4.657511e-06,4.824940e-06,6.361223e-06,6.697985e-06,8.137848e-06,9.148791e-06,1.013032e-05,1.194975e-05,1.230987e-05,1.464854e-05,1.503577e-05,1.712116e-05,1.834891e-05,1.970527e-05,2.183916e-05,2.238059e-05,2.512830e-05,2.546204e-05,2.793071e-05,2.917676e-05,3.077112e-05,3.294555e-05,3.363383e-05,3.650417e-05,3.673371e-05,3.936860e-05,4.050992e-05,4.221482e-05,4.424655e-05,4.503175e-05,4.780964e-05,4.791982e-05,5.053995e-05,5.150977e-05,5.321537e-05,5.500013e-05,5.582975e-05,5.837799e-05,6.085596e-05,6.163352e-05,6.326042e-05,6.475953e-05,6.558891e-05,6.775110e-05,6.783962e-05,7.001137e-05,7.060521e-05,7.210349e-05,7.332043e-05,7.411576e-05,7.589666e-05,7.604835e-05,7.790174e-05,7.833484e-05,7.967667e-05,8.063672e-05,8.137413e-05,8.280475e-05,8.299531e-05,8.454150e-05,8.484186e-05,8.601415e-05,8.675137e-05,8.741480e-05,8.853689e-05,8.874507e-05,9.000666e-05,9.020225e-05,9.120128e-05,9.175143e-05,9.233069e-05,9.318846e-05,9.339666e-05,9.440096e-05,9.451742e-05,9.534536e-05,9.574237e-05,9.623162e-05,9.686739e-05,9.706151e-05,9.783680e-05,9.789651e-05,9.855920e-05,9.883374e-05,9.923044e-05,9.968298e-05,9.985217e-05,1.004261e-04,1.004481e-04,1.009538e-04,1.011327e-04,1.014368e-04,1.017406e-04,1.018769e-04,1.022754e-04,1.026339e-04,1.027405e-04,1.029539e-04,1.031392e-04,1.032368e-04,1.034748e-04,1.034840e-04,1.036969e-04,1.037505e-04,1.038767e-04,1.039693e-04,1.040249e-04,1.041342e-04,1.041426e-04,1.042311e-04,1.042481e-04,1.042915e-04,1.043136e-04,1.043252e-04,1.043334e-04,1.043331e-04,1.043163e-04,1.043101e-04,1.042760e-04,1.042461e-04,1.042132e-04,1.041438e-04,1.041289e-04,1.040239e-04,1.040053e-04,1.038994e-04,1.038330e-04,1.037562e-04,1.036288e-04,1.035952e-04,1.034172e-04,1.033947e-04,1.032230e-04,1.031327e-04,1.030135e-04,1.028446e-04,1.027895e-04,1.025516e-04,1.025320e-04,1.023007e-04,1.021968e-04,1.020374e-04,1.018405e-04,1.017623e-04,1.014762e-04,1.014645e-04,1.011797e-04,1.010705e-04,1.008733e-04,1.006596e-04,1.005576e-04,1.002333e-04,9.979287e-05,9.933942e-05,9.887412e-05,9.839805e-05,9.791224e-05,9.741767e-05,9.691526e-05,9.640590e-05,9.589041e-05,9.536959e-05,9.484418e-05,9.431489e-05,9.378239e-05,9.324730e-05,9.271021e-05,9.217170e-05,9.163229e-05,9.109247e-05,9.055271e-05,9.001345e-05,8.947509e-05,8.893804e-05,8.840264e-05,8.786923e-05
0.000000e+00,1.268333e-12,8.143462e-12,1.252379e-10,7.438114e-10,1.664204e-09,9.204251e-09,9.781454e-09,3.693772e-08,5.075969e-08,1.058698e-07,1.813499e-07,2.517611e-07,4.959947e-07,5.238189e-07,9.863448e-07,1.134198e-06,1.718411e-06,2.279470e-06,2.810195e-06,4.142653e-06,4.354888e-06,6.438089e-06,6.925764e-06,9.128382e-06,1.078348e-05,1.247175e-05,1.580174e-05,1.649034e-05,2.118442e-05,2.199718e-05,2.653610e-05,2.932954e-05,3.251344e-05,3.771773e-05,3.907431e-05,4.616948e-05,4.705429e-05,5.374513e-05,5.721610e-05,6.174464e-05,6.807211e-05,7.011007e-05,7.878320e-05,7.948861e-05,8.770651e-05,9.133326e-05,9.682393e-05,1.034783e-04,1.060815e-04,1.154280e-04,1.158030e-04,1.248152e-04,1.281959e-04,1.341986e-04,1.405562e-04,1.435374e-04,1.527948e-04,1.619378e-04,1.648347e-04,1.709377e-04,1.766108e-04,1.797694e-04,1.880697e-04,1.884115e-04,1.968461e-04,1.991685e-04,2.050584e-04,2.098741e-04,2.130367e-04,2.201619e-04,2.207716e-04,2.282564e-04,2.300150e-04,2.354863e-04,2.394226e-04,2.424585e-04,2.483797e-04,2.491715e-04,2.556255e-04,2.568853e-04,2.618215e-04,2.649422e-04,2.677619e-04,2.725563e-04,2.734495e-04,2.788881e-04,2.797355e-04,2.840821e-04,2.864896e-04,2.890360e-04,2.928297e-04,2.937550e-04,2.982444e-04,2.987680e-04,3.025100e-04,3.043174e-04,3.065574e-04,3.094911e-04,3.103925e-04,3.140212e-04,3.143028e-04,3.174496e-04,3.187662e-04,3.206836e-04,3.228952e-04,3.237293e-04,3.265925e-04,3.267034e-04,3.292792e-04,3.302043e-04,3.317952e-04,3.334114e-04,3.341461e-04,3.363377e-04,3.383755e-04,3.389960e-04,3.402649e-04,3.413988e-04,3.420114e-04,3.435582e-04,3.436200e-04,3.450959e-04,3.454861e-04,3.464441e-04,3.471938e-04,3.476695e-04,3.486924e-04,3.487767e-04,3.497705e-04,3.499926e-04,3.506553e-04,3.511047e-04,3.514354e-04,3.520388e-04,3.521152e-04,3.526988e-04,3.528043e-04,3.531901e-04,3.534105e-04,3.535931e-04,3.538662e-04,3.539116e-04,3.541493e-04,3.541800e-04,3.543096e-04,3.543601e-04,3.543960e-04,3.544142e-04,3.544119e-04,3.543604e-04,3.543499e-04,3.542448e-04,3.541744e-04,3.540681e-04,3.538946e-04,3.538330e-04,3.535426e-04,3.535171e-04,3.531995e-04,3.530481e-04,3.528063e-04,3.524937e-04,3.523656e-04,3.518799e-04,3.518596e-04,3.513515e-04,3.511513e-04,3.507827e-04,3.503740e-04,3.501757e-04,3.495327e-04,3.486321e-04,3.476768e-04,3.466709e-04,3.456187e-04,3.445240e-04,3.433904e-04,3.422215e-04,3.410206e-04,3.397908e-04,3.385351e-04,3.372562e-04,3.359570e-04,3.346398e-04,3.333071e-04,3.319611e-04,3.306040e-04,3.292377e-04,3.278641e-04,3.264850e-04,3.251020e-04,3.237168e-04,3.223307e-04,3.209452e-04,3.195615e-04
0.000000e+00,4.406959e-13,2.790173e-12,4.167468e-11,2.410911e-10,5.318866e-10,2.843404e-09,3.017832e-09,1.108094e-08,1.513153e-08,3.115656e-08,5.300059e-08,7.337437e-08,1.443320e-07,1.524481e-07,2.880664e-07,3.315815e-07,5.034365e-07,6.674142e-07,8.208627e-07,1.196897e-06,1.255460e-06,1.810136e-06,1.934765e-06,2.474250e-06,2.855934e-06,3.226031e-06,3.904602e-06,4.037108e-06,4.877336e-06,5.012547e-06,5.718652e-06,6.115752e-06,6.537528e-06,7.164210e-06,7.316002e-06,8.041711e-06,8.124854e-06,8.707288e-06,8.980124e-06,9.309450e-06,9.724484e-06,9.848021e-06,1.032504e-05,1.036064e-05,1.074400e-05,1.089628e-05,1.110925e-05,1.134166e-05,1.142559e-05,1.169789e-05,1.170793e-05,1.193093e-05,1.200609e-05,1.212923e-05,1.224638e-05,1.229698e-05,1.243800e-05,1.255571e-05,1.258896e-05,1.265316e-05,1.270615e-05,1.273303e-05,1.279534e-05,1.279766e-05,1.284908e-05,1.286136e-05,1.288905e-05,1.290818e-05,1.291908e-05,1.293905e-05,1.294047e-05,1.295433e-05,1.295664e-05,1.296160e-05,1.296310e-05,1.296310e-05,1.296019e-05,1.295951e-05,1.295143e-05,1.294932e-05,1.293937e-05,1.293168e-05,1.292378e-05,1.290822e-05,1.290502e-05,1.288344e-05,1.287974e-05,1.285932e-05,1.284692e-05,1.283292e-05,1.281030e-05,1.280446e-05,1.277414e-05,1.277038e-05,1.274213e-05,1.272756e-05,1.270861e-05,1.268220e-05,1.267371e-05,1.263756e-05,1.263462e-05,1.260029e-05,1.258509e-05,1.256200e-05,1.253386e-05,1.252279e-05,1.248277e-05,1.248115e-05,1.244200e-05,1.242715e-05,1.240057e-05,1.237205e-05,1.235855e-05,1.231600e-05,1.227300e-05,1.225915e-05,1.222959e-05,1.220163e-05,1.218584e-05,1.214356e-05,1.214180e-05,1.209750e-05,1.208506e-05,1.205300e-05,1.202622e-05,1.200834e-05,1.196713e-05,1.196355e-05,1.191867e-05,1.190789e-05,1.187374e-05,1.184856e-05,1.182878e-05,1.178922e-05,1.178383e-05,1.173891e-05,1.172994e-05,1.169406e-05,1.167077e-05,1.164929e-05,1.161176e-05,1.160462e-05,1.156008e-05,1.155297e-05,1.151570e-05,1.149445e-05,1.147147e-05,1.143623e-05,1.142743e-05,1.138359e-05,1.137835e-05,1.133997e-05,1.132084e-05,1.129657e-05,1.126375e-05,1.125342e-05,1.121052e-05,1.120710e-05,1.116788e-05,1.115090e-05,1.112552e-05,1.109520e-05,1.108345e-05,1.104167e-05,1.104000e-05,1.100019e-05,1.098533e-05,1.095902e-05,1.093121e-05,1.091817e-05,1.087764e-05,1.082465e-05,1.077225e-05,1.072044e-05,1.066924e-05,1.061866e-05,1.056869e-05,1.051935e-05,1.047064e-05,1.042257e-05,1.037514e-05,1.032834e-05,1.028219e-05,1.023668e-05,1.019181e-05,1.014759e-05,1.010400e-05,1.006105e-05,1.001874e-05,9.977056e-06,9.936007e-06,9.895584e-06,9.855784e-06,9.816603e-06,9.778036e-06
0.000000e+00,1.436345e-09,4.265113e-09,1.926802e-08,4.964916e-08,7.579437e-08,1.857213e-07,1.917483e-07,3.866943e-07,4.580338e-07,6.796660e-07,9.102611e-07,1.089176e-06,1.582723e-06,1.631238e-06,2.314573e-06,2.499579e-06,3.137177e-06,3.655187e-06,4.089310e-06,5.024546e-06,5.158635e-06,6.332512e-06,6.578714e-06,7.598145e-06,8.288168e-06,8.942312e-06,1.012208e-05,1.035130e-05,1.181108e-05,1.204842e-05,1.330763e-05,1.403499e-05,1.482727e-05,1.605086e-05,1.635703e-05,1.788490e-05,1.806759e-05,1.940007e-05,2.006022e-05,2.089302e-05,2.200775e-05,2.235562e-05,2.378105e-05,2.389331e-05,2.516382e-05,2.570398e-05,2.649962e-05,2.743046e-05,2.778523e-05,2.901837e-05,2.906658e-05,3.019762e-05,3.060880e-05,3.132227e-05,3.205578e-05,3.239223e-05,3.340787e-05,3.436997e-05,3.466670e-05,3.527961e-05,3.583486e-05,3.613812e-05,3.691559e-05,3.694702e-05,3.770793e-05,3.791262e-05,3.842258e-05,3.882991e-05,3.909276e-05,3.967159e-05,3.972027e-05,4.030691e-05,4.044182e-05,4.085448e-05,4.114472e-05,4.136476e-05,4.178432e-05,4.183946e-05,4.228029e-05,4.236453e-05,4.268886e-05,4.288910e-05,4.306676e-05,4.336161e-05,4.341551e-05,4.373659e-05,4.378549e-05,4.403139e-05,4.416396e-05,4.430126e-05,4.450008e-05,4.454749e-05,4.477132e-05,4.479673e-05,4.497392e-05,4.505663e-05,4.515641e-05,4.528231e-05,4.531986e-05,4.546530e-05,4.547618e-05,4.559369e-05,4.564048e-05,4.570595e-05,4.577729e-05,4.580297e-05,4.588558e-05,4.588860e-05,4.595458e-05,4.597623e-05,4.601072e-05,4.604191e-05,4.605471e-05,4.608725e-05,4.610897e-05,4.611374e-05,4.612050e-05,4.612279e-05,4.612241e-05,4.611572e-05,4.611526e-05,4.609958e-05,4.609373e-05,4.607587e-05,4.605799e-05,4.604461e-05,4.600955e-05,4.600623e-05,4.596118e-05,4.594941e-05,4.590985e-05,4.587851e-05,4.585263e-05,4.579770e-05,4.578989e-05,4.572197e-05,4.570780e-05,4.564921e-05,4.560956e-05,4.557191e-05,4.550369e-05,4.549037e-05,4.540488e-05,4.539085e-05,4.531569e-05,4.527165e-05,4.522307e-05,4.514666e-05,4.512726e-05,4.502847e-05,4.501643e-05,4.492693e-05,4.488144e-05,4.482285e-05,4.474216e-05,4.471641e-05,4.460780e-05,4.459903e-05,4.449721e-05,4.445245e-05,4.438478e-05,4.430280e-05,4.427069e-05,4.415508e-05,4.415043e-05,4.403809e-05,4.399566e-05,4.391986e-05,4.383882e-05,4.380051e-05,4.368017e-05,4.351999e-05,4.335852e-05,4.319600e-05,4.303264e-05,4.286863e-05,4.270417e-05,4.253942e-05,4.237456e-05,4.220972e-05,4.204505e-05,4.188067e-05,4.171670e-05,4.155326e-05,4.139045e-05,4.122835e-05,4.106706e-05,4.090667e-05,4.074723e-05,4.058883e-05,4.043152e-05,4.027536e-05,4.012040e-05,3.996670e-05,3.981429e-05
0.000000e+00,7.604050e-10,1.952866e-09,7.538372e-09,1.802947e-08,2.677004e-08,6.256314e-08,6.450465e-08,1.270361e-07,1.499336e-07,2.215002e-07,2.968476e-07,3.559499e-07,5.213453e-07,5.377404e-07,7.696171e-07,8.323694e-07,1.047317e-06,1.219792e-06,1.362594e-06,1.664737e-06,1.707462e-06,2.075696e-06,2.151709e-06,2.462538e-06,2.669734e-06,2.864084e-06,3.210185e-06,3.276842e-06,3.697496e-06,3.765317e-06,4.122816e-06,4.327699e-06,4.549654e-06,4.890172e-06,4.974975e-06,5.395918e-06,5.446009e-06,5.809849e-06,5.989138e-06,6.214407e-06,6.514328e-06,6.607541e-06,6.987528e-06,7.017315e-06,7.352977e-06,7.494836e-06,7.702823e-06,7.944617e-06,8.036314e-06,8.352977e-06,8.365289e-06,8.652583e-06,8.756258e-06,8.935122e-06,9.117585e-06,9.200774e-06,9.449876e-06,9.682884e-06,9.754135e-06,9.900347e-06,1.003165e-05,1.010289e-05,1.028392e-05,1.029118e-05,1.046593e-05,1.051252e-05,1.062784e-05,1.071912e-05,1.077763e-05,1.090535e-05,1.091602e-05,1.104369e-05,1.107282e-05,1.116132e-05,1.122304e-05,1.126954e-05,1.135749e-05,1.136898e-05,1.146020e-05,1.147751e-05,1.154377e-05,1.158438e-05,1.162021e-05,1.167925e-05,1.168998e-05,1.175355e-05,1.176318e-05,1.181134e-05,1.183714e-05,1.186373e-05,1.190201e-05,1.191109e-05,1.195377e-05,1.195859e-05,1.199206e-05,1.200760e-05,1.202628e-05,1.204971e-05,1.205667e-05,1.208350e-05,1.208550e-05,1.210699e-05,1.211550e-05,1.212736e-05,1.214021e-05,1.214481e-05,1.215953e-05,1.216006e-05,1.217168e-05,1.217546e-05,1.218142e-05,1.218675e-05,1.218891e-05,1.219428e-05,1.219766e-05,1.219834e-05,1.219916e-05,1.219920e-05,1.219891e-05,1.219711e-05,1.219700e-05,1.219353e-05,1.219229e-05,1.218860e-05,1.218497e-05,1.218228e-05,1.217532e-05,1.217467e-05,1.216582e-05,1.216353e-05,1.215582e-05,1.214974e-05,1.214474e-05,1.213413e-05,1.213262e-05,1.211954e-05,1.211681e-05,1.210555e-05,1.209793e-05,1.209069e-05,1.207759e-05,1.207503e-05,1.205860e-05,1.205590e-05,1.204145e-05,1.203298e-05,1.202363e-05,1.200891e-05,1.200517e-05,1.198611e-05,1.198378e-05,1.196649e-05,1.195768e-05,1.194633e-05,1.193068e-05,1.192568e-05,1.190456e-05,1.190285e-05,1.188301e-05,1.187427e-05,1.186104e-05,1.184499e-05,1.183869e-05,1.181598e-05,1.181507e-05,1.179294e-05,1.178457e-05,1.176959e-05,1.175355e-05,1.174595e-05,1.172204e-05,1.169011e-05,1.165778e-05,1.162511e-05,1.159213e-05,1.155887e-05,1.152538e-05,1.149168e-05,1.145780e-05,1.142378e-05,1.138963e-05,1.135539e-05,1.132108e-05,1.128672e-05,1.125234e-05,1.121795e-05,1.118357e-05,1.114922e-05,1.111492e-05,1.108068e-05,1.104653e-05,1.101246e-05,1.097850e-05,1.094466e-05,1.091095e-05
0.000000e+00,3.169819e-14,2.070574e-13,3.297459e-12,2.019497e-11,4.592716e-11,2.643450e-10,2.813560e-10,1.100672e-09,1.525792e-09,3.246595e-09,5.639037e-09,7.890031e-09,1.575848e-08,1.665765e-08,3.161378e-08,3.638902e-08,5.520684e-08,7.320806e-08,9.018995e-08,1.327418e-07,1.395191e-07,2.062231e-07,2.219109e-07,2.932356e-07,3.473996e-07,4.031862e-07,5.148235e-07,5.381683e-07,6.995212e-07,7.278270e-07,8.876685e-07,9.873679e-07,1.102042e-06,1.291418e-06,1.341100e-06,1.602424e-06,1.635137e-06,1.882887e-06,2.011427e-06,2.178840e-06,2.411692e-06,2.486320e-06,2.801236e-06,2.826629e-06,3.119545e-06,3.246944e-06,3.437384e-06,3.663922e-06,3.751187e-06,4.057755e-06,4.069826e-06,4.354303e-06,4.458143e-06,4.638491e-06,4.823694e-06,4.908424e-06,5.162636e-06,5.400069e-06,5.472384e-06,5.620043e-06,5.751492e-06,5.822213e-06,5.999498e-06,6.006530e-06,6.173199e-06,6.216756e-06,6.322637e-06,6.404268e-06,6.455433e-06,6.563527e-06,6.572310e-06,6.674092e-06,6.696372e-06,6.761675e-06,6.804866e-06,6.835994e-06,6.891186e-06,6.898011e-06,6.948683e-06,6.957540e-06,6.988960e-06,7.006101e-06,7.019759e-06,7.038954e-06,7.041964e-06,7.056414e-06,7.058060e-06,7.063900e-06,7.065239e-06,7.065161e-06,7.062152e-06,7.060885e-06,7.051705e-06,7.050303e-06,7.038205e-06,7.031034e-06,7.020914e-06,7.005536e-06,7.000315e-06,6.976845e-06,6.974855e-06,6.950898e-06,6.939906e-06,6.922827e-06,6.901481e-06,6.892950e-06,6.861550e-06,6.860266e-06,6.828880e-06,6.816851e-06,6.795162e-06,6.771739e-06,6.760597e-06,6.725361e-06,6.689610e-06,6.678083e-06,6.653480e-06,6.630216e-06,6.617094e-06,6.582020e-06,6.580557e-06,6.543963e-06,6.533718e-06,6.507394e-06,6.485495e-06,6.470922e-06,6.437509e-06,6.434611e-06,6.398515e-06,6.389890e-06,6.362682e-06,6.342747e-06,6.327155e-06,6.296172e-06,6.291968e-06,6.257154e-06,6.250238e-06,6.222739e-06,6.205008e-06,6.188745e-06,6.160531e-06,6.155193e-06,6.122098e-06,6.116847e-06,6.089476e-06,6.073988e-06,6.057336e-06,6.031979e-06,6.025689e-06,5.994542e-06,5.990838e-06,5.963901e-06,5.950580e-06,5.933770e-06,5.911213e-06,5.904152e-06,5.875048e-06,5.872742e-06,5.846460e-06,5.835169e-06,5.818387e-06,5.798493e-06,5.790828e-06,5.763781e-06,5.762710e-06,5.737244e-06,5.727815e-06,5.711213e-06,5.693799e-06,5.685684e-06,5.660654e-06,5.628370e-06,5.596936e-06,5.566338e-06,5.536565e-06,5.507601e-06,5.479432e-06,5.452043e-06,5.425419e-06,5.399544e-06,5.374402e-06,5.349977e-06,5.326255e-06,5.303217e-06,5.280849e-06,5.259135e-06,5.238058e-06,5.217603e-06,5.197754e-06,5.178496e-06,5.159813e-06,5.141691e-06,5.124115e-06,5.107070e-06,5.090541e-06
0.000000e+00,1.888144e-13,1.205774e-12,1.832572e-11,1.075896e-10,2.391115e-10,1.297911e-09,1.378187e-09,5.095766e-09,6.959137e-09,1.427442e-08,2.409440e-08,3.310923e-08,6.363431e-08,6.705442e-08,1.226895e-07,1.400877e-07,2.075229e-07,2.707965e-07,3.296656e-07,4.744900e-07,4.972547e-07,7.175795e-07,7.684945e-07,9.960794e-07,1.164931e-06,1.335527e-06,1.667654e-06,1.735651e-06,2.193246e-06,2.271445e-06,2.702660e-06,2.963457e-06,3.256484e-06,3.725851e-06,3.846256e-06,4.463090e-06,4.538507e-06,5.098169e-06,5.381198e-06,5.743097e-06,6.235038e-06,6.390134e-06,7.032327e-06,7.083304e-06,7.663577e-06,7.911814e-06,8.278659e-06,8.709022e-06,8.873204e-06,9.443662e-06,9.465938e-06,9.987260e-06,1.017596e-05,1.050194e-05,1.083465e-05,1.098628e-05,1.143946e-05,1.186117e-05,1.198947e-05,1.225151e-05,1.248508e-05,1.261097e-05,1.292775e-05,1.294036e-05,1.324071e-05,1.331977e-05,1.351325e-05,1.366398e-05,1.375933e-05,1.396359e-05,1.398039e-05,1.417793e-05,1.422201e-05,1.435347e-05,1.444271e-05,1.450849e-05,1.462912e-05,1.464448e-05,1.476285e-05,1.478453e-05,1.486495e-05,1.491204e-05,1.495207e-05,1.501457e-05,1.502543e-05,1.508615e-05,1.509477e-05,1.513531e-05,1.515509e-05,1.517389e-05,1.519775e-05,1.520280e-05,1.522286e-05,1.522471e-05,1.523486e-05,1.523776e-05,1.523949e-05,1.523848e-05,1.523739e-05,1.522916e-05,1.522826e-05,1.521534e-05,1.520835e-05,1.519640e-05,1.517986e-05,1.517281e-05,1.514497e-05,1.514378e-05,1.511326e-05,1.510096e-05,1.507800e-05,1.505217e-05,1.503953e-05,1.499811e-05,1.495401e-05,1.493937e-05,1.490747e-05,1.487650e-05,1.485870e-05,1.480998e-05,1.480791e-05,1.475529e-05,1.474025e-05,1.470099e-05,1.466768e-05,1.464519e-05,1.459264e-05,1.458802e-05,1.452961e-05,1.451542e-05,1.447009e-05,1.443632e-05,1.440958e-05,1.435558e-05,1.434817e-05,1.428597e-05,1.427345e-05,1.422307e-05,1.419011e-05,1.415955e-05,1.410578e-05,1.409550e-05,1.403098e-05,1.402061e-05,1.396606e-05,1.393477e-05,1.390080e-05,1.384840e-05,1.383528e-05,1.376953e-05,1.376163e-05,1.370362e-05,1.367457e-05,1.363758e-05,1.358735e-05,1.357147e-05,1.350533e-05,1.350004e-05,1.343920e-05,1.341275e-05,1.337311e-05,1.332557e-05,1.330709e-05,1.324119e-05,1.323856e-05,1.317543e-05,1.315179e-05,1.310983e-05,1.306533e-05,1.304443e-05,1.297924e-05,1.289357e-05,1.280837e-05,1.272368e-05,1.263954e-05,1.255599e-05,1.247307e-05,1.239079e-05,1.230919e-05,1.222830e-05,1.214812e-05,1.206870e-05,1.199003e-05,1.191214e-05,1.183503e-05,1.175873e-05,1.168324e-05,1.160856e-05,1.153472e-05,1.146170e-05,1.138952e-05,1.131818e-05,1.124768e-05,1.117803e-05,1.110921e-05
0.000000e+00,4.794426e-13,3.086084e-12,4.770772e-11,2.846818e-10,6.386090e-10,3.556605e-09,3.780749e-09,1.438500e-08,1.981126e-08,4.156360e-08,7.156272e-08,9.969739e-08,1.980032e-07,2.092520e-07,3.969668e-07,4.571003e-07,6.944803e-07,9.214569e-07,1.134889e-06,1.664660e-06,1.748238e-06,2.557658e-06,2.744478e-06,3.577212e-06,4.192306e-06,4.811484e-06,6.011474e-06,6.256438e-06,7.900921e-06,8.181508e-06,9.728335e-06,1.066457e-05,1.171822e-05,1.341176e-05,1.384765e-05,1.609234e-05,1.636828e-05,1.842759e-05,1.947749e-05,2.082903e-05,2.268390e-05,2.327319e-05,2.573800e-05,2.593545e-05,2.820309e-05,2.918502e-05,3.065009e-05,3.239150e-05,3.306271e-05,3.542688e-05,3.552027e-05,3.773069e-05,3.854333e-05,3.996432e-05,4.143904e-05,4.211996e-05,4.419162e-05,4.617498e-05,4.679051e-05,4.806719e-05,4.922958e-05,4.986666e-05,5.150647e-05,5.157293e-05,5.318644e-05,5.362175e-05,5.470838e-05,5.557834e-05,5.614058e-05,5.738089e-05,5.748531e-05,5.874525e-05,5.903533e-05,5.992330e-05,6.054840e-05,6.102259e-05,6.192737e-05,6.204634e-05,6.299785e-05,6.317978e-05,6.388043e-05,6.431321e-05,6.469735e-05,6.533520e-05,6.545186e-05,6.614712e-05,6.625307e-05,6.678621e-05,6.707391e-05,6.737212e-05,6.780448e-05,6.790771e-05,6.839574e-05,6.845124e-05,6.883886e-05,6.902026e-05,6.923959e-05,6.951729e-05,6.960035e-05,6.992343e-05,6.994771e-05,7.021101e-05,7.031657e-05,7.046517e-05,7.062859e-05,7.068789e-05,7.088103e-05,7.088817e-05,7.104637e-05,7.109941e-05,7.118558e-05,7.126613e-05,7.130025e-05,7.139188e-05,7.146189e-05,7.147995e-05,7.151163e-05,7.153342e-05,7.154237e-05,7.155512e-05,7.155531e-05,7.155159e-05,7.154770e-05,7.153226e-05,7.151361e-05,7.149836e-05,7.145511e-05,7.145083e-05,7.139057e-05,7.137432e-05,7.131845e-05,7.127317e-05,7.123526e-05,7.115350e-05,7.114176e-05,7.103867e-05,7.101696e-05,7.092666e-05,7.086511e-05,7.080639e-05,7.069940e-05,7.067843e-05,7.054338e-05,7.052115e-05,7.040176e-05,7.033159e-05,7.025407e-05,7.013188e-05,7.010080e-05,6.994240e-05,6.992307e-05,6.977929e-05,6.970613e-05,6.961187e-05,6.948198e-05,6.944052e-05,6.926559e-05,6.925146e-05,6.908743e-05,6.901533e-05,6.890635e-05,6.877433e-05,6.872264e-05,6.853659e-05,6.852911e-05,6.834847e-05,6.828029e-05,6.815852e-05,6.802843e-05,6.796698e-05,6.777407e-05,6.751768e-05,6.725972e-05,6.700059e-05,6.674068e-05,6.648034e-05,6.621989e-05,6.595963e-05,6.569983e-05,6.544075e-05,6.518262e-05,6.492565e-05,6.467003e-05,6.441594e-05,6.416355e-05,6.391299e-05,6.366441e-05,6.341793e-05,6.317364e-05,6.293167e-05,6.269208e-05,6.245497e-05,6.222041e-05,6.198845e-05,6.175916e-05
0.000000e+00,8.206915e-12,4.740393e-11,5.893058e-10,2.908829e-09,5.903710e-09,2.577543e-08,2.714347e-08,8.322118e-08,1.085931e-07,2.008060e-07,3.152638e-07,4.154370e-07,7.366455e-07,7.714550e-07,1.314784e-06,1.477075e-06,2.076631e-06,2.600927e-06,3.059558e-06,4.087833e-06,4.238354e-06,5.572557e-06,5.854224e-06,7.019483e-06,7.803701e-06,8.541657e-06,9.856152e-06,1.010889e-05,1.169744e-05,1.195227e-05,1.328842e-05,1.404833e-05,1.486643e-05,1.611082e-05,1.641866e-05,1.793438e-05,1.811338e-05,1.940474e-05,2.003542e-05,2.082256e-05,2.186150e-05,2.218230e-05,2.347988e-05,2.358092e-05,2.471260e-05,2.518715e-05,2.587893e-05,2.667726e-05,2.697837e-05,2.801125e-05,2.805120e-05,2.897863e-05,2.931113e-05,2.988205e-05,3.046086e-05,3.072352e-05,3.150529e-05,3.222984e-05,3.245003e-05,3.289976e-05,3.330106e-05,3.351770e-05,3.406449e-05,3.408632e-05,3.460827e-05,3.474641e-05,3.508612e-05,3.535271e-05,3.552238e-05,3.588909e-05,3.591947e-05,3.627971e-05,3.636094e-05,3.660532e-05,3.677333e-05,3.689841e-05,3.713103e-05,3.716099e-05,3.739496e-05,3.743848e-05,3.760211e-05,3.769979e-05,3.778414e-05,3.791881e-05,3.794265e-05,3.807916e-05,3.809905e-05,3.819507e-05,3.824379e-05,3.829173e-05,3.835604e-05,3.837039e-05,3.843223e-05,3.843857e-05,3.847836e-05,3.849395e-05,3.850982e-05,3.852453e-05,3.852759e-05,3.853259e-05,3.853247e-05,3.852568e-05,3.851977e-05,3.850767e-05,3.848826e-05,3.847932e-05,3.844134e-05,3.843963e-05,3.839439e-05,3.837542e-05,3.833912e-05,3.829707e-05,3.827610e-05,3.820589e-05,3.812901e-05,3.810307e-05,3.804594e-05,3.798974e-05,3.795714e-05,3.786691e-05,3.786305e-05,3.776406e-05,3.773551e-05,3.766055e-05,3.759642e-05,3.755288e-05,3.745043e-05,3.744138e-05,3.732636e-05,3.729827e-05,3.720813e-05,3.714061e-05,3.708695e-05,3.697808e-05,3.696309e-05,3.683678e-05,3.681125e-05,3.670827e-05,3.664064e-05,3.657775e-05,3.646673e-05,3.644545e-05,3.631153e-05,3.628997e-05,3.617619e-05,3.611077e-05,3.603960e-05,3.592952e-05,3.590190e-05,3.576324e-05,3.574655e-05,3.562378e-05,3.556219e-05,3.548363e-05,3.537673e-05,3.534291e-05,3.520175e-05,3.519045e-05,3.506026e-05,3.500359e-05,3.491852e-05,3.481638e-05,3.477664e-05,3.463471e-05,3.462904e-05,3.449282e-05,3.444176e-05,3.435103e-05,3.425471e-05,3.420942e-05,3.406807e-05,3.388197e-05,3.369657e-05,3.351198e-05,3.332832e-05,3.314570e-05,3.296421e-05,3.278394e-05,3.260497e-05,3.242737e-05,3.225120e-05,3.207653e-05,3.190340e-05,3.173188e-05,3.156199e-05,3.139378e-05,3.122727e-05,3.106251e-05,3.089952e-05,3.073830e-05,3.057890e-05,3.042131e-05,3.026556e-05,3.011165e-05,2.995960e-05
0.000000e+00,5.196847e-13,3.288376e-12,4.901866e-11,2.826369e-10,6.218422e-10,3.286694e-09,3.486134e-09,1.254215e-08,1.699896e-08,3.419863e-08,5.680839e-08,7.723939e-08,1.449017e-07,1.523708e-07,2.716553e-07,3.082712e-07,4.479220e-07,5.763562e-07,6.940834e-07,9.781089e-07,1.022153e-06,1.441797e-06,1.537297e-06,1.958588e-06,2.265952e-06,2.572504e-06,3.158867e-06,3.277311e-06,4.061062e-06,4.192747e-06,4.907523e-06,5.330660e-06,5.798025e-06,6.529161e-06,6.713288e-06,7.634908e-06,7.745120e-06,8.546370e-06,8.940483e-06,9.433641e-06,1.008470e-05,1.028536e-05,1.109279e-05,1.115527e-05,1.184961e-05,1.213717e-05,1.255164e-05,1.302180e-05,1.319654e-05,1.378348e-05,1.380575e-05,1.431287e-05,1.448960e-05,1.478608e-05,1.507685e-05,1.520527e-05,1.557311e-05,1.589268e-05,1.598528e-05,1.616728e-05,1.632100e-05,1.640033e-05,1.658818e-05,1.659529e-05,1.675553e-05,1.679463e-05,1.688433e-05,1.694783e-05,1.698481e-05,1.705473e-05,1.705986e-05,1.711222e-05,1.712169e-05,1.714437e-05,1.715440e-05,1.715858e-05,1.715789e-05,1.715692e-05,1.714123e-05,1.713656e-05,1.711319e-05,1.709422e-05,1.707427e-05,1.703413e-05,1.702579e-05,1.696892e-05,1.695911e-05,1.690469e-05,1.687152e-05,1.683403e-05,1.677340e-05,1.675773e-05,1.667651e-05,1.666647e-05,1.659101e-05,1.655218e-05,1.650178e-05,1.643177e-05,1.640931e-05,1.631405e-05,1.630632e-05,1.621637e-05,1.617671e-05,1.611664e-05,1.604373e-05,1.601516e-05,1.591220e-05,1.590805e-05,1.580801e-05,1.577025e-05,1.570282e-05,1.563081e-05,1.559682e-05,1.549019e-05,1.538309e-05,1.534874e-05,1.527567e-05,1.520682e-05,1.516807e-05,1.506471e-05,1.506040e-05,1.495277e-05,1.492266e-05,1.484529e-05,1.478091e-05,1.473804e-05,1.463965e-05,1.463111e-05,1.452456e-05,1.449906e-05,1.441848e-05,1.435930e-05,1.431292e-05,1.422050e-05,1.420793e-05,1.410358e-05,1.408279e-05,1.399990e-05,1.394627e-05,1.389695e-05,1.381105e-05,1.379475e-05,1.369334e-05,1.367719e-05,1.359275e-05,1.354477e-05,1.349301e-05,1.341385e-05,1.339415e-05,1.329618e-05,1.328449e-05,1.319913e-05,1.315672e-05,1.310301e-05,1.303060e-05,1.300784e-05,1.291364e-05,1.290614e-05,1.282041e-05,1.278339e-05,1.272816e-05,1.266235e-05,1.263690e-05,1.254663e-05,1.254304e-05,1.245737e-05,1.242548e-05,1.236911e-05,1.230967e-05,1.228186e-05,1.219562e-05,1.208333e-05,1.197279e-05,1.186400e-05,1.175696e-05,1.165166e-05,1.154807e-05,1.144620e-05,1.134603e-05,1.124754e-05,1.115072e-05,1.105554e-05,1.096200e-05,1.087006e-05,1.077971e-05,1.069093e-05,1.060370e-05,1.051799e-05,1.043378e-05,1.035105e-05,1.026978e-05,1.018995e-05,1.011152e-05,1.003449e-05,9.958813e-06
0.000000e+00,7.634071e-14,4.911928e-13,7.579753e-12,4.509878e-11,1.009428e-10,5.575396e-10,5.924240e-10,2.224917e-09,3.050433e-09,6.314485e-09,1.072901e-08,1.480044e-08,2.865500e-08,3.021125e-08,5.557445e-08,6.351476e-08,9.429482e-08,1.231626e-07,1.500049e-07,2.159965e-07,2.263675e-07,3.267966e-07,3.500322e-07,4.540925e-07,5.315484e-07,6.100444e-07,7.635658e-07,7.951075e-07,1.008248e-06,1.044810e-06,1.247002e-06,1.369664e-06,1.507710e-06,1.729078e-06,1.785872e-06,2.076527e-06,2.112004e-06,2.374620e-06,2.506873e-06,2.675296e-06,2.902787e-06,2.974118e-06,3.267212e-06,3.290311e-06,3.551337e-06,3.661873e-06,3.823897e-06,4.011849e-06,4.082922e-06,4.327022e-06,4.336461e-06,4.555322e-06,4.633547e-06,4.767389e-06,4.902279e-06,4.963164e-06,5.142886e-06,5.307032e-06,5.356373e-06,5.456259e-06,5.544292e-06,5.591349e-06,5.708540e-06,5.713169e-06,5.822631e-06,5.851192e-06,5.920665e-06,5.974385e-06,6.008195e-06,6.080218e-06,6.086119e-06,6.155296e-06,6.170688e-06,6.216536e-06,6.247649e-06,6.270598e-06,6.312792e-06,6.318182e-06,6.359928e-06,6.367630e-06,6.396422e-06,6.413500e-06,6.428191e-06,6.451576e-06,6.455712e-06,6.479410e-06,6.482874e-06,6.499668e-06,6.508271e-06,6.516825e-06,6.528521e-06,6.531182e-06,6.543010e-06,6.544271e-06,6.552546e-06,6.556071e-06,6.560003e-06,6.564396e-06,6.565568e-06,6.569411e-06,6.569648e-06,6.571680e-06,6.572177e-06,6.572509e-06,6.572283e-06,6.572020e-06,6.570318e-06,6.570227e-06,6.567503e-06,6.566233e-06,6.563660e-06,6.560502e-06,6.558871e-06,6.553207e-06,6.546735e-06,6.544504e-06,6.539516e-06,6.534529e-06,6.531604e-06,6.523406e-06,6.523053e-06,6.513908e-06,6.511247e-06,6.504214e-06,6.498151e-06,6.494012e-06,6.484210e-06,6.483339e-06,6.472232e-06,6.469506e-06,6.460723e-06,6.454114e-06,6.448844e-06,6.438107e-06,6.436623e-06,6.424088e-06,6.421545e-06,6.411264e-06,6.404491e-06,6.398177e-06,6.386996e-06,6.384848e-06,6.371299e-06,6.369112e-06,6.357550e-06,6.350885e-06,6.343619e-06,6.332357e-06,6.329526e-06,6.315287e-06,6.313569e-06,6.300917e-06,6.294557e-06,6.286432e-06,6.275355e-06,6.271846e-06,6.257173e-06,6.255996e-06,6.242425e-06,6.236508e-06,6.227616e-06,6.216920e-06,6.212755e-06,6.197854e-06,6.197257e-06,6.182924e-06,6.177543e-06,6.167973e-06,6.157799e-06,6.153011e-06,6.138047e-06,6.118304e-06,6.098589e-06,6.078917e-06,6.059305e-06,6.039766e-06,6.020312e-06,6.000957e-06,5.981711e-06,5.962584e-06,5.943585e-06,5.924724e-06,5.906007e-06,5.887444e-06,5.869039e-06,5.850799e-06,5.832730e-06,5.814837e-06,5.797124e-06,5.779595e-06,5.762253e-06,5.745103e-06,5.728147e-06,5.711386e-06,5.694825e-06
0.000000e+00,2.333413e-14,1.589777e-13,2.766513e-12,1.839871e-11,4.380813e-11,2.845537e-10,3.043801e-10,1.347238e-09,1.932459e-09,4.485386e-09,8.368160e-09,1.227436e-08,2.728613e-08,2.911012e-08,6.191078e-08,7.321008e-08,1.208528e-07,1.703787e-07,2.201136e-07,3.556637e-07,3.785451e-07,6.201916e-07,6.810075e-07,9.745819e-07,1.214841e-06,1.476763e-06,2.042174e-06,2.167074e-06,3.090690e-06,3.263365e-06,4.296954e-06,4.991724e-06,5.838552e-06,7.350231e-06,7.770565e-06,1.014944e-05,1.046763e-05,1.303188e-05,1.447415e-05,1.647379e-05,1.949714e-05,2.052916e-05,2.524904e-05,2.565678e-05,3.068054e-05,3.306205e-05,3.686599e-05,4.180724e-05,4.384215e-05,5.163954e-05,5.196888e-05,6.028194e-05,6.360349e-05,6.978598e-05,7.674592e-05,8.016091e-05,9.140844e-05,1.035228e-04,1.075806e-04,1.164909e-04,1.252295e-04,1.302925e-04,1.443010e-04,1.449005e-04,1.602815e-04,1.647215e-04,1.763963e-04,1.863991e-04,1.932004e-04,2.092268e-04,2.106447e-04,2.286759e-04,2.330844e-04,2.472373e-04,2.578412e-04,2.662696e-04,2.833588e-04,2.857113e-04,3.054997e-04,3.094933e-04,3.255709e-04,3.360984e-04,3.458609e-04,3.630271e-04,3.663062e-04,3.868439e-04,3.901343e-04,4.074123e-04,4.172784e-04,4.279515e-04,4.443230e-04,4.484037e-04,4.687135e-04,4.711385e-04,4.888279e-04,4.976033e-04,5.086969e-04,5.236044e-04,5.282738e-04,5.475147e-04,5.490382e-04,5.663793e-04,5.738113e-04,5.848304e-04,5.978402e-04,6.028344e-04,6.203611e-04,6.210518e-04,6.373834e-04,6.433834e-04,6.538778e-04,6.647820e-04,6.698239e-04,6.852044e-04,7.000050e-04,7.046168e-04,7.142143e-04,7.229940e-04,7.278239e-04,7.403192e-04,7.408277e-04,7.532221e-04,7.565832e-04,7.650060e-04,7.717836e-04,7.761803e-04,7.859248e-04,7.867480e-04,7.967137e-04,7.990166e-04,8.060839e-04,8.110740e-04,8.148666e-04,8.221168e-04,8.230712e-04,8.307082e-04,8.321685e-04,8.377893e-04,8.412559e-04,8.443271e-04,8.494090e-04,8.503353e-04,8.558278e-04,8.566598e-04,8.608197e-04,8.630424e-04,8.653261e-04,8.685923e-04,8.693628e-04,8.729458e-04,8.733461e-04,8.760913e-04,8.773409e-04,8.788156e-04,8.806145e-04,8.811352e-04,8.830664e-04,8.832046e-04,8.846256e-04,8.851487e-04,8.858290e-04,8.864842e-04,8.866927e-04,8.872326e-04,8.872477e-04,8.874642e-04,8.874752e-04,8.874030e-04,8.872018e-04,8.870639e-04,8.864617e-04,8.852879e-04,8.837123e-04,8.817656e-04,8.794774e-04,8.768755e-04,8.739871e-04,8.708377e-04,8.674514e-04,8.638514e-04,8.600594e-04,8.560959e-04,8.519801e-04,8.477302e-04,8.433631e-04,8.388949e-04,8.343403e-04,8.297131e-04,8.250263e-04,8.202917e-04,8.155206e-04,8.107230e-04,8.059086e-04,8.010859e-04,7.962630e-04
0.000000e+00,3.966978e-14,2.650054e-13,4.425270e-12,2.832772e-11,6.603576e-11,4.058394e-10,4.331332e-10,1.813496e-09,2.562127e-09,5.724606e-09,1.035689e-08,1.489132e-08,3.167225e-08,3.366359e-08,6.843485e-08,8.008494e-08,1.280246e-07,1.764101e-07,2.239325e-07,3.495596e-07,3.703163e-07,5.835826e-07,6.358199e-07,8.816064e-07,1.076172e-06,1.282715e-06,1.712303e-06,1.804612e-06,2.463379e-06,2.582434e-06,3.272659e-06,3.717817e-06,4.243059e-06,5.140340e-06,5.381774e-06,6.692419e-06,6.861288e-06,8.175037e-06,8.881119e-06,9.826256e-06,1.119003e-05,1.163955e-05,1.360556e-05,1.376911e-05,1.571255e-05,1.659179e-05,1.794675e-05,1.962559e-05,2.029284e-05,2.273439e-05,2.283380e-05,2.525424e-05,2.617718e-05,2.783489e-05,2.961554e-05,3.045888e-05,3.310906e-05,3.576888e-05,3.661947e-05,3.842263e-05,4.011100e-05,4.105558e-05,4.355103e-05,4.365415e-05,4.620599e-05,4.691060e-05,4.870006e-05,5.016467e-05,5.112663e-05,5.329223e-05,5.347731e-05,5.574502e-05,5.627625e-05,5.792393e-05,5.910356e-05,6.000941e-05,6.176453e-05,6.199794e-05,6.388708e-05,6.425283e-05,6.567531e-05,6.656506e-05,6.736197e-05,6.870036e-05,6.894720e-05,7.043181e-05,7.066009e-05,7.181718e-05,7.244745e-05,7.310522e-05,7.406713e-05,7.429826e-05,7.539900e-05,7.552502e-05,7.641040e-05,7.682793e-05,7.733565e-05,7.798331e-05,7.817814e-05,7.894133e-05,7.899907e-05,7.962879e-05,7.988338e-05,8.024412e-05,8.064450e-05,8.079090e-05,8.127272e-05,8.129069e-05,8.169310e-05,8.183007e-05,8.205549e-05,8.227052e-05,8.236326e-05,8.261966e-05,8.282787e-05,8.288482e-05,8.299092e-05,8.307294e-05,8.311175e-05,8.319061e-05,8.319315e-05,8.323779e-05,8.324405e-05,8.324822e-05,8.323907e-05,8.322686e-05,8.318111e-05,8.317601e-05,8.309783e-05,8.307523e-05,8.299439e-05,8.292615e-05,8.286761e-05,8.273821e-05,8.271933e-05,8.255128e-05,8.251544e-05,8.236506e-05,8.226156e-05,8.216221e-05,8.197999e-05,8.194413e-05,8.171218e-05,8.167386e-05,8.146760e-05,8.134606e-05,8.121157e-05,8.099923e-05,8.094518e-05,8.066946e-05,8.063579e-05,8.038537e-05,8.025795e-05,8.009381e-05,7.986774e-05,7.979560e-05,7.949154e-05,7.946698e-05,7.918234e-05,7.905737e-05,7.886868e-05,7.864043e-05,7.855118e-05,7.823044e-05,7.821755e-05,7.790699e-05,7.778999e-05,7.758134e-05,7.735889e-05,7.725397e-05,7.692530e-05,7.649015e-05,7.605430e-05,7.561851e-05,7.518348e-05,7.474984e-05,7.431813e-05,7.388888e-05,7.346253e-05,7.303947e-05,7.262008e-05,7.220466e-05,7.179350e-05,7.138685e-05,7.098493e-05,7.058791e-05,7.019597e-05,6.980925e-05,6.942787e-05,6.905192e-05,6.868150e-05,6.831667e-05,6.795747e-05,6.760395e-05,6.725612e-05
0.000000e+00,1.327159e-13,8.966672e-13,1.533353e-11,1.003686e-10,2.369233e-10,1.505609e-09,1.609111e-09,6.977340e-09,9.955207e-09,2.281547e-08,4.216435e-08,6.149192e-08,1.351338e-07,1.440387e-07,3.033601e-07,3.580085e-07,5.876628e-07,8.254706e-07,1.063561e-06,1.709377e-06,1.817980e-06,2.958047e-06,3.243061e-06,4.608663e-06,5.714268e-06,6.908066e-06,9.447522e-06,1.000204e-05,1.403754e-05,1.478019e-05,1.915634e-05,2.203712e-05,2.548926e-05,3.150759e-05,3.315116e-05,4.223702e-05,4.342670e-05,5.281907e-05,5.796237e-05,6.494501e-05,7.520795e-05,7.863717e-05,9.389266e-05,9.517998e-05,1.106842e-04,1.178204e-04,1.289617e-04,1.430024e-04,1.486540e-04,1.696718e-04,1.705386e-04,1.919095e-04,2.001913e-04,2.152487e-04,2.316832e-04,2.395607e-04,2.647089e-04,2.905522e-04,2.989454e-04,3.169469e-04,3.340624e-04,3.437491e-04,3.697309e-04,3.708170e-04,3.980123e-04,4.056315e-04,4.252021e-04,4.414604e-04,4.522600e-04,4.769345e-04,4.790672e-04,5.055134e-04,5.117953e-04,5.314972e-04,5.458113e-04,5.569264e-04,5.787796e-04,5.817186e-04,6.058009e-04,6.105265e-04,6.291101e-04,6.409069e-04,6.515919e-04,6.698041e-04,6.732013e-04,6.939017e-04,6.971273e-04,7.136644e-04,7.228111e-04,7.324687e-04,7.468125e-04,7.503007e-04,7.671530e-04,7.691093e-04,7.830243e-04,7.896977e-04,7.979186e-04,8.085900e-04,8.118445e-04,8.248153e-04,8.258122e-04,8.368478e-04,8.414024e-04,8.479620e-04,8.554084e-04,8.581809e-04,8.675297e-04,8.678860e-04,8.760358e-04,8.788972e-04,8.837279e-04,8.885090e-04,8.906362e-04,8.967915e-04,9.022256e-04,9.038173e-04,9.069702e-04,9.096598e-04,9.110576e-04,9.143929e-04,9.145198e-04,9.173887e-04,9.180900e-04,9.196958e-04,9.208233e-04,9.214720e-04,9.226634e-04,9.227477e-04,9.235527e-04,9.236790e-04,9.239155e-04,9.239361e-04,9.238643e-04,9.234982e-04,9.234261e-04,9.226269e-04,9.224260e-04,9.214919e-04,9.207771e-04,9.200453e-04,9.186061e-04,9.183100e-04,9.163082e-04,9.159646e-04,9.140610e-04,9.129012e-04,9.115886e-04,9.094613e-04,9.089100e-04,9.060433e-04,9.056875e-04,9.030058e-04,9.016195e-04,8.998139e-04,8.972941e-04,8.964827e-04,8.930271e-04,8.927456e-04,8.894605e-04,8.880057e-04,8.857959e-04,8.831036e-04,8.820455e-04,8.782206e-04,8.780662e-04,8.743319e-04,8.729183e-04,8.703894e-04,8.676825e-04,8.664023e-04,8.623795e-04,8.570283e-04,8.516460e-04,8.462483e-04,8.408492e-04,8.354616e-04,8.300969e-04,8.247654e-04,8.194763e-04,8.142377e-04,8.090570e-04,8.039403e-04,7.988934e-04,7.939211e-04,7.890274e-04,7.842161e-04,7.794901e-04,7.748518e-04,7.703035e-04,7.658465e-04,7.614822e-04,7.572115e-04,7.530348e-04,7.489525e-04,7.449646e-04
0.000000e+00,6.598157e-14,4.391085e-13,7.278000e-12,4.629909e-11,1.075951e-10,6.569508e-10,7.009851e-10,2.924889e-09,4.131097e-09,9.236374e-09,1.674618e-08,2.413080e-08,5.168227e-08,5.497021e-08,1.127781e-07,1.322569e-07,2.126455e-07,2.938332e-07,3.733938e-07,5.822140e-07,6.164753e-07,9.644153e-07,1.048545e-06,1.439164e-06,1.742872e-06,2.060628e-06,2.708386e-06,2.845530e-06,3.806624e-06,3.977371e-06,4.952256e-06,5.568996e-06,6.286228e-06,7.488713e-06,7.807885e-06,9.512400e-06,9.728858e-06,1.139118e-05,1.227009e-05,1.343235e-05,1.508337e-05,1.562135e-05,1.794144e-05,1.813218e-05,2.037436e-05,2.137481e-05,2.290080e-05,2.476664e-05,2.550098e-05,2.815510e-05,2.826211e-05,3.084374e-05,3.181648e-05,3.354823e-05,3.538726e-05,3.625089e-05,3.893532e-05,4.158652e-05,4.242564e-05,4.419099e-05,4.582776e-05,4.673681e-05,4.911601e-05,4.921364e-05,5.161271e-05,5.226949e-05,5.392675e-05,5.527187e-05,5.614992e-05,5.811110e-05,5.827773e-05,6.030694e-05,6.077901e-05,6.223538e-05,6.327084e-05,6.406194e-05,6.558482e-05,6.578636e-05,6.740919e-05,6.772166e-05,6.893163e-05,6.968419e-05,7.035545e-05,7.147687e-05,7.168289e-05,7.291660e-05,7.310549e-05,7.405951e-05,7.457678e-05,7.511480e-05,7.589820e-05,7.608583e-05,7.697608e-05,7.707765e-05,7.778908e-05,7.812326e-05,7.852844e-05,7.904329e-05,7.919771e-05,7.980048e-05,7.984593e-05,8.034022e-05,8.053924e-05,8.082036e-05,8.113104e-05,8.124424e-05,8.161509e-05,8.162886e-05,8.193602e-05,8.203992e-05,8.221005e-05,8.237107e-05,8.244006e-05,8.262882e-05,8.277896e-05,8.281927e-05,8.289302e-05,8.294818e-05,8.297337e-05,8.302092e-05,8.302230e-05,8.304195e-05,8.304248e-05,8.303436e-05,8.301754e-05,8.300147e-05,8.295043e-05,8.294510e-05,8.286697e-05,8.284516e-05,8.276870e-05,8.270545e-05,8.265183e-05,8.253474e-05,8.251779e-05,8.236793e-05,8.233618e-05,8.220354e-05,8.211271e-05,8.202580e-05,8.186702e-05,8.183585e-05,8.163472e-05,8.160158e-05,8.142343e-05,8.131867e-05,8.120289e-05,8.102038e-05,8.097397e-05,8.073750e-05,8.070865e-05,8.049423e-05,8.038522e-05,8.024488e-05,8.005172e-05,7.999012e-05,7.973057e-05,7.970961e-05,7.946682e-05,7.936027e-05,7.919941e-05,7.900491e-05,7.892886e-05,7.865565e-05,7.864467e-05,7.838020e-05,7.828058e-05,7.810296e-05,7.791359e-05,7.782428e-05,7.754455e-05,7.717423e-05,7.680336e-05,7.643258e-05,7.606246e-05,7.569353e-05,7.532629e-05,7.496114e-05,7.459849e-05,7.423868e-05,7.388202e-05,7.352879e-05,7.317925e-05,7.283359e-05,7.249203e-05,7.215473e-05,7.182183e-05,7.149347e-05,7.116975e-05,7.085076e-05,7.053659e-05,7.022728e-05,6.992290e-05,6.962349e-05,6.932906e-05
0.000000e+00,1.166404e-13,7.645197e-13,1.227011e-11,7.575901e-11,1.731509e-10,1.011786e-09,1.077644e-09,4.298052e-09,5.994863e-09,1.298046e-08,2.291977e-08,3.245477e-08,6.682658e-08,7.084021e-08,1.395780e-07,1.621838e-07,2.536434e-07,3.439463e-07,4.310612e-07,6.552631e-07,6.915711e-07,1.054732e-06,1.141274e-06,1.537994e-06,1.841516e-06,2.155174e-06,2.784018e-06,2.915537e-06,3.823477e-06,3.982484e-06,4.878672e-06,5.436276e-06,6.076559e-06,7.132232e-06,7.408987e-06,8.864932e-06,9.047338e-06,1.043121e-05,1.115158e-05,1.209313e-05,1.341057e-05,1.383509e-05,1.564106e-05,1.578782e-05,1.749506e-05,1.824659e-05,1.938148e-05,2.075135e-05,2.128537e-05,2.319269e-05,2.326887e-05,2.509048e-05,2.576904e-05,2.696696e-05,2.822536e-05,2.881160e-05,3.061519e-05,3.236982e-05,3.291984e-05,3.406883e-05,3.512445e-05,3.570678e-05,3.721779e-05,3.727940e-05,3.878344e-05,3.919195e-05,4.021664e-05,4.104194e-05,4.157760e-05,4.276532e-05,4.286569e-05,4.408094e-05,4.436183e-05,4.522398e-05,4.583293e-05,4.629589e-05,4.718152e-05,4.729818e-05,4.823265e-05,4.841159e-05,4.910139e-05,4.952791e-05,4.990668e-05,5.053584e-05,5.065092e-05,5.133663e-05,5.144108e-05,5.196637e-05,5.224954e-05,5.254276e-05,5.296718e-05,5.306836e-05,5.354575e-05,5.359992e-05,5.397745e-05,5.415355e-05,5.436591e-05,5.463370e-05,5.471353e-05,5.502262e-05,5.504575e-05,5.529540e-05,5.539484e-05,5.553402e-05,5.568583e-05,5.574053e-05,5.591687e-05,5.592333e-05,5.606492e-05,5.611163e-05,5.618645e-05,5.625480e-05,5.628314e-05,5.635659e-05,5.640832e-05,5.642052e-05,5.643977e-05,5.644987e-05,5.645227e-05,5.644766e-05,5.644713e-05,5.642554e-05,5.641670e-05,5.638864e-05,5.635960e-05,5.633751e-05,5.627877e-05,5.627316e-05,5.619655e-05,5.617644e-05,5.610858e-05,5.605467e-05,5.601009e-05,5.591535e-05,5.590188e-05,5.578470e-05,5.576024e-05,5.565924e-05,5.559096e-05,5.552618e-05,5.540899e-05,5.538614e-05,5.523969e-05,5.521570e-05,5.508739e-05,5.501236e-05,5.492975e-05,5.480013e-05,5.476727e-05,5.460038e-05,5.458008e-05,5.442953e-05,5.435320e-05,5.425511e-05,5.412039e-05,5.407749e-05,5.389703e-05,5.388248e-05,5.371405e-05,5.364023e-05,5.352888e-05,5.339435e-05,5.334179e-05,5.315305e-05,5.314547e-05,5.296294e-05,5.289420e-05,5.277167e-05,5.264106e-05,5.257947e-05,5.238656e-05,5.213115e-05,5.187524e-05,5.161922e-05,5.136342e-05,5.110817e-05,5.085375e-05,5.060042e-05,5.034842e-05,5.009795e-05,4.984923e-05,4.960241e-05,4.935767e-05,4.911513e-05,4.887493e-05,4.863719e-05,4.840199e-05,4.816943e-05,4.793959e-05,4.771253e-05,4.748831e-05,4.726699e-05,4.704860e-05,4.683319e-05,4.662077e-05
0.000000e+00,3.496734e-10,1.187396e-09,6.239804e-09,1.722903e-08,2.696959e-08,6.915172e-08,7.150466e-08,1.493310e-07,1.785707e-07,2.717545e-07,3.720840e-07,4.519075e-07,6.779298e-07,7.004015e-07,1.016152e-06,1.100474e-06,1.384590e-06,1.607205e-06,1.788104e-06,2.161637e-06,2.213530e-06,2.652284e-06,2.741084e-06,3.098429e-06,3.331758e-06,3.547264e-06,3.923323e-06,3.994644e-06,4.436723e-06,4.506720e-06,4.869924e-06,5.073740e-06,5.291003e-06,5.617218e-06,5.697127e-06,6.085949e-06,6.131352e-06,6.455634e-06,6.611876e-06,6.804870e-06,7.056094e-06,7.132841e-06,7.439184e-06,7.462756e-06,7.723933e-06,7.831857e-06,7.987449e-06,8.164377e-06,8.230360e-06,8.453494e-06,8.462022e-06,8.657823e-06,8.726980e-06,8.844411e-06,8.961725e-06,9.014374e-06,9.168846e-06,9.308947e-06,9.350924e-06,9.435769e-06,9.510451e-06,9.550356e-06,9.649767e-06,9.653697e-06,9.746719e-06,9.771035e-06,9.830284e-06,9.876218e-06,9.905188e-06,9.967082e-06,9.972164e-06,1.003188e-05,1.004520e-05,1.008495e-05,1.011198e-05,1.013193e-05,1.016864e-05,1.017333e-05,1.020960e-05,1.021627e-05,1.024115e-05,1.025583e-05,1.026837e-05,1.028814e-05,1.029160e-05,1.031114e-05,1.031395e-05,1.032729e-05,1.033390e-05,1.034028e-05,1.034857e-05,1.035036e-05,1.035774e-05,1.035846e-05,1.036261e-05,1.036401e-05,1.036515e-05,1.036562e-05,1.036552e-05,1.036387e-05,1.036365e-05,1.036033e-05,1.035841e-05,1.035503e-05,1.035019e-05,1.034809e-05,1.033962e-05,1.033925e-05,1.032971e-05,1.032581e-05,1.031845e-05,1.031008e-05,1.030594e-05,1.029226e-05,1.027747e-05,1.027252e-05,1.026165e-05,1.025102e-05,1.024487e-05,1.022790e-05,1.022718e-05,1.020864e-05,1.020330e-05,1.018931e-05,1.017735e-05,1.016923e-05,1.015015e-05,1.014847e-05,1.012705e-05,1.012182e-05,1.010503e-05,1.009245e-05,1.008244e-05,1.006213e-05,1.005933e-05,1.003572e-05,1.003095e-05,1.001166e-05,9.998981e-06,9.987177e-06,9.966305e-06,9.962299e-06,9.937057e-06,9.932986e-06,9.911479e-06,9.899090e-06,9.885591e-06,9.864675e-06,9.859419e-06,9.832986e-06,9.829797e-06,9.806315e-06,9.794510e-06,9.779428e-06,9.758861e-06,9.752345e-06,9.725085e-06,9.722898e-06,9.697668e-06,9.686662e-06,9.670112e-06,9.650194e-06,9.642432e-06,9.614646e-06,9.613532e-06,9.586768e-06,9.576712e-06,9.558813e-06,9.539767e-06,9.530795e-06,9.502727e-06,9.465623e-06,9.428482e-06,9.391329e-06,9.354188e-06,9.317083e-06,9.280034e-06,9.243062e-06,9.206184e-06,9.169418e-06,9.132781e-06,9.096288e-06,9.059953e-06,9.023789e-06,8.987809e-06,8.952024e-06,8.916444e-06,8.881081e-06,8.845942e-06,8.811036e-06,8.776372e-06,8.741957e-06,8.707797e-06,8.673898e-06,8.640267e-06
0.000000e+00,9.119470e-12,5.455883e-11,7.269618e-10,3.804204e-09,7.954849e-09,3.719634e-08,3.926878e-08,1.269997e-07,1.676871e-07,3.177368e-07,5.060492e-07,6.715310e-07,1.203487e-06,1.261235e-06,2.167490e-06,2.440757e-06,3.464807e-06,4.382498e-06,5.204370e-06,7.117093e-06,7.405522e-06,1.005944e-05,1.064238e-05,1.313913e-05,1.489713e-05,1.660889e-05,1.979683e-05,2.043029e-05,2.456472e-05,2.525272e-05,2.897396e-05,3.117681e-05,3.361985e-05,3.748120e-05,3.846405e-05,4.346799e-05,4.407736e-05,4.859311e-05,5.087673e-05,5.380143e-05,5.779270e-05,5.905616e-05,6.432233e-05,6.474312e-05,6.956732e-05,7.165262e-05,7.476136e-05,7.845444e-05,7.987780e-05,8.489325e-05,8.509148e-05,8.978763e-05,9.151662e-05,9.454407e-05,9.769251e-05,9.914879e-05,1.035909e-04,1.078621e-04,1.091918e-04,1.119566e-04,1.144824e-04,1.158704e-04,1.194558e-04,1.196016e-04,1.231495e-04,1.241102e-04,1.265150e-04,1.284473e-04,1.296997e-04,1.324722e-04,1.327062e-04,1.355379e-04,1.361920e-04,1.381987e-04,1.396157e-04,1.406930e-04,1.427540e-04,1.430256e-04,1.452018e-04,1.456188e-04,1.472272e-04,1.482227e-04,1.491073e-04,1.505784e-04,1.508477e-04,1.524537e-04,1.526986e-04,1.539309e-04,1.545958e-04,1.552846e-04,1.562822e-04,1.565200e-04,1.576424e-04,1.577697e-04,1.586566e-04,1.590699e-04,1.595677e-04,1.601940e-04,1.603803e-04,1.610991e-04,1.611527e-04,1.617286e-04,1.619564e-04,1.622732e-04,1.626151e-04,1.627371e-04,1.631243e-04,1.631382e-04,1.634387e-04,1.635349e-04,1.636842e-04,1.638136e-04,1.638644e-04,1.639827e-04,1.640425e-04,1.640498e-04,1.640471e-04,1.640225e-04,1.639996e-04,1.639076e-04,1.639029e-04,1.637599e-04,1.637119e-04,1.635733e-04,1.634415e-04,1.633457e-04,1.631024e-04,1.630798e-04,1.627777e-04,1.627001e-04,1.624419e-04,1.622400e-04,1.620746e-04,1.617269e-04,1.616777e-04,1.612534e-04,1.611655e-04,1.608036e-04,1.605601e-04,1.603299e-04,1.599150e-04,1.598343e-04,1.593183e-04,1.592339e-04,1.587834e-04,1.585205e-04,1.582313e-04,1.577781e-04,1.576633e-04,1.570808e-04,1.570099e-04,1.564850e-04,1.562190e-04,1.558772e-04,1.554080e-04,1.552586e-04,1.546302e-04,1.545796e-04,1.539931e-04,1.537361e-04,1.533483e-04,1.528798e-04,1.526968e-04,1.520393e-04,1.520129e-04,1.513768e-04,1.511373e-04,1.507101e-04,1.502547e-04,1.500399e-04,1.493669e-04,1.484754e-04,1.475816e-04,1.466870e-04,1.457927e-04,1.448998e-04,1.440095e-04,1.431226e-04,1.422401e-04,1.413627e-04,1.404912e-04,1.396262e-04,1.387684e-04,1.379183e-04,1.370765e-04,1.362432e-04,1.354191e-04,1.346043e-04,1.337992e-04,1.330042e-04,1.322193e-04,1.314449e-04,1.306811e-04,1.299280e-04,1.291859e-04
0.000000e+00,1.045702e-14,7.071756e-14,1.211509e-12,7.941112e-12,1.875643e-11,1.192916e-10,1.274931e-10,5.524745e-10,7.878903e-10,1.802333e-09,3.323243e-09,4.837436e-09,1.057311e-08,1.126375e-08,2.354292e-08,2.772760e-08,4.520332e-08,6.315688e-08,8.102429e-08,1.291115e-07,1.371570e-07,2.211534e-07,2.420561e-07,3.418955e-07,4.224994e-07,5.094340e-07,6.943481e-07,7.347571e-07,1.029513e-06,1.083917e-06,1.405702e-06,1.618741e-06,1.875367e-06,2.326326e-06,2.450275e-06,3.141628e-06,3.232917e-06,3.959781e-06,4.362373e-06,4.914006e-06,5.735177e-06,6.012269e-06,7.261060e-06,7.367623e-06,8.665247e-06,9.271198e-06,1.022798e-05,1.145217e-05,1.195064e-05,1.383278e-05,1.391136e-05,1.587220e-05,1.664418e-05,1.806493e-05,1.964075e-05,2.040535e-05,2.288632e-05,2.549924e-05,2.636167e-05,2.823428e-05,3.004379e-05,3.108052e-05,3.390651e-05,3.402609e-05,3.705841e-05,3.792123e-05,4.016436e-05,4.205767e-05,4.333044e-05,4.628457e-05,4.654296e-05,4.978821e-05,5.057042e-05,5.305261e-05,5.488408e-05,5.632288e-05,5.919532e-05,5.958612e-05,6.282995e-05,6.347534e-05,6.604262e-05,6.769719e-05,6.921306e-05,7.183603e-05,7.233096e-05,7.538683e-05,7.586943e-05,7.837202e-05,7.977749e-05,8.127874e-05,8.354295e-05,8.410009e-05,8.683001e-05,8.715121e-05,8.946335e-05,9.059027e-05,9.199575e-05,9.385067e-05,9.442368e-05,9.674439e-05,9.692535e-05,9.895585e-05,9.980952e-05,1.010567e-04,1.025004e-04,1.030463e-04,1.049245e-04,1.049973e-04,1.066917e-04,1.073009e-04,1.083488e-04,1.094135e-04,1.098973e-04,1.113389e-04,1.126757e-04,1.130817e-04,1.139101e-04,1.146476e-04,1.150447e-04,1.160428e-04,1.160825e-04,1.170265e-04,1.172744e-04,1.178798e-04,1.183498e-04,1.186459e-04,1.192765e-04,1.193281e-04,1.199298e-04,1.200627e-04,1.204546e-04,1.207161e-04,1.209058e-04,1.212448e-04,1.212870e-04,1.216016e-04,1.216568e-04,1.218530e-04,1.219598e-04,1.220444e-04,1.221614e-04,1.221793e-04,1.222607e-04,1.222689e-04,1.222917e-04,1.222896e-04,1.222753e-04,1.222301e-04,1.222145e-04,1.221120e-04,1.220970e-04,1.219705e-04,1.218965e-04,1.217926e-04,1.216345e-04,1.215807e-04,1.213372e-04,1.213165e-04,1.210644e-04,1.209476e-04,1.207645e-04,1.205328e-04,1.204394e-04,1.200911e-04,1.200768e-04,1.197216e-04,1.195836e-04,1.193324e-04,1.190574e-04,1.189253e-04,1.185019e-04,1.179204e-04,1.173161e-04,1.166921e-04,1.160508e-04,1.153950e-04,1.147267e-04,1.140482e-04,1.133614e-04,1.126680e-04,1.119696e-04,1.112677e-04,1.105636e-04,1.098585e-04,1.091535e-04,1.084496e-04,1.077477e-04,1.070486e-04,1.063531e-04,1.056617e-04,1.049752e-04,1.042939e-04,1.036184e-04,1.029491e-04,1.022863e-04
0.000000e+00,2.254507e-09,5.890464e-09,2.322654e-08,5.626428e-08,8.402580e-08,1.989083e-07,2.051789e-07,4.085190e-07,4.834824e-07,7.188558e-07,9.674768e-07,1.162315e-06,1.702844e-06,1.755907e-06,2.496445e-06,2.694311e-06,3.367874e-06,3.906947e-06,4.354242e-06,5.307357e-06,5.443071e-06,6.623875e-06,6.870188e-06,7.886554e-06,8.572033e-06,9.220565e-06,1.038805e-05,1.061465e-05,1.205694e-05,1.229137e-05,1.353518e-05,1.425388e-05,1.503706e-05,1.624749e-05,1.655056e-05,1.806423e-05,1.824537e-05,1.956748e-05,2.022309e-05,2.105071e-05,2.215933e-05,2.250547e-05,2.392447e-05,2.403625e-05,2.530162e-05,2.583962e-05,2.663198e-05,2.755868e-05,2.791172e-05,2.913797e-05,2.918588e-05,3.030878e-05,3.071645e-05,3.142297e-05,3.214801e-05,3.248005e-05,3.348011e-05,3.442370e-05,3.471387e-05,3.531178e-05,3.585159e-05,3.614561e-05,3.689644e-05,3.692669e-05,3.765672e-05,3.785222e-05,3.833751e-05,3.872315e-05,3.897099e-05,3.951367e-05,3.955910e-05,4.010384e-05,4.022835e-05,4.060721e-05,4.087176e-05,4.107117e-05,4.144841e-05,4.149768e-05,4.188860e-05,4.196267e-05,4.224578e-05,4.241877e-05,4.257099e-05,4.282072e-05,4.286595e-05,4.313230e-05,4.317237e-05,4.337162e-05,4.347734e-05,4.358543e-05,4.373906e-05,4.377515e-05,4.394216e-05,4.396074e-05,4.408778e-05,4.414540e-05,4.421324e-05,4.429585e-05,4.431973e-05,4.440837e-05,4.441472e-05,4.448022e-05,4.450448e-05,4.453629e-05,4.456742e-05,4.457753e-05,4.460486e-05,4.460567e-05,4.461912e-05,4.462121e-05,4.462113e-05,4.461589e-05,4.461166e-05,4.459143e-05,4.456113e-05,4.454941e-05,4.452140e-05,4.449131e-05,4.447286e-05,4.441852e-05,4.441610e-05,4.435165e-05,4.433230e-05,4.428004e-05,4.423383e-05,4.420175e-05,4.412422e-05,4.411725e-05,4.402696e-05,4.400448e-05,4.393132e-05,4.387556e-05,4.383070e-05,4.373832e-05,4.372547e-05,4.361597e-05,4.359359e-05,4.350254e-05,4.344211e-05,4.338549e-05,4.328458e-05,4.326511e-05,4.314167e-05,4.312165e-05,4.301543e-05,4.295391e-05,4.288664e-05,4.278192e-05,4.275553e-05,4.262232e-05,4.260620e-05,4.248721e-05,4.242721e-05,4.235040e-05,4.224541e-05,4.221208e-05,4.207242e-05,4.206119e-05,4.193157e-05,4.187493e-05,4.178969e-05,4.168699e-05,4.164694e-05,4.150343e-05,4.149768e-05,4.135931e-05,4.130730e-05,4.121469e-05,4.111613e-05,4.106969e-05,4.092442e-05,4.073241e-05,4.054031e-05,4.034832e-05,4.015662e-05,3.996539e-05,3.977478e-05,3.958493e-05,3.939598e-05,3.920803e-05,3.902121e-05,3.883561e-05,3.865132e-05,3.846842e-05,3.828700e-05,3.810712e-05,3.792883e-05,3.775220e-05,3.757727e-05,3.740409e-05,3.723270e-05,3.706313e-05,3.689541e-05,3.672957e-05,3.656563e-05
0.000000e+00,1.996832e-09,4.782843e-09,1.720123e-08,3.986476e-08,5.851174e-08,1.338901e-07,1.379474e-07,2.673654e-07,3.142198e-07,4.590940e-07,6.094480e-07,7.261823e-07,1.049790e-06,1.081782e-06,1.536922e-06,1.661691e-06,2.096290e-06,2.453341e-06,2.753999e-06,3.401418e-06,3.493853e-06,4.294927e-06,4.460685e-06,5.137384e-06,5.586254e-06,6.004914e-06,6.743552e-06,6.884696e-06,7.766577e-06,7.907302e-06,8.642347e-06,9.058517e-06,9.505258e-06,1.018256e-05,1.034975e-05,1.117129e-05,1.126815e-05,1.196625e-05,1.230686e-05,1.273182e-05,1.329272e-05,1.346596e-05,1.416725e-05,1.422191e-05,1.483488e-05,1.509241e-05,1.546850e-05,1.590369e-05,1.606820e-05,1.663434e-05,1.665630e-05,1.716757e-05,1.735164e-05,1.766877e-05,1.799180e-05,1.813896e-05,1.857926e-05,1.899090e-05,1.911677e-05,1.937513e-05,1.960723e-05,1.973321e-05,2.005356e-05,2.006643e-05,2.037604e-05,2.045867e-05,2.066328e-05,2.082539e-05,2.092936e-05,2.115646e-05,2.117544e-05,2.140264e-05,2.145449e-05,2.161205e-05,2.172194e-05,2.180470e-05,2.196113e-05,2.198155e-05,2.214356e-05,2.217426e-05,2.229160e-05,2.236334e-05,2.242651e-05,2.253028e-05,2.254909e-05,2.266010e-05,2.267683e-05,2.276024e-05,2.280464e-05,2.285018e-05,2.291523e-05,2.293057e-05,2.300199e-05,2.300999e-05,2.306501e-05,2.309022e-05,2.312017e-05,2.315713e-05,2.316795e-05,2.320884e-05,2.321182e-05,2.324327e-05,2.325533e-05,2.327166e-05,2.328859e-05,2.329441e-05,2.331189e-05,2.331248e-05,2.332443e-05,2.332781e-05,2.333238e-05,2.333532e-05,2.333604e-05,2.333569e-05,2.333161e-05,2.332956e-05,2.332406e-05,2.331752e-05,2.331328e-05,2.330010e-05,2.329949e-05,2.328291e-05,2.327780e-05,2.326374e-05,2.325108e-05,2.324217e-05,2.322035e-05,2.321837e-05,2.319252e-05,2.318602e-05,2.316476e-05,2.314844e-05,2.313525e-05,2.310795e-05,2.310413e-05,2.307153e-05,2.306484e-05,2.303756e-05,2.301940e-05,2.300235e-05,2.297190e-05,2.296601e-05,2.292863e-05,2.292256e-05,2.289032e-05,2.287162e-05,2.285116e-05,2.281928e-05,2.281123e-05,2.277063e-05,2.276571e-05,2.272942e-05,2.271111e-05,2.268767e-05,2.265562e-05,2.264545e-05,2.260282e-05,2.259940e-05,2.255985e-05,2.254257e-05,2.251658e-05,2.248527e-05,2.247307e-05,2.242936e-05,2.242761e-05,2.238551e-05,2.236969e-05,2.234155e-05,2.231162e-05,2.229752e-05,2.225347e-05,2.219533e-05,2.213727e-05,2.207937e-05,2.202168e-05,2.196426e-05,2.190717e-05,2.185045e-05,2.179415e-05,2.173829e-05,2.168293e-05,2.162809e-05,2.157379e-05,2.152008e-05,2.146696e-05,2.141446e-05,2.136259e-05,2.131138e-05,2.126083e-05,2.121096e-05,2.116178e-05,2.111330e-05,2.106552e-05,2.101845e-05,2.097210e-05
0.000000e+00,1.721169e-13,1.109405e-12,1.719328e-11,1.027309e-10,2.305056e-10,1.282184e-09,1.362836e-09,5.162135e-09,7.096289e-09,1.479988e-08,2.532404e-08,3.511327e-08,6.887834e-08,7.270776e-08,1.359131e-07,1.559527e-07,2.344432e-07,3.088824e-07,3.785381e-07,5.505690e-07,5.776299e-07,8.389500e-07,8.991000e-07,1.166548e-06,1.363398e-06,1.560930e-06,1.941846e-06,2.019279e-06,2.536029e-06,2.623645e-06,3.103607e-06,3.391531e-06,3.713163e-06,4.224668e-06,4.355215e-06,5.020155e-06,5.101038e-06,5.698628e-06,5.999142e-06,6.381796e-06,6.899113e-06,7.061531e-06,7.730528e-06,7.783385e-06,8.382379e-06,8.637061e-06,9.011614e-06,9.448083e-06,9.613709e-06,1.018507e-05,1.020724e-05,1.072299e-05,1.090807e-05,1.122561e-05,1.154664e-05,1.169184e-05,1.212127e-05,1.251412e-05,1.263221e-05,1.287109e-05,1.308123e-05,1.319332e-05,1.347133e-05,1.348227e-05,1.373964e-05,1.380630e-05,1.396732e-05,1.409049e-05,1.416728e-05,1.432852e-05,1.434157e-05,1.449220e-05,1.452505e-05,1.462115e-05,1.468462e-05,1.473035e-05,1.481155e-05,1.482161e-05,1.489665e-05,1.490986e-05,1.495706e-05,1.498319e-05,1.500431e-05,1.503482e-05,1.503975e-05,1.506461e-05,1.506768e-05,1.508000e-05,1.508432e-05,1.508693e-05,1.508699e-05,1.508630e-05,1.507893e-05,1.507763e-05,1.506554e-05,1.505791e-05,1.504678e-05,1.502929e-05,1.502322e-05,1.499538e-05,1.499299e-05,1.496372e-05,1.495008e-05,1.492865e-05,1.490150e-05,1.489054e-05,1.484970e-05,1.484802e-05,1.480644e-05,1.479033e-05,1.476102e-05,1.472902e-05,1.471368e-05,1.466462e-05,1.461404e-05,1.459756e-05,1.456211e-05,1.452825e-05,1.450900e-05,1.445703e-05,1.445485e-05,1.439978e-05,1.438422e-05,1.434393e-05,1.431008e-05,1.428739e-05,1.423486e-05,1.423027e-05,1.417266e-05,1.415877e-05,1.411465e-05,1.408202e-05,1.405632e-05,1.400478e-05,1.399774e-05,1.393897e-05,1.392720e-05,1.388008e-05,1.384942e-05,1.382112e-05,1.377158e-05,1.376215e-05,1.370321e-05,1.369379e-05,1.364436e-05,1.361615e-05,1.358563e-05,1.353875e-05,1.352706e-05,1.346868e-05,1.346169e-05,1.341054e-05,1.338504e-05,1.335266e-05,1.330886e-05,1.329507e-05,1.323779e-05,1.323323e-05,1.318086e-05,1.315818e-05,1.312429e-05,1.308379e-05,1.306809e-05,1.301231e-05,1.301008e-05,1.295693e-05,1.293711e-05,1.290200e-05,1.286490e-05,1.284751e-05,1.279348e-05,1.272289e-05,1.265315e-05,1.258428e-05,1.251630e-05,1.244922e-05,1.238306e-05,1.231783e-05,1.225353e-05,1.219017e-05,1.212776e-05,1.206631e-05,1.200580e-05,1.194625e-05,1.188765e-05,1.183000e-05,1.177329e-05,1.171753e-05,1.166271e-05,1.160882e-05,1.155586e-05,1.150381e-05,1.145268e-05,1.140245e-05,1.135312e-05
0.000000e+00,8.059850e-10,1.846452e-09,6.306683e-09,1.422025e-08,2.064313e-08,4.631055e-08,4.768594e-08,9.152161e-08,1.074223e-07,1.567922e-07,2.083385e-07,2.484900e-07,3.595133e-07,3.704066e-07,5.221629e-07,5.624720e-07,6.980619e-07,8.041227e-07,8.901517e-07,1.067094e-06,1.091580e-06,1.297437e-06,1.338817e-06,1.504274e-06,1.611344e-06,1.709534e-06,1.879236e-06,1.911185e-06,2.107558e-06,2.138391e-06,2.297267e-06,2.385624e-06,2.479198e-06,2.618555e-06,2.652490e-06,2.816536e-06,2.835580e-06,2.970962e-06,3.035814e-06,3.115607e-06,3.219004e-06,3.250493e-06,3.375799e-06,3.385417e-06,3.491817e-06,3.535708e-06,3.598933e-06,3.670796e-06,3.697598e-06,3.788299e-06,3.791769e-06,3.871545e-06,3.899788e-06,3.947852e-06,3.996038e-06,4.017729e-06,4.081668e-06,4.140140e-06,4.157770e-06,4.193590e-06,4.225357e-06,4.242437e-06,4.285358e-06,4.287067e-06,4.327834e-06,4.338601e-06,4.365062e-06,4.385826e-06,4.399050e-06,4.427691e-06,4.430069e-06,4.458364e-06,4.464775e-06,4.484159e-06,4.497588e-06,4.507654e-06,4.526573e-06,4.529032e-06,4.548458e-06,4.552123e-06,4.566084e-06,4.574584e-06,4.582047e-06,4.594259e-06,4.596468e-06,4.609461e-06,4.611414e-06,4.621128e-06,4.626285e-06,4.631562e-06,4.639078e-06,4.640847e-06,4.649063e-06,4.649980e-06,4.656279e-06,4.659154e-06,4.662561e-06,4.666748e-06,4.667969e-06,4.672558e-06,4.672891e-06,4.676380e-06,4.677704e-06,4.679481e-06,4.681292e-06,4.681905e-06,4.683693e-06,4.683751e-06,4.684882e-06,4.685171e-06,4.685509e-06,4.685629e-06,4.685604e-06,4.685200e-06,4.684325e-06,4.683950e-06,4.683006e-06,4.681941e-06,4.681268e-06,4.679228e-06,4.679135e-06,4.676630e-06,4.675864e-06,4.673773e-06,4.671898e-06,4.670584e-06,4.667374e-06,4.667083e-06,4.663286e-06,4.662333e-06,4.659212e-06,4.656815e-06,4.654875e-06,4.650855e-06,4.650292e-06,4.645476e-06,4.644486e-06,4.640441e-06,4.637741e-06,4.635200e-06,4.630648e-06,4.629766e-06,4.624150e-06,4.623235e-06,4.618363e-06,4.615528e-06,4.612417e-06,4.607551e-06,4.606320e-06,4.600084e-06,4.599327e-06,4.593717e-06,4.590876e-06,4.587227e-06,4.582219e-06,4.580624e-06,4.573915e-06,4.573374e-06,4.567108e-06,4.564359e-06,4.560210e-06,4.555192e-06,4.553229e-06,4.546170e-06,4.545886e-06,4.539041e-06,4.536458e-06,4.531847e-06,4.526921e-06,4.524594e-06,4.517289e-06,4.507572e-06,4.497784e-06,4.487935e-06,4.478035e-06,4.468094e-06,4.458121e-06,4.448125e-06,4.438114e-06,4.428095e-06,4.418076e-06,4.408063e-06,4.398063e-06,4.388082e-06,4.378125e-06,4.368198e-06,4.358305e-06,4.348451e-06,4.338640e-06,4.328878e-06,4.319166e-06,4.309509e-06,4.299910e-06,4.290373e-06,4.280899e-06
0.000000e+00,8.333530e-10,2.681291e-09,1.327614e-08,3.576305e-08,5.552885e-08,1.404006e-07,1.451065e-07,2.991100e-07,3.561373e-07,5.350123e-07,7.234249e-07,8.710498e-07,1.284606e-06,1.325774e-06,1.916220e-06,2.079615e-06,2.654225e-06,3.133125e-06,3.541434e-06,4.436376e-06,4.565837e-06,5.703562e-06,5.942157e-06,6.925570e-06,7.584970e-06,8.204189e-06,9.304880e-06,9.516246e-06,1.084334e-05,1.105606e-05,1.217101e-05,1.280503e-05,1.348777e-05,1.452708e-05,1.478443e-05,1.605365e-05,1.620382e-05,1.728960e-05,1.782167e-05,1.848774e-05,1.937089e-05,1.964464e-05,2.075783e-05,2.084495e-05,2.182566e-05,2.223985e-05,2.284716e-05,2.355369e-05,2.382191e-05,2.474998e-05,2.478614e-05,2.563181e-05,2.593808e-05,2.646813e-05,2.701132e-05,2.725991e-05,2.800827e-05,2.871448e-05,2.893178e-05,2.937989e-05,2.978500e-05,3.000593e-05,3.057122e-05,3.059403e-05,3.114566e-05,3.129378e-05,3.166229e-05,3.195607e-05,3.214537e-05,3.256140e-05,3.259633e-05,3.301658e-05,3.311302e-05,3.340749e-05,3.361408e-05,3.377039e-05,3.406761e-05,3.410658e-05,3.441732e-05,3.447653e-05,3.470382e-05,3.484361e-05,3.496725e-05,3.517153e-05,3.520873e-05,3.542936e-05,3.546279e-05,3.563016e-05,3.571980e-05,3.581215e-05,3.594483e-05,3.597627e-05,3.612346e-05,3.614003e-05,3.625459e-05,3.630742e-05,3.637051e-05,3.644892e-05,3.647201e-05,3.655988e-05,3.656635e-05,3.663485e-05,3.666139e-05,3.669763e-05,3.673565e-05,3.674888e-05,3.678925e-05,3.679065e-05,3.681936e-05,3.682779e-05,3.683978e-05,3.684842e-05,3.685107e-05,3.685377e-05,3.684838e-05,3.684502e-05,3.683538e-05,3.682328e-05,3.681524e-05,3.678958e-05,3.678838e-05,3.675523e-05,3.674487e-05,3.671618e-05,3.669008e-05,3.667161e-05,3.662604e-05,3.662188e-05,3.656732e-05,3.655354e-05,3.650826e-05,3.647334e-05,3.644502e-05,3.638613e-05,3.637788e-05,3.630711e-05,3.629255e-05,3.623299e-05,3.619321e-05,3.615577e-05,3.608867e-05,3.607567e-05,3.599294e-05,3.597947e-05,3.590778e-05,3.586609e-05,3.582039e-05,3.574900e-05,3.573096e-05,3.563969e-05,3.562862e-05,3.554674e-05,3.550536e-05,3.545228e-05,3.537957e-05,3.535646e-05,3.525942e-05,3.525161e-05,3.516132e-05,3.512180e-05,3.506227e-05,3.499044e-05,3.496240e-05,3.486184e-05,3.485780e-05,3.476068e-05,3.472414e-05,3.465904e-05,3.458970e-05,3.455702e-05,3.445470e-05,3.431934e-05,3.418381e-05,3.404829e-05,3.391294e-05,3.377790e-05,3.364331e-05,3.350930e-05,3.337598e-05,3.324345e-05,3.311182e-05,3.298118e-05,3.285159e-05,3.272314e-05,3.259588e-05,3.246989e-05,3.234520e-05,3.222188e-05,3.209995e-05,3.197947e-05,3.186046e-05,3.174295e-05,3.162696e-05,3.151252e-05,3.139965e-05
0.000000e+00,8.480020e-13,5.246172e-12,7.473087e-11,4.142139e-10,8.926204e-10,4.488246e-09,4.751554e-09,1.638073e-08,2.197589e-08,4.322062e-08,7.073803e-08,9.542874e-08,1.769041e-07,1.859012e-07,3.302167e-07,3.747887e-07,5.458173e-07,7.041147e-07,8.495894e-07,1.200022e-06,1.254137e-06,1.764546e-06,1.879167e-06,2.377332e-06,2.733086e-06,3.081727e-06,3.732995e-06,3.862295e-06,4.701646e-06,4.840230e-06,5.582543e-06,6.015414e-06,6.489172e-06,7.223642e-06,7.407709e-06,8.326413e-06,8.436184e-06,9.235457e-06,9.630219e-06,1.012668e-05,1.078791e-05,1.099336e-05,1.182999e-05,1.189548e-05,1.263214e-05,1.294253e-05,1.339632e-05,1.392152e-05,1.411993e-05,1.480115e-05,1.482750e-05,1.543890e-05,1.565776e-05,1.603277e-05,1.641158e-05,1.658290e-05,1.708993e-05,1.755493e-05,1.769507e-05,1.797931e-05,1.823035e-05,1.836473e-05,1.869982e-05,1.871307e-05,1.902632e-05,1.910802e-05,1.930655e-05,1.945971e-05,1.955587e-05,1.975975e-05,1.977638e-05,1.997015e-05,2.001289e-05,2.013916e-05,2.022372e-05,2.028535e-05,2.039656e-05,2.041053e-05,2.051642e-05,2.053543e-05,2.060464e-05,2.064404e-05,2.067670e-05,2.072577e-05,2.073400e-05,2.077783e-05,2.078368e-05,2.080940e-05,2.082052e-05,2.082980e-05,2.083876e-05,2.084005e-05,2.084106e-05,2.084060e-05,2.083368e-05,2.082798e-05,2.081869e-05,2.080265e-05,2.079680e-05,2.076864e-05,2.076614e-05,2.073481e-05,2.071981e-05,2.069584e-05,2.066488e-05,2.065222e-05,2.060440e-05,2.060241e-05,2.055279e-05,2.053335e-05,2.049775e-05,2.045854e-05,2.043963e-05,2.037873e-05,2.031535e-05,2.029458e-05,2.024973e-05,2.020668e-05,2.018213e-05,2.011556e-05,2.011276e-05,2.004181e-05,2.002169e-05,1.996948e-05,1.992548e-05,1.989593e-05,1.982732e-05,1.982132e-05,1.974579e-05,1.972754e-05,1.966947e-05,1.962643e-05,1.959249e-05,1.952428e-05,1.951495e-05,1.943696e-05,1.942132e-05,1.935862e-05,1.931778e-05,1.928002e-05,1.921384e-05,1.920123e-05,1.912233e-05,1.910970e-05,1.904339e-05,1.900550e-05,1.896448e-05,1.890140e-05,1.888565e-05,1.880696e-05,1.879753e-05,1.872846e-05,1.869399e-05,1.865020e-05,1.859090e-05,1.857222e-05,1.849456e-05,1.848836e-05,1.841725e-05,1.838644e-05,1.834035e-05,1.828523e-05,1.826386e-05,1.818783e-05,1.818480e-05,1.811228e-05,1.808520e-05,1.803723e-05,1.798650e-05,1.796271e-05,1.788874e-05,1.779197e-05,1.769623e-05,1.760154e-05,1.750795e-05,1.741547e-05,1.732413e-05,1.723395e-05,1.714494e-05,1.705713e-05,1.697051e-05,1.688511e-05,1.680091e-05,1.671794e-05,1.663619e-05,1.655567e-05,1.647637e-05,1.639829e-05,1.632143e-05,1.624578e-05,1.617134e-05,1.609810e-05,1.602606e-05,1.595520e-05,1.588553e-05
0.000000e+00,1.016545e-10,4.701168e-10,3.892024e-09,1.406451e-08,2.456292e-08,7.701076e-08,8.013277e-08,1.886996e-07,2.309952e-07,3.678387e-07,5.164598e-07,6.350268e-07,9.737802e-07,1.007918e-06,1.504015e-06,1.643247e-06,2.139219e-06,2.560171e-06,2.924656e-06,3.741810e-06,3.862089e-06,4.940774e-06,5.171710e-06,6.139455e-06,6.801698e-06,7.432568e-06,8.573876e-06,8.795807e-06,1.020846e-05,1.043788e-05,1.165334e-05,1.235400e-05,1.311600e-05,1.429055e-05,1.458406e-05,1.604673e-05,1.622143e-05,1.749466e-05,1.812496e-05,1.891978e-05,1.998334e-05,2.031522e-05,2.167532e-05,2.178245e-05,2.299549e-05,2.351154e-05,2.427215e-05,2.516287e-05,2.550263e-05,2.668508e-05,2.673136e-05,2.781832e-05,2.821412e-05,2.890180e-05,2.961008e-05,2.993544e-05,3.091958e-05,3.185492e-05,3.214407e-05,3.274240e-05,3.328579e-05,3.358317e-05,3.434758e-05,3.437854e-05,3.512993e-05,3.533264e-05,3.583883e-05,3.624443e-05,3.650681e-05,3.708655e-05,3.713543e-05,3.772627e-05,3.786263e-05,3.828091e-05,3.857627e-05,3.880090e-05,3.923105e-05,3.928777e-05,3.974301e-05,3.983039e-05,4.016808e-05,4.037765e-05,4.056437e-05,4.087602e-05,4.093326e-05,4.127605e-05,4.132856e-05,4.159401e-05,4.173818e-05,4.188837e-05,4.210764e-05,4.216028e-05,4.241088e-05,4.243957e-05,4.264123e-05,4.273644e-05,4.285237e-05,4.300059e-05,4.304528e-05,4.322090e-05,4.323423e-05,4.338012e-05,4.343942e-05,4.352381e-05,4.361810e-05,4.365277e-05,4.376778e-05,4.377210e-05,4.386959e-05,4.390315e-05,4.395891e-05,4.401286e-05,4.403641e-05,4.410274e-05,4.415850e-05,4.417421e-05,4.420428e-05,4.422860e-05,4.424063e-05,4.426715e-05,4.426809e-05,4.428714e-05,4.429104e-05,4.429828e-05,4.430135e-05,4.430195e-05,4.429911e-05,4.429859e-05,4.428862e-05,4.428528e-05,4.427241e-05,4.426076e-05,4.425035e-05,4.422637e-05,4.422279e-05,4.419005e-05,4.418292e-05,4.415248e-05,4.413112e-05,4.411035e-05,4.407167e-05,4.406398e-05,4.401362e-05,4.400521e-05,4.395954e-05,4.393234e-05,4.390199e-05,4.385361e-05,4.384120e-05,4.377740e-05,4.376955e-05,4.371079e-05,4.368064e-05,4.364158e-05,4.358736e-05,4.356996e-05,4.349611e-05,4.349011e-05,4.342020e-05,4.338930e-05,4.334240e-05,4.328529e-05,4.326286e-05,4.318172e-05,4.317845e-05,4.309914e-05,4.306908e-05,4.301523e-05,4.295748e-05,4.293013e-05,4.284395e-05,4.272874e-05,4.261209e-05,4.249423e-05,4.237537e-05,4.225572e-05,4.213544e-05,4.201471e-05,4.189370e-05,4.177253e-05,4.165136e-05,4.153030e-05,4.140947e-05,4.128898e-05,4.116892e-05,4.104940e-05,4.093049e-05,4.081227e-05,4.069481e-05,4.057819e-05,4.046245e-05,4.034765e-05,4.023385e-05,4.012108e-05,4.000939e-05
0.000000e+00,5.928144e-09,1.374617e-08,4.803735e-08,1.106047e-07,1.625034e-07,3.771280e-07,3.889050e-07,7.762371e-07,9.217933e-07,1.387842e-06,1.892989e-06,2.296383e-06,3.440797e-06,3.554667e-06,5.161073e-06,5.593822e-06,7.071394e-06,8.255146e-06,9.236466e-06,1.132241e-05,1.161880e-05,1.419151e-05,1.472700e-05,1.693375e-05,1.842058e-05,1.982716e-05,2.236144e-05,2.285396e-05,2.599601e-05,2.650818e-05,2.923452e-05,3.081761e-05,3.255016e-05,3.524500e-05,3.592329e-05,3.933447e-05,3.974546e-05,4.276475e-05,4.427542e-05,4.619603e-05,4.879402e-05,4.961139e-05,5.299524e-05,5.326416e-05,5.633351e-05,5.765320e-05,5.961371e-05,6.193333e-05,6.282497e-05,6.595798e-05,6.608156e-05,6.900496e-05,7.007955e-05,7.195954e-05,7.391324e-05,7.481665e-05,7.757244e-05,8.022409e-05,8.105029e-05,8.276974e-05,8.434282e-05,8.520836e-05,8.744844e-05,8.753963e-05,8.976383e-05,9.036751e-05,9.188176e-05,9.310202e-05,9.389468e-05,9.565518e-05,9.580417e-05,9.761214e-05,9.803118e-05,9.932071e-05,1.002350e-04,1.009322e-04,1.022720e-04,1.024491e-04,1.038740e-04,1.041481e-04,1.052095e-04,1.058695e-04,1.064583e-04,1.074423e-04,1.076232e-04,1.087070e-04,1.088730e-04,1.097123e-04,1.101678e-04,1.106420e-04,1.113330e-04,1.114987e-04,1.122851e-04,1.123749e-04,1.130039e-04,1.132994e-04,1.136576e-04,1.141125e-04,1.142488e-04,1.147800e-04,1.148200e-04,1.152536e-04,1.154275e-04,1.156720e-04,1.159403e-04,1.160374e-04,1.163522e-04,1.163638e-04,1.166185e-04,1.167029e-04,1.168384e-04,1.169625e-04,1.170140e-04,1.171473e-04,1.172401e-04,1.172616e-04,1.172945e-04,1.173099e-04,1.173121e-04,1.172962e-04,1.172948e-04,1.172442e-04,1.172243e-04,1.171620e-04,1.170981e-04,1.170497e-04,1.169211e-04,1.169088e-04,1.167409e-04,1.166967e-04,1.165473e-04,1.164282e-04,1.163294e-04,1.161186e-04,1.160885e-04,1.158258e-04,1.157708e-04,1.155427e-04,1.153877e-04,1.152402e-04,1.149719e-04,1.149194e-04,1.145815e-04,1.145260e-04,1.142275e-04,1.140522e-04,1.138584e-04,1.135529e-04,1.134751e-04,1.130786e-04,1.130301e-04,1.126696e-04,1.124860e-04,1.122492e-04,1.119224e-04,1.118180e-04,1.113769e-04,1.113412e-04,1.109266e-04,1.107440e-04,1.104677e-04,1.101325e-04,1.100011e-04,1.095273e-04,1.095082e-04,1.090469e-04,1.088725e-04,1.085606e-04,1.082268e-04,1.080689e-04,1.075723e-04,1.069103e-04,1.062418e-04,1.055680e-04,1.048898e-04,1.042081e-04,1.035238e-04,1.028378e-04,1.021507e-04,1.014633e-04,1.007763e-04,1.000903e-04,9.940577e-05,9.872333e-05,9.804346e-05,9.736661e-05,9.669321e-05,9.602364e-05,9.535826e-05,9.469741e-05,9.404137e-05,9.339044e-05,9.274485e-05,9.210485e-05,9.147062e-05
0.000000e+00,6.694510e-12,3.972946e-11,5.209935e-10,2.689804e-09,5.585678e-09,2.569992e-08,2.711560e-08,8.655906e-08,1.139478e-07,2.145181e-07,3.402658e-07,4.505966e-07,8.052195e-07,8.437531e-07,1.450244e-06,1.633855e-06,2.324849e-06,2.947350e-06,3.506744e-06,4.812332e-06,5.009396e-06,6.821157e-06,7.218284e-06,8.913661e-06,1.010101e-05,1.125143e-05,1.337827e-05,1.379844e-05,1.652123e-05,1.697112e-05,1.938949e-05,2.080973e-05,2.237561e-05,2.483211e-05,2.545398e-05,2.860042e-05,2.898147e-05,3.179204e-05,3.320502e-05,3.500713e-05,3.745376e-05,3.822541e-05,4.142813e-05,4.168316e-05,4.459830e-05,4.585379e-05,4.772077e-05,4.993194e-05,5.078236e-05,5.377179e-05,5.388973e-05,5.667969e-05,5.770505e-05,5.949845e-05,6.136120e-05,6.222213e-05,6.484626e-05,6.736768e-05,6.815249e-05,6.978443e-05,7.127574e-05,7.209555e-05,7.421474e-05,7.430093e-05,7.640115e-05,7.697050e-05,7.839733e-05,7.954574e-05,8.029105e-05,8.194444e-05,8.208425e-05,8.377918e-05,8.417161e-05,8.537833e-05,8.623302e-05,8.688441e-05,8.813500e-05,8.830023e-05,8.962873e-05,8.988421e-05,9.087289e-05,9.148756e-05,9.203582e-05,9.295222e-05,9.312069e-05,9.413071e-05,9.428558e-05,9.506903e-05,9.549484e-05,9.593866e-05,9.658686e-05,9.674251e-05,9.748339e-05,9.756819e-05,9.816399e-05,9.844504e-05,9.878695e-05,9.922341e-05,9.935480e-05,9.987003e-05,9.990905e-05,1.003350e-04,1.005074e-04,1.007520e-04,1.010238e-04,1.011232e-04,1.014509e-04,1.014631e-04,1.017370e-04,1.018302e-04,1.019836e-04,1.021297e-04,1.021926e-04,1.023658e-04,1.025050e-04,1.025427e-04,1.026120e-04,1.026643e-04,1.026883e-04,1.027342e-04,1.027356e-04,1.027553e-04,1.027561e-04,1.027489e-04,1.027331e-04,1.027178e-04,1.026686e-04,1.026634e-04,1.025869e-04,1.025654e-04,1.024896e-04,1.024264e-04,1.023725e-04,1.022542e-04,1.022369e-04,1.020839e-04,1.020513e-04,1.019144e-04,1.018201e-04,1.017294e-04,1.015628e-04,1.015299e-04,1.013168e-04,1.012815e-04,1.010909e-04,1.009782e-04,1.008531e-04,1.006548e-04,1.006041e-04,1.003447e-04,1.003130e-04,1.000757e-04,9.995440e-05,9.979761e-05,9.958064e-05,9.951117e-05,9.921700e-05,9.919314e-05,9.891567e-05,9.879327e-05,9.860777e-05,9.838230e-05,9.829381e-05,9.797433e-05,9.796144e-05,9.764979e-05,9.753181e-05,9.732067e-05,9.709447e-05,9.698740e-05,9.665040e-05,9.620054e-05,9.574573e-05,9.528680e-05,9.482448e-05,9.435949e-05,9.389249e-05,9.342407e-05,9.295481e-05,9.248524e-05,9.201585e-05,9.154708e-05,9.107938e-05,9.061311e-05,9.014865e-05,8.968633e-05,8.922644e-05,8.876928e-05,8.831511e-05,8.786415e-05,8.741663e-05,8.697275e-05,8.653268e-05,8.609658e-05,8.566461e-05
0.000000e+00,4.556281e-11,2.126372e-10,1.787442e-09,6.526095e-09,1.144870e-08,3.620942e-08,3.768814e-08,8.926702e-08,1.094156e-07,1.747343e-07,2.458488e-07,3.026922e-07,4.655851e-07,4.820393e-07,7.219320e-07,7.895164e-07,1.031157e-06,1.237313e-06,1.416586e-06,1.821067e-06,1.880901e-06,2.420889e-06,2.537280e-06,3.027929e-06,3.366283e-06,3.690444e-06,4.281086e-06,4.396524e-06,5.135373e-06,5.255989e-06,5.897701e-06,6.269580e-06,6.675558e-06,7.304372e-06,7.462065e-06,8.251184e-06,8.345794e-06,9.037584e-06,9.381507e-06,9.816566e-06,1.040108e-05,1.058402e-05,1.133639e-05,1.139584e-05,1.207068e-05,1.235876e-05,1.278440e-05,1.328439e-05,1.347554e-05,1.414254e-05,1.416870e-05,1.478425e-05,1.500891e-05,1.539987e-05,1.580333e-05,1.598891e-05,1.655118e-05,1.708669e-05,1.725243e-05,1.759565e-05,1.790763e-05,1.807844e-05,1.851776e-05,1.853556e-05,1.896759e-05,1.908415e-05,1.937521e-05,1.960837e-05,1.975915e-05,2.009212e-05,2.012018e-05,2.045910e-05,2.053724e-05,2.077673e-05,2.094560e-05,2.107388e-05,2.131909e-05,2.135138e-05,2.161004e-05,2.165958e-05,2.185065e-05,2.196890e-05,2.207401e-05,2.224885e-05,2.228087e-05,2.247198e-05,2.250115e-05,2.264806e-05,2.272745e-05,2.280981e-05,2.292934e-05,2.295790e-05,2.309298e-05,2.310835e-05,2.321567e-05,2.326589e-05,2.332658e-05,2.340334e-05,2.342628e-05,2.351531e-05,2.352199e-05,2.359423e-05,2.362307e-05,2.366352e-05,2.370773e-05,2.372368e-05,2.377516e-05,2.377705e-05,2.381842e-05,2.383207e-05,2.385389e-05,2.387375e-05,2.388195e-05,2.390301e-05,2.391744e-05,2.392071e-05,2.392558e-05,2.392765e-05,2.392778e-05,2.392459e-05,2.392435e-05,2.391561e-05,2.391225e-05,2.390184e-05,2.389128e-05,2.388333e-05,2.386233e-05,2.386033e-05,2.383312e-05,2.382598e-05,2.380192e-05,2.378279e-05,2.376696e-05,2.373327e-05,2.372847e-05,2.368666e-05,2.367792e-05,2.364172e-05,2.361718e-05,2.359385e-05,2.355150e-05,2.354322e-05,2.349001e-05,2.348126e-05,2.343437e-05,2.340685e-05,2.337647e-05,2.332863e-05,2.331646e-05,2.325447e-05,2.324691e-05,2.319064e-05,2.316201e-05,2.312510e-05,2.307422e-05,2.305797e-05,2.298936e-05,2.298381e-05,2.291938e-05,2.289103e-05,2.284815e-05,2.279613e-05,2.277575e-05,2.270229e-05,2.269933e-05,2.262785e-05,2.260083e-05,2.255252e-05,2.250083e-05,2.247638e-05,2.239950e-05,2.229703e-05,2.219357e-05,2.208927e-05,2.198426e-05,2.187868e-05,2.177265e-05,2.166628e-05,2.155967e-05,2.145293e-05,2.134615e-05,2.123940e-05,2.113277e-05,2.102634e-05,2.092016e-05,2.081431e-05,2.070884e-05,2.060380e-05,2.049925e-05,2.039524e-05,2.029180e-05,2.018897e-05,2.008680e-05,1.998531e-05,1.988454e-05
0.000000e+00,3.074710e-12,1.888034e-11,2.651117e-10,1.452817e-09,3.114081e-09,1.550323e-08,1.640841e-08,5.643914e-08,7.578803e-08,1.498987e-07,2.473243e-07,3.359292e-07,6.340435e-07,6.673483e-07,1.205947e-06,1.372674e-06,2.008152e-06,2.586534e-06,3.108245e-06,4.326837e-06,4.510536e-06,6.193050e-06,6.559965e-06,8.117313e-06,9.198541e-06,1.023821e-05,1.213877e-05,1.251083e-05,1.489395e-05,1.528299e-05,1.735110e-05,1.854732e-05,1.985044e-05,2.186141e-05,2.236406e-05,2.486737e-05,2.516601e-05,2.733867e-05,2.841091e-05,2.975894e-05,3.155400e-05,3.211173e-05,3.438311e-05,3.456094e-05,3.656170e-05,3.740508e-05,3.863858e-05,4.006716e-05,4.060716e-05,4.246306e-05,4.253491e-05,4.420387e-05,4.480220e-05,4.582891e-05,4.686818e-05,4.733900e-05,4.873620e-05,5.002354e-05,5.041290e-05,5.120485e-05,5.190724e-05,5.228450e-05,5.322975e-05,5.326726e-05,5.415816e-05,5.439185e-05,5.496233e-05,5.540535e-05,5.568493e-05,5.628207e-05,5.633107e-05,5.690571e-05,5.703353e-05,5.741369e-05,5.767077e-05,5.785962e-05,5.820422e-05,5.824791e-05,5.858275e-05,5.864366e-05,5.886808e-05,5.899812e-05,5.910759e-05,5.927594e-05,5.930478e-05,5.946289e-05,5.948477e-05,5.958495e-05,5.963157e-05,5.967379e-05,5.972271e-05,5.973203e-05,5.976212e-05,5.976395e-05,5.976632e-05,5.976052e-05,5.974674e-05,5.971716e-05,5.970533e-05,5.964389e-05,5.963816e-05,5.956409e-05,5.952738e-05,5.946748e-05,5.938834e-05,5.935551e-05,5.922950e-05,5.922418e-05,5.909068e-05,5.903779e-05,5.894018e-05,5.883172e-05,5.877907e-05,5.860833e-05,5.842885e-05,5.836971e-05,5.824147e-05,5.811777e-05,5.804698e-05,5.785424e-05,5.784609e-05,5.763947e-05,5.758067e-05,5.742773e-05,5.729847e-05,5.721145e-05,5.700892e-05,5.699116e-05,5.676735e-05,5.671316e-05,5.654047e-05,5.641224e-05,5.631095e-05,5.610710e-05,5.607918e-05,5.584552e-05,5.579859e-05,5.561031e-05,5.548749e-05,5.537385e-05,5.517449e-05,5.513645e-05,5.489836e-05,5.486021e-05,5.465983e-05,5.454524e-05,5.442108e-05,5.423009e-05,5.418235e-05,5.394381e-05,5.391521e-05,5.370565e-05,5.360103e-05,5.346805e-05,5.328793e-05,5.323115e-05,5.299509e-05,5.297625e-05,5.276002e-05,5.266630e-05,5.252605e-05,5.235834e-05,5.229330e-05,5.206187e-05,5.205264e-05,5.183185e-05,5.174940e-05,5.160333e-05,5.144883e-05,5.137639e-05,5.115110e-05,5.085636e-05,5.056475e-05,5.027639e-05,4.999139e-05,4.970983e-05,4.943179e-05,4.915735e-05,4.888656e-05,4.861946e-05,4.835610e-05,4.809650e-05,4.784068e-05,4.758866e-05,4.734044e-05,4.709604e-05,4.685545e-05,4.661866e-05,4.638566e-05,4.615643e-05,4.593096e-05,4.570923e-05,4.549121e-05,4.527687e-05,4.506618e-05
0.000000e+00,2.596064e-12,1.584695e-11,2.198056e-10,1.190559e-09,2.534406e-09,1.235829e-08,1.306721e-08,4.371385e-08,5.815999e-08,1.119516e-07,1.798949e-07,2.396504e-07,4.310311e-07,4.517257e-07,7.750175e-07,8.722365e-07,1.237273e-06,1.567071e-06,1.865740e-06,2.575893e-06,2.684972e-06,3.714203e-06,3.946438e-06,4.965337e-06,5.705237e-06,6.442328e-06,7.855369e-06,8.141961e-06,1.005533e-05,1.038048e-05,1.216944e-05,1.325096e-05,1.446853e-05,1.642923e-05,1.693504e-05,1.955035e-05,1.987327e-05,2.229519e-05,2.353894e-05,2.515010e-05,2.738154e-05,2.809576e-05,3.111324e-05,3.135720e-05,3.418438e-05,3.542395e-05,3.729191e-05,3.954279e-05,4.041974e-05,4.355305e-05,4.367830e-05,4.667837e-05,4.779917e-05,4.978367e-05,5.187837e-05,5.285834e-05,5.589311e-05,5.888005e-05,5.982464e-05,6.181245e-05,6.365795e-05,6.468474e-05,6.738134e-05,6.749236e-05,7.023168e-05,7.098605e-05,7.289989e-05,7.446580e-05,7.549491e-05,7.781643e-05,7.801529e-05,8.046009e-05,8.103555e-05,8.282890e-05,8.412220e-05,8.512165e-05,8.707659e-05,8.733865e-05,8.948046e-05,8.989987e-05,9.154790e-05,9.259390e-05,9.354197e-05,9.516113e-05,9.546383e-05,9.731478e-05,9.760445e-05,9.909622e-05,9.992706e-05,1.008096e-04,1.021324e-04,1.024566e-04,1.040386e-04,1.042241e-04,1.055573e-04,1.062059e-04,1.070144e-04,1.080816e-04,1.084115e-04,1.097504e-04,1.098550e-04,1.110325e-04,1.115299e-04,1.122597e-04,1.131101e-04,1.134335e-04,1.145555e-04,1.145994e-04,1.156275e-04,1.160014e-04,1.166508e-04,1.173197e-04,1.176271e-04,1.185580e-04,1.194448e-04,1.197195e-04,1.202891e-04,1.208078e-04,1.210923e-04,1.218260e-04,1.218558e-04,1.225810e-04,1.227773e-04,1.232691e-04,1.236648e-04,1.239216e-04,1.244915e-04,1.245397e-04,1.251246e-04,1.252601e-04,1.256775e-04,1.259736e-04,1.261996e-04,1.266344e-04,1.266920e-04,1.271559e-04,1.272453e-04,1.275923e-04,1.278087e-04,1.280023e-04,1.283270e-04,1.283869e-04,1.287470e-04,1.288025e-04,1.290837e-04,1.292373e-04,1.293979e-04,1.296336e-04,1.296904e-04,1.299622e-04,1.299934e-04,1.302140e-04,1.303187e-04,1.304468e-04,1.306114e-04,1.306612e-04,1.308581e-04,1.308731e-04,1.310382e-04,1.311057e-04,1.312022e-04,1.313107e-04,1.313508e-04,1.314847e-04,1.314898e-04,1.316045e-04,1.316444e-04,1.317109e-04,1.317759e-04,1.318045e-04,1.318858e-04,1.319752e-04,1.320456e-04,1.320980e-04,1.321336e-04,1.321535e-04,1.321586e-04,1.321501e-04,1.321287e-04,1.320954e-04,1.320510e-04,1.319963e-04,1.319322e-04,1.318592e-04,1.317781e-04,1.316895e-04,1.315941e-04,1.314923e-04,1.313849e-04,1.312722e-04,1.311549e-04,1.310332e-04,1.309078e-04,1.307789e-04,1.306470e-04
0.000000e+00,2.624272e-12,1.638862e-11,2.381029e-10,1.344077e-09,2.926156e-09,1.511826e-08,1.602336e-08,5.684111e-08,7.687654e-08,1.544143e-07,2.572654e-07,3.512388e-07,6.693126e-07,7.050308e-07,1.289417e-06,1.473357e-06,2.189730e-06,2.863851e-06,3.490068e-06,5.016815e-06,5.254333e-06,7.510704e-06,8.020628e-06,1.024700e-05,1.184515e-05,1.341672e-05,1.636412e-05,1.695084e-05,2.077001e-05,2.140212e-05,2.479410e-05,2.677619e-05,2.894832e-05,3.232045e-05,3.316626e-05,3.739085e-05,3.789587e-05,4.157409e-05,4.339112e-05,4.567632e-05,4.871967e-05,4.966516e-05,5.351472e-05,5.381602e-05,5.720470e-05,5.863243e-05,6.071979e-05,6.313602e-05,6.404898e-05,6.718507e-05,6.730643e-05,7.012414e-05,7.113369e-05,7.286511e-05,7.461638e-05,7.540925e-05,7.775979e-05,7.992156e-05,8.057442e-05,8.190063e-05,8.307455e-05,8.370398e-05,8.527700e-05,8.533928e-05,8.681463e-05,8.720019e-05,8.813836e-05,8.886334e-05,8.931892e-05,9.028582e-05,9.036472e-05,9.128402e-05,9.148673e-05,9.208488e-05,9.248455e-05,9.277510e-05,9.329694e-05,9.336218e-05,9.385328e-05,9.394059e-05,9.425521e-05,9.443113e-05,9.457442e-05,9.478312e-05,9.481704e-05,9.498880e-05,9.501007e-05,9.509512e-05,9.512442e-05,9.514108e-05,9.513761e-05,9.513145e-05,9.507067e-05,9.506014e-05,9.496292e-05,9.490164e-05,9.481207e-05,9.467086e-05,9.462177e-05,9.439539e-05,9.437581e-05,9.413608e-05,9.402380e-05,9.384678e-05,9.362146e-05,9.353022e-05,9.318894e-05,9.317481e-05,9.282530e-05,9.268934e-05,9.244149e-05,9.217003e-05,9.203956e-05,9.162139e-05,9.118873e-05,9.104749e-05,9.074321e-05,9.045204e-05,9.028635e-05,8.983839e-05,8.981954e-05,8.934407e-05,8.920956e-05,8.886115e-05,8.856828e-05,8.837188e-05,8.791704e-05,8.787730e-05,8.737835e-05,8.725805e-05,8.687591e-05,8.659333e-05,8.637079e-05,8.592466e-05,8.586373e-05,8.535543e-05,8.525367e-05,8.484651e-05,8.458182e-05,8.433755e-05,8.391040e-05,8.382910e-05,8.332165e-05,8.324058e-05,8.281565e-05,8.257340e-05,8.231150e-05,8.190979e-05,8.180960e-05,8.131029e-05,8.125056e-05,8.081388e-05,8.059646e-05,8.032066e-05,7.994811e-05,7.983090e-05,7.934482e-05,7.930610e-05,7.886264e-05,7.867091e-05,7.838456e-05,7.804298e-05,7.791075e-05,7.744136e-05,7.742268e-05,7.697654e-05,7.681034e-05,7.651639e-05,7.620623e-05,7.606104e-05,7.561058e-05,7.502358e-05,7.444540e-05,7.387615e-05,7.331594e-05,7.276483e-05,7.222287e-05,7.169008e-05,7.116648e-05,7.065205e-05,7.014676e-05,6.965060e-05,6.916348e-05,6.868536e-05,6.821617e-05,6.775581e-05,6.730420e-05,6.686125e-05,6.642685e-05,6.600089e-05,6.558327e-05,6.517387e-05,6.477257e-05,6.437924e-05,6.399378e-05
0.000000e+00,3.776613e-12,2.177055e-11,2.694010e-10,1.322548e-09,2.673854e-09,1.150485e-08,1.210610e-08,3.621094e-08,4.682968e-08,8.425614e-08,1.286963e-07,1.661739e-07,2.801452e-07,2.920745e-07,4.720888e-07,5.244647e-07,7.162483e-07,8.845852e-07,1.034055e-06,1.381019e-06,1.433452e-06,1.919298e-06,2.026969e-06,2.492088e-06,2.823101e-06,3.147724e-06,3.756909e-06,3.878491e-06,4.674570e-06,4.807299e-06,5.525403e-06,5.950173e-06,6.420570e-06,7.161976e-06,7.350213e-06,8.305161e-06,8.421045e-06,9.276914e-06,9.707763e-06,1.025762e-05,1.100447e-05,1.124005e-05,1.221762e-05,1.229543e-05,1.318436e-05,1.356682e-05,1.413498e-05,1.480683e-05,1.506486e-05,1.597005e-05,1.600569e-05,1.684724e-05,1.715564e-05,1.769376e-05,1.825081e-05,1.850755e-05,1.928707e-05,2.003128e-05,2.026186e-05,2.073956e-05,2.117389e-05,2.141170e-05,2.202303e-05,2.204779e-05,2.264820e-05,2.281000e-05,2.321353e-05,2.353621e-05,2.374457e-05,2.420363e-05,2.424224e-05,2.470759e-05,2.481458e-05,2.514173e-05,2.537165e-05,2.554583e-05,2.587757e-05,2.592113e-05,2.626883e-05,2.633517e-05,2.659019e-05,2.674729e-05,2.688643e-05,2.711674e-05,2.715875e-05,2.740835e-05,2.744625e-05,2.763638e-05,2.773850e-05,2.784395e-05,2.799602e-05,2.803216e-05,2.820204e-05,2.822124e-05,2.835459e-05,2.841648e-05,2.849079e-05,2.858391e-05,2.861153e-05,2.871771e-05,2.872560e-05,2.881016e-05,2.884348e-05,2.888967e-05,2.893934e-05,2.895701e-05,2.901289e-05,2.901490e-05,2.905801e-05,2.907174e-05,2.909299e-05,2.911132e-05,2.911848e-05,2.913504e-05,2.914323e-05,2.914417e-05,2.914358e-05,2.913992e-05,2.913658e-05,2.912339e-05,2.912270e-05,2.910239e-05,2.909561e-05,2.907606e-05,2.905755e-05,2.904412e-05,2.901010e-05,2.900694e-05,2.896487e-05,2.895408e-05,2.891825e-05,2.889027e-05,2.886739e-05,2.881938e-05,2.881261e-05,2.875417e-05,2.874207e-05,2.869235e-05,2.865896e-05,2.862741e-05,2.857061e-05,2.855957e-05,2.848906e-05,2.847755e-05,2.841610e-05,2.838027e-05,2.834089e-05,2.827923e-05,2.826362e-05,2.818446e-05,2.817484e-05,2.810358e-05,2.806749e-05,2.802114e-05,2.795754e-05,2.793730e-05,2.785219e-05,2.784533e-05,2.776595e-05,2.773116e-05,2.767869e-05,2.761531e-05,2.759055e-05,2.750163e-05,2.749806e-05,2.741203e-05,2.737963e-05,2.732186e-05,2.726027e-05,2.723121e-05,2.714017e-05,2.701952e-05,2.689850e-05,2.677728e-05,2.665601e-05,2.653481e-05,2.641382e-05,2.629315e-05,2.617291e-05,2.605320e-05,2.593411e-05,2.581571e-05,2.569809e-05,2.558130e-05,2.546541e-05,2.535048e-05,2.523656e-05,2.512369e-05,2.501191e-05,2.490125e-05,2.479176e-05,2.468345e-05,2.457636e-05,2.447051e-05,2.436590e-05
0.000000e+00,3.687784e-14,2.435437e-13,3.968780e-12,2.483074e-11,5.714458e-11,3.393587e-10,3.616636e-10,1.460847e-09,2.043127e-09,4.447018e-09,7.870105e-09,1.114931e-08,2.290912e-08,2.427587e-08,4.750027e-08,5.507424e-08,8.548526e-08,1.152552e-07,1.438247e-07,2.170323e-07,2.288710e-07,3.474286e-07,3.757681e-07,5.063382e-07,6.070770e-07,7.120131e-07,9.250163e-07,9.700064e-07,1.284662e-06,1.340481e-06,1.658882e-06,1.860119e-06,2.094007e-06,2.485856e-06,2.589808e-06,3.144569e-06,3.214969e-06,3.755215e-06,4.040548e-06,4.417504e-06,4.952209e-06,5.126230e-06,5.875439e-06,5.936933e-06,6.658649e-06,6.979935e-06,7.469054e-06,8.065493e-06,8.299721e-06,9.143763e-06,9.177708e-06,9.994489e-06,1.030115e-05,1.084554e-05,1.142138e-05,1.169097e-05,1.252538e-05,1.334389e-05,1.360175e-05,1.414226e-05,1.464095e-05,1.491687e-05,1.563531e-05,1.566467e-05,1.638327e-05,1.657898e-05,1.707081e-05,1.746786e-05,1.772598e-05,1.829942e-05,1.834794e-05,1.893632e-05,1.907252e-05,1.949110e-05,1.978722e-05,2.001263e-05,2.044454e-05,2.050151e-05,2.095860e-05,2.104629e-05,2.138494e-05,2.159487e-05,2.178171e-05,2.209309e-05,2.215021e-05,2.249179e-05,2.254405e-05,2.280788e-05,2.295097e-05,2.309990e-05,2.331712e-05,2.336925e-05,2.361735e-05,2.364576e-05,2.384556e-05,2.394001e-05,2.405519e-05,2.420287e-05,2.424751e-05,2.442373e-05,2.443716e-05,2.458497e-05,2.464552e-05,2.473232e-05,2.483036e-05,2.486676e-05,2.498926e-05,2.499392e-05,2.510066e-05,2.513822e-05,2.520180e-05,2.526508e-05,2.529341e-05,2.537618e-05,2.545077e-05,2.547300e-05,2.551775e-05,2.555688e-05,2.557767e-05,2.562901e-05,2.563103e-05,2.567828e-05,2.569048e-05,2.571986e-05,2.574224e-05,2.575614e-05,2.578514e-05,2.578748e-05,2.581421e-05,2.581998e-05,2.583664e-05,2.584742e-05,2.585504e-05,2.586811e-05,2.586967e-05,2.588077e-05,2.588259e-05,2.588856e-05,2.589138e-05,2.589325e-05,2.589493e-05,2.589502e-05,2.589406e-05,2.589366e-05,2.589052e-05,2.588795e-05,2.588456e-05,2.587815e-05,2.587633e-05,2.586595e-05,2.586456e-05,2.585355e-05,2.584749e-05,2.583926e-05,2.582719e-05,2.582317e-05,2.580541e-05,2.580391e-05,2.578605e-05,2.577789e-05,2.576521e-05,2.574932e-05,2.574295e-05,2.571938e-05,2.571841e-05,2.569456e-05,2.568533e-05,2.566857e-05,2.565026e-05,2.564148e-05,2.561336e-05,2.557476e-05,2.553461e-05,2.549304e-05,2.545017e-05,2.540610e-05,2.536096e-05,2.531484e-05,2.526782e-05,2.522001e-05,2.517148e-05,2.512231e-05,2.507258e-05,2.502235e-05,2.497169e-05,2.492066e-05,2.486933e-05,2.481773e-05,2.476594e-05,2.471398e-05,2.466192e-05,2.460978e-05,2.455762e-05,2.450547e-05,2.445336e-05
0.000000e+00,3.336137e-09,7.650978e-09,2.629723e-08,5.970134e-08,8.697662e-08,1.965744e-07,2.024587e-07,3.898629e-07,4.576455e-07,6.671806e-07,8.846518e-07,1.053541e-06,1.522170e-06,1.568554e-06,2.230400e-06,2.412736e-06,3.052397e-06,3.584571e-06,4.038169e-06,5.032924e-06,5.176904e-06,6.442213e-06,6.707310e-06,7.797345e-06,8.524686e-06,9.204188e-06,1.040184e-05,1.063017e-05,1.205052e-05,1.227598e-05,1.344741e-05,1.410572e-05,1.480821e-05,1.586476e-05,1.612398e-05,1.738839e-05,1.753644e-05,1.859704e-05,1.911039e-05,1.974702e-05,2.058067e-05,2.083661e-05,2.186501e-05,2.194463e-05,2.283222e-05,2.320210e-05,2.373889e-05,2.435480e-05,2.458612e-05,2.537543e-05,2.540583e-05,2.610865e-05,2.635925e-05,2.678779e-05,2.721982e-05,2.741502e-05,2.799263e-05,2.852293e-05,2.868301e-05,2.900824e-05,2.929630e-05,2.945088e-05,2.983778e-05,2.985312e-05,3.021718e-05,3.031257e-05,3.054522e-05,3.072561e-05,3.083930e-05,3.108160e-05,3.110144e-05,3.133354e-05,3.138498e-05,3.153744e-05,3.163995e-05,3.171486e-05,3.185042e-05,3.186748e-05,3.199687e-05,3.202009e-05,3.210451e-05,3.215237e-05,3.219184e-05,3.225047e-05,3.226018e-05,3.231080e-05,3.231734e-05,3.234490e-05,3.235574e-05,3.236361e-05,3.236821e-05,3.236799e-05,3.235905e-05,3.235712e-05,3.233773e-05,3.232465e-05,3.230492e-05,3.227282e-05,3.226146e-05,3.220816e-05,3.220349e-05,3.214573e-05,3.211837e-05,3.207490e-05,3.201906e-05,3.199630e-05,3.191057e-05,3.190700e-05,3.181827e-05,3.178354e-05,3.171994e-05,3.164991e-05,3.161611e-05,3.150725e-05,3.139381e-05,3.135661e-05,3.127621e-05,3.119894e-05,3.115484e-05,3.103514e-05,3.103008e-05,3.090228e-05,3.086599e-05,3.077176e-05,3.069226e-05,3.063882e-05,3.051462e-05,3.050374e-05,3.036680e-05,3.033369e-05,3.022825e-05,3.015004e-05,3.008832e-05,2.996420e-05,2.994722e-05,2.980515e-05,2.977664e-05,2.966232e-05,2.958780e-05,2.951889e-05,2.939807e-05,2.937503e-05,2.923090e-05,2.920782e-05,2.908663e-05,2.901738e-05,2.894236e-05,2.882703e-05,2.879822e-05,2.865431e-05,2.863706e-05,2.851075e-05,2.844771e-05,2.836763e-05,2.825921e-05,2.822504e-05,2.808307e-05,2.807174e-05,2.794180e-05,2.788550e-05,2.780130e-05,2.770065e-05,2.766163e-05,2.752286e-05,2.751733e-05,2.738504e-05,2.733567e-05,2.724822e-05,2.715579e-05,2.711246e-05,2.697778e-05,2.680175e-05,2.662776e-05,2.645589e-05,2.628620e-05,2.611874e-05,2.595354e-05,2.579066e-05,2.563011e-05,2.547192e-05,2.531611e-05,2.516269e-05,2.501166e-05,2.486304e-05,2.471682e-05,2.457299e-05,2.443156e-05,2.429250e-05,2.415582e-05,2.402149e-05,2.388950e-05,2.375983e-05,2.363246e-05,2.350736e-05,2.338452e-05
0.000000e+00,4.600601e-13,2.969023e-12,4.612413e-11,2.762852e-10,6.208596e-10,3.468297e-09,3.687136e-09,1.403054e-08,1.931211e-08,4.040490e-08,6.930750e-08,9.624605e-08,1.893927e-07,1.999730e-07,3.749717e-07,4.306001e-07,6.492496e-07,8.579241e-07,1.054511e-06,1.546069e-06,1.624207e-06,2.390283e-06,2.569527e-06,3.379076e-06,3.987323e-06,4.607447e-06,5.828388e-06,6.080306e-06,7.790041e-06,8.084455e-06,9.717704e-06,1.071246e-05,1.183537e-05,1.364359e-05,1.410904e-05,1.650145e-05,1.679471e-05,1.897465e-05,2.007891e-05,2.149193e-05,2.341346e-05,2.401924e-05,2.652612e-05,2.672497e-05,2.898621e-05,2.995204e-05,3.137736e-05,3.304609e-05,3.368165e-05,3.588508e-05,3.597096e-05,3.797726e-05,3.870175e-05,3.995107e-05,4.122333e-05,4.180217e-05,4.352862e-05,4.513053e-05,4.561707e-05,4.660959e-05,4.749308e-05,4.796884e-05,4.916472e-05,4.921230e-05,5.034474e-05,5.064264e-05,5.137146e-05,5.193908e-05,5.229809e-05,5.306720e-05,5.313045e-05,5.387441e-05,5.404045e-05,5.453577e-05,5.487219e-05,5.512023e-05,5.557534e-05,5.563332e-05,5.608030e-05,5.616221e-05,5.646621e-05,5.664433e-05,5.679580e-05,5.703243e-05,5.707356e-05,5.730368e-05,5.733634e-05,5.749006e-05,5.756507e-05,5.763635e-05,5.772680e-05,5.774593e-05,5.782193e-05,5.782893e-05,5.786724e-05,5.787814e-05,5.788452e-05,5.788043e-05,5.787624e-05,5.784467e-05,5.784120e-05,5.779188e-05,5.776526e-05,5.771981e-05,5.765696e-05,5.763020e-05,5.752468e-05,5.752015e-05,5.740474e-05,5.735830e-05,5.727175e-05,5.717451e-05,5.712696e-05,5.697154e-05,5.680653e-05,5.675187e-05,5.663292e-05,5.651771e-05,5.645161e-05,5.627106e-05,5.626341e-05,5.606910e-05,5.601369e-05,5.586936e-05,5.574718e-05,5.566484e-05,5.547296e-05,5.545613e-05,5.524376e-05,5.519231e-05,5.502825e-05,5.490636e-05,5.481005e-05,5.461616e-05,5.458959e-05,5.436726e-05,5.432260e-05,5.414342e-05,5.402653e-05,5.391839e-05,5.372868e-05,5.369249e-05,5.346599e-05,5.342972e-05,5.323916e-05,5.313023e-05,5.301223e-05,5.283077e-05,5.278543e-05,5.255895e-05,5.253180e-05,5.233297e-05,5.223375e-05,5.210768e-05,5.193701e-05,5.188322e-05,5.165975e-05,5.164192e-05,5.143739e-05,5.134878e-05,5.121626e-05,5.105788e-05,5.099648e-05,5.077814e-05,5.076944e-05,5.056134e-05,5.048369e-05,5.034616e-05,5.020081e-05,5.013268e-05,4.992097e-05,4.964432e-05,4.937100e-05,4.910109e-05,4.883472e-05,4.857195e-05,4.831285e-05,4.805749e-05,4.780590e-05,4.755813e-05,4.731420e-05,4.707414e-05,4.683795e-05,4.660565e-05,4.637723e-05,4.615269e-05,4.593201e-05,4.571519e-05,4.550220e-05,4.529302e-05,4.508762e-05,4.488597e-05,4.468805e-05,4.449381e-05,4.430323e-05
0.000000e+00,3.773964e-13,2.392893e-12,3.583343e-11,2.076200e-10,4.582129e-10,2.446448e-09,2.596177e-09,9.478015e-09,1.291056e-08,2.636711e-08,4.446567e-08,6.115270e-08,1.182532e-07,1.247069e-07,2.310103e-07,2.646685e-07,3.963062e-07,5.207242e-07,6.366162e-07,9.200177e-07,9.641886e-07,1.384536e-06,1.479668e-06,1.895337e-06,2.193836e-06,2.487288e-06,3.036936e-06,3.146185e-06,3.855355e-06,3.972339e-06,4.597757e-06,4.961174e-06,5.357483e-06,5.968306e-06,6.120613e-06,6.875550e-06,6.965127e-06,7.613001e-06,7.930018e-06,8.325769e-06,8.847580e-06,9.008446e-06,9.657116e-06,9.707452e-06,1.026910e-05,1.050321e-05,1.084272e-05,1.123147e-05,1.137713e-05,1.187218e-05,1.189117e-05,1.232829e-05,1.248312e-05,1.274636e-05,1.300955e-05,1.312765e-05,1.347376e-05,1.378649e-05,1.387984e-05,1.406783e-05,1.423236e-05,1.431984e-05,1.453615e-05,1.454465e-05,1.474436e-05,1.479607e-05,1.492107e-05,1.501687e-05,1.507675e-05,1.520305e-05,1.521331e-05,1.533254e-05,1.535876e-05,1.543610e-05,1.548782e-05,1.552551e-05,1.559361e-05,1.560218e-05,1.566737e-05,1.567913e-05,1.572223e-05,1.574703e-05,1.576780e-05,1.579958e-05,1.580500e-05,1.583466e-05,1.583875e-05,1.585750e-05,1.586625e-05,1.587420e-05,1.588351e-05,1.588532e-05,1.589138e-05,1.589179e-05,1.589285e-05,1.589216e-05,1.589015e-05,1.588552e-05,1.588362e-05,1.587361e-05,1.587267e-05,1.586041e-05,1.585430e-05,1.584428e-05,1.583099e-05,1.582547e-05,1.580418e-05,1.580328e-05,1.578062e-05,1.577161e-05,1.575496e-05,1.573640e-05,1.572737e-05,1.569800e-05,1.566699e-05,1.565674e-05,1.563446e-05,1.561290e-05,1.560054e-05,1.556676e-05,1.556532e-05,1.552892e-05,1.551853e-05,1.549143e-05,1.546845e-05,1.545293e-05,1.541670e-05,1.541352e-05,1.537325e-05,1.536347e-05,1.533222e-05,1.530893e-05,1.529048e-05,1.525322e-05,1.524811e-05,1.520515e-05,1.519650e-05,1.516167e-05,1.513888e-05,1.511773e-05,1.508048e-05,1.507336e-05,1.502862e-05,1.502143e-05,1.498355e-05,1.496182e-05,1.493820e-05,1.490174e-05,1.489260e-05,1.484679e-05,1.484128e-05,1.480081e-05,1.478053e-05,1.475469e-05,1.471956e-05,1.470846e-05,1.466215e-05,1.465844e-05,1.461579e-05,1.459724e-05,1.456941e-05,1.453601e-05,1.452302e-05,1.447667e-05,1.447481e-05,1.443036e-05,1.441370e-05,1.438412e-05,1.435272e-05,1.433796e-05,1.429192e-05,1.423133e-05,1.417100e-05,1.411095e-05,1.405123e-05,1.399187e-05,1.393288e-05,1.387430e-05,1.381615e-05,1.375844e-05,1.370121e-05,1.364446e-05,1.358821e-05,1.353249e-05,1.347729e-05,1.342264e-05,1.336853e-05,1.331500e-05,1.326203e-05,1.320964e-05,1.315783e-05,1.310662e-05,1.305600e-05,1.300597e-05,1.295655e-05
0.000000e+00,1.192346e-09,2.857388e-09,1.031048e-08,2.402453e-08,3.540632e-08,8.225024e-08,8.480806e-08,1.681894e-07,1.991515e-07,2.968204e-07,3.998971e-07,4.800525e-07,6.985291e-07,7.196969e-07,1.011886e-06,1.089344e-06,1.352509e-06,1.563334e-06,1.738779e-06,2.114867e-06,2.168702e-06,2.640429e-06,2.739613e-06,3.151861e-06,3.432677e-06,3.700470e-06,4.187836e-06,4.283235e-06,4.896658e-06,4.997395e-06,5.536834e-06,5.852391e-06,6.199542e-06,6.742960e-06,6.880353e-06,7.574740e-06,7.658764e-06,8.278191e-06,8.589442e-06,8.986308e-06,9.525004e-06,9.694891e-06,1.040001e-05,1.045616e-05,1.109807e-05,1.137457e-05,1.178582e-05,1.227299e-05,1.246039e-05,1.311933e-05,1.314533e-05,1.376054e-05,1.398669e-05,1.438231e-05,1.479331e-05,1.498329e-05,1.556242e-05,1.611899e-05,1.629224e-05,1.665251e-05,1.698175e-05,1.716274e-05,1.763058e-05,1.764961e-05,1.811323e-05,1.823892e-05,1.855390e-05,1.880743e-05,1.897200e-05,1.933713e-05,1.936801e-05,1.974252e-05,1.982927e-05,2.009616e-05,2.028534e-05,2.042962e-05,2.070693e-05,2.074360e-05,2.103885e-05,2.109572e-05,2.131611e-05,2.145342e-05,2.157613e-05,2.178178e-05,2.181967e-05,2.204752e-05,2.208257e-05,2.226041e-05,2.235748e-05,2.245902e-05,2.260808e-05,2.264403e-05,2.281608e-05,2.283588e-05,2.297581e-05,2.304235e-05,2.312384e-05,2.322888e-05,2.326075e-05,2.338708e-05,2.339675e-05,2.350338e-05,2.354721e-05,2.361016e-05,2.368142e-05,2.370791e-05,2.379710e-05,2.380049e-05,2.387816e-05,2.390544e-05,2.395153e-05,2.399722e-05,2.401759e-05,2.407673e-05,2.412931e-05,2.414481e-05,2.417568e-05,2.420224e-05,2.421616e-05,2.424977e-05,2.425106e-05,2.428068e-05,2.428806e-05,2.430529e-05,2.431777e-05,2.432517e-05,2.433949e-05,2.434056e-05,2.435171e-05,2.435378e-05,2.435883e-05,2.436115e-05,2.436215e-05,2.436209e-05,2.436187e-05,2.435819e-05,2.435706e-05,2.435128e-05,2.434647e-05,2.434133e-05,2.433073e-05,2.432849e-05,2.431293e-05,2.431020e-05,2.429480e-05,2.428522e-05,2.427423e-05,2.425612e-05,2.425137e-05,2.422634e-05,2.422319e-05,2.419926e-05,2.418673e-05,2.417026e-05,2.414699e-05,2.413943e-05,2.410689e-05,2.410422e-05,2.407274e-05,2.405865e-05,2.403707e-05,2.401049e-05,2.399997e-05,2.396152e-05,2.395995e-05,2.392181e-05,2.390722e-05,2.388092e-05,2.385247e-05,2.383892e-05,2.379588e-05,2.373758e-05,2.367774e-05,2.361649e-05,2.355396e-05,2.349026e-05,2.342552e-05,2.335983e-05,2.329330e-05,2.322602e-05,2.315808e-05,2.308956e-05,2.302054e-05,2.295110e-05,2.288129e-05,2.281119e-05,2.274086e-05,2.267035e-05,2.259972e-05,2.252901e-05,2.245828e-05,2.238756e-05,2.231690e-05,2.224634e-05,2.217592e-05
0.000000e+00,7.558088e-14,4.959883e-13,7.975507e-12,4.928538e-11,1.126470e-10,6.570474e-10,6.997168e-10,2.775638e-09,3.862831e-09,8.303700e-09,1.454823e-08,2.047543e-08,4.146453e-08,4.388429e-08,8.460072e-08,9.775503e-08,1.501549e-07,2.009704e-07,2.494104e-07,3.724834e-07,3.922732e-07,5.891616e-07,6.359304e-07,8.502200e-07,1.014369e-06,1.184374e-06,1.526597e-06,1.598410e-06,2.096265e-06,2.183793e-06,2.678625e-06,2.987529e-06,3.342880e-06,3.929536e-06,4.083369e-06,4.891840e-06,4.992954e-06,5.758030e-06,6.154476e-06,6.670303e-06,7.386828e-06,7.616251e-06,8.583258e-06,8.661154e-06,9.558963e-06,9.949027e-06,1.053165e-05,1.122402e-05,1.149054e-05,1.242597e-05,1.246277e-05,1.332955e-05,1.364564e-05,1.419420e-05,1.475695e-05,1.501419e-05,1.578506e-05,1.650358e-05,1.672208e-05,1.716765e-05,1.756355e-05,1.777620e-05,1.830799e-05,1.832904e-05,1.882677e-05,1.895642e-05,1.927065e-05,1.951185e-05,1.966246e-05,1.997883e-05,2.000441e-05,2.029904e-05,2.036301e-05,2.054909e-05,2.067072e-05,2.075746e-05,2.090872e-05,2.092714e-05,2.106110e-05,2.108386e-05,2.116229e-05,2.120291e-05,2.123358e-05,2.127239e-05,2.127775e-05,2.129742e-05,2.129847e-05,2.129509e-05,2.128685e-05,2.127309e-05,2.124279e-05,2.123359e-05,2.117858e-05,2.117103e-05,2.110991e-05,2.107581e-05,2.102927e-05,2.096093e-05,2.093819e-05,2.083806e-05,2.082969e-05,2.073012e-05,2.068502e-05,2.061552e-05,2.052945e-05,2.049526e-05,2.037024e-05,2.036516e-05,2.024129e-05,2.019404e-05,2.010911e-05,2.001771e-05,1.997434e-05,1.983756e-05,1.969926e-05,1.965475e-05,1.955988e-05,1.947030e-05,1.941983e-05,1.928505e-05,1.927943e-05,1.913901e-05,1.909972e-05,1.899881e-05,1.891491e-05,1.885909e-05,1.873113e-05,1.872003e-05,1.858182e-05,1.854880e-05,1.844462e-05,1.836828e-05,1.830856e-05,1.818987e-05,1.817376e-05,1.804033e-05,1.801381e-05,1.790834e-05,1.784030e-05,1.777787e-05,1.766951e-05,1.764900e-05,1.752176e-05,1.750156e-05,1.739622e-05,1.733656e-05,1.727239e-05,1.717460e-05,1.715033e-05,1.703004e-05,1.701573e-05,1.691156e-05,1.686000e-05,1.679489e-05,1.670743e-05,1.668003e-05,1.656701e-05,1.655805e-05,1.645581e-05,1.641185e-05,1.634645e-05,1.626883e-05,1.623890e-05,1.613318e-05,1.612899e-05,1.602926e-05,1.599229e-05,1.592714e-05,1.585872e-05,1.582680e-05,1.572824e-05,1.560082e-05,1.547641e-05,1.535498e-05,1.523648e-05,1.512086e-05,1.500807e-05,1.489806e-05,1.479079e-05,1.468619e-05,1.458421e-05,1.448481e-05,1.438791e-05,1.429348e-05,1.420145e-05,1.411178e-05,1.402440e-05,1.393926e-05,1.385632e-05,1.377551e-05,1.369679e-05,1.362010e-05,1.354540e-05,1.347263e-05,1.340175e-05
0.000000e+00,1.200819e-12,7.346595e-12,1.023628e-10,5.568051e-10,1.188342e-09,5.842210e-09,6.179821e-09,2.092877e-08,2.796684e-08,5.456378e-08,8.891296e-08,1.197297e-07,2.216508e-07,2.329302e-07,4.142651e-07,4.703270e-07,6.850545e-07,8.826855e-07,1.063041e-06,1.492063e-06,1.557638e-06,2.168102e-06,2.303391e-06,2.885048e-06,3.295153e-06,3.693695e-06,4.431446e-06,4.577113e-06,5.518509e-06,5.673457e-06,6.502452e-06,6.985779e-06,7.515286e-06,8.338298e-06,8.545101e-06,9.581509e-06,9.705877e-06,1.061541e-05,1.106744e-05,1.163882e-05,1.240526e-05,1.264475e-05,1.362713e-05,1.370454e-05,1.458080e-05,1.495324e-05,1.550148e-05,1.614198e-05,1.638573e-05,1.723093e-05,1.726390e-05,1.803520e-05,1.831448e-05,1.879737e-05,1.929129e-05,1.951688e-05,2.019370e-05,2.082829e-05,2.102256e-05,2.142146e-05,2.177986e-05,2.197434e-05,2.246848e-05,2.248831e-05,2.296491e-05,2.309189e-05,2.340582e-05,2.365395e-05,2.381278e-05,2.415875e-05,2.418759e-05,2.453205e-05,2.461041e-05,2.484794e-05,2.501302e-05,2.513701e-05,2.537053e-05,2.540093e-05,2.564134e-05,2.568674e-05,2.585979e-05,2.596519e-05,2.605775e-05,2.620923e-05,2.623662e-05,2.639773e-05,2.642194e-05,2.654230e-05,2.660617e-05,2.667151e-05,2.676456e-05,2.678645e-05,2.688814e-05,2.689950e-05,2.697753e-05,2.701319e-05,2.705550e-05,2.710764e-05,2.712288e-05,2.718045e-05,2.718465e-05,2.722890e-05,2.724589e-05,2.726892e-05,2.729286e-05,2.730112e-05,2.732606e-05,2.732692e-05,2.734429e-05,2.734931e-05,2.735630e-05,2.736115e-05,2.736255e-05,2.736347e-05,2.735945e-05,2.735719e-05,2.735087e-05,2.734315e-05,2.733807e-05,2.732211e-05,2.732137e-05,2.730107e-05,2.729478e-05,2.727744e-05,2.726177e-05,2.725074e-05,2.722368e-05,2.722122e-05,2.718909e-05,2.718101e-05,2.715456e-05,2.713425e-05,2.711784e-05,2.708384e-05,2.707909e-05,2.703849e-05,2.703017e-05,2.699621e-05,2.697360e-05,2.695237e-05,2.691446e-05,2.690713e-05,2.686061e-05,2.685306e-05,2.681294e-05,2.678967e-05,2.676421e-05,2.672455e-05,2.671455e-05,2.666404e-05,2.665793e-05,2.661278e-05,2.659001e-05,2.656086e-05,2.652100e-05,2.650835e-05,2.645533e-05,2.645107e-05,2.640188e-05,2.638039e-05,2.634805e-05,2.630910e-05,2.629391e-05,2.623952e-05,2.623734e-05,2.618493e-05,2.616524e-05,2.613020e-05,2.609291e-05,2.607536e-05,2.602046e-05,2.594799e-05,2.587558e-05,2.580332e-05,2.573128e-05,2.565952e-05,2.558812e-05,2.551712e-05,2.544658e-05,2.537654e-05,2.530706e-05,2.523815e-05,2.516987e-05,2.510225e-05,2.503530e-05,2.496906e-05,2.490355e-05,2.483880e-05,2.477481e-05,2.471160e-05,2.464919e-05,2.458759e-05,2.452681e-05,2.446685e-05,2.440773e-05
0.000000e+00,3.933795e-10,1.472591e-09,8.836432e-09,2.626247e-08,4.232846e-08,1.143225e-07,1.183954e-07,2.539517e-07,3.048739e-07,4.660285e-07,6.373061e-07,7.721997e-07,1.151651e-06,1.189459e-06,1.729804e-06,1.878211e-06,2.394637e-06,2.818304e-06,3.175229e-06,3.947765e-06,4.058804e-06,5.032724e-06,5.237305e-06,6.085250e-06,6.659874e-06,7.205086e-06,8.189548e-06,8.380998e-06,9.601732e-06,9.800461e-06,1.085613e-05,1.146701e-05,1.213337e-05,1.316464e-05,1.342313e-05,1.471588e-05,1.487079e-05,1.600297e-05,1.656548e-05,1.727673e-05,1.823177e-05,1.853055e-05,1.975880e-05,1.985581e-05,2.095686e-05,2.142676e-05,2.212099e-05,2.293651e-05,2.324831e-05,2.433664e-05,2.437934e-05,2.538447e-05,2.575156e-05,2.639080e-05,2.705114e-05,2.735514e-05,2.827737e-05,2.915769e-05,2.943062e-05,2.999658e-05,3.051203e-05,3.079470e-05,3.152334e-05,3.155291e-05,3.227218e-05,3.246673e-05,3.295356e-05,3.334469e-05,3.359822e-05,3.415987e-05,3.420732e-05,3.478210e-05,3.491508e-05,3.532379e-05,3.561314e-05,3.583362e-05,3.625692e-05,3.631285e-05,3.676268e-05,3.684923e-05,3.718434e-05,3.739286e-05,3.757900e-05,3.789049e-05,3.794781e-05,3.829192e-05,3.834476e-05,3.861241e-05,3.875818e-05,3.891036e-05,3.913318e-05,3.918679e-05,3.944271e-05,3.947208e-05,3.967907e-05,3.977712e-05,3.989682e-05,4.005041e-05,4.009685e-05,4.028001e-05,4.029396e-05,4.044715e-05,4.050970e-05,4.059907e-05,4.069945e-05,4.073652e-05,4.086025e-05,4.086493e-05,4.097097e-05,4.100777e-05,4.106934e-05,4.112952e-05,4.115603e-05,4.123165e-05,4.129680e-05,4.131554e-05,4.135206e-05,4.138248e-05,4.139795e-05,4.143370e-05,4.143502e-05,4.146375e-05,4.147036e-05,4.148462e-05,4.149356e-05,4.149808e-05,4.150431e-05,4.150458e-05,4.150452e-05,4.150358e-05,4.149831e-05,4.149228e-05,4.148631e-05,4.147125e-05,4.146888e-05,4.144638e-05,4.144130e-05,4.141913e-05,4.140318e-05,4.138743e-05,4.135758e-05,4.135158e-05,4.131187e-05,4.130518e-05,4.126856e-05,4.124657e-05,4.122192e-05,4.118235e-05,4.117217e-05,4.111955e-05,4.111306e-05,4.106429e-05,4.103919e-05,4.100658e-05,4.096121e-05,4.094663e-05,4.088463e-05,4.087958e-05,4.082074e-05,4.079470e-05,4.075515e-05,4.070695e-05,4.068800e-05,4.061946e-05,4.061669e-05,4.054966e-05,4.052425e-05,4.047874e-05,4.042995e-05,4.040684e-05,4.033406e-05,4.023686e-05,4.013859e-05,4.003948e-05,3.993975e-05,3.983959e-05,3.973918e-05,3.963870e-05,3.953828e-05,3.943808e-05,3.933823e-05,3.923883e-05,3.914002e-05,3.904187e-05,3.894450e-05,3.884796e-05,3.875235e-05,3.865773e-05,3.856416e-05,3.847169e-05,3.838038e-05,3.829025e-05,3.820137e-05,3.811374e-05,3.802741e-05
0.000000e+00,2.066939e-12,1.295778e-11,1.896610e-10,1.076803e-09,2.350277e-09,1.218828e-08,1.291851e-08,4.571646e-08,6.170747e-08,1.229488e-07,2.027738e-07,2.744926e-07,5.102904e-07,5.362016e-07,9.479286e-07,1.073710e-06,1.551671e-06,1.989497e-06,2.389892e-06,3.354251e-06,3.503762e-06,4.930889e-06,5.256791e-06,6.702317e-06,7.767026e-06,8.839198e-06,1.092331e-05,1.135016e-05,1.423026e-05,1.472431e-05,1.746186e-05,1.912995e-05,2.101683e-05,2.406973e-05,2.485934e-05,2.894869e-05,2.945397e-05,3.324170e-05,3.518383e-05,3.769450e-05,4.115886e-05,4.226388e-05,4.690824e-05,4.728183e-05,5.158821e-05,5.346186e-05,5.626714e-05,5.961633e-05,6.091141e-05,6.549061e-05,6.567203e-05,6.997774e-05,7.156591e-05,7.434918e-05,7.724524e-05,7.858474e-05,8.266754e-05,8.658387e-05,8.780011e-05,9.032303e-05,9.261934e-05,9.387709e-05,9.710981e-05,9.724065e-05,1.004106e-04,1.012632e-04,1.033857e-04,1.050775e-04,1.061666e-04,1.085554e-04,1.087555e-04,1.111557e-04,1.117041e-04,1.133715e-04,1.145338e-04,1.154082e-04,1.170570e-04,1.172717e-04,1.189683e-04,1.192882e-04,1.205047e-04,1.212427e-04,1.218881e-04,1.229370e-04,1.231254e-04,1.242239e-04,1.243873e-04,1.251908e-04,1.256101e-04,1.260330e-04,1.266218e-04,1.267576e-04,1.273714e-04,1.274379e-04,1.278810e-04,1.280739e-04,1.282928e-04,1.285443e-04,1.286131e-04,1.288477e-04,1.288629e-04,1.290023e-04,1.290430e-04,1.290825e-04,1.290970e-04,1.290933e-04,1.290399e-04,1.290365e-04,1.289268e-04,1.288724e-04,1.287586e-04,1.286150e-04,1.285396e-04,1.282737e-04,1.279647e-04,1.278574e-04,1.276163e-04,1.273742e-04,1.272318e-04,1.268317e-04,1.268144e-04,1.263672e-04,1.262370e-04,1.258929e-04,1.255965e-04,1.253942e-04,1.249160e-04,1.248736e-04,1.243335e-04,1.242012e-04,1.237760e-04,1.234570e-04,1.232032e-04,1.226880e-04,1.226171e-04,1.220193e-04,1.218985e-04,1.214116e-04,1.210922e-04,1.207956e-04,1.202727e-04,1.201726e-04,1.195442e-04,1.194432e-04,1.189114e-04,1.186066e-04,1.182756e-04,1.177654e-04,1.176377e-04,1.169988e-04,1.169221e-04,1.163599e-04,1.160789e-04,1.157217e-04,1.152376e-04,1.150850e-04,1.144507e-04,1.144000e-04,1.138193e-04,1.135677e-04,1.131914e-04,1.127419e-04,1.125678e-04,1.119487e-04,1.119240e-04,1.113348e-04,1.111151e-04,1.107264e-04,1.103160e-04,1.101239e-04,1.095277e-04,1.087508e-04,1.079859e-04,1.072337e-04,1.064944e-04,1.057686e-04,1.050566e-04,1.043584e-04,1.036744e-04,1.030047e-04,1.023493e-04,1.017082e-04,1.010816e-04,1.004693e-04,9.987121e-05,9.928734e-05,9.871754e-05,9.816166e-05,9.761956e-05,9.709104e-05,9.657594e-05,9.607404e-05,9.558514e-05,9.510901e-05,9.464541e-05
0.000000e+00,9.578664e-11,4.620351e-10,4.116580e-09,1.569603e-08,2.812098e-08,9.346749e-08,9.747569e-08,2.425154e-07,3.015209e-07,5.003905e-07,7.283706e-07,9.178586e-07,1.487217e-06,1.546301e-06,2.421917e-06,2.669836e-06,3.547138e-06,4.277656e-06,4.897546e-06,6.247551e-06,6.442259e-06,8.155577e-06,8.516688e-06,1.001819e-05,1.104056e-05,1.201472e-05,1.378515e-05,1.413131e-05,1.635423e-05,1.671883e-05,1.866925e-05,1.980882e-05,2.106148e-05,2.302054e-05,2.351555e-05,2.601583e-05,2.631823e-05,2.854690e-05,2.966645e-05,3.109381e-05,3.303131e-05,3.364241e-05,3.617957e-05,3.638168e-05,3.869329e-05,3.968978e-05,4.117288e-05,4.293174e-05,4.360896e-05,4.599344e-05,4.608765e-05,4.831953e-05,4.914150e-05,5.058159e-05,5.208088e-05,5.277513e-05,5.489663e-05,5.694350e-05,5.758241e-05,5.891391e-05,6.013431e-05,6.080675e-05,6.255041e-05,6.262150e-05,6.435814e-05,6.483045e-05,6.601709e-05,6.697548e-05,6.759913e-05,6.898759e-05,6.910533e-05,7.053701e-05,7.086968e-05,7.189567e-05,7.262525e-05,7.318299e-05,7.425822e-05,7.440074e-05,7.555080e-05,7.577286e-05,7.663510e-05,7.717361e-05,7.765563e-05,7.846505e-05,7.861438e-05,7.951338e-05,7.965181e-05,8.035464e-05,8.073853e-05,8.114017e-05,8.172980e-05,8.187195e-05,8.255195e-05,8.263016e-05,8.318210e-05,8.344406e-05,8.376429e-05,8.417583e-05,8.430038e-05,8.479219e-05,8.482968e-05,8.524150e-05,8.540970e-05,8.565002e-05,8.591985e-05,8.601945e-05,8.635142e-05,8.636394e-05,8.664752e-05,8.674563e-05,8.690929e-05,8.706846e-05,8.713824e-05,8.733581e-05,8.750341e-05,8.755093e-05,8.764239e-05,8.771693e-05,8.775407e-05,8.783678e-05,8.783973e-05,8.790058e-05,8.791333e-05,8.793781e-05,8.794929e-05,8.795256e-05,8.794724e-05,8.794594e-05,8.791902e-05,8.790964e-05,8.787280e-05,8.783886e-05,8.780828e-05,8.773712e-05,8.772641e-05,8.762811e-05,8.760655e-05,8.751424e-05,8.744917e-05,8.738567e-05,8.726689e-05,8.724319e-05,8.708760e-05,8.706154e-05,8.691964e-05,8.683484e-05,8.674003e-05,8.658842e-05,8.654946e-05,8.634861e-05,8.632384e-05,8.613809e-05,8.604257e-05,8.591854e-05,8.574599e-05,8.569053e-05,8.545462e-05,8.543542e-05,8.521135e-05,8.511210e-05,8.496124e-05,8.477720e-05,8.470478e-05,8.444245e-05,8.443184e-05,8.417468e-05,8.407704e-05,8.390192e-05,8.371380e-05,8.362458e-05,8.334304e-05,8.296564e-05,8.258241e-05,8.219413e-05,8.180152e-05,8.140527e-05,8.100601e-05,8.060433e-05,8.020081e-05,7.979596e-05,7.939027e-05,7.898420e-05,7.857818e-05,7.817261e-05,7.776785e-05,7.736425e-05,7.696213e-05,7.656178e-05,7.616347e-05,7.576747e-05,7.537400e-05,7.498328e-05,7.459549e-05,7.421084e-05,7.382946e-05
0.000000e+00,6.490029e-14,4.289862e-13,7.006724e-12,4.393726e-11,1.012470e-10,6.033543e-10,6.431028e-10,2.606719e-09,3.649122e-09,7.960505e-09,1.411194e-08,2.001219e-08,4.119983e-08,4.366389e-08,8.555247e-08,9.921563e-08,1.540711e-07,2.077590e-07,2.592762e-07,3.913134e-07,4.126755e-07,6.268826e-07,6.781805e-07,9.151186e-07,1.098658e-06,1.290578e-06,1.682520e-06,1.765716e-06,2.351557e-06,2.456199e-06,3.057093e-06,3.440281e-06,3.888837e-06,4.647727e-06,4.850553e-06,5.943156e-06,6.083003e-06,7.164752e-06,7.742041e-06,8.510807e-06,9.612865e-06,9.974396e-06,1.154652e-05,1.167667e-05,1.321648e-05,1.390919e-05,1.497221e-05,1.628215e-05,1.680068e-05,1.868824e-05,1.876478e-05,2.062098e-05,2.132514e-05,2.258500e-05,2.393146e-05,2.456672e-05,2.655308e-05,2.853172e-05,2.916136e-05,3.049119e-05,3.173030e-05,3.242100e-05,3.423693e-05,3.431170e-05,3.615496e-05,3.666156e-05,3.794355e-05,3.898786e-05,3.967133e-05,4.120281e-05,4.133323e-05,4.292521e-05,4.329651e-05,4.444415e-05,4.526199e-05,4.588782e-05,4.709486e-05,4.725482e-05,4.854445e-05,4.879308e-05,4.975667e-05,5.035657e-05,5.089198e-05,5.178693e-05,5.195139e-05,5.293634e-05,5.308713e-05,5.384858e-05,5.426122e-05,5.469018e-05,5.531413e-05,5.546343e-05,5.617079e-05,5.625137e-05,5.681487e-05,5.707891e-05,5.739836e-05,5.780298e-05,5.792401e-05,5.839460e-05,5.842995e-05,5.881290e-05,5.896620e-05,5.918167e-05,5.941805e-05,5.950364e-05,5.978146e-05,5.979169e-05,6.001773e-05,6.009311e-05,6.021498e-05,6.032806e-05,6.037564e-05,6.050206e-05,6.059650e-05,6.062033e-05,6.066112e-05,6.068779e-05,6.069799e-05,6.070910e-05,6.070907e-05,6.069625e-05,6.068862e-05,6.066130e-05,6.063041e-05,6.060591e-05,6.053829e-05,6.053169e-05,6.044015e-05,6.041577e-05,6.033272e-05,6.026612e-05,6.021074e-05,6.009237e-05,6.007548e-05,5.992813e-05,5.989731e-05,5.976982e-05,5.968352e-05,5.960160e-05,5.945336e-05,5.942446e-05,5.923932e-05,5.920901e-05,5.904705e-05,5.895247e-05,5.884847e-05,5.868556e-05,5.864432e-05,5.843533e-05,5.840995e-05,5.822214e-05,5.812717e-05,5.800537e-05,5.783859e-05,5.778560e-05,5.756336e-05,5.754549e-05,5.733915e-05,5.724901e-05,5.711342e-05,5.695019e-05,5.688659e-05,5.665907e-05,5.664996e-05,5.643121e-05,5.634917e-05,5.620336e-05,5.604859e-05,5.597583e-05,5.574889e-05,5.545069e-05,5.515454e-05,5.486092e-05,5.457026e-05,5.428294e-05,5.399929e-05,5.371961e-05,5.344414e-05,5.317310e-05,5.290668e-05,5.264502e-05,5.238825e-05,5.213648e-05,5.188978e-05,5.164821e-05,5.141182e-05,5.118062e-05,5.095463e-05,5.073385e-05,5.051825e-05,5.030783e-05,5.010253e-05,4.990232e-05,4.970715e-05
0.000000e+00,5.406316e-10,2.328339e-09,1.716000e-08,5.745704e-08,9.712020e-08,2.860298e-07,2.970269e-07,6.723437e-07,8.164506e-07,1.279341e-06,1.779687e-06,2.178590e-06,3.321080e-06,3.436542e-06,5.120398e-06,5.594192e-06,7.280289e-06,8.703042e-06,9.924674e-06,1.262179e-05,1.301386e-05,1.648092e-05,1.721345e-05,2.025660e-05,2.232152e-05,2.428072e-05,2.781575e-05,2.850269e-05,3.287849e-05,3.359018e-05,3.736810e-05,3.955242e-05,4.193387e-05,4.561710e-05,4.653984e-05,5.115174e-05,5.170401e-05,5.573721e-05,5.773859e-05,6.026615e-05,6.365333e-05,6.471109e-05,6.904750e-05,6.938906e-05,7.325397e-05,7.489599e-05,7.731230e-05,8.013401e-05,8.120747e-05,8.492755e-05,8.507257e-05,8.846353e-05,8.969013e-05,9.180910e-05,9.397324e-05,9.496036e-05,9.791558e-05,1.006749e-04,1.015168e-04,1.032402e-04,1.047815e-04,1.056145e-04,1.077181e-04,1.078021e-04,1.098081e-04,1.103381e-04,1.116384e-04,1.126549e-04,1.132995e-04,1.146839e-04,1.147980e-04,1.161411e-04,1.164411e-04,1.173359e-04,1.179431e-04,1.183899e-04,1.192067e-04,1.193103e-04,1.201042e-04,1.202485e-04,1.207789e-04,1.210849e-04,1.213412e-04,1.217316e-04,1.217979e-04,1.221555e-04,1.222040e-04,1.224204e-04,1.225164e-04,1.225986e-04,1.226827e-04,1.226960e-04,1.227181e-04,1.227160e-04,1.226703e-04,1.226284e-04,1.225575e-04,1.224314e-04,1.223846e-04,1.221562e-04,1.221357e-04,1.218767e-04,1.217514e-04,1.215500e-04,1.212878e-04,1.211801e-04,1.207707e-04,1.207535e-04,1.203251e-04,1.201565e-04,1.198467e-04,1.195042e-04,1.193385e-04,1.188035e-04,1.182442e-04,1.180606e-04,1.176633e-04,1.172813e-04,1.170631e-04,1.164709e-04,1.164459e-04,1.158137e-04,1.156343e-04,1.151686e-04,1.147760e-04,1.145123e-04,1.139001e-04,1.138465e-04,1.131729e-04,1.130102e-04,1.124928e-04,1.121097e-04,1.118078e-04,1.112018e-04,1.111190e-04,1.104276e-04,1.102891e-04,1.097348e-04,1.093743e-04,1.090415e-04,1.084595e-04,1.083487e-04,1.076573e-04,1.075469e-04,1.069681e-04,1.066382e-04,1.062817e-04,1.057352e-04,1.055989e-04,1.049203e-04,1.048392e-04,1.042464e-04,1.039516e-04,1.035778e-04,1.030735e-04,1.029149e-04,1.022581e-04,1.022059e-04,1.016079e-04,1.013497e-04,1.009645e-04,1.005056e-04,1.003282e-04,9.969939e-05,9.967440e-05,9.907824e-05,9.885655e-05,9.846497e-05,9.805254e-05,9.785976e-05,9.726276e-05,9.648752e-05,9.572707e-05,9.498159e-05,9.425122e-05,9.353604e-05,9.283607e-05,9.215133e-05,9.148177e-05,9.082731e-05,9.018786e-05,8.956329e-05,8.895344e-05,8.835814e-05,8.777722e-05,8.721046e-05,8.665766e-05,8.611858e-05,8.559299e-05,8.508064e-05,8.458130e-05,8.409469e-05,8.362057e-05,8.315867e-05,8.270872e-05
0.000000e+00,3.158726e-09,7.684312e-09,2.816332e-08,6.599173e-08,9.732756e-08,2.249615e-07,2.318604e-07,4.527977e-07,5.330837e-07,7.819574e-07,1.040970e-06,1.242444e-06,1.802197e-06,1.857608e-06,2.646694e-06,2.863142e-06,3.617341e-06,4.237692e-06,4.761270e-06,5.895805e-06,6.058874e-06,7.487380e-06,7.786869e-06,9.025445e-06,9.862136e-06,1.065403e-05,1.207932e-05,1.235586e-05,1.411486e-05,1.440058e-05,1.591585e-05,1.679098e-05,1.774445e-05,1.921813e-05,1.958720e-05,2.143163e-05,2.165253e-05,2.326645e-05,2.406807e-05,2.508154e-05,2.644233e-05,2.686806e-05,2.861846e-05,2.875673e-05,3.032640e-05,3.099648e-05,3.198669e-05,3.315026e-05,3.359525e-05,3.514893e-05,3.520990e-05,3.664547e-05,3.716992e-05,3.808333e-05,3.902710e-05,3.946165e-05,4.078008e-05,4.203877e-05,4.242901e-05,4.323823e-05,4.397516e-05,4.437927e-05,4.542070e-05,4.546297e-05,4.649059e-05,4.676847e-05,4.746357e-05,4.802177e-05,4.838345e-05,4.918424e-05,4.925186e-05,5.007047e-05,5.025971e-05,5.084097e-05,5.125209e-05,5.156511e-05,5.216536e-05,5.224460e-05,5.288117e-05,5.300349e-05,5.347652e-05,5.377036e-05,5.403231e-05,5.446981e-05,5.455019e-05,5.503176e-05,5.510555e-05,5.547859e-05,5.568118e-05,5.589220e-05,5.620017e-05,5.627407e-05,5.662563e-05,5.666584e-05,5.694826e-05,5.708140e-05,5.724331e-05,5.744991e-05,5.751208e-05,5.775581e-05,5.777426e-05,5.797571e-05,5.805725e-05,5.817293e-05,5.830152e-05,5.834860e-05,5.850378e-05,5.850958e-05,5.863951e-05,5.868381e-05,5.875678e-05,5.882647e-05,5.885654e-05,5.893970e-05,5.900714e-05,5.902554e-05,5.905970e-05,5.908589e-05,5.909817e-05,5.912258e-05,5.912334e-05,5.913593e-05,5.913730e-05,5.913666e-05,5.913168e-05,5.912619e-05,5.910724e-05,5.910518e-05,5.907424e-05,5.906540e-05,5.903396e-05,5.900754e-05,5.898491e-05,5.893491e-05,5.892761e-05,5.886260e-05,5.884871e-05,5.879035e-05,5.875008e-05,5.871134e-05,5.864007e-05,5.862601e-05,5.853478e-05,5.851967e-05,5.843807e-05,5.838982e-05,5.833626e-05,5.825139e-05,5.822972e-05,5.811880e-05,5.810521e-05,5.800383e-05,5.795204e-05,5.788513e-05,5.779261e-05,5.776301e-05,5.763774e-05,5.762759e-05,5.750961e-05,5.745761e-05,5.737887e-05,5.728326e-05,5.724577e-05,5.711055e-05,5.710510e-05,5.697342e-05,5.692363e-05,5.683460e-05,5.673934e-05,5.669428e-05,5.655267e-05,5.636403e-05,5.617383e-05,5.598241e-05,5.579012e-05,5.559726e-05,5.540411e-05,5.521096e-05,5.501803e-05,5.482556e-05,5.463377e-05,5.444283e-05,5.425294e-05,5.406424e-05,5.387689e-05,5.369102e-05,5.350677e-05,5.332423e-05,5.314351e-05,5.296471e-05,5.278790e-05,5.261315e-05,5.244054e-05,5.227012e-05,5.210194e-05
0.000000e+00,3.747364e-14,2.520765e-13,4.270488e-12,2.770418e-11,6.506302e-11,4.077227e-10,4.354922e-10,1.859800e-09,2.641901e-09,5.984982e-09,1.095094e-08,1.586256e-08,3.430427e-08,3.651289e-08,7.552463e-08,8.873922e-08,1.436375e-07,1.996836e-07,2.551961e-07,4.036010e-07,4.283104e-07,6.845867e-07,7.479295e-07,1.048410e-06,1.288729e-06,1.545873e-06,2.086453e-06,2.203517e-06,3.047020e-06,3.200844e-06,4.099982e-06,4.685960e-06,5.382882e-06,6.586009e-06,6.912242e-06,8.700036e-06,8.932327e-06,1.075334e-05,1.174162e-05,1.307419e-05,1.501534e-05,1.565965e-05,1.850199e-05,1.874015e-05,2.158914e-05,2.288908e-05,2.490507e-05,2.742341e-05,2.843035e-05,3.214276e-05,3.229481e-05,3.601789e-05,3.744780e-05,4.002972e-05,4.282209e-05,4.415124e-05,4.835502e-05,5.261366e-05,5.398360e-05,5.690032e-05,5.964646e-05,6.118907e-05,6.528536e-05,6.545528e-05,6.967585e-05,7.084647e-05,7.382942e-05,7.628125e-05,7.789657e-05,8.154702e-05,8.185990e-05,8.570408e-05,8.660744e-05,8.941590e-05,9.143246e-05,9.298420e-05,9.599824e-05,9.639979e-05,9.965544e-05,1.002869e-04,1.027457e-04,1.042860e-04,1.056669e-04,1.079884e-04,1.084168e-04,1.109947e-04,1.113913e-04,1.134012e-04,1.144959e-04,1.156379e-04,1.173068e-04,1.177075e-04,1.196135e-04,1.198314e-04,1.213602e-04,1.220795e-04,1.229524e-04,1.240626e-04,1.243957e-04,1.256957e-04,1.257937e-04,1.268586e-04,1.272867e-04,1.278905e-04,1.285561e-04,1.287980e-04,1.295875e-04,1.296167e-04,1.302654e-04,1.304834e-04,1.308383e-04,1.311711e-04,1.313124e-04,1.316940e-04,1.319891e-04,1.320663e-04,1.322036e-04,1.323012e-04,1.323431e-04,1.324115e-04,1.324130e-04,1.324187e-04,1.324094e-04,1.323649e-04,1.323061e-04,1.322565e-04,1.321124e-04,1.320979e-04,1.318934e-04,1.318379e-04,1.316469e-04,1.314919e-04,1.313622e-04,1.310829e-04,1.310428e-04,1.306921e-04,1.306184e-04,1.303130e-04,1.301057e-04,1.299086e-04,1.295513e-04,1.294815e-04,1.290343e-04,1.289610e-04,1.285691e-04,1.283402e-04,1.280884e-04,1.276938e-04,1.275939e-04,1.270876e-04,1.270261e-04,1.265711e-04,1.263411e-04,1.260462e-04,1.256424e-04,1.255141e-04,1.249763e-04,1.249331e-04,1.244340e-04,1.242160e-04,1.238883e-04,1.234938e-04,1.233402e-04,1.227907e-04,1.227687e-04,1.222407e-04,1.220427e-04,1.216909e-04,1.213176e-04,1.211422e-04,1.205950e-04,1.198763e-04,1.191626e-04,1.184551e-04,1.177548e-04,1.170623e-04,1.163785e-04,1.157039e-04,1.150390e-04,1.143843e-04,1.137401e-04,1.131068e-04,1.124845e-04,1.118735e-04,1.112739e-04,1.106858e-04,1.101093e-04,1.095444e-04,1.089911e-04,1.084493e-04,1.079191e-04,1.074004e-04,1.068931e-04,1.063971e-04,1.059123e-04
0.000000e+00,3.888031e-14,2.559087e-13,4.140813e-12,2.573627e-11,5.900981e-11,3.470135e-10,3.696708e-10,1.478077e-09,2.061346e-09,4.453868e-09,7.833905e-09,1.105232e-08,2.249276e-08,2.381455e-08,4.610246e-08,5.331479e-08,8.207027e-08,1.099730e-07,1.365744e-07,2.041530e-07,2.150180e-07,3.231178e-07,3.488032e-07,4.665812e-07,5.569435e-07,6.506987e-07,8.400417e-07,8.798868e-07,1.157250e-06,1.206221e-06,1.484237e-06,1.658773e-06,1.860453e-06,2.195416e-06,2.283645e-06,2.749848e-06,2.808438e-06,3.253654e-06,3.485597e-06,3.788566e-06,4.211482e-06,4.347374e-06,4.922536e-06,4.969028e-06,5.506508e-06,5.740926e-06,6.092047e-06,6.510801e-06,6.672423e-06,7.241595e-06,7.264052e-06,7.794309e-06,7.988381e-06,8.326155e-06,8.674043e-06,8.833579e-06,9.313856e-06,9.765039e-06,9.903052e-06,1.018589e-05,1.043901e-05,1.057580e-05,1.092095e-05,1.093472e-05,1.126302e-05,1.134956e-05,1.156149e-05,1.172668e-05,1.183118e-05,1.205498e-05,1.207338e-05,1.228954e-05,1.233771e-05,1.248121e-05,1.257844e-05,1.264999e-05,1.278088e-05,1.279751e-05,1.292539e-05,1.294875e-05,1.303520e-05,1.308566e-05,1.312844e-05,1.319503e-05,1.320658e-05,1.327095e-05,1.328006e-05,1.332285e-05,1.334368e-05,1.336346e-05,1.338855e-05,1.339387e-05,1.341509e-05,1.341706e-05,1.342803e-05,1.343133e-05,1.343355e-05,1.343325e-05,1.343241e-05,1.342529e-05,1.342448e-05,1.341282e-05,1.340646e-05,1.339557e-05,1.338047e-05,1.337404e-05,1.334870e-05,1.334761e-05,1.331995e-05,1.330884e-05,1.328817e-05,1.326500e-05,1.325369e-05,1.321681e-05,1.317779e-05,1.316490e-05,1.313689e-05,1.310982e-05,1.309432e-05,1.305206e-05,1.305027e-05,1.300493e-05,1.299203e-05,1.295846e-05,1.293009e-05,1.291100e-05,1.286657e-05,1.286268e-05,1.281362e-05,1.280175e-05,1.276394e-05,1.273588e-05,1.271373e-05,1.266918e-05,1.266308e-05,1.261208e-05,1.260184e-05,1.256079e-05,1.253404e-05,1.250930e-05,1.246593e-05,1.245766e-05,1.240594e-05,1.239766e-05,1.235418e-05,1.232933e-05,1.230243e-05,1.226107e-05,1.225074e-05,1.219915e-05,1.219297e-05,1.214770e-05,1.212511e-05,1.209642e-05,1.205758e-05,1.204534e-05,1.199450e-05,1.199044e-05,1.194392e-05,1.192376e-05,1.189362e-05,1.185760e-05,1.184363e-05,1.179398e-05,1.179200e-05,1.174467e-05,1.172700e-05,1.169572e-05,1.166266e-05,1.164716e-05,1.159900e-05,1.153605e-05,1.147385e-05,1.141240e-05,1.135175e-05,1.129190e-05,1.123286e-05,1.117466e-05,1.111729e-05,1.106078e-05,1.100512e-05,1.095032e-05,1.089638e-05,1.084331e-05,1.079111e-05,1.073977e-05,1.068930e-05,1.063968e-05,1.059093e-05,1.054302e-05,1.049596e-05,1.044975e-05,1.040436e-05,1.035981e-05,1.031607e-05
0.000000e+00,6.841630e-12,3.883183e-11,4.661806e-10,2.231346e-09,4.453211e-09,1.859121e-08,1.954075e-08,5.700248e-08,7.327761e-08,1.300676e-07,1.968134e-07,2.527583e-07,4.217749e-07,4.393963e-07,7.040672e-07,7.806395e-07,1.059088e-06,1.300583e-06,1.512421e-06,1.994137e-06,2.065711e-06,2.714576e-06,2.855123e-06,3.450611e-06,3.864409e-06,4.263511e-06,4.997811e-06,5.142425e-06,6.076500e-06,6.230354e-06,7.055046e-06,7.537452e-06,8.067564e-06,8.895146e-06,9.103814e-06,1.015393e-05,1.028042e-05,1.120856e-05,1.167177e-05,1.225906e-05,1.304981e-05,1.329758e-05,1.431723e-05,1.439780e-05,1.531204e-05,1.570188e-05,1.627708e-05,1.695117e-05,1.720831e-05,1.810260e-05,1.813757e-05,1.895764e-05,1.925553e-05,1.977187e-05,2.030173e-05,2.054435e-05,2.127472e-05,2.196307e-05,2.217454e-05,2.260989e-05,2.300240e-05,2.321594e-05,2.376034e-05,2.378224e-05,2.430999e-05,2.445103e-05,2.480052e-05,2.507756e-05,2.525526e-05,2.564328e-05,2.567569e-05,2.606332e-05,2.615165e-05,2.641969e-05,2.660617e-05,2.674631e-05,2.701032e-05,2.704468e-05,2.731626e-05,2.736749e-05,2.756247e-05,2.768093e-05,2.778469e-05,2.795379e-05,2.798425e-05,2.816243e-05,2.818904e-05,2.832045e-05,2.838949e-05,2.845948e-05,2.855778e-05,2.858064e-05,2.868498e-05,2.869642e-05,2.877352e-05,2.880772e-05,2.884722e-05,2.889388e-05,2.890700e-05,2.895371e-05,2.895691e-05,2.898817e-05,2.899871e-05,2.901117e-05,2.902104e-05,2.902343e-05,2.902565e-05,2.902553e-05,2.901848e-05,2.901372e-05,2.900254e-05,2.898700e-05,2.897843e-05,2.894668e-05,2.890784e-05,2.889399e-05,2.886238e-05,2.883003e-05,2.881077e-05,2.875585e-05,2.875345e-05,2.869084e-05,2.867242e-05,2.862333e-05,2.858062e-05,2.855127e-05,2.848127e-05,2.847503e-05,2.839492e-05,2.837515e-05,2.831125e-05,2.826296e-05,2.822432e-05,2.814534e-05,2.813439e-05,2.804173e-05,2.802289e-05,2.794657e-05,2.789618e-05,2.784914e-05,2.776571e-05,2.774966e-05,2.764833e-05,2.763196e-05,2.754533e-05,2.749536e-05,2.744085e-05,2.735631e-05,2.733505e-05,2.722810e-05,2.721519e-05,2.712013e-05,2.707234e-05,2.701129e-05,2.692806e-05,2.690170e-05,2.679150e-05,2.678266e-05,2.668079e-05,2.663639e-05,2.656969e-05,2.648950e-05,2.645828e-05,2.634668e-05,2.634221e-05,2.623497e-05,2.619474e-05,2.612322e-05,2.604726e-05,2.601152e-05,2.589995e-05,2.575297e-05,2.560646e-05,2.546055e-05,2.531537e-05,2.517102e-05,2.502760e-05,2.488520e-05,2.474391e-05,2.460378e-05,2.446490e-05,2.432732e-05,2.419109e-05,2.405626e-05,2.392287e-05,2.379095e-05,2.366053e-05,2.353166e-05,2.340433e-05,2.327858e-05,2.315443e-05,2.303188e-05,2.291094e-05,2.279162e-05,2.267394e-05
0.000000e+00,3.585600e-09,8.251485e-09,2.863196e-08,6.580632e-08,9.669839e-08,2.250694e-07,2.321393e-07,4.657210e-07,5.538748e-07,8.368167e-07,1.144031e-06,1.389511e-06,2.086212e-06,2.155534e-06,3.132023e-06,3.394197e-06,4.284704e-06,4.991775e-06,5.573091e-06,6.793446e-06,6.965136e-06,8.437771e-06,8.740369e-06,9.973559e-06,1.079226e-05,1.155807e-05,1.291729e-05,1.317847e-05,1.482290e-05,1.508749e-05,1.648033e-05,1.727750e-05,1.814061e-05,1.946465e-05,1.979452e-05,2.143383e-05,2.162922e-05,2.305141e-05,2.375465e-05,2.464115e-05,2.582756e-05,2.619796e-05,2.771768e-05,2.783755e-05,2.919702e-05,2.977686e-05,3.063345e-05,3.164002e-05,3.202508e-05,3.337061e-05,3.342346e-05,3.466922e-05,3.512514e-05,3.592050e-05,3.674427e-05,3.712435e-05,3.828099e-05,3.939081e-05,3.973617e-05,4.045443e-05,4.111123e-05,4.147258e-05,4.240801e-05,4.244610e-05,4.337595e-05,4.362861e-05,4.426312e-05,4.477538e-05,4.510867e-05,4.585076e-05,4.591370e-05,4.667930e-05,4.685731e-05,4.740662e-05,4.779761e-05,4.809678e-05,4.867429e-05,4.875092e-05,4.937018e-05,4.948994e-05,4.995567e-05,5.024715e-05,5.050850e-05,5.094845e-05,5.102977e-05,5.152056e-05,5.159633e-05,5.198192e-05,5.219322e-05,5.241488e-05,5.274149e-05,5.282047e-05,5.319967e-05,5.324345e-05,5.355347e-05,5.370133e-05,5.388279e-05,5.411728e-05,5.418856e-05,5.447169e-05,5.449339e-05,5.473304e-05,5.483167e-05,5.497345e-05,5.513406e-05,5.519377e-05,5.539478e-05,5.540243e-05,5.557727e-05,5.563857e-05,5.574198e-05,5.584421e-05,5.588965e-05,5.602098e-05,5.613666e-05,5.617048e-05,5.623736e-05,5.629423e-05,5.632370e-05,5.639367e-05,5.639632e-05,5.645582e-05,5.647020e-05,5.650276e-05,5.652514e-05,5.653773e-05,5.655977e-05,5.656124e-05,5.657383e-05,5.657529e-05,5.657601e-05,5.657286e-05,5.656825e-05,5.655358e-05,5.655103e-05,5.652479e-05,5.651850e-05,5.648998e-05,5.646863e-05,5.644702e-05,5.640492e-05,5.639630e-05,5.633822e-05,5.632827e-05,5.627316e-05,5.623956e-05,5.620148e-05,5.613960e-05,5.612352e-05,5.603962e-05,5.602917e-05,5.595011e-05,5.590902e-05,5.585528e-05,5.577985e-05,5.575545e-05,5.565089e-05,5.564233e-05,5.554189e-05,5.549710e-05,5.542870e-05,5.534475e-05,5.531158e-05,5.519078e-05,5.518587e-05,5.506652e-05,5.502099e-05,5.493904e-05,5.485062e-05,5.480854e-05,5.467525e-05,5.449534e-05,5.431133e-05,5.412362e-05,5.393261e-05,5.373867e-05,5.354213e-05,5.334333e-05,5.314257e-05,5.294016e-05,5.273635e-05,5.253141e-05,5.232558e-05,5.211908e-05,5.191215e-05,5.170496e-05,5.149772e-05,5.129060e-05,5.108376e-05,5.087736e-05,5.067155e-05,5.046645e-05,5.026219e-05,5.005890e-05,4.985668e-05
0.000000e+00,1.053420e-09,3.031691e-09,1.322692e-08,3.350018e-08,5.079002e-08,1.227247e-07,1.266434e-07,2.523909e-07,2.979942e-07,4.385150e-07,5.831478e-07,6.944752e-07,9.988799e-07,1.028672e-06,1.448205e-06,1.562226e-06,1.958341e-06,2.284683e-06,2.561611e-06,3.168535e-06,3.256619e-06,4.037083e-06,4.202529e-06,4.891963e-06,5.361252e-06,5.807042e-06,6.611125e-06,6.767161e-06,7.757939e-06,7.918428e-06,8.766542e-06,9.253665e-06,9.781812e-06,1.059233e-05,1.079415e-05,1.179536e-05,1.191441e-05,1.277848e-05,1.320379e-05,1.373772e-05,1.444780e-05,1.466832e-05,1.556650e-05,1.563686e-05,1.642935e-05,1.676410e-05,1.725476e-05,1.782505e-05,1.804132e-05,1.878819e-05,1.881724e-05,1.949508e-05,1.973977e-05,2.016208e-05,2.059309e-05,2.078967e-05,2.137860e-05,2.192984e-05,2.209846e-05,2.244452e-05,2.275531e-05,2.292391e-05,2.335217e-05,2.336936e-05,2.378226e-05,2.389224e-05,2.416406e-05,2.437880e-05,2.451619e-05,2.481518e-05,2.484009e-05,2.513717e-05,2.520464e-05,2.540883e-05,2.555036e-05,2.565641e-05,2.585539e-05,2.588120e-05,2.608448e-05,2.612266e-05,2.626745e-05,2.635495e-05,2.643127e-05,2.655489e-05,2.657704e-05,2.670584e-05,2.672494e-05,2.681866e-05,2.686743e-05,2.691647e-05,2.698452e-05,2.700018e-05,2.707065e-05,2.707826e-05,2.712871e-05,2.715052e-05,2.717513e-05,2.720309e-05,2.721066e-05,2.723598e-05,2.723759e-05,2.725177e-05,2.725555e-05,2.725864e-05,2.725840e-05,2.725718e-05,2.724796e-05,2.724744e-05,2.723149e-05,2.722389e-05,2.720828e-05,2.718889e-05,2.717879e-05,2.714347e-05,2.710273e-05,2.708862e-05,2.705697e-05,2.702522e-05,2.700656e-05,2.695411e-05,2.695185e-05,2.689316e-05,2.687606e-05,2.683081e-05,2.679176e-05,2.676509e-05,2.670189e-05,2.669627e-05,2.662462e-05,2.660703e-05,2.655038e-05,2.650776e-05,2.647378e-05,2.640459e-05,2.639503e-05,2.631434e-05,2.629799e-05,2.623190e-05,2.618840e-05,2.614788e-05,2.607622e-05,2.606247e-05,2.597580e-05,2.596183e-05,2.588804e-05,2.584557e-05,2.579932e-05,2.572775e-05,2.570978e-05,2.561954e-05,2.560867e-05,2.552871e-05,2.548859e-05,2.543740e-05,2.536775e-05,2.534572e-05,2.525375e-05,2.524638e-05,2.516159e-05,2.512469e-05,2.506932e-05,2.500286e-05,2.497702e-05,2.488475e-05,2.488107e-05,2.479260e-05,2.475946e-05,2.470062e-05,2.463819e-05,2.460886e-05,2.451739e-05,2.439718e-05,2.427765e-05,2.415892e-05,2.404107e-05,2.392418e-05,2.380832e-05,2.369356e-05,2.357995e-05,2.346754e-05,2.335639e-05,2.324652e-05,2.313799e-05,2.303080e-05,2.292500e-05,2.282061e-05,2.271763e-05,2.261610e-05,2.251601e-05,2.241739e-05,2.232023e-05,2.222454e-05,2.213032e-05,2.203758e-05,2.194630e-05
0.000000e+00,4.705013e-09,1.156736e-08,4.281907e-08,1.008197e-07,1.490605e-07,3.473917e-07,3.581984e-07,7.090291e-07,8.387537e-07,1.247941e-06,1.683861e-06,2.028742e-06,3.003992e-06,3.101293e-06,4.485078e-06,4.861218e-06,6.151732e-06,7.187448e-06,8.043911e-06,9.850228e-06,1.010486e-05,1.228994e-05,1.273873e-05,1.456521e-05,1.577477e-05,1.690342e-05,1.889892e-05,1.928111e-05,2.167715e-05,2.206089e-05,2.407203e-05,2.521585e-05,2.644786e-05,2.832383e-05,2.878840e-05,3.107919e-05,3.135013e-05,3.330774e-05,3.426580e-05,3.546352e-05,3.704793e-05,3.753800e-05,3.952453e-05,3.967949e-05,4.141825e-05,4.214897e-05,4.321589e-05,4.444961e-05,4.491558e-05,4.651657e-05,4.657856e-05,4.801929e-05,4.853646e-05,4.942510e-05,5.032669e-05,5.073599e-05,5.195453e-05,5.308372e-05,5.342672e-05,5.412683e-05,5.475086e-05,5.508737e-05,5.593518e-05,5.596898e-05,5.677536e-05,5.698817e-05,5.751024e-05,5.791839e-05,5.817732e-05,5.873429e-05,5.878024e-05,5.932256e-05,5.944409e-05,5.980774e-05,6.005572e-05,6.023911e-05,6.057676e-05,6.061989e-05,6.095317e-05,6.101438e-05,6.124189e-05,6.137536e-05,6.148887e-05,6.166605e-05,6.169680e-05,6.186823e-05,6.189243e-05,6.200556e-05,6.206006e-05,6.211111e-05,6.217411e-05,6.218702e-05,6.223536e-05,6.223940e-05,6.225807e-05,6.226041e-05,6.225696e-05,6.224127e-05,6.223378e-05,6.219014e-05,6.218581e-05,6.212757e-05,6.209757e-05,6.204752e-05,6.197983e-05,6.195135e-05,6.184032e-05,6.183559e-05,6.171564e-05,6.166764e-05,6.157844e-05,6.147853e-05,6.142977e-05,6.127062e-05,6.110193e-05,6.104607e-05,6.092456e-05,6.080688e-05,6.073935e-05,6.055486e-05,6.054704e-05,6.034838e-05,6.029170e-05,6.014401e-05,6.001892e-05,5.993458e-05,5.973793e-05,5.972067e-05,5.950283e-05,5.945002e-05,5.928158e-05,5.915636e-05,5.905739e-05,5.885803e-05,5.883071e-05,5.860196e-05,5.855600e-05,5.837153e-05,5.825115e-05,5.813977e-05,5.794432e-05,5.790703e-05,5.767361e-05,5.763622e-05,5.743982e-05,5.732754e-05,5.720591e-05,5.701887e-05,5.697214e-05,5.673874e-05,5.671077e-05,5.650593e-05,5.640373e-05,5.627390e-05,5.609819e-05,5.604283e-05,5.581290e-05,5.579456e-05,5.558426e-05,5.549320e-05,5.535705e-05,5.519442e-05,5.513140e-05,5.490743e-05,5.489851e-05,5.468526e-05,5.460573e-05,5.446497e-05,5.431630e-05,5.424667e-05,5.403042e-05,5.374826e-05,5.346997e-05,5.319567e-05,5.292549e-05,5.265950e-05,5.239778e-05,5.214040e-05,5.188741e-05,5.163883e-05,5.139470e-05,5.115502e-05,5.091981e-05,5.068906e-05,5.046277e-05,5.024090e-05,5.002344e-05,4.981037e-05,4.960164e-05,4.939723e-05,4.919708e-05,4.900115e-05,4.880941e-05,4.862178e-05,4.843823e-05
0.000000e+00,2.044374e-09,5.774351e-09,2.479044e-08,6.259508e-08,9.497707e-08,2.312518e-07,2.387451e-07,4.827254e-07,5.728021e-07,8.551957e-07,1.152583e-06,1.385289e-06,2.032511e-06,2.096359e-06,2.996604e-06,3.240403e-06,4.081187e-06,4.765956e-06,5.341788e-06,6.590428e-06,6.770490e-06,8.359249e-06,8.695425e-06,1.009884e-05,1.105948e-05,1.197835e-05,1.365604e-05,1.398511e-05,1.610502e-05,1.645370e-05,1.832290e-05,1.941767e-05,2.062302e-05,2.251166e-05,2.298951e-05,2.540686e-05,2.569965e-05,2.786020e-05,2.894744e-05,3.033559e-05,3.222372e-05,3.282023e-05,3.530255e-05,3.550072e-05,3.777225e-05,3.875453e-05,4.022030e-05,4.196506e-05,4.263890e-05,4.502142e-05,4.511589e-05,4.736227e-05,4.819386e-05,4.965685e-05,5.118878e-05,5.190140e-05,5.409294e-05,5.622916e-05,5.690077e-05,5.830831e-05,5.960843e-05,6.032916e-05,6.221355e-05,6.229088e-05,6.419303e-05,6.471493e-05,6.603545e-05,6.711227e-05,6.781825e-05,6.940605e-05,6.954176e-05,7.120648e-05,7.159734e-05,7.281306e-05,7.368763e-05,7.436227e-05,7.567882e-05,7.585499e-05,7.729217e-05,7.757303e-05,7.867482e-05,7.937261e-05,8.000403e-05,8.108007e-05,8.128089e-05,8.250656e-05,8.269800e-05,8.368220e-05,8.422908e-05,8.480898e-05,8.567604e-05,8.588810e-05,8.692076e-05,8.704161e-05,8.790815e-05,8.832857e-05,8.885146e-05,8.953963e-05,8.975188e-05,9.061058e-05,9.067751e-05,9.142874e-05,9.174491e-05,9.220750e-05,9.274446e-05,9.294801e-05,9.365139e-05,9.367877e-05,9.431874e-05,9.455038e-05,9.495115e-05,9.536178e-05,9.554969e-05,9.611541e-05,9.664933e-05,9.681363e-05,9.715247e-05,9.745878e-05,9.762581e-05,9.805308e-05,9.807031e-05,9.848694e-05,9.859872e-05,9.887660e-05,9.909782e-05,9.924019e-05,9.955245e-05,9.957861e-05,9.989271e-05,9.996457e-05,1.001833e-04,1.003361e-04,1.004513e-04,1.006690e-04,1.006974e-04,1.009224e-04,1.009649e-04,1.011270e-04,1.012257e-04,1.013121e-04,1.014530e-04,1.014783e-04,1.016263e-04,1.016484e-04,1.017568e-04,1.018134e-04,1.018705e-04,1.019497e-04,1.019679e-04,1.020497e-04,1.020586e-04,1.021166e-04,1.021414e-04,1.021691e-04,1.021997e-04,1.022077e-04,1.022331e-04,1.022346e-04,1.022458e-04,1.022474e-04,1.022462e-04,1.022392e-04,1.022349e-04,1.022124e-04,1.022113e-04,1.021791e-04,1.021646e-04,1.021356e-04,1.021003e-04,1.020822e-04,1.020194e-04,1.019227e-04,1.018114e-04,1.016861e-04,1.015479e-04,1.013974e-04,1.012355e-04,1.010630e-04,1.008804e-04,1.006886e-04,1.004881e-04,1.002796e-04,1.000636e-04,9.984079e-05,9.961164e-05,9.937666e-05,9.913636e-05,9.889120e-05,9.864161e-05,9.838803e-05,9.813085e-05,9.787046e-05,9.760723e-05,9.734149e-05,9.707357e-05
0.000000e+00,6.235463e-11,3.169903e-10,3.083265e-09,1.244195e-08,2.279915e-08,7.835360e-08,8.176826e-08,2.037610e-07,2.523123e-07,4.114463e-07,5.866117e-07,7.275838e-07,1.134525e-06,1.175780e-06,1.776848e-06,1.945116e-06,2.537714e-06,3.027693e-06,3.439562e-06,4.317020e-06,4.440810e-06,5.494187e-06,5.707483e-06,6.560903e-06,7.111601e-06,7.614319e-06,8.476166e-06,8.637278e-06,9.618518e-06,9.771085e-06,1.055015e-05,1.097795e-05,1.142638e-05,1.208455e-05,1.224293e-05,1.299692e-05,1.308311e-05,1.368678e-05,1.396988e-05,1.431218e-05,1.474482e-05,1.487391e-05,1.537377e-05,1.541116e-05,1.581439e-05,1.597475e-05,1.619899e-05,1.644325e-05,1.653123e-05,1.681504e-05,1.682544e-05,1.705447e-05,1.713057e-05,1.725352e-05,1.736783e-05,1.741613e-05,1.754601e-05,1.764670e-05,1.767328e-05,1.772142e-05,1.775701e-05,1.777317e-05,1.780375e-05,1.780466e-05,1.781831e-05,1.781924e-05,1.781630e-05,1.780840e-05,1.780059e-05,1.777551e-05,1.777289e-05,1.773474e-05,1.772418e-05,1.768747e-05,1.765747e-05,1.763229e-05,1.757800e-05,1.757023e-05,1.750222e-05,1.748798e-05,1.742908e-05,1.738926e-05,1.735152e-05,1.728341e-05,1.727016e-05,1.718555e-05,1.717175e-05,1.709818e-05,1.705539e-05,1.700848e-05,1.693531e-05,1.691684e-05,1.682359e-05,1.681231e-05,1.672904e-05,1.668710e-05,1.663345e-05,1.656026e-05,1.653707e-05,1.644009e-05,1.643232e-05,1.634273e-05,1.630372e-05,1.624515e-05,1.617485e-05,1.614751e-05,1.604993e-05,1.604603e-05,1.595255e-05,1.591757e-05,1.585548e-05,1.578970e-05,1.575881e-05,1.566264e-05,1.556704e-05,1.553659e-05,1.547210e-05,1.541171e-05,1.537787e-05,1.528813e-05,1.528441e-05,1.519177e-05,1.516599e-05,1.510000e-05,1.504537e-05,1.500914e-05,1.492639e-05,1.491923e-05,1.483029e-05,1.480909e-05,1.474236e-05,1.469356e-05,1.465546e-05,1.457985e-05,1.456960e-05,1.448482e-05,1.446799e-05,1.440111e-05,1.435802e-05,1.431851e-05,1.424997e-05,1.423701e-05,1.415662e-05,1.414386e-05,1.407735e-05,1.403970e-05,1.399920e-05,1.393749e-05,1.392218e-05,1.384628e-05,1.383725e-05,1.377151e-05,1.373897e-05,1.369787e-05,1.364265e-05,1.362534e-05,1.355393e-05,1.354827e-05,1.348364e-05,1.345583e-05,1.341445e-05,1.336531e-05,1.334636e-05,1.327935e-05,1.327670e-05,1.321344e-05,1.318997e-05,1.314859e-05,1.310510e-05,1.308481e-05,1.302208e-05,1.294088e-05,1.286147e-05,1.278384e-05,1.270794e-05,1.263375e-05,1.256125e-05,1.249041e-05,1.242119e-05,1.235357e-05,1.228752e-05,1.222300e-05,1.216000e-05,1.209847e-05,1.203839e-05,1.197972e-05,1.192245e-05,1.186654e-05,1.181195e-05,1.175867e-05,1.170666e-05,1.165590e-05,1.160636e-05,1.155800e-05,1.151081e-05
0.000000e+00,8.749561e-10,2.486769e-09,1.069113e-08,2.687132e-08,4.061916e-08,9.766866e-08,1.007746e-07,2.005471e-07,2.368179e-07,3.489748e-07,4.650924e-07,5.549534e-07,8.027387e-07,8.271444e-07,1.173403e-06,1.268238e-06,1.599505e-06,1.873853e-06,2.107110e-06,2.617763e-06,2.691653e-06,3.341874e-06,3.478458e-06,4.042123e-06,4.420517e-06,4.775979e-06,5.407640e-06,5.528855e-06,6.288802e-06,6.410383e-06,7.046291e-06,7.406720e-06,7.793720e-06,8.380269e-06,8.524975e-06,9.235137e-06,9.318743e-06,9.920286e-06,1.021301e-05,1.057738e-05,1.105657e-05,1.120414e-05,1.179898e-05,1.184516e-05,1.236094e-05,1.257639e-05,1.288954e-05,1.324946e-05,1.338478e-05,1.384702e-05,1.386484e-05,1.427693e-05,1.442394e-05,1.467539e-05,1.492893e-05,1.504349e-05,1.538244e-05,1.569352e-05,1.578741e-05,1.597810e-05,1.614695e-05,1.623754e-05,1.646424e-05,1.647323e-05,1.668652e-05,1.674241e-05,1.687875e-05,1.698451e-05,1.705121e-05,1.719348e-05,1.720514e-05,1.734174e-05,1.737207e-05,1.746215e-05,1.752290e-05,1.756744e-05,1.764840e-05,1.765863e-05,1.773670e-05,1.775082e-05,1.780255e-05,1.783225e-05,1.785704e-05,1.789462e-05,1.790097e-05,1.793510e-05,1.793970e-05,1.796012e-05,1.796910e-05,1.797671e-05,1.798433e-05,1.798548e-05,1.798701e-05,1.798674e-05,1.798184e-05,1.797758e-05,1.797048e-05,1.795799e-05,1.795339e-05,1.793101e-05,1.792901e-05,1.790376e-05,1.789159e-05,1.787202e-05,1.784659e-05,1.783615e-05,1.779648e-05,1.779482e-05,1.775332e-05,1.773699e-05,1.770696e-05,1.767375e-05,1.765768e-05,1.760572e-05,1.755132e-05,1.753344e-05,1.749471e-05,1.745740e-05,1.743607e-05,1.737807e-05,1.737562e-05,1.731352e-05,1.729586e-05,1.724994e-05,1.721115e-05,1.718504e-05,1.712428e-05,1.711895e-05,1.705183e-05,1.703557e-05,1.698378e-05,1.694531e-05,1.691493e-05,1.685376e-05,1.684539e-05,1.677525e-05,1.676116e-05,1.670462e-05,1.666773e-05,1.663358e-05,1.657366e-05,1.656222e-05,1.649060e-05,1.647913e-05,1.641881e-05,1.638430e-05,1.634690e-05,1.628934e-05,1.627494e-05,1.620299e-05,1.619436e-05,1.613110e-05,1.609950e-05,1.605932e-05,1.600487e-05,1.598769e-05,1.591627e-05,1.591056e-05,1.584507e-05,1.581667e-05,1.577416e-05,1.572329e-05,1.570355e-05,1.563328e-05,1.563047e-05,1.556337e-05,1.553830e-05,1.549387e-05,1.544684e-05,1.542478e-05,1.535613e-05,1.526623e-05,1.517717e-05,1.508900e-05,1.500176e-05,1.491546e-05,1.483014e-05,1.474582e-05,1.466252e-05,1.458026e-05,1.449904e-05,1.441888e-05,1.433980e-05,1.426178e-05,1.418486e-05,1.410901e-05,1.403425e-05,1.396058e-05,1.388800e-05,1.381650e-05,1.374608e-05,1.367674e-05,1.360847e-05,1.354126e-05,1.347511e-05
0.000000e+00,5.424784e-11,2.874133e-10,3.023313e-09,1.299196e-08,2.456275e-08,9.060825e-08,9.480279e-08,2.501322e-07,3.139747e-07,5.280912e-07,7.696369e-07,9.671177e-07,1.548136e-06,1.607800e-06,2.491350e-06,2.743556e-06,3.650323e-06,4.424081e-06,5.092981e-06,6.579123e-06,6.795811e-06,8.713746e-06,9.118713e-06,1.079728e-05,1.193146e-05,1.300318e-05,1.492510e-05,1.529674e-05,1.764989e-05,1.803028e-05,2.003863e-05,2.119142e-05,2.244122e-05,2.435954e-05,2.483730e-05,2.720763e-05,2.748947e-05,2.953418e-05,3.053967e-05,3.180041e-05,3.347321e-05,3.399150e-05,3.609467e-05,3.625879e-05,3.809926e-05,3.887153e-05,3.999684e-05,4.129324e-05,4.178115e-05,4.344803e-05,4.351223e-05,4.499528e-05,4.552286e-05,4.642242e-05,4.732474e-05,4.773048e-05,4.892179e-05,4.999968e-05,5.032132e-05,5.096836e-05,5.153322e-05,5.183268e-05,5.256916e-05,5.259794e-05,5.326970e-05,5.344182e-05,5.385373e-05,5.416444e-05,5.435582e-05,5.475032e-05,5.478172e-05,5.513706e-05,5.521245e-05,5.542727e-05,5.556331e-05,5.565760e-05,5.581470e-05,5.583300e-05,5.595820e-05,5.597761e-05,5.603760e-05,5.606218e-05,5.607536e-05,5.607773e-05,5.607534e-05,5.604113e-05,5.603271e-05,5.597603e-05,5.593471e-05,5.588308e-05,5.579056e-05,5.576508e-05,5.562462e-05,5.560637e-05,5.546406e-05,5.538762e-05,5.528558e-05,5.513916e-05,5.509114e-05,5.488254e-05,5.486529e-05,5.466143e-05,5.456982e-05,5.442931e-05,5.425614e-05,5.418756e-05,5.393741e-05,5.392725e-05,5.368001e-05,5.358576e-05,5.341636e-05,5.323401e-05,5.314742e-05,5.287404e-05,5.259698e-05,5.250766e-05,5.231695e-05,5.213647e-05,5.203459e-05,5.176186e-05,5.175047e-05,5.146512e-05,5.138507e-05,5.117901e-05,5.100717e-05,5.089258e-05,5.062911e-05,5.060622e-05,5.032027e-05,5.025174e-05,5.003506e-05,4.987578e-05,4.975088e-05,4.950186e-05,4.946799e-05,4.918662e-05,4.913055e-05,4.890699e-05,4.876233e-05,4.862928e-05,4.839761e-05,4.835366e-05,4.808030e-05,4.803678e-05,4.780932e-05,4.768013e-05,4.754084e-05,4.732793e-05,4.727498e-05,4.701182e-05,4.698043e-05,4.675146e-05,4.663780e-05,4.649396e-05,4.630021e-05,4.623938e-05,4.598779e-05,4.596780e-05,4.573923e-05,4.564066e-05,4.549374e-05,4.531889e-05,4.525134e-05,4.501206e-05,4.500256e-05,4.477593e-05,4.469170e-05,4.454296e-05,4.438635e-05,4.431315e-05,4.408652e-05,4.379223e-05,4.350346e-05,4.322020e-05,4.294242e-05,4.267008e-05,4.240315e-05,4.214158e-05,4.188531e-05,4.163428e-05,4.138844e-05,4.114772e-05,4.091206e-05,4.068137e-05,4.045559e-05,4.023464e-05,4.001845e-05,3.980694e-05,3.960002e-05,3.939762e-05,3.919966e-05,3.900605e-05,3.881672e-05,3.863159e-05,3.845057e-05
0.000000e+00,1.360361e-10,6.293043e-10,5.214852e-09,1.888124e-08,3.303587e-08,1.044931e-07,1.087853e-07,2.606748e-07,3.211884e-07,5.217085e-07,7.465823e-07,9.300785e-07,1.464995e-06,1.519208e-06,2.298840e-06,2.512712e-06,3.251335e-06,3.849566e-06,4.348154e-06,5.411970e-06,5.563307e-06,6.875953e-06,7.148601e-06,8.268521e-06,9.018854e-06,9.724865e-06,1.098608e-05,1.122942e-05,1.276705e-05,1.301516e-05,1.432323e-05,1.507275e-05,1.588436e-05,1.712847e-05,1.743807e-05,1.897343e-05,1.915597e-05,2.048102e-05,2.113349e-05,2.195300e-05,2.304394e-05,2.338304e-05,2.476631e-05,2.487483e-05,2.609919e-05,2.661765e-05,2.737921e-05,2.826720e-05,2.860485e-05,2.977537e-05,2.982104e-05,3.089070e-05,3.127879e-05,3.195131e-05,3.264171e-05,3.295810e-05,3.391223e-05,3.481505e-05,3.509338e-05,3.566820e-05,3.618890e-05,3.647332e-05,3.720274e-05,3.723223e-05,3.794677e-05,3.813914e-05,3.861876e-05,3.900228e-05,3.925000e-05,3.979635e-05,3.984234e-05,4.039753e-05,4.052544e-05,4.091729e-05,4.119351e-05,4.140330e-05,4.180437e-05,4.185719e-05,4.228053e-05,4.236166e-05,4.267481e-05,4.286884e-05,4.304150e-05,4.332919e-05,4.338196e-05,4.369754e-05,4.374581e-05,4.398950e-05,4.412161e-05,4.425905e-05,4.445935e-05,4.450736e-05,4.473553e-05,4.476160e-05,4.494460e-05,4.503081e-05,4.513559e-05,4.526924e-05,4.530945e-05,4.546708e-05,4.547902e-05,4.560936e-05,4.566216e-05,4.573710e-05,4.582052e-05,4.585109e-05,4.595208e-05,4.595585e-05,4.604075e-05,4.606980e-05,4.611780e-05,4.616388e-05,4.618386e-05,4.623953e-05,4.628539e-05,4.629809e-05,4.632199e-05,4.634080e-05,4.634985e-05,4.636883e-05,4.636946e-05,4.638129e-05,4.638327e-05,4.638578e-05,4.638514e-05,4.638336e-05,4.637538e-05,4.637444e-05,4.635938e-05,4.635489e-05,4.633855e-05,4.632450e-05,4.631230e-05,4.628498e-05,4.628095e-05,4.624482e-05,4.623704e-05,4.620419e-05,4.618138e-05,4.615934e-05,4.611861e-05,4.611055e-05,4.605805e-05,4.604932e-05,4.600210e-05,4.597408e-05,4.594291e-05,4.589338e-05,4.588070e-05,4.581568e-05,4.580770e-05,4.574805e-05,4.571750e-05,4.567797e-05,4.562320e-05,4.560564e-05,4.553121e-05,4.552518e-05,4.545485e-05,4.542380e-05,4.537670e-05,4.531941e-05,4.529691e-05,4.521560e-05,4.521232e-05,4.513291e-05,4.510283e-05,4.504897e-05,4.499122e-05,4.496387e-05,4.487774e-05,4.476264e-05,4.464613e-05,4.452843e-05,4.440974e-05,4.429022e-05,4.417007e-05,4.404942e-05,4.392843e-05,4.380724e-05,4.368596e-05,4.356473e-05,4.344364e-05,4.332281e-05,4.320232e-05,4.308227e-05,4.296273e-05,4.284377e-05,4.272548e-05,4.260790e-05,4.249111e-05,4.237515e-05,4.226007e-05,4.214592e-05,4.203274e-05
0.000000e+00,1.856910e-11,1.078065e-10,1.353146e-09,6.725825e-09,1.368860e-08,5.990408e-08,6.307815e-08,1.919374e-07,2.494283e-07,4.545387e-07,7.020478e-07,9.135106e-07,1.568981e-06,1.638516e-06,2.704201e-06,3.018879e-06,4.182311e-06,5.211559e-06,6.127031e-06,8.244081e-06,8.562188e-06,1.147973e-05,1.211866e-05,1.484855e-05,1.676469e-05,1.862586e-05,2.208061e-05,2.276537e-05,2.722136e-05,2.796071e-05,3.194954e-05,3.430310e-05,3.690694e-05,4.100951e-05,4.205135e-05,4.734116e-05,4.798376e-05,5.273552e-05,5.513188e-05,5.819473e-05,6.236363e-05,6.368077e-05,6.915792e-05,6.959470e-05,7.459319e-05,7.674877e-05,7.995672e-05,8.375906e-05,8.522207e-05,9.036628e-05,9.056924e-05,9.536992e-05,9.713362e-05,1.002169e-04,1.034167e-04,1.048945e-04,1.093926e-04,1.137042e-04,1.150436e-04,1.178242e-04,1.203591e-04,1.217498e-04,1.253346e-04,1.254801e-04,1.290155e-04,1.299707e-04,1.323579e-04,1.342719e-04,1.355102e-04,1.382456e-04,1.384761e-04,1.412601e-04,1.419017e-04,1.438671e-04,1.452517e-04,1.463025e-04,1.483083e-04,1.485721e-04,1.506816e-04,1.510848e-04,1.526370e-04,1.535949e-04,1.544444e-04,1.558527e-04,1.561098e-04,1.576393e-04,1.578718e-04,1.590388e-04,1.596661e-04,1.603141e-04,1.612487e-04,1.614709e-04,1.625148e-04,1.626327e-04,1.634511e-04,1.638304e-04,1.642852e-04,1.648538e-04,1.650221e-04,1.656667e-04,1.657144e-04,1.662237e-04,1.664231e-04,1.666978e-04,1.669902e-04,1.670933e-04,1.674143e-04,1.674257e-04,1.676650e-04,1.677388e-04,1.678493e-04,1.679385e-04,1.679708e-04,1.680330e-04,1.680396e-04,1.680304e-04,1.679935e-04,1.679379e-04,1.678981e-04,1.677627e-04,1.677562e-04,1.675707e-04,1.675113e-04,1.673443e-04,1.671899e-04,1.670796e-04,1.668043e-04,1.667790e-04,1.664449e-04,1.663600e-04,1.660796e-04,1.658621e-04,1.656851e-04,1.653154e-04,1.652634e-04,1.648166e-04,1.647244e-04,1.643464e-04,1.640933e-04,1.638546e-04,1.634260e-04,1.633428e-04,1.628126e-04,1.627261e-04,1.622655e-04,1.619972e-04,1.617028e-04,1.612425e-04,1.611260e-04,1.605363e-04,1.604648e-04,1.599350e-04,1.596670e-04,1.593231e-04,1.588516e-04,1.587017e-04,1.580718e-04,1.580211e-04,1.574345e-04,1.571777e-04,1.567907e-04,1.563235e-04,1.561411e-04,1.554867e-04,1.554604e-04,1.548281e-04,1.545902e-04,1.541662e-04,1.537145e-04,1.535016e-04,1.528349e-04,1.519528e-04,1.510694e-04,1.501860e-04,1.493038e-04,1.484236e-04,1.475464e-04,1.466732e-04,1.458046e-04,1.449414e-04,1.440843e-04,1.432337e-04,1.423903e-04,1.415546e-04,1.407269e-04,1.399076e-04,1.390972e-04,1.382958e-04,1.375039e-04,1.367215e-04,1.359489e-04,1.351864e-04,1.344339e-04,1.336918e-04,1.329599e-04
0.000000e+00,1.282370e-09,2.983780e-09,1.041101e-08,2.382819e-08,3.485396e-08,7.969983e-08,8.213087e-08,1.607173e-07,1.896696e-07,2.808029e-07,3.777859e-07,4.546233e-07,6.737976e-07,6.959072e-07,1.017595e-06,1.107787e-06,1.427078e-06,1.693897e-06,1.920656e-06,2.412276e-06,2.482615e-06,3.091302e-06,3.216788e-06,3.726482e-06,4.061923e-06,4.372730e-06,4.916200e-06,5.019353e-06,5.659085e-06,5.760443e-06,6.286873e-06,6.582847e-06,6.899021e-06,7.375545e-06,7.492682e-06,8.065566e-06,8.132824e-06,8.615814e-06,8.850353e-06,9.141921e-06,9.524878e-06,9.642706e-06,1.011730e-05,1.015412e-05,1.056513e-05,1.073670e-05,1.098592e-05,1.127212e-05,1.137964e-05,1.174652e-05,1.176064e-05,1.208699e-05,1.220320e-05,1.240165e-05,1.260128e-05,1.269130e-05,1.295682e-05,1.319918e-05,1.327202e-05,1.341945e-05,1.354933e-05,1.361871e-05,1.379128e-05,1.379809e-05,1.395871e-05,1.400048e-05,1.410171e-05,1.417950e-05,1.422818e-05,1.433086e-05,1.433919e-05,1.443580e-05,1.445696e-05,1.451901e-05,1.456010e-05,1.458976e-05,1.464244e-05,1.464897e-05,1.469750e-05,1.470600e-05,1.473618e-05,1.475265e-05,1.476576e-05,1.478410e-05,1.478696e-05,1.480045e-05,1.480194e-05,1.480686e-05,1.480759e-05,1.480676e-05,1.480236e-05,1.480070e-05,1.478918e-05,1.478745e-05,1.477267e-05,1.476394e-05,1.475161e-05,1.473281e-05,1.472640e-05,1.469740e-05,1.469493e-05,1.466497e-05,1.465110e-05,1.462941e-05,1.460203e-05,1.459100e-05,1.455002e-05,1.454833e-05,1.450674e-05,1.449064e-05,1.446140e-05,1.442950e-05,1.441421e-05,1.436537e-05,1.431506e-05,1.429867e-05,1.426345e-05,1.422981e-05,1.421070e-05,1.415911e-05,1.415695e-05,1.410232e-05,1.408689e-05,1.404695e-05,1.401342e-05,1.399095e-05,1.393895e-05,1.393441e-05,1.387743e-05,1.386370e-05,1.382011e-05,1.378788e-05,1.376252e-05,1.371168e-05,1.370474e-05,1.364683e-05,1.363524e-05,1.358887e-05,1.355873e-05,1.353091e-05,1.348226e-05,1.347300e-05,1.341519e-05,1.340596e-05,1.335754e-05,1.332993e-05,1.330007e-05,1.325426e-05,1.324283e-05,1.318586e-05,1.317904e-05,1.312918e-05,1.310435e-05,1.307283e-05,1.303024e-05,1.301684e-05,1.296122e-05,1.295678e-05,1.290600e-05,1.288403e-05,1.285120e-05,1.281202e-05,1.279684e-05,1.274294e-05,1.274079e-05,1.268951e-05,1.267039e-05,1.263656e-05,1.260084e-05,1.258411e-05,1.253216e-05,1.246439e-05,1.239753e-05,1.233161e-05,1.226664e-05,1.220263e-05,1.213958e-05,1.207751e-05,1.201642e-05,1.195630e-05,1.189717e-05,1.183901e-05,1.178184e-05,1.172563e-05,1.167040e-05,1.161613e-05,1.156282e-05,1.151046e-05,1.145904e-05,1.140856e-05,1.135901e-05,1.131037e-05,1.126265e-05,1.121581e-05,1.116987e-05
0.000000e+00,1.333614e-12,8.219247e-12,1.161713e-10,6.393288e-10,1.372286e-09,6.827397e-09,7.224707e-09,2.462209e-08,3.292077e-08,6.415579e-08,1.041371e-07,1.396597e-07,2.550812e-07,2.676846e-07,4.668236e-07,5.273527e-07,7.562842e-07,9.643656e-07,1.153045e-06,1.599881e-06,1.668094e-06,2.303604e-06,2.444688e-06,3.052515e-06,3.482181e-06,3.900377e-06,4.675282e-06,4.828280e-06,5.815632e-06,5.977756e-06,6.842211e-06,7.343349e-06,7.889373e-06,8.730763e-06,8.940627e-06,9.981781e-06,1.010545e-05,1.100088e-05,1.143970e-05,1.198810e-05,1.271214e-05,1.293555e-05,1.383713e-05,1.390713e-05,1.468839e-05,1.501409e-05,1.548634e-05,1.602685e-05,1.622927e-05,1.691663e-05,1.694297e-05,1.754878e-05,1.776305e-05,1.812690e-05,1.849002e-05,1.865273e-05,1.912852e-05,1.955682e-05,1.968429e-05,1.994038e-05,2.016371e-05,2.028208e-05,2.057344e-05,2.058484e-05,2.085152e-05,2.092011e-05,2.108493e-05,2.121012e-05,2.128774e-05,2.144951e-05,2.146252e-05,2.161163e-05,2.164385e-05,2.173733e-05,2.179826e-05,2.184166e-05,2.191733e-05,2.192655e-05,2.199374e-05,2.200520e-05,2.204484e-05,2.206554e-05,2.208130e-05,2.210161e-05,2.210448e-05,2.211558e-05,2.211631e-05,2.211572e-05,2.211218e-05,2.210589e-05,2.209146e-05,2.208700e-05,2.205990e-05,2.205614e-05,2.202534e-05,2.200794e-05,2.198399e-05,2.194842e-05,2.193649e-05,2.188341e-05,2.187894e-05,2.182525e-05,2.180068e-05,2.176250e-05,2.171472e-05,2.169558e-05,2.162490e-05,2.162200e-05,2.155080e-05,2.152335e-05,2.147362e-05,2.141953e-05,2.139366e-05,2.131120e-05,2.122649e-05,2.119895e-05,2.113977e-05,2.108332e-05,2.105126e-05,2.096478e-05,2.096115e-05,2.086963e-05,2.084378e-05,2.077687e-05,2.072069e-05,2.068303e-05,2.059586e-05,2.058824e-05,2.049265e-05,2.046960e-05,2.039638e-05,2.034221e-05,2.029954e-05,2.021393e-05,2.020224e-05,2.010457e-05,2.008501e-05,2.000664e-05,1.995564e-05,1.990853e-05,1.982603e-05,1.981031e-05,1.971206e-05,1.969634e-05,1.961385e-05,1.956674e-05,1.951573e-05,1.943736e-05,1.941778e-05,1.932004e-05,1.930833e-05,1.922257e-05,1.917978e-05,1.912541e-05,1.905180e-05,1.902861e-05,1.893220e-05,1.892450e-05,1.883622e-05,1.879796e-05,1.874072e-05,1.867226e-05,1.864572e-05,1.855124e-05,1.854748e-05,1.845733e-05,1.842366e-05,1.836400e-05,1.830088e-05,1.827128e-05,1.817918e-05,1.805862e-05,1.793922e-05,1.782103e-05,1.770407e-05,1.758839e-05,1.747399e-05,1.736091e-05,1.724915e-05,1.713874e-05,1.702968e-05,1.692199e-05,1.681567e-05,1.671073e-05,1.660717e-05,1.650499e-05,1.640420e-05,1.630479e-05,1.620675e-05,1.611010e-05,1.601481e-05,1.592088e-05,1.582831e-05,1.573708e-05,1.564720e-05
0.000000e+00,4.936332e-14,3.362845e-13,5.850603e-12,3.890116e-11,9.261470e-11,6.014064e-10,6.433027e-10,2.846722e-09,4.083096e-09,9.476286e-09,1.767871e-08,2.593078e-08,5.764594e-08,6.149960e-08,1.307990e-07,1.546692e-07,2.552896e-07,3.598260e-07,4.647307e-07,7.502549e-07,7.983972e-07,1.305920e-06,1.433411e-06,2.047676e-06,2.549129e-06,3.094711e-06,4.269265e-06,4.528223e-06,6.438645e-06,6.795046e-06,8.924375e-06,1.035245e-05,1.209021e-05,1.518597e-05,1.604556e-05,2.090247e-05,2.155124e-05,2.677354e-05,2.970682e-05,3.376979e-05,3.990567e-05,4.199850e-05,5.156117e-05,5.238667e-05,6.255149e-05,6.736657e-05,7.505359e-05,8.503262e-05,8.914038e-05,1.048721e-04,1.055363e-04,1.222955e-04,1.289886e-04,1.414423e-04,1.554557e-04,1.623293e-04,1.849578e-04,2.093134e-04,2.174675e-04,2.353665e-04,2.529114e-04,2.630726e-04,2.911712e-04,2.923729e-04,3.231956e-04,3.320875e-04,3.554561e-04,3.754634e-04,3.890593e-04,4.210697e-04,4.238998e-04,4.598639e-04,4.686493e-04,4.968309e-04,5.179235e-04,5.346743e-04,5.685976e-04,5.732632e-04,6.124642e-04,6.203659e-04,6.521419e-04,6.729177e-04,6.921609e-04,7.259421e-04,7.323866e-04,7.726864e-04,7.791325e-04,8.129307e-04,8.321912e-04,8.529939e-04,8.848326e-04,8.927550e-04,9.320986e-04,9.367865e-04,9.709151e-04,9.878007e-04,1.009102e-03,1.037643e-03,1.046562e-03,1.083208e-03,1.086102e-03,1.118958e-03,1.132990e-03,1.153737e-03,1.178139e-03,1.187479e-03,1.220126e-03,1.221409e-03,1.251626e-03,1.262677e-03,1.281935e-03,1.301846e-03,1.311016e-03,1.338839e-03,1.365380e-03,1.373600e-03,1.390623e-03,1.406091e-03,1.414555e-03,1.436293e-03,1.437172e-03,1.458473e-03,1.464202e-03,1.478463e-03,1.489831e-03,1.497151e-03,1.513205e-03,1.514550e-03,1.530678e-03,1.534362e-03,1.545555e-03,1.553349e-03,1.559205e-03,1.570224e-03,1.571655e-03,1.582933e-03,1.585051e-03,1.593071e-03,1.597902e-03,1.602101e-03,1.608855e-03,1.610058e-03,1.616977e-03,1.617991e-03,1.622896e-03,1.625393e-03,1.627852e-03,1.631148e-03,1.631882e-03,1.635025e-03,1.635344e-03,1.637320e-03,1.638070e-03,1.638804e-03,1.639414e-03,1.639517e-03,1.639497e-03,1.639464e-03,1.638780e-03,1.638306e-03,1.637404e-03,1.636025e-03,1.635405e-03,1.632819e-03,1.632704e-03,1.629681e-03,1.628423e-03,1.626025e-03,1.623260e-03,1.621883e-03,1.617289e-03,1.610582e-03,1.603208e-03,1.595232e-03,1.586716e-03,1.577719e-03,1.568297e-03,1.558501e-03,1.548381e-03,1.537982e-03,1.527348e-03,1.516518e-03,1.505530e-03,1.494417e-03,1.483211e-03,1.471943e-03,1.460638e-03,1.449321e-03,1.438015e-03,1.426740e-03,1.415514e-03,1.404355e-03,1.393278e-03,1.382296e-03,1.371422e-03
0.000000e+00,7.001831e-09,1.834919e-08,7.257850e-08,1.761933e-07,2.634975e-07,6.270029e-07,6.469434e-07,1.298553e-06,1.540925e-06,2.307542e-06,3.123033e-06,3.763313e-06,5.530293e-06,5.702394e-06,8.070992e-06,8.693084e-06,1.077844e-05,1.241408e-05,1.375074e-05,1.654248e-05,1.693413e-05,2.028478e-05,2.097140e-05,2.376227e-05,2.560759e-05,2.732720e-05,3.036109e-05,3.094104e-05,3.456692e-05,3.514584e-05,3.817057e-05,3.988323e-05,4.172118e-05,4.450534e-05,4.519197e-05,4.856048e-05,4.895692e-05,5.180854e-05,5.319578e-05,5.492214e-05,5.719210e-05,5.789101e-05,6.070828e-05,6.092698e-05,6.336999e-05,6.439069e-05,6.587458e-05,6.758082e-05,6.822256e-05,7.041600e-05,7.050057e-05,7.245827e-05,7.315729e-05,7.435368e-05,7.556121e-05,7.610724e-05,7.772447e-05,7.921119e-05,7.966036e-05,8.057342e-05,8.138273e-05,8.181724e-05,8.290555e-05,8.294873e-05,8.397385e-05,8.424263e-05,8.489849e-05,8.540742e-05,8.572834e-05,8.641283e-05,8.646891e-05,8.712551e-05,8.727117e-05,8.770323e-05,8.799411e-05,8.820692e-05,8.859262e-05,8.864122e-05,8.901051e-05,8.907694e-05,8.931897e-05,8.945668e-05,8.957062e-05,8.974086e-05,8.976923e-05,8.991841e-05,8.993792e-05,9.002153e-05,9.005561e-05,9.008178e-05,9.010115e-05,9.010219e-05,9.008560e-05,9.008126e-05,9.003473e-05,9.000213e-05,8.995209e-05,8.986952e-05,8.984008e-05,8.970094e-05,8.968870e-05,8.953679e-05,8.946458e-05,8.934963e-05,8.920168e-05,8.914132e-05,8.891360e-05,8.890411e-05,8.866809e-05,8.857565e-05,8.840633e-05,8.821980e-05,8.812978e-05,8.783982e-05,8.753770e-05,8.743865e-05,8.722461e-05,8.701899e-05,8.690165e-05,8.658329e-05,8.656986e-05,8.623020e-05,8.613381e-05,8.588360e-05,8.567265e-05,8.553089e-05,8.520170e-05,8.517288e-05,8.481030e-05,8.472268e-05,8.444384e-05,8.423717e-05,8.407415e-05,8.374661e-05,8.370181e-05,8.332740e-05,8.325232e-05,8.295143e-05,8.275548e-05,8.257439e-05,8.225718e-05,8.219673e-05,8.181886e-05,8.175841e-05,8.144118e-05,8.126006e-05,8.106403e-05,8.076293e-05,8.068777e-05,8.031268e-05,8.026776e-05,7.993905e-05,7.977518e-05,7.956714e-05,7.928580e-05,7.919720e-05,7.882944e-05,7.880012e-05,7.846407e-05,7.831864e-05,7.810127e-05,7.784175e-05,7.774122e-05,7.738406e-05,7.736983e-05,7.702993e-05,7.690322e-05,7.667897e-05,7.644219e-05,7.633129e-05,7.598699e-05,7.553786e-05,7.509496e-05,7.465846e-05,7.422849e-05,7.380515e-05,7.338854e-05,7.297872e-05,7.257574e-05,7.217964e-05,7.179042e-05,7.140811e-05,7.103269e-05,7.066414e-05,7.030243e-05,6.994754e-05,6.959941e-05,6.925799e-05,6.892323e-05,6.859505e-05,6.827340e-05,6.795819e-05,6.764935e-05,6.734679e-05,6.705044e-05
0.000000e+00,7.746786e-11,3.777253e-10,3.424060e-09,1.319077e-08,2.372061e-08,7.917916e-08,8.257720e-08,2.050292e-07,2.545701e-07,4.205973e-07,6.096759e-07,7.662997e-07,1.237212e-06,1.286270e-06,2.020581e-06,2.231114e-06,2.983745e-06,3.616242e-06,4.154275e-06,5.321656e-06,5.488955e-06,6.943632e-06,7.245698e-06,8.483215e-06,9.308519e-06,1.008196e-05,1.145633e-05,1.172048e-05,1.338306e-05,1.365036e-05,1.505594e-05,1.585885e-05,1.672653e-05,1.805343e-05,1.838308e-05,2.001464e-05,2.020826e-05,2.161123e-05,2.230031e-05,2.316393e-05,2.430981e-05,2.466498e-05,2.610791e-05,2.622067e-05,2.748750e-05,2.802066e-05,2.879976e-05,2.970128e-05,3.004189e-05,3.121218e-05,3.125748e-05,3.230984e-05,3.268722e-05,3.333497e-05,3.399099e-05,3.428834e-05,3.517134e-05,3.598582e-05,3.623234e-05,3.673402e-05,3.717923e-05,3.741844e-05,3.801799e-05,3.804179e-05,3.860691e-05,3.875510e-05,3.911670e-05,3.939723e-05,3.957409e-05,3.995114e-05,3.998202e-05,4.034334e-05,4.042344e-05,4.066087e-05,4.082058e-05,4.093733e-05,4.114872e-05,4.117533e-05,4.137740e-05,4.141371e-05,4.154592e-05,4.162106e-05,4.168318e-05,4.177592e-05,4.179136e-05,4.187248e-05,4.188308e-05,4.192850e-05,4.194701e-05,4.196123e-05,4.197182e-05,4.197240e-05,4.196362e-05,4.196129e-05,4.193639e-05,4.191894e-05,4.189215e-05,4.184796e-05,4.183222e-05,4.175784e-05,4.175130e-05,4.167019e-05,4.163166e-05,4.157035e-05,4.149149e-05,4.145934e-05,4.133812e-05,4.133307e-05,4.120756e-05,4.115844e-05,4.106850e-05,4.096949e-05,4.092172e-05,4.076793e-05,4.060780e-05,4.055533e-05,4.044197e-05,4.033311e-05,4.027101e-05,4.010257e-05,4.009546e-05,3.991585e-05,3.986489e-05,3.973262e-05,3.962114e-05,3.954623e-05,3.937231e-05,3.935709e-05,3.916556e-05,3.911927e-05,3.897200e-05,3.886284e-05,3.877674e-05,3.860375e-05,3.858009e-05,3.838232e-05,3.834265e-05,3.818369e-05,3.808015e-05,3.798446e-05,3.781679e-05,3.778483e-05,3.758503e-05,3.755305e-05,3.738524e-05,3.728939e-05,3.718563e-05,3.702620e-05,3.698639e-05,3.678765e-05,3.676384e-05,3.658955e-05,3.650263e-05,3.639223e-05,3.624286e-05,3.619580e-05,3.600038e-05,3.598479e-05,3.580605e-05,3.572865e-05,3.561292e-05,3.547465e-05,3.542106e-05,3.523056e-05,3.522297e-05,3.504147e-05,3.497376e-05,3.485387e-05,3.472718e-05,3.466781e-05,3.448335e-05,3.424237e-05,3.400434e-05,3.376933e-05,3.353742e-05,3.330867e-05,3.308311e-05,3.286079e-05,3.264173e-05,3.242596e-05,3.221348e-05,3.200432e-05,3.179846e-05,3.159591e-05,3.139666e-05,3.120069e-05,3.100799e-05,3.081854e-05,3.063232e-05,3.044930e-05,3.026946e-05,3.009276e-05,2.991917e-05,2.974867e-05,2.958120e-05
0.000000e+00,1.996699e-11,1.040910e-10,1.063995e-09,4.479841e-09,8.394264e-09,3.047716e-08,3.187427e-08,8.363455e-08,1.049939e-07,1.771772e-07,2.596962e-07,3.280164e-07,5.332151e-07,5.546195e-07,8.780861e-07,9.724760e-07,1.318487e-06,1.621121e-06,1.887554e-06,2.493110e-06,2.582776e-06,3.388841e-06,3.561519e-06,4.284682e-06,4.779109e-06,5.249952e-06,6.102085e-06,6.267929e-06,7.325648e-06,7.497864e-06,8.412970e-06,8.942900e-06,9.521539e-06,1.041874e-05,1.064402e-05,1.177364e-05,1.190936e-05,1.290396e-05,1.339993e-05,1.402882e-05,1.487638e-05,1.514227e-05,1.623873e-05,1.632555e-05,1.731297e-05,1.773535e-05,1.836018e-05,1.909501e-05,1.937608e-05,2.035693e-05,2.039539e-05,2.129956e-05,2.162904e-05,2.220138e-05,2.279026e-05,2.306038e-05,2.387507e-05,2.464447e-05,2.488103e-05,2.536811e-05,2.580719e-05,2.604594e-05,2.665387e-05,2.667829e-05,2.726579e-05,2.742237e-05,2.780931e-05,2.811475e-05,2.830993e-05,2.873370e-05,2.876892e-05,2.918764e-05,2.928231e-05,2.956763e-05,2.976412e-05,2.991053e-05,3.018297e-05,3.021806e-05,3.049195e-05,3.054284e-05,3.073393e-05,3.084774e-05,3.094577e-05,3.110171e-05,3.112922e-05,3.128611e-05,3.130888e-05,3.141837e-05,3.147362e-05,3.152773e-05,3.159979e-05,3.161577e-05,3.168391e-05,3.169081e-05,3.173350e-05,3.174979e-05,3.176586e-05,3.177965e-05,3.178216e-05,3.178357e-05,3.178308e-05,3.177120e-05,3.176262e-05,3.174608e-05,3.172065e-05,3.170918e-05,3.166142e-05,3.165930e-05,3.160367e-05,3.158058e-05,3.153673e-05,3.148636e-05,3.146138e-05,3.137832e-05,3.128823e-05,3.125802e-05,3.119173e-05,3.112687e-05,3.108940e-05,3.098619e-05,3.098179e-05,3.086941e-05,3.083716e-05,3.075274e-05,3.068087e-05,3.063223e-05,3.051831e-05,3.050828e-05,3.038128e-05,3.035039e-05,3.025160e-05,3.017793e-05,3.011956e-05,3.000166e-05,2.998547e-05,2.984963e-05,2.982228e-05,2.971230e-05,2.964039e-05,2.957373e-05,2.945655e-05,2.943416e-05,2.929378e-05,2.927126e-05,2.915281e-05,2.908499e-05,2.901143e-05,2.889815e-05,2.886981e-05,2.872810e-05,2.871110e-05,2.858645e-05,2.852418e-05,2.844500e-05,2.833769e-05,2.830386e-05,2.816315e-05,2.815191e-05,2.802298e-05,2.796708e-05,2.788343e-05,2.778341e-05,2.774461e-05,2.760659e-05,2.760109e-05,2.746944e-05,2.742030e-05,2.733324e-05,2.724118e-05,2.719803e-05,2.706388e-05,2.688851e-05,2.671518e-05,2.654397e-05,2.637496e-05,2.620821e-05,2.604379e-05,2.588174e-05,2.572210e-05,2.556489e-05,2.541015e-05,2.525788e-05,2.510810e-05,2.496082e-05,2.481604e-05,2.467375e-05,2.453395e-05,2.439663e-05,2.426177e-05,2.412937e-05,2.399939e-05,2.387183e-05,2.374665e-05,2.362384e-05,2.350337e-05
0.000000e+00,1.503871e-14,1.017268e-13,1.743845e-12,1.143610e-11,2.701744e-11,1.718928e-10,1.837118e-10,7.959963e-10,1.135026e-09,2.594922e-09,4.781046e-09,6.954929e-09,1.517141e-08,1.615915e-08,3.367684e-08,3.963125e-08,6.443462e-08,8.983558e-08,1.150551e-07,1.827261e-07,1.940266e-07,3.117698e-07,3.410218e-07,4.805832e-07,5.931376e-07,7.144728e-07,9.724962e-07,1.028884e-06,1.440362e-06,1.516353e-06,1.966161e-06,2.264304e-06,2.623831e-06,3.256638e-06,3.430796e-06,4.403941e-06,4.532655e-06,5.559216e-06,6.129066e-06,6.911272e-06,8.078524e-06,8.473133e-06,1.025591e-05,1.040836e-05,1.226858e-05,1.313958e-05,1.451775e-05,1.628605e-05,1.700761e-05,1.973976e-05,1.985408e-05,2.271326e-05,2.384221e-05,2.592460e-05,2.824122e-05,2.936781e-05,3.303456e-05,3.691430e-05,3.819880e-05,4.099448e-05,4.370443e-05,4.526074e-05,4.951665e-05,4.969716e-05,5.428648e-05,5.559643e-05,5.901042e-05,6.190148e-05,6.384988e-05,6.838732e-05,6.878521e-05,7.379648e-05,7.500826e-05,7.886370e-05,8.171839e-05,8.396707e-05,8.847247e-05,8.908713e-05,9.420499e-05,9.522669e-05,9.930249e-05,1.019393e-04,1.043623e-04,1.085714e-04,1.093681e-04,1.143045e-04,1.150870e-04,1.191576e-04,1.214536e-04,1.239142e-04,1.276422e-04,1.285628e-04,1.330928e-04,1.336279e-04,1.374949e-04,1.393893e-04,1.417613e-04,1.449086e-04,1.458849e-04,1.498603e-04,1.501718e-04,1.536829e-04,1.551683e-04,1.573492e-04,1.598907e-04,1.608566e-04,1.642038e-04,1.643343e-04,1.673900e-04,1.684976e-04,1.704152e-04,1.723810e-04,1.732805e-04,1.759873e-04,1.785377e-04,1.793212e-04,1.809343e-04,1.823888e-04,1.831801e-04,1.851976e-04,1.852788e-04,1.872340e-04,1.877564e-04,1.890500e-04,1.900744e-04,1.907308e-04,1.921618e-04,1.922812e-04,1.937056e-04,1.940293e-04,1.950089e-04,1.956876e-04,1.961958e-04,1.971478e-04,1.972711e-04,1.982396e-04,1.984209e-04,1.991062e-04,1.995180e-04,1.998755e-04,2.004500e-04,2.005522e-04,2.011409e-04,2.012273e-04,2.016461e-04,2.018603e-04,2.020722e-04,2.023589e-04,2.024233e-04,2.027036e-04,2.027327e-04,2.029171e-04,2.029908e-04,2.030676e-04,2.031421e-04,2.031588e-04,2.031942e-04,2.031947e-04,2.031772e-04,2.031565e-04,2.031111e-04,2.030349e-04,2.029990e-04,2.028439e-04,2.028368e-04,2.026485e-04,2.025688e-04,2.024156e-04,2.022371e-04,2.021477e-04,2.018473e-04,2.014047e-04,2.009145e-04,2.003812e-04,1.998090e-04,1.992021e-04,1.985640e-04,1.978981e-04,1.972077e-04,1.964956e-04,1.957646e-04,1.950170e-04,1.942551e-04,1.934812e-04,1.926970e-04,1.919043e-04,1.911048e-04,1.903000e-04,1.894912e-04,1.886797e-04,1.878666e-04,1.870529e-04,1.862397e-04,1.854278e-04,1.846179e-04
0.000000e+00,1.316993e-13,8.971239e-13,1.560763e-11,1.037844e-10,2.471103e-10,1.605399e-09,1.717284e-09,7.606114e-09,1.091321e-08,2.535434e-08,4.735130e-08,6.951153e-08,1.548801e-07,1.652707e-07,3.526118e-07,4.173228e-07,6.909081e-07,9.762947e-07,1.263661e-06,2.049745e-06,2.182766e-06,3.591577e-06,3.947028e-06,5.666236e-06,7.076127e-06,8.615043e-06,1.194091e-05,1.267598e-05,1.811270e-05,1.912899e-05,2.520925e-05,2.929241e-05,3.426403e-05,4.312340e-05,4.558316e-05,5.947371e-05,6.132778e-05,7.623694e-05,8.459788e-05,9.616183e-05,1.135866e-04,1.195190e-04,1.465555e-04,1.488841e-04,1.774897e-04,1.909976e-04,2.125078e-04,2.403355e-04,2.517602e-04,2.953598e-04,2.971953e-04,3.433799e-04,3.617571e-04,3.958543e-04,4.340795e-04,4.527766e-04,5.141017e-04,5.797467e-04,6.016470e-04,6.495931e-04,6.964310e-04,7.234892e-04,7.980706e-04,8.012528e-04,8.826741e-04,9.060963e-04,9.675193e-04,1.019965e-03,1.055533e-03,1.139071e-03,1.146444e-03,1.239965e-03,1.262766e-03,1.335800e-03,1.390364e-03,1.433643e-03,1.521161e-03,1.533186e-03,1.634118e-03,1.654444e-03,1.736130e-03,1.789501e-03,1.838916e-03,1.925635e-03,1.942177e-03,2.045620e-03,2.062169e-03,2.148963e-03,2.198453e-03,2.251936e-03,2.333873e-03,2.354279e-03,2.455747e-03,2.467853e-03,2.556109e-03,2.599861e-03,2.655148e-03,2.729410e-03,2.752665e-03,2.848474e-03,2.856060e-03,2.942405e-03,2.979417e-03,3.034305e-03,3.099138e-03,3.124036e-03,3.211475e-03,3.214924e-03,3.296514e-03,3.326523e-03,3.379060e-03,3.433727e-03,3.459034e-03,3.536369e-03,3.611013e-03,3.634323e-03,3.682924e-03,3.727499e-03,3.752073e-03,3.815840e-03,3.818441e-03,3.882020e-03,3.899322e-03,3.942810e-03,3.977950e-03,4.000822e-03,4.051752e-03,4.056071e-03,4.108584e-03,4.120783e-03,4.158391e-03,4.185115e-03,4.205530e-03,4.244839e-03,4.250043e-03,4.291979e-03,4.300061e-03,4.331388e-03,4.350901e-03,4.368328e-03,4.397490e-03,4.402855e-03,4.435033e-03,4.439967e-03,4.464924e-03,4.478479e-03,4.492595e-03,4.513177e-03,4.518112e-03,4.541544e-03,4.544219e-03,4.562961e-03,4.571763e-03,4.582431e-03,4.595969e-03,4.600024e-03,4.615811e-03,4.616998e-03,4.629860e-03,4.635009e-03,4.642241e-03,4.650160e-03,4.653022e-03,4.662269e-03,4.662608e-03,4.670049e-03,4.672504e-03,4.676429e-03,4.679999e-03,4.681471e-03,4.685239e-03,4.688364e-03,4.689513e-03,4.688817e-03,4.686404e-03,4.682397e-03,4.676912e-03,4.670062e-03,4.661954e-03,4.652690e-03,4.642366e-03,4.631076e-03,4.618905e-03,4.605937e-03,4.592249e-03,4.577915e-03,4.563004e-03,4.547582e-03,4.531708e-03,4.515442e-03,4.498835e-03,4.481939e-03,4.464799e-03,4.447460e-03,4.429963e-03
0.000000e+00,4.737247e-09,1.126947e-08,4.051248e-08,9.467178e-08,1.399700e-07,3.292162e-07,3.396643e-07,6.856593e-07,8.165976e-07,1.238468e-06,1.700352e-06,2.073340e-06,3.157344e-06,3.267552e-06,4.867752e-06,5.311840e-06,6.858173e-06,8.118906e-06,9.171047e-06,1.140987e-05,1.172710e-05,1.446114e-05,1.502485e-05,1.732549e-05,1.885448e-05,2.028519e-05,2.282499e-05,2.331306e-05,2.638651e-05,2.688114e-05,2.948576e-05,3.097728e-05,3.259305e-05,3.507379e-05,3.569227e-05,3.876891e-05,3.913596e-05,4.181007e-05,4.313397e-05,4.480444e-05,4.704283e-05,4.774230e-05,5.061549e-05,5.084234e-05,5.341725e-05,5.451671e-05,5.614219e-05,5.805417e-05,5.878610e-05,6.134589e-05,6.144650e-05,6.381939e-05,6.468844e-05,6.620522e-05,6.777714e-05,6.850270e-05,7.071172e-05,7.283267e-05,7.349288e-05,7.486630e-05,7.612250e-05,7.681372e-05,7.860339e-05,7.867628e-05,8.045553e-05,8.093903e-05,8.215321e-05,8.313343e-05,8.377117e-05,8.519094e-05,8.531134e-05,8.677573e-05,8.711614e-05,8.816642e-05,8.891378e-05,8.948547e-05,9.058866e-05,9.073500e-05,9.191712e-05,9.214563e-05,9.303391e-05,9.358952e-05,9.408747e-05,9.492510e-05,9.507986e-05,9.601311e-05,9.615708e-05,9.688924e-05,9.729007e-05,9.771021e-05,9.832857e-05,9.847795e-05,9.919437e-05,9.927698e-05,9.986132e-05,1.001396e-04,1.004806e-04,1.009205e-04,1.010540e-04,1.015833e-04,1.016237e-04,1.020700e-04,1.022532e-04,1.025160e-04,1.028126e-04,1.029226e-04,1.032916e-04,1.033056e-04,1.036244e-04,1.037357e-04,1.039225e-04,1.041061e-04,1.041873e-04,1.044201e-04,1.046224e-04,1.046809e-04,1.047954e-04,1.048913e-04,1.049403e-04,1.050542e-04,1.050584e-04,1.051509e-04,1.051723e-04,1.052188e-04,1.052483e-04,1.052634e-04,1.052846e-04,1.052856e-04,1.052865e-04,1.052836e-04,1.052671e-04,1.052477e-04,1.052283e-04,1.051789e-04,1.051711e-04,1.050963e-04,1.050794e-04,1.050049e-04,1.049511e-04,1.048977e-04,1.047959e-04,1.047754e-04,1.046388e-04,1.046157e-04,1.044888e-04,1.044122e-04,1.043259e-04,1.041869e-04,1.041510e-04,1.039646e-04,1.039415e-04,1.037674e-04,1.036774e-04,1.035601e-04,1.033960e-04,1.033431e-04,1.031172e-04,1.030988e-04,1.028828e-04,1.027868e-04,1.026405e-04,1.024614e-04,1.023908e-04,1.021341e-04,1.021237e-04,1.018710e-04,1.017748e-04,1.016019e-04,1.014156e-04,1.013272e-04,1.010473e-04,1.006706e-04,1.002865e-04,9.989581e-05,9.949926e-05,9.909762e-05,9.869156e-05,9.828176e-05,9.786882e-05,9.745333e-05,9.703583e-05,9.661683e-05,9.619682e-05,9.577625e-05,9.535554e-05,9.493509e-05,9.451528e-05,9.409645e-05,9.367892e-05,9.326300e-05,9.284897e-05,9.243709e-05,9.202761e-05,9.162075e-05,9.121673e-05
0.000000e+00,1.802407e-14,1.207010e-13,2.025541e-12,1.302304e-11,3.042884e-11,1.880533e-10,2.007428e-10,8.444088e-10,1.194261e-09,2.674264e-09,4.844160e-09,6.968386e-09,1.482207e-08,1.575300e-08,3.197108e-08,3.739038e-08,5.962750e-08,8.199079e-08,1.038991e-07,1.616575e-07,1.711883e-07,2.690860e-07,2.930819e-07,4.062134e-07,4.961127e-07,5.919349e-07,7.926043e-07,8.359695e-07,1.147946e-06,1.204786e-06,1.536956e-06,1.753481e-06,2.011146e-06,2.456487e-06,2.577376e-06,3.240965e-06,3.327329e-06,4.005523e-06,4.374446e-06,4.872854e-06,5.600822e-06,5.842952e-06,6.914047e-06,7.004005e-06,8.082705e-06,8.576423e-06,9.343969e-06,1.030593e-05,1.069153e-05,1.211791e-05,1.217649e-05,1.361469e-05,1.416901e-05,1.517268e-05,1.626212e-05,1.678214e-05,1.843301e-05,2.011505e-05,2.065821e-05,2.181805e-05,2.291433e-05,2.353199e-05,2.517864e-05,2.524715e-05,2.695428e-05,2.742964e-05,2.864466e-05,2.964745e-05,3.031019e-05,3.181416e-05,3.194348e-05,3.353784e-05,3.391402e-05,3.508737e-05,3.593358e-05,3.658693e-05,3.786170e-05,3.803213e-05,3.941935e-05,3.968957e-05,4.074568e-05,4.141054e-05,4.200890e-05,4.302006e-05,4.320743e-05,4.434032e-05,4.451545e-05,4.540712e-05,4.589572e-05,4.640792e-05,4.716137e-05,4.734323e-05,4.821397e-05,4.831417e-05,4.902138e-05,4.935696e-05,4.976700e-05,5.029344e-05,5.045262e-05,5.108022e-05,5.112799e-05,5.165194e-05,5.186548e-05,5.217002e-05,5.251115e-05,5.263683e-05,5.305475e-05,5.307048e-05,5.342621e-05,5.354904e-05,5.375365e-05,5.395240e-05,5.403948e-05,5.428608e-05,5.449578e-05,5.455546e-05,5.467084e-05,5.476573e-05,5.481348e-05,5.492188e-05,5.492581e-05,5.500988e-05,5.502862e-05,5.506762e-05,5.509041e-05,5.510090e-05,5.511143e-05,5.511149e-05,5.510106e-05,5.509560e-05,5.507119e-05,5.504654e-05,5.502339e-05,5.496760e-05,5.495905e-05,5.487950e-05,5.486188e-05,5.478598e-05,5.473222e-05,5.467965e-05,5.458122e-05,5.456159e-05,5.443281e-05,5.441128e-05,5.429426e-05,5.422454e-05,5.414682e-05,5.402301e-05,5.399129e-05,5.382846e-05,5.380846e-05,5.365901e-05,5.358254e-05,5.348362e-05,5.334672e-05,5.330289e-05,5.311738e-05,5.310235e-05,5.292761e-05,5.285063e-05,5.273408e-05,5.259266e-05,5.253723e-05,5.233748e-05,5.232943e-05,5.213520e-05,5.206183e-05,5.193076e-05,5.179067e-05,5.172449e-05,5.151668e-05,5.124050e-05,5.096274e-05,5.068393e-05,5.040454e-05,5.012500e-05,4.984571e-05,4.956702e-05,4.928924e-05,4.901265e-05,4.873750e-05,4.846403e-05,4.819245e-05,4.792291e-05,4.765561e-05,4.739068e-05,4.712825e-05,4.686844e-05,4.661133e-05,4.635703e-05,4.610560e-05,4.585711e-05,4.561162e-05,4.536917e-05,4.512982e-05
0.000000e+00,1.122363e-11,6.435579e-11,7.882968e-10,3.838218e-09,7.728515e-09,3.296129e-08,3.467322e-08,1.030801e-07,1.331499e-07,2.390782e-07,3.649538e-07,4.712762e-07,7.956704e-07,8.297091e-07,1.344534e-06,1.494490e-06,2.042672e-06,2.521191e-06,2.943059e-06,3.909572e-06,4.054048e-06,5.374711e-06,5.663463e-06,6.898116e-06,7.767134e-06,8.614164e-06,1.019592e-05,1.051105e-05,1.257569e-05,1.292066e-05,1.479370e-05,1.590825e-05,1.714932e-05,1.912142e-05,1.962542e-05,2.220376e-05,2.251913e-05,2.486529e-05,2.605772e-05,2.759059e-05,2.969253e-05,3.036028e-05,3.315544e-05,3.337960e-05,3.595796e-05,3.707719e-05,3.875090e-05,4.074706e-05,4.151865e-05,4.424716e-05,4.435530e-05,4.692396e-05,4.787283e-05,4.953828e-05,5.127558e-05,5.208094e-05,5.454436e-05,5.692240e-05,5.766454e-05,5.921033e-05,6.062563e-05,6.140461e-05,6.342081e-05,6.350287e-05,6.550372e-05,6.604641e-05,6.740663e-05,6.850142e-05,6.921180e-05,7.078690e-05,7.092002e-05,7.253255e-05,7.290551e-05,7.405112e-05,7.486122e-05,7.547776e-05,7.665898e-05,7.681477e-05,7.806467e-05,7.830443e-05,7.923012e-05,7.980372e-05,8.031395e-05,8.116341e-05,8.131906e-05,8.224835e-05,8.239020e-05,8.310483e-05,8.349097e-05,8.389156e-05,8.447280e-05,8.461162e-05,8.526802e-05,8.534265e-05,8.586363e-05,8.610716e-05,8.640124e-05,8.677271e-05,8.688357e-05,8.731322e-05,8.734540e-05,8.769272e-05,8.783103e-05,8.802451e-05,8.823520e-05,8.831098e-05,8.855443e-05,8.856330e-05,8.875705e-05,8.882041e-05,8.892095e-05,8.901131e-05,8.904814e-05,8.914058e-05,8.920015e-05,8.921257e-05,8.922866e-05,8.923141e-05,8.922785e-05,8.920100e-05,8.919935e-05,8.914474e-05,8.912498e-05,8.906553e-05,8.900680e-05,8.896316e-05,8.884971e-05,8.883901e-05,8.869440e-05,8.865679e-05,8.853059e-05,8.843092e-05,8.834879e-05,8.817482e-05,8.815013e-05,8.793571e-05,8.789102e-05,8.770656e-05,8.758192e-05,8.746369e-05,8.724975e-05,8.720802e-05,8.694047e-05,8.689662e-05,8.666189e-05,8.652449e-05,8.637308e-05,8.613521e-05,8.607484e-05,8.576789e-05,8.573050e-05,8.545293e-05,8.531198e-05,8.513062e-05,8.488115e-05,8.480160e-05,8.446646e-05,8.443941e-05,8.412578e-05,8.398807e-05,8.378008e-05,8.352836e-05,8.342988e-05,8.307567e-05,8.306142e-05,8.271789e-05,8.258830e-05,8.235699e-05,8.211000e-05,8.199337e-05,8.162742e-05,8.114143e-05,8.065281e-05,8.016230e-05,7.967057e-05,7.917826e-05,7.868593e-05,7.819414e-05,7.770336e-05,7.721407e-05,7.672666e-05,7.624153e-05,7.575903e-05,7.527948e-05,7.480317e-05,7.433037e-05,7.386131e-05,7.339622e-05,7.293529e-05,7.247870e-05,7.202661e-05,7.157916e-05,7.113646e-05,7.069864e-05,7.026578e-05
0.000000e+00,2.267581e-13,1.519384e-12,2.553070e-11,1.643870e-10,3.844588e-10,2.383185e-09,2.544364e-09,1.074685e-08,1.521996e-08,3.421448e-08,6.220792e-08,8.973213e-08,1.922022e-07,2.044060e-07,4.183449e-07,4.902586e-07,7.867626e-07,1.086428e-06,1.380788e-06,2.158193e-06,2.286493e-06,3.602203e-06,3.923835e-06,5.434570e-06,6.628220e-06,7.894005e-06,1.052474e-05,1.108997e-05,1.512655e-05,1.585690e-05,2.009844e-05,2.284181e-05,2.608766e-05,3.165692e-05,3.316092e-05,4.136763e-05,4.243028e-05,5.073879e-05,5.523476e-05,6.128638e-05,7.008579e-05,7.300352e-05,8.586510e-05,8.694231e-05,9.982891e-05,1.057106e-04,1.148372e-04,1.262502e-04,1.308184e-04,1.476895e-04,1.483816e-04,1.653578e-04,1.718945e-04,1.837234e-04,1.965569e-04,2.026814e-04,2.221239e-04,2.419421e-04,2.483456e-04,2.620279e-04,2.749744e-04,2.822757e-04,3.017714e-04,3.025837e-04,3.228548e-04,3.285115e-04,3.429979e-04,3.549868e-04,3.629284e-04,3.810098e-04,3.825687e-04,4.018484e-04,4.064147e-04,4.207047e-04,4.310583e-04,4.390822e-04,4.548199e-04,4.569328e-04,4.742155e-04,4.776008e-04,4.908962e-04,4.993229e-04,5.069473e-04,5.199276e-04,5.223471e-04,5.370795e-04,5.393739e-04,5.511336e-04,5.576367e-04,5.645033e-04,5.747049e-04,5.771867e-04,5.891854e-04,5.905795e-04,6.005047e-04,6.052720e-04,6.111527e-04,6.188026e-04,6.211399e-04,6.304793e-04,6.311989e-04,6.391854e-04,6.424942e-04,6.472746e-04,6.527265e-04,6.547642e-04,6.616728e-04,6.619373e-04,6.680196e-04,6.701707e-04,6.738244e-04,6.774723e-04,6.791073e-04,6.838890e-04,6.881897e-04,6.894677e-04,6.920301e-04,6.942557e-04,6.954304e-04,6.982995e-04,6.984109e-04,7.009912e-04,7.016446e-04,7.031909e-04,7.043358e-04,7.050288e-04,7.064162e-04,7.065236e-04,7.076933e-04,7.079275e-04,7.085553e-04,7.089100e-04,7.091266e-04,7.094019e-04,7.094236e-04,7.094622e-04,7.094403e-04,7.092576e-04,7.090601e-04,7.088246e-04,7.082946e-04,7.081772e-04,7.073291e-04,7.071756e-04,7.062931e-04,7.057328e-04,7.050818e-04,7.039944e-04,7.037069e-04,7.021800e-04,7.019871e-04,7.005118e-04,6.997358e-04,6.987128e-04,6.972640e-04,6.967927e-04,6.947609e-04,6.945938e-04,6.926265e-04,6.917459e-04,6.903980e-04,6.887396e-04,6.880833e-04,6.856902e-04,6.855930e-04,6.832260e-04,6.823227e-04,6.806974e-04,6.789447e-04,6.781112e-04,6.754734e-04,6.719224e-04,6.683044e-04,6.646309e-04,6.609128e-04,6.571600e-04,6.533818e-04,6.495867e-04,6.457823e-04,6.419760e-04,6.381743e-04,6.343830e-04,6.306079e-04,6.268537e-04,6.231251e-04,6.194260e-04,6.157603e-04,6.121312e-04,6.085416e-04,6.049942e-04,6.014914e-04,5.980352e-04,5.946274e-04,5.912695e-04,5.879630e-04
0.000000e+00,1.913417e-09,4.399400e-09,1.521599e-08,3.474692e-08,5.077846e-08,1.155956e-07,1.190873e-07,2.305990e-07,2.710181e-07,3.960751e-07,5.259354e-07,6.268032e-07,9.068462e-07,9.345872e-07,1.331323e-06,1.441029e-06,1.827889e-06,2.152701e-06,2.432149e-06,3.055032e-06,3.146474e-06,3.966256e-06,4.142009e-06,4.880910e-06,5.389546e-06,5.876853e-06,6.766163e-06,6.940321e-06,8.058812e-06,8.242125e-06,9.221382e-06,9.792209e-06,1.041843e-05,1.139509e-05,1.164136e-05,1.288239e-05,1.303218e-05,1.413436e-05,1.468698e-05,1.539069e-05,1.634470e-05,1.664537e-05,1.789290e-05,1.799224e-05,1.912837e-05,1.961818e-05,2.034741e-05,2.121276e-05,2.154617e-05,2.272137e-05,2.276784e-05,2.387019e-05,2.427684e-05,2.499030e-05,2.573460e-05,2.607981e-05,2.713722e-05,2.816137e-05,2.848193e-05,2.915144e-05,2.976693e-05,3.010687e-05,3.099121e-05,3.102736e-05,3.191280e-05,3.215446e-05,3.276329e-05,3.325690e-05,3.357905e-05,3.429919e-05,3.436045e-05,3.510794e-05,3.528236e-05,3.582210e-05,3.620769e-05,3.650353e-05,3.707668e-05,3.715294e-05,3.777104e-05,3.789097e-05,3.835859e-05,3.865231e-05,3.891639e-05,3.936254e-05,3.944525e-05,3.994597e-05,4.002353e-05,4.041938e-05,4.063716e-05,4.086631e-05,4.120535e-05,4.128759e-05,4.168403e-05,4.172997e-05,4.205644e-05,4.221290e-05,4.240564e-05,4.265598e-05,4.273240e-05,4.303750e-05,4.306100e-05,4.332172e-05,4.342972e-05,4.358578e-05,4.376385e-05,4.383044e-05,4.405640e-05,4.406506e-05,4.426436e-05,4.433495e-05,4.445501e-05,4.457509e-05,4.462900e-05,4.478699e-05,4.492960e-05,4.497209e-05,4.505745e-05,4.513180e-05,4.517113e-05,4.526747e-05,4.527122e-05,4.535828e-05,4.538040e-05,4.543285e-05,4.547183e-05,4.549547e-05,4.554296e-05,4.554664e-05,4.558686e-05,4.559493e-05,4.561661e-05,4.562886e-05,4.563635e-05,4.564580e-05,4.564653e-05,4.564759e-05,4.564675e-05,4.563995e-05,4.563268e-05,4.562402e-05,4.560451e-05,4.560018e-05,4.556882e-05,4.556313e-05,4.553030e-05,4.550937e-05,4.548498e-05,4.544405e-05,4.543319e-05,4.537528e-05,4.536793e-05,4.531154e-05,4.528173e-05,4.524230e-05,4.518617e-05,4.516784e-05,4.508845e-05,4.508189e-05,4.500440e-05,4.496953e-05,4.491595e-05,4.484970e-05,4.482337e-05,4.472689e-05,4.472295e-05,4.462675e-05,4.458984e-05,4.452317e-05,4.445089e-05,4.441637e-05,4.430657e-05,4.415735e-05,4.400369e-05,4.384598e-05,4.368463e-05,4.352000e-05,4.335247e-05,4.318235e-05,4.300997e-05,4.283562e-05,4.265958e-05,4.248213e-05,4.230351e-05,4.212395e-05,4.194369e-05,4.176292e-05,4.158184e-05,4.140064e-05,4.121949e-05,4.103855e-05,4.085796e-05,4.067788e-05,4.049844e-05,4.031974e-05,4.014192e-05
0.000000e+00,8.956261e-13,5.610670e-12,8.202720e-11,4.653819e-10,1.015524e-09,5.266119e-09,5.581718e-09,1.976991e-08,2.669599e-08,5.326332e-08,8.797718e-08,1.192352e-07,2.223910e-07,2.337585e-07,4.150970e-07,4.707305e-07,6.829512e-07,8.782793e-07,1.057506e-06,1.490789e-06,1.558109e-06,2.201749e-06,2.348891e-06,3.001797e-06,3.482835e-06,3.967371e-06,4.910045e-06,5.103333e-06,6.410696e-06,6.635668e-06,7.887174e-06,8.654563e-06,9.527718e-06,1.095340e-05,1.132497e-05,1.326961e-05,1.351236e-05,1.535068e-05,1.630644e-05,1.755587e-05,1.930660e-05,1.987176e-05,2.228415e-05,2.248087e-05,2.477832e-05,2.579555e-05,2.733936e-05,2.921635e-05,2.995239e-05,3.260288e-05,3.270948e-05,3.527684e-05,3.624263e-05,3.796101e-05,3.978571e-05,4.064300e-05,4.331144e-05,4.595598e-05,4.679565e-05,4.856740e-05,5.021751e-05,5.113753e-05,5.355944e-05,5.365930e-05,5.612665e-05,5.680704e-05,5.853450e-05,5.994886e-05,6.087864e-05,6.297609e-05,6.315573e-05,6.536315e-05,6.588233e-05,6.749896e-05,6.866321e-05,6.956182e-05,7.131614e-05,7.155093e-05,7.346592e-05,7.384003e-05,7.530686e-05,7.623499e-05,7.707411e-05,7.850216e-05,7.876838e-05,8.039056e-05,8.064350e-05,8.194180e-05,8.266157e-05,8.342338e-05,8.455946e-05,8.483674e-05,8.618342e-05,8.634062e-05,8.746503e-05,8.800876e-05,8.868326e-05,8.956780e-05,8.983985e-05,9.093656e-05,9.102176e-05,9.197517e-05,9.237475e-05,9.295748e-05,9.363088e-05,9.388528e-05,9.476034e-05,9.479427e-05,9.558444e-05,9.586898e-05,9.635932e-05,9.685900e-05,9.708670e-05,9.776826e-05,9.840568e-05,9.860060e-05,9.900057e-05,9.935973e-05,9.955453e-05,1.000493e-04,1.000691e-04,1.005458e-04,1.006727e-04,1.009862e-04,1.012335e-04,1.013916e-04,1.017349e-04,1.017634e-04,1.021031e-04,1.021799e-04,1.024119e-04,1.025718e-04,1.026911e-04,1.029133e-04,1.029419e-04,1.031657e-04,1.032073e-04,1.033634e-04,1.034564e-04,1.035364e-04,1.036632e-04,1.036855e-04,1.038121e-04,1.038303e-04,1.039169e-04,1.039598e-04,1.040011e-04,1.040542e-04,1.040655e-04,1.041112e-04,1.041155e-04,1.041390e-04,1.041458e-04,1.041497e-04,1.041470e-04,1.041443e-04,1.041234e-04,1.041211e-04,1.040878e-04,1.040697e-04,1.040384e-04,1.039946e-04,1.039758e-04,1.039007e-04,1.038975e-04,1.038138e-04,1.037798e-04,1.037157e-04,1.036429e-04,1.036070e-04,1.034884e-04,1.033174e-04,1.031313e-04,1.029313e-04,1.027184e-04,1.024937e-04,1.022582e-04,1.020129e-04,1.017587e-04,1.014965e-04,1.012270e-04,1.009510e-04,1.006692e-04,1.003823e-04,1.000910e-04,9.979583e-05,9.949736e-05,9.919614e-05,9.889267e-05,9.858741e-05,9.828080e-05,9.797327e-05,9.766518e-05,9.735691e-05,9.704879e-05
0.000000e+00,6.338726e-13,3.940586e-12,5.665994e-11,3.163832e-10,6.841821e-10,3.463024e-09,3.666858e-09,1.266520e-08,1.698342e-08,3.329051e-08,5.420036e-08,7.277052e-08,1.329282e-07,1.394776e-07,2.424972e-07,2.736688e-07,3.912183e-07,4.978904e-07,5.947260e-07,8.253402e-07,8.607662e-07,1.194401e-06,1.269425e-06,1.596901e-06,1.832620e-06,2.065396e-06,2.505256e-06,2.593379e-06,3.171772e-06,3.268303e-06,3.790104e-06,4.097899e-06,4.437531e-06,4.969342e-06,5.103555e-06,5.778456e-06,5.859614e-06,6.453472e-06,6.748484e-06,7.120863e-06,7.618801e-06,7.773896e-06,8.406800e-06,8.456411e-06,9.014713e-06,9.249957e-06,9.593637e-06,9.990698e-06,1.014040e-05,1.065259e-05,1.067234e-05,1.112857e-05,1.129085e-05,1.156734e-05,1.184424e-05,1.196854e-05,1.233237e-05,1.265948e-05,1.275656e-05,1.295094e-05,1.311941e-05,1.320816e-05,1.342439e-05,1.343277e-05,1.362661e-05,1.367564e-05,1.379164e-05,1.387768e-05,1.392990e-05,1.403522e-05,1.404344e-05,1.413429e-05,1.415294e-05,1.420441e-05,1.423534e-05,1.425571e-05,1.428670e-05,1.428997e-05,1.430890e-05,1.431099e-05,1.431407e-05,1.431182e-05,1.430697e-05,1.429252e-05,1.428896e-05,1.426129e-05,1.425604e-05,1.422510e-05,1.420502e-05,1.418146e-05,1.414184e-05,1.413134e-05,1.407564e-05,1.406862e-05,1.401515e-05,1.398721e-05,1.395060e-05,1.389922e-05,1.388262e-05,1.381175e-05,1.380597e-05,1.373849e-05,1.370861e-05,1.366326e-05,1.360807e-05,1.358642e-05,1.350830e-05,1.350515e-05,1.342919e-05,1.340052e-05,1.334935e-05,1.329475e-05,1.326899e-05,1.318831e-05,1.310749e-05,1.308162e-05,1.302668e-05,1.297503e-05,1.294602e-05,1.286885e-05,1.286564e-05,1.278563e-05,1.276331e-05,1.270609e-05,1.265863e-05,1.262711e-05,1.255499e-05,1.254875e-05,1.247109e-05,1.245256e-05,1.239417e-05,1.235144e-05,1.231805e-05,1.225176e-05,1.224277e-05,1.216837e-05,1.215359e-05,1.209487e-05,1.205702e-05,1.202230e-05,1.196209e-05,1.195070e-05,1.188007e-05,1.186886e-05,1.181043e-05,1.177735e-05,1.174179e-05,1.168761e-05,1.167417e-05,1.160757e-05,1.159965e-05,1.154200e-05,1.151347e-05,1.147746e-05,1.142909e-05,1.141394e-05,1.135146e-05,1.134651e-05,1.129001e-05,1.126571e-05,1.122958e-05,1.118670e-05,1.117017e-05,1.111178e-05,1.110946e-05,1.105439e-05,1.103398e-05,1.099801e-05,1.096024e-05,1.094262e-05,1.088822e-05,1.081790e-05,1.074926e-05,1.068226e-05,1.061690e-05,1.055314e-05,1.049094e-05,1.043030e-05,1.037117e-05,1.031352e-05,1.025734e-05,1.020258e-05,1.014922e-05,1.009722e-05,1.004657e-05,9.997225e-06,9.949160e-06,9.902347e-06,9.856756e-06,9.812359e-06,9.769127e-06,9.727032e-06,9.686047e-06,9.646145e-06,9.607299e-06
0.000000e+00,5.556530e-09,1.285939e-08,4.478657e-08,1.027081e-07,1.504541e-07,3.452246e-07,3.557933e-07,6.972180e-07,8.227349e-07,1.216383e-06,1.632511e-06,1.959971e-06,2.882501e-06,2.974585e-06,4.293702e-06,4.656689e-06,5.919418e-06,6.951448e-06,7.815516e-06,9.661646e-06,9.923871e-06,1.218727e-05,1.265431e-05,1.455988e-05,1.582491e-05,1.700695e-05,1.910022e-05,1.950163e-05,2.202224e-05,2.242670e-05,2.455075e-05,2.576266e-05,2.707187e-05,2.907468e-05,2.957266e-05,3.204224e-05,3.233605e-05,3.447159e-05,3.552581e-05,3.685336e-05,3.862803e-05,3.918169e-05,4.145200e-05,4.163101e-05,4.366087e-05,4.452662e-05,4.580579e-05,4.730955e-05,4.788505e-05,4.989763e-05,4.997674e-05,5.184303e-05,5.252691e-05,5.372119e-05,5.496008e-05,5.553243e-05,5.727732e-05,5.895670e-05,5.948042e-05,6.057156e-05,6.157174e-05,6.212305e-05,6.355402e-05,6.361242e-05,6.504100e-05,6.543030e-05,6.641019e-05,6.720380e-05,6.772144e-05,6.887789e-05,6.897623e-05,7.017605e-05,7.045600e-05,7.132241e-05,7.194159e-05,7.241683e-05,7.333815e-05,7.346081e-05,7.445586e-05,7.464912e-05,7.540345e-05,7.587794e-05,7.630508e-05,7.702798e-05,7.716219e-05,7.797621e-05,7.810255e-05,7.874855e-05,7.910487e-05,7.948057e-05,8.003808e-05,8.017363e-05,8.082905e-05,8.090524e-05,8.144813e-05,8.170933e-05,8.203211e-05,8.245324e-05,8.258224e-05,8.309973e-05,8.313975e-05,8.358573e-05,8.377157e-05,8.404139e-05,8.435131e-05,8.446783e-05,8.486612e-05,8.488149e-05,8.523732e-05,8.536452e-05,8.558245e-05,8.580275e-05,8.590250e-05,8.619843e-05,8.647118e-05,8.655371e-05,8.672165e-05,8.687068e-05,8.695074e-05,8.715132e-05,8.715928e-05,8.734810e-05,8.739755e-05,8.751801e-05,8.761120e-05,8.766978e-05,8.779403e-05,8.780416e-05,8.792187e-05,8.794772e-05,8.802362e-05,8.807389e-05,8.811009e-05,8.817406e-05,8.818193e-05,8.823978e-05,8.824973e-05,8.828425e-05,8.830229e-05,8.831593e-05,8.833309e-05,8.833540e-05,8.834321e-05,8.834341e-05,8.833989e-05,8.833450e-05,8.832596e-05,8.830750e-05,8.830191e-05,8.826822e-05,8.826356e-05,8.822536e-05,8.820371e-05,8.817378e-05,8.812900e-05,8.811389e-05,8.804612e-05,8.804037e-05,8.797087e-05,8.793875e-05,8.788851e-05,8.782503e-05,8.779943e-05,8.770397e-05,8.770003e-05,8.760249e-05,8.756455e-05,8.749531e-05,8.741934e-05,8.738275e-05,8.726512e-05,8.710257e-05,8.693235e-05,8.675506e-05,8.657130e-05,8.638161e-05,8.618651e-05,8.598652e-05,8.578210e-05,8.557369e-05,8.536172e-05,8.514659e-05,8.492868e-05,8.470834e-05,8.448592e-05,8.426173e-05,8.403607e-05,8.380923e-05,8.358147e-05,8.335305e-05,8.312420e-05,8.289514e-05,8.266609e-05,8.243723e-05,8.220877e-05
0.000000e+00,2.179525e-12,1.220467e-11,1.427533e-10,6.687492e-10,1.320119e-09,5.370600e-09,5.639339e-09,1.607878e-08,2.054768e-08,3.594399e-08,5.375395e-08,6.850118e-08,1.122949e-07,1.168062e-07,1.836404e-07,2.027194e-07,2.714733e-07,3.306290e-07,3.823915e-07,5.003540e-07,5.179599e-07,6.790595e-07,7.143667e-07,8.658086e-07,9.728859e-07,1.077627e-06,1.274113e-06,1.313384e-06,1.571550e-06,1.614818e-06,1.850303e-06,1.990820e-06,2.147586e-06,2.397255e-06,2.461161e-06,2.788645e-06,2.828761e-06,3.127558e-06,3.279648e-06,3.475368e-06,3.744098e-06,3.829548e-06,4.187622e-06,4.216364e-06,4.547211e-06,4.690964e-06,4.906074e-06,5.162833e-06,5.262135e-06,5.613510e-06,5.627443e-06,5.958519e-06,6.080874e-06,6.295692e-06,6.519845e-06,6.623773e-06,6.941712e-06,7.248653e-06,7.344438e-06,7.543929e-06,7.726546e-06,7.827040e-06,8.087058e-06,8.097639e-06,8.355516e-06,8.425428e-06,8.600584e-06,8.741478e-06,8.832856e-06,9.035334e-06,9.052437e-06,9.259506e-06,9.307367e-06,9.454305e-06,9.558140e-06,9.637125e-06,9.788360e-06,9.808298e-06,9.968187e-06,9.998844e-06,1.011718e-05,1.019048e-05,1.025567e-05,1.036420e-05,1.038409e-05,1.050284e-05,1.052097e-05,1.061234e-05,1.066174e-05,1.071301e-05,1.078747e-05,1.080527e-05,1.088952e-05,1.089911e-05,1.096615e-05,1.099756e-05,1.103556e-05,1.108370e-05,1.109811e-05,1.115416e-05,1.115838e-05,1.120407e-05,1.122240e-05,1.124818e-05,1.127652e-05,1.128680e-05,1.132024e-05,1.132148e-05,1.134881e-05,1.135795e-05,1.137277e-05,1.138659e-05,1.139242e-05,1.140799e-05,1.141974e-05,1.142274e-05,1.142791e-05,1.143136e-05,1.143271e-05,1.143435e-05,1.143436e-05,1.143305e-05,1.143218e-05,1.142898e-05,1.142529e-05,1.142233e-05,1.141409e-05,1.141328e-05,1.140197e-05,1.139894e-05,1.138858e-05,1.138022e-05,1.137324e-05,1.135824e-05,1.135609e-05,1.133727e-05,1.133331e-05,1.131689e-05,1.130572e-05,1.129508e-05,1.127573e-05,1.127195e-05,1.124759e-05,1.124359e-05,1.122212e-05,1.120952e-05,1.119562e-05,1.117374e-05,1.116818e-05,1.113988e-05,1.113643e-05,1.111081e-05,1.109779e-05,1.108103e-05,1.105798e-05,1.105062e-05,1.101965e-05,1.101715e-05,1.098817e-05,1.097544e-05,1.095624e-05,1.093300e-05,1.092392e-05,1.089125e-05,1.088994e-05,1.085830e-05,1.084637e-05,1.082510e-05,1.080241e-05,1.079170e-05,1.075813e-05,1.071364e-05,1.066901e-05,1.062431e-05,1.057962e-05,1.053499e-05,1.049049e-05,1.044616e-05,1.040206e-05,1.035822e-05,1.031468e-05,1.027148e-05,1.022865e-05,1.018622e-05,1.014422e-05,1.010267e-05,1.006158e-05,1.002098e-05,9.980878e-06,9.941295e-06,9.902240e-06,9.863722e-06,9.825752e-06,9.788336e-06,9.751479e-06
0.000000e+00,2.259984e-11,1.215011e-10,1.315087e-09,5.791192e-09,1.109323e-08,4.234669e-08,4.437095e-08,1.215654e-07,1.543362e-07,2.678490e-07,4.016422e-07,5.148755e-07,8.635749e-07,9.004097e-07,1.458880e-06,1.620848e-06,2.204739e-06,2.700486e-06,3.125437e-06,4.056771e-06,4.191214e-06,5.369472e-06,5.616093e-06,6.632900e-06,7.316491e-06,7.960955e-06,9.115102e-06,9.338244e-06,1.075243e-05,1.098139e-05,1.219268e-05,1.289025e-05,1.364879e-05,1.481839e-05,1.511078e-05,1.656877e-05,1.674299e-05,1.801309e-05,1.864186e-05,1.943448e-05,2.049399e-05,2.082419e-05,2.217424e-05,2.228031e-05,2.347755e-05,2.398439e-05,2.472805e-05,2.559288e-05,2.592078e-05,2.705180e-05,2.709571e-05,2.811822e-05,2.848592e-05,2.911814e-05,2.975957e-05,3.005059e-05,3.091538e-05,3.171308e-05,3.195434e-05,3.244478e-05,3.287915e-05,3.311209e-05,3.369404e-05,3.371707e-05,3.426206e-05,3.440426e-05,3.474966e-05,3.501582e-05,3.518264e-05,3.553524e-05,3.556390e-05,3.589634e-05,3.596918e-05,3.618286e-05,3.632434e-05,3.642637e-05,3.660732e-05,3.662969e-05,3.679558e-05,3.682450e-05,3.692667e-05,3.698194e-05,3.702551e-05,3.708539e-05,3.709452e-05,3.713599e-05,3.714021e-05,3.715207e-05,3.715138e-05,3.714481e-05,3.712349e-05,3.711612e-05,3.706780e-05,3.706076e-05,3.700151e-05,3.696707e-05,3.691883e-05,3.684592e-05,3.682119e-05,3.670996e-05,3.670051e-05,3.658638e-05,3.653376e-05,3.645163e-05,3.634828e-05,3.630676e-05,3.615279e-05,3.614645e-05,3.599063e-05,3.593042e-05,3.582114e-05,3.570210e-05,3.564510e-05,3.546323e-05,3.527622e-05,3.521540e-05,3.508468e-05,3.495998e-05,3.488918e-05,3.469826e-05,3.469024e-05,3.448836e-05,3.443136e-05,3.428397e-05,3.416030e-05,3.407748e-05,3.388599e-05,3.386928e-05,3.365971e-05,3.360925e-05,3.344910e-05,3.333081e-05,3.323773e-05,3.305131e-05,3.302587e-05,3.281378e-05,3.277136e-05,3.260168e-05,3.249146e-05,3.238978e-05,3.221207e-05,3.217827e-05,3.196731e-05,3.193362e-05,3.175708e-05,3.165647e-05,3.154772e-05,3.138095e-05,3.133936e-05,3.113212e-05,3.110733e-05,3.092611e-05,3.083588e-05,3.072142e-05,3.056681e-05,3.051816e-05,3.031640e-05,3.030033e-05,3.011622e-05,3.003660e-05,2.991767e-05,2.977577e-05,2.972083e-05,2.952574e-05,2.951797e-05,2.933244e-05,2.926330e-05,2.914099e-05,2.901187e-05,2.895141e-05,2.876374e-05,2.851898e-05,2.827764e-05,2.803976e-05,2.780537e-05,2.757450e-05,2.734715e-05,2.712334e-05,2.690306e-05,2.668630e-05,2.647306e-05,2.626332e-05,2.605706e-05,2.585425e-05,2.565487e-05,2.545888e-05,2.526625e-05,2.507695e-05,2.489094e-05,2.470818e-05,2.452863e-05,2.435225e-05,2.417899e-05,2.400881e-05,2.384166e-05
0.000000e+00,8.765794e-10,2.389808e-09,9.820922e-09,2.415792e-08,3.622099e-08,8.584304e-08,8.853366e-08,1.747305e-07,2.060169e-07,3.027862e-07,4.031571e-07,4.810237e-07,6.967131e-07,7.180330e-07,1.021622e-06,1.105007e-06,1.396304e-06,1.636818e-06,1.840296e-06,2.281620e-06,2.344992e-06,2.898006e-06,3.013280e-06,3.486810e-06,3.803443e-06,4.100526e-06,4.628657e-06,4.730137e-06,5.368091e-06,5.470493e-06,6.007900e-06,6.313969e-06,6.643867e-06,7.146459e-06,7.270939e-06,7.884652e-06,7.957209e-06,8.481110e-06,8.737208e-06,9.056989e-06,9.479182e-06,9.609541e-06,1.013657e-05,1.017758e-05,1.063642e-05,1.082848e-05,1.110796e-05,1.142952e-05,1.155048e-05,1.196370e-05,1.197962e-05,1.234771e-05,1.247886e-05,1.270287e-05,1.292822e-05,1.302982e-05,1.332940e-05,1.360258e-05,1.368460e-05,1.385048e-05,1.399641e-05,1.407428e-05,1.426760e-05,1.427522e-05,1.445455e-05,1.450106e-05,1.461355e-05,1.469970e-05,1.475345e-05,1.486636e-05,1.487549e-05,1.498085e-05,1.500378e-05,1.507068e-05,1.511460e-05,1.514605e-05,1.520127e-05,1.520803e-05,1.525759e-05,1.526609e-05,1.529566e-05,1.531121e-05,1.532313e-05,1.533860e-05,1.534080e-05,1.534947e-05,1.535007e-05,1.534984e-05,1.534727e-05,1.534259e-05,1.533172e-05,1.532834e-05,1.530768e-05,1.530480e-05,1.528115e-05,1.526775e-05,1.524926e-05,1.522171e-05,1.521246e-05,1.517120e-05,1.516772e-05,1.512588e-05,1.510669e-05,1.507686e-05,1.503948e-05,1.502451e-05,1.496912e-05,1.496685e-05,1.491101e-05,1.488947e-05,1.485044e-05,1.480799e-05,1.478767e-05,1.472294e-05,1.465646e-05,1.463485e-05,1.458843e-05,1.454416e-05,1.451904e-05,1.445130e-05,1.444845e-05,1.437684e-05,1.435662e-05,1.430434e-05,1.426048e-05,1.423110e-05,1.416316e-05,1.415723e-05,1.408285e-05,1.406494e-05,1.400807e-05,1.396606e-05,1.393299e-05,1.386675e-05,1.385770e-05,1.378229e-05,1.376719e-05,1.370682e-05,1.366758e-05,1.363138e-05,1.356807e-05,1.355602e-05,1.348081e-05,1.346880e-05,1.340581e-05,1.336990e-05,1.333106e-05,1.327148e-05,1.325662e-05,1.318252e-05,1.317365e-05,1.310880e-05,1.307650e-05,1.303550e-05,1.298010e-05,1.296266e-05,1.289030e-05,1.288453e-05,1.281845e-05,1.278986e-05,1.274714e-05,1.269613e-05,1.267638e-05,1.260620e-05,1.260340e-05,1.253661e-05,1.251171e-05,1.246764e-05,1.242110e-05,1.239929e-05,1.233159e-05,1.224321e-05,1.215599e-05,1.206994e-05,1.198509e-05,1.190143e-05,1.181899e-05,1.173776e-05,1.165775e-05,1.157897e-05,1.150140e-05,1.142506e-05,1.134993e-05,1.127601e-05,1.120330e-05,1.113178e-05,1.106145e-05,1.099230e-05,1.092431e-05,1.085749e-05,1.079180e-05,1.072725e-05,1.066382e-05,1.060150e-05,1.054026e-05
0.000000e+00,1.665857e-10,7.799393e-10,6.597154e-09,2.421650e-08,4.260769e-08,1.358335e-07,1.414293e-07,3.380907e-07,4.155855e-07,6.690215e-07,9.483947e-07,1.174047e-06,1.830907e-06,1.898023e-06,2.889752e-06,3.172925e-06,4.194975e-06,5.074846e-06,5.843028e-06,7.578948e-06,7.835633e-06,1.014850e-05,1.064625e-05,1.274357e-05,1.419112e-05,1.558080e-05,1.812449e-05,1.862385e-05,2.184102e-05,2.237002e-05,2.520432e-05,2.686304e-05,2.868823e-05,3.154610e-05,3.226886e-05,3.592347e-05,3.636596e-05,3.963036e-05,4.127257e-05,4.336879e-05,4.621901e-05,4.711919e-05,5.086328e-05,5.116202e-05,5.458419e-05,5.606258e-05,5.826660e-05,6.088633e-05,6.189679e-05,6.546267e-05,6.560381e-05,6.895375e-05,7.019046e-05,7.236111e-05,7.462645e-05,7.567731e-05,7.889628e-05,8.201320e-05,8.298844e-05,8.502442e-05,8.689487e-05,8.792729e-05,9.061050e-05,9.072009e-05,9.340186e-05,9.413281e-05,9.597236e-05,9.746136e-05,9.843191e-05,1.005974e-04,1.007813e-04,1.030219e-04,1.035436e-04,1.051553e-04,1.063038e-04,1.071832e-04,1.088823e-04,1.091079e-04,1.109317e-04,1.112846e-04,1.126570e-04,1.135161e-04,1.142864e-04,1.155829e-04,1.158225e-04,1.172681e-04,1.174911e-04,1.186258e-04,1.192471e-04,1.198984e-04,1.208571e-04,1.210887e-04,1.221994e-04,1.223274e-04,1.232332e-04,1.236644e-04,1.241928e-04,1.248741e-04,1.250808e-04,1.258999e-04,1.259626e-04,1.266527e-04,1.269357e-04,1.273415e-04,1.277993e-04,1.279689e-04,1.285373e-04,1.285588e-04,1.290489e-04,1.292197e-04,1.295062e-04,1.297871e-04,1.299112e-04,1.302661e-04,1.305731e-04,1.306615e-04,1.308342e-04,1.309780e-04,1.310512e-04,1.312200e-04,1.312262e-04,1.313610e-04,1.313918e-04,1.314574e-04,1.314976e-04,1.315171e-04,1.315411e-04,1.315419e-04,1.315332e-04,1.315263e-04,1.314927e-04,1.314567e-04,1.314220e-04,1.313358e-04,1.313224e-04,1.311954e-04,1.311668e-04,1.310423e-04,1.309529e-04,1.308645e-04,1.306970e-04,1.306632e-04,1.304397e-04,1.304020e-04,1.301951e-04,1.300705e-04,1.299305e-04,1.297053e-04,1.296471e-04,1.293459e-04,1.293086e-04,1.290279e-04,1.288829e-04,1.286940e-04,1.284303e-04,1.283453e-04,1.279826e-04,1.279530e-04,1.276067e-04,1.274529e-04,1.272185e-04,1.269318e-04,1.268188e-04,1.264084e-04,1.263917e-04,1.259879e-04,1.258342e-04,1.255581e-04,1.252608e-04,1.251196e-04,1.246732e-04,1.240727e-04,1.234606e-04,1.228383e-04,1.222069e-04,1.215677e-04,1.209216e-04,1.202696e-04,1.196128e-04,1.189519e-04,1.182879e-04,1.176215e-04,1.169535e-04,1.162845e-04,1.156152e-04,1.149461e-04,1.142780e-04,1.136112e-04,1.129462e-04,1.122836e-04,1.116238e-04,1.109671e-04,1.103139e-04,1.096645e-04,1.090193e-04
0.000000e+00,1.132371e-12,7.683282e-12,1.325502e-10,8.744433e-10,2.072716e-09,1.330291e-08,1.422270e-08,6.217129e-08,8.886520e-08,2.043988e-07,3.784316e-07,5.522294e-07,1.212932e-06,1.292642e-06,2.712443e-06,3.196984e-06,5.222296e-06,7.304907e-06,9.378962e-06,1.496771e-05,1.590377e-05,2.569490e-05,2.813688e-05,3.983122e-05,4.930885e-05,5.956613e-05,8.149873e-05,8.631134e-05,1.216116e-04,1.281624e-04,1.671120e-04,1.930754e-04,2.245202e-04,2.801827e-04,2.955653e-04,3.819564e-04,3.934337e-04,4.853409e-04,5.366168e-04,6.072660e-04,7.132032e-04,7.491428e-04,9.122161e-04,9.262106e-04,1.097538e-03,1.178092e-03,1.305947e-03,1.470649e-03,1.538054e-03,1.794235e-03,1.804986e-03,2.074625e-03,2.181478e-03,2.379118e-03,2.599780e-03,2.707380e-03,3.058853e-03,3.432771e-03,3.557014e-03,3.828176e-03,4.091996e-03,4.243938e-03,4.661031e-03,4.678774e-03,5.131269e-03,5.260927e-03,5.599901e-03,5.888159e-03,6.083059e-03,6.538953e-03,6.579067e-03,7.086201e-03,7.209375e-03,7.602715e-03,7.895406e-03,8.126855e-03,8.593019e-03,8.656875e-03,9.191055e-03,9.298242e-03,9.727716e-03,1.000722e-02,1.026523e-02,1.071625e-02,1.080202e-02,1.133661e-02,1.142184e-02,1.186756e-02,1.212073e-02,1.239354e-02,1.280991e-02,1.291331e-02,1.342571e-02,1.348665e-02,1.392967e-02,1.414849e-02,1.442424e-02,1.479327e-02,1.490852e-02,1.538174e-02,1.541910e-02,1.584321e-02,1.602437e-02,1.629232e-02,1.660773e-02,1.672855e-02,1.715148e-02,1.716812e-02,1.756074e-02,1.770467e-02,1.795605e-02,1.821679e-02,1.833721e-02,1.870405e-02,1.905651e-02,1.916625e-02,1.939455e-02,1.960334e-02,1.971820e-02,2.001543e-02,2.002753e-02,2.032267e-02,2.040278e-02,2.060377e-02,2.076577e-02,2.087102e-02,2.110486e-02,2.112465e-02,2.136492e-02,2.142063e-02,2.159210e-02,2.171372e-02,2.180650e-02,2.198485e-02,2.200844e-02,2.219824e-02,2.223477e-02,2.237625e-02,2.246428e-02,2.254284e-02,2.267422e-02,2.269837e-02,2.284321e-02,2.286542e-02,2.297773e-02,2.303875e-02,2.310231e-02,2.319507e-02,2.321732e-02,2.332315e-02,2.333524e-02,2.342015e-02,2.346014e-02,2.350871e-02,2.357059e-02,2.358918e-02,2.366192e-02,2.366742e-02,2.372729e-02,2.375146e-02,2.378563e-02,2.382347e-02,2.383727e-02,2.388255e-02,2.388423e-02,2.392177e-02,2.393447e-02,2.395525e-02,2.397490e-02,2.398330e-02,2.400620e-02,2.402901e-02,2.404398e-02,2.405167e-02,2.405267e-02,2.404750e-02,2.403667e-02,2.402066e-02,2.399993e-02,2.397488e-02,2.394592e-02,2.391344e-02,2.387777e-02,2.383924e-02,2.379817e-02,2.375484e-02,2.370951e-02,2.366243e-02,2.361384e-02,2.356395e-02,2.351295e-02,2.346102e-02,2.340835e-02,2.335508e-02,2.330135e-02
0.000000e+00,1.634352e-12,1.029607e-11,1.522503e-10,8.727542e-10,1.915383e-09,1.008551e-08,1.069685e-08,3.852713e-08,5.228333e-08,1.057348e-07,1.768007e-07,2.417175e-07,4.607296e-07,4.852397e-07,8.838394e-07,1.008446e-06,1.490679e-06,1.941208e-06,2.357982e-06,3.371548e-06,3.529270e-06,5.033832e-06,5.376187e-06,6.885085e-06,7.984931e-06,9.082109e-06,1.118619e-05,1.161276e-05,1.445702e-05,1.493957e-05,1.758965e-05,1.918748e-05,2.098222e-05,2.386300e-05,2.460426e-05,2.842411e-05,2.889425e-05,3.240939e-05,3.420691e-05,3.652744e-05,3.972591e-05,4.074571e-05,4.503219e-05,4.537712e-05,4.935589e-05,5.108911e-05,5.368723e-05,5.679487e-05,5.799846e-05,6.226400e-05,6.243333e-05,6.646070e-05,6.795062e-05,7.056803e-05,7.330078e-05,7.456820e-05,7.844609e-05,8.218928e-05,8.335696e-05,8.578786e-05,8.801151e-05,8.923434e-05,9.239487e-05,9.252336e-05,9.565155e-05,9.649836e-05,9.861728e-05,1.003186e-04,1.014204e-04,1.038567e-04,1.040621e-04,1.065447e-04,1.071172e-04,1.088713e-04,1.101074e-04,1.110457e-04,1.128369e-04,1.130725e-04,1.149565e-04,1.153166e-04,1.167029e-04,1.175585e-04,1.183172e-04,1.195751e-04,1.198048e-04,1.211715e-04,1.213793e-04,1.224228e-04,1.229840e-04,1.235642e-04,1.244019e-04,1.246012e-04,1.255391e-04,1.256453e-04,1.263832e-04,1.267261e-04,1.271384e-04,1.276559e-04,1.278096e-04,1.284015e-04,1.284456e-04,1.289186e-04,1.291054e-04,1.293651e-04,1.296453e-04,1.297452e-04,1.300628e-04,1.300743e-04,1.303217e-04,1.304012e-04,1.305254e-04,1.306341e-04,1.306772e-04,1.307805e-04,1.308382e-04,1.308475e-04,1.308533e-04,1.308418e-04,1.308285e-04,1.307695e-04,1.307663e-04,1.306694e-04,1.306363e-04,1.305399e-04,1.304475e-04,1.303801e-04,1.302082e-04,1.301921e-04,1.299779e-04,1.299228e-04,1.297393e-04,1.295956e-04,1.294780e-04,1.292307e-04,1.291958e-04,1.288941e-04,1.288316e-04,1.285745e-04,1.284017e-04,1.282384e-04,1.279443e-04,1.278871e-04,1.275218e-04,1.274621e-04,1.271437e-04,1.269580e-04,1.267539e-04,1.264344e-04,1.263535e-04,1.259433e-04,1.258935e-04,1.255244e-04,1.253375e-04,1.250976e-04,1.247685e-04,1.246637e-04,1.242235e-04,1.241881e-04,1.237778e-04,1.235981e-04,1.233271e-04,1.229999e-04,1.228722e-04,1.224135e-04,1.223951e-04,1.219518e-04,1.217850e-04,1.214876e-04,1.211706e-04,1.210212e-04,1.205532e-04,1.199338e-04,1.193132e-04,1.186924e-04,1.180722e-04,1.174531e-04,1.168360e-04,1.162214e-04,1.156098e-04,1.150018e-04,1.143977e-04,1.137980e-04,1.132031e-04,1.126134e-04,1.120290e-04,1.114502e-04,1.108774e-04,1.103107e-04,1.097503e-04,1.091963e-04,1.086490e-04,1.081083e-04,1.075746e-04,1.070477e-04,1.065278e-04
0.000000e+00,1.500882e-12,1.021592e-11,1.774155e-10,1.177675e-09,2.801128e-09,1.814340e-08,1.940526e-08,8.563866e-08,1.227372e-07,2.842720e-07,5.293937e-07,7.755634e-07,1.719148e-06,1.833600e-06,3.886826e-06,4.592404e-06,7.560175e-06,1.063522e-05,1.371488e-05,2.207434e-05,2.348125e-05,3.828045e-05,4.199039e-05,5.983306e-05,7.436691e-05,9.015384e-05,1.240677e-04,1.315334e-04,1.865082e-04,1.967465e-04,2.578201e-04,2.986993e-04,3.483680e-04,4.366710e-04,4.611529e-04,5.992187e-04,6.176297e-04,7.655904e-04,8.485244e-04,9.632124e-04,1.136037e-03,1.194888e-03,1.463221e-03,1.486344e-03,1.770566e-03,1.904899e-03,2.118978e-03,2.396242e-03,2.510174e-03,2.945502e-03,2.963848e-03,3.425916e-03,3.610020e-03,3.951961e-03,4.335817e-03,4.523762e-03,5.141030e-03,5.803066e-03,6.024204e-03,6.508776e-03,6.982688e-03,7.256693e-03,8.012718e-03,8.045000e-03,8.871562e-03,9.109532e-03,9.733958e-03,1.026749e-02,1.062951e-02,1.148023e-02,1.155534e-02,1.250838e-02,1.274081e-02,1.348544e-02,1.404184e-02,1.448319e-02,1.537567e-02,1.549829e-02,1.652732e-02,1.673450e-02,1.756689e-02,1.811051e-02,1.861363e-02,1.949601e-02,1.966423e-02,2.071545e-02,2.088349e-02,2.176417e-02,2.226579e-02,2.280739e-02,2.363608e-02,2.384225e-02,2.486603e-02,2.498802e-02,2.587620e-02,2.631573e-02,2.687036e-02,2.761387e-02,2.784634e-02,2.880210e-02,2.887764e-02,2.973583e-02,3.010277e-02,3.064587e-02,3.128559e-02,3.153075e-02,3.238918e-02,3.242296e-02,3.322006e-02,3.351225e-02,3.402245e-02,3.455138e-02,3.479554e-02,3.553874e-02,3.625155e-02,3.647317e-02,3.693364e-02,3.735396e-02,3.758482e-02,3.818078e-02,3.820499e-02,3.879420e-02,3.895364e-02,3.935258e-02,3.967291e-02,3.988037e-02,4.033921e-02,4.037791e-02,4.084560e-02,4.095346e-02,4.128392e-02,4.151675e-02,4.169342e-02,4.203041e-02,4.207469e-02,4.242841e-02,4.249590e-02,4.275525e-02,4.291483e-02,4.305595e-02,4.328890e-02,4.333128e-02,4.358202e-02,4.361991e-02,4.380899e-02,4.390973e-02,4.401300e-02,4.416025e-02,4.419490e-02,4.435551e-02,4.437339e-02,4.449568e-02,4.455110e-02,4.461626e-02,4.469530e-02,4.471807e-02,4.480196e-02,4.480792e-02,4.486873e-02,4.489083e-02,4.491920e-02,4.494589e-02,4.495417e-02,4.497440e-02,4.497492e-02,4.498067e-02,4.497965e-02,4.497372e-02,4.496181e-02,4.495427e-02,4.492302e-02,4.486487e-02,4.478888e-02,4.469648e-02,4.458907e-02,4.446796e-02,4.433439e-02,4.418954e-02,4.403453e-02,4.387040e-02,4.369815e-02,4.351870e-02,4.333292e-02,4.314162e-02,4.294556e-02,4.274545e-02,4.254194e-02,4.233564e-02,4.212712e-02,4.191690e-02,4.170545e-02,4.149323e-02,4.128064e-02,4.106805e-02,4.085580e-02
0.000000e+00,2.130475e-09,4.889404e-09,1.685753e-08,3.840249e-08,5.605513e-08,1.273004e-07,1.311355e-07,2.536078e-07,2.980236e-07,4.356093e-07,5.787831e-07,6.902075e-07,1.000375e-06,1.031149e-06,1.471520e-06,1.593185e-06,2.020754e-06,2.376927e-06,2.680562e-06,3.346320e-06,3.442699e-06,4.291363e-06,4.469865e-06,5.208325e-06,5.706445e-06,6.176753e-06,7.019542e-06,7.182447e-06,8.213632e-06,8.380303e-06,9.260390e-06,9.765812e-06,1.031417e-05,1.115721e-05,1.136751e-05,1.241383e-05,1.253864e-05,1.344739e-05,1.389681e-05,1.446321e-05,1.522073e-05,1.545704e-05,1.642534e-05,1.650161e-05,1.736522e-05,1.773268e-05,1.827438e-05,1.890896e-05,1.915108e-05,1.999405e-05,2.002706e-05,2.080246e-05,2.108492e-05,2.157583e-05,2.208161e-05,2.231400e-05,2.301707e-05,2.368537e-05,2.389196e-05,2.431938e-05,2.470745e-05,2.491975e-05,2.546514e-05,2.548721e-05,2.602262e-05,2.616691e-05,2.652687e-05,2.681486e-05,2.700091e-05,2.741119e-05,2.744572e-05,2.786230e-05,2.795819e-05,2.825166e-05,2.845818e-05,2.861481e-05,2.891349e-05,2.895275e-05,2.926648e-05,2.932641e-05,2.955698e-05,2.969918e-05,2.982521e-05,3.003400e-05,3.007211e-05,3.029860e-05,3.033300e-05,3.050557e-05,3.059823e-05,3.069389e-05,3.083168e-05,3.086440e-05,3.101793e-05,3.103525e-05,3.115526e-05,3.121075e-05,3.127715e-05,3.135992e-05,3.138435e-05,3.147756e-05,3.148444e-05,3.155748e-05,3.158587e-05,3.162476e-05,3.166574e-05,3.168004e-05,3.172394e-05,3.172547e-05,3.175703e-05,3.176641e-05,3.177990e-05,3.178988e-05,3.179307e-05,3.179707e-05,3.179241e-05,3.178917e-05,3.177956e-05,3.176725e-05,3.175898e-05,3.173236e-05,3.173111e-05,3.169637e-05,3.168547e-05,3.165517e-05,3.162751e-05,3.160790e-05,3.155936e-05,3.155492e-05,3.149658e-05,3.148183e-05,3.143324e-05,3.139569e-05,3.136520e-05,3.130169e-05,3.129277e-05,3.121626e-05,3.120049e-05,3.113594e-05,3.109276e-05,3.105208e-05,3.097909e-05,3.096494e-05,3.087476e-05,3.086006e-05,3.078177e-05,3.073620e-05,3.068619e-05,3.060801e-05,3.058824e-05,3.048811e-05,3.047595e-05,3.038599e-05,3.034048e-05,3.028208e-05,3.020201e-05,3.017654e-05,3.006953e-05,3.006091e-05,2.996120e-05,2.991754e-05,2.985172e-05,2.977225e-05,2.974122e-05,2.962983e-05,2.962535e-05,2.951767e-05,2.947713e-05,2.940487e-05,2.932786e-05,2.929155e-05,2.917780e-05,2.902718e-05,2.887621e-05,2.872511e-05,2.857406e-05,2.842323e-05,2.827278e-05,2.812287e-05,2.797362e-05,2.782517e-05,2.767762e-05,2.753109e-05,2.738567e-05,2.724144e-05,2.709849e-05,2.695689e-05,2.681670e-05,2.667799e-05,2.654079e-05,2.640517e-05,2.627116e-05,2.613879e-05,2.600810e-05,2.587911e-05,2.575185e-05
0.000000e+00,1.729328e-09,3.978908e-09,1.371074e-08,3.114728e-08,4.538635e-08,1.026629e-07,1.057419e-07,2.040714e-07,2.397735e-07,3.505958e-07,4.662449e-07,5.563586e-07,8.064677e-07,8.311351e-07,1.178550e-06,1.272240e-06,1.592422e-06,1.848544e-06,2.060017e-06,2.505423e-06,2.568158e-06,3.105987e-06,3.216326e-06,3.664885e-06,3.961431e-06,4.237727e-06,4.725143e-06,4.818325e-06,5.401153e-06,5.494272e-06,5.981240e-06,6.257388e-06,6.554162e-06,7.004721e-06,7.116050e-06,7.663613e-06,7.728223e-06,8.194133e-06,8.421586e-06,8.705448e-06,9.080175e-06,9.195916e-06,9.664374e-06,9.700875e-06,1.011008e-05,1.028189e-05,1.053265e-05,1.082252e-05,1.093201e-05,1.130834e-05,1.132292e-05,1.166203e-05,1.178391e-05,1.199361e-05,1.220678e-05,1.230373e-05,1.259316e-05,1.286269e-05,1.294488e-05,1.311317e-05,1.326388e-05,1.334547e-05,1.355217e-05,1.356044e-05,1.375897e-05,1.381172e-05,1.394189e-05,1.404449e-05,1.411003e-05,1.425235e-05,1.426419e-05,1.440516e-05,1.443711e-05,1.453366e-05,1.460044e-05,1.465041e-05,1.474398e-05,1.475609e-05,1.485135e-05,1.486921e-05,1.493679e-05,1.497754e-05,1.501301e-05,1.507029e-05,1.508054e-05,1.513991e-05,1.514868e-05,1.519162e-05,1.521385e-05,1.523612e-05,1.526684e-05,1.527387e-05,1.530527e-05,1.530863e-05,1.533072e-05,1.534012e-05,1.535058e-05,1.536216e-05,1.536521e-05,1.537493e-05,1.537550e-05,1.538005e-05,1.538088e-05,1.538087e-05,1.537895e-05,1.537765e-05,1.537067e-05,1.537031e-05,1.536015e-05,1.535555e-05,1.534634e-05,1.533517e-05,1.532944e-05,1.530967e-05,1.528721e-05,1.527948e-05,1.526224e-05,1.524503e-05,1.523494e-05,1.520669e-05,1.520547e-05,1.517397e-05,1.516481e-05,1.514060e-05,1.511973e-05,1.510548e-05,1.507173e-05,1.506874e-05,1.503050e-05,1.502112e-05,1.499088e-05,1.496813e-05,1.494998e-05,1.491301e-05,1.490790e-05,1.486473e-05,1.485598e-05,1.482057e-05,1.479724e-05,1.477550e-05,1.473699e-05,1.472959e-05,1.468293e-05,1.467540e-05,1.463558e-05,1.461263e-05,1.458761e-05,1.454883e-05,1.453908e-05,1.449005e-05,1.448414e-05,1.444058e-05,1.441869e-05,1.439072e-05,1.435259e-05,1.434051e-05,1.429002e-05,1.428596e-05,1.423927e-05,1.421891e-05,1.418831e-05,1.415151e-05,1.413718e-05,1.408592e-05,1.408387e-05,1.403456e-05,1.401605e-05,1.398314e-05,1.394815e-05,1.393168e-05,1.388021e-05,1.381231e-05,1.374451e-05,1.367686e-05,1.360941e-05,1.354220e-05,1.347528e-05,1.340869e-05,1.334246e-05,1.327663e-05,1.321122e-05,1.314626e-05,1.308178e-05,1.301780e-05,1.295434e-05,1.289142e-05,1.282906e-05,1.276726e-05,1.270605e-05,1.264543e-05,1.258542e-05,1.252603e-05,1.246726e-05,1.240912e-05,1.235162e-05
0.000000e+00,2.251616e-09,5.187838e-09,1.798994e-08,4.122027e-08,6.041324e-08,1.392596e-07,1.435650e-07,2.841467e-07,3.365342e-07,5.030776e-07,6.823643e-07,8.253422e-07,1.234006e-06,1.275083e-06,1.864222e-06,2.025764e-06,2.583657e-06,3.034723e-06,3.409453e-06,4.203683e-06,4.315992e-06,5.282585e-06,5.481672e-06,6.293732e-06,6.833078e-06,7.337507e-06,8.232305e-06,8.404143e-06,9.485183e-06,9.658970e-06,1.057306e-05,1.109562e-05,1.166091e-05,1.252699e-05,1.274254e-05,1.381246e-05,1.393982e-05,1.486584e-05,1.532299e-05,1.589854e-05,1.666743e-05,1.690713e-05,1.788881e-05,1.796611e-05,1.884134e-05,1.921381e-05,1.976308e-05,2.040698e-05,2.065283e-05,2.150984e-05,2.154343e-05,2.233370e-05,2.262216e-05,2.312433e-05,2.364304e-05,2.388188e-05,2.460671e-05,2.529937e-05,2.551433e-05,2.596050e-05,2.636744e-05,2.659089e-05,2.716792e-05,2.719138e-05,2.776286e-05,2.791780e-05,2.830626e-05,2.861920e-05,2.882250e-05,2.927430e-05,2.931257e-05,2.977741e-05,2.988532e-05,3.021797e-05,3.045443e-05,3.063520e-05,3.098379e-05,3.103001e-05,3.140332e-05,3.147548e-05,3.175600e-05,3.193152e-05,3.208891e-05,3.235388e-05,3.240288e-05,3.269872e-05,3.274442e-05,3.297720e-05,3.310493e-05,3.323908e-05,3.343713e-05,3.348509e-05,3.371593e-05,3.374264e-05,3.393226e-05,3.402301e-05,3.413473e-05,3.427973e-05,3.432397e-05,3.450057e-05,3.451417e-05,3.466511e-05,3.472768e-05,3.481814e-05,3.492149e-05,3.496019e-05,3.509175e-05,3.509680e-05,3.521333e-05,3.525474e-05,3.532537e-05,3.539635e-05,3.542834e-05,3.552264e-05,3.560870e-05,3.563457e-05,3.568691e-05,3.573301e-05,3.575763e-05,3.581882e-05,3.582123e-05,3.587805e-05,3.589279e-05,3.592842e-05,3.595568e-05,3.597265e-05,3.600818e-05,3.601104e-05,3.604388e-05,3.605097e-05,3.607144e-05,3.608467e-05,3.609399e-05,3.610988e-05,3.611177e-05,3.612503e-05,3.612716e-05,3.613400e-05,3.613704e-05,3.613889e-05,3.614000e-05,3.613991e-05,3.613727e-05,3.613652e-05,3.613116e-05,3.612704e-05,3.612175e-05,3.611198e-05,3.610923e-05,3.609376e-05,3.609171e-05,3.607550e-05,3.606662e-05,3.605461e-05,3.603705e-05,3.603122e-05,3.600548e-05,3.600332e-05,3.597752e-05,3.596575e-05,3.594747e-05,3.592461e-05,3.591545e-05,3.588158e-05,3.588019e-05,3.584596e-05,3.583273e-05,3.580871e-05,3.578249e-05,3.576992e-05,3.572969e-05,3.567453e-05,3.561723e-05,3.555797e-05,3.549694e-05,3.543428e-05,3.537018e-05,3.530476e-05,3.523817e-05,3.517055e-05,3.510201e-05,3.503267e-05,3.496264e-05,3.489201e-05,3.482090e-05,3.474937e-05,3.467753e-05,3.460544e-05,3.453318e-05,3.446082e-05,3.438843e-05,3.431606e-05,3.424378e-05,3.417163e-05,3.409966e-05
0.000000e+00,1.094951e-09,2.788164e-09,1.074500e-08,2.588918e-08,3.868554e-08,9.247350e-08,9.544698e-08,1.937259e-07,2.307700e-07,3.494989e-07,4.785123e-07,5.821048e-07,8.812987e-07,9.116217e-07,1.351244e-06,1.473184e-06,1.897769e-06,2.243773e-06,2.532273e-06,3.145109e-06,3.231823e-06,3.977951e-06,4.131545e-06,4.757674e-06,5.173237e-06,5.561735e-06,6.250658e-06,6.382944e-06,7.215205e-06,7.349020e-06,8.053041e-06,8.455686e-06,8.891407e-06,9.559344e-06,9.725655e-06,1.055154e-05,1.064990e-05,1.136529e-05,1.171862e-05,1.216357e-05,1.275817e-05,1.294357e-05,1.370294e-05,1.376274e-05,1.443977e-05,1.472785e-05,1.515261e-05,1.565038e-05,1.584037e-05,1.650229e-05,1.652822e-05,1.713793e-05,1.736028e-05,1.774709e-05,1.814621e-05,1.832980e-05,1.888626e-05,1.941682e-05,1.958120e-05,1.992193e-05,2.023210e-05,2.040215e-05,2.084034e-05,2.085813e-05,2.129053e-05,2.140748e-05,2.170009e-05,2.193516e-05,2.208753e-05,2.242509e-05,2.245361e-05,2.279907e-05,2.287899e-05,2.312467e-05,2.329862e-05,2.343117e-05,2.368567e-05,2.371930e-05,2.398978e-05,2.404182e-05,2.424333e-05,2.436871e-05,2.448064e-05,2.466791e-05,2.470237e-05,2.490919e-05,2.494094e-05,2.510172e-05,2.518924e-05,2.528058e-05,2.541423e-05,2.544636e-05,2.559964e-05,2.561721e-05,2.574095e-05,2.579948e-05,2.587084e-05,2.596222e-05,2.598981e-05,2.609835e-05,2.610660e-05,2.619694e-05,2.623369e-05,2.628603e-05,2.634454e-05,2.636606e-05,2.643744e-05,2.644012e-05,2.650058e-05,2.652137e-05,2.655586e-05,2.658915e-05,2.660365e-05,2.664431e-05,2.667818e-05,2.668763e-05,2.670557e-05,2.671986e-05,2.672681e-05,2.674169e-05,2.674219e-05,2.675200e-05,2.675379e-05,2.675652e-05,2.675679e-05,2.675599e-05,2.675128e-05,2.675069e-05,2.674084e-05,2.673782e-05,2.672668e-05,2.671694e-05,2.670842e-05,2.668914e-05,2.668628e-05,2.666047e-05,2.665488e-05,2.663116e-05,2.661461e-05,2.659855e-05,2.656874e-05,2.656282e-05,2.652413e-05,2.651767e-05,2.648264e-05,2.646178e-05,2.643851e-05,2.640141e-05,2.639189e-05,2.634291e-05,2.633688e-05,2.629172e-05,2.626852e-05,2.623844e-05,2.619662e-05,2.618319e-05,2.612609e-05,2.612145e-05,2.606726e-05,2.604327e-05,2.600680e-05,2.596232e-05,2.594482e-05,2.588141e-05,2.587885e-05,2.581667e-05,2.579305e-05,2.575069e-05,2.570515e-05,2.568355e-05,2.561533e-05,2.552377e-05,2.543065e-05,2.533612e-05,2.524033e-05,2.514344e-05,2.504556e-05,2.494683e-05,2.484736e-05,2.474727e-05,2.464666e-05,2.454563e-05,2.444427e-05,2.434266e-05,2.424088e-05,2.413902e-05,2.403715e-05,2.393532e-05,2.383360e-05,2.373206e-05,2.363074e-05,2.352969e-05,2.342897e-05,2.332862e-05,2.322867e-05
0.000000e+00,4.872592e-10,1.248864e-09,4.823599e-09,1.156219e-08,1.718949e-08,4.027033e-08,4.152231e-08,8.176156e-08,9.644034e-08,1.421008e-07,1.898594e-07,2.271732e-07,3.316363e-07,3.420449e-07,4.917452e-07,5.333198e-07,6.799488e-07,8.024773e-07,9.070247e-07,1.136065e-06,1.169173e-06,1.459997e-06,1.521007e-06,1.772909e-06,1.942471e-06,2.102392e-06,2.388750e-06,2.444091e-06,2.794504e-06,2.851176e-06,3.150671e-06,3.322893e-06,3.509962e-06,3.798025e-06,3.869976e-06,4.228492e-06,4.271314e-06,4.583457e-06,4.738027e-06,4.932995e-06,5.193971e-06,5.275421e-06,5.609251e-06,5.635546e-06,5.933208e-06,6.059780e-06,6.246227e-06,6.464338e-06,6.547450e-06,6.836214e-06,6.847498e-06,7.112043e-06,7.208111e-06,7.374628e-06,7.545531e-06,7.623805e-06,7.859544e-06,8.081930e-06,8.150299e-06,8.291139e-06,8.418234e-06,8.487429e-06,8.664011e-06,8.671122e-06,8.842591e-06,8.888467e-06,9.002248e-06,9.092554e-06,9.150532e-06,9.277303e-06,9.287902e-06,9.414827e-06,9.443787e-06,9.531781e-06,9.593097e-06,9.639239e-06,9.726320e-06,9.737671e-06,9.827540e-06,9.844527e-06,9.909300e-06,9.948756e-06,9.983386e-06,1.004000e-05,1.005022e-05,1.011020e-05,1.011919e-05,1.016372e-05,1.018723e-05,1.021116e-05,1.024496e-05,1.025286e-05,1.028917e-05,1.029318e-05,1.032042e-05,1.033263e-05,1.034689e-05,1.036400e-05,1.036889e-05,1.038669e-05,1.038794e-05,1.040055e-05,1.040505e-05,1.041072e-05,1.041589e-05,1.041743e-05,1.042091e-05,1.042098e-05,1.042134e-05,1.042080e-05,1.041895e-05,1.041579e-05,1.041390e-05,1.040637e-05,1.039654e-05,1.039293e-05,1.038455e-05,1.037581e-05,1.037055e-05,1.035534e-05,1.035467e-05,1.033705e-05,1.033183e-05,1.031782e-05,1.030555e-05,1.029708e-05,1.027676e-05,1.027494e-05,1.025151e-05,1.024571e-05,1.022688e-05,1.021260e-05,1.020115e-05,1.017766e-05,1.017440e-05,1.014670e-05,1.014106e-05,1.011814e-05,1.010298e-05,1.008879e-05,1.006357e-05,1.005872e-05,1.002798e-05,1.002300e-05,9.996634e-06,9.981392e-06,9.964746e-06,9.938877e-06,9.932363e-06,9.899537e-06,9.895570e-06,9.866313e-06,9.851581e-06,9.832737e-06,9.807008e-06,9.798849e-06,9.764688e-06,9.761945e-06,9.730292e-06,9.716475e-06,9.695695e-06,9.670678e-06,9.660929e-06,9.626024e-06,9.624626e-06,9.591011e-06,9.578384e-06,9.555915e-06,9.532015e-06,9.520761e-06,9.485575e-06,9.439115e-06,9.392684e-06,9.346325e-06,9.300078e-06,9.253982e-06,9.208070e-06,9.162372e-06,9.116918e-06,9.071733e-06,9.026842e-06,8.982264e-06,8.938021e-06,8.894130e-06,8.850607e-06,8.807466e-06,8.764721e-06,8.722383e-06,8.680463e-06,8.638969e-06,8.597909e-06,8.557292e-06,8.517122e-06,8.477406e-06,8.438147e-06
0.000000e+00,2.652118e-09,6.114452e-09,2.122588e-08,4.857645e-08,7.104825e-08,1.619124e-07,1.668046e-07,3.227945e-07,3.791970e-07,5.532099e-07,7.331169e-07,8.723174e-07,1.256369e-06,1.294221e-06,1.831676e-06,1.978995e-06,2.494007e-06,2.921339e-06,3.285767e-06,4.090108e-06,4.207546e-06,5.257723e-06,5.482942e-06,6.433591e-06,7.093595e-06,7.731686e-06,8.913458e-06,9.147757e-06,1.067668e-05,1.093139e-05,1.231243e-05,1.313354e-05,1.404810e-05,1.550342e-05,1.587599e-05,1.778775e-05,1.802238e-05,1.977453e-05,2.067013e-05,2.182717e-05,2.342548e-05,2.393633e-05,2.609267e-05,2.626694e-05,2.828700e-05,2.917337e-05,3.051043e-05,3.212450e-05,3.275442e-05,3.501093e-05,3.510134e-05,3.727241e-05,3.808640e-05,3.953191e-05,4.106395e-05,4.178304e-05,4.402002e-05,4.623766e-05,4.694245e-05,4.843133e-05,4.982080e-05,5.059696e-05,5.264628e-05,5.273099e-05,5.483034e-05,5.541158e-05,5.689238e-05,5.811075e-05,5.891488e-05,6.073906e-05,6.089599e-05,6.283420e-05,6.329285e-05,6.472830e-05,6.576937e-05,6.657735e-05,6.816669e-05,6.838065e-05,7.013772e-05,7.048356e-05,7.184826e-05,7.271930e-05,7.351213e-05,7.487373e-05,7.512936e-05,7.670007e-05,7.694709e-05,7.822453e-05,7.893993e-05,7.970306e-05,8.085311e-05,8.113610e-05,8.252413e-05,8.268770e-05,8.386772e-05,8.444498e-05,8.516747e-05,8.612636e-05,8.642403e-05,8.763807e-05,8.773338e-05,8.881031e-05,8.926767e-05,8.994149e-05,9.073094e-05,9.103236e-05,9.208370e-05,9.212494e-05,9.309627e-05,9.345147e-05,9.407089e-05,9.471235e-05,9.500834e-05,9.590942e-05,9.677494e-05,9.704452e-05,9.760569e-05,9.811949e-05,9.840247e-05,9.913617e-05,9.916609e-05,9.989732e-05,1.000964e-04,1.005969e-04,1.010019e-04,1.012658e-04,1.018545e-04,1.019045e-04,1.025140e-04,1.026560e-04,1.030949e-04,1.034080e-04,1.036480e-04,1.041123e-04,1.041740e-04,1.046737e-04,1.047705e-04,1.051477e-04,1.053843e-04,1.055968e-04,1.059552e-04,1.060216e-04,1.064228e-04,1.064849e-04,1.068011e-04,1.069748e-04,1.071572e-04,1.074264e-04,1.074916e-04,1.078049e-04,1.078412e-04,1.080979e-04,1.082205e-04,1.083711e-04,1.085659e-04,1.086251e-04,1.088605e-04,1.088785e-04,1.090778e-04,1.091598e-04,1.092776e-04,1.094109e-04,1.094604e-04,1.096268e-04,1.096331e-04,1.097773e-04,1.098277e-04,1.099124e-04,1.099957e-04,1.100326e-04,1.101383e-04,1.102566e-04,1.103516e-04,1.104244e-04,1.104760e-04,1.105073e-04,1.105193e-04,1.105128e-04,1.104888e-04,1.104480e-04,1.103913e-04,1.103194e-04,1.102332e-04,1.101334e-04,1.100206e-04,1.098956e-04,1.097589e-04,1.096113e-04,1.094534e-04,1.092857e-04,1.091088e-04,1.089232e-04,1.087295e-04,1.085281e-04,1.083196e-04
0.000000e+00,1.879403e-12,1.282084e-11,2.237077e-10,1.491569e-09,3.556630e-09,2.319239e-08,2.481241e-08,1.102836e-07,1.583777e-07,3.687503e-07,6.897769e-07,1.013567e-06,2.262629e-06,2.414770e-06,5.159845e-06,6.108593e-06,1.012148e-05,1.430985e-05,1.852958e-05,3.008531e-05,3.204275e-05,5.281158e-05,5.806280e-05,8.352432e-05,1.044802e-04,1.274268e-04,1.772576e-04,1.883120e-04,2.704788e-04,2.859115e-04,3.786643e-04,4.413176e-04,5.179532e-04,6.553536e-04,6.936728e-04,9.112761e-04,9.404630e-04,1.176222e-03,1.309180e-03,1.493855e-03,1.773653e-03,1.869292e-03,2.307312e-03,2.345191e-03,2.812264e-03,3.033862e-03,3.387977e-03,3.848152e-03,4.037696e-03,4.764023e-03,4.794699e-03,5.568878e-03,5.878106e-03,6.453474e-03,7.100826e-03,7.418300e-03,8.463132e-03,9.587037e-03,9.963142e-03,1.078840e-02,1.159691e-02,1.206497e-02,1.335858e-02,1.341388e-02,1.483172e-02,1.524054e-02,1.631456e-02,1.723367e-02,1.785804e-02,1.932753e-02,1.945742e-02,2.110762e-02,2.151064e-02,2.280331e-02,2.377071e-02,2.453895e-02,2.609486e-02,2.630886e-02,2.810728e-02,2.846987e-02,2.992840e-02,3.088242e-02,3.176642e-02,3.331924e-02,3.361564e-02,3.547041e-02,3.576732e-02,3.732526e-02,3.821405e-02,3.917488e-02,4.064737e-02,4.101417e-02,4.283822e-02,4.305587e-02,4.464243e-02,4.542886e-02,4.642242e-02,4.775649e-02,4.817411e-02,4.989369e-02,5.002977e-02,5.157767e-02,5.224056e-02,5.322284e-02,5.438169e-02,5.482629e-02,5.638542e-02,5.644683e-02,5.789792e-02,5.843060e-02,5.936176e-02,6.032848e-02,6.077520e-02,6.213677e-02,6.344526e-02,6.385261e-02,6.469972e-02,6.547388e-02,6.589943e-02,6.699919e-02,6.704390e-02,6.813286e-02,6.842780e-02,6.916622e-02,6.975959e-02,7.014410e-02,7.099501e-02,7.106680e-02,7.193476e-02,7.213499e-02,7.274857e-02,7.318092e-02,7.350897e-02,7.413461e-02,7.421681e-02,7.487304e-02,7.499818e-02,7.547873e-02,7.577409e-02,7.603502e-02,7.646503e-02,7.654314e-02,7.700437e-02,7.707391e-02,7.742006e-02,7.760382e-02,7.779159e-02,7.805799e-02,7.812040e-02,7.840794e-02,7.843974e-02,7.865569e-02,7.875248e-02,7.886515e-02,7.899965e-02,7.903781e-02,7.917519e-02,7.918470e-02,7.927879e-02,7.931110e-02,7.935009e-02,7.938228e-02,7.939060e-02,7.940176e-02,7.940162e-02,7.938503e-02,7.937246e-02,7.934184e-02,7.929806e-02,7.927357e-02,7.918159e-02,7.902615e-02,7.883471e-02,7.861017e-02,7.835529e-02,7.807273e-02,7.776502e-02,7.743460e-02,7.708377e-02,7.671470e-02,7.632949e-02,7.593007e-02,7.551830e-02,7.509590e-02,7.466450e-02,7.422563e-02,7.378070e-02,7.333103e-02,7.287786e-02,7.242231e-02,7.196546e-02,7.150825e-02,7.105160e-02,7.059632e-02,7.014315e-02
0.000000e+00,8.909945e-12,4.946190e-11,5.671926e-10,2.604621e-09,5.082266e-09,2.003589e-08,2.101096e-08,5.802119e-08,7.351672e-08,1.259642e-07,1.854605e-07,2.341179e-07,3.766727e-07,3.912414e-07,6.052973e-07,6.658361e-07,8.816533e-07,1.063799e-06,1.219936e-06,1.562730e-06,1.612241e-06,2.044959e-06,2.134994e-06,2.502816e-06,2.746197e-06,2.972186e-06,3.367486e-06,3.442435e-06,3.905792e-06,3.978891e-06,4.356643e-06,4.567348e-06,4.790837e-06,5.124058e-06,5.205228e-06,5.597435e-06,5.642920e-06,5.965718e-06,6.119868e-06,6.308934e-06,6.552639e-06,6.626506e-06,6.918374e-06,6.940623e-06,7.184944e-06,7.284654e-06,7.427007e-06,7.586728e-06,7.645667e-06,7.842253e-06,7.849678e-06,8.018242e-06,8.076855e-06,8.175194e-06,8.271854e-06,8.314688e-06,8.438283e-06,8.547475e-06,8.579609e-06,8.643680e-06,8.699046e-06,8.728210e-06,8.799491e-06,8.802266e-06,8.866943e-06,8.883509e-06,8.923228e-06,8.953342e-06,8.972003e-06,9.010917e-06,9.014050e-06,9.050065e-06,9.057881e-06,9.080663e-06,9.095638e-06,9.106389e-06,9.125376e-06,9.127718e-06,9.145073e-06,9.148101e-06,9.158827e-06,9.164667e-06,9.169310e-06,9.175804e-06,9.176815e-06,9.181599e-06,9.182127e-06,9.183887e-06,9.184159e-06,9.183883e-06,9.182354e-06,9.181771e-06,9.177721e-06,9.177112e-06,9.171883e-06,9.168783e-06,9.164392e-06,9.157670e-06,9.155371e-06,9.144931e-06,9.144038e-06,9.133179e-06,9.128133e-06,9.120212e-06,9.110174e-06,9.106120e-06,9.090983e-06,9.090357e-06,9.074877e-06,9.068855e-06,9.057872e-06,9.045829e-06,9.040035e-06,9.021430e-06,9.002114e-06,8.995792e-06,8.982141e-06,8.969037e-06,8.961561e-06,8.941277e-06,8.940421e-06,8.918767e-06,8.912617e-06,8.896641e-06,8.883155e-06,8.874083e-06,8.852981e-06,8.851131e-06,8.827820e-06,8.822176e-06,8.804183e-06,8.790817e-06,8.780252e-06,8.758973e-06,8.756057e-06,8.731624e-06,8.726711e-06,8.706981e-06,8.694092e-06,8.682153e-06,8.661172e-06,8.657164e-06,8.632035e-06,8.628003e-06,8.606789e-06,8.594635e-06,8.581445e-06,8.561111e-06,8.556021e-06,8.530536e-06,8.527474e-06,8.505006e-06,8.493763e-06,8.479448e-06,8.460014e-06,8.453876e-06,8.428305e-06,8.426259e-06,8.402747e-06,8.392531e-06,8.377217e-06,8.358858e-06,8.351725e-06,8.326284e-06,8.325267e-06,8.300903e-06,8.291783e-06,8.275593e-06,8.258427e-06,8.250363e-06,8.225222e-06,8.192187e-06,8.159339e-06,8.126696e-06,8.094271e-06,8.062080e-06,8.030136e-06,7.998449e-06,7.967030e-06,7.935890e-06,7.905036e-06,7.874477e-06,7.844221e-06,7.814273e-06,7.784639e-06,7.755324e-06,7.726333e-06,7.697670e-06,7.669337e-06,7.641338e-06,7.613675e-06,7.586350e-06,7.559365e-06,7.532720e-06,7.506417e-06
0.000000e+00,4.749939e-13,3.244949e-12,5.679282e-11,3.797525e-10,9.069765e-10,5.939772e-09,6.355812e-09,2.837636e-08,4.080221e-08,9.530601e-08,1.787561e-07,2.631361e-07,5.898245e-07,6.297090e-07,1.351548e-06,1.601762e-06,2.662931e-06,3.774162e-06,4.896517e-06,7.980584e-06,8.504220e-06,1.407624e-05,1.548895e-05,2.235575e-05,2.802482e-05,3.424708e-05,4.780220e-05,5.081610e-05,7.328278e-05,7.751379e-05,1.030065e-04,1.202818e-04,1.414656e-04,1.795757e-04,1.902313e-04,2.509397e-04,2.591064e-04,3.252606e-04,3.627059e-04,4.148664e-04,4.942023e-04,5.214003e-04,6.464470e-04,6.572961e-04,7.915042e-04,8.554446e-04,9.579571e-04,1.091759e-03,1.147056e-03,1.359898e-03,1.368919e-03,1.597408e-03,1.689101e-03,1.860333e-03,2.053929e-03,2.149227e-03,2.464449e-03,2.806162e-03,2.921106e-03,3.174335e-03,3.423756e-03,3.568743e-03,3.971681e-03,3.988979e-03,4.434459e-03,4.563619e-03,4.904435e-03,5.197809e-03,5.398005e-03,5.872035e-03,5.914128e-03,6.451638e-03,6.583682e-03,7.009257e-03,7.329799e-03,7.585613e-03,8.107152e-03,8.179251e-03,8.788652e-03,8.912287e-03,9.412246e-03,9.741590e-03,1.004842e-02,1.059134e-02,1.069555e-02,1.135198e-02,1.145777e-02,1.201608e-02,1.233709e-02,1.268622e-02,1.322558e-02,1.336077e-02,1.403816e-02,1.411957e-02,1.471686e-02,1.501551e-02,1.539536e-02,1.591001e-02,1.607223e-02,1.674607e-02,1.679981e-02,1.741557e-02,1.768187e-02,1.807946e-02,1.855332e-02,1.873656e-02,1.938575e-02,1.941154e-02,2.002598e-02,2.025408e-02,2.065629e-02,2.107876e-02,2.127576e-02,2.188358e-02,2.247898e-02,2.266678e-02,2.306131e-02,2.342684e-02,2.362993e-02,2.416241e-02,2.418430e-02,2.472397e-02,2.487238e-02,2.524850e-02,2.555581e-02,2.575755e-02,2.621196e-02,2.625083e-02,2.672811e-02,2.684026e-02,2.718921e-02,2.744030e-02,2.763399e-02,2.801185e-02,2.806239e-02,2.847435e-02,2.855478e-02,2.886990e-02,2.906911e-02,2.924908e-02,2.955500e-02,2.961197e-02,2.995869e-02,3.001267e-02,3.028939e-02,3.044249e-02,3.060426e-02,3.084488e-02,3.090348e-02,3.118731e-02,3.122034e-02,3.145598e-02,3.156946e-02,3.170976e-02,3.189286e-02,3.194895e-02,3.217384e-02,3.219122e-02,3.238475e-02,3.246527e-02,3.258201e-02,3.271577e-02,3.276595e-02,3.293692e-02,3.294349e-02,3.309526e-02,3.314925e-02,3.324135e-02,3.333387e-02,3.337553e-02,3.349817e-02,3.364301e-02,3.376921e-02,3.387761e-02,3.396904e-02,3.404433e-02,3.410429e-02,3.414970e-02,3.418135e-02,3.420000e-02,3.420640e-02,3.420126e-02,3.418529e-02,3.415917e-02,3.412355e-02,3.407907e-02,3.402633e-02,3.396593e-02,3.389843e-02,3.382436e-02,3.374425e-02,3.365859e-02,3.356785e-02,3.347247e-02,3.337290e-02
0.000000e+00,1.189863e-09,2.719041e-09,9.285360e-09,2.095766e-08,3.043025e-08,6.812585e-08,7.013603e-08,1.335986e-07,1.563281e-07,2.260095e-07,2.975906e-07,3.527771e-07,5.045263e-07,5.194547e-07,7.309762e-07,7.887817e-07,9.899614e-07,1.155408e-06,1.295107e-06,1.597984e-06,1.641524e-06,2.022819e-06,2.102708e-06,2.432844e-06,2.655623e-06,2.866314e-06,3.245237e-06,3.318727e-06,3.786108e-06,3.862031e-06,4.264795e-06,4.497553e-06,4.751304e-06,5.143880e-06,5.242273e-06,5.734449e-06,5.793442e-06,6.224715e-06,6.439059e-06,6.710116e-06,7.074065e-06,7.187900e-06,7.655564e-06,7.692472e-06,8.110885e-06,8.289112e-06,8.551917e-06,8.859677e-06,8.977017e-06,9.384853e-06,9.400792e-06,9.774391e-06,9.909991e-06,1.014487e-05,1.038566e-05,1.049582e-05,1.082697e-05,1.113829e-05,1.123375e-05,1.142994e-05,1.160641e-05,1.170223e-05,1.194581e-05,1.195559e-05,1.219059e-05,1.225318e-05,1.240784e-05,1.252997e-05,1.260806e-05,1.277784e-05,1.279197e-05,1.296032e-05,1.299850e-05,1.311393e-05,1.319381e-05,1.325361e-05,1.336563e-05,1.338014e-05,1.349429e-05,1.351569e-05,1.359679e-05,1.364573e-05,1.368838e-05,1.375740e-05,1.376976e-05,1.384157e-05,1.385222e-05,1.390446e-05,1.393166e-05,1.395903e-05,1.399707e-05,1.400583e-05,1.404541e-05,1.404969e-05,1.407825e-05,1.409069e-05,1.410482e-05,1.412110e-05,1.412557e-05,1.414090e-05,1.414190e-05,1.415119e-05,1.415398e-05,1.415680e-05,1.415812e-05,1.415806e-05,1.415527e-05,1.415508e-05,1.414873e-05,1.414550e-05,1.413869e-05,1.413000e-05,1.412542e-05,1.410913e-05,1.409004e-05,1.408338e-05,1.406836e-05,1.405320e-05,1.404426e-05,1.401902e-05,1.401792e-05,1.398951e-05,1.398120e-05,1.395916e-05,1.394009e-05,1.392703e-05,1.389600e-05,1.389324e-05,1.385791e-05,1.384921e-05,1.382115e-05,1.379998e-05,1.378308e-05,1.374856e-05,1.374378e-05,1.370336e-05,1.369515e-05,1.366190e-05,1.363996e-05,1.361949e-05,1.358317e-05,1.357618e-05,1.353207e-05,1.352494e-05,1.348722e-05,1.346544e-05,1.344168e-05,1.340480e-05,1.339552e-05,1.334880e-05,1.334315e-05,1.330155e-05,1.328062e-05,1.325385e-05,1.321731e-05,1.320572e-05,1.315722e-05,1.315333e-05,1.310839e-05,1.308877e-05,1.305926e-05,1.302372e-05,1.300987e-05,1.296026e-05,1.295827e-05,1.291046e-05,1.289248e-05,1.286049e-05,1.282644e-05,1.281039e-05,1.276019e-05,1.269381e-05,1.262734e-05,1.256084e-05,1.249436e-05,1.242794e-05,1.236162e-05,1.229544e-05,1.222943e-05,1.216364e-05,1.209808e-05,1.203279e-05,1.196779e-05,1.190311e-05,1.183878e-05,1.177480e-05,1.171120e-05,1.164799e-05,1.158520e-05,1.152284e-05,1.146091e-05,1.139944e-05,1.133844e-05,1.127791e-05,1.121786e-05
0.000000e+00,1.767031e-09,4.665582e-09,1.858714e-08,4.516496e-08,6.745135e-08,1.588944e-07,1.638458e-07,3.221375e-07,3.794262e-07,5.560188e-07,7.381850e-07,8.787977e-07,1.265093e-06,1.303025e-06,1.838537e-06,1.984213e-06,2.489286e-06,2.903204e-06,3.252477e-06,4.011786e-06,4.121379e-06,5.088184e-06,5.292598e-06,6.144967e-06,6.727370e-06,7.283596e-06,8.297033e-06,8.495488e-06,9.771490e-06,9.980958e-06,1.110190e-05,1.175686e-05,1.247660e-05,1.360130e-05,1.388525e-05,1.531747e-05,1.549044e-05,1.676312e-05,1.740092e-05,1.821242e-05,1.931065e-05,1.965617e-05,2.108588e-05,2.119941e-05,2.249384e-05,2.304937e-05,2.387320e-05,2.484525e-05,2.521801e-05,2.652320e-05,2.657452e-05,2.778457e-05,2.822727e-05,2.899877e-05,2.979610e-05,3.016316e-05,3.127587e-05,3.233561e-05,3.266341e-05,3.334168e-05,3.395729e-05,3.429389e-05,3.515752e-05,3.519243e-05,3.603791e-05,3.626524e-05,3.683118e-05,3.728256e-05,3.757340e-05,3.821228e-05,3.826588e-05,3.891012e-05,3.905774e-05,3.950773e-05,3.982265e-05,4.006040e-05,4.051097e-05,4.056989e-05,4.103798e-05,4.112680e-05,4.146650e-05,4.167428e-05,4.185723e-05,4.215756e-05,4.221198e-05,4.253249e-05,4.258071e-05,4.282051e-05,4.294771e-05,4.307771e-05,4.326239e-05,4.330573e-05,4.350616e-05,4.352843e-05,4.368052e-05,4.374937e-05,4.383030e-05,4.392856e-05,4.395690e-05,4.406169e-05,4.406917e-05,4.414596e-05,4.417421e-05,4.421096e-05,4.424649e-05,4.425787e-05,4.428783e-05,4.428869e-05,4.430191e-05,4.430329e-05,4.430114e-05,4.429263e-05,4.428649e-05,4.425888e-05,4.421920e-05,4.420409e-05,4.416827e-05,4.413015e-05,4.410689e-05,4.403883e-05,4.403581e-05,4.395572e-05,4.393178e-05,4.386731e-05,4.381053e-05,4.377121e-05,4.367651e-05,4.366800e-05,4.355827e-05,4.353102e-05,4.344253e-05,4.337529e-05,4.332131e-05,4.321046e-05,4.319507e-05,4.306425e-05,4.303758e-05,4.292930e-05,4.285761e-05,4.279059e-05,4.267145e-05,4.264851e-05,4.250341e-05,4.247993e-05,4.235562e-05,4.228381e-05,4.220545e-05,4.208380e-05,4.205320e-05,4.189914e-05,4.188054e-05,4.174353e-05,4.167464e-05,4.158662e-05,4.146663e-05,4.142862e-05,4.126976e-05,4.125702e-05,4.111023e-05,4.104627e-05,4.095022e-05,4.083481e-05,4.078990e-05,4.062944e-05,4.062302e-05,4.046899e-05,4.041125e-05,4.030868e-05,4.019983e-05,4.014866e-05,3.998905e-05,3.977918e-05,3.957045e-05,3.936309e-05,3.915730e-05,3.895324e-05,3.875108e-05,3.855097e-05,3.835302e-05,3.815735e-05,3.796405e-05,3.777322e-05,3.758493e-05,3.739924e-05,3.721621e-05,3.703588e-05,3.685829e-05,3.668347e-05,3.651145e-05,3.634224e-05,3.617585e-05,3.601229e-05,3.585156e-05,3.569366e-05,3.553857e-05
0.000000e+00,2.186746e-13,1.400106e-12,2.140309e-11,1.264071e-10,2.819527e-10,1.547308e-09,1.643836e-09,6.163961e-09,8.455787e-09,1.756734e-08,3.001337e-08,4.160785e-08,8.178825e-08,8.636483e-08,1.624599e-07,1.867932e-07,2.829518e-07,3.752504e-07,4.624479e-07,6.805978e-07,7.152190e-07,1.052832e-06,1.131241e-06,1.482228e-06,1.742495e-06,2.004887e-06,2.513400e-06,2.617084e-06,3.310905e-06,3.428799e-06,4.075567e-06,4.464165e-06,4.898697e-06,5.590618e-06,5.767382e-06,6.668920e-06,6.778732e-06,7.591305e-06,8.000876e-06,8.523502e-06,9.232376e-06,9.455570e-06,1.037869e-05,1.045192e-05,1.128516e-05,1.164157e-05,1.216835e-05,1.278663e-05,1.302263e-05,1.384335e-05,1.387542e-05,1.462677e-05,1.489909e-05,1.537000e-05,1.585135e-05,1.607096e-05,1.672826e-05,1.734121e-05,1.752794e-05,1.790966e-05,1.825027e-05,1.843399e-05,1.889661e-05,1.891503e-05,1.935395e-05,1.946949e-05,1.975221e-05,1.997235e-05,2.011152e-05,2.040927e-05,2.043372e-05,2.072081e-05,2.078471e-05,2.097482e-05,2.110338e-05,2.119781e-05,2.137003e-05,2.139186e-05,2.155898e-05,2.158935e-05,2.170116e-05,2.176587e-05,2.182029e-05,2.190389e-05,2.191819e-05,2.199658e-05,2.200743e-05,2.205709e-05,2.208022e-05,2.210122e-05,2.212571e-05,2.213042e-05,2.214599e-05,2.214700e-05,2.214917e-05,2.214693e-05,2.214108e-05,2.212805e-05,2.212277e-05,2.209521e-05,2.209263e-05,2.205927e-05,2.204274e-05,2.201577e-05,2.198018e-05,2.196544e-05,2.190897e-05,2.190660e-05,2.184698e-05,2.182342e-05,2.178003e-05,2.173193e-05,2.170864e-05,2.163328e-05,2.155440e-05,2.152847e-05,2.147237e-05,2.141840e-05,2.138758e-05,2.130387e-05,2.130033e-05,2.121094e-05,2.118557e-05,2.111969e-05,2.106414e-05,2.102681e-05,2.094013e-05,2.093254e-05,2.083710e-05,2.081403e-05,2.074066e-05,2.068630e-05,2.064342e-05,2.055731e-05,2.054553e-05,2.044714e-05,2.042741e-05,2.034837e-05,2.029691e-05,2.024937e-05,2.016610e-05,2.015023e-05,2.005107e-05,2.003521e-05,1.995197e-05,1.990446e-05,1.985303e-05,1.977404e-05,1.975432e-05,1.965593e-05,1.964414e-05,1.955790e-05,1.951491e-05,1.946031e-05,1.938647e-05,1.936322e-05,1.926666e-05,1.925896e-05,1.917069e-05,1.913247e-05,1.907535e-05,1.900711e-05,1.898067e-05,1.888670e-05,1.888296e-05,1.879346e-05,1.876008e-05,1.870099e-05,1.863855e-05,1.860930e-05,1.851842e-05,1.839973e-05,1.828254e-05,1.816687e-05,1.805276e-05,1.794022e-05,1.782929e-05,1.771996e-05,1.761227e-05,1.750621e-05,1.740180e-05,1.729903e-05,1.719790e-05,1.709842e-05,1.700057e-05,1.690436e-05,1.680977e-05,1.671679e-05,1.662542e-05,1.653564e-05,1.644744e-05,1.636080e-05,1.627570e-05,1.619214e-05,1.611010e-05
0.000000e+00,3.996559e-09,9.964265e-09,3.743109e-08,8.860848e-08,1.311041e-07,3.041157e-07,3.134521e-07,6.112802e-07,7.189108e-07,1.050544e-06,1.392666e-06,1.656861e-06,2.383448e-06,2.454869e-06,3.464740e-06,3.739987e-06,4.695950e-06,5.481017e-06,6.144348e-06,7.588254e-06,7.796801e-06,9.637400e-06,1.002668e-05,1.165009e-05,1.275938e-05,1.381880e-05,1.574898e-05,1.612695e-05,1.855716e-05,1.895612e-05,2.109128e-05,2.233905e-05,2.371050e-05,2.585436e-05,2.639578e-05,2.912814e-05,2.945830e-05,3.188908e-05,3.310834e-05,3.466088e-05,3.676445e-05,3.742694e-05,4.017192e-05,4.039019e-05,4.288199e-05,4.395343e-05,4.554483e-05,4.742675e-05,4.814971e-05,5.068746e-05,5.078746e-05,5.315040e-05,5.401750e-05,5.553229e-05,5.710311e-05,5.782820e-05,6.003440e-05,6.214826e-05,6.280489e-05,6.416808e-05,6.541101e-05,6.609304e-05,6.785163e-05,6.792301e-05,6.965850e-05,7.012764e-05,7.130057e-05,7.224155e-05,7.285066e-05,7.419711e-05,7.431064e-05,7.568261e-05,7.599905e-05,7.696895e-05,7.765282e-05,7.817217e-05,7.916437e-05,7.929495e-05,8.034004e-05,8.053998e-05,8.131026e-05,8.178613e-05,8.220846e-05,8.290937e-05,8.303749e-05,8.380019e-05,8.391626e-05,8.449939e-05,8.481326e-05,8.513786e-05,8.560674e-05,8.571832e-05,8.624345e-05,8.630287e-05,8.671585e-05,8.690765e-05,8.713804e-05,8.742684e-05,8.751248e-05,8.784157e-05,8.786600e-05,8.812759e-05,8.823044e-05,8.837277e-05,8.852522e-05,8.857925e-05,8.874911e-05,8.875517e-05,8.888433e-05,8.892490e-05,8.898682e-05,8.903875e-05,8.905840e-05,8.910085e-05,8.911585e-05,8.911512e-05,8.910501e-05,8.908523e-05,8.906988e-05,8.901467e-05,8.901193e-05,8.893259e-05,8.890673e-05,8.883321e-05,8.876449e-05,8.871506e-05,8.859086e-05,8.857939e-05,8.842737e-05,8.838858e-05,8.826012e-05,8.816020e-05,8.807870e-05,8.790815e-05,8.788414e-05,8.767739e-05,8.763466e-05,8.745938e-05,8.734185e-05,8.723098e-05,8.703170e-05,8.699302e-05,8.674630e-05,8.670606e-05,8.649156e-05,8.636665e-05,8.622951e-05,8.601507e-05,8.596084e-05,8.568617e-05,8.565284e-05,8.540612e-05,8.528134e-05,8.512125e-05,8.490187e-05,8.483212e-05,8.453923e-05,8.451566e-05,8.424308e-05,8.412380e-05,8.394411e-05,8.372735e-05,8.364276e-05,8.333945e-05,8.332728e-05,8.303455e-05,8.292446e-05,8.272842e-05,8.251974e-05,8.242142e-05,8.211386e-05,8.170752e-05,8.130138e-05,8.089602e-05,8.049199e-05,8.008978e-05,7.968985e-05,7.929260e-05,7.889842e-05,7.850765e-05,7.812058e-05,7.773750e-05,7.735865e-05,7.698425e-05,7.661450e-05,7.624958e-05,7.588963e-05,7.553477e-05,7.518514e-05,7.484081e-05,7.450187e-05,7.416838e-05,7.384040e-05,7.351795e-05,7.320107e-05
0.000000e+00,8.696749e-11,3.362889e-10,2.111553e-09,6.435241e-09,1.047422e-08,2.878715e-08,2.982866e-08,6.463259e-08,7.774624e-08,1.193078e-07,1.635401e-07,1.984170e-07,2.968566e-07,3.067046e-07,4.487063e-07,4.882126e-07,6.277112e-07,7.445978e-07,8.447491e-07,1.066400e-06,1.098772e-06,1.387751e-06,1.449549e-06,1.709517e-06,1.889105e-06,2.062008e-06,2.380380e-06,2.443221e-06,2.851102e-06,2.918694e-06,3.283469e-06,3.499018e-06,3.737972e-06,4.115828e-06,4.212097e-06,4.703188e-06,4.763129e-06,5.208485e-06,5.434592e-06,5.725173e-06,6.123740e-06,6.250435e-06,6.781499e-06,6.824154e-06,7.315682e-06,7.529649e-06,7.850422e-06,8.234429e-06,8.383327e-06,8.912203e-06,8.933245e-06,9.435048e-06,9.621444e-06,9.950072e-06,1.029501e-05,1.045571e-05,1.095061e-05,1.143362e-05,1.158551e-05,1.190380e-05,1.219762e-05,1.236038e-05,1.278536e-05,1.280278e-05,1.323056e-05,1.334768e-05,1.364343e-05,1.388392e-05,1.404121e-05,1.439381e-05,1.442386e-05,1.479140e-05,1.487737e-05,1.514395e-05,1.533490e-05,1.548171e-05,1.576688e-05,1.580490e-05,1.611383e-05,1.617393e-05,1.640882e-05,1.655683e-05,1.669024e-05,1.691641e-05,1.695845e-05,1.721387e-05,1.725358e-05,1.745691e-05,1.756928e-05,1.768797e-05,1.786448e-05,1.790747e-05,1.811585e-05,1.814012e-05,1.831350e-05,1.839718e-05,1.850084e-05,1.863658e-05,1.867828e-05,1.884621e-05,1.885924e-05,1.900501e-05,1.906606e-05,1.915506e-05,1.925788e-05,1.929672e-05,1.943035e-05,1.943553e-05,1.955628e-05,1.959979e-05,1.967484e-05,1.975142e-05,1.978635e-05,1.989111e-05,1.998942e-05,2.001956e-05,2.008156e-05,2.013741e-05,2.016779e-05,2.024526e-05,2.024838e-05,2.032357e-05,2.034369e-05,2.039360e-05,2.043324e-05,2.045870e-05,2.051443e-05,2.051909e-05,2.057498e-05,2.058775e-05,2.062656e-05,2.065364e-05,2.067403e-05,2.071255e-05,2.071758e-05,2.075736e-05,2.076488e-05,2.079356e-05,2.081102e-05,2.082633e-05,2.085133e-05,2.085583e-05,2.088220e-05,2.088614e-05,2.090558e-05,2.091579e-05,2.092611e-05,2.094057e-05,2.094392e-05,2.095912e-05,2.096077e-05,2.097183e-05,2.097666e-05,2.098217e-05,2.098850e-05,2.099024e-05,2.099614e-05,2.099653e-05,2.099998e-05,2.100096e-05,2.100185e-05,2.100202e-05,2.100183e-05,2.100002e-05,2.099991e-05,2.099649e-05,2.099482e-05,2.099132e-05,2.098692e-05,2.098460e-05,2.097638e-05,2.096338e-05,2.094805e-05,2.093054e-05,2.091099e-05,2.088952e-05,2.086625e-05,2.084130e-05,2.081478e-05,2.078679e-05,2.075742e-05,2.072676e-05,2.069491e-05,2.066195e-05,2.062795e-05,2.059299e-05,2.055713e-05,2.052045e-05,2.048300e-05,2.044484e-05,2.040604e-05,2.036664e-05,2.032670e-05,2.028626e-05,2.024537e-05
0.000000e+00,1.928803e-09,4.421139e-09,1.519912e-08,3.451026e-08,5.026355e-08,1.133215e-07,1.166943e-07,2.233780e-07,2.616123e-07,3.786702e-07,4.984754e-07,5.904444e-07,8.414127e-07,8.659543e-07,1.211400e-06,1.305247e-06,1.631075e-06,1.899103e-06,2.126102e-06,2.621620e-06,2.693273e-06,3.324975e-06,3.458160e-06,4.010689e-06,4.384830e-06,4.739090e-06,5.376106e-06,5.499525e-06,6.282566e-06,6.409387e-06,7.080004e-06,7.465755e-06,7.884701e-06,8.529484e-06,8.690447e-06,9.491859e-06,9.587510e-06,1.028431e-05,1.062912e-05,1.106389e-05,1.164574e-05,1.182735e-05,1.257202e-05,1.263072e-05,1.329582e-05,1.357913e-05,1.399716e-05,1.448755e-05,1.467487e-05,1.532817e-05,1.535378e-05,1.595657e-05,1.617665e-05,1.655987e-05,1.695579e-05,1.713810e-05,1.769145e-05,1.822026e-05,1.838437e-05,1.872499e-05,1.903563e-05,1.920618e-05,1.964654e-05,1.966444e-05,2.010042e-05,2.021860e-05,2.051482e-05,2.075339e-05,2.090834e-05,2.125256e-05,2.128171e-05,2.163564e-05,2.171777e-05,2.197086e-05,2.215068e-05,2.228808e-05,2.255290e-05,2.258799e-05,2.287129e-05,2.292601e-05,2.313864e-05,2.327157e-05,2.339069e-05,2.359105e-05,2.362807e-05,2.385140e-05,2.388587e-05,2.406127e-05,2.415739e-05,2.425825e-05,2.440692e-05,2.444288e-05,2.461570e-05,2.463567e-05,2.477723e-05,2.484484e-05,2.492794e-05,2.503555e-05,2.506832e-05,2.519881e-05,2.520884e-05,2.531985e-05,2.536572e-05,2.543186e-05,2.550714e-05,2.553524e-05,2.563037e-05,2.563401e-05,2.571762e-05,2.574717e-05,2.579735e-05,2.584744e-05,2.586988e-05,2.593555e-05,2.599467e-05,2.601225e-05,2.604752e-05,2.607820e-05,2.609441e-05,2.613404e-05,2.613558e-05,2.617132e-05,2.618038e-05,2.620186e-05,2.621779e-05,2.622745e-05,2.624681e-05,2.624831e-05,2.626467e-05,2.626794e-05,2.627672e-05,2.628167e-05,2.628468e-05,2.628845e-05,2.628873e-05,2.628906e-05,2.628869e-05,2.628584e-05,2.628282e-05,2.627924e-05,2.627120e-05,2.626942e-05,2.625653e-05,2.625420e-05,2.624073e-05,2.623215e-05,2.622215e-05,2.620538e-05,2.620093e-05,2.617719e-05,2.617418e-05,2.615106e-05,2.613884e-05,2.612267e-05,2.609963e-05,2.609211e-05,2.605950e-05,2.605681e-05,2.602495e-05,2.601061e-05,2.598856e-05,2.596126e-05,2.595041e-05,2.591060e-05,2.590897e-05,2.586922e-05,2.585395e-05,2.582635e-05,2.579639e-05,2.578207e-05,2.573646e-05,2.567434e-05,2.561019e-05,2.554415e-05,2.547639e-05,2.540702e-05,2.533618e-05,2.526399e-05,2.519057e-05,2.511602e-05,2.504044e-05,2.496394e-05,2.488660e-05,2.480852e-05,2.472977e-05,2.465043e-05,2.457057e-05,2.449027e-05,2.440959e-05,2.432858e-05,2.424732e-05,2.416585e-05,2.408423e-05,2.400251e-05,2.392073e-05
0.000000e+00,1.692876e-11,9.496169e-11,1.113893e-09,5.228237e-09,1.033005e-08,4.213370e-08,4.424771e-08,1.267165e-07,1.622272e-07,2.855368e-07,4.300586e-07,5.512369e-07,9.186909e-07,9.571424e-07,1.537481e-06,1.706097e-06,2.320140e-06,2.851958e-06,3.316630e-06,4.363692e-06,4.517955e-06,5.899843e-06,6.195221e-06,7.431740e-06,8.277481e-06,9.083485e-06,1.054375e-05,1.082812e-05,1.264212e-05,1.293736e-05,1.450447e-05,1.540990e-05,1.639599e-05,1.791810e-05,1.829871e-05,2.019571e-05,2.042221e-05,2.207118e-05,2.288577e-05,2.391058e-05,2.527627e-05,2.570080e-05,2.743038e-05,2.756583e-05,2.908961e-05,2.973176e-05,3.067055e-05,3.175686e-05,3.216711e-05,3.357489e-05,3.362931e-05,3.489111e-05,3.534222e-05,3.611440e-05,3.689308e-05,3.724470e-05,3.828307e-05,3.923141e-05,3.951627e-05,4.009234e-05,4.059893e-05,4.086908e-05,4.153890e-05,4.156525e-05,4.218481e-05,4.234512e-05,4.273190e-05,4.302715e-05,4.321079e-05,4.359480e-05,4.362574e-05,4.398100e-05,4.405784e-05,4.428070e-05,4.442577e-05,4.452887e-05,4.470769e-05,4.472936e-05,4.488587e-05,4.491221e-05,4.500191e-05,4.504736e-05,4.508078e-05,4.512061e-05,4.512561e-05,4.513932e-05,4.513881e-05,4.512463e-05,4.510824e-05,4.508407e-05,4.503461e-05,4.502002e-05,4.493467e-05,4.492310e-05,4.483006e-05,4.477841e-05,4.470806e-05,4.460478e-05,4.457041e-05,4.441872e-05,4.440602e-05,4.425445e-05,4.418553e-05,4.407897e-05,4.394638e-05,4.389351e-05,4.369924e-05,4.369130e-05,4.349719e-05,4.342275e-05,4.328835e-05,4.314291e-05,4.307360e-05,4.285374e-05,4.262953e-05,4.255697e-05,4.240164e-05,4.225415e-05,4.217070e-05,4.194666e-05,4.193729e-05,4.170191e-05,4.163572e-05,4.146506e-05,4.132241e-05,4.122715e-05,4.100770e-05,4.098860e-05,4.074976e-05,4.069243e-05,4.051095e-05,4.037735e-05,4.027249e-05,4.006314e-05,4.003463e-05,3.979764e-05,3.975036e-05,3.956172e-05,3.943953e-05,3.932708e-05,3.913111e-05,3.909390e-05,3.886236e-05,3.882547e-05,3.863258e-05,3.852296e-05,3.840472e-05,3.822387e-05,3.817887e-05,3.795516e-05,3.792846e-05,3.773367e-05,3.763694e-05,3.751448e-05,3.734949e-05,3.729768e-05,3.708331e-05,3.706627e-05,3.687144e-05,3.678740e-05,3.666211e-05,3.651299e-05,3.645536e-05,3.625123e-05,3.624312e-05,3.604974e-05,3.597785e-05,3.585091e-05,3.571723e-05,3.565476e-05,3.546130e-05,3.521006e-05,3.496353e-05,3.472170e-05,3.448456e-05,3.425209e-05,3.402425e-05,3.380102e-05,3.358234e-05,3.336818e-05,3.315848e-05,3.295319e-05,3.275225e-05,3.255559e-05,3.236317e-05,3.217490e-05,3.199073e-05,3.181059e-05,3.163441e-05,3.146211e-05,3.129363e-05,3.112890e-05,3.096785e-05,3.081040e-05,3.065648e-05
0.000000e+00,7.657255e-13,4.903605e-12,7.501864e-11,4.436467e-10,9.905930e-10,5.458269e-09,5.800022e-09,2.189482e-08,3.010723e-08,6.300397e-08,1.084273e-07,1.511353e-07,3.012518e-07,3.185126e-07,6.086335e-07,7.022682e-07,1.074312e-06,1.432729e-06,1.771423e-06,2.616542e-06,2.750259e-06,4.048097e-06,4.348050e-06,5.685336e-06,6.672569e-06,7.665335e-06,9.585508e-06,9.976801e-06,1.259733e-05,1.304337e-05,1.549696e-05,1.697791e-05,1.864125e-05,2.130825e-05,2.199357e-05,2.551674e-05,2.594926e-05,2.917414e-05,3.081675e-05,3.293039e-05,3.583047e-05,3.675184e-05,4.060689e-05,4.091585e-05,4.446622e-05,4.600505e-05,4.830298e-05,5.103776e-05,5.209293e-05,5.581452e-05,5.596168e-05,5.944893e-05,6.073280e-05,6.298007e-05,6.531529e-05,6.639448e-05,6.968123e-05,7.283176e-05,7.381006e-05,7.583969e-05,7.768784e-05,7.870066e-05,8.130647e-05,8.141204e-05,8.397278e-05,8.466280e-05,8.638316e-05,8.775777e-05,8.864461e-05,9.059562e-05,9.075949e-05,9.273094e-05,9.318315e-05,9.456271e-05,9.552906e-05,9.625906e-05,9.764348e-05,9.782460e-05,9.926420e-05,9.953745e-05,1.005829e-04,1.012225e-04,1.017858e-04,1.027106e-04,1.028782e-04,1.038652e-04,1.040136e-04,1.047518e-04,1.051433e-04,1.055433e-04,1.061111e-04,1.062444e-04,1.068599e-04,1.069283e-04,1.073946e-04,1.076054e-04,1.078529e-04,1.081527e-04,1.082391e-04,1.085574e-04,1.085800e-04,1.088118e-04,1.088965e-04,1.090061e-04,1.091109e-04,1.091441e-04,1.092291e-04,1.092314e-04,1.092645e-04,1.092658e-04,1.092536e-04,1.092212e-04,1.091993e-04,1.091045e-04,1.089720e-04,1.089220e-04,1.088043e-04,1.086797e-04,1.086040e-04,1.083830e-04,1.083732e-04,1.081144e-04,1.080372e-04,1.078295e-04,1.076470e-04,1.075206e-04,1.072168e-04,1.071895e-04,1.068381e-04,1.067509e-04,1.064679e-04,1.062530e-04,1.060806e-04,1.057268e-04,1.056777e-04,1.052605e-04,1.051755e-04,1.048305e-04,1.046022e-04,1.043888e-04,1.040097e-04,1.039367e-04,1.034752e-04,1.034006e-04,1.030055e-04,1.027774e-04,1.025284e-04,1.021422e-04,1.020450e-04,1.015561e-04,1.014971e-04,1.010625e-04,1.008440e-04,1.005649e-04,1.001846e-04,1.000641e-04,9.956082e-05,9.952046e-05,9.905559e-05,9.885310e-05,9.854904e-05,9.818381e-05,9.804171e-05,9.753411e-05,9.751381e-05,9.702672e-05,9.684420e-05,9.652000e-05,9.617601e-05,9.601434e-05,9.551014e-05,9.484743e-05,9.418864e-05,9.353443e-05,9.288543e-05,9.224218e-05,9.160517e-05,9.097484e-05,9.035157e-05,8.973571e-05,8.912755e-05,8.852736e-05,8.793536e-05,8.735173e-05,8.677664e-05,8.621021e-05,8.565256e-05,8.510376e-05,8.456387e-05,8.403294e-05,8.351099e-05,8.299801e-05,8.249401e-05,8.199896e-05,8.151282e-05
0.000000e+00,2.034438e-13,1.317644e-12,2.062706e-11,1.244461e-10,2.807741e-10,1.585133e-09,1.685884e-09,6.484528e-09,8.951941e-09,1.887005e-08,3.256687e-08,4.540728e-08,9.017094e-08,9.528325e-08,1.804309e-07,2.076900e-07,3.155365e-07,4.193451e-07,5.178105e-07,7.664567e-07,8.062720e-07,1.200384e-06,1.293521e-06,1.718221e-06,2.041502e-06,2.374665e-06,3.040927e-06,3.180084e-06,4.139720e-06,4.307652e-06,5.253739e-06,5.842174e-06,6.517763e-06,7.631612e-06,7.923640e-06,9.460312e-06,9.652894e-06,1.111461e-05,1.187606e-05,1.287199e-05,1.426709e-05,1.471707e-05,1.663415e-05,1.679016e-05,1.860753e-05,1.940919e-05,2.062184e-05,2.208912e-05,2.266222e-05,2.471458e-05,2.479673e-05,2.676565e-05,2.750133e-05,2.880318e-05,3.017522e-05,3.081599e-05,3.279400e-05,3.472833e-05,3.533679e-05,3.661122e-05,3.778620e-05,3.843610e-05,4.012833e-05,4.019751e-05,4.189103e-05,4.235257e-05,4.351328e-05,4.445136e-05,4.506180e-05,4.641989e-05,4.653494e-05,4.793186e-05,4.825575e-05,4.925237e-05,4.995860e-05,5.049686e-05,5.152984e-05,5.166624e-05,5.276183e-05,5.297224e-05,5.378532e-05,5.428969e-05,5.473868e-05,5.548690e-05,5.562409e-05,5.644393e-05,5.656918e-05,5.720067e-05,5.754224e-05,5.789687e-05,5.841201e-05,5.853516e-05,5.911813e-05,5.918450e-05,5.964842e-05,5.986572e-05,6.012860e-05,6.046158e-05,6.056120e-05,6.094869e-05,6.097781e-05,6.129347e-05,6.141995e-05,6.159787e-05,6.179329e-05,6.186412e-05,6.209437e-05,6.210286e-05,6.229069e-05,6.235344e-05,6.245505e-05,6.254951e-05,6.258932e-05,6.269530e-05,6.277469e-05,6.279474e-05,6.282911e-05,6.285156e-05,6.286011e-05,6.286918e-05,6.286914e-05,6.285758e-05,6.285084e-05,6.282675e-05,6.279951e-05,6.277787e-05,6.271798e-05,6.271212e-05,6.263061e-05,6.260882e-05,6.253438e-05,6.247443e-05,6.242441e-05,6.231702e-05,6.230164e-05,6.216696e-05,6.213866e-05,6.202118e-05,6.194125e-05,6.186509e-05,6.172656e-05,6.169944e-05,6.152491e-05,6.149621e-05,6.134217e-05,6.125172e-05,6.115183e-05,6.099448e-05,6.095448e-05,6.075067e-05,6.072580e-05,6.054092e-05,6.044687e-05,6.032571e-05,6.015880e-05,6.010552e-05,5.988077e-05,5.986260e-05,5.965187e-05,5.955923e-05,5.941921e-05,5.924956e-05,5.918314e-05,5.894403e-05,5.893440e-05,5.870217e-05,5.861449e-05,5.845788e-05,5.829052e-05,5.821145e-05,5.796313e-05,5.763291e-05,5.730039e-05,5.696609e-05,5.663045e-05,5.629390e-05,5.595684e-05,5.561962e-05,5.528258e-05,5.494602e-05,5.461022e-05,5.427544e-05,5.394191e-05,5.360985e-05,5.327945e-05,5.295090e-05,5.262436e-05,5.229998e-05,5.197789e-05,5.165821e-05,5.134107e-05,5.102655e-05,5.071476e-05,5.040576e-05,5.009962e-05
0.000000e+00,1.039166e-13,6.774004e-13,1.074543e-11,6.560383e-11,1.489736e-10,8.549760e-10,9.099184e-10,3.555833e-09,4.929618e-09,1.049999e-08,1.827013e-08,2.560622e-08,5.141868e-08,5.438357e-08,1.040877e-07,1.200960e-07,1.837358e-07,2.453359e-07,3.040010e-07,4.529479e-07,4.768917e-07,7.150891e-07,7.716692e-07,1.030900e-06,1.229431e-06,1.434969e-06,1.848361e-06,1.935035e-06,2.535037e-06,2.640354e-06,3.234727e-06,3.604861e-06,4.029779e-06,4.729278e-06,4.912299e-06,5.871573e-06,5.991256e-06,6.894906e-06,7.361920e-06,7.968448e-06,8.809139e-06,9.077932e-06,1.020927e-05,1.030032e-05,1.134904e-05,1.180449e-05,1.248481e-05,1.329375e-05,1.360538e-05,1.470089e-05,1.474406e-05,1.576290e-05,1.613562e-05,1.678437e-05,1.745286e-05,1.775961e-05,1.868423e-05,1.955500e-05,1.982189e-05,2.036974e-05,2.086118e-05,2.112724e-05,2.180022e-05,2.182711e-05,2.246966e-05,2.263942e-05,2.305581e-05,2.338099e-05,2.358695e-05,2.402856e-05,2.406488e-05,2.449172e-05,2.458681e-05,2.486978e-05,2.506111e-05,2.520156e-05,2.545730e-05,2.548965e-05,2.573670e-05,2.578142e-05,2.594536e-05,2.603956e-05,2.611824e-05,2.623771e-05,2.625793e-05,2.636691e-05,2.638165e-05,2.644757e-05,2.647691e-05,2.650222e-05,2.652868e-05,2.653304e-05,2.654208e-05,2.654179e-05,2.653128e-05,2.652072e-05,2.650247e-05,2.646958e-05,2.645734e-05,2.639749e-05,2.639211e-05,2.632437e-05,2.629171e-05,2.623935e-05,2.617148e-05,2.614369e-05,2.603855e-05,2.603416e-05,2.592501e-05,2.588227e-05,2.580405e-05,2.571802e-05,2.567657e-05,2.554341e-05,2.540531e-05,2.536019e-05,2.526298e-05,2.516996e-05,2.511704e-05,2.497410e-05,2.496809e-05,2.481663e-05,2.477384e-05,2.466316e-05,2.457029e-05,2.450810e-05,2.436439e-05,2.435185e-05,2.419478e-05,2.415700e-05,2.403721e-05,2.394886e-05,2.387943e-05,2.374063e-05,2.372171e-05,2.356429e-05,2.353287e-05,2.340739e-05,2.332607e-05,2.325120e-05,2.312068e-05,2.309590e-05,2.294163e-05,2.291705e-05,2.278854e-05,2.271552e-05,2.263676e-05,2.251634e-05,2.248639e-05,2.233753e-05,2.231977e-05,2.219026e-05,2.212599e-05,2.204467e-05,2.193518e-05,2.190081e-05,2.175875e-05,2.174746e-05,2.161852e-05,2.156295e-05,2.148017e-05,2.138174e-05,2.134374e-05,2.120925e-05,2.120391e-05,2.107672e-05,2.102949e-05,2.094617e-05,2.085853e-05,2.081761e-05,2.069106e-05,2.052708e-05,2.036659e-05,2.020959e-05,2.005606e-05,1.990597e-05,1.975930e-05,1.961601e-05,1.947606e-05,1.933941e-05,1.920602e-05,1.907582e-05,1.894878e-05,1.882483e-05,1.870393e-05,1.858601e-05,1.847102e-05,1.835889e-05,1.824958e-05,1.814302e-05,1.803915e-05,1.793792e-05,1.783926e-05,1.774311e-05,1.764943e-05
0.000000e+00,1.164118e-12,7.073760e-12,9.716916e-11,5.214953e-10,1.104383e-09,5.310535e-09,5.611881e-09,1.849836e-08,2.450884e-08,4.666710e-08,7.430328e-08,9.837235e-08,1.743812e-07,1.825202e-07,3.081289e-07,3.454276e-07,4.839682e-07,6.074885e-07,7.183073e-07,9.789132e-07,1.018668e-06,1.391475e-06,1.475189e-06,1.841536e-06,2.107039e-06,2.371343e-06,2.877724e-06,2.980370e-06,3.664632e-06,3.780645e-06,4.416741e-06,4.798950e-06,5.226538e-06,5.907919e-06,6.082083e-06,6.970725e-06,7.078989e-06,7.880023e-06,8.283630e-06,8.798387e-06,9.495982e-06,9.715456e-06,1.062224e-05,1.069410e-05,1.151112e-05,1.186020e-05,1.237579e-05,1.298045e-05,1.321113e-05,1.401309e-05,1.404442e-05,1.477855e-05,1.504472e-05,1.550525e-05,1.597646e-05,1.619166e-05,1.683688e-05,1.744056e-05,1.762498e-05,1.800283e-05,1.834118e-05,1.852422e-05,1.898705e-05,1.900555e-05,1.944793e-05,1.956500e-05,1.985269e-05,2.007808e-05,2.022127e-05,2.052977e-05,2.055526e-05,2.085630e-05,2.092384e-05,2.112610e-05,2.126417e-05,2.136635e-05,2.155469e-05,2.157877e-05,2.176502e-05,2.179928e-05,2.192676e-05,2.200170e-05,2.206556e-05,2.216557e-05,2.218298e-05,2.228047e-05,2.229432e-05,2.235946e-05,2.239119e-05,2.242127e-05,2.245921e-05,2.246717e-05,2.249838e-05,2.250119e-05,2.251602e-05,2.251976e-05,2.252116e-05,2.251732e-05,2.251480e-05,2.249788e-05,2.249610e-05,2.247129e-05,2.245813e-05,2.243584e-05,2.240527e-05,2.239231e-05,2.234142e-05,2.233924e-05,2.228383e-05,2.226158e-05,2.222018e-05,2.217372e-05,2.215103e-05,2.207693e-05,2.199839e-05,2.197239e-05,2.191586e-05,2.186116e-05,2.182979e-05,2.174420e-05,2.174058e-05,2.164858e-05,2.162238e-05,2.155416e-05,2.149648e-05,2.145763e-05,2.136722e-05,2.135929e-05,2.125940e-05,2.123523e-05,2.115823e-05,2.110109e-05,2.105599e-05,2.096533e-05,2.095292e-05,2.084920e-05,2.082840e-05,2.074502e-05,2.069072e-05,2.064055e-05,2.055267e-05,2.053593e-05,2.043132e-05,2.041459e-05,2.032683e-05,2.027676e-05,2.022260e-05,2.013947e-05,2.011872e-05,2.001531e-05,2.000293e-05,1.991244e-05,1.986737e-05,1.981020e-05,1.973297e-05,1.970867e-05,1.960791e-05,1.959988e-05,1.950798e-05,1.946826e-05,1.940894e-05,1.933821e-05,1.931084e-05,1.921372e-05,1.920986e-05,1.911762e-05,1.908329e-05,1.902258e-05,1.895857e-05,1.892863e-05,1.883579e-05,1.871498e-05,1.859620e-05,1.847948e-05,1.836484e-05,1.825232e-05,1.814192e-05,1.803365e-05,1.792751e-05,1.782350e-05,1.772162e-05,1.762185e-05,1.752418e-05,1.742859e-05,1.733507e-05,1.724360e-05,1.715414e-05,1.706668e-05,1.698118e-05,1.689763e-05,1.681598e-05,1.673622e-05,1.665831e-05,1.658221e-05,1.650790e-05
0.000000e+00,1.448698e-09,3.670180e-09,1.398157e-08,3.330084e-08,4.942716e-08,1.159849e-07,1.196208e-07,2.380848e-07,2.820745e-07,4.213626e-07,5.704654e-07,6.888411e-07,1.025090e-06,1.058738e-06,1.538353e-06,1.668809e-06,2.115095e-06,2.470350e-06,2.761230e-06,3.364111e-06,3.447833e-06,4.152719e-06,4.294455e-06,4.860698e-06,5.226488e-06,5.561381e-06,6.138789e-06,6.247291e-06,6.912739e-06,7.016998e-06,7.553241e-06,7.850753e-06,8.165265e-06,8.632515e-06,8.746074e-06,9.293682e-06,9.357095e-06,9.806790e-06,1.002143e-05,1.028473e-05,1.062435e-05,1.072739e-05,1.113513e-05,1.116627e-05,1.150874e-05,1.164885e-05,1.184925e-05,1.207465e-05,1.215798e-05,1.243645e-05,1.244699e-05,1.268630e-05,1.276956e-05,1.290921e-05,1.304629e-05,1.310692e-05,1.328112e-05,1.343349e-05,1.347791e-05,1.356566e-05,1.364036e-05,1.367917e-05,1.377197e-05,1.377552e-05,1.385608e-05,1.387599e-05,1.392218e-05,1.395541e-05,1.397503e-05,1.401295e-05,1.401579e-05,1.404551e-05,1.405111e-05,1.406517e-05,1.407213e-05,1.407568e-05,1.407803e-05,1.407789e-05,1.407255e-05,1.407064e-05,1.406039e-05,1.405158e-05,1.404205e-05,1.402231e-05,1.401813e-05,1.398920e-05,1.398413e-05,1.395574e-05,1.393821e-05,1.391823e-05,1.388558e-05,1.387708e-05,1.383269e-05,1.382716e-05,1.378542e-05,1.376378e-05,1.373558e-05,1.369617e-05,1.368348e-05,1.362939e-05,1.362499e-05,1.357356e-05,1.355080e-05,1.351623e-05,1.347413e-05,1.345759e-05,1.339784e-05,1.339543e-05,1.333716e-05,1.331512e-05,1.327571e-05,1.323355e-05,1.321362e-05,1.315105e-05,1.308810e-05,1.306789e-05,1.302489e-05,1.298435e-05,1.296152e-05,1.290062e-05,1.289809e-05,1.283467e-05,1.281693e-05,1.277135e-05,1.273343e-05,1.270819e-05,1.265028e-05,1.264526e-05,1.258261e-05,1.256763e-05,1.252031e-05,1.248558e-05,1.245839e-05,1.240425e-05,1.239689e-05,1.233587e-05,1.232372e-05,1.227534e-05,1.224408e-05,1.221535e-05,1.216538e-05,1.215591e-05,1.209706e-05,1.208770e-05,1.203882e-05,1.201108e-05,1.198120e-05,1.193557e-05,1.192423e-05,1.186791e-05,1.186120e-05,1.181227e-05,1.178800e-05,1.175730e-05,1.171599e-05,1.170303e-05,1.164946e-05,1.164520e-05,1.159659e-05,1.157564e-05,1.154443e-05,1.150732e-05,1.149299e-05,1.144226e-05,1.144025e-05,1.139226e-05,1.137443e-05,1.134297e-05,1.130986e-05,1.129440e-05,1.124655e-05,1.118449e-05,1.112367e-05,1.106408e-05,1.100573e-05,1.094859e-05,1.089266e-05,1.083791e-05,1.078435e-05,1.073195e-05,1.068070e-05,1.063059e-05,1.058159e-05,1.053369e-05,1.048687e-05,1.044112e-05,1.039642e-05,1.035274e-05,1.031008e-05,1.026841e-05,1.022771e-05,1.018797e-05,1.014917e-05,1.011128e-05,1.007430e-05
0.000000e+00,4.567286e-13,2.951232e-12,4.598117e-11,2.762666e-10,6.219637e-10,3.493342e-09,3.714659e-09,1.422701e-08,1.962085e-08,4.126900e-08,7.112299e-08,9.908929e-08,1.965121e-07,2.076338e-07,3.927522e-07,4.519637e-07,6.859130e-07,9.105419e-07,1.123025e-06,1.656819e-06,1.741912e-06,2.578485e-06,2.774691e-06,3.662489e-06,4.331084e-06,5.014046e-06,6.362794e-06,6.641809e-06,8.542864e-06,8.871639e-06,1.070399e-05,1.182765e-05,1.310372e-05,1.517707e-05,1.571472e-05,1.850603e-05,1.885156e-05,2.144498e-05,2.277643e-05,2.449884e-05,2.687707e-05,2.763594e-05,3.082656e-05,3.108328e-05,3.404344e-05,3.533198e-05,3.726214e-05,3.956853e-05,4.046113e-05,4.362181e-05,4.374720e-05,4.672840e-05,4.783094e-05,4.976783e-05,5.179074e-05,5.272943e-05,5.560480e-05,5.838749e-05,5.925758e-05,6.107284e-05,6.273884e-05,6.365764e-05,6.604271e-05,6.614002e-05,6.851917e-05,6.916683e-05,7.079519e-05,7.211163e-05,7.296893e-05,7.487967e-05,7.504184e-05,7.701583e-05,7.747512e-05,7.889321e-05,7.990329e-05,8.067656e-05,8.217033e-05,8.236866e-05,8.397248e-05,8.428291e-05,8.549104e-05,8.624802e-05,8.692743e-05,8.807277e-05,8.828476e-05,8.956613e-05,8.976430e-05,9.077460e-05,9.132966e-05,9.191318e-05,9.277573e-05,9.298485e-05,9.399247e-05,9.410921e-05,9.493886e-05,9.533658e-05,9.582674e-05,9.646402e-05,9.665874e-05,9.743742e-05,9.749748e-05,9.816522e-05,9.844263e-05,9.884452e-05,9.930486e-05,9.947759e-05,1.000666e-04,1.000893e-04,1.006137e-04,1.008008e-04,1.011209e-04,1.014440e-04,1.015901e-04,1.020231e-04,1.024218e-04,1.025424e-04,1.027879e-04,1.030058e-04,1.031229e-04,1.034168e-04,1.034284e-04,1.037060e-04,1.037789e-04,1.039570e-04,1.040954e-04,1.041828e-04,1.043694e-04,1.043847e-04,1.045639e-04,1.046037e-04,1.047217e-04,1.048011e-04,1.048591e-04,1.049640e-04,1.049772e-04,1.050771e-04,1.050950e-04,1.051598e-04,1.051962e-04,1.052261e-04,1.052698e-04,1.052770e-04,1.053133e-04,1.053178e-04,1.053358e-04,1.053420e-04,1.053454e-04,1.053442e-04,1.053427e-04,1.053285e-04,1.053260e-04,1.053034e-04,1.052891e-04,1.052681e-04,1.052347e-04,1.052231e-04,1.051691e-04,1.051644e-04,1.051066e-04,1.050794e-04,1.050361e-04,1.049808e-04,1.049582e-04,1.048733e-04,1.048697e-04,1.047818e-04,1.047474e-04,1.046843e-04,1.046146e-04,1.045810e-04,1.044724e-04,1.043216e-04,1.041630e-04,1.039974e-04,1.038254e-04,1.036478e-04,1.034651e-04,1.032780e-04,1.030869e-04,1.028924e-04,1.026949e-04,1.024949e-04,1.022927e-04,1.020889e-04,1.018837e-04,1.016774e-04,1.014703e-04,1.012628e-04,1.010551e-04,1.008475e-04,1.006401e-04,1.004332e-04,1.002270e-04,1.000217e-04,9.981739e-05
0.000000e+00,9.989339e-13,6.801459e-12,1.182506e-10,7.863750e-10,1.873119e-09,1.220165e-08,1.305421e-08,5.815906e-08,8.363496e-08,1.956989e-07,3.682180e-07,5.436435e-07,1.229903e-06,1.314312e-06,2.858383e-06,3.399162e-06,5.713132e-06,8.159754e-06,1.064541e-05,1.751198e-05,1.868030e-05,3.111092e-05,3.425682e-05,4.948980e-05,6.198257e-05,7.560451e-05,1.049676e-04,1.114416e-04,1.591420e-04,1.680241e-04,2.209517e-04,2.563064e-04,2.991698e-04,3.751055e-04,3.960967e-04,5.139836e-04,5.296422e-04,6.549849e-04,7.248733e-04,8.211151e-04,9.653172e-04,1.014210e-03,1.235892e-03,1.254905e-03,1.487548e-03,1.596864e-03,1.770301e-03,1.993627e-03,2.085001e-03,2.432212e-03,2.446782e-03,2.812213e-03,2.957048e-03,3.224996e-03,3.524279e-03,3.670275e-03,4.147496e-03,4.655854e-03,4.824941e-03,5.194309e-03,5.554144e-03,5.761606e-03,6.332005e-03,6.356299e-03,6.976774e-03,7.154891e-03,7.621272e-03,8.018725e-03,8.287915e-03,8.919085e-03,8.974724e-03,9.679650e-03,9.851295e-03,1.040059e-02,1.081052e-02,1.113542e-02,1.179187e-02,1.188201e-02,1.263821e-02,1.279042e-02,1.340194e-02,1.380136e-02,1.417112e-02,1.481997e-02,1.494374e-02,1.571785e-02,1.584173e-02,1.649160e-02,1.686234e-02,1.726319e-02,1.787775e-02,1.803091e-02,1.879318e-02,1.888421e-02,1.954848e-02,1.987824e-02,2.029541e-02,2.085667e-02,2.103266e-02,2.175905e-02,2.181666e-02,2.247347e-02,2.275566e-02,2.317492e-02,2.367144e-02,2.386253e-02,2.453547e-02,2.456208e-02,2.519307e-02,2.542592e-02,2.583469e-02,2.626159e-02,2.645981e-02,2.706799e-02,2.765886e-02,2.784424e-02,2.823214e-02,2.858969e-02,2.878759e-02,2.930392e-02,2.932507e-02,2.984448e-02,2.998667e-02,3.034578e-02,3.063787e-02,3.082899e-02,3.125761e-02,3.129416e-02,3.174141e-02,3.184609e-02,3.217087e-02,3.240367e-02,3.258274e-02,3.293080e-02,3.297723e-02,3.335458e-02,3.342801e-02,3.371506e-02,3.389594e-02,3.405897e-02,3.433527e-02,3.438661e-02,3.469833e-02,3.474675e-02,3.499447e-02,3.513119e-02,3.527538e-02,3.548940e-02,3.554144e-02,3.579303e-02,3.582226e-02,3.603052e-02,3.613065e-02,3.625430e-02,3.641545e-02,3.646477e-02,3.666232e-02,3.667758e-02,3.684735e-02,3.691794e-02,3.702024e-02,3.713743e-02,3.718139e-02,3.733118e-02,3.733695e-02,3.747001e-02,3.751738e-02,3.759825e-02,3.767959e-02,3.771627e-02,3.782445e-02,3.795278e-02,3.806541e-02,3.816313e-02,3.824672e-02,3.831691e-02,3.837445e-02,3.842002e-02,3.845430e-02,3.847795e-02,3.849158e-02,3.849580e-02,3.849118e-02,3.847827e-02,3.845761e-02,3.842969e-02,3.839499e-02,3.835398e-02,3.830709e-02,3.825474e-02,3.819733e-02,3.813523e-02,3.806880e-02,3.799839e-02,3.792431e-02
0.000000e+00,4.835261e-13,3.294769e-12,5.737304e-11,3.820540e-10,9.106792e-10,5.941855e-09,6.357400e-09,2.835802e-08,4.079017e-08,9.548945e-08,1.796997e-07,2.653146e-07,6.000577e-07,6.412114e-07,1.393388e-06,1.656579e-06,2.781689e-06,3.969856e-06,5.175887e-06,8.503712e-06,9.069533e-06,1.508554e-05,1.660726e-05,2.397363e-05,3.001399e-05,3.660068e-05,5.080306e-05,5.393549e-05,7.702946e-05,8.133259e-05,1.069944e-04,1.241546e-04,1.449788e-04,1.819202e-04,1.921429e-04,2.496346e-04,2.572809e-04,3.185655e-04,3.527929e-04,3.999885e-04,4.708276e-04,4.948778e-04,6.041097e-04,6.134916e-04,7.284482e-04,7.825608e-04,8.685311e-04,9.794273e-04,1.024861e-03,1.197797e-03,1.205063e-03,1.387552e-03,1.459998e-03,1.594191e-03,1.744314e-03,1.817633e-03,2.057653e-03,2.313889e-03,2.399233e-03,2.585852e-03,2.767884e-03,2.872930e-03,3.162079e-03,3.174404e-03,3.489458e-03,3.579985e-03,3.817187e-03,4.019506e-03,4.156616e-03,4.478333e-03,4.506708e-03,4.866378e-03,4.954001e-03,5.234507e-03,5.443927e-03,5.609949e-03,5.945469e-03,5.991548e-03,6.378145e-03,6.455962e-03,6.768588e-03,6.972760e-03,7.161742e-03,7.493273e-03,7.556497e-03,7.951773e-03,8.014995e-03,8.346528e-03,8.535531e-03,8.739765e-03,9.052619e-03,9.130531e-03,9.517926e-03,9.564146e-03,9.901104e-03,1.006816e-02,1.027928e-02,1.056288e-02,1.065171e-02,1.101772e-02,1.104670e-02,1.137670e-02,1.151820e-02,1.172809e-02,1.197611e-02,1.207139e-02,1.240615e-02,1.241936e-02,1.273198e-02,1.284703e-02,1.304855e-02,1.325838e-02,1.335557e-02,1.365280e-02,1.394004e-02,1.402983e-02,1.421717e-02,1.438916e-02,1.448406e-02,1.473059e-02,1.474066e-02,1.498693e-02,1.505403e-02,1.522288e-02,1.535951e-02,1.544854e-02,1.564712e-02,1.566398e-02,1.586929e-02,1.591707e-02,1.606458e-02,1.616962e-02,1.624999e-02,1.640510e-02,1.642568e-02,1.659181e-02,1.662390e-02,1.674857e-02,1.682645e-02,1.689617e-02,1.701322e-02,1.703481e-02,1.716472e-02,1.718472e-02,1.728614e-02,1.734146e-02,1.739928e-02,1.748401e-02,1.750441e-02,1.760176e-02,1.761293e-02,1.769158e-02,1.772878e-02,1.777412e-02,1.783214e-02,1.784964e-02,1.791838e-02,1.792359e-02,1.798059e-02,1.800370e-02,1.803653e-02,1.807305e-02,1.808643e-02,1.813054e-02,1.813219e-02,1.816910e-02,1.818167e-02,1.820234e-02,1.822203e-02,1.823051e-02,1.825381e-02,1.827751e-02,1.829362e-02,1.830263e-02,1.830499e-02,1.830115e-02,1.829154e-02,1.827655e-02,1.825659e-02,1.823202e-02,1.820320e-02,1.817046e-02,1.813412e-02,1.809449e-02,1.805185e-02,1.800648e-02,1.795863e-02,1.790854e-02,1.785644e-02,1.780255e-02,1.774706e-02,1.769017e-02,1.763205e-02,1.757287e-02,1.751278e-02
0.000000e+00,1.698109e-09,4.432408e-09,1.749009e-08,4.243064e-08,6.341211e-08,1.502267e-07,1.549603e-07,3.079876e-07,3.641482e-07,5.396697e-07,7.241717e-07,8.686187e-07,1.271955e-06,1.311914e-06,1.878757e-06,2.033230e-06,2.568160e-06,3.005550e-06,3.374095e-06,4.174721e-06,4.290305e-06,5.311465e-06,5.527861e-06,6.432683e-06,7.053591e-06,7.648869e-06,8.739708e-06,8.954321e-06,1.034252e-05,1.057183e-05,1.180611e-05,1.253304e-05,1.333694e-05,1.460415e-05,1.492626e-05,1.656480e-05,1.676428e-05,1.824306e-05,1.899161e-05,1.995146e-05,2.126416e-05,2.168052e-05,2.342103e-05,2.356050e-05,2.516424e-05,2.586041e-05,2.690190e-05,2.814528e-05,2.862639e-05,3.033077e-05,3.039843e-05,3.200881e-05,3.260538e-05,3.365504e-05,3.475384e-05,3.526468e-05,3.683370e-05,3.835870e-05,3.883693e-05,3.983692e-05,4.075742e-05,4.126622e-05,4.259077e-05,4.264493e-05,4.397192e-05,4.433410e-05,4.524646e-05,4.598584e-05,4.646819e-05,4.754554e-05,4.763711e-05,4.875348e-05,4.901364e-05,4.981782e-05,5.039138e-05,5.083084e-05,5.168056e-05,5.179345e-05,5.270667e-05,5.288348e-05,5.357165e-05,5.400279e-05,5.438964e-05,5.504139e-05,5.516195e-05,5.588993e-05,5.600239e-05,5.657499e-05,5.688899e-05,5.721855e-05,5.770447e-05,5.782203e-05,5.838685e-05,5.845210e-05,5.891444e-05,5.913514e-05,5.940620e-05,5.975684e-05,5.986353e-05,6.028778e-05,6.032034e-05,6.068030e-05,6.082872e-05,6.104239e-05,6.128497e-05,6.137532e-05,6.168033e-05,6.169197e-05,6.195863e-05,6.205251e-05,6.221139e-05,6.236924e-05,6.243972e-05,6.264474e-05,6.282750e-05,6.288145e-05,6.298901e-05,6.308169e-05,6.313027e-05,6.324770e-05,6.325222e-05,6.335579e-05,6.338161e-05,6.344184e-05,6.348542e-05,6.351123e-05,6.356106e-05,6.356477e-05,6.360326e-05,6.361034e-05,6.362743e-05,6.363499e-05,6.363802e-05,6.363665e-05,6.363571e-05,6.362118e-05,6.361687e-05,6.359507e-05,6.357711e-05,6.355798e-05,6.351877e-05,6.351050e-05,6.345320e-05,6.344315e-05,6.338661e-05,6.335151e-05,6.331126e-05,6.324500e-05,6.322764e-05,6.313622e-05,6.312474e-05,6.303745e-05,6.299178e-05,6.293178e-05,6.284710e-05,6.281960e-05,6.270133e-05,6.269162e-05,6.257735e-05,6.252623e-05,6.244800e-05,6.235175e-05,6.231365e-05,6.217462e-05,6.216896e-05,6.203123e-05,6.197860e-05,6.188378e-05,6.178134e-05,6.173256e-05,6.157785e-05,6.136872e-05,6.115454e-05,6.093584e-05,6.071313e-05,6.048688e-05,6.025754e-05,6.002552e-05,5.979122e-05,5.955500e-05,5.931721e-05,5.907816e-05,5.883816e-05,5.859748e-05,5.835639e-05,5.811514e-05,5.787394e-05,5.763301e-05,5.739255e-05,5.715273e-05,5.691374e-05,5.667572e-05,5.643883e-05,5.620319e-05,5.596893e-05
0.000000e+00,4.705172e-10,1.642963e-09,8.966432e-09,2.528552e-08,3.991148e-08,1.037662e-07,1.073358e-07,2.251501e-07,2.691792e-07,4.084849e-07,5.570540e-07,6.746914e-07,1.009347e-06,1.043022e-06,1.531073e-06,1.667249e-06,2.147034e-06,2.545582e-06,2.883111e-06,3.613791e-06,3.718453e-06,4.628731e-06,4.817834e-06,5.592817e-06,6.109793e-06,6.594303e-06,7.455115e-06,7.620531e-06,8.661269e-06,8.828534e-06,9.707752e-06,1.020977e-05,1.075210e-05,1.158114e-05,1.178705e-05,1.280586e-05,1.292673e-05,1.380231e-05,1.423220e-05,1.477080e-05,1.548506e-05,1.570634e-05,1.660462e-05,1.667477e-05,1.746218e-05,1.779314e-05,1.827617e-05,1.883404e-05,1.904447e-05,1.976573e-05,1.979359e-05,2.043918e-05,2.066987e-05,2.106465e-05,2.146272e-05,2.164249e-05,2.217347e-05,2.265875e-05,2.280462e-05,2.309980e-05,2.335962e-05,2.349829e-05,2.384253e-05,2.385608e-05,2.417516e-05,2.425784e-05,2.445758e-05,2.461030e-05,2.470543e-05,2.490471e-05,2.492079e-05,2.510575e-05,2.514584e-05,2.526232e-05,2.533834e-05,2.539247e-05,2.548665e-05,2.549809e-05,2.558099e-05,2.559500e-05,2.564289e-05,2.566732e-05,2.568542e-05,2.570730e-05,2.571012e-05,2.571843e-05,2.571833e-05,2.571171e-05,2.570352e-05,2.569122e-05,2.566571e-05,2.565815e-05,2.561359e-05,2.560752e-05,2.555856e-05,2.553127e-05,2.549400e-05,2.543912e-05,2.542081e-05,2.533978e-05,2.533299e-05,2.525168e-05,2.521461e-05,2.515718e-05,2.508555e-05,2.505694e-05,2.495154e-05,2.494722e-05,2.484152e-05,2.480089e-05,2.472740e-05,2.464769e-05,2.460963e-05,2.448863e-05,2.436481e-05,2.432465e-05,2.423852e-05,2.415655e-05,2.411009e-05,2.398507e-05,2.397983e-05,2.384802e-05,2.381087e-05,2.371492e-05,2.363453e-05,2.358076e-05,2.345659e-05,2.344576e-05,2.331014e-05,2.327751e-05,2.317405e-05,2.309771e-05,2.303769e-05,2.291758e-05,2.290120e-05,2.276472e-05,2.273743e-05,2.262838e-05,2.255758e-05,2.249231e-05,2.237829e-05,2.235661e-05,2.222138e-05,2.219979e-05,2.208671e-05,2.202229e-05,2.195269e-05,2.184599e-05,2.181939e-05,2.168688e-05,2.167103e-05,2.155522e-05,2.149757e-05,2.142447e-05,2.132574e-05,2.129468e-05,2.116589e-05,2.115563e-05,2.103815e-05,2.098736e-05,2.091150e-05,2.082100e-05,2.078596e-05,2.066157e-05,2.065662e-05,2.053835e-05,2.049429e-05,2.041633e-05,2.033405e-05,2.029553e-05,2.017596e-05,2.002004e-05,1.986632e-05,1.971483e-05,1.956558e-05,1.941859e-05,1.927385e-05,1.913137e-05,1.899115e-05,1.885318e-05,1.871746e-05,1.858397e-05,1.845270e-05,1.832364e-05,1.819676e-05,1.807205e-05,1.794949e-05,1.782906e-05,1.771072e-05,1.759446e-05,1.748026e-05,1.736807e-05,1.725789e-05,1.714968e-05,1.704341e-05
0.000000e+00,4.496365e-09,1.066503e-08,3.812102e-08,8.842284e-08,1.299976e-07,2.993380e-07,3.085001e-07,6.026101e-07,7.098281e-07,1.043290e-06,1.391980e-06,1.664276e-06,2.425342e-06,2.501033e-06,3.585678e-06,3.885392e-06,4.936842e-06,5.809390e-06,6.550565e-06,8.168797e-06,8.402540e-06,1.045982e-05,1.089303e-05,1.269033e-05,1.390917e-05,1.506599e-05,1.715581e-05,1.756244e-05,2.015793e-05,2.058105e-05,2.283250e-05,2.413887e-05,2.556753e-05,2.778738e-05,2.834566e-05,3.115073e-05,3.148843e-05,3.396793e-05,3.520783e-05,3.678383e-05,3.891558e-05,3.958640e-05,4.236508e-05,4.258606e-05,4.511070e-05,4.619790e-05,4.781546e-05,4.973382e-05,5.047273e-05,5.307706e-05,5.318006e-05,5.562401e-05,5.652616e-05,5.811005e-05,5.976433e-05,6.053243e-05,6.288913e-05,6.517872e-05,6.589704e-05,6.740026e-05,6.878611e-05,6.955329e-05,7.155562e-05,7.163768e-05,7.365365e-05,7.420591e-05,7.560166e-05,7.673811e-05,7.748238e-05,7.915391e-05,7.929663e-05,8.104539e-05,8.145546e-05,8.272974e-05,8.364529e-05,8.435088e-05,8.572617e-05,8.591004e-05,8.740854e-05,8.770107e-05,8.884771e-05,8.957309e-05,9.022893e-05,9.134539e-05,9.155360e-05,9.282314e-05,9.302125e-05,9.403897e-05,9.460391e-05,9.520251e-05,9.609664e-05,9.631517e-05,9.737837e-05,9.750269e-05,9.839350e-05,9.882528e-05,9.936194e-05,1.000676e-04,1.002851e-04,1.011642e-04,1.012327e-04,1.020007e-04,1.023237e-04,1.027959e-04,1.033436e-04,1.035510e-04,1.042673e-04,1.042952e-04,1.049461e-04,1.051815e-04,1.055885e-04,1.060052e-04,1.061958e-04,1.067690e-04,1.073093e-04,1.074755e-04,1.078179e-04,1.081272e-04,1.082958e-04,1.087266e-04,1.087440e-04,1.091636e-04,1.092761e-04,1.095556e-04,1.097780e-04,1.099210e-04,1.102344e-04,1.102606e-04,1.105755e-04,1.106475e-04,1.108666e-04,1.110194e-04,1.111346e-04,1.113521e-04,1.113805e-04,1.116051e-04,1.116475e-04,1.118091e-04,1.119074e-04,1.119934e-04,1.121336e-04,1.121588e-04,1.123059e-04,1.123278e-04,1.124355e-04,1.124917e-04,1.125482e-04,1.126268e-04,1.126448e-04,1.127259e-04,1.127346e-04,1.127921e-04,1.128167e-04,1.128440e-04,1.128743e-04,1.128823e-04,1.129074e-04,1.129089e-04,1.129200e-04,1.129217e-04,1.129206e-04,1.129139e-04,1.129098e-04,1.128879e-04,1.128868e-04,1.128555e-04,1.128414e-04,1.128132e-04,1.127789e-04,1.127612e-04,1.127002e-04,1.126064e-04,1.124983e-04,1.123770e-04,1.122432e-04,1.120978e-04,1.119416e-04,1.117753e-04,1.115996e-04,1.114152e-04,1.112228e-04,1.110230e-04,1.108164e-04,1.106035e-04,1.103849e-04,1.101611e-04,1.099325e-04,1.096996e-04,1.094629e-04,1.092228e-04,1.089796e-04,1.087338e-04,1.084857e-04,1.082356e-04,1.079838e-04
0.000000e+00,8.208806e-11,3.644511e-10,2.820454e-09,9.742375e-09,1.668177e-08,5.027415e-08,5.224204e-08,1.195481e-07,1.453552e-07,2.278020e-07,3.159538e-07,3.854575e-07,5.808542e-07,6.003223e-07,8.795959e-07,9.569460e-07,1.229782e-06,1.458967e-06,1.656377e-06,2.098103e-06,2.163236e-06,2.751644e-06,2.878991e-06,3.419507e-06,3.796471e-06,4.161276e-06,4.835592e-06,4.968847e-06,5.832871e-06,5.975712e-06,6.743793e-06,7.194968e-06,7.692393e-06,8.472529e-06,8.669960e-06,9.668309e-06,9.789137e-06,1.067975e-05,1.112706e-05,1.169710e-05,1.247011e-05,1.271368e-05,1.372336e-05,1.380367e-05,1.472059e-05,1.511487e-05,1.570041e-05,1.639264e-05,1.665848e-05,1.759105e-05,1.762777e-05,1.849497e-05,1.881286e-05,1.936768e-05,1.994223e-05,2.020713e-05,2.101177e-05,2.178050e-05,2.201879e-05,2.251263e-05,2.296182e-05,2.320783e-05,2.384044e-05,2.386606e-05,2.448755e-05,2.465504e-05,2.507274e-05,2.540669e-05,2.562227e-05,2.609703e-05,2.613695e-05,2.661768e-05,2.672812e-05,2.706548e-05,2.730226e-05,2.748143e-05,2.782202e-05,2.786666e-05,2.822236e-05,2.829006e-05,2.854971e-05,2.870912e-05,2.884991e-05,2.908198e-05,2.912416e-05,2.937366e-05,2.941136e-05,2.959958e-05,2.969998e-05,2.980306e-05,2.995045e-05,2.998523e-05,3.014719e-05,3.016532e-05,3.029000e-05,3.034703e-05,3.041467e-05,3.049790e-05,3.052220e-05,3.061353e-05,3.062016e-05,3.068957e-05,3.071590e-05,3.075120e-05,3.078713e-05,3.079927e-05,3.083457e-05,3.083573e-05,3.085788e-05,3.086348e-05,3.086992e-05,3.087204e-05,3.087141e-05,3.086299e-05,3.084532e-05,3.083781e-05,3.081899e-05,3.079787e-05,3.078459e-05,3.074447e-05,3.074265e-05,3.069370e-05,3.067880e-05,3.063823e-05,3.060201e-05,3.057671e-05,3.051514e-05,3.050958e-05,3.043726e-05,3.041918e-05,3.036016e-05,3.031503e-05,3.027865e-05,3.020355e-05,3.019308e-05,3.010380e-05,3.008553e-05,3.001113e-05,2.996169e-05,2.991536e-05,2.983273e-05,2.981678e-05,2.971567e-05,2.969927e-05,2.961227e-05,2.956190e-05,2.950683e-05,2.942116e-05,2.939957e-05,2.929071e-05,2.927755e-05,2.918045e-05,2.913154e-05,2.906897e-05,2.898354e-05,2.895645e-05,2.884306e-05,2.883396e-05,2.872896e-05,2.868315e-05,2.861429e-05,2.853146e-05,2.849920e-05,2.838380e-05,2.837918e-05,2.826823e-05,2.822660e-05,2.815259e-05,2.807397e-05,2.803699e-05,2.792154e-05,2.776951e-05,2.761808e-05,2.746742e-05,2.731771e-05,2.716909e-05,2.702168e-05,2.687561e-05,2.673098e-05,2.658789e-05,2.644643e-05,2.630666e-05,2.616865e-05,2.603247e-05,2.589816e-05,2.576575e-05,2.563530e-05,2.550682e-05,2.538034e-05,2.525588e-05,2.513346e-05,2.501308e-05,2.489475e-05,2.477847e-05,2.466424e-05
0.000000e+00,8.061696e-14,5.258570e-13,8.352547e-12,5.104892e-11,1.159816e-10,6.663201e-10,7.091622e-10,2.772780e-09,3.844237e-09,8.187695e-09,1.424311e-08,1.995679e-08,4.003606e-08,4.234007e-08,8.089402e-08,9.328184e-08,1.423762e-07,1.896489e-07,2.344289e-07,3.470401e-07,3.649987e-07,5.415903e-07,5.830163e-07,7.705404e-07,9.118993e-07,1.056471e-06,1.342652e-06,1.401984e-06,1.807592e-06,1.877994e-06,2.271825e-06,2.514593e-06,2.791458e-06,3.243937e-06,3.361794e-06,3.976982e-06,4.053507e-06,4.630322e-06,4.928023e-06,5.314562e-06,5.850613e-06,6.022160e-06,6.745529e-06,6.803856e-06,7.477242e-06,7.770659e-06,8.210201e-06,8.734967e-06,8.937789e-06,9.653974e-06,9.682306e-06,1.035339e-05,1.060016e-05,1.103139e-05,1.147817e-05,1.168407e-05,1.230825e-05,1.290148e-05,1.308447e-05,1.346198e-05,1.380298e-05,1.398861e-05,1.446176e-05,1.448079e-05,1.493842e-05,1.506040e-05,1.536185e-05,1.559977e-05,1.575179e-05,1.608180e-05,1.610923e-05,1.643542e-05,1.650920e-05,1.673175e-05,1.688522e-05,1.699976e-05,1.721346e-05,1.724106e-05,1.745731e-05,1.749770e-05,1.765017e-05,1.774177e-05,1.782129e-05,1.794940e-05,1.797227e-05,1.810465e-05,1.812421e-05,1.821993e-05,1.826961e-05,1.831952e-05,1.838879e-05,1.840474e-05,1.847684e-05,1.848466e-05,1.853697e-05,1.855991e-05,1.858621e-05,1.861696e-05,1.862555e-05,1.865590e-05,1.865796e-05,1.867810e-05,1.868488e-05,1.869293e-05,1.869943e-05,1.870108e-05,1.870319e-05,1.870316e-05,1.869985e-05,1.869742e-05,1.869159e-05,1.868340e-05,1.867888e-05,1.866218e-05,1.864187e-05,1.863467e-05,1.861832e-05,1.860171e-05,1.859186e-05,1.856400e-05,1.856279e-05,1.853138e-05,1.852220e-05,1.849787e-05,1.847686e-05,1.846250e-05,1.842848e-05,1.842546e-05,1.838695e-05,1.837750e-05,1.834713e-05,1.832432e-05,1.830616e-05,1.826926e-05,1.826418e-05,1.822132e-05,1.821265e-05,1.817770e-05,1.815475e-05,1.813343e-05,1.809581e-05,1.808861e-05,1.804333e-05,1.803605e-05,1.799767e-05,1.797565e-05,1.795172e-05,1.791479e-05,1.790553e-05,1.785919e-05,1.785362e-05,1.781274e-05,1.779229e-05,1.776625e-05,1.773091e-05,1.771976e-05,1.767331e-05,1.766960e-05,1.762697e-05,1.760846e-05,1.758075e-05,1.754758e-05,1.753471e-05,1.748887e-05,1.748704e-05,1.744326e-05,1.742690e-05,1.739791e-05,1.736724e-05,1.735286e-05,1.730811e-05,1.724956e-05,1.719164e-05,1.713438e-05,1.707782e-05,1.702199e-05,1.696692e-05,1.691263e-05,1.685914e-05,1.680647e-05,1.675463e-05,1.670363e-05,1.665348e-05,1.660419e-05,1.655577e-05,1.650821e-05,1.646152e-05,1.641570e-05,1.637075e-05,1.632666e-05,1.628344e-05,1.624107e-05,1.619956e-05,1.615889e-05,1.611907e-05
0.000000e+00,3.683433e-10,1.336525e-09,7.682950e-09,2.229100e-08,3.557657e-08,9.425076e-08,9.754377e-08,2.061888e-07,2.466376e-07,3.737123e-07,5.075648e-07,6.123268e-07,9.050220e-07,9.340849e-07,1.349088e-06,1.463237e-06,1.861967e-06,2.191193e-06,2.470091e-06,3.078234e-06,3.166114e-06,3.941485e-06,4.105345e-06,4.787914e-06,5.253479e-06,5.697395e-06,6.504219e-06,6.661901e-06,7.673183e-06,7.838765e-06,8.722747e-06,9.237595e-06,9.801934e-06,1.068079e-05,1.090208e-05,1.201468e-05,1.214864e-05,1.313159e-05,1.362240e-05,1.424513e-05,1.508481e-05,1.534826e-05,1.643461e-05,1.652062e-05,1.749860e-05,1.791683e-05,1.853542e-05,1.926279e-05,1.954100e-05,2.051205e-05,2.055013e-05,2.144591e-05,2.177260e-05,2.234062e-05,2.292592e-05,2.319478e-05,2.400751e-05,2.477836e-05,2.501618e-05,2.550731e-05,2.595196e-05,2.619463e-05,2.681583e-05,2.684090e-05,2.744689e-05,2.760948e-05,2.801359e-05,2.833520e-05,2.854210e-05,2.899564e-05,2.903364e-05,2.948952e-05,2.959377e-05,2.991110e-05,3.013271e-05,3.029976e-05,3.061568e-05,3.065692e-05,3.098399e-05,3.104591e-05,3.128237e-05,3.142665e-05,3.155345e-05,3.176106e-05,3.179860e-05,3.201912e-05,3.205220e-05,3.221630e-05,3.230303e-05,3.239139e-05,3.251636e-05,3.254559e-05,3.268006e-05,3.269492e-05,3.279591e-05,3.284126e-05,3.289422e-05,3.295782e-05,3.297600e-05,3.304223e-05,3.304689e-05,3.309386e-05,3.311062e-05,3.313177e-05,3.315106e-05,3.315682e-05,3.316982e-05,3.317010e-05,3.317153e-05,3.316952e-05,3.316269e-05,3.315101e-05,3.314400e-05,3.311611e-05,3.307966e-05,3.306628e-05,3.303524e-05,3.300289e-05,3.298341e-05,3.292718e-05,3.292471e-05,3.285964e-05,3.284034e-05,3.278868e-05,3.274347e-05,3.271228e-05,3.263757e-05,3.263088e-05,3.254487e-05,3.252359e-05,3.245464e-05,3.240240e-05,3.236054e-05,3.227482e-05,3.226293e-05,3.216211e-05,3.214159e-05,3.205839e-05,3.200341e-05,3.195206e-05,3.186091e-05,3.184338e-05,3.173261e-05,3.171471e-05,3.161998e-05,3.156533e-05,3.150572e-05,3.141328e-05,3.139004e-05,3.127313e-05,3.125903e-05,3.115519e-05,3.110301e-05,3.103638e-05,3.094561e-05,3.091687e-05,3.079681e-05,3.078718e-05,3.067634e-05,3.062807e-05,3.055560e-05,3.046857e-05,3.043472e-05,3.031380e-05,3.030896e-05,3.019296e-05,3.014950e-05,3.007231e-05,2.999041e-05,2.995193e-05,2.983191e-05,2.967418e-05,2.951740e-05,2.936173e-05,2.920730e-05,2.905424e-05,2.890267e-05,2.875268e-05,2.860437e-05,2.845782e-05,2.831309e-05,2.817025e-05,2.802934e-05,2.789042e-05,2.775352e-05,2.761868e-05,2.748590e-05,2.735523e-05,2.722668e-05,2.710025e-05,2.697595e-05,2.685378e-05,2.673375e-05,2.661584e-05,2.650006e-05
0.000000e+00,5.418258e-14,3.652771e-13,6.217009e-12,4.050618e-11,9.535531e-11,6.012351e-10,6.423439e-10,2.759600e-09,3.926295e-09,8.929070e-09,1.638650e-08,2.377988e-08,5.162016e-08,5.495962e-08,1.140254e-07,1.340483e-07,2.172210e-07,3.020528e-07,3.859668e-07,6.097552e-07,6.469462e-07,1.031782e-06,1.126705e-06,1.576365e-06,1.935603e-06,2.319935e-06,3.128633e-06,3.303994e-06,4.571133e-06,4.802996e-06,6.163838e-06,7.056154e-06,8.123308e-06,9.981133e-06,1.048834e-05,1.329430e-05,1.366216e-05,1.657221e-05,1.817088e-05,2.034798e-05,2.356319e-05,2.464181e-05,2.946769e-05,2.987702e-05,3.483316e-05,3.713086e-05,4.073916e-05,4.532328e-05,4.718009e-05,5.414399e-05,5.443319e-05,6.161290e-05,6.442096e-05,6.956328e-05,7.523016e-05,7.796657e-05,8.678980e-05,9.599628e-05,9.901688e-05,1.055463e-04,1.118192e-04,1.153977e-04,1.250982e-04,1.255069e-04,1.358293e-04,1.387517e-04,1.463200e-04,1.526765e-04,1.569343e-04,1.667710e-04,1.676284e-04,1.783600e-04,1.809365e-04,1.890882e-04,1.950800e-04,1.997743e-04,2.091143e-04,2.103819e-04,2.208773e-04,2.229602e-04,2.312294e-04,2.365462e-04,2.414097e-04,2.498098e-04,2.513929e-04,2.611564e-04,2.626968e-04,2.706805e-04,2.751618e-04,2.799480e-04,2.871676e-04,2.889447e-04,2.976588e-04,2.986850e-04,3.060808e-04,3.096920e-04,3.142036e-04,3.201736e-04,3.220221e-04,3.295334e-04,3.301210e-04,3.367359e-04,3.395306e-04,3.436301e-04,3.484038e-04,3.502176e-04,3.565013e-04,3.567464e-04,3.624854e-04,3.645673e-04,3.681751e-04,3.718788e-04,3.735761e-04,3.786953e-04,3.835399e-04,3.850334e-04,3.881175e-04,3.909109e-04,3.924365e-04,3.963471e-04,3.965051e-04,4.003321e-04,4.013615e-04,4.039261e-04,4.059744e-04,4.072961e-04,4.102063e-04,4.104510e-04,4.133994e-04,4.140773e-04,4.161503e-04,4.176077e-04,4.187123e-04,4.208172e-04,4.210937e-04,4.233030e-04,4.237250e-04,4.253483e-04,4.263496e-04,4.272374e-04,4.287091e-04,4.289780e-04,4.305775e-04,4.308208e-04,4.320430e-04,4.327009e-04,4.333815e-04,4.343654e-04,4.345997e-04,4.357038e-04,4.358289e-04,4.367001e-04,4.371058e-04,4.375944e-04,4.382094e-04,4.383924e-04,4.390994e-04,4.391522e-04,4.397205e-04,4.399460e-04,4.402606e-04,4.406020e-04,4.407244e-04,4.411164e-04,4.411306e-04,4.414406e-04,4.415416e-04,4.417013e-04,4.418441e-04,4.419021e-04,4.420467e-04,4.421574e-04,4.421836e-04,4.421323e-04,4.420100e-04,4.418227e-04,4.415760e-04,4.412751e-04,4.409248e-04,4.405297e-04,4.400940e-04,4.396215e-04,4.391158e-04,4.385803e-04,4.380181e-04,4.374321e-04,4.368249e-04,4.361991e-04,4.355568e-04,4.349003e-04,4.342315e-04,4.335522e-04,4.328641e-04,4.321688e-04,4.314677e-04
0.000000e+00,4.154436e-09,9.514689e-09,3.272772e-08,7.450299e-08,1.087657e-07,2.475912e-07,2.550924e-07,4.962972e-07,5.845748e-07,8.605931e-07,1.151350e-06,1.379428e-06,2.017118e-06,2.080271e-06,2.973204e-06,3.215189e-06,4.047401e-06,4.720698e-06,5.282908e-06,6.488585e-06,6.660940e-06,8.166194e-06,8.481347e-06,9.785702e-06,1.066899e-05,1.150740e-05,1.302376e-05,1.331919e-05,1.520856e-05,1.551719e-05,1.716242e-05,1.811922e-05,1.916727e-05,2.079865e-05,2.120939e-05,2.327514e-05,2.352398e-05,2.535121e-05,2.626466e-05,2.742491e-05,2.899198e-05,2.948434e-05,3.151863e-05,3.167998e-05,3.351798e-05,3.430597e-05,3.547378e-05,3.685078e-05,3.737861e-05,3.922618e-05,3.929881e-05,4.101135e-05,4.163793e-05,4.273012e-05,4.385935e-05,4.437942e-05,4.595710e-05,4.746180e-05,4.792777e-05,4.889287e-05,4.977007e-05,5.025026e-05,5.148444e-05,5.153441e-05,5.274622e-05,5.307273e-05,5.388697e-05,5.453793e-05,5.495819e-05,5.588384e-05,5.596167e-05,5.689939e-05,5.711489e-05,5.777344e-05,5.823592e-05,5.858603e-05,5.925206e-05,5.933941e-05,6.003589e-05,6.016857e-05,6.067779e-05,6.099076e-05,6.126740e-05,6.172394e-05,6.180701e-05,6.229887e-05,6.237329e-05,6.274520e-05,6.294389e-05,6.314813e-05,6.344065e-05,6.350977e-05,6.383215e-05,6.386830e-05,6.411724e-05,6.423136e-05,6.436694e-05,6.453416e-05,6.458307e-05,6.476740e-05,6.478082e-05,6.492162e-05,6.497525e-05,6.504737e-05,6.512114e-05,6.514619e-05,6.521957e-05,6.522200e-05,6.526895e-05,6.528112e-05,6.529569e-05,6.530161e-05,6.530109e-05,6.528640e-05,6.525281e-05,6.523825e-05,6.520144e-05,6.515973e-05,6.513337e-05,6.505329e-05,6.504965e-05,6.495124e-05,6.492118e-05,6.483907e-05,6.476554e-05,6.471404e-05,6.458837e-05,6.457698e-05,6.442871e-05,6.439154e-05,6.426998e-05,6.417679e-05,6.410151e-05,6.394576e-05,6.392401e-05,6.373810e-05,6.369997e-05,6.354443e-05,6.344085e-05,6.334358e-05,6.316972e-05,6.313610e-05,6.292252e-05,6.288782e-05,6.270336e-05,6.259631e-05,6.247907e-05,6.229626e-05,6.225012e-05,6.201693e-05,6.198868e-05,6.177990e-05,6.167449e-05,6.153941e-05,6.135456e-05,6.129584e-05,6.104951e-05,6.102970e-05,6.080076e-05,6.070064e-05,6.054988e-05,6.036810e-05,6.029717e-05,6.004289e-05,6.003269e-05,5.978732e-05,5.969504e-05,5.953068e-05,5.935567e-05,5.927320e-05,5.901511e-05,5.867382e-05,5.833224e-05,5.799077e-05,5.764978e-05,5.730960e-05,5.697055e-05,5.663292e-05,5.629696e-05,5.596292e-05,5.563100e-05,5.530142e-05,5.497436e-05,5.464996e-05,5.432839e-05,5.400977e-05,5.369422e-05,5.338186e-05,5.307276e-05,5.276702e-05,5.246470e-05,5.216588e-05,5.187059e-05,5.157890e-05,5.129083e-05
0.000000e+00,1.958068e-13,1.274505e-12,2.015176e-11,1.226418e-10,2.779763e-10,1.586776e-09,1.688341e-09,6.555166e-09,9.069511e-09,1.920984e-08,3.325163e-08,4.642809e-08,9.233921e-08,9.757598e-08,1.845139e-07,2.122265e-07,3.213123e-07,4.255460e-07,5.238086e-07,7.698183e-07,8.089770e-07,1.194048e-06,1.284519e-06,1.695369e-06,2.006825e-06,2.327115e-06,2.966599e-06,3.100090e-06,4.020831e-06,4.182051e-06,5.091143e-06,5.657330e-06,6.308078e-06,7.382378e-06,7.664269e-06,9.148518e-06,9.334583e-06,1.074655e-05,1.148151e-05,1.244176e-05,1.378401e-05,1.421603e-05,1.605038e-05,1.619915e-05,1.792561e-05,1.868291e-05,1.982286e-05,2.119231e-05,2.172403e-05,2.361212e-05,2.368715e-05,2.547155e-05,2.613118e-05,2.728830e-05,2.849295e-05,2.905004e-05,3.074625e-05,3.236814e-05,3.287025e-05,3.390867e-05,3.484937e-05,3.536247e-05,3.667295e-05,3.672571e-05,3.799599e-05,3.833483e-05,3.917221e-05,3.983276e-05,4.025440e-05,4.116782e-05,4.124357e-05,4.214159e-05,4.234383e-05,4.295102e-05,4.336674e-05,4.367497e-05,4.424415e-05,4.431699e-05,4.488097e-05,4.498476e-05,4.537102e-05,4.559803e-05,4.579138e-05,4.609378e-05,4.614636e-05,4.644025e-05,4.648189e-05,4.667732e-05,4.677215e-05,4.686172e-05,4.697402e-05,4.699747e-05,4.708845e-05,4.709654e-05,4.713837e-05,4.714824e-05,4.715074e-05,4.713709e-05,4.712890e-05,4.707597e-05,4.707048e-05,4.699488e-05,4.695519e-05,4.688838e-05,4.679740e-05,4.675901e-05,4.660914e-05,4.660275e-05,4.644097e-05,4.637634e-05,4.625651e-05,4.612274e-05,4.605764e-05,4.584607e-05,4.562338e-05,4.555001e-05,4.539102e-05,4.523784e-05,4.515030e-05,4.491248e-05,4.490244e-05,4.464854e-05,4.457650e-05,4.438960e-05,4.423221e-05,4.412655e-05,4.388163e-05,4.386022e-05,4.359135e-05,4.352652e-05,4.332064e-05,4.316848e-05,4.304871e-05,4.280886e-05,4.277613e-05,4.250339e-05,4.244886e-05,4.223096e-05,4.208955e-05,4.195924e-05,4.173182e-05,4.168861e-05,4.141940e-05,4.137648e-05,4.115190e-05,4.102419e-05,4.088638e-05,4.067554e-05,4.062307e-05,4.036218e-05,4.033104e-05,4.010389e-05,3.999111e-05,3.984837e-05,3.965611e-05,3.959575e-05,3.934616e-05,3.932633e-05,3.909971e-05,3.900202e-05,3.885648e-05,3.868339e-05,3.861655e-05,3.837999e-05,3.837059e-05,3.814684e-05,3.806375e-05,3.791715e-05,3.776295e-05,3.769095e-05,3.746827e-05,3.717973e-05,3.689736e-05,3.662115e-05,3.635110e-05,3.608715e-05,3.582927e-05,3.557741e-05,3.533149e-05,3.509144e-05,3.485719e-05,3.462864e-05,3.440571e-05,3.418829e-05,3.397630e-05,3.376964e-05,3.356819e-05,3.337185e-05,3.318052e-05,3.299409e-05,3.281245e-05,3.263551e-05,3.246314e-05,3.229525e-05,3.213173e-05
0.000000e+00,4.965586e-12,3.382601e-11,5.884841e-10,3.913318e-09,9.317958e-09,6.054753e-08,6.476799e-08,2.869766e-07,4.118120e-07,9.571887e-07,1.788492e-06,2.626486e-06,5.858133e-06,6.251762e-06,1.335628e-05,1.581279e-05,2.620743e-05,3.706051e-05,4.799480e-05,7.791855e-05,8.298297e-05,1.366146e-04,1.501429e-04,2.155495e-04,2.691560e-04,3.276374e-04,4.539317e-04,4.818303e-04,6.880431e-04,7.265701e-04,9.569733e-04,1.111631e-03,1.299893e-03,1.635302e-03,1.728419e-03,2.254275e-03,2.324471e-03,2.889048e-03,3.205762e-03,3.643954e-03,4.304589e-03,4.529611e-03,5.555830e-03,5.644272e-03,6.731429e-03,7.245252e-03,8.064065e-03,9.124430e-03,9.560106e-03,1.122452e-02,1.129465e-02,1.306079e-02,1.376434e-02,1.507088e-02,1.653730e-02,1.725521e-02,1.961266e-02,2.214061e-02,2.298495e-02,2.483501e-02,2.664433e-02,2.769043e-02,3.057689e-02,3.070015e-02,3.385632e-02,3.476510e-02,3.715001e-02,3.918819e-02,4.057140e-02,4.382274e-02,4.410987e-02,4.775413e-02,4.864320e-02,5.149240e-02,5.362237e-02,5.531250e-02,5.873200e-02,5.920198e-02,6.314827e-02,6.394324e-02,6.713877e-02,6.922713e-02,7.116095e-02,7.455504e-02,7.520248e-02,7.925130e-02,7.989900e-02,8.329571e-02,8.523211e-02,8.732439e-02,9.052874e-02,9.132655e-02,9.529190e-02,9.576480e-02,9.921073e-02,1.009179e-01,1.030739e-01,1.059675e-01,1.068730e-01,1.106001e-01,1.108950e-01,1.142482e-01,1.156837e-01,1.178105e-01,1.203191e-01,1.212814e-01,1.246555e-01,1.247884e-01,1.279283e-01,1.290810e-01,1.310959e-01,1.331879e-01,1.341548e-01,1.371022e-01,1.399360e-01,1.408185e-01,1.426544e-01,1.443330e-01,1.452561e-01,1.476434e-01,1.477405e-01,1.501073e-01,1.507489e-01,1.523565e-01,1.536497e-01,1.544885e-01,1.563473e-01,1.565043e-01,1.584050e-01,1.588442e-01,1.601920e-01,1.611436e-01,1.618670e-01,1.632498e-01,1.634318e-01,1.648888e-01,1.651674e-01,1.662401e-01,1.669018e-01,1.674883e-01,1.684589e-01,1.686359e-01,1.696858e-01,1.698449e-01,1.706407e-01,1.710662e-01,1.715035e-01,1.721296e-01,1.722773e-01,1.729651e-01,1.730420e-01,1.735698e-01,1.738104e-01,1.740947e-01,1.744420e-01,1.745427e-01,1.749168e-01,1.749437e-01,1.752203e-01,1.753226e-01,1.754560e-01,1.755855e-01,1.756270e-01,1.757363e-01,1.757394e-01,1.757866e-01,1.757909e-01,1.757809e-01,1.757465e-01,1.757220e-01,1.756125e-01,1.753952e-01,1.751004e-01,1.747337e-01,1.743008e-01,1.738068e-01,1.732568e-01,1.726554e-01,1.720074e-01,1.713169e-01,1.705881e-01,1.698249e-01,1.690308e-01,1.682094e-01,1.673637e-01,1.664970e-01,1.656120e-01,1.647114e-01,1.637976e-01,1.628730e-01,1.619397e-01,1.609997e-01,1.600549e-01,1.591071e-01,1.581577e-01
0.000000e+00,7.186306e-10,2.041825e-09,8.781432e-09,2.209300e-08,3.342091e-08,8.057230e-08,8.314552e-08,1.661180e-07,1.964258e-07,2.906061e-07,3.888100e-07,4.652600e-07,6.778154e-07,6.988675e-07,9.988890e-07,1.081253e-06,1.368289e-06,1.604106e-06,1.802632e-06,2.230221e-06,2.291320e-06,2.822056e-06,2.932252e-06,3.383924e-06,3.685365e-06,3.967991e-06,4.470313e-06,4.566853e-06,5.174145e-06,5.271709e-06,5.784236e-06,6.076577e-06,6.392100e-06,6.873767e-06,6.993270e-06,7.583841e-06,7.653833e-06,8.160477e-06,8.409047e-06,8.720403e-06,9.133379e-06,9.261389e-06,9.781718e-06,9.822412e-06,1.028015e-05,1.047319e-05,1.075585e-05,1.108401e-05,1.120837e-05,1.163755e-05,1.165424e-05,1.204352e-05,1.218404e-05,1.242660e-05,1.267427e-05,1.278729e-05,1.312621e-05,1.344408e-05,1.354148e-05,1.374169e-05,1.392193e-05,1.401989e-05,1.426950e-05,1.427954e-05,1.452150e-05,1.458620e-05,1.474665e-05,1.487403e-05,1.495585e-05,1.513495e-05,1.514994e-05,1.532975e-05,1.537086e-05,1.549605e-05,1.558356e-05,1.564961e-05,1.577479e-05,1.579116e-05,1.592140e-05,1.594615e-05,1.604099e-05,1.609918e-05,1.615055e-05,1.623528e-05,1.625069e-05,1.634197e-05,1.635578e-05,1.642491e-05,1.646191e-05,1.650002e-05,1.655479e-05,1.656777e-05,1.662863e-05,1.663548e-05,1.668300e-05,1.670497e-05,1.673128e-05,1.676414e-05,1.677385e-05,1.681107e-05,1.681382e-05,1.684326e-05,1.685479e-05,1.687073e-05,1.688776e-05,1.689379e-05,1.691270e-05,1.691338e-05,1.692774e-05,1.693225e-05,1.693913e-05,1.694493e-05,1.694713e-05,1.695193e-05,1.695375e-05,1.695373e-05,1.695278e-05,1.695077e-05,1.694919e-05,1.694345e-05,1.694317e-05,1.693486e-05,1.693215e-05,1.692443e-05,1.691721e-05,1.691201e-05,1.689895e-05,1.689774e-05,1.688174e-05,1.687766e-05,1.686413e-05,1.685361e-05,1.684503e-05,1.682707e-05,1.682454e-05,1.680276e-05,1.679825e-05,1.677978e-05,1.676738e-05,1.675569e-05,1.673466e-05,1.673057e-05,1.670451e-05,1.670026e-05,1.667758e-05,1.666436e-05,1.664984e-05,1.662712e-05,1.662137e-05,1.659222e-05,1.658868e-05,1.656246e-05,1.654918e-05,1.653214e-05,1.650875e-05,1.650130e-05,1.647001e-05,1.646749e-05,1.643830e-05,1.642552e-05,1.640623e-05,1.638293e-05,1.637383e-05,1.634114e-05,1.633982e-05,1.630819e-05,1.629628e-05,1.627504e-05,1.625238e-05,1.624169e-05,1.620820e-05,1.616379e-05,1.611924e-05,1.607458e-05,1.602989e-05,1.598520e-05,1.594056e-05,1.589602e-05,1.585161e-05,1.580736e-05,1.576332e-05,1.571952e-05,1.567597e-05,1.563270e-05,1.558975e-05,1.554713e-05,1.550485e-05,1.546294e-05,1.542142e-05,1.538029e-05,1.533958e-05,1.529929e-05,1.525943e-05,1.522002e-05,1.518105e-05
0.000000e+00,2.561222e-09,6.239864e-09,2.287792e-08,5.355949e-08,7.893509e-08,1.820343e-07,1.875976e-07,3.653929e-07,4.298539e-07,6.292775e-07,8.362776e-07,9.969418e-07,1.441725e-06,1.485623e-06,2.108009e-06,2.277806e-06,2.866405e-06,3.347307e-06,3.751246e-06,4.621662e-06,4.746314e-06,5.834552e-06,6.061982e-06,7.000428e-06,7.632695e-06,8.230026e-06,9.302759e-06,9.510566e-06,1.083004e-05,1.104400e-05,1.217708e-05,1.283027e-05,1.354095e-05,1.463743e-05,1.491167e-05,1.628007e-05,1.644372e-05,1.763791e-05,1.823012e-05,1.897796e-05,1.998062e-05,2.029397e-05,2.158066e-05,2.168220e-05,2.283375e-05,2.332477e-05,2.404977e-05,2.490082e-05,2.522604e-05,2.636061e-05,2.640511e-05,2.745215e-05,2.783440e-05,2.849985e-05,2.918704e-05,2.950335e-05,3.046269e-05,3.137822e-05,3.166202e-05,3.225052e-05,3.278647e-05,3.308039e-05,3.383806e-05,3.386881e-05,3.461685e-05,3.481923e-05,3.532569e-05,3.573268e-05,3.599654e-05,3.658127e-05,3.663068e-05,3.722940e-05,3.736797e-05,3.779401e-05,3.809577e-05,3.832580e-05,3.876765e-05,3.882605e-05,3.929605e-05,3.938653e-05,3.973704e-05,3.995530e-05,4.015024e-05,4.047671e-05,4.053683e-05,4.089796e-05,4.095345e-05,4.123476e-05,4.138809e-05,4.154830e-05,4.178309e-05,4.183962e-05,4.210975e-05,4.214079e-05,4.235964e-05,4.246343e-05,4.259023e-05,4.275313e-05,4.280243e-05,4.299708e-05,4.301192e-05,4.317503e-05,4.324171e-05,4.333706e-05,4.344430e-05,4.348395e-05,4.361641e-05,4.362142e-05,4.373516e-05,4.377468e-05,4.384086e-05,4.390562e-05,4.393416e-05,4.401567e-05,4.408597e-05,4.410619e-05,4.414564e-05,4.417849e-05,4.419520e-05,4.423376e-05,4.423518e-05,4.426606e-05,4.427314e-05,4.428832e-05,4.429772e-05,4.430240e-05,4.430851e-05,4.430874e-05,4.430774e-05,4.430645e-05,4.429979e-05,4.429245e-05,4.428528e-05,4.426735e-05,4.426454e-05,4.423794e-05,4.423194e-05,4.420578e-05,4.418697e-05,4.416839e-05,4.413315e-05,4.412605e-05,4.407906e-05,4.407112e-05,4.402767e-05,4.400152e-05,4.397215e-05,4.392493e-05,4.391275e-05,4.384969e-05,4.384189e-05,4.378321e-05,4.375292e-05,4.371350e-05,4.365850e-05,4.364079e-05,4.356525e-05,4.355910e-05,4.348709e-05,4.345512e-05,4.340646e-05,4.334698e-05,4.332354e-05,4.323849e-05,4.323505e-05,4.315147e-05,4.311968e-05,4.306261e-05,4.300121e-05,4.297206e-05,4.287994e-05,4.275617e-05,4.263016e-05,4.250219e-05,4.237247e-05,4.224125e-05,4.210872e-05,4.197510e-05,4.184056e-05,4.170527e-05,4.156940e-05,4.143309e-05,4.129649e-05,4.115974e-05,4.102294e-05,4.088623e-05,4.074970e-05,4.061345e-05,4.047758e-05,4.034217e-05,4.020730e-05,4.007305e-05,3.993949e-05,3.980667e-05,3.967466e-05
0.000000e+00,2.147571e-10,7.192906e-10,3.725704e-09,1.022676e-08,1.596987e-08,4.063260e-08,4.199754e-08,8.646895e-08,1.028436e-07,1.539270e-07,2.073615e-07,2.490202e-07,3.650238e-07,3.765273e-07,5.408422e-07,5.861043e-07,7.445001e-07,8.754737e-07,9.863379e-07,1.226884e-06,1.261439e-06,1.563297e-06,1.626325e-06,1.885816e-06,2.059970e-06,2.223922e-06,2.516865e-06,2.573386e-06,2.930530e-06,2.988160e-06,3.292030e-06,3.466186e-06,3.654813e-06,3.944047e-06,4.016039e-06,4.373111e-06,4.415566e-06,4.723693e-06,4.875355e-06,5.065737e-06,5.318895e-06,5.397498e-06,5.717533e-06,5.742593e-06,6.024701e-06,6.143765e-06,6.318146e-06,6.520587e-06,6.597275e-06,6.861733e-06,6.872003e-06,7.111372e-06,7.197616e-06,7.346225e-06,7.497566e-06,7.566473e-06,7.772419e-06,7.964464e-06,8.023058e-06,8.143082e-06,8.250594e-06,8.308802e-06,8.456284e-06,8.462190e-06,8.603835e-06,8.641472e-06,8.734334e-06,8.807534e-06,8.854288e-06,8.955843e-06,8.964290e-06,9.064921e-06,9.087741e-06,9.156742e-06,9.204518e-06,9.240297e-06,9.307399e-06,9.316104e-06,9.384658e-06,9.397540e-06,9.446429e-06,9.476017e-06,9.501860e-06,9.543831e-06,9.551371e-06,9.595355e-06,9.601905e-06,9.634184e-06,9.651093e-06,9.668204e-06,9.692177e-06,9.697740e-06,9.723098e-06,9.725874e-06,9.744562e-06,9.752842e-06,9.762399e-06,9.773681e-06,9.776855e-06,9.788163e-06,9.788938e-06,9.796538e-06,9.799113e-06,9.802183e-06,9.804663e-06,9.805286e-06,9.806022e-06,9.806005e-06,9.804555e-06,9.803517e-06,9.801037e-06,9.797547e-06,9.795611e-06,9.788411e-06,9.779561e-06,9.776399e-06,9.769176e-06,9.761776e-06,9.757366e-06,9.744782e-06,9.744232e-06,9.729869e-06,9.725639e-06,9.714365e-06,9.704550e-06,9.697803e-06,9.681700e-06,9.680262e-06,9.661815e-06,9.657261e-06,9.642530e-06,9.631388e-06,9.622471e-06,9.604227e-06,9.601698e-06,9.580268e-06,9.575908e-06,9.558233e-06,9.546553e-06,9.535644e-06,9.516274e-06,9.512546e-06,9.488984e-06,9.485174e-06,9.465000e-06,9.453348e-06,9.440631e-06,9.420884e-06,9.415915e-06,9.390885e-06,9.387862e-06,9.365574e-06,9.354356e-06,9.340012e-06,9.320435e-06,9.314228e-06,9.288250e-06,9.286164e-06,9.262101e-06,9.251599e-06,9.235807e-06,9.216797e-06,9.209389e-06,9.182869e-06,9.181807e-06,9.156267e-06,9.146674e-06,9.129602e-06,9.111443e-06,9.102892e-06,9.076152e-06,9.040838e-06,9.005535e-06,8.970274e-06,8.935083e-06,8.899990e-06,8.865019e-06,8.830192e-06,8.795531e-06,8.761054e-06,8.726779e-06,8.692723e-06,8.658899e-06,8.625323e-06,8.592005e-06,8.558958e-06,8.526192e-06,8.493716e-06,8.461538e-06,8.429666e-06,8.398107e-06,8.366867e-06,8.335952e-06,8.305366e-06,8.275114e-06
0.000000e+00,2.382484e-11,1.311469e-10,1.484911e-09,6.779376e-09,1.321718e-08,5.239398e-08,5.496881e-08,1.543342e-07,1.967859e-07,3.436641e-07,5.155475e-07,6.598128e-07,1.099345e-06,1.145572e-06,1.850240e-06,2.057773e-06,2.825749e-06,3.507261e-06,4.115249e-06,5.525214e-06,5.737208e-06,7.676389e-06,8.098817e-06,9.889508e-06,1.112996e-05,1.232017e-05,1.448892e-05,1.491244e-05,1.761794e-05,1.805857e-05,2.039727e-05,2.174806e-05,2.321885e-05,2.548909e-05,2.605695e-05,2.889009e-05,2.922883e-05,3.170002e-05,3.292491e-05,3.447107e-05,3.654270e-05,3.718977e-05,3.984469e-05,4.005403e-05,4.242627e-05,4.343657e-05,4.492671e-05,4.667327e-05,4.733986e-05,4.966104e-05,4.975193e-05,5.188697e-05,5.266455e-05,5.401554e-05,5.540678e-05,5.604570e-05,5.797728e-05,5.981088e-05,6.037713e-05,6.154772e-05,6.260929e-05,6.318952e-05,6.467820e-05,6.473840e-05,6.619682e-05,6.658933e-05,6.756747e-05,6.834891e-05,6.885320e-05,6.996365e-05,7.005701e-05,7.118195e-05,7.144054e-05,7.223111e-05,7.278670e-05,7.320759e-05,7.400923e-05,7.411448e-05,7.495481e-05,7.511515e-05,7.573157e-05,7.611134e-05,7.644770e-05,7.700448e-05,7.710604e-05,7.770936e-05,7.780097e-05,7.826033e-05,7.850695e-05,7.876151e-05,7.912831e-05,7.921542e-05,7.962445e-05,7.967063e-05,7.999093e-05,8.013926e-05,8.031706e-05,8.053925e-05,8.060497e-05,8.085671e-05,8.087535e-05,8.107423e-05,8.115208e-05,8.125941e-05,8.137372e-05,8.141404e-05,8.153983e-05,8.154429e-05,8.163841e-05,8.166755e-05,8.171135e-05,8.174707e-05,8.176014e-05,8.178619e-05,8.179087e-05,8.178807e-05,8.177547e-05,8.175564e-05,8.174122e-05,8.169168e-05,8.168928e-05,8.162078e-05,8.159877e-05,8.153677e-05,8.147935e-05,8.143827e-05,8.133567e-05,8.132623e-05,8.120158e-05,8.116988e-05,8.106517e-05,8.098395e-05,8.091783e-05,8.077975e-05,8.076034e-05,8.059345e-05,8.055900e-05,8.041786e-05,8.032333e-05,8.023423e-05,8.007425e-05,8.004322e-05,7.984540e-05,7.981316e-05,7.964136e-05,7.954137e-05,7.943164e-05,7.926011e-05,7.921674e-05,7.899715e-05,7.897051e-05,7.877333e-05,7.867362e-05,7.854570e-05,7.837042e-05,7.831469e-05,7.808067e-05,7.806183e-05,7.784402e-05,7.774870e-05,7.760507e-05,7.743180e-05,7.736416e-05,7.712159e-05,7.711186e-05,7.687765e-05,7.678955e-05,7.663261e-05,7.646550e-05,7.638674e-05,7.614027e-05,7.581440e-05,7.548837e-05,7.516263e-05,7.483759e-05,7.451363e-05,7.419110e-05,7.387031e-05,7.355156e-05,7.323510e-05,7.292117e-05,7.260999e-05,7.230176e-05,7.199665e-05,7.169482e-05,7.139640e-05,7.110154e-05,7.081032e-05,7.052286e-05,7.023924e-05,6.995952e-05,6.968378e-05,6.941206e-05,6.914440e-05,6.888084e-05
0.000000e+00,2.860399e-12,1.664243e-11,2.095698e-10,1.042991e-09,2.122618e-09,9.262857e-09,9.751687e-09,2.945904e-08,3.817688e-08,6.897471e-08,1.056069e-07,1.365171e-07,2.305043e-07,2.403371e-07,3.884951e-07,4.314980e-07,5.883681e-07,7.250582e-07,8.454498e-07,1.120781e-06,1.161854e-06,1.535702e-06,1.616956e-06,1.961880e-06,2.201918e-06,2.433499e-06,2.859364e-06,2.943166e-06,3.483685e-06,3.572573e-06,4.048302e-06,4.326006e-06,4.630689e-06,5.105358e-06,5.224858e-06,5.825123e-06,5.897305e-06,6.426091e-06,6.689423e-06,7.022704e-06,7.470334e-06,7.610304e-06,8.184696e-06,8.229963e-06,8.742210e-06,8.959774e-06,9.279735e-06,9.652928e-06,9.794734e-06,1.028525e-05,1.030433e-05,1.074985e-05,1.091058e-05,1.118765e-05,1.146980e-05,1.159819e-05,1.198143e-05,1.233766e-05,1.244603e-05,1.266745e-05,1.286501e-05,1.297161e-05,1.324041e-05,1.325113e-05,1.350711e-05,1.357473e-05,1.374074e-05,1.387070e-05,1.395326e-05,1.413123e-05,1.414594e-05,1.432005e-05,1.435921e-05,1.447681e-05,1.455748e-05,1.461744e-05,1.472877e-05,1.474309e-05,1.485486e-05,1.487564e-05,1.495379e-05,1.500049e-05,1.504087e-05,1.510551e-05,1.511699e-05,1.518302e-05,1.519271e-05,1.523975e-05,1.526389e-05,1.528790e-05,1.532069e-05,1.532814e-05,1.536111e-05,1.536460e-05,1.538736e-05,1.539692e-05,1.540743e-05,1.541884e-05,1.542179e-05,1.543089e-05,1.543141e-05,1.543514e-05,1.543556e-05,1.543490e-05,1.543215e-05,1.543053e-05,1.542232e-05,1.542192e-05,1.541059e-05,1.540555e-05,1.539557e-05,1.538363e-05,1.537754e-05,1.535670e-05,1.533328e-05,1.532526e-05,1.530745e-05,1.528974e-05,1.527940e-05,1.525054e-05,1.524930e-05,1.521729e-05,1.520800e-05,1.518351e-05,1.516246e-05,1.514811e-05,1.511421e-05,1.511120e-05,1.507290e-05,1.506351e-05,1.503331e-05,1.501061e-05,1.499253e-05,1.495573e-05,1.495065e-05,1.490777e-05,1.489908e-05,1.486396e-05,1.484084e-05,1.481930e-05,1.478118e-05,1.477386e-05,1.472771e-05,1.472026e-05,1.468091e-05,1.465823e-05,1.463352e-05,1.459522e-05,1.458559e-05,1.453719e-05,1.453135e-05,1.448835e-05,1.446673e-05,1.443913e-05,1.440149e-05,1.438956e-05,1.433970e-05,1.433570e-05,1.428957e-05,1.426946e-05,1.423923e-05,1.420286e-05,1.418869e-05,1.413800e-05,1.413597e-05,1.408718e-05,1.406887e-05,1.403627e-05,1.400162e-05,1.398530e-05,1.393428e-05,1.386692e-05,1.379958e-05,1.373232e-05,1.366518e-05,1.359820e-05,1.353143e-05,1.346490e-05,1.339865e-05,1.333270e-05,1.326709e-05,1.320184e-05,1.313698e-05,1.307252e-05,1.300850e-05,1.294493e-05,1.288183e-05,1.281921e-05,1.275710e-05,1.269549e-05,1.263441e-05,1.257386e-05,1.251386e-05,1.245441e-05,1.239552e-05
0.000000e+00,4.712397e-09,1.168351e-08,4.374294e-08,1.038650e-07,1.542822e-07,3.645242e-07,3.760999e-07,7.574941e-07,9.008843e-07,1.359103e-06,1.852596e-06,2.243197e-06,3.331757e-06,3.438551e-06,4.922463e-06,5.316629e-06,6.651193e-06,7.711853e-06,8.587439e-06,1.044127e-05,1.070405e-05,1.297971e-05,1.345223e-05,1.539522e-05,1.670022e-05,1.793140e-05,2.014046e-05,2.056828e-05,2.328509e-05,2.372577e-05,2.606051e-05,2.740724e-05,2.887317e-05,3.113609e-05,3.170224e-05,3.452786e-05,3.486581e-05,3.733160e-05,3.855393e-05,4.009672e-05,4.216317e-05,4.280837e-05,4.545383e-05,4.566228e-05,4.802244e-05,4.902635e-05,5.050547e-05,5.223632e-05,5.289604e-05,5.518899e-05,5.527863e-05,5.738071e-05,5.814446e-05,5.946889e-05,6.082910e-05,6.145242e-05,6.333130e-05,6.510624e-05,6.565245e-05,6.677850e-05,6.779576e-05,6.835006e-05,6.976623e-05,6.982330e-05,7.120099e-05,7.157003e-05,7.248615e-05,7.321415e-05,7.368198e-05,7.470609e-05,7.479179e-05,7.581899e-05,7.605360e-05,7.676700e-05,7.726458e-05,7.763926e-05,7.834688e-05,7.843916e-05,7.917006e-05,7.930825e-05,7.983524e-05,8.015623e-05,8.043791e-05,8.089812e-05,8.098118e-05,8.146809e-05,8.154096e-05,8.190155e-05,8.209146e-05,8.228438e-05,8.255603e-05,8.261931e-05,8.290892e-05,8.294075e-05,8.315574e-05,8.325140e-05,8.336215e-05,8.349342e-05,8.353046e-05,8.366287e-05,8.367197e-05,8.376147e-05,8.379190e-05,8.382827e-05,8.385776e-05,8.386518e-05,8.387403e-05,8.387383e-05,8.385655e-05,8.384413e-05,8.381439e-05,8.377244e-05,8.374914e-05,8.366228e-05,8.355524e-05,8.351695e-05,8.342938e-05,8.333954e-05,8.328597e-05,8.313293e-05,8.312624e-05,8.295135e-05,8.289981e-05,8.276239e-05,8.264269e-05,8.256040e-05,8.236392e-05,8.234638e-05,8.212125e-05,8.206566e-05,8.188590e-05,8.174995e-05,8.164117e-05,8.141868e-05,8.138785e-05,8.112670e-05,8.107359e-05,8.085842e-05,8.071632e-05,8.058368e-05,8.034837e-05,8.030311e-05,8.001732e-05,7.997115e-05,7.972687e-05,7.958595e-05,7.943228e-05,7.919398e-05,7.913407e-05,7.883270e-05,7.879635e-05,7.852862e-05,7.839408e-05,7.822225e-05,7.798812e-05,7.791398e-05,7.760419e-05,7.757935e-05,7.729322e-05,7.716857e-05,7.698139e-05,7.675653e-05,7.666903e-05,7.635640e-05,7.634390e-05,7.604379e-05,7.593130e-05,7.573144e-05,7.551932e-05,7.541960e-05,7.510848e-05,7.469924e-05,7.429206e-05,7.388733e-05,7.348540e-05,7.308661e-05,7.269124e-05,7.229957e-05,7.191182e-05,7.152822e-05,7.114894e-05,7.077416e-05,7.040403e-05,7.003866e-05,6.967818e-05,6.932266e-05,6.897220e-05,6.862686e-05,6.828669e-05,6.795173e-05,6.762201e-05,6.729755e-05,6.697836e-05,6.666444e-05,6.635580e-05
0.000000e+00,3.232296e-13,2.050942e-12,3.077489e-11,1.787144e-10,3.949385e-10,2.115324e-09,2.245036e-09,8.210487e-09,1.118453e-08,2.281829e-08,3.839083e-08,5.267247e-08,1.010430e-07,1.064666e-07,1.948111e-07,2.224681e-07,3.296596e-07,4.300519e-07,5.231627e-07,7.506527e-07,7.861910e-07,1.127069e-06,1.205094e-06,1.550896e-06,1.804792e-06,2.059487e-06,2.551469e-06,2.651729e-06,3.324126e-06,3.438813e-06,4.071354e-06,4.454689e-06,4.886757e-06,5.583079e-06,5.762731e-06,6.691044e-06,6.805552e-06,7.663084e-06,8.102374e-06,8.670074e-06,9.453372e-06,9.703265e-06,1.075410e-05,1.083868e-05,1.181438e-05,1.223938e-05,1.287637e-05,1.363804e-05,1.393295e-05,1.497764e-05,1.501910e-05,1.600471e-05,1.636915e-05,1.700916e-05,1.767709e-05,1.798677e-05,1.893404e-05,1.984817e-05,2.013333e-05,2.072704e-05,2.127027e-05,2.156909e-05,2.234190e-05,2.237334e-05,2.313925e-05,2.334680e-05,2.386669e-05,2.428477e-05,2.455589e-05,2.515660e-05,2.520735e-05,2.582181e-05,2.596387e-05,2.640019e-05,2.670872e-05,2.694357e-05,2.739371e-05,2.745311e-05,2.793008e-05,2.802168e-05,2.837577e-05,2.859561e-05,2.879151e-05,2.911857e-05,2.917864e-05,2.953849e-05,2.959362e-05,2.987238e-05,3.002381e-05,3.018160e-05,3.041206e-05,3.046741e-05,3.073102e-05,3.076122e-05,3.097362e-05,3.107400e-05,3.119634e-05,3.135298e-05,3.140026e-05,3.158642e-05,3.160058e-05,3.175583e-05,3.181911e-05,3.190941e-05,3.201071e-05,3.204808e-05,3.217270e-05,3.217740e-05,3.228407e-05,3.232107e-05,3.238297e-05,3.244347e-05,3.247013e-05,3.254625e-05,3.261197e-05,3.263091e-05,3.266793e-05,3.269889e-05,3.271471e-05,3.275150e-05,3.275287e-05,3.278293e-05,3.278996e-05,3.280539e-05,3.281541e-05,3.282072e-05,3.282891e-05,3.282936e-05,3.283174e-05,3.283142e-05,3.282824e-05,3.282386e-05,3.281925e-05,3.280707e-05,3.280511e-05,3.278617e-05,3.278183e-05,3.276273e-05,3.274887e-05,3.273510e-05,3.270885e-05,3.270355e-05,3.266835e-05,3.266239e-05,3.262975e-05,3.261008e-05,3.258798e-05,3.255245e-05,3.254328e-05,3.249585e-05,3.248999e-05,3.244589e-05,3.242316e-05,3.239359e-05,3.235239e-05,3.233913e-05,3.228267e-05,3.227808e-05,3.222438e-05,3.220058e-05,3.216440e-05,3.212025e-05,3.210288e-05,3.203994e-05,3.203739e-05,3.197571e-05,3.195230e-05,3.191032e-05,3.186524e-05,3.184387e-05,3.177647e-05,3.168622e-05,3.159470e-05,3.150211e-05,3.140864e-05,3.131445e-05,3.121971e-05,3.112455e-05,3.102912e-05,3.093354e-05,3.083791e-05,3.074236e-05,3.064697e-05,3.055184e-05,3.045705e-05,3.036267e-05,3.026877e-05,3.017543e-05,3.008269e-05,2.999061e-05,2.989924e-05,2.980863e-05,2.971880e-05,2.962982e-05,2.954169e-05
0.000000e+00,1.848765e-11,8.831585e-11,7.711751e-10,2.884622e-09,5.110337e-09,1.643204e-08,1.711082e-08,4.081631e-08,5.007142e-08,8.001346e-08,1.124955e-07,1.383759e-07,2.121855e-07,2.196155e-07,3.275110e-07,3.577866e-07,4.657174e-07,5.575224e-07,6.372322e-07,8.168714e-07,8.434308e-07,1.082885e-06,1.134396e-06,1.350734e-06,1.498785e-06,1.639415e-06,1.891820e-06,1.940495e-06,2.246368e-06,2.295329e-06,2.551053e-06,2.695547e-06,2.850197e-06,3.083432e-06,3.140740e-06,3.420547e-06,3.453328e-06,3.688148e-06,3.801755e-06,3.942547e-06,4.126663e-06,4.183115e-06,4.409515e-06,4.427010e-06,4.621646e-06,4.702520e-06,4.819609e-06,4.953509e-06,5.003662e-06,5.174197e-06,5.180744e-06,5.331703e-06,5.385323e-06,5.476747e-06,5.568572e-06,5.609946e-06,5.731948e-06,5.843416e-06,5.876970e-06,5.945016e-06,6.005165e-06,6.037403e-06,6.118017e-06,6.121212e-06,6.197057e-06,6.216946e-06,6.265520e-06,6.303286e-06,6.327154e-06,6.378271e-06,6.382476e-06,6.431974e-06,6.443037e-06,6.476097e-06,6.498617e-06,6.515266e-06,6.545945e-06,6.549868e-06,6.580261e-06,6.585864e-06,6.606774e-06,6.619130e-06,6.629712e-06,6.646421e-06,6.649353e-06,6.665954e-06,6.668344e-06,6.679750e-06,6.685440e-06,6.690958e-06,6.698195e-06,6.699776e-06,6.706387e-06,6.707040e-06,6.710957e-06,6.712361e-06,6.713640e-06,6.714505e-06,6.714578e-06,6.713900e-06,6.713780e-06,6.711727e-06,6.710464e-06,6.708168e-06,6.704805e-06,6.703325e-06,6.697292e-06,6.697027e-06,6.690156e-06,6.687332e-06,6.681996e-06,6.675901e-06,6.672888e-06,6.662898e-06,6.652092e-06,6.648471e-06,6.640528e-06,6.632755e-06,6.628261e-06,6.615871e-06,6.615343e-06,6.601821e-06,6.597933e-06,6.587740e-06,6.579040e-06,6.573142e-06,6.559288e-06,6.558065e-06,6.542546e-06,6.538759e-06,6.526619e-06,6.517533e-06,6.510316e-06,6.495681e-06,6.493666e-06,6.476698e-06,6.473268e-06,6.459438e-06,6.450356e-06,6.441911e-06,6.426999e-06,6.424140e-06,6.406147e-06,6.403249e-06,6.387953e-06,6.379154e-06,6.369578e-06,6.354759e-06,6.351039e-06,6.332354e-06,6.330102e-06,6.313539e-06,6.305223e-06,6.294610e-06,6.280156e-06,6.275581e-06,6.256467e-06,6.254934e-06,6.237279e-06,6.229587e-06,6.218032e-06,6.204142e-06,6.198735e-06,6.179400e-06,6.178626e-06,6.160038e-06,6.153063e-06,6.140659e-06,6.127476e-06,6.121271e-06,6.101884e-06,6.076308e-06,6.050766e-06,6.025274e-06,5.999847e-06,5.974500e-06,5.949248e-06,5.924101e-06,5.899071e-06,5.874170e-06,5.849407e-06,5.824791e-06,5.800331e-06,5.776034e-06,5.751908e-06,5.727958e-06,5.704192e-06,5.680615e-06,5.657231e-06,5.634046e-06,5.611063e-06,5.588286e-06,5.565719e-06,5.543365e-06,5.521226e-06
0.000000e+00,4.770385e-12,2.766338e-11,3.462031e-10,1.714914e-09,3.482413e-09,1.512986e-08,1.592605e-08,4.798694e-08,6.216142e-08,1.122430e-07,1.718550e-07,2.222007e-07,3.755394e-07,3.916023e-07,6.340746e-07,7.045972e-07,9.623737e-07,1.187633e-06,1.386519e-06,1.843021e-06,1.911314e-06,2.535065e-06,2.671125e-06,3.250505e-06,3.655309e-06,4.046999e-06,4.769974e-06,4.912622e-06,5.835407e-06,5.987580e-06,6.803839e-06,7.281658e-06,7.806940e-06,8.627317e-06,8.834218e-06,9.875640e-06,1.000110e-05,1.092166e-05,1.138104e-05,1.196332e-05,1.274695e-05,1.299235e-05,1.400126e-05,1.408090e-05,1.498347e-05,1.536757e-05,1.593330e-05,1.659446e-05,1.684607e-05,1.771801e-05,1.775200e-05,1.854629e-05,1.883336e-05,1.932888e-05,1.983429e-05,2.006455e-05,2.075274e-05,2.139346e-05,2.158854e-05,2.198724e-05,2.234304e-05,2.253502e-05,2.301876e-05,2.303804e-05,2.349784e-05,2.361907e-05,2.391613e-05,2.414795e-05,2.429476e-05,2.460974e-05,2.463567e-05,2.494083e-05,2.500898e-05,2.521227e-05,2.535028e-05,2.545196e-05,2.563818e-05,2.566185e-05,2.584387e-05,2.587709e-05,2.599985e-05,2.607126e-05,2.613156e-05,2.622469e-05,2.624070e-05,2.632888e-05,2.634115e-05,2.639763e-05,2.642415e-05,2.644839e-05,2.647698e-05,2.648254e-05,2.650135e-05,2.650264e-05,2.650603e-05,2.650390e-05,2.649770e-05,2.648332e-05,2.647741e-05,2.644615e-05,2.644321e-05,2.640485e-05,2.638570e-05,2.635434e-05,2.631273e-05,2.629544e-05,2.622888e-05,2.622607e-05,2.615536e-05,2.612731e-05,2.607551e-05,2.601791e-05,2.598993e-05,2.589918e-05,2.580377e-05,2.577233e-05,2.570417e-05,2.563844e-05,2.560083e-05,2.549849e-05,2.549416e-05,2.538454e-05,2.535336e-05,2.527231e-05,2.520386e-05,2.515780e-05,2.505071e-05,2.504133e-05,2.492315e-05,2.489457e-05,2.480354e-05,2.473602e-05,2.468273e-05,2.457560e-05,2.456094e-05,2.443838e-05,2.441379e-05,2.431523e-05,2.425101e-05,2.419166e-05,2.408766e-05,2.406784e-05,2.394391e-05,2.392408e-05,2.382000e-05,2.376058e-05,2.369625e-05,2.359744e-05,2.357277e-05,2.344965e-05,2.343491e-05,2.332701e-05,2.327321e-05,2.320492e-05,2.311255e-05,2.308346e-05,2.296271e-05,2.295309e-05,2.284274e-05,2.279499e-05,2.272361e-05,2.263838e-05,2.260537e-05,2.248807e-05,2.248340e-05,2.237176e-05,2.233014e-05,2.225647e-05,2.217869e-05,2.214226e-05,2.202913e-05,2.188154e-05,2.173596e-05,2.159245e-05,2.145105e-05,2.131178e-05,2.117468e-05,2.103976e-05,2.090704e-05,2.077653e-05,2.064822e-05,2.052212e-05,2.039822e-05,2.027652e-05,2.015701e-05,2.003966e-05,1.992448e-05,1.981143e-05,1.970050e-05,1.959166e-05,1.948490e-05,1.938019e-05,1.927750e-05,1.917682e-05,1.907810e-05
0.000000e+00,1.659340e-12,1.001933e-11,1.359847e-10,7.229559e-10,1.524366e-09,7.274889e-09,7.686393e-09,2.533938e-08,3.362840e-08,6.452978e-08,1.037891e-07,1.385489e-07,2.508765e-07,2.630734e-07,4.533345e-07,5.101384e-07,7.204792e-07,9.058876e-07,1.069870e-06,1.445741e-06,1.501870e-06,2.013669e-06,2.125233e-06,2.600861e-06,2.934308e-06,3.258306e-06,3.860776e-06,3.980416e-06,4.761142e-06,4.891065e-06,5.593879e-06,6.009975e-06,6.471425e-06,7.200534e-06,7.386033e-06,8.329547e-06,8.444315e-06,9.293596e-06,9.722123e-06,1.026982e-05,1.101488e-05,1.125009e-05,1.222672e-05,1.230448e-05,1.319262e-05,1.357453e-05,1.414144e-05,1.481086e-05,1.506762e-05,1.596646e-05,1.600179e-05,1.683413e-05,1.713826e-05,1.766760e-05,1.821365e-05,1.846462e-05,1.922364e-05,1.994374e-05,2.016589e-05,2.062457e-05,2.103971e-05,2.126622e-05,2.184578e-05,2.186917e-05,2.243422e-05,2.258578e-05,2.296243e-05,2.326218e-05,2.345504e-05,2.387796e-05,2.391341e-05,2.433902e-05,2.443646e-05,2.473339e-05,2.494117e-05,2.509807e-05,2.539567e-05,2.543463e-05,2.574458e-05,2.580351e-05,2.602944e-05,2.616813e-05,2.629065e-05,2.649283e-05,2.652963e-05,2.674771e-05,2.678075e-05,2.694619e-05,2.703485e-05,2.712627e-05,2.725788e-05,2.728912e-05,2.743582e-05,2.745239e-05,2.756741e-05,2.762077e-05,2.768484e-05,2.776519e-05,2.778903e-05,2.788083e-05,2.788767e-05,2.796104e-05,2.799005e-05,2.803041e-05,2.807403e-05,2.808963e-05,2.813936e-05,2.814116e-05,2.818022e-05,2.819287e-05,2.821278e-05,2.823045e-05,2.823757e-05,2.825510e-05,2.826584e-05,2.826791e-05,2.827022e-05,2.826988e-05,2.826865e-05,2.826192e-05,2.826153e-05,2.824921e-05,2.824488e-05,2.823203e-05,2.821952e-05,2.821031e-05,2.818656e-05,2.818433e-05,2.815439e-05,2.814664e-05,2.812073e-05,2.810036e-05,2.808361e-05,2.804826e-05,2.804326e-05,2.799988e-05,2.799086e-05,2.795369e-05,2.792862e-05,2.790487e-05,2.786196e-05,2.785360e-05,2.780006e-05,2.779129e-05,2.774439e-05,2.771696e-05,2.768676e-05,2.763933e-05,2.762729e-05,2.756614e-05,2.755869e-05,2.750341e-05,2.747534e-05,2.743922e-05,2.738954e-05,2.737370e-05,2.730694e-05,2.730155e-05,2.723904e-05,2.721159e-05,2.717010e-05,2.711987e-05,2.710021e-05,2.702945e-05,2.702660e-05,2.695790e-05,2.693196e-05,2.688563e-05,2.683611e-05,2.681272e-05,2.673923e-05,2.664145e-05,2.654291e-05,2.644374e-05,2.634406e-05,2.624397e-05,2.614359e-05,2.604301e-05,2.594231e-05,2.584158e-05,2.574090e-05,2.564034e-05,2.553996e-05,2.543983e-05,2.534000e-05,2.524053e-05,2.514147e-05,2.504286e-05,2.494475e-05,2.484718e-05,2.475018e-05,2.465378e-05,2.455802e-05,2.446293e-05,2.436853e-05
0.000000e+00,1.011318e-08,2.327981e-08,8.060374e-08,1.845204e-07,2.703733e-07,6.235546e-07,6.428702e-07,1.275429e-06,1.511954e-06,2.265313e-06,3.075014e-06,3.716261e-06,5.508768e-06,5.685005e-06,8.134480e-06,8.783785e-06,1.097241e-05,1.269811e-05,1.411229e-05,1.707397e-05,1.749021e-05,2.105838e-05,2.179127e-05,2.477712e-05,2.675830e-05,2.861029e-05,3.189325e-05,3.252331e-05,3.648277e-05,3.711843e-05,4.045669e-05,4.236043e-05,4.441515e-05,4.755227e-05,4.833074e-05,5.217900e-05,5.263523e-05,5.593874e-05,5.756024e-05,5.959204e-05,6.228825e-05,6.312428e-05,6.652392e-05,6.678989e-05,6.978228e-05,7.104461e-05,7.289321e-05,7.503953e-05,7.585282e-05,7.865912e-05,7.876818e-05,8.131176e-05,8.222925e-05,8.381172e-05,8.542550e-05,8.616106e-05,8.836265e-05,9.042011e-05,9.104872e-05,9.233763e-05,9.349351e-05,9.411981e-05,9.570784e-05,9.577146e-05,9.729757e-05,9.770308e-05,9.870324e-05,9.949096e-05,9.999360e-05,1.010833e-04,1.011737e-04,1.022487e-04,1.024916e-04,1.032235e-04,1.037274e-04,1.041029e-04,1.048018e-04,1.048918e-04,1.055947e-04,1.057253e-04,1.062160e-04,1.065082e-04,1.067600e-04,1.071603e-04,1.072309e-04,1.076328e-04,1.076909e-04,1.079693e-04,1.081087e-04,1.082442e-04,1.084222e-04,1.084611e-04,1.086232e-04,1.086392e-04,1.087339e-04,1.087671e-04,1.087961e-04,1.088129e-04,1.088129e-04,1.087871e-04,1.087833e-04,1.087212e-04,1.086843e-04,1.086180e-04,1.085218e-04,1.084797e-04,1.083088e-04,1.083013e-04,1.081073e-04,1.080277e-04,1.078774e-04,1.077059e-04,1.076211e-04,1.073403e-04,1.070367e-04,1.069350e-04,1.067121e-04,1.064940e-04,1.063680e-04,1.060207e-04,1.060059e-04,1.056274e-04,1.055186e-04,1.052337e-04,1.049908e-04,1.048262e-04,1.044401e-04,1.044061e-04,1.039745e-04,1.038694e-04,1.035326e-04,1.032810e-04,1.030813e-04,1.026772e-04,1.026217e-04,1.021546e-04,1.020603e-04,1.016809e-04,1.014322e-04,1.012014e-04,1.007948e-04,1.007170e-04,1.002283e-04,1.001497e-04,9.973592e-05,9.949851e-05,9.924063e-05,9.884266e-05,9.874297e-05,9.824350e-05,9.818347e-05,9.774277e-05,9.752217e-05,9.724126e-05,9.685987e-05,9.673943e-05,9.623772e-05,9.619760e-05,9.573653e-05,9.553628e-05,9.523624e-05,9.487679e-05,9.473720e-05,9.423975e-05,9.421988e-05,9.374418e-05,9.356629e-05,9.325078e-05,9.291664e-05,9.275981e-05,9.227153e-05,9.163147e-05,9.099694e-05,9.036837e-05,8.974613e-05,8.913056e-05,8.852197e-05,8.792060e-05,8.732669e-05,8.674043e-05,8.616200e-05,8.559154e-05,8.502917e-05,8.447498e-05,8.392905e-05,8.339143e-05,8.286216e-05,8.234127e-05,8.182876e-05,8.132463e-05,8.082887e-05,8.034144e-05,7.986230e-05,7.939142e-05,7.892873e-05
0.000000e+00,3.123171e-13,1.964720e-12,2.896439e-11,1.655299e-10,3.626056e-10,1.898369e-09,2.012894e-09,7.192904e-09,9.735301e-09,1.953362e-08,3.240687e-08,4.404386e-08,8.264158e-08,8.690821e-08,1.551834e-07,1.761816e-07,2.563668e-07,3.301747e-07,3.978320e-07,5.609735e-07,5.862611e-07,8.272441e-07,8.821502e-07,1.125103e-06,1.303530e-06,1.482894e-06,1.831161e-06,1.902497e-06,2.384728e-06,2.467699e-06,2.929433e-06,3.212807e-06,3.535565e-06,4.063456e-06,4.201236e-06,4.923773e-06,5.014144e-06,5.699773e-06,6.057125e-06,6.525172e-06,7.182674e-06,7.395326e-06,8.305109e-06,8.379441e-06,9.249021e-06,9.634856e-06,1.022130e-05,1.093558e-05,1.121603e-05,1.222727e-05,1.226798e-05,1.324917e-05,1.361855e-05,1.427602e-05,1.497432e-05,1.530239e-05,1.632317e-05,1.733362e-05,1.765406e-05,1.832942e-05,1.895725e-05,1.930671e-05,2.022433e-05,2.026209e-05,2.119258e-05,2.144831e-05,2.209569e-05,2.262354e-05,2.296935e-05,2.374567e-05,2.381190e-05,2.462206e-05,2.481157e-05,2.539890e-05,2.581913e-05,2.614180e-05,2.676724e-05,2.685046e-05,2.752480e-05,2.765556e-05,2.816496e-05,2.848445e-05,2.877130e-05,2.925485e-05,2.934431e-05,2.988464e-05,2.996811e-05,3.039304e-05,3.062597e-05,3.087034e-05,3.123041e-05,3.131746e-05,3.173537e-05,3.178360e-05,3.212507e-05,3.228786e-05,3.248759e-05,3.274557e-05,3.282397e-05,3.313527e-05,3.315913e-05,3.342254e-05,3.353094e-05,3.368680e-05,3.386340e-05,3.392908e-05,3.415038e-05,3.415881e-05,3.435169e-05,3.441945e-05,3.453395e-05,3.464748e-05,3.469808e-05,3.484499e-05,3.497554e-05,3.501399e-05,3.509055e-05,3.515638e-05,3.519083e-05,3.527396e-05,3.527715e-05,3.535025e-05,3.536845e-05,3.541084e-05,3.544146e-05,3.545958e-05,3.549453e-05,3.549714e-05,3.552412e-05,3.552909e-05,3.554112e-05,3.554649e-05,3.554871e-05,3.554801e-05,3.554741e-05,3.553774e-05,3.553485e-05,3.552019e-05,3.550811e-05,3.549523e-05,3.546885e-05,3.546328e-05,3.542479e-05,3.541805e-05,3.538013e-05,3.535663e-05,3.532971e-05,3.528545e-05,3.527386e-05,3.521295e-05,3.520532e-05,3.514729e-05,3.511698e-05,3.507720e-05,3.502115e-05,3.500297e-05,3.492487e-05,3.491847e-05,3.484318e-05,3.480956e-05,3.475815e-05,3.469499e-05,3.467001e-05,3.457899e-05,3.457530e-05,3.448531e-05,3.445097e-05,3.438917e-05,3.432249e-05,3.429076e-05,3.419027e-05,3.405473e-05,3.391623e-05,3.377514e-05,3.363177e-05,3.348642e-05,3.333939e-05,3.319093e-05,3.304128e-05,3.289068e-05,3.273932e-05,3.258742e-05,3.243514e-05,3.228266e-05,3.213013e-05,3.197770e-05,3.182550e-05,3.167364e-05,3.152225e-05,3.137143e-05,3.122128e-05,3.107188e-05,3.092332e-05,3.077566e-05,3.062898e-05
0.000000e+00,9.837884e-10,3.169030e-09,1.573165e-08,4.251529e-08,6.617117e-08,1.688362e-07,1.745785e-07,3.652301e-07,4.371163e-07,6.666752e-07,9.141165e-07,1.110940e-06,1.668114e-06,1.723582e-06,2.508820e-06,2.721445e-06,3.451281e-06,4.040210e-06,4.531097e-06,5.581745e-06,5.731745e-06,7.040005e-06,7.313529e-06,8.444148e-06,9.208382e-06,9.932650e-06,1.123948e-05,1.149359e-05,1.311453e-05,1.337860e-05,1.478266e-05,1.559633e-05,1.648508e-05,1.786316e-05,1.820910e-05,1.994256e-05,2.015066e-05,2.167406e-05,2.243258e-05,2.339318e-05,2.468566e-05,2.509061e-05,2.675820e-05,2.689010e-05,2.838898e-05,2.902965e-05,2.997715e-05,3.109157e-05,3.151801e-05,3.300786e-05,3.306635e-05,3.444393e-05,3.494735e-05,3.582425e-05,3.673034e-05,3.714754e-05,3.841319e-05,3.962108e-05,3.999546e-05,4.077157e-05,4.147804e-05,4.186531e-05,4.286281e-05,4.290327e-05,4.388657e-05,4.415226e-05,4.481648e-05,4.534939e-05,4.569444e-05,4.645765e-05,4.652204e-05,4.730093e-05,4.748080e-05,4.803280e-05,4.842275e-05,4.871937e-05,4.928746e-05,4.936237e-05,4.996357e-05,5.007895e-05,5.052472e-05,5.080131e-05,5.104771e-05,5.145892e-05,5.153442e-05,5.198635e-05,5.205554e-05,5.240508e-05,5.259472e-05,5.279211e-05,5.307987e-05,5.314887e-05,5.347677e-05,5.351425e-05,5.377718e-05,5.390098e-05,5.405139e-05,5.424304e-05,5.430065e-05,5.452617e-05,5.454322e-05,5.472909e-05,5.480419e-05,5.491054e-05,5.502848e-05,5.507158e-05,5.521323e-05,5.521850e-05,5.533647e-05,5.537652e-05,5.544226e-05,5.550467e-05,5.553147e-05,5.560496e-05,5.566357e-05,5.567930e-05,5.570806e-05,5.572949e-05,5.573920e-05,5.575720e-05,5.575771e-05,5.576426e-05,5.576404e-05,5.575951e-05,5.575150e-05,5.574409e-05,5.572100e-05,5.571860e-05,5.568360e-05,5.567384e-05,5.563963e-05,5.561129e-05,5.558722e-05,5.553450e-05,5.552685e-05,5.545900e-05,5.544458e-05,5.538413e-05,5.534255e-05,5.530264e-05,5.522939e-05,5.521497e-05,5.512148e-05,5.510601e-05,5.502256e-05,5.497325e-05,5.491856e-05,5.483192e-05,5.480981e-05,5.469662e-05,5.468276e-05,5.457932e-05,5.452648e-05,5.445818e-05,5.436372e-05,5.433349e-05,5.420550e-05,5.419512e-05,5.407446e-05,5.402124e-05,5.394061e-05,5.384263e-05,5.380418e-05,5.366539e-05,5.365979e-05,5.352443e-05,5.347319e-05,5.338150e-05,5.328327e-05,5.323678e-05,5.309045e-05,5.289512e-05,5.269762e-05,5.249831e-05,5.229749e-05,5.209545e-05,5.189247e-05,5.168880e-05,5.148467e-05,5.128032e-05,5.107594e-05,5.087172e-05,5.066784e-05,5.046446e-05,5.026173e-05,5.005980e-05,4.985878e-05,4.965881e-05,4.945998e-05,4.926241e-05,4.906618e-05,4.887138e-05,4.867808e-05,4.848637e-05,4.829629e-05
0.000000e+00,1.165071e-09,2.859361e-09,1.041566e-08,2.400546e-08,3.501652e-08,7.842793e-08,8.072516e-08,1.525062e-07,1.779228e-07,2.551155e-07,3.335081e-07,3.934514e-07,5.565560e-07,5.724861e-07,7.964051e-07,8.570730e-07,1.066562e-06,1.236796e-06,1.378887e-06,1.680728e-06,1.723330e-06,2.086886e-06,2.160792e-06,2.457634e-06,2.650191e-06,2.826696e-06,3.131007e-06,3.188154e-06,3.538223e-06,3.593000e-06,3.874450e-06,4.030419e-06,4.195194e-06,4.439870e-06,4.499326e-06,4.786072e-06,4.819287e-06,5.054951e-06,5.167531e-06,5.305739e-06,5.484241e-06,5.538453e-06,5.753328e-06,5.769759e-06,5.950796e-06,6.025040e-06,6.131460e-06,6.251543e-06,6.296058e-06,6.445432e-06,6.451103e-06,6.580492e-06,6.625792e-06,6.702191e-06,6.777810e-06,6.811499e-06,6.909374e-06,6.996752e-06,7.022643e-06,7.074526e-06,7.119656e-06,7.143546e-06,7.202302e-06,7.204601e-06,7.258425e-06,7.272293e-06,7.305692e-06,7.331162e-06,7.347016e-06,7.380266e-06,7.382956e-06,7.414014e-06,7.420794e-06,7.440646e-06,7.453778e-06,7.463256e-06,7.480117e-06,7.482210e-06,7.497831e-06,7.500582e-06,7.510412e-06,7.515839e-06,7.520211e-06,7.526466e-06,7.527465e-06,7.532384e-06,7.532967e-06,7.535156e-06,7.535774e-06,7.535948e-06,7.535259e-06,7.534912e-06,7.532186e-06,7.531751e-06,7.527893e-06,7.525538e-06,7.522147e-06,7.516873e-06,7.515052e-06,7.506700e-06,7.505980e-06,7.497178e-06,7.493059e-06,7.486564e-06,7.478288e-06,7.474933e-06,7.462351e-06,7.461829e-06,7.448881e-06,7.443826e-06,7.434582e-06,7.424412e-06,7.419506e-06,7.403705e-06,7.387227e-06,7.381818e-06,7.370114e-06,7.358849e-06,7.352410e-06,7.334894e-06,7.334154e-06,7.315382e-06,7.310038e-06,7.296129e-06,7.284360e-06,7.276428e-06,7.257934e-06,7.256310e-06,7.235804e-06,7.230828e-06,7.214938e-06,7.203106e-06,7.193739e-06,7.174828e-06,7.172232e-06,7.150440e-06,7.146049e-06,7.128385e-06,7.116820e-06,7.106089e-06,7.087189e-06,7.083572e-06,7.060854e-06,7.057202e-06,7.037953e-06,7.026900e-06,7.014886e-06,6.996324e-06,6.991669e-06,6.968319e-06,6.965509e-06,6.944850e-06,6.934490e-06,6.921277e-06,6.903300e-06,6.897613e-06,6.873872e-06,6.871969e-06,6.850064e-06,6.840526e-06,6.826203e-06,6.808996e-06,6.802299e-06,6.778363e-06,6.777405e-06,6.754404e-06,6.745775e-06,6.730433e-06,6.714130e-06,6.706458e-06,6.682489e-06,6.650872e-06,6.619296e-06,6.587778e-06,6.556334e-06,6.524978e-06,6.493725e-06,6.462587e-06,6.431575e-06,6.400702e-06,6.369977e-06,6.339410e-06,6.309010e-06,6.278786e-06,6.248744e-06,6.218893e-06,6.189238e-06,6.159787e-06,6.130543e-06,6.101514e-06,6.072702e-06,6.044113e-06,6.015750e-06,5.987618e-06,5.959718e-06
0.000000e+00,2.806553e-09,6.413798e-09,2.188518e-08,4.939282e-08,7.176211e-08,1.614253e-07,1.662396e-07,3.200607e-07,3.759985e-07,5.499141e-07,7.313596e-07,8.721027e-07,1.255860e-06,1.292985e-06,1.800572e-06,1.932879e-06,2.373182e-06,2.714923e-06,2.991785e-06,3.563083e-06,3.642492e-06,4.314674e-06,4.450876e-06,4.999316e-06,5.357527e-06,5.688282e-06,6.264860e-06,6.374088e-06,7.049958e-06,7.156764e-06,7.709931e-06,8.019556e-06,8.348974e-06,8.842383e-06,8.963036e-06,9.549044e-06,9.617368e-06,1.010485e-05,1.033948e-05,1.062916e-05,1.100618e-05,1.112138e-05,1.158155e-05,1.161700e-05,1.201021e-05,1.217303e-05,1.240824e-05,1.267653e-05,1.277684e-05,1.311739e-05,1.313045e-05,1.343137e-05,1.353821e-05,1.372036e-05,1.390340e-05,1.398593e-05,1.422963e-05,1.445300e-05,1.452042e-05,1.465747e-05,1.477906e-05,1.484444e-05,1.500867e-05,1.501521e-05,1.517099e-05,1.521208e-05,1.531292e-05,1.539187e-05,1.544205e-05,1.555038e-05,1.555936e-05,1.566574e-05,1.568973e-05,1.576201e-05,1.581180e-05,1.584895e-05,1.591827e-05,1.592723e-05,1.599752e-05,1.601067e-05,1.606038e-05,1.609032e-05,1.611637e-05,1.615845e-05,1.616598e-05,1.620966e-05,1.621612e-05,1.624783e-05,1.626431e-05,1.628087e-05,1.630386e-05,1.630915e-05,1.633299e-05,1.633557e-05,1.635268e-05,1.636011e-05,1.636852e-05,1.637812e-05,1.638074e-05,1.638960e-05,1.639017e-05,1.639531e-05,1.639676e-05,1.639808e-05,1.639837e-05,1.639810e-05,1.639555e-05,1.639539e-05,1.639058e-05,1.638824e-05,1.638336e-05,1.637723e-05,1.637403e-05,1.636271e-05,1.634955e-05,1.634496e-05,1.633464e-05,1.632424e-05,1.631811e-05,1.630081e-05,1.630006e-05,1.628057e-05,1.627488e-05,1.625976e-05,1.624666e-05,1.623769e-05,1.621635e-05,1.621445e-05,1.619012e-05,1.618413e-05,1.616477e-05,1.615016e-05,1.613847e-05,1.611458e-05,1.611128e-05,1.608325e-05,1.607755e-05,1.605446e-05,1.603919e-05,1.602494e-05,1.599963e-05,1.599476e-05,1.596396e-05,1.595898e-05,1.593260e-05,1.591735e-05,1.590070e-05,1.587483e-05,1.586831e-05,1.583548e-05,1.583151e-05,1.580224e-05,1.578749e-05,1.576863e-05,1.574285e-05,1.573467e-05,1.570040e-05,1.569765e-05,1.566586e-05,1.565197e-05,1.563107e-05,1.560587e-05,1.559605e-05,1.556084e-05,1.555943e-05,1.552546e-05,1.551268e-05,1.548993e-05,1.546569e-05,1.545427e-05,1.541851e-05,1.537119e-05,1.532377e-05,1.527628e-05,1.522878e-05,1.518129e-05,1.513385e-05,1.508649e-05,1.503925e-05,1.499214e-05,1.494519e-05,1.489844e-05,1.485189e-05,1.480558e-05,1.475951e-05,1.471372e-05,1.466821e-05,1.462300e-05,1.457811e-05,1.453354e-05,1.448932e-05,1.444545e-05,1.440194e-05,1.435880e-05,1.431604e-05
0.000000e+00,1.421314e-12,8.608084e-12,1.174508e-10,6.265743e-10,1.322632e-09,6.308534e-09,6.664354e-09,2.179854e-08,2.882241e-08,5.460572e-08,8.660094e-08,1.143656e-07,2.016272e-07,2.109417e-07,3.541759e-07,3.965546e-07,5.534902e-07,6.928851e-07,8.175894e-07,1.109686e-06,1.154111e-06,1.569081e-06,1.661860e-06,2.066130e-06,2.357307e-06,2.645633e-06,3.193717e-06,3.304127e-06,4.034353e-06,4.157188e-06,4.825961e-06,5.224164e-06,5.666643e-06,6.365733e-06,6.543323e-06,7.443151e-06,7.552107e-06,8.354188e-06,8.755794e-06,9.265758e-06,9.953155e-06,1.016860e-05,1.105486e-05,1.112484e-05,1.191805e-05,1.225565e-05,1.275290e-05,1.333409e-05,1.355528e-05,1.432204e-05,1.435193e-05,1.505093e-05,1.530375e-05,1.574048e-05,1.618648e-05,1.638990e-05,1.699898e-05,1.756799e-05,1.774171e-05,1.809759e-05,1.841631e-05,1.858879e-05,1.902535e-05,1.904281e-05,1.946110e-05,1.957203e-05,1.984522e-05,2.005997e-05,2.019682e-05,2.049303e-05,2.051760e-05,2.080928e-05,2.087515e-05,2.107358e-05,2.121026e-05,2.131218e-05,2.150218e-05,2.152670e-05,2.171873e-05,2.175458e-05,2.188980e-05,2.197094e-05,2.204133e-05,2.215453e-05,2.217471e-05,2.229122e-05,2.230838e-05,2.239210e-05,2.243530e-05,2.247848e-05,2.253788e-05,2.255145e-05,2.261201e-05,2.261849e-05,2.266110e-05,2.267930e-05,2.269960e-05,2.272228e-05,2.272833e-05,2.274804e-05,2.274925e-05,2.275944e-05,2.276182e-05,2.276319e-05,2.276150e-05,2.275990e-05,2.275013e-05,2.274962e-05,2.273442e-05,2.272740e-05,2.271324e-05,2.269595e-05,2.268705e-05,2.265627e-05,2.262130e-05,2.260928e-05,2.258248e-05,2.255578e-05,2.254016e-05,2.249652e-05,2.249464e-05,2.244622e-05,2.243218e-05,2.239517e-05,2.236337e-05,2.234172e-05,2.229064e-05,2.228612e-05,2.222857e-05,2.221450e-05,2.216928e-05,2.213539e-05,2.210843e-05,2.205372e-05,2.204619e-05,2.198271e-05,2.196989e-05,2.191816e-05,2.188421e-05,2.185266e-05,2.179700e-05,2.178634e-05,2.171931e-05,2.170853e-05,2.165170e-05,2.161907e-05,2.158360e-05,2.152883e-05,2.151510e-05,2.144630e-05,2.143803e-05,2.137727e-05,2.134684e-05,2.130809e-05,2.125546e-05,2.123883e-05,2.116956e-05,2.116402e-05,2.110033e-05,2.107266e-05,2.103120e-05,2.098152e-05,2.096223e-05,2.089345e-05,2.089071e-05,2.082492e-05,2.080032e-05,2.075668e-05,2.071046e-05,2.068876e-05,2.062120e-05,2.053262e-05,2.044479e-05,2.035776e-05,2.027159e-05,2.018634e-05,2.010203e-05,2.001871e-05,1.993641e-05,1.985515e-05,1.977497e-05,1.969588e-05,1.961790e-05,1.954105e-05,1.946533e-05,1.939075e-05,1.931733e-05,1.924507e-05,1.917396e-05,1.910402e-05,1.903523e-05,1.896761e-05,1.890114e-05,1.883582e-05,1.877165e-05
0.000000e+00,8.591705e-11,3.918132e-10,3.167186e-09,1.125886e-08,1.952388e-08,6.043471e-08,6.286211e-08,1.472830e-07,1.802687e-07,2.876195e-07,4.054446e-07,5.004004e-07,7.762362e-07,8.043895e-07,1.220124e-06,1.338828e-06,1.767763e-06,2.138129e-06,2.462563e-06,3.199216e-06,3.308450e-06,4.293038e-06,4.504371e-06,5.388807e-06,5.990958e-06,6.560749e-06,7.579162e-06,7.775077e-06,9.004145e-06,9.200692e-06,1.022728e-05,1.080774e-05,1.142963e-05,1.236927e-05,1.260054e-05,1.373230e-05,1.386520e-05,1.481928e-05,1.528224e-05,1.585733e-05,1.661171e-05,1.684356e-05,1.777602e-05,1.784825e-05,1.865361e-05,1.898917e-05,1.947595e-05,2.003395e-05,2.024330e-05,2.095640e-05,2.098381e-05,2.161647e-05,2.184140e-05,2.222505e-05,2.261040e-05,2.278397e-05,2.329525e-05,2.376106e-05,2.390089e-05,2.418367e-05,2.443252e-05,2.456537e-05,2.489547e-05,2.490848e-05,2.521529e-05,2.529500e-05,2.548804e-05,2.563625e-05,2.572891e-05,2.592415e-05,2.593999e-05,2.612330e-05,2.616338e-05,2.628076e-05,2.635833e-05,2.641419e-05,2.651310e-05,2.652532e-05,2.661577e-05,2.663151e-05,2.668707e-05,2.671706e-05,2.674067e-05,2.677299e-05,2.677790e-05,2.680002e-05,2.680224e-05,2.680823e-05,2.680755e-05,2.680361e-05,2.679136e-05,2.678718e-05,2.675991e-05,2.675596e-05,2.672269e-05,2.670337e-05,2.667634e-05,2.663548e-05,2.662162e-05,2.655926e-05,2.655396e-05,2.648993e-05,2.646038e-05,2.641423e-05,2.635611e-05,2.633274e-05,2.624600e-05,2.624243e-05,2.615450e-05,2.612048e-05,2.605869e-05,2.599131e-05,2.595901e-05,2.585585e-05,2.574957e-05,2.571497e-05,2.564053e-05,2.556942e-05,2.552902e-05,2.541993e-05,2.541534e-05,2.529977e-05,2.526710e-05,2.518255e-05,2.511153e-05,2.506392e-05,2.495372e-05,2.494410e-05,2.482327e-05,2.479415e-05,2.470164e-05,2.463323e-05,2.457936e-05,2.447135e-05,2.445660e-05,2.433350e-05,2.430885e-05,2.421020e-05,2.414604e-05,2.408681e-05,2.398320e-05,2.396347e-05,2.384027e-05,2.382058e-05,2.371731e-05,2.365840e-05,2.359468e-05,2.349687e-05,2.347246e-05,2.335074e-05,2.333617e-05,2.322957e-05,2.317645e-05,2.310903e-05,2.301787e-05,2.298917e-05,2.287005e-05,2.286056e-05,2.275172e-05,2.270462e-05,2.263422e-05,2.255016e-05,2.251759e-05,2.240187e-05,2.239726e-05,2.228709e-05,2.224601e-05,2.217329e-05,2.209647e-05,2.206048e-05,2.194870e-05,2.180276e-05,2.165868e-05,2.151650e-05,2.137626e-05,2.123797e-05,2.110166e-05,2.096734e-05,2.083503e-05,2.070472e-05,2.057643e-05,2.045015e-05,2.032588e-05,2.020361e-05,2.008335e-05,1.996506e-05,1.984876e-05,1.973442e-05,1.962202e-05,1.951156e-05,1.940301e-05,1.929635e-05,1.919157e-05,1.908864e-05,1.898754e-05
0.000000e+00,2.991432e-09,6.925589e-09,2.407539e-08,5.501595e-08,8.038408e-08,1.828549e-07,1.883750e-07,3.649395e-07,4.291226e-07,6.284502e-07,8.365087e-07,9.986008e-07,1.448137e-06,1.492448e-06,2.117083e-06,2.286128e-06,2.868130e-06,3.340543e-06,3.736490e-06,4.590898e-06,4.713663e-06,5.792694e-06,6.020176e-06,6.967416e-06,7.614054e-06,8.231649e-06,9.357900e-06,9.578695e-06,1.100110e-05,1.123514e-05,1.249060e-05,1.322678e-05,1.403821e-05,1.531172e-05,1.563436e-05,1.726905e-05,1.746732e-05,1.893214e-05,1.967027e-05,2.061346e-05,2.189734e-05,2.230310e-05,2.399151e-05,2.412625e-05,2.566970e-05,2.633623e-05,2.732936e-05,2.850854e-05,2.896290e-05,3.056357e-05,3.062683e-05,3.212545e-05,3.267723e-05,3.364344e-05,3.464840e-05,3.511328e-05,3.653151e-05,3.789542e-05,3.832004e-05,3.920297e-05,4.000956e-05,4.045277e-05,4.159750e-05,4.164402e-05,4.277638e-05,4.308290e-05,4.384998e-05,4.446614e-05,4.486533e-05,4.574870e-05,4.582325e-05,4.672483e-05,4.693297e-05,4.757139e-05,4.802198e-05,4.836442e-05,4.901931e-05,4.910556e-05,4.979654e-05,4.992887e-05,5.043916e-05,5.075483e-05,5.103529e-05,5.150148e-05,5.158680e-05,5.209559e-05,5.217316e-05,5.256354e-05,5.277420e-05,5.299251e-05,5.330887e-05,5.338435e-05,5.374083e-05,5.378132e-05,5.406370e-05,5.419556e-05,5.435465e-05,5.455543e-05,5.461531e-05,5.484725e-05,5.486461e-05,5.505199e-05,5.512660e-05,5.523100e-05,5.534473e-05,5.538566e-05,5.551732e-05,5.552212e-05,5.562725e-05,5.566174e-05,5.571667e-05,5.576635e-05,5.578674e-05,5.583858e-05,5.587323e-05,5.588086e-05,5.589171e-05,5.589549e-05,5.589496e-05,5.588460e-05,5.588389e-05,5.585937e-05,5.585020e-05,5.582220e-05,5.579416e-05,5.577317e-05,5.571822e-05,5.571301e-05,5.564242e-05,5.562400e-05,5.556205e-05,5.551302e-05,5.547254e-05,5.538668e-05,5.537448e-05,5.526843e-05,5.524631e-05,5.515492e-05,5.509312e-05,5.503447e-05,5.492826e-05,5.490753e-05,5.477458e-05,5.475278e-05,5.463603e-05,5.456766e-05,5.449229e-05,5.437383e-05,5.434375e-05,5.419077e-05,5.417213e-05,5.403369e-05,5.396336e-05,5.387284e-05,5.374826e-05,5.370852e-05,5.354102e-05,5.352750e-05,5.337063e-05,5.330172e-05,5.319760e-05,5.307152e-05,5.302217e-05,5.284458e-05,5.283743e-05,5.266505e-05,5.259998e-05,5.248378e-05,5.235963e-05,5.230098e-05,5.211682e-05,5.187195e-05,5.162541e-05,5.137755e-05,5.112868e-05,5.087910e-05,5.062911e-05,5.037894e-05,5.012885e-05,4.987904e-05,4.962972e-05,4.938108e-05,4.913329e-05,4.888650e-05,4.864087e-05,4.839652e-05,4.815358e-05,4.791216e-05,4.767237e-05,4.743429e-05,4.719802e-05,4.696362e-05,4.673117e-05,4.650074e-05,4.627237e-05
0.000000e+00,4.184148e-14,2.806390e-13,4.725319e-12,3.047425e-11,7.132321e-11,4.426487e-10,4.725970e-10,1.995784e-09,2.825514e-09,6.342090e-09,1.150777e-08,1.657060e-08,3.531041e-08,3.753280e-08,7.625430e-08,8.918970e-08,1.422268e-07,1.954828e-07,2.475679e-07,3.844645e-07,4.069971e-07,6.375880e-07,6.938876e-07,9.582985e-07,1.167359e-06,1.389325e-06,1.851771e-06,1.951346e-06,2.664732e-06,2.794231e-06,3.548762e-06,4.038926e-06,4.620908e-06,5.624270e-06,5.896208e-06,7.386748e-06,7.580529e-06,9.101265e-06,9.928062e-06,1.104488e-05,1.267621e-05,1.321894e-05,1.562101e-05,1.582287e-05,1.824497e-05,1.935463e-05,2.108116e-05,2.324753e-05,2.411672e-05,2.733589e-05,2.746822e-05,3.072043e-05,3.197550e-05,3.425008e-05,3.672203e-05,3.790299e-05,4.165620e-05,4.548610e-05,4.672398e-05,4.936887e-05,5.187066e-05,5.328088e-05,5.704250e-05,5.719906e-05,6.110121e-05,6.218805e-05,6.496632e-05,6.725935e-05,6.877471e-05,7.221278e-05,7.250832e-05,7.615073e-05,7.700967e-05,7.968732e-05,8.161673e-05,8.310527e-05,8.600617e-05,8.639360e-05,8.954314e-05,9.015570e-05,9.254644e-05,9.404839e-05,9.539774e-05,9.767226e-05,9.809285e-05,1.006291e-04,1.010200e-04,1.030050e-04,1.040884e-04,1.052206e-04,1.068782e-04,1.072767e-04,1.091755e-04,1.093928e-04,1.109196e-04,1.116390e-04,1.125127e-04,1.136251e-04,1.139591e-04,1.152633e-04,1.153617e-04,1.164306e-04,1.168604e-04,1.174665e-04,1.181341e-04,1.183766e-04,1.191669e-04,1.191961e-04,1.198433e-04,1.200601e-04,1.204119e-04,1.207401e-04,1.208787e-04,1.212497e-04,1.215307e-04,1.216026e-04,1.217275e-04,1.218118e-04,1.218456e-04,1.218901e-04,1.218905e-04,1.218675e-04,1.218495e-04,1.217814e-04,1.217016e-04,1.216372e-04,1.214571e-04,1.214394e-04,1.211924e-04,1.211262e-04,1.209003e-04,1.207185e-04,1.205670e-04,1.202427e-04,1.201963e-04,1.197916e-04,1.197069e-04,1.193562e-04,1.191187e-04,1.188932e-04,1.184851e-04,1.184055e-04,1.178957e-04,1.178122e-04,1.173663e-04,1.171059e-04,1.168197e-04,1.163715e-04,1.162581e-04,1.156834e-04,1.156137e-04,1.150976e-04,1.148368e-04,1.145024e-04,1.140447e-04,1.138993e-04,1.132899e-04,1.132410e-04,1.126756e-04,1.124287e-04,1.120574e-04,1.116107e-04,1.114368e-04,1.108146e-04,1.107897e-04,1.101918e-04,1.099677e-04,1.095694e-04,1.091468e-04,1.089482e-04,1.083288e-04,1.075153e-04,1.067075e-04,1.059069e-04,1.051143e-04,1.043307e-04,1.035569e-04,1.027936e-04,1.020413e-04,1.013006e-04,1.005717e-04,9.985519e-05,9.915115e-05,9.845983e-05,9.778136e-05,9.711587e-05,9.646340e-05,9.582397e-05,9.519758e-05,9.458419e-05,9.398373e-05,9.339610e-05,9.282120e-05,9.225891e-05,9.170908e-05
0.000000e+00,8.374875e-10,2.746460e-09,1.389682e-08,3.779105e-08,5.885705e-08,1.493869e-07,1.544042e-07,3.182976e-07,3.788334e-07,5.682174e-07,7.670016e-07,9.223357e-07,1.355821e-06,1.398842e-06,2.012784e-06,2.181472e-06,2.769469e-06,3.252729e-06,3.659937e-06,4.539451e-06,4.665514e-06,5.766044e-06,5.995931e-06,6.943727e-06,7.581423e-06,8.183134e-06,9.261691e-06,9.470297e-06,1.079208e-05,1.100593e-05,1.213595e-05,1.278532e-05,1.349000e-05,1.457305e-05,1.484309e-05,1.618501e-05,1.634485e-05,1.750662e-05,1.807958e-05,1.879991e-05,1.975965e-05,2.005809e-05,2.127553e-05,2.137102e-05,2.244775e-05,2.290317e-05,2.357131e-05,2.434872e-05,2.464373e-05,2.566338e-05,2.570306e-05,2.662937e-05,2.696391e-05,2.754141e-05,2.813090e-05,2.839977e-05,2.920514e-05,2.995856e-05,3.018888e-05,3.066132e-05,3.108521e-05,3.131496e-05,3.189778e-05,3.192114e-05,3.248165e-05,3.263066e-05,3.299834e-05,3.328811e-05,3.347311e-05,3.387450e-05,3.390786e-05,3.430449e-05,3.439422e-05,3.466488e-05,3.485157e-05,3.499089e-05,3.525075e-05,3.528429e-05,3.554686e-05,3.559582e-05,3.578028e-05,3.589069e-05,3.598619e-05,3.613904e-05,3.616615e-05,3.632168e-05,3.634439e-05,3.645422e-05,3.651008e-05,3.656515e-05,3.663923e-05,3.665580e-05,3.672741e-05,3.673478e-05,3.678119e-05,3.679949e-05,3.681827e-05,3.683595e-05,3.683974e-05,3.684662e-05,3.684657e-05,3.683989e-05,3.683360e-05,3.682048e-05,3.679914e-05,3.678925e-05,3.674705e-05,3.674514e-05,3.669465e-05,3.667343e-05,3.663280e-05,3.658569e-05,3.656219e-05,3.648349e-05,3.639732e-05,3.636827e-05,3.630428e-05,3.624139e-05,3.620493e-05,3.610409e-05,3.609978e-05,3.598934e-05,3.595753e-05,3.587406e-05,3.580276e-05,3.575440e-05,3.564078e-05,3.563076e-05,3.550353e-05,3.547250e-05,3.537307e-05,3.529874e-05,3.523974e-05,3.512028e-05,3.510385e-05,3.496571e-05,3.493784e-05,3.482561e-05,3.475206e-05,3.468380e-05,3.456354e-05,3.454054e-05,3.439606e-05,3.437284e-05,3.425058e-05,3.418046e-05,3.410431e-05,3.398685e-05,3.395744e-05,3.381014e-05,3.379245e-05,3.366259e-05,3.359763e-05,3.351494e-05,3.340274e-05,3.336733e-05,3.321989e-05,3.320811e-05,3.307277e-05,3.301403e-05,3.292606e-05,3.282075e-05,3.277988e-05,3.263432e-05,3.262852e-05,3.248949e-05,3.243754e-05,3.234546e-05,3.224803e-05,3.220232e-05,3.206013e-05,3.187402e-05,3.168983e-05,3.150767e-05,3.132767e-05,3.114991e-05,3.097447e-05,3.080143e-05,3.063084e-05,3.046277e-05,3.029724e-05,3.013430e-05,2.997398e-05,2.981629e-05,2.966124e-05,2.950885e-05,2.935912e-05,2.921205e-05,2.906763e-05,2.892586e-05,2.878671e-05,2.865018e-05,2.851625e-05,2.838490e-05,2.825609e-05
0.000000e+00,1.686869e-13,1.091970e-12,1.706797e-11,1.027777e-10,2.315917e-10,1.302090e-09,1.384580e-09,5.296200e-09,7.298458e-09,1.530720e-08,2.629306e-08,3.653417e-08,7.191863e-08,7.593409e-08,1.422266e-07,1.632532e-07,2.457175e-07,3.242063e-07,3.980155e-07,5.822740e-07,6.115480e-07,8.987408e-07,9.660428e-07,1.270812e-06,1.500830e-06,1.736361e-06,2.203257e-06,2.300121e-06,2.962205e-06,3.077019e-06,3.718010e-06,4.111628e-06,4.558688e-06,5.284227e-06,5.472040e-06,6.443593e-06,6.563351e-06,7.457658e-06,7.913195e-06,8.498291e-06,9.297412e-06,9.550063e-06,1.059862e-05,1.068197e-05,1.163109e-05,1.203701e-05,1.263628e-05,1.333776e-05,1.360476e-05,1.452890e-05,1.456486e-05,1.540278e-05,1.570418e-05,1.622204e-05,1.674641e-05,1.698378e-05,1.768637e-05,1.832929e-05,1.852246e-05,1.891294e-05,1.925590e-05,1.943852e-05,1.989013e-05,1.990785e-05,2.032324e-05,2.043024e-05,2.068735e-05,2.088242e-05,2.100312e-05,2.125359e-05,2.127364e-05,2.150207e-05,2.155098e-05,2.169159e-05,2.178190e-05,2.184535e-05,2.195349e-05,2.196639e-05,2.205764e-05,2.207257e-05,2.212191e-05,2.214554e-05,2.216182e-05,2.217832e-05,2.217983e-05,2.217825e-05,2.217632e-05,2.215919e-05,2.214441e-05,2.212459e-05,2.208694e-05,2.207625e-05,2.201579e-05,2.200779e-05,2.194468e-05,2.191037e-05,2.186426e-05,2.179766e-05,2.177573e-05,2.168019e-05,2.167228e-05,2.157861e-05,2.153649e-05,2.147186e-05,2.139225e-05,2.136074e-05,2.124593e-05,2.124127e-05,2.112806e-05,2.108499e-05,2.100770e-05,2.092469e-05,2.088534e-05,2.076143e-05,2.063634e-05,2.059613e-05,2.051045e-05,2.042959e-05,2.038405e-05,2.026249e-05,2.025743e-05,2.013082e-05,2.009540e-05,2.000445e-05,1.992882e-05,1.987850e-05,1.976315e-05,1.975315e-05,1.962854e-05,1.959876e-05,1.950480e-05,1.943594e-05,1.938206e-05,1.927494e-05,1.926041e-05,1.913994e-05,1.911599e-05,1.902073e-05,1.895926e-05,1.890284e-05,1.880488e-05,1.878634e-05,1.867127e-05,1.865300e-05,1.855768e-05,1.850369e-05,1.844560e-05,1.835705e-05,1.833507e-05,1.822610e-05,1.821313e-05,1.811872e-05,1.807198e-05,1.801294e-05,1.793362e-05,1.790877e-05,1.780622e-05,1.779809e-05,1.770530e-05,1.766539e-05,1.760601e-05,1.753553e-05,1.750834e-05,1.741230e-05,1.740849e-05,1.731788e-05,1.728428e-05,1.722506e-05,1.716287e-05,1.713385e-05,1.704423e-05,1.692836e-05,1.681520e-05,1.670474e-05,1.659692e-05,1.649173e-05,1.638910e-05,1.628901e-05,1.619141e-05,1.609625e-05,1.600349e-05,1.591308e-05,1.582498e-05,1.573913e-05,1.565550e-05,1.557404e-05,1.549469e-05,1.541741e-05,1.534215e-05,1.526888e-05,1.519753e-05,1.512807e-05,1.506046e-05,1.499464e-05,1.493058e-05
0.000000e+00,6.622338e-12,3.962512e-11,5.279845e-10,2.761350e-09,5.770242e-09,2.688592e-08,2.837786e-08,9.109599e-08,1.199314e-07,2.251309e-07,3.550064e-07,4.674866e-07,8.210515e-07,8.588462e-07,1.442245e-06,1.615738e-06,2.261729e-06,2.839728e-06,3.359584e-06,4.584472e-06,4.771367e-06,6.520162e-06,6.911275e-06,8.613041e-06,9.835028e-06,1.104149e-05,1.332588e-05,1.378488e-05,1.681482e-05,1.732407e-05,2.009891e-05,2.175559e-05,2.360317e-05,2.654215e-05,2.729346e-05,3.113613e-05,3.160592e-05,3.509838e-05,3.687145e-05,3.914855e-05,4.226679e-05,4.325636e-05,4.739318e-05,4.772456e-05,5.153230e-05,5.318303e-05,5.564921e-05,5.858708e-05,5.972172e-05,6.373011e-05,6.388886e-05,6.765717e-05,6.904809e-05,7.148817e-05,7.403198e-05,7.521076e-05,7.881484e-05,8.229241e-05,8.337747e-05,8.563737e-05,8.770645e-05,8.884531e-05,9.179334e-05,9.191335e-05,9.483990e-05,9.563389e-05,9.762451e-05,9.922731e-05,1.002677e-04,1.025756e-04,1.027707e-04,1.051356e-04,1.056829e-04,1.073648e-04,1.085551e-04,1.094615e-04,1.111994e-04,1.114287e-04,1.132702e-04,1.136237e-04,1.149897e-04,1.158369e-04,1.165912e-04,1.178481e-04,1.180786e-04,1.194560e-04,1.196664e-04,1.207275e-04,1.213014e-04,1.218972e-04,1.227625e-04,1.229692e-04,1.239475e-04,1.240588e-04,1.248359e-04,1.251994e-04,1.256385e-04,1.261933e-04,1.263589e-04,1.270008e-04,1.270489e-04,1.275680e-04,1.277747e-04,1.280638e-04,1.283785e-04,1.284916e-04,1.288549e-04,1.288681e-04,1.291567e-04,1.292509e-04,1.294001e-04,1.295338e-04,1.295882e-04,1.297237e-04,1.298095e-04,1.298269e-04,1.298483e-04,1.298496e-04,1.298425e-04,1.297974e-04,1.297947e-04,1.297073e-04,1.296761e-04,1.295825e-04,1.294907e-04,1.294226e-04,1.292462e-04,1.292296e-04,1.290055e-04,1.289473e-04,1.287522e-04,1.285984e-04,1.284718e-04,1.282038e-04,1.281657e-04,1.278359e-04,1.277672e-04,1.274839e-04,1.272926e-04,1.271112e-04,1.267833e-04,1.267194e-04,1.263097e-04,1.262426e-04,1.258837e-04,1.256738e-04,1.254425e-04,1.250795e-04,1.249874e-04,1.245196e-04,1.244627e-04,1.240401e-04,1.238257e-04,1.235501e-04,1.231712e-04,1.230504e-04,1.225422e-04,1.225012e-04,1.220262e-04,1.218178e-04,1.215033e-04,1.211231e-04,1.209744e-04,1.204402e-04,1.204188e-04,1.199015e-04,1.197066e-04,1.193590e-04,1.189882e-04,1.188133e-04,1.182649e-04,1.175382e-04,1.168094e-04,1.160795e-04,1.153496e-04,1.146208e-04,1.138940e-04,1.131700e-04,1.124496e-04,1.117335e-04,1.110224e-04,1.103168e-04,1.096173e-04,1.089243e-04,1.082383e-04,1.075597e-04,1.068889e-04,1.062261e-04,1.055716e-04,1.049257e-04,1.042886e-04,1.036604e-04,1.030413e-04,1.024315e-04,1.018310e-04
0.000000e+00,8.156147e-14,5.339289e-13,8.544977e-12,5.260206e-11,1.200046e-10,6.973732e-10,7.425790e-10,2.941280e-09,4.093611e-09,8.810634e-09,1.547166e-08,2.182278e-08,4.450717e-08,4.713971e-08,9.187183e-08,1.064724e-07,1.651763e-07,2.227300e-07,2.779909e-07,4.194428e-07,4.422740e-07,6.698740e-07,7.239550e-07,9.713353e-07,1.160140e-06,1.354924e-06,1.744641e-06,1.826030e-06,2.386955e-06,2.485031e-06,3.037012e-06,3.379806e-06,3.772848e-06,4.419583e-06,4.588870e-06,5.477713e-06,5.588866e-06,6.430703e-06,6.867898e-06,7.438272e-06,8.234323e-06,8.490319e-06,9.576525e-06,9.664588e-06,1.068661e-05,1.113507e-05,1.181055e-05,1.262296e-05,1.293875e-05,1.406221e-05,1.410693e-05,1.517260e-05,1.556765e-05,1.626235e-05,1.698814e-05,1.732476e-05,1.835396e-05,1.934498e-05,1.965335e-05,2.029371e-05,2.087717e-05,2.119690e-05,2.201884e-05,2.205210e-05,2.285761e-05,2.307410e-05,2.361244e-05,2.404083e-05,2.431621e-05,2.491875e-05,2.496912e-05,2.557183e-05,2.570913e-05,2.612543e-05,2.641452e-05,2.663134e-05,2.703844e-05,2.709126e-05,2.750710e-05,2.758516e-05,2.788094e-05,2.805945e-05,2.821494e-05,2.846637e-05,2.851136e-05,2.877247e-05,2.881112e-05,2.900052e-05,2.909890e-05,2.919775e-05,2.933480e-05,2.936633e-05,2.950836e-05,2.952372e-05,2.962587e-05,2.967030e-05,2.972078e-05,2.977892e-05,2.979492e-05,2.985001e-05,2.985364e-05,2.988767e-05,2.989820e-05,2.990942e-05,2.991601e-05,2.991666e-05,2.991070e-05,2.991021e-05,2.989276e-05,2.988359e-05,2.986397e-05,2.983871e-05,2.982534e-05,2.977785e-05,2.972236e-05,2.970305e-05,2.965967e-05,2.961612e-05,2.959053e-05,2.951871e-05,2.951561e-05,2.943552e-05,2.941225e-05,2.935083e-05,2.929803e-05,2.926206e-05,2.917718e-05,2.916967e-05,2.907410e-05,2.905073e-05,2.897574e-05,2.891957e-05,2.887495e-05,2.878450e-05,2.877205e-05,2.866735e-05,2.864622e-05,2.856113e-05,2.850537e-05,2.845362e-05,2.836249e-05,2.834506e-05,2.823566e-05,2.821809e-05,2.812560e-05,2.807259e-05,2.801506e-05,2.792639e-05,2.790420e-05,2.779316e-05,2.777983e-05,2.768207e-05,2.763321e-05,2.757106e-05,2.748681e-05,2.746023e-05,2.734969e-05,2.734086e-05,2.723952e-05,2.719558e-05,2.712982e-05,2.705116e-05,2.702065e-05,2.691209e-05,2.690776e-05,2.680420e-05,2.676553e-05,2.669703e-05,2.662460e-05,2.659064e-05,2.648508e-05,2.634707e-05,2.621066e-05,2.607592e-05,2.594292e-05,2.581172e-05,2.568235e-05,2.555487e-05,2.542931e-05,2.530568e-05,2.518402e-05,2.506434e-05,2.494665e-05,2.483096e-05,2.471727e-05,2.460558e-05,2.449588e-05,2.438818e-05,2.428247e-05,2.417872e-05,2.407694e-05,2.397711e-05,2.387920e-05,2.378321e-05,2.368911e-05
0.000000e+00,3.073275e-10,1.220861e-09,7.965161e-09,2.479497e-08,4.068600e-08,1.133653e-07,1.175131e-07,2.563518e-07,3.086849e-07,4.743574e-07,6.502000e-07,7.884547e-07,1.176853e-06,1.215576e-06,1.772035e-06,1.926430e-06,2.471202e-06,2.927890e-06,3.319609e-06,4.187524e-06,4.314301e-06,5.444339e-06,5.685309e-06,6.694898e-06,7.387657e-06,8.050481e-06,9.259365e-06,9.496124e-06,1.101752e-05,1.126704e-05,1.260081e-05,1.337878e-05,1.423245e-05,1.556369e-05,1.589924e-05,1.758834e-05,1.779194e-05,1.928751e-05,2.003534e-05,2.098522e-05,2.226789e-05,2.267079e-05,2.433451e-05,2.446640e-05,2.596778e-05,2.661083e-05,2.756306e-05,2.868450e-05,2.911394e-05,3.061508e-05,3.067403e-05,3.206217e-05,3.256921e-05,3.345183e-05,3.436270e-05,3.478158e-05,3.604971e-05,3.725520e-05,3.762764e-05,3.839762e-05,3.909571e-05,3.947709e-05,4.045463e-05,4.049412e-05,4.144964e-05,4.170631e-05,4.234482e-05,4.285357e-05,4.318112e-05,4.389991e-05,4.396017e-05,4.468374e-05,4.484935e-05,4.535370e-05,4.570619e-05,4.597201e-05,4.647498e-05,4.654066e-05,4.706167e-05,4.716034e-05,4.753708e-05,4.776693e-05,4.796888e-05,4.829936e-05,4.835908e-05,4.870963e-05,4.876217e-05,4.902245e-05,4.915975e-05,4.929941e-05,4.949638e-05,4.954233e-05,4.975296e-05,4.977615e-05,4.993301e-05,5.000298e-05,5.008414e-05,5.018062e-05,5.020791e-05,5.030587e-05,5.031263e-05,5.037947e-05,5.040240e-05,5.043011e-05,5.045313e-05,5.045916e-05,5.046789e-05,5.046783e-05,5.045754e-05,5.044937e-05,5.042929e-05,5.040043e-05,5.038426e-05,5.032353e-05,5.024812e-05,5.022105e-05,5.015901e-05,5.009522e-05,5.005712e-05,4.994811e-05,4.994335e-05,4.981852e-05,4.978170e-05,4.968344e-05,4.959780e-05,4.953888e-05,4.939812e-05,4.938554e-05,4.922412e-05,4.918425e-05,4.905526e-05,4.895768e-05,4.887958e-05,4.871980e-05,4.869766e-05,4.851005e-05,4.847190e-05,4.831728e-05,4.821517e-05,4.811984e-05,4.795072e-05,4.791819e-05,4.771278e-05,4.767960e-05,4.750403e-05,4.740276e-05,4.729232e-05,4.712108e-05,4.707804e-05,4.686151e-05,4.683540e-05,4.664309e-05,4.654646e-05,4.642307e-05,4.625498e-05,4.620176e-05,4.597941e-05,4.596159e-05,4.575629e-05,4.566689e-05,4.553265e-05,4.537142e-05,4.530870e-05,4.508466e-05,4.507570e-05,4.486073e-05,4.478018e-05,4.463710e-05,4.448528e-05,4.441393e-05,4.419138e-05,4.389884e-05,4.360798e-05,4.331907e-05,4.303239e-05,4.274817e-05,4.246661e-05,4.218792e-05,4.191225e-05,4.163976e-05,4.137058e-05,4.110483e-05,4.084259e-05,4.058397e-05,4.032904e-05,4.007784e-05,3.983044e-05,3.958687e-05,3.934717e-05,3.911135e-05,3.887942e-05,3.865140e-05,3.842729e-05,3.820706e-05,3.799072e-05
0.000000e+00,2.462955e-09,6.206549e-09,2.359832e-08,5.621499e-08,8.338343e-08,1.942898e-07,2.002810e-07,3.914113e-07,4.604286e-07,6.727186e-07,8.910121e-07,1.059050e-06,1.518943e-06,1.563994e-06,2.199124e-06,2.371908e-06,2.972263e-06,3.466484e-06,3.885294e-06,4.800984e-06,4.933664e-06,6.108429e-06,6.357608e-06,7.398710e-06,8.111477e-06,8.792915e-06,1.003559e-05,1.027904e-05,1.184472e-05,1.210177e-05,1.347731e-05,1.428098e-05,1.516408e-05,1.654402e-05,1.689243e-05,1.865015e-05,1.886249e-05,2.042564e-05,2.120966e-05,2.220806e-05,2.356121e-05,2.398751e-05,2.575507e-05,2.589572e-05,2.750287e-05,2.819489e-05,2.922405e-05,3.044350e-05,3.091277e-05,3.256413e-05,3.262934e-05,3.417409e-05,3.474291e-05,3.573945e-05,3.677709e-05,3.725767e-05,3.872687e-05,4.014574e-05,4.058900e-05,4.151342e-05,4.236165e-05,4.282947e-05,4.404422e-05,4.409380e-05,4.530661e-05,4.563701e-05,4.646833e-05,4.714111e-05,4.757962e-05,4.855816e-05,4.864129e-05,4.965426e-05,4.989024e-05,5.061959e-05,5.113977e-05,5.153839e-05,5.230939e-05,5.241185e-05,5.324121e-05,5.340190e-05,5.402772e-05,5.442020e-05,5.477267e-05,5.536725e-05,5.547734e-05,5.614303e-05,5.624601e-05,5.677104e-05,5.705947e-05,5.736263e-05,5.781054e-05,5.791908e-05,5.844163e-05,5.850212e-05,5.893151e-05,5.913702e-05,5.938993e-05,5.971800e-05,5.981805e-05,6.021704e-05,6.024774e-05,6.058802e-05,6.072882e-05,6.093208e-05,6.116375e-05,6.125030e-05,6.154371e-05,6.155495e-05,6.181333e-05,6.190475e-05,6.206013e-05,6.221540e-05,6.228506e-05,6.248905e-05,6.267299e-05,6.272776e-05,6.283775e-05,6.293351e-05,6.298416e-05,6.310821e-05,6.311304e-05,6.322516e-05,6.325365e-05,6.332129e-05,6.337159e-05,6.340215e-05,6.346366e-05,6.346845e-05,6.352087e-05,6.353146e-05,6.356007e-05,6.357649e-05,6.358669e-05,6.360018e-05,6.360132e-05,6.360456e-05,6.360389e-05,6.359698e-05,6.358894e-05,6.357912e-05,6.355656e-05,6.355150e-05,6.351464e-05,6.350791e-05,6.346901e-05,6.344413e-05,6.341509e-05,6.336628e-05,6.335331e-05,6.328413e-05,6.327535e-05,6.320794e-05,6.317230e-05,6.312514e-05,6.305804e-05,6.303613e-05,6.294126e-05,6.293343e-05,6.284089e-05,6.279928e-05,6.273536e-05,6.265636e-05,6.262499e-05,6.251008e-05,6.250540e-05,6.239095e-05,6.234708e-05,6.226786e-05,6.218205e-05,6.214111e-05,6.201094e-05,6.183431e-05,6.165272e-05,6.146667e-05,6.127667e-05,6.108316e-05,6.088658e-05,6.068732e-05,6.048578e-05,6.028231e-05,6.007724e-05,5.987090e-05,5.966356e-05,5.945552e-05,5.924703e-05,5.903833e-05,5.882964e-05,5.862118e-05,5.841314e-05,5.820570e-05,5.799904e-05,5.779331e-05,5.758866e-05,5.738521e-05,5.718311e-05
0.000000e+00,1.423292e-09,3.261617e-09,1.122888e-08,2.557008e-08,3.732644e-08,8.486029e-08,8.742336e-08,1.695188e-07,1.994055e-07,2.923051e-07,3.892852e-07,4.647428e-07,6.730047e-07,6.934290e-07,9.791452e-07,1.055796e-06,1.317821e-06,1.528670e-06,1.704304e-06,2.080299e-06,2.134007e-06,2.602779e-06,2.700864e-06,3.106517e-06,3.380865e-06,3.640935e-06,4.110269e-06,4.201533e-06,4.783644e-06,4.878463e-06,5.382554e-06,5.674628e-06,5.993619e-06,6.488217e-06,6.612379e-06,7.234662e-06,7.309387e-06,7.856650e-06,8.129335e-06,8.474923e-06,8.940464e-06,9.086481e-06,9.688749e-06,9.736461e-06,1.027956e-05,1.051226e-05,1.085712e-05,1.126395e-05,1.142000e-05,1.196709e-05,1.198864e-05,1.249755e-05,1.268433e-05,1.301079e-05,1.334975e-05,1.350641e-05,1.398423e-05,1.444417e-05,1.458758e-05,1.488630e-05,1.515999e-05,1.531079e-05,1.570193e-05,1.571789e-05,1.610790e-05,1.621409e-05,1.648119e-05,1.669730e-05,1.683815e-05,1.715252e-05,1.717923e-05,1.750486e-05,1.758076e-05,1.781551e-05,1.798311e-05,1.811166e-05,1.836064e-05,1.839377e-05,1.866233e-05,1.871446e-05,1.891781e-05,1.904564e-05,1.916067e-05,1.935526e-05,1.939138e-05,1.961039e-05,1.964438e-05,1.981815e-05,1.991400e-05,2.001508e-05,2.016511e-05,2.020161e-05,2.037814e-05,2.039867e-05,2.054508e-05,2.061560e-05,2.070282e-05,2.081677e-05,2.085171e-05,2.099214e-05,2.100302e-05,2.112444e-05,2.117517e-05,2.124896e-05,2.133398e-05,2.136602e-05,2.147594e-05,2.148019e-05,2.157902e-05,2.161451e-05,2.167556e-05,2.173760e-05,2.176582e-05,2.185010e-05,2.192865e-05,2.195261e-05,2.200171e-05,2.204571e-05,2.206954e-05,2.212994e-05,2.213236e-05,2.219040e-05,2.220582e-05,2.224387e-05,2.227385e-05,2.229299e-05,2.233449e-05,2.233794e-05,2.237892e-05,2.238818e-05,2.241611e-05,2.243535e-05,2.244969e-05,2.247638e-05,2.247982e-05,2.250667e-05,2.251166e-05,2.253039e-05,2.254154e-05,2.255114e-05,2.256636e-05,2.256904e-05,2.258425e-05,2.258644e-05,2.259689e-05,2.260209e-05,2.260709e-05,2.261357e-05,2.261497e-05,2.262064e-05,2.262118e-05,2.262422e-05,2.262516e-05,2.262581e-05,2.262575e-05,2.262551e-05,2.262342e-05,2.262318e-05,2.261964e-05,2.261767e-05,2.261425e-05,2.260942e-05,2.260734e-05,2.259899e-05,2.259863e-05,2.258928e-05,2.258547e-05,2.257829e-05,2.257012e-05,2.256609e-05,2.255274e-05,2.253347e-05,2.251248e-05,2.248988e-05,2.246582e-05,2.244041e-05,2.241376e-05,2.238598e-05,2.235718e-05,2.232745e-05,2.229688e-05,2.226555e-05,2.223354e-05,2.220093e-05,2.216779e-05,2.213418e-05,2.210017e-05,2.206581e-05,2.203116e-05,2.199627e-05,2.196119e-05,2.192596e-05,2.189063e-05,2.185523e-05,2.181981e-05
0.000000e+00,2.784504e-09,6.387249e-09,2.198480e-08,4.996953e-08,7.282390e-08,1.644841e-07,1.693940e-07,3.250367e-07,3.809718e-07,5.527098e-07,7.292250e-07,8.652330e-07,1.238574e-06,1.275253e-06,1.794659e-06,1.936742e-06,2.433081e-06,2.844666e-06,3.195348e-06,3.966720e-06,4.078858e-06,5.073003e-06,5.283743e-06,6.161664e-06,6.759163e-06,7.326939e-06,8.352439e-06,8.551759e-06,9.820845e-06,1.002708e-05,1.112074e-05,1.175208e-05,1.243953e-05,1.350101e-05,1.376662e-05,1.509250e-05,1.525112e-05,1.640875e-05,1.698290e-05,1.770792e-05,1.867985e-05,1.898354e-05,2.023005e-05,2.032837e-05,2.144283e-05,2.191762e-05,2.261809e-05,2.343933e-05,2.375282e-05,2.484475e-05,2.488751e-05,2.589223e-05,2.625822e-05,2.689420e-05,2.754923e-05,2.785008e-05,2.875971e-05,2.962330e-05,2.989000e-05,3.044134e-05,3.094133e-05,3.121459e-05,3.191563e-05,3.194398e-05,3.263060e-05,3.281535e-05,3.327565e-05,3.364328e-05,3.388045e-05,3.440247e-05,3.444635e-05,3.497474e-05,3.509613e-05,3.546704e-05,3.572750e-05,3.592469e-05,3.629988e-05,3.634910e-05,3.674169e-05,3.681651e-05,3.710385e-05,3.728060e-05,3.743694e-05,3.769524e-05,3.774228e-05,3.802118e-05,3.806343e-05,3.827488e-05,3.838807e-05,3.850461e-05,3.867193e-05,3.871155e-05,3.889682e-05,3.891765e-05,3.906152e-05,3.912775e-05,3.920671e-05,3.930463e-05,3.933340e-05,3.944256e-05,3.945056e-05,3.953511e-05,3.956769e-05,3.961196e-05,3.965805e-05,3.967396e-05,3.972193e-05,3.972356e-05,3.975664e-05,3.976604e-05,3.977886e-05,3.978720e-05,3.978930e-05,3.978863e-05,3.977752e-05,3.977186e-05,3.975658e-05,3.973829e-05,3.972640e-05,3.968928e-05,3.968756e-05,3.964060e-05,3.962606e-05,3.958601e-05,3.954982e-05,3.952431e-05,3.946165e-05,3.945595e-05,3.938137e-05,3.936259e-05,3.930100e-05,3.925361e-05,3.921523e-05,3.913560e-05,3.912446e-05,3.902903e-05,3.900942e-05,3.892930e-05,3.887585e-05,3.882559e-05,3.873563e-05,3.871822e-05,3.860747e-05,3.858946e-05,3.849363e-05,3.843796e-05,3.837696e-05,3.828175e-05,3.825771e-05,3.813612e-05,3.812139e-05,3.801242e-05,3.795738e-05,3.788682e-05,3.779022e-05,3.775952e-05,3.763072e-05,3.762035e-05,3.750059e-05,3.744820e-05,3.736930e-05,3.727415e-05,3.723702e-05,3.710391e-05,3.709857e-05,3.697009e-05,3.692177e-05,3.683572e-05,3.674409e-05,3.670091e-05,3.656579e-05,3.638715e-05,3.620841e-05,3.602979e-05,3.585151e-05,3.567374e-05,3.549667e-05,3.532046e-05,3.514525e-05,3.497118e-05,3.479837e-05,3.462693e-05,3.445697e-05,3.428856e-05,3.412179e-05,3.395675e-05,3.379348e-05,3.363205e-05,3.347252e-05,3.331492e-05,3.315930e-05,3.300568e-05,3.285410e-05,3.270459e-05,3.255715e-05
0.000000e+00,2.698884e-09,6.184797e-09,2.128319e-08,4.840903e-08,7.059151e-08,1.597636e-07,1.645482e-07,3.165672e-07,3.713457e-07,5.399430e-07,7.137999e-07,8.481076e-07,1.218138e-06,1.254589e-06,1.772425e-06,1.914580e-06,2.412717e-06,2.827525e-06,3.182128e-06,3.965668e-06,4.079949e-06,5.096633e-06,5.312848e-06,6.215503e-06,6.831130e-06,7.416732e-06,8.475168e-06,8.680931e-06,9.990887e-06,1.020371e-05,1.133187e-05,1.198281e-05,1.269133e-05,1.378490e-05,1.405847e-05,1.542397e-05,1.558732e-05,1.677970e-05,1.737129e-05,1.811867e-05,1.912133e-05,1.943485e-05,2.072317e-05,2.082490e-05,2.197941e-05,2.247212e-05,2.320012e-05,2.405549e-05,2.438260e-05,2.552478e-05,2.556960e-05,2.662515e-05,2.701084e-05,2.768271e-05,2.837709e-05,2.869688e-05,2.966748e-05,3.059459e-05,3.088213e-05,3.147858e-05,3.202197e-05,3.232003e-05,3.308849e-05,3.311968e-05,3.387841e-05,3.408366e-05,3.459722e-05,3.500978e-05,3.527716e-05,3.586936e-05,3.591938e-05,3.652503e-05,3.666508e-05,3.709533e-05,3.739970e-05,3.763147e-05,3.807600e-05,3.813469e-05,3.860619e-05,3.869679e-05,3.904719e-05,3.926484e-05,3.945886e-05,3.978286e-05,3.984238e-05,4.019890e-05,4.025351e-05,4.052954e-05,4.067937e-05,4.083539e-05,4.106293e-05,4.111751e-05,4.137695e-05,4.140661e-05,4.161471e-05,4.171270e-05,4.183176e-05,4.198345e-05,4.202904e-05,4.220747e-05,4.222096e-05,4.236793e-05,4.242727e-05,4.251126e-05,4.260432e-05,4.263829e-05,4.274981e-05,4.275396e-05,4.284658e-05,4.287795e-05,4.292933e-05,4.297796e-05,4.299877e-05,4.305558e-05,4.310040e-05,4.311232e-05,4.313387e-05,4.314961e-05,4.315658e-05,4.316881e-05,4.316912e-05,4.317203e-05,4.317120e-05,4.316585e-05,4.315799e-05,4.315109e-05,4.313034e-05,4.312823e-05,4.309774e-05,4.308934e-05,4.306007e-05,4.303599e-05,4.301564e-05,4.297129e-05,4.296487e-05,4.290815e-05,4.289613e-05,4.284585e-05,4.281137e-05,4.277833e-05,4.271783e-05,4.270594e-05,4.262899e-05,4.261627e-05,4.254780e-05,4.250741e-05,4.246267e-05,4.239192e-05,4.237388e-05,4.228171e-05,4.227044e-05,4.218641e-05,4.214355e-05,4.208823e-05,4.201182e-05,4.198739e-05,4.188414e-05,4.187578e-05,4.177867e-05,4.173590e-05,4.167119e-05,4.159266e-05,4.156189e-05,4.145096e-05,4.144649e-05,4.133856e-05,4.129777e-05,4.122487e-05,4.114690e-05,4.111004e-05,4.099422e-05,4.084005e-05,4.068470e-05,4.052846e-05,4.037159e-05,4.021433e-05,4.005692e-05,3.989955e-05,3.974243e-05,3.958574e-05,3.942964e-05,3.927428e-05,3.911981e-05,3.896636e-05,3.881403e-05,3.866295e-05,3.851320e-05,3.836488e-05,3.821807e-05,3.807284e-05,3.792926e-05,3.778738e-05,3.764725e-05,3.750893e-05,3.737245e-05
0.000000e+00,1.643414e-13,1.048575e-12,1.591389e-11,9.334294e-11,2.073771e-10,1.125336e-09,1.194949e-09,4.421770e-09,6.041253e-09,1.241058e-08,2.098510e-08,2.887728e-08,5.571663e-08,5.873296e-08,1.079757e-07,1.234219e-07,1.833771e-07,2.396333e-07,2.918878e-07,4.198643e-07,4.398963e-07,6.326019e-07,6.768578e-07,8.736707e-07,1.018888e-06,1.165175e-06,1.449497e-06,1.507722e-06,1.900672e-06,1.968123e-06,2.342360e-06,2.570974e-06,2.830283e-06,3.251791e-06,3.361257e-06,3.931533e-06,4.002411e-06,4.536891e-06,4.813188e-06,5.172728e-06,5.673342e-06,5.834144e-06,6.516036e-06,6.571316e-06,7.213188e-06,7.495149e-06,7.920372e-06,8.432861e-06,8.632441e-06,9.344427e-06,9.372838e-06,1.005162e-05,1.030418e-05,1.074963e-05,1.121697e-05,1.143446e-05,1.210253e-05,1.275074e-05,1.295352e-05,1.337642e-05,1.376400e-05,1.397737e-05,1.452941e-05,1.455187e-05,1.509859e-05,1.524656e-05,1.561663e-05,1.591344e-05,1.610543e-05,1.652910e-05,1.656477e-05,1.699472e-05,1.709357e-05,1.739560e-05,1.760759e-05,1.776794e-05,1.807254e-05,1.811244e-05,1.842995e-05,1.849029e-05,1.872141e-05,1.886302e-05,1.898787e-05,1.919318e-05,1.923043e-05,1.945021e-05,1.948334e-05,1.964837e-05,1.973614e-05,1.982606e-05,1.995424e-05,1.998442e-05,2.012458e-05,2.014023e-05,2.024764e-05,2.029664e-05,2.035466e-05,2.042588e-05,2.044664e-05,2.052459e-05,2.053024e-05,2.058942e-05,2.061188e-05,2.064203e-05,2.067282e-05,2.068327e-05,2.071392e-05,2.071493e-05,2.073474e-05,2.073996e-05,2.074643e-05,2.074951e-05,2.074967e-05,2.074506e-05,2.073320e-05,2.072796e-05,2.071462e-05,2.069945e-05,2.068985e-05,2.066067e-05,2.065935e-05,2.062357e-05,2.061266e-05,2.058293e-05,2.055637e-05,2.053780e-05,2.049265e-05,2.048856e-05,2.043554e-05,2.042229e-05,2.037905e-05,2.034602e-05,2.031939e-05,2.026447e-05,2.025682e-05,2.019160e-05,2.017826e-05,2.012397e-05,2.008792e-05,2.005414e-05,1.999393e-05,1.998232e-05,1.990870e-05,1.989676e-05,1.983345e-05,1.979681e-05,1.975676e-05,1.969445e-05,1.967875e-05,1.959960e-05,1.959003e-05,1.951942e-05,1.948384e-05,1.943834e-05,1.937619e-05,1.935647e-05,1.927394e-05,1.926731e-05,1.919083e-05,1.915745e-05,1.910724e-05,1.904681e-05,1.902327e-05,1.893898e-05,1.893560e-05,1.885446e-05,1.882399e-05,1.876978e-05,1.871214e-05,1.868501e-05,1.860020e-05,1.848830e-05,1.837657e-05,1.826511e-05,1.815402e-05,1.804340e-05,1.793333e-05,1.782388e-05,1.771513e-05,1.760712e-05,1.749993e-05,1.739359e-05,1.728816e-05,1.718367e-05,1.708015e-05,1.697765e-05,1.687618e-05,1.677577e-05,1.667645e-05,1.657822e-05,1.648111e-05,1.638513e-05,1.629029e-05,1.619660e-05,1.610407e-05
0.000000e+00,1.971051e-09,5.174104e-09,2.053694e-08,4.996302e-08,7.475621e-08,1.775637e-07,1.831776e-07,3.650149e-07,4.318967e-07,6.413611e-07,8.622565e-07,1.035798e-06,1.524242e-06,1.573010e-06,2.273063e-06,2.466373e-06,3.141896e-06,3.698145e-06,4.167169e-06,5.180585e-06,5.325863e-06,6.594375e-06,6.859427e-06,7.952693e-06,8.688912e-06,9.384270e-06,1.063294e-05,1.087486e-05,1.241160e-05,1.266095e-05,1.398253e-05,1.474540e-05,1.557644e-05,1.686106e-05,1.718287e-05,1.879217e-05,1.898505e-05,2.039557e-05,2.109715e-05,2.198526e-05,2.318003e-05,2.355443e-05,2.509722e-05,2.521935e-05,2.660872e-05,2.720363e-05,2.808490e-05,2.912405e-05,2.952256e-05,3.091921e-05,3.097419e-05,3.227299e-05,3.274959e-05,3.358260e-05,3.444747e-05,3.484722e-05,3.606647e-05,3.724026e-05,3.760630e-05,3.836882e-05,3.906756e-05,3.945260e-05,4.045149e-05,4.049224e-05,4.148852e-05,4.175983e-05,4.244235e-05,4.299467e-05,4.335471e-05,4.415837e-05,4.422666e-05,4.505933e-05,4.525345e-05,4.585384e-05,4.628253e-05,4.661135e-05,4.724826e-05,4.733300e-05,4.801996e-05,4.815329e-05,4.867338e-05,4.900029e-05,4.929441e-05,4.979185e-05,4.988415e-05,5.044373e-05,5.053053e-05,5.097420e-05,5.121880e-05,5.147663e-05,5.185907e-05,5.195204e-05,5.240143e-05,5.245366e-05,5.282579e-05,5.300483e-05,5.322607e-05,5.351474e-05,5.360319e-05,5.395803e-05,5.398548e-05,5.429146e-05,5.441903e-05,5.460432e-05,5.481730e-05,5.489743e-05,5.517156e-05,5.518214e-05,5.542747e-05,5.551527e-05,5.566589e-05,5.581839e-05,5.588753e-05,5.609307e-05,5.628316e-05,5.634083e-05,5.645844e-05,5.656314e-05,5.661953e-05,5.676136e-05,5.676700e-05,5.690143e-05,5.693681e-05,5.702336e-05,5.709075e-05,5.713333e-05,5.722435e-05,5.723182e-05,5.731935e-05,5.733877e-05,5.739636e-05,5.743507e-05,5.746332e-05,5.751427e-05,5.752066e-05,5.756880e-05,5.757735e-05,5.760813e-05,5.762524e-05,5.763906e-05,5.765881e-05,5.766194e-05,5.767715e-05,5.767889e-05,5.768501e-05,5.768628e-05,5.768587e-05,5.768173e-05,5.768004e-05,5.766783e-05,5.766595e-05,5.764952e-05,5.763962e-05,5.762542e-05,5.760338e-05,5.759577e-05,5.756086e-05,5.755784e-05,5.752092e-05,5.750359e-05,5.747620e-05,5.744117e-05,5.742693e-05,5.737333e-05,5.737109e-05,5.731561e-05,5.729387e-05,5.725399e-05,5.720996e-05,5.718866e-05,5.711981e-05,5.702383e-05,5.692244e-05,5.681601e-05,5.670489e-05,5.658944e-05,5.646996e-05,5.634677e-05,5.622016e-05,5.609039e-05,5.595774e-05,5.582244e-05,5.568474e-05,5.554485e-05,5.540297e-05,5.525932e-05,5.511407e-05,5.496740e-05,5.481948e-05,5.467048e-05,5.452053e-05,5.436979e-05,5.421838e-05,5.406643e-05,5.391407e-05
0.000000e+00,2.168318e-09,5.147068e-09,1.838571e-08,4.256963e-08,6.250435e-08,1.433268e-07,1.476850e-07,2.869406e-07,3.374311e-07,4.936690e-07,6.559024e-07,7.818601e-07,1.130696e-06,1.165132e-06,1.653427e-06,1.786671e-06,2.248891e-06,2.627326e-06,2.946113e-06,3.637081e-06,3.736573e-06,4.611838e-06,4.796379e-06,5.564186e-06,6.087412e-06,6.586210e-06,7.493069e-06,7.670399e-06,8.808937e-06,8.995607e-06,9.993676e-06,1.057630e-05,1.121622e-05,1.221578e-05,1.246809e-05,1.374089e-05,1.389464e-05,1.502647e-05,1.559416e-05,1.631708e-05,1.729686e-05,1.760552e-05,1.888516e-05,1.898696e-05,2.015006e-05,2.065071e-05,2.139500e-05,2.227642e-05,2.261543e-05,2.380749e-05,2.385453e-05,2.496796e-05,2.537748e-05,2.609425e-05,2.683953e-05,2.718430e-05,2.823656e-05,2.924994e-05,2.956587e-05,3.022369e-05,3.082591e-05,3.115744e-05,3.201612e-05,3.205110e-05,3.290481e-05,3.313673e-05,3.371893e-05,3.418862e-05,3.449399e-05,3.517312e-05,3.523065e-05,3.592969e-05,3.609196e-05,3.659198e-05,3.694715e-05,3.721845e-05,3.774088e-05,3.781007e-05,3.836789e-05,3.847548e-05,3.889293e-05,3.915335e-05,3.938626e-05,3.977693e-05,3.984895e-05,4.028206e-05,4.034869e-05,4.068666e-05,4.087105e-05,4.106378e-05,4.134639e-05,4.141446e-05,4.173971e-05,4.177707e-05,4.204051e-05,4.216537e-05,4.231783e-05,4.251349e-05,4.257263e-05,4.280582e-05,4.282357e-05,4.301829e-05,4.309768e-05,4.321092e-05,4.333779e-05,4.338454e-05,4.353997e-05,4.354582e-05,4.367800e-05,4.372358e-05,4.379940e-05,4.387283e-05,4.390491e-05,4.399522e-05,4.407105e-05,4.409236e-05,4.413304e-05,4.416576e-05,4.418185e-05,4.421686e-05,4.421808e-05,4.424233e-05,4.424705e-05,4.425517e-05,4.425763e-05,4.425716e-05,4.424986e-05,4.424882e-05,4.423067e-05,4.422490e-05,4.420318e-05,4.418390e-05,4.416684e-05,4.412790e-05,4.412210e-05,4.406939e-05,4.405793e-05,4.400912e-05,4.397493e-05,4.394170e-05,4.387983e-05,4.386752e-05,4.378693e-05,4.377347e-05,4.370030e-05,4.365667e-05,4.360796e-05,4.353021e-05,4.351025e-05,4.340746e-05,4.339480e-05,4.329990e-05,4.325114e-05,4.318786e-05,4.309987e-05,4.307160e-05,4.295140e-05,4.294162e-05,4.282750e-05,4.277695e-05,4.270014e-05,4.260643e-05,4.256955e-05,4.243596e-05,4.243055e-05,4.229957e-05,4.224982e-05,4.216058e-05,4.206469e-05,4.201919e-05,4.187558e-05,4.168292e-05,4.148707e-05,4.128841e-05,4.108727e-05,4.088396e-05,4.067879e-05,4.047205e-05,4.026398e-05,4.005485e-05,3.984487e-05,3.963428e-05,3.942327e-05,3.921203e-05,3.900074e-05,3.878956e-05,3.857866e-05,3.836817e-05,3.815823e-05,3.794896e-05,3.774048e-05,3.753290e-05,3.732631e-05,3.712082e-05,3.691649e-05
0.000000e+00,1.028792e-10,4.714955e-10,3.849465e-09,1.381295e-08,2.408653e-08,7.584446e-08,7.895465e-08,1.893832e-07,2.336152e-07,3.812522e-07,5.488627e-07,6.872708e-07,1.098781e-06,1.141095e-06,1.759150e-06,1.931137e-06,2.530344e-06,3.019848e-06,3.429827e-06,4.309386e-06,4.434997e-06,5.529585e-06,5.758132e-06,6.701579e-06,7.338200e-06,7.940798e-06,9.026566e-06,9.237497e-06,1.058181e-05,1.080065e-05,1.196366e-05,1.263731e-05,1.337293e-05,1.451337e-05,1.479964e-05,1.623425e-05,1.640650e-05,1.766781e-05,1.829611e-05,1.909216e-05,2.016400e-05,2.050003e-05,2.188507e-05,2.199472e-05,2.324188e-05,2.377565e-05,2.456594e-05,2.549693e-05,2.585364e-05,2.710211e-05,2.715120e-05,2.830920e-05,2.873331e-05,2.947338e-05,3.023998e-05,3.059365e-05,3.166950e-05,3.270079e-05,3.302141e-05,3.368769e-05,3.429622e-05,3.463066e-05,3.549521e-05,3.553038e-05,3.638767e-05,3.662024e-05,3.720352e-05,3.767358e-05,3.797900e-05,3.865778e-05,3.871526e-05,3.941351e-05,3.957557e-05,4.007498e-05,4.042982e-05,4.070095e-05,4.122343e-05,4.129267e-05,4.185142e-05,4.195933e-05,4.237846e-05,4.264040e-05,4.287502e-05,4.326946e-05,4.334231e-05,4.378154e-05,4.384929e-05,4.419386e-05,4.438255e-05,4.458041e-05,4.487184e-05,4.494229e-05,4.528057e-05,4.531963e-05,4.559629e-05,4.572832e-05,4.589044e-05,4.610018e-05,4.616400e-05,4.641790e-05,4.643739e-05,4.665303e-05,4.674203e-05,4.687027e-05,4.701607e-05,4.707045e-05,4.725437e-05,4.726140e-05,4.742281e-05,4.747980e-05,4.757650e-05,4.767296e-05,4.771617e-05,4.784249e-05,4.795612e-05,4.798990e-05,4.805769e-05,4.811664e-05,4.814780e-05,4.822407e-05,4.822703e-05,4.829595e-05,4.831347e-05,4.835507e-05,4.838605e-05,4.840490e-05,4.844297e-05,4.844594e-05,4.847865e-05,4.848531e-05,4.850347e-05,4.851409e-05,4.852083e-05,4.853027e-05,4.853114e-05,4.853479e-05,4.853475e-05,4.853215e-05,4.852841e-05,4.852357e-05,4.851203e-05,4.850940e-05,4.848996e-05,4.848638e-05,4.846556e-05,4.845217e-05,4.843649e-05,4.841007e-05,4.840305e-05,4.836549e-05,4.836072e-05,4.832408e-05,4.830470e-05,4.827906e-05,4.824257e-05,4.823066e-05,4.817912e-05,4.817486e-05,4.812463e-05,4.810206e-05,4.806741e-05,4.802462e-05,4.800764e-05,4.794552e-05,4.794298e-05,4.788121e-05,4.785755e-05,4.781488e-05,4.776870e-05,4.774669e-05,4.767679e-05,4.758215e-05,4.748510e-05,4.738592e-05,4.728488e-05,4.718225e-05,4.707826e-05,4.697313e-05,4.686707e-05,4.676026e-05,4.665290e-05,4.654513e-05,4.643713e-05,4.632903e-05,4.622097e-05,4.611307e-05,4.600544e-05,4.589819e-05,4.579142e-05,4.568521e-05,4.557966e-05,4.547483e-05,4.537080e-05,4.526763e-05,4.516537e-05
0.000000e+00,4.692583e-13,2.968393e-12,4.424989e-11,2.553529e-10,5.622761e-10,2.982268e-09,3.163830e-09,1.144935e-08,1.554964e-08,3.147488e-08,5.260228e-08,7.184670e-08,1.364102e-07,1.436051e-07,2.600073e-07,2.962300e-07,4.360806e-07,5.666357e-07,6.875712e-07,9.829261e-07,1.029072e-06,1.471781e-06,1.573104e-06,2.021769e-06,2.350482e-06,2.679339e-06,3.311308e-06,3.439487e-06,4.293035e-06,4.437496e-06,5.227984e-06,5.701721e-06,6.230767e-06,7.072323e-06,7.287229e-06,8.383308e-06,8.516850e-06,9.505483e-06,1.000420e-05,1.064105e-05,1.150576e-05,1.177825e-05,1.290642e-05,1.299598e-05,1.401597e-05,1.445265e-05,1.509847e-05,1.585700e-05,1.614665e-05,1.715440e-05,1.719380e-05,1.811673e-05,1.845127e-05,1.902975e-05,1.962093e-05,1.989060e-05,2.069738e-05,2.144907e-05,2.167792e-05,2.214542e-05,2.256221e-05,2.278685e-05,2.335189e-05,2.337437e-05,2.390946e-05,2.405013e-05,2.439396e-05,2.466126e-05,2.483002e-05,2.519042e-05,2.521998e-05,2.556631e-05,2.564323e-05,2.587159e-05,2.602558e-05,2.613840e-05,2.634341e-05,2.636931e-05,2.656684e-05,2.660255e-05,2.673344e-05,2.680864e-05,2.687147e-05,2.696699e-05,2.698319e-05,2.707071e-05,2.708260e-05,2.713604e-05,2.716008e-05,2.718108e-05,2.720369e-05,2.720759e-05,2.721719e-05,2.721728e-05,2.721141e-05,2.720436e-05,2.719165e-05,2.716810e-05,2.715922e-05,2.711531e-05,2.711134e-05,2.706102e-05,2.703663e-05,2.699736e-05,2.694625e-05,2.692526e-05,2.684557e-05,2.684224e-05,2.675907e-05,2.672640e-05,2.666647e-05,2.660036e-05,2.656843e-05,2.646555e-05,2.635837e-05,2.632325e-05,2.624740e-05,2.617460e-05,2.613309e-05,2.602060e-05,2.601585e-05,2.589609e-05,2.586215e-05,2.577414e-05,2.570005e-05,2.565032e-05,2.553501e-05,2.552493e-05,2.539823e-05,2.536766e-05,2.527048e-05,2.519856e-05,2.514189e-05,2.502820e-05,2.501267e-05,2.488300e-05,2.485703e-05,2.475307e-05,2.468545e-05,2.462302e-05,2.451379e-05,2.449299e-05,2.436313e-05,2.434238e-05,2.423355e-05,2.417148e-05,2.410435e-05,2.400134e-05,2.397564e-05,2.384751e-05,2.383217e-05,2.372003e-05,2.366417e-05,2.359329e-05,2.349749e-05,2.346734e-05,2.334226e-05,2.333229e-05,2.321810e-05,2.316870e-05,2.309490e-05,2.300683e-05,2.297272e-05,2.285160e-05,2.284677e-05,2.273156e-05,2.268862e-05,2.261265e-05,2.253244e-05,2.249488e-05,2.237830e-05,2.222625e-05,2.207633e-05,2.192858e-05,2.178303e-05,2.163969e-05,2.149860e-05,2.135975e-05,2.122316e-05,2.108883e-05,2.095675e-05,2.082692e-05,2.069934e-05,2.057399e-05,2.045085e-05,2.032992e-05,2.021118e-05,2.009459e-05,1.998016e-05,1.986784e-05,1.975763e-05,1.964949e-05,1.954339e-05,1.943932e-05,1.933724e-05
0.000000e+00,3.341390e-09,7.968209e-09,2.863972e-08,6.662693e-08,9.809701e-08,2.268772e-07,2.338712e-07,4.597562e-07,5.427253e-07,8.025650e-07,1.076393e-06,1.290953e-06,1.888720e-06,1.947727e-06,2.778843e-06,3.003278e-06,3.773723e-06,4.396277e-06,4.916013e-06,6.030950e-06,6.190394e-06,7.583447e-06,7.875195e-06,9.082690e-06,9.900157e-06,1.067573e-05,1.207710e-05,1.234988e-05,1.409216e-05,1.437637e-05,1.588944e-05,1.676784e-05,1.772873e-05,1.922195e-05,1.959747e-05,2.148374e-05,2.171074e-05,2.337653e-05,2.420878e-05,2.526577e-05,2.669368e-05,2.714252e-05,2.899891e-05,2.914633e-05,3.082817e-05,3.155095e-05,3.262456e-05,3.389491e-05,3.438333e-05,3.610060e-05,3.616838e-05,3.777329e-05,3.836406e-05,3.939901e-05,4.047674e-05,4.097599e-05,4.250302e-05,4.397929e-05,4.444090e-05,4.540441e-05,4.628960e-05,4.677831e-05,4.804924e-05,4.810118e-05,4.937343e-05,4.972067e-05,5.059567e-05,5.130532e-05,5.176866e-05,5.280505e-05,5.289325e-05,5.397041e-05,5.422198e-05,5.500116e-05,5.555851e-05,5.598658e-05,5.681715e-05,5.692781e-05,5.782599e-05,5.800057e-05,5.868231e-05,5.911145e-05,5.949796e-05,6.015253e-05,6.027411e-05,6.101197e-05,6.112655e-05,6.171272e-05,6.203624e-05,6.237753e-05,6.288428e-05,6.300756e-05,6.360395e-05,6.367331e-05,6.416784e-05,6.440594e-05,6.470033e-05,6.508468e-05,6.520249e-05,6.567541e-05,6.571201e-05,6.612011e-05,6.629032e-05,6.653761e-05,6.682193e-05,6.692890e-05,6.729496e-05,6.730909e-05,6.763671e-05,6.775397e-05,6.795508e-05,6.815868e-05,6.825097e-05,6.852523e-05,6.877871e-05,6.885557e-05,6.901223e-05,6.915158e-05,6.922659e-05,6.941505e-05,6.942255e-05,6.960086e-05,6.964772e-05,6.976225e-05,6.985125e-05,6.990741e-05,7.002722e-05,7.003703e-05,7.015177e-05,7.017716e-05,7.025226e-05,7.030253e-05,7.033911e-05,7.040473e-05,7.041292e-05,7.047427e-05,7.048509e-05,7.052370e-05,7.054489e-05,7.056177e-05,7.058534e-05,7.058899e-05,7.060585e-05,7.060762e-05,7.061284e-05,7.061282e-05,7.061042e-05,7.060202e-05,7.059906e-05,7.057917e-05,7.057623e-05,7.055117e-05,7.053639e-05,7.051548e-05,7.048344e-05,7.047247e-05,7.042253e-05,7.041825e-05,7.036601e-05,7.034163e-05,7.030325e-05,7.025439e-05,7.023459e-05,7.016036e-05,7.015728e-05,7.008086e-05,7.005100e-05,6.999638e-05,6.993624e-05,6.990722e-05,6.981364e-05,6.968381e-05,6.954733e-05,6.940475e-05,6.925658e-05,6.910333e-05,6.894546e-05,6.878340e-05,6.861759e-05,6.844841e-05,6.827623e-05,6.810141e-05,6.792428e-05,6.774516e-05,6.756434e-05,6.738209e-05,6.719868e-05,6.701436e-05,6.682935e-05,6.664388e-05,6.645815e-05,6.627235e-05,6.608666e-05,6.590124e-05,6.571626e-05
0.000000e+00,3.087976e-13,1.977784e-12,3.025184e-11,1.787009e-10,3.985322e-10,2.183181e-09,2.319083e-09,8.653325e-09,1.184638e-08,2.444338e-08,4.144508e-08,5.710809e-08,1.103574e-07,1.163366e-07,2.137754e-07,2.442834e-07,3.625783e-07,4.735721e-07,5.768149e-07,8.307535e-07,8.706754e-07,1.257481e-06,1.347044e-06,1.748649e-06,2.048305e-06,2.352848e-06,2.951782e-06,3.075486e-06,3.918573e-06,4.064605e-06,4.880872e-06,5.384004e-06,5.958243e-06,6.898620e-06,7.144075e-06,8.429764e-06,8.590289e-06,9.805165e-06,1.043589e-05,1.125902e-05,1.240908e-05,1.277937e-05,1.435387e-05,1.448180e-05,1.597017e-05,1.662567e-05,1.761615e-05,1.881305e-05,1.928014e-05,2.095115e-05,2.101799e-05,2.261899e-05,2.321683e-05,2.427439e-05,2.538867e-05,2.590904e-05,2.751563e-05,2.908788e-05,2.958284e-05,3.062044e-05,3.157839e-05,3.210893e-05,3.349313e-05,3.354981e-05,3.494035e-05,3.532039e-05,3.627853e-05,3.705571e-05,3.756298e-05,3.869650e-05,3.879287e-05,3.996789e-05,4.024174e-05,4.108813e-05,4.169169e-05,4.215404e-05,4.304767e-05,4.316635e-05,4.412603e-05,4.431176e-05,4.503428e-05,4.548666e-05,4.589240e-05,4.657554e-05,4.670184e-05,4.746413e-05,4.758183e-05,4.818085e-05,4.850917e-05,4.885364e-05,4.936134e-05,4.948413e-05,5.007399e-05,5.014212e-05,5.062486e-05,5.085531e-05,5.113836e-05,5.150463e-05,5.161611e-05,5.205966e-05,5.209372e-05,5.247056e-05,5.262611e-05,5.285029e-05,5.310522e-05,5.320031e-05,5.352202e-05,5.353432e-05,5.381678e-05,5.391655e-05,5.408590e-05,5.425490e-05,5.433064e-05,5.455223e-05,5.475182e-05,5.481124e-05,5.493056e-05,5.503449e-05,5.508950e-05,5.522444e-05,5.522970e-05,5.535214e-05,5.538337e-05,5.545777e-05,5.551346e-05,5.554750e-05,5.561676e-05,5.562220e-05,5.568271e-05,5.569521e-05,5.572981e-05,5.575062e-05,5.576428e-05,5.578472e-05,5.578682e-05,5.579814e-05,5.579911e-05,5.579889e-05,5.579532e-05,5.578971e-05,5.577476e-05,5.577120e-05,5.574392e-05,5.573878e-05,5.570843e-05,5.568862e-05,5.566523e-05,5.562547e-05,5.561484e-05,5.555772e-05,5.555043e-05,5.549431e-05,5.546453e-05,5.542504e-05,5.536873e-05,5.535032e-05,5.527053e-05,5.526394e-05,5.518604e-05,5.515101e-05,5.509720e-05,5.503073e-05,5.500434e-05,5.490777e-05,5.490383e-05,5.480779e-05,5.477101e-05,5.470468e-05,5.463291e-05,5.459870e-05,5.449013e-05,5.434322e-05,5.419271e-05,5.403908e-05,5.388279e-05,5.372424e-05,5.356384e-05,5.340194e-05,5.323887e-05,5.307495e-05,5.291046e-05,5.274566e-05,5.258081e-05,5.241612e-05,5.225180e-05,5.208804e-05,5.192502e-05,5.176290e-05,5.160182e-05,5.144192e-05,5.128332e-05,5.112612e-05,5.097043e-05,5.081634e-05,5.066393e-05
0.000000e+00,2.259580e-09,5.578981e-09,2.075831e-08,4.895914e-08,7.236557e-08,1.677616e-07,1.729162e-07,3.377262e-07,3.974622e-07,5.820436e-07,7.731652e-07,9.211430e-07,1.329294e-06,1.369475e-06,1.937847e-06,2.092623e-06,2.628657e-06,3.066167e-06,3.433325e-06,4.223166e-06,4.336108e-06,5.320070e-06,5.525221e-06,6.369891e-06,6.937269e-06,7.472010e-06,8.429168e-06,8.614111e-06,9.784777e-06,9.974013e-06,1.097339e-05,1.154739e-05,1.217016e-05,1.312747e-05,1.336623e-05,1.455373e-05,1.469531e-05,1.572580e-05,1.623508e-05,1.687661e-05,1.773401e-05,1.800134e-05,1.909606e-05,1.918224e-05,2.015768e-05,2.057251e-05,2.118385e-05,2.189978e-05,2.217289e-05,2.312365e-05,2.316087e-05,2.403546e-05,2.435411e-05,2.490803e-05,2.547896e-05,2.574138e-05,2.653580e-05,2.729179e-05,2.752570e-05,2.801002e-05,2.845023e-05,2.869127e-05,2.931132e-05,2.933644e-05,2.994650e-05,3.011116e-05,3.052246e-05,3.085212e-05,3.106539e-05,3.153665e-05,3.157638e-05,3.205651e-05,3.216728e-05,3.250690e-05,3.274653e-05,3.292862e-05,3.327689e-05,3.332277e-05,3.369040e-05,3.376083e-05,3.403256e-05,3.420077e-05,3.435029e-05,3.459904e-05,3.464460e-05,3.491646e-05,3.495794e-05,3.516683e-05,3.527965e-05,3.539665e-05,3.556631e-05,3.560681e-05,3.579819e-05,3.581994e-05,3.597165e-05,3.604250e-05,3.612799e-05,3.623587e-05,3.626803e-05,3.639252e-05,3.640183e-05,3.650220e-05,3.654209e-05,3.659780e-05,3.665829e-05,3.667999e-05,3.674944e-05,3.675197e-05,3.680680e-05,3.682460e-05,3.685267e-05,3.687760e-05,3.688764e-05,3.691229e-05,3.692715e-05,3.692993e-05,3.693276e-05,3.693173e-05,3.692962e-05,3.691881e-05,3.691820e-05,3.689897e-05,3.689225e-05,3.687237e-05,3.685306e-05,3.683883e-05,3.680220e-05,3.679876e-05,3.675254e-05,3.674057e-05,3.670054e-05,3.666904e-05,3.664313e-05,3.658840e-05,3.658065e-05,3.651341e-05,3.649942e-05,3.644173e-05,3.640281e-05,3.636592e-05,3.629924e-05,3.628624e-05,3.620298e-05,3.618934e-05,3.611639e-05,3.607372e-05,3.602672e-05,3.595293e-05,3.593421e-05,3.583907e-05,3.582749e-05,3.574153e-05,3.569790e-05,3.564178e-05,3.556462e-05,3.554002e-05,3.543644e-05,3.542808e-05,3.533120e-05,3.528868e-05,3.522448e-05,3.514681e-05,3.511644e-05,3.500721e-05,3.500282e-05,3.489696e-05,3.485704e-05,3.478580e-05,3.470977e-05,3.467388e-05,3.456130e-05,3.441191e-05,3.426184e-05,3.411132e-05,3.396056e-05,3.380977e-05,3.365913e-05,3.350881e-05,3.335897e-05,3.320975e-05,3.306129e-05,3.291371e-05,3.276711e-05,3.262161e-05,3.247730e-05,3.233427e-05,3.219258e-05,3.205231e-05,3.191353e-05,3.177628e-05,3.164063e-05,3.150661e-05,3.137427e-05,3.124363e-05,3.111473e-05
0.000000e+00,7.188459e-12,4.899961e-11,8.536060e-10,5.683156e-09,1.354085e-08,8.812805e-08,9.427684e-08,4.183137e-07,6.004858e-07,1.396789e-06,2.611158e-06,3.835574e-06,8.557805e-06,9.132965e-06,1.951142e-05,2.309885e-05,3.827359e-05,5.411056e-05,7.006098e-05,1.136965e-04,1.210800e-04,1.992581e-04,2.189761e-04,3.143056e-04,3.924373e-04,4.776772e-04,6.617713e-04,7.024403e-04,1.003064e-03,1.059233e-03,1.395147e-03,1.620629e-03,1.895095e-03,2.384042e-03,2.519772e-03,3.286136e-03,3.388419e-03,4.210872e-03,4.672094e-03,5.310029e-03,6.271364e-03,6.598687e-03,8.090645e-03,8.219163e-03,9.798147e-03,1.054391e-02,1.173165e-02,1.326854e-02,1.389962e-02,1.630842e-02,1.640984e-02,1.896217e-02,1.997792e-02,2.186275e-02,2.397602e-02,2.500975e-02,2.840051e-02,3.203021e-02,3.324111e-02,3.589196e-02,3.848126e-02,3.997693e-02,4.409869e-02,4.427453e-02,4.877254e-02,5.006607e-02,5.345732e-02,5.635171e-02,5.831403e-02,6.292040e-02,6.332677e-02,6.847884e-02,6.973416e-02,7.375291e-02,7.675305e-02,7.913119e-02,8.393597e-02,8.459566e-02,9.012823e-02,9.124133e-02,9.571089e-02,9.862774e-02,1.013258e-01,1.060546e-01,1.069557e-01,1.125835e-01,1.134826e-01,1.181929e-01,1.208743e-01,1.237683e-01,1.281941e-01,1.292948e-01,1.347584e-01,1.354091e-01,1.401458e-01,1.424890e-01,1.454449e-01,1.494061e-01,1.506443e-01,1.557336e-01,1.561357e-01,1.607035e-01,1.626561e-01,1.655455e-01,1.689483e-01,1.702522e-01,1.748169e-01,1.749964e-01,1.792340e-01,1.807871e-01,1.834988e-01,1.863099e-01,1.876074e-01,1.915566e-01,1.953441e-01,1.965217e-01,1.989683e-01,2.012016e-01,2.024283e-01,2.055950e-01,2.057236e-01,2.088548e-01,2.097021e-01,2.118225e-01,2.135252e-01,2.146281e-01,2.170678e-01,2.172736e-01,2.197610e-01,2.203347e-01,2.220930e-01,2.233321e-01,2.242725e-01,2.260670e-01,2.263029e-01,2.281875e-01,2.285472e-01,2.299300e-01,2.307814e-01,2.315345e-01,2.327786e-01,2.330050e-01,2.343457e-01,2.345485e-01,2.355609e-01,2.361009e-01,2.366550e-01,2.374460e-01,2.376323e-01,2.384975e-01,2.385940e-01,2.392549e-01,2.395552e-01,2.399091e-01,2.403399e-01,2.404645e-01,2.409254e-01,2.409583e-01,2.412963e-01,2.414204e-01,2.415814e-01,2.417361e-01,2.417851e-01,2.419114e-01,2.419149e-01,2.419644e-01,2.419663e-01,2.419481e-01,2.418993e-01,2.418663e-01,2.417227e-01,2.414449e-01,2.410740e-01,2.406176e-01,2.400831e-01,2.394776e-01,2.388076e-01,2.380795e-01,2.372992e-01,2.364723e-01,2.356041e-01,2.346994e-01,2.337629e-01,2.327989e-01,2.318114e-01,2.308042e-01,2.297808e-01,2.287444e-01,2.276979e-01,2.266441e-01,2.255855e-01,2.245246e-01,2.234633e-01,2.224036e-01,2.213474e-01
0.000000e+00,3.811732e-10,1.547589e-09,1.042481e-08,3.306116e-08,5.466016e-08,1.545052e-07,1.602352e-07,3.532360e-07,4.264628e-07,6.596412e-07,9.091002e-07,1.106474e-06,1.665671e-06,1.721727e-06,2.530394e-06,2.755065e-06,3.545249e-06,4.202152e-06,4.760566e-06,5.981368e-06,6.157965e-06,7.716525e-06,8.045868e-06,9.417295e-06,1.035219e-05,1.124321e-05,1.286174e-05,1.317793e-05,1.520504e-05,1.553684e-05,1.730781e-05,1.833902e-05,1.946923e-05,2.122918e-05,2.167232e-05,2.390046e-05,2.416876e-05,2.613773e-05,2.712114e-05,2.836921e-05,3.005279e-05,3.058121e-05,3.276146e-05,3.293417e-05,3.489916e-05,3.574019e-05,3.698503e-05,3.845036e-05,3.901132e-05,4.097166e-05,4.104863e-05,4.286105e-05,4.352310e-05,4.467570e-05,4.586555e-05,4.641291e-05,4.807095e-05,4.964894e-05,5.013694e-05,5.114670e-05,5.206336e-05,5.256469e-05,5.385177e-05,5.390384e-05,5.516550e-05,5.550511e-05,5.635136e-05,5.702729e-05,5.746337e-05,5.842304e-05,5.850368e-05,5.947459e-05,5.969755e-05,6.037850e-05,6.085635e-05,6.121789e-05,6.190518e-05,6.199527e-05,6.271316e-05,6.284982e-05,6.337407e-05,6.369605e-05,6.398049e-05,6.444958e-05,6.453488e-05,6.503964e-05,6.511596e-05,6.549712e-05,6.570059e-05,6.590960e-05,6.620868e-05,6.627930e-05,6.660836e-05,6.664522e-05,6.689885e-05,6.701496e-05,6.715276e-05,6.732245e-05,6.737201e-05,6.755847e-05,6.757202e-05,6.771389e-05,6.776776e-05,6.784000e-05,6.791355e-05,6.793841e-05,6.801069e-05,6.801306e-05,6.805833e-05,6.806973e-05,6.808277e-05,6.808684e-05,6.808538e-05,6.806745e-05,6.803024e-05,6.801445e-05,6.797492e-05,6.793055e-05,6.790264e-05,6.781829e-05,6.781447e-05,6.771145e-05,6.768007e-05,6.759453e-05,6.751811e-05,6.746467e-05,6.733451e-05,6.732274e-05,6.716958e-05,6.713124e-05,6.700599e-05,6.691012e-05,6.683274e-05,6.667286e-05,6.665055e-05,6.646009e-05,6.642106e-05,6.626202e-05,6.615622e-05,6.605696e-05,6.587973e-05,6.584548e-05,6.562815e-05,6.559287e-05,6.540548e-05,6.529686e-05,6.517798e-05,6.499281e-05,6.494611e-05,6.471031e-05,6.468177e-05,6.447100e-05,6.436470e-05,6.422859e-05,6.404252e-05,6.398345e-05,6.373593e-05,6.371603e-05,6.348636e-05,6.338603e-05,6.323506e-05,6.305322e-05,6.298233e-05,6.272844e-05,6.271827e-05,6.247367e-05,6.238178e-05,6.221824e-05,6.204431e-05,6.196241e-05,6.170639e-05,6.136848e-05,6.103104e-05,6.069446e-05,6.035910e-05,6.002532e-05,5.969341e-05,5.936365e-05,5.903630e-05,5.871158e-05,5.838971e-05,5.807088e-05,5.775524e-05,5.744295e-05,5.713415e-05,5.682894e-05,5.652744e-05,5.622974e-05,5.593590e-05,5.564600e-05,5.536009e-05,5.507823e-05,5.480043e-05,5.452673e-05,5.425716e-05
0.000000e+00,6.655666e-12,3.947994e-11,5.169783e-10,2.663895e-09,5.524472e-09,2.530712e-08,2.669564e-08,8.473268e-08,1.113450e-07,2.085723e-07,3.292205e-07,4.342659e-07,7.663270e-07,8.018656e-07,1.346948e-06,1.506915e-06,2.090709e-06,2.595982e-06,3.036783e-06,4.029031e-06,4.175277e-06,5.488865e-06,5.770825e-06,6.957194e-06,7.774838e-06,8.559019e-06,9.991997e-06,1.027284e-05,1.207704e-05,1.237265e-05,1.394995e-05,1.486705e-05,1.587019e-05,1.742652e-05,1.781708e-05,1.977113e-05,2.000523e-05,2.171452e-05,2.256207e-05,2.363140e-05,2.506205e-05,2.550817e-05,2.733355e-05,2.747707e-05,2.909849e-05,2.978594e-05,3.079614e-05,3.197395e-05,3.242158e-05,3.397162e-05,3.403203e-05,3.544457e-05,3.595584e-05,3.683997e-05,3.774479e-05,3.815837e-05,3.940112e-05,4.057018e-05,4.092911e-05,4.166798e-05,4.233441e-05,4.269723e-05,4.362357e-05,4.366090e-05,4.456204e-05,4.480358e-05,4.540377e-05,4.588157e-05,4.618918e-05,4.686466e-05,4.692134e-05,4.760323e-05,4.775972e-05,4.823772e-05,4.857337e-05,4.882758e-05,4.931183e-05,4.937544e-05,4.988383e-05,4.998098e-05,5.035511e-05,5.058626e-05,5.079154e-05,5.113275e-05,5.119523e-05,5.156819e-05,5.162514e-05,5.191229e-05,5.206773e-05,5.222930e-05,5.246452e-05,5.252088e-05,5.278858e-05,5.281916e-05,5.303385e-05,5.313502e-05,5.325806e-05,5.341518e-05,5.346250e-05,5.364837e-05,5.366247e-05,5.381678e-05,5.387949e-05,5.396879e-05,5.406864e-05,5.410539e-05,5.422751e-05,5.423210e-05,5.433601e-05,5.437189e-05,5.443171e-05,5.448987e-05,5.451538e-05,5.458772e-05,5.464943e-05,5.466703e-05,5.470112e-05,5.472922e-05,5.474340e-05,5.477564e-05,5.477681e-05,5.480190e-05,5.480750e-05,5.481915e-05,5.482594e-05,5.482903e-05,5.483199e-05,5.483198e-05,5.482841e-05,5.482662e-05,5.481871e-05,5.481074e-05,5.480324e-05,5.478515e-05,5.478237e-05,5.475640e-05,5.475062e-05,5.472566e-05,5.470788e-05,5.469042e-05,5.465756e-05,5.465098e-05,5.460758e-05,5.460029e-05,5.456048e-05,5.453663e-05,5.450991e-05,5.446710e-05,5.445608e-05,5.439921e-05,5.439219e-05,5.433950e-05,5.431237e-05,5.427712e-05,5.422805e-05,5.421226e-05,5.414510e-05,5.413963e-05,5.407577e-05,5.404748e-05,5.400445e-05,5.395194e-05,5.393127e-05,5.385637e-05,5.385334e-05,5.377987e-05,5.375197e-05,5.370191e-05,5.364811e-05,5.362259e-05,5.354203e-05,5.343396e-05,5.332414e-05,5.321278e-05,5.310008e-05,5.298622e-05,5.287138e-05,5.275572e-05,5.263940e-05,5.252255e-05,5.240531e-05,5.228780e-05,5.217015e-05,5.205245e-05,5.193481e-05,5.181732e-05,5.170008e-05,5.158316e-05,5.146664e-05,5.135059e-05,5.123509e-05,5.112018e-05,5.100593e-05,5.089238e-05,5.077960e-05
0.000000e+00,5.942926e-14,3.920211e-13,6.372870e-12,3.978147e-11,9.143413e-11,5.410918e-10,5.765697e-10,2.319878e-09,3.240836e-09,7.032017e-09,1.241017e-08,1.754627e-08,3.587490e-08,3.799769e-08,7.389383e-08,8.554055e-08,1.320749e-07,1.773384e-07,2.205604e-07,3.305637e-07,3.482689e-07,5.246030e-07,5.665356e-07,7.589192e-07,9.066165e-07,1.059945e-06,1.369920e-06,1.435218e-06,1.890622e-06,1.971213e-06,2.430051e-06,2.719410e-06,3.055216e-06,3.616806e-06,3.765603e-06,4.558538e-06,4.659035e-06,5.429359e-06,5.835597e-06,6.371650e-06,7.130789e-06,7.377534e-06,8.437979e-06,8.524881e-06,9.543131e-06,9.995399e-06,1.068263e-05,1.151840e-05,1.184590e-05,1.302246e-05,1.306965e-05,1.420212e-05,1.462567e-05,1.537522e-05,1.616457e-05,1.653280e-05,1.766671e-05,1.876970e-05,1.911508e-05,1.983550e-05,2.049561e-05,2.085881e-05,2.179719e-05,2.183530e-05,2.276161e-05,2.301162e-05,2.363524e-05,2.413342e-05,2.445455e-05,2.515958e-05,2.521867e-05,2.592737e-05,2.608925e-05,2.658106e-05,2.692342e-05,2.718064e-05,2.766455e-05,2.772743e-05,2.822314e-05,2.831631e-05,2.866971e-05,2.888324e-05,2.906935e-05,2.937048e-05,2.942439e-05,2.973726e-05,2.978358e-05,3.001048e-05,3.012827e-05,3.024655e-05,3.041032e-05,3.044795e-05,3.061715e-05,3.063541e-05,3.075653e-05,3.080901e-05,3.086839e-05,3.093636e-05,3.095494e-05,3.101828e-05,3.102240e-05,3.106040e-05,3.107173e-05,3.108318e-05,3.108859e-05,3.108837e-05,3.107763e-05,3.107689e-05,3.105248e-05,3.104017e-05,3.101434e-05,3.098166e-05,3.096453e-05,3.090427e-05,3.083468e-05,3.081061e-05,3.075678e-05,3.070301e-05,3.067153e-05,3.058356e-05,3.057978e-05,3.048232e-05,3.045411e-05,3.037989e-05,3.031632e-05,3.027313e-05,3.017162e-05,3.016266e-05,3.004900e-05,3.002131e-05,2.993267e-05,2.986653e-05,2.981411e-05,2.970826e-05,2.969373e-05,2.957191e-05,2.954740e-05,2.944897e-05,2.938471e-05,2.932523e-05,2.922087e-05,2.920096e-05,2.907640e-05,2.905646e-05,2.895178e-05,2.889200e-05,2.882730e-05,2.872795e-05,2.870315e-05,2.857948e-05,2.856468e-05,2.845645e-05,2.840255e-05,2.833418e-05,2.824183e-05,2.821278e-05,2.809237e-05,2.808279e-05,2.797304e-05,2.792563e-05,2.785487e-05,2.777055e-05,2.773794e-05,2.762230e-05,2.761770e-05,2.750801e-05,2.746721e-05,2.739512e-05,2.731919e-05,2.728368e-05,2.717373e-05,2.703090e-05,2.689076e-05,2.675336e-05,2.661873e-05,2.648689e-05,2.635785e-05,2.623162e-05,2.610819e-05,2.598755e-05,2.586970e-05,2.575460e-05,2.564224e-05,2.553259e-05,2.542562e-05,2.532129e-05,2.521956e-05,2.512041e-05,2.502378e-05,2.492964e-05,2.483795e-05,2.474865e-05,2.466170e-05,2.457707e-05,2.449470e-05
0.000000e+00,9.080483e-14,5.957585e-13,9.579884e-12,5.921462e-11,1.353724e-10,7.902845e-10,8.416429e-10,3.342707e-09,4.653797e-09,1.001441e-08,1.756140e-08,2.473145e-08,5.015408e-08,5.308734e-08,1.024895e-07,1.184627e-07,1.821229e-07,2.438777e-07,3.027409e-07,4.522000e-07,4.762149e-07,7.148297e-07,7.714288e-07,1.030417e-06,1.228506e-06,1.433492e-06,1.845964e-06,1.932539e-06,2.533521e-06,2.639391e-06,3.239631e-06,3.616124e-06,4.051260e-06,4.775085e-06,4.966123e-06,5.979511e-06,6.107434e-06,7.084603e-06,7.597742e-06,8.272833e-06,9.225413e-06,9.534259e-06,1.085794e-05,1.096618e-05,1.223228e-05,1.279355e-05,1.364539e-05,1.468014e-05,1.508536e-05,1.654052e-05,1.659889e-05,1.799971e-05,1.852396e-05,1.945242e-05,2.043158e-05,2.088896e-05,2.230057e-05,2.367947e-05,2.411268e-05,2.501892e-05,2.585279e-05,2.631322e-05,2.750892e-05,2.755769e-05,2.874861e-05,2.907207e-05,2.988320e-05,3.053606e-05,3.095950e-05,3.189721e-05,3.197636e-05,3.293328e-05,3.315403e-05,3.383040e-05,3.430688e-05,3.466835e-05,3.535765e-05,3.544821e-05,3.617144e-05,3.630944e-05,3.683977e-05,3.716625e-05,3.745516e-05,3.793275e-05,3.801976e-05,3.853582e-05,3.861404e-05,3.900568e-05,3.921549e-05,3.943170e-05,3.974256e-05,3.981627e-05,4.016173e-05,4.020067e-05,4.047041e-05,4.059516e-05,4.074456e-05,4.093116e-05,4.098635e-05,4.119790e-05,4.121358e-05,4.138121e-05,4.144706e-05,4.153819e-05,4.163595e-05,4.167068e-05,4.178038e-05,4.178432e-05,4.186893e-05,4.189593e-05,4.193786e-05,4.197426e-05,4.198860e-05,4.202252e-05,4.204086e-05,4.204364e-05,4.204482e-05,4.204032e-05,4.203550e-05,4.201501e-05,4.201392e-05,4.198105e-05,4.196995e-05,4.193778e-05,4.190718e-05,4.188495e-05,4.182857e-05,4.182333e-05,4.175364e-05,4.173579e-05,4.167656e-05,4.163039e-05,4.159270e-05,4.151376e-05,4.150265e-05,4.140695e-05,4.138717e-05,4.130609e-05,4.125177e-05,4.120056e-05,4.110860e-05,4.109077e-05,4.097713e-05,4.095861e-05,4.086002e-05,4.080267e-05,4.073978e-05,4.064156e-05,4.061674e-05,4.049121e-05,4.047599e-05,4.036345e-05,4.030660e-05,4.023374e-05,4.013399e-05,4.010231e-05,3.996939e-05,3.995870e-05,3.983519e-05,3.978119e-05,3.969990e-05,3.960193e-05,3.956372e-05,3.942680e-05,3.942131e-05,3.928930e-05,3.923969e-05,3.915137e-05,3.905741e-05,3.901316e-05,3.887477e-05,3.869204e-05,3.850948e-05,3.832730e-05,3.814572e-05,3.796491e-05,3.778506e-05,3.760629e-05,3.742877e-05,3.725260e-05,3.707789e-05,3.690476e-05,3.673328e-05,3.656355e-05,3.639561e-05,3.622955e-05,3.606541e-05,3.590324e-05,3.574309e-05,3.558498e-05,3.542895e-05,3.527502e-05,3.512321e-05,3.497354e-05,3.482603e-05
0.000000e+00,3.195396e-11,1.663194e-10,1.695463e-09,7.123602e-09,1.333304e-08,4.824055e-08,5.044323e-08,1.316241e-07,1.648968e-07,2.764240e-07,4.023020e-07,5.053186e-07,8.089781e-07,8.402074e-07,1.303757e-06,1.436492e-06,1.915630e-06,2.327297e-06,2.685584e-06,3.490377e-06,3.608768e-06,4.668405e-06,4.894817e-06,5.842897e-06,6.491958e-06,7.111251e-06,8.235609e-06,8.454983e-06,9.857929e-06,1.008691e-05,1.130551e-05,1.201220e-05,1.278420e-05,1.398096e-05,1.428125e-05,1.578471e-05,1.596502e-05,1.728350e-05,1.793885e-05,1.876753e-05,1.987993e-05,2.022779e-05,2.165646e-05,2.176919e-05,2.304691e-05,2.359112e-05,2.439365e-05,2.533374e-05,2.569231e-05,2.693958e-05,2.698836e-05,2.813303e-05,2.854918e-05,2.927111e-05,3.001289e-05,3.035293e-05,3.137822e-05,3.234723e-05,3.264553e-05,3.326063e-05,3.381647e-05,3.411942e-05,3.489365e-05,3.492486e-05,3.567845e-05,3.588038e-05,3.638181e-05,3.678043e-05,3.703668e-05,3.759790e-05,3.764488e-05,3.820828e-05,3.833703e-05,3.872874e-05,3.900216e-05,3.920816e-05,3.959759e-05,3.964841e-05,4.005131e-05,4.012756e-05,4.041866e-05,4.059621e-05,4.075220e-05,4.100749e-05,4.105363e-05,4.132459e-05,4.136523e-05,4.156668e-05,4.167308e-05,4.178142e-05,4.193451e-05,4.197028e-05,4.213465e-05,4.215280e-05,4.227590e-05,4.233105e-05,4.239531e-05,4.247222e-05,4.249412e-05,4.257352e-05,4.257906e-05,4.263462e-05,4.265418e-05,4.267851e-05,4.270003e-05,4.270621e-05,4.271869e-05,4.271889e-05,4.271689e-05,4.271291e-05,4.270168e-05,4.268412e-05,4.267392e-05,4.263439e-05,4.258385e-05,4.256548e-05,4.252304e-05,4.247903e-05,4.245262e-05,4.237659e-05,4.237326e-05,4.228556e-05,4.225959e-05,4.219011e-05,4.212936e-05,4.208747e-05,4.198714e-05,4.197816e-05,4.186267e-05,4.183409e-05,4.174148e-05,4.167129e-05,4.161503e-05,4.149974e-05,4.148375e-05,4.134802e-05,4.132038e-05,4.120824e-05,4.113406e-05,4.106475e-05,4.094160e-05,4.091789e-05,4.076798e-05,4.074373e-05,4.061533e-05,4.054116e-05,4.046020e-05,4.033451e-05,4.030288e-05,4.014361e-05,4.012438e-05,3.998263e-05,3.991132e-05,3.982017e-05,3.969583e-05,3.965643e-05,3.949162e-05,3.947839e-05,3.932592e-05,3.925943e-05,3.915951e-05,3.903934e-05,3.899255e-05,3.882519e-05,3.881849e-05,3.865760e-05,3.859723e-05,3.848989e-05,3.837585e-05,3.832220e-05,3.815465e-05,3.793389e-05,3.771380e-05,3.749461e-05,3.727650e-05,3.705968e-05,3.684429e-05,3.663049e-05,3.641842e-05,3.620819e-05,3.599992e-05,3.579371e-05,3.558963e-05,3.538777e-05,3.518820e-05,3.499098e-05,3.479615e-05,3.460376e-05,3.441386e-05,3.422647e-05,3.404161e-05,3.385932e-05,3.367959e-05,3.350245e-05,3.332791e-05
0.000000e+00,1.551326e-13,1.020704e-12,1.650786e-11,1.025958e-10,2.352787e-10,1.385353e-09,1.475927e-09,5.918326e-09,8.263005e-09,1.791703e-08,3.163158e-08,4.475404e-08,9.176173e-08,9.722143e-08,1.898722e-07,2.200265e-07,3.407218e-07,4.582162e-07,5.703319e-07,8.548206e-07,9.004656e-07,1.352616e-06,1.459478e-06,1.946650e-06,2.317443e-06,2.699706e-06,3.465226e-06,3.625376e-06,4.733175e-06,4.927731e-06,6.028247e-06,6.716774e-06,7.511290e-06,8.830746e-06,9.178646e-06,1.102255e-05,1.125517e-05,1.303147e-05,1.396397e-05,1.519062e-05,1.692134e-05,1.748246e-05,1.988727e-05,2.008391e-05,2.238384e-05,2.340321e-05,2.495000e-05,2.682811e-05,2.756328e-05,3.020140e-05,3.030714e-05,3.284283e-05,3.379059e-05,3.546716e-05,3.723221e-05,3.805546e-05,4.059054e-05,4.305712e-05,4.382974e-05,4.544196e-05,4.692012e-05,4.773390e-05,4.983826e-05,4.992380e-05,5.200452e-05,5.256680e-05,5.397078e-05,5.509406e-05,5.581905e-05,5.741353e-05,5.754736e-05,5.915516e-05,5.952315e-05,6.064313e-05,6.142466e-05,6.201300e-05,6.312287e-05,6.326740e-05,6.440971e-05,6.462505e-05,6.544385e-05,6.594031e-05,6.637424e-05,6.707904e-05,6.720560e-05,6.794288e-05,6.805245e-05,6.859116e-05,6.887222e-05,6.915557e-05,6.955016e-05,6.964124e-05,7.005321e-05,7.009793e-05,7.039643e-05,7.052690e-05,7.067567e-05,7.084796e-05,7.089555e-05,7.106050e-05,7.107145e-05,7.117474e-05,7.120713e-05,7.124226e-05,7.126408e-05,7.126685e-05,7.125208e-05,7.125072e-05,7.120131e-05,7.117482e-05,7.111765e-05,7.104349e-05,7.100405e-05,7.086324e-05,7.069777e-05,7.064000e-05,7.051000e-05,7.037914e-05,7.030212e-05,7.008553e-05,7.007617e-05,6.983403e-05,6.976357e-05,6.957743e-05,6.941720e-05,6.930798e-05,6.905001e-05,6.902716e-05,6.873633e-05,6.866518e-05,6.843675e-05,6.826560e-05,6.812957e-05,6.785383e-05,6.781587e-05,6.749661e-05,6.743217e-05,6.717269e-05,6.700268e-05,6.684493e-05,6.656721e-05,6.651410e-05,6.618087e-05,6.612737e-05,6.584588e-05,6.568464e-05,6.550972e-05,6.524029e-05,6.517290e-05,6.483591e-05,6.479548e-05,6.449919e-05,6.435122e-05,6.416314e-05,6.390842e-05,6.382813e-05,6.349448e-05,6.346786e-05,6.316251e-05,6.303024e-05,6.283247e-05,6.259618e-05,6.250461e-05,6.217917e-05,6.216620e-05,6.185633e-05,6.174078e-05,6.153628e-05,6.132032e-05,6.121917e-05,6.090515e-05,6.049559e-05,6.009189e-05,5.969425e-05,5.930286e-05,5.891785e-05,5.853934e-05,5.816743e-05,5.780216e-05,5.744359e-05,5.709175e-05,5.674663e-05,5.640825e-05,5.607658e-05,5.575158e-05,5.543322e-05,5.512144e-05,5.481619e-05,5.451740e-05,5.422500e-05,5.393891e-05,5.365904e-05,5.338531e-05,5.311763e-05,5.285591e-05
0.000000e+00,2.538367e-09,6.402128e-09,2.453467e-08,5.943312e-08,8.941791e-08,2.205145e-07,2.279903e-07,4.863262e-07,5.881061e-07,9.215465e-07,1.282396e-06,1.563354e-06,2.317409e-06,2.389321e-06,3.361656e-06,3.613573e-06,4.453745e-06,5.111353e-06,5.649459e-06,6.778562e-06,6.937724e-06,8.309081e-06,8.592498e-06,9.754048e-06,1.053120e-05,1.126253e-05,1.257087e-05,1.282375e-05,1.442646e-05,1.468598e-05,1.605926e-05,1.685038e-05,1.771094e-05,1.903864e-05,1.937077e-05,2.102874e-05,2.122712e-05,2.267573e-05,2.339480e-05,2.430364e-05,2.552371e-05,2.590541e-05,2.747504e-05,2.759906e-05,2.900751e-05,2.960916e-05,3.049877e-05,3.154513e-05,3.194562e-05,3.334560e-05,3.340060e-05,3.469696e-05,3.517130e-05,3.599849e-05,3.685471e-05,3.724952e-05,3.844978e-05,3.959932e-05,3.995652e-05,4.069854e-05,4.137590e-05,4.174804e-05,4.270951e-05,4.274861e-05,4.370119e-05,4.395945e-05,4.460683e-05,4.512816e-05,4.546669e-05,4.621836e-05,4.628197e-05,4.705394e-05,4.723291e-05,4.778390e-05,4.817480e-05,4.847314e-05,4.904706e-05,4.912300e-05,4.973480e-05,4.985271e-05,5.030986e-05,5.059479e-05,5.084946e-05,5.127628e-05,5.135491e-05,5.182745e-05,5.190009e-05,5.226834e-05,5.246909e-05,5.267880e-05,5.298604e-05,5.306000e-05,5.341311e-05,5.345364e-05,5.373925e-05,5.387450e-05,5.403953e-05,5.425111e-05,5.431502e-05,5.456675e-05,5.458589e-05,5.479573e-05,5.488117e-05,5.500294e-05,5.513917e-05,5.518931e-05,5.535577e-05,5.536203e-05,5.550320e-05,5.555178e-05,5.563245e-05,5.571038e-05,5.574435e-05,5.583970e-05,5.591926e-05,5.594151e-05,5.598378e-05,5.601751e-05,5.603398e-05,5.606933e-05,5.607053e-05,5.609412e-05,5.609849e-05,5.610538e-05,5.610647e-05,5.610491e-05,5.609465e-05,5.609333e-05,5.607118e-05,5.606436e-05,5.603903e-05,5.601686e-05,5.599741e-05,5.595333e-05,5.594680e-05,5.588771e-05,5.587491e-05,5.582059e-05,5.578267e-05,5.574591e-05,5.567763e-05,5.566407e-05,5.557551e-05,5.556074e-05,5.548061e-05,5.543292e-05,5.537975e-05,5.529502e-05,5.527330e-05,5.516160e-05,5.514786e-05,5.504500e-05,5.499221e-05,5.492380e-05,5.482880e-05,5.479831e-05,5.466883e-05,5.465831e-05,5.453563e-05,5.448138e-05,5.439899e-05,5.429862e-05,5.425916e-05,5.411639e-05,5.411062e-05,5.397091e-05,5.391791e-05,5.382293e-05,5.372100e-05,5.367269e-05,5.352037e-05,5.331647e-05,5.310972e-05,5.290053e-05,5.268926e-05,5.247626e-05,5.226186e-05,5.204637e-05,5.183008e-05,5.161324e-05,5.139612e-05,5.117895e-05,5.096194e-05,5.074530e-05,5.052921e-05,5.031385e-05,5.009939e-05,4.988597e-05,4.967372e-05,4.946279e-05,4.925329e-05,4.904532e-05,4.883899e-05,4.863438e-05,4.843158e-05
0.000000e+00,3.134181e-09,7.345574e-09,2.609752e-08,6.119588e-08,9.111072e-08,2.219070e-07,2.293897e-07,4.896270e-07,5.927785e-07,9.313619e-07,1.296733e-06,1.579488e-06,2.329208e-06,2.399995e-06,3.345638e-06,3.587354e-06,4.384699e-06,5.000134e-06,5.498616e-06,6.531096e-06,6.675277e-06,7.904979e-06,8.156477e-06,9.178537e-06,9.855019e-06,1.048657e-05,1.160489e-05,1.181941e-05,1.316719e-05,1.338357e-05,1.452017e-05,1.516867e-05,1.586898e-05,1.693913e-05,1.720489e-05,1.852001e-05,1.867608e-05,1.980735e-05,2.036341e-05,2.106094e-05,2.198801e-05,2.227583e-05,2.344812e-05,2.353997e-05,2.457479e-05,2.501217e-05,2.565366e-05,2.640000e-05,2.668328e-05,2.766289e-05,2.770103e-05,2.859226e-05,2.891454e-05,2.947151e-05,3.004105e-05,3.030123e-05,3.108229e-05,3.181581e-05,3.204071e-05,3.250311e-05,3.291938e-05,3.314562e-05,3.372172e-05,3.374488e-05,3.430247e-05,3.445136e-05,3.482004e-05,3.511206e-05,3.529925e-05,3.570766e-05,3.574175e-05,3.614918e-05,3.624193e-05,3.652317e-05,3.671859e-05,3.686531e-05,3.714127e-05,3.717714e-05,3.746017e-05,3.751345e-05,3.771585e-05,3.783847e-05,3.794560e-05,3.811954e-05,3.815077e-05,3.833267e-05,3.835969e-05,3.849255e-05,3.856183e-05,3.863163e-05,3.872869e-05,3.875105e-05,3.885193e-05,3.886284e-05,3.893532e-05,3.896673e-05,3.900222e-05,3.904265e-05,3.905361e-05,3.909041e-05,3.909275e-05,3.911349e-05,3.911907e-05,3.912368e-05,3.912350e-05,3.912179e-05,3.910857e-05,3.910782e-05,3.908475e-05,3.907370e-05,3.905100e-05,3.902271e-05,3.900797e-05,3.895629e-05,3.889655e-05,3.887582e-05,3.882930e-05,3.878256e-05,3.875507e-05,3.867770e-05,3.867436e-05,3.858764e-05,3.856235e-05,3.849537e-05,3.843753e-05,3.839798e-05,3.830420e-05,3.829587e-05,3.818942e-05,3.816326e-05,3.807899e-05,3.801554e-05,3.796493e-05,3.786180e-05,3.784755e-05,3.772717e-05,3.770276e-05,3.760408e-05,3.753909e-05,3.747854e-05,3.737139e-05,3.735082e-05,3.722115e-05,3.720024e-05,3.708977e-05,3.702616e-05,3.695689e-05,3.684965e-05,3.682272e-05,3.668744e-05,3.667114e-05,3.655124e-05,3.649107e-05,3.641429e-05,3.630980e-05,3.627675e-05,3.613876e-05,3.612770e-05,3.600046e-05,3.594509e-05,3.586199e-05,3.576226e-05,3.572348e-05,3.558502e-05,3.557949e-05,3.544674e-05,3.539703e-05,3.530874e-05,3.521511e-05,3.517111e-05,3.503393e-05,3.485370e-05,3.467457e-05,3.449672e-05,3.432028e-05,3.414538e-05,3.397214e-05,3.380066e-05,3.363103e-05,3.346334e-05,3.329766e-05,3.313405e-05,3.297256e-05,3.281326e-05,3.265617e-05,3.250133e-05,3.234877e-05,3.219851e-05,3.205057e-05,3.190497e-05,3.176171e-05,3.162080e-05,3.148223e-05,3.134601e-05,3.121213e-05
0.000000e+00,1.407812e-11,8.049874e-11,9.807552e-10,4.754473e-09,9.552648e-09,4.054436e-08,4.264281e-08,1.263209e-07,1.630467e-07,2.923234e-07,4.458959e-07,5.756518e-07,9.721415e-07,1.013819e-06,1.646689e-06,1.832109e-06,2.515039e-06,3.118323e-06,3.655809e-06,4.905445e-06,5.094171e-06,6.836760e-06,7.220968e-06,8.871009e-06,1.003568e-05,1.117060e-05,1.328334e-05,1.370269e-05,1.643336e-05,1.688651e-05,1.933037e-05,2.077117e-05,2.236389e-05,2.487034e-05,2.550625e-05,2.873154e-05,2.912297e-05,3.201531e-05,3.347269e-05,3.533444e-05,3.786723e-05,3.866724e-05,4.199354e-05,4.225879e-05,4.529482e-05,4.660454e-05,4.855443e-05,5.086717e-05,5.175758e-05,5.489142e-05,5.501517e-05,5.794501e-05,5.902285e-05,6.090925e-05,6.287008e-05,6.377678e-05,6.654183e-05,6.920009e-05,7.002766e-05,7.174856e-05,7.332104e-05,7.418534e-05,7.641874e-05,7.650955e-05,7.872116e-05,7.932031e-05,8.082087e-05,8.202749e-05,8.280996e-05,8.454377e-05,8.469024e-05,8.646390e-05,8.687398e-05,8.813346e-05,8.902398e-05,8.970171e-05,9.100030e-05,9.117159e-05,9.254624e-05,9.281002e-05,9.382885e-05,9.446051e-05,9.502269e-05,9.595933e-05,9.613106e-05,9.715725e-05,9.731403e-05,9.810452e-05,9.853213e-05,9.897611e-05,9.962102e-05,9.977519e-05,1.005049e-04,1.005879e-04,1.011683e-04,1.014399e-04,1.017683e-04,1.021838e-04,1.023080e-04,1.027899e-04,1.028261e-04,1.032170e-04,1.033731e-04,1.035919e-04,1.038309e-04,1.039170e-04,1.041950e-04,1.042052e-04,1.044281e-04,1.045015e-04,1.046187e-04,1.047251e-04,1.047690e-04,1.048810e-04,1.049570e-04,1.049740e-04,1.049987e-04,1.050084e-04,1.050082e-04,1.049887e-04,1.049873e-04,1.049376e-04,1.049187e-04,1.048608e-04,1.048024e-04,1.047586e-04,1.046433e-04,1.046324e-04,1.044837e-04,1.044448e-04,1.043140e-04,1.042102e-04,1.041245e-04,1.039424e-04,1.039165e-04,1.036914e-04,1.036444e-04,1.034501e-04,1.033186e-04,1.031939e-04,1.029678e-04,1.029237e-04,1.026407e-04,1.025942e-04,1.023457e-04,1.022001e-04,1.020397e-04,1.017875e-04,1.017235e-04,1.013981e-04,1.013584e-04,1.010641e-04,1.009146e-04,1.007223e-04,1.004578e-04,1.003735e-04,1.000183e-04,9.998963e-05,9.965737e-05,9.951153e-05,9.929131e-05,9.902490e-05,9.892071e-05,9.854611e-05,9.853105e-05,9.816803e-05,9.803116e-05,9.778696e-05,9.752637e-05,9.740338e-05,9.701772e-05,9.650617e-05,9.599262e-05,9.547789e-05,9.496276e-05,9.444793e-05,9.393406e-05,9.342174e-05,9.291154e-05,9.240396e-05,9.189946e-05,9.139847e-05,9.090136e-05,9.040850e-05,8.992020e-05,8.943674e-05,8.895838e-05,8.848536e-05,8.801787e-05,8.755609e-05,8.710019e-05,8.665031e-05,8.620656e-05,8.576905e-05,8.533785e-05
0.000000e+00,4.253587e-12,2.454290e-11,3.040760e-10,1.492910e-09,3.017197e-09,1.295358e-08,1.362882e-08,4.060737e-08,5.244714e-08,9.401896e-08,1.431351e-07,1.843945e-07,3.091719e-07,3.221813e-07,5.175279e-07,5.740529e-07,7.798917e-07,9.590565e-07,1.116881e-06,1.478261e-06,1.532235e-06,2.024073e-06,2.131039e-06,2.584880e-06,2.900085e-06,3.203348e-06,3.758100e-06,3.866738e-06,4.562642e-06,4.676234e-06,5.279839e-06,5.628713e-06,6.008471e-06,6.593786e-06,6.739928e-06,7.466690e-06,7.553265e-06,8.182190e-06,8.491948e-06,8.880750e-06,9.397333e-06,9.557555e-06,1.020864e-05,1.025951e-05,1.083085e-05,1.107110e-05,1.142185e-05,1.182712e-05,1.198004e-05,1.250447e-05,1.252474e-05,1.299482e-05,1.316302e-05,1.345125e-05,1.374254e-05,1.387436e-05,1.426509e-05,1.462463e-05,1.473332e-05,1.495438e-05,1.515047e-05,1.525584e-05,1.552013e-05,1.553063e-05,1.578037e-05,1.584603e-05,1.600669e-05,1.613192e-05,1.621121e-05,1.638145e-05,1.639549e-05,1.656102e-05,1.659812e-05,1.670923e-05,1.678516e-05,1.684146e-05,1.694562e-05,1.695898e-05,1.706297e-05,1.708224e-05,1.715452e-05,1.719755e-05,1.723465e-05,1.729382e-05,1.730430e-05,1.736432e-05,1.737309e-05,1.741553e-05,1.743719e-05,1.745864e-05,1.748775e-05,1.749433e-05,1.752320e-05,1.752624e-05,1.754584e-05,1.755395e-05,1.756274e-05,1.757205e-05,1.757439e-05,1.758120e-05,1.758155e-05,1.758359e-05,1.758339e-05,1.758192e-05,1.757838e-05,1.757651e-05,1.756767e-05,1.756725e-05,1.755569e-05,1.755065e-05,1.754081e-05,1.752917e-05,1.752329e-05,1.750333e-05,1.748115e-05,1.747361e-05,1.745691e-05,1.744041e-05,1.743081e-05,1.740413e-05,1.740298e-05,1.737359e-05,1.736510e-05,1.734277e-05,1.732364e-05,1.731063e-05,1.728002e-05,1.727731e-05,1.724290e-05,1.723449e-05,1.720751e-05,1.718730e-05,1.717123e-05,1.713864e-05,1.713415e-05,1.709635e-05,1.708871e-05,1.705791e-05,1.703769e-05,1.701889e-05,1.698572e-05,1.697936e-05,1.693939e-05,1.693295e-05,1.689902e-05,1.687953e-05,1.685832e-05,1.682556e-05,1.681734e-05,1.677612e-05,1.677115e-05,1.673470e-05,1.671642e-05,1.669313e-05,1.666145e-05,1.665144e-05,1.660968e-05,1.660633e-05,1.656787e-05,1.655114e-05,1.652604e-05,1.649594e-05,1.648423e-05,1.644247e-05,1.644080e-05,1.640077e-05,1.638578e-05,1.635917e-05,1.633094e-05,1.631768e-05,1.627633e-05,1.622199e-05,1.616796e-05,1.611429e-05,1.606100e-05,1.600814e-05,1.595572e-05,1.590377e-05,1.585233e-05,1.580140e-05,1.575101e-05,1.570117e-05,1.565191e-05,1.560322e-05,1.555514e-05,1.550765e-05,1.546079e-05,1.541454e-05,1.536892e-05,1.532393e-05,1.527958e-05,1.523587e-05,1.519281e-05,1.515038e-05,1.510860e-05
0.000000e+00,9.380477e-10,2.532448e-09,1.029288e-08,2.517998e-08,3.767508e-08,8.898480e-08,9.176541e-08,1.808460e-07,2.131859e-07,3.132180e-07,4.169080e-07,4.972394e-07,7.188825e-07,7.407011e-07,1.049137e-06,1.133024e-06,1.422880e-06,1.658209e-06,1.854347e-06,2.270357e-06,2.329052e-06,2.830658e-06,2.932923e-06,3.345314e-06,3.614555e-06,3.862743e-06,4.294044e-06,4.375537e-06,4.878266e-06,4.957481e-06,5.366857e-06,5.595427e-06,5.838249e-06,6.201450e-06,6.290202e-06,6.721159e-06,6.771412e-06,7.130156e-06,7.303021e-06,7.516724e-06,7.795467e-06,7.880807e-06,8.222682e-06,8.249088e-06,8.542886e-06,8.665057e-06,8.842145e-06,9.045125e-06,9.121326e-06,9.381383e-06,9.391402e-06,9.623323e-06,9.706184e-06,9.848173e-06,9.991833e-06,1.005696e-05,1.025069e-05,1.043033e-05,1.048499e-05,1.059681e-05,1.069686e-05,1.075101e-05,1.088828e-05,1.089378e-05,1.102588e-05,1.106106e-05,1.114807e-05,1.121690e-05,1.126101e-05,1.135732e-05,1.136537e-05,1.146171e-05,1.148371e-05,1.155061e-05,1.159734e-05,1.163258e-05,1.169935e-05,1.170809e-05,1.177758e-05,1.179079e-05,1.184146e-05,1.187258e-05,1.190009e-05,1.194554e-05,1.195383e-05,1.200299e-05,1.201045e-05,1.204787e-05,1.206798e-05,1.208875e-05,1.211875e-05,1.212589e-05,1.215951e-05,1.216332e-05,1.218985e-05,1.220220e-05,1.221709e-05,1.223586e-05,1.224145e-05,1.226308e-05,1.226470e-05,1.228216e-05,1.228912e-05,1.229884e-05,1.230945e-05,1.231327e-05,1.232556e-05,1.232601e-05,1.233586e-05,1.233910e-05,1.234428e-05,1.234898e-05,1.235092e-05,1.235589e-05,1.235929e-05,1.236006e-05,1.236120e-05,1.236169e-05,1.236172e-05,1.236096e-05,1.236091e-05,1.235885e-05,1.235806e-05,1.235562e-05,1.235315e-05,1.235128e-05,1.234637e-05,1.234590e-05,1.233953e-05,1.233786e-05,1.233222e-05,1.232775e-05,1.232404e-05,1.231615e-05,1.231503e-05,1.230524e-05,1.230319e-05,1.229471e-05,1.228895e-05,1.228348e-05,1.227355e-05,1.227160e-05,1.225911e-05,1.225705e-05,1.224603e-05,1.223956e-05,1.223241e-05,1.222114e-05,1.221828e-05,1.220366e-05,1.220188e-05,1.218860e-05,1.218183e-05,1.217310e-05,1.216106e-05,1.215722e-05,1.214096e-05,1.213964e-05,1.212435e-05,1.211761e-05,1.210742e-05,1.209504e-05,1.209018e-05,1.207267e-05,1.207196e-05,1.205489e-05,1.204843e-05,1.203688e-05,1.202450e-05,1.201864e-05,1.200019e-05,1.197555e-05,1.195063e-05,1.192544e-05,1.190002e-05,1.187441e-05,1.184864e-05,1.182272e-05,1.179668e-05,1.177056e-05,1.174437e-05,1.171813e-05,1.169186e-05,1.166558e-05,1.163931e-05,1.161307e-05,1.158687e-05,1.156073e-05,1.153465e-05,1.150866e-05,1.148276e-05,1.145697e-05,1.143129e-05,1.140575e-05,1.138034e-05
0.000000e+00,1.915304e-14,1.266584e-13,2.070004e-12,1.298533e-11,2.992745e-11,1.783947e-10,1.901489e-10,7.709033e-10,1.079254e-09,2.354931e-09,4.175922e-09,5.923459e-09,1.220552e-08,1.293674e-08,2.538588e-08,2.945353e-08,4.581552e-08,6.187266e-08,7.731645e-08,1.170368e-07,1.234797e-07,1.882946e-07,2.038651e-07,2.759728e-07,3.319990e-07,3.906971e-07,5.108037e-07,5.363229e-07,7.160783e-07,7.481774e-07,9.323118e-07,1.049485e-06,1.186320e-06,1.416872e-06,1.478266e-06,1.807187e-06,1.849057e-06,2.171075e-06,2.341539e-06,2.567008e-06,2.887115e-06,2.991318e-06,3.439770e-06,3.476553e-06,3.907747e-06,4.099325e-06,4.390415e-06,4.744289e-06,4.882890e-06,5.380363e-06,5.400300e-06,5.878221e-06,6.056701e-06,6.372137e-06,6.703703e-06,6.858136e-06,7.332652e-06,7.792552e-06,7.936182e-06,8.235156e-06,8.508300e-06,8.658239e-06,9.044375e-06,9.060019e-06,9.439140e-06,9.541093e-06,9.794642e-06,9.996346e-06,1.012594e-05,1.040912e-05,1.043276e-05,1.071515e-05,1.077932e-05,1.097341e-05,1.110767e-05,1.120803e-05,1.139550e-05,1.141972e-05,1.160930e-05,1.164465e-05,1.177774e-05,1.185732e-05,1.192608e-05,1.203594e-05,1.205540e-05,1.216685e-05,1.218310e-05,1.226158e-05,1.230144e-05,1.234072e-05,1.239357e-05,1.240541e-05,1.245674e-05,1.246206e-05,1.249579e-05,1.250934e-05,1.252356e-05,1.253773e-05,1.254103e-05,1.254912e-05,1.254939e-05,1.254868e-05,1.254630e-05,1.254053e-05,1.253030e-05,1.252541e-05,1.250401e-05,1.250303e-05,1.247698e-05,1.246599e-05,1.244491e-05,1.242050e-05,1.240834e-05,1.236776e-05,1.232364e-05,1.230884e-05,1.227638e-05,1.224466e-05,1.222635e-05,1.217604e-05,1.217390e-05,1.211934e-05,1.210373e-05,1.206295e-05,1.202834e-05,1.200498e-05,1.195044e-05,1.194565e-05,1.188519e-05,1.187052e-05,1.182376e-05,1.178901e-05,1.176154e-05,1.170626e-05,1.169869e-05,1.163534e-05,1.162262e-05,1.157161e-05,1.153835e-05,1.150761e-05,1.145372e-05,1.144345e-05,1.137922e-05,1.136894e-05,1.131499e-05,1.128419e-05,1.125084e-05,1.119963e-05,1.118685e-05,1.112306e-05,1.111542e-05,1.105952e-05,1.103167e-05,1.099630e-05,1.094849e-05,1.093343e-05,1.087095e-05,1.086597e-05,1.080890e-05,1.078421e-05,1.074730e-05,1.070326e-05,1.068620e-05,1.062560e-05,1.062318e-05,1.056553e-05,1.054404e-05,1.050602e-05,1.046588e-05,1.044708e-05,1.038873e-05,1.031262e-05,1.023758e-05,1.016364e-05,1.009081e-05,1.001910e-05,9.948529e-06,9.879101e-06,9.810821e-06,9.743692e-06,9.677712e-06,9.612882e-06,9.549196e-06,9.486650e-06,9.425237e-06,9.364949e-06,9.305778e-06,9.247714e-06,9.190745e-06,9.134860e-06,9.080046e-06,9.026292e-06,8.973583e-06,8.921905e-06,8.871245e-06
0.000000e+00,5.742911e-09,1.332693e-08,4.645810e-08,1.063145e-07,1.554102e-07,3.536104e-07,3.642771e-07,7.046345e-07,8.279066e-07,1.209110e-06,1.604615e-06,1.911481e-06,2.760803e-06,2.844644e-06,4.034904e-06,4.360401e-06,5.491832e-06,6.419062e-06,7.198594e-06,8.874664e-06,9.113801e-06,1.118621e-05,1.161524e-05,1.336848e-05,1.453352e-05,1.562199e-05,1.754732e-05,1.791599e-05,2.022549e-05,2.059502e-05,2.252975e-05,2.362869e-05,2.481132e-05,2.661036e-05,2.705562e-05,2.925057e-05,2.951016e-05,3.138639e-05,3.230536e-05,3.345538e-05,3.497947e-05,3.545171e-05,3.737118e-05,3.752132e-05,3.921101e-05,3.992424e-05,4.096958e-05,4.218503e-05,4.264623e-05,4.424117e-05,4.430328e-05,4.575522e-05,4.628072e-05,4.718969e-05,4.812054e-05,4.854631e-05,4.982711e-05,5.103436e-05,5.140554e-05,5.217046e-05,5.286139e-05,5.323794e-05,5.420058e-05,5.423941e-05,5.517750e-05,5.542917e-05,5.605484e-05,5.655314e-05,5.687397e-05,5.757836e-05,5.763745e-05,5.834779e-05,5.851063e-05,5.900741e-05,5.935554e-05,5.961869e-05,6.011845e-05,6.018392e-05,6.070530e-05,6.080450e-05,6.118498e-05,6.141863e-05,6.162505e-05,6.196555e-05,6.202750e-05,6.239424e-05,6.244973e-05,6.272712e-05,6.287539e-05,6.302790e-05,6.324657e-05,6.329829e-05,6.353991e-05,6.356705e-05,6.375432e-05,6.384042e-05,6.394300e-05,6.407007e-05,6.410738e-05,6.424881e-05,6.425918e-05,6.436860e-05,6.441074e-05,6.446799e-05,6.452758e-05,6.454815e-05,6.461022e-05,6.461235e-05,6.465528e-05,6.466753e-05,6.468434e-05,6.469547e-05,6.469839e-05,6.469835e-05,6.468511e-05,6.467823e-05,6.465951e-05,6.463701e-05,6.462235e-05,6.457651e-05,6.457439e-05,6.451636e-05,6.449840e-05,6.444893e-05,6.440424e-05,6.437277e-05,6.429552e-05,6.428849e-05,6.419668e-05,6.417359e-05,6.409790e-05,6.403974e-05,6.399268e-05,6.389515e-05,6.388151e-05,6.376488e-05,6.374093e-05,6.364322e-05,6.357812e-05,6.351698e-05,6.340768e-05,6.338655e-05,6.325231e-05,6.323050e-05,6.311462e-05,6.304741e-05,6.297383e-05,6.285918e-05,6.283026e-05,6.268420e-05,6.266652e-05,6.253596e-05,6.247010e-05,6.238579e-05,6.227054e-05,6.223396e-05,6.208070e-05,6.206838e-05,6.192624e-05,6.186417e-05,6.177080e-05,6.165839e-05,6.161458e-05,6.145776e-05,6.145148e-05,6.130052e-05,6.124385e-05,6.114303e-05,6.103587e-05,6.098545e-05,6.082791e-05,6.062027e-05,6.041325e-05,6.020712e-05,6.000211e-05,5.979845e-05,5.959634e-05,5.939596e-05,5.919748e-05,5.900105e-05,5.880679e-05,5.861482e-05,5.842526e-05,5.823819e-05,5.805369e-05,5.787183e-05,5.769268e-05,5.751628e-05,5.734268e-05,5.717192e-05,5.700402e-05,5.683901e-05,5.667689e-05,5.651768e-05,5.636139e-05
0.000000e+00,1.567179e-13,1.059595e-12,1.814654e-11,1.189016e-10,2.807691e-10,1.784171e-09,1.906754e-09,8.251773e-09,1.176252e-08,2.686955e-08,4.947285e-08,7.193582e-08,1.567644e-07,1.669565e-07,3.475917e-07,4.089528e-07,6.644258e-07,9.259121e-07,1.185445e-06,1.881625e-06,1.997864e-06,3.208912e-06,3.509782e-06,4.945318e-06,6.103185e-06,7.351505e-06,1.000643e-05,1.058668e-05,1.482111e-05,1.560313e-05,2.023185e-05,2.329954e-05,2.699827e-05,3.350670e-05,3.529748e-05,4.529995e-05,4.662243e-05,5.716542e-05,6.301444e-05,7.103911e-05,8.300542e-05,8.704856e-05,1.053008e-04,1.068606e-04,1.258804e-04,1.347783e-04,1.488476e-04,1.668832e-04,1.742377e-04,2.020601e-04,2.032234e-04,2.322991e-04,2.437697e-04,2.649142e-04,2.884177e-04,2.998409e-04,3.369929e-04,3.762631e-04,3.892570e-04,4.175263e-04,4.449160e-04,4.606412e-04,5.036296e-04,5.054526e-04,5.517942e-04,5.650204e-04,5.994910e-04,6.286843e-04,6.483615e-04,6.941996e-04,6.982203e-04,7.488801e-04,7.611368e-04,8.001539e-04,8.290664e-04,8.518569e-04,8.975668e-04,9.038082e-04,9.558321e-04,9.662306e-04,1.007760e-03,1.034670e-03,1.059430e-03,1.102521e-03,1.110689e-03,1.161396e-03,1.169449e-03,1.211416e-03,1.235145e-03,1.260626e-03,1.299335e-03,1.308914e-03,1.356177e-03,1.361775e-03,1.402324e-03,1.422254e-03,1.447274e-03,1.480591e-03,1.490955e-03,1.533307e-03,1.536636e-03,1.574278e-03,1.590269e-03,1.613823e-03,1.641394e-03,1.651910e-03,1.688510e-03,1.689943e-03,1.723607e-03,1.735870e-03,1.757186e-03,1.779151e-03,1.789244e-03,1.819779e-03,1.848799e-03,1.857766e-03,1.876313e-03,1.893139e-03,1.902337e-03,1.925936e-03,1.926890e-03,1.949994e-03,1.956208e-03,1.971676e-03,1.984014e-03,1.991963e-03,2.009422e-03,2.010886e-03,2.028479e-03,2.032507e-03,2.044774e-03,2.053347e-03,2.059809e-03,2.072026e-03,2.073620e-03,2.086244e-03,2.088630e-03,2.097720e-03,2.103247e-03,2.108087e-03,2.115967e-03,2.117384e-03,2.125649e-03,2.126878e-03,2.132921e-03,2.136071e-03,2.139240e-03,2.143634e-03,2.144643e-03,2.149168e-03,2.149653e-03,2.152852e-03,2.154216e-03,2.155733e-03,2.157406e-03,2.157845e-03,2.159225e-03,2.159305e-03,2.159907e-03,2.159992e-03,2.159925e-03,2.159545e-03,2.159311e-03,2.158097e-03,2.158036e-03,2.156314e-03,2.155539e-03,2.153993e-03,2.152121e-03,2.151161e-03,2.147848e-03,2.142784e-03,2.136989e-03,2.130519e-03,2.123430e-03,2.115773e-03,2.107599e-03,2.098952e-03,2.089879e-03,2.080421e-03,2.070616e-03,2.060503e-03,2.050116e-03,2.039489e-03,2.028652e-03,2.017635e-03,2.006465e-03,1.995167e-03,1.983765e-03,1.972281e-03,1.960737e-03,1.949152e-03,1.937543e-03,1.925927e-03,1.914320e-03
0.000000e+00,7.795712e-09,1.811092e-08,6.337875e-08,1.458269e-07,2.140020e-07,4.935750e-07,5.088033e-07,1.003401e-06,1.186382e-06,1.763753e-06,2.379399e-06,2.867482e-06,4.259297e-06,4.399591e-06,6.437326e-06,7.007394e-06,9.021747e-06,1.070252e-05,1.213140e-05,1.524075e-05,1.568779e-05,1.959112e-05,2.040515e-05,2.375125e-05,2.599180e-05,2.809746e-05,3.185219e-05,3.257573e-05,3.714341e-05,3.788009e-05,4.176490e-05,4.399306e-05,4.640908e-05,5.012194e-05,5.104807e-05,5.565657e-05,5.620643e-05,6.021170e-05,6.219370e-05,6.469304e-05,6.803836e-05,6.908262e-05,7.336492e-05,7.370246e-05,7.752689e-05,7.915550e-05,8.155779e-05,8.437402e-05,8.544910e-05,8.919435e-05,8.934105e-05,9.278886e-05,9.404534e-05,9.622950e-05,9.848037e-05,9.951465e-05,1.026439e-04,1.056179e-04,1.065370e-04,1.084380e-04,1.101631e-04,1.111064e-04,1.135280e-04,1.136259e-04,1.159998e-04,1.166388e-04,1.182315e-04,1.195040e-04,1.203250e-04,1.221325e-04,1.222844e-04,1.241139e-04,1.245341e-04,1.258179e-04,1.267189e-04,1.274007e-04,1.286968e-04,1.288667e-04,1.302205e-04,1.304781e-04,1.314661e-04,1.320726e-04,1.326080e-04,1.334900e-04,1.336502e-04,1.345970e-04,1.347399e-04,1.354523e-04,1.358315e-04,1.362201e-04,1.367738e-04,1.369041e-04,1.375082e-04,1.375755e-04,1.380358e-04,1.382447e-04,1.384906e-04,1.387896e-04,1.388759e-04,1.391949e-04,1.392176e-04,1.394508e-04,1.395362e-04,1.396468e-04,1.397523e-04,1.397856e-04,1.398703e-04,1.398726e-04,1.399035e-04,1.399033e-04,1.398878e-04,1.398506e-04,1.398259e-04,1.397201e-04,1.395728e-04,1.395173e-04,1.393863e-04,1.392473e-04,1.391627e-04,1.389151e-04,1.389041e-04,1.386125e-04,1.385252e-04,1.382898e-04,1.380821e-04,1.379379e-04,1.375899e-04,1.375585e-04,1.371534e-04,1.370525e-04,1.367240e-04,1.364736e-04,1.362721e-04,1.358568e-04,1.357990e-04,1.353061e-04,1.352053e-04,1.347949e-04,1.345223e-04,1.342666e-04,1.338106e-04,1.337225e-04,1.331637e-04,1.330730e-04,1.325914e-04,1.323122e-04,1.320066e-04,1.315304e-04,1.314103e-04,1.308036e-04,1.307302e-04,1.301874e-04,1.299135e-04,1.295625e-04,1.290824e-04,1.289299e-04,1.282902e-04,1.282388e-04,1.276443e-04,1.273844e-04,1.269929e-04,1.265209e-04,1.263368e-04,1.256764e-04,1.256499e-04,1.250125e-04,1.247728e-04,1.243457e-04,1.238909e-04,1.236766e-04,1.230056e-04,1.221178e-04,1.212289e-04,1.203397e-04,1.194512e-04,1.185643e-04,1.176797e-04,1.167983e-04,1.159207e-04,1.150475e-04,1.141793e-04,1.133167e-04,1.124601e-04,1.116100e-04,1.107668e-04,1.099308e-04,1.091024e-04,1.082818e-04,1.074694e-04,1.066654e-04,1.058700e-04,1.050834e-04,1.043057e-04,1.035370e-04,1.027776e-04
0.000000e+00,9.727796e-10,2.580804e-09,1.035500e-08,2.529853e-08,3.789145e-08,8.995240e-08,9.278588e-08,1.839835e-07,2.172441e-07,3.204801e-07,4.279613e-07,5.115372e-07,7.436742e-07,7.666658e-07,1.095142e-06,1.185811e-06,1.504705e-06,1.771176e-06,1.999283e-06,2.503275e-06,2.576710e-06,3.228592e-06,3.366874e-06,3.942984e-06,4.335043e-06,4.707586e-06,5.380591e-06,5.511444e-06,6.345245e-06,6.480884e-06,7.201016e-06,7.617514e-06,8.071795e-06,8.775047e-06,8.951400e-06,9.834301e-06,9.940230e-06,1.071556e-05,1.110165e-05,1.159081e-05,1.224960e-05,1.245622e-05,1.330851e-05,1.337604e-05,1.414490e-05,1.447447e-05,1.496308e-05,1.553982e-05,1.576117e-05,1.653772e-05,1.656831e-05,1.729160e-05,1.755728e-05,1.802199e-05,1.850495e-05,1.872834e-05,1.941035e-05,2.006788e-05,2.027313e-05,2.070098e-05,2.109342e-05,2.130982e-05,2.187174e-05,2.189468e-05,2.245594e-05,2.260892e-05,2.299403e-05,2.330598e-05,2.350947e-05,2.396412e-05,2.400278e-05,2.447455e-05,2.458463e-05,2.492536e-05,2.516888e-05,2.535582e-05,2.571827e-05,2.576654e-05,2.615815e-05,2.623423e-05,2.653126e-05,2.671817e-05,2.688649e-05,2.717150e-05,2.722443e-05,2.754569e-05,2.759558e-05,2.785086e-05,2.799178e-05,2.814050e-05,2.836141e-05,2.841517e-05,2.867544e-05,2.870573e-05,2.892182e-05,2.902597e-05,2.915484e-05,2.932331e-05,2.937501e-05,2.958280e-05,2.959891e-05,2.977871e-05,2.985385e-05,2.996318e-05,3.008918e-05,3.013667e-05,3.029960e-05,3.030590e-05,3.045240e-05,3.050500e-05,3.059545e-05,3.068737e-05,3.072917e-05,3.085392e-05,3.097006e-05,3.100546e-05,3.107794e-05,3.114282e-05,3.117792e-05,3.126674e-05,3.127030e-05,3.135540e-05,3.137797e-05,3.143353e-05,3.147719e-05,3.150499e-05,3.156507e-05,3.157004e-05,3.162897e-05,3.164223e-05,3.168203e-05,3.170927e-05,3.172947e-05,3.176677e-05,3.177154e-05,3.180848e-05,3.181527e-05,3.184049e-05,3.185527e-05,3.186781e-05,3.188727e-05,3.189063e-05,3.190916e-05,3.191174e-05,3.192359e-05,3.192912e-05,3.193411e-05,3.193982e-05,3.194088e-05,3.194409e-05,3.194425e-05,3.194390e-05,3.194278e-05,3.194046e-05,3.193577e-05,3.193393e-05,3.192444e-05,3.192356e-05,3.191216e-05,3.190649e-05,3.189720e-05,3.188484e-05,3.187969e-05,3.185977e-05,3.185892e-05,3.183755e-05,3.182901e-05,3.181314e-05,3.179535e-05,3.178666e-05,3.175821e-05,3.171782e-05,3.167440e-05,3.162816e-05,3.157930e-05,3.152802e-05,3.147449e-05,3.141889e-05,3.136138e-05,3.130210e-05,3.124121e-05,3.117884e-05,3.111512e-05,3.105018e-05,3.098413e-05,3.091708e-05,3.084913e-05,3.078039e-05,3.071095e-05,3.064089e-05,3.057030e-05,3.049926e-05,3.042783e-05,3.035610e-05,3.028412e-05
0.000000e+00,1.073146e-09,3.590079e-09,1.863879e-08,5.143133e-08,8.061002e-08,2.074770e-07,2.145596e-07,4.480929e-07,5.352692e-07,8.107037e-07,1.103748e-06,1.335245e-06,1.991220e-06,2.057017e-06,3.006562e-06,3.270279e-06,4.196571e-06,4.964805e-06,5.616559e-06,7.037927e-06,7.243212e-06,9.052476e-06,9.434377e-06,1.102386e-05,1.210718e-05,1.313988e-05,1.501733e-05,1.538445e-05,1.774182e-05,1.812840e-05,2.019594e-05,2.140345e-05,2.273029e-05,2.480420e-05,2.532799e-05,2.797200e-05,2.829159e-05,3.064547e-05,3.182686e-05,3.333196e-05,3.537273e-05,3.601581e-05,3.868234e-05,3.889450e-05,4.131804e-05,4.236092e-05,4.391073e-05,4.574472e-05,4.644961e-05,4.892528e-05,4.902288e-05,5.132977e-05,5.217665e-05,5.365646e-05,5.519140e-05,5.590002e-05,5.805632e-05,6.012229e-05,6.076395e-05,6.209583e-05,6.330980e-05,6.397574e-05,6.569195e-05,6.576158e-05,6.745356e-05,6.791060e-05,6.905247e-05,6.996765e-05,7.055956e-05,7.186641e-05,7.197650e-05,7.330525e-05,7.361128e-05,7.454808e-05,7.520742e-05,7.570741e-05,7.666062e-05,7.678585e-05,7.778612e-05,7.797704e-05,7.871102e-05,7.916312e-05,7.956339e-05,8.022543e-05,8.034610e-05,8.106200e-05,8.117053e-05,8.171392e-05,8.200495e-05,8.230467e-05,8.273509e-05,8.283701e-05,8.331363e-05,8.336721e-05,8.373719e-05,8.390740e-05,8.411023e-05,8.436151e-05,8.443527e-05,8.471470e-05,8.473516e-05,8.495088e-05,8.503374e-05,8.514605e-05,8.526241e-05,8.530239e-05,8.542202e-05,8.542607e-05,8.550694e-05,8.552939e-05,8.555910e-05,8.557681e-05,8.558036e-05,8.557251e-05,8.553726e-05,8.552046e-05,8.547625e-05,8.542441e-05,8.539105e-05,8.528789e-05,8.528316e-05,8.515402e-05,8.511424e-05,8.500499e-05,8.490657e-05,8.483739e-05,8.466785e-05,8.465245e-05,8.445137e-05,8.440084e-05,8.423529e-05,8.410813e-05,8.400528e-05,8.379216e-05,8.376237e-05,8.350753e-05,8.345521e-05,8.324170e-05,8.309941e-05,8.296575e-05,8.272676e-05,8.268054e-05,8.238685e-05,8.233912e-05,8.208544e-05,8.193823e-05,8.177702e-05,8.152571e-05,8.146228e-05,8.114187e-05,8.110307e-05,8.081638e-05,8.067171e-05,8.048640e-05,8.023295e-05,8.015248e-05,7.981512e-05,7.978800e-05,7.947482e-05,7.933798e-05,7.913204e-05,7.888394e-05,7.878721e-05,7.844073e-05,7.842684e-05,7.809300e-05,7.796758e-05,7.774438e-05,7.750698e-05,7.739520e-05,7.704579e-05,7.658472e-05,7.612442e-05,7.566546e-05,7.520839e-05,7.475371e-05,7.430185e-05,7.385324e-05,7.340824e-05,7.296718e-05,7.253037e-05,7.209807e-05,7.167053e-05,7.124797e-05,7.083057e-05,7.041851e-05,7.001192e-05,6.961093e-05,6.921566e-05,6.882617e-05,6.844256e-05,6.806488e-05,6.769317e-05,6.732747e-05,6.696779e-05
0.000000e+00,1.968786e-10,7.632341e-10,4.814189e-09,1.474628e-08,2.409336e-08,6.724950e-08,6.974116e-08,1.552113e-07,1.884858e-07,2.975473e-07,4.191507e-07,5.186408e-07,8.138506e-07,8.443838e-07,1.299430e-06,1.429722e-06,1.896579e-06,2.290724e-06,2.627129e-06,3.358602e-06,3.463413e-06,4.371983e-06,4.559719e-06,5.324287e-06,5.829597e-06,6.299570e-06,7.125940e-06,7.283496e-06,8.266027e-06,8.422586e-06,9.239854e-06,9.702518e-06,1.019943e-05,1.095389e-05,1.114043e-05,1.205947e-05,1.216814e-05,1.295391e-05,1.333914e-05,1.382178e-05,1.446268e-05,1.466163e-05,1.547251e-05,1.553610e-05,1.625385e-05,1.655805e-05,1.700544e-05,1.752819e-05,1.772735e-05,1.841986e-05,1.844695e-05,1.908344e-05,1.931536e-05,1.971869e-05,2.013484e-05,2.032632e-05,2.090711e-05,2.146189e-05,2.163406e-05,2.199151e-05,2.231769e-05,2.249688e-05,2.296002e-05,2.297887e-05,2.343837e-05,2.356311e-05,2.387625e-05,2.412896e-05,2.429338e-05,2.465954e-05,2.469060e-05,2.506873e-05,2.515672e-05,2.542855e-05,2.562235e-05,2.577086e-05,2.605817e-05,2.609637e-05,2.640582e-05,2.646585e-05,2.669990e-05,2.684697e-05,2.697927e-05,2.720303e-05,2.724456e-05,2.749639e-05,2.753547e-05,2.773535e-05,2.784564e-05,2.796199e-05,2.813481e-05,2.817687e-05,2.838049e-05,2.840419e-05,2.857335e-05,2.865492e-05,2.875592e-05,2.888807e-05,2.892866e-05,2.909199e-05,2.910467e-05,2.924634e-05,2.930565e-05,2.939209e-05,2.949192e-05,2.952962e-05,2.965930e-05,2.966433e-05,2.978147e-05,2.982368e-05,2.989646e-05,2.997071e-05,3.000458e-05,3.010614e-05,3.020143e-05,3.023064e-05,3.029071e-05,3.034482e-05,3.037425e-05,3.044928e-05,3.045230e-05,3.052510e-05,3.054457e-05,3.059288e-05,3.063123e-05,3.065586e-05,3.070974e-05,3.071424e-05,3.076824e-05,3.078056e-05,3.081803e-05,3.084414e-05,3.086380e-05,3.090089e-05,3.090572e-05,3.094397e-05,3.095119e-05,3.097869e-05,3.099541e-05,3.101005e-05,3.103390e-05,3.103819e-05,3.106325e-05,3.106698e-05,3.108536e-05,3.109497e-05,3.110465e-05,3.111814e-05,3.112124e-05,3.113526e-05,3.113677e-05,3.114680e-05,3.115112e-05,3.115598e-05,3.116144e-05,3.116290e-05,3.116766e-05,3.116795e-05,3.117035e-05,3.117087e-05,3.117107e-05,3.117041e-05,3.116990e-05,3.116692e-05,3.116676e-05,3.116221e-05,3.116010e-05,3.115585e-05,3.115062e-05,3.114791e-05,3.113846e-05,3.112379e-05,3.110676e-05,3.108749e-05,3.106614e-05,3.104281e-05,3.101764e-05,3.099072e-05,3.096217e-05,3.093210e-05,3.090058e-05,3.086772e-05,3.083360e-05,3.079830e-05,3.076191e-05,3.072449e-05,3.068611e-05,3.064684e-05,3.060675e-05,3.056590e-05,3.052433e-05,3.048211e-05,3.043929e-05,3.039592e-05,3.035204e-05
0.000000e+00,3.404918e-09,7.794273e-09,2.660216e-08,5.986328e-08,8.671378e-08,1.924829e-07,1.980786e-07,3.726492e-07,4.342476e-07,6.202992e-07,8.073595e-07,9.489945e-07,1.328192e-06,1.364763e-06,1.871345e-06,2.006591e-06,2.469391e-06,2.843093e-06,3.155231e-06,3.824388e-06,3.919886e-06,4.749489e-06,4.921758e-06,5.627415e-06,6.097392e-06,6.536803e-06,7.313608e-06,7.462152e-06,8.389855e-06,8.537699e-06,9.308217e-06,9.742736e-06,1.020732e-05,1.090713e-05,1.107890e-05,1.191622e-05,1.201413e-05,1.271403e-05,1.305149e-05,1.346840e-05,1.401097e-05,1.417664e-05,1.483715e-05,1.488791e-05,1.544930e-05,1.568063e-05,1.601324e-05,1.638987e-05,1.652981e-05,1.700034e-05,1.701823e-05,1.742660e-05,1.756960e-05,1.781062e-05,1.804876e-05,1.815464e-05,1.846101e-05,1.873214e-05,1.881185e-05,1.897043e-05,1.910680e-05,1.917826e-05,1.935123e-05,1.935790e-05,1.951157e-05,1.955023e-05,1.964136e-05,1.970860e-05,1.974925e-05,1.983076e-05,1.983709e-05,1.990662e-05,1.992076e-05,1.995945e-05,1.998230e-05,1.999707e-05,2.001869e-05,2.002086e-05,2.003210e-05,2.003295e-05,2.003196e-05,2.002775e-05,2.002151e-05,2.000549e-05,2.000173e-05,1.997354e-05,1.996831e-05,1.993776e-05,1.991811e-05,1.989514e-05,1.985660e-05,1.984639e-05,1.979212e-05,1.978526e-05,1.973292e-05,1.970545e-05,1.966932e-05,1.961834e-05,1.960180e-05,1.953081e-05,1.952499e-05,1.945674e-05,1.942633e-05,1.937996e-05,1.932319e-05,1.930081e-05,1.921960e-05,1.921631e-05,1.913660e-05,1.910634e-05,1.905208e-05,1.899386e-05,1.896627e-05,1.887938e-05,1.879162e-05,1.876337e-05,1.870314e-05,1.864623e-05,1.861414e-05,1.852832e-05,1.852474e-05,1.843509e-05,1.840996e-05,1.834531e-05,1.829142e-05,1.825551e-05,1.817298e-05,1.816580e-05,1.807628e-05,1.805483e-05,1.798703e-05,1.793719e-05,1.789812e-05,1.782023e-05,1.780964e-05,1.772163e-05,1.770410e-05,1.763417e-05,1.758893e-05,1.754731e-05,1.747484e-05,1.746109e-05,1.737555e-05,1.736193e-05,1.729074e-05,1.725030e-05,1.720669e-05,1.714002e-05,1.712343e-05,1.704100e-05,1.703116e-05,1.695940e-05,1.692378e-05,1.687868e-05,1.681791e-05,1.679883e-05,1.671989e-05,1.671362e-05,1.664187e-05,1.661092e-05,1.656478e-05,1.650985e-05,1.648862e-05,1.641341e-05,1.641042e-05,1.633916e-05,1.631266e-05,1.626587e-05,1.621658e-05,1.619354e-05,1.612217e-05,1.602945e-05,1.593842e-05,1.584908e-05,1.576141e-05,1.567541e-05,1.559107e-05,1.550838e-05,1.542732e-05,1.534789e-05,1.527005e-05,1.519380e-05,1.511912e-05,1.504598e-05,1.497437e-05,1.490427e-05,1.483564e-05,1.476848e-05,1.470275e-05,1.463844e-05,1.457552e-05,1.451396e-05,1.445375e-05,1.439486e-05,1.433727e-05
0.000000e+00,1.498388e-11,7.832064e-11,8.043743e-10,3.397056e-09,6.371498e-09,2.311629e-08,2.417236e-08,6.295848e-08,7.876560e-08,1.313430e-07,1.899443e-07,2.373458e-07,3.744462e-07,3.883452e-07,5.911052e-07,6.481643e-07,8.517409e-07,1.024992e-06,1.175542e-06,1.516018e-06,1.566590e-06,2.027124e-06,2.127591e-06,2.556775e-06,2.858454e-06,3.151965e-06,3.697707e-06,3.805936e-06,4.509546e-06,4.626047e-06,5.252505e-06,5.620053e-06,6.024502e-06,6.656516e-06,6.815926e-06,7.618171e-06,7.714798e-06,8.423666e-06,8.777379e-06,9.225807e-06,9.829639e-06,1.001887e-05,1.079793e-05,1.085952e-05,1.155880e-05,1.185725e-05,1.229797e-05,1.281509e-05,1.301255e-05,1.370026e-05,1.372718e-05,1.435933e-05,1.458932e-05,1.498849e-05,1.539878e-05,1.558689e-05,1.615407e-05,1.668987e-05,1.685471e-05,1.719443e-05,1.750111e-05,1.766811e-05,1.809432e-05,1.811148e-05,1.852523e-05,1.863588e-05,1.891019e-05,1.912774e-05,1.926729e-05,1.957206e-05,1.959751e-05,1.990189e-05,1.997121e-05,2.018148e-05,2.032763e-05,2.043737e-05,2.064381e-05,2.067064e-05,2.088235e-05,2.092220e-05,2.107358e-05,2.116526e-05,2.124535e-05,2.137534e-05,2.139867e-05,2.153454e-05,2.155473e-05,2.165390e-05,2.170560e-05,2.175768e-05,2.183006e-05,2.184674e-05,2.192195e-05,2.193009e-05,2.198412e-05,2.200755e-05,2.203403e-05,2.206421e-05,2.207241e-05,2.209999e-05,2.210175e-05,2.211743e-05,2.212172e-05,2.212538e-05,2.212558e-05,2.212446e-05,2.211524e-05,2.211471e-05,2.209828e-05,2.209038e-05,2.207411e-05,2.205380e-05,2.204321e-05,2.200607e-05,2.196313e-05,2.194823e-05,2.191480e-05,2.188124e-05,2.186151e-05,2.180601e-05,2.180361e-05,2.174147e-05,2.172336e-05,2.167543e-05,2.163407e-05,2.160581e-05,2.153885e-05,2.153290e-05,2.145700e-05,2.143836e-05,2.137836e-05,2.133323e-05,2.129725e-05,2.122401e-05,2.121389e-05,2.112852e-05,2.111122e-05,2.104135e-05,2.099537e-05,2.095256e-05,2.087688e-05,2.086236e-05,2.077091e-05,2.075618e-05,2.067838e-05,2.063363e-05,2.058493e-05,2.050959e-05,2.049069e-05,2.039580e-05,2.038438e-05,2.030040e-05,2.025829e-05,2.020459e-05,2.013158e-05,2.010850e-05,2.001222e-05,2.000451e-05,1.991585e-05,1.987730e-05,1.981949e-05,1.975016e-05,1.972321e-05,1.962710e-05,1.962326e-05,1.953122e-05,1.949678e-05,1.943566e-05,1.937088e-05,1.934046e-05,1.924569e-05,1.912134e-05,1.899794e-05,1.887559e-05,1.875439e-05,1.863442e-05,1.851574e-05,1.839843e-05,1.828253e-05,1.816810e-05,1.805518e-05,1.794380e-05,1.783399e-05,1.772579e-05,1.761920e-05,1.751425e-05,1.741095e-05,1.730930e-05,1.720932e-05,1.711099e-05,1.701433e-05,1.691933e-05,1.682598e-05,1.673427e-05,1.664421e-05
0.000000e+00,7.424820e-11,3.819502e-10,3.809269e-09,1.573302e-08,2.920345e-08,1.037715e-07,1.084408e-07,2.792483e-07,3.488397e-07,5.813498e-07,8.431715e-07,1.057319e-06,1.688873e-06,1.753873e-06,2.719699e-06,2.996489e-06,3.995632e-06,4.853164e-06,5.598089e-06,7.264219e-06,7.508309e-06,9.679270e-06,1.013968e-05,1.205341e-05,1.334999e-05,1.457671e-05,1.677820e-05,1.720392e-05,1.989810e-05,2.033327e-05,2.262853e-05,2.394414e-05,2.536883e-05,2.755250e-05,2.809581e-05,3.078899e-05,3.110902e-05,3.343036e-05,3.457206e-05,3.600439e-05,3.790743e-05,3.849793e-05,4.090031e-05,4.108830e-05,4.320310e-05,4.409484e-05,4.539996e-05,4.691357e-05,4.748650e-05,4.946012e-05,4.953670e-05,5.131965e-05,5.196115e-05,5.306526e-05,5.418777e-05,5.469813e-05,5.622029e-05,5.763453e-05,5.806483e-05,5.894419e-05,5.972920e-05,6.015300e-05,6.122230e-05,6.126497e-05,6.228429e-05,6.255368e-05,6.321523e-05,6.373317e-05,6.406210e-05,6.477063e-05,6.482916e-05,6.552066e-05,6.567583e-05,6.614072e-05,6.645825e-05,6.669334e-05,6.712695e-05,6.718241e-05,6.761165e-05,6.769064e-05,6.798464e-05,6.815751e-05,6.830481e-05,6.853531e-05,6.857541e-05,6.879955e-05,6.883130e-05,6.898020e-05,6.905228e-05,6.912014e-05,6.920457e-05,6.922203e-05,6.928839e-05,6.929408e-05,6.932160e-05,6.932629e-05,6.932390e-05,6.930629e-05,6.929741e-05,6.924413e-05,6.923877e-05,6.916595e-05,6.912811e-05,6.906465e-05,6.897834e-05,6.894190e-05,6.879928e-05,6.879318e-05,6.863827e-05,6.857607e-05,6.846026e-05,6.833019e-05,6.826659e-05,6.805847e-05,6.783707e-05,6.776359e-05,6.760348e-05,6.744806e-05,6.735872e-05,6.711414e-05,6.710376e-05,6.683949e-05,6.676395e-05,6.656677e-05,6.639941e-05,6.628639e-05,6.602231e-05,6.599909e-05,6.570558e-05,6.563429e-05,6.540651e-05,6.523683e-05,6.510249e-05,6.483132e-05,6.479410e-05,6.448188e-05,6.441902e-05,6.416633e-05,6.400108e-05,6.384792e-05,6.357857e-05,6.352709e-05,6.320426e-05,6.315244e-05,6.287980e-05,6.272359e-05,6.255408e-05,6.229283e-05,6.222744e-05,6.190018e-05,6.186089e-05,6.157260e-05,6.142844e-05,6.124497e-05,6.099610e-05,6.091755e-05,6.059056e-05,6.056442e-05,6.026422e-05,6.013392e-05,5.993875e-05,5.970505e-05,5.961432e-05,5.929112e-05,5.927822e-05,5.896930e-05,5.885381e-05,5.864901e-05,5.843216e-05,5.833039e-05,5.801357e-05,5.759832e-05,5.718665e-05,5.677877e-05,5.637488e-05,5.597516e-05,5.557974e-05,5.518876e-05,5.480233e-05,5.442055e-05,5.404351e-05,5.367126e-05,5.330386e-05,5.294137e-05,5.258380e-05,5.223119e-05,5.188356e-05,5.154090e-05,5.120322e-05,5.087051e-05,5.054277e-05,5.021996e-05,4.990207e-05,4.958907e-05,4.928092e-05
0.000000e+00,1.514385e-09,3.457285e-09,1.177715e-08,2.653638e-08,3.851264e-08,8.630892e-08,8.886644e-08,1.701699e-07,1.995697e-07,2.906408e-07,3.856250e-07,4.597747e-07,6.671827e-07,6.878198e-07,9.830818e-07,1.064296e-06,1.346706e-06,1.577115e-06,1.769499e-06,2.178289e-06,2.236070e-06,2.731690e-06,2.833265e-06,3.245368e-06,3.517006e-06,3.769548e-06,4.214040e-06,4.298907e-06,4.829363e-06,4.914103e-06,5.357477e-06,5.609218e-06,5.880138e-06,6.292380e-06,6.394437e-06,6.897637e-06,6.957152e-06,7.387193e-06,7.597671e-06,7.860796e-06,8.208805e-06,8.316417e-06,8.752336e-06,8.786315e-06,9.167171e-06,9.326955e-06,9.559875e-06,9.828510e-06,9.929742e-06,1.027638e-05,1.028976e-05,1.059969e-05,1.071039e-05,1.089983e-05,1.109088e-05,1.117719e-05,1.143236e-05,1.166606e-05,1.173644e-05,1.187914e-05,1.200514e-05,1.207256e-05,1.224067e-05,1.224732e-05,1.240445e-05,1.244542e-05,1.254499e-05,1.262180e-05,1.267002e-05,1.277222e-05,1.278055e-05,1.287760e-05,1.289900e-05,1.296214e-05,1.300436e-05,1.303509e-05,1.309041e-05,1.309734e-05,1.314971e-05,1.315907e-05,1.319300e-05,1.321215e-05,1.322791e-05,1.325128e-05,1.325514e-05,1.327532e-05,1.327793e-05,1.328903e-05,1.329347e-05,1.329680e-05,1.329909e-05,1.329914e-05,1.329651e-05,1.329588e-05,1.328932e-05,1.328481e-05,1.327796e-05,1.326675e-05,1.326278e-05,1.324411e-05,1.324247e-05,1.322223e-05,1.321265e-05,1.319742e-05,1.317789e-05,1.316993e-05,1.313998e-05,1.313874e-05,1.310779e-05,1.309568e-05,1.307354e-05,1.304917e-05,1.303743e-05,1.299962e-05,1.296028e-05,1.294739e-05,1.291954e-05,1.289280e-05,1.287755e-05,1.283616e-05,1.283441e-05,1.279024e-05,1.277770e-05,1.274513e-05,1.271765e-05,1.269917e-05,1.265621e-05,1.265245e-05,1.260504e-05,1.259357e-05,1.255701e-05,1.252986e-05,1.250842e-05,1.246524e-05,1.245932e-05,1.240978e-05,1.239982e-05,1.235985e-05,1.233376e-05,1.230961e-05,1.226719e-05,1.225909e-05,1.220833e-05,1.220019e-05,1.215738e-05,1.213286e-05,1.210627e-05,1.206528e-05,1.205503e-05,1.200370e-05,1.199754e-05,1.195232e-05,1.192971e-05,1.190093e-05,1.186188e-05,1.184956e-05,1.179822e-05,1.179411e-05,1.174694e-05,1.172646e-05,1.169575e-05,1.165896e-05,1.164467e-05,1.159371e-05,1.159168e-05,1.154291e-05,1.152466e-05,1.149227e-05,1.145794e-05,1.144181e-05,1.139156e-05,1.132555e-05,1.125994e-05,1.119477e-05,1.113005e-05,1.106581e-05,1.100207e-05,1.093885e-05,1.087617e-05,1.081404e-05,1.075248e-05,1.069150e-05,1.063111e-05,1.057132e-05,1.051214e-05,1.045358e-05,1.039564e-05,1.033832e-05,1.028164e-05,1.022559e-05,1.017018e-05,1.011541e-05,1.006128e-05,1.000780e-05,9.954952e-06
0.000000e+00,4.665877e-09,1.079990e-08,3.752311e-08,8.566005e-08,1.250492e-07,2.833968e-07,2.918919e-07,5.617125e-07,6.589013e-07,9.579115e-07,1.266054e-06,1.503942e-06,2.158417e-06,2.222797e-06,3.135043e-06,3.384535e-06,4.254740e-06,4.973725e-06,5.583737e-06,6.915442e-06,7.107790e-06,8.798850e-06,9.154107e-06,1.062267e-05,1.161228e-05,1.254582e-05,1.421637e-05,1.453887e-05,1.657673e-05,1.690546e-05,1.863793e-05,1.963006e-05,2.070392e-05,2.234922e-05,2.275853e-05,2.478769e-05,2.502889e-05,2.677931e-05,2.764102e-05,2.872311e-05,3.016311e-05,3.061056e-05,3.243474e-05,3.257777e-05,3.419026e-05,3.487228e-05,3.587304e-05,3.703798e-05,3.748026e-05,3.901011e-05,3.906968e-05,4.046171e-05,4.096509e-05,4.183495e-05,4.272424e-05,4.313035e-05,4.434895e-05,4.549220e-05,4.584242e-05,4.656192e-05,4.720887e-05,4.756013e-05,4.845323e-05,4.848908e-05,4.935115e-05,4.958087e-05,5.014878e-05,5.059749e-05,5.088451e-05,5.150889e-05,5.156087e-05,5.218040e-05,5.232091e-05,5.274561e-05,5.303933e-05,5.325900e-05,5.366984e-05,5.372299e-05,5.413997e-05,5.421793e-05,5.451226e-05,5.468894e-05,5.484211e-05,5.508798e-05,5.513169e-05,5.538312e-05,5.541995e-05,5.559842e-05,5.568951e-05,5.577956e-05,5.590112e-05,5.592840e-05,5.604675e-05,5.605899e-05,5.613636e-05,5.616711e-05,5.619887e-05,5.622924e-05,5.623588e-05,5.624891e-05,5.624896e-05,5.623941e-05,5.622961e-05,5.620876e-05,5.617435e-05,5.615830e-05,5.608928e-05,5.608615e-05,5.600292e-05,5.596780e-05,5.590035e-05,5.582190e-05,5.578267e-05,5.565092e-05,5.550608e-05,5.545713e-05,5.534911e-05,5.524268e-05,5.518088e-05,5.500958e-05,5.500225e-05,5.481402e-05,5.475970e-05,5.461696e-05,5.449478e-05,5.441178e-05,5.421644e-05,5.419917e-05,5.397979e-05,5.392620e-05,5.375424e-05,5.362546e-05,5.352312e-05,5.331554e-05,5.328695e-05,5.304628e-05,5.299764e-05,5.280158e-05,5.267290e-05,5.255332e-05,5.234235e-05,5.230193e-05,5.204784e-05,5.200696e-05,5.179142e-05,5.166762e-05,5.153304e-05,5.132516e-05,5.127305e-05,5.101177e-05,5.098034e-05,5.074950e-05,5.063386e-05,5.048652e-05,5.028635e-05,5.022311e-05,4.995951e-05,4.993842e-05,4.969596e-05,4.959060e-05,4.943267e-05,4.924339e-05,4.916986e-05,4.890772e-05,4.889725e-05,4.864641e-05,4.855258e-05,4.838611e-05,4.820977e-05,4.812698e-05,4.786915e-05,4.753103e-05,4.719570e-05,4.686340e-05,4.653436e-05,4.620877e-05,4.588682e-05,4.556867e-05,4.525445e-05,4.494427e-05,4.463825e-05,4.433648e-05,4.403901e-05,4.374593e-05,4.345727e-05,4.317307e-05,4.289337e-05,4.261817e-05,4.234749e-05,4.208133e-05,4.181968e-05,4.156253e-05,4.130987e-05,4.106166e-05,4.081789e-05
0.000000e+00,1.868668e-13,1.220505e-12,1.944238e-11,1.191900e-10,2.713031e-10,1.567420e-09,1.668624e-09,6.569847e-09,9.128363e-09,1.956037e-08,3.421808e-08,4.813856e-08,9.756103e-08,1.032730e-07,1.998027e-07,2.311378e-07,3.565158e-07,4.787277e-07,5.955978e-07,8.933520e-07,9.412774e-07,1.417898e-06,1.530963e-06,2.047898e-06,2.442555e-06,2.850149e-06,3.667709e-06,3.838871e-06,5.023134e-06,5.231093e-06,6.406843e-06,7.141764e-06,7.989060e-06,9.394347e-06,9.764514e-06,1.172421e-05,1.197121e-05,1.385606e-05,1.484492e-05,1.614545e-05,1.798064e-05,1.857586e-05,2.112936e-05,2.133840e-05,2.378710e-05,2.487507e-05,2.652976e-05,2.854613e-05,2.933790e-05,3.219239e-05,3.230727e-05,3.507467e-05,3.611565e-05,3.796702e-05,3.993102e-05,4.085279e-05,4.371657e-05,4.654431e-05,4.743947e-05,4.932340e-05,5.107127e-05,5.204270e-05,5.458801e-05,5.469256e-05,5.726481e-05,5.797017e-05,5.975263e-05,6.120248e-05,6.215057e-05,6.427363e-05,6.445439e-05,6.666100e-05,6.717587e-05,6.876834e-05,6.990463e-05,7.077526e-05,7.245800e-05,7.268143e-05,7.448724e-05,7.483644e-05,7.619370e-05,7.704228e-05,7.780231e-05,7.907932e-05,7.931500e-05,8.073406e-05,8.095259e-05,8.206207e-05,8.266798e-05,8.330181e-05,8.423204e-05,8.445625e-05,8.552845e-05,8.565174e-05,8.652155e-05,8.693428e-05,8.743873e-05,8.808698e-05,8.828319e-05,8.905808e-05,8.911717e-05,8.976656e-05,9.003205e-05,9.041172e-05,9.083871e-05,9.099656e-05,9.152405e-05,9.154400e-05,9.199704e-05,9.215452e-05,9.241831e-05,9.267659e-05,9.279052e-05,9.311626e-05,9.339802e-05,9.347929e-05,9.363818e-05,9.377111e-05,9.383903e-05,9.399689e-05,9.400275e-05,9.413145e-05,9.416149e-05,9.422713e-05,9.426948e-05,9.429170e-05,9.432519e-05,9.432698e-05,9.433471e-05,9.433265e-05,9.431655e-05,9.429567e-05,9.427408e-05,9.421779e-05,9.420880e-05,9.412214e-05,9.410236e-05,9.401544e-05,9.395248e-05,9.389002e-05,9.377107e-05,9.374707e-05,9.358778e-05,9.356085e-05,9.341325e-05,9.332437e-05,9.322451e-05,9.306397e-05,9.302258e-05,9.280838e-05,9.278189e-05,9.258281e-05,9.248017e-05,9.234671e-05,9.216074e-05,9.210090e-05,9.184613e-05,9.182538e-05,9.158311e-05,9.147575e-05,9.131253e-05,9.111340e-05,9.103504e-05,9.075124e-05,9.073976e-05,9.046170e-05,9.035617e-05,9.016698e-05,8.996386e-05,8.986758e-05,8.956399e-05,8.915763e-05,8.874575e-05,8.832929e-05,8.790907e-05,8.748590e-05,8.706049e-05,8.663351e-05,8.620559e-05,8.577728e-05,8.534912e-05,8.492159e-05,8.449513e-05,8.407014e-05,8.364701e-05,8.322607e-05,8.280763e-05,8.239197e-05,8.197936e-05,8.157003e-05,8.116419e-05,8.076203e-05,8.036372e-05,7.996942e-05,7.957926e-05
0.000000e+00,1.627455e-09,4.193646e-09,1.634965e-08,3.955214e-08,5.914781e-08,1.412270e-07,1.457502e-07,2.945367e-07,3.503186e-07,5.283176e-07,7.207986e-07,8.749249e-07,1.319272e-06,1.364306e-06,2.018940e-06,2.201391e-06,2.840660e-06,3.366563e-06,3.808445e-06,4.756450e-06,4.891523e-06,6.062028e-06,6.304647e-06,7.298785e-06,7.962715e-06,8.586107e-06,9.697516e-06,9.911756e-06,1.126546e-05,1.148403e-05,1.263805e-05,1.330109e-05,1.402105e-05,1.512959e-05,1.540652e-05,1.678705e-05,1.695206e-05,1.815583e-05,1.875274e-05,1.950664e-05,2.051783e-05,2.083398e-05,2.213301e-05,2.223558e-05,2.339964e-05,2.389644e-05,2.463046e-05,2.549289e-05,2.582270e-05,2.697422e-05,2.701941e-05,2.808344e-05,2.847218e-05,2.914926e-05,2.984889e-05,3.017104e-05,3.114849e-05,3.208167e-05,3.237098e-05,3.297089e-05,3.351717e-05,3.381671e-05,3.458853e-05,3.461985e-05,3.538118e-05,3.558699e-05,3.610170e-05,3.651487e-05,3.678249e-05,3.737471e-05,3.742470e-05,3.802952e-05,3.816924e-05,3.859817e-05,3.890127e-05,3.913189e-05,3.957366e-05,3.963193e-05,4.009953e-05,4.018926e-05,4.053592e-05,4.075091e-05,4.094231e-05,4.126138e-05,4.131990e-05,4.166987e-05,4.172337e-05,4.199334e-05,4.213953e-05,4.229144e-05,4.251238e-05,4.256525e-05,4.281582e-05,4.284437e-05,4.304416e-05,4.313785e-05,4.325127e-05,4.339506e-05,4.343810e-05,4.360556e-05,4.361815e-05,4.375455e-05,4.380917e-05,4.388592e-05,4.397007e-05,4.400050e-05,4.409909e-05,4.410271e-05,4.418243e-05,4.420885e-05,4.425128e-05,4.429018e-05,4.430634e-05,4.434829e-05,4.437777e-05,4.438468e-05,4.439542e-05,4.440079e-05,4.440184e-05,4.439796e-05,4.439760e-05,4.438325e-05,4.437749e-05,4.435933e-05,4.434059e-05,4.432634e-05,4.428839e-05,4.428476e-05,4.423507e-05,4.422199e-05,4.417772e-05,4.414240e-05,4.411311e-05,4.405060e-05,4.404168e-05,4.396380e-05,4.394749e-05,4.387986e-05,4.383393e-05,4.379020e-05,4.371073e-05,4.369518e-05,4.359512e-05,4.357866e-05,4.349033e-05,4.343843e-05,4.338110e-05,4.329073e-05,4.326774e-05,4.315050e-05,4.313619e-05,4.302965e-05,4.297540e-05,4.290544e-05,4.280894e-05,4.277811e-05,4.264788e-05,4.263734e-05,4.251496e-05,4.246109e-05,4.237957e-05,4.228066e-05,4.224189e-05,4.210213e-05,4.209650e-05,4.196045e-05,4.190901e-05,4.181703e-05,4.171858e-05,4.167202e-05,4.152559e-05,4.133035e-05,4.113321e-05,4.093445e-05,4.073435e-05,4.053318e-05,4.033118e-05,4.012858e-05,3.992559e-05,3.972241e-05,3.951922e-05,3.931621e-05,3.911351e-05,3.891130e-05,3.870970e-05,3.850884e-05,3.830885e-05,3.810983e-05,3.791188e-05,3.771509e-05,3.751956e-05,3.732536e-05,3.713257e-05,3.694124e-05,3.675145e-05
0.000000e+00,1.965635e-11,1.051021e-10,1.125700e-09,4.914241e-09,9.371490e-09,3.539393e-08,3.707049e-08,1.005769e-07,1.273610e-07,2.196271e-07,3.276952e-07,4.188097e-07,6.988063e-07,7.284074e-07,1.179686e-06,1.311681e-06,1.791941e-06,2.204420e-06,2.560539e-06,3.345529e-06,3.459054e-06,4.452372e-06,4.659448e-06,5.508206e-06,6.073369e-06,6.601623e-06,7.535842e-06,7.714667e-06,8.834318e-06,9.013378e-06,9.950593e-06,1.048276e-05,1.105532e-05,1.192603e-05,1.214146e-05,1.320278e-05,1.332820e-05,1.423378e-05,1.467656e-05,1.522971e-05,1.596068e-05,1.618658e-05,1.710117e-05,1.717243e-05,1.797108e-05,1.830615e-05,1.879472e-05,1.935859e-05,1.957124e-05,2.030041e-05,2.032860e-05,2.098260e-05,2.121683e-05,2.161865e-05,2.202543e-05,2.220980e-05,2.275759e-05,2.326381e-05,2.341735e-05,2.373044e-05,2.400921e-05,2.415945e-05,2.453785e-05,2.455293e-05,2.491297e-05,2.500807e-05,2.524162e-05,2.542459e-05,2.554091e-05,2.579202e-05,2.581281e-05,2.605919e-05,2.611472e-05,2.628182e-05,2.639674e-05,2.648237e-05,2.664186e-05,2.666244e-05,2.682351e-05,2.685356e-05,2.696694e-05,2.703500e-05,2.709404e-05,2.718906e-05,2.720601e-05,2.730395e-05,2.731839e-05,2.738890e-05,2.742534e-05,2.746180e-05,2.751204e-05,2.752354e-05,2.757492e-05,2.758043e-05,2.761670e-05,2.763223e-05,2.764958e-05,2.766900e-05,2.767419e-05,2.769112e-05,2.769216e-05,2.770092e-05,2.770296e-05,2.770409e-05,2.770254e-05,2.770111e-05,2.769241e-05,2.769194e-05,2.767838e-05,2.767210e-05,2.765940e-05,2.764384e-05,2.763581e-05,2.760794e-05,2.757608e-05,2.756508e-05,2.754050e-05,2.751590e-05,2.750147e-05,2.746098e-05,2.745923e-05,2.741399e-05,2.740082e-05,2.736598e-05,2.733591e-05,2.731537e-05,2.726669e-05,2.726237e-05,2.720713e-05,2.719355e-05,2.714981e-05,2.711687e-05,2.709058e-05,2.703697e-05,2.702956e-05,2.696689e-05,2.695417e-05,2.690269e-05,2.686875e-05,2.683709e-05,2.678097e-05,2.677018e-05,2.670208e-05,2.669108e-05,2.663288e-05,2.659930e-05,2.656267e-05,2.650584e-05,2.649154e-05,2.641957e-05,2.641089e-05,2.634685e-05,2.631462e-05,2.627343e-05,2.621722e-05,2.619940e-05,2.612481e-05,2.611882e-05,2.604973e-05,2.601957e-05,2.597421e-05,2.591960e-05,2.589832e-05,2.582210e-05,2.581904e-05,2.574560e-05,2.571800e-05,2.566887e-05,2.561658e-05,2.559195e-05,2.551489e-05,2.541302e-05,2.531106e-05,2.520907e-05,2.510715e-05,2.500536e-05,2.490376e-05,2.480241e-05,2.470137e-05,2.460070e-05,2.450044e-05,2.440063e-05,2.430131e-05,2.420254e-05,2.410434e-05,2.400674e-05,2.390977e-05,2.381347e-05,2.371786e-05,2.362297e-05,2.352881e-05,2.343540e-05,2.334277e-05,2.325093e-05,2.315990e-05
0.000000e+00,2.258172e-13,1.468073e-12,2.315791e-11,1.406890e-10,3.186531e-10,1.817900e-09,1.934307e-09,7.527115e-09,1.042743e-08,2.219076e-08,3.863275e-08,5.420170e-08,1.093368e-07,1.157032e-07,2.232874e-07,2.582277e-07,3.981287e-07,5.345775e-07,6.650432e-07,9.968794e-07,1.050176e-06,1.577844e-06,1.702308e-06,2.267527e-06,2.694676e-06,3.131819e-06,3.996573e-06,4.175626e-06,5.396455e-06,5.607701e-06,6.785454e-06,7.508007e-06,8.328831e-06,9.663151e-06,1.000930e-05,1.180740e-05,1.203011e-05,1.370259e-05,1.456186e-05,1.567404e-05,1.721070e-05,1.770124e-05,1.976437e-05,1.993040e-05,2.184459e-05,2.267745e-05,2.392416e-05,2.541173e-05,2.598658e-05,2.801663e-05,2.809696e-05,3.000048e-05,3.070092e-05,3.192571e-05,3.319572e-05,3.378135e-05,3.555794e-05,3.724748e-05,3.776865e-05,3.884350e-05,3.981348e-05,4.034095e-05,4.168241e-05,4.173622e-05,4.302705e-05,4.336959e-05,4.421240e-05,4.487300e-05,4.529242e-05,4.619398e-05,4.626826e-05,4.714201e-05,4.733682e-05,4.791651e-05,4.830817e-05,4.859528e-05,4.911658e-05,4.918233e-05,4.968212e-05,4.977201e-05,5.009936e-05,5.028534e-05,5.043900e-05,5.066801e-05,5.070607e-05,5.090563e-05,5.093163e-05,5.104269e-05,5.108774e-05,5.112218e-05,5.114754e-05,5.114887e-05,5.112735e-05,5.112174e-05,5.106200e-05,5.102044e-05,5.095697e-05,5.085304e-05,5.081619e-05,5.064331e-05,5.062819e-05,5.044174e-05,5.035380e-05,5.021465e-05,5.003700e-05,4.996497e-05,4.969537e-05,4.968420e-05,4.940832e-05,4.930115e-05,4.910607e-05,4.889292e-05,4.879068e-05,4.846400e-05,4.812772e-05,4.801834e-05,4.778338e-05,4.755940e-05,4.743234e-05,4.709021e-05,4.707586e-05,4.671504e-05,4.661337e-05,4.635089e-05,4.613118e-05,4.598431e-05,4.564560e-05,4.561610e-05,4.524698e-05,4.515833e-05,4.487759e-05,4.467084e-05,4.450851e-05,4.418439e-05,4.414025e-05,4.377326e-05,4.370005e-05,4.340794e-05,4.321875e-05,4.304464e-05,4.274127e-05,4.268369e-05,4.232536e-05,4.226828e-05,4.196988e-05,4.180034e-05,4.161748e-05,4.133791e-05,4.126835e-05,4.092264e-05,4.088139e-05,4.058049e-05,4.043110e-05,4.024203e-05,3.998733e-05,3.990735e-05,3.957656e-05,3.955026e-05,3.924971e-05,3.912009e-05,3.892687e-05,3.869693e-05,3.860808e-05,3.829339e-05,3.828089e-05,3.798283e-05,3.787204e-05,3.767640e-05,3.747040e-05,3.737413e-05,3.707602e-05,3.668887e-05,3.630895e-05,3.593622e-05,3.557064e-05,3.521215e-05,3.486068e-05,3.451616e-05,3.417850e-05,3.384763e-05,3.352343e-05,3.320583e-05,3.289470e-05,3.258995e-05,3.229146e-05,3.199914e-05,3.171287e-05,3.143253e-05,3.115802e-05,3.088921e-05,3.062601e-05,3.036828e-05,3.011594e-05,2.986885e-05,2.962690e-05
0.000000e+00,5.850898e-14,3.961093e-13,6.801690e-12,4.467377e-11,1.056289e-10,6.734639e-10,7.198300e-10,3.124972e-09,4.458121e-09,1.020359e-08,1.881403e-08,2.737988e-08,5.976508e-08,6.365840e-08,1.326927e-07,1.561499e-07,2.538182e-07,3.537814e-07,4.529930e-07,7.191431e-07,7.635905e-07,1.226978e-06,1.342213e-06,1.892799e-06,2.337905e-06,2.818860e-06,3.845509e-06,4.070560e-06,5.719848e-06,6.025720e-06,7.843745e-06,9.055304e-06,1.052255e-05,1.311996e-05,1.383783e-05,1.787032e-05,1.840615e-05,2.269781e-05,2.509278e-05,2.839324e-05,3.334332e-05,3.502288e-05,4.264478e-05,4.329892e-05,5.130745e-05,5.507283e-05,6.104891e-05,6.874624e-05,7.189593e-05,8.386359e-05,8.436569e-05,9.695511e-05,1.019419e-04,1.111619e-04,1.214499e-04,1.264641e-04,1.428307e-04,1.602205e-04,1.659934e-04,1.785832e-04,1.908189e-04,1.978597e-04,2.171633e-04,2.179837e-04,2.388825e-04,2.448625e-04,2.604784e-04,2.737365e-04,2.826894e-04,3.035940e-04,3.054308e-04,3.286159e-04,3.342366e-04,3.521571e-04,3.654631e-04,3.759669e-04,3.970731e-04,3.999589e-04,4.240484e-04,4.288706e-04,4.481529e-04,4.606668e-04,4.721933e-04,4.922822e-04,4.960939e-04,5.197830e-04,5.235491e-04,5.431935e-04,5.543128e-04,5.662625e-04,5.844328e-04,5.889322e-04,6.111499e-04,6.137833e-04,6.328675e-04,6.422535e-04,6.540420e-04,6.697480e-04,6.746356e-04,6.946148e-04,6.961858e-04,7.139513e-04,7.215004e-04,7.326210e-04,7.456390e-04,7.506041e-04,7.678852e-04,7.685617e-04,7.844525e-04,7.902404e-04,8.002980e-04,8.106581e-04,8.154170e-04,8.298078e-04,8.434720e-04,8.476916e-04,8.564134e-04,8.643195e-04,8.686385e-04,8.797085e-04,8.801557e-04,8.909756e-04,8.938818e-04,9.011102e-04,9.068677e-04,9.105733e-04,9.186990e-04,9.193798e-04,9.275458e-04,9.294122e-04,9.350883e-04,9.390465e-04,9.420253e-04,9.476434e-04,9.483750e-04,9.541565e-04,9.552463e-04,9.593890e-04,9.618995e-04,9.640921e-04,9.676480e-04,9.682855e-04,9.719888e-04,9.725372e-04,9.752219e-04,9.766125e-04,9.780044e-04,9.799189e-04,9.803556e-04,9.822949e-04,9.825008e-04,9.838411e-04,9.844017e-04,9.850128e-04,9.856640e-04,9.858282e-04,9.863051e-04,9.863292e-04,9.864610e-04,9.864372e-04,9.863126e-04,9.860267e-04,9.858765e-04,9.851686e-04,9.851349e-04,9.842045e-04,9.837975e-04,9.829990e-04,9.820488e-04,9.815666e-04,9.799212e-04,9.774461e-04,9.746528e-04,9.715695e-04,9.682227e-04,9.646375e-04,9.608376e-04,9.568453e-04,9.526817e-04,9.483664e-04,9.439178e-04,9.393533e-04,9.346889e-04,9.299399e-04,9.251202e-04,9.202430e-04,9.153203e-04,9.103635e-04,9.053830e-04,9.003884e-04,8.953887e-04,8.903921e-04,8.854060e-04,8.804374e-04,8.754926e-04
0.000000e+00,4.372128e-09,1.057285e-08,3.863052e-08,9.072869e-08,1.341660e-07,3.134986e-07,3.232954e-07,6.421196e-07,7.602412e-07,1.133035e-06,1.529747e-06,1.842717e-06,2.721190e-06,2.808273e-06,4.039143e-06,4.372648e-06,5.520739e-06,6.452187e-06,7.232496e-06,8.915136e-06,9.156766e-06,1.127886e-05,1.172581e-05,1.358512e-05,1.485255e-05,1.606156e-05,1.826232e-05,1.869315e-05,2.146375e-05,2.191882e-05,2.435632e-05,2.578292e-05,2.735326e-05,2.981402e-05,3.043681e-05,3.358955e-05,3.397172e-05,3.679465e-05,3.821736e-05,4.003625e-05,4.251514e-05,4.329958e-05,4.657120e-05,4.683291e-05,4.983897e-05,5.114254e-05,5.309213e-05,5.542000e-05,5.632121e-05,5.951798e-05,5.964508e-05,6.267538e-05,6.380122e-05,6.578743e-05,6.787512e-05,6.884911e-05,7.185626e-05,7.480548e-05,7.573654e-05,7.769405e-05,7.950989e-05,8.051982e-05,8.317196e-05,8.328116e-05,8.597685e-05,8.671976e-05,8.860608e-05,9.015150e-05,9.116835e-05,9.346628e-05,9.366341e-05,9.609125e-05,9.666395e-05,9.845206e-05,9.974497e-05,1.007462e-04,1.027103e-04,1.029742e-04,1.051366e-04,1.055612e-04,1.072341e-04,1.082995e-04,1.092676e-04,1.109269e-04,1.112380e-04,1.131460e-04,1.134456e-04,1.149928e-04,1.158578e-04,1.167794e-04,1.181659e-04,1.185067e-04,1.201759e-04,1.203724e-04,1.217881e-04,1.224796e-04,1.233443e-04,1.244903e-04,1.248457e-04,1.262935e-04,1.264071e-04,1.276888e-04,1.282324e-04,1.290326e-04,1.299690e-04,1.303262e-04,1.315706e-04,1.316194e-04,1.327671e-04,1.331863e-04,1.339167e-04,1.346722e-04,1.350205e-04,1.360797e-04,1.370953e-04,1.374112e-04,1.380683e-04,1.386693e-04,1.390000e-04,1.398564e-04,1.398913e-04,1.407433e-04,1.409750e-04,1.415570e-04,1.420272e-04,1.423334e-04,1.430156e-04,1.430734e-04,1.437782e-04,1.439422e-04,1.444486e-04,1.448094e-04,1.450856e-04,1.456192e-04,1.456901e-04,1.462630e-04,1.463738e-04,1.468052e-04,1.470753e-04,1.473176e-04,1.477256e-04,1.478011e-04,1.482564e-04,1.483267e-04,1.486845e-04,1.488805e-04,1.490861e-04,1.493888e-04,1.494620e-04,1.498130e-04,1.498535e-04,1.501398e-04,1.502762e-04,1.504432e-04,1.506586e-04,1.507240e-04,1.509827e-04,1.510025e-04,1.512202e-04,1.513094e-04,1.514370e-04,1.515808e-04,1.516339e-04,1.518115e-04,1.518182e-04,1.519704e-04,1.520231e-04,1.521112e-04,1.521969e-04,1.522345e-04,1.523410e-04,1.524566e-04,1.525450e-04,1.526076e-04,1.526453e-04,1.526595e-04,1.526512e-04,1.526215e-04,1.525714e-04,1.525019e-04,1.524140e-04,1.523086e-04,1.521866e-04,1.520489e-04,1.518962e-04,1.517295e-04,1.515495e-04,1.513568e-04,1.511523e-04,1.509366e-04,1.507104e-04,1.504742e-04,1.502288e-04,1.499748e-04,1.497125e-04
0.000000e+00,6.569547e-09,1.513839e-08,5.253043e-08,1.203816e-07,1.763801e-07,4.055339e-07,4.180017e-07,8.226068e-07,9.722417e-07,1.444627e-06,1.949040e-06,2.349525e-06,3.493398e-06,3.608741e-06,5.280597e-06,5.746237e-06,7.381500e-06,8.733970e-06,9.876690e-06,1.234957e-05,1.270433e-05,1.580349e-05,1.645137e-05,1.912500e-05,2.092702e-05,2.263058e-05,2.569471e-05,2.628923e-05,3.007408e-05,3.068970e-05,3.396050e-05,3.585519e-05,3.792522e-05,4.113832e-05,4.194589e-05,4.600109e-05,4.648906e-05,5.007058e-05,5.186071e-05,5.413522e-05,5.721011e-05,5.817726e-05,6.218077e-05,6.249894e-05,6.613132e-05,6.769383e-05,7.001630e-05,7.276666e-05,7.382474e-05,7.754734e-05,7.769434e-05,8.117634e-05,8.245860e-05,8.470541e-05,8.704549e-05,8.812953e-05,9.144488e-05,9.464867e-05,9.565000e-05,9.773905e-05,9.965686e-05,1.007150e-04,1.034638e-04,1.035761e-04,1.063225e-04,1.070711e-04,1.089552e-04,1.104805e-04,1.114751e-04,1.136951e-04,1.138838e-04,1.161830e-04,1.167188e-04,1.183749e-04,1.195562e-04,1.204615e-04,1.222127e-04,1.224454e-04,1.243288e-04,1.246937e-04,1.261144e-04,1.270052e-04,1.278049e-04,1.291532e-04,1.294028e-04,1.309108e-04,1.311439e-04,1.323316e-04,1.329835e-04,1.336680e-04,1.346780e-04,1.349225e-04,1.360979e-04,1.362337e-04,1.371967e-04,1.376566e-04,1.382215e-04,1.389525e-04,1.391749e-04,1.400594e-04,1.401273e-04,1.408774e-04,1.411865e-04,1.416314e-04,1.421358e-04,1.423236e-04,1.429563e-04,1.429805e-04,1.435320e-04,1.437256e-04,1.440526e-04,1.443763e-04,1.445203e-04,1.449373e-04,1.453056e-04,1.454134e-04,1.456270e-04,1.458091e-04,1.459036e-04,1.461287e-04,1.461372e-04,1.463296e-04,1.463763e-04,1.464826e-04,1.465561e-04,1.465977e-04,1.466718e-04,1.466768e-04,1.467214e-04,1.467271e-04,1.467330e-04,1.467257e-04,1.467132e-04,1.466708e-04,1.466633e-04,1.465848e-04,1.465658e-04,1.464791e-04,1.464138e-04,1.463474e-04,1.462176e-04,1.461910e-04,1.460112e-04,1.459803e-04,1.458091e-04,1.457045e-04,1.455858e-04,1.453927e-04,1.453425e-04,1.450802e-04,1.450475e-04,1.448000e-04,1.446713e-04,1.445028e-04,1.442662e-04,1.441896e-04,1.438613e-04,1.438344e-04,1.435187e-04,1.433779e-04,1.431628e-04,1.428987e-04,1.427944e-04,1.424141e-04,1.423987e-04,1.420229e-04,1.418795e-04,1.416213e-04,1.413428e-04,1.412102e-04,1.407902e-04,1.402231e-04,1.396431e-04,1.390514e-04,1.384493e-04,1.378380e-04,1.372187e-04,1.365924e-04,1.359600e-04,1.353227e-04,1.346812e-04,1.340364e-04,1.333891e-04,1.327401e-04,1.320900e-04,1.314396e-04,1.307894e-04,1.301400e-04,1.294919e-04,1.288457e-04,1.282019e-04,1.275608e-04,1.269229e-04,1.262886e-04,1.256581e-04
0.000000e+00,7.872672e-10,2.783255e-09,1.552625e-08,4.461949e-08,7.119794e-08,1.911223e-07,1.979855e-07,4.323386e-07,5.233716e-07,8.212088e-07,1.150603e-06,1.415974e-06,2.171051e-06,2.246115e-06,3.303196e-06,3.587836e-06,4.561843e-06,5.346292e-06,6.000225e-06,7.402434e-06,7.603048e-06,9.358481e-06,9.726915e-06,1.125548e-05,1.229404e-05,1.328237e-05,1.507595e-05,1.542627e-05,1.767308e-05,1.804113e-05,2.000779e-05,2.115508e-05,2.241475e-05,2.438173e-05,2.487819e-05,2.738263e-05,2.768521e-05,2.991321e-05,3.103132e-05,3.245600e-05,3.438874e-05,3.499816e-05,3.752814e-05,3.772970e-05,4.003568e-05,4.103037e-05,4.251184e-05,4.427089e-05,4.494895e-05,4.734052e-05,4.743516e-05,4.968123e-05,5.051058e-05,5.196678e-05,5.348768e-05,5.419378e-05,5.635959e-05,5.846228e-05,5.912156e-05,6.050041e-05,6.177050e-05,6.247308e-05,6.430488e-05,6.437989e-05,6.622083e-05,6.672452e-05,6.799620e-05,6.903017e-05,6.970656e-05,7.122334e-05,7.135269e-05,7.293559e-05,7.330620e-05,7.445645e-05,7.528161e-05,7.591682e-05,7.715309e-05,7.731817e-05,7.866171e-05,7.892361e-05,7.994894e-05,8.059650e-05,8.118123e-05,8.217493e-05,8.236000e-05,8.348677e-05,8.366233e-05,8.456299e-05,8.506204e-05,8.559010e-05,8.637739e-05,8.656954e-05,8.750275e-05,8.761170e-05,8.839116e-05,8.876822e-05,8.923616e-05,8.985019e-05,9.003914e-05,9.080147e-05,9.086073e-05,9.152445e-05,9.180293e-05,9.220941e-05,9.267975e-05,9.285761e-05,9.347030e-05,9.349409e-05,9.404871e-05,9.424877e-05,9.459401e-05,9.494650e-05,9.510737e-05,9.558992e-05,9.604275e-05,9.618156e-05,9.646695e-05,9.672389e-05,9.686355e-05,9.721926e-05,9.723356e-05,9.757796e-05,9.766994e-05,9.789772e-05,9.807813e-05,9.819376e-05,9.844594e-05,9.846698e-05,9.871824e-05,9.877538e-05,9.894841e-05,9.906839e-05,9.915829e-05,9.932684e-05,9.934869e-05,9.952036e-05,9.955252e-05,9.967407e-05,9.974713e-05,9.981053e-05,9.991233e-05,9.993043e-05,1.000345e-04,1.000497e-04,1.001233e-04,1.001607e-04,1.001975e-04,1.002468e-04,1.002577e-04,1.003046e-04,1.003094e-04,1.003387e-04,1.003497e-04,1.003604e-04,1.003691e-04,1.003705e-04,1.003694e-04,1.003688e-04,1.003575e-04,1.003499e-04,1.003354e-04,1.003134e-04,1.003035e-04,1.002624e-04,1.002605e-04,1.002123e-04,1.001922e-04,1.001537e-04,1.001093e-04,1.000871e-04,1.000128e-04,9.990364e-05,9.978254e-05,9.965032e-05,9.950773e-05,9.935548e-05,9.919425e-05,9.902468e-05,9.884739e-05,9.866297e-05,9.847196e-05,9.827490e-05,9.807229e-05,9.786460e-05,9.765228e-05,9.743577e-05,9.721547e-05,9.699176e-05,9.676501e-05,9.653557e-05,9.630376e-05,9.606990e-05,9.583428e-05,9.559718e-05,9.535885e-05
0.000000e+00,2.959975e-12,2.020315e-11,3.529187e-10,2.355463e-09,5.619617e-09,3.669333e-08,3.925840e-08,1.746898e-07,2.509386e-07,5.845995e-07,1.093928e-06,1.607697e-06,3.589408e-06,3.830739e-06,8.182471e-06,9.685254e-06,1.603394e-05,2.264703e-05,2.929621e-05,4.744001e-05,5.050455e-05,8.287979e-05,9.102877e-05,1.303617e-04,1.625420e-04,1.976128e-04,2.732826e-04,2.899921e-04,4.135023e-04,4.365846e-04,5.747114e-04,6.675332e-04,7.806537e-04,9.825684e-04,1.038712e-03,1.356489e-03,1.399000e-03,1.741665e-03,1.934463e-03,2.201857e-03,2.606347e-03,2.744478e-03,3.376591e-03,3.431227e-03,4.104784e-03,4.424328e-03,4.935049e-03,5.599042e-03,5.872674e-03,6.922158e-03,6.966519e-03,8.087134e-03,8.535349e-03,9.370314e-03,1.031133e-02,1.077346e-02,1.229735e-02,1.394181e-02,1.449334e-02,1.570569e-02,1.689631e-02,1.758689e-02,1.950049e-02,1.958247e-02,2.168860e-02,2.229752e-02,2.390071e-02,2.527668e-02,2.621352e-02,2.842516e-02,2.862110e-02,3.111699e-02,3.172838e-02,3.369423e-02,3.517030e-02,3.634550e-02,3.873377e-02,3.906313e-02,4.183926e-02,4.240080e-02,4.466585e-02,4.615291e-02,4.753475e-02,4.997139e-02,5.043785e-02,5.336703e-02,5.383758e-02,5.631431e-02,5.773312e-02,5.927185e-02,6.164013e-02,6.223202e-02,6.518744e-02,6.554143e-02,6.813100e-02,6.942065e-02,7.105591e-02,7.326239e-02,7.395573e-02,7.682436e-02,7.705233e-02,7.965609e-02,8.077724e-02,8.244559e-02,8.442510e-02,8.518793e-02,8.787858e-02,8.798507e-02,9.051340e-02,9.144754e-02,9.308866e-02,9.480408e-02,9.560100e-02,9.804747e-02,1.004255e-01,1.011716e-01,1.027328e-01,1.041715e-01,1.049675e-01,1.070432e-01,1.071282e-01,1.092135e-01,1.097837e-01,1.112225e-01,1.123911e-01,1.131547e-01,1.148641e-01,1.150096e-01,1.167872e-01,1.172023e-01,1.184876e-01,1.194061e-01,1.201110e-01,1.214765e-01,1.216581e-01,1.231297e-01,1.234150e-01,1.245264e-01,1.252236e-01,1.258495e-01,1.269049e-01,1.271002e-01,1.282796e-01,1.284618e-01,1.293893e-01,1.298976e-01,1.304307e-01,1.312158e-01,1.314055e-01,1.323153e-01,1.324202e-01,1.331618e-01,1.335147e-01,1.339468e-01,1.345034e-01,1.346722e-01,1.353396e-01,1.353906e-01,1.359512e-01,1.361805e-01,1.365086e-01,1.368775e-01,1.370138e-01,1.374686e-01,1.374858e-01,1.378750e-01,1.380098e-01,1.382348e-01,1.384537e-01,1.385498e-01,1.388219e-01,1.391183e-01,1.393472e-01,1.395124e-01,1.396177e-01,1.396670e-01,1.396639e-01,1.396117e-01,1.395140e-01,1.393738e-01,1.391942e-01,1.389782e-01,1.387286e-01,1.384480e-01,1.381391e-01,1.378041e-01,1.374454e-01,1.370652e-01,1.366655e-01,1.362482e-01,1.358152e-01,1.353681e-01,1.349085e-01,1.344380e-01,1.339579e-01
0.000000e+00,2.849986e-11,1.513947e-10,1.604663e-09,6.962319e-09,1.324849e-08,4.990926e-08,5.227167e-08,1.418257e-07,1.796119e-07,3.096826e-07,4.616112e-07,5.892190e-07,9.781482e-07,1.018979e-06,1.635565e-06,1.814228e-06,2.460844e-06,3.015227e-06,3.495726e-06,4.569055e-06,4.726484e-06,6.134831e-06,6.436264e-06,7.703706e-06,8.578027e-06,9.418466e-06,1.096199e-05,1.126600e-05,1.323368e-05,1.355881e-05,1.530869e-05,1.633896e-05,1.747780e-05,1.927169e-05,1.972739e-05,2.204367e-05,2.232545e-05,2.441302e-05,2.546893e-05,2.682225e-05,2.867219e-05,2.925883e-05,3.171109e-05,3.190763e-05,3.416838e-05,3.515051e-05,3.662108e-05,3.837934e-05,3.906064e-05,4.147961e-05,4.157585e-05,4.387155e-05,4.472496e-05,4.623100e-05,4.781444e-05,4.855328e-05,5.083453e-05,5.307157e-05,5.377765e-05,5.526186e-05,5.663817e-05,5.740340e-05,5.941201e-05,5.949468e-05,6.153456e-05,6.209641e-05,6.352227e-05,6.468964e-05,6.545732e-05,6.719084e-05,6.733947e-05,6.916868e-05,6.959983e-05,7.094511e-05,7.191696e-05,7.266906e-05,7.414306e-05,7.434095e-05,7.596132e-05,7.627926e-05,7.753077e-05,7.832699e-05,7.905000e-05,8.028789e-05,8.051975e-05,8.194083e-05,8.216374e-05,8.331406e-05,8.395647e-05,8.464032e-05,8.566812e-05,8.592052e-05,8.715555e-05,8.730076e-05,8.834635e-05,8.885653e-05,8.949386e-05,9.033760e-05,9.059903e-05,9.166281e-05,9.174615e-05,9.268614e-05,9.308437e-05,9.366999e-05,9.435444e-05,9.461530e-05,9.552300e-05,9.555854e-05,9.639404e-05,9.669882e-05,9.722934e-05,9.777740e-05,9.802982e-05,9.879639e-05,9.952995e-05,9.975785e-05,1.002314e-04,1.006638e-04,1.009015e-04,1.015163e-04,1.015413e-04,1.021515e-04,1.023172e-04,1.027330e-04,1.030684e-04,1.032866e-04,1.037719e-04,1.038130e-04,1.043132e-04,1.044294e-04,1.047878e-04,1.050427e-04,1.052376e-04,1.056136e-04,1.056634e-04,1.060659e-04,1.061436e-04,1.064458e-04,1.066346e-04,1.068037e-04,1.070880e-04,1.071404e-04,1.074566e-04,1.075053e-04,1.077529e-04,1.078882e-04,1.080299e-04,1.082380e-04,1.082882e-04,1.085285e-04,1.085561e-04,1.087513e-04,1.088440e-04,1.089573e-04,1.091029e-04,1.091470e-04,1.093209e-04,1.093342e-04,1.094796e-04,1.095389e-04,1.096236e-04,1.097185e-04,1.097534e-04,1.098695e-04,1.098739e-04,1.099725e-04,1.100064e-04,1.100626e-04,1.101169e-04,1.101405e-04,1.102066e-04,1.102765e-04,1.103274e-04,1.103604e-04,1.103764e-04,1.103762e-04,1.103606e-04,1.103304e-04,1.102865e-04,1.102296e-04,1.101603e-04,1.100794e-04,1.099875e-04,1.098853e-04,1.097733e-04,1.096523e-04,1.095226e-04,1.093849e-04,1.092396e-04,1.090874e-04,1.089285e-04,1.087636e-04,1.085930e-04,1.084171e-04,1.082364e-04
0.000000e+00,1.698790e-13,1.121604e-12,1.827227e-11,1.143258e-10,2.631516e-10,1.564392e-09,1.667320e-09,6.749134e-09,9.446844e-09,2.061324e-08,3.657493e-08,5.191796e-08,1.072579e-07,1.137164e-07,2.241172e-07,2.603445e-07,4.066446e-07,5.508894e-07,6.900497e-07,1.049042e-06,1.107353e-06,1.694151e-06,1.835041e-06,2.486513e-06,2.991326e-06,3.518857e-06,4.594249e-06,4.822115e-06,6.422342e-06,6.707379e-06,8.339815e-06,9.377245e-06,1.058854e-05,1.263134e-05,1.317612e-05,1.610389e-05,1.647792e-05,1.936720e-05,2.090692e-05,2.295588e-05,2.589170e-05,2.685473e-05,3.104414e-05,3.139117e-05,3.550065e-05,3.735217e-05,4.019762e-05,4.371203e-05,4.510586e-05,5.019430e-05,5.040113e-05,5.543058e-05,5.734549e-05,6.078170e-05,6.446915e-05,6.621456e-05,7.169652e-05,7.719588e-05,7.895434e-05,8.268226e-05,8.617341e-05,8.812700e-05,9.328999e-05,9.350342e-05,9.878706e-05,1.002468e-04,1.039558e-04,1.069936e-04,1.089900e-04,1.134879e-04,1.138726e-04,1.185888e-04,1.196946e-04,1.231265e-04,1.255859e-04,1.274758e-04,1.311411e-04,1.316290e-04,1.355805e-04,1.363462e-04,1.393266e-04,1.411928e-04,1.428655e-04,1.456778e-04,1.461968e-04,1.493216e-04,1.498025e-04,1.522421e-04,1.535724e-04,1.549617e-04,1.569956e-04,1.574847e-04,1.598160e-04,1.600831e-04,1.619613e-04,1.628479e-04,1.639267e-04,1.653041e-04,1.657187e-04,1.673441e-04,1.674671e-04,1.688098e-04,1.693529e-04,1.701228e-04,1.709777e-04,1.712904e-04,1.723195e-04,1.723579e-04,1.732173e-04,1.735096e-04,1.739905e-04,1.744487e-04,1.746461e-04,1.751905e-04,1.756303e-04,1.757499e-04,1.759714e-04,1.761409e-04,1.762201e-04,1.763770e-04,1.763819e-04,1.764624e-04,1.764711e-04,1.764668e-04,1.764351e-04,1.764003e-04,1.762804e-04,1.762675e-04,1.760730e-04,1.760176e-04,1.758212e-04,1.756567e-04,1.755162e-04,1.752068e-04,1.751618e-04,1.747619e-04,1.746767e-04,1.743197e-04,1.740743e-04,1.738387e-04,1.734069e-04,1.733220e-04,1.727724e-04,1.726816e-04,1.721928e-04,1.719047e-04,1.715857e-04,1.710819e-04,1.709536e-04,1.702988e-04,1.702188e-04,1.696234e-04,1.693203e-04,1.689295e-04,1.683909e-04,1.682190e-04,1.674937e-04,1.674351e-04,1.667552e-04,1.664565e-04,1.660051e-04,1.654587e-04,1.652449e-04,1.644760e-04,1.644451e-04,1.636997e-04,1.634186e-04,1.629171e-04,1.623819e-04,1.621293e-04,1.613375e-04,1.602877e-04,1.592346e-04,1.581801e-04,1.571258e-04,1.560733e-04,1.550241e-04,1.539794e-04,1.529404e-04,1.519080e-04,1.508833e-04,1.498670e-04,1.488599e-04,1.478627e-04,1.468759e-04,1.459000e-04,1.449355e-04,1.439828e-04,1.430423e-04,1.421141e-04,1.411986e-04,1.402959e-04,1.394063e-04,1.385297e-04,1.376664e-04
0.000000e+00,1.289759e-12,8.811162e-12,1.542054e-10,1.030966e-09,2.461956e-09,1.611342e-08,1.724146e-08,7.689046e-08,1.105147e-07,2.578092e-07,4.829030e-07,7.101199e-07,1.587247e-06,1.694108e-06,3.621841e-06,4.287769e-06,7.101866e-06,1.003433e-05,1.298395e-05,2.103864e-05,2.239997e-05,3.679691e-05,4.042495e-05,5.795930e-05,7.233138e-05,8.801925e-05,1.219480e-04,1.294539e-04,1.850699e-04,1.954883e-04,2.579767e-04,3.000955e-04,3.515484e-04,4.436921e-04,4.693766e-04,6.152153e-04,6.347808e-04,7.929208e-04,8.822099e-04,1.006386e-03,1.194915e-03,1.259474e-03,1.555951e-03,1.581653e-03,1.899422e-03,2.050735e-03,2.293268e-03,2.609782e-03,2.740589e-03,3.244154e-03,3.265502e-03,3.806357e-03,4.023500e-03,4.429180e-03,4.888129e-03,5.114162e-03,5.862385e-03,6.674457e-03,6.947840e-03,7.550509e-03,8.144620e-03,8.490198e-03,9.451424e-03,9.492717e-03,1.055681e-02,1.086557e-02,1.168080e-02,1.238309e-02,1.286260e-02,1.399881e-02,1.409976e-02,1.538948e-02,1.570650e-02,1.672869e-02,1.749901e-02,1.811401e-02,1.936840e-02,1.954187e-02,2.100848e-02,2.130610e-02,2.250991e-02,2.330308e-02,2.404213e-02,2.534997e-02,2.560101e-02,2.718238e-02,2.743721e-02,2.878205e-02,2.955517e-02,3.039587e-02,3.169432e-02,3.201970e-02,3.364949e-02,3.384528e-02,3.528129e-02,3.599892e-02,3.691125e-02,3.814650e-02,3.853566e-02,4.015095e-02,4.027968e-02,4.175372e-02,4.239059e-02,4.334074e-02,4.447192e-02,4.490895e-02,4.645550e-02,4.651687e-02,4.797770e-02,4.851926e-02,4.947310e-02,5.047349e-02,5.093942e-02,5.237458e-02,5.377669e-02,5.421811e-02,5.514407e-02,5.600027e-02,5.647523e-02,5.771784e-02,5.776885e-02,5.902379e-02,5.936811e-02,6.023910e-02,6.094894e-02,6.141400e-02,6.245866e-02,6.254784e-02,6.364016e-02,6.389610e-02,6.469062e-02,6.526052e-02,6.569903e-02,6.655158e-02,6.666531e-02,6.758953e-02,6.776933e-02,6.847184e-02,6.891417e-02,6.931253e-02,6.998679e-02,7.011195e-02,7.087056e-02,7.098819e-02,7.158891e-02,7.191959e-02,7.226759e-02,7.278244e-02,7.290730e-02,7.350875e-02,7.357839e-02,7.407274e-02,7.430925e-02,7.460011e-02,7.497695e-02,7.509173e-02,7.554850e-02,7.558356e-02,7.597137e-02,7.613123e-02,7.636129e-02,7.662219e-02,7.671926e-02,7.704626e-02,7.705871e-02,7.734330e-02,7.744310e-02,7.761140e-02,7.777770e-02,7.785158e-02,7.806485e-02,7.830689e-02,7.850614e-02,7.866487e-02,7.878535e-02,7.886978e-02,7.892032e-02,7.893908e-02,7.892809e-02,7.888934e-02,7.882474e-02,7.873613e-02,7.862529e-02,7.849390e-02,7.834361e-02,7.817597e-02,7.799246e-02,7.779450e-02,7.758342e-02,7.736051e-02,7.712698e-02,7.688395e-02,7.663251e-02,7.637368e-02,7.610839e-02
0.000000e+00,9.252621e-14,6.130937e-13,1.006185e-11,6.336871e-11,1.463713e-10,8.776398e-10,9.356925e-10,3.815993e-09,5.350902e-09,1.172212e-08,2.085136e-08,2.963536e-08,6.131641e-08,6.501118e-08,1.280400e-07,1.486679e-07,2.317266e-07,3.133045e-07,3.917886e-07,5.936418e-07,6.263785e-07,9.556262e-07,1.034708e-06,1.400990e-06,1.685758e-06,1.984403e-06,2.596832e-06,2.727236e-06,3.649107e-06,3.814386e-06,4.766666e-06,5.376476e-06,6.092487e-06,7.308396e-06,7.634191e-06,9.393912e-06,9.619621e-06,1.136814e-05,1.230264e-05,1.354794e-05,1.533369e-05,1.591941e-05,1.846444e-05,1.867492e-05,2.116155e-05,2.227768e-05,2.398681e-05,2.608608e-05,2.691474e-05,2.991918e-05,3.004058e-05,3.297405e-05,3.408122e-05,3.605397e-05,3.815028e-05,3.913487e-05,4.219431e-05,4.521185e-05,4.616557e-05,4.816922e-05,5.002286e-05,5.105040e-05,5.373193e-05,5.384170e-05,5.653168e-05,5.726541e-05,5.911109e-05,6.060257e-05,6.157271e-05,6.372878e-05,6.391124e-05,6.612311e-05,6.663486e-05,6.820631e-05,6.931642e-05,7.016021e-05,7.177309e-05,7.198535e-05,7.368332e-05,7.400786e-05,7.525656e-05,7.602638e-05,7.670823e-05,7.783638e-05,7.804204e-05,7.926218e-05,7.944716e-05,8.037318e-05,8.086908e-05,8.137978e-05,8.211320e-05,8.228691e-05,8.309957e-05,8.319098e-05,8.382278e-05,8.411394e-05,8.446153e-05,8.489354e-05,8.502076e-05,8.550527e-05,8.554094e-05,8.591975e-05,8.606696e-05,8.626874e-05,8.648190e-05,8.655658e-05,8.678747e-05,8.679557e-05,8.696538e-05,8.701720e-05,8.709413e-05,8.715544e-05,8.717731e-05,8.721836e-05,8.722047e-05,8.721343e-05,8.718671e-05,8.714759e-05,8.711992e-05,8.702723e-05,8.702279e-05,8.689785e-05,8.685821e-05,8.674746e-05,8.664593e-05,8.657383e-05,8.639535e-05,8.637903e-05,8.616500e-05,8.611097e-05,8.593353e-05,8.579692e-05,8.568629e-05,8.545694e-05,8.542486e-05,8.515069e-05,8.509444e-05,8.486512e-05,8.471254e-05,8.456941e-05,8.431404e-05,8.426474e-05,8.395218e-05,8.390150e-05,8.363273e-05,8.347723e-05,8.330734e-05,8.304332e-05,8.297686e-05,8.264208e-05,8.260166e-05,8.230376e-05,8.215394e-05,8.196256e-05,8.170171e-05,8.161912e-05,8.127401e-05,8.124635e-05,8.092779e-05,8.078910e-05,8.058093e-05,8.033106e-05,8.023390e-05,7.988711e-05,7.987325e-05,7.954095e-05,7.941656e-05,7.919577e-05,7.896178e-05,7.885190e-05,7.850964e-05,7.806075e-05,7.761568e-05,7.717492e-05,7.673890e-05,7.630800e-05,7.588255e-05,7.546284e-05,7.504910e-05,7.464156e-05,7.424038e-05,7.384570e-05,7.345765e-05,7.307632e-05,7.270178e-05,7.233408e-05,7.197325e-05,7.161931e-05,7.127226e-05,7.093208e-05,7.059876e-05,7.027225e-05,6.995252e-05,6.963951e-05,6.933316e-05
0.000000e+00,8.138568e-09,1.864766e-08,6.437391e-08,1.476860e-07,2.170188e-07,5.067829e-07,5.228222e-07,1.056667e-06,1.259536e-06,1.911017e-06,2.609632e-06,3.154941e-06,4.627085e-06,4.767831e-06,6.669374e-06,7.160649e-06,8.792854e-06,1.006304e-05,1.109741e-05,1.325319e-05,1.355548e-05,1.614379e-05,1.667508e-05,1.883950e-05,2.027591e-05,2.161901e-05,2.400086e-05,2.445812e-05,2.733266e-05,2.779429e-05,3.021921e-05,3.160252e-05,3.309585e-05,3.537655e-05,3.594264e-05,3.874194e-05,3.907392e-05,4.147863e-05,4.265959e-05,4.414008e-05,4.610613e-05,4.671613e-05,4.919883e-05,4.939323e-05,5.158232e-05,5.250697e-05,5.386251e-05,5.543882e-05,5.603689e-05,5.810427e-05,5.818473e-05,6.006453e-05,6.074413e-05,6.191848e-05,6.311920e-05,6.366766e-05,6.531414e-05,6.686046e-05,6.733459e-05,6.830949e-05,6.918724e-05,6.966433e-05,7.087939e-05,7.092824e-05,7.210460e-05,7.241876e-05,7.319685e-05,7.381325e-05,7.420841e-05,7.507075e-05,7.514274e-05,7.600321e-05,7.619911e-05,7.679317e-05,7.720596e-05,7.751587e-05,7.809875e-05,7.817450e-05,7.877214e-05,7.888461e-05,7.931177e-05,7.957042e-05,7.979629e-05,8.016276e-05,8.022851e-05,8.061113e-05,8.066792e-05,8.094674e-05,8.109187e-05,8.123784e-05,8.144028e-05,8.148681e-05,8.169596e-05,8.171849e-05,8.186749e-05,8.193159e-05,8.200350e-05,8.208436e-05,8.210601e-05,8.217697e-05,8.218134e-05,8.221821e-05,8.222678e-05,8.223149e-05,8.222466e-05,8.221846e-05,8.218071e-05,8.217870e-05,8.211976e-05,8.209243e-05,8.203708e-05,8.196915e-05,8.193405e-05,8.181199e-05,8.167213e-05,8.162382e-05,8.151568e-05,8.140737e-05,8.134377e-05,8.116516e-05,8.115745e-05,8.095774e-05,8.089956e-05,8.074562e-05,8.061276e-05,8.052199e-05,8.030683e-05,8.028772e-05,8.004364e-05,7.998368e-05,7.979052e-05,7.964511e-05,7.952911e-05,7.929277e-05,7.926011e-05,7.898419e-05,7.892823e-05,7.870196e-05,7.855291e-05,7.841402e-05,7.816816e-05,7.812094e-05,7.782325e-05,7.777523e-05,7.752145e-05,7.737526e-05,7.721601e-05,7.696934e-05,7.690738e-05,7.659598e-05,7.655845e-05,7.628222e-05,7.614351e-05,7.596646e-05,7.572537e-05,7.564906e-05,7.533035e-05,7.530481e-05,7.501065e-05,7.488256e-05,7.469026e-05,7.445929e-05,7.436944e-05,7.404846e-05,7.403562e-05,7.372756e-05,7.361210e-05,7.340697e-05,7.318926e-05,7.308691e-05,7.276757e-05,7.234748e-05,7.192938e-05,7.151364e-05,7.110058e-05,7.069051e-05,7.028370e-05,6.988039e-05,6.948081e-05,6.908515e-05,6.869360e-05,6.830631e-05,6.792342e-05,6.754505e-05,6.717131e-05,6.680229e-05,6.643807e-05,6.607872e-05,6.572428e-05,6.537481e-05,6.503033e-05,6.469087e-05,6.435645e-05,6.402707e-05,6.370274e-05
0.000000e+00,1.422504e-14,9.411042e-14,1.540201e-12,9.682841e-12,2.235278e-11,1.340599e-10,1.429381e-10,5.851502e-10,8.219826e-10,1.811944e-09,3.246082e-09,4.640224e-09,9.760231e-09,1.036539e-08,2.089485e-08,2.441344e-08,3.886738e-08,5.342579e-08,6.769752e-08,1.052846e-07,1.114737e-07,1.746918e-07,1.900709e-07,2.618818e-07,3.181048e-07,3.772206e-07,4.984418e-07,5.242043e-07,7.054230e-07,7.377144e-07,9.224431e-07,1.039521e-06,1.175786e-06,1.404326e-06,1.464979e-06,1.788655e-06,1.829719e-06,2.144681e-06,2.310891e-06,2.530302e-06,2.841187e-06,2.942276e-06,3.377013e-06,3.412662e-06,3.830695e-06,4.016593e-06,4.299387e-06,4.643917e-06,4.779134e-06,5.266043e-06,5.285615e-06,5.756353e-06,5.933002e-06,6.246490e-06,6.577972e-06,6.733118e-06,7.213171e-06,7.683876e-06,7.832117e-06,8.142774e-06,8.429270e-06,8.587724e-06,9.000062e-06,9.016907e-06,9.428817e-06,9.540885e-06,9.822253e-06,1.004906e-05,1.019630e-05,1.052275e-05,1.055032e-05,1.088392e-05,1.096092e-05,1.119692e-05,1.136321e-05,1.148936e-05,1.172986e-05,1.176144e-05,1.201353e-05,1.206159e-05,1.224610e-05,1.235952e-05,1.245976e-05,1.262510e-05,1.265517e-05,1.283309e-05,1.285998e-05,1.299430e-05,1.306599e-05,1.313963e-05,1.324502e-05,1.326991e-05,1.338601e-05,1.339902e-05,1.348875e-05,1.352995e-05,1.357899e-05,1.363969e-05,1.365752e-05,1.372514e-05,1.373010e-05,1.378261e-05,1.380292e-05,1.383066e-05,1.385981e-05,1.386998e-05,1.390122e-05,1.390231e-05,1.392500e-05,1.393185e-05,1.394191e-05,1.394976e-05,1.395249e-05,1.395725e-05,1.395667e-05,1.395543e-05,1.395119e-05,1.394529e-05,1.394121e-05,1.392776e-05,1.392712e-05,1.390927e-05,1.390364e-05,1.388797e-05,1.387367e-05,1.386354e-05,1.383853e-05,1.383625e-05,1.380634e-05,1.379880e-05,1.377405e-05,1.375502e-05,1.373961e-05,1.370766e-05,1.370319e-05,1.366499e-05,1.365716e-05,1.362518e-05,1.360389e-05,1.358390e-05,1.354820e-05,1.354130e-05,1.349751e-05,1.349040e-05,1.345265e-05,1.343077e-05,1.340683e-05,1.336955e-05,1.336015e-05,1.331270e-05,1.330696e-05,1.326458e-05,1.324321e-05,1.321586e-05,1.317848e-05,1.316661e-05,1.311691e-05,1.311292e-05,1.306682e-05,1.304669e-05,1.301639e-05,1.297991e-05,1.296569e-05,1.291476e-05,1.291271e-05,1.286364e-05,1.284520e-05,1.281239e-05,1.277748e-05,1.276104e-05,1.270963e-05,1.264174e-05,1.257388e-05,1.250612e-05,1.243852e-05,1.237113e-05,1.230401e-05,1.223721e-05,1.217076e-05,1.210471e-05,1.203909e-05,1.197393e-05,1.190926e-05,1.184510e-05,1.178148e-05,1.171843e-05,1.165595e-05,1.159406e-05,1.153279e-05,1.147214e-05,1.141213e-05,1.135277e-05,1.129405e-05,1.123601e-05,1.117863e-05
0.000000e+00,8.090814e-09,1.852500e-08,6.384997e-08,1.463531e-07,2.150373e-07,5.028500e-07,5.188221e-07,1.052386e-06,1.255674e-06,1.906609e-06,2.595935e-06,3.125827e-06,4.526038e-06,4.658144e-06,6.424750e-06,6.877285e-06,8.373935e-06,9.533435e-06,1.047524e-05,1.243250e-05,1.270643e-05,1.504699e-05,1.552638e-05,1.747572e-05,1.876614e-05,1.997033e-05,2.209992e-05,2.250786e-05,2.506544e-05,2.547502e-05,2.762108e-05,2.884104e-05,3.015439e-05,3.215257e-05,3.264704e-05,3.508308e-05,3.537093e-05,3.744907e-05,3.846501e-05,3.973408e-05,4.141122e-05,4.192962e-05,4.402937e-05,4.419307e-05,4.602901e-05,4.680021e-05,4.792597e-05,4.922752e-05,4.971912e-05,5.140857e-05,5.147401e-05,5.299545e-05,5.354196e-05,5.448165e-05,5.543604e-05,5.586971e-05,5.716264e-05,5.836375e-05,5.872930e-05,5.947664e-05,6.014429e-05,6.050500e-05,6.141622e-05,6.145262e-05,6.232333e-05,6.255385e-05,6.312089e-05,6.356586e-05,6.384903e-05,6.446074e-05,6.451139e-05,6.511151e-05,6.524666e-05,6.565281e-05,6.593148e-05,6.613858e-05,6.652264e-05,6.657198e-05,6.695604e-05,6.702719e-05,6.729366e-05,6.745179e-05,6.758760e-05,6.780268e-05,6.784049e-05,6.805484e-05,6.808572e-05,6.823303e-05,6.830638e-05,6.837731e-05,6.846976e-05,6.848982e-05,6.857259e-05,6.858062e-05,6.862754e-05,6.864338e-05,6.865649e-05,6.866215e-05,6.866114e-05,6.864314e-05,6.864076e-05,6.860400e-05,6.858276e-05,6.854518e-05,6.849141e-05,6.846804e-05,6.837388e-05,6.836978e-05,6.826391e-05,6.822067e-05,6.813928e-05,6.804671e-05,6.800107e-05,6.785030e-05,6.768794e-05,6.763368e-05,6.751487e-05,6.739889e-05,6.733196e-05,6.714784e-05,6.714000e-05,6.693975e-05,6.688229e-05,6.673191e-05,6.660385e-05,6.651715e-05,6.631401e-05,6.629611e-05,6.606936e-05,6.601415e-05,6.583746e-05,6.570554e-05,6.560093e-05,6.538935e-05,6.536027e-05,6.511592e-05,6.506665e-05,6.486833e-05,6.473843e-05,6.461789e-05,6.440561e-05,6.436499e-05,6.410999e-05,6.406901e-05,6.385320e-05,6.372941e-05,6.359496e-05,6.338751e-05,6.333555e-05,6.307525e-05,6.304396e-05,6.281430e-05,6.269935e-05,6.255296e-05,6.235422e-05,6.229145e-05,6.202997e-05,6.200906e-05,6.176873e-05,6.166434e-05,6.150790e-05,6.132045e-05,6.124765e-05,6.098814e-05,6.097778e-05,6.072952e-05,6.063667e-05,6.047193e-05,6.029742e-05,6.021549e-05,5.996032e-05,5.962563e-05,5.929357e-05,5.896434e-05,5.863814e-05,5.831512e-05,5.799544e-05,5.767923e-05,5.736660e-05,5.705764e-05,5.675245e-05,5.645111e-05,5.615366e-05,5.586018e-05,5.557069e-05,5.528524e-05,5.500385e-05,5.472655e-05,5.445333e-05,5.418422e-05,5.391921e-05,5.365829e-05,5.340146e-05,5.314870e-05,5.289999e-05
0.000000e+00,5.017201e-11,2.440477e-10,2.202369e-09,8.449385e-09,1.515476e-08,5.011940e-08,5.224485e-08,1.276987e-07,1.576455e-07,2.558743e-07,3.642883e-07,4.517890e-07,7.056631e-07,7.315159e-07,1.111277e-06,1.218871e-06,1.603771e-06,1.930560e-06,2.212306e-06,2.837023e-06,2.928052e-06,3.734157e-06,3.904581e-06,4.612311e-06,5.091961e-06,5.546403e-06,6.364410e-06,6.523045e-06,7.530849e-06,7.694299e-06,8.559671e-06,9.058211e-06,9.600197e-06,1.043521e-05,1.064378e-05,1.168242e-05,1.180637e-05,1.270886e-05,1.315493e-05,1.371662e-05,1.446653e-05,1.470008e-05,1.565446e-05,1.572943e-05,1.657587e-05,1.693449e-05,1.746124e-05,1.807506e-05,1.830826e-05,1.911531e-05,1.914674e-05,1.988139e-05,2.014704e-05,2.060604e-05,2.107513e-05,2.128927e-05,2.193144e-05,2.253320e-05,2.271738e-05,2.309551e-05,2.343518e-05,2.361947e-05,2.408755e-05,2.410633e-05,2.455748e-05,2.467760e-05,2.497436e-05,2.520864e-05,2.535844e-05,2.568412e-05,2.571123e-05,2.603426e-05,2.610752e-05,2.632900e-05,2.648224e-05,2.659691e-05,2.681162e-05,2.683942e-05,2.705794e-05,2.709888e-05,2.725379e-05,2.734711e-05,2.742828e-05,2.755925e-05,2.758265e-05,2.771807e-05,2.773806e-05,2.783570e-05,2.788616e-05,2.793662e-05,2.800601e-05,2.802185e-05,2.809238e-05,2.809990e-05,2.814914e-05,2.816998e-05,2.819302e-05,2.821826e-05,2.822485e-05,2.824543e-05,2.824661e-05,2.825551e-05,2.825676e-05,2.825580e-05,2.825033e-05,2.824697e-05,2.822966e-05,2.822880e-05,2.820447e-05,2.819358e-05,2.817195e-05,2.814594e-05,2.813265e-05,2.808707e-05,2.803568e-05,2.801808e-05,2.797893e-05,2.793998e-05,2.791723e-05,2.785372e-05,2.785099e-05,2.778057e-05,2.776015e-05,2.770633e-05,2.766009e-05,2.762860e-05,2.755427e-05,2.754768e-05,2.746387e-05,2.744336e-05,2.737745e-05,2.732800e-05,2.728866e-05,2.720876e-05,2.719775e-05,2.710494e-05,2.708617e-05,2.701046e-05,2.696073e-05,2.691449e-05,2.683286e-05,2.681722e-05,2.671884e-05,2.670300e-05,2.661949e-05,2.657151e-05,2.651934e-05,2.643874e-05,2.641853e-05,2.631720e-05,2.630501e-05,2.621546e-05,2.617060e-05,2.611344e-05,2.603577e-05,2.601124e-05,2.590896e-05,2.590078e-05,2.580671e-05,2.576583e-05,2.570456e-05,2.563113e-05,2.560260e-05,2.550091e-05,2.549685e-05,2.539956e-05,2.536316e-05,2.529860e-05,2.523022e-05,2.519811e-05,2.509814e-05,2.496707e-05,2.483709e-05,2.470831e-05,2.458082e-05,2.445470e-05,2.433000e-05,2.420680e-05,2.408514e-05,2.396507e-05,2.384662e-05,2.372984e-05,2.361475e-05,2.350137e-05,2.338972e-05,2.327981e-05,2.317166e-05,2.306527e-05,2.296064e-05,2.285778e-05,2.275669e-05,2.265735e-05,2.255977e-05,2.246392e-05,2.236982e-05
0.000000e+00,4.357319e-13,2.637557e-12,3.593684e-11,1.914076e-10,4.036368e-10,1.919608e-09,2.027622e-09,6.610815e-09,8.733080e-09,1.650839e-08,2.613613e-08,3.447934e-08,6.066494e-08,6.345824e-08,1.064032e-07,1.191120e-07,1.662095e-07,2.081047e-07,2.456427e-07,3.337982e-07,3.472340e-07,4.730815e-07,5.012979e-07,6.245335e-07,7.135330e-07,8.018002e-07,9.697832e-07,1.003628e-06,1.227213e-06,1.264744e-06,1.468427e-06,1.589032e-06,1.722310e-06,1.931024e-06,1.983641e-06,2.247453e-06,2.279062e-06,2.509371e-06,2.623055e-06,2.765780e-06,2.955199e-06,3.013853e-06,3.251494e-06,3.270007e-06,3.477239e-06,3.563978e-06,3.690140e-06,3.835166e-06,3.889669e-06,4.075623e-06,4.082779e-06,4.248054e-06,4.306861e-06,4.407209e-06,4.508050e-06,4.553486e-06,4.687387e-06,4.809497e-06,4.846184e-06,4.920448e-06,4.985907e-06,5.020905e-06,5.108100e-06,5.111546e-06,5.193048e-06,5.214322e-06,5.266075e-06,5.306093e-06,5.331273e-06,5.384870e-06,5.389258e-06,5.440616e-06,5.452018e-06,5.485900e-06,5.508801e-06,5.525627e-06,5.556372e-06,5.560277e-06,5.590295e-06,5.595779e-06,5.616089e-06,5.627959e-06,5.638036e-06,5.653751e-06,5.656480e-06,5.671736e-06,5.673900e-06,5.684090e-06,5.689066e-06,5.693803e-06,5.699831e-06,5.701111e-06,5.706231e-06,5.706708e-06,5.709357e-06,5.710147e-06,5.710667e-06,5.710547e-06,5.710321e-06,5.708466e-06,5.708256e-06,5.705234e-06,5.703583e-06,5.700745e-06,5.696798e-06,5.695110e-06,5.688428e-06,5.688141e-06,5.680791e-06,5.677823e-06,5.672280e-06,5.666033e-06,5.662972e-06,5.652937e-06,5.642238e-06,5.638683e-06,5.630932e-06,5.623404e-06,5.619075e-06,5.607218e-06,5.606715e-06,5.593897e-06,5.590232e-06,5.580664e-06,5.572540e-06,5.567053e-06,5.554229e-06,5.553102e-06,5.538842e-06,5.535377e-06,5.524304e-06,5.516053e-06,5.509518e-06,5.496321e-06,5.494509e-06,5.479302e-06,5.476239e-06,5.463920e-06,5.455860e-06,5.448385e-06,5.435230e-06,5.432715e-06,5.416930e-06,5.414395e-06,5.401047e-06,5.393394e-06,5.385083e-06,5.372263e-06,5.369052e-06,5.352968e-06,5.351035e-06,5.336845e-06,5.329742e-06,5.320696e-06,5.308411e-06,5.304531e-06,5.288362e-06,5.287069e-06,5.272199e-06,5.265738e-06,5.256052e-06,5.244441e-06,5.239929e-06,5.223840e-06,5.223197e-06,5.207790e-06,5.202024e-06,5.191789e-06,5.180939e-06,5.175842e-06,5.159957e-06,5.139092e-06,5.118357e-06,5.097764e-06,5.077322e-06,5.057042e-06,5.036932e-06,5.017001e-06,4.997255e-06,4.977702e-06,4.958346e-06,4.939194e-06,4.920249e-06,4.901517e-06,4.883000e-06,4.864701e-06,4.846623e-06,4.828770e-06,4.811142e-06,4.793740e-06,4.776568e-06,4.759625e-06,4.742911e-06,4.726429e-06,4.710176e-06
0.000000e+00,3.864512e-09,8.955361e-09,3.109709e-08,7.086238e-08,1.033244e-07,2.334185e-07,2.403852e-07,4.613242e-07,5.408173e-07,7.853382e-07,1.037439e-06,1.232192e-06,1.768232e-06,1.820935e-06,2.565140e-06,2.767317e-06,3.465649e-06,4.033401e-06,4.508356e-06,5.525824e-06,5.670875e-06,6.930329e-06,7.192019e-06,8.266458e-06,8.985591e-06,9.661559e-06,1.086732e-05,1.109969e-05,1.256610e-05,1.280242e-05,1.404698e-05,1.475912e-05,1.552944e-05,1.670854e-05,1.700162e-05,1.845284e-05,1.862512e-05,1.987367e-05,2.048708e-05,2.125604e-05,2.227671e-05,2.259320e-05,2.387975e-05,2.398035e-05,2.511153e-05,2.558820e-05,2.628555e-05,2.709395e-05,2.739985e-05,2.845338e-05,2.849425e-05,2.944586e-05,2.978827e-05,3.037769e-05,3.097714e-05,3.124978e-05,3.206352e-05,3.282058e-05,3.305119e-05,3.352293e-05,3.394471e-05,3.417271e-05,3.474913e-05,3.477218e-05,3.532366e-05,3.546980e-05,3.582953e-05,3.611214e-05,3.629214e-05,3.668156e-05,3.671385e-05,3.709693e-05,3.718337e-05,3.744361e-05,3.762266e-05,3.775605e-05,3.800431e-05,3.803631e-05,3.828639e-05,3.833296e-05,3.850818e-05,3.861294e-05,3.870349e-05,3.884833e-05,3.887402e-05,3.902140e-05,3.904294e-05,3.914718e-05,3.920031e-05,3.925280e-05,3.932370e-05,3.933963e-05,3.940896e-05,3.941616e-05,3.946201e-05,3.948050e-05,3.949993e-05,3.951929e-05,3.952379e-05,3.953460e-05,3.953493e-05,3.953330e-05,3.952958e-05,3.952077e-05,3.950527e-05,3.949785e-05,3.946533e-05,3.946384e-05,3.942392e-05,3.940698e-05,3.937433e-05,3.933626e-05,3.931719e-05,3.925310e-05,3.918263e-05,3.915882e-05,3.910631e-05,3.905462e-05,3.902462e-05,3.894159e-05,3.893803e-05,3.884698e-05,3.882074e-05,3.875187e-05,3.869301e-05,3.865307e-05,3.855923e-05,3.855094e-05,3.844582e-05,3.842018e-05,3.833800e-05,3.827656e-05,3.822779e-05,3.812903e-05,3.811544e-05,3.800122e-05,3.797817e-05,3.788535e-05,3.782453e-05,3.776807e-05,3.766860e-05,3.764956e-05,3.753003e-05,3.751083e-05,3.740966e-05,3.735163e-05,3.728860e-05,3.719138e-05,3.716703e-05,3.704507e-05,3.703041e-05,3.692286e-05,3.686904e-05,3.680053e-05,3.670756e-05,3.667820e-05,3.655597e-05,3.654620e-05,3.643395e-05,3.638522e-05,3.631222e-05,3.622481e-05,3.619088e-05,3.607000e-05,3.606518e-05,3.594966e-05,3.590648e-05,3.582992e-05,3.574887e-05,3.571085e-05,3.559251e-05,3.543749e-05,3.528395e-05,3.513198e-05,3.498166e-05,3.483308e-05,3.468631e-05,3.454139e-05,3.439839e-05,3.425734e-05,3.411830e-05,3.398128e-05,3.384631e-05,3.371342e-05,3.358261e-05,3.345391e-05,3.332732e-05,3.320284e-05,3.308047e-05,3.296022e-05,3.284207e-05,3.272602e-05,3.261206e-05,3.250017e-05,3.239035e-05
0.000000e+00,3.875100e-09,9.050888e-09,3.182885e-08,7.340713e-08,1.078657e-07,2.500099e-07,2.577922e-07,5.124185e-07,6.072088e-07,9.055759e-07,1.217524e-06,1.457305e-06,2.099016e-06,2.160385e-06,2.996031e-06,3.214455e-06,3.948387e-06,4.528020e-06,5.005108e-06,6.012339e-06,6.154832e-06,7.385695e-06,7.640492e-06,8.684875e-06,9.382959e-06,1.003879e-05,1.120818e-05,1.143350e-05,1.285522e-05,1.308431e-05,1.429081e-05,1.498121e-05,1.572812e-05,1.687182e-05,1.715623e-05,1.856563e-05,1.873310e-05,1.994819e-05,2.054626e-05,2.129727e-05,2.229688e-05,2.260758e-05,2.387500e-05,2.397444e-05,2.509652e-05,2.557178e-05,2.627006e-05,2.708453e-05,2.739431e-05,2.846862e-05,2.851055e-05,2.949289e-05,2.984943e-05,3.046744e-05,3.110207e-05,3.139295e-05,3.227034e-05,3.310075e-05,3.335677e-05,3.388548e-05,3.436438e-05,3.462592e-05,3.529644e-05,3.532355e-05,3.597986e-05,3.615644e-05,3.659642e-05,3.694791e-05,3.717476e-05,3.767440e-05,3.771642e-05,3.822292e-05,3.833942e-05,3.869576e-05,3.894640e-05,3.913640e-05,3.949866e-05,3.954627e-05,3.992674e-05,3.999943e-05,4.027917e-05,4.045178e-05,4.060485e-05,4.085868e-05,4.090505e-05,4.118096e-05,4.122294e-05,4.143377e-05,4.154724e-05,4.166458e-05,4.183413e-05,4.187449e-05,4.206451e-05,4.208603e-05,4.223565e-05,4.230522e-05,4.238887e-05,4.249388e-05,4.252506e-05,4.264510e-05,4.265404e-05,4.274984e-05,4.278763e-05,4.284007e-05,4.289648e-05,4.291655e-05,4.298001e-05,4.298229e-05,4.303116e-05,4.304669e-05,4.307066e-05,4.309119e-05,4.309915e-05,4.311723e-05,4.312548e-05,4.312614e-05,4.312446e-05,4.311918e-05,4.311469e-05,4.309755e-05,4.309668e-05,4.307091e-05,4.306236e-05,4.303782e-05,4.301465e-05,4.299787e-05,4.295539e-05,4.295145e-05,4.289897e-05,4.288552e-05,4.284081e-05,4.280588e-05,4.277731e-05,4.271730e-05,4.270882e-05,4.263567e-05,4.262051e-05,4.255816e-05,4.251623e-05,4.247659e-05,4.240513e-05,4.239123e-05,4.230235e-05,4.228782e-05,4.221020e-05,4.216488e-05,4.211502e-05,4.203685e-05,4.201705e-05,4.191648e-05,4.190425e-05,4.181354e-05,4.176754e-05,4.170842e-05,4.162717e-05,4.160129e-05,4.149234e-05,4.148355e-05,4.138174e-05,4.133707e-05,4.126964e-05,4.118808e-05,4.115619e-05,4.104154e-05,4.103693e-05,4.092581e-05,4.088392e-05,4.080915e-05,4.072934e-05,4.069166e-05,4.057347e-05,4.041656e-05,4.025884e-05,4.010054e-05,3.994185e-05,3.978297e-05,3.962406e-05,3.946529e-05,3.930681e-05,3.914875e-05,3.899125e-05,3.883442e-05,3.867837e-05,3.852320e-05,3.836900e-05,3.821586e-05,3.806385e-05,3.791304e-05,3.776350e-05,3.761528e-05,3.746843e-05,3.732301e-05,3.717906e-05,3.703661e-05,3.689569e-05
0.000000e+00,1.160925e-13,7.599630e-13,1.216201e-11,7.486241e-11,1.707713e-10,9.917384e-10,1.055980e-09,4.175601e-09,5.807377e-09,1.246886e-08,2.183512e-08,3.072902e-08,6.226575e-08,6.590598e-08,1.272931e-07,1.471770e-07,2.266119e-07,3.039683e-07,3.779839e-07,5.671671e-07,5.977321e-07,9.039023e-07,9.771681e-07,1.315388e-06,1.577162e-06,1.850623e-06,2.407940e-06,2.525997e-06,3.354270e-06,3.501585e-06,4.343326e-06,4.876081e-06,5.495474e-06,6.532533e-06,6.807339e-06,8.270307e-06,8.455438e-06,9.871349e-06,1.061541e-05,1.159404e-05,1.297316e-05,1.341962e-05,1.532808e-05,1.548372e-05,1.729901e-05,1.810036e-05,1.931237e-05,2.077751e-05,2.134910e-05,2.339146e-05,2.347304e-05,2.542340e-05,2.614954e-05,2.743064e-05,2.877507e-05,2.940080e-05,3.132331e-05,3.318941e-05,3.377344e-05,3.499199e-05,3.610970e-05,3.672552e-05,3.832088e-05,3.838584e-05,3.997006e-05,4.039974e-05,4.147638e-05,4.234239e-05,4.290395e-05,4.414773e-05,4.425275e-05,4.552342e-05,4.581688e-05,4.671720e-05,4.735274e-05,4.783576e-05,4.875952e-05,4.888118e-05,4.985579e-05,5.004244e-05,5.076216e-05,5.120740e-05,5.160300e-05,5.226073e-05,5.238114e-05,5.309944e-05,5.320901e-05,5.376081e-05,5.405888e-05,5.436811e-05,5.481694e-05,5.492420e-05,5.543186e-05,5.548965e-05,5.589379e-05,5.608324e-05,5.631264e-05,5.660371e-05,5.669093e-05,5.703111e-05,5.705675e-05,5.733550e-05,5.744774e-05,5.760634e-05,5.778177e-05,5.784576e-05,5.805576e-05,5.806358e-05,5.823828e-05,5.829761e-05,5.839513e-05,5.848801e-05,5.852803e-05,5.863861e-05,5.872840e-05,5.875298e-05,5.879885e-05,5.883442e-05,5.885132e-05,5.888598e-05,5.888710e-05,5.890741e-05,5.891047e-05,5.891337e-05,5.891051e-05,5.890606e-05,5.888848e-05,5.888648e-05,5.885558e-05,5.884658e-05,5.881424e-05,5.878685e-05,5.876330e-05,5.871113e-05,5.870352e-05,5.863564e-05,5.862116e-05,5.856035e-05,5.851848e-05,5.847828e-05,5.840455e-05,5.839004e-05,5.829619e-05,5.828068e-05,5.819724e-05,5.814809e-05,5.809370e-05,5.800787e-05,5.798603e-05,5.787464e-05,5.786105e-05,5.775995e-05,5.770854e-05,5.764233e-05,5.755119e-05,5.752212e-05,5.739966e-05,5.738977e-05,5.727525e-05,5.722500e-05,5.714917e-05,5.705750e-05,5.702168e-05,5.689304e-05,5.688787e-05,5.676347e-05,5.671664e-05,5.663318e-05,5.654428e-05,5.650238e-05,5.637124e-05,5.619791e-05,5.602464e-05,5.585177e-05,5.567957e-05,5.550833e-05,5.533826e-05,5.516958e-05,5.500249e-05,5.483713e-05,5.467367e-05,5.451223e-05,5.435292e-05,5.419585e-05,5.404110e-05,5.388874e-05,5.373883e-05,5.359144e-05,5.344658e-05,5.330431e-05,5.316465e-05,5.302761e-05,5.289321e-05,5.276146e-05,5.263235e-05
0.000000e+00,3.549510e-10,1.091092e-09,5.096375e-09,1.327135e-08,2.029901e-08,4.964089e-08,5.124005e-08,1.025104e-07,1.210812e-07,1.782570e-07,2.370817e-07,2.823763e-07,4.064038e-07,4.185586e-07,5.899489e-07,6.365522e-07,7.981626e-07,9.305549e-07,1.042076e-06,1.283186e-06,1.317777e-06,1.619982e-06,1.683133e-06,1.943452e-06,2.118489e-06,2.283524e-06,2.578982e-06,2.636069e-06,2.997333e-06,3.055706e-06,3.363798e-06,3.540564e-06,3.732135e-06,4.026032e-06,4.099199e-06,4.462054e-06,4.505183e-06,4.818010e-06,4.971815e-06,5.164663e-06,5.420599e-06,5.499923e-06,5.822029e-06,5.847184e-06,6.129559e-06,6.248235e-06,6.421424e-06,6.621421e-06,6.696849e-06,6.955353e-06,6.965337e-06,7.196715e-06,7.279406e-06,7.420950e-06,7.563749e-06,7.628271e-06,7.819054e-06,7.993811e-06,8.046446e-06,8.153157e-06,8.247368e-06,8.297785e-06,8.423474e-06,8.428441e-06,8.545907e-06,8.576542e-06,8.650978e-06,8.708403e-06,8.744452e-06,8.820885e-06,8.827119e-06,8.899746e-06,8.915766e-06,8.963077e-06,8.994749e-06,9.017825e-06,9.059441e-06,9.064666e-06,9.104240e-06,9.111337e-06,9.137150e-06,9.151817e-06,9.163957e-06,9.182144e-06,9.185186e-06,9.201325e-06,9.203465e-06,9.212824e-06,9.216821e-06,9.220104e-06,9.223150e-06,9.223550e-06,9.223515e-06,9.223292e-06,9.220324e-06,9.217998e-06,9.214276e-06,9.207938e-06,9.205644e-06,9.194681e-06,9.193710e-06,9.181614e-06,9.175846e-06,9.166653e-06,9.154817e-06,9.149990e-06,9.131800e-06,9.131043e-06,9.112243e-06,9.104896e-06,9.091464e-06,9.076707e-06,9.069599e-06,9.046769e-06,9.023085e-06,9.015342e-06,8.998648e-06,8.982657e-06,8.973552e-06,8.948918e-06,8.947881e-06,8.921713e-06,8.914306e-06,8.895118e-06,8.878984e-06,8.868163e-06,8.843096e-06,8.840906e-06,8.813403e-06,8.806771e-06,8.785703e-06,8.770122e-06,8.757851e-06,8.733251e-06,8.729891e-06,8.701859e-06,8.696248e-06,8.673792e-06,8.659194e-06,8.645721e-06,8.622161e-06,8.617676e-06,8.589685e-06,8.585213e-06,8.561771e-06,8.548406e-06,8.533957e-06,8.511793e-06,8.506265e-06,8.478712e-06,8.475416e-06,8.451317e-06,8.439317e-06,8.424095e-06,8.403531e-06,8.397060e-06,8.370226e-06,8.368088e-06,8.343603e-06,8.333016e-06,8.317204e-06,8.298341e-06,8.291038e-06,8.265114e-06,8.264082e-06,8.239439e-06,8.230259e-06,8.214021e-06,8.196886e-06,8.188866e-06,8.163979e-06,8.131548e-06,8.099603e-06,8.068152e-06,8.037201e-06,8.006757e-06,7.976822e-06,7.947400e-06,7.918492e-06,7.890099e-06,7.862221e-06,7.834857e-06,7.808005e-06,7.781664e-06,7.755829e-06,7.730499e-06,7.705669e-06,7.681334e-06,7.657491e-06,7.634134e-06,7.611258e-06,7.588857e-06,7.566926e-06,7.545459e-06,7.524449e-06
0.000000e+00,5.417927e-13,3.441964e-12,5.177595e-11,3.012949e-10,6.665306e-10,3.578701e-09,3.798488e-09,1.391873e-08,1.896875e-08,3.873481e-08,6.520434e-08,8.948293e-08,1.717206e-07,1.809434e-07,3.313167e-07,3.784832e-07,5.619273e-07,7.348914e-07,8.964671e-07,1.296213e-06,1.359298e-06,1.972518e-06,2.114774e-06,2.752254e-06,3.226253e-06,3.705455e-06,4.637787e-06,4.828408e-06,6.107344e-06,6.325089e-06,7.520640e-06,8.239063e-06,9.041757e-06,1.031707e-05,1.064210e-05,1.229335e-05,1.249364e-05,1.396913e-05,1.470808e-05,1.564598e-05,1.690862e-05,1.730382e-05,1.892600e-05,1.905382e-05,2.049922e-05,2.111238e-05,2.201311e-05,2.306199e-05,2.346002e-05,2.483456e-05,2.488798e-05,2.613329e-05,2.658189e-05,2.735442e-05,2.814016e-05,2.849746e-05,2.956302e-05,3.055256e-05,3.085349e-05,3.146821e-05,3.201663e-05,3.231257e-05,3.305885e-05,3.308862e-05,3.379958e-05,3.398744e-05,3.444880e-05,3.481013e-05,3.503972e-05,3.553482e-05,3.557576e-05,3.606032e-05,3.616933e-05,3.649671e-05,3.672125e-05,3.688813e-05,3.719784e-05,3.723767e-05,3.754825e-05,3.760594e-05,3.782266e-05,3.795195e-05,3.806355e-05,3.824181e-05,3.827339e-05,3.845453e-05,3.848100e-05,3.860915e-05,3.867455e-05,3.873929e-05,3.882707e-05,3.884687e-05,3.893366e-05,3.894276e-05,3.900133e-05,3.902544e-05,3.905140e-05,3.907858e-05,3.908532e-05,3.910441e-05,3.910533e-05,3.910990e-05,3.910855e-05,3.910294e-05,3.909082e-05,3.908459e-05,3.905582e-05,3.905447e-05,3.901755e-05,3.900161e-05,3.897062e-05,3.893415e-05,3.891580e-05,3.885382e-05,3.878535e-05,3.876216e-05,3.871099e-05,3.866059e-05,3.863134e-05,3.855037e-05,3.854690e-05,3.845818e-05,3.843263e-05,3.836562e-05,3.830842e-05,3.826964e-05,3.817866e-05,3.817064e-05,3.806896e-05,3.804420e-05,3.796494e-05,3.790578e-05,3.785889e-05,3.776410e-05,3.775108e-05,3.764178e-05,3.761977e-05,3.753124e-05,3.747333e-05,3.741966e-05,3.732530e-05,3.730727e-05,3.719424e-05,3.717611e-05,3.708076e-05,3.702618e-05,3.696698e-05,3.687585e-05,3.685306e-05,3.673913e-05,3.672546e-05,3.662531e-05,3.657530e-05,3.651172e-05,3.642562e-05,3.639847e-05,3.628566e-05,3.627666e-05,3.617337e-05,3.612862e-05,3.606169e-05,3.598170e-05,3.595070e-05,3.584045e-05,3.583605e-05,3.573101e-05,3.569183e-05,3.562245e-05,3.554914e-05,3.551480e-05,3.540812e-05,3.526886e-05,3.513143e-05,3.499592e-05,3.486240e-05,3.473090e-05,3.460148e-05,3.447418e-05,3.434902e-05,3.422602e-05,3.410522e-05,3.398661e-05,3.387020e-05,3.375600e-05,3.364401e-05,3.353421e-05,3.342661e-05,3.332118e-05,3.321792e-05,3.311681e-05,3.301783e-05,3.292096e-05,3.282618e-05,3.273346e-05,3.264278e-05
0.000000e+00,6.804523e-09,1.596162e-08,5.679439e-08,1.330769e-07,1.977826e-07,4.769193e-07,4.927151e-07,1.033719e-06,1.245205e-06,1.936339e-06,2.686548e-06,3.274136e-06,4.865876e-06,5.018620e-06,7.095532e-06,7.636466e-06,9.446801e-06,1.086932e-05,1.203639e-05,1.449306e-05,1.484014e-05,1.783816e-05,1.845939e-05,2.101110e-05,2.272346e-05,2.433863e-05,2.723749e-05,2.779920e-05,3.137043e-05,3.195058e-05,3.502960e-05,3.681061e-05,3.875426e-05,4.176667e-05,4.252293e-05,4.631542e-05,4.677122e-05,5.011322e-05,5.178158e-05,5.389970e-05,5.676071e-05,5.766012e-05,6.138171e-05,6.167742e-05,6.505350e-05,6.650614e-05,6.866623e-05,7.122647e-05,7.221224e-05,7.568531e-05,7.582264e-05,7.908050e-05,8.028292e-05,8.239385e-05,8.459855e-05,8.562223e-05,8.876335e-05,9.181563e-05,9.277342e-05,9.477806e-05,9.662661e-05,9.765014e-05,1.003223e-04,1.004318e-04,1.031235e-04,1.038610e-04,1.057255e-04,1.072442e-04,1.082390e-04,1.104740e-04,1.106649e-04,1.130047e-04,1.135537e-04,1.152601e-04,1.164867e-04,1.174323e-04,1.192762e-04,1.195228e-04,1.215332e-04,1.219258e-04,1.234651e-04,1.244393e-04,1.253202e-04,1.268204e-04,1.271002e-04,1.288067e-04,1.290730e-04,1.304415e-04,1.312012e-04,1.320062e-04,1.332088e-04,1.335027e-04,1.349326e-04,1.350998e-04,1.362977e-04,1.368783e-04,1.375997e-04,1.385480e-04,1.388403e-04,1.400211e-04,1.401130e-04,1.411438e-04,1.415771e-04,1.422102e-04,1.429439e-04,1.432217e-04,1.441799e-04,1.442172e-04,1.450866e-04,1.454006e-04,1.459431e-04,1.464977e-04,1.467511e-04,1.475119e-04,1.482272e-04,1.484467e-04,1.488983e-04,1.493052e-04,1.495265e-04,1.500907e-04,1.501134e-04,1.506603e-04,1.508064e-04,1.511684e-04,1.514552e-04,1.516390e-04,1.520401e-04,1.520735e-04,1.524730e-04,1.525639e-04,1.528388e-04,1.530293e-04,1.531720e-04,1.534392e-04,1.534738e-04,1.537452e-04,1.537960e-04,1.539874e-04,1.541022e-04,1.542015e-04,1.543602e-04,1.543884e-04,1.545491e-04,1.545725e-04,1.546847e-04,1.547411e-04,1.547960e-04,1.548683e-04,1.548841e-04,1.549498e-04,1.549562e-04,1.549940e-04,1.550068e-04,1.550175e-04,1.550221e-04,1.550212e-04,1.550058e-04,1.550038e-04,1.549722e-04,1.549538e-04,1.549211e-04,1.548738e-04,1.548532e-04,1.547692e-04,1.547655e-04,1.546699e-04,1.546305e-04,1.545559e-04,1.544703e-04,1.544278e-04,1.542863e-04,1.540801e-04,1.538529e-04,1.536060e-04,1.533407e-04,1.530582e-04,1.527595e-04,1.524459e-04,1.521183e-04,1.517778e-04,1.514253e-04,1.510617e-04,1.506879e-04,1.503047e-04,1.499129e-04,1.495133e-04,1.491065e-04,1.486934e-04,1.482745e-04,1.478504e-04,1.474219e-04,1.469893e-04,1.465533e-04,1.461143e-04,1.456729e-04
0.000000e+00,5.298674e-11,2.382133e-10,1.880306e-09,6.578189e-09,1.132836e-08,3.460569e-08,3.598070e-08,8.365865e-08,1.022594e-07,1.628057e-07,2.292870e-07,2.828009e-07,4.368287e-07,4.523541e-07,6.753316e-07,7.365711e-07,9.486935e-07,1.121311e-06,1.265749e-06,1.575630e-06,1.619897e-06,2.005716e-06,2.086266e-06,2.418585e-06,2.642528e-06,2.854172e-06,3.234452e-06,3.308141e-06,3.776074e-06,3.851941e-06,4.253514e-06,4.484765e-06,4.736061e-06,5.122929e-06,5.219492e-06,5.699865e-06,5.757130e-06,6.173608e-06,6.379129e-06,6.637583e-06,6.982008e-06,7.089115e-06,7.526004e-06,7.560267e-06,7.946511e-06,8.109821e-06,8.349331e-06,8.627884e-06,8.733554e-06,9.098625e-06,9.112825e-06,9.444289e-06,9.563970e-06,9.770548e-06,9.981420e-06,1.007761e-05,1.036586e-05,1.063580e-05,1.071841e-05,1.088804e-05,1.104050e-05,1.112327e-05,1.133376e-05,1.134222e-05,1.154563e-05,1.159991e-05,1.173429e-05,1.184073e-05,1.190896e-05,1.205796e-05,1.207040e-05,1.221935e-05,1.225332e-05,1.235653e-05,1.242847e-05,1.248263e-05,1.258497e-05,1.259832e-05,1.270423e-05,1.272429e-05,1.280095e-05,1.284780e-05,1.288905e-05,1.295679e-05,1.296907e-05,1.304152e-05,1.305244e-05,1.310686e-05,1.313584e-05,1.316556e-05,1.320800e-05,1.321801e-05,1.326463e-05,1.326985e-05,1.330578e-05,1.332224e-05,1.334180e-05,1.336594e-05,1.337301e-05,1.339973e-05,1.340168e-05,1.342224e-05,1.343012e-05,1.344079e-05,1.345185e-05,1.345565e-05,1.346704e-05,1.346743e-05,1.347518e-05,1.347736e-05,1.348028e-05,1.348211e-05,1.348253e-05,1.348211e-05,1.347919e-05,1.347775e-05,1.347393e-05,1.346940e-05,1.346647e-05,1.345737e-05,1.345696e-05,1.344552e-05,1.344199e-05,1.343228e-05,1.342352e-05,1.341736e-05,1.340224e-05,1.340086e-05,1.338289e-05,1.337837e-05,1.336354e-05,1.335214e-05,1.334291e-05,1.332376e-05,1.332107e-05,1.329812e-05,1.329340e-05,1.327412e-05,1.326125e-05,1.324915e-05,1.322747e-05,1.322327e-05,1.319655e-05,1.319220e-05,1.316905e-05,1.315559e-05,1.314083e-05,1.311776e-05,1.311193e-05,1.308242e-05,1.307883e-05,1.305233e-05,1.303892e-05,1.302171e-05,1.299812e-05,1.299061e-05,1.295907e-05,1.295653e-05,1.292712e-05,1.291424e-05,1.289481e-05,1.287133e-05,1.286216e-05,1.282921e-05,1.282788e-05,1.279598e-05,1.278396e-05,1.276252e-05,1.273964e-05,1.272884e-05,1.269498e-05,1.265003e-05,1.260485e-05,1.255950e-05,1.251401e-05,1.246843e-05,1.242280e-05,1.237716e-05,1.233154e-05,1.228598e-05,1.224050e-05,1.219514e-05,1.214992e-05,1.210487e-05,1.206001e-05,1.201535e-05,1.197093e-05,1.192675e-05,1.188283e-05,1.183920e-05,1.179586e-05,1.175282e-05,1.171011e-05,1.166772e-05,1.162567e-05
0.000000e+00,1.689935e-14,1.132641e-13,1.904012e-12,1.226102e-11,2.867311e-11,1.775845e-10,1.895835e-10,7.989659e-10,1.130488e-09,2.533794e-09,4.592037e-09,6.606942e-09,1.405215e-08,1.493408e-08,3.027691e-08,3.539470e-08,5.635039e-08,7.735953e-08,9.788474e-08,1.517694e-07,1.606333e-07,2.513151e-07,2.734556e-07,3.774837e-07,4.598136e-07,5.473194e-07,7.299692e-07,7.693589e-07,1.052182e-06,1.103635e-06,1.404082e-06,1.599821e-06,1.832755e-06,2.235581e-06,2.345008e-06,2.946529e-06,3.024932e-06,3.641693e-06,3.978044e-06,4.433445e-06,5.100716e-06,5.323224e-06,6.310947e-06,6.394159e-06,7.395046e-06,7.855049e-06,8.572542e-06,9.475813e-06,9.839153e-06,1.118943e-05,1.124510e-05,1.261693e-05,1.314835e-05,1.411435e-05,1.516850e-05,1.567374e-05,1.728666e-05,1.894436e-05,1.948282e-05,2.063792e-05,2.173650e-05,2.235843e-05,2.402732e-05,2.409711e-05,2.584540e-05,2.633552e-05,2.759512e-05,2.864238e-05,2.933849e-05,3.093051e-05,3.106823e-05,3.277761e-05,3.318414e-05,3.446047e-05,3.538919e-05,3.611125e-05,3.753346e-05,3.772500e-05,3.929736e-05,3.960652e-05,4.082456e-05,4.159978e-05,4.230341e-05,4.350633e-05,4.373126e-05,4.510598e-05,4.532089e-05,4.642592e-05,4.703966e-05,4.768987e-05,4.866018e-05,4.889705e-05,5.004704e-05,5.018119e-05,5.113976e-05,5.160247e-05,5.217544e-05,5.292470e-05,5.315457e-05,5.407786e-05,5.414934e-05,5.494624e-05,5.527846e-05,5.576082e-05,5.631470e-05,5.652284e-05,5.723368e-05,5.726106e-05,5.789478e-05,5.812090e-05,5.850771e-05,5.889779e-05,5.907405e-05,5.959547e-05,6.007362e-05,6.021777e-05,6.051021e-05,6.076860e-05,6.090694e-05,6.125185e-05,6.126548e-05,6.158751e-05,6.167137e-05,6.187470e-05,6.203096e-05,6.212865e-05,6.233432e-05,6.235098e-05,6.254324e-05,6.258507e-05,6.270693e-05,6.278668e-05,6.284354e-05,6.294250e-05,6.295451e-05,6.304120e-05,6.305574e-05,6.310496e-05,6.312948e-05,6.314708e-05,6.316665e-05,6.316880e-05,6.317130e-05,6.316999e-05,6.315574e-05,6.314217e-05,6.312320e-05,6.308565e-05,6.307474e-05,6.301137e-05,6.300281e-05,6.293404e-05,6.289583e-05,6.284368e-05,6.276683e-05,6.274116e-05,6.262733e-05,6.261776e-05,6.250297e-05,6.245046e-05,6.236885e-05,6.226665e-05,6.222569e-05,6.207417e-05,6.206794e-05,6.191494e-05,6.185585e-05,6.174862e-05,6.163178e-05,6.157580e-05,6.139704e-05,6.115285e-05,6.090035e-05,6.064061e-05,6.037459e-05,6.010323e-05,5.982735e-05,5.954774e-05,5.926513e-05,5.898019e-05,5.869352e-05,5.840570e-05,5.811725e-05,5.782865e-05,5.754034e-05,5.725271e-05,5.696615e-05,5.668098e-05,5.639751e-05,5.611602e-05,5.583675e-05,5.555994e-05,5.528579e-05,5.501448e-05,5.474616e-05
0.000000e+00,6.273979e-09,1.454941e-08,5.078378e-08,1.165099e-07,1.706108e-07,3.903216e-07,4.021970e-07,7.834387e-07,9.225376e-07,1.355782e-06,1.809809e-06,2.164895e-06,3.157739e-06,3.256359e-06,4.662482e-06,5.047914e-06,6.387707e-06,7.485879e-06,8.410780e-06,1.041283e-05,1.070070e-05,1.322780e-05,1.375934e-05,1.596610e-05,1.746561e-05,1.889205e-05,2.147836e-05,2.198310e-05,2.521681e-05,2.574594e-05,2.857063e-05,3.021648e-05,3.202195e-05,3.483817e-05,3.554842e-05,3.912832e-05,3.956050e-05,4.274092e-05,4.433576e-05,4.636677e-05,4.912021e-05,4.998799e-05,5.358838e-05,5.387507e-05,5.715348e-05,5.856674e-05,6.067063e-05,6.316713e-05,6.412896e-05,6.751916e-05,6.765323e-05,7.083346e-05,7.200677e-05,7.406555e-05,7.621380e-05,7.721040e-05,8.026408e-05,8.322371e-05,8.415057e-05,8.608726e-05,8.786891e-05,8.885349e-05,9.141695e-05,9.152180e-05,9.409214e-05,9.479432e-05,9.656494e-05,9.800213e-05,9.894102e-05,1.010426e-04,1.012215e-04,1.034079e-04,1.039189e-04,1.055019e-04,1.066348e-04,1.075052e-04,1.091947e-04,1.094198e-04,1.112478e-04,1.116032e-04,1.129913e-04,1.138653e-04,1.146526e-04,1.159861e-04,1.162338e-04,1.177373e-04,1.179708e-04,1.191653e-04,1.198246e-04,1.205201e-04,1.215528e-04,1.218040e-04,1.230193e-04,1.231606e-04,1.241681e-04,1.246532e-04,1.252528e-04,1.260355e-04,1.262753e-04,1.272380e-04,1.273125e-04,1.281429e-04,1.284891e-04,1.289920e-04,1.295700e-04,1.297874e-04,1.305310e-04,1.305596e-04,1.312247e-04,1.314626e-04,1.318704e-04,1.322831e-04,1.324701e-04,1.330253e-04,1.335379e-04,1.336932e-04,1.340095e-04,1.342907e-04,1.344419e-04,1.348214e-04,1.348365e-04,1.351949e-04,1.352890e-04,1.355187e-04,1.356969e-04,1.358092e-04,1.360484e-04,1.360680e-04,1.362963e-04,1.363467e-04,1.364954e-04,1.365947e-04,1.366668e-04,1.367955e-04,1.368115e-04,1.369309e-04,1.369518e-04,1.370260e-04,1.370662e-04,1.370980e-04,1.371414e-04,1.371480e-04,1.371770e-04,1.371797e-04,1.371860e-04,1.371835e-04,1.371760e-04,1.371550e-04,1.371480e-04,1.371028e-04,1.370963e-04,1.370414e-04,1.370094e-04,1.369645e-04,1.368963e-04,1.368731e-04,1.367678e-04,1.367588e-04,1.366494e-04,1.365985e-04,1.365187e-04,1.364173e-04,1.363763e-04,1.362230e-04,1.362166e-04,1.360593e-04,1.359980e-04,1.358859e-04,1.357628e-04,1.357034e-04,1.355124e-04,1.352482e-04,1.349712e-04,1.346827e-04,1.343837e-04,1.340752e-04,1.337583e-04,1.334339e-04,1.331027e-04,1.327657e-04,1.324235e-04,1.320770e-04,1.317268e-04,1.313735e-04,1.310178e-04,1.306602e-04,1.303012e-04,1.299414e-04,1.295811e-04,1.292210e-04,1.288612e-04,1.285023e-04,1.281445e-04,1.277883e-04,1.274338e-04
0.000000e+00,7.944651e-12,4.561019e-11,5.601089e-10,2.733404e-09,5.510526e-09,2.356751e-08,2.479403e-08,7.385363e-08,9.542875e-08,1.714020e-07,2.615534e-07,3.375653e-07,5.687242e-07,5.929218e-07,9.581156e-07,1.064379e-06,1.453445e-06,1.794810e-06,2.097745e-06,2.800197e-06,2.906263e-06,3.888304e-06,4.105855e-06,5.046119e-06,5.716499e-06,6.375645e-06,7.619025e-06,7.868399e-06,9.513320e-06,9.789813e-06,1.129803e-05,1.220052e-05,1.320945e-05,1.482079e-05,1.523412e-05,1.735820e-05,1.761911e-05,1.956764e-05,2.056319e-05,2.184829e-05,2.362053e-05,2.418605e-05,2.656712e-05,2.675907e-05,2.897812e-05,2.994802e-05,3.140634e-05,3.315860e-05,3.383987e-05,3.626770e-05,3.636455e-05,3.867982e-05,3.954257e-05,4.106723e-05,4.267245e-05,4.342198e-05,4.573714e-05,4.800675e-05,4.872256e-05,5.022580e-05,5.161751e-05,5.239013e-05,5.441327e-05,5.449637e-05,5.654185e-05,5.710341e-05,5.852456e-05,5.968344e-05,6.044306e-05,6.215053e-05,6.229638e-05,6.408401e-05,6.450324e-05,6.580580e-05,6.674131e-05,6.746194e-05,6.886539e-05,6.905288e-05,7.057928e-05,7.087689e-05,7.204203e-05,7.277784e-05,7.344215e-05,7.457071e-05,7.478081e-05,7.605927e-05,7.625833e-05,7.727887e-05,7.784379e-05,7.844103e-05,7.933038e-05,7.954721e-05,8.059889e-05,8.072150e-05,8.159759e-05,8.202063e-05,8.254484e-05,8.323129e-05,8.344218e-05,8.429113e-05,8.435700e-05,8.509322e-05,8.540127e-05,8.584995e-05,8.636756e-05,8.656282e-05,8.723331e-05,8.725927e-05,8.786285e-05,8.807974e-05,8.845287e-05,8.883223e-05,8.900477e-05,8.951991e-05,8.999963e-05,9.014588e-05,9.044524e-05,9.071311e-05,9.085800e-05,9.122450e-05,9.123916e-05,9.158993e-05,9.168286e-05,9.191149e-05,9.209089e-05,9.220499e-05,9.245118e-05,9.247154e-05,9.271222e-05,9.276625e-05,9.292808e-05,9.303850e-05,9.312014e-05,9.327026e-05,9.328940e-05,9.343681e-05,9.346375e-05,9.356330e-05,9.362110e-05,9.366977e-05,9.374437e-05,9.375709e-05,9.382610e-05,9.383550e-05,9.387763e-05,9.389639e-05,9.391246e-05,9.392882e-05,9.393136e-05,9.393505e-05,9.393451e-05,9.392426e-05,9.391510e-05,9.389967e-05,9.387216e-05,9.386194e-05,9.381172e-05,9.380718e-05,9.374962e-05,9.372159e-05,9.367625e-05,9.361676e-05,9.359217e-05,9.349794e-05,9.349396e-05,9.339409e-05,9.335445e-05,9.328115e-05,9.319940e-05,9.315959e-05,9.302991e-05,9.284707e-05,9.265187e-05,9.244527e-05,9.222819e-05,9.200150e-05,9.176600e-05,9.152249e-05,9.127169e-05,9.101431e-05,9.075101e-05,9.048240e-05,9.020909e-05,8.993162e-05,8.965053e-05,8.936631e-05,8.907942e-05,8.879033e-05,8.849942e-05,8.820711e-05,8.791375e-05,8.761968e-05,8.732524e-05,8.703073e-05,8.673643e-05
0.000000e+00,9.115774e-10,3.490328e-09,2.159563e-08,6.531373e-08,1.060988e-07,2.924918e-07,3.031946e-07,6.684302e-07,8.100261e-07,1.273125e-06,1.788395e-06,2.208941e-06,3.445297e-06,3.571719e-06,5.410541e-06,5.920034e-06,7.685981e-06,9.114973e-06,1.030020e-05,1.280235e-05,1.315493e-05,1.617618e-05,1.679555e-05,1.931203e-05,2.097495e-05,2.252436e-05,2.525935e-05,2.578263e-05,2.906027e-05,2.958484e-05,3.233295e-05,3.389536e-05,3.557798e-05,3.813982e-05,3.877420e-05,4.190219e-05,4.227212e-05,4.494471e-05,4.625241e-05,4.788680e-05,5.004776e-05,5.071585e-05,5.342178e-05,5.363269e-05,5.599690e-05,5.698904e-05,5.843579e-05,6.010549e-05,6.073512e-05,6.289345e-05,6.297684e-05,6.491095e-05,6.560305e-05,6.678929e-05,6.798848e-05,6.853127e-05,7.014024e-05,7.162068e-05,7.206804e-05,7.297738e-05,7.378322e-05,7.421574e-05,7.529827e-05,7.534120e-05,7.635950e-05,7.662621e-05,7.727638e-05,7.778018e-05,7.809750e-05,7.877319e-05,7.882848e-05,7.947480e-05,7.961791e-05,8.004175e-05,8.032649e-05,8.053444e-05,8.091049e-05,8.095778e-05,8.131644e-05,8.138080e-05,8.161485e-05,8.174763e-05,8.185724e-05,8.202048e-05,8.204759e-05,8.218967e-05,8.220816e-05,8.228700e-05,8.231882e-05,8.234294e-05,8.235999e-05,8.236060e-05,8.234293e-05,8.233856e-05,8.229266e-05,8.226089e-05,8.221238e-05,8.213279e-05,8.210450e-05,8.197125e-05,8.195956e-05,8.181476e-05,8.174609e-05,8.163697e-05,8.149682e-05,8.143973e-05,8.122473e-05,8.121579e-05,8.099358e-05,8.090670e-05,8.074776e-05,8.057293e-05,8.048864e-05,8.021753e-05,7.993561e-05,7.984330e-05,7.964400e-05,7.945277e-05,7.934375e-05,7.904826e-05,7.903581e-05,7.872108e-05,7.863186e-05,7.840040e-05,7.820546e-05,7.807455e-05,7.777081e-05,7.774423e-05,7.741013e-05,7.732945e-05,7.707286e-05,7.688282e-05,7.673299e-05,7.643219e-05,7.639106e-05,7.604757e-05,7.597872e-05,7.570295e-05,7.552346e-05,7.535766e-05,7.506736e-05,7.501206e-05,7.466653e-05,7.461127e-05,7.432139e-05,7.415596e-05,7.397697e-05,7.370212e-05,7.363353e-05,7.329134e-05,7.325037e-05,7.295064e-05,7.280126e-05,7.261165e-05,7.235529e-05,7.227458e-05,7.193960e-05,7.191290e-05,7.160689e-05,7.147447e-05,7.127660e-05,7.104036e-05,7.094887e-05,7.062382e-05,7.061088e-05,7.030158e-05,7.018628e-05,6.998225e-05,6.976681e-05,6.966592e-05,6.935267e-05,6.894403e-05,6.854104e-05,6.814384e-05,6.775251e-05,6.736715e-05,6.698783e-05,6.661459e-05,6.624747e-05,6.588650e-05,6.553169e-05,6.518303e-05,6.484052e-05,6.450414e-05,6.417386e-05,6.384964e-05,6.353145e-05,6.321925e-05,6.291298e-05,6.261257e-05,6.231799e-05,6.202915e-05,6.174600e-05,6.146846e-05,6.119646e-05
0.000000e+00,2.649014e-09,6.181285e-09,2.155833e-08,4.911297e-08,7.155707e-08,1.612699e-07,1.660685e-07,3.182234e-07,3.730137e-07,5.418796e-07,7.166283e-07,8.521163e-07,1.227198e-06,1.264235e-06,1.789656e-06,1.932992e-06,2.428927e-06,2.831950e-06,3.168154e-06,3.883270e-06,3.984509e-06,4.854897e-06,5.033705e-06,5.760310e-06,6.239932e-06,6.686001e-06,7.470687e-06,7.620352e-06,8.553790e-06,8.702492e-06,9.478107e-06,9.916393e-06,1.038611e-05,1.109649e-05,1.127148e-05,1.212872e-05,1.222947e-05,1.295317e-05,1.330452e-05,1.374100e-05,1.431339e-05,1.448922e-05,1.519564e-05,1.525030e-05,1.585883e-05,1.611181e-05,1.647805e-05,1.689657e-05,1.705317e-05,1.758461e-05,1.760497e-05,1.807323e-05,1.823888e-05,1.852026e-05,1.880123e-05,1.892719e-05,1.929573e-05,1.962777e-05,1.972663e-05,1.992526e-05,2.009845e-05,2.019021e-05,2.041584e-05,2.042466e-05,2.063061e-05,2.068344e-05,2.081004e-05,2.090575e-05,2.096483e-05,2.108707e-05,2.109683e-05,2.120777e-05,2.123145e-05,2.129932e-05,2.134271e-05,2.137305e-05,2.142435e-05,2.143041e-05,2.147277e-05,2.147955e-05,2.150138e-05,2.151122e-05,2.151743e-05,2.152202e-05,2.152203e-05,2.151618e-05,2.151434e-05,2.150082e-05,2.149033e-05,2.147681e-05,2.145191e-05,2.144494e-05,2.140594e-05,2.140082e-05,2.136049e-05,2.133861e-05,2.130921e-05,2.126669e-05,2.125267e-05,2.119139e-05,2.118630e-05,2.112585e-05,2.109854e-05,2.105650e-05,2.100443e-05,2.098373e-05,2.090793e-05,2.090484e-05,2.082943e-05,2.080058e-05,2.074855e-05,2.069234e-05,2.066558e-05,2.058078e-05,2.049439e-05,2.046644e-05,2.040663e-05,2.034985e-05,2.031772e-05,2.023145e-05,2.022783e-05,2.013715e-05,2.011164e-05,2.004583e-05,1.999079e-05,1.995401e-05,1.986921e-05,1.986183e-05,1.976941e-05,1.974721e-05,1.967687e-05,1.962503e-05,1.958430e-05,1.950290e-05,1.949180e-05,1.939946e-05,1.938102e-05,1.930736e-05,1.925958e-05,1.921557e-05,1.913875e-05,1.912415e-05,1.903316e-05,1.901865e-05,1.894267e-05,1.889943e-05,1.885272e-05,1.878118e-05,1.876336e-05,1.867462e-05,1.866402e-05,1.858656e-05,1.854803e-05,1.849919e-05,1.843328e-05,1.841256e-05,1.832668e-05,1.831984e-05,1.824159e-05,1.820778e-05,1.815730e-05,1.809713e-05,1.807385e-05,1.799123e-05,1.798794e-05,1.790948e-05,1.788026e-05,1.782859e-05,1.777410e-05,1.774860e-05,1.766949e-05,1.756646e-05,1.746502e-05,1.736518e-05,1.726695e-05,1.717033e-05,1.707532e-05,1.698193e-05,1.689015e-05,1.679998e-05,1.671140e-05,1.662441e-05,1.653900e-05,1.645516e-05,1.637286e-05,1.629210e-05,1.621287e-05,1.613513e-05,1.605889e-05,1.598411e-05,1.591079e-05,1.583889e-05,1.576841e-05,1.569932e-05,1.563160e-05
0.000000e+00,1.728643e-09,3.956298e-09,1.355972e-08,3.070238e-08,4.464809e-08,1.002488e-07,1.032150e-07,1.967514e-07,2.301654e-07,3.322056e-07,4.363245e-07,5.160822e-07,7.331123e-07,7.542895e-07,1.051435e-06,1.131813e-06,1.409466e-06,1.636026e-06,1.826540e-06,2.238356e-06,2.297498e-06,2.815557e-06,2.924197e-06,3.373652e-06,3.677397e-06,3.964930e-06,4.482424e-06,4.582807e-06,5.220926e-06,5.324490e-06,5.873150e-06,6.189490e-06,6.533603e-06,7.064153e-06,7.196742e-06,7.857433e-06,7.936325e-06,8.511012e-06,8.795248e-06,9.153338e-06,9.631748e-06,9.780816e-06,1.039041e-05,1.043832e-05,1.097961e-05,1.120912e-05,1.154644e-05,1.193984e-05,1.208939e-05,1.260738e-05,1.262757e-05,1.309973e-05,1.327061e-05,1.356607e-05,1.386828e-05,1.400634e-05,1.442069e-05,1.480950e-05,1.492860e-05,1.517329e-05,1.539328e-05,1.551271e-05,1.581633e-05,1.582852e-05,1.612154e-05,1.619962e-05,1.639265e-05,1.654518e-05,1.664276e-05,1.685511e-05,1.687280e-05,1.708370e-05,1.713157e-05,1.727639e-05,1.737669e-05,1.745180e-05,1.759257e-05,1.761082e-05,1.775434e-05,1.778125e-05,1.788320e-05,1.794470e-05,1.799824e-05,1.808476e-05,1.810023e-05,1.818995e-05,1.820321e-05,1.826811e-05,1.830173e-05,1.833542e-05,1.838190e-05,1.839254e-05,1.844010e-05,1.844519e-05,1.847869e-05,1.849298e-05,1.850890e-05,1.852657e-05,1.853125e-05,1.854626e-05,1.854716e-05,1.855442e-05,1.855588e-05,1.855620e-05,1.855376e-05,1.855201e-05,1.854229e-05,1.854179e-05,1.852740e-05,1.852085e-05,1.850773e-05,1.849180e-05,1.848362e-05,1.845539e-05,1.842335e-05,1.841234e-05,1.838779e-05,1.836332e-05,1.834900e-05,1.830894e-05,1.830721e-05,1.826269e-05,1.824976e-05,1.821565e-05,1.818631e-05,1.816631e-05,1.811906e-05,1.811487e-05,1.806153e-05,1.804846e-05,1.800645e-05,1.797492e-05,1.794982e-05,1.789881e-05,1.789178e-05,1.783249e-05,1.782049e-05,1.777208e-05,1.774026e-05,1.771068e-05,1.765843e-05,1.764841e-05,1.758540e-05,1.757526e-05,1.752174e-05,1.749099e-05,1.745754e-05,1.740585e-05,1.739289e-05,1.732788e-05,1.732006e-05,1.726259e-05,1.723379e-05,1.719709e-05,1.714722e-05,1.713146e-05,1.706577e-05,1.706051e-05,1.700007e-05,1.697381e-05,1.693443e-05,1.688723e-05,1.686890e-05,1.680352e-05,1.680091e-05,1.673835e-05,1.671495e-05,1.667343e-05,1.662944e-05,1.660879e-05,1.654448e-05,1.646014e-05,1.637650e-05,1.629361e-05,1.621155e-05,1.613035e-05,1.605006e-05,1.597072e-05,1.589237e-05,1.581504e-05,1.573875e-05,1.566353e-05,1.558938e-05,1.551634e-05,1.544441e-05,1.537359e-05,1.530391e-05,1.523536e-05,1.516794e-05,1.510165e-05,1.503650e-05,1.497249e-05,1.490959e-05,1.484783e-05,1.478717e-05
0.000000e+00,2.932995e-09,6.745915e-09,2.331142e-08,5.317489e-08,7.767463e-08,1.768380e-07,1.821891e-07,3.537717e-07,4.163167e-07,6.109278e-07,8.142523e-07,9.724523e-07,1.408694e-06,1.451443e-06,2.049224e-06,2.209626e-06,2.758450e-06,3.200853e-06,3.569973e-06,4.362145e-06,4.475520e-06,5.467449e-06,5.675528e-06,6.538036e-06,7.123123e-06,7.679057e-06,8.685478e-06,8.881647e-06,1.013639e-05,1.034134e-05,1.143351e-05,1.206827e-05,1.276311e-05,1.384360e-05,1.411542e-05,1.548099e-05,1.564532e-05,1.685092e-05,1.745293e-05,1.821700e-05,1.924804e-05,1.957180e-05,2.090870e-05,2.101470e-05,2.222198e-05,2.273955e-05,2.350673e-05,2.441175e-05,2.475883e-05,2.597491e-05,2.602277e-05,2.715237e-05,2.756640e-05,2.828922e-05,2.903832e-05,2.938402e-05,3.043583e-05,3.144414e-05,3.175758e-05,3.240878e-05,3.300328e-05,3.332988e-05,3.417354e-05,3.420784e-05,3.504325e-05,3.526964e-05,3.583688e-05,3.629337e-05,3.658963e-05,3.724692e-05,3.730250e-05,3.797659e-05,3.813272e-05,3.861303e-05,3.895343e-05,3.921301e-05,3.971179e-05,3.977774e-05,4.030845e-05,4.041062e-05,4.080637e-05,4.105274e-05,4.127273e-05,4.164097e-05,4.170875e-05,4.211562e-05,4.217809e-05,4.249452e-05,4.266680e-05,4.284662e-05,4.310976e-05,4.317304e-05,4.347489e-05,4.350951e-05,4.375323e-05,4.386852e-05,4.400911e-05,4.418918e-05,4.424354e-05,4.445749e-05,4.447376e-05,4.465192e-05,4.472443e-05,4.482774e-05,4.494329e-05,4.498582e-05,4.512702e-05,4.513233e-05,4.525216e-05,4.529343e-05,4.536203e-05,4.542840e-05,4.545738e-05,4.553896e-05,4.560745e-05,4.562672e-05,4.566354e-05,4.569322e-05,4.570787e-05,4.573994e-05,4.574106e-05,4.576371e-05,4.576825e-05,4.577640e-05,4.577945e-05,4.577966e-05,4.577479e-05,4.577403e-05,4.576000e-05,4.575544e-05,4.573806e-05,4.572249e-05,4.570867e-05,4.567698e-05,4.567226e-05,4.562926e-05,4.561991e-05,4.558008e-05,4.555218e-05,4.552509e-05,4.547468e-05,4.546466e-05,4.539915e-05,4.538822e-05,4.532889e-05,4.529357e-05,4.525419e-05,4.519145e-05,4.517537e-05,4.509272e-05,4.508255e-05,4.500650e-05,4.496751e-05,4.491699e-05,4.484692e-05,4.482444e-05,4.472908e-05,4.472134e-05,4.463115e-05,4.459131e-05,4.453086e-05,4.445731e-05,4.442842e-05,4.432402e-05,4.431981e-05,4.421785e-05,4.417923e-05,4.411009e-05,4.403600e-05,4.400091e-05,4.389046e-05,4.374300e-05,4.359391e-05,4.344353e-05,4.329212e-05,4.313995e-05,4.298727e-05,4.283431e-05,4.268127e-05,4.252836e-05,4.237574e-05,4.222360e-05,4.207208e-05,4.192132e-05,4.177146e-05,4.162261e-05,4.147487e-05,4.132836e-05,4.118317e-05,4.103936e-05,4.089702e-05,4.075621e-05,4.061699e-05,4.047942e-05,4.034354e-05
0.000000e+00,3.218148e-09,7.381532e-09,2.540981e-08,5.778188e-08,8.424918e-08,1.906996e-07,1.964159e-07,3.783828e-07,4.441391e-07,6.471803e-07,8.575232e-07,1.020556e-06,1.470776e-06,1.515106e-06,2.141170e-06,2.311162e-06,2.898179e-06,3.375961e-06,3.776687e-06,4.640396e-06,4.764255e-06,5.848840e-06,6.076409e-06,7.019314e-06,7.658362e-06,8.265024e-06,9.361821e-06,9.575385e-06,1.093970e-05,1.116228e-05,1.234719e-05,1.303496e-05,1.378710e-05,1.495528e-05,1.524890e-05,1.672247e-05,1.689964e-05,1.819832e-05,1.884612e-05,1.966763e-05,2.077500e-05,2.112243e-05,2.255564e-05,2.266917e-05,2.396110e-05,2.451431e-05,2.533355e-05,2.629876e-05,2.666858e-05,2.796264e-05,2.801351e-05,2.921290e-05,2.965184e-05,3.041723e-05,3.120916e-05,3.157414e-05,3.268260e-05,3.374208e-05,3.407074e-05,3.475248e-05,3.537347e-05,3.571403e-05,3.659162e-05,3.662723e-05,3.749283e-05,3.772679e-05,3.831176e-05,3.878116e-05,3.908510e-05,3.975734e-05,3.981405e-05,4.049990e-05,4.065824e-05,4.114402e-05,4.148701e-05,4.174780e-05,4.224690e-05,4.231268e-05,4.284010e-05,4.294121e-05,4.333151e-05,4.357329e-05,4.378835e-05,4.414643e-05,4.421205e-05,4.460401e-05,4.466387e-05,4.496562e-05,4.512880e-05,4.529821e-05,4.554429e-05,4.560311e-05,4.588160e-05,4.591330e-05,4.613490e-05,4.623870e-05,4.636424e-05,4.652323e-05,4.657078e-05,4.675563e-05,4.676951e-05,4.691989e-05,4.698006e-05,4.706460e-05,4.715726e-05,4.719077e-05,4.729938e-05,4.730337e-05,4.739134e-05,4.742055e-05,4.746756e-05,4.751084e-05,4.752890e-05,4.757617e-05,4.761018e-05,4.761838e-05,4.763166e-05,4.763918e-05,4.764136e-05,4.764022e-05,4.763995e-05,4.762811e-05,4.762301e-05,4.760646e-05,4.758902e-05,4.757562e-05,4.753961e-05,4.753614e-05,4.748860e-05,4.747605e-05,4.743351e-05,4.739955e-05,4.737137e-05,4.731124e-05,4.730267e-05,4.722785e-05,4.721219e-05,4.714736e-05,4.710339e-05,4.706159e-05,4.698577e-05,4.697096e-05,4.687582e-05,4.686020e-05,4.677653e-05,4.672750e-05,4.667344e-05,4.658844e-05,4.656686e-05,4.645709e-05,4.644372e-05,4.634443e-05,4.629401e-05,4.622914e-05,4.613993e-05,4.611149e-05,4.599173e-05,4.598206e-05,4.587008e-05,4.582094e-05,4.574676e-05,4.565706e-05,4.562199e-05,4.549595e-05,4.549089e-05,4.536884e-05,4.532286e-05,4.524084e-05,4.515337e-05,4.511210e-05,4.498278e-05,4.481145e-05,4.463969e-05,4.446778e-05,4.429599e-05,4.412458e-05,4.395376e-05,4.378375e-05,4.361473e-05,4.344688e-05,4.328035e-05,4.311528e-05,4.295181e-05,4.279005e-05,4.263010e-05,4.247205e-05,4.231600e-05,4.216201e-05,4.201014e-05,4.186045e-05,4.171299e-05,4.156780e-05,4.142491e-05,4.128435e-05,4.114614e-05
0.000000e+00,2.905110e-13,1.972979e-12,3.410671e-11,2.254310e-10,5.349101e-10,3.442695e-09,3.681154e-09,1.613739e-08,2.308447e-08,5.320452e-08,9.867101e-08,1.441481e-07,3.174307e-07,3.383674e-07,7.120421e-07,8.398185e-07,1.374894e-06,1.926401e-06,2.476660e-06,3.963302e-06,4.212767e-06,6.828573e-06,7.482555e-06,1.062161e-05,1.317328e-05,1.594154e-05,2.188104e-05,2.318769e-05,3.280454e-05,3.459505e-05,4.527527e-05,5.242491e-05,6.111390e-05,7.656929e-05,8.085627e-05,1.050502e-04,1.082788e-04,1.342456e-04,1.488160e-04,1.689835e-04,1.994138e-04,2.097868e-04,2.571496e-04,2.612360e-04,3.115290e-04,3.353391e-04,3.733360e-04,4.226397e-04,4.429291e-04,5.206074e-04,5.238863e-04,6.066065e-04,6.396376e-04,7.010944e-04,7.702478e-04,8.041689e-04,9.158576e-04,1.036117e-03,1.076393e-03,1.164834e-03,1.251572e-03,1.301830e-03,1.440908e-03,1.446860e-03,1.599623e-03,1.643735e-03,1.759760e-03,1.859214e-03,1.926864e-03,2.086366e-03,2.100484e-03,2.280131e-03,2.324086e-03,2.465284e-03,2.571173e-03,2.655398e-03,2.826353e-03,2.849907e-03,3.048231e-03,3.088302e-03,3.249782e-03,3.355669e-03,3.453972e-03,3.627101e-03,3.660213e-03,3.867925e-03,3.901257e-03,4.076538e-03,4.176829e-03,4.285498e-03,4.452556e-03,4.494270e-03,4.702340e-03,4.727237e-03,4.909216e-03,4.999742e-03,5.114433e-03,5.269017e-03,5.317553e-03,5.518167e-03,5.534096e-03,5.715894e-03,5.794098e-03,5.910385e-03,6.048233e-03,6.101319e-03,6.288405e-03,6.295804e-03,6.471382e-03,6.536203e-03,6.650019e-03,6.768909e-03,6.824113e-03,6.993487e-03,7.157994e-03,7.209586e-03,7.317507e-03,7.416930e-03,7.471930e-03,7.615313e-03,7.621184e-03,7.765214e-03,7.804602e-03,7.903987e-03,7.984719e-03,8.037486e-03,8.155648e-03,8.165713e-03,8.288686e-03,8.317421e-03,8.406437e-03,8.470115e-03,8.519014e-03,8.613848e-03,8.626475e-03,8.728890e-03,8.748774e-03,8.826337e-03,8.875076e-03,8.918907e-03,8.992965e-03,9.006694e-03,9.089801e-03,9.102672e-03,9.168338e-03,9.204445e-03,9.242416e-03,9.298548e-03,9.312154e-03,9.377672e-03,9.385256e-03,9.439092e-03,9.464850e-03,9.496539e-03,9.537620e-03,9.550140e-03,9.600020e-03,9.603854e-03,9.646308e-03,9.663845e-03,9.689129e-03,9.717884e-03,9.728609e-03,9.764873e-03,9.766259e-03,9.798044e-03,9.809252e-03,9.828244e-03,9.847144e-03,9.855592e-03,9.880206e-03,9.908704e-03,9.932895e-03,9.953029e-03,9.969347e-03,9.982081e-03,9.991453e-03,9.997678e-03,1.000096e-02,1.000149e-02,9.999464e-03,9.995051e-03,9.988421e-03,9.979734e-03,9.969141e-03,9.956785e-03,9.942803e-03,9.927321e-03,9.910460e-03,9.892335e-03,9.873054e-03,9.852716e-03,9.831417e-03,9.809246e-03,9.786286e-03
0.000000e+00,1.397581e-10,6.962423e-10,6.564280e-09,2.604823e-08,4.749000e-08,1.628631e-07,1.699938e-07,4.277540e-07,5.317654e-07,8.771081e-07,1.263404e-06,1.577948e-06,2.500327e-06,2.594907e-06,3.995252e-06,4.395463e-06,5.839540e-06,7.081745e-06,8.165683e-06,1.061536e-05,1.097785e-05,1.425113e-05,1.495775e-05,1.794624e-05,2.002049e-05,2.202150e-05,2.570968e-05,2.643764e-05,3.115813e-05,3.193932e-05,3.614814e-05,3.862906e-05,4.137363e-05,4.570101e-05,4.680106e-05,5.239751e-05,5.307891e-05,5.813098e-05,6.068915e-05,6.397081e-05,6.846236e-05,6.988811e-05,7.585606e-05,7.633493e-05,8.185012e-05,8.425001e-05,8.784813e-05,9.215799e-05,9.383039e-05,9.977947e-05,1.000165e-04,1.056802e-04,1.077900e-04,1.115194e-04,1.154492e-04,1.172860e-04,1.229705e-04,1.285651e-04,1.303353e-04,1.340633e-04,1.375290e-04,1.394597e-04,1.445404e-04,1.447500e-04,1.499308e-04,1.513615e-04,1.549997e-04,1.579864e-04,1.599546e-04,1.644114e-04,1.647943e-04,1.695178e-04,1.706341e-04,1.741248e-04,1.766538e-04,1.786152e-04,1.824705e-04,1.829893e-04,1.872476e-04,1.880854e-04,1.913907e-04,1.935000e-04,1.954197e-04,1.987167e-04,1.993357e-04,2.031399e-04,2.037383e-04,2.068336e-04,2.085677e-04,2.104183e-04,2.132086e-04,2.138955e-04,2.172669e-04,2.176644e-04,2.205341e-04,2.219391e-04,2.236988e-04,2.260365e-04,2.267628e-04,2.297279e-04,2.299609e-04,2.325959e-04,2.337164e-04,2.353687e-04,2.373072e-04,2.380481e-04,2.406359e-04,2.407376e-04,2.431341e-04,2.440119e-04,2.455445e-04,2.471344e-04,2.478690e-04,2.501094e-04,2.522676e-04,2.529411e-04,2.543454e-04,2.556339e-04,2.563447e-04,2.581919e-04,2.582673e-04,2.601150e-04,2.606192e-04,2.618896e-04,2.629200e-04,2.635929e-04,2.650983e-04,2.652265e-04,2.667923e-04,2.671581e-04,2.682919e-04,2.691034e-04,2.697270e-04,2.709379e-04,2.710993e-04,2.724103e-04,2.726654e-04,2.736618e-04,2.742896e-04,2.748553e-04,2.758142e-04,2.759924e-04,2.770745e-04,2.772426e-04,2.781032e-04,2.785784e-04,2.790800e-04,2.798250e-04,2.800063e-04,2.808835e-04,2.809856e-04,2.817131e-04,2.820634e-04,2.824964e-04,2.830616e-04,2.832348e-04,2.839296e-04,2.839833e-04,2.845820e-04,2.848314e-04,2.851934e-04,2.856088e-04,2.857649e-04,2.862979e-04,2.863184e-04,2.867934e-04,2.869628e-04,2.872527e-04,2.875448e-04,2.876768e-04,2.880670e-04,2.885317e-04,2.889416e-04,2.892988e-04,2.896058e-04,2.898647e-04,2.900778e-04,2.902469e-04,2.903743e-04,2.904618e-04,2.905113e-04,2.905247e-04,2.905036e-04,2.904499e-04,2.903650e-04,2.902507e-04,2.901085e-04,2.899398e-04,2.897460e-04,2.895286e-04,2.892888e-04,2.890280e-04,2.887473e-04,2.884479e-04,2.881310e-04
0.000000e+00,7.092576e-14,4.665841e-13,7.546620e-12,4.693729e-11,1.077252e-10,6.366955e-10,6.784691e-10,2.740292e-09,3.836267e-09,8.389142e-09,1.494271e-08,2.128832e-08,4.449143e-08,4.722762e-08,9.473077e-08,1.105750e-07,1.755580e-07,2.408676e-07,3.047598e-07,4.724134e-07,4.999337e-07,7.796673e-07,8.473498e-07,1.161562e-06,1.405575e-06,1.660368e-06,2.177555e-06,2.286609e-06,3.045877e-06,3.179810e-06,3.938731e-06,4.413709e-06,4.961077e-06,5.866882e-06,6.104853e-06,7.358866e-06,7.516135e-06,8.709657e-06,9.330857e-06,1.014232e-05,1.127628e-05,1.164121e-05,1.319056e-05,1.331623e-05,1.477496e-05,1.541521e-05,1.637972e-05,1.754001e-05,1.799113e-05,1.959667e-05,1.966061e-05,2.118511e-05,2.175081e-05,2.274654e-05,2.378847e-05,2.427241e-05,2.575550e-05,2.718983e-05,2.763770e-05,2.857060e-05,2.942444e-05,2.989413e-05,3.110834e-05,3.115771e-05,3.235953e-05,3.268482e-05,3.349859e-05,3.415174e-05,3.457455e-05,3.550893e-05,3.558768e-05,3.653874e-05,3.675788e-05,3.742891e-05,3.790136e-05,3.825971e-05,3.894311e-05,3.903292e-05,3.975055e-05,3.988760e-05,4.041474e-05,4.073974e-05,4.102774e-05,4.150478e-05,4.159186e-05,4.210945e-05,4.218810e-05,4.258286e-05,4.279509e-05,4.301442e-05,4.333107e-05,4.340641e-05,4.376107e-05,4.380122e-05,4.408055e-05,4.421053e-05,4.436695e-05,4.456373e-05,4.462227e-05,4.484844e-05,4.486532e-05,4.504727e-05,4.511955e-05,4.522053e-05,4.533037e-05,4.536987e-05,4.549685e-05,4.550149e-05,4.560296e-05,4.563632e-05,4.568960e-05,4.573806e-05,4.575808e-05,4.580964e-05,4.584546e-05,4.585378e-05,4.586663e-05,4.587298e-05,4.587419e-05,4.586954e-05,4.586910e-05,4.585228e-05,4.584558e-05,4.582457e-05,4.580306e-05,4.578678e-05,4.574374e-05,4.573965e-05,4.568387e-05,4.566928e-05,4.562012e-05,4.558116e-05,4.554899e-05,4.548077e-05,4.547107e-05,4.538690e-05,4.536935e-05,4.529696e-05,4.524808e-05,4.520175e-05,4.511801e-05,4.510169e-05,4.499721e-05,4.498011e-05,4.488868e-05,4.483526e-05,4.477647e-05,4.468427e-05,4.466091e-05,4.454232e-05,4.452790e-05,4.442100e-05,4.436683e-05,4.429722e-05,4.420167e-05,4.417125e-05,4.404331e-05,4.403300e-05,4.391365e-05,4.386135e-05,4.378247e-05,4.368719e-05,4.364996e-05,4.351632e-05,4.351096e-05,4.338172e-05,4.333306e-05,4.324631e-05,4.315386e-05,4.311026e-05,4.297369e-05,4.279287e-05,4.261166e-05,4.243033e-05,4.224911e-05,4.206822e-05,4.188784e-05,4.170816e-05,4.152933e-05,4.135150e-05,4.117481e-05,4.099938e-05,4.082530e-05,4.065268e-05,4.048161e-05,4.031217e-05,4.014442e-05,3.997843e-05,3.981425e-05,3.965193e-05,3.949152e-05,3.933306e-05,3.917657e-05,3.902208e-05,3.886962e-05
0.000000e+00,5.635120e-11,2.535483e-10,1.994532e-09,6.920004e-09,1.184135e-08,3.540038e-08,3.676927e-08,8.309791e-08,1.006805e-07,1.564617e-07,2.157198e-07,2.623089e-07,3.931594e-07,4.062047e-07,5.937831e-07,6.458991e-07,8.302127e-07,9.853861e-07,1.119030e-06,1.416724e-06,1.460336e-06,1.848925e-06,1.931431e-06,2.273690e-06,2.503886e-06,2.719432e-06,3.098476e-06,3.170392e-06,3.613360e-06,3.682815e-06,4.038997e-06,4.235360e-06,4.441614e-06,4.745091e-06,4.818271e-06,5.167840e-06,5.207958e-06,5.490295e-06,5.623733e-06,5.786269e-06,5.994106e-06,6.056763e-06,6.302995e-06,6.321685e-06,6.526309e-06,6.609532e-06,6.728117e-06,6.860915e-06,6.909867e-06,7.073011e-06,7.079170e-06,7.218984e-06,7.267602e-06,7.349186e-06,7.429407e-06,7.464969e-06,7.567618e-06,7.658334e-06,7.685027e-06,7.738232e-06,7.784170e-06,7.808348e-06,7.867352e-06,7.869646e-06,7.923000e-06,7.936624e-06,7.969192e-06,7.993768e-06,8.008933e-06,8.040358e-06,8.042874e-06,8.071588e-06,8.077759e-06,8.095584e-06,8.107133e-06,8.115319e-06,8.129490e-06,8.131206e-06,8.143605e-06,8.145696e-06,8.152842e-06,8.156493e-06,8.159209e-06,8.162528e-06,8.162962e-06,8.164324e-06,8.164333e-06,8.163492e-06,8.162369e-06,8.160652e-06,8.157044e-06,8.155966e-06,8.149578e-06,8.148703e-06,8.141617e-06,8.137648e-06,8.132206e-06,8.124151e-06,8.121453e-06,8.109456e-06,8.108445e-06,8.096304e-06,8.090740e-06,8.082082e-06,8.071221e-06,8.066864e-06,8.050720e-06,8.050056e-06,8.033717e-06,8.027397e-06,8.015914e-06,8.003379e-06,7.997366e-06,7.978126e-06,7.958242e-06,7.951751e-06,7.937760e-06,7.924357e-06,7.916722e-06,7.896039e-06,7.895168e-06,7.873136e-06,7.866886e-06,7.850661e-06,7.836977e-06,7.827776e-06,7.806386e-06,7.804512e-06,7.780900e-06,7.775184e-06,7.756966e-06,7.743432e-06,7.732737e-06,7.711192e-06,7.708239e-06,7.683494e-06,7.678518e-06,7.658526e-06,7.645461e-06,7.633355e-06,7.612069e-06,7.608001e-06,7.582484e-06,7.578388e-06,7.556822e-06,7.544458e-06,7.531032e-06,7.510318e-06,7.505130e-06,7.479131e-06,7.476006e-06,7.453051e-06,7.441554e-06,7.426903e-06,7.406994e-06,7.400701e-06,7.374457e-06,7.372356e-06,7.348183e-06,7.337667e-06,7.321890e-06,7.302954e-06,7.295590e-06,7.269292e-06,7.268241e-06,7.243007e-06,7.233549e-06,7.216743e-06,7.198900e-06,7.190509e-06,7.164314e-06,7.129809e-06,7.095403e-06,7.061110e-06,7.026947e-06,6.992926e-06,6.959061e-06,6.925364e-06,6.891846e-06,6.858517e-06,6.825386e-06,6.792463e-06,6.759756e-06,6.727273e-06,6.695019e-06,6.663002e-06,6.631228e-06,6.599701e-06,6.568427e-06,6.537409e-06,6.506653e-06,6.476161e-06,6.445937e-06,6.415984e-06,6.386303e-06
0.000000e+00,1.141303e-09,2.700791e-09,9.580565e-09,2.203552e-08,3.223402e-08,7.319406e-08,7.538939e-08,1.450409e-07,1.701065e-07,2.472000e-07,3.266401e-07,3.879482e-07,5.561708e-07,5.726531e-07,8.039674e-07,8.663290e-07,1.080364e-06,1.253235e-06,1.397423e-06,1.706061e-06,1.750106e-06,2.133768e-06,2.213839e-06,2.544156e-06,2.766764e-06,2.977189e-06,3.355455e-06,3.428790e-06,3.894839e-06,3.970471e-06,4.371196e-06,4.602300e-06,4.853758e-06,5.241600e-06,5.338553e-06,5.821816e-06,5.879536e-06,6.300068e-06,6.508089e-06,6.770170e-06,7.120282e-06,7.229359e-06,7.675275e-06,7.710314e-06,8.105962e-06,8.273610e-06,8.519857e-06,8.806781e-06,8.915768e-06,9.292850e-06,9.307533e-06,9.650565e-06,9.774542e-06,9.988646e-06,1.020730e-05,1.030706e-05,1.060599e-05,1.088575e-05,1.097129e-05,1.114680e-05,1.130432e-05,1.138973e-05,1.160647e-05,1.161516e-05,1.182381e-05,1.187932e-05,1.201641e-05,1.212458e-05,1.219372e-05,1.234400e-05,1.235651e-05,1.250554e-05,1.253935e-05,1.264159e-05,1.271238e-05,1.276538e-05,1.286476e-05,1.287764e-05,1.297906e-05,1.299811e-05,1.307031e-05,1.311396e-05,1.315203e-05,1.321375e-05,1.322481e-05,1.328925e-05,1.329882e-05,1.334587e-05,1.337042e-05,1.339519e-05,1.342973e-05,1.343771e-05,1.347387e-05,1.347780e-05,1.350410e-05,1.351563e-05,1.352881e-05,1.354413e-05,1.354837e-05,1.356315e-05,1.356413e-05,1.357346e-05,1.357641e-05,1.357963e-05,1.358166e-05,1.358193e-05,1.358066e-05,1.358054e-05,1.357605e-05,1.357362e-05,1.356835e-05,1.356146e-05,1.355778e-05,1.354455e-05,1.352886e-05,1.352334e-05,1.351088e-05,1.349825e-05,1.349078e-05,1.346966e-05,1.346874e-05,1.344489e-05,1.343791e-05,1.341937e-05,1.340332e-05,1.339233e-05,1.336619e-05,1.336387e-05,1.333411e-05,1.332679e-05,1.330317e-05,1.328536e-05,1.327113e-05,1.324212e-05,1.323810e-05,1.320417e-05,1.319728e-05,1.316941e-05,1.315103e-05,1.313390e-05,1.310355e-05,1.309772e-05,1.306093e-05,1.305499e-05,1.302360e-05,1.300550e-05,1.298578e-05,1.295522e-05,1.294754e-05,1.290892e-05,1.290426e-05,1.286997e-05,1.285275e-05,1.283075e-05,1.280078e-05,1.279129e-05,1.275163e-05,1.274845e-05,1.271181e-05,1.269585e-05,1.267187e-05,1.264306e-05,1.263184e-05,1.259175e-05,1.259015e-05,1.255163e-05,1.253719e-05,1.251151e-05,1.248424e-05,1.247142e-05,1.243137e-05,1.237861e-05,1.232603e-05,1.227365e-05,1.222153e-05,1.216970e-05,1.211819e-05,1.206703e-05,1.201626e-05,1.196588e-05,1.191594e-05,1.186644e-05,1.181741e-05,1.176886e-05,1.172081e-05,1.167326e-05,1.162624e-05,1.157975e-05,1.153380e-05,1.148840e-05,1.144355e-05,1.139925e-05,1.135553e-05,1.131237e-05,1.126978e-05
0.000000e+00,8.284323e-09,1.907947e-08,6.598276e-08,1.507671e-07,2.206808e-07,5.077608e-07,5.234504e-07,1.037386e-06,1.229766e-06,1.843712e-06,2.505746e-06,3.031562e-06,4.507231e-06,4.652695e-06,6.679185e-06,7.217429e-06,9.033590e-06,1.046702e-05,1.164244e-05,1.410676e-05,1.445346e-05,1.743072e-05,1.804365e-05,2.054723e-05,2.221509e-05,2.377981e-05,2.656870e-05,2.710634e-05,3.050441e-05,3.105321e-05,3.395107e-05,3.561586e-05,3.742291e-05,4.020267e-05,4.089638e-05,4.434833e-05,4.476006e-05,4.775657e-05,4.923691e-05,5.110025e-05,5.358644e-05,5.436025e-05,5.751944e-05,5.776737e-05,6.056320e-05,6.174560e-05,6.347942e-05,6.549452e-05,6.625828e-05,6.889221e-05,6.899447e-05,7.137593e-05,7.223261e-05,7.370616e-05,7.520223e-05,7.588143e-05,7.790186e-05,7.976899e-05,8.033451e-05,8.148553e-05,8.250675e-05,8.305518e-05,8.442814e-05,8.448257e-05,8.577270e-05,8.611005e-05,8.693091e-05,8.756498e-05,8.796315e-05,8.880678e-05,8.887550e-05,8.967410e-05,8.984954e-05,9.036521e-05,9.070758e-05,9.095499e-05,9.139497e-05,9.144948e-05,9.185461e-05,9.192542e-05,9.217612e-05,9.231213e-05,9.241960e-05,9.256771e-05,9.259036e-05,9.269351e-05,9.270407e-05,9.273389e-05,9.273234e-05,9.271611e-05,9.266295e-05,9.264453e-05,9.252329e-05,9.250559e-05,9.235627e-05,9.226924e-05,9.214716e-05,9.196221e-05,9.189939e-05,9.161622e-05,9.159213e-05,9.130068e-05,9.116603e-05,9.095559e-05,9.069033e-05,9.058361e-05,9.018724e-05,9.017091e-05,8.976877e-05,8.961314e-05,8.933038e-05,8.902193e-05,8.887409e-05,8.840176e-05,8.791514e-05,8.775667e-05,8.741585e-05,8.709037e-05,8.690541e-05,8.640620e-05,8.638522e-05,8.585658e-05,8.570721e-05,8.532069e-05,8.499615e-05,8.477868e-05,8.427551e-05,8.423158e-05,8.368035e-05,8.354754e-05,8.312588e-05,8.281427e-05,8.256899e-05,8.207753e-05,8.201044e-05,8.145091e-05,8.133895e-05,8.089108e-05,8.060003e-05,8.033151e-05,7.986208e-05,7.977276e-05,7.921533e-05,7.912629e-05,7.865968e-05,7.839373e-05,7.810623e-05,7.766532e-05,7.755537e-05,7.700744e-05,7.694190e-05,7.646277e-05,7.622423e-05,7.592165e-05,7.551294e-05,7.538434e-05,7.485109e-05,7.480861e-05,7.432210e-05,7.411175e-05,7.379758e-05,7.342278e-05,7.327769e-05,7.276259e-05,7.274209e-05,7.225243e-05,7.207000e-05,7.174731e-05,7.140677e-05,7.124735e-05,7.075264e-05,7.010779e-05,6.947237e-05,6.884651e-05,6.823029e-05,6.762376e-05,6.702698e-05,6.643994e-05,6.586266e-05,6.529510e-05,6.473723e-05,6.418899e-05,6.365033e-05,6.312116e-05,6.260141e-05,6.209097e-05,6.158974e-05,6.109762e-05,6.061450e-05,6.014025e-05,5.967475e-05,5.921787e-05,5.876948e-05,5.832945e-05,5.789765e-05
0.000000e+00,1.290359e-13,8.509959e-13,1.383390e-11,8.642034e-11,1.987989e-10,1.181437e-09,1.259212e-09,5.109100e-09,7.160009e-09,1.569242e-08,2.798788e-08,3.989675e-08,8.342367e-08,8.855316e-08,1.774814e-07,2.070934e-07,3.283364e-07,4.499284e-07,5.686993e-07,8.797917e-07,9.308025e-07,1.448787e-06,1.574017e-06,2.155096e-06,2.606122e-06,3.076920e-06,4.032127e-06,4.233465e-06,5.634384e-06,5.881325e-06,7.279381e-06,8.153173e-06,9.158821e-06,1.081950e-05,1.125499e-05,1.354374e-05,1.383000e-05,1.599625e-05,1.711912e-05,1.858078e-05,2.061295e-05,2.126421e-05,2.401337e-05,2.423517e-05,2.679617e-05,2.791186e-05,2.958240e-05,3.157494e-05,3.234435e-05,3.505723e-05,3.516440e-05,3.769936e-05,3.862957e-05,4.025234e-05,4.192954e-05,4.270094e-05,4.503306e-05,4.723950e-05,4.791789e-05,4.931378e-05,5.057000e-05,5.125185e-05,5.298247e-05,5.305181e-05,5.471367e-05,5.515443e-05,5.623905e-05,5.708994e-05,5.763089e-05,5.879691e-05,5.889325e-05,6.003103e-05,6.028617e-05,6.104982e-05,6.157059e-05,6.195563e-05,6.266433e-05,6.275482e-05,6.345390e-05,6.358227e-05,6.405940e-05,6.433944e-05,6.457783e-05,6.495068e-05,6.501555e-05,6.537873e-05,6.543032e-05,6.567330e-05,6.579200e-05,6.590493e-05,6.604852e-05,6.607896e-05,6.620044e-05,6.621171e-05,6.627408e-05,6.629248e-05,6.630429e-05,6.630073e-05,6.629515e-05,6.625044e-05,6.624543e-05,6.617363e-05,6.613465e-05,6.606794e-05,6.597561e-05,6.593630e-05,6.578139e-05,6.577474e-05,6.560567e-05,6.553776e-05,6.541139e-05,6.526972e-05,6.520058e-05,6.497509e-05,6.473661e-05,6.465781e-05,6.448667e-05,6.432135e-05,6.422667e-05,6.396876e-05,6.395786e-05,6.368139e-05,6.360275e-05,6.339829e-05,6.322565e-05,6.310951e-05,6.283955e-05,6.281590e-05,6.251824e-05,6.244627e-05,6.221721e-05,6.204741e-05,6.191347e-05,6.164438e-05,6.160758e-05,6.130006e-05,6.123841e-05,6.099140e-05,6.083059e-05,6.068202e-05,6.042187e-05,6.037231e-05,6.006264e-05,6.001311e-05,5.975331e-05,5.960504e-05,5.944462e-05,5.919832e-05,5.913685e-05,5.883022e-05,5.879351e-05,5.852495e-05,5.839112e-05,5.822126e-05,5.799160e-05,5.791930e-05,5.761925e-05,5.759534e-05,5.732126e-05,5.720267e-05,5.702545e-05,5.681389e-05,5.673194e-05,5.644085e-05,5.642925e-05,5.615226e-05,5.604900e-05,5.586626e-05,5.567331e-05,5.558294e-05,5.530235e-05,5.493627e-05,5.457519e-05,5.421920e-05,5.386839e-05,5.352283e-05,5.318256e-05,5.284763e-05,5.251806e-05,5.219386e-05,5.187505e-05,5.156161e-05,5.125353e-05,5.095081e-05,5.065341e-05,5.036130e-05,5.007446e-05,4.979283e-05,4.951638e-05,4.924505e-05,4.897880e-05,4.871758e-05,4.846132e-05,4.820996e-05,4.796345e-05
0.000000e+00,6.760424e-13,4.338755e-12,6.667150e-11,3.957558e-10,8.852852e-10,4.895900e-09,5.202993e-09,1.966385e-08,2.703269e-08,5.645880e-08,9.685227e-08,1.346016e-07,2.658224e-07,2.807849e-07,5.293357e-07,6.085988e-07,9.203221e-07,1.217152e-06,1.495573e-06,2.185163e-06,2.293866e-06,3.346947e-06,3.590291e-06,4.677302e-06,5.483248e-06,6.297591e-06,7.885458e-06,8.211257e-06,1.041372e-05,1.079224e-05,1.289375e-05,1.417809e-05,1.563485e-05,1.800196e-05,1.861641e-05,2.181481e-05,2.221198e-05,2.520435e-05,2.674940e-05,2.875814e-05,3.155203e-05,3.244881e-05,3.624921e-05,3.655719e-05,4.013297e-05,4.170413e-05,4.407495e-05,4.693598e-05,4.805167e-05,5.204151e-05,5.220109e-05,5.602490e-05,5.745391e-05,5.998439e-05,6.265531e-05,6.390469e-05,6.777254e-05,7.157667e-05,7.277895e-05,7.530763e-05,7.765337e-05,7.895761e-05,8.237959e-05,8.252036e-05,8.599093e-05,8.694563e-05,8.936555e-05,9.134308e-05,9.264147e-05,9.556653e-05,9.581683e-05,9.889050e-05,9.961298e-05,1.018620e-04,1.034814e-04,1.047313e-04,1.071722e-04,1.074990e-04,1.101658e-04,1.106871e-04,1.127329e-04,1.140289e-04,1.152017e-04,1.172007e-04,1.175738e-04,1.198510e-04,1.202066e-04,1.220350e-04,1.230508e-04,1.241278e-04,1.257379e-04,1.261316e-04,1.280483e-04,1.282726e-04,1.298801e-04,1.306598e-04,1.316292e-04,1.329045e-04,1.332977e-04,1.348877e-04,1.350116e-04,1.364015e-04,1.369861e-04,1.378411e-04,1.388330e-04,1.392088e-04,1.405066e-04,1.405570e-04,1.417365e-04,1.421631e-04,1.429007e-04,1.436559e-04,1.440012e-04,1.450399e-04,1.460188e-04,1.463197e-04,1.469398e-04,1.474997e-04,1.478048e-04,1.485841e-04,1.486156e-04,1.493739e-04,1.495771e-04,1.500817e-04,1.504827e-04,1.507405e-04,1.513048e-04,1.513520e-04,1.519179e-04,1.520471e-04,1.524397e-04,1.527133e-04,1.529190e-04,1.533069e-04,1.533574e-04,1.537561e-04,1.538313e-04,1.541168e-04,1.542897e-04,1.544407e-04,1.546854e-04,1.547293e-04,1.549838e-04,1.550214e-04,1.552055e-04,1.553006e-04,1.553956e-04,1.555258e-04,1.555554e-04,1.556860e-04,1.556998e-04,1.557885e-04,1.558250e-04,1.558641e-04,1.559041e-04,1.559138e-04,1.559385e-04,1.559395e-04,1.559395e-04,1.559334e-04,1.559175e-04,1.558880e-04,1.558735e-04,1.558085e-04,1.558054e-04,1.557233e-04,1.556878e-04,1.556187e-04,1.555370e-04,1.554957e-04,1.553550e-04,1.551434e-04,1.549040e-04,1.546384e-04,1.543482e-04,1.540349e-04,1.536999e-04,1.533446e-04,1.529703e-04,1.525783e-04,1.521696e-04,1.517455e-04,1.513070e-04,1.508553e-04,1.503911e-04,1.499156e-04,1.494295e-04,1.489338e-04,1.484292e-04,1.479166e-04,1.473966e-04,1.468700e-04,1.463374e-04,1.457995e-04,1.452568e-04
0.000000e+00,5.000281e-12,2.996220e-11,4.003052e-10,2.097935e-09,4.388273e-09,2.048964e-08,2.162820e-08,6.953325e-08,9.157382e-08,1.720268e-07,2.714112e-07,3.575219e-07,6.283379e-07,6.572939e-07,1.104134e-06,1.236882e-06,1.730033e-06,2.169138e-06,2.561896e-06,3.478097e-06,3.616718e-06,4.899262e-06,5.182706e-06,6.403247e-06,7.268358e-06,8.114543e-06,9.698618e-06,1.001442e-05,1.208181e-05,1.242666e-05,1.429456e-05,1.540167e-05,1.663003e-05,1.857143e-05,1.906541e-05,2.157795e-05,2.188357e-05,2.414528e-05,2.528665e-05,2.674573e-05,2.873149e-05,2.935869e-05,3.196496e-05,3.217264e-05,3.454705e-05,3.556954e-05,3.708932e-05,3.888739e-05,3.957818e-05,4.200205e-05,4.209751e-05,4.435140e-05,4.517739e-05,4.661858e-05,4.811029e-05,4.879777e-05,5.088474e-05,5.287673e-05,5.349382e-05,5.477222e-05,5.593446e-05,5.657080e-05,5.820670e-05,5.827295e-05,5.987991e-05,6.031305e-05,6.139354e-05,6.225787e-05,6.281617e-05,6.404692e-05,6.415048e-05,6.539946e-05,6.568687e-05,6.656628e-05,6.718502e-05,6.765421e-05,6.854899e-05,6.866661e-05,6.960686e-05,6.978655e-05,7.047832e-05,7.090540e-05,7.128431e-05,7.191313e-05,7.202808e-05,7.271280e-05,7.281709e-05,7.334155e-05,7.362434e-05,7.391729e-05,7.434164e-05,7.444288e-05,7.492105e-05,7.497537e-05,7.535444e-05,7.553159e-05,7.574554e-05,7.601598e-05,7.609676e-05,7.641037e-05,7.643390e-05,7.668853e-05,7.679034e-05,7.693332e-05,7.708999e-05,7.714667e-05,7.733045e-05,7.733721e-05,7.748641e-05,7.753608e-05,7.761623e-05,7.769039e-05,7.772149e-05,7.780366e-05,7.786418e-05,7.787920e-05,7.790438e-05,7.792003e-05,7.792553e-05,7.792901e-05,7.792882e-05,7.791538e-05,7.790877e-05,7.788629e-05,7.786174e-05,7.784255e-05,7.779020e-05,7.778512e-05,7.771491e-05,7.769626e-05,7.763277e-05,7.758186e-05,7.753950e-05,7.744882e-05,7.743586e-05,7.732258e-05,7.729883e-05,7.720033e-05,7.713343e-05,7.706976e-05,7.695409e-05,7.693146e-05,7.678603e-05,7.676213e-05,7.663398e-05,7.655880e-05,7.647584e-05,7.634526e-05,7.631208e-05,7.614316e-05,7.612256e-05,7.596951e-05,7.589171e-05,7.579153e-05,7.565360e-05,7.560960e-05,7.542409e-05,7.540910e-05,7.523533e-05,7.515899e-05,7.504364e-05,7.490399e-05,7.484934e-05,7.465269e-05,7.464478e-05,7.445398e-05,7.438198e-05,7.425345e-05,7.411618e-05,7.405135e-05,7.384789e-05,7.357762e-05,7.330582e-05,7.303290e-05,7.275927e-05,7.248527e-05,7.221124e-05,7.193747e-05,7.166425e-05,7.139184e-05,7.112047e-05,7.085036e-05,7.058171e-05,7.031470e-05,7.004949e-05,6.978625e-05,6.952509e-05,6.926616e-05,6.900956e-05,6.875538e-05,6.850374e-05,6.825469e-05,6.800833e-05,6.776471e-05,6.752389e-05
0.000000e+00,2.842061e-13,1.866593e-12,3.008263e-11,1.863899e-10,4.267484e-10,2.502846e-09,2.666074e-09,1.065341e-08,1.486117e-08,3.216083e-08,5.670325e-08,8.017136e-08,1.642400e-07,1.740092e-07,3.400804e-07,3.942630e-07,6.117979e-07,8.245127e-07,1.028261e-06,1.548076e-06,1.631801e-06,2.465023e-06,2.662828e-06,3.568006e-06,4.260130e-06,4.976074e-06,6.416061e-06,6.718251e-06,8.816361e-06,9.186147e-06,1.128463e-05,1.260309e-05,1.412964e-05,1.667660e-05,1.735059e-05,2.093971e-05,2.139453e-05,2.488277e-05,2.672489e-05,2.915979e-05,3.261846e-05,3.374577e-05,3.861142e-05,3.901180e-05,4.372410e-05,4.583052e-05,4.904860e-05,5.299272e-05,5.454802e-05,6.018463e-05,6.041241e-05,6.592061e-05,6.800269e-05,7.171878e-05,7.567866e-05,7.754322e-05,8.335984e-05,8.913673e-05,9.097208e-05,9.484458e-05,9.844899e-05,1.004569e-04,1.057328e-04,1.059499e-04,1.113032e-04,1.127746e-04,1.164990e-04,1.195346e-04,1.215225e-04,1.259817e-04,1.263618e-04,1.310074e-04,1.320927e-04,1.354522e-04,1.378518e-04,1.396916e-04,1.432499e-04,1.437225e-04,1.475440e-04,1.482832e-04,1.511565e-04,1.529530e-04,1.545618e-04,1.572642e-04,1.577627e-04,1.607633e-04,1.612251e-04,1.635682e-04,1.648465e-04,1.661826e-04,1.681409e-04,1.686124e-04,1.708639e-04,1.711224e-04,1.729434e-04,1.738056e-04,1.748576e-04,1.762060e-04,1.766133e-04,1.782173e-04,1.783393e-04,1.796764e-04,1.802209e-04,1.809972e-04,1.818664e-04,1.821865e-04,1.832506e-04,1.832907e-04,1.841960e-04,1.845084e-04,1.850287e-04,1.855336e-04,1.857547e-04,1.863797e-04,1.869093e-04,1.870595e-04,1.873488e-04,1.875852e-04,1.877034e-04,1.879684e-04,1.879779e-04,1.881771e-04,1.882199e-04,1.883053e-04,1.883500e-04,1.883670e-04,1.883683e-04,1.883661e-04,1.883065e-04,1.882839e-04,1.881920e-04,1.881052e-04,1.880261e-04,1.878402e-04,1.878121e-04,1.875532e-04,1.874963e-04,1.872524e-04,1.870803e-04,1.869125e-04,1.865988e-04,1.865363e-04,1.861264e-04,1.860578e-04,1.856851e-04,1.854629e-04,1.852148e-04,1.848192e-04,1.847177e-04,1.841958e-04,1.841316e-04,1.836512e-04,1.834047e-04,1.830855e-04,1.826426e-04,1.825006e-04,1.818982e-04,1.818493e-04,1.812797e-04,1.810282e-04,1.806467e-04,1.801827e-04,1.800005e-04,1.793425e-04,1.793159e-04,1.786738e-04,1.784308e-04,1.779958e-04,1.775298e-04,1.773093e-04,1.766155e-04,1.756902e-04,1.747559e-04,1.738144e-04,1.728677e-04,1.719174e-04,1.709648e-04,1.700115e-04,1.690586e-04,1.681073e-04,1.671587e-04,1.662137e-04,1.652733e-04,1.643382e-04,1.634091e-04,1.624868e-04,1.615718e-04,1.606646e-04,1.597657e-04,1.588757e-04,1.579947e-04,1.571233e-04,1.562616e-04,1.554100e-04,1.545687e-04
0.000000e+00,7.201833e-10,2.993099e-09,2.090759e-08,6.793416e-08,1.136303e-07,3.308653e-07,3.435737e-07,7.840243e-07,9.567374e-07,1.523640e-06,2.152536e-06,2.661138e-06,4.120610e-06,4.266594e-06,6.328583e-06,6.882906e-06,8.765237e-06,1.025826e-05,1.148428e-05,1.405254e-05,1.441317e-05,1.749732e-05,1.812875e-05,2.069224e-05,2.238430e-05,2.395903e-05,2.673299e-05,2.726273e-05,3.057214e-05,3.110029e-05,3.386002e-05,3.542361e-05,3.710328e-05,3.965286e-05,4.028292e-05,4.338384e-05,4.375008e-05,4.639445e-05,4.768821e-05,4.930625e-05,5.144943e-05,5.211334e-05,5.481189e-05,5.502301e-05,5.739991e-05,5.840397e-05,5.987671e-05,6.159139e-05,6.224278e-05,6.449939e-05,6.458740e-05,6.664845e-05,6.739624e-05,6.869238e-05,7.002357e-05,7.063388e-05,7.247595e-05,7.422173e-05,7.476058e-05,7.587451e-05,7.688501e-05,7.743760e-05,7.885685e-05,7.891430e-05,8.030792e-05,8.068370e-05,8.162176e-05,8.237310e-05,8.285901e-05,8.393236e-05,8.402283e-05,8.511631e-05,8.536861e-05,8.614243e-05,8.668873e-05,8.710411e-05,8.789933e-05,8.800417e-05,8.884534e-05,8.900674e-05,8.963027e-05,9.001705e-05,9.036149e-05,9.093602e-05,9.104147e-05,9.167256e-05,9.176915e-05,9.225705e-05,9.252170e-05,9.279713e-05,9.319862e-05,9.329489e-05,9.375235e-05,9.380463e-05,9.417146e-05,9.434419e-05,9.455406e-05,9.482153e-05,9.490195e-05,9.521682e-05,9.524063e-05,9.550031e-05,9.560528e-05,9.575399e-05,9.591903e-05,9.597936e-05,9.617784e-05,9.618524e-05,9.635080e-05,9.640708e-05,9.649957e-05,9.658755e-05,9.662539e-05,9.672945e-05,9.681291e-05,9.683544e-05,9.687685e-05,9.690802e-05,9.692232e-05,9.694952e-05,9.695032e-05,9.696180e-05,9.696217e-05,9.695766e-05,9.694804e-05,9.693878e-05,9.690909e-05,9.690597e-05,9.686004e-05,9.684714e-05,9.680172e-05,9.676393e-05,9.673175e-05,9.666108e-05,9.665081e-05,9.655954e-05,9.654010e-05,9.645857e-05,9.640244e-05,9.634850e-05,9.624942e-05,9.622989e-05,9.610328e-05,9.608231e-05,9.596917e-05,9.590229e-05,9.582807e-05,9.571047e-05,9.568044e-05,9.552672e-05,9.550788e-05,9.536733e-05,9.529551e-05,9.520268e-05,9.507426e-05,9.503315e-05,9.485910e-05,9.484499e-05,9.468088e-05,9.460850e-05,9.449882e-05,9.436554e-05,9.431323e-05,9.412442e-05,9.411681e-05,9.393267e-05,9.386297e-05,9.373824e-05,9.360464e-05,9.354140e-05,9.334238e-05,9.307674e-05,9.280822e-05,9.253729e-05,9.226438e-05,9.198991e-05,9.171425e-05,9.143776e-05,9.116076e-05,9.088357e-05,9.060648e-05,9.032974e-05,9.005360e-05,8.977829e-05,8.950403e-05,8.923100e-05,8.895939e-05,8.868937e-05,8.842109e-05,8.815469e-05,8.789031e-05,8.762805e-05,8.736803e-05,8.711035e-05,8.685508e-05
0.000000e+00,4.078211e-09,9.422371e-09,3.274263e-08,7.503602e-08,1.099482e-07,2.531605e-07,2.609736e-07,5.159109e-07,6.108723e-07,9.127211e-07,1.237433e-06,1.495892e-06,2.229613e-06,2.302825e-06,3.340692e-06,3.621606e-06,4.582703e-06,5.352821e-06,5.990097e-06,7.338593e-06,7.529370e-06,9.175393e-06,9.515643e-06,1.090892e-05,1.183955e-05,1.271396e-05,1.427486e-05,1.457605e-05,1.648143e-05,1.678941e-05,1.841670e-05,1.935240e-05,2.036881e-05,2.193417e-05,2.232521e-05,2.427399e-05,2.450679e-05,2.620411e-05,2.704483e-05,2.810554e-05,2.952593e-05,2.996939e-05,3.178790e-05,3.193122e-05,3.355451e-05,3.424538e-05,3.526386e-05,3.645670e-05,3.691169e-05,3.849478e-05,3.855672e-05,4.001081e-05,4.053986e-05,4.145832e-05,4.240306e-05,4.283654e-05,4.414535e-05,4.538514e-05,4.576743e-05,4.655677e-05,4.727137e-05,4.766142e-05,4.866027e-05,4.870060e-05,4.967602e-05,4.993796e-05,5.058957e-05,5.110885e-05,5.144329e-05,5.217767e-05,5.223927e-05,5.297970e-05,5.314938e-05,5.366677e-05,5.402905e-05,5.430269e-05,5.482173e-05,5.488966e-05,5.542983e-05,5.553244e-05,5.592535e-05,5.616607e-05,5.637830e-05,5.672738e-05,5.679072e-05,5.716458e-05,5.722095e-05,5.750179e-05,5.765119e-05,5.780421e-05,5.802230e-05,5.807362e-05,5.831174e-05,5.833829e-05,5.852022e-05,5.860297e-05,5.870064e-05,5.881994e-05,5.885453e-05,5.898334e-05,5.899261e-05,5.908847e-05,5.912419e-05,5.917125e-05,5.921772e-05,5.923295e-05,5.927479e-05,5.927606e-05,5.929793e-05,5.930189e-05,5.930347e-05,5.929774e-05,5.929248e-05,5.926596e-05,5.922487e-05,5.920879e-05,5.917011e-05,5.912830e-05,5.910256e-05,5.902645e-05,5.902304e-05,5.893234e-05,5.890504e-05,5.883120e-05,5.876580e-05,5.872032e-05,5.861030e-05,5.860039e-05,5.847204e-05,5.844005e-05,5.833588e-05,5.825643e-05,5.819248e-05,5.806073e-05,5.804239e-05,5.788612e-05,5.785417e-05,5.772417e-05,5.763787e-05,5.755701e-05,5.741288e-05,5.738506e-05,5.720875e-05,5.718017e-05,5.702848e-05,5.694065e-05,5.684461e-05,5.669517e-05,5.665750e-05,5.646749e-05,5.644450e-05,5.627488e-05,5.618939e-05,5.607998e-05,5.593050e-05,5.588307e-05,5.568441e-05,5.566845e-05,5.548426e-05,5.540383e-05,5.528285e-05,5.513718e-05,5.508040e-05,5.487713e-05,5.486898e-05,5.467322e-05,5.459970e-05,5.446887e-05,5.432975e-05,5.426426e-05,5.405954e-05,5.378941e-05,5.351969e-05,5.325069e-05,5.298269e-05,5.271594e-05,5.245066e-05,5.218708e-05,5.192539e-05,5.166575e-05,5.140833e-05,5.115327e-05,5.090070e-05,5.065073e-05,5.040346e-05,5.015900e-05,4.991740e-05,4.967875e-05,4.944311e-05,4.921053e-05,4.898105e-05,4.875471e-05,4.853154e-05,4.831157e-05,4.809481e-05
0.000000e+00,1.364557e-11,7.760874e-11,9.355427e-10,4.494124e-09,8.986635e-09,3.770600e-08,3.964000e-08,1.162365e-07,1.496468e-07,2.666795e-07,4.049404e-07,5.213058e-07,8.748881e-07,9.118921e-07,1.469690e-06,1.631507e-06,2.220392e-06,2.730841e-06,3.177970e-06,4.192124e-06,4.342518e-06,5.703385e-06,5.997721e-06,7.244096e-06,8.110168e-06,8.945960e-06,1.048595e-05,1.078967e-05,1.275574e-05,1.308034e-05,1.482442e-05,1.584799e-05,1.697580e-05,1.874306e-05,1.918996e-05,2.144731e-05,2.172019e-05,2.372901e-05,2.473605e-05,2.601732e-05,2.775079e-05,2.829598e-05,3.055038e-05,3.072929e-05,3.276778e-05,3.364188e-05,3.493729e-05,3.646455e-05,3.704990e-05,3.909836e-05,3.917888e-05,4.107707e-05,4.177149e-05,4.298191e-05,4.423353e-05,4.481009e-05,4.655994e-05,4.823078e-05,4.874876e-05,4.982272e-05,5.080051e-05,5.133656e-05,5.271760e-05,5.277363e-05,5.413565e-05,5.450385e-05,5.542471e-05,5.616407e-05,5.664311e-05,5.770375e-05,5.779332e-05,5.887792e-05,5.912876e-05,5.989957e-05,6.044519e-05,6.086093e-05,6.165917e-05,6.176466e-05,6.261338e-05,6.277675e-05,6.340967e-05,6.380386e-05,6.415604e-05,6.474619e-05,6.485492e-05,6.550866e-05,6.560923e-05,6.611953e-05,6.639816e-05,6.668971e-05,6.711795e-05,6.722127e-05,6.771622e-05,6.777324e-05,6.817645e-05,6.836843e-05,6.860379e-05,6.890764e-05,6.899996e-05,6.936661e-05,6.939472e-05,6.970531e-05,6.983329e-05,7.001753e-05,7.022674e-05,7.030470e-05,7.056816e-05,7.057822e-05,7.080917e-05,7.089068e-05,7.102896e-05,7.116687e-05,7.122865e-05,7.140935e-05,7.157207e-05,7.162051e-05,7.171781e-05,7.180259e-05,7.184747e-05,7.195765e-05,7.196195e-05,7.206207e-05,7.208764e-05,7.214863e-05,7.219436e-05,7.222236e-05,7.227948e-05,7.228398e-05,7.233417e-05,7.234459e-05,7.237356e-05,7.239112e-05,7.240275e-05,7.242046e-05,7.242232e-05,7.243280e-05,7.243386e-05,7.243473e-05,7.243251e-05,7.242858e-05,7.241751e-05,7.241482e-05,7.239388e-05,7.238990e-05,7.236619e-05,7.235062e-05,7.233215e-05,7.230059e-05,7.229212e-05,7.224647e-05,7.224063e-05,7.219552e-05,7.217152e-05,7.213962e-05,7.209399e-05,7.207905e-05,7.201411e-05,7.200874e-05,7.194508e-05,7.191638e-05,7.187221e-05,7.181751e-05,7.179575e-05,7.171595e-05,7.171269e-05,7.163301e-05,7.160243e-05,7.154716e-05,7.148723e-05,7.145860e-05,7.136752e-05,7.124375e-05,7.111629e-05,7.098553e-05,7.085180e-05,7.071544e-05,7.057674e-05,7.043598e-05,7.029344e-05,7.014935e-05,7.000395e-05,6.985745e-05,6.971006e-05,6.956195e-05,6.941332e-05,6.926432e-05,6.911511e-05,6.896583e-05,6.881660e-05,6.866757e-05,6.851884e-05,6.837051e-05,6.822270e-05,6.807549e-05,6.792897e-05
0.000000e+00,2.139374e-12,1.454146e-11,2.517861e-10,1.666713e-09,3.958169e-09,2.553262e-08,2.730376e-08,1.199864e-07,1.717615e-07,3.966167e-07,7.367619e-07,1.077564e-06,2.379524e-06,2.537108e-06,5.356472e-06,6.322864e-06,1.037877e-05,1.457065e-05,1.876141e-05,3.011202e-05,3.201970e-05,5.205472e-05,5.707001e-05,8.116111e-05,1.007550e-04,1.220135e-04,1.676078e-04,1.776328e-04,2.513353e-04,2.650402e-04,3.466685e-04,4.011955e-04,4.673367e-04,5.846522e-04,6.171198e-04,7.997899e-04,8.240966e-04,1.019027e-03,1.127986e-03,1.278335e-03,1.504224e-03,1.580970e-03,1.929866e-03,1.959855e-03,2.327573e-03,2.500814e-03,2.776210e-03,3.131707e-03,3.277420e-03,3.832341e-03,3.855666e-03,4.441589e-03,4.674250e-03,5.105249e-03,5.587414e-03,5.822879e-03,6.593520e-03,7.415721e-03,7.689414e-03,8.287566e-03,8.870533e-03,9.206709e-03,1.013105e-02,1.017041e-02,1.117560e-02,1.146403e-02,1.221889e-02,1.286165e-02,1.329665e-02,1.431536e-02,1.440507e-02,1.554016e-02,1.581609e-02,1.669783e-02,1.735445e-02,1.787395e-02,1.892090e-02,1.906437e-02,2.026495e-02,2.050593e-02,2.147164e-02,2.210020e-02,2.268044e-02,2.369467e-02,2.388753e-02,2.508920e-02,2.528073e-02,2.628193e-02,2.685027e-02,2.746237e-02,2.839578e-02,2.862741e-02,2.977413e-02,2.991037e-02,3.089984e-02,3.138786e-02,3.200208e-02,3.282272e-02,3.307863e-02,3.412749e-02,3.421015e-02,3.514689e-02,3.554605e-02,3.613529e-02,3.682698e-02,3.709136e-02,3.801400e-02,3.805019e-02,3.890230e-02,3.921354e-02,3.975555e-02,4.031546e-02,4.057322e-02,4.135496e-02,4.210058e-02,4.233154e-02,4.281004e-02,4.324516e-02,4.348344e-02,4.409619e-02,4.412101e-02,4.472309e-02,4.488537e-02,4.529014e-02,4.561379e-02,4.582272e-02,4.628277e-02,4.632144e-02,4.678703e-02,4.689392e-02,4.722025e-02,4.744903e-02,4.762195e-02,4.795006e-02,4.799299e-02,4.833430e-02,4.839908e-02,4.864684e-02,4.879830e-02,4.893157e-02,4.914998e-02,4.918949e-02,4.942162e-02,4.945643e-02,4.962896e-02,4.971999e-02,4.981255e-02,4.994299e-02,4.997339e-02,5.011251e-02,5.012779e-02,5.023089e-02,5.027667e-02,5.032954e-02,5.039192e-02,5.040943e-02,5.047151e-02,5.047574e-02,5.051672e-02,5.053029e-02,5.054597e-02,5.055766e-02,5.056016e-02,5.056015e-02,5.055986e-02,5.054677e-02,5.053884e-02,5.052085e-02,5.049645e-02,5.048316e-02,5.043447e-02,5.035458e-02,5.025838e-02,5.014740e-02,5.002306e-02,4.988673e-02,4.973967e-02,4.958307e-02,4.941805e-02,4.924565e-02,4.906684e-02,4.888253e-02,4.869356e-02,4.850069e-02,4.830465e-02,4.810610e-02,4.790565e-02,4.770385e-02,4.750123e-02,4.729824e-02,4.709533e-02,4.689287e-02,4.669122e-02,4.649070e-02,4.629160e-02
0.000000e+00,1.438833e-09,4.385875e-09,2.038687e-08,5.340715e-08,8.228264e-08,2.080262e-07,2.151222e-07,4.558239e-07,5.491697e-07,8.554902e-07,1.196015e-06,1.471019e-06,2.249394e-06,2.325995e-06,3.380468e-06,3.655644e-06,4.567858e-06,5.270764e-06,5.836698e-06,6.995289e-06,7.155457e-06,8.504557e-06,8.776736e-06,9.870057e-06,1.058272e-05,1.124041e-05,1.238753e-05,1.260508e-05,1.395413e-05,1.416789e-05,1.527820e-05,1.590235e-05,1.656879e-05,1.757204e-05,1.781834e-05,1.902048e-05,1.916129e-05,2.017006e-05,2.065818e-05,2.126320e-05,2.205455e-05,2.229722e-05,2.327057e-05,2.334580e-05,2.418270e-05,2.453044e-05,2.503388e-05,2.560954e-05,2.582513e-05,2.655801e-05,2.658614e-05,2.723449e-05,2.746466e-05,2.785690e-05,2.825058e-05,2.842785e-05,2.895006e-05,2.942630e-05,2.956942e-05,2.985921e-05,3.011481e-05,3.025155e-05,3.059250e-05,3.060598e-05,3.092502e-05,3.100835e-05,3.121115e-05,3.136799e-05,3.146667e-05,3.167660e-05,3.169377e-05,3.189451e-05,3.193898e-05,3.207081e-05,3.215954e-05,3.222448e-05,3.234234e-05,3.235722e-05,3.247057e-05,3.249104e-05,3.256598e-05,3.260896e-05,3.264481e-05,3.269911e-05,3.270829e-05,3.275758e-05,3.276422e-05,3.279374e-05,3.280673e-05,3.281777e-05,3.282887e-05,3.283058e-05,3.283301e-05,3.283264e-05,3.282585e-05,3.281985e-05,3.280982e-05,3.279212e-05,3.278559e-05,3.275379e-05,3.275094e-05,3.271499e-05,3.269763e-05,3.266972e-05,3.263341e-05,3.261848e-05,3.256173e-05,3.255936e-05,3.249990e-05,3.247647e-05,3.243338e-05,3.238565e-05,3.236253e-05,3.228771e-05,3.220923e-05,3.218339e-05,3.212739e-05,3.207338e-05,3.204246e-05,3.195827e-05,3.195471e-05,3.186437e-05,3.183864e-05,3.177167e-05,3.171500e-05,3.167681e-05,3.158781e-05,3.158000e-05,3.148142e-05,3.145751e-05,3.138123e-05,3.132449e-05,3.127960e-05,3.118910e-05,3.117669e-05,3.107262e-05,3.105168e-05,3.096753e-05,3.091252e-05,3.086154e-05,3.077190e-05,3.075477e-05,3.064733e-05,3.063009e-05,3.053932e-05,3.048730e-05,3.043083e-05,3.034376e-05,3.032196e-05,3.021278e-05,3.019967e-05,3.010338e-05,3.005520e-05,2.999383e-05,2.991052e-05,2.988420e-05,2.977456e-05,2.976579e-05,2.966496e-05,2.962114e-05,2.955546e-05,2.947672e-05,2.944612e-05,2.933699e-05,2.933263e-05,2.922811e-05,2.918899e-05,2.911953e-05,2.904589e-05,2.901130e-05,2.890344e-05,2.876171e-05,2.862078e-05,2.848072e-05,2.834160e-05,2.820348e-05,2.806641e-05,2.793045e-05,2.779562e-05,2.766198e-05,2.752957e-05,2.739840e-05,2.726852e-05,2.713995e-05,2.701271e-05,2.688682e-05,2.676231e-05,2.663917e-05,2.651743e-05,2.639710e-05,2.627819e-05,2.616070e-05,2.604464e-05,2.593000e-05,2.581681e-05
0.000000e+00,5.653012e-10,1.823421e-09,9.016971e-09,2.418685e-08,3.745600e-08,9.414400e-08,9.728124e-08,2.000169e-07,2.381751e-07,3.584842e-07,4.862362e-07,5.869099e-07,8.695821e-07,8.976204e-07,1.293208e-06,1.399755e-06,1.762456e-06,2.050724e-06,2.287476e-06,2.782688e-06,2.852095e-06,3.444054e-06,3.564867e-06,4.053987e-06,4.375657e-06,4.674198e-06,5.198174e-06,5.297956e-06,5.919194e-06,6.017984e-06,6.532451e-06,6.822536e-06,7.132901e-06,7.601235e-06,7.716406e-06,8.279552e-06,8.345626e-06,8.819655e-06,9.049467e-06,9.334738e-06,9.708632e-06,9.823479e-06,1.028514e-05,1.032089e-05,1.071949e-05,1.088561e-05,1.112671e-05,1.140340e-05,1.150734e-05,1.186217e-05,1.187584e-05,1.219219e-05,1.230513e-05,1.249851e-05,1.269388e-05,1.278233e-05,1.304491e-05,1.328750e-05,1.336112e-05,1.351137e-05,1.364538e-05,1.371773e-05,1.390045e-05,1.390775e-05,1.408257e-05,1.412894e-05,1.424324e-05,1.433327e-05,1.439076e-05,1.451568e-05,1.452608e-05,1.465007e-05,1.467823e-05,1.476354e-05,1.482278e-05,1.486725e-05,1.495101e-05,1.496191e-05,1.504814e-05,1.506443e-05,1.512655e-05,1.516441e-05,1.519768e-05,1.525218e-05,1.526204e-05,1.532011e-05,1.532884e-05,1.537230e-05,1.539539e-05,1.541902e-05,1.545270e-05,1.546063e-05,1.549748e-05,1.550160e-05,1.552987e-05,1.554279e-05,1.555810e-05,1.557693e-05,1.558242e-05,1.560310e-05,1.560461e-05,1.562036e-05,1.562636e-05,1.563442e-05,1.564267e-05,1.564547e-05,1.565370e-05,1.565397e-05,1.565928e-05,1.566067e-05,1.566237e-05,1.566312e-05,1.566312e-05,1.566167e-05,1.565816e-05,1.565662e-05,1.565270e-05,1.564823e-05,1.564541e-05,1.563678e-05,1.563639e-05,1.562576e-05,1.562250e-05,1.561360e-05,1.560560e-05,1.560000e-05,1.558629e-05,1.558505e-05,1.556883e-05,1.556475e-05,1.555141e-05,1.554116e-05,1.553286e-05,1.551566e-05,1.551326e-05,1.549265e-05,1.548842e-05,1.547112e-05,1.545956e-05,1.544870e-05,1.542923e-05,1.542546e-05,1.540144e-05,1.539753e-05,1.537670e-05,1.536457e-05,1.535127e-05,1.533047e-05,1.532521e-05,1.529856e-05,1.529532e-05,1.527135e-05,1.525922e-05,1.524363e-05,1.522224e-05,1.521542e-05,1.518677e-05,1.518446e-05,1.515770e-05,1.514597e-05,1.512825e-05,1.510683e-05,1.509845e-05,1.506831e-05,1.506710e-05,1.503788e-05,1.502686e-05,1.500718e-05,1.498616e-05,1.497622e-05,1.494504e-05,1.490358e-05,1.486180e-05,1.481977e-05,1.477752e-05,1.473508e-05,1.469251e-05,1.464983e-05,1.460709e-05,1.456430e-05,1.452150e-05,1.447872e-05,1.443599e-05,1.439332e-05,1.435074e-05,1.430828e-05,1.426595e-05,1.422377e-05,1.418177e-05,1.413995e-05,1.409833e-05,1.405693e-05,1.401576e-05,1.397484e-05,1.393417e-05
0.000000e+00,4.184307e-09,1.045878e-08,3.945216e-08,9.373943e-08,1.390042e-07,3.246457e-07,3.347186e-07,6.585853e-07,7.767308e-07,1.143923e-06,1.526909e-06,1.824866e-06,2.649635e-06,2.730853e-06,3.875039e-06,4.184433e-06,5.247944e-06,6.108165e-06,6.826268e-06,8.364806e-06,8.584491e-06,1.049898e-05,1.089868e-05,1.254773e-05,1.365906e-05,1.470945e-05,1.659726e-05,1.696319e-05,1.928843e-05,1.966577e-05,2.166539e-05,2.281916e-05,2.407539e-05,2.601553e-05,2.650118e-05,2.892719e-05,2.921765e-05,3.133963e-05,3.239366e-05,3.372655e-05,3.551721e-05,3.607777e-05,3.838480e-05,3.856724e-05,4.064072e-05,4.152749e-05,4.283996e-05,4.438583e-05,4.497816e-05,4.705202e-05,4.713360e-05,4.905916e-05,4.976506e-05,5.099794e-05,5.227675e-05,5.286739e-05,5.466708e-05,5.639701e-05,5.693591e-05,5.805755e-05,5.908418e-05,5.964937e-05,6.111372e-05,6.117339e-05,6.263072e-05,6.302699e-05,6.402261e-05,6.482691e-05,6.535045e-05,6.651675e-05,6.661570e-05,6.781991e-05,6.810001e-05,6.896467e-05,6.958038e-05,7.005162e-05,7.096162e-05,7.108241e-05,7.205870e-05,7.224756e-05,7.298216e-05,7.344204e-05,7.385446e-05,7.454888e-05,7.467727e-05,7.545220e-05,7.557186e-05,7.618091e-05,7.651473e-05,7.686497e-05,7.738114e-05,7.750597e-05,7.810546e-05,7.817468e-05,7.866495e-05,7.889884e-05,7.918593e-05,7.955702e-05,7.966986e-05,8.011815e-05,8.015252e-05,8.053220e-05,8.068854e-05,8.091336e-05,8.116817e-05,8.126294e-05,8.158223e-05,8.159439e-05,8.187248e-05,8.197010e-05,8.213490e-05,8.229805e-05,8.237066e-05,8.258092e-05,8.276677e-05,8.282127e-05,8.292930e-05,8.302155e-05,8.306954e-05,8.318414e-05,8.318850e-05,8.328717e-05,8.331128e-05,8.336647e-05,8.340515e-05,8.342733e-05,8.346780e-05,8.347063e-05,8.349722e-05,8.350121e-05,8.350792e-05,8.350727e-05,8.350353e-05,8.348778e-05,8.348481e-05,8.345249e-05,8.344446e-05,8.340730e-05,8.337894e-05,8.334991e-05,8.329277e-05,8.328099e-05,8.320118e-05,8.318743e-05,8.311107e-05,8.306434e-05,8.301127e-05,8.292483e-05,8.290234e-05,8.278482e-05,8.277016e-05,8.265923e-05,8.260155e-05,8.252608e-05,8.242012e-05,8.238584e-05,8.223899e-05,8.222697e-05,8.208596e-05,8.202312e-05,8.192718e-05,8.180953e-05,8.176306e-05,8.159399e-05,8.158712e-05,8.142033e-05,8.135676e-05,8.124246e-05,8.111927e-05,8.106071e-05,8.087541e-05,8.062590e-05,8.037144e-05,8.011267e-05,7.985019e-05,7.958457e-05,7.931635e-05,7.904602e-05,7.877406e-05,7.850090e-05,7.822696e-05,7.795261e-05,7.767822e-05,7.740412e-05,7.713061e-05,7.685799e-05,7.658652e-05,7.631645e-05,7.604800e-05,7.578139e-05,7.551681e-05,7.525443e-05,7.499442e-05,7.473693e-05,7.448208e-05
0.000000e+00,8.027080e-13,5.121037e-12,7.768555e-11,4.554921e-10,1.011821e-09,5.492057e-09,5.832007e-09,2.162076e-08,2.956610e-08,6.093497e-08,1.034247e-07,1.427543e-07,2.776886e-07,2.929414e-07,5.434020e-07,6.222887e-07,9.286939e-07,1.215457e-06,1.480537e-06,2.122986e-06,2.222607e-06,3.167599e-06,3.381255e-06,4.316884e-06,4.992770e-06,5.662004e-06,6.931708e-06,7.186961e-06,8.870564e-06,9.153064e-06,1.068843e-05,1.160109e-05,1.261454e-05,1.421550e-05,1.462232e-05,1.668551e-05,1.693560e-05,1.877879e-05,1.970314e-05,2.087823e-05,2.246424e-05,2.296171e-05,2.500928e-05,2.517099e-05,2.700335e-05,2.778254e-05,2.892888e-05,3.026577e-05,3.077349e-05,3.252740e-05,3.259556e-05,3.418338e-05,3.475456e-05,3.573660e-05,3.673263e-05,3.718437e-05,3.852594e-05,3.976223e-05,4.013594e-05,4.089550e-05,4.156826e-05,4.192914e-05,4.283161e-05,4.286736e-05,4.371500e-05,4.393681e-05,4.447728e-05,4.489595e-05,4.515968e-05,4.572167e-05,4.576770e-05,4.630686e-05,4.642661e-05,4.678251e-05,4.702305e-05,4.719978e-05,4.752259e-05,4.756358e-05,4.787850e-05,4.793600e-05,4.814883e-05,4.827312e-05,4.837856e-05,4.854283e-05,4.857134e-05,4.873054e-05,4.875311e-05,4.885925e-05,4.891103e-05,4.896026e-05,4.902283e-05,4.903611e-05,4.908910e-05,4.909402e-05,4.912132e-05,4.912942e-05,4.913467e-05,4.913324e-05,4.913084e-05,4.911138e-05,4.910919e-05,4.907769e-05,4.906052e-05,4.903103e-05,4.899005e-05,4.897255e-05,4.890327e-05,4.890029e-05,4.882416e-05,4.879344e-05,4.873606e-05,4.867143e-05,4.863976e-05,4.853598e-05,4.842535e-05,4.838861e-05,4.830849e-05,4.823068e-05,4.818594e-05,4.806340e-05,4.805820e-05,4.792574e-05,4.788787e-05,4.778899e-05,4.770505e-05,4.764835e-05,4.751583e-05,4.750417e-05,4.735680e-05,4.732100e-05,4.720656e-05,4.712127e-05,4.705373e-05,4.691731e-05,4.689858e-05,4.674138e-05,4.670971e-05,4.658235e-05,4.649901e-05,4.642172e-05,4.628570e-05,4.625968e-05,4.609645e-05,4.607023e-05,4.593218e-05,4.585302e-05,4.576705e-05,4.563444e-05,4.560122e-05,4.543484e-05,4.541484e-05,4.526803e-05,4.519454e-05,4.510094e-05,4.497383e-05,4.493367e-05,4.476635e-05,4.475297e-05,4.459909e-05,4.453221e-05,4.443197e-05,4.431179e-05,4.426509e-05,4.409855e-05,4.409189e-05,4.393242e-05,4.387272e-05,4.376677e-05,4.365445e-05,4.360169e-05,4.343723e-05,4.322121e-05,4.300652e-05,4.279329e-05,4.258161e-05,4.237160e-05,4.216334e-05,4.195691e-05,4.175239e-05,4.154985e-05,4.134934e-05,4.115092e-05,4.095463e-05,4.076052e-05,4.056862e-05,4.037897e-05,4.019158e-05,4.000648e-05,3.982370e-05,3.964324e-05,3.946511e-05,3.928934e-05,3.911591e-05,3.894484e-05,3.877612e-05
0.000000e+00,1.827614e-14,1.241156e-13,2.145203e-12,1.417628e-11,3.363443e-11,2.164162e-10,2.314041e-10,1.014242e-09,1.450829e-09,3.343795e-09,6.201666e-09,9.060755e-09,1.995944e-08,2.127672e-08,4.480104e-08,5.285036e-08,8.658180e-08,1.213840e-07,1.561370e-07,2.501517e-07,2.659429e-07,4.317310e-07,4.732305e-07,6.726390e-07,8.349393e-07,1.011165e-06,1.389613e-06,1.472908e-06,2.086101e-06,2.200265e-06,2.880980e-06,3.336274e-06,3.889023e-06,4.870381e-06,5.142131e-06,6.671774e-06,6.875367e-06,8.508164e-06,9.420704e-06,1.067947e-05,1.256943e-05,1.321114e-05,1.612524e-05,1.637547e-05,1.944001e-05,2.088140e-05,2.316946e-05,2.611693e-05,2.732307e-05,3.190569e-05,3.209793e-05,3.691745e-05,3.882601e-05,4.235385e-05,4.628873e-05,4.820587e-05,5.446025e-05,6.109970e-05,6.330234e-05,6.810337e-05,7.276582e-05,7.544710e-05,8.279206e-05,8.310398e-05,9.104468e-05,9.331473e-05,9.923797e-05,1.042616e-04,1.076511e-04,1.155564e-04,1.162504e-04,1.250013e-04,1.271203e-04,1.338694e-04,1.388738e-04,1.428200e-04,1.507379e-04,1.518193e-04,1.608340e-04,1.626359e-04,1.698319e-04,1.744939e-04,1.787823e-04,1.862422e-04,1.876556e-04,1.964242e-04,1.978157e-04,2.050622e-04,2.091548e-04,2.135454e-04,2.202057e-04,2.218518e-04,2.299613e-04,2.309203e-04,2.378557e-04,2.412570e-04,2.455191e-04,2.511799e-04,2.529372e-04,2.600980e-04,2.606594e-04,2.669912e-04,2.696716e-04,2.736083e-04,2.781979e-04,2.799427e-04,2.859893e-04,2.862251e-04,2.917447e-04,2.937449e-04,2.972067e-04,3.007531e-04,3.023749e-04,3.072498e-04,3.118331e-04,3.132386e-04,3.161277e-04,3.187265e-04,3.201375e-04,3.237230e-04,3.238669e-04,3.273214e-04,3.282402e-04,3.305071e-04,3.322922e-04,3.334306e-04,3.358948e-04,3.360991e-04,3.385201e-04,3.390652e-04,3.407017e-04,3.418217e-04,3.426519e-04,3.441834e-04,3.443792e-04,3.458921e-04,3.461698e-04,3.471995e-04,3.478010e-04,3.483100e-04,3.490971e-04,3.492324e-04,3.499754e-04,3.500782e-04,3.505476e-04,3.507641e-04,3.509576e-04,3.511745e-04,3.512138e-04,3.513245e-04,3.513284e-04,3.512978e-04,3.512446e-04,3.511416e-04,3.509410e-04,3.508636e-04,3.504713e-04,3.504352e-04,3.499720e-04,3.497439e-04,3.493727e-04,3.488830e-04,3.486801e-04,3.479009e-04,3.478680e-04,3.470413e-04,3.467133e-04,3.461072e-04,3.454326e-04,3.451046e-04,3.440389e-04,3.425445e-04,3.409608e-04,3.392985e-04,3.375678e-04,3.357781e-04,3.339379e-04,3.320554e-04,3.301381e-04,3.281929e-04,3.262261e-04,3.242435e-04,3.222506e-04,3.202521e-04,3.182525e-04,3.162560e-04,3.142661e-04,3.122861e-04,3.103191e-04,3.083678e-04,3.064344e-04,3.045211e-04,3.026298e-04,3.007622e-04,2.989196e-04
0.000000e+00,1.397412e-13,9.081779e-13,1.431532e-11,8.688740e-11,1.966546e-10,1.118588e-09,1.190019e-09,4.605092e-09,6.365917e-09,1.345470e-08,2.325053e-08,3.242883e-08,6.434247e-08,6.797767e-08,1.282248e-07,1.473970e-07,2.227538e-07,2.946317e-07,3.623088e-07,5.315166e-07,5.584314e-07,8.230327e-07,8.852152e-07,1.167882e-06,1.382623e-06,1.603990e-06,2.047881e-06,2.140891e-06,2.785892e-06,2.899464e-06,3.543400e-06,3.947406e-06,4.414453e-06,5.191484e-06,5.396550e-06,6.483782e-06,6.620920e-06,7.667238e-06,8.215593e-06,8.935581e-06,9.948283e-06,1.027572e-05,1.167349e-05,1.178737e-05,1.311430e-05,1.369941e-05,1.458363e-05,1.565133e-05,1.606750e-05,1.755281e-05,1.761208e-05,1.902755e-05,1.955376e-05,2.048096e-05,2.145221e-05,2.190359e-05,2.328735e-05,2.462547e-05,2.504310e-05,2.591244e-05,2.670720e-05,2.714391e-05,2.827089e-05,2.831664e-05,2.942835e-05,2.972848e-05,3.047765e-05,3.107697e-05,3.146389e-05,3.231555e-05,3.238709e-05,3.324784e-05,3.344524e-05,3.404719e-05,3.446852e-05,3.478656e-05,3.538896e-05,3.546769e-05,3.609255e-05,3.621096e-05,3.666331e-05,3.693947e-05,3.718224e-05,3.757982e-05,3.765172e-05,3.807415e-05,3.813753e-05,3.845196e-05,3.861818e-05,3.878758e-05,3.902729e-05,3.908338e-05,3.934170e-05,3.937029e-05,3.956481e-05,3.965240e-05,3.975492e-05,3.987862e-05,3.991413e-05,4.004448e-05,4.005372e-05,4.014792e-05,4.018218e-05,4.022630e-05,4.026821e-05,4.028138e-05,4.031485e-05,4.031576e-05,4.032828e-05,4.032850e-05,4.032317e-05,4.030983e-05,4.030094e-05,4.026292e-05,4.021036e-05,4.019066e-05,4.014444e-05,4.009575e-05,4.006626e-05,3.998064e-05,3.997686e-05,3.987722e-05,3.984761e-05,3.976824e-05,3.969873e-05,3.965077e-05,3.953590e-05,3.952562e-05,3.939352e-05,3.936086e-05,3.925516e-05,3.917519e-05,3.911120e-05,3.898036e-05,3.896224e-05,3.880885e-05,3.877768e-05,3.865154e-05,3.856836e-05,3.849081e-05,3.835349e-05,3.832711e-05,3.816087e-05,3.813406e-05,3.799248e-05,3.791099e-05,3.782230e-05,3.768509e-05,3.765067e-05,3.747790e-05,3.745710e-05,3.730428e-05,3.722769e-05,3.713008e-05,3.699746e-05,3.695555e-05,3.678092e-05,3.676695e-05,3.660639e-05,3.653666e-05,3.643217e-05,3.630702e-05,3.625843e-05,3.608534e-05,3.607843e-05,3.591304e-05,3.585123e-05,3.574168e-05,3.562575e-05,3.557137e-05,3.540225e-05,3.518097e-05,3.496215e-05,3.474596e-05,3.453256e-05,3.432210e-05,3.411471e-05,3.391048e-05,3.370950e-05,3.351185e-05,3.331757e-05,3.312672e-05,3.293932e-05,3.275541e-05,3.257499e-05,3.239807e-05,3.222465e-05,3.205473e-05,3.188828e-05,3.172529e-05,3.156573e-05,3.140958e-05,3.125679e-05,3.110734e-05,3.096119e-05
0.000000e+00,3.578339e-13,2.285010e-12,3.473621e-11,2.040552e-10,4.537246e-10,2.467580e-09,2.620462e-09,9.718536e-09,1.328623e-08,2.733723e-08,4.628506e-08,6.374764e-08,1.232509e-07,1.299480e-07,2.395391e-07,2.740153e-07,4.082952e-07,5.349439e-07,6.531208e-07,9.444830e-07,9.903094e-07,1.433562e-06,1.535866e-06,1.992448e-06,2.330535e-06,2.671706e-06,3.335431e-06,3.471335e-06,4.387240e-06,4.544124e-06,5.412098e-06,5.939955e-06,6.536225e-06,7.499454e-06,7.748336e-06,9.036157e-06,9.195178e-06,1.038689e-05,1.099780e-05,1.178757e-05,1.287758e-05,1.322536e-05,1.468775e-05,1.480545e-05,1.616280e-05,1.675381e-05,1.763924e-05,1.869725e-05,1.910666e-05,2.055561e-05,2.061306e-05,2.197765e-05,2.248154e-05,2.336540e-05,2.428625e-05,2.471260e-05,2.601404e-05,2.726554e-05,2.765493e-05,2.846393e-05,2.920192e-05,2.960691e-05,3.065069e-05,3.069303e-05,3.172157e-05,3.199921e-05,3.269243e-05,3.324743e-05,3.360608e-05,3.439688e-05,3.446342e-05,3.526576e-05,3.545031e-05,3.601468e-05,3.641141e-05,3.671199e-05,3.728452e-05,3.735970e-05,3.795990e-05,3.807443e-05,3.851477e-05,3.878612e-05,3.902651e-05,3.942467e-05,3.949735e-05,3.992945e-05,3.999514e-05,4.032497e-05,4.050244e-05,4.068599e-05,4.095131e-05,4.101451e-05,4.131247e-05,4.134626e-05,4.158172e-05,4.169155e-05,4.182402e-05,4.199118e-05,4.204104e-05,4.223437e-05,4.224886e-05,4.240550e-05,4.246806e-05,4.255584e-05,4.265197e-05,4.268673e-05,4.279941e-05,4.280355e-05,4.289505e-05,4.292553e-05,4.297477e-05,4.302040e-05,4.303958e-05,4.309047e-05,4.312834e-05,4.313785e-05,4.315403e-05,4.316446e-05,4.316835e-05,4.317209e-05,4.317204e-05,4.316580e-05,4.316236e-05,4.315028e-05,4.313677e-05,4.312610e-05,4.309669e-05,4.309382e-05,4.305399e-05,4.304337e-05,4.300712e-05,4.297796e-05,4.295366e-05,4.290154e-05,4.289408e-05,4.282877e-05,4.281506e-05,4.275814e-05,4.271943e-05,4.268255e-05,4.261547e-05,4.260234e-05,4.251784e-05,4.250394e-05,4.242934e-05,4.238553e-05,4.233714e-05,4.226090e-05,4.224151e-05,4.214269e-05,4.213063e-05,4.204092e-05,4.199527e-05,4.193643e-05,4.185533e-05,4.182943e-05,4.172011e-05,4.171127e-05,4.160867e-05,4.156354e-05,4.149528e-05,4.141252e-05,4.138010e-05,4.126329e-05,4.125859e-05,4.114500e-05,4.110209e-05,4.102538e-05,4.094333e-05,4.090454e-05,4.078262e-05,4.062023e-05,4.045640e-05,4.029137e-05,4.012537e-05,3.995859e-05,3.979121e-05,3.962343e-05,3.945538e-05,3.928723e-05,3.911912e-05,3.895117e-05,3.878350e-05,3.861622e-05,3.844945e-05,3.828326e-05,3.811775e-05,3.795301e-05,3.778910e-05,3.762609e-05,3.746406e-05,3.730306e-05,3.714313e-05,3.698435e-05,3.682673e-05
0.000000e+00,4.184252e-09,9.663572e-09,3.351881e-08,7.652761e-08,1.117754e-07,2.540184e-07,2.616745e-07,5.061989e-07,5.949151e-07,8.699287e-07,1.156413e-06,1.379460e-06,1.999218e-06,2.060497e-06,2.929315e-06,3.166003e-06,3.984549e-06,4.651270e-06,5.210314e-06,6.413872e-06,6.586266e-06,8.093436e-06,8.409112e-06,9.715071e-06,1.059842e-05,1.143578e-05,1.294687e-05,1.324071e-05,1.511516e-05,1.542054e-05,1.704444e-05,1.798570e-05,1.901402e-05,2.060915e-05,2.100971e-05,2.301792e-05,2.325912e-05,2.502583e-05,2.590613e-05,2.702163e-05,2.852374e-05,2.899466e-05,3.093542e-05,3.108903e-05,3.283566e-05,3.358281e-05,3.468839e-05,3.598959e-05,3.648774e-05,3.822901e-05,3.829740e-05,3.990848e-05,4.049740e-05,4.152337e-05,4.258357e-05,4.307171e-05,4.455231e-05,4.596462e-05,4.640213e-05,4.730867e-05,4.813323e-05,4.858490e-05,4.974697e-05,4.979406e-05,5.093722e-05,5.124565e-05,5.201568e-05,5.263232e-05,5.303094e-05,5.391061e-05,5.398469e-05,5.487876e-05,5.508467e-05,5.571507e-05,5.615892e-05,5.649562e-05,5.713798e-05,5.722243e-05,5.789757e-05,5.802658e-05,5.852315e-05,5.882962e-05,5.910147e-05,5.955246e-05,5.963487e-05,6.012530e-05,6.019991e-05,6.057466e-05,6.077634e-05,6.098489e-05,6.128612e-05,6.135780e-05,6.169515e-05,6.173333e-05,6.199871e-05,6.212200e-05,6.227014e-05,6.245595e-05,6.251107e-05,6.272305e-05,6.273880e-05,6.290757e-05,6.297402e-05,6.306610e-05,6.316493e-05,6.320003e-05,6.331070e-05,6.331466e-05,6.339940e-05,6.342619e-05,6.346736e-05,6.350234e-05,6.351577e-05,6.354576e-05,6.355840e-05,6.355895e-05,6.355474e-05,6.354431e-05,6.353578e-05,6.350405e-05,6.350246e-05,6.345568e-05,6.344029e-05,6.339632e-05,6.335500e-05,6.332519e-05,6.325004e-05,6.324308e-05,6.315075e-05,6.312715e-05,6.304890e-05,6.298797e-05,6.293822e-05,6.283403e-05,6.281935e-05,6.269291e-05,6.266677e-05,6.255949e-05,6.248753e-05,6.241963e-05,6.229757e-05,6.227387e-05,6.212271e-05,6.209805e-05,6.196662e-05,6.189008e-05,6.180605e-05,6.167466e-05,6.164144e-05,6.147318e-05,6.145276e-05,6.130166e-05,6.122525e-05,6.112724e-05,6.099295e-05,6.095027e-05,6.077106e-05,6.075663e-05,6.058992e-05,6.051700e-05,6.040715e-05,6.027470e-05,6.022301e-05,6.003777e-05,6.003034e-05,5.985165e-05,5.978448e-05,5.966490e-05,5.953765e-05,5.947772e-05,5.929031e-05,5.904290e-05,5.879582e-05,5.854945e-05,5.830412e-05,5.806013e-05,5.781778e-05,5.757730e-05,5.733894e-05,5.710290e-05,5.686937e-05,5.663851e-05,5.641048e-05,5.618541e-05,5.596341e-05,5.574459e-05,5.552903e-05,5.531682e-05,5.510801e-05,5.490266e-05,5.470081e-05,5.450249e-05,5.430774e-05,5.411657e-05,5.392898e-05
0.000000e+00,8.180402e-14,5.545479e-13,9.549348e-12,6.289723e-11,1.489634e-10,9.542188e-10,1.020123e-09,4.452596e-09,6.362353e-09,1.462529e-08,2.707094e-08,3.950175e-08,8.678672e-08,9.249452e-08,1.942662e-07,2.290384e-07,3.745631e-07,5.244597e-07,6.739484e-07,1.077556e-06,1.145248e-06,1.854468e-06,2.031614e-06,2.880930e-06,3.570099e-06,4.316485e-06,5.913328e-06,6.263775e-06,8.833693e-06,9.310372e-06,1.214228e-05,1.402739e-05,1.630732e-05,2.033408e-05,2.144478e-05,2.766552e-05,2.848978e-05,3.507209e-05,3.873071e-05,4.375609e-05,5.125902e-05,5.379586e-05,6.525474e-05,6.623428e-05,7.817982e-05,8.376771e-05,9.260118e-05,1.039189e-04,1.085316e-04,1.259667e-04,1.266951e-04,1.448853e-04,1.520525e-04,1.652506e-04,1.798996e-04,1.870109e-04,2.101012e-04,2.344443e-04,2.424846e-04,2.599526e-04,2.768453e-04,2.865299e-04,3.129535e-04,3.140723e-04,3.424709e-04,3.505605e-04,3.716121e-04,3.894052e-04,4.013802e-04,4.292198e-04,4.316580e-04,4.623287e-04,4.697351e-04,4.932763e-04,5.106855e-04,5.243873e-04,5.518127e-04,5.555516e-04,5.866628e-04,5.928696e-04,6.176193e-04,6.336232e-04,6.483246e-04,6.738563e-04,6.786879e-04,7.086246e-04,7.133695e-04,7.380561e-04,7.519823e-04,7.669102e-04,7.895334e-04,7.951213e-04,8.226301e-04,8.258814e-04,8.493841e-04,8.609045e-04,8.753367e-04,8.944996e-04,9.004476e-04,9.246824e-04,9.265825e-04,9.480127e-04,9.570860e-04,9.704150e-04,9.859598e-04,9.918714e-04,1.012369e-03,1.013169e-03,1.031899e-03,1.038692e-03,1.050457e-03,1.062521e-03,1.068043e-03,1.084660e-03,1.100316e-03,1.105124e-03,1.115019e-03,1.123935e-03,1.128783e-03,1.141126e-03,1.141622e-03,1.153553e-03,1.156734e-03,1.164596e-03,1.170804e-03,1.174772e-03,1.183386e-03,1.184102e-03,1.192611e-03,1.194533e-03,1.200322e-03,1.204302e-03,1.207262e-03,1.212751e-03,1.213456e-03,1.218930e-03,1.219941e-03,1.223713e-03,1.225935e-03,1.227829e-03,1.230793e-03,1.231308e-03,1.234176e-03,1.234580e-03,1.236460e-03,1.237356e-03,1.238186e-03,1.239184e-03,1.239382e-03,1.240073e-03,1.240123e-03,1.240284e-03,1.240232e-03,1.240041e-03,1.239568e-03,1.239369e-03,1.238291e-03,1.238188e-03,1.236830e-03,1.236143e-03,1.235009e-03,1.233487e-03,1.232850e-03,1.230374e-03,1.230269e-03,1.227602e-03,1.226536e-03,1.224554e-03,1.222332e-03,1.221247e-03,1.217702e-03,1.212685e-03,1.207321e-03,1.201645e-03,1.195692e-03,1.189494e-03,1.183081e-03,1.176482e-03,1.169723e-03,1.162829e-03,1.155822e-03,1.148724e-03,1.141554e-03,1.134331e-03,1.127071e-03,1.119791e-03,1.112503e-03,1.105221e-03,1.097957e-03,1.090722e-03,1.083525e-03,1.076376e-03,1.069282e-03,1.062251e-03,1.055289e-03
0.000000e+00,2.548058e-09,5.841556e-09,2.007985e-08,4.558568e-08,6.639540e-08,1.497783e-07,1.542432e-07,2.957898e-07,3.466822e-07,5.030650e-07,6.640084e-07,7.881345e-07,1.128934e-06,1.162383e-06,1.634033e-06,1.762071e-06,2.204712e-06,2.565689e-06,2.868880e-06,3.523264e-06,3.617166e-06,4.439620e-06,4.612175e-06,5.326855e-06,5.810852e-06,6.269969e-06,7.099006e-06,7.260268e-06,8.289104e-06,8.456717e-06,9.347856e-06,9.864178e-06,1.042802e-05,1.130200e-05,1.152134e-05,1.261994e-05,1.275177e-05,1.371649e-05,1.419656e-05,1.480425e-05,1.562134e-05,1.587721e-05,1.693007e-05,1.701329e-05,1.795829e-05,1.836181e-05,1.895807e-05,1.965853e-05,1.992630e-05,2.086053e-05,2.089717e-05,2.175891e-05,2.207328e-05,2.262011e-05,2.318404e-05,2.344327e-05,2.422794e-05,2.497403e-05,2.520465e-05,2.568173e-05,2.611471e-05,2.635149e-05,2.695936e-05,2.698395e-05,2.757993e-05,2.774039e-05,2.814035e-05,2.845997e-05,2.866626e-05,2.912055e-05,2.915874e-05,2.961897e-05,2.972475e-05,3.004812e-05,3.027532e-05,3.044740e-05,3.077503e-05,3.081804e-05,3.116122e-05,3.122667e-05,3.147814e-05,3.163296e-05,3.176998e-05,3.199658e-05,3.203788e-05,3.228296e-05,3.232013e-05,3.250632e-05,3.260612e-05,3.270900e-05,3.285696e-05,3.289204e-05,3.305641e-05,3.307492e-05,3.320307e-05,3.326222e-05,3.333292e-05,3.342092e-05,3.344686e-05,3.354572e-05,3.355300e-05,3.363031e-05,3.366032e-05,3.370140e-05,3.374465e-05,3.375975e-05,3.380604e-05,3.380765e-05,3.384097e-05,3.385089e-05,3.386518e-05,3.387583e-05,3.387928e-05,3.388387e-05,3.387951e-05,3.387631e-05,3.386673e-05,3.385437e-05,3.384604e-05,3.381920e-05,3.381794e-05,3.378287e-05,3.377187e-05,3.374129e-05,3.371338e-05,3.369360e-05,3.364469e-05,3.364022e-05,3.358151e-05,3.356667e-05,3.351784e-05,3.348014e-05,3.344955e-05,3.338589e-05,3.337696e-05,3.330038e-05,3.328462e-05,3.322011e-05,3.317700e-05,3.313642e-05,3.306367e-05,3.304958e-05,3.295983e-05,3.294522e-05,3.286741e-05,3.282217e-05,3.277255e-05,3.269504e-05,3.267546e-05,3.257633e-05,3.256431e-05,3.247537e-05,3.243041e-05,3.237275e-05,3.229375e-05,3.226864e-05,3.216320e-05,3.215471e-05,3.205658e-05,3.201364e-05,3.194894e-05,3.187087e-05,3.184040e-05,3.173109e-05,3.172671e-05,3.162114e-05,3.158142e-05,3.151066e-05,3.143529e-05,3.139976e-05,3.128854e-05,3.114139e-05,3.099406e-05,3.084673e-05,3.069957e-05,3.055275e-05,3.040641e-05,3.026070e-05,3.011572e-05,2.997160e-05,2.982843e-05,2.968632e-05,2.954534e-05,2.940558e-05,2.926710e-05,2.912997e-05,2.899424e-05,2.885996e-05,2.872718e-05,2.859593e-05,2.846626e-05,2.833818e-05,2.821173e-05,2.808692e-05,2.796378e-05
0.000000e+00,3.270488e-10,1.196336e-09,6.959696e-09,2.034579e-08,3.258208e-08,8.694639e-08,9.000776e-08,1.913649e-07,2.292269e-07,3.484587e-07,4.743852e-07,5.731291e-07,8.498432e-07,8.773959e-07,1.272965e-06,1.382638e-06,1.769439e-06,2.093513e-06,2.371342e-06,2.986416e-06,3.076204e-06,3.875988e-06,4.046433e-06,4.760334e-06,5.250122e-06,5.718799e-06,6.573982e-06,6.741555e-06,7.819295e-06,7.996232e-06,8.943027e-06,9.496164e-06,1.010395e-05,1.105365e-05,1.129341e-05,1.250302e-05,1.264913e-05,1.372466e-05,1.426401e-05,1.495069e-05,1.588100e-05,1.617398e-05,1.738801e-05,1.748455e-05,1.858692e-05,1.906108e-05,1.976556e-05,2.059910e-05,2.091947e-05,2.204485e-05,2.208923e-05,2.313859e-05,2.352408e-05,2.419815e-05,2.489812e-05,2.522159e-05,2.620743e-05,2.715468e-05,2.744954e-05,2.806271e-05,2.862314e-05,2.893127e-05,2.972795e-05,2.976036e-05,3.055025e-05,3.076445e-05,3.130141e-05,3.173379e-05,3.201450e-05,3.263757e-05,3.269028e-05,3.332964e-05,3.347777e-05,3.393355e-05,3.425664e-05,3.450305e-05,3.497659e-05,3.503921e-05,3.554315e-05,3.564017e-05,3.601601e-05,3.624998e-05,3.645891e-05,3.680864e-05,3.687300e-05,3.725941e-05,3.731874e-05,3.761925e-05,3.778286e-05,3.795362e-05,3.820350e-05,3.826360e-05,3.855024e-05,3.858312e-05,3.881456e-05,3.892405e-05,3.905756e-05,3.922857e-05,3.928020e-05,3.948341e-05,3.949886e-05,3.966811e-05,3.973699e-05,3.983515e-05,3.994497e-05,3.998539e-05,4.011964e-05,4.012469e-05,4.023868e-05,4.027795e-05,4.034326e-05,4.040648e-05,4.043410e-05,4.051191e-05,4.057734e-05,4.059577e-05,4.063104e-05,4.065953e-05,4.067362e-05,4.070459e-05,4.070567e-05,4.072776e-05,4.073223e-05,4.074042e-05,4.074371e-05,4.074418e-05,4.074019e-05,4.073952e-05,4.072693e-05,4.072277e-05,4.070684e-05,4.069249e-05,4.067971e-05,4.065033e-05,4.064594e-05,4.060593e-05,4.059721e-05,4.056005e-05,4.053400e-05,4.050867e-05,4.046151e-05,4.045213e-05,4.039075e-05,4.038051e-05,4.032486e-05,4.029172e-05,4.025476e-05,4.019582e-05,4.018071e-05,4.010301e-05,4.009345e-05,4.002190e-05,3.998520e-05,3.993763e-05,3.987162e-05,3.985044e-05,3.976056e-05,3.975326e-05,3.966819e-05,3.963059e-05,3.957353e-05,3.950407e-05,3.947678e-05,3.937813e-05,3.937414e-05,3.927773e-05,3.924120e-05,3.917577e-05,3.910563e-05,3.907240e-05,3.896776e-05,3.882795e-05,3.868648e-05,3.854364e-05,3.839971e-05,3.825492e-05,3.810950e-05,3.796368e-05,3.781764e-05,3.767157e-05,3.752564e-05,3.738000e-05,3.723481e-05,3.709020e-05,3.694628e-05,3.680318e-05,3.666099e-05,3.651981e-05,3.637973e-05,3.624082e-05,3.610317e-05,3.596682e-05,3.583185e-05,3.569831e-05,3.556624e-05
0.000000e+00,4.566134e-14,3.090514e-13,5.304481e-12,3.482584e-11,8.232481e-11,5.245522e-10,5.606513e-10,2.432306e-09,3.469296e-09,7.936477e-09,1.462761e-08,2.128132e-08,4.642131e-08,4.944232e-08,1.029765e-07,1.211554e-07,1.967966e-07,2.741448e-07,3.508506e-07,5.563641e-07,5.906509e-07,9.475813e-07,1.036201e-06,1.458905e-06,1.799810e-06,2.167402e-06,2.949574e-06,3.120605e-06,4.369658e-06,4.600508e-06,5.967884e-06,6.874904e-06,7.969164e-06,9.895920e-06,1.042626e-05,1.338914e-05,1.378090e-05,1.690352e-05,1.863512e-05,2.100948e-05,2.454646e-05,2.574039e-05,3.112210e-05,3.158135e-05,3.717238e-05,3.978207e-05,4.390058e-05,4.916548e-05,5.130759e-05,5.938605e-05,5.972297e-05,6.812064e-05,7.142155e-05,7.748863e-05,8.420588e-05,8.746055e-05,9.800091e-05,1.090690e-04,1.127150e-04,1.206198e-04,1.282434e-04,1.326049e-04,1.444715e-04,1.449730e-04,1.576712e-04,1.612785e-04,1.706456e-04,1.785402e-04,1.838419e-04,1.961322e-04,1.972062e-04,2.106857e-04,2.139322e-04,2.242289e-04,2.318224e-04,2.377863e-04,2.496910e-04,2.513107e-04,2.647574e-04,2.674338e-04,2.780848e-04,2.849549e-04,2.912541e-04,3.021678e-04,3.042295e-04,3.169787e-04,3.189955e-04,3.294723e-04,3.353707e-04,3.416843e-04,3.512356e-04,3.535917e-04,3.651746e-04,3.665418e-04,3.764159e-04,3.812501e-04,3.873014e-04,3.953292e-04,3.978195e-04,4.079612e-04,4.087560e-04,4.177196e-04,4.215145e-04,4.270901e-04,4.335952e-04,4.360701e-04,4.446589e-04,4.449943e-04,4.528571e-04,4.557133e-04,4.606672e-04,4.657583e-04,4.680929e-04,4.751390e-04,4.818115e-04,4.838689e-04,4.881172e-04,4.919638e-04,4.940637e-04,4.994421e-04,4.996593e-04,5.049130e-04,5.063239e-04,5.098339e-04,5.126308e-04,5.144318e-04,5.183851e-04,5.187166e-04,5.226986e-04,5.236103e-04,5.263880e-04,5.283301e-04,5.297952e-04,5.325685e-04,5.329307e-04,5.358050e-04,5.363494e-04,5.384282e-04,5.396965e-04,5.408107e-04,5.426334e-04,5.429626e-04,5.448937e-04,5.451829e-04,5.466139e-04,5.473674e-04,5.481325e-04,5.492087e-04,5.494590e-04,5.506024e-04,5.507277e-04,5.515715e-04,5.519449e-04,5.523748e-04,5.528795e-04,5.530205e-04,5.535168e-04,5.535503e-04,5.538714e-04,5.539752e-04,5.540916e-04,5.541710e-04,5.541847e-04,5.541576e-04,5.541541e-04,5.540170e-04,5.539398e-04,5.537692e-04,5.535427e-04,5.534204e-04,5.529765e-04,5.522544e-04,5.513886e-04,5.503907e-04,5.492717e-04,5.480419e-04,5.467109e-04,5.452879e-04,5.437812e-04,5.421989e-04,5.405485e-04,5.388369e-04,5.370707e-04,5.352559e-04,5.333983e-04,5.315031e-04,5.295753e-04,5.276196e-04,5.256401e-04,5.236409e-04,5.216257e-04,5.195980e-04,5.175608e-04,5.155172e-04,5.134700e-04
0.000000e+00,8.900558e-10,2.750617e-09,1.298793e-08,3.417882e-08,5.260649e-08,1.310581e-07,1.353939e-07,2.771712e-07,3.297305e-07,4.950831e-07,6.701007e-07,8.076889e-07,1.193313e-06,1.231575e-06,1.773990e-06,1.921426e-06,2.429728e-06,2.842173e-06,3.187248e-06,3.928961e-06,4.035151e-06,4.963916e-06,5.158636e-06,5.965309e-06,6.512140e-06,7.031508e-06,7.971385e-06,8.154554e-06,9.326111e-06,9.517482e-06,1.053743e-05,1.113034e-05,1.177946e-05,1.278901e-05,1.304299e-05,1.431886e-05,1.447237e-05,1.559815e-05,1.615992e-05,1.687237e-05,1.783250e-05,1.813362e-05,1.937469e-05,1.947290e-05,2.058912e-05,2.106616e-05,2.177132e-05,2.259983e-05,2.291651e-05,2.402074e-05,2.406401e-05,2.508086e-05,2.545122e-05,2.609447e-05,2.675627e-05,2.705987e-05,2.797596e-05,2.884222e-05,2.910888e-05,2.965858e-05,3.015503e-05,3.042542e-05,3.111565e-05,3.114344e-05,3.181365e-05,3.199290e-05,3.243728e-05,3.278968e-05,3.301574e-05,3.350938e-05,3.355061e-05,3.404354e-05,3.415579e-05,3.449627e-05,3.473290e-05,3.491057e-05,3.524480e-05,3.528824e-05,3.563108e-05,3.569562e-05,3.594085e-05,3.608945e-05,3.621932e-05,3.643028e-05,3.646818e-05,3.668909e-05,3.672195e-05,3.688367e-05,3.696817e-05,3.705346e-05,3.717245e-05,3.719995e-05,3.732456e-05,3.733811e-05,3.742866e-05,3.746830e-05,3.751354e-05,3.756596e-05,3.758044e-05,3.763053e-05,3.763384e-05,3.766492e-05,3.767452e-05,3.768468e-05,3.769040e-05,3.769080e-05,3.768422e-05,3.768371e-05,3.766584e-05,3.765650e-05,3.763650e-05,3.761069e-05,3.759699e-05,3.754806e-05,3.749041e-05,3.747023e-05,3.742471e-05,3.737873e-05,3.735158e-05,3.727494e-05,3.727161e-05,3.718536e-05,3.716015e-05,3.709333e-05,3.703554e-05,3.699601e-05,3.690221e-05,3.689387e-05,3.678733e-05,3.676116e-05,3.667680e-05,3.661330e-05,3.656265e-05,3.645949e-05,3.644523e-05,3.632489e-05,3.630049e-05,3.620192e-05,3.613704e-05,3.607662e-05,3.596977e-05,3.594927e-05,3.582011e-05,3.579929e-05,3.568939e-05,3.562615e-05,3.555733e-05,3.545085e-05,3.542413e-05,3.529000e-05,3.527385e-05,3.515512e-05,3.509557e-05,3.501965e-05,3.491640e-05,3.488375e-05,3.474757e-05,3.473667e-05,3.461125e-05,3.455671e-05,3.447491e-05,3.437681e-05,3.433868e-05,3.420266e-05,3.419723e-05,3.406696e-05,3.401820e-05,3.393167e-05,3.383995e-05,3.379688e-05,3.366267e-05,3.348653e-05,3.331169e-05,3.313830e-05,3.296648e-05,3.279634e-05,3.262798e-05,3.246150e-05,3.229696e-05,3.213445e-05,3.197401e-05,3.181570e-05,3.165957e-05,3.150564e-05,3.135395e-05,3.120452e-05,3.105737e-05,3.091252e-05,3.076997e-05,3.062973e-05,3.049180e-05,3.035617e-05,3.022285e-05,3.009182e-05,2.996308e-05
0.000000e+00,3.248609e-09,7.446760e-09,2.566126e-08,5.851265e-08,8.549790e-08,1.950562e-07,2.009829e-07,3.917635e-07,4.616474e-07,6.802560e-07,9.107030e-07,1.091681e-06,1.599598e-06,1.650106e-06,2.368916e-06,2.565137e-06,3.243445e-06,3.794788e-06,4.255940e-06,5.244750e-06,5.385929e-06,6.615469e-06,6.871961e-06,7.929536e-06,8.641851e-06,9.315006e-06,1.052510e-05,1.075976e-05,1.225219e-05,1.249464e-05,1.378102e-05,1.452457e-05,1.533536e-05,1.659016e-05,1.690477e-05,1.847947e-05,1.866835e-05,2.005040e-05,2.073828e-05,2.160938e-05,2.278168e-05,2.314911e-05,2.466326e-05,2.478312e-05,2.614639e-05,2.672992e-05,2.759398e-05,2.861212e-05,2.900231e-05,3.036846e-05,3.042220e-05,3.169017e-05,3.215477e-05,3.296578e-05,3.380628e-05,3.419419e-05,3.537472e-05,3.650712e-05,3.685932e-05,3.759142e-05,3.826029e-05,3.862798e-05,3.957866e-05,3.961733e-05,4.056023e-05,4.081603e-05,4.145755e-05,4.197448e-05,4.231030e-05,4.305640e-05,4.311957e-05,4.388652e-05,4.406442e-05,4.461235e-05,4.500133e-05,4.529832e-05,4.586999e-05,4.594567e-05,4.655569e-05,4.667333e-05,4.712965e-05,4.741428e-05,4.766881e-05,4.809574e-05,4.817444e-05,4.864777e-05,4.872059e-05,4.909003e-05,4.929163e-05,4.950241e-05,4.981159e-05,4.988609e-05,5.024221e-05,5.028315e-05,5.057189e-05,5.070886e-05,5.087623e-05,5.109122e-05,5.115627e-05,5.141305e-05,5.143262e-05,5.164757e-05,5.173536e-05,5.186079e-05,5.200165e-05,5.205365e-05,5.222705e-05,5.223360e-05,5.238189e-05,5.243324e-05,5.251899e-05,5.260251e-05,5.263919e-05,5.274326e-05,5.283198e-05,5.285725e-05,5.290608e-05,5.294615e-05,5.296626e-05,5.301158e-05,5.301321e-05,5.304758e-05,5.305504e-05,5.307002e-05,5.307800e-05,5.308112e-05,5.308182e-05,5.308146e-05,5.307163e-05,5.306781e-05,5.305214e-05,5.303721e-05,5.302353e-05,5.299119e-05,5.298628e-05,5.294088e-05,5.293087e-05,5.288780e-05,5.285730e-05,5.282745e-05,5.277147e-05,5.276028e-05,5.268668e-05,5.267434e-05,5.260705e-05,5.256679e-05,5.252174e-05,5.244966e-05,5.243113e-05,5.233554e-05,5.232376e-05,5.223531e-05,5.218982e-05,5.213075e-05,5.204857e-05,5.202216e-05,5.190981e-05,5.190067e-05,5.179399e-05,5.174674e-05,5.167495e-05,5.158739e-05,5.155294e-05,5.142820e-05,5.142316e-05,5.130096e-05,5.125458e-05,5.117143e-05,5.108214e-05,5.103981e-05,5.090631e-05,5.072752e-05,5.054618e-05,5.036267e-05,5.017734e-05,4.999053e-05,4.980255e-05,4.961369e-05,4.942423e-05,4.923442e-05,4.904449e-05,4.885467e-05,4.866516e-05,4.847614e-05,4.828779e-05,4.810028e-05,4.791376e-05,4.772836e-05,4.754421e-05,4.736143e-05,4.718012e-05,4.700038e-05,4.682231e-05,4.664597e-05,4.647146e-05
0.000000e+00,1.548506e-13,1.053918e-12,1.830065e-11,1.214717e-10,2.889246e-10,1.871751e-09,2.001958e-09,8.839543e-09,1.267151e-08,2.936905e-08,5.473491e-08,8.023507e-08,1.781533e-07,1.900457e-07,4.038215e-07,4.774424e-07,7.878026e-07,1.110365e-06,1.434232e-06,2.316601e-06,2.465499e-06,4.036954e-06,4.432133e-06,6.337889e-06,7.895191e-06,9.590515e-06,1.324192e-05,1.404705e-05,1.998523e-05,2.109250e-05,2.770256e-05,3.212973e-05,3.750968e-05,4.707279e-05,4.972322e-05,6.465851e-05,6.664835e-05,8.262223e-05,9.156140e-05,1.039055e-04,1.224673e-04,1.287772e-04,1.574787e-04,1.599467e-04,1.902182e-04,2.044843e-04,2.271669e-04,2.564515e-04,2.684558e-04,3.141735e-04,3.160952e-04,3.643648e-04,3.835303e-04,4.190301e-04,4.587378e-04,4.781262e-04,5.415671e-04,6.092262e-04,6.317422e-04,6.809389e-04,7.288713e-04,7.565051e-04,8.324590e-04,8.356929e-04,9.182423e-04,9.419204e-04,1.003869e-03,1.056596e-03,1.092268e-03,1.175769e-03,1.183120e-03,1.276089e-03,1.298679e-03,1.370835e-03,1.424540e-03,1.467011e-03,1.552553e-03,1.564270e-03,1.662264e-03,1.681921e-03,1.760654e-03,1.811862e-03,1.859106e-03,1.941616e-03,1.957296e-03,2.054915e-03,2.070460e-03,2.151664e-03,2.197711e-03,2.247262e-03,2.322735e-03,2.341446e-03,2.433967e-03,2.444947e-03,2.524598e-03,2.563822e-03,2.613129e-03,2.678890e-03,2.699370e-03,2.783149e-03,2.789741e-03,2.864317e-03,2.896022e-03,2.942739e-03,2.997438e-03,3.018301e-03,3.090908e-03,3.093749e-03,3.160480e-03,3.184770e-03,3.226955e-03,3.270365e-03,3.290287e-03,3.350445e-03,3.407412e-03,3.424966e-03,3.461183e-03,3.493923e-03,3.511767e-03,3.557348e-03,3.559185e-03,3.603465e-03,3.615307e-03,3.644649e-03,3.667892e-03,3.682784e-03,3.715224e-03,3.717927e-03,3.750141e-03,3.757444e-03,3.779495e-03,3.794711e-03,3.806063e-03,3.827203e-03,3.829926e-03,3.851165e-03,3.855106e-03,3.869868e-03,3.878620e-03,3.886122e-03,3.897949e-03,3.900018e-03,3.911649e-03,3.913306e-03,3.921108e-03,3.924904e-03,3.928488e-03,3.932959e-03,3.933884e-03,3.937388e-03,3.937685e-03,3.939092e-03,3.939296e-03,3.939090e-03,3.938002e-03,3.937471e-03,3.934324e-03,3.934008e-03,3.929736e-03,3.927516e-03,3.923792e-03,3.918721e-03,3.916577e-03,3.908170e-03,3.907810e-03,3.898651e-03,3.894966e-03,3.888095e-03,3.880363e-03,3.876577e-03,3.864167e-03,3.846538e-03,3.827624e-03,3.807570e-03,3.786509e-03,3.764568e-03,3.741866e-03,3.718514e-03,3.694617e-03,3.670272e-03,3.645569e-03,3.620591e-03,3.595415e-03,3.570111e-03,3.544746e-03,3.519378e-03,3.494061e-03,3.468845e-03,3.443774e-03,3.418889e-03,3.394226e-03,3.369817e-03,3.345691e-03,3.321873e-03,3.298386e-03
0.000000e+00,6.921036e-12,3.932444e-11,4.727042e-10,2.262777e-09,4.514223e-09,1.880225e-08,1.975993e-08,5.740579e-08,7.369445e-08,1.302990e-07,1.964662e-07,2.516919e-07,4.175854e-07,4.348172e-07,6.927576e-07,7.672031e-07,1.037890e-06,1.273148e-06,1.480197e-06,1.953739e-06,2.024399e-06,2.667326e-06,2.806884e-06,3.397655e-06,3.806454e-06,4.198408e-06,4.911531e-06,5.050556e-06,5.935890e-06,6.079520e-06,6.838455e-06,7.273781e-06,7.744860e-06,8.465240e-06,8.644032e-06,9.526817e-06,9.631276e-06,1.038564e-05,1.075428e-05,1.121428e-05,1.182071e-05,1.200769e-05,1.276198e-05,1.282054e-05,1.347426e-05,1.374695e-05,1.414260e-05,1.459597e-05,1.476593e-05,1.534395e-05,1.536613e-05,1.587701e-05,1.605807e-05,1.636602e-05,1.667406e-05,1.681233e-05,1.721762e-05,1.758382e-05,1.769309e-05,1.791305e-05,1.810536e-05,1.820749e-05,1.845951e-05,1.846939e-05,1.870099e-05,1.876071e-05,1.890447e-05,1.901395e-05,1.908195e-05,1.922402e-05,1.923546e-05,1.936693e-05,1.939540e-05,1.947815e-05,1.953223e-05,1.957083e-05,1.963830e-05,1.964654e-05,1.970673e-05,1.971703e-05,1.975277e-05,1.977153e-05,1.978589e-05,1.980456e-05,1.980723e-05,1.981783e-05,1.981860e-05,1.981867e-05,1.981585e-05,1.981060e-05,1.979828e-05,1.979444e-05,1.977091e-05,1.976762e-05,1.974068e-05,1.972542e-05,1.970436e-05,1.967304e-05,1.966252e-05,1.961565e-05,1.961170e-05,1.956423e-05,1.954248e-05,1.950868e-05,1.946634e-05,1.944939e-05,1.938671e-05,1.938413e-05,1.932096e-05,1.929660e-05,1.925245e-05,1.920442e-05,1.918145e-05,1.910821e-05,1.903296e-05,1.900850e-05,1.895592e-05,1.890577e-05,1.887728e-05,1.880045e-05,1.879722e-05,1.871591e-05,1.869294e-05,1.863349e-05,1.858358e-05,1.855012e-05,1.847268e-05,1.846592e-05,1.838101e-05,1.836054e-05,1.829551e-05,1.824741e-05,1.820952e-05,1.813352e-05,1.812314e-05,1.803645e-05,1.801908e-05,1.794953e-05,1.790428e-05,1.786247e-05,1.778928e-05,1.777534e-05,1.768819e-05,1.767425e-05,1.760109e-05,1.755932e-05,1.751410e-05,1.744462e-05,1.742727e-05,1.734065e-05,1.733027e-05,1.725428e-05,1.721636e-05,1.716820e-05,1.710300e-05,1.708245e-05,1.699708e-05,1.699027e-05,1.691210e-05,1.687823e-05,1.682756e-05,1.676697e-05,1.674348e-05,1.665988e-05,1.665655e-05,1.657680e-05,1.654702e-05,1.649424e-05,1.643842e-05,1.641224e-05,1.633081e-05,1.622423e-05,1.611870e-05,1.601427e-05,1.591095e-05,1.580877e-05,1.570776e-05,1.560793e-05,1.550928e-05,1.541185e-05,1.531563e-05,1.522063e-05,1.512686e-05,1.503433e-05,1.494303e-05,1.485297e-05,1.476414e-05,1.467655e-05,1.459018e-05,1.450504e-05,1.442112e-05,1.433842e-05,1.425692e-05,1.417662e-05,1.409751e-05
0.000000e+00,2.737834e-14,1.851488e-13,3.172370e-12,2.079821e-11,4.912986e-11,3.125328e-10,3.340209e-10,1.447198e-09,2.063558e-09,4.717405e-09,8.690493e-09,1.264020e-08,2.755901e-08,2.935150e-08,6.111234e-08,7.189703e-08,1.167732e-07,1.626677e-07,2.081885e-07,3.301910e-07,3.505514e-07,5.626124e-07,6.152943e-07,8.667476e-07,1.069747e-06,1.288844e-06,1.755767e-06,1.857997e-06,2.606026e-06,2.744554e-06,3.566851e-06,4.113961e-06,4.775753e-06,5.945574e-06,6.268567e-06,8.080850e-06,8.321445e-06,1.024705e-05,1.132077e-05,1.279971e-05,1.501671e-05,1.576873e-05,1.918072e-05,1.947353e-05,2.305843e-05,2.474420e-05,2.742029e-05,3.086853e-05,3.228006e-05,3.764660e-05,3.787187e-05,4.352375e-05,4.576445e-05,4.991031e-05,5.454117e-05,5.680008e-05,6.418209e-05,7.204085e-05,7.465322e-05,8.035659e-05,8.590773e-05,8.910570e-05,9.788747e-05,9.826112e-05,1.077928e-04,1.105247e-04,1.176681e-04,1.237438e-04,1.278522e-04,1.374633e-04,1.383090e-04,1.490008e-04,1.515975e-04,1.598894e-04,1.660587e-04,1.709363e-04,1.807580e-04,1.821031e-04,1.933515e-04,1.956077e-04,2.046444e-04,2.105222e-04,2.159455e-04,2.254190e-04,2.272197e-04,2.384336e-04,2.402200e-04,2.495552e-04,2.548520e-04,2.605547e-04,2.692474e-04,2.714040e-04,2.820770e-04,2.833447e-04,2.925497e-04,2.970885e-04,3.028003e-04,3.104300e-04,3.128091e-04,3.225583e-04,3.233265e-04,3.320325e-04,3.357420e-04,3.412180e-04,3.476464e-04,3.501034e-04,3.586789e-04,3.590154e-04,3.669367e-04,3.698305e-04,3.748706e-04,3.800782e-04,3.824761e-04,3.897502e-04,3.966915e-04,3.988423e-04,4.032996e-04,4.073544e-04,4.095757e-04,4.152903e-04,4.155218e-04,4.211412e-04,4.226567e-04,4.264380e-04,4.294633e-04,4.314172e-04,4.357224e-04,4.360844e-04,4.404461e-04,4.414481e-04,4.445091e-04,4.466567e-04,4.482809e-04,4.513655e-04,4.517695e-04,4.549829e-04,4.555933e-04,4.579298e-04,4.593597e-04,4.606188e-04,4.626848e-04,4.630589e-04,4.652592e-04,4.655895e-04,4.672286e-04,4.680947e-04,4.689765e-04,4.702214e-04,4.705119e-04,4.718439e-04,4.719905e-04,4.729815e-04,4.734228e-04,4.739337e-04,4.745387e-04,4.747092e-04,4.753167e-04,4.753582e-04,4.757645e-04,4.759009e-04,4.760611e-04,4.761855e-04,4.762144e-04,4.762325e-04,4.762305e-04,4.761227e-04,4.760534e-04,4.758928e-04,4.756713e-04,4.755497e-04,4.751004e-04,4.743560e-04,4.734529e-04,4.724051e-04,4.712260e-04,4.699279e-04,4.685229e-04,4.670219e-04,4.654355e-04,4.637736e-04,4.620452e-04,4.602590e-04,4.584230e-04,4.565446e-04,4.546306e-04,4.526874e-04,4.507211e-04,4.487369e-04,4.467401e-04,4.447351e-04,4.427262e-04,4.407173e-04,4.387120e-04,4.367135e-04,4.347246e-04
0.000000e+00,3.322196e-09,8.825455e-09,3.538141e-08,8.622226e-08,1.289107e-07,3.043318e-07,3.138391e-07,6.181249e-07,7.283843e-07,1.068586e-06,1.419918e-06,1.691324e-06,2.437902e-06,2.511306e-06,3.550406e-06,3.834238e-06,4.823025e-06,5.638606e-06,6.329582e-06,7.834716e-06,8.051720e-06,9.955001e-06,1.035378e-05,1.199822e-05,1.310267e-05,1.414183e-05,1.599476e-05,1.635149e-05,1.859808e-05,1.895926e-05,2.085681e-05,2.193892e-05,2.310632e-05,2.488684e-05,2.532821e-05,2.750668e-05,2.776452e-05,2.962838e-05,3.054102e-05,3.168229e-05,3.319240e-05,3.365955e-05,3.555332e-05,3.570106e-05,3.735857e-05,3.805507e-05,3.907187e-05,4.024734e-05,4.069121e-05,4.221580e-05,4.227481e-05,4.364582e-05,4.413765e-05,4.498231e-05,4.583855e-05,4.622698e-05,4.738207e-05,4.845022e-05,4.877415e-05,4.943438e-05,5.002162e-05,5.033772e-05,5.113195e-05,5.116353e-05,5.191523e-05,5.211289e-05,5.259623e-05,5.297233e-05,5.320997e-05,5.371811e-05,5.375983e-05,5.424914e-05,5.435793e-05,5.468117e-05,5.489927e-05,5.505909e-05,5.534935e-05,5.538598e-05,5.566480e-05,5.571505e-05,5.589842e-05,5.600295e-05,5.608958e-05,5.621928e-05,5.624092e-05,5.635497e-05,5.636991e-05,5.643412e-05,5.646040e-05,5.648067e-05,5.649593e-05,5.649683e-05,5.648467e-05,5.648140e-05,5.644618e-05,5.642140e-05,5.638326e-05,5.632019e-05,5.629767e-05,5.619111e-05,5.618172e-05,5.606516e-05,5.600969e-05,5.592132e-05,5.580750e-05,5.576104e-05,5.558566e-05,5.557835e-05,5.539646e-05,5.532519e-05,5.519463e-05,5.505076e-05,5.498131e-05,5.475757e-05,5.452440e-05,5.444795e-05,5.428276e-05,5.412407e-05,5.403352e-05,5.378789e-05,5.377753e-05,5.351556e-05,5.344124e-05,5.324836e-05,5.308580e-05,5.297660e-05,5.272311e-05,5.270093e-05,5.242195e-05,5.235456e-05,5.214023e-05,5.198146e-05,5.185628e-05,5.160496e-05,5.157061e-05,5.128365e-05,5.122615e-05,5.099585e-05,5.084599e-05,5.070759e-05,5.046537e-05,5.041924e-05,5.013114e-05,5.008509e-05,4.984360e-05,4.970587e-05,4.955692e-05,4.932837e-05,4.927136e-05,4.898718e-05,4.895318e-05,4.870459e-05,4.858082e-05,4.842381e-05,4.821175e-05,4.814503e-05,4.786843e-05,4.784640e-05,4.759416e-05,4.748513e-05,4.732236e-05,4.712828e-05,4.705318e-05,4.678672e-05,4.677612e-05,4.652309e-05,4.642889e-05,4.626239e-05,4.608683e-05,4.600470e-05,4.575009e-05,4.541884e-05,4.509321e-05,4.477329e-05,4.445916e-05,4.415088e-05,4.384851e-05,4.355205e-05,4.326152e-05,4.297692e-05,4.269823e-05,4.242542e-05,4.215847e-05,4.189732e-05,4.164192e-05,4.139221e-05,4.114813e-05,4.090960e-05,4.067656e-05,4.044891e-05,4.022657e-05,4.000947e-05,3.979750e-05,3.959058e-05,3.938862e-05
0.000000e+00,7.200012e-09,1.656131e-08,5.724907e-08,1.305834e-07,1.906899e-07,4.332037e-07,4.462511e-07,8.624009e-07,1.013061e-06,1.478885e-06,1.962324e-06,2.337747e-06,3.379869e-06,3.483084e-06,4.958314e-06,5.365749e-06,6.799397e-06,7.997854e-06,9.023894e-06,1.129061e-05,1.162081e-05,1.455029e-05,1.517120e-05,1.775530e-05,1.951077e-05,2.117608e-05,2.417661e-05,2.475872e-05,2.845739e-05,2.905728e-05,3.223348e-05,3.406365e-05,3.605405e-05,3.912325e-05,3.989059e-05,4.371816e-05,4.417580e-05,4.751491e-05,4.917071e-05,5.126176e-05,5.406578e-05,5.494226e-05,5.854238e-05,5.882655e-05,6.205044e-05,6.342567e-05,6.545686e-05,6.784223e-05,6.875407e-05,7.193623e-05,7.206106e-05,7.499914e-05,7.607200e-05,7.793994e-05,7.986908e-05,8.075704e-05,8.344985e-05,8.601869e-05,8.681469e-05,8.846462e-05,8.996624e-05,9.078928e-05,9.290888e-05,9.299485e-05,9.508387e-05,9.564829e-05,9.705921e-05,9.819114e-05,9.892400e-05,1.005448e-04,1.006815e-04,1.023351e-04,1.027170e-04,1.038884e-04,1.047158e-04,1.053449e-04,1.065494e-04,1.067081e-04,1.079817e-04,1.082259e-04,1.091691e-04,1.097536e-04,1.102738e-04,1.111403e-04,1.112992e-04,1.122488e-04,1.123939e-04,1.131258e-04,1.135219e-04,1.139333e-04,1.145316e-04,1.146747e-04,1.153528e-04,1.154300e-04,1.159706e-04,1.162240e-04,1.165309e-04,1.169201e-04,1.170366e-04,1.174903e-04,1.175244e-04,1.178945e-04,1.180429e-04,1.182518e-04,1.184812e-04,1.185644e-04,1.188349e-04,1.188448e-04,1.190653e-04,1.191388e-04,1.192577e-04,1.193680e-04,1.194143e-04,1.195370e-04,1.196276e-04,1.196502e-04,1.196881e-04,1.197117e-04,1.197200e-04,1.197255e-04,1.197252e-04,1.197052e-04,1.196952e-04,1.196614e-04,1.196244e-04,1.195954e-04,1.195163e-04,1.195086e-04,1.194023e-04,1.193740e-04,1.192777e-04,1.192004e-04,1.191361e-04,1.189984e-04,1.189787e-04,1.188065e-04,1.187704e-04,1.186206e-04,1.185189e-04,1.184221e-04,1.182462e-04,1.182118e-04,1.179907e-04,1.179544e-04,1.177597e-04,1.176455e-04,1.175196e-04,1.173214e-04,1.172711e-04,1.170151e-04,1.169839e-04,1.167521e-04,1.166345e-04,1.164830e-04,1.162748e-04,1.162084e-04,1.159287e-04,1.159062e-04,1.156448e-04,1.155301e-04,1.153569e-04,1.151476e-04,1.150658e-04,1.147718e-04,1.147600e-04,1.144754e-04,1.143683e-04,1.141772e-04,1.139734e-04,1.138773e-04,1.135764e-04,1.131779e-04,1.127790e-04,1.123801e-04,1.119820e-04,1.115854e-04,1.111907e-04,1.107985e-04,1.104092e-04,1.100232e-04,1.096410e-04,1.092629e-04,1.088891e-04,1.085200e-04,1.081558e-04,1.077968e-04,1.074430e-04,1.070948e-04,1.067522e-04,1.064153e-04,1.060843e-04,1.057592e-04,1.054402e-04,1.051272e-04,1.048203e-04
0.000000e+00,1.412716e-13,9.520677e-13,1.619342e-11,1.054251e-10,2.480544e-10,1.561371e-09,1.667988e-09,7.147929e-09,1.016115e-08,2.304861e-08,4.218923e-08,6.110496e-08,1.319594e-07,1.404274e-07,2.894562e-07,3.397321e-07,5.477207e-07,7.589116e-07,9.672421e-07,1.521379e-06,1.613360e-06,2.564722e-06,2.799427e-06,3.912230e-06,4.802712e-06,5.756939e-06,7.769774e-06,8.207071e-06,1.137444e-05,1.195527e-05,1.537062e-05,1.761500e-05,2.030313e-05,2.499076e-05,2.627186e-05,3.336587e-05,3.429651e-05,4.166076e-05,4.570703e-05,5.121659e-05,5.934945e-05,6.207635e-05,7.426511e-05,7.529795e-05,8.778964e-05,9.357154e-05,1.026387e-04,1.141347e-04,1.187836e-04,1.361792e-04,1.369003e-04,1.547657e-04,1.617346e-04,1.744697e-04,1.884639e-04,1.952065e-04,2.168816e-04,2.393931e-04,2.467559e-04,2.626333e-04,2.778381e-04,2.864909e-04,3.098698e-04,3.108525e-04,3.356046e-04,3.425898e-04,3.606348e-04,3.757405e-04,3.858332e-04,4.090730e-04,4.110937e-04,4.363149e-04,4.423513e-04,4.614009e-04,4.753562e-04,4.862618e-04,5.078871e-04,5.108145e-04,5.349827e-04,5.397639e-04,5.586970e-04,5.708281e-04,5.818953e-04,6.009429e-04,6.045229e-04,6.265316e-04,6.299927e-04,6.478801e-04,6.578824e-04,6.685336e-04,6.845366e-04,6.884636e-04,7.076471e-04,7.098980e-04,7.260668e-04,7.339261e-04,7.437104e-04,7.565956e-04,7.605703e-04,7.766429e-04,7.778947e-04,7.919289e-04,7.978237e-04,8.064320e-04,8.163932e-04,8.201592e-04,8.331202e-04,8.336229e-04,8.453272e-04,8.495397e-04,8.567942e-04,8.641773e-04,8.675374e-04,8.775741e-04,8.869230e-04,8.897726e-04,8.956038e-04,9.008184e-04,9.036372e-04,9.107595e-04,9.110440e-04,9.178461e-04,9.196453e-04,9.240651e-04,9.275257e-04,9.297230e-04,9.344515e-04,9.348416e-04,9.394431e-04,9.404729e-04,9.435489e-04,9.456398e-04,9.471807e-04,9.500012e-04,9.503594e-04,9.531059e-04,9.536051e-04,9.554404e-04,9.564981e-04,9.573827e-04,9.587254e-04,9.589522e-04,9.601676e-04,9.603305e-04,9.610471e-04,9.613552e-04,9.616084e-04,9.618397e-04,9.618684e-04,9.618436e-04,9.618223e-04,9.615500e-04,9.613396e-04,9.610028e-04,9.604263e-04,9.602167e-04,9.592058e-04,9.591156e-04,9.579837e-04,9.574386e-04,9.565633e-04,9.554250e-04,9.549573e-04,9.531774e-04,9.531027e-04,9.512350e-04,9.504982e-04,9.491412e-04,9.476361e-04,9.469061e-04,9.445399e-04,9.412315e-04,9.377315e-04,9.340592e-04,9.302326e-04,9.262686e-04,9.221830e-04,9.179906e-04,9.137049e-04,9.093390e-04,9.049045e-04,9.004126e-04,8.958736e-04,8.912970e-04,8.866916e-04,8.820655e-04,8.774264e-04,8.727812e-04,8.681362e-04,8.634975e-04,8.588703e-04,8.542598e-04,8.496704e-04,8.451063e-04,8.405714e-04
0.000000e+00,2.142039e-09,6.421807e-09,2.933667e-08,7.608230e-08,1.165164e-07,2.880752e-07,2.975476e-07,6.073752e-07,7.223660e-07,1.084874e-06,1.470179e-06,1.774619e-06,2.637961e-06,2.724600e-06,3.974864e-06,4.321809e-06,5.537841e-06,6.541617e-06,7.388503e-06,9.216674e-06,9.478341e-06,1.175638e-05,1.223060e-05,1.417921e-05,1.548433e-05,1.671157e-05,1.890175e-05,1.932403e-05,2.199080e-05,2.242094e-05,2.468847e-05,2.598790e-05,2.739535e-05,2.955395e-05,3.009138e-05,3.275811e-05,3.307534e-05,3.537889e-05,3.651360e-05,3.793898e-05,3.983617e-05,4.042567e-05,4.282828e-05,4.301658e-05,4.513810e-05,4.603445e-05,4.734832e-05,4.887514e-05,4.945395e-05,5.145165e-05,5.152929e-05,5.333956e-05,5.399215e-05,5.511688e-05,5.626237e-05,5.678387e-05,5.834188e-05,5.979282e-05,6.023492e-05,6.113931e-05,6.194763e-05,6.238438e-05,6.348737e-05,6.353141e-05,6.458405e-05,6.486239e-05,6.554612e-05,6.608152e-05,6.642156e-05,6.715387e-05,6.721434e-05,6.792846e-05,6.808858e-05,6.856786e-05,6.889474e-05,6.913644e-05,6.958122e-05,6.963799e-05,7.007624e-05,7.015661e-05,7.045477e-05,7.062915e-05,7.077704e-05,7.100672e-05,7.104639e-05,7.126604e-05,7.129678e-05,7.143905e-05,7.150639e-05,7.156836e-05,7.164223e-05,7.165677e-05,7.170696e-05,7.171053e-05,7.172146e-05,7.171716e-05,7.170269e-05,7.166759e-05,7.165294e-05,7.157440e-05,7.156693e-05,7.146911e-05,7.141996e-05,7.133905e-05,7.123109e-05,7.118604e-05,7.101184e-05,7.100446e-05,7.081811e-05,7.074388e-05,7.060638e-05,7.045289e-05,7.037815e-05,7.013479e-05,6.987761e-05,6.979259e-05,6.960784e-05,6.942912e-05,6.932664e-05,6.904694e-05,6.903509e-05,6.873423e-05,6.864845e-05,6.842502e-05,6.823585e-05,6.810835e-05,6.781116e-05,6.778508e-05,6.745600e-05,6.737624e-05,6.712186e-05,6.693279e-05,6.678335e-05,6.648237e-05,6.644113e-05,6.609581e-05,6.602642e-05,6.574796e-05,6.556625e-05,6.539811e-05,6.510305e-05,6.504675e-05,6.469436e-05,6.463791e-05,6.434137e-05,6.417183e-05,6.398816e-05,6.370570e-05,6.363512e-05,6.328260e-05,6.324034e-05,6.293090e-05,6.277650e-05,6.258033e-05,6.231483e-05,6.223117e-05,6.188366e-05,6.185594e-05,6.153804e-05,6.140037e-05,6.119452e-05,6.094860e-05,6.085330e-05,6.051457e-05,6.050107e-05,6.017847e-05,6.005815e-05,5.984517e-05,5.962019e-05,5.951480e-05,5.918748e-05,5.876028e-05,5.833881e-05,5.792328e-05,5.751384e-05,5.711063e-05,5.671377e-05,5.632334e-05,5.593943e-05,5.556207e-05,5.519131e-05,5.482716e-05,5.446964e-05,5.411873e-05,5.377441e-05,5.343666e-05,5.310545e-05,5.278071e-05,5.246241e-05,5.215048e-05,5.184485e-05,5.154546e-05,5.125222e-05,5.096506e-05,5.068390e-05
0.000000e+00,4.855912e-13,3.034071e-12,4.408503e-11,2.485991e-10,5.406574e-10,2.781711e-09,2.947615e-09,1.039164e-08,1.402654e-08,2.801802e-08,4.644245e-08,6.317006e-08,1.191177e-07,1.253365e-07,2.252091e-07,2.559136e-07,3.723145e-07,4.776188e-07,5.722159e-07,7.920023e-07,8.250031e-07,1.125657e-06,1.190821e-06,1.465633e-06,1.654591e-06,1.834720e-06,2.159650e-06,2.222557e-06,2.619610e-06,2.683423e-06,3.017637e-06,3.206985e-06,3.409838e-06,3.715727e-06,3.790806e-06,4.156398e-06,4.199081e-06,4.503588e-06,4.649961e-06,4.830322e-06,5.064180e-06,5.135379e-06,5.418245e-06,5.439914e-06,5.678992e-06,5.777206e-06,5.918163e-06,6.077501e-06,6.136660e-06,6.335644e-06,6.343215e-06,6.516444e-06,6.577353e-06,6.680480e-06,6.783188e-06,6.829198e-06,6.964020e-06,7.086306e-06,7.123001e-06,7.197331e-06,7.263023e-06,7.298266e-06,7.386660e-06,7.390176e-06,7.474011e-06,7.496155e-06,7.550616e-06,7.593423e-06,7.620737e-06,7.680086e-06,7.685028e-06,7.744059e-06,7.757501e-06,7.798327e-06,7.826799e-06,7.848263e-06,7.888925e-06,7.894245e-06,7.936601e-06,7.944663e-06,7.975618e-06,7.994673e-06,8.011550e-06,8.039512e-06,8.044619e-06,8.075022e-06,8.079651e-06,8.102936e-06,8.115498e-06,8.128520e-06,8.147404e-06,8.151914e-06,8.173250e-06,8.175677e-06,8.192643e-06,8.200589e-06,8.210202e-06,8.222382e-06,8.226027e-06,8.240208e-06,8.241274e-06,8.252830e-06,8.257461e-06,8.263973e-06,8.271122e-06,8.273711e-06,8.282111e-06,8.282421e-06,8.289241e-06,8.291508e-06,8.295159e-06,8.298522e-06,8.299925e-06,8.303591e-06,8.306209e-06,8.306833e-06,8.307827e-06,8.308360e-06,8.308492e-06,8.308274e-06,8.308247e-06,8.307134e-06,8.306672e-06,8.305192e-06,8.303645e-06,8.302459e-06,8.299277e-06,8.298971e-06,8.294762e-06,8.293648e-06,8.289864e-06,8.286832e-06,8.284308e-06,8.278900e-06,8.278126e-06,8.271344e-06,8.269918e-06,8.263990e-06,8.259949e-06,8.256091e-06,8.249052e-06,8.247671e-06,8.238754e-06,8.237283e-06,8.229364e-06,8.224695e-06,8.219522e-06,8.211337e-06,8.209249e-06,8.198566e-06,8.197258e-06,8.187492e-06,8.182501e-06,8.176046e-06,8.167109e-06,8.164245e-06,8.152107e-06,8.151122e-06,8.139649e-06,8.134579e-06,8.126886e-06,8.117516e-06,8.113833e-06,8.100506e-06,8.099968e-06,8.086919e-06,8.081966e-06,8.073085e-06,8.063543e-06,8.059017e-06,8.044727e-06,8.025548e-06,8.006031e-06,7.986202e-06,7.966085e-06,7.945704e-06,7.925079e-06,7.904233e-06,7.883185e-06,7.861953e-06,7.840557e-06,7.819012e-06,7.797336e-06,7.775543e-06,7.753649e-06,7.731668e-06,7.709613e-06,7.687497e-06,7.665332e-06,7.643130e-06,7.620901e-06,7.598657e-06,7.576406e-06,7.554160e-06,7.531926e-06
0.000000e+00,2.273776e-09,5.406936e-09,1.933984e-08,4.484674e-08,6.595070e-08,1.524306e-07,1.571390e-07,3.101263e-07,3.668161e-07,5.462096e-07,7.383970e-07,8.912851e-07,1.327778e-06,1.371666e-06,2.002102e-06,2.175328e-06,2.774612e-06,3.260063e-06,3.663802e-06,4.520407e-06,4.641611e-06,5.685288e-06,5.900354e-06,6.777892e-06,7.360984e-06,7.906505e-06,8.874609e-06,9.060580e-06,1.023091e-05,1.041910e-05,1.140908e-05,1.197507e-05,1.258727e-05,1.352490e-05,1.375816e-05,1.491503e-05,1.505261e-05,1.605177e-05,1.654414e-05,1.716299e-05,1.798753e-05,1.824400e-05,1.929090e-05,1.937308e-05,2.030057e-05,2.069346e-05,2.127063e-05,2.194358e-05,2.219937e-05,2.308553e-05,2.312008e-05,2.392853e-05,2.422140e-05,2.472821e-05,2.524737e-05,2.548484e-05,2.619903e-05,2.687164e-05,2.707827e-05,2.750376e-05,2.788764e-05,2.809663e-05,2.863015e-05,2.865164e-05,2.917024e-05,2.930913e-05,2.965394e-05,2.992805e-05,3.010429e-05,3.049047e-05,3.052282e-05,3.091110e-05,3.099995e-05,3.127062e-05,3.145994e-05,3.160287e-05,3.187384e-05,3.190929e-05,3.219128e-05,3.224486e-05,3.245016e-05,3.257608e-05,3.268724e-05,3.287042e-05,3.290373e-05,3.310081e-05,3.313062e-05,3.327961e-05,3.335925e-05,3.344117e-05,3.355870e-05,3.358652e-05,3.371660e-05,3.373123e-05,3.383232e-05,3.387891e-05,3.393453e-05,3.400368e-05,3.402405e-05,3.410164e-05,3.410735e-05,3.416801e-05,3.419158e-05,3.422386e-05,3.425791e-05,3.426982e-05,3.430650e-05,3.430778e-05,3.433447e-05,3.434251e-05,3.435427e-05,3.436332e-05,3.436640e-05,3.437136e-05,3.436958e-05,3.436766e-05,3.436150e-05,3.435321e-05,3.434751e-05,3.432888e-05,3.432800e-05,3.430332e-05,3.429553e-05,3.427380e-05,3.425391e-05,3.423977e-05,3.420473e-05,3.420152e-05,3.415933e-05,3.414865e-05,3.411348e-05,3.408629e-05,3.406420e-05,3.401819e-05,3.401174e-05,3.395631e-05,3.394489e-05,3.389814e-05,3.386687e-05,3.383741e-05,3.378457e-05,3.377432e-05,3.370904e-05,3.369841e-05,3.364174e-05,3.360877e-05,3.357257e-05,3.351600e-05,3.350169e-05,3.342923e-05,3.342044e-05,3.335533e-05,3.332239e-05,3.328011e-05,3.322213e-05,3.320368e-05,3.312617e-05,3.311992e-05,3.304767e-05,3.301602e-05,3.296828e-05,3.291063e-05,3.288811e-05,3.280723e-05,3.280398e-05,3.272573e-05,3.269625e-05,3.264368e-05,3.258763e-05,3.256118e-05,3.247827e-05,3.236834e-05,3.225798e-05,3.214732e-05,3.203648e-05,3.192558e-05,3.181471e-05,3.170398e-05,3.159349e-05,3.148330e-05,3.137349e-05,3.126415e-05,3.115533e-05,3.104709e-05,3.093948e-05,3.083257e-05,3.072639e-05,3.062099e-05,3.051640e-05,3.041267e-05,3.030982e-05,3.020788e-05,3.010689e-05,3.000685e-05,2.990781e-05
0.000000e+00,1.720079e-09,5.096942e-09,2.303009e-08,5.957450e-08,9.127272e-08,2.269505e-07,2.344981e-07,4.843806e-07,5.784674e-07,8.787512e-07,1.201722e-06,1.457570e-06,2.174503e-06,2.245250e-06,3.236689e-06,3.502617e-06,4.410388e-06,5.139350e-06,5.745667e-06,7.041659e-06,7.226617e-06,8.840069e-06,9.177559e-06,1.057344e-05,1.151785e-05,1.241354e-05,1.403134e-05,1.434615e-05,1.635608e-05,1.668379e-05,1.842747e-05,1.943882e-05,2.054418e-05,2.225945e-05,2.269026e-05,2.485036e-05,2.510981e-05,2.701001e-05,2.795666e-05,2.915599e-05,3.077042e-05,3.127640e-05,3.336083e-05,3.352575e-05,3.540030e-05,3.620177e-05,3.738731e-05,3.878202e-05,3.931579e-05,4.118097e-05,4.125421e-05,4.297920e-05,4.360965e-05,4.470789e-05,4.584281e-05,4.636541e-05,4.795092e-05,4.946398e-05,4.993289e-05,5.090494e-05,5.178967e-05,5.227458e-05,5.352334e-05,5.357399e-05,5.480461e-05,5.513708e-05,5.596811e-05,5.663475e-05,5.706632e-05,5.802065e-05,5.810115e-05,5.907466e-05,5.929941e-05,5.998894e-05,6.047587e-05,6.084613e-05,6.155492e-05,6.164836e-05,6.239776e-05,6.254149e-05,6.309644e-05,6.344041e-05,6.374649e-05,6.425642e-05,6.434992e-05,6.490875e-05,6.499415e-05,6.542490e-05,6.565805e-05,6.590026e-05,6.625240e-05,6.633665e-05,6.673584e-05,6.678133e-05,6.709954e-05,6.724876e-05,6.742940e-05,6.765843e-05,6.772700e-05,6.799386e-05,6.801393e-05,6.823147e-05,6.831863e-05,6.844122e-05,6.857576e-05,6.862448e-05,6.878256e-05,6.878837e-05,6.891669e-05,6.895934e-05,6.902807e-05,6.909141e-05,6.911786e-05,6.918715e-05,6.923699e-05,6.924900e-05,6.926839e-05,6.927926e-05,6.928232e-05,6.928011e-05,6.927970e-05,6.926140e-05,6.925359e-05,6.922828e-05,6.920162e-05,6.918113e-05,6.912603e-05,6.912073e-05,6.904781e-05,6.902853e-05,6.896308e-05,6.891072e-05,6.886720e-05,6.877412e-05,6.876082e-05,6.864454e-05,6.862015e-05,6.851895e-05,6.845016e-05,6.838461e-05,6.826539e-05,6.824205e-05,6.809178e-05,6.806705e-05,6.793427e-05,6.785623e-05,6.776999e-05,6.763399e-05,6.759938e-05,6.742285e-05,6.740129e-05,6.724081e-05,6.715907e-05,6.705364e-05,6.690818e-05,6.686169e-05,6.666532e-05,6.664943e-05,6.646485e-05,6.638358e-05,6.626059e-05,6.611135e-05,6.605285e-05,6.584190e-05,6.583340e-05,6.562802e-05,6.555035e-05,6.541146e-05,6.526279e-05,6.519247e-05,6.497127e-05,6.467630e-05,6.437836e-05,6.407789e-05,6.377532e-05,6.347104e-05,6.316541e-05,6.285877e-05,6.255144e-05,6.224372e-05,6.193588e-05,6.162818e-05,6.132086e-05,6.101413e-05,6.070821e-05,6.040329e-05,6.009954e-05,5.979713e-05,5.949621e-05,5.919691e-05,5.889937e-05,5.860370e-05,5.831001e-05,5.801841e-05,5.772898e-05
0.000000e+00,1.562011e-09,3.615847e-09,1.257891e-08,2.876148e-08,4.202508e-08,9.545531e-08,9.832506e-08,1.895672e-07,2.224593e-07,3.236892e-07,4.280223e-07,5.085587e-07,7.300644e-07,7.518498e-07,1.060571e-06,1.145049e-06,1.440075e-06,1.684506e-06,1.892545e-06,2.349294e-06,2.415589e-06,3.002150e-06,3.126228e-06,3.642228e-06,3.992656e-06,4.325159e-06,4.924686e-06,5.041080e-06,5.781382e-06,5.901583e-06,6.538645e-06,6.906228e-06,7.306417e-06,7.924392e-06,8.079065e-06,8.851649e-06,8.944145e-06,9.619867e-06,9.955522e-06,1.038000e-05,1.095033e-05,1.112889e-05,1.186387e-05,1.192200e-05,1.258277e-05,1.286541e-05,1.328382e-05,1.377674e-05,1.396565e-05,1.462723e-05,1.465326e-05,1.526780e-05,1.549316e-05,1.588687e-05,1.629540e-05,1.648414e-05,1.705952e-05,1.761303e-05,1.778555e-05,1.814483e-05,1.847390e-05,1.865517e-05,1.912522e-05,1.914439e-05,1.961288e-05,1.974040e-05,2.006108e-05,2.032045e-05,2.048946e-05,2.086651e-05,2.089854e-05,2.128883e-05,2.137976e-05,2.166086e-05,2.186143e-05,2.201519e-05,2.231277e-05,2.235234e-05,2.267288e-05,2.273504e-05,2.297734e-05,2.312948e-05,2.326626e-05,2.349733e-05,2.354017e-05,2.379958e-05,2.383978e-05,2.404502e-05,2.415801e-05,2.427698e-05,2.445317e-05,2.449594e-05,2.470240e-05,2.472635e-05,2.489681e-05,2.497864e-05,2.507962e-05,2.521107e-05,2.525128e-05,2.541221e-05,2.542463e-05,2.556283e-05,2.562028e-05,2.570354e-05,2.579893e-05,2.583473e-05,2.595678e-05,2.596147e-05,2.607005e-05,2.610875e-05,2.617490e-05,2.624157e-05,2.627168e-05,2.636070e-05,2.644230e-05,2.646689e-05,2.651678e-05,2.656084e-05,2.658443e-05,2.664323e-05,2.664556e-05,2.670042e-05,2.671470e-05,2.674930e-05,2.677587e-05,2.679245e-05,2.682731e-05,2.683013e-05,2.686256e-05,2.686959e-05,2.688998e-05,2.690323e-05,2.691262e-05,2.692875e-05,2.693068e-05,2.694439e-05,2.694662e-05,2.695392e-05,2.695730e-05,2.695949e-05,2.696123e-05,2.696127e-05,2.695943e-05,2.695881e-05,2.695416e-05,2.695045e-05,2.694560e-05,2.693651e-05,2.693394e-05,2.691930e-05,2.691735e-05,2.690184e-05,2.689331e-05,2.688171e-05,2.686470e-05,2.685903e-05,2.683393e-05,2.683182e-05,2.680655e-05,2.679498e-05,2.677699e-05,2.675443e-05,2.674538e-05,2.671182e-05,2.671044e-05,2.667643e-05,2.666325e-05,2.663929e-05,2.661310e-05,2.660052e-05,2.656020e-05,2.650476e-05,2.644699e-05,2.638706e-05,2.632516e-05,2.626145e-05,2.619609e-05,2.612924e-05,2.606102e-05,2.599158e-05,2.592104e-05,2.584953e-05,2.577715e-05,2.570401e-05,2.563021e-05,2.555585e-05,2.548102e-05,2.540579e-05,2.533026e-05,2.525449e-05,2.517855e-05,2.510251e-05,2.502643e-05,2.495038e-05,2.487440e-05
0.000000e+00,4.709929e-12,2.803483e-11,3.695623e-10,1.914282e-09,3.979294e-09,1.829459e-08,1.929932e-08,6.113821e-08,8.019981e-08,1.491663e-07,2.334237e-07,3.058068e-07,5.306618e-07,5.544966e-07,9.184750e-07,1.025476e-06,1.419822e-06,1.768100e-06,2.078360e-06,2.800768e-06,2.910131e-06,3.925345e-06,4.150753e-06,5.126109e-06,5.821678e-06,6.504680e-06,7.787302e-06,8.043219e-06,9.715502e-06,9.993421e-06,1.149017e-05,1.236871e-05,1.333441e-05,1.483878e-05,1.521696e-05,1.711004e-05,1.733675e-05,1.899014e-05,1.980819e-05,2.083813e-05,2.221169e-05,2.263889e-05,2.438079e-05,2.451732e-05,2.605512e-05,2.670447e-05,2.765565e-05,2.875987e-05,2.917812e-05,3.061995e-05,3.067593e-05,3.197991e-05,3.244939e-05,3.325783e-05,3.408030e-05,3.445443e-05,3.557111e-05,3.660978e-05,3.692605e-05,3.757277e-05,3.815057e-05,3.846269e-05,3.925088e-05,3.928235e-05,4.003469e-05,4.023369e-05,4.072272e-05,4.110594e-05,4.134949e-05,4.187460e-05,4.191800e-05,4.243127e-05,4.254656e-05,4.289222e-05,4.312856e-05,4.330370e-05,4.362710e-05,4.366850e-05,4.398929e-05,4.404839e-05,4.426865e-05,4.439838e-05,4.450907e-05,4.468267e-05,4.471293e-05,4.488250e-05,4.490659e-05,4.501995e-05,4.507513e-05,4.512736e-05,4.519298e-05,4.520669e-05,4.525984e-05,4.526454e-05,4.528857e-05,4.529392e-05,4.529458e-05,4.528495e-05,4.527948e-05,4.524478e-05,4.524120e-05,4.519193e-05,4.516601e-05,4.512228e-05,4.506246e-05,4.503713e-05,4.493769e-05,4.493343e-05,4.482510e-05,4.478156e-05,4.470045e-05,4.460933e-05,4.456476e-05,4.441899e-05,4.426403e-05,4.421265e-05,4.410075e-05,4.399224e-05,4.392993e-05,4.375955e-05,4.375233e-05,4.356865e-05,4.351622e-05,4.337955e-05,4.326375e-05,4.318566e-05,4.300354e-05,4.298755e-05,4.278577e-05,4.273685e-05,4.258082e-05,4.246484e-05,4.237318e-05,4.218858e-05,4.216329e-05,4.195157e-05,4.190904e-05,4.173840e-05,4.162710e-05,4.152414e-05,4.134357e-05,4.130913e-05,4.109367e-05,4.105918e-05,4.087806e-05,4.077459e-05,4.066256e-05,4.049041e-05,4.044742e-05,4.023286e-05,4.020717e-05,4.001911e-05,3.992536e-05,3.980634e-05,3.964541e-05,3.959474e-05,3.938448e-05,3.936772e-05,3.917570e-05,3.909263e-05,3.896853e-05,3.882045e-05,3.876312e-05,3.855956e-05,3.855146e-05,3.835797e-05,3.828590e-05,3.815843e-05,3.802396e-05,3.796103e-05,3.776584e-05,3.751169e-05,3.726164e-05,3.701580e-05,3.677426e-05,3.653709e-05,3.630436e-05,3.607610e-05,3.585233e-05,3.563308e-05,3.541836e-05,3.520814e-05,3.500243e-05,3.480120e-05,3.460441e-05,3.441204e-05,3.422403e-05,3.404035e-05,3.386094e-05,3.368575e-05,3.351472e-05,3.334779e-05,3.318488e-05,3.302595e-05,3.287091e-05
0.000000e+00,3.669133e-10,1.583094e-09,1.172074e-08,3.946923e-08,6.698872e-08,2.002820e-07,2.081442e-07,4.825353e-07,5.908208e-07,9.485446e-07,1.350210e-06,1.679722e-06,2.654688e-06,2.754871e-06,4.223324e-06,4.634341e-06,6.074877e-06,7.260046e-06,8.257047e-06,1.040506e-05,1.071254e-05,1.339663e-05,1.395785e-05,1.627664e-05,1.784300e-05,1.932691e-05,2.200409e-05,2.252476e-05,2.584820e-05,2.639012e-05,2.927492e-05,3.094973e-05,3.278204e-05,3.563001e-05,3.634632e-05,3.994454e-05,4.037752e-05,4.355399e-05,4.514007e-05,4.715297e-05,4.986863e-05,5.072115e-05,5.423977e-05,5.451860e-05,5.769210e-05,5.905111e-05,6.106341e-05,6.343338e-05,6.434103e-05,6.751440e-05,6.763904e-05,7.057492e-05,7.164772e-05,7.351584e-05,7.544472e-05,7.633212e-05,7.902025e-05,8.157810e-05,8.236893e-05,8.400482e-05,8.548915e-05,8.630059e-05,8.838225e-05,8.846641e-05,9.050396e-05,9.105178e-05,9.241547e-05,9.350294e-05,9.420354e-05,9.574214e-05,9.587120e-05,9.742187e-05,9.777704e-05,9.885928e-05,9.961618e-05,1.001873e-04,1.012685e-04,1.014098e-04,1.025308e-04,1.027433e-04,1.035546e-04,1.040499e-04,1.044853e-04,1.051981e-04,1.053271e-04,1.060847e-04,1.061984e-04,1.067623e-04,1.070602e-04,1.073634e-04,1.077919e-04,1.078920e-04,1.083514e-04,1.084021e-04,1.087451e-04,1.088984e-04,1.090765e-04,1.092887e-04,1.093488e-04,1.095650e-04,1.095800e-04,1.097282e-04,1.097793e-04,1.098413e-04,1.098933e-04,1.099071e-04,1.099281e-04,1.099280e-04,1.099069e-04,1.098894e-04,1.098460e-04,1.097831e-04,1.097477e-04,1.096143e-04,1.094478e-04,1.093879e-04,1.092504e-04,1.091087e-04,1.090239e-04,1.087810e-04,1.087703e-04,1.084913e-04,1.084089e-04,1.081886e-04,1.079963e-04,1.078639e-04,1.075470e-04,1.075186e-04,1.071543e-04,1.070641e-04,1.067722e-04,1.065511e-04,1.063739e-04,1.060108e-04,1.059604e-04,1.055330e-04,1.054460e-04,1.050929e-04,1.048594e-04,1.046411e-04,1.042534e-04,1.041787e-04,1.037066e-04,1.036302e-04,1.032257e-04,1.029920e-04,1.027369e-04,1.023408e-04,1.022411e-04,1.017390e-04,1.016783e-04,1.012313e-04,1.010064e-04,1.007189e-04,1.003266e-04,1.002022e-04,9.968201e-05,9.964026e-05,9.915884e-05,9.894887e-05,9.863326e-05,9.825365e-05,9.810580e-05,9.757694e-05,9.755576e-05,9.704716e-05,9.685629e-05,9.651689e-05,9.615623e-05,9.598653e-05,9.545648e-05,9.475789e-05,9.406124e-05,9.336721e-05,9.267647e-05,9.198960e-05,9.130714e-05,9.062957e-05,8.995734e-05,8.929085e-05,8.863045e-05,8.797646e-05,8.732918e-05,8.668885e-05,8.605570e-05,8.542993e-05,8.481170e-05,8.420117e-05,8.359844e-05,8.300364e-05,8.241684e-05,8.183810e-05,8.126749e-05,8.070503e-05,8.015074e-05
0.000000e+00,2.235934e-10,5.173873e-10,1.789017e-09,4.058462e-09,5.902157e-09,1.323750e-08,1.362839e-08,2.594759e-08,3.034857e-08,4.380061e-08,5.755501e-08,6.811492e-08,9.696895e-08,9.979456e-08,1.396561e-07,1.505133e-07,1.882890e-07,2.194342e-07,2.458378e-07,3.034541e-07,3.117733e-07,3.848241e-07,4.001351e-07,4.631976e-07,5.054144e-07,5.449802e-07,6.150524e-07,6.284632e-07,7.122762e-07,7.256431e-07,7.953752e-07,8.347716e-07,8.769798e-07,9.407931e-07,9.565111e-07,1.033541e-06,1.042601e-06,1.107760e-06,1.139467e-06,1.178953e-06,1.230949e-06,1.246982e-06,1.311777e-06,1.316820e-06,1.373320e-06,1.397031e-06,1.431637e-06,1.471663e-06,1.486793e-06,1.538879e-06,1.540900e-06,1.588007e-06,1.604993e-06,1.634305e-06,1.664241e-06,1.677911e-06,1.718968e-06,1.757620e-06,1.769505e-06,1.794012e-06,1.816182e-06,1.828285e-06,1.859320e-06,1.860575e-06,1.891012e-06,1.899219e-06,1.919719e-06,1.936163e-06,1.946815e-06,1.970412e-06,1.972406e-06,1.996596e-06,2.002204e-06,2.019479e-06,2.031756e-06,2.041143e-06,2.059264e-06,2.061670e-06,2.081134e-06,2.084905e-06,2.099605e-06,2.108839e-06,2.117147e-06,2.131208e-06,2.133819e-06,2.149675e-06,2.152139e-06,2.164764e-06,2.171749e-06,2.179133e-06,2.190139e-06,2.192825e-06,2.205877e-06,2.207402e-06,2.218326e-06,2.223621e-06,2.230204e-06,2.238870e-06,2.241544e-06,2.252372e-06,2.253217e-06,2.262715e-06,2.266722e-06,2.272597e-06,2.279440e-06,2.282041e-06,2.291068e-06,2.291421e-06,2.299697e-06,2.302710e-06,2.307946e-06,2.313348e-06,2.315833e-06,2.323373e-06,2.330581e-06,2.332820e-06,2.337471e-06,2.341720e-06,2.344056e-06,2.350102e-06,2.350348e-06,2.356360e-06,2.357994e-06,2.362101e-06,2.365421e-06,2.367583e-06,2.372405e-06,2.372815e-06,2.377806e-06,2.378969e-06,2.382565e-06,2.385131e-06,2.387100e-06,2.390912e-06,2.391419e-06,2.395531e-06,2.396329e-06,2.399441e-06,2.401398e-06,2.403158e-06,2.406134e-06,2.406686e-06,2.410033e-06,2.410553e-06,2.413205e-06,2.414667e-06,2.416207e-06,2.418491e-06,2.419045e-06,2.421724e-06,2.422035e-06,2.424249e-06,2.425313e-06,2.426625e-06,2.428334e-06,2.428856e-06,2.430948e-06,2.431109e-06,2.432904e-06,2.433649e-06,2.434728e-06,2.435962e-06,2.436425e-06,2.437998e-06,2.438058e-06,2.439451e-06,2.439946e-06,2.440788e-06,2.441632e-06,2.442012e-06,2.443127e-06,2.444436e-06,2.445567e-06,2.446527e-06,2.447323e-06,2.447961e-06,2.448446e-06,2.448786e-06,2.448985e-06,2.449048e-06,2.448982e-06,2.448790e-06,2.448479e-06,2.448051e-06,2.447513e-06,2.446868e-06,2.446120e-06,2.445273e-06,2.444331e-06,2.443298e-06,2.442178e-06,2.440973e-06,2.439687e-06,2.438324e-06,2.436886e-06
0.000000e+00,1.813938e-09,4.544592e-09,1.715742e-08,4.071841e-08,6.031592e-08,1.403458e-07,1.446748e-07,2.832889e-07,3.336197e-07,4.894377e-07,6.512497e-07,7.768509e-07,1.124477e-06,1.158773e-06,1.644480e-06,1.776761e-06,2.234394e-06,2.607294e-06,2.919984e-06,3.592941e-06,3.689292e-06,4.531055e-06,4.707213e-06,5.435362e-06,5.927265e-06,6.393053e-06,7.232226e-06,7.395186e-06,8.432823e-06,8.601542e-06,9.497029e-06,1.001469e-05,1.057900e-05,1.145165e-05,1.167025e-05,1.276274e-05,1.289356e-05,1.384908e-05,1.432337e-05,1.492258e-05,1.572620e-05,1.597736e-05,1.700835e-05,1.708967e-05,1.801129e-05,1.840381e-05,1.898270e-05,1.966101e-05,1.991982e-05,2.082057e-05,2.085582e-05,2.168346e-05,2.198463e-05,2.250752e-05,2.304542e-05,2.329224e-05,2.403748e-05,2.474344e-05,2.496112e-05,2.541058e-05,2.581749e-05,2.603959e-05,2.660833e-05,2.663130e-05,2.718671e-05,2.733586e-05,2.770690e-05,2.800259e-05,2.819303e-05,2.861124e-05,2.864632e-05,2.906801e-05,2.916465e-05,2.945935e-05,2.966572e-05,2.982161e-05,3.011734e-05,3.015604e-05,3.046390e-05,3.052239e-05,3.074638e-05,3.088365e-05,3.100470e-05,3.120386e-05,3.124001e-05,3.145343e-05,3.148562e-05,3.164606e-05,3.173146e-05,3.181897e-05,3.194377e-05,3.197315e-05,3.210960e-05,3.212483e-05,3.222926e-05,3.227683e-05,3.233303e-05,3.240181e-05,3.242178e-05,3.249635e-05,3.250172e-05,3.255752e-05,3.257841e-05,3.260605e-05,3.263359e-05,3.264269e-05,3.266811e-05,3.266890e-05,3.268298e-05,3.268588e-05,3.268794e-05,3.268596e-05,3.268359e-05,3.267049e-05,3.264920e-05,3.264075e-05,3.262025e-05,3.259791e-05,3.258411e-05,3.254310e-05,3.254126e-05,3.249216e-05,3.247735e-05,3.243723e-05,3.240163e-05,3.237686e-05,3.231686e-05,3.231145e-05,3.224136e-05,3.222388e-05,3.216693e-05,3.212347e-05,3.208849e-05,3.201639e-05,3.200635e-05,3.192081e-05,3.190332e-05,3.183214e-05,3.178489e-05,3.174062e-05,3.166171e-05,3.164648e-05,3.154997e-05,3.153432e-05,3.145131e-05,3.140325e-05,3.135071e-05,3.126896e-05,3.124836e-05,3.114447e-05,3.113191e-05,3.103921e-05,3.099250e-05,3.093274e-05,3.085112e-05,3.082523e-05,3.071682e-05,3.070811e-05,3.060766e-05,3.056381e-05,3.049787e-05,3.041851e-05,3.038759e-05,3.027692e-05,3.027249e-05,3.016599e-05,3.012601e-05,3.005489e-05,2.997930e-05,2.994373e-05,2.983258e-05,2.968605e-05,2.953989e-05,2.939427e-05,2.924933e-05,2.910523e-05,2.896208e-05,2.882000e-05,2.867909e-05,2.853946e-05,2.840117e-05,2.826431e-05,2.812895e-05,2.799515e-05,2.786295e-05,2.773241e-05,2.760357e-05,2.747645e-05,2.735109e-05,2.722752e-05,2.710575e-05,2.698580e-05,2.686768e-05,2.675141e-05,2.663698e-05
0.000000e+00,2.974639e-12,1.760519e-11,2.294939e-10,1.177488e-09,2.435604e-09,1.106473e-08,1.166703e-08,3.656715e-08,4.783703e-08,8.838880e-08,1.376156e-07,1.797140e-07,3.097315e-07,3.234616e-07,5.322846e-07,5.934395e-07,8.182182e-07,1.016207e-06,1.192345e-06,1.602168e-06,1.664218e-06,2.240950e-06,2.369272e-06,2.926228e-06,3.325542e-06,3.719799e-06,4.467283e-06,4.617704e-06,5.613080e-06,5.780817e-06,6.697127e-06,7.246074e-06,7.859900e-06,8.839720e-06,9.090846e-06,1.037914e-05,1.053707e-05,1.171390e-05,1.231312e-05,1.308432e-05,1.414317e-05,1.447983e-05,1.589019e-05,1.600337e-05,1.730570e-05,1.787127e-05,1.871722e-05,1.972631e-05,2.011636e-05,2.149552e-05,2.155017e-05,2.284793e-05,2.332708e-05,2.416768e-05,2.504384e-05,2.544972e-05,2.668985e-05,2.788467e-05,2.825699e-05,2.903152e-05,2.973939e-05,3.012842e-05,3.113319e-05,3.117402e-05,3.216751e-05,3.243630e-05,3.310857e-05,3.364806e-05,3.399729e-05,3.476907e-05,3.483413e-05,3.561983e-05,3.580089e-05,3.635539e-05,3.674584e-05,3.704201e-05,3.760683e-05,3.768105e-05,3.827398e-05,3.838717e-05,3.882239e-05,3.909050e-05,3.932790e-05,3.972061e-05,3.979219e-05,4.021698e-05,4.028140e-05,4.060397e-05,4.077680e-05,4.095485e-05,4.121070e-05,4.127131e-05,4.155500e-05,4.158692e-05,4.180754e-05,4.190920e-05,4.203051e-05,4.218113e-05,4.222543e-05,4.239381e-05,4.240618e-05,4.253708e-05,4.258767e-05,4.265662e-05,4.272876e-05,4.275378e-05,4.282983e-05,4.283246e-05,4.288602e-05,4.290161e-05,4.292352e-05,4.293892e-05,4.294346e-05,4.294693e-05,4.293496e-05,4.292803e-05,4.290853e-05,4.288447e-05,4.286859e-05,4.281837e-05,4.281603e-05,4.275171e-05,4.273170e-05,4.267643e-05,4.262633e-05,4.259098e-05,4.250399e-05,4.249607e-05,4.239241e-05,4.236630e-05,4.228066e-05,4.221478e-05,4.216145e-05,4.205084e-05,4.203536e-05,4.190297e-05,4.187578e-05,4.176480e-05,4.169084e-05,4.162136e-05,4.149714e-05,4.147312e-05,4.132054e-05,4.129575e-05,4.116404e-05,4.108764e-05,4.100402e-05,4.087372e-05,4.084086e-05,4.067492e-05,4.065483e-05,4.050653e-05,4.043175e-05,4.033602e-05,4.020519e-05,4.016367e-05,3.998978e-05,3.997581e-05,3.981460e-05,3.974423e-05,3.963839e-05,3.951100e-05,3.946136e-05,3.928375e-05,3.927664e-05,3.910576e-05,3.904162e-05,3.892757e-05,3.880638e-05,3.874936e-05,3.857131e-05,3.833677e-05,3.810309e-05,3.787058e-05,3.763949e-05,3.741008e-05,3.718257e-05,3.695716e-05,3.673402e-05,3.651331e-05,3.629517e-05,3.607973e-05,3.586710e-05,3.565737e-05,3.545062e-05,3.524691e-05,3.504632e-05,3.484888e-05,3.465463e-05,3.446361e-05,3.427583e-05,3.409131e-05,3.391006e-05,3.373207e-05,3.355735e-05
0.000000e+00,1.262397e-12,7.788544e-12,1.103655e-10,6.090659e-10,1.309564e-09,6.548244e-09,6.930864e-09,2.376206e-08,3.182790e-08,6.232836e-08,1.016119e-07,1.366926e-07,2.515988e-07,2.642217e-07,4.654477e-07,5.272510e-07,7.636566e-07,9.821919e-07,1.183381e-06,1.671265e-06,1.747136e-06,2.471029e-06,2.635759e-06,3.361182e-06,3.888556e-06,4.412722e-06,5.410529e-06,5.611417e-06,6.936807e-06,7.159080e-06,8.365514e-06,9.081000e-06,9.873857e-06,1.112278e-05,1.143949e-05,1.304225e-05,1.323621e-05,1.466441e-05,1.538027e-05,1.629062e-05,1.752107e-05,1.790771e-05,1.950449e-05,1.963106e-05,2.107149e-05,2.168813e-05,2.260081e-05,2.367491e-05,2.408599e-05,2.552183e-05,2.557817e-05,2.690430e-05,2.738832e-05,2.823042e-05,2.909893e-05,2.949817e-05,3.070634e-05,3.185444e-05,3.220914e-05,3.294257e-05,3.360778e-05,3.397137e-05,3.490413e-05,3.494185e-05,3.585538e-05,3.610118e-05,3.671360e-05,3.720272e-05,3.751831e-05,3.821308e-05,3.827148e-05,3.897518e-05,3.913694e-05,3.963151e-05,3.997914e-05,4.024258e-05,4.074458e-05,4.081052e-05,4.133744e-05,4.143808e-05,4.182538e-05,4.206437e-05,4.227634e-05,4.262799e-05,4.269226e-05,4.307500e-05,4.313328e-05,4.342637e-05,4.358439e-05,4.374808e-05,4.398521e-05,4.404178e-05,4.430904e-05,4.433941e-05,4.455135e-05,4.465043e-05,4.477013e-05,4.492149e-05,4.496672e-05,4.514241e-05,4.515559e-05,4.529840e-05,4.535554e-05,4.543584e-05,4.552392e-05,4.555581e-05,4.565935e-05,4.566316e-05,4.574741e-05,4.577551e-05,4.582093e-05,4.586305e-05,4.588076e-05,4.592773e-05,4.596260e-05,4.597132e-05,4.598611e-05,4.599551e-05,4.599894e-05,4.600183e-05,4.600176e-05,4.599516e-05,4.599171e-05,4.597974e-05,4.596649e-05,4.595605e-05,4.592738e-05,4.592459e-05,4.588587e-05,4.587554e-05,4.584033e-05,4.581202e-05,4.578842e-05,4.573780e-05,4.573055e-05,4.566711e-05,4.565379e-05,4.559846e-05,4.556082e-05,4.552496e-05,4.545970e-05,4.544692e-05,4.536466e-05,4.535113e-05,4.527848e-05,4.523579e-05,4.518864e-05,4.511431e-05,4.509541e-05,4.499904e-05,4.498727e-05,4.489975e-05,4.485521e-05,4.479778e-05,4.471861e-05,4.469333e-05,4.458659e-05,4.457796e-05,4.447776e-05,4.443367e-05,4.436700e-05,4.428616e-05,4.425449e-05,4.414038e-05,4.413578e-05,4.402482e-05,4.398289e-05,4.390795e-05,4.382780e-05,4.378991e-05,4.367082e-05,4.351222e-05,4.335225e-05,4.319115e-05,4.302915e-05,4.286645e-05,4.270324e-05,4.253970e-05,4.237599e-05,4.221226e-05,4.204865e-05,4.188531e-05,4.172233e-05,4.155985e-05,4.139795e-05,4.123674e-05,4.107631e-05,4.091673e-05,4.075808e-05,4.060044e-05,4.044386e-05,4.028840e-05,4.013411e-05,3.998104e-05,3.982925e-05
0.000000e+00,4.429180e-12,2.470627e-11,2.867591e-10,1.334600e-09,2.625707e-09,1.060091e-08,1.112832e-08,3.155281e-08,4.027861e-08,7.033387e-08,1.051521e-07,1.340569e-07,2.204007e-07,2.293422e-07,3.628898e-07,4.013867e-07,5.414571e-07,6.635778e-07,7.715662e-07,1.021154e-06,1.058774e-06,1.406463e-06,1.483321e-06,1.814496e-06,2.049213e-06,2.278425e-06,2.705298e-06,2.789901e-06,3.338123e-06,3.428479e-06,3.911645e-06,4.192730e-06,4.499770e-06,4.974527e-06,5.093270e-06,5.684573e-06,5.755080e-06,6.267632e-06,6.520298e-06,6.837681e-06,7.259895e-06,7.390998e-06,7.924707e-06,7.966486e-06,8.436625e-06,8.634917e-06,8.925160e-06,9.261796e-06,9.389219e-06,9.828137e-06,9.845165e-06,1.024161e-05,1.038422e-05,1.062964e-05,1.087910e-05,1.099250e-05,1.133065e-05,1.164475e-05,1.174031e-05,1.193557e-05,1.210988e-05,1.220398e-05,1.244146e-05,1.245094e-05,1.267742e-05,1.273731e-05,1.288445e-05,1.299976e-05,1.307305e-05,1.323116e-05,1.324424e-05,1.339903e-05,1.343384e-05,1.353838e-05,1.361003e-05,1.366325e-05,1.376189e-05,1.377456e-05,1.387316e-05,1.389143e-05,1.395990e-05,1.400058e-05,1.403557e-05,1.409113e-05,1.410092e-05,1.415665e-05,1.416473e-05,1.420345e-05,1.422292e-05,1.424193e-05,1.426713e-05,1.427269e-05,1.429630e-05,1.429867e-05,1.431326e-05,1.431874e-05,1.432407e-05,1.432846e-05,1.432919e-05,1.432905e-05,1.432882e-05,1.432404e-05,1.432076e-05,1.431455e-05,1.430514e-05,1.430092e-05,1.428349e-05,1.428271e-05,1.426254e-05,1.425420e-05,1.423839e-05,1.422025e-05,1.421127e-05,1.418146e-05,1.414917e-05,1.413835e-05,1.411462e-05,1.409142e-05,1.407802e-05,1.404112e-05,1.403955e-05,1.399938e-05,1.398786e-05,1.395769e-05,1.393200e-05,1.391462e-05,1.387390e-05,1.387031e-05,1.382490e-05,1.381385e-05,1.377850e-05,1.375213e-05,1.373124e-05,1.368901e-05,1.368321e-05,1.363452e-05,1.362472e-05,1.358527e-05,1.355946e-05,1.353552e-05,1.349342e-05,1.348538e-05,1.343490e-05,1.342679e-05,1.338416e-05,1.335973e-05,1.333322e-05,1.329236e-05,1.328214e-05,1.323098e-05,1.322484e-05,1.317979e-05,1.315726e-05,1.312861e-05,1.308975e-05,1.307749e-05,1.302646e-05,1.302239e-05,1.297558e-05,1.295527e-05,1.292487e-05,1.288848e-05,1.287436e-05,1.282408e-05,1.282208e-05,1.277407e-05,1.275613e-05,1.272434e-05,1.269070e-05,1.267492e-05,1.262583e-05,1.256156e-05,1.249795e-05,1.243502e-05,1.237280e-05,1.231132e-05,1.225062e-05,1.219069e-05,1.213158e-05,1.207328e-05,1.201581e-05,1.195918e-05,1.190340e-05,1.184848e-05,1.179442e-05,1.174121e-05,1.168888e-05,1.163740e-05,1.158679e-05,1.153704e-05,1.148814e-05,1.144010e-05,1.139291e-05,1.134655e-05,1.130104e-05
0.000000e+00,1.533172e-10,7.254403e-10,6.243925e-09,2.318014e-08,4.097503e-08,1.316950e-07,1.371520e-07,3.291036e-07,4.047391e-07,6.518550e-07,9.237302e-07,1.142886e-06,1.778398e-06,1.843107e-06,2.793184e-06,3.062005e-06,4.021276e-06,4.832246e-06,5.529000e-06,7.068446e-06,7.292431e-06,9.276984e-06,9.697428e-06,1.144952e-05,1.264396e-05,1.378170e-05,1.584594e-05,1.624878e-05,1.882774e-05,1.924926e-05,2.149621e-05,2.280233e-05,2.423196e-05,2.645423e-05,2.701303e-05,2.981798e-05,3.015519e-05,3.262628e-05,3.385798e-05,3.541868e-05,3.751937e-05,3.817757e-05,4.088713e-05,4.110134e-05,4.353355e-05,4.457172e-05,4.610502e-05,4.790451e-05,4.859177e-05,5.098587e-05,5.107961e-05,5.328117e-05,5.408239e-05,5.547321e-05,5.690320e-05,5.755894e-05,5.953660e-05,6.140557e-05,6.198071e-05,6.316617e-05,6.423656e-05,6.481951e-05,6.630744e-05,6.636735e-05,6.781201e-05,6.819839e-05,6.915620e-05,6.991574e-05,7.040295e-05,7.146675e-05,7.155557e-05,7.261750e-05,7.285926e-05,7.359231e-05,7.410151e-05,7.448365e-05,7.520189e-05,7.529518e-05,7.603057e-05,7.616882e-05,7.669342e-05,7.701061e-05,7.728727e-05,7.773531e-05,7.781558e-05,7.828173e-05,7.835077e-05,7.868902e-05,7.886455e-05,7.904063e-05,7.928389e-05,7.933962e-05,7.958893e-05,7.961565e-05,7.979142e-05,7.986639e-05,7.994983e-05,8.004234e-05,8.006675e-05,8.014470e-05,8.014933e-05,8.018607e-05,8.019289e-05,8.019314e-05,8.017823e-05,8.016811e-05,8.011304e-05,8.011024e-05,8.002991e-05,7.999349e-05,7.992062e-05,7.983226e-05,7.978694e-05,7.963059e-05,7.945317e-05,7.939221e-05,7.925624e-05,7.912063e-05,7.904123e-05,7.881911e-05,7.880954e-05,7.856246e-05,7.849069e-05,7.830124e-05,7.813821e-05,7.802705e-05,7.776428e-05,7.774099e-05,7.744411e-05,7.737136e-05,7.713740e-05,7.696169e-05,7.682179e-05,7.653740e-05,7.649816e-05,7.616736e-05,7.610040e-05,7.583015e-05,7.565251e-05,7.548727e-05,7.519538e-05,7.513942e-05,7.478725e-05,7.473055e-05,7.443138e-05,7.425942e-05,7.407238e-05,7.378330e-05,7.371080e-05,7.334713e-05,7.330337e-05,7.298186e-05,7.282075e-05,7.261543e-05,7.233642e-05,7.224826e-05,7.188073e-05,7.185132e-05,7.151321e-05,7.136629e-05,7.114605e-05,7.088208e-05,7.077955e-05,7.041400e-05,7.039940e-05,7.004969e-05,6.991889e-05,6.968686e-05,6.944111e-05,6.932576e-05,6.896659e-05,6.849579e-05,6.802914e-05,6.756701e-05,6.710973e-05,6.665760e-05,6.621089e-05,6.576983e-05,6.533461e-05,6.490540e-05,6.448236e-05,6.406560e-05,6.365524e-05,6.325134e-05,6.285397e-05,6.246319e-05,6.207902e-05,6.170148e-05,6.133057e-05,6.096630e-05,6.060863e-05,6.025755e-05,5.991301e-05,5.957499e-05,5.924342e-05
0.000000e+00,4.136904e-10,1.426332e-09,7.657664e-09,2.139684e-08,3.363445e-08,8.655480e-08,8.949288e-08,1.854433e-07,2.208356e-07,3.313375e-07,4.469846e-07,5.371517e-07,7.881665e-07,8.130500e-07,1.168283e-06,1.266066e-06,1.608032e-06,1.890560e-06,2.129580e-06,2.647938e-06,2.722384e-06,3.372712e-06,3.508512e-06,4.067702e-06,4.443080e-06,4.796531e-06,5.428158e-06,5.550032e-06,6.320085e-06,6.444324e-06,7.099233e-06,7.474390e-06,7.880508e-06,8.502682e-06,8.657420e-06,9.423994e-06,9.515027e-06,1.017486e-05,1.049902e-05,1.090530e-05,1.144428e-05,1.161130e-05,1.228952e-05,1.234250e-05,1.293738e-05,1.318757e-05,1.355295e-05,1.397540e-05,1.413491e-05,1.468254e-05,1.470372e-05,1.519558e-05,1.537184e-05,1.567423e-05,1.598033e-05,1.611902e-05,1.653078e-05,1.691056e-05,1.702553e-05,1.725959e-05,1.746744e-05,1.757921e-05,1.785970e-05,1.787085e-05,1.813600e-05,1.820570e-05,1.837616e-05,1.850888e-05,1.859282e-05,1.877266e-05,1.878745e-05,1.896147e-05,1.900032e-05,1.911625e-05,1.919502e-05,1.925311e-05,1.935973e-05,1.937332e-05,1.947805e-05,1.949724e-05,1.956843e-05,1.961011e-05,1.964552e-05,1.970073e-05,1.971031e-05,1.976372e-05,1.977127e-05,1.980662e-05,1.982372e-05,1.983982e-05,1.985989e-05,1.986406e-05,1.988005e-05,1.988144e-05,1.988843e-05,1.988986e-05,1.988980e-05,1.988650e-05,1.988472e-05,1.987371e-05,1.987259e-05,1.985725e-05,1.984924e-05,1.983578e-05,1.981745e-05,1.980971e-05,1.977942e-05,1.977813e-05,1.974527e-05,1.973209e-05,1.970758e-05,1.968008e-05,1.966665e-05,1.962277e-05,1.957620e-05,1.956077e-05,1.952717e-05,1.949461e-05,1.947592e-05,1.942481e-05,1.942264e-05,1.936753e-05,1.935180e-05,1.931077e-05,1.927599e-05,1.925253e-05,1.919776e-05,1.919295e-05,1.913219e-05,1.911744e-05,1.907037e-05,1.903533e-05,1.900761e-05,1.895171e-05,1.894404e-05,1.887976e-05,1.886683e-05,1.881487e-05,1.878091e-05,1.874945e-05,1.869416e-05,1.868360e-05,1.861740e-05,1.860678e-05,1.855092e-05,1.851893e-05,1.848422e-05,1.843076e-05,1.841738e-05,1.835045e-05,1.834242e-05,1.828349e-05,1.825403e-05,1.821654e-05,1.816571e-05,1.814967e-05,1.808290e-05,1.807757e-05,1.801629e-05,1.798970e-05,1.794987e-05,1.790218e-05,1.788367e-05,1.781774e-05,1.781510e-05,1.775209e-05,1.772853e-05,1.768676e-05,1.764253e-05,1.762178e-05,1.755716e-05,1.747247e-05,1.738851e-05,1.730532e-05,1.722293e-05,1.714139e-05,1.706072e-05,1.698094e-05,1.690208e-05,1.682416e-05,1.674719e-05,1.667120e-05,1.659619e-05,1.652217e-05,1.644915e-05,1.637715e-05,1.630615e-05,1.623617e-05,1.616721e-05,1.609926e-05,1.603234e-05,1.596642e-05,1.590153e-05,1.583764e-05,1.577475e-05
0.000000e+00,1.600133e-09,4.247413e-09,1.702740e-08,4.156485e-08,6.225114e-08,1.481068e-07,1.527995e-07,3.051338e-07,3.613463e-07,5.380733e-07,7.255454e-07,8.735757e-07,1.293287e-06,1.335408e-06,1.943247e-06,2.111880e-06,2.702497e-06,3.189185e-06,3.598992e-06,4.480599e-06,4.606418e-06,5.697800e-06,5.924107e-06,6.850997e-06,7.469243e-06,8.048883e-06,9.079643e-06,9.277888e-06,1.052668e-05,1.072765e-05,1.178535e-05,1.239037e-05,1.304498e-05,1.404793e-05,1.429750e-05,1.553562e-05,1.568291e-05,1.675286e-05,1.728033e-05,1.794353e-05,1.882768e-05,1.910281e-05,2.022669e-05,2.031497e-05,2.131194e-05,2.173465e-05,2.235610e-05,2.308144e-05,2.335741e-05,2.431469e-05,2.435206e-05,2.522734e-05,2.554493e-05,2.609521e-05,2.665990e-05,2.691855e-05,2.769794e-05,2.843422e-05,2.866089e-05,2.912844e-05,2.955123e-05,2.978182e-05,3.037188e-05,3.039570e-05,3.097150e-05,3.112611e-05,3.151074e-05,3.181735e-05,3.201491e-05,3.244909e-05,3.248554e-05,3.292415e-05,3.302482e-05,3.333224e-05,3.354799e-05,3.371128e-05,3.402194e-05,3.406270e-05,3.438789e-05,3.444989e-05,3.468818e-05,3.483493e-05,3.496487e-05,3.517997e-05,3.521921e-05,3.545237e-05,3.548779e-05,3.566550e-05,3.576100e-05,3.585968e-05,3.600207e-05,3.603594e-05,3.619528e-05,3.621330e-05,3.633862e-05,3.639686e-05,3.646687e-05,3.655476e-05,3.658086e-05,3.668140e-05,3.668889e-05,3.676926e-05,3.680102e-05,3.684516e-05,3.689278e-05,3.690977e-05,3.696376e-05,3.696571e-05,3.700774e-05,3.702123e-05,3.704229e-05,3.706068e-05,3.706796e-05,3.708528e-05,3.709475e-05,3.709619e-05,3.709682e-05,3.709448e-05,3.709196e-05,3.708114e-05,3.708057e-05,3.706305e-05,3.705710e-05,3.703979e-05,3.702322e-05,3.701113e-05,3.698030e-05,3.697742e-05,3.693898e-05,3.692908e-05,3.689610e-05,3.687026e-05,3.684908e-05,3.680449e-05,3.679818e-05,3.674367e-05,3.673235e-05,3.668577e-05,3.665441e-05,3.662473e-05,3.657119e-05,3.656077e-05,3.649407e-05,3.648316e-05,3.642485e-05,3.639078e-05,3.635329e-05,3.629446e-05,3.627955e-05,3.620381e-05,3.619459e-05,3.612622e-05,3.609153e-05,3.604693e-05,3.598562e-05,3.596608e-05,3.588380e-05,3.587716e-05,3.580022e-05,3.576645e-05,3.571546e-05,3.565376e-05,3.562963e-05,3.554283e-05,3.553934e-05,3.545517e-05,3.542341e-05,3.536674e-05,3.530621e-05,3.527763e-05,3.518793e-05,3.506875e-05,3.494885e-05,3.482839e-05,3.470753e-05,3.458639e-05,3.446512e-05,3.434382e-05,3.422261e-05,3.410160e-05,3.398088e-05,3.386053e-05,3.374064e-05,3.362128e-05,3.350252e-05,3.338443e-05,3.326706e-05,3.315047e-05,3.303471e-05,3.291981e-05,3.280584e-05,3.269281e-05,3.258077e-05,3.246975e-05,3.235977e-05
0.000000e+00,1.075511e-13,7.176989e-13,1.195704e-11,7.639316e-11,1.779146e-10,1.091405e-09,1.164745e-09,4.874113e-09,6.887171e-09,1.540351e-08,2.791109e-08,4.018664e-08,8.582001e-08,9.125175e-08,1.864401e-07,2.184248e-07,3.502012e-07,4.831591e-07,6.134905e-07,9.562282e-07,1.012580e-06,1.587002e-06,1.726489e-06,2.377063e-06,2.886058e-06,3.421348e-06,4.520521e-06,4.754512e-06,6.405525e-06,6.700761e-06,8.396421e-06,9.477294e-06,1.074154e-05,1.287719e-05,1.344720e-05,1.651176e-05,1.690326e-05,1.992594e-05,2.153497e-05,2.367344e-05,2.673078e-05,2.773168e-05,3.207270e-05,3.243125e-05,3.666407e-05,3.856278e-05,4.146995e-05,4.504159e-05,4.645207e-05,5.157066e-05,5.177767e-05,5.678543e-05,5.867857e-05,6.205639e-05,6.565280e-05,6.734460e-05,7.261283e-05,7.782613e-05,7.947743e-05,8.295223e-05,8.617355e-05,8.796191e-05,9.263752e-05,9.282919e-05,9.753145e-05,9.881582e-05,1.020495e-04,1.046652e-04,1.063676e-04,1.101527e-04,1.104731e-04,1.143567e-04,1.152549e-04,1.180118e-04,1.199574e-04,1.214347e-04,1.242536e-04,1.246240e-04,1.275805e-04,1.281441e-04,1.303069e-04,1.316351e-04,1.328075e-04,1.347378e-04,1.350882e-04,1.371558e-04,1.374674e-04,1.390182e-04,1.398417e-04,1.406839e-04,1.418809e-04,1.421619e-04,1.434617e-04,1.436061e-04,1.445928e-04,1.450396e-04,1.455650e-04,1.462035e-04,1.463879e-04,1.470710e-04,1.471199e-04,1.476236e-04,1.478101e-04,1.480548e-04,1.482949e-04,1.483732e-04,1.485874e-04,1.485939e-04,1.487051e-04,1.487254e-04,1.487340e-04,1.487067e-04,1.486814e-04,1.485538e-04,1.483577e-04,1.482815e-04,1.480990e-04,1.479032e-04,1.477833e-04,1.474314e-04,1.474158e-04,1.470012e-04,1.468772e-04,1.465440e-04,1.462509e-04,1.460483e-04,1.455617e-04,1.455180e-04,1.449567e-04,1.448177e-04,1.443675e-04,1.440265e-04,1.437534e-04,1.431947e-04,1.431173e-04,1.424616e-04,1.423284e-04,1.417888e-04,1.414328e-04,1.411009e-04,1.405128e-04,1.403999e-04,1.396876e-04,1.395727e-04,1.389657e-04,1.386162e-04,1.382357e-04,1.376469e-04,1.374991e-04,1.367570e-04,1.366676e-04,1.360106e-04,1.356812e-04,1.352611e-04,1.346899e-04,1.345094e-04,1.337564e-04,1.336961e-04,1.330029e-04,1.327015e-04,1.322497e-04,1.317079e-04,1.314974e-04,1.307468e-04,1.307168e-04,1.299983e-04,1.297295e-04,1.292525e-04,1.287472e-04,1.285099e-04,1.277710e-04,1.268018e-04,1.258404e-04,1.248875e-04,1.239438e-04,1.230099e-04,1.220862e-04,1.211732e-04,1.202712e-04,1.193805e-04,1.185014e-04,1.176342e-04,1.167789e-04,1.159358e-04,1.151049e-04,1.142864e-04,1.134803e-04,1.126867e-04,1.119055e-04,1.111367e-04,1.103803e-04,1.096364e-04,1.089047e-04,1.081853e-04,1.074781e-04
0.000000e+00,9.366821e-13,5.432131e-12,6.802397e-11,3.373354e-10,6.855845e-10,2.986785e-09,3.144358e-09,9.505609e-09,1.232490e-08,2.230602e-08,3.421125e-08,4.427747e-08,7.496185e-08,7.817690e-08,1.267062e-07,1.408221e-07,1.924692e-07,2.377461e-07,2.779145e-07,3.711248e-07,3.852172e-07,5.160708e-07,5.451661e-07,6.714021e-07,7.618566e-07,8.510968e-07,1.019964e-06,1.053874e-06,1.277401e-06,1.314893e-06,1.518615e-06,1.639684e-06,1.774112e-06,1.986493e-06,2.040477e-06,2.314505e-06,2.347763e-06,2.593301e-06,2.716812e-06,2.874314e-06,3.087988e-06,3.155323e-06,3.434413e-06,3.456607e-06,3.709945e-06,3.818842e-06,3.980529e-06,4.171626e-06,4.245005e-06,4.502419e-06,4.512557e-06,4.752004e-06,4.839819e-06,4.993164e-06,5.152107e-06,5.225452e-06,5.448557e-06,5.662283e-06,5.728676e-06,5.866533e-06,5.992272e-06,6.061297e-06,6.239402e-06,6.246636e-06,6.422668e-06,6.470312e-06,6.589562e-06,6.685395e-06,6.747521e-06,6.885154e-06,6.896780e-06,7.037596e-06,7.070166e-06,7.170241e-06,7.241059e-06,7.294999e-06,7.398493e-06,7.412161e-06,7.522021e-06,7.543142e-06,7.624871e-06,7.675681e-06,7.721006e-06,7.796780e-06,7.810713e-06,7.894275e-06,7.907094e-06,7.971970e-06,8.007259e-06,8.044067e-06,8.097891e-06,8.110829e-06,8.172508e-06,8.179579e-06,8.229350e-06,8.252889e-06,8.281592e-06,8.318359e-06,8.329461e-06,8.373177e-06,8.376502e-06,8.412951e-06,8.427802e-06,8.448983e-06,8.472719e-06,8.481469e-06,8.510592e-06,8.511690e-06,8.536531e-06,8.545123e-06,8.559456e-06,8.573406e-06,8.579529e-06,8.596904e-06,8.611731e-06,8.615961e-06,8.624150e-06,8.630897e-06,8.634296e-06,8.642018e-06,8.642299e-06,8.648279e-06,8.649608e-06,8.652355e-06,8.653933e-06,8.654638e-06,8.655246e-06,8.655234e-06,8.654243e-06,8.653780e-06,8.651762e-06,8.649756e-06,8.647882e-06,8.643381e-06,8.642691e-06,8.636271e-06,8.634847e-06,8.628701e-06,8.624335e-06,8.620055e-06,8.612014e-06,8.610405e-06,8.599819e-06,8.598043e-06,8.588360e-06,8.582568e-06,8.576090e-06,8.565729e-06,8.563066e-06,8.549344e-06,8.547653e-06,8.534975e-06,8.528461e-06,8.520009e-06,8.508264e-06,8.504493e-06,8.488471e-06,8.487169e-06,8.471986e-06,8.465271e-06,8.455077e-06,8.442662e-06,8.437783e-06,8.420139e-06,8.419426e-06,8.402178e-06,8.395642e-06,8.383935e-06,8.371383e-06,8.365438e-06,8.346716e-06,8.321706e-06,8.296409e-06,8.270882e-06,8.245174e-06,8.219332e-06,8.193398e-06,8.167413e-06,8.141413e-06,8.115433e-06,8.089503e-06,8.063652e-06,8.037907e-06,8.012292e-06,7.986830e-06,7.961540e-06,7.936440e-06,7.911549e-06,7.886880e-06,7.862448e-06,7.838265e-06,7.814342e-06,7.790689e-06,7.767315e-06,7.744228e-06
0.000000e+00,9.338423e-14,6.140579e-13,9.917743e-12,6.154855e-11,1.410174e-10,8.279505e-10,8.819628e-10,3.523106e-09,4.912778e-09,1.061487e-08,1.867745e-08,2.636255e-08,5.374038e-08,5.690911e-08,1.104880e-07,1.278784e-07,1.974131e-07,2.651224e-07,3.298282e-07,4.946202e-07,5.211481e-07,7.852280e-07,8.479689e-07,1.135410e-06,1.355570e-06,1.583621e-06,2.043113e-06,2.139653e-06,2.810671e-06,2.929032e-06,3.600961e-06,4.023172e-06,4.511872e-06,5.326529e-06,5.541902e-06,6.686909e-06,6.831750e-06,7.940382e-06,8.524131e-06,9.293755e-06,1.038286e-05,1.073675e-05,1.225772e-05,1.238239e-05,1.384402e-05,1.449386e-05,1.548233e-05,1.668645e-05,1.715899e-05,1.886033e-05,1.892870e-05,2.057291e-05,2.118968e-05,2.228379e-05,2.343996e-05,2.398077e-05,2.565253e-05,2.728877e-05,2.780333e-05,2.888033e-05,2.987175e-05,3.041925e-05,3.184079e-05,3.189876e-05,3.331333e-05,3.369715e-05,3.465860e-05,3.543110e-05,3.593132e-05,3.703626e-05,3.712931e-05,3.825136e-05,3.850929e-05,3.929711e-05,3.984953e-05,4.026698e-05,4.105855e-05,4.116206e-05,4.198401e-05,4.213981e-05,4.273496e-05,4.309821e-05,4.341741e-05,4.393978e-05,4.403416e-05,4.458824e-05,4.467129e-05,4.508281e-05,4.530001e-05,4.552111e-05,4.583346e-05,4.590644e-05,4.624208e-05,4.627917e-05,4.653125e-05,4.664459e-05,4.677713e-05,4.693693e-05,4.698277e-05,4.715111e-05,4.716305e-05,4.728496e-05,4.732945e-05,4.738699e-05,4.744217e-05,4.745973e-05,4.750555e-05,4.750685e-05,4.752668e-05,4.752865e-05,4.752520e-05,4.751228e-05,4.750306e-05,4.746206e-05,4.740387e-05,4.738188e-05,4.733004e-05,4.727525e-05,4.724200e-05,4.714534e-05,4.714107e-05,4.702846e-05,4.699499e-05,4.690530e-05,4.682676e-05,4.677260e-05,4.664292e-05,4.663132e-05,4.648233e-05,4.644551e-05,4.632641e-05,4.623635e-05,4.616430e-05,4.601706e-05,4.599668e-05,4.582415e-05,4.578911e-05,4.564729e-05,4.555378e-05,4.546660e-05,4.531223e-05,4.528258e-05,4.509564e-05,4.506549e-05,4.490621e-05,4.481450e-05,4.471463e-05,4.456006e-05,4.452126e-05,4.432639e-05,4.430292e-05,4.413033e-05,4.404375e-05,4.393332e-05,4.378311e-05,4.373561e-05,4.353743e-05,4.352156e-05,4.333898e-05,4.325956e-05,4.314044e-05,4.299753e-05,4.294199e-05,4.274378e-05,4.273586e-05,4.254597e-05,4.247489e-05,4.234869e-05,4.221491e-05,4.215207e-05,4.195620e-05,4.169901e-05,4.144355e-05,4.119002e-05,4.093859e-05,4.068941e-05,4.044262e-05,4.019834e-05,3.995668e-05,3.971773e-05,3.948156e-05,3.924826e-05,3.901787e-05,3.879045e-05,3.856604e-05,3.834468e-05,3.812638e-05,3.791118e-05,3.769908e-05,3.749011e-05,3.728425e-05,3.708152e-05,3.688190e-05,3.668540e-05,3.649200e-05
0.000000e+00,1.325476e-09,3.297827e-09,1.235997e-08,2.935800e-08,4.365692e-08,1.039688e-07,1.073242e-07,2.198056e-07,2.629622e-07,4.032674e-07,5.569482e-07,6.792533e-07,1.017355e-06,1.050080e-06,1.493949e-06,1.608385e-06,1.985762e-06,2.275644e-06,2.509048e-06,2.987994e-06,3.054386e-06,3.615896e-06,3.729734e-06,4.189107e-06,4.490462e-06,4.769998e-06,5.260981e-06,5.354604e-06,5.938947e-06,6.032153e-06,6.519099e-06,6.794975e-06,7.091319e-06,7.541054e-06,7.652159e-06,8.198561e-06,8.263030e-06,8.727922e-06,8.954879e-06,9.238127e-06,9.612056e-06,9.727554e-06,1.019505e-05,1.023148e-05,1.063990e-05,1.081142e-05,1.106179e-05,1.135131e-05,1.146071e-05,1.183695e-05,1.185154e-05,1.219104e-05,1.231321e-05,1.252365e-05,1.273798e-05,1.283562e-05,1.312785e-05,1.340130e-05,1.348501e-05,1.365699e-05,1.381177e-05,1.389592e-05,1.411045e-05,1.411909e-05,1.432746e-05,1.438329e-05,1.452199e-05,1.463244e-05,1.470357e-05,1.485992e-05,1.487306e-05,1.503126e-05,1.506763e-05,1.517893e-05,1.525730e-05,1.531679e-05,1.543051e-05,1.544549e-05,1.556566e-05,1.558871e-05,1.567785e-05,1.573322e-05,1.578260e-05,1.586521e-05,1.588041e-05,1.597172e-05,1.598576e-05,1.605695e-05,1.609582e-05,1.613650e-05,1.619628e-05,1.621071e-05,1.627993e-05,1.628791e-05,1.634444e-05,1.637142e-05,1.640455e-05,1.644744e-05,1.646050e-05,1.651255e-05,1.651655e-05,1.656091e-05,1.657927e-05,1.660580e-05,1.663607e-05,1.664740e-05,1.668590e-05,1.668738e-05,1.672147e-05,1.673359e-05,1.675426e-05,1.677504e-05,1.678442e-05,1.681208e-05,1.683737e-05,1.684499e-05,1.686042e-05,1.687404e-05,1.688133e-05,1.689948e-05,1.690020e-05,1.691714e-05,1.692155e-05,1.693225e-05,1.694046e-05,1.694559e-05,1.695640e-05,1.695727e-05,1.696736e-05,1.696955e-05,1.697593e-05,1.698009e-05,1.698305e-05,1.698817e-05,1.698879e-05,1.699320e-05,1.699393e-05,1.699636e-05,1.699752e-05,1.699831e-05,1.699906e-05,1.699912e-05,1.699882e-05,1.699868e-05,1.699748e-05,1.699647e-05,1.699513e-05,1.699256e-05,1.699182e-05,1.698760e-05,1.698703e-05,1.698250e-05,1.697999e-05,1.697656e-05,1.697151e-05,1.696982e-05,1.696232e-05,1.696168e-05,1.695408e-05,1.695059e-05,1.694514e-05,1.693830e-05,1.693554e-05,1.692530e-05,1.692488e-05,1.691445e-05,1.691040e-05,1.690302e-05,1.689493e-05,1.689103e-05,1.687852e-05,1.686122e-05,1.684310e-05,1.682421e-05,1.680459e-05,1.678428e-05,1.676334e-05,1.674180e-05,1.671970e-05,1.669709e-05,1.667399e-05,1.665045e-05,1.662649e-05,1.660214e-05,1.657745e-05,1.655242e-05,1.652710e-05,1.650150e-05,1.647566e-05,1.644959e-05,1.642332e-05,1.639687e-05,1.637025e-05,1.634350e-05,1.631662e-05
0.000000e+00,5.684420e-09,1.310687e-08,4.542009e-08,1.037787e-07,1.517211e-07,3.462495e-07,3.567668e-07,6.950318e-07,8.188180e-07,1.205658e-06,1.612721e-06,1.931694e-06,2.822004e-06,2.910059e-06,4.152912e-06,4.489016e-06,5.642535e-06,6.573017e-06,7.348043e-06,9.004079e-06,9.240135e-06,1.129440e-05,1.172282e-05,1.348971e-05,1.468045e-05,1.580636e-05,1.783199e-05,1.822503e-05,2.072640e-05,2.113300e-05,2.329123e-05,2.453933e-05,2.590067e-05,2.800810e-05,2.853656e-05,3.118183e-05,3.149913e-05,3.382074e-05,3.497613e-05,3.643910e-05,3.840755e-05,3.902439e-05,4.156579e-05,4.176691e-05,4.405414e-05,4.503288e-05,4.648190e-05,4.818893e-05,4.884303e-05,5.113284e-05,5.122289e-05,5.334786e-05,5.412646e-05,5.548568e-05,5.689452e-05,5.754482e-05,5.952455e-05,6.142481e-05,6.201619e-05,6.324613e-05,6.437077e-05,6.498945e-05,6.659087e-05,6.665609e-05,6.824763e-05,6.868005e-05,6.976590e-05,7.064252e-05,7.121289e-05,7.248298e-05,7.259071e-05,7.390154e-05,7.420642e-05,7.514763e-05,7.581800e-05,7.633124e-05,7.732295e-05,7.745466e-05,7.852014e-05,7.872648e-05,7.952992e-05,8.003371e-05,8.048617e-05,8.124964e-05,8.139105e-05,8.224665e-05,8.237911e-05,8.305500e-05,8.342682e-05,8.381809e-05,8.439727e-05,8.453784e-05,8.521611e-05,8.529480e-05,8.585468e-05,8.612352e-05,8.645528e-05,8.688738e-05,8.701959e-05,8.754919e-05,8.759011e-05,8.804564e-05,8.823527e-05,8.851042e-05,8.882626e-05,8.894496e-05,8.935061e-05,8.936625e-05,8.972869e-05,8.985830e-05,9.008047e-05,9.030527e-05,9.040715e-05,9.070988e-05,9.098978e-05,9.107470e-05,9.124791e-05,9.140216e-05,9.148529e-05,9.169454e-05,9.170288e-05,9.190163e-05,9.195402e-05,9.208242e-05,9.218264e-05,9.224611e-05,9.238231e-05,9.239353e-05,9.252544e-05,9.255488e-05,9.264260e-05,9.270204e-05,9.274573e-05,9.282542e-05,9.283551e-05,9.291260e-05,9.292655e-05,9.297762e-05,9.300686e-05,9.303117e-05,9.306771e-05,9.307382e-05,9.310613e-05,9.311037e-05,9.312861e-05,9.313606e-05,9.314177e-05,9.314591e-05,9.314609e-05,9.314201e-05,9.314098e-05,9.312999e-05,9.312229e-05,9.311044e-05,9.309078e-05,9.308375e-05,9.305031e-05,9.304735e-05,9.301049e-05,9.299285e-05,9.296463e-05,9.292806e-05,9.291306e-05,9.285611e-05,9.285373e-05,9.279408e-05,9.277057e-05,9.272727e-05,9.267924e-05,9.265594e-05,9.258036e-05,9.247453e-05,9.236230e-05,9.224418e-05,9.212067e-05,9.199224e-05,9.185930e-05,9.172229e-05,9.158156e-05,9.143750e-05,9.129044e-05,9.114070e-05,9.098859e-05,9.083437e-05,9.067833e-05,9.052071e-05,9.036174e-05,9.020164e-05,9.004062e-05,8.987888e-05,8.971659e-05,8.955392e-05,8.939104e-05,8.922810e-05,8.906523e-05
0.000000e+00,8.559424e-09,1.965564e-08,6.781831e-08,1.548482e-07,2.265815e-07,5.206055e-07,5.366453e-07,1.060139e-06,1.255115e-06,1.873779e-06,2.535072e-06,3.056359e-06,4.504556e-06,4.646416e-06,6.613958e-06,7.135228e-06,8.894802e-06,1.028673e-05,1.143122e-05,1.384076e-05,1.418085e-05,1.711156e-05,1.771698e-05,2.019593e-05,2.185189e-05,2.340797e-05,2.618576e-05,2.672171e-05,3.011084e-05,3.065832e-05,3.354886e-05,3.520879e-05,3.700969e-05,3.977783e-05,4.046818e-05,4.390068e-05,4.430977e-05,4.728534e-05,4.875437e-05,5.060282e-05,5.306868e-05,5.383622e-05,5.697124e-05,5.721743e-05,5.999617e-05,6.117315e-05,6.290168e-05,6.491567e-05,6.568074e-05,6.832843e-05,6.843156e-05,7.084166e-05,7.171318e-05,7.321895e-05,7.475778e-05,7.546024e-05,7.756660e-05,7.954007e-05,8.014396e-05,8.138349e-05,8.249659e-05,8.310029e-05,8.463291e-05,8.469437e-05,8.617000e-05,8.656256e-05,8.753168e-05,8.829593e-05,8.878407e-05,8.984381e-05,8.993190e-05,9.097994e-05,9.121715e-05,9.193294e-05,9.242685e-05,9.279557e-05,9.348359e-05,9.357243e-05,9.426799e-05,9.439773e-05,9.488660e-05,9.517927e-05,9.543246e-05,9.583773e-05,9.590962e-05,9.632197e-05,9.638218e-05,9.667324e-05,9.682121e-05,9.696700e-05,9.716291e-05,9.720668e-05,9.739553e-05,9.741492e-05,9.753665e-05,9.758439e-05,9.763300e-05,9.767802e-05,9.768739e-05,9.770249e-05,9.770208e-05,9.768082e-05,9.766241e-05,9.762480e-05,9.756448e-05,9.753670e-05,9.741868e-05,9.741336e-05,9.727277e-05,9.721380e-05,9.710092e-05,9.697018e-05,9.690495e-05,9.668659e-05,9.644748e-05,9.636684e-05,9.618916e-05,9.601442e-05,9.591308e-05,9.563262e-05,9.562062e-05,9.531309e-05,9.522445e-05,9.499170e-05,9.479270e-05,9.465762e-05,9.433998e-05,9.431192e-05,9.395564e-05,9.386867e-05,9.358974e-05,9.338098e-05,9.321514e-05,9.287896e-05,9.283268e-05,9.244318e-05,9.236450e-05,9.204739e-05,9.183933e-05,9.164602e-05,9.130505e-05,9.123975e-05,9.082920e-05,9.076315e-05,9.041495e-05,9.021497e-05,8.999757e-05,8.966178e-05,8.957760e-05,8.915550e-05,8.910472e-05,8.873174e-05,8.854487e-05,8.830674e-05,8.798317e-05,8.788091e-05,8.745462e-05,8.742050e-05,8.702821e-05,8.685769e-05,8.660201e-05,8.629545e-05,8.617633e-05,8.575145e-05,8.573448e-05,8.532764e-05,8.517538e-05,8.490514e-05,8.461871e-05,8.448418e-05,8.406498e-05,8.351466e-05,8.296815e-05,8.242584e-05,8.188805e-05,8.135509e-05,8.082723e-05,8.030470e-05,7.978773e-05,7.927649e-05,7.877114e-05,7.827183e-05,7.777868e-05,7.729179e-05,7.681124e-05,7.633711e-05,7.586944e-05,7.540828e-05,7.495366e-05,7.450559e-05,7.406409e-05,7.362915e-05,7.320076e-05,7.277891e-05,7.236357e-05
0.000000e+00,2.719526e-12,1.650784e-11,2.263413e-10,1.213200e-09,2.567988e-09,1.234503e-08,1.304587e-08,4.307631e-08,5.712354e-08,1.091203e-07,1.744032e-07,2.316215e-07,4.143142e-07,4.340435e-07,7.420715e-07,8.346703e-07,1.182152e-06,1.495468e-06,1.778331e-06,2.446088e-06,2.547947e-06,3.498608e-06,3.710425e-06,4.628131e-06,5.283163e-06,5.926818e-06,7.138105e-06,7.380434e-06,8.972618e-06,9.239090e-06,1.068633e-05,1.154705e-05,1.250449e-05,1.402284e-05,1.441017e-05,1.638658e-05,1.662771e-05,1.841703e-05,1.932328e-05,2.048500e-05,2.207174e-05,2.257426e-05,2.466909e-05,2.483646e-05,2.675450e-05,2.758285e-05,2.881645e-05,3.027924e-05,3.084204e-05,3.281969e-05,3.289765e-05,3.473921e-05,3.541429e-05,3.659192e-05,3.780984e-05,3.837057e-05,4.006940e-05,4.168400e-05,4.218234e-05,4.321126e-05,4.414193e-05,4.464924e-05,4.594485e-05,4.599702e-05,4.725464e-05,4.759071e-05,4.842292e-05,4.908159e-05,4.950333e-05,5.042145e-05,5.049791e-05,5.140916e-05,5.161576e-05,5.223990e-05,5.267110e-05,5.299324e-05,5.359477e-05,5.367248e-05,5.428102e-05,5.439455e-05,5.482236e-05,5.507845e-05,5.529999e-05,5.565453e-05,5.571742e-05,5.607808e-05,5.613075e-05,5.638536e-05,5.651485e-05,5.664251e-05,5.681429e-05,5.685273e-05,5.701905e-05,5.703620e-05,5.714440e-05,5.718731e-05,5.723160e-05,5.727400e-05,5.728331e-05,5.730208e-05,5.730223e-05,5.729033e-05,5.727759e-05,5.725032e-05,5.720524e-05,5.718422e-05,5.709404e-05,5.708996e-05,5.698169e-05,5.693617e-05,5.684897e-05,5.674795e-05,5.669757e-05,5.652907e-05,5.634496e-05,5.628298e-05,5.614664e-05,5.601286e-05,5.593540e-05,5.572159e-05,5.571246e-05,5.547896e-05,5.541183e-05,5.523595e-05,5.508600e-05,5.498443e-05,5.474633e-05,5.472534e-05,5.445953e-05,5.439483e-05,5.418781e-05,5.403334e-05,5.391092e-05,5.366353e-05,5.362955e-05,5.334435e-05,5.328691e-05,5.305593e-05,5.290485e-05,5.276483e-05,5.251862e-05,5.247158e-05,5.217665e-05,5.212934e-05,5.188050e-05,5.173803e-05,5.158353e-05,5.134562e-05,5.128612e-05,5.098861e-05,5.095292e-05,5.069135e-05,5.056070e-05,5.039460e-05,5.016960e-05,5.009866e-05,4.980378e-05,4.978024e-05,4.951018e-05,4.939314e-05,4.921807e-05,4.900879e-05,4.892765e-05,4.863910e-05,4.862760e-05,4.835257e-05,4.824995e-05,4.806821e-05,4.787616e-05,4.778616e-05,4.750652e-05,4.714129e-05,4.678068e-05,4.642487e-05,4.607403e-05,4.572829e-05,4.538776e-05,4.505252e-05,4.472264e-05,4.439818e-05,4.407917e-05,4.376564e-05,4.345760e-05,4.315504e-05,4.285795e-05,4.256632e-05,4.228012e-05,4.199930e-05,4.172384e-05,4.145367e-05,4.118874e-05,4.092900e-05,4.067439e-05,4.042483e-05,4.018026e-05
0.000000e+00,5.579007e-09,1.295629e-08,4.529393e-08,1.040273e-07,1.524348e-07,3.495966e-07,3.602794e-07,7.046382e-07,8.309428e-07,1.226473e-06,1.644117e-06,1.972633e-06,2.897032e-06,2.989130e-06,4.302491e-06,4.661776e-06,5.906523e-06,6.922254e-06,7.775343e-06,9.617846e-06,9.882569e-06,1.220760e-05,1.269726e-05,1.473413e-05,1.612271e-05,1.744759e-05,1.986070e-05,2.033339e-05,2.337603e-05,2.387630e-05,2.655880e-05,2.813109e-05,2.986382e-05,3.258324e-05,3.327228e-05,3.676476e-05,3.718858e-05,4.032168e-05,4.190212e-05,4.392363e-05,4.667958e-05,4.755172e-05,5.118792e-05,5.147865e-05,5.481534e-05,5.626031e-05,5.841841e-05,6.098952e-05,6.198294e-05,6.549622e-05,6.563552e-05,6.894704e-05,7.017213e-05,7.232567e-05,7.457760e-05,7.562379e-05,7.883443e-05,8.195188e-05,8.292901e-05,8.497159e-05,8.685124e-05,8.789004e-05,9.059410e-05,9.070467e-05,9.341375e-05,9.415322e-05,9.601628e-05,9.752649e-05,9.851192e-05,1.007137e-04,1.009009e-04,1.031838e-04,1.037161e-04,1.053619e-04,1.065362e-04,1.074364e-04,1.091777e-04,1.094092e-04,1.112821e-04,1.116449e-04,1.130573e-04,1.139426e-04,1.147371e-04,1.160761e-04,1.163239e-04,1.178201e-04,1.180513e-04,1.192284e-04,1.198738e-04,1.205512e-04,1.215498e-04,1.217913e-04,1.229512e-04,1.230852e-04,1.240337e-04,1.244860e-04,1.250411e-04,1.257583e-04,1.259763e-04,1.268417e-04,1.269080e-04,1.276398e-04,1.279408e-04,1.283731e-04,1.288624e-04,1.290441e-04,1.296551e-04,1.296783e-04,1.302084e-04,1.303939e-04,1.307063e-04,1.310144e-04,1.311511e-04,1.315449e-04,1.318898e-04,1.319901e-04,1.321878e-04,1.323549e-04,1.324410e-04,1.326436e-04,1.326512e-04,1.328204e-04,1.328606e-04,1.329503e-04,1.330101e-04,1.330427e-04,1.330961e-04,1.330994e-04,1.331219e-04,1.331224e-04,1.331119e-04,1.330927e-04,1.330709e-04,1.330104e-04,1.330004e-04,1.329019e-04,1.328789e-04,1.327767e-04,1.327015e-04,1.326262e-04,1.324811e-04,1.324516e-04,1.322543e-04,1.322207e-04,1.320354e-04,1.319231e-04,1.317962e-04,1.315908e-04,1.315376e-04,1.312608e-04,1.312264e-04,1.309669e-04,1.308324e-04,1.306568e-04,1.304108e-04,1.303314e-04,1.299918e-04,1.299640e-04,1.296388e-04,1.294940e-04,1.292732e-04,1.290027e-04,1.288959e-04,1.285076e-04,1.284918e-04,1.281091e-04,1.279633e-04,1.277012e-04,1.274187e-04,1.272845e-04,1.268596e-04,1.262875e-04,1.257037e-04,1.251096e-04,1.245064e-04,1.238954e-04,1.232775e-04,1.226538e-04,1.220253e-04,1.213930e-04,1.207576e-04,1.201201e-04,1.194810e-04,1.188413e-04,1.182014e-04,1.175621e-04,1.169239e-04,1.162874e-04,1.156530e-04,1.150212e-04,1.143925e-04,1.137672e-04,1.131457e-04,1.125284e-04,1.119156e-04
0.000000e+00,3.468895e-09,8.050402e-09,2.816550e-08,6.484648e-08,9.521079e-08,2.199698e-07,2.267754e-07,4.483240e-07,5.305283e-07,7.906781e-07,1.069102e-06,1.290279e-06,1.920298e-06,1.983552e-06,2.891389e-06,3.140860e-06,4.005453e-06,4.708895e-06,5.296947e-06,6.556069e-06,6.735640e-06,8.297978e-06,8.623653e-06,9.966255e-06,1.087076e-05,1.172604e-05,1.326547e-05,1.356436e-05,1.546876e-05,1.577877e-05,1.742697e-05,1.838246e-05,1.942690e-05,2.104896e-05,2.145678e-05,2.350534e-05,2.375191e-05,2.556196e-05,2.646689e-05,2.761689e-05,2.917200e-05,2.966125e-05,3.168717e-05,3.184824e-05,3.368775e-05,3.447952e-05,3.565704e-05,3.705270e-05,3.759001e-05,3.948248e-05,3.955729e-05,4.133104e-05,4.198522e-05,4.313296e-05,4.433053e-05,4.488613e-05,4.658900e-05,4.824044e-05,4.875791e-05,4.983974e-05,5.083576e-05,5.138655e-05,5.282200e-05,5.288076e-05,5.432253e-05,5.471687e-05,5.571221e-05,5.652124e-05,5.705033e-05,5.823642e-05,5.833754e-05,5.957458e-05,5.986410e-05,6.076233e-05,6.140627e-05,6.190170e-05,6.286511e-05,6.299368e-05,6.403929e-05,6.424294e-05,6.503959e-05,6.554220e-05,6.599567e-05,6.676539e-05,6.690861e-05,6.777953e-05,6.791505e-05,6.860954e-05,6.899374e-05,6.939975e-05,7.000400e-05,7.015126e-05,7.086518e-05,7.094837e-05,7.154260e-05,7.182938e-05,7.218460e-05,7.264948e-05,7.279224e-05,7.336657e-05,7.341111e-05,7.390862e-05,7.411663e-05,7.441941e-05,7.476839e-05,7.489994e-05,7.535119e-05,7.536864e-05,7.577410e-05,7.591960e-05,7.616963e-05,7.642341e-05,7.653868e-05,7.688216e-05,7.720095e-05,7.729788e-05,7.749589e-05,7.767252e-05,7.776782e-05,7.800799e-05,7.801756e-05,7.824590e-05,7.830611e-05,7.845362e-05,7.856867e-05,7.864147e-05,7.879737e-05,7.881018e-05,7.896046e-05,7.899386e-05,7.909301e-05,7.915974e-05,7.920850e-05,7.929654e-05,7.930759e-05,7.939091e-05,7.940573e-05,7.945908e-05,7.948874e-05,7.951271e-05,7.954693e-05,7.955236e-05,7.957862e-05,7.958162e-05,7.959203e-05,7.959405e-05,7.959311e-05,7.958546e-05,7.958239e-05,7.956036e-05,7.955698e-05,7.952752e-05,7.950975e-05,7.948431e-05,7.944483e-05,7.943121e-05,7.936864e-05,7.936324e-05,7.929704e-05,7.926597e-05,7.921682e-05,7.915394e-05,7.912837e-05,7.903208e-05,7.902807e-05,7.892832e-05,7.888921e-05,7.881745e-05,7.873818e-05,7.869983e-05,7.857577e-05,7.840274e-05,7.821979e-05,7.802761e-05,7.782687e-05,7.761817e-05,7.740212e-05,7.717929e-05,7.695021e-05,7.671540e-05,7.647535e-05,7.623052e-05,7.598137e-05,7.572831e-05,7.547173e-05,7.521204e-05,7.494958e-05,7.468469e-05,7.441771e-05,7.414895e-05,7.387868e-05,7.360720e-05,7.333477e-05,7.306162e-05,7.278800e-05
0.000000e+00,5.391277e-11,2.732661e-10,2.656641e-09,1.078661e-08,1.988583e-08,7.002769e-08,7.317155e-08,1.892553e-07,2.372483e-07,4.006373e-07,5.899494e-07,7.485810e-07,1.232506e-06,1.283413e-06,2.054628e-06,2.278691e-06,3.089608e-06,3.782399e-06,4.379285e-06,5.696092e-06,5.887059e-06,7.568819e-06,7.922493e-06,9.385908e-06,1.037397e-05,1.130818e-05,1.298693e-05,1.331225e-05,1.537901e-05,1.571437e-05,1.749177e-05,1.851773e-05,1.963531e-05,2.136270e-05,2.179538e-05,2.395865e-05,2.421786e-05,2.611274e-05,2.705468e-05,2.824634e-05,2.984788e-05,3.034930e-05,3.241272e-05,3.257585e-05,3.442894e-05,3.522073e-05,3.639154e-05,3.776843e-05,3.829530e-05,4.013611e-05,4.020839e-05,4.191088e-05,4.253317e-05,4.361739e-05,4.473808e-05,4.525424e-05,4.682070e-05,4.831662e-05,4.878046e-05,4.974234e-05,5.061829e-05,5.109860e-05,5.233627e-05,5.238649e-05,5.360733e-05,5.393735e-05,5.476267e-05,5.542514e-05,5.585422e-05,5.680366e-05,5.688379e-05,5.785330e-05,5.807726e-05,5.876472e-05,5.925048e-05,5.962003e-05,6.032790e-05,6.042126e-05,6.117042e-05,6.131417e-05,6.186950e-05,6.221388e-05,6.252047e-05,6.303154e-05,6.312529e-05,6.368586e-05,6.377156e-05,6.420403e-05,6.443823e-05,6.468163e-05,6.503568e-05,6.512042e-05,6.552211e-05,6.556791e-05,6.588838e-05,6.603874e-05,6.622084e-05,6.645185e-05,6.652104e-05,6.679049e-05,6.681076e-05,6.703064e-05,6.711881e-05,6.724290e-05,6.737921e-05,6.742861e-05,6.758908e-05,6.759500e-05,6.772557e-05,6.776906e-05,6.783926e-05,6.790414e-05,6.793132e-05,6.800286e-05,6.805495e-05,6.806768e-05,6.808861e-05,6.810094e-05,6.810483e-05,6.810485e-05,6.810453e-05,6.808864e-05,6.808151e-05,6.805801e-05,6.803290e-05,6.801346e-05,6.796088e-05,6.795580e-05,6.788579e-05,6.786722e-05,6.780413e-05,6.775359e-05,6.771154e-05,6.762154e-05,6.760868e-05,6.749617e-05,6.747257e-05,6.737463e-05,6.730805e-05,6.724463e-05,6.712930e-05,6.710673e-05,6.696145e-05,6.693756e-05,6.680930e-05,6.673397e-05,6.665076e-05,6.651963e-05,6.648628e-05,6.631630e-05,6.629555e-05,6.614123e-05,6.606270e-05,6.596148e-05,6.582197e-05,6.577743e-05,6.558941e-05,6.557421e-05,6.539779e-05,6.532021e-05,6.520289e-05,6.506070e-05,6.500501e-05,6.480445e-05,6.479638e-05,6.460149e-05,6.452789e-05,6.439639e-05,6.425583e-05,6.418941e-05,6.398078e-05,6.370325e-05,6.342374e-05,6.314270e-05,6.286055e-05,6.257770e-05,6.229451e-05,6.201131e-05,6.172843e-05,6.144616e-05,6.116476e-05,6.088448e-05,6.060557e-05,6.032821e-05,6.005262e-05,5.977896e-05,5.950740e-05,5.923809e-05,5.897115e-05,5.870672e-05,5.844489e-05,5.818578e-05,5.792947e-05,5.767604e-05,5.742555e-05
0.000000e+00,4.164956e-13,2.823795e-12,4.868004e-11,3.214299e-10,7.629239e-10,4.932513e-09,5.275863e-09,2.340672e-08,3.364373e-08,7.873682e-08,1.483733e-07,2.194002e-07,4.984494e-07,5.328453e-07,1.162368e-06,1.382527e-06,2.320649e-06,3.304726e-06,4.296398e-06,6.998359e-06,7.453234e-06,1.222208e-05,1.341125e-05,1.908898e-05,2.366246e-05,2.858016e-05,3.898295e-05,4.124577e-05,5.764331e-05,6.065017e-05,7.832165e-05,8.992328e-05,1.038060e-04,1.279832e-04,1.345842e-04,1.710950e-04,1.758802e-04,2.137179e-04,2.344914e-04,2.627652e-04,3.044874e-04,3.184755e-04,3.810106e-04,3.863113e-04,4.504527e-04,4.801667e-04,5.268043e-04,5.860168e-04,6.099905e-04,6.998614e-04,7.035924e-04,7.961971e-04,8.324076e-04,8.987130e-04,9.717812e-04,1.007066e-03,1.120864e-03,1.239667e-03,1.278666e-03,1.363005e-03,1.444091e-03,1.490377e-03,1.615965e-03,1.621261e-03,1.755123e-03,1.793065e-03,1.891425e-03,1.974152e-03,2.029627e-03,2.157992e-03,2.169195e-03,2.309608e-03,2.343377e-03,2.450361e-03,2.529149e-03,2.590968e-03,2.714215e-03,2.730968e-03,2.869923e-03,2.897552e-03,3.007426e-03,3.078228e-03,3.143100e-03,3.255396e-03,3.276596e-03,3.407598e-03,3.428307e-03,3.535822e-03,3.596307e-03,3.661014e-03,3.758833e-03,3.782950e-03,3.901439e-03,3.915418e-03,4.016316e-03,4.065681e-03,4.127443e-03,4.209323e-03,4.234711e-03,4.338032e-03,4.346125e-03,4.437344e-03,4.475936e-03,4.532605e-03,4.598672e-03,4.623793e-03,4.710906e-03,4.714306e-03,4.793955e-03,4.822863e-03,4.872969e-03,4.924415e-03,4.947990e-03,5.019070e-03,5.086274e-03,5.106972e-03,5.149675e-03,5.188292e-03,5.209353e-03,5.263224e-03,5.265397e-03,5.317900e-03,5.331980e-03,5.366961e-03,5.394787e-03,5.412680e-03,5.451881e-03,5.455163e-03,5.494517e-03,5.503508e-03,5.530849e-03,5.549916e-03,5.564269e-03,5.591356e-03,5.594885e-03,5.622806e-03,5.628077e-03,5.648140e-03,5.660326e-03,5.670993e-03,5.688349e-03,5.691470e-03,5.709674e-03,5.712383e-03,5.725707e-03,5.732660e-03,5.739666e-03,5.749406e-03,5.751649e-03,5.761748e-03,5.762837e-03,5.770054e-03,5.773164e-03,5.776656e-03,5.780586e-03,5.781639e-03,5.785085e-03,5.785296e-03,5.787072e-03,5.787476e-03,5.787679e-03,5.787301e-03,5.786977e-03,5.785038e-03,5.784935e-03,5.781929e-03,5.780536e-03,5.777715e-03,5.774251e-03,5.772459e-03,5.766220e-03,5.756576e-03,5.745442e-03,5.732935e-03,5.719165e-03,5.704236e-03,5.688243e-03,5.671278e-03,5.653424e-03,5.634761e-03,5.615364e-03,5.595301e-03,5.574637e-03,5.553432e-03,5.531743e-03,5.509622e-03,5.487118e-03,5.464276e-03,5.441139e-03,5.417746e-03,5.394134e-03,5.370337e-03,5.346388e-03,5.322314e-03,5.298145e-03
0.000000e+00,1.014493e-09,3.247712e-09,1.600327e-08,4.307215e-08,6.690814e-08,1.698190e-07,1.755526e-07,3.647606e-07,4.355793e-07,6.601202e-07,8.998456e-07,1.089119e-06,1.619663e-06,1.672144e-06,2.411360e-06,2.610905e-06,3.296140e-06,3.850811e-06,4.315013e-06,5.315385e-06,5.459013e-06,6.720359e-06,6.986017e-06,8.091009e-06,8.843991e-06,9.561921e-06,1.086749e-05,1.112283e-05,1.276235e-05,1.303115e-05,1.446822e-05,1.530687e-05,1.622769e-05,1.766517e-05,1.802784e-05,1.985598e-05,2.007664e-05,2.169987e-05,2.251319e-05,2.354805e-05,2.494899e-05,2.538995e-05,2.721605e-05,2.736120e-05,2.901794e-05,2.973025e-05,3.078832e-05,3.203996e-05,3.252098e-05,3.421078e-05,3.427742e-05,3.585355e-05,3.643278e-05,3.744601e-05,3.849885e-05,3.898568e-05,4.047083e-05,4.190032e-05,4.234589e-05,4.327356e-05,4.412285e-05,4.459044e-05,4.580186e-05,4.585122e-05,4.705648e-05,4.738412e-05,4.820708e-05,4.887163e-05,4.930407e-05,5.026703e-05,5.034870e-05,5.134233e-05,5.157337e-05,5.228642e-05,5.279405e-05,5.318252e-05,5.393263e-05,5.403220e-05,5.483707e-05,5.499281e-05,5.559876e-05,5.597832e-05,5.631890e-05,5.689288e-05,5.699909e-05,5.764093e-05,5.774017e-05,5.824598e-05,5.852379e-05,5.881578e-05,5.924724e-05,5.935182e-05,5.985556e-05,5.991391e-05,6.032842e-05,6.052704e-05,6.077176e-05,6.108977e-05,6.118691e-05,6.157515e-05,6.160509e-05,6.193773e-05,6.207584e-05,6.227582e-05,6.250474e-05,6.259059e-05,6.288312e-05,6.289438e-05,6.315449e-05,6.324720e-05,6.340571e-05,6.356552e-05,6.363775e-05,6.385155e-05,6.404802e-05,6.410737e-05,6.422801e-05,6.433494e-05,6.439235e-05,6.453612e-05,6.454182e-05,6.467719e-05,6.471266e-05,6.479917e-05,6.486622e-05,6.490846e-05,6.499836e-05,6.500571e-05,6.509157e-05,6.511054e-05,6.516662e-05,6.520415e-05,6.523146e-05,6.528049e-05,6.528662e-05,6.533264e-05,6.534079e-05,6.537002e-05,6.538620e-05,6.539924e-05,6.541781e-05,6.542075e-05,6.543499e-05,6.543662e-05,6.544238e-05,6.544361e-05,6.544331e-05,6.543966e-05,6.543816e-05,6.542730e-05,6.542563e-05,6.541107e-05,6.540231e-05,6.538979e-05,6.537043e-05,6.536377e-05,6.533332e-05,6.533070e-05,6.529872e-05,6.528377e-05,6.526023e-05,6.523026e-05,6.521811e-05,6.517262e-05,6.517073e-05,6.512397e-05,6.510572e-05,6.507239e-05,6.503575e-05,6.501809e-05,6.496127e-05,6.488273e-05,6.480054e-05,6.471509e-05,6.462673e-05,6.453580e-05,6.444262e-05,6.434746e-05,6.425062e-05,6.415234e-05,6.405285e-05,6.395239e-05,6.385114e-05,6.374930e-05,6.364705e-05,6.354455e-05,6.344195e-05,6.333939e-05,6.323699e-05,6.313488e-05,6.303317e-05,6.293195e-05,6.283131e-05,6.273136e-05,6.263215e-05
0.000000e+00,1.855811e-14,1.229887e-13,2.019581e-12,1.272712e-11,2.940999e-11,1.766097e-10,1.883066e-10,7.698896e-10,1.080552e-09,2.373964e-09,4.235684e-09,6.034452e-09,1.256928e-08,1.333551e-08,2.651150e-08,3.086050e-08,4.851627e-08,6.603817e-08,8.302575e-08,1.271325e-07,1.343278e-07,2.070843e-07,2.246274e-07,3.060002e-07,3.692551e-07,4.354695e-07,5.706143e-07,5.992575e-07,8.002588e-07,8.360127e-07,1.040348e-06,1.169748e-06,1.320314e-06,1.572844e-06,1.639876e-06,1.997741e-06,2.043163e-06,2.391716e-06,2.575766e-06,2.818837e-06,3.163422e-06,3.275506e-06,3.757644e-06,3.797185e-06,4.260832e-06,4.466969e-06,4.780446e-06,5.162099e-06,5.311784e-06,5.850182e-06,5.871800e-06,6.391108e-06,6.585621e-06,6.930249e-06,7.293779e-06,7.463582e-06,7.987425e-06,8.498474e-06,8.658824e-06,8.993835e-06,9.301471e-06,9.471031e-06,9.910134e-06,9.928003e-06,1.036311e-05,1.048084e-05,1.077509e-05,1.101080e-05,1.116307e-05,1.149835e-05,1.152651e-05,1.186519e-05,1.194278e-05,1.217914e-05,1.234426e-05,1.246866e-05,1.270363e-05,1.273425e-05,1.297658e-05,1.302232e-05,1.319644e-05,1.330219e-05,1.339476e-05,1.354542e-05,1.357253e-05,1.373081e-05,1.375440e-05,1.387070e-05,1.393163e-05,1.399329e-05,1.407966e-05,1.409970e-05,1.419101e-05,1.420101e-05,1.426830e-05,1.429813e-05,1.433259e-05,1.437338e-05,1.438489e-05,1.442614e-05,1.442898e-05,1.445723e-05,1.446701e-05,1.447901e-05,1.448938e-05,1.449229e-05,1.449779e-05,1.449786e-05,1.449622e-05,1.449405e-05,1.448822e-05,1.447941e-05,1.447437e-05,1.445523e-05,1.443130e-05,1.442271e-05,1.440304e-05,1.438288e-05,1.437088e-05,1.433670e-05,1.433521e-05,1.429638e-05,1.428498e-05,1.425471e-05,1.422848e-05,1.421051e-05,1.416784e-05,1.416404e-05,1.411556e-05,1.410364e-05,1.406527e-05,1.403641e-05,1.401340e-05,1.396659e-05,1.396013e-05,1.390563e-05,1.389459e-05,1.385005e-05,1.382077e-05,1.379353e-05,1.374543e-05,1.373621e-05,1.367820e-05,1.366887e-05,1.361962e-05,1.359132e-05,1.356056e-05,1.351302e-05,1.350111e-05,1.344135e-05,1.343416e-05,1.338137e-05,1.335492e-05,1.332123e-05,1.327545e-05,1.326099e-05,1.320071e-05,1.319589e-05,1.314046e-05,1.311637e-05,1.308027e-05,1.303700e-05,1.302019e-05,1.296026e-05,1.295787e-05,1.290053e-05,1.287908e-05,1.284102e-05,1.280070e-05,1.278177e-05,1.272281e-05,1.264547e-05,1.256874e-05,1.249266e-05,1.241729e-05,1.234266e-05,1.226880e-05,1.219575e-05,1.212353e-05,1.205217e-05,1.198168e-05,1.191209e-05,1.184341e-05,1.177565e-05,1.170881e-05,1.164292e-05,1.157797e-05,1.151397e-05,1.145092e-05,1.138883e-05,1.132769e-05,1.126749e-05,1.120825e-05,1.114995e-05,1.109260e-05
0.000000e+00,2.092349e-13,1.325963e-12,1.984084e-11,1.148459e-10,2.532530e-10,1.346874e-09,1.428973e-09,5.173719e-09,7.024061e-09,1.418888e-08,2.364095e-08,3.220064e-08,6.060579e-08,6.374400e-08,1.138661e-07,1.292430e-07,1.878165e-07,2.415727e-07,2.907579e-07,4.091575e-07,4.274960e-07,6.022015e-07,6.420034e-07,8.181108e-07,9.473903e-07,1.077234e-06,1.328757e-06,1.380144e-06,1.725910e-06,1.785071e-06,2.112183e-06,2.310976e-06,2.535404e-06,2.897590e-06,2.991082e-06,3.474080e-06,3.533616e-06,3.978882e-06,4.206443e-06,4.499827e-06,4.903081e-06,5.031302e-06,5.567893e-06,5.610886e-06,6.104506e-06,6.318092e-06,6.636453e-06,7.014180e-06,7.159519e-06,7.669998e-06,7.690109e-06,8.164721e-06,8.338440e-06,8.641054e-06,8.953361e-06,9.096891e-06,9.530623e-06,9.941112e-06,1.006743e-05,1.032764e-05,1.056228e-05,1.068989e-05,1.101478e-05,1.102784e-05,1.134177e-05,1.142543e-05,1.163221e-05,1.179547e-05,1.189984e-05,1.212667e-05,1.214554e-05,1.237024e-05,1.242116e-05,1.257499e-05,1.268134e-05,1.276087e-05,1.290972e-05,1.292900e-05,1.308046e-05,1.310885e-05,1.321637e-05,1.328125e-05,1.333778e-05,1.342933e-05,1.344574e-05,1.354123e-05,1.355542e-05,1.362519e-05,1.366166e-05,1.369850e-05,1.375006e-05,1.376201e-05,1.381649e-05,1.382246e-05,1.386268e-05,1.388055e-05,1.390125e-05,1.392586e-05,1.393283e-05,1.395800e-05,1.395975e-05,1.397729e-05,1.398347e-05,1.399120e-05,1.399815e-05,1.400019e-05,1.400467e-05,1.400476e-05,1.400503e-05,1.400422e-05,1.400161e-05,1.399731e-05,1.399475e-05,1.398474e-05,1.397186e-05,1.396716e-05,1.395634e-05,1.394514e-05,1.393843e-05,1.391918e-05,1.391833e-05,1.389625e-05,1.388973e-05,1.387235e-05,1.385721e-05,1.384680e-05,1.382197e-05,1.381975e-05,1.379135e-05,1.378434e-05,1.376172e-05,1.374463e-05,1.373097e-05,1.370309e-05,1.369923e-05,1.366658e-05,1.365995e-05,1.363313e-05,1.361544e-05,1.359896e-05,1.356975e-05,1.356414e-05,1.352876e-05,1.352305e-05,1.349289e-05,1.347551e-05,1.345658e-05,1.342726e-05,1.341989e-05,1.338289e-05,1.337843e-05,1.334562e-05,1.332915e-05,1.330813e-05,1.327951e-05,1.327046e-05,1.323265e-05,1.322963e-05,1.319475e-05,1.317958e-05,1.315679e-05,1.312944e-05,1.311880e-05,1.308082e-05,1.307930e-05,1.304286e-05,1.302921e-05,1.300496e-05,1.297924e-05,1.296715e-05,1.292944e-05,1.287986e-05,1.283055e-05,1.278155e-05,1.273289e-05,1.268462e-05,1.263675e-05,1.258931e-05,1.254234e-05,1.249585e-05,1.244986e-05,1.240439e-05,1.235946e-05,1.231507e-05,1.227125e-05,1.222799e-05,1.218532e-05,1.214322e-05,1.210173e-05,1.206082e-05,1.202052e-05,1.198083e-05,1.194173e-05,1.190325e-05,1.186537e-05
0.000000e+00,3.736812e-14,2.538463e-13,4.389673e-12,2.902070e-11,6.886730e-11,4.432594e-10,4.739606e-10,2.077323e-09,2.971293e-09,6.845675e-09,1.269048e-08,1.853332e-08,4.077355e-08,4.345866e-08,9.132290e-08,1.076674e-07,1.760057e-07,2.462830e-07,3.162558e-07,5.046529e-07,5.361810e-07,8.654577e-07,9.474347e-07,1.339220e-06,1.655827e-06,1.997630e-06,2.725828e-06,2.885171e-06,4.049687e-06,4.265039e-06,5.541265e-06,6.388387e-06,7.410974e-06,9.213143e-06,9.709561e-06,1.248613e-05,1.285367e-05,1.578686e-05,1.741626e-05,1.965386e-05,2.299445e-05,2.412408e-05,2.922844e-05,2.966496e-05,3.499115e-05,3.748462e-05,4.142914e-05,4.648818e-05,4.855176e-05,5.636067e-05,5.668725e-05,6.484987e-05,6.807014e-05,7.400588e-05,8.060265e-05,8.380816e-05,9.422954e-05,1.052368e-04,1.088767e-04,1.167914e-04,1.244538e-04,1.288502e-04,1.408571e-04,1.413658e-04,1.542882e-04,1.579722e-04,1.675645e-04,1.756777e-04,1.811405e-04,1.938475e-04,1.949608e-04,2.089699e-04,2.123540e-04,2.231126e-04,2.310705e-04,2.373344e-04,2.498731e-04,2.515825e-04,2.658057e-04,2.686430e-04,2.799551e-04,2.872681e-04,2.939843e-04,3.056440e-04,3.078497e-04,3.215106e-04,3.236748e-04,3.349295e-04,3.412745e-04,3.480721e-04,3.583663e-04,3.609074e-04,3.734075e-04,3.748838e-04,3.855479e-04,3.907701e-04,3.973074e-04,4.059784e-04,4.086676e-04,4.196134e-04,4.204708e-04,4.301325e-04,4.342184e-04,4.402152e-04,4.472005e-04,4.498545e-04,4.590459e-04,4.594042e-04,4.677871e-04,4.708235e-04,4.760777e-04,4.814587e-04,4.839194e-04,4.913158e-04,4.982717e-04,5.004056e-04,5.047937e-04,5.087435e-04,5.108894e-04,5.163483e-04,5.165676e-04,5.218381e-04,5.232422e-04,5.267115e-04,5.294497e-04,5.311992e-04,5.349973e-04,5.353129e-04,5.390651e-04,5.399132e-04,5.424684e-04,5.442267e-04,5.455359e-04,5.479679e-04,5.482806e-04,5.507160e-04,5.511672e-04,5.528553e-04,5.538551e-04,5.547118e-04,5.560623e-04,5.562986e-04,5.576289e-04,5.578187e-04,5.587153e-04,5.591540e-04,5.595707e-04,5.600969e-04,5.602072e-04,5.606371e-04,5.606754e-04,5.608720e-04,5.609165e-04,5.609234e-04,5.608465e-04,5.608022e-04,5.605194e-04,5.604900e-04,5.600850e-04,5.598711e-04,5.595092e-04,5.590124e-04,5.588015e-04,5.579710e-04,5.579353e-04,5.570266e-04,5.566603e-04,5.559766e-04,5.552065e-04,5.548292e-04,5.535920e-04,5.518337e-04,5.499475e-04,5.479482e-04,5.458497e-04,5.436647e-04,5.414051e-04,5.390820e-04,5.367055e-04,5.342851e-04,5.318294e-04,5.293464e-04,5.268432e-04,5.243267e-04,5.218028e-04,5.192772e-04,5.167547e-04,5.142400e-04,5.117371e-04,5.092498e-04,5.067813e-04,5.043346e-04,5.019123e-04,4.995168e-04,4.971501e-04
0.000000e+00,4.641524e-14,3.074189e-13,5.041754e-12,3.173454e-11,7.328158e-11,4.391656e-10,4.682083e-10,1.909277e-09,2.677432e-09,5.867824e-09,1.044430e-08,1.485275e-08,3.078694e-08,3.264830e-08,6.447634e-08,7.491769e-08,1.170422e-07,1.584950e-07,1.984082e-07,3.010411e-07,3.176707e-07,4.844829e-07,5.244076e-07,7.085066e-07,8.506755e-07,9.988742e-07,1.300040e-06,1.363716e-06,1.809780e-06,1.889052e-06,2.342155e-06,2.629381e-06,2.964095e-06,3.527095e-06,3.676933e-06,4.480081e-06,4.582430e-06,5.371093e-06,5.789956e-06,6.345795e-06,7.139067e-06,7.398459e-06,8.522017e-06,8.614726e-06,9.708300e-06,1.019838e-05,1.094829e-05,1.186895e-05,1.223237e-05,1.355060e-05,1.360389e-05,1.489292e-05,1.538014e-05,1.624943e-05,1.717503e-05,1.761051e-05,1.896703e-05,2.031048e-05,2.073634e-05,2.163308e-05,2.246533e-05,2.292782e-05,2.413883e-05,2.418853e-05,2.540992e-05,2.574424e-05,2.658753e-05,2.727154e-05,2.771774e-05,2.871321e-05,2.879771e-05,2.982536e-05,3.006405e-05,3.079930e-05,3.132093e-05,3.171874e-05,3.248258e-05,3.258347e-05,3.339375e-05,3.354932e-05,3.415027e-05,3.452275e-05,3.485408e-05,3.540552e-05,3.550652e-05,3.610917e-05,3.620109e-05,3.666382e-05,3.691355e-05,3.717237e-05,3.754737e-05,3.763684e-05,3.805931e-05,3.810729e-05,3.844191e-05,3.859817e-05,3.878676e-05,3.902490e-05,3.909597e-05,3.937161e-05,3.939227e-05,3.961571e-05,3.970496e-05,3.983024e-05,3.996747e-05,4.001710e-05,4.017812e-05,4.018405e-05,4.031503e-05,4.035874e-05,4.042950e-05,4.049533e-05,4.052311e-05,4.059734e-05,4.065360e-05,4.066802e-05,4.069322e-05,4.071042e-05,4.071744e-05,4.072730e-05,4.072744e-05,4.072430e-05,4.072121e-05,4.070905e-05,4.069449e-05,4.068266e-05,4.064929e-05,4.064600e-05,4.059992e-05,4.058755e-05,4.054520e-05,4.051105e-05,4.048255e-05,4.042140e-05,4.041265e-05,4.033612e-05,4.032007e-05,4.025355e-05,4.020840e-05,4.016547e-05,4.008760e-05,4.007239e-05,3.997478e-05,3.995877e-05,3.987307e-05,3.982291e-05,3.976766e-05,3.968092e-05,3.965892e-05,3.954721e-05,3.953362e-05,3.943284e-05,3.938176e-05,3.931613e-05,3.922602e-05,3.919733e-05,3.907673e-05,3.906701e-05,3.895454e-05,3.890528e-05,3.883100e-05,3.874134e-05,3.870632e-05,3.858068e-05,3.857564e-05,3.845427e-05,3.840860e-05,3.832724e-05,3.824059e-05,3.819975e-05,3.807195e-05,3.790299e-05,3.773398e-05,3.756518e-05,3.739682e-05,3.722909e-05,3.706219e-05,3.689628e-05,3.673151e-05,3.656801e-05,3.640591e-05,3.624531e-05,3.608632e-05,3.592900e-05,3.577344e-05,3.561971e-05,3.546785e-05,3.531794e-05,3.516999e-05,3.502405e-05,3.488017e-05,3.473834e-05,3.459861e-05,3.446099e-05,3.432548e-05
0.000000e+00,5.631261e-14,3.795329e-13,6.456009e-12,4.203098e-11,9.888824e-11,6.221999e-10,6.646701e-10,2.846002e-09,4.044488e-09,9.165330e-09,1.675997e-08,2.425581e-08,5.227216e-08,5.561512e-08,1.143035e-07,1.340495e-07,2.155042e-07,2.978791e-07,3.788513e-07,5.930313e-07,6.284315e-07,9.924088e-07,1.081656e-06,1.502290e-06,1.836261e-06,2.191903e-06,2.935625e-06,3.096177e-06,4.249830e-06,4.459807e-06,5.686047e-06,6.484862e-06,7.435230e-06,9.077872e-06,9.523874e-06,1.197363e-05,1.229269e-05,1.480058e-05,1.616673e-05,1.801472e-05,2.071890e-05,2.161970e-05,2.561280e-05,2.594878e-05,2.998505e-05,3.183698e-05,3.472161e-05,3.834634e-05,3.980224e-05,4.520193e-05,4.542415e-05,5.089160e-05,5.300471e-05,5.683883e-05,6.101231e-05,6.300866e-05,6.936435e-05,7.586812e-05,7.797436e-05,8.248183e-05,8.675480e-05,8.916765e-05,9.561956e-05,9.588862e-05,1.026091e-04,1.044861e-04,1.092953e-04,1.132772e-04,1.159154e-04,1.219223e-04,1.224402e-04,1.288427e-04,1.303583e-04,1.350988e-04,1.385302e-04,1.411872e-04,1.463914e-04,1.470892e-04,1.527889e-04,1.539034e-04,1.582730e-04,1.610359e-04,1.635307e-04,1.677661e-04,1.685538e-04,1.733359e-04,1.740784e-04,1.778733e-04,1.799636e-04,1.821637e-04,1.854179e-04,1.862068e-04,1.900038e-04,1.904430e-04,1.935573e-04,1.950447e-04,1.968711e-04,1.992323e-04,1.999501e-04,2.028000e-04,2.030183e-04,2.054274e-04,2.064176e-04,2.078393e-04,2.094468e-04,2.100435e-04,2.120478e-04,2.121239e-04,2.138607e-04,2.144680e-04,2.154905e-04,2.164985e-04,2.169458e-04,2.182352e-04,2.193674e-04,2.196978e-04,2.203507e-04,2.209057e-04,2.211934e-04,2.218779e-04,2.219039e-04,2.224899e-04,2.226328e-04,2.229594e-04,2.231881e-04,2.233196e-04,2.235607e-04,2.235778e-04,2.237409e-04,2.237667e-04,2.238156e-04,2.238211e-04,2.238081e-04,2.237385e-04,2.237246e-04,2.235707e-04,2.235320e-04,2.233519e-04,2.232142e-04,2.230734e-04,2.227969e-04,2.227400e-04,2.223563e-04,2.222906e-04,2.219267e-04,2.217054e-04,2.214553e-04,2.210505e-04,2.209458e-04,2.204018e-04,2.203344e-04,2.198268e-04,2.195648e-04,2.192240e-04,2.187489e-04,2.185961e-04,2.179461e-04,2.178932e-04,2.172765e-04,2.170037e-04,2.165896e-04,2.160857e-04,2.158878e-04,2.151730e-04,2.151442e-04,2.144472e-04,2.141836e-04,2.137122e-04,2.132080e-04,2.129696e-04,2.122210e-04,2.112259e-04,2.102257e-04,2.092231e-04,2.082205e-04,2.072199e-04,2.062233e-04,2.052324e-04,2.042488e-04,2.032737e-04,2.023083e-04,2.013537e-04,2.004107e-04,1.994802e-04,1.985627e-04,1.976590e-04,1.967695e-04,1.958945e-04,1.950346e-04,1.941898e-04,1.933605e-04,1.925467e-04,1.917487e-04,1.909664e-04,1.901999e-04
0.000000e+00,1.467515e-14,9.945472e-14,1.712974e-12,1.128387e-11,2.672326e-11,1.710986e-10,1.829097e-10,7.974093e-10,1.138901e-09,2.614232e-09,4.831598e-09,7.042128e-09,1.542389e-08,1.643337e-08,3.437197e-08,4.047931e-08,6.594646e-08,9.205031e-08,1.179767e-07,1.875480e-07,1.991640e-07,3.201442e-07,3.501853e-07,4.934362e-07,6.088899e-07,7.332918e-07,9.976926e-07,1.055456e-06,1.476853e-06,1.554662e-06,2.015212e-06,2.320488e-06,2.688657e-06,3.336834e-06,3.515263e-06,4.512609e-06,4.644567e-06,5.697344e-06,6.281993e-06,7.084769e-06,8.283201e-06,8.688466e-06,1.051997e-05,1.067662e-05,1.258848e-05,1.348383e-05,1.490069e-05,1.671875e-05,1.746063e-05,2.026957e-05,2.038710e-05,2.332606e-05,2.448628e-05,2.662594e-05,2.900555e-05,3.016248e-05,3.392651e-05,3.790664e-05,3.922379e-05,4.208949e-05,4.486598e-05,4.645993e-05,5.081663e-05,5.100135e-05,5.569595e-05,5.703535e-05,6.052501e-05,6.347896e-05,6.546919e-05,7.010254e-05,7.050875e-05,7.562383e-05,7.686048e-05,8.079468e-05,8.370745e-05,8.600186e-05,9.059919e-05,9.122645e-05,9.645016e-05,9.749325e-05,1.016556e-04,1.043496e-04,1.068261e-04,1.111310e-04,1.119462e-04,1.170015e-04,1.178035e-04,1.219788e-04,1.243365e-04,1.268658e-04,1.307031e-04,1.316517e-04,1.363267e-04,1.368798e-04,1.408822e-04,1.428468e-04,1.453108e-04,1.485878e-04,1.496062e-04,1.537631e-04,1.540896e-04,1.577773e-04,1.593422e-04,1.616454e-04,1.643387e-04,1.653651e-04,1.689348e-04,1.690744e-04,1.723537e-04,1.735475e-04,1.756216e-04,1.777579e-04,1.787393e-04,1.817077e-04,1.845286e-04,1.854004e-04,1.872040e-04,1.888411e-04,1.897365e-04,1.920359e-04,1.921289e-04,1.943844e-04,1.949919e-04,1.965064e-04,1.977170e-04,1.984986e-04,2.002199e-04,2.003647e-04,2.021086e-04,2.025094e-04,2.037345e-04,2.045949e-04,2.052463e-04,2.064856e-04,2.066482e-04,2.079444e-04,2.081913e-04,2.091390e-04,2.097213e-04,2.102360e-04,2.110852e-04,2.112397e-04,2.121539e-04,2.122922e-04,2.129827e-04,2.133513e-04,2.137298e-04,2.142713e-04,2.143991e-04,2.149943e-04,2.150609e-04,2.155188e-04,2.157281e-04,2.159761e-04,2.162808e-04,2.163696e-04,2.167025e-04,2.167266e-04,2.169779e-04,2.170727e-04,2.171989e-04,2.173258e-04,2.173682e-04,2.174887e-04,2.174925e-04,2.175630e-04,2.175789e-04,2.175936e-04,2.175907e-04,2.175830e-04,2.175335e-04,2.174123e-04,2.172320e-04,2.169971e-04,2.167118e-04,2.163802e-04,2.160059e-04,2.155925e-04,2.151431e-04,2.146608e-04,2.141485e-04,2.136088e-04,2.130441e-04,2.124567e-04,2.118488e-04,2.112224e-04,2.105793e-04,2.099212e-04,2.092497e-04,2.085664e-04,2.078726e-04,2.071696e-04,2.064587e-04,2.057409e-04,2.050172e-04
0.000000e+00,3.903962e-11,2.095629e-10,2.263723e-09,9.966179e-09,1.910162e-08,7.322148e-08,7.674134e-08,2.120587e-07,2.700556e-07,4.729162e-07,7.149099e-07,9.212586e-07,1.559623e-06,1.627013e-06,2.641384e-06,2.932397e-06,3.969792e-06,4.838511e-06,5.576602e-06,7.180562e-06,7.411100e-06,9.427037e-06,9.848647e-06,1.158823e-05,1.275993e-05,1.386665e-05,1.585395e-05,1.623892e-05,1.868374e-05,1.908027e-05,2.118060e-05,2.239165e-05,2.370937e-05,2.574214e-05,2.625041e-05,2.878492e-05,2.908777e-05,3.129531e-05,3.238804e-05,3.376555e-05,3.560730e-05,3.618149e-05,3.853093e-05,3.871569e-05,4.080374e-05,4.168951e-05,4.299177e-05,4.451108e-05,4.508877e-05,4.709022e-05,4.716824e-05,4.899318e-05,4.965381e-05,5.079615e-05,5.196485e-05,5.249880e-05,5.410176e-05,5.560653e-05,5.606765e-05,5.701519e-05,5.786745e-05,5.833029e-05,5.950751e-05,5.955480e-05,6.069194e-05,6.099515e-05,6.174517e-05,6.233830e-05,6.271804e-05,6.354523e-05,6.361419e-05,6.443722e-05,6.462427e-05,6.519073e-05,6.558366e-05,6.587827e-05,6.643146e-05,6.650327e-05,6.706908e-05,6.717543e-05,6.757895e-05,6.782301e-05,6.803599e-05,6.838127e-05,6.844319e-05,6.880344e-05,6.885690e-05,6.911946e-05,6.925621e-05,6.939387e-05,6.958512e-05,6.962916e-05,6.982770e-05,6.984916e-05,6.999173e-05,7.005352e-05,7.012338e-05,7.020304e-05,7.022469e-05,7.029755e-05,7.030221e-05,7.034380e-05,7.035523e-05,7.036513e-05,7.036598e-05,7.036318e-05,7.033947e-05,7.033809e-05,7.029546e-05,7.027491e-05,7.023251e-05,7.017955e-05,7.015192e-05,7.005490e-05,6.994260e-05,6.990362e-05,6.981612e-05,6.972819e-05,6.967646e-05,6.953090e-05,6.952460e-05,6.936145e-05,6.931387e-05,6.918787e-05,6.907904e-05,6.900465e-05,6.882824e-05,6.881257e-05,6.861234e-05,6.856314e-05,6.840463e-05,6.828528e-05,6.819008e-05,6.799610e-05,6.796929e-05,6.774282e-05,6.769690e-05,6.751121e-05,6.738890e-05,6.727494e-05,6.707323e-05,6.703449e-05,6.679030e-05,6.675091e-05,6.654279e-05,6.642291e-05,6.629233e-05,6.609009e-05,6.603930e-05,6.578404e-05,6.575327e-05,6.552687e-05,6.541319e-05,6.526810e-05,6.507053e-05,6.500800e-05,6.474686e-05,6.472593e-05,6.448490e-05,6.437995e-05,6.422238e-05,6.403313e-05,6.395950e-05,6.369648e-05,6.368595e-05,6.343349e-05,6.333887e-05,6.317074e-05,6.299228e-05,6.290837e-05,6.264655e-05,6.230203e-05,6.195904e-05,6.161783e-05,6.127869e-05,6.094183e-05,6.060747e-05,6.027580e-05,5.994698e-05,5.962118e-05,5.929852e-05,5.897914e-05,5.866313e-05,5.835060e-05,5.804162e-05,5.773628e-05,5.743463e-05,5.713672e-05,5.684260e-05,5.655230e-05,5.626586e-05,5.598329e-05,5.570462e-05,5.542984e-05,5.515897e-05
0.000000e+00,9.898792e-14,6.425540e-13,1.010363e-11,6.119265e-11,1.383452e-10,7.849757e-10,8.350324e-10,3.226537e-09,4.459442e-09,9.426175e-09,1.630152e-08,2.275698e-08,4.530168e-08,4.787890e-08,9.083660e-08,1.045948e-07,1.590200e-07,2.113680e-07,2.609674e-07,3.859342e-07,4.059052e-07,6.029986e-07,6.494251e-07,8.604576e-07,1.020420e-06,1.184725e-06,1.511836e-06,1.579933e-06,2.047689e-06,2.129239e-06,2.587155e-06,2.870760e-06,3.195325e-06,3.728159e-06,3.867411e-06,4.597262e-06,4.688395e-06,5.377754e-06,5.735231e-06,6.201134e-06,6.850615e-06,7.059313e-06,7.944098e-06,8.015786e-06,8.847385e-06,9.212110e-06,9.761317e-06,1.042171e-05,1.067840e-05,1.159160e-05,1.162796e-05,1.249445e-05,1.281578e-05,1.338105e-05,1.397197e-05,1.424618e-05,1.508528e-05,1.589447e-05,1.614655e-05,1.667053e-05,1.714863e-05,1.741093e-05,1.808636e-05,1.811373e-05,1.877761e-05,1.895640e-05,1.940177e-05,1.975705e-05,1.998589e-05,2.048801e-05,2.053009e-05,2.103486e-05,2.115022e-05,2.150100e-05,2.174556e-05,2.192959e-05,2.227670e-05,2.232191e-05,2.267939e-05,2.274684e-05,2.300359e-05,2.315957e-05,2.329617e-05,2.351872e-05,2.355880e-05,2.379320e-05,2.382820e-05,2.400107e-05,2.409192e-05,2.418409e-05,2.431371e-05,2.434389e-05,2.448206e-05,2.449726e-05,2.460013e-05,2.464608e-05,2.469953e-05,2.476345e-05,2.478165e-05,2.484780e-05,2.485243e-05,2.489918e-05,2.491586e-05,2.493695e-05,2.495632e-05,2.496217e-05,2.497585e-05,2.497617e-05,2.497891e-05,2.497758e-05,2.497222e-05,2.496249e-05,2.495655e-05,2.493266e-05,2.490123e-05,2.488968e-05,2.486287e-05,2.483497e-05,2.481818e-05,2.476981e-05,2.476769e-05,2.471188e-05,2.469536e-05,2.465121e-05,2.461266e-05,2.458611e-05,2.452263e-05,2.451696e-05,2.444411e-05,2.442611e-05,2.436789e-05,2.432385e-05,2.428861e-05,2.421653e-05,2.420654e-05,2.412195e-05,2.410475e-05,2.403507e-05,2.398907e-05,2.394613e-05,2.386997e-05,2.385533e-05,2.376285e-05,2.374791e-05,2.366888e-05,2.362329e-05,2.357357e-05,2.349647e-05,2.347708e-05,2.337955e-05,2.336778e-05,2.328111e-05,2.323753e-05,2.318187e-05,2.310599e-05,2.308196e-05,2.298147e-05,2.297341e-05,2.288050e-05,2.284000e-05,2.277915e-05,2.270599e-05,2.267750e-05,2.257562e-05,2.257154e-05,2.247359e-05,2.243684e-05,2.237149e-05,2.230204e-05,2.226936e-05,2.216728e-05,2.203270e-05,2.189840e-05,2.176449e-05,2.163108e-05,2.149826e-05,2.136610e-05,2.123468e-05,2.110407e-05,2.097432e-05,2.084551e-05,2.071766e-05,2.059084e-05,2.046507e-05,2.034040e-05,2.021687e-05,2.009449e-05,1.997329e-05,1.985331e-05,1.973455e-05,1.961704e-05,1.950078e-05,1.938580e-05,1.927210e-05,1.915970e-05
0.000000e+00,3.858299e-14,2.621318e-13,4.534944e-12,2.999576e-11,7.120397e-11,4.587979e-10,4.906017e-10,2.153705e-09,3.082232e-09,7.112880e-09,1.320740e-08,1.931216e-08,4.262951e-08,4.545164e-08,9.594707e-08,1.132585e-07,1.859340e-07,2.610784e-07,3.362306e-07,5.398845e-07,5.741237e-07,9.338319e-07,1.023896e-06,1.456546e-06,1.808392e-06,2.190032e-06,3.008072e-06,3.187835e-06,4.508170e-06,4.753432e-06,6.212566e-06,7.185668e-06,8.364372e-06,1.045072e-05,1.102718e-05,1.426322e-05,1.469293e-05,1.813186e-05,2.004883e-05,2.268810e-05,2.664135e-05,2.798134e-05,3.405414e-05,3.457474e-05,4.094135e-05,4.393046e-05,4.866930e-05,5.476409e-05,5.725529e-05,6.670728e-05,6.710338e-05,7.702371e-05,8.094743e-05,8.819367e-05,9.626691e-05,1.001971e-04,1.130052e-04,1.265812e-04,1.310806e-04,1.408807e-04,1.503887e-04,1.558526e-04,1.708058e-04,1.714403e-04,1.875820e-04,1.921921e-04,2.042120e-04,2.143960e-04,2.212616e-04,2.372569e-04,2.386599e-04,2.563347e-04,2.606098e-04,2.742135e-04,2.842878e-04,2.922240e-04,3.081258e-04,3.102952e-04,3.283576e-04,3.319630e-04,3.463441e-04,3.556457e-04,3.641906e-04,3.790287e-04,3.818360e-04,3.992231e-04,4.019774e-04,4.162983e-04,4.243689e-04,4.330122e-04,4.460928e-04,4.493198e-04,4.651804e-04,4.670519e-04,4.805577e-04,4.871621e-04,4.954196e-04,5.063528e-04,5.097385e-04,5.234910e-04,5.245662e-04,5.366578e-04,5.417570e-04,5.492235e-04,5.578919e-04,5.611764e-04,5.725085e-04,5.729488e-04,5.832150e-04,5.869159e-04,5.932944e-04,5.997907e-04,6.027480e-04,6.115795e-04,6.197955e-04,6.222960e-04,6.274045e-04,6.319604e-04,6.344170e-04,6.405991e-04,6.408452e-04,6.467030e-04,6.482431e-04,6.520056e-04,6.549274e-04,6.567693e-04,6.606906e-04,6.610112e-04,6.647495e-04,6.655737e-04,6.680027e-04,6.696197e-04,6.707900e-04,6.728729e-04,6.731309e-04,6.750451e-04,6.753784e-04,6.765523e-04,6.771817e-04,6.776722e-04,6.783281e-04,6.784246e-04,6.788287e-04,6.788623e-04,6.789038e-04,6.788285e-04,6.786687e-04,6.782698e-04,6.781420e-04,6.773415e-04,6.772279e-04,6.762850e-04,6.757434e-04,6.749894e-04,6.738550e-04,6.734712e-04,6.717465e-04,6.716000e-04,6.698305e-04,6.690138e-04,6.677380e-04,6.661302e-04,6.654833e-04,6.630798e-04,6.629807e-04,6.605406e-04,6.595956e-04,6.578780e-04,6.560029e-04,6.551037e-04,6.522291e-04,6.482988e-04,6.442349e-04,6.400587e-04,6.357899e-04,6.314466e-04,6.270456e-04,6.226021e-04,6.181301e-04,6.136425e-04,6.091507e-04,6.046653e-04,6.001957e-04,5.957505e-04,5.913372e-04,5.869626e-04,5.826327e-04,5.783529e-04,5.741277e-04,5.699611e-04,5.658567e-04,5.618174e-04,5.578456e-04,5.539436e-04,5.501129e-04
0.000000e+00,6.102105e-14,4.104262e-13,6.950522e-12,4.506496e-11,1.057871e-10,6.617307e-10,7.067314e-10,3.008708e-09,4.269075e-09,9.636979e-09,1.756854e-08,2.537630e-08,5.445729e-08,5.792003e-08,1.185700e-07,1.389359e-07,2.228406e-07,3.076124e-07,3.909316e-07,6.115280e-07,6.480353e-07,1.024424e-06,1.117029e-06,1.555251e-06,1.905274e-06,2.280001e-06,3.069964e-06,3.241571e-06,4.485044e-06,4.713225e-06,6.056236e-06,6.940101e-06,8.000152e-06,9.852434e-06,1.035946e-05,1.317307e-05,1.354291e-05,1.647493e-05,1.808987e-05,2.029299e-05,2.355325e-05,2.464844e-05,2.955520e-05,2.997180e-05,3.501962e-05,3.736151e-05,4.104044e-05,4.571531e-05,4.760889e-05,5.470900e-05,5.500377e-05,6.231808e-05,6.517656e-05,7.040726e-05,7.616480e-05,7.894218e-05,8.788375e-05,9.718887e-05,1.002358e-04,1.068113e-04,1.131138e-04,1.167025e-04,1.264042e-04,1.268122e-04,1.370895e-04,1.399903e-04,1.474835e-04,1.537549e-04,1.579438e-04,1.675833e-04,1.684210e-04,1.788677e-04,1.813653e-04,1.892388e-04,1.949974e-04,1.994913e-04,2.083838e-04,2.095856e-04,2.194848e-04,2.214383e-04,2.291557e-04,2.340842e-04,2.385683e-04,2.462556e-04,2.476959e-04,2.565156e-04,2.578968e-04,2.650077e-04,2.689626e-04,2.731558e-04,2.794177e-04,2.809468e-04,2.883706e-04,2.892365e-04,2.954201e-04,2.984019e-04,3.020905e-04,3.069053e-04,3.083800e-04,3.142886e-04,3.147449e-04,3.198187e-04,3.219256e-04,3.249744e-04,3.284578e-04,3.297614e-04,3.341870e-04,3.343566e-04,3.382595e-04,3.396411e-04,3.419886e-04,3.443335e-04,3.453846e-04,3.484587e-04,3.512224e-04,3.520433e-04,3.536881e-04,3.551154e-04,3.558681e-04,3.577039e-04,3.577751e-04,3.594218e-04,3.598380e-04,3.608210e-04,3.615470e-04,3.619853e-04,3.628599e-04,3.629274e-04,3.636594e-04,3.638052e-04,3.641936e-04,3.644106e-04,3.645416e-04,3.647029e-04,3.647148e-04,3.647245e-04,3.647077e-04,3.645812e-04,3.644497e-04,3.642953e-04,3.639522e-04,3.638767e-04,3.633349e-04,3.632374e-04,3.626789e-04,3.623260e-04,3.619174e-04,3.612378e-04,3.610587e-04,3.601104e-04,3.599910e-04,3.590802e-04,3.586027e-04,3.579748e-04,3.570887e-04,3.568012e-04,3.555653e-04,3.554640e-04,3.542733e-04,3.537420e-04,3.529306e-04,3.519355e-04,3.515425e-04,3.501139e-04,3.500559e-04,3.486493e-04,3.481141e-04,3.471531e-04,3.461197e-04,3.456293e-04,3.440817e-04,3.420083e-04,3.399069e-04,3.377843e-04,3.356467e-04,3.334995e-04,3.313480e-04,3.291965e-04,3.270492e-04,3.249098e-04,3.227815e-04,3.206673e-04,3.185698e-04,3.164912e-04,3.144336e-04,3.123989e-04,3.103884e-04,3.084037e-04,3.064459e-04,3.045159e-04,3.026146e-04,3.007427e-04,2.989008e-04,2.970893e-04,2.953085e-04
0.000000e+00,1.247558e-09,3.433815e-09,1.428734e-08,3.541307e-08,5.327566e-08,1.271245e-07,1.311384e-07,2.599070e-07,3.066640e-07,4.511339e-07,6.005724e-07,7.161370e-07,1.034268e-06,1.065541e-06,1.507179e-06,1.627258e-06,2.042951e-06,2.382638e-06,2.668482e-06,3.287333e-06,3.376368e-06,4.158843e-06,4.323625e-06,5.008388e-06,5.474173e-06,5.917494e-06,6.721500e-06,6.878395e-06,7.882982e-06,8.047212e-06,8.922862e-06,9.432036e-06,9.989504e-06,1.085638e-05,1.107442e-05,1.216935e-05,1.230104e-05,1.326647e-05,1.374798e-05,1.435845e-05,1.518083e-05,1.543869e-05,1.650126e-05,1.658534e-05,1.754102e-05,1.794954e-05,1.855362e-05,1.926381e-05,1.953544e-05,2.048358e-05,2.052077e-05,2.139582e-05,2.171511e-05,2.227054e-05,2.284333e-05,2.310664e-05,2.390352e-05,2.466099e-05,2.489506e-05,2.537917e-05,2.581839e-05,2.605851e-05,2.667476e-05,2.669969e-05,2.730355e-05,2.746608e-05,2.787111e-05,2.819469e-05,2.840350e-05,2.886327e-05,2.890192e-05,2.936764e-05,2.947469e-05,2.980195e-05,3.003194e-05,3.020618e-05,3.053806e-05,3.058164e-05,3.092965e-05,3.099607e-05,3.125148e-05,3.140892e-05,3.154841e-05,3.177949e-05,3.182167e-05,3.207245e-05,3.211056e-05,3.230190e-05,3.240479e-05,3.251113e-05,3.266469e-05,3.270123e-05,3.287320e-05,3.289267e-05,3.302804e-05,3.309098e-05,3.316667e-05,3.326175e-05,3.329000e-05,3.339887e-05,3.340698e-05,3.349411e-05,3.352855e-05,3.357647e-05,3.362822e-05,3.364670e-05,3.370550e-05,3.370762e-05,3.375352e-05,3.376830e-05,3.379141e-05,3.381168e-05,3.381975e-05,3.383911e-05,3.385003e-05,3.385183e-05,3.385302e-05,3.385099e-05,3.384856e-05,3.383770e-05,3.383711e-05,3.381910e-05,3.381294e-05,3.379494e-05,3.377766e-05,3.376503e-05,3.373273e-05,3.372972e-05,3.368936e-05,3.367897e-05,3.364430e-05,3.361712e-05,3.359483e-05,3.354789e-05,3.354125e-05,3.348385e-05,3.347193e-05,3.342288e-05,3.338985e-05,3.335860e-05,3.330222e-05,3.329124e-05,3.322103e-05,3.320955e-05,3.314818e-05,3.311234e-05,3.307290e-05,3.301104e-05,3.299536e-05,3.291575e-05,3.290606e-05,3.283423e-05,3.279781e-05,3.275098e-05,3.268663e-05,3.266613e-05,3.257984e-05,3.257288e-05,3.249224e-05,3.245686e-05,3.240346e-05,3.233887e-05,3.231361e-05,3.222281e-05,3.221916e-05,3.213118e-05,3.209800e-05,3.203880e-05,3.197562e-05,3.194579e-05,3.185222e-05,3.172801e-05,3.160318e-05,3.147789e-05,3.135230e-05,3.122656e-05,3.110081e-05,3.097517e-05,3.084975e-05,3.072467e-05,3.060001e-05,3.047588e-05,3.035235e-05,3.022949e-05,3.010739e-05,2.998610e-05,2.986568e-05,2.974618e-05,2.962765e-05,2.951014e-05,2.939369e-05,2.927833e-05,2.916409e-05,2.905101e-05,2.893910e-05
0.000000e+00,1.140683e-13,7.783701e-13,1.359100e-11,9.069458e-11,2.163838e-10,1.413763e-09,1.512662e-09,6.742578e-09,9.692347e-09,2.263065e-08,4.244714e-08,6.249307e-08,1.401397e-07,1.496196e-07,3.210264e-07,3.803339e-07,6.310746e-07,8.922111e-07,1.154498e-06,1.868297e-06,1.988568e-06,3.254263e-06,3.571530e-06,5.096417e-06,6.336987e-06,7.682827e-06,1.056821e-05,1.120240e-05,1.586240e-05,1.672850e-05,2.188493e-05,2.532777e-05,2.950276e-05,3.690609e-05,3.895478e-05,5.048103e-05,5.201487e-05,6.431783e-05,7.119709e-05,8.069282e-05,9.496785e-05,9.982034e-05,1.218972e-04,1.237961e-04,1.470987e-04,1.580889e-04,1.755757e-04,1.981779e-04,2.074519e-04,2.428218e-04,2.443102e-04,2.817495e-04,2.966417e-04,3.242679e-04,3.552338e-04,3.703792e-04,4.200544e-04,4.732352e-04,4.909800e-04,5.298350e-04,5.678020e-04,5.897407e-04,6.502330e-04,6.528149e-04,7.188979e-04,7.379164e-04,7.878107e-04,8.304357e-04,8.593571e-04,9.273248e-04,9.333263e-04,1.009496e-03,1.028078e-03,1.087634e-03,1.132163e-03,1.167502e-03,1.239025e-03,1.248858e-03,1.331456e-03,1.348104e-03,1.415052e-03,1.458835e-03,1.499402e-03,1.570665e-03,1.584268e-03,1.669415e-03,1.683049e-03,1.754616e-03,1.795468e-03,1.839653e-03,1.907421e-03,1.924314e-03,2.008399e-03,2.018442e-03,2.091719e-03,2.128092e-03,2.174096e-03,2.235968e-03,2.255362e-03,2.335362e-03,2.341703e-03,2.413953e-03,2.444965e-03,2.491005e-03,2.545462e-03,2.566398e-03,2.640027e-03,2.642934e-03,2.711795e-03,2.737160e-03,2.781620e-03,2.827953e-03,2.849429e-03,2.915160e-03,2.978762e-03,2.998657e-03,3.040192e-03,3.078353e-03,3.099420e-03,3.154184e-03,3.156421e-03,3.211180e-03,3.226110e-03,3.263690e-03,3.294117e-03,3.313951e-03,3.358211e-03,3.361971e-03,3.407760e-03,3.418420e-03,3.451340e-03,3.474787e-03,3.492733e-03,3.527372e-03,3.531968e-03,3.569078e-03,3.576248e-03,3.604100e-03,3.621499e-03,3.637074e-03,3.663221e-03,3.668043e-03,3.697054e-03,3.701517e-03,3.724153e-03,3.736497e-03,3.749392e-03,3.768277e-03,3.772820e-03,3.794492e-03,3.796977e-03,3.814461e-03,3.822721e-03,3.832780e-03,3.845634e-03,3.849505e-03,3.864692e-03,3.865842e-03,3.878395e-03,3.883473e-03,3.890669e-03,3.898653e-03,3.901570e-03,3.911151e-03,3.911507e-03,3.919466e-03,3.922160e-03,3.926568e-03,3.930732e-03,3.932510e-03,3.937342e-03,3.942107e-03,3.945140e-03,3.946548e-03,3.946439e-03,3.944914e-03,3.942071e-03,3.938003e-03,3.932801e-03,3.926550e-03,3.919332e-03,3.911226e-03,3.902305e-03,3.892641e-03,3.882298e-03,3.871340e-03,3.859828e-03,3.847816e-03,3.835357e-03,3.822501e-03,3.809296e-03,3.795783e-03,3.782005e-03,3.767999e-03,3.753801e-03
0.000000e+00,1.314715e-13,8.963427e-13,1.562406e-11,1.040964e-10,2.481426e-10,1.617646e-09,1.730651e-09,7.697570e-09,1.105878e-08,2.578483e-08,4.831030e-08,7.107586e-08,1.591477e-07,1.698922e-07,3.639649e-07,4.310477e-07,7.143862e-07,1.009099e-06,1.304808e-06,2.108346e-06,2.243589e-06,3.664785e-06,4.020517e-06,5.727945e-06,7.114574e-06,8.616772e-06,1.183121e-05,1.253672e-05,1.771164e-05,1.867183e-05,2.437958e-05,2.818297e-05,3.278805e-05,4.093716e-05,4.318877e-05,5.583223e-05,5.751184e-05,7.096224e-05,7.846747e-05,8.881063e-05,1.043264e-04,1.095923e-04,1.335008e-04,1.355538e-04,1.607044e-04,1.725407e-04,1.913429e-04,2.155919e-04,2.255253e-04,2.633280e-04,2.649161e-04,3.047938e-04,3.206211e-04,3.499318e-04,3.827120e-04,3.987174e-04,4.510938e-04,5.069728e-04,5.255755e-04,5.662376e-04,6.058784e-04,6.287441e-04,6.916445e-04,6.943244e-04,7.627888e-04,7.824477e-04,8.339290e-04,8.778049e-04,9.075210e-04,9.771880e-04,9.833283e-04,1.061104e-03,1.080035e-03,1.140596e-03,1.185764e-03,1.221544e-03,1.293778e-03,1.303690e-03,1.386775e-03,1.403482e-03,1.470542e-03,1.514287e-03,1.554740e-03,1.625618e-03,1.639122e-03,1.723452e-03,1.736924e-03,1.807501e-03,1.847681e-03,1.891052e-03,1.957394e-03,1.973897e-03,2.055843e-03,2.065607e-03,2.136707e-03,2.171900e-03,2.216320e-03,2.275893e-03,2.294526e-03,2.371183e-03,2.377245e-03,2.446162e-03,2.475657e-03,2.519345e-03,2.570868e-03,2.590631e-03,2.659929e-03,2.662659e-03,2.727161e-03,2.750845e-03,2.792260e-03,2.835280e-03,2.855171e-03,2.915850e-03,2.974263e-03,2.992473e-03,3.030386e-03,3.065096e-03,3.084204e-03,3.133694e-03,3.135710e-03,3.184906e-03,3.198267e-03,3.231799e-03,3.258837e-03,3.276407e-03,3.315444e-03,3.318749e-03,3.358853e-03,3.368148e-03,3.396751e-03,3.417024e-03,3.432480e-03,3.462159e-03,3.466080e-03,3.497596e-03,3.503653e-03,3.527075e-03,3.541615e-03,3.554566e-03,3.576160e-03,3.580121e-03,3.603795e-03,3.607412e-03,3.625642e-03,3.635497e-03,3.645720e-03,3.660547e-03,3.664086e-03,3.680798e-03,3.682695e-03,3.695914e-03,3.702074e-03,3.709493e-03,3.718820e-03,3.721593e-03,3.732272e-03,3.733066e-03,3.741588e-03,3.744945e-03,3.749597e-03,3.754587e-03,3.756357e-03,3.761921e-03,3.762120e-03,3.766345e-03,3.767669e-03,3.769682e-03,3.771355e-03,3.771982e-03,3.773298e-03,3.773610e-03,3.772401e-03,3.769779e-03,3.765843e-03,3.760691e-03,3.754416e-03,3.747107e-03,3.738846e-03,3.729714e-03,3.719787e-03,3.709136e-03,3.697828e-03,3.685928e-03,3.673495e-03,3.660585e-03,3.647252e-03,3.633545e-03,3.619511e-03,3.605193e-03,3.590631e-03,3.575864e-03,3.560927e-03,3.545851e-03,3.530669e-03
0.000000e+00,6.898593e-10,2.421702e-09,1.333037e-08,3.780778e-08,5.981999e-08,1.560822e-07,1.614610e-07,3.383532e-07,4.040651e-07,6.103694e-07,8.276993e-07,9.979009e-07,1.473934e-06,1.521228e-06,2.196280e-06,2.381673e-06,3.027550e-06,3.558530e-06,4.006702e-06,4.979386e-06,5.119495e-06,6.351795e-06,6.611460e-06,7.690909e-06,8.425486e-06,9.124876e-06,1.039394e-05,1.064170e-05,1.222896e-05,1.248861e-05,1.387379e-05,1.467989e-05,1.556301e-05,1.693743e-05,1.728337e-05,1.902188e-05,1.923113e-05,2.076608e-05,2.153228e-05,2.250426e-05,2.381460e-05,2.422568e-05,2.592068e-05,2.605488e-05,2.758080e-05,2.823341e-05,2.919877e-05,3.033418e-05,3.076855e-05,3.228522e-05,3.234472e-05,3.374495e-05,3.425594e-05,3.514491e-05,3.606172e-05,3.648316e-05,3.775855e-05,3.897062e-05,3.934511e-05,4.011948e-05,4.082185e-05,4.120575e-05,4.219062e-05,4.223044e-05,4.319491e-05,4.345438e-05,4.410076e-05,4.461687e-05,4.494979e-05,4.568240e-05,4.574397e-05,4.648533e-05,4.665564e-05,4.717601e-05,4.754145e-05,4.781816e-05,4.834481e-05,4.841393e-05,4.896547e-05,4.907065e-05,4.947489e-05,4.972384e-05,4.994428e-05,5.030910e-05,5.037565e-05,5.077095e-05,5.083099e-05,5.113210e-05,5.129385e-05,5.146089e-05,5.170182e-05,5.175910e-05,5.202838e-05,5.205883e-05,5.227036e-05,5.236857e-05,5.248656e-05,5.263453e-05,5.267844e-05,5.284739e-05,5.285995e-05,5.299474e-05,5.304791e-05,5.312174e-05,5.320125e-05,5.322958e-05,5.331941e-05,5.332264e-05,5.339228e-05,5.341457e-05,5.344923e-05,5.347934e-05,5.349120e-05,5.351912e-05,5.353385e-05,5.353591e-05,5.353621e-05,5.353158e-05,5.352696e-05,5.350785e-05,5.350684e-05,5.347655e-05,5.346633e-05,5.343673e-05,5.340852e-05,5.338800e-05,5.333581e-05,5.333096e-05,5.326614e-05,5.324949e-05,5.319408e-05,5.315075e-05,5.311527e-05,5.304070e-05,5.303017e-05,5.293922e-05,5.292037e-05,5.284285e-05,5.279071e-05,5.274143e-05,5.265263e-05,5.263535e-05,5.252496e-05,5.250692e-05,5.241059e-05,5.235437e-05,5.229255e-05,5.219567e-05,5.217113e-05,5.204662e-05,5.203148e-05,5.191928e-05,5.186242e-05,5.178936e-05,5.168903e-05,5.165709e-05,5.152270e-05,5.151186e-05,5.138639e-05,5.133137e-05,5.124836e-05,5.114803e-05,5.110881e-05,5.096789e-05,5.096223e-05,5.082579e-05,5.077438e-05,5.068266e-05,5.058482e-05,5.053864e-05,5.039388e-05,5.020187e-05,5.000908e-05,4.981575e-05,4.962214e-05,4.942846e-05,4.923492e-05,4.904170e-05,4.884899e-05,4.865694e-05,4.846569e-05,4.827539e-05,4.808615e-05,4.789809e-05,4.771131e-05,4.752590e-05,4.734196e-05,4.715956e-05,4.697877e-05,4.679965e-05,4.662227e-05,4.644666e-05,4.627288e-05,4.610098e-05,4.593097e-05
0.000000e+00,1.170202e-09,3.733307e-09,1.832226e-08,4.924062e-08,7.647870e-08,1.944251e-07,2.010150e-07,4.195859e-07,5.019205e-07,7.647322e-07,1.048242e-06,1.274369e-06,1.920306e-06,1.985202e-06,2.915789e-06,3.171071e-06,4.054090e-06,4.770566e-06,5.368162e-06,6.643382e-06,6.824741e-06,8.396817e-06,8.723140e-06,1.006303e-05,1.096060e-05,1.180536e-05,1.331576e-05,1.360747e-05,1.545398e-05,1.575254e-05,1.733011e-05,1.823703e-05,1.922183e-05,2.073754e-05,2.111596e-05,2.300037e-05,2.322531e-05,2.486415e-05,2.567516e-05,2.669771e-05,2.806587e-05,2.849279e-05,3.024255e-05,3.038039e-05,3.194137e-05,3.260562e-05,3.358486e-05,3.473201e-05,3.516970e-05,3.669352e-05,3.675318e-05,3.815480e-05,3.866538e-05,3.955279e-05,4.046714e-05,4.088724e-05,4.215834e-05,4.336683e-05,4.374047e-05,4.451368e-05,4.521591e-05,4.560019e-05,4.658784e-05,4.662783e-05,4.759823e-05,4.785991e-05,4.851310e-05,4.903613e-05,4.937427e-05,5.012069e-05,5.018357e-05,5.094288e-05,5.111789e-05,5.165409e-05,5.203206e-05,5.231907e-05,5.286749e-05,5.293968e-05,5.351773e-05,5.362839e-05,5.405501e-05,5.431887e-05,5.455327e-05,5.494290e-05,5.501421e-05,5.543947e-05,5.550431e-05,5.583066e-05,5.600679e-05,5.618933e-05,5.645385e-05,5.651697e-05,5.681503e-05,5.684888e-05,5.708491e-05,5.719507e-05,5.732793e-05,5.749548e-05,5.754540e-05,5.773856e-05,5.775300e-05,5.790860e-05,5.797040e-05,5.805666e-05,5.815027e-05,5.818384e-05,5.829119e-05,5.829509e-05,5.837973e-05,5.840719e-05,5.845043e-05,5.848878e-05,5.850420e-05,5.854194e-05,5.856449e-05,5.856864e-05,5.857267e-05,5.857073e-05,5.856726e-05,5.854997e-05,5.854900e-05,5.851859e-05,5.850800e-05,5.847672e-05,5.844637e-05,5.842404e-05,5.836655e-05,5.836116e-05,5.828867e-05,5.826991e-05,5.820715e-05,5.815775e-05,5.811712e-05,5.803127e-05,5.801911e-05,5.791359e-05,5.789163e-05,5.780105e-05,5.773990e-05,5.768192e-05,5.757707e-05,5.755663e-05,5.742559e-05,5.740411e-05,5.728918e-05,5.722190e-05,5.714776e-05,5.703127e-05,5.700170e-05,5.685132e-05,5.683300e-05,5.669695e-05,5.662783e-05,5.653887e-05,5.641644e-05,5.637739e-05,5.621277e-05,5.619947e-05,5.604527e-05,5.597753e-05,5.587515e-05,5.575117e-05,5.570264e-05,5.552796e-05,5.552093e-05,5.535132e-05,5.528729e-05,5.517293e-05,5.505072e-05,5.499298e-05,5.481165e-05,5.457048e-05,5.432757e-05,5.408329e-05,5.383795e-05,5.359186e-05,5.334531e-05,5.309855e-05,5.285182e-05,5.260535e-05,5.235936e-05,5.211403e-05,5.186954e-05,5.162606e-05,5.138374e-05,5.114273e-05,5.090316e-05,5.066513e-05,5.042877e-05,5.019418e-05,4.996144e-05,4.973064e-05,4.950184e-05,4.927514e-05,4.905058e-05
0.000000e+00,2.557587e-09,6.914864e-09,2.818683e-08,6.913506e-08,1.035918e-07,2.456418e-07,2.533613e-07,5.016679e-07,5.922791e-07,8.741296e-07,1.168875e-06,1.399088e-06,2.042809e-06,2.106846e-06,3.024128e-06,3.277244e-06,4.162642e-06,4.893099e-06,5.509734e-06,6.842107e-06,7.032898e-06,8.693713e-06,9.039242e-06,1.045765e-05,1.140607e-05,1.229653e-05,1.388225e-05,1.418747e-05,1.611116e-05,1.642083e-05,1.805066e-05,1.898269e-05,1.999066e-05,2.153355e-05,2.191712e-05,2.381719e-05,2.404285e-05,2.567919e-05,2.648369e-05,2.749273e-05,2.883299e-05,2.924876e-05,3.093957e-05,3.107182e-05,3.255871e-05,3.318515e-05,3.410126e-05,3.516232e-05,3.556347e-05,3.694286e-05,3.699628e-05,3.823800e-05,3.868351e-05,3.944844e-05,4.022333e-05,4.057459e-05,4.161759e-05,4.257919e-05,4.287006e-05,4.346159e-05,4.398596e-05,4.426742e-05,4.497167e-05,4.499958e-05,4.566120e-05,4.583426e-05,4.625556e-05,4.658128e-05,4.678600e-05,4.722046e-05,4.725591e-05,4.766865e-05,4.775957e-05,4.802755e-05,4.820624e-05,4.833587e-05,4.856787e-05,4.859678e-05,4.881332e-05,4.885157e-05,4.898845e-05,4.906408e-05,4.912497e-05,4.921177e-05,4.922556e-05,4.929278e-05,4.930060e-05,4.932904e-05,4.933612e-05,4.933663e-05,4.932350e-05,4.931769e-05,4.927428e-05,4.926752e-05,4.920829e-05,4.917257e-05,4.912153e-05,4.904273e-05,4.901567e-05,4.889230e-05,4.888172e-05,4.875289e-05,4.869295e-05,4.859883e-05,4.847955e-05,4.843140e-05,4.825181e-05,4.824439e-05,4.806118e-05,4.799006e-05,4.786057e-05,4.771895e-05,4.765095e-05,4.743323e-05,4.720827e-05,4.713488e-05,4.697684e-05,4.682568e-05,4.673969e-05,4.650727e-05,4.649749e-05,4.625089e-05,4.618113e-05,4.600046e-05,4.584860e-05,4.574676e-05,4.551089e-05,4.549028e-05,4.523151e-05,4.516911e-05,4.497088e-05,4.482426e-05,4.470878e-05,4.447722e-05,4.444559e-05,4.418166e-05,4.412881e-05,4.391730e-05,4.377976e-05,4.365281e-05,4.343073e-05,4.338845e-05,4.312449e-05,4.308230e-05,4.286114e-05,4.273501e-05,4.259861e-05,4.238932e-05,4.233711e-05,4.207680e-05,4.204566e-05,4.181786e-05,4.170439e-05,4.156042e-05,4.136586e-05,4.130463e-05,4.105060e-05,4.103036e-05,4.079845e-05,4.069814e-05,4.054829e-05,4.036944e-05,4.030019e-05,4.005424e-05,4.004445e-05,3.981052e-05,3.972334e-05,3.956909e-05,3.940626e-05,3.933001e-05,3.909334e-05,3.878467e-05,3.848036e-05,3.818046e-05,3.788504e-05,3.759415e-05,3.730780e-05,3.702602e-05,3.674881e-05,3.647619e-05,3.620815e-05,3.594466e-05,3.568571e-05,3.543127e-05,3.518131e-05,3.493580e-05,3.469469e-05,3.445793e-05,3.422549e-05,3.399731e-05,3.377333e-05,3.355351e-05,3.333779e-05,3.312610e-05,3.291840e-05
0.000000e+00,1.784134e-09,5.749064e-09,2.857093e-08,7.726252e-08,1.202445e-07,3.060963e-07,3.164512e-07,6.575606e-07,7.848255e-07,1.186744e-06,1.613849e-06,1.950652e-06,2.900845e-06,2.995747e-06,4.355782e-06,4.730188e-06,6.033749e-06,7.101780e-06,7.999163e-06,9.930891e-06,1.020721e-05,1.261586e-05,1.311846e-05,1.518992e-05,1.658367e-05,1.789925e-05,2.025963e-05,2.071660e-05,2.361664e-05,2.408672e-05,2.657569e-05,2.801047e-05,2.957177e-05,3.198176e-05,3.258484e-05,3.559696e-05,3.595758e-05,3.859238e-05,3.990149e-05,4.155750e-05,4.378359e-05,4.448084e-05,4.735285e-05,4.758015e-05,5.016570e-05,5.127282e-05,5.291312e-05,5.484798e-05,5.559026e-05,5.819332e-05,5.829586e-05,6.071954e-05,6.160979e-05,6.316702e-05,6.478565e-05,6.553449e-05,6.782133e-05,7.002735e-05,7.071624e-05,7.215279e-05,7.347104e-05,7.419823e-05,7.608732e-05,7.616446e-05,7.805252e-05,7.856733e-05,7.986361e-05,8.091386e-05,8.159905e-05,8.313010e-05,8.326030e-05,8.484891e-05,8.521954e-05,8.636646e-05,8.718587e-05,8.781462e-05,8.903294e-05,8.919507e-05,9.050954e-05,9.076466e-05,9.175975e-05,9.238505e-05,9.294745e-05,9.389810e-05,9.407440e-05,9.514232e-05,9.530782e-05,9.615296e-05,9.661822e-05,9.710803e-05,9.783323e-05,9.800925e-05,9.885829e-05,9.895675e-05,9.965683e-05,9.999260e-05,1.004065e-04,1.009445e-04,1.011089e-04,1.017656e-04,1.018163e-04,1.023783e-04,1.026113e-04,1.029483e-04,1.033332e-04,1.034772e-04,1.039666e-04,1.039853e-04,1.044177e-04,1.045710e-04,1.048320e-04,1.050934e-04,1.052109e-04,1.055556e-04,1.058676e-04,1.059607e-04,1.061480e-04,1.063115e-04,1.063981e-04,1.066109e-04,1.066192e-04,1.068122e-04,1.068614e-04,1.069785e-04,1.070658e-04,1.071191e-04,1.072266e-04,1.072350e-04,1.073273e-04,1.073461e-04,1.073971e-04,1.074267e-04,1.074453e-04,1.074705e-04,1.074728e-04,1.074806e-04,1.074798e-04,1.074695e-04,1.074566e-04,1.074405e-04,1.074028e-04,1.073943e-04,1.073318e-04,1.073203e-04,1.072537e-04,1.072110e-04,1.071609e-04,1.070765e-04,1.070540e-04,1.069338e-04,1.069185e-04,1.068008e-04,1.067385e-04,1.066559e-04,1.065381e-04,1.064996e-04,1.063326e-04,1.063188e-04,1.061554e-04,1.060818e-04,1.059686e-04,1.058285e-04,1.057727e-04,1.055684e-04,1.055601e-04,1.053561e-04,1.052778e-04,1.051362e-04,1.049827e-04,1.049094e-04,1.046759e-04,1.043585e-04,1.040313e-04,1.036954e-04,1.033515e-04,1.030005e-04,1.026432e-04,1.022803e-04,1.019125e-04,1.015405e-04,1.011649e-04,1.007863e-04,1.004053e-04,1.000223e-04,9.963795e-05,9.925260e-05,9.886672e-05,9.848072e-05,9.809498e-05,9.770987e-05,9.732572e-05,9.694285e-05,9.656155e-05,9.618208e-05,9.580472e-05
0.000000e+00,6.865932e-12,3.877939e-11,4.610823e-10,2.188846e-09,4.349537e-09,1.796511e-08,1.887464e-08,5.449458e-08,6.985618e-08,1.230981e-07,1.851296e-07,2.367679e-07,3.912638e-07,4.072633e-07,6.458018e-07,7.143431e-07,9.625860e-07,1.177322e-06,1.365767e-06,1.796067e-06,1.860316e-06,2.447690e-06,2.576218e-06,3.126467e-06,3.514508e-06,3.893345e-06,4.602406e-06,4.743918e-06,5.673073e-06,5.828658e-06,6.675114e-06,7.180161e-06,7.743759e-06,8.642031e-06,8.872136e-06,1.005282e-05,1.019765e-05,1.127791e-05,1.182890e-05,1.253915e-05,1.351664e-05,1.382804e-05,1.513606e-05,1.524127e-05,1.645475e-05,1.698337e-05,1.777592e-05,1.872429e-05,1.909175e-05,2.039492e-05,2.044669e-05,2.167871e-05,2.213493e-05,2.293702e-05,2.377531e-05,2.416442e-05,2.535623e-05,2.650846e-05,2.686826e-05,2.761784e-05,2.830414e-05,2.868179e-05,2.965862e-05,2.969835e-05,3.066612e-05,3.092823e-05,3.158428e-05,3.211119e-05,3.245246e-05,3.320709e-05,3.327072e-05,3.403949e-05,3.421671e-05,3.475951e-05,3.514179e-05,3.543178e-05,3.598484e-05,3.605752e-05,3.663814e-05,3.674898e-05,3.717515e-05,3.743771e-05,3.767021e-05,3.805487e-05,3.812501e-05,3.854130e-05,3.860445e-05,3.892086e-05,3.909053e-05,3.926547e-05,3.951718e-05,3.957689e-05,3.985687e-05,3.988844e-05,4.010711e-05,4.020822e-05,4.032926e-05,4.048031e-05,4.052495e-05,4.069571e-05,4.070834e-05,4.084305e-05,4.089575e-05,4.096840e-05,4.104580e-05,4.107311e-05,4.115851e-05,4.116154e-05,4.122582e-05,4.124585e-05,4.127622e-05,4.130142e-05,4.131084e-05,4.133074e-05,4.133690e-05,4.133613e-05,4.133028e-05,4.131975e-05,4.131177e-05,4.128359e-05,4.128220e-05,4.124237e-05,4.122948e-05,4.119302e-05,4.115913e-05,4.113484e-05,4.107409e-05,4.106850e-05,4.099461e-05,4.097582e-05,4.091375e-05,4.086563e-05,4.082647e-05,4.074475e-05,4.073327e-05,4.063464e-05,4.061430e-05,4.053102e-05,4.047530e-05,4.042283e-05,4.032871e-05,4.031047e-05,4.019431e-05,4.017539e-05,4.007469e-05,4.001614e-05,3.995193e-05,3.985168e-05,3.982635e-05,3.969822e-05,3.968269e-05,3.956782e-05,3.950978e-05,3.943538e-05,3.933352e-05,3.930115e-05,3.916534e-05,3.915441e-05,3.902815e-05,3.897294e-05,3.888978e-05,3.878953e-05,3.875041e-05,3.861020e-05,3.860457e-05,3.846930e-05,3.841844e-05,3.832787e-05,3.823147e-05,3.818605e-05,3.804394e-05,3.785615e-05,3.766833e-05,3.748073e-05,3.729355e-05,3.710698e-05,3.692119e-05,3.673634e-05,3.655258e-05,3.637003e-05,3.618880e-05,3.600901e-05,3.583074e-05,3.565409e-05,3.547912e-05,3.530591e-05,3.513451e-05,3.496497e-05,3.479735e-05,3.463168e-05,3.446799e-05,3.430632e-05,3.414668e-05,3.398911e-05,3.383361e-05
0.000000e+00,2.531023e-09,5.793572e-09,1.993774e-08,4.563526e-08,6.701531e-08,1.566838e-07,1.616666e-07,3.286345e-07,3.925405e-07,5.985829e-07,8.196993e-07,9.917919e-07,1.452592e-06,1.496301e-06,2.079878e-06,2.228399e-06,2.714876e-06,3.086022e-06,3.383557e-06,3.990599e-06,4.074361e-06,4.778616e-06,4.920415e-06,5.488894e-06,5.858338e-06,6.198383e-06,6.789105e-06,6.900764e-06,7.590295e-06,7.699078e-06,8.261905e-06,8.576625e-06,8.911320e-06,9.412534e-06,9.535103e-06,1.013065e-05,1.020012e-05,1.069615e-05,1.093515e-05,1.123051e-05,1.161548e-05,1.173325e-05,1.220442e-05,1.224076e-05,1.264449e-05,1.281199e-05,1.305429e-05,1.333115e-05,1.343482e-05,1.378729e-05,1.380083e-05,1.411303e-05,1.422402e-05,1.441342e-05,1.460394e-05,1.468990e-05,1.494386e-05,1.517672e-05,1.524700e-05,1.538983e-05,1.551645e-05,1.558447e-05,1.575511e-05,1.576189e-05,1.592326e-05,1.596572e-05,1.606968e-05,1.615080e-05,1.620220e-05,1.631267e-05,1.632178e-05,1.642934e-05,1.645346e-05,1.652572e-05,1.657511e-05,1.661171e-05,1.667937e-05,1.668805e-05,1.675541e-05,1.676787e-05,1.681444e-05,1.684204e-05,1.686573e-05,1.690322e-05,1.690981e-05,1.694719e-05,1.695258e-05,1.697835e-05,1.699123e-05,1.700373e-05,1.702014e-05,1.702373e-05,1.703872e-05,1.704020e-05,1.704907e-05,1.705223e-05,1.705508e-05,1.705695e-05,1.705708e-05,1.705533e-05,1.705503e-05,1.705010e-05,1.704709e-05,1.704163e-05,1.703366e-05,1.703016e-05,1.701589e-05,1.701527e-05,1.699903e-05,1.699235e-05,1.697974e-05,1.696534e-05,1.695822e-05,1.693462e-05,1.690908e-05,1.690053e-05,1.688176e-05,1.686339e-05,1.685278e-05,1.682351e-05,1.682226e-05,1.679032e-05,1.678114e-05,1.675707e-05,1.673653e-05,1.672261e-05,1.668991e-05,1.668703e-05,1.665042e-05,1.664149e-05,1.661287e-05,1.659146e-05,1.657446e-05,1.654000e-05,1.653526e-05,1.649533e-05,1.648727e-05,1.645475e-05,1.643341e-05,1.641358e-05,1.637857e-05,1.637186e-05,1.632967e-05,1.632288e-05,1.628704e-05,1.626644e-05,1.624403e-05,1.620938e-05,1.620069e-05,1.615705e-05,1.615179e-05,1.611315e-05,1.609377e-05,1.606904e-05,1.603539e-05,1.602475e-05,1.598031e-05,1.597675e-05,1.593576e-05,1.591791e-05,1.589112e-05,1.585895e-05,1.584643e-05,1.580171e-05,1.579992e-05,1.575698e-05,1.574088e-05,1.571227e-05,1.568189e-05,1.566761e-05,1.562300e-05,1.556426e-05,1.550570e-05,1.544736e-05,1.538929e-05,1.533152e-05,1.527407e-05,1.521697e-05,1.516026e-05,1.510395e-05,1.504807e-05,1.499263e-05,1.493766e-05,1.488317e-05,1.482917e-05,1.477569e-05,1.472273e-05,1.467030e-05,1.461841e-05,1.456708e-05,1.451630e-05,1.446609e-05,1.441646e-05,1.436739e-05,1.431891e-05
0.000000e+00,6.840578e-10,2.180983e-09,1.068623e-08,2.866069e-08,4.445239e-08,1.124601e-07,1.162438e-07,2.409005e-07,2.874713e-07,4.348718e-07,5.919398e-07,7.158938e-07,1.064000e-06,1.098510e-06,1.585160e-06,1.716302e-06,2.163932e-06,2.521879e-06,2.817802e-06,3.443424e-06,3.531873e-06,4.294116e-06,4.451414e-06,5.094147e-06,5.521885e-06,5.922348e-06,6.633091e-06,6.769556e-06,7.627072e-06,7.764681e-06,8.486798e-06,8.898063e-06,9.341392e-06,1.001699e-05,1.018438e-05,1.101023e-05,1.110795e-05,1.181435e-05,1.216029e-05,1.259305e-05,1.316608e-05,1.334349e-05,1.406357e-05,1.411982e-05,1.475186e-05,1.501806e-05,1.540749e-05,1.585907e-05,1.603004e-05,1.661949e-05,1.664239e-05,1.717614e-05,1.736859e-05,1.770049e-05,1.803896e-05,1.819326e-05,1.865532e-05,1.908760e-05,1.921982e-05,1.949116e-05,1.973484e-05,1.986705e-05,2.020290e-05,2.021638e-05,2.054026e-05,2.062654e-05,2.083981e-05,2.100832e-05,2.111613e-05,2.135075e-05,2.137030e-05,2.160337e-05,2.165629e-05,2.181640e-05,2.192731e-05,2.201037e-05,2.216608e-05,2.218626e-05,2.234501e-05,2.237478e-05,2.248752e-05,2.255550e-05,2.261466e-05,2.271019e-05,2.272727e-05,2.282614e-05,2.284073e-05,2.291204e-05,2.294888e-05,2.298570e-05,2.303629e-05,2.304783e-05,2.309909e-05,2.310454e-05,2.314012e-05,2.315510e-05,2.317154e-05,2.318934e-05,2.319392e-05,2.320781e-05,2.320857e-05,2.321375e-05,2.321400e-05,2.321222e-05,2.320677e-05,2.320371e-05,2.318868e-05,2.318795e-05,2.316754e-05,2.315852e-05,2.314071e-05,2.311941e-05,2.310858e-05,2.307150e-05,2.302984e-05,2.301559e-05,2.298392e-05,2.295244e-05,2.293405e-05,2.288273e-05,2.288053e-05,2.282364e-05,2.280714e-05,2.276364e-05,2.272626e-05,2.270079e-05,2.264065e-05,2.263533e-05,2.256747e-05,2.255085e-05,2.249743e-05,2.245733e-05,2.242541e-05,2.236055e-05,2.235160e-05,2.227618e-05,2.226092e-05,2.219931e-05,2.215882e-05,2.212116e-05,2.205463e-05,2.204187e-05,2.196159e-05,2.194866e-05,2.188044e-05,2.184121e-05,2.179855e-05,2.173258e-05,2.171603e-05,2.163301e-05,2.162302e-05,2.154958e-05,2.151276e-05,2.146583e-05,2.140203e-05,2.138186e-05,2.129776e-05,2.129103e-05,2.121360e-05,2.117994e-05,2.112946e-05,2.106892e-05,2.104540e-05,2.096150e-05,2.095815e-05,2.087781e-05,2.084775e-05,2.079439e-05,2.073785e-05,2.071129e-05,2.062857e-05,2.052002e-05,2.041228e-05,2.030546e-05,2.019962e-05,2.009484e-05,1.999117e-05,1.988868e-05,1.978741e-05,1.968740e-05,1.958870e-05,1.949133e-05,1.939532e-05,1.930070e-05,1.920748e-05,1.911568e-05,1.902531e-05,1.893638e-05,1.884890e-05,1.876287e-05,1.867829e-05,1.859516e-05,1.851348e-05,1.843324e-05,1.835444e-05
0.000000e+00,5.137434e-10,1.186676e-09,4.119583e-09,9.408982e-09,1.373975e-08,3.114249e-08,3.207517e-08,6.161819e-08,7.221533e-08,1.046567e-07,1.378299e-07,1.632643e-07,2.325128e-07,2.392721e-07,3.342208e-07,3.599669e-07,4.492940e-07,5.228251e-07,5.852418e-07,7.223457e-07,7.423021e-07,9.201376e-07,9.581250e-07,1.117800e-06,1.227927e-06,1.333737e-06,1.527730e-06,1.565858e-06,1.811655e-06,1.852070e-06,2.068379e-06,2.194662e-06,2.333230e-06,2.549159e-06,2.603536e-06,2.876880e-06,2.909782e-06,3.151157e-06,3.271665e-06,3.424588e-06,3.630914e-06,3.695701e-06,3.963294e-06,3.984519e-06,4.226400e-06,4.330207e-06,4.484248e-06,4.666301e-06,4.736239e-06,4.981914e-06,4.991604e-06,5.220932e-06,5.305300e-06,5.453055e-06,5.606877e-06,5.678126e-06,5.896061e-06,6.106828e-06,6.172762e-06,6.310446e-06,6.437034e-06,6.506970e-06,6.689037e-06,6.696484e-06,6.879098e-06,6.929010e-06,7.054939e-06,7.157250e-06,7.224148e-06,7.374095e-06,7.386879e-06,7.543291e-06,7.579908e-06,7.693550e-06,7.775071e-06,7.837825e-06,7.959972e-06,7.976286e-06,8.109104e-06,8.135006e-06,8.236449e-06,8.300562e-06,8.358490e-06,8.457028e-06,8.475395e-06,8.587326e-06,8.604785e-06,8.694446e-06,8.744201e-06,8.796913e-06,8.875639e-06,8.894880e-06,8.988499e-06,8.999448e-06,9.077917e-06,9.115967e-06,9.163277e-06,9.225521e-06,9.244717e-06,9.322373e-06,9.328426e-06,9.396376e-06,9.424983e-06,9.466854e-06,9.515484e-06,9.533930e-06,9.597723e-06,9.600208e-06,9.658349e-06,9.679421e-06,9.715921e-06,9.753380e-06,9.770547e-06,9.822331e-06,9.871375e-06,9.886507e-06,9.917778e-06,9.946134e-06,9.961634e-06,1.000142e-05,1.000303e-05,1.004207e-05,1.005259e-05,1.007882e-05,1.009981e-05,1.011337e-05,1.014329e-05,1.014581e-05,1.017620e-05,1.018320e-05,1.020462e-05,1.021971e-05,1.023115e-05,1.025298e-05,1.025585e-05,1.027879e-05,1.028317e-05,1.030003e-05,1.031043e-05,1.031964e-05,1.033489e-05,1.033767e-05,1.035419e-05,1.035670e-05,1.036925e-05,1.037597e-05,1.038290e-05,1.039284e-05,1.039519e-05,1.040618e-05,1.040741e-05,1.041591e-05,1.041981e-05,1.042444e-05,1.043013e-05,1.043180e-05,1.043803e-05,1.043848e-05,1.044319e-05,1.044496e-05,1.044731e-05,1.044965e-05,1.045042e-05,1.045258e-05,1.045264e-05,1.045381e-05,1.045403e-05,1.045414e-05,1.045388e-05,1.045362e-05,1.045227e-05,1.044928e-05,1.044498e-05,1.043943e-05,1.043269e-05,1.042483e-05,1.041591e-05,1.040597e-05,1.039507e-05,1.038327e-05,1.037060e-05,1.035711e-05,1.034286e-05,1.032787e-05,1.031220e-05,1.029587e-05,1.027892e-05,1.026139e-05,1.024332e-05,1.022473e-05,1.020565e-05,1.018611e-05,1.016615e-05,1.014578e-05,1.012504e-05
0.000000e+00,6.376821e-14,4.232433e-13,6.970472e-12,4.403958e-11,1.019030e-10,6.138178e-10,6.545434e-10,2.681990e-09,3.765737e-09,8.277836e-09,1.476756e-08,2.103025e-08,4.371750e-08,4.637133e-08,9.182669e-08,1.067650e-07,1.671495e-07,2.267544e-07,2.843207e-07,4.331493e-07,4.573725e-07,7.019687e-07,7.609262e-07,1.034681e-06,1.248019e-06,1.471980e-06,1.931312e-06,2.029055e-06,2.718654e-06,2.841967e-06,3.550115e-06,4.001316e-06,4.528693e-06,5.418203e-06,5.655242e-06,6.926218e-06,7.088117e-06,8.333964e-06,8.993911e-06,9.867206e-06,1.110772e-05,1.151169e-05,1.325086e-05,1.339355e-05,1.506661e-05,1.581011e-05,1.693995e-05,1.831361e-05,1.885165e-05,2.078279e-05,2.086018e-05,2.271527e-05,2.340798e-05,2.463213e-05,2.591870e-05,2.651788e-05,2.835869e-05,3.014249e-05,3.069954e-05,3.185905e-05,3.291841e-05,3.349998e-05,3.499792e-05,3.505862e-05,3.653004e-05,3.692590e-05,3.791082e-05,3.869489e-05,3.919897e-05,4.030162e-05,4.039377e-05,4.149562e-05,4.174636e-05,4.250584e-05,4.303231e-05,4.342657e-05,4.416500e-05,4.426062e-05,4.501128e-05,4.515172e-05,4.568227e-05,4.600101e-05,4.627758e-05,4.672223e-05,4.680141e-05,4.725805e-05,4.732517e-05,4.765183e-05,4.781977e-05,4.798704e-05,4.821589e-05,4.826791e-05,4.849856e-05,4.852305e-05,4.868292e-05,4.875037e-05,4.882480e-05,4.890644e-05,4.892781e-05,4.899534e-05,4.899931e-05,4.903061e-05,4.903636e-05,4.903661e-05,4.902439e-05,4.901615e-05,4.897181e-05,4.896958e-05,4.890602e-05,4.887751e-05,4.882097e-05,4.875320e-05,4.871873e-05,4.860116e-05,4.846999e-05,4.842541e-05,4.832679e-05,4.822950e-05,4.817299e-05,4.801659e-05,4.800990e-05,4.783871e-05,4.778948e-05,4.766050e-05,4.755062e-05,4.747625e-05,4.730218e-05,4.728686e-05,4.709313e-05,4.704607e-05,4.689579e-05,4.678395e-05,4.669550e-05,4.651729e-05,4.649287e-05,4.628842e-05,4.624736e-05,4.608265e-05,4.597528e-05,4.587600e-05,4.570201e-05,4.566885e-05,4.546157e-05,4.542841e-05,4.525447e-05,4.515521e-05,4.504784e-05,4.488305e-05,4.484194e-05,4.463701e-05,4.461249e-05,4.443324e-05,4.434400e-05,4.423082e-05,4.407799e-05,4.402993e-05,4.383070e-05,4.381483e-05,4.363326e-05,4.355482e-05,4.343774e-05,4.329821e-05,4.324424e-05,4.305284e-05,4.304523e-05,4.286363e-05,4.279606e-05,4.267667e-05,4.255086e-05,4.249203e-05,4.230974e-05,4.207283e-05,4.184018e-05,4.161188e-05,4.138795e-05,4.116844e-05,4.095336e-05,4.074272e-05,4.053651e-05,4.033473e-05,4.013734e-05,3.994433e-05,3.975565e-05,3.957127e-05,3.939114e-05,3.921521e-05,3.904342e-05,3.887573e-05,3.871207e-05,3.855238e-05,3.839660e-05,3.824467e-05,3.809651e-05,3.795206e-05,3.781125e-05
0.000000e+00,8.064030e-13,5.128715e-12,7.733330e-11,4.510304e-10,9.990365e-10,5.381903e-09,5.713225e-09,2.100707e-08,2.865647e-08,5.866276e-08,9.895466e-08,1.359851e-07,2.617083e-07,2.758227e-07,5.058667e-07,5.778720e-07,8.566177e-07,1.117070e-06,1.358072e-06,1.944869e-06,2.036315e-06,2.911216e-06,3.111047e-06,3.995583e-06,4.644472e-06,5.295401e-06,6.553888e-06,6.810650e-06,8.536253e-06,8.831303e-06,1.046293e-05,1.145553e-05,1.257791e-05,1.439501e-05,1.486549e-05,1.730752e-05,1.761001e-05,1.988391e-05,2.105457e-05,2.257306e-05,2.467836e-05,2.535240e-05,2.819886e-05,2.842878e-05,3.108943e-05,3.225295e-05,3.400164e-05,3.609970e-05,3.691397e-05,3.980625e-05,3.992126e-05,4.265997e-05,4.367460e-05,4.545848e-05,4.732238e-05,4.818716e-05,5.083346e-05,5.338692e-05,5.418299e-05,5.583909e-05,5.735223e-05,5.818344e-05,6.032814e-05,6.041520e-05,6.253126e-05,6.310275e-05,6.452990e-05,6.567251e-05,6.641071e-05,6.803754e-05,6.817435e-05,6.982239e-05,7.020097e-05,7.135719e-05,7.216829e-05,7.278170e-05,7.394675e-05,7.409935e-05,7.531394e-05,7.554485e-05,7.642955e-05,7.697196e-05,7.745043e-05,7.823792e-05,7.838091e-05,7.922538e-05,7.935281e-05,7.998822e-05,8.032667e-05,8.067376e-05,8.116938e-05,8.128623e-05,8.182975e-05,8.189053e-05,8.230834e-05,8.249934e-05,8.272583e-05,8.300456e-05,8.308595e-05,8.339222e-05,8.341450e-05,8.364803e-05,8.373695e-05,8.385660e-05,8.397925e-05,8.402099e-05,8.414409e-05,8.414820e-05,8.422865e-05,8.425017e-05,8.427727e-05,8.429106e-05,8.429240e-05,8.427634e-05,8.423129e-05,8.421108e-05,8.415928e-05,8.409996e-05,8.406227e-05,8.394728e-05,8.394205e-05,8.380034e-05,8.375703e-05,8.363875e-05,8.353288e-05,8.345878e-05,8.327820e-05,8.326185e-05,8.304930e-05,8.299610e-05,8.282236e-05,8.268943e-05,8.258221e-05,8.236082e-05,8.232995e-05,8.206660e-05,8.201269e-05,8.179314e-05,8.164724e-05,8.151046e-05,8.126652e-05,8.121942e-05,8.092081e-05,8.087238e-05,8.061538e-05,8.046656e-05,8.030382e-05,8.005061e-05,7.998679e-05,7.966490e-05,7.962597e-05,7.933872e-05,7.919398e-05,7.900879e-05,7.875584e-05,7.867560e-05,7.833964e-05,7.831265e-05,7.800132e-05,7.786543e-05,7.766107e-05,7.741511e-05,7.731927e-05,7.697627e-05,7.696253e-05,7.663240e-05,7.650846e-05,7.628798e-05,7.605361e-05,7.594330e-05,7.559863e-05,7.514410e-05,7.469055e-05,7.423847e-05,7.378830e-05,7.334044e-05,7.289524e-05,7.245303e-05,7.201411e-05,7.157873e-05,7.114714e-05,7.071954e-05,7.029612e-05,6.987705e-05,6.946247e-05,6.905251e-05,6.864729e-05,6.824689e-05,6.785141e-05,6.746091e-05,6.707544e-05,6.669506e-05,6.631979e-05,6.594965e-05,6.558468e-05
0.000000e+00,2.985963e-13,2.037006e-12,3.554748e-11,2.370297e-10,5.652055e-10,3.685469e-09,3.942882e-09,1.752068e-08,2.515868e-08,5.855585e-08,1.094890e-07,1.608310e-07,3.586637e-07,3.827385e-07,8.163748e-07,9.659358e-07,1.596884e-06,2.252784e-06,2.911108e-06,4.702726e-06,5.004752e-06,8.187555e-06,8.986771e-06,1.283620e-05,1.597758e-05,1.939482e-05,2.675115e-05,2.837311e-05,4.034202e-05,4.257569e-05,5.592727e-05,6.488850e-05,7.580078e-05,9.526194e-05,1.006705e-04,1.312684e-04,1.353603e-04,1.683380e-04,1.868903e-04,2.126207e-04,2.515473e-04,2.648424e-04,3.256993e-04,3.309609e-04,3.958458e-04,4.266419e-04,4.758816e-04,5.399336e-04,5.663410e-04,6.676838e-04,6.719695e-04,7.802867e-04,8.236384e-04,9.044373e-04,9.955588e-04,1.040330e-03,1.188062e-03,1.347635e-03,1.401186e-03,1.518954e-03,1.634677e-03,1.701827e-03,1.887998e-03,1.895976e-03,2.101034e-03,2.160346e-03,2.316554e-03,2.450674e-03,2.542017e-03,2.757722e-03,2.776837e-03,3.020371e-03,3.080040e-03,3.271925e-03,3.416025e-03,3.530762e-03,3.763953e-03,3.796113e-03,4.067184e-03,4.122014e-03,4.343162e-03,4.488337e-03,4.623225e-03,4.861030e-03,4.906546e-03,5.192306e-03,5.238199e-03,5.479693e-03,5.617982e-03,5.767911e-03,5.998563e-03,6.056186e-03,6.343769e-03,6.378197e-03,6.629939e-03,6.755228e-03,6.914009e-03,7.128095e-03,7.195326e-03,7.473276e-03,7.495349e-03,7.747284e-03,7.855661e-03,8.016813e-03,8.207823e-03,8.281371e-03,8.540505e-03,8.550752e-03,8.793805e-03,8.883493e-03,9.040904e-03,9.205219e-03,9.281472e-03,9.515222e-03,9.741906e-03,9.812917e-03,9.961313e-03,1.009783e-02,1.017327e-02,1.036960e-02,1.037763e-02,1.057429e-02,1.062797e-02,1.076318e-02,1.087276e-02,1.094425e-02,1.110391e-02,1.111748e-02,1.128287e-02,1.132140e-02,1.144047e-02,1.152533e-02,1.159031e-02,1.171582e-02,1.173248e-02,1.186706e-02,1.189308e-02,1.199417e-02,1.205736e-02,1.211393e-02,1.220894e-02,1.222647e-02,1.233194e-02,1.234817e-02,1.243051e-02,1.247541e-02,1.252233e-02,1.259105e-02,1.260758e-02,1.268645e-02,1.269550e-02,1.275913e-02,1.278919e-02,1.282579e-02,1.287256e-02,1.288664e-02,1.294188e-02,1.294606e-02,1.299170e-02,1.301015e-02,1.303629e-02,1.306528e-02,1.307586e-02,1.311060e-02,1.311190e-02,1.314072e-02,1.315046e-02,1.316639e-02,1.318141e-02,1.318781e-02,1.320518e-02,1.322219e-02,1.323287e-02,1.323761e-02,1.323680e-02,1.323082e-02,1.322003e-02,1.320477e-02,1.318539e-02,1.316218e-02,1.313547e-02,1.310553e-02,1.307264e-02,1.303706e-02,1.299903e-02,1.295879e-02,1.291655e-02,1.287252e-02,1.282690e-02,1.277986e-02,1.273157e-02,1.268219e-02,1.263188e-02,1.258077e-02,1.252899e-02
0.000000e+00,2.609954e-13,1.778340e-12,3.095514e-11,2.059330e-10,4.904376e-10,3.187760e-09,3.409977e-09,1.510708e-08,2.167593e-08,5.035541e-08,9.402413e-08,1.379986e-07,3.072615e-07,3.278501e-07,6.986855e-07,8.266431e-07,1.367062e-06,1.930071e-06,2.496463e-06,4.044135e-06,4.305869e-06,7.076482e-06,7.775325e-06,1.115547e-05,1.392825e-05,1.695612e-05,2.350565e-05,2.495435e-05,3.568193e-05,3.768971e-05,4.971721e-05,5.780819e-05,6.767376e-05,8.528942e-05,9.018778e-05,1.179048e-04,1.216110e-04,1.514660e-04,1.682461e-04,1.914954e-04,2.266104e-04,2.385866e-04,2.932920e-04,2.980127e-04,3.561116e-04,3.836120e-04,4.274846e-04,4.843804e-04,5.077816e-04,5.972992e-04,6.010750e-04,6.962550e-04,7.342186e-04,8.047862e-04,8.840881e-04,9.229475e-04,1.050712e-03,1.187973e-03,1.233874e-03,1.334546e-03,1.433125e-03,1.490176e-03,1.647800e-03,1.654537e-03,1.827243e-03,1.877037e-03,2.007851e-03,2.119805e-03,2.195867e-03,2.374926e-03,2.390757e-03,2.591948e-03,2.641106e-03,2.798841e-03,2.916959e-03,3.010811e-03,3.201038e-03,3.227220e-03,3.447420e-03,3.491858e-03,3.670759e-03,3.787920e-03,3.896587e-03,4.087735e-03,4.124261e-03,4.353150e-03,4.389844e-03,4.582638e-03,4.692829e-03,4.812129e-03,4.995337e-03,5.041049e-03,5.268851e-03,5.296087e-03,5.495013e-03,5.593877e-03,5.719044e-03,5.887599e-03,5.940485e-03,6.158905e-03,6.176237e-03,6.373911e-03,6.458874e-03,6.585137e-03,6.734692e-03,6.792252e-03,6.994960e-03,7.002973e-03,7.192993e-03,7.263094e-03,7.386115e-03,7.514529e-03,7.574124e-03,7.756842e-03,7.934123e-03,7.989684e-03,8.105845e-03,8.212786e-03,8.271915e-03,8.425958e-03,8.432261e-03,8.586834e-03,8.629077e-03,8.735609e-03,8.822086e-03,8.878577e-03,9.004990e-03,9.015751e-03,9.147158e-03,9.177842e-03,9.272841e-03,9.340746e-03,9.392860e-03,9.493846e-03,9.507284e-03,9.616195e-03,9.637324e-03,9.719686e-03,9.771392e-03,9.817858e-03,9.896292e-03,9.910821e-03,9.998690e-03,1.001228e-02,1.008159e-02,1.011965e-02,1.015964e-02,1.021869e-02,1.023299e-02,1.030175e-02,1.030970e-02,1.036608e-02,1.039301e-02,1.042610e-02,1.046893e-02,1.048196e-02,1.053381e-02,1.053778e-02,1.058177e-02,1.059990e-02,1.062600e-02,1.065560e-02,1.066663e-02,1.070380e-02,1.070521e-02,1.073764e-02,1.074904e-02,1.076830e-02,1.078740e-02,1.079591e-02,1.082059e-02,1.084892e-02,1.087265e-02,1.089209e-02,1.090749e-02,1.091910e-02,1.092719e-02,1.093199e-02,1.093373e-02,1.093262e-02,1.092887e-02,1.092269e-02,1.091426e-02,1.090375e-02,1.089134e-02,1.087719e-02,1.086144e-02,1.084425e-02,1.082574e-02,1.080605e-02,1.078528e-02,1.076355e-02,1.074097e-02,1.071764e-02,1.069364e-02
0.000000e+00,3.894367e-09,8.961617e-09,3.102375e-08,7.101636e-08,1.040495e-07,2.398271e-07,2.472467e-07,4.897231e-07,5.800214e-07,8.651789e-07,1.165410e-06,1.397564e-06,2.022635e-06,2.082592e-06,2.900558e-06,3.114688e-06,3.834954e-06,4.404648e-06,4.874191e-06,5.867671e-06,6.008483e-06,7.227900e-06,7.481066e-06,8.521660e-06,9.219955e-06,9.878109e-06,1.105703e-05,1.128502e-05,1.273000e-05,1.296391e-05,1.420092e-05,1.491278e-05,1.568630e-05,1.687783e-05,1.717550e-05,1.865902e-05,1.883625e-05,2.012848e-05,2.076871e-05,2.157674e-05,2.265952e-05,2.299781e-05,2.438681e-05,2.449643e-05,2.573987e-05,2.627032e-05,2.705399e-05,2.797479e-05,2.832698e-05,2.955734e-05,2.960565e-05,3.074410e-05,3.116056e-05,3.188680e-05,3.263862e-05,3.298537e-05,3.404005e-05,3.505135e-05,3.536591e-05,3.601996e-05,3.661786e-05,3.694675e-05,3.779804e-05,3.783271e-05,3.867891e-05,3.890888e-05,3.948649e-05,3.995299e-05,4.025663e-05,4.093313e-05,4.099053e-05,4.168943e-05,4.185209e-05,4.235453e-05,4.271269e-05,4.298706e-05,4.351770e-05,4.358823e-05,4.415920e-05,4.426988e-05,4.470115e-05,4.497187e-05,4.521521e-05,4.562628e-05,4.570249e-05,4.616406e-05,4.623560e-05,4.660097e-05,4.680223e-05,4.701424e-05,4.732850e-05,4.740485e-05,4.777375e-05,4.781660e-05,4.812185e-05,4.826865e-05,4.845004e-05,4.868668e-05,4.875918e-05,4.905009e-05,4.907260e-05,4.932356e-05,4.942824e-05,4.958035e-05,4.975533e-05,4.982121e-05,5.004682e-05,5.005554e-05,5.025789e-05,5.033043e-05,5.045504e-05,5.058148e-05,5.063892e-05,5.081011e-05,5.096921e-05,5.101765e-05,5.111675e-05,5.120537e-05,5.125328e-05,5.137446e-05,5.137931e-05,5.149531e-05,5.152606e-05,5.160176e-05,5.166123e-05,5.169910e-05,5.178099e-05,5.178778e-05,5.186819e-05,5.188630e-05,5.194073e-05,5.197807e-05,5.200579e-05,5.205714e-05,5.206372e-05,5.211487e-05,5.212432e-05,5.215957e-05,5.218038e-05,5.219815e-05,5.222603e-05,5.223089e-05,5.225810e-05,5.226196e-05,5.228006e-05,5.228881e-05,5.229702e-05,5.230717e-05,5.230925e-05,5.231699e-05,5.231763e-05,5.232048e-05,5.232072e-05,5.231993e-05,5.231694e-05,5.231556e-05,5.230757e-05,5.230678e-05,5.229617e-05,5.229069e-05,5.228153e-05,5.226909e-05,5.226383e-05,5.224326e-05,5.224238e-05,5.221996e-05,5.221094e-05,5.219410e-05,5.217513e-05,5.216583e-05,5.213528e-05,5.209170e-05,5.204471e-05,5.199456e-05,5.194154e-05,5.188588e-05,5.182782e-05,5.176758e-05,5.170537e-05,5.164137e-05,5.157578e-05,5.150876e-05,5.144048e-05,5.137108e-05,5.130071e-05,5.122950e-05,5.115758e-05,5.108505e-05,5.101204e-05,5.093865e-05,5.086496e-05,5.079108e-05,5.071708e-05,5.064304e-05,5.056904e-05
0.000000e+00,1.306604e-10,4.469846e-10,2.387281e-09,6.685444e-09,1.053842e-08,2.739904e-08,2.834288e-08,5.950337e-08,7.113473e-08,1.078137e-07,1.466502e-07,1.771459e-07,2.624438e-07,2.708994e-07,3.909084e-07,4.236376e-07,5.370793e-07,6.299492e-07,7.082627e-07,8.784755e-07,9.030477e-07,1.119951e-06,1.165847e-06,1.357357e-06,1.488320e-06,1.613459e-06,1.841569e-06,1.886249e-06,2.173554e-06,2.220719e-06,2.473098e-06,2.620545e-06,2.782563e-06,3.035741e-06,3.099665e-06,3.422204e-06,3.461174e-06,3.748114e-06,3.892085e-06,4.075494e-06,4.324227e-06,4.402635e-06,4.728025e-06,4.753940e-06,5.050350e-06,5.178166e-06,5.368492e-06,5.594430e-06,5.681511e-06,5.988637e-06,6.000790e-06,6.289247e-06,6.395774e-06,6.582853e-06,6.778312e-06,6.869085e-06,7.147670e-06,7.418425e-06,7.503392e-06,7.681235e-06,7.845239e-06,7.936050e-06,8.173149e-06,8.182869e-06,8.421732e-06,8.487197e-06,8.652714e-06,8.787562e-06,8.875917e-06,9.074500e-06,9.091466e-06,9.299497e-06,9.348323e-06,9.500166e-06,9.609386e-06,9.693636e-06,9.858070e-06,9.880077e-06,1.005966e-05,1.009478e-05,1.023258e-05,1.031992e-05,1.039900e-05,1.053390e-05,1.055910e-05,1.071308e-05,1.073716e-05,1.086111e-05,1.093010e-05,1.100336e-05,1.111312e-05,1.114001e-05,1.127124e-05,1.128663e-05,1.139721e-05,1.145102e-05,1.151810e-05,1.160666e-05,1.163405e-05,1.174524e-05,1.175394e-05,1.185182e-05,1.189320e-05,1.195395e-05,1.202479e-05,1.205175e-05,1.214539e-05,1.214905e-05,1.223500e-05,1.226630e-05,1.232072e-05,1.237685e-05,1.240268e-05,1.248100e-05,1.255581e-05,1.257903e-05,1.262724e-05,1.267122e-05,1.269539e-05,1.275784e-05,1.276038e-05,1.282233e-05,1.283914e-05,1.288133e-05,1.291536e-05,1.293749e-05,1.298674e-05,1.299091e-05,1.304169e-05,1.305350e-05,1.308992e-05,1.311585e-05,1.313569e-05,1.317399e-05,1.317908e-05,1.322018e-05,1.322813e-05,1.325908e-05,1.327846e-05,1.329585e-05,1.332514e-05,1.333056e-05,1.336330e-05,1.336835e-05,1.339412e-05,1.340826e-05,1.342311e-05,1.344503e-05,1.345033e-05,1.347584e-05,1.347879e-05,1.349970e-05,1.350969e-05,1.352198e-05,1.353788e-05,1.354273e-05,1.356200e-05,1.356348e-05,1.357986e-05,1.358661e-05,1.359635e-05,1.360740e-05,1.361152e-05,1.362543e-05,1.362596e-05,1.363812e-05,1.364240e-05,1.364963e-05,1.365681e-05,1.366002e-05,1.366931e-05,1.367998e-05,1.368892e-05,1.369620e-05,1.370193e-05,1.370616e-05,1.370898e-05,1.371046e-05,1.371067e-05,1.370968e-05,1.370754e-05,1.370431e-05,1.370007e-05,1.369484e-05,1.368870e-05,1.368169e-05,1.367386e-05,1.366525e-05,1.365590e-05,1.364586e-05,1.363517e-05,1.362387e-05,1.361199e-05,1.359956e-05,1.358662e-05
0.000000e+00,8.501562e-14,5.728377e-13,9.739954e-12,6.341388e-11,1.492415e-10,9.408903e-10,1.005240e-09,4.323454e-09,6.154801e-09,1.402560e-08,2.580093e-08,3.751545e-08,8.190484e-08,8.725447e-08,1.825841e-07,2.151650e-07,3.516777e-07,4.925620e-07,6.332805e-07,1.013822e-06,1.077685e-06,1.746445e-06,1.913240e-06,2.710688e-06,3.354542e-06,4.048262e-06,5.519595e-06,5.840180e-06,8.166823e-06,8.593883e-06,1.110429e-05,1.275175e-05,1.472119e-05,1.814358e-05,1.907598e-05,2.421500e-05,2.488608e-05,3.017109e-05,3.305595e-05,3.696292e-05,4.268681e-05,4.459477e-05,5.305687e-05,5.376910e-05,6.232607e-05,6.625216e-05,7.236685e-05,8.004822e-05,8.313264e-05,9.456723e-05,9.503764e-05,1.066063e-04,1.110748e-04,1.191789e-04,1.279947e-04,1.322095e-04,1.456189e-04,1.593261e-04,1.637620e-04,1.732498e-04,1.822373e-04,1.873093e-04,2.008613e-04,2.014261e-04,2.155242e-04,2.194584e-04,2.295316e-04,2.378642e-04,2.433807e-04,2.559281e-04,2.570088e-04,2.703586e-04,2.735152e-04,2.833782e-04,2.905076e-04,2.960216e-04,3.068046e-04,3.082487e-04,3.200248e-04,3.223233e-04,3.313212e-04,3.369978e-04,3.421145e-04,3.507783e-04,3.523861e-04,3.621228e-04,3.636303e-04,3.713154e-04,3.755331e-04,3.799593e-04,3.864786e-04,3.880536e-04,3.956007e-04,3.964698e-04,4.026063e-04,4.055192e-04,4.090786e-04,4.136474e-04,4.150284e-04,4.204684e-04,4.208820e-04,4.254131e-04,4.272559e-04,4.298785e-04,4.328063e-04,4.338816e-04,4.374405e-04,4.375738e-04,4.405736e-04,4.416011e-04,4.433003e-04,4.449321e-04,4.456399e-04,4.476118e-04,4.492355e-04,4.496848e-04,4.505305e-04,4.511955e-04,4.515157e-04,4.521873e-04,4.522097e-04,4.526310e-04,4.527024e-04,4.527970e-04,4.527813e-04,4.527251e-04,4.524630e-04,4.524317e-04,4.519329e-04,4.517843e-04,4.512438e-04,4.507803e-04,4.503791e-04,4.494839e-04,4.493527e-04,4.481778e-04,4.479261e-04,4.468671e-04,4.461358e-04,4.454324e-04,4.441397e-04,4.438850e-04,4.422356e-04,4.419629e-04,4.404941e-04,4.396282e-04,4.386698e-04,4.371568e-04,4.367717e-04,4.348080e-04,4.345684e-04,4.327865e-04,4.318806e-04,4.307144e-04,4.291100e-04,4.285985e-04,4.264451e-04,4.262714e-04,4.242599e-04,4.233782e-04,4.220486e-04,4.204429e-04,4.198160e-04,4.175668e-04,4.174765e-04,4.153054e-04,4.144891e-04,4.130357e-04,4.114895e-04,4.107615e-04,4.084860e-04,4.054858e-04,4.024953e-04,3.995203e-04,3.965659e-04,3.936367e-04,3.907365e-04,3.878689e-04,3.850368e-04,3.822429e-04,3.794893e-04,3.767781e-04,3.741107e-04,3.714885e-04,3.689126e-04,3.663839e-04,3.639028e-04,3.614700e-04,3.590858e-04,3.567502e-04,3.544634e-04,3.522252e-04,3.500355e-04,3.478939e-04,3.458002e-04
0.000000e+00,1.821563e-11,8.995499e-11,8.323256e-10,3.245365e-09,5.859993e-09,1.961411e-08,2.045337e-08,5.035153e-08,6.225769e-08,1.014343e-07,1.448716e-07,1.800688e-07,2.828043e-07,2.933117e-07,4.484447e-07,4.926260e-07,6.513086e-07,7.865954e-07,9.034391e-07,1.162187e-06,1.199754e-06,1.529354e-06,1.598112e-06,1.879202e-06,2.065151e-06,2.237663e-06,2.538943e-06,2.595992e-06,2.948202e-06,3.003701e-06,3.290339e-06,3.450185e-06,3.619798e-06,3.873056e-06,3.934854e-06,4.234393e-06,4.269259e-06,4.517741e-06,4.637191e-06,4.784574e-06,4.976291e-06,5.034857e-06,5.268790e-06,5.286809e-06,5.486770e-06,5.569613e-06,5.689343e-06,5.826024e-06,5.877172e-06,6.050998e-06,6.057671e-06,6.211608e-06,6.266349e-06,6.359819e-06,6.453940e-06,6.496454e-06,6.622323e-06,6.738209e-06,6.773308e-06,6.844863e-06,6.908606e-06,6.942993e-06,7.029792e-06,7.033260e-06,7.116280e-06,7.138307e-06,7.192627e-06,7.235452e-06,7.262825e-06,7.322391e-06,7.327355e-06,7.386660e-06,7.400161e-06,7.441141e-06,7.469683e-06,7.491168e-06,7.531771e-06,7.537072e-06,7.579160e-06,7.587144e-06,7.617707e-06,7.636438e-06,7.652967e-06,7.680214e-06,7.685170e-06,7.714524e-06,7.718969e-06,7.741220e-06,7.753143e-06,7.765435e-06,7.783126e-06,7.787326e-06,7.807041e-06,7.809267e-06,7.824714e-06,7.831875e-06,7.840468e-06,7.851228e-06,7.854416e-06,7.866665e-06,7.867574e-06,7.877310e-06,7.881139e-06,7.886441e-06,7.892125e-06,7.894141e-06,7.900488e-06,7.900715e-06,7.905553e-06,7.907076e-06,7.909404e-06,7.911361e-06,7.912103e-06,7.913708e-06,7.914274e-06,7.914245e-06,7.913854e-06,7.913089e-06,7.912494e-06,7.910349e-06,7.910242e-06,7.907140e-06,7.906124e-06,7.903228e-06,7.900508e-06,7.898545e-06,7.893586e-06,7.893126e-06,7.887007e-06,7.885438e-06,7.880221e-06,7.876140e-06,7.872797e-06,7.865760e-06,7.864765e-06,7.856154e-06,7.854365e-06,7.846990e-06,7.842015e-06,7.837299e-06,7.828768e-06,7.827104e-06,7.816430e-06,7.814679e-06,7.805297e-06,7.799797e-06,7.793728e-06,7.784173e-06,7.781743e-06,7.769361e-06,7.767849e-06,7.756600e-06,7.750871e-06,7.743479e-06,7.733277e-06,7.730015e-06,7.716223e-06,7.715106e-06,7.702120e-06,7.696395e-06,7.687721e-06,7.677178e-06,7.673040e-06,7.658092e-06,7.657488e-06,7.642889e-06,7.637356e-06,7.627444e-06,7.616810e-06,7.611771e-06,7.595880e-06,7.574592e-06,7.552970e-06,7.531039e-06,7.508823e-06,7.486342e-06,7.463617e-06,7.440669e-06,7.417516e-06,7.394175e-06,7.370665e-06,7.347002e-06,7.323200e-06,7.299275e-06,7.275241e-06,7.251112e-06,7.226899e-06,7.202617e-06,7.178275e-06,7.153886e-06,7.129461e-06,7.105008e-06,7.080538e-06,7.056060e-06,7.031583e-06
0.000000e+00,6.762384e-11,2.880939e-10,2.087332e-09,6.924362e-09,1.167507e-08,3.448269e-08,3.582357e-08,8.258998e-08,1.010696e-07,1.622845e-07,2.312810e-07,2.880080e-07,4.557827e-07,4.729696e-07,7.223217e-07,7.909915e-07,1.026930e-06,1.215248e-06,1.369645e-06,1.690516e-06,1.735209e-06,2.113345e-06,2.189855e-06,2.497440e-06,2.697940e-06,2.882860e-06,3.204948e-06,3.265953e-06,3.643610e-06,3.703344e-06,4.013115e-06,4.186877e-06,4.372117e-06,4.650418e-06,4.718643e-06,5.051105e-06,5.089994e-06,5.368303e-06,5.502808e-06,5.669406e-06,5.887162e-06,5.953916e-06,6.221633e-06,6.242325e-06,6.472608e-06,6.568362e-06,6.707099e-06,6.865954e-06,6.925522e-06,7.128411e-06,7.136212e-06,7.316389e-06,7.380542e-06,7.490142e-06,7.600535e-06,7.650389e-06,7.797859e-06,7.933292e-06,7.974207e-06,8.057409e-06,8.131232e-06,8.170915e-06,8.270528e-06,8.274489e-06,8.368779e-06,8.393602e-06,8.454402e-06,8.501859e-06,8.531940e-06,8.596615e-06,8.601951e-06,8.664959e-06,8.679093e-06,8.721449e-06,8.750406e-06,8.771871e-06,8.811557e-06,8.816645e-06,8.856167e-06,8.863475e-06,8.890812e-06,8.907013e-06,8.920919e-06,8.942935e-06,8.946806e-06,8.968768e-06,8.971936e-06,8.987083e-06,8.994655e-06,9.002009e-06,9.011669e-06,9.013783e-06,9.022626e-06,9.023501e-06,9.028747e-06,9.030627e-06,9.032336e-06,9.033481e-06,9.033572e-06,9.032623e-06,9.032457e-06,9.029642e-06,9.027914e-06,9.024775e-06,9.020178e-06,9.018156e-06,9.009909e-06,9.009547e-06,9.000153e-06,8.996292e-06,8.988995e-06,8.980660e-06,8.976538e-06,8.962876e-06,8.948098e-06,8.943148e-06,8.932288e-06,8.921663e-06,8.915522e-06,8.898596e-06,8.897874e-06,8.879410e-06,8.874103e-06,8.860195e-06,8.848330e-06,8.840288e-06,8.821410e-06,8.819744e-06,8.798616e-06,8.793464e-06,8.776953e-06,8.764605e-06,8.754800e-06,8.734936e-06,8.732202e-06,8.709197e-06,8.704551e-06,8.685825e-06,8.673538e-06,8.662121e-06,8.641978e-06,8.638118e-06,8.613849e-06,8.609943e-06,8.589342e-06,8.577502e-06,8.564625e-06,8.544718e-06,8.539725e-06,8.514665e-06,8.511649e-06,8.489470e-06,8.478347e-06,8.464161e-06,8.444863e-06,8.438758e-06,8.413282e-06,8.411241e-06,8.387749e-06,8.377524e-06,8.362177e-06,8.343750e-06,8.336582e-06,8.310979e-06,8.309955e-06,8.285383e-06,8.276172e-06,8.259806e-06,8.242432e-06,8.234262e-06,8.208762e-06,8.175188e-06,8.141734e-06,8.108423e-06,8.075273e-06,8.042304e-06,8.009532e-06,7.976974e-06,7.944643e-06,7.912553e-06,7.880715e-06,7.849140e-06,7.817839e-06,7.786819e-06,7.756089e-06,7.725657e-06,7.695528e-06,7.665709e-06,7.636204e-06,7.607018e-06,7.578155e-06,7.549618e-06,7.521411e-06,7.493535e-06,7.465993e-06
0.000000e+00,5.596032e-11,2.774443e-10,2.588829e-09,1.017437e-08,1.845259e-08,6.248184e-08,6.518632e-08,1.623634e-07,2.014049e-07,3.308571e-07,4.757814e-07,5.940692e-07,9.426480e-07,9.785188e-07,1.510943e-06,1.663107e-06,2.209498e-06,2.673813e-06,3.073214e-06,3.953260e-06,4.080732e-06,5.200263e-06,5.434768e-06,6.400483e-06,7.047648e-06,7.655479e-06,8.736966e-06,8.944869e-06,1.025232e-05,1.046225e-05,1.156416e-05,1.219185e-05,1.286848e-05,1.389940e-05,1.415475e-05,1.541370e-05,1.556254e-05,1.663722e-05,1.716253e-05,1.781844e-05,1.868434e-05,1.895169e-05,2.003249e-05,2.011658e-05,2.105753e-05,2.145138e-05,2.202452e-05,2.268404e-05,2.293216e-05,2.377995e-05,2.381261e-05,2.456812e-05,2.483742e-05,2.529752e-05,2.576058e-05,2.596944e-05,2.658559e-05,2.714793e-05,2.731687e-05,2.765866e-05,2.795950e-05,2.812010e-05,2.851899e-05,2.853470e-05,2.890496e-05,2.900102e-05,2.923333e-05,2.941127e-05,2.952227e-05,2.975533e-05,2.977417e-05,2.999138e-05,3.003859e-05,3.017613e-05,3.026621e-05,3.033057e-05,3.044305e-05,3.045677e-05,3.055669e-05,3.057369e-05,3.063221e-05,3.066241e-05,3.068506e-05,3.071318e-05,3.071693e-05,3.072938e-05,3.072967e-05,3.072389e-05,3.071529e-05,3.070185e-05,3.067318e-05,3.066456e-05,3.061324e-05,3.060620e-05,3.054905e-05,3.051700e-05,3.047304e-05,3.040800e-05,3.038623e-05,3.028955e-05,3.028142e-05,3.018388e-05,3.013928e-05,3.007003e-05,2.998343e-05,2.994877e-05,2.982080e-05,2.981555e-05,2.968678e-05,2.963718e-05,2.954734e-05,2.944972e-05,2.940305e-05,2.925444e-05,2.910200e-05,2.905249e-05,2.894620e-05,2.884493e-05,2.878747e-05,2.863270e-05,2.862621e-05,2.846277e-05,2.841667e-05,2.829752e-05,2.819762e-05,2.813075e-05,2.797625e-05,2.796277e-05,2.779385e-05,2.775320e-05,2.762424e-05,2.752904e-05,2.745417e-05,2.730429e-05,2.728385e-05,2.711348e-05,2.707942e-05,2.694325e-05,2.685483e-05,2.677331e-05,2.663091e-05,2.660383e-05,2.643495e-05,2.640799e-05,2.626679e-05,2.618636e-05,2.609947e-05,2.596630e-05,2.593310e-05,2.576778e-05,2.574802e-05,2.560360e-05,2.553175e-05,2.544064e-05,2.531765e-05,2.527897e-05,2.511866e-05,2.510590e-05,2.495977e-05,2.489663e-05,2.480235e-05,2.468995e-05,2.464645e-05,2.449212e-05,2.448598e-05,2.433938e-05,2.428479e-05,2.418827e-05,2.408646e-05,2.403882e-05,2.389106e-05,2.369862e-05,2.350919e-05,2.332280e-05,2.313946e-05,2.295920e-05,2.278200e-05,2.260788e-05,2.243682e-05,2.226882e-05,2.210385e-05,2.194191e-05,2.178296e-05,2.162698e-05,2.147393e-05,2.132379e-05,2.117653e-05,2.103209e-05,2.089046e-05,2.075159e-05,2.061543e-05,2.048195e-05,2.035111e-05,2.022286e-05,2.009716e-05
0.000000e+00,4.321622e-13,2.953034e-12,5.171027e-11,3.459109e-10,8.263188e-10,5.413774e-09,5.793044e-09,2.586879e-08,3.719690e-08,8.687794e-08,1.629187e-07,2.397779e-07,5.371030e-07,5.733775e-07,1.228999e-06,1.455882e-06,2.416044e-06,3.418125e-06,4.426981e-06,7.184149e-06,7.650298e-06,1.258043e-05,1.382264e-05,1.982403e-05,2.473989e-05,3.010240e-05,4.168864e-05,4.424981e-05,6.320794e-05,6.675588e-05,8.801655e-05,1.023303e-04,1.198007e-04,1.510512e-04,1.597548e-04,2.091242e-04,2.157417e-04,2.691851e-04,2.993302e-04,3.412223e-04,4.047637e-04,4.265071e-04,5.262751e-04,5.349179e-04,6.417036e-04,6.925093e-04,7.738918e-04,8.800113e-04,9.238409e-04,1.092438e-03,1.099580e-03,1.280439e-03,1.352993e-03,1.488461e-03,1.641595e-03,1.716968e-03,1.966268e-03,2.236507e-03,2.327407e-03,2.527669e-03,2.724918e-03,2.839578e-03,3.158220e-03,3.171899e-03,3.524148e-03,3.626267e-03,3.895697e-03,4.127577e-03,4.285782e-03,4.660271e-03,4.693516e-03,5.117903e-03,5.222113e-03,5.557842e-03,5.810564e-03,6.012151e-03,6.422829e-03,6.479569e-03,6.958778e-03,7.055915e-03,7.448411e-03,7.706677e-03,7.947069e-03,8.371875e-03,8.453328e-03,8.965755e-03,9.048220e-03,9.482919e-03,9.732421e-03,1.000340e-02,1.042122e-02,1.052579e-02,1.104873e-02,1.111145e-02,1.157087e-02,1.180003e-02,1.209094e-02,1.248404e-02,1.260769e-02,1.311994e-02,1.316070e-02,1.362657e-02,1.382741e-02,1.412652e-02,1.448178e-02,1.461879e-02,1.510246e-02,1.512161e-02,1.557667e-02,1.574492e-02,1.604065e-02,1.634995e-02,1.649368e-02,1.693512e-02,1.736439e-02,1.749911e-02,1.778100e-02,1.804077e-02,1.818450e-02,1.855918e-02,1.857452e-02,1.895075e-02,1.905360e-02,1.931296e-02,1.952346e-02,1.966093e-02,1.996839e-02,1.999455e-02,2.031372e-02,2.038817e-02,2.061841e-02,2.078272e-02,2.090863e-02,2.115211e-02,2.118444e-02,2.144594e-02,2.149653e-02,2.169325e-02,2.181629e-02,2.192653e-02,2.211181e-02,2.214600e-02,2.235187e-02,2.238356e-02,2.254439e-02,2.263213e-02,2.272383e-02,2.285817e-02,2.289049e-02,2.304468e-02,2.306236e-02,2.318672e-02,2.324546e-02,2.331696e-02,2.340826e-02,2.343574e-02,2.354342e-02,2.355156e-02,2.364036e-02,2.367622e-02,2.372694e-02,2.378308e-02,2.380354e-02,2.387052e-02,2.387300e-02,2.392826e-02,2.394686e-02,2.397714e-02,2.400552e-02,2.401754e-02,2.404983e-02,2.408064e-02,2.409878e-02,2.410507e-02,2.410030e-02,2.408525e-02,2.406065e-02,2.402724e-02,2.398569e-02,2.393669e-02,2.388087e-02,2.381884e-02,2.375118e-02,2.367844e-02,2.360114e-02,2.351978e-02,2.343483e-02,2.334672e-02,2.325587e-02,2.316266e-02,2.306746e-02,2.297061e-02,2.287242e-02,2.277319e-02,2.267318e-02
0.000000e+00,7.827096e-14,5.296801e-13,9.087599e-12,5.965309e-11,1.410174e-10,8.990873e-10,9.610063e-10,4.176729e-09,5.961910e-09,1.367265e-08,2.526904e-08,3.684372e-08,8.086416e-08,8.617915e-08,1.810304e-07,2.134741e-07,3.494110e-07,4.896112e-07,6.295213e-07,1.007291e-06,1.070618e-06,1.732977e-06,1.898029e-06,2.686917e-06,3.324027e-06,4.011054e-06,5.471196e-06,5.789992e-06,8.111685e-06,8.539456e-06,1.106467e-05,1.273186e-05,1.473533e-05,1.824367e-05,1.920531e-05,2.454915e-05,2.525235e-05,3.083227e-05,3.390889e-05,3.810924e-05,4.433102e-05,4.642250e-05,5.580135e-05,5.659826e-05,6.626146e-05,7.074913e-05,7.780464e-05,8.678018e-05,9.041895e-05,1.040792e-04,1.046469e-04,1.187477e-04,1.242660e-04,1.343750e-04,1.455192e-04,1.509015e-04,1.682581e-04,1.863682e-04,1.923091e-04,2.051485e-04,2.174793e-04,2.245112e-04,2.435622e-04,2.443646e-04,2.646152e-04,2.703437e-04,2.851686e-04,2.976068e-04,3.059307e-04,3.251367e-04,3.268091e-04,3.477139e-04,3.527253e-04,3.685584e-04,3.801741e-04,3.892602e-04,4.072978e-04,4.097415e-04,4.299297e-04,4.339262e-04,4.497579e-04,4.599057e-04,4.691648e-04,4.851005e-04,4.880953e-04,5.065001e-04,5.093932e-04,5.243362e-04,5.326843e-04,5.415663e-04,5.548926e-04,5.581588e-04,5.740879e-04,5.759538e-04,5.893331e-04,5.958201e-04,6.038787e-04,6.144587e-04,6.177139e-04,6.308324e-04,6.318508e-04,6.432316e-04,6.479901e-04,6.549130e-04,6.628817e-04,6.658813e-04,6.761442e-04,6.765402e-04,6.857122e-04,6.889890e-04,6.945982e-04,7.002587e-04,7.028171e-04,7.103858e-04,7.173224e-04,7.194118e-04,7.236466e-04,7.273820e-04,7.293788e-04,7.343446e-04,7.345404e-04,7.391535e-04,7.403499e-04,7.432404e-04,7.454493e-04,7.468237e-04,7.496951e-04,7.499262e-04,7.525706e-04,7.531396e-04,7.547794e-04,7.558345e-04,7.565751e-04,7.578308e-04,7.579794e-04,7.590140e-04,7.591784e-04,7.596997e-04,7.599252e-04,7.600571e-04,7.601182e-04,7.601061e-04,7.598659e-04,7.598019e-04,7.593553e-04,7.590194e-04,7.585921e-04,7.578114e-04,7.575937e-04,7.563765e-04,7.562166e-04,7.549566e-04,7.542716e-04,7.533491e-04,7.520108e-04,7.515684e-04,7.496284e-04,7.494667e-04,7.475421e-04,7.466695e-04,7.453221e-04,7.436474e-04,7.429800e-04,7.405273e-04,7.404270e-04,7.379743e-04,7.370327e-04,7.353312e-04,7.334872e-04,7.326074e-04,7.298116e-04,7.260254e-04,7.221463e-04,7.181908e-04,7.141740e-04,7.101097e-04,7.060105e-04,7.018879e-04,6.977524e-04,6.936133e-04,6.894793e-04,6.853582e-04,6.812567e-04,6.771813e-04,6.731374e-04,6.691301e-04,6.651638e-04,6.612423e-04,6.573691e-04,6.535472e-04,6.497791e-04,6.460671e-04,6.424130e-04,6.388183e-04,6.352845e-04
0.000000e+00,3.864456e-14,2.606915e-13,4.442955e-12,2.897869e-11,6.825377e-11,4.307902e-10,4.602586e-10,1.978039e-09,2.814193e-09,6.397318e-09,1.173209e-08,1.701454e-08,3.686181e-08,3.923875e-08,8.119311e-08,9.538884e-08,1.542824e-07,2.142967e-07,2.736588e-07,4.321198e-07,4.584849e-07,7.319018e-07,7.995134e-07,1.120663e-06,1.378169e-06,1.654470e-06,2.238158e-06,2.365085e-06,3.285313e-06,3.454201e-06,4.447927e-06,5.101448e-06,5.884610e-06,7.251274e-06,7.624967e-06,9.695626e-06,9.967432e-06,1.211947e-05,1.330280e-05,1.491502e-05,1.729684e-05,1.809596e-05,2.167077e-05,2.197390e-05,2.564263e-05,2.734222e-05,3.000930e-05,3.339378e-05,3.476331e-05,3.989209e-05,4.010480e-05,4.537837e-05,4.743692e-05,5.120058e-05,5.533874e-05,5.733332e-05,6.374789e-05,7.041293e-05,7.259321e-05,7.729492e-05,8.179712e-05,8.435884e-05,9.127799e-05,9.156873e-05,9.888824e-05,1.009524e-04,1.062811e-04,1.107372e-04,1.137118e-04,1.205516e-04,1.211457e-04,1.285495e-04,1.303184e-04,1.358918e-04,1.399655e-04,1.431431e-04,1.494272e-04,1.502760e-04,1.572656e-04,1.586442e-04,1.640891e-04,1.675650e-04,1.707266e-04,1.761453e-04,1.771603e-04,1.833751e-04,1.843483e-04,1.893583e-04,1.921447e-04,1.950993e-04,1.995123e-04,2.005901e-04,2.058246e-04,2.064353e-04,2.107985e-04,2.129039e-04,2.155097e-04,2.189140e-04,2.199574e-04,2.241426e-04,2.244661e-04,2.280674e-04,2.295652e-04,2.317354e-04,2.342198e-04,2.351511e-04,2.383198e-04,2.384416e-04,2.412480e-04,2.422445e-04,2.439423e-04,2.456448e-04,2.464104e-04,2.486600e-04,2.506993e-04,2.513088e-04,2.525368e-04,2.536108e-04,2.541810e-04,2.555858e-04,2.556407e-04,2.569246e-04,2.572537e-04,2.580412e-04,2.586344e-04,2.589991e-04,2.597475e-04,2.598067e-04,2.604724e-04,2.606119e-04,2.610041e-04,2.612463e-04,2.614097e-04,2.616682e-04,2.616966e-04,2.618723e-04,2.618947e-04,2.619438e-04,2.619420e-04,2.619177e-04,2.618251e-04,2.618005e-04,2.615986e-04,2.615588e-04,2.613176e-04,2.611563e-04,2.609633e-04,2.606306e-04,2.605409e-04,2.600556e-04,2.599933e-04,2.595120e-04,2.592556e-04,2.589148e-04,2.584276e-04,2.582681e-04,2.575761e-04,2.575189e-04,2.568424e-04,2.565381e-04,2.560707e-04,2.554933e-04,2.552642e-04,2.544263e-04,2.543921e-04,2.535597e-04,2.532413e-04,2.526673e-04,2.520470e-04,2.517516e-04,2.508152e-04,2.495510e-04,2.482593e-04,2.469444e-04,2.456105e-04,2.442611e-04,2.428995e-04,2.415289e-04,2.401520e-04,2.387712e-04,2.373888e-04,2.360069e-04,2.346273e-04,2.332517e-04,2.318817e-04,2.305185e-04,2.291634e-04,2.278174e-04,2.264817e-04,2.251569e-04,2.238440e-04,2.225436e-04,2.212563e-04,2.199826e-04,2.187231e-04
0.000000e+00,5.308220e-14,3.604666e-13,6.229592e-12,4.116813e-11,9.768230e-11,6.288500e-10,6.724236e-10,2.950784e-09,4.222995e-09,9.748179e-09,1.811052e-08,2.649560e-08,5.858823e-08,6.247853e-08,1.322622e-07,1.562512e-07,2.572427e-07,3.620518e-07,4.671820e-07,7.532491e-07,8.014802e-07,1.309907e-06,1.437605e-06,2.052616e-06,2.554235e-06,3.099408e-06,4.270611e-06,4.528338e-06,6.423821e-06,6.776273e-06,8.874400e-06,1.027435e-05,1.197034e-05,1.497199e-05,1.580116e-05,2.045326e-05,2.107062e-05,2.600767e-05,2.875675e-05,3.253803e-05,3.819388e-05,4.010883e-05,4.877395e-05,4.951578e-05,5.857547e-05,6.282132e-05,6.954291e-05,7.817111e-05,8.169263e-05,9.502771e-05,9.558567e-05,1.095380e-04,1.150453e-04,1.252003e-04,1.364912e-04,1.419794e-04,1.598282e-04,1.786893e-04,1.849280e-04,1.984958e-04,2.116335e-04,2.191722e-04,2.397638e-04,2.406364e-04,2.628002e-04,2.691190e-04,2.855712e-04,2.994855e-04,3.088537e-04,3.306414e-04,3.325500e-04,3.565618e-04,3.623606e-04,3.807910e-04,3.944182e-04,4.051409e-04,4.265936e-04,4.295171e-04,4.538283e-04,4.586749e-04,4.779867e-04,4.904610e-04,5.019093e-04,5.217645e-04,5.255176e-04,5.487386e-04,5.524135e-04,5.715048e-04,5.822526e-04,5.937544e-04,6.111444e-04,6.154316e-04,6.364866e-04,6.389693e-04,6.568756e-04,6.656258e-04,6.765606e-04,6.910304e-04,6.955094e-04,7.136953e-04,7.151166e-04,7.310971e-04,7.378344e-04,7.476985e-04,7.591494e-04,7.634882e-04,7.784592e-04,7.790410e-04,7.926090e-04,7.975020e-04,8.059388e-04,8.145370e-04,8.184534e-04,8.301609e-04,8.410722e-04,8.443978e-04,8.512009e-04,8.572798e-04,8.605629e-04,8.688457e-04,8.691761e-04,8.770603e-04,8.791401e-04,8.842366e-04,8.882118e-04,8.907273e-04,8.961135e-04,8.965560e-04,9.017467e-04,9.029003e-04,9.063243e-04,9.086293e-04,9.103139e-04,9.133586e-04,9.137410e-04,9.166311e-04,9.171469e-04,9.190096e-04,9.200527e-04,9.209019e-04,9.221340e-04,9.223330e-04,9.233275e-04,9.234477e-04,9.239097e-04,9.240497e-04,9.241033e-04,9.239940e-04,9.239315e-04,9.234167e-04,9.233329e-04,9.225808e-04,9.221167e-04,9.214449e-04,9.203935e-04,9.200293e-04,9.183537e-04,9.182090e-04,9.164370e-04,9.156069e-04,9.142973e-04,9.126284e-04,9.119519e-04,9.094174e-04,9.093123e-04,9.067096e-04,9.056953e-04,9.038435e-04,9.018115e-04,9.008335e-04,8.976930e-04,8.933698e-04,8.888695e-04,8.842179e-04,8.794388e-04,8.745542e-04,8.695844e-04,8.645479e-04,8.594617e-04,8.543413e-04,8.492009e-04,8.440533e-04,8.389102e-04,8.337821e-04,8.286784e-04,8.236077e-04,8.185775e-04,8.135947e-04,8.086651e-04,8.037940e-04,7.989862e-04,7.942454e-04,7.895754e-04,7.849788e-04,7.804584e-04
0.000000e+00,2.920610e-13,1.988673e-12,3.458687e-11,2.301484e-10,5.484944e-10,3.580825e-09,3.831488e-09,1.713700e-08,2.467890e-08,5.800111e-08,1.096204e-07,1.623887e-07,3.705347e-07,3.962733e-07,8.702021e-07,1.037120e-06,1.754211e-06,2.515114e-06,3.289390e-06,5.429667e-06,5.793727e-06,9.661854e-06,1.063897e-05,1.535954e-05,1.921832e-05,2.341413e-05,3.242209e-05,3.440220e-05,4.893546e-05,5.163184e-05,6.764571e-05,7.829745e-05,9.116959e-05,1.138762e-04,1.201336e-04,1.551400e-04,1.597741e-04,1.967532e-04,2.172909e-04,2.454884e-04,2.875729e-04,3.018009e-04,3.660771e-04,3.715731e-04,4.386280e-04,4.700197e-04,5.196839e-04,5.833956e-04,6.093905e-04,7.078078e-04,7.119256e-04,8.149098e-04,8.555738e-04,9.305862e-04,1.014049e-03,1.054645e-03,1.186818e-03,1.326764e-03,1.373123e-03,1.474076e-03,1.572008e-03,1.628288e-03,1.782344e-03,1.788884e-03,1.955301e-03,2.002860e-03,2.126942e-03,2.232175e-03,2.303182e-03,2.468826e-03,2.483372e-03,2.666852e-03,2.711303e-03,2.852956e-03,2.958071e-03,3.041016e-03,3.207604e-03,3.230373e-03,3.420379e-03,3.458402e-03,3.610401e-03,3.709016e-03,3.799831e-03,3.958065e-03,3.988082e-03,4.174600e-03,4.204247e-03,4.358860e-03,4.446356e-03,4.540369e-03,4.683289e-03,4.718673e-03,4.893350e-03,4.914049e-03,5.064018e-03,5.137750e-03,5.230329e-03,5.353620e-03,5.391975e-03,5.548683e-03,5.560999e-03,5.700217e-03,5.759335e-03,5.846374e-03,5.948183e-03,5.986988e-03,6.121922e-03,6.127200e-03,6.251072e-03,6.296135e-03,6.374364e-03,6.454830e-03,6.491748e-03,6.603204e-03,6.708735e-03,6.741256e-03,6.808363e-03,6.869049e-03,6.902136e-03,6.986706e-03,6.990115e-03,7.072383e-03,7.094407e-03,7.149034e-03,7.192373e-03,7.220177e-03,7.280869e-03,7.285935e-03,7.346438e-03,7.360192e-03,7.401826e-03,7.430665e-03,7.452248e-03,7.492634e-03,7.497858e-03,7.538816e-03,7.546463e-03,7.575283e-03,7.592528e-03,7.607428e-03,7.631212e-03,7.635418e-03,7.659422e-03,7.662904e-03,7.679609e-03,7.687993e-03,7.696150e-03,7.706870e-03,7.709212e-03,7.718960e-03,7.719916e-03,7.725561e-03,7.727509e-03,7.729174e-03,7.730020e-03,7.729959e-03,7.728069e-03,7.727807e-03,7.723657e-03,7.721219e-03,7.716870e-03,7.710593e-03,7.707850e-03,7.696737e-03,7.696251e-03,7.683665e-03,7.678504e-03,7.668762e-03,7.657648e-03,7.652156e-03,7.633965e-03,7.607722e-03,7.579174e-03,7.548558e-03,7.516102e-03,7.482017e-03,7.446501e-03,7.409740e-03,7.371908e-03,7.333165e-03,7.293663e-03,7.253539e-03,7.212922e-03,7.171931e-03,7.130673e-03,7.089251e-03,7.047755e-03,7.006270e-03,6.964871e-03,6.923629e-03,6.882607e-03,6.841861e-03,6.801442e-03,6.761396e-03,6.721764e-03
0.000000e+00,9.133318e-12,4.978023e-11,5.532921e-10,2.489073e-09,4.817085e-09,1.876568e-08,1.967457e-08,5.433698e-08,6.896289e-08,1.189508e-07,1.764574e-07,2.240311e-07,3.657512e-07,3.804094e-07,5.991036e-07,6.620480e-07,8.904602e-07,1.088488e-06,1.262488e-06,1.660128e-06,1.719510e-06,2.262271e-06,2.380995e-06,2.889132e-06,3.247421e-06,3.597260e-06,4.252434e-06,4.383282e-06,5.243460e-06,5.387699e-06,6.173637e-06,6.643644e-06,7.169172e-06,8.009199e-06,8.224892e-06,9.335111e-06,9.471713e-06,1.049371e-05,1.101716e-05,1.169422e-05,1.263054e-05,1.292997e-05,1.419420e-05,1.429637e-05,1.548020e-05,1.599922e-05,1.678141e-05,1.772413e-05,1.809149e-05,1.940447e-05,1.945697e-05,2.071475e-05,2.118478e-05,2.201719e-05,2.289598e-05,2.330714e-05,2.458040e-05,2.583328e-05,2.622935e-05,2.706254e-05,2.783558e-05,2.826542e-05,2.939318e-05,2.943957e-05,3.058304e-05,3.089749e-05,3.169424e-05,3.234495e-05,3.277194e-05,3.373301e-05,3.381519e-05,3.482332e-05,3.505999e-05,3.579589e-05,3.632491e-05,3.673269e-05,3.752744e-05,3.763366e-05,3.849895e-05,3.866774e-05,3.932879e-05,3.974642e-05,4.012356e-05,4.076442e-05,4.088374e-05,4.160988e-05,4.172295e-05,4.230261e-05,4.262344e-05,4.296259e-05,4.346749e-05,4.359056e-05,4.418728e-05,4.425682e-05,4.475352e-05,4.499322e-05,4.529010e-05,4.567857e-05,4.579784e-05,4.627755e-05,4.631475e-05,4.673009e-05,4.690368e-05,4.715627e-05,4.744727e-05,4.755692e-05,4.793288e-05,4.794741e-05,4.828495e-05,4.840600e-05,4.861394e-05,4.882487e-05,4.892064e-05,4.920583e-05,4.947028e-05,4.955065e-05,4.971474e-05,4.986104e-05,4.993994e-05,5.013868e-05,5.014660e-05,5.033543e-05,5.038520e-05,5.050710e-05,5.060215e-05,5.066229e-05,5.079107e-05,5.080165e-05,5.092581e-05,5.095341e-05,5.103538e-05,5.109059e-05,5.113096e-05,5.120397e-05,5.121314e-05,5.128248e-05,5.129486e-05,5.133953e-05,5.136451e-05,5.138481e-05,5.141414e-05,5.141885e-05,5.144214e-05,5.144490e-05,5.145517e-05,5.145791e-05,5.145840e-05,5.145423e-05,5.145228e-05,5.143726e-05,5.143488e-05,5.141375e-05,5.140083e-05,5.138217e-05,5.135301e-05,5.134291e-05,5.129635e-05,5.129233e-05,5.124287e-05,5.121962e-05,5.118281e-05,5.113569e-05,5.111652e-05,5.104434e-05,5.104133e-05,5.096657e-05,5.093727e-05,5.088353e-05,5.082421e-05,5.079552e-05,5.070282e-05,5.057373e-05,5.043756e-05,5.029486e-05,5.014620e-05,4.999209e-05,4.983302e-05,4.966946e-05,4.950184e-05,4.933058e-05,4.915609e-05,4.897873e-05,4.879886e-05,4.861681e-05,4.843290e-05,4.824742e-05,4.806065e-05,4.787286e-05,4.768429e-05,4.749517e-05,4.730573e-05,4.711617e-05,4.692668e-05,4.673744e-05,4.654861e-05
0.000000e+00,9.654281e-14,6.581156e-13,1.146669e-11,7.636294e-11,1.819812e-10,1.185320e-09,1.268074e-09,5.633902e-09,8.091187e-09,1.884760e-08,3.528436e-08,5.188629e-08,1.161025e-07,1.239398e-07,2.657656e-07,3.149276e-07,5.234170e-07,7.416630e-07,9.619374e-07,1.566063e-06,1.668443e-06,2.754096e-06,3.028247e-06,4.354718e-06,5.442674e-06,6.630022e-06,9.194958e-06,9.761619e-06,1.395000e-05,1.473244e-05,1.941073e-05,2.254995e-05,2.637000e-05,3.317228e-05,3.505994e-05,4.571366e-05,4.713502e-05,5.856029e-05,6.496475e-05,7.382025e-05,8.715990e-05,9.170067e-05,1.123913e-04,1.141732e-04,1.360610e-04,1.463962e-04,1.628542e-04,1.841469e-04,1.928891e-04,2.262549e-04,2.276598e-04,2.630114e-04,2.770803e-04,3.031876e-04,3.324612e-04,3.467820e-04,3.937630e-04,4.440696e-04,4.608564e-04,4.976131e-04,5.335276e-04,5.542785e-04,6.114856e-04,6.139268e-04,6.763972e-04,6.943705e-04,7.415094e-04,7.817635e-04,8.090665e-04,8.731969e-04,8.788572e-04,9.506589e-04,9.681650e-04,1.024240e-03,1.066135e-03,1.099363e-03,1.166555e-03,1.175786e-03,1.253266e-03,1.268867e-03,1.331560e-03,1.372514e-03,1.410427e-03,1.476947e-03,1.489634e-03,1.568949e-03,1.581634e-03,1.648150e-03,1.686064e-03,1.727026e-03,1.789753e-03,1.805370e-03,1.882992e-03,1.892249e-03,1.959708e-03,1.993133e-03,2.035350e-03,2.092021e-03,2.109759e-03,2.182791e-03,2.188570e-03,2.254313e-03,2.282472e-03,2.324205e-03,2.373458e-03,2.392360e-03,2.458683e-03,2.461297e-03,2.523091e-03,2.545795e-03,2.585513e-03,2.626793e-03,2.645887e-03,2.704166e-03,2.760309e-03,2.777819e-03,2.814287e-03,2.847688e-03,2.866081e-03,2.913736e-03,2.915678e-03,2.963075e-03,2.975953e-03,3.008277e-03,3.034348e-03,3.051293e-03,3.088953e-03,3.092141e-03,3.130845e-03,3.139818e-03,3.167432e-03,3.187009e-03,3.201936e-03,3.230604e-03,3.234392e-03,3.264843e-03,3.270697e-03,3.293332e-03,3.307387e-03,3.319907e-03,3.340785e-03,3.344615e-03,3.367510e-03,3.371008e-03,3.388643e-03,3.398177e-03,3.408069e-03,3.422419e-03,3.425844e-03,3.442023e-03,3.443860e-03,3.456663e-03,3.462632e-03,3.469821e-03,3.478864e-03,3.481552e-03,3.491914e-03,3.492686e-03,3.500963e-03,3.504227e-03,3.508754e-03,3.513615e-03,3.515341e-03,3.520779e-03,3.520973e-03,3.525120e-03,3.526424e-03,3.528416e-03,3.530087e-03,3.530719e-03,3.532076e-03,3.532504e-03,3.531477e-03,3.529099e-03,3.525469e-03,3.520681e-03,3.514826e-03,3.507990e-03,3.500254e-03,3.491696e-03,3.482389e-03,3.472403e-03,3.461802e-03,3.450650e-03,3.439002e-03,3.426915e-03,3.414438e-03,3.401621e-03,3.388506e-03,3.375136e-03,3.361550e-03,3.347783e-03,3.333869e-03,3.319840e-03,3.305723e-03
0.000000e+00,3.378575e-13,2.290576e-12,3.945836e-11,2.600502e-10,6.161929e-10,3.955107e-09,4.228739e-09,1.852402e-08,2.650445e-08,6.118170e-08,1.137431e-07,1.665402e-07,3.693324e-07,3.939812e-07,8.379108e-07,9.911296e-07,1.638440e-06,2.312805e-06,2.990807e-06,4.839412e-06,5.151317e-06,8.438526e-06,9.263408e-06,1.322964e-05,1.645578e-05,1.995292e-05,2.743578e-05,2.907727e-05,4.109993e-05,4.332667e-05,5.653342e-05,6.530438e-05,7.589225e-05,9.454461e-05,9.967996e-05,1.283771e-04,1.321723e-04,1.624303e-04,1.792161e-04,2.022423e-04,2.365690e-04,2.481642e-04,3.004881e-04,3.049579e-04,3.594425e-04,3.849193e-04,4.251888e-04,4.767860e-04,4.978189e-04,5.773548e-04,5.806795e-04,6.637498e-04,6.965113e-04,7.568904e-04,8.239913e-04,8.565997e-04,9.626413e-04,1.074725e-03,1.111813e-03,1.192510e-03,1.270711e-03,1.315617e-03,1.438416e-03,1.443625e-03,1.576087e-03,1.613911e-03,1.712531e-03,1.796106e-03,1.852468e-03,1.983865e-03,1.995398e-03,2.140815e-03,2.176028e-03,2.288212e-03,2.371432e-03,2.437089e-03,2.568933e-03,2.586953e-03,2.737326e-03,2.767420e-03,2.887744e-03,2.965831e-03,3.037764e-03,3.163164e-03,3.186964e-03,3.334946e-03,3.358485e-03,3.481336e-03,3.550935e-03,3.625787e-03,3.739736e-03,3.767979e-03,3.907619e-03,3.924192e-03,4.044441e-03,4.103687e-03,4.178205e-03,4.277689e-03,4.308698e-03,4.435734e-03,4.445743e-03,4.559150e-03,4.607472e-03,4.678809e-03,4.762570e-03,4.794593e-03,4.906411e-03,4.910800e-03,5.014188e-03,5.051988e-03,5.117871e-03,5.186017e-03,5.217423e-03,5.312825e-03,5.404071e-03,5.432394e-03,5.491173e-03,5.544752e-03,5.574151e-03,5.649964e-03,5.653041e-03,5.727887e-03,5.748127e-03,5.798743e-03,5.839367e-03,5.865672e-03,5.923836e-03,5.928742e-03,5.988030e-03,6.001706e-03,6.043618e-03,6.073164e-03,6.095593e-03,6.138413e-03,6.144044e-03,6.189065e-03,6.197666e-03,6.230753e-03,6.251146e-03,6.269206e-03,6.299079e-03,6.304523e-03,6.336806e-03,6.341697e-03,6.366157e-03,6.379233e-03,6.392676e-03,6.411921e-03,6.416466e-03,6.437627e-03,6.439994e-03,6.456260e-03,6.463683e-03,6.472464e-03,6.483215e-03,6.486337e-03,6.497976e-03,6.498813e-03,6.507474e-03,6.510695e-03,6.514925e-03,6.519074e-03,6.520421e-03,6.524050e-03,6.524157e-03,6.525898e-03,6.526144e-03,6.526052e-03,6.525230e-03,6.524593e-03,6.521601e-03,6.515437e-03,6.506912e-03,6.496192e-03,6.483435e-03,6.468793e-03,6.452412e-03,6.434430e-03,6.414978e-03,6.394181e-03,6.372159e-03,6.349023e-03,6.324881e-03,6.299833e-03,6.273975e-03,6.247397e-03,6.220184e-03,6.192415e-03,6.164165e-03,6.135506e-03,6.106503e-03,6.077219e-03,6.047711e-03,6.018034e-03,5.988239e-03
0.000000e+00,5.163854e-11,2.684526e-10,2.729780e-09,1.144268e-08,2.138833e-08,7.709030e-08,8.059645e-08,2.093081e-07,2.618188e-07,4.369707e-07,6.332527e-07,7.928989e-07,1.259065e-06,1.306681e-06,2.008238e-06,2.207838e-06,2.926702e-06,3.545535e-06,4.087444e-06,5.322697e-06,5.506905e-06,7.186278e-06,7.552082e-06,9.107297e-06,1.019025e-05,1.123381e-05,1.314479e-05,1.351908e-05,1.591465e-05,1.630515e-05,1.837666e-05,1.957095e-05,2.086835e-05,2.286287e-05,2.335998e-05,2.582776e-05,2.612134e-05,2.825263e-05,2.930191e-05,3.061926e-05,3.237130e-05,3.291539e-05,3.513134e-05,3.530492e-05,3.725966e-05,3.808516e-05,3.929486e-05,4.070038e-05,4.123319e-05,4.307239e-05,4.314388e-05,4.481146e-05,4.541300e-05,4.645048e-05,4.750835e-05,4.799046e-05,4.943315e-05,5.078088e-05,5.119254e-05,5.203644e-05,5.279307e-05,5.320298e-05,5.424225e-05,5.428389e-05,5.528273e-05,5.554819e-05,5.620315e-05,5.671930e-05,5.704885e-05,5.776409e-05,5.782354e-05,5.853087e-05,5.869101e-05,5.917445e-05,5.950830e-05,5.975775e-05,6.022390e-05,6.028417e-05,6.075698e-05,6.084539e-05,6.117932e-05,6.138001e-05,6.155423e-05,6.183461e-05,6.188459e-05,6.217316e-05,6.221563e-05,6.242256e-05,6.252910e-05,6.263528e-05,6.278065e-05,6.281370e-05,6.296006e-05,6.297558e-05,6.307650e-05,6.311877e-05,6.316501e-05,6.321478e-05,6.322751e-05,6.326579e-05,6.326786e-05,6.328156e-05,6.328193e-05,6.327642e-05,6.326062e-05,6.325187e-05,6.320934e-05,6.320728e-05,6.315017e-05,6.312505e-05,6.307563e-05,6.301677e-05,6.298690e-05,6.288510e-05,6.277129e-05,6.273249e-05,6.264644e-05,6.256118e-05,6.251149e-05,6.237324e-05,6.236731e-05,6.221472e-05,6.217059e-05,6.205449e-05,6.195498e-05,6.188733e-05,6.172801e-05,6.171392e-05,6.153490e-05,6.149116e-05,6.135085e-05,6.124580e-05,6.116234e-05,6.099316e-05,6.096987e-05,6.077395e-05,6.073439e-05,6.057501e-05,6.047052e-05,6.037349e-05,6.020251e-05,6.016978e-05,5.996425e-05,5.993122e-05,5.975725e-05,5.965747e-05,5.954910e-05,5.938196e-05,5.934010e-05,5.913052e-05,5.910535e-05,5.892063e-05,5.882824e-05,5.871067e-05,5.855118e-05,5.850085e-05,5.829139e-05,5.827466e-05,5.808248e-05,5.799911e-05,5.787430e-05,5.772495e-05,5.766700e-05,5.746075e-05,5.745252e-05,5.725567e-05,5.718216e-05,5.705190e-05,5.691415e-05,5.684956e-05,5.664875e-05,5.638620e-05,5.612669e-05,5.587040e-05,5.561750e-05,5.536811e-05,5.512235e-05,5.488033e-05,5.464213e-05,5.440781e-05,5.417744e-05,5.395106e-05,5.372870e-05,5.351038e-05,5.329612e-05,5.308593e-05,5.287981e-05,5.267773e-05,5.247970e-05,5.228570e-05,5.209568e-05,5.190963e-05,5.172752e-05,5.154930e-05,5.137493e-05
0.000000e+00,3.961883e-13,2.667305e-12,4.527091e-11,2.942261e-10,6.917265e-10,4.347826e-09,4.644557e-09,1.990278e-08,2.830110e-08,6.428834e-08,1.179149e-07,1.710889e-07,3.715155e-07,3.955812e-07,8.221385e-07,9.671136e-07,1.571173e-06,2.189992e-06,2.804402e-06,4.451832e-06,4.726654e-06,7.583237e-06,8.290736e-06,1.165315e-05,1.434892e-05,1.723923e-05,2.333367e-05,2.465658e-05,3.422059e-05,3.597062e-05,4.623544e-05,5.295712e-05,6.098362e-05,7.492073e-05,7.871713e-05,9.965018e-05,1.023858e-04,1.239538e-04,1.357489e-04,1.517521e-04,1.752640e-04,1.831201e-04,2.180831e-04,2.210351e-04,2.566176e-04,2.730172e-04,2.986531e-04,3.310238e-04,3.440750e-04,3.927281e-04,3.947388e-04,4.444216e-04,4.637335e-04,4.989331e-04,5.374848e-04,5.560143e-04,6.153959e-04,6.767926e-04,6.968171e-04,7.399087e-04,7.810660e-04,8.044422e-04,8.674464e-04,8.700899e-04,9.365508e-04,9.552652e-04,1.003530e-03,1.043848e-03,1.070743e-03,1.132550e-03,1.137916e-03,1.204790e-03,1.220767e-03,1.271121e-03,1.307945e-03,1.336685e-03,1.393580e-03,1.401273e-03,1.464697e-03,1.477227e-03,1.526787e-03,1.558496e-03,1.587392e-03,1.637056e-03,1.646381e-03,1.703639e-03,1.712633e-03,1.759070e-03,1.785004e-03,1.812595e-03,1.853998e-03,1.864149e-03,1.913682e-03,1.919489e-03,1.961160e-03,1.981393e-03,2.006560e-03,2.039666e-03,2.049869e-03,2.091088e-03,2.094295e-03,2.130224e-03,2.145298e-03,2.167294e-03,2.192719e-03,2.202323e-03,2.235342e-03,2.236621e-03,2.266387e-03,2.277088e-03,2.295500e-03,2.314217e-03,2.322727e-03,2.348117e-03,2.371722e-03,2.378907e-03,2.393595e-03,2.406712e-03,2.413794e-03,2.431661e-03,2.432374e-03,2.449395e-03,2.453889e-03,2.464914e-03,2.473529e-03,2.478990e-03,2.490716e-03,2.491682e-03,2.503047e-03,2.505584e-03,2.513143e-03,2.518263e-03,2.522026e-03,2.528883e-03,2.529751e-03,2.536373e-03,2.537570e-03,2.541946e-03,2.544446e-03,2.546520e-03,2.549628e-03,2.550146e-03,2.552874e-03,2.553231e-03,2.554751e-03,2.555363e-03,2.555822e-03,2.556129e-03,2.556132e-03,2.555724e-03,2.555629e-03,2.554639e-03,2.553957e-03,2.552916e-03,2.551204e-03,2.550594e-03,2.547710e-03,2.547456e-03,2.544299e-03,2.542794e-03,2.540394e-03,2.537295e-03,2.536027e-03,2.531231e-03,2.531030e-03,2.526033e-03,2.524069e-03,2.520463e-03,2.516476e-03,2.514547e-03,2.508311e-03,2.499632e-03,2.490491e-03,2.480938e-03,2.471020e-03,2.460781e-03,2.450261e-03,2.439499e-03,2.428530e-03,2.417387e-03,2.406100e-03,2.394698e-03,2.383207e-03,2.371652e-03,2.360054e-03,2.348436e-03,2.336815e-03,2.325209e-03,2.313636e-03,2.302108e-03,2.290641e-03,2.279246e-03,2.267934e-03,2.256716e-03,2.245601e-03
0.000000e+00,2.729142e-14,1.842466e-13,3.147423e-12,2.060241e-11,4.865931e-11,3.103961e-10,3.318137e-10,1.450938e-09,2.076887e-09,4.808477e-09,8.980354e-09,1.320216e-08,2.963029e-08,3.164526e-08,6.839007e-08,8.122138e-08,1.359550e-07,1.935528e-07,2.517996e-07,4.113864e-07,4.383579e-07,7.223875e-07,7.934821e-07,1.133792e-06,1.408521e-06,1.704150e-06,2.329315e-06,2.465166e-06,3.447210e-06,3.626749e-06,4.678030e-06,5.364426e-06,6.181720e-06,7.594508e-06,7.977931e-06,1.008133e-05,1.035488e-05,1.250131e-05,1.366762e-05,1.524188e-05,1.753852e-05,1.830174e-05,2.167449e-05,2.195753e-05,2.534899e-05,2.689994e-05,2.930974e-05,3.232802e-05,3.353742e-05,3.800941e-05,3.819302e-05,4.270033e-05,4.443741e-05,4.758265e-05,5.099714e-05,5.262724e-05,5.780395e-05,6.308209e-05,6.478749e-05,6.843095e-05,7.187732e-05,7.382024e-05,7.900462e-05,7.922048e-05,8.460335e-05,8.610375e-05,8.994199e-05,9.311339e-05,9.521122e-05,9.997756e-05,1.003878e-04,1.054503e-04,1.066462e-04,1.103798e-04,1.130757e-04,1.151592e-04,1.192291e-04,1.197737e-04,1.242107e-04,1.250758e-04,1.284597e-04,1.305920e-04,1.325123e-04,1.357598e-04,1.363619e-04,1.400038e-04,1.405671e-04,1.434352e-04,1.450069e-04,1.466545e-04,1.490772e-04,1.496618e-04,1.524585e-04,1.527801e-04,1.550472e-04,1.561212e-04,1.574314e-04,1.591093e-04,1.596155e-04,1.616048e-04,1.617557e-04,1.634052e-04,1.640738e-04,1.650230e-04,1.660786e-04,1.664650e-04,1.677385e-04,1.677861e-04,1.688509e-04,1.692133e-04,1.698095e-04,1.703776e-04,1.706223e-04,1.712966e-04,1.718403e-04,1.719879e-04,1.722609e-04,1.724688e-04,1.725656e-04,1.727561e-04,1.727619e-04,1.728567e-04,1.728660e-04,1.728569e-04,1.728143e-04,1.727690e-04,1.726158e-04,1.725994e-04,1.723542e-04,1.722848e-04,1.720392e-04,1.718344e-04,1.716600e-04,1.712774e-04,1.712218e-04,1.707297e-04,1.706252e-04,1.701883e-04,1.698888e-04,1.696021e-04,1.690782e-04,1.689754e-04,1.683120e-04,1.682027e-04,1.676157e-04,1.672708e-04,1.668899e-04,1.662903e-04,1.661379e-04,1.653628e-04,1.652683e-04,1.645672e-04,1.642114e-04,1.637539e-04,1.631255e-04,1.629253e-04,1.620837e-04,1.620159e-04,1.612311e-04,1.608874e-04,1.603695e-04,1.597446e-04,1.595007e-04,1.586263e-04,1.585912e-04,1.577479e-04,1.574309e-04,1.568668e-04,1.562668e-04,1.559843e-04,1.551017e-04,1.539381e-04,1.527784e-04,1.516243e-04,1.504778e-04,1.493404e-04,1.482133e-04,1.470978e-04,1.459950e-04,1.449056e-04,1.438305e-04,1.427703e-04,1.417255e-04,1.406966e-04,1.396839e-04,1.386878e-04,1.377084e-04,1.367460e-04,1.358006e-04,1.348724e-04,1.339612e-04,1.330673e-04,1.321904e-04,1.313306e-04,1.304876e-04
0.000000e+00,6.453009e-14,4.353597e-13,7.422324e-12,4.844254e-11,1.141581e-10,7.220799e-10,7.715637e-10,3.328175e-09,4.741319e-09,1.082166e-08,1.992708e-08,2.898876e-08,6.331781e-08,6.745265e-08,1.410085e-07,1.660869e-07,2.708175e-07,3.783394e-07,4.852157e-07,7.720339e-07,8.198955e-07,1.317401e-06,1.440606e-06,2.026033e-06,2.495284e-06,2.998348e-06,4.059120e-06,4.289412e-06,5.954974e-06,6.259897e-06,8.049653e-06,9.222883e-06,1.062525e-05,1.306407e-05,1.372923e-05,1.740337e-05,1.788432e-05,2.168270e-05,2.376469e-05,2.659465e-05,3.076299e-05,3.215847e-05,3.838487e-05,3.891172e-05,4.527591e-05,4.821726e-05,5.282514e-05,5.866021e-05,6.101789e-05,6.983180e-05,7.019688e-05,7.923741e-05,8.276156e-05,8.919893e-05,9.626943e-05,9.967507e-05,1.106199e-04,1.219840e-04,1.257005e-04,1.337147e-04,1.413899e-04,1.457580e-04,1.575621e-04,1.580584e-04,1.705604e-04,1.740896e-04,1.832090e-04,1.908459e-04,1.959501e-04,2.077088e-04,2.087316e-04,2.215034e-04,2.245618e-04,2.342179e-04,2.412963e-04,2.468306e-04,2.578126e-04,2.593001e-04,2.715882e-04,2.740210e-04,2.836604e-04,2.898421e-04,2.954854e-04,3.052070e-04,3.070355e-04,3.182864e-04,3.200573e-04,3.292170e-04,3.343446e-04,3.398096e-04,3.480303e-04,3.500495e-04,3.599249e-04,3.610850e-04,3.694267e-04,3.734874e-04,3.785483e-04,3.852238e-04,3.872856e-04,3.956363e-04,3.962877e-04,4.036005e-04,4.066782e-04,4.111796e-04,4.163999e-04,4.183769e-04,4.251969e-04,4.254620e-04,4.316455e-04,4.338773e-04,4.377294e-04,4.416621e-04,4.434564e-04,4.488351e-04,4.538745e-04,4.554170e-04,4.585842e-04,4.614302e-04,4.629745e-04,4.668982e-04,4.670556e-04,4.708381e-04,4.718452e-04,4.743328e-04,4.762960e-04,4.775505e-04,4.802754e-04,4.805020e-04,4.831981e-04,4.838083e-04,4.856494e-04,4.869191e-04,4.878664e-04,4.896319e-04,4.898596e-04,4.916391e-04,4.919703e-04,4.932149e-04,4.939570e-04,4.945966e-04,4.956141e-04,4.957936e-04,4.968152e-04,4.969630e-04,4.976702e-04,4.980240e-04,4.983672e-04,4.988166e-04,4.989144e-04,4.993200e-04,4.993595e-04,4.995913e-04,4.996702e-04,4.997361e-04,4.997658e-04,4.997613e-04,4.996736e-04,4.996619e-04,4.994797e-04,4.993738e-04,4.991858e-04,4.989156e-04,4.987979e-04,4.983216e-04,4.983008e-04,4.977625e-04,4.975420e-04,4.971258e-04,4.966511e-04,4.964165e-04,4.956392e-04,4.945167e-04,4.932936e-04,4.919788e-04,4.905811e-04,4.891084e-04,4.875683e-04,4.859676e-04,4.843129e-04,4.826104e-04,4.808655e-04,4.790837e-04,4.772697e-04,4.754282e-04,4.735634e-04,4.716791e-04,4.697790e-04,4.678665e-04,4.659446e-04,4.640163e-04,4.620843e-04,4.601509e-04,4.582185e-04,4.562891e-04,4.543647e-04
0.000000e+00,8.741041e-14,5.735692e-13,9.225481e-12,5.705619e-11,1.304998e-10,7.632869e-10,8.129728e-10,3.239048e-09,4.514522e-09,9.747690e-09,1.715236e-08,2.421844e-08,4.945797e-08,5.238568e-08,1.020671e-07,1.182567e-07,1.832487e-07,2.468665e-07,3.079127e-07,4.642659e-07,4.895359e-07,7.423203e-07,8.026658e-07,1.080327e-06,1.294184e-06,1.516684e-06,1.967753e-06,2.062968e-06,2.728801e-06,2.846958e-06,3.521634e-06,3.948919e-06,4.446675e-06,5.283988e-06,5.506928e-06,6.703292e-06,6.855971e-06,8.034690e-06,8.662599e-06,9.498224e-06,1.069614e-05,1.108934e-05,1.280197e-05,1.294402e-05,1.462875e-05,1.538955e-05,1.656115e-05,1.801257e-05,1.858966e-05,2.070402e-05,2.079022e-05,2.289333e-05,2.369766e-05,2.514631e-05,2.670883e-05,2.745145e-05,2.979718e-05,3.217207e-05,3.293635e-05,3.456492e-05,3.610078e-05,3.696497e-05,3.926623e-05,3.936193e-05,4.174616e-05,4.241022e-05,4.410869e-05,4.551233e-05,4.644127e-05,4.855438e-05,4.873645e-05,5.098754e-05,5.152057e-05,5.318865e-05,5.439750e-05,5.533465e-05,5.717407e-05,5.742118e-05,5.944459e-05,5.984142e-05,6.140191e-05,6.239280e-05,6.329081e-05,6.482334e-05,6.510957e-05,6.685699e-05,6.712991e-05,6.853240e-05,6.931093e-05,7.013555e-05,7.136614e-05,7.166660e-05,7.312608e-05,7.329644e-05,7.451477e-05,7.510365e-05,7.583377e-05,7.679036e-05,7.708433e-05,7.826792e-05,7.835977e-05,7.938614e-05,7.981550e-05,8.044070e-05,8.116158e-05,8.143341e-05,8.236614e-05,8.240223e-05,8.324081e-05,8.354184e-05,8.405935e-05,8.458489e-05,8.482371e-05,8.553585e-05,8.619772e-05,8.639921e-05,8.681124e-05,8.717940e-05,8.737832e-05,8.788076e-05,8.790082e-05,8.838059e-05,8.850750e-05,8.881939e-05,8.906374e-05,8.921899e-05,8.955344e-05,8.958107e-05,8.990728e-05,8.998041e-05,9.019923e-05,9.034833e-05,9.045845e-05,9.066069e-05,9.068645e-05,9.088466e-05,9.092086e-05,9.105449e-05,9.113203e-05,9.119727e-05,9.129725e-05,9.131430e-05,9.140682e-05,9.141943e-05,9.147602e-05,9.150130e-05,9.152307e-05,9.154549e-05,9.154905e-05,9.155504e-05,9.155446e-05,9.154205e-05,9.153057e-05,9.151106e-05,9.147604e-05,9.146300e-05,9.139878e-05,9.139297e-05,9.131924e-05,9.128333e-05,9.122523e-05,9.114901e-05,9.111752e-05,9.099687e-05,9.099178e-05,9.086400e-05,9.081331e-05,9.071960e-05,9.061517e-05,9.056434e-05,9.039885e-05,9.016575e-05,8.991719e-05,8.965442e-05,8.937861e-05,8.909086e-05,8.879221e-05,8.848363e-05,8.816604e-05,8.784031e-05,8.750724e-05,8.716759e-05,8.682209e-05,8.647140e-05,8.611616e-05,8.575695e-05,8.539432e-05,8.502880e-05,8.466087e-05,8.429098e-05,8.391956e-05,8.354701e-05,8.317371e-05,8.279999e-05,8.242618e-05
0.000000e+00,4.710960e-14,3.203396e-13,5.552488e-12,3.679243e-11,8.742816e-11,5.649207e-10,6.041525e-10,2.660162e-09,3.810288e-09,8.812521e-09,1.639388e-08,2.400149e-08,5.313353e-08,5.666521e-08,1.199911e-07,1.417454e-07,2.332383e-07,3.280469e-07,4.230200e-07,6.809459e-07,7.243734e-07,1.181430e-06,1.296062e-06,1.847553e-06,2.296874e-06,2.784925e-06,3.832993e-06,4.063607e-06,5.760189e-06,6.075813e-06,7.956109e-06,9.212237e-06,1.073576e-05,1.343715e-05,1.418450e-05,1.838658e-05,1.894535e-05,2.342317e-05,2.592350e-05,2.937048e-05,3.454259e-05,3.629803e-05,4.426717e-05,4.495132e-05,5.332975e-05,5.727060e-05,6.352719e-05,7.158945e-05,7.488968e-05,8.743575e-05,8.796234e-05,1.011721e-04,1.064079e-04,1.160934e-04,1.269088e-04,1.321832e-04,1.494135e-04,1.677463e-04,1.738380e-04,1.871336e-04,2.000692e-04,2.075190e-04,2.279685e-04,2.288383e-04,2.510207e-04,2.573762e-04,2.739897e-04,2.881152e-04,2.976645e-04,3.199962e-04,3.219607e-04,3.467918e-04,3.528211e-04,3.720697e-04,3.863876e-04,3.977061e-04,4.204927e-04,4.236129e-04,4.497034e-04,4.549361e-04,4.758927e-04,4.895228e-04,5.020986e-04,5.240664e-04,5.282419e-04,5.542469e-04,5.583901e-04,5.800420e-04,5.923290e-04,6.055595e-04,6.257312e-04,6.307365e-04,6.555145e-04,6.584585e-04,6.798398e-04,6.903868e-04,7.036635e-04,7.214065e-04,7.269412e-04,7.496336e-04,7.514226e-04,7.717057e-04,7.803540e-04,7.931273e-04,8.081332e-04,8.138722e-04,8.339188e-04,8.347058e-04,8.532491e-04,8.600298e-04,8.718491e-04,8.840745e-04,8.897084e-04,9.068200e-04,9.231798e-04,9.282560e-04,9.387869e-04,9.483810e-04,9.536428e-04,9.672017e-04,9.677518e-04,9.811201e-04,9.847316e-04,9.937562e-04,1.000990e-03,1.005670e-03,1.016003e-03,1.016874e-03,1.027381e-03,1.029800e-03,1.037205e-03,1.042415e-03,1.046363e-03,1.053883e-03,1.054870e-03,1.062745e-03,1.064245e-03,1.070004e-03,1.073543e-03,1.076668e-03,1.081818e-03,1.082753e-03,1.088281e-03,1.089115e-03,1.093270e-03,1.095479e-03,1.097739e-03,1.100954e-03,1.101708e-03,1.105198e-03,1.105585e-03,1.108226e-03,1.109417e-03,1.110812e-03,1.112493e-03,1.112975e-03,1.114733e-03,1.114857e-03,1.116106e-03,1.116551e-03,1.117110e-03,1.117615e-03,1.117764e-03,1.118084e-03,1.118091e-03,1.118088e-03,1.118015e-03,1.117791e-03,1.117426e-03,1.117210e-03,1.116358e-03,1.114848e-03,1.112926e-03,1.110625e-03,1.107974e-03,1.105002e-03,1.101736e-03,1.098201e-03,1.094421e-03,1.090420e-03,1.086218e-03,1.081835e-03,1.077292e-03,1.072606e-03,1.067793e-03,1.062869e-03,1.057850e-03,1.052748e-03,1.047576e-03,1.042347e-03,1.037071e-03,1.031759e-03,1.026421e-03,1.021064e-03,1.015698e-03
0.000000e+00,5.507490e-11,2.904060e-10,3.034085e-09,1.300739e-08,2.460012e-08,9.134461e-08,9.561625e-08,2.562749e-07,3.235929e-07,5.542171e-07,8.224408e-07,1.047348e-06,1.733258e-06,1.805408e-06,2.899699e-06,3.218405e-06,4.376228e-06,5.371797e-06,6.234835e-06,8.157389e-06,8.438402e-06,1.093802e-05,1.146946e-05,1.369011e-05,1.520933e-05,1.666060e-05,1.930486e-05,1.982271e-05,2.315349e-05,2.370063e-05,2.663136e-05,2.834666e-05,3.023472e-05,3.319292e-05,3.394145e-05,3.772890e-05,3.818773e-05,4.157418e-05,4.327854e-05,4.545454e-05,4.841341e-05,4.934783e-05,5.323288e-05,5.354273e-05,5.708986e-05,5.862064e-05,6.090050e-05,6.360616e-05,6.464836e-05,6.831902e-05,6.846406e-05,7.189997e-05,7.316504e-05,7.538056e-05,7.768547e-05,7.875200e-05,8.200729e-05,8.514097e-05,8.611737e-05,8.814905e-05,9.000705e-05,9.102891e-05,9.367147e-05,9.377897e-05,9.639856e-05,9.710870e-05,9.888803e-05,1.003197e-04,1.012484e-04,1.033073e-04,1.034813e-04,1.055889e-04,1.060763e-04,1.075738e-04,1.086328e-04,1.094389e-04,1.109835e-04,1.111873e-04,1.128225e-04,1.131362e-04,1.143479e-04,1.150990e-04,1.157673e-04,1.168802e-04,1.170842e-04,1.183024e-04,1.184884e-04,1.194256e-04,1.199321e-04,1.204575e-04,1.212197e-04,1.214018e-04,1.222620e-04,1.223597e-04,1.230416e-04,1.233601e-04,1.237443e-04,1.242288e-04,1.243732e-04,1.249319e-04,1.249736e-04,1.254233e-04,1.256018e-04,1.258507e-04,1.261205e-04,1.262171e-04,1.265254e-04,1.265365e-04,1.267784e-04,1.268565e-04,1.269788e-04,1.270865e-04,1.271294e-04,1.272325e-04,1.272907e-04,1.273002e-04,1.273063e-04,1.272950e-04,1.272817e-04,1.272220e-04,1.272188e-04,1.271199e-04,1.270860e-04,1.269869e-04,1.268916e-04,1.268219e-04,1.266432e-04,1.266265e-04,1.264026e-04,1.263448e-04,1.261519e-04,1.260004e-04,1.258760e-04,1.256136e-04,1.255765e-04,1.252548e-04,1.251879e-04,1.249123e-04,1.247265e-04,1.245505e-04,1.242326e-04,1.241706e-04,1.237739e-04,1.237089e-04,1.233615e-04,1.231583e-04,1.229346e-04,1.225833e-04,1.224942e-04,1.220415e-04,1.219863e-04,1.215772e-04,1.213696e-04,1.211025e-04,1.207352e-04,1.206181e-04,1.201250e-04,1.200852e-04,1.196239e-04,1.194214e-04,1.191156e-04,1.187456e-04,1.186008e-04,1.180803e-04,1.180594e-04,1.175546e-04,1.173642e-04,1.170244e-04,1.166616e-04,1.164903e-04,1.159528e-04,1.152391e-04,1.145217e-04,1.138015e-04,1.130796e-04,1.123569e-04,1.116343e-04,1.109125e-04,1.101923e-04,1.094744e-04,1.087593e-04,1.080476e-04,1.073400e-04,1.066367e-04,1.059383e-04,1.052453e-04,1.045578e-04,1.038763e-04,1.032011e-04,1.025324e-04,1.018705e-04,1.012156e-04,1.005678e-04,9.992739e-05,9.929445e-05
0.000000e+00,6.047106e-13,4.126643e-12,7.206356e-11,4.808806e-10,1.147230e-09,7.492231e-09,8.016127e-09,3.569794e-08,5.129726e-08,1.196465e-07,2.241861e-07,3.298298e-07,7.386272e-07,7.885243e-07,1.691310e-06,2.004120e-06,3.329770e-06,4.715810e-06,6.113141e-06,9.938496e-06,1.058590e-05,1.743930e-05,1.916715e-05,2.751608e-05,3.435349e-05,4.180842e-05,5.789702e-05,6.144960e-05,8.770010e-05,9.260365e-05,1.219287e-04,1.416168e-04,1.655899e-04,2.083264e-04,2.201976e-04,2.872972e-04,2.962622e-04,3.684355e-04,4.089769e-04,4.651311e-04,5.499257e-04,5.788439e-04,7.109474e-04,7.223488e-04,8.627011e-04,9.291612e-04,1.035227e-03,1.172856e-03,1.229489e-03,1.446273e-03,1.455422e-03,1.686177e-03,1.778284e-03,1.949595e-03,2.142257e-03,2.236719e-03,2.547529e-03,2.881798e-03,2.993654e-03,3.239096e-03,3.479572e-03,3.618799e-03,4.003641e-03,4.020096e-03,4.442004e-03,4.563681e-03,4.883384e-03,5.157030e-03,5.342952e-03,5.780611e-03,5.819302e-03,6.310919e-03,6.431002e-03,6.816200e-03,7.104505e-03,7.333473e-03,7.797221e-03,7.861010e-03,8.397050e-03,8.505122e-03,8.939815e-03,9.224117e-03,9.487521e-03,9.950117e-03,1.003840e-02,1.059070e-02,1.067909e-02,1.114273e-02,1.140712e-02,1.169283e-02,1.213044e-02,1.223940e-02,1.278091e-02,1.284548e-02,1.331592e-02,1.354891e-02,1.384306e-02,1.423762e-02,1.436104e-02,1.486867e-02,1.490880e-02,1.536486e-02,1.555991e-02,1.584861e-02,1.618869e-02,1.631900e-02,1.677523e-02,1.679318e-02,1.721658e-02,1.737170e-02,1.764243e-02,1.792287e-02,1.805224e-02,1.844557e-02,1.882206e-02,1.893893e-02,1.918143e-02,1.940235e-02,1.952349e-02,1.983546e-02,1.984811e-02,2.015523e-02,2.023808e-02,2.044486e-02,2.061027e-02,2.071707e-02,2.095223e-02,2.097199e-02,2.120979e-02,2.126435e-02,2.143071e-02,2.154715e-02,2.163501e-02,2.180129e-02,2.182299e-02,2.199501e-02,2.202753e-02,2.215142e-02,2.222673e-02,2.229264e-02,2.239983e-02,2.241908e-02,2.253119e-02,2.254783e-02,2.262943e-02,2.267179e-02,2.271427e-02,2.277281e-02,2.278619e-02,2.284569e-02,2.285201e-02,2.289325e-02,2.291053e-02,2.292939e-02,2.294952e-02,2.295460e-02,2.296938e-02,2.297013e-02,2.297423e-02,2.297350e-02,2.296964e-02,2.296076e-02,2.295609e-02,2.293406e-02,2.293301e-02,2.290403e-02,2.289134e-02,2.286645e-02,2.283681e-02,2.282177e-02,2.277042e-02,2.269318e-02,2.260602e-02,2.250986e-02,2.240556e-02,2.229396e-02,2.217584e-02,2.205193e-02,2.192296e-02,2.178957e-02,2.165239e-02,2.151199e-02,2.136893e-02,2.122370e-02,2.107678e-02,2.092860e-02,2.077958e-02,2.063007e-02,2.048042e-02,2.033094e-02,2.018192e-02,2.003361e-02,1.988625e-02,1.974005e-02,1.959521e-02
0.000000e+00,4.805937e-09,1.137943e-08,4.057140e-08,9.404874e-08,1.383476e-07,3.202572e-07,3.301745e-07,6.526877e-07,7.721077e-07,1.148014e-06,1.544180e-06,1.852299e-06,2.692979e-06,2.774475e-06,3.899097e-06,4.196912e-06,5.206979e-06,6.013709e-06,6.683130e-06,8.111578e-06,8.315285e-06,1.009150e-05,1.046291e-05,1.199877e-05,1.303756e-05,1.402250e-05,1.580067e-05,1.614656e-05,1.835362e-05,1.871325e-05,2.062564e-05,2.173391e-05,2.294436e-05,2.482087e-05,2.529183e-05,2.765086e-05,2.793394e-05,3.000537e-05,3.103608e-05,3.234066e-05,3.409446e-05,3.464356e-05,3.690249e-05,3.708100e-05,3.910760e-05,3.997268e-05,4.125067e-05,4.275145e-05,4.332500e-05,4.532528e-05,4.540369e-05,4.724751e-05,4.791982e-05,4.908882e-05,5.029370e-05,5.084735e-05,5.252210e-05,5.411281e-05,5.460416e-05,5.561995e-05,5.654101e-05,5.704430e-05,5.833493e-05,5.838710e-05,5.965002e-05,5.998957e-05,6.083494e-05,6.150932e-05,6.194397e-05,6.289920e-05,6.297938e-05,6.394355e-05,6.416462e-05,6.483893e-05,6.531122e-05,6.566800e-05,6.634474e-05,6.643329e-05,6.713731e-05,6.727099e-05,6.778258e-05,6.809572e-05,6.837156e-05,6.882458e-05,6.890668e-05,6.939034e-05,6.946310e-05,6.982485e-05,7.001663e-05,7.021250e-05,7.049035e-05,7.055548e-05,7.085596e-05,7.088925e-05,7.111599e-05,7.121812e-05,7.133760e-05,7.148152e-05,7.152272e-05,7.167323e-05,7.168383e-05,7.179092e-05,7.182920e-05,7.187753e-05,7.192160e-05,7.193474e-05,7.196415e-05,7.196477e-05,7.196730e-05,7.196229e-05,7.194566e-05,7.191752e-05,7.190067e-05,7.183366e-05,7.174595e-05,7.171371e-05,7.163878e-05,7.156053e-05,7.151334e-05,7.137679e-05,7.137077e-05,7.121216e-05,7.116502e-05,7.103855e-05,7.092759e-05,7.085092e-05,7.066675e-05,7.065023e-05,7.043738e-05,7.038458e-05,7.021323e-05,7.008307e-05,6.997859e-05,6.976406e-05,6.973425e-05,6.948095e-05,6.942928e-05,6.921940e-05,6.908036e-05,6.895027e-05,6.871881e-05,6.867420e-05,6.839179e-05,6.834606e-05,6.810362e-05,6.796342e-05,6.781024e-05,6.757213e-05,6.751217e-05,6.720989e-05,6.717336e-05,6.690388e-05,6.676817e-05,6.659458e-05,6.635756e-05,6.628239e-05,6.596773e-05,6.594246e-05,6.565096e-05,6.552374e-05,6.533243e-05,6.510219e-05,6.501248e-05,6.469142e-05,6.467856e-05,6.436955e-05,6.425354e-05,6.404715e-05,6.382775e-05,6.372449e-05,6.340180e-05,6.297620e-05,6.255148e-05,6.212807e-05,6.170640e-05,6.128686e-05,6.086979e-05,6.045551e-05,6.004431e-05,5.963646e-05,5.923219e-05,5.883172e-05,5.843524e-05,5.804291e-05,5.765489e-05,5.727132e-05,5.689230e-05,5.651795e-05,5.614834e-05,5.578356e-05,5.542366e-05,5.506869e-05,5.471870e-05,5.437370e-05,5.403372e-05
0.000000e+00,9.341506e-09,2.632350e-08,1.131062e-07,2.873571e-07,4.385121e-07,1.093242e-06,1.130089e-06,2.374896e-06,2.855396e-06,4.428243e-06,6.183316e-06,7.619476e-06,1.185777e-05,1.229247e-05,1.864620e-05,2.041786e-05,2.659928e-05,3.164832e-05,3.586779e-05,4.486774e-05,4.614578e-05,5.719417e-05,5.948033e-05,6.884223e-05,7.509342e-05,8.096469e-05,9.144092e-05,9.346205e-05,1.062487e-04,1.083161e-04,1.192464e-04,1.255387e-04,1.323821e-04,1.429433e-04,1.455865e-04,1.587949e-04,1.603772e-04,1.719473e-04,1.777025e-04,1.849893e-04,1.947971e-04,1.978720e-04,2.105525e-04,2.115571e-04,2.229939e-04,2.278963e-04,2.351648e-04,2.437458e-04,2.470395e-04,2.585969e-04,2.590523e-04,2.698206e-04,2.737769e-04,2.806980e-04,2.878922e-04,2.912203e-04,3.013813e-04,3.111779e-04,3.142356e-04,3.206089e-04,3.264531e-04,3.296749e-04,3.380371e-04,3.383783e-04,3.467226e-04,3.489952e-04,3.547125e-04,3.593386e-04,3.623535e-04,3.690804e-04,3.696518e-04,3.766143e-04,3.782361e-04,3.832480e-04,3.868221e-04,3.895606e-04,3.948562e-04,3.955598e-04,4.012536e-04,4.023565e-04,4.066501e-04,4.093415e-04,4.117575e-04,4.158301e-04,4.165838e-04,4.211372e-04,4.218409e-04,4.254258e-04,4.273927e-04,4.294577e-04,4.325038e-04,4.332410e-04,4.367834e-04,4.371927e-04,4.400928e-04,4.414771e-04,4.431768e-04,4.453746e-04,4.460430e-04,4.486988e-04,4.489024e-04,4.511514e-04,4.520772e-04,4.534080e-04,4.549152e-04,4.554755e-04,4.573607e-04,4.574324e-04,4.590704e-04,4.596441e-04,4.606109e-04,4.615651e-04,4.619887e-04,4.632099e-04,4.642807e-04,4.645925e-04,4.652067e-04,4.657261e-04,4.659939e-04,4.666240e-04,4.666476e-04,4.671735e-04,4.672985e-04,4.675766e-04,4.677618e-04,4.678622e-04,4.680254e-04,4.680352e-04,4.681005e-04,4.681006e-04,4.680626e-04,4.679981e-04,4.679262e-04,4.677281e-04,4.676957e-04,4.673752e-04,4.673007e-04,4.669691e-04,4.667253e-04,4.664812e-04,4.660110e-04,4.659154e-04,4.652756e-04,4.651666e-04,4.645652e-04,4.642003e-04,4.637880e-04,4.631202e-04,4.629471e-04,4.620460e-04,4.619340e-04,4.610878e-04,4.606489e-04,4.600756e-04,4.592720e-04,4.590123e-04,4.579008e-04,4.578098e-04,4.567438e-04,4.562689e-04,4.555440e-04,4.546551e-04,4.543040e-04,4.530262e-04,4.529743e-04,4.517130e-04,4.512321e-04,4.503668e-04,4.494336e-04,4.489897e-04,4.475839e-04,4.456876e-04,4.437493e-04,4.417733e-04,4.397637e-04,4.377242e-04,4.356585e-04,4.335702e-04,4.314624e-04,4.293382e-04,4.272007e-04,4.250524e-04,4.228961e-04,4.207342e-04,4.185690e-04,4.164027e-04,4.142374e-04,4.120748e-04,4.099169e-04,4.077654e-04,4.056217e-04,4.034874e-04,4.013638e-04,3.992523e-04,3.971540e-04
0.000000e+00,1.387559e-13,9.278510e-13,1.552625e-11,9.960442e-11,2.325007e-10,1.434701e-09,1.531476e-09,6.445943e-09,9.122258e-09,2.048031e-08,3.722165e-08,5.369432e-08,1.151362e-07,1.224646e-07,2.511990e-07,2.945527e-07,4.735332e-07,6.546101e-07,8.325336e-07,1.302297e-06,1.379786e-06,2.173616e-06,2.367445e-06,3.276820e-06,3.994269e-06,4.754269e-06,6.331888e-06,6.670606e-06,9.088202e-06,9.525503e-06,1.206540e-05,1.370899e-05,1.565507e-05,1.899911e-05,1.990346e-05,2.484927e-05,2.549117e-05,3.052301e-05,3.325599e-05,3.694646e-05,4.233791e-05,4.413243e-05,5.208460e-05,5.275377e-05,6.079752e-05,6.449279e-05,7.025687e-05,7.751723e-05,8.043970e-05,9.131498e-05,9.176387e-05,1.028442e-04,1.071462e-04,1.149819e-04,1.235571e-04,1.276768e-04,1.408724e-04,1.545082e-04,1.589543e-04,1.685203e-04,1.776551e-04,1.828427e-04,1.968217e-04,1.974082e-04,2.121490e-04,2.162987e-04,2.269983e-04,2.359325e-04,2.418902e-04,2.555738e-04,2.567612e-04,2.715503e-04,2.750810e-04,2.861999e-04,2.943224e-04,3.006559e-04,3.131773e-04,3.148684e-04,3.287918e-04,3.315381e-04,3.423850e-04,3.493105e-04,3.556112e-04,3.664141e-04,3.684385e-04,3.808393e-04,3.827823e-04,3.927907e-04,3.983620e-04,4.042737e-04,4.131129e-04,4.152736e-04,4.257793e-04,4.270064e-04,4.357836e-04,4.400254e-04,4.452822e-04,4.521624e-04,4.542744e-04,4.627617e-04,4.634190e-04,4.707484e-04,4.738043e-04,4.782408e-04,4.833338e-04,4.852471e-04,4.917774e-04,4.920289e-04,4.978430e-04,4.999153e-04,5.034566e-04,5.070226e-04,5.086318e-04,5.133828e-04,5.177246e-04,5.190301e-04,5.216727e-04,5.240001e-04,5.252428e-04,5.283291e-04,5.284507e-04,5.313124e-04,5.320538e-04,5.338439e-04,5.352107e-04,5.360607e-04,5.378357e-04,5.379785e-04,5.396124e-04,5.399640e-04,5.409774e-04,5.416298e-04,5.420880e-04,5.428661e-04,5.429583e-04,5.436021e-04,5.437048e-04,5.440324e-04,5.441761e-04,5.442622e-04,5.443092e-04,5.443036e-04,5.441685e-04,5.441313e-04,5.438681e-04,5.436684e-04,5.434133e-04,5.429451e-04,5.428143e-04,5.420809e-04,5.419843e-04,5.412226e-04,5.408076e-04,5.402482e-04,5.394352e-04,5.391661e-04,5.379845e-04,5.378859e-04,5.367109e-04,5.361774e-04,5.353526e-04,5.343260e-04,5.339164e-04,5.324086e-04,5.323469e-04,5.308355e-04,5.302543e-04,5.292028e-04,5.280613e-04,5.275159e-04,5.257799e-04,5.234213e-04,5.209959e-04,5.185133e-04,5.159822e-04,5.134106e-04,5.108060e-04,5.081753e-04,5.055246e-04,5.028597e-04,5.001859e-04,4.975078e-04,4.948300e-04,4.921562e-04,4.894903e-04,4.868354e-04,4.841944e-04,4.815701e-04,4.789649e-04,4.763810e-04,4.738202e-04,4.712843e-04,4.687749e-04,4.662932e-04,4.638407e-04
0.000000e+00,1.398179e-12,9.527426e-12,1.658753e-10,1.103942e-09,2.629942e-09,1.711664e-08,1.831111e-08,8.129947e-08,1.167388e-07,2.718113e-07,5.086596e-07,7.477877e-07,1.672080e-06,1.784829e-06,3.823808e-06,4.530175e-06,7.524719e-06,1.065911e-05,1.382361e-05,2.251252e-05,2.398675e-05,3.965359e-05,4.361952e-05,6.285999e-05,7.869852e-05,9.603580e-05,1.336430e-04,1.419760e-04,2.037880e-04,2.153719e-04,2.848211e-04,3.315707e-04,3.885831e-04,4.903608e-04,5.186503e-04,6.785766e-04,6.999395e-04,8.718051e-04,9.682220e-04,1.101586e-03,1.302512e-03,1.370901e-03,1.682403e-03,1.709216e-03,2.038360e-03,2.193618e-03,2.440617e-03,2.759710e-03,2.890564e-03,3.389125e-03,3.410087e-03,3.936742e-03,4.145902e-03,4.533385e-03,4.966872e-03,5.178559e-03,5.871329e-03,6.610338e-03,6.856313e-03,7.393846e-03,7.917689e-03,8.219757e-03,9.050295e-03,9.085666e-03,9.988892e-03,1.024809e-02,1.092652e-02,1.150433e-02,1.189545e-02,1.281170e-02,1.289241e-02,1.391405e-02,1.416254e-02,1.495692e-02,1.554891e-02,1.601754e-02,1.696280e-02,1.709242e-02,1.817810e-02,1.839623e-02,1.927117e-02,1.984137e-02,2.036829e-02,2.129063e-02,2.146623e-02,2.256187e-02,2.273676e-02,2.365223e-02,2.417288e-02,2.473446e-02,2.559259e-02,2.580589e-02,2.686400e-02,2.698996e-02,2.790644e-02,2.835958e-02,2.893104e-02,2.969657e-02,2.993581e-02,3.091893e-02,3.099660e-02,3.187877e-02,3.225585e-02,3.281385e-02,3.347106e-02,3.372289e-02,3.460475e-02,3.463944e-02,3.545846e-02,3.575874e-02,3.628321e-02,3.682714e-02,3.707832e-02,3.784327e-02,3.857766e-02,3.880617e-02,3.928122e-02,3.971523e-02,3.995378e-02,4.057023e-02,4.059529e-02,4.120582e-02,4.137123e-02,4.178549e-02,4.211858e-02,4.233455e-02,4.281290e-02,4.285329e-02,4.334211e-02,4.345502e-02,4.380143e-02,4.404595e-02,4.423176e-02,4.458690e-02,4.463364e-02,4.500767e-02,4.507919e-02,4.535448e-02,4.552428e-02,4.567473e-02,4.592372e-02,4.596912e-02,4.623835e-02,4.627915e-02,4.648317e-02,4.659223e-02,4.670433e-02,4.686472e-02,4.690258e-02,4.707868e-02,4.709836e-02,4.723342e-02,4.729493e-02,4.736756e-02,4.745621e-02,4.748188e-02,4.757713e-02,4.758395e-02,4.765408e-02,4.767991e-02,4.771348e-02,4.774580e-02,4.775608e-02,4.778260e-02,4.778334e-02,4.779376e-02,4.779416e-02,4.779027e-02,4.777988e-02,4.777281e-02,4.774206e-02,4.768223e-02,4.760184e-02,4.750230e-02,4.738498e-02,4.725117e-02,4.710211e-02,4.693900e-02,4.676296e-02,4.657508e-02,4.637637e-02,4.616782e-02,4.595034e-02,4.572480e-02,4.549202e-02,4.525277e-02,4.500779e-02,4.475775e-02,4.450331e-02,4.424507e-02,4.398359e-02,4.371941e-02,4.345302e-02,4.318488e-02,4.291542e-02
0.000000e+00,7.640022e-14,5.140690e-13,8.713626e-12,5.655176e-11,1.328337e-10,8.325252e-10,8.892215e-10,3.795325e-09,5.389663e-09,1.219528e-08,2.228189e-08,3.223633e-08,6.946262e-08,7.390755e-08,1.520604e-07,1.784053e-07,2.873317e-07,3.978707e-07,5.068706e-07,7.966538e-07,8.447374e-07,1.341804e-06,1.464359e-06,2.045002e-06,2.509104e-06,3.005854e-06,4.051590e-06,4.278385e-06,5.916643e-06,6.216202e-06,7.972096e-06,9.120787e-06,1.049118e-05,1.286695e-05,1.351318e-05,1.706862e-05,1.753221e-05,2.117812e-05,2.316482e-05,2.585182e-05,2.978128e-05,3.108927e-05,3.687979e-05,3.736638e-05,4.320307e-05,4.587535e-05,5.003019e-05,5.523747e-05,5.732466e-05,6.504377e-05,6.536071e-05,7.313981e-05,7.613684e-05,8.156138e-05,8.744661e-05,9.025470e-05,9.916471e-05,1.082362e-04,1.111643e-04,1.174147e-04,1.233207e-04,1.266474e-04,1.355148e-04,1.358837e-04,1.450759e-04,1.476356e-04,1.541793e-04,1.595817e-04,1.631533e-04,1.712628e-04,1.719604e-04,1.805676e-04,1.826002e-04,1.889455e-04,1.935272e-04,1.970685e-04,2.039886e-04,2.049149e-04,2.124667e-04,2.139404e-04,2.197093e-04,2.233492e-04,2.266311e-04,2.321914e-04,2.332238e-04,2.394818e-04,2.404518e-04,2.454020e-04,2.481233e-04,2.509834e-04,2.552053e-04,2.562272e-04,2.611365e-04,2.617033e-04,2.657158e-04,2.676276e-04,2.699709e-04,2.729924e-04,2.739091e-04,2.775383e-04,2.778155e-04,2.808674e-04,2.821171e-04,2.839059e-04,2.859194e-04,2.866640e-04,2.891519e-04,2.892459e-04,2.913804e-04,2.921212e-04,2.933603e-04,2.945702e-04,2.951025e-04,2.966181e-04,2.979178e-04,2.982898e-04,2.990123e-04,2.996101e-04,2.999124e-04,3.006031e-04,3.006284e-04,3.011703e-04,3.012922e-04,3.015481e-04,3.017001e-04,3.017714e-04,3.018483e-04,3.018494e-04,3.017909e-04,3.017576e-04,3.016047e-04,3.014477e-04,3.012990e-04,3.009373e-04,3.008816e-04,3.003603e-04,3.002441e-04,2.997421e-04,2.993847e-04,2.990341e-04,2.983748e-04,2.982428e-04,2.973746e-04,2.972289e-04,2.964353e-04,2.959609e-04,2.954306e-04,2.945834e-04,2.943659e-04,2.932463e-04,2.931085e-04,2.920765e-04,2.915471e-04,2.908611e-04,2.899096e-04,2.896044e-04,2.883104e-04,2.882054e-04,2.869830e-04,2.864435e-04,2.856257e-04,2.846319e-04,2.842419e-04,2.828348e-04,2.827781e-04,2.814073e-04,2.808890e-04,2.799624e-04,2.789711e-04,2.785024e-04,2.770301e-04,2.750713e-04,2.730997e-04,2.711198e-04,2.691355e-04,2.671507e-04,2.651687e-04,2.631925e-04,2.612248e-04,2.592683e-04,2.573252e-04,2.553973e-04,2.534866e-04,2.515947e-04,2.497229e-04,2.478725e-04,2.460446e-04,2.442402e-04,2.424600e-04,2.407049e-04,2.389753e-04,2.372718e-04,2.355948e-04,2.339445e-04,2.323214e-04
0.000000e+00,4.958206e-09,1.394643e-08,5.946377e-08,1.493605e-07,2.260514e-07,5.474058e-07,5.650407e-07,1.138775e-06,1.350715e-06,2.016920e-06,2.723175e-06,3.280624e-06,4.861985e-06,5.020883e-06,7.321833e-06,7.963585e-06,1.022580e-05,1.210855e-05,1.370748e-05,1.718920e-05,1.769068e-05,2.208688e-05,2.300857e-05,2.681839e-05,2.938992e-05,3.182239e-05,3.619846e-05,3.704742e-05,4.244903e-05,4.332693e-05,4.798667e-05,5.068175e-05,5.362203e-05,5.817583e-05,5.931819e-05,6.503950e-05,6.572610e-05,7.075170e-05,7.325374e-05,7.642230e-05,8.068537e-05,8.202095e-05,8.751976e-05,8.795458e-05,9.289361e-05,9.500310e-05,9.812035e-05,1.017817e-04,1.031809e-04,1.080592e-04,1.082504e-04,1.127422e-04,1.143782e-04,1.172197e-04,1.201430e-04,1.214841e-04,1.255302e-04,1.293552e-04,1.305323e-04,1.329581e-04,1.351477e-04,1.363397e-04,1.393799e-04,1.395022e-04,1.424492e-04,1.432363e-04,1.451852e-04,1.467278e-04,1.477158e-04,1.498676e-04,1.500469e-04,1.521855e-04,1.526708e-04,1.541385e-04,1.551538e-04,1.559133e-04,1.573337e-04,1.575175e-04,1.589588e-04,1.592282e-04,1.602449e-04,1.608549e-04,1.613835e-04,1.622314e-04,1.623820e-04,1.632481e-04,1.633749e-04,1.639889e-04,1.643021e-04,1.646116e-04,1.650294e-04,1.651231e-04,1.655300e-04,1.655721e-04,1.658387e-04,1.659451e-04,1.660555e-04,1.661624e-04,1.661862e-04,1.662366e-04,1.662374e-04,1.662122e-04,1.661826e-04,1.661179e-04,1.660097e-04,1.659590e-04,1.657400e-04,1.657300e-04,1.654654e-04,1.653537e-04,1.651395e-04,1.648906e-04,1.647663e-04,1.643496e-04,1.638931e-04,1.637392e-04,1.634002e-04,1.630671e-04,1.628741e-04,1.623407e-04,1.623179e-04,1.617344e-04,1.615665e-04,1.611263e-04,1.607508e-04,1.604963e-04,1.598992e-04,1.598466e-04,1.591796e-04,1.590172e-04,1.584974e-04,1.581094e-04,1.578019e-04,1.571804e-04,1.570950e-04,1.563785e-04,1.562341e-04,1.556539e-04,1.552745e-04,1.549229e-04,1.543048e-04,1.541867e-04,1.534468e-04,1.533282e-04,1.527044e-04,1.523475e-04,1.519606e-04,1.513653e-04,1.512165e-04,1.504731e-04,1.503840e-04,1.497312e-04,1.494055e-04,1.489918e-04,1.484319e-04,1.482556e-04,1.475232e-04,1.474648e-04,1.467955e-04,1.465058e-04,1.460730e-04,1.455563e-04,1.453562e-04,1.446456e-04,1.446173e-04,1.439418e-04,1.436901e-04,1.432450e-04,1.427755e-04,1.425558e-04,1.418744e-04,1.409874e-04,1.401153e-04,1.392584e-04,1.384172e-04,1.375922e-04,1.367835e-04,1.359913e-04,1.352159e-04,1.344573e-04,1.337156e-04,1.329909e-04,1.322829e-04,1.315918e-04,1.309174e-04,1.302596e-04,1.296182e-04,1.289930e-04,1.283839e-04,1.277907e-04,1.272131e-04,1.266508e-04,1.261037e-04,1.255714e-04,1.250537e-04
0.000000e+00,2.248594e-14,1.476611e-13,2.377811e-12,1.471308e-11,3.365189e-11,1.966189e-10,2.094011e-10,8.318113e-10,1.157978e-09,2.490688e-09,4.364757e-09,6.143136e-09,1.243507e-08,1.315984e-08,2.533638e-08,2.926301e-08,4.487319e-08,5.996921e-08,7.432697e-08,1.106950e-07,1.165309e-07,1.744751e-07,1.882174e-07,2.511376e-07,2.993287e-07,3.492699e-07,4.499859e-07,4.711606e-07,6.184164e-07,6.443950e-07,7.917993e-07,8.842910e-07,9.911449e-07,1.168613e-06,1.215365e-06,1.462529e-06,1.493612e-06,1.730001e-06,1.853320e-06,2.014608e-06,2.240205e-06,2.312820e-06,2.620928e-06,2.645892e-06,2.935205e-06,3.061827e-06,3.252037e-06,3.479823e-06,3.568034e-06,3.880110e-06,3.892471e-06,4.185534e-06,4.293396e-06,4.481966e-06,4.677395e-06,4.767461e-06,5.040467e-06,5.299810e-06,5.379769e-06,5.544660e-06,5.693510e-06,5.774505e-06,5.980821e-06,5.989112e-06,6.188486e-06,6.241605e-06,6.372834e-06,6.476381e-06,6.542531e-06,6.686146e-06,6.698083e-06,6.840096e-06,6.872238e-06,6.969247e-06,7.036224e-06,7.086265e-06,7.179801e-06,7.191902e-06,7.286923e-06,7.304720e-06,7.372085e-06,7.412720e-06,7.448129e-06,7.505486e-06,7.515773e-06,7.575702e-06,7.584618e-06,7.628565e-06,7.651610e-06,7.674973e-06,7.707835e-06,7.715495e-06,7.750659e-06,7.754543e-06,7.780954e-06,7.792858e-06,7.806826e-06,7.823785e-06,7.828687e-06,7.846909e-06,7.848220e-06,7.861834e-06,7.866951e-06,7.873770e-06,7.880672e-06,7.882998e-06,7.889770e-06,7.889993e-06,7.894316e-06,7.895448e-06,7.896842e-06,7.897502e-06,7.897535e-06,7.896564e-06,7.894080e-06,7.892989e-06,7.890222e-06,7.887089e-06,7.885113e-06,7.879138e-06,7.878867e-06,7.871587e-06,7.869376e-06,7.863365e-06,7.858015e-06,7.854285e-06,7.845241e-06,7.844425e-06,7.833855e-06,7.831220e-06,7.822640e-06,7.816099e-06,7.810837e-06,7.800008e-06,7.798501e-06,7.785682e-06,7.783064e-06,7.772425e-06,7.765372e-06,7.758772e-06,7.747027e-06,7.744763e-06,7.730433e-06,7.728113e-06,7.715816e-06,7.708707e-06,7.700943e-06,7.688880e-06,7.685843e-06,7.670543e-06,7.668694e-06,7.655067e-06,7.648208e-06,7.639439e-06,7.627474e-06,7.623681e-06,7.607812e-06,7.606539e-06,7.591853e-06,7.585448e-06,7.575820e-06,7.564240e-06,7.559730e-06,7.543599e-06,7.542954e-06,7.527442e-06,7.521621e-06,7.511271e-06,7.500274e-06,7.495100e-06,7.478941e-06,7.457647e-06,7.436417e-06,7.415271e-06,7.394230e-06,7.373311e-06,7.352531e-06,7.331905e-06,7.311446e-06,7.291167e-06,7.271079e-06,7.251193e-06,7.231516e-06,7.212058e-06,7.192826e-06,7.173826e-06,7.155064e-06,7.136545e-06,7.118272e-06,7.100251e-06,7.082483e-06,7.064972e-06,7.047720e-06,7.030728e-06,7.013998e-06
0.000000e+00,3.110020e-13,1.970979e-12,2.947894e-11,1.705351e-10,3.759518e-10,1.999263e-09,2.121190e-09,7.695111e-09,1.045854e-08,2.121426e-08,3.552862e-08,4.860425e-08,9.266916e-08,9.759462e-08,1.775173e-07,2.024344e-07,2.985753e-07,3.879886e-07,4.703526e-07,6.692135e-07,6.999697e-07,9.906996e-07,1.056164e-06,1.341557e-06,1.546319e-06,1.747822e-06,2.126540e-06,2.202093e-06,2.695461e-06,2.777399e-06,3.218521e-06,3.477420e-06,3.762094e-06,4.205965e-06,4.317655e-06,4.877544e-06,4.944692e-06,5.435029e-06,5.678028e-06,5.984285e-06,6.393129e-06,6.520343e-06,7.039035e-06,7.079672e-06,7.536936e-06,7.729644e-06,8.011330e-06,8.337158e-06,8.460160e-06,8.881991e-06,8.898289e-06,9.275966e-06,9.410897e-06,9.641747e-06,9.874424e-06,9.979464e-06,1.028964e-05,1.057313e-05,1.065839e-05,1.083106e-05,1.098332e-05,1.106473e-05,1.126758e-05,1.127559e-05,1.146518e-05,1.151466e-05,1.163504e-05,1.172814e-05,1.178673e-05,1.191155e-05,1.192177e-05,1.204161e-05,1.206827e-05,1.214763e-05,1.220144e-05,1.224110e-05,1.231392e-05,1.232321e-05,1.239506e-05,1.240829e-05,1.245763e-05,1.248680e-05,1.251182e-05,1.255145e-05,1.255842e-05,1.259818e-05,1.260395e-05,1.263172e-05,1.264579e-05,1.265963e-05,1.267825e-05,1.268242e-05,1.270054e-05,1.270242e-05,1.271440e-05,1.271924e-05,1.272436e-05,1.272952e-05,1.273074e-05,1.273384e-05,1.273395e-05,1.273390e-05,1.273313e-05,1.273117e-05,1.272760e-05,1.272586e-05,1.271815e-05,1.271779e-05,1.270822e-05,1.270413e-05,1.269622e-05,1.268695e-05,1.268230e-05,1.266659e-05,1.264921e-05,1.264332e-05,1.263028e-05,1.261740e-05,1.260990e-05,1.258906e-05,1.258816e-05,1.256516e-05,1.255851e-05,1.254099e-05,1.252595e-05,1.251571e-05,1.249155e-05,1.248941e-05,1.246215e-05,1.245547e-05,1.243400e-05,1.241786e-05,1.240501e-05,1.237887e-05,1.237526e-05,1.234479e-05,1.233861e-05,1.231365e-05,1.229721e-05,1.228190e-05,1.225478e-05,1.224957e-05,1.221672e-05,1.221142e-05,1.218338e-05,1.216722e-05,1.214960e-05,1.212227e-05,1.211540e-05,1.208084e-05,1.207667e-05,1.204593e-05,1.203047e-05,1.201071e-05,1.198376e-05,1.197522e-05,1.193948e-05,1.193661e-05,1.190351e-05,1.188907e-05,1.186735e-05,1.184121e-05,1.183102e-05,1.179454e-05,1.179308e-05,1.175793e-05,1.174473e-05,1.172122e-05,1.169621e-05,1.168443e-05,1.164756e-05,1.159884e-05,1.155007e-05,1.150130e-05,1.145255e-05,1.140386e-05,1.135527e-05,1.130679e-05,1.125846e-05,1.121030e-05,1.116232e-05,1.111457e-05,1.106704e-05,1.101976e-05,1.097275e-05,1.092603e-05,1.087960e-05,1.083348e-05,1.078769e-05,1.074223e-05,1.069712e-05,1.065236e-05,1.060797e-05,1.056394e-05,1.052030e-05
0.000000e+00,1.582499e-14,1.061691e-13,1.791368e-12,1.159546e-11,2.721644e-11,1.707124e-10,1.823606e-10,7.826515e-10,1.114112e-09,2.541129e-09,4.682957e-09,6.820350e-09,1.495922e-08,1.594305e-08,3.352542e-08,3.954466e-08,6.475799e-08,9.072012e-08,1.165693e-07,1.860527e-07,1.976580e-07,3.184145e-07,3.483505e-07,4.907619e-07,6.051212e-07,7.279411e-07,9.877144e-07,1.044258e-06,1.454804e-06,1.530272e-06,1.975162e-06,2.268572e-06,2.621105e-06,3.238813e-06,3.408289e-06,4.351956e-06,4.476411e-06,5.466651e-06,6.014839e-06,6.765957e-06,7.884569e-06,8.262260e-06,9.966536e-06,1.011216e-05,1.188818e-05,1.271949e-05,1.403489e-05,1.572325e-05,1.641253e-05,1.902511e-05,1.913454e-05,2.187473e-05,2.295872e-05,2.496162e-05,2.719547e-05,2.828415e-05,3.183895e-05,3.562092e-05,3.687809e-05,3.962342e-05,4.229708e-05,4.383837e-05,4.807587e-05,4.825636e-05,5.286683e-05,5.419070e-05,5.765821e-05,6.061474e-05,6.261808e-05,6.731868e-05,6.773329e-05,7.299016e-05,7.427132e-05,7.837455e-05,8.144016e-05,8.387208e-05,8.879194e-05,8.946819e-05,9.514829e-05,9.629311e-05,1.008979e-04,1.039103e-04,1.067026e-04,1.116108e-04,1.125483e-04,1.184213e-04,1.193626e-04,1.243082e-04,1.271351e-04,1.301963e-04,1.348991e-04,1.360730e-04,1.419266e-04,1.426269e-04,1.477459e-04,1.502928e-04,1.535203e-04,1.578727e-04,1.592399e-04,1.648954e-04,1.653448e-04,1.704780e-04,1.726889e-04,1.759799e-04,1.798871e-04,1.813936e-04,1.867126e-04,1.869233e-04,1.919306e-04,1.937834e-04,1.970423e-04,2.004551e-04,2.020429e-04,2.069280e-04,2.116940e-04,2.131934e-04,2.163377e-04,2.192442e-04,2.208564e-04,2.250748e-04,2.252480e-04,2.295107e-04,2.306810e-04,2.336434e-04,2.360601e-04,2.376451e-04,2.412105e-04,2.415153e-04,2.452539e-04,2.461316e-04,2.488612e-04,2.508241e-04,2.523376e-04,2.552893e-04,2.556840e-04,2.589014e-04,2.595295e-04,2.619910e-04,2.635477e-04,2.649545e-04,2.673476e-04,2.677935e-04,2.705099e-04,2.709333e-04,2.731058e-04,2.743096e-04,2.755832e-04,2.774815e-04,2.779446e-04,2.801923e-04,2.804545e-04,2.823288e-04,2.832342e-04,2.843566e-04,2.858267e-04,2.862784e-04,2.880969e-04,2.882380e-04,2.898148e-04,2.904744e-04,2.914348e-04,2.925421e-04,2.929596e-04,2.943921e-04,2.944476e-04,2.957351e-04,2.961971e-04,2.969912e-04,2.977972e-04,2.981633e-04,2.992540e-04,3.005739e-04,3.017629e-04,3.028271e-04,3.037725e-04,3.046047e-04,3.053294e-04,3.059521e-04,3.064781e-04,3.069125e-04,3.072602e-04,3.075262e-04,3.077149e-04,3.078309e-04,3.078784e-04,3.078615e-04,3.077842e-04,3.076501e-04,3.074629e-04,3.072260e-04,3.069428e-04,3.066162e-04,3.062493e-04,3.058450e-04,3.054058e-04
0.000000e+00,2.804867e-09,7.251720e-09,2.818892e-08,6.759976e-08,1.004232e-07,2.343595e-07,2.415977e-07,4.730926e-07,5.570682e-07,8.169767e-07,1.086973e-06,1.296720e-06,1.878415e-06,1.935914e-06,2.752549e-06,2.975638e-06,3.748650e-06,4.378322e-06,4.904804e-06,6.029051e-06,6.188763e-06,7.568368e-06,7.853331e-06,9.017134e-06,9.790643e-06,1.051391e-05,1.179535e-05,1.204108e-05,1.358313e-05,1.383028e-05,1.512596e-05,1.586294e-05,1.665659e-05,1.786431e-05,1.816317e-05,1.963503e-05,1.980887e-05,2.106284e-05,2.167502e-05,2.243865e-05,2.344545e-05,2.375598e-05,2.500974e-05,2.510718e-05,2.619625e-05,2.665144e-05,2.731309e-05,2.807329e-05,2.835894e-05,2.933351e-05,2.937101e-05,3.023738e-05,3.054570e-05,3.107183e-05,3.160050e-05,3.183867e-05,3.254020e-05,3.317906e-05,3.337072e-05,3.375811e-05,3.409870e-05,3.428037e-05,3.473120e-05,3.474895e-05,3.516700e-05,3.527542e-05,3.553761e-05,3.573848e-05,3.586384e-05,3.612734e-05,3.614868e-05,3.639499e-05,3.644869e-05,3.660555e-05,3.670881e-05,3.678294e-05,3.691357e-05,3.692963e-05,3.704794e-05,3.706839e-05,3.714004e-05,3.717827e-05,3.720801e-05,3.724785e-05,3.725375e-05,3.727905e-05,3.728132e-05,3.728558e-05,3.728251e-05,3.727489e-05,3.725490e-05,3.724841e-05,3.720749e-05,3.720167e-05,3.715336e-05,3.712566e-05,3.708718e-05,3.702947e-05,3.701000e-05,3.692282e-05,3.691544e-05,3.682654e-05,3.678567e-05,3.672201e-05,3.664208e-05,3.661001e-05,3.649126e-05,3.648638e-05,3.636642e-05,3.632011e-05,3.623612e-05,3.614469e-05,3.610092e-05,3.596135e-05,3.581790e-05,3.577125e-05,3.567101e-05,3.557539e-05,3.552110e-05,3.537470e-05,3.536856e-05,3.521373e-05,3.517002e-05,3.505695e-05,3.496207e-05,3.489852e-05,3.475154e-05,3.473872e-05,3.457780e-05,3.453904e-05,3.441600e-05,3.432510e-05,3.425355e-05,3.411021e-05,3.409064e-05,3.392746e-05,3.389481e-05,3.376418e-05,3.367929e-05,3.360097e-05,3.346402e-05,3.343796e-05,3.327529e-05,3.324930e-05,3.311309e-05,3.303543e-05,3.295146e-05,3.282265e-05,3.279052e-05,3.263036e-05,3.261119e-05,3.247105e-05,3.240126e-05,3.231270e-05,3.219302e-05,3.215536e-05,3.199910e-05,3.198665e-05,3.184399e-05,3.178227e-05,3.169007e-05,3.158002e-05,3.153740e-05,3.138603e-05,3.138000e-05,3.123599e-05,3.118231e-05,3.108732e-05,3.098702e-05,3.094004e-05,3.079420e-05,3.060393e-05,3.041624e-05,3.023117e-05,3.004877e-05,2.986906e-05,2.969205e-05,2.951776e-05,2.934620e-05,2.917738e-05,2.901129e-05,2.884792e-05,2.868728e-05,2.852935e-05,2.837411e-05,2.822155e-05,2.807164e-05,2.792437e-05,2.777972e-05,2.763765e-05,2.749815e-05,2.736117e-05,2.722670e-05,2.709471e-05,2.696516e-05
0.000000e+00,1.183324e-10,4.986143e-10,3.556939e-09,1.168798e-08,1.961159e-08,5.699470e-08,5.916038e-08,1.326299e-07,1.606409e-07,2.499409e-07,3.453631e-07,4.206616e-07,6.328742e-07,6.540635e-07,9.587912e-07,1.043369e-06,1.341813e-06,1.592125e-06,1.807097e-06,2.285230e-06,2.355370e-06,2.985178e-06,3.120712e-06,3.693973e-06,4.092726e-06,4.478564e-06,5.193434e-06,5.335150e-06,6.259267e-06,6.413058e-06,7.245774e-06,7.739787e-06,8.288905e-06,9.159963e-06,9.382364e-06,1.051947e-05,1.065852e-05,1.169328e-05,1.221959e-05,1.289680e-05,1.382705e-05,1.412305e-05,1.536527e-05,1.546514e-05,1.661695e-05,1.711890e-05,1.787201e-05,1.877453e-05,1.912476e-05,2.037005e-05,2.041963e-05,2.160319e-05,2.204334e-05,2.282005e-05,2.363634e-05,2.401699e-05,2.519087e-05,2.633901e-05,2.670060e-05,2.745917e-05,2.816053e-05,2.854953e-05,2.956686e-05,2.960861e-05,3.063529e-05,3.091682e-05,3.162870e-05,3.220854e-05,3.258829e-05,3.344091e-05,3.351367e-05,3.440471e-05,3.461344e-05,3.526141e-05,3.572622e-05,3.608393e-05,3.677971e-05,3.687257e-05,3.762770e-05,3.777475e-05,3.834981e-05,3.871244e-05,3.903946e-05,3.959411e-05,3.969725e-05,4.032383e-05,4.042123e-05,4.091991e-05,4.119541e-05,4.148622e-05,4.191832e-05,4.202349e-05,4.253250e-05,4.259172e-05,4.301402e-05,4.321738e-05,4.346883e-05,4.379710e-05,4.389771e-05,4.430145e-05,4.433269e-05,4.468081e-05,4.482591e-05,4.503657e-05,4.527853e-05,4.536949e-05,4.568032e-05,4.569230e-05,4.596979e-05,4.606892e-05,4.623865e-05,4.641005e-05,4.648759e-05,4.671733e-05,4.692854e-05,4.699233e-05,4.712190e-05,4.723658e-05,4.729806e-05,4.745158e-05,4.745766e-05,4.760132e-05,4.763877e-05,4.772965e-05,4.779954e-05,4.784324e-05,4.793523e-05,4.794268e-05,4.802851e-05,4.804715e-05,4.810128e-05,4.813653e-05,4.816153e-05,4.820459e-05,4.820976e-05,4.824648e-05,4.825248e-05,4.827216e-05,4.828131e-05,4.828728e-05,4.829215e-05,4.829229e-05,4.828763e-05,4.828602e-05,4.827374e-05,4.826391e-05,4.825101e-05,4.822674e-05,4.821986e-05,4.818066e-05,4.817544e-05,4.813380e-05,4.811085e-05,4.807963e-05,4.803380e-05,4.801851e-05,4.795077e-05,4.794507e-05,4.787674e-05,4.784543e-05,4.779673e-05,4.773559e-05,4.771105e-05,4.761999e-05,4.761624e-05,4.752383e-05,4.748802e-05,4.742285e-05,4.735157e-05,4.731732e-05,4.720748e-05,4.705631e-05,4.689860e-05,4.673487e-05,4.656560e-05,4.639125e-05,4.621227e-05,4.602908e-05,4.584207e-05,4.565161e-05,4.545806e-05,4.526177e-05,4.506304e-05,4.486219e-05,4.465949e-05,4.445523e-05,4.424964e-05,4.404298e-05,4.383548e-05,4.362733e-05,4.341876e-05,4.320994e-05,4.300105e-05,4.279227e-05,4.258375e-05
0.000000e+00,1.194595e-13,7.779420e-13,1.231874e-11,7.512859e-11,1.705475e-10,9.790682e-10,1.042038e-09,4.082070e-09,5.665435e-09,1.211284e-08,2.116498e-08,2.976199e-08,6.030608e-08,6.383840e-08,1.235664e-07,1.429564e-07,2.204655e-07,2.958281e-07,3.676751e-07,5.496561e-07,5.788037e-07,8.666415e-07,9.344149e-07,1.242073e-06,1.474777e-06,1.713373e-06,2.187349e-06,2.285886e-06,2.962022e-06,3.079834e-06,3.741447e-06,4.151531e-06,4.621398e-06,5.394544e-06,5.597032e-06,6.661789e-06,6.795185e-06,7.807740e-06,8.335398e-06,9.025911e-06,9.994067e-06,1.030659e-05,1.163962e-05,1.174821e-05,1.301463e-05,1.357406e-05,1.442128e-05,1.544798e-05,1.584948e-05,1.728953e-05,1.734725e-05,1.873231e-05,1.925072e-05,2.016932e-05,2.113922e-05,2.159284e-05,2.299593e-05,2.437246e-05,2.480645e-05,2.571713e-05,2.655890e-05,2.702546e-05,2.824381e-05,2.829373e-05,2.951893e-05,2.985394e-05,3.069874e-05,3.138410e-05,3.183144e-05,3.283089e-05,3.291585e-05,3.395130e-05,3.419248e-05,3.493750e-05,3.546830e-05,3.587457e-05,3.665886e-05,3.676291e-05,3.760317e-05,3.776553e-05,3.839624e-05,3.879032e-05,3.914316e-05,3.973578e-05,3.984512e-05,4.050342e-05,4.060478e-05,4.111942e-05,4.140049e-05,4.169455e-05,4.212621e-05,4.223027e-05,4.272807e-05,4.278532e-05,4.318943e-05,4.338127e-05,4.361584e-05,4.391743e-05,4.400876e-05,4.436964e-05,4.439717e-05,4.469990e-05,4.482375e-05,4.500094e-05,4.520034e-05,4.527408e-05,4.552066e-05,4.552999e-05,4.574194e-05,4.581565e-05,4.593915e-05,4.606012e-05,4.611348e-05,4.626608e-05,4.639805e-05,4.643610e-05,4.651045e-05,4.657259e-05,4.660431e-05,4.667786e-05,4.668059e-05,4.674024e-05,4.675408e-05,4.678416e-05,4.680332e-05,4.681320e-05,4.682751e-05,4.682821e-05,4.682996e-05,4.682849e-05,4.681921e-05,4.680800e-05,4.679668e-05,4.676766e-05,4.676306e-05,4.671901e-05,4.670901e-05,4.666516e-05,4.663348e-05,4.660210e-05,4.654243e-05,4.653041e-05,4.645062e-05,4.643714e-05,4.636326e-05,4.631879e-05,4.626883e-05,4.618851e-05,4.616779e-05,4.606060e-05,4.604734e-05,4.594767e-05,4.589627e-05,4.582941e-05,4.573621e-05,4.570622e-05,4.557845e-05,4.556804e-05,4.544645e-05,4.539254e-05,4.531056e-05,4.521049e-05,4.517109e-05,4.502834e-05,4.502257e-05,4.488260e-05,4.482945e-05,4.473412e-05,4.463173e-05,4.458317e-05,4.442999e-05,4.422476e-05,4.401654e-05,4.380579e-05,4.359293e-05,4.337836e-05,4.316246e-05,4.294556e-05,4.272798e-05,4.251002e-05,4.229195e-05,4.207403e-05,4.185647e-05,4.163950e-05,4.142332e-05,4.120810e-05,4.099400e-05,4.078119e-05,4.056980e-05,4.035996e-05,4.015178e-05,3.994536e-05,3.974080e-05,3.953819e-05,3.933760e-05
