0.000000e+00,1.010101e+00,1.333333e+00,2.020202e+00,2.666667e+00,3.030303e+00,4.000000e+00,4.040404e+00,5.050505e+00,5.333333e+00,6.060606e+00,6.666667e+00,7.070707e+00,8.000000e+00,8.080808e+00,9.090909e+00,9.333333e+00,1.010101e+01,1.066667e+01,1.111111e+01,1.200000e+01,1.212121e+01,1.313131e+01,1.333333e+01,1.414141e+01,1.466667e+01,1.515152e+01,1.600000e+01,1.616162e+01,1.717172e+01,1.733333e+01,1.818182e+01,1.866667e+01,1.919192e+01,2.000000e+01,2.020202e+01,2.121212e+01,2.133333e+01,2.222222e+01,2.266667e+01,2.323232e+01,2.400000e+01,2.424242e+01,2.525253e+01,2.533333e+01,2.626263e+01,2.666667e+01,2.727273e+01,2.800000e+01,2.828283e+01,2.929293e+01,2.933333e+01,3.030303e+01,3.066667e+01,3.131313e+01,3.200000e+01,3.232323e+01,3.333333e+01,3.434343e+01,3.466667e+01,3.535354e+01,3.600000e+01,3.636364e+01,3.733333e+01,3.737374e+01,3.838384e+01,3.866667e+01,3.939394e+01,4.000000e+01,4.040404e+01,4.133333e+01,4.141414e+01,4.242424e+01,4.266667e+01,4.343434e+01,4.400000e+01,4.444444e+01,4.533333e+01,4.545455e+01,4.646465e+01,4.666667e+01,4.747475e+01,4.800000e+01,4.848485e+01,4.933333e+01,4.949495e+01,5.050505e+01,5.066667e+01,5.151515e+01,5.200000e+01,5.252525e+01,5.333333e+01,5.353535e+01,5.454545e+01,5.466667e+01,5.555556e+01,5.600000e+01,5.656566e+01,5.733333e+01,5.757576e+01,5.858586e+01,5.866667e+01,5.959596e+01,6.000000e+01,6.060606e+01,6.133333e+01,6.161616e+01,6.262626e+01,6.266667e+01,6.363636e+01,6.400000e+01,6.464646e+01,6.533333e+01,6.565657e+01,6.666667e+01,6.767677e+01,6.800000e+01,6.868687e+01,6.933333e+01,6.969697e+01,7.066667e+01,7.070707e+01,7.171717e+01,7.200000e+01,7.272727e+01,7.333333e+01,7.373737e+01,7.466667e+01,7.474747e+01,7.575758e+01,7.600000e+01,7.676768e+01,7.733333e+01,7.777778e+01,7.866667e+01,7.878788e+01,7.979798e+01,8.000000e+01,8.080808e+01,8.133333e+01,8.181818e+01,8.266667e+01,8.282828e+01,8.383838e+01,8.400000e+01,8.484848e+01,8.533333e+01,8.585859e+01,8.666667e+01,8.686869e+01,8.787879e+01,8.800000e+01,8.888889e+01,8.933333e+01,8.989899e+01,9.066667e+01,9.090909e+01,9.191919e+01,9.200000e+01,9.292929e+01,9.333333e+01,9.393939e+01,9.466667e+01,9.494949e+01,9.595960e+01,9.600000e+01,9.696970e+01,9.733333e+01,9.797980e+01,9.866667e+01,9.898990e+01,1.000000e+02,1.013333e+02,1.026667e+02,1.040000e+02,1.053333e+02,1.066667e+02,1.080000e+02,1.093333e+02,1.106667e+02,1.120000e+02,1.133333e+02,1.146667e+02,1.160000e+02,1.173333e+02,1.186667e+02,1.200000e+02,1.213333e+02,1.226667e+02,1.240000e+02,1.253333e+02,1.266667e+02,1.280000e+02,1.293333e+02,1.306667e+02,1.320000e+02
0.000000e+00,2.208761e-14,1.873577e-13,4.368861e-12,3.423005e-11,8.694830e-11,6.317634e-10,6.779792e-10,3.172266e-09,4.588820e-09,1.077139e-08,2.009947e-08,2.937819e-08,6.422780e-08,6.838975e-08,1.413072e-07,1.657535e-07,2.661120e-07,3.668759e-07,4.652939e-07,7.230251e-07,7.652955e-07,1.195153e-06,1.299324e-06,1.784373e-06,2.163014e-06,2.560409e-06,3.373658e-06,3.546270e-06,4.758694e-06,4.974443e-06,6.207084e-06,6.986939e-06,7.893245e-06,9.409959e-06,9.811769e-06,1.195084e-05,1.222159e-05,1.429334e-05,1.538312e-05,1.681799e-05,1.884370e-05,1.950053e-05,2.231482e-05,2.254484e-05,2.523375e-05,2.642451e-05,2.823011e-05,3.042042e-05,3.127723e-05,3.434959e-05,3.447267e-05,3.742320e-05,3.852567e-05,4.047592e-05,4.252954e-05,4.348774e-05,4.644087e-05,4.931979e-05,5.022316e-05,5.211132e-05,5.384686e-05,5.480446e-05,5.728912e-05,5.739040e-05,5.986231e-05,6.053328e-05,6.221519e-05,6.356836e-05,6.444576e-05,6.638827e-05,6.655219e-05,6.853402e-05,6.899117e-05,7.039189e-05,7.137871e-05,7.212741e-05,7.355535e-05,7.374299e-05,7.524169e-05,7.552771e-05,7.662710e-05,7.730407e-05,7.790325e-05,7.889393e-05,7.907446e-05,8.014525e-05,8.030757e-05,8.112026e-05,8.155561e-05,8.200417e-05,8.264886e-05,8.280168e-05,8.351745e-05,8.359807e-05,8.415610e-05,8.441383e-05,8.472212e-05,8.510641e-05,8.521987e-05,8.565359e-05,8.568564e-05,8.602731e-05,8.616087e-05,8.634493e-05,8.654098e-05,8.661017e-05,8.682655e-05,8.683424e-05,8.699746e-05,8.704848e-05,8.712610e-05,8.719099e-05,8.721551e-05,8.726856e-05,8.728795e-05,8.728747e-05,8.727624e-05,8.725355e-05,8.723584e-05,8.717216e-05,8.716901e-05,8.707786e-05,8.704826e-05,8.696440e-05,8.688639e-05,8.683049e-05,8.669076e-05,8.667790e-05,8.650827e-05,8.646519e-05,8.632313e-05,8.621322e-05,8.612393e-05,8.593808e-05,8.591202e-05,8.568866e-05,8.564272e-05,8.545501e-05,8.532982e-05,8.521219e-05,8.500186e-05,8.496119e-05,8.470299e-05,8.466107e-05,8.443847e-05,8.430950e-05,8.416845e-05,8.394900e-05,8.389371e-05,8.361496e-05,8.358127e-05,8.333285e-05,8.320783e-05,8.304802e-05,8.283007e-05,8.276102e-05,8.247239e-05,8.244924e-05,8.218261e-05,8.206649e-05,8.189215e-05,8.168282e-05,8.160140e-05,8.131078e-05,8.129916e-05,8.102062e-05,8.091634e-05,8.073126e-05,8.053511e-05,8.044300e-05,8.015612e-05,7.977996e-05,7.940716e-05,7.903819e-05,7.867344e-05,7.831328e-05,7.795802e-05,7.760792e-05,7.726323e-05,7.692414e-05,7.659081e-05,7.626339e-05,7.594197e-05,7.562666e-05,7.531751e-05,7.501457e-05,7.471787e-05,7.442742e-05,7.414321e-05,7.386525e-05,7.359349e-05,7.332790e-05,7.306843e-05,7.281504e-05,7.256765e-05
0.000000e+00,2.671015e-09,6.442247e-09,2.340099e-08,5.463536e-08,8.050374e-08,1.861136e-07,1.918368e-07,3.760455e-07,4.434365e-07,6.538423e-07,8.751136e-07,1.048718e-06,1.536907e-06,1.585639e-06,2.285430e-06,2.478837e-06,3.155629e-06,3.714257e-06,4.186341e-06,5.209747e-06,5.356828e-06,6.644802e-06,6.914725e-06,8.030851e-06,8.784874e-06,9.498771e-06,1.078485e-05,1.103462e-05,1.262578e-05,1.288471e-05,1.426044e-05,1.505718e-05,1.592727e-05,1.727659e-05,1.761543e-05,1.931454e-05,1.951870e-05,2.101487e-05,2.176104e-05,2.270735e-05,2.398329e-05,2.438375e-05,2.603664e-05,2.616766e-05,2.765954e-05,2.829900e-05,2.924681e-05,3.036491e-05,3.079375e-05,3.229651e-05,3.235566e-05,3.375202e-05,3.426393e-05,3.515776e-05,3.608433e-05,3.651200e-05,3.781357e-05,3.906176e-05,3.944985e-05,4.025631e-05,4.099271e-05,4.139734e-05,4.244278e-05,4.248529e-05,4.352081e-05,4.380147e-05,4.450477e-05,4.507083e-05,4.543823e-05,4.625343e-05,4.632238e-05,4.715851e-05,4.735219e-05,4.794798e-05,4.837024e-05,4.869222e-05,4.931089e-05,4.939268e-05,5.005085e-05,5.017754e-05,5.066821e-05,5.097360e-05,5.124624e-05,5.170248e-05,5.178643e-05,5.229023e-05,5.236755e-05,5.275907e-05,5.297211e-05,5.319435e-05,5.351935e-05,5.359746e-05,5.396973e-05,5.401240e-05,5.431247e-05,5.445425e-05,5.462695e-05,5.484781e-05,5.491440e-05,5.517600e-05,5.519585e-05,5.541291e-05,5.550102e-05,5.562625e-05,5.576587e-05,5.581709e-05,5.598648e-05,5.599282e-05,5.613540e-05,5.618419e-05,5.626483e-05,5.634218e-05,5.637569e-05,5.646889e-05,5.654527e-05,5.656629e-05,5.660566e-05,5.663629e-05,5.665086e-05,5.668067e-05,5.668163e-05,5.669870e-05,5.670113e-05,5.670278e-05,5.669927e-05,5.669453e-05,5.667662e-05,5.667461e-05,5.664363e-05,5.663462e-05,5.660219e-05,5.657462e-05,5.655085e-05,5.649793e-05,5.649017e-05,5.642065e-05,5.640574e-05,5.634281e-05,5.629921e-05,5.625713e-05,5.617942e-05,5.616404e-05,5.606401e-05,5.604739e-05,5.595744e-05,5.590408e-05,5.584473e-05,5.575041e-05,5.572627e-05,5.560243e-05,5.558722e-05,5.547354e-05,5.541533e-05,5.533996e-05,5.523548e-05,5.520198e-05,5.505993e-05,5.504840e-05,5.491408e-05,5.485475e-05,5.476472e-05,5.465516e-05,5.461212e-05,5.445651e-05,5.445023e-05,5.429815e-05,5.424051e-05,5.413726e-05,5.402652e-05,5.397406e-05,5.380875e-05,5.358767e-05,5.336370e-05,5.313725e-05,5.290870e-05,5.267839e-05,5.244666e-05,5.221381e-05,5.198014e-05,5.174592e-05,5.151139e-05,5.127679e-05,5.104234e-05,5.080823e-05,5.057467e-05,5.034181e-05,5.010983e-05,4.987887e-05,4.964907e-05,4.942055e-05,4.919345e-05,4.896785e-05,4.874387e-05,4.852160e-05,4.830111e-05
0.000000e+00,1.202001e-08,2.774209e-08,9.643979e-08,2.213493e-07,3.246772e-07,7.497706e-07,7.730014e-07,1.532127e-06,1.815175e-06,2.714876e-06,3.681770e-06,4.450254e-06,6.625826e-06,6.842451e-06,9.906997e-06,1.073510e-05,1.356706e-05,1.583719e-05,1.771760e-05,2.170467e-05,2.226974e-05,2.715618e-05,2.816873e-05,3.232354e-05,3.510605e-05,3.772548e-05,4.241271e-05,4.331876e-05,4.906158e-05,4.999157e-05,5.491323e-05,5.774910e-05,6.083452e-05,6.559657e-05,6.678819e-05,7.273953e-05,7.345200e-05,7.865693e-05,8.124241e-05,8.451200e-05,8.890463e-05,9.027974e-05,9.593889e-05,9.638637e-05,1.014715e-04,1.036457e-04,1.068628e-04,1.106503e-04,1.121010e-04,1.171768e-04,1.173763e-04,1.220832e-04,1.238071e-04,1.268154e-04,1.299321e-04,1.313702e-04,1.357459e-04,1.399420e-04,1.412469e-04,1.439592e-04,1.464369e-04,1.477989e-04,1.513200e-04,1.514633e-04,1.549551e-04,1.559022e-04,1.582774e-04,1.601909e-04,1.614338e-04,1.641945e-04,1.644282e-04,1.672645e-04,1.679222e-04,1.699470e-04,1.713835e-04,1.724798e-04,1.745885e-04,1.748675e-04,1.771143e-04,1.775472e-04,1.792247e-04,1.802697e-04,1.812031e-04,1.827661e-04,1.830539e-04,1.847813e-04,1.850465e-04,1.863897e-04,1.871207e-04,1.878833e-04,1.889982e-04,1.892661e-04,1.905424e-04,1.906886e-04,1.917160e-04,1.922009e-04,1.927909e-04,1.935441e-04,1.937709e-04,1.946596e-04,1.947268e-04,1.954607e-04,1.957573e-04,1.961776e-04,1.966437e-04,1.968140e-04,1.973730e-04,1.973938e-04,1.978579e-04,1.980149e-04,1.982718e-04,1.985143e-04,1.986179e-04,1.988990e-04,1.991180e-04,1.991754e-04,1.992777e-04,1.993500e-04,1.993807e-04,1.994288e-04,1.994297e-04,1.994273e-04,1.994177e-04,1.993757e-04,1.993221e-04,1.992773e-04,1.991475e-04,1.991345e-04,1.989494e-04,1.988989e-04,1.987240e-04,1.985811e-04,1.984605e-04,1.981987e-04,1.981608e-04,1.978268e-04,1.977561e-04,1.974603e-04,1.972575e-04,1.970631e-04,1.967069e-04,1.966368e-04,1.961831e-04,1.961080e-04,1.957035e-04,1.954645e-04,1.951995e-04,1.947797e-04,1.946726e-04,1.941242e-04,1.940570e-04,1.935556e-04,1.932993e-04,1.929680e-04,1.925096e-04,1.923628e-04,1.917410e-04,1.916906e-04,1.911039e-04,1.908449e-04,1.904524e-04,1.899751e-04,1.897877e-04,1.891108e-04,1.890835e-04,1.884225e-04,1.881722e-04,1.877239e-04,1.872433e-04,1.870157e-04,1.862989e-04,1.853408e-04,1.843706e-04,1.833902e-04,1.824010e-04,1.814044e-04,1.804020e-04,1.793948e-04,1.783843e-04,1.773714e-04,1.763572e-04,1.753428e-04,1.743290e-04,1.733168e-04,1.723069e-04,1.713002e-04,1.702971e-04,1.692986e-04,1.683050e-04,1.673171e-04,1.663352e-04,1.653599e-04,1.643917e-04,1.634308e-04,1.624777e-04
0.000000e+00,1.875510e-13,1.499073e-12,3.092626e-11,2.169615e-10,5.189981e-10,3.238109e-09,3.453859e-09,1.396822e-08,1.944300e-08,4.153989e-08,7.205421e-08,1.005873e-07,1.994940e-07,2.107422e-07,3.970627e-07,4.563883e-07,6.899585e-07,9.133023e-07,1.123903e-06,1.650238e-06,1.733764e-06,2.548677e-06,2.738024e-06,3.585494e-06,4.213180e-06,4.844713e-06,6.063126e-06,6.310461e-06,7.954059e-06,8.231175e-06,9.739245e-06,1.063503e-05,1.162727e-05,1.318653e-05,1.358080e-05,1.556633e-05,1.580533e-05,1.755523e-05,1.842519e-05,1.952400e-05,2.099508e-05,2.145385e-05,2.333015e-05,2.347759e-05,2.514184e-05,2.584651e-05,2.688078e-05,2.808452e-05,2.854132e-05,3.011980e-05,3.018119e-05,3.161421e-05,3.213146e-05,3.302391e-05,3.393429e-05,3.434931e-05,3.559172e-05,3.675308e-05,3.710800e-05,3.783589e-05,3.848896e-05,3.884298e-05,3.974146e-05,3.977749e-05,4.064269e-05,4.087299e-05,4.144198e-05,4.189134e-05,4.217877e-05,4.280433e-05,4.285645e-05,4.347834e-05,4.361966e-05,4.404770e-05,4.434476e-05,4.456765e-05,4.498673e-05,4.504120e-05,4.547123e-05,4.555226e-05,4.586048e-05,4.604763e-05,4.621152e-05,4.647868e-05,4.652682e-05,4.680870e-05,4.685085e-05,4.705933e-05,4.716914e-05,4.728076e-05,4.743818e-05,4.747492e-05,4.764363e-05,4.766224e-05,4.778857e-05,4.784523e-05,4.791135e-05,4.799075e-05,4.801344e-05,4.809625e-05,4.810208e-05,4.816108e-05,4.818226e-05,4.820916e-05,4.823405e-05,4.824163e-05,4.825957e-05,4.826000e-05,4.826398e-05,4.826243e-05,4.825579e-05,4.824348e-05,4.823588e-05,4.820508e-05,4.816416e-05,4.814905e-05,4.811383e-05,4.807700e-05,4.805478e-05,4.799045e-05,4.798762e-05,4.791295e-05,4.789078e-05,4.783133e-05,4.777924e-05,4.774327e-05,4.765699e-05,4.764926e-05,4.754976e-05,4.752510e-05,4.744518e-05,4.738455e-05,4.733593e-05,4.723623e-05,4.722239e-05,4.710490e-05,4.708096e-05,4.698380e-05,4.691950e-05,4.685938e-05,4.675253e-05,4.673195e-05,4.660177e-05,4.658071e-05,4.646910e-05,4.640460e-05,4.633417e-05,4.622476e-05,4.619722e-05,4.605844e-05,4.604168e-05,4.591805e-05,4.585581e-05,4.577621e-05,4.566757e-05,4.563312e-05,4.548892e-05,4.547734e-05,4.534378e-05,4.528550e-05,4.519784e-05,4.509234e-05,4.505123e-05,4.490408e-05,4.489819e-05,4.475651e-05,4.470331e-05,4.460864e-05,4.450796e-05,4.446055e-05,4.431236e-05,4.411675e-05,4.392130e-05,4.372621e-05,4.353164e-05,4.333774e-05,4.314466e-05,4.295251e-05,4.276142e-05,4.257149e-05,4.238282e-05,4.219550e-05,4.200961e-05,4.182523e-05,4.164242e-05,4.146123e-05,4.128173e-05,4.110397e-05,4.092797e-05,4.075380e-05,4.058147e-05,4.041102e-05,4.024247e-05,4.007585e-05,3.991118e-05
0.000000e+00,3.902021e-15,3.448585e-14,8.763980e-13,7.433367e-12,1.972912e-11,1.607464e-10,1.733165e-10,9.097856e-10,1.358042e-09,3.450270e-09,6.864390e-09,1.046122e-08,2.510184e-08,2.694029e-08,6.127230e-08,7.349335e-08,1.263956e-07,1.830126e-07,2.410065e-07,4.029479e-07,4.307072e-07,7.289712e-07,8.051921e-07,1.177772e-06,1.487106e-06,1.827722e-06,2.571922e-06,2.737615e-06,3.973354e-06,4.206021e-06,5.606317e-06,6.553119e-06,7.711273e-06,9.786044e-06,1.036403e-05,1.363893e-05,1.407713e-05,1.760641e-05,1.958834e-05,2.233070e-05,2.646211e-05,2.786778e-05,3.426375e-05,3.481366e-05,4.155346e-05,4.472512e-05,4.975969e-05,5.624190e-05,5.889262e-05,6.894976e-05,6.937110e-05,7.991620e-05,8.408191e-05,9.176516e-05,1.003077e-04,1.044589e-04,1.179495e-04,1.321806e-04,1.368806e-04,1.470880e-04,1.569516e-04,1.626017e-04,1.779958e-04,1.786468e-04,1.951451e-04,1.998349e-04,2.120164e-04,2.222845e-04,2.291796e-04,2.451583e-04,2.465541e-04,2.640606e-04,2.682732e-04,2.816220e-04,2.914527e-04,2.991643e-04,3.145298e-04,3.166172e-04,3.339145e-04,3.373499e-04,3.509950e-04,3.597721e-04,3.678019e-04,3.816706e-04,3.842840e-04,4.003948e-04,4.029353e-04,4.160934e-04,4.234716e-04,4.313439e-04,4.432007e-04,4.461154e-04,4.603818e-04,4.620588e-04,4.741218e-04,4.799962e-04,4.873184e-04,4.969764e-04,4.999588e-04,5.120337e-04,5.129751e-04,5.235379e-04,5.279791e-04,5.344690e-04,5.419848e-04,5.448277e-04,5.546173e-04,5.549972e-04,5.638436e-04,5.670287e-04,5.725144e-04,5.780980e-04,5.806392e-04,5.882292e-04,5.952971e-04,5.974508e-04,6.018565e-04,6.057943e-04,6.079220e-04,6.132944e-04,6.135089e-04,6.186332e-04,6.199873e-04,6.233113e-04,6.259109e-04,6.275598e-04,6.311035e-04,6.313956e-04,6.348357e-04,6.356042e-04,6.378968e-04,6.394518e-04,6.405959e-04,6.426847e-04,6.429495e-04,6.449740e-04,6.453409e-04,6.466856e-04,6.474571e-04,6.480999e-04,6.490694e-04,6.492323e-04,6.500978e-04,6.502124e-04,6.507108e-04,6.509196e-04,6.510856e-04,6.512230e-04,6.512357e-04,6.511742e-04,6.511532e-04,6.509139e-04,6.507396e-04,6.504670e-04,6.500097e-04,6.498451e-04,6.490595e-04,6.489899e-04,6.481210e-04,6.477052e-04,6.470400e-04,6.461789e-04,6.458262e-04,6.444892e-04,6.444333e-04,6.430378e-04,6.424890e-04,6.414807e-04,6.403657e-04,6.398261e-04,6.380816e-04,6.356538e-04,6.330984e-04,6.304301e-04,6.276629e-04,6.248097e-04,6.218825e-04,6.188924e-04,6.158498e-04,6.127641e-04,6.096442e-04,6.064982e-04,6.033336e-04,6.001572e-04,5.969755e-04,5.937940e-04,5.906182e-04,5.874529e-04,5.843024e-04,5.811707e-04,5.780615e-04,5.749780e-04,5.719231e-04,5.688994e-04,5.659094e-04
0.000000e+00,2.158704e-13,1.712660e-12,3.480181e-11,2.408525e-10,5.718680e-10,3.498685e-09,3.728745e-09,1.476854e-08,2.043245e-08,4.294489e-08,7.340501e-08,1.014101e-07,1.959348e-07,2.064815e-07,3.766902e-07,4.294215e-07,6.318880e-07,8.195173e-07,9.924446e-07,1.412802e-06,1.478364e-06,2.108100e-06,2.252734e-06,2.897085e-06,3.374149e-06,3.856314e-06,4.797946e-06,4.991465e-06,6.302792e-06,6.528705e-06,7.785664e-06,8.555979e-06,9.431498e-06,1.085782e-05,1.122876e-05,1.316383e-05,1.340459e-05,1.522169e-05,1.616198e-05,1.738647e-05,1.909316e-05,1.964183e-05,2.197131e-05,2.216038e-05,2.435855e-05,2.532603e-05,2.678760e-05,2.855374e-05,2.924308e-05,3.171042e-05,3.180917e-05,3.417600e-05,3.506073e-05,3.662727e-05,3.828011e-05,3.905286e-05,4.144261e-05,4.378761e-05,4.452727e-05,4.608016e-05,4.751680e-05,4.831373e-05,5.039747e-05,5.048295e-05,5.258344e-05,5.315879e-05,5.461184e-05,5.579318e-05,5.656560e-05,5.829565e-05,5.844300e-05,6.024298e-05,6.066339e-05,6.196508e-05,6.289545e-05,6.360937e-05,6.499238e-05,6.517636e-05,6.666692e-05,6.695597e-05,6.808226e-05,6.878897e-05,6.942380e-05,7.049488e-05,7.069321e-05,7.189230e-05,7.207776e-05,7.302302e-05,7.354207e-05,7.408739e-05,7.489253e-05,7.508752e-05,7.602555e-05,7.613405e-05,7.690366e-05,7.727159e-05,7.772400e-05,7.831017e-05,7.848876e-05,7.920007e-05,7.925474e-05,7.986008e-05,8.011018e-05,8.047085e-05,8.088127e-05,8.103444e-05,8.155285e-05,8.157267e-05,8.202803e-05,8.218888e-05,8.246188e-05,8.273424e-05,8.285625e-05,8.321293e-05,8.353365e-05,8.362896e-05,8.382010e-05,8.398619e-05,8.407389e-05,8.428827e-05,8.429660e-05,8.448974e-05,8.453872e-05,8.465477e-05,8.474088e-05,8.479309e-05,8.489791e-05,8.490604e-05,8.499494e-05,8.501284e-05,8.506104e-05,8.508853e-05,8.510552e-05,8.512771e-05,8.512955e-05,8.513424e-05,8.513295e-05,8.512064e-05,8.510668e-05,8.508977e-05,8.505121e-05,8.504261e-05,8.498010e-05,8.496873e-05,8.490313e-05,8.486130e-05,8.481256e-05,8.473086e-05,8.470921e-05,8.459386e-05,8.457925e-05,8.446728e-05,8.440820e-05,8.433016e-05,8.421934e-05,8.418321e-05,8.402707e-05,8.401420e-05,8.386237e-05,8.379422e-05,8.368970e-05,8.356078e-05,8.350965e-05,8.332274e-05,8.331513e-05,8.312951e-05,8.305849e-05,8.293043e-05,8.279197e-05,8.272599e-05,8.251664e-05,8.223347e-05,8.194340e-05,8.164730e-05,8.134597e-05,8.104017e-05,8.073061e-05,8.041794e-05,8.010279e-05,7.978573e-05,7.946728e-05,7.914794e-05,7.882818e-05,7.850841e-05,7.818903e-05,7.787041e-05,7.755288e-05,7.723674e-05,7.692229e-05,7.660979e-05,7.629947e-05,7.599156e-05,7.568625e-05,7.538372e-05,7.508414e-05
0.000000e+00,4.882458e-09,1.126677e-08,3.912102e-08,8.960085e-08,1.312065e-07,3.010574e-07,3.102829e-07,6.089962e-07,7.191902e-07,1.066292e-06,1.435871e-06,1.728671e-06,2.562567e-06,2.646491e-06,3.860526e-06,4.198046e-06,5.382034e-06,6.360122e-06,7.185855e-06,8.970545e-06,9.226291e-06,1.145682e-05,1.192218e-05,1.383877e-05,1.512680e-05,1.634149e-05,1.851874e-05,1.894003e-05,2.161293e-05,2.204618e-05,2.434087e-05,2.566451e-05,2.710588e-05,2.933318e-05,2.989105e-05,3.268047e-05,3.301476e-05,3.545921e-05,3.667489e-05,3.821357e-05,4.028288e-05,4.093112e-05,4.360075e-05,4.381196e-05,4.621280e-05,4.723959e-05,4.875896e-05,5.054745e-05,5.123229e-05,5.362712e-05,5.372121e-05,5.593899e-05,5.675028e-05,5.816455e-05,5.962737e-05,6.030140e-05,6.234805e-05,6.430374e-05,6.491031e-05,6.616836e-05,6.731413e-05,6.794239e-05,6.956108e-05,6.962675e-05,7.122274e-05,7.165401e-05,7.273202e-05,7.359673e-05,7.415646e-05,7.539380e-05,7.549814e-05,7.675933e-05,7.705029e-05,7.794236e-05,7.857163e-05,7.904968e-05,7.996347e-05,8.008378e-05,8.104718e-05,8.123160e-05,8.194241e-05,8.238183e-05,8.277200e-05,8.341995e-05,8.353843e-05,8.424420e-05,8.435166e-05,8.489173e-05,8.518256e-05,8.548340e-05,8.591810e-05,8.602156e-05,8.650849e-05,8.656358e-05,8.694640e-05,8.712411e-05,8.733746e-05,8.760462e-05,8.768376e-05,8.798735e-05,8.800985e-05,8.825019e-05,8.834435e-05,8.847420e-05,8.861247e-05,8.866121e-05,8.881301e-05,8.881837e-05,8.893131e-05,8.896603e-05,8.901778e-05,8.905922e-05,8.907402e-05,8.910156e-05,8.910188e-05,8.909647e-05,8.907641e-05,8.904721e-05,8.902652e-05,8.895688e-05,8.895353e-05,8.885870e-05,8.882840e-05,8.874325e-05,8.866456e-05,8.860834e-05,8.846800e-05,8.845509e-05,8.828457e-05,8.824119e-05,8.809781e-05,8.798651e-05,8.789580e-05,8.770616e-05,8.767948e-05,8.744975e-05,8.740227e-05,8.720747e-05,8.707681e-05,8.695348e-05,8.673164e-05,8.668855e-05,8.641346e-05,8.636854e-05,8.612891e-05,8.598917e-05,8.583560e-05,8.559508e-05,8.553418e-05,8.522529e-05,8.518775e-05,8.490952e-05,8.476855e-05,8.458745e-05,8.433879e-05,8.425961e-05,8.392654e-05,8.389968e-05,8.358871e-05,8.345236e-05,8.324661e-05,8.299790e-05,8.290068e-05,8.255134e-05,8.253730e-05,8.219901e-05,8.207151e-05,8.184406e-05,8.160138e-05,8.148686e-05,8.112776e-05,8.065138e-05,8.017298e-05,7.969321e-05,7.921268e-05,7.873197e-05,7.825161e-05,7.777209e-05,7.729388e-05,7.681738e-05,7.634299e-05,7.587106e-05,7.540193e-05,7.493590e-05,7.447323e-05,7.401420e-05,7.355901e-05,7.310789e-05,7.266101e-05,7.221856e-05,7.178067e-05,7.134749e-05,7.091914e-05,7.049572e-05,7.007732e-05
0.000000e+00,4.152686e-15,3.615043e-14,8.901512e-13,7.335509e-12,1.916463e-11,1.499821e-10,1.614492e-10,8.154166e-10,1.204916e-09,2.987037e-09,5.832710e-09,8.787035e-09,2.059254e-08,2.205963e-08,4.913930e-08,5.868431e-08,9.968001e-08,1.431629e-07,1.874045e-07,3.097196e-07,3.305294e-07,5.516434e-07,6.074810e-07,8.769622e-07,1.096744e-06,1.335056e-06,1.843942e-06,1.955262e-06,2.766023e-06,2.915212e-06,3.793336e-06,4.370075e-06,5.059475e-06,6.256348e-06,6.582048e-06,8.373391e-06,8.606794e-06,1.044029e-05,1.143755e-05,1.278402e-05,1.474808e-05,1.540051e-05,1.828083e-05,1.852228e-05,2.141165e-05,2.273041e-05,2.477590e-05,2.733143e-05,2.835333e-05,3.212126e-05,3.227560e-05,3.605515e-05,3.750705e-05,4.012926e-05,4.296629e-05,4.431719e-05,4.859240e-05,5.292873e-05,5.432507e-05,5.730072e-05,6.010622e-05,6.168405e-05,6.588135e-05,6.605571e-05,7.039434e-05,7.160051e-05,7.468027e-05,7.721906e-05,7.889572e-05,8.269800e-05,8.302480e-05,8.705356e-05,8.800415e-05,9.096993e-05,9.311013e-05,9.476372e-05,9.799412e-05,9.842650e-05,1.019515e-04,1.026395e-04,1.053337e-04,1.070347e-04,1.085693e-04,1.111722e-04,1.116560e-04,1.145926e-04,1.150485e-04,1.173791e-04,1.186636e-04,1.200164e-04,1.220200e-04,1.225062e-04,1.248510e-04,1.251227e-04,1.270536e-04,1.279786e-04,1.291176e-04,1.305960e-04,1.310470e-04,1.328459e-04,1.329843e-04,1.345187e-04,1.351536e-04,1.360701e-04,1.371146e-04,1.375049e-04,1.388277e-04,1.388784e-04,1.400434e-04,1.404558e-04,1.411569e-04,1.418580e-04,1.421727e-04,1.430957e-04,1.439302e-04,1.441794e-04,1.446809e-04,1.451193e-04,1.453520e-04,1.459252e-04,1.459477e-04,1.464719e-04,1.466065e-04,1.469287e-04,1.471720e-04,1.473218e-04,1.476301e-04,1.476546e-04,1.479308e-04,1.479890e-04,1.481535e-04,1.482560e-04,1.483258e-04,1.484383e-04,1.484509e-04,1.485315e-04,1.485425e-04,1.485702e-04,1.485748e-04,1.485698e-04,1.485410e-04,1.485327e-04,1.484611e-04,1.484466e-04,1.483573e-04,1.482966e-04,1.482233e-04,1.480958e-04,1.480612e-04,1.478728e-04,1.478485e-04,1.476598e-04,1.475588e-04,1.474241e-04,1.472306e-04,1.471671e-04,1.468903e-04,1.468674e-04,1.465953e-04,1.464724e-04,1.462832e-04,1.460488e-04,1.459555e-04,1.456133e-04,1.455993e-04,1.452577e-04,1.451266e-04,1.448898e-04,1.446331e-04,1.445106e-04,1.441210e-04,1.435926e-04,1.430496e-04,1.424939e-04,1.419272e-04,1.413510e-04,1.407667e-04,1.401756e-04,1.395790e-04,1.389779e-04,1.383734e-04,1.377664e-04,1.371579e-04,1.365487e-04,1.359394e-04,1.353307e-04,1.347234e-04,1.341180e-04,1.335149e-04,1.329148e-04,1.323180e-04,1.317249e-04,1.311359e-04,1.305514e-04,1.299716e-04
0.000000e+00,2.114133e-14,1.780807e-13,4.092834e-12,3.164168e-11,7.978146e-11,5.686421e-10,6.097607e-10,2.798721e-09,4.027339e-09,9.330074e-09,1.722687e-08,2.500749e-08,5.384912e-08,5.726508e-08,1.164897e-07,1.361442e-07,2.160811e-07,2.953836e-07,3.720983e-07,5.702027e-07,6.023619e-07,9.250919e-07,1.002274e-06,1.357372e-06,1.630422e-06,1.913781e-06,2.485327e-06,2.605419e-06,3.439404e-06,3.586311e-06,4.418782e-06,4.940425e-06,5.542739e-06,6.543231e-06,6.806997e-06,8.204285e-06,8.380458e-06,9.724837e-06,1.042996e-05,1.135687e-05,1.266359e-05,1.308701e-05,1.490073e-05,1.504898e-05,1.678269e-05,1.755105e-05,1.871710e-05,2.013345e-05,2.068810e-05,2.267997e-05,2.275986e-05,2.467751e-05,2.539519e-05,2.666622e-05,2.800654e-05,2.863255e-05,3.056407e-05,3.244958e-05,3.304159e-05,3.427926e-05,3.541699e-05,3.604465e-05,3.767239e-05,3.773871e-05,3.935579e-05,3.979415e-05,4.089155e-05,4.177266e-05,4.234294e-05,4.360202e-05,4.370802e-05,4.498595e-05,4.527967e-05,4.617677e-05,4.680589e-05,4.728139e-05,4.818338e-05,4.830138e-05,4.923889e-05,4.941672e-05,5.009656e-05,5.051198e-05,5.087738e-05,5.147628e-05,5.158464e-05,5.222179e-05,5.231747e-05,5.279245e-05,5.304382e-05,5.330027e-05,5.366375e-05,5.374892e-05,5.414202e-05,5.418563e-05,5.448314e-05,5.461766e-05,5.477574e-05,5.496771e-05,5.502315e-05,5.522858e-05,5.524329e-05,5.539509e-05,5.545146e-05,5.552559e-05,5.559880e-05,5.562283e-05,5.568938e-05,5.569144e-05,5.572768e-05,5.573499e-05,5.574000e-05,5.573462e-05,5.572846e-05,5.569505e-05,5.564161e-05,5.562056e-05,5.556986e-05,5.551506e-05,5.548137e-05,5.538206e-05,5.537763e-05,5.526000e-05,5.522475e-05,5.512974e-05,5.504601e-05,5.498802e-05,5.484844e-05,5.483591e-05,5.467441e-05,5.463436e-05,5.450445e-05,5.440588e-05,5.432685e-05,5.416489e-05,5.414242e-05,5.395187e-05,5.391309e-05,5.375587e-05,5.365200e-05,5.355504e-05,5.338301e-05,5.334993e-05,5.314108e-05,5.310735e-05,5.292897e-05,5.282613e-05,5.271404e-05,5.254036e-05,5.249672e-05,5.227736e-05,5.225092e-05,5.205633e-05,5.195863e-05,5.183395e-05,5.166422e-05,5.161051e-05,5.138630e-05,5.136834e-05,5.116156e-05,5.107157e-05,5.093653e-05,5.077444e-05,5.071142e-05,5.048643e-05,5.047744e-05,5.026175e-05,5.018097e-05,5.003754e-05,4.988543e-05,4.981396e-05,4.959116e-05,4.929846e-05,4.900761e-05,4.871886e-05,4.843242e-05,4.814848e-05,4.786722e-05,4.758879e-05,4.731332e-05,4.704094e-05,4.677173e-05,4.650580e-05,4.624321e-05,4.598404e-05,4.572833e-05,4.547613e-05,4.522747e-05,4.498239e-05,4.474090e-05,4.450301e-05,4.426874e-05,4.403809e-05,4.381104e-05,4.358761e-05,4.336777e-05
0.000000e+00,3.528206e-15,3.116656e-14,7.914144e-13,6.710855e-12,1.781380e-11,1.453674e-10,1.567519e-10,8.261844e-10,1.235280e-09,3.155253e-09,6.313844e-09,9.665878e-09,2.348156e-08,2.523130e-08,5.830880e-08,7.022156e-08,1.223304e-07,1.787598e-07,2.370166e-07,4.010919e-07,4.293469e-07,7.339936e-07,8.119881e-07,1.193149e-06,1.508987e-06,1.855773e-06,2.609358e-06,2.776361e-06,4.013352e-06,4.244668e-06,5.627325e-06,6.553832e-06,7.679084e-06,9.675533e-06,1.022776e-05,1.332898e-05,1.374072e-05,1.703326e-05,1.886577e-05,2.138450e-05,2.514670e-05,2.641886e-05,3.216381e-05,3.265471e-05,3.863746e-05,4.143317e-05,4.584825e-05,5.149609e-05,5.379485e-05,6.246630e-05,6.282798e-05,7.184245e-05,7.538507e-05,8.189448e-05,8.909752e-05,9.258575e-05,1.038726e-04,1.157054e-04,1.195984e-04,1.280295e-04,1.361479e-04,1.407864e-04,1.533833e-04,1.539148e-04,1.673515e-04,1.711603e-04,1.810325e-04,1.893318e-04,1.948940e-04,2.077516e-04,2.088728e-04,2.229077e-04,2.262778e-04,2.369396e-04,2.447750e-04,2.509121e-04,2.631167e-04,2.647723e-04,2.784707e-04,2.811868e-04,2.919616e-04,2.988810e-04,3.052036e-04,3.161069e-04,3.181590e-04,3.307946e-04,3.327846e-04,3.430809e-04,3.488467e-04,3.549926e-04,3.642378e-04,3.665083e-04,3.776103e-04,3.789140e-04,3.882841e-04,3.928420e-04,3.985189e-04,4.059987e-04,4.083067e-04,4.176425e-04,4.183697e-04,4.265237e-04,4.299489e-04,4.349503e-04,4.407370e-04,4.429242e-04,4.504493e-04,4.507410e-04,4.575311e-04,4.599734e-04,4.641767e-04,4.684508e-04,4.703944e-04,4.761936e-04,4.815845e-04,4.832252e-04,4.865782e-04,4.895712e-04,4.911865e-04,4.952591e-04,4.954215e-04,4.992957e-04,5.003176e-04,5.028219e-04,5.047760e-04,5.060131e-04,5.086643e-04,5.088823e-04,5.114425e-04,5.120123e-04,5.137065e-04,5.148499e-04,5.156874e-04,5.172062e-04,5.173976e-04,5.188498e-04,5.191103e-04,5.200560e-04,5.205901e-04,5.210283e-04,5.216728e-04,5.217783e-04,5.223173e-04,5.223847e-04,5.226563e-04,5.227511e-04,5.228060e-04,5.227963e-04,5.227765e-04,5.225779e-04,5.225432e-04,5.222198e-04,5.220140e-04,5.217113e-04,5.212297e-04,5.210613e-04,5.202783e-04,5.202102e-04,5.193705e-04,5.189742e-04,5.183457e-04,5.175396e-04,5.172114e-04,5.159747e-04,5.159232e-04,5.146426e-04,5.141409e-04,5.132214e-04,5.122074e-04,5.117175e-04,5.101368e-04,5.079421e-04,5.056357e-04,5.032291e-04,5.007330e-04,4.981575e-04,4.955119e-04,4.928050e-04,4.900449e-04,4.872391e-04,4.843948e-04,4.815183e-04,4.786159e-04,4.756930e-04,4.727548e-04,4.698063e-04,4.668517e-04,4.638951e-04,4.609404e-04,4.579909e-04,4.550498e-04,4.521201e-04,4.492043e-04,4.463049e-04,4.434241e-04
0.000000e+00,3.338748e-13,2.678896e-12,5.572079e-11,3.939851e-10,9.467194e-10,5.981217e-09,6.383194e-09,2.618455e-08,3.660216e-08,7.910392e-08,1.386292e-07,1.949270e-07,3.934698e-07,4.163168e-07,8.004875e-07,9.246092e-07,1.419096e-06,1.898015e-06,2.353078e-06,3.498394e-06,3.680743e-06,5.462620e-06,5.876826e-06,7.729836e-06,9.101242e-06,1.048064e-05,1.314347e-05,1.368467e-05,1.729165e-05,1.790216e-05,2.124065e-05,2.323885e-05,2.546775e-05,2.900793e-05,2.991106e-05,3.451349e-05,3.507398e-05,3.922381e-05,4.131866e-05,4.399675e-05,4.764149e-05,4.879267e-05,5.357701e-05,5.395833e-05,5.831979e-05,6.019935e-05,6.299519e-05,6.630729e-05,6.758125e-05,7.205947e-05,7.223613e-05,7.641463e-05,7.794992e-05,8.063448e-05,8.342170e-05,8.470945e-05,8.863244e-05,9.239851e-05,9.356996e-05,9.600461e-05,9.822785e-05,9.944933e-05,1.026044e-04,1.027326e-04,1.058557e-04,1.067017e-04,1.088205e-04,1.105246e-04,1.116299e-04,1.140802e-04,1.142873e-04,1.167966e-04,1.173773e-04,1.191621e-04,1.204255e-04,1.213881e-04,1.232353e-04,1.234793e-04,1.254405e-04,1.258175e-04,1.272764e-04,1.281831e-04,1.289918e-04,1.303430e-04,1.305914e-04,1.320799e-04,1.323080e-04,1.334619e-04,1.340887e-04,1.347418e-04,1.356953e-04,1.359242e-04,1.370131e-04,1.371377e-04,1.380129e-04,1.384255e-04,1.389274e-04,1.395678e-04,1.397605e-04,1.405160e-04,1.405732e-04,1.411976e-04,1.414503e-04,1.418086e-04,1.422068e-04,1.423525e-04,1.428324e-04,1.428503e-04,1.432515e-04,1.433880e-04,1.436127e-04,1.438267e-04,1.439188e-04,1.441727e-04,1.443770e-04,1.444322e-04,1.445341e-04,1.446110e-04,1.446465e-04,1.447144e-04,1.447164e-04,1.447462e-04,1.447477e-04,1.447379e-04,1.447155e-04,1.446936e-04,1.446226e-04,1.446151e-04,1.445044e-04,1.444733e-04,1.443633e-04,1.442715e-04,1.441933e-04,1.440212e-04,1.439962e-04,1.437734e-04,1.437259e-04,1.435265e-04,1.433890e-04,1.432569e-04,1.430138e-04,1.429658e-04,1.426547e-04,1.426031e-04,1.423247e-04,1.421600e-04,1.419770e-04,1.416869e-04,1.416127e-04,1.412329e-04,1.411864e-04,1.408386e-04,1.406608e-04,1.404308e-04,1.401124e-04,1.400103e-04,1.395782e-04,1.395431e-04,1.391351e-04,1.389550e-04,1.386819e-04,1.383498e-04,1.382194e-04,1.377483e-04,1.377293e-04,1.372692e-04,1.370950e-04,1.367829e-04,1.364484e-04,1.362900e-04,1.357910e-04,1.351240e-04,1.344487e-04,1.337662e-04,1.330776e-04,1.323838e-04,1.316860e-04,1.309848e-04,1.302811e-04,1.295757e-04,1.288692e-04,1.281624e-04,1.274559e-04,1.267502e-04,1.260458e-04,1.253433e-04,1.246430e-04,1.239454e-04,1.232510e-04,1.225600e-04,1.218728e-04,1.211897e-04,1.205109e-04,1.198368e-04,1.191676e-04
0.000000e+00,2.054363e-13,1.602946e-12,3.147895e-11,2.113036e-10,4.935024e-10,2.896365e-09,3.081716e-09,1.173451e-08,1.606774e-08,3.292897e-08,5.519360e-08,7.531657e-08,1.417549e-07,1.490657e-07,2.652371e-07,3.007031e-07,4.353196e-07,5.584290e-07,6.708649e-07,9.411730e-07,9.830236e-07,1.381757e-06,1.472617e-06,1.874648e-06,2.169631e-06,2.465586e-06,3.037374e-06,3.153872e-06,3.934146e-06,4.066952e-06,4.797153e-06,5.237357e-06,5.731011e-06,6.520276e-06,6.722553e-06,7.758389e-06,7.885046e-06,8.825650e-06,9.302085e-06,9.912397e-06,1.074465e-05,1.100780e-05,1.210217e-05,1.218941e-05,1.318695e-05,1.361646e-05,1.425466e-05,1.500917e-05,1.529883e-05,1.631399e-05,1.635392e-05,1.729557e-05,1.763999e-05,1.823990e-05,1.885927e-05,1.914411e-05,2.000610e-05,2.082444e-05,2.107695e-05,2.159833e-05,2.207015e-05,2.232750e-05,2.298559e-05,2.301213e-05,2.365281e-05,2.382444e-05,2.425045e-05,2.458885e-05,2.480622e-05,2.528172e-05,2.532149e-05,2.579777e-05,2.590646e-05,2.623671e-05,2.646683e-05,2.663999e-05,2.696677e-05,2.700937e-05,2.734658e-05,2.741031e-05,2.765336e-05,2.780143e-05,2.793143e-05,2.814403e-05,2.818244e-05,2.840800e-05,2.844183e-05,2.860965e-05,2.869840e-05,2.878889e-05,2.891710e-05,2.894714e-05,2.908572e-05,2.910109e-05,2.920593e-05,2.925331e-05,2.930895e-05,2.937646e-05,2.939593e-05,2.946794e-05,2.947309e-05,2.952599e-05,2.954551e-05,2.957101e-05,2.959587e-05,2.960391e-05,2.962550e-05,2.962614e-05,2.963657e-05,2.963813e-05,2.963786e-05,2.963349e-05,2.963003e-05,2.961375e-05,2.958959e-05,2.958029e-05,2.955813e-05,2.953440e-05,2.951988e-05,2.947724e-05,2.947534e-05,2.942496e-05,2.940987e-05,2.936918e-05,2.933328e-05,2.930839e-05,2.924836e-05,2.924296e-05,2.917326e-05,2.915593e-05,2.909961e-05,2.905675e-05,2.902231e-05,2.895150e-05,2.894165e-05,2.885791e-05,2.884081e-05,2.877132e-05,2.872526e-05,2.868214e-05,2.860539e-05,2.859059e-05,2.849686e-05,2.848167e-05,2.840115e-05,2.835456e-05,2.830365e-05,2.822447e-05,2.820453e-05,2.810394e-05,2.809178e-05,2.800203e-05,2.795682e-05,2.789896e-05,2.781992e-05,2.779484e-05,2.768980e-05,2.768137e-05,2.758397e-05,2.754143e-05,2.747744e-05,2.740036e-05,2.737032e-05,2.726270e-05,2.725839e-05,2.715468e-05,2.711571e-05,2.704634e-05,2.697253e-05,2.693776e-05,2.682901e-05,2.668533e-05,2.654162e-05,2.639803e-05,2.625468e-05,2.611169e-05,2.596916e-05,2.582719e-05,2.568586e-05,2.554527e-05,2.540547e-05,2.526654e-05,2.512855e-05,2.499154e-05,2.485557e-05,2.472068e-05,2.458692e-05,2.445431e-05,2.432291e-05,2.419273e-05,2.406380e-05,2.393614e-05,2.380979e-05,2.368474e-05,2.356103e-05
0.000000e+00,2.170684e-14,1.936730e-13,5.021175e-12,4.338720e-11,1.163539e-10,9.741981e-10,1.051558e-09,5.675150e-09,8.536340e-09,2.211252e-08,4.469736e-08,6.883225e-08,1.690921e-07,1.818417e-07,4.239124e-07,5.114201e-07,8.955536e-07,1.313620e-06,1.747261e-06,2.978813e-06,3.192342e-06,5.519359e-06,6.121950e-06,9.103044e-06,1.161501e-05,1.441251e-05,2.061879e-05,2.201579e-05,3.258009e-05,3.459481e-05,4.686747e-05,5.529391e-05,6.572602e-05,8.472113e-05,9.007699e-05,1.208984e-04,1.250798e-04,1.592062e-04,1.786992e-04,2.060326e-04,2.479509e-04,2.624050e-04,3.293228e-04,3.351607e-04,4.077363e-04,4.425204e-04,4.985258e-04,5.720061e-04,6.024834e-04,7.202962e-04,7.253054e-04,8.525332e-04,9.037585e-04,9.996344e-04,1.108314e-03,1.161903e-03,1.339502e-03,1.532449e-03,1.597418e-03,1.740623e-03,1.881731e-03,1.963764e-03,2.191698e-03,2.201480e-03,2.453256e-03,2.526189e-03,2.718461e-03,2.883730e-03,2.996365e-03,3.262544e-03,3.286142e-03,3.586893e-03,3.660599e-03,3.897649e-03,4.075664e-03,4.217391e-03,4.505358e-03,4.545061e-03,4.879573e-03,4.947199e-03,5.219826e-03,5.398659e-03,5.564715e-03,5.857201e-03,5.913142e-03,6.264027e-03,6.320325e-03,6.616310e-03,6.785600e-03,6.968966e-03,7.250696e-03,7.321009e-03,7.671496e-03,7.713407e-03,8.019531e-03,8.171671e-03,8.364273e-03,8.623588e-03,8.704934e-03,9.040785e-03,9.067424e-03,9.371151e-03,9.501623e-03,9.695420e-03,9.924804e-03,1.001304e-02,1.032350e-02,1.033577e-02,1.062638e-02,1.073348e-02,1.092128e-02,1.111708e-02,1.120787e-02,1.148587e-02,1.175505e-02,1.183929e-02,1.201522e-02,1.217694e-02,1.226624e-02,1.249853e-02,1.250802e-02,1.274049e-02,1.280391e-02,1.296362e-02,1.309302e-02,1.317742e-02,1.336590e-02,1.338192e-02,1.357720e-02,1.362270e-02,1.376333e-02,1.386361e-02,1.394043e-02,1.408891e-02,1.410863e-02,1.426808e-02,1.429893e-02,1.441893e-02,1.449404e-02,1.456138e-02,1.467467e-02,1.469560e-02,1.482180e-02,1.484126e-02,1.494018e-02,1.499429e-02,1.505095e-02,1.513424e-02,1.515434e-02,1.525055e-02,1.526163e-02,1.533983e-02,1.537697e-02,1.542239e-02,1.548078e-02,1.549846e-02,1.556827e-02,1.557359e-02,1.563204e-02,1.565591e-02,1.569000e-02,1.572825e-02,1.574237e-02,1.578936e-02,1.579113e-02,1.583119e-02,1.584503e-02,1.586808e-02,1.589044e-02,1.590022e-02,1.592783e-02,1.595765e-02,1.598035e-02,1.599635e-02,1.600607e-02,1.600989e-02,1.600820e-02,1.600135e-02,1.598969e-02,1.597355e-02,1.595323e-02,1.592905e-02,1.590128e-02,1.587019e-02,1.583603e-02,1.579905e-02,1.575947e-02,1.571751e-02,1.567337e-02,1.562724e-02,1.557930e-02,1.552972e-02,1.547867e-02,1.542629e-02,1.537273e-02
0.000000e+00,3.838066e-09,9.046832e-09,3.195914e-08,7.334327e-08,1.071718e-07,2.425873e-07,2.498254e-07,4.784448e-07,5.602395e-07,8.103040e-07,1.065813e-06,1.261740e-06,1.795650e-06,1.847802e-06,2.580496e-06,2.778954e-06,3.465130e-06,4.025448e-06,4.496597e-06,5.513802e-06,5.659654e-06,6.933674e-06,7.199898e-06,8.297357e-06,9.035243e-06,9.730843e-06,1.097559e-05,1.121598e-05,1.273603e-05,1.298142e-05,1.427544e-05,1.501697e-05,1.581982e-05,1.704996e-05,1.735592e-05,1.887181e-05,1.905184e-05,2.035692e-05,2.099821e-05,2.180215e-05,2.286912e-05,2.319989e-05,2.454397e-05,2.464903e-05,2.582958e-05,2.632661e-05,2.705318e-05,2.789443e-05,2.821244e-05,2.930603e-05,2.934840e-05,3.033351e-05,3.068727e-05,3.129521e-05,3.191206e-05,3.219209e-05,3.302559e-05,3.379757e-05,3.403197e-05,3.451022e-05,3.493625e-05,3.516589e-05,3.574411e-05,3.576715e-05,3.631661e-05,3.646155e-05,3.681696e-05,3.709472e-05,3.727088e-05,3.764977e-05,3.768104e-05,3.805003e-05,3.813275e-05,3.838040e-05,3.854944e-05,3.867457e-05,3.890537e-05,3.893490e-05,3.916363e-05,3.920578e-05,3.936292e-05,3.945559e-05,3.953479e-05,3.965938e-05,3.968116e-05,3.980386e-05,3.982141e-05,3.990459e-05,3.994562e-05,3.998498e-05,4.003566e-05,4.004653e-05,4.009068e-05,4.009487e-05,4.011875e-05,4.012634e-05,4.013200e-05,4.013287e-05,4.013158e-05,4.011860e-05,4.011705e-05,4.009407e-05,4.008124e-05,4.005895e-05,4.002760e-05,4.001412e-05,3.996041e-05,3.995809e-05,3.989859e-05,3.987450e-05,3.982939e-05,3.977846e-05,3.975347e-05,3.967146e-05,3.958394e-05,3.955485e-05,3.949144e-05,3.942987e-05,3.939448e-05,3.929762e-05,3.929351e-05,3.918897e-05,3.915912e-05,3.908127e-05,3.901528e-05,3.897077e-05,3.886695e-05,3.885783e-05,3.874278e-05,3.871488e-05,3.862589e-05,3.855975e-05,3.850747e-05,3.840218e-05,3.838775e-05,3.826698e-05,3.824272e-05,3.814539e-05,3.808190e-05,3.802317e-05,3.792015e-05,3.790051e-05,3.777758e-05,3.775790e-05,3.765456e-05,3.759551e-05,3.753157e-05,3.743331e-05,3.740877e-05,3.728628e-05,3.727160e-05,3.716420e-05,3.711065e-05,3.704266e-05,3.695069e-05,3.692173e-05,3.680152e-05,3.679194e-05,3.668211e-05,3.663458e-05,3.656356e-05,3.647878e-05,3.644595e-05,3.632933e-05,3.632469e-05,3.621377e-05,3.617244e-05,3.609931e-05,3.602213e-05,3.598600e-05,3.587387e-05,3.572774e-05,3.558381e-05,3.544215e-05,3.530280e-05,3.516580e-05,3.503120e-05,3.489900e-05,3.476924e-05,3.464192e-05,3.451706e-05,3.439464e-05,3.427467e-05,3.415714e-05,3.404204e-05,3.392936e-05,3.381907e-05,3.371117e-05,3.360561e-05,3.350239e-05,3.340147e-05,3.330282e-05,3.320642e-05,3.311223e-05,3.302023e-05
0.000000e+00,1.059693e-09,2.631797e-09,9.832712e-09,2.319751e-08,3.427292e-08,7.929476e-08,8.172339e-08,1.592497e-07,1.873137e-07,2.740096e-07,3.638490e-07,4.335154e-07,6.263230e-07,6.453597e-07,9.156713e-07,9.895989e-07,1.246689e-06,1.457873e-06,1.636186e-06,2.023710e-06,2.079606e-06,2.572180e-06,2.676207e-06,3.109614e-06,3.405502e-06,3.687993e-06,4.202696e-06,4.303518e-06,4.952313e-06,5.058939e-06,5.630322e-06,5.964901e-06,6.333286e-06,6.910643e-06,7.056761e-06,7.796180e-06,7.885762e-06,8.546910e-06,8.879624e-06,9.304341e-06,9.881694e-06,1.006397e-05,1.082147e-05,1.088185e-05,1.157275e-05,1.187066e-05,1.231403e-05,1.283959e-05,1.304183e-05,1.375307e-05,1.378114e-05,1.444504e-05,1.468897e-05,1.511539e-05,1.555787e-05,1.576218e-05,1.638380e-05,1.697902e-05,1.716376e-05,1.754694e-05,1.789580e-05,1.808697e-05,1.857879e-05,1.859872e-05,1.908206e-05,1.921231e-05,1.953707e-05,1.979658e-05,1.996402e-05,2.033241e-05,2.036335e-05,2.073561e-05,2.082099e-05,2.108148e-05,2.126392e-05,2.140173e-05,2.166302e-05,2.169720e-05,2.196879e-05,2.202032e-05,2.221743e-05,2.233796e-05,2.244407e-05,2.261817e-05,2.264971e-05,2.283538e-05,2.286331e-05,2.300214e-05,2.307574e-05,2.315090e-05,2.325757e-05,2.328259e-05,2.339811e-05,2.341093e-05,2.349836e-05,2.353784e-05,2.358417e-05,2.364023e-05,2.365636e-05,2.371575e-05,2.371997e-05,2.376309e-05,2.377882e-05,2.379912e-05,2.381844e-05,2.382452e-05,2.383998e-05,2.384040e-05,2.384611e-05,2.384616e-05,2.384354e-05,2.383711e-05,2.383283e-05,2.381454e-05,2.378918e-05,2.377966e-05,2.375726e-05,2.373359e-05,2.371923e-05,2.367738e-05,2.367553e-05,2.362658e-05,2.361199e-05,2.357278e-05,2.353832e-05,2.351449e-05,2.345720e-05,2.345206e-05,2.338583e-05,2.336941e-05,2.331611e-05,2.327565e-05,2.324319e-05,2.317660e-05,2.316735e-05,2.308885e-05,2.307286e-05,2.300794e-05,2.296498e-05,2.292483e-05,2.285350e-05,2.283976e-05,2.275292e-05,2.273888e-05,2.266451e-05,2.262156e-05,2.257470e-05,2.250196e-05,2.248366e-05,2.239155e-05,2.238043e-05,2.229852e-05,2.225733e-05,2.220471e-05,2.213296e-05,2.211023e-05,2.201523e-05,2.200761e-05,2.191981e-05,2.188154e-05,2.182407e-05,2.175500e-05,2.172811e-05,2.163204e-05,2.162819e-05,2.153592e-05,2.150133e-05,2.143985e-05,2.137459e-05,2.134390e-05,2.124814e-05,2.112213e-05,2.099669e-05,2.087196e-05,2.074803e-05,2.062502e-05,2.050301e-05,2.038209e-05,2.026232e-05,2.014377e-05,2.002649e-05,1.991055e-05,1.979597e-05,1.968280e-05,1.957107e-05,1.946080e-05,1.935203e-05,1.924477e-05,1.913903e-05,1.903483e-05,1.893218e-05,1.883107e-05,1.873152e-05,1.863352e-05,1.853708e-05
0.000000e+00,1.067315e-11,7.109149e-11,1.024613e-09,5.311917e-09,1.087514e-08,4.702358e-08,4.946848e-08,1.467091e-07,1.893821e-07,3.403433e-07,5.219310e-07,6.775382e-07,1.165015e-06,1.217208e-06,2.026192e-06,2.267370e-06,3.161990e-06,3.951301e-06,4.647679e-06,6.228060e-06,6.461453e-06,8.550794e-06,8.996355e-06,1.085545e-05,1.212085e-05,1.332221e-05,1.548844e-05,1.590894e-05,1.858279e-05,1.901686e-05,2.131719e-05,2.264442e-05,2.408938e-05,2.632065e-05,2.687909e-05,2.966791e-05,3.000169e-05,3.243901e-05,3.364872e-05,3.517724e-05,3.722799e-05,3.786917e-05,4.050315e-05,4.071106e-05,4.306933e-05,4.407494e-05,4.555959e-05,4.730190e-05,4.796751e-05,5.028820e-05,5.037916e-05,5.251811e-05,5.329818e-05,5.465496e-05,5.605420e-05,5.669752e-05,5.864540e-05,6.049902e-05,6.107242e-05,6.225941e-05,6.333782e-05,6.392810e-05,6.544555e-05,6.550701e-05,6.699839e-05,6.740064e-05,6.840476e-05,6.920886e-05,6.972874e-05,7.087640e-05,7.097309e-05,7.214065e-05,7.240977e-05,7.323432e-05,7.381556e-05,7.425695e-05,7.510038e-05,7.521141e-05,7.610053e-05,7.627075e-05,7.692708e-05,7.733307e-05,7.769379e-05,7.829355e-05,7.840334e-05,7.905830e-05,7.915819e-05,7.966117e-05,7.993277e-05,8.021440e-05,8.062281e-05,8.072032e-05,8.118122e-05,8.123360e-05,8.159926e-05,8.177018e-05,8.197657e-05,8.223731e-05,8.231514e-05,8.261695e-05,8.263956e-05,8.288384e-05,8.298122e-05,8.311761e-05,8.326639e-05,8.331998e-05,8.349259e-05,8.349890e-05,8.363702e-05,8.368241e-05,8.375478e-05,8.382035e-05,8.384730e-05,8.391598e-05,8.396212e-05,8.397233e-05,8.398699e-05,8.399230e-05,8.399179e-05,8.397859e-05,8.397768e-05,8.394574e-05,8.393375e-05,8.389703e-05,8.386018e-05,8.383255e-05,8.376012e-05,8.375325e-05,8.366004e-05,8.363570e-05,8.355378e-05,8.348889e-05,8.343530e-05,8.332155e-05,8.330538e-05,8.316478e-05,8.313544e-05,8.301420e-05,8.293219e-05,8.285433e-05,8.271333e-05,8.268581e-05,8.250925e-05,8.248029e-05,8.232523e-05,8.223442e-05,8.213432e-05,8.197698e-05,8.193704e-05,8.173388e-05,8.170913e-05,8.152534e-05,8.143199e-05,8.131185e-05,8.114656e-05,8.109385e-05,8.087175e-05,8.085381e-05,8.064593e-05,8.055464e-05,8.041675e-05,8.024987e-05,8.018458e-05,7.994972e-05,7.994028e-05,7.971251e-05,7.962659e-05,7.947322e-05,7.930947e-05,7.923215e-05,7.898955e-05,7.866741e-05,7.834360e-05,7.801860e-05,7.769288e-05,7.736688e-05,7.704099e-05,7.671558e-05,7.639098e-05,7.606751e-05,7.574545e-05,7.542507e-05,7.510661e-05,7.479028e-05,7.447630e-05,7.416485e-05,7.385609e-05,7.355017e-05,7.324724e-05,7.294741e-05,7.265080e-05,7.235751e-05,7.206762e-05,7.178120e-05,7.149833e-05
0.000000e+00,1.558547e-13,1.267932e-12,2.712725e-11,1.966280e-10,4.787340e-10,3.122403e-09,3.336309e-09,1.406505e-08,1.978940e-08,4.338452e-08,7.672703e-08,1.083861e-07,2.201654e-07,2.330133e-07,4.481326e-07,5.172586e-07,7.911665e-07,1.054872e-06,1.304669e-06,1.932793e-06,2.032936e-06,3.016631e-06,3.246989e-06,4.286949e-06,5.067219e-06,5.861458e-06,7.421484e-06,7.742817e-06,9.920151e-06,1.029468e-05,1.237203e-05,1.363826e-05,1.506994e-05,1.738362e-05,1.798135e-05,2.107217e-05,2.145350e-05,2.430838e-05,2.576983e-05,2.765708e-05,3.025812e-05,3.108718e-05,3.456974e-05,3.484979e-05,3.807815e-05,3.948326e-05,4.158828e-05,4.410442e-05,4.507853e-05,4.852982e-05,4.866682e-05,5.192556e-05,5.313162e-05,5.525157e-05,5.746728e-05,5.849598e-05,6.164908e-05,6.470315e-05,6.565853e-05,6.765227e-05,6.948259e-05,7.049214e-05,7.311294e-05,7.321988e-05,7.583381e-05,7.654521e-05,7.833334e-05,7.977823e-05,8.071875e-05,8.281339e-05,8.299105e-05,8.515186e-05,8.565409e-05,8.720328e-05,8.830522e-05,8.914781e-05,9.077275e-05,9.098820e-05,9.272745e-05,9.306344e-05,9.436874e-05,9.518456e-05,9.591531e-05,9.714366e-05,9.737049e-05,9.873763e-05,9.894843e-05,1.000201e-04,1.006065e-04,1.012211e-04,1.021256e-04,1.023441e-04,1.033921e-04,1.035130e-04,1.043684e-04,1.047760e-04,1.052760e-04,1.059217e-04,1.061179e-04,1.068970e-04,1.069567e-04,1.076162e-04,1.078877e-04,1.082782e-04,1.087209e-04,1.088856e-04,1.094409e-04,1.094621e-04,1.099467e-04,1.101171e-04,1.104053e-04,1.106913e-04,1.108188e-04,1.111897e-04,1.115198e-04,1.116172e-04,1.118113e-04,1.119784e-04,1.120660e-04,1.122777e-04,1.122858e-04,1.124726e-04,1.125191e-04,1.126279e-04,1.127067e-04,1.127534e-04,1.128440e-04,1.128508e-04,1.129214e-04,1.129345e-04,1.129667e-04,1.129815e-04,1.129881e-04,1.129882e-04,1.129869e-04,1.129643e-04,1.129573e-04,1.129216e-04,1.128918e-04,1.128598e-04,1.127941e-04,1.127801e-04,1.126836e-04,1.126666e-04,1.125711e-04,1.125118e-04,1.124437e-04,1.123317e-04,1.123023e-04,1.121477e-04,1.121284e-04,1.119808e-04,1.119037e-04,1.118024e-04,1.116595e-04,1.116131e-04,1.114138e-04,1.113974e-04,1.112050e-04,1.111190e-04,1.109875e-04,1.108259e-04,1.107619e-04,1.105287e-04,1.105193e-04,1.102886e-04,1.102005e-04,1.100420e-04,1.098709e-04,1.097895e-04,1.095315e-04,1.091834e-04,1.088277e-04,1.084651e-04,1.080967e-04,1.077232e-04,1.073453e-04,1.069639e-04,1.065795e-04,1.061928e-04,1.058044e-04,1.054147e-04,1.050243e-04,1.046337e-04,1.042432e-04,1.038533e-04,1.034644e-04,1.030767e-04,1.026906e-04,1.023064e-04,1.019244e-04,1.015448e-04,1.011677e-04,1.007935e-04,1.004224e-04
0.000000e+00,4.390804e-09,1.028661e-08,3.623163e-08,8.343966e-08,1.224009e-07,2.816847e-07,2.903452e-07,5.712304e-07,6.750626e-07,1.002767e-06,1.352539e-06,1.630081e-06,2.421440e-06,2.501085e-06,3.650850e-06,3.969136e-06,5.078241e-06,5.983870e-06,6.740072e-06,8.347584e-06,8.574971e-06,1.052828e-05,1.092934e-05,1.255933e-05,1.363614e-05,1.463878e-05,1.640652e-05,1.674441e-05,1.885825e-05,1.919617e-05,2.096502e-05,2.196977e-05,2.305134e-05,2.469770e-05,2.510542e-05,2.711694e-05,2.735502e-05,2.907703e-05,2.992121e-05,3.097825e-05,3.238001e-05,3.281452e-05,3.458107e-05,3.471927e-05,3.627434e-05,3.693055e-05,3.789187e-05,3.900872e-05,3.943216e-05,4.089453e-05,4.095140e-05,4.227906e-05,4.275855e-05,4.358641e-05,4.443189e-05,4.481772e-05,4.597456e-05,4.705879e-05,4.739074e-05,4.807251e-05,4.868534e-05,4.901801e-05,4.986374e-05,4.989770e-05,5.071406e-05,5.093164e-05,5.146964e-05,5.189487e-05,5.216698e-05,5.275928e-05,5.280862e-05,5.339709e-05,5.353069e-05,5.393486e-05,5.421476e-05,5.442434e-05,5.481703e-05,5.486791e-05,5.526785e-05,5.534280e-05,5.562641e-05,5.579721e-05,5.594572e-05,5.618513e-05,5.622786e-05,5.647483e-05,5.651121e-05,5.668855e-05,5.677986e-05,5.687085e-05,5.699526e-05,5.702350e-05,5.714820e-05,5.716136e-05,5.724654e-05,5.728187e-05,5.732009e-05,5.736031e-05,5.737031e-05,5.739861e-05,5.739997e-05,5.740633e-05,5.740395e-05,5.739475e-05,5.737515e-05,5.736509e-05,5.731850e-05,5.731630e-05,5.725609e-05,5.722995e-05,5.717890e-05,5.711848e-05,5.708793e-05,5.698413e-05,5.686839e-05,5.682898e-05,5.674157e-05,5.665497e-05,5.660448e-05,5.646393e-05,5.645789e-05,5.630252e-05,5.625753e-05,5.613906e-05,5.603737e-05,5.596816e-05,5.580490e-05,5.579044e-05,5.560649e-05,5.556148e-05,5.541686e-05,5.530838e-05,5.522207e-05,5.504679e-05,5.502262e-05,5.481897e-05,5.477777e-05,5.461156e-05,5.450236e-05,5.440081e-05,5.422148e-05,5.418710e-05,5.397082e-05,5.393600e-05,5.375230e-05,5.364671e-05,5.353188e-05,5.335437e-05,5.330985e-05,5.308652e-05,5.305965e-05,5.286216e-05,5.276317e-05,5.263701e-05,5.246552e-05,5.241132e-05,5.218532e-05,5.216723e-05,5.195921e-05,5.186878e-05,5.173319e-05,5.157061e-05,5.150744e-05,5.128215e-05,5.127315e-05,5.105746e-05,5.097675e-05,5.083354e-05,5.068177e-05,5.061051e-05,5.038851e-05,5.009724e-05,4.980823e-05,4.952170e-05,4.923787e-05,4.895690e-05,4.867898e-05,4.840424e-05,4.813281e-05,4.786482e-05,4.760035e-05,4.733949e-05,4.708231e-05,4.682888e-05,4.657925e-05,4.633345e-05,4.609153e-05,4.585349e-05,4.561937e-05,4.538916e-05,4.516287e-05,4.494049e-05,4.472202e-05,4.450744e-05,4.429673e-05
0.000000e+00,2.068685e-09,4.784459e-09,1.660709e-08,3.789425e-08,5.531217e-08,1.253643e-07,1.291245e-07,2.486935e-07,2.918340e-07,4.248193e-07,5.622892e-07,6.687114e-07,9.627564e-07,9.917742e-07,1.404408e-06,1.517645e-06,1.913379e-06,2.240793e-06,2.518613e-06,3.124725e-06,3.212219e-06,3.981218e-06,4.142807e-06,4.811467e-06,5.263020e-06,5.689971e-06,6.456894e-06,6.605431e-06,7.548021e-06,7.700757e-06,8.509016e-06,8.974492e-06,9.480545e-06,1.026052e-05,1.045545e-05,1.142725e-05,1.154338e-05,1.239012e-05,1.280960e-05,1.333890e-05,1.404775e-05,1.426909e-05,1.517688e-05,1.524844e-05,1.605910e-05,1.640423e-05,1.691318e-05,1.750955e-05,1.773712e-05,1.852944e-05,1.856046e-05,1.928910e-05,1.955445e-05,2.001549e-05,2.049027e-05,2.070832e-05,2.136759e-05,2.199358e-05,2.218693e-05,2.258674e-05,2.294942e-05,2.314770e-05,2.365663e-05,2.367721e-05,2.417615e-05,2.431049e-05,2.464543e-05,2.491318e-05,2.508606e-05,2.546702e-05,2.549907e-05,2.588550e-05,2.597440e-05,2.624639e-05,2.643773e-05,2.658280e-05,2.685942e-05,2.689577e-05,2.718631e-05,2.724182e-05,2.745544e-05,2.758725e-05,2.770413e-05,2.789792e-05,2.793332e-05,2.814394e-05,2.817597e-05,2.833688e-05,2.842346e-05,2.851299e-05,2.864234e-05,2.867312e-05,2.881806e-05,2.883446e-05,2.894856e-05,2.900160e-05,2.906537e-05,2.914542e-05,2.916919e-05,2.926069e-05,2.926750e-05,2.934052e-05,2.936933e-05,2.940930e-05,2.945230e-05,2.946761e-05,2.951602e-05,2.951775e-05,2.955506e-05,2.956692e-05,2.958525e-05,2.960097e-05,2.960708e-05,2.962101e-05,2.962749e-05,2.962805e-05,2.962694e-05,2.962308e-05,2.961976e-05,2.960700e-05,2.960634e-05,2.958705e-05,2.958065e-05,2.956224e-05,2.954483e-05,2.953223e-05,2.950030e-05,2.949734e-05,2.945787e-05,2.944774e-05,2.941410e-05,2.938782e-05,2.936631e-05,2.932114e-05,2.931476e-05,2.925969e-05,2.924828e-05,2.920134e-05,2.916977e-05,2.913992e-05,2.908611e-05,2.907564e-05,2.900871e-05,2.899777e-05,2.893932e-05,2.890519e-05,2.886764e-05,2.880877e-05,2.879385e-05,2.871811e-05,2.870890e-05,2.864057e-05,2.860592e-05,2.856138e-05,2.850018e-05,2.848068e-05,2.839860e-05,2.839198e-05,2.831527e-05,2.828161e-05,2.823080e-05,2.816934e-05,2.814531e-05,2.805890e-05,2.805543e-05,2.797167e-05,2.794009e-05,2.788372e-05,2.782355e-05,2.779514e-05,2.770602e-05,2.758767e-05,2.746869e-05,2.734924e-05,2.722946e-05,2.710950e-05,2.698948e-05,2.686953e-05,2.674975e-05,2.663026e-05,2.651114e-05,2.639248e-05,2.627436e-05,2.615685e-05,2.604003e-05,2.592395e-05,2.580868e-05,2.569426e-05,2.558074e-05,2.546817e-05,2.535658e-05,2.524601e-05,2.513650e-05,2.502806e-05,2.492073e-05
0.000000e+00,3.540582e-09,8.336182e-09,2.945393e-08,6.771280e-08,9.908996e-08,2.255286e-07,2.323224e-07,4.486134e-07,5.267537e-07,7.678572e-07,1.017171e-06,1.209924e-06,1.738929e-06,1.790699e-06,2.514673e-06,2.708889e-06,3.372176e-06,3.904326e-06,4.345902e-06,5.284599e-06,5.417861e-06,6.571558e-06,6.810743e-06,7.791654e-06,8.447429e-06,9.063380e-06,1.016095e-05,1.037228e-05,1.170427e-05,1.191862e-05,1.304585e-05,1.368947e-05,1.438440e-05,1.544528e-05,1.570841e-05,1.700766e-05,1.716147e-05,1.827336e-05,1.881771e-05,1.949819e-05,2.039805e-05,2.067625e-05,2.180298e-05,2.189079e-05,2.287508e-05,2.328809e-05,2.389034e-05,2.458540e-05,2.484752e-05,2.574620e-05,2.578093e-05,2.658667e-05,2.687513e-05,2.736976e-05,2.787013e-05,2.809676e-05,2.876929e-05,2.938923e-05,2.957684e-05,2.995865e-05,3.029757e-05,3.047973e-05,3.093658e-05,3.095473e-05,3.138594e-05,3.149915e-05,3.177566e-05,3.199052e-05,3.212615e-05,3.241588e-05,3.243965e-05,3.271830e-05,3.278022e-05,3.296421e-05,3.308837e-05,3.317939e-05,3.334487e-05,3.336577e-05,3.352522e-05,3.355403e-05,3.365948e-05,3.371991e-05,3.377025e-05,3.384630e-05,3.385910e-05,3.392756e-05,3.393672e-05,3.397705e-05,3.399446e-05,3.400891e-05,3.402257e-05,3.402443e-05,3.402480e-05,3.402388e-05,3.401116e-05,3.400099e-05,3.398456e-05,3.395631e-05,3.394602e-05,3.389647e-05,3.389205e-05,3.383679e-05,3.381027e-05,3.376782e-05,3.371285e-05,3.369033e-05,3.360506e-05,3.360150e-05,3.351269e-05,3.347782e-05,3.341385e-05,3.334326e-05,3.330915e-05,3.319915e-05,3.308437e-05,3.304671e-05,3.296530e-05,3.288707e-05,3.284241e-05,3.272122e-05,3.271611e-05,3.258681e-05,3.255012e-05,3.245488e-05,3.237460e-05,3.232066e-05,3.219544e-05,3.218448e-05,3.204664e-05,3.201335e-05,3.190742e-05,3.182895e-05,3.176708e-05,3.164284e-05,3.162585e-05,3.148397e-05,3.145553e-05,3.134164e-05,3.126751e-05,3.119905e-05,3.107920e-05,3.105638e-05,3.091379e-05,3.089100e-05,3.077144e-05,3.070324e-05,3.062947e-05,3.051625e-05,3.048800e-05,3.034716e-05,3.033030e-05,3.020705e-05,3.014565e-05,3.006777e-05,2.996253e-05,2.992941e-05,2.979206e-05,2.978112e-05,2.965579e-05,2.960160e-05,2.952068e-05,2.942414e-05,2.938677e-05,2.925414e-05,2.924886e-05,2.912283e-05,2.907589e-05,2.899288e-05,2.890532e-05,2.886434e-05,2.873724e-05,2.857173e-05,2.840884e-05,2.824864e-05,2.809115e-05,2.793641e-05,2.778444e-05,2.763526e-05,2.748888e-05,2.734530e-05,2.720451e-05,2.706651e-05,2.693128e-05,2.679881e-05,2.666908e-05,2.654207e-05,2.641774e-05,2.629607e-05,2.617703e-05,2.606059e-05,2.594670e-05,2.583534e-05,2.572647e-05,2.562004e-05,2.551602e-05
0.000000e+00,5.713378e-09,1.337212e-08,4.703206e-08,1.080450e-07,1.581378e-07,3.603336e-07,3.712088e-07,7.177387e-07,8.430260e-07,1.229865e-06,1.630555e-06,1.941215e-06,2.801262e-06,2.886247e-06,4.096172e-06,4.428510e-06,5.590292e-06,6.551525e-06,7.367143e-06,9.147412e-06,9.404617e-06,1.166970e-05,1.214696e-05,1.412806e-05,1.547224e-05,1.674833e-05,1.905386e-05,1.950243e-05,2.236479e-05,2.283120e-05,2.531157e-05,2.674934e-05,2.832022e-05,3.075729e-05,3.136938e-05,3.443886e-05,3.480765e-05,3.750984e-05,3.885703e-05,4.056502e-05,4.286668e-05,4.358872e-05,4.656701e-05,4.680294e-05,4.948771e-05,5.063747e-05,5.234040e-05,5.434724e-05,5.511632e-05,5.780835e-05,5.791420e-05,6.041081e-05,6.132490e-05,6.291939e-05,6.456997e-05,6.533098e-05,6.764352e-05,6.985591e-05,7.054265e-05,7.196783e-05,7.326686e-05,7.397963e-05,7.581763e-05,7.589224e-05,7.770708e-05,7.819795e-05,7.942593e-05,8.041202e-05,8.105087e-05,8.246491e-05,8.258427e-05,8.402863e-05,8.436232e-05,8.538663e-05,8.611041e-05,8.666102e-05,8.771556e-05,8.785463e-05,8.897031e-05,8.918435e-05,9.001094e-05,9.052335e-05,9.097937e-05,9.173913e-05,9.187844e-05,9.271094e-05,9.283815e-05,9.347963e-05,9.382673e-05,9.418720e-05,9.471101e-05,9.483628e-05,9.542943e-05,9.549697e-05,9.596915e-05,9.619032e-05,9.645785e-05,9.679660e-05,9.689789e-05,9.729154e-05,9.732109e-05,9.764098e-05,9.776886e-05,9.794835e-05,9.814475e-05,9.821568e-05,9.844495e-05,9.845336e-05,9.863806e-05,9.869908e-05,9.879683e-05,9.888608e-05,9.892301e-05,9.901831e-05,9.908433e-05,9.909954e-05,9.912264e-05,9.913331e-05,9.913473e-05,9.912300e-05,9.912204e-05,9.908592e-05,9.907180e-05,9.902771e-05,9.898270e-05,9.894866e-05,9.885857e-05,9.884998e-05,9.873282e-05,9.870207e-05,9.859828e-05,9.851574e-05,9.844742e-05,9.830197e-05,9.828126e-05,9.810075e-05,9.806301e-05,9.790681e-05,9.780096e-05,9.770034e-05,9.751781e-05,9.748215e-05,9.725306e-05,9.721545e-05,9.701383e-05,9.689562e-05,9.676519e-05,9.655997e-05,9.650784e-05,9.624242e-05,9.621006e-05,9.596958e-05,9.584733e-05,9.568991e-05,9.547315e-05,9.540399e-05,9.511235e-05,9.508879e-05,9.481552e-05,9.469544e-05,9.451398e-05,9.429422e-05,9.420820e-05,9.389863e-05,9.388618e-05,9.358568e-05,9.347228e-05,9.326976e-05,9.305343e-05,9.295125e-05,9.263049e-05,9.220424e-05,9.177542e-05,9.134471e-05,9.091274e-05,9.048011e-05,9.004736e-05,8.961500e-05,8.918349e-05,8.875326e-05,8.832472e-05,8.789822e-05,8.747412e-05,8.705270e-05,8.663427e-05,8.621906e-05,8.580732e-05,8.539927e-05,8.499509e-05,8.459495e-05,8.419902e-05,8.380743e-05,8.342031e-05,8.303777e-05,8.265990e-05
0.000000e+00,2.227883e-10,1.013166e-09,7.686730e-09,2.570171e-08,4.334738e-08,1.275110e-07,1.324340e-07,3.025638e-07,3.689954e-07,5.862337e-07,8.268193e-07,1.022176e-06,1.594324e-06,1.652908e-06,2.514853e-06,2.758246e-06,3.620158e-06,4.337478e-06,4.943858e-06,6.249349e-06,6.435394e-06,8.043129e-06,8.374890e-06,9.727264e-06,1.062349e-05,1.145957e-05,1.293675e-05,1.321950e-05,1.499105e-05,1.527468e-05,1.676124e-05,1.760720e-05,1.851924e-05,1.991074e-05,2.025603e-05,2.196418e-05,2.216693e-05,2.363769e-05,2.436179e-05,2.527180e-05,2.648510e-05,2.686288e-05,2.840819e-05,2.852977e-05,2.990581e-05,3.049121e-05,3.135448e-05,3.236677e-05,3.275345e-05,3.410242e-05,3.415534e-05,3.540143e-05,3.585690e-05,3.665081e-05,3.747229e-05,3.785107e-05,3.900292e-05,4.010719e-05,4.045066e-05,4.116482e-05,4.181770e-05,4.217683e-05,4.310644e-05,4.314429e-05,4.406833e-05,4.431943e-05,4.495007e-05,4.545930e-05,4.579069e-05,4.652873e-05,4.659133e-05,4.735320e-05,4.753040e-05,4.807745e-05,4.846703e-05,4.876523e-05,4.934122e-05,4.941768e-05,5.003591e-05,5.015555e-05,5.062109e-05,5.091271e-05,5.117438e-05,5.161527e-05,5.169683e-05,5.218948e-05,5.226561e-05,5.265343e-05,5.286622e-05,5.308968e-05,5.341940e-05,5.349921e-05,5.388300e-05,5.392737e-05,5.424199e-05,5.439234e-05,5.457713e-05,5.481644e-05,5.488932e-05,5.517943e-05,5.520171e-05,5.544831e-05,5.555011e-05,5.569679e-05,5.586352e-05,5.592568e-05,5.613576e-05,5.614378e-05,5.632778e-05,5.639263e-05,5.650248e-05,5.661174e-05,5.666056e-05,5.680273e-05,5.692964e-05,5.696714e-05,5.704195e-05,5.710645e-05,5.714027e-05,5.722207e-05,5.722522e-05,5.729737e-05,5.731536e-05,5.735730e-05,5.738761e-05,5.740554e-05,5.744006e-05,5.744263e-05,5.746907e-05,5.747389e-05,5.748536e-05,5.749022e-05,5.749196e-05,5.749013e-05,5.748934e-05,5.747794e-05,5.747464e-05,5.745818e-05,5.744474e-05,5.743048e-05,5.740135e-05,5.739522e-05,5.735279e-05,5.734536e-05,5.730355e-05,5.727760e-05,5.724786e-05,5.719889e-05,5.718606e-05,5.711847e-05,5.710999e-05,5.704541e-05,5.701161e-05,5.696718e-05,5.690445e-05,5.688407e-05,5.679637e-05,5.678916e-05,5.670433e-05,5.666637e-05,5.660823e-05,5.653665e-05,5.650830e-05,5.640479e-05,5.640058e-05,5.629792e-05,5.625867e-05,5.618791e-05,5.611143e-05,5.607498e-05,5.595933e-05,5.580282e-05,5.564234e-05,5.547827e-05,5.531100e-05,5.514088e-05,5.496826e-05,5.479346e-05,5.461677e-05,5.443848e-05,5.425886e-05,5.407815e-05,5.389660e-05,5.371442e-05,5.353183e-05,5.334902e-05,5.316617e-05,5.298345e-05,5.280103e-05,5.261905e-05,5.243766e-05,5.225698e-05,5.207713e-05,5.189824e-05,5.172040e-05
0.000000e+00,4.080958e-09,9.475313e-09,3.300010e-08,7.535990e-08,1.099959e-07,2.490552e-07,2.565092e-07,4.930742e-07,5.782317e-07,8.401997e-07,1.110276e-06,1.318930e-06,1.893860e-06,1.950487e-06,2.753889e-06,2.973807e-06,3.740631e-06,4.373095e-06,4.908407e-06,6.072211e-06,6.239772e-06,7.708150e-06,8.015761e-06,9.285443e-06,1.014007e-05,1.094613e-05,1.238928e-05,1.266808e-05,1.443198e-05,1.471693e-05,1.622072e-05,1.708356e-05,1.801890e-05,1.945487e-05,1.981264e-05,2.158948e-05,2.180103e-05,2.333838e-05,2.409651e-05,2.504973e-05,2.632015e-05,2.671533e-05,2.832834e-05,2.845493e-05,2.988324e-05,3.048793e-05,3.137575e-05,3.240990e-05,3.280270e-05,3.416195e-05,3.421489e-05,3.545224e-05,3.589974e-05,3.667307e-05,3.746363e-05,3.782463e-05,3.890761e-05,3.992319e-05,4.023418e-05,4.087289e-05,4.144695e-05,4.175852e-05,4.255033e-05,4.258211e-05,4.334586e-05,4.354929e-05,4.405205e-05,4.444913e-05,4.470307e-05,4.525532e-05,4.530129e-05,4.584914e-05,4.597340e-05,4.634901e-05,4.660886e-05,4.680326e-05,4.716709e-05,4.721420e-05,4.758408e-05,4.765333e-05,4.791511e-05,4.807259e-05,4.820940e-05,4.842971e-05,4.846899e-05,4.869587e-05,4.872926e-05,4.889191e-05,4.897559e-05,4.905893e-05,4.917282e-05,4.919866e-05,4.931276e-05,4.932481e-05,4.940280e-05,4.943519e-05,4.947030e-05,4.950739e-05,4.951667e-05,4.954329e-05,4.954461e-05,4.955145e-05,4.954982e-05,4.954237e-05,4.952581e-05,4.951722e-05,4.947710e-05,4.947520e-05,4.942307e-05,4.940041e-05,4.935611e-05,4.930368e-05,4.927717e-05,4.918712e-05,4.908681e-05,4.905267e-05,4.897703e-05,4.890215e-05,4.885853e-05,4.873723e-05,4.873202e-05,4.859816e-05,4.855945e-05,4.845759e-05,4.837027e-05,4.831089e-05,4.817100e-05,4.815862e-05,4.800132e-05,4.796287e-05,4.783947e-05,4.774702e-05,4.767354e-05,4.752450e-05,4.750397e-05,4.733118e-05,4.729627e-05,4.715554e-05,4.706321e-05,4.697742e-05,4.682614e-05,4.679717e-05,4.661510e-05,4.658582e-05,4.643150e-05,4.634292e-05,4.624667e-05,4.609809e-05,4.606086e-05,4.587431e-05,4.585189e-05,4.568727e-05,4.560486e-05,4.549993e-05,4.535748e-05,4.531250e-05,4.512517e-05,4.511019e-05,4.493810e-05,4.486338e-05,4.475146e-05,4.461743e-05,4.456539e-05,4.438005e-05,4.437265e-05,4.419554e-05,4.412935e-05,4.401200e-05,4.388779e-05,4.382953e-05,4.364822e-05,4.341086e-05,4.317588e-05,4.294348e-05,4.271379e-05,4.248696e-05,4.226309e-05,4.204230e-05,4.182466e-05,4.161026e-05,4.139915e-05,4.119139e-05,4.098701e-05,4.078605e-05,4.058854e-05,4.039448e-05,4.020389e-05,4.001676e-05,3.983310e-05,3.965289e-05,3.947612e-05,3.930277e-05,3.913281e-05,3.896623e-05,3.880298e-05
0.000000e+00,4.416529e-13,3.530391e-12,7.279865e-11,5.102761e-10,1.220034e-09,7.607106e-09,8.114046e-09,3.287622e-08,4.581580e-08,9.833617e-08,1.715336e-07,2.405642e-07,4.830954e-07,5.109227e-07,9.759329e-07,1.124819e-06,1.710208e-06,2.264399e-06,2.779002e-06,4.023947e-06,4.215823e-06,6.007579e-06,6.404016e-06,8.095385e-06,9.268738e-06,1.038885e-05,1.239940e-05,1.278570e-05,1.518920e-05,1.556874e-05,1.751926e-05,1.859350e-05,1.971704e-05,2.135395e-05,2.174469e-05,2.358220e-05,2.378951e-05,2.522332e-05,2.588381e-05,2.667146e-05,2.764876e-05,2.793627e-05,2.903106e-05,2.911174e-05,2.997089e-05,3.030693e-05,3.077134e-05,3.126995e-05,3.144767e-05,3.201433e-05,3.203491e-05,3.248472e-05,3.263288e-05,3.287103e-05,3.309133e-05,3.318421e-05,3.343397e-05,3.362888e-05,3.368092e-05,3.377641e-05,3.384899e-05,3.388303e-05,3.395211e-05,3.395435e-05,3.399516e-05,3.400170e-05,3.400961e-05,3.400711e-05,3.400121e-05,3.397590e-05,3.397298e-05,3.392750e-05,3.391427e-05,3.386698e-05,3.382723e-05,3.379331e-05,3.371891e-05,3.370812e-05,3.361283e-05,3.359266e-05,3.350864e-05,3.345131e-05,3.339663e-05,3.329718e-05,3.327772e-05,3.315274e-05,3.313223e-05,3.302241e-05,3.295815e-05,3.288738e-05,3.277634e-05,3.274821e-05,3.260542e-05,3.258807e-05,3.245949e-05,3.239439e-05,3.231082e-05,3.219625e-05,3.215981e-05,3.200678e-05,3.199447e-05,3.185207e-05,3.178977e-05,3.169594e-05,3.158281e-05,3.153867e-05,3.138049e-05,3.137415e-05,3.122163e-05,3.116432e-05,3.106229e-05,3.095376e-05,3.090265e-05,3.074289e-05,3.058316e-05,3.053208e-05,3.042360e-05,3.032164e-05,3.026436e-05,3.011189e-05,3.010555e-05,2.994728e-05,2.990308e-05,2.978966e-05,2.969544e-05,2.963278e-05,2.948919e-05,2.947674e-05,2.932160e-05,2.928451e-05,2.916745e-05,2.908158e-05,2.901435e-05,2.888054e-05,2.886236e-05,2.871154e-05,2.868152e-05,2.856194e-05,2.848465e-05,2.841361e-05,2.829001e-05,2.826658e-05,2.812089e-05,2.809771e-05,2.797659e-05,2.790782e-05,2.783369e-05,2.772040e-05,2.769223e-05,2.755222e-05,2.753552e-05,2.741370e-05,2.735322e-05,2.727667e-05,2.717355e-05,2.714116e-05,2.700718e-05,2.699653e-05,2.687474e-05,2.682219e-05,2.674384e-05,2.665056e-05,2.661450e-05,2.648672e-05,2.648164e-05,2.636050e-05,2.631544e-05,2.623585e-05,2.615198e-05,2.611276e-05,2.599125e-05,2.583324e-05,2.567795e-05,2.552536e-05,2.537547e-05,2.522826e-05,2.508370e-05,2.494179e-05,2.480249e-05,2.466578e-05,2.453163e-05,2.440002e-05,2.427092e-05,2.414430e-05,2.402013e-05,2.389837e-05,2.377899e-05,2.366197e-05,2.354726e-05,2.343484e-05,2.332467e-05,2.321670e-05,2.311092e-05,2.300729e-05,2.290576e-05
0.000000e+00,1.614633e-13,1.325504e-12,2.888521e-11,2.128097e-10,5.226630e-10,3.482878e-09,3.724590e-09,1.600679e-08,2.262934e-08,5.015920e-08,8.939154e-08,1.268245e-07,2.595686e-07,2.748521e-07,5.307881e-07,6.129468e-07,9.378401e-07,1.249709e-06,1.544524e-06,2.284869e-06,2.402937e-06,3.566341e-06,3.840194e-06,5.085714e-06,6.031561e-06,7.005306e-06,8.951460e-06,9.357891e-06,1.216091e-05,1.265144e-05,1.541448e-05,1.713188e-05,1.910174e-05,2.234298e-05,2.319110e-05,2.763975e-05,2.819540e-05,3.239750e-05,3.457497e-05,3.741035e-05,4.135699e-05,4.262352e-05,4.798369e-05,4.841732e-05,5.344053e-05,5.563980e-05,5.894769e-05,6.292033e-05,6.446333e-05,6.995030e-05,7.016871e-05,7.537615e-05,7.730897e-05,8.071290e-05,8.427877e-05,8.593690e-05,9.102847e-05,9.597156e-05,9.751983e-05,1.007535e-04,1.037247e-04,1.053644e-04,1.096234e-04,1.097972e-04,1.140471e-04,1.152038e-04,1.181112e-04,1.204598e-04,1.219882e-04,1.253902e-04,1.256786e-04,1.291837e-04,1.299977e-04,1.325061e-04,1.342880e-04,1.356491e-04,1.382695e-04,1.386165e-04,1.414127e-04,1.419518e-04,1.440426e-04,1.453462e-04,1.465114e-04,1.484644e-04,1.488241e-04,1.509864e-04,1.513188e-04,1.530036e-04,1.539220e-04,1.548813e-04,1.562866e-04,1.566249e-04,1.582398e-04,1.584252e-04,1.597314e-04,1.603500e-04,1.611050e-04,1.620731e-04,1.623656e-04,1.635183e-04,1.636060e-04,1.645679e-04,1.649600e-04,1.655192e-04,1.661459e-04,1.663768e-04,1.671451e-04,1.671740e-04,1.678283e-04,1.680543e-04,1.684307e-04,1.687962e-04,1.689562e-04,1.694087e-04,1.697918e-04,1.699004e-04,1.701092e-04,1.702794e-04,1.703642e-04,1.705534e-04,1.705602e-04,1.707002e-04,1.707298e-04,1.707873e-04,1.708155e-04,1.708245e-04,1.708169e-04,1.708145e-04,1.707599e-04,1.707404e-04,1.706633e-04,1.705918e-04,1.705271e-04,1.703764e-04,1.703538e-04,1.701454e-04,1.700997e-04,1.699042e-04,1.697664e-04,1.696321e-04,1.693812e-04,1.693312e-04,1.690032e-04,1.689483e-04,1.686500e-04,1.684720e-04,1.682732e-04,1.679559e-04,1.678745e-04,1.674553e-04,1.674037e-04,1.670172e-04,1.668188e-04,1.665615e-04,1.662043e-04,1.660896e-04,1.656028e-04,1.655632e-04,1.651022e-04,1.648983e-04,1.645889e-04,1.642122e-04,1.640642e-04,1.635289e-04,1.635073e-04,1.629841e-04,1.627858e-04,1.624307e-04,1.620500e-04,1.618697e-04,1.613017e-04,1.605429e-04,1.597752e-04,1.590002e-04,1.582195e-04,1.574344e-04,1.566462e-04,1.558561e-04,1.550652e-04,1.542745e-04,1.534850e-04,1.526974e-04,1.519127e-04,1.511316e-04,1.503547e-04,1.495826e-04,1.488160e-04,1.480553e-04,1.473010e-04,1.465535e-04,1.458132e-04,1.450805e-04,1.443557e-04,1.436390e-04,1.429306e-04
0.000000e+00,5.469125e-09,1.358449e-08,5.087812e-08,1.204727e-07,1.784287e-07,4.160019e-07,4.288939e-07,8.436634e-07,9.951128e-07,1.466338e-06,1.958856e-06,2.343049e-06,3.414390e-06,3.520751e-06,5.042859e-06,5.463380e-06,6.941852e-06,8.175439e-06,9.229496e-06,1.155074e-05,1.188798e-05,1.486831e-05,1.549701e-05,1.810031e-05,1.985530e-05,2.150905e-05,2.445977e-05,2.502779e-05,2.860278e-05,2.917708e-05,3.219256e-05,3.391127e-05,3.576532e-05,3.859447e-05,3.929634e-05,4.276622e-05,4.317773e-05,4.615961e-05,4.762526e-05,4.946446e-05,5.191107e-05,5.267139e-05,5.577333e-05,5.601678e-05,5.876511e-05,5.993014e-05,6.164321e-05,6.364379e-05,6.440548e-05,6.705089e-05,6.715428e-05,6.957940e-05,7.046115e-05,7.199169e-05,7.356632e-05,7.428910e-05,7.647344e-05,7.854692e-05,7.918742e-05,8.051206e-05,8.171414e-05,8.237158e-05,8.406007e-05,8.412841e-05,8.578554e-05,8.623210e-05,8.734610e-05,8.823738e-05,8.881322e-05,9.008316e-05,9.019006e-05,9.147978e-05,9.177670e-05,9.268553e-05,9.332522e-05,9.381040e-05,9.473584e-05,9.485748e-05,9.582977e-05,9.601551e-05,9.673022e-05,9.717103e-05,9.756173e-05,9.820898e-05,9.832711e-05,9.902913e-05,9.913575e-05,9.967045e-05,9.995749e-05,1.002537e-04,1.006801e-04,1.007814e-04,1.012559e-04,1.013094e-04,1.016798e-04,1.018508e-04,1.020552e-04,1.023095e-04,1.023844e-04,1.026696e-04,1.026906e-04,1.029129e-04,1.029989e-04,1.031161e-04,1.032389e-04,1.032814e-04,1.034106e-04,1.034150e-04,1.035054e-04,1.035315e-04,1.035676e-04,1.035922e-04,1.035990e-04,1.036010e-04,1.035752e-04,1.035614e-04,1.035232e-04,1.034768e-04,1.034464e-04,1.033505e-04,1.033461e-04,1.032236e-04,1.031855e-04,1.030803e-04,1.029848e-04,1.029173e-04,1.027511e-04,1.027359e-04,1.025371e-04,1.024869e-04,1.023220e-04,1.021948e-04,1.020916e-04,1.018771e-04,1.018470e-04,1.015890e-04,1.015359e-04,1.013186e-04,1.011733e-04,1.010366e-04,1.007914e-04,1.007439e-04,1.004412e-04,1.003918e-04,1.001292e-04,9.997647e-05,9.980884e-05,9.954687e-05,9.948063e-05,9.914527e-05,9.910458e-05,9.880339e-05,9.865105e-05,9.845557e-05,9.818762e-05,9.810239e-05,9.774439e-05,9.771556e-05,9.738208e-05,9.723606e-05,9.701594e-05,9.675022e-05,9.664645e-05,9.627405e-05,9.625910e-05,9.589915e-05,9.576365e-05,9.552216e-05,9.526480e-05,9.514345e-05,9.476338e-05,9.426018e-05,9.375594e-05,9.325134e-05,9.274701e-05,9.224355e-05,9.174149e-05,9.124133e-05,9.074355e-05,9.024856e-05,8.975676e-05,8.926852e-05,8.878415e-05,8.830396e-05,8.782823e-05,8.735719e-05,8.689108e-05,8.643009e-05,8.597440e-05,8.552418e-05,8.507956e-05,8.464068e-05,8.420763e-05,8.378051e-05,8.335939e-05
0.000000e+00,1.093336e-09,2.622100e-09,9.447169e-09,2.190782e-08,3.214938e-08,7.336741e-08,7.557642e-08,1.454776e-07,1.705142e-07,2.470452e-07,3.251479e-07,3.849399e-07,5.473776e-07,5.632056e-07,7.849474e-07,8.448474e-07,1.051678e-06,1.220510e-06,1.362621e-06,1.670420e-06,1.714699e-06,2.103354e-06,2.185027e-06,2.523468e-06,2.752632e-06,2.969843e-06,3.361348e-06,3.437365e-06,3.921043e-06,3.999606e-06,4.416062e-06,4.656344e-06,4.917840e-06,5.321238e-06,5.422092e-06,5.924897e-06,5.984965e-06,6.422737e-06,6.639405e-06,6.912533e-06,7.277759e-06,7.391647e-06,7.857879e-06,7.894565e-06,8.309444e-06,8.485639e-06,8.744946e-06,9.047960e-06,9.163337e-06,9.563881e-06,9.579524e-06,9.946113e-06,1.007918e-05,1.030980e-05,1.054650e-05,1.065492e-05,1.098159e-05,1.129006e-05,1.138499e-05,1.158070e-05,1.175756e-05,1.185396e-05,1.210040e-05,1.211034e-05,1.235040e-05,1.241477e-05,1.257473e-05,1.270204e-05,1.278395e-05,1.296361e-05,1.297867e-05,1.315951e-05,1.320092e-05,1.332712e-05,1.341542e-05,1.348209e-05,1.360850e-05,1.362503e-05,1.375655e-05,1.378154e-05,1.387722e-05,1.393586e-05,1.398759e-05,1.407274e-05,1.408821e-05,1.417959e-05,1.419339e-05,1.426223e-05,1.429894e-05,1.433662e-05,1.439049e-05,1.440320e-05,1.446243e-05,1.446906e-05,1.451472e-05,1.453563e-05,1.456047e-05,1.459110e-05,1.460006e-05,1.463386e-05,1.463632e-05,1.466221e-05,1.467210e-05,1.468545e-05,1.469919e-05,1.470388e-05,1.471782e-05,1.471828e-05,1.472753e-05,1.473004e-05,1.473329e-05,1.473508e-05,1.473535e-05,1.473396e-05,1.472934e-05,1.472722e-05,1.472172e-05,1.471535e-05,1.471129e-05,1.469882e-05,1.469825e-05,1.468280e-05,1.467806e-05,1.466509e-05,1.465346e-05,1.464530e-05,1.462539e-05,1.462359e-05,1.460009e-05,1.459420e-05,1.457496e-05,1.456022e-05,1.454832e-05,1.452372e-05,1.452029e-05,1.449100e-05,1.448500e-05,1.446055e-05,1.444430e-05,1.442905e-05,1.440186e-05,1.439660e-05,1.436329e-05,1.435789e-05,1.432921e-05,1.431260e-05,1.429444e-05,1.426618e-05,1.425906e-05,1.422314e-05,1.421879e-05,1.418674e-05,1.417060e-05,1.414995e-05,1.412174e-05,1.411280e-05,1.407537e-05,1.407236e-05,1.403770e-05,1.402257e-05,1.399984e-05,1.397250e-05,1.396185e-05,1.392376e-05,1.392223e-05,1.388562e-05,1.387188e-05,1.384746e-05,1.382152e-05,1.380932e-05,1.377124e-05,1.372110e-05,1.367118e-05,1.362153e-05,1.357221e-05,1.352327e-05,1.347475e-05,1.342669e-05,1.337913e-05,1.333209e-05,1.328562e-05,1.323973e-05,1.319444e-05,1.314977e-05,1.310575e-05,1.306238e-05,1.301967e-05,1.297765e-05,1.293630e-05,1.289565e-05,1.285569e-05,1.281643e-05,1.277787e-05,1.274002e-05,1.270286e-05
0.000000e+00,1.689346e-15,1.510607e-14,3.935168e-13,3.415594e-12,9.182877e-12,7.740332e-11,8.357329e-11,4.542198e-10,6.845763e-10,1.782466e-09,3.618683e-09,5.588977e-09,1.382418e-08,1.487551e-08,3.494479e-08,4.223726e-08,7.440585e-08,1.096272e-07,1.463288e-07,2.512186e-07,2.694814e-07,4.695471e-07,5.216028e-07,7.802127e-07,9.992190e-07,1.244015e-06,1.789652e-06,1.912867e-06,2.848202e-06,3.027184e-06,4.120733e-06,4.874313e-06,5.809804e-06,7.519181e-06,8.002371e-06,1.079167e-05,1.117109e-05,1.427558e-05,1.605446e-05,1.855485e-05,2.240155e-05,2.373105e-05,2.990461e-05,3.044452e-05,3.717271e-05,4.040723e-05,4.562730e-05,5.249724e-05,5.535322e-05,6.642647e-05,6.689839e-05,7.891264e-05,8.376433e-05,9.286571e-05,1.032133e-04,1.083269e-04,1.253240e-04,1.438709e-04,1.501335e-04,1.639671e-04,1.776357e-04,1.855982e-04,2.077819e-04,2.087359e-04,2.333384e-04,2.404825e-04,2.593514e-04,2.756091e-04,2.867087e-04,3.129989e-04,3.153335e-04,3.451393e-04,3.524580e-04,3.760311e-04,3.937671e-04,4.079069e-04,4.366858e-04,4.406586e-04,4.741737e-04,4.809582e-04,5.083364e-04,5.263178e-04,5.430288e-04,5.724927e-04,5.781320e-04,6.135274e-04,6.192100e-04,6.490980e-04,6.662001e-04,6.847285e-04,7.132007e-04,7.203070e-04,7.557254e-04,7.599599e-04,7.908801e-04,8.062390e-04,8.256725e-04,8.518150e-04,8.600096e-04,8.938044e-04,8.964820e-04,9.269758e-04,9.400530e-04,9.594496e-04,9.823603e-04,9.911577e-04,1.022039e-03,1.023256e-03,1.052038e-03,1.062613e-03,1.081108e-03,1.100322e-03,1.109205e-03,1.136295e-03,1.162349e-03,1.170463e-03,1.187341e-03,1.202771e-03,1.211255e-03,1.233185e-03,1.234076e-03,1.255798e-03,1.261682e-03,1.276416e-03,1.288258e-03,1.295932e-03,1.312917e-03,1.314350e-03,1.331680e-03,1.335678e-03,1.347932e-03,1.356569e-03,1.363123e-03,1.375626e-03,1.377269e-03,1.390392e-03,1.392895e-03,1.402512e-03,1.408427e-03,1.413655e-03,1.422279e-03,1.423846e-03,1.433113e-03,1.434512e-03,1.441483e-03,1.445191e-03,1.448987e-03,1.454385e-03,1.455653e-03,1.461512e-03,1.462163e-03,1.466596e-03,1.468595e-03,1.470935e-03,1.473754e-03,1.474560e-03,1.477503e-03,1.477710e-03,1.479794e-03,1.480534e-03,1.481463e-03,1.482297e-03,1.482541e-03,1.483057e-03,1.483067e-03,1.483041e-03,1.482911e-03,1.482521e-03,1.481893e-03,1.481524e-03,1.480078e-03,1.477526e-03,1.474295e-03,1.470442e-03,1.466019e-03,1.461077e-03,1.455665e-03,1.449829e-03,1.443611e-03,1.437052e-03,1.430190e-03,1.423061e-03,1.415699e-03,1.408135e-03,1.400398e-03,1.392516e-03,1.384514e-03,1.376415e-03,1.368241e-03,1.360011e-03,1.351745e-03,1.343458e-03,1.335167e-03,1.326886e-03,1.318627e-03
0.000000e+00,3.141492e-13,2.426953e-12,4.672179e-11,3.082645e-10,7.134725e-10,4.096928e-09,4.355458e-09,1.627149e-08,2.217573e-08,4.495848e-08,7.478469e-08,1.016022e-07,1.896770e-07,1.993433e-07,3.526864e-07,3.994658e-07,5.771090e-07,7.398184e-07,8.886935e-07,1.247741e-06,1.303471e-06,1.836150e-06,1.957921e-06,2.498113e-06,2.895602e-06,3.295052e-06,4.067697e-06,4.225148e-06,5.278646e-06,5.457635e-06,6.439149e-06,7.028228e-06,7.686017e-06,8.730730e-06,8.996989e-06,1.035035e-05,1.051463e-05,1.172631e-05,1.233437e-05,1.310768e-05,1.415213e-05,1.447997e-05,1.583126e-05,1.593815e-05,1.715186e-05,1.766971e-05,1.843399e-05,1.932982e-05,1.967155e-05,2.085980e-05,2.090625e-05,2.199524e-05,2.239055e-05,2.307535e-05,2.377737e-05,2.409852e-05,2.506389e-05,2.597123e-05,2.624936e-05,2.682086e-05,2.733468e-05,2.761356e-05,2.832203e-05,2.835045e-05,2.903297e-05,2.921456e-05,2.966278e-05,3.001611e-05,3.024170e-05,3.073106e-05,3.077170e-05,3.125482e-05,3.136403e-05,3.169316e-05,3.191985e-05,3.208881e-05,3.240336e-05,3.244390e-05,3.276051e-05,3.281940e-05,3.304070e-05,3.317268e-05,3.328648e-05,3.346776e-05,3.349978e-05,3.368251e-05,3.370903e-05,3.383648e-05,3.390069e-05,3.396344e-05,3.404670e-05,3.406508e-05,3.414300e-05,3.415083e-05,3.419874e-05,3.421661e-05,3.423375e-05,3.424737e-05,3.424945e-05,3.424715e-05,3.424623e-05,3.422812e-05,3.421608e-05,3.419354e-05,3.415965e-05,3.414455e-05,3.408222e-05,3.407946e-05,3.400757e-05,3.397786e-05,3.392155e-05,3.385703e-05,3.382508e-05,3.371899e-05,3.360411e-05,3.356562e-05,3.348119e-05,3.339864e-05,3.335095e-05,3.321965e-05,3.321405e-05,3.307114e-05,3.303013e-05,3.292280e-05,3.283143e-05,3.276960e-05,3.262481e-05,3.261206e-05,3.245067e-05,3.241142e-05,3.228589e-05,3.219230e-05,3.211816e-05,3.196843e-05,3.194787e-05,3.177541e-05,3.174069e-05,3.160113e-05,3.150990e-05,3.142536e-05,3.127678e-05,3.124840e-05,3.107055e-05,3.104202e-05,3.089206e-05,3.080623e-05,3.071318e-05,3.056996e-05,3.053415e-05,3.035518e-05,3.033372e-05,3.017647e-05,3.009796e-05,2.999819e-05,2.986309e-05,2.982051e-05,2.964360e-05,2.962949e-05,2.946760e-05,2.939748e-05,2.929263e-05,2.916736e-05,2.911882e-05,2.894628e-05,2.893940e-05,2.877510e-05,2.871383e-05,2.860539e-05,2.849086e-05,2.843722e-05,2.827066e-05,2.805340e-05,2.783922e-05,2.762822e-05,2.742052e-05,2.721619e-05,2.701530e-05,2.681791e-05,2.662406e-05,2.643377e-05,2.624708e-05,2.606399e-05,2.588450e-05,2.570862e-05,2.553632e-05,2.536759e-05,2.520241e-05,2.504075e-05,2.488257e-05,2.472785e-05,2.457653e-05,2.442858e-05,2.428395e-05,2.414260e-05,2.400446e-05
0.000000e+00,1.558217e-15,1.389587e-14,3.598844e-13,3.106595e-12,8.326360e-12,6.960572e-11,7.512813e-11,4.047877e-10,6.085811e-10,1.574564e-09,3.179559e-09,4.893121e-09,1.200197e-08,1.290522e-08,3.003591e-08,3.622230e-08,6.335406e-08,9.285122e-08,1.234240e-07,2.101702e-07,2.252016e-07,3.889130e-07,4.312858e-07,6.408380e-07,8.173562e-07,1.013905e-06,1.449881e-06,1.548009e-06,2.289987e-06,2.431476e-06,3.293224e-06,3.884755e-06,4.616885e-06,5.949304e-06,6.324821e-06,8.484186e-06,8.776910e-06,1.116386e-05,1.252556e-05,1.443277e-05,1.735267e-05,1.835810e-05,2.300362e-05,2.340818e-05,2.842804e-05,3.082784e-05,3.468354e-05,3.972736e-05,4.181449e-05,4.985641e-05,5.019744e-05,5.883514e-05,6.230014e-05,6.876628e-05,7.606650e-05,7.965492e-05,9.149555e-05,1.042722e-04,1.085545e-04,1.179590e-04,1.271801e-04,1.325203e-04,1.472811e-04,1.479121e-04,1.640821e-04,1.687412e-04,1.809711e-04,1.914228e-04,1.985141e-04,2.151710e-04,2.166409e-04,2.352775e-04,2.398177e-04,2.543471e-04,2.651859e-04,2.737710e-04,2.910939e-04,2.934696e-04,3.133634e-04,3.173586e-04,3.333738e-04,3.437998e-04,3.534241e-04,3.702424e-04,3.734395e-04,3.933486e-04,3.965196e-04,4.130833e-04,4.224749e-04,4.325793e-04,4.479638e-04,4.517766e-04,4.706199e-04,4.728549e-04,4.890583e-04,4.970310e-04,5.070459e-04,5.203895e-04,5.245416e-04,5.415089e-04,5.428425e-04,5.579166e-04,5.643168e-04,5.737378e-04,5.847531e-04,5.889501e-04,6.035357e-04,6.041059e-04,6.174809e-04,6.223423e-04,6.307757e-04,6.394415e-04,6.434141e-04,6.553933e-04,6.667139e-04,6.701979e-04,6.773793e-04,6.838639e-04,6.873955e-04,6.964081e-04,6.967710e-04,7.055163e-04,7.078538e-04,7.136441e-04,7.182302e-04,7.211685e-04,7.275714e-04,7.281051e-04,7.344706e-04,7.359153e-04,7.402830e-04,7.433032e-04,7.455608e-04,7.497784e-04,7.503234e-04,7.545906e-04,7.553863e-04,7.583826e-04,7.601733e-04,7.617196e-04,7.641862e-04,7.646223e-04,7.671108e-04,7.674720e-04,7.692057e-04,7.700772e-04,7.709268e-04,7.720479e-04,7.722940e-04,7.733267e-04,7.734290e-04,7.740438e-04,7.742642e-04,7.744640e-04,7.745957e-04,7.746051e-04,7.744848e-04,7.744644e-04,7.741199e-04,7.739091e-04,7.735267e-04,7.729671e-04,7.727210e-04,7.717179e-04,7.716739e-04,7.705316e-04,7.700625e-04,7.691763e-04,7.681649e-04,7.676651e-04,7.660104e-04,7.636272e-04,7.610410e-04,7.582765e-04,7.553561e-04,7.523009e-04,7.491304e-04,7.458625e-04,7.425138e-04,7.390994e-04,7.356333e-04,7.321281e-04,7.285955e-04,7.250461e-04,7.214894e-04,7.179342e-04,7.143883e-04,7.108586e-04,7.073516e-04,7.038729e-04,7.004275e-04,6.970198e-04,6.936538e-04,6.903328e-04,6.870598e-04
0.000000e+00,8.872306e-09,2.082728e-08,7.357723e-08,1.696752e-07,2.489271e-07,5.715121e-07,5.889743e-07,1.150684e-06,1.356087e-06,1.997019e-06,2.670049e-06,3.197000e-06,4.671218e-06,4.817617e-06,6.900875e-06,7.469722e-06,9.435277e-06,1.102910e-05,1.235741e-05,1.518573e-05,1.558705e-05,1.905387e-05,1.977057e-05,2.270203e-05,2.465538e-05,2.648611e-05,2.974108e-05,3.036706e-05,3.431007e-05,3.494456e-05,3.828366e-05,4.019342e-05,4.225953e-05,4.542486e-05,4.621253e-05,5.012072e-05,5.058577e-05,5.396538e-05,5.563276e-05,5.773084e-05,6.053166e-05,6.140432e-05,6.497565e-05,6.525669e-05,6.843698e-05,6.978936e-05,7.178253e-05,7.411729e-05,7.500824e-05,7.811157e-05,7.823313e-05,8.109119e-05,8.213348e-05,8.394681e-05,8.581806e-05,8.667898e-05,8.928894e-05,9.177844e-05,9.254999e-05,9.414969e-05,9.560638e-05,9.640521e-05,9.846421e-05,9.854778e-05,1.005804e-04,1.011302e-04,1.025061e-04,1.036116e-04,1.043282e-04,1.059158e-04,1.060499e-04,1.076744e-04,1.080502e-04,1.092052e-04,1.100227e-04,1.106455e-04,1.118406e-04,1.119985e-04,1.132675e-04,1.135115e-04,1.144557e-04,1.150426e-04,1.155661e-04,1.164411e-04,1.166019e-04,1.175661e-04,1.177139e-04,1.184615e-04,1.188678e-04,1.192911e-04,1.199092e-04,1.200576e-04,1.207636e-04,1.208444e-04,1.214119e-04,1.216795e-04,1.220050e-04,1.224203e-04,1.225453e-04,1.230352e-04,1.230723e-04,1.234771e-04,1.236409e-04,1.238731e-04,1.241311e-04,1.242255e-04,1.245363e-04,1.245479e-04,1.248075e-04,1.248958e-04,1.250411e-04,1.251794e-04,1.252389e-04,1.254028e-04,1.255344e-04,1.255700e-04,1.256356e-04,1.256850e-04,1.257077e-04,1.257513e-04,1.257526e-04,1.257715e-04,1.257723e-04,1.257659e-04,1.257514e-04,1.257373e-04,1.256916e-04,1.256868e-04,1.256159e-04,1.255959e-04,1.255256e-04,1.254671e-04,1.254172e-04,1.253077e-04,1.252918e-04,1.251504e-04,1.251203e-04,1.249941e-04,1.249072e-04,1.248238e-04,1.246706e-04,1.246404e-04,1.244450e-04,1.244126e-04,1.242382e-04,1.241352e-04,1.240210e-04,1.238402e-04,1.237940e-04,1.235581e-04,1.235293e-04,1.233140e-04,1.232042e-04,1.230623e-04,1.228664e-04,1.228037e-04,1.225388e-04,1.225173e-04,1.222681e-04,1.221584e-04,1.219923e-04,1.217908e-04,1.217119e-04,1.214273e-04,1.214158e-04,1.211390e-04,1.210345e-04,1.208476e-04,1.206478e-04,1.205533e-04,1.202567e-04,1.198623e-04,1.194652e-04,1.190662e-04,1.186662e-04,1.182657e-04,1.178654e-04,1.174658e-04,1.170675e-04,1.166709e-04,1.162766e-04,1.158848e-04,1.154961e-04,1.151107e-04,1.147289e-04,1.143511e-04,1.139775e-04,1.136082e-04,1.132436e-04,1.128838e-04,1.125289e-04,1.121792e-04,1.118347e-04,1.114955e-04,1.111618e-04
0.000000e+00,2.582109e-13,1.965552e-12,3.672715e-11,2.360647e-10,5.388172e-10,2.989358e-09,3.173704e-09,1.148572e-08,1.552498e-08,3.085299e-08,5.053823e-08,6.800042e-08,1.243545e-07,1.304702e-07,2.262462e-07,2.550951e-07,3.634847e-07,4.614365e-07,5.501261e-07,7.608123e-07,7.931370e-07,1.097396e-06,1.165815e-06,1.464675e-06,1.680135e-06,1.893286e-06,2.297357e-06,2.378545e-06,2.913731e-06,3.003484e-06,3.491113e-06,3.780898e-06,4.102719e-06,4.611425e-06,4.740802e-06,5.398067e-06,5.477901e-06,6.067748e-06,6.364718e-06,6.743624e-06,7.257922e-06,7.420023e-06,8.091821e-06,8.145225e-06,8.754454e-06,9.016026e-06,9.403922e-06,9.861441e-06,1.003680e-05,1.065021e-05,1.067431e-05,1.124184e-05,1.144913e-05,1.180989e-05,1.218198e-05,1.235301e-05,1.287029e-05,1.336121e-05,1.351270e-05,1.382557e-05,1.410884e-05,1.426344e-05,1.465918e-05,1.467515e-05,1.506120e-05,1.516478e-05,1.542226e-05,1.562722e-05,1.575911e-05,1.604837e-05,1.607262e-05,1.636373e-05,1.643037e-05,1.663342e-05,1.677546e-05,1.688269e-05,1.708595e-05,1.711255e-05,1.732399e-05,1.736416e-05,1.751801e-05,1.761233e-05,1.769556e-05,1.783267e-05,1.785758e-05,1.800497e-05,1.802726e-05,1.813860e-05,1.819809e-05,1.825928e-05,1.834704e-05,1.836781e-05,1.846494e-05,1.847586e-05,1.855138e-05,1.858620e-05,1.862781e-05,1.867959e-05,1.869486e-05,1.875315e-05,1.875745e-05,1.880324e-05,1.882109e-05,1.884566e-05,1.887174e-05,1.888092e-05,1.890950e-05,1.891051e-05,1.893185e-05,1.893845e-05,1.894839e-05,1.895652e-05,1.895951e-05,1.896558e-05,1.896696e-05,1.896646e-05,1.896396e-05,1.895990e-05,1.895691e-05,1.894659e-05,1.894608e-05,1.893176e-05,1.892715e-05,1.891418e-05,1.890218e-05,1.889360e-05,1.887220e-05,1.887023e-05,1.884429e-05,1.883771e-05,1.881598e-05,1.879915e-05,1.878547e-05,1.875694e-05,1.875294e-05,1.871856e-05,1.871147e-05,1.868247e-05,1.866308e-05,1.864482e-05,1.861209e-05,1.860575e-05,1.856537e-05,1.855880e-05,1.852382e-05,1.850348e-05,1.848119e-05,1.844639e-05,1.843760e-05,1.839314e-05,1.838775e-05,1.834789e-05,1.832776e-05,1.830196e-05,1.826664e-05,1.825541e-05,1.820833e-05,1.820454e-05,1.816078e-05,1.814165e-05,1.811284e-05,1.807810e-05,1.806455e-05,1.801598e-05,1.801403e-05,1.796719e-05,1.794958e-05,1.791822e-05,1.788485e-05,1.786913e-05,1.781995e-05,1.775497e-05,1.769002e-05,1.762516e-05,1.756047e-05,1.749602e-05,1.743187e-05,1.736808e-05,1.730469e-05,1.724175e-05,1.717931e-05,1.711740e-05,1.705606e-05,1.699532e-05,1.693519e-05,1.687572e-05,1.681691e-05,1.675880e-05,1.670139e-05,1.664469e-05,1.658873e-05,1.653352e-05,1.647905e-05,1.642535e-05,1.637240e-05
0.000000e+00,3.740355e-15,3.239107e-14,7.892169e-13,6.436528e-12,1.671393e-11,1.285544e-10,1.382778e-10,6.843858e-10,1.005126e-09,2.450398e-09,4.713039e-09,7.024677e-09,1.603149e-08,1.713193e-08,3.696304e-08,4.378915e-08,7.245554e-08,1.020247e-07,1.314810e-07,2.106542e-07,2.238719e-07,3.612078e-07,3.951830e-07,5.563152e-07,6.850284e-07,8.225100e-07,1.110515e-06,1.172684e-06,1.618369e-06,1.699203e-06,2.168899e-06,2.472419e-06,2.830756e-06,3.442679e-06,3.607164e-06,4.497902e-06,4.612337e-06,5.499361e-06,5.973439e-06,6.604767e-06,7.508605e-06,7.804562e-06,9.086871e-06,9.192620e-06,1.043802e-05,1.099445e-05,1.184310e-05,1.287939e-05,1.328649e-05,1.475234e-05,1.481122e-05,1.622507e-05,1.675402e-05,1.768971e-05,1.867386e-05,1.913228e-05,2.053998e-05,2.190144e-05,2.232568e-05,2.320678e-05,2.400887e-05,2.444775e-05,2.557229e-05,2.561765e-05,2.671137e-05,2.700342e-05,2.772526e-05,2.829429e-05,2.865708e-05,2.944100e-05,2.950584e-05,3.027169e-05,3.044326e-05,3.095576e-05,3.130381e-05,3.156001e-05,3.202783e-05,3.208711e-05,3.254029e-05,3.262237e-05,3.292320e-05,3.309585e-05,3.323981e-05,3.345758e-05,3.349430e-05,3.369097e-05,3.371736e-05,3.383415e-05,3.388514e-05,3.392814e-05,3.397074e-05,3.397714e-05,3.398525e-05,3.398366e-05,3.395637e-05,3.393292e-05,3.389423e-05,3.382693e-05,3.380235e-05,3.368400e-05,3.367348e-05,3.354225e-05,3.347965e-05,3.337995e-05,3.325185e-05,3.319971e-05,3.300391e-05,3.299579e-05,3.279475e-05,3.271657e-05,3.257420e-05,3.241865e-05,3.234407e-05,3.210598e-05,3.186138e-05,3.178195e-05,3.161159e-05,3.144954e-05,3.135777e-05,3.111128e-05,3.110096e-05,3.084209e-05,3.076935e-05,3.058198e-05,3.042561e-05,3.032133e-05,3.008163e-05,3.006081e-05,2.980095e-05,2.973874e-05,2.954225e-05,2.939805e-05,2.928514e-05,2.906048e-05,2.902998e-05,2.877709e-05,2.872681e-05,2.852676e-05,2.839767e-05,2.827921e-05,2.807357e-05,2.803465e-05,2.779324e-05,2.775492e-05,2.755513e-05,2.744205e-05,2.732044e-05,2.713522e-05,2.708927e-05,2.686168e-05,2.683461e-05,2.663775e-05,2.654038e-05,2.641751e-05,2.625261e-05,2.620099e-05,2.598822e-05,2.597136e-05,2.577920e-05,2.569664e-05,2.557394e-05,2.542846e-05,2.537241e-05,2.517462e-05,2.516678e-05,2.498053e-05,2.491156e-05,2.479012e-05,2.466273e-05,2.460337e-05,2.442022e-05,2.418394e-05,2.395379e-05,2.372966e-05,2.351145e-05,2.329904e-05,2.309231e-05,2.289113e-05,2.269538e-05,2.250493e-05,2.231967e-05,2.213945e-05,2.196416e-05,2.179367e-05,2.162785e-05,2.146658e-05,2.130974e-05,2.115720e-05,2.100886e-05,2.086459e-05,2.072428e-05,2.058781e-05,2.045509e-05,2.032599e-05,2.020042e-05
0.000000e+00,3.042182e-10,6.959062e-10,2.382466e-09,5.387744e-09,7.828546e-09,1.752945e-08,1.804572e-08,3.426467e-08,4.003135e-08,5.755910e-08,7.532422e-08,8.885811e-08,1.254065e-07,1.289542e-07,1.785047e-07,1.918639e-07,2.380217e-07,2.758392e-07,3.078439e-07,3.779093e-07,3.880856e-07,4.785708e-07,4.978580e-07,5.787873e-07,6.344808e-07,6.879056e-07,7.856739e-07,8.048670e-07,9.284953e-07,9.488138e-07,1.057583e-06,1.121135e-06,1.190944e-06,1.299937e-06,1.327431e-06,1.465950e-06,1.482659e-06,1.605468e-06,1.666920e-06,1.745017e-06,1.850541e-06,1.883702e-06,2.020707e-06,2.031573e-06,2.155302e-06,2.208317e-06,2.286841e-06,2.379341e-06,2.414768e-06,2.538616e-06,2.543479e-06,2.658000e-06,2.699825e-06,2.772619e-06,2.847719e-06,2.882245e-06,2.986721e-06,3.085952e-06,3.116590e-06,3.179898e-06,3.237251e-06,3.268565e-06,3.348767e-06,3.352005e-06,3.430301e-06,3.451317e-06,3.503567e-06,3.545169e-06,3.571941e-06,3.630657e-06,3.635577e-06,3.694645e-06,3.708161e-06,3.749324e-06,3.778097e-06,3.799801e-06,3.840895e-06,3.846265e-06,3.888909e-06,3.896996e-06,3.927921e-06,3.946836e-06,3.963493e-06,3.990848e-06,3.995807e-06,4.025045e-06,4.029450e-06,4.051382e-06,4.063042e-06,4.074985e-06,4.092009e-06,4.096017e-06,4.114634e-06,4.116713e-06,4.130984e-06,4.137496e-06,4.145208e-06,4.154679e-06,4.157440e-06,4.167809e-06,4.168561e-06,4.176434e-06,4.179422e-06,4.183430e-06,4.187520e-06,4.188906e-06,4.192962e-06,4.193096e-06,4.195696e-06,4.196373e-06,4.197196e-06,4.197556e-06,4.197549e-06,4.196835e-06,4.195128e-06,4.194384e-06,4.192500e-06,4.190365e-06,4.189017e-06,4.184926e-06,4.184740e-06,4.179729e-06,4.178202e-06,4.174039e-06,4.170320e-06,4.167721e-06,4.161394e-06,4.160822e-06,4.153390e-06,4.151531e-06,4.145465e-06,4.140827e-06,4.137088e-06,4.129371e-06,4.128296e-06,4.119123e-06,4.117246e-06,4.109604e-06,4.104527e-06,4.099768e-06,4.091283e-06,4.089645e-06,4.079260e-06,4.077576e-06,4.068641e-06,4.063467e-06,4.057809e-06,4.049006e-06,4.046788e-06,4.035598e-06,4.034245e-06,4.024258e-06,4.019226e-06,4.012788e-06,4.003993e-06,4.001203e-06,3.989520e-06,3.988582e-06,3.977754e-06,3.973027e-06,3.965919e-06,3.957362e-06,3.954027e-06,3.942092e-06,3.941614e-06,3.930124e-06,3.925810e-06,3.918134e-06,3.909974e-06,3.906133e-06,3.894130e-06,3.878296e-06,3.862491e-06,3.846734e-06,3.831037e-06,3.815417e-06,3.799885e-06,3.784453e-06,3.769132e-06,3.753931e-06,3.738858e-06,3.723922e-06,3.709129e-06,3.694485e-06,3.679996e-06,3.665667e-06,3.651501e-06,3.637503e-06,3.623676e-06,3.610023e-06,3.596545e-06,3.583246e-06,3.570126e-06,3.557187e-06,3.544430e-06
0.000000e+00,4.372971e-13,3.418182e-12,6.739071e-11,4.541647e-10,1.063277e-09,6.286899e-09,6.691554e-09,2.573709e-08,3.535922e-08,7.318633e-08,1.238880e-07,1.703254e-07,3.270646e-07,3.445960e-07,6.294433e-07,7.184445e-07,1.063023e-06,1.385340e-06,1.683849e-06,2.410450e-06,2.523506e-06,3.599937e-06,3.844069e-06,4.914989e-06,5.689561e-06,6.456676e-06,7.911606e-06,8.203973e-06,1.013166e-05,1.045509e-05,1.221380e-05,1.326071e-05,1.442551e-05,1.627256e-05,1.674365e-05,1.914675e-05,1.943986e-05,2.161462e-05,2.271604e-05,2.412813e-05,2.605765e-05,2.666900e-05,2.921974e-05,2.942372e-05,3.176378e-05,3.277600e-05,3.428559e-05,3.607944e-05,3.677086e-05,3.920662e-05,3.930285e-05,4.158138e-05,4.241940e-05,4.388523e-05,4.540702e-05,4.610982e-05,4.824839e-05,5.029565e-05,5.093083e-05,5.224776e-05,5.344595e-05,5.410217e-05,5.578920e-05,5.585750e-05,5.751340e-05,5.795929e-05,5.907043e-05,5.995771e-05,6.052991e-05,6.178813e-05,6.189377e-05,6.316450e-05,6.345592e-05,6.434495e-05,6.496774e-05,6.543830e-05,6.633111e-05,6.644797e-05,6.737751e-05,6.755412e-05,6.823057e-05,6.864515e-05,6.901083e-05,6.961269e-05,6.972198e-05,7.036764e-05,7.046510e-05,7.095137e-05,7.121059e-05,7.147665e-05,7.185705e-05,7.194684e-05,7.236517e-05,7.241204e-05,7.273477e-05,7.288272e-05,7.305859e-05,7.327584e-05,7.333949e-05,7.358016e-05,7.359775e-05,7.378317e-05,7.385439e-05,7.395097e-05,7.405127e-05,7.408585e-05,7.419000e-05,7.419356e-05,7.426547e-05,7.428600e-05,7.431420e-05,7.433299e-05,7.433800e-05,7.433861e-05,7.431763e-05,7.430661e-05,7.427659e-05,7.424046e-05,7.421692e-05,7.414336e-05,7.413997e-05,7.404698e-05,7.401824e-05,7.393915e-05,7.386779e-05,7.381758e-05,7.369451e-05,7.368332e-05,7.353735e-05,7.350068e-05,7.338058e-05,7.328840e-05,7.321388e-05,7.305960e-05,7.303804e-05,7.285384e-05,7.281605e-05,7.266196e-05,7.255938e-05,7.246309e-05,7.229109e-05,7.225785e-05,7.204680e-05,7.201254e-05,7.183052e-05,7.172499e-05,7.160950e-05,7.142961e-05,7.138424e-05,7.115518e-05,7.112745e-05,7.092273e-05,7.081949e-05,7.068731e-05,7.050662e-05,7.044927e-05,7.020897e-05,7.018966e-05,6.996672e-05,6.986935e-05,6.972284e-05,6.954638e-05,6.947759e-05,6.923126e-05,6.922139e-05,6.898408e-05,6.889494e-05,6.873630e-05,6.856757e-05,6.848812e-05,6.823975e-05,6.791194e-05,6.758452e-05,6.725787e-05,6.693231e-05,6.660816e-05,6.628569e-05,6.596515e-05,6.564676e-05,6.533074e-05,6.501727e-05,6.470651e-05,6.439861e-05,6.409371e-05,6.379193e-05,6.349337e-05,6.319813e-05,6.290628e-05,6.261791e-05,6.233307e-05,6.205181e-05,6.177419e-05,6.150022e-05,6.122996e-05,6.096340e-05
0.000000e+00,1.378626e-09,3.264471e-09,1.162509e-08,2.685568e-08,3.937926e-08,8.990627e-08,9.262017e-08,1.787999e-07,2.098022e-07,3.049806e-07,4.027193e-07,4.779388e-07,6.839565e-07,7.041593e-07,9.895637e-07,1.067423e-06,1.338771e-06,1.563138e-06,1.753957e-06,2.173128e-06,2.234058e-06,2.775145e-06,2.890206e-06,3.371658e-06,3.701721e-06,4.017477e-06,4.593566e-06,4.706450e-06,5.432516e-06,5.551729e-06,6.189715e-06,6.562504e-06,6.972188e-06,7.612505e-06,7.774202e-06,8.590196e-06,8.688799e-06,9.414849e-06,9.779133e-06,1.024314e-05,1.087219e-05,1.107041e-05,1.189240e-05,1.195781e-05,1.270527e-05,1.302709e-05,1.350562e-05,1.407246e-05,1.429052e-05,1.505744e-05,1.508771e-05,1.580426e-05,1.606786e-05,1.652929e-05,1.700913e-05,1.723113e-05,1.790876e-05,1.856141e-05,1.876490e-05,1.918859e-05,1.957647e-05,1.979000e-05,2.034304e-05,2.036557e-05,2.091537e-05,2.106472e-05,2.143961e-05,2.174202e-05,2.193863e-05,2.237580e-05,2.241284e-05,2.286275e-05,2.296718e-05,2.328893e-05,2.351745e-05,2.369199e-05,2.402807e-05,2.407257e-05,2.443136e-05,2.450056e-05,2.476904e-05,2.493653e-05,2.508633e-05,2.533761e-05,2.538393e-05,2.566256e-05,2.570543e-05,2.592292e-05,2.604161e-05,2.616572e-05,2.634778e-05,2.639165e-05,2.660138e-05,2.662549e-05,2.679559e-05,2.687629e-05,2.697491e-05,2.710165e-05,2.714000e-05,2.729147e-05,2.730301e-05,2.742991e-05,2.748177e-05,2.755591e-05,2.763924e-05,2.767003e-05,2.777282e-05,2.777671e-05,2.786481e-05,2.789539e-05,2.794652e-05,2.799645e-05,2.801842e-05,2.808100e-05,2.813471e-05,2.815010e-05,2.818000e-05,2.820476e-05,2.821729e-05,2.824594e-05,2.824699e-05,2.826949e-05,2.827455e-05,2.828516e-05,2.829145e-05,2.829438e-05,2.829746e-05,2.829749e-05,2.829482e-05,2.829335e-05,2.828669e-05,2.827987e-05,2.827341e-05,2.825769e-05,2.825527e-05,2.823256e-05,2.822749e-05,2.820554e-05,2.818988e-05,2.817448e-05,2.814544e-05,2.813962e-05,2.810119e-05,2.809473e-05,2.805943e-05,2.803826e-05,2.801454e-05,2.797653e-05,2.796674e-05,2.791623e-05,2.790999e-05,2.786318e-05,2.783909e-05,2.780779e-05,2.776422e-05,2.775022e-05,2.769063e-05,2.768578e-05,2.762919e-05,2.760412e-05,2.756603e-05,2.751958e-05,2.750131e-05,2.743516e-05,2.743248e-05,2.736770e-05,2.734312e-05,2.729905e-05,2.725176e-05,2.722934e-05,2.715868e-05,2.706411e-05,2.696829e-05,2.687142e-05,2.677370e-05,2.667532e-05,2.657645e-05,2.647725e-05,2.637786e-05,2.627843e-05,2.617908e-05,2.607992e-05,2.598108e-05,2.588264e-05,2.578470e-05,2.568734e-05,2.559064e-05,2.549468e-05,2.539952e-05,2.530521e-05,2.521182e-05,2.511938e-05,2.502795e-05,2.493756e-05,2.484824e-05
0.000000e+00,1.310751e-14,1.107989e-13,2.565284e-12,1.996812e-11,5.053974e-11,3.638412e-10,3.903112e-10,1.809730e-09,2.611447e-09,6.092607e-09,1.131374e-08,1.648502e-08,3.579406e-08,3.809158e-08,7.815698e-08,9.152816e-08,1.461850e-07,2.007512e-07,2.537953e-07,3.917113e-07,4.142092e-07,6.413647e-07,6.960171e-07,9.488192e-07,1.144532e-06,1.348676e-06,1.763209e-06,1.850727e-06,2.461897e-06,2.570110e-06,3.186015e-06,3.574044e-06,4.023832e-06,4.774611e-06,4.973225e-06,6.029505e-06,6.163135e-06,7.185789e-06,7.724048e-06,8.433373e-06,9.436404e-06,9.762120e-06,1.116081e-05,1.127538e-05,1.261750e-05,1.321366e-05,1.411983e-05,1.522274e-05,1.565530e-05,1.721157e-05,1.727409e-05,1.877670e-05,1.934009e-05,2.033929e-05,2.139495e-05,2.188872e-05,2.341525e-05,2.491012e-05,2.538050e-05,2.636560e-05,2.727331e-05,2.777503e-05,2.907957e-05,2.913283e-05,3.043446e-05,3.078834e-05,3.167637e-05,3.239172e-05,3.285593e-05,3.388454e-05,3.397139e-05,3.502174e-05,3.526409e-05,3.600670e-05,3.652979e-05,3.692654e-05,3.768277e-05,3.778208e-05,3.857457e-05,3.872563e-05,3.930559e-05,3.966206e-05,3.997705e-05,4.049658e-05,4.059105e-05,4.114987e-05,4.123432e-05,4.165590e-05,4.188076e-05,4.211161e-05,4.244163e-05,4.251951e-05,4.288210e-05,4.292268e-05,4.320188e-05,4.332965e-05,4.348130e-05,4.366815e-05,4.372276e-05,4.392859e-05,4.394358e-05,4.410104e-05,4.416116e-05,4.424227e-05,4.432579e-05,4.435435e-05,4.443928e-05,4.444213e-05,4.449892e-05,4.451454e-05,4.453506e-05,4.454709e-05,4.454941e-05,4.454357e-05,4.451905e-05,4.450750e-05,4.447728e-05,4.444212e-05,4.441960e-05,4.435043e-05,4.434727e-05,4.426147e-05,4.423519e-05,4.416333e-05,4.409895e-05,4.405387e-05,4.394403e-05,4.393409e-05,4.380488e-05,4.377256e-05,4.366710e-05,4.358651e-05,4.352156e-05,4.338766e-05,4.336900e-05,4.321011e-05,4.317763e-05,4.304554e-05,4.295793e-05,4.287591e-05,4.272991e-05,4.270176e-05,4.252364e-05,4.249480e-05,4.234202e-05,4.225373e-05,4.215736e-05,4.200773e-05,4.197009e-05,4.178060e-05,4.175773e-05,4.158925e-05,4.150456e-05,4.139639e-05,4.124899e-05,4.120232e-05,4.100735e-05,4.099172e-05,4.081173e-05,4.073336e-05,4.061572e-05,4.047448e-05,4.041955e-05,4.022343e-05,4.021559e-05,4.002757e-05,3.995715e-05,3.983213e-05,3.969957e-05,3.963729e-05,3.944321e-05,3.918841e-05,3.893546e-05,3.868461e-05,3.843611e-05,3.819016e-05,3.794693e-05,3.770659e-05,3.746926e-05,3.723507e-05,3.700412e-05,3.677649e-05,3.655225e-05,3.633146e-05,3.611417e-05,3.590041e-05,3.569021e-05,3.548358e-05,3.528053e-05,3.508107e-05,3.488519e-05,3.469288e-05,3.450412e-05,3.431890e-05,3.413719e-05
0.000000e+00,1.083048e-09,3.048198e-09,1.297602e-08,3.254968e-08,4.922768e-08,1.189214e-07,1.227366e-07,2.462981e-07,2.916596e-07,4.332574e-07,5.817876e-07,6.979549e-07,1.023082e-06,1.055441e-06,1.519460e-06,1.647766e-06,2.098096e-06,2.471960e-06,2.789571e-06,3.482895e-06,3.583008e-06,4.463566e-06,4.648825e-06,5.416725e-06,5.936755e-06,6.429723e-06,7.318671e-06,7.491381e-06,8.591619e-06,8.770604e-06,9.721081e-06,1.027100e-05,1.087095e-05,1.179992e-05,1.203290e-05,1.319912e-05,1.333901e-05,1.436242e-05,1.487163e-05,1.551623e-05,1.638314e-05,1.665468e-05,1.777263e-05,1.786104e-05,1.886566e-05,1.929504e-05,1.993005e-05,2.067695e-05,2.096277e-05,2.196138e-05,2.200059e-05,2.292404e-05,2.326152e-05,2.384939e-05,2.445684e-05,2.473652e-05,2.558494e-05,2.639445e-05,2.664528e-05,2.716515e-05,2.763819e-05,2.789739e-05,2.856462e-05,2.859167e-05,2.924870e-05,2.942610e-05,2.986929e-05,3.022452e-05,3.045433e-05,3.096203e-05,3.100483e-05,3.152181e-05,3.164102e-05,3.200636e-05,3.226396e-05,3.245959e-05,3.283340e-05,3.288261e-05,3.327654e-05,3.335193e-05,3.364250e-05,3.382212e-05,3.398161e-05,3.424651e-05,3.429496e-05,3.458362e-05,3.462759e-05,3.484865e-05,3.496777e-05,3.509107e-05,3.526940e-05,3.531188e-05,3.551206e-05,3.553474e-05,3.569254e-05,3.576595e-05,3.585424e-05,3.596513e-05,3.599806e-05,3.612484e-05,3.613427e-05,3.623541e-05,3.627529e-05,3.633058e-05,3.638999e-05,3.641110e-05,3.647772e-05,3.648011e-05,3.653115e-05,3.654729e-05,3.657208e-05,3.659311e-05,3.660117e-05,3.661904e-05,3.662630e-05,3.662648e-05,3.662355e-05,3.661678e-05,3.661132e-05,3.659118e-05,3.659017e-05,3.656060e-05,3.655088e-05,3.652311e-05,3.649701e-05,3.647816e-05,3.643061e-05,3.642620e-05,3.636767e-05,3.635269e-05,3.630297e-05,3.626420e-05,3.623250e-05,3.616601e-05,3.615663e-05,3.607573e-05,3.605897e-05,3.599012e-05,3.594386e-05,3.590015e-05,3.582142e-05,3.580611e-05,3.570831e-05,3.569234e-05,3.560703e-05,3.555726e-05,3.550254e-05,3.541681e-05,3.539509e-05,3.528494e-05,3.527155e-05,3.517230e-05,3.512201e-05,3.505740e-05,3.496870e-05,3.494045e-05,3.482166e-05,3.481208e-05,3.470120e-05,3.465259e-05,3.457926e-05,3.449065e-05,3.445601e-05,3.433162e-05,3.432662e-05,3.420623e-05,3.416087e-05,3.407998e-05,3.399372e-05,3.395303e-05,3.382549e-05,3.365645e-05,3.348688e-05,3.331701e-05,3.314708e-05,3.297730e-05,3.280786e-05,3.263894e-05,3.247071e-05,3.230331e-05,3.213689e-05,3.197157e-05,3.180747e-05,3.164470e-05,3.148334e-05,3.132350e-05,3.116524e-05,3.100864e-05,3.085376e-05,3.070065e-05,3.054938e-05,3.039997e-05,3.025246e-05,3.010690e-05,2.996331e-05
0.000000e+00,8.481483e-13,6.340245e-12,1.141992e-10,7.106126e-10,1.594157e-09,8.473938e-09,8.981438e-09,3.125782e-08,4.183118e-08,8.118527e-08,1.306631e-07,1.739422e-07,3.113251e-07,3.260878e-07,5.549623e-07,6.232490e-07,8.777837e-07,1.105309e-06,1.309298e-06,1.785742e-06,1.857779e-06,2.521434e-06,2.667062e-06,3.287955e-06,3.720803e-06,4.137558e-06,4.898718e-06,5.047400e-06,5.995240e-06,6.149063e-06,6.961412e-06,7.426724e-06,7.929423e-06,8.696006e-06,8.885791e-06,9.819607e-06,9.929714e-06,1.072212e-05,1.110746e-05,1.158641e-05,1.221438e-05,1.240716e-05,1.318053e-05,1.324026e-05,1.390394e-05,1.417897e-05,1.457600e-05,1.502784e-05,1.519633e-05,1.576539e-05,1.578710e-05,1.628437e-05,1.645926e-05,1.675499e-05,1.704846e-05,1.717939e-05,1.756001e-05,1.789945e-05,1.799981e-05,1.820041e-05,1.837409e-05,1.846561e-05,1.868905e-05,1.869773e-05,1.889937e-05,1.895070e-05,1.907301e-05,1.916474e-05,1.922101e-05,1.933645e-05,1.934560e-05,1.944885e-05,1.947067e-05,1.953267e-05,1.957179e-05,1.959883e-05,1.964373e-05,1.964895e-05,1.968452e-05,1.969001e-05,1.970690e-05,1.971374e-05,1.971732e-05,1.971767e-05,1.971692e-05,1.970672e-05,1.970424e-05,1.968764e-05,1.967558e-05,1.966053e-05,1.963359e-05,1.962617e-05,1.958525e-05,1.957993e-05,1.953842e-05,1.951608e-05,1.948624e-05,1.944333e-05,1.942924e-05,1.936791e-05,1.936283e-05,1.930268e-05,1.927559e-05,1.923395e-05,1.918250e-05,1.916208e-05,1.908740e-05,1.908436e-05,1.901022e-05,1.898187e-05,1.893081e-05,1.887567e-05,1.884943e-05,1.876631e-05,1.868166e-05,1.865429e-05,1.859569e-05,1.854005e-05,1.850857e-05,1.842400e-05,1.842046e-05,1.833151e-05,1.830648e-05,1.824187e-05,1.818781e-05,1.815167e-05,1.806828e-05,1.806102e-05,1.797003e-05,1.794816e-05,1.787881e-05,1.782765e-05,1.778744e-05,1.770698e-05,1.769601e-05,1.760460e-05,1.758633e-05,1.751329e-05,1.746586e-05,1.742213e-05,1.734573e-05,1.733120e-05,1.724054e-05,1.722607e-05,1.715022e-05,1.710699e-05,1.706027e-05,1.698862e-05,1.697075e-05,1.688169e-05,1.687104e-05,1.679313e-05,1.675433e-05,1.670511e-05,1.663859e-05,1.661765e-05,1.653079e-05,1.652387e-05,1.644455e-05,1.641024e-05,1.635896e-05,1.629775e-05,1.627404e-05,1.618980e-05,1.618645e-05,1.610627e-05,1.607638e-05,1.602346e-05,1.596757e-05,1.594139e-05,1.586006e-05,1.575388e-05,1.564904e-05,1.554557e-05,1.544348e-05,1.534278e-05,1.524349e-05,1.514560e-05,1.504913e-05,1.495407e-05,1.486043e-05,1.476820e-05,1.467739e-05,1.458798e-05,1.449996e-05,1.441334e-05,1.432811e-05,1.424424e-05,1.416174e-05,1.408059e-05,1.400078e-05,1.392229e-05,1.384511e-05,1.376923e-05,1.369464e-05
0.000000e+00,5.748578e-09,1.401476e-08,5.143914e-08,1.207153e-07,1.783210e-07,4.155098e-07,4.284546e-07,8.498922e-07,1.006284e-06,1.501435e-06,2.032055e-06,2.454406e-06,3.664292e-06,3.786509e-06,5.560432e-06,6.054821e-06,7.788958e-06,9.216942e-06,1.041597e-05,1.297788e-05,1.334109e-05,1.646187e-05,1.710187e-05,1.969630e-05,2.140252e-05,2.298454e-05,2.575612e-05,2.628315e-05,2.955947e-05,3.007982e-05,3.278779e-05,3.431404e-05,3.594717e-05,3.841326e-05,3.902024e-05,4.199269e-05,4.234204e-05,4.485277e-05,4.607315e-05,4.759128e-05,4.958693e-05,5.020132e-05,5.267789e-05,5.287015e-05,5.501796e-05,5.591541e-05,5.722015e-05,5.872032e-05,5.928449e-05,6.121229e-05,6.128659e-05,6.300585e-05,6.361924e-05,6.466828e-05,6.572576e-05,6.620339e-05,6.761545e-05,6.890912e-05,6.929889e-05,7.008934e-05,7.078749e-05,7.116120e-05,7.209300e-05,7.212982e-05,7.300035e-05,7.322722e-05,7.377790e-05,7.420190e-05,7.446751e-05,7.502849e-05,7.507407e-05,7.560237e-05,7.571803e-05,7.605702e-05,7.628112e-05,7.644248e-05,7.672785e-05,7.676303e-05,7.702278e-05,7.706778e-05,7.722564e-05,7.730989e-05,7.737535e-05,7.746265e-05,7.747548e-05,7.752941e-05,7.753397e-05,7.754036e-05,7.753125e-05,7.751138e-05,7.746140e-05,7.744537e-05,7.734505e-05,7.733084e-05,7.721303e-05,7.714552e-05,7.705173e-05,7.691098e-05,7.686346e-05,7.665041e-05,7.663235e-05,7.641461e-05,7.631436e-05,7.615801e-05,7.596140e-05,7.588242e-05,7.558954e-05,7.557749e-05,7.528099e-05,7.516637e-05,7.495827e-05,7.473145e-05,7.462280e-05,7.427590e-05,7.391882e-05,7.380260e-05,7.355273e-05,7.331421e-05,7.317872e-05,7.281315e-05,7.279780e-05,7.241093e-05,7.230166e-05,7.201900e-05,7.178176e-05,7.162284e-05,7.125530e-05,7.122322e-05,7.082087e-05,7.072398e-05,7.041646e-05,7.018932e-05,7.001060e-05,6.965272e-05,6.960388e-05,6.919684e-05,6.911543e-05,6.878996e-05,6.857861e-05,6.838372e-05,6.804327e-05,6.797853e-05,6.757479e-05,6.751035e-05,6.717286e-05,6.698067e-05,6.677306e-05,6.645497e-05,6.637571e-05,6.598107e-05,6.593391e-05,6.558941e-05,6.541809e-05,6.520096e-05,6.490801e-05,6.481593e-05,6.443450e-05,6.440414e-05,6.405685e-05,6.390688e-05,6.368313e-05,6.341656e-05,6.331348e-05,6.294802e-05,6.293349e-05,6.258686e-05,6.245792e-05,6.223010e-05,6.199006e-05,6.187782e-05,6.153009e-05,6.107814e-05,6.063434e-05,6.019876e-05,5.977146e-05,5.935248e-05,5.894183e-05,5.853951e-05,5.814550e-05,5.775976e-05,5.738225e-05,5.701289e-05,5.665162e-05,5.629836e-05,5.595302e-05,5.561549e-05,5.528567e-05,5.496346e-05,5.464873e-05,5.434138e-05,5.404127e-05,5.374829e-05,5.346229e-05,5.318317e-05,5.291078e-05
0.000000e+00,4.074494e-11,2.656009e-10,3.676750e-09,1.846865e-08,3.723483e-08,1.556453e-07,1.635388e-07,4.723272e-07,6.058819e-07,1.073104e-06,1.628083e-06,2.099560e-06,3.560721e-06,3.716121e-06,6.109377e-06,6.819169e-06,9.445737e-06,1.176097e-05,1.380544e-05,1.845909e-05,1.914838e-05,2.534504e-05,2.667277e-05,3.223664e-05,3.604551e-05,3.967748e-05,4.626424e-05,4.754828e-05,5.575344e-05,5.709184e-05,6.421381e-05,6.834499e-05,7.286076e-05,7.987106e-05,8.163267e-05,9.047349e-05,9.153654e-05,9.933205e-05,1.032233e-04,1.081620e-04,1.148279e-04,1.169218e-04,1.255755e-04,1.262622e-04,1.340917e-04,1.374537e-04,1.424443e-04,1.483445e-04,1.506115e-04,1.585758e-04,1.588900e-04,1.663234e-04,1.690574e-04,1.738440e-04,1.788242e-04,1.811298e-04,1.881759e-04,1.949793e-04,1.971049e-04,2.015389e-04,2.056091e-04,2.078548e-04,2.136903e-04,2.139286e-04,2.197628e-04,2.213539e-04,2.253606e-04,2.286074e-04,2.307260e-04,2.354605e-04,2.358632e-04,2.407772e-04,2.419239e-04,2.454730e-04,2.480092e-04,2.499558e-04,2.537290e-04,2.542313e-04,2.583049e-04,2.590959e-04,2.621823e-04,2.641229e-04,2.658691e-04,2.688229e-04,2.693710e-04,2.726936e-04,2.732090e-04,2.758426e-04,2.772940e-04,2.788234e-04,2.810906e-04,2.816414e-04,2.843021e-04,2.846111e-04,2.868108e-04,2.878678e-04,2.891726e-04,2.908724e-04,2.913925e-04,2.934757e-04,2.936365e-04,2.954268e-04,2.961714e-04,2.972507e-04,2.984877e-04,2.989519e-04,3.005351e-04,3.005960e-04,3.020045e-04,3.025065e-04,3.033645e-04,3.042289e-04,3.046192e-04,3.057726e-04,3.068288e-04,3.071468e-04,3.077914e-04,3.083602e-04,3.086643e-04,3.094211e-04,3.094510e-04,3.101549e-04,3.103377e-04,3.107796e-04,3.111177e-04,3.113282e-04,3.117684e-04,3.118039e-04,3.122098e-04,3.122971e-04,3.125488e-04,3.127106e-04,3.128239e-04,3.130153e-04,3.130378e-04,3.131933e-04,3.132176e-04,3.132928e-04,3.133233e-04,3.133390e-04,3.133383e-04,3.133342e-04,3.132808e-04,3.132679e-04,3.131811e-04,3.131174e-04,3.130372e-04,3.128917e-04,3.128513e-04,3.126253e-04,3.125956e-04,3.123613e-04,3.122336e-04,3.120612e-04,3.118101e-04,3.117268e-04,3.113597e-04,3.113290e-04,3.109618e-04,3.107944e-04,3.105347e-04,3.102099e-04,3.100798e-04,3.095989e-04,3.095791e-04,3.090932e-04,3.089054e-04,3.085642e-04,3.081919e-04,3.080133e-04,3.074417e-04,3.066577e-04,3.058427e-04,3.049992e-04,3.041297e-04,3.032365e-04,3.023219e-04,3.013880e-04,3.004367e-04,2.994699e-04,2.984895e-04,2.974971e-04,2.964943e-04,2.954825e-04,2.944633e-04,2.934378e-04,2.924075e-04,2.913735e-04,2.903369e-04,2.892987e-04,2.882599e-04,2.872215e-04,2.861843e-04,2.851492e-04,2.841168e-04
0.000000e+00,1.514666e-09,4.369939e-09,1.904044e-08,4.816321e-08,7.300845e-08,1.767443e-07,1.824167e-07,3.658111e-07,4.330147e-07,6.425177e-07,8.620036e-07,1.033571e-06,1.513664e-06,1.561451e-06,2.246872e-06,2.436411e-06,3.101282e-06,3.652237e-06,4.119084e-06,5.132795e-06,5.278454e-06,6.550707e-06,6.816233e-06,7.908603e-06,8.640774e-06,9.329214e-06,1.055702e-05,1.079357e-05,1.228554e-05,1.252585e-05,1.379098e-05,1.451458e-05,1.529715e-05,1.649484e-05,1.679255e-05,1.826681e-05,1.844185e-05,1.971070e-05,2.033428e-05,2.111620e-05,2.215445e-05,2.247647e-05,2.378587e-05,2.388828e-05,2.503992e-05,2.552525e-05,2.623523e-05,2.705811e-05,2.736943e-05,2.844104e-05,2.848259e-05,2.944940e-05,2.979692e-05,3.039457e-05,3.100149e-05,3.127717e-05,3.209832e-05,3.285955e-05,3.309078e-05,3.356268e-05,3.398315e-05,3.420979e-05,3.478038e-05,3.480311e-05,3.534501e-05,3.548785e-05,3.583791e-05,3.611116e-05,3.628428e-05,3.665595e-05,3.668657e-05,3.704723e-05,3.712786e-05,3.736865e-05,3.753238e-05,3.765316e-05,3.787478e-05,3.790301e-05,3.812038e-05,3.816014e-05,3.830736e-05,3.839325e-05,3.846596e-05,3.857863e-05,3.859807e-05,3.870551e-05,3.872052e-05,3.878999e-05,3.882287e-05,3.885316e-05,3.888937e-05,3.889654e-05,3.892159e-05,3.892343e-05,3.892968e-05,3.892821e-05,3.892211e-05,3.890663e-05,3.890009e-05,3.886474e-05,3.886137e-05,3.881716e-05,3.879492e-05,3.875834e-05,3.870955e-05,3.868921e-05,3.861067e-05,3.860735e-05,3.852354e-05,3.849022e-05,3.842859e-05,3.835993e-05,3.832654e-05,3.821807e-05,3.810381e-05,3.806612e-05,3.798433e-05,3.790540e-05,3.786021e-05,3.773713e-05,3.773193e-05,3.759998e-05,3.756244e-05,3.746481e-05,3.738232e-05,3.732682e-05,3.719771e-05,3.718640e-05,3.704390e-05,3.700943e-05,3.689966e-05,3.681824e-05,3.675399e-05,3.662484e-05,3.660716e-05,3.645945e-05,3.642983e-05,3.631110e-05,3.623378e-05,3.616234e-05,3.603720e-05,3.601336e-05,3.586438e-05,3.584055e-05,3.571555e-05,3.564423e-05,3.556706e-05,3.544860e-05,3.541904e-05,3.527165e-05,3.525401e-05,3.512499e-05,3.506073e-05,3.497920e-05,3.486904e-05,3.483438e-05,3.469061e-05,3.467916e-05,3.454800e-05,3.449130e-05,3.440662e-05,3.430563e-05,3.426654e-05,3.412783e-05,3.412231e-05,3.399054e-05,3.394148e-05,3.385474e-05,3.376326e-05,3.372046e-05,3.358774e-05,3.341502e-05,3.324516e-05,3.307822e-05,3.291425e-05,3.275327e-05,3.259533e-05,3.244043e-05,3.228858e-05,3.213980e-05,3.199406e-05,3.185137e-05,3.171171e-05,3.157506e-05,3.144140e-05,3.131069e-05,3.118292e-05,3.105804e-05,3.093602e-05,3.081683e-05,3.070043e-05,3.058676e-05,3.047580e-05,3.036749e-05,3.026180e-05
0.000000e+00,5.192493e-11,3.006398e-10,3.358150e-09,1.437829e-08,2.692048e-08,9.679461e-08,1.011975e-07,2.651355e-07,3.336567e-07,5.698981e-07,8.485163e-07,1.085147e-06,1.817770e-06,1.895340e-06,3.068320e-06,3.405886e-06,4.607221e-06,5.605801e-06,6.446166e-06,8.242622e-06,8.497374e-06,1.068926e-05,1.113993e-05,1.297346e-05,1.418656e-05,1.531758e-05,1.731539e-05,1.769781e-05,2.009449e-05,2.047829e-05,2.249004e-05,2.363472e-05,2.486836e-05,2.674864e-05,2.721469e-05,2.951578e-05,2.978830e-05,3.176000e-05,3.272683e-05,3.393749e-05,3.554279e-05,3.604028e-05,3.806211e-05,3.822021e-05,3.999850e-05,4.074843e-05,4.184651e-05,4.312127e-05,4.360429e-05,4.527108e-05,4.533586e-05,4.684712e-05,4.739249e-05,4.833363e-05,4.929418e-05,4.973234e-05,5.104545e-05,5.227559e-05,5.265217e-05,5.342560e-05,5.412094e-05,5.449851e-05,5.545890e-05,5.549748e-05,5.642569e-05,5.667334e-05,5.728634e-05,5.777163e-05,5.808262e-05,5.876102e-05,5.881764e-05,5.949447e-05,5.964858e-05,6.011606e-05,6.044110e-05,6.068528e-05,6.114508e-05,6.120490e-05,6.167758e-05,6.176671e-05,6.210586e-05,6.231184e-05,6.249219e-05,6.278598e-05,6.283888e-05,6.314817e-05,6.319433e-05,6.342216e-05,6.354174e-05,6.366288e-05,6.383278e-05,6.387223e-05,6.405203e-05,6.407171e-05,6.420402e-05,6.426251e-05,6.432983e-05,6.440889e-05,6.443101e-05,6.450904e-05,6.451432e-05,6.456531e-05,6.458203e-05,6.460116e-05,6.461502e-05,6.461783e-05,6.461650e-05,6.461609e-05,6.459831e-05,6.458784e-05,6.456432e-05,6.453269e-05,6.451553e-05,6.445289e-05,6.437730e-05,6.435052e-05,6.428962e-05,6.422753e-05,6.419065e-05,6.408573e-05,6.408116e-05,6.396185e-05,6.392678e-05,6.383342e-05,6.375225e-05,6.369650e-05,6.356357e-05,6.355171e-05,6.339961e-05,6.336208e-05,6.324075e-05,6.314903e-05,6.307564e-05,6.292556e-05,6.290476e-05,6.272858e-05,6.269275e-05,6.254753e-05,6.245158e-05,6.236200e-05,6.220299e-05,6.217239e-05,6.197906e-05,6.194780e-05,6.178235e-05,6.168683e-05,6.158259e-05,6.142078e-05,6.138008e-05,6.117510e-05,6.115035e-05,6.096794e-05,6.087616e-05,6.075885e-05,6.059879e-05,6.054806e-05,6.033581e-05,6.031877e-05,6.012231e-05,6.003661e-05,5.990776e-05,5.975275e-05,5.969236e-05,5.947628e-05,5.946762e-05,5.925969e-05,5.918162e-05,5.904275e-05,5.889510e-05,5.882560e-05,5.860840e-05,5.832182e-05,5.803565e-05,5.775015e-05,5.746555e-05,5.718207e-05,5.689992e-05,5.661927e-05,5.634030e-05,5.606317e-05,5.578800e-05,5.551493e-05,5.524407e-05,5.497553e-05,5.470940e-05,5.444576e-05,5.418470e-05,5.392627e-05,5.367054e-05,5.341757e-05,5.316739e-05,5.292005e-05,5.267559e-05,5.243402e-05,5.219538e-05
0.000000e+00,2.552136e-14,2.163782e-13,5.041116e-12,3.947109e-11,1.002365e-10,7.282731e-10,7.815641e-10,3.661226e-09,5.299245e-09,1.246528e-08,2.331776e-08,3.415131e-08,7.510194e-08,8.001569e-08,1.667264e-07,1.960201e-07,3.172009e-07,4.400951e-07,5.610830e-07,8.814029e-07,9.343368e-07,1.477446e-06,1.610146e-06,2.232125e-06,2.721266e-06,3.237094e-06,4.298051e-06,4.523887e-06,6.113590e-06,6.396822e-06,8.015053e-06,9.037868e-06,1.022459e-05,1.220419e-05,1.272704e-05,1.549763e-05,1.584665e-05,1.850429e-05,1.989261e-05,2.171008e-05,2.425532e-05,2.507539e-05,2.855988e-05,2.884259e-05,3.212402e-05,3.356348e-05,3.573026e-05,3.833318e-05,3.934383e-05,4.293330e-05,4.307597e-05,4.647085e-05,4.772691e-05,4.993238e-05,5.223222e-05,5.329745e-05,5.654916e-05,5.967394e-05,6.064527e-05,6.266130e-05,6.449741e-05,6.550351e-05,6.809060e-05,6.819535e-05,7.073376e-05,7.141683e-05,7.311761e-05,7.447387e-05,7.534737e-05,7.726421e-05,7.742487e-05,7.935307e-05,7.979404e-05,8.113583e-05,8.207231e-05,8.277770e-05,8.411005e-05,8.428379e-05,8.565961e-05,8.591964e-05,8.691092e-05,8.751436e-05,8.804365e-05,8.890789e-05,8.906379e-05,8.997732e-05,9.011399e-05,9.079016e-05,9.114626e-05,9.150811e-05,9.201794e-05,9.213681e-05,9.268174e-05,9.274175e-05,9.314815e-05,9.332982e-05,9.354111e-05,9.379361e-05,9.386544e-05,9.412573e-05,9.414392e-05,9.432635e-05,9.439083e-05,9.447145e-05,9.454374e-05,9.456493e-05,9.461051e-05,9.461139e-05,9.461168e-05,9.460186e-05,9.457171e-05,9.452261e-05,9.449369e-05,9.438053e-05,9.423495e-05,9.418194e-05,9.405951e-05,9.393267e-05,9.385661e-05,9.363807e-05,9.362849e-05,9.337726e-05,9.330305e-05,9.310489e-05,9.293209e-05,9.281322e-05,9.252931e-05,9.250396e-05,9.217872e-05,9.209846e-05,9.183901e-05,9.164298e-05,9.148623e-05,9.116601e-05,9.112168e-05,9.074660e-05,9.067042e-05,9.036211e-05,9.015881e-05,8.996927e-05,8.963358e-05,8.956909e-05,8.916248e-05,8.909688e-05,8.875030e-05,8.855071e-05,8.833334e-05,8.799684e-05,8.791236e-05,8.748804e-05,8.743693e-05,8.706102e-05,8.687244e-05,8.663191e-05,8.630472e-05,8.620125e-05,8.576956e-05,8.573499e-05,8.533731e-05,8.516436e-05,8.490496e-05,8.459382e-05,8.447290e-05,8.404151e-05,8.402427e-05,8.361114e-05,8.345653e-05,8.318213e-05,8.289131e-05,8.275475e-05,8.232929e-05,8.177104e-05,8.121709e-05,8.066791e-05,8.012391e-05,7.958545e-05,7.905287e-05,7.852645e-05,7.800643e-05,7.749303e-05,7.698642e-05,7.648678e-05,7.599422e-05,7.550885e-05,7.503075e-05,7.456000e-05,7.409664e-05,7.364070e-05,7.319219e-05,7.275114e-05,7.231751e-05,7.189130e-05,7.147249e-05,7.106103e-05,7.065687e-05
0.000000e+00,1.397335e-12,1.027301e-11,1.792008e-10,1.086770e-09,2.407586e-09,1.246052e-08,1.319492e-08,4.515314e-08,6.025686e-08,1.165376e-07,1.877474e-07,2.505393e-07,4.526836e-07,4.746165e-07,8.177162e-07,9.206676e-07,1.304212e-06,1.645068e-06,1.948344e-06,2.648424e-06,2.753439e-06,3.715177e-06,3.925646e-06,4.825518e-06,5.458560e-06,6.075187e-06,7.225574e-06,7.454594e-06,8.953791e-06,9.204084e-06,1.056220e-05,1.136970e-05,1.226839e-05,1.369551e-05,1.406007e-05,1.592421e-05,1.615214e-05,1.784736e-05,1.870872e-05,1.981589e-05,2.133406e-05,2.181640e-05,2.383598e-05,2.399800e-05,2.586247e-05,2.667245e-05,2.788464e-05,2.933218e-05,2.989233e-05,3.187653e-05,3.195530e-05,3.382943e-05,3.452349e-05,3.574434e-05,3.702190e-05,3.761570e-05,3.943898e-05,4.121058e-05,4.176610e-05,4.292775e-05,4.399723e-05,4.458850e-05,4.612848e-05,4.619148e-05,4.773595e-05,4.815786e-05,4.922160e-05,5.008478e-05,5.064852e-05,5.190979e-05,5.201715e-05,5.332818e-05,5.363435e-05,5.458253e-05,5.526062e-05,5.578132e-05,5.679128e-05,5.692580e-05,5.801732e-05,5.822939e-05,5.905731e-05,5.957823e-05,6.004725e-05,6.084124e-05,6.098866e-05,6.188308e-05,6.202193e-05,6.273207e-05,6.312390e-05,6.353716e-05,6.415067e-05,6.429990e-05,6.502178e-05,6.510573e-05,6.570429e-05,6.599250e-05,6.634889e-05,6.681431e-05,6.695701e-05,6.753004e-05,6.757440e-05,6.806933e-05,6.827590e-05,6.857621e-05,6.892181e-05,6.905195e-05,6.949779e-05,6.951502e-05,6.991494e-05,7.005831e-05,7.030456e-05,7.055435e-05,7.066777e-05,7.100567e-05,7.131929e-05,7.141469e-05,7.160966e-05,7.178375e-05,7.187776e-05,7.211504e-05,7.212452e-05,7.235085e-05,7.241068e-05,7.255763e-05,7.267266e-05,7.274569e-05,7.290289e-05,7.291586e-05,7.306891e-05,7.310318e-05,7.320559e-05,7.327525e-05,7.332662e-05,7.342074e-05,7.343271e-05,7.352451e-05,7.354121e-05,7.360266e-05,7.363812e-05,7.366780e-05,7.371288e-05,7.372050e-05,7.376133e-05,7.376680e-05,7.379086e-05,7.380116e-05,7.380959e-05,7.381715e-05,7.381804e-05,7.381668e-05,7.381588e-05,7.380599e-05,7.379845e-05,7.378642e-05,7.376586e-05,7.375838e-05,7.372229e-05,7.371907e-05,7.367856e-05,7.365900e-05,7.362754e-05,7.358651e-05,7.356962e-05,7.350514e-05,7.350242e-05,7.343442e-05,7.340751e-05,7.335781e-05,7.330249e-05,7.327559e-05,7.318808e-05,7.306492e-05,7.293363e-05,7.279481e-05,7.264900e-05,7.249674e-05,7.233852e-05,7.217481e-05,7.200606e-05,7.183268e-05,7.165507e-05,7.147361e-05,7.128866e-05,7.110054e-05,7.090958e-05,7.071606e-05,7.052028e-05,7.032250e-05,7.012298e-05,6.992194e-05,6.971961e-05,6.951620e-05,6.931191e-05,6.910693e-05,6.890143e-05
0.000000e+00,1.992084e-13,1.598695e-12,3.325049e-11,2.348580e-10,5.637174e-10,3.542637e-09,3.779573e-09,1.534667e-08,2.137011e-08,4.562873e-08,7.895360e-08,1.099269e-07,2.160018e-07,2.279491e-07,4.229358e-07,4.840112e-07,7.206687e-07,9.423495e-07,1.148154e-06,1.652472e-06,1.731488e-06,2.492785e-06,2.667871e-06,3.446994e-06,4.021700e-06,4.599804e-06,5.719059e-06,5.947334e-06,7.477416e-06,7.738011e-06,9.171710e-06,1.003686e-05,1.100794e-05,1.256282e-05,1.296180e-05,1.500838e-05,1.525902e-05,1.712306e-05,1.806895e-05,1.928215e-05,2.093893e-05,2.146327e-05,2.364558e-05,2.381963e-05,2.581003e-05,2.666690e-05,2.793946e-05,2.944236e-05,3.001869e-05,3.203465e-05,3.211381e-05,3.397632e-05,3.465535e-05,3.583475e-05,3.704729e-05,3.760295e-05,3.927578e-05,4.084982e-05,4.133230e-05,4.232318e-05,4.321299e-05,4.369531e-05,4.491790e-05,4.496684e-05,4.613938e-05,4.645026e-05,4.721534e-05,4.781579e-05,4.819775e-05,4.902200e-05,4.909018e-05,4.989651e-05,5.007768e-05,5.062092e-05,5.099241e-05,5.126771e-05,5.177616e-05,5.184127e-05,5.234596e-05,5.243902e-05,5.278612e-05,5.299092e-05,5.316600e-05,5.344151e-05,5.348969e-05,5.376115e-05,5.379999e-05,5.398415e-05,5.407504e-05,5.416230e-05,5.427482e-05,5.429901e-05,5.439751e-05,5.440691e-05,5.446085e-05,5.447832e-05,5.449187e-05,5.449548e-05,5.449325e-05,5.446749e-05,5.446432e-05,5.441691e-05,5.439023e-05,5.434370e-05,5.427811e-05,5.424987e-05,5.413730e-05,5.413243e-05,5.400774e-05,5.395725e-05,5.386280e-05,5.375623e-05,5.370399e-05,5.353269e-05,5.335019e-05,5.328963e-05,5.315768e-05,5.302973e-05,5.295625e-05,5.275544e-05,5.274692e-05,5.253063e-05,5.246894e-05,5.230824e-05,5.217220e-05,5.208054e-05,5.186700e-05,5.184827e-05,5.161211e-05,5.155492e-05,5.137268e-05,5.123739e-05,5.113055e-05,5.091568e-05,5.088626e-05,5.064028e-05,5.059093e-05,5.039307e-05,5.026416e-05,5.014502e-05,4.993629e-05,4.989651e-05,4.964789e-05,4.960812e-05,4.939947e-05,4.928038e-05,4.915153e-05,4.895371e-05,4.890434e-05,4.865813e-05,4.862867e-05,4.841313e-05,4.830576e-05,4.816952e-05,4.798542e-05,4.792749e-05,4.768720e-05,4.766805e-05,4.744879e-05,4.735399e-05,4.721240e-05,4.704352e-05,4.697815e-05,4.674614e-05,4.673690e-05,4.651646e-05,4.643436e-05,4.628920e-05,4.613608e-05,4.606443e-05,4.584222e-05,4.555291e-05,4.526827e-05,4.498837e-05,4.471330e-05,4.444309e-05,4.417779e-05,4.391742e-05,4.366199e-05,4.341150e-05,4.316594e-05,4.292529e-05,4.268952e-05,4.245860e-05,4.223249e-05,4.201114e-05,4.179451e-05,4.158253e-05,4.137515e-05,4.117232e-05,4.097395e-05,4.078000e-05,4.059038e-05,4.040503e-05,4.022388e-05
0.000000e+00,3.198972e-09,9.370504e-09,4.147672e-08,1.056661e-07,1.605937e-07,3.905562e-07,4.031473e-07,8.106059e-07,9.599983e-07,1.425633e-06,1.912953e-06,2.293329e-06,3.354709e-06,3.460119e-06,4.968575e-06,5.385053e-06,6.846556e-06,8.060597e-06,9.092400e-06,1.134186e-05,1.166578e-05,1.449555e-05,1.508506e-05,1.750058e-05,1.910757e-05,2.060759e-05,2.325280e-05,2.375771e-05,2.690578e-05,2.740685e-05,3.001725e-05,3.148966e-05,3.306538e-05,3.544413e-05,3.602935e-05,3.889292e-05,3.922918e-05,4.164368e-05,4.281580e-05,4.427241e-05,4.618458e-05,4.677266e-05,4.914034e-05,4.932395e-05,5.137334e-05,5.222870e-05,5.347127e-05,5.489863e-05,5.543509e-05,5.726689e-05,5.733746e-05,5.896966e-05,5.955176e-05,6.054707e-05,6.155022e-05,6.200329e-05,6.334287e-05,6.457060e-05,6.494065e-05,6.569141e-05,6.635493e-05,6.671031e-05,6.759722e-05,6.763230e-05,6.846237e-05,6.867898e-05,6.920537e-05,6.961138e-05,6.986610e-05,7.040528e-05,7.044918e-05,7.095910e-05,7.107107e-05,7.140018e-05,7.161868e-05,7.177660e-05,7.205752e-05,7.209233e-05,7.235121e-05,7.239648e-05,7.255687e-05,7.264394e-05,7.271279e-05,7.280777e-05,7.282230e-05,7.288854e-05,7.289533e-05,7.291450e-05,7.291350e-05,7.290303e-05,7.286871e-05,7.285681e-05,7.277840e-05,7.276694e-05,7.267020e-05,7.261375e-05,7.253450e-05,7.241430e-05,7.237345e-05,7.218908e-05,7.217338e-05,7.198332e-05,7.189543e-05,7.175797e-05,7.158455e-05,7.151474e-05,7.125522e-05,7.124452e-05,7.098093e-05,7.087884e-05,7.069328e-05,7.049073e-05,7.039360e-05,7.008315e-05,6.976309e-05,6.965883e-05,6.943453e-05,6.922026e-05,6.909849e-05,6.876974e-05,6.875593e-05,6.840775e-05,6.830937e-05,6.805479e-05,6.784106e-05,6.769785e-05,6.736656e-05,6.733764e-05,6.697485e-05,6.688746e-05,6.661011e-05,6.640523e-05,6.624401e-05,6.592116e-05,6.587711e-05,6.550990e-05,6.543646e-05,6.514285e-05,6.495220e-05,6.477641e-05,6.446935e-05,6.441096e-05,6.404689e-05,6.398879e-05,6.368453e-05,6.351130e-05,6.332419e-05,6.303757e-05,6.296617e-05,6.261071e-05,6.256824e-05,6.225807e-05,6.210385e-05,6.190846e-05,6.164490e-05,6.156207e-05,6.121909e-05,6.119180e-05,6.087967e-05,6.074494e-05,6.054397e-05,6.030463e-05,6.021210e-05,5.988418e-05,5.987115e-05,5.956032e-05,5.944474e-05,5.924059e-05,5.902558e-05,5.892508e-05,5.861385e-05,5.820966e-05,5.781313e-05,5.742431e-05,5.704327e-05,5.667002e-05,5.630457e-05,5.594691e-05,5.559703e-05,5.525486e-05,5.492037e-05,5.459349e-05,5.427415e-05,5.396225e-05,5.365771e-05,5.336043e-05,5.307030e-05,5.278722e-05,5.251107e-05,5.224173e-05,5.197909e-05,5.172301e-05,5.147337e-05,5.123005e-05,5.099292e-05
0.000000e+00,5.440367e-16,4.883815e-15,1.283088e-13,1.122989e-12,3.033949e-12,2.593156e-11,2.801573e-11,1.547620e-10,2.344005e-10,6.186091e-10,1.271301e-09,1.980564e-09,5.005299e-09,5.396586e-09,1.301048e-08,1.582882e-08,2.848617e-08,4.265477e-08,5.767014e-08,1.015768e-07,1.093386e-07,1.959567e-07,2.188728e-07,3.343704e-07,4.338380e-07,5.463631e-07,8.009590e-07,8.590271e-07,1.304927e-06,1.391099e-06,1.922040e-06,2.291544e-06,2.753478e-06,3.604906e-06,3.847015e-06,5.254436e-06,5.447004e-06,7.030741e-06,7.943883e-06,9.233230e-06,1.122819e-05,1.192051e-05,1.515145e-05,1.543517e-05,1.898414e-05,2.069837e-05,2.347478e-05,2.714555e-05,2.867675e-05,3.463960e-05,3.489459e-05,4.140821e-05,4.404994e-05,4.902204e-05,5.469951e-05,5.751443e-05,6.691209e-05,7.723471e-05,8.073553e-05,8.849466e-05,9.619550e-05,1.006968e-04,1.132949e-04,1.138385e-04,1.279098e-04,1.320141e-04,1.428933e-04,1.523114e-04,1.587647e-04,1.741242e-04,1.754932e-04,1.930418e-04,1.973709e-04,2.113677e-04,2.219522e-04,2.304232e-04,2.477541e-04,2.501560e-04,2.705097e-04,2.746498e-04,2.914248e-04,3.025020e-04,3.128392e-04,3.311661e-04,3.346885e-04,3.569070e-04,3.604918e-04,3.794282e-04,3.903262e-04,4.021851e-04,4.205156e-04,4.251112e-04,4.481404e-04,4.509078e-04,4.712081e-04,4.813537e-04,4.942510e-04,5.117094e-04,5.172081e-04,5.400202e-04,5.418372e-04,5.626311e-04,5.716070e-04,5.849872e-04,6.008973e-04,6.070379e-04,6.287358e-04,6.295958e-04,6.500368e-04,6.576000e-04,6.709001e-04,6.848180e-04,6.912885e-04,7.111679e-04,7.305079e-04,7.365783e-04,7.492815e-04,7.609883e-04,7.674650e-04,7.843468e-04,7.850378e-04,8.019829e-04,8.066129e-04,8.182859e-04,8.277549e-04,8.339358e-04,8.477495e-04,8.489241e-04,8.632451e-04,8.665824e-04,8.768955e-04,8.842465e-04,8.898746e-04,9.007418e-04,9.021836e-04,9.138261e-04,9.160750e-04,9.248074e-04,9.302586e-04,9.351346e-04,9.433104e-04,9.448165e-04,9.538633e-04,9.552526e-04,9.622865e-04,9.661119e-04,9.700988e-04,9.759180e-04,9.773139e-04,9.839464e-04,9.847038e-04,9.900117e-04,9.925048e-04,9.955258e-04,9.993581e-04,1.000505e-03,1.004967e-03,1.005303e-03,1.008929e-03,1.010378e-03,1.012409e-03,1.014626e-03,1.015424e-03,1.017992e-03,1.018086e-03,1.020132e-03,1.020801e-03,1.021861e-03,1.022811e-03,1.023197e-03,1.024157e-03,1.024879e-03,1.025017e-03,1.024610e-03,1.023693e-03,1.022305e-03,1.020480e-03,1.018251e-03,1.015651e-03,1.012712e-03,1.009462e-03,1.005930e-03,1.002142e-03,9.981247e-04,9.939009e-04,9.894938e-04,9.849244e-04,9.802128e-04,9.753778e-04,9.704370e-04,9.654068e-04,9.603023e-04,9.551379e-04,9.499267e-04,9.446808e-04
0.000000e+00,5.250373e-14,4.320979e-13,9.465574e-12,7.007685e-11,1.725832e-10,1.158754e-09,1.239575e-09,5.373155e-09,7.616018e-09,1.700367e-08,3.050702e-08,4.349318e-08,9.014094e-08,9.556163e-08,1.875326e-07,2.174649e-07,3.373622e-07,4.543102e-07,5.661531e-07,8.509204e-07,8.967128e-07,1.351066e-06,1.458498e-06,1.947510e-06,2.318134e-06,2.698177e-06,3.451571e-06,3.607754e-06,4.673543e-06,4.858038e-06,5.886513e-06,6.517102e-06,7.232859e-06,8.394659e-06,8.695656e-06,1.025632e-05,1.044927e-05,1.189576e-05,1.263721e-05,1.359522e-05,1.491589e-05,1.533680e-05,1.710385e-05,1.724584e-05,1.888110e-05,1.959173e-05,2.065482e-05,2.192279e-05,2.241280e-05,2.414437e-05,2.421295e-05,2.584036e-05,2.644068e-05,2.749305e-05,2.858884e-05,2.909606e-05,3.064428e-05,3.213376e-05,3.259749e-05,3.356161e-05,3.444214e-05,3.492586e-05,3.617462e-05,3.622535e-05,3.745965e-05,3.779357e-05,3.862891e-05,3.929951e-05,3.973380e-05,4.069437e-05,4.077540e-05,4.175514e-05,4.198125e-05,4.267467e-05,4.316402e-05,4.353590e-05,4.424714e-05,4.434083e-05,4.509159e-05,4.523544e-05,4.579038e-05,4.613394e-05,4.643940e-05,4.694775e-05,4.704088e-05,4.759704e-05,4.768197e-05,4.811005e-05,4.834160e-05,4.858205e-05,4.893151e-05,4.901510e-05,4.941124e-05,4.945639e-05,4.977240e-05,4.992072e-05,5.010047e-05,5.032878e-05,5.039724e-05,5.066446e-05,5.068461e-05,5.090378e-05,5.099205e-05,5.111678e-05,5.125470e-05,5.130498e-05,5.146982e-05,5.147595e-05,5.161267e-05,5.165897e-05,5.173484e-05,5.180674e-05,5.183757e-05,5.192205e-05,5.198938e-05,5.200749e-05,5.204065e-05,5.206549e-05,5.207685e-05,5.209832e-05,5.209894e-05,5.210784e-05,5.210808e-05,5.210439e-05,5.209674e-05,5.208941e-05,5.206611e-05,5.206368e-05,5.202791e-05,5.201791e-05,5.198280e-05,5.195370e-05,5.192900e-05,5.187496e-05,5.186713e-05,5.179776e-05,5.178304e-05,5.172145e-05,5.167920e-05,5.163871e-05,5.156462e-05,5.155005e-05,5.145592e-05,5.144038e-05,5.135675e-05,5.130749e-05,5.125297e-05,5.116688e-05,5.114496e-05,5.103308e-05,5.101941e-05,5.091769e-05,5.086589e-05,5.079911e-05,5.070705e-05,5.067765e-05,5.055359e-05,5.054356e-05,5.042721e-05,5.037607e-05,5.029877e-05,5.020515e-05,5.016850e-05,5.003664e-05,5.003133e-05,4.990339e-05,4.985512e-05,4.976896e-05,4.967696e-05,4.963353e-05,4.949729e-05,4.931647e-05,4.913488e-05,4.895282e-05,4.877061e-05,4.858851e-05,4.840677e-05,4.822562e-05,4.804527e-05,4.786590e-05,4.768770e-05,4.751081e-05,4.733538e-05,4.716153e-05,4.698937e-05,4.681902e-05,4.665055e-05,4.648406e-05,4.631960e-05,4.615726e-05,4.599707e-05,4.583909e-05,4.568335e-05,4.552990e-05,4.537876e-05
0.000000e+00,3.894020e-12,2.513496e-11,3.411993e-10,1.684016e-09,3.362153e-09,1.368229e-08,1.435941e-08,4.018931e-08,5.105280e-08,8.797613e-08,1.301017e-07,1.647129e-07,2.668094e-07,2.772966e-07,4.325124e-07,4.768213e-07,6.365310e-07,7.738041e-07,8.935661e-07,1.164117e-06,1.204118e-06,1.564310e-06,1.641720e-06,1.967135e-06,2.190763e-06,2.404506e-06,2.792910e-06,2.868686e-06,3.352775e-06,3.431660e-06,3.850683e-06,4.092966e-06,4.356956e-06,4.764662e-06,4.866655e-06,5.375313e-06,5.436087e-06,5.878930e-06,6.098001e-06,6.373992e-06,6.742645e-06,6.857485e-06,7.326894e-06,7.363775e-06,7.780194e-06,7.956639e-06,8.215821e-06,8.517874e-06,8.632634e-06,9.029873e-06,9.045348e-06,9.407103e-06,9.537972e-06,9.764176e-06,9.995508e-06,1.010118e-05,1.041840e-05,1.071627e-05,1.080759e-05,1.099534e-05,1.116438e-05,1.125626e-05,1.149033e-05,1.149974e-05,1.172652e-05,1.178713e-05,1.193737e-05,1.205655e-05,1.213307e-05,1.230040e-05,1.231440e-05,1.248212e-05,1.252044e-05,1.263700e-05,1.271839e-05,1.277975e-05,1.289591e-05,1.291109e-05,1.303168e-05,1.305456e-05,1.314217e-05,1.319584e-05,1.324317e-05,1.332112e-05,1.333528e-05,1.341904e-05,1.343171e-05,1.349499e-05,1.352881e-05,1.356361e-05,1.361355e-05,1.362537e-05,1.368072e-05,1.368695e-05,1.373007e-05,1.374999e-05,1.377382e-05,1.380354e-05,1.381232e-05,1.384592e-05,1.384841e-05,1.387496e-05,1.388536e-05,1.389972e-05,1.391508e-05,1.392051e-05,1.393758e-05,1.393819e-05,1.395120e-05,1.395530e-05,1.396159e-05,1.396692e-05,1.396897e-05,1.397356e-05,1.397555e-05,1.397567e-05,1.397513e-05,1.397367e-05,1.397246e-05,1.396793e-05,1.396770e-05,1.396101e-05,1.395881e-05,1.395253e-05,1.394664e-05,1.394239e-05,1.393170e-05,1.393072e-05,1.391762e-05,1.391428e-05,1.390322e-05,1.389462e-05,1.388761e-05,1.387296e-05,1.387090e-05,1.385316e-05,1.384950e-05,1.383449e-05,1.382444e-05,1.381496e-05,1.379796e-05,1.379466e-05,1.377364e-05,1.377022e-05,1.375198e-05,1.374137e-05,1.372974e-05,1.371156e-05,1.370696e-05,1.368372e-05,1.368090e-05,1.366006e-05,1.364953e-05,1.363603e-05,1.361754e-05,1.361166e-05,1.358701e-05,1.358503e-05,1.356212e-05,1.355210e-05,1.353701e-05,1.351882e-05,1.351172e-05,1.348630e-05,1.348528e-05,1.346075e-05,1.345154e-05,1.343513e-05,1.341766e-05,1.340944e-05,1.338372e-05,1.334975e-05,1.331581e-05,1.328194e-05,1.324819e-05,1.321459e-05,1.318118e-05,1.314798e-05,1.311502e-05,1.308233e-05,1.304994e-05,1.301785e-05,1.298610e-05,1.295469e-05,1.292365e-05,1.289298e-05,1.286269e-05,1.283280e-05,1.280332e-05,1.277425e-05,1.274559e-05,1.271736e-05,1.268956e-05,1.266219e-05,1.263525e-05
0.000000e+00,1.300686e-13,1.036359e-12,2.124597e-11,1.481014e-10,3.529097e-10,2.176460e-09,2.320240e-09,9.245404e-09,1.280807e-08,2.699419e-08,4.621711e-08,6.390202e-08,1.236084e-07,1.302695e-07,2.377090e-07,2.709637e-07,3.984737e-07,5.163395e-07,6.246588e-07,8.864601e-07,9.270775e-07,1.313905e-06,1.401862e-06,1.789561e-06,2.072249e-06,2.354289e-06,2.894960e-06,3.004494e-06,3.733565e-06,3.856978e-06,4.532841e-06,4.938557e-06,5.392437e-06,6.116501e-06,6.301859e-06,7.250416e-06,7.366366e-06,8.227476e-06,8.663721e-06,9.222644e-06,9.984901e-06,1.022590e-05,1.122773e-05,1.130755e-05,1.221926e-05,1.261113e-05,1.319234e-05,1.387741e-05,1.413969e-05,1.505496e-05,1.509082e-05,1.593276e-05,1.623872e-05,1.676871e-05,1.731148e-05,1.755942e-05,1.830241e-05,1.899614e-05,1.920757e-05,1.963981e-05,2.002545e-05,2.023339e-05,2.075660e-05,2.077742e-05,2.127300e-05,2.140328e-05,2.172163e-05,2.196902e-05,2.212514e-05,2.245832e-05,2.248563e-05,2.280534e-05,2.287627e-05,2.308667e-05,2.322835e-05,2.333204e-05,2.352015e-05,2.354388e-05,2.372461e-05,2.375724e-05,2.387659e-05,2.394501e-05,2.400207e-05,2.408860e-05,2.410324e-05,2.418216e-05,2.419285e-05,2.424076e-05,2.426222e-05,2.428089e-05,2.430083e-05,2.430424e-05,2.431238e-05,2.431241e-05,2.430679e-05,2.430033e-05,2.428881e-05,2.426762e-05,2.425968e-05,2.422054e-05,2.421701e-05,2.417245e-05,2.415092e-05,2.411635e-05,2.407150e-05,2.405312e-05,2.398354e-05,2.398064e-05,2.390835e-05,2.388003e-05,2.382819e-05,2.377115e-05,2.374366e-05,2.365531e-05,2.356363e-05,2.353366e-05,2.346906e-05,2.340721e-05,2.337201e-05,2.327685e-05,2.327285e-05,2.317191e-05,2.314337e-05,2.306949e-05,2.300744e-05,2.296586e-05,2.286968e-05,2.286129e-05,2.275598e-05,2.273062e-05,2.265014e-05,2.259071e-05,2.254396e-05,2.245037e-05,2.243761e-05,2.233123e-05,2.230996e-05,2.222496e-05,2.216979e-05,2.211893e-05,2.203013e-05,2.201325e-05,2.190801e-05,2.189122e-05,2.180332e-05,2.175329e-05,2.169925e-05,2.161650e-05,2.159589e-05,2.149328e-05,2.148102e-05,2.139150e-05,2.134699e-05,2.129059e-05,2.121452e-05,2.119061e-05,2.109159e-05,2.108371e-05,2.099358e-05,2.095466e-05,2.089660e-05,2.082744e-05,2.080069e-05,2.070587e-05,2.070210e-05,2.061217e-05,2.057871e-05,2.051960e-05,2.045730e-05,2.042817e-05,2.033791e-05,2.022056e-05,2.010527e-05,1.999206e-05,1.988093e-05,1.977189e-05,1.966493e-05,1.956006e-05,1.945726e-05,1.935651e-05,1.925782e-05,1.916115e-05,1.906650e-05,1.897383e-05,1.888314e-05,1.879439e-05,1.870756e-05,1.862263e-05,1.853956e-05,1.845833e-05,1.837892e-05,1.830128e-05,1.822540e-05,1.815124e-05,1.807878e-05
0.000000e+00,6.778760e-15,5.746293e-14,1.337895e-12,1.046228e-11,2.654118e-11,1.920275e-10,2.060325e-10,9.582788e-10,1.383447e-09,3.228671e-09,5.990948e-09,8.720067e-09,1.885538e-08,2.005610e-08,4.084586e-08,4.772981e-08,7.564584e-08,1.032286e-07,1.298299e-07,1.982867e-07,2.093792e-07,3.205958e-07,3.471957e-07,4.697449e-07,5.642551e-07,6.626472e-07,8.621624e-07,9.042662e-07,1.198346e-06,1.250440e-06,1.547142e-06,1.734247e-06,1.951283e-06,2.313811e-06,2.409747e-06,2.919953e-06,2.984479e-06,3.477929e-06,3.737284e-06,4.078538e-06,4.559821e-06,4.715735e-06,5.382827e-06,5.437276e-06,6.072732e-06,6.353461e-06,6.778215e-06,7.291776e-06,7.492107e-06,8.207487e-06,8.236039e-06,8.917837e-06,9.171160e-06,9.617165e-06,1.008364e-05,1.030009e-05,1.096192e-05,1.159867e-05,1.179658e-05,1.220706e-05,1.258034e-05,1.278454e-05,1.330808e-05,1.332922e-05,1.383984e-05,1.397661e-05,1.431574e-05,1.458451e-05,1.475673e-05,1.513186e-05,1.516311e-05,1.553554e-05,1.561997e-05,1.587499e-05,1.605112e-05,1.618268e-05,1.642832e-05,1.646005e-05,1.670864e-05,1.675505e-05,1.693011e-05,1.703512e-05,1.712615e-05,1.727244e-05,1.729849e-05,1.744881e-05,1.747093e-05,1.757879e-05,1.763443e-05,1.769004e-05,1.776659e-05,1.778409e-05,1.786241e-05,1.787082e-05,1.792637e-05,1.795030e-05,1.797726e-05,1.800793e-05,1.801627e-05,1.804452e-05,1.804634e-05,1.806302e-05,1.806790e-05,1.807270e-05,1.807470e-05,1.807443e-05,1.806899e-05,1.806863e-05,1.805709e-05,1.805135e-05,1.803937e-05,1.802430e-05,1.801642e-05,1.798877e-05,1.795690e-05,1.794588e-05,1.792125e-05,1.789664e-05,1.788222e-05,1.784188e-05,1.784015e-05,1.779537e-05,1.778239e-05,1.774817e-05,1.771881e-05,1.769882e-05,1.765173e-05,1.764756e-05,1.759461e-05,1.758167e-05,1.754015e-05,1.750907e-05,1.748438e-05,1.743435e-05,1.742746e-05,1.736953e-05,1.735784e-05,1.731074e-05,1.727986e-05,1.725120e-05,1.720070e-05,1.719103e-05,1.713034e-05,1.712059e-05,1.706922e-05,1.703975e-05,1.700775e-05,1.695839e-05,1.694603e-05,1.688411e-05,1.687668e-05,1.682208e-05,1.679477e-05,1.676000e-05,1.671281e-05,1.669791e-05,1.663588e-05,1.663092e-05,1.657395e-05,1.654922e-05,1.651218e-05,1.646781e-05,1.645059e-05,1.638923e-05,1.638678e-05,1.632814e-05,1.630622e-05,1.626735e-05,1.622620e-05,1.620688e-05,1.614678e-05,1.606802e-05,1.598998e-05,1.591271e-05,1.583625e-05,1.576062e-05,1.568587e-05,1.561203e-05,1.553912e-05,1.546715e-05,1.539616e-05,1.532615e-05,1.525714e-05,1.518914e-05,1.512215e-05,1.505619e-05,1.499126e-05,1.492735e-05,1.486448e-05,1.480264e-05,1.474183e-05,1.468204e-05,1.462328e-05,1.456554e-05,1.450881e-05
0.000000e+00,1.830329e-13,1.468842e-12,3.053137e-11,2.154169e-10,5.166216e-10,3.236827e-09,3.452784e-09,1.395660e-08,1.940506e-08,4.125049e-08,7.107317e-08,9.864249e-08,1.922345e-07,2.027082e-07,3.721082e-07,4.246536e-07,6.263770e-07,8.130657e-07,9.847870e-07,1.400549e-06,1.465164e-06,2.082420e-06,2.223295e-06,2.846686e-06,3.303629e-06,3.761296e-06,4.642382e-06,4.821290e-06,6.013096e-06,6.214698e-06,7.315661e-06,7.972635e-06,8.702667e-06,9.853678e-06,1.014523e-05,1.161447e-05,1.179126e-05,1.308344e-05,1.372346e-05,1.452844e-05,1.559827e-05,1.592965e-05,1.727126e-05,1.737563e-05,1.854131e-05,1.902729e-05,1.973134e-05,2.053544e-05,2.083590e-05,2.185212e-05,2.189091e-05,2.277925e-05,2.309135e-05,2.361826e-05,2.413959e-05,2.437146e-05,2.504215e-05,2.563441e-05,2.580811e-05,2.615281e-05,2.644807e-05,2.660223e-05,2.697345e-05,2.698770e-05,2.731427e-05,2.739583e-05,2.758689e-05,2.772657e-05,2.781036e-05,2.797650e-05,2.798927e-05,2.812795e-05,2.815570e-05,2.823044e-05,2.827343e-05,2.830048e-05,2.833805e-05,2.834155e-05,2.835682e-05,2.835703e-05,2.834917e-05,2.833702e-05,2.832124e-05,2.828387e-05,2.827542e-05,2.821386e-05,2.820268e-05,2.813848e-05,2.809791e-05,2.805103e-05,2.797342e-05,2.795306e-05,2.784598e-05,2.783257e-05,2.773102e-05,2.767825e-05,2.760932e-05,2.751293e-05,2.748186e-05,2.734954e-05,2.733877e-05,2.721315e-05,2.715761e-05,2.707339e-05,2.697104e-05,2.693090e-05,2.678624e-05,2.678041e-05,2.663991e-05,2.658691e-05,2.649235e-05,2.639152e-05,2.634397e-05,2.619511e-05,2.604610e-05,2.599843e-05,2.589720e-05,2.580209e-05,2.574868e-05,2.560665e-05,2.560074e-05,2.545359e-05,2.541256e-05,2.530740e-05,2.522021e-05,2.516232e-05,2.502994e-05,2.501848e-05,2.487601e-05,2.484203e-05,2.473500e-05,2.465671e-05,2.459555e-05,2.447418e-05,2.445773e-05,2.432162e-05,2.429461e-05,2.418727e-05,2.411812e-05,2.405473e-05,2.394483e-05,2.392405e-05,2.379525e-05,2.377482e-05,2.366837e-05,2.360815e-05,2.354343e-05,2.344488e-05,2.342044e-05,2.329943e-05,2.328504e-05,2.318039e-05,2.312864e-05,2.306334e-05,2.297570e-05,2.294827e-05,2.283518e-05,2.282621e-05,2.272406e-05,2.268017e-05,2.261492e-05,2.253754e-05,2.250773e-05,2.240249e-05,2.239832e-05,2.229918e-05,2.226246e-05,2.219780e-05,2.212994e-05,2.209831e-05,2.200071e-05,2.187472e-05,2.175194e-05,2.163231e-05,2.151577e-05,2.140228e-05,2.129178e-05,2.118420e-05,2.107951e-05,2.097762e-05,2.087850e-05,2.078207e-05,2.068828e-05,2.059707e-05,2.050838e-05,2.042215e-05,2.033832e-05,2.025684e-05,2.017765e-05,2.010069e-05,2.002591e-05,1.995325e-05,1.988265e-05,1.981407e-05,1.974745e-05
0.000000e+00,5.654128e-09,1.294090e-08,4.443099e-08,1.010841e-07,1.476448e-07,3.377965e-07,3.481479e-07,6.852655e-07,8.105642e-07,1.207337e-06,1.629636e-06,1.960593e-06,2.868180e-06,2.956088e-06,4.158735e-06,4.472835e-06,5.522121e-06,6.342249e-06,7.011148e-06,8.405685e-06,8.601143e-06,1.027253e-05,1.061500e-05,1.200751e-05,1.292905e-05,1.378867e-05,1.530783e-05,1.559866e-05,1.742037e-05,1.771182e-05,1.923737e-05,2.010329e-05,2.103428e-05,2.244793e-05,2.279718e-05,2.451383e-05,2.471621e-05,2.617385e-05,2.688406e-05,2.776875e-05,2.893316e-05,2.929187e-05,3.073825e-05,3.085053e-05,3.210448e-05,3.262804e-05,3.338858e-05,3.426178e-05,3.458974e-05,3.570817e-05,3.575120e-05,3.674492e-05,3.709846e-05,3.770168e-05,3.830772e-05,3.858070e-05,3.938459e-05,4.011627e-05,4.033566e-05,4.077884e-05,4.116812e-05,4.137555e-05,4.188946e-05,4.190966e-05,4.238448e-05,4.250726e-05,4.280329e-05,4.302903e-05,4.316930e-05,4.346211e-05,4.348566e-05,4.375539e-05,4.381351e-05,4.398140e-05,4.408993e-05,4.416651e-05,4.429769e-05,4.431338e-05,4.442459e-05,4.444276e-05,4.450256e-05,4.453074e-05,4.454960e-05,4.456681e-05,4.456790e-05,4.455953e-05,4.455585e-05,4.452646e-05,4.450235e-05,4.447052e-05,4.441048e-05,4.439346e-05,4.429692e-05,4.428410e-05,4.418245e-05,4.412678e-05,4.405149e-05,4.394178e-05,4.390541e-05,4.374548e-05,4.373212e-05,4.357291e-05,4.350060e-05,4.338882e-05,4.324974e-05,4.319427e-05,4.299024e-05,4.298190e-05,4.277766e-05,4.269920e-05,4.255738e-05,4.240362e-05,4.233023e-05,4.209694e-05,4.185823e-05,4.178080e-05,4.161475e-05,4.145670e-05,4.136710e-05,4.112598e-05,4.111587e-05,4.086158e-05,4.078990e-05,4.060472e-05,4.044956e-05,4.034575e-05,4.010601e-05,4.008510e-05,3.982316e-05,3.976015e-05,3.956030e-05,3.941282e-05,3.929686e-05,3.906479e-05,3.903314e-05,3.876945e-05,3.871674e-05,3.850604e-05,3.836927e-05,3.824317e-05,3.802294e-05,3.798107e-05,3.771993e-05,3.767825e-05,3.745995e-05,3.733563e-05,3.720132e-05,3.699548e-05,3.694418e-05,3.668868e-05,3.665814e-05,3.643497e-05,3.632393e-05,3.618315e-05,3.599311e-05,3.593334e-05,3.568564e-05,3.566592e-05,3.544014e-05,3.534257e-05,3.519691e-05,3.502324e-05,3.495604e-05,3.471757e-05,3.470808e-05,3.448157e-05,3.439722e-05,3.424808e-05,3.409077e-05,3.401715e-05,3.378881e-05,3.349143e-05,3.319867e-05,3.291057e-05,3.262716e-05,3.234847e-05,3.207449e-05,3.180522e-05,3.154064e-05,3.128075e-05,3.102550e-05,3.077487e-05,3.052882e-05,3.028731e-05,3.005028e-05,2.981768e-05,2.958947e-05,2.936558e-05,2.914594e-05,2.893051e-05,2.871922e-05,2.851199e-05,2.830877e-05,2.810949e-05,2.791407e-05
0.000000e+00,6.577945e-09,1.506747e-08,5.179540e-08,1.178841e-07,1.721533e-07,3.930571e-07,4.050450e-07,7.932578e-07,9.364750e-07,1.386351e-06,1.859626e-06,2.227214e-06,3.225975e-06,3.322329e-06,4.640681e-06,4.985960e-06,6.144576e-06,7.056372e-06,7.804152e-06,9.374383e-06,9.595602e-06,1.149744e-05,1.188920e-05,1.348850e-05,1.455199e-05,1.554731e-05,1.731329e-05,1.765231e-05,1.978232e-05,2.012407e-05,2.191714e-05,2.293800e-05,2.403808e-05,2.571350e-05,2.612838e-05,2.817345e-05,2.841520e-05,3.016089e-05,3.101442e-05,3.208058e-05,3.348927e-05,3.392457e-05,3.568684e-05,3.582415e-05,3.736318e-05,3.800901e-05,3.895092e-05,4.003844e-05,4.044872e-05,4.185633e-05,4.191076e-05,4.317442e-05,4.362727e-05,4.440440e-05,4.519143e-05,4.554822e-05,4.660831e-05,4.758741e-05,4.788409e-05,4.848847e-05,4.902565e-05,4.931464e-05,5.004030e-05,5.006915e-05,5.075526e-05,5.093556e-05,5.137624e-05,5.171890e-05,5.193530e-05,5.239768e-05,5.243561e-05,5.288029e-05,5.297908e-05,5.327236e-05,5.347002e-05,5.361472e-05,5.387712e-05,5.391020e-05,5.416151e-05,5.420670e-05,5.437126e-05,5.446474e-05,5.454195e-05,5.465690e-05,5.467597e-05,5.477559e-05,5.478849e-05,5.484300e-05,5.486452e-05,5.488026e-05,5.488969e-05,5.488934e-05,5.487213e-05,5.486838e-05,5.483039e-05,5.480470e-05,5.476582e-05,5.470247e-05,5.468002e-05,5.457451e-05,5.456526e-05,5.445072e-05,5.439639e-05,5.431000e-05,5.419893e-05,5.415365e-05,5.398287e-05,5.397576e-05,5.379882e-05,5.372953e-05,5.360258e-05,5.346269e-05,5.339516e-05,5.317752e-05,5.295058e-05,5.287614e-05,5.271519e-05,5.256048e-05,5.247215e-05,5.223233e-05,5.222221e-05,5.196608e-05,5.189335e-05,5.170444e-05,5.154506e-05,5.143790e-05,5.118887e-05,5.116706e-05,5.089247e-05,5.082606e-05,5.061463e-05,5.045781e-05,5.033405e-05,5.008521e-05,5.005116e-05,4.976639e-05,4.970925e-05,4.948014e-05,4.933082e-05,4.919277e-05,4.895077e-05,4.890463e-05,4.861604e-05,4.856984e-05,4.832730e-05,4.818873e-05,4.803868e-05,4.780805e-05,4.775044e-05,4.746283e-05,4.742836e-05,4.717605e-05,4.705019e-05,4.689033e-05,4.667400e-05,4.660584e-05,4.632277e-05,4.630019e-05,4.604127e-05,4.592914e-05,4.576149e-05,4.556119e-05,4.548357e-05,4.520763e-05,4.519663e-05,4.493378e-05,4.483573e-05,4.466213e-05,4.447871e-05,4.439277e-05,4.412579e-05,4.377714e-05,4.343292e-05,4.309325e-05,4.275826e-05,4.242803e-05,4.210264e-05,4.178215e-05,4.146661e-05,4.115606e-05,4.085051e-05,4.054998e-05,4.025447e-05,3.996397e-05,3.967846e-05,3.939793e-05,3.912234e-05,3.885167e-05,3.858587e-05,3.832489e-05,3.806869e-05,3.781721e-05,3.757041e-05,3.732821e-05,3.709057e-05
0.000000e+00,2.003951e-11,1.297218e-10,1.771075e-09,8.791105e-09,1.761334e-08,7.250414e-08,7.613533e-08,2.167959e-07,2.770727e-07,4.863648e-07,7.328644e-07,9.411021e-07,1.582402e-06,1.650370e-06,2.694491e-06,3.003720e-06,4.148100e-06,5.157608e-06,6.049531e-06,8.078697e-06,8.378814e-06,1.106648e-05,1.163917e-05,1.402321e-05,1.563864e-05,1.716528e-05,1.989782e-05,2.042498e-05,2.375059e-05,2.428602e-05,2.710238e-05,2.871103e-05,3.044876e-05,3.310431e-05,3.376366e-05,3.702496e-05,3.741179e-05,4.021375e-05,4.158962e-05,4.331398e-05,4.560254e-05,4.631218e-05,4.919746e-05,4.942313e-05,5.196129e-05,5.303134e-05,5.459739e-05,5.641385e-05,5.710155e-05,5.947136e-05,5.956334e-05,6.170602e-05,6.247748e-05,6.380609e-05,6.515810e-05,6.577329e-05,6.761028e-05,6.932040e-05,6.984148e-05,7.090761e-05,7.186092e-05,7.237627e-05,7.367897e-05,7.373103e-05,7.497674e-05,7.530666e-05,7.611833e-05,7.675538e-05,7.716078e-05,7.803654e-05,7.810905e-05,7.896802e-05,7.916142e-05,7.974246e-05,8.014097e-05,8.043704e-05,8.098578e-05,8.105625e-05,8.160443e-05,8.170591e-05,8.208576e-05,8.231096e-05,8.250424e-05,8.280999e-05,8.286369e-05,8.316777e-05,8.321152e-05,8.341995e-05,8.352354e-05,8.362353e-05,8.375352e-05,8.378166e-05,8.389730e-05,8.390846e-05,8.397328e-05,8.399485e-05,8.401228e-05,8.401874e-05,8.401681e-05,8.398927e-05,8.398575e-05,8.393192e-05,8.390111e-05,8.384688e-05,8.376964e-05,8.373617e-05,8.360167e-05,8.359583e-05,8.344520e-05,8.338381e-05,8.326841e-05,8.313741e-05,8.307291e-05,8.286018e-05,8.263164e-05,8.255538e-05,8.238860e-05,8.222603e-05,8.213231e-05,8.187489e-05,8.186394e-05,8.158458e-05,8.150453e-05,8.129527e-05,8.111731e-05,8.099697e-05,8.071538e-05,8.069060e-05,8.037699e-05,8.030074e-05,8.005697e-05,7.987522e-05,7.973126e-05,7.944049e-05,7.940057e-05,7.906556e-05,7.899810e-05,7.872685e-05,7.854944e-05,7.838499e-05,7.809581e-05,7.804054e-05,7.769400e-05,7.763839e-05,7.734582e-05,7.717825e-05,7.699645e-05,7.671637e-05,7.664630e-05,7.629573e-05,7.625365e-05,7.594511e-05,7.579091e-05,7.559476e-05,7.532887e-05,7.524499e-05,7.489608e-05,7.486821e-05,7.454828e-05,7.440953e-05,7.420185e-05,7.395338e-05,7.385700e-05,7.351394e-05,7.350026e-05,7.317287e-05,7.305060e-05,7.283395e-05,7.260481e-05,7.249736e-05,7.216323e-05,7.172619e-05,7.129396e-05,7.086679e-05,7.044489e-05,7.002845e-05,6.961763e-05,6.921257e-05,6.881339e-05,6.842018e-05,6.803302e-05,6.765197e-05,6.727708e-05,6.690839e-05,6.654591e-05,6.618965e-05,6.583961e-05,6.549577e-05,6.515813e-05,6.482665e-05,6.450129e-05,6.418202e-05,6.386878e-05,6.356152e-05,6.326019e-05
0.000000e+00,1.724302e-09,6.086385e-09,3.302564e-08,9.232485e-08,1.450949e-07,3.732098e-07,3.858744e-07,7.994766e-07,9.520018e-07,1.427835e-06,1.924838e-06,2.311404e-06,3.382400e-06,3.488137e-06,4.989794e-06,5.400978e-06,6.834383e-06,8.015907e-06,9.014968e-06,1.118051e-05,1.149117e-05,1.419482e-05,1.475601e-05,1.704922e-05,1.856988e-05,1.998615e-05,2.247685e-05,2.295132e-05,2.590264e-05,2.637126e-05,2.880712e-05,3.017671e-05,3.163854e-05,3.383695e-05,3.437611e-05,3.700360e-05,3.731088e-05,3.950880e-05,4.057002e-05,4.188313e-05,4.359660e-05,4.412107e-05,4.621978e-05,4.638163e-05,4.817867e-05,4.892330e-05,4.999899e-05,5.122530e-05,5.168346e-05,5.323591e-05,5.329533e-05,5.466104e-05,5.514392e-05,5.596412e-05,5.678339e-05,5.715084e-05,5.822711e-05,5.919894e-05,5.948884e-05,6.007231e-05,6.058232e-05,6.085312e-05,6.152098e-05,6.154715e-05,6.216002e-05,6.231783e-05,6.269718e-05,6.298527e-05,6.316376e-05,6.353490e-05,6.356467e-05,6.390459e-05,6.397759e-05,6.418795e-05,6.432348e-05,6.441890e-05,6.458191e-05,6.460137e-05,6.473905e-05,6.476152e-05,6.483541e-05,6.487027e-05,6.489368e-05,6.491543e-05,6.491691e-05,6.490795e-05,6.490370e-05,6.486944e-05,6.484119e-05,6.480386e-05,6.473348e-05,6.471354e-05,6.460063e-05,6.458566e-05,6.446714e-05,6.440237e-05,6.431495e-05,6.418785e-05,6.414579e-05,6.396130e-05,6.394592e-05,6.376298e-05,6.368009e-05,6.355223e-05,6.339352e-05,6.333035e-05,6.309855e-05,6.308909e-05,6.285795e-05,6.276939e-05,6.260960e-05,6.243678e-05,6.235445e-05,6.209340e-05,6.182727e-05,6.174116e-05,6.155682e-05,6.138181e-05,6.128277e-05,6.101690e-05,6.100577e-05,6.072642e-05,6.064785e-05,6.044526e-05,6.027593e-05,6.016283e-05,5.990226e-05,5.987958e-05,5.959594e-05,5.952786e-05,5.931232e-05,5.915364e-05,5.902908e-05,5.878041e-05,5.874656e-05,5.846505e-05,5.840889e-05,5.818484e-05,5.803973e-05,5.790618e-05,5.767348e-05,5.762931e-05,5.735443e-05,5.731065e-05,5.708173e-05,5.695167e-05,5.681139e-05,5.659692e-05,5.654356e-05,5.627838e-05,5.624675e-05,5.601598e-05,5.590143e-05,5.575646e-05,5.556121e-05,5.549991e-05,5.524644e-05,5.522630e-05,5.499611e-05,5.489687e-05,5.474899e-05,5.457308e-05,5.450513e-05,5.426458e-05,5.425502e-05,5.402737e-05,5.394281e-05,5.379355e-05,5.363650e-05,5.356314e-05,5.333615e-05,5.304178e-05,5.275342e-05,5.247105e-05,5.219468e-05,5.192427e-05,5.165979e-05,5.140119e-05,5.114843e-05,5.090145e-05,5.066017e-05,5.042454e-05,5.019447e-05,4.996988e-05,4.975070e-05,4.953683e-05,4.932819e-05,4.912468e-05,4.892621e-05,4.873269e-05,4.854403e-05,4.836013e-05,4.818089e-05,4.800622e-05,4.783603e-05
0.000000e+00,4.162573e-09,9.577618e-09,3.307746e-08,7.538749e-08,1.100792e-07,2.505272e-07,2.581110e-07,5.017175e-07,5.907629e-07,8.689241e-07,1.161912e-06,1.392190e-06,2.041821e-06,2.106843e-06,3.044286e-06,3.304585e-06,4.218965e-06,4.976460e-06,5.617151e-06,7.002550e-06,7.200854e-06,8.924034e-06,9.281624e-06,1.074539e-05,1.172011e-05,1.263218e-05,1.424886e-05,1.455894e-05,1.650538e-05,1.681748e-05,1.845461e-05,1.938688e-05,2.039205e-05,2.192488e-05,2.230492e-05,2.418196e-05,2.440432e-05,2.601330e-05,2.680237e-05,2.779043e-05,2.910037e-05,2.950623e-05,3.115486e-05,3.128371e-05,3.273176e-05,3.334164e-05,3.423353e-05,3.526696e-05,3.565788e-05,3.700346e-05,3.705564e-05,3.826980e-05,3.870630e-05,3.945712e-05,4.021981e-05,4.056633e-05,4.159882e-05,4.255644e-05,4.284741e-05,4.344135e-05,4.397063e-05,4.425595e-05,4.497424e-05,4.500285e-05,4.568478e-05,4.586446e-05,4.630456e-05,4.664778e-05,4.686503e-05,4.733075e-05,4.736907e-05,4.781950e-05,4.791994e-05,4.821914e-05,4.842177e-05,4.857071e-05,4.884247e-05,4.887690e-05,4.914029e-05,4.918806e-05,4.936339e-05,4.946428e-05,4.954860e-05,4.967659e-05,4.969824e-05,4.981452e-05,4.983017e-05,4.989956e-05,4.992989e-05,4.995540e-05,4.998033e-05,4.998395e-05,4.998706e-05,4.998580e-05,4.996646e-05,4.995032e-05,4.992382e-05,4.987763e-05,4.986070e-05,4.977859e-05,4.977124e-05,4.967890e-05,4.963440e-05,4.956296e-05,4.947013e-05,4.943203e-05,4.928730e-05,4.928124e-05,4.912990e-05,4.907033e-05,4.896087e-05,4.883981e-05,4.878122e-05,4.859189e-05,4.839376e-05,4.832864e-05,4.818767e-05,4.805195e-05,4.797439e-05,4.776357e-05,4.775466e-05,4.752918e-05,4.746510e-05,4.729858e-05,4.715802e-05,4.706348e-05,4.684370e-05,4.682444e-05,4.658201e-05,4.652337e-05,4.633667e-05,4.619818e-05,4.608889e-05,4.586917e-05,4.583911e-05,4.558773e-05,4.553729e-05,4.533513e-05,4.520342e-05,4.508167e-05,4.486834e-05,4.482768e-05,4.457345e-05,4.453277e-05,4.431927e-05,4.419737e-05,4.406542e-05,4.386272e-05,4.381212e-05,4.355960e-05,4.352936e-05,4.330808e-05,4.319778e-05,4.305775e-05,4.286840e-05,4.280878e-05,4.256133e-05,4.254161e-05,4.231556e-05,4.221775e-05,4.207160e-05,4.189714e-05,4.182958e-05,4.158960e-05,4.158004e-05,4.135177e-05,4.126670e-05,4.111619e-05,4.095733e-05,4.088294e-05,4.065210e-05,4.035117e-05,4.005468e-05,3.976274e-05,3.947545e-05,3.919287e-05,3.891508e-05,3.864211e-05,3.837400e-05,3.811076e-05,3.785240e-05,3.759893e-05,3.735032e-05,3.710657e-05,3.686764e-05,3.663351e-05,3.640413e-05,3.617946e-05,3.595944e-05,3.574404e-05,3.553319e-05,3.532682e-05,3.512489e-05,3.492732e-05,3.473405e-05
0.000000e+00,2.141166e-13,1.641461e-12,3.111140e-11,2.024702e-10,4.651793e-10,2.622328e-09,2.785756e-09,1.022511e-08,1.386971e-08,2.778913e-08,4.578584e-08,6.181623e-08,1.137695e-07,1.194195e-07,2.080005e-07,2.346837e-07,3.347915e-07,4.249596e-07,5.063059e-07,6.984163e-07,7.277618e-07,1.002716e-06,1.064319e-06,1.333036e-06,1.526866e-06,1.719120e-06,2.085981e-06,2.160186e-06,2.654517e-06,2.738397e-06,3.199619e-06,3.478393e-06,3.792315e-06,4.298212e-06,4.428815e-06,5.104785e-06,5.188329e-06,5.815420e-06,6.137760e-06,6.555550e-06,7.134440e-06,7.319745e-06,8.102443e-06,8.165690e-06,8.898066e-06,9.218702e-06,9.701140e-06,1.028099e-05,1.050639e-05,1.130884e-05,1.134082e-05,1.210388e-05,1.238746e-05,1.288732e-05,1.341150e-05,1.365540e-05,1.440488e-05,1.513294e-05,1.536100e-05,1.583726e-05,1.627468e-05,1.651596e-05,1.714205e-05,1.716758e-05,1.779105e-05,1.796047e-05,1.838564e-05,1.872835e-05,1.895094e-05,1.944504e-05,1.948683e-05,1.999341e-05,2.011066e-05,2.047100e-05,2.072596e-05,2.092007e-05,2.129217e-05,2.134126e-05,2.173530e-05,2.181092e-05,2.210302e-05,2.228413e-05,2.244531e-05,2.271388e-05,2.276313e-05,2.305744e-05,2.310242e-05,2.332925e-05,2.345202e-05,2.357955e-05,2.376498e-05,2.380934e-05,2.401962e-05,2.404359e-05,2.421135e-05,2.429008e-05,2.438548e-05,2.450662e-05,2.454293e-05,2.468461e-05,2.469529e-05,2.481136e-05,2.485808e-05,2.492403e-05,2.499688e-05,2.502341e-05,2.511025e-05,2.511348e-05,2.518530e-05,2.520956e-05,2.524924e-05,2.528671e-05,2.530273e-05,2.534641e-05,2.538087e-05,2.539005e-05,2.540669e-05,2.541892e-05,2.542439e-05,2.543423e-05,2.543450e-05,2.543749e-05,2.543711e-05,2.543382e-05,2.542861e-05,2.542393e-05,2.540968e-05,2.540822e-05,2.538708e-05,2.538124e-05,2.536087e-05,2.534412e-05,2.532995e-05,2.529909e-05,2.529463e-05,2.525522e-05,2.524688e-05,2.521202e-05,2.518814e-05,2.516529e-05,2.512350e-05,2.511530e-05,2.506228e-05,2.505353e-05,2.500647e-05,2.497875e-05,2.494809e-05,2.489966e-05,2.488733e-05,2.482439e-05,2.481670e-05,2.475945e-05,2.473029e-05,2.469269e-05,2.464082e-05,2.462425e-05,2.455430e-05,2.454865e-05,2.448298e-05,2.445410e-05,2.441042e-05,2.435748e-05,2.433674e-05,2.426207e-05,2.425907e-05,2.418652e-05,2.415913e-05,2.411019e-05,2.405790e-05,2.403319e-05,2.395560e-05,2.385243e-05,2.374859e-05,2.364424e-05,2.353954e-05,2.343464e-05,2.332968e-05,2.322477e-05,2.312004e-05,2.301557e-05,2.291148e-05,2.280784e-05,2.270473e-05,2.260224e-05,2.250041e-05,2.239932e-05,2.229902e-05,2.219955e-05,2.210096e-05,2.200330e-05,2.190658e-05,2.181086e-05,2.171615e-05,2.162248e-05,2.152988e-05
0.000000e+00,5.734268e-09,1.320011e-08,4.569202e-08,1.045802e-07,1.532379e-07,3.535545e-07,3.645177e-07,7.239409e-07,8.584841e-07,1.287155e-06,1.747297e-06,2.110631e-06,3.118880e-06,3.217383e-06,4.576428e-06,4.934095e-06,6.134105e-06,7.075822e-06,7.845455e-06,9.452901e-06,9.678430e-06,1.160873e-05,1.200461e-05,1.361558e-05,1.468295e-05,1.567965e-05,1.744406e-05,1.778233e-05,1.990571e-05,2.024622e-05,2.203281e-05,2.305049e-05,2.414797e-05,2.582195e-05,2.623707e-05,2.828780e-05,2.853079e-05,3.028969e-05,3.115276e-05,3.223408e-05,3.366905e-05,3.411407e-05,3.592439e-05,3.606609e-05,3.766124e-05,3.833480e-05,3.932208e-05,4.046998e-05,4.090548e-05,4.241094e-05,4.246954e-05,4.383871e-05,4.433385e-05,4.518968e-05,4.606514e-05,4.646520e-05,4.766702e-05,4.879718e-05,4.914406e-05,4.985792e-05,5.050147e-05,5.085165e-05,5.174490e-05,5.178086e-05,5.264812e-05,5.288019e-05,5.345596e-05,5.391322e-05,5.420697e-05,5.484985e-05,5.490365e-05,5.554850e-05,5.569582e-05,5.614394e-05,5.645669e-05,5.669235e-05,5.713785e-05,5.719600e-05,5.765713e-05,5.774444e-05,5.807787e-05,5.828138e-05,5.846028e-05,5.875334e-05,5.880634e-05,5.911796e-05,5.916475e-05,5.939695e-05,5.951980e-05,5.964507e-05,5.982245e-05,5.986398e-05,6.005527e-05,6.007644e-05,6.022047e-05,6.028527e-05,6.036103e-05,6.045224e-05,6.047835e-05,6.057374e-05,6.058046e-05,6.064846e-05,6.067283e-05,6.070372e-05,6.073209e-05,6.074064e-05,6.076033e-05,6.076078e-05,6.076381e-05,6.076129e-05,6.075207e-05,6.073587e-05,6.072605e-05,6.068661e-05,6.063463e-05,6.061547e-05,6.057088e-05,6.052426e-05,6.049613e-05,6.041470e-05,6.041111e-05,6.031650e-05,6.028838e-05,6.021295e-05,6.014678e-05,6.010107e-05,5.999129e-05,5.998145e-05,5.985464e-05,5.982320e-05,5.972117e-05,5.964370e-05,5.958153e-05,5.945393e-05,5.943620e-05,5.928562e-05,5.925492e-05,5.913022e-05,5.904763e-05,5.897039e-05,5.883298e-05,5.880651e-05,5.863893e-05,5.861180e-05,5.846801e-05,5.838487e-05,5.829406e-05,5.815291e-05,5.811737e-05,5.793825e-05,5.791660e-05,5.775694e-05,5.767655e-05,5.757373e-05,5.743334e-05,5.738883e-05,5.720248e-05,5.718752e-05,5.701490e-05,5.693956e-05,5.682628e-05,5.668994e-05,5.663682e-05,5.644669e-05,5.643907e-05,5.625607e-05,5.618735e-05,5.606511e-05,5.593514e-05,5.587396e-05,5.568276e-05,5.543054e-05,5.517874e-05,5.492764e-05,5.467746e-05,5.442843e-05,5.418075e-05,5.393459e-05,5.369013e-05,5.344751e-05,5.320688e-05,5.296835e-05,5.273204e-05,5.249806e-05,5.226648e-05,5.203739e-05,5.181087e-05,5.158697e-05,5.136575e-05,5.114726e-05,5.093154e-05,5.071862e-05,5.050854e-05,5.030130e-05,5.009694e-05
0.000000e+00,3.784682e-11,2.158900e-10,2.347888e-09,9.842423e-09,1.822295e-08,6.350335e-08,6.629734e-08,1.667274e-07,2.069811e-07,3.398041e-07,4.872516e-07,6.066680e-07,9.545149e-07,9.900281e-07,1.513280e-06,1.662046e-06,2.196220e-06,2.652546e-06,3.048425e-06,3.935786e-06,4.066305e-06,5.237045e-06,5.488141e-06,6.544777e-06,7.273796e-06,7.974191e-06,9.258724e-06,9.511375e-06,1.114340e-05,1.141248e-05,1.285773e-05,1.370620e-05,1.464193e-05,1.611117e-05,1.648347e-05,1.836979e-05,1.859857e-05,2.028846e-05,2.113977e-05,2.222731e-05,2.370713e-05,2.417467e-05,2.611953e-05,2.627469e-05,2.805166e-05,2.881882e-05,2.996173e-05,3.131858e-05,3.184138e-05,3.368325e-05,3.375605e-05,3.548099e-05,3.611631e-05,3.722922e-05,3.838742e-05,3.892348e-05,4.056021e-05,4.213663e-05,4.262799e-05,4.365070e-05,4.458632e-05,4.510103e-05,4.643262e-05,4.648681e-05,4.780771e-05,4.816594e-05,4.906385e-05,4.978664e-05,5.025571e-05,5.129614e-05,5.138410e-05,5.245004e-05,5.269672e-05,5.345481e-05,5.399129e-05,5.439984e-05,5.518328e-05,5.528668e-05,5.611701e-05,5.627644e-05,5.689257e-05,5.727481e-05,5.761516e-05,5.818254e-05,5.828661e-05,5.890874e-05,5.900383e-05,5.948341e-05,5.974293e-05,6.001245e-05,6.040405e-05,6.049768e-05,6.094091e-05,6.099136e-05,6.134390e-05,6.150891e-05,6.170836e-05,6.196064e-05,6.203601e-05,6.232848e-05,6.235041e-05,6.258739e-05,6.268190e-05,6.281428e-05,6.295868e-05,6.301068e-05,6.317805e-05,6.318416e-05,6.331780e-05,6.336161e-05,6.343129e-05,6.349416e-05,6.351987e-05,6.358478e-05,6.362728e-05,6.363633e-05,6.364852e-05,6.365150e-05,6.364966e-05,6.363285e-05,6.363179e-05,6.359594e-05,6.358283e-05,6.354314e-05,6.350373e-05,6.347435e-05,6.339774e-05,6.339050e-05,6.329247e-05,6.326693e-05,6.318112e-05,6.311325e-05,6.305726e-05,6.293854e-05,6.292168e-05,6.277511e-05,6.274454e-05,6.261828e-05,6.253290e-05,6.245187e-05,6.230515e-05,6.227652e-05,6.209287e-05,6.206275e-05,6.190150e-05,6.180706e-05,6.170298e-05,6.153938e-05,6.149785e-05,6.128663e-05,6.126090e-05,6.106981e-05,6.097276e-05,6.084786e-05,6.067601e-05,6.062121e-05,6.039030e-05,6.037166e-05,6.015553e-05,6.006063e-05,5.991728e-05,5.974378e-05,5.967591e-05,5.943176e-05,5.942194e-05,5.918518e-05,5.909587e-05,5.893646e-05,5.876626e-05,5.868590e-05,5.843378e-05,5.809904e-05,5.776261e-05,5.742502e-05,5.708677e-05,5.674830e-05,5.641004e-05,5.607238e-05,5.573567e-05,5.540025e-05,5.506642e-05,5.473445e-05,5.440461e-05,5.407712e-05,5.375220e-05,5.343004e-05,5.311082e-05,5.279468e-05,5.248178e-05,5.217223e-05,5.186616e-05,5.156365e-05,5.126480e-05,5.096969e-05,5.067836e-05
0.000000e+00,4.876696e-16,4.335953e-15,1.115960e-13,9.576912e-13,2.558416e-12,2.120116e-11,2.287488e-11,1.221272e-10,1.831414e-10,4.706973e-10,9.451972e-10,1.449148e-09,3.523650e-09,3.785938e-09,8.726832e-09,1.049964e-08,1.822738e-08,2.656560e-08,3.515769e-08,5.934017e-08,6.350738e-08,1.085774e-07,1.201667e-07,1.771445e-07,2.247995e-07,2.775833e-07,3.938790e-07,4.199347e-07,6.159081e-07,6.531081e-07,8.788171e-07,1.033079e-06,1.223445e-06,1.568739e-06,1.665850e-06,2.223108e-06,2.298537e-06,2.913020e-06,3.263289e-06,3.753778e-06,4.504861e-06,4.763605e-06,5.960391e-06,6.064732e-06,7.361329e-06,7.982525e-06,8.982556e-06,1.029458e-05,1.083881e-05,1.294315e-05,1.303264e-05,1.530661e-05,1.622268e-05,1.793807e-05,1.988393e-05,2.084397e-05,2.402821e-05,2.749205e-05,2.865937e-05,3.123407e-05,3.377316e-05,3.525016e-05,3.935720e-05,3.953356e-05,4.407499e-05,4.539129e-05,4.886272e-05,5.184788e-05,5.388281e-05,5.869278e-05,5.911925e-05,6.455419e-05,6.588598e-05,7.016819e-05,7.338255e-05,7.594048e-05,8.113370e-05,8.184921e-05,8.787170e-05,8.908781e-05,9.398474e-05,9.719151e-05,1.001648e-04,1.053906e-04,1.063884e-04,1.126320e-04,1.136313e-04,1.188728e-04,1.218608e-04,1.250883e-04,1.300281e-04,1.312571e-04,1.373583e-04,1.380850e-04,1.433725e-04,1.459864e-04,1.492813e-04,1.536910e-04,1.550676e-04,1.607157e-04,1.611611e-04,1.662112e-04,1.683637e-04,1.715412e-04,1.752700e-04,1.766944e-04,1.816607e-04,1.818553e-04,1.864316e-04,1.880998e-04,1.909999e-04,1.939877e-04,1.953599e-04,1.995072e-04,2.034384e-04,2.046505e-04,2.071517e-04,2.094134e-04,2.106462e-04,2.137950e-04,2.139218e-04,2.169799e-04,2.177974e-04,2.198223e-04,2.214253e-04,2.224518e-04,2.246860e-04,2.248720e-04,2.270870e-04,2.275886e-04,2.291015e-04,2.301440e-04,2.309208e-04,2.323648e-04,2.325505e-04,2.339967e-04,2.342644e-04,2.352655e-04,2.358574e-04,2.363636e-04,2.371590e-04,2.372977e-04,2.380745e-04,2.381847e-04,2.387011e-04,2.389505e-04,2.391844e-04,2.394725e-04,2.395313e-04,2.397487e-04,2.397664e-04,2.398436e-04,2.398482e-04,2.398226e-04,2.397333e-04,2.396925e-04,2.394596e-04,2.394368e-04,2.391304e-04,2.389731e-04,2.387110e-04,2.383566e-04,2.382074e-04,2.376253e-04,2.376005e-04,2.369704e-04,2.367178e-04,2.362480e-04,2.357208e-04,2.354633e-04,2.346212e-04,2.334299e-04,2.321571e-04,2.308126e-04,2.294055e-04,2.279440e-04,2.264360e-04,2.248888e-04,2.233091e-04,2.217029e-04,2.200761e-04,2.184336e-04,2.167804e-04,2.151206e-04,2.134583e-04,2.117969e-04,2.101396e-04,2.084894e-04,2.068488e-04,2.052202e-04,2.036055e-04,2.020066e-04,2.004250e-04,1.988623e-04,1.973195e-04
0.000000e+00,1.191961e-08,2.819784e-08,1.005888e-07,2.334337e-07,3.435487e-07,7.953329e-07,8.199277e-07,1.617442e-06,1.911840e-06,2.838256e-06,3.820432e-06,4.593005e-06,6.752401e-06,6.965823e-06,9.973085e-06,1.078550e-05,1.357686e-05,1.583696e-05,1.772813e-05,2.180131e-05,2.238581e-05,2.751581e-05,2.859568e-05,3.308611e-05,3.614568e-05,3.906326e-05,4.437180e-05,4.541065e-05,5.208817e-05,5.318435e-05,5.905259e-05,6.248413e-05,6.625848e-05,7.216574e-05,7.365923e-05,8.120823e-05,8.212188e-05,8.885983e-05,9.224769e-05,9.657032e-05,1.024443e-04,1.042986e-04,1.120069e-04,1.126216e-04,1.196606e-04,1.226998e-04,1.272291e-04,1.326103e-04,1.346853e-04,1.420057e-04,1.422954e-04,1.491707e-04,1.517087e-04,1.561636e-04,1.608134e-04,1.629709e-04,1.695817e-04,1.759879e-04,1.779935e-04,1.821832e-04,1.860355e-04,1.881634e-04,1.936992e-04,1.939255e-04,1.994680e-04,2.009805e-04,2.047907e-04,2.078791e-04,2.098943e-04,2.143977e-04,2.147807e-04,2.194522e-04,2.205417e-04,2.239123e-04,2.263192e-04,2.281654e-04,2.317404e-04,2.322159e-04,2.360678e-04,2.368148e-04,2.397259e-04,2.415531e-04,2.431949e-04,2.459662e-04,2.464796e-04,2.495851e-04,2.500657e-04,2.525166e-04,2.538633e-04,2.552790e-04,2.573707e-04,2.578775e-04,2.603171e-04,2.605994e-04,2.626028e-04,2.635611e-04,2.647397e-04,2.662672e-04,2.667327e-04,2.685867e-04,2.687291e-04,2.703065e-04,2.709579e-04,2.718968e-04,2.729643e-04,2.733623e-04,2.747074e-04,2.747588e-04,2.759366e-04,2.763516e-04,2.770542e-04,2.777527e-04,2.780646e-04,2.789717e-04,2.797797e-04,2.800180e-04,2.804925e-04,2.809004e-04,2.811138e-04,2.816278e-04,2.816475e-04,2.820971e-04,2.822084e-04,2.824662e-04,2.826504e-04,2.827581e-04,2.829614e-04,2.829762e-04,2.831237e-04,2.831490e-04,2.832037e-04,2.832202e-04,2.832193e-04,2.831820e-04,2.831733e-04,2.830686e-04,2.830408e-04,2.829079e-04,2.828031e-04,2.826939e-04,2.824748e-04,2.824291e-04,2.821161e-04,2.820617e-04,2.817572e-04,2.815693e-04,2.813547e-04,2.810029e-04,2.809109e-04,2.804280e-04,2.803675e-04,2.799079e-04,2.796679e-04,2.793528e-04,2.789087e-04,2.787646e-04,2.781451e-04,2.780942e-04,2.774961e-04,2.772286e-04,2.768193e-04,2.763159e-04,2.761165e-04,2.753893e-04,2.753597e-04,2.746391e-04,2.743637e-04,2.738674e-04,2.733312e-04,2.730758e-04,2.722655e-04,2.711697e-04,2.700465e-04,2.688989e-04,2.677293e-04,2.665402e-04,2.653339e-04,2.641128e-04,2.628787e-04,2.616337e-04,2.603796e-04,2.591182e-04,2.578511e-04,2.565798e-04,2.553058e-04,2.540304e-04,2.527549e-04,2.514806e-04,2.502084e-04,2.489395e-04,2.476748e-04,2.464153e-04,2.451617e-04,2.439149e-04,2.426755e-04
0.000000e+00,5.799270e-10,1.656466e-09,7.158898e-09,1.807073e-08,2.738085e-08,6.622513e-08,6.834649e-08,1.366869e-07,1.615907e-07,2.386904e-07,3.185761e-07,3.804088e-07,5.509098e-07,5.677051e-07,8.061816e-07,8.716107e-07,1.100878e-06,1.291968e-06,1.455621e-06,1.818848e-06,1.872066e-06,2.348929e-06,2.451228e-06,2.882077e-06,3.179615e-06,3.465543e-06,3.989687e-06,4.092693e-06,4.756975e-06,4.866286e-06,5.452188e-06,5.795153e-06,6.172506e-06,6.763126e-06,6.912423e-06,7.666721e-06,7.757966e-06,8.430457e-06,8.768280e-06,9.198973e-06,9.783554e-06,9.967920e-06,1.073328e-05,1.079425e-05,1.149142e-05,1.179189e-05,1.223903e-05,1.276917e-05,1.297325e-05,1.369154e-05,1.371991e-05,1.439179e-05,1.463910e-05,1.507219e-05,1.552277e-05,1.573128e-05,1.636792e-05,1.698123e-05,1.717246e-05,1.757060e-05,1.793505e-05,1.813564e-05,1.865500e-05,1.867615e-05,1.919210e-05,1.933218e-05,1.968362e-05,1.996690e-05,2.015095e-05,2.055984e-05,2.059445e-05,2.101455e-05,2.111195e-05,2.141176e-05,2.162441e-05,2.178666e-05,2.209858e-05,2.213984e-05,2.247196e-05,2.253591e-05,2.278368e-05,2.293793e-05,2.307568e-05,2.330623e-05,2.334866e-05,2.360331e-05,2.364240e-05,2.384033e-05,2.394804e-05,2.406041e-05,2.422474e-05,2.426423e-05,2.445248e-05,2.447405e-05,2.462579e-05,2.469749e-05,2.478484e-05,2.489655e-05,2.493024e-05,2.506260e-05,2.507265e-05,2.518254e-05,2.522716e-05,2.529062e-05,2.536141e-05,2.538741e-05,2.547345e-05,2.547667e-05,2.554926e-05,2.557415e-05,2.561536e-05,2.565500e-05,2.567222e-05,2.572033e-05,2.576012e-05,2.577118e-05,2.579205e-05,2.580855e-05,2.581652e-05,2.583338e-05,2.583395e-05,2.584470e-05,2.584657e-05,2.584917e-05,2.584897e-05,2.584769e-05,2.584138e-05,2.584062e-05,2.582827e-05,2.582456e-05,2.581097e-05,2.579922e-05,2.578900e-05,2.576603e-05,2.576265e-05,2.573220e-05,2.572564e-05,2.569791e-05,2.567864e-05,2.566003e-05,2.562560e-05,2.561879e-05,2.557442e-05,2.556705e-05,2.552715e-05,2.550348e-05,2.547717e-05,2.543537e-05,2.542468e-05,2.536988e-05,2.536315e-05,2.531293e-05,2.528724e-05,2.525402e-05,2.520803e-05,2.519330e-05,2.513093e-05,2.512587e-05,2.506705e-05,2.504111e-05,2.500180e-05,2.495405e-05,2.493532e-05,2.486773e-05,2.486500e-05,2.479915e-05,2.477424e-05,2.472969e-05,2.468202e-05,2.465947e-05,2.458857e-05,2.449413e-05,2.439890e-05,2.430307e-05,2.420683e-05,2.411033e-05,2.401374e-05,2.391718e-05,2.382080e-05,2.372471e-05,2.362903e-05,2.353385e-05,2.343927e-05,2.334537e-05,2.325223e-05,2.315992e-05,2.306851e-05,2.297805e-05,2.288859e-05,2.280018e-05,2.271286e-05,2.262667e-05,2.254164e-05,2.245779e-05,2.237516e-05
0.000000e+00,3.681436e-11,1.756393e-10,1.428563e-09,4.958380e-09,8.470943e-09,2.528578e-08,2.626486e-08,5.954813e-08,7.223901e-08,1.126209e-07,1.555996e-07,1.893774e-07,2.839374e-07,2.933309e-07,4.276193e-07,4.646752e-07,5.949706e-07,7.039800e-07,7.975960e-07,1.006285e-06,1.036978e-06,1.313576e-06,1.373314e-06,1.626588e-06,1.803109e-06,1.973971e-06,2.290171e-06,2.352743e-06,2.759394e-06,2.826798e-06,3.190196e-06,3.404451e-06,3.641378e-06,4.014484e-06,4.109204e-06,4.590020e-06,4.648421e-06,5.080282e-06,5.298109e-06,5.576593e-06,5.955846e-06,6.075733e-06,6.574699e-06,6.614524e-06,7.070726e-06,7.267744e-06,7.561311e-06,7.909901e-06,8.044226e-06,8.517520e-06,8.536227e-06,8.979518e-06,9.142793e-06,9.428812e-06,9.726477e-06,9.864248e-06,1.028490e-05,1.069008e-05,1.081638e-05,1.107927e-05,1.131979e-05,1.145213e-05,1.179455e-05,1.180849e-05,1.214829e-05,1.224048e-05,1.247161e-05,1.265774e-05,1.277859e-05,1.304681e-05,1.306950e-05,1.334462e-05,1.340834e-05,1.360433e-05,1.374319e-05,1.384903e-05,1.405229e-05,1.407915e-05,1.429516e-05,1.433671e-05,1.449753e-05,1.459753e-05,1.468674e-05,1.483588e-05,1.486330e-05,1.502769e-05,1.505289e-05,1.518041e-05,1.524971e-05,1.532194e-05,1.542744e-05,1.545277e-05,1.557336e-05,1.558717e-05,1.568418e-05,1.572996e-05,1.578568e-05,1.585684e-05,1.587827e-05,1.596240e-05,1.596878e-05,1.603846e-05,1.606672e-05,1.610686e-05,1.615156e-05,1.616796e-05,1.622214e-05,1.622416e-05,1.626974e-05,1.628533e-05,1.631111e-05,1.633584e-05,1.634657e-05,1.637642e-05,1.640098e-05,1.640776e-05,1.642052e-05,1.643052e-05,1.643531e-05,1.644530e-05,1.644563e-05,1.645171e-05,1.645269e-05,1.645380e-05,1.645323e-05,1.645212e-05,1.644744e-05,1.644690e-05,1.643834e-05,1.643581e-05,1.642664e-05,1.641878e-05,1.641198e-05,1.639679e-05,1.639456e-05,1.637454e-05,1.637023e-05,1.635208e-05,1.633949e-05,1.632734e-05,1.630491e-05,1.630047e-05,1.627161e-05,1.626682e-05,1.624090e-05,1.622554e-05,1.620846e-05,1.618135e-05,1.617442e-05,1.613889e-05,1.613453e-05,1.610198e-05,1.608533e-05,1.606379e-05,1.603398e-05,1.602443e-05,1.598399e-05,1.598071e-05,1.594256e-05,1.592573e-05,1.590022e-05,1.586923e-05,1.585706e-05,1.581315e-05,1.581138e-05,1.576856e-05,1.575236e-05,1.572337e-05,1.569233e-05,1.567764e-05,1.563142e-05,1.556978e-05,1.550753e-05,1.544478e-05,1.538166e-05,1.531825e-05,1.525465e-05,1.519096e-05,1.512723e-05,1.506357e-05,1.500002e-05,1.493665e-05,1.487353e-05,1.481070e-05,1.474822e-05,1.468612e-05,1.462446e-05,1.456326e-05,1.450256e-05,1.444239e-05,1.438279e-05,1.432376e-05,1.426535e-05,1.420756e-05,1.415042e-05
0.000000e+00,4.509125e-15,4.038034e-14,1.055329e-12,9.189269e-12,2.475153e-11,2.097309e-10,2.265007e-10,1.238473e-09,1.869930e-09,4.892726e-09,9.976650e-09,1.545639e-08,3.852376e-08,4.148248e-08,9.834971e-08,1.191517e-07,2.115182e-07,3.134890e-07,4.204325e-07,7.288298e-07,7.828558e-07,1.379278e-06,1.535570e-06,2.316976e-06,2.983793e-06,3.733357e-06,5.416319e-06,5.798266e-06,8.715107e-06,9.276223e-06,1.272067e-05,1.510780e-05,1.808368e-05,2.355084e-05,2.510218e-05,3.409978e-05,3.532867e-05,4.542103e-05,5.123087e-05,5.942598e-05,7.209183e-05,7.648422e-05,9.696860e-05,9.876648e-05,1.212487e-04,1.321046e-04,1.496842e-04,1.729247e-04,1.826190e-04,2.203745e-04,2.219892e-04,2.632448e-04,2.799817e-04,3.114915e-04,3.474864e-04,3.653391e-04,4.249720e-04,4.905316e-04,5.127793e-04,5.621139e-04,6.111123e-04,6.397689e-04,7.200342e-04,7.234997e-04,8.132632e-04,8.394671e-04,9.089709e-04,9.691955e-04,1.010491e-03,1.108873e-03,1.117648e-03,1.230232e-03,1.258032e-03,1.347992e-03,1.416095e-03,1.470647e-03,1.582388e-03,1.597889e-03,1.729380e-03,1.756157e-03,1.864764e-03,1.936579e-03,2.003668e-03,2.122783e-03,2.145702e-03,2.290470e-03,2.313859e-03,2.437566e-03,2.508880e-03,2.586584e-03,2.706908e-03,2.737117e-03,2.888761e-03,2.907015e-03,3.041121e-03,3.108285e-03,3.193806e-03,3.309832e-03,3.346440e-03,3.498657e-03,3.510806e-03,3.650109e-03,3.710400e-03,3.800461e-03,3.907855e-03,3.949397e-03,4.096617e-03,4.102467e-03,4.241845e-03,4.293588e-03,4.384818e-03,4.480630e-03,4.525298e-03,4.663066e-03,4.797920e-03,4.840428e-03,4.929681e-03,5.012310e-03,5.058189e-03,5.178364e-03,5.183301e-03,5.304896e-03,5.338297e-03,5.422867e-03,5.491873e-03,5.537127e-03,5.638907e-03,5.647605e-03,5.754244e-03,5.779262e-03,5.857005e-03,5.912847e-03,5.955861e-03,6.039613e-03,6.050798e-03,6.141815e-03,6.159548e-03,6.228921e-03,6.272677e-03,6.312137e-03,6.379054e-03,6.391494e-03,6.467030e-03,6.478764e-03,6.538792e-03,6.571914e-03,6.606836e-03,6.658635e-03,6.671223e-03,6.732018e-03,6.739076e-03,6.789295e-03,6.813401e-03,6.843129e-03,6.881790e-03,6.893602e-03,6.940796e-03,6.944432e-03,6.984798e-03,7.001524e-03,7.025696e-03,7.053272e-03,7.063582e-03,7.098546e-03,7.099885e-03,7.130682e-03,7.141576e-03,7.160082e-03,7.178559e-03,7.186839e-03,7.211048e-03,7.239259e-03,7.263402e-03,7.283686e-03,7.300317e-03,7.313495e-03,7.323416e-03,7.330268e-03,7.334240e-03,7.335507e-03,7.334244e-03,7.330616e-03,7.324784e-03,7.316901e-03,7.307113e-03,7.295562e-03,7.282380e-03,7.267696e-03,7.251630e-03,7.234298e-03,7.215809e-03,7.196266e-03,7.175767e-03,7.154406e-03,7.132269e-03
0.000000e+00,2.011103e-09,4.791317e-09,1.718488e-08,4.002685e-08,5.909625e-08,1.389214e-07,1.433431e-07,2.904636e-07,3.461339e-07,5.222960e-07,7.051320e-07,8.437120e-07,1.206539e-06,1.240730e-06,1.700239e-06,1.818935e-06,2.215007e-06,2.525718e-06,2.780581e-06,3.317183e-06,3.393008e-06,4.047863e-06,4.183482e-06,4.739953e-06,5.112609e-06,5.463330e-06,6.090344e-06,6.211414e-06,6.977271e-06,7.100986e-06,7.753855e-06,8.128387e-06,8.534262e-06,9.156924e-06,9.311945e-06,1.008088e-05,1.017230e-05,1.083567e-05,1.116207e-05,1.157166e-05,1.211600e-05,1.228493e-05,1.297230e-05,1.302610e-05,1.363133e-05,1.388658e-05,1.426021e-05,1.469364e-05,1.485774e-05,1.542326e-05,1.544521e-05,1.595654e-05,1.614066e-05,1.645775e-05,1.678049e-05,1.692737e-05,1.736610e-05,1.777487e-05,1.789952e-05,1.815474e-05,1.838322e-05,1.850687e-05,1.881996e-05,1.883249e-05,1.913288e-05,1.921264e-05,1.940931e-05,1.956421e-05,1.966308e-05,1.987760e-05,1.989543e-05,2.010761e-05,2.015567e-05,2.030081e-05,2.040114e-05,2.047617e-05,2.061661e-05,2.063480e-05,2.077774e-05,2.080453e-05,2.090599e-05,2.096719e-05,2.102049e-05,2.110670e-05,2.112214e-05,2.121178e-05,2.122506e-05,2.129019e-05,2.132406e-05,2.135813e-05,2.140540e-05,2.141628e-05,2.146532e-05,2.147062e-05,2.150585e-05,2.152113e-05,2.153844e-05,2.155824e-05,2.156364e-05,2.158196e-05,2.158314e-05,2.159386e-05,2.159692e-05,2.159978e-05,2.160058e-05,2.160014e-05,2.159534e-05,2.159504e-05,2.158572e-05,2.158114e-05,2.157162e-05,2.155965e-05,2.155338e-05,2.153127e-05,2.150558e-05,2.149665e-05,2.147657e-05,2.145638e-05,2.144449e-05,2.141100e-05,2.140955e-05,2.137198e-05,2.136101e-05,2.133196e-05,2.130687e-05,2.128970e-05,2.124899e-05,2.124537e-05,2.119912e-05,2.118776e-05,2.115112e-05,2.112353e-05,2.110151e-05,2.105663e-05,2.105043e-05,2.099799e-05,2.098736e-05,2.094433e-05,2.091598e-05,2.088956e-05,2.084276e-05,2.083377e-05,2.077707e-05,2.076792e-05,2.071955e-05,2.069168e-05,2.066130e-05,2.061423e-05,2.060240e-05,2.054293e-05,2.053576e-05,2.048296e-05,2.045643e-05,2.042255e-05,2.037639e-05,2.036177e-05,2.030069e-05,2.029579e-05,2.023934e-05,2.021475e-05,2.017780e-05,2.013340e-05,2.011611e-05,2.005431e-05,2.005184e-05,1.999245e-05,1.997018e-05,1.993057e-05,1.988850e-05,1.986871e-05,1.980690e-05,1.972546e-05,1.964424e-05,1.956331e-05,1.948273e-05,1.940257e-05,1.932286e-05,1.924366e-05,1.916501e-05,1.908694e-05,1.900950e-05,1.893271e-05,1.885660e-05,1.878120e-05,1.870654e-05,1.863262e-05,1.855948e-05,1.848713e-05,1.841558e-05,1.834484e-05,1.827493e-05,1.820586e-05,1.813763e-05,1.807026e-05,1.800373e-05
0.000000e+00,2.062863e-15,1.852523e-14,4.870067e-13,4.264219e-12,1.152223e-11,9.848138e-11,1.063950e-10,5.872716e-10,8.891317e-10,2.343350e-09,4.808379e-09,7.481642e-09,1.884111e-08,2.030694e-08,4.872267e-08,5.920265e-08,1.061063e-07,1.583985e-07,2.136602e-07,3.747219e-07,4.031413e-07,7.197650e-07,8.034419e-07,1.225018e-06,1.588120e-06,1.999112e-06,2.930230e-06,3.142857e-06,4.778807e-06,5.095591e-06,7.051588e-06,8.416738e-06,1.012742e-05,1.329096e-05,1.419278e-05,1.945239e-05,2.017412e-05,2.612652e-05,2.957084e-05,3.444777e-05,4.202178e-05,4.465745e-05,5.700161e-05,5.808876e-05,7.172704e-05,7.833867e-05,8.907703e-05,1.033269e-04,1.092874e-04,1.325824e-04,1.335814e-04,1.591714e-04,1.695871e-04,1.892450e-04,2.117728e-04,2.229726e-04,2.604994e-04,3.019448e-04,3.160506e-04,3.474002e-04,3.786263e-04,3.969283e-04,4.483380e-04,4.505624e-04,5.083057e-04,5.252074e-04,5.701324e-04,6.091666e-04,6.359872e-04,7.000605e-04,7.057872e-04,7.794229e-04,7.976518e-04,8.567596e-04,9.016267e-04,9.376392e-04,1.011602e-03,1.021883e-03,1.109292e-03,1.127134e-03,1.199650e-03,1.247727e-03,1.292730e-03,1.372842e-03,1.388287e-03,1.486071e-03,1.501906e-03,1.585822e-03,1.634323e-03,1.687275e-03,1.769483e-03,1.790162e-03,1.894214e-03,1.906766e-03,1.999162e-03,2.045555e-03,2.104742e-03,2.185243e-03,2.210691e-03,2.316753e-03,2.325235e-03,2.422680e-03,2.464959e-03,2.528232e-03,2.603867e-03,2.633178e-03,2.737296e-03,2.741440e-03,2.840377e-03,2.877194e-03,2.942223e-03,3.010678e-03,3.042649e-03,3.141479e-03,3.238554e-03,3.269223e-03,3.333725e-03,3.393573e-03,3.426857e-03,3.514232e-03,3.517828e-03,3.606528e-03,3.630943e-03,3.692858e-03,3.743484e-03,3.776736e-03,3.851672e-03,3.858085e-03,3.936844e-03,3.955355e-03,4.012962e-03,4.054419e-03,4.086398e-03,4.148778e-03,4.157121e-03,4.225109e-03,4.238377e-03,4.290350e-03,4.323188e-03,4.352840e-03,4.403208e-03,4.412583e-03,4.469589e-03,4.478458e-03,4.523878e-03,4.548977e-03,4.575471e-03,4.614826e-03,4.624401e-03,4.670701e-03,4.676082e-03,4.714411e-03,4.732835e-03,4.755576e-03,4.785188e-03,4.794243e-03,4.830464e-03,4.833258e-03,4.864293e-03,4.877167e-03,4.895785e-03,4.917047e-03,4.925001e-03,4.952001e-03,4.953036e-03,4.976847e-03,4.985277e-03,4.999603e-03,5.013915e-03,5.020332e-03,5.039099e-03,5.060978e-03,5.079704e-03,5.095424e-03,5.108289e-03,5.118444e-03,5.126034e-03,5.131200e-03,5.134081e-03,5.134810e-03,5.133519e-03,5.130334e-03,5.125377e-03,5.118765e-03,5.110612e-03,5.101027e-03,5.090114e-03,5.077971e-03,5.064695e-03,5.050375e-03,5.035097e-03,5.018943e-03,5.001991e-03,4.984313e-03,4.965979e-03
0.000000e+00,7.242738e-09,1.670043e-08,5.785398e-08,1.321112e-07,1.930586e-07,4.398866e-07,4.532108e-07,8.806609e-07,1.036582e-06,1.522405e-06,2.032117e-06,2.431413e-06,3.553051e-06,3.665038e-06,5.278128e-06,5.726570e-06,7.308593e-06,8.630596e-06,9.758359e-06,1.222697e-05,1.258340e-05,1.570593e-05,1.635845e-05,1.903994e-05,2.083147e-05,2.250986e-05,2.548559e-05,2.605609e-05,2.963297e-05,3.020564e-05,3.320519e-05,3.490975e-05,3.674473e-05,3.953742e-05,4.022887e-05,4.363898e-05,4.404246e-05,4.695978e-05,4.838935e-05,5.017890e-05,5.255131e-05,5.328653e-05,5.627516e-05,5.650893e-05,5.913928e-05,6.024918e-05,6.187518e-05,6.376437e-05,6.448070e-05,6.695499e-05,6.705124e-05,6.929834e-05,7.011009e-05,7.151192e-05,7.294401e-05,7.359770e-05,7.555828e-05,7.739669e-05,7.795973e-05,7.911636e-05,8.015634e-05,8.072100e-05,8.215683e-05,8.221448e-05,8.360084e-05,8.397038e-05,8.488418e-05,8.560644e-05,8.606861e-05,8.707450e-05,8.715828e-05,8.815727e-05,8.838398e-05,8.906962e-05,8.954418e-05,8.989931e-05,9.056414e-05,9.065022e-05,9.132612e-05,9.145262e-05,9.193069e-05,9.221808e-05,9.246752e-05,9.286864e-05,9.294006e-05,9.335165e-05,9.341207e-05,9.370552e-05,9.385579e-05,9.400477e-05,9.420686e-05,9.425240e-05,9.445128e-05,9.447201e-05,9.460418e-05,9.465758e-05,9.471375e-05,9.476962e-05,9.478254e-05,9.481296e-05,9.481381e-05,9.480737e-05,9.479555e-05,9.476798e-05,9.471990e-05,9.469693e-05,9.459626e-05,9.459165e-05,9.446791e-05,9.441528e-05,9.431373e-05,9.419504e-05,9.413549e-05,9.393488e-05,9.371350e-05,9.363852e-05,9.347288e-05,9.330946e-05,9.321447e-05,9.295094e-05,9.293965e-05,9.264974e-05,9.256604e-05,9.234599e-05,9.215758e-05,9.202956e-05,9.172823e-05,9.170160e-05,9.136315e-05,9.128047e-05,9.101523e-05,9.081661e-05,9.065878e-05,9.033879e-05,9.029472e-05,8.992390e-05,8.984899e-05,8.954712e-05,8.934909e-05,8.916513e-05,8.884078e-05,8.877867e-05,8.838840e-05,8.832565e-05,8.799497e-05,8.780517e-05,8.759896e-05,8.728069e-05,8.720096e-05,8.680148e-05,8.675347e-05,8.640102e-05,8.622464e-05,8.600006e-05,8.569526e-05,8.559902e-05,8.519832e-05,8.516629e-05,8.479835e-05,8.463864e-05,8.439944e-05,8.411309e-05,8.400195e-05,8.360618e-05,8.359039e-05,8.321241e-05,8.307120e-05,8.282092e-05,8.255613e-05,8.243194e-05,8.204572e-05,8.154047e-05,8.104082e-05,8.054716e-05,8.005983e-05,7.957915e-05,7.910538e-05,7.863877e-05,7.817950e-05,7.772775e-05,7.728367e-05,7.684736e-05,7.641893e-05,7.599844e-05,7.558594e-05,7.518147e-05,7.478503e-05,7.439663e-05,7.401625e-05,7.364386e-05,7.327942e-05,7.292288e-05,7.257418e-05,7.223325e-05,7.190001e-05
0.000000e+00,3.711382e-09,9.285804e-09,3.509618e-08,8.371509e-08,1.245712e-07,2.952271e-07,3.046280e-07,6.142310e-07,7.305242e-07,1.102086e-06,1.503491e-06,1.823350e-06,2.729025e-06,2.819014e-06,4.083952e-06,4.422626e-06,5.569948e-06,6.477976e-06,7.222900e-06,8.782976e-06,9.002115e-06,1.087873e-05,1.126371e-05,1.283042e-05,1.386855e-05,1.483807e-05,1.655499e-05,1.688431e-05,1.895308e-05,1.928517e-05,2.102961e-05,2.202514e-05,2.310058e-05,2.474536e-05,2.515418e-05,2.718019e-05,2.742104e-05,2.917000e-05,3.003215e-05,3.111647e-05,3.256322e-05,3.301386e-05,3.485769e-05,3.500277e-05,3.664455e-05,3.734276e-05,3.837198e-05,3.957799e-05,4.003835e-05,4.164264e-05,4.170552e-05,4.318445e-05,4.372419e-05,4.466377e-05,4.563421e-05,4.608101e-05,4.743684e-05,4.873217e-05,4.913407e-05,4.996809e-05,5.072848e-05,5.114585e-05,5.222304e-05,5.226680e-05,5.333237e-05,5.362100e-05,5.434403e-05,5.492579e-05,5.530332e-05,5.614098e-05,5.621182e-05,5.707112e-05,5.727021e-05,5.788278e-05,5.831709e-05,5.864838e-05,5.928522e-05,5.936945e-05,6.004755e-05,6.017815e-05,6.068421e-05,6.099939e-05,6.128092e-05,6.175236e-05,6.183915e-05,6.236034e-05,6.244039e-05,6.284591e-05,6.306674e-05,6.329723e-05,6.363454e-05,6.371565e-05,6.410248e-05,6.414684e-05,6.445899e-05,6.460658e-05,6.478643e-05,6.501658e-05,6.508600e-05,6.535888e-05,6.537959e-05,6.560620e-05,6.569821e-05,6.582906e-05,6.597497e-05,6.602852e-05,6.620563e-05,6.621227e-05,6.636139e-05,6.641242e-05,6.649675e-05,6.657762e-05,6.661265e-05,6.671000e-05,6.678966e-05,6.681156e-05,6.685248e-05,6.688423e-05,6.689928e-05,6.692984e-05,6.693082e-05,6.694786e-05,6.695014e-05,6.695114e-05,6.694679e-05,6.694135e-05,6.692138e-05,6.691917e-05,6.688523e-05,6.687541e-05,6.684017e-05,6.681030e-05,6.678459e-05,6.672742e-05,6.671905e-05,6.664413e-05,6.662806e-05,6.656033e-05,6.651343e-05,6.646819e-05,6.638469e-05,6.636818e-05,6.626078e-05,6.624294e-05,6.614644e-05,6.608922e-05,6.602559e-05,6.592450e-05,6.589865e-05,6.576601e-05,6.574973e-05,6.562805e-05,6.556576e-05,6.548515e-05,6.537344e-05,6.533764e-05,6.518587e-05,6.517355e-05,6.503014e-05,6.496682e-05,6.487077e-05,6.475394e-05,6.470806e-05,6.454227e-05,6.453557e-05,6.437367e-05,6.431234e-05,6.420252e-05,6.408481e-05,6.402907e-05,6.385354e-05,6.361903e-05,6.338176e-05,6.314219e-05,6.290074e-05,6.265781e-05,6.241376e-05,6.216893e-05,6.192366e-05,6.167824e-05,6.143296e-05,6.118806e-05,6.094381e-05,6.070041e-05,6.045808e-05,6.021701e-05,5.997738e-05,5.973935e-05,5.950307e-05,5.926868e-05,5.903631e-05,5.880608e-05,5.857808e-05,5.835241e-05,5.812915e-05
0.000000e+00,2.137057e-09,4.908585e-09,1.686610e-08,3.821161e-08,5.558469e-08,1.250369e-07,1.287530e-07,2.466354e-07,2.891036e-07,4.200324e-07,5.555676e-07,6.606770e-07,9.517677e-07,9.805210e-07,1.388704e-06,1.500189e-06,1.886654e-06,2.201899e-06,2.465955e-06,3.031588e-06,3.112149e-06,3.810145e-06,3.954768e-06,4.546882e-06,4.941639e-06,5.311573e-06,5.968846e-06,6.095150e-06,6.889704e-06,7.017367e-06,7.688127e-06,8.070820e-06,8.483939e-06,9.114715e-06,9.271226e-06,1.004465e-05,1.013629e-05,1.079946e-05,1.112459e-05,1.153154e-05,1.207056e-05,1.223742e-05,1.291428e-05,1.296711e-05,1.355991e-05,1.380903e-05,1.417269e-05,1.459293e-05,1.475155e-05,1.529594e-05,1.531699e-05,1.580575e-05,1.598085e-05,1.628119e-05,1.658511e-05,1.672278e-05,1.713132e-05,1.750784e-05,1.762174e-05,1.785348e-05,1.805907e-05,1.816953e-05,1.844636e-05,1.845734e-05,1.871833e-05,1.878679e-05,1.895392e-05,1.908367e-05,1.916553e-05,1.934027e-05,1.935459e-05,1.952249e-05,1.955979e-05,1.967057e-05,1.974532e-05,1.980013e-05,1.989981e-05,1.991241e-05,2.000862e-05,2.002603e-05,2.008987e-05,2.012657e-05,2.015725e-05,2.020386e-05,2.021176e-05,2.025437e-05,2.026014e-05,2.028597e-05,2.029748e-05,2.030740e-05,2.031777e-05,2.031947e-05,2.032289e-05,2.032275e-05,2.031837e-05,2.031403e-05,2.030655e-05,2.029306e-05,2.028803e-05,2.026338e-05,2.026115e-05,2.023310e-05,2.021953e-05,2.019770e-05,2.016928e-05,2.015761e-05,2.011326e-05,2.011141e-05,2.006505e-05,2.004681e-05,2.001332e-05,1.997632e-05,1.995842e-05,1.990067e-05,1.984034e-05,1.982054e-05,1.977771e-05,1.973654e-05,1.971303e-05,1.964922e-05,1.964653e-05,1.957842e-05,1.955909e-05,1.950890e-05,1.946659e-05,1.943816e-05,1.937214e-05,1.936636e-05,1.929366e-05,1.927610e-05,1.922022e-05,1.917881e-05,1.914615e-05,1.908057e-05,1.907160e-05,1.899666e-05,1.898164e-05,1.892146e-05,1.888228e-05,1.884609e-05,1.878271e-05,1.877064e-05,1.869519e-05,1.868312e-05,1.861981e-05,1.858368e-05,1.854459e-05,1.848457e-05,1.846959e-05,1.839486e-05,1.838591e-05,1.832046e-05,1.828784e-05,1.824644e-05,1.819047e-05,1.817285e-05,1.809972e-05,1.809389e-05,1.802711e-05,1.799821e-05,1.795504e-05,1.790350e-05,1.788354e-05,1.781264e-05,1.780982e-05,1.774238e-05,1.771724e-05,1.767277e-05,1.762581e-05,1.760383e-05,1.753558e-05,1.744658e-05,1.735886e-05,1.727243e-05,1.718732e-05,1.710354e-05,1.702113e-05,1.694007e-05,1.686039e-05,1.678209e-05,1.670517e-05,1.662962e-05,1.655545e-05,1.648266e-05,1.641123e-05,1.634116e-05,1.627243e-05,1.620505e-05,1.613898e-05,1.607424e-05,1.601078e-05,1.594862e-05,1.588772e-05,1.582807e-05,1.576966e-05
0.000000e+00,4.674259e-09,1.109089e-08,3.977794e-08,9.293469e-08,1.374651e-07,3.243002e-07,3.346520e-07,6.793490e-07,8.106155e-07,1.235680e-06,1.703138e-06,2.080813e-06,3.171241e-06,3.281120e-06,4.850339e-06,5.277177e-06,6.738484e-06,7.907140e-06,8.871079e-06,1.089894e-05,1.118442e-05,1.363279e-05,1.413563e-05,1.618350e-05,1.754179e-05,1.881146e-05,2.106327e-05,2.149576e-05,2.421800e-05,2.465594e-05,2.696150e-05,2.828143e-05,2.971111e-05,3.190594e-05,3.245314e-05,3.517544e-05,3.550026e-05,3.786734e-05,3.903974e-05,4.051971e-05,4.250433e-05,4.312493e-05,4.567675e-05,4.587843e-05,4.817013e-05,4.915021e-05,5.060115e-05,5.231117e-05,5.296684e-05,5.526514e-05,5.535565e-05,5.749465e-05,5.828022e-05,5.965441e-05,6.108302e-05,6.174409e-05,6.376375e-05,6.571380e-05,6.632322e-05,6.759493e-05,6.876309e-05,6.940803e-05,7.108561e-05,7.115418e-05,7.283458e-05,7.329349e-05,7.445055e-05,7.538978e-05,7.600348e-05,7.737776e-05,7.749484e-05,7.892611e-05,7.926084e-05,8.029882e-05,8.104255e-05,8.161454e-05,8.272644e-05,8.287480e-05,8.408117e-05,8.431611e-05,8.523520e-05,8.581512e-05,8.633842e-05,8.722699e-05,8.739237e-05,8.839854e-05,8.855520e-05,8.935843e-05,8.980316e-05,9.027348e-05,9.097422e-05,9.114515e-05,9.197483e-05,9.207164e-05,9.276391e-05,9.309859e-05,9.351373e-05,9.405815e-05,9.422561e-05,9.490085e-05,9.495333e-05,9.554071e-05,9.578701e-05,9.614640e-05,9.656202e-05,9.671913e-05,9.726006e-05,9.728105e-05,9.777033e-05,9.794673e-05,9.825104e-05,9.856159e-05,9.870326e-05,9.912805e-05,9.952640e-05,9.964846e-05,9.989932e-05,1.001251e-04,1.002477e-04,1.005601e-04,1.005726e-04,1.008748e-04,1.009555e-04,1.011552e-04,1.013134e-04,1.014147e-04,1.016357e-04,1.016541e-04,1.018741e-04,1.019241e-04,1.020756e-04,1.021806e-04,1.022593e-04,1.024067e-04,1.024259e-04,1.025760e-04,1.026042e-04,1.027105e-04,1.027744e-04,1.028299e-04,1.029190e-04,1.029349e-04,1.030260e-04,1.030394e-04,1.031040e-04,1.031368e-04,1.031692e-04,1.032127e-04,1.032224e-04,1.032639e-04,1.032682e-04,1.032945e-04,1.033045e-04,1.033144e-04,1.033228e-04,1.033243e-04,1.033245e-04,1.033241e-04,1.033155e-04,1.033095e-04,1.032979e-04,1.032799e-04,1.032718e-04,1.032379e-04,1.032364e-04,1.031964e-04,1.031797e-04,1.031477e-04,1.031107e-04,1.030922e-04,1.030303e-04,1.029391e-04,1.028381e-04,1.027277e-04,1.026088e-04,1.024819e-04,1.023477e-04,1.022066e-04,1.020593e-04,1.019063e-04,1.017480e-04,1.015849e-04,1.014175e-04,1.012462e-04,1.010713e-04,1.008932e-04,1.007124e-04,1.005290e-04,1.003435e-04,1.001561e-04,9.996719e-05,9.977691e-05,9.958556e-05,9.939339e-05,9.920060e-05
0.000000e+00,2.197428e-09,6.624034e-09,3.029804e-08,7.858824e-08,1.203969e-07,2.982300e-07,3.080679e-07,6.307340e-07,7.508465e-07,1.130392e-06,1.534829e-06,1.854843e-06,2.763393e-06,2.854611e-06,4.171237e-06,4.536674e-06,5.817894e-06,6.876036e-06,7.769214e-06,9.698578e-06,9.974863e-06,1.238153e-05,1.288283e-05,1.494400e-05,1.632576e-05,1.762608e-05,1.994960e-05,2.039808e-05,2.323452e-05,2.369279e-05,2.611284e-05,2.750323e-05,2.901262e-05,3.133542e-05,3.191540e-05,3.480461e-05,3.514968e-05,3.766556e-05,3.891207e-05,4.048547e-05,4.259434e-05,4.325339e-05,4.596019e-05,4.617386e-05,4.859818e-05,4.963271e-05,5.116136e-05,5.295783e-05,5.364502e-05,5.604568e-05,5.613994e-05,5.836092e-05,5.917318e-05,6.058919e-05,6.205429e-05,6.272966e-05,6.478214e-05,6.674698e-05,6.735734e-05,6.862497e-05,6.978181e-05,7.041724e-05,7.205845e-05,7.212517e-05,7.375041e-05,7.419090e-05,7.529476e-05,7.618335e-05,7.676016e-05,7.804033e-05,7.814863e-05,7.946228e-05,7.976667e-05,8.070328e-05,8.136731e-05,8.187380e-05,8.284730e-05,8.297604e-05,8.401220e-05,8.421170e-05,8.498448e-05,8.546553e-05,8.589504e-05,8.661379e-05,8.674603e-05,8.753958e-05,8.766136e-05,8.827776e-05,8.861303e-05,8.896262e-05,8.947347e-05,8.959617e-05,9.018035e-05,9.024723e-05,9.071709e-05,9.093871e-05,9.120825e-05,9.155217e-05,9.165566e-05,9.206107e-05,9.209174e-05,9.242621e-05,9.256137e-05,9.275276e-05,9.296489e-05,9.304233e-05,9.329651e-05,9.330597e-05,9.351682e-05,9.358813e-05,9.370474e-05,9.381476e-05,9.386171e-05,9.398910e-05,9.408826e-05,9.411424e-05,9.416048e-05,9.419315e-05,9.420702e-05,9.422866e-05,9.422909e-05,9.422785e-05,9.422348e-05,9.420442e-05,9.418018e-05,9.415991e-05,9.410122e-05,9.409534e-05,9.401174e-05,9.398895e-05,9.391007e-05,9.384559e-05,9.379126e-05,9.367326e-05,9.365623e-05,9.350584e-05,9.347399e-05,9.334091e-05,9.324967e-05,9.316226e-05,9.300215e-05,9.297065e-05,9.276682e-05,9.273313e-05,9.255150e-05,9.244425e-05,9.232535e-05,9.213708e-05,9.208903e-05,9.184319e-05,9.181307e-05,9.158841e-05,9.147363e-05,9.132528e-05,9.112006e-05,9.105436e-05,9.077617e-05,9.075361e-05,9.049123e-05,9.037547e-05,9.020002e-05,8.998674e-05,8.990302e-05,8.960067e-05,8.958848e-05,8.929341e-05,8.918166e-05,8.898163e-05,8.876724e-05,8.866573e-05,8.834609e-05,8.791903e-05,8.748686e-05,8.705029e-05,8.661003e-05,8.616672e-05,8.572097e-05,8.527334e-05,8.482437e-05,8.437457e-05,8.392439e-05,8.347427e-05,8.302462e-05,8.257582e-05,8.212822e-05,8.168216e-05,8.123792e-05,8.079581e-05,8.035607e-05,7.991895e-05,7.948468e-05,7.905345e-05,7.862545e-05,7.820086e-05,7.777983e-05
0.000000e+00,2.108923e-09,4.859552e-09,1.679805e-08,3.826425e-08,5.583288e-08,1.266647e-07,1.304765e-07,2.522678e-07,2.964905e-07,4.337131e-07,5.768743e-07,6.884930e-07,9.995386e-07,1.030381e-06,1.469733e-06,1.590099e-06,2.008105e-06,2.349620e-06,2.635857e-06,3.249081e-06,3.336401e-06,4.092484e-06,4.249016e-06,4.889365e-06,5.315799e-06,5.715070e-06,6.423669e-06,6.559726e-06,7.414908e-06,7.552209e-06,8.273238e-06,8.684407e-06,9.128187e-06,9.805819e-06,9.973998e-06,1.080563e-05,1.090426e-05,1.161878e-05,1.196975e-05,1.240984e-05,1.299445e-05,1.317589e-05,1.391464e-05,1.397251e-05,1.462440e-05,1.489990e-05,1.530397e-05,1.577414e-05,1.595262e-05,1.657003e-05,1.659408e-05,1.715619e-05,1.735960e-05,1.771136e-05,1.807143e-05,1.823605e-05,1.873091e-05,1.919675e-05,1.933983e-05,1.963448e-05,1.990031e-05,2.004506e-05,2.041464e-05,2.042954e-05,2.078895e-05,2.088524e-05,2.112436e-05,2.131454e-05,2.143685e-05,2.170499e-05,2.172746e-05,2.199724e-05,2.205900e-05,2.224720e-05,2.237889e-05,2.247833e-05,2.266690e-05,2.269158e-05,2.288788e-05,2.292518e-05,2.306811e-05,2.315577e-05,2.323313e-05,2.336059e-05,2.338376e-05,2.352077e-05,2.354148e-05,2.364492e-05,2.370015e-05,2.375691e-05,2.383821e-05,2.385743e-05,2.394712e-05,2.395718e-05,2.402660e-05,2.405849e-05,2.409645e-05,2.414345e-05,2.415724e-05,2.420948e-05,2.421331e-05,2.425368e-05,2.426922e-05,2.429032e-05,2.431227e-05,2.431985e-05,2.434269e-05,2.434347e-05,2.435926e-05,2.436376e-05,2.436993e-05,2.437400e-05,2.437507e-05,2.437503e-05,2.437013e-05,2.436758e-05,2.436068e-05,2.435239e-05,2.434698e-05,2.433009e-05,2.432931e-05,2.430792e-05,2.430130e-05,2.428306e-05,2.426659e-05,2.425498e-05,2.422648e-05,2.422389e-05,2.419000e-05,2.418147e-05,2.415352e-05,2.413202e-05,2.411462e-05,2.407854e-05,2.407349e-05,2.403030e-05,2.402143e-05,2.398520e-05,2.396105e-05,2.393835e-05,2.389774e-05,2.388989e-05,2.383994e-05,2.383182e-05,2.378865e-05,2.376358e-05,2.373612e-05,2.369328e-05,2.368247e-05,2.362781e-05,2.362118e-05,2.357223e-05,2.354751e-05,2.351584e-05,2.347248e-05,2.345871e-05,2.340094e-05,2.339630e-05,2.334261e-05,2.331914e-05,2.328379e-05,2.324118e-05,2.322455e-05,2.316496e-05,2.316257e-05,2.310507e-05,2.308346e-05,2.304496e-05,2.300398e-05,2.298467e-05,2.292426e-05,2.284441e-05,2.276453e-05,2.268473e-05,2.260509e-05,2.252569e-05,2.244661e-05,2.236792e-05,2.228968e-05,2.221194e-05,2.213475e-05,2.205818e-05,2.198225e-05,2.190701e-05,2.183249e-05,2.175873e-05,2.168575e-05,2.161357e-05,2.154223e-05,2.147173e-05,2.140211e-05,2.133336e-05,2.126550e-05,2.119856e-05,2.113252e-05
0.000000e+00,2.312412e-14,1.939035e-13,4.414142e-12,3.382695e-11,8.487908e-11,5.974221e-10,6.402940e-10,2.902425e-09,4.162465e-09,9.561735e-09,1.753452e-08,2.534137e-08,5.402887e-08,5.740745e-08,1.155538e-07,1.347079e-07,2.120631e-07,2.880957e-07,3.610937e-07,5.475271e-07,5.775449e-07,8.755940e-07,9.461052e-07,1.267259e-06,1.510978e-06,1.761291e-06,2.259063e-06,2.362552e-06,3.071866e-06,3.195233e-06,3.886241e-06,4.312710e-06,4.799336e-06,5.594851e-06,5.802050e-06,6.883153e-06,7.017560e-06,8.029910e-06,8.551781e-06,9.228654e-06,1.016581e-05,1.046531e-05,1.172585e-05,1.182732e-05,1.299670e-05,1.350502e-05,1.426503e-05,1.517000e-05,1.551905e-05,1.674818e-05,1.679669e-05,1.794320e-05,1.836350e-05,1.909627e-05,1.985308e-05,2.020100e-05,2.125238e-05,2.224673e-05,2.255244e-05,2.318157e-05,2.374796e-05,2.405553e-05,2.483689e-05,2.486822e-05,2.562007e-05,2.581982e-05,2.631218e-05,2.669946e-05,2.694626e-05,2.748015e-05,2.752440e-05,2.804905e-05,2.816730e-05,2.852291e-05,2.876714e-05,2.894882e-05,2.928625e-05,2.932967e-05,2.966839e-05,2.973133e-05,2.996785e-05,3.010900e-05,3.023088e-05,3.042567e-05,3.046021e-05,3.065844e-05,3.068744e-05,3.082806e-05,3.090000e-05,3.097140e-05,3.106863e-05,3.109065e-05,3.118783e-05,3.119810e-05,3.126486e-05,3.129282e-05,3.132349e-05,3.135677e-05,3.136538e-05,3.139202e-05,3.139354e-05,3.140480e-05,3.140631e-05,3.140497e-05,3.139795e-05,3.139371e-05,3.137208e-05,3.137101e-05,3.134106e-05,3.132776e-05,3.130154e-05,3.127023e-05,3.125434e-05,3.120021e-05,3.113984e-05,3.111931e-05,3.107385e-05,3.102894e-05,3.100282e-05,3.093037e-05,3.092727e-05,3.084767e-05,3.082472e-05,3.076447e-05,3.071299e-05,3.067807e-05,3.059607e-05,3.058883e-05,3.049710e-05,3.047475e-05,3.040318e-05,3.034974e-05,3.030736e-05,3.022166e-05,3.020989e-05,3.011102e-05,3.009109e-05,3.001096e-05,2.995853e-05,2.990992e-05,2.982442e-05,2.980808e-05,2.970561e-05,2.968916e-05,2.960267e-05,2.955313e-05,2.949939e-05,2.941663e-05,2.939593e-05,2.929238e-05,2.927996e-05,2.918887e-05,2.914336e-05,2.908550e-05,2.900708e-05,2.898236e-05,2.887953e-05,2.887132e-05,2.877711e-05,2.873626e-05,2.867515e-05,2.860207e-05,2.857373e-05,2.847291e-05,2.846889e-05,2.837275e-05,2.833686e-05,2.827328e-05,2.820607e-05,2.817457e-05,2.807665e-05,2.794867e-05,2.782221e-05,2.769734e-05,2.757413e-05,2.745261e-05,2.733284e-05,2.721485e-05,2.709868e-05,2.698434e-05,2.687185e-05,2.676124e-05,2.665252e-05,2.654568e-05,2.644073e-05,2.633768e-05,2.623651e-05,2.613723e-05,2.603983e-05,2.594429e-05,2.585061e-05,2.575876e-05,2.566875e-05,2.558054e-05,2.549412e-05
0.000000e+00,7.197814e-14,5.750963e-13,1.185928e-11,8.314630e-11,1.987842e-10,1.236946e-09,1.319154e-09,5.305420e-09,7.368599e-09,1.562930e-08,2.689415e-08,3.730338e-08,7.263693e-08,7.659153e-08,1.405790e-07,1.604379e-07,2.367253e-07,3.073947e-07,3.724571e-07,5.302373e-07,5.547940e-07,7.899613e-07,8.438015e-07,1.082969e-06,1.259389e-06,1.437201e-06,1.783211e-06,1.854137e-06,2.333275e-06,2.415577e-06,2.872278e-06,3.151173e-06,3.467266e-06,3.980196e-06,4.113179e-06,4.804119e-06,4.889757e-06,5.533667e-06,5.865181e-06,6.295137e-06,6.891052e-06,7.081786e-06,7.886983e-06,7.952007e-06,8.704350e-06,9.033341e-06,9.527864e-06,1.012145e-05,1.035194e-05,1.117151e-05,1.120413e-05,1.198202e-05,1.227080e-05,1.277949e-05,1.331254e-05,1.356048e-05,1.432211e-05,1.506199e-05,1.529384e-05,1.577823e-05,1.622351e-05,1.646935e-05,1.710819e-05,1.713427e-05,1.777228e-05,1.794603e-05,1.838293e-05,1.873611e-05,1.896606e-05,1.947828e-05,1.952173e-05,2.005016e-05,2.017297e-05,2.055175e-05,2.082110e-05,2.102700e-05,2.142392e-05,2.147652e-05,2.190100e-05,2.198295e-05,2.230117e-05,2.249991e-05,2.267782e-05,2.297661e-05,2.303175e-05,2.336380e-05,2.341495e-05,2.367479e-05,2.381684e-05,2.396557e-05,2.418420e-05,2.423697e-05,2.448980e-05,2.451893e-05,2.472487e-05,2.482288e-05,2.494297e-05,2.509785e-05,2.514487e-05,2.533132e-05,2.534559e-05,2.550305e-05,2.556777e-05,2.566075e-05,2.576599e-05,2.580511e-05,2.593677e-05,2.594178e-05,2.605638e-05,2.609661e-05,2.616454e-05,2.623185e-05,2.626183e-05,2.634881e-05,2.642602e-05,2.644875e-05,2.649398e-05,2.653285e-05,2.655318e-05,2.660220e-05,2.660408e-05,2.664715e-05,2.665787e-05,2.668282e-05,2.670083e-05,2.671149e-05,2.673203e-05,2.673356e-05,2.674941e-05,2.675233e-05,2.675941e-05,2.676257e-05,2.676388e-05,2.676352e-05,2.676317e-05,2.675757e-05,2.675589e-05,2.674739e-05,2.674039e-05,2.673292e-05,2.671764e-05,2.671442e-05,2.669214e-05,2.668824e-05,2.666634e-05,2.665277e-05,2.663724e-05,2.661174e-05,2.660507e-05,2.657004e-05,2.656565e-05,2.653234e-05,2.651496e-05,2.649218e-05,2.646011e-05,2.644971e-05,2.640513e-05,2.640148e-05,2.635859e-05,2.633946e-05,2.631025e-05,2.627441e-05,2.626025e-05,2.620873e-05,2.620664e-05,2.615582e-05,2.613646e-05,2.610165e-05,2.606416e-05,2.604634e-05,2.598999e-05,2.591422e-05,2.583706e-05,2.575873e-05,2.567943e-05,2.559933e-05,2.551862e-05,2.543743e-05,2.535593e-05,2.527425e-05,2.519250e-05,2.511080e-05,2.502927e-05,2.494798e-05,2.486704e-05,2.478652e-05,2.470650e-05,2.462705e-05,2.454822e-05,2.447008e-05,2.439267e-05,2.431604e-05,2.424023e-05,2.416528e-05,2.409122e-05
0.000000e+00,1.022282e-14,8.507883e-14,1.907187e-12,1.441391e-11,3.589379e-11,2.477129e-10,2.652752e-10,1.178732e-09,1.681101e-09,3.806824e-09,6.897297e-09,9.887183e-09,2.067954e-08,2.193549e-08,4.321791e-08,5.012264e-08,7.764531e-08,1.042913e-07,1.296166e-07,1.935932e-07,2.038326e-07,3.050908e-07,3.290034e-07,4.380632e-07,5.211963e-07,6.070685e-07,7.796432e-07,8.158563e-07,1.067429e-06,1.111807e-06,1.363922e-06,1.522583e-06,1.706538e-06,2.014053e-06,2.095548e-06,2.530325e-06,2.585513e-06,3.009415e-06,3.233712e-06,3.530626e-06,3.953196e-06,4.091127e-06,4.687553e-06,4.736708e-06,5.316110e-06,5.575615e-06,5.972679e-06,6.460323e-06,6.652920e-06,7.352372e-06,7.380686e-06,8.066536e-06,8.326377e-06,8.790968e-06,9.287235e-06,9.521348e-06,1.025355e-05,1.098367e-05,1.121628e-05,1.170813e-05,1.216726e-05,1.242361e-05,1.309929e-05,1.312717e-05,1.381619e-05,1.400619e-05,1.448840e-05,1.488283e-05,1.514185e-05,1.572509e-05,1.577495e-05,1.638639e-05,1.652980e-05,1.697516e-05,1.729467e-05,1.754049e-05,1.801820e-05,1.808189e-05,1.859906e-05,1.869958e-05,1.909190e-05,1.933856e-05,1.956045e-05,1.993542e-05,2.000493e-05,2.042567e-05,2.049081e-05,2.082309e-05,2.100572e-05,2.119771e-05,2.148138e-05,2.155012e-05,2.188094e-05,2.191922e-05,2.219087e-05,2.232080e-05,2.248061e-05,2.268775e-05,2.275088e-05,2.300245e-05,2.302179e-05,2.323604e-05,2.332462e-05,2.345242e-05,2.359797e-05,2.365233e-05,2.383648e-05,2.384353e-05,2.400561e-05,2.406296e-05,2.416043e-05,2.425787e-05,2.430160e-05,2.442981e-05,2.454570e-05,2.458028e-05,2.464989e-05,2.471071e-05,2.474299e-05,2.482246e-05,2.482557e-05,2.489820e-05,2.491682e-05,2.496141e-05,2.499502e-05,2.501571e-05,2.505822e-05,2.506159e-05,2.509954e-05,2.510751e-05,2.512998e-05,2.514392e-05,2.515337e-05,2.516843e-05,2.517010e-05,2.518057e-05,2.518195e-05,2.518516e-05,2.518533e-05,2.518421e-05,2.517938e-05,2.517806e-05,2.516705e-05,2.516485e-05,2.515147e-05,2.514245e-05,2.513161e-05,2.511284e-05,2.510776e-05,2.508018e-05,2.507663e-05,2.504912e-05,2.503441e-05,2.501481e-05,2.498671e-05,2.497748e-05,2.493735e-05,2.493403e-05,2.489462e-05,2.487684e-05,2.484947e-05,2.481558e-05,2.480211e-05,2.475268e-05,2.475067e-05,2.470137e-05,2.468247e-05,2.464833e-05,2.461134e-05,2.459369e-05,2.453761e-05,2.446159e-05,2.438356e-05,2.430379e-05,2.422251e-05,2.413996e-05,2.405634e-05,2.397185e-05,2.388667e-05,2.380097e-05,2.371490e-05,2.362860e-05,2.354220e-05,2.345583e-05,2.336959e-05,2.328358e-05,2.319790e-05,2.311264e-05,2.302786e-05,2.294365e-05,2.286006e-05,2.277716e-05,2.269500e-05,2.261362e-05,2.253307e-05
0.000000e+00,1.466052e-09,3.355375e-09,1.150714e-08,2.607986e-08,3.795131e-08,8.540326e-08,8.793972e-08,1.681563e-07,1.969152e-07,2.850544e-07,3.754601e-07,4.450273e-07,6.357186e-07,6.544377e-07,9.193637e-07,9.918050e-07,1.244844e-06,1.454690e-06,1.633507e-06,2.026862e-06,2.084040e-06,2.590684e-06,2.697991e-06,3.144489e-06,3.447765e-06,3.735414e-06,4.253450e-06,4.353896e-06,4.991471e-06,5.094750e-06,5.640790e-06,5.954724e-06,6.295453e-06,6.819226e-06,6.949832e-06,7.598950e-06,7.676276e-06,8.238410e-06,8.515700e-06,8.864359e-06,9.328977e-06,9.473469e-06,1.006292e-05,1.010916e-05,1.063038e-05,1.085078e-05,1.117400e-05,1.154982e-05,1.169234e-05,1.218438e-05,1.220351e-05,1.264948e-05,1.281025e-05,1.308730e-05,1.336940e-05,1.349779e-05,1.388116e-05,1.423780e-05,1.434637e-05,1.456828e-05,1.476639e-05,1.487332e-05,1.514296e-05,1.515372e-05,1.541038e-05,1.547812e-05,1.564427e-05,1.577408e-05,1.585637e-05,1.603315e-05,1.604772e-05,1.621934e-05,1.625770e-05,1.637225e-05,1.645010e-05,1.650749e-05,1.661267e-05,1.662605e-05,1.672891e-05,1.674768e-05,1.681702e-05,1.685731e-05,1.689130e-05,1.694365e-05,1.695263e-05,1.700186e-05,1.700867e-05,1.703980e-05,1.705424e-05,1.706724e-05,1.708212e-05,1.708491e-05,1.709350e-05,1.709396e-05,1.709370e-05,1.709129e-05,1.708612e-05,1.707553e-05,1.707137e-05,1.705001e-05,1.704803e-05,1.702257e-05,1.701000e-05,1.698955e-05,1.696259e-05,1.695143e-05,1.690865e-05,1.690684e-05,1.686162e-05,1.684373e-05,1.681075e-05,1.677414e-05,1.675639e-05,1.669889e-05,1.663857e-05,1.661872e-05,1.657574e-05,1.653433e-05,1.651067e-05,1.644635e-05,1.644363e-05,1.637487e-05,1.635534e-05,1.630461e-05,1.626183e-05,1.623307e-05,1.616629e-05,1.616044e-05,1.608692e-05,1.606916e-05,1.601266e-05,1.597082e-05,1.593784e-05,1.587164e-05,1.586260e-05,1.578706e-05,1.577194e-05,1.571137e-05,1.567199e-05,1.563564e-05,1.557207e-05,1.555997e-05,1.548447e-05,1.547241e-05,1.540921e-05,1.537321e-05,1.533430e-05,1.527466e-05,1.525980e-05,1.518578e-05,1.517693e-05,1.511231e-05,1.508017e-05,1.503944e-05,1.498450e-05,1.496723e-05,1.489572e-05,1.489003e-05,1.482496e-05,1.479687e-05,1.475498e-05,1.470510e-05,1.468582e-05,1.461751e-05,1.461480e-05,1.455008e-05,1.452602e-05,1.448354e-05,1.443882e-05,1.441792e-05,1.435324e-05,1.426931e-05,1.418707e-05,1.410653e-05,1.402771e-05,1.395061e-05,1.387524e-05,1.380160e-05,1.372968e-05,1.365947e-05,1.359097e-05,1.352415e-05,1.345900e-05,1.339550e-05,1.333363e-05,1.327336e-05,1.321468e-05,1.315756e-05,1.310196e-05,1.304786e-05,1.299524e-05,1.294406e-05,1.289429e-05,1.284591e-05,1.279889e-05
0.000000e+00,2.247097e-09,5.338105e-09,1.903544e-08,4.393312e-08,6.436887e-08,1.466565e-07,1.510726e-07,2.913060e-07,3.417946e-07,4.970638e-07,6.570246e-07,7.805199e-07,1.120486e-06,1.153952e-06,1.628759e-06,1.758808e-06,2.212936e-06,2.588564e-06,2.907376e-06,3.603263e-06,3.703740e-06,4.586705e-06,4.772138e-06,5.538729e-06,6.055555e-06,6.543457e-06,7.417774e-06,7.586780e-06,8.656612e-06,8.829523e-06,9.742424e-06,1.026651e-05,1.083488e-05,1.170796e-05,1.192560e-05,1.300709e-05,1.313593e-05,1.407271e-05,1.453503e-05,1.511664e-05,1.589242e-05,1.613389e-05,1.712028e-05,1.719775e-05,1.807243e-05,1.844308e-05,1.898767e-05,1.962265e-05,1.986401e-05,2.070009e-05,2.073269e-05,2.149507e-05,2.177112e-05,2.224860e-05,2.273731e-05,2.296070e-05,2.363176e-05,2.426244e-05,2.445587e-05,2.485362e-05,2.521172e-05,2.540635e-05,2.590192e-05,2.592184e-05,2.640136e-05,2.652937e-05,2.684628e-05,2.709721e-05,2.725801e-05,2.760870e-05,2.763796e-05,2.798757e-05,2.806711e-05,2.830824e-05,2.847570e-05,2.860138e-05,2.883766e-05,2.886836e-05,2.911053e-05,2.915610e-05,2.932919e-05,2.943401e-05,2.952558e-05,2.967423e-05,2.970092e-05,2.985637e-05,2.987947e-05,2.999305e-05,3.005230e-05,3.011201e-05,3.019513e-05,3.021429e-05,3.030086e-05,3.031023e-05,3.037263e-05,3.039975e-05,3.043049e-05,3.046569e-05,3.047529e-05,3.050782e-05,3.050991e-05,3.052883e-05,3.053418e-05,3.053905e-05,3.054010e-05,3.053915e-05,3.052977e-05,3.052921e-05,3.051153e-05,3.050291e-05,3.048501e-05,3.046252e-05,3.045074e-05,3.040927e-05,3.036106e-05,3.034429e-05,3.030658e-05,3.026864e-05,3.024629e-05,3.018330e-05,3.018057e-05,3.010984e-05,3.008919e-05,3.003446e-05,2.998714e-05,2.995477e-05,2.987795e-05,2.987112e-05,2.978380e-05,2.976233e-05,2.969312e-05,2.964097e-05,2.959935e-05,2.951448e-05,2.950275e-05,2.940357e-05,2.938344e-05,2.930204e-05,2.924839e-05,2.919839e-05,2.910982e-05,2.909281e-05,2.898550e-05,2.896818e-05,2.887665e-05,2.882390e-05,2.876642e-05,2.867737e-05,2.865499e-05,2.854250e-05,2.852894e-05,2.842910e-05,2.837894e-05,2.831491e-05,2.822769e-05,2.820008e-05,2.808472e-05,2.807547e-05,2.796893e-05,2.792252e-05,2.785283e-05,2.776910e-05,2.773652e-05,2.762008e-05,2.761542e-05,2.750360e-05,2.746168e-05,2.738717e-05,2.730806e-05,2.727086e-05,2.715474e-05,2.700187e-05,2.684959e-05,2.669803e-05,2.654730e-05,2.639752e-05,2.624878e-05,2.610116e-05,2.595475e-05,2.580962e-05,2.566583e-05,2.552344e-05,2.538250e-05,2.524305e-05,2.510513e-05,2.496879e-05,2.483404e-05,2.470092e-05,2.456944e-05,2.443962e-05,2.431148e-05,2.418504e-05,2.406028e-05,2.393724e-05,2.381590e-05
0.000000e+00,6.807522e-09,1.659109e-08,6.086481e-08,1.426548e-07,2.104551e-07,4.872855e-07,5.022811e-07,9.840971e-07,1.159831e-06,1.706119e-06,2.276225e-06,2.720218e-06,3.954314e-06,4.076483e-06,5.817508e-06,6.296141e-06,7.971538e-06,9.361980e-06,1.054604e-05,1.314592e-05,1.352322e-05,1.685882e-05,1.756332e-05,2.048488e-05,2.245756e-05,2.431699e-05,2.762921e-05,2.826509e-05,3.224492e-05,3.287971e-05,3.618642e-05,3.804860e-05,4.003688e-05,4.302658e-05,4.375960e-05,4.733069e-05,4.774826e-05,5.073550e-05,5.217866e-05,5.396587e-05,5.630193e-05,5.701818e-05,5.989200e-05,6.011424e-05,6.258914e-05,6.361926e-05,6.511304e-05,6.682550e-05,6.746826e-05,6.966019e-05,6.974455e-05,7.169477e-05,7.238991e-05,7.357829e-05,7.477609e-05,7.531721e-05,7.691809e-05,7.838749e-05,7.883099e-05,7.973187e-05,8.052961e-05,8.095759e-05,8.202838e-05,8.207083e-05,8.307759e-05,8.334119e-05,8.398366e-05,8.448130e-05,8.479461e-05,8.546130e-05,8.551581e-05,8.615239e-05,8.629312e-05,8.670924e-05,8.698802e-05,8.719107e-05,8.755656e-05,8.760233e-05,8.794728e-05,8.800868e-05,8.822998e-05,8.835367e-05,8.845427e-05,8.860023e-05,8.862382e-05,8.874210e-05,8.875649e-05,8.881241e-05,8.883004e-05,8.883786e-05,8.882793e-05,8.882143e-05,8.876592e-05,8.875676e-05,8.867399e-05,8.862265e-05,8.854814e-05,8.843129e-05,8.839077e-05,8.820411e-05,8.818798e-05,8.799029e-05,8.789762e-05,8.775133e-05,8.756477e-05,8.748910e-05,8.720542e-05,8.719365e-05,8.690195e-05,8.678818e-05,8.658031e-05,8.635197e-05,8.624198e-05,8.588839e-05,8.552086e-05,8.540052e-05,8.514066e-05,8.489122e-05,8.474896e-05,8.436315e-05,8.434688e-05,8.393547e-05,8.381873e-05,8.351570e-05,8.326022e-05,8.308851e-05,8.268967e-05,8.265475e-05,8.221525e-05,8.210900e-05,8.177077e-05,8.151995e-05,8.132202e-05,8.092414e-05,8.086969e-05,8.041439e-05,8.032302e-05,7.995671e-05,7.971797e-05,7.949722e-05,7.911021e-05,7.903641e-05,7.857478e-05,7.850087e-05,7.811277e-05,7.789099e-05,7.765080e-05,7.728152e-05,7.718926e-05,7.672851e-05,7.667329e-05,7.626890e-05,7.606711e-05,7.581072e-05,7.546366e-05,7.535429e-05,7.489985e-05,7.486359e-05,7.444767e-05,7.426748e-05,7.399797e-05,7.367585e-05,7.355097e-05,7.310686e-05,7.308915e-05,7.266581e-05,7.250782e-05,7.222800e-05,7.193221e-05,7.179357e-05,7.136267e-05,7.079947e-05,7.024288e-05,6.969312e-05,6.915038e-05,6.861482e-05,6.808659e-05,6.756579e-05,6.705253e-05,6.654687e-05,6.604887e-05,6.555857e-05,6.507599e-05,6.460115e-05,6.413404e-05,6.367464e-05,6.322293e-05,6.277888e-05,6.234245e-05,6.191357e-05,6.149221e-05,6.107828e-05,6.067172e-05,6.027247e-05,5.988043e-05
0.000000e+00,1.659946e-09,4.751743e-09,2.056690e-08,5.193503e-08,7.870972e-08,1.906336e-07,1.967579e-07,3.948056e-07,4.673483e-07,6.931797e-07,9.290561e-07,1.112835e-06,1.624268e-06,1.674968e-06,2.399441e-06,2.599331e-06,3.301590e-06,3.887186e-06,4.387445e-06,5.488937e-06,5.648946e-06,7.062777e-06,7.360953e-06,8.595320e-06,9.427170e-06,1.021081e-05,1.160846e-05,1.187741e-05,1.356931e-05,1.384094e-05,1.526626e-05,1.607779e-05,1.695240e-05,1.828500e-05,1.861517e-05,2.024458e-05,2.043747e-05,2.183266e-05,2.251665e-05,2.337314e-05,2.450907e-05,2.486122e-05,2.629335e-05,2.640542e-05,2.766705e-05,2.819980e-05,2.898077e-05,2.988904e-05,3.023373e-05,3.142580e-05,3.147222e-05,3.255737e-05,3.295008e-05,3.362928e-05,3.432468e-05,3.464268e-05,3.559900e-05,3.649986e-05,3.677670e-05,3.734701e-05,3.786186e-05,3.814231e-05,3.885880e-05,3.888768e-05,3.958507e-05,3.977200e-05,4.023643e-05,4.060597e-05,4.084372e-05,4.136515e-05,4.140886e-05,4.193374e-05,4.205392e-05,4.242021e-05,4.267653e-05,4.287007e-05,4.323704e-05,4.328506e-05,4.366688e-05,4.373940e-05,4.401715e-05,4.418735e-05,4.433746e-05,4.458446e-05,4.462931e-05,4.489415e-05,4.493412e-05,4.513339e-05,4.523953e-05,4.534836e-05,4.550373e-05,4.554035e-05,4.571057e-05,4.572959e-05,4.586020e-05,4.591981e-05,4.599037e-05,4.607695e-05,4.610215e-05,4.619655e-05,4.620338e-05,4.627456e-05,4.630138e-05,4.633710e-05,4.637305e-05,4.638506e-05,4.641928e-05,4.642038e-05,4.644058e-05,4.644523e-05,4.644971e-05,4.644935e-05,4.644741e-05,4.643437e-05,4.641125e-05,4.640183e-05,4.637869e-05,4.635316e-05,4.633727e-05,4.628971e-05,4.628757e-05,4.623012e-05,4.621272e-05,4.616544e-05,4.612336e-05,4.609401e-05,4.602274e-05,4.601631e-05,4.593275e-05,4.591188e-05,4.584377e-05,4.579171e-05,4.574975e-05,4.566315e-05,4.565107e-05,4.554809e-05,4.552701e-05,4.544114e-05,4.538406e-05,4.533054e-05,4.523503e-05,4.521659e-05,4.509958e-05,4.508059e-05,4.497978e-05,4.492136e-05,4.485744e-05,4.475791e-05,4.473282e-05,4.460613e-05,4.459080e-05,4.447759e-05,4.442051e-05,4.434742e-05,4.424751e-05,4.421580e-05,4.408291e-05,4.407223e-05,4.394893e-05,4.389508e-05,4.381403e-05,4.371641e-05,4.367835e-05,4.354204e-05,4.353657e-05,4.340523e-05,4.335589e-05,4.326806e-05,4.317464e-05,4.313065e-05,4.299311e-05,4.281153e-05,4.263014e-05,4.244915e-05,4.226875e-05,4.208912e-05,4.191042e-05,4.173280e-05,4.155640e-05,4.138133e-05,4.120771e-05,4.103564e-05,4.086522e-05,4.069651e-05,4.052961e-05,4.036457e-05,4.020145e-05,4.004031e-05,3.988118e-05,3.972411e-05,3.956913e-05,3.941626e-05,3.926554e-05,3.911698e-05,3.897060e-05
0.000000e+00,3.504206e-09,8.941805e-09,3.446707e-08,8.277103e-08,1.232741e-07,2.905612e-07,2.996794e-07,5.945838e-07,7.029040e-07,1.041723e-06,1.398133e-06,1.677151e-06,2.455041e-06,2.531958e-06,3.619383e-06,3.914509e-06,4.932798e-06,5.761565e-06,6.457518e-06,7.962750e-06,8.179355e-06,1.008577e-05,1.048814e-05,1.216459e-05,1.330943e-05,1.440276e-05,1.639546e-05,1.678585e-05,1.929792e-05,1.971068e-05,2.192170e-05,2.321547e-05,2.463899e-05,2.686760e-05,2.743111e-05,3.027933e-05,3.062402e-05,3.316543e-05,3.444278e-05,3.607195e-05,3.828441e-05,3.898247e-05,4.188182e-05,4.211287e-05,4.475631e-05,4.589635e-05,4.759370e-05,4.960758e-05,5.038328e-05,5.311580e-05,5.322380e-05,5.578346e-05,5.672665e-05,5.837976e-05,6.010172e-05,6.089934e-05,6.333752e-05,6.569107e-05,6.642597e-05,6.795785e-05,6.936234e-05,7.013639e-05,7.214411e-05,7.222598e-05,7.422641e-05,7.477059e-05,7.613799e-05,7.724258e-05,7.796145e-05,7.956213e-05,7.969787e-05,8.134858e-05,8.173217e-05,8.291516e-05,8.375634e-05,8.439935e-05,8.563881e-05,8.580307e-05,8.712833e-05,8.738414e-05,8.837721e-05,8.899717e-05,8.955189e-05,9.048287e-05,9.065455e-05,9.168741e-05,9.184635e-05,9.265273e-05,9.309273e-05,9.355271e-05,9.422715e-05,9.438958e-05,9.516555e-05,9.525468e-05,9.588279e-05,9.618031e-05,9.654343e-05,9.700896e-05,9.714958e-05,9.770332e-05,9.774541e-05,9.820666e-05,9.839433e-05,9.866158e-05,9.896024e-05,9.907002e-05,9.943387e-05,9.944753e-05,9.975496e-05,9.986043e-05,1.000351e-04,1.002031e-04,1.002760e-04,1.004793e-04,1.006468e-04,1.006930e-04,1.007799e-04,1.008478e-04,1.008803e-04,1.009472e-04,1.009494e-04,1.009887e-04,1.009945e-04,1.009995e-04,1.009930e-04,1.009833e-04,1.009456e-04,1.009413e-04,1.008749e-04,1.008554e-04,1.007851e-04,1.007251e-04,1.006733e-04,1.005575e-04,1.005404e-04,1.003878e-04,1.003549e-04,1.002163e-04,1.001200e-04,1.000270e-04,9.985500e-05,9.982094e-05,9.959899e-05,9.956206e-05,9.936208e-05,9.924331e-05,9.911109e-05,9.890072e-05,9.884685e-05,9.857018e-05,9.853618e-05,9.828184e-05,9.815147e-05,9.798259e-05,9.774829e-05,9.767313e-05,9.735416e-05,9.732825e-05,9.702633e-05,9.689286e-05,9.669027e-05,9.644355e-05,9.634658e-05,9.599585e-05,9.598169e-05,9.563864e-05,9.550855e-05,9.527546e-05,9.502536e-05,9.490684e-05,9.453325e-05,9.403329e-05,9.352651e-05,9.301385e-05,9.249621e-05,9.197444e-05,9.144932e-05,9.092161e-05,9.039198e-05,8.986110e-05,8.932957e-05,8.879796e-05,8.826679e-05,8.773657e-05,8.720774e-05,8.668074e-05,8.615597e-05,8.563378e-05,8.511451e-05,8.459848e-05,8.408598e-05,8.357726e-05,8.307257e-05,8.257213e-05,8.207614e-05
0.000000e+00,9.914972e-10,2.325289e-09,8.195409e-09,1.884116e-08,2.757979e-08,6.281199e-08,6.470480e-08,1.248924e-07,1.465925e-07,2.133927e-07,2.822715e-07,3.354599e-07,4.817532e-07,4.961334e-07,6.994054e-07,7.547724e-07,9.468573e-07,1.104261e-06,1.236934e-06,1.524441e-06,1.565801e-06,1.928805e-06,2.005091e-06,2.321315e-06,2.535610e-06,2.738925e-06,3.106022e-06,3.177413e-06,3.632697e-06,3.706834e-06,4.100817e-06,4.328949e-06,4.577968e-06,4.963759e-06,5.060543e-06,5.545187e-06,5.603335e-06,6.028837e-06,6.240611e-06,6.508757e-06,6.869513e-06,6.982547e-06,7.448137e-06,7.484976e-06,7.903794e-06,8.082948e-06,8.348099e-06,8.660324e-06,8.779921e-06,9.198387e-06,9.214838e-06,9.602861e-06,9.744956e-06,9.992904e-06,1.024975e-05,1.036825e-05,1.072879e-05,1.107453e-05,1.118206e-05,1.140557e-05,1.160981e-05,1.172211e-05,1.201258e-05,1.202440e-05,1.231274e-05,1.239102e-05,1.258748e-05,1.274596e-05,1.284900e-05,1.307825e-05,1.309768e-05,1.333394e-05,1.338884e-05,1.355819e-05,1.367867e-05,1.377084e-05,1.394872e-05,1.397232e-05,1.416304e-05,1.419993e-05,1.434342e-05,1.443325e-05,1.451384e-05,1.464960e-05,1.467471e-05,1.482641e-05,1.484986e-05,1.496932e-05,1.503489e-05,1.510379e-05,1.520552e-05,1.523017e-05,1.534881e-05,1.536254e-05,1.546004e-05,1.550671e-05,1.556416e-05,1.563874e-05,1.566149e-05,1.575232e-05,1.575932e-05,1.583694e-05,1.586910e-05,1.591560e-05,1.596871e-05,1.598858e-05,1.605613e-05,1.605872e-05,1.611848e-05,1.613970e-05,1.617587e-05,1.621218e-05,1.622852e-05,1.627665e-05,1.632045e-05,1.633359e-05,1.636013e-05,1.638344e-05,1.639587e-05,1.642664e-05,1.642785e-05,1.645624e-05,1.646357e-05,1.648121e-05,1.649461e-05,1.650291e-05,1.652013e-05,1.652151e-05,1.653714e-05,1.654046e-05,1.654994e-05,1.655592e-05,1.656005e-05,1.656681e-05,1.656759e-05,1.657268e-05,1.657342e-05,1.657545e-05,1.657600e-05,1.657600e-05,1.657482e-05,1.657444e-05,1.657087e-05,1.657012e-05,1.656539e-05,1.656212e-05,1.655810e-05,1.655102e-05,1.654909e-05,1.653843e-05,1.653705e-05,1.652622e-05,1.652038e-05,1.651253e-05,1.650119e-05,1.649744e-05,1.648102e-05,1.647965e-05,1.646334e-05,1.645593e-05,1.644446e-05,1.643017e-05,1.642446e-05,1.640338e-05,1.640251e-05,1.638129e-05,1.637310e-05,1.635824e-05,1.634205e-05,1.633429e-05,1.630949e-05,1.627552e-05,1.624026e-05,1.620381e-05,1.616626e-05,1.612770e-05,1.608822e-05,1.604789e-05,1.600679e-05,1.596500e-05,1.592257e-05,1.587958e-05,1.583608e-05,1.579214e-05,1.574779e-05,1.570310e-05,1.565810e-05,1.561286e-05,1.556739e-05,1.552176e-05,1.547599e-05,1.543012e-05,1.538419e-05,1.533821e-05,1.529223e-05
0.000000e+00,8.907065e-10,2.569603e-09,1.124369e-08,2.864612e-08,4.364988e-08,1.076080e-07,1.111616e-07,2.288661e-07,2.732608e-07,4.153456e-07,5.688596e-07,6.909413e-07,1.034876e-06,1.068941e-06,1.548292e-06,1.677421e-06,2.119765e-06,2.476580e-06,2.774385e-06,3.413931e-06,3.505532e-06,4.308084e-06,4.476753e-06,5.177379e-06,5.654200e-06,6.108576e-06,6.934738e-06,7.096347e-06,8.134792e-06,8.305224e-06,9.217503e-06,9.750935e-06,1.033766e-05,1.125599e-05,1.148819e-05,1.266196e-05,1.280404e-05,1.385193e-05,1.437888e-05,1.505128e-05,1.596506e-05,1.625353e-05,1.745269e-05,1.754832e-05,1.864331e-05,1.911605e-05,1.982051e-05,2.065734e-05,2.097997e-05,2.211796e-05,2.216299e-05,2.323131e-05,2.362556e-05,2.431738e-05,2.503920e-05,2.537401e-05,2.639950e-05,2.739255e-05,2.770332e-05,2.835224e-05,2.894862e-05,2.927793e-05,3.013430e-05,3.016929e-05,3.102622e-05,3.126000e-05,3.184880e-05,3.232598e-05,3.263732e-05,3.333301e-05,3.339217e-05,3.411389e-05,3.428223e-05,3.480308e-05,3.517509e-05,3.546047e-05,3.601324e-05,3.608679e-05,3.668284e-05,3.679850e-05,3.724947e-05,3.753278e-05,3.778754e-05,3.821807e-05,3.829790e-05,3.878145e-05,3.885639e-05,3.923906e-05,3.944975e-05,3.967160e-05,4.000018e-05,4.007996e-05,4.046499e-05,4.050966e-05,4.082752e-05,4.098013e-05,4.116840e-05,4.141348e-05,4.148843e-05,4.178841e-05,4.181157e-05,4.206911e-05,4.217617e-05,4.233129e-05,4.250900e-05,4.257568e-05,4.280299e-05,4.281173e-05,4.301391e-05,4.308596e-05,4.320911e-05,4.333320e-05,4.338924e-05,4.355494e-05,4.370680e-05,4.375257e-05,4.384542e-05,4.392744e-05,4.397135e-05,4.408084e-05,4.408516e-05,4.418737e-05,4.421398e-05,4.427849e-05,4.432804e-05,4.435901e-05,4.442413e-05,4.442940e-05,4.449013e-05,4.450332e-05,4.454163e-05,4.456660e-05,4.458433e-05,4.461495e-05,4.461863e-05,4.464493e-05,4.464927e-05,4.466361e-05,4.467043e-05,4.467503e-05,4.467926e-05,4.467953e-05,4.467746e-05,4.467654e-05,4.466914e-05,4.466301e-05,4.465488e-05,4.463939e-05,4.463497e-05,4.460971e-05,4.460633e-05,4.457936e-05,4.456447e-05,4.454421e-05,4.451442e-05,4.450448e-05,4.446044e-05,4.445674e-05,4.441232e-05,4.439197e-05,4.436033e-05,4.432063e-05,4.430469e-05,4.424562e-05,4.424319e-05,4.418331e-05,4.416012e-05,4.411794e-05,4.407184e-05,4.404970e-05,4.397877e-05,4.388129e-05,4.377977e-05,4.367456e-05,4.356598e-05,4.345433e-05,4.333991e-05,4.322300e-05,4.310385e-05,4.298270e-05,4.285978e-05,4.273532e-05,4.260951e-05,4.248254e-05,4.235459e-05,4.222585e-05,4.209645e-05,4.196655e-05,4.183630e-05,4.170582e-05,4.157524e-05,4.144467e-05,4.131422e-05,4.118399e-05,4.105407e-05
0.000000e+00,2.075652e-09,4.779104e-09,1.656425e-08,3.789360e-08,5.543684e-08,1.266418e-07,1.304894e-07,2.539764e-07,2.990203e-07,4.393105e-07,5.863936e-07,7.015462e-07,1.024683e-06,1.056912e-06,1.520105e-06,1.648430e-06,2.099342e-06,2.474262e-06,2.793316e-06,3.492445e-06,3.593780e-06,4.490392e-06,4.680379e-06,5.473477e-06,6.015996e-06,6.534540e-06,7.480482e-06,7.665929e-06,8.860403e-06,9.056898e-06,1.011084e-05,1.072883e-05,1.141010e-05,1.247983e-05,1.275099e-05,1.412634e-05,1.429336e-05,1.552905e-05,1.615311e-05,1.695220e-05,1.804336e-05,1.838915e-05,1.983361e-05,1.994932e-05,2.127973e-05,2.185741e-05,2.272210e-05,2.375552e-05,2.415582e-05,2.557649e-05,2.563299e-05,2.698022e-05,2.748074e-05,2.836360e-05,2.929117e-05,2.972370e-05,3.105800e-05,3.236438e-05,3.277623e-05,3.364110e-05,3.444198e-05,3.488677e-05,3.605236e-05,3.610027e-05,3.728075e-05,3.760528e-05,3.842761e-05,3.909940e-05,3.954043e-05,4.053398e-05,4.061900e-05,4.166323e-05,4.190874e-05,4.267319e-05,4.322385e-05,4.364904e-05,4.447980e-05,4.459106e-05,4.549961e-05,4.567734e-05,4.637510e-05,4.681745e-05,4.721802e-05,4.790127e-05,4.802887e-05,4.880822e-05,4.893004e-05,4.955667e-05,4.990513e-05,5.027483e-05,5.082797e-05,5.096333e-05,5.162284e-05,5.170006e-05,5.225401e-05,5.252291e-05,5.285750e-05,5.329806e-05,5.343399e-05,5.398416e-05,5.402706e-05,5.450869e-05,5.471147e-05,5.500823e-05,5.535282e-05,5.548348e-05,5.593508e-05,5.595266e-05,5.636370e-05,5.651250e-05,5.676999e-05,5.703383e-05,5.715458e-05,5.751812e-05,5.786123e-05,5.796681e-05,5.818452e-05,5.838130e-05,5.848859e-05,5.876297e-05,5.877404e-05,5.904145e-05,5.911317e-05,5.929139e-05,5.943320e-05,5.952441e-05,5.972433e-05,5.974108e-05,5.994191e-05,5.998781e-05,6.012744e-05,6.022484e-05,6.029817e-05,6.043658e-05,6.045462e-05,6.059726e-05,6.062417e-05,6.072657e-05,6.078870e-05,6.084302e-05,6.093124e-05,6.094707e-05,6.103915e-05,6.105281e-05,6.111971e-05,6.115440e-05,6.118915e-05,6.123698e-05,6.124789e-05,6.129633e-05,6.130147e-05,6.133485e-05,6.134876e-05,6.136384e-05,6.137972e-05,6.138366e-05,6.139467e-05,6.139518e-05,6.139722e-05,6.139594e-05,6.139164e-05,6.138277e-05,6.137826e-05,6.135740e-05,6.135641e-05,6.132937e-05,6.131758e-05,6.129447e-05,6.126697e-05,6.125299e-05,6.120522e-05,6.113299e-05,6.105087e-05,6.095946e-05,6.085931e-05,6.075096e-05,6.063493e-05,6.051171e-05,6.038177e-05,6.024558e-05,6.010356e-05,5.995613e-05,5.980369e-05,5.964661e-05,5.948527e-05,5.932000e-05,5.915113e-05,5.897899e-05,5.880387e-05,5.862606e-05,5.844584e-05,5.826346e-05,5.807917e-05,5.789321e-05,5.770580e-05
0.000000e+00,8.343473e-11,4.595525e-10,4.708071e-09,1.894131e-08,3.443836e-08,1.157561e-07,1.207031e-07,2.959769e-07,3.653066e-07,5.917230e-07,8.399026e-07,1.038973e-06,1.610976e-06,1.668805e-06,2.511002e-06,2.747578e-06,3.589102e-06,4.300456e-06,4.913669e-06,6.280262e-06,6.480723e-06,8.277067e-06,8.662424e-06,1.028631e-05,1.140964e-05,1.249150e-05,1.448264e-05,1.487533e-05,1.741972e-05,1.784046e-05,2.010553e-05,2.143905e-05,2.291256e-05,2.523142e-05,2.581989e-05,2.880624e-05,2.916890e-05,3.185042e-05,3.320284e-05,3.493182e-05,3.728641e-05,3.803074e-05,4.112877e-05,4.137605e-05,4.420898e-05,4.543261e-05,4.725613e-05,4.942193e-05,5.025667e-05,5.319885e-05,5.331517e-05,5.607262e-05,5.708876e-05,5.886958e-05,6.072409e-05,6.158289e-05,6.420713e-05,6.673812e-05,6.752783e-05,6.917286e-05,7.067960e-05,7.150932e-05,7.365883e-05,7.374640e-05,7.588374e-05,7.646435e-05,7.792163e-05,7.909695e-05,7.986090e-05,8.155903e-05,8.170284e-05,8.344914e-05,8.385424e-05,8.510176e-05,8.598713e-05,8.666292e-05,8.796300e-05,8.813503e-05,8.952065e-05,8.978763e-05,9.082244e-05,9.146715e-05,9.204315e-05,9.300792e-05,9.318555e-05,9.425245e-05,9.441634e-05,9.524664e-05,9.569885e-05,9.617090e-05,9.686182e-05,9.702800e-05,9.782065e-05,9.791156e-05,9.855153e-05,9.885423e-05,9.922327e-05,9.969581e-05,9.983842e-05,1.003995e-04,1.004421e-04,1.009089e-04,1.010987e-04,1.013690e-04,1.016710e-04,1.017821e-04,1.021504e-04,1.021642e-04,1.024761e-04,1.025833e-04,1.027612e-04,1.029330e-04,1.030078e-04,1.032177e-04,1.033930e-04,1.034420e-04,1.035352e-04,1.036098e-04,1.036463e-04,1.037250e-04,1.037277e-04,1.037813e-04,1.037915e-04,1.038084e-04,1.038126e-04,1.038106e-04,1.037918e-04,1.037892e-04,1.037457e-04,1.037322e-04,1.036814e-04,1.036367e-04,1.035974e-04,1.035083e-04,1.034950e-04,1.033754e-04,1.033495e-04,1.032396e-04,1.031629e-04,1.030886e-04,1.029509e-04,1.029235e-04,1.027453e-04,1.027156e-04,1.025548e-04,1.024593e-04,1.023529e-04,1.021838e-04,1.021405e-04,1.019183e-04,1.018911e-04,1.016872e-04,1.015828e-04,1.014477e-04,1.012606e-04,1.012007e-04,1.009467e-04,1.009261e-04,1.006864e-04,1.005806e-04,1.004203e-04,1.002256e-04,1.001491e-04,9.987332e-05,9.986219e-05,9.959336e-05,9.949166e-05,9.930976e-05,9.911506e-05,9.902296e-05,9.873341e-05,9.834767e-05,9.795871e-05,9.756736e-05,9.717437e-05,9.678045e-05,9.638625e-05,9.599237e-05,9.559936e-05,9.520774e-05,9.481796e-05,9.443047e-05,9.404565e-05,9.366386e-05,9.328542e-05,9.291064e-05,9.253978e-05,9.217307e-05,9.181074e-05,9.145298e-05,9.109995e-05,9.075181e-05,9.040868e-05,9.007068e-05,8.973791e-05
0.000000e+00,1.175092e-10,5.051855e-10,3.533468e-09,1.126330e-08,1.861515e-08,5.244007e-08,5.437614e-08,1.193994e-07,1.439977e-07,2.221322e-07,3.054520e-07,3.712100e-07,5.568912e-07,5.754640e-07,8.429660e-07,9.172443e-07,1.178896e-06,1.397377e-06,1.584088e-06,1.996070e-06,2.056128e-06,2.591427e-06,2.705755e-06,3.186337e-06,3.518062e-06,3.837279e-06,4.424691e-06,4.540578e-06,5.292283e-06,5.416764e-06,6.088076e-06,6.484353e-06,6.923265e-06,7.616409e-06,7.792818e-06,8.691451e-06,8.800983e-06,9.613713e-06,1.002558e-05,1.055410e-05,1.127756e-05,1.150717e-05,1.246759e-05,1.254459e-05,1.343030e-05,1.381494e-05,1.439051e-05,1.507781e-05,1.534379e-05,1.628611e-05,1.632352e-05,1.721384e-05,1.754363e-05,1.812380e-05,1.873099e-05,1.901322e-05,1.987974e-05,2.072139e-05,2.098520e-05,2.153659e-05,2.204385e-05,2.232409e-05,2.305316e-05,2.308295e-05,2.381253e-05,2.401151e-05,2.451243e-05,2.491804e-05,2.518248e-05,2.577257e-05,2.582269e-05,2.643326e-05,2.657542e-05,2.701451e-05,2.732737e-05,2.756689e-05,2.802954e-05,2.809095e-05,2.858732e-05,2.868333e-05,2.905669e-05,2.929034e-05,2.949980e-05,2.985230e-05,2.991744e-05,3.031041e-05,3.037106e-05,3.067954e-05,3.084849e-05,3.102565e-05,3.128653e-05,3.134958e-05,3.165217e-05,3.168709e-05,3.193424e-05,3.205207e-05,3.219661e-05,3.238333e-05,3.244008e-05,3.266544e-05,3.268270e-05,3.287344e-05,3.295195e-05,3.306484e-05,3.319278e-05,3.324037e-05,3.340072e-05,3.340683e-05,3.354658e-05,3.359567e-05,3.367861e-05,3.376082e-05,3.379745e-05,3.390371e-05,3.399797e-05,3.402570e-05,3.408082e-05,3.412811e-05,3.415280e-05,3.421217e-05,3.421444e-05,3.426624e-05,3.427905e-05,3.430869e-05,3.432986e-05,3.434225e-05,3.436567e-05,3.436738e-05,3.438450e-05,3.438746e-05,3.439402e-05,3.439618e-05,3.439633e-05,3.439271e-05,3.439182e-05,3.438085e-05,3.437791e-05,3.436375e-05,3.435256e-05,3.434087e-05,3.431740e-05,3.431251e-05,3.427898e-05,3.427316e-05,3.424057e-05,3.422048e-05,3.419755e-05,3.416000e-05,3.415019e-05,3.409875e-05,3.409231e-05,3.404345e-05,3.401796e-05,3.398453e-05,3.393747e-05,3.392222e-05,3.385672e-05,3.385135e-05,3.378823e-05,3.376004e-05,3.371694e-05,3.366399e-05,3.364304e-05,3.356670e-05,3.356359e-05,3.348808e-05,3.345925e-05,3.340735e-05,3.335132e-05,3.332465e-05,3.324013e-05,3.312600e-05,3.300924e-05,3.289012e-05,3.276891e-05,3.264584e-05,3.252116e-05,3.239508e-05,3.226780e-05,3.213950e-05,3.201038e-05,3.188058e-05,3.175027e-05,3.161959e-05,3.148867e-05,3.135765e-05,3.122663e-05,3.109572e-05,3.096503e-05,3.083466e-05,3.070468e-05,3.057518e-05,3.044624e-05,3.031792e-05,3.019029e-05
0.000000e+00,2.836660e-15,2.518882e-14,6.466946e-13,5.540043e-12,1.478988e-11,1.225132e-10,1.321895e-10,7.074524e-10,1.062229e-09,2.742502e-09,5.536412e-09,8.524885e-09,2.098091e-08,2.256932e-08,5.286607e-08,6.386696e-08,1.123424e-07,1.653023e-07,2.203422e-07,3.767879e-07,4.039002e-07,6.986358e-07,7.746918e-07,1.149169e-06,1.462445e-06,1.809029e-06,2.570123e-06,2.740093e-06,4.011601e-06,4.251595e-06,5.698841e-06,6.679676e-06,7.881560e-06,1.003984e-05,1.064220e-05,1.406401e-05,1.452299e-05,1.822919e-05,2.031792e-05,2.321691e-05,2.760371e-05,2.910159e-05,3.595117e-05,3.654267e-05,4.382558e-05,4.727399e-05,5.277549e-05,5.990841e-05,6.284116e-05,7.405164e-05,7.452416e-05,8.642418e-05,9.116413e-05,9.996390e-05,1.098345e-04,1.146638e-04,1.305048e-04,1.474563e-04,1.531088e-04,1.654767e-04,1.775472e-04,1.845143e-04,2.036907e-04,2.045079e-04,2.253884e-04,2.313837e-04,2.470795e-04,2.604492e-04,2.694988e-04,2.906933e-04,2.925596e-04,3.161714e-04,3.219099e-04,3.402415e-04,3.538860e-04,3.646761e-04,3.864054e-04,3.893812e-04,4.142638e-04,4.192536e-04,4.392327e-04,4.522210e-04,4.641992e-04,4.851066e-04,4.890780e-04,5.137877e-04,5.177204e-04,5.382516e-04,5.498855e-04,5.623973e-04,5.814397e-04,5.861580e-04,6.094721e-04,6.122370e-04,6.322834e-04,6.421479e-04,6.545414e-04,6.710596e-04,6.762012e-04,6.972232e-04,6.988763e-04,7.175733e-04,7.255186e-04,7.372226e-04,7.509226e-04,7.561472e-04,7.743279e-04,7.750394e-04,7.917500e-04,7.978342e-04,8.084032e-04,8.192848e-04,8.242811e-04,8.393809e-04,8.537032e-04,8.581226e-04,8.672516e-04,8.755194e-04,8.800328e-04,8.915891e-04,8.920556e-04,9.033314e-04,9.063565e-04,9.138733e-04,9.198523e-04,9.236963e-04,9.321127e-04,9.328169e-04,9.412527e-04,9.431775e-04,9.490225e-04,9.530901e-04,9.561461e-04,9.618963e-04,9.626436e-04,9.685361e-04,9.696439e-04,9.738448e-04,9.763817e-04,9.785912e-04,9.821595e-04,9.827970e-04,9.864838e-04,9.870270e-04,9.896733e-04,9.910339e-04,9.923868e-04,9.942293e-04,9.946456e-04,9.964706e-04,9.966614e-04,9.978822e-04,9.983776e-04,9.989007e-04,9.994239e-04,9.995456e-04,9.998362e-04,9.998447e-04,9.997911e-04,9.996832e-04,9.994285e-04,9.989805e-04,9.987656e-04,9.978199e-04,9.977765e-04,9.966075e-04,9.961088e-04,9.951441e-04,9.940137e-04,9.934453e-04,9.915256e-04,9.886770e-04,9.854992e-04,9.820212e-04,9.782709e-04,9.742742e-04,9.700556e-04,9.656380e-04,9.610431e-04,9.562910e-04,9.514005e-04,9.463892e-04,9.412737e-04,9.360691e-04,9.307897e-04,9.254487e-04,9.200584e-04,9.146301e-04,9.091743e-04,9.037007e-04,8.982182e-04,8.927349e-04,8.872586e-04,8.817959e-04,8.763534e-04
0.000000e+00,1.378031e-10,6.082342e-10,4.411790e-09,1.433795e-08,2.387036e-08,6.810260e-08,7.064442e-08,1.563240e-07,1.888472e-07,2.924227e-07,4.032258e-07,4.908923e-07,7.394435e-07,7.643932e-07,1.125995e-06,1.227287e-06,1.587780e-06,1.893442e-06,2.157861e-06,2.749617e-06,2.836577e-06,3.614724e-06,3.780927e-06,4.476106e-06,4.950807e-06,5.402412e-06,6.218277e-06,6.376793e-06,7.385076e-06,7.548735e-06,8.415547e-06,8.915119e-06,9.458406e-06,1.029594e-05,1.050526e-05,1.154883e-05,1.167353e-05,1.258273e-05,1.303313e-05,1.360143e-05,1.436249e-05,1.460013e-05,1.557479e-05,1.565162e-05,1.652205e-05,1.689266e-05,1.743921e-05,1.807972e-05,1.832416e-05,1.917532e-05,1.920865e-05,1.999162e-05,2.027682e-05,2.077241e-05,2.128290e-05,2.151740e-05,2.222661e-05,2.290033e-05,2.310850e-05,2.353906e-05,2.392979e-05,2.414348e-05,2.469218e-05,2.471439e-05,2.525270e-05,2.539773e-05,2.575943e-05,2.604873e-05,2.623560e-05,2.664763e-05,2.668231e-05,2.710066e-05,2.719697e-05,2.749176e-05,2.769929e-05,2.785673e-05,2.815716e-05,2.819667e-05,2.851267e-05,2.857309e-05,2.880579e-05,2.894951e-05,2.907707e-05,2.928880e-05,2.932751e-05,2.955811e-05,2.959323e-05,2.976981e-05,2.986498e-05,2.996351e-05,3.010612e-05,3.014011e-05,3.030045e-05,3.031863e-05,3.044533e-05,3.050439e-05,3.057556e-05,3.066518e-05,3.069186e-05,3.079497e-05,3.080267e-05,3.088557e-05,3.091845e-05,3.096431e-05,3.101401e-05,3.103182e-05,3.108870e-05,3.109076e-05,3.113553e-05,3.115003e-05,3.117285e-05,3.119306e-05,3.120118e-05,3.122102e-05,3.123285e-05,3.123501e-05,3.123711e-05,3.123607e-05,3.123424e-05,3.122516e-05,3.122465e-05,3.120873e-05,3.120319e-05,3.118685e-05,3.117101e-05,3.115937e-05,3.112943e-05,3.112662e-05,3.108893e-05,3.107918e-05,3.104659e-05,3.102097e-05,3.099991e-05,3.095545e-05,3.094915e-05,3.089459e-05,3.088324e-05,3.083646e-05,3.080491e-05,3.077501e-05,3.072099e-05,3.071047e-05,3.064304e-05,3.063200e-05,3.057293e-05,3.053839e-05,3.050034e-05,3.044060e-05,3.042544e-05,3.034842e-05,3.033904e-05,3.026944e-05,3.023410e-05,3.018865e-05,3.012613e-05,3.010620e-05,3.002225e-05,3.001547e-05,2.993691e-05,2.990242e-05,2.985032e-05,2.978727e-05,2.976260e-05,2.967386e-05,2.967029e-05,2.958421e-05,2.955174e-05,2.949376e-05,2.943184e-05,2.940260e-05,2.931082e-05,2.918887e-05,2.906619e-05,2.894295e-05,2.881931e-05,2.869542e-05,2.857143e-05,2.844746e-05,2.832362e-05,2.820004e-05,2.807682e-05,2.795404e-05,2.783180e-05,2.771018e-05,2.758924e-05,2.746906e-05,2.734970e-05,2.723122e-05,2.711366e-05,2.699708e-05,2.688151e-05,2.676699e-05,2.665357e-05,2.654127e-05,2.643011e-05
0.000000e+00,2.388384e-10,1.235533e-09,1.141811e-08,4.295395e-08,7.592597e-08,2.423936e-07,2.523578e-07,6.016194e-07,7.389989e-07,1.188052e-06,1.682995e-06,2.082591e-06,3.241570e-06,3.359361e-06,5.076961e-06,5.557894e-06,7.254971e-06,8.669952e-06,9.875433e-06,1.252113e-05,1.290519e-05,1.631133e-05,1.703507e-05,2.006407e-05,2.214298e-05,2.413473e-05,2.777812e-05,2.849364e-05,3.310911e-05,3.386917e-05,3.794742e-05,4.033863e-05,4.297324e-05,4.710461e-05,4.815042e-05,5.344289e-05,5.408405e-05,5.881549e-05,6.119610e-05,6.423469e-05,6.836509e-05,6.966919e-05,7.509025e-05,7.552255e-05,8.047196e-05,8.260841e-05,8.579148e-05,8.957176e-05,9.102894e-05,9.616732e-05,9.637059e-05,1.011924e-04,1.029714e-04,1.060925e-04,1.093484e-04,1.108583e-04,1.154825e-04,1.199596e-04,1.213606e-04,1.242859e-04,1.269744e-04,1.284590e-04,1.323198e-04,1.324776e-04,1.363416e-04,1.373960e-04,1.400518e-04,1.422046e-04,1.436095e-04,1.467497e-04,1.470168e-04,1.502761e-04,1.510366e-04,1.533904e-04,1.550723e-04,1.563629e-04,1.588642e-04,1.591971e-04,1.618965e-04,1.624205e-04,1.644649e-04,1.657501e-04,1.669063e-04,1.688616e-04,1.692244e-04,1.714232e-04,1.717643e-04,1.735067e-04,1.744670e-04,1.754788e-04,1.769789e-04,1.773434e-04,1.791043e-04,1.793089e-04,1.807654e-04,1.814655e-04,1.823302e-04,1.834574e-04,1.838026e-04,1.851859e-04,1.852929e-04,1.864838e-04,1.869798e-04,1.876997e-04,1.885261e-04,1.888367e-04,1.898983e-04,1.899392e-04,1.908874e-04,1.912263e-04,1.918072e-04,1.923945e-04,1.926605e-04,1.934502e-04,1.941792e-04,1.944001e-04,1.948500e-04,1.952500e-04,1.954653e-04,1.960061e-04,1.960276e-04,1.965392e-04,1.966737e-04,1.970026e-04,1.972583e-04,1.974199e-04,1.977650e-04,1.977934e-04,1.981251e-04,1.981987e-04,1.984170e-04,1.985639e-04,1.986712e-04,1.988651e-04,1.988894e-04,1.990735e-04,1.991064e-04,1.992252e-04,1.992919e-04,1.993462e-04,1.994253e-04,1.994381e-04,1.995024e-04,1.995102e-04,1.995406e-04,1.995501e-04,1.995541e-04,1.995481e-04,1.995443e-04,1.995125e-04,1.995073e-04,1.994599e-04,1.994305e-04,1.993878e-04,1.993207e-04,1.992973e-04,1.991896e-04,1.991802e-04,1.990656e-04,1.990116e-04,1.989264e-04,1.988172e-04,1.987729e-04,1.986061e-04,1.985992e-04,1.984270e-04,1.983596e-04,1.982362e-04,1.981003e-04,1.980347e-04,1.978232e-04,1.975300e-04,1.972223e-04,1.969016e-04,1.965693e-04,1.962269e-04,1.958755e-04,1.955163e-04,1.951504e-04,1.947788e-04,1.944026e-04,1.940225e-04,1.936395e-04,1.932543e-04,1.928677e-04,1.924802e-04,1.920926e-04,1.917053e-04,1.913191e-04,1.909342e-04,1.905512e-04,1.901706e-04,1.897926e-04,1.894177e-04,1.890461e-04
0.000000e+00,5.561309e-10,1.985607e-09,1.096414e-08,3.103506e-08,4.907654e-08,1.281426e-07,1.325698e-07,2.786696e-07,3.331590e-07,5.048488e-07,6.865782e-07,8.294473e-07,1.231561e-06,1.271729e-06,1.850325e-06,2.011187e-06,2.579099e-06,3.054903e-06,3.462493e-06,4.363788e-06,4.495287e-06,5.667046e-06,5.917059e-06,6.966322e-06,7.688710e-06,8.382267e-06,9.654332e-06,9.904654e-06,1.152347e-05,1.179075e-05,1.322857e-05,1.407462e-05,1.500955e-05,1.648180e-05,1.685573e-05,1.875627e-05,1.898747e-05,2.070028e-05,2.156664e-05,2.267704e-05,2.419488e-05,2.467617e-05,2.668774e-05,2.684892e-05,2.870245e-05,2.950726e-05,3.071170e-05,3.215056e-05,3.270768e-05,3.468329e-05,3.476180e-05,3.663226e-05,3.732630e-05,3.854913e-05,3.983186e-05,4.042925e-05,4.226863e-05,4.406403e-05,4.462882e-05,4.581278e-05,4.690651e-05,4.751278e-05,4.909743e-05,4.916244e-05,5.076061e-05,5.119876e-05,5.230653e-05,5.320883e-05,5.379980e-05,5.512699e-05,5.524029e-05,5.662815e-05,5.695343e-05,5.796371e-05,5.868897e-05,5.924750e-05,6.033495e-05,6.048020e-05,6.166261e-05,6.189314e-05,6.279564e-05,6.336563e-05,6.388027e-05,6.475473e-05,6.491755e-05,6.590858e-05,6.606293e-05,6.685450e-05,6.729285e-05,6.775645e-05,6.844716e-05,6.861563e-05,6.943322e-05,6.952859e-05,7.021041e-05,7.053988e-05,7.094838e-05,7.148373e-05,7.164831e-05,7.231138e-05,7.236287e-05,7.293874e-05,7.317994e-05,7.353153e-05,7.393756e-05,7.409086e-05,7.461785e-05,7.463827e-05,7.511356e-05,7.528457e-05,7.557906e-05,7.587886e-05,7.601537e-05,7.642350e-05,7.680444e-05,7.692076e-05,7.715915e-05,7.737283e-05,7.748856e-05,7.778184e-05,7.779358e-05,7.807510e-05,7.814983e-05,7.833398e-05,7.847879e-05,7.857105e-05,7.877060e-05,7.878713e-05,7.898300e-05,7.902709e-05,7.915944e-05,7.925003e-05,7.931718e-05,7.944110e-05,7.945694e-05,7.957943e-05,7.960192e-05,7.968532e-05,7.973404e-05,7.977526e-05,7.983895e-05,7.984989e-05,7.990982e-05,7.991809e-05,7.995565e-05,7.997281e-05,7.998796e-05,8.000444e-05,8.000729e-05,8.001419e-05,8.001421e-05,8.000919e-05,8.000334e-05,7.999277e-05,7.997296e-05,7.996543e-05,7.992764e-05,7.992418e-05,7.987986e-05,7.985804e-05,7.982252e-05,7.977555e-05,7.975604e-05,7.968084e-05,7.967765e-05,7.959731e-05,7.956527e-05,7.950582e-05,7.943927e-05,7.940676e-05,7.930048e-05,7.914970e-05,7.898768e-05,7.881514e-05,7.863278e-05,7.844124e-05,7.824115e-05,7.803310e-05,7.781766e-05,7.759537e-05,7.736674e-05,7.713225e-05,7.689238e-05,7.664755e-05,7.639819e-05,7.614470e-05,7.588746e-05,7.562682e-05,7.536312e-05,7.509669e-05,7.482784e-05,7.455685e-05,7.428401e-05,7.400956e-05,7.373377e-05
0.000000e+00,1.845796e-14,1.584722e-13,3.791620e-12,3.042489e-11,7.831961e-11,5.895289e-10,6.335844e-10,3.075392e-09,4.494791e-09,1.083566e-08,2.067799e-08,3.068327e-08,6.948184e-08,7.421301e-08,1.594176e-07,1.887570e-07,3.121272e-07,4.396307e-07,5.668251e-07,9.090773e-07,9.662233e-07,1.559311e-06,1.705742e-06,2.398168e-06,2.948703e-06,3.534215e-06,4.752860e-06,5.014613e-06,6.879333e-06,7.215551e-06,9.159144e-06,1.040732e-05,1.187454e-05,1.436749e-05,1.503544e-05,1.864162e-05,1.910391e-05,2.268347e-05,2.459556e-05,2.714308e-05,3.079662e-05,3.199544e-05,3.720968e-05,3.764142e-05,4.275033e-05,4.504935e-05,4.857845e-05,5.292958e-05,5.465275e-05,6.093062e-05,6.118536e-05,6.736900e-05,6.971787e-05,7.392522e-05,7.842948e-05,8.055769e-05,8.722651e-05,9.389394e-05,9.602141e-05,1.005248e-04,1.047344e-04,1.070869e-04,1.132944e-04,1.135508e-04,1.198905e-04,1.216401e-04,1.260830e-04,1.297195e-04,1.321086e-04,1.374903e-04,1.379506e-04,1.435952e-04,1.449193e-04,1.490315e-04,1.519815e-04,1.542509e-04,1.586597e-04,1.592474e-04,1.640170e-04,1.649435e-04,1.685577e-04,1.708282e-04,1.728691e-04,1.763142e-04,1.769523e-04,1.808097e-04,1.814061e-04,1.844447e-04,1.861117e-04,1.878616e-04,1.904416e-04,1.910657e-04,1.940625e-04,1.944085e-04,1.968583e-04,1.980264e-04,1.994596e-04,2.013107e-04,2.018732e-04,2.041060e-04,2.042771e-04,2.061652e-04,2.069418e-04,2.080578e-04,2.093213e-04,2.097909e-04,2.113716e-04,2.114318e-04,2.128067e-04,2.132890e-04,2.141031e-04,2.149087e-04,2.152673e-04,2.163059e-04,2.172251e-04,2.174950e-04,2.180310e-04,2.184901e-04,2.187295e-04,2.193043e-04,2.193263e-04,2.198268e-04,2.199504e-04,2.202363e-04,2.204404e-04,2.205598e-04,2.207856e-04,2.208022e-04,2.209680e-04,2.209969e-04,2.210618e-04,2.210844e-04,2.210877e-04,2.210576e-04,2.210498e-04,2.209519e-04,2.209255e-04,2.207979e-04,2.206967e-04,2.205911e-04,2.203791e-04,2.203349e-04,2.200325e-04,2.199800e-04,2.196870e-04,2.195066e-04,2.193012e-04,2.189654e-04,2.188778e-04,2.184196e-04,2.183623e-04,2.179289e-04,2.177033e-04,2.174081e-04,2.169935e-04,2.168594e-04,2.162850e-04,2.162380e-04,2.156869e-04,2.154415e-04,2.150670e-04,2.146081e-04,2.144270e-04,2.137688e-04,2.137421e-04,2.130938e-04,2.128470e-04,2.124037e-04,2.119265e-04,2.116999e-04,2.109837e-04,2.100217e-04,2.090433e-04,2.080509e-04,2.070472e-04,2.060341e-04,2.050139e-04,2.039885e-04,2.029595e-04,2.019285e-04,2.008972e-04,1.998667e-04,1.988385e-04,1.978135e-04,1.967930e-04,1.957778e-04,1.947689e-04,1.937669e-04,1.927728e-04,1.917870e-04,1.908102e-04,1.898430e-04,1.888857e-04,1.879389e-04,1.870029e-04
0.000000e+00,1.000750e-09,2.426534e-09,8.757519e-09,2.016491e-08,2.944252e-08,6.629338e-08,6.825419e-08,1.299595e-07,1.519800e-07,2.192759e-07,2.881047e-07,3.409678e-07,4.854214e-07,4.995605e-07,6.986151e-07,7.526329e-07,9.395714e-07,1.092210e-06,1.220327e-06,1.495062e-06,1.534125e-06,1.869789e-06,1.938369e-06,2.213916e-06,2.391950e-06,2.554018e-06,2.829617e-06,2.880705e-06,3.188125e-06,3.235293e-06,3.473301e-06,3.601930e-06,3.735207e-06,3.928070e-06,3.974019e-06,4.190592e-06,4.215143e-06,4.386161e-06,4.465919e-06,4.562146e-06,4.683718e-06,4.720045e-06,4.861364e-06,4.871998e-06,4.987573e-06,5.034143e-06,5.100078e-06,5.173344e-06,5.200205e-06,5.289186e-06,5.292530e-06,5.368158e-06,5.394340e-06,5.438155e-06,5.481109e-06,5.500115e-06,5.554882e-06,5.603213e-06,5.617431e-06,5.645781e-06,5.670279e-06,5.683184e-06,5.714726e-06,5.715954e-06,5.744557e-06,5.751877e-06,5.769409e-06,5.782674e-06,5.790876e-06,5.807913e-06,5.809279e-06,5.824905e-06,5.828271e-06,5.838006e-06,5.844324e-06,5.848805e-06,5.856563e-06,5.857501e-06,5.864271e-06,5.865408e-06,5.869272e-06,5.871222e-06,5.872646e-06,5.874316e-06,5.874519e-06,5.875006e-06,5.874962e-06,5.874208e-06,5.873397e-06,5.872221e-06,5.869831e-06,5.869128e-06,5.865007e-06,5.864446e-06,5.859928e-06,5.857408e-06,5.853958e-06,5.848860e-06,5.847154e-06,5.839574e-06,5.838935e-06,5.831267e-06,5.827751e-06,5.822281e-06,5.815415e-06,5.812660e-06,5.802445e-06,5.802024e-06,5.791674e-06,5.787667e-06,5.780382e-06,5.772425e-06,5.768605e-06,5.756372e-06,5.743714e-06,5.739578e-06,5.730658e-06,5.722106e-06,5.717231e-06,5.704014e-06,5.703457e-06,5.689360e-06,5.685358e-06,5.674961e-06,5.666187e-06,5.660283e-06,5.646548e-06,5.645344e-06,5.630163e-06,5.626485e-06,5.614758e-06,5.606040e-06,5.599146e-06,5.585249e-06,5.583343e-06,5.567364e-06,5.564148e-06,5.551224e-06,5.542772e-06,5.534936e-06,5.521150e-06,5.518513e-06,5.501969e-06,5.499311e-06,5.485314e-06,5.477284e-06,5.468560e-06,5.455093e-06,5.451718e-06,5.434798e-06,5.432763e-06,5.417810e-06,5.410316e-06,5.400762e-06,5.387772e-06,5.383665e-06,5.366525e-06,5.365152e-06,5.349352e-06,5.342475e-06,5.332152e-06,5.319756e-06,5.314934e-06,5.297703e-06,5.297014e-06,5.280467e-06,5.274263e-06,5.263233e-06,5.251516e-06,5.246005e-06,5.228789e-06,5.206093e-06,5.183440e-06,5.160841e-06,5.138307e-06,5.115847e-06,5.093470e-06,5.071184e-06,5.048998e-06,5.026919e-06,5.004954e-06,4.983109e-06,4.961389e-06,4.939802e-06,4.918351e-06,4.897041e-06,4.875877e-06,4.854863e-06,4.834002e-06,4.813299e-06,4.792755e-06,4.772374e-06,4.752159e-06,4.732112e-06,4.712234e-06
0.000000e+00,1.096764e-12,7.943374e-12,1.344625e-10,7.943279e-10,1.735242e-09,8.669799e-09,9.167796e-09,3.030732e-08,4.006252e-08,7.560984e-08,1.193267e-07,1.570376e-07,2.747529e-07,2.872639e-07,4.784816e-07,5.346048e-07,7.403309e-07,9.199783e-07,1.078078e-06,1.438735e-06,1.492439e-06,1.980760e-06,2.086913e-06,2.538385e-06,2.853851e-06,3.159531e-06,3.725616e-06,3.837658e-06,4.565604e-06,4.686191e-06,5.335682e-06,5.717925e-06,6.139822e-06,6.802112e-06,6.969770e-06,7.817332e-06,7.919843e-06,8.674600e-06,9.052940e-06,9.534159e-06,1.018477e-05,1.038925e-05,1.123386e-05,1.130081e-05,1.206280e-05,1.238899e-05,1.287173e-05,1.343974e-05,1.365709e-05,1.441611e-05,1.444589e-05,1.514669e-05,1.540244e-05,1.584738e-05,1.630627e-05,1.651724e-05,1.715580e-05,1.776298e-05,1.795068e-05,1.833901e-05,1.869154e-05,1.888438e-05,1.937971e-05,1.939975e-05,1.988597e-05,2.001702e-05,2.034398e-05,2.060565e-05,2.077478e-05,2.114801e-05,2.117945e-05,2.155908e-05,2.164659e-05,2.191480e-05,2.210396e-05,2.224769e-05,2.252262e-05,2.255885e-05,2.284935e-05,2.290506e-05,2.312022e-05,2.325365e-05,2.337247e-05,2.357069e-05,2.360708e-05,2.382497e-05,2.385834e-05,2.402703e-05,2.411865e-05,2.421412e-05,2.435357e-05,2.438706e-05,2.454661e-05,2.456490e-05,2.469353e-05,2.475435e-05,2.482850e-05,2.492350e-05,2.495220e-05,2.506525e-05,2.507385e-05,2.516826e-05,2.520678e-05,2.526179e-05,2.532357e-05,2.534639e-05,2.542255e-05,2.542543e-05,2.549076e-05,2.551346e-05,2.555148e-05,2.558871e-05,2.560514e-05,2.565215e-05,2.569288e-05,2.570465e-05,2.572772e-05,2.574707e-05,2.575699e-05,2.578017e-05,2.578104e-05,2.580016e-05,2.580467e-05,2.581465e-05,2.582123e-05,2.582478e-05,2.583048e-05,2.583082e-05,2.583302e-05,2.583300e-05,2.583159e-05,2.582930e-05,2.582678e-05,2.581990e-05,2.581878e-05,2.580779e-05,2.580525e-05,2.579401e-05,2.578579e-05,2.577760e-05,2.576191e-05,2.575873e-05,2.573756e-05,2.573397e-05,2.571425e-05,2.570234e-05,2.568893e-05,2.566732e-05,2.566173e-05,2.563279e-05,2.562921e-05,2.560223e-05,2.558829e-05,2.557015e-05,2.554483e-05,2.553667e-05,2.550188e-05,2.549905e-05,2.546589e-05,2.545117e-05,2.542878e-05,2.540142e-05,2.539064e-05,2.535156e-05,2.534998e-05,2.531161e-05,2.529703e-05,2.527086e-05,2.524273e-05,2.522938e-05,2.518724e-05,2.513071e-05,2.507327e-05,2.501505e-05,2.495615e-05,2.489670e-05,2.483679e-05,2.477650e-05,2.471594e-05,2.465518e-05,2.459430e-05,2.453336e-05,2.447242e-05,2.441156e-05,2.435082e-05,2.429025e-05,2.422991e-05,2.416983e-05,2.411005e-05,2.405062e-05,2.399156e-05,2.393291e-05,2.387470e-05,2.381695e-05,2.375969e-05
0.000000e+00,2.775809e-11,1.742071e-10,2.247055e-09,1.068925e-08,2.100487e-08,8.336873e-08,8.745186e-08,2.453201e-07,3.133625e-07,5.526318e-07,8.394842e-07,1.084007e-06,1.831149e-06,1.908839e-06,3.048067e-06,3.365289e-06,4.469109e-06,5.369375e-06,6.122843e-06,7.739526e-06,7.970576e-06,9.987519e-06,1.040967e-05,1.215691e-05,1.334053e-05,1.446455e-05,1.649906e-05,1.689569e-05,1.943383e-05,1.984866e-05,2.206055e-05,2.334699e-05,2.475580e-05,2.694722e-05,2.749855e-05,3.026744e-05,3.060045e-05,3.304144e-05,3.425841e-05,3.580049e-05,3.787581e-05,3.852591e-05,4.120087e-05,4.141223e-05,4.381054e-05,4.483322e-05,4.634228e-05,4.811091e-05,4.878561e-05,5.113223e-05,5.122398e-05,5.337584e-05,5.415742e-05,5.551202e-05,5.690179e-05,5.753801e-05,5.945253e-05,6.125556e-05,6.180913e-05,6.294815e-05,6.397430e-05,6.453221e-05,6.595323e-05,6.601036e-05,6.738576e-05,6.775294e-05,6.866200e-05,6.938174e-05,6.984293e-05,7.084870e-05,7.093261e-05,7.193523e-05,7.216337e-05,7.285498e-05,7.333541e-05,7.369607e-05,7.437444e-05,7.446263e-05,7.515872e-05,7.528983e-05,7.578827e-05,7.609060e-05,7.635507e-05,7.678536e-05,7.686277e-05,7.731485e-05,7.738225e-05,7.771464e-05,7.788891e-05,7.806532e-05,7.831252e-05,7.836988e-05,7.863116e-05,7.865973e-05,7.885185e-05,7.893676e-05,7.903450e-05,7.914935e-05,7.918150e-05,7.929511e-05,7.930282e-05,7.937745e-05,7.940208e-05,7.943052e-05,7.945166e-05,7.945620e-05,7.945627e-05,7.945576e-05,7.943238e-05,7.941822e-05,7.938611e-05,7.934260e-05,7.931891e-05,7.923217e-05,7.912718e-05,7.908993e-05,7.900516e-05,7.891867e-05,7.886727e-05,7.872094e-05,7.871456e-05,7.854807e-05,7.849910e-05,7.836872e-05,7.825532e-05,7.817742e-05,7.799159e-05,7.797501e-05,7.776228e-05,7.770977e-05,7.753996e-05,7.741154e-05,7.730876e-05,7.709848e-05,7.706934e-05,7.682230e-05,7.677203e-05,7.656824e-05,7.643353e-05,7.630770e-05,7.608421e-05,7.604119e-05,7.576921e-05,7.572521e-05,7.549220e-05,7.535758e-05,7.521061e-05,7.498230e-05,7.492482e-05,7.463524e-05,7.460025e-05,7.434221e-05,7.421228e-05,7.404608e-05,7.381914e-05,7.374716e-05,7.344576e-05,7.342155e-05,7.314216e-05,7.302017e-05,7.283663e-05,7.261559e-05,7.252942e-05,7.222076e-05,7.220839e-05,7.191089e-05,7.179908e-05,7.160001e-05,7.138814e-05,7.128833e-05,7.097602e-05,7.056313e-05,7.014985e-05,6.973653e-05,6.932349e-05,6.891104e-05,6.849945e-05,6.808898e-05,6.767987e-05,6.727233e-05,6.686656e-05,6.646275e-05,6.606106e-05,6.566166e-05,6.526468e-05,6.487025e-05,6.447850e-05,6.408953e-05,6.370343e-05,6.332031e-05,6.294024e-05,6.256329e-05,6.218952e-05,6.181900e-05,6.145178e-05
0.000000e+00,3.135659e-09,7.542366e-09,2.743166e-08,6.443509e-08,9.542702e-08,2.249224e-07,2.320690e-07,4.684993e-07,5.578353e-07,8.446729e-07,1.155363e-06,1.402136e-06,2.092108e-06,2.159937e-06,3.105606e-06,3.358054e-06,4.217866e-06,4.907555e-06,5.481528e-06,6.711319e-06,6.887281e-06,8.428451e-06,8.752391e-06,1.009876e-05,1.101609e-05,1.189122e-05,1.348533e-05,1.379764e-05,1.580855e-05,1.613930e-05,1.791338e-05,1.895373e-05,2.010069e-05,2.190184e-05,2.235844e-05,2.467435e-05,2.495558e-05,2.703617e-05,2.808681e-05,2.943193e-05,3.126836e-05,3.185021e-05,3.428024e-05,3.447484e-05,3.671204e-05,3.768318e-05,3.913649e-05,4.087290e-05,4.154539e-05,4.393147e-05,4.402635e-05,4.628840e-05,4.712867e-05,4.861065e-05,5.016754e-05,5.089352e-05,5.313302e-05,5.532587e-05,5.601729e-05,5.746945e-05,5.881449e-05,5.956163e-05,6.152007e-05,6.160059e-05,6.358511e-05,6.413089e-05,6.551431e-05,6.664501e-05,6.738758e-05,6.906135e-05,6.920465e-05,7.096545e-05,7.137968e-05,7.267013e-05,7.360035e-05,7.431899e-05,7.572415e-05,7.591246e-05,7.745110e-05,7.775230e-05,7.893558e-05,7.968636e-05,8.036667e-05,8.152812e-05,8.174518e-05,8.307199e-05,8.327955e-05,8.434804e-05,8.494279e-05,8.557428e-05,8.652009e-05,8.675172e-05,8.788137e-05,8.801376e-05,8.896426e-05,8.942618e-05,9.000143e-05,9.075976e-05,9.099394e-05,9.194285e-05,9.201691e-05,9.284920e-05,9.320006e-05,9.371406e-05,9.431164e-05,9.453846e-05,9.532346e-05,9.535405e-05,9.607008e-05,9.632966e-05,9.677934e-05,9.724082e-05,9.745226e-05,9.808984e-05,9.869306e-05,9.887899e-05,9.926288e-05,9.961049e-05,9.980027e-05,1.002865e-04,1.003062e-04,1.007815e-04,1.009092e-04,1.012271e-04,1.014807e-04,1.016440e-04,1.020029e-04,1.020330e-04,1.023949e-04,1.024778e-04,1.027306e-04,1.029075e-04,1.030409e-04,1.032937e-04,1.033267e-04,1.035886e-04,1.036382e-04,1.038275e-04,1.039429e-04,1.040441e-04,1.042094e-04,1.042392e-04,1.044134e-04,1.044394e-04,1.045674e-04,1.046345e-04,1.047021e-04,1.047962e-04,1.048179e-04,1.049156e-04,1.049261e-04,1.049958e-04,1.050257e-04,1.050590e-04,1.050962e-04,1.051060e-04,1.051373e-04,1.051392e-04,1.051535e-04,1.051558e-04,1.051550e-04,1.051474e-04,1.051425e-04,1.051165e-04,1.051152e-04,1.050775e-04,1.050604e-04,1.050260e-04,1.049841e-04,1.049624e-04,1.048873e-04,1.047713e-04,1.046369e-04,1.044851e-04,1.043169e-04,1.041333e-04,1.039349e-04,1.037228e-04,1.034977e-04,1.032603e-04,1.030115e-04,1.027519e-04,1.024821e-04,1.022030e-04,1.019150e-04,1.016188e-04,1.013149e-04,1.010040e-04,1.006865e-04,1.003630e-04,1.000338e-04,9.969960e-05,9.936069e-05,9.901753e-05,9.867052e-05
0.000000e+00,3.598581e-14,2.933154e-13,6.296760e-12,4.574433e-11,1.114694e-10,7.275217e-10,7.773431e-10,3.270305e-09,4.596209e-09,1.003660e-08,1.766949e-08,2.486854e-08,4.999095e-08,5.285342e-08,1.001768e-07,1.151774e-07,1.738404e-07,2.293645e-07,2.812744e-07,4.095523e-07,4.297619e-07,6.256614e-07,6.709754e-07,8.735857e-07,1.023920e-06,1.175795e-06,1.471447e-06,1.531978e-06,1.939424e-06,2.009083e-06,2.393464e-06,2.626208e-06,2.888023e-06,3.308200e-06,3.416166e-06,3.970549e-06,4.038485e-06,4.543766e-06,4.800079e-06,5.128609e-06,5.576637e-06,5.718235e-06,6.306295e-06,6.353095e-06,6.887013e-06,7.116070e-06,7.455244e-06,7.854096e-06,8.006508e-06,8.537010e-06,8.557752e-06,9.043638e-06,9.219690e-06,9.523949e-06,9.834581e-06,9.976135e-06,1.039898e-05,1.079181e-05,1.091114e-05,1.115444e-05,1.137076e-05,1.148709e-05,1.177876e-05,1.179034e-05,1.206505e-05,1.213700e-05,1.231232e-05,1.244804e-05,1.253342e-05,1.271490e-05,1.272972e-05,1.290269e-05,1.294090e-05,1.305382e-05,1.312948e-05,1.318463e-05,1.328411e-05,1.329661e-05,1.339120e-05,1.340816e-05,1.346982e-05,1.350484e-05,1.353380e-05,1.357716e-05,1.358441e-05,1.362284e-05,1.362793e-05,1.365020e-05,1.365971e-05,1.366753e-05,1.367481e-05,1.367578e-05,1.367584e-05,1.367534e-05,1.366852e-05,1.366315e-05,1.365456e-05,1.363993e-05,1.363464e-05,1.360939e-05,1.360716e-05,1.357938e-05,1.356615e-05,1.354511e-05,1.351806e-05,1.350705e-05,1.346564e-05,1.346392e-05,1.342125e-05,1.340461e-05,1.337423e-05,1.334093e-05,1.332491e-05,1.327357e-05,1.322048e-05,1.320315e-05,1.316586e-05,1.313020e-05,1.310993e-05,1.305519e-05,1.305289e-05,1.299491e-05,1.297853e-05,1.293616e-05,1.290059e-05,1.287677e-05,1.282169e-05,1.281688e-05,1.275661e-05,1.274211e-05,1.269607e-05,1.266209e-05,1.263536e-05,1.258185e-05,1.257455e-05,1.251374e-05,1.250159e-05,1.245300e-05,1.242147e-05,1.239240e-05,1.234164e-05,1.233199e-05,1.227183e-05,1.226223e-05,1.221197e-05,1.218335e-05,1.215245e-05,1.210511e-05,1.209331e-05,1.203459e-05,1.202758e-05,1.197633e-05,1.195084e-05,1.191855e-05,1.187497e-05,1.186127e-05,1.180452e-05,1.180001e-05,1.174833e-05,1.172601e-05,1.169271e-05,1.165302e-05,1.163767e-05,1.158324e-05,1.158107e-05,1.152942e-05,1.151020e-05,1.147622e-05,1.144041e-05,1.142366e-05,1.137174e-05,1.130420e-05,1.123780e-05,1.117256e-05,1.110846e-05,1.104553e-05,1.098376e-05,1.092314e-05,1.086368e-05,1.080537e-05,1.074820e-05,1.069216e-05,1.063725e-05,1.058346e-05,1.053076e-05,1.047916e-05,1.042864e-05,1.037918e-05,1.033077e-05,1.028339e-05,1.023704e-05,1.019169e-05,1.014733e-05,1.010394e-05,1.006150e-05
0.000000e+00,2.817936e-15,2.474972e-14,6.209857e-13,5.208508e-12,1.374379e-11,1.104740e-10,1.190541e-10,6.186033e-10,9.214862e-10,2.332787e-09,4.636627e-09,7.068999e-09,1.703268e-08,1.829057e-08,4.200896e-08,5.054099e-08,8.789037e-08,1.284510e-07,1.704773e-07,2.896496e-07,3.102821e-07,5.344049e-07,5.921935e-07,8.763658e-07,1.113492e-06,1.375030e-06,1.945932e-06,2.072733e-06,3.012855e-06,3.188609e-06,4.237194e-06,4.937115e-06,5.783438e-06,7.273557e-06,7.682978e-06,9.959230e-06,1.025848e-05,1.262653e-05,1.392559e-05,1.568959e-05,1.827954e-05,1.914353e-05,2.297431e-05,2.329643e-05,2.715959e-05,2.892655e-05,3.166979e-05,3.509855e-05,3.646933e-05,4.151801e-05,4.172453e-05,4.677229e-05,4.870543e-05,5.218665e-05,5.593623e-05,5.771479e-05,6.331071e-05,6.892968e-05,7.072557e-05,7.452901e-05,7.808368e-05,8.006872e-05,8.529659e-05,8.551204e-05,9.082577e-05,9.228629e-05,9.598049e-05,9.898620e-05,1.009507e-04,1.053416e-04,1.057147e-04,1.102547e-04,1.113094e-04,1.145568e-04,1.168579e-04,1.186102e-04,1.219658e-04,1.224078e-04,1.259451e-04,1.266211e-04,1.292205e-04,1.308205e-04,1.322349e-04,1.345674e-04,1.349913e-04,1.374943e-04,1.378717e-04,1.397505e-04,1.407479e-04,1.417673e-04,1.432143e-04,1.435536e-04,1.451189e-04,1.452923e-04,1.464733e-04,1.470051e-04,1.476274e-04,1.483772e-04,1.485920e-04,1.493782e-04,1.494337e-04,1.499969e-04,1.501999e-04,1.504589e-04,1.507006e-04,1.507750e-04,1.509556e-04,1.509601e-04,1.510106e-04,1.510016e-04,1.509499e-04,1.508472e-04,1.507826e-04,1.505177e-04,1.501636e-04,1.500328e-04,1.497282e-04,1.494104e-04,1.492190e-04,1.486673e-04,1.486430e-04,1.480068e-04,1.478188e-04,1.473166e-04,1.468790e-04,1.465781e-04,1.458606e-04,1.457967e-04,1.449772e-04,1.447753e-04,1.441242e-04,1.436336e-04,1.432421e-04,1.424447e-04,1.423346e-04,1.414053e-04,1.412172e-04,1.404577e-04,1.399586e-04,1.394945e-04,1.386755e-04,1.385187e-04,1.375326e-04,1.373741e-04,1.365387e-04,1.360595e-04,1.355391e-04,1.347365e-04,1.345355e-04,1.335299e-04,1.334091e-04,1.325236e-04,1.320811e-04,1.315182e-04,1.307555e-04,1.305150e-04,1.295150e-04,1.294352e-04,1.285194e-04,1.281226e-04,1.275290e-04,1.268197e-04,1.265448e-04,1.255674e-04,1.255285e-04,1.245975e-04,1.242504e-04,1.236358e-04,1.229868e-04,1.226827e-04,1.217388e-04,1.205074e-04,1.192934e-04,1.180974e-04,1.169200e-04,1.157616e-04,1.146225e-04,1.135030e-04,1.124032e-04,1.113233e-04,1.102633e-04,1.092231e-04,1.082028e-04,1.072022e-04,1.062212e-04,1.052597e-04,1.043175e-04,1.033944e-04,1.024901e-04,1.016044e-04,1.007371e-04,9.988784e-05,9.905645e-05,9.824260e-05,9.744600e-05
0.000000e+00,5.816713e-10,1.360742e-09,4.788840e-09,1.101560e-08,1.613670e-08,3.686201e-08,3.797869e-08,7.363850e-08,8.656257e-08,1.265527e-07,1.680943e-07,2.003761e-07,2.900398e-07,2.989205e-07,4.256606e-07,4.605514e-07,5.826954e-07,6.839218e-07,7.699429e-07,9.582936e-07,9.855920e-07,1.227239e-06,1.278481e-06,1.492579e-06,1.639225e-06,1.779541e-06,2.035880e-06,2.086188e-06,2.410620e-06,2.464050e-06,2.750896e-06,2.919272e-06,3.105016e-06,3.396897e-06,3.470920e-06,3.846511e-06,3.892133e-06,4.229688e-06,4.400153e-06,4.618380e-06,4.916235e-06,5.010579e-06,5.404373e-06,5.435891e-06,5.797967e-06,5.954973e-06,6.189706e-06,6.469758e-06,6.578085e-06,6.961757e-06,6.976988e-06,7.339536e-06,7.473891e-06,7.710394e-06,7.958173e-06,8.073457e-06,8.427996e-06,8.773413e-06,8.881941e-06,9.109240e-06,9.318965e-06,9.435115e-06,9.738354e-06,9.750782e-06,1.005607e-05,1.013968e-05,1.035089e-05,1.052274e-05,1.063522e-05,1.088756e-05,1.090909e-05,1.117258e-05,1.123429e-05,1.142582e-05,1.156322e-05,1.166898e-05,1.187476e-05,1.190223e-05,1.212579e-05,1.216936e-05,1.233989e-05,1.244756e-05,1.254476e-05,1.270991e-05,1.274066e-05,1.292785e-05,1.295701e-05,1.310658e-05,1.318945e-05,1.327713e-05,1.340784e-05,1.343974e-05,1.359470e-05,1.361280e-05,1.374226e-05,1.380491e-05,1.388267e-05,1.398477e-05,1.401620e-05,1.414307e-05,1.415295e-05,1.426355e-05,1.431001e-05,1.437787e-05,1.445649e-05,1.448625e-05,1.458892e-05,1.459291e-05,1.468610e-05,1.471978e-05,1.477800e-05,1.483758e-05,1.486482e-05,1.494676e-05,1.502402e-05,1.504778e-05,1.509677e-05,1.514104e-05,1.516519e-05,1.522697e-05,1.522946e-05,1.528975e-05,1.530594e-05,1.534621e-05,1.537831e-05,1.539899e-05,1.544444e-05,1.544826e-05,1.549414e-05,1.550467e-05,1.553679e-05,1.555930e-05,1.557632e-05,1.560864e-05,1.561288e-05,1.564657e-05,1.565298e-05,1.567753e-05,1.569259e-05,1.570587e-05,1.572772e-05,1.573168e-05,1.575509e-05,1.575862e-05,1.577619e-05,1.578553e-05,1.579508e-05,1.580867e-05,1.581186e-05,1.582661e-05,1.582825e-05,1.583942e-05,1.584446e-05,1.585037e-05,1.585750e-05,1.585955e-05,1.586703e-05,1.586755e-05,1.587288e-05,1.587478e-05,1.587718e-05,1.587935e-05,1.588000e-05,1.588139e-05,1.588142e-05,1.588144e-05,1.588113e-05,1.588018e-05,1.587862e-05,1.587769e-05,1.587402e-05,1.586746e-05,1.585906e-05,1.584892e-05,1.583716e-05,1.582387e-05,1.580916e-05,1.579311e-05,1.577581e-05,1.575734e-05,1.573778e-05,1.571720e-05,1.569568e-05,1.567328e-05,1.565006e-05,1.562609e-05,1.560141e-05,1.557609e-05,1.555018e-05,1.552371e-05,1.549675e-05,1.546933e-05,1.544149e-05,1.541327e-05,1.538472e-05
0.000000e+00,1.227810e-08,2.847164e-08,9.946052e-08,2.286052e-07,3.352666e-07,7.716070e-07,7.953307e-07,1.563841e-06,1.847267e-06,2.738328e-06,3.681334e-06,4.421501e-06,6.480491e-06,6.683102e-06,9.520427e-06,1.028155e-05,1.288123e-05,1.497062e-05,1.670956e-05,2.042913e-05,2.096021e-05,2.559512e-05,2.656505e-05,3.057832e-05,3.329519e-05,3.587338e-05,4.053473e-05,4.144266e-05,4.724767e-05,4.819577e-05,5.324986e-05,5.618981e-05,5.941147e-05,6.443121e-05,6.569641e-05,7.207086e-05,7.284030e-05,7.850374e-05,8.134537e-05,8.496695e-05,8.988374e-05,9.143543e-05,9.788711e-05,9.840192e-05,1.043028e-04,1.068552e-04,1.106660e-04,1.152069e-04,1.169625e-04,1.231805e-04,1.234275e-04,1.293099e-04,1.314932e-04,1.353424e-04,1.393856e-04,1.412712e-04,1.470906e-04,1.527961e-04,1.545972e-04,1.583841e-04,1.618975e-04,1.638519e-04,1.689860e-04,1.691975e-04,1.744192e-04,1.758590e-04,1.795161e-04,1.825142e-04,1.844877e-04,1.889506e-04,1.893337e-04,1.940543e-04,1.951686e-04,1.986497e-04,2.011688e-04,2.031208e-04,2.069531e-04,2.074683e-04,2.116932e-04,2.125236e-04,2.157968e-04,2.178831e-04,2.197802e-04,2.230345e-04,2.236450e-04,2.273926e-04,2.279814e-04,2.310246e-04,2.327274e-04,2.345428e-04,2.372765e-04,2.379488e-04,2.412445e-04,2.416326e-04,2.444317e-04,2.458001e-04,2.475122e-04,2.497833e-04,2.504881e-04,2.533612e-04,2.535867e-04,2.561335e-04,2.572146e-04,2.588069e-04,2.606717e-04,2.613834e-04,2.638651e-04,2.639624e-04,2.662539e-04,2.670915e-04,2.685517e-04,2.700633e-04,2.707606e-04,2.728825e-04,2.749194e-04,2.755536e-04,2.768733e-04,2.780811e-04,2.787460e-04,2.804693e-04,2.805396e-04,2.822558e-04,2.827227e-04,2.838966e-04,2.848456e-04,2.854638e-04,2.868423e-04,2.869593e-04,2.883849e-04,2.887168e-04,2.897424e-04,2.904735e-04,2.910335e-04,2.921162e-04,2.922600e-04,2.934237e-04,2.936490e-04,2.945261e-04,2.950758e-04,2.955691e-04,2.964003e-04,2.965541e-04,2.974828e-04,2.976263e-04,2.983568e-04,2.987574e-04,2.991777e-04,2.997971e-04,2.999469e-04,3.006660e-04,3.007490e-04,3.013364e-04,3.016164e-04,3.019596e-04,3.024025e-04,3.025370e-04,3.030699e-04,3.031107e-04,3.035598e-04,3.037440e-04,3.040079e-04,3.043054e-04,3.044155e-04,3.047840e-04,3.047979e-04,3.051145e-04,3.052245e-04,3.054083e-04,3.055878e-04,3.056666e-04,3.058905e-04,3.061354e-04,3.063249e-04,3.064615e-04,3.065477e-04,3.065857e-04,3.065777e-04,3.065260e-04,3.064327e-04,3.062997e-04,3.061291e-04,3.059228e-04,3.056825e-04,3.054101e-04,3.051073e-04,3.047757e-04,3.044169e-04,3.040325e-04,3.036239e-04,3.031926e-04,3.027399e-04,3.022672e-04,3.017757e-04,3.012667e-04,3.007413e-04
0.000000e+00,3.798021e-10,9.208584e-10,3.358819e-09,7.843755e-09,1.154868e-08,2.658045e-08,2.739086e-08,5.326237e-08,6.263092e-08,9.158373e-08,1.215926e-07,1.448528e-07,2.090644e-07,2.153842e-07,3.045826e-07,3.287919e-07,4.124276e-07,4.806266e-07,5.379759e-07,6.622140e-07,6.801111e-07,8.378012e-07,8.711189e-07,1.010054e-06,1.105039e-06,1.195829e-06,1.361494e-06,1.393979e-06,1.603234e-06,1.637654e-06,1.822204e-06,1.930329e-06,2.049407e-06,2.236058e-06,2.283295e-06,2.522293e-06,2.551242e-06,2.764836e-06,2.872283e-06,3.009399e-06,3.195721e-06,3.254530e-06,3.498870e-06,3.518345e-06,3.741176e-06,3.837273e-06,3.980327e-06,4.150003e-06,4.215336e-06,4.445350e-06,4.454436e-06,4.669648e-06,4.748878e-06,4.887637e-06,5.032019e-06,5.098843e-06,5.302902e-06,5.499553e-06,5.560886e-06,5.688621e-06,5.805600e-06,5.870014e-06,6.036904e-06,6.043704e-06,6.209726e-06,6.254848e-06,6.368160e-06,6.459628e-06,6.519129e-06,6.651561e-06,6.662789e-06,6.799321e-06,6.831050e-06,6.928927e-06,6.998562e-06,7.051824e-06,7.154605e-06,7.168240e-06,7.278410e-06,7.299715e-06,7.382570e-06,7.434439e-06,7.480961e-06,7.559325e-06,7.573821e-06,7.661383e-06,7.674917e-06,7.743880e-06,7.781745e-06,7.821536e-06,7.880323e-06,7.894570e-06,7.963196e-06,7.971144e-06,8.027617e-06,8.054682e-06,8.088032e-06,8.131384e-06,8.144630e-06,8.197593e-06,8.201678e-06,8.247096e-06,8.265966e-06,8.293305e-06,8.324626e-06,8.336380e-06,8.376474e-06,8.378017e-06,8.413730e-06,8.426475e-06,8.448288e-06,8.470313e-06,8.480279e-06,8.509828e-06,8.537055e-06,8.545296e-06,8.562073e-06,8.576975e-06,8.584989e-06,8.605108e-06,8.605907e-06,8.624924e-06,8.629921e-06,8.642133e-06,8.651627e-06,8.657621e-06,8.670423e-06,8.671473e-06,8.683768e-06,8.686495e-06,8.694582e-06,8.700018e-06,8.703987e-06,8.711152e-06,8.712051e-06,8.718840e-06,8.720050e-06,8.724415e-06,8.726854e-06,8.728836e-06,8.731698e-06,8.732158e-06,8.734436e-06,8.734707e-06,8.735719e-06,8.735996e-06,8.736056e-06,8.735676e-06,8.735494e-06,8.734075e-06,8.733850e-06,8.731843e-06,8.730613e-06,8.728836e-06,8.726057e-06,8.725093e-06,8.720651e-06,8.720266e-06,8.715542e-06,8.713320e-06,8.709801e-06,8.705294e-06,8.703459e-06,8.696546e-06,8.696258e-06,8.689090e-06,8.686279e-06,8.681120e-06,8.675419e-06,8.672660e-06,8.663737e-06,8.651287e-06,8.638123e-06,8.624292e-06,8.609842e-06,8.594815e-06,8.579253e-06,8.563195e-06,8.546677e-06,8.529733e-06,8.512398e-06,8.494700e-06,8.476671e-06,8.458336e-06,8.439722e-06,8.420855e-06,8.401756e-06,8.382449e-06,8.362954e-06,8.343292e-06,8.323480e-06,8.303537e-06,8.283479e-06,8.263322e-06,8.243082e-06
0.000000e+00,6.387524e-12,4.406281e-11,6.785127e-10,3.705720e-09,7.779120e-09,3.544215e-08,3.734963e-08,1.144182e-07,1.485067e-07,2.688368e-07,4.119607e-07,5.328770e-07,9.018769e-07,9.406012e-07,1.526132e-06,1.696519e-06,2.318128e-06,2.858658e-06,3.333398e-06,4.414966e-06,4.575987e-06,6.041807e-06,6.361150e-06,7.723781e-06,8.681357e-06,9.614474e-06,1.135856e-05,1.170650e-05,1.399194e-05,1.437498e-05,1.646166e-05,1.770946e-05,1.910480e-05,2.133570e-05,2.190865e-05,2.485861e-05,2.522166e-05,2.793834e-05,2.932999e-05,3.113006e-05,3.361908e-05,3.441488e-05,3.777310e-05,3.804433e-05,4.118468e-05,4.255975e-05,4.462955e-05,4.711935e-05,4.808795e-05,5.154078e-05,5.167852e-05,5.496984e-05,5.619516e-05,5.835808e-05,6.063066e-05,6.168973e-05,6.495049e-05,6.812760e-05,6.912473e-05,7.120983e-05,7.312816e-05,7.418756e-05,7.694035e-05,7.705271e-05,7.979869e-05,8.054547e-05,8.242034e-05,8.393200e-05,8.491382e-05,8.709237e-05,8.727653e-05,8.950697e-05,9.002252e-05,9.160466e-05,9.272150e-05,9.357001e-05,9.519099e-05,9.540423e-05,9.710920e-05,9.743489e-05,9.868738e-05,9.945889e-05,1.001417e-04,1.012701e-04,1.014756e-04,1.026927e-04,1.028768e-04,1.037969e-04,1.042881e-04,1.047925e-04,1.055135e-04,1.056835e-04,1.064745e-04,1.065630e-04,1.071699e-04,1.074467e-04,1.077740e-04,1.081748e-04,1.082912e-04,1.087259e-04,1.087573e-04,1.090824e-04,1.092040e-04,1.093649e-04,1.095247e-04,1.095774e-04,1.097239e-04,1.097284e-04,1.098083e-04,1.098242e-04,1.098343e-04,1.098205e-04,1.098055e-04,1.097254e-04,1.095972e-04,1.095466e-04,1.094242e-04,1.092913e-04,1.092093e-04,1.089663e-04,1.089555e-04,1.086655e-04,1.085782e-04,1.083421e-04,1.081330e-04,1.079876e-04,1.076361e-04,1.076045e-04,1.071950e-04,1.070931e-04,1.067614e-04,1.065087e-04,1.063055e-04,1.058875e-04,1.058294e-04,1.053348e-04,1.052338e-04,1.048235e-04,1.045516e-04,1.042971e-04,1.038444e-04,1.037571e-04,1.032050e-04,1.031157e-04,1.026422e-04,1.023685e-04,1.020698e-04,1.016059e-04,1.014892e-04,1.009013e-04,1.008304e-04,1.003074e-04,1.000444e-04,9.970841e-05,9.925031e-05,9.910520e-05,9.849869e-05,9.845005e-05,9.788968e-05,9.764556e-05,9.727894e-05,9.683854e-05,9.666718e-05,9.605505e-05,9.603057e-05,9.544318e-05,9.522308e-05,9.483214e-05,9.441738e-05,9.422246e-05,9.361464e-05,9.281592e-05,9.202218e-05,9.123429e-05,9.045301e-05,8.967905e-05,8.891301e-05,8.815542e-05,8.740678e-05,8.666749e-05,8.593791e-05,8.521835e-05,8.450906e-05,8.381028e-05,8.312218e-05,8.244489e-05,8.177852e-05,8.112316e-05,8.047886e-05,7.984563e-05,7.922348e-05,7.861239e-05,7.801233e-05,7.742324e-05,7.684505e-05
0.000000e+00,4.498409e-10,1.851841e-09,1.219516e-08,3.759822e-08,6.132460e-08,1.686028e-07,1.746917e-07,3.776518e-07,4.539310e-07,6.952042e-07,9.513612e-07,1.152988e-06,1.720928e-06,1.777688e-06,2.596489e-06,2.824823e-06,3.635235e-06,4.321195e-06,4.915010e-06,6.249932e-06,6.447149e-06,8.227615e-06,8.611814e-06,1.023328e-05,1.135222e-05,1.242339e-05,1.436833e-05,1.474686e-05,1.715184e-05,1.754103e-05,1.959272e-05,2.076599e-05,2.203287e-05,2.396545e-05,2.444436e-05,2.680632e-05,2.708564e-05,2.910327e-05,3.009027e-05,3.132380e-05,3.295507e-05,3.345957e-05,3.550465e-05,3.566420e-05,3.745500e-05,3.820803e-05,3.930818e-05,4.058158e-05,4.106299e-05,4.271933e-05,4.278354e-05,4.427795e-05,4.481540e-05,4.574034e-05,4.668081e-05,4.710852e-05,4.838499e-05,4.957260e-05,4.993436e-05,5.067442e-05,5.133607e-05,5.169373e-05,5.259779e-05,5.263392e-05,5.349843e-05,5.372740e-05,5.429073e-05,5.473289e-05,5.501428e-05,5.562216e-05,5.567249e-05,5.626871e-05,5.640295e-05,5.680621e-05,5.708275e-05,5.728817e-05,5.766878e-05,5.771765e-05,5.809762e-05,5.816793e-05,5.843094e-05,5.858675e-05,5.872035e-05,5.893144e-05,5.896847e-05,5.917782e-05,5.920787e-05,5.935078e-05,5.942155e-05,5.948964e-05,5.957765e-05,5.959659e-05,5.967368e-05,5.968102e-05,5.972290e-05,5.973621e-05,5.974610e-05,5.974743e-05,5.974506e-05,5.972147e-05,5.971866e-05,5.967691e-05,5.965356e-05,5.961290e-05,5.955556e-05,5.953085e-05,5.943213e-05,5.942785e-05,5.931800e-05,5.927338e-05,5.918967e-05,5.909488e-05,5.904828e-05,5.889490e-05,5.873054e-05,5.867578e-05,5.855616e-05,5.843971e-05,5.837265e-05,5.818868e-05,5.818086e-05,5.798159e-05,5.792455e-05,5.777558e-05,5.764903e-05,5.756353e-05,5.736369e-05,5.734612e-05,5.712394e-05,5.706998e-05,5.689760e-05,5.676923e-05,5.666762e-05,5.646265e-05,5.643453e-05,5.619880e-05,5.615138e-05,5.596088e-05,5.583643e-05,5.572118e-05,5.551874e-05,5.548009e-05,5.523798e-05,5.519917e-05,5.499519e-05,5.487851e-05,5.475204e-05,5.455745e-05,5.450882e-05,5.426579e-05,5.423665e-05,5.402322e-05,5.391669e-05,5.378133e-05,5.359810e-05,5.354035e-05,5.330048e-05,5.328135e-05,5.306190e-05,5.296687e-05,5.282478e-05,5.265504e-05,5.258927e-05,5.235553e-05,5.234622e-05,5.212369e-05,5.204071e-05,5.189385e-05,5.173877e-05,5.166614e-05,5.144065e-05,5.114656e-05,5.085668e-05,5.057116e-05,5.029015e-05,5.001374e-05,4.974205e-05,4.947513e-05,4.921306e-05,4.895588e-05,4.870362e-05,4.845630e-05,4.821393e-05,4.797650e-05,4.774400e-05,4.751642e-05,4.729372e-05,4.707588e-05,4.686285e-05,4.665459e-05,4.645104e-05,4.625216e-05,4.605788e-05,4.586815e-05,4.568289e-05
0.000000e+00,2.814295e-10,8.686573e-10,4.061469e-09,1.059893e-08,1.624179e-08,3.997024e-08,4.126971e-08,8.317537e-08,9.844735e-08,1.456927e-07,1.945777e-07,2.323697e-07,3.364080e-07,3.466449e-07,4.918373e-07,5.316295e-07,6.709431e-07,7.869104e-07,8.860970e-07,1.105672e-06,1.137762e-06,1.424235e-06,1.485423e-06,1.742070e-06,1.918358e-06,2.087100e-06,2.394927e-06,2.455217e-06,2.842655e-06,2.906204e-06,3.245970e-06,3.444250e-06,3.661945e-06,4.001771e-06,4.087505e-06,4.519680e-06,4.571847e-06,4.955589e-06,5.147853e-06,5.392459e-06,5.723490e-06,5.827645e-06,6.258658e-06,6.292888e-06,6.683195e-06,6.850720e-06,7.099162e-06,7.392292e-06,7.504689e-06,7.898142e-06,7.913608e-06,8.278128e-06,8.411396e-06,8.643492e-06,8.883106e-06,8.993309e-06,9.326876e-06,9.643693e-06,9.741481e-06,9.943448e-06,1.012627e-05,1.022600e-05,1.048107e-05,1.049136e-05,1.073966e-05,1.080616e-05,1.097116e-05,1.110214e-05,1.118621e-05,1.136990e-05,1.138524e-05,1.156873e-05,1.161052e-05,1.173724e-05,1.182527e-05,1.189133e-05,1.201550e-05,1.203162e-05,1.215873e-05,1.218262e-05,1.227328e-05,1.232811e-05,1.237593e-05,1.245340e-05,1.246728e-05,1.254798e-05,1.255994e-05,1.261862e-05,1.264913e-05,1.267980e-05,1.272231e-05,1.273209e-05,1.277605e-05,1.278079e-05,1.281222e-05,1.282579e-05,1.284110e-05,1.285849e-05,1.286319e-05,1.287896e-05,1.287996e-05,1.288884e-05,1.289124e-05,1.289326e-05,1.289328e-05,1.289261e-05,1.288728e-05,1.288697e-05,1.287761e-05,1.287313e-05,1.286395e-05,1.285253e-05,1.284660e-05,1.282587e-05,1.280203e-05,1.279379e-05,1.277534e-05,1.275688e-05,1.274606e-05,1.271571e-05,1.271440e-05,1.268058e-05,1.267076e-05,1.264481e-05,1.262249e-05,1.260727e-05,1.257133e-05,1.256814e-05,1.252758e-05,1.251765e-05,1.248575e-05,1.246181e-05,1.244278e-05,1.240413e-05,1.239880e-05,1.235396e-05,1.234489e-05,1.230834e-05,1.228436e-05,1.226208e-05,1.222278e-05,1.221525e-05,1.216797e-05,1.216036e-05,1.212030e-05,1.209731e-05,1.207234e-05,1.203380e-05,1.202415e-05,1.197581e-05,1.197000e-05,1.192737e-05,1.190604e-05,1.187890e-05,1.184207e-05,1.183045e-05,1.178206e-05,1.177820e-05,1.173379e-05,1.171453e-05,1.168568e-05,1.165116e-05,1.163777e-05,1.159008e-05,1.158818e-05,1.154266e-05,1.152566e-05,1.149554e-05,1.146367e-05,1.144873e-05,1.140228e-05,1.134152e-05,1.128146e-05,1.122213e-05,1.116356e-05,1.110579e-05,1.104885e-05,1.099275e-05,1.093751e-05,1.088315e-05,1.082969e-05,1.077712e-05,1.072546e-05,1.067471e-05,1.062488e-05,1.057596e-05,1.052795e-05,1.048086e-05,1.043467e-05,1.038939e-05,1.034500e-05,1.030150e-05,1.025888e-05,1.021713e-05,1.017625e-05
0.000000e+00,3.134106e-09,7.221047e-09,2.507404e-08,5.754021e-08,8.439338e-08,1.947178e-07,2.007375e-07,3.967937e-07,4.695673e-07,6.998534e-07,9.461260e-07,1.141540e-06,1.696970e-06,1.752642e-06,2.550176e-06,2.768882e-06,3.525192e-06,4.138249e-06,4.648859e-06,5.735603e-06,5.889818e-06,7.223086e-06,7.499088e-06,8.629966e-06,9.385625e-06,1.009567e-05,1.136304e-05,1.160756e-05,1.315426e-05,1.340424e-05,1.472524e-05,1.548505e-05,1.631080e-05,1.758377e-05,1.790210e-05,1.949115e-05,1.968134e-05,2.107093e-05,2.176148e-05,2.263530e-05,2.381069e-05,2.417906e-05,2.569782e-05,2.581813e-05,2.718797e-05,2.777535e-05,2.864660e-05,2.967598e-05,3.007140e-05,3.146059e-05,3.151540e-05,3.281285e-05,3.329042e-05,3.412722e-05,3.499903e-05,3.540310e-05,3.664012e-05,3.783818e-05,3.821333e-05,3.899732e-05,3.971884e-05,4.011776e-05,4.115729e-05,4.119984e-05,4.224399e-05,4.252963e-05,4.325074e-05,4.383707e-05,4.422066e-05,4.508102e-05,4.515441e-05,4.605265e-05,4.626302e-05,4.691610e-05,4.738471e-05,4.774550e-05,4.844780e-05,4.854160e-05,4.930518e-05,4.945406e-05,5.003702e-05,5.040529e-05,5.073790e-05,5.130328e-05,5.140860e-05,5.204992e-05,5.214986e-05,5.266264e-05,5.294681e-05,5.324753e-05,5.369594e-05,5.380538e-05,5.433693e-05,5.439899e-05,5.484296e-05,5.505771e-05,5.532420e-05,5.567381e-05,5.578138e-05,5.621524e-05,5.624896e-05,5.662648e-05,5.678480e-05,5.701580e-05,5.728292e-05,5.738389e-05,5.773141e-05,5.774489e-05,5.805902e-05,5.817222e-05,5.836738e-05,5.856638e-05,5.865710e-05,5.892880e-05,5.918309e-05,5.926089e-05,5.942056e-05,5.956397e-05,5.964177e-05,5.983937e-05,5.984729e-05,6.003767e-05,6.008833e-05,6.021343e-05,6.031208e-05,6.037509e-05,6.051181e-05,6.052316e-05,6.065814e-05,6.068863e-05,6.078049e-05,6.084366e-05,6.089068e-05,6.097796e-05,6.098917e-05,6.107640e-05,6.109253e-05,6.115279e-05,6.118837e-05,6.121876e-05,6.126642e-05,6.127471e-05,6.132104e-05,6.132758e-05,6.135812e-05,6.137274e-05,6.138632e-05,6.140274e-05,6.140601e-05,6.141753e-05,6.141837e-05,6.142121e-05,6.142043e-05,6.141738e-05,6.140965e-05,6.140636e-05,6.138846e-05,6.138674e-05,6.136397e-05,6.135239e-05,6.133318e-05,6.130727e-05,6.129637e-05,6.125381e-05,6.125199e-05,6.120576e-05,6.118717e-05,6.115247e-05,6.111337e-05,6.109419e-05,6.103115e-05,6.094105e-05,6.084356e-05,6.073918e-05,6.062835e-05,6.051153e-05,6.038914e-05,6.026157e-05,6.012922e-05,5.999245e-05,5.985160e-05,5.970702e-05,5.955902e-05,5.940790e-05,5.925395e-05,5.909744e-05,5.893864e-05,5.877779e-05,5.861512e-05,5.845086e-05,5.828523e-05,5.811842e-05,5.795062e-05,5.778201e-05,5.761277e-05
0.000000e+00,1.043089e-09,2.611870e-09,9.847903e-09,2.334593e-08,3.456193e-08,8.029075e-08,8.276153e-08,1.617477e-07,1.903739e-07,2.788503e-07,3.705550e-07,4.416729e-07,6.386977e-07,6.581871e-07,9.365159e-07,1.013375e-06,1.284108e-06,1.511056e-06,1.705987e-06,2.139040e-06,2.202410e-06,2.767677e-06,2.888141e-06,3.391639e-06,3.735457e-06,4.062797e-06,4.655247e-06,4.770560e-06,5.505958e-06,5.625668e-06,6.261487e-06,6.629371e-06,7.030715e-06,7.652123e-06,7.807959e-06,8.588081e-06,8.681662e-06,9.366385e-06,9.707141e-06,1.013857e-05,1.071892e-05,1.090073e-05,1.164935e-05,1.170856e-05,1.238132e-05,1.266883e-05,1.309396e-05,1.359378e-05,1.378496e-05,1.445245e-05,1.447864e-05,1.509493e-05,1.531986e-05,1.571123e-05,1.611493e-05,1.630054e-05,1.686233e-05,1.739634e-05,1.756135e-05,1.790255e-05,1.821201e-05,1.838113e-05,1.881490e-05,1.883243e-05,1.925694e-05,1.937108e-05,1.965527e-05,1.988198e-05,2.002811e-05,2.034928e-05,2.037624e-05,2.070049e-05,2.077485e-05,2.100174e-05,2.116072e-05,2.128088e-05,2.150896e-05,2.153882e-05,2.177649e-05,2.182167e-05,2.199479e-05,2.210096e-05,2.219464e-05,2.234890e-05,2.237692e-05,2.254250e-05,2.256750e-05,2.269224e-05,2.275873e-05,2.282696e-05,2.292447e-05,2.294747e-05,2.305454e-05,2.306652e-05,2.314891e-05,2.318659e-05,2.323129e-05,2.328631e-05,2.330238e-05,2.336282e-05,2.336721e-05,2.341324e-05,2.343074e-05,2.345425e-05,2.347827e-05,2.348641e-05,2.351027e-05,2.351106e-05,2.352633e-05,2.353031e-05,2.353511e-05,2.353715e-05,2.353705e-05,2.353262e-05,2.352222e-05,2.351770e-05,2.350626e-05,2.349330e-05,2.348511e-05,2.346026e-05,2.345914e-05,2.342867e-05,2.341939e-05,2.339405e-05,2.337140e-05,2.335556e-05,2.331698e-05,2.331349e-05,2.326813e-05,2.325678e-05,2.321972e-05,2.319137e-05,2.316850e-05,2.312130e-05,2.311472e-05,2.305857e-05,2.304708e-05,2.300027e-05,2.296917e-05,2.294001e-05,2.288801e-05,2.287798e-05,2.281433e-05,2.280401e-05,2.274924e-05,2.271752e-05,2.268285e-05,2.262890e-05,2.261530e-05,2.254674e-05,2.253845e-05,2.247729e-05,2.244648e-05,2.240707e-05,2.235325e-05,2.233618e-05,2.226474e-05,2.225900e-05,2.219284e-05,2.216397e-05,2.212057e-05,2.206836e-05,2.204802e-05,2.197528e-05,2.197236e-05,2.190241e-05,2.187616e-05,2.182948e-05,2.177990e-05,2.175658e-05,2.168374e-05,2.158782e-05,2.149225e-05,2.139714e-05,2.130260e-05,2.120872e-05,2.111558e-05,2.102326e-05,2.093182e-05,2.084131e-05,2.075181e-05,2.066335e-05,2.057597e-05,2.048971e-05,2.040460e-05,2.032068e-05,2.023796e-05,2.015646e-05,2.007620e-05,1.999719e-05,1.991945e-05,1.984297e-05,1.976777e-05,1.969385e-05,1.962121e-05
0.000000e+00,1.263908e-12,9.450772e-12,1.703197e-10,1.060504e-09,2.380030e-09,1.266534e-08,1.342447e-08,4.676966e-08,6.260524e-08,1.215598e-07,1.956782e-07,2.604914e-07,4.660567e-07,4.881298e-07,8.300318e-07,9.319728e-07,1.312051e-06,1.652454e-06,1.958650e-06,2.679395e-06,2.789196e-06,3.812766e-06,4.040451e-06,5.024106e-06,5.722127e-06,6.403425e-06,7.669803e-06,7.920314e-06,9.539410e-06,9.805558e-06,1.122542e-05,1.204888e-05,1.294624e-05,1.432928e-05,1.467431e-05,1.638669e-05,1.659019e-05,1.806458e-05,1.878790e-05,1.969279e-05,2.088942e-05,2.125916e-05,2.275419e-05,2.287048e-05,2.417073e-05,2.471416e-05,2.550369e-05,2.640980e-05,2.674985e-05,2.790761e-05,2.795207e-05,2.897679e-05,2.934017e-05,2.995842e-05,3.057692e-05,3.085453e-05,3.166794e-05,3.240206e-05,3.262086e-05,3.306077e-05,3.344468e-05,3.364822e-05,3.414916e-05,3.416875e-05,3.462674e-05,3.474437e-05,3.502656e-05,3.524032e-05,3.537250e-05,3.564673e-05,3.566869e-05,3.591910e-05,3.597281e-05,3.612750e-05,3.622719e-05,3.629745e-05,3.641784e-05,3.643226e-05,3.653506e-05,3.655203e-05,3.660871e-05,3.663639e-05,3.665589e-05,3.667687e-05,3.667906e-05,3.668048e-05,3.667883e-05,3.666224e-05,3.664707e-05,3.662625e-05,3.658586e-05,3.657425e-05,3.650785e-05,3.649899e-05,3.642850e-05,3.638983e-05,3.633754e-05,3.626139e-05,3.623617e-05,3.612553e-05,3.611630e-05,3.600660e-05,3.595693e-05,3.588033e-05,3.578533e-05,3.574754e-05,3.560902e-05,3.560337e-05,3.546544e-05,3.541265e-05,3.531746e-05,3.521462e-05,3.516566e-05,3.501055e-05,3.485263e-05,3.480158e-05,3.469234e-05,3.458869e-05,3.453007e-05,3.437278e-05,3.436620e-05,3.420106e-05,3.415463e-05,3.403494e-05,3.393492e-05,3.386814e-05,3.371428e-05,3.370089e-05,3.353344e-05,3.349324e-05,3.336599e-05,3.327229e-05,3.319873e-05,3.305185e-05,3.303184e-05,3.286548e-05,3.283228e-05,3.269978e-05,3.261392e-05,3.253487e-05,3.239706e-05,3.237089e-05,3.220792e-05,3.218195e-05,3.204608e-05,3.196882e-05,3.188544e-05,3.175785e-05,3.172609e-05,3.156809e-05,3.154923e-05,3.141152e-05,3.134309e-05,3.125641e-05,3.113956e-05,3.110284e-05,3.095084e-05,3.093875e-05,3.080044e-05,3.074074e-05,3.065169e-05,3.054563e-05,3.050462e-05,3.035925e-05,3.035347e-05,3.021560e-05,3.016431e-05,3.007369e-05,2.997819e-05,2.993354e-05,2.979515e-05,2.961521e-05,2.943838e-05,2.926467e-05,2.909408e-05,2.892661e-05,2.876225e-05,2.860099e-05,2.844280e-05,2.828767e-05,2.813558e-05,2.798649e-05,2.784037e-05,2.769720e-05,2.755694e-05,2.741955e-05,2.728500e-05,2.715325e-05,2.702425e-05,2.689798e-05,2.677438e-05,2.665341e-05,2.653505e-05,2.641923e-05,2.630592e-05
0.000000e+00,1.069834e-15,9.460137e-15,2.406676e-13,2.043247e-12,5.425931e-12,4.427045e-11,4.773506e-11,2.509373e-10,3.747294e-10,9.530702e-10,1.897913e-09,2.894234e-09,6.955448e-09,7.465901e-09,1.701105e-08,2.041327e-08,3.515959e-08,5.096669e-08,6.717825e-08,1.125229e-07,1.203043e-07,2.040199e-07,2.254370e-07,3.302141e-07,4.172770e-07,5.131847e-07,7.227848e-07,7.694511e-07,1.117382e-06,1.182859e-06,1.576652e-06,1.842613e-06,2.167590e-06,2.748772e-06,2.910448e-06,3.824660e-06,3.946752e-06,4.928139e-06,5.477779e-06,6.236630e-06,7.376332e-06,7.763175e-06,9.517690e-06,9.668119e-06,1.150667e-05,1.236869e-05,1.373303e-05,1.548272e-05,1.619603e-05,1.889140e-05,1.900395e-05,2.181149e-05,2.291574e-05,2.494549e-05,2.719196e-05,2.827980e-05,3.179836e-05,3.548310e-05,3.669413e-05,3.931429e-05,4.183349e-05,4.327103e-05,4.716745e-05,4.733159e-05,5.147389e-05,5.264536e-05,5.567577e-05,5.821638e-05,5.991538e-05,6.383085e-05,6.417146e-05,6.842358e-05,6.944132e-05,7.265235e-05,7.500345e-05,7.683963e-05,8.047674e-05,8.096861e-05,8.502396e-05,8.582494e-05,8.899182e-05,9.101638e-05,9.285989e-05,9.602404e-05,9.661741e-05,1.002551e-04,1.008255e-04,1.037653e-04,1.054029e-04,1.071415e-04,1.097427e-04,1.103789e-04,1.134736e-04,1.138353e-04,1.164232e-04,1.176746e-04,1.192261e-04,1.212580e-04,1.218820e-04,1.243912e-04,1.245856e-04,1.267549e-04,1.276601e-04,1.289752e-04,1.304863e-04,1.310544e-04,1.329958e-04,1.330706e-04,1.348028e-04,1.354211e-04,1.364792e-04,1.375468e-04,1.380294e-04,1.394577e-04,1.407688e-04,1.411643e-04,1.419673e-04,1.426775e-04,1.430581e-04,1.440084e-04,1.440460e-04,1.449359e-04,1.451681e-04,1.457325e-04,1.461678e-04,1.464407e-04,1.470181e-04,1.470651e-04,1.476103e-04,1.477299e-04,1.480808e-04,1.483132e-04,1.484808e-04,1.487780e-04,1.488146e-04,1.490863e-04,1.491335e-04,1.492995e-04,1.493887e-04,1.494582e-04,1.495520e-04,1.495659e-04,1.496260e-04,1.496314e-04,1.496416e-04,1.496343e-04,1.496160e-04,1.495677e-04,1.495520e-04,1.494524e-04,1.494382e-04,1.493199e-04,1.492518e-04,1.491569e-04,1.490141e-04,1.489657e-04,1.487487e-04,1.487303e-04,1.485079e-04,1.484054e-04,1.482453e-04,1.480437e-04,1.479626e-04,1.476617e-04,1.476493e-04,1.473442e-04,1.472261e-04,1.470115e-04,1.467774e-04,1.466652e-04,1.463066e-04,1.458165e-04,1.453097e-04,1.447888e-04,1.442560e-04,1.437133e-04,1.431625e-04,1.426055e-04,1.420436e-04,1.414783e-04,1.409110e-04,1.403426e-04,1.397743e-04,1.392070e-04,1.386416e-04,1.380787e-04,1.375192e-04,1.369636e-04,1.364125e-04,1.358664e-04,1.353257e-04,1.347907e-04,1.342620e-04,1.337396e-04,1.332239e-04
0.000000e+00,4.364540e-09,1.003774e-08,3.459324e-08,7.860232e-08,1.145269e-07,2.587365e-07,2.664727e-07,5.125914e-07,6.015119e-07,8.761907e-07,1.161073e-06,1.382193e-06,1.994606e-06,2.055063e-06,2.911783e-06,3.145172e-06,3.952122e-06,4.608314e-06,5.156979e-06,6.331003e-06,6.498208e-06,7.948392e-06,8.249375e-06,9.484154e-06,1.030989e-05,1.108569e-05,1.246899e-05,1.273554e-05,1.441775e-05,1.468890e-05,1.611747e-05,1.693544e-05,1.782082e-05,1.917749e-05,1.951502e-05,2.118842e-05,2.138732e-05,2.283069e-05,2.354106e-05,2.443285e-05,2.561897e-05,2.598735e-05,2.748799e-05,2.760556e-05,2.892991e-05,2.948940e-05,3.030951e-05,3.126277e-05,3.162427e-05,3.287269e-05,3.292124e-05,3.405415e-05,3.446308e-05,3.516874e-05,3.588880e-05,3.621717e-05,3.720067e-05,3.812086e-05,3.840225e-05,3.897965e-05,3.949805e-05,3.977921e-05,4.049322e-05,4.052186e-05,4.121002e-05,4.139327e-05,4.184616e-05,4.220392e-05,4.243279e-05,4.293092e-05,4.297242e-05,4.346752e-05,4.357998e-05,4.392048e-05,4.415661e-05,4.433366e-05,4.466615e-05,4.470932e-05,4.504965e-05,4.511366e-05,4.535674e-05,4.550397e-05,4.563260e-05,4.584159e-05,4.587914e-05,4.609817e-05,4.613077e-05,4.629139e-05,4.637545e-05,4.646044e-05,4.657932e-05,4.660687e-05,4.673213e-05,4.674580e-05,4.683759e-05,4.687807e-05,4.692457e-05,4.697906e-05,4.699428e-05,4.704788e-05,4.705151e-05,4.708645e-05,4.709791e-05,4.711102e-05,4.712058e-05,4.712255e-05,4.712194e-05,4.712168e-05,4.711005e-05,4.710316e-05,4.708768e-05,4.706686e-05,4.705557e-05,4.701443e-05,4.696493e-05,4.694743e-05,4.690769e-05,4.686727e-05,4.684330e-05,4.677526e-05,4.677230e-05,4.669521e-05,4.667260e-05,4.661251e-05,4.656040e-05,4.652467e-05,4.643967e-05,4.643210e-05,4.633521e-05,4.631135e-05,4.623437e-05,4.617630e-05,4.612993e-05,4.603532e-05,4.602223e-05,4.591157e-05,4.588911e-05,4.579825e-05,4.573836e-05,4.568254e-05,4.558368e-05,4.556469e-05,4.544494e-05,4.542562e-05,4.532352e-05,4.526471e-05,4.520064e-05,4.510141e-05,4.507649e-05,4.495126e-05,4.493616e-05,4.482512e-05,4.476937e-05,4.469823e-05,4.460139e-05,4.457074e-05,4.444280e-05,4.443255e-05,4.431454e-05,4.426317e-05,4.418607e-05,4.409352e-05,4.405753e-05,4.392900e-05,4.392386e-05,4.380059e-05,4.375442e-05,4.367240e-05,4.358540e-05,4.354452e-05,4.341702e-05,4.324943e-05,4.308281e-05,4.291729e-05,4.275300e-05,4.259007e-05,4.242860e-05,4.226868e-05,4.211039e-05,4.195383e-05,4.179904e-05,4.164610e-05,4.149505e-05,4.134593e-05,4.119879e-05,4.105367e-05,4.091058e-05,4.076955e-05,4.063060e-05,4.049375e-05,4.035900e-05,4.022636e-05,4.009584e-05,3.996743e-05,3.984114e-05
0.000000e+00,6.772279e-15,5.750780e-14,1.343942e-12,1.054953e-11,2.682448e-11,1.954466e-10,2.097694e-10,9.846840e-10,1.425828e-09,3.356545e-09,6.280831e-09,9.199464e-09,2.022437e-08,2.154648e-08,4.485437e-08,5.272062e-08,8.523387e-08,1.181808e-07,1.506084e-07,2.364973e-07,2.507015e-07,3.967003e-07,4.324538e-07,6.004785e-07,7.331137e-07,8.734179e-07,1.163195e-06,1.225055e-06,1.661866e-06,1.739891e-06,2.186435e-06,2.469087e-06,2.797160e-06,3.344139e-06,3.488455e-06,4.251356e-06,4.347190e-06,5.074351e-06,5.452159e-06,5.944311e-06,6.628367e-06,6.847374e-06,7.769719e-06,7.843938e-06,8.698178e-06,9.068527e-06,9.620687e-06,1.027515e-05,1.052656e-05,1.140663e-05,1.144119e-05,1.225334e-05,1.254878e-05,1.306064e-05,1.358469e-05,1.382394e-05,1.453998e-05,1.520668e-05,1.540940e-05,1.582297e-05,1.619082e-05,1.638866e-05,1.688463e-05,1.690431e-05,1.737104e-05,1.749316e-05,1.779046e-05,1.802022e-05,1.816455e-05,1.847060e-05,1.849555e-05,1.878588e-05,1.884979e-05,1.903806e-05,1.916358e-05,1.925468e-05,1.941792e-05,1.943830e-05,1.959148e-05,1.961868e-05,1.971668e-05,1.977151e-05,1.981627e-05,1.988179e-05,1.989251e-05,1.994753e-05,1.995451e-05,1.998334e-05,1.999426e-05,2.000180e-05,2.000523e-05,2.000462e-05,1.999341e-05,1.999119e-05,1.996962e-05,1.995552e-05,1.993459e-05,1.990121e-05,1.988954e-05,1.983557e-05,1.983090e-05,1.977368e-05,1.974691e-05,1.970478e-05,1.965129e-05,1.962968e-05,1.954913e-05,1.954581e-05,1.946379e-05,1.943201e-05,1.937425e-05,1.931125e-05,1.928106e-05,1.918469e-05,1.908557e-05,1.905334e-05,1.898410e-05,1.891808e-05,1.888062e-05,1.877969e-05,1.877545e-05,1.866888e-05,1.863882e-05,1.856114e-05,1.849604e-05,1.845248e-05,1.835187e-05,1.834310e-05,1.823318e-05,1.820674e-05,1.812289e-05,1.806102e-05,1.801238e-05,1.791505e-05,1.790178e-05,1.779123e-05,1.776913e-05,1.768082e-05,1.762351e-05,1.757067e-05,1.747840e-05,1.746086e-05,1.735147e-05,1.733401e-05,1.724257e-05,1.719050e-05,1.713424e-05,1.704803e-05,1.702654e-05,1.691951e-05,1.690672e-05,1.681321e-05,1.676669e-05,1.670769e-05,1.662803e-05,1.660298e-05,1.649911e-05,1.649084e-05,1.639613e-05,1.635519e-05,1.629405e-05,1.622114e-05,1.619291e-05,1.609273e-05,1.608874e-05,1.599352e-05,1.595805e-05,1.589531e-05,1.582910e-05,1.579811e-05,1.570192e-05,1.557655e-05,1.545299e-05,1.533127e-05,1.521140e-05,1.509339e-05,1.497723e-05,1.486294e-05,1.475050e-05,1.463992e-05,1.453118e-05,1.442428e-05,1.431920e-05,1.421594e-05,1.411447e-05,1.401478e-05,1.391686e-05,1.382068e-05,1.372622e-05,1.363348e-05,1.354241e-05,1.345302e-05,1.336526e-05,1.327912e-05,1.319458e-05
0.000000e+00,1.356006e-13,1.073611e-12,2.172265e-11,1.496418e-10,3.542883e-10,2.149241e-09,2.289699e-09,8.977924e-09,1.238364e-08,2.581770e-08,4.381744e-08,6.023917e-08,1.150397e-07,1.211063e-07,2.180309e-07,2.477465e-07,3.607771e-07,4.642768e-07,5.587945e-07,7.857261e-07,8.208106e-07,1.154361e-06,1.230197e-06,1.565132e-06,1.810373e-06,2.056096e-06,2.530109e-06,2.626579e-06,3.271640e-06,3.381210e-06,3.982082e-06,4.342701e-06,4.745249e-06,5.383837e-06,5.546347e-06,6.369932e-06,6.469557e-06,7.201205e-06,7.565918e-06,8.026923e-06,8.643782e-06,8.835886e-06,9.619091e-06,9.680414e-06,1.036964e-05,1.065954e-05,1.108253e-05,1.157052e-05,1.175435e-05,1.238306e-05,1.240729e-05,1.296772e-05,1.316738e-05,1.350827e-05,1.385096e-05,1.400536e-05,1.446018e-05,1.487431e-05,1.499854e-05,1.524964e-05,1.547046e-05,1.558827e-05,1.588089e-05,1.589242e-05,1.616435e-05,1.623502e-05,1.640634e-05,1.653811e-05,1.662065e-05,1.679524e-05,1.680945e-05,1.697484e-05,1.701127e-05,1.711878e-05,1.719073e-05,1.724316e-05,1.733781e-05,1.734971e-05,1.744005e-05,1.745630e-05,1.751567e-05,1.754963e-05,1.757794e-05,1.762085e-05,1.762811e-05,1.766735e-05,1.767269e-05,1.769670e-05,1.770756e-05,1.771711e-05,1.772759e-05,1.772945e-05,1.773449e-05,1.773464e-05,1.773296e-05,1.773037e-05,1.772549e-05,1.771620e-05,1.771266e-05,1.769501e-05,1.769341e-05,1.767301e-05,1.766308e-05,1.764708e-05,1.762620e-05,1.761762e-05,1.758499e-05,1.758362e-05,1.754950e-05,1.753608e-05,1.751145e-05,1.748424e-05,1.747109e-05,1.742868e-05,1.738443e-05,1.736991e-05,1.733853e-05,1.730838e-05,1.729117e-05,1.724448e-05,1.724251e-05,1.719270e-05,1.717857e-05,1.714189e-05,1.711097e-05,1.709020e-05,1.704196e-05,1.703774e-05,1.698463e-05,1.697179e-05,1.693096e-05,1.690069e-05,1.687682e-05,1.682886e-05,1.682230e-05,1.676747e-05,1.675647e-05,1.671241e-05,1.668370e-05,1.665718e-05,1.661070e-05,1.660184e-05,1.654644e-05,1.653758e-05,1.649105e-05,1.646448e-05,1.643571e-05,1.639150e-05,1.638046e-05,1.632534e-05,1.631873e-05,1.627039e-05,1.624627e-05,1.621564e-05,1.617419e-05,1.616113e-05,1.610689e-05,1.610256e-05,1.605294e-05,1.603144e-05,1.599930e-05,1.596090e-05,1.594601e-05,1.589309e-05,1.589098e-05,1.584054e-05,1.582172e-05,1.578840e-05,1.575318e-05,1.573667e-05,1.568538e-05,1.561836e-05,1.555214e-05,1.548674e-05,1.542220e-05,1.535853e-05,1.529574e-05,1.523384e-05,1.517286e-05,1.511279e-05,1.505364e-05,1.499543e-05,1.493814e-05,1.488179e-05,1.482638e-05,1.477190e-05,1.471835e-05,1.466573e-05,1.461403e-05,1.456326e-05,1.451340e-05,1.446444e-05,1.441639e-05,1.436924e-05,1.432297e-05
0.000000e+00,1.423496e-09,3.243640e-09,1.100413e-08,2.472912e-08,3.586558e-08,8.051747e-08,8.291939e-08,1.600433e-07,1.882869e-07,2.767343e-07,3.698738e-07,4.425812e-07,6.420731e-07,6.614244e-07,9.257517e-07,9.943491e-07,1.220916e-06,1.394491e-06,1.533461e-06,1.815362e-06,1.854027e-06,2.176441e-06,2.240743e-06,2.496359e-06,2.660584e-06,2.810404e-06,3.067586e-06,3.115753e-06,3.409986e-06,3.455890e-06,3.691067e-06,3.820814e-06,3.957344e-06,4.158858e-06,4.207574e-06,4.440924e-06,4.467767e-06,4.656951e-06,4.746481e-06,4.855570e-06,4.995006e-06,5.037005e-06,5.201733e-06,5.214208e-06,5.350415e-06,5.405571e-06,5.483854e-06,5.571006e-06,5.602972e-06,5.708760e-06,5.712729e-06,5.802213e-06,5.833027e-06,5.884316e-06,5.934157e-06,5.956034e-06,6.018300e-06,6.071983e-06,6.087476e-06,6.117846e-06,6.143414e-06,6.156577e-06,6.187655e-06,6.188828e-06,6.215207e-06,6.221618e-06,6.236269e-06,6.246586e-06,6.252593e-06,6.263970e-06,6.264804e-06,6.273292e-06,6.274819e-06,6.278426e-06,6.279953e-06,6.280519e-06,6.280079e-06,6.279863e-06,6.276712e-06,6.275804e-06,6.271301e-06,6.267666e-06,6.263844e-06,6.256138e-06,6.254531e-06,6.243531e-06,6.241625e-06,6.230999e-06,6.224481e-06,6.217074e-06,6.205018e-06,6.201885e-06,6.185545e-06,6.183512e-06,6.168160e-06,6.160205e-06,6.149827e-06,6.135313e-06,6.130631e-06,6.110654e-06,6.109025e-06,6.089969e-06,6.081512e-06,6.068643e-06,6.052927e-06,6.046738e-06,6.024312e-06,6.023405e-06,6.001418e-06,5.993071e-06,5.978103e-06,5.962033e-06,5.954414e-06,5.930392e-06,5.906076e-06,5.898239e-06,5.881502e-06,5.865655e-06,5.856704e-06,5.832715e-06,5.831712e-06,5.806556e-06,5.799487e-06,5.781263e-06,5.766032e-06,5.755858e-06,5.732406e-06,5.730364e-06,5.704804e-06,5.698662e-06,5.679198e-06,5.664846e-06,5.653565e-06,5.631000e-06,5.627923e-06,5.602288e-06,5.597163e-06,5.576676e-06,5.563372e-06,5.551102e-06,5.529659e-06,5.525579e-06,5.500120e-06,5.496053e-06,5.474736e-06,5.462581e-06,5.449438e-06,5.429269e-06,5.424237e-06,5.399143e-06,5.396139e-06,5.374164e-06,5.363212e-06,5.349308e-06,5.330505e-06,5.324583e-06,5.299997e-06,5.298036e-06,5.275555e-06,5.265820e-06,5.251264e-06,5.233872e-06,5.227130e-06,5.203158e-06,5.202202e-06,5.179352e-06,5.170823e-06,5.155717e-06,5.139745e-06,5.132257e-06,5.108976e-06,5.078525e-06,5.048397e-06,5.018600e-06,4.989139e-06,4.960017e-06,4.931239e-06,4.902809e-06,4.874728e-06,4.846998e-06,4.819622e-06,4.792600e-06,4.765932e-06,4.739620e-06,4.713662e-06,4.688058e-06,4.662808e-06,4.637910e-06,4.613362e-06,4.589164e-06,4.565312e-06,4.541806e-06,4.518642e-06,4.495818e-06,4.473332e-06
0.000000e+00,3.771512e-13,2.969100e-12,5.939857e-11,4.055588e-10,9.561612e-10,5.752715e-09,6.127151e-09,2.393905e-08,3.301792e-08,6.895865e-08,1.174670e-07,1.620716e-07,3.131684e-07,3.300957e-07,6.054296e-07,6.915506e-07,1.025576e-06,1.339337e-06,1.631500e-06,2.350657e-06,2.463687e-06,3.556295e-06,3.808290e-06,4.931792e-06,5.762157e-06,6.598471e-06,8.220252e-06,8.551448e-06,1.077589e-05,1.115565e-05,1.325081e-05,1.452076e-05,1.595226e-05,1.825985e-05,1.885543e-05,2.193573e-05,2.231612e-05,2.516922e-05,2.663447e-05,2.853267e-05,3.116189e-05,3.200349e-05,3.555968e-05,3.584722e-05,3.917982e-05,4.064110e-05,4.284316e-05,4.549631e-05,4.652980e-05,5.022083e-05,5.036830e-05,5.389848e-05,5.521595e-05,5.754633e-05,6.000213e-05,6.114937e-05,6.469413e-05,6.816867e-05,6.926396e-05,7.156262e-05,7.368829e-05,7.486711e-05,7.794840e-05,7.807476e-05,8.117954e-05,8.202977e-05,8.417670e-05,8.592179e-05,8.706264e-05,8.961728e-05,8.983482e-05,9.249166e-05,9.311203e-05,9.503236e-05,9.640438e-05,9.745687e-05,9.949477e-05,9.976576e-05,1.019601e-04,1.023854e-04,1.040415e-04,1.050799e-04,1.060119e-04,1.075828e-04,1.078735e-04,1.096287e-04,1.098998e-04,1.112803e-04,1.120370e-04,1.128310e-04,1.140010e-04,1.142839e-04,1.156420e-04,1.157987e-04,1.169083e-04,1.174372e-04,1.180860e-04,1.189237e-04,1.191782e-04,1.201880e-04,1.202653e-04,1.211185e-04,1.214692e-04,1.219728e-04,1.225423e-04,1.227538e-04,1.234646e-04,1.234916e-04,1.241080e-04,1.243237e-04,1.246869e-04,1.250451e-04,1.252040e-04,1.256621e-04,1.260637e-04,1.261807e-04,1.264115e-04,1.266069e-04,1.267079e-04,1.269463e-04,1.269553e-04,1.271560e-04,1.272041e-04,1.273123e-04,1.273857e-04,1.274264e-04,1.274959e-04,1.275004e-04,1.275363e-04,1.275394e-04,1.275360e-04,1.275208e-04,1.275015e-04,1.274443e-04,1.274346e-04,1.273370e-04,1.273139e-04,1.272104e-04,1.271337e-04,1.270565e-04,1.269071e-04,1.268767e-04,1.266727e-04,1.266379e-04,1.264458e-04,1.263291e-04,1.261974e-04,1.259841e-04,1.259289e-04,1.256415e-04,1.256058e-04,1.253364e-04,1.251969e-04,1.250148e-04,1.247601e-04,1.246779e-04,1.243267e-04,1.242980e-04,1.239622e-04,1.238129e-04,1.235854e-04,1.233070e-04,1.231972e-04,1.227986e-04,1.227824e-04,1.223904e-04,1.222412e-04,1.219734e-04,1.216852e-04,1.215483e-04,1.211160e-04,1.205355e-04,1.199450e-04,1.193461e-04,1.187402e-04,1.181283e-04,1.175118e-04,1.168918e-04,1.162693e-04,1.156451e-04,1.150203e-04,1.143957e-04,1.137719e-04,1.131498e-04,1.125300e-04,1.119130e-04,1.112995e-04,1.106899e-04,1.100847e-04,1.094844e-04,1.088894e-04,1.082999e-04,1.077163e-04,1.071390e-04,1.065681e-04
0.000000e+00,2.322868e-09,5.355024e-09,1.856789e-08,4.247394e-08,6.214639e-08,1.422000e-07,1.465370e-07,2.863903e-07,3.377177e-07,4.985630e-07,6.686014e-07,8.025613e-07,1.181373e-06,1.219332e-06,1.766738e-06,1.918666e-06,2.451803e-06,2.892889e-06,3.265791e-06,4.072887e-06,4.188612e-06,5.197815e-06,5.408241e-06,6.274001e-06,6.854821e-06,7.401703e-06,8.379623e-06,8.568485e-06,9.763900e-06,9.957197e-06,1.097878e-05,1.156637e-05,1.220484e-05,1.318865e-05,1.343455e-05,1.466103e-05,1.480770e-05,1.587812e-05,1.640922e-05,1.708032e-05,1.798106e-05,1.826284e-05,1.942159e-05,1.951316e-05,2.055316e-05,2.099753e-05,2.165474e-05,2.242806e-05,2.272414e-05,2.375968e-05,2.380038e-05,2.476014e-05,2.511155e-05,2.572472e-05,2.635991e-05,2.665298e-05,2.754477e-05,2.840018e-05,2.866628e-05,2.921954e-05,2.972522e-05,3.000331e-05,3.072284e-05,3.075213e-05,3.146670e-05,3.166076e-05,3.214784e-05,3.254084e-05,3.279643e-05,3.336515e-05,3.341336e-05,3.399959e-05,3.413582e-05,3.455608e-05,3.485509e-05,3.508381e-05,3.552519e-05,3.558375e-05,3.605687e-05,3.614836e-05,3.650413e-05,3.672680e-05,3.692647e-05,3.726266e-05,3.732483e-05,3.770011e-05,3.775808e-05,3.805322e-05,3.821508e-05,3.838500e-05,3.863565e-05,3.869632e-05,3.898798e-05,3.902170e-05,3.926079e-05,3.937505e-05,3.951551e-05,3.969745e-05,3.975288e-05,3.997364e-05,3.999060e-05,4.017847e-05,4.025610e-05,4.036805e-05,4.049547e-05,4.054303e-05,4.070404e-05,4.071020e-05,4.085167e-05,4.090166e-05,4.098651e-05,4.107119e-05,4.110912e-05,4.122004e-05,4.131979e-05,4.134943e-05,4.140887e-05,4.146049e-05,4.148775e-05,4.155431e-05,4.155690e-05,4.161676e-05,4.163191e-05,4.166776e-05,4.169427e-05,4.171030e-05,4.174232e-05,4.174479e-05,4.177160e-05,4.177693e-05,4.179109e-05,4.179894e-05,4.180361e-05,4.180913e-05,4.180950e-05,4.180907e-05,4.180825e-05,4.180263e-05,4.179701e-05,4.179049e-05,4.177609e-05,4.177292e-05,4.175020e-05,4.174610e-05,4.172258e-05,4.170766e-05,4.169032e-05,4.166133e-05,4.165365e-05,4.161282e-05,4.160765e-05,4.156803e-05,4.154712e-05,4.151949e-05,4.148023e-05,4.146742e-05,4.141201e-05,4.140744e-05,4.135344e-05,4.132916e-05,4.129188e-05,4.124581e-05,4.122752e-05,4.116051e-05,4.115777e-05,4.109101e-05,4.106541e-05,4.101917e-05,4.096905e-05,4.094513e-05,4.086903e-05,4.076566e-05,4.065921e-05,4.054996e-05,4.043817e-05,4.032408e-05,4.020791e-05,4.008988e-05,3.997019e-05,3.984904e-05,3.972660e-05,3.960304e-05,3.947853e-05,3.935320e-05,3.922720e-05,3.910067e-05,3.897373e-05,3.884649e-05,3.871907e-05,3.859156e-05,3.846407e-05,3.833668e-05,3.820948e-05,3.808255e-05,3.795596e-05
0.000000e+00,1.886271e-09,4.334447e-09,1.493320e-08,3.394261e-08,4.946974e-08,1.118498e-07,1.151977e-07,2.217435e-07,2.602451e-07,3.791758e-07,5.025095e-07,5.982355e-07,8.635076e-07,8.897207e-07,1.262147e-06,1.364010e-06,1.717830e-06,2.007424e-06,2.250742e-06,2.774339e-06,2.849180e-06,3.500349e-06,3.635875e-06,4.192863e-06,4.566056e-06,4.917101e-06,5.543896e-06,5.664790e-06,6.428558e-06,6.551796e-06,7.201679e-06,7.574260e-06,7.977957e-06,8.597415e-06,8.751708e-06,9.517783e-06,9.608972e-06,1.027160e-05,1.059834e-05,1.100916e-05,1.155673e-05,1.172709e-05,1.242258e-05,1.247718e-05,1.309340e-05,1.335442e-05,1.373785e-05,1.418483e-05,1.435471e-05,1.494319e-05,1.496613e-05,1.550284e-05,1.569723e-05,1.603357e-05,1.637802e-05,1.653555e-05,1.700915e-05,1.745494e-05,1.759184e-05,1.787365e-05,1.812777e-05,1.826608e-05,1.861893e-05,1.863314e-05,1.897578e-05,1.906748e-05,1.929501e-05,1.947573e-05,1.959184e-05,1.984601e-05,1.986729e-05,2.012239e-05,2.018070e-05,2.035814e-05,2.048207e-05,2.057551e-05,2.075236e-05,2.077547e-05,2.095894e-05,2.099374e-05,2.112682e-05,2.120824e-05,2.127996e-05,2.139782e-05,2.141919e-05,2.154531e-05,2.156432e-05,2.165905e-05,2.170947e-05,2.176116e-05,2.183491e-05,2.185229e-05,2.193312e-05,2.194216e-05,2.200426e-05,2.203264e-05,2.206629e-05,2.210768e-05,2.211977e-05,2.216522e-05,2.216853e-05,2.220315e-05,2.221632e-05,2.223403e-05,2.225214e-05,2.225830e-05,2.227639e-05,2.227699e-05,2.228869e-05,2.229177e-05,2.229558e-05,2.229736e-05,2.229742e-05,2.229454e-05,2.228726e-05,2.228405e-05,2.227588e-05,2.226658e-05,2.226068e-05,2.224275e-05,2.224194e-05,2.221989e-05,2.221316e-05,2.219478e-05,2.217834e-05,2.216683e-05,2.213879e-05,2.213625e-05,2.210324e-05,2.209498e-05,2.206799e-05,2.204734e-05,2.203067e-05,2.199626e-05,2.199145e-05,2.195049e-05,2.194210e-05,2.190793e-05,2.188521e-05,2.186391e-05,2.182591e-05,2.181857e-05,2.177202e-05,2.176446e-05,2.172438e-05,2.170115e-05,2.167576e-05,2.163622e-05,2.162626e-05,2.157598e-05,2.156990e-05,2.152501e-05,2.150238e-05,2.147343e-05,2.143388e-05,2.142133e-05,2.136877e-05,2.136455e-05,2.131584e-05,2.129457e-05,2.126259e-05,2.122408e-05,2.120908e-05,2.115538e-05,2.115323e-05,2.110154e-05,2.108214e-05,2.104761e-05,2.101092e-05,2.099364e-05,2.093968e-05,2.086851e-05,2.079752e-05,2.072677e-05,2.065635e-05,2.058631e-05,2.051673e-05,2.044765e-05,2.037913e-05,2.031122e-05,2.024394e-05,2.017735e-05,2.011147e-05,2.004633e-05,1.998196e-05,1.991838e-05,1.985561e-05,1.979367e-05,1.973257e-05,1.967233e-05,1.961295e-05,1.955445e-05,1.949683e-05,1.944010e-05,1.938425e-05
0.000000e+00,3.343481e-09,7.689945e-09,2.666696e-08,6.129221e-08,9.009334e-08,2.101100e-07,2.167352e-07,4.361795e-07,5.190292e-07,7.830210e-07,1.062878e-06,1.279604e-06,1.861710e-06,1.917346e-06,2.671659e-06,2.867582e-06,3.521768e-06,4.034022e-06,4.452916e-06,5.329896e-06,5.453215e-06,6.511558e-06,6.729217e-06,7.616846e-06,8.206443e-06,8.757936e-06,9.736121e-06,9.923913e-06,1.110439e-05,1.129395e-05,1.228978e-05,1.285796e-05,1.347153e-05,1.440928e-05,1.464221e-05,1.579551e-05,1.593248e-05,1.692623e-05,1.741548e-05,1.803018e-05,1.884922e-05,1.910408e-05,2.014552e-05,2.022737e-05,2.115274e-05,2.154576e-05,2.212455e-05,2.280192e-05,2.306025e-05,2.395954e-05,2.399475e-05,2.482243e-05,2.512421e-05,2.564914e-05,2.619082e-05,2.644005e-05,2.719576e-05,2.791696e-05,2.814058e-05,2.860443e-05,2.902711e-05,2.925903e-05,2.985736e-05,2.988166e-05,3.047323e-05,3.063343e-05,3.103467e-05,3.135748e-05,3.156695e-05,3.203171e-05,3.207102e-05,3.254784e-05,3.265833e-05,3.299836e-05,3.323950e-05,3.342350e-05,3.377738e-05,3.382420e-05,3.420135e-05,3.427404e-05,3.455585e-05,3.473152e-05,3.488856e-05,3.515181e-05,3.520032e-05,3.549195e-05,3.553680e-05,3.576427e-05,3.588836e-05,3.601805e-05,3.620824e-05,3.625405e-05,3.647300e-05,3.649816e-05,3.667560e-05,3.675975e-05,3.686256e-05,3.699458e-05,3.703452e-05,3.719215e-05,3.720416e-05,3.733606e-05,3.738991e-05,3.746685e-05,3.755321e-05,3.758509e-05,3.769136e-05,3.769537e-05,3.778618e-05,3.781762e-05,3.787008e-05,3.792115e-05,3.794356e-05,3.800709e-05,3.806116e-05,3.807653e-05,3.810619e-05,3.813047e-05,3.814262e-05,3.816988e-05,3.817086e-05,3.819131e-05,3.819569e-05,3.820435e-05,3.820877e-05,3.821035e-05,3.820995e-05,3.820966e-05,3.820262e-05,3.820002e-05,3.818954e-05,3.817971e-05,3.817075e-05,3.814973e-05,3.814655e-05,3.811721e-05,3.811075e-05,3.808302e-05,3.806341e-05,3.804423e-05,3.800829e-05,3.800111e-05,3.795389e-05,3.794597e-05,3.790280e-05,3.787698e-05,3.784808e-05,3.780182e-05,3.778992e-05,3.772854e-05,3.772097e-05,3.766413e-05,3.763488e-05,3.759688e-05,3.754398e-05,3.752697e-05,3.745456e-05,3.744867e-05,3.737983e-05,3.734932e-05,3.730293e-05,3.724630e-05,3.722400e-05,3.714320e-05,3.713993e-05,3.706066e-05,3.703054e-05,3.697651e-05,3.691843e-05,3.689087e-05,3.680387e-05,3.668713e-05,3.656845e-05,3.644808e-05,3.632623e-05,3.620311e-05,3.607891e-05,3.595381e-05,3.582798e-05,3.570159e-05,3.557478e-05,3.544769e-05,3.532045e-05,3.519319e-05,3.506601e-05,3.493903e-05,3.481234e-05,3.468603e-05,3.456020e-05,3.443492e-05,3.431026e-05,3.418629e-05,3.406308e-05,3.394068e-05,3.381915e-05
0.000000e+00,1.541960e-15,1.350401e-14,3.366964e-13,2.805705e-12,7.373996e-12,5.856025e-11,6.307328e-11,3.226850e-10,4.783140e-10,1.194065e-09,2.342326e-09,3.537215e-09,8.318327e-09,8.912438e-09,1.985911e-08,2.370736e-08,4.017750e-08,5.755880e-08,7.516918e-08,1.235754e-07,1.317797e-07,2.185969e-07,2.404480e-07,3.456867e-07,4.313826e-07,5.242808e-07,7.228514e-07,7.663530e-07,1.084129e-06,1.142805e-06,1.489571e-06,1.718654e-06,1.993886e-06,2.475296e-06,2.607072e-06,3.337532e-06,3.433399e-06,4.191770e-06,4.608056e-06,5.174164e-06,6.007884e-06,6.286835e-06,7.529591e-06,7.634572e-06,8.899949e-06,9.482844e-06,1.039323e-05,1.154081e-05,1.200272e-05,1.371986e-05,1.379065e-05,1.553452e-05,1.620949e-05,1.743522e-05,1.877050e-05,1.940947e-05,2.144405e-05,2.352526e-05,2.419884e-05,2.563927e-05,2.700308e-05,2.777231e-05,2.982546e-05,2.991095e-05,3.204229e-05,3.263607e-05,3.415412e-05,3.540710e-05,3.623511e-05,3.811342e-05,3.827486e-05,4.026402e-05,4.073295e-05,4.219432e-05,4.324687e-05,4.405861e-05,4.563975e-05,4.585084e-05,4.756602e-05,4.789945e-05,4.920025e-05,5.001704e-05,5.075059e-05,5.198656e-05,5.221504e-05,5.359244e-05,5.380471e-05,5.488240e-05,5.547059e-05,5.608524e-05,5.698537e-05,5.720187e-05,5.823375e-05,5.835196e-05,5.918279e-05,5.957470e-05,6.005128e-05,6.065905e-05,6.084183e-05,6.155728e-05,6.161136e-05,6.220067e-05,6.243856e-05,6.277519e-05,6.314802e-05,6.328409e-05,6.373069e-05,6.374731e-05,6.411831e-05,6.424405e-05,6.445026e-05,6.464585e-05,6.472979e-05,6.496011e-05,6.514430e-05,6.519399e-05,6.528538e-05,6.535438e-05,6.538623e-05,6.544778e-05,6.544963e-05,6.547823e-05,6.548035e-05,6.547456e-05,6.545787e-05,6.544102e-05,6.538573e-05,6.537988e-05,6.529328e-05,6.526894e-05,6.518325e-05,6.511210e-05,6.505167e-05,6.491948e-05,6.490034e-05,6.473091e-05,6.469499e-05,6.454494e-05,6.444219e-05,6.434389e-05,6.416435e-05,6.412912e-05,6.390189e-05,6.386446e-05,6.366339e-05,6.354522e-05,6.341469e-05,6.320908e-05,6.315682e-05,6.289073e-05,6.285829e-05,6.261728e-05,6.249485e-05,6.233729e-05,6.212059e-05,6.205151e-05,6.176064e-05,6.173717e-05,6.146533e-05,6.134609e-05,6.116617e-05,6.094870e-05,6.086370e-05,6.055846e-05,6.054620e-05,6.025090e-05,6.013970e-05,5.994147e-05,5.973019e-05,5.963056e-05,5.931855e-05,5.890559e-05,5.849201e-05,5.807848e-05,5.766556e-05,5.725379e-05,5.684362e-05,5.643548e-05,5.602974e-05,5.562673e-05,5.522675e-05,5.483005e-05,5.443688e-05,5.404744e-05,5.366190e-05,5.328044e-05,5.290317e-05,5.253023e-05,5.216172e-05,5.179772e-05,5.143830e-05,5.108352e-05,5.073343e-05,5.038807e-05,5.004746e-05
0.000000e+00,1.896311e-10,7.231717e-10,4.320005e-09,1.268913e-08,2.033212e-08,5.423862e-08,5.614655e-08,1.192870e-07,1.428697e-07,2.171548e-07,2.956668e-07,3.572801e-07,5.301862e-07,5.474225e-07,7.952676e-07,8.641098e-07,1.107329e-06,1.311588e-06,1.487009e-06,1.876133e-06,1.932998e-06,2.439743e-06,2.547723e-06,2.999611e-06,3.309123e-06,3.604797e-06,4.142904e-06,4.248126e-06,4.923114e-06,5.033645e-06,5.623786e-06,5.967574e-06,6.344533e-06,6.931996e-06,7.080027e-06,7.825203e-06,7.915045e-06,8.575282e-06,8.905709e-06,9.325805e-06,9.893963e-06,1.007267e-05,1.081218e-05,1.087092e-05,1.154104e-05,1.182894e-05,1.225637e-05,1.276164e-05,1.295572e-05,1.363704e-05,1.366390e-05,1.429866e-05,1.453175e-05,1.493922e-05,1.536226e-05,1.555774e-05,1.615348e-05,1.672596e-05,1.690420e-05,1.727495e-05,1.761392e-05,1.780036e-05,1.828268e-05,1.830231e-05,1.878101e-05,1.891093e-05,1.923682e-05,1.949949e-05,1.967016e-05,2.004942e-05,2.008154e-05,2.047151e-05,2.056198e-05,2.084068e-05,2.103856e-05,2.118968e-05,2.148063e-05,2.151915e-05,2.182978e-05,2.188970e-05,2.212221e-05,2.226732e-05,2.239713e-05,2.261502e-05,2.265521e-05,2.289710e-05,2.293434e-05,2.312345e-05,2.322677e-05,2.333490e-05,2.349375e-05,2.353207e-05,2.371556e-05,2.373669e-05,2.388597e-05,2.395695e-05,2.404386e-05,2.415582e-05,2.418978e-05,2.432428e-05,2.433456e-05,2.444786e-05,2.449434e-05,2.456102e-05,2.463632e-05,2.466425e-05,2.475800e-05,2.476156e-05,2.484272e-05,2.487110e-05,2.491884e-05,2.496590e-05,2.498677e-05,2.504689e-05,2.509959e-05,2.511495e-05,2.514523e-05,2.517090e-05,2.518416e-05,2.521553e-05,2.521671e-05,2.524321e-05,2.524958e-05,2.526394e-05,2.527375e-05,2.527922e-05,2.528870e-05,2.528932e-05,2.529450e-05,2.529505e-05,2.529503e-05,2.529339e-05,2.529115e-05,2.528428e-05,2.528310e-05,2.527109e-05,2.526824e-05,2.525535e-05,2.524576e-05,2.523608e-05,2.521731e-05,2.521348e-05,2.518773e-05,2.518333e-05,2.515901e-05,2.514423e-05,2.512750e-05,2.510039e-05,2.509336e-05,2.505673e-05,2.505218e-05,2.501778e-05,2.499995e-05,2.497665e-05,2.494401e-05,2.493347e-05,2.488836e-05,2.488468e-05,2.484146e-05,2.482223e-05,2.479289e-05,2.475693e-05,2.474274e-05,2.469114e-05,2.468905e-05,2.463818e-05,2.461880e-05,2.458397e-05,2.454643e-05,2.452858e-05,2.447213e-05,2.439610e-05,2.431852e-05,2.423957e-05,2.415941e-05,2.407819e-05,2.399605e-05,2.391312e-05,2.382954e-05,2.374541e-05,2.366084e-05,2.357594e-05,2.349080e-05,2.340550e-05,2.332014e-05,2.323479e-05,2.314952e-05,2.306440e-05,2.297948e-05,2.289484e-05,2.281051e-05,2.272656e-05,2.264302e-05,2.255994e-05,2.247736e-05
0.000000e+00,8.375212e-10,2.066929e-09,7.682686e-09,1.810554e-08,2.675169e-08,6.197413e-08,6.387708e-08,1.247365e-07,1.468093e-07,2.150882e-07,2.859347e-07,3.409091e-07,4.931490e-07,5.081874e-07,7.219441e-07,7.804979e-07,9.844827e-07,1.152396e-06,1.294315e-06,1.602722e-06,1.647164e-06,2.037861e-06,2.120098e-06,2.461439e-06,2.693169e-06,2.913347e-06,3.311732e-06,3.389340e-06,3.885340e-06,3.966289e-06,4.397370e-06,4.647696e-06,4.921552e-06,5.347117e-06,5.454129e-06,5.991523e-06,6.056172e-06,6.530384e-06,6.767143e-06,7.067628e-06,7.473121e-06,7.600461e-06,8.126413e-06,8.168125e-06,8.643343e-06,8.847169e-06,9.149427e-06,9.506230e-06,9.643151e-06,1.012329e-05,1.014220e-05,1.058890e-05,1.075281e-05,1.103924e-05,1.133650e-05,1.147383e-05,1.189233e-05,1.229457e-05,1.241985e-05,1.268055e-05,1.291907e-05,1.305034e-05,1.339029e-05,1.340414e-05,1.374219e-05,1.383407e-05,1.406483e-05,1.425116e-05,1.437242e-05,1.464245e-05,1.466536e-05,1.494407e-05,1.500890e-05,1.520902e-05,1.535154e-05,1.546065e-05,1.567144e-05,1.569943e-05,1.592582e-05,1.596966e-05,1.614030e-05,1.624727e-05,1.634331e-05,1.650531e-05,1.653531e-05,1.671674e-05,1.674482e-05,1.688804e-05,1.696678e-05,1.704961e-05,1.717215e-05,1.720188e-05,1.734523e-05,1.736185e-05,1.748004e-05,1.753675e-05,1.760669e-05,1.769770e-05,1.772553e-05,1.783690e-05,1.784550e-05,1.794114e-05,1.798090e-05,1.803855e-05,1.810463e-05,1.812944e-05,1.821411e-05,1.821738e-05,1.829284e-05,1.831978e-05,1.836589e-05,1.841245e-05,1.843352e-05,1.849597e-05,1.855350e-05,1.857090e-05,1.860631e-05,1.863774e-05,1.865463e-05,1.869699e-05,1.869867e-05,1.873862e-05,1.874910e-05,1.877468e-05,1.879452e-05,1.880703e-05,1.883365e-05,1.883583e-05,1.886126e-05,1.886688e-05,1.888349e-05,1.889458e-05,1.890265e-05,1.891709e-05,1.891889e-05,1.893236e-05,1.893474e-05,1.894319e-05,1.894782e-05,1.895151e-05,1.895664e-05,1.895743e-05,1.896108e-05,1.896146e-05,1.896256e-05,1.896254e-05,1.896199e-05,1.896012e-05,1.895946e-05,1.895507e-05,1.895443e-05,1.894892e-05,1.894568e-05,1.894110e-05,1.893408e-05,1.893168e-05,1.892076e-05,1.891983e-05,1.890841e-05,1.890308e-05,1.889470e-05,1.888403e-05,1.887971e-05,1.886350e-05,1.886283e-05,1.884614e-05,1.883962e-05,1.882770e-05,1.881456e-05,1.880822e-05,1.878778e-05,1.875939e-05,1.872953e-05,1.869831e-05,1.866582e-05,1.863218e-05,1.859747e-05,1.856179e-05,1.852522e-05,1.848784e-05,1.844971e-05,1.841093e-05,1.837154e-05,1.833161e-05,1.829121e-05,1.825038e-05,1.820918e-05,1.816766e-05,1.812587e-05,1.808385e-05,1.804164e-05,1.799928e-05,1.795680e-05,1.791425e-05,1.787165e-05
0.000000e+00,1.692153e-09,3.901489e-09,1.352463e-08,3.090166e-08,4.516261e-08,1.028208e-07,1.059276e-07,2.052428e-07,2.412984e-07,3.530744e-07,4.694622e-07,5.600169e-07,8.113393e-07,8.361704e-07,1.188190e-06,1.284167e-06,1.616801e-06,1.888907e-06,2.118075e-06,2.614948e-06,2.686529e-06,3.316797e-06,3.449822e-06,4.003838e-06,4.381891e-06,4.742683e-06,5.399607e-06,5.528209e-06,6.355036e-06,6.490787e-06,7.217522e-06,7.642476e-06,8.109844e-06,8.841212e-06,9.026093e-06,9.960403e-06,1.007346e-05,1.090707e-05,1.132610e-05,1.186063e-05,1.258681e-05,1.281601e-05,1.376850e-05,1.384444e-05,1.471386e-05,1.508915e-05,1.564833e-05,1.631252e-05,1.656859e-05,1.747182e-05,1.750756e-05,1.835564e-05,1.866867e-05,1.921807e-05,1.979148e-05,2.005752e-05,2.087273e-05,2.166277e-05,2.191015e-05,2.242697e-05,2.290229e-05,2.316489e-05,2.384836e-05,2.387630e-05,2.456114e-05,2.474815e-05,2.521950e-05,2.560189e-05,2.585160e-05,2.641019e-05,2.645773e-05,2.703831e-05,2.717389e-05,2.759379e-05,2.789409e-05,2.812469e-05,2.857199e-05,2.863157e-05,2.911502e-05,2.920895e-05,2.957565e-05,2.980637e-05,3.001409e-05,3.036570e-05,3.043098e-05,3.082697e-05,3.088843e-05,3.120269e-05,3.137603e-05,3.155880e-05,3.182999e-05,3.189592e-05,3.221470e-05,3.225175e-05,3.251574e-05,3.264274e-05,3.279966e-05,3.300436e-05,3.306706e-05,3.331852e-05,3.333797e-05,3.355462e-05,3.364489e-05,3.377592e-05,3.392638e-05,3.398294e-05,3.417624e-05,3.418369e-05,3.435631e-05,3.441800e-05,3.452367e-05,3.463046e-05,3.467880e-05,3.482216e-05,3.495421e-05,3.499415e-05,3.507540e-05,3.514746e-05,3.518616e-05,3.528305e-05,3.528689e-05,3.537801e-05,3.540185e-05,3.545989e-05,3.550475e-05,3.553292e-05,3.559259e-05,3.559745e-05,3.565384e-05,3.566620e-05,3.570242e-05,3.572634e-05,3.574352e-05,3.577376e-05,3.577746e-05,3.580454e-05,3.580916e-05,3.582505e-05,3.583322e-05,3.583928e-05,3.584658e-05,3.584750e-05,3.584997e-05,3.584985e-05,3.584694e-05,3.584361e-05,3.583867e-05,3.582843e-05,3.582538e-05,3.580731e-05,3.580482e-05,3.578466e-05,3.577331e-05,3.575766e-05,3.573435e-05,3.572650e-05,3.569139e-05,3.568841e-05,3.565250e-05,3.563593e-05,3.561002e-05,3.557731e-05,3.556412e-05,3.551498e-05,3.551295e-05,3.546275e-05,3.544322e-05,3.540758e-05,3.536847e-05,3.534963e-05,3.528905e-05,3.520526e-05,3.511742e-05,3.502581e-05,3.493070e-05,3.483236e-05,3.473103e-05,3.462695e-05,3.452033e-05,3.441138e-05,3.430032e-05,3.418731e-05,3.407255e-05,3.395621e-05,3.383843e-05,3.371938e-05,3.359920e-05,3.347802e-05,3.335597e-05,3.323318e-05,3.310975e-05,3.298580e-05,3.286143e-05,3.273674e-05,3.261181e-05
0.000000e+00,2.036184e-09,4.745350e-09,1.658001e-08,3.789135e-08,5.530508e-08,1.250980e-07,1.288339e-07,2.471456e-07,2.896241e-07,4.199664e-07,5.538435e-07,6.569297e-07,9.393057e-07,9.669728e-07,1.356267e-06,1.461700e-06,1.825468e-06,2.121358e-06,2.369393e-06,2.903300e-06,2.979758e-06,3.647783e-06,3.787565e-06,4.365134e-06,4.755013e-06,5.123901e-06,5.787650e-06,5.916405e-06,6.735091e-06,6.868011e-06,7.572524e-06,7.979018e-06,8.421475e-06,9.104272e-06,9.275034e-06,1.012672e-05,1.022851e-05,1.097060e-05,1.133804e-05,1.180134e-05,1.242103e-05,1.261429e-05,1.340547e-05,1.346772e-05,1.417159e-05,1.447040e-05,1.491000e-05,1.542334e-05,1.561868e-05,1.629614e-05,1.632258e-05,1.694142e-05,1.716572e-05,1.755398e-05,1.795173e-05,1.813366e-05,1.868063e-05,1.919531e-05,1.935329e-05,1.967836e-05,1.997127e-05,2.013058e-05,2.053658e-05,2.055291e-05,2.094641e-05,2.105157e-05,2.131217e-05,2.151879e-05,2.165135e-05,2.194095e-05,2.196514e-05,2.225472e-05,2.232074e-05,2.252126e-05,2.266090e-05,2.276594e-05,2.296408e-05,2.298990e-05,2.319425e-05,2.323286e-05,2.338005e-05,2.346970e-05,2.354837e-05,2.367696e-05,2.370018e-05,2.383644e-05,2.385687e-05,2.395808e-05,2.401152e-05,2.406595e-05,2.414290e-05,2.416089e-05,2.424369e-05,2.425285e-05,2.431509e-05,2.434308e-05,2.437580e-05,2.441521e-05,2.442650e-05,2.446781e-05,2.447073e-05,2.450035e-05,2.451103e-05,2.452467e-05,2.453739e-05,2.454131e-05,2.455078e-05,2.455101e-05,2.455355e-05,2.455299e-05,2.455008e-05,2.454436e-05,2.454078e-05,2.452607e-05,2.450630e-05,2.449897e-05,2.448185e-05,2.446390e-05,2.445305e-05,2.442159e-05,2.442020e-05,2.438361e-05,2.437273e-05,2.434355e-05,2.431796e-05,2.430029e-05,2.425787e-05,2.425407e-05,2.420512e-05,2.419300e-05,2.415368e-05,2.412385e-05,2.409993e-05,2.405088e-05,2.404408e-05,2.398630e-05,2.397453e-05,2.392677e-05,2.389517e-05,2.386564e-05,2.381318e-05,2.380308e-05,2.373922e-05,2.372889e-05,2.367419e-05,2.364260e-05,2.360812e-05,2.355459e-05,2.354112e-05,2.347332e-05,2.346513e-05,2.340481e-05,2.337446e-05,2.333568e-05,2.328279e-05,2.326604e-05,2.319596e-05,2.319033e-05,2.312552e-05,2.309727e-05,2.305481e-05,2.300377e-05,2.298389e-05,2.291283e-05,2.290998e-05,2.284169e-05,2.281607e-05,2.277052e-05,2.272214e-05,2.269939e-05,2.262834e-05,2.253475e-05,2.244150e-05,2.234865e-05,2.225631e-05,2.216455e-05,2.207342e-05,2.198301e-05,2.189335e-05,2.180451e-05,2.171652e-05,2.162943e-05,2.154328e-05,2.145809e-05,2.137389e-05,2.129072e-05,2.120858e-05,2.112750e-05,2.104750e-05,2.096858e-05,2.089077e-05,2.081405e-05,2.073846e-05,2.066398e-05,2.059062e-05
0.000000e+00,6.740561e-10,2.067241e-09,9.635618e-09,2.520095e-08,3.870245e-08,9.595897e-08,9.911283e-08,2.015781e-07,2.392252e-07,3.564908e-07,4.788639e-07,5.740506e-07,8.381133e-07,8.642275e-07,1.236480e-06,1.338995e-06,1.699153e-06,2.000202e-06,2.258513e-06,2.833136e-06,2.917457e-06,3.674189e-06,3.836729e-06,4.521498e-06,4.994047e-06,5.447363e-06,6.274936e-06,6.436898e-06,7.474722e-06,7.644283e-06,8.546690e-06,9.069706e-06,9.640613e-06,1.052464e-05,1.074629e-05,1.185526e-05,1.198821e-05,1.296048e-05,1.344405e-05,1.405612e-05,1.487937e-05,1.513731e-05,1.620004e-05,1.628416e-05,1.724104e-05,1.765074e-05,1.825766e-05,1.897336e-05,1.924784e-05,2.020999e-05,2.024787e-05,2.114293e-05,2.147147e-05,2.204584e-05,2.264240e-05,2.291822e-05,2.375982e-05,2.457059e-05,2.482354e-05,2.535067e-05,2.583394e-05,2.610034e-05,2.679179e-05,2.682001e-05,2.751015e-05,2.769818e-05,2.817134e-05,2.855441e-05,2.880419e-05,2.936196e-05,2.940937e-05,2.998759e-05,3.012243e-05,3.053955e-05,3.083746e-05,3.106600e-05,3.150875e-05,3.156766e-05,3.204530e-05,3.213801e-05,3.249966e-05,3.272697e-05,3.293147e-05,3.327731e-05,3.334147e-05,3.373039e-05,3.379071e-05,3.409893e-05,3.426881e-05,3.444781e-05,3.471321e-05,3.477770e-05,3.508928e-05,3.512547e-05,3.538321e-05,3.550711e-05,3.566012e-05,3.585959e-05,3.592066e-05,3.616542e-05,3.618433e-05,3.639499e-05,3.648270e-05,3.660997e-05,3.675602e-05,3.681090e-05,3.699833e-05,3.700556e-05,3.717280e-05,3.723253e-05,3.733481e-05,3.743811e-05,3.748486e-05,3.762343e-05,3.775099e-05,3.778956e-05,3.786799e-05,3.793753e-05,3.797486e-05,3.806833e-05,3.807204e-05,3.815992e-05,3.818292e-05,3.823891e-05,3.828219e-05,3.830938e-05,3.836701e-05,3.837171e-05,3.842624e-05,3.843821e-05,3.847332e-05,3.849656e-05,3.851329e-05,3.854283e-05,3.854646e-05,3.857314e-05,3.857773e-05,3.859363e-05,3.860194e-05,3.860822e-05,3.861611e-05,3.861718e-05,3.862078e-05,3.862087e-05,3.861927e-05,3.861680e-05,3.861290e-05,3.860447e-05,3.860191e-05,3.858654e-05,3.858441e-05,3.856699e-05,3.855712e-05,3.854348e-05,3.852309e-05,3.851622e-05,3.848539e-05,3.848278e-05,3.845120e-05,3.843662e-05,3.841382e-05,3.838503e-05,3.837342e-05,3.833018e-05,3.832839e-05,3.828425e-05,3.826709e-05,3.823579e-05,3.820147e-05,3.818495e-05,3.813186e-05,3.805860e-05,3.798196e-05,3.790224e-05,3.781972e-05,3.773463e-05,3.764722e-05,3.755773e-05,3.746636e-05,3.737331e-05,3.727879e-05,3.718296e-05,3.708600e-05,3.698807e-05,3.688932e-05,3.678990e-05,3.668993e-05,3.658954e-05,3.648884e-05,3.638796e-05,3.628699e-05,3.618604e-05,3.608518e-05,3.598451e-05,3.588411e-05
0.000000e+00,4.362527e-09,1.004498e-08,3.474637e-08,7.923742e-08,1.156691e-07,2.623515e-07,2.702293e-07,5.207731e-07,6.111386e-07,8.894046e-07,1.176377e-06,1.397931e-06,2.006707e-06,2.066481e-06,2.909779e-06,3.138897e-06,3.931721e-06,4.578968e-06,5.122810e-06,6.295976e-06,6.464148e-06,7.933943e-06,8.241446e-06,9.511280e-06,1.036756e-05,1.117697e-05,1.263146e-05,1.291333e-05,1.470393e-05,1.499442e-05,1.653344e-05,1.742123e-05,1.838771e-05,1.988024e-05,2.025384e-05,2.212029e-05,2.234379e-05,2.397689e-05,2.478837e-05,2.581488e-05,2.719468e-05,2.762682e-05,2.940654e-05,2.954737e-05,3.114901e-05,3.183464e-05,3.285024e-05,3.404782e-05,3.450713e-05,3.611739e-05,3.618081e-05,3.767937e-05,3.822964e-05,3.919200e-05,4.019208e-05,4.065469e-05,4.206722e-05,4.342970e-05,4.385518e-05,4.474250e-05,4.555688e-05,4.600620e-05,4.717383e-05,4.722152e-05,4.838935e-05,4.870795e-05,4.951064e-05,5.016152e-05,5.058645e-05,5.153697e-05,5.161788e-05,5.260607e-05,5.283693e-05,5.355219e-05,5.406408e-05,5.445742e-05,5.522116e-05,5.532296e-05,5.615001e-05,5.631090e-05,5.693973e-05,5.733604e-05,5.769333e-05,5.829928e-05,5.841195e-05,5.909675e-05,5.920326e-05,5.974885e-05,6.005057e-05,6.036936e-05,6.084374e-05,6.095935e-05,6.151989e-05,6.158523e-05,6.205202e-05,6.227741e-05,6.255673e-05,6.292258e-05,6.303500e-05,6.348781e-05,6.352296e-05,6.391607e-05,6.408070e-05,6.432068e-05,6.459785e-05,6.470253e-05,6.506246e-05,6.507641e-05,6.540130e-05,6.551827e-05,6.571985e-05,6.592527e-05,6.601888e-05,6.629915e-05,6.656138e-05,6.664160e-05,6.680627e-05,6.695422e-05,6.703451e-05,6.723856e-05,6.724675e-05,6.744362e-05,6.749608e-05,6.762575e-05,6.772819e-05,6.779371e-05,6.793623e-05,6.794810e-05,6.808945e-05,6.812149e-05,6.821831e-05,6.828520e-05,6.833518e-05,6.842851e-05,6.844057e-05,6.853496e-05,6.855256e-05,6.861880e-05,6.865838e-05,6.869255e-05,6.874701e-05,6.875664e-05,6.881147e-05,6.881941e-05,6.885745e-05,6.887649e-05,6.889497e-05,6.891913e-05,6.892439e-05,6.894607e-05,6.894817e-05,6.896037e-05,6.896440e-05,6.896760e-05,6.896857e-05,6.896809e-05,6.896215e-05,6.896140e-05,6.895007e-05,6.894358e-05,6.893214e-05,6.891576e-05,6.890863e-05,6.887981e-05,6.887855e-05,6.884593e-05,6.883254e-05,6.880724e-05,6.877830e-05,6.876397e-05,6.871634e-05,6.864719e-05,6.857130e-05,6.848915e-05,6.840117e-05,6.830775e-05,6.820931e-05,6.810619e-05,6.799876e-05,6.788734e-05,6.777225e-05,6.765380e-05,6.753225e-05,6.740789e-05,6.728097e-05,6.715172e-05,6.702039e-05,6.688717e-05,6.675228e-05,6.661592e-05,6.647826e-05,6.633949e-05,6.619975e-05,6.605921e-05,6.591802e-05
0.000000e+00,2.628618e-11,1.483527e-10,1.584206e-09,6.557013e-09,1.207045e-08,4.155238e-08,4.336129e-08,1.079071e-07,1.335697e-07,2.175625e-07,3.097153e-07,3.835991e-07,5.955188e-07,6.169122e-07,9.281770e-07,1.015646e-06,1.327805e-06,1.593857e-06,1.825468e-06,2.350768e-06,2.428956e-06,3.142494e-06,3.298440e-06,3.965414e-06,4.434894e-06,4.892222e-06,5.744607e-06,5.914070e-06,7.020591e-06,7.204778e-06,8.201137e-06,8.791034e-06,9.445344e-06,1.047984e-05,1.074325e-05,1.208528e-05,1.224885e-05,1.346216e-05,1.407671e-05,1.486492e-05,1.594301e-05,1.628494e-05,1.771397e-05,1.782845e-05,1.914424e-05,1.971504e-05,2.056846e-05,2.158638e-05,2.197996e-05,2.337265e-05,2.342788e-05,2.474110e-05,2.522687e-05,2.608054e-05,2.697264e-05,2.738681e-05,2.865642e-05,2.988645e-05,3.027130e-05,3.107454e-05,3.181204e-05,3.221885e-05,3.327495e-05,3.331803e-05,3.437114e-05,3.465767e-05,3.537762e-05,3.595902e-05,3.633725e-05,3.717878e-05,3.725009e-05,3.811648e-05,3.831756e-05,3.893695e-05,3.937661e-05,3.971221e-05,4.035774e-05,4.044315e-05,4.113074e-05,4.126315e-05,4.177609e-05,4.209536e-05,4.238036e-05,4.285709e-05,4.294478e-05,4.347062e-05,4.355126e-05,4.395919e-05,4.418085e-05,4.441181e-05,4.474890e-05,4.482980e-05,4.521449e-05,4.525847e-05,4.556719e-05,4.571259e-05,4.588922e-05,4.611424e-05,4.618186e-05,4.644637e-05,4.646635e-05,4.668398e-05,4.677176e-05,4.689590e-05,4.703325e-05,4.708332e-05,4.724738e-05,4.725347e-05,4.738918e-05,4.743499e-05,4.750981e-05,4.758029e-05,4.761032e-05,4.769171e-05,4.775495e-05,4.777151e-05,4.780099e-05,4.782185e-05,4.783074e-05,4.784478e-05,4.784507e-05,4.784482e-05,4.784225e-05,4.783080e-05,4.781611e-05,4.780379e-05,4.776811e-05,4.776454e-05,4.771375e-05,4.769992e-05,4.765212e-05,4.761312e-05,4.758031e-05,4.750920e-05,4.749895e-05,4.740864e-05,4.738955e-05,4.730996e-05,4.725552e-05,4.720346e-05,4.710835e-05,4.708968e-05,4.696911e-05,4.694922e-05,4.684224e-05,4.677924e-05,4.670954e-05,4.659946e-05,4.657143e-05,4.642834e-05,4.641086e-05,4.628067e-05,4.621435e-05,4.612881e-05,4.601080e-05,4.597310e-05,4.581390e-05,4.580102e-05,4.565153e-05,4.558577e-05,4.548631e-05,4.536575e-05,4.531853e-05,4.514848e-05,4.514163e-05,4.497642e-05,4.491403e-05,4.480260e-05,4.468352e-05,4.462726e-05,4.445063e-05,4.421588e-05,4.397971e-05,4.374257e-05,4.350485e-05,4.326692e-05,4.302912e-05,4.279177e-05,4.255515e-05,4.231955e-05,4.208519e-05,4.185231e-05,4.162111e-05,4.139177e-05,4.116447e-05,4.093936e-05,4.071657e-05,4.049623e-05,4.027846e-05,4.006334e-05,3.985098e-05,3.964143e-05,3.943478e-05,3.923107e-05,3.903036e-05
0.000000e+00,1.802574e-09,4.240654e-09,1.499081e-08,3.450200e-08,5.051925e-08,1.150743e-07,1.185411e-07,2.286972e-07,2.683750e-07,3.904005e-07,5.160670e-07,6.130294e-07,8.796372e-07,9.058563e-07,1.277374e-06,1.379006e-06,1.733688e-06,2.027097e-06,2.276437e-06,2.822782e-06,2.901998e-06,3.602977e-06,3.751450e-06,4.370546e-06,4.793063e-06,5.195919e-06,5.927819e-06,6.070798e-06,6.987332e-06,7.137336e-06,7.937983e-06,8.404257e-06,8.915435e-06,9.711911e-06,9.912584e-06,1.092258e-05,1.104432e-05,1.193887e-05,1.238644e-05,1.295533e-05,1.372441e-05,1.396624e-05,1.496644e-05,1.504585e-05,1.595128e-05,1.634000e-05,1.691672e-05,1.759782e-05,1.785924e-05,1.877591e-05,1.881200e-05,1.966431e-05,1.997683e-05,2.052252e-05,2.108809e-05,2.134907e-05,2.214291e-05,2.290334e-05,2.313956e-05,2.363000e-05,2.407727e-05,2.432277e-05,2.495610e-05,2.498182e-05,2.560747e-05,2.577674e-05,2.620024e-05,2.654039e-05,2.676078e-05,2.724865e-05,2.728983e-05,2.778825e-05,2.790341e-05,2.825692e-05,2.850675e-05,2.869682e-05,2.906090e-05,2.910892e-05,2.949423e-05,2.956817e-05,2.985377e-05,3.003088e-05,3.018855e-05,3.045138e-05,3.049960e-05,3.078790e-05,3.083198e-05,3.105444e-05,3.117494e-05,3.130020e-05,3.148246e-05,3.152609e-05,3.173305e-05,3.175666e-05,3.192196e-05,3.199958e-05,3.209368e-05,3.221320e-05,3.224904e-05,3.238884e-05,3.239937e-05,3.251386e-05,3.255989e-05,3.262484e-05,3.269645e-05,3.272249e-05,3.280751e-05,3.281065e-05,3.288054e-05,3.290403e-05,3.294223e-05,3.297801e-05,3.299318e-05,3.303396e-05,3.306514e-05,3.307317e-05,3.308723e-05,3.309684e-05,3.310076e-05,3.310612e-05,3.310619e-05,3.310400e-05,3.310208e-05,3.309462e-05,3.308572e-05,3.307848e-05,3.305800e-05,3.305597e-05,3.302749e-05,3.301980e-05,3.299338e-05,3.297196e-05,3.295401e-05,3.291528e-05,3.290971e-05,3.286078e-05,3.285047e-05,3.280753e-05,3.277823e-05,3.275025e-05,3.269921e-05,3.268920e-05,3.262465e-05,3.261402e-05,3.255684e-05,3.252321e-05,3.248601e-05,3.242731e-05,3.241237e-05,3.233615e-05,3.232683e-05,3.225753e-05,3.222223e-05,3.217671e-05,3.211393e-05,3.209388e-05,3.200920e-05,3.200235e-05,3.192283e-05,3.188785e-05,3.183493e-05,3.177078e-05,3.174565e-05,3.165513e-05,3.165149e-05,3.156349e-05,3.153026e-05,3.147087e-05,3.140738e-05,3.137738e-05,3.128312e-05,3.115773e-05,3.103143e-05,3.090442e-05,3.077692e-05,3.064910e-05,3.052113e-05,3.039316e-05,3.026534e-05,3.013779e-05,3.001065e-05,2.988403e-05,2.975802e-05,2.963273e-05,2.950823e-05,2.938462e-05,2.926195e-05,2.914031e-05,2.901974e-05,2.890030e-05,2.878204e-05,2.866501e-05,2.854923e-05,2.843476e-05,2.832162e-05
0.000000e+00,9.878234e-14,8.070161e-13,1.741459e-11,1.272065e-10,3.110234e-10,2.050815e-09,2.192285e-09,9.344023e-09,1.318689e-08,2.913595e-08,5.186658e-08,7.359302e-08,1.510643e-07,1.600290e-07,3.114750e-07,3.605817e-07,5.567424e-07,7.474678e-07,9.294285e-07,1.391094e-06,1.465134e-06,2.197137e-06,2.369585e-06,3.151930e-06,3.742426e-06,4.346153e-06,5.538918e-06,5.785664e-06,7.466462e-06,7.757080e-06,9.376717e-06,1.037021e-05,1.149911e-05,1.333593e-05,1.381295e-05,1.629577e-05,1.660397e-05,1.892446e-05,2.012133e-05,2.167591e-05,2.383513e-05,2.452743e-05,2.745697e-05,2.769406e-05,3.044326e-05,3.164908e-05,3.346597e-05,3.565397e-05,3.650576e-05,3.954447e-05,3.966576e-05,4.256524e-05,4.364529e-05,4.555256e-05,4.755764e-05,4.849246e-05,5.137249e-05,5.418179e-05,5.506427e-05,5.691108e-05,5.861221e-05,5.955263e-05,6.200016e-05,6.210020e-05,6.454890e-05,6.521631e-05,6.689518e-05,6.825274e-05,6.913662e-05,7.110498e-05,7.127188e-05,7.330050e-05,7.377153e-05,7.522286e-05,7.625333e-05,7.704000e-05,7.855331e-05,7.875353e-05,8.036554e-05,8.067597e-05,8.187851e-05,8.262702e-05,8.329520e-05,8.441302e-05,8.461863e-05,8.585197e-05,8.604117e-05,8.699851e-05,8.751900e-05,8.806160e-05,8.885427e-05,8.904464e-05,8.995102e-05,9.005479e-05,9.078410e-05,9.112830e-05,9.154723e-05,9.208243e-05,9.224366e-05,9.287657e-05,9.292455e-05,9.344907e-05,9.366184e-05,9.396418e-05,9.430114e-05,9.442478e-05,9.483370e-05,9.484902e-05,9.519364e-05,9.531173e-05,9.550719e-05,9.569519e-05,9.577686e-05,9.600502e-05,9.619398e-05,9.624652e-05,9.634591e-05,9.642469e-05,9.646291e-05,9.654422e-05,9.654697e-05,9.660000e-05,9.660954e-05,9.662382e-05,9.662480e-05,9.662014e-05,9.659390e-05,9.659062e-05,9.653683e-05,9.652047e-05,9.646025e-05,9.640794e-05,9.636230e-05,9.625951e-05,9.624434e-05,9.610763e-05,9.607815e-05,9.595340e-05,9.586666e-05,9.578280e-05,9.562766e-05,9.559693e-05,9.539683e-05,9.536356e-05,9.518349e-05,9.507666e-05,9.495784e-05,9.476906e-05,9.472077e-05,9.447313e-05,9.444274e-05,9.421570e-05,9.409953e-05,9.394926e-05,9.374116e-05,9.367450e-05,9.339212e-05,9.336922e-05,9.310275e-05,9.298518e-05,9.280700e-05,9.259044e-05,9.250545e-05,9.219864e-05,9.218626e-05,9.188708e-05,9.177385e-05,9.157126e-05,9.135431e-05,9.125165e-05,9.092867e-05,9.049787e-05,9.006281e-05,8.962429e-05,8.918308e-05,8.873988e-05,8.829533e-05,8.785003e-05,8.740452e-05,8.695933e-05,8.651491e-05,8.607170e-05,8.563009e-05,8.519045e-05,8.475309e-05,8.431834e-05,8.388646e-05,8.345770e-05,8.303230e-05,8.261046e-05,8.219237e-05,8.177819e-05,8.136809e-05,8.096218e-05,8.056060e-05
0.000000e+00,2.420304e-13,1.914965e-12,3.869052e-11,2.663732e-10,6.306866e-10,3.832120e-09,4.083038e-09,1.608022e-08,2.221947e-08,4.659068e-08,7.956390e-08,1.099167e-07,2.127676e-07,2.242852e-07,4.112829e-07,4.696038e-07,6.948596e-07,9.049477e-07,1.099207e-06,1.571857e-06,1.645462e-06,2.348445e-06,2.508589e-06,3.214910e-06,3.729993e-06,4.243775e-06,5.228323e-06,5.427746e-06,6.755389e-06,6.980244e-06,8.212911e-06,8.954298e-06,9.785402e-06,1.111588e-05,1.145753e-05,1.321388e-05,1.342957e-05,1.503904e-05,1.585996e-05,1.691770e-05,1.837192e-05,1.883469e-05,2.077508e-05,2.093089e-05,2.272438e-05,2.350345e-05,2.466866e-05,2.605805e-05,2.659482e-05,2.849070e-05,2.856575e-05,3.034526e-05,3.100086e-05,3.214869e-05,3.334142e-05,3.389249e-05,3.556946e-05,3.717376e-05,3.767100e-05,3.870080e-05,3.963596e-05,4.014722e-05,4.145783e-05,4.151076e-05,4.279019e-05,4.313330e-05,4.398520e-05,4.466185e-05,4.509625e-05,4.604525e-05,4.612449e-05,4.707165e-05,4.728713e-05,4.793990e-05,4.839260e-05,4.873182e-05,4.936781e-05,4.945025e-05,5.009825e-05,5.021968e-05,5.067904e-05,5.095558e-05,5.119592e-05,5.158315e-05,5.165223e-05,5.205130e-05,5.211007e-05,5.239646e-05,5.254393e-05,5.269093e-05,5.289215e-05,5.293789e-05,5.314041e-05,5.316186e-05,5.330142e-05,5.335985e-05,5.342377e-05,5.349256e-05,5.351016e-05,5.356317e-05,5.356605e-05,5.358526e-05,5.358597e-05,5.357875e-05,5.355759e-05,5.354583e-05,5.348857e-05,5.348580e-05,5.340891e-05,5.337510e-05,5.330868e-05,5.322967e-05,5.318961e-05,5.305331e-05,5.290127e-05,5.284953e-05,5.273491e-05,5.262154e-05,5.255555e-05,5.237227e-05,5.236442e-05,5.216265e-05,5.210440e-05,5.195133e-05,5.182036e-05,5.173144e-05,5.152238e-05,5.150392e-05,5.126961e-05,5.121246e-05,5.102933e-05,5.089244e-05,5.078381e-05,5.056397e-05,5.053375e-05,5.027977e-05,5.022856e-05,5.002249e-05,4.988757e-05,4.976244e-05,4.954223e-05,4.950013e-05,4.923603e-05,4.919364e-05,4.897058e-05,4.884280e-05,4.870417e-05,4.849061e-05,4.843718e-05,4.816995e-05,4.813788e-05,4.790279e-05,4.778534e-05,4.763599e-05,4.743362e-05,4.736980e-05,4.710449e-05,4.708331e-05,4.684026e-05,4.673492e-05,4.657732e-05,4.638891e-05,4.631586e-05,4.605604e-05,4.604568e-05,4.579802e-05,4.570560e-05,4.554194e-05,4.536897e-05,4.528792e-05,4.503608e-05,4.470716e-05,4.438241e-05,4.406202e-05,4.374613e-05,4.343487e-05,4.312835e-05,4.282665e-05,4.252984e-05,4.223797e-05,4.195106e-05,4.166915e-05,4.139225e-05,4.112035e-05,4.085345e-05,4.059153e-05,4.033456e-05,4.008251e-05,3.983535e-05,3.959302e-05,3.935548e-05,3.912268e-05,3.889456e-05,3.867106e-05,3.845211e-05
0.000000e+00,3.306509e-09,7.602043e-09,2.623902e-08,5.974828e-08,8.715993e-08,1.974241e-07,2.033440e-07,3.916490e-07,4.596104e-07,6.691429e-07,8.857464e-07,1.053397e-06,1.516247e-06,1.561880e-06,2.209505e-06,2.386712e-06,3.003850e-06,3.511698e-06,3.940671e-06,4.870966e-06,5.004705e-06,6.175543e-06,6.420713e-06,7.432974e-06,8.114993e-06,8.759012e-06,9.914334e-06,1.013792e-05,1.155567e-05,1.178525e-05,1.299956e-05,1.369847e-05,1.445799e-05,1.562804e-05,1.592036e-05,1.737716e-05,1.755119e-05,1.881990e-05,1.944832e-05,2.024121e-05,2.130313e-05,2.163474e-05,2.299521e-05,2.310248e-05,2.431828e-05,2.483624e-05,2.560051e-05,2.649692e-05,2.683926e-05,2.803261e-05,2.807938e-05,2.917925e-05,2.958045e-05,3.027842e-05,3.099857e-05,3.132980e-05,3.233342e-05,3.328963e-05,3.358570e-05,3.419903e-05,3.475686e-05,3.506245e-05,3.584895e-05,3.588084e-05,3.665529e-05,3.686442e-05,3.738699e-05,3.780601e-05,3.807719e-05,3.867664e-05,3.872719e-05,3.933832e-05,3.947936e-05,3.991193e-05,4.021726e-05,4.044936e-05,4.089346e-05,4.095198e-05,4.142111e-05,4.151103e-05,4.185808e-05,4.207301e-05,4.226416e-05,4.258232e-05,4.264061e-05,4.298868e-05,4.304181e-05,4.330955e-05,4.345426e-05,4.360442e-05,4.382234e-05,4.387440e-05,4.412060e-05,4.414860e-05,4.434409e-05,4.443550e-05,4.454590e-05,4.468539e-05,4.472702e-05,4.488843e-05,4.490052e-05,4.503105e-05,4.508304e-05,4.515577e-05,4.523498e-05,4.526347e-05,4.535496e-05,4.535830e-05,4.543106e-05,4.545483e-05,4.549252e-05,4.552634e-05,4.554009e-05,4.557448e-05,4.559637e-05,4.560085e-05,4.560642e-05,4.560692e-05,4.560525e-05,4.559413e-05,4.559346e-05,4.557164e-05,4.556380e-05,4.554033e-05,4.551721e-05,4.550006e-05,4.545555e-05,4.545135e-05,4.539468e-05,4.537995e-05,4.533051e-05,4.529147e-05,4.525929e-05,4.519113e-05,4.518145e-05,4.509739e-05,4.507986e-05,4.500749e-05,4.495857e-05,4.491214e-05,4.482809e-05,4.481169e-05,4.470647e-05,4.468921e-05,4.459681e-05,4.454268e-05,4.448301e-05,4.438920e-05,4.436538e-05,4.424419e-05,4.422942e-05,4.411971e-05,4.406396e-05,4.399219e-05,4.389340e-05,4.386189e-05,4.372903e-05,4.371829e-05,4.359382e-05,4.353913e-05,4.345649e-05,4.335640e-05,4.331723e-05,4.317623e-05,4.317055e-05,4.303367e-05,4.298200e-05,4.288972e-05,4.279113e-05,4.274455e-05,4.259831e-05,4.240388e-05,4.220816e-05,4.201145e-05,4.181402e-05,4.161613e-05,4.141803e-05,4.121992e-05,4.102201e-05,4.082451e-05,4.062758e-05,4.043138e-05,4.023607e-05,4.004179e-05,3.984866e-05,3.965680e-05,3.946632e-05,3.927731e-05,3.908987e-05,3.890407e-05,3.872000e-05,3.853770e-05,3.835726e-05,3.817871e-05,3.800210e-05
0.000000e+00,7.552856e-12,5.109758e-11,7.578499e-10,4.013405e-09,8.294930e-09,3.645581e-08,3.836624e-08,1.140305e-07,1.469032e-07,2.612990e-07,3.951655e-07,5.069966e-07,8.436673e-07,8.787159e-07,1.405570e-06,1.558503e-06,2.118417e-06,2.610451e-06,3.048017e-06,4.065833e-06,4.219811e-06,5.646502e-06,5.962305e-06,7.323064e-06,8.287003e-06,9.228091e-06,1.098215e-05,1.133036e-05,1.359590e-05,1.397134e-05,1.599259e-05,1.718106e-05,1.849187e-05,2.054825e-05,2.106873e-05,2.370093e-05,2.401954e-05,2.636829e-05,2.754821e-05,2.905215e-05,3.109215e-05,3.173508e-05,3.440075e-05,3.461279e-05,3.703394e-05,3.807495e-05,3.962065e-05,4.144709e-05,4.214813e-05,4.460500e-05,4.470166e-05,4.698133e-05,4.781540e-05,4.926861e-05,5.076945e-05,5.145981e-05,5.354929e-05,5.553277e-05,5.614457e-05,5.740725e-05,5.854882e-05,5.917090e-05,6.075906e-05,6.082301e-05,6.236379e-05,6.277538e-05,6.379424e-05,6.460023e-05,6.511605e-05,6.623813e-05,6.633152e-05,6.744351e-05,6.769534e-05,6.845523e-05,6.897931e-05,6.937023e-05,7.009844e-05,7.019231e-05,7.092546e-05,7.106178e-05,7.157375e-05,7.187868e-05,7.214128e-05,7.255863e-05,7.263221e-05,7.305068e-05,7.311119e-05,7.340080e-05,7.354575e-05,7.368655e-05,7.387141e-05,7.391181e-05,7.408039e-05,7.409698e-05,7.419594e-05,7.423091e-05,7.426202e-05,7.428123e-05,7.428200e-05,7.425911e-05,7.425552e-05,7.419645e-05,7.416091e-05,7.409696e-05,7.400410e-05,7.396345e-05,7.379858e-05,7.379137e-05,7.360487e-05,7.352854e-05,7.338470e-05,7.322102e-05,7.314032e-05,7.287384e-05,7.258727e-05,7.249163e-05,7.228248e-05,7.207867e-05,7.196124e-05,7.163890e-05,7.162519e-05,7.127590e-05,7.117593e-05,7.091481e-05,7.069307e-05,7.054329e-05,7.019337e-05,7.016261e-05,6.977394e-05,6.967960e-05,6.937840e-05,6.915429e-05,6.897702e-05,6.861974e-05,6.857076e-05,6.816050e-05,6.807805e-05,6.774708e-05,6.753111e-05,6.733127e-05,6.698066e-05,6.691377e-05,6.649525e-05,6.642823e-05,6.607631e-05,6.587524e-05,6.565752e-05,6.532294e-05,6.523939e-05,6.482239e-05,6.477245e-05,6.440698e-05,6.422480e-05,6.399354e-05,6.368088e-05,6.358245e-05,6.317403e-05,6.314148e-05,6.276860e-05,6.260733e-05,6.236643e-05,6.207903e-05,6.196777e-05,6.157284e-05,6.155712e-05,6.118185e-05,6.104209e-05,6.079498e-05,6.053435e-05,6.041239e-05,6.003423e-05,5.954204e-05,5.905802e-05,5.858238e-05,5.811527e-05,5.765682e-05,5.720713e-05,5.676625e-05,5.633423e-05,5.591107e-05,5.549676e-05,5.509128e-05,5.469457e-05,5.430658e-05,5.392722e-05,5.355642e-05,5.319407e-05,5.284006e-05,5.249428e-05,5.215662e-05,5.182693e-05,5.150510e-05,5.119097e-05,5.088442e-05,5.058529e-05
0.000000e+00,3.898696e-12,2.765186e-11,4.494274e-10,2.567082e-09,5.513194e-09,2.648989e-08,2.797124e-08,8.961168e-08,1.175925e-07,2.183827e-07,3.409854e-07,4.461492e-07,7.733909e-07,8.081905e-07,1.343566e-06,1.502522e-06,2.094783e-06,2.625952e-06,3.104930e-06,4.237604e-06,4.410811e-06,6.033117e-06,6.395721e-06,7.968643e-06,9.090606e-06,1.019004e-05,1.224499e-05,1.265331e-05,1.530818e-05,1.574743e-05,1.810629e-05,1.948757e-05,2.100531e-05,2.337320e-05,2.396988e-05,2.697088e-05,2.733226e-05,2.998424e-05,3.130873e-05,3.298983e-05,3.525831e-05,3.597062e-05,3.891216e-05,3.914541e-05,4.180222e-05,4.294148e-05,4.463057e-05,4.662394e-05,4.738873e-05,5.006984e-05,5.017540e-05,5.266849e-05,5.358299e-05,5.518055e-05,5.683773e-05,5.760305e-05,5.993399e-05,6.217227e-05,6.286887e-05,6.431749e-05,6.564169e-05,6.636991e-05,6.825359e-05,6.833025e-05,7.019969e-05,7.070705e-05,7.197977e-05,7.300565e-05,7.367226e-05,7.515372e-05,7.527918e-05,7.680268e-05,7.715615e-05,7.824503e-05,7.901817e-05,7.960858e-05,8.074524e-05,8.089575e-05,8.210898e-05,8.234298e-05,8.325075e-05,8.381703e-05,8.432349e-05,8.517302e-05,8.532963e-05,8.627158e-05,8.641650e-05,8.715173e-05,8.755294e-05,8.797243e-05,8.858772e-05,8.873596e-05,8.944458e-05,8.952603e-05,9.010046e-05,9.037290e-05,9.070575e-05,9.113323e-05,9.126254e-05,9.177286e-05,9.181173e-05,9.223866e-05,9.241294e-05,9.266185e-05,9.294121e-05,9.304429e-05,9.338776e-05,9.340071e-05,9.369400e-05,9.379546e-05,9.396470e-05,9.412930e-05,9.420147e-05,9.440587e-05,9.457942e-05,9.462868e-05,9.472357e-05,9.480105e-05,9.483973e-05,9.492617e-05,9.492925e-05,9.499345e-05,9.500706e-05,9.503358e-05,9.504662e-05,9.505086e-05,9.504756e-05,9.504644e-05,9.502144e-05,9.501250e-05,9.497695e-05,9.494391e-05,9.491400e-05,9.484412e-05,9.483358e-05,9.473666e-05,9.471537e-05,9.462414e-05,9.455976e-05,9.449691e-05,9.437929e-05,9.435581e-05,9.420166e-05,9.417584e-05,9.403523e-05,9.395120e-05,9.385726e-05,9.370706e-05,9.366847e-05,9.346954e-05,9.344502e-05,9.326113e-05,9.316659e-05,9.304387e-05,9.287319e-05,9.281834e-05,9.258514e-05,9.256617e-05,9.234480e-05,9.224678e-05,9.209785e-05,9.191623e-05,9.184479e-05,9.158610e-05,9.157564e-05,9.132223e-05,9.122606e-05,9.105363e-05,9.086849e-05,9.078071e-05,9.050387e-05,9.013307e-05,8.975692e-05,8.937618e-05,8.899159e-05,8.860383e-05,8.821352e-05,8.782126e-05,8.742761e-05,8.703308e-05,8.663815e-05,8.624328e-05,8.584888e-05,8.545535e-05,8.506303e-05,8.467226e-05,8.428336e-05,8.389660e-05,8.351225e-05,8.313056e-05,8.275173e-05,8.237598e-05,8.200349e-05,8.163444e-05,8.126896e-05
0.000000e+00,2.096656e-15,1.859501e-14,4.763241e-13,4.073537e-12,1.086681e-11,8.991990e-11,9.702063e-11,5.195233e-10,7.804256e-10,2.018714e-09,4.084674e-09,6.301646e-09,1.559778e-08,1.678845e-08,3.966403e-08,4.803384e-08,8.521689e-08,1.262763e-07,1.693151e-07,2.931176e-07,3.147453e-07,5.521258e-07,6.139042e-07,9.201948e-07,1.178380e-06,1.465413e-06,2.099025e-06,2.240940e-06,3.305100e-06,3.506240e-06,4.719505e-06,5.541288e-06,6.546999e-06,8.348152e-06,8.849566e-06,1.168632e-05,1.206527e-05,1.511168e-05,1.681797e-05,1.917377e-05,2.271203e-05,2.391309e-05,2.936157e-05,2.982883e-05,3.554181e-05,3.822201e-05,4.246667e-05,4.791574e-05,5.013921e-05,5.855274e-05,5.890449e-05,6.769122e-05,7.115401e-05,7.752979e-05,8.460340e-05,8.803548e-05,9.916803e-05,1.108808e-04,1.147430e-04,1.231217e-04,1.312072e-04,1.358344e-04,1.484269e-04,1.489591e-04,1.624335e-04,1.662604e-04,1.761941e-04,1.845611e-04,1.901767e-04,2.031820e-04,2.043176e-04,2.185538e-04,2.219778e-04,2.328243e-04,2.408088e-04,2.470704e-04,2.595421e-04,2.612360e-04,2.752684e-04,2.780545e-04,2.891184e-04,2.962331e-04,3.027406e-04,3.139766e-04,3.160934e-04,3.291393e-04,3.311958e-04,3.418448e-04,3.478139e-04,3.541807e-04,3.637660e-04,3.661214e-04,3.776454e-04,3.789994e-04,3.887349e-04,3.934728e-04,3.993755e-04,4.071554e-04,4.095564e-04,4.192697e-04,4.200264e-04,4.285106e-04,4.320741e-04,4.372770e-04,4.432949e-04,4.455690e-04,4.533892e-04,4.536922e-04,4.607421e-04,4.632760e-04,4.676341e-04,4.720614e-04,4.740730e-04,4.800681e-04,4.856298e-04,4.873199e-04,4.907696e-04,4.938432e-04,4.954996e-04,4.996671e-04,4.998329e-04,5.037829e-04,5.048221e-04,5.073634e-04,5.093402e-04,5.105885e-04,5.132540e-04,5.134726e-04,5.160299e-04,5.165966e-04,5.182748e-04,5.194009e-04,5.202217e-04,5.216996e-04,5.218846e-04,5.232775e-04,5.235249e-04,5.244141e-04,5.249082e-04,5.253076e-04,5.258800e-04,5.259712e-04,5.264175e-04,5.264696e-04,5.266589e-04,5.267054e-04,5.267071e-04,5.266144e-04,5.265738e-04,5.262699e-04,5.262225e-04,5.258061e-04,5.255540e-04,5.251926e-04,5.246323e-04,5.244393e-04,5.235554e-04,5.234793e-04,5.225499e-04,5.221156e-04,5.214315e-04,5.205608e-04,5.202081e-04,5.188876e-04,5.188329e-04,5.174773e-04,5.169490e-04,5.159843e-04,5.149251e-04,5.144151e-04,5.127760e-04,5.105156e-04,5.081566e-04,5.057110e-04,5.031899e-04,5.006035e-04,4.979612e-04,4.952718e-04,4.925433e-04,4.897830e-04,4.869979e-04,4.841940e-04,4.813773e-04,4.785528e-04,4.757254e-04,4.728994e-04,4.700788e-04,4.672673e-04,4.644681e-04,4.616842e-04,4.589183e-04,4.561728e-04,4.534500e-04,4.507516e-04,4.480796e-04
0.000000e+00,1.189146e-13,9.676880e-13,2.070713e-11,1.500558e-10,3.652342e-10,2.379001e-09,2.541801e-09,1.069323e-08,1.503491e-08,3.289745e-08,5.807867e-08,8.194411e-08,1.659865e-07,1.756301e-07,3.367853e-07,3.884772e-07,5.930111e-07,7.896038e-07,9.756075e-07,1.442561e-06,1.516917e-06,2.246037e-06,2.416447e-06,3.184145e-06,3.758334e-06,4.341149e-06,5.480849e-06,5.714751e-06,7.291752e-06,7.561606e-06,9.050756e-06,9.952060e-06,1.096526e-05,1.258946e-05,1.300642e-05,1.514514e-05,1.540699e-05,1.735335e-05,1.834015e-05,1.960483e-05,2.132997e-05,2.187545e-05,2.414331e-05,2.432401e-05,2.638865e-05,2.727646e-05,2.859383e-05,3.014786e-05,3.074326e-05,3.282329e-05,3.290488e-05,3.482227e-05,3.552011e-05,3.673041e-05,3.797196e-05,3.853983e-05,4.024441e-05,4.183976e-05,4.232670e-05,4.332306e-05,4.421291e-05,4.469300e-05,4.590147e-05,4.594956e-05,4.709394e-05,4.739453e-05,4.812829e-05,4.869731e-05,4.905564e-05,4.981749e-05,4.987971e-05,5.060477e-05,5.076455e-05,5.123545e-05,5.154923e-05,5.177668e-05,5.218303e-05,5.223357e-05,5.261129e-05,5.267779e-05,5.291500e-05,5.304539e-05,5.314983e-05,5.329750e-05,5.332076e-05,5.343264e-05,5.344538e-05,5.349015e-05,5.349975e-05,5.349773e-05,5.347069e-05,5.345960e-05,5.337977e-05,5.336757e-05,5.326200e-05,5.319907e-05,5.310980e-05,5.297315e-05,5.292649e-05,5.271512e-05,5.269709e-05,5.247855e-05,5.237747e-05,5.221943e-05,5.202027e-05,5.194019e-05,5.164310e-05,5.163087e-05,5.133024e-05,5.121412e-05,5.100352e-05,5.077434e-05,5.066470e-05,5.031540e-05,4.995710e-05,4.984077e-05,4.959115e-05,4.935350e-05,4.921878e-05,4.885633e-05,4.884114e-05,4.845924e-05,4.835168e-05,4.807404e-05,4.784168e-05,4.768638e-05,4.732823e-05,4.729704e-05,4.690672e-05,4.681297e-05,4.651607e-05,4.629738e-05,4.612566e-05,4.578272e-05,4.573602e-05,4.534761e-05,4.527012e-05,4.496086e-05,4.476054e-05,4.457617e-05,4.425485e-05,4.419385e-05,4.381424e-05,4.375377e-05,4.343759e-05,4.325792e-05,4.306414e-05,4.276785e-05,4.269413e-05,4.232772e-05,4.228401e-05,4.196510e-05,4.180678e-05,4.160639e-05,4.133648e-05,4.125174e-05,4.090123e-05,4.087338e-05,4.055497e-05,4.041768e-05,4.021304e-05,3.996955e-05,3.987548e-05,3.954236e-05,3.952913e-05,3.921371e-05,3.909650e-05,3.888956e-05,3.867172e-05,3.856993e-05,3.825482e-05,3.784583e-05,3.744472e-05,3.705146e-05,3.666602e-05,3.628832e-05,3.591829e-05,3.555585e-05,3.520091e-05,3.485337e-05,3.451312e-05,3.418004e-05,3.385403e-05,3.353495e-05,3.322269e-05,3.291712e-05,3.261811e-05,3.232553e-05,3.203924e-05,3.175913e-05,3.148506e-05,3.121690e-05,3.095452e-05,3.069780e-05,3.044660e-05
0.000000e+00,1.081553e-11,7.260033e-11,1.061447e-09,5.561110e-09,1.143712e-08,4.978582e-08,5.237937e-08,1.549120e-07,1.994453e-07,3.546461e-07,5.368507e-07,6.895649e-07,1.151766e-06,1.200068e-06,1.929296e-06,2.141832e-06,2.921918e-06,3.608713e-06,4.219569e-06,5.637944e-06,5.852013e-06,7.826733e-06,8.261459e-06,1.012388e-05,1.143241e-05,1.270134e-05,1.504449e-05,1.550636e-05,1.848619e-05,1.897595e-05,2.159396e-05,2.311923e-05,2.478998e-05,2.738771e-05,2.804085e-05,3.131816e-05,3.171201e-05,3.459737e-05,3.603520e-05,3.785707e-05,4.030982e-05,4.107860e-05,4.424581e-05,4.449641e-05,4.734490e-05,4.856281e-05,5.036434e-05,5.248363e-05,5.329467e-05,5.612839e-05,5.623965e-05,5.885973e-05,5.981709e-05,6.148443e-05,6.320678e-05,6.399959e-05,6.640359e-05,6.869574e-05,6.940561e-05,7.087624e-05,7.221357e-05,7.294603e-05,7.483027e-05,7.490662e-05,7.675995e-05,7.725997e-05,7.850833e-05,7.950807e-05,8.015440e-05,8.158086e-05,8.170100e-05,8.315110e-05,8.348511e-05,8.450780e-05,8.522794e-05,8.577429e-05,8.681673e-05,8.695379e-05,8.804953e-05,8.825891e-05,8.906473e-05,8.956186e-05,9.000257e-05,9.073287e-05,9.086619e-05,9.165871e-05,9.177911e-05,9.238314e-05,9.270756e-05,9.304247e-05,9.352499e-05,9.363957e-05,9.417726e-05,9.423792e-05,9.465828e-05,9.485267e-05,9.508529e-05,9.537528e-05,9.546086e-05,9.578748e-05,9.581156e-05,9.606754e-05,9.616706e-05,9.630339e-05,9.644708e-05,9.649725e-05,9.665130e-05,9.665667e-05,9.676762e-05,9.680064e-05,9.684820e-05,9.688357e-05,9.689498e-05,9.690981e-05,9.689448e-05,9.688349e-05,9.685069e-05,9.680850e-05,9.678009e-05,9.668855e-05,9.668425e-05,9.656468e-05,9.652714e-05,9.642282e-05,9.632758e-05,9.626006e-05,9.609300e-05,9.607772e-05,9.587708e-05,9.582633e-05,9.565934e-05,9.553037e-05,9.542566e-05,9.520771e-05,9.517714e-05,9.491486e-05,9.486084e-05,9.463980e-05,9.449205e-05,9.435294e-05,9.410352e-05,9.405519e-05,9.374742e-05,9.369731e-05,9.343047e-05,9.327530e-05,9.310512e-05,9.283931e-05,9.277214e-05,9.243223e-05,9.239101e-05,9.208608e-05,9.193196e-05,9.173433e-05,9.146364e-05,9.137760e-05,9.101648e-05,9.098741e-05,9.065150e-05,9.050455e-05,9.028320e-05,9.001625e-05,8.991208e-05,8.953859e-05,8.952361e-05,8.916319e-05,8.902766e-05,8.878629e-05,8.852935e-05,8.840829e-05,8.802957e-05,8.752913e-05,8.702879e-05,8.652925e-05,8.603115e-05,8.553508e-05,8.504158e-05,8.455114e-05,8.406423e-05,8.358124e-05,8.310256e-05,8.262853e-05,8.215945e-05,8.169560e-05,8.123722e-05,8.078452e-05,8.033771e-05,7.989695e-05,7.946239e-05,7.903415e-05,7.861234e-05,7.819705e-05,7.778834e-05,7.738629e-05,7.699093e-05
0.000000e+00,7.886860e-16,7.045517e-15,1.831772e-13,1.587183e-12,4.263358e-12,3.586109e-11,3.871665e-11,2.100812e-10,3.165135e-10,8.235883e-10,1.671585e-09,2.581681e-09,6.388522e-09,6.874852e-09,1.617080e-08,1.955350e-08,3.449862e-08,5.089543e-08,6.800874e-08,1.170234e-07,1.255698e-07,2.193505e-07,2.437873e-07,3.653332e-07,4.684033e-07,5.837160e-07,8.410259e-07,8.991735e-07,1.340960e-06,1.425564e-06,1.942849e-06,2.299646e-06,2.742909e-06,3.553746e-06,3.783143e-06,5.108980e-06,5.289540e-06,6.768666e-06,7.617607e-06,8.812547e-06,1.065461e-05,1.129229e-05,1.426007e-05,1.452013e-05,1.776768e-05,1.933326e-05,2.186567e-05,2.520914e-05,2.660256e-05,3.202396e-05,3.225566e-05,3.817185e-05,4.057033e-05,4.508389e-05,5.023749e-05,5.279283e-05,6.132600e-05,7.070489e-05,7.388743e-05,8.094484e-05,8.795473e-05,9.205489e-05,1.035416e-04,1.040376e-04,1.168893e-04,1.206422e-04,1.305997e-04,1.392317e-04,1.451528e-04,1.592669e-04,1.605264e-04,1.766930e-04,1.806874e-04,1.936200e-04,2.034175e-04,2.112701e-04,2.273677e-04,2.296021e-04,2.485709e-04,2.524369e-04,2.681283e-04,2.785141e-04,2.882238e-04,3.054812e-04,3.088046e-04,3.298165e-04,3.332148e-04,3.512044e-04,3.615878e-04,3.729127e-04,3.904724e-04,3.948855e-04,4.170675e-04,4.197408e-04,4.394042e-04,4.492675e-04,4.618420e-04,4.789303e-04,4.843290e-04,5.068147e-04,5.086121e-04,5.292509e-04,5.382011e-04,5.515913e-04,5.675924e-04,5.737921e-04,5.958116e-04,5.966881e-04,6.176111e-04,6.253980e-04,6.391543e-04,6.536399e-04,6.604074e-04,6.813397e-04,7.019226e-04,7.084312e-04,7.221308e-04,7.348565e-04,7.419410e-04,7.605653e-04,7.613327e-04,7.802879e-04,7.855149e-04,7.987908e-04,8.096697e-04,8.168279e-04,8.330010e-04,8.343880e-04,8.514619e-04,8.554864e-04,8.680423e-04,8.771096e-04,8.841236e-04,8.978594e-04,8.997022e-04,9.147760e-04,9.177301e-04,9.293443e-04,9.367202e-04,9.434077e-04,9.548323e-04,9.569684e-04,9.700293e-04,9.720729e-04,9.825946e-04,9.884515e-04,9.946696e-04,1.003980e-03,1.006260e-03,1.017373e-03,1.018675e-03,1.028015e-03,1.032551e-03,1.038195e-03,1.045628e-03,1.047921e-03,1.057203e-03,1.057926e-03,1.066048e-03,1.069467e-03,1.074468e-03,1.080272e-03,1.082471e-03,1.090069e-03,1.090364e-03,1.097270e-03,1.099768e-03,1.104086e-03,1.108506e-03,1.110527e-03,1.116604e-03,1.124084e-03,1.130971e-03,1.137289e-03,1.143060e-03,1.148308e-03,1.153056e-03,1.157325e-03,1.161137e-03,1.164512e-03,1.167472e-03,1.170036e-03,1.172223e-03,1.174051e-03,1.175538e-03,1.176701e-03,1.177557e-03,1.178122e-03,1.178409e-03,1.178435e-03,1.178213e-03,1.177757e-03,1.177079e-03,1.176191e-03,1.175106e-03
0.000000e+00,1.969075e-10,8.258388e-10,5.580393e-09,1.745409e-08,2.863541e-08,7.963797e-08,8.254670e-08,1.800327e-07,2.168809e-07,3.340098e-07,4.591530e-07,5.581047e-07,8.380664e-07,8.660815e-07,1.268487e-06,1.379551e-06,1.767159e-06,2.085796e-06,2.354285e-06,2.934676e-06,3.017972e-06,3.746930e-06,3.899674e-06,4.531402e-06,4.958320e-06,5.362571e-06,6.090662e-06,6.231998e-06,7.131397e-06,7.277535e-06,8.052627e-06,8.500245e-06,8.987814e-06,9.740988e-06,9.929507e-06,1.087081e-05,1.098344e-05,1.180551e-05,1.221324e-05,1.272811e-05,1.341826e-05,1.363389e-05,1.451889e-05,1.458869e-05,1.537987e-05,1.571694e-05,1.621426e-05,1.679744e-05,1.702011e-05,1.779601e-05,1.782641e-05,1.854103e-05,1.880155e-05,1.925461e-05,1.972178e-05,1.993657e-05,2.058698e-05,2.120616e-05,2.139778e-05,2.179460e-05,2.215535e-05,2.235293e-05,2.286131e-05,2.288192e-05,2.338239e-05,2.351754e-05,2.385525e-05,2.412609e-05,2.430142e-05,2.468917e-05,2.472189e-05,2.511761e-05,2.520901e-05,2.548957e-05,2.568786e-05,2.583876e-05,2.612795e-05,2.616612e-05,2.647261e-05,2.653148e-05,2.675915e-05,2.690056e-05,2.702664e-05,2.723725e-05,2.727595e-05,2.750794e-05,2.754350e-05,2.772342e-05,2.782121e-05,2.792317e-05,2.807217e-05,2.810797e-05,2.827855e-05,2.829810e-05,2.843560e-05,2.850059e-05,2.857980e-05,2.868121e-05,2.871181e-05,2.883224e-05,2.884139e-05,2.894168e-05,2.898251e-05,2.904071e-05,2.910587e-05,2.912987e-05,2.920967e-05,2.921268e-05,2.928062e-05,2.930409e-05,2.934319e-05,2.938118e-05,2.939783e-05,2.944498e-05,2.948504e-05,2.949643e-05,2.951842e-05,2.953644e-05,2.954548e-05,2.956585e-05,2.956658e-05,2.958206e-05,2.958544e-05,2.959225e-05,2.959596e-05,2.959746e-05,2.959810e-05,2.959798e-05,2.959408e-05,2.959252e-05,2.958604e-05,2.957982e-05,2.957411e-05,2.956058e-05,2.955853e-05,2.953952e-05,2.953533e-05,2.951732e-05,2.950457e-05,2.949212e-05,2.946877e-05,2.946411e-05,2.943350e-05,2.942837e-05,2.940045e-05,2.938378e-05,2.936514e-05,2.933537e-05,2.932772e-05,2.928835e-05,2.928350e-05,2.924717e-05,2.922851e-05,2.920432e-05,2.917071e-05,2.915992e-05,2.911411e-05,2.911039e-05,2.906700e-05,2.904782e-05,2.901870e-05,2.898325e-05,2.896932e-05,2.891895e-05,2.891691e-05,2.886769e-05,2.884903e-05,2.881562e-05,2.877981e-05,2.876285e-05,2.870943e-05,2.863808e-05,2.856591e-05,2.849308e-05,2.841973e-05,2.834599e-05,2.827197e-05,2.819780e-05,2.812358e-05,2.804939e-05,2.797534e-05,2.790149e-05,2.782793e-05,2.775472e-05,2.768193e-05,2.760961e-05,2.753782e-05,2.746660e-05,2.739599e-05,2.732605e-05,2.725680e-05,2.718827e-05,2.712051e-05,2.705352e-05,2.698733e-05
0.000000e+00,1.276059e-15,1.136491e-14,2.935364e-13,2.527483e-12,6.764737e-12,5.634392e-11,6.080497e-11,3.263937e-10,4.902129e-10,1.264982e-09,2.548867e-09,3.916887e-09,9.575832e-09,1.029355e-08,2.387200e-08,2.876411e-08,5.017234e-08,7.338359e-08,9.739053e-08,1.653051e-07,1.770493e-07,3.046189e-07,3.375541e-07,5.000497e-07,6.365279e-07,7.881493e-07,1.123446e-06,1.198750e-06,1.766623e-06,1.874648e-06,2.531131e-06,2.980534e-06,3.535613e-06,4.543135e-06,4.826549e-06,6.452540e-06,6.672526e-06,8.463152e-06,9.482415e-06,1.090769e-05,1.308526e-05,1.383396e-05,1.728704e-05,1.758731e-05,2.130814e-05,2.308396e-05,2.593362e-05,2.965560e-05,3.119405e-05,3.711354e-05,3.736429e-05,4.370919e-05,4.625125e-05,5.099074e-05,5.633541e-05,5.896040e-05,6.761285e-05,7.693539e-05,8.005709e-05,8.690827e-05,9.362028e-05,9.750509e-05,1.082349e-04,1.086934e-04,1.204351e-04,1.238163e-04,1.326876e-04,1.402648e-04,1.454038e-04,1.574693e-04,1.585337e-04,1.720244e-04,1.753098e-04,1.858212e-04,1.936604e-04,1.998684e-04,2.123923e-04,2.141096e-04,2.284887e-04,2.313761e-04,2.429502e-04,2.504848e-04,2.574402e-04,2.695952e-04,2.719060e-04,2.862974e-04,2.885899e-04,3.005666e-04,3.073590e-04,3.146683e-04,3.258007e-04,3.285604e-04,3.422039e-04,3.438227e-04,3.555629e-04,3.613423e-04,3.686049e-04,3.782867e-04,3.813007e-04,3.936244e-04,3.945935e-04,4.055533e-04,4.102099e-04,4.170681e-04,4.250931e-04,4.281525e-04,4.387929e-04,4.392091e-04,4.489789e-04,4.525330e-04,4.587026e-04,4.650479e-04,4.679587e-04,4.767441e-04,4.850581e-04,4.876191e-04,4.929017e-04,4.976761e-04,5.002780e-04,5.069240e-04,5.071917e-04,5.136489e-04,5.153760e-04,5.196570e-04,5.230499e-04,5.252247e-04,5.299664e-04,5.303617e-04,5.350787e-04,5.361495e-04,5.393868e-04,5.416253e-04,5.432982e-04,5.464219e-04,5.468253e-04,5.499809e-04,5.505686e-04,5.527783e-04,5.540959e-04,5.552310e-04,5.570348e-04,5.573526e-04,5.591566e-04,5.594167e-04,5.606568e-04,5.612729e-04,5.618665e-04,5.626344e-04,5.627994e-04,5.634688e-04,5.635320e-04,5.638875e-04,5.639957e-04,5.640686e-04,5.640549e-04,5.640245e-04,5.637675e-04,5.637381e-04,5.633096e-04,5.630728e-04,5.626624e-04,5.620856e-04,5.618373e-04,5.608451e-04,5.608021e-04,5.596963e-04,5.592464e-04,5.584012e-04,5.574420e-04,5.569695e-04,5.554107e-04,5.531735e-04,5.507502e-04,5.481595e-04,5.454188e-04,5.425448e-04,5.395528e-04,5.364574e-04,5.332719e-04,5.300091e-04,5.266806e-04,5.232973e-04,5.198693e-04,5.164058e-04,5.129154e-04,5.094062e-04,5.058853e-04,5.023594e-04,4.988347e-04,4.953167e-04,4.918105e-04,4.883208e-04,4.848518e-04,4.814072e-04,4.779904e-04
0.000000e+00,5.437130e-16,4.748203e-15,1.177048e-13,9.759380e-13,2.558274e-12,2.019438e-11,2.174597e-11,1.107697e-10,1.640589e-10,4.090623e-10,8.024569e-10,1.212480e-09,2.859209e-09,3.064417e-09,6.861445e-09,8.201567e-09,1.395497e-08,2.004359e-08,2.621880e-08,4.318403e-08,4.605538e-08,7.633056e-08,8.391588e-08,1.202460e-07,1.495892e-07,1.811694e-07,2.479419e-07,2.624472e-07,3.672200e-07,3.863555e-07,4.982576e-07,5.711719e-07,6.578241e-07,8.071546e-07,8.475778e-07,1.068507e-06,1.097135e-06,1.320904e-06,1.441848e-06,1.604364e-06,1.839933e-06,1.917817e-06,2.259587e-06,2.288089e-06,2.627454e-06,2.781323e-06,3.018747e-06,3.313288e-06,3.430427e-06,3.859191e-06,3.876648e-06,4.301561e-06,4.463460e-06,4.753977e-06,5.065542e-06,5.212883e-06,5.674802e-06,6.136401e-06,6.283527e-06,6.594548e-06,6.884606e-06,7.046355e-06,7.471698e-06,7.489210e-06,7.920799e-06,8.039344e-06,8.339117e-06,8.583022e-06,8.742474e-06,9.099156e-06,9.129488e-06,9.499073e-06,9.585085e-06,9.850424e-06,1.003900e-05,1.018299e-05,1.045987e-05,1.049648e-05,1.079079e-05,1.084735e-05,1.106601e-05,1.120166e-05,1.132241e-05,1.152352e-05,1.156037e-05,1.178042e-05,1.181400e-05,1.198315e-05,1.207450e-05,1.216923e-05,1.230660e-05,1.233940e-05,1.249441e-05,1.251203e-05,1.263505e-05,1.269259e-05,1.276212e-05,1.285010e-05,1.287640e-05,1.297869e-05,1.298638e-05,1.306975e-05,1.310320e-05,1.315032e-05,1.320224e-05,1.322112e-05,1.328283e-05,1.328511e-05,1.333610e-05,1.335333e-05,1.338155e-05,1.340829e-05,1.341977e-05,1.345130e-05,1.347666e-05,1.348355e-05,1.349632e-05,1.350612e-05,1.351073e-05,1.352001e-05,1.352031e-05,1.352543e-05,1.352612e-05,1.352647e-05,1.352526e-05,1.352373e-05,1.351816e-05,1.351754e-05,1.350817e-05,1.350548e-05,1.349588e-05,1.348781e-05,1.348091e-05,1.346569e-05,1.346348e-05,1.344379e-05,1.343960e-05,1.342203e-05,1.340996e-05,1.339838e-05,1.337716e-05,1.337299e-05,1.334600e-05,1.334155e-05,1.331757e-05,1.330344e-05,1.328781e-05,1.326312e-05,1.325683e-05,1.322475e-05,1.322084e-05,1.319167e-05,1.317682e-05,1.315767e-05,1.313128e-05,1.312285e-05,1.308727e-05,1.308440e-05,1.305102e-05,1.303635e-05,1.301417e-05,1.298729e-05,1.297677e-05,1.293888e-05,1.293736e-05,1.290057e-05,1.288668e-05,1.286188e-05,1.283538e-05,1.282287e-05,1.278357e-05,1.273133e-05,1.267876e-05,1.262594e-05,1.257295e-05,1.251985e-05,1.246671e-05,1.241359e-05,1.236054e-05,1.230761e-05,1.225484e-05,1.220228e-05,1.214996e-05,1.209792e-05,1.204619e-05,1.199479e-05,1.194376e-05,1.189313e-05,1.184290e-05,1.179310e-05,1.174375e-05,1.169487e-05,1.164646e-05,1.159855e-05,1.155115e-05
0.000000e+00,2.031111e-09,4.785344e-09,1.695239e-08,3.914558e-08,5.748665e-08,1.326271e-07,1.367191e-07,2.697650e-07,3.190969e-07,4.752234e-07,6.423428e-07,7.750574e-07,1.152235e-06,1.189995e-06,1.728958e-06,1.875980e-06,2.381620e-06,2.788401e-06,3.125197e-06,3.836205e-06,3.936478e-06,4.797139e-06,4.973932e-06,5.693539e-06,6.170213e-06,6.615157e-06,7.402439e-06,7.553342e-06,8.500593e-06,8.652536e-06,9.450200e-06,9.905047e-06,1.039611e-05,1.114650e-05,1.133289e-05,1.225572e-05,1.236532e-05,1.316043e-05,1.355182e-05,1.404348e-05,1.469831e-05,1.490197e-05,1.573358e-05,1.579889e-05,1.653653e-05,1.684940e-05,1.730959e-05,1.784718e-05,1.805188e-05,1.876288e-05,1.879067e-05,1.944246e-05,1.967942e-05,2.009071e-05,2.051378e-05,2.070796e-05,2.129474e-05,2.185170e-05,2.202374e-05,2.237956e-05,2.270252e-05,2.287918e-05,2.333305e-05,2.335143e-05,2.379726e-05,2.391748e-05,2.421761e-05,2.445799e-05,2.461345e-05,2.495680e-05,2.498574e-05,2.533545e-05,2.541612e-05,2.566352e-05,2.583813e-05,2.597087e-05,2.622492e-05,2.625841e-05,2.652702e-05,2.657854e-05,2.677755e-05,2.690096e-05,2.701083e-05,2.719404e-05,2.722766e-05,2.742881e-05,2.745958e-05,2.761501e-05,2.769929e-05,2.778698e-05,2.791477e-05,2.794540e-05,2.809092e-05,2.810755e-05,2.822418e-05,2.827908e-05,2.834577e-05,2.843073e-05,2.845627e-05,2.855623e-05,2.856378e-05,2.864617e-05,2.867945e-05,2.872660e-05,2.877889e-05,2.879800e-05,2.886082e-05,2.886316e-05,2.891551e-05,2.893329e-05,2.896248e-05,2.899022e-05,2.900213e-05,2.903484e-05,2.906098e-05,2.906801e-05,2.908089e-05,2.909051e-05,2.909489e-05,2.910308e-05,2.910331e-05,2.910645e-05,2.910642e-05,2.910458e-05,2.910118e-05,2.909799e-05,2.908797e-05,2.908693e-05,2.907165e-05,2.906738e-05,2.905238e-05,2.903993e-05,2.902935e-05,2.900614e-05,2.900277e-05,2.897285e-05,2.896648e-05,2.893978e-05,2.892140e-05,2.890374e-05,2.887131e-05,2.886492e-05,2.882347e-05,2.881661e-05,2.877956e-05,2.875766e-05,2.873334e-05,2.869480e-05,2.868496e-05,2.863455e-05,2.862837e-05,2.858224e-05,2.855866e-05,2.852816e-05,2.848595e-05,2.847243e-05,2.841516e-05,2.841052e-05,2.835646e-05,2.833260e-05,2.829643e-05,2.825244e-05,2.823517e-05,2.817277e-05,2.817026e-05,2.810933e-05,2.808625e-05,2.804491e-05,2.800060e-05,2.797962e-05,2.791351e-05,2.782513e-05,2.773563e-05,2.764514e-05,2.755382e-05,2.746178e-05,2.736916e-05,2.727605e-05,2.718257e-05,2.708882e-05,2.699488e-05,2.690085e-05,2.680680e-05,2.671281e-05,2.661895e-05,2.652527e-05,2.643186e-05,2.633875e-05,2.624600e-05,2.615366e-05,2.606178e-05,2.597039e-05,2.587953e-05,2.578925e-05,2.569957e-05
0.000000e+00,7.677431e-15,6.419167e-14,1.453898e-12,1.109255e-11,2.776717e-11,1.942378e-10,2.081238e-10,9.374227e-10,1.341941e-09,3.067720e-09,5.601672e-09,8.071499e-09,1.708290e-08,1.813905e-08,3.620191e-08,4.211663e-08,6.589417e-08,8.916464e-08,1.114686e-07,1.684750e-07,1.776752e-07,2.695920e-07,2.915172e-07,3.923870e-07,4.701031e-07,5.510016e-07,7.151258e-07,7.497840e-07,9.921379e-07,1.035123e-06,1.280252e-06,1.435099e-06,1.614963e-06,1.915973e-06,1.995748e-06,2.420838e-06,2.474701e-06,2.887398e-06,3.104899e-06,3.391750e-06,3.797704e-06,3.929595e-06,4.496229e-06,4.542656e-06,5.086722e-06,5.328481e-06,5.696080e-06,6.143723e-06,6.319367e-06,6.951804e-06,6.977227e-06,7.588852e-06,7.818491e-06,8.226269e-06,8.657916e-06,8.860150e-06,9.486957e-06,1.010354e-05,1.029822e-05,1.070713e-05,1.108549e-05,1.129535e-05,1.184371e-05,1.186619e-05,1.241800e-05,1.256892e-05,1.294948e-05,1.325818e-05,1.345962e-05,1.390948e-05,1.394770e-05,1.441325e-05,1.452160e-05,1.485604e-05,1.509404e-05,1.527602e-05,1.562683e-05,1.567331e-05,1.604819e-05,1.612051e-05,1.640104e-05,1.657598e-05,1.673235e-05,1.699442e-05,1.704269e-05,1.733268e-05,1.737724e-05,1.760300e-05,1.772597e-05,1.785435e-05,1.804227e-05,1.808747e-05,1.830309e-05,1.832782e-05,1.850195e-05,1.858434e-05,1.868481e-05,1.881353e-05,1.885239e-05,1.900542e-05,1.901706e-05,1.914460e-05,1.919655e-05,1.927062e-05,1.935358e-05,1.938415e-05,1.948582e-05,1.948965e-05,1.957628e-05,1.960621e-05,1.965610e-05,1.970461e-05,1.972588e-05,1.978615e-05,1.983745e-05,1.985206e-05,1.988029e-05,1.990348e-05,1.991513e-05,1.994150e-05,1.994245e-05,1.996268e-05,1.996713e-05,1.997624e-05,1.998133e-05,1.998351e-05,1.998499e-05,1.998489e-05,1.998073e-05,1.997895e-05,1.997137e-05,1.996398e-05,1.995714e-05,1.994082e-05,1.993833e-05,1.991525e-05,1.991014e-05,1.988816e-05,1.987258e-05,1.985734e-05,1.982873e-05,1.982302e-05,1.978545e-05,1.977915e-05,1.974484e-05,1.972433e-05,1.970141e-05,1.966477e-05,1.965536e-05,1.960688e-05,1.960090e-05,1.955614e-05,1.953315e-05,1.950332e-05,1.946188e-05,1.944858e-05,1.939206e-05,1.938747e-05,1.933392e-05,1.931024e-05,1.927429e-05,1.923050e-05,1.921329e-05,1.915105e-05,1.914854e-05,1.908768e-05,1.906461e-05,1.902329e-05,1.897898e-05,1.895799e-05,1.889186e-05,1.880347e-05,1.871401e-05,1.862364e-05,1.853256e-05,1.844089e-05,1.834880e-05,1.825642e-05,1.816386e-05,1.807124e-05,1.797866e-05,1.788621e-05,1.779400e-05,1.770209e-05,1.761056e-05,1.751947e-05,1.742890e-05,1.733889e-05,1.724950e-05,1.716077e-05,1.707275e-05,1.698547e-05,1.689898e-05,1.681329e-05,1.672844e-05
0.000000e+00,3.233676e-13,2.474036e-12,4.669993e-11,3.028103e-10,6.943431e-10,3.894641e-09,4.136527e-09,1.510868e-08,2.046640e-08,4.086542e-08,6.713710e-08,9.046713e-08,1.657419e-07,1.739029e-07,3.013801e-07,3.396440e-07,4.828534e-07,6.115932e-07,7.277044e-07,1.002356e-06,1.044403e-06,1.439985e-06,1.529042e-06,1.919308e-06,2.202420e-06,2.484292e-06,3.024117e-06,3.133491e-06,3.862235e-06,3.985758e-06,4.663248e-06,5.070803e-06,5.527525e-06,6.257850e-06,6.445155e-06,7.405948e-06,7.523663e-06,8.399866e-06,8.845184e-06,9.417282e-06,1.020063e-05,1.044912e-05,1.148697e-05,1.157002e-05,1.252308e-05,1.293546e-05,1.355049e-05,1.428131e-05,1.456297e-05,1.555508e-05,1.559427e-05,1.652216e-05,1.686341e-05,1.746033e-05,1.808013e-05,1.836642e-05,1.923795e-05,2.007308e-05,2.033242e-05,2.087054e-05,2.136077e-05,2.162956e-05,2.232175e-05,2.234982e-05,2.303138e-05,2.321533e-05,2.367463e-05,2.404246e-05,2.428023e-05,2.480487e-05,2.484905e-05,2.538213e-05,2.550488e-05,2.588066e-05,2.614521e-05,2.634591e-05,2.672886e-05,2.677922e-05,2.718198e-05,2.725899e-05,2.755560e-05,2.773883e-05,2.790148e-05,2.817162e-05,2.822104e-05,2.851563e-05,2.856054e-05,2.878662e-05,2.890869e-05,2.903530e-05,2.921902e-05,2.926293e-05,2.947072e-05,2.949438e-05,2.965986e-05,2.973745e-05,2.983144e-05,2.995076e-05,2.998653e-05,3.012614e-05,3.013667e-05,3.025124e-05,3.029741e-05,3.036272e-05,3.043505e-05,3.046147e-05,3.054828e-05,3.055152e-05,3.062394e-05,3.064859e-05,3.068918e-05,3.072793e-05,3.074467e-05,3.079107e-05,3.082898e-05,3.083942e-05,3.085899e-05,3.087430e-05,3.088163e-05,3.089691e-05,3.089741e-05,3.090681e-05,3.090836e-05,3.091027e-05,3.090968e-05,3.090823e-05,3.090182e-05,3.090107e-05,3.088917e-05,3.088565e-05,3.087288e-05,3.086196e-05,3.085253e-05,3.083150e-05,3.082842e-05,3.080085e-05,3.079494e-05,3.077009e-05,3.075292e-05,3.073639e-05,3.070599e-05,3.069999e-05,3.066112e-05,3.065468e-05,3.061998e-05,3.059949e-05,3.057678e-05,3.054086e-05,3.053170e-05,3.048491e-05,3.047919e-05,3.043658e-05,3.041486e-05,3.038685e-05,3.034821e-05,3.033587e-05,3.028378e-05,3.027957e-05,3.023070e-05,3.020921e-05,3.017674e-05,3.013741e-05,3.012202e-05,3.006664e-05,3.006441e-05,3.001069e-05,2.999043e-05,2.995426e-05,2.991567e-05,2.989745e-05,2.984032e-05,2.976455e-05,2.968852e-05,2.961237e-05,2.953623e-05,2.946022e-05,2.938444e-05,2.930898e-05,2.923395e-05,2.915941e-05,2.908544e-05,2.901211e-05,2.893946e-05,2.886756e-05,2.879645e-05,2.872617e-05,2.865676e-05,2.858824e-05,2.852066e-05,2.845402e-05,2.838835e-05,2.832368e-05,2.826000e-05,2.819734e-05,2.813571e-05
0.000000e+00,1.707182e-15,1.525955e-14,3.973183e-13,3.449684e-12,9.280242e-12,7.850291e-11,8.477893e-11,4.642510e-10,7.017163e-10,1.843825e-09,3.778983e-09,5.879112e-09,1.482278e-08,1.597869e-08,3.842466e-08,4.670978e-08,8.376073e-08,1.249458e-07,1.682921e-07,2.935607e-07,3.155076e-07,5.572608e-07,6.204001e-07,9.345982e-07,1.200827e-06,1.498174e-06,2.159309e-06,2.308240e-06,3.434210e-06,3.648769e-06,4.953848e-06,5.847816e-06,6.952120e-06,8.956176e-06,9.519762e-06,1.275163e-05,1.318869e-05,1.674489e-05,1.876831e-05,2.159711e-05,2.591847e-05,2.740433e-05,3.425911e-05,3.485541e-05,4.224873e-05,4.578057e-05,5.145339e-05,5.887369e-05,6.194472e-05,7.378438e-05,7.428677e-05,8.702291e-05,9.213902e-05,1.016988e-04,1.125132e-04,1.178379e-04,1.354530e-04,1.545437e-04,1.609624e-04,1.750962e-04,1.890053e-04,1.970842e-04,2.195072e-04,2.204688e-04,2.451997e-04,2.523575e-04,2.712156e-04,2.874126e-04,2.984453e-04,3.245001e-04,3.268089e-04,3.562190e-04,3.634227e-04,3.865813e-04,4.039633e-04,4.177966e-04,4.458894e-04,4.497613e-04,4.823690e-04,4.889582e-04,5.155114e-04,5.329207e-04,5.490797e-04,5.775265e-04,5.829650e-04,6.170599e-04,6.225275e-04,6.512590e-04,6.676813e-04,6.854597e-04,7.127546e-04,7.195628e-04,7.534735e-04,7.575255e-04,7.871014e-04,8.017858e-04,8.203610e-04,8.453426e-04,8.531724e-04,8.854612e-04,8.880196e-04,9.171586e-04,9.296577e-04,9.482018e-04,9.701157e-04,9.785340e-04,1.008104e-03,1.009270e-03,1.036867e-03,1.047016e-03,1.064783e-03,1.083265e-03,1.091819e-03,1.117945e-03,1.143139e-03,1.151001e-03,1.167381e-03,1.182391e-03,1.190659e-03,1.212089e-03,1.212962e-03,1.234285e-03,1.240080e-03,1.254627e-03,1.266362e-03,1.273990e-03,1.290943e-03,1.292378e-03,1.309801e-03,1.313840e-03,1.326269e-03,1.335080e-03,1.341796e-03,1.354694e-03,1.356398e-03,1.370092e-03,1.372723e-03,1.382897e-03,1.389211e-03,1.394834e-03,1.404206e-03,1.405925e-03,1.416193e-03,1.417761e-03,1.425663e-03,1.429932e-03,1.434358e-03,1.440774e-03,1.442304e-03,1.449527e-03,1.450346e-03,1.456052e-03,1.458709e-03,1.461905e-03,1.465920e-03,1.467113e-03,1.471701e-03,1.472042e-03,1.475694e-03,1.477131e-03,1.479119e-03,1.481247e-03,1.482000e-03,1.484362e-03,1.484447e-03,1.486230e-03,1.486786e-03,1.487627e-03,1.488320e-03,1.488576e-03,1.489100e-03,1.489178e-03,1.488602e-03,1.487420e-03,1.485677e-03,1.483415e-03,1.480676e-03,1.477498e-03,1.473918e-03,1.469971e-03,1.465690e-03,1.461106e-03,1.456249e-03,1.451146e-03,1.445822e-03,1.440303e-03,1.434610e-03,1.428765e-03,1.422788e-03,1.416697e-03,1.410510e-03,1.404241e-03,1.397907e-03,1.391520e-03,1.385093e-03
0.000000e+00,5.325519e-14,4.437530e-13,9.974374e-12,7.560478e-11,1.886376e-10,1.310475e-09,1.403849e-09,6.301365e-09,9.019022e-09,2.064662e-08,3.782706e-08,5.469032e-08,1.170650e-07,1.244523e-07,2.527616e-07,2.954475e-07,4.694607e-07,6.424533e-07,8.098658e-07,1.241333e-06,1.311174e-06,2.007728e-06,2.173019e-06,2.926637e-06,3.498444e-06,4.084950e-06,5.247671e-06,5.488701e-06,7.133566e-06,7.418352e-06,9.006509e-06,9.980959e-06,1.108787e-05,1.288686e-05,1.335344e-05,1.577625e-05,1.607622e-05,1.832806e-05,1.948438e-05,2.098045e-05,2.304645e-05,2.370572e-05,2.647742e-05,2.670041e-05,2.927082e-05,3.038909e-05,3.206318e-05,3.406144e-05,3.483400e-05,3.756507e-05,3.767325e-05,4.024054e-05,4.118743e-05,4.284691e-05,4.457395e-05,4.537295e-05,4.780959e-05,5.014980e-05,5.087740e-05,5.238836e-05,5.376599e-05,5.452173e-05,5.646885e-05,5.654783e-05,5.846585e-05,5.898355e-05,6.027609e-05,6.131095e-05,6.197971e-05,6.345454e-05,6.357866e-05,6.507546e-05,6.541981e-05,6.647309e-05,6.721369e-05,6.777490e-05,6.884408e-05,6.898448e-05,7.010558e-05,7.031952e-05,7.114204e-05,7.164885e-05,7.209776e-05,7.284101e-05,7.297662e-05,7.378244e-05,7.390485e-05,7.451900e-05,7.484902e-05,7.518994e-05,7.568184e-05,7.579882e-05,7.634907e-05,7.641131e-05,7.684396e-05,7.704500e-05,7.728666e-05,7.759007e-05,7.768018e-05,7.802740e-05,7.805326e-05,7.833105e-05,7.844090e-05,7.859374e-05,7.875891e-05,7.881794e-05,7.900600e-05,7.901280e-05,7.916012e-05,7.920771e-05,7.928242e-05,7.934842e-05,7.937488e-05,7.943936e-05,7.947767e-05,7.948467e-05,7.949146e-05,7.948816e-05,7.948233e-05,7.945339e-05,7.945177e-05,7.940120e-05,7.938363e-05,7.933194e-05,7.928194e-05,7.924525e-05,7.915112e-05,7.914231e-05,7.902424e-05,7.899377e-05,7.889210e-05,7.881232e-05,7.874686e-05,7.860897e-05,7.858947e-05,7.842081e-05,7.838580e-05,7.824171e-05,7.814471e-05,7.805295e-05,7.788747e-05,7.785527e-05,7.764936e-05,7.761569e-05,7.743588e-05,7.733090e-05,7.721544e-05,7.703447e-05,7.698862e-05,7.675597e-05,7.672769e-05,7.651801e-05,7.641174e-05,7.627521e-05,7.608774e-05,7.602804e-05,7.577692e-05,7.575667e-05,7.552226e-05,7.541949e-05,7.526444e-05,7.507706e-05,7.500382e-05,7.474073e-05,7.473016e-05,7.447549e-05,7.437954e-05,7.420840e-05,7.402587e-05,7.393974e-05,7.366977e-05,7.331182e-05,7.295256e-05,7.259246e-05,7.223198e-05,7.187153e-05,7.151149e-05,7.115220e-05,7.079399e-05,7.043715e-05,7.008194e-05,6.972861e-05,6.937738e-05,6.902846e-05,6.868203e-05,6.833825e-05,6.799729e-05,6.765927e-05,6.732431e-05,6.699254e-05,6.666405e-05,6.633892e-05,6.601723e-05,6.569906e-05,6.538445e-05
0.000000e+00,5.668788e-09,1.306234e-08,4.540959e-08,1.044179e-07,1.533880e-07,3.559905e-07,3.671064e-07,7.320866e-07,8.687412e-07,1.303238e-06,1.767116e-06,2.131346e-06,3.136158e-06,3.234193e-06,4.593291e-06,4.954410e-06,6.180668e-06,7.160611e-06,7.973649e-06,9.707518e-06,9.954641e-06,1.210796e-05,1.255792e-05,1.441777e-05,1.567518e-05,1.686725e-05,1.901971e-05,1.943854e-05,2.211304e-05,2.254928e-05,2.487194e-05,2.622074e-05,2.769675e-05,2.999207e-05,3.056969e-05,3.347416e-05,3.382407e-05,3.639490e-05,3.768158e-05,3.931818e-05,4.153404e-05,4.223186e-05,4.512531e-05,4.535563e-05,4.798941e-05,4.912505e-05,5.081641e-05,5.282520e-05,5.359986e-05,5.633448e-05,5.644279e-05,5.901593e-05,5.996750e-05,6.164056e-05,6.339145e-05,6.420567e-05,6.670911e-05,6.914930e-05,6.991661e-05,7.152512e-05,7.301150e-05,7.383582e-05,7.599243e-05,7.608097e-05,7.826044e-05,7.885893e-05,8.037433e-05,8.161129e-05,8.242291e-05,8.425031e-05,8.440663e-05,8.632607e-05,8.677724e-05,8.818191e-05,8.919371e-05,8.997497e-05,9.150159e-05,9.170609e-05,9.337621e-05,9.370300e-05,9.498633e-05,9.580022e-05,9.653747e-05,9.779564e-05,9.803071e-05,9.946715e-05,9.969179e-05,1.008479e-04,1.014912e-04,1.021741e-04,1.031966e-04,1.034470e-04,1.046676e-04,1.048107e-04,1.058372e-04,1.063360e-04,1.069570e-04,1.077753e-04,1.080280e-04,1.090515e-04,1.091314e-04,1.100287e-04,1.104068e-04,1.109607e-04,1.116043e-04,1.118486e-04,1.126936e-04,1.127265e-04,1.134968e-04,1.137760e-04,1.142594e-04,1.147553e-04,1.149824e-04,1.156670e-04,1.163142e-04,1.165135e-04,1.169250e-04,1.172973e-04,1.175005e-04,1.180208e-04,1.180418e-04,1.185498e-04,1.186862e-04,1.190255e-04,1.192958e-04,1.194699e-04,1.198519e-04,1.198839e-04,1.202685e-04,1.203566e-04,1.206246e-04,1.208119e-04,1.209531e-04,1.212201e-04,1.212549e-04,1.215308e-04,1.215830e-04,1.217817e-04,1.219025e-04,1.220083e-04,1.221806e-04,1.222116e-04,1.223922e-04,1.224190e-04,1.225510e-04,1.226196e-04,1.226886e-04,1.227840e-04,1.228059e-04,1.229035e-04,1.229140e-04,1.229822e-04,1.230110e-04,1.230426e-04,1.230766e-04,1.230853e-04,1.231111e-04,1.231124e-04,1.231205e-04,1.231198e-04,1.231142e-04,1.231002e-04,1.230927e-04,1.230566e-04,1.230549e-04,1.230066e-04,1.229853e-04,1.229431e-04,1.228925e-04,1.228667e-04,1.227779e-04,1.226426e-04,1.224877e-04,1.223142e-04,1.221233e-04,1.219159e-04,1.216931e-04,1.214556e-04,1.212045e-04,1.209405e-04,1.206646e-04,1.203774e-04,1.200798e-04,1.197724e-04,1.194560e-04,1.191312e-04,1.187987e-04,1.184591e-04,1.181129e-04,1.177608e-04,1.174032e-04,1.170407e-04,1.166738e-04,1.163028e-04,1.159284e-04
0.000000e+00,2.612125e-09,6.061637e-09,2.118851e-08,4.872463e-08,7.148803e-08,1.648543e-07,1.699426e-07,3.354757e-07,3.968651e-07,5.909829e-07,7.980178e-07,9.614157e-07,1.418467e-06,1.463561e-06,2.095784e-06,2.265453e-06,2.844882e-06,3.310459e-06,3.697930e-06,4.527026e-06,4.645468e-06,5.680207e-06,5.897037e-06,6.795523e-06,7.405079e-06,7.984564e-06,9.034904e-06,9.239882e-06,1.055337e-05,1.076835e-05,1.191635e-05,1.258552e-05,1.331980e-05,1.446554e-05,1.475456e-05,1.621157e-05,1.638748e-05,1.768207e-05,1.833121e-05,1.915778e-05,2.027807e-05,2.063104e-05,2.209484e-05,2.221134e-05,2.354296e-05,2.411657e-05,2.496993e-05,2.598157e-05,2.637103e-05,2.774227e-05,2.779645e-05,2.908036e-05,2.955342e-05,3.038262e-05,3.124659e-05,3.164694e-05,3.287173e-05,3.405585e-05,3.442605e-05,3.519855e-05,3.590794e-05,3.629941e-05,3.731675e-05,3.735830e-05,3.837533e-05,3.865264e-05,3.935082e-05,3.991637e-05,4.028525e-05,4.110920e-05,4.117924e-05,4.203353e-05,4.223274e-05,4.284893e-05,4.328889e-05,4.362632e-05,4.427974e-05,4.436666e-05,4.507091e-05,4.520752e-05,4.574008e-05,4.607452e-05,4.637519e-05,4.688312e-05,4.697727e-05,4.754737e-05,4.763568e-05,4.808649e-05,4.833458e-05,4.859568e-05,4.898214e-05,4.907592e-05,4.952823e-05,4.958068e-05,4.995357e-05,5.013243e-05,5.035291e-05,5.063959e-05,5.072718e-05,5.107730e-05,5.110429e-05,5.140416e-05,5.152860e-05,5.170865e-05,5.191450e-05,5.199161e-05,5.225386e-05,5.226393e-05,5.249621e-05,5.257874e-05,5.271944e-05,5.286070e-05,5.292431e-05,5.311154e-05,5.328186e-05,5.333290e-05,5.343594e-05,5.352634e-05,5.357446e-05,5.369339e-05,5.369806e-05,5.380736e-05,5.383548e-05,5.390296e-05,5.395400e-05,5.398546e-05,5.405026e-05,5.405540e-05,5.411334e-05,5.412552e-05,5.415980e-05,5.418099e-05,5.419529e-05,5.421782e-05,5.422028e-05,5.423526e-05,5.423710e-05,5.424068e-05,5.423987e-05,5.423697e-05,5.422712e-05,5.422457e-05,5.420386e-05,5.419980e-05,5.417525e-05,5.415882e-05,5.413911e-05,5.410503e-05,5.409581e-05,5.404569e-05,5.403923e-05,5.398909e-05,5.396222e-05,5.392634e-05,5.387472e-05,5.385774e-05,5.378360e-05,5.377744e-05,5.370420e-05,5.367103e-05,5.361983e-05,5.355614e-05,5.353073e-05,5.343718e-05,5.343335e-05,5.333942e-05,5.330324e-05,5.323769e-05,5.316635e-05,5.313220e-05,5.302319e-05,5.287423e-05,5.271995e-05,5.256078e-05,5.239712e-05,5.222937e-05,5.205790e-05,5.188306e-05,5.170517e-05,5.152455e-05,5.134150e-05,5.115629e-05,5.096918e-05,5.078043e-05,5.059027e-05,5.039892e-05,5.020658e-05,5.001346e-05,4.981974e-05,4.962558e-05,4.943117e-05,4.923664e-05,4.904214e-05,4.884781e-05,4.865378e-05
0.000000e+00,1.468139e-09,3.379398e-09,1.172493e-08,2.690026e-08,3.945282e-08,9.104012e-08,9.385581e-08,1.856243e-07,2.197194e-07,3.276986e-07,4.432177e-07,5.347959e-07,7.938993e-07,8.197364e-07,1.186902e-06,1.286730e-06,1.630127e-06,1.907445e-06,2.138369e-06,2.631121e-06,2.701264e-06,3.310572e-06,3.437398e-06,3.959641e-06,4.310932e-06,4.642690e-06,5.238780e-06,5.354356e-06,6.089501e-06,6.208969e-06,6.843175e-06,7.210120e-06,7.610644e-06,8.231546e-06,8.387451e-06,9.169473e-06,9.263484e-06,9.952961e-06,1.029728e-05,1.073457e-05,1.132551e-05,1.151136e-05,1.228078e-05,1.234195e-05,1.304068e-05,1.334155e-05,1.378922e-05,1.432029e-05,1.452491e-05,1.524650e-05,1.527506e-05,1.595301e-05,1.620350e-05,1.664366e-05,1.710393e-05,1.731785e-05,1.797515e-05,1.861525e-05,1.881641e-05,1.923795e-05,1.962729e-05,1.984314e-05,2.040764e-05,2.043081e-05,2.100099e-05,2.115752e-05,2.155378e-05,2.187716e-05,2.208932e-05,2.256693e-05,2.260778e-05,2.310938e-05,2.322728e-05,2.359434e-05,2.385875e-05,2.406293e-05,2.446194e-05,2.451539e-05,2.495203e-05,2.503748e-05,2.537313e-05,2.558606e-05,2.577899e-05,2.610838e-05,2.616994e-05,2.654627e-05,2.660515e-05,2.690830e-05,2.707710e-05,2.725637e-05,2.752497e-05,2.759078e-05,2.791185e-05,2.794950e-05,2.821992e-05,2.835143e-05,2.851529e-05,2.873148e-05,2.879828e-05,2.906922e-05,2.909038e-05,2.932840e-05,2.942885e-05,2.957614e-05,2.974760e-05,2.981275e-05,3.003852e-05,3.004733e-05,3.025375e-05,3.032871e-05,3.045873e-05,3.059241e-05,3.065375e-05,3.083910e-05,3.101505e-05,3.106941e-05,3.118187e-05,3.128397e-05,3.133983e-05,3.148339e-05,3.148920e-05,3.163023e-05,3.166826e-05,3.176318e-05,3.183917e-05,3.188829e-05,3.199667e-05,3.200580e-05,3.211595e-05,3.214132e-05,3.221897e-05,3.227363e-05,3.231509e-05,3.239414e-05,3.240453e-05,3.248750e-05,3.250333e-05,3.256421e-05,3.260170e-05,3.263488e-05,3.268971e-05,3.269969e-05,3.275885e-05,3.276781e-05,3.281255e-05,3.283644e-05,3.286097e-05,3.289603e-05,3.290430e-05,3.294271e-05,3.294699e-05,3.297637e-05,3.298971e-05,3.300544e-05,3.302458e-05,3.303011e-05,3.305051e-05,3.305197e-05,3.306681e-05,3.307222e-05,3.307916e-05,3.308569e-05,3.308770e-05,3.309258e-05,3.309270e-05,3.309393e-05,3.309358e-05,3.309189e-05,3.308862e-05,3.308658e-05,3.307814e-05,3.306241e-05,3.304170e-05,3.301628e-05,3.298640e-05,3.295231e-05,3.291424e-05,3.287241e-05,3.282705e-05,3.277835e-05,3.272652e-05,3.267175e-05,3.261421e-05,3.255410e-05,3.249157e-05,3.242679e-05,3.235990e-05,3.229107e-05,3.222043e-05,3.214811e-05,3.207424e-05,3.199896e-05,3.192238e-05,3.184460e-05,3.176575e-05
0.000000e+00,1.925532e-13,1.541686e-12,3.189678e-11,2.241408e-10,5.364191e-10,3.345031e-09,3.567620e-09,1.437676e-08,1.998039e-08,4.246717e-08,7.325007e-08,1.018086e-07,1.995120e-07,2.105173e-07,3.904152e-07,4.469066e-07,6.665236e-07,8.732485e-07,1.065941e-06,1.540557e-06,1.615153e-06,2.335461e-06,2.501249e-06,3.237808e-06,3.778600e-06,4.319337e-06,5.354338e-06,5.563225e-06,6.941589e-06,7.172357e-06,8.420041e-06,9.154573e-06,9.962335e-06,1.121882e-05,1.153395e-05,1.310434e-05,1.329144e-05,1.464793e-05,1.531315e-05,1.614420e-05,1.723982e-05,1.757732e-05,1.893547e-05,1.904061e-05,2.021022e-05,2.069542e-05,2.139591e-05,2.219250e-05,2.248918e-05,2.348857e-05,2.352659e-05,2.439419e-05,2.469750e-05,2.520748e-05,2.570903e-05,2.593096e-05,2.656803e-05,2.712275e-05,2.728362e-05,2.759974e-05,2.786649e-05,2.800394e-05,2.832829e-05,2.834052e-05,2.861471e-05,2.868102e-05,2.883175e-05,2.893668e-05,2.899676e-05,2.910685e-05,2.911467e-05,2.919019e-05,2.920251e-05,2.922778e-05,2.923381e-05,2.923157e-05,2.921000e-05,2.920540e-05,2.915282e-05,2.913942e-05,2.907705e-05,2.902947e-05,2.898103e-05,2.888667e-05,2.886742e-05,2.873859e-05,2.871672e-05,2.859670e-05,2.852452e-05,2.844366e-05,2.831435e-05,2.828117e-05,2.811074e-05,2.808982e-05,2.793371e-05,2.785404e-05,2.775128e-05,2.760966e-05,2.756448e-05,2.737425e-05,2.735891e-05,2.718140e-05,2.710368e-05,2.698663e-05,2.684557e-05,2.679058e-05,2.659380e-05,2.658593e-05,2.639678e-05,2.632587e-05,2.619992e-05,2.606635e-05,2.600361e-05,2.580817e-05,2.561388e-05,2.555198e-05,2.542097e-05,2.529835e-05,2.522968e-05,2.504771e-05,2.504017e-05,2.485260e-05,2.480045e-05,2.466712e-05,2.455688e-05,2.448384e-05,2.431725e-05,2.430285e-05,2.412425e-05,2.408175e-05,2.394810e-05,2.385055e-05,2.377446e-05,2.362376e-05,2.360337e-05,2.343487e-05,2.340149e-05,2.326900e-05,2.318378e-05,2.310576e-05,2.297070e-05,2.294518e-05,2.278727e-05,2.276225e-05,2.263202e-05,2.255845e-05,2.247944e-05,2.235928e-05,2.232951e-05,2.218223e-05,2.216473e-05,2.203758e-05,2.197477e-05,2.189555e-05,2.178934e-05,2.175611e-05,2.161925e-05,2.160841e-05,2.148493e-05,2.143191e-05,2.135314e-05,2.125979e-05,2.122384e-05,2.109701e-05,2.109199e-05,2.097261e-05,2.092842e-05,2.085062e-05,2.076902e-05,2.073100e-05,2.061372e-05,2.046243e-05,2.031508e-05,2.017158e-05,2.003186e-05,1.989584e-05,1.976343e-05,1.963455e-05,1.950912e-05,1.938706e-05,1.926828e-05,1.915271e-05,1.904028e-05,1.893089e-05,1.882448e-05,1.872096e-05,1.862027e-05,1.852233e-05,1.842707e-05,1.833442e-05,1.824430e-05,1.815665e-05,1.807141e-05,1.798851e-05,1.790788e-05
0.000000e+00,2.357080e-16,2.108287e-15,5.498618e-14,4.780537e-13,1.286794e-12,1.089258e-11,1.176335e-11,6.434545e-11,9.719191e-11,2.547267e-10,5.204959e-10,8.077957e-10,2.023432e-09,2.179895e-09,5.201723e-09,6.311911e-09,1.125865e-08,1.673815e-08,2.249460e-08,3.910930e-08,4.201949e-08,7.410048e-08,8.249013e-08,1.243214e-07,1.598754e-07,1.996998e-07,2.886476e-07,3.087552e-07,4.615252e-07,4.907747e-07,6.695298e-07,7.927339e-07,9.456850e-07,1.225167e-06,1.304169e-06,1.760248e-06,1.822295e-06,2.330063e-06,2.621117e-06,3.030383e-06,3.660447e-06,3.878345e-06,4.891169e-06,4.979829e-06,6.085867e-06,6.618395e-06,7.478959e-06,8.613705e-06,9.086184e-06,1.092224e-05,1.100064e-05,1.300052e-05,1.381034e-05,1.533292e-05,1.706937e-05,1.792962e-05,2.079890e-05,2.394709e-05,2.501417e-05,2.737841e-05,2.972409e-05,3.109493e-05,3.493106e-05,3.509658e-05,3.938111e-05,4.063093e-05,4.394420e-05,4.681319e-05,4.877946e-05,5.346119e-05,5.387861e-05,5.923150e-05,6.055268e-05,6.482636e-05,6.806025e-05,7.064985e-05,7.595200e-05,7.668728e-05,8.292278e-05,8.419217e-05,8.933945e-05,9.274187e-05,9.591958e-05,1.015597e-04,1.026448e-04,1.094961e-04,1.106027e-04,1.164544e-04,1.198267e-04,1.235004e-04,1.291872e-04,1.306146e-04,1.377778e-04,1.386398e-04,1.449711e-04,1.481409e-04,1.521759e-04,1.576481e-04,1.593741e-04,1.665481e-04,1.671205e-04,1.736813e-04,1.765194e-04,1.807574e-04,1.858083e-04,1.877612e-04,1.946783e-04,1.949530e-04,2.014951e-04,2.039221e-04,2.081990e-04,2.126872e-04,2.147784e-04,2.212224e-04,2.275214e-04,2.295049e-04,2.336664e-04,2.375148e-04,2.396496e-04,2.452348e-04,2.454640e-04,2.511036e-04,2.526506e-04,2.565630e-04,2.597504e-04,2.618380e-04,2.665249e-04,2.669249e-04,2.718209e-04,2.729673e-04,2.765241e-04,2.790731e-04,2.810330e-04,2.848396e-04,2.853470e-04,2.894658e-04,2.902662e-04,2.933901e-04,2.953541e-04,2.971208e-04,3.001060e-04,3.006593e-04,3.040077e-04,3.045259e-04,3.071682e-04,3.086194e-04,3.101437e-04,3.123928e-04,3.129371e-04,3.155518e-04,3.158537e-04,3.179915e-04,3.190105e-04,3.202600e-04,3.218720e-04,3.223614e-04,3.242998e-04,3.244480e-04,3.260799e-04,3.267485e-04,3.277059e-04,3.287838e-04,3.291825e-04,3.305144e-04,3.305647e-04,3.317063e-04,3.321020e-04,3.327629e-04,3.334066e-04,3.336891e-04,3.344896e-04,3.353618e-04,3.360340e-04,3.365171e-04,3.368214e-04,3.369573e-04,3.369348e-04,3.367637e-04,3.364533e-04,3.360131e-04,3.354515e-04,3.347773e-04,3.339984e-04,3.331227e-04,3.321576e-04,3.311103e-04,3.299875e-04,3.287956e-04,3.275407e-04,3.262288e-04,3.248651e-04,3.234549e-04,3.220031e-04,3.205143e-04,3.189926e-04
0.000000e+00,6.232967e-09,1.714241e-08,7.128354e-08,1.777093e-07,2.691313e-07,6.625238e-07,6.846311e-07,1.432948e-06,1.722865e-06,2.675665e-06,3.743771e-06,4.620179e-06,7.212825e-06,7.479001e-06,1.136572e-05,1.244526e-05,1.617851e-05,1.917090e-05,2.162037e-05,2.666379e-05,2.735879e-05,3.314263e-05,3.428975e-05,3.881605e-05,4.169130e-05,4.429028e-05,4.869791e-05,4.951603e-05,5.446622e-05,5.523160e-05,5.912650e-05,6.125831e-05,6.349032e-05,6.676697e-05,6.755647e-05,7.132773e-05,7.176071e-05,7.480985e-05,7.625243e-05,7.801112e-05,8.026259e-05,8.094193e-05,8.361405e-05,8.381702e-05,8.604025e-05,8.694487e-05,8.823397e-05,8.967720e-05,9.020894e-05,9.197894e-05,9.204567e-05,9.355756e-05,9.408158e-05,9.495805e-05,9.581519e-05,9.619321e-05,9.727525e-05,9.821580e-05,9.848870e-05,9.902584e-05,9.948056e-05,9.971568e-05,1.002738e-04,1.002950e-04,1.007728e-04,1.008896e-04,1.011575e-04,1.013469e-04,1.014569e-04,1.016633e-04,1.016783e-04,1.018283e-04,1.018544e-04,1.019131e-04,1.019343e-04,1.019385e-04,1.019159e-04,1.019098e-04,1.018318e-04,1.018107e-04,1.017090e-04,1.016289e-04,1.015456e-04,1.013797e-04,1.013454e-04,1.011118e-04,1.010716e-04,1.008482e-04,1.007119e-04,1.005575e-04,1.003073e-04,1.002425e-04,9.990557e-05,9.986378e-05,9.954913e-05,9.938667e-05,9.917530e-05,9.888077e-05,9.878603e-05,9.838312e-05,9.835034e-05,9.796821e-05,9.779923e-05,9.754283e-05,9.723085e-05,9.710837e-05,9.666611e-05,9.664827e-05,9.621723e-05,9.605422e-05,9.576280e-05,9.545113e-05,9.530382e-05,9.484119e-05,9.437575e-05,9.422634e-05,9.390825e-05,9.360830e-05,9.343941e-05,9.298864e-05,9.296985e-05,9.250017e-05,9.236872e-05,9.203091e-05,9.174975e-05,9.156254e-05,9.113281e-05,9.109551e-05,9.063023e-05,9.051886e-05,9.016707e-05,8.990875e-05,8.970636e-05,8.930321e-05,8.924841e-05,8.879350e-05,8.870290e-05,8.834187e-05,8.810840e-05,8.789376e-05,8.752021e-05,8.744937e-05,8.700887e-05,8.693877e-05,8.657244e-05,8.636445e-05,8.614023e-05,8.579757e-05,8.571235e-05,8.528893e-05,8.523842e-05,8.487006e-05,8.468722e-05,8.445584e-05,8.414418e-05,8.404634e-05,8.364163e-05,8.360946e-05,8.324176e-05,8.308317e-05,8.284677e-05,8.256544e-05,8.245672e-05,8.207162e-05,8.205632e-05,8.169150e-05,8.155588e-05,8.131637e-05,8.106414e-05,8.094624e-05,8.058112e-05,8.010682e-05,7.964122e-05,7.918430e-05,7.873600e-05,7.829629e-05,7.786508e-05,7.744233e-05,7.702794e-05,7.662183e-05,7.622392e-05,7.583411e-05,7.545230e-05,7.507839e-05,7.471226e-05,7.435382e-05,7.400295e-05,7.365954e-05,7.332346e-05,7.299462e-05,7.267288e-05,7.235813e-05,7.205025e-05,7.174913e-05,7.145464e-05
0.000000e+00,4.278685e-09,9.827738e-09,3.387178e-08,7.710647e-08,1.125296e-07,2.558085e-07,2.635411e-07,5.118016e-07,6.025040e-07,8.857203e-07,1.183783e-06,1.417770e-06,2.075517e-06,2.141088e-06,3.078858e-06,3.336346e-06,4.230003e-06,4.958169e-06,5.566587e-06,6.863919e-06,7.047995e-06,8.635659e-06,8.963064e-06,1.029834e-05,1.118419e-05,1.201140e-05,1.347456e-05,1.375482e-05,1.551160e-05,1.579290e-05,1.726683e-05,1.810486e-05,1.900731e-05,2.038115e-05,2.072133e-05,2.239868e-05,2.259707e-05,2.403062e-05,2.473236e-05,2.560987e-05,2.677120e-05,2.713056e-05,2.858816e-05,2.870193e-05,2.997937e-05,3.051675e-05,3.130201e-05,3.221113e-05,3.255485e-05,3.373754e-05,3.378339e-05,3.485041e-05,3.523412e-05,3.589440e-05,3.656566e-05,3.687089e-05,3.778168e-05,3.862879e-05,3.888679e-05,3.941451e-05,3.988626e-05,4.014124e-05,4.078572e-05,4.081147e-05,4.142776e-05,4.159100e-05,4.199265e-05,4.230798e-05,4.250870e-05,4.294249e-05,4.297842e-05,4.340425e-05,4.350019e-05,4.378859e-05,4.398657e-05,4.413375e-05,4.440685e-05,4.444196e-05,4.471535e-05,4.476603e-05,4.495599e-05,4.506883e-05,4.516583e-05,4.531967e-05,4.534675e-05,4.550055e-05,4.552275e-05,4.562891e-05,4.568196e-05,4.573345e-05,4.580097e-05,4.581571e-05,4.587713e-05,4.588317e-05,4.591910e-05,4.593174e-05,4.594292e-05,4.594963e-05,4.594981e-05,4.594094e-05,4.593959e-05,4.591742e-05,4.590414e-05,4.588028e-05,4.584566e-05,4.583050e-05,4.576900e-05,4.576631e-05,4.569667e-05,4.566814e-05,4.561432e-05,4.555299e-05,4.552272e-05,4.542260e-05,4.531466e-05,4.527857e-05,4.519953e-05,4.512236e-05,4.507783e-05,4.495534e-05,4.495012e-05,4.481695e-05,4.477875e-05,4.467882e-05,4.459375e-05,4.453619e-05,4.440140e-05,4.438953e-05,4.423923e-05,4.420267e-05,4.408571e-05,4.399846e-05,4.392931e-05,4.378959e-05,4.377040e-05,4.360928e-05,4.357682e-05,4.344627e-05,4.336084e-05,4.328164e-05,4.314229e-05,4.311566e-05,4.294857e-05,4.292175e-05,4.278061e-05,4.269974e-05,4.261199e-05,4.247676e-05,4.244292e-05,4.227357e-05,4.225324e-05,4.210413e-05,4.202959e-05,4.193475e-05,4.180617e-05,4.176560e-05,4.159680e-05,4.158331e-05,4.142849e-05,4.136133e-05,4.126079e-05,4.114048e-05,4.109381e-05,4.092765e-05,4.092102e-05,4.076241e-05,4.070317e-05,4.059818e-05,4.048712e-05,4.043504e-05,4.027306e-05,4.006114e-05,3.985151e-05,3.964428e-05,3.943957e-05,3.923748e-05,3.903809e-05,3.884146e-05,3.864767e-05,3.845676e-05,3.826877e-05,3.808373e-05,3.790168e-05,3.772263e-05,3.754660e-05,3.737359e-05,3.720360e-05,3.703663e-05,3.687267e-05,3.671172e-05,3.655375e-05,3.639875e-05,3.624669e-05,3.609755e-05,3.595131e-05
0.000000e+00,2.531011e-12,1.702980e-11,2.501119e-10,1.315191e-09,2.709768e-09,1.184310e-08,1.246183e-08,3.696576e-08,4.762333e-08,8.479634e-08,1.284694e-07,1.650893e-07,2.759917e-07,2.875881e-07,4.628763e-07,5.140608e-07,7.024360e-07,8.691136e-07,1.018164e-06,1.367742e-06,1.420973e-06,1.918448e-06,2.029581e-06,2.512369e-06,2.857897e-06,3.197682e-06,3.836276e-06,3.963722e-06,4.796888e-06,4.935479e-06,5.683224e-06,6.123750e-06,6.610017e-06,7.373189e-06,7.566356e-06,8.543033e-06,8.661219e-06,9.532264e-06,9.969752e-06,1.052738e-05,1.128401e-05,1.152258e-05,1.251279e-05,1.259165e-05,1.349355e-05,1.388232e-05,1.446097e-05,1.514735e-05,1.541170e-05,1.634287e-05,1.637968e-05,1.725211e-05,1.757368e-05,1.813748e-05,1.872509e-05,1.899743e-05,1.983081e-05,2.063677e-05,2.088879e-05,2.141476e-05,2.189785e-05,2.216449e-05,2.285757e-05,2.288588e-05,2.357905e-05,2.376811e-05,2.424426e-05,2.463012e-05,2.488191e-05,2.544464e-05,2.549250e-05,2.607662e-05,2.621294e-05,2.663492e-05,2.693655e-05,2.716811e-05,2.761712e-05,2.767692e-05,2.816212e-05,2.825640e-05,2.862450e-05,2.885617e-05,2.906483e-05,2.941824e-05,2.948389e-05,2.988244e-05,2.994436e-05,3.026126e-05,3.043631e-05,3.062110e-05,3.089580e-05,3.096270e-05,3.128676e-05,3.132451e-05,3.159399e-05,3.172402e-05,3.188506e-05,3.209587e-05,3.216062e-05,3.242132e-05,3.244155e-05,3.266776e-05,3.276248e-05,3.290054e-05,3.306001e-05,3.312024e-05,3.332740e-05,3.333543e-05,3.352255e-05,3.358996e-05,3.370620e-05,3.382477e-05,3.387885e-05,3.404097e-05,3.419300e-05,3.423960e-05,3.433539e-05,3.442165e-05,3.446855e-05,3.458807e-05,3.459288e-05,3.470877e-05,3.473976e-05,3.481658e-05,3.487755e-05,3.491668e-05,3.500224e-05,3.500939e-05,3.509505e-05,3.511459e-05,3.517396e-05,3.521531e-05,3.524642e-05,3.530508e-05,3.531272e-05,3.537314e-05,3.538454e-05,3.542793e-05,3.545428e-05,3.547735e-05,3.551489e-05,3.552164e-05,3.556103e-05,3.556689e-05,3.559574e-05,3.561080e-05,3.562598e-05,3.564710e-05,3.565197e-05,3.567388e-05,3.567624e-05,3.569191e-05,3.569866e-05,3.570624e-05,3.571476e-05,3.571704e-05,3.572447e-05,3.572492e-05,3.572868e-05,3.572951e-05,3.572984e-05,3.572886e-05,3.572808e-05,3.572355e-05,3.572331e-05,3.571636e-05,3.571315e-05,3.570666e-05,3.569869e-05,3.569456e-05,3.568019e-05,3.565790e-05,3.563208e-05,3.560296e-05,3.557075e-05,3.553566e-05,3.549789e-05,3.545761e-05,3.541501e-05,3.537025e-05,3.532349e-05,3.527487e-05,3.522453e-05,3.517261e-05,3.511923e-05,3.506450e-05,3.500855e-05,3.495147e-05,3.489337e-05,3.483433e-05,3.477446e-05,3.471383e-05,3.465252e-05,3.459061e-05,3.452818e-05
0.000000e+00,5.541733e-15,4.669455e-14,1.073929e-12,8.308813e-12,2.095952e-11,1.495793e-10,1.604039e-10,7.371456e-10,1.061067e-09,2.459703e-09,4.542972e-09,6.595363e-09,1.419837e-08,1.509829e-08,3.068473e-08,3.585222e-08,5.685816e-08,7.770227e-08,9.789156e-08,1.502330e-07,1.587650e-07,2.450397e-07,2.658610e-07,3.626377e-07,4.381529e-07,5.175077e-07,6.804839e-07,7.151988e-07,9.604094e-07,1.004304e-06,1.256598e-06,1.417513e-06,1.605726e-06,1.923440e-06,2.008155e-06,2.462706e-06,2.520647e-06,2.966834e-06,3.203445e-06,3.516871e-06,3.962844e-06,4.108294e-06,4.736007e-06,4.787630e-06,5.394572e-06,5.665391e-06,6.078427e-06,6.583358e-06,6.782053e-06,7.500104e-06,7.529053e-06,8.227503e-06,8.490731e-06,8.959514e-06,9.457680e-06,9.691788e-06,1.042039e-05,1.114182e-05,1.137064e-05,1.185297e-05,1.230148e-05,1.255120e-05,1.320722e-05,1.323423e-05,1.390017e-05,1.408336e-05,1.454751e-05,1.492647e-05,1.517503e-05,1.573407e-05,1.578183e-05,1.636727e-05,1.650455e-05,1.693095e-05,1.723701e-05,1.747266e-05,1.793117e-05,1.799238e-05,1.849026e-05,1.858724e-05,1.896655e-05,1.920581e-05,1.942163e-05,1.978782e-05,1.985593e-05,2.027000e-05,2.033441e-05,2.066440e-05,2.084690e-05,2.103973e-05,2.132671e-05,2.139665e-05,2.173582e-05,2.177536e-05,2.205789e-05,2.219436e-05,2.236354e-05,2.258525e-05,2.265342e-05,2.292821e-05,2.294955e-05,2.318852e-05,2.328874e-05,2.343500e-05,2.360424e-05,2.366825e-05,2.388887e-05,2.389744e-05,2.409741e-05,2.416963e-05,2.429443e-05,2.442209e-05,2.448045e-05,2.465598e-05,2.482151e-05,2.487244e-05,2.497749e-05,2.507251e-05,2.512436e-05,2.525720e-05,2.526256e-05,2.539248e-05,2.542743e-05,2.551451e-05,2.558409e-05,2.562901e-05,2.572801e-05,2.573634e-05,2.583681e-05,2.585994e-05,2.593076e-05,2.598063e-05,2.601847e-05,2.609074e-05,2.610024e-05,2.617634e-05,2.619091e-05,2.624703e-05,2.628174e-05,2.631256e-05,2.636378e-05,2.637315e-05,2.642904e-05,2.643756e-05,2.648044e-05,2.650357e-05,2.652754e-05,2.656227e-05,2.657055e-05,2.660964e-05,2.661408e-05,2.664499e-05,2.665941e-05,2.667678e-05,2.669864e-05,2.670514e-05,2.673025e-05,2.673212e-05,2.675224e-05,2.676019e-05,2.677124e-05,2.678316e-05,2.678740e-05,2.680084e-05,2.680132e-05,2.681167e-05,2.681495e-05,2.682001e-05,2.682432e-05,2.682597e-05,2.682965e-05,2.683120e-05,2.682916e-05,2.682376e-05,2.681517e-05,2.680359e-05,2.678918e-05,2.677211e-05,2.675253e-05,2.673059e-05,2.670642e-05,2.668014e-05,2.665190e-05,2.662179e-05,2.658993e-05,2.655643e-05,2.652138e-05,2.648487e-05,2.644701e-05,2.640786e-05,2.636752e-05,2.632606e-05,2.628354e-05,2.624005e-05,2.619564e-05
0.000000e+00,3.931083e-10,1.602509e-09,1.048348e-08,3.253537e-08,5.350563e-08,1.526541e-07,1.584862e-07,3.646689e-07,4.477702e-07,7.287266e-07,1.052583e-06,1.321442e-06,2.113253e-06,2.193464e-06,3.335759e-06,3.644978e-06,4.701093e-06,5.546397e-06,6.246436e-06,7.732869e-06,7.943955e-06,9.775694e-06,1.015692e-05,1.172806e-05,1.278689e-05,1.378880e-05,1.559470e-05,1.594577e-05,1.818651e-05,1.855196e-05,2.049842e-05,2.162971e-05,2.286892e-05,2.479930e-05,2.528583e-05,2.773758e-05,2.803361e-05,3.021342e-05,3.130787e-05,3.270358e-05,3.460024e-05,3.519927e-05,3.769270e-05,3.789186e-05,4.017704e-05,4.116690e-05,4.264645e-05,4.441229e-05,4.509585e-05,4.752097e-05,4.761742e-05,4.991821e-05,5.077379e-05,5.228454e-05,5.387470e-05,5.461746e-05,5.691489e-05,5.917515e-05,5.989035e-05,6.139687e-05,6.279804e-05,6.357897e-05,6.563571e-05,6.572059e-05,6.782108e-05,6.840178e-05,6.987998e-05,7.109521e-05,7.189695e-05,7.371534e-05,7.387178e-05,7.580437e-05,7.626191e-05,7.769473e-05,7.873490e-05,7.954292e-05,8.113457e-05,8.134910e-05,8.311347e-05,8.346135e-05,8.483629e-05,8.571584e-05,8.651787e-05,8.789877e-05,8.815855e-05,8.975872e-05,9.001102e-05,9.131880e-05,9.205352e-05,9.283922e-05,9.402732e-05,9.432046e-05,9.576300e-05,9.593352e-05,9.716734e-05,9.777328e-05,9.853400e-05,9.954780e-05,9.986353e-05,1.011565e-04,1.012583e-04,1.024134e-04,1.029062e-04,1.036348e-04,1.044926e-04,1.048213e-04,1.059735e-04,1.060189e-04,1.070919e-04,1.074864e-04,1.081772e-04,1.088966e-04,1.092299e-04,1.102506e-04,1.112399e-04,1.115500e-04,1.121984e-04,1.127959e-04,1.131266e-04,1.139898e-04,1.140252e-04,1.148947e-04,1.151330e-04,1.157357e-04,1.162268e-04,1.165487e-04,1.172726e-04,1.173344e-04,1.180933e-04,1.182715e-04,1.188260e-04,1.192250e-04,1.195330e-04,1.201343e-04,1.202148e-04,1.208720e-04,1.210005e-04,1.215052e-04,1.218251e-04,1.221148e-04,1.226091e-04,1.227014e-04,1.232656e-04,1.233538e-04,1.238077e-04,1.240603e-04,1.243284e-04,1.247298e-04,1.248281e-04,1.253072e-04,1.253634e-04,1.257664e-04,1.259623e-04,1.262061e-04,1.265274e-04,1.266266e-04,1.270286e-04,1.270600e-04,1.274124e-04,1.275610e-04,1.277785e-04,1.280314e-04,1.281273e-04,1.284593e-04,1.284723e-04,1.287749e-04,1.288845e-04,1.290744e-04,1.292692e-04,1.293584e-04,1.296272e-04,1.299594e-04,1.302666e-04,1.305499e-04,1.308099e-04,1.310476e-04,1.312638e-04,1.314591e-04,1.316344e-04,1.317905e-04,1.319280e-04,1.320476e-04,1.321500e-04,1.322359e-04,1.323060e-04,1.323608e-04,1.324010e-04,1.324271e-04,1.324398e-04,1.324395e-04,1.324269e-04,1.324025e-04,1.323667e-04,1.323200e-04,1.322630e-04
0.000000e+00,3.004276e-13,2.284030e-12,4.256357e-11,2.728959e-10,6.220221e-10,3.438742e-09,3.650283e-09,1.316666e-08,1.778220e-08,3.527126e-08,5.770085e-08,7.758430e-08,1.417375e-07,1.487010e-07,2.578556e-07,2.907816e-07,4.147241e-07,5.270745e-07,6.290929e-07,8.725410e-07,9.100233e-07,1.264325e-06,1.344320e-06,1.694731e-06,1.947996e-06,2.198722e-06,2.673519e-06,2.768725e-06,3.393561e-06,3.497771e-06,4.060372e-06,4.391546e-06,4.756312e-06,5.326069e-06,5.469599e-06,6.189987e-06,6.276484e-06,6.908840e-06,7.222755e-06,7.618993e-06,8.149224e-06,8.314555e-06,8.990716e-06,9.043849e-06,9.643605e-06,9.897534e-06,1.027016e-05,1.070364e-05,1.086805e-05,1.143559e-05,1.145764e-05,1.197166e-05,1.215682e-05,1.247567e-05,1.279999e-05,1.294746e-05,1.338725e-05,1.379557e-05,1.391971e-05,1.417322e-05,1.439926e-05,1.452118e-05,1.482834e-05,1.484059e-05,1.513271e-05,1.520979e-05,1.539885e-05,1.554664e-05,1.564039e-05,1.584205e-05,1.585869e-05,1.605513e-05,1.609918e-05,1.623106e-05,1.632110e-05,1.638777e-05,1.651080e-05,1.652654e-05,1.664858e-05,1.667109e-05,1.675504e-05,1.680462e-05,1.684703e-05,1.691386e-05,1.692557e-05,1.699164e-05,1.700111e-05,1.704616e-05,1.706848e-05,1.708999e-05,1.711791e-05,1.712394e-05,1.714876e-05,1.715116e-05,1.716514e-05,1.716985e-05,1.717375e-05,1.717547e-05,1.717519e-05,1.717003e-05,1.716935e-05,1.715879e-05,1.715270e-05,1.714196e-05,1.712664e-05,1.712000e-05,1.709332e-05,1.709216e-05,1.706233e-05,1.705018e-05,1.702737e-05,1.700152e-05,1.698880e-05,1.694692e-05,1.690203e-05,1.688707e-05,1.685438e-05,1.682257e-05,1.680425e-05,1.675398e-05,1.675184e-05,1.669739e-05,1.668181e-05,1.664109e-05,1.660650e-05,1.658313e-05,1.652848e-05,1.652367e-05,1.646288e-05,1.644811e-05,1.640091e-05,1.636575e-05,1.633790e-05,1.628168e-05,1.627397e-05,1.620924e-05,1.619621e-05,1.614382e-05,1.610957e-05,1.607782e-05,1.602200e-05,1.601133e-05,1.594444e-05,1.593370e-05,1.587723e-05,1.584488e-05,1.580977e-05,1.575568e-05,1.574215e-05,1.567442e-05,1.566628e-05,1.560664e-05,1.557682e-05,1.553887e-05,1.548741e-05,1.547117e-05,1.540357e-05,1.539817e-05,1.533614e-05,1.530922e-05,1.526890e-05,1.522063e-05,1.520190e-05,1.513517e-05,1.513250e-05,1.506874e-05,1.504490e-05,1.500264e-05,1.495791e-05,1.493691e-05,1.487157e-05,1.478595e-05,1.470109e-05,1.461705e-05,1.453385e-05,1.445153e-05,1.437012e-05,1.428965e-05,1.421014e-05,1.413161e-05,1.405407e-05,1.397755e-05,1.390205e-05,1.382757e-05,1.375414e-05,1.368175e-05,1.361040e-05,1.354010e-05,1.347085e-05,1.340265e-05,1.333549e-05,1.326938e-05,1.320430e-05,1.314026e-05,1.307724e-05
0.000000e+00,2.183726e-09,5.174370e-09,1.842249e-08,4.256269e-08,6.244930e-08,1.432276e-07,1.475947e-07,2.879405e-07,3.392375e-07,4.993237e-07,6.673878e-07,7.987541e-07,1.163607e-06,1.199541e-06,1.704307e-06,1.840221e-06,2.305792e-06,2.681138e-06,2.994110e-06,3.664932e-06,3.760847e-06,4.599272e-06,4.775034e-06,5.503480e-06,5.997751e-06,6.467679e-06,7.319524e-06,7.485778e-06,8.551214e-06,8.725612e-06,9.656944e-06,1.019983e-05,1.079552e-05,1.172484e-05,1.195922e-05,1.314022e-05,1.328273e-05,1.433076e-05,1.485566e-05,1.552329e-05,1.642651e-05,1.671063e-05,1.788607e-05,1.797940e-05,1.904345e-05,1.950009e-05,2.017726e-05,2.097627e-05,2.128266e-05,2.235547e-05,2.239765e-05,2.339221e-05,2.375603e-05,2.439003e-05,2.504517e-05,2.534672e-05,2.626065e-05,2.713068e-05,2.739970e-05,2.795618e-05,2.846100e-05,2.873690e-05,2.944439e-05,2.947298e-05,3.016486e-05,3.035075e-05,3.081322e-05,3.118173e-05,3.141899e-05,3.193960e-05,3.198325e-05,3.250721e-05,3.262712e-05,3.299222e-05,3.324733e-05,3.343968e-05,3.380354e-05,3.385105e-05,3.422781e-05,3.429915e-05,3.457149e-05,3.473762e-05,3.488358e-05,3.512241e-05,3.516556e-05,3.541891e-05,3.545688e-05,3.564505e-05,3.574434e-05,3.584538e-05,3.598798e-05,3.602127e-05,3.617402e-05,3.619086e-05,3.630490e-05,3.635587e-05,3.641512e-05,3.648580e-05,3.650585e-05,3.657822e-05,3.658324e-05,3.663327e-05,3.665068e-05,3.667205e-05,3.669043e-05,3.669551e-05,3.670459e-05,3.670466e-05,3.670015e-05,3.669541e-05,3.668305e-05,3.666459e-05,3.665407e-05,3.661397e-05,3.656346e-05,3.654521e-05,3.650322e-05,3.645985e-05,3.643389e-05,3.635935e-05,3.635608e-05,3.627037e-05,3.624503e-05,3.617729e-05,3.611813e-05,3.607737e-05,3.597982e-05,3.597110e-05,3.585892e-05,3.583117e-05,3.574129e-05,3.567318e-05,3.561860e-05,3.550676e-05,3.549125e-05,3.535960e-05,3.533278e-05,3.522400e-05,3.515204e-05,3.508478e-05,3.496526e-05,3.494224e-05,3.479668e-05,3.477313e-05,3.464837e-05,3.457628e-05,3.449756e-05,3.437529e-05,3.434451e-05,3.418945e-05,3.417071e-05,3.403258e-05,3.396304e-05,3.387411e-05,3.375273e-05,3.371424e-05,3.355315e-05,3.354022e-05,3.339101e-05,3.332589e-05,3.322797e-05,3.311011e-05,3.306419e-05,3.289981e-05,3.289322e-05,3.273496e-05,3.267553e-05,3.256977e-05,3.245731e-05,3.240436e-05,3.223883e-05,3.202034e-05,3.180204e-05,3.158415e-05,3.136685e-05,3.115031e-05,3.093468e-05,3.072011e-05,3.050673e-05,3.029466e-05,3.008399e-05,2.987483e-05,2.966727e-05,2.946138e-05,2.925723e-05,2.905489e-05,2.885442e-05,2.865585e-05,2.845925e-05,2.826463e-05,2.807205e-05,2.788152e-05,2.769307e-05,2.750672e-05,2.732248e-05
0.000000e+00,2.200263e-15,1.971208e-14,5.155434e-13,4.492267e-12,1.210510e-11,1.026932e-10,1.109102e-10,6.072818e-10,9.173026e-10,2.402944e-09,4.904997e-09,7.604851e-09,1.899030e-08,2.045235e-08,4.860034e-08,5.891328e-08,1.047735e-07,1.554906e-07,2.087467e-07,3.625540e-07,3.895225e-07,6.875068e-07,7.656461e-07,1.156470e-06,1.490078e-06,1.865105e-06,2.707021e-06,2.898054e-06,4.356320e-06,4.636718e-06,6.357034e-06,7.548384e-06,9.032597e-06,1.175678e-05,1.252923e-05,1.700501e-05,1.761578e-05,2.262745e-05,2.550930e-05,2.957073e-05,3.584037e-05,3.801269e-05,4.813165e-05,4.901890e-05,6.010315e-05,6.544872e-05,7.409676e-05,8.551480e-05,9.027297e-05,1.087803e-04,1.095710e-04,1.297525e-04,1.379290e-04,1.533066e-04,1.708489e-04,1.795404e-04,2.085313e-04,2.403346e-04,2.511117e-04,2.749834e-04,2.986573e-04,3.124873e-04,3.511651e-04,3.528331e-04,3.959849e-04,4.085629e-04,4.418846e-04,4.707113e-04,4.904529e-04,5.374078e-04,5.415908e-04,5.951807e-04,6.083925e-04,6.510883e-04,6.833538e-04,7.091642e-04,7.619359e-04,7.692460e-04,8.311598e-04,8.437464e-04,8.947227e-04,9.283642e-04,9.597444e-04,1.015347e-03,1.026029e-03,1.093378e-03,1.104239e-03,1.161590e-03,1.194580e-03,1.230465e-03,1.285908e-03,1.299803e-03,1.369409e-03,1.377770e-03,1.439090e-03,1.469725e-03,1.508660e-03,1.561349e-03,1.577941e-03,1.646759e-03,1.652239e-03,1.714951e-03,1.742018e-03,1.782363e-03,1.830335e-03,1.848850e-03,1.914275e-03,1.916868e-03,1.978513e-03,2.001326e-03,2.041450e-03,2.083449e-03,2.102980e-03,2.163010e-03,2.221454e-03,2.239809e-03,2.278239e-03,2.313681e-03,2.333301e-03,2.384487e-03,2.386584e-03,2.438043e-03,2.452119e-03,2.487641e-03,2.516494e-03,2.535349e-03,2.577554e-03,2.581147e-03,2.625022e-03,2.635265e-03,2.666967e-03,2.689613e-03,2.706983e-03,2.740606e-03,2.745076e-03,2.781258e-03,2.788267e-03,2.815547e-03,2.832636e-03,2.847964e-03,2.873768e-03,2.878537e-03,2.907294e-03,2.911728e-03,2.934269e-03,2.946594e-03,2.959498e-03,2.978451e-03,2.983021e-03,3.004879e-03,3.007392e-03,3.025114e-03,3.033515e-03,3.043773e-03,3.056926e-03,3.060900e-03,3.076543e-03,3.077731e-03,3.090750e-03,3.096041e-03,3.103569e-03,3.111967e-03,3.115049e-03,3.125239e-03,3.125620e-03,3.134187e-03,3.137114e-03,3.141943e-03,3.146560e-03,3.148554e-03,3.154067e-03,3.159744e-03,3.163697e-03,3.166029e-03,3.166840e-03,3.166228e-03,3.164287e-03,3.161106e-03,3.156773e-03,3.151371e-03,3.144979e-03,3.137674e-03,3.129527e-03,3.120606e-03,3.110978e-03,3.100702e-03,3.089837e-03,3.078439e-03,3.066558e-03,3.054243e-03,3.041541e-03,3.028495e-03,3.015144e-03,3.001526e-03,2.987677e-03
0.000000e+00,5.711820e-11,3.096012e-10,3.085869e-09,1.218219e-08,2.196779e-08,7.273048e-08,7.580500e-08,1.845843e-07,2.276693e-07,3.689906e-07,5.251740e-07,6.514226e-07,1.018106e-06,1.055417e-06,1.600398e-06,1.753227e-06,2.292494e-06,2.741054e-06,3.121681e-06,3.950279e-06,4.069687e-06,5.118319e-06,5.338714e-06,6.252072e-06,6.870720e-06,7.457395e-06,8.515880e-06,8.721593e-06,1.003219e-05,1.024536e-05,1.137677e-05,1.203063e-05,1.274310e-05,1.384389e-05,1.411941e-05,1.549458e-05,1.565903e-05,1.685844e-05,1.745256e-05,1.820188e-05,1.920433e-05,1.951700e-05,2.079710e-05,2.089782e-05,2.203669e-05,2.252018e-05,2.323143e-05,2.406199e-05,2.437803e-05,2.547414e-05,2.551691e-05,2.651825e-05,2.688124e-05,2.750959e-05,2.815343e-05,2.844796e-05,2.933369e-05,3.016751e-05,3.042354e-05,3.095048e-05,3.142550e-05,3.168393e-05,3.234282e-05,3.236934e-05,3.300837e-05,3.317922e-05,3.360276e-05,3.393871e-05,3.415430e-05,3.462546e-05,3.466484e-05,3.513620e-05,3.524370e-05,3.557022e-05,3.579763e-05,3.596869e-05,3.629134e-05,3.633338e-05,3.666600e-05,3.672882e-05,3.696822e-05,3.711390e-05,3.724165e-05,3.745022e-05,3.748784e-05,3.770828e-05,3.774126e-05,3.790440e-05,3.799031e-05,3.807758e-05,3.820047e-05,3.822910e-05,3.836023e-05,3.837466e-05,3.847216e-05,3.851562e-05,3.856602e-05,3.862593e-05,3.864288e-05,3.870378e-05,3.870799e-05,3.874968e-05,3.876405e-05,3.878151e-05,3.879621e-05,3.880015e-05,3.880644e-05,3.880645e-05,3.880116e-05,3.879657e-05,3.878506e-05,3.876829e-05,3.875885e-05,3.872320e-05,3.867874e-05,3.866276e-05,3.862609e-05,3.858835e-05,3.856580e-05,3.850124e-05,3.849841e-05,3.842444e-05,3.840261e-05,3.834436e-05,3.829357e-05,3.825863e-05,3.817514e-05,3.816768e-05,3.807191e-05,3.804825e-05,3.797170e-05,3.791378e-05,3.786742e-05,3.777256e-05,3.775941e-05,3.764799e-05,3.762532e-05,3.753346e-05,3.747277e-05,3.741610e-05,3.731554e-05,3.729620e-05,3.717399e-05,3.715424e-05,3.704972e-05,3.698941e-05,3.692362e-05,3.682156e-05,3.679590e-05,3.666675e-05,3.665117e-05,3.653637e-05,3.647865e-05,3.640492e-05,3.630442e-05,3.627259e-05,3.613951e-05,3.612884e-05,3.600585e-05,3.595225e-05,3.587173e-05,3.577495e-05,3.573728e-05,3.560263e-05,3.559724e-05,3.546788e-05,3.541937e-05,3.533315e-05,3.524159e-05,3.519853e-05,3.506411e-05,3.488714e-05,3.471086e-05,3.453544e-05,3.436103e-05,3.418776e-05,3.401577e-05,3.384516e-05,3.367604e-05,3.350850e-05,3.334262e-05,3.317848e-05,3.301614e-05,3.285565e-05,3.269707e-05,3.254044e-05,3.238580e-05,3.223318e-05,3.208261e-05,3.193411e-05,3.178769e-05,3.164337e-05,3.150116e-05,3.136107e-05,3.122310e-05
0.000000e+00,1.026027e-15,9.079581e-15,2.314492e-13,1.968437e-12,5.232123e-12,4.278260e-11,4.613449e-11,2.429371e-10,3.629129e-10,9.236255e-10,1.839711e-09,2.805441e-09,6.738147e-09,7.232016e-09,1.645143e-08,1.973120e-08,3.391517e-08,4.907217e-08,6.457578e-08,1.077689e-07,1.151603e-07,1.943954e-07,2.145989e-07,3.131587e-07,3.947923e-07,4.845292e-07,6.802024e-07,7.237139e-07,1.047836e-06,1.108808e-06,1.475584e-06,1.723493e-06,2.026743e-06,2.570174e-06,2.721625e-06,3.580444e-06,3.695455e-06,4.622663e-06,5.144063e-06,5.866356e-06,6.956297e-06,7.327613e-06,9.020014e-06,9.165732e-06,1.095420e-05,1.179733e-05,1.313752e-05,1.486609e-05,1.557384e-05,1.826340e-05,1.837622e-05,2.120282e-05,2.232095e-05,2.438518e-05,2.668285e-05,2.780022e-05,3.143458e-05,3.527211e-05,3.654007e-05,3.929428e-05,4.195593e-05,4.348051e-05,4.763309e-05,4.780865e-05,5.225536e-05,5.351841e-05,5.679654e-05,5.955642e-05,6.140774e-05,6.569088e-05,6.606453e-05,7.074285e-05,7.186624e-05,7.541932e-05,7.802892e-05,8.007150e-05,8.412842e-05,8.467814e-05,8.921937e-05,9.011812e-05,9.367682e-05,9.595596e-05,9.803376e-05,1.016049e-04,1.022752e-04,1.063878e-04,1.070331e-04,1.103601e-04,1.122141e-04,1.141824e-04,1.171266e-04,1.178464e-04,1.213459e-04,1.217546e-04,1.246759e-04,1.260864e-04,1.278329e-04,1.301152e-04,1.308148e-04,1.336209e-04,1.338378e-04,1.362515e-04,1.372548e-04,1.387079e-04,1.403699e-04,1.409924e-04,1.431080e-04,1.431892e-04,1.450587e-04,1.457213e-04,1.468486e-04,1.479764e-04,1.484827e-04,1.499663e-04,1.513050e-04,1.517037e-04,1.525046e-04,1.532021e-04,1.535711e-04,1.544755e-04,1.545107e-04,1.553296e-04,1.555381e-04,1.560339e-04,1.564040e-04,1.566297e-04,1.570873e-04,1.571232e-04,1.575203e-04,1.576019e-04,1.578267e-04,1.579609e-04,1.580482e-04,1.581772e-04,1.581902e-04,1.582579e-04,1.582630e-04,1.582564e-04,1.582299e-04,1.581906e-04,1.580890e-04,1.580651e-04,1.578844e-04,1.578506e-04,1.576526e-04,1.575243e-04,1.573737e-04,1.571192e-04,1.570514e-04,1.566895e-04,1.566435e-04,1.562911e-04,1.561051e-04,1.558595e-04,1.555110e-04,1.553975e-04,1.549081e-04,1.548678e-04,1.543938e-04,1.541816e-04,1.538570e-04,1.534578e-04,1.533000e-04,1.527249e-04,1.527015e-04,1.521337e-04,1.519173e-04,1.515283e-04,1.511094e-04,1.509103e-04,1.502814e-04,1.494370e-04,1.485792e-04,1.477108e-04,1.468343e-04,1.459521e-04,1.450662e-04,1.441784e-04,1.432905e-04,1.424039e-04,1.415200e-04,1.406399e-04,1.397648e-04,1.388955e-04,1.380329e-04,1.371777e-04,1.363306e-04,1.354922e-04,1.346629e-04,1.338432e-04,1.330335e-04,1.322341e-04,1.314452e-04,1.306671e-04,1.299000e-04
0.000000e+00,2.469986e-09,6.114468e-09,2.279706e-08,5.383781e-08,7.965907e-08,1.855480e-07,1.913011e-07,3.770095e-07,4.451569e-07,6.584244e-07,8.832499e-07,1.059836e-06,1.556214e-06,1.605687e-06,2.313076e-06,2.507318e-06,3.181915e-06,3.732509e-06,4.193478e-06,5.179975e-06,5.320392e-06,6.536601e-06,6.788595e-06,7.820728e-06,8.509464e-06,9.155524e-06,1.030525e-05,1.052650e-05,1.192092e-05,1.214542e-05,1.332727e-05,1.400343e-05,1.473501e-05,1.585574e-05,1.613457e-05,1.751731e-05,1.768174e-05,1.887563e-05,1.946383e-05,2.020297e-05,2.118759e-05,2.149379e-05,2.274357e-05,2.284166e-05,2.394871e-05,2.441764e-05,2.510653e-05,2.590973e-05,2.621508e-05,2.727314e-05,2.731440e-05,2.828008e-05,2.863003e-05,2.923578e-05,2.985653e-05,3.014055e-05,3.099504e-05,3.180020e-05,3.204761e-05,3.255717e-05,3.301696e-05,3.326731e-05,3.390632e-05,3.393206e-05,3.455298e-05,3.471921e-05,3.513169e-05,3.545934e-05,3.566983e-05,3.613052e-05,3.616906e-05,3.663104e-05,3.673656e-05,3.705742e-05,3.728125e-05,3.744983e-05,3.776831e-05,3.780986e-05,3.813905e-05,3.820133e-05,3.843892e-05,3.858376e-05,3.871093e-05,3.891893e-05,3.895650e-05,3.917697e-05,3.921001e-05,3.937368e-05,3.946002e-05,3.954787e-05,3.967183e-05,3.970076e-05,3.983350e-05,3.984813e-05,3.994722e-05,3.999150e-05,4.004296e-05,4.010434e-05,4.012175e-05,4.018456e-05,4.018892e-05,4.023231e-05,4.024739e-05,4.026588e-05,4.028174e-05,4.028611e-05,4.029380e-05,4.029386e-05,4.028973e-05,4.028552e-05,4.027460e-05,4.025837e-05,4.024913e-05,4.021395e-05,4.016970e-05,4.015373e-05,4.011698e-05,4.007904e-05,4.005633e-05,3.999116e-05,3.998831e-05,3.991341e-05,3.989128e-05,3.983213e-05,3.978048e-05,3.974491e-05,3.965981e-05,3.965220e-05,3.955439e-05,3.953021e-05,3.945190e-05,3.939258e-05,3.934507e-05,3.924776e-05,3.923426e-05,3.911981e-05,3.909651e-05,3.900202e-05,3.893956e-05,3.888120e-05,3.877756e-05,3.875761e-05,3.863154e-05,3.861115e-05,3.850322e-05,3.844089e-05,3.837289e-05,3.826733e-05,3.824077e-05,3.810709e-05,3.809095e-05,3.797202e-05,3.791221e-05,3.783577e-05,3.773153e-05,3.769851e-05,3.756040e-05,3.754932e-05,3.742160e-05,3.736592e-05,3.728226e-05,3.718167e-05,3.714251e-05,3.700249e-05,3.699689e-05,3.686232e-05,3.681184e-05,3.672211e-05,3.662680e-05,3.658197e-05,3.644200e-05,3.625766e-05,3.607399e-05,3.589115e-05,3.570933e-05,3.552867e-05,3.534932e-05,3.517139e-05,3.499501e-05,3.482027e-05,3.464727e-05,3.447608e-05,3.430679e-05,3.413945e-05,3.397412e-05,3.381085e-05,3.364969e-05,3.349067e-05,3.333383e-05,3.317918e-05,3.302675e-05,3.287655e-05,3.272860e-05,3.258291e-05,3.243947e-05
0.000000e+00,1.030752e-09,2.579782e-09,9.709387e-09,2.297941e-08,3.399448e-08,7.890407e-08,8.133245e-08,1.591519e-07,1.874604e-07,2.753367e-07,3.670024e-07,4.384440e-07,6.374094e-07,6.571303e-07,9.379575e-07,1.014871e-06,1.281972e-06,1.500303e-06,1.683475e-06,2.076835e-06,2.132981e-06,2.620910e-06,2.722362e-06,3.139110e-06,3.418251e-06,3.680819e-06,4.149735e-06,4.240202e-06,4.811976e-06,4.904277e-06,5.391218e-06,5.670533e-06,5.973285e-06,6.438035e-06,6.553820e-06,7.128792e-06,7.197236e-06,7.694542e-06,7.939701e-06,8.247833e-06,8.658260e-06,8.785861e-06,9.306283e-06,9.347097e-06,9.807216e-06,1.000179e-05,1.028719e-05,1.061919e-05,1.074515e-05,1.118038e-05,1.119731e-05,1.159252e-05,1.173522e-05,1.198148e-05,1.223279e-05,1.234740e-05,1.269062e-05,1.301167e-05,1.310981e-05,1.331116e-05,1.349186e-05,1.358984e-05,1.383854e-05,1.384851e-05,1.408803e-05,1.415178e-05,1.430927e-05,1.443362e-05,1.451314e-05,1.468612e-05,1.470053e-05,1.487234e-05,1.491135e-05,1.502943e-05,1.511130e-05,1.517266e-05,1.528788e-05,1.530284e-05,1.542076e-05,1.544294e-05,1.552717e-05,1.557819e-05,1.562279e-05,1.569527e-05,1.570830e-05,1.578436e-05,1.579569e-05,1.585157e-05,1.588086e-05,1.591052e-05,1.595209e-05,1.596174e-05,1.600575e-05,1.601057e-05,1.604303e-05,1.605742e-05,1.607404e-05,1.609368e-05,1.609921e-05,1.611892e-05,1.612028e-05,1.613356e-05,1.613808e-05,1.614348e-05,1.614788e-05,1.614901e-05,1.615044e-05,1.615042e-05,1.614808e-05,1.614635e-05,1.614219e-05,1.613630e-05,1.613302e-05,1.612082e-05,1.610579e-05,1.610042e-05,1.608816e-05,1.607559e-05,1.606811e-05,1.604675e-05,1.604582e-05,1.602147e-05,1.601430e-05,1.599521e-05,1.597861e-05,1.596720e-05,1.594000e-05,1.593757e-05,1.590645e-05,1.589878e-05,1.587397e-05,1.585523e-05,1.584024e-05,1.580962e-05,1.580537e-05,1.576946e-05,1.576216e-05,1.573261e-05,1.571310e-05,1.569489e-05,1.566261e-05,1.565640e-05,1.561722e-05,1.561089e-05,1.557741e-05,1.555810e-05,1.553704e-05,1.550440e-05,1.549619e-05,1.545490e-05,1.544992e-05,1.541323e-05,1.539480e-05,1.537125e-05,1.533915e-05,1.532898e-05,1.528649e-05,1.528309e-05,1.524382e-05,1.522671e-05,1.520100e-05,1.517011e-05,1.515808e-05,1.511509e-05,1.511337e-05,1.507206e-05,1.505656e-05,1.502902e-05,1.499977e-05,1.498601e-05,1.494305e-05,1.488646e-05,1.483006e-05,1.477390e-05,1.471802e-05,1.466246e-05,1.460727e-05,1.455247e-05,1.449809e-05,1.444417e-05,1.439073e-05,1.433779e-05,1.428537e-05,1.423349e-05,1.418217e-05,1.413143e-05,1.408126e-05,1.403169e-05,1.398273e-05,1.393438e-05,1.388665e-05,1.383954e-05,1.379307e-05,1.374723e-05,1.370203e-05
0.000000e+00,8.608750e-10,2.170399e-09,8.251114e-09,1.964899e-08,2.914020e-08,6.787588e-08,6.996829e-08,1.367279e-07,1.608423e-07,2.350525e-07,3.114330e-07,3.702875e-07,5.316662e-07,5.475014e-07,7.713289e-07,8.324252e-07,1.045465e-06,1.221761e-06,1.371809e-06,1.701853e-06,1.749886e-06,2.177284e-06,2.268393e-06,2.650639e-06,2.913737e-06,3.166298e-06,3.629401e-06,3.720507e-06,4.309393e-06,4.406566e-06,4.928927e-06,5.235966e-06,5.574925e-06,6.107893e-06,6.243091e-06,6.929074e-06,7.012383e-06,7.628546e-06,7.939492e-06,8.337278e-06,8.879599e-06,9.051207e-06,9.766498e-06,9.823671e-06,1.047959e-05,1.076347e-05,1.118722e-05,1.169167e-05,1.188645e-05,1.257469e-05,1.260196e-05,1.324967e-05,1.348903e-05,1.390944e-05,1.434856e-05,1.455238e-05,1.517712e-05,1.578260e-05,1.597214e-05,1.636797e-05,1.673176e-05,1.693262e-05,1.745478e-05,1.747611e-05,1.799820e-05,1.814053e-05,1.849877e-05,1.878879e-05,1.897784e-05,1.939972e-05,1.943555e-05,1.987212e-05,1.997378e-05,2.028784e-05,2.051167e-05,2.068308e-05,2.101427e-05,2.105825e-05,2.141381e-05,2.148261e-05,2.175025e-05,2.191782e-05,2.206809e-05,2.232108e-05,2.236785e-05,2.265008e-05,2.269365e-05,2.291534e-05,2.303680e-05,2.316418e-05,2.335180e-05,2.339715e-05,2.361482e-05,2.363993e-05,2.381772e-05,2.390247e-05,2.400642e-05,2.414064e-05,2.418143e-05,2.434328e-05,2.435568e-05,2.449250e-05,2.454876e-05,2.462957e-05,2.472103e-05,2.475500e-05,2.486926e-05,2.487360e-05,2.497281e-05,2.500755e-05,2.506611e-05,2.512392e-05,2.514959e-05,2.522369e-05,2.528882e-05,2.530783e-05,2.534537e-05,2.537724e-05,2.539373e-05,2.543280e-05,2.543428e-05,2.546738e-05,2.547536e-05,2.549337e-05,2.550569e-05,2.551259e-05,2.552458e-05,2.552537e-05,2.553203e-05,2.553274e-05,2.553285e-05,2.553088e-05,2.552814e-05,2.551963e-05,2.551817e-05,2.550321e-05,2.549964e-05,2.548352e-05,2.547150e-05,2.545936e-05,2.543577e-05,2.543095e-05,2.539853e-05,2.539299e-05,2.536233e-05,2.534367e-05,2.532255e-05,2.528828e-05,2.527939e-05,2.523306e-05,2.522730e-05,2.518374e-05,2.516114e-05,2.513162e-05,2.509023e-05,2.507685e-05,2.501962e-05,2.501494e-05,2.496007e-05,2.493564e-05,2.489836e-05,2.485268e-05,2.483464e-05,2.476904e-05,2.476638e-05,2.470171e-05,2.467706e-05,2.463275e-05,2.458500e-05,2.456230e-05,2.449048e-05,2.439375e-05,2.429506e-05,2.419464e-05,2.409269e-05,2.398943e-05,2.388504e-05,2.377971e-05,2.367358e-05,2.356683e-05,2.345960e-05,2.335203e-05,2.324424e-05,2.313635e-05,2.302847e-05,2.292071e-05,2.281316e-05,2.270592e-05,2.259906e-05,2.249266e-05,2.238680e-05,2.228153e-05,2.217693e-05,2.207304e-05,2.196991e-05
0.000000e+00,5.883719e-10,2.074843e-09,1.122295e-08,3.129337e-08,4.913884e-08,1.265345e-07,1.308505e-07,2.732523e-07,3.265271e-07,4.953975e-07,6.757603e-07,8.183612e-07,1.219477e-06,1.259245e-06,1.818342e-06,1.968086e-06,2.474752e-06,2.874088e-06,3.199972e-06,3.876045e-06,3.970235e-06,4.768313e-06,4.930078e-06,5.581295e-06,6.006395e-06,6.398711e-06,7.082156e-06,7.211571e-06,8.012032e-06,8.138488e-06,8.793331e-06,9.159844e-06,9.549809e-06,1.013403e-05,1.027693e-05,1.097126e-05,1.105225e-05,1.163041e-05,1.190889e-05,1.225294e-05,1.270115e-05,1.283821e-05,1.338629e-05,1.342855e-05,1.389779e-05,1.409237e-05,1.437375e-05,1.469516e-05,1.481549e-05,1.522457e-05,1.524028e-05,1.560271e-05,1.573160e-05,1.595166e-05,1.617318e-05,1.627321e-05,1.656914e-05,1.684117e-05,1.692344e-05,1.709096e-05,1.723989e-05,1.732010e-05,1.752202e-05,1.753007e-05,1.772228e-05,1.777309e-05,1.789804e-05,1.799610e-05,1.805856e-05,1.819376e-05,1.820498e-05,1.833834e-05,1.836852e-05,1.845961e-05,1.852256e-05,1.856966e-05,1.865789e-05,1.866932e-05,1.875935e-05,1.877626e-05,1.884044e-05,1.887929e-05,1.891323e-05,1.896838e-05,1.897830e-05,1.903621e-05,1.904484e-05,1.908744e-05,1.910980e-05,1.913247e-05,1.916430e-05,1.917171e-05,1.920556e-05,1.920928e-05,1.923438e-05,1.924556e-05,1.925852e-05,1.927391e-05,1.927827e-05,1.929393e-05,1.929501e-05,1.930576e-05,1.930948e-05,1.931401e-05,1.931787e-05,1.931893e-05,1.932071e-05,1.932071e-05,1.931956e-05,1.931846e-05,1.931566e-05,1.931154e-05,1.930920e-05,1.930033e-05,1.928921e-05,1.928520e-05,1.927597e-05,1.926646e-05,1.926076e-05,1.924442e-05,1.924370e-05,1.922490e-05,1.921934e-05,1.920448e-05,1.919149e-05,1.918254e-05,1.916110e-05,1.915918e-05,1.913449e-05,1.912837e-05,1.910856e-05,1.909352e-05,1.908146e-05,1.905672e-05,1.905329e-05,1.902411e-05,1.901815e-05,1.899398e-05,1.897797e-05,1.896299e-05,1.893632e-05,1.893118e-05,1.889862e-05,1.889334e-05,1.886536e-05,1.884916e-05,1.883145e-05,1.880390e-05,1.879695e-05,1.876190e-05,1.875766e-05,1.872635e-05,1.871056e-05,1.869034e-05,1.866268e-05,1.865390e-05,1.861709e-05,1.861413e-05,1.857993e-05,1.856498e-05,1.854246e-05,1.851531e-05,1.850471e-05,1.846672e-05,1.846520e-05,1.842851e-05,1.841471e-05,1.839011e-05,1.836391e-05,1.835155e-05,1.831286e-05,1.826162e-05,1.821023e-05,1.815875e-05,1.810723e-05,1.805570e-05,1.800421e-05,1.795279e-05,1.790149e-05,1.785032e-05,1.779933e-05,1.774854e-05,1.769798e-05,1.764767e-05,1.759763e-05,1.754789e-05,1.749847e-05,1.744938e-05,1.740064e-05,1.735227e-05,1.730429e-05,1.725669e-05,1.720950e-05,1.716273e-05,1.711639e-05
0.000000e+00,1.661351e-14,1.403961e-13,3.248262e-12,2.526471e-11,6.391396e-11,4.594186e-10,4.928066e-10,2.280327e-09,3.288353e-09,7.657275e-09,1.419322e-08,2.065263e-08,4.468516e-08,4.753754e-08,9.710634e-08,1.135925e-07,1.807864e-07,2.476609e-07,3.125575e-07,4.811084e-07,5.086036e-07,7.865826e-07,8.536025e-07,1.164471e-06,1.406133e-06,1.659102e-06,2.175309e-06,2.284680e-06,3.051540e-06,3.187798e-06,3.965365e-06,4.456607e-06,5.026900e-06,5.979941e-06,6.232149e-06,7.572883e-06,7.742349e-06,9.037364e-06,9.717296e-06,1.061116e-05,1.187034e-05,1.227792e-05,1.402017e-05,1.416228e-05,1.581992e-05,1.655189e-05,1.765924e-05,1.899823e-05,1.952069e-05,2.138769e-05,2.146226e-05,2.324481e-05,2.390820e-05,2.507794e-05,2.630424e-05,2.687442e-05,2.862313e-05,3.031451e-05,3.084229e-05,3.194055e-05,3.294386e-05,3.349475e-05,3.491447e-05,3.497203e-05,3.636866e-05,3.674490e-05,3.768213e-05,3.842967e-05,3.891103e-05,3.996654e-05,4.005492e-05,4.111425e-05,4.135602e-05,4.209016e-05,4.260088e-05,4.298444e-05,4.370567e-05,4.379936e-05,4.453761e-05,4.467632e-05,4.520218e-05,4.551971e-05,4.579631e-05,4.624340e-05,4.632336e-05,4.678683e-05,4.685532e-05,4.719023e-05,4.736356e-05,4.753707e-05,4.777616e-05,4.783083e-05,4.807492e-05,4.810103e-05,4.827264e-05,4.834578e-05,4.842720e-05,4.851769e-05,4.854167e-05,4.861901e-05,4.862368e-05,4.866203e-05,4.867022e-05,4.867337e-05,4.866336e-05,4.865558e-05,4.861102e-05,4.860871e-05,4.854193e-05,4.851146e-05,4.845042e-05,4.837639e-05,4.833845e-05,4.820788e-05,4.806042e-05,4.800994e-05,4.789769e-05,4.778621e-05,4.772117e-05,4.754003e-05,4.753225e-05,4.733225e-05,4.727442e-05,4.712235e-05,4.699213e-05,4.690367e-05,4.669562e-05,4.667724e-05,4.644402e-05,4.638714e-05,4.620489e-05,4.606871e-05,4.596067e-05,4.574215e-05,4.571212e-05,4.545993e-05,4.540911e-05,4.520473e-05,4.507105e-05,4.494713e-05,4.472928e-05,4.468766e-05,4.442683e-05,4.438500e-05,4.416509e-05,4.403925e-05,4.390286e-05,4.369298e-05,4.364052e-05,4.337843e-05,4.334701e-05,4.311691e-05,4.300210e-05,4.285625e-05,4.265889e-05,4.259671e-05,4.233855e-05,4.231796e-05,4.208197e-05,4.197983e-05,4.182718e-05,4.164493e-05,4.157435e-05,4.132365e-05,4.131367e-05,4.107522e-05,4.098637e-05,4.082919e-05,4.066332e-05,4.058568e-05,4.034477e-05,4.003094e-05,3.972199e-05,3.941808e-05,3.911932e-05,3.882580e-05,3.853759e-05,3.825475e-05,3.797731e-05,3.770528e-05,3.743866e-05,3.717745e-05,3.692163e-05,3.667116e-05,3.642601e-05,3.618612e-05,3.595144e-05,3.572192e-05,3.549748e-05,3.527806e-05,3.506359e-05,3.485398e-05,3.464917e-05,3.444906e-05,3.425357e-05
0.000000e+00,4.187773e-09,1.002249e-08,3.603039e-08,8.361486e-08,1.229216e-07,2.834071e-07,2.921193e-07,5.738992e-07,6.777026e-07,1.004173e-06,1.350861e-06,1.624744e-06,2.400215e-06,2.477839e-06,3.590729e-06,3.896475e-06,4.954910e-06,5.811649e-06,6.522011e-06,8.016716e-06,8.226420e-06,1.000961e-05,1.037163e-05,1.182820e-05,1.277731e-05,1.365159e-05,1.517071e-05,1.545783e-05,1.723040e-05,1.750998e-05,1.895647e-05,1.976542e-05,2.062594e-05,2.191536e-05,2.223086e-05,2.376523e-05,2.394439e-05,2.522470e-05,2.584236e-05,2.660643e-05,2.760357e-05,2.790889e-05,2.913167e-05,2.922607e-05,3.027532e-05,3.071089e-05,3.134114e-05,3.206138e-05,3.233104e-05,3.324742e-05,3.328258e-05,3.409295e-05,3.438057e-05,3.487061e-05,3.536224e-05,3.558352e-05,3.623483e-05,3.682773e-05,3.700563e-05,3.736538e-05,3.768195e-05,3.785093e-05,3.827085e-05,3.828740e-05,3.867774e-05,3.877916e-05,3.902479e-05,3.921338e-05,3.933129e-05,3.957969e-05,3.959984e-05,3.983292e-05,3.988384e-05,4.003286e-05,4.013118e-05,4.020187e-05,4.032668e-05,4.034204e-05,4.045537e-05,4.047498e-05,4.054371e-05,4.058037e-05,4.060883e-05,4.064679e-05,4.065237e-05,4.067589e-05,4.067790e-05,4.068085e-05,4.067704e-05,4.066861e-05,4.064731e-05,4.064047e-05,4.059762e-05,4.059155e-05,4.054120e-05,4.051235e-05,4.047227e-05,4.041212e-05,4.039181e-05,4.030076e-05,4.029305e-05,4.019999e-05,4.015714e-05,4.009030e-05,4.000624e-05,3.997247e-05,3.984720e-05,3.984204e-05,3.971515e-05,3.966607e-05,3.957695e-05,3.947975e-05,3.943318e-05,3.928438e-05,3.913105e-05,3.908111e-05,3.897368e-05,3.887104e-05,3.881270e-05,3.865515e-05,3.864852e-05,3.848154e-05,3.843432e-05,3.831209e-05,3.820939e-05,3.814053e-05,3.798108e-05,3.796715e-05,3.779225e-05,3.775008e-05,3.761610e-05,3.751701e-05,3.743895e-05,3.728241e-05,3.726103e-05,3.708255e-05,3.704681e-05,3.690372e-05,3.681066e-05,3.672473e-05,3.657437e-05,3.654574e-05,3.636692e-05,3.633833e-05,3.618841e-05,3.610288e-05,3.601035e-05,3.586832e-05,3.583288e-05,3.565610e-05,3.563493e-05,3.548012e-05,3.540297e-05,3.530504e-05,3.517264e-05,3.513096e-05,3.495795e-05,3.494416e-05,3.478610e-05,3.471770e-05,3.461547e-05,3.449341e-05,3.444612e-05,3.427813e-05,3.427144e-05,3.411153e-05,3.405190e-05,3.394637e-05,3.383491e-05,3.378270e-05,3.362056e-05,3.340893e-05,3.320010e-05,3.299411e-05,3.279101e-05,3.259085e-05,3.239367e-05,3.219947e-05,3.200829e-05,3.182012e-05,3.163499e-05,3.145288e-05,3.127380e-05,3.109773e-05,3.092467e-05,3.075459e-05,3.058749e-05,3.042334e-05,3.026211e-05,3.010378e-05,2.994833e-05,2.979572e-05,2.964592e-05,2.949890e-05,2.935462e-05
0.000000e+00,2.363905e-12,1.687467e-11,2.776901e-10,1.601898e-09,3.456768e-09,1.677336e-08,1.771696e-08,5.707007e-08,7.493939e-08,1.391625e-07,2.168604e-07,2.830973e-07,4.868185e-07,5.082787e-07,8.339710e-07,9.291846e-07,1.278698e-06,1.585902e-06,1.858498e-06,2.489120e-06,2.584062e-06,3.458590e-06,3.651123e-06,4.478081e-06,5.062653e-06,5.633567e-06,6.700889e-06,6.913541e-06,8.305492e-06,8.537738e-06,9.796546e-06,1.054361e-05,1.137360e-05,1.268820e-05,1.302330e-05,1.473212e-05,1.494051e-05,1.648644e-05,1.726928e-05,1.827280e-05,1.964377e-05,2.007809e-05,2.188983e-05,2.203469e-05,2.369635e-05,2.441506e-05,2.548693e-05,2.676084e-05,2.725196e-05,2.898297e-05,2.905140e-05,3.067265e-05,3.126960e-05,3.231485e-05,3.340180e-05,3.390452e-05,3.543763e-05,3.691111e-05,3.736965e-05,3.832276e-05,3.919306e-05,3.967112e-05,4.090526e-05,4.095539e-05,4.217537e-05,4.250547e-05,4.333133e-05,4.399445e-05,4.442395e-05,4.537409e-05,4.545425e-05,4.642353e-05,4.664724e-05,4.733329e-05,4.781737e-05,4.818521e-05,4.888850e-05,4.898111e-05,4.972288e-05,4.986491e-05,5.041248e-05,5.075111e-05,5.105191e-05,5.155173e-05,5.164318e-05,5.218830e-05,5.227137e-05,5.268926e-05,5.291462e-05,5.314803e-05,5.348597e-05,5.356654e-05,5.394667e-05,5.398979e-05,5.429025e-05,5.443032e-05,5.459908e-05,5.481161e-05,5.487488e-05,5.511933e-05,5.513758e-05,5.533403e-05,5.541193e-05,5.552053e-05,5.563821e-05,5.568035e-05,5.581490e-05,5.581978e-05,5.592557e-05,5.595982e-05,5.601368e-05,5.606136e-05,5.608050e-05,5.612724e-05,5.615505e-05,5.616013e-05,5.616504e-05,5.616258e-05,5.615827e-05,5.613695e-05,5.613575e-05,5.609845e-05,5.608548e-05,5.604726e-05,5.601026e-05,5.598309e-05,5.591328e-05,5.590674e-05,5.581903e-05,5.579637e-05,5.572069e-05,5.566126e-05,5.561246e-05,5.550957e-05,5.549501e-05,5.536899e-05,5.534282e-05,5.523502e-05,5.516241e-05,5.509369e-05,5.496967e-05,5.494553e-05,5.479110e-05,5.476584e-05,5.463088e-05,5.455206e-05,5.446534e-05,5.432940e-05,5.429495e-05,5.412012e-05,5.409886e-05,5.394126e-05,5.386138e-05,5.375874e-05,5.361781e-05,5.357293e-05,5.338418e-05,5.336896e-05,5.319280e-05,5.311558e-05,5.299909e-05,5.285835e-05,5.280336e-05,5.260586e-05,5.259792e-05,5.240686e-05,5.233489e-05,5.220659e-05,5.206980e-05,5.200529e-05,5.180317e-05,5.153545e-05,5.126709e-05,5.099848e-05,5.072999e-05,5.046196e-05,5.019469e-05,4.992848e-05,4.966357e-05,4.940020e-05,4.913859e-05,4.887894e-05,4.862141e-05,4.836619e-05,4.811339e-05,4.786316e-05,4.761561e-05,4.737084e-05,4.712894e-05,4.688999e-05,4.665406e-05,4.642120e-05,4.619148e-05,4.596492e-05,4.574157e-05
0.000000e+00,7.810009e-12,5.216906e-11,7.552831e-10,3.923249e-09,8.031748e-09,3.456025e-08,3.634373e-08,1.062733e-07,1.363987e-07,2.406152e-07,3.618237e-07,4.626832e-07,7.648182e-07,7.961619e-07,1.265030e-06,1.400305e-06,1.892056e-06,2.319139e-06,2.694575e-06,3.550958e-06,3.678428e-06,4.834412e-06,5.084509e-06,6.140902e-06,6.870685e-06,7.570417e-06,8.846041e-06,9.095388e-06,1.069100e-05,1.095137e-05,1.233563e-05,1.313682e-05,1.401038e-05,1.536061e-05,1.569859e-05,1.738541e-05,1.758710e-05,1.905774e-05,1.978595e-05,2.070408e-05,2.193183e-05,2.231463e-05,2.388117e-05,2.400439e-05,2.539707e-05,2.598804e-05,2.685715e-05,2.787164e-05,2.825758e-05,2.959574e-05,2.964795e-05,3.087005e-05,3.131302e-05,3.207982e-05,3.286558e-05,3.322507e-05,3.430645e-05,3.532511e-05,3.563808e-05,3.628256e-05,3.686402e-05,3.718059e-05,3.798867e-05,3.802122e-05,3.880661e-05,3.901692e-05,3.953899e-05,3.995393e-05,4.022067e-05,4.080503e-05,4.085397e-05,4.144117e-05,4.157550e-05,4.198456e-05,4.227053e-05,4.248632e-05,4.289515e-05,4.294861e-05,4.337350e-05,4.345417e-05,4.376298e-05,4.395217e-05,4.411899e-05,4.439351e-05,4.444335e-05,4.473782e-05,4.478227e-05,4.500406e-05,4.512229e-05,4.524366e-05,4.541719e-05,4.545815e-05,4.564898e-05,4.567035e-05,4.581750e-05,4.588493e-05,4.596502e-05,4.606385e-05,4.609276e-05,4.620190e-05,4.620986e-05,4.629353e-05,4.632552e-05,4.636871e-05,4.641320e-05,4.642841e-05,4.647359e-05,4.647511e-05,4.650512e-05,4.651329e-05,4.652383e-05,4.652965e-05,4.653053e-05,4.652597e-05,4.651084e-05,4.650388e-05,4.648582e-05,4.646491e-05,4.645154e-05,4.641048e-05,4.640860e-05,4.635755e-05,4.634188e-05,4.629894e-05,4.626035e-05,4.623326e-05,4.616701e-05,4.616100e-05,4.608259e-05,4.606291e-05,4.599847e-05,4.594902e-05,4.590904e-05,4.582624e-05,4.581467e-05,4.571572e-05,4.569542e-05,4.561254e-05,4.555731e-05,4.550543e-05,4.541265e-05,4.539470e-05,4.528063e-05,4.526209e-05,4.516350e-05,4.510626e-05,4.504356e-05,4.494573e-05,4.492104e-05,4.479617e-05,4.478104e-05,4.466916e-05,4.461266e-05,4.454023e-05,4.444106e-05,4.440955e-05,4.427731e-05,4.426666e-05,4.414367e-05,4.408986e-05,4.400880e-05,4.391101e-05,4.387285e-05,4.373595e-05,4.373046e-05,4.359825e-05,4.354851e-05,4.345988e-05,4.336545e-05,4.332094e-05,4.318155e-05,4.299705e-05,4.281219e-05,4.262716e-05,4.244217e-05,4.225739e-05,4.207300e-05,4.188913e-05,4.170594e-05,4.152354e-05,4.134207e-05,4.116161e-05,4.098229e-05,4.080418e-05,4.062737e-05,4.045193e-05,4.027794e-05,4.010545e-05,3.993452e-05,3.976520e-05,3.959754e-05,3.943157e-05,3.926733e-05,3.910486e-05,3.894418e-05
0.000000e+00,4.688985e-16,4.054487e-15,9.842690e-14,8.003257e-13,2.075087e-12,1.590555e-11,1.710645e-11,8.443911e-11,1.239372e-10,3.017629e-10,5.799599e-10,8.640992e-10,1.971174e-09,2.106459e-09,4.545881e-09,5.386247e-09,8.919300e-09,1.257010e-08,1.621331e-08,2.603559e-08,2.767950e-08,4.482663e-08,4.908664e-08,6.938225e-08,8.569849e-08,1.032226e-07,1.402368e-07,1.482780e-07,2.064249e-07,2.170611e-07,2.793793e-07,3.200978e-07,3.686020e-07,4.524660e-07,4.752242e-07,5.999963e-07,6.162092e-07,7.432610e-07,8.121526e-07,9.049482e-07,1.039876e-06,1.084588e-06,1.281339e-06,1.297785e-06,1.494029e-06,1.583251e-06,1.721203e-06,1.892795e-06,1.961170e-06,2.212059e-06,2.222294e-06,2.471872e-06,2.567191e-06,2.738533e-06,2.922700e-06,3.009937e-06,3.283993e-06,3.558664e-06,3.646367e-06,3.831999e-06,4.005379e-06,4.102162e-06,4.356959e-06,4.367458e-06,4.626344e-06,4.697492e-06,4.877447e-06,5.023869e-06,5.119572e-06,5.333517e-06,5.351698e-06,5.572986e-06,5.624405e-06,5.782770e-06,5.895031e-06,5.980549e-06,6.144387e-06,6.165979e-06,6.338863e-06,6.371927e-06,6.499136e-06,6.577509e-06,6.646853e-06,6.761346e-06,6.782173e-06,6.905347e-06,6.923949e-06,7.016703e-06,7.066070e-06,7.116635e-06,7.188651e-06,7.205586e-06,7.284042e-06,7.292775e-06,7.352517e-06,7.379621e-06,7.411545e-06,7.450423e-06,7.461671e-06,7.503445e-06,7.506443e-06,7.537414e-06,7.548937e-06,7.564115e-06,7.579136e-06,7.584074e-06,7.597801e-06,7.598228e-06,7.605786e-06,7.607346e-06,7.608497e-06,7.607558e-06,7.606382e-06,7.599860e-06,7.589330e-06,7.585176e-06,7.575165e-06,7.564352e-06,7.557711e-06,7.538165e-06,7.537296e-06,7.514219e-06,7.507320e-06,7.488762e-06,7.472452e-06,7.461181e-06,7.434136e-06,7.431714e-06,7.400580e-06,7.392882e-06,7.367978e-06,7.349149e-06,7.334093e-06,7.303345e-06,7.299091e-06,7.263126e-06,7.255830e-06,7.226337e-06,7.206924e-06,7.188852e-06,7.156910e-06,7.150785e-06,7.112242e-06,7.106037e-06,7.073316e-06,7.054522e-06,7.034095e-06,7.002558e-06,6.994657e-06,6.955071e-06,6.950314e-06,6.915403e-06,6.897938e-06,6.875709e-06,6.845558e-06,6.836043e-06,6.796449e-06,6.793286e-06,6.756972e-06,6.741222e-06,6.717648e-06,6.689450e-06,6.678512e-06,6.639595e-06,6.638043e-06,6.600923e-06,6.587066e-06,6.562521e-06,6.536574e-06,6.524411e-06,6.486613e-06,6.437226e-06,6.388445e-06,6.340302e-06,6.292819e-06,6.246019e-06,6.199916e-06,6.154526e-06,6.109858e-06,6.065920e-06,6.022719e-06,5.980257e-06,5.938536e-06,5.897558e-06,5.857320e-06,5.817820e-06,5.779055e-06,5.741020e-06,5.703710e-06,5.667118e-06,5.631237e-06,5.596060e-06,5.561579e-06,5.527786e-06,5.494671e-06
0.000000e+00,2.427568e-10,1.068061e-09,7.714948e-09,2.502426e-08,4.163467e-08,1.186689e-07,1.230944e-07,2.722008e-07,3.287619e-07,5.087352e-07,7.009819e-07,8.528545e-07,1.282100e-06,1.325059e-06,1.944144e-06,2.116148e-06,2.722154e-06,3.227822e-06,3.659195e-06,4.606572e-06,4.744017e-06,5.959827e-06,6.217161e-06,7.289244e-06,8.019983e-06,8.715973e-06,9.978432e-06,1.022474e-05,1.180086e-05,1.205832e-05,1.343000e-05,1.422670e-05,1.509818e-05,1.645171e-05,1.679186e-05,1.849821e-05,1.870324e-05,2.020521e-05,2.095363e-05,2.190191e-05,2.317844e-05,2.357851e-05,2.522643e-05,2.535680e-05,2.683835e-05,2.747163e-05,2.840816e-05,2.950951e-05,2.993088e-05,3.140263e-05,3.146040e-05,3.282049e-05,3.331730e-05,3.418237e-05,3.507579e-05,3.548697e-05,3.673361e-05,3.792214e-05,3.829025e-05,3.905291e-05,3.974658e-05,4.012658e-05,4.110453e-05,4.114417e-05,4.210688e-05,4.236679e-05,4.301613e-05,4.353665e-05,4.387345e-05,4.461773e-05,4.468048e-05,4.543892e-05,4.561391e-05,4.615052e-05,4.652921e-05,4.681704e-05,4.736768e-05,4.744023e-05,4.802184e-05,4.813333e-05,4.856360e-05,4.883013e-05,4.906720e-05,4.946195e-05,4.953429e-05,4.996649e-05,5.003251e-05,5.036535e-05,5.054541e-05,5.073239e-05,5.100410e-05,5.106908e-05,5.137683e-05,5.141188e-05,5.165701e-05,5.177189e-05,5.191092e-05,5.208711e-05,5.213983e-05,5.234495e-05,5.236037e-05,5.252744e-05,5.259435e-05,5.268842e-05,5.279160e-05,5.282894e-05,5.295004e-05,5.295450e-05,5.305270e-05,5.308532e-05,5.313785e-05,5.318621e-05,5.320638e-05,5.325916e-05,5.329700e-05,5.330609e-05,5.332069e-05,5.332876e-05,5.333097e-05,5.332888e-05,5.332855e-05,5.331412e-05,5.330801e-05,5.328832e-05,5.326765e-05,5.325179e-05,5.320919e-05,5.320510e-05,5.314882e-05,5.313395e-05,5.308350e-05,5.304316e-05,5.300965e-05,5.293799e-05,5.292775e-05,5.283828e-05,5.281951e-05,5.274167e-05,5.268876e-05,5.263836e-05,5.254669e-05,5.252874e-05,5.241321e-05,5.239420e-05,5.229213e-05,5.223214e-05,5.216585e-05,5.206130e-05,5.203470e-05,5.189900e-05,5.188242e-05,5.175905e-05,5.169620e-05,5.161515e-05,5.150330e-05,5.146755e-05,5.131654e-05,5.130432e-05,5.116235e-05,5.109983e-05,5.100521e-05,5.089039e-05,5.084537e-05,5.068302e-05,5.067648e-05,5.051838e-05,5.045858e-05,5.035163e-05,5.023714e-05,5.018297e-05,5.001256e-05,4.978523e-05,4.955551e-05,4.932374e-05,4.909025e-05,4.885531e-05,4.861921e-05,4.838221e-05,4.814454e-05,4.790643e-05,4.766810e-05,4.742972e-05,4.719149e-05,4.695358e-05,4.671613e-05,4.647930e-05,4.624323e-05,4.600803e-05,4.577382e-05,4.554072e-05,4.530882e-05,4.507821e-05,4.484897e-05,4.462119e-05,4.439494e-05
0.000000e+00,1.359334e-09,3.309864e-09,1.207964e-08,2.810966e-08,4.126965e-08,9.409094e-08,9.691665e-08,1.861706e-07,2.180913e-07,3.156208e-07,4.151927e-07,4.915082e-07,6.994403e-07,7.197574e-07,1.005558e-06,1.083136e-06,1.352091e-06,1.572611e-06,1.758640e-06,2.161885e-06,2.219858e-06,2.727533e-06,2.833873e-06,3.273043e-06,3.569030e-06,3.848582e-06,4.350182e-06,4.447263e-06,5.062878e-06,5.162558e-06,5.689677e-06,5.992916e-06,6.322264e-06,6.829087e-06,6.955576e-06,7.584912e-06,7.659957e-06,8.205978e-06,8.475620e-06,8.814932e-06,9.267553e-06,9.408419e-06,9.983591e-06,1.002874e-05,1.053811e-05,1.075370e-05,1.107011e-05,1.143843e-05,1.157823e-05,1.206150e-05,1.208031e-05,1.251937e-05,1.267793e-05,1.295160e-05,1.323090e-05,1.335827e-05,1.373969e-05,1.409638e-05,1.420541e-05,1.442904e-05,1.462970e-05,1.473847e-05,1.501452e-05,1.502559e-05,1.529136e-05,1.536208e-05,1.553680e-05,1.567474e-05,1.576295e-05,1.595487e-05,1.597086e-05,1.616156e-05,1.620488e-05,1.633607e-05,1.642709e-05,1.649538e-05,1.662375e-05,1.664044e-05,1.677217e-05,1.679699e-05,1.689145e-05,1.694883e-05,1.699911e-05,1.708115e-05,1.709594e-05,1.718269e-05,1.719568e-05,1.726006e-05,1.729405e-05,1.732869e-05,1.737774e-05,1.738923e-05,1.744224e-05,1.744812e-05,1.748826e-05,1.750643e-05,1.752781e-05,1.755382e-05,1.756135e-05,1.758931e-05,1.759132e-05,1.761212e-05,1.761989e-05,1.763015e-05,1.764037e-05,1.764376e-05,1.765327e-05,1.765356e-05,1.765898e-05,1.766017e-05,1.766120e-05,1.766084e-05,1.766017e-05,1.765616e-05,1.764937e-05,1.764665e-05,1.764004e-05,1.763282e-05,1.762835e-05,1.761509e-05,1.761449e-05,1.759864e-05,1.759386e-05,1.758094e-05,1.756951e-05,1.756156e-05,1.754235e-05,1.754062e-05,1.751827e-05,1.751270e-05,1.749461e-05,1.748083e-05,1.746975e-05,1.744698e-05,1.744382e-05,1.741689e-05,1.741139e-05,1.738907e-05,1.737427e-05,1.736043e-05,1.733580e-05,1.733106e-05,1.730102e-05,1.729616e-05,1.727040e-05,1.725551e-05,1.723925e-05,1.721399e-05,1.720763e-05,1.717560e-05,1.717173e-05,1.714322e-05,1.712886e-05,1.711052e-05,1.708549e-05,1.707756e-05,1.704438e-05,1.704172e-05,1.701102e-05,1.699764e-05,1.697752e-05,1.695333e-05,1.694391e-05,1.691023e-05,1.690888e-05,1.687650e-05,1.686435e-05,1.684276e-05,1.681982e-05,1.680903e-05,1.677533e-05,1.673095e-05,1.668671e-05,1.664268e-05,1.659888e-05,1.655536e-05,1.651214e-05,1.646927e-05,1.642676e-05,1.638464e-05,1.634294e-05,1.630167e-05,1.626086e-05,1.622051e-05,1.618065e-05,1.614128e-05,1.610241e-05,1.606407e-05,1.602624e-05,1.598895e-05,1.595219e-05,1.591598e-05,1.588030e-05,1.584518e-05,1.581060e-05
0.000000e+00,2.062197e-12,1.458011e-11,2.354200e-10,1.336477e-09,2.860243e-09,1.360687e-08,1.436142e-08,4.545202e-08,5.941294e-08,1.091104e-07,1.685367e-07,2.187525e-07,3.712751e-07,3.872000e-07,6.262373e-07,6.953102e-07,9.464090e-07,1.164601e-06,1.356800e-06,1.798353e-06,1.864617e-06,2.474488e-06,2.608880e-06,3.187544e-06,3.598257e-06,4.000676e-06,4.755720e-06,4.906451e-06,5.893888e-06,6.058593e-06,6.949812e-06,7.476885e-06,8.060269e-06,8.978659e-06,9.211547e-06,1.039078e-05,1.053360e-05,1.158623e-05,1.211461e-05,1.278737e-05,1.369825e-05,1.398486e-05,1.517052e-05,1.526464e-05,1.633730e-05,1.679735e-05,1.747920e-05,1.828312e-05,1.859122e-05,1.966930e-05,1.971167e-05,2.071023e-05,2.107539e-05,2.171159e-05,2.236898e-05,2.267161e-05,2.358917e-05,2.446363e-05,2.473431e-05,2.529480e-05,2.580410e-05,2.608286e-05,2.679929e-05,2.682829e-05,2.753183e-05,2.772143e-05,2.819438e-05,2.857268e-05,2.881703e-05,2.935564e-05,2.940096e-05,2.994745e-05,3.007319e-05,3.045783e-05,3.072837e-05,3.093346e-05,3.132437e-05,3.137573e-05,3.178602e-05,3.186436e-05,3.216571e-05,3.235152e-05,3.251618e-05,3.278896e-05,3.283876e-05,3.313475e-05,3.317972e-05,3.340542e-05,3.352672e-05,3.365202e-05,3.383277e-05,3.387574e-05,3.407774e-05,3.410058e-05,3.425914e-05,3.433271e-05,3.442101e-05,3.453161e-05,3.456438e-05,3.469025e-05,3.469959e-05,3.479956e-05,3.483885e-05,3.489322e-05,3.495146e-05,3.497210e-05,3.503705e-05,3.503937e-05,3.508885e-05,3.510442e-05,3.512826e-05,3.514835e-05,3.515601e-05,3.517279e-05,3.517925e-05,3.517925e-05,3.517604e-05,3.516918e-05,3.516374e-05,3.514392e-05,3.514293e-05,3.511414e-05,3.510472e-05,3.507789e-05,3.505276e-05,3.503467e-05,3.498916e-05,3.498495e-05,3.492917e-05,3.491492e-05,3.486774e-05,3.483103e-05,3.480107e-05,3.473837e-05,3.472954e-05,3.465350e-05,3.463778e-05,3.457329e-05,3.453004e-05,3.448923e-05,3.441588e-05,3.440164e-05,3.431080e-05,3.429598e-05,3.421698e-05,3.417096e-05,3.412044e-05,3.404142e-05,3.402143e-05,3.392018e-05,3.390789e-05,3.381691e-05,3.377088e-05,3.371182e-05,3.363086e-05,3.360512e-05,3.349698e-05,3.348827e-05,3.338758e-05,3.334350e-05,3.327709e-05,3.319694e-05,3.316565e-05,3.305342e-05,3.304892e-05,3.294053e-05,3.289976e-05,3.282712e-05,3.274976e-05,3.271330e-05,3.259918e-05,3.244829e-05,3.229731e-05,3.214644e-05,3.199589e-05,3.184582e-05,3.169641e-05,3.154780e-05,3.140012e-05,3.125350e-05,3.110805e-05,3.096386e-05,3.082104e-05,3.067965e-05,3.053978e-05,3.040148e-05,3.026482e-05,3.012985e-05,2.999660e-05,2.986512e-05,2.973544e-05,2.960758e-05,2.948158e-05,2.935744e-05,2.923519e-05
0.000000e+00,2.170573e-15,1.922080e-14,4.905040e-13,4.176951e-12,1.111159e-11,9.110683e-11,9.825782e-11,5.194281e-10,7.769659e-10,1.985047e-09,3.968972e-09,6.069763e-09,1.468975e-08,1.577795e-08,3.625330e-08,4.359558e-08,7.560016e-08,1.101425e-07,1.457469e-07,2.459762e-07,2.632467e-07,4.499021e-07,4.978439e-07,7.331296e-07,9.293378e-07,1.146022e-06,1.621092e-06,1.727104e-06,2.519803e-06,2.669402e-06,3.571701e-06,4.183500e-06,4.933595e-06,6.281846e-06,6.658435e-06,8.800186e-06,9.087778e-06,1.141266e-05,1.272488e-05,1.454835e-05,1.731232e-05,1.825730e-05,2.258606e-05,2.296043e-05,2.757670e-05,2.976670e-05,3.326592e-05,3.781219e-05,3.968438e-05,4.685599e-05,4.715878e-05,5.479750e-05,5.784693e-05,6.351815e-05,6.989434e-05,7.301948e-05,8.329528e-05,9.433172e-05,9.802076e-05,1.061075e-04,1.140193e-04,1.185944e-04,1.312183e-04,1.317574e-04,1.455554e-04,1.495264e-04,1.599420e-04,1.688354e-04,1.748660e-04,1.890232e-04,1.902721e-04,2.061018e-04,2.099573e-04,2.222941e-04,2.314967e-04,2.387861e-04,2.534963e-04,2.555139e-04,2.724136e-04,2.758085e-04,2.894213e-04,2.982871e-04,3.064743e-04,3.207890e-04,3.235114e-04,3.404735e-04,3.431767e-04,3.573040e-04,3.653200e-04,3.739492e-04,3.870979e-04,3.903586e-04,4.064853e-04,4.083994e-04,4.222858e-04,4.291243e-04,4.377205e-04,4.491841e-04,4.527537e-04,4.673535e-04,4.685019e-04,4.814921e-04,4.870128e-04,4.951452e-04,5.046632e-04,5.082924e-04,5.209169e-04,5.214108e-04,5.330052e-04,5.372237e-04,5.445473e-04,5.520801e-04,5.555359e-04,5.659670e-04,5.758390e-04,5.788801e-04,5.851531e-04,5.908226e-04,5.939124e-04,6.018043e-04,6.021222e-04,6.097898e-04,6.118407e-04,6.169239e-04,6.209526e-04,6.235349e-04,6.291648e-04,6.296343e-04,6.352346e-04,6.365059e-04,6.403496e-04,6.430072e-04,6.449934e-04,6.487022e-04,6.491812e-04,6.529283e-04,6.536262e-04,6.562505e-04,6.578155e-04,6.591640e-04,6.613073e-04,6.616850e-04,6.638297e-04,6.641390e-04,6.656145e-04,6.663481e-04,6.670555e-04,6.679715e-04,6.681687e-04,6.689699e-04,6.690458e-04,6.694746e-04,6.696066e-04,6.696979e-04,6.696887e-04,6.696548e-04,6.693598e-04,6.693257e-04,6.688268e-04,6.685501e-04,6.680697e-04,6.673932e-04,6.671016e-04,6.659353e-04,6.658847e-04,6.645833e-04,6.640533e-04,6.630572e-04,6.619260e-04,6.613687e-04,6.595287e-04,6.568855e-04,6.540195e-04,6.509525e-04,6.477047e-04,6.442953e-04,6.407421e-04,6.370621e-04,6.332707e-04,6.293825e-04,6.254111e-04,6.213691e-04,6.172680e-04,6.131189e-04,6.089315e-04,6.047151e-04,6.004782e-04,5.962287e-04,5.919737e-04,5.877197e-04,5.834729e-04,5.792386e-04,5.750220e-04,5.708275e-04,5.666592e-04
0.000000e+00,1.434942e-12,1.043175e-11,1.779773e-10,1.059049e-09,2.322911e-09,1.173139e-08,1.241082e-08,4.149707e-08,5.503274e-08,1.047608e-07,1.665882e-07,2.204120e-07,3.910335e-07,4.093951e-07,6.956982e-07,7.818414e-07,1.106300e-06,1.401064e-06,1.669248e-06,2.310179e-06,2.408857e-06,3.339531e-06,3.548906e-06,4.462058e-06,5.118089e-06,5.764747e-06,6.984030e-06,7.228029e-06,8.829489e-06,9.097061e-06,1.054729e-05,1.140728e-05,1.236169e-05,1.387097e-05,1.425525e-05,1.621250e-05,1.645097e-05,1.821942e-05,1.911485e-05,2.026312e-05,2.183348e-05,2.233153e-05,2.441338e-05,2.458018e-05,2.649813e-05,2.733064e-05,2.857607e-05,3.006293e-05,3.063829e-05,3.267677e-05,3.275772e-05,3.468440e-05,3.539837e-05,3.665496e-05,3.797100e-05,3.858310e-05,4.046433e-05,4.229498e-05,4.286959e-05,4.407206e-05,4.518021e-05,4.579331e-05,4.739161e-05,4.745704e-05,4.906210e-05,4.950090e-05,5.060781e-05,5.150662e-05,5.209390e-05,5.340851e-05,5.352045e-05,5.488783e-05,5.520726e-05,5.619665e-05,5.690432e-05,5.744775e-05,5.850174e-05,5.864210e-05,5.978085e-05,6.000203e-05,6.086522e-05,6.140804e-05,6.189654e-05,6.272285e-05,6.287618e-05,6.380557e-05,6.394971e-05,6.468618e-05,6.509198e-05,6.551948e-05,6.615306e-05,6.630696e-05,6.705010e-05,6.713637e-05,6.775038e-05,6.804529e-05,6.840925e-05,6.888319e-05,6.902816e-05,6.960854e-05,6.965335e-05,7.015178e-05,7.035898e-05,7.065924e-05,7.100320e-05,7.113225e-05,7.157213e-05,7.158905e-05,7.198015e-05,7.211947e-05,7.235754e-05,7.259729e-05,7.270552e-05,7.302525e-05,7.331788e-05,7.340597e-05,7.358450e-05,7.374199e-05,7.382619e-05,7.403572e-05,7.404399e-05,7.423889e-05,7.428950e-05,7.441188e-05,7.450555e-05,7.456390e-05,7.468601e-05,7.469585e-05,7.480861e-05,7.483291e-05,7.490304e-05,7.494821e-05,7.497994e-05,7.503376e-05,7.504013e-05,7.508435e-05,7.509135e-05,7.511335e-05,7.512265e-05,7.512784e-05,7.512930e-05,7.512850e-05,7.511599e-05,7.511281e-05,7.509095e-05,7.507467e-05,7.505400e-05,7.501625e-05,7.500571e-05,7.494667e-05,7.493889e-05,7.487741e-05,7.484384e-05,7.479847e-05,7.473231e-05,7.471035e-05,7.461353e-05,7.460542e-05,7.450849e-05,7.446427e-05,7.439567e-05,7.430986e-05,7.427550e-05,7.414841e-05,7.414319e-05,7.401478e-05,7.396515e-05,7.387501e-05,7.377664e-05,7.372946e-05,7.357847e-05,7.337144e-05,7.315628e-05,7.293369e-05,7.270435e-05,7.246886e-05,7.222784e-05,7.198184e-05,7.173138e-05,7.147698e-05,7.121908e-05,7.095815e-05,7.069460e-05,7.042882e-05,7.016118e-05,6.989204e-05,6.962171e-05,6.935050e-05,6.907871e-05,6.880661e-05,6.853443e-05,6.826243e-05,6.799083e-05,6.771982e-05,6.744961e-05
0.000000e+00,7.227730e-11,3.566449e-10,3.052239e-09,1.091638e-08,1.887517e-08,5.762747e-08,5.990390e-08,1.381031e-07,1.682681e-07,2.653549e-07,3.704084e-07,4.541517e-07,6.936762e-07,7.178473e-07,1.069464e-06,1.168090e-06,1.517988e-06,1.812031e-06,2.063753e-06,2.617529e-06,2.697844e-06,3.406524e-06,3.555959e-06,4.175879e-06,4.595799e-06,4.993713e-06,5.710454e-06,5.849547e-06,6.734072e-06,6.877677e-06,7.638706e-06,8.077687e-06,8.555380e-06,9.292242e-06,9.476459e-06,1.039478e-05,1.050448e-05,1.130374e-05,1.169914e-05,1.219732e-05,1.286288e-05,1.307024e-05,1.391791e-05,1.398452e-05,1.473651e-05,1.505509e-05,1.552292e-05,1.606783e-05,1.627474e-05,1.699022e-05,1.701807e-05,1.766823e-05,1.790301e-05,1.830816e-05,1.872145e-05,1.890981e-05,1.947338e-05,1.999940e-05,2.015992e-05,2.048866e-05,2.078296e-05,2.094218e-05,2.134506e-05,2.136117e-05,2.174690e-05,2.184913e-05,2.210076e-05,2.229838e-05,2.242420e-05,2.269614e-05,2.271867e-05,2.298566e-05,2.304581e-05,2.322662e-05,2.335073e-05,2.344300e-05,2.361421e-05,2.363621e-05,2.380762e-05,2.383940e-05,2.395855e-05,2.402936e-05,2.409026e-05,2.418694e-05,2.420397e-05,2.430085e-05,2.431486e-05,2.438200e-05,2.441567e-05,2.444846e-05,2.449173e-05,2.450124e-05,2.454127e-05,2.454526e-05,2.456946e-05,2.457832e-05,2.458663e-05,2.459281e-05,2.459358e-05,2.459106e-05,2.459047e-05,2.457976e-05,2.457294e-05,2.456035e-05,2.454170e-05,2.453344e-05,2.449962e-05,2.449813e-05,2.445943e-05,2.444350e-05,2.441338e-05,2.437896e-05,2.436195e-05,2.430559e-05,2.424472e-05,2.422436e-05,2.417974e-05,2.413616e-05,2.411100e-05,2.404181e-05,2.403887e-05,2.396365e-05,2.394208e-05,2.388565e-05,2.383763e-05,2.380515e-05,2.372911e-05,2.372241e-05,2.363768e-05,2.361708e-05,2.355119e-05,2.350206e-05,2.346315e-05,2.338454e-05,2.337375e-05,2.328319e-05,2.326495e-05,2.319164e-05,2.314369e-05,2.309925e-05,2.302111e-05,2.300618e-05,2.291257e-05,2.289755e-05,2.281855e-05,2.277330e-05,2.272423e-05,2.264864e-05,2.262973e-05,2.253515e-05,2.252380e-05,2.244059e-05,2.239901e-05,2.234613e-05,2.227447e-05,2.225187e-05,2.215786e-05,2.215036e-05,2.206420e-05,2.202684e-05,2.197093e-05,2.190406e-05,2.187812e-05,2.178583e-05,2.178215e-05,2.169410e-05,2.166122e-05,2.160298e-05,2.154139e-05,2.151251e-05,2.142273e-05,2.130534e-05,2.118929e-05,2.107464e-05,2.096145e-05,2.084975e-05,2.073960e-05,2.063103e-05,2.052406e-05,2.041872e-05,2.031503e-05,2.021300e-05,2.011265e-05,2.001397e-05,1.991698e-05,1.982167e-05,1.972804e-05,1.963608e-05,1.954579e-05,1.945717e-05,1.937019e-05,1.928485e-05,1.920113e-05,1.911902e-05,1.903850e-05
0.000000e+00,2.128415e-09,4.951205e-09,1.731891e-08,3.974212e-08,5.819106e-08,1.331071e-07,1.371574e-07,2.673164e-07,3.148777e-07,4.632604e-07,6.190926e-07,7.411187e-07,1.082341e-06,1.116193e-06,1.596837e-06,1.727731e-06,2.179357e-06,2.545596e-06,2.851436e-06,3.506058e-06,3.599416e-06,4.411660e-06,4.580945e-06,5.278505e-06,5.747986e-06,6.191421e-06,6.988001e-06,7.142390e-06,8.123628e-06,8.282923e-06,9.127518e-06,9.615252e-06,1.014668e-05,1.096826e-05,1.117407e-05,1.220312e-05,1.232643e-05,1.322782e-05,1.367589e-05,1.424276e-05,1.500464e-05,1.524319e-05,1.622504e-05,1.630268e-05,1.718489e-05,1.756202e-05,1.811992e-05,1.877651e-05,1.902791e-05,1.990711e-05,1.994166e-05,2.075626e-05,2.105443e-05,2.157450e-05,2.211296e-05,2.236130e-05,2.311642e-05,2.383988e-05,2.406473e-05,2.453188e-05,2.495843e-05,2.519282e-05,2.579855e-05,2.582319e-05,2.642362e-05,2.658647e-05,2.699481e-05,2.732380e-05,2.753752e-05,2.801235e-05,2.805256e-05,2.854076e-05,2.865403e-05,2.900298e-05,2.925079e-05,2.944008e-05,2.980465e-05,2.985294e-05,3.024242e-05,3.031759e-05,3.060938e-05,3.079158e-05,3.095467e-05,3.122856e-05,3.127911e-05,3.158352e-05,3.163042e-05,3.186869e-05,3.199897e-05,3.213540e-05,3.233599e-05,3.238441e-05,3.261644e-05,3.264318e-05,3.283220e-05,3.292216e-05,3.303239e-05,3.317452e-05,3.321766e-05,3.338866e-05,3.340174e-05,3.354600e-05,3.360525e-05,3.369029e-05,3.378642e-05,3.382211e-05,3.394200e-05,3.394656e-05,3.405051e-05,3.408689e-05,3.414815e-05,3.420859e-05,3.423542e-05,3.431279e-05,3.438072e-05,3.440054e-05,3.443966e-05,3.447285e-05,3.449002e-05,3.453068e-05,3.453221e-05,3.456663e-05,3.457493e-05,3.459365e-05,3.460646e-05,3.461363e-05,3.462608e-05,3.462691e-05,3.463382e-05,3.463457e-05,3.463469e-05,3.463265e-05,3.462982e-05,3.462101e-05,3.461949e-05,3.460399e-05,3.460030e-05,3.458359e-05,3.457113e-05,3.455854e-05,3.453409e-05,3.452909e-05,3.449548e-05,3.448973e-05,3.445793e-05,3.443856e-05,3.441665e-05,3.438109e-05,3.437186e-05,3.432374e-05,3.431776e-05,3.427250e-05,3.424901e-05,3.421831e-05,3.417526e-05,3.416135e-05,3.410178e-05,3.409690e-05,3.403975e-05,3.401429e-05,3.397543e-05,3.392778e-05,3.390896e-05,3.384047e-05,3.383769e-05,3.377010e-05,3.374434e-05,3.369798e-05,3.364800e-05,3.362422e-05,3.354895e-05,3.344744e-05,3.334373e-05,3.323803e-05,3.313056e-05,3.302152e-05,3.291110e-05,3.279947e-05,3.268680e-05,3.257325e-05,3.245896e-05,3.234408e-05,3.222873e-05,3.211303e-05,3.199709e-05,3.188103e-05,3.176493e-05,3.164890e-05,3.153301e-05,3.141736e-05,3.130201e-05,3.118703e-05,3.107250e-05,3.095846e-05,3.084499e-05
0.000000e+00,3.907202e-15,3.405941e-14,8.407936e-13,6.941322e-12,1.814761e-11,1.420954e-10,1.529552e-10,7.707967e-10,1.137616e-09,2.807845e-09,5.454330e-09,8.181712e-09,1.893538e-08,2.025882e-08,4.432271e-08,5.267397e-08,8.799290e-08,1.247295e-07,1.615542e-07,2.613920e-07,2.781633e-07,4.538998e-07,4.977567e-07,7.076274e-07,8.773732e-07,1.060635e-06,1.450768e-06,1.536051e-06,2.158069e-06,2.272829e-06,2.951026e-06,3.399325e-06,3.938435e-06,4.883050e-06,5.142022e-06,6.580858e-06,6.770111e-06,8.270630e-06,9.096802e-06,1.022307e-05,1.188731e-05,1.244556e-05,1.494095e-05,1.515235e-05,1.770748e-05,1.888876e-05,2.073892e-05,2.307988e-05,2.402481e-05,2.755079e-05,2.769659e-05,3.129905e-05,3.269892e-05,3.524881e-05,3.803797e-05,3.937685e-05,4.365808e-05,4.806607e-05,4.949896e-05,5.257358e-05,5.549790e-05,5.715308e-05,6.159173e-05,6.177721e-05,6.641923e-05,6.771866e-05,7.105334e-05,7.381977e-05,7.565506e-05,7.984025e-05,8.020141e-05,8.467121e-05,8.573038e-05,8.904514e-05,9.144614e-05,9.330591e-05,9.694961e-05,9.743825e-05,1.014290e-04,1.022091e-04,1.052670e-04,1.071992e-04,1.089430e-04,1.119003e-04,1.124498e-04,1.157819e-04,1.162985e-04,1.189355e-04,1.203851e-04,1.219083e-04,1.241558e-04,1.246995e-04,1.273095e-04,1.276106e-04,1.297400e-04,1.307531e-04,1.319934e-04,1.335896e-04,1.340731e-04,1.359834e-04,1.361291e-04,1.377290e-04,1.383823e-04,1.393151e-04,1.403616e-04,1.407475e-04,1.420322e-04,1.420806e-04,1.431753e-04,1.435534e-04,1.441832e-04,1.447947e-04,1.450624e-04,1.458193e-04,1.464604e-04,1.466421e-04,1.469920e-04,1.472777e-04,1.474205e-04,1.477404e-04,1.477519e-04,1.479922e-04,1.480440e-04,1.481472e-04,1.482016e-04,1.482226e-04,1.482261e-04,1.482236e-04,1.481555e-04,1.481294e-04,1.480232e-04,1.479228e-04,1.478314e-04,1.476170e-04,1.475847e-04,1.472872e-04,1.472220e-04,1.469432e-04,1.467472e-04,1.465564e-04,1.462011e-04,1.461305e-04,1.456689e-04,1.455919e-04,1.451748e-04,1.449270e-04,1.446513e-04,1.442133e-04,1.441013e-04,1.435275e-04,1.434571e-04,1.429323e-04,1.426643e-04,1.423182e-04,1.418401e-04,1.416873e-04,1.410417e-04,1.409895e-04,1.403834e-04,1.401169e-04,1.397141e-04,1.392264e-04,1.390355e-04,1.383492e-04,1.383216e-04,1.376566e-04,1.374060e-04,1.369591e-04,1.364826e-04,1.362579e-04,1.355541e-04,1.346231e-04,1.336917e-04,1.327619e-04,1.318357e-04,1.309145e-04,1.299999e-04,1.290930e-04,1.281951e-04,1.273070e-04,1.264297e-04,1.255640e-04,1.247104e-04,1.238695e-04,1.230418e-04,1.222276e-04,1.214274e-04,1.206413e-04,1.198696e-04,1.191124e-04,1.183698e-04,1.176418e-04,1.169286e-04,1.162299e-04,1.155460e-04
0.000000e+00,3.771870e-10,1.457415e-09,8.857715e-09,2.628937e-08,4.233933e-08,1.145818e-07,1.186919e-07,2.571703e-07,3.100589e-07,4.804758e-07,6.661782e-07,8.151554e-07,1.242079e-06,1.284939e-06,1.896433e-06,2.063080e-06,2.636892e-06,3.101089e-06,3.488442e-06,4.318333e-06,4.436893e-06,5.471694e-06,5.688220e-06,6.583904e-06,7.189971e-06,7.764834e-06,8.803329e-06,9.005452e-06,1.029626e-05,1.050679e-05,1.162740e-05,1.227774e-05,1.298890e-05,1.409334e-05,1.437093e-05,1.576402e-05,1.593151e-05,1.715930e-05,1.777180e-05,1.854864e-05,1.959603e-05,1.992472e-05,2.128113e-05,2.138862e-05,2.261236e-05,2.313673e-05,2.391377e-05,2.483015e-05,2.518156e-05,2.641269e-05,2.646114e-05,2.760481e-05,2.802407e-05,2.875618e-05,2.951522e-05,2.986563e-05,3.093244e-05,3.195626e-05,3.227481e-05,3.293713e-05,3.354247e-05,3.387534e-05,3.473635e-05,3.477139e-05,3.562601e-05,3.585798e-05,3.644002e-05,3.690934e-05,3.721441e-05,3.789275e-05,3.795022e-05,3.864858e-05,3.881074e-05,3.931064e-05,3.966598e-05,3.993759e-05,4.046121e-05,4.053062e-05,4.109096e-05,4.119921e-05,4.161980e-05,4.188274e-05,4.211833e-05,4.251454e-05,4.258774e-05,4.302917e-05,4.309728e-05,4.344375e-05,4.363355e-05,4.383260e-05,4.412587e-05,4.419678e-05,4.453735e-05,4.457668e-05,4.485531e-05,4.498830e-05,4.515164e-05,4.536298e-05,4.542730e-05,4.568320e-05,4.570285e-05,4.592024e-05,4.600996e-05,4.613926e-05,4.628626e-05,4.634109e-05,4.652652e-05,4.653361e-05,4.669632e-05,4.675376e-05,4.685122e-05,4.694840e-05,4.699192e-05,4.711912e-05,4.723345e-05,4.726742e-05,4.733554e-05,4.739473e-05,4.742600e-05,4.750242e-05,4.750539e-05,4.757428e-05,4.759175e-05,4.763318e-05,4.766395e-05,4.768262e-05,4.772015e-05,4.772306e-05,4.775499e-05,4.776143e-05,4.777884e-05,4.778883e-05,4.779504e-05,4.780330e-05,4.780401e-05,4.780612e-05,4.780575e-05,4.780176e-05,4.779705e-05,4.779128e-05,4.777799e-05,4.777502e-05,4.775331e-05,4.774935e-05,4.772647e-05,4.771185e-05,4.769478e-05,4.766615e-05,4.765855e-05,4.761803e-05,4.761289e-05,4.757349e-05,4.755268e-05,4.752518e-05,4.748608e-05,4.747333e-05,4.741817e-05,4.741362e-05,4.735992e-05,4.733580e-05,4.729878e-05,4.725308e-05,4.723494e-05,4.716861e-05,4.716590e-05,4.709994e-05,4.707469e-05,4.702912e-05,4.697982e-05,4.695631e-05,4.688166e-05,4.678055e-05,4.667681e-05,4.657074e-05,4.646262e-05,4.635272e-05,4.624127e-05,4.612851e-05,4.601466e-05,4.589990e-05,4.578444e-05,4.566844e-05,4.555206e-05,4.543546e-05,4.531878e-05,4.520215e-05,4.508569e-05,4.496951e-05,4.485372e-05,4.473841e-05,4.462368e-05,4.450960e-05,4.439625e-05,4.428370e-05,4.417201e-05
0.000000e+00,4.453116e-13,3.424914e-12,6.534523e-11,4.278156e-10,9.861750e-10,5.608474e-09,5.960212e-09,2.208679e-08,3.004376e-08,6.065817e-08,1.006407e-07,1.365588e-07,2.545632e-07,2.675267e-07,4.736321e-07,5.366751e-07,7.766199e-07,9.968007e-07,1.198239e-06,1.682359e-06,1.757156e-06,2.465566e-06,2.625674e-06,3.327312e-06,3.834943e-06,4.338370e-06,5.295977e-06,5.488921e-06,6.765805e-06,6.980866e-06,8.154484e-06,8.856419e-06,9.640207e-06,1.088893e-05,1.120852e-05,1.284544e-05,1.304583e-05,1.453737e-05,1.529583e-05,1.627111e-05,1.760881e-05,1.803383e-05,1.981316e-05,1.995586e-05,2.159722e-05,2.230963e-05,2.337482e-05,2.464482e-05,2.513555e-05,2.686990e-05,2.693861e-05,2.856933e-05,2.917110e-05,3.022633e-05,3.132551e-05,3.183443e-05,3.338824e-05,3.488334e-05,3.534879e-05,3.631630e-05,3.719957e-05,3.768456e-05,3.893560e-05,3.898639e-05,4.022076e-05,4.055424e-05,4.138732e-05,4.205476e-05,4.248624e-05,4.343808e-05,4.351819e-05,4.448424e-05,4.470644e-05,4.538579e-05,4.586309e-05,4.622450e-05,4.691207e-05,4.700224e-05,4.772107e-05,4.785795e-05,4.838314e-05,4.870573e-05,4.899069e-05,4.946058e-05,4.954602e-05,5.005143e-05,5.012782e-05,5.050924e-05,5.071276e-05,5.092175e-05,5.122067e-05,5.129122e-05,5.161987e-05,5.165667e-05,5.190986e-05,5.202576e-05,5.216330e-05,5.233273e-05,5.238222e-05,5.256859e-05,5.258215e-05,5.272430e-05,5.277841e-05,5.285116e-05,5.292563e-05,5.295093e-05,5.302525e-05,5.302772e-05,5.307574e-05,5.308838e-05,5.310391e-05,5.311105e-05,5.311120e-05,5.309900e-05,5.306861e-05,5.305525e-05,5.302128e-05,5.298265e-05,5.295819e-05,5.288384e-05,5.288047e-05,5.278916e-05,5.276130e-05,5.268529e-05,5.261733e-05,5.256979e-05,5.245405e-05,5.244358e-05,5.230749e-05,5.227345e-05,5.216233e-05,5.207737e-05,5.200887e-05,5.186752e-05,5.184781e-05,5.167984e-05,5.164547e-05,5.150557e-05,5.141268e-05,5.132563e-05,5.117050e-05,5.114056e-05,5.095091e-05,5.092017e-05,5.075716e-05,5.066284e-05,5.055978e-05,5.039957e-05,5.035922e-05,5.015590e-05,5.013133e-05,4.995018e-05,4.985901e-05,4.974245e-05,4.958343e-05,4.953304e-05,4.932226e-05,4.930535e-05,4.911042e-05,4.902545e-05,4.889779e-05,4.874436e-05,4.868464e-05,4.847121e-05,4.846267e-05,4.825771e-05,4.818088e-05,4.804437e-05,4.789949e-05,4.783138e-05,4.761892e-05,4.733957e-05,4.706178e-05,4.678589e-05,4.651218e-05,4.624090e-05,4.597229e-05,4.570656e-05,4.544387e-05,4.518440e-05,4.492829e-05,4.467565e-05,4.442658e-05,4.418119e-05,4.393954e-05,4.370170e-05,4.346771e-05,4.323762e-05,4.301144e-05,4.278921e-05,4.257093e-05,4.235660e-05,4.214623e-05,4.193979e-05,4.173728e-05
0.000000e+00,3.419555e-10,1.440068e-09,9.816501e-09,3.101998e-08,5.126677e-08,1.465300e-07,1.520978e-07,3.464289e-07,4.235030e-07,6.792973e-07,9.651527e-07,1.195397e-06,1.843625e-06,1.907428e-06,2.796741e-06,3.034172e-06,3.843742e-06,4.494735e-06,5.037871e-06,6.206097e-06,6.373753e-06,7.847248e-06,8.158054e-06,9.453433e-06,1.033899e-05,1.118575e-05,1.273223e-05,1.303573e-05,1.499312e-05,1.531550e-05,1.704609e-05,1.806170e-05,1.918167e-05,2.094039e-05,2.138611e-05,2.364532e-05,2.391943e-05,2.594522e-05,2.696651e-05,2.827210e-05,3.005050e-05,3.061289e-05,3.295540e-05,3.314253e-05,3.528839e-05,3.621663e-05,3.760178e-05,3.925019e-05,3.988659e-05,4.213502e-05,4.222410e-05,4.434037e-05,4.512264e-05,4.649703e-05,4.793334e-05,4.860036e-05,5.064664e-05,5.263296e-05,5.325555e-05,5.455717e-05,5.575534e-05,5.641774e-05,5.814312e-05,5.821371e-05,5.994461e-05,6.041759e-05,6.161039e-05,6.257870e-05,6.321133e-05,6.462743e-05,6.474802e-05,6.622129e-05,6.656555e-05,6.763217e-05,6.839544e-05,6.898183e-05,7.011995e-05,7.027160e-05,7.150289e-05,7.174226e-05,7.267717e-05,7.326578e-05,7.379600e-05,7.469411e-05,7.486095e-05,7.587361e-05,7.603090e-05,7.683561e-05,7.727985e-05,7.774855e-05,7.844466e-05,7.861403e-05,7.943365e-05,7.952900e-05,8.020897e-05,8.053647e-05,8.094153e-05,8.147062e-05,8.163285e-05,8.228442e-05,8.233487e-05,8.289768e-05,8.313258e-05,8.347406e-05,8.386699e-05,8.401494e-05,8.452165e-05,8.454123e-05,8.499552e-05,8.515832e-05,8.543781e-05,8.572116e-05,8.584975e-05,8.623255e-05,8.658736e-05,8.669517e-05,8.691530e-05,8.711158e-05,8.721746e-05,8.748426e-05,8.749489e-05,8.774862e-05,8.781555e-05,8.797962e-05,8.810771e-05,8.818884e-05,8.836289e-05,8.837721e-05,8.854560e-05,8.858314e-05,8.869488e-05,8.877043e-05,8.882586e-05,8.892662e-05,8.893934e-05,8.903610e-05,8.905351e-05,8.911686e-05,8.915278e-05,8.918234e-05,8.922605e-05,8.923324e-05,8.927020e-05,8.927486e-05,8.929387e-05,8.930069e-05,8.930486e-05,8.930492e-05,8.930376e-05,8.929113e-05,8.928887e-05,8.926754e-05,8.925382e-05,8.923350e-05,8.920095e-05,8.918951e-05,8.913607e-05,8.913140e-05,8.907365e-05,8.904626e-05,8.900269e-05,8.894655e-05,8.892362e-05,8.883687e-05,8.883325e-05,8.874283e-05,8.870727e-05,8.864189e-05,8.856950e-05,8.853442e-05,8.842076e-05,8.826185e-05,8.809351e-05,8.791645e-05,8.773134e-05,8.753881e-05,8.733947e-05,8.713389e-05,8.692260e-05,8.670612e-05,8.648492e-05,8.625947e-05,8.603019e-05,8.579748e-05,8.556175e-05,8.532334e-05,8.508260e-05,8.483985e-05,8.459540e-05,8.434953e-05,8.410251e-05,8.385460e-05,8.360604e-05,8.335705e-05,8.310784e-05
0.000000e+00,4.485201e-09,1.112545e-08,4.162434e-08,9.884243e-08,1.469352e-07,3.489453e-07,3.601383e-07,7.327533e-07,8.746340e-07,1.334150e-06,1.839626e-06,2.247898e-06,3.423370e-06,3.541366e-06,5.213200e-06,5.663122e-06,7.187116e-06,8.388313e-06,9.368112e-06,1.139979e-05,1.168283e-05,1.408291e-05,1.457015e-05,1.653627e-05,1.782512e-05,1.901957e-05,2.111463e-05,2.151371e-05,2.400162e-05,2.439803e-05,2.646735e-05,2.763856e-05,2.889582e-05,3.080228e-05,3.127296e-05,3.358595e-05,3.385864e-05,3.582341e-05,3.678138e-05,3.797559e-05,3.954927e-05,4.003456e-05,4.199401e-05,4.214632e-05,4.384940e-05,4.456170e-05,4.559777e-05,4.678946e-05,4.723766e-05,4.876886e-05,4.882785e-05,5.019231e-05,5.067871e-05,5.150990e-05,5.234680e-05,5.272443e-05,5.383912e-05,5.485754e-05,5.516378e-05,5.578383e-05,5.633025e-05,5.662223e-05,5.734856e-05,5.737721e-05,5.805324e-05,5.822899e-05,5.865478e-05,5.898180e-05,5.918626e-05,5.961707e-05,5.965201e-05,6.005621e-05,6.014451e-05,6.040288e-05,6.057333e-05,6.069588e-05,6.091226e-05,6.093891e-05,6.113547e-05,6.116950e-05,6.128889e-05,6.135267e-05,6.140231e-05,6.146883e-05,6.147868e-05,6.152079e-05,6.152453e-05,6.153125e-05,6.152576e-05,6.151253e-05,6.147807e-05,6.146690e-05,6.139653e-05,6.138652e-05,6.130341e-05,6.125572e-05,6.118943e-05,6.108993e-05,6.105633e-05,6.090575e-05,6.089300e-05,6.073921e-05,6.066845e-05,6.055813e-05,6.041949e-05,6.036382e-05,6.015751e-05,6.014902e-05,5.994035e-05,5.985972e-05,5.971339e-05,5.955398e-05,5.947764e-05,5.923400e-05,5.898332e-05,5.890175e-05,5.872641e-05,5.855905e-05,5.846399e-05,5.820753e-05,5.819675e-05,5.792533e-05,5.784866e-05,5.765030e-05,5.748378e-05,5.737221e-05,5.711411e-05,5.709157e-05,5.680885e-05,5.674074e-05,5.652447e-05,5.636465e-05,5.623885e-05,5.598675e-05,5.595233e-05,5.566528e-05,5.560783e-05,5.537800e-05,5.522862e-05,5.509079e-05,5.484978e-05,5.480391e-05,5.451762e-05,5.447188e-05,5.423213e-05,5.409545e-05,5.394767e-05,5.372097e-05,5.366442e-05,5.338257e-05,5.334884e-05,5.310226e-05,5.297945e-05,5.282365e-05,5.261312e-05,5.254687e-05,5.227205e-05,5.225015e-05,5.199930e-05,5.189080e-05,5.172871e-05,5.153529e-05,5.146039e-05,5.119441e-05,5.118382e-05,5.093084e-05,5.083656e-05,5.066976e-05,5.049367e-05,5.041122e-05,5.015528e-05,4.982148e-05,4.949237e-05,4.916803e-05,4.884850e-05,4.853385e-05,4.822410e-05,4.791927e-05,4.761938e-05,4.732443e-05,4.703442e-05,4.674933e-05,4.646915e-05,4.619384e-05,4.592339e-05,4.565776e-05,4.539690e-05,4.514078e-05,4.488935e-05,4.464256e-05,4.440036e-05,4.416269e-05,4.392950e-05,4.370073e-05,4.347632e-05
0.000000e+00,1.110027e-15,9.944577e-15,2.601211e-13,2.266623e-12,6.107503e-12,5.179668e-11,5.594006e-11,3.060714e-10,4.621881e-10,1.209602e-09,2.466623e-09,3.821329e-09,9.521817e-09,1.025274e-08,2.429314e-08,2.942596e-08,5.220267e-08,7.732837e-08,1.036649e-07,1.795651e-07,1.928572e-07,3.395645e-07,3.780076e-07,5.702460e-07,7.343696e-07,9.189631e-07,1.333852e-06,1.428094e-06,2.148787e-06,2.287619e-06,3.141109e-06,3.733798e-06,4.473911e-06,5.836903e-06,6.224376e-06,8.477291e-06,8.785685e-06,1.132408e-05,1.278959e-05,1.486159e-05,1.807405e-05,1.919075e-05,2.441504e-05,2.487479e-05,3.063889e-05,3.343159e-05,3.796598e-05,4.398164e-05,4.649764e-05,5.633112e-05,5.675285e-05,6.755806e-05,7.195740e-05,8.026297e-05,8.978568e-05,9.452184e-05,1.104010e-04,1.279560e-04,1.339350e-04,1.472307e-04,1.604842e-04,1.682569e-04,1.901074e-04,1.910533e-04,2.156260e-04,2.228239e-04,2.419675e-04,2.586137e-04,2.700579e-04,2.974174e-04,2.998641e-04,3.313410e-04,3.391380e-04,3.644319e-04,3.836430e-04,3.990691e-04,4.307675e-04,4.351749e-04,4.726623e-04,4.803174e-04,5.114364e-04,5.320736e-04,5.513948e-04,5.857962e-04,5.924294e-04,6.344270e-04,6.412282e-04,6.772705e-04,6.981007e-04,7.208400e-04,7.561366e-04,7.650139e-04,8.096697e-04,8.150549e-04,8.546852e-04,8.745746e-04,8.999391e-04,9.344181e-04,9.453123e-04,9.906878e-04,9.943145e-04,1.035952e-03,1.054002e-03,1.080996e-03,1.113232e-03,1.125715e-03,1.170008e-03,1.171769e-03,1.213780e-03,1.229393e-03,1.256941e-03,1.285900e-03,1.299410e-03,1.341106e-03,1.381960e-03,1.394845e-03,1.421906e-03,1.446967e-03,1.460884e-03,1.497343e-03,1.498842e-03,1.535731e-03,1.545864e-03,1.571513e-03,1.592434e-03,1.606149e-03,1.636979e-03,1.639612e-03,1.671876e-03,1.679439e-03,1.702922e-03,1.719771e-03,1.732736e-03,1.757945e-03,1.761308e-03,1.788632e-03,1.793947e-03,1.814707e-03,1.827773e-03,1.839536e-03,1.859433e-03,1.863125e-03,1.885482e-03,1.888946e-03,1.906622e-03,1.916341e-03,1.926558e-03,1.941653e-03,1.945309e-03,1.962894e-03,1.964927e-03,1.979335e-03,1.986213e-03,1.994657e-03,2.005567e-03,2.008883e-03,2.022042e-03,2.023049e-03,2.034160e-03,2.038722e-03,2.045267e-03,2.052653e-03,2.055391e-03,2.064563e-03,2.064911e-03,2.072815e-03,2.075565e-03,2.080175e-03,2.084688e-03,2.086676e-03,2.092350e-03,2.098623e-03,2.103579e-03,2.107288e-03,2.109820e-03,2.111242e-03,2.111621e-03,2.111021e-03,2.109505e-03,2.107133e-03,2.103965e-03,2.100056e-03,2.095461e-03,2.090232e-03,2.084418e-03,2.078065e-03,2.071220e-03,2.063925e-03,2.056220e-03,2.048144e-03,2.039732e-03,2.031020e-03,2.022039e-03,2.012819e-03,2.003390e-03
0.000000e+00,3.346638e-09,7.961947e-09,2.862778e-08,6.690630e-08,9.891631e-08,2.324993e-07,2.398655e-07,4.831513e-07,5.748592e-07,8.687768e-07,1.187393e-06,1.441830e-06,2.164576e-06,2.236612e-06,3.255402e-06,3.530516e-06,4.470938e-06,5.224697e-06,5.849281e-06,7.175013e-06,7.363109e-06,8.992335e-06,9.330595e-06,1.072120e-05,1.165498e-05,1.253594e-05,1.411712e-05,1.442349e-05,1.637101e-05,1.668732e-05,1.836576e-05,1.933633e-05,2.039525e-05,2.203579e-05,2.244750e-05,2.451115e-05,2.475905e-05,2.657573e-05,2.748196e-05,2.863175e-05,3.018335e-05,3.067074e-05,3.268529e-05,3.284520e-05,3.466907e-05,3.545273e-05,3.661671e-05,3.799413e-05,3.852380e-05,4.038675e-05,4.046030e-05,4.220272e-05,4.284453e-05,4.396954e-05,4.514207e-05,4.568561e-05,4.734984e-05,4.896156e-05,4.946615e-05,5.052043e-05,5.149036e-05,5.202645e-05,5.342268e-05,5.347980e-05,5.488093e-05,5.526396e-05,5.623040e-05,5.701558e-05,5.752894e-05,5.867932e-05,5.877737e-05,5.997660e-05,6.025720e-05,6.112761e-05,6.175150e-05,6.223143e-05,6.316461e-05,6.328913e-05,6.430180e-05,6.449902e-05,6.527055e-05,6.575732e-05,6.619651e-05,6.694208e-05,6.708082e-05,6.792460e-05,6.805592e-05,6.872898e-05,6.910142e-05,6.949509e-05,7.008116e-05,7.022403e-05,7.091690e-05,7.099767e-05,7.157479e-05,7.185345e-05,7.219876e-05,7.265094e-05,7.278986e-05,7.334912e-05,7.339251e-05,7.387755e-05,7.408051e-05,7.437613e-05,7.471719e-05,7.484585e-05,7.528764e-05,7.530475e-05,7.570244e-05,7.584533e-05,7.609114e-05,7.634100e-05,7.645463e-05,7.679377e-05,7.710940e-05,7.720557e-05,7.740233e-05,7.757827e-05,7.767337e-05,7.791368e-05,7.792328e-05,7.815281e-05,7.821353e-05,7.836271e-05,7.847952e-05,7.855368e-05,7.871325e-05,7.872642e-05,7.888159e-05,7.891629e-05,7.901985e-05,7.909012e-05,7.914183e-05,7.923620e-05,7.924815e-05,7.933941e-05,7.935590e-05,7.941617e-05,7.945055e-05,7.947901e-05,7.952143e-05,7.952846e-05,7.956506e-05,7.956976e-05,7.958931e-05,7.959671e-05,7.960171e-05,7.960342e-05,7.960274e-05,7.959286e-05,7.959096e-05,7.957252e-05,7.956036e-05,7.954215e-05,7.951262e-05,7.950218e-05,7.945301e-05,7.944869e-05,7.939503e-05,7.936946e-05,7.932864e-05,7.927582e-05,7.925418e-05,7.917203e-05,7.916859e-05,7.908253e-05,7.904857e-05,7.898600e-05,7.891652e-05,7.888277e-05,7.877316e-05,7.861918e-05,7.845527e-05,7.828203e-05,7.810009e-05,7.791001e-05,7.771235e-05,7.750764e-05,7.729636e-05,7.707902e-05,7.685605e-05,7.662789e-05,7.639496e-05,7.615765e-05,7.591634e-05,7.567137e-05,7.542310e-05,7.517184e-05,7.491790e-05,7.466157e-05,7.440313e-05,7.414284e-05,7.388095e-05,7.361771e-05,7.335333e-05
0.000000e+00,2.414664e-15,2.164410e-14,5.669270e-13,4.948084e-12,1.334736e-11,1.136116e-10,1.227217e-10,6.750081e-10,1.021114e-09,2.686308e-09,5.505768e-09,8.561741e-09,2.154305e-08,2.321808e-08,5.569231e-08,6.767000e-08,1.212697e-07,1.809923e-07,2.440473e-07,4.274108e-07,4.596990e-07,8.181202e-07,9.124645e-07,1.385640e-06,1.790630e-06,2.246564e-06,3.271298e-06,3.503907e-06,5.279252e-06,5.620444e-06,7.711764e-06,9.157755e-06,1.095640e-05,1.424958e-05,1.518149e-05,2.056563e-05,2.129838e-05,2.729434e-05,3.072952e-05,3.555626e-05,4.297652e-05,4.553936e-05,5.742703e-05,5.846563e-05,7.139436e-05,7.760064e-05,8.760462e-05,1.007487e-04,1.062061e-04,1.273290e-04,1.282280e-04,1.510837e-04,1.602973e-04,1.775581e-04,1.971480e-04,2.068165e-04,2.388989e-04,2.738200e-04,2.855933e-04,3.115696e-04,3.371987e-04,3.521130e-04,3.936089e-04,3.953916e-04,4.413242e-04,4.546475e-04,4.898084e-04,5.200736e-04,5.407221e-04,5.895887e-04,5.939257e-04,6.492637e-04,6.628439e-04,7.065672e-04,7.394488e-04,7.656558e-04,8.189799e-04,8.263398e-04,8.884225e-04,9.009891e-04,9.517020e-04,9.850124e-04,1.015974e-03,1.070578e-03,1.081031e-03,1.146670e-03,1.157213e-03,1.212687e-03,1.244451e-03,1.278884e-03,1.331840e-03,1.345066e-03,1.411047e-03,1.418942e-03,1.476646e-03,1.505345e-03,1.541693e-03,1.590659e-03,1.606025e-03,1.669490e-03,1.674525e-03,1.731945e-03,1.756614e-03,1.793259e-03,1.836630e-03,1.853311e-03,1.911991e-03,1.914308e-03,1.969199e-03,1.989417e-03,2.024848e-03,2.061758e-03,2.078859e-03,2.131166e-03,2.181711e-03,2.197505e-03,2.230447e-03,2.260670e-03,2.277335e-03,2.320582e-03,2.322346e-03,2.365459e-03,2.377188e-03,2.406661e-03,2.430462e-03,2.445946e-03,2.480397e-03,2.483317e-03,2.518780e-03,2.527009e-03,2.552350e-03,2.570329e-03,2.584046e-03,2.610407e-03,2.613892e-03,2.641916e-03,2.647305e-03,2.668152e-03,2.681100e-03,2.692636e-03,2.711876e-03,2.715406e-03,2.736505e-03,2.739729e-03,2.755978e-03,2.764760e-03,2.773869e-03,2.787077e-03,2.790228e-03,2.805103e-03,2.806791e-03,2.818545e-03,2.824019e-03,2.830604e-03,2.838876e-03,2.841332e-03,2.850780e-03,2.851482e-03,2.859000e-03,2.861955e-03,2.866042e-03,2.870412e-03,2.871958e-03,2.876799e-03,2.876971e-03,2.880613e-03,2.881744e-03,2.883450e-03,2.884845e-03,2.885357e-03,2.886383e-03,2.886463e-03,2.885189e-03,2.882659e-03,2.878967e-03,2.874206e-03,2.868460e-03,2.861813e-03,2.854344e-03,2.846127e-03,2.837233e-03,2.827728e-03,2.817675e-03,2.807134e-03,2.796159e-03,2.784802e-03,2.773112e-03,2.761135e-03,2.748911e-03,2.736480e-03,2.723879e-03,2.711142e-03,2.698299e-03,2.685379e-03,2.672410e-03
0.000000e+00,2.416109e-14,1.992658e-13,4.384420e-12,3.258795e-11,8.042502e-11,5.427436e-10,5.807126e-10,2.528426e-09,3.587750e-09,8.029958e-09,1.443129e-08,2.059328e-08,4.273619e-08,4.530832e-08,8.885292e-08,1.029727e-07,1.592159e-07,2.135615e-07,2.650670e-07,3.943451e-07,4.149115e-07,6.163047e-07,6.633338e-07,8.753296e-07,1.034326e-06,1.196383e-06,1.516051e-06,1.582202e-06,2.034016e-06,2.112443e-06,2.551750e-06,2.823360e-06,3.134193e-06,3.645292e-06,3.779148e-06,4.483542e-06,4.571887e-06,5.243507e-06,5.594341e-06,6.054467e-06,6.701722e-06,6.911220e-06,7.808030e-06,7.881323e-06,8.738743e-06,9.119082e-06,9.696904e-06,1.040006e-05,1.067589e-05,1.166903e-05,1.170896e-05,1.266976e-05,1.303065e-05,1.367172e-05,1.435065e-05,1.466886e-05,1.565553e-05,1.662658e-05,1.693324e-05,1.757736e-05,1.817332e-05,1.850380e-05,1.936703e-05,1.940240e-05,2.027021e-05,2.050734e-05,2.110487e-05,2.158896e-05,2.190452e-05,2.260813e-05,2.266783e-05,2.339391e-05,2.356256e-05,2.408227e-05,2.445122e-05,2.473280e-05,2.527414e-05,2.534571e-05,2.592149e-05,2.603225e-05,2.646084e-05,2.672720e-05,2.696467e-05,2.736120e-05,2.743402e-05,2.787007e-05,2.793684e-05,2.827408e-05,2.845701e-05,2.864736e-05,2.892478e-05,2.899128e-05,2.930720e-05,2.934329e-05,2.959650e-05,2.971571e-05,2.986055e-05,3.004516e-05,3.010069e-05,3.031822e-05,3.033468e-05,3.051441e-05,3.058719e-05,3.069050e-05,3.080549e-05,3.084765e-05,3.098701e-05,3.099223e-05,3.110964e-05,3.114989e-05,3.121657e-05,3.128081e-05,3.130877e-05,3.138716e-05,3.145262e-05,3.147097e-05,3.150597e-05,3.153411e-05,3.154798e-05,3.157832e-05,3.157938e-05,3.160086e-05,3.160519e-05,3.161307e-05,3.161620e-05,3.161661e-05,3.161271e-05,3.161206e-05,3.159995e-05,3.159597e-05,3.158077e-05,3.156713e-05,3.155502e-05,3.152725e-05,3.152311e-05,3.148548e-05,3.147730e-05,3.144251e-05,3.141817e-05,3.139456e-05,3.135069e-05,3.134198e-05,3.128509e-05,3.127560e-05,3.122418e-05,3.119361e-05,3.115956e-05,3.110535e-05,3.109146e-05,3.102016e-05,3.101140e-05,3.094589e-05,3.091232e-05,3.086885e-05,3.080859e-05,3.078927e-05,3.070733e-05,3.070068e-05,3.062322e-05,3.058900e-05,3.053710e-05,3.047396e-05,3.044916e-05,3.035952e-05,3.035590e-05,3.026834e-05,3.023516e-05,3.017575e-05,3.011205e-05,3.008188e-05,2.998685e-05,2.985982e-05,2.973121e-05,2.960123e-05,2.947010e-05,2.933800e-05,2.920512e-05,2.907161e-05,2.893764e-05,2.880333e-05,2.866882e-05,2.853423e-05,2.839968e-05,2.826526e-05,2.813107e-05,2.799720e-05,2.786373e-05,2.773074e-05,2.759830e-05,2.746646e-05,2.733529e-05,2.720485e-05,2.707518e-05,2.694633e-05,2.681834e-05
0.000000e+00,1.190242e-13,9.727190e-13,2.100757e-11,1.535719e-10,3.756481e-10,2.479556e-09,2.650709e-09,1.130778e-08,1.596121e-08,3.527640e-08,6.279770e-08,8.908725e-08,1.826390e-07,1.934415e-07,3.750602e-07,4.335666e-07,6.653113e-07,8.876980e-07,1.097364e-06,1.619879e-06,1.702580e-06,2.507384e-06,2.694152e-06,3.531408e-06,4.154916e-06,4.786994e-06,6.024834e-06,6.279630e-06,8.008820e-06,8.307137e-06,9.969042e-06,1.098930e-05,1.215060e-05,1.404646e-05,1.454033e-05,1.712220e-05,1.744409e-05,1.987785e-05,2.114025e-05,2.278711e-05,2.508770e-05,2.582851e-05,2.897984e-05,2.923602e-05,3.221865e-05,3.353368e-05,3.552276e-05,3.793002e-05,3.887064e-05,4.224186e-05,4.237691e-05,4.561734e-05,4.683013e-05,4.897959e-05,5.125024e-05,5.231283e-05,5.560309e-05,5.883817e-05,5.985999e-05,6.200764e-05,6.399757e-05,6.510276e-05,6.799740e-05,6.811630e-05,7.104253e-05,7.184558e-05,7.387695e-05,7.553212e-05,7.661626e-05,7.905042e-05,7.925815e-05,8.180119e-05,8.239673e-05,8.424472e-05,8.556960e-05,8.658872e-05,8.856952e-05,8.883371e-05,9.098067e-05,9.139841e-05,9.303093e-05,9.405939e-05,9.498615e-05,9.655645e-05,9.684821e-05,9.861918e-05,9.889423e-05,1.003013e-04,1.010778e-04,1.018969e-04,1.031127e-04,1.034084e-04,1.048382e-04,1.050044e-04,1.061889e-04,1.067588e-04,1.074630e-04,1.083816e-04,1.086630e-04,1.097913e-04,1.098785e-04,1.108504e-04,1.112553e-04,1.118429e-04,1.125174e-04,1.127710e-04,1.136371e-04,1.136705e-04,1.144436e-04,1.147197e-04,1.151926e-04,1.156703e-04,1.158864e-04,1.165272e-04,1.171170e-04,1.172953e-04,1.176579e-04,1.179793e-04,1.181518e-04,1.185835e-04,1.186006e-04,1.190063e-04,1.191124e-04,1.193706e-04,1.195700e-04,1.196952e-04,1.199603e-04,1.199819e-04,1.202323e-04,1.202871e-04,1.204479e-04,1.205541e-04,1.206304e-04,1.207646e-04,1.207811e-04,1.209015e-04,1.209221e-04,1.209930e-04,1.210296e-04,1.210569e-04,1.210902e-04,1.210945e-04,1.211070e-04,1.211067e-04,1.210955e-04,1.210819e-04,1.210614e-04,1.210184e-04,1.210056e-04,1.209292e-04,1.209187e-04,1.208333e-04,1.207851e-04,1.207188e-04,1.206199e-04,1.205866e-04,1.204377e-04,1.204251e-04,1.202730e-04,1.202029e-04,1.200933e-04,1.199551e-04,1.198994e-04,1.196921e-04,1.196835e-04,1.194721e-04,1.193899e-04,1.192401e-04,1.190759e-04,1.189969e-04,1.187430e-04,1.183928e-04,1.180266e-04,1.176457e-04,1.172513e-04,1.168447e-04,1.164269e-04,1.159990e-04,1.155620e-04,1.151168e-04,1.146643e-04,1.142053e-04,1.137407e-04,1.132711e-04,1.127972e-04,1.123197e-04,1.118392e-04,1.113563e-04,1.108715e-04,1.103854e-04,1.098984e-04,1.094109e-04,1.089234e-04,1.084362e-04,1.079498e-04
0.000000e+00,3.937275e-15,3.480926e-14,8.852526e-13,7.513939e-12,1.995149e-11,1.627543e-10,1.754906e-10,9.224638e-10,1.377528e-09,3.503625e-09,6.977356e-09,1.064067e-08,2.557572e-08,2.745316e-08,6.256867e-08,7.508872e-08,1.293749e-07,1.876019e-07,2.473567e-07,4.146974e-07,4.434442e-07,7.532669e-07,8.326902e-07,1.222167e-06,1.546922e-06,1.905802e-06,2.694017e-06,2.870203e-06,4.191185e-06,4.441166e-06,5.953149e-06,6.982113e-06,8.247329e-06,1.053021e-05,1.116961e-05,1.481808e-05,1.530936e-05,1.929048e-05,2.154395e-05,2.468161e-05,2.944867e-05,3.108101e-05,3.857070e-05,3.921922e-05,4.722331e-05,5.102419e-05,5.710054e-05,6.499873e-05,6.825189e-05,8.071380e-05,8.123990e-05,9.450914e-05,9.980407e-05,1.096470e-04,1.207059e-04,1.261229e-04,1.439188e-04,1.630042e-04,1.693772e-04,1.833364e-04,1.969790e-04,2.048618e-04,2.265900e-04,2.275170e-04,2.512299e-04,2.580483e-04,2.759206e-04,2.911689e-04,3.015033e-04,3.257491e-04,3.278871e-04,3.549776e-04,3.615737e-04,3.826777e-04,3.984194e-04,4.108891e-04,4.360598e-04,4.395133e-04,4.684524e-04,4.742695e-04,4.976103e-04,5.128277e-04,5.268933e-04,5.515214e-04,5.562109e-04,5.854763e-04,5.901483e-04,6.146068e-04,6.285185e-04,6.435247e-04,6.664566e-04,6.721568e-04,7.004355e-04,7.038022e-04,7.282983e-04,7.404112e-04,7.556880e-04,7.761558e-04,7.825530e-04,8.088469e-04,8.109244e-04,8.345285e-04,8.446215e-04,8.595618e-04,8.771666e-04,8.839155e-04,9.075632e-04,9.084941e-04,9.304826e-04,9.385518e-04,9.526561e-04,9.673007e-04,9.740697e-04,9.947133e-04,1.014580e-03,1.020773e-03,1.033666e-03,1.045471e-03,1.051971e-03,1.068811e-03,1.069497e-03,1.086248e-03,1.090800e-03,1.102230e-03,1.111454e-03,1.117452e-03,1.130793e-03,1.131924e-03,1.145657e-03,1.148845e-03,1.158665e-03,1.165638e-03,1.170961e-03,1.181205e-03,1.182561e-03,1.193480e-03,1.195584e-03,1.203735e-03,1.208810e-03,1.213342e-03,1.220925e-03,1.222320e-03,1.230686e-03,1.231969e-03,1.238458e-03,1.241983e-03,1.245654e-03,1.251009e-03,1.252293e-03,1.258392e-03,1.259089e-03,1.263971e-03,1.266265e-03,1.269046e-03,1.272577e-03,1.273635e-03,1.277758e-03,1.278068e-03,1.281430e-03,1.282776e-03,1.284668e-03,1.286742e-03,1.287491e-03,1.289914e-03,1.290003e-03,1.291953e-03,1.292597e-03,1.293625e-03,1.294559e-03,1.294944e-03,1.295926e-03,1.296730e-03,1.297005e-03,1.296781e-03,1.296090e-03,1.294959e-03,1.293418e-03,1.291492e-03,1.289208e-03,1.286589e-03,1.283659e-03,1.280441e-03,1.276955e-03,1.273221e-03,1.269259e-03,1.265087e-03,1.260723e-03,1.256183e-03,1.251482e-03,1.246636e-03,1.241657e-03,1.236561e-03,1.231359e-03,1.226063e-03,1.220684e-03
0.000000e+00,4.346330e-14,3.564825e-13,7.755861e-12,5.705168e-11,1.399915e-10,9.304078e-10,9.948613e-10,4.261916e-09,6.019255e-09,1.330497e-08,2.364981e-08,3.348951e-08,6.820575e-08,7.218806e-08,1.385196e-07,1.596892e-07,2.429129e-07,3.221535e-07,3.965468e-07,5.814204e-07,6.106680e-07,8.957990e-07,9.621728e-07,1.260929e-06,1.484766e-06,1.712840e-06,2.162631e-06,2.255688e-06,2.890868e-06,3.001017e-06,3.617130e-06,3.997105e-06,4.430848e-06,5.141058e-06,5.326382e-06,6.296476e-06,6.417505e-06,7.332645e-06,7.807108e-06,8.425551e-06,9.288052e-06,9.565341e-06,1.074196e-05,1.083738e-05,1.194544e-05,1.243216e-05,1.316609e-05,1.405042e-05,1.439475e-05,1.562289e-05,1.567190e-05,1.684276e-05,1.727852e-05,1.804740e-05,1.885473e-05,1.923075e-05,2.038760e-05,2.151356e-05,2.186674e-05,2.260508e-05,2.328423e-05,2.365932e-05,2.463432e-05,2.467413e-05,2.564798e-05,2.591317e-05,2.657986e-05,2.711861e-05,2.746925e-05,2.824982e-05,2.831600e-05,2.912032e-05,2.930709e-05,2.988270e-05,3.029158e-05,3.060387e-05,3.120511e-05,3.128472e-05,3.192630e-05,3.205001e-05,3.252979e-05,3.282895e-05,3.309642e-05,3.354485e-05,3.362749e-05,3.412435e-05,3.420076e-05,3.458836e-05,3.479981e-05,3.502088e-05,3.534514e-05,3.542328e-05,3.579691e-05,3.583987e-05,3.614308e-05,3.628704e-05,3.646311e-05,3.668962e-05,3.675825e-05,3.702973e-05,3.705046e-05,3.727874e-05,3.737231e-05,3.750643e-05,3.765780e-05,3.771392e-05,3.790227e-05,3.790942e-05,3.807252e-05,3.812956e-05,3.822564e-05,3.832046e-05,3.836258e-05,3.848425e-05,3.859152e-05,3.862294e-05,3.868521e-05,3.873842e-05,3.876612e-05,3.883246e-05,3.883500e-05,3.889257e-05,3.890675e-05,3.893951e-05,3.896286e-05,3.897649e-05,3.900224e-05,3.900412e-05,3.902300e-05,3.902629e-05,3.903368e-05,3.903629e-05,3.903671e-05,3.903344e-05,3.903259e-05,3.902180e-05,3.901889e-05,3.900481e-05,3.899367e-05,3.898205e-05,3.895877e-05,3.895392e-05,3.892083e-05,3.891510e-05,3.888313e-05,3.886351e-05,3.884119e-05,3.880480e-05,3.879533e-05,3.874586e-05,3.873970e-05,3.869309e-05,3.866890e-05,3.863729e-05,3.859302e-05,3.857873e-05,3.851765e-05,3.851267e-05,3.845430e-05,3.842838e-05,3.838890e-05,3.834065e-05,3.832165e-05,3.825276e-05,3.824997e-05,3.818240e-05,3.815675e-05,3.811076e-05,3.806140e-05,3.803800e-05,3.796428e-05,3.786573e-05,3.776607e-05,3.766558e-05,3.756451e-05,3.746312e-05,3.736161e-05,3.726020e-05,3.715905e-05,3.705834e-05,3.695822e-05,3.685882e-05,3.676027e-05,3.666267e-05,3.656612e-05,3.647072e-05,3.637654e-05,3.628364e-05,3.619209e-05,3.610194e-05,3.601324e-05,3.592602e-05,3.584031e-05,3.575615e-05,3.567355e-05
0.000000e+00,1.548065e-15,1.377673e-14,3.553378e-13,3.056203e-12,8.175347e-12,6.801792e-11,7.340086e-11,3.938444e-10,5.915402e-10,1.527138e-09,3.079541e-09,4.735972e-09,1.160709e-08,1.248037e-08,2.905986e-08,3.505536e-08,6.139570e-08,9.010333e-08,1.199196e-07,2.047653e-07,2.194956e-07,3.802616e-07,4.219408e-07,6.282634e-07,8.021652e-07,9.957775e-07,1.424812e-06,1.521263e-06,2.248928e-06,2.387342e-06,3.227949e-06,3.802627e-06,4.511389e-06,5.794666e-06,6.154893e-06,8.215236e-06,8.493181e-06,1.074881e-05,1.202764e-05,1.381008e-05,1.652119e-05,1.745017e-05,2.171548e-05,2.208498e-05,2.664654e-05,2.881316e-05,3.227700e-05,3.677891e-05,3.863285e-05,4.573186e-05,4.603144e-05,5.358323e-05,5.659427e-05,6.218748e-05,6.846461e-05,7.153649e-05,8.161378e-05,9.239492e-05,9.598854e-05,1.038481e-04,1.115133e-04,1.159348e-04,1.280927e-04,1.286105e-04,1.418255e-04,1.456151e-04,1.555259e-04,1.639553e-04,1.696543e-04,1.829789e-04,1.841507e-04,1.989537e-04,2.025450e-04,2.140005e-04,2.225099e-04,2.292286e-04,2.427299e-04,2.445758e-04,2.599813e-04,2.630641e-04,2.753857e-04,2.833767e-04,2.907323e-04,3.035390e-04,3.059668e-04,3.210381e-04,3.234311e-04,3.358981e-04,3.429428e-04,3.505026e-04,3.619747e-04,3.648109e-04,3.787859e-04,3.804389e-04,3.923945e-04,3.982585e-04,4.056074e-04,4.153687e-04,4.183990e-04,4.307473e-04,4.317154e-04,4.426340e-04,4.472559e-04,4.540439e-04,4.619572e-04,4.649654e-04,4.753897e-04,4.757963e-04,4.853110e-04,4.887589e-04,4.947262e-04,5.008390e-04,5.036345e-04,5.120377e-04,5.199392e-04,5.223627e-04,5.273448e-04,5.318273e-04,5.342616e-04,5.404498e-04,5.406982e-04,5.466648e-04,5.482527e-04,5.521724e-04,5.552617e-04,5.572332e-04,5.615056e-04,5.618601e-04,5.660666e-04,5.670152e-04,5.698670e-04,5.718231e-04,5.732756e-04,5.759630e-04,5.763074e-04,5.789774e-04,5.794693e-04,5.813007e-04,5.823769e-04,5.832926e-04,5.847207e-04,5.849682e-04,5.863425e-04,5.865354e-04,5.874303e-04,5.878550e-04,5.882463e-04,5.887129e-04,5.888047e-04,5.891196e-04,5.891417e-04,5.892048e-04,5.891729e-04,5.890734e-04,5.888368e-04,5.887385e-04,5.882125e-04,5.881626e-04,5.875076e-04,5.871782e-04,5.866355e-04,5.859102e-04,5.856072e-04,5.844338e-04,5.843840e-04,5.831255e-04,5.826234e-04,5.816922e-04,5.806510e-04,5.801434e-04,5.784882e-04,5.761551e-04,5.736703e-04,5.710515e-04,5.683150e-04,5.654761e-04,5.625491e-04,5.595470e-04,5.564820e-04,5.533654e-04,5.502077e-04,5.470182e-04,5.438058e-04,5.405785e-04,5.373436e-04,5.341079e-04,5.308774e-04,5.276576e-04,5.244536e-04,5.212699e-04,5.181105e-04,5.149791e-04,5.118790e-04,5.088129e-04,5.057835e-04
0.000000e+00,2.347156e-11,1.471817e-10,1.893831e-09,8.974074e-09,1.757713e-08,6.877694e-08,7.208722e-08,1.968607e-07,2.489745e-07,4.260843e-07,6.292438e-07,7.974768e-07,1.301165e-06,1.353497e-06,2.137844e-06,2.364133e-06,3.182737e-06,3.884759e-06,4.492763e-06,5.844709e-06,6.041860e-06,7.786986e-06,8.155539e-06,9.683778e-06,1.071710e-05,1.169411e-05,1.344751e-05,1.378673e-05,1.593535e-05,1.628275e-05,1.811682e-05,1.916935e-05,2.031009e-05,2.206013e-05,2.249579e-05,2.465620e-05,2.491297e-05,2.677535e-05,2.769103e-05,2.883924e-05,3.036338e-05,3.083588e-05,3.275539e-05,3.290537e-05,3.458996e-05,3.529862e-05,3.633371e-05,3.753062e-05,3.798256e-05,3.953404e-05,3.959406e-05,4.098712e-05,4.148614e-05,4.234195e-05,4.320765e-05,4.359964e-05,4.476215e-05,4.583211e-05,4.615544e-05,4.681260e-05,4.739473e-05,4.770706e-05,4.848829e-05,4.851925e-05,4.925304e-05,4.944499e-05,4.991240e-05,5.027397e-05,5.050135e-05,5.098441e-05,5.102386e-05,5.148380e-05,5.158530e-05,5.188499e-05,5.208537e-05,5.223112e-05,5.249300e-05,5.252575e-05,5.277228e-05,5.281610e-05,5.297395e-05,5.306214e-05,5.313388e-05,5.323813e-05,5.325502e-05,5.334014e-05,5.335060e-05,5.339190e-05,5.340562e-05,5.341277e-05,5.340882e-05,5.340512e-05,5.337115e-05,5.336541e-05,5.331295e-05,5.328017e-05,5.323246e-05,5.315752e-05,5.313152e-05,5.301186e-05,5.300152e-05,5.287506e-05,5.281589e-05,5.272266e-05,5.260405e-05,5.255605e-05,5.237654e-05,5.236911e-05,5.218538e-05,5.211393e-05,5.198371e-05,5.184112e-05,5.177260e-05,5.155305e-05,5.132599e-05,5.125188e-05,5.109228e-05,5.093960e-05,5.085274e-05,5.061798e-05,5.060811e-05,5.035908e-05,5.028866e-05,5.010631e-05,4.995310e-05,4.985039e-05,4.961265e-05,4.959188e-05,4.933130e-05,4.926850e-05,4.906911e-05,4.892176e-05,4.880577e-05,4.857339e-05,4.854167e-05,4.827720e-05,4.822429e-05,4.801269e-05,4.787525e-05,4.774848e-05,4.752697e-05,4.748484e-05,4.722205e-05,4.718010e-05,4.696037e-05,4.683521e-05,4.670000e-05,4.649279e-05,4.644115e-05,4.618402e-05,4.615329e-05,4.592878e-05,4.581711e-05,4.567557e-05,4.548458e-05,4.542454e-05,4.517582e-05,4.515602e-05,4.492951e-05,4.483169e-05,4.468572e-05,4.451180e-05,4.444454e-05,4.420604e-05,4.419656e-05,4.397030e-05,4.388612e-05,4.373738e-05,4.358063e-05,4.350733e-05,4.328020e-05,4.298492e-05,4.269485e-05,4.241005e-05,4.213055e-05,4.185638e-05,4.158754e-05,4.132402e-05,4.106582e-05,4.081290e-05,4.056524e-05,4.032280e-05,4.008552e-05,3.985335e-05,3.962623e-05,3.940411e-05,3.918692e-05,3.897457e-05,3.876701e-05,3.856416e-05,3.836594e-05,3.817226e-05,3.798306e-05,3.779825e-05,3.761774e-05
0.000000e+00,1.266720e-09,4.260259e-09,2.193032e-08,5.997578e-08,9.360505e-08,2.386731e-07,2.467335e-07,5.109513e-07,6.089355e-07,9.166133e-07,1.241094e-06,1.495445e-06,2.206624e-06,2.277163e-06,3.279255e-06,3.552687e-06,4.499827e-06,5.273782e-06,5.925114e-06,7.336457e-06,7.539733e-06,9.329621e-06,9.707440e-06,1.128116e-05,1.235513e-05,1.338000e-05,1.524548e-05,1.561053e-05,1.795575e-05,1.834043e-05,2.039754e-05,2.159838e-05,2.291707e-05,2.497584e-05,2.549526e-05,2.811326e-05,2.842922e-05,3.075286e-05,3.191666e-05,3.339686e-05,3.539937e-05,3.602930e-05,3.863574e-05,3.884274e-05,4.120329e-05,4.221685e-05,4.372071e-05,4.549675e-05,4.617838e-05,4.856824e-05,4.866233e-05,5.088373e-05,5.169805e-05,5.311963e-05,5.459253e-05,5.527200e-05,5.733798e-05,5.931570e-05,5.992974e-05,6.120415e-05,6.236576e-05,6.300306e-05,6.464610e-05,6.471278e-05,6.633419e-05,6.677252e-05,6.786859e-05,6.874814e-05,6.931764e-05,7.057707e-05,7.068330e-05,7.196773e-05,7.226417e-05,7.317327e-05,7.381483e-05,7.430238e-05,7.523479e-05,7.535760e-05,7.634155e-05,7.653002e-05,7.725686e-05,7.770657e-05,7.810616e-05,7.877049e-05,7.889209e-05,7.961724e-05,7.972780e-05,8.028420e-05,8.058440e-05,8.089546e-05,8.134604e-05,8.145350e-05,8.196072e-05,8.201829e-05,8.241946e-05,8.260654e-05,8.283199e-05,8.311596e-05,8.320051e-05,8.352714e-05,8.355153e-05,8.381396e-05,8.391798e-05,8.406294e-05,8.421986e-05,8.427600e-05,8.445498e-05,8.446146e-05,8.460166e-05,8.464689e-05,8.471774e-05,8.478003e-05,8.480485e-05,8.486457e-05,8.489840e-05,8.490400e-05,8.490779e-05,8.490162e-05,8.489413e-05,8.486055e-05,8.485873e-05,8.480287e-05,8.478372e-05,8.472775e-05,8.467392e-05,8.463454e-05,8.453376e-05,8.452434e-05,8.439821e-05,8.436568e-05,8.425717e-05,8.417202e-05,8.410216e-05,8.395495e-05,8.393412e-05,8.375392e-05,8.371650e-05,8.356240e-05,8.345860e-05,8.336035e-05,8.318304e-05,8.314852e-05,8.292765e-05,8.289152e-05,8.269842e-05,8.258561e-05,8.246147e-05,8.226678e-05,8.221744e-05,8.196691e-05,8.193643e-05,8.171044e-05,8.159585e-05,8.144856e-05,8.124624e-05,8.118179e-05,8.091059e-05,8.088872e-05,8.063543e-05,8.052435e-05,8.035673e-05,8.015411e-05,8.007491e-05,7.979035e-05,7.977891e-05,7.950341e-05,7.939960e-05,7.921444e-05,7.901695e-05,7.892377e-05,7.863171e-05,7.824456e-05,7.785611e-05,7.746695e-05,7.707762e-05,7.668862e-05,7.630039e-05,7.591336e-05,7.552792e-05,7.514442e-05,7.476318e-05,7.438450e-05,7.400865e-05,7.363588e-05,7.326640e-05,7.290041e-05,7.253811e-05,7.217964e-05,7.182516e-05,7.147478e-05,7.112863e-05,7.078679e-05,7.044936e-05,7.011640e-05,6.978798e-05
0.000000e+00,3.659874e-09,8.450422e-09,2.924645e-08,6.656938e-08,9.703557e-08,2.191433e-07,2.256828e-07,4.330793e-07,5.076992e-07,7.372295e-07,9.739170e-07,1.156850e-06,1.661279e-06,1.710985e-06,2.416257e-06,2.609205e-06,3.280980e-06,3.833455e-06,4.299814e-06,5.310209e-06,5.455364e-06,6.725377e-06,6.991184e-06,8.088403e-06,8.827561e-06,9.525539e-06,1.077779e-05,1.102016e-05,1.255722e-05,1.280614e-05,1.412276e-05,1.488045e-05,1.570366e-05,1.697114e-05,1.728761e-05,1.886311e-05,1.905109e-05,2.041963e-05,2.109600e-05,2.194768e-05,2.308474e-05,2.343885e-05,2.488594e-05,2.499961e-05,2.628286e-05,2.682645e-05,2.762470e-05,2.855451e-05,2.890760e-05,3.012872e-05,3.017625e-05,3.128614e-05,3.168699e-05,3.237878e-05,3.308454e-05,3.340623e-05,3.436868e-05,3.526689e-05,3.554093e-05,3.610203e-05,3.660411e-05,3.687562e-05,3.756204e-05,3.758947e-05,3.824560e-05,3.841926e-05,3.884617e-05,3.918080e-05,3.939349e-05,3.985200e-05,3.988990e-05,4.033780e-05,4.043834e-05,4.073960e-05,4.094536e-05,4.109769e-05,4.137852e-05,4.141442e-05,4.169209e-05,4.174313e-05,4.193292e-05,4.204432e-05,4.213909e-05,4.228702e-05,4.231269e-05,4.245573e-05,4.247591e-05,4.257013e-05,4.261541e-05,4.265773e-05,4.270971e-05,4.272030e-05,4.275949e-05,4.276270e-05,4.277691e-05,4.277807e-05,4.277407e-05,4.275925e-05,4.275241e-05,4.271326e-05,4.270942e-05,4.265794e-05,4.263154e-05,4.258763e-05,4.252838e-05,4.250349e-05,4.240661e-05,4.240248e-05,4.229799e-05,4.225620e-05,4.217860e-05,4.209172e-05,4.204933e-05,4.191105e-05,4.176454e-05,4.171604e-05,4.161055e-05,4.150841e-05,4.144980e-05,4.128971e-05,4.128293e-05,4.111057e-05,4.106140e-05,4.093330e-05,4.082480e-05,4.075165e-05,4.058112e-05,4.056615e-05,4.037725e-05,4.033147e-05,4.018542e-05,4.007686e-05,3.999105e-05,3.981823e-05,3.979455e-05,3.959626e-05,3.955642e-05,3.939653e-05,3.929221e-05,3.919567e-05,3.902629e-05,3.899398e-05,3.879171e-05,3.875931e-05,3.858912e-05,3.849184e-05,3.838645e-05,3.822440e-05,3.818392e-05,3.798171e-05,3.795748e-05,3.778002e-05,3.769149e-05,3.757902e-05,3.742682e-05,3.737886e-05,3.717970e-05,3.716381e-05,3.698165e-05,3.690277e-05,3.678485e-05,3.664398e-05,3.658940e-05,3.639541e-05,3.638768e-05,3.620297e-05,3.613409e-05,3.601217e-05,3.588339e-05,3.582307e-05,3.563575e-05,3.539132e-05,3.515022e-05,3.491256e-05,3.467843e-05,3.444789e-05,3.422102e-05,3.399785e-05,3.377843e-05,3.356278e-05,3.335092e-05,3.314285e-05,3.293857e-05,3.273809e-05,3.254138e-05,3.234843e-05,3.215921e-05,3.197369e-05,3.179184e-05,3.161362e-05,3.143900e-05,3.126793e-05,3.110037e-05,3.093627e-05,3.077558e-05
0.000000e+00,9.624970e-13,7.074218e-12,1.232679e-10,7.461247e-10,1.650306e-09,8.484958e-09,8.981776e-09,3.037069e-08,4.034964e-08,7.695255e-08,1.221785e-07,1.612316e-07,2.829696e-07,2.958871e-07,4.930735e-07,5.509762e-07,7.640501e-07,9.518512e-07,1.118924e-06,1.507518e-06,1.566336e-06,2.112988e-06,2.234642e-06,2.762967e-06,3.142172e-06,3.516944e-06,4.228243e-06,4.371442e-06,5.318505e-06,5.477868e-06,6.346061e-06,6.863523e-06,7.439015e-06,8.349317e-06,8.580762e-06,9.754694e-06,9.896977e-06,1.094534e-05,1.147093e-05,1.213905e-05,1.304110e-05,1.332422e-05,1.449127e-05,1.458361e-05,1.563246e-05,1.608028e-05,1.674168e-05,1.751782e-05,1.781419e-05,1.884645e-05,1.888686e-05,1.983591e-05,2.018129e-05,2.078088e-05,2.139753e-05,2.168039e-05,2.253403e-05,2.334193e-05,2.359086e-05,2.410458e-05,2.456929e-05,2.482280e-05,2.547149e-05,2.549767e-05,2.613046e-05,2.630029e-05,2.672257e-05,2.705893e-05,2.727550e-05,2.775095e-05,2.779083e-05,2.827016e-05,2.838002e-05,2.871511e-05,2.894986e-05,2.912729e-05,2.946416e-05,2.950829e-05,2.985968e-05,2.992654e-05,3.018298e-05,3.034049e-05,3.047967e-05,3.070938e-05,3.075119e-05,3.099891e-05,3.103642e-05,3.122415e-05,3.132466e-05,3.142819e-05,3.157696e-05,3.161223e-05,3.177744e-05,3.179606e-05,3.192493e-05,3.198447e-05,3.205573e-05,3.214460e-05,3.217085e-05,3.227124e-05,3.227866e-05,3.235780e-05,3.238874e-05,3.243138e-05,3.247679e-05,3.249281e-05,3.254283e-05,3.254460e-05,3.258218e-05,3.259387e-05,3.261155e-05,3.262615e-05,3.263158e-05,3.264289e-05,3.264606e-05,3.264545e-05,3.264164e-05,3.263507e-05,3.263015e-05,3.261291e-05,3.261207e-05,3.258786e-05,3.258005e-05,3.255797e-05,3.253748e-05,3.252281e-05,3.248614e-05,3.248276e-05,3.243819e-05,3.242686e-05,3.238945e-05,3.236045e-05,3.233686e-05,3.228763e-05,3.228072e-05,3.222133e-05,3.220908e-05,3.215896e-05,3.212543e-05,3.209386e-05,3.203725e-05,3.202628e-05,3.195644e-05,3.194507e-05,3.188456e-05,3.184939e-05,3.181084e-05,3.175066e-05,3.173546e-05,3.165861e-05,3.164929e-05,3.158044e-05,3.154568e-05,3.150113e-05,3.144017e-05,3.142080e-05,3.133962e-05,3.133309e-05,3.125769e-05,3.122474e-05,3.117514e-05,3.111540e-05,3.109210e-05,3.100866e-05,3.100531e-05,3.092491e-05,3.089471e-05,3.084097e-05,3.078382e-05,3.075691e-05,3.067281e-05,3.056188e-05,3.045118e-05,3.034086e-05,3.023105e-05,3.012187e-05,3.001344e-05,2.990584e-05,2.979918e-05,2.969353e-05,2.958897e-05,2.948556e-05,2.938335e-05,2.928239e-05,2.918274e-05,2.908443e-05,2.898749e-05,2.889195e-05,2.879783e-05,2.870516e-05,2.861395e-05,2.852421e-05,2.843595e-05,2.834919e-05,2.826391e-05
0.000000e+00,5.292995e-16,4.667497e-15,1.180871e-13,9.974883e-13,2.641508e-12,2.139761e-11,2.306544e-11,1.203928e-10,1.794399e-10,4.542015e-10,9.010422e-10,1.370691e-09,3.276540e-09,3.515443e-09,7.967956e-09,9.550285e-09,1.639150e-08,2.370428e-08,3.118971e-08,5.207753e-08,5.565674e-08,9.410082e-08,1.039222e-07,1.519172e-07,1.917484e-07,2.355893e-07,3.313077e-07,3.526059e-07,5.112990e-07,5.411489e-07,7.206131e-07,8.417844e-07,9.898275e-07,1.254591e-06,1.328253e-06,1.744924e-06,1.800592e-06,2.248306e-06,2.499266e-06,2.846030e-06,3.367483e-06,3.544666e-06,4.349543e-06,4.418651e-06,5.264608e-06,5.662093e-06,6.292343e-06,7.102684e-06,7.433722e-06,8.688210e-06,8.740719e-06,1.005380e-05,1.057200e-05,1.152709e-05,1.258810e-05,1.310338e-05,1.477677e-05,1.654036e-05,1.712251e-05,1.838635e-05,1.960710e-05,2.030619e-05,2.221030e-05,2.229081e-05,2.433069e-05,2.491043e-05,2.641608e-05,2.768507e-05,2.853714e-05,3.051156e-05,3.068404e-05,3.284711e-05,3.336760e-05,3.501696e-05,3.623165e-05,3.718455e-05,3.908334e-05,3.934131e-05,4.147916e-05,4.190378e-05,4.359058e-05,4.467576e-05,4.566868e-05,4.738393e-05,4.770719e-05,4.970047e-05,5.001486e-05,5.164355e-05,5.255710e-05,5.353210e-05,5.500114e-05,5.536238e-05,5.713132e-05,5.733934e-05,5.883638e-05,5.956585e-05,6.047561e-05,6.167648e-05,6.204755e-05,6.355123e-05,6.366856e-05,6.498612e-05,6.554077e-05,6.635208e-05,6.729301e-05,6.764935e-05,6.887849e-05,6.892625e-05,7.004033e-05,7.044233e-05,7.113599e-05,7.184390e-05,7.216678e-05,7.313420e-05,7.403990e-05,7.431698e-05,7.488567e-05,7.539637e-05,7.567338e-05,7.637679e-05,7.640501e-05,7.708256e-05,7.726287e-05,7.770810e-05,7.805932e-05,7.828370e-05,7.877094e-05,7.881144e-05,7.929340e-05,7.940249e-05,7.973163e-05,7.995870e-05,8.012816e-05,8.044419e-05,8.048498e-05,8.080405e-05,8.086350e-05,8.108724e-05,8.122094e-05,8.133641e-05,8.152073e-05,8.155334e-05,8.173975e-05,8.176686e-05,8.189731e-05,8.196317e-05,8.202762e-05,8.211328e-05,8.213221e-05,8.221257e-05,8.222065e-05,8.227011e-05,8.228854e-05,8.230617e-05,8.232001e-05,8.232205e-05,8.231898e-05,8.231795e-05,8.229811e-05,8.228504e-05,8.226058e-05,8.222383e-05,8.220743e-05,8.213966e-05,8.213666e-05,8.205824e-05,8.202575e-05,8.196405e-05,8.189316e-05,8.185796e-05,8.174079e-05,8.157043e-05,8.138373e-05,8.118224e-05,8.096737e-05,8.074045e-05,8.050271e-05,8.025529e-05,7.999922e-05,7.973549e-05,7.946500e-05,7.918859e-05,7.890702e-05,7.862101e-05,7.833122e-05,7.803825e-05,7.774268e-05,7.744501e-05,7.714573e-05,7.684527e-05,7.654405e-05,7.624244e-05,7.594078e-05,7.563938e-05,7.533855e-05
0.000000e+00,9.340928e-16,8.361818e-15,2.185971e-13,1.903720e-12,5.127705e-12,4.342904e-11,4.689985e-11,2.560696e-10,3.863956e-10,1.008962e-09,2.052725e-09,3.174460e-09,7.871543e-09,8.471746e-09,1.993879e-08,2.410767e-08,4.250026e-08,6.263656e-08,8.361410e-08,1.435383e-07,1.539685e-07,2.681951e-07,2.979115e-07,4.455596e-07,5.706584e-07,7.105890e-07,1.022955e-06,1.093590e-06,1.631020e-06,1.734109e-06,2.365665e-06,2.802522e-06,3.346603e-06,4.345514e-06,4.628923e-06,6.273214e-06,6.497912e-06,8.344819e-06,9.409404e-06,1.091289e-05,1.324079e-05,1.404926e-05,1.782725e-05,1.815941e-05,2.232029e-05,2.433397e-05,2.760061e-05,3.192920e-05,3.373792e-05,4.079806e-05,4.110054e-05,4.884186e-05,5.198918e-05,5.792405e-05,6.471772e-05,6.809232e-05,7.938652e-05,9.183809e-05,9.607096e-05,1.054696e-04,1.148195e-04,1.202943e-04,1.356527e-04,1.363166e-04,1.535312e-04,1.585633e-04,1.719242e-04,1.835165e-04,1.914728e-04,2.104517e-04,2.121461e-04,2.339053e-04,2.392841e-04,2.567046e-04,2.699074e-04,2.804919e-04,3.021960e-04,3.052091e-04,3.307933e-04,3.360084e-04,3.571775e-04,3.711901e-04,3.842910e-04,4.075765e-04,4.120606e-04,4.404110e-04,4.449958e-04,4.692656e-04,4.832723e-04,4.985473e-04,5.222283e-04,5.281790e-04,5.580841e-04,5.616874e-04,5.881871e-04,6.014760e-04,6.184141e-04,6.414253e-04,6.486934e-04,6.789553e-04,6.813734e-04,7.091330e-04,7.211662e-04,7.391628e-04,7.606584e-04,7.689838e-04,7.985389e-04,7.997148e-04,8.277741e-04,8.382107e-04,8.566392e-04,8.760322e-04,8.850877e-04,9.130766e-04,9.405667e-04,9.492522e-04,9.675223e-04,9.844785e-04,9.939114e-04,1.018685e-03,1.019705e-03,1.044879e-03,1.051814e-03,1.069411e-03,1.083813e-03,1.093281e-03,1.114645e-03,1.116475e-03,1.138979e-03,1.144277e-03,1.160784e-03,1.172687e-03,1.181882e-03,1.199859e-03,1.202268e-03,1.221939e-03,1.225787e-03,1.240894e-03,1.250469e-03,1.259136e-03,1.273909e-03,1.276666e-03,1.293491e-03,1.296117e-03,1.309615e-03,1.317109e-03,1.325048e-03,1.336901e-03,1.339797e-03,1.353874e-03,1.355519e-03,1.367289e-03,1.372985e-03,1.380055e-03,1.389330e-03,1.392184e-03,1.403689e-03,1.404583e-03,1.414586e-03,1.418777e-03,1.424888e-03,1.431945e-03,1.434610e-03,1.443769e-03,1.444124e-03,1.452379e-03,1.455347e-03,1.460456e-03,1.465653e-03,1.468017e-03,1.475076e-03,1.483656e-03,1.491427e-03,1.498427e-03,1.504692e-03,1.510257e-03,1.515157e-03,1.519425e-03,1.523096e-03,1.526201e-03,1.528773e-03,1.530840e-03,1.532433e-03,1.533581e-03,1.534310e-03,1.534646e-03,1.534616e-03,1.534242e-03,1.533549e-03,1.532557e-03,1.531290e-03,1.529765e-03,1.528003e-03,1.526022e-03,1.523840e-03
0.000000e+00,4.065201e-10,1.545075e-09,9.169209e-09,2.678196e-08,4.278840e-08,1.133613e-07,1.173189e-07,2.478647e-07,2.964902e-07,4.494428e-07,6.109445e-07,7.376649e-07,1.093411e-06,1.128888e-06,1.639284e-06,1.781099e-06,2.282013e-06,2.702168e-06,3.062261e-06,3.856928e-06,3.972430e-06,4.992251e-06,5.207041e-06,6.094903e-06,6.692122e-06,7.254039e-06,8.254944e-06,8.447400e-06,9.657216e-06,9.851328e-06,1.086937e-05,1.144860e-05,1.207245e-05,1.302201e-05,1.325705e-05,1.441533e-05,1.455224e-05,1.554082e-05,1.602426e-05,1.662825e-05,1.742661e-05,1.767341e-05,1.867311e-05,1.875105e-05,1.962509e-05,1.999217e-05,2.052790e-05,2.114703e-05,2.138080e-05,2.218370e-05,2.221478e-05,2.293702e-05,2.319623e-05,2.364161e-05,2.409350e-05,2.429868e-05,2.490969e-05,2.547630e-05,2.564853e-05,2.600033e-05,2.631425e-05,2.648369e-05,2.691125e-05,2.692832e-05,2.733619e-05,2.744408e-05,2.770927e-05,2.791722e-05,2.804949e-05,2.833508e-05,2.835872e-05,2.863879e-05,2.870186e-05,2.889145e-05,2.902160e-05,2.911839e-05,2.929809e-05,2.932120e-05,2.950141e-05,2.953487e-05,2.966047e-05,2.973527e-05,2.979974e-05,2.990237e-05,2.992051e-05,3.002400e-05,3.003903e-05,3.011136e-05,3.014788e-05,3.018366e-05,3.023135e-05,3.024193e-05,3.028710e-05,3.029169e-05,3.032009e-05,3.033095e-05,3.034171e-05,3.035103e-05,3.035275e-05,3.035396e-05,3.035366e-05,3.034602e-05,3.034043e-05,3.032958e-05,3.031282e-05,3.030524e-05,3.027357e-05,3.027215e-05,3.023509e-05,3.021967e-05,3.019031e-05,3.015650e-05,3.013969e-05,3.008366e-05,3.002264e-05,3.000213e-05,2.995701e-05,2.991275e-05,2.988712e-05,2.981633e-05,2.981330e-05,2.973588e-05,2.971360e-05,2.965515e-05,2.960523e-05,2.957138e-05,2.949184e-05,2.948482e-05,2.939573e-05,2.937400e-05,2.930433e-05,2.925222e-05,2.921083e-05,2.912697e-05,2.911543e-05,2.901831e-05,2.899870e-05,2.891966e-05,2.886780e-05,2.881962e-05,2.873465e-05,2.871837e-05,2.861604e-05,2.859958e-05,2.851276e-05,2.846289e-05,2.840867e-05,2.832489e-05,2.830388e-05,2.819850e-05,2.818582e-05,2.809263e-05,2.804592e-05,2.798638e-05,2.790542e-05,2.787983e-05,2.777307e-05,2.776452e-05,2.766618e-05,2.762340e-05,2.755923e-05,2.748223e-05,2.745230e-05,2.734544e-05,2.734117e-05,2.723873e-05,2.720036e-05,2.713221e-05,2.705992e-05,2.702594e-05,2.691998e-05,2.678064e-05,2.664201e-05,2.650417e-05,2.636721e-05,2.623119e-05,2.609620e-05,2.596228e-05,2.582949e-05,2.569788e-05,2.556750e-05,2.543839e-05,2.531057e-05,2.518409e-05,2.505897e-05,2.493523e-05,2.481289e-05,2.469198e-05,2.457250e-05,2.445446e-05,2.433789e-05,2.422278e-05,2.410915e-05,2.399698e-05,2.388630e-05
0.000000e+00,1.480230e-13,1.208303e-12,2.603132e-11,1.898022e-10,4.635096e-10,3.043732e-09,3.253033e-09,1.377982e-08,1.940528e-08,4.259698e-08,7.532724e-08,1.063369e-07,2.152559e-07,2.277202e-07,4.349250e-07,5.009735e-07,7.606008e-07,1.007997e-06,1.240564e-06,1.820005e-06,1.911870e-06,2.809949e-06,3.019569e-06,3.965025e-06,4.674839e-06,5.398781e-06,6.826901e-06,7.122251e-06,9.135362e-06,9.483786e-06,1.142795e-05,1.262252e-05,1.398162e-05,1.619622e-05,1.677186e-05,1.977000e-05,2.014228e-05,2.294488e-05,2.438950e-05,2.626414e-05,2.886327e-05,2.969518e-05,3.320590e-05,3.348927e-05,3.676529e-05,3.819602e-05,4.034389e-05,4.291683e-05,4.391416e-05,4.745082e-05,4.759126e-05,5.093102e-05,5.216609e-05,5.433451e-05,5.659600e-05,5.764373e-05,6.084378e-05,6.392239e-05,6.488023e-05,6.686977e-05,6.868369e-05,6.967847e-05,7.223942e-05,7.234319e-05,7.486059e-05,7.553879e-05,7.722900e-05,7.857843e-05,7.944831e-05,8.135933e-05,8.151964e-05,8.344522e-05,8.388600e-05,8.522817e-05,8.616573e-05,8.687233e-05,8.820785e-05,8.838208e-05,8.976228e-05,9.002321e-05,9.101805e-05,9.162365e-05,9.215475e-05,9.302157e-05,9.317786e-05,9.409291e-05,9.422965e-05,9.490541e-05,9.526060e-05,9.562085e-05,9.612692e-05,9.624458e-05,9.678187e-05,9.684078e-05,9.723780e-05,9.741392e-05,9.761733e-05,9.785760e-05,9.792520e-05,9.816599e-05,9.818249e-05,9.834408e-05,9.839870e-05,9.846366e-05,9.851577e-05,9.852871e-05,9.854304e-05,9.854261e-05,9.851027e-05,9.848761e-05,9.843382e-05,9.835856e-05,9.831695e-05,9.816273e-05,9.797406e-05,9.790687e-05,9.775370e-05,9.759723e-05,9.750422e-05,9.723960e-05,9.722807e-05,9.692755e-05,9.683934e-05,9.660482e-05,9.640137e-05,9.626191e-05,9.593025e-05,9.590072e-05,9.552307e-05,9.543017e-05,9.513061e-05,9.490497e-05,9.472494e-05,9.435818e-05,9.430752e-05,9.387974e-05,9.379305e-05,9.344288e-05,9.321253e-05,9.299815e-05,9.261933e-05,9.254669e-05,9.208953e-05,9.201593e-05,9.162767e-05,9.140457e-05,9.116201e-05,9.078731e-05,9.069339e-05,9.022261e-05,9.016601e-05,8.975039e-05,8.954234e-05,8.927742e-05,8.891784e-05,8.880432e-05,8.833166e-05,8.829389e-05,8.785999e-05,8.767171e-05,8.738980e-05,8.705243e-05,8.692153e-05,8.645562e-05,8.643704e-05,8.599244e-05,8.582643e-05,8.553233e-05,8.522139e-05,8.507563e-05,8.462263e-05,8.403075e-05,8.344631e-05,8.286976e-05,8.230153e-05,8.174195e-05,8.119132e-05,8.064989e-05,8.011787e-05,7.959541e-05,7.908263e-05,7.857963e-05,7.808647e-05,7.760318e-05,7.712978e-05,7.666624e-05,7.621254e-05,7.576864e-05,7.533445e-05,7.490991e-05,7.449492e-05,7.408937e-05,7.369315e-05,7.330614e-05,7.292820e-05
0.000000e+00,2.662021e-12,1.938757e-11,3.315306e-10,1.973365e-09,4.325935e-09,2.176416e-08,2.301945e-08,7.642531e-08,1.011092e-07,1.911474e-07,3.020292e-07,3.978238e-07,6.981057e-07,7.301635e-07,1.224769e-06,1.371838e-06,1.919181e-06,2.407740e-06,2.845235e-06,3.864409e-06,4.018097e-06,5.427415e-06,5.734887e-06,7.037713e-06,7.937774e-06,8.797778e-06,1.035161e-05,1.065258e-05,1.255208e-05,1.285727e-05,1.445514e-05,1.536016e-05,1.632980e-05,1.779268e-05,1.815198e-05,1.990368e-05,2.010847e-05,2.157154e-05,2.227621e-05,2.314579e-05,2.427529e-05,2.461955e-05,2.598838e-05,2.609327e-05,2.724995e-05,2.772438e-05,2.840377e-05,2.916838e-05,2.945096e-05,3.039397e-05,3.042958e-05,3.123637e-05,3.151583e-05,3.198255e-05,3.243753e-05,3.263752e-05,3.320671e-05,3.369581e-05,3.383636e-05,3.411063e-05,3.433981e-05,3.445696e-05,3.473028e-05,3.474048e-05,3.496668e-05,3.502047e-05,3.514081e-05,3.522237e-05,3.526782e-05,3.534705e-05,3.535236e-05,3.539876e-05,3.540468e-05,3.541104e-05,3.540441e-05,3.539290e-05,3.535446e-05,3.534772e-05,3.527859e-05,3.526214e-05,3.518834e-05,3.513391e-05,3.507951e-05,3.497546e-05,3.495444e-05,3.481523e-05,3.479177e-05,3.466375e-05,3.458720e-05,3.450172e-05,3.436554e-05,3.433067e-05,3.415197e-05,3.413007e-05,3.396684e-05,3.388364e-05,3.377640e-05,3.362873e-05,3.358164e-05,3.338343e-05,3.336745e-05,3.318257e-05,3.310164e-05,3.297975e-05,3.283287e-05,3.277561e-05,3.257071e-05,3.256250e-05,3.236553e-05,3.229168e-05,3.216052e-05,3.202141e-05,3.195606e-05,3.175252e-05,3.155018e-05,3.148573e-05,3.134931e-05,3.122164e-05,3.115016e-05,3.096077e-05,3.095292e-05,3.075778e-05,3.070354e-05,3.056489e-05,3.045029e-05,3.037439e-05,3.020133e-05,3.018639e-05,3.000098e-05,2.995689e-05,2.981827e-05,2.971715e-05,2.963831e-05,2.948226e-05,2.946115e-05,2.928685e-05,2.925234e-05,2.911545e-05,2.902746e-05,2.894695e-05,2.880768e-05,2.878139e-05,2.861877e-05,2.859303e-05,2.845910e-05,2.838350e-05,2.830237e-05,2.817911e-05,2.814858e-05,2.799772e-05,2.797982e-05,2.784977e-05,2.778559e-05,2.770472e-05,2.759639e-05,2.756253e-05,2.742318e-05,2.741216e-05,2.728665e-05,2.723282e-05,2.715291e-05,2.705832e-05,2.702192e-05,2.689365e-05,2.688857e-05,2.676806e-05,2.672349e-05,2.664511e-05,2.656301e-05,2.652478e-05,2.640702e-05,2.625544e-05,2.610817e-05,2.596513e-05,2.582622e-05,2.569134e-05,2.556040e-05,2.543330e-05,2.530995e-05,2.519025e-05,2.507412e-05,2.496144e-05,2.485215e-05,2.474614e-05,2.464332e-05,2.454362e-05,2.444694e-05,2.435319e-05,2.426231e-05,2.417420e-05,2.408878e-05,2.400598e-05,2.392573e-05,2.384794e-05,2.377255e-05
0.000000e+00,3.401585e-16,3.046579e-15,7.962649e-14,6.933261e-13,1.867365e-12,1.581567e-11,1.707977e-11,9.329326e-11,1.408037e-10,3.679391e-10,7.492110e-10,1.159444e-09,2.880918e-09,3.101231e-09,7.320764e-09,8.858686e-09,1.566168e-08,2.313496e-08,3.094136e-08,5.332357e-08,5.722893e-08,1.001221e-07,1.113089e-07,1.669986e-07,2.142766e-07,2.672190e-07,3.855082e-07,4.122648e-07,6.157967e-07,6.548165e-07,8.936292e-07,1.058551e-06,1.263620e-06,1.639155e-06,1.745477e-06,2.360494e-06,2.444304e-06,3.131218e-06,3.525678e-06,4.081070e-06,4.937447e-06,5.233931e-06,6.613698e-06,6.734589e-06,8.243841e-06,8.971105e-06,1.014696e-05,1.169827e-05,1.234438e-05,1.485571e-05,1.496295e-05,1.769858e-05,1.880619e-05,2.088825e-05,2.326190e-05,2.443740e-05,2.835593e-05,3.265082e-05,3.410541e-05,3.732604e-05,4.051835e-05,4.238254e-05,4.759357e-05,4.781823e-05,5.362809e-05,5.532090e-05,5.980427e-05,6.368154e-05,6.633624e-05,7.264873e-05,7.321097e-05,8.041313e-05,8.218847e-05,8.792529e-05,9.226042e-05,9.572824e-05,1.028189e-04,1.038011e-04,1.121219e-04,1.138137e-04,1.206672e-04,1.251915e-04,1.294130e-04,1.368964e-04,1.383347e-04,1.474073e-04,1.488712e-04,1.566056e-04,1.610580e-04,1.659045e-04,1.733994e-04,1.752792e-04,1.847054e-04,1.858388e-04,1.941590e-04,1.983214e-04,2.036171e-04,2.107944e-04,2.130572e-04,2.224581e-04,2.232078e-04,2.317993e-04,2.355147e-04,2.410615e-04,2.476712e-04,2.502267e-04,2.592778e-04,2.596372e-04,2.681990e-04,2.713760e-04,2.769758e-04,2.828547e-04,2.855949e-04,2.940440e-04,3.023123e-04,3.049183e-04,3.103900e-04,3.154556e-04,3.182684e-04,3.256373e-04,3.259401e-04,3.333986e-04,3.354480e-04,3.406384e-04,3.448755e-04,3.476553e-04,3.539107e-04,3.544455e-04,3.610064e-04,3.625467e-04,3.673363e-04,3.707797e-04,3.734341e-04,3.786079e-04,3.792994e-04,3.849326e-04,3.860315e-04,3.903347e-04,3.930529e-04,3.955071e-04,3.996760e-04,4.004520e-04,4.051717e-04,4.059062e-04,4.096693e-04,4.117502e-04,4.139480e-04,4.172159e-04,4.180116e-04,4.218638e-04,4.223121e-04,4.255091e-04,4.270486e-04,4.289518e-04,4.314356e-04,4.321965e-04,4.352480e-04,4.354839e-04,4.381113e-04,4.392049e-04,4.407912e-04,4.426102e-04,4.432931e-04,4.456219e-04,4.457115e-04,4.477829e-04,4.485208e-04,4.497814e-04,4.510502e-04,4.516225e-04,4.533115e-04,4.553166e-04,4.570774e-04,4.586055e-04,4.599121e-04,4.610085e-04,4.619054e-04,4.626135e-04,4.631428e-04,4.635035e-04,4.637048e-04,4.637563e-04,4.636666e-04,4.634443e-04,4.630976e-04,4.626343e-04,4.620619e-04,4.613875e-04,4.606180e-04,4.597599e-04,4.588194e-04,4.578023e-04,4.567142e-04,4.555605e-04,4.543463e-04
0.000000e+00,3.418387e-09,8.057062e-09,2.865317e-08,6.662292e-08,9.836476e-08,2.315350e-07,2.389232e-07,4.859174e-07,5.804700e-07,8.877321e-07,1.225136e-06,1.495193e-06,2.253569e-06,2.328097e-06,3.361366e-06,3.634706e-06,4.556210e-06,5.284563e-06,5.883583e-06,7.146886e-06,7.325561e-06,8.870813e-06,9.191497e-06,1.051099e-05,1.139893e-05,1.223865e-05,1.375192e-05,1.404615e-05,1.592517e-05,1.623185e-05,1.786656e-05,1.881769e-05,1.986040e-05,2.148616e-05,2.189614e-05,2.396283e-05,2.421239e-05,2.604937e-05,2.697089e-05,2.814474e-05,2.973651e-05,3.023822e-05,3.231957e-05,3.248526e-05,3.437922e-05,3.519502e-05,3.640840e-05,3.784604e-05,3.839916e-05,4.034448e-05,4.042126e-05,4.223829e-05,4.290643e-05,4.407543e-05,4.529011e-05,4.585164e-05,4.756352e-05,4.920846e-05,4.972038e-05,5.078459e-05,5.175663e-05,5.229072e-05,5.367015e-05,5.372622e-05,5.509099e-05,5.546049e-05,5.638541e-05,5.712858e-05,5.761022e-05,5.867650e-05,5.876651e-05,5.985564e-05,6.010720e-05,6.087918e-05,6.142436e-05,6.183889e-05,6.263216e-05,6.273669e-05,6.357457e-05,6.373513e-05,6.435460e-05,6.473807e-05,6.507892e-05,6.564587e-05,6.574968e-05,6.636904e-05,6.646351e-05,6.693914e-05,6.719593e-05,6.746213e-05,6.784800e-05,6.794009e-05,6.837507e-05,6.842448e-05,6.876909e-05,6.892998e-05,6.912409e-05,6.936895e-05,6.944196e-05,6.972453e-05,6.974566e-05,6.997358e-05,7.006420e-05,7.019082e-05,7.032845e-05,7.037789e-05,7.053636e-05,7.054213e-05,7.066777e-05,7.070873e-05,7.077356e-05,7.083158e-05,7.085513e-05,7.091381e-05,7.095087e-05,7.095837e-05,7.096754e-05,7.096804e-05,7.096498e-05,7.094546e-05,7.094429e-05,7.090655e-05,7.089307e-05,7.085276e-05,7.081319e-05,7.078389e-05,7.070799e-05,7.070084e-05,7.060450e-05,7.057950e-05,7.049570e-05,7.042962e-05,7.037522e-05,7.026015e-05,7.024383e-05,7.010222e-05,7.007274e-05,6.995110e-05,6.986897e-05,6.979110e-05,6.965028e-05,6.962283e-05,6.944688e-05,6.941806e-05,6.926381e-05,6.917356e-05,6.907414e-05,6.891799e-05,6.887837e-05,6.867697e-05,6.865244e-05,6.847039e-05,6.837797e-05,6.825906e-05,6.809552e-05,6.804339e-05,6.782375e-05,6.780601e-05,6.760050e-05,6.751027e-05,6.737400e-05,6.720909e-05,6.714457e-05,6.691251e-05,6.690318e-05,6.667812e-05,6.659322e-05,6.644167e-05,6.627985e-05,6.620343e-05,6.596363e-05,6.564513e-05,6.532483e-05,6.500320e-05,6.468068e-05,6.435767e-05,6.403452e-05,6.371159e-05,6.338918e-05,6.306760e-05,6.274710e-05,6.242793e-05,6.211032e-05,6.179447e-05,6.148058e-05,6.116882e-05,6.085934e-05,6.055229e-05,6.024780e-05,5.994598e-05,5.964694e-05,5.935078e-05,5.905757e-05,5.876741e-05,5.848034e-05
0.000000e+00,1.080744e-14,9.171666e-14,2.141416e-12,1.680215e-11,4.272092e-11,3.114499e-10,3.342895e-10,1.572082e-09,2.278082e-09,5.375699e-09,1.008437e-08,1.479855e-08,3.269000e-08,3.484179e-08,7.288066e-08,8.573711e-08,1.388226e-07,1.923896e-07,2.447992e-07,3.819212e-07,4.043594e-07,6.313450e-07,6.860018e-07,9.387226e-07,1.134111e-06,1.337595e-06,1.749689e-06,1.836505e-06,2.441061e-06,2.547807e-06,3.153828e-06,3.534389e-06,3.974427e-06,4.706548e-06,4.899763e-06,5.924349e-06,6.053631e-06,7.040667e-06,7.558595e-06,8.239548e-06,9.199533e-06,9.510559e-06,1.084238e-05,1.095120e-05,1.222315e-05,1.278647e-05,1.364082e-05,1.467767e-05,1.508344e-05,1.653941e-05,1.659777e-05,1.799771e-05,1.852127e-05,1.944810e-05,2.042503e-05,2.088121e-05,2.228866e-05,2.366309e-05,2.409489e-05,2.499823e-05,2.582961e-05,2.628880e-05,2.748185e-05,2.753053e-05,2.872011e-05,2.904349e-05,2.985507e-05,3.050911e-05,3.093374e-05,3.187553e-05,3.195512e-05,3.291885e-05,3.314158e-05,3.382510e-05,3.430771e-05,3.467450e-05,3.537571e-05,3.546803e-05,3.620702e-05,3.634841e-05,3.689303e-05,3.722940e-05,3.752781e-05,3.802282e-05,3.811326e-05,3.865136e-05,3.873320e-05,3.914418e-05,3.936526e-05,3.959379e-05,3.992378e-05,4.000229e-05,4.037176e-05,4.041357e-05,4.070423e-05,4.083932e-05,4.100171e-05,4.120559e-05,4.126614e-05,4.149941e-05,4.151678e-05,4.170333e-05,4.177707e-05,4.187964e-05,4.199044e-05,4.203003e-05,4.215610e-05,4.216066e-05,4.225937e-05,4.229126e-05,4.234131e-05,4.238556e-05,4.240331e-05,4.244667e-05,4.247264e-05,4.247748e-05,4.248242e-05,4.248069e-05,4.247711e-05,4.245881e-05,4.245778e-05,4.242543e-05,4.241417e-05,4.238100e-05,4.234892e-05,4.232539e-05,4.226507e-05,4.225943e-05,4.218393e-05,4.216447e-05,4.209962e-05,4.204882e-05,4.200720e-05,4.191971e-05,4.190735e-05,4.180068e-05,4.177858e-05,4.168778e-05,4.162679e-05,4.156920e-05,4.146558e-05,4.144545e-05,4.131702e-05,4.129607e-05,4.118437e-05,4.111932e-05,4.104792e-05,4.093629e-05,4.090807e-05,4.076520e-05,4.074786e-05,4.061965e-05,4.055485e-05,4.047177e-05,4.035800e-05,4.032185e-05,4.017018e-05,4.015798e-05,4.001703e-05,3.995542e-05,3.986266e-05,3.975089e-05,3.970730e-05,3.955116e-05,3.954490e-05,3.939446e-05,3.933794e-05,3.923737e-05,3.913043e-05,3.908009e-05,3.892277e-05,3.871530e-05,3.850836e-05,3.830224e-05,3.809720e-05,3.789347e-05,3.769127e-05,3.749079e-05,3.729221e-05,3.709566e-05,3.690130e-05,3.670923e-05,3.651957e-05,3.633239e-05,3.614779e-05,3.596582e-05,3.578655e-05,3.561001e-05,3.543626e-05,3.526531e-05,3.509720e-05,3.493193e-05,3.476952e-05,3.460998e-05,3.445329e-05
0.000000e+00,5.595528e-13,4.225210e-12,7.770004e-11,4.927241e-10,1.116877e-09,6.097597e-09,6.469783e-09,2.311707e-08,3.115756e-08,6.155604e-08,1.004992e-07,1.350356e-07,2.467101e-07,2.588562e-07,4.497296e-07,5.074121e-07,7.244634e-07,9.205106e-07,1.097507e-06,1.514785e-06,1.578344e-06,2.170354e-06,2.301997e-06,2.871537e-06,3.277514e-06,3.676232e-06,4.426584e-06,4.576760e-06,5.564490e-06,5.730018e-06,6.630365e-06,7.167016e-06,7.765070e-06,8.715990e-06,8.959068e-06,1.020262e-05,1.035471e-05,1.148590e-05,1.206059e-05,1.279908e-05,1.381114e-05,1.413251e-05,1.547691e-05,1.558467e-05,1.682350e-05,1.736089e-05,1.816412e-05,1.912149e-05,1.949138e-05,2.079869e-05,2.085048e-05,2.208029e-05,2.253440e-05,2.333128e-05,2.416234e-05,2.454755e-05,2.572580e-05,2.686341e-05,2.721854e-05,2.795846e-05,2.863630e-05,2.900957e-05,2.997653e-05,3.001591e-05,3.097708e-05,3.123810e-05,3.189305e-05,3.242105e-05,3.276411e-05,3.352631e-05,3.359083e-05,3.437398e-05,3.455555e-05,3.511451e-05,3.551100e-05,3.581352e-05,3.639524e-05,3.647220e-05,3.709182e-05,3.721117e-05,3.767371e-05,3.796182e-05,3.821921e-05,3.865033e-05,3.872971e-05,3.920658e-05,3.927985e-05,3.965118e-05,3.985354e-05,4.006489e-05,4.037449e-05,4.044902e-05,4.080487e-05,4.084573e-05,4.113371e-05,4.127017e-05,4.143679e-05,4.165063e-05,4.171529e-05,4.197038e-05,4.198981e-05,4.220317e-05,4.229029e-05,4.241475e-05,4.255454e-05,4.260615e-05,4.277837e-05,4.278488e-05,4.293237e-05,4.298353e-05,4.306907e-05,4.315259e-05,4.318935e-05,4.329406e-05,4.338400e-05,4.340979e-05,4.345996e-05,4.350157e-05,4.352266e-05,4.357105e-05,4.357283e-05,4.361113e-05,4.361981e-05,4.363821e-05,4.364933e-05,4.365469e-05,4.366100e-05,4.366116e-05,4.365818e-05,4.365612e-05,4.364628e-05,4.363591e-05,4.362598e-05,4.360154e-05,4.359775e-05,4.356208e-05,4.355409e-05,4.351939e-05,4.349457e-05,4.347012e-05,4.342393e-05,4.341465e-05,4.335338e-05,4.334306e-05,4.328666e-05,4.325280e-05,4.321485e-05,4.315395e-05,4.313826e-05,4.305723e-05,4.304722e-05,4.297204e-05,4.293331e-05,4.288297e-05,4.281286e-05,4.279031e-05,4.269429e-05,4.268647e-05,4.259518e-05,4.255471e-05,4.249319e-05,4.241811e-05,4.238855e-05,4.228147e-05,4.227714e-05,4.217215e-05,4.213228e-05,4.206078e-05,4.198396e-05,4.194752e-05,4.183257e-05,4.167848e-05,4.152206e-05,4.136361e-05,4.120346e-05,4.104187e-05,4.087911e-05,4.071543e-05,4.055106e-05,4.038620e-05,4.022105e-05,4.005580e-05,3.989061e-05,3.972564e-05,3.956104e-05,3.939693e-05,3.923345e-05,3.907070e-05,3.890879e-05,3.874782e-05,3.858788e-05,3.842905e-05,3.827140e-05,3.811500e-05,3.795991e-05
0.000000e+00,2.947465e-09,7.644846e-09,2.989554e-08,7.211927e-08,1.075164e-07,2.534723e-07,2.614176e-07,5.179835e-07,6.120816e-07,9.061959e-07,1.215647e-06,1.458331e-06,2.139295e-06,2.207097e-06,3.175882e-06,3.441793e-06,4.365346e-06,5.119488e-06,5.751301e-06,7.105194e-06,7.298131e-06,8.971815e-06,9.319189e-06,1.074410e-05,1.169676e-05,1.259166e-05,1.418704e-05,1.449444e-05,1.643439e-05,1.674710e-05,1.839494e-05,1.933877e-05,2.036077e-05,2.192775e-05,2.231783e-05,2.425343e-05,2.448371e-05,2.615636e-05,2.698075e-05,2.801692e-05,2.939752e-05,2.982693e-05,3.157964e-05,3.171722e-05,3.326978e-05,3.392739e-05,3.489338e-05,3.601953e-05,3.644759e-05,3.793063e-05,3.798845e-05,3.934158e-05,3.983183e-05,4.068030e-05,4.154959e-05,4.194726e-05,4.314344e-05,4.427024e-05,4.461643e-05,4.532938e-05,4.597262e-05,4.632283e-05,4.721674e-05,4.725274e-05,4.812138e-05,4.835394e-05,4.893111e-05,4.938966e-05,4.968432e-05,5.032944e-05,5.038343e-05,5.103085e-05,5.117880e-05,5.162895e-05,5.194321e-05,5.218006e-05,5.262798e-05,5.268646e-05,5.315036e-05,5.323823e-05,5.357392e-05,5.377891e-05,5.395920e-05,5.425472e-05,5.430820e-05,5.462285e-05,5.467012e-05,5.490498e-05,5.502938e-05,5.515637e-05,5.533648e-05,5.537871e-05,5.557360e-05,5.559522e-05,5.574261e-05,5.580915e-05,5.588719e-05,5.598160e-05,5.600875e-05,5.610864e-05,5.611573e-05,5.618811e-05,5.621446e-05,5.624839e-05,5.628056e-05,5.629063e-05,5.631591e-05,5.631659e-05,5.632529e-05,5.632496e-05,5.631975e-05,5.630794e-05,5.630022e-05,5.626760e-05,5.622273e-05,5.620592e-05,5.616642e-05,5.612472e-05,5.609941e-05,5.602570e-05,5.602244e-05,5.593618e-05,5.591045e-05,5.584128e-05,5.578045e-05,5.573836e-05,5.563707e-05,5.562798e-05,5.551071e-05,5.548159e-05,5.538705e-05,5.531520e-05,5.525751e-05,5.513901e-05,5.512254e-05,5.498258e-05,5.495403e-05,5.483805e-05,5.476122e-05,5.468935e-05,5.456148e-05,5.453683e-05,5.438086e-05,5.435560e-05,5.422175e-05,5.414437e-05,5.405984e-05,5.392847e-05,5.389539e-05,5.372871e-05,5.370857e-05,5.356004e-05,5.348526e-05,5.338964e-05,5.325911e-05,5.321773e-05,5.304454e-05,5.303064e-05,5.287027e-05,5.280031e-05,5.269512e-05,5.256856e-05,5.251926e-05,5.234288e-05,5.233581e-05,5.216612e-05,5.210243e-05,5.198915e-05,5.186876e-05,5.181210e-05,5.163511e-05,5.140178e-05,5.116903e-05,5.093711e-05,5.070624e-05,5.047663e-05,5.024845e-05,5.002188e-05,4.979706e-05,4.957415e-05,4.935326e-05,4.913450e-05,4.891798e-05,4.870379e-05,4.849200e-05,4.828269e-05,4.807592e-05,4.787174e-05,4.767020e-05,4.747134e-05,4.727519e-05,4.708178e-05,4.689112e-05,4.670324e-05,4.651815e-05
0.000000e+00,1.726987e-10,8.465507e-10,7.167624e-09,2.546906e-08,4.393816e-08,1.339768e-07,1.392831e-07,3.232278e-07,3.951139e-07,6.299968e-07,8.896469e-07,1.099961e-06,1.710944e-06,1.772913e-06,2.667297e-06,2.913530e-06,3.764559e-06,4.452220e-06,5.022813e-06,6.229702e-06,6.400086e-06,7.863498e-06,8.164208e-06,9.387934e-06,1.019783e-05,1.095287e-05,1.228547e-05,1.254026e-05,1.413363e-05,1.438809e-05,1.571780e-05,1.647086e-05,1.727907e-05,1.850339e-05,1.880531e-05,2.028616e-05,2.046039e-05,2.171314e-05,2.232215e-05,2.307957e-05,2.407449e-05,2.438055e-05,2.561280e-05,2.570834e-05,2.677444e-05,2.721914e-05,2.786484e-05,2.860601e-05,2.888440e-05,2.983430e-05,2.987087e-05,3.071636e-05,3.101774e-05,3.153292e-05,3.205212e-05,3.228665e-05,3.298043e-05,3.361729e-05,3.380958e-05,3.420036e-05,3.454671e-05,3.473271e-05,3.519888e-05,3.521739e-05,3.565739e-05,3.577298e-05,3.605558e-05,3.627557e-05,3.641471e-05,3.671288e-05,3.673742e-05,3.702618e-05,3.709070e-05,3.728334e-05,3.741437e-05,3.751109e-05,3.768885e-05,3.771153e-05,3.788659e-05,3.791872e-05,3.803808e-05,3.810812e-05,3.816771e-05,3.826087e-05,3.827706e-05,3.836760e-05,3.838043e-05,3.844071e-05,3.846998e-05,3.849765e-05,3.853239e-05,3.853964e-05,3.856777e-05,3.857026e-05,3.858307e-05,3.858600e-05,3.858651e-05,3.858174e-05,3.857898e-05,3.856130e-05,3.855947e-05,3.853425e-05,3.852097e-05,3.849855e-05,3.846786e-05,3.845486e-05,3.840381e-05,3.840162e-05,3.834598e-05,3.832360e-05,3.828190e-05,3.823502e-05,3.821209e-05,3.813700e-05,3.805707e-05,3.803054e-05,3.797272e-05,3.791658e-05,3.788432e-05,3.779596e-05,3.779221e-05,3.769674e-05,3.766945e-05,3.759821e-05,3.753774e-05,3.749690e-05,3.740148e-05,3.739309e-05,3.728701e-05,3.726125e-05,3.717892e-05,3.711759e-05,3.706902e-05,3.697098e-05,3.695752e-05,3.684460e-05,3.682187e-05,3.673046e-05,3.667066e-05,3.661524e-05,3.651774e-05,3.649910e-05,3.638220e-05,3.636343e-05,3.626466e-05,3.620805e-05,3.614661e-05,3.605188e-05,3.602817e-05,3.590944e-05,3.589518e-05,3.579054e-05,3.573819e-05,3.567156e-05,3.558113e-05,3.555258e-05,3.543369e-05,3.542418e-05,3.531497e-05,3.526754e-05,3.519648e-05,3.511136e-05,3.507831e-05,3.496051e-05,3.495580e-05,3.484313e-05,3.480099e-05,3.472624e-05,3.464706e-05,3.460989e-05,3.449411e-05,3.434226e-05,3.419158e-05,3.404217e-05,3.389410e-05,3.374744e-05,3.360224e-05,3.345856e-05,3.331645e-05,3.317595e-05,3.303710e-05,3.289992e-05,3.276446e-05,3.263072e-05,3.249873e-05,3.236851e-05,3.224006e-05,3.211341e-05,3.198855e-05,3.186550e-05,3.174425e-05,3.162480e-05,3.150716e-05,3.139131e-05,3.127726e-05
0.000000e+00,3.107346e-15,2.730019e-14,6.857942e-13,5.763651e-12,1.523299e-11,1.232225e-10,1.328376e-10,6.976115e-10,1.043114e-09,2.670736e-09,5.366664e-09,8.245867e-09,2.022649e-08,2.175215e-08,5.073990e-08,6.120882e-08,1.069822e-07,1.563760e-07,2.071129e-07,3.485884e-07,3.727527e-07,6.301215e-07,6.951891e-07,1.009239e-06,1.265290e-06,1.542846e-06,2.135496e-06,2.265178e-06,3.210712e-06,3.384973e-06,4.412957e-06,5.090557e-06,5.903357e-06,7.322372e-06,7.710335e-06,9.858499e-06,1.014021e-05,1.236802e-05,1.359081e-05,1.525419e-05,1.770601e-05,1.852714e-05,2.219173e-05,2.250184e-05,2.624759e-05,2.797843e-05,3.068926e-05,3.412058e-05,3.550649e-05,4.068465e-05,4.089903e-05,4.620514e-05,4.827217e-05,5.204593e-05,5.618802e-05,5.818213e-05,6.458652e-05,7.123016e-05,7.340175e-05,7.808290e-05,8.256418e-05,8.511395e-05,9.200274e-05,9.229232e-05,9.958728e-05,1.016467e-04,1.069688e-04,1.114270e-04,1.144077e-04,1.212782e-04,1.218762e-04,1.293478e-04,1.311387e-04,1.367979e-04,1.409520e-04,1.442036e-04,1.506669e-04,1.515435e-04,1.587987e-04,1.602380e-04,1.659516e-04,1.696255e-04,1.729869e-04,1.787955e-04,1.798908e-04,1.866515e-04,1.877192e-04,1.932588e-04,1.963732e-04,1.997040e-04,2.047387e-04,2.059801e-04,2.120811e-04,2.128013e-04,2.180027e-04,2.205504e-04,2.237414e-04,2.279791e-04,2.292950e-04,2.346622e-04,2.350835e-04,2.398424e-04,2.418622e-04,2.448360e-04,2.483163e-04,2.496439e-04,2.542677e-04,2.544488e-04,2.587094e-04,2.602643e-04,2.629716e-04,2.657688e-04,2.670571e-04,2.709692e-04,2.747114e-04,2.758736e-04,2.782874e-04,2.804906e-04,2.817011e-04,2.848293e-04,2.849565e-04,2.880577e-04,2.888990e-04,2.910091e-04,2.927097e-04,2.938148e-04,2.962711e-04,2.964791e-04,2.990065e-04,2.995931e-04,3.014010e-04,3.026856e-04,3.036671e-04,3.055584e-04,3.058090e-04,3.078309e-04,3.082212e-04,3.097369e-04,3.106836e-04,3.115311e-04,3.129547e-04,3.132174e-04,3.147999e-04,3.150437e-04,3.162823e-04,3.169594e-04,3.176684e-04,3.187104e-04,3.189619e-04,3.201662e-04,3.203049e-04,3.212850e-04,3.217510e-04,3.223215e-04,3.230563e-04,3.232791e-04,3.241609e-04,3.242283e-04,3.249702e-04,3.252742e-04,3.257098e-04,3.262009e-04,3.263828e-04,3.269919e-04,3.270149e-04,3.275399e-04,3.277227e-04,3.280294e-04,3.283302e-04,3.284631e-04,3.288433e-04,3.292675e-04,3.296082e-04,3.298704e-04,3.300589e-04,3.301783e-04,3.302331e-04,3.302275e-04,3.301654e-04,3.300507e-04,3.298869e-04,3.296776e-04,3.294259e-04,3.291349e-04,3.288077e-04,3.284469e-04,3.280553e-04,3.276352e-04,3.271892e-04,3.267195e-04,3.262281e-04,3.257171e-04,3.251884e-04,3.246437e-04,3.240848e-04
0.000000e+00,2.701553e-09,6.815798e-09,2.595058e-08,6.197155e-08,9.213517e-08,2.169230e-07,2.237422e-07,4.455360e-07,5.276289e-07,7.864447e-07,1.061479e-06,1.278218e-06,1.885425e-06,1.945510e-06,2.792060e-06,3.020416e-06,3.802762e-06,4.433054e-06,4.958045e-06,6.081154e-06,6.241475e-06,7.639879e-06,7.932328e-06,9.141692e-06,9.959779e-06,1.073568e-05,1.213743e-05,1.241030e-05,1.415359e-05,1.443806e-05,1.595316e-05,1.683327e-05,1.779649e-05,1.929428e-05,1.967112e-05,2.156498e-05,2.179299e-05,2.346662e-05,2.430304e-05,2.536542e-05,2.680061e-05,2.725170e-05,2.911683e-05,2.926489e-05,3.095324e-05,3.167828e-05,3.275445e-05,3.402642e-05,3.451500e-05,3.623041e-05,3.629803e-05,3.789709e-05,3.848461e-05,3.951227e-05,4.058012e-05,4.107392e-05,4.258062e-05,4.403152e-05,4.448395e-05,4.542625e-05,4.628939e-05,4.676482e-05,4.799735e-05,4.804759e-05,4.927520e-05,4.960916e-05,5.044850e-05,5.112684e-05,5.156854e-05,5.255294e-05,5.263649e-05,5.365364e-05,5.389035e-05,5.462137e-05,5.514224e-05,5.554110e-05,5.631193e-05,5.641431e-05,5.724248e-05,5.740285e-05,5.802713e-05,5.841843e-05,5.876974e-05,5.936213e-05,5.947180e-05,6.013480e-05,6.023735e-05,6.076017e-05,6.104740e-05,6.134934e-05,6.179555e-05,6.190371e-05,6.242461e-05,6.248494e-05,6.291339e-05,6.311861e-05,6.337133e-05,6.369949e-05,6.379966e-05,6.419961e-05,6.423041e-05,6.457234e-05,6.471406e-05,6.491898e-05,6.515303e-05,6.524064e-05,6.553837e-05,6.554979e-05,6.581318e-05,6.590670e-05,6.606607e-05,6.622600e-05,6.629799e-05,6.650983e-05,6.670250e-05,6.676024e-05,6.687683e-05,6.697916e-05,6.703364e-05,6.716843e-05,6.717372e-05,6.729781e-05,6.732979e-05,6.740665e-05,6.746491e-05,6.750092e-05,6.757537e-05,6.758131e-05,6.764844e-05,6.766265e-05,6.770295e-05,6.772818e-05,6.774542e-05,6.777329e-05,6.777642e-05,6.779650e-05,6.779925e-05,6.780618e-05,6.780727e-05,6.780597e-05,6.779849e-05,6.779634e-05,6.777777e-05,6.777399e-05,6.775069e-05,6.773479e-05,6.771553e-05,6.768186e-05,6.767270e-05,6.762258e-05,6.761610e-05,6.756557e-05,6.753839e-05,6.750201e-05,6.744954e-05,6.743225e-05,6.735662e-05,6.735032e-05,6.727543e-05,6.724147e-05,6.718900e-05,6.712368e-05,6.709760e-05,6.700153e-05,6.699759e-05,6.690104e-05,6.686383e-05,6.679639e-05,6.672298e-05,6.668782e-05,6.657558e-05,6.642216e-05,6.626320e-05,6.609917e-05,6.593051e-05,6.575763e-05,6.558091e-05,6.540072e-05,6.521741e-05,6.503131e-05,6.484272e-05,6.465193e-05,6.445921e-05,6.426482e-05,6.406900e-05,6.387198e-05,6.367397e-05,6.347518e-05,6.327579e-05,6.307597e-05,6.287591e-05,6.267575e-05,6.247564e-05,6.227572e-05,6.207611e-05
0.000000e+00,4.113535e-16,3.683812e-15,9.627661e-14,8.383748e-13,2.258380e-12,1.914526e-11,2.067668e-11,1.131688e-10,1.709358e-10,4.478140e-10,9.143472e-10,1.418052e-09,3.544845e-09,3.818219e-09,9.090383e-09,1.102567e-08,1.965037e-08,2.921789e-08,3.929154e-08,6.850786e-08,7.364643e-08,1.306646e-07,1.456772e-07,2.210526e-07,2.856964e-07,3.586220e-07,5.230760e-07,5.605044e-07,8.472123e-07,9.025028e-07,1.242535e-06,1.478634e-06,1.773274e-06,2.315056e-06,2.468844e-06,3.360752e-06,3.482531e-06,4.481988e-06,5.056679e-06,5.866347e-06,7.115310e-06,7.547727e-06,9.559408e-06,9.735581e-06,1.193335e-05,1.299116e-05,1.469955e-05,1.694958e-05,1.788538e-05,2.151509e-05,2.166981e-05,2.560934e-05,2.720032e-05,3.018479e-05,3.357748e-05,3.525387e-05,4.082450e-05,4.690007e-05,4.895082e-05,5.347935e-05,5.795197e-05,6.055661e-05,6.780990e-05,6.812170e-05,7.616030e-05,7.849356e-05,8.465413e-05,8.995997e-05,9.358130e-05,1.021554e-04,1.029166e-04,1.126320e-04,1.150169e-04,1.226968e-04,1.284735e-04,1.330782e-04,1.424486e-04,1.437419e-04,1.546521e-04,1.568605e-04,1.657722e-04,1.716252e-04,1.770648e-04,1.866567e-04,1.884928e-04,2.000188e-04,2.018697e-04,2.116063e-04,2.171796e-04,2.232194e-04,2.325047e-04,2.348231e-04,2.463838e-04,2.477667e-04,2.578694e-04,2.628913e-04,2.692492e-04,2.778094e-04,2.804946e-04,2.915784e-04,2.924574e-04,3.024757e-04,3.067772e-04,3.131636e-04,3.207172e-04,3.236209e-04,3.338288e-04,3.342317e-04,3.437704e-04,3.472812e-04,3.534306e-04,3.598323e-04,3.627967e-04,3.718575e-04,3.806040e-04,3.833352e-04,3.890286e-04,3.942488e-04,3.971257e-04,4.045870e-04,4.048912e-04,4.123225e-04,4.143432e-04,4.194184e-04,4.235149e-04,4.261790e-04,4.321038e-04,4.326057e-04,4.387009e-04,4.401149e-04,4.444683e-04,4.475564e-04,4.499121e-04,4.544392e-04,4.550377e-04,4.598509e-04,4.607766e-04,4.643584e-04,4.665839e-04,4.685675e-04,4.718780e-04,4.724857e-04,4.761212e-04,4.766772e-04,4.794824e-04,4.810009e-04,4.825781e-04,4.848695e-04,4.854172e-04,4.880087e-04,4.883035e-04,4.903619e-04,4.913242e-04,4.924861e-04,4.939529e-04,4.943904e-04,4.960842e-04,4.962109e-04,4.975766e-04,4.981192e-04,4.988767e-04,4.996988e-04,4.999935e-04,5.009358e-04,5.009700e-04,5.017123e-04,5.019528e-04,5.023313e-04,5.026666e-04,5.028012e-04,5.031301e-04,5.033614e-04,5.033778e-04,5.031959e-04,5.028316e-04,5.023000e-04,5.016154e-04,5.007913e-04,4.998405e-04,4.987750e-04,4.976060e-04,4.963444e-04,4.949999e-04,4.935819e-04,4.920991e-04,4.905596e-04,4.889708e-04,4.873398e-04,4.856729e-04,4.839762e-04,4.822552e-04,4.805148e-04,4.787598e-04,4.769944e-04,4.752226e-04
0.000000e+00,9.726448e-13,7.451494e-12,1.410698e-10,9.175309e-10,2.107946e-09,1.189692e-08,1.263959e-08,4.657779e-08,6.328752e-08,1.275337e-07,2.114809e-07,2.869942e-07,5.357867e-07,5.631732e-07,9.992546e-07,1.132652e-06,1.638959e-06,2.100309e-06,2.518889e-06,3.510027e-06,3.661304e-06,5.071566e-06,5.385170e-06,6.740708e-06,7.705097e-06,8.650309e-06,1.042318e-05,1.077700e-05,1.309541e-05,1.348241e-05,1.557954e-05,1.682311e-05,1.820326e-05,2.038520e-05,2.094046e-05,2.376514e-05,2.410876e-05,2.665164e-05,2.793480e-05,2.957496e-05,3.180655e-05,3.251121e-05,3.543798e-05,3.567108e-05,3.833472e-05,3.948081e-05,4.118301e-05,4.319464e-05,4.396674e-05,4.667215e-05,4.677856e-05,4.928782e-05,5.020566e-05,5.180461e-05,5.345590e-05,5.421553e-05,5.651553e-05,5.870129e-05,5.937627e-05,6.077100e-05,6.203443e-05,6.272417e-05,6.449012e-05,6.456140e-05,6.628421e-05,6.674638e-05,6.789483e-05,6.880850e-05,6.939607e-05,7.068333e-05,7.079110e-05,7.208341e-05,7.237869e-05,7.327673e-05,7.390324e-05,7.437506e-05,7.526629e-05,7.538252e-05,7.630329e-05,7.647740e-05,7.714151e-05,7.754613e-05,7.790129e-05,7.848180e-05,7.858661e-05,7.920134e-05,7.929340e-05,7.974925e-05,7.998957e-05,8.023396e-05,8.057860e-05,8.065899e-05,8.102770e-05,8.106831e-05,8.134330e-05,8.146614e-05,8.160889e-05,8.177912e-05,8.182744e-05,8.200181e-05,8.201393e-05,8.213467e-05,8.217678e-05,8.222860e-05,8.227349e-05,8.228603e-05,8.230929e-05,8.230954e-05,8.230060e-05,8.229005e-05,8.226204e-05,8.221979e-05,8.219561e-05,8.210319e-05,8.198654e-05,8.194437e-05,8.184734e-05,8.174717e-05,8.168720e-05,8.151517e-05,8.150763e-05,8.131007e-05,8.125171e-05,8.109586e-05,8.095988e-05,8.086629e-05,8.064254e-05,8.062254e-05,8.036576e-05,8.030231e-05,8.009701e-05,7.994167e-05,7.981731e-05,7.956287e-05,7.952761e-05,7.922881e-05,7.916803e-05,7.892176e-05,7.875910e-05,7.860725e-05,7.833784e-05,7.828603e-05,7.795882e-05,7.790595e-05,7.762626e-05,7.746492e-05,7.728898e-05,7.701617e-05,7.694758e-05,7.660259e-05,7.656098e-05,7.625454e-05,7.610055e-05,7.590390e-05,7.563597e-05,7.555113e-05,7.519666e-05,7.516824e-05,7.484088e-05,7.469829e-05,7.448417e-05,7.422696e-05,7.412688e-05,7.376932e-05,7.375502e-05,7.341181e-05,7.328317e-05,7.305463e-05,7.281207e-05,7.269804e-05,7.234228e-05,7.187435e-05,7.140876e-05,7.094594e-05,7.048630e-05,7.003018e-05,6.957791e-05,6.912977e-05,6.868602e-05,6.824688e-05,6.781257e-05,6.738324e-05,6.695906e-05,6.654016e-05,6.612665e-05,6.571862e-05,6.531617e-05,6.491935e-05,6.452822e-05,6.414280e-05,6.376314e-05,6.338925e-05,6.302113e-05,6.265878e-05,6.230220e-05
0.000000e+00,1.489299e-10,7.205931e-10,5.990958e-09,2.109122e-08,3.626601e-08,1.099208e-07,1.142488e-07,2.634365e-07,3.212942e-07,5.087000e-07,7.133666e-07,8.777044e-07,1.351625e-06,1.399634e-06,2.097655e-06,2.292585e-06,2.979144e-06,3.550318e-06,4.036185e-06,5.100631e-06,5.254971e-06,6.622363e-06,6.912659e-06,8.127094e-06,8.960398e-06,9.758841e-06,1.122007e-05,1.150720e-05,1.336111e-05,1.366674e-05,1.530860e-05,1.627289e-05,1.733682e-05,1.900844e-05,1.943223e-05,2.158087e-05,2.184162e-05,2.376864e-05,2.474005e-05,2.598160e-05,2.767199e-05,2.820630e-05,3.042998e-05,3.060747e-05,3.264076e-05,3.351899e-05,3.482779e-05,3.638224e-05,3.698134e-05,3.909282e-05,3.917630e-05,4.115482e-05,4.188379e-05,4.316108e-05,4.449080e-05,4.510640e-05,4.698668e-05,4.879877e-05,4.936381e-05,5.054018e-05,5.161680e-05,5.220929e-05,5.374280e-05,5.380522e-05,5.532757e-05,5.574066e-05,5.677657e-05,5.761098e-05,5.815278e-05,5.935543e-05,5.945717e-05,6.069105e-05,6.097684e-05,6.185587e-05,6.247864e-05,6.295335e-05,6.386491e-05,6.398536e-05,6.495384e-05,6.514009e-05,6.586084e-05,6.630889e-05,6.670849e-05,6.737620e-05,6.749892e-05,6.823427e-05,6.834696e-05,6.891670e-05,6.922610e-05,6.954834e-05,7.001850e-05,7.013130e-05,7.066765e-05,7.072897e-05,7.115941e-05,7.136218e-05,7.160858e-05,7.192265e-05,7.201708e-05,7.238679e-05,7.241474e-05,7.271952e-05,7.284266e-05,7.301704e-05,7.321041e-05,7.328105e-05,7.351318e-05,7.352183e-05,7.371503e-05,7.378058e-05,7.388812e-05,7.399013e-05,7.403390e-05,7.415380e-05,7.424916e-05,7.427470e-05,7.432128e-05,7.435582e-05,7.437141e-05,7.439995e-05,7.440073e-05,7.441041e-05,7.440974e-05,7.440152e-05,7.438771e-05,7.437511e-05,7.433621e-05,7.433219e-05,7.427372e-05,7.425747e-05,7.420060e-05,7.415359e-05,7.411372e-05,7.402655e-05,7.401391e-05,7.390197e-05,7.387819e-05,7.377865e-05,7.371028e-05,7.364469e-05,7.352444e-05,7.350077e-05,7.334756e-05,7.332222e-05,7.318568e-05,7.310507e-05,7.301573e-05,7.287435e-05,7.283828e-05,7.265388e-05,7.263131e-05,7.246305e-05,7.237716e-05,7.226626e-05,7.211302e-05,7.206400e-05,7.185670e-05,7.183991e-05,7.164479e-05,7.155883e-05,7.142868e-05,7.127068e-05,7.120873e-05,7.098532e-05,7.097631e-05,7.075878e-05,7.067653e-05,7.052945e-05,7.037206e-05,7.029763e-05,7.006362e-05,6.975183e-05,6.943730e-05,6.912059e-05,6.880221e-05,6.848265e-05,6.816235e-05,6.784173e-05,6.752117e-05,6.720103e-05,6.688162e-05,6.656325e-05,6.624621e-05,6.593073e-05,6.561707e-05,6.530542e-05,6.499600e-05,6.468897e-05,6.438450e-05,6.408273e-05,6.378380e-05,6.348783e-05,6.319493e-05,6.290518e-05,6.261869e-05
0.000000e+00,3.335696e-09,7.888357e-09,2.804065e-08,6.488187e-08,9.540864e-08,2.212674e-07,2.281572e-07,4.537705e-07,5.379504e-07,8.040557e-07,1.084169e-06,1.300266e-06,1.877444e-06,1.932345e-06,2.671949e-06,2.862619e-06,3.495204e-06,3.986401e-06,4.385527e-06,5.214089e-06,5.329862e-06,6.316287e-06,6.517597e-06,7.333191e-06,7.870248e-06,8.369244e-06,9.246407e-06,9.413651e-06,1.045647e-05,1.062256e-05,1.148885e-05,1.197840e-05,1.250319e-05,1.329740e-05,1.349320e-05,1.445387e-05,1.456698e-05,1.538136e-05,1.577820e-05,1.627292e-05,1.692530e-05,1.712669e-05,1.794162e-05,1.800512e-05,1.871728e-05,1.901655e-05,1.945376e-05,1.996001e-05,2.015153e-05,2.081139e-05,2.083701e-05,2.143435e-05,2.164981e-05,2.202160e-05,2.240118e-05,2.257441e-05,2.309414e-05,2.358218e-05,2.373188e-05,2.403992e-05,2.431761e-05,2.446875e-05,2.485452e-05,2.487006e-05,2.524517e-05,2.534569e-05,2.559539e-05,2.579410e-05,2.592198e-05,2.620260e-05,2.622613e-05,2.650902e-05,2.657387e-05,2.677175e-05,2.691047e-05,2.701538e-05,2.721477e-05,2.724091e-05,2.744932e-05,2.748903e-05,2.764152e-05,2.773535e-05,2.781838e-05,2.795569e-05,2.798072e-05,2.812933e-05,2.815188e-05,2.826495e-05,2.832564e-05,2.838828e-05,2.847856e-05,2.850000e-05,2.860074e-05,2.861212e-05,2.869109e-05,2.872770e-05,2.877163e-05,2.882660e-05,2.884289e-05,2.890538e-05,2.891001e-05,2.895958e-05,2.897904e-05,2.900595e-05,2.903473e-05,2.904492e-05,2.907690e-05,2.907804e-05,2.910228e-05,2.910987e-05,2.912142e-05,2.913105e-05,2.913468e-05,2.914237e-05,2.914481e-05,2.914454e-05,2.914231e-05,2.913823e-05,2.913512e-05,2.912408e-05,2.912353e-05,2.910778e-05,2.910266e-05,2.908811e-05,2.907453e-05,2.906475e-05,2.904018e-05,2.903791e-05,2.900779e-05,2.900009e-05,2.897458e-05,2.895471e-05,2.893847e-05,2.890443e-05,2.889963e-05,2.885823e-05,2.884966e-05,2.881442e-05,2.879073e-05,2.876835e-05,2.872800e-05,2.872015e-05,2.866997e-05,2.866177e-05,2.861793e-05,2.859232e-05,2.856415e-05,2.851995e-05,2.850874e-05,2.845182e-05,2.844489e-05,2.839348e-05,2.836739e-05,2.833383e-05,2.828767e-05,2.827296e-05,2.821095e-05,2.820594e-05,2.814789e-05,2.812239e-05,2.808387e-05,2.803721e-05,2.801895e-05,2.795322e-05,2.795057e-05,2.788673e-05,2.786262e-05,2.781956e-05,2.777352e-05,2.775176e-05,2.768341e-05,2.759241e-05,2.750065e-05,2.740825e-05,2.731531e-05,2.722193e-05,2.712821e-05,2.703423e-05,2.694009e-05,2.684585e-05,2.675158e-05,2.665736e-05,2.656325e-05,2.646930e-05,2.637558e-05,2.628213e-05,2.618900e-05,2.609624e-05,2.600388e-05,2.591197e-05,2.582054e-05,2.572962e-05,2.563926e-05,2.554946e-05,2.546027e-05
0.000000e+00,2.287201e-09,5.252444e-09,1.811583e-08,4.125920e-08,6.020719e-08,1.365567e-07,1.406613e-07,2.714860e-07,3.188203e-07,4.651215e-07,6.168966e-07,7.347080e-07,1.061215e-06,1.093486e-06,1.552398e-06,1.678143e-06,2.116247e-06,2.476945e-06,2.781910e-06,3.445250e-06,3.540932e-06,4.383370e-06,4.561021e-06,5.299770e-06,5.802624e-06,6.281456e-06,7.150531e-06,7.320244e-06,8.408141e-06,8.586229e-06,9.537182e-06,1.009140e-05,1.069940e-05,1.164774e-05,1.188689e-05,1.309187e-05,1.323729e-05,1.430688e-05,1.484281e-05,1.552481e-05,1.644830e-05,1.673905e-05,1.794356e-05,1.803933e-05,1.913292e-05,1.960333e-05,2.030236e-05,2.112965e-05,2.144769e-05,2.256539e-05,2.260948e-05,2.365257e-05,2.403601e-05,2.470687e-05,2.540404e-05,2.572644e-05,2.670994e-05,2.765642e-05,2.795137e-05,2.856530e-05,2.912712e-05,2.943633e-05,3.023691e-05,3.026952e-05,3.106511e-05,3.128120e-05,3.182355e-05,3.226101e-05,3.254542e-05,3.317786e-05,3.323144e-05,3.388245e-05,3.403358e-05,3.449934e-05,3.483026e-05,3.508309e-05,3.557017e-05,3.563470e-05,3.615520e-05,3.625566e-05,3.664565e-05,3.688916e-05,3.710711e-05,3.747311e-05,3.754064e-05,3.794730e-05,3.800994e-05,3.832812e-05,3.850204e-05,3.868413e-05,3.895174e-05,3.901633e-05,3.932569e-05,3.936133e-05,3.961318e-05,3.973298e-05,3.987972e-05,4.006883e-05,4.012621e-05,4.035353e-05,4.037091e-05,4.056252e-05,4.064116e-05,4.075399e-05,4.088145e-05,4.092874e-05,4.108752e-05,4.109355e-05,4.123106e-05,4.127915e-05,4.136008e-05,4.143985e-05,4.147524e-05,4.157720e-05,4.166658e-05,4.169263e-05,4.174399e-05,4.178751e-05,4.181000e-05,4.186316e-05,4.186517e-05,4.191002e-05,4.192080e-05,4.194508e-05,4.196161e-05,4.197082e-05,4.198667e-05,4.198771e-05,4.199621e-05,4.199705e-05,4.199674e-05,4.199371e-05,4.198972e-05,4.197760e-05,4.197553e-05,4.195456e-05,4.194959e-05,4.192717e-05,4.191051e-05,4.189370e-05,4.186114e-05,4.185449e-05,4.180984e-05,4.180221e-05,4.176007e-05,4.173444e-05,4.170545e-05,4.165846e-05,4.164628e-05,4.158280e-05,4.157491e-05,4.151528e-05,4.148435e-05,4.144395e-05,4.138734e-05,4.136905e-05,4.129080e-05,4.128440e-05,4.120940e-05,4.117600e-05,4.112506e-05,4.106262e-05,4.103796e-05,4.094830e-05,4.094467e-05,4.085625e-05,4.082256e-05,4.076197e-05,4.069667e-05,4.066562e-05,4.056736e-05,4.043496e-05,4.029980e-05,4.016216e-05,4.002233e-05,3.988056e-05,3.973710e-05,3.959218e-05,3.944601e-05,3.929880e-05,3.915074e-05,3.900200e-05,3.885275e-05,3.870314e-05,3.855331e-05,3.840341e-05,3.825355e-05,3.810386e-05,3.795445e-05,3.780541e-05,3.765684e-05,3.750883e-05,3.736146e-05,3.721480e-05,3.706893e-05
0.000000e+00,1.219340e-12,8.978920e-12,1.570128e-10,9.530964e-10,2.111128e-09,1.089133e-08,1.153058e-08,3.911580e-08,5.201599e-08,9.945074e-08,1.582675e-07,2.092151e-07,3.688598e-07,3.858676e-07,6.469332e-07,7.240660e-07,1.009494e-06,1.262837e-06,1.489322e-06,2.018811e-06,2.099159e-06,2.846144e-06,3.012071e-06,3.729245e-06,4.239199e-06,4.738236e-06,5.670038e-06,5.855075e-06,7.057058e-06,7.255669e-06,8.320245e-06,8.941580e-06,9.622022e-06,1.067775e-05,1.094249e-05,1.226483e-05,1.242295e-05,1.357518e-05,1.414495e-05,1.486230e-05,1.581936e-05,1.611719e-05,1.733276e-05,1.742813e-05,1.850359e-05,1.895845e-05,1.962567e-05,2.040178e-05,2.069623e-05,2.171356e-05,2.175313e-05,2.267683e-05,2.301034e-05,2.358597e-05,2.417352e-05,2.444151e-05,2.524445e-05,2.599618e-05,2.622618e-05,2.669837e-05,2.712262e-05,2.735288e-05,2.793822e-05,2.796172e-05,2.852698e-05,2.867773e-05,2.905076e-05,2.934601e-05,2.953520e-05,2.994793e-05,2.998238e-05,3.039435e-05,3.048821e-05,3.077312e-05,3.097143e-05,3.112058e-05,3.140192e-05,3.143858e-05,3.172888e-05,3.178377e-05,3.199316e-05,3.212083e-05,3.223300e-05,3.241668e-05,3.244991e-05,3.264531e-05,3.267467e-05,3.282056e-05,3.289789e-05,3.297691e-05,3.308920e-05,3.311557e-05,3.323765e-05,3.325124e-05,3.334423e-05,3.338646e-05,3.343628e-05,3.349711e-05,3.351476e-05,3.358053e-05,3.358526e-05,3.363442e-05,3.365282e-05,3.367720e-05,3.370155e-05,3.370962e-05,3.373233e-05,3.373305e-05,3.374600e-05,3.374882e-05,3.375121e-05,3.375022e-05,3.374854e-05,3.373852e-05,3.372164e-05,3.371487e-05,3.369837e-05,3.368033e-05,3.366915e-05,3.363588e-05,3.363439e-05,3.359448e-05,3.358243e-05,3.354978e-05,3.352081e-05,3.350064e-05,3.345178e-05,3.344738e-05,3.339029e-05,3.337605e-05,3.332966e-05,3.329426e-05,3.326576e-05,3.320701e-05,3.319883e-05,3.312912e-05,3.311486e-05,3.305684e-05,3.301830e-05,3.298220e-05,3.291782e-05,3.290539e-05,3.282661e-05,3.281383e-05,3.274602e-05,3.270674e-05,3.266379e-05,3.259692e-05,3.258006e-05,3.249499e-05,3.248470e-05,3.240871e-05,3.237040e-05,3.232135e-05,3.225430e-05,3.223302e-05,3.214384e-05,3.213667e-05,3.205391e-05,3.201776e-05,3.196334e-05,3.189779e-05,3.187222e-05,3.178064e-05,3.177697e-05,3.168867e-05,3.165549e-05,3.159641e-05,3.153354e-05,3.150392e-05,3.141127e-05,3.128883e-05,3.116637e-05,3.104402e-05,3.092188e-05,3.080008e-05,3.067870e-05,3.055784e-05,3.043759e-05,3.031801e-05,3.019919e-05,3.008118e-05,2.996404e-05,2.984783e-05,2.973260e-05,2.961838e-05,2.950523e-05,2.939316e-05,2.928223e-05,2.917244e-05,2.906384e-05,2.895644e-05,2.885026e-05,2.874532e-05,2.864163e-05
0.000000e+00,1.065449e-13,8.600794e-13,1.810395e-11,1.292163e-10,3.118648e-10,1.986316e-09,2.120260e-09,8.712069e-09,1.216756e-08,2.616050e-08,4.549448e-08,6.353026e-08,1.255503e-07,1.325509e-07,2.470022e-07,2.828879e-07,4.219177e-07,5.519741e-07,6.724708e-07,9.665095e-07,1.012409e-06,1.452301e-06,1.552893e-06,1.998183e-06,2.324458e-06,2.651060e-06,3.279575e-06,3.407232e-06,4.259176e-06,4.403715e-06,5.196579e-06,5.673373e-06,6.207309e-06,7.059853e-06,7.278189e-06,8.395580e-06,8.532141e-06,9.545800e-06,1.005883e-05,1.071546e-05,1.160947e-05,1.189171e-05,1.306251e-05,1.315560e-05,1.421676e-05,1.467156e-05,1.534452e-05,1.613516e-05,1.643707e-05,1.748705e-05,1.752807e-05,1.848842e-05,1.883608e-05,1.943650e-05,2.004897e-05,2.032789e-05,2.116038e-05,2.193284e-05,2.216730e-05,2.264510e-05,2.306963e-05,2.329782e-05,2.386964e-05,2.389233e-05,2.443051e-05,2.457141e-05,2.491466e-05,2.518030e-05,2.534741e-05,2.570258e-05,2.573160e-05,2.607017e-05,2.614498e-05,2.636616e-05,2.651442e-05,2.662255e-05,2.681778e-05,2.684231e-05,2.702831e-05,2.706170e-05,2.718330e-05,2.725251e-05,2.730988e-05,2.739608e-05,2.741054e-05,2.748757e-05,2.749785e-05,2.754314e-05,2.756278e-05,2.757925e-05,2.759536e-05,2.759773e-05,2.760030e-05,2.759961e-05,2.758851e-05,2.757916e-05,2.756381e-05,2.753721e-05,2.752750e-05,2.748077e-05,2.747661e-05,2.742470e-05,2.739989e-05,2.736029e-05,2.730926e-05,2.728845e-05,2.720997e-05,2.720670e-05,2.712561e-05,2.709394e-05,2.703605e-05,2.697248e-05,2.694188e-05,2.684368e-05,2.674194e-05,2.670871e-05,2.663712e-05,2.656861e-05,2.652963e-05,2.642429e-05,2.641986e-05,2.630814e-05,2.627656e-05,2.619480e-05,2.612613e-05,2.608010e-05,2.597361e-05,2.596431e-05,2.584767e-05,2.581957e-05,2.573038e-05,2.566449e-05,2.561264e-05,2.550879e-05,2.549462e-05,2.537650e-05,2.535287e-05,2.525840e-05,2.519705e-05,2.514047e-05,2.504162e-05,2.502282e-05,2.490557e-05,2.488685e-05,2.478881e-05,2.473297e-05,2.467264e-05,2.458017e-05,2.455712e-05,2.444235e-05,2.442863e-05,2.432839e-05,2.427851e-05,2.421528e-05,2.412994e-05,2.410310e-05,2.399189e-05,2.398304e-05,2.388169e-05,2.383791e-05,2.377255e-05,2.369463e-05,2.366449e-05,2.355755e-05,2.355329e-05,2.345175e-05,2.341395e-05,2.334712e-05,2.327665e-05,2.324368e-05,2.314145e-05,2.300838e-05,2.287747e-05,2.274874e-05,2.262221e-05,2.249788e-05,2.237577e-05,2.225587e-05,2.213819e-05,2.202270e-05,2.190942e-05,2.179832e-05,2.168939e-05,2.158260e-05,2.147795e-05,2.137542e-05,2.127496e-05,2.117658e-05,2.108023e-05,2.098589e-05,2.089354e-05,2.080315e-05,2.071468e-05,2.062812e-05,2.054342e-05
0.000000e+00,1.509748e-13,1.196432e-12,2.424111e-11,1.671575e-10,3.959313e-10,2.403800e-09,2.560955e-09,1.004555e-08,1.385713e-08,2.889302e-08,4.904161e-08,6.742752e-08,1.288175e-07,1.356173e-07,2.443673e-07,2.777501e-07,4.048886e-07,5.214790e-07,6.280315e-07,8.837903e-07,9.232832e-07,1.297300e-06,1.381847e-06,1.752373e-06,2.020278e-06,2.285567e-06,2.788172e-06,2.888995e-06,3.551044e-06,3.661511e-06,4.258014e-06,4.609121e-06,4.995663e-06,5.598656e-06,5.750335e-06,6.509633e-06,6.600529e-06,7.262737e-06,7.589717e-06,8.000470e-06,8.546142e-06,8.715242e-06,9.400933e-06,9.454380e-06,1.005277e-05,1.030318e-05,1.066718e-05,1.108497e-05,1.124172e-05,1.177489e-05,1.179535e-05,1.226608e-05,1.243263e-05,1.271539e-05,1.299737e-05,1.312358e-05,1.349188e-05,1.382196e-05,1.391982e-05,1.411575e-05,1.428571e-05,1.437538e-05,1.459461e-05,1.460313e-05,1.480131e-05,1.485181e-05,1.497222e-05,1.506263e-05,1.511813e-05,1.523217e-05,1.524122e-05,1.534358e-05,1.536527e-05,1.542714e-05,1.546642e-05,1.549374e-05,1.553966e-05,1.554507e-05,1.558267e-05,1.558868e-05,1.560798e-05,1.561671e-05,1.562228e-05,1.562665e-05,1.562675e-05,1.562245e-05,1.562101e-05,1.561032e-05,1.560197e-05,1.559122e-05,1.557145e-05,1.556593e-05,1.553514e-05,1.553111e-05,1.549947e-05,1.548236e-05,1.545946e-05,1.542646e-05,1.541561e-05,1.536837e-05,1.536446e-05,1.531814e-05,1.529729e-05,1.526527e-05,1.522576e-05,1.521009e-05,1.515289e-05,1.515057e-05,1.509393e-05,1.507231e-05,1.503343e-05,1.499153e-05,1.497162e-05,1.490869e-05,1.484481e-05,1.482419e-05,1.478014e-05,1.473840e-05,1.471481e-05,1.465161e-05,1.464897e-05,1.458273e-05,1.456412e-05,1.451619e-05,1.447616e-05,1.444945e-05,1.438795e-05,1.438260e-05,1.431572e-05,1.429968e-05,1.424890e-05,1.421152e-05,1.418218e-05,1.412362e-05,1.411564e-05,1.404934e-05,1.403611e-05,1.398331e-05,1.394910e-05,1.391761e-05,1.386271e-05,1.385229e-05,1.378737e-05,1.377702e-05,1.372290e-05,1.369212e-05,1.365890e-05,1.360807e-05,1.359541e-05,1.353245e-05,1.352493e-05,1.347004e-05,1.344277e-05,1.340821e-05,1.336162e-05,1.334698e-05,1.328635e-05,1.328153e-05,1.322635e-05,1.320253e-05,1.316699e-05,1.312466e-05,1.310829e-05,1.305024e-05,1.304793e-05,1.299287e-05,1.297238e-05,1.293617e-05,1.289800e-05,1.288015e-05,1.282483e-05,1.275287e-05,1.268212e-05,1.261259e-05,1.254428e-05,1.247719e-05,1.241132e-05,1.234667e-05,1.228323e-05,1.222099e-05,1.215994e-05,1.210008e-05,1.204139e-05,1.198387e-05,1.192749e-05,1.187226e-05,1.181814e-05,1.176514e-05,1.171323e-05,1.166240e-05,1.161264e-05,1.156392e-05,1.151623e-05,1.146956e-05,1.142389e-05
0.000000e+00,5.360096e-09,1.232280e-08,4.267838e-08,9.772864e-08,1.431291e-07,3.284975e-07,3.385618e-07,6.639000e-07,7.835961e-07,1.159320e-06,1.557054e-06,1.870392e-06,2.753964e-06,2.842163e-06,4.104258e-06,4.451070e-06,5.657497e-06,6.646475e-06,7.479162e-06,9.280554e-06,9.539451e-06,1.181135e-05,1.228906e-05,1.427217e-05,1.561983e-05,1.690213e-05,1.922849e-05,1.968277e-05,2.259604e-05,2.307326e-05,2.562394e-05,2.711276e-05,2.874849e-05,3.130575e-05,3.195191e-05,3.521687e-05,3.561200e-05,3.852676e-05,3.999327e-05,4.186593e-05,4.441430e-05,4.521986e-05,4.857527e-05,4.884341e-05,5.192023e-05,5.325285e-05,5.524408e-05,5.761890e-05,5.853750e-05,6.179240e-05,6.192169e-05,6.500182e-05,6.614492e-05,6.815990e-05,7.027553e-05,7.126173e-05,7.430324e-05,7.728117e-05,7.822023e-05,8.019290e-05,8.202072e-05,8.303642e-05,8.570061e-05,8.581020e-05,8.851320e-05,8.925724e-05,9.114470e-05,9.268912e-05,9.370434e-05,9.599567e-05,9.619204e-05,9.860793e-05,9.917709e-05,1.009523e-04,1.022342e-04,1.032258e-04,1.051683e-04,1.054289e-04,1.075625e-04,1.079810e-04,1.096275e-04,1.106744e-04,1.116247e-04,1.132508e-04,1.135552e-04,1.154202e-04,1.157125e-04,1.172206e-04,1.180622e-04,1.189577e-04,1.203026e-04,1.206327e-04,1.222468e-04,1.224365e-04,1.238013e-04,1.244667e-04,1.252973e-04,1.263960e-04,1.267362e-04,1.281191e-04,1.282274e-04,1.294475e-04,1.299638e-04,1.307224e-04,1.316080e-04,1.319452e-04,1.331171e-04,1.331630e-04,1.342394e-04,1.346315e-04,1.353133e-04,1.360165e-04,1.363400e-04,1.373207e-04,1.382566e-04,1.385468e-04,1.391489e-04,1.396976e-04,1.399987e-04,1.407757e-04,1.408072e-04,1.415755e-04,1.417836e-04,1.423048e-04,1.427240e-04,1.429960e-04,1.435993e-04,1.436503e-04,1.442688e-04,1.444120e-04,1.448524e-04,1.451644e-04,1.454022e-04,1.458588e-04,1.459191e-04,1.464042e-04,1.464975e-04,1.468584e-04,1.470827e-04,1.472827e-04,1.476165e-04,1.476779e-04,1.480449e-04,1.481011e-04,1.483847e-04,1.485383e-04,1.486980e-04,1.489302e-04,1.489858e-04,1.492488e-04,1.492787e-04,1.494879e-04,1.495857e-04,1.497038e-04,1.498528e-04,1.498972e-04,1.500690e-04,1.500819e-04,1.502199e-04,1.502746e-04,1.503506e-04,1.504325e-04,1.504617e-04,1.505540e-04,1.505573e-04,1.506280e-04,1.506503e-04,1.506845e-04,1.507132e-04,1.507241e-04,1.507473e-04,1.507540e-04,1.507347e-04,1.506905e-04,1.506227e-04,1.505326e-04,1.504212e-04,1.502897e-04,1.501391e-04,1.499705e-04,1.497848e-04,1.495830e-04,1.493661e-04,1.491348e-04,1.488901e-04,1.486327e-04,1.483635e-04,1.480831e-04,1.477924e-04,1.474919e-04,1.471824e-04,1.468645e-04,1.465388e-04,1.462059e-04,1.458664e-04
0.000000e+00,2.455086e-09,6.901831e-09,2.932935e-08,7.355022e-08,1.113045e-07,2.702395e-07,2.790012e-07,5.664467e-07,6.737720e-07,1.014648e-06,1.380422e-06,1.670790e-06,2.490966e-06,2.572439e-06,3.720160e-06,4.028712e-06,5.079560e-06,5.918173e-06,6.611080e-06,8.076983e-06,8.284497e-06,1.007747e-05,1.044875e-05,1.197147e-05,1.299051e-05,1.394916e-05,1.566248e-05,1.599329e-05,1.808643e-05,1.842471e-05,2.021110e-05,2.123708e-05,2.235013e-05,2.406062e-05,2.448709e-05,2.660665e-05,2.685915e-05,2.869489e-05,2.960055e-05,3.073948e-05,3.225760e-05,3.272984e-05,3.465708e-05,3.480831e-05,3.651405e-05,3.723587e-05,3.829519e-05,3.952830e-05,3.999640e-05,4.161492e-05,4.167791e-05,4.314916e-05,4.368071e-05,4.459851e-05,4.553569e-05,4.596324e-05,4.724431e-05,4.844324e-05,4.880986e-05,4.956202e-05,5.023705e-05,5.060301e-05,5.153158e-05,5.156880e-05,5.246221e-05,5.269979e-05,5.328616e-05,5.374843e-05,5.404365e-05,5.468446e-05,5.473772e-05,5.537142e-05,5.551485e-05,5.594773e-05,5.624651e-05,5.646962e-05,5.688615e-05,5.693997e-05,5.736159e-05,5.744030e-05,5.773719e-05,5.791519e-05,5.806939e-05,5.831674e-05,5.836071e-05,5.861356e-05,5.865060e-05,5.883025e-05,5.892208e-05,5.901300e-05,5.913618e-05,5.916391e-05,5.928499e-05,5.929760e-05,5.937814e-05,5.941075e-05,5.944517e-05,5.947972e-05,5.948782e-05,5.950770e-05,5.950836e-05,5.950637e-05,5.950023e-05,5.948529e-05,5.945867e-05,5.944585e-05,5.938935e-05,5.938675e-05,5.931703e-05,5.928735e-05,5.923007e-05,5.916313e-05,5.912956e-05,5.901654e-05,5.889201e-05,5.884988e-05,5.875688e-05,5.866524e-05,5.861203e-05,5.846458e-05,5.845827e-05,5.829639e-05,5.824970e-05,5.812710e-05,5.802226e-05,5.795110e-05,5.778380e-05,5.776902e-05,5.758147e-05,5.753571e-05,5.738902e-05,5.727931e-05,5.719220e-05,5.701578e-05,5.699151e-05,5.678742e-05,5.674623e-05,5.658036e-05,5.647166e-05,5.637075e-05,5.619299e-05,5.615897e-05,5.594539e-05,5.591107e-05,5.573033e-05,5.562667e-05,5.551412e-05,5.534051e-05,5.529704e-05,5.507937e-05,5.505322e-05,5.486136e-05,5.476540e-05,5.464326e-05,5.447757e-05,5.442528e-05,5.420763e-05,5.419024e-05,5.399049e-05,5.390382e-05,5.377405e-05,5.361874e-05,5.355847e-05,5.334389e-05,5.333533e-05,5.313046e-05,5.305394e-05,5.291831e-05,5.277484e-05,5.270755e-05,5.249830e-05,5.222455e-05,5.195380e-05,5.168624e-05,5.142201e-05,5.116127e-05,5.090413e-05,5.065070e-05,5.040106e-05,5.015529e-05,4.991345e-05,4.967559e-05,4.944175e-05,4.921195e-05,4.898621e-05,4.876454e-05,4.854694e-05,4.833342e-05,4.812395e-05,4.791852e-05,4.771711e-05,4.751969e-05,4.732622e-05,4.713668e-05,4.695103e-05
0.000000e+00,2.703205e-09,6.596933e-09,2.427498e-08,5.704082e-08,8.425318e-08,1.955658e-07,2.016010e-07,3.957239e-07,4.666277e-07,6.874486e-07,9.186341e-07,1.099190e-06,1.602614e-06,1.652496e-06,2.361246e-06,2.554728e-06,3.224795e-06,3.771339e-06,4.229930e-06,5.217636e-06,5.359122e-06,6.595785e-06,6.854696e-06,7.925254e-06,8.648790e-06,9.334178e-06,1.056981e-05,1.080991e-05,1.234022e-05,1.258934e-05,1.391325e-05,1.468011e-05,1.551760e-05,1.681638e-05,1.714252e-05,1.877799e-05,1.897451e-05,2.041490e-05,2.113345e-05,2.204508e-05,2.327505e-05,2.366134e-05,2.525747e-05,2.538412e-05,2.682819e-05,2.744835e-05,2.836909e-05,2.945803e-05,2.987658e-05,3.134776e-05,3.140582e-05,3.278039e-05,3.328635e-05,3.417277e-05,3.509597e-05,3.552370e-05,3.683239e-05,3.809838e-05,3.849445e-05,3.932153e-05,4.008189e-05,4.050192e-05,4.159517e-05,4.163988e-05,4.273586e-05,4.303529e-05,4.379046e-05,4.440366e-05,4.480441e-05,4.570200e-05,4.577848e-05,4.671356e-05,4.693227e-05,4.761055e-05,4.809658e-05,4.847040e-05,4.919712e-05,4.929409e-05,5.008263e-05,5.023620e-05,5.083701e-05,5.121613e-05,5.155825e-05,5.213923e-05,5.224737e-05,5.290536e-05,5.300782e-05,5.353322e-05,5.382419e-05,5.413194e-05,5.459059e-05,5.470249e-05,5.524583e-05,5.530924e-05,5.576288e-05,5.598229e-05,5.625457e-05,5.661185e-05,5.672180e-05,5.716544e-05,5.719994e-05,5.758636e-05,5.774855e-05,5.798538e-05,5.825959e-05,5.836334e-05,5.872100e-05,5.873490e-05,5.905916e-05,5.917627e-05,5.937856e-05,5.958540e-05,5.967992e-05,5.996396e-05,6.023135e-05,6.031351e-05,6.048277e-05,6.063559e-05,6.071886e-05,6.093166e-05,6.094024e-05,6.114752e-05,6.120311e-05,6.134128e-05,6.145128e-05,6.152209e-05,6.167746e-05,6.169049e-05,6.184701e-05,6.188286e-05,6.199217e-05,6.206867e-05,6.212645e-05,6.223600e-05,6.225034e-05,6.236429e-05,6.238592e-05,6.246874e-05,6.251945e-05,6.256413e-05,6.263756e-05,6.265087e-05,6.272935e-05,6.274117e-05,6.279996e-05,6.283116e-05,6.286306e-05,6.290838e-05,6.291902e-05,6.296817e-05,6.297363e-05,6.301084e-05,6.302765e-05,6.304736e-05,6.307118e-05,6.307802e-05,6.310312e-05,6.310490e-05,6.312294e-05,6.312945e-05,6.313775e-05,6.314547e-05,6.314782e-05,6.315339e-05,6.315352e-05,6.315470e-05,6.315418e-05,6.315199e-05,6.314795e-05,6.314547e-05,6.313535e-05,6.311685e-05,6.309288e-05,6.306388e-05,6.303024e-05,6.299235e-05,6.295054e-05,6.290517e-05,6.285655e-05,6.280497e-05,6.275072e-05,6.269407e-05,6.263526e-05,6.257452e-05,6.251209e-05,6.244815e-05,6.238292e-05,6.231656e-05,6.224925e-05,6.218115e-05,6.211240e-05,6.204316e-05,6.197353e-05,6.190366e-05,6.183364e-05
0.000000e+00,3.564831e-09,8.199026e-09,2.838701e-08,6.498130e-08,9.517653e-08,2.188275e-07,2.255614e-07,4.445134e-07,5.256784e-07,7.822642e-07,1.055918e-06,1.272010e-06,1.877783e-06,1.937682e-06,2.779723e-06,3.006199e-06,3.780030e-06,4.401321e-06,4.917506e-06,6.018202e-06,6.174956e-06,7.538737e-06,7.823192e-06,8.996947e-06,9.788742e-06,1.053815e-05,1.188845e-05,1.215078e-05,1.382291e-05,1.409517e-05,1.554243e-05,1.638106e-05,1.729721e-05,1.871843e-05,1.907537e-05,2.086548e-05,2.108058e-05,2.265692e-05,2.344301e-05,2.443989e-05,2.578386e-05,2.620564e-05,2.794640e-05,2.808437e-05,2.965544e-05,3.032888e-05,3.132713e-05,3.250494e-05,3.295677e-05,3.454059e-05,3.460295e-05,3.607561e-05,3.661582e-05,3.755960e-05,3.853871e-05,3.899094e-05,4.036859e-05,4.169198e-05,4.210397e-05,4.296095e-05,4.374460e-05,4.417567e-05,4.529119e-05,4.533660e-05,4.644443e-05,4.674522e-05,4.750003e-05,4.810873e-05,4.850442e-05,4.938421e-05,4.945875e-05,5.036425e-05,5.057445e-05,5.122222e-05,5.168243e-05,5.203402e-05,5.271130e-05,5.280102e-05,5.352463e-05,5.366426e-05,5.420625e-05,5.454458e-05,5.484731e-05,5.535548e-05,5.544920e-05,5.601333e-05,5.610017e-05,5.654104e-05,5.678182e-05,5.703372e-05,5.740351e-05,5.749266e-05,5.791919e-05,5.796825e-05,5.831455e-05,5.847897e-05,5.868001e-05,5.893849e-05,5.901675e-05,5.932596e-05,5.934954e-05,5.960878e-05,5.971477e-05,5.986632e-05,6.003670e-05,6.009966e-05,6.030983e-05,6.031777e-05,6.049785e-05,6.056030e-05,6.066469e-05,6.076654e-05,6.081131e-05,6.093862e-05,6.104750e-05,6.107859e-05,6.113880e-05,6.118840e-05,6.121336e-05,6.126990e-05,6.127195e-05,6.131535e-05,6.132489e-05,6.134431e-05,6.135504e-05,6.135952e-05,6.136196e-05,6.136167e-05,6.135143e-05,6.134720e-05,6.132942e-05,6.131219e-05,6.129627e-05,6.125833e-05,6.125255e-05,6.119883e-05,6.118693e-05,6.113565e-05,6.109924e-05,6.106354e-05,6.099643e-05,6.098299e-05,6.089448e-05,6.087962e-05,6.079848e-05,6.074987e-05,6.069543e-05,6.060819e-05,6.058574e-05,6.046984e-05,6.045553e-05,6.034810e-05,6.029278e-05,6.022090e-05,6.012079e-05,6.008860e-05,5.995153e-05,5.994037e-05,5.981004e-05,5.975227e-05,5.966443e-05,5.955721e-05,5.951500e-05,5.936203e-05,5.935585e-05,5.920581e-05,5.914883e-05,5.904660e-05,5.893675e-05,5.888464e-05,5.872017e-05,5.849962e-05,5.827560e-05,5.804857e-05,5.781898e-05,5.758723e-05,5.735371e-05,5.711878e-05,5.688278e-05,5.664602e-05,5.640880e-05,5.617139e-05,5.593405e-05,5.569702e-05,5.546052e-05,5.522476e-05,5.498992e-05,5.475619e-05,5.452373e-05,5.429268e-05,5.406320e-05,5.383540e-05,5.360940e-05,5.338532e-05,5.316324e-05
0.000000e+00,6.452895e-13,4.866793e-12,8.927909e-11,5.649125e-10,1.279014e-09,6.962948e-09,7.387147e-09,2.633002e-08,3.546698e-08,6.997666e-08,1.141451e-07,1.532977e-07,2.798964e-07,2.936721e-07,5.105968e-07,5.763925e-07,8.254452e-07,1.052859e-06,1.260489e-06,1.759224e-06,1.836325e-06,2.567693e-06,2.733257e-06,3.459362e-06,3.984534e-06,4.504454e-06,5.488791e-06,5.686138e-06,6.981527e-06,7.197678e-06,8.365773e-06,9.054678e-06,9.815010e-06,1.100674e-05,1.130788e-05,1.282595e-05,1.300904e-05,1.435352e-05,1.502514e-05,1.587718e-05,1.702539e-05,1.738540e-05,1.886829e-05,1.898556e-05,2.031731e-05,2.088578e-05,2.172521e-05,2.270998e-05,2.308590e-05,2.439441e-05,2.444561e-05,2.564681e-05,2.608334e-05,2.684014e-05,2.761678e-05,2.797234e-05,2.904217e-05,3.004912e-05,3.035806e-05,3.099329e-05,3.156490e-05,3.187534e-05,3.266467e-05,3.269636e-05,3.345781e-05,3.366058e-05,3.416146e-05,3.455672e-05,3.480928e-05,3.535782e-05,3.540343e-05,3.594616e-05,3.606902e-05,3.643980e-05,3.669569e-05,3.688673e-05,3.724326e-05,3.728930e-05,3.764987e-05,3.771715e-05,3.797074e-05,3.812266e-05,3.825416e-05,3.846489e-05,3.850231e-05,3.871729e-05,3.874875e-05,3.890113e-05,3.897888e-05,3.905576e-05,3.915970e-05,3.918305e-05,3.928476e-05,3.929533e-05,3.936257e-05,3.938965e-05,3.941808e-05,3.944628e-05,3.945279e-05,3.946814e-05,3.946858e-05,3.946548e-05,3.945966e-05,3.944608e-05,3.942243e-05,3.941115e-05,3.936182e-05,3.935956e-05,3.929916e-05,3.927354e-05,3.922419e-05,3.916665e-05,3.913783e-05,3.904099e-05,3.893449e-05,3.889850e-05,3.881913e-05,3.874098e-05,3.869563e-05,3.857007e-05,3.856470e-05,3.842698e-05,3.838728e-05,3.828307e-05,3.819400e-05,3.813355e-05,3.799149e-05,3.797895e-05,3.781977e-05,3.778093e-05,3.765647e-05,3.756339e-05,3.748950e-05,3.733985e-05,3.731926e-05,3.714614e-05,3.711121e-05,3.697050e-05,3.687828e-05,3.679266e-05,3.664182e-05,3.661295e-05,3.643164e-05,3.640251e-05,3.624902e-05,3.616097e-05,3.606534e-05,3.591778e-05,3.588082e-05,3.569570e-05,3.567345e-05,3.551017e-05,3.542846e-05,3.532442e-05,3.518322e-05,3.513864e-05,3.495298e-05,3.493814e-05,3.476760e-05,3.469355e-05,3.458263e-05,3.444978e-05,3.439821e-05,3.421446e-05,3.420712e-05,3.403148e-05,3.396582e-05,3.384939e-05,3.372612e-05,3.366827e-05,3.348822e-05,3.325230e-05,3.301854e-05,3.278708e-05,3.255805e-05,3.233157e-05,3.210772e-05,3.188661e-05,3.166830e-05,3.145286e-05,3.124034e-05,3.103078e-05,3.082423e-05,3.062069e-05,3.042021e-05,3.022279e-05,3.002843e-05,2.983715e-05,2.964893e-05,2.946378e-05,2.928168e-05,2.910262e-05,2.892658e-05,2.875354e-05,2.858347e-05
0.000000e+00,4.633610e-16,4.051509e-15,1.006294e-13,8.357538e-13,2.192438e-12,1.732210e-11,1.865299e-11,9.489926e-11,1.404423e-10,3.491119e-10,6.823167e-10,1.027791e-09,2.402570e-09,2.572796e-09,5.694314e-09,6.786705e-09,1.144323e-08,1.633434e-08,2.127360e-08,3.479574e-08,3.708184e-08,6.120904e-08,6.726790e-08,9.639823e-08,1.200744e-07,1.457085e-07,2.004208e-07,2.123952e-07,2.997702e-07,3.158879e-07,4.110556e-07,4.738563e-07,5.492432e-07,6.809494e-07,7.169696e-07,9.164115e-07,9.425596e-07,1.149206e-06,1.262493e-06,1.416396e-06,1.642745e-06,1.718400e-06,2.055006e-06,2.083409e-06,2.425387e-06,2.582699e-06,2.828134e-06,3.137080e-06,3.261303e-06,3.722478e-06,3.741469e-06,4.208840e-06,4.389498e-06,4.717240e-06,5.073816e-06,5.244283e-06,5.786401e-06,6.339933e-06,6.518873e-06,6.901200e-06,7.262789e-06,7.466568e-06,8.009905e-06,8.032510e-06,8.595659e-06,8.752404e-06,9.152850e-06,9.483075e-06,9.701154e-06,1.019545e-05,1.023791e-05,1.076074e-05,1.088390e-05,1.126755e-05,1.154369e-05,1.175655e-05,1.217094e-05,1.222625e-05,1.267542e-05,1.276271e-05,1.310315e-05,1.331685e-05,1.350874e-05,1.383200e-05,1.389176e-05,1.425198e-05,1.430750e-05,1.458939e-05,1.474328e-05,1.490413e-05,1.513981e-05,1.519652e-05,1.546701e-05,1.549802e-05,1.571614e-05,1.581915e-05,1.594456e-05,1.610476e-05,1.615300e-05,1.634224e-05,1.635657e-05,1.651309e-05,1.657648e-05,1.666643e-05,1.676646e-05,1.680311e-05,1.692401e-05,1.692853e-05,1.703002e-05,1.706470e-05,1.712200e-05,1.717696e-05,1.720079e-05,1.726723e-05,1.732212e-05,1.733738e-05,1.736624e-05,1.738916e-05,1.740032e-05,1.742426e-05,1.742508e-05,1.744119e-05,1.744424e-05,1.744929e-05,1.745056e-05,1.744999e-05,1.744459e-05,1.744386e-05,1.743143e-05,1.742757e-05,1.741322e-05,1.740067e-05,1.738969e-05,1.736494e-05,1.736129e-05,1.732842e-05,1.732135e-05,1.729148e-05,1.727079e-05,1.725083e-05,1.721405e-05,1.720679e-05,1.715967e-05,1.715187e-05,1.710977e-05,1.708491e-05,1.705735e-05,1.701376e-05,1.700265e-05,1.694591e-05,1.693897e-05,1.688734e-05,1.686104e-05,1.682713e-05,1.678040e-05,1.676547e-05,1.670253e-05,1.669744e-05,1.663846e-05,1.661254e-05,1.657340e-05,1.652602e-05,1.650748e-05,1.644084e-05,1.643816e-05,1.637358e-05,1.634923e-05,1.630581e-05,1.625948e-05,1.623762e-05,1.616910e-05,1.607830e-05,1.598724e-05,1.589609e-05,1.580498e-05,1.571403e-05,1.562337e-05,1.553309e-05,1.544329e-05,1.535404e-05,1.526541e-05,1.517748e-05,1.509030e-05,1.500392e-05,1.491839e-05,1.483374e-05,1.475002e-05,1.466725e-05,1.458546e-05,1.450467e-05,1.442490e-05,1.434617e-05,1.426850e-05,1.419188e-05,1.411634e-05
0.000000e+00,1.619577e-09,3.753527e-09,1.307316e-08,2.990165e-08,4.369022e-08,9.917300e-08,1.021499e-07,1.966362e-07,2.306211e-07,3.349654e-07,4.421112e-07,5.245245e-07,7.496362e-07,7.716356e-07,1.080205e-06,1.163544e-06,1.450911e-06,1.685070e-06,1.882052e-06,2.309213e-06,2.370794e-06,2.913692e-06,3.028428e-06,3.506742e-06,3.833450e-06,4.145364e-06,4.713295e-06,4.824442e-06,5.538433e-06,5.655524e-06,6.281515e-06,6.646788e-06,7.047763e-06,7.673483e-06,7.831296e-06,8.626432e-06,8.722369e-06,9.427798e-06,9.781077e-06,1.023043e-05,1.083848e-05,1.102981e-05,1.182193e-05,1.188488e-05,1.260328e-05,1.291212e-05,1.337086e-05,1.391354e-05,1.412212e-05,1.485499e-05,1.488390e-05,1.556776e-05,1.581917e-05,1.625911e-05,1.671647e-05,1.692804e-05,1.757386e-05,1.819609e-05,1.839017e-05,1.879447e-05,1.916489e-05,1.936894e-05,1.989800e-05,1.991957e-05,2.044655e-05,2.058991e-05,2.095019e-05,2.124132e-05,2.143086e-05,2.185318e-05,2.188901e-05,2.232516e-05,2.242661e-05,2.273982e-05,2.296287e-05,2.313358e-05,2.346327e-05,2.350703e-05,2.386077e-05,2.392921e-05,2.419543e-05,2.436211e-05,2.451161e-05,2.476338e-05,2.480994e-05,2.509103e-05,2.513445e-05,2.535550e-05,2.547672e-05,2.560395e-05,2.579157e-05,2.583697e-05,2.605515e-05,2.608036e-05,2.625905e-05,2.634438e-05,2.644923e-05,2.658492e-05,2.662623e-05,2.679059e-05,2.680321e-05,2.694282e-05,2.700043e-05,2.708342e-05,2.717772e-05,2.721287e-05,2.733165e-05,2.733618e-05,2.744021e-05,2.747688e-05,2.753900e-05,2.760081e-05,2.762844e-05,2.770895e-05,2.778093e-05,2.780223e-05,2.784476e-05,2.788151e-05,2.790082e-05,2.794766e-05,2.794947e-05,2.799104e-05,2.800146e-05,2.802589e-05,2.804370e-05,2.805432e-05,2.807509e-05,2.807666e-05,2.809319e-05,2.809633e-05,2.810421e-05,2.810807e-05,2.810999e-05,2.811096e-05,2.811080e-05,2.810690e-05,2.810557e-05,2.809852e-05,2.809248e-05,2.808591e-05,2.807222e-05,2.806930e-05,2.804890e-05,2.804529e-05,2.802491e-05,2.801219e-05,2.799755e-05,2.797335e-05,2.796700e-05,2.793344e-05,2.792922e-05,2.789707e-05,2.788021e-05,2.785803e-05,2.782669e-05,2.781650e-05,2.777263e-05,2.776903e-05,2.772658e-05,2.770758e-05,2.767848e-05,2.764265e-05,2.762846e-05,2.757667e-05,2.757456e-05,2.752322e-05,2.750360e-05,2.746824e-05,2.743004e-05,2.741184e-05,2.735412e-05,2.727610e-05,2.719621e-05,2.711465e-05,2.703162e-05,2.694732e-05,2.686193e-05,2.677559e-05,2.668848e-05,2.660074e-05,2.651251e-05,2.642390e-05,2.633505e-05,2.624605e-05,2.615702e-05,2.606806e-05,2.597924e-05,2.589066e-05,2.580238e-05,2.571449e-05,2.562705e-05,2.554012e-05,2.545376e-05,2.536801e-05,2.528293e-05
0.000000e+00,8.250982e-14,6.519981e-13,1.314518e-11,9.036388e-11,2.138200e-10,1.298314e-09,1.383334e-09,5.454799e-09,7.543055e-09,1.586071e-08,2.717162e-08,3.762732e-08,7.322502e-08,7.721851e-08,1.419297e-07,1.620003e-07,2.387705e-07,3.091976e-07,3.733233e-07,5.257868e-07,5.491285e-07,7.676839e-07,8.165326e-07,1.028791e-06,1.180932e-06,1.330966e-06,1.614759e-06,1.671756e-06,2.047960e-06,2.111192e-06,2.455762e-06,2.661480e-06,2.890848e-06,3.255417e-06,3.348525e-06,3.823862e-06,3.881851e-06,4.311835e-06,4.529262e-06,4.807482e-06,5.186368e-06,5.306046e-06,5.803093e-06,5.842668e-06,6.294612e-06,6.488863e-06,6.777072e-06,7.117121e-06,7.247458e-06,7.703278e-06,7.721179e-06,8.142548e-06,8.296330e-06,8.563760e-06,8.839304e-06,8.965838e-06,9.348091e-06,9.710161e-06,9.821741e-06,1.005197e-05,1.026015e-05,1.037367e-05,1.066389e-05,1.067559e-05,1.095823e-05,1.103399e-05,1.122217e-05,1.137184e-05,1.146809e-05,1.167905e-05,1.169672e-05,1.190882e-05,1.195735e-05,1.210517e-05,1.220853e-05,1.228654e-05,1.243439e-05,1.245372e-05,1.260748e-05,1.263668e-05,1.274854e-05,1.281711e-05,1.287763e-05,1.297731e-05,1.299543e-05,1.310261e-05,1.311881e-05,1.319979e-05,1.324306e-05,1.328757e-05,1.335141e-05,1.336652e-05,1.343717e-05,1.344512e-05,1.350004e-05,1.352536e-05,1.355560e-05,1.359322e-05,1.360431e-05,1.364659e-05,1.364970e-05,1.368284e-05,1.369574e-05,1.371344e-05,1.373218e-05,1.373875e-05,1.375911e-05,1.375982e-05,1.377481e-05,1.377939e-05,1.378618e-05,1.379156e-05,1.379347e-05,1.379695e-05,1.379687e-05,1.379613e-05,1.379345e-05,1.378962e-05,1.378693e-05,1.377792e-05,1.377749e-05,1.376533e-05,1.376146e-05,1.375064e-05,1.374067e-05,1.373357e-05,1.371592e-05,1.371430e-05,1.369296e-05,1.368755e-05,1.366971e-05,1.365590e-05,1.364467e-05,1.362126e-05,1.361797e-05,1.358973e-05,1.358391e-05,1.356006e-05,1.354410e-05,1.352906e-05,1.350207e-05,1.349684e-05,1.346347e-05,1.345803e-05,1.342906e-05,1.341219e-05,1.339368e-05,1.336473e-05,1.335741e-05,1.332032e-05,1.331582e-05,1.328248e-05,1.326562e-05,1.324396e-05,1.321427e-05,1.320482e-05,1.316512e-05,1.316192e-05,1.312490e-05,1.310868e-05,1.308422e-05,1.305468e-05,1.304314e-05,1.300169e-05,1.300002e-05,1.295991e-05,1.294480e-05,1.291786e-05,1.288912e-05,1.287556e-05,1.283305e-05,1.277668e-05,1.272008e-05,1.266332e-05,1.260646e-05,1.254956e-05,1.249267e-05,1.243584e-05,1.237911e-05,1.232254e-05,1.226615e-05,1.220999e-05,1.215409e-05,1.209847e-05,1.204316e-05,1.198820e-05,1.193360e-05,1.187939e-05,1.182558e-05,1.177219e-05,1.171924e-05,1.166675e-05,1.161472e-05,1.156318e-05,1.151212e-05
0.000000e+00,3.510749e-11,1.981011e-10,2.116138e-09,8.767747e-09,1.615336e-08,5.576218e-08,5.819718e-08,1.453227e-07,1.800628e-07,2.940485e-07,4.194846e-07,5.202668e-07,8.100854e-07,8.393898e-07,1.266370e-06,1.386492e-06,1.815323e-06,2.180681e-06,2.498412e-06,3.217225e-06,3.323961e-06,4.294804e-06,4.506253e-06,5.408248e-06,6.041497e-06,6.657674e-06,7.805964e-06,8.034408e-06,9.528856e-06,9.778222e-06,1.113091e-05,1.193505e-05,1.283008e-05,1.425201e-05,1.461545e-05,1.647582e-05,1.670356e-05,1.839979e-05,1.926355e-05,2.037595e-05,2.190580e-05,2.239305e-05,2.444018e-05,2.460493e-05,2.650694e-05,2.733694e-05,2.858357e-05,3.007972e-05,3.066098e-05,3.273090e-05,3.281343e-05,3.478588e-05,3.552071e-05,3.681927e-05,3.818664e-05,3.882524e-05,4.079876e-05,4.273549e-05,4.334686e-05,4.463180e-05,4.582281e-05,4.648468e-05,4.822034e-05,4.829171e-05,5.005095e-05,5.053476e-05,5.176093e-05,5.276281e-05,5.342058e-05,5.490238e-05,5.502918e-05,5.658632e-05,5.695236e-05,5.809185e-05,5.891243e-05,5.954586e-05,6.078297e-05,6.094861e-05,6.230056e-05,6.256490e-05,6.360227e-05,6.425954e-05,6.485445e-05,6.586857e-05,6.605787e-05,6.721340e-05,6.739390e-05,6.832196e-05,6.883768e-05,6.938454e-05,7.020218e-05,7.040215e-05,7.137585e-05,7.148979e-05,7.230669e-05,7.270296e-05,7.319575e-05,7.384418e-05,7.404414e-05,7.485295e-05,7.491598e-05,7.562327e-05,7.592087e-05,7.635620e-05,7.686137e-05,7.705282e-05,7.771421e-05,7.773995e-05,7.834143e-05,7.855906e-05,7.893553e-05,7.932112e-05,7.949754e-05,8.002848e-05,8.052935e-05,8.068344e-05,8.100113e-05,8.128825e-05,8.144479e-05,8.184511e-05,8.186126e-05,8.225148e-05,8.235615e-05,8.261633e-05,8.282344e-05,8.295671e-05,8.324898e-05,8.327347e-05,8.356746e-05,8.363472e-05,8.383949e-05,8.398254e-05,8.409037e-05,8.429426e-05,8.432087e-05,8.453175e-05,8.457164e-05,8.472375e-05,8.481637e-05,8.489758e-05,8.503008e-05,8.505396e-05,8.519354e-05,8.521436e-05,8.531700e-05,8.537073e-05,8.542498e-05,8.550063e-05,8.551810e-05,8.559695e-05,8.560548e-05,8.566214e-05,8.568663e-05,8.571422e-05,8.574538e-05,8.575375e-05,8.578126e-05,8.578296e-05,8.579728e-05,8.580058e-05,8.580230e-05,8.579938e-05,8.579681e-05,8.578128e-05,8.578046e-05,8.575617e-05,8.574487e-05,8.572191e-05,8.569362e-05,8.567894e-05,8.562767e-05,8.554796e-05,8.545535e-05,8.535070e-05,8.523481e-05,8.510845e-05,8.497236e-05,8.482723e-05,8.467373e-05,8.451250e-05,8.434415e-05,8.416926e-05,8.398836e-05,8.380200e-05,8.361065e-05,8.341481e-05,8.321490e-05,8.301137e-05,8.280460e-05,8.259500e-05,8.238291e-05,8.216868e-05,8.195263e-05,8.173508e-05,8.151631e-05
0.000000e+00,2.752697e-09,7.242316e-09,2.876992e-08,6.997852e-08,1.046902e-07,2.486672e-07,2.565333e-07,5.116524e-07,6.056591e-07,9.006251e-07,1.212349e-06,1.457409e-06,2.145118e-06,2.213430e-06,3.182197e-06,3.445235e-06,4.349292e-06,5.078549e-06,5.685243e-06,6.978243e-06,7.162133e-06,8.757849e-06,9.089603e-06,1.045412e-05,1.137038e-05,1.223436e-05,1.378294e-05,1.408257e-05,1.598295e-05,1.629081e-05,1.792000e-05,1.885840e-05,1.987878e-05,2.145194e-05,2.184518e-05,2.380617e-05,2.404056e-05,2.575001e-05,2.659714e-05,2.766632e-05,2.909876e-05,2.954618e-05,3.138205e-05,3.152682e-05,3.316774e-05,3.386681e-05,3.489830e-05,3.610797e-05,3.656990e-05,3.817972e-05,3.824280e-05,3.972581e-05,4.026655e-05,4.120697e-05,4.217677e-05,4.262265e-05,4.397282e-05,4.525791e-05,4.565551e-05,4.647870e-05,4.722675e-05,4.763627e-05,4.868926e-05,4.873192e-05,4.976714e-05,5.004639e-05,5.074356e-05,5.130190e-05,5.166290e-05,5.245983e-05,5.252697e-05,5.333760e-05,5.352441e-05,5.409666e-05,5.449992e-05,5.480605e-05,5.539069e-05,5.546762e-05,5.608324e-05,5.620102e-05,5.665477e-05,5.693513e-05,5.718400e-05,5.759717e-05,5.767272e-05,5.812265e-05,5.819116e-05,5.853550e-05,5.872099e-05,5.891292e-05,5.919042e-05,5.925651e-05,5.956781e-05,5.960307e-05,5.984835e-05,5.996242e-05,6.009958e-05,6.027178e-05,6.032291e-05,6.051970e-05,6.053434e-05,6.069127e-05,6.075312e-05,6.083888e-05,6.093101e-05,6.096375e-05,6.106706e-05,6.107076e-05,6.114993e-05,6.117497e-05,6.121345e-05,6.124613e-05,6.125866e-05,6.128657e-05,6.129813e-05,6.129853e-05,6.129427e-05,6.128411e-05,6.127586e-05,6.124529e-05,6.124375e-05,6.119875e-05,6.118395e-05,6.114164e-05,6.110187e-05,6.107316e-05,6.100073e-05,6.099402e-05,6.090489e-05,6.088208e-05,6.080642e-05,6.074743e-05,6.069923e-05,6.059816e-05,6.058392e-05,6.046103e-05,6.043559e-05,6.033112e-05,6.026096e-05,6.019469e-05,6.007540e-05,6.005222e-05,5.990420e-05,5.988003e-05,5.975105e-05,5.967584e-05,5.959320e-05,5.946380e-05,5.943105e-05,5.926498e-05,5.924480e-05,5.909535e-05,5.901967e-05,5.892250e-05,5.878919e-05,5.874677e-05,5.856845e-05,5.855409e-05,5.838786e-05,5.831504e-05,5.820525e-05,5.807268e-05,5.802090e-05,5.783506e-05,5.782759e-05,5.764795e-05,5.758033e-05,5.745982e-05,5.733140e-05,5.727085e-05,5.708127e-05,5.683037e-05,5.657912e-05,5.632788e-05,5.607700e-05,5.582680e-05,5.557756e-05,5.532956e-05,5.508303e-05,5.483822e-05,5.459530e-05,5.435449e-05,5.411593e-05,5.387979e-05,5.364619e-05,5.341527e-05,5.318713e-05,5.296187e-05,5.273957e-05,5.252031e-05,5.230414e-05,5.209114e-05,5.188134e-05,5.167478e-05,5.147149e-05
0.000000e+00,1.896831e-09,4.470082e-09,1.579358e-08,3.628755e-08,5.308862e-08,1.208279e-07,1.244712e-07,2.407372e-07,2.828937e-07,4.135682e-07,5.497967e-07,6.560398e-07,9.529255e-07,9.824734e-07,1.406942e-06,1.524686e-06,1.939625e-06,2.286095e-06,2.581589e-06,3.228364e-06,3.321745e-06,4.139787e-06,4.310708e-06,5.012889e-06,5.481766e-06,5.920778e-06,6.698382e-06,6.847339e-06,7.780212e-06,7.929387e-06,8.709831e-06,9.152600e-06,9.628585e-06,1.035154e-05,1.053024e-05,1.140962e-05,1.151343e-05,1.226236e-05,1.262818e-05,1.308488e-05,1.368795e-05,1.387425e-05,1.462819e-05,1.468692e-05,1.534502e-05,1.562109e-05,1.602362e-05,1.648818e-05,1.666338e-05,1.726415e-05,1.728737e-05,1.782615e-05,1.801909e-05,1.834997e-05,1.868479e-05,1.883647e-05,1.928674e-05,1.970205e-05,1.982779e-05,2.008380e-05,2.031120e-05,2.043349e-05,2.074047e-05,2.075267e-05,2.104292e-05,2.111923e-05,2.130584e-05,2.145113e-05,2.154300e-05,2.173977e-05,2.175595e-05,2.194619e-05,2.198863e-05,2.211517e-05,2.220104e-05,2.226429e-05,2.238014e-05,2.239488e-05,2.250820e-05,2.252890e-05,2.260546e-05,2.265007e-05,2.268779e-05,2.274619e-05,2.275626e-05,2.281186e-05,2.281963e-05,2.285556e-05,2.287256e-05,2.288821e-05,2.290695e-05,2.291066e-05,2.292368e-05,2.292464e-05,2.292797e-05,2.292727e-05,2.292422e-05,2.291637e-05,2.291304e-05,2.289503e-05,2.289331e-05,2.287072e-05,2.285934e-05,2.284061e-05,2.281561e-05,2.280518e-05,2.276486e-05,2.276315e-05,2.272006e-05,2.270291e-05,2.267116e-05,2.263573e-05,2.261849e-05,2.256241e-05,2.250319e-05,2.248363e-05,2.244113e-05,2.240005e-05,2.237650e-05,2.231224e-05,2.230952e-05,2.224043e-05,2.222074e-05,2.216944e-05,2.212602e-05,2.209675e-05,2.202852e-05,2.202253e-05,2.194696e-05,2.192863e-05,2.187019e-05,2.182673e-05,2.179237e-05,2.172313e-05,2.171364e-05,2.163412e-05,2.161813e-05,2.155393e-05,2.151200e-05,2.147318e-05,2.140499e-05,2.139197e-05,2.131040e-05,2.129732e-05,2.122855e-05,2.118919e-05,2.114650e-05,2.108078e-05,2.106434e-05,2.098213e-05,2.097227e-05,2.089994e-05,2.086379e-05,2.081782e-05,2.075550e-05,2.073584e-05,2.065405e-05,2.064751e-05,2.057249e-05,2.053994e-05,2.049121e-05,2.043288e-05,2.041025e-05,2.032965e-05,2.032644e-05,2.024945e-05,2.022068e-05,2.016967e-05,2.011569e-05,2.009036e-05,2.001153e-05,1.990826e-05,1.980594e-05,1.970461e-05,1.960431e-05,1.950509e-05,1.940697e-05,1.930999e-05,1.921416e-05,1.911952e-05,1.902607e-05,1.893383e-05,1.884282e-05,1.875305e-05,1.866452e-05,1.857723e-05,1.849120e-05,1.840643e-05,1.832291e-05,1.824064e-05,1.815962e-05,1.807986e-05,1.800134e-05,1.792405e-05,1.784800e-05
0.000000e+00,5.476349e-10,1.797653e-09,8.922326e-09,2.376289e-08,3.658839e-08,9.014623e-08,9.305939e-08,1.859889e-07,2.194147e-07,3.215504e-07,4.254568e-07,5.046941e-07,7.185151e-07,7.392401e-07,1.027784e-06,1.105227e-06,1.371404e-06,1.587648e-06,1.769192e-06,2.161356e-06,2.217661e-06,2.710187e-06,2.813158e-06,3.236812e-06,3.519987e-06,3.784830e-06,4.251494e-06,4.340306e-06,4.890022e-06,4.976668e-06,5.422988e-06,5.670363e-06,5.931056e-06,6.315820e-06,6.408741e-06,6.852744e-06,6.903669e-06,7.261421e-06,7.429901e-06,7.634334e-06,7.894070e-06,7.971914e-06,8.275212e-06,8.298037e-06,8.545714e-06,8.645123e-06,8.785199e-06,8.939521e-06,8.995633e-06,9.179078e-06,9.185884e-06,9.337634e-06,9.389024e-06,9.473380e-06,9.553687e-06,9.588326e-06,9.684403e-06,9.763439e-06,9.785414e-06,9.827141e-06,9.860598e-06,9.877091e-06,9.913460e-06,9.914747e-06,9.941446e-06,9.947126e-06,9.958401e-06,9.964359e-06,9.966713e-06,9.967583e-06,9.967376e-06,9.961286e-06,9.958910e-06,9.949246e-06,9.940178e-06,9.931979e-06,9.912971e-06,9.910127e-06,9.884263e-06,9.878655e-06,9.854899e-06,9.838401e-06,9.822492e-06,9.793218e-06,9.787450e-06,9.750134e-06,9.743974e-06,9.710867e-06,9.691412e-06,9.669938e-06,9.636169e-06,9.627600e-06,9.584083e-06,9.578792e-06,9.539590e-06,9.519751e-06,9.494302e-06,9.459451e-06,9.448380e-06,9.401969e-06,9.398239e-06,9.355196e-06,9.336412e-06,9.308176e-06,9.274227e-06,9.261012e-06,9.213795e-06,9.211906e-06,9.166605e-06,9.149638e-06,9.119516e-06,9.087586e-06,9.072592e-06,9.025891e-06,8.979465e-06,8.964674e-06,8.933358e-06,8.904036e-06,8.887612e-06,8.844068e-06,8.842262e-06,8.797340e-06,8.784842e-06,8.752874e-06,8.726423e-06,8.708888e-06,8.668864e-06,8.665404e-06,8.622440e-06,8.612208e-06,8.580014e-06,8.556494e-06,8.538137e-06,8.501751e-06,8.496824e-06,8.456082e-06,8.448003e-06,8.415921e-06,8.395269e-06,8.376348e-06,8.343563e-06,8.337366e-06,8.298981e-06,8.292895e-06,8.261196e-06,8.243272e-06,8.224010e-06,8.194695e-06,8.187427e-06,8.151444e-06,8.147167e-06,8.116062e-06,8.100683e-06,8.081278e-06,8.055242e-06,8.047091e-06,8.013497e-06,8.010835e-06,7.980493e-06,7.967456e-06,7.948075e-06,7.925094e-06,7.916239e-06,7.884978e-06,7.883740e-06,7.854290e-06,7.843381e-06,7.824167e-06,7.804003e-06,7.794604e-06,7.765595e-06,7.728140e-06,7.691624e-06,7.656032e-06,7.621347e-06,7.587553e-06,7.554634e-06,7.522572e-06,7.491352e-06,7.460955e-06,7.431364e-06,7.402564e-06,7.374535e-06,7.347262e-06,7.320728e-06,7.294915e-06,7.269808e-06,7.245388e-06,7.221641e-06,7.198550e-06,7.176099e-06,7.154273e-06,7.133055e-06,7.112431e-06,7.092386e-06
0.000000e+00,2.476835e-09,5.775007e-09,2.033004e-08,4.701875e-08,6.921062e-08,1.611420e-07,1.661885e-07,3.320349e-07,3.942507e-07,5.928545e-07,8.067505e-07,9.763249e-07,1.451586e-06,1.498489e-06,2.156610e-06,2.333579e-06,2.939833e-06,3.429528e-06,3.839010e-06,4.721413e-06,4.848173e-06,5.963127e-06,6.198486e-06,7.180124e-06,7.851951e-06,8.495049e-06,9.671720e-06,9.903021e-06,1.139824e-05,1.164513e-05,1.297400e-05,1.375679e-05,1.462279e-05,1.598895e-05,1.633648e-05,1.810650e-05,1.832227e-05,1.992404e-05,2.073653e-05,2.178025e-05,2.321147e-05,2.366643e-05,2.557414e-05,2.572744e-05,2.749536e-05,2.826593e-05,2.942257e-05,3.080994e-05,3.134881e-05,3.326773e-05,3.334425e-05,3.517359e-05,3.585550e-05,3.706129e-05,3.833222e-05,3.892631e-05,4.076473e-05,4.257317e-05,4.314506e-05,4.434875e-05,4.546674e-05,4.608906e-05,4.772471e-05,4.779209e-05,4.945625e-05,4.991506e-05,5.108024e-05,5.203495e-05,5.266311e-05,5.408240e-05,5.420413e-05,5.570282e-05,5.605618e-05,5.715892e-05,5.795568e-05,5.857231e-05,5.978080e-05,5.994304e-05,6.127129e-05,6.153187e-05,6.255735e-05,6.320955e-05,6.380159e-05,6.481478e-05,6.500449e-05,6.616656e-05,6.634874e-05,6.728840e-05,6.781277e-05,6.837062e-05,6.920832e-05,6.941389e-05,7.041892e-05,7.053698e-05,7.138641e-05,7.180041e-05,7.231712e-05,7.300032e-05,7.321179e-05,7.407120e-05,7.413846e-05,7.489612e-05,7.521661e-05,7.568733e-05,7.623656e-05,7.644560e-05,7.717172e-05,7.720010e-05,7.786646e-05,7.810903e-05,7.853059e-05,7.896512e-05,7.916489e-05,7.977012e-05,8.034702e-05,8.052577e-05,8.089635e-05,8.123379e-05,8.141884e-05,8.189586e-05,8.191522e-05,8.238620e-05,8.251361e-05,8.283248e-05,8.308868e-05,8.325476e-05,8.362265e-05,8.365372e-05,8.403003e-05,8.411705e-05,8.438435e-05,8.457341e-05,8.471732e-05,8.499318e-05,8.502958e-05,8.532174e-05,8.537781e-05,8.559441e-05,8.572870e-05,8.584819e-05,8.604719e-05,8.608366e-05,8.630138e-05,8.633461e-05,8.650192e-05,8.659223e-05,8.668582e-05,8.682131e-05,8.685361e-05,8.700581e-05,8.702305e-05,8.714293e-05,8.719861e-05,8.726547e-05,8.734914e-05,8.737390e-05,8.746871e-05,8.747572e-05,8.755035e-05,8.757942e-05,8.761927e-05,8.766126e-05,8.767591e-05,8.772069e-05,8.772224e-05,8.775404e-05,8.776332e-05,8.777635e-05,8.778543e-05,8.778803e-05,8.778945e-05,8.777626e-05,8.774669e-05,8.770154e-05,8.764159e-05,8.756759e-05,8.748026e-05,8.738028e-05,8.726835e-05,8.714508e-05,8.701111e-05,8.686703e-05,8.671341e-05,8.655081e-05,8.637974e-05,8.620073e-05,8.601426e-05,8.582080e-05,8.562080e-05,8.541469e-05,8.520289e-05,8.498579e-05,8.476377e-05,8.453720e-05,8.430643e-05
0.000000e+00,2.960928e-12,2.047391e-11,3.167933e-10,1.737823e-09,3.657325e-09,1.678743e-08,1.769699e-08,5.475194e-08,7.129959e-08,1.303471e-07,2.017134e-07,2.628669e-07,4.538697e-07,4.742739e-07,7.905082e-07,8.851160e-07,1.239255e-06,1.557377e-06,1.843233e-06,2.510777e-06,2.611525e-06,3.535849e-06,3.737696e-06,4.594833e-06,5.189946e-06,5.762044e-06,6.807592e-06,7.012280e-06,8.324273e-06,8.538727e-06,9.680876e-06,1.034371e-05,1.106817e-05,1.219221e-05,1.247449e-05,1.388971e-05,1.405969e-05,1.530479e-05,1.592526e-05,1.671162e-05,1.777075e-05,1.810287e-05,1.947204e-05,1.958044e-05,2.081340e-05,2.134103e-05,2.212202e-05,2.304159e-05,2.339375e-05,2.462520e-05,2.467358e-05,2.581369e-05,2.623062e-05,2.695720e-05,2.770836e-05,2.805434e-05,2.910423e-05,3.010645e-05,3.041709e-05,3.106101e-05,3.164705e-05,3.196823e-05,3.279516e-05,3.282869e-05,3.364322e-05,3.386320e-05,3.441284e-05,3.485352e-05,3.513868e-05,3.576887e-05,3.582201e-05,3.646415e-05,3.661228e-05,3.706649e-05,3.738696e-05,3.763047e-05,3.809617e-05,3.815751e-05,3.864907e-05,3.874324e-05,3.910656e-05,3.933148e-05,3.953143e-05,3.986411e-05,3.992505e-05,4.028880e-05,4.034431e-05,4.062400e-05,4.077514e-05,4.093196e-05,4.115955e-05,4.121392e-05,4.147112e-05,4.150037e-05,4.170472e-05,4.180032e-05,4.191586e-05,4.206198e-05,4.210563e-05,4.227509e-05,4.228780e-05,4.242525e-05,4.248013e-05,4.255707e-05,4.264116e-05,4.267150e-05,4.276942e-05,4.277301e-05,4.285170e-05,4.287764e-05,4.291914e-05,4.295694e-05,4.297255e-05,4.301266e-05,4.304020e-05,4.304648e-05,4.305586e-05,4.305995e-05,4.306029e-05,4.305455e-05,4.305411e-05,4.303793e-05,4.303168e-05,4.301232e-05,4.299265e-05,4.297781e-05,4.293867e-05,4.293494e-05,4.288420e-05,4.287090e-05,4.282606e-05,4.279044e-05,4.276097e-05,4.269828e-05,4.268936e-05,4.261164e-05,4.259539e-05,4.252820e-05,4.248267e-05,4.243940e-05,4.236094e-05,4.234562e-05,4.224717e-05,4.223100e-05,4.214438e-05,4.209359e-05,4.203755e-05,4.194938e-05,4.192698e-05,4.181293e-05,4.179902e-05,4.169567e-05,4.164313e-05,4.157546e-05,4.148226e-05,4.145252e-05,4.132707e-05,4.131694e-05,4.119934e-05,4.114765e-05,4.106953e-05,4.097487e-05,4.093782e-05,4.080440e-05,4.079903e-05,4.066944e-05,4.062051e-05,4.053311e-05,4.043970e-05,4.039556e-05,4.025694e-05,4.007255e-05,3.988685e-05,3.970011e-05,3.951258e-05,3.932452e-05,3.913615e-05,3.894767e-05,3.875928e-05,3.857116e-05,3.838347e-05,3.819637e-05,3.801000e-05,3.782449e-05,3.763995e-05,3.745650e-05,3.727423e-05,3.709325e-05,3.691363e-05,3.673545e-05,3.655878e-05,3.638368e-05,3.621022e-05,3.603843e-05,3.586837e-05
0.000000e+00,9.523383e-09,2.185023e-08,7.547190e-08,1.727503e-07,2.532041e-07,5.847277e-07,6.028770e-07,1.197791e-06,1.420413e-06,2.129895e-06,2.893351e-06,3.499077e-06,5.200593e-06,5.368690e-06,7.721943e-06,8.351077e-06,1.048755e-05,1.218850e-05,1.359260e-05,1.656160e-05,1.698186e-05,2.061425e-05,2.136686e-05,2.445595e-05,2.652600e-05,2.847585e-05,3.196775e-05,3.264315e-05,3.692662e-05,3.762064e-05,4.129463e-05,4.341202e-05,4.571562e-05,4.926980e-05,5.015876e-05,5.459459e-05,5.512507e-05,5.899562e-05,6.091450e-05,6.333678e-05,6.658213e-05,6.759568e-05,7.175279e-05,7.208044e-05,7.579151e-05,7.737066e-05,7.969803e-05,8.242255e-05,8.346128e-05,8.707264e-05,8.721383e-05,9.052578e-05,9.172929e-05,9.381640e-05,9.595982e-05,9.694195e-05,9.990143e-05,1.026952e-04,1.035543e-04,1.053245e-04,1.069221e-04,1.077918e-04,1.100108e-04,1.101002e-04,1.122531e-04,1.128287e-04,1.142548e-04,1.153851e-04,1.161098e-04,1.176908e-04,1.178227e-04,1.193985e-04,1.197569e-04,1.208422e-04,1.215949e-04,1.221590e-04,1.232167e-04,1.233538e-04,1.244320e-04,1.246340e-04,1.253984e-04,1.258585e-04,1.262582e-04,1.269015e-04,1.270162e-04,1.276772e-04,1.277742e-04,1.282459e-04,1.284874e-04,1.287268e-04,1.290514e-04,1.291245e-04,1.294432e-04,1.294763e-04,1.296870e-04,1.297716e-04,1.298600e-04,1.299465e-04,1.299661e-04,1.300089e-04,1.300097e-04,1.299921e-04,1.299694e-04,1.299191e-04,1.298337e-04,1.297933e-04,1.296178e-04,1.296098e-04,1.293957e-04,1.293049e-04,1.291300e-04,1.289257e-04,1.288233e-04,1.284785e-04,1.280981e-04,1.279693e-04,1.276845e-04,1.274035e-04,1.272401e-04,1.267866e-04,1.267671e-04,1.262677e-04,1.261234e-04,1.257438e-04,1.254186e-04,1.251975e-04,1.246765e-04,1.246305e-04,1.240445e-04,1.239013e-04,1.234414e-04,1.230967e-04,1.228226e-04,1.222663e-04,1.221896e-04,1.215439e-04,1.214134e-04,1.208868e-04,1.205411e-04,1.202196e-04,1.196523e-04,1.195435e-04,1.188597e-04,1.187496e-04,1.181692e-04,1.178356e-04,1.174730e-04,1.169126e-04,1.167721e-04,1.160675e-04,1.159827e-04,1.153599e-04,1.150478e-04,1.146502e-04,1.141098e-04,1.139391e-04,1.132274e-04,1.131704e-04,1.125157e-04,1.122311e-04,1.118046e-04,1.112933e-04,1.110947e-04,1.103867e-04,1.103584e-04,1.096809e-04,1.094274e-04,1.089778e-04,1.085016e-04,1.082780e-04,1.075818e-04,1.066690e-04,1.057639e-04,1.048674e-04,1.039800e-04,1.031023e-04,1.022349e-04,1.013781e-04,1.005325e-04,9.969828e-05,9.887582e-05,9.806535e-05,9.726708e-05,9.648119e-05,9.570780e-05,9.494704e-05,9.419896e-05,9.346361e-05,9.274102e-05,9.203117e-05,9.133404e-05,9.064960e-05,8.997777e-05,8.931847e-05,8.867161e-05
0.000000e+00,3.903246e-14,3.206955e-13,6.998609e-12,5.161578e-11,1.268339e-10,8.463326e-10,9.051247e-10,3.897563e-09,5.514302e-09,1.225402e-08,2.190315e-08,3.115181e-08,6.422834e-08,6.806148e-08,1.328778e-07,1.538999e-07,2.378094e-07,3.192239e-07,3.966961e-07,5.922628e-07,6.234890e-07,9.301390e-07,1.001840e-06,1.324619e-06,1.565614e-06,1.809760e-06,2.285703e-06,2.383132e-06,3.037815e-06,3.149462e-06,3.763610e-06,4.133722e-06,4.548355e-06,5.209875e-06,5.379068e-06,6.242801e-06,6.348073e-06,7.127216e-06,7.519936e-06,8.020917e-06,8.699959e-06,8.913601e-06,9.796110e-06,9.866023e-06,1.066044e-05,1.099950e-05,1.149970e-05,1.208515e-05,1.230809e-05,1.308085e-05,1.311096e-05,1.381418e-05,1.406795e-05,1.450525e-05,1.494999e-05,1.515208e-05,1.575349e-05,1.630904e-05,1.647715e-05,1.681891e-05,1.712158e-05,1.728384e-05,1.768899e-05,1.770501e-05,1.808400e-05,1.818280e-05,1.842265e-05,1.860732e-05,1.872302e-05,1.896744e-05,1.898730e-05,1.921779e-05,1.926834e-05,1.941679e-05,1.951534e-05,1.958660e-05,1.971368e-05,1.972947e-05,1.984757e-05,1.986841e-05,1.994299e-05,1.998430e-05,2.001769e-05,2.006579e-05,2.007353e-05,2.011224e-05,2.011695e-05,2.013544e-05,2.014150e-05,2.014460e-05,2.014276e-05,2.014111e-05,2.012620e-05,2.012370e-05,2.010103e-05,2.008698e-05,2.006664e-05,2.003494e-05,2.002399e-05,1.997394e-05,1.996964e-05,1.991727e-05,1.989291e-05,1.985469e-05,1.980633e-05,1.978684e-05,1.971431e-05,1.971131e-05,1.963762e-05,1.960908e-05,1.955724e-05,1.950071e-05,1.947362e-05,1.938714e-05,1.929814e-05,1.926919e-05,1.920697e-05,1.914760e-05,1.911389e-05,1.902300e-05,1.901919e-05,1.892309e-05,1.889596e-05,1.882581e-05,1.876697e-05,1.872756e-05,1.863646e-05,1.862851e-05,1.852883e-05,1.850483e-05,1.842866e-05,1.837240e-05,1.832814e-05,1.823949e-05,1.822740e-05,1.812654e-05,1.810637e-05,1.802568e-05,1.797325e-05,1.792490e-05,1.784037e-05,1.782429e-05,1.772394e-05,1.770791e-05,1.762391e-05,1.757603e-05,1.752427e-05,1.744488e-05,1.742508e-05,1.732640e-05,1.731459e-05,1.722826e-05,1.718527e-05,1.713073e-05,1.705703e-05,1.703384e-05,1.693763e-05,1.692996e-05,1.684212e-05,1.680413e-05,1.674736e-05,1.667961e-05,1.665337e-05,1.656018e-05,1.655647e-05,1.646780e-05,1.643475e-05,1.637626e-05,1.631450e-05,1.628557e-05,1.619575e-05,1.607856e-05,1.596292e-05,1.584888e-05,1.573645e-05,1.562564e-05,1.551647e-05,1.540893e-05,1.530304e-05,1.519879e-05,1.509618e-05,1.499522e-05,1.489588e-05,1.479818e-05,1.470209e-05,1.460761e-05,1.451472e-05,1.442342e-05,1.433368e-05,1.424550e-05,1.415885e-05,1.407371e-05,1.399008e-05,1.390794e-05,1.382726e-05
0.000000e+00,2.546287e-11,1.731129e-10,2.595055e-09,1.389263e-08,2.890634e-08,1.297601e-07,1.366985e-07,4.185376e-07,5.446135e-07,9.977040e-07,1.552943e-06,2.035239e-06,3.575082e-06,3.742157e-06,6.377778e-06,7.178949e-06,1.020692e-05,1.294606e-05,1.540987e-05,2.114139e-05,2.200211e-05,2.983588e-05,3.153140e-05,3.867534e-05,4.358746e-05,4.827767e-05,5.678128e-05,5.843715e-05,6.899418e-05,7.071164e-05,7.982712e-05,8.509616e-05,9.084045e-05,9.972770e-05,1.019555e-04,1.131046e-04,1.144419e-04,1.242283e-04,1.291007e-04,1.352732e-04,1.435853e-04,1.461919e-04,1.569428e-04,1.577945e-04,1.674894e-04,1.716437e-04,1.778007e-04,1.850646e-04,1.878511e-04,1.976194e-04,1.980040e-04,2.070890e-04,2.104225e-04,2.162475e-04,2.222928e-04,2.250858e-04,2.335980e-04,2.417809e-04,2.443296e-04,2.496335e-04,2.544862e-04,2.571567e-04,2.640714e-04,2.643531e-04,2.712263e-04,2.730936e-04,2.777813e-04,2.815639e-04,2.840238e-04,2.894961e-04,2.899599e-04,2.955967e-04,2.969057e-04,3.009412e-04,3.038094e-04,3.060012e-04,3.102247e-04,3.107843e-04,3.152983e-04,3.161695e-04,3.195512e-04,3.216622e-04,3.235510e-04,3.267210e-04,3.273056e-04,3.308230e-04,3.313643e-04,3.341109e-04,3.356099e-04,3.371772e-04,3.394757e-04,3.400294e-04,3.426751e-04,3.429790e-04,3.451216e-04,3.461368e-04,3.473761e-04,3.489656e-04,3.494458e-04,3.513376e-04,3.514814e-04,3.530581e-04,3.536999e-04,3.546141e-04,3.556360e-04,3.560118e-04,3.572577e-04,3.573045e-04,3.583578e-04,3.587192e-04,3.593179e-04,3.598938e-04,3.601439e-04,3.608413e-04,3.614156e-04,3.615743e-04,3.618721e-04,3.621047e-04,3.622157e-04,3.624442e-04,3.624516e-04,3.625844e-04,3.626038e-04,3.626189e-04,3.625942e-04,3.625594e-04,3.624256e-04,3.624105e-04,3.621761e-04,3.621076e-04,3.618605e-04,3.616497e-04,3.614675e-04,3.610606e-04,3.610009e-04,3.604644e-04,3.603490e-04,3.598615e-04,3.595229e-04,3.591956e-04,3.585900e-04,3.584701e-04,3.576880e-04,3.575578e-04,3.568524e-04,3.564332e-04,3.559663e-04,3.552230e-04,3.550325e-04,3.540537e-04,3.539334e-04,3.530326e-04,3.525706e-04,3.519717e-04,3.511403e-04,3.508734e-04,3.497400e-04,3.496479e-04,3.485738e-04,3.480987e-04,3.473770e-04,3.464975e-04,3.461517e-04,3.448997e-04,3.448491e-04,3.436231e-04,3.431578e-04,3.423236e-04,3.414279e-04,3.410031e-04,3.396632e-04,3.378676e-04,3.360446e-04,3.341976e-04,3.323296e-04,3.304437e-04,3.285427e-04,3.266292e-04,3.247057e-04,3.227746e-04,3.208381e-04,3.188982e-04,3.169568e-04,3.150159e-04,3.130770e-04,3.111417e-04,3.092117e-04,3.072881e-04,3.053724e-04,3.034657e-04,3.015691e-04,2.996836e-04,2.978103e-04,2.959499e-04,2.941033e-04
0.000000e+00,6.076137e-15,5.228498e-14,1.256111e-12,1.011262e-11,2.607270e-11,1.968442e-10,2.115719e-10,1.027804e-09,1.501805e-09,3.614289e-09,6.878765e-09,1.018191e-08,2.287617e-08,2.441363e-08,5.180644e-08,6.113240e-08,9.990618e-08,1.394063e-07,1.783824e-07,2.817820e-07,2.988886e-07,4.746806e-07,5.177187e-07,7.200220e-07,8.799234e-07,1.049454e-06,1.401473e-06,1.477028e-06,2.015581e-06,2.112814e-06,2.676124e-06,3.039172e-06,3.467372e-06,4.198665e-06,4.395417e-06,5.463547e-06,5.601186e-06,6.672194e-06,7.248001e-06,8.018983e-06,9.131925e-06,9.498876e-06,1.110438e-05,1.123796e-05,1.282579e-05,1.354428e-05,1.465156e-05,1.602341e-05,1.656855e-05,1.856245e-05,1.864360e-05,2.061809e-05,2.137022e-05,2.271980e-05,2.416720e-05,2.485175e-05,2.699829e-05,2.914417e-05,2.982831e-05,3.127485e-05,3.262417e-05,3.337669e-05,3.535564e-05,3.543711e-05,3.744474e-05,3.799601e-05,3.938948e-05,4.052245e-05,4.126260e-05,4.291623e-05,4.305669e-05,4.476572e-05,4.516267e-05,4.638492e-05,4.725108e-05,4.791079e-05,4.917445e-05,4.934097e-05,5.067417e-05,5.092913e-05,5.191008e-05,5.251445e-05,5.304924e-05,5.393230e-05,5.409295e-05,5.504316e-05,5.518667e-05,5.590235e-05,5.628329e-05,5.667348e-05,5.722918e-05,5.735984e-05,5.796503e-05,5.803237e-05,5.849281e-05,5.870152e-05,5.894710e-05,5.924567e-05,5.933190e-05,5.965121e-05,5.967404e-05,5.990902e-05,5.999582e-05,6.010929e-05,6.022002e-05,6.025587e-05,6.035250e-05,6.035537e-05,6.040279e-05,6.041022e-05,6.041021e-05,6.039248e-05,6.037809e-05,6.030958e-05,6.020768e-05,6.016849e-05,6.007522e-05,5.997564e-05,5.991486e-05,5.973699e-05,5.972911e-05,5.952030e-05,5.945801e-05,5.929065e-05,5.914370e-05,5.904219e-05,5.879863e-05,5.877682e-05,5.849632e-05,5.842694e-05,5.820234e-05,5.803239e-05,5.789639e-05,5.761837e-05,5.757988e-05,5.725411e-05,5.718796e-05,5.692029e-05,5.674390e-05,5.657953e-05,5.628866e-05,5.623284e-05,5.588116e-05,5.582448e-05,5.552535e-05,5.535334e-05,5.516622e-05,5.487700e-05,5.480447e-05,5.444079e-05,5.439705e-05,5.407578e-05,5.391489e-05,5.370999e-05,5.343178e-05,5.334393e-05,5.297807e-05,5.294882e-05,5.261283e-05,5.246699e-05,5.224858e-05,5.198714e-05,5.188569e-05,5.152446e-05,5.151004e-05,5.116518e-05,5.103636e-05,5.080810e-05,5.056668e-05,5.045347e-05,5.010149e-05,4.964125e-05,4.918632e-05,4.873703e-05,4.829365e-05,4.785642e-05,4.742552e-05,4.700110e-05,4.658330e-05,4.617221e-05,4.576790e-05,4.537041e-05,4.497977e-05,4.459601e-05,4.421910e-05,4.384903e-05,4.348577e-05,4.312927e-05,4.277949e-05,4.243636e-05,4.209981e-05,4.176977e-05,4.144616e-05,4.112889e-05,4.081788e-05
0.000000e+00,2.351456e-09,5.605169e-09,2.008510e-08,4.657669e-08,6.846851e-08,1.578962e-07,1.627518e-07,3.197704e-07,3.775888e-07,5.593303e-07,7.521929e-07,9.045016e-07,1.335803e-06,1.378998e-06,1.999256e-06,2.170104e-06,2.763704e-06,3.247305e-06,3.650872e-06,4.509010e-06,4.630467e-06,5.674743e-06,5.889363e-06,6.762212e-06,7.339249e-06,7.876739e-06,8.824572e-06,9.005736e-06,1.013880e-05,1.031986e-05,1.126697e-05,1.180438e-05,1.238229e-05,1.326057e-05,1.347776e-05,1.454721e-05,1.467353e-05,1.558534e-05,1.603102e-05,1.658773e-05,1.732340e-05,1.755079e-05,1.847179e-05,1.854359e-05,1.934873e-05,1.968685e-05,2.018029e-05,2.075052e-05,2.096580e-05,2.170513e-05,2.173374e-05,2.239853e-05,2.263703e-05,2.304668e-05,2.346207e-05,2.365056e-05,2.421139e-05,2.473055e-05,2.488813e-05,2.520959e-05,2.549587e-05,2.565013e-05,2.603840e-05,2.605387e-05,2.642251e-05,2.651968e-05,2.675780e-05,2.694367e-05,2.706145e-05,2.731431e-05,2.733515e-05,2.758055e-05,2.763541e-05,2.779924e-05,2.791062e-05,2.799277e-05,2.814344e-05,2.816262e-05,2.831023e-05,2.833720e-05,2.843695e-05,2.849503e-05,2.854409e-05,2.861986e-05,2.863288e-05,2.870451e-05,2.871445e-05,2.876009e-05,2.878138e-05,2.880068e-05,2.882304e-05,2.882729e-05,2.884086e-05,2.884165e-05,2.884229e-05,2.883930e-05,2.883243e-05,2.881788e-05,2.881208e-05,2.878199e-05,2.877919e-05,2.874288e-05,2.872486e-05,2.869541e-05,2.865641e-05,2.864021e-05,2.857788e-05,2.857524e-05,2.850897e-05,2.848265e-05,2.843401e-05,2.837983e-05,2.835349e-05,2.826787e-05,2.817760e-05,2.814780e-05,2.808308e-05,2.802053e-05,2.798468e-05,2.788693e-05,2.788279e-05,2.777772e-05,2.774777e-05,2.766980e-05,2.760380e-05,2.755932e-05,2.745566e-05,2.744656e-05,2.733178e-05,2.730396e-05,2.721523e-05,2.714927e-05,2.709713e-05,2.699208e-05,2.697769e-05,2.685712e-05,2.683288e-05,2.673559e-05,2.667208e-05,2.661329e-05,2.651008e-05,2.649038e-05,2.636700e-05,2.634722e-05,2.624330e-05,2.618384e-05,2.611940e-05,2.602023e-05,2.599544e-05,2.587152e-05,2.585666e-05,2.574775e-05,2.569336e-05,2.562422e-05,2.553056e-05,2.550103e-05,2.537826e-05,2.536846e-05,2.525600e-05,2.520724e-05,2.513430e-05,2.504706e-05,2.501323e-05,2.489287e-05,2.488807e-05,2.477326e-05,2.473039e-05,2.465445e-05,2.457414e-05,2.453649e-05,2.441943e-05,2.426635e-05,2.411498e-05,2.396539e-05,2.381764e-05,2.367178e-05,2.352786e-05,2.338593e-05,2.324601e-05,2.310812e-05,2.297230e-05,2.283855e-05,2.270688e-05,2.257731e-05,2.244984e-05,2.232446e-05,2.220118e-05,2.207998e-05,2.196086e-05,2.184382e-05,2.172882e-05,2.161587e-05,2.150494e-05,2.139601e-05,2.128907e-05
0.000000e+00,9.265049e-16,8.300675e-15,2.171196e-13,1.892162e-12,5.099223e-12,4.327403e-11,4.673741e-11,2.560397e-10,3.868171e-10,1.013818e-09,2.070496e-09,3.211369e-09,8.027262e-09,8.646114e-09,2.057357e-08,2.494861e-08,4.442861e-08,6.601016e-08,8.870775e-08,1.544233e-07,1.659671e-07,2.938520e-07,3.274728e-07,4.960526e-07,6.404087e-07,8.030880e-07,1.169508e-06,1.252844e-06,1.890812e-06,2.013794e-06,2.770023e-06,3.295150e-06,3.950666e-06,5.156827e-06,5.499426e-06,7.488569e-06,7.760465e-06,9.994823e-06,1.128190e-05,1.309809e-05,1.590608e-05,1.688004e-05,2.142264e-05,2.182134e-05,2.680668e-05,2.921353e-05,3.311030e-05,3.826008e-05,4.040755e-05,4.876712e-05,4.912450e-05,5.825113e-05,6.195139e-05,6.891407e-05,7.686211e-05,8.080191e-05,9.395140e-05,1.083895e-04,1.132849e-04,1.241330e-04,1.348975e-04,1.411886e-04,1.587928e-04,1.595523e-04,1.792102e-04,1.849433e-04,2.001384e-04,2.132916e-04,2.223035e-04,2.437517e-04,2.456633e-04,2.701670e-04,2.762118e-04,2.957565e-04,3.105368e-04,3.223666e-04,3.465714e-04,3.499262e-04,3.783589e-04,3.841432e-04,4.075842e-04,4.230666e-04,4.375177e-04,4.631458e-04,4.680727e-04,4.991604e-04,5.041779e-04,5.306912e-04,5.459569e-04,5.625750e-04,5.882757e-04,5.947219e-04,6.270434e-04,6.309296e-04,6.594523e-04,6.737179e-04,6.918636e-04,7.164470e-04,7.241949e-04,7.563669e-04,7.589315e-04,7.883036e-04,8.009961e-04,8.199327e-04,8.424766e-04,8.511857e-04,8.819983e-04,8.832208e-04,9.123104e-04,9.230894e-04,9.420663e-04,9.619563e-04,9.712147e-04,9.997088e-04,1.027506e-03,1.036248e-03,1.054568e-03,1.071487e-03,1.080862e-03,1.105353e-03,1.106357e-03,1.131028e-03,1.137785e-03,1.154853e-03,1.168735e-03,1.177815e-03,1.198165e-03,1.199899e-03,1.221095e-03,1.226049e-03,1.241395e-03,1.252370e-03,1.260795e-03,1.277120e-03,1.279292e-03,1.296889e-03,1.300301e-03,1.313589e-03,1.321920e-03,1.329397e-03,1.341993e-03,1.344322e-03,1.358375e-03,1.360543e-03,1.371565e-03,1.377595e-03,1.383908e-03,1.393182e-03,1.395418e-03,1.406111e-03,1.407340e-03,1.416004e-03,1.420108e-03,1.425115e-03,1.431529e-03,1.433465e-03,1.441071e-03,1.441648e-03,1.447956e-03,1.450512e-03,1.454140e-03,1.458170e-03,1.459644e-03,1.464489e-03,1.464670e-03,1.468699e-03,1.470062e-03,1.472293e-03,1.474398e-03,1.475296e-03,1.477728e-03,1.480101e-03,1.481569e-03,1.482179e-03,1.481981e-03,1.481022e-03,1.479347e-03,1.477002e-03,1.474030e-03,1.470474e-03,1.466375e-03,1.461771e-03,1.456701e-03,1.451200e-03,1.445303e-03,1.439045e-03,1.432455e-03,1.425564e-03,1.418402e-03,1.410995e-03,1.403368e-03,1.395547e-03,1.387554e-03,1.379412e-03,1.371140e-03
0.000000e+00,1.915961e-09,4.429346e-09,1.538103e-08,3.517514e-08,5.145430e-08,1.177144e-07,1.213066e-07,2.372988e-07,2.799136e-07,4.132133e-07,5.527463e-07,6.608080e-07,9.537573e-07,9.819927e-07,1.368187e-06,1.469328e-06,1.808795e-06,2.076052e-06,2.295301e-06,2.755826e-06,2.820714e-06,3.378562e-06,3.493462e-06,3.962457e-06,4.274263e-06,4.566047e-06,5.083749e-06,5.183146e-06,5.807907e-06,5.908214e-06,6.434980e-06,6.735379e-06,7.059624e-06,7.554829e-06,7.677765e-06,8.286005e-06,8.358191e-06,8.881597e-06,9.139078e-06,9.462395e-06,9.892896e-06,1.002678e-05,1.057362e-05,1.061658e-05,1.110213e-05,1.130830e-05,1.161189e-05,1.196719e-05,1.210271e-05,1.257464e-05,1.259313e-05,1.302788e-05,1.318652e-05,1.346273e-05,1.374813e-05,1.387961e-05,1.427901e-05,1.466144e-05,1.478033e-05,1.502748e-05,1.525340e-05,1.537769e-05,1.569955e-05,1.571266e-05,1.603297e-05,1.612011e-05,1.633920e-05,1.651642e-05,1.663192e-05,1.688977e-05,1.691169e-05,1.717904e-05,1.724141e-05,1.743449e-05,1.757254e-05,1.767856e-05,1.788432e-05,1.791174e-05,1.813448e-05,1.817782e-05,1.834725e-05,1.845409e-05,1.855048e-05,1.871411e-05,1.874457e-05,1.892993e-05,1.895881e-05,1.910694e-05,1.918904e-05,1.927595e-05,1.940564e-05,1.943732e-05,1.959137e-05,1.960938e-05,1.973843e-05,1.980099e-05,1.987878e-05,1.998115e-05,2.001272e-05,2.014053e-05,2.015050e-05,2.026246e-05,2.030964e-05,2.037876e-05,2.045915e-05,2.048967e-05,2.059543e-05,2.059955e-05,2.069623e-05,2.073135e-05,2.079229e-05,2.085501e-05,2.088381e-05,2.097098e-05,2.105396e-05,2.107966e-05,2.113294e-05,2.118146e-05,2.120808e-05,2.127674e-05,2.127953e-05,2.134744e-05,2.136584e-05,2.141195e-05,2.144908e-05,2.147320e-05,2.152678e-05,2.153131e-05,2.158642e-05,2.159921e-05,2.163864e-05,2.166666e-05,2.168808e-05,2.172937e-05,2.173485e-05,2.177905e-05,2.178759e-05,2.182078e-05,2.184154e-05,2.186015e-05,2.189144e-05,2.189723e-05,2.193211e-05,2.193749e-05,2.196488e-05,2.197989e-05,2.199562e-05,2.201880e-05,2.202441e-05,2.205131e-05,2.205442e-05,2.207640e-05,2.208688e-05,2.209975e-05,2.211636e-05,2.212141e-05,2.214146e-05,2.214300e-05,2.215995e-05,2.216692e-05,2.217694e-05,2.218827e-05,2.219248e-05,2.220663e-05,2.220717e-05,2.221944e-05,2.222373e-05,2.223096e-05,2.223808e-05,2.224123e-05,2.225030e-05,2.226051e-05,2.226880e-05,2.227526e-05,2.227998e-05,2.228305e-05,2.228453e-05,2.228452e-05,2.228307e-05,2.228026e-05,2.227616e-05,2.227082e-05,2.226431e-05,2.225668e-05,2.224798e-05,2.223828e-05,2.222762e-05,2.221605e-05,2.220361e-05,2.219035e-05,2.217631e-05,2.216153e-05,2.214605e-05,2.212990e-05,2.211313e-05
0.000000e+00,1.393136e-09,4.064886e-09,1.794192e-08,4.572455e-08,6.955880e-08,1.699468e-07,1.754705e-07,3.556347e-07,4.223344e-07,6.321207e-07,8.539805e-07,1.027975e-06,1.511452e-06,1.558983e-06,2.223520e-06,2.401400e-06,3.007672e-06,3.493516e-06,3.896945e-06,4.757175e-06,4.879705e-06,5.945918e-06,6.168318e-06,7.085783e-06,7.704250e-06,8.289081e-06,9.341018e-06,9.545059e-06,1.084259e-05,1.105330e-05,1.217044e-05,1.281533e-05,1.351761e-05,1.460219e-05,1.487361e-05,1.622867e-05,1.639079e-05,1.757396e-05,1.816073e-05,1.890165e-05,1.989473e-05,2.020499e-05,2.147828e-05,2.157870e-05,2.271687e-05,2.320172e-05,2.391704e-05,2.475574e-05,2.507595e-05,2.619153e-05,2.623523e-05,2.726241e-05,2.763681e-05,2.828777e-05,2.895883e-05,2.926730e-05,3.020109e-05,3.108958e-05,3.136444e-05,3.193347e-05,3.245057e-05,3.273368e-05,3.346177e-05,3.349127e-05,3.420746e-05,3.440075e-05,3.488353e-05,3.527048e-05,3.552084e-05,3.607413e-05,3.612078e-05,3.668476e-05,3.681492e-05,3.721418e-05,3.749609e-05,3.771046e-05,3.812087e-05,3.817498e-05,3.860910e-05,3.869239e-05,3.901416e-05,3.921373e-05,3.939144e-05,3.968782e-05,3.974222e-05,4.006770e-05,4.011751e-05,4.036907e-05,4.050549e-05,4.064746e-05,4.085435e-05,4.090395e-05,4.113961e-05,4.116654e-05,4.135544e-05,4.144438e-05,4.155241e-05,4.169006e-05,4.173144e-05,4.189343e-05,4.190568e-05,4.203922e-05,4.209319e-05,4.216963e-05,4.225444e-05,4.228543e-05,4.238738e-05,4.239118e-05,4.247617e-05,4.250505e-05,4.255250e-05,4.259760e-05,4.261699e-05,4.267028e-05,4.271296e-05,4.272446e-05,4.274558e-05,4.276142e-05,4.276868e-05,4.278237e-05,4.278277e-05,4.278834e-05,4.278844e-05,4.278586e-05,4.278069e-05,4.277577e-05,4.276012e-05,4.275849e-05,4.273442e-05,4.272767e-05,4.270394e-05,4.268422e-05,4.266743e-05,4.263058e-05,4.262522e-05,4.257766e-05,4.256753e-05,4.252504e-05,4.249579e-05,4.246769e-05,4.241605e-05,4.240587e-05,4.233987e-05,4.232893e-05,4.226993e-05,4.223504e-05,4.219632e-05,4.213493e-05,4.211926e-05,4.203897e-05,4.202913e-05,4.195568e-05,4.191813e-05,4.186958e-05,4.180238e-05,4.178086e-05,4.168971e-05,4.168231e-05,4.159630e-05,4.155834e-05,4.150080e-05,4.143083e-05,4.140336e-05,4.130414e-05,4.130014e-05,4.120328e-05,4.116660e-05,4.110091e-05,4.103051e-05,4.099717e-05,4.089217e-05,4.075185e-05,4.060980e-05,4.046626e-05,4.032145e-05,4.017557e-05,4.002883e-05,3.988139e-05,3.973343e-05,3.958510e-05,3.943656e-05,3.928793e-05,3.913934e-05,3.899092e-05,3.884277e-05,3.869499e-05,3.854768e-05,3.840093e-05,3.825482e-05,3.810942e-05,3.796480e-05,3.782104e-05,3.767818e-05,3.753628e-05,3.739540e-05
0.000000e+00,2.939844e-14,2.481426e-13,5.727733e-12,4.446222e-11,1.123691e-10,8.060711e-10,8.645966e-10,3.996962e-09,5.763818e-09,1.342969e-08,2.492346e-08,3.631071e-08,7.888613e-08,8.395855e-08,1.726233e-07,2.022927e-07,3.238996e-07,4.457177e-07,5.644272e-07,8.739457e-07,9.245180e-07,1.435750e-06,1.558828e-06,2.128049e-06,2.568321e-06,3.026965e-06,3.955968e-06,4.151669e-06,5.513891e-06,5.754267e-06,7.117731e-06,7.972751e-06,8.960138e-06,1.059977e-05,1.103181e-05,1.331827e-05,1.360623e-05,1.580091e-05,1.694993e-05,1.845806e-05,2.057960e-05,2.126589e-05,2.419913e-05,2.443843e-05,2.723183e-05,2.846690e-05,3.033788e-05,3.260515e-05,3.349150e-05,3.666774e-05,3.679492e-05,3.984279e-05,4.098117e-05,4.299434e-05,4.511338e-05,4.610179e-05,4.914652e-05,5.211195e-05,5.304173e-05,5.498370e-05,5.676673e-05,5.774956e-05,6.029584e-05,6.039951e-05,6.292559e-05,6.360984e-05,6.532187e-05,6.669555e-05,6.758425e-05,6.954530e-05,6.971034e-05,7.169928e-05,7.215624e-05,7.355155e-05,7.452969e-05,7.526880e-05,7.667037e-05,7.685367e-05,7.830964e-05,7.858571e-05,7.964082e-05,8.028525e-05,8.085188e-05,8.178001e-05,8.194785e-05,8.293403e-05,8.308200e-05,8.381592e-05,8.420381e-05,8.459907e-05,8.515823e-05,8.528904e-05,8.589136e-05,8.595800e-05,8.641143e-05,8.661558e-05,8.685454e-05,8.714296e-05,8.722577e-05,8.753002e-05,8.755161e-05,8.777199e-05,8.785235e-05,8.795614e-05,8.805531e-05,8.808670e-05,8.816767e-05,8.816993e-05,8.820285e-05,8.820499e-05,8.819577e-05,8.816853e-05,8.814978e-05,8.806799e-05,8.795334e-05,8.791016e-05,8.780854e-05,8.770123e-05,8.763614e-05,8.744688e-05,8.743851e-05,8.721786e-05,8.715224e-05,8.697624e-05,8.682199e-05,8.671555e-05,8.646039e-05,8.643755e-05,8.614391e-05,8.607127e-05,8.583613e-05,8.565813e-05,8.551563e-05,8.522412e-05,8.518373e-05,8.484163e-05,8.477209e-05,8.449047e-05,8.430463e-05,8.413128e-05,8.382406e-05,8.376502e-05,8.339260e-05,8.333249e-05,8.301483e-05,8.283183e-05,8.263248e-05,8.232378e-05,8.224626e-05,8.185682e-05,8.180990e-05,8.146476e-05,8.129158e-05,8.107065e-05,8.077007e-05,8.067500e-05,8.027828e-05,8.024651e-05,7.988095e-05,7.972193e-05,7.948338e-05,7.919722e-05,7.908598e-05,7.868908e-05,7.867322e-05,7.829299e-05,7.815066e-05,7.789802e-05,7.763022e-05,7.750444e-05,7.711248e-05,7.659797e-05,7.608717e-05,7.558048e-05,7.507829e-05,7.458091e-05,7.408863e-05,7.360172e-05,7.312039e-05,7.264482e-05,7.217520e-05,7.171164e-05,7.125429e-05,7.080322e-05,7.035852e-05,6.992025e-05,6.948845e-05,6.906317e-05,6.864441e-05,6.823220e-05,6.782652e-05,6.742736e-05,6.703472e-05,6.664855e-05,6.626882e-05
0.000000e+00,1.990127e-13,1.616124e-12,3.444025e-11,2.487107e-10,6.043027e-10,3.921005e-09,4.188763e-09,1.757570e-08,2.470018e-08,5.400998e-08,9.535618e-08,1.345827e-07,2.730238e-07,2.889368e-07,5.554733e-07,6.411533e-07,9.806527e-07,1.307249e-06,1.616149e-06,2.389933e-06,2.512840e-06,3.712595e-06,3.991499e-06,5.240839e-06,6.167864e-06,7.102678e-06,8.914149e-06,9.283379e-06,1.175223e-05,1.217132e-05,1.446781e-05,1.584522e-05,1.738315e-05,1.982677e-05,2.044997e-05,2.362155e-05,2.400708e-05,2.685449e-05,2.828618e-05,3.010965e-05,3.257695e-05,3.335239e-05,3.655267e-05,3.680606e-05,3.968483e-05,4.091367e-05,4.272739e-05,4.485256e-05,4.566280e-05,4.847712e-05,4.858701e-05,5.115971e-05,5.209165e-05,5.370299e-05,5.535022e-05,5.610202e-05,5.835423e-05,6.045909e-05,6.110166e-05,6.241773e-05,6.359566e-05,6.423272e-05,6.584338e-05,6.590775e-05,6.744740e-05,6.785495e-05,6.885695e-05,6.964258e-05,7.014209e-05,7.121969e-05,7.130882e-05,7.236332e-05,7.260039e-05,7.331183e-05,7.379901e-05,7.416054e-05,7.482970e-05,7.491555e-05,7.558278e-05,7.570619e-05,7.616793e-05,7.644160e-05,7.667649e-05,7.704832e-05,7.711369e-05,7.748451e-05,7.753800e-05,7.779368e-05,7.792150e-05,7.804564e-05,7.820885e-05,7.824460e-05,7.839447e-05,7.840934e-05,7.849897e-05,7.853147e-05,7.856153e-05,7.858304e-05,7.858541e-05,7.857362e-05,7.857122e-05,7.852898e-05,7.850252e-05,7.845412e-05,7.838290e-05,7.835150e-05,7.822340e-05,7.821778e-05,7.807195e-05,7.801210e-05,7.789912e-05,7.777034e-05,7.770677e-05,7.749660e-05,7.727021e-05,7.719458e-05,7.702908e-05,7.686766e-05,7.677458e-05,7.651889e-05,7.650801e-05,7.623053e-05,7.615104e-05,7.594328e-05,7.576665e-05,7.564726e-05,7.536800e-05,7.534343e-05,7.503268e-05,7.495717e-05,7.471583e-05,7.453602e-05,7.439364e-05,7.410626e-05,7.406682e-05,7.373603e-05,7.366945e-05,7.340186e-05,7.322696e-05,7.306490e-05,7.278006e-05,7.272565e-05,7.238460e-05,7.232990e-05,7.204221e-05,7.187750e-05,7.169888e-05,7.142381e-05,7.135500e-05,7.101093e-05,7.096965e-05,7.066700e-05,7.051579e-05,7.032350e-05,7.006290e-05,6.998071e-05,6.963890e-05,6.961160e-05,6.929830e-05,6.916245e-05,6.895913e-05,6.871592e-05,6.862159e-05,6.828586e-05,6.827247e-05,6.795212e-05,6.783248e-05,6.762051e-05,6.739631e-05,6.729118e-05,6.696426e-05,6.653660e-05,6.611359e-05,6.569542e-05,6.528228e-05,6.487434e-05,6.447171e-05,6.407453e-05,6.368289e-05,6.329686e-05,6.291650e-05,6.254188e-05,6.217301e-05,6.180993e-05,6.145265e-05,6.110116e-05,6.075547e-05,6.041557e-05,6.008142e-05,5.975301e-05,5.943030e-05,5.911324e-05,5.880181e-05,5.849594e-05,5.819559e-05
0.000000e+00,3.096586e-09,7.204490e-09,2.519607e-08,5.777607e-08,8.454097e-08,1.928530e-07,1.986923e-07,3.854741e-07,4.533163e-07,6.635285e-07,8.817028e-07,1.050438e-06,1.511599e-06,1.556517e-06,2.181503e-06,2.348618e-06,2.920042e-06,3.381100e-06,3.766480e-06,4.596259e-06,4.715339e-06,5.760566e-06,5.980569e-06,6.895016e-06,7.517454e-06,8.110303e-06,9.186684e-06,9.396916e-06,1.074447e-05,1.096500e-05,1.214201e-05,1.282731e-05,1.357839e-05,1.474803e-05,1.504257e-05,1.652387e-05,1.670229e-05,1.801227e-05,1.866699e-05,1.949850e-05,2.062142e-05,2.097422e-05,2.243203e-05,2.254769e-05,2.386553e-05,2.443087e-05,2.526926e-05,2.625893e-05,2.663869e-05,2.797012e-05,2.802255e-05,2.926067e-05,2.971481e-05,3.050811e-05,3.133090e-05,3.171083e-05,3.286778e-05,3.397834e-05,3.432388e-05,3.504230e-05,3.569881e-05,3.605975e-05,3.699311e-05,3.703109e-05,3.795691e-05,3.820808e-05,3.883799e-05,3.934554e-05,3.967526e-05,4.040773e-05,4.046974e-05,4.122257e-05,4.139718e-05,4.193492e-05,4.231661e-05,4.260802e-05,4.316888e-05,4.324313e-05,4.384151e-05,4.395690e-05,4.440445e-05,4.468359e-05,4.493320e-05,4.535186e-05,4.542904e-05,4.589319e-05,4.596460e-05,4.632690e-05,4.652461e-05,4.673135e-05,4.703464e-05,4.710772e-05,4.745716e-05,4.749733e-05,4.778078e-05,4.791527e-05,4.807966e-05,4.829091e-05,4.835486e-05,4.860739e-05,4.862664e-05,4.883824e-05,4.892473e-05,4.904838e-05,4.918736e-05,4.923871e-05,4.941014e-05,4.941661e-05,4.956352e-05,4.961448e-05,4.969968e-05,4.978284e-05,4.981942e-05,4.992351e-05,5.001270e-05,5.003821e-05,5.008769e-05,5.012855e-05,5.014917e-05,5.019610e-05,5.019781e-05,5.023422e-05,5.024232e-05,5.025904e-05,5.026859e-05,5.027282e-05,5.027625e-05,5.027615e-05,5.026955e-05,5.026655e-05,5.025355e-05,5.024066e-05,5.022863e-05,5.019971e-05,5.019528e-05,5.015395e-05,5.014476e-05,5.010507e-05,5.007681e-05,5.004906e-05,4.999680e-05,4.998633e-05,4.991726e-05,4.990564e-05,4.984220e-05,4.980416e-05,4.976152e-05,4.969316e-05,4.967556e-05,4.958462e-05,4.957339e-05,4.948902e-05,4.944556e-05,4.938905e-05,4.931033e-05,4.928500e-05,4.917713e-05,4.916834e-05,4.906570e-05,4.902018e-05,4.895095e-05,4.886641e-05,4.883312e-05,4.871243e-05,4.870754e-05,4.858909e-05,4.854408e-05,4.846331e-05,4.837649e-05,4.833528e-05,4.820519e-05,4.803061e-05,4.785312e-05,4.767309e-05,4.749085e-05,4.730672e-05,4.712100e-05,4.693396e-05,4.674587e-05,4.655696e-05,4.636747e-05,4.617760e-05,4.598756e-05,4.579752e-05,4.560766e-05,4.541814e-05,4.522911e-05,4.504070e-05,4.485304e-05,4.466625e-05,4.448043e-05,4.429570e-05,4.411214e-05,4.392984e-05,4.374887e-05
0.000000e+00,1.818822e-08,4.191520e-08,1.481473e-07,3.539875e-07,5.367285e-07,1.397954e-06,1.449674e-06,3.352507e-06,4.144818e-06,6.822345e-06,9.769914e-06,1.205371e-05,1.800532e-05,1.855592e-05,2.568968e-05,2.744592e-05,3.305197e-05,3.719366e-05,4.043876e-05,4.687571e-05,4.774619e-05,5.491405e-05,5.632701e-05,6.190045e-05,6.545034e-05,6.867191e-05,7.417247e-05,7.519944e-05,8.145874e-05,8.243392e-05,8.742970e-05,9.018862e-05,9.309680e-05,9.740421e-05,9.844915e-05,1.034809e-04,1.040630e-04,1.081901e-04,1.101604e-04,1.125789e-04,1.157029e-04,1.166520e-04,1.204170e-04,1.207052e-04,1.238834e-04,1.251887e-04,1.270620e-04,1.291791e-04,1.299648e-04,1.326043e-04,1.327046e-04,1.349934e-04,1.357947e-04,1.371452e-04,1.384795e-04,1.390726e-04,1.407883e-04,1.423049e-04,1.427500e-04,1.436342e-04,1.443921e-04,1.447879e-04,1.457405e-04,1.457771e-04,1.466123e-04,1.468200e-04,1.473038e-04,1.476537e-04,1.478611e-04,1.482630e-04,1.482932e-04,1.486089e-04,1.486682e-04,1.488162e-04,1.488878e-04,1.489228e-04,1.489392e-04,1.489360e-04,1.488627e-04,1.488382e-04,1.487092e-04,1.485997e-04,1.484815e-04,1.482372e-04,1.481855e-04,1.478263e-04,1.477633e-04,1.474091e-04,1.471896e-04,1.469385e-04,1.465265e-04,1.464189e-04,1.458545e-04,1.457839e-04,1.452491e-04,1.449707e-04,1.446063e-04,1.440950e-04,1.439296e-04,1.432222e-04,1.431643e-04,1.424869e-04,1.421856e-04,1.417265e-04,1.411651e-04,1.409438e-04,1.401410e-04,1.401085e-04,1.393204e-04,1.390211e-04,1.384842e-04,1.379076e-04,1.376342e-04,1.367724e-04,1.359004e-04,1.356195e-04,1.350198e-04,1.344524e-04,1.341321e-04,1.332745e-04,1.332386e-04,1.323407e-04,1.320887e-04,1.314395e-04,1.308977e-04,1.305361e-04,1.297039e-04,1.296315e-04,1.287267e-04,1.285096e-04,1.278225e-04,1.273167e-04,1.269197e-04,1.261270e-04,1.260191e-04,1.251213e-04,1.249421e-04,1.242270e-04,1.237635e-04,1.233368e-04,1.225925e-04,1.224511e-04,1.215706e-04,1.214302e-04,1.206955e-04,1.202776e-04,1.198264e-04,1.191356e-04,1.189636e-04,1.181074e-04,1.180051e-04,1.172581e-04,1.168867e-04,1.164160e-04,1.157810e-04,1.155814e-04,1.147544e-04,1.146886e-04,1.139353e-04,1.136099e-04,1.131243e-04,1.125454e-04,1.123214e-04,1.115269e-04,1.114953e-04,1.107408e-04,1.104598e-04,1.099632e-04,1.094393e-04,1.091942e-04,1.084340e-04,1.074438e-04,1.064689e-04,1.055094e-04,1.045653e-04,1.036366e-04,1.027233e-04,1.018252e-04,1.009424e-04,1.000748e-04,9.922210e-05,9.838436e-05,9.756139e-05,9.675303e-05,9.595913e-05,9.517952e-05,9.441402e-05,9.366246e-05,9.292463e-05,9.220036e-05,9.148943e-05,9.079165e-05,9.010682e-05,8.943473e-05,8.877517e-05
0.000000e+00,4.312485e-09,9.915550e-09,3.426672e-08,7.823039e-08,1.143672e-07,2.612768e-07,2.692331e-07,5.257994e-07,6.199712e-07,9.149107e-07,1.225665e-06,1.468892e-06,2.143765e-06,2.210098e-06,3.138414e-06,3.387286e-06,4.236709e-06,4.918474e-06,5.485119e-06,6.694571e-06,6.866957e-06,8.368187e-06,8.681611e-06,9.975786e-06,1.084945e-05,1.167666e-05,1.316755e-05,1.345721e-05,1.530329e-05,1.560378e-05,1.720044e-05,1.812494e-05,1.913417e-05,2.069797e-05,2.109034e-05,2.305546e-05,2.329126e-05,2.501692e-05,2.587580e-05,2.696321e-05,2.842587e-05,2.888404e-05,3.077040e-05,3.091957e-05,3.261455e-05,3.333890e-05,3.441002e-05,3.566962e-05,3.615154e-05,3.783489e-05,3.790097e-05,3.945687e-05,4.002530e-05,4.101517e-05,4.203762e-05,4.250824e-05,4.393519e-05,4.529573e-05,4.571710e-05,4.659005e-05,4.738390e-05,4.781871e-05,4.893731e-05,4.898264e-05,5.008302e-05,5.037992e-05,5.112125e-05,5.171501e-05,5.209891e-05,5.294630e-05,5.301768e-05,5.387935e-05,5.407786e-05,5.468577e-05,5.511393e-05,5.543883e-05,5.605890e-05,5.614044e-05,5.679254e-05,5.691718e-05,5.739702e-05,5.769316e-05,5.795579e-05,5.839119e-05,5.847071e-05,5.894363e-05,5.901552e-05,5.937634e-05,5.957027e-05,5.977060e-05,6.005948e-05,6.012813e-05,6.045059e-05,6.048701e-05,6.073961e-05,6.085659e-05,6.099675e-05,6.117179e-05,6.122353e-05,6.142142e-05,6.143604e-05,6.159183e-05,6.165261e-05,6.173614e-05,6.182463e-05,6.185567e-05,6.195168e-05,6.195504e-05,6.202539e-05,6.204670e-05,6.207799e-05,6.210227e-05,6.211059e-05,6.212430e-05,6.212014e-05,6.211520e-05,6.209911e-05,6.207725e-05,6.206218e-05,6.201262e-05,6.201026e-05,6.194424e-05,6.192334e-05,6.186494e-05,6.181133e-05,6.177319e-05,6.167843e-05,6.166974e-05,6.155534e-05,6.152633e-05,6.143068e-05,6.135665e-05,6.129645e-05,6.117092e-05,6.115328e-05,6.100179e-05,6.097055e-05,6.084256e-05,6.075689e-05,6.067615e-05,6.053120e-05,6.050308e-05,6.032387e-05,6.029466e-05,6.013900e-05,6.004839e-05,5.994893e-05,5.979341e-05,5.975408e-05,5.955489e-05,5.953071e-05,5.935174e-05,5.926120e-05,5.914501e-05,5.898572e-05,5.893505e-05,5.872221e-05,5.870506e-05,5.850680e-05,5.841998e-05,5.828913e-05,5.813117e-05,5.806948e-05,5.784814e-05,5.783925e-05,5.762535e-05,5.754485e-05,5.740137e-05,5.724850e-05,5.717643e-05,5.695074e-05,5.665203e-05,5.635283e-05,5.605354e-05,5.575455e-05,5.545620e-05,5.515882e-05,5.486271e-05,5.456813e-05,5.427534e-05,5.398457e-05,5.369602e-05,5.340988e-05,5.312632e-05,5.284551e-05,5.256757e-05,5.229263e-05,5.202080e-05,5.175219e-05,5.148687e-05,5.122492e-05,5.096642e-05,5.071141e-05,5.045994e-05,5.021205e-05
0.000000e+00,4.198949e-09,9.621156e-09,3.311125e-08,7.545964e-08,1.102829e-07,2.522590e-07,2.599692e-07,5.097469e-07,6.019449e-07,8.923531e-07,1.201112e-06,1.445036e-06,2.134318e-06,2.203132e-06,3.184346e-06,3.451953e-06,4.371854e-06,5.110185e-06,5.719355e-06,6.996642e-06,7.175692e-06,8.700492e-06,9.010980e-06,1.026507e-05,1.108722e-05,1.184854e-05,1.318130e-05,1.343469e-05,1.501014e-05,1.526045e-05,1.656362e-05,1.729862e-05,1.808556e-05,1.927497e-05,1.956795e-05,2.100429e-05,2.117329e-05,2.238944e-05,2.298165e-05,2.371954e-05,2.469189e-05,2.499187e-05,2.620470e-05,2.629912e-05,2.735712e-05,2.780112e-05,2.844896e-05,2.919777e-05,2.948061e-05,3.045292e-05,3.049059e-05,3.136711e-05,3.168227e-05,3.222466e-05,3.277631e-05,3.302727e-05,3.377678e-05,3.447512e-05,3.468811e-05,3.512428e-05,3.551486e-05,3.572628e-05,3.626170e-05,3.628313e-05,3.679686e-05,3.693324e-05,3.726943e-05,3.753403e-05,3.770280e-05,3.806849e-05,3.809884e-05,3.845941e-05,3.854087e-05,3.878629e-05,3.895526e-05,3.908118e-05,3.931557e-05,3.934577e-05,3.958165e-05,3.962552e-05,3.979035e-05,3.988863e-05,3.997334e-05,4.010822e-05,4.013203e-05,4.026776e-05,4.028743e-05,4.038182e-05,4.042924e-05,4.047545e-05,4.053643e-05,4.054982e-05,4.060606e-05,4.061164e-05,4.064522e-05,4.065731e-05,4.066834e-05,4.067578e-05,4.067638e-05,4.067027e-05,4.066920e-05,4.065089e-05,4.063960e-05,4.061906e-05,4.058890e-05,4.057560e-05,4.052125e-05,4.051886e-05,4.045674e-05,4.043115e-05,4.038273e-05,4.032732e-05,4.029988e-05,4.020881e-05,4.011009e-05,4.007697e-05,4.000427e-05,3.993307e-05,3.989189e-05,3.977827e-05,3.977342e-05,3.964935e-05,3.961367e-05,3.952012e-05,3.944027e-05,3.938614e-05,3.925903e-05,3.924781e-05,3.910552e-05,3.907082e-05,3.895961e-05,3.887644e-05,3.881042e-05,3.867667e-05,3.865826e-05,3.850345e-05,3.847219e-05,3.834625e-05,3.826366e-05,3.818694e-05,3.805167e-05,3.802576e-05,3.786296e-05,3.783678e-05,3.769876e-05,3.761951e-05,3.753337e-05,3.740032e-05,3.736698e-05,3.719978e-05,3.717967e-05,3.703195e-05,3.695794e-05,3.686365e-05,3.673552e-05,3.669503e-05,3.652624e-05,3.651274e-05,3.635742e-05,3.628991e-05,3.618869e-05,3.606733e-05,3.602018e-05,3.585198e-05,3.584526e-05,3.568422e-05,3.562394e-05,3.551697e-05,3.540359e-05,3.535034e-05,3.518441e-05,3.496659e-05,3.475028e-05,3.453564e-05,3.432281e-05,3.411190e-05,3.390303e-05,3.369630e-05,3.349178e-05,3.328956e-05,3.308971e-05,3.289228e-05,3.269732e-05,3.250488e-05,3.231499e-05,3.212768e-05,3.194299e-05,3.176092e-05,3.158148e-05,3.140470e-05,3.123057e-05,3.105910e-05,3.089028e-05,3.072411e-05,3.056057e-05
0.000000e+00,3.607249e-09,8.263582e-09,2.837946e-08,6.443966e-08,9.391629e-08,2.126898e-07,2.190820e-07,4.234875e-07,4.978026e-07,7.287098e-07,9.699380e-07,1.158039e-06,1.680622e-06,1.732205e-06,2.459805e-06,2.656471e-06,3.330445e-06,3.871947e-06,4.320767e-06,5.271254e-06,5.405692e-06,6.563802e-06,6.802601e-06,7.777463e-06,8.425449e-06,9.031615e-06,1.010651e-05,1.031280e-05,1.160868e-05,1.181661e-05,1.290791e-05,1.352964e-05,1.420011e-05,1.522255e-05,1.547602e-05,1.672751e-05,1.687571e-05,1.794768e-05,1.847311e-05,1.913079e-05,2.000234e-05,2.027231e-05,2.136875e-05,2.145443e-05,2.241760e-05,2.282342e-05,2.341723e-05,2.410595e-05,2.436674e-05,2.526593e-05,2.530085e-05,2.611513e-05,2.640873e-05,2.691502e-05,2.743127e-05,2.766659e-05,2.837116e-05,2.903024e-05,2.923180e-05,2.964545e-05,3.001696e-05,3.021853e-05,3.073070e-05,3.075126e-05,3.124544e-05,3.137715e-05,3.170287e-05,3.196043e-05,3.212533e-05,3.248461e-05,3.251457e-05,3.287230e-05,3.295366e-05,3.320018e-05,3.337135e-05,3.349981e-05,3.374132e-05,3.377271e-05,3.402037e-05,3.406699e-05,3.424419e-05,3.435161e-05,3.444553e-05,3.459822e-05,3.462567e-05,3.478583e-05,3.480968e-05,3.492718e-05,3.498867e-05,3.505082e-05,3.513769e-05,3.515780e-05,3.524911e-05,3.525906e-05,3.532570e-05,3.535496e-05,3.538845e-05,3.542742e-05,3.543822e-05,3.547580e-05,3.547830e-05,3.550194e-05,3.550936e-05,3.551737e-05,3.552223e-05,3.552276e-05,3.551875e-05,3.551840e-05,3.550593e-05,3.549928e-05,3.548489e-05,3.546616e-05,3.545616e-05,3.542024e-05,3.537763e-05,3.536265e-05,3.532877e-05,3.529442e-05,3.527409e-05,3.521650e-05,3.521400e-05,3.514887e-05,3.512978e-05,3.507907e-05,3.503509e-05,3.500494e-05,3.493318e-05,3.492679e-05,3.484494e-05,3.482477e-05,3.475966e-05,3.471051e-05,3.467123e-05,3.459100e-05,3.457989e-05,3.448589e-05,3.446680e-05,3.438946e-05,3.433843e-05,3.429081e-05,3.420637e-05,3.419013e-05,3.408762e-05,3.407106e-05,3.398346e-05,3.393292e-05,3.387781e-05,3.379232e-05,3.377083e-05,3.366267e-05,3.364962e-05,3.355348e-05,3.350514e-05,3.344338e-05,3.335917e-05,3.333250e-05,3.322095e-05,3.321200e-05,3.310885e-05,3.306388e-05,3.299631e-05,3.291505e-05,3.288341e-05,3.277025e-05,3.276572e-05,3.265692e-05,3.261610e-05,3.254350e-05,3.246636e-05,3.243006e-05,3.231668e-05,3.216721e-05,3.201810e-05,3.186948e-05,3.172147e-05,3.157418e-05,3.142770e-05,3.128214e-05,3.113758e-05,3.099408e-05,3.085173e-05,3.071058e-05,3.057070e-05,3.043212e-05,3.029491e-05,3.015909e-05,3.002470e-05,2.989179e-05,2.976036e-05,2.963046e-05,2.950209e-05,2.937528e-05,2.925005e-05,2.912639e-05,2.900433e-05
0.000000e+00,9.462129e-10,2.529812e-09,1.014465e-08,2.460069e-08,3.664949e-08,8.560338e-08,8.823667e-08,1.717564e-07,2.017284e-07,2.934863e-07,3.873513e-07,4.593735e-07,6.557726e-07,6.749648e-07,9.446361e-07,1.017660e-06,1.269907e-06,1.475462e-06,1.647927e-06,2.018992e-06,2.072054e-06,2.534130e-06,2.630390e-06,3.026270e-06,3.291692e-06,3.541426e-06,3.987313e-06,4.073292e-06,4.616091e-06,4.703589e-06,5.164435e-06,5.428113e-06,5.713272e-06,6.149526e-06,6.257903e-06,6.794025e-06,6.857600e-06,7.317783e-06,7.543435e-06,7.825818e-06,8.199646e-06,8.315297e-06,8.783922e-06,8.820454e-06,9.229927e-06,9.401692e-06,9.652027e-06,9.940667e-06,1.004942e-05,1.042172e-05,1.043609e-05,1.076890e-05,1.088777e-05,1.109120e-05,1.129643e-05,1.138917e-05,1.166355e-05,1.191521e-05,1.199111e-05,1.214517e-05,1.228146e-05,1.235452e-05,1.253714e-05,1.254438e-05,1.271591e-05,1.276081e-05,1.287027e-05,1.295512e-05,1.300860e-05,1.312266e-05,1.313200e-05,1.324156e-05,1.326590e-05,1.333827e-05,1.338719e-05,1.342311e-05,1.348868e-05,1.349700e-05,1.356077e-05,1.357239e-05,1.361524e-05,1.364012e-05,1.366113e-05,1.369356e-05,1.369914e-05,1.372990e-05,1.373419e-05,1.375401e-05,1.376338e-05,1.377200e-05,1.378233e-05,1.378438e-05,1.379160e-05,1.379214e-05,1.379409e-05,1.379378e-05,1.379223e-05,1.378813e-05,1.378638e-05,1.377687e-05,1.377596e-05,1.376399e-05,1.375797e-05,1.374804e-05,1.373478e-05,1.372925e-05,1.370786e-05,1.370696e-05,1.368410e-05,1.367500e-05,1.365815e-05,1.363935e-05,1.363020e-05,1.360042e-05,1.356896e-05,1.355856e-05,1.353597e-05,1.351411e-05,1.350158e-05,1.346736e-05,1.346591e-05,1.342908e-05,1.341857e-05,1.339118e-05,1.336798e-05,1.335233e-05,1.331582e-05,1.331261e-05,1.327211e-05,1.326228e-05,1.323089e-05,1.320753e-05,1.318905e-05,1.315175e-05,1.314664e-05,1.310372e-05,1.309509e-05,1.306037e-05,1.303767e-05,1.301662e-05,1.297962e-05,1.297254e-05,1.292818e-05,1.292105e-05,1.288357e-05,1.286208e-05,1.283876e-05,1.280279e-05,1.279379e-05,1.274869e-05,1.274327e-05,1.270351e-05,1.268360e-05,1.265826e-05,1.262386e-05,1.261299e-05,1.256772e-05,1.256410e-05,1.252248e-05,1.250440e-05,1.247729e-05,1.244480e-05,1.243218e-05,1.238716e-05,1.238537e-05,1.234227e-05,1.232614e-05,1.229750e-05,1.226715e-05,1.225290e-05,1.220846e-05,1.215009e-05,1.209208e-05,1.203446e-05,1.197725e-05,1.192048e-05,1.186418e-05,1.180836e-05,1.175304e-05,1.169824e-05,1.164397e-05,1.159025e-05,1.153708e-05,1.148449e-05,1.143247e-05,1.138104e-05,1.133020e-05,1.127996e-05,1.123032e-05,1.118129e-05,1.113287e-05,1.108506e-05,1.103787e-05,1.099129e-05,1.094532e-05
0.000000e+00,4.049147e-09,9.397873e-09,3.286002e-08,7.569091e-08,1.112557e-07,2.587238e-07,2.668324e-07,5.341531e-07,6.347953e-07,9.570139e-07,1.305380e-06,1.582447e-06,2.361588e-06,2.438509e-06,3.511261e-06,3.796226e-06,4.756346e-06,5.511494e-06,6.128349e-06,7.413244e-06,7.593012e-06,9.125614e-06,9.438546e-06,1.070711e-05,1.154345e-05,1.232159e-05,1.369292e-05,1.395501e-05,1.559477e-05,1.585695e-05,1.722960e-05,1.800960e-05,1.884957e-05,2.012904e-05,2.044610e-05,2.201200e-05,2.219755e-05,2.354133e-05,2.420141e-05,2.502941e-05,2.613049e-05,2.647260e-05,2.786825e-05,2.797779e-05,2.921451e-05,2.973891e-05,3.051024e-05,3.141153e-05,3.175486e-05,3.294826e-05,3.299494e-05,3.409073e-05,3.448966e-05,3.518285e-05,3.589713e-05,3.622541e-05,3.721943e-05,3.816602e-05,3.845912e-05,3.906643e-05,3.961905e-05,3.992195e-05,4.070227e-05,4.073393e-05,4.150376e-05,4.171195e-05,4.223283e-05,4.265129e-05,4.292254e-05,4.352350e-05,4.357428e-05,4.418943e-05,4.433177e-05,4.476934e-05,4.507921e-05,4.531537e-05,4.576887e-05,4.582881e-05,4.631093e-05,4.640371e-05,4.676300e-05,4.698660e-05,4.718622e-05,4.752029e-05,4.758176e-05,4.795079e-05,4.800744e-05,4.829439e-05,4.845061e-05,4.861365e-05,4.885224e-05,4.890961e-05,4.918328e-05,4.921466e-05,4.943561e-05,4.954012e-05,4.966755e-05,4.983075e-05,4.988001e-05,5.007384e-05,5.008857e-05,5.024990e-05,5.031552e-05,5.040898e-05,5.051345e-05,5.055187e-05,5.067932e-05,5.068411e-05,5.079204e-05,5.082915e-05,5.089073e-05,5.095016e-05,5.097605e-05,5.104863e-05,5.110910e-05,5.112599e-05,5.115805e-05,5.118359e-05,5.119603e-05,5.122269e-05,5.122360e-05,5.124126e-05,5.124451e-05,5.124953e-05,5.125018e-05,5.124888e-05,5.124080e-05,5.123977e-05,5.122265e-05,5.121739e-05,5.119792e-05,5.118090e-05,5.116600e-05,5.113227e-05,5.112727e-05,5.108211e-05,5.107234e-05,5.103087e-05,5.100194e-05,5.097389e-05,5.092183e-05,5.091150e-05,5.084400e-05,5.083275e-05,5.077170e-05,5.073537e-05,5.069488e-05,5.063035e-05,5.061381e-05,5.052876e-05,5.051830e-05,5.043997e-05,5.039978e-05,5.034768e-05,5.027534e-05,5.025212e-05,5.015350e-05,5.014549e-05,5.005205e-05,5.001071e-05,4.994794e-05,4.987146e-05,4.984138e-05,4.973255e-05,4.972815e-05,4.962161e-05,4.958119e-05,4.950874e-05,4.943096e-05,4.939408e-05,4.927780e-05,4.912205e-05,4.896403e-05,4.880402e-05,4.864230e-05,4.847913e-05,4.831475e-05,4.814938e-05,4.798324e-05,4.781653e-05,4.764943e-05,4.748211e-05,4.731474e-05,4.714746e-05,4.698043e-05,4.681376e-05,4.664759e-05,4.648202e-05,4.631715e-05,4.615310e-05,4.598994e-05,4.582777e-05,4.566665e-05,4.550666e-05,4.534786e-05
0.000000e+00,6.574467e-10,2.713979e-09,1.800642e-08,5.609547e-08,9.221867e-08,2.612836e-07,2.711449e-07,6.150322e-07,7.515106e-07,1.206749e-06,1.723982e-06,2.150239e-06,3.400796e-06,3.527417e-06,5.330719e-06,5.818394e-06,7.479858e-06,8.803515e-06,9.894946e-06,1.219767e-05,1.252305e-05,1.533030e-05,1.591095e-05,1.829141e-05,1.988450e-05,2.138387e-05,2.406675e-05,2.458539e-05,2.787319e-05,2.840570e-05,3.122415e-05,3.284826e-05,3.461525e-05,3.734202e-05,3.802421e-05,4.143000e-05,4.183754e-05,4.481325e-05,4.629019e-05,4.815659e-05,5.066137e-05,5.144477e-05,5.466472e-05,5.491903e-05,5.780553e-05,5.903763e-05,6.085829e-05,6.299775e-05,6.381598e-05,6.667318e-05,6.678532e-05,6.942601e-05,7.039094e-05,7.207187e-05,7.380914e-05,7.460925e-05,7.703758e-05,7.935709e-05,8.007647e-05,8.156862e-05,8.292794e-05,8.367354e-05,8.559563e-05,8.567364e-05,8.757107e-05,8.808426e-05,8.936818e-05,9.039937e-05,9.106757e-05,9.254704e-05,9.267196e-05,9.418418e-05,9.453372e-05,9.560713e-05,9.636606e-05,9.694371e-05,9.805079e-05,9.819686e-05,9.936951e-05,9.959464e-05,1.004646e-04,1.010043e-04,1.014849e-04,1.022863e-04,1.024334e-04,1.033127e-04,1.034472e-04,1.041257e-04,1.044931e-04,1.048750e-04,1.054302e-04,1.055631e-04,1.061926e-04,1.062644e-04,1.067661e-04,1.070012e-04,1.072857e-04,1.076462e-04,1.077540e-04,1.081730e-04,1.082045e-04,1.085451e-04,1.086813e-04,1.088723e-04,1.090812e-04,1.091566e-04,1.094001e-04,1.094090e-04,1.096045e-04,1.096690e-04,1.097719e-04,1.098653e-04,1.099038e-04,1.100020e-04,1.100682e-04,1.100829e-04,1.101040e-04,1.101116e-04,1.101108e-04,1.100915e-04,1.100902e-04,1.100435e-04,1.100259e-04,1.099721e-04,1.099179e-04,1.098773e-04,1.097705e-04,1.097603e-04,1.096224e-04,1.095864e-04,1.094647e-04,1.093682e-04,1.092883e-04,1.091185e-04,1.090943e-04,1.088837e-04,1.088396e-04,1.086574e-04,1.085338e-04,1.084164e-04,1.082033e-04,1.081616e-04,1.078938e-04,1.078499e-04,1.076140e-04,1.074755e-04,1.073227e-04,1.070821e-04,1.070209e-04,1.067092e-04,1.066712e-04,1.063883e-04,1.062444e-04,1.060589e-04,1.058032e-04,1.057216e-04,1.053769e-04,1.053491e-04,1.050256e-04,1.048833e-04,1.046680e-04,1.044071e-04,1.043048e-04,1.039365e-04,1.039216e-04,1.035634e-04,1.034281e-04,1.031861e-04,1.029274e-04,1.028051e-04,1.024206e-04,1.019085e-04,1.013921e-04,1.008721e-04,1.003492e-04,9.982416e-05,9.929765e-05,9.877024e-05,9.824250e-05,9.771496e-05,9.718811e-05,9.666240e-05,9.613826e-05,9.561606e-05,9.509618e-05,9.457896e-05,9.406468e-05,9.355365e-05,9.304612e-05,9.254233e-05,9.204250e-05,9.154683e-05,9.105549e-05,9.056866e-05,9.008648e-05
0.000000e+00,2.100208e-12,1.523732e-11,2.589854e-10,1.536879e-09,3.367348e-09,1.699317e-08,1.797818e-08,6.033221e-08,8.016913e-08,1.537035e-07,2.464278e-07,3.281535e-07,5.917168e-07,6.203669e-07,1.069458e-06,1.204365e-06,1.706451e-06,2.151014e-06,2.544668e-06,3.445302e-06,3.579378e-06,4.794839e-06,5.057924e-06,6.171707e-06,6.945159e-06,7.691185e-06,9.065150e-06,9.336096e-06,1.109044e-05,1.138025e-05,1.293870e-05,1.385468e-05,1.486537e-05,1.645267e-05,1.685483e-05,1.889146e-05,1.913829e-05,2.095995e-05,2.187636e-05,2.304561e-05,2.463368e-05,2.513466e-05,2.721448e-05,2.738012e-05,2.927374e-05,3.008941e-05,3.130250e-05,3.273949e-05,3.329225e-05,3.523582e-05,3.531252e-05,3.712738e-05,3.779467e-05,3.896226e-05,4.017573e-05,4.073688e-05,4.244862e-05,4.409571e-05,4.460892e-05,4.567705e-05,4.665438e-05,4.719220e-05,4.858449e-05,4.864118e-05,5.002448e-05,5.040013e-05,5.134288e-05,5.210322e-05,5.259748e-05,5.369648e-05,5.378958e-05,5.492064e-05,5.518319e-05,5.599227e-05,5.656705e-05,5.700616e-05,5.785203e-05,5.796408e-05,5.886784e-05,5.904225e-05,5.971926e-05,6.014193e-05,6.052020e-05,6.115532e-05,6.127249e-05,6.197796e-05,6.208661e-05,6.263841e-05,6.293996e-05,6.325561e-05,6.371942e-05,6.383132e-05,6.436723e-05,6.442895e-05,6.486501e-05,6.507238e-05,6.532628e-05,6.565340e-05,6.575262e-05,6.614556e-05,6.617560e-05,6.650658e-05,6.664238e-05,6.683713e-05,6.705704e-05,6.713860e-05,6.741232e-05,6.742271e-05,6.765961e-05,6.774241e-05,6.788172e-05,6.801899e-05,6.807986e-05,6.825519e-05,6.840884e-05,6.845361e-05,6.854189e-05,6.861671e-05,6.865537e-05,6.874685e-05,6.875030e-05,6.882763e-05,6.884625e-05,6.888828e-05,6.891703e-05,6.893314e-05,6.896120e-05,6.896306e-05,6.897886e-05,6.898064e-05,6.898132e-05,6.897715e-05,6.897119e-05,6.895243e-05,6.894919e-05,6.891600e-05,6.890808e-05,6.887229e-05,6.884562e-05,6.881869e-05,6.876646e-05,6.875580e-05,6.868420e-05,6.867197e-05,6.860443e-05,6.856340e-05,6.851703e-05,6.844195e-05,6.842249e-05,6.832131e-05,6.830874e-05,6.821393e-05,6.816484e-05,6.810080e-05,6.801123e-05,6.798234e-05,6.785893e-05,6.784885e-05,6.773096e-05,6.767858e-05,6.759880e-05,6.750123e-05,6.746278e-05,6.732323e-05,6.731758e-05,6.718047e-05,6.712835e-05,6.703479e-05,6.693421e-05,6.688648e-05,6.673579e-05,6.653369e-05,6.632844e-05,6.612058e-05,6.591057e-05,6.569886e-05,6.548586e-05,6.527196e-05,6.505753e-05,6.484287e-05,6.462832e-05,6.441414e-05,6.420059e-05,6.398793e-05,6.377636e-05,6.356610e-05,6.335733e-05,6.315021e-05,6.294490e-05,6.274155e-05,6.254027e-05,6.234119e-05,6.214440e-05,6.195001e-05,6.175808e-05
0.000000e+00,1.244982e-09,2.889296e-09,1.006347e-08,2.299960e-08,3.359362e-08,7.626599e-08,7.855932e-08,1.516320e-07,1.780665e-07,2.597808e-07,3.445952e-07,4.104781e-07,5.934008e-07,6.115141e-07,8.699479e-07,9.410623e-07,1.189763e-06,1.395273e-06,1.569166e-06,1.946259e-06,2.000397e-06,2.472821e-06,2.571319e-06,2.976186e-06,3.247251e-06,3.501923e-06,3.955692e-06,4.043059e-06,4.593795e-06,4.682462e-06,5.149152e-06,5.416060e-06,5.704755e-06,6.146797e-06,6.256733e-06,6.801682e-06,6.866458e-06,7.336644e-06,7.568199e-06,7.859101e-06,8.246500e-06,8.366957e-06,8.858524e-06,8.897104e-06,9.332487e-06,9.516916e-06,9.787878e-06,1.010388e-05,1.022403e-05,1.064056e-05,1.065681e-05,1.103729e-05,1.117526e-05,1.141425e-05,1.165938e-05,1.177164e-05,1.210977e-05,1.242907e-05,1.252735e-05,1.273005e-05,1.291331e-05,1.301326e-05,1.326900e-05,1.327932e-05,1.352887e-05,1.359587e-05,1.376255e-05,1.389543e-05,1.398104e-05,1.416919e-05,1.418499e-05,1.437506e-05,1.441868e-05,1.455189e-05,1.464538e-05,1.471613e-05,1.485072e-05,1.486838e-05,1.500924e-05,1.503610e-05,1.513929e-05,1.520283e-05,1.525908e-05,1.535217e-05,1.536915e-05,1.547001e-05,1.548532e-05,1.556215e-05,1.560341e-05,1.564603e-05,1.570750e-05,1.572212e-05,1.579083e-05,1.579860e-05,1.585257e-05,1.587763e-05,1.590773e-05,1.594548e-05,1.595668e-05,1.599977e-05,1.600297e-05,1.603734e-05,1.605089e-05,1.606969e-05,1.608994e-05,1.609714e-05,1.611997e-05,1.612080e-05,1.613846e-05,1.614410e-05,1.615285e-05,1.616042e-05,1.616339e-05,1.617032e-05,1.617386e-05,1.617431e-05,1.617421e-05,1.617285e-05,1.617157e-05,1.616640e-05,1.616613e-05,1.615806e-05,1.615536e-05,1.614754e-05,1.614012e-05,1.613473e-05,1.612104e-05,1.611977e-05,1.610280e-05,1.609845e-05,1.608397e-05,1.607266e-05,1.606340e-05,1.604396e-05,1.604122e-05,1.601753e-05,1.601262e-05,1.599244e-05,1.597888e-05,1.596606e-05,1.594298e-05,1.593849e-05,1.590981e-05,1.590513e-05,1.588012e-05,1.586554e-05,1.584950e-05,1.582438e-05,1.581802e-05,1.578576e-05,1.578183e-05,1.575278e-05,1.573806e-05,1.571916e-05,1.569321e-05,1.568495e-05,1.565021e-05,1.564741e-05,1.561501e-05,1.560080e-05,1.557938e-05,1.555350e-05,1.554338e-05,1.550706e-05,1.550560e-05,1.547046e-05,1.545723e-05,1.543363e-05,1.540846e-05,1.539659e-05,1.535939e-05,1.531010e-05,1.526067e-05,1.521115e-05,1.516161e-05,1.511212e-05,1.506273e-05,1.501348e-05,1.496442e-05,1.491560e-05,1.486704e-05,1.481879e-05,1.477088e-05,1.472334e-05,1.467619e-05,1.462946e-05,1.458317e-05,1.453733e-05,1.449197e-05,1.444710e-05,1.440274e-05,1.435890e-05,1.431558e-05,1.427280e-05,1.423057e-05
0.000000e+00,2.154923e-09,8.045420e-09,4.724145e-08,1.399684e-07,2.274123e-07,6.488205e-07,6.741438e-07,1.603881e-06,1.993532e-06,3.342250e-06,4.901617e-06,6.166946e-06,9.682234e-06,1.002229e-05,1.464213e-05,1.583975e-05,1.982428e-05,2.293050e-05,2.546445e-05,3.076302e-05,3.150834e-05,3.791957e-05,3.924300e-05,4.466511e-05,4.829340e-05,5.170982e-05,5.783029e-05,5.901489e-05,6.653812e-05,6.775914e-05,7.423495e-05,7.797763e-05,8.205968e-05,8.838175e-05,8.996804e-05,9.791740e-05,9.887216e-05,1.058682e-04,1.093575e-04,1.137842e-04,1.197571e-04,1.216331e-04,1.293866e-04,1.300020e-04,1.370203e-04,1.400355e-04,1.445135e-04,1.498119e-04,1.518491e-04,1.590131e-04,1.592959e-04,1.659943e-04,1.684610e-04,1.727841e-04,1.772885e-04,1.793760e-04,1.857655e-04,1.919495e-04,1.938847e-04,1.979263e-04,2.016426e-04,2.036956e-04,2.090391e-04,2.092576e-04,2.146137e-04,2.160767e-04,2.197656e-04,2.227599e-04,2.247160e-04,2.290946e-04,2.294675e-04,2.340234e-04,2.350881e-04,2.383872e-04,2.407484e-04,2.425627e-04,2.460843e-04,2.465537e-04,2.503642e-04,2.511051e-04,2.539986e-04,2.558202e-04,2.574609e-04,2.602394e-04,2.607554e-04,2.638865e-04,2.643726e-04,2.668585e-04,2.682298e-04,2.696757e-04,2.718209e-04,2.723424e-04,2.748628e-04,2.751557e-04,2.772413e-04,2.782439e-04,2.794820e-04,2.810953e-04,2.815890e-04,2.835665e-04,2.837193e-04,2.854185e-04,2.861251e-04,2.871490e-04,2.883219e-04,2.887618e-04,2.902608e-04,2.903185e-04,2.916498e-04,2.921236e-04,2.929325e-04,2.937458e-04,2.941124e-04,2.951931e-04,2.961780e-04,2.964735e-04,2.970706e-04,2.975949e-04,2.978741e-04,2.985646e-04,2.985917e-04,2.992266e-04,2.993900e-04,2.997819e-04,3.000781e-04,3.002606e-04,3.006357e-04,3.006655e-04,3.009995e-04,3.010694e-04,3.012653e-04,3.013854e-04,3.014657e-04,3.015900e-04,3.016032e-04,3.016805e-04,3.016889e-04,3.016998e-04,3.016878e-04,3.016637e-04,3.015923e-04,3.015745e-04,3.014344e-04,3.014075e-04,3.012457e-04,3.011384e-04,3.010104e-04,3.007900e-04,3.007306e-04,3.004083e-04,3.003669e-04,3.000455e-04,2.998735e-04,2.996440e-04,2.993141e-04,2.992056e-04,2.987322e-04,2.986929e-04,2.982254e-04,2.980136e-04,2.976868e-04,2.972803e-04,2.971181e-04,2.965207e-04,2.964963e-04,2.958963e-04,2.956652e-04,2.952462e-04,2.947902e-04,2.945718e-04,2.938746e-04,2.929212e-04,2.919331e-04,2.909129e-04,2.898632e-04,2.887865e-04,2.876852e-04,2.865616e-04,2.854178e-04,2.842558e-04,2.830776e-04,2.818851e-04,2.806799e-04,2.794638e-04,2.782383e-04,2.770050e-04,2.757652e-04,2.745202e-04,2.732715e-04,2.720201e-04,2.707672e-04,2.695138e-04,2.682610e-04,2.670097e-04,2.657608e-04
0.000000e+00,3.302037e-15,2.949458e-14,7.665569e-13,6.639392e-12,1.782962e-11,1.498538e-10,1.617804e-10,8.769239e-10,1.320751e-09,3.433369e-09,6.962123e-09,1.074547e-08,2.654482e-08,2.856100e-08,6.703986e-08,8.102169e-08,1.427178e-07,2.103182e-07,2.808201e-07,4.826461e-07,5.178358e-07,9.041838e-07,1.004942e-06,1.506728e-06,1.933057e-06,2.410862e-06,3.479857e-06,3.721910e-06,5.565675e-06,5.919588e-06,8.088038e-06,9.587486e-06,1.145362e-05,1.487445e-05,1.584357e-05,2.145262e-05,2.221727e-05,2.848548e-05,3.208520e-05,3.715291e-05,4.496415e-05,4.766739e-05,6.023883e-05,6.133955e-05,7.507022e-05,8.167903e-05,9.235354e-05,1.064159e-04,1.122659e-04,1.349661e-04,1.359341e-04,1.605916e-04,1.705556e-04,1.892562e-04,2.105301e-04,2.210479e-04,2.560276e-04,2.942282e-04,3.071342e-04,3.356545e-04,3.638504e-04,3.802830e-04,4.260922e-04,4.280630e-04,4.789175e-04,4.936943e-04,5.327443e-04,5.664161e-04,5.894185e-04,6.439481e-04,6.487937e-04,7.107048e-04,7.259209e-04,7.749700e-04,8.119142e-04,8.413932e-04,9.014662e-04,9.097669e-04,9.798741e-04,9.940840e-04,1.051491e-03,1.089253e-03,1.124390e-03,1.186447e-03,1.198340e-03,1.273110e-03,1.285135e-03,1.348473e-03,1.384791e-03,1.424203e-03,1.484902e-03,1.500079e-03,1.575890e-03,1.584973e-03,1.651429e-03,1.684529e-03,1.726501e-03,1.783128e-03,1.800919e-03,1.874507e-03,1.880354e-03,1.947102e-03,1.975827e-03,2.018550e-03,2.069204e-03,2.088711e-03,2.157456e-03,2.160175e-03,2.224668e-03,2.248469e-03,2.290242e-03,2.333849e-03,2.354086e-03,2.416117e-03,2.476266e-03,2.495106e-03,2.534472e-03,2.570682e-03,2.590688e-03,2.642745e-03,2.644873e-03,2.696997e-03,2.711219e-03,2.747039e-03,2.776060e-03,2.794987e-03,2.837244e-03,2.840835e-03,2.884585e-03,2.894774e-03,2.926246e-03,2.948668e-03,2.965832e-03,2.998967e-03,3.003363e-03,3.038865e-03,3.045724e-03,3.072366e-03,3.089008e-03,3.103901e-03,3.128898e-03,3.133507e-03,3.161223e-03,3.165485e-03,3.187092e-03,3.198867e-03,3.211160e-03,3.229149e-03,3.233473e-03,3.254081e-03,3.256441e-03,3.273032e-03,3.280859e-03,3.290379e-03,3.302520e-03,3.306171e-03,3.320462e-03,3.321542e-03,3.333304e-03,3.338047e-03,3.344749e-03,3.352153e-03,3.354849e-03,3.363656e-03,3.363982e-03,3.371220e-03,3.373650e-03,3.377594e-03,3.381273e-03,3.382826e-03,3.386967e-03,3.390842e-03,3.393006e-03,3.393564e-03,3.392618e-03,3.390266e-03,3.386603e-03,3.381717e-03,3.375697e-03,3.368625e-03,3.360580e-03,3.351637e-03,3.341867e-03,3.331339e-03,3.320116e-03,3.308261e-03,3.295831e-03,3.282880e-03,3.269459e-03,3.255618e-03,3.241402e-03,3.226854e-03,3.212014e-03,3.196919e-03,3.181605e-03
0.000000e+00,1.808857e-13,1.446483e-12,2.987704e-11,2.098067e-10,5.021049e-10,3.134687e-09,3.343564e-09,1.351472e-08,1.880383e-08,4.010582e-08,6.941564e-08,9.672366e-08,1.907501e-07,2.013867e-07,3.760770e-07,4.311417e-07,6.455177e-07,8.471452e-07,1.034527e-06,1.492775e-06,1.564341e-06,2.249449e-06,2.405810e-06,3.096245e-06,3.600342e-06,4.103532e-06,5.068552e-06,5.264117e-06,6.566653e-06,6.787325e-06,7.997170e-06,8.724757e-06,9.540145e-06,1.084450e-05,1.117919e-05,1.289746e-05,1.310817e-05,1.467796e-05,1.547674e-05,1.650382e-05,1.791162e-05,1.835851e-05,2.022616e-05,2.037568e-05,2.209178e-05,2.283431e-05,2.394150e-05,2.525635e-05,2.576277e-05,2.754448e-05,2.761478e-05,2.927703e-05,2.988711e-05,3.095236e-05,3.205550e-05,3.256392e-05,3.410659e-05,3.557658e-05,3.603117e-05,3.697130e-05,3.782368e-05,3.828924e-05,3.948169e-05,3.952983e-05,4.069331e-05,4.100537e-05,4.178056e-05,4.239692e-05,4.279305e-05,4.366011e-05,4.373265e-05,4.460159e-05,4.479990e-05,4.540237e-05,4.582202e-05,4.613765e-05,4.673272e-05,4.681022e-05,4.742294e-05,4.753856e-05,4.797872e-05,4.824618e-05,4.848044e-05,4.886220e-05,4.893095e-05,4.933305e-05,4.939307e-05,4.968945e-05,4.984507e-05,5.000279e-05,5.022419e-05,5.027563e-05,5.051041e-05,5.053614e-05,5.070947e-05,5.078632e-05,5.087505e-05,5.097982e-05,5.100929e-05,5.111421e-05,5.112139e-05,5.119174e-05,5.121550e-05,5.124373e-05,5.126631e-05,5.127188e-05,5.127786e-05,5.127766e-05,5.126320e-05,5.125316e-05,5.122938e-05,5.119613e-05,5.117776e-05,5.110966e-05,5.102630e-05,5.099660e-05,5.092885e-05,5.085958e-05,5.081837e-05,5.070103e-05,5.069591e-05,5.056242e-05,5.052320e-05,5.041881e-05,5.032815e-05,5.026593e-05,5.011778e-05,5.010458e-05,4.993550e-05,4.989385e-05,4.975940e-05,4.965797e-05,4.957694e-05,4.941161e-05,4.938874e-05,4.919538e-05,4.915613e-05,4.899739e-05,4.889278e-05,4.879529e-05,4.862270e-05,4.858956e-05,4.838063e-05,4.834694e-05,4.816893e-05,4.806644e-05,4.795484e-05,4.778210e-05,4.773874e-05,4.752094e-05,4.749471e-05,4.730178e-05,4.720500e-05,4.708155e-05,4.691363e-05,4.686052e-05,4.663895e-05,4.662121e-05,4.641707e-05,4.632829e-05,4.619511e-05,4.603536e-05,4.597327e-05,4.575175e-05,4.574290e-05,4.553071e-05,4.545129e-05,4.531033e-05,4.516092e-05,4.509076e-05,4.487213e-05,4.458520e-05,4.430041e-05,4.401801e-05,4.373820e-05,4.346118e-05,4.318712e-05,4.291617e-05,4.264845e-05,4.238408e-05,4.212317e-05,4.186578e-05,4.161200e-05,4.136187e-05,4.111546e-05,4.087278e-05,4.063387e-05,4.039876e-05,4.016744e-05,3.993993e-05,3.971623e-05,3.949632e-05,3.928019e-05,3.906783e-05,3.885921e-05
0.000000e+00,3.558679e-14,2.972905e-13,6.718124e-12,5.117097e-11,1.280118e-10,8.952030e-10,9.592372e-10,4.331493e-09,6.208753e-09,1.426086e-08,2.618595e-08,3.790450e-08,8.127804e-08,8.641475e-08,1.755640e-07,2.051880e-07,3.257921e-07,4.454892e-07,5.611999e-07,8.591600e-07,9.073817e-07,1.388637e-06,1.502985e-06,2.025374e-06,2.423068e-06,2.832320e-06,3.647924e-06,3.817732e-06,4.983474e-06,5.186541e-06,6.325678e-06,7.030233e-06,7.835707e-06,9.156355e-06,9.501199e-06,1.130707e-05,1.153241e-05,1.323638e-05,1.411975e-05,1.527109e-05,1.687660e-05,1.739273e-05,1.958284e-05,1.976046e-05,2.182347e-05,2.273000e-05,2.409750e-05,2.574642e-05,2.638888e-05,2.868287e-05,2.877449e-05,3.096612e-05,3.178312e-05,3.322676e-05,3.474574e-05,3.545444e-05,3.764028e-05,3.977682e-05,4.044906e-05,4.185790e-05,4.315838e-05,4.387863e-05,4.575821e-05,4.583520e-05,4.772480e-05,4.824160e-05,4.954548e-05,5.060429e-05,5.129605e-05,5.284417e-05,5.297596e-05,5.458520e-05,5.496094e-05,5.612420e-05,5.695566e-05,5.759379e-05,5.883048e-05,5.899507e-05,6.032939e-05,6.058835e-05,6.159829e-05,6.223281e-05,6.280344e-05,6.376779e-05,6.394661e-05,6.502967e-05,6.519751e-05,6.605450e-05,6.652631e-05,6.702304e-05,6.775862e-05,6.793720e-05,6.879891e-05,6.889888e-05,6.961008e-05,6.995147e-05,7.037259e-05,7.092070e-05,7.108829e-05,7.175899e-05,7.181076e-05,7.238646e-05,7.262573e-05,7.297242e-05,7.336955e-05,7.351855e-05,7.402647e-05,7.404602e-05,7.449777e-05,7.465877e-05,7.493398e-05,7.521130e-05,7.533656e-05,7.570696e-05,7.604654e-05,7.614892e-05,7.635664e-05,7.654023e-05,7.663855e-05,7.688380e-05,7.689350e-05,7.712267e-05,7.718238e-05,7.732723e-05,7.743860e-05,7.750827e-05,7.765496e-05,7.766684e-05,7.780398e-05,7.783382e-05,7.792066e-05,7.797742e-05,7.801783e-05,7.808791e-05,7.809638e-05,7.815719e-05,7.816730e-05,7.820110e-05,7.821751e-05,7.822889e-05,7.824036e-05,7.824135e-05,7.823921e-05,7.823756e-05,7.822317e-05,7.821074e-05,7.819392e-05,7.816144e-05,7.815210e-05,7.809834e-05,7.809111e-05,7.803324e-05,7.800115e-05,7.795736e-05,7.789283e-05,7.787127e-05,7.777548e-05,7.776741e-05,7.767050e-05,7.762604e-05,7.755681e-05,7.746983e-05,7.743488e-05,7.730515e-05,7.729981e-05,7.716805e-05,7.711696e-05,7.702398e-05,7.692222e-05,7.687332e-05,7.671646e-05,7.650051e-05,7.627514e-05,7.604111e-05,7.579909e-05,7.554975e-05,7.529371e-05,7.503155e-05,7.476382e-05,7.449105e-05,7.421371e-05,7.393229e-05,7.364720e-05,7.335886e-05,7.306765e-05,7.277394e-05,7.247807e-05,7.218036e-05,7.188111e-05,7.158061e-05,7.127913e-05,7.097692e-05,7.067422e-05,7.037124e-05,7.006819e-05
0.000000e+00,5.376857e-14,4.428986e-13,9.713748e-12,7.193083e-11,1.771036e-10,1.186642e-09,1.269241e-09,5.477379e-09,7.750960e-09,1.721770e-08,3.073386e-08,4.364865e-08,8.955283e-08,9.484701e-08,1.837229e-07,2.123270e-07,3.256864e-07,4.347262e-07,5.378648e-07,7.964868e-07,8.376255e-07,1.240520e-06,1.334589e-06,1.758224e-06,2.075157e-06,2.397143e-06,3.028208e-06,3.158017e-06,4.036436e-06,4.187371e-06,5.023951e-06,5.533501e-06,6.109397e-06,7.039765e-06,7.280088e-06,8.522759e-06,8.676086e-06,9.824202e-06,1.041214e-05,1.117162e-05,1.221886e-05,1.255279e-05,1.395609e-05,1.406898e-05,1.537048e-05,1.593697e-05,1.678544e-05,1.779894e-05,1.819099e-05,1.957766e-05,1.963261e-05,2.093660e-05,2.141743e-05,2.225958e-05,2.313481e-05,2.353910e-05,2.476844e-05,2.594177e-05,2.630458e-05,2.705417e-05,2.773226e-05,2.810167e-05,2.904338e-05,2.908123e-05,2.999079e-05,3.023273e-05,3.082915e-05,3.129782e-05,3.159598e-05,3.223866e-05,3.229172e-05,3.291748e-05,3.305742e-05,3.347497e-05,3.375815e-05,3.396641e-05,3.434634e-05,3.439445e-05,3.476204e-05,3.482859e-05,3.507241e-05,3.521230e-05,3.532892e-05,3.550531e-05,3.553505e-05,3.569430e-05,3.571566e-05,3.581015e-05,3.585135e-05,3.588603e-05,3.592019e-05,3.592526e-05,3.593105e-05,3.592964e-05,3.590643e-05,3.588672e-05,3.585430e-05,3.579795e-05,3.577736e-05,3.567815e-05,3.566932e-05,3.555902e-05,3.550629e-05,3.542216e-05,3.531376e-05,3.526956e-05,3.510307e-05,3.509614e-05,3.492436e-05,3.485734e-05,3.473498e-05,3.460081e-05,3.453630e-05,3.432958e-05,3.411598e-05,3.404633e-05,3.389650e-05,3.375338e-05,3.367207e-05,3.345274e-05,3.344353e-05,3.321162e-05,3.314617e-05,3.297700e-05,3.283519e-05,3.274029e-05,3.252111e-05,3.250200e-05,3.226262e-05,3.220505e-05,3.202257e-05,3.188800e-05,3.178225e-05,3.157080e-05,3.154198e-05,3.130207e-05,3.125416e-05,3.106279e-05,3.093870e-05,3.082439e-05,3.062496e-05,3.058707e-05,3.035102e-05,3.031338e-05,3.011642e-05,3.000437e-05,2.988341e-05,2.969825e-05,2.965213e-05,2.942270e-05,2.939529e-05,2.919521e-05,2.909575e-05,2.896975e-05,2.879981e-05,2.874641e-05,2.852525e-05,2.850765e-05,2.830633e-05,2.821941e-05,2.808971e-05,2.793519e-05,2.787542e-05,2.766351e-05,2.765509e-05,2.745401e-05,2.737918e-05,2.724693e-05,2.710751e-05,2.704230e-05,2.684014e-05,2.657707e-05,2.631834e-05,2.606393e-05,2.581386e-05,2.556810e-05,2.532664e-05,2.508945e-05,2.485649e-05,2.462775e-05,2.440316e-05,2.418269e-05,2.396629e-05,2.375392e-05,2.354551e-05,2.334101e-05,2.314037e-05,2.294353e-05,2.275043e-05,2.256100e-05,2.237520e-05,2.219295e-05,2.201419e-05,2.183887e-05,2.166692e-05
0.000000e+00,1.212629e-09,2.865201e-09,1.016849e-08,2.342730e-08,3.430252e-08,7.801901e-08,8.036134e-08,1.545107e-07,1.810918e-07,2.624457e-07,3.456502e-07,4.094849e-07,5.835829e-07,6.006051e-07,8.403265e-07,9.055253e-07,1.132305e-06,1.319490e-06,1.478580e-06,1.828030e-06,1.878842e-06,2.330382e-06,2.426478e-06,2.828842e-06,3.104901e-06,3.369117e-06,3.851391e-06,3.945915e-06,4.553960e-06,4.653797e-06,5.188035e-06,5.500120e-06,5.842986e-06,6.378563e-06,6.513738e-06,7.195331e-06,7.277621e-06,7.882972e-06,8.186263e-06,8.572091e-06,9.094159e-06,9.258399e-06,9.937935e-06,9.991895e-06,1.060710e-05,1.087113e-05,1.126268e-05,1.172469e-05,1.190186e-05,1.252224e-05,1.254663e-05,1.312179e-05,1.333221e-05,1.369888e-05,1.407780e-05,1.425221e-05,1.478083e-05,1.528405e-05,1.543965e-05,1.576150e-05,1.605344e-05,1.621298e-05,1.662203e-05,1.663855e-05,1.703843e-05,1.714583e-05,1.741296e-05,1.762572e-05,1.776264e-05,1.806291e-05,1.808807e-05,1.838991e-05,1.845892e-05,1.866890e-05,1.881545e-05,1.892583e-05,1.913433e-05,1.916152e-05,1.937681e-05,1.941750e-05,1.957257e-05,1.966693e-05,1.974965e-05,1.988460e-05,1.990892e-05,2.005122e-05,2.007248e-05,2.017741e-05,2.023250e-05,2.028831e-05,2.036656e-05,2.038472e-05,2.046743e-05,2.047647e-05,2.053719e-05,2.056397e-05,2.059474e-05,2.063075e-05,2.064079e-05,2.067603e-05,2.067840e-05,2.070110e-05,2.070842e-05,2.071663e-05,2.072225e-05,2.072324e-05,2.072148e-05,2.072125e-05,2.071192e-05,2.070667e-05,2.069508e-05,2.067972e-05,2.067145e-05,2.064152e-05,2.060573e-05,2.059311e-05,2.056451e-05,2.053548e-05,2.051828e-05,2.046953e-05,2.046741e-05,2.041228e-05,2.039613e-05,2.035324e-05,2.031607e-05,2.029061e-05,2.023008e-05,2.022469e-05,2.015580e-05,2.013885e-05,2.008420e-05,2.004302e-05,2.001015e-05,1.994317e-05,1.993391e-05,1.985570e-05,1.983984e-05,1.977575e-05,1.973355e-05,1.969425e-05,1.962475e-05,1.961141e-05,1.952741e-05,1.951387e-05,1.944241e-05,1.940131e-05,1.935659e-05,1.928742e-05,1.927007e-05,1.918302e-05,1.917254e-05,1.909556e-05,1.905697e-05,1.900781e-05,1.894099e-05,1.891988e-05,1.883189e-05,1.882485e-05,1.874394e-05,1.870879e-05,1.865611e-05,1.859300e-05,1.856850e-05,1.848117e-05,1.847769e-05,1.839422e-05,1.836302e-05,1.830770e-05,1.824915e-05,1.822168e-05,1.813622e-05,1.802435e-05,1.791365e-05,1.780423e-05,1.769617e-05,1.758954e-05,1.748442e-05,1.738086e-05,1.727892e-05,1.717862e-05,1.708001e-05,1.698312e-05,1.688797e-05,1.679457e-05,1.670293e-05,1.661307e-05,1.652499e-05,1.643869e-05,1.635416e-05,1.627139e-05,1.619038e-05,1.611111e-05,1.603358e-05,1.595775e-05,1.588362e-05
0.000000e+00,1.694075e-11,9.729382e-11,1.070279e-09,4.520313e-09,8.394301e-09,2.937951e-08,3.067446e-08,7.709664e-08,9.561613e-08,1.563271e-07,2.230053e-07,2.764733e-07,4.297506e-07,4.452126e-07,6.698495e-07,7.328483e-07,9.571374e-07,1.147538e-06,1.312637e-06,1.684515e-06,1.739538e-06,2.237510e-06,2.345338e-06,2.802589e-06,3.120859e-06,3.428306e-06,3.995288e-06,4.107160e-06,4.831551e-06,4.951183e-06,5.594123e-06,5.971632e-06,6.387799e-06,7.040527e-06,7.205734e-06,8.041297e-06,8.142443e-06,8.888102e-06,9.262676e-06,9.740060e-06,1.038746e-05,1.059145e-05,1.143698e-05,1.150422e-05,1.227185e-05,1.260184e-05,1.309178e-05,1.367075e-05,1.389302e-05,1.467238e-05,1.470306e-05,1.542718e-05,1.569247e-05,1.615526e-05,1.663422e-05,1.685494e-05,1.752495e-05,1.816443e-05,1.836252e-05,1.877286e-05,1.914584e-05,1.935001e-05,1.987469e-05,1.989593e-05,2.041087e-05,2.054956e-05,2.089528e-05,2.117151e-05,2.134975e-05,2.174205e-05,2.177501e-05,2.217188e-05,2.226300e-05,2.254123e-05,2.273641e-05,2.288402e-05,2.316449e-05,2.320124e-05,2.349389e-05,2.354956e-05,2.376298e-05,2.389395e-05,2.400955e-05,2.420001e-05,2.423462e-05,2.443918e-05,2.447007e-05,2.462423e-05,2.470640e-05,2.479073e-05,2.491121e-05,2.493962e-05,2.507183e-05,2.508662e-05,2.518823e-05,2.523466e-05,2.528968e-05,2.535729e-05,2.537700e-05,2.545097e-05,2.545633e-05,2.551235e-05,2.553355e-05,2.556188e-05,2.559059e-05,2.560025e-05,2.562813e-05,2.562904e-05,2.564615e-05,2.565034e-05,2.565492e-05,2.565589e-05,2.565501e-05,2.564699e-05,2.563137e-05,2.562485e-05,2.560865e-05,2.559061e-05,2.557932e-05,2.554535e-05,2.554381e-05,2.550257e-05,2.549005e-05,2.545599e-05,2.542565e-05,2.540447e-05,2.535301e-05,2.534837e-05,2.528803e-05,2.527295e-05,2.522379e-05,2.518622e-05,2.515595e-05,2.509351e-05,2.508481e-05,2.501065e-05,2.499548e-05,2.493374e-05,2.489273e-05,2.485431e-05,2.478582e-05,2.477261e-05,2.468885e-05,2.467528e-05,2.460326e-05,2.456157e-05,2.451601e-05,2.444515e-05,2.442731e-05,2.433731e-05,2.432644e-05,2.424620e-05,2.420580e-05,2.415412e-05,2.408359e-05,2.406122e-05,2.396764e-05,2.396013e-05,2.387350e-05,2.383572e-05,2.377893e-05,2.371064e-05,2.368404e-05,2.358893e-05,2.358513e-05,2.349371e-05,2.345942e-05,2.339846e-05,2.333372e-05,2.330328e-05,2.320824e-05,2.308313e-05,2.295857e-05,2.283469e-05,2.271163e-05,2.258951e-05,2.246843e-05,2.234849e-05,2.222978e-05,2.211237e-05,2.199634e-05,2.188173e-05,2.176861e-05,2.165702e-05,2.154699e-05,2.143857e-05,2.133178e-05,2.122664e-05,2.112317e-05,2.102139e-05,2.092130e-05,2.082292e-05,2.072624e-05,2.063127e-05,2.053800e-05
0.000000e+00,2.095085e-14,1.761676e-13,4.034082e-12,3.108460e-11,7.823654e-11,5.550739e-10,5.951003e-10,2.718957e-09,3.907631e-09,9.023591e-09,1.661618e-08,2.407744e-08,5.162961e-08,5.488471e-08,1.111464e-07,1.297649e-07,2.053326e-07,2.801641e-07,3.525091e-07,5.394198e-07,5.697941e-07,8.753674e-07,9.486732e-07,1.287130e-06,1.548696e-06,1.821284e-06,2.374376e-06,2.491105e-06,3.306130e-06,3.450429e-06,4.271779e-06,4.789332e-06,5.389382e-06,6.391339e-06,6.656486e-06,8.067322e-06,8.245901e-06,9.613350e-06,1.033373e-05,1.128381e-05,1.262895e-05,1.306621e-05,1.494682e-05,1.510107e-05,1.691101e-05,1.771672e-05,1.894369e-05,2.044103e-05,2.102955e-05,2.315340e-05,2.323893e-05,2.530036e-05,2.607614e-05,2.745612e-05,2.892010e-05,2.960710e-05,3.174064e-05,3.384506e-05,3.451057e-05,3.590982e-05,3.720606e-05,3.792553e-05,3.980685e-05,3.988399e-05,4.177822e-05,4.229627e-05,4.360238e-05,4.466124e-05,4.535176e-05,4.689201e-05,4.702274e-05,4.861266e-05,4.898197e-05,5.011980e-05,5.092727e-05,5.154324e-05,5.272648e-05,5.288281e-05,5.413896e-05,5.438026e-05,5.531272e-05,5.589100e-05,5.640559e-05,5.726246e-05,5.741946e-05,5.835652e-05,5.849949e-05,5.921927e-05,5.960776e-05,6.001036e-05,6.059352e-05,6.073260e-05,6.138891e-05,6.146338e-05,6.198226e-05,6.222416e-05,6.251565e-05,6.288276e-05,6.299206e-05,6.341447e-05,6.344601e-05,6.378578e-05,6.392065e-05,6.410887e-05,6.431320e-05,6.438651e-05,6.462140e-05,6.462994e-05,6.481613e-05,6.487689e-05,6.497322e-05,6.505976e-05,6.509506e-05,6.518395e-05,6.524209e-05,6.525455e-05,6.527157e-05,6.527632e-05,6.527438e-05,6.525374e-05,6.525241e-05,6.520745e-05,6.519097e-05,6.514119e-05,6.509188e-05,6.505523e-05,6.496007e-05,6.495110e-05,6.483022e-05,6.479887e-05,6.469394e-05,6.461137e-05,6.454352e-05,6.440041e-05,6.438016e-05,6.420499e-05,6.416864e-05,6.401906e-05,6.391846e-05,6.382336e-05,6.365211e-05,6.361883e-05,6.340632e-05,6.337163e-05,6.318666e-05,6.307892e-05,6.296063e-05,6.277568e-05,6.272892e-05,6.249221e-05,6.246350e-05,6.225114e-05,6.214383e-05,6.200628e-05,6.181799e-05,6.175817e-05,6.150734e-05,6.148717e-05,6.125425e-05,6.115248e-05,6.099934e-05,6.081492e-05,6.074303e-05,6.048569e-05,6.047539e-05,6.022769e-05,6.013471e-05,5.996935e-05,5.979364e-05,5.971098e-05,5.945285e-05,5.911295e-05,5.877448e-05,5.843794e-05,5.810377e-05,5.777236e-05,5.744406e-05,5.711919e-05,5.679802e-05,5.648078e-05,5.616769e-05,5.585893e-05,5.555465e-05,5.525500e-05,5.496008e-05,5.466999e-05,5.438479e-05,5.410454e-05,5.382929e-05,5.355907e-05,5.329389e-05,5.303376e-05,5.277867e-05,5.252862e-05,5.228357e-05
0.000000e+00,1.799109e-09,4.329691e-09,1.568507e-08,3.656628e-08,5.384751e-08,1.243651e-07,1.281862e-07,2.511911e-07,2.962005e-07,4.367034e-07,5.842300e-07,6.995957e-07,1.020680e-06,1.052378e-06,1.499202e-06,1.619963e-06,2.034628e-06,2.369647e-06,2.649208e-06,3.248398e-06,3.334025e-06,4.081546e-06,4.237976e-06,4.885030e-06,5.322781e-06,5.737908e-06,6.487585e-06,6.633456e-06,7.564697e-06,7.716530e-06,8.524444e-06,8.993113e-06,9.505429e-06,1.030067e-05,1.050046e-05,1.150260e-05,1.162302e-05,1.250530e-05,1.294506e-05,1.350243e-05,1.425313e-05,1.448851e-05,1.545865e-05,1.553545e-05,1.640867e-05,1.678222e-05,1.733499e-05,1.798561e-05,1.823469e-05,1.910542e-05,1.913962e-05,1.994538e-05,2.023997e-05,2.075326e-05,2.128383e-05,2.152818e-05,2.226963e-05,2.297745e-05,2.319685e-05,2.365171e-05,2.406578e-05,2.429275e-05,2.487737e-05,2.490108e-05,2.547736e-05,2.563308e-05,2.602237e-05,2.633473e-05,2.653698e-05,2.698439e-05,2.702214e-05,2.747882e-05,2.758431e-05,2.790806e-05,2.813683e-05,2.831088e-05,2.864434e-05,2.868833e-05,2.904144e-05,2.910924e-05,2.937126e-05,2.953388e-05,2.967877e-05,2.992059e-05,2.996499e-05,3.023087e-05,3.027159e-05,3.047736e-05,3.058905e-05,3.070536e-05,3.087504e-05,3.091575e-05,3.110939e-05,3.113154e-05,3.128709e-05,3.136043e-05,3.144964e-05,3.156351e-05,3.159779e-05,3.173227e-05,3.174246e-05,3.185377e-05,3.189888e-05,3.196295e-05,3.203430e-05,3.206046e-05,3.214690e-05,3.215014e-05,3.222285e-05,3.224773e-05,3.228887e-05,3.232835e-05,3.234548e-05,3.239319e-05,3.243248e-05,3.244336e-05,3.246382e-05,3.247990e-05,3.248764e-05,3.250382e-05,3.250435e-05,3.251436e-05,3.251602e-05,3.251805e-05,3.251738e-05,3.251577e-05,3.250870e-05,3.250787e-05,3.249468e-05,3.249076e-05,3.247650e-05,3.246426e-05,3.245364e-05,3.242986e-05,3.242637e-05,3.239496e-05,3.238821e-05,3.235968e-05,3.233987e-05,3.232075e-05,3.228541e-05,3.227841e-05,3.223289e-05,3.222532e-05,3.218438e-05,3.216010e-05,3.213309e-05,3.209018e-05,3.207920e-05,3.202290e-05,3.201599e-05,3.196435e-05,3.193792e-05,3.190372e-05,3.185633e-05,3.184115e-05,3.177680e-05,3.177157e-05,3.171080e-05,3.168396e-05,3.164328e-05,3.159380e-05,3.157437e-05,3.150418e-05,3.150135e-05,3.143284e-05,3.140689e-05,3.136044e-05,3.131065e-05,3.128708e-05,3.121287e-05,3.111374e-05,3.101347e-05,3.091224e-05,3.081023e-05,3.070758e-05,3.060445e-05,3.050097e-05,3.039727e-05,3.029347e-05,3.018967e-05,3.008599e-05,2.998251e-05,2.987931e-05,2.977649e-05,2.967411e-05,2.957225e-05,2.947096e-05,2.937030e-05,2.927033e-05,2.917109e-05,2.907264e-05,2.897500e-05,2.887822e-05,2.878233e-05
0.000000e+00,8.331032e-10,2.943313e-09,1.603645e-08,4.512744e-08,7.127942e-08,1.868479e-07,1.933773e-07,4.126993e-07,4.964122e-07,7.665165e-07,1.061407e-06,1.298098e-06,1.974634e-06,2.042286e-06,2.999556e-06,3.257526e-06,4.135521e-06,4.834163e-06,5.409439e-06,6.619674e-06,6.790212e-06,8.255464e-06,8.557039e-06,9.787376e-06,1.060499e-05,1.137003e-05,1.272760e-05,1.298831e-05,1.462764e-05,1.489094e-05,1.627410e-05,1.706308e-05,1.791472e-05,1.921505e-05,1.953772e-05,2.113270e-05,2.132177e-05,2.269075e-05,2.336265e-05,2.420452e-05,2.532164e-05,2.566803e-05,2.707670e-05,2.718691e-05,2.842718e-05,2.895054e-05,2.971722e-05,3.060784e-05,3.094549e-05,3.211148e-05,3.215683e-05,3.321533e-05,3.359762e-05,3.425771e-05,3.493196e-05,3.523972e-05,3.616279e-05,3.702860e-05,3.729387e-05,3.783903e-05,3.832956e-05,3.859608e-05,3.927454e-05,3.930182e-05,3.995838e-05,4.013370e-05,4.056792e-05,4.091195e-05,4.113256e-05,4.161418e-05,4.165440e-05,4.213554e-05,4.224518e-05,4.257797e-05,4.280957e-05,4.298367e-05,4.331181e-05,4.335454e-05,4.369241e-05,4.375618e-05,4.399904e-05,4.414671e-05,4.427613e-05,4.448726e-05,4.452532e-05,4.474815e-05,4.478146e-05,4.494612e-05,4.503273e-05,4.512064e-05,4.524429e-05,4.527307e-05,4.540471e-05,4.541917e-05,4.551679e-05,4.556021e-05,4.561047e-05,4.567006e-05,4.568688e-05,4.574706e-05,4.575120e-05,4.579203e-05,4.580597e-05,4.582274e-05,4.583653e-05,4.584009e-05,4.584495e-05,4.584490e-05,4.583813e-05,4.583297e-05,4.582041e-05,4.580250e-05,4.579250e-05,4.575512e-05,4.570890e-05,4.569235e-05,4.565448e-05,4.561562e-05,4.559245e-05,4.552624e-05,4.552334e-05,4.544771e-05,4.542542e-05,4.536602e-05,4.531431e-05,4.527877e-05,4.519395e-05,4.518638e-05,4.508929e-05,4.506533e-05,4.498788e-05,4.492934e-05,4.488252e-05,4.478682e-05,4.477357e-05,4.466135e-05,4.463855e-05,4.454619e-05,4.448524e-05,4.442837e-05,4.432755e-05,4.430817e-05,4.418586e-05,4.416611e-05,4.406167e-05,4.400146e-05,4.393584e-05,4.383414e-05,4.380858e-05,4.368010e-05,4.366461e-05,4.355060e-05,4.349334e-05,4.342024e-05,4.332071e-05,4.328921e-05,4.315765e-05,4.314710e-05,4.302571e-05,4.297287e-05,4.289354e-05,4.279831e-05,4.276127e-05,4.262900e-05,4.262372e-05,4.249687e-05,4.244936e-05,4.236497e-05,4.227547e-05,4.223341e-05,4.210227e-05,4.192996e-05,4.175872e-05,4.158871e-05,4.142008e-05,4.125297e-05,4.108749e-05,4.092376e-05,4.076186e-05,4.060188e-05,4.044391e-05,4.028799e-05,4.013420e-05,3.998257e-05,3.983315e-05,3.968598e-05,3.954108e-05,3.939848e-05,3.925820e-05,3.912024e-05,3.898462e-05,3.885134e-05,3.872040e-05,3.859180e-05,3.846553e-05
0.000000e+00,7.033226e-16,6.294423e-15,1.643472e-13,1.429544e-12,3.848038e-12,3.254104e-11,3.513969e-11,1.916290e-10,2.890853e-10,7.545242e-10,1.534868e-09,2.373722e-09,5.889211e-09,6.338758e-09,1.493984e-08,1.807192e-08,3.191706e-08,4.711667e-08,6.298972e-08,1.085048e-07,1.164492e-07,2.037857e-07,2.265915e-07,3.403044e-07,4.370727e-07,5.456706e-07,7.891185e-07,8.443256e-07,1.265721e-06,1.346769e-06,1.844336e-06,2.189281e-06,2.619470e-06,3.410298e-06,3.634812e-06,4.937803e-06,5.115860e-06,6.578834e-06,7.421433e-06,8.610304e-06,1.044818e-05,1.108558e-05,1.405791e-05,1.431874e-05,1.757931e-05,1.915284e-05,2.169949e-05,2.506300e-05,2.646485e-05,3.191747e-05,3.215041e-05,3.809432e-05,4.050147e-05,4.502655e-05,5.018481e-05,5.273884e-05,6.124903e-05,7.056777e-05,7.372129e-05,8.069839e-05,8.760650e-05,9.163686e-05,1.028874e-04,1.033719e-04,1.158851e-04,1.195251e-04,1.291516e-04,1.374603e-04,1.431400e-04,1.566152e-04,1.578133e-04,1.731290e-04,1.768953e-04,1.890404e-04,1.981920e-04,2.054963e-04,2.203850e-04,2.224426e-04,2.398223e-04,2.433450e-04,2.575763e-04,2.669364e-04,2.756444e-04,2.910196e-04,2.939654e-04,3.124779e-04,3.154536e-04,3.311211e-04,3.400985e-04,3.498348e-04,3.648171e-04,3.685604e-04,3.872409e-04,3.894769e-04,4.058214e-04,4.139515e-04,4.242495e-04,4.381222e-04,4.424755e-04,4.604526e-04,4.618787e-04,4.781371e-04,4.851199e-04,4.954886e-04,5.077545e-04,5.124699e-04,5.290472e-04,5.297015e-04,5.451902e-04,5.508900e-04,5.608717e-04,5.712594e-04,5.760682e-04,5.907592e-04,6.049274e-04,6.093484e-04,6.185586e-04,6.269955e-04,6.316416e-04,6.436776e-04,6.441678e-04,6.561316e-04,6.593801e-04,6.675294e-04,6.740960e-04,6.783604e-04,6.878252e-04,6.886257e-04,6.983285e-04,7.005740e-04,7.074739e-04,7.123543e-04,7.160686e-04,7.231828e-04,7.241208e-04,7.316400e-04,7.330808e-04,7.386371e-04,7.420731e-04,7.451239e-04,7.501877e-04,7.511131e-04,7.566183e-04,7.574551e-04,7.616537e-04,7.639081e-04,7.662341e-04,7.695810e-04,7.703746e-04,7.740910e-04,7.745092e-04,7.773988e-04,7.787290e-04,7.803141e-04,7.822771e-04,7.828529e-04,7.850312e-04,7.851904e-04,7.868649e-04,7.875055e-04,7.883699e-04,7.892586e-04,7.895616e-04,7.904557e-04,7.904855e-04,7.910672e-04,7.912210e-04,7.914109e-04,7.914990e-04,7.915013e-04,7.913526e-04,7.908134e-04,7.899120e-04,7.886776e-04,7.871383e-04,7.853206e-04,7.832498e-04,7.809499e-04,7.784434e-04,7.757517e-04,7.728948e-04,7.698913e-04,7.667589e-04,7.635139e-04,7.601716e-04,7.567461e-04,7.532506e-04,7.496974e-04,7.460977e-04,7.424620e-04,7.387997e-04,7.351197e-04,7.314300e-04,7.277380e-04,7.240504e-04
0.000000e+00,2.158866e-15,1.931107e-14,5.036432e-13,4.377288e-12,1.177894e-11,9.958241e-11,1.075360e-10,5.869684e-10,8.859250e-10,2.316535e-09,4.722462e-09,7.316185e-09,1.824015e-08,1.964176e-08,4.658559e-08,5.643961e-08,1.001537e-07,1.483136e-07,1.986987e-07,3.433082e-07,3.685425e-07,6.454220e-07,7.175202e-07,1.075628e-06,1.378584e-06,1.716740e-06,2.468508e-06,2.637898e-06,3.919599e-06,4.164080e-06,5.653007e-06,6.674733e-06,7.938824e-06,1.023804e-05,1.088576e-05,1.460867e-05,1.511318e-05,1.922641e-05,2.157275e-05,2.485953e-05,2.989364e-05,3.162790e-05,3.964827e-05,4.034736e-05,4.903191e-05,5.319059e-05,5.988242e-05,6.865622e-05,7.229369e-05,8.634813e-05,8.694552e-05,1.021152e-04,1.082217e-04,1.196501e-04,1.326049e-04,1.389932e-04,1.601690e-04,1.831864e-04,1.909401e-04,2.080383e-04,2.248966e-04,2.347024e-04,2.619702e-04,2.631412e-04,2.933034e-04,3.020491e-04,3.251244e-04,3.449818e-04,3.585275e-04,3.905809e-04,3.934255e-04,4.297214e-04,4.386289e-04,4.673102e-04,4.888832e-04,5.060801e-04,5.410816e-04,5.459139e-04,5.866904e-04,5.949480e-04,6.282857e-04,6.501972e-04,6.705743e-04,7.065404e-04,7.134303e-04,7.567287e-04,7.636892e-04,8.003460e-04,8.213601e-04,8.441616e-04,8.792777e-04,8.880580e-04,9.319219e-04,9.371782e-04,9.756447e-04,9.948112e-04,1.019123e-03,1.051943e-03,1.062259e-03,1.104960e-03,1.108355e-03,1.147141e-03,1.163850e-03,1.188722e-03,1.218248e-03,1.229630e-03,1.269798e-03,1.271388e-03,1.309165e-03,1.323130e-03,1.347676e-03,1.373351e-03,1.385285e-03,1.421948e-03,1.457629e-03,1.468835e-03,1.492297e-03,1.513942e-03,1.525928e-03,1.557217e-03,1.558499e-03,1.589996e-03,1.598621e-03,1.620407e-03,1.638129e-03,1.649725e-03,1.675729e-03,1.677947e-03,1.705072e-03,1.711420e-03,1.731106e-03,1.745210e-03,1.756054e-03,1.777118e-03,1.779926e-03,1.802735e-03,1.807170e-03,1.824494e-03,1.835399e-03,1.845220e-03,1.861845e-03,1.864931e-03,1.883647e-03,1.886550e-03,1.901389e-03,1.909565e-03,1.918178e-03,1.930940e-03,1.934039e-03,1.948996e-03,1.950731e-03,1.963072e-03,1.968994e-03,1.976294e-03,1.985786e-03,1.988686e-03,2.000275e-03,2.001168e-03,2.011086e-03,2.015199e-03,2.021146e-03,2.027938e-03,2.030480e-03,2.039114e-03,2.039446e-03,2.047074e-03,2.049780e-03,2.054386e-03,2.058999e-03,2.061073e-03,2.067160e-03,2.074319e-03,2.080529e-03,2.085843e-03,2.090313e-03,2.093986e-03,2.096911e-03,2.099133e-03,2.100696e-03,2.101641e-03,2.102009e-03,2.101839e-03,2.101166e-03,2.100025e-03,2.098450e-03,2.096471e-03,2.094118e-03,2.091420e-03,2.088403e-03,2.085092e-03,2.081510e-03,2.077681e-03,2.073626e-03,2.069364e-03,2.064914e-03
0.000000e+00,5.792368e-10,2.063233e-09,1.133680e-08,3.194802e-08,5.040049e-08,1.308366e-07,1.353265e-07,2.829968e-07,3.378899e-07,5.103875e-07,6.922774e-07,8.347378e-07,1.232436e-06,1.271839e-06,1.830944e-06,1.983227e-06,2.508994e-06,2.935591e-06,3.291740e-06,4.052695e-06,4.160985e-06,5.099583e-06,5.294262e-06,6.092394e-06,6.625507e-06,7.125774e-06,8.015918e-06,8.187119e-06,9.264717e-06,9.437908e-06,1.034780e-05,1.086674e-05,1.142667e-05,1.228096e-05,1.249280e-05,1.353887e-05,1.366276e-05,1.455884e-05,1.499805e-05,1.554780e-05,1.627628e-05,1.650194e-05,1.741843e-05,1.749006e-05,1.829531e-05,1.863466e-05,1.913133e-05,1.970759e-05,1.992587e-05,2.067881e-05,2.070806e-05,2.139044e-05,2.163662e-05,2.206137e-05,2.249479e-05,2.269246e-05,2.328477e-05,2.383948e-05,2.400926e-05,2.435789e-05,2.467124e-05,2.484134e-05,2.527387e-05,2.529124e-05,2.570900e-05,2.582041e-05,2.609605e-05,2.631412e-05,2.645378e-05,2.675820e-05,2.678359e-05,2.708684e-05,2.715581e-05,2.736484e-05,2.750997e-05,2.761888e-05,2.782359e-05,2.785019e-05,2.805999e-05,2.809947e-05,2.824941e-05,2.834023e-05,2.841958e-05,2.854842e-05,2.857155e-05,2.870635e-05,2.872639e-05,2.882495e-05,2.887640e-05,2.892829e-05,2.900057e-05,2.901725e-05,2.909269e-05,2.910088e-05,2.915542e-05,2.917920e-05,2.920621e-05,2.923729e-05,2.924580e-05,2.927489e-05,2.927678e-05,2.929414e-05,2.929923e-05,2.930418e-05,2.930605e-05,2.930562e-05,2.929903e-05,2.929861e-05,2.928494e-05,2.927814e-05,2.926388e-05,2.924581e-05,2.923631e-05,2.920272e-05,2.916353e-05,2.914988e-05,2.911916e-05,2.908822e-05,2.906999e-05,2.901862e-05,2.901640e-05,2.895874e-05,2.894191e-05,2.889733e-05,2.885882e-05,2.883249e-05,2.877006e-05,2.876452e-05,2.869368e-05,2.867629e-05,2.862025e-05,2.857809e-05,2.854447e-05,2.847602e-05,2.846657e-05,2.838677e-05,2.837060e-05,2.830528e-05,2.826230e-05,2.822229e-05,2.815156e-05,2.813799e-05,2.805254e-05,2.803877e-05,2.796611e-05,2.792431e-05,2.787884e-05,2.780853e-05,2.779089e-05,2.770238e-05,2.769173e-05,2.761344e-05,2.757419e-05,2.752418e-05,2.745620e-05,2.743471e-05,2.734514e-05,2.733797e-05,2.725555e-05,2.721974e-05,2.716605e-05,2.710170e-05,2.707670e-05,2.698760e-05,2.698404e-05,2.689880e-05,2.686692e-05,2.681037e-05,2.675049e-05,2.672239e-05,2.663489e-05,2.652024e-05,2.640666e-05,2.629423e-05,2.618304e-05,2.607318e-05,2.596471e-05,2.585770e-05,2.575219e-05,2.564823e-05,2.554586e-05,2.544511e-05,2.534601e-05,2.524859e-05,2.515285e-05,2.505881e-05,2.496649e-05,2.487588e-05,2.478698e-05,2.469980e-05,2.461434e-05,2.453058e-05,2.444852e-05,2.436814e-05,2.428944e-05
0.000000e+00,1.733269e-14,1.469173e-13,3.430138e-12,2.702781e-11,6.905205e-11,5.155613e-10,5.541379e-10,2.729286e-09,4.022787e-09,9.992103e-09,1.968997e-08,2.991073e-08,7.145247e-08,7.664605e-08,1.720053e-07,2.051220e-07,3.435487e-07,4.837543e-07,6.201555e-07,9.705692e-07,1.026910e-06,1.581091e-06,1.710452e-06,2.290129e-06,2.719564e-06,3.151532e-06,3.984989e-06,4.154265e-06,5.280880e-06,5.471234e-06,6.509848e-06,7.129235e-06,7.817671e-06,8.904715e-06,9.180591e-06,1.057583e-05,1.074441e-05,1.198239e-05,1.259994e-05,1.338152e-05,1.442977e-05,1.475691e-05,1.609473e-05,1.619978e-05,1.738355e-05,1.788323e-05,1.861420e-05,1.946022e-05,1.977964e-05,2.087473e-05,2.091702e-05,2.189611e-05,2.224536e-05,2.284192e-05,2.344162e-05,2.371170e-05,2.450615e-05,2.522694e-05,2.544243e-05,2.587656e-05,2.625639e-05,2.645813e-05,2.695572e-05,2.697522e-05,2.743175e-05,2.754928e-05,2.783181e-05,2.804649e-05,2.817960e-05,2.845697e-05,2.847927e-05,2.873492e-05,2.879017e-05,2.895047e-05,2.905507e-05,2.912966e-05,2.926005e-05,2.927599e-05,2.939272e-05,2.941279e-05,2.948288e-05,2.952017e-05,2.954920e-05,2.958833e-05,2.959419e-05,2.962012e-05,2.962264e-05,2.962903e-05,2.962780e-05,2.962273e-05,2.960785e-05,2.960287e-05,2.957089e-05,2.956630e-05,2.952809e-05,2.950613e-05,2.947563e-05,2.942992e-05,2.941452e-05,2.934568e-05,2.933986e-05,2.926992e-05,2.923784e-05,2.918796e-05,2.912547e-05,2.910043e-05,2.900793e-05,2.900413e-05,2.891096e-05,2.887505e-05,2.880998e-05,2.873925e-05,2.870542e-05,2.859764e-05,2.848699e-05,2.845103e-05,2.837378e-05,2.830010e-05,2.825828e-05,2.814549e-05,2.814076e-05,2.802145e-05,2.798775e-05,2.790056e-05,2.782737e-05,2.777831e-05,2.766478e-05,2.765487e-05,2.753041e-05,2.750040e-05,2.740508e-05,2.733457e-05,2.727903e-05,2.716762e-05,2.715239e-05,2.702529e-05,2.699982e-05,2.689784e-05,2.683146e-05,2.677014e-05,2.666277e-05,2.664231e-05,2.651442e-05,2.649396e-05,2.638657e-05,2.632524e-05,2.625884e-05,2.615679e-05,2.613130e-05,2.600402e-05,2.598877e-05,2.587707e-05,2.582133e-05,2.575051e-05,2.565461e-05,2.562439e-05,2.549876e-05,2.548874e-05,2.537369e-05,2.532382e-05,2.524919e-05,2.515995e-05,2.512534e-05,2.500215e-05,2.499724e-05,2.487967e-05,2.483575e-05,2.475793e-05,2.467558e-05,2.463696e-05,2.451678e-05,2.435943e-05,2.420356e-05,2.404924e-05,2.389649e-05,2.374538e-05,2.359592e-05,2.344814e-05,2.330207e-05,2.315774e-05,2.301515e-05,2.287433e-05,2.273529e-05,2.259803e-05,2.246256e-05,2.232889e-05,2.219701e-05,2.206693e-05,2.193865e-05,2.181215e-05,2.168745e-05,2.156452e-05,2.144336e-05,2.132397e-05,2.120633e-05
0.000000e+00,1.006356e-15,9.041907e-15,2.380661e-13,2.088235e-12,5.649008e-12,4.845869e-11,5.236173e-11,2.904662e-10,4.404878e-10,1.166442e-09,2.404328e-09,3.753401e-09,9.530279e-09,1.027934e-08,2.489074e-08,3.030788e-08,5.464550e-08,8.186802e-08,1.106719e-07,1.946008e-07,2.093936e-07,3.737173e-07,4.169904e-07,6.340906e-07,8.199863e-07,1.029362e-06,1.500380e-06,1.607391e-06,2.425379e-06,2.582843e-06,3.549891e-06,4.220417e-06,5.056590e-06,6.593434e-06,7.029667e-06,9.561001e-06,9.906892e-06,1.274907e-05,1.438647e-05,1.669767e-05,2.027337e-05,2.151442e-05,2.730920e-05,2.781835e-05,3.419247e-05,3.727512e-05,4.227356e-05,4.889358e-05,5.165897e-05,6.245077e-05,6.291308e-05,7.474501e-05,7.955605e-05,8.863030e-05,9.902226e-05,1.041865e-04,1.214838e-04,1.405814e-04,1.470809e-04,1.615271e-04,1.759193e-04,1.843567e-04,2.080673e-04,2.090936e-04,2.357487e-04,2.435559e-04,2.643201e-04,2.823775e-04,2.947940e-04,3.244878e-04,3.271441e-04,3.613328e-04,3.698066e-04,3.973117e-04,4.182202e-04,4.350217e-04,4.695844e-04,4.743945e-04,5.153531e-04,5.237278e-04,5.578128e-04,5.804548e-04,6.016818e-04,6.395496e-04,6.468625e-04,6.932525e-04,7.007800e-04,7.407450e-04,7.639008e-04,7.892302e-04,8.286580e-04,8.385962e-04,8.887295e-04,8.947916e-04,9.395159e-04,9.620395e-04,9.908416e-04,1.030140e-03,1.042593e-03,1.094660e-03,1.098835e-03,1.146931e-03,1.167873e-03,1.199300e-03,1.237009e-03,1.251664e-03,1.303921e-03,1.306008e-03,1.355976e-03,1.374648e-03,1.407735e-03,1.442718e-03,1.459112e-03,1.510022e-03,1.560387e-03,1.576376e-03,1.610133e-03,1.641614e-03,1.659192e-03,1.705583e-03,1.707500e-03,1.754998e-03,1.768145e-03,1.801632e-03,1.829177e-03,1.847353e-03,1.888572e-03,1.892117e-03,1.935884e-03,1.946236e-03,1.978620e-03,2.002089e-03,2.020293e-03,2.056066e-03,2.060878e-03,2.100353e-03,2.108113e-03,2.138698e-03,2.158187e-03,2.175901e-03,2.206260e-03,2.211949e-03,2.246836e-03,2.252310e-03,2.280557e-03,2.296328e-03,2.313110e-03,2.338312e-03,2.344496e-03,2.374721e-03,2.378270e-03,2.403789e-03,2.416214e-03,2.431709e-03,2.452167e-03,2.458492e-03,2.484151e-03,2.486156e-03,2.508699e-03,2.518211e-03,2.532153e-03,2.548371e-03,2.554528e-03,2.575845e-03,2.576675e-03,2.596121e-03,2.603170e-03,2.615378e-03,2.627901e-03,2.633637e-03,2.650919e-03,2.672275e-03,2.692023e-03,2.710216e-03,2.726910e-03,2.742162e-03,2.756025e-03,2.768557e-03,2.779812e-03,2.789846e-03,2.798713e-03,2.806466e-03,2.813157e-03,2.818838e-03,2.823558e-03,2.827366e-03,2.830311e-03,2.832436e-03,2.833788e-03,2.834410e-03,2.834342e-03,2.833625e-03,2.832297e-03,2.830396e-03,2.827958e-03
0.000000e+00,9.625580e-16,8.539095e-15,2.188795e-13,1.873758e-12,5.002348e-12,4.151420e-11,4.479939e-11,2.410676e-10,3.627687e-10,9.434288e-10,1.919288e-09,2.972888e-09,7.432007e-09,8.006349e-09,1.911127e-08,2.319358e-08,4.137217e-08,6.145975e-08,8.249009e-08,1.427456e-07,1.532333e-07,2.676602e-07,2.972566e-07,4.430886e-07,5.650535e-07,6.998265e-07,9.949657e-07,1.060706e-06,1.550467e-06,1.642511e-06,2.195040e-06,2.567171e-06,3.020792e-06,3.829360e-06,4.053746e-06,5.318839e-06,5.487372e-06,6.839224e-06,7.594515e-06,8.635642e-06,1.019660e-05,1.072588e-05,1.312434e-05,1.332988e-05,1.584167e-05,1.701952e-05,1.888455e-05,2.127860e-05,2.225554e-05,2.595307e-05,2.610769e-05,2.997146e-05,3.149490e-05,3.430112e-05,3.741643e-05,3.892873e-05,4.383753e-05,4.900770e-05,5.071374e-05,5.441670e-05,5.799243e-05,6.003972e-05,6.561443e-05,6.585009e-05,7.181970e-05,7.351579e-05,7.791949e-05,8.162951e-05,8.411979e-05,8.988724e-05,9.039082e-05,9.670300e-05,9.822081e-05,1.030273e-04,1.065636e-04,1.093355e-04,1.148519e-04,1.156005e-04,1.217967e-04,1.230255e-04,1.279000e-04,1.310294e-04,1.338879e-04,1.388135e-04,1.397399e-04,1.454372e-04,1.463333e-04,1.509632e-04,1.535504e-04,1.563030e-04,1.604322e-04,1.614439e-04,1.663751e-04,1.669523e-04,1.710876e-04,1.730899e-04,1.755742e-04,1.788296e-04,1.798295e-04,1.838498e-04,1.841612e-04,1.876328e-04,1.890793e-04,1.911776e-04,1.935826e-04,1.944847e-04,1.975558e-04,1.976738e-04,2.003937e-04,2.013590e-04,2.030021e-04,2.046470e-04,2.053855e-04,2.075493e-04,2.094994e-04,2.100794e-04,2.112423e-04,2.122523e-04,2.127850e-04,2.140843e-04,2.141347e-04,2.152991e-04,2.155929e-04,2.162858e-04,2.167960e-04,2.171030e-04,2.177118e-04,2.177585e-04,2.182604e-04,2.183589e-04,2.186167e-04,2.187556e-04,2.188353e-04,2.189200e-04,2.189241e-04,2.188907e-04,2.188701e-04,2.187427e-04,2.186229e-04,2.184874e-04,2.181952e-04,2.181318e-04,2.176830e-04,2.176029e-04,2.171473e-04,2.168612e-04,2.165312e-04,2.159847e-04,2.158410e-04,2.150823e-04,2.149869e-04,2.142608e-04,2.138808e-04,2.133819e-04,2.126786e-04,2.124506e-04,2.114717e-04,2.113915e-04,2.104498e-04,2.100300e-04,2.093893e-04,2.086041e-04,2.082942e-04,2.071683e-04,2.071226e-04,2.060152e-04,2.055940e-04,2.048382e-04,2.040260e-04,2.036407e-04,2.024255e-04,2.007990e-04,1.991524e-04,1.974911e-04,1.958199e-04,1.941432e-04,1.924650e-04,1.907887e-04,1.891177e-04,1.874548e-04,1.858024e-04,1.841629e-04,1.825383e-04,1.809302e-04,1.793402e-04,1.777697e-04,1.762197e-04,1.746912e-04,1.731851e-04,1.717020e-04,1.702425e-04,1.688070e-04,1.673959e-04,1.660094e-04,1.646477e-04
0.000000e+00,1.508542e-09,3.472521e-09,1.196365e-08,2.714431e-08,3.950770e-08,8.894125e-08,9.158561e-08,1.753957e-07,2.055449e-07,2.983247e-07,3.940851e-07,4.681466e-07,6.723375e-07,6.924347e-07,9.763795e-07,1.053509e-06,1.319637e-06,1.535516e-06,1.715701e-06,2.100353e-06,2.155037e-06,2.628299e-06,2.726292e-06,3.127453e-06,3.394933e-06,3.645639e-06,4.091170e-06,4.176792e-06,4.715370e-06,4.801882e-06,5.256221e-06,5.515220e-06,5.794568e-06,6.220482e-06,6.326027e-06,6.846653e-06,6.908230e-06,7.352981e-06,7.570455e-06,7.842053e-06,8.200685e-06,8.311427e-06,8.759170e-06,8.794009e-06,9.183833e-06,9.346997e-06,9.584413e-06,9.857568e-06,9.960313e-06,1.031129e-05,1.032481e-05,1.063741e-05,1.074879e-05,1.093901e-05,1.113034e-05,1.121660e-05,1.147087e-05,1.170266e-05,1.177223e-05,1.191287e-05,1.203654e-05,1.210250e-05,1.226612e-05,1.227256e-05,1.242411e-05,1.246337e-05,1.255820e-05,1.263071e-05,1.267587e-05,1.277051e-05,1.277815e-05,1.286603e-05,1.288509e-05,1.294048e-05,1.297666e-05,1.300244e-05,1.304732e-05,1.305278e-05,1.309234e-05,1.309903e-05,1.312193e-05,1.313362e-05,1.314229e-05,1.315280e-05,1.315415e-05,1.315817e-05,1.315813e-05,1.315498e-05,1.315106e-05,1.314517e-05,1.313293e-05,1.312929e-05,1.310786e-05,1.310494e-05,1.308135e-05,1.306820e-05,1.305022e-05,1.302374e-05,1.301489e-05,1.297575e-05,1.297247e-05,1.293316e-05,1.291524e-05,1.288746e-05,1.285281e-05,1.283897e-05,1.278796e-05,1.278587e-05,1.273472e-05,1.271506e-05,1.267950e-05,1.264093e-05,1.262253e-05,1.256401e-05,1.250416e-05,1.248476e-05,1.244316e-05,1.240359e-05,1.238117e-05,1.232089e-05,1.231836e-05,1.225487e-05,1.223699e-05,1.219083e-05,1.215220e-05,1.212637e-05,1.206679e-05,1.206160e-05,1.199662e-05,1.198101e-05,1.193153e-05,1.189507e-05,1.186643e-05,1.180918e-05,1.180138e-05,1.173647e-05,1.172351e-05,1.167176e-05,1.163821e-05,1.160732e-05,1.155343e-05,1.154319e-05,1.147944e-05,1.146928e-05,1.141611e-05,1.138587e-05,1.135323e-05,1.130329e-05,1.129086e-05,1.122902e-05,1.122163e-05,1.116774e-05,1.114096e-05,1.110705e-05,1.106134e-05,1.104698e-05,1.098755e-05,1.098283e-05,1.092878e-05,1.090546e-05,1.087068e-05,1.082928e-05,1.081327e-05,1.075657e-05,1.075431e-05,1.070057e-05,1.068059e-05,1.064530e-05,1.060813e-05,1.059076e-05,1.053695e-05,1.046705e-05,1.039845e-05,1.033115e-05,1.026515e-05,1.020045e-05,1.013704e-05,1.007491e-05,1.001407e-05,9.954484e-06,9.896156e-06,9.839069e-06,9.783208e-06,9.728558e-06,9.675101e-06,9.622822e-06,9.571701e-06,9.521721e-06,9.472864e-06,9.425108e-06,9.378437e-06,9.332829e-06,9.288264e-06,9.244724e-06,9.202188e-06
0.000000e+00,1.443526e-09,5.106215e-09,2.789543e-08,7.867682e-08,1.244054e-07,3.267830e-07,3.382225e-07,7.224359e-07,8.690263e-07,1.341884e-06,1.858585e-06,2.274474e-06,3.475274e-06,3.596683e-06,5.346309e-06,5.828012e-06,7.496219e-06,8.850039e-06,9.978430e-06,1.238222e-05,1.272355e-05,1.567620e-05,1.628770e-05,1.879348e-05,2.046760e-05,2.204005e-05,2.484418e-05,2.538471e-05,2.879872e-05,2.934957e-05,3.225514e-05,3.392184e-05,3.572885e-05,3.850465e-05,3.919671e-05,4.263784e-05,4.304807e-05,4.603374e-05,4.750940e-05,4.936843e-05,5.185344e-05,5.262838e-05,5.580242e-05,5.605235e-05,5.888165e-05,6.008517e-05,6.185911e-05,6.393691e-05,6.472965e-05,6.748969e-05,6.759776e-05,7.013695e-05,7.106211e-05,7.267032e-05,7.432781e-05,7.508959e-05,7.739536e-05,7.958887e-05,8.026736e-05,8.167185e-05,8.294793e-05,8.364645e-05,8.544236e-05,8.551511e-05,8.728055e-05,8.775676e-05,8.894563e-05,8.989777e-05,9.051338e-05,9.187238e-05,9.198687e-05,9.336924e-05,9.368781e-05,9.466368e-05,9.535133e-05,9.587334e-05,9.687021e-05,9.700137e-05,9.805090e-05,9.825166e-05,9.902501e-05,9.950274e-05,9.992671e-05,1.006304e-04,1.007590e-04,1.015247e-04,1.016412e-04,1.022267e-04,1.025418e-04,1.028678e-04,1.033385e-04,1.034505e-04,1.039776e-04,1.040373e-04,1.044516e-04,1.046440e-04,1.048749e-04,1.051641e-04,1.052498e-04,1.055787e-04,1.056031e-04,1.058638e-04,1.059661e-04,1.061073e-04,1.062579e-04,1.063111e-04,1.064772e-04,1.064831e-04,1.066077e-04,1.066463e-04,1.067043e-04,1.067516e-04,1.067689e-04,1.068031e-04,1.068085e-04,1.068045e-04,1.067868e-04,1.067594e-04,1.067395e-04,1.066713e-04,1.066680e-04,1.065738e-04,1.065435e-04,1.064581e-04,1.063789e-04,1.063222e-04,1.061805e-04,1.061674e-04,1.059949e-04,1.059510e-04,1.058058e-04,1.056930e-04,1.056011e-04,1.054090e-04,1.053820e-04,1.051493e-04,1.051012e-04,1.049040e-04,1.047718e-04,1.046471e-04,1.044229e-04,1.043794e-04,1.041017e-04,1.040563e-04,1.038147e-04,1.036739e-04,1.035193e-04,1.032774e-04,1.032162e-04,1.029059e-04,1.028683e-04,1.025893e-04,1.024480e-04,1.022668e-04,1.020182e-04,1.019391e-04,1.016067e-04,1.015799e-04,1.012701e-04,1.011344e-04,1.009299e-04,1.006829e-04,1.005865e-04,1.002404e-04,1.002265e-04,9.989197e-05,9.976605e-05,9.954165e-05,9.930255e-05,9.918982e-05,9.883683e-05,9.836970e-05,9.790188e-05,9.743407e-05,9.696688e-05,9.650091e-05,9.603670e-05,9.557472e-05,9.511545e-05,9.465928e-05,9.420661e-05,9.375778e-05,9.331309e-05,9.287284e-05,9.243729e-05,9.200666e-05,9.158116e-05,9.116098e-05,9.074627e-05,9.033719e-05,8.993386e-05,8.953637e-05,8.914482e-05,8.875929e-05,8.837984e-05
0.000000e+00,4.923537e-09,1.333871e-08,5.455219e-08,1.343467e-07,2.018538e-07,4.828276e-07,4.982032e-07,9.976257e-07,1.181955e-06,1.761346e-06,2.375670e-06,2.860580e-06,4.235561e-06,4.373633e-06,6.370416e-06,6.926347e-06,8.881934e-06,1.050359e-05,1.187552e-05,1.484214e-05,1.526677e-05,1.895685e-05,1.972275e-05,2.285888e-05,2.494824e-05,2.690415e-05,3.037319e-05,3.103887e-05,3.521954e-05,3.589019e-05,3.940955e-05,4.141461e-05,4.357721e-05,4.687646e-05,4.769474e-05,5.173777e-05,5.221690e-05,5.568525e-05,5.738714e-05,5.951926e-05,6.234801e-05,6.322500e-05,6.679060e-05,6.706950e-05,7.020692e-05,7.153009e-05,7.346736e-05,7.571587e-05,7.656764e-05,7.950550e-05,7.961963e-05,8.228041e-05,8.323962e-05,8.489328e-05,8.657852e-05,8.734625e-05,8.964246e-05,9.178583e-05,9.244016e-05,9.378088e-05,9.498216e-05,9.563260e-05,9.728030e-05,9.734627e-05,9.892741e-05,9.934715e-05,1.003817e-04,1.011957e-04,1.017147e-04,1.028389e-04,1.029322e-04,1.040398e-04,1.042899e-04,1.050430e-04,1.055612e-04,1.059471e-04,1.066650e-04,1.067575e-04,1.074791e-04,1.076132e-04,1.081169e-04,1.084170e-04,1.086756e-04,1.090871e-04,1.091597e-04,1.095736e-04,1.096336e-04,1.099214e-04,1.100661e-04,1.102071e-04,1.103935e-04,1.104344e-04,1.106071e-04,1.106243e-04,1.107284e-04,1.107664e-04,1.108017e-04,1.108272e-04,1.108301e-04,1.108165e-04,1.108137e-04,1.107638e-04,1.107323e-04,1.106745e-04,1.105891e-04,1.105513e-04,1.103964e-04,1.103896e-04,1.102122e-04,1.101391e-04,1.100007e-04,1.098424e-04,1.097641e-04,1.095041e-04,1.092227e-04,1.091283e-04,1.089214e-04,1.087190e-04,1.086020e-04,1.082796e-04,1.082659e-04,1.079145e-04,1.078136e-04,1.075493e-04,1.073240e-04,1.071714e-04,1.068137e-04,1.067822e-04,1.063826e-04,1.062853e-04,1.059738e-04,1.057412e-04,1.055567e-04,1.051836e-04,1.051324e-04,1.047016e-04,1.046147e-04,1.042652e-04,1.040364e-04,1.038240e-04,1.034503e-04,1.033788e-04,1.029301e-04,1.028580e-04,1.024786e-04,1.022611e-04,1.020250e-04,1.016609e-04,1.015698e-04,1.011135e-04,1.010587e-04,1.006566e-04,1.004554e-04,1.001995e-04,9.985229e-05,9.974271e-05,9.928660e-05,9.925016e-05,9.883154e-05,9.864989e-05,9.837787e-05,9.805226e-05,9.792590e-05,9.747593e-05,9.745798e-05,9.702823e-05,9.686766e-05,9.658305e-05,9.628189e-05,9.614063e-05,9.570117e-05,9.512597e-05,9.455669e-05,9.399369e-05,9.343730e-05,9.288780e-05,9.234544e-05,9.181042e-05,9.128293e-05,9.076313e-05,9.025114e-05,8.974707e-05,8.925101e-05,8.876300e-05,8.828311e-05,8.781135e-05,8.734774e-05,8.689228e-05,8.644495e-05,8.600573e-05,8.557459e-05,8.515146e-05,8.473632e-05,8.432909e-05,8.392970e-05
0.000000e+00,7.488256e-10,2.494773e-09,1.273269e-08,3.477183e-08,5.430776e-08,1.392433e-07,1.439931e-07,3.013052e-07,3.603844e-07,5.482313e-07,7.498505e-07,9.102401e-07,1.369269e-06,1.415648e-06,2.091216e-06,2.280822e-06,2.952941e-06,3.516492e-06,3.997788e-06,5.053134e-06,5.205852e-06,6.550815e-06,6.834002e-06,8.008115e-06,8.803385e-06,9.557380e-06,1.091750e-05,1.118186e-05,1.286727e-05,1.314172e-05,1.460086e-05,1.544664e-05,1.637097e-05,1.780601e-05,1.816672e-05,1.997802e-05,2.019597e-05,2.179555e-05,2.259502e-05,2.361081e-05,2.498413e-05,2.541613e-05,2.720473e-05,2.734691e-05,2.897071e-05,2.966960e-05,3.070899e-05,3.194096e-05,3.241529e-05,3.408608e-05,3.415213e-05,3.571838e-05,3.629614e-05,3.730996e-05,3.836804e-05,3.885904e-05,4.036433e-05,4.182499e-05,4.228288e-05,4.324048e-05,4.412257e-05,4.461056e-05,4.588310e-05,4.593522e-05,4.721468e-05,4.756487e-05,4.844933e-05,4.916883e-05,4.963970e-05,5.069629e-05,5.078644e-05,5.189029e-05,5.214891e-05,5.295204e-05,5.352857e-05,5.397258e-05,5.483729e-05,5.495282e-05,5.589370e-05,5.607724e-05,5.679619e-05,5.725064e-05,5.766128e-05,5.835977e-05,5.848995e-05,5.928322e-05,5.940692e-05,6.004207e-05,6.039438e-05,6.076749e-05,6.132443e-05,6.146048e-05,6.212200e-05,6.219932e-05,6.275302e-05,6.302124e-05,6.335447e-05,6.379238e-05,6.392730e-05,6.447241e-05,6.451485e-05,6.499071e-05,6.519072e-05,6.548306e-05,6.582198e-05,6.595033e-05,6.639336e-05,6.641059e-05,6.681297e-05,6.695844e-05,6.720995e-05,6.746737e-05,6.758508e-05,6.793913e-05,6.827284e-05,6.837544e-05,6.858692e-05,6.877796e-05,6.888208e-05,6.914826e-05,6.915899e-05,6.941833e-05,6.948788e-05,6.966072e-05,6.979829e-05,6.988681e-05,7.008092e-05,7.009719e-05,7.029245e-05,7.033713e-05,7.047317e-05,7.056822e-05,7.063989e-05,7.077546e-05,7.079316e-05,7.093350e-05,7.096006e-05,7.106140e-05,7.112316e-05,7.117736e-05,7.126589e-05,7.128185e-05,7.137533e-05,7.138930e-05,7.145824e-05,7.149441e-05,7.153102e-05,7.158221e-05,7.159406e-05,7.164779e-05,7.165363e-05,7.169258e-05,7.170955e-05,7.172881e-05,7.175085e-05,7.175684e-05,7.177703e-05,7.177832e-05,7.178972e-05,7.179276e-05,7.179522e-05,7.179492e-05,7.179386e-05,7.178595e-05,7.178550e-05,7.177177e-05,7.176519e-05,7.175162e-05,7.173464e-05,7.172576e-05,7.169447e-05,7.164527e-05,7.158762e-05,7.152203e-05,7.144904e-05,7.136913e-05,7.128277e-05,7.119040e-05,7.109244e-05,7.098930e-05,7.088135e-05,7.076898e-05,7.065251e-05,7.053228e-05,7.040860e-05,7.028177e-05,7.015207e-05,7.001978e-05,6.988513e-05,6.974838e-05,6.960976e-05,6.946947e-05,6.932773e-05,6.918472e-05,6.904064e-05
0.000000e+00,9.649656e-10,2.428920e-09,9.201443e-09,2.183923e-08,3.232821e-08,7.493482e-08,7.722934e-08,1.501761e-07,1.764251e-07,2.569554e-07,3.395251e-07,4.029709e-07,5.762825e-07,5.932415e-07,8.321108e-07,8.970370e-07,1.122465e-06,1.307848e-06,1.464807e-06,1.807588e-06,1.857216e-06,2.296333e-06,2.389425e-06,2.778294e-06,3.044519e-06,3.299091e-06,3.763554e-06,3.854591e-06,4.440493e-06,4.536762e-06,5.052314e-06,5.353838e-06,5.685420e-06,6.204061e-06,6.335093e-06,6.996616e-06,7.076573e-06,7.665358e-06,7.960737e-06,8.336866e-06,8.846463e-06,9.006933e-06,9.671660e-06,9.724499e-06,1.032750e-05,1.058663e-05,1.097130e-05,1.142581e-05,1.160029e-05,1.221211e-05,1.223619e-05,1.280478e-05,1.301314e-05,1.337671e-05,1.375313e-05,1.392666e-05,1.445369e-05,1.495717e-05,1.511325e-05,1.543674e-05,1.573103e-05,1.589223e-05,1.630691e-05,1.632371e-05,1.673138e-05,1.684132e-05,1.711563e-05,1.733512e-05,1.747692e-05,1.778952e-05,1.781583e-05,1.813300e-05,1.820597e-05,1.842916e-05,1.858610e-05,1.870504e-05,1.893167e-05,1.896143e-05,1.919913e-05,1.924450e-05,1.941894e-05,1.952644e-05,1.962167e-05,1.977935e-05,1.980812e-05,1.997908e-05,2.000505e-05,2.013534e-05,2.020534e-05,2.027764e-05,2.038193e-05,2.040672e-05,2.052328e-05,2.053646e-05,2.062802e-05,2.067054e-05,2.072160e-05,2.078564e-05,2.080465e-05,2.087777e-05,2.088321e-05,2.094155e-05,2.096457e-05,2.099653e-05,2.103098e-05,2.104326e-05,2.108223e-05,2.108364e-05,2.111392e-05,2.112364e-05,2.113879e-05,2.115203e-05,2.115727e-05,2.116978e-05,2.117669e-05,2.117778e-05,2.117838e-05,2.117689e-05,2.117521e-05,2.116788e-05,2.116749e-05,2.115554e-05,2.115148e-05,2.113966e-05,2.112836e-05,2.112013e-05,2.109916e-05,2.109721e-05,2.107115e-05,2.106446e-05,2.104219e-05,2.102478e-05,2.101054e-05,2.098064e-05,2.097642e-05,2.094003e-05,2.093249e-05,2.090154e-05,2.088076e-05,2.086114e-05,2.082585e-05,2.081900e-05,2.077525e-05,2.076812e-05,2.073007e-05,2.070790e-05,2.068357e-05,2.064552e-05,2.063590e-05,2.058716e-05,2.058125e-05,2.053749e-05,2.051536e-05,2.048697e-05,2.044809e-05,2.043573e-05,2.038384e-05,2.037967e-05,2.033141e-05,2.031030e-05,2.027850e-05,2.024017e-05,2.022521e-05,2.017160e-05,2.016945e-05,2.011775e-05,2.009832e-05,2.006371e-05,2.002690e-05,2.000956e-05,1.995533e-05,1.988374e-05,1.981224e-05,1.974092e-05,1.966989e-05,1.959922e-05,1.952898e-05,1.945926e-05,1.939011e-05,1.932158e-05,1.925373e-05,1.918660e-05,1.912023e-05,1.905466e-05,1.898991e-05,1.892602e-05,1.886300e-05,1.880088e-05,1.873968e-05,1.867940e-05,1.862007e-05,1.856168e-05,1.850425e-05,1.844779e-05,1.839228e-05
0.000000e+00,7.933427e-13,6.092601e-12,1.158971e-10,7.567664e-10,1.741944e-09,9.870195e-09,1.048764e-08,3.872221e-08,5.261926e-08,1.059649e-07,1.754343e-07,2.377035e-07,4.416306e-07,4.639844e-07,8.184366e-07,9.265659e-07,1.337212e-06,1.713092e-06,2.056415e-06,2.880104e-06,3.007241e-06,4.210477e-06,4.482291e-06,5.673318e-06,6.535105e-06,7.389978e-06,9.016988e-06,9.344972e-06,1.151708e-05,1.188319e-05,1.388256e-05,1.507952e-05,1.641708e-05,1.855025e-05,1.909662e-05,2.189767e-05,2.224087e-05,2.479729e-05,2.609853e-05,2.777296e-05,3.007178e-05,3.080269e-05,3.386506e-05,3.411083e-05,3.693944e-05,3.816813e-05,4.000624e-05,4.219927e-05,4.304709e-05,4.604509e-05,4.616390e-05,4.898497e-05,5.002644e-05,5.185319e-05,5.375658e-05,5.463801e-05,5.732947e-05,5.991939e-05,6.072561e-05,6.240125e-05,6.393058e-05,6.477010e-05,6.693463e-05,6.702246e-05,6.915616e-05,6.973216e-05,7.117018e-05,7.232112e-05,7.306455e-05,7.470246e-05,7.484017e-05,7.649871e-05,7.687958e-05,7.804245e-05,7.885783e-05,7.947419e-05,8.064403e-05,8.079715e-05,8.201487e-05,8.224611e-05,8.313113e-05,8.367279e-05,8.414987e-05,8.493322e-05,8.507515e-05,8.591110e-05,8.603684e-05,8.666184e-05,8.699313e-05,8.733148e-05,8.781152e-05,8.792407e-05,8.844362e-05,8.850124e-05,8.889401e-05,8.907126e-05,8.927905e-05,8.953023e-05,8.960240e-05,8.986762e-05,8.988643e-05,9.007815e-05,9.014779e-05,9.023727e-05,9.032178e-05,9.034814e-05,9.041378e-05,9.041550e-05,9.043708e-05,9.043564e-05,9.042080e-05,9.038847e-05,9.036757e-05,9.027989e-05,9.016013e-05,9.011540e-05,9.001055e-05,8.990017e-05,8.983330e-05,8.963900e-05,8.963041e-05,8.940380e-05,8.933635e-05,8.915529e-05,8.899640e-05,8.888661e-05,8.862301e-05,8.859939e-05,8.829515e-05,8.821976e-05,8.797535e-05,8.778999e-05,8.764137e-05,8.733675e-05,8.729449e-05,8.693593e-05,8.686292e-05,8.656683e-05,8.637110e-05,8.618828e-05,8.586372e-05,8.580128e-05,8.540678e-05,8.534303e-05,8.500569e-05,8.481107e-05,8.459884e-05,8.426974e-05,8.418701e-05,8.377095e-05,8.372077e-05,8.335135e-05,8.316577e-05,8.292885e-05,8.260618e-05,8.250405e-05,8.207753e-05,8.204335e-05,8.164980e-05,8.147848e-05,8.122136e-05,8.091271e-05,8.079267e-05,8.036416e-05,8.034703e-05,7.993621e-05,7.978236e-05,7.950920e-05,7.921955e-05,7.908347e-05,7.865934e-05,7.810242e-05,7.754939e-05,7.700082e-05,7.645720e-05,7.591895e-05,7.538647e-05,7.486009e-05,7.434013e-05,7.382684e-05,7.332045e-05,7.282115e-05,7.232910e-05,7.184444e-05,7.136728e-05,7.089771e-05,7.043579e-05,6.998156e-05,6.953506e-05,6.909630e-05,6.866527e-05,6.824197e-05,6.782636e-05,6.741841e-05,6.701806e-05
0.000000e+00,2.252425e-09,6.386732e-09,2.740605e-08,6.899852e-08,1.044811e-07,2.527532e-07,2.608642e-07,5.230093e-07,6.189505e-07,9.173293e-07,1.228444e-06,1.470351e-06,2.139905e-06,2.205879e-06,3.137469e-06,3.390344e-06,4.263898e-06,4.976203e-06,5.575213e-06,6.872874e-06,7.059789e-06,8.706002e-06,9.053579e-06,1.050154e-05,1.148977e-05,1.243278e-05,1.414884e-05,1.448456e-05,1.664047e-05,1.699392e-05,1.888317e-05,1.998529e-05,2.119493e-05,2.308219e-05,2.355810e-05,2.595557e-05,2.624479e-05,2.837113e-05,2.943577e-05,3.078972e-05,3.262141e-05,3.319768e-05,3.558281e-05,3.577231e-05,3.793446e-05,3.886363e-05,4.024344e-05,4.187510e-05,4.250204e-05,4.470388e-05,4.479070e-05,4.684384e-05,4.759827e-05,4.891790e-05,5.028904e-05,5.092303e-05,5.285711e-05,5.471874e-05,5.529903e-05,5.650719e-05,5.761328e-05,5.822225e-05,5.979993e-05,5.986422e-05,6.143375e-05,6.186037e-05,6.293185e-05,6.379692e-05,6.435974e-05,6.561265e-05,6.571889e-05,6.701088e-05,6.731116e-05,6.823746e-05,6.889645e-05,6.940045e-05,7.037277e-05,7.050173e-05,7.154324e-05,7.174454e-05,7.252693e-05,7.301625e-05,7.345477e-05,7.419243e-05,7.432872e-05,7.515074e-05,7.527757e-05,7.592275e-05,7.627611e-05,7.664666e-05,7.719241e-05,7.732433e-05,7.795760e-05,7.803069e-05,7.854826e-05,7.879510e-05,7.909805e-05,7.948961e-05,7.960868e-05,8.008180e-05,8.011808e-05,8.051903e-05,8.068422e-05,8.092192e-05,8.119159e-05,8.129198e-05,8.163068e-05,8.164360e-05,8.193944e-05,8.204353e-05,8.221963e-05,8.239451e-05,8.247256e-05,8.269952e-05,8.290174e-05,8.296142e-05,8.308040e-05,8.318291e-05,8.323665e-05,8.336659e-05,8.337160e-05,8.348629e-05,8.351492e-05,8.358176e-05,8.363022e-05,8.365898e-05,8.371472e-05,8.371889e-05,8.376241e-05,8.377052e-05,8.379041e-05,8.379962e-05,8.380371e-05,8.380390e-05,8.380312e-05,8.378942e-05,8.378517e-05,8.376333e-05,8.374511e-05,8.372557e-05,8.368532e-05,8.367681e-05,8.361770e-05,8.360732e-05,8.354886e-05,8.351255e-05,8.347090e-05,8.340233e-05,8.338437e-05,8.328982e-05,8.327796e-05,8.318778e-05,8.314063e-05,8.307873e-05,8.299147e-05,8.296316e-05,8.284152e-05,8.283154e-05,8.271425e-05,8.266185e-05,8.258175e-05,8.248334e-05,8.244442e-05,8.230264e-05,8.229688e-05,8.215677e-05,8.210332e-05,8.200715e-05,8.190343e-05,8.185410e-05,8.169793e-05,8.148753e-05,8.127284e-05,8.105449e-05,8.083302e-05,8.060895e-05,8.038279e-05,8.015497e-05,7.992594e-05,7.969606e-05,7.946573e-05,7.923527e-05,7.900499e-05,7.877520e-05,7.854615e-05,7.831809e-05,7.809126e-05,7.786587e-05,7.764209e-05,7.742012e-05,7.720011e-05,7.698220e-05,7.676653e-05,7.655321e-05,7.634236e-05
0.000000e+00,1.572521e-13,1.268544e-12,2.666887e-11,1.902683e-10,4.592757e-10,2.930613e-09,3.128635e-09,1.291603e-08,1.807272e-08,3.909209e-08,6.842532e-08,9.604012e-08,1.925052e-07,2.035224e-07,3.867081e-07,4.451944e-07,6.756890e-07,8.960602e-07,1.103620e-06,1.621036e-06,1.702982e-06,2.500908e-06,2.686094e-06,3.515432e-06,4.131452e-06,4.753938e-06,5.965743e-06,6.213855e-06,7.884731e-06,8.170643e-06,9.750711e-06,1.071017e-05,1.179276e-05,1.353935e-05,1.399028e-05,1.632213e-05,1.660997e-05,1.876718e-05,1.987349e-05,2.130463e-05,2.328233e-05,2.391410e-05,2.657576e-05,2.679037e-05,2.927043e-05,3.035337e-05,3.197966e-05,3.392946e-05,3.468596e-05,3.737287e-05,3.747972e-05,4.002518e-05,4.096883e-05,4.262905e-05,4.436561e-05,4.517206e-05,4.764334e-05,5.003357e-05,5.078000e-05,5.233491e-05,5.375815e-05,5.454105e-05,5.656479e-05,5.664705e-05,5.864929e-05,5.919096e-05,6.054534e-05,6.163140e-05,6.233386e-05,6.388398e-05,6.401446e-05,6.558761e-05,6.594929e-05,6.705448e-05,6.783016e-05,6.841688e-05,6.953117e-05,6.967709e-05,7.083784e-05,7.105832e-05,7.190219e-05,7.241865e-05,7.287345e-05,7.361990e-05,7.375509e-05,7.455077e-05,7.467034e-05,7.526418e-05,7.557850e-05,7.589908e-05,7.635300e-05,7.645923e-05,7.694835e-05,7.700245e-05,7.737013e-05,7.753531e-05,7.772817e-05,7.795984e-05,7.802601e-05,7.826708e-05,7.828401e-05,7.845469e-05,7.851550e-05,7.859208e-05,7.866163e-05,7.868233e-05,7.872842e-05,7.872938e-05,7.873320e-05,7.872535e-05,7.869942e-05,7.865575e-05,7.862967e-05,7.852646e-05,7.839216e-05,7.834299e-05,7.822902e-05,7.811048e-05,7.803920e-05,7.783376e-05,7.782473e-05,7.758756e-05,7.751733e-05,7.732950e-05,7.716537e-05,7.705230e-05,7.678177e-05,7.675759e-05,7.644693e-05,7.637016e-05,7.612177e-05,7.593387e-05,7.578351e-05,7.547602e-05,7.543343e-05,7.507276e-05,7.499946e-05,7.470265e-05,7.450683e-05,7.432419e-05,7.400058e-05,7.393840e-05,7.354622e-05,7.348294e-05,7.314855e-05,7.295597e-05,7.274624e-05,7.242157e-05,7.234006e-05,7.193075e-05,7.188146e-05,7.151899e-05,7.133721e-05,7.110543e-05,7.079028e-05,7.069065e-05,7.027522e-05,7.024197e-05,6.985964e-05,6.969348e-05,6.944440e-05,6.914589e-05,6.902994e-05,6.861667e-05,6.860017e-05,6.820497e-05,6.805721e-05,6.779519e-05,6.751780e-05,6.738765e-05,6.698264e-05,6.645239e-05,6.592758e-05,6.540873e-05,6.489628e-05,6.439060e-05,6.389203e-05,6.340085e-05,6.291731e-05,6.244161e-05,6.197391e-05,6.151436e-05,6.106305e-05,6.062007e-05,6.018546e-05,5.975926e-05,5.934148e-05,5.893210e-05,5.853111e-05,5.813846e-05,5.775409e-05,5.737794e-05,5.700993e-05,5.664998e-05,5.629798e-05
0.000000e+00,8.194135e-09,1.871891e-08,6.395652e-08,1.446171e-07,2.103283e-07,4.741154e-07,4.882850e-07,9.407958e-07,1.105202e-06,1.616223e-06,2.150932e-06,2.568842e-06,3.736307e-06,3.852161e-06,5.499553e-06,5.948858e-06,7.497832e-06,8.747187e-06,9.781562e-06,1.195615e-05,1.226115e-05,1.485425e-05,1.538058e-05,1.749744e-05,1.887571e-05,2.014416e-05,2.234449e-05,2.275970e-05,2.531722e-05,2.571955e-05,2.779536e-05,2.895151e-05,3.017701e-05,3.200366e-05,3.244865e-05,3.459992e-05,3.484960e-05,3.662340e-05,3.747194e-05,3.851435e-05,3.986128e-05,4.027038e-05,4.189120e-05,4.201506e-05,4.337827e-05,4.393626e-05,4.473448e-05,4.563215e-05,4.596386e-05,4.707138e-05,4.711322e-05,4.806271e-05,4.839230e-05,4.894391e-05,4.948346e-05,4.972133e-05,5.040141e-05,5.099060e-05,5.116099e-05,5.149527e-05,5.177675e-05,5.192159e-05,5.226269e-05,5.227553e-05,5.256283e-05,5.263207e-05,5.278890e-05,5.289730e-05,5.295888e-05,5.306991e-05,5.307763e-05,5.314967e-05,5.316049e-05,5.317926e-05,5.317877e-05,5.317034e-05,5.313356e-05,5.312659e-05,5.305142e-05,5.303290e-05,5.294800e-05,5.288403e-05,5.281923e-05,5.269346e-05,5.266782e-05,5.249624e-05,5.246707e-05,5.230677e-05,5.221010e-05,5.210153e-05,5.192727e-05,5.188243e-05,5.165124e-05,5.162276e-05,5.140959e-05,5.130033e-05,5.115894e-05,5.096329e-05,5.090067e-05,5.063601e-05,5.061459e-05,5.036608e-05,5.025686e-05,5.009191e-05,4.989241e-05,4.981443e-05,4.953451e-05,4.952327e-05,4.925290e-05,4.915125e-05,4.897031e-05,4.877791e-05,4.868737e-05,4.840465e-05,4.812266e-05,4.803266e-05,4.784187e-05,4.766299e-05,4.756270e-05,4.729655e-05,4.728550e-05,4.701062e-05,4.693411e-05,4.673834e-05,4.657634e-05,4.646893e-05,4.622381e-05,4.620262e-05,4.593961e-05,4.587700e-05,4.568007e-05,4.553631e-05,4.542416e-05,4.520206e-05,4.517200e-05,4.492371e-05,4.487453e-05,4.467938e-05,4.455392e-05,4.443908e-05,4.424039e-05,4.420288e-05,4.397082e-05,4.393407e-05,4.374293e-05,4.363504e-05,4.351925e-05,4.334334e-05,4.329978e-05,4.308454e-05,4.305899e-05,4.287350e-05,4.278199e-05,4.266668e-05,4.251230e-05,4.246405e-05,4.226557e-05,4.224987e-05,4.207124e-05,4.199465e-05,4.188100e-05,4.174655e-05,4.169482e-05,4.151267e-05,4.150546e-05,4.133448e-05,4.127130e-05,4.116022e-05,4.104394e-05,4.098983e-05,4.082327e-05,4.060915e-05,4.040146e-05,4.020005e-05,4.000480e-05,3.981556e-05,3.963219e-05,3.945454e-05,3.928247e-05,3.911583e-05,3.895449e-05,3.879830e-05,3.864713e-05,3.850082e-05,3.835924e-05,3.822227e-05,3.808976e-05,3.796159e-05,3.783762e-05,3.771773e-05,3.760180e-05,3.748970e-05,3.738132e-05,3.727655e-05,3.717527e-05
0.000000e+00,2.864066e-11,1.780013e-10,2.257296e-09,1.060575e-08,2.071671e-08,8.101831e-08,8.493282e-08,2.340867e-07,2.972807e-07,5.156001e-07,7.718572e-07,9.878522e-07,1.647907e-06,1.717194e-06,2.759217e-06,3.059137e-06,4.136467e-06,5.051259e-06,5.839054e-06,7.587705e-06,7.843351e-06,1.012648e-05,1.061488e-05,1.267016e-05,1.409077e-05,1.545927e-05,1.798135e-05,1.847951e-05,2.171575e-05,2.225251e-05,2.515136e-05,2.686596e-05,2.876805e-05,3.177857e-05,3.254610e-05,3.646477e-05,3.694346e-05,4.050284e-05,4.231193e-05,4.463907e-05,4.783545e-05,4.885270e-05,5.312380e-05,5.346740e-05,5.743359e-05,5.916439e-05,6.176465e-05,6.488716e-05,6.610102e-05,7.042828e-05,7.060099e-05,7.473361e-05,7.627595e-05,7.900572e-05,8.188666e-05,8.323469e-05,8.741198e-05,9.153032e-05,9.283470e-05,9.558353e-05,9.814096e-05,9.956640e-05,1.033198e-04,1.034747e-04,1.073048e-04,1.083629e-04,1.110541e-04,1.132638e-04,1.147202e-04,1.180182e-04,1.183015e-04,1.217969e-04,1.226229e-04,1.252054e-04,1.270760e-04,1.285266e-04,1.313768e-04,1.317602e-04,1.349064e-04,1.355252e-04,1.379655e-04,1.395219e-04,1.409378e-04,1.433679e-04,1.438240e-04,1.466248e-04,1.470651e-04,1.493411e-04,1.506152e-04,1.519739e-04,1.540207e-04,1.545242e-04,1.569932e-04,1.572840e-04,1.593819e-04,1.604079e-04,1.616917e-04,1.633952e-04,1.639239e-04,1.660796e-04,1.662488e-04,1.681603e-04,1.689719e-04,1.701674e-04,1.715676e-04,1.721021e-04,1.739660e-04,1.740391e-04,1.757603e-04,1.763895e-04,1.774866e-04,1.786222e-04,1.791461e-04,1.807404e-04,1.822709e-04,1.827473e-04,1.837388e-04,1.846462e-04,1.851457e-04,1.864402e-04,1.864929e-04,1.877819e-04,1.881325e-04,1.890138e-04,1.897263e-04,1.901903e-04,1.912246e-04,1.913124e-04,1.923817e-04,1.926306e-04,1.933994e-04,1.939472e-04,1.943667e-04,1.951774e-04,1.952851e-04,1.961556e-04,1.963241e-04,1.969796e-04,1.973902e-04,1.977584e-04,1.983784e-04,1.984930e-04,1.991847e-04,1.992915e-04,1.998346e-04,2.001321e-04,2.004440e-04,2.009029e-04,2.010138e-04,2.015453e-04,2.016065e-04,2.020394e-04,2.022453e-04,2.024974e-04,2.028218e-04,2.029201e-04,2.033087e-04,2.033383e-04,2.036641e-04,2.037972e-04,2.039873e-04,2.042007e-04,2.042793e-04,2.045411e-04,2.045509e-04,2.047735e-04,2.048501e-04,2.049774e-04,2.051003e-04,2.051538e-04,2.053035e-04,2.054616e-04,2.055766e-04,2.056503e-04,2.056845e-04,2.056809e-04,2.056412e-04,2.055670e-04,2.054598e-04,2.053213e-04,2.051529e-04,2.049560e-04,2.047320e-04,2.044822e-04,2.042079e-04,2.039104e-04,2.035908e-04,2.032503e-04,2.028901e-04,2.025113e-04,2.021147e-04,2.017016e-04,2.012728e-04,2.008292e-04,2.003719e-04
0.000000e+00,1.677574e-15,1.488320e-14,3.817281e-13,3.268251e-12,8.723909e-12,7.230032e-11,7.801458e-11,4.184014e-10,6.287967e-10,1.628347e-09,3.297751e-09,5.090113e-09,1.260282e-08,1.356406e-08,3.196532e-08,3.866446e-08,6.821919e-08,1.005120e-07,1.340404e-07,2.290749e-07,2.455021e-07,4.233164e-07,4.689915e-07,6.928041e-07,8.788383e-07,1.083568e-06,1.529803e-06,1.628909e-06,2.365039e-06,2.503057e-06,3.330135e-06,3.886186e-06,4.563303e-06,5.769047e-06,6.103478e-06,7.988339e-06,8.239395e-06,1.025325e-05,1.137862e-05,1.293029e-05,1.525782e-05,1.604737e-05,1.962749e-05,1.993447e-05,2.368819e-05,2.544983e-05,2.824106e-05,3.182715e-05,3.329149e-05,3.883863e-05,3.907077e-05,4.487536e-05,4.716608e-05,5.138855e-05,5.608028e-05,5.835937e-05,6.576373e-05,7.357282e-05,7.615194e-05,8.175373e-05,8.716794e-05,9.027003e-05,9.872486e-05,9.908253e-05,1.081499e-04,1.107287e-04,1.174294e-04,1.230808e-04,1.268775e-04,1.356810e-04,1.364504e-04,1.461047e-04,1.484292e-04,1.557982e-04,1.612282e-04,1.654896e-04,1.739851e-04,1.751396e-04,1.847111e-04,1.866128e-04,1.941691e-04,1.990315e-04,2.034812e-04,2.111690e-04,2.126179e-04,2.215523e-04,2.229614e-04,2.302604e-04,2.343536e-04,2.387211e-04,2.452991e-04,2.469161e-04,2.548299e-04,2.557600e-04,2.624496e-04,2.657063e-04,2.697648e-04,2.751158e-04,2.767677e-04,2.834525e-04,2.839735e-04,2.898158e-04,2.922707e-04,2.958560e-04,3.000048e-04,3.015730e-04,3.069689e-04,3.071781e-04,3.120466e-04,3.137975e-04,3.168107e-04,3.198740e-04,3.212668e-04,3.254214e-04,3.292819e-04,3.304564e-04,3.328563e-04,3.349978e-04,3.361533e-04,3.390659e-04,3.391820e-04,3.419518e-04,3.426823e-04,3.444724e-04,3.458693e-04,3.467537e-04,3.486497e-04,3.488057e-04,3.506383e-04,3.510465e-04,3.522614e-04,3.530825e-04,3.536850e-04,3.547803e-04,3.549187e-04,3.559721e-04,3.561619e-04,3.568545e-04,3.572489e-04,3.575752e-04,3.580619e-04,3.581428e-04,3.585660e-04,3.586209e-04,3.588531e-04,3.589448e-04,3.590120e-04,3.590520e-04,3.590504e-04,3.589756e-04,3.589594e-04,3.587948e-04,3.586834e-04,3.585147e-04,3.582393e-04,3.581417e-04,3.576819e-04,3.576416e-04,3.571414e-04,3.569038e-04,3.565255e-04,3.560385e-04,3.558397e-04,3.550889e-04,3.550576e-04,3.542780e-04,3.539721e-04,3.534113e-04,3.527923e-04,3.524931e-04,3.515276e-04,3.501868e-04,3.487781e-04,3.473090e-04,3.457866e-04,3.442173e-04,3.426069e-04,3.409610e-04,3.392847e-04,3.375824e-04,3.358586e-04,3.341171e-04,3.323614e-04,3.305949e-04,3.288205e-04,3.270411e-04,3.252591e-04,3.234768e-04,3.216963e-04,3.199196e-04,3.181484e-04,3.163843e-04,3.146287e-04,3.128830e-04,3.111482e-04
0.000000e+00,1.102840e-16,9.804818e-16,2.528098e-14,2.173976e-13,5.815006e-13,4.836763e-12,5.219458e-12,2.798709e-11,4.202311e-11,1.083746e-10,2.182728e-10,3.353324e-10,8.193277e-10,8.806940e-10,2.041199e-09,2.459145e-09,4.287402e-09,6.268676e-09,8.317097e-09,1.410905e-08,1.511029e-08,2.598235e-08,2.878846e-08,4.263150e-08,5.425809e-08,6.717696e-08,9.576112e-08,1.021845e-07,1.506769e-07,1.599130e-07,2.161283e-07,2.546994e-07,3.024415e-07,3.893850e-07,4.139085e-07,5.551564e-07,5.743375e-07,7.310797e-07,8.207761e-07,9.467612e-07,1.140458e-06,1.207384e-06,1.518139e-06,1.545319e-06,1.884128e-06,2.047098e-06,2.310264e-06,2.656942e-06,2.801184e-06,3.361153e-06,3.385044e-06,3.993987e-06,4.240296e-06,4.702978e-06,5.230001e-06,5.490835e-06,6.359632e-06,7.310772e-06,7.632663e-06,8.344963e-06,9.050460e-06,9.462205e-06,1.061224e-05,1.066179e-05,1.194232e-05,1.231511e-05,1.330173e-05,1.415413e-05,1.473729e-05,1.612244e-05,1.624571e-05,1.782312e-05,1.821149e-05,1.946517e-05,2.041118e-05,2.116706e-05,2.271013e-05,2.292362e-05,2.472936e-05,2.509591e-05,2.657853e-05,2.755531e-05,2.846521e-05,3.007456e-05,3.038332e-05,3.232674e-05,3.263962e-05,3.428931e-05,3.523635e-05,3.626492e-05,3.785075e-05,3.824755e-05,4.023130e-05,4.046915e-05,4.221044e-05,4.307837e-05,4.417945e-05,4.566585e-05,4.613304e-05,4.806618e-05,4.821981e-05,4.997414e-05,5.072926e-05,5.185246e-05,5.318418e-05,5.369702e-05,5.550401e-05,5.557546e-05,5.726994e-05,5.789501e-05,5.899167e-05,6.013574e-05,6.066637e-05,6.229154e-05,6.386501e-05,6.435729e-05,6.538492e-05,6.632881e-05,6.684970e-05,6.820283e-05,6.825807e-05,6.960906e-05,6.997694e-05,7.090192e-05,7.164953e-05,7.213619e-05,7.321976e-05,7.331162e-05,7.442820e-05,7.468744e-05,7.548611e-05,7.605305e-05,7.648573e-05,7.731760e-05,7.742760e-05,7.831243e-05,7.848262e-05,7.914106e-05,7.955007e-05,7.991449e-05,8.052230e-05,8.063380e-05,8.130019e-05,8.140199e-05,8.191495e-05,8.219208e-05,8.247942e-05,8.289577e-05,8.299506e-05,8.346332e-05,8.351640e-05,8.388573e-05,8.405746e-05,8.426385e-05,8.452257e-05,8.459926e-05,8.489355e-05,8.491537e-05,8.514833e-05,8.523954e-05,8.536522e-05,8.549880e-05,8.554580e-05,8.569168e-05,8.569681e-05,8.580443e-05,8.583721e-05,8.588561e-05,8.592356e-05,8.593675e-05,8.595936e-05,8.594802e-05,8.589283e-05,8.579700e-05,8.566359e-05,8.549556e-05,8.529573e-05,8.506680e-05,8.481134e-05,8.453178e-05,8.423045e-05,8.390951e-05,8.357103e-05,8.321694e-05,8.284907e-05,8.246911e-05,8.207864e-05,8.167916e-05,8.127204e-05,8.085857e-05,8.043994e-05,8.001726e-05,7.959153e-05,7.916372e-05,7.873467e-05
0.000000e+00,9.607319e-16,8.317846e-15,2.023904e-13,1.648395e-12,4.277069e-12,3.282496e-11,3.530439e-11,1.743034e-10,2.558038e-10,6.223845e-10,1.194942e-09,1.778785e-09,4.046750e-09,4.323280e-09,9.292187e-09,1.099759e-08,1.814001e-08,2.548317e-08,3.278128e-08,5.234549e-08,5.560701e-08,8.946735e-08,9.784339e-08,1.376082e-07,1.694480e-07,2.035514e-07,2.753508e-07,2.909157e-07,4.031934e-07,4.236858e-07,5.435087e-07,6.215892e-07,7.143884e-07,8.742980e-07,9.175728e-07,1.153889e-06,1.184477e-06,1.423193e-06,1.551885e-06,1.724376e-06,1.973392e-06,2.055432e-06,2.413572e-06,2.443294e-06,2.795364e-06,2.953839e-06,3.196895e-06,3.495850e-06,3.613931e-06,4.042079e-06,4.059373e-06,4.476929e-06,4.634282e-06,4.914182e-06,5.210791e-06,5.349753e-06,5.779858e-06,6.201073e-06,6.333479e-06,6.610375e-06,6.864859e-06,7.005168e-06,7.368509e-06,7.383290e-06,7.743007e-06,7.840240e-06,8.082995e-06,8.277112e-06,8.402315e-06,8.677328e-06,8.700383e-06,8.976937e-06,9.040105e-06,9.231994e-06,9.365524e-06,9.465815e-06,9.654379e-06,9.678869e-06,9.871792e-06,9.908027e-06,1.004536e-05,1.012825e-05,1.020044e-05,1.031712e-05,1.033799e-05,1.045901e-05,1.047691e-05,1.056453e-05,1.060998e-05,1.065559e-05,1.071871e-05,1.073321e-05,1.079841e-05,1.080545e-05,1.085218e-05,1.087246e-05,1.089545e-05,1.092187e-05,1.092912e-05,1.095404e-05,1.095569e-05,1.097103e-05,1.097576e-05,1.098081e-05,1.098379e-05,1.098409e-05,1.098152e-05,1.098131e-05,1.097369e-05,1.096969e-05,1.096114e-05,1.095018e-05,1.094438e-05,1.092387e-05,1.090001e-05,1.089173e-05,1.087319e-05,1.085464e-05,1.084376e-05,1.081333e-05,1.081202e-05,1.077826e-05,1.076848e-05,1.074272e-05,1.072065e-05,1.070565e-05,1.067036e-05,1.066724e-05,1.062768e-05,1.061804e-05,1.058715e-05,1.056408e-05,1.054579e-05,1.050882e-05,1.050374e-05,1.046112e-05,1.045254e-05,1.041804e-05,1.039549e-05,1.037460e-05,1.033791e-05,1.033090e-05,1.028701e-05,1.027997e-05,1.024300e-05,1.022185e-05,1.019894e-05,1.016370e-05,1.015489e-05,1.011091e-05,1.010563e-05,1.006703e-05,1.004777e-05,1.002331e-05,9.990207e-06,9.979780e-06,9.936479e-06,9.933025e-06,9.893437e-06,9.876299e-06,9.850682e-06,9.820092e-06,9.808242e-06,9.766138e-06,9.764461e-06,9.724391e-06,9.709454e-06,9.683022e-06,9.655114e-06,9.642044e-06,9.601474e-06,9.548568e-06,9.496418e-06,9.445049e-06,9.394476e-06,9.344714e-06,9.295776e-06,9.247671e-06,9.200404e-06,9.153982e-06,9.108406e-06,9.063678e-06,9.019797e-06,8.976760e-06,8.934565e-06,8.893207e-06,8.852681e-06,8.812979e-06,8.774095e-06,8.736021e-06,8.698749e-06,8.662269e-06,8.626571e-06,8.591646e-06,8.557484e-06
0.000000e+00,2.019431e-12,1.436886e-11,2.348887e-10,1.347484e-09,2.899892e-09,1.399778e-08,1.478313e-08,4.756753e-08,6.250235e-08,1.165221e-07,1.826577e-07,2.397292e-07,4.191364e-07,4.383615e-07,7.369740e-07,8.264526e-07,1.161726e-06,1.463296e-06,1.734593e-06,2.369226e-06,2.465118e-06,3.345609e-06,3.537918e-06,4.353774e-06,4.918789e-06,5.460239e-06,6.444057e-06,6.635651e-06,7.854640e-06,8.052294e-06,9.096825e-06,9.696458e-06,1.034614e-05,1.134205e-05,1.158980e-05,1.281738e-05,1.296318e-05,1.402014e-05,1.453955e-05,1.519071e-05,1.605495e-05,1.632287e-05,1.741145e-05,1.749652e-05,1.845231e-05,1.885456e-05,1.944230e-05,2.012229e-05,2.037915e-05,2.126147e-05,2.129561e-05,2.208861e-05,2.237287e-05,2.286065e-05,2.335447e-05,2.357822e-05,2.424244e-05,2.485482e-05,2.504013e-05,2.541719e-05,2.575181e-05,2.593161e-05,2.638235e-05,2.640025e-05,2.682539e-05,2.693696e-05,2.720938e-05,2.742099e-05,2.755455e-05,2.783983e-05,2.786323e-05,2.813771e-05,2.819875e-05,2.838022e-05,2.850285e-05,2.859287e-05,2.875696e-05,2.877774e-05,2.893676e-05,2.896563e-05,2.907178e-05,2.913309e-05,2.918455e-05,2.926329e-05,2.927672e-05,2.934982e-05,2.935985e-05,2.940532e-05,2.942611e-05,2.944457e-05,2.946512e-05,2.946883e-05,2.947929e-05,2.947968e-05,2.947706e-05,2.947232e-05,2.946315e-05,2.944536e-05,2.943852e-05,2.940407e-05,2.940092e-05,2.936061e-05,2.934088e-05,2.930892e-05,2.926700e-05,2.924970e-05,2.918361e-05,2.918084e-05,2.911127e-05,2.908381e-05,2.903325e-05,2.897722e-05,2.895008e-05,2.886223e-05,2.877017e-05,2.873989e-05,2.867432e-05,2.861117e-05,2.857507e-05,2.847692e-05,2.847277e-05,2.836777e-05,2.833792e-05,2.826037e-05,2.819490e-05,2.815086e-05,2.804847e-05,2.803950e-05,2.792655e-05,2.789923e-05,2.781223e-05,2.774770e-05,2.769676e-05,2.759434e-05,2.758032e-05,2.746310e-05,2.743958e-05,2.734527e-05,2.728381e-05,2.722699e-05,2.712738e-05,2.710839e-05,2.698960e-05,2.697059e-05,2.687076e-05,2.681372e-05,2.675197e-05,2.665704e-05,2.663333e-05,2.651495e-05,2.650077e-05,2.639692e-05,2.634511e-05,2.627930e-05,2.619025e-05,2.616219e-05,2.604564e-05,2.603634e-05,2.592972e-05,2.588354e-05,2.581449e-05,2.573198e-05,2.570000e-05,2.558630e-05,2.558177e-05,2.547344e-05,2.543302e-05,2.536144e-05,2.528580e-05,2.525036e-05,2.514022e-05,2.499632e-05,2.485418e-05,2.471385e-05,2.457537e-05,2.443877e-05,2.430410e-05,2.417137e-05,2.404061e-05,2.391182e-05,2.378504e-05,2.366025e-05,2.353746e-05,2.341668e-05,2.329791e-05,2.318113e-05,2.306634e-05,2.295354e-05,2.284270e-05,2.273382e-05,2.262687e-05,2.252186e-05,2.241875e-05,2.231753e-05,2.221818e-05
0.000000e+00,3.333632e-14,2.709631e-13,5.782234e-12,4.177213e-11,1.014729e-10,6.569038e-10,7.016560e-10,2.928254e-09,4.106679e-09,8.920930e-09,1.564291e-08,2.196263e-08,4.393621e-08,4.643505e-08,8.768826e-08,1.007565e-07,1.518964e-07,2.004079e-07,2.458981e-07,3.590039e-07,3.769207e-07,5.520266e-07,5.928965e-07,7.772124e-07,9.154931e-07,1.056331e-06,1.333170e-06,1.390203e-06,1.776263e-06,1.842535e-06,2.208839e-06,2.430709e-06,2.679921e-06,3.078246e-06,3.180156e-06,3.699810e-06,3.763022e-06,4.229543e-06,4.463605e-06,4.760920e-06,5.161343e-06,5.286665e-06,5.800748e-06,5.841219e-06,6.298332e-06,6.491870e-06,6.775654e-06,7.105159e-06,7.229885e-06,7.658990e-06,7.675611e-06,8.061598e-06,8.199878e-06,8.436894e-06,8.676300e-06,8.784530e-06,9.104549e-06,9.397321e-06,9.485351e-06,9.663487e-06,9.820263e-06,9.903914e-06,1.011148e-05,1.011965e-05,1.031186e-05,1.036164e-05,1.048184e-05,1.057371e-05,1.063092e-05,1.075081e-05,1.076049e-05,1.087192e-05,1.089612e-05,1.096659e-05,1.101279e-05,1.104584e-05,1.110386e-05,1.111097e-05,1.116320e-05,1.117220e-05,1.120370e-05,1.122049e-05,1.123357e-05,1.125120e-05,1.125384e-05,1.126545e-05,1.126656e-05,1.126927e-05,1.126858e-05,1.126611e-05,1.125904e-05,1.125669e-05,1.124168e-05,1.123953e-05,1.122168e-05,1.121144e-05,1.119724e-05,1.117600e-05,1.116885e-05,1.113695e-05,1.113426e-05,1.110195e-05,1.108716e-05,1.106419e-05,1.103548e-05,1.102400e-05,1.098167e-05,1.097993e-05,1.093745e-05,1.092111e-05,1.089157e-05,1.085954e-05,1.084425e-05,1.079567e-05,1.074600e-05,1.072990e-05,1.069538e-05,1.066256e-05,1.064397e-05,1.059396e-05,1.059187e-05,1.053920e-05,1.052437e-05,1.048607e-05,1.045401e-05,1.043256e-05,1.038308e-05,1.037876e-05,1.032474e-05,1.031176e-05,1.027058e-05,1.024020e-05,1.021632e-05,1.016855e-05,1.016203e-05,1.010777e-05,1.009692e-05,1.005358e-05,1.002544e-05,9.999495e-06,9.954182e-06,9.945565e-06,9.891824e-06,9.883245e-06,9.838304e-06,9.812701e-06,9.785034e-06,9.742616e-06,9.732041e-06,9.679351e-06,9.673050e-06,9.626986e-06,9.604054e-06,9.574968e-06,9.535678e-06,9.523315e-06,9.472046e-06,9.467961e-06,9.421174e-06,9.400940e-06,9.370714e-06,9.334646e-06,9.320680e-06,9.271081e-06,9.269106e-06,9.221928e-06,9.204344e-06,9.173230e-06,9.140380e-06,9.124996e-06,9.077233e-06,9.014916e-06,8.953443e-06,8.892823e-06,8.833064e-06,8.774173e-06,8.716152e-06,8.659006e-06,8.602734e-06,8.547337e-06,8.492813e-06,8.439160e-06,8.386375e-06,8.334454e-06,8.283391e-06,8.233180e-06,8.183816e-06,8.135290e-06,8.087596e-06,8.040725e-06,7.994669e-06,7.949419e-06,7.904965e-06,7.861299e-06,7.818411e-06
0.000000e+00,2.072084e-09,4.763583e-09,1.642124e-08,3.734887e-08,5.446153e-08,1.233838e-07,1.270905e-07,2.454426e-07,2.883838e-07,4.215394e-07,5.603251e-07,6.684427e-07,9.693084e-07,9.991055e-07,1.422801e-06,1.538614e-06,1.939905e-06,2.266784e-06,2.540155e-06,3.124358e-06,3.207415e-06,3.925651e-06,4.074186e-06,4.681465e-06,5.085664e-06,5.464030e-06,6.135421e-06,6.264326e-06,7.074535e-06,7.204614e-06,7.887708e-06,8.277228e-06,8.697616e-06,9.339443e-06,9.498716e-06,1.028616e-05,1.037953e-05,1.105581e-05,1.138790e-05,1.180419e-05,1.235699e-05,1.252850e-05,1.322659e-05,1.328125e-05,1.389686e-05,1.415693e-05,1.453826e-05,1.498181e-05,1.515014e-05,1.573229e-05,1.575496e-05,1.628479e-05,1.647648e-05,1.680797e-05,1.714728e-05,1.730241e-05,1.776882e-05,1.820804e-05,1.834300e-05,1.862100e-05,1.887197e-05,1.900869e-05,1.935805e-05,1.937214e-05,1.971239e-05,1.980365e-05,2.003050e-05,2.021117e-05,2.032750e-05,2.058298e-05,2.060442e-05,2.086225e-05,2.092140e-05,2.110196e-05,2.122863e-05,2.132448e-05,2.150679e-05,2.153070e-05,2.172150e-05,2.175788e-05,2.189768e-05,2.198378e-05,2.206003e-05,2.218627e-05,2.220930e-05,2.234620e-05,2.236700e-05,2.247140e-05,2.252753e-05,2.258554e-05,2.266930e-05,2.268923e-05,2.278304e-05,2.279366e-05,2.286753e-05,2.290188e-05,2.294320e-05,2.299511e-05,2.301054e-05,2.307002e-05,2.307445e-05,2.312207e-05,2.314090e-05,2.316711e-05,2.319541e-05,2.320552e-05,2.323768e-05,2.323884e-05,2.326394e-05,2.327201e-05,2.328462e-05,2.329567e-05,2.330005e-05,2.331051e-05,2.331630e-05,2.331720e-05,2.331766e-05,2.331633e-05,2.331485e-05,2.330846e-05,2.330811e-05,2.329767e-05,2.329411e-05,2.328373e-05,2.327378e-05,2.326650e-05,2.324791e-05,2.324617e-05,2.322292e-05,2.321692e-05,2.319692e-05,2.318121e-05,2.316832e-05,2.314114e-05,2.313729e-05,2.310398e-05,2.309705e-05,2.306850e-05,2.304925e-05,2.303101e-05,2.299804e-05,2.299162e-05,2.295044e-05,2.294370e-05,2.290760e-05,2.288648e-05,2.286320e-05,2.282662e-05,2.281733e-05,2.277009e-05,2.276434e-05,2.272158e-05,2.269985e-05,2.267187e-05,2.263335e-05,2.262106e-05,2.256921e-05,2.256502e-05,2.251640e-05,2.249502e-05,2.246270e-05,2.242353e-05,2.240818e-05,2.235290e-05,2.235068e-05,2.229692e-05,2.227661e-05,2.224030e-05,2.220146e-05,2.218309e-05,2.212535e-05,2.204838e-05,2.197067e-05,2.189232e-05,2.181342e-05,2.173405e-05,2.165430e-05,2.157424e-05,2.149396e-05,2.141350e-05,2.133294e-05,2.125233e-05,2.117174e-05,2.109120e-05,2.101077e-05,2.093050e-05,2.085042e-05,2.077058e-05,2.069100e-05,2.061173e-05,2.053280e-05,2.045424e-05,2.037606e-05,2.029831e-05,2.022100e-05
0.000000e+00,2.105627e-09,4.833660e-09,1.661939e-08,3.770417e-08,5.489297e-08,1.237375e-07,1.274243e-07,2.444043e-07,2.865239e-07,4.161746e-07,5.499608e-07,6.533793e-07,9.383311e-07,9.663761e-07,1.363185e-06,1.471298e-06,1.845891e-06,2.151680e-06,2.408155e-06,2.958743e-06,3.037289e-06,3.719003e-06,3.860486e-06,4.440431e-06,4.827596e-06,5.190719e-06,5.836443e-06,5.960589e-06,6.741841e-06,6.867392e-06,7.527051e-06,7.903345e-06,8.309446e-06,8.929189e-06,9.082887e-06,9.841891e-06,9.931767e-06,1.058167e-05,1.090000e-05,1.129814e-05,1.182498e-05,1.198795e-05,1.264844e-05,1.269995e-05,1.327761e-05,1.352018e-05,1.387407e-05,1.428275e-05,1.443694e-05,1.496584e-05,1.498629e-05,1.546082e-05,1.563076e-05,1.592223e-05,1.621715e-05,1.635073e-05,1.674719e-05,1.711265e-05,1.722324e-05,1.744828e-05,1.764800e-05,1.775533e-05,1.802443e-05,1.803512e-05,1.828899e-05,1.835561e-05,1.851829e-05,1.864465e-05,1.872439e-05,1.889464e-05,1.890860e-05,1.907221e-05,1.910855e-05,1.921649e-05,1.928929e-05,1.934264e-05,1.943958e-05,1.945182e-05,1.954514e-05,1.956200e-05,1.962367e-05,1.965899e-05,1.968841e-05,1.973282e-05,1.974030e-05,1.978025e-05,1.978559e-05,1.980912e-05,1.981927e-05,1.982769e-05,1.983565e-05,1.983674e-05,1.983696e-05,1.983642e-05,1.982902e-05,1.982311e-05,1.981355e-05,1.979713e-05,1.979115e-05,1.976235e-05,1.975978e-05,1.972767e-05,1.971226e-05,1.968760e-05,1.965566e-05,1.964259e-05,1.959306e-05,1.959099e-05,1.953940e-05,1.951914e-05,1.948198e-05,1.944097e-05,1.942116e-05,1.935724e-05,1.929054e-05,1.926865e-05,1.922132e-05,1.917583e-05,1.914986e-05,1.907936e-05,1.907639e-05,1.900114e-05,1.897978e-05,1.892433e-05,1.887757e-05,1.884614e-05,1.877316e-05,1.876677e-05,1.868637e-05,1.866695e-05,1.860512e-05,1.855930e-05,1.852316e-05,1.845055e-05,1.844062e-05,1.835763e-05,1.834099e-05,1.827430e-05,1.823088e-05,1.819076e-05,1.812048e-05,1.810709e-05,1.802339e-05,1.801000e-05,1.793974e-05,1.789964e-05,1.785623e-05,1.778958e-05,1.777294e-05,1.768992e-05,1.767998e-05,1.760723e-05,1.757098e-05,1.752495e-05,1.746271e-05,1.744311e-05,1.736177e-05,1.735529e-05,1.728098e-05,1.724882e-05,1.720076e-05,1.714338e-05,1.712116e-05,1.704221e-05,1.703906e-05,1.696394e-05,1.693593e-05,1.688638e-05,1.683405e-05,1.680955e-05,1.673347e-05,1.663424e-05,1.653640e-05,1.643997e-05,1.634500e-05,1.625149e-05,1.615947e-05,1.606894e-05,1.597993e-05,1.589243e-05,1.580646e-05,1.572200e-05,1.563906e-05,1.555762e-05,1.547770e-05,1.539927e-05,1.532232e-05,1.524685e-05,1.517284e-05,1.510028e-05,1.502915e-05,1.495943e-05,1.489111e-05,1.482417e-05,1.475858e-05
0.000000e+00,1.153719e-09,2.655903e-09,9.157129e-09,2.078629e-08,3.025234e-08,6.798869e-08,7.000102e-08,1.333908e-07,1.560009e-07,2.249293e-07,2.950817e-07,3.487056e-07,4.942109e-07,5.083840e-07,7.070674e-07,7.608249e-07,9.469382e-07,1.099583e-06,1.228652e-06,1.510063e-06,1.550743e-06,1.909586e-06,1.985331e-06,2.300090e-06,2.513799e-06,2.716633e-06,3.082588e-06,3.153672e-06,3.606000e-06,3.679463e-06,4.068772e-06,4.293281e-06,4.537500e-06,4.913980e-06,5.008048e-06,5.476635e-06,5.532568e-06,5.939855e-06,6.141180e-06,6.394694e-06,6.733145e-06,6.838541e-06,7.269191e-06,7.303015e-06,7.684831e-06,7.846552e-06,8.084031e-06,8.360657e-06,8.465713e-06,8.829115e-06,8.843263e-06,9.173757e-06,9.293186e-06,9.499416e-06,9.710008e-06,9.806082e-06,1.009392e-05,1.036326e-05,1.044560e-05,1.061452e-05,1.076610e-05,1.084826e-05,1.105670e-05,1.106506e-05,1.126558e-05,1.131891e-05,1.145052e-05,1.155430e-05,1.162059e-05,1.176454e-05,1.177651e-05,1.191899e-05,1.195127e-05,1.204876e-05,1.211614e-05,1.216652e-05,1.226074e-05,1.227293e-05,1.236868e-05,1.238660e-05,1.245438e-05,1.249518e-05,1.253065e-05,1.258786e-05,1.259808e-05,1.265722e-05,1.266595e-05,1.270859e-05,1.273065e-05,1.275271e-05,1.278310e-05,1.279004e-05,1.282104e-05,1.282436e-05,1.284614e-05,1.285541e-05,1.286572e-05,1.287715e-05,1.288017e-05,1.288985e-05,1.289043e-05,1.289509e-05,1.289602e-05,1.289621e-05,1.289462e-05,1.289349e-05,1.288722e-05,1.288690e-05,1.287767e-05,1.287347e-05,1.286506e-05,1.285487e-05,1.284964e-05,1.283162e-05,1.281119e-05,1.280418e-05,1.278856e-05,1.277300e-05,1.276389e-05,1.273845e-05,1.273736e-05,1.270912e-05,1.270092e-05,1.267931e-05,1.266073e-05,1.264807e-05,1.261818e-05,1.261553e-05,1.258181e-05,1.257356e-05,1.254703e-05,1.252712e-05,1.251127e-05,1.247909e-05,1.247466e-05,1.243727e-05,1.242970e-05,1.239919e-05,1.237914e-05,1.236050e-05,1.232759e-05,1.232128e-05,1.228160e-05,1.227521e-05,1.224152e-05,1.222216e-05,1.220111e-05,1.216857e-05,1.216041e-05,1.211949e-05,1.211457e-05,1.207840e-05,1.206027e-05,1.203717e-05,1.200578e-05,1.199586e-05,1.195450e-05,1.195119e-05,1.191314e-05,1.189659e-05,1.187179e-05,1.184206e-05,1.183051e-05,1.178932e-05,1.178768e-05,1.174824e-05,1.173349e-05,1.170731e-05,1.167957e-05,1.166655e-05,1.162597e-05,1.157273e-05,1.151990e-05,1.146752e-05,1.141561e-05,1.136423e-05,1.131338e-05,1.126309e-05,1.121339e-05,1.116430e-05,1.111582e-05,1.106799e-05,1.102079e-05,1.097426e-05,1.092839e-05,1.088320e-05,1.083868e-05,1.079484e-05,1.075169e-05,1.070922e-05,1.066744e-05,1.062634e-05,1.058593e-05,1.054620e-05,1.050715e-05
0.000000e+00,1.002782e-08,2.365115e-08,8.389222e-08,1.935736e-07,2.838469e-07,6.493549e-07,6.690518e-07,1.298066e-06,1.526004e-06,2.230951e-06,2.962337e-06,3.529796e-06,5.100596e-06,5.255697e-06,7.459119e-06,8.062349e-06,1.016251e-05,1.188877e-05,1.334473e-05,1.649343e-05,1.694499e-05,2.088561e-05,2.170785e-05,2.509208e-05,2.736278e-05,2.950021e-05,3.331888e-05,3.405564e-05,3.871138e-05,3.946277e-05,4.342600e-05,4.569897e-05,4.816269e-05,5.194583e-05,5.288877e-05,5.757550e-05,5.813405e-05,6.219804e-05,6.420604e-05,6.673523e-05,7.011544e-05,7.116944e-05,7.548628e-05,7.582620e-05,7.967434e-05,8.131146e-05,8.372483e-05,8.655229e-05,8.763128e-05,9.138919e-05,9.153638e-05,9.499579e-05,9.625681e-05,9.844968e-05,1.007110e-04,1.017507e-04,1.048996e-04,1.078980e-04,1.088261e-04,1.107481e-04,1.124955e-04,1.134525e-04,1.159146e-04,1.160144e-04,1.184371e-04,1.190910e-04,1.207243e-04,1.220331e-04,1.228797e-04,1.247498e-04,1.249074e-04,1.268113e-04,1.272503e-04,1.285954e-04,1.295438e-04,1.302639e-04,1.316397e-04,1.318208e-04,1.332700e-04,1.335473e-04,1.346156e-04,1.352756e-04,1.358613e-04,1.368335e-04,1.370112e-04,1.380688e-04,1.382298e-04,1.390381e-04,1.394729e-04,1.399224e-04,1.405712e-04,1.407255e-04,1.414506e-04,1.415325e-04,1.421012e-04,1.423646e-04,1.426804e-04,1.430749e-04,1.431915e-04,1.436375e-04,1.436704e-04,1.440213e-04,1.441581e-04,1.443459e-04,1.445445e-04,1.446140e-04,1.448283e-04,1.448358e-04,1.449914e-04,1.450381e-04,1.451058e-04,1.451570e-04,1.451740e-04,1.451982e-04,1.451807e-04,1.451667e-04,1.451237e-04,1.450675e-04,1.450293e-04,1.449054e-04,1.448995e-04,1.447363e-04,1.446848e-04,1.445414e-04,1.444100e-04,1.443167e-04,1.440851e-04,1.440639e-04,1.437846e-04,1.437138e-04,1.434805e-04,1.432999e-04,1.431530e-04,1.428467e-04,1.428036e-04,1.424338e-04,1.423575e-04,1.420448e-04,1.418354e-04,1.416379e-04,1.412832e-04,1.412144e-04,1.407754e-04,1.407038e-04,1.403220e-04,1.400997e-04,1.398554e-04,1.394733e-04,1.393766e-04,1.388865e-04,1.388269e-04,1.383860e-04,1.381628e-04,1.378761e-04,1.374828e-04,1.373577e-04,1.368315e-04,1.367890e-04,1.362982e-04,1.360832e-04,1.357588e-04,1.353669e-04,1.352137e-04,1.346638e-04,1.346417e-04,1.341097e-04,1.339093e-04,1.335519e-04,1.331708e-04,1.329910e-04,1.324276e-04,1.316809e-04,1.309318e-04,1.301814e-04,1.294306e-04,1.286804e-04,1.279315e-04,1.271847e-04,1.264407e-04,1.257002e-04,1.249639e-04,1.242322e-04,1.235057e-04,1.227848e-04,1.220699e-04,1.213615e-04,1.206599e-04,1.199655e-04,1.192784e-04,1.185990e-04,1.179274e-04,1.172640e-04,1.166087e-04,1.159619e-04,1.153237e-04
0.000000e+00,1.108785e-15,9.708470e-15,2.419169e-13,2.014766e-12,5.293487e-12,4.199996e-11,4.523501e-11,2.312002e-10,3.426136e-10,8.547106e-10,1.675702e-09,2.529632e-09,5.944592e-09,6.368830e-09,1.418495e-08,1.693314e-08,2.870211e-08,4.113799e-08,5.375642e-08,8.853942e-08,9.444855e-08,1.572018e-07,1.730550e-07,2.496899e-07,3.123944e-07,3.806252e-07,5.272012e-07,5.594254e-07,7.957988e-07,8.396056e-07,1.099294e-06,1.271474e-06,1.478856e-06,1.842652e-06,1.942425e-06,2.496600e-06,2.569446e-06,3.146382e-06,3.463472e-06,3.894998e-06,4.530956e-06,4.743813e-06,5.692311e-06,5.772439e-06,6.738140e-06,7.182867e-06,7.877227e-06,8.751996e-06,9.103917e-06,1.041117e-05,1.046502e-05,1.179075e-05,1.230336e-05,1.323348e-05,1.424556e-05,1.472944e-05,1.626822e-05,1.783913e-05,1.834685e-05,1.943142e-05,2.045679e-05,2.103447e-05,2.257392e-05,2.263794e-05,2.423197e-05,2.467532e-05,2.580725e-05,2.673980e-05,2.735517e-05,2.874831e-05,2.886786e-05,3.033828e-05,3.068419e-05,3.176024e-05,3.253335e-05,3.312841e-05,3.428432e-05,3.443830e-05,3.568630e-05,3.592821e-05,3.686957e-05,3.745859e-05,3.798608e-05,3.887134e-05,3.903447e-05,4.001408e-05,4.016442e-05,4.092482e-05,4.133764e-05,4.176717e-05,4.239241e-05,4.254205e-05,4.325081e-05,4.333150e-05,4.389516e-05,4.415876e-05,4.447707e-05,4.487894e-05,4.499879e-05,4.546272e-05,4.549742e-05,4.587143e-05,4.602005e-05,4.622757e-05,4.645297e-05,4.653386e-05,4.679305e-05,4.680247e-05,4.700786e-05,4.707486e-05,4.718103e-05,4.727636e-05,4.731522e-05,4.741303e-05,4.747699e-05,4.749071e-05,4.750954e-05,4.751498e-05,4.751303e-05,4.749110e-05,4.748968e-05,4.744163e-05,4.742402e-05,4.737089e-05,4.731836e-05,4.727938e-05,4.717838e-05,4.716888e-05,4.704110e-05,4.700803e-05,4.689760e-05,4.681094e-05,4.673988e-05,4.659042e-05,4.656932e-05,4.638719e-05,4.634948e-05,4.619469e-05,4.609087e-05,4.599293e-05,4.581705e-05,4.578294e-05,4.556566e-05,4.553027e-05,4.534196e-05,4.523255e-05,4.511267e-05,4.492570e-05,4.487851e-05,4.464018e-05,4.461133e-05,4.439832e-05,4.429092e-05,4.415349e-05,4.396576e-05,4.390623e-05,4.365702e-05,4.363702e-05,4.340632e-05,4.330572e-05,4.315453e-05,4.297277e-05,4.290202e-05,4.264913e-05,4.263901e-05,4.239617e-05,4.230514e-05,4.214342e-05,4.197181e-05,4.189115e-05,4.163958e-05,4.130895e-05,4.098036e-05,4.065418e-05,4.033076e-05,4.001039e-05,3.969332e-05,3.937977e-05,3.906993e-05,3.876396e-05,3.846199e-05,3.816414e-05,3.787050e-05,3.758115e-05,3.729615e-05,3.701554e-05,3.673936e-05,3.646762e-05,3.620035e-05,3.593753e-05,3.567918e-05,3.542526e-05,3.517577e-05,3.493067e-05,3.468994e-05
0.000000e+00,2.260152e-17,2.007434e-16,5.176783e-15,4.456424e-14,1.192730e-13,9.935559e-13,1.072233e-12,5.757922e-12,8.649080e-12,2.232756e-11,4.500452e-11,6.917540e-11,1.692043e-10,1.818941e-10,4.220376e-10,5.085772e-10,8.873409e-10,1.298068e-09,1.722918e-09,2.924989e-09,3.132886e-09,5.391836e-09,5.975274e-09,8.855576e-09,1.127723e-08,1.397058e-08,1.993883e-08,2.128163e-08,3.143719e-08,3.337499e-08,4.519215e-08,5.332190e-08,6.340763e-08,8.183618e-08,8.704778e-08,1.171735e-07,1.212781e-07,1.549332e-07,1.742790e-07,2.015512e-07,2.436942e-07,2.583127e-07,3.265481e-07,3.325431e-07,4.076145e-07,4.439396e-07,5.028765e-07,5.810149e-07,6.136857e-07,7.413606e-07,7.468366e-07,8.871664e-07,9.443271e-07,1.052295e-06,1.176184e-06,1.237845e-06,1.444808e-06,1.674048e-06,1.752233e-06,1.926291e-06,2.100071e-06,2.202113e-06,2.489470e-06,2.501927e-06,2.825982e-06,2.921076e-06,3.174354e-06,3.395017e-06,3.546948e-06,3.910898e-06,3.943494e-06,4.363553e-06,4.467802e-06,4.806521e-06,5.064311e-06,5.271635e-06,5.698535e-06,5.757984e-06,6.264519e-06,6.368146e-06,6.790062e-06,7.070431e-06,7.333321e-06,7.802335e-06,7.892905e-06,8.467334e-06,8.560517e-06,9.055056e-06,9.341413e-06,9.654462e-06,1.014129e-05,1.026390e-05,1.088168e-05,1.095630e-05,1.150612e-05,1.178254e-05,1.213551e-05,1.261612e-05,1.276817e-05,1.340242e-05,1.345318e-05,1.403664e-05,1.428995e-05,1.466922e-05,1.512281e-05,1.529864e-05,1.592342e-05,1.594829e-05,1.654213e-05,1.676312e-05,1.715343e-05,1.756424e-05,1.775607e-05,1.834885e-05,1.893067e-05,1.911437e-05,1.950052e-05,1.985851e-05,2.005747e-05,2.057922e-05,2.060067e-05,2.112938e-05,2.127473e-05,2.164292e-05,2.194351e-05,2.214070e-05,2.258432e-05,2.262223e-05,2.308709e-05,2.319613e-05,2.353492e-05,2.377816e-05,2.396545e-05,2.432986e-05,2.437849e-05,2.477391e-05,2.485087e-05,2.515163e-05,2.534105e-05,2.551165e-05,2.580041e-05,2.585400e-05,2.617880e-05,2.622915e-05,2.648619e-05,2.662760e-05,2.677635e-05,2.699623e-05,2.704952e-05,2.730596e-05,2.733562e-05,2.754597e-05,2.764645e-05,2.776988e-05,2.792949e-05,2.797804e-05,2.817082e-05,2.818559e-05,2.834863e-05,2.841565e-05,2.851187e-05,2.862062e-05,2.866097e-05,2.879636e-05,2.880150e-05,2.891849e-05,2.895929e-05,2.902780e-05,2.909504e-05,2.912475e-05,2.920979e-05,2.930459e-05,2.938048e-05,2.943850e-05,2.947966e-05,2.950496e-05,2.951538e-05,2.951186e-05,2.949532e-05,2.946666e-05,2.942673e-05,2.937635e-05,2.931630e-05,2.924736e-05,2.917022e-05,2.908558e-05,2.899409e-05,2.889635e-05,2.879295e-05,2.868445e-05,2.857134e-05,2.845413e-05,2.833326e-05,2.820917e-05,2.808225e-05
0.000000e+00,3.910348e-10,1.560852e-09,9.895166e-09,2.999519e-08,4.866382e-08,1.329147e-07,1.376982e-07,2.974535e-07,3.576549e-07,5.485977e-07,7.520760e-07,9.126875e-07,1.366469e-06,1.411876e-06,2.065822e-06,2.247282e-06,2.885570e-06,3.417190e-06,3.870461e-06,4.867424e-06,5.012425e-06,6.301585e-06,6.576232e-06,7.728373e-06,8.521587e-06,9.283403e-06,1.068162e-05,1.095692e-05,1.273847e-05,1.303280e-05,1.461681e-05,1.554934e-05,1.658009e-05,1.820361e-05,1.861600e-05,2.071209e-05,2.096707e-05,2.285600e-05,2.381137e-05,2.503576e-05,2.670929e-05,2.723993e-05,2.945781e-05,2.963553e-05,3.167953e-05,3.256725e-05,3.389612e-05,3.548433e-05,3.609954e-05,3.828270e-05,3.836951e-05,4.043940e-05,4.120828e-05,4.256429e-05,4.398869e-05,4.465282e-05,4.670119e-05,4.870627e-05,4.933833e-05,5.066553e-05,5.189445e-05,5.257695e-05,5.436551e-05,5.443903e-05,5.625063e-05,5.674872e-05,5.801100e-05,5.904243e-05,5.971968e-05,6.124586e-05,6.137649e-05,6.298148e-05,6.335899e-05,6.453487e-05,6.538238e-05,6.603707e-05,6.731706e-05,6.748858e-05,6.889006e-05,6.916441e-05,7.024223e-05,7.092614e-05,7.154590e-05,7.260414e-05,7.280194e-05,7.401127e-05,7.420049e-05,7.517484e-05,7.571740e-05,7.629365e-05,7.715714e-05,7.736870e-05,7.840102e-05,7.852207e-05,7.939164e-05,7.981457e-05,8.034161e-05,8.103705e-05,8.125198e-05,8.212378e-05,8.219189e-05,8.295805e-05,8.328148e-05,8.375581e-05,8.430818e-05,8.451810e-05,8.524592e-05,8.527433e-05,8.594026e-05,8.618222e-05,8.660211e-05,8.703410e-05,8.723243e-05,8.783217e-05,8.840227e-05,8.857859e-05,8.894364e-05,8.927545e-05,8.945718e-05,8.992481e-05,8.994377e-05,9.040427e-05,9.052865e-05,9.083953e-05,9.108891e-05,9.125037e-05,9.160746e-05,9.163759e-05,9.200199e-05,9.208613e-05,9.234432e-05,9.252668e-05,9.266535e-05,9.293080e-05,9.296579e-05,9.324637e-05,9.330016e-05,9.350777e-05,9.363635e-05,9.375068e-05,9.394090e-05,9.397574e-05,9.418360e-05,9.421531e-05,9.437489e-05,9.446099e-05,9.455020e-05,9.467935e-05,9.471013e-05,9.485525e-05,9.487170e-05,9.498612e-05,9.503933e-05,9.510328e-05,9.518347e-05,9.520724e-05,9.529853e-05,9.530530e-05,9.537763e-05,9.540597e-05,9.544503e-05,9.548657e-05,9.550119e-05,9.554656e-05,9.554816e-05,9.558158e-05,9.559174e-05,9.560668e-05,9.561829e-05,9.562226e-05,9.562873e-05,9.562397e-05,9.560484e-05,9.557219e-05,9.552678e-05,9.546938e-05,9.540070e-05,9.532144e-05,9.523225e-05,9.513376e-05,9.502657e-05,9.491127e-05,9.478840e-05,9.465848e-05,9.452202e-05,9.437950e-05,9.423136e-05,9.407806e-05,9.391999e-05,9.375756e-05,9.359114e-05,9.342109e-05,9.324774e-05,9.307143e-05,9.289246e-05
0.000000e+00,4.600951e-11,2.646620e-10,2.921867e-09,1.238544e-08,2.305005e-08,8.118732e-08,8.478986e-08,2.147564e-07,2.669785e-07,4.393985e-07,6.306548e-07,7.852822e-07,1.233936e-06,1.279588e-06,1.949333e-06,2.138921e-06,2.817788e-06,3.396609e-06,3.898852e-06,5.027684e-06,5.194258e-06,6.696494e-06,7.020761e-06,8.393859e-06,9.349361e-06,1.027354e-05,1.198381e-05,1.232245e-05,1.452703e-05,1.489326e-05,1.687287e-05,1.804457e-05,1.934462e-05,2.140180e-05,2.192607e-05,2.460032e-05,2.492665e-05,2.735015e-05,2.857958e-05,3.015836e-05,3.232122e-05,3.300805e-05,3.588301e-05,3.611363e-05,3.876788e-05,3.992138e-05,4.164842e-05,4.371236e-05,4.451159e-05,4.734568e-05,4.745829e-05,5.014029e-05,5.113490e-05,5.288636e-05,5.472192e-05,5.557607e-05,5.820281e-05,6.076113e-05,6.156459e-05,6.324663e-05,6.479748e-05,6.565581e-05,6.789437e-05,6.798604e-05,7.023544e-05,7.085061e-05,7.240279e-05,7.366351e-05,7.448741e-05,7.633206e-05,7.648915e-05,7.840826e-05,7.885661e-05,8.024536e-05,8.123864e-05,8.200136e-05,8.348048e-05,8.367744e-05,8.527496e-05,8.558516e-05,8.679543e-05,8.755618e-05,8.824053e-05,8.939746e-05,8.961203e-05,9.091177e-05,9.111319e-05,9.214166e-05,9.270776e-05,9.330363e-05,9.418564e-05,9.439967e-05,9.543175e-05,9.555140e-05,9.640188e-05,9.680962e-05,9.731203e-05,9.796485e-05,9.816418e-05,9.896028e-05,9.902160e-05,9.970225e-05,9.998431e-05,1.003920e-04,1.008573e-04,1.010314e-04,1.016222e-04,1.016449e-04,1.021664e-04,1.023512e-04,1.026655e-04,1.029801e-04,1.031214e-04,1.035357e-04,1.039101e-04,1.040217e-04,1.042461e-04,1.044417e-04,1.045453e-04,1.047993e-04,1.048092e-04,1.050392e-04,1.050978e-04,1.052368e-04,1.053404e-04,1.054034e-04,1.055304e-04,1.055403e-04,1.056487e-04,1.056707e-04,1.057300e-04,1.057641e-04,1.057854e-04,1.058135e-04,1.058159e-04,1.058229e-04,1.058216e-04,1.058074e-04,1.057907e-04,1.057703e-04,1.057234e-04,1.057129e-04,1.056360e-04,1.056220e-04,1.055407e-04,1.054886e-04,1.054277e-04,1.053254e-04,1.052982e-04,1.051528e-04,1.051343e-04,1.049925e-04,1.049174e-04,1.048180e-04,1.046763e-04,1.046301e-04,1.044295e-04,1.044129e-04,1.042170e-04,1.041288e-04,1.039933e-04,1.038256e-04,1.037589e-04,1.035146e-04,1.035047e-04,1.032610e-04,1.031675e-04,1.029986e-04,1.028154e-04,1.027280e-04,1.024498e-04,1.020716e-04,1.016822e-04,1.012827e-04,1.008739e-04,1.004569e-04,1.000326e-04,9.960190e-05,9.916556e-05,9.872437e-05,9.827904e-05,9.783026e-05,9.737867e-05,9.692487e-05,9.646943e-05,9.601287e-05,9.555570e-05,9.509837e-05,9.464133e-05,9.418497e-05,9.372969e-05,9.327583e-05,9.282372e-05,9.237368e-05,9.192597e-05
0.000000e+00,1.772546e-12,1.264588e-11,2.077273e-10,1.195787e-09,2.577099e-09,1.246179e-08,1.316103e-08,4.226970e-08,5.547195e-08,1.029218e-07,1.604065e-07,2.095214e-07,3.613591e-07,3.774270e-07,6.230572e-07,6.954985e-07,9.638747e-07,1.202942e-06,1.417548e-06,1.922629e-06,1.999663e-06,2.719894e-06,2.880691e-06,3.577832e-06,4.074668e-06,4.560896e-06,5.466703e-06,5.646026e-06,6.804381e-06,6.994519e-06,8.006592e-06,8.591374e-06,9.226515e-06,1.020078e-05,1.044293e-05,1.163962e-05,1.178129e-05,1.280457e-05,1.330477e-05,1.392915e-05,1.475298e-05,1.500721e-05,1.603450e-05,1.611439e-05,1.700818e-05,1.738223e-05,1.792656e-05,1.855310e-05,1.878888e-05,1.959513e-05,1.962622e-05,2.034592e-05,2.060284e-05,2.104242e-05,2.148580e-05,2.168617e-05,2.227908e-05,2.282329e-05,2.298753e-05,2.332113e-05,2.361652e-05,2.377501e-05,2.417170e-05,2.418743e-05,2.456089e-05,2.465882e-05,2.489786e-05,2.508353e-05,2.520075e-05,2.545132e-05,2.547190e-05,2.571355e-05,2.576740e-05,2.592785e-05,2.603665e-05,2.611680e-05,2.626362e-05,2.628231e-05,2.642616e-05,2.645248e-05,2.655003e-05,2.660707e-05,2.665547e-05,2.673085e-05,2.674392e-05,2.681672e-05,2.682700e-05,2.687511e-05,2.689836e-05,2.692024e-05,2.694751e-05,2.695317e-05,2.697486e-05,2.697675e-05,2.698623e-05,2.698817e-05,2.698809e-05,2.698363e-05,2.698122e-05,2.696632e-05,2.696480e-05,2.694404e-05,2.693320e-05,2.691497e-05,2.689016e-05,2.687968e-05,2.683865e-05,2.683690e-05,2.679237e-05,2.677451e-05,2.674126e-05,2.670396e-05,2.668573e-05,2.662614e-05,2.656284e-05,2.654185e-05,2.649613e-05,2.645179e-05,2.642631e-05,2.635662e-05,2.635366e-05,2.627841e-05,2.625691e-05,2.620081e-05,2.615320e-05,2.612106e-05,2.604597e-05,2.603937e-05,2.595592e-05,2.593565e-05,2.587088e-05,2.582263e-05,2.578443e-05,2.570728e-05,2.569669e-05,2.560782e-05,2.558992e-05,2.551794e-05,2.547084e-05,2.542717e-05,2.535032e-05,2.533563e-05,2.524341e-05,2.522861e-05,2.515063e-05,2.510592e-05,2.505737e-05,2.498247e-05,2.496371e-05,2.486973e-05,2.485844e-05,2.477551e-05,2.473400e-05,2.468113e-05,2.460932e-05,2.458663e-05,2.449209e-05,2.448453e-05,2.439756e-05,2.435976e-05,2.430310e-05,2.423515e-05,2.420875e-05,2.411456e-05,2.411079e-05,2.402057e-05,2.398680e-05,2.392683e-05,2.386325e-05,2.383338e-05,2.374024e-05,2.361784e-05,2.349613e-05,2.337516e-05,2.325500e-05,2.313570e-05,2.301730e-05,2.289985e-05,2.278340e-05,2.266797e-05,2.255359e-05,2.244031e-05,2.232813e-05,2.221710e-05,2.210721e-05,2.199850e-05,2.189098e-05,2.178466e-05,2.167955e-05,2.157566e-05,2.147300e-05,2.137157e-05,2.127139e-05,2.117244e-05,2.107474e-05
0.000000e+00,1.157752e-15,1.007400e-14,2.478474e-13,2.039622e-12,5.322872e-12,4.147681e-11,4.463764e-11,2.237960e-10,3.298214e-10,8.110057e-10,1.570426e-09,2.350696e-09,5.413508e-09,5.789362e-09,1.259703e-08,1.495071e-08,2.486976e-08,3.514119e-08,4.540154e-08,7.308197e-08,7.771552e-08,1.260439e-07,1.380493e-07,1.952462e-07,2.412397e-07,2.906622e-07,3.951732e-07,4.179044e-07,5.826071e-07,6.128017e-07,7.901563e-07,9.064559e-07,1.045424e-06,1.286795e-06,1.352531e-06,1.714644e-06,1.761904e-06,2.133834e-06,2.336631e-06,2.610983e-06,3.012213e-06,3.145748e-06,3.736570e-06,3.786184e-06,4.380737e-06,4.652529e-06,5.074477e-06,5.602054e-06,5.813080e-06,6.591044e-06,6.622896e-06,7.402239e-06,7.701144e-06,8.240068e-06,8.821496e-06,9.097639e-06,9.967925e-06,1.084392e-05,1.112431e-05,1.171876e-05,1.227501e-05,1.258589e-05,1.340533e-05,1.343912e-05,1.427273e-05,1.450191e-05,1.508156e-05,1.555303e-05,1.586103e-05,1.654878e-05,1.660716e-05,1.731662e-05,1.748112e-05,1.798670e-05,1.834394e-05,1.861530e-05,1.913295e-05,1.920092e-05,1.974258e-05,1.984560e-05,2.023986e-05,2.048089e-05,2.069276e-05,2.103920e-05,2.110171e-05,2.146752e-05,2.152212e-05,2.179129e-05,2.193217e-05,2.207441e-05,2.227268e-05,2.231845e-05,2.252517e-05,2.254756e-05,2.269647e-05,2.276113e-05,2.283432e-05,2.291797e-05,2.294076e-05,2.301784e-05,2.302280e-05,2.306763e-05,2.308036e-05,2.309215e-05,2.309530e-05,2.309342e-05,2.307336e-05,2.307214e-05,2.303384e-05,2.301519e-05,2.297664e-05,2.292853e-05,2.290348e-05,2.281595e-05,2.271557e-05,2.268097e-05,2.260377e-05,2.252683e-05,2.248186e-05,2.235646e-05,2.235108e-05,2.221255e-05,2.217253e-05,2.206735e-05,2.197741e-05,2.191641e-05,2.177326e-05,2.176064e-05,2.160083e-05,2.156196e-05,2.143772e-05,2.134518e-05,2.127197e-05,2.112442e-05,2.110419e-05,2.093493e-05,2.090094e-05,2.076466e-05,2.067587e-05,2.059383e-05,2.045019e-05,2.042283e-05,2.025202e-05,2.022473e-05,2.008170e-05,2.000021e-05,1.991216e-05,1.977724e-05,1.974363e-05,1.957633e-05,1.955635e-05,1.941046e-05,1.933797e-05,1.924617e-05,1.912245e-05,1.908360e-05,1.892289e-05,1.891011e-05,1.876413e-05,1.870119e-05,1.860741e-05,1.849588e-05,1.845281e-05,1.830039e-05,1.829434e-05,1.815020e-05,1.809669e-05,1.800229e-05,1.790302e-05,1.785667e-05,1.771338e-05,1.752783e-05,1.734637e-05,1.716901e-05,1.699573e-05,1.682652e-05,1.666132e-05,1.650011e-05,1.634282e-05,1.618940e-05,1.603979e-05,1.589392e-05,1.575173e-05,1.561313e-05,1.547806e-05,1.534644e-05,1.521819e-05,1.509323e-05,1.497149e-05,1.485289e-05,1.473734e-05,1.462478e-05,1.451512e-05,1.440830e-05,1.430423e-05
0.000000e+00,5.895118e-14,4.847982e-13,1.060565e-11,7.841629e-11,1.929750e-10,1.292723e-09,1.382741e-09,5.975430e-09,8.461012e-09,1.883245e-08,3.368379e-08,4.790864e-08,9.865185e-08,1.045182e-07,2.032999e-07,2.351884e-07,3.619112e-07,4.842460e-07,6.003086e-07,8.927060e-07,9.393912e-07,1.399054e-06,1.507011e-06,1.996112e-06,2.365117e-06,2.742679e-06,3.490341e-06,3.645372e-06,4.705309e-06,4.889298e-06,5.918694e-06,6.553452e-06,7.277695e-06,8.462486e-06,8.771398e-06,1.038668e-05,1.058800e-05,1.210893e-05,1.289665e-05,1.392272e-05,1.535269e-05,1.581224e-05,1.776174e-05,1.791982e-05,1.975586e-05,2.056268e-05,2.177989e-05,2.324791e-05,2.382001e-05,2.586342e-05,2.594505e-05,2.789848e-05,2.862701e-05,2.991478e-05,3.127043e-05,3.190318e-05,3.385574e-05,3.576578e-05,3.636707e-05,3.762772e-05,3.879200e-05,3.943707e-05,4.112128e-05,4.119029e-05,4.288473e-05,4.334836e-05,4.451849e-05,4.546910e-05,4.609037e-05,4.748128e-05,4.759972e-05,4.904641e-05,4.938432e-05,5.043072e-05,5.117891e-05,5.175327e-05,5.286675e-05,5.301497e-05,5.421695e-05,5.445029e-05,5.536052e-05,5.593257e-05,5.644713e-05,5.731699e-05,5.747833e-05,5.845574e-05,5.860725e-05,5.938106e-05,5.980720e-05,6.025598e-05,6.092079e-05,6.108223e-05,6.186154e-05,6.195199e-05,6.259562e-05,6.290473e-05,6.328617e-05,6.378290e-05,6.393486e-05,6.454332e-05,6.459031e-05,6.511317e-05,6.533064e-05,6.564595e-05,6.600747e-05,6.614321e-05,6.660641e-05,6.662425e-05,6.703701e-05,6.718431e-05,6.743638e-05,6.769081e-05,6.780588e-05,6.814682e-05,6.846045e-05,6.855524e-05,6.874799e-05,6.891887e-05,6.901061e-05,6.924034e-05,6.924945e-05,6.946559e-05,6.952219e-05,6.966009e-05,6.976681e-05,6.983394e-05,6.997649e-05,6.998812e-05,7.012357e-05,7.015339e-05,7.024118e-05,7.029958e-05,7.034182e-05,7.041699e-05,7.042630e-05,7.049543e-05,7.050748e-05,7.054996e-05,7.057279e-05,7.059063e-05,7.061460e-05,7.061814e-05,7.063316e-05,7.063445e-05,7.063634e-05,7.063384e-05,7.062829e-05,7.061417e-05,7.060961e-05,7.058086e-05,7.057675e-05,7.054258e-05,7.052286e-05,7.049530e-05,7.045365e-05,7.043951e-05,7.037570e-05,7.037026e-05,7.030431e-05,7.027373e-05,7.022578e-05,7.016505e-05,7.014053e-05,7.004896e-05,7.004517e-05,6.995145e-05,6.991496e-05,6.984837e-05,6.977526e-05,6.974005e-05,6.962685e-05,6.947046e-05,6.930680e-05,6.913651e-05,6.896021e-05,6.877847e-05,6.859185e-05,6.840084e-05,6.820593e-05,6.800757e-05,6.780617e-05,6.760215e-05,6.739585e-05,6.718765e-05,6.697785e-05,6.676676e-05,6.655467e-05,6.634185e-05,6.612854e-05,6.591497e-05,6.570137e-05,6.548792e-05,6.527483e-05,6.506226e-05,6.485038e-05
0.000000e+00,1.211906e-12,8.517345e-12,1.358648e-10,7.632097e-10,1.624524e-09,7.634937e-09,8.054945e-09,2.529734e-08,3.303142e-08,6.063368e-08,9.386464e-08,1.221529e-07,2.090240e-07,2.181532e-07,3.555231e-07,3.951040e-07,5.374958e-07,6.586054e-07,7.629299e-07,9.939925e-07,1.027662e-06,1.326347e-06,1.389677e-06,1.653562e-06,1.833261e-06,2.004128e-06,2.312991e-06,2.373049e-06,2.755433e-06,2.817541e-06,3.146474e-06,3.335874e-06,3.541521e-06,3.857485e-06,3.936190e-06,4.326480e-06,4.372848e-06,4.708869e-06,4.873829e-06,5.080376e-06,5.353937e-06,5.438587e-06,5.781651e-06,5.808398e-06,6.108241e-06,6.234060e-06,6.417511e-06,6.629205e-06,6.709030e-06,6.982718e-06,6.993297e-06,7.238777e-06,7.326718e-06,7.477632e-06,7.630525e-06,7.699878e-06,7.906225e-06,8.097463e-06,8.155604e-06,8.274427e-06,8.380586e-06,8.437968e-06,8.583130e-06,8.588937e-06,8.728167e-06,8.765158e-06,8.856460e-06,8.928507e-06,8.974584e-06,9.074900e-06,9.083263e-06,9.183180e-06,9.205928e-06,9.274972e-06,9.323050e-06,9.359233e-06,9.427590e-06,9.436512e-06,9.507317e-06,9.520744e-06,9.572119e-06,9.603587e-06,9.631348e-06,9.677087e-06,9.685404e-06,9.734652e-06,9.742109e-06,9.779430e-06,9.799427e-06,9.820046e-06,9.849736e-06,9.856787e-06,9.889914e-06,9.893658e-06,9.919670e-06,9.931752e-06,9.946275e-06,9.964517e-06,9.969937e-06,9.990845e-06,9.992404e-06,1.000918e-05,1.001582e-05,1.002509e-05,1.003514e-05,1.003874e-05,1.005026e-05,1.005068e-05,1.005978e-05,1.006275e-05,1.006743e-05,1.007162e-05,1.007331e-05,1.007754e-05,1.008020e-05,1.008073e-05,1.008139e-05,1.008142e-05,1.008119e-05,1.007977e-05,1.007969e-05,1.007696e-05,1.007598e-05,1.007306e-05,1.007020e-05,1.006807e-05,1.006257e-05,1.006205e-05,1.005506e-05,1.005324e-05,1.004714e-05,1.004233e-05,1.003836e-05,1.002996e-05,1.002877e-05,1.001840e-05,1.001624e-05,1.000731e-05,1.000127e-05,9.995531e-06,9.985139e-06,9.983109e-06,9.970080e-06,9.967941e-06,9.956478e-06,9.949757e-06,9.942339e-06,9.930661e-06,9.927693e-06,9.912572e-06,9.910727e-06,9.897005e-06,9.890021e-06,9.881019e-06,9.868606e-06,9.864641e-06,9.847895e-06,9.846540e-06,9.830806e-06,9.823880e-06,9.813397e-06,9.800676e-06,9.795688e-06,9.777702e-06,9.776977e-06,9.759457e-06,9.752829e-06,9.740973e-06,9.728276e-06,9.722267e-06,9.703356e-06,9.678110e-06,9.652572e-06,9.626777e-06,9.600755e-06,9.574537e-06,9.548152e-06,9.521626e-06,9.494983e-06,9.468247e-06,9.441441e-06,9.414586e-06,9.387700e-06,9.360804e-06,9.333913e-06,9.307046e-06,9.280216e-06,9.253439e-06,9.226728e-06,9.200096e-06,9.173555e-06,9.147116e-06,9.120790e-06,9.094587e-06,9.068516e-06
0.000000e+00,2.640433e-10,8.986557e-10,4.677187e-09,1.283611e-08,2.005439e-08,5.126795e-08,5.300662e-08,1.102895e-07,1.316761e-07,1.993005e-07,2.713046e-07,3.281827e-07,4.891113e-07,5.052260e-07,7.372492e-07,8.015390e-07,1.026861e-06,1.212861e-06,1.369580e-06,1.705737e-06,1.753463e-06,2.162842e-06,2.246441e-06,2.583207e-06,2.802368e-06,3.003655e-06,3.351421e-06,3.416815e-06,3.817874e-06,3.880693e-06,4.203704e-06,4.382869e-06,4.572292e-06,4.853894e-06,4.922397e-06,5.253345e-06,5.291757e-06,5.564898e-06,5.695850e-06,5.857149e-06,6.066563e-06,6.130455e-06,6.385364e-06,6.404982e-06,6.622566e-06,6.712662e-06,6.842846e-06,6.991443e-06,7.047051e-06,7.236055e-06,7.243312e-06,7.410745e-06,7.470298e-06,7.571994e-06,7.674404e-06,7.720658e-06,7.857560e-06,7.983488e-06,8.021590e-06,8.099188e-06,8.168197e-06,8.205367e-06,8.298957e-06,8.302688e-06,8.391772e-06,8.415320e-06,8.473201e-06,8.518610e-06,8.547516e-06,8.610037e-06,8.615221e-06,8.676787e-06,8.690699e-06,8.732649e-06,8.761593e-06,8.783212e-06,8.823622e-06,8.828850e-06,8.869913e-06,8.877606e-06,8.906723e-06,8.924284e-06,8.939580e-06,8.964329e-06,8.968761e-06,8.994524e-06,8.998345e-06,9.017108e-06,9.026885e-06,9.036734e-06,9.050444e-06,9.053609e-06,9.067922e-06,9.069476e-06,9.079852e-06,9.084389e-06,9.089563e-06,9.095554e-06,9.097207e-06,9.102926e-06,9.103305e-06,9.106853e-06,9.107949e-06,9.109109e-06,9.109765e-06,9.109811e-06,9.109064e-06,9.109005e-06,9.106968e-06,9.105901e-06,9.103615e-06,9.100662e-06,9.099092e-06,9.093480e-06,9.086853e-06,9.084530e-06,9.079283e-06,9.073974e-06,9.070836e-06,9.061958e-06,9.061572e-06,9.051550e-06,9.048616e-06,9.040825e-06,9.034073e-06,9.029446e-06,9.018441e-06,9.017461e-06,9.004914e-06,9.001824e-06,8.991848e-06,8.984319e-06,8.978302e-06,8.966014e-06,8.964313e-06,8.949914e-06,8.946988e-06,8.935139e-06,8.927318e-06,8.920019e-06,8.907072e-06,8.904582e-06,8.888855e-06,8.886314e-06,8.872864e-06,8.865102e-06,8.856634e-06,8.843492e-06,8.840186e-06,8.823542e-06,8.821533e-06,8.806723e-06,8.799272e-06,8.789747e-06,8.776752e-06,8.772633e-06,8.755397e-06,8.754013e-06,8.738055e-06,8.731092e-06,8.720622e-06,8.708023e-06,8.703114e-06,8.685542e-06,8.684838e-06,8.667920e-06,8.661567e-06,8.650260e-06,8.638236e-06,8.632574e-06,8.614871e-06,8.591495e-06,8.568131e-06,8.544798e-06,8.521515e-06,8.498299e-06,8.475166e-06,8.452132e-06,8.429209e-06,8.406410e-06,8.383747e-06,8.361231e-06,8.338871e-06,8.316677e-06,8.294657e-06,8.272819e-06,8.251169e-06,8.229714e-06,8.208459e-06,8.187410e-06,8.166572e-06,8.145948e-06,8.125543e-06,8.105359e-06,8.085400e-06
0.000000e+00,2.739706e-12,1.874360e-11,2.839236e-10,1.529260e-09,3.187610e-09,1.429256e-08,1.505321e-08,4.558828e-08,5.903857e-08,1.064812e-07,1.630267e-07,2.109722e-07,3.583463e-07,3.738963e-07,6.103360e-07,6.794164e-07,9.314250e-07,1.149551e-06,1.339669e-06,1.765920e-06,1.828457e-06,2.385946e-06,2.504553e-06,2.999457e-06,3.336826e-06,3.657788e-06,4.238552e-06,4.351609e-06,5.072982e-06,5.190474e-06,5.814765e-06,6.176088e-06,6.570240e-06,7.180124e-06,7.332940e-06,8.096639e-06,8.188065e-06,8.855425e-06,9.186302e-06,9.603809e-06,1.016255e-05,1.033683e-05,1.105013e-05,1.110623e-05,1.174003e-05,1.200874e-05,1.240351e-05,1.286353e-05,1.303825e-05,1.364253e-05,1.366605e-05,1.421526e-05,1.441360e-05,1.475588e-05,1.510511e-05,1.526432e-05,1.574086e-05,1.618613e-05,1.632216e-05,1.660103e-05,1.685112e-05,1.698664e-05,1.733041e-05,1.734419e-05,1.767495e-05,1.776295e-05,1.798030e-05,1.815190e-05,1.826164e-05,1.850047e-05,1.852037e-05,1.875785e-05,1.881184e-05,1.897546e-05,1.908912e-05,1.917449e-05,1.933524e-05,1.935617e-05,1.952168e-05,1.955294e-05,1.967213e-05,1.974477e-05,1.980859e-05,1.991313e-05,1.993205e-05,2.004341e-05,2.006016e-05,2.014354e-05,2.018784e-05,2.023323e-05,2.029797e-05,2.031323e-05,2.038423e-05,2.039218e-05,2.044688e-05,2.047195e-05,2.050176e-05,2.053861e-05,2.054941e-05,2.059036e-05,2.059336e-05,2.062506e-05,2.063729e-05,2.065395e-05,2.067138e-05,2.067743e-05,2.069588e-05,2.069652e-05,2.070964e-05,2.071350e-05,2.071902e-05,2.072306e-05,2.072433e-05,2.072585e-05,2.072381e-05,2.072245e-05,2.071847e-05,2.071342e-05,2.071004e-05,2.069924e-05,2.069873e-05,2.068473e-05,2.068036e-05,2.066823e-05,2.065718e-05,2.064937e-05,2.063009e-05,2.062833e-05,2.060525e-05,2.059942e-05,2.058026e-05,2.056548e-05,2.055349e-05,2.052856e-05,2.052507e-05,2.049509e-05,2.048892e-05,2.046368e-05,2.044680e-05,2.043092e-05,2.040243e-05,2.039691e-05,2.036174e-05,2.035601e-05,2.032550e-05,2.030774e-05,2.028825e-05,2.025777e-05,2.025007e-05,2.021103e-05,2.020629e-05,2.017120e-05,2.015344e-05,2.013064e-05,2.009936e-05,2.008941e-05,2.004755e-05,2.004418e-05,2.000513e-05,1.998802e-05,1.996220e-05,1.993099e-05,1.991880e-05,1.987497e-05,1.987321e-05,1.983075e-05,1.981475e-05,1.978620e-05,1.975572e-05,1.974133e-05,1.969620e-05,1.963627e-05,1.957600e-05,1.951545e-05,1.945471e-05,1.939381e-05,1.933283e-05,1.927180e-05,1.921079e-05,1.914983e-05,1.908896e-05,1.902823e-05,1.896768e-05,1.890733e-05,1.884722e-05,1.878739e-05,1.872784e-05,1.866862e-05,1.860974e-05,1.855123e-05,1.849311e-05,1.843539e-05,1.837810e-05,1.832125e-05,1.826485e-05
0.000000e+00,1.734058e-11,1.065170e-10,1.320832e-09,6.089452e-09,1.177429e-08,4.479495e-08,4.690274e-08,1.250619e-07,1.571539e-07,2.644231e-07,3.846364e-07,4.822506e-07,7.660659e-07,7.949457e-07,1.218122e-06,1.337770e-06,1.766292e-06,2.132594e-06,2.451755e-06,3.175122e-06,3.282638e-06,4.261105e-06,4.474255e-06,5.383223e-06,6.020817e-06,6.640569e-06,7.793340e-06,8.022289e-06,9.516462e-06,9.765142e-06,1.111071e-05,1.190778e-05,1.279238e-05,1.419202e-05,1.454862e-05,1.636646e-05,1.658813e-05,1.823297e-05,1.906636e-05,2.013542e-05,2.159772e-05,2.206150e-05,2.399948e-05,2.415469e-05,2.593837e-05,2.671188e-05,2.786806e-05,2.924654e-05,2.977937e-05,3.166412e-05,3.173885e-05,3.351514e-05,3.417203e-05,3.532625e-05,3.653229e-05,3.709221e-05,3.880869e-05,4.047220e-05,4.099286e-05,4.207998e-05,4.307875e-05,4.362999e-05,4.506231e-05,4.512079e-05,4.655146e-05,4.694121e-05,4.792158e-05,4.871454e-05,4.923109e-05,5.038258e-05,5.048032e-05,5.166986e-05,5.194656e-05,5.280056e-05,5.340844e-05,5.387348e-05,5.477079e-05,5.488980e-05,5.585089e-05,5.603660e-05,5.675816e-05,5.720918e-05,5.761314e-05,5.829207e-05,5.841741e-05,5.917258e-05,5.928896e-05,5.988029e-05,6.020361e-05,6.054218e-05,6.103982e-05,6.115991e-05,6.173513e-05,6.180137e-05,6.226945e-05,6.249202e-05,6.276450e-05,6.311543e-05,6.322184e-05,6.364302e-05,6.367520e-05,6.402957e-05,6.417483e-05,6.438297e-05,6.461771e-05,6.470467e-05,6.499606e-05,6.500711e-05,6.525853e-05,6.534619e-05,6.549338e-05,6.563797e-05,6.570192e-05,6.588537e-05,6.604496e-05,6.609117e-05,6.618183e-05,6.625804e-05,6.629712e-05,6.638850e-05,6.639192e-05,6.646725e-05,6.648500e-05,6.652414e-05,6.654983e-05,6.656355e-05,6.658518e-05,6.658642e-05,6.659365e-05,6.659315e-05,6.658609e-05,6.657571e-05,6.656458e-05,6.653474e-05,6.652991e-05,6.648285e-05,6.647202e-05,6.642414e-05,6.638923e-05,6.635446e-05,6.628797e-05,6.627451e-05,6.618492e-05,6.616973e-05,6.608631e-05,6.603595e-05,6.597927e-05,6.588796e-05,6.586438e-05,6.574216e-05,6.572703e-05,6.561314e-05,6.555434e-05,6.547781e-05,6.537103e-05,6.533664e-05,6.519009e-05,6.517814e-05,6.503857e-05,6.497667e-05,6.488251e-05,6.476755e-05,6.472229e-05,6.455827e-05,6.455164e-05,6.439083e-05,6.432977e-05,6.422028e-05,6.410271e-05,6.404696e-05,6.387116e-05,6.363581e-05,6.339728e-05,6.315614e-05,6.291294e-05,6.266820e-05,6.242237e-05,6.217589e-05,6.192918e-05,6.168259e-05,6.143648e-05,6.119117e-05,6.094695e-05,6.070408e-05,6.046283e-05,6.022340e-05,5.998601e-05,5.975085e-05,5.951808e-05,5.928786e-05,5.906032e-05,5.883559e-05,5.861378e-05,5.839499e-05,5.817929e-05
0.000000e+00,4.261163e-13,3.283153e-12,6.287473e-11,4.130590e-10,9.539688e-10,5.452347e-09,5.795479e-09,2.158490e-08,2.940170e-08,5.956809e-08,9.910426e-08,1.347072e-07,2.520091e-07,2.649161e-07,4.704137e-07,5.333419e-07,7.730417e-07,9.932559e-07,1.194976e-06,1.680946e-06,1.756186e-06,2.470735e-06,2.632651e-06,3.343362e-06,3.858058e-06,4.368233e-06,5.336083e-06,5.530463e-06,6.809375e-06,7.023297e-06,8.181940e-06,8.867295e-06,9.625385e-06,1.081694e-05,1.111864e-05,1.264294e-05,1.282713e-05,1.418187e-05,1.485990e-05,1.572124e-05,1.688385e-05,1.724881e-05,1.875414e-05,1.887333e-05,2.022842e-05,2.080774e-05,2.166430e-05,2.267097e-05,2.305583e-05,2.439833e-05,2.445096e-05,2.568823e-05,2.613920e-05,2.692300e-05,2.773028e-05,2.810100e-05,2.922134e-05,3.028381e-05,3.061161e-05,3.128872e-05,3.190199e-05,3.223682e-05,3.309460e-05,3.312924e-05,3.396734e-05,3.419249e-05,3.475273e-05,3.519937e-05,3.548713e-05,3.611934e-05,3.617240e-05,3.681043e-05,3.695675e-05,3.740318e-05,3.771606e-05,3.795259e-05,3.840176e-05,3.846060e-05,3.892914e-05,3.901827e-05,3.936007e-05,3.956991e-05,3.975524e-05,4.006084e-05,4.011642e-05,4.044533e-05,4.049507e-05,4.074364e-05,4.087643e-05,4.101294e-05,4.120854e-05,4.125478e-05,4.147064e-05,4.149486e-05,4.166191e-05,4.173863e-05,4.182996e-05,4.194294e-05,4.197607e-05,4.210148e-05,4.211066e-05,4.220737e-05,4.224451e-05,4.229485e-05,4.234704e-05,4.236500e-05,4.241882e-05,4.242065e-05,4.245729e-05,4.246756e-05,4.248132e-05,4.248986e-05,4.249179e-05,4.248953e-05,4.247532e-05,4.246838e-05,4.244993e-05,4.242812e-05,4.241404e-05,4.237036e-05,4.236835e-05,4.231348e-05,4.229656e-05,4.225006e-05,4.220813e-05,4.217864e-05,4.210635e-05,4.209978e-05,4.201398e-05,4.199242e-05,4.192175e-05,4.186746e-05,4.182354e-05,4.173253e-05,4.171980e-05,4.161093e-05,4.158857e-05,4.149733e-05,4.143651e-05,4.137936e-05,4.127716e-05,4.125739e-05,4.113175e-05,4.111132e-05,4.100274e-05,4.093971e-05,4.087066e-05,4.076298e-05,4.073580e-05,4.059842e-05,4.058178e-05,4.045877e-05,4.039667e-05,4.031709e-05,4.020818e-05,4.017359e-05,4.002849e-05,4.001682e-05,3.988199e-05,3.982303e-05,3.973427e-05,3.962725e-05,3.958550e-05,3.943587e-05,3.942987e-05,3.928551e-05,3.923123e-05,3.913458e-05,3.903169e-05,3.898322e-05,3.883154e-05,3.863108e-05,3.843055e-05,3.823021e-05,3.803026e-05,3.783092e-05,3.763236e-05,3.743477e-05,3.723828e-05,3.704304e-05,3.684918e-05,3.665682e-05,3.646606e-05,3.627699e-05,3.608970e-05,3.590427e-05,3.572076e-05,3.553924e-05,3.535975e-05,3.518236e-05,3.500709e-05,3.483398e-05,3.466306e-05,3.449436e-05,3.432789e-05
0.000000e+00,4.849880e-14,4.110105e-13,9.567012e-12,7.484153e-11,1.899576e-10,1.377889e-09,1.478602e-09,6.911406e-09,9.996380e-09,2.346520e-08,4.380525e-08,6.406024e-08,1.403104e-07,1.494328e-07,3.096870e-07,3.635595e-07,5.852316e-07,8.083363e-07,1.026524e-06,1.598269e-06,1.692026e-06,2.644355e-06,2.874753e-06,3.945341e-06,4.778618e-06,5.651084e-06,7.430943e-06,7.807903e-06,1.044967e-05,1.091891e-05,1.359660e-05,1.528897e-05,1.725519e-05,2.054662e-05,2.141914e-05,2.607068e-05,2.666041e-05,3.118232e-05,3.356830e-05,3.671856e-05,4.118452e-05,4.263757e-05,4.889285e-05,4.940632e-05,5.543463e-05,5.812003e-05,6.221128e-05,6.720651e-05,6.917047e-05,7.626027e-05,7.654586e-05,8.343006e-05,8.602134e-05,9.063133e-05,9.552272e-05,9.781836e-05,1.049487e-04,1.119836e-04,1.142088e-04,1.188883e-04,1.232245e-04,1.256319e-04,1.319296e-04,1.321879e-04,1.385337e-04,1.402702e-04,1.446506e-04,1.482044e-04,1.505236e-04,1.557014e-04,1.561412e-04,1.614951e-04,1.627401e-04,1.665799e-04,1.693087e-04,1.713927e-04,1.754026e-04,1.759330e-04,1.802022e-04,1.810238e-04,1.842035e-04,1.861797e-04,1.879413e-04,1.908817e-04,1.914215e-04,1.946508e-04,1.951447e-04,1.976366e-04,1.989858e-04,2.003872e-04,2.024240e-04,2.029110e-04,2.052169e-04,2.054794e-04,2.073139e-04,2.081727e-04,2.092111e-04,2.105251e-04,2.109178e-04,2.124429e-04,2.125574e-04,2.137955e-04,2.142903e-04,2.149844e-04,2.157439e-04,2.160182e-04,2.169052e-04,2.169378e-04,2.176536e-04,2.178906e-04,2.182713e-04,2.186205e-04,2.187657e-04,2.191444e-04,2.194141e-04,2.194786e-04,2.195818e-04,2.196385e-04,2.196537e-04,2.196385e-04,2.196362e-04,2.195350e-04,2.194924e-04,2.193557e-04,2.192129e-04,2.191037e-04,2.188121e-04,2.187841e-04,2.184017e-04,2.183011e-04,2.179611e-04,2.176905e-04,2.174666e-04,2.169901e-04,2.169223e-04,2.163322e-04,2.162090e-04,2.157000e-04,2.153557e-04,2.150291e-04,2.144381e-04,2.143229e-04,2.135844e-04,2.134635e-04,2.128168e-04,2.124387e-04,2.120227e-04,2.113701e-04,2.112047e-04,2.103654e-04,2.102634e-04,2.095071e-04,2.091239e-04,2.086319e-04,2.079568e-04,2.077419e-04,2.068391e-04,2.067664e-04,2.059253e-04,2.055571e-04,2.050022e-04,2.043327e-04,2.040714e-04,2.031343e-04,2.030967e-04,2.021924e-04,2.018524e-04,2.012470e-04,2.006028e-04,2.002994e-04,1.993506e-04,1.980982e-04,1.968479e-04,1.956018e-04,1.943616e-04,1.931292e-04,1.919059e-04,1.906931e-04,1.894921e-04,1.883039e-04,1.871295e-04,1.859696e-04,1.848252e-04,1.836967e-04,1.825848e-04,1.814898e-04,1.804123e-04,1.793526e-04,1.783108e-04,1.772873e-04,1.762821e-04,1.752955e-04,1.743273e-04,1.733777e-04,1.724467e-04
0.000000e+00,2.836778e-09,7.692610e-09,3.158748e-08,7.829908e-08,1.182336e-07,2.881301e-07,2.975878e-07,6.128287e-07,7.327267e-07,1.119563e-06,1.541604e-06,1.879298e-06,2.835012e-06,2.929719e-06,4.256195e-06,4.610502e-06,5.811611e-06,6.765447e-06,7.551276e-06,9.208888e-06,9.443128e-06,1.146410e-05,1.188210e-05,1.359549e-05,1.474176e-05,1.582020e-05,1.774875e-05,1.812139e-05,2.048214e-05,2.086426e-05,2.288560e-05,2.404957e-05,2.531527e-05,2.726713e-05,2.775522e-05,3.019055e-05,3.048182e-05,3.260759e-05,3.366208e-05,3.499408e-05,3.678071e-05,3.733927e-05,3.963395e-05,3.981510e-05,4.187034e-05,4.274709e-05,4.404202e-05,4.556273e-05,4.614404e-05,4.817274e-05,4.825232e-05,5.012542e-05,5.080940e-05,5.200029e-05,5.323026e-05,5.379642e-05,5.551353e-05,5.715189e-05,5.765965e-05,5.871224e-05,5.967043e-05,6.019570e-05,6.154880e-05,6.160370e-05,6.293793e-05,6.329854e-05,6.420016e-05,6.492362e-05,6.539206e-05,6.642835e-05,6.651580e-05,6.757389e-05,6.781828e-05,6.856835e-05,6.909831e-05,6.950149e-05,7.027369e-05,7.037552e-05,7.119256e-05,7.134933e-05,7.195481e-05,7.233024e-05,7.266441e-05,7.322130e-05,7.332343e-05,7.393390e-05,7.402720e-05,7.449783e-05,7.475257e-05,7.501721e-05,7.540191e-05,7.549393e-05,7.592984e-05,7.597949e-05,7.632672e-05,7.648943e-05,7.668630e-05,7.693565e-05,7.701023e-05,7.730014e-05,7.732191e-05,7.755760e-05,7.765183e-05,7.778411e-05,7.792886e-05,7.798113e-05,7.815008e-05,7.815627e-05,7.829228e-05,7.833718e-05,7.840904e-05,7.847454e-05,7.850160e-05,7.857115e-05,7.861886e-05,7.862969e-05,7.864582e-05,7.865268e-05,7.865310e-05,7.864251e-05,7.864171e-05,7.861264e-05,7.860146e-05,7.856682e-05,7.853167e-05,7.850515e-05,7.843516e-05,7.842849e-05,7.833766e-05,7.831384e-05,7.823346e-05,7.816954e-05,7.811663e-05,7.800396e-05,7.798791e-05,7.784799e-05,7.781872e-05,7.769754e-05,7.761535e-05,7.753718e-05,7.739526e-05,7.736752e-05,7.718915e-05,7.715983e-05,7.700261e-05,7.691033e-05,7.680844e-05,7.664795e-05,7.660714e-05,7.639920e-05,7.637382e-05,7.618507e-05,7.608901e-05,7.596519e-05,7.579451e-05,7.574000e-05,7.550988e-05,7.549127e-05,7.527521e-05,7.518016e-05,7.503637e-05,7.486202e-05,7.479370e-05,7.454753e-05,7.453762e-05,7.429818e-05,7.420769e-05,7.404594e-05,7.387291e-05,7.379110e-05,7.353393e-05,7.319134e-05,7.284571e-05,7.249756e-05,7.214738e-05,7.179562e-05,7.144273e-05,7.108909e-05,7.073507e-05,7.038103e-05,7.002728e-05,6.967412e-05,6.932184e-05,6.897068e-05,6.862089e-05,6.827268e-05,6.792626e-05,6.758182e-05,6.723953e-05,6.689955e-05,6.656202e-05,6.622707e-05,6.589483e-05,6.556541e-05,6.523890e-05
0.000000e+00,9.769273e-17,8.739101e-16,2.285243e-14,1.990966e-13,5.364120e-13,4.546737e-12,4.910285e-12,2.683578e-11,4.050593e-11,1.058582e-10,2.155348e-10,3.335034e-10,8.281620e-10,8.914300e-10,2.101921e-09,2.542641e-09,4.490006e-09,6.626314e-09,8.855629e-09,1.524009e-08,1.635340e-08,2.857658e-08,3.176433e-08,4.764079e-08,6.113361e-08,7.626250e-08,1.101463e-07,1.178267e-07,1.764390e-07,1.877130e-07,2.569592e-07,3.050130e-07,3.650115e-07,4.755370e-07,5.069724e-07,6.899348e-07,7.150073e-07,9.216486e-07,1.041174e-06,1.210440e-06,1.473498e-06,1.565113e-06,1.994830e-06,2.032729e-06,2.508984e-06,2.740414e-06,3.117061e-06,3.618333e-06,3.828489e-06,4.652489e-06,4.687918e-06,5.597933e-06,5.969653e-06,6.673191e-06,7.482495e-06,7.886001e-06,9.243335e-06,1.075129e-05,1.126652e-05,1.241499e-05,1.356342e-05,1.423850e-05,1.614214e-05,1.622474e-05,1.837547e-05,1.900725e-05,2.069124e-05,2.215969e-05,2.317138e-05,2.559668e-05,2.581400e-05,2.861603e-05,2.931179e-05,3.157322e-05,3.329508e-05,3.468023e-05,3.753328e-05,3.793067e-05,4.131718e-05,4.201010e-05,4.483151e-05,4.670650e-05,4.846462e-05,5.160111e-05,5.220676e-05,5.604758e-05,5.667055e-05,5.997623e-05,6.188989e-05,6.398146e-05,6.723304e-05,6.805174e-05,7.217531e-05,7.267316e-05,7.634034e-05,7.818302e-05,8.053497e-05,8.373544e-05,8.474743e-05,8.896611e-05,8.930353e-05,9.317963e-05,9.486110e-05,9.737691e-05,1.003829e-04,1.015472e-04,1.056804e-04,1.058448e-04,1.097664e-04,1.112241e-04,1.137961e-04,1.164996e-04,1.177606e-04,1.216519e-04,1.254621e-04,1.266632e-04,1.291845e-04,1.315176e-04,1.328125e-04,1.362012e-04,1.363404e-04,1.397630e-04,1.407019e-04,1.430759e-04,1.450093e-04,1.462750e-04,1.491149e-04,1.493571e-04,1.523193e-04,1.530121e-04,1.551594e-04,1.566958e-04,1.578757e-04,1.601627e-04,1.604670e-04,1.629327e-04,1.634107e-04,1.652724e-04,1.664393e-04,1.674863e-04,1.692493e-04,1.695751e-04,1.715397e-04,1.718426e-04,1.733813e-04,1.742221e-04,1.751017e-04,1.763919e-04,1.767027e-04,1.781864e-04,1.783567e-04,1.795553e-04,1.801219e-04,1.808120e-04,1.816938e-04,1.819593e-04,1.830002e-04,1.830789e-04,1.839376e-04,1.842844e-04,1.847750e-04,1.853177e-04,1.855155e-04,1.861626e-04,1.861866e-04,1.867196e-04,1.868988e-04,1.871901e-04,1.874624e-04,1.875776e-04,1.878855e-04,1.881762e-04,1.883424e-04,1.883921e-04,1.883330e-04,1.881729e-04,1.879191e-04,1.875789e-04,1.871592e-04,1.866667e-04,1.861079e-04,1.854889e-04,1.848156e-04,1.840937e-04,1.833284e-04,1.825247e-04,1.816874e-04,1.808209e-04,1.799294e-04,1.790168e-04,1.780868e-04,1.771427e-04,1.761877e-04,1.752247e-04,1.742565e-04
0.000000e+00,2.872237e-09,7.695346e-09,3.148446e-08,7.915415e-08,1.212651e-07,3.136433e-07,3.249312e-07,7.279744e-07,8.909390e-07,1.428071e-06,2.003476e-06,2.444107e-06,3.597299e-06,3.705388e-06,5.142710e-06,5.508998e-06,6.716582e-06,7.649105e-06,8.405208e-06,9.974252e-06,1.019371e-05,1.206888e-05,1.245314e-05,1.401715e-05,1.505435e-05,1.602400e-05,1.774387e-05,1.807417e-05,2.015218e-05,2.048621e-05,2.224278e-05,2.324645e-05,2.433150e-05,2.599213e-05,2.640502e-05,2.845140e-05,2.869463e-05,3.046028e-05,3.133000e-05,3.242290e-05,3.387904e-05,3.433201e-05,3.618184e-05,3.632712e-05,3.796802e-05,3.866393e-05,3.968741e-05,4.088278e-05,4.133787e-05,4.291816e-05,4.297990e-05,4.442780e-05,4.495398e-05,4.586690e-05,4.680551e-05,4.723611e-05,4.853644e-05,4.976926e-05,5.014978e-05,5.093624e-05,5.164931e-05,5.203902e-05,5.303904e-05,5.307949e-05,5.405964e-05,5.432355e-05,5.498150e-05,5.550750e-05,5.584716e-05,5.659571e-05,5.665869e-05,5.741816e-05,5.759292e-05,5.812763e-05,5.850385e-05,5.878912e-05,5.933315e-05,5.940465e-05,5.997614e-05,6.008532e-05,6.050549e-05,6.076471e-05,6.099454e-05,6.137551e-05,6.144508e-05,6.185884e-05,6.192174e-05,6.223750e-05,6.240727e-05,6.258269e-05,6.283577e-05,6.289594e-05,6.317879e-05,6.321075e-05,6.343266e-05,6.353555e-05,6.365897e-05,6.381335e-05,6.385905e-05,6.403418e-05,6.404716e-05,6.418562e-05,6.423983e-05,6.431455e-05,6.439407e-05,6.442210e-05,6.450937e-05,6.451246e-05,6.457742e-05,6.459740e-05,6.462724e-05,6.465120e-05,6.465980e-05,6.467601e-05,6.467676e-05,6.467387e-05,6.466289e-05,6.464672e-05,6.463521e-05,6.459636e-05,6.459449e-05,6.454146e-05,6.452450e-05,6.447683e-05,6.443277e-05,6.440127e-05,6.432266e-05,6.431543e-05,6.421992e-05,6.419562e-05,6.411531e-05,6.405298e-05,6.400218e-05,6.389600e-05,6.388106e-05,6.375244e-05,6.372587e-05,6.361683e-05,6.354370e-05,6.347467e-05,6.335053e-05,6.332642e-05,6.317249e-05,6.314736e-05,6.301327e-05,6.293509e-05,6.284916e-05,6.271459e-05,6.268051e-05,6.250768e-05,6.248667e-05,6.233098e-05,6.225209e-05,6.215073e-05,6.201155e-05,6.196723e-05,6.178076e-05,6.176573e-05,6.159160e-05,6.151524e-05,6.139999e-05,6.126066e-05,6.120619e-05,6.101041e-05,6.100254e-05,6.081288e-05,6.074139e-05,6.061381e-05,6.047767e-05,6.041340e-05,6.021183e-05,5.994428e-05,5.967541e-05,5.940557e-05,5.913509e-05,5.886429e-05,5.859345e-05,5.832284e-05,5.805270e-05,5.778327e-05,5.751475e-05,5.724734e-05,5.698121e-05,5.671655e-05,5.645349e-05,5.619218e-05,5.593275e-05,5.567531e-05,5.541997e-05,5.516683e-05,5.491598e-05,5.466749e-05,5.442144e-05,5.417789e-05,5.393690e-05
0.000000e+00,7.031322e-10,1.744113e-09,6.522969e-09,1.543239e-08,2.284601e-08,5.319456e-08,5.483991e-08,1.077243e-07,1.270212e-07,1.870660e-07,2.498758e-07,2.989185e-07,4.357445e-07,4.493168e-07,6.426754e-07,6.956830e-07,8.802685e-07,1.032208e-06,1.160792e-06,1.441453e-06,1.482092e-06,1.842158e-06,1.918666e-06,2.239254e-06,2.459846e-06,2.671774e-06,3.061255e-06,3.138056e-06,3.636275e-06,3.718819e-06,4.164376e-06,4.427812e-06,4.720057e-06,5.182759e-06,5.300777e-06,5.903791e-06,5.977514e-06,6.526184e-06,6.805397e-06,7.164921e-06,7.659385e-06,7.816902e-06,8.479024e-06,8.532339e-06,9.148217e-06,9.417202e-06,9.821498e-06,1.030718e-05,1.049601e-05,1.116906e-05,1.119592e-05,1.183814e-05,1.207758e-05,1.250093e-05,1.294696e-05,1.315534e-05,1.379950e-05,1.443177e-05,1.463135e-05,1.505073e-05,1.543930e-05,1.565515e-05,1.622080e-05,1.624404e-05,1.681657e-05,1.697384e-05,1.737205e-05,1.769694e-05,1.790999e-05,1.838911e-05,1.843005e-05,1.893202e-05,1.904979e-05,1.941580e-05,1.967876e-05,1.988138e-05,2.027612e-05,2.032887e-05,2.075845e-05,2.084224e-05,2.117035e-05,2.137766e-05,2.156488e-05,2.188310e-05,2.194236e-05,2.230319e-05,2.235941e-05,2.264778e-05,2.280753e-05,2.297656e-05,2.322852e-05,2.329001e-05,2.358862e-05,2.362348e-05,2.387286e-05,2.399349e-05,2.414317e-05,2.433957e-05,2.440000e-05,2.464382e-05,2.466278e-05,2.487510e-05,2.496420e-05,2.509428e-05,2.524484e-05,2.530179e-05,2.549807e-05,2.550569e-05,2.568353e-05,2.574773e-05,2.585860e-05,2.597191e-05,2.602367e-05,2.617912e-05,2.632535e-05,2.637025e-05,2.646270e-05,2.654611e-05,2.659153e-05,2.670750e-05,2.671218e-05,2.682497e-05,2.685518e-05,2.693021e-05,2.698987e-05,2.702822e-05,2.711225e-05,2.711929e-05,2.720369e-05,2.722298e-05,2.728170e-05,2.732269e-05,2.735358e-05,2.741196e-05,2.741958e-05,2.747994e-05,2.749135e-05,2.753489e-05,2.756140e-05,2.758465e-05,2.762261e-05,2.762945e-05,2.766948e-05,2.767545e-05,2.770494e-05,2.772039e-05,2.773601e-05,2.775784e-05,2.776289e-05,2.778575e-05,2.778823e-05,2.780474e-05,2.781192e-05,2.782005e-05,2.782930e-05,2.783180e-05,2.784017e-05,2.784069e-05,2.784528e-05,2.784644e-05,2.784727e-05,2.784686e-05,2.784629e-05,2.784244e-05,2.784223e-05,2.783585e-05,2.783283e-05,2.782664e-05,2.781894e-05,2.781493e-05,2.780080e-05,2.777866e-05,2.775273e-05,2.772323e-05,2.769036e-05,2.765432e-05,2.761529e-05,2.757344e-05,2.752893e-05,2.748193e-05,2.743258e-05,2.738103e-05,2.732740e-05,2.727182e-05,2.721442e-05,2.715531e-05,2.709460e-05,2.703239e-05,2.696878e-05,2.690387e-05,2.683775e-05,2.677049e-05,2.670219e-05,2.663291e-05,2.656274e-05
0.000000e+00,1.673205e-14,1.497295e-13,3.906476e-12,3.395912e-11,9.138044e-11,7.721025e-10,8.337317e-10,4.542602e-09,6.851040e-09,1.786879e-08,3.632527e-08,5.615141e-08,1.391391e-07,1.497424e-07,3.523508e-07,4.260332e-07,7.512903e-07,1.107715e-06,1.479372e-06,2.542732e-06,2.728047e-06,4.761244e-06,5.291175e-06,7.929152e-06,1.016978e-05,1.268106e-05,1.830259e-05,1.957634e-05,2.929263e-05,3.116078e-05,4.263067e-05,5.058625e-05,6.051528e-05,7.879538e-05,8.399228e-05,1.142215e-04,1.183618e-04,1.524658e-04,1.721779e-04,2.000766e-04,2.433983e-04,2.584765e-04,3.291393e-04,3.353670e-04,4.135685e-04,4.515332e-04,5.132734e-04,5.953588e-04,6.297462e-04,7.644371e-04,7.702236e-04,9.187318e-04,9.793300e-04,1.093928e-03,1.225614e-03,1.291217e-03,1.511660e-03,1.756177e-03,1.839636e-03,2.025529e-03,2.211227e-03,2.320306e-03,2.627596e-03,2.640921e-03,2.987601e-03,3.089353e-03,3.360389e-03,3.596539e-03,3.759136e-03,4.148628e-03,4.183510e-03,4.632997e-03,4.744538e-03,5.106908e-03,5.382655e-03,5.604390e-03,6.060874e-03,6.124434e-03,6.665886e-03,6.776635e-03,7.227466e-03,7.526982e-03,7.807774e-03,8.308610e-03,8.405309e-03,9.018485e-03,9.117934e-03,9.645641e-03,9.951141e-03,1.028506e-02,1.080425e-02,1.093499e-02,1.159365e-02,1.167319e-02,1.225923e-02,1.255381e-02,1.292994e-02,1.344201e-02,1.360399e-02,1.427962e-02,1.433369e-02,1.495511e-02,1.522488e-02,1.562876e-02,1.611175e-02,1.629896e-02,1.696413e-02,1.699062e-02,1.762278e-02,1.785801e-02,1.827347e-02,1.871070e-02,1.891485e-02,1.954565e-02,2.016470e-02,2.036013e-02,2.077090e-02,2.115165e-02,2.136323e-02,2.191798e-02,2.194079e-02,2.250273e-02,2.265718e-02,2.304833e-02,2.336756e-02,2.357692e-02,2.404771e-02,2.408794e-02,2.458090e-02,2.469647e-02,2.505539e-02,2.531292e-02,2.551111e-02,2.589639e-02,2.594778e-02,2.636523e-02,2.644641e-02,2.676336e-02,2.696273e-02,2.714212e-02,2.744531e-02,2.750151e-02,2.784162e-02,2.789426e-02,2.816257e-02,2.830986e-02,2.846453e-02,2.869256e-02,2.874771e-02,2.901239e-02,2.904292e-02,2.925885e-02,2.936161e-02,2.948744e-02,2.964943e-02,2.969851e-02,2.989246e-02,2.990725e-02,3.006970e-02,3.013601e-02,3.023067e-02,3.033674e-02,3.037582e-02,3.050563e-02,3.051051e-02,3.062057e-02,3.065840e-02,3.072114e-02,3.078157e-02,3.080784e-02,3.088117e-02,3.095836e-02,3.101432e-02,3.105022e-02,3.106722e-02,3.106647e-02,3.104908e-02,3.101618e-02,3.096882e-02,3.090806e-02,3.083491e-02,3.075035e-02,3.065532e-02,3.055071e-02,3.043740e-02,3.031621e-02,3.018793e-02,3.005329e-02,2.991302e-02,2.976778e-02,2.961820e-02,2.946488e-02,2.930837e-02,2.914919e-02,2.898784e-02
0.000000e+00,1.529667e-13,1.213466e-12,2.465186e-11,1.705669e-10,4.049299e-10,2.476557e-09,2.639377e-09,1.045209e-08,1.446062e-08,3.039742e-08,5.197275e-08,7.182224e-08,1.389108e-07,1.464048e-07,2.675669e-07,3.051827e-07,4.499253e-07,5.844591e-07,7.087449e-07,1.011813e-06,1.059181e-06,1.515079e-06,1.619946e-06,2.087378e-06,2.433344e-06,2.782590e-06,3.462600e-06,3.601928e-06,4.541389e-06,4.702344e-06,5.592642e-06,6.133685e-06,6.744279e-06,7.729012e-06,7.983077e-06,9.295034e-06,9.456715e-06,1.066610e-05,1.128455e-05,1.208263e-05,1.318162e-05,1.353170e-05,1.500122e-05,1.511933e-05,1.648004e-05,1.707186e-05,1.795800e-05,1.901644e-05,1.942597e-05,2.087585e-05,2.093336e-05,2.230055e-05,2.280609e-05,2.369402e-05,2.462110e-05,2.505116e-05,2.636777e-05,2.764053e-05,2.803812e-05,2.886689e-05,2.962653e-05,3.004500e-05,3.112944e-05,3.117362e-05,3.225208e-05,3.254501e-05,3.328015e-05,3.387287e-05,3.425801e-05,3.511375e-05,3.518619e-05,3.606545e-05,3.626930e-05,3.689681e-05,3.734188e-05,3.768144e-05,3.833431e-05,3.842066e-05,3.911589e-05,3.924978e-05,3.976859e-05,4.009170e-05,4.038031e-05,4.086363e-05,4.095261e-05,4.148706e-05,4.156916e-05,4.198521e-05,4.221189e-05,4.244863e-05,4.279538e-05,4.287884e-05,4.327734e-05,4.332310e-05,4.364559e-05,4.379841e-05,4.398502e-05,4.422455e-05,4.429700e-05,4.458287e-05,4.460465e-05,4.484393e-05,4.494168e-05,4.508141e-05,4.523848e-05,4.529652e-05,4.549041e-05,4.549774e-05,4.566418e-05,4.572202e-05,4.581889e-05,4.591373e-05,4.595556e-05,4.607516e-05,4.617862e-05,4.620847e-05,4.626683e-05,4.631567e-05,4.634064e-05,4.639870e-05,4.640086e-05,4.644826e-05,4.645934e-05,4.648358e-05,4.649928e-05,4.650754e-05,4.652011e-05,4.652079e-05,4.652398e-05,4.652332e-05,4.651772e-05,4.651031e-05,4.650259e-05,4.648238e-05,4.647914e-05,4.644790e-05,4.644076e-05,4.640937e-05,4.638660e-05,4.636401e-05,4.632098e-05,4.631229e-05,4.625463e-05,4.624489e-05,4.619145e-05,4.615927e-05,4.612312e-05,4.606500e-05,4.605001e-05,4.597248e-05,4.596290e-05,4.589086e-05,4.585373e-05,4.580545e-05,4.573820e-05,4.571657e-05,4.562448e-05,4.561698e-05,4.552946e-05,4.549069e-05,4.543176e-05,4.535990e-05,4.533162e-05,4.522927e-05,4.522514e-05,4.512493e-05,4.508691e-05,4.501879e-05,4.494569e-05,4.491104e-05,4.480188e-05,4.465591e-05,4.450812e-05,4.435888e-05,4.420848e-05,4.405723e-05,4.390540e-05,4.375324e-05,4.360097e-05,4.344881e-05,4.329696e-05,4.314559e-05,4.299487e-05,4.284495e-05,4.269596e-05,4.254803e-05,4.240128e-05,4.225580e-05,4.211170e-05,4.196904e-05,4.182792e-05,4.168839e-05,4.155052e-05,4.141436e-05,4.127996e-05
0.000000e+00,6.675119e-16,5.929531e-15,1.523493e-13,1.305431e-12,3.484472e-12,2.881312e-11,3.108503e-11,1.656059e-10,2.481983e-10,6.369815e-10,1.277637e-09,1.957387e-09,4.751778e-09,5.104797e-09,1.174806e-08,1.412947e-08,2.450162e-08,3.568207e-08,4.719412e-08,7.955828e-08,8.513072e-08,1.453246e-07,1.607825e-07,2.366710e-07,3.000125e-07,3.700422e-07,5.238940e-07,5.582859e-07,8.161232e-07,8.649097e-07,1.159947e-06,1.360701e-06,1.607532e-06,2.052913e-06,2.177670e-06,2.889746e-06,2.985662e-06,3.763280e-06,4.203749e-06,4.817443e-06,5.750744e-06,6.070581e-06,7.539752e-06,7.667092e-06,9.240296e-06,9.988341e-06,1.118545e-05,1.274360e-05,1.338603e-05,1.585016e-05,1.595429e-05,1.858307e-05,1.963325e-05,2.158703e-05,2.378425e-05,2.486122e-05,2.840180e-05,3.220202e-05,3.347143e-05,3.625228e-05,3.897015e-05,4.054041e-05,4.486731e-05,4.505186e-05,4.976995e-05,5.112557e-05,5.467622e-05,5.770204e-05,5.975068e-05,6.454955e-05,6.497216e-05,7.031864e-05,7.161789e-05,7.576750e-05,7.885507e-05,8.129588e-05,8.620848e-05,8.688093e-05,9.250005e-05,9.362601e-05,9.813118e-05,1.010570e-04,1.037529e-04,1.084530e-04,1.093449e-04,1.148876e-04,1.157686e-04,1.203628e-04,1.229618e-04,1.257535e-04,1.299947e-04,1.310441e-04,1.362205e-04,1.368333e-04,1.412697e-04,1.434481e-04,1.461805e-04,1.498139e-04,1.509428e-04,1.555482e-04,1.559096e-04,1.599894e-04,1.617186e-04,1.642606e-04,1.672279e-04,1.683571e-04,1.722754e-04,1.724284e-04,1.760133e-04,1.773144e-04,1.795693e-04,1.818833e-04,1.829431e-04,1.861352e-04,1.891469e-04,1.900728e-04,1.919802e-04,1.937010e-04,1.946377e-04,1.970265e-04,1.971226e-04,1.994386e-04,2.000574e-04,2.015898e-04,2.028033e-04,2.035807e-04,2.052747e-04,2.054160e-04,2.071006e-04,2.074831e-04,2.086399e-04,2.094403e-04,2.100390e-04,2.111587e-04,2.113035e-04,2.124387e-04,2.126508e-04,2.134502e-04,2.139291e-04,2.143435e-04,2.150064e-04,2.151239e-04,2.157970e-04,2.158951e-04,2.163679e-04,2.166073e-04,2.168420e-04,2.171549e-04,2.172242e-04,2.175197e-04,2.175495e-04,2.177331e-04,2.178022e-04,2.178692e-04,2.179237e-04,2.179325e-04,2.179273e-04,2.179241e-04,2.178580e-04,2.178132e-04,2.177284e-04,2.176001e-04,2.175426e-04,2.173042e-04,2.172936e-04,2.170167e-04,2.169019e-04,2.166836e-04,2.164327e-04,2.163081e-04,2.158933e-04,2.152905e-04,2.146306e-04,2.139195e-04,2.131629e-04,2.123657e-04,2.115327e-04,2.106683e-04,2.097766e-04,2.088614e-04,2.079260e-04,2.069738e-04,2.060075e-04,2.050301e-04,2.040438e-04,2.030510e-04,2.020537e-04,2.010539e-04,2.000532e-04,1.990532e-04,1.980554e-04,1.970610e-04,1.960712e-04,1.950871e-04,1.941095e-04
0.000000e+00,1.459578e-09,3.748527e-09,1.452999e-08,3.498502e-08,5.218231e-08,1.237017e-07,1.276236e-07,2.558001e-07,3.035146e-07,4.548559e-07,6.173303e-07,7.468007e-07,1.118202e-06,1.155752e-06,1.701187e-06,1.853298e-06,2.387184e-06,2.827485e-06,3.197997e-06,3.993537e-06,4.106868e-06,5.087672e-06,5.290551e-06,6.119833e-06,6.671618e-06,7.188072e-06,8.104665e-06,8.280720e-06,9.388307e-06,9.566348e-06,1.050267e-05,1.103779e-05,1.161647e-05,1.250259e-05,1.272302e-05,1.381620e-05,1.394621e-05,1.489047e-05,1.535587e-05,1.594093e-05,1.672073e-05,1.696335e-05,1.795407e-05,1.803187e-05,1.891014e-05,1.928231e-05,1.982921e-05,2.046703e-05,2.070953e-05,2.154992e-05,2.158269e-05,2.234965e-05,2.262753e-05,2.310842e-05,2.360101e-05,2.382632e-05,2.450378e-05,2.514151e-05,2.533734e-05,2.574040e-05,2.610380e-05,2.630152e-05,2.680578e-05,2.682608e-05,2.731538e-05,2.744625e-05,2.777079e-05,2.802835e-05,2.819372e-05,2.855535e-05,2.858559e-05,2.894784e-05,2.903053e-05,2.928189e-05,2.945716e-05,2.958914e-05,2.983844e-05,2.987096e-05,3.012870e-05,3.017747e-05,3.036363e-05,3.047721e-05,3.057702e-05,3.074049e-05,3.077006e-05,3.094391e-05,3.097002e-05,3.109967e-05,3.116833e-05,3.123841e-05,3.133781e-05,3.136111e-05,3.146876e-05,3.148071e-05,3.156225e-05,3.159913e-05,3.164246e-05,3.169504e-05,3.171020e-05,3.176626e-05,3.177026e-05,3.181137e-05,3.182651e-05,3.184624e-05,3.186538e-05,3.187153e-05,3.188785e-05,3.188833e-05,3.189581e-05,3.189674e-05,3.189597e-05,3.189189e-05,3.188885e-05,3.187494e-05,3.185473e-05,3.184700e-05,3.182865e-05,3.180908e-05,3.179713e-05,3.176211e-05,3.176056e-05,3.171930e-05,3.170696e-05,3.167372e-05,3.164444e-05,3.162415e-05,3.157528e-05,3.157089e-05,3.151424e-05,3.150017e-05,3.145447e-05,3.141974e-05,3.139185e-05,3.133458e-05,3.132662e-05,3.125901e-05,3.124522e-05,3.118924e-05,3.115217e-05,3.111751e-05,3.105588e-05,3.104401e-05,3.096893e-05,3.095678e-05,3.089243e-05,3.085525e-05,3.081467e-05,3.075165e-05,3.073580e-05,3.065596e-05,3.064632e-05,3.057528e-05,3.053955e-05,3.049389e-05,3.043162e-05,3.041189e-05,3.032941e-05,3.032279e-05,3.024654e-05,3.021330e-05,3.016337e-05,3.010336e-05,3.008000e-05,2.999650e-05,2.999316e-05,2.991296e-05,2.988289e-05,2.982945e-05,2.977271e-05,2.974603e-05,2.966277e-05,2.955320e-05,2.944414e-05,2.933569e-05,2.922796e-05,2.912104e-05,2.901502e-05,2.890996e-05,2.880594e-05,2.870301e-05,2.860124e-05,2.850066e-05,2.840132e-05,2.830326e-05,2.820650e-05,2.811108e-05,2.801702e-05,2.792433e-05,2.783304e-05,2.774315e-05,2.765468e-05,2.756763e-05,2.748201e-05,2.739782e-05,2.731506e-05
0.000000e+00,3.645128e-09,8.367020e-09,2.869547e-08,6.487161e-08,9.423584e-08,2.110643e-07,2.172926e-07,4.138140e-07,4.841435e-07,6.995470e-07,9.204757e-07,1.090551e-06,1.557110e-06,1.602928e-06,2.250996e-06,2.427850e-06,3.042985e-06,3.548555e-06,3.975030e-06,4.896429e-06,5.028312e-06,6.173878e-06,6.411334e-06,7.381314e-06,8.024687e-06,8.624332e-06,9.680487e-06,9.881964e-06,1.113765e-05,1.133745e-05,1.237805e-05,1.296470e-05,1.359214e-05,1.453824e-05,1.477074e-05,1.590620e-05,1.603925e-05,1.699230e-05,1.745323e-05,1.802411e-05,1.876967e-05,1.899794e-05,1.991125e-05,1.998165e-05,2.076254e-05,2.108555e-05,2.155128e-05,2.208056e-05,2.227773e-05,2.294287e-05,2.296822e-05,2.354825e-05,2.375193e-05,2.409588e-05,2.443647e-05,2.458811e-05,2.502758e-05,2.541705e-05,2.553160e-05,2.575944e-05,2.595520e-05,2.605766e-05,2.630513e-05,2.631465e-05,2.653329e-05,2.658802e-05,2.671638e-05,2.681030e-05,2.686662e-05,2.697807e-05,2.698662e-05,2.707882e-05,2.709708e-05,2.714556e-05,2.717264e-05,2.718903e-05,2.720967e-05,2.721129e-05,2.721423e-05,2.721267e-05,2.719966e-05,2.718572e-05,2.716924e-05,2.713254e-05,2.712448e-05,2.706682e-05,2.705649e-05,2.699756e-05,2.696056e-05,2.691792e-05,2.684747e-05,2.682900e-05,2.673182e-05,2.671965e-05,2.662733e-05,2.657926e-05,2.651639e-05,2.642824e-05,2.639977e-05,2.627821e-05,2.626830e-05,2.615237e-05,2.610097e-05,2.602284e-05,2.592761e-05,2.589018e-05,2.575489e-05,2.574943e-05,2.561743e-05,2.556750e-05,2.547822e-05,2.538275e-05,2.533764e-05,2.519603e-05,2.505370e-05,2.500805e-05,2.491095e-05,2.481948e-05,2.476803e-05,2.463088e-05,2.462517e-05,2.448259e-05,2.444274e-05,2.434047e-05,2.425550e-05,2.419899e-05,2.406953e-05,2.405831e-05,2.391855e-05,2.388517e-05,2.377986e-05,2.370269e-05,2.364233e-05,2.352235e-05,2.350607e-05,2.337116e-05,2.334434e-05,2.323768e-05,2.316886e-05,2.310570e-05,2.299604e-05,2.297528e-05,2.284648e-05,2.282602e-05,2.271932e-05,2.265889e-05,2.259386e-05,2.249473e-05,2.247012e-05,2.234814e-05,2.233362e-05,2.222793e-05,2.217560e-05,2.210950e-05,2.202070e-05,2.199288e-05,2.187807e-05,2.186896e-05,2.176507e-05,2.172038e-05,2.165389e-05,2.157497e-05,2.154453e-05,2.143699e-05,2.143272e-05,2.133125e-05,2.129363e-05,2.122731e-05,2.115766e-05,2.112517e-05,2.102481e-05,2.089503e-05,2.076830e-05,2.064458e-05,2.052383e-05,2.040600e-05,2.029106e-05,2.017895e-05,2.006962e-05,1.996303e-05,1.985913e-05,1.975785e-05,1.965916e-05,1.956300e-05,1.946931e-05,1.937804e-05,1.928915e-05,1.920257e-05,1.911826e-05,1.903616e-05,1.895623e-05,1.887840e-05,1.880264e-05,1.872889e-05,1.865710e-05
0.000000e+00,3.209031e-09,7.357868e-09,2.529449e-08,5.742871e-08,8.365153e-08,1.887830e-07,1.944153e-07,3.731201e-07,4.374400e-07,6.352833e-07,8.391712e-07,9.965814e-07,1.429394e-06,1.471920e-06,2.072327e-06,2.235521e-06,2.799948e-06,3.259913e-06,3.645490e-06,4.473679e-06,4.591959e-06,5.620752e-06,5.834857e-06,6.714907e-06,7.304701e-06,7.859587e-06,8.850489e-06,9.041620e-06,1.024906e-05,1.044386e-05,1.147097e-05,1.205966e-05,1.269737e-05,1.367565e-05,1.391927e-05,1.512868e-05,1.527263e-05,1.631869e-05,1.683460e-05,1.748344e-05,1.834872e-05,1.861806e-05,1.971868e-05,1.980516e-05,2.078229e-05,2.119686e-05,2.180669e-05,2.251908e-05,2.279033e-05,2.373227e-05,2.376907e-05,2.463208e-05,2.494569e-05,2.548975e-05,2.604904e-05,2.630560e-05,2.708023e-05,2.781448e-05,2.804107e-05,2.850933e-05,2.893387e-05,2.916590e-05,2.976133e-05,2.978541e-05,3.036912e-05,3.052633e-05,3.091836e-05,3.123191e-05,3.143445e-05,3.188113e-05,3.191873e-05,3.237254e-05,3.247706e-05,3.279718e-05,3.302272e-05,3.319394e-05,3.352102e-05,3.356407e-05,3.390881e-05,3.397482e-05,3.422934e-05,3.438683e-05,3.452680e-05,3.475965e-05,3.480230e-05,3.505692e-05,3.509579e-05,3.529167e-05,3.539758e-05,3.550754e-05,3.566728e-05,3.570548e-05,3.588639e-05,3.590699e-05,3.605114e-05,3.611872e-05,3.620056e-05,3.630435e-05,3.633544e-05,3.645655e-05,3.646566e-05,3.656460e-05,3.660432e-05,3.666028e-05,3.672189e-05,3.674427e-05,3.681717e-05,3.681987e-05,3.687960e-05,3.689962e-05,3.693213e-05,3.696247e-05,3.697529e-05,3.700962e-05,3.703559e-05,3.704222e-05,3.705369e-05,3.706135e-05,3.706436e-05,3.706801e-05,3.706803e-05,3.706509e-05,3.706314e-05,3.705595e-05,3.704763e-05,3.704096e-05,3.702230e-05,3.702047e-05,3.699481e-05,3.698792e-05,3.696431e-05,3.694522e-05,3.692925e-05,3.689486e-05,3.688993e-05,3.684661e-05,3.683749e-05,3.679956e-05,3.677370e-05,3.674902e-05,3.670403e-05,3.669521e-05,3.663837e-05,3.662901e-05,3.657870e-05,3.654911e-05,3.651639e-05,3.646478e-05,3.645165e-05,3.638464e-05,3.637646e-05,3.631554e-05,3.628452e-05,3.624451e-05,3.618934e-05,3.617171e-05,3.609727e-05,3.609125e-05,3.602134e-05,3.599058e-05,3.594405e-05,3.588762e-05,3.586551e-05,3.578586e-05,3.578265e-05,3.570520e-05,3.567594e-05,3.562364e-05,3.556771e-05,3.554127e-05,3.545820e-05,3.534760e-05,3.523613e-05,3.512395e-05,3.501123e-05,3.489814e-05,3.478480e-05,3.467137e-05,3.455796e-05,3.444468e-05,3.433165e-05,3.421896e-05,3.410670e-05,3.399496e-05,3.388382e-05,3.377333e-05,3.366358e-05,3.355461e-05,3.344649e-05,3.333925e-05,3.323296e-05,3.312764e-05,3.302334e-05,3.292009e-05,3.281792e-05
0.000000e+00,7.297196e-15,6.534602e-14,1.707728e-12,1.486885e-11,4.004728e-11,3.392290e-10,3.663456e-10,2.001527e-09,3.021034e-09,7.895687e-09,1.607925e-08,2.488477e-08,6.183452e-08,6.656303e-08,1.571134e-07,1.901123e-07,3.360695e-07,4.964089e-07,6.639251e-07,1.144538e-06,1.228459e-06,2.151597e-06,2.392814e-06,3.596583e-06,4.622372e-06,5.775154e-06,8.365676e-06,8.954356e-06,1.346258e-05,1.433263e-05,1.969437e-05,2.343136e-05,2.811361e-05,3.678077e-05,3.925477e-05,5.372203e-05,5.571281e-05,7.218628e-05,8.176345e-05,9.537989e-05,1.166523e-04,1.240896e-04,1.591475e-04,1.622521e-04,2.014209e-04,2.205496e-04,2.518006e-04,2.935998e-04,3.111886e-04,3.804851e-04,3.834757e-04,4.605756e-04,4.922168e-04,5.523179e-04,6.217775e-04,6.565298e-04,7.739771e-04,9.053626e-04,9.504549e-04,1.051316e-03,1.152629e-03,1.212387e-03,1.381664e-03,1.389034e-03,1.581622e-03,1.638442e-03,1.790417e-03,1.923545e-03,2.015581e-03,2.237240e-03,2.257171e-03,2.515142e-03,2.579478e-03,2.789342e-03,2.949893e-03,3.079519e-03,3.347814e-03,3.385321e-03,3.706302e-03,3.772274e-03,4.041926e-03,4.222035e-03,4.391574e-03,4.695608e-03,4.754548e-03,5.130081e-03,5.191277e-03,5.517342e-03,5.707135e-03,5.915446e-03,6.241108e-03,6.323457e-03,6.740401e-03,6.790987e-03,7.165271e-03,7.354460e-03,7.597037e-03,7.929146e-03,8.034649e-03,8.477049e-03,8.512616e-03,8.923175e-03,9.102431e-03,9.371969e-03,9.696162e-03,9.822381e-03,1.027338e-02,1.029142e-02,1.072395e-02,1.088585e-02,1.117310e-02,1.147722e-02,1.161988e-02,1.206336e-02,1.250265e-02,1.264220e-02,1.293691e-02,1.321182e-02,1.336533e-02,1.377041e-02,1.378715e-02,1.420165e-02,1.431631e-02,1.460817e-02,1.484800e-02,1.500609e-02,1.536409e-02,1.539484e-02,1.577389e-02,1.586337e-02,1.614278e-02,1.634475e-02,1.650107e-02,1.680730e-02,1.684838e-02,1.718440e-02,1.725022e-02,1.750883e-02,1.767287e-02,1.782143e-02,1.807473e-02,1.812201e-02,1.841041e-02,1.845541e-02,1.868651e-02,1.881464e-02,1.895023e-02,1.915227e-02,1.920153e-02,1.944042e-02,1.946825e-02,1.966690e-02,1.976263e-02,1.988103e-02,2.003557e-02,2.008291e-02,2.027264e-02,2.028729e-02,2.045035e-02,2.051811e-02,2.061621e-02,2.072839e-02,2.077040e-02,2.091311e-02,2.091858e-02,2.104456e-02,2.108917e-02,2.116498e-02,2.124069e-02,2.127462e-02,2.137373e-02,2.148890e-02,2.158683e-02,2.166820e-02,2.173368e-02,2.178397e-02,2.181978e-02,2.184180e-02,2.185074e-02,2.184731e-02,2.183221e-02,2.180611e-02,2.176969e-02,2.172362e-02,2.166854e-02,2.160508e-02,2.153385e-02,2.145545e-02,2.137044e-02,2.127937e-02,2.118278e-02,2.108116e-02,2.097501e-02,2.086478e-02,2.075092e-02
0.000000e+00,1.667710e-11,9.264849e-11,9.621832e-10,3.902571e-09,7.117179e-09,2.402951e-08,2.505891e-08,6.151248e-08,7.591724e-08,1.229072e-07,1.743431e-07,2.155658e-07,3.339349e-07,3.458999e-07,5.202132e-07,5.692093e-07,7.435999e-07,8.910726e-07,1.018155e-06,1.300878e-06,1.342266e-06,1.711922e-06,1.790908e-06,2.122480e-06,2.350658e-06,2.569535e-06,2.970259e-06,3.048984e-06,3.556849e-06,3.640478e-06,4.089117e-06,4.352067e-06,4.641666e-06,5.095475e-06,5.210277e-06,5.790683e-06,5.860922e-06,6.378640e-06,6.638662e-06,6.970013e-06,7.419303e-06,7.560854e-06,8.147470e-06,8.194114e-06,8.726480e-06,8.955262e-06,9.294850e-06,9.695979e-06,9.849919e-06,1.038941e-05,1.041064e-05,1.091142e-05,1.109476e-05,1.141441e-05,1.174497e-05,1.189721e-05,1.235893e-05,1.279899e-05,1.293517e-05,1.321706e-05,1.347303e-05,1.361304e-05,1.397248e-05,1.398702e-05,1.433926e-05,1.443403e-05,1.467013e-05,1.485860e-05,1.498013e-05,1.524741e-05,1.526985e-05,1.553995e-05,1.560193e-05,1.579111e-05,1.592377e-05,1.602409e-05,1.621465e-05,1.623962e-05,1.643849e-05,1.647633e-05,1.662146e-05,1.671058e-05,1.678930e-05,1.691914e-05,1.694276e-05,1.708257e-05,1.710372e-05,1.720946e-05,1.726598e-05,1.732412e-05,1.740749e-05,1.742722e-05,1.751940e-05,1.752976e-05,1.760130e-05,1.763422e-05,1.767348e-05,1.772221e-05,1.773653e-05,1.779099e-05,1.779499e-05,1.783736e-05,1.785375e-05,1.787613e-05,1.789960e-05,1.790776e-05,1.793270e-05,1.793357e-05,1.795136e-05,1.795661e-05,1.796413e-05,1.796964e-05,1.797138e-05,1.797347e-05,1.797073e-05,1.796888e-05,1.796347e-05,1.795659e-05,1.795199e-05,1.793725e-05,1.793657e-05,1.791746e-05,1.791149e-05,1.789493e-05,1.787987e-05,1.786921e-05,1.784291e-05,1.784051e-05,1.780905e-05,1.780111e-05,1.777502e-05,1.775492e-05,1.773861e-05,1.770474e-05,1.770000e-05,1.765934e-05,1.765098e-05,1.761680e-05,1.759398e-05,1.757252e-05,1.753408e-05,1.752664e-05,1.747928e-05,1.747158e-05,1.743058e-05,1.740676e-05,1.738065e-05,1.733988e-05,1.732958e-05,1.727750e-05,1.727119e-05,1.722449e-05,1.720090e-05,1.717065e-05,1.712922e-05,1.711605e-05,1.706079e-05,1.705634e-05,1.700493e-05,1.698243e-05,1.694855e-05,1.690767e-05,1.689171e-05,1.683448e-05,1.683218e-05,1.677692e-05,1.675612e-05,1.671908e-05,1.667961e-05,1.666101e-05,1.660277e-05,1.652570e-05,1.644850e-05,1.637127e-05,1.629408e-05,1.621702e-05,1.614016e-05,1.606355e-05,1.598727e-05,1.591136e-05,1.583587e-05,1.576086e-05,1.568635e-05,1.561239e-05,1.553901e-05,1.546624e-05,1.539411e-05,1.532264e-05,1.525187e-05,1.518180e-05,1.511245e-05,1.504384e-05,1.497599e-05,1.490890e-05,1.484259e-05
0.000000e+00,2.524517e-14,2.109487e-13,4.769144e-12,3.633704e-11,9.091089e-11,6.356804e-10,6.811392e-10,3.073305e-09,4.403726e-09,1.010307e-08,1.852781e-08,2.679264e-08,5.729526e-08,6.090016e-08,1.232707e-07,1.439278e-07,2.277520e-07,3.105968e-07,3.904287e-07,5.951820e-07,6.282364e-07,9.573535e-07,1.035419e-06,1.391814e-06,1.663147e-06,1.942599e-06,2.500768e-06,2.617242e-06,3.419822e-06,3.560208e-06,4.351226e-06,4.843586e-06,5.409513e-06,6.344627e-06,6.590303e-06,7.887153e-06,8.050202e-06,9.291897e-06,9.941741e-06,1.079496e-05,1.199650e-05,1.238565e-05,1.405244e-05,1.418871e-05,1.578326e-05,1.649074e-05,1.756572e-05,1.887410e-05,1.938742e-05,2.123617e-05,2.131052e-05,2.310019e-05,2.377280e-05,2.496830e-05,2.623560e-05,2.683008e-05,2.867598e-05,3.049739e-05,3.107380e-05,3.228669e-05,3.341189e-05,3.403727e-05,3.567615e-05,3.574349e-05,3.740069e-05,3.785539e-05,3.900511e-05,3.994116e-05,4.055379e-05,4.192749e-05,4.204459e-05,4.347600e-05,4.381060e-05,4.484717e-05,4.558855e-05,4.615772e-05,4.726096e-05,4.740779e-05,4.859786e-05,4.882874e-05,4.972875e-05,5.029378e-05,5.080156e-05,5.165878e-05,5.181758e-05,5.277832e-05,5.292701e-05,5.368535e-05,5.410216e-05,5.454040e-05,5.518819e-05,5.534522e-05,5.610163e-05,5.618924e-05,5.681147e-05,5.710952e-05,5.747657e-05,5.795325e-05,5.809876e-05,5.867986e-05,5.872462e-05,5.922163e-05,5.942772e-05,5.972581e-05,6.006650e-05,6.019410e-05,6.062813e-05,6.064480e-05,6.102951e-05,6.116631e-05,6.139978e-05,6.163455e-05,6.174042e-05,6.205287e-05,6.233850e-05,6.242446e-05,6.259865e-05,6.275235e-05,6.283457e-05,6.303941e-05,6.304750e-05,6.323859e-05,6.328834e-05,6.340897e-05,6.350170e-05,6.355970e-05,6.368190e-05,6.369181e-05,6.380627e-05,6.383121e-05,6.390401e-05,6.395177e-05,6.398592e-05,6.404558e-05,6.405285e-05,6.410561e-05,6.411453e-05,6.414497e-05,6.416039e-05,6.417167e-05,6.418484e-05,6.418642e-05,6.418988e-05,6.418942e-05,6.418268e-05,6.417562e-05,6.416544e-05,6.414481e-05,6.413874e-05,6.410312e-05,6.409827e-05,6.405910e-05,6.403721e-05,6.400720e-05,6.396277e-05,6.394788e-05,6.388159e-05,6.387600e-05,6.380877e-05,6.377790e-05,6.372982e-05,6.366940e-05,6.364513e-05,6.355508e-05,6.355138e-05,6.346002e-05,6.342464e-05,6.336028e-05,6.328995e-05,6.325618e-05,6.314802e-05,6.299953e-05,6.284509e-05,6.268530e-05,6.252069e-05,6.235178e-05,6.217904e-05,6.200292e-05,6.182384e-05,6.164217e-05,6.145828e-05,6.127252e-05,6.108518e-05,6.089658e-05,6.070697e-05,6.051662e-05,6.032576e-05,6.013461e-05,5.994337e-05,5.975224e-05,5.956139e-05,5.937097e-05,5.918116e-05,5.899207e-05,5.880384e-05
0.000000e+00,2.198072e-14,1.886548e-13,4.508368e-12,3.612408e-11,9.289813e-11,6.968448e-10,7.487891e-10,3.615263e-09,5.273982e-09,1.264221e-08,2.398652e-08,3.543537e-08,7.928295e-08,8.458254e-08,1.787766e-07,2.107766e-07,3.436010e-07,4.786820e-07,6.118345e-07,9.647301e-07,1.023086e-06,1.622609e-06,1.769374e-06,2.459313e-06,3.004768e-06,3.583203e-06,4.784676e-06,5.042610e-06,6.881559e-06,7.213625e-06,9.137542e-06,1.037749e-05,1.183985e-05,1.433682e-05,1.500848e-05,1.865363e-05,1.912319e-05,2.277563e-05,2.473835e-05,2.736532e-05,3.115549e-05,3.240469e-05,3.786779e-05,3.832220e-05,4.372178e-05,4.616435e-05,4.992809e-05,5.459073e-05,5.644361e-05,6.322192e-05,6.349783e-05,7.021445e-05,7.277467e-05,7.737164e-05,8.230727e-05,8.464395e-05,9.198277e-05,9.934126e-05,1.016928e-04,1.066750e-04,1.113364e-04,1.139426e-04,1.208220e-04,1.211060e-04,1.281309e-04,1.300687e-04,1.349865e-04,1.390075e-04,1.416464e-04,1.475810e-04,1.480878e-04,1.542915e-04,1.557433e-04,1.602423e-04,1.634596e-04,1.659281e-04,1.707053e-04,1.713401e-04,1.764723e-04,1.774648e-04,1.813213e-04,1.837305e-04,1.858862e-04,1.895018e-04,1.901679e-04,1.941693e-04,1.947838e-04,1.978946e-04,1.995864e-04,2.013496e-04,2.039232e-04,2.045407e-04,2.074757e-04,2.078110e-04,2.101626e-04,2.112686e-04,2.126104e-04,2.143163e-04,2.148280e-04,2.168250e-04,2.169755e-04,2.186108e-04,2.192681e-04,2.201951e-04,2.212163e-04,2.215874e-04,2.227973e-04,2.228420e-04,2.238342e-04,2.241668e-04,2.247071e-04,2.252117e-04,2.254252e-04,2.259971e-04,2.264313e-04,2.265425e-04,2.267359e-04,2.268666e-04,2.269189e-04,2.269872e-04,2.269878e-04,2.269500e-04,2.269212e-04,2.268124e-04,2.266847e-04,2.265816e-04,2.262926e-04,2.262642e-04,2.258660e-04,2.257591e-04,2.253931e-04,2.250976e-04,2.248507e-04,2.243203e-04,2.242443e-04,2.235787e-04,2.234390e-04,2.228588e-04,2.224644e-04,2.220889e-04,2.214067e-04,2.212733e-04,2.204160e-04,2.202752e-04,2.195207e-04,2.190786e-04,2.185911e-04,2.178250e-04,2.176305e-04,2.166422e-04,2.165218e-04,2.156290e-04,2.151760e-04,2.145938e-04,2.137940e-04,2.135392e-04,2.124679e-04,2.123815e-04,2.113820e-04,2.109440e-04,2.102837e-04,2.094865e-04,2.091752e-04,2.080584e-04,2.080136e-04,2.069350e-04,2.065293e-04,2.058067e-04,2.050375e-04,2.046751e-04,2.035417e-04,2.020451e-04,2.005505e-04,1.990605e-04,1.975775e-04,1.961037e-04,1.946409e-04,1.931908e-04,1.917550e-04,1.903349e-04,1.889316e-04,1.875462e-04,1.861796e-04,1.848326e-04,1.835058e-04,1.822000e-04,1.809154e-04,1.796526e-04,1.784119e-04,1.771934e-04,1.759974e-04,1.748239e-04,1.736731e-04,1.725448e-04,1.714392e-04
0.000000e+00,1.163058e-13,9.681790e-13,2.173507e-11,1.647867e-10,4.115122e-10,2.875042e-09,3.080993e-09,1.400453e-08,2.014269e-08,4.683240e-08,8.719474e-08,1.276055e-07,2.816622e-07,3.002635e-07,6.306275e-07,7.426121e-07,1.204738e-06,1.668882e-06,2.119861e-06,3.283222e-06,3.471299e-06,5.340148e-06,5.781641e-06,7.785523e-06,9.297395e-06,1.084200e-05,1.389076e-05,1.452115e-05,1.881546e-05,1.955832e-05,2.370280e-05,2.625012e-05,2.915068e-05,3.388624e-05,3.511967e-05,4.156591e-05,4.236934e-05,4.844289e-05,5.159289e-05,5.570264e-05,6.144621e-05,6.329666e-05,7.117655e-05,7.181786e-05,7.929466e-05,8.259817e-05,8.760461e-05,9.368142e-05,9.606177e-05,1.046237e-04,1.049678e-04,1.132507e-04,1.163651e-04,1.219057e-04,1.277897e-04,1.305549e-04,1.391678e-04,1.477170e-04,1.504352e-04,1.561783e-04,1.615377e-04,1.645309e-04,1.724302e-04,1.727566e-04,1.808401e-04,1.830762e-04,1.887686e-04,1.934469e-04,1.965317e-04,2.035204e-04,2.041210e-04,2.115298e-04,2.132805e-04,2.187532e-04,2.227160e-04,2.257877e-04,2.318198e-04,2.326308e-04,2.392813e-04,2.405882e-04,2.457387e-04,2.490204e-04,2.520035e-04,2.571176e-04,2.580765e-04,2.639593e-04,2.648830e-04,2.696538e-04,2.723211e-04,2.751625e-04,2.794375e-04,2.804880e-04,2.856332e-04,2.862387e-04,2.906012e-04,2.927318e-04,2.953952e-04,2.989245e-04,3.000187e-04,3.044752e-04,3.048246e-04,3.087682e-04,3.104405e-04,3.129014e-04,3.157803e-04,3.168783e-04,3.207028e-04,3.208526e-04,3.243784e-04,3.256659e-04,3.279088e-04,3.302285e-04,3.312977e-04,3.345488e-04,3.376656e-04,3.386352e-04,3.406517e-04,3.424958e-04,3.435106e-04,3.461387e-04,3.462458e-04,3.488608e-04,3.495719e-04,3.513589e-04,3.528031e-04,3.537435e-04,3.558398e-04,3.560177e-04,3.581849e-04,3.586895e-04,3.602482e-04,3.613594e-04,3.622106e-04,3.638565e-04,3.640752e-04,3.658451e-04,3.661879e-04,3.675230e-04,3.683601e-04,3.691118e-04,3.703796e-04,3.706144e-04,3.720333e-04,3.722528e-04,3.733714e-04,3.739857e-04,3.746311e-04,3.755842e-04,3.758151e-04,3.769257e-04,3.770542e-04,3.779654e-04,3.784011e-04,3.789366e-04,3.796303e-04,3.798416e-04,3.806825e-04,3.807470e-04,3.814615e-04,3.817563e-04,3.821809e-04,3.826630e-04,3.828426e-04,3.834487e-04,3.834718e-04,3.840011e-04,3.841871e-04,3.845017e-04,3.848135e-04,3.849524e-04,3.853549e-04,3.858156e-04,3.861994e-04,3.865101e-04,3.867513e-04,3.869264e-04,3.870389e-04,3.870919e-04,3.870886e-04,3.870319e-04,3.869247e-04,3.867697e-04,3.865696e-04,3.863269e-04,3.860440e-04,3.857233e-04,3.853670e-04,3.849772e-04,3.845561e-04,3.841055e-04,3.836274e-04,3.831235e-04,3.825956e-04,3.820453e-04,3.814742e-04
0.000000e+00,1.144094e-09,3.539556e-09,1.660601e-08,4.345416e-08,6.669480e-08,1.649334e-07,1.703346e-07,3.455631e-07,4.098960e-07,6.103752e-07,8.199408e-07,9.832833e-07,1.437956e-06,1.483025e-06,2.126290e-06,2.303311e-06,2.922294e-06,3.433679e-06,3.866359e-06,4.804815e-06,4.939590e-06,6.116462e-06,6.362051e-06,7.372424e-06,8.049706e-06,8.686607e-06,9.822650e-06,1.004153e-05,1.142217e-05,1.164455e-05,1.281522e-05,1.348476e-05,1.420882e-05,1.531692e-05,1.559235e-05,1.695647e-05,1.711846e-05,1.829306e-05,1.887063e-05,1.959525e-05,2.055837e-05,2.085736e-05,2.207486e-05,2.217022e-05,2.324424e-05,2.369793e-05,2.436298e-05,2.513613e-05,2.542937e-05,2.644242e-05,2.648182e-05,2.740181e-05,2.773409e-05,2.830777e-05,2.889362e-05,2.916093e-05,2.996213e-05,3.071263e-05,3.094232e-05,3.141388e-05,3.183755e-05,3.206744e-05,3.265161e-05,3.267505e-05,3.323849e-05,3.338858e-05,3.375957e-05,3.405266e-05,3.424014e-05,3.464806e-05,3.468203e-05,3.508708e-05,3.517901e-05,3.545709e-05,3.564964e-05,3.579380e-05,3.606394e-05,3.609894e-05,3.637418e-05,3.642578e-05,3.662111e-05,3.673885e-05,3.684130e-05,3.700669e-05,3.703624e-05,3.720736e-05,3.723262e-05,3.735603e-05,3.741981e-05,3.748358e-05,3.757126e-05,3.759126e-05,3.768028e-05,3.768976e-05,3.775177e-05,3.777796e-05,3.780683e-05,3.783833e-05,3.784651e-05,3.787178e-05,3.787321e-05,3.788359e-05,3.788475e-05,3.788283e-05,3.787498e-05,3.787035e-05,3.784695e-05,3.784580e-05,3.781340e-05,3.779897e-05,3.777041e-05,3.773613e-05,3.771866e-05,3.765882e-05,3.759148e-05,3.756845e-05,3.751723e-05,3.746634e-05,3.743662e-05,3.735371e-05,3.735015e-05,3.725832e-05,3.723171e-05,3.716159e-05,3.710138e-05,3.706040e-05,3.696370e-05,3.695514e-05,3.684622e-05,3.681957e-05,3.673398e-05,3.666981e-05,3.661878e-05,3.651520e-05,3.650092e-05,3.638073e-05,3.635643e-05,3.625847e-05,3.619418e-05,3.613442e-05,3.602902e-05,3.600883e-05,3.588192e-05,3.586151e-05,3.575393e-05,3.569217e-05,3.562505e-05,3.552144e-05,3.549548e-05,3.536540e-05,3.534976e-05,3.523497e-05,3.517751e-05,3.510436e-05,3.500505e-05,3.497370e-05,3.484314e-05,3.483270e-05,3.471280e-05,3.466075e-05,3.458279e-05,3.448946e-05,3.445324e-05,3.432423e-05,3.431909e-05,3.419587e-05,3.414984e-05,3.406824e-05,3.398190e-05,3.394141e-05,3.381547e-05,3.365069e-05,3.348770e-05,3.332663e-05,3.316759e-05,3.301068e-05,3.285597e-05,3.270354e-05,3.255345e-05,3.240576e-05,3.226050e-05,3.211771e-05,3.197742e-05,3.183964e-05,3.170440e-05,3.157171e-05,3.144155e-05,3.131394e-05,3.118887e-05,3.106632e-05,3.094629e-05,3.082875e-05,3.071369e-05,3.060108e-05,3.049091e-05
0.000000e+00,2.081791e-15,1.792576e-14,4.313134e-13,3.476584e-12,8.968661e-12,6.779073e-11,7.286539e-11,3.541692e-10,5.175193e-10,1.245244e-09,2.368894e-09,3.504827e-09,7.862537e-09,8.389603e-09,1.776034e-08,2.094349e-08,3.414895e-08,4.756545e-08,6.077791e-08,9.574597e-08,1.015228e-07,1.608070e-07,1.753064e-07,2.434239e-07,2.972423e-07,3.542953e-07,4.727638e-07,4.981925e-07,6.794539e-07,7.121788e-07,9.017333e-07,1.023848e-06,1.167798e-06,1.413386e-06,1.479395e-06,1.837182e-06,1.883211e-06,2.240720e-06,2.432423e-06,2.688520e-06,3.056971e-06,3.178124e-06,3.706223e-06,3.750018e-06,4.268787e-06,4.502446e-06,4.861207e-06,5.303421e-06,5.478447e-06,6.115185e-06,6.140983e-06,6.765957e-06,7.002612e-06,7.425279e-06,7.875751e-06,8.087775e-06,8.748273e-06,9.401897e-06,9.608857e-06,1.004414e-05,1.044729e-05,1.067091e-05,1.125470e-05,1.127860e-05,1.186408e-05,1.202366e-05,1.242471e-05,1.274825e-05,1.295836e-05,1.342407e-05,1.346339e-05,1.393861e-05,1.404814e-05,1.438327e-05,1.461879e-05,1.479702e-05,1.513554e-05,1.517986e-05,1.553210e-05,1.559892e-05,1.585434e-05,1.601031e-05,1.614739e-05,1.637173e-05,1.641226e-05,1.665011e-05,1.668574e-05,1.686220e-05,1.695526e-05,1.704990e-05,1.718343e-05,1.721460e-05,1.735773e-05,1.737352e-05,1.748071e-05,1.752881e-05,1.758497e-05,1.765254e-05,1.767189e-05,1.774280e-05,1.774783e-05,1.779901e-05,1.781764e-05,1.784172e-05,1.786478e-05,1.787211e-05,1.789128e-05,1.789182e-05,1.790024e-05,1.790115e-05,1.789995e-05,1.789493e-05,1.789130e-05,1.787511e-05,1.785214e-05,1.784347e-05,1.782307e-05,1.780157e-05,1.778856e-05,1.775083e-05,1.774917e-05,1.770543e-05,1.769248e-05,1.765784e-05,1.762762e-05,1.760683e-05,1.755723e-05,1.755280e-05,1.749611e-05,1.748215e-05,1.743709e-05,1.740313e-05,1.737604e-05,1.732084e-05,1.731322e-05,1.724888e-05,1.723584e-05,1.718323e-05,1.714865e-05,1.711649e-05,1.705971e-05,1.704882e-05,1.698040e-05,1.696939e-05,1.691137e-05,1.687806e-05,1.684186e-05,1.678599e-05,1.677199e-05,1.670189e-05,1.669346e-05,1.663163e-05,1.660069e-05,1.656132e-05,1.650790e-05,1.649103e-05,1.642085e-05,1.641524e-05,1.635083e-05,1.632289e-05,1.628104e-05,1.623097e-05,1.621154e-05,1.614237e-05,1.613962e-05,1.607359e-05,1.604892e-05,1.600522e-05,1.595899e-05,1.593731e-05,1.586990e-05,1.578172e-05,1.569451e-05,1.560833e-05,1.552322e-05,1.543924e-05,1.535640e-05,1.527475e-05,1.519430e-05,1.511507e-05,1.503709e-05,1.496035e-05,1.488488e-05,1.481067e-05,1.473774e-05,1.466608e-05,1.459569e-05,1.452658e-05,1.445872e-05,1.439213e-05,1.432680e-05,1.426270e-05,1.419984e-05,1.413821e-05,1.407778e-05
0.000000e+00,8.301236e-14,6.568232e-13,1.327617e-11,9.145892e-11,2.166449e-10,1.318722e-09,1.405205e-09,5.551621e-09,7.680175e-09,1.616372e-08,2.771060e-08,3.839730e-08,7.492962e-08,7.904625e-08,1.464010e-07,1.675578e-07,2.496563e-07,3.264991e-07,3.975876e-07,5.701091e-07,5.968837e-07,8.509955e-07,9.084545e-07,1.159976e-06,1.341520e-06,1.521137e-06,1.861595e-06,1.930004e-06,2.381196e-06,2.456934e-06,2.869013e-06,3.114496e-06,3.387754e-06,3.821265e-06,3.931851e-06,4.495892e-06,4.564667e-06,5.074634e-06,5.332624e-06,5.663004e-06,6.113601e-06,6.256136e-06,6.849419e-06,6.896757e-06,7.438555e-06,7.672157e-06,8.019622e-06,8.431010e-06,8.589118e-06,9.144001e-06,9.165854e-06,9.681701e-06,9.870651e-06,1.020013e-05,1.054080e-05,1.069766e-05,1.117309e-05,1.162564e-05,1.176553e-05,1.205485e-05,1.231724e-05,1.246062e-05,1.282821e-05,1.284307e-05,1.320257e-05,1.329918e-05,1.353965e-05,1.373142e-05,1.385500e-05,1.412660e-05,1.414940e-05,1.442371e-05,1.448666e-05,1.467884e-05,1.481368e-05,1.491573e-05,1.510984e-05,1.513531e-05,1.533854e-05,1.537731e-05,1.552635e-05,1.561821e-05,1.569962e-05,1.583459e-05,1.585925e-05,1.600605e-05,1.602840e-05,1.614083e-05,1.620148e-05,1.626434e-05,1.635552e-05,1.637731e-05,1.648039e-05,1.649213e-05,1.657424e-05,1.661276e-05,1.665944e-05,1.671876e-05,1.673656e-05,1.680611e-05,1.681136e-05,1.686858e-05,1.689169e-05,1.692443e-05,1.696078e-05,1.697408e-05,1.701794e-05,1.701958e-05,1.705636e-05,1.706893e-05,1.708970e-05,1.710963e-05,1.711827e-05,1.714238e-05,1.716231e-05,1.716785e-05,1.717831e-05,1.718661e-05,1.719064e-05,1.719921e-05,1.719951e-05,1.720514e-05,1.720616e-05,1.720773e-05,1.720790e-05,1.720747e-05,1.720485e-05,1.720452e-05,1.719906e-05,1.719739e-05,1.719124e-05,1.718587e-05,1.718119e-05,1.717062e-05,1.716905e-05,1.715496e-05,1.715192e-05,1.713902e-05,1.713005e-05,1.712136e-05,1.710526e-05,1.710207e-05,1.708125e-05,1.707778e-05,1.705900e-05,1.704783e-05,1.703540e-05,1.701561e-05,1.701054e-05,1.698449e-05,1.698129e-05,1.695734e-05,1.694505e-05,1.692914e-05,1.690706e-05,1.689997e-05,1.686989e-05,1.686744e-05,1.683895e-05,1.682635e-05,1.680722e-05,1.678391e-05,1.677475e-05,1.674158e-05,1.674024e-05,1.670776e-05,1.669544e-05,1.667335e-05,1.664963e-05,1.663838e-05,1.660289e-05,1.655532e-05,1.650700e-05,1.645801e-05,1.640843e-05,1.635832e-05,1.630775e-05,1.625678e-05,1.620547e-05,1.615386e-05,1.610202e-05,1.604998e-05,1.599780e-05,1.594550e-05,1.589314e-05,1.584075e-05,1.578836e-05,1.573600e-05,1.568371e-05,1.563152e-05,1.557944e-05,1.552750e-05,1.547574e-05,1.542416e-05,1.537279e-05
0.000000e+00,1.072899e-09,2.461971e-09,8.432375e-09,1.906095e-08,2.771178e-08,6.245288e-08,6.432128e-08,1.241831e-07,1.460353e-07,2.143154e-07,2.862931e-07,3.428693e-07,5.019616e-07,5.178038e-07,7.432736e-07,8.046627e-07,1.015315e-06,1.183763e-06,1.322113e-06,1.609628e-06,1.649601e-06,1.986165e-06,2.053800e-06,2.323713e-06,2.497766e-06,2.656877e-06,2.930653e-06,2.982021e-06,3.296554e-06,3.345757e-06,3.598533e-06,3.738573e-06,3.886471e-06,4.105940e-06,4.159235e-06,4.416006e-06,4.445716e-06,4.656270e-06,4.756683e-06,4.879771e-06,5.038400e-06,5.086489e-06,5.276626e-06,5.291131e-06,5.450568e-06,5.515726e-06,5.608851e-06,5.713483e-06,5.752130e-06,5.881148e-06,5.886023e-06,5.996704e-06,6.035168e-06,6.099633e-06,6.162843e-06,6.190778e-06,6.270977e-06,6.341055e-06,6.361474e-06,6.401817e-06,6.436172e-06,6.454030e-06,6.496783e-06,6.498416e-06,6.535653e-06,6.544885e-06,6.566374e-06,6.581926e-06,6.591168e-06,6.609210e-06,6.610576e-06,6.625099e-06,6.627909e-06,6.635193e-06,6.639069e-06,6.641277e-06,6.643620e-06,6.643735e-06,6.642915e-06,6.642386e-06,6.639134e-06,6.636095e-06,6.632681e-06,6.625388e-06,6.623818e-06,6.612783e-06,6.610831e-06,6.599793e-06,6.592922e-06,6.585045e-06,6.572101e-06,6.568717e-06,6.550972e-06,6.548754e-06,6.531957e-06,6.523223e-06,6.511807e-06,6.495809e-06,6.490643e-06,6.468578e-06,6.466777e-06,6.445712e-06,6.436363e-06,6.422138e-06,6.404774e-06,6.397941e-06,6.373196e-06,6.372196e-06,6.347975e-06,6.338791e-06,6.322341e-06,6.304705e-06,6.296354e-06,6.270067e-06,6.243530e-06,6.234993e-06,6.216788e-06,6.199585e-06,6.189882e-06,6.163934e-06,6.162851e-06,6.135729e-06,6.128123e-06,6.108548e-06,6.092223e-06,6.081338e-06,6.056302e-06,6.054125e-06,6.026935e-06,6.020416e-06,5.999791e-06,5.984617e-06,5.972712e-06,5.948953e-06,5.945719e-06,5.918828e-06,5.913464e-06,5.892057e-06,5.878188e-06,5.865419e-06,5.843157e-06,5.838929e-06,5.812599e-06,5.808401e-06,5.786439e-06,5.773947e-06,5.760462e-06,5.739816e-06,5.734675e-06,5.709087e-06,5.706031e-06,5.683707e-06,5.672607e-06,5.658541e-06,5.639562e-06,5.633596e-06,5.608877e-06,5.606910e-06,5.584390e-06,5.574661e-06,5.560139e-06,5.542827e-06,5.536128e-06,5.512361e-06,5.511416e-06,5.488841e-06,5.480435e-06,5.465571e-06,5.449891e-06,5.442553e-06,5.419789e-06,5.390131e-06,5.360923e-06,5.332165e-06,5.303858e-06,5.276004e-06,5.248602e-06,5.221651e-06,5.195151e-06,5.169099e-06,5.143493e-06,5.118331e-06,5.093609e-06,5.069324e-06,5.045473e-06,5.022052e-06,4.999056e-06,4.976481e-06,4.954322e-06,4.932575e-06,4.911235e-06,4.890297e-06,4.869755e-06,4.849605e-06,4.829840e-06
0.000000e+00,3.283840e-10,1.109823e-09,5.744445e-09,1.574395e-08,2.458192e-08,6.260258e-08,6.470892e-08,1.333472e-07,1.585959e-07,2.371694e-07,3.189503e-07,3.823812e-07,5.575068e-07,5.747613e-07,8.196059e-07,8.867046e-07,1.121486e-06,1.316760e-06,1.483710e-06,1.853435e-06,1.907522e-06,2.391486e-06,2.495181e-06,2.931605e-06,3.232816e-06,3.522216e-06,4.052716e-06,4.156980e-06,4.829494e-06,4.940180e-06,5.533532e-06,5.880897e-06,6.263097e-06,6.861252e-06,7.012433e-06,7.776028e-06,7.868366e-06,8.548651e-06,8.890187e-06,9.325387e-06,9.915638e-06,1.010168e-05,1.087335e-05,1.093477e-05,1.163667e-05,1.193889e-05,1.238829e-05,1.292058e-05,1.312533e-05,1.384531e-05,1.387372e-05,1.454615e-05,1.479343e-05,1.522616e-05,1.567596e-05,1.588398e-05,1.651858e-05,1.712921e-05,1.731946e-05,1.771537e-05,1.807753e-05,1.827678e-05,1.879237e-05,1.881335e-05,1.932516e-05,1.946406e-05,1.981242e-05,2.009312e-05,2.027545e-05,2.068040e-05,2.071468e-05,2.113060e-05,2.122701e-05,2.152377e-05,2.173424e-05,2.189481e-05,2.220353e-05,2.224436e-05,2.257310e-05,2.263641e-05,2.288171e-05,2.303447e-05,2.317090e-05,2.339933e-05,2.344138e-05,2.369384e-05,2.373261e-05,2.392901e-05,2.403594e-05,2.414756e-05,2.431091e-05,2.435019e-05,2.453758e-05,2.455907e-05,2.471038e-05,2.478195e-05,2.486923e-05,2.498101e-05,2.501475e-05,2.514755e-05,2.515765e-05,2.526823e-05,2.531323e-05,2.537734e-05,2.544906e-05,2.547545e-05,2.556309e-05,2.556638e-05,2.564077e-05,2.566639e-05,2.570898e-05,2.575021e-05,2.576822e-05,2.581893e-05,2.586157e-05,2.587357e-05,2.589655e-05,2.591511e-05,2.592428e-05,2.594446e-05,2.594517e-05,2.595958e-05,2.596250e-05,2.596788e-05,2.597006e-05,2.597041e-05,2.596792e-05,2.596750e-05,2.595948e-05,2.595682e-05,2.594664e-05,2.593746e-05,2.592928e-05,2.591048e-05,2.590767e-05,2.588209e-05,2.587651e-05,2.585277e-05,2.583614e-05,2.581998e-05,2.578991e-05,2.578393e-05,2.574485e-05,2.573833e-05,2.570295e-05,2.568190e-05,2.565843e-05,2.562106e-05,2.561149e-05,2.556229e-05,2.555624e-05,2.551102e-05,2.548785e-05,2.545784e-05,2.541625e-05,2.540291e-05,2.534638e-05,2.534179e-05,2.528839e-05,2.526481e-05,2.522907e-05,2.518561e-05,2.516855e-05,2.510696e-05,2.510448e-05,2.504441e-05,2.502167e-05,2.498100e-05,2.493745e-05,2.491685e-05,2.485204e-05,2.476565e-05,2.467850e-05,2.459075e-05,2.450259e-05,2.441417e-05,2.432564e-05,2.423714e-05,2.414879e-05,2.406071e-05,2.397300e-05,2.388576e-05,2.379908e-05,2.371304e-05,2.362771e-05,2.354316e-05,2.345946e-05,2.337665e-05,2.329478e-05,2.321391e-05,2.313406e-05,2.305528e-05,2.297758e-05,2.290101e-05,2.282558e-05
0.000000e+00,6.455416e-15,5.558519e-14,1.337718e-12,1.078987e-11,2.785205e-11,2.110784e-10,2.269123e-10,1.108120e-09,1.621987e-09,3.923561e-09,7.505066e-09,1.115097e-08,2.530551e-08,2.703216e-08,5.812122e-08,6.882033e-08,1.137691e-07,1.601637e-07,2.063980e-07,3.306419e-07,3.513704e-07,5.663350e-07,6.193773e-07,8.701061e-07,1.069384e-06,1.281275e-06,1.722142e-06,1.816807e-06,2.490823e-06,2.612269e-06,3.313711e-06,3.763544e-06,4.291589e-06,5.186746e-06,5.426115e-06,6.714613e-06,6.879301e-06,8.150395e-06,8.826282e-06,9.723260e-06,1.100233e-05,1.142008e-05,1.322544e-05,1.337405e-05,1.512224e-05,1.590253e-05,1.709237e-05,1.854583e-05,1.911722e-05,2.117821e-05,2.126115e-05,2.325724e-05,2.400674e-05,2.533703e-05,2.674344e-05,2.740145e-05,2.943572e-05,3.142660e-05,3.205256e-05,3.336242e-05,3.456778e-05,3.523322e-05,3.696026e-05,3.703066e-05,3.874801e-05,3.921378e-05,4.038009e-05,4.131677e-05,4.192311e-05,4.326191e-05,4.337463e-05,4.473337e-05,4.504562e-05,4.599911e-05,4.666753e-05,4.717254e-05,4.812994e-05,4.825511e-05,4.924895e-05,4.943730e-05,5.015671e-05,5.059573e-05,5.098145e-05,5.161254e-05,5.172655e-05,5.239565e-05,5.249590e-05,5.299251e-05,5.325449e-05,5.352102e-05,5.389723e-05,5.398507e-05,5.438852e-05,5.443305e-05,5.473522e-05,5.487075e-05,5.502889e-05,5.521884e-05,5.527315e-05,5.547148e-05,5.548547e-05,5.562724e-05,5.567834e-05,5.574360e-05,5.580469e-05,5.582359e-05,5.587007e-05,5.587127e-05,5.588573e-05,5.588432e-05,5.587311e-05,5.584960e-05,5.583460e-05,5.577240e-05,5.568861e-05,5.565755e-05,5.558514e-05,5.550944e-05,5.546381e-05,5.533208e-05,5.532629e-05,5.517412e-05,5.512908e-05,5.500874e-05,5.490374e-05,5.483150e-05,5.465901e-05,5.464362e-05,5.444624e-05,5.439758e-05,5.424043e-05,5.412185e-05,5.402714e-05,5.383399e-05,5.380729e-05,5.358168e-05,5.353594e-05,5.335110e-05,5.322946e-05,5.311623e-05,5.291610e-05,5.287772e-05,5.263617e-05,5.259728e-05,5.239212e-05,5.227424e-05,5.214608e-05,5.194812e-05,5.189851e-05,5.164982e-05,5.161992e-05,5.140040e-05,5.129053e-05,5.115062e-05,5.096074e-05,5.090079e-05,5.065122e-05,5.063127e-05,5.040216e-05,5.030274e-05,5.015388e-05,4.997572e-05,4.990659e-05,4.966051e-05,4.965069e-05,4.941581e-05,4.932809e-05,4.917267e-05,4.900831e-05,4.893125e-05,4.869167e-05,4.837848e-05,4.806900e-05,4.776343e-05,4.746197e-05,4.716478e-05,4.687199e-05,4.658372e-05,4.630005e-05,4.602106e-05,4.574680e-05,4.547733e-05,4.521266e-05,4.495281e-05,4.469780e-05,4.444760e-05,4.420222e-05,4.396163e-05,4.372579e-05,4.349469e-05,4.326828e-05,4.304651e-05,4.282934e-05,4.261671e-05,4.240858e-05
0.000000e+00,1.180683e-12,8.635827e-12,1.490110e-10,8.942306e-10,1.968982e-09,1.001616e-08,1.059846e-08,3.554144e-08,4.713784e-08,8.962215e-08,1.421613e-07,1.876507e-07,3.304591e-07,3.457110e-07,5.809644e-07,6.508909e-07,9.111884e-07,1.143905e-06,1.352887e-06,1.842975e-06,1.917355e-06,2.606284e-06,2.758349e-06,3.410171e-06,3.867807e-06,4.310847e-06,5.126038e-06,5.286182e-06,6.314231e-06,6.482266e-06,7.375510e-06,7.891800e-06,8.453626e-06,9.319042e-06,9.535010e-06,1.060837e-05,1.073617e-05,1.166420e-05,1.212110e-05,1.269448e-05,1.345620e-05,1.369245e-05,1.465257e-05,1.472760e-05,1.557037e-05,1.592485e-05,1.644248e-05,1.704072e-05,1.726650e-05,1.804096e-05,1.807090e-05,1.876519e-05,1.901360e-05,1.943921e-05,1.986918e-05,2.006367e-05,2.063969e-05,2.116877e-05,2.132846e-05,2.165273e-05,2.193972e-05,2.209360e-05,2.247828e-05,2.249352e-05,2.285476e-05,2.294928e-05,2.317958e-05,2.335794e-05,2.347027e-05,2.370947e-05,2.372905e-05,2.395809e-05,2.400887e-05,2.415949e-05,2.426095e-05,2.433525e-05,2.447021e-05,2.448726e-05,2.461732e-05,2.464085e-05,2.472712e-05,2.477674e-05,2.481825e-05,2.488145e-05,2.489218e-05,2.495030e-05,2.495822e-05,2.499390e-05,2.501003e-05,2.502417e-05,2.503954e-05,2.504222e-05,2.504906e-05,2.504917e-05,2.504563e-05,2.504110e-05,2.503280e-05,2.501727e-05,2.501138e-05,2.498214e-05,2.497948e-05,2.494576e-05,2.492936e-05,2.490290e-05,2.486835e-05,2.485414e-05,2.480002e-05,2.479775e-05,2.474105e-05,2.471872e-05,2.467769e-05,2.463232e-05,2.461037e-05,2.453949e-05,2.446538e-05,2.444105e-05,2.438840e-05,2.433776e-05,2.430885e-05,2.423032e-05,2.422701e-05,2.414315e-05,2.411934e-05,2.405751e-05,2.400537e-05,2.397032e-05,2.388890e-05,2.388177e-05,2.379207e-05,2.377039e-05,2.370138e-05,2.365023e-05,2.360988e-05,2.352880e-05,2.351771e-05,2.342501e-05,2.340642e-05,2.333191e-05,2.328337e-05,2.323852e-05,2.315994e-05,2.314496e-05,2.305133e-05,2.303634e-05,2.295771e-05,2.291281e-05,2.286420e-05,2.278951e-05,2.277087e-05,2.267779e-05,2.266664e-05,2.258504e-05,2.254435e-05,2.249267e-05,2.242276e-05,2.240074e-05,2.230930e-05,2.230201e-05,2.221840e-05,2.218220e-05,2.212809e-05,2.206344e-05,2.203839e-05,2.194935e-05,2.194580e-05,2.186100e-05,2.182937e-05,2.177337e-05,2.171421e-05,2.168649e-05,2.160037e-05,2.148792e-05,2.137690e-05,2.126734e-05,2.115927e-05,2.105273e-05,2.094774e-05,2.084432e-05,2.074247e-05,2.064221e-05,2.054355e-05,2.044650e-05,2.035104e-05,2.025720e-05,2.016495e-05,2.007429e-05,1.998523e-05,1.989775e-05,1.981184e-05,1.972749e-05,1.964468e-05,1.956341e-05,1.948366e-05,1.940541e-05,1.932865e-05
0.000000e+00,1.857886e-09,4.956229e-09,1.997291e-08,4.895312e-08,7.350667e-08,1.764517e-07,1.821235e-07,3.685006e-07,4.382697e-07,6.603353e-07,8.987989e-07,1.087695e-06,1.617127e-06,1.669343e-06,2.398932e-06,2.593633e-06,3.254170e-06,3.779685e-06,4.213411e-06,5.130597e-06,5.260441e-06,6.382763e-06,6.615291e-06,7.569472e-06,8.208511e-06,8.810032e-06,9.885928e-06,1.009379e-05,1.140990e-05,1.162275e-05,1.274750e-05,1.339405e-05,1.409596e-05,1.517571e-05,1.544514e-05,1.678559e-05,1.694544e-05,1.810879e-05,1.868355e-05,1.940721e-05,2.037341e-05,2.067438e-05,2.190492e-05,2.200164e-05,2.309448e-05,2.355804e-05,2.423967e-05,2.503531e-05,2.533801e-05,2.638779e-05,2.642876e-05,2.738801e-05,2.773585e-05,2.833824e-05,2.895586e-05,2.923855e-05,3.008945e-05,3.089173e-05,3.113837e-05,3.164649e-05,3.210518e-05,3.235501e-05,3.299300e-05,3.301871e-05,3.363914e-05,3.380532e-05,3.421790e-05,3.454585e-05,3.475667e-05,3.521844e-05,3.525710e-05,3.572088e-05,3.582692e-05,3.614967e-05,3.637511e-05,3.654509e-05,3.686674e-05,3.690876e-05,3.724222e-05,3.730542e-05,3.754698e-05,3.769460e-05,3.782450e-05,3.803760e-05,3.807619e-05,3.830338e-05,3.833755e-05,3.850738e-05,3.859743e-05,3.868942e-05,3.882004e-05,3.885069e-05,3.899231e-05,3.900804e-05,3.911538e-05,3.916391e-05,3.922091e-05,3.929000e-05,3.930990e-05,3.938327e-05,3.938850e-05,3.944192e-05,3.946145e-05,3.948669e-05,3.951078e-05,3.951838e-05,3.953776e-05,3.953829e-05,3.954556e-05,3.954567e-05,3.954246e-05,3.953447e-05,3.952913e-05,3.950617e-05,3.947418e-05,3.946212e-05,3.943371e-05,3.940362e-05,3.938531e-05,3.933184e-05,3.932947e-05,3.926666e-05,3.924789e-05,3.919735e-05,3.915281e-05,3.912195e-05,3.904756e-05,3.904088e-05,3.895451e-05,3.893304e-05,3.886322e-05,3.881007e-05,3.876735e-05,3.867944e-05,3.866721e-05,3.856314e-05,3.854187e-05,3.845541e-05,3.839804e-05,3.834430e-05,3.824855e-05,3.823008e-05,3.811300e-05,3.809401e-05,3.799328e-05,3.793495e-05,3.787116e-05,3.777187e-05,3.774684e-05,3.762052e-05,3.760524e-05,3.749240e-05,3.743550e-05,3.736264e-05,3.726304e-05,3.723142e-05,3.709889e-05,3.708824e-05,3.696521e-05,3.691145e-05,3.683052e-05,3.673299e-05,3.669495e-05,3.655863e-05,3.655316e-05,3.642167e-05,3.637224e-05,3.628420e-05,3.619048e-05,3.614632e-05,3.600812e-05,3.582538e-05,3.564247e-05,3.545957e-05,3.527685e-05,3.509447e-05,3.491259e-05,3.473134e-05,3.455084e-05,3.437120e-05,3.419254e-05,3.401495e-05,3.383851e-05,3.366331e-05,3.348942e-05,3.331690e-05,3.314582e-05,3.297623e-05,3.280819e-05,3.264172e-05,3.247688e-05,3.231369e-05,3.215219e-05,3.199240e-05,3.183435e-05
0.000000e+00,5.661810e-12,3.575782e-11,4.662527e-10,2.231598e-09,4.390895e-09,1.732351e-08,1.816127e-08,4.969770e-08,6.281424e-08,1.070589e-07,1.571467e-07,1.981042e-07,3.183024e-07,3.306134e-07,5.124480e-07,5.643072e-07,7.514684e-07,9.130429e-07,1.054860e-06,1.379178e-06,1.427661e-06,1.871096e-06,1.968053e-06,2.382057e-06,2.672439e-06,2.954294e-06,3.476830e-06,3.580289e-06,4.252597e-06,4.363998e-06,4.964383e-06,5.318216e-06,5.709418e-06,6.325477e-06,6.481903e-06,7.276330e-06,7.372882e-06,8.087391e-06,8.448198e-06,8.909954e-06,9.539751e-06,9.739087e-06,1.057010e-05,1.063653e-05,1.139859e-05,1.172837e-05,1.222051e-05,1.280614e-05,1.303217e-05,1.383029e-05,1.386189e-05,1.461199e-05,1.488890e-05,1.537483e-05,1.588172e-05,1.611675e-05,1.683610e-05,1.753157e-05,1.774891e-05,1.820220e-05,1.861805e-05,1.884732e-05,1.944228e-05,1.946655e-05,2.005972e-05,2.022114e-05,2.062688e-05,2.095478e-05,2.116825e-05,2.164386e-05,2.168421e-05,2.217524e-05,2.228944e-05,2.264193e-05,2.289289e-05,2.308494e-05,2.345577e-05,2.350499e-05,2.390285e-05,2.397983e-05,2.427931e-05,2.446689e-05,2.463519e-05,2.491882e-05,2.497130e-05,2.528846e-05,2.533750e-05,2.558748e-05,2.572481e-05,2.586917e-05,2.608256e-05,2.613430e-05,2.638364e-05,2.641253e-05,2.661793e-05,2.671644e-05,2.683790e-05,2.699592e-05,2.704423e-05,2.723759e-05,2.725252e-05,2.741862e-05,2.748772e-05,2.758793e-05,2.770292e-05,2.774612e-05,2.789374e-05,2.789943e-05,2.803132e-05,2.807849e-05,2.815938e-05,2.824127e-05,2.827840e-05,2.838884e-05,2.849115e-05,2.852223e-05,2.858573e-05,2.864240e-05,2.867300e-05,2.875024e-05,2.875332e-05,2.882706e-05,2.884657e-05,2.889455e-05,2.893218e-05,2.895612e-05,2.900780e-05,2.901207e-05,2.906270e-05,2.907409e-05,2.910828e-05,2.913169e-05,2.914907e-05,2.918120e-05,2.918532e-05,2.921727e-05,2.922316e-05,2.924514e-05,2.925809e-05,2.926915e-05,2.928647e-05,2.928949e-05,2.930636e-05,2.930875e-05,2.931994e-05,2.932534e-05,2.933040e-05,2.933664e-05,2.933791e-05,2.934263e-05,2.934301e-05,2.934469e-05,2.934480e-05,2.934425e-05,2.934232e-05,2.934143e-05,2.933637e-05,2.933587e-05,2.932918e-05,2.932574e-05,2.931999e-05,2.931218e-05,2.930889e-05,2.929599e-05,2.929544e-05,2.928140e-05,2.927575e-05,2.926521e-05,2.925332e-05,2.924750e-05,2.922836e-05,2.920106e-05,2.917158e-05,2.914010e-05,2.910677e-05,2.907174e-05,2.903514e-05,2.899711e-05,2.895777e-05,2.891722e-05,2.887557e-05,2.883294e-05,2.878940e-05,2.874505e-05,2.869997e-05,2.865424e-05,2.860793e-05,2.856111e-05,2.851385e-05,2.846621e-05,2.841825e-05,2.837001e-05,2.832155e-05,2.827293e-05,2.822417e-05
0.000000e+00,2.341687e-09,5.463275e-09,1.914555e-08,4.387958e-08,6.414017e-08,1.455487e-07,1.499111e-07,2.880872e-07,3.376610e-07,4.895084e-07,6.449722e-07,7.643337e-07,1.090168e-06,1.122046e-06,1.571313e-06,1.693627e-06,2.119660e-06,2.472274e-06,2.772908e-06,3.437240e-06,3.534357e-06,4.403753e-06,4.590253e-06,5.376320e-06,5.919801e-06,6.442390e-06,7.400120e-06,7.588140e-06,8.797351e-06,8.995596e-06,1.005346e-05,1.066845e-05,1.134102e-05,1.238447e-05,1.264637e-05,1.395775e-05,1.411503e-05,1.526512e-05,1.583685e-05,1.655994e-05,1.753112e-05,1.783498e-05,1.908410e-05,1.918275e-05,2.030222e-05,2.077981e-05,2.148511e-05,2.231306e-05,2.262940e-05,2.373243e-05,2.377566e-05,2.479219e-05,2.516282e-05,2.580726e-05,2.647150e-05,2.677674e-05,2.770014e-05,2.857739e-05,2.884839e-05,2.940872e-05,2.991689e-05,3.019462e-05,3.090703e-05,3.093583e-05,3.163324e-05,3.182081e-05,3.228791e-05,3.266067e-05,3.290099e-05,3.342936e-05,3.347373e-05,3.400744e-05,3.412987e-05,3.450347e-05,3.476530e-05,3.496319e-05,3.533881e-05,3.538799e-05,3.577926e-05,3.585362e-05,3.613838e-05,3.631287e-05,3.646672e-05,3.671971e-05,3.676561e-05,3.703638e-05,3.707718e-05,3.728031e-05,3.738823e-05,3.749865e-05,3.765573e-05,3.769263e-05,3.786342e-05,3.788242e-05,3.801218e-05,3.807094e-05,3.814000e-05,3.822381e-05,3.824796e-05,3.833709e-05,3.834344e-05,3.840838e-05,3.843212e-05,3.846279e-05,3.849203e-05,3.850123e-05,3.852459e-05,3.852522e-05,3.853371e-05,3.853367e-05,3.852941e-05,3.851921e-05,3.851246e-05,3.848361e-05,3.844357e-05,3.842851e-05,3.839302e-05,3.835546e-05,3.833263e-05,3.826595e-05,3.826300e-05,3.818473e-05,3.816135e-05,3.809840e-05,3.804296e-05,3.800455e-05,3.791201e-05,3.790369e-05,3.779632e-05,3.776963e-05,3.768290e-05,3.761692e-05,3.756389e-05,3.745487e-05,3.743971e-05,3.731076e-05,3.728443e-05,3.717743e-05,3.710648e-05,3.704008e-05,3.692186e-05,3.689907e-05,3.675472e-05,3.673133e-05,3.660734e-05,3.653562e-05,3.645724e-05,3.633539e-05,3.630469e-05,3.614997e-05,3.613127e-05,3.599332e-05,3.592384e-05,3.583498e-05,3.571365e-05,3.567518e-05,3.551414e-05,3.550121e-05,3.535205e-05,3.528696e-05,3.518910e-05,3.507136e-05,3.502549e-05,3.486136e-05,3.485479e-05,3.469690e-05,3.463763e-05,3.453223e-05,3.442022e-05,3.436752e-05,3.420288e-05,3.398589e-05,3.376953e-05,3.355402e-05,3.333961e-05,3.312648e-05,3.291484e-05,3.270484e-05,3.249663e-05,3.229036e-05,3.208616e-05,3.188412e-05,3.168435e-05,3.148694e-05,3.129197e-05,3.109950e-05,3.090960e-05,3.072230e-05,3.053766e-05,3.035570e-05,3.017646e-05,2.999996e-05,2.982621e-05,2.965522e-05,2.948701e-05
0.000000e+00,2.380918e-15,2.063626e-14,5.038745e-13,4.120333e-12,1.071919e-11,8.297994e-11,8.928508e-11,4.462171e-10,6.575265e-10,1.618969e-09,3.144585e-09,4.721293e-09,1.097917e-08,1.175321e-08,2.593066e-08,3.088442e-08,5.194322e-08,7.394661e-08,9.603679e-08,1.558539e-07,1.658757e-07,2.702123e-07,2.960399e-07,4.184353e-07,5.160267e-07,6.200744e-07,8.374773e-07,8.843242e-07,1.219625e-06,1.280375e-06,1.633324e-06,1.861563e-06,2.131414e-06,2.593703e-06,2.718360e-06,3.396986e-06,3.484654e-06,4.168432e-06,4.537195e-06,5.032161e-06,5.749043e-06,5.986013e-06,7.026302e-06,7.113116e-06,8.147945e-06,8.618003e-06,9.344621e-06,1.024858e-05,1.060895e-05,1.193269e-05,1.198675e-05,1.330693e-05,1.381224e-05,1.472234e-05,1.570344e-05,1.616932e-05,1.763824e-05,1.911957e-05,1.959471e-05,2.060412e-05,2.155183e-05,2.208309e-05,2.349002e-05,2.354827e-05,2.499205e-05,2.539153e-05,2.640758e-05,2.724075e-05,2.778872e-05,2.902440e-05,2.913014e-05,3.042728e-05,3.073156e-05,3.167635e-05,3.235368e-05,3.287432e-05,3.388440e-05,3.401886e-05,3.510829e-05,3.531945e-05,3.614154e-05,3.665643e-05,3.711809e-05,3.789455e-05,3.803793e-05,3.890145e-05,3.903444e-05,3.970945e-05,4.007787e-05,4.046301e-05,4.102757e-05,4.116350e-05,4.181250e-05,4.188700e-05,4.241175e-05,4.266014e-05,4.296314e-05,4.335139e-05,4.346864e-05,4.393027e-05,4.396537e-05,4.435011e-05,4.450681e-05,4.473023e-05,4.498048e-05,4.507269e-05,4.537954e-05,4.539110e-05,4.565276e-05,4.574326e-05,4.589428e-05,4.604138e-05,4.610600e-05,4.628971e-05,4.644717e-05,4.649228e-05,4.658002e-05,4.665287e-05,4.668986e-05,4.677506e-05,4.677820e-05,4.684646e-05,4.686216e-05,4.689599e-05,4.691726e-05,4.692808e-05,4.694324e-05,4.694393e-05,4.694468e-05,4.694273e-05,4.693139e-05,4.691819e-05,4.690506e-05,4.687186e-05,4.686664e-05,4.681702e-05,4.680582e-05,4.675701e-05,4.672196e-05,4.668739e-05,4.662202e-05,4.660889e-05,4.652219e-05,4.650760e-05,4.642792e-05,4.638015e-05,4.632667e-05,4.624103e-05,4.621901e-05,4.610546e-05,4.609146e-05,4.598649e-05,4.593255e-05,4.586256e-05,4.576533e-05,4.573411e-05,4.560152e-05,4.559074e-05,4.546516e-05,4.540964e-05,4.532539e-05,4.522282e-05,4.518252e-05,4.503686e-05,4.503098e-05,4.488870e-05,4.483480e-05,4.473829e-05,4.463486e-05,4.458589e-05,4.443172e-05,4.422589e-05,4.401783e-05,4.380796e-05,4.359666e-05,4.338429e-05,4.317118e-05,4.295761e-05,4.274387e-05,4.253020e-05,4.231682e-05,4.210395e-05,4.189177e-05,4.168045e-05,4.147015e-05,4.126103e-05,4.105319e-05,4.084678e-05,4.064188e-05,4.043861e-05,4.023704e-05,4.003726e-05,3.983933e-05,3.964333e-05,3.944929e-05
0.000000e+00,2.609787e-09,7.539908e-09,3.301866e-08,8.413614e-08,1.282209e-07,3.163213e-07,3.267790e-07,6.733279e-07,8.040523e-07,1.222609e-06,1.676440e-06,2.040172e-06,3.088834e-06,3.195076e-06,4.738478e-06,5.168331e-06,6.673079e-06,7.908411e-06,8.943571e-06,1.115219e-05,1.146527e-05,1.415883e-05,1.471249e-05,1.696347e-05,1.845063e-05,1.983504e-05,2.227447e-05,2.274048e-05,2.565357e-05,2.611887e-05,2.855253e-05,2.993343e-05,3.141872e-05,3.367721e-05,3.423609e-05,3.699097e-05,3.731678e-05,3.967187e-05,4.082555e-05,4.226945e-05,4.418328e-05,4.477634e-05,4.718695e-05,4.737551e-05,4.949731e-05,5.039279e-05,5.170495e-05,5.323012e-05,5.380865e-05,5.580826e-05,5.588608e-05,5.770454e-05,5.836212e-05,5.949869e-05,6.066131e-05,6.119260e-05,6.278866e-05,6.428951e-05,6.475015e-05,6.569807e-05,6.655255e-05,6.701745e-05,6.820311e-05,6.825083e-05,6.940143e-05,6.970920e-05,7.047249e-05,7.107831e-05,7.146728e-05,7.231790e-05,7.238902e-05,7.324088e-05,7.343527e-05,7.402594e-05,7.443752e-05,7.474722e-05,7.533153e-05,7.540767e-05,7.601013e-05,7.612391e-05,7.655737e-05,7.682099e-05,7.705204e-05,7.742884e-05,7.749673e-05,7.789390e-05,7.795319e-05,7.824592e-05,7.839953e-05,7.855508e-05,7.877303e-05,7.882358e-05,7.905351e-05,7.907861e-05,7.924690e-05,7.932091e-05,7.940567e-05,7.950432e-05,7.953167e-05,7.962667e-05,7.963298e-05,7.969235e-05,7.971078e-05,7.973033e-05,7.974140e-05,7.974216e-05,7.972930e-05,7.972829e-05,7.969317e-05,7.967472e-05,7.963510e-05,7.958374e-05,7.955638e-05,7.945822e-05,7.934179e-05,7.930085e-05,7.920819e-05,7.911417e-05,7.905849e-05,7.890056e-05,7.889369e-05,7.871474e-05,7.866222e-05,7.852256e-05,7.840126e-05,7.831801e-05,7.811962e-05,7.810193e-05,7.787509e-05,7.781914e-05,7.763825e-05,7.750151e-05,7.739211e-05,7.716835e-05,7.713734e-05,7.687459e-05,7.682114e-05,7.660447e-05,7.646128e-05,7.632755e-05,7.609009e-05,7.604438e-05,7.575549e-05,7.570877e-05,7.546137e-05,7.531847e-05,7.516249e-05,7.492025e-05,7.485928e-05,7.455218e-05,7.451509e-05,7.424159e-05,7.410392e-05,7.392787e-05,7.368759e-05,7.361140e-05,7.329251e-05,7.326690e-05,7.297151e-05,7.284260e-05,7.264872e-05,7.241537e-05,7.232443e-05,7.199890e-05,7.198585e-05,7.167239e-05,7.155465e-05,7.134514e-05,7.112231e-05,7.101738e-05,7.068933e-05,7.025621e-05,6.982336e-05,6.939121e-05,6.896011e-05,6.853041e-05,6.810243e-05,6.767647e-05,6.725278e-05,6.683160e-05,6.641318e-05,6.599769e-05,6.558535e-05,6.517630e-05,6.477070e-05,6.436870e-05,6.397040e-05,6.357593e-05,6.318538e-05,6.279884e-05,6.241637e-05,6.203806e-05,6.166396e-05,6.129410e-05,6.092854e-05
0.000000e+00,6.595213e-16,5.781876e-15,1.445232e-13,1.207002e-12,3.176027e-12,2.529470e-11,2.724704e-11,1.397329e-10,2.072408e-10,5.179664e-10,1.016758e-09,1.535893e-09,3.612620e-09,3.870586e-09,8.619705e-09,1.028759e-08,1.741831e-08,2.493302e-08,3.253881e-08,5.341829e-08,5.695440e-08,9.434861e-08,1.037565e-07,1.490635e-07,1.859661e-07,2.259894e-07,3.116285e-07,3.304079e-07,4.678024e-07,4.932137e-07,6.436531e-07,7.432820e-07,8.632303e-07,1.073662e-06,1.131398e-06,1.452437e-06,1.494691e-06,1.829890e-06,2.014568e-06,2.266446e-06,2.638865e-06,2.763847e-06,3.322832e-06,3.370209e-06,3.943117e-06,4.208139e-06,4.623406e-06,5.149127e-06,5.361422e-06,6.153979e-06,6.186761e-06,6.997062e-06,7.312048e-06,7.885936e-06,8.513822e-06,8.815260e-06,9.779215e-06,1.077163e-05,1.109418e-05,1.178612e-05,1.244399e-05,1.281621e-05,1.381378e-05,1.385544e-05,1.489749e-05,1.518893e-05,1.593628e-05,1.655557e-05,1.696603e-05,1.790079e-05,1.798137e-05,1.897735e-05,1.921300e-05,1.994951e-05,2.048202e-05,2.089390e-05,2.169924e-05,2.180708e-05,2.268614e-05,2.285765e-05,2.352871e-05,2.395177e-05,2.433288e-05,2.497767e-05,2.509725e-05,2.582084e-05,2.593279e-05,2.650311e-05,2.681586e-05,2.714389e-05,2.762674e-05,2.774334e-05,2.830193e-05,2.836624e-05,2.882038e-05,2.903602e-05,2.929964e-05,2.963835e-05,2.974084e-05,3.014527e-05,3.017607e-05,3.051433e-05,3.065239e-05,3.084954e-05,3.107079e-05,3.115244e-05,3.142464e-05,3.143491e-05,3.166776e-05,3.174848e-05,3.188343e-05,3.201523e-05,3.207326e-05,3.223882e-05,3.238167e-05,3.242283e-05,3.250330e-05,3.257067e-05,3.260515e-05,3.268561e-05,3.268861e-05,3.275500e-05,3.277070e-05,3.280558e-05,3.282883e-05,3.284154e-05,3.286267e-05,3.286400e-05,3.287402e-05,3.287469e-05,3.287260e-05,3.286716e-05,3.286067e-05,3.284216e-05,3.283909e-05,3.280867e-05,3.280159e-05,3.277016e-05,3.274718e-05,3.272428e-05,3.268050e-05,3.267165e-05,3.261290e-05,3.260297e-05,3.254858e-05,3.251588e-05,3.247920e-05,3.242039e-05,3.240525e-05,3.232716e-05,3.231754e-05,3.224535e-05,3.220826e-05,3.216017e-05,3.209341e-05,3.207199e-05,3.198112e-05,3.197374e-05,3.188785e-05,3.184993e-05,3.179245e-05,3.172259e-05,3.169518e-05,3.159627e-05,3.159228e-05,3.149592e-05,3.145948e-05,3.139433e-05,3.132464e-05,3.129169e-05,3.118816e-05,3.105040e-05,3.091168e-05,3.077228e-05,3.063248e-05,3.049250e-05,3.035255e-05,3.021283e-05,3.007351e-05,2.993474e-05,2.979666e-05,2.965941e-05,2.952308e-05,2.938779e-05,2.925362e-05,2.912064e-05,2.898895e-05,2.885858e-05,2.872962e-05,2.860209e-05,2.847605e-05,2.835153e-05,2.822858e-05,2.810721e-05,2.798745e-05
0.000000e+00,3.297757e-11,2.143959e-10,2.950144e-09,1.472543e-08,2.957047e-08,1.220569e-07,1.281695e-07,3.637125e-07,4.638137e-07,8.073905e-07,1.204509e-06,1.534208e-06,2.521671e-06,2.624218e-06,4.162276e-06,4.607540e-06,6.231512e-06,7.647719e-06,8.896008e-06,1.175018e-05,1.217538e-05,1.602903e-05,1.686131e-05,2.036702e-05,2.277771e-05,2.507954e-05,2.925081e-05,3.006240e-05,3.522783e-05,3.606629e-05,4.050465e-05,4.305956e-05,4.583446e-05,5.010306e-05,5.116791e-05,5.646248e-05,5.709341e-05,6.168124e-05,6.394509e-05,6.679228e-05,7.058774e-05,7.176843e-05,7.658712e-05,7.696523e-05,8.123010e-05,8.303479e-05,8.568321e-05,8.876587e-05,8.993599e-05,9.398132e-05,9.413875e-05,9.781498e-05,9.914288e-05,1.014352e-04,1.037753e-04,1.048425e-04,1.080389e-04,1.110278e-04,1.119412e-04,1.138141e-04,1.154933e-04,1.164030e-04,1.187086e-04,1.188009e-04,1.210145e-04,1.216023e-04,1.230508e-04,1.241904e-04,1.249169e-04,1.264896e-04,1.266200e-04,1.281676e-04,1.285167e-04,1.295669e-04,1.302883e-04,1.308249e-04,1.318207e-04,1.319487e-04,1.329450e-04,1.331295e-04,1.338205e-04,1.342302e-04,1.345817e-04,1.351373e-04,1.352348e-04,1.357856e-04,1.358647e-04,1.362401e-04,1.364256e-04,1.366037e-04,1.368327e-04,1.368817e-04,1.370792e-04,1.370978e-04,1.372011e-04,1.372320e-04,1.372520e-04,1.372460e-04,1.372364e-04,1.371584e-04,1.371495e-04,1.370220e-04,1.369520e-04,1.368312e-04,1.366622e-04,1.365896e-04,1.363006e-04,1.362881e-04,1.359676e-04,1.358375e-04,1.355936e-04,1.353174e-04,1.351816e-04,1.347345e-04,1.342550e-04,1.340951e-04,1.337455e-04,1.334048e-04,1.332084e-04,1.326690e-04,1.326461e-04,1.320606e-04,1.318928e-04,1.314540e-04,1.310807e-04,1.308282e-04,1.302371e-04,1.301850e-04,1.295262e-04,1.293659e-04,1.288532e-04,1.284708e-04,1.281677e-04,1.275553e-04,1.274711e-04,1.267647e-04,1.266224e-04,1.260498e-04,1.256751e-04,1.253276e-04,1.247160e-04,1.245991e-04,1.238655e-04,1.237477e-04,1.231277e-04,1.227723e-04,1.223866e-04,1.217920e-04,1.216432e-04,1.208981e-04,1.208087e-04,1.201523e-04,1.198240e-04,1.194063e-04,1.188397e-04,1.186608e-04,1.179165e-04,1.178571e-04,1.171739e-04,1.168775e-04,1.164336e-04,1.159022e-04,1.156960e-04,1.149616e-04,1.149323e-04,1.142309e-04,1.139688e-04,1.135041e-04,1.130124e-04,1.127818e-04,1.120641e-04,1.111245e-04,1.101943e-04,1.092741e-04,1.083642e-04,1.074653e-04,1.065775e-04,1.057014e-04,1.048371e-04,1.039849e-04,1.031450e-04,1.023175e-04,1.015025e-04,1.007002e-04,9.991068e-05,9.913385e-05,9.836977e-05,9.761845e-05,9.687983e-05,9.615387e-05,9.544052e-05,9.473968e-05,9.405126e-05,9.337516e-05,9.271126e-05
0.000000e+00,1.980770e-09,5.356891e-09,2.185970e-08,5.371870e-08,8.058427e-08,1.915579e-07,1.975920e-07,3.915031e-07,4.620997e-07,6.808952e-07,9.082696e-07,1.084830e-06,1.574169e-06,1.622541e-06,2.311138e-06,2.500193e-06,3.160582e-06,3.706289e-06,4.168840e-06,5.177171e-06,5.322736e-06,6.603942e-06,6.873808e-06,7.993981e-06,8.754145e-06,9.475982e-06,1.078065e-05,1.103457e-05,1.265531e-05,1.291946e-05,1.432436e-05,1.513872e-05,1.602833e-05,1.740791e-05,1.775425e-05,1.948972e-05,1.969806e-05,2.122308e-05,2.198227e-05,2.294352e-05,2.423633e-05,2.464121e-05,2.630736e-05,2.643905e-05,2.793434e-05,2.857266e-05,2.951562e-05,3.062275e-05,3.104577e-05,3.252042e-05,3.257820e-05,3.393617e-05,3.443091e-05,3.529051e-05,3.617549e-05,3.658175e-05,3.780888e-05,3.897153e-05,3.932998e-05,4.006986e-05,4.073929e-05,4.110446e-05,4.203861e-05,4.207630e-05,4.298664e-05,4.323072e-05,4.383701e-05,4.431914e-05,4.462910e-05,4.530796e-05,4.536479e-05,4.604601e-05,4.620162e-05,4.667478e-05,4.700475e-05,4.725316e-05,4.772210e-05,4.778323e-05,4.826707e-05,4.835847e-05,4.870675e-05,4.891860e-05,4.910429e-05,4.940713e-05,4.946170e-05,4.978093e-05,4.982859e-05,5.006387e-05,5.018734e-05,5.031237e-05,5.048758e-05,5.052822e-05,5.071313e-05,5.073332e-05,5.086877e-05,5.092839e-05,5.099674e-05,5.107643e-05,5.109856e-05,5.117572e-05,5.118087e-05,5.122961e-05,5.124497e-05,5.126161e-05,5.127181e-05,5.127299e-05,5.126499e-05,5.126428e-05,5.123878e-05,5.122511e-05,5.119550e-05,5.115687e-05,5.113622e-05,5.106195e-05,5.097366e-05,5.094261e-05,5.087229e-05,5.080095e-05,5.075871e-05,5.063897e-05,5.063376e-05,5.049823e-05,5.045850e-05,5.035289e-05,5.026126e-05,5.019843e-05,5.004888e-05,5.003555e-05,4.986489e-05,4.982284e-05,4.968706e-05,4.958456e-05,4.950264e-05,4.933534e-05,4.931218e-05,4.911620e-05,4.907638e-05,4.891519e-05,4.880883e-05,4.870961e-05,4.853371e-05,4.849990e-05,4.828649e-05,4.825202e-05,4.806975e-05,4.796465e-05,4.785007e-05,4.767244e-05,4.762779e-05,4.740324e-05,4.737615e-05,4.717673e-05,4.707652e-05,4.694855e-05,4.677420e-05,4.671899e-05,4.648829e-05,4.646979e-05,4.625670e-05,4.616387e-05,4.602446e-05,4.585695e-05,4.579177e-05,4.555884e-05,4.554952e-05,4.532585e-05,4.524200e-05,4.509299e-05,4.493480e-05,4.486042e-05,4.462830e-05,4.432282e-05,4.401867e-05,4.371613e-05,4.341547e-05,4.311690e-05,4.282064e-05,4.252688e-05,4.223578e-05,4.194750e-05,4.166217e-05,4.137990e-05,4.110082e-05,4.082499e-05,4.055252e-05,4.028346e-05,4.001787e-05,3.975580e-05,3.949730e-05,3.924239e-05,3.899109e-05,3.874342e-05,3.849940e-05,3.825903e-05,3.802230e-05
0.000000e+00,3.356899e-09,8.239967e-09,3.046557e-08,7.163803e-08,1.057677e-07,2.447208e-07,2.522256e-07,4.921422e-07,5.791129e-07,8.480027e-07,1.126805e-06,1.343043e-06,1.941806e-06,2.000980e-06,2.843825e-06,3.075551e-06,3.886815e-06,4.559802e-06,5.132243e-06,6.386177e-06,6.567816e-06,8.171918e-06,8.510835e-06,9.920530e-06,1.087932e-05,1.179102e-05,1.344145e-05,1.376301e-05,1.581792e-05,1.615324e-05,1.793854e-05,1.897498e-05,2.010863e-05,2.186996e-05,2.231282e-05,2.453662e-05,2.480414e-05,2.676652e-05,2.774636e-05,2.899006e-05,3.066871e-05,3.119595e-05,3.337405e-05,3.354682e-05,3.551548e-05,3.636003e-05,3.761259e-05,3.909138e-05,3.965888e-05,4.164891e-05,4.172728e-05,4.357832e-05,4.425738e-05,4.544367e-05,4.667414e-05,4.724233e-05,4.897246e-05,5.063285e-05,5.114933e-05,5.222286e-05,5.320344e-05,5.374234e-05,5.513491e-05,5.519154e-05,5.657107e-05,5.694497e-05,5.788183e-05,5.863573e-05,5.912494e-05,6.020997e-05,6.030170e-05,6.141359e-05,6.167097e-05,6.246220e-05,6.302239e-05,6.344919e-05,6.426816e-05,6.437631e-05,6.524535e-05,6.541235e-05,6.605812e-05,6.645914e-05,6.681647e-05,6.741277e-05,6.752224e-05,6.817724e-05,6.827746e-05,6.878332e-05,6.905738e-05,6.934226e-05,6.975668e-05,6.985585e-05,7.032584e-05,7.037938e-05,7.075392e-05,7.092944e-05,7.114179e-05,7.141068e-05,7.149108e-05,7.180339e-05,7.182683e-05,7.208029e-05,7.218147e-05,7.232328e-05,7.247807e-05,7.253385e-05,7.271342e-05,7.271998e-05,7.286339e-05,7.291040e-05,7.298511e-05,7.305240e-05,7.307987e-05,7.314895e-05,7.319357e-05,7.320287e-05,7.321490e-05,7.321686e-05,7.321408e-05,7.319349e-05,7.319223e-05,7.315040e-05,7.313525e-05,7.308961e-05,7.304446e-05,7.301086e-05,7.292336e-05,7.291509e-05,7.280323e-05,7.277408e-05,7.267615e-05,7.259865e-05,7.253470e-05,7.239898e-05,7.237969e-05,7.221192e-05,7.217690e-05,7.203213e-05,7.193414e-05,7.184105e-05,7.167232e-05,7.163937e-05,7.142776e-05,7.139302e-05,7.120685e-05,7.109769e-05,7.097726e-05,7.078773e-05,7.073957e-05,7.049435e-05,7.046444e-05,7.024213e-05,7.012907e-05,6.998343e-05,6.978279e-05,6.971874e-05,6.944854e-05,6.942670e-05,6.917327e-05,6.906184e-05,6.889336e-05,6.868919e-05,6.860923e-05,6.832126e-05,6.830966e-05,6.802983e-05,6.792413e-05,6.773529e-05,6.753341e-05,6.743800e-05,6.713826e-05,6.673939e-05,6.633748e-05,6.593315e-05,6.552699e-05,6.511955e-05,6.471133e-05,6.430281e-05,6.389444e-05,6.348663e-05,6.307975e-05,6.267417e-05,6.227021e-05,6.186818e-05,6.146835e-05,6.107097e-05,6.067630e-05,6.028453e-05,5.989587e-05,5.951051e-05,5.912859e-05,5.875027e-05,5.837568e-05,5.800495e-05,5.763817e-05
0.000000e+00,6.673576e-12,4.229735e-11,5.541713e-10,2.657623e-09,5.231524e-09,2.065709e-08,2.165742e-08,5.948414e-08,7.533545e-08,1.293941e-07,1.917257e-07,2.435716e-07,3.997918e-07,4.160906e-07,6.612438e-07,7.321114e-07,9.880906e-07,1.206268e-06,1.393596e-06,1.802958e-06,1.861714e-06,2.370339e-06,2.475054e-06,2.899221e-06,3.177077e-06,3.433449e-06,3.878999e-06,3.963152e-06,4.481888e-06,4.563552e-06,4.985210e-06,5.220322e-06,5.469784e-06,5.842146e-06,5.932961e-06,6.372606e-06,6.423698e-06,6.787056e-06,6.961108e-06,7.175118e-06,7.451939e-06,7.536075e-06,7.869665e-06,7.895172e-06,8.176053e-06,8.291101e-06,8.455778e-06,8.641139e-06,8.709693e-06,8.938896e-06,8.947567e-06,9.144670e-06,9.213281e-06,9.328421e-06,9.441543e-06,9.491624e-06,9.635779e-06,9.762373e-06,9.799413e-06,9.872854e-06,9.935747e-06,9.968605e-06,1.004788e-05,1.005094e-05,1.012107e-05,1.013868e-05,1.018014e-05,1.021071e-05,1.022919e-05,1.026629e-05,1.026917e-05,1.030096e-05,1.030745e-05,1.032533e-05,1.033600e-05,1.034299e-05,1.035350e-05,1.035460e-05,1.036071e-05,1.036133e-05,1.036187e-05,1.036066e-05,1.035852e-05,1.035253e-05,1.035109e-05,1.033995e-05,1.033785e-05,1.032545e-05,1.031738e-05,1.030788e-05,1.029181e-05,1.028753e-05,1.026464e-05,1.026174e-05,1.023944e-05,1.022768e-05,1.021214e-05,1.019009e-05,1.018291e-05,1.015193e-05,1.014938e-05,1.011934e-05,1.010589e-05,1.008530e-05,1.005996e-05,1.004993e-05,1.001334e-05,1.001186e-05,9.975654e-06,9.961835e-06,9.936961e-06,9.910124e-06,9.897357e-06,9.856927e-06,9.815750e-06,9.802427e-06,9.773898e-06,9.746791e-06,9.731440e-06,9.690169e-06,9.688439e-06,9.644954e-06,9.632699e-06,9.601039e-06,9.574506e-06,9.556747e-06,9.515705e-06,9.512124e-06,9.467216e-06,9.456400e-06,9.422063e-06,9.396686e-06,9.376706e-06,9.336651e-06,9.331180e-06,9.285520e-06,9.276375e-06,9.239757e-06,9.215931e-06,9.193923e-06,9.155386e-06,9.148044e-06,9.102147e-06,9.094804e-06,9.056258e-06,9.034241e-06,9.010399e-06,8.973748e-06,8.964592e-06,8.918858e-06,8.913376e-06,8.873215e-06,8.853166e-06,8.827682e-06,8.793161e-06,8.782276e-06,8.737011e-06,8.733397e-06,8.691904e-06,8.673908e-06,8.646967e-06,8.614726e-06,8.602214e-06,8.557657e-06,8.555878e-06,8.513306e-06,8.497392e-06,8.469173e-06,8.439291e-06,8.425267e-06,8.381597e-06,8.324329e-06,8.267506e-06,8.211143e-06,8.155256e-06,8.099856e-06,8.044956e-06,7.990567e-06,7.936697e-06,7.883354e-06,7.830546e-06,7.778278e-06,7.726556e-06,7.675384e-06,7.624765e-06,7.574703e-06,7.525198e-06,7.476254e-06,7.427869e-06,7.380046e-06,7.332783e-06,7.286080e-06,7.239936e-06,7.194349e-06,7.149317e-06
0.000000e+00,2.354721e-11,1.436751e-10,1.757547e-09,8.005762e-09,1.537907e-08,5.754236e-08,6.020921e-08,1.578960e-07,1.975056e-07,3.284352e-07,4.730829e-07,5.892472e-07,9.217326e-07,9.551826e-07,1.438554e-06,1.573160e-06,2.048843e-06,2.448378e-06,2.791784e-06,3.555718e-06,3.667694e-06,4.669766e-06,4.884193e-06,5.783961e-06,6.401437e-06,6.991231e-06,8.061990e-06,8.270700e-06,9.601957e-06,9.818475e-06,1.096607e-05,1.162740e-05,1.234583e-05,1.345042e-05,1.372573e-05,1.509194e-05,1.525437e-05,1.643235e-05,1.701122e-05,1.773657e-05,1.869818e-05,1.899594e-05,2.020347e-05,2.029766e-05,2.135379e-05,2.179697e-05,2.244297e-05,2.318785e-05,2.346846e-05,2.442884e-05,2.446589e-05,2.532368e-05,2.562985e-05,2.615343e-05,2.668100e-05,2.691917e-05,2.762254e-05,2.826562e-05,2.845906e-05,2.885077e-05,2.919605e-05,2.938057e-05,2.983964e-05,2.985775e-05,3.028509e-05,3.039620e-05,3.066542e-05,3.087222e-05,3.100154e-05,3.127409e-05,3.129620e-05,3.155209e-05,3.160802e-05,3.177178e-05,3.187992e-05,3.195776e-05,3.209543e-05,3.211241e-05,3.223800e-05,3.225982e-05,3.233666e-05,3.237800e-05,3.241042e-05,3.245454e-05,3.246120e-05,3.249079e-05,3.249367e-05,3.250090e-05,3.249930e-05,3.249310e-05,3.247497e-05,3.246888e-05,3.242963e-05,3.242397e-05,3.237662e-05,3.234926e-05,3.231107e-05,3.225356e-05,3.223410e-05,3.214676e-05,3.213936e-05,3.205003e-05,3.200891e-05,3.194481e-05,3.186427e-05,3.183194e-05,3.171220e-05,3.170727e-05,3.158631e-05,3.153962e-05,3.145496e-05,3.136283e-05,3.131876e-05,3.117829e-05,3.103409e-05,3.098724e-05,3.088665e-05,3.079080e-05,3.073643e-05,3.059000e-05,3.058385e-05,3.042930e-05,3.038573e-05,3.027315e-05,3.017882e-05,3.011572e-05,2.997002e-05,2.995732e-05,2.979823e-05,2.975997e-05,2.963870e-05,2.954927e-05,2.947899e-05,2.933845e-05,2.931929e-05,2.915982e-05,2.912797e-05,2.900075e-05,2.891826e-05,2.884226e-05,2.870968e-05,2.868449e-05,2.852758e-05,2.850256e-05,2.837166e-05,2.829720e-05,2.821683e-05,2.809384e-05,2.806322e-05,2.791089e-05,2.789271e-05,2.775995e-05,2.769399e-05,2.761046e-05,2.749787e-05,2.746250e-05,2.731611e-05,2.730447e-05,2.717136e-05,2.711392e-05,2.702828e-05,2.692632e-05,2.688692e-05,2.674731e-05,2.674176e-05,2.660949e-05,2.656031e-05,2.647346e-05,2.638201e-05,2.633927e-05,2.620692e-05,2.603506e-05,2.586645e-05,2.570111e-05,2.553903e-05,2.538021e-05,2.522464e-05,2.507230e-05,2.492317e-05,2.477723e-05,2.463443e-05,2.449475e-05,2.435815e-05,2.422459e-05,2.409402e-05,2.396641e-05,2.384170e-05,2.371985e-05,2.360080e-05,2.348452e-05,2.337095e-05,2.326004e-05,2.315173e-05,2.304598e-05,2.294274e-05
0.000000e+00,8.668475e-09,1.992770e-08,6.906929e-08,1.584996e-07,2.325871e-07,5.383098e-07,5.550557e-07,1.104150e-06,1.309733e-06,1.965937e-06,2.675577e-06,3.242833e-06,4.864296e-06,5.026975e-06,7.349093e-06,7.982188e-06,1.015996e-05,1.191559e-05,1.337398e-05,1.647318e-05,1.691286e-05,2.071670e-05,2.150505e-05,2.473955e-05,2.690518e-05,2.894343e-05,3.258975e-05,3.329449e-05,3.776114e-05,3.848451e-05,4.231339e-05,4.452046e-05,4.692281e-05,5.063355e-05,5.156277e-05,5.620872e-05,5.676556e-05,6.083844e-05,6.286518e-05,6.543214e-05,6.888856e-05,6.997257e-05,7.444491e-05,7.479937e-05,7.883668e-05,8.056842e-05,8.313744e-05,8.617285e-05,8.733879e-05,9.143408e-05,9.159560e-05,9.541805e-05,9.682424e-05,9.928679e-05,1.018503e-04,1.030376e-04,1.066686e-04,1.101788e-04,1.112765e-04,1.135680e-04,1.156736e-04,1.168363e-04,1.198611e-04,1.199847e-04,1.230142e-04,1.238414e-04,1.259263e-04,1.276179e-04,1.287227e-04,1.311948e-04,1.314053e-04,1.339762e-04,1.345769e-04,1.364377e-04,1.377692e-04,1.387920e-04,1.407771e-04,1.410417e-04,1.431890e-04,1.436064e-04,1.452365e-04,1.462627e-04,1.471868e-04,1.487518e-04,1.490425e-04,1.508059e-04,1.510797e-04,1.524798e-04,1.532522e-04,1.540666e-04,1.552751e-04,1.555689e-04,1.569891e-04,1.571541e-04,1.583297e-04,1.588950e-04,1.595932e-04,1.605034e-04,1.607820e-04,1.618984e-04,1.619846e-04,1.629447e-04,1.633442e-04,1.639233e-04,1.645872e-04,1.648364e-04,1.656862e-04,1.657189e-04,1.664749e-04,1.667442e-04,1.672045e-04,1.676680e-04,1.678772e-04,1.684949e-04,1.690596e-04,1.692295e-04,1.695733e-04,1.698762e-04,1.700379e-04,1.704393e-04,1.704551e-04,1.708268e-04,1.709229e-04,1.711547e-04,1.713311e-04,1.714405e-04,1.716676e-04,1.716858e-04,1.718923e-04,1.719363e-04,1.720615e-04,1.721406e-04,1.721950e-04,1.722840e-04,1.722941e-04,1.723604e-04,1.723699e-04,1.723953e-04,1.724014e-04,1.724000e-04,1.723817e-04,1.723759e-04,1.723243e-04,1.723136e-04,1.722464e-04,1.722000e-04,1.721434e-04,1.720437e-04,1.720164e-04,1.718667e-04,1.718472e-04,1.716951e-04,1.716130e-04,1.715029e-04,1.713436e-04,1.712910e-04,1.710604e-04,1.710412e-04,1.708120e-04,1.707079e-04,1.705469e-04,1.703460e-04,1.702658e-04,1.699696e-04,1.699574e-04,1.696591e-04,1.695440e-04,1.693352e-04,1.691077e-04,1.689987e-04,1.686502e-04,1.681731e-04,1.676781e-04,1.671666e-04,1.666401e-04,1.660999e-04,1.655474e-04,1.649839e-04,1.644103e-04,1.638280e-04,1.632379e-04,1.626410e-04,1.620383e-04,1.614307e-04,1.608190e-04,1.602041e-04,1.595867e-04,1.589674e-04,1.583471e-04,1.577262e-04,1.571055e-04,1.564855e-04,1.558666e-04,1.552495e-04,1.546345e-04
0.000000e+00,2.130546e-09,5.042812e-09,1.797462e-08,4.161248e-08,6.111695e-08,1.403561e-07,1.446355e-07,2.816742e-07,3.314915e-07,4.860177e-07,6.469482e-07,7.721080e-07,1.118832e-06,1.153017e-06,1.635921e-06,1.767056e-06,2.220286e-06,2.590228e-06,2.901678e-06,3.577766e-06,3.675328e-06,4.536842e-06,4.719304e-06,5.481772e-06,6.004489e-06,6.505179e-06,7.421376e-06,7.601412e-06,8.764077e-06,8.955805e-06,9.986114e-06,1.059157e-05,1.125995e-05,1.231100e-05,1.257768e-05,1.393125e-05,1.409570e-05,1.531266e-05,1.592728e-05,1.671411e-05,1.778801e-05,1.812815e-05,1.954775e-05,1.966136e-05,2.096644e-05,2.153232e-05,2.237831e-05,2.338764e-05,2.377806e-05,2.516101e-05,2.521591e-05,2.652304e-05,2.700756e-05,2.786065e-05,2.875472e-05,2.917084e-05,3.045114e-05,3.169951e-05,3.209197e-05,3.291435e-05,3.367365e-05,3.409440e-05,3.519366e-05,3.523874e-05,3.634675e-05,3.665042e-05,3.741804e-05,3.804310e-05,3.845243e-05,3.937150e-05,3.944995e-05,4.041076e-05,4.063593e-05,4.133518e-05,4.183711e-05,4.222362e-05,4.297608e-05,4.307658e-05,4.389466e-05,4.405415e-05,4.467851e-05,4.507280e-05,4.542881e-05,4.603368e-05,4.614630e-05,4.683176e-05,4.693851e-05,4.748597e-05,4.778912e-05,4.810973e-05,4.858736e-05,4.870386e-05,4.926918e-05,4.933512e-05,4.980651e-05,5.003428e-05,5.031668e-05,5.068674e-05,5.080050e-05,5.125877e-05,5.129436e-05,5.169231e-05,5.185897e-05,5.210189e-05,5.238239e-05,5.248830e-05,5.285229e-05,5.286640e-05,5.319463e-05,5.331271e-05,5.351604e-05,5.372302e-05,5.381725e-05,5.409896e-05,5.436185e-05,5.444212e-05,5.460661e-05,5.475404e-05,5.483388e-05,5.503621e-05,5.504431e-05,5.523852e-05,5.529007e-05,5.541711e-05,5.551702e-05,5.558068e-05,5.571838e-05,5.572979e-05,5.586501e-05,5.589545e-05,5.598688e-05,5.604949e-05,5.609592e-05,5.618167e-05,5.619264e-05,5.627755e-05,5.629315e-05,5.635111e-05,5.638504e-05,5.641380e-05,5.645839e-05,5.646607e-05,5.650835e-05,5.651422e-05,5.654108e-05,5.655351e-05,5.656465e-05,5.657718e-05,5.657946e-05,5.658591e-05,5.658614e-05,5.658435e-05,5.658123e-05,5.657516e-05,5.656328e-05,5.655867e-05,5.653523e-05,5.653306e-05,5.650515e-05,5.649134e-05,5.646876e-05,5.643881e-05,5.642635e-05,5.637821e-05,5.637617e-05,5.632463e-05,5.630406e-05,5.626588e-05,5.622311e-05,5.620222e-05,5.613390e-05,5.603701e-05,5.593296e-05,5.582228e-05,5.570545e-05,5.558294e-05,5.545517e-05,5.532259e-05,5.518557e-05,5.504451e-05,5.489976e-05,5.475167e-05,5.460054e-05,5.444671e-05,5.429044e-05,5.413202e-05,5.397171e-05,5.380975e-05,5.364638e-05,5.348182e-05,5.331628e-05,5.314994e-05,5.298300e-05,5.281564e-05,5.264800e-05
0.000000e+00,4.081517e-10,1.736137e-09,1.197468e-08,3.791079e-08,6.250770e-08,1.754367e-07,1.818947e-07,3.985900e-07,4.804767e-07,7.402621e-07,1.016735e-06,1.234536e-06,1.847884e-06,1.909124e-06,2.789934e-06,3.034346e-06,3.895744e-06,4.616080e-06,5.232586e-06,6.595624e-06,6.794591e-06,8.570139e-06,8.949740e-06,1.054632e-05,1.164888e-05,1.271002e-05,1.466250e-05,1.504760e-05,1.754437e-05,1.795757e-05,2.018440e-05,2.149754e-05,2.295067e-05,2.524252e-05,2.582521e-05,2.878955e-05,2.915042e-05,3.182506e-05,3.317847e-05,3.491335e-05,3.728475e-05,3.803659e-05,4.117786e-05,4.142946e-05,4.432130e-05,4.557598e-05,4.745235e-05,4.969156e-05,5.055780e-05,5.362587e-05,5.374766e-05,5.664621e-05,5.772008e-05,5.960986e-05,6.158882e-05,6.250919e-05,6.533785e-05,6.809060e-05,6.895474e-05,7.076329e-05,7.243028e-05,7.335271e-05,7.575801e-05,7.585650e-05,7.827302e-05,7.893387e-05,8.060133e-05,8.195578e-05,8.284101e-05,8.482332e-05,8.499216e-05,8.705526e-05,8.753739e-05,8.903116e-05,9.009999e-05,9.092100e-05,9.251396e-05,9.272615e-05,9.444818e-05,9.478277e-05,9.608882e-05,9.691040e-05,9.764993e-05,9.890123e-05,9.913346e-05,1.005414e-04,1.007599e-04,1.018760e-04,1.024911e-04,1.031391e-04,1.040997e-04,1.043331e-04,1.054600e-04,1.055908e-04,1.065219e-04,1.069691e-04,1.075210e-04,1.082397e-04,1.084595e-04,1.093393e-04,1.094072e-04,1.101625e-04,1.104764e-04,1.109312e-04,1.114520e-04,1.116473e-04,1.123128e-04,1.123384e-04,1.129295e-04,1.131400e-04,1.134993e-04,1.138610e-04,1.140241e-04,1.145055e-04,1.149453e-04,1.150775e-04,1.153451e-04,1.155808e-04,1.157066e-04,1.160190e-04,1.160313e-04,1.163208e-04,1.163958e-04,1.165766e-04,1.167144e-04,1.168000e-04,1.169782e-04,1.169925e-04,1.171554e-04,1.171903e-04,1.172901e-04,1.173536e-04,1.173977e-04,1.174710e-04,1.174795e-04,1.175367e-04,1.175453e-04,1.175705e-04,1.175791e-04,1.175818e-04,1.175748e-04,1.175718e-04,1.175416e-04,1.175349e-04,1.174920e-04,1.174616e-04,1.174240e-04,1.173571e-04,1.173387e-04,1.172368e-04,1.172235e-04,1.171192e-04,1.170627e-04,1.169867e-04,1.168765e-04,1.168401e-04,1.166802e-04,1.166669e-04,1.165077e-04,1.164354e-04,1.163234e-04,1.161837e-04,1.161278e-04,1.159217e-04,1.159132e-04,1.157056e-04,1.156256e-04,1.154803e-04,1.153220e-04,1.152462e-04,1.150038e-04,1.146723e-04,1.143286e-04,1.139739e-04,1.136091e-04,1.132352e-04,1.128533e-04,1.124641e-04,1.120686e-04,1.116674e-04,1.112613e-04,1.108511e-04,1.104374e-04,1.100207e-04,1.096018e-04,1.091811e-04,1.087591e-04,1.083363e-04,1.079132e-04,1.074902e-04,1.070676e-04,1.066459e-04,1.062254e-04,1.058064e-04,1.053891e-04
0.000000e+00,3.003545e-09,7.949462e-09,3.173034e-08,7.737563e-08,1.159663e-07,2.776612e-07,2.865739e-07,5.799214e-07,6.899869e-07,1.041364e-06,1.421180e-06,1.724803e-06,2.594849e-06,2.682422e-06,3.937918e-06,4.281160e-06,5.458518e-06,6.397650e-06,7.167234e-06,8.763721e-06,8.985615e-06,1.085657e-05,1.123353e-05,1.274287e-05,1.372126e-05,1.461972e-05,1.617576e-05,1.646924e-05,1.827765e-05,1.856241e-05,2.003390e-05,2.085571e-05,2.172915e-05,2.303670e-05,2.335645e-05,2.491066e-05,2.509208e-05,2.638829e-05,2.701361e-05,2.778730e-05,2.879747e-05,2.910695e-05,3.034760e-05,3.044347e-05,3.151047e-05,3.195427e-05,3.259753e-05,3.333464e-05,3.361125e-05,3.455450e-05,3.459081e-05,3.543043e-05,3.572991e-05,3.624231e-05,3.675952e-05,3.699351e-05,3.768742e-05,3.832734e-05,3.852125e-05,3.891653e-05,3.926844e-05,3.945812e-05,3.993606e-05,3.995512e-05,4.041039e-05,4.053076e-05,4.082665e-05,4.105877e-05,4.120649e-05,4.152586e-05,4.155233e-05,4.186645e-05,4.193736e-05,4.215099e-05,4.229817e-05,4.240796e-05,4.261279e-05,4.263924e-05,4.284658e-05,4.288533e-05,4.303162e-05,4.311954e-05,4.319589e-05,4.331887e-05,4.334081e-05,4.346772e-05,4.348644e-05,4.357786e-05,4.362511e-05,4.367238e-05,4.373747e-05,4.375235e-05,4.381879e-05,4.382589e-05,4.387261e-05,4.389253e-05,4.391470e-05,4.393935e-05,4.394587e-05,4.396687e-05,4.396814e-05,4.397842e-05,4.398054e-05,4.398116e-05,4.397804e-05,4.397572e-05,4.396267e-05,4.396200e-05,4.394255e-05,4.393367e-05,4.391585e-05,4.389418e-05,4.388304e-05,4.384457e-05,4.380084e-05,4.378580e-05,4.375224e-05,4.371874e-05,4.369912e-05,4.364419e-05,4.364182e-05,4.358065e-05,4.356287e-05,4.351590e-05,4.347545e-05,4.344785e-05,4.338256e-05,4.337677e-05,4.330288e-05,4.328475e-05,4.322641e-05,4.318255e-05,4.314759e-05,4.307643e-05,4.306660e-05,4.298364e-05,4.296683e-05,4.289888e-05,4.285415e-05,4.281249e-05,4.273876e-05,4.272461e-05,4.263540e-05,4.262102e-05,4.254500e-05,4.250122e-05,4.245352e-05,4.237966e-05,4.236110e-05,4.226785e-05,4.225661e-05,4.217386e-05,4.213231e-05,4.207925e-05,4.200699e-05,4.198411e-05,4.188853e-05,4.188086e-05,4.179258e-05,4.175412e-05,4.169635e-05,4.162693e-05,4.159991e-05,4.150334e-05,4.149947e-05,4.140669e-05,4.137189e-05,4.131003e-05,4.124432e-05,4.121341e-05,4.111690e-05,4.098974e-05,4.086295e-05,4.073663e-05,4.061088e-05,4.048577e-05,4.036139e-05,4.023781e-05,4.011509e-05,3.999330e-05,3.987247e-05,3.975268e-05,3.963395e-05,3.951633e-05,3.939987e-05,3.928458e-05,3.917050e-05,3.905766e-05,3.894608e-05,3.883578e-05,3.872677e-05,3.861908e-05,3.851272e-05,3.840770e-05,3.830402e-05
0.000000e+00,4.117390e-15,3.600152e-14,8.944677e-13,7.428310e-12,1.948488e-11,1.538966e-10,1.657179e-10,8.426310e-10,1.246758e-09,3.097157e-09,6.048929e-09,9.106530e-09,2.125304e-08,2.275512e-08,5.024352e-08,5.984251e-08,1.006700e-07,1.434337e-07,1.865270e-07,3.041954e-07,3.240581e-07,5.334200e-07,5.859585e-07,8.385989e-07,1.044149e-06,1.267039e-06,1.744225e-06,1.848948e-06,2.616292e-06,2.758449e-06,3.601497e-06,4.161075e-06,4.835937e-06,6.022354e-06,6.348308e-06,8.163004e-06,8.402037e-06,1.029864e-05,1.134327e-05,1.276683e-05,1.486767e-05,1.557130e-05,1.870749e-05,1.897239e-05,2.216251e-05,2.362938e-05,2.591556e-05,2.878688e-05,2.993873e-05,3.419805e-05,3.437280e-05,3.865474e-05,4.029942e-05,4.326661e-05,4.646880e-05,4.798944e-05,5.277829e-05,5.758879e-05,5.912568e-05,6.237818e-05,6.541359e-05,6.710621e-05,7.155303e-05,7.173590e-05,7.623403e-05,7.746586e-05,8.057146e-05,8.308628e-05,8.472338e-05,8.836159e-05,8.866927e-05,9.239291e-05,9.325207e-05,9.588211e-05,9.773040e-05,9.912853e-05,1.017806e-04,1.021273e-04,1.048768e-04,1.053968e-04,1.073781e-04,1.085818e-04,1.096347e-04,1.113453e-04,1.116524e-04,1.134383e-04,1.137032e-04,1.150014e-04,1.156753e-04,1.163512e-04,1.172848e-04,1.174986e-04,1.184546e-04,1.185570e-04,1.192308e-04,1.195184e-04,1.198388e-04,1.201956e-04,1.202903e-04,1.205968e-04,1.206154e-04,1.207697e-04,1.208038e-04,1.208197e-04,1.207857e-04,1.207575e-04,1.205932e-04,1.205846e-04,1.203362e-04,1.202228e-04,1.199957e-04,1.197209e-04,1.195802e-04,1.190976e-04,1.185555e-04,1.183706e-04,1.179606e-04,1.175553e-04,1.173196e-04,1.166661e-04,1.166381e-04,1.159218e-04,1.157157e-04,1.151755e-04,1.147154e-04,1.144040e-04,1.136754e-04,1.136113e-04,1.128012e-04,1.126046e-04,1.119773e-04,1.115111e-04,1.111427e-04,1.104017e-04,1.103002e-04,1.094525e-04,1.092825e-04,1.086016e-04,1.081587e-04,1.077499e-04,1.070350e-04,1.068990e-04,1.060507e-04,1.059153e-04,1.052064e-04,1.048029e-04,1.043674e-04,1.037007e-04,1.035348e-04,1.027097e-04,1.026112e-04,1.018929e-04,1.015364e-04,1.010853e-04,1.004780e-04,1.002875e-04,9.950000e-05,9.943746e-05,9.872337e-05,9.841585e-05,9.795801e-05,9.741412e-05,9.720425e-05,9.646239e-05,9.643297e-05,9.573266e-05,9.547295e-05,9.501522e-05,9.453445e-05,9.431021e-05,9.361773e-05,9.272292e-05,9.185008e-05,9.099917e-05,9.017007e-05,8.936262e-05,8.857660e-05,8.781174e-05,8.706774e-05,8.634426e-05,8.564096e-05,8.495744e-05,8.429333e-05,8.364820e-05,8.302166e-05,8.241328e-05,8.182262e-05,8.124928e-05,8.069282e-05,8.015281e-05,7.962882e-05,7.912044e-05,7.862724e-05,7.814882e-05,7.768477e-05
0.000000e+00,1.730320e-09,5.366029e-09,2.539145e-08,6.746173e-08,1.048458e-07,2.724333e-07,2.820851e-07,6.186390e-07,7.529997e-07,1.204564e-06,1.720734e-06,2.145816e-06,3.380069e-06,3.503661e-06,5.235481e-06,5.695196e-06,7.236215e-06,8.437733e-06,9.412017e-06,1.142179e-05,1.170101e-05,1.406445e-05,1.454363e-05,1.647616e-05,1.774253e-05,1.891611e-05,2.097503e-05,2.136735e-05,2.381458e-05,2.420481e-05,2.624370e-05,2.739941e-05,2.864181e-05,3.053012e-05,3.099729e-05,3.329998e-05,3.357233e-05,3.554110e-05,3.650574e-05,3.771331e-05,3.931464e-05,3.981107e-05,4.183029e-05,4.198834e-05,4.376798e-05,4.451980e-05,4.562240e-05,4.690553e-05,4.739274e-05,4.907898e-05,4.914469e-05,5.068180e-05,5.123862e-05,5.220243e-05,5.319026e-05,5.364235e-05,5.500361e-05,5.628848e-05,5.668391e-05,5.749945e-05,5.823683e-05,5.863899e-05,5.966815e-05,5.970969e-05,6.071417e-05,6.098391e-05,6.165507e-05,6.219018e-05,6.253500e-05,6.329292e-05,6.335655e-05,6.412225e-05,6.429798e-05,6.483456e-05,6.521103e-05,6.549588e-05,6.603752e-05,6.610854e-05,6.667481e-05,6.678268e-05,6.719683e-05,6.745150e-05,6.767672e-05,6.804873e-05,6.811648e-05,6.851804e-05,6.857887e-05,6.888327e-05,6.904619e-05,6.921393e-05,6.945473e-05,6.951174e-05,6.977832e-05,6.980829e-05,7.001524e-05,7.011047e-05,7.022398e-05,7.036466e-05,7.040598e-05,7.056258e-05,7.057406e-05,7.069510e-05,7.074165e-05,7.080478e-05,7.087026e-05,7.089279e-05,7.096027e-05,7.096255e-05,7.100829e-05,7.102101e-05,7.103789e-05,7.104799e-05,7.105003e-05,7.104567e-05,7.102568e-05,7.101612e-05,7.099091e-05,7.096128e-05,7.094218e-05,7.088297e-05,7.088025e-05,7.080585e-05,7.078288e-05,7.071969e-05,7.066262e-05,7.062242e-05,7.052368e-05,7.051469e-05,7.039709e-05,7.036746e-05,7.027020e-05,7.019529e-05,7.013457e-05,7.000839e-05,6.999071e-05,6.983913e-05,6.980793e-05,6.968030e-05,6.959498e-05,6.951465e-05,6.937057e-05,6.934263e-05,6.916464e-05,6.913563e-05,6.898106e-05,6.889107e-05,6.879227e-05,6.863772e-05,6.859862e-05,6.840043e-05,6.837636e-05,6.819803e-05,6.810772e-05,6.799173e-05,6.783249e-05,6.778180e-05,6.756852e-05,6.755132e-05,6.735215e-05,6.726479e-05,6.713294e-05,6.697348e-05,6.691113e-05,6.668693e-05,6.667792e-05,6.646057e-05,6.637859e-05,6.623224e-05,6.607596e-05,6.600215e-05,6.577046e-05,6.546249e-05,6.515244e-05,6.484065e-05,6.452746e-05,6.421317e-05,6.389808e-05,6.358245e-05,6.326653e-05,6.295056e-05,6.263476e-05,6.231933e-05,6.200446e-05,6.169033e-05,6.137710e-05,6.106492e-05,6.075394e-05,6.044429e-05,6.013609e-05,5.982946e-05,5.952449e-05,5.922129e-05,5.891994e-05,5.862053e-05,5.832313e-05
0.000000e+00,7.839333e-12,5.239385e-11,7.598068e-10,3.958032e-09,8.123012e-09,3.534415e-08,3.719188e-08,1.111455e-07,1.438390e-07,2.604552e-07,4.023912e-07,5.251984e-07,9.150301e-07,9.571110e-07,1.613838e-06,1.810424e-06,2.539036e-06,3.178462e-06,3.738541e-06,4.993078e-06,5.176324e-06,6.793651e-06,7.133309e-06,8.531616e-06,9.466726e-06,1.034271e-05,1.189485e-05,1.219224e-05,1.405533e-05,1.435339e-05,1.591353e-05,1.679939e-05,1.775245e-05,1.920177e-05,1.956039e-05,2.132761e-05,2.153654e-05,2.304601e-05,2.378490e-05,2.470902e-05,2.593261e-05,2.631144e-05,2.784936e-05,2.796951e-05,2.932005e-05,2.988908e-05,3.072180e-05,3.168790e-05,3.205383e-05,3.331615e-05,3.336520e-05,3.450940e-05,3.492226e-05,3.563470e-05,3.636188e-05,3.669363e-05,3.768802e-05,3.861997e-05,3.890537e-05,3.949172e-05,4.001911e-05,4.030559e-05,4.103469e-05,4.106399e-05,4.176933e-05,4.195764e-05,4.242400e-05,4.279348e-05,4.303039e-05,4.354762e-05,4.359081e-05,4.410753e-05,4.422528e-05,4.458273e-05,4.483151e-05,4.501854e-05,4.537109e-05,4.541700e-05,4.578006e-05,4.584859e-05,4.610961e-05,4.626833e-05,4.640744e-05,4.663435e-05,4.667526e-05,4.691471e-05,4.695050e-05,4.712736e-05,4.722034e-05,4.731468e-05,4.744726e-05,4.747810e-05,4.761895e-05,4.763439e-05,4.773851e-05,4.778469e-05,4.783800e-05,4.790089e-05,4.791856e-05,4.798130e-05,4.798558e-05,4.802724e-05,4.804114e-05,4.805738e-05,4.806981e-05,4.807263e-05,4.807390e-05,4.807367e-05,4.806201e-05,4.805466e-05,4.803776e-05,4.801459e-05,4.800189e-05,4.795514e-05,4.789816e-05,4.787787e-05,4.783160e-05,4.778425e-05,4.775606e-05,4.767563e-05,4.767211e-05,4.758031e-05,4.755326e-05,4.748115e-05,4.741834e-05,4.737514e-05,4.727194e-05,4.726272e-05,4.714433e-05,4.711508e-05,4.702039e-05,4.694870e-05,4.689128e-05,4.677369e-05,4.675738e-05,4.661903e-05,4.659086e-05,4.647657e-05,4.640096e-05,4.633030e-05,4.620471e-05,4.618052e-05,4.602752e-05,4.600276e-05,4.587155e-05,4.579571e-05,4.571287e-05,4.558413e-05,4.555171e-05,4.538831e-05,4.536856e-05,4.522286e-05,4.514946e-05,4.505557e-05,4.492731e-05,4.488663e-05,4.471621e-05,4.470252e-05,4.454450e-05,4.447548e-05,4.437164e-05,4.424655e-05,4.419778e-05,4.402308e-05,4.401608e-05,4.384766e-05,4.378436e-05,4.367166e-05,4.355171e-05,4.349520e-05,4.331838e-05,4.308461e-05,4.285064e-05,4.261667e-05,4.238291e-05,4.214954e-05,4.191672e-05,4.168461e-05,4.145336e-05,4.122309e-05,4.099393e-05,4.076598e-05,4.053936e-05,4.031415e-05,4.009044e-05,3.986831e-05,3.964783e-05,3.942905e-05,3.921204e-05,3.899686e-05,3.878354e-05,3.857213e-05,3.836267e-05,3.815520e-05,3.794973e-05
0.000000e+00,2.161164e-12,1.594705e-11,2.801124e-10,1.708338e-09,3.795520e-09,1.978591e-08,2.095826e-08,7.227702e-08,9.668317e-08,1.882578e-07,3.052869e-07,4.093989e-07,7.495821e-07,7.869125e-07,1.380035e-06,1.560930e-06,2.243695e-06,2.858547e-06,3.408941e-06,4.680507e-06,4.870535e-06,6.591192e-06,6.961752e-06,8.516661e-06,9.579887e-06,1.059042e-05,1.240994e-05,1.276221e-05,1.499081e-05,1.535035e-05,1.724319e-05,1.832481e-05,1.949290e-05,2.127617e-05,2.171845e-05,2.390216e-05,2.416067e-05,2.602948e-05,2.694450e-05,2.808861e-05,2.960213e-05,3.007024e-05,3.196734e-05,3.211530e-05,3.377495e-05,3.447218e-05,3.548992e-05,3.666640e-05,3.711068e-05,3.863703e-05,3.869613e-05,4.006991e-05,4.056320e-05,4.141118e-05,4.227219e-05,4.266339e-05,4.382960e-05,4.491322e-05,4.524314e-05,4.591792e-05,4.652125e-05,4.684747e-05,4.767269e-05,4.770570e-05,4.849641e-05,4.870623e-05,4.922336e-05,4.963043e-05,4.989017e-05,5.045357e-05,5.050038e-05,5.105736e-05,5.118347e-05,5.156433e-05,5.182754e-05,5.202437e-05,5.239269e-05,5.244038e-05,5.281514e-05,5.288537e-05,5.315124e-05,5.331155e-05,5.345113e-05,5.367675e-05,5.371712e-05,5.395139e-05,5.398607e-05,5.415598e-05,5.424421e-05,5.433280e-05,5.445548e-05,5.448366e-05,5.461023e-05,5.462387e-05,5.471411e-05,5.475301e-05,5.479677e-05,5.484626e-05,5.485961e-05,5.490392e-05,5.490671e-05,5.493094e-05,5.493716e-05,5.494181e-05,5.494023e-05,5.493759e-05,5.491930e-05,5.491829e-05,5.488787e-05,5.487352e-05,5.484420e-05,5.480794e-05,5.478912e-05,5.472339e-05,5.464775e-05,5.462156e-05,5.456288e-05,5.450403e-05,5.446944e-05,5.437221e-05,5.436801e-05,5.425916e-05,5.422743e-05,5.414343e-05,5.407090e-05,5.402132e-05,5.390373e-05,5.389329e-05,5.375978e-05,5.372697e-05,5.362121e-05,5.354155e-05,5.347797e-05,5.334834e-05,5.333042e-05,5.317890e-05,5.314815e-05,5.302375e-05,5.294174e-05,5.286526e-05,5.272977e-05,5.270373e-05,5.253941e-05,5.251288e-05,5.237257e-05,5.229166e-05,5.220344e-05,5.206664e-05,5.203224e-05,5.185920e-05,5.183832e-05,5.168451e-05,5.160717e-05,5.150835e-05,5.137360e-05,5.133090e-05,5.115234e-05,5.113801e-05,5.097281e-05,5.090076e-05,5.079246e-05,5.066219e-05,5.061144e-05,5.042988e-05,5.042261e-05,5.024789e-05,5.018229e-05,5.006560e-05,4.994152e-05,4.988311e-05,4.970053e-05,4.945954e-05,4.921878e-05,4.897842e-05,4.873864e-05,4.849961e-05,4.826149e-05,4.802440e-05,4.778847e-05,4.755383e-05,4.732058e-05,4.708882e-05,4.685863e-05,4.663011e-05,4.640332e-05,4.617833e-05,4.595521e-05,4.573401e-05,4.551479e-05,4.529758e-05,4.508242e-05,4.486936e-05,4.465843e-05,4.444964e-05,4.424303e-05
0.000000e+00,1.041315e-09,3.227426e-09,1.521662e-08,4.003036e-08,6.163525e-08,1.538132e-07,1.589137e-07,3.258206e-07,3.877081e-07,5.823236e-07,7.881869e-07,9.500389e-07,1.404867e-06,1.450165e-06,2.097359e-06,2.275139e-06,2.894614e-06,3.404611e-06,3.836090e-06,4.777115e-06,4.913261e-06,6.117886e-06,6.373421e-06,7.442203e-06,8.175559e-06,8.878351e-06,1.016499e-05,1.041789e-05,1.205160e-05,1.232106e-05,1.376938e-05,1.462065e-05,1.556048e-05,1.703857e-05,1.741360e-05,1.931714e-05,1.954840e-05,2.125950e-05,2.212350e-05,2.322930e-05,2.473792e-05,2.521556e-05,2.720789e-05,2.736725e-05,2.919666e-05,2.998916e-05,3.117303e-05,3.258386e-05,3.312907e-05,3.505772e-05,3.513421e-05,3.695283e-05,3.762582e-05,3.880914e-05,4.004697e-05,4.062220e-05,4.238836e-05,4.410464e-05,4.464293e-05,4.576875e-05,4.680557e-05,4.737894e-05,4.887286e-05,4.893399e-05,5.043313e-05,5.084280e-05,5.187596e-05,5.271459e-05,5.326243e-05,5.448841e-05,5.459278e-05,5.586749e-05,5.616521e-05,5.708723e-05,5.774658e-05,5.825284e-05,5.923458e-05,5.936530e-05,6.042572e-05,6.063165e-05,6.143525e-05,6.194052e-05,6.239516e-05,6.316407e-05,6.330673e-05,6.417130e-05,6.430536e-05,6.499023e-05,6.536750e-05,6.576487e-05,6.635363e-05,6.649661e-05,6.718683e-05,6.726692e-05,6.783687e-05,6.811051e-05,6.844809e-05,6.888748e-05,6.902183e-05,6.955940e-05,6.960088e-05,7.006208e-05,7.025367e-05,7.053115e-05,7.084876e-05,7.096783e-05,7.137335e-05,7.138894e-05,7.174887e-05,7.187693e-05,7.209554e-05,7.231538e-05,7.241450e-05,7.270682e-05,7.297356e-05,7.305368e-05,7.321575e-05,7.335833e-05,7.343439e-05,7.362303e-05,7.363045e-05,7.380486e-05,7.384994e-05,7.395853e-05,7.404114e-05,7.409234e-05,7.419863e-05,7.420713e-05,7.430374e-05,7.432431e-05,7.438296e-05,7.442001e-05,7.444555e-05,7.448747e-05,7.449226e-05,7.452381e-05,7.452836e-05,7.454088e-05,7.454426e-05,7.454415e-05,7.453669e-05,7.453425e-05,7.451182e-05,7.450711e-05,7.447744e-05,7.445687e-05,7.443170e-05,7.438730e-05,7.437516e-05,7.430834e-05,7.429966e-05,7.423177e-05,7.419511e-05,7.414594e-05,7.407481e-05,7.405132e-05,7.394839e-05,7.393981e-05,7.383758e-05,7.379115e-05,7.371933e-05,7.362980e-05,7.359402e-05,7.346207e-05,7.345666e-05,7.332386e-05,7.327263e-05,7.317973e-05,7.307853e-05,7.303005e-05,7.287514e-05,7.266322e-05,7.244346e-05,7.221654e-05,7.198309e-05,7.174371e-05,7.149897e-05,7.124939e-05,7.099550e-05,7.073775e-05,7.047662e-05,7.021252e-05,6.994585e-05,6.967699e-05,6.940631e-05,6.913412e-05,6.886075e-05,6.858650e-05,6.831164e-05,6.803643e-05,6.776111e-05,6.748593e-05,6.721108e-05,6.693678e-05,6.666320e-05
0.000000e+00,5.512385e-12,3.979733e-11,6.699006e-10,3.941667e-09,8.596295e-09,4.284346e-08,4.530261e-08,1.498642e-07,1.982534e-07,3.753340e-07,5.946448e-07,7.850762e-07,1.386001e-06,1.450382e-06,2.444165e-06,2.738768e-06,3.827212e-06,4.786443e-06,5.636029e-06,7.589971e-06,7.882650e-06,1.056326e-05,1.115054e-05,1.366669e-05,1.544295e-05,1.717873e-05,2.043254e-05,2.108276e-05,2.535910e-05,2.607634e-05,2.998415e-05,3.232003e-05,3.493011e-05,3.909667e-05,4.016517e-05,4.565430e-05,4.632831e-05,5.136008e-05,5.392932e-05,5.724383e-05,6.181050e-05,6.326657e-05,6.939000e-05,6.988311e-05,7.557733e-05,7.806230e-05,8.179386e-05,8.626974e-05,8.800754e-05,9.418921e-05,9.443543e-05,1.003128e-04,1.024986e-04,1.063554e-04,1.104079e-04,1.122973e-04,1.181214e-04,1.238139e-04,1.256057e-04,1.293630e-04,1.328349e-04,1.347596e-04,1.397901e-04,1.399964e-04,1.450683e-04,1.464583e-04,1.499714e-04,1.528313e-04,1.547036e-04,1.589052e-04,1.592636e-04,1.636515e-04,1.646790e-04,1.678680e-04,1.701548e-04,1.719145e-04,1.753366e-04,1.757933e-04,1.795068e-04,1.802299e-04,1.830580e-04,1.848416e-04,1.864503e-04,1.891796e-04,1.896872e-04,1.927723e-04,1.932521e-04,1.957096e-04,1.970682e-04,1.985030e-04,2.006369e-04,2.011566e-04,2.036744e-04,2.039677e-04,2.060606e-04,2.070698e-04,2.083191e-04,2.099527e-04,2.104541e-04,2.124695e-04,2.126257e-04,2.143694e-04,2.150978e-04,2.161575e-04,2.173781e-04,2.178379e-04,2.194142e-04,2.194751e-04,2.208901e-04,2.213976e-04,2.222693e-04,2.231537e-04,2.235553e-04,2.247515e-04,2.258613e-04,2.261987e-04,2.268880e-04,2.275029e-04,2.278347e-04,2.286712e-04,2.287045e-04,2.295005e-04,2.297106e-04,2.302256e-04,2.306279e-04,2.308827e-04,2.314294e-04,2.314744e-04,2.320035e-04,2.321214e-04,2.324725e-04,2.327098e-04,2.328839e-04,2.332003e-04,2.332402e-04,2.335438e-04,2.335984e-04,2.337969e-04,2.339092e-04,2.340016e-04,2.341378e-04,2.341602e-04,2.342747e-04,2.342890e-04,2.343470e-04,2.343673e-04,2.343791e-04,2.343771e-04,2.343729e-04,2.343300e-04,2.343225e-04,2.342524e-04,2.342076e-04,2.341415e-04,2.340360e-04,2.339990e-04,2.338265e-04,2.338115e-04,2.336255e-04,2.335374e-04,2.333973e-04,2.332171e-04,2.331435e-04,2.328652e-04,2.328536e-04,2.325638e-04,2.324499e-04,2.322405e-04,2.320088e-04,2.318966e-04,2.315331e-04,2.310252e-04,2.304877e-04,2.299227e-04,2.293324e-04,2.287190e-04,2.280844e-04,2.274305e-04,2.267589e-04,2.260714e-04,2.253695e-04,2.246548e-04,2.239287e-04,2.231924e-04,2.224472e-04,2.216944e-04,2.209350e-04,2.201701e-04,2.194007e-04,2.186278e-04,2.178521e-04,2.170745e-04,2.162958e-04,2.155168e-04,2.147381e-04
0.000000e+00,3.617498e-12,2.381406e-11,3.355192e-10,1.706243e-09,3.457346e-09,1.454467e-08,1.528284e-08,4.390021e-08,5.610243e-08,9.796268e-08,1.461508e-07,1.859366e-07,3.037949e-07,3.159248e-07,4.956811e-07,5.470597e-07,7.326195e-07,8.929090e-07,1.033724e-06,1.356803e-06,1.405296e-06,1.852472e-06,1.951310e-06,2.378518e-06,2.683547e-06,2.984001e-06,3.552087e-06,3.666174e-06,4.418928e-06,4.545361e-06,5.233498e-06,5.643457e-06,6.099610e-06,6.822454e-06,7.006631e-06,7.944381e-06,8.058523e-06,8.903546e-06,9.330183e-06,9.875802e-06,1.061890e-05,1.085377e-05,1.183093e-05,1.190889e-05,1.280153e-05,1.318678e-05,1.376052e-05,1.444132e-05,1.470351e-05,1.562671e-05,1.566318e-05,1.652691e-05,1.684481e-05,1.740141e-05,1.798027e-05,1.824805e-05,1.906508e-05,1.985119e-05,2.009606e-05,2.060545e-05,2.107116e-05,2.132724e-05,2.198932e-05,2.201625e-05,2.267241e-05,2.285026e-05,2.329587e-05,2.365438e-05,2.388696e-05,2.440259e-05,2.444617e-05,2.497410e-05,2.509623e-05,2.547148e-05,2.573695e-05,2.593908e-05,2.632661e-05,2.637775e-05,2.678840e-05,2.686725e-05,2.717196e-05,2.736102e-05,2.752937e-05,2.781009e-05,2.786159e-05,2.816960e-05,2.821669e-05,2.845434e-05,2.858304e-05,2.871678e-05,2.891130e-05,2.895784e-05,2.917846e-05,2.920360e-05,2.937953e-05,2.946203e-05,2.956193e-05,2.968860e-05,2.972653e-05,2.987414e-05,2.988524e-05,3.000559e-05,3.005382e-05,3.012165e-05,3.019611e-05,3.022308e-05,3.031060e-05,3.031382e-05,3.038492e-05,3.040857e-05,3.044671e-05,3.048191e-05,3.049663e-05,3.053531e-05,3.056333e-05,3.057015e-05,3.058129e-05,3.058776e-05,3.058974e-05,3.058938e-05,3.058919e-05,3.058018e-05,3.057620e-05,3.056318e-05,3.054933e-05,3.053865e-05,3.050983e-05,3.050705e-05,3.046880e-05,3.045868e-05,3.042432e-05,3.039683e-05,3.037398e-05,3.032514e-05,3.031817e-05,3.025723e-05,3.024446e-05,3.019151e-05,3.015555e-05,3.012133e-05,3.005915e-05,3.004699e-05,2.996880e-05,2.995595e-05,2.988704e-05,2.984660e-05,2.980196e-05,2.973168e-05,2.971382e-05,2.962287e-05,2.961177e-05,2.952933e-05,2.948741e-05,2.943342e-05,2.935908e-05,2.933535e-05,2.923532e-05,2.922724e-05,2.913352e-05,2.909234e-05,2.903011e-05,2.895477e-05,2.892528e-05,2.881917e-05,2.881490e-05,2.871195e-05,2.867310e-05,2.860375e-05,2.852968e-05,2.849471e-05,2.838496e-05,2.823920e-05,2.809268e-05,2.794563e-05,2.779828e-05,2.765084e-05,2.750350e-05,2.735643e-05,2.720980e-05,2.706377e-05,2.691845e-05,2.677399e-05,2.663050e-05,2.648808e-05,2.634683e-05,2.620683e-05,2.606816e-05,2.593090e-05,2.579510e-05,2.566082e-05,2.552811e-05,2.539702e-05,2.526758e-05,2.513983e-05,2.501380e-05
0.000000e+00,2.517932e-12,1.822028e-11,3.078985e-10,1.815807e-09,3.962911e-09,1.975282e-08,2.088556e-08,6.891979e-08,9.107447e-08,1.718310e-07,2.713005e-07,3.573063e-07,6.274295e-07,6.563145e-07,1.102973e-06,1.236099e-06,1.732473e-06,2.176402e-06,2.574366e-06,3.502463e-06,3.642527e-06,4.928859e-06,5.210147e-06,6.406077e-06,7.237384e-06,8.036784e-06,9.496833e-06,9.782348e-06,1.160808e-05,1.190561e-05,1.348473e-05,1.439629e-05,1.538793e-05,1.691575e-05,1.729722e-05,1.919499e-05,1.942120e-05,2.106599e-05,2.187725e-05,2.289694e-05,2.425461e-05,2.467647e-05,2.639504e-05,2.652965e-05,2.804493e-05,2.868427e-05,2.962018e-05,3.070564e-05,3.111644e-05,3.253093e-05,3.258578e-05,3.386217e-05,3.432095e-05,3.510989e-05,3.591095e-05,3.627478e-05,3.735836e-05,3.836280e-05,3.866794e-05,3.929079e-05,3.984597e-05,4.014537e-05,4.089977e-05,4.092985e-05,4.164771e-05,4.183725e-05,4.230249e-05,4.266658e-05,4.289779e-05,4.339596e-05,4.343713e-05,4.392400e-05,4.403341e-05,4.436175e-05,4.458665e-05,4.475363e-05,4.506301e-05,4.510274e-05,4.541206e-05,4.546939e-05,4.568436e-05,4.581221e-05,4.592228e-05,4.609738e-05,4.612830e-05,4.630475e-05,4.633039e-05,4.645384e-05,4.651629e-05,4.657760e-05,4.665965e-05,4.667793e-05,4.675661e-05,4.676468e-05,4.681531e-05,4.683522e-05,4.685558e-05,4.687475e-05,4.687886e-05,4.688647e-05,4.688644e-05,4.687966e-05,4.687317e-05,4.685960e-05,4.683755e-05,4.682735e-05,4.678392e-05,4.678196e-05,4.673023e-05,4.670856e-05,4.666715e-05,4.661930e-05,4.659547e-05,4.651593e-05,4.642923e-05,4.640008e-05,4.633601e-05,4.627320e-05,4.623685e-05,4.613660e-05,4.613233e-05,4.602293e-05,4.599150e-05,4.590916e-05,4.583897e-05,4.579143e-05,4.567999e-05,4.567017e-05,4.554576e-05,4.551547e-05,4.541855e-05,4.534621e-05,4.528887e-05,4.517295e-05,4.515703e-05,4.502331e-05,4.499636e-05,4.488797e-05,4.481703e-05,4.475126e-05,4.463552e-05,4.461340e-05,4.447461e-05,4.445233e-05,4.433509e-05,4.426790e-05,4.419500e-05,4.408265e-05,4.405453e-05,4.391383e-05,4.389694e-05,4.377304e-05,4.371111e-05,4.363230e-05,4.352545e-05,4.349173e-05,4.335144e-05,4.334024e-05,4.321155e-05,4.315572e-05,4.307214e-05,4.297211e-05,4.293330e-05,4.279514e-05,4.278962e-05,4.265771e-05,4.260843e-05,4.252109e-05,4.242868e-05,4.238534e-05,4.225053e-05,4.207410e-05,4.189951e-05,4.172685e-05,4.155622e-05,4.138768e-05,4.122132e-05,4.105718e-05,4.089532e-05,4.073578e-05,4.057859e-05,4.042379e-05,4.027139e-05,4.012141e-05,3.997387e-05,3.982877e-05,3.968612e-05,3.954592e-05,3.940816e-05,3.927285e-05,3.913996e-05,3.900949e-05,3.888142e-05,3.875575e-05,3.863244e-05
0.000000e+00,2.052600e-14,1.723919e-13,3.940691e-12,3.032679e-11,7.629026e-11,5.409716e-10,5.799846e-10,2.652570e-09,3.814512e-09,8.828340e-09,1.630024e-08,2.367188e-08,5.108536e-08,5.434101e-08,1.110576e-07,1.299861e-07,2.074705e-07,2.850801e-07,3.608080e-07,5.590480e-07,5.915654e-07,9.224022e-07,1.002613e-06,1.376150e-06,1.667635e-06,1.973283e-06,2.597357e-06,2.729510e-06,3.654090e-06,3.817887e-06,4.749141e-06,5.334170e-06,6.009941e-06,7.130959e-06,7.425888e-06,8.981857e-06,9.177140e-06,1.065963e-05,1.143131e-05,1.243920e-05,1.384704e-05,1.429990e-05,1.622128e-05,1.637701e-05,1.818364e-05,1.897588e-05,2.016852e-05,2.160200e-05,2.215896e-05,2.413959e-05,2.421841e-05,2.609675e-05,2.679322e-05,2.801846e-05,2.929965e-05,2.989441e-05,3.171587e-05,3.347563e-05,3.402473e-05,3.516787e-05,3.621335e-05,3.678811e-05,3.827269e-05,3.833301e-05,3.980035e-05,4.019711e-05,4.118883e-05,4.198386e-05,4.249802e-05,4.363266e-05,4.372819e-05,4.488022e-05,4.514523e-05,4.595554e-05,4.652488e-05,4.695598e-05,4.777613e-05,4.788370e-05,4.874115e-05,4.890443e-05,4.953096e-05,4.991584e-05,5.025590e-05,5.081681e-05,5.091883e-05,5.152266e-05,5.161398e-05,5.207031e-05,5.231408e-05,5.256467e-05,5.292372e-05,5.300861e-05,5.340492e-05,5.344941e-05,5.375631e-05,5.389738e-05,5.406542e-05,5.427362e-05,5.433477e-05,5.456681e-05,5.458383e-05,5.476387e-05,5.483339e-05,5.492816e-05,5.502737e-05,5.506183e-05,5.516687e-05,5.517050e-05,5.524520e-05,5.526722e-05,5.529864e-05,5.532163e-05,5.532889e-05,5.533757e-05,5.532622e-05,5.531859e-05,5.529627e-05,5.526797e-05,5.524907e-05,5.518874e-05,5.518592e-05,5.510800e-05,5.508370e-05,5.501646e-05,5.495544e-05,5.491235e-05,5.480634e-05,5.479668e-05,5.467037e-05,5.463858e-05,5.453432e-05,5.445418e-05,5.438934e-05,5.425500e-05,5.423621e-05,5.407567e-05,5.404273e-05,5.390838e-05,5.381893e-05,5.373498e-05,5.358505e-05,5.355608e-05,5.337223e-05,5.334239e-05,5.318396e-05,5.309216e-05,5.299175e-05,5.283545e-05,5.279606e-05,5.259732e-05,5.257328e-05,5.239592e-05,5.230657e-05,5.219225e-05,5.203615e-05,5.198665e-05,5.177944e-05,5.176280e-05,5.157092e-05,5.148722e-05,5.136139e-05,5.121004e-05,5.115110e-05,5.094029e-05,5.093185e-05,5.072920e-05,5.065317e-05,5.051803e-05,5.037449e-05,5.030698e-05,5.009624e-05,4.981881e-05,4.954256e-05,4.926781e-05,4.899485e-05,4.872393e-05,4.845530e-05,4.818915e-05,4.792567e-05,4.766503e-05,4.740737e-05,4.715281e-05,4.690147e-05,4.665344e-05,4.640880e-05,4.616763e-05,4.592997e-05,4.569589e-05,4.546541e-05,4.523856e-05,4.501537e-05,4.479585e-05,4.458000e-05,4.436782e-05,4.415931e-05
0.000000e+00,3.234703e-09,7.402096e-09,2.537719e-08,5.753447e-08,8.377417e-08,1.891617e-07,1.948196e-07,3.750906e-07,4.403539e-07,6.423914e-07,8.526203e-07,1.016291e-06,1.472210e-06,1.517460e-06,2.164632e-06,2.343125e-06,2.968229e-06,3.485351e-06,3.922946e-06,4.870582e-06,5.006365e-06,6.186784e-06,6.431680e-06,7.433025e-06,8.098288e-06,8.719326e-06,9.816013e-06,1.002570e-05,1.133664e-05,1.154595e-05,1.263977e-05,1.325947e-05,1.392499e-05,1.493455e-05,1.518387e-05,1.640941e-05,1.655395e-05,1.759587e-05,1.810430e-05,1.873863e-05,1.957567e-05,1.983413e-05,2.087979e-05,2.096123e-05,2.187390e-05,2.225688e-05,2.281550e-05,2.346077e-05,2.370433e-05,2.454071e-05,2.457309e-05,2.532537e-05,2.559539e-05,2.605943e-05,2.653042e-05,2.674434e-05,2.738175e-05,2.797348e-05,2.815350e-05,2.852148e-05,2.885016e-05,2.902774e-05,2.947638e-05,2.949430e-05,2.992321e-05,3.003683e-05,3.031649e-05,3.053619e-05,3.067614e-05,3.097897e-05,3.100408e-05,3.130219e-05,3.136950e-05,3.157225e-05,3.171189e-05,3.181600e-05,3.201003e-05,3.203506e-05,3.223102e-05,3.226757e-05,3.240534e-05,3.248791e-05,3.255944e-05,3.267422e-05,3.269463e-05,3.281217e-05,3.282942e-05,3.291325e-05,3.295624e-05,3.299896e-05,3.305718e-05,3.307036e-05,3.312843e-05,3.313454e-05,3.317409e-05,3.319047e-05,3.320820e-05,3.322691e-05,3.323159e-05,3.324501e-05,3.324568e-05,3.324918e-05,3.324841e-05,3.324477e-05,3.323663e-05,3.323240e-05,3.321268e-05,3.321174e-05,3.318613e-05,3.317501e-05,3.315330e-05,3.312762e-05,3.311464e-05,3.307063e-05,3.302169e-05,3.300505e-05,3.296820e-05,3.293176e-05,3.291055e-05,3.285160e-05,3.284908e-05,3.278411e-05,3.276533e-05,3.271595e-05,3.267365e-05,3.264489e-05,3.257718e-05,3.257119e-05,3.249511e-05,3.247652e-05,3.241687e-05,3.237219e-05,3.233669e-05,3.226469e-05,3.225477e-05,3.217132e-05,3.215446e-05,3.208650e-05,3.204191e-05,3.200048e-05,3.192742e-05,3.191343e-05,3.182547e-05,3.181132e-05,3.173676e-05,3.169394e-05,3.164741e-05,3.157555e-05,3.155755e-05,3.146728e-05,3.145643e-05,3.137671e-05,3.133679e-05,3.128594e-05,3.121687e-05,3.119505e-05,3.110414e-05,3.109686e-05,3.101326e-05,3.097694e-05,3.092250e-05,3.085727e-05,3.083193e-05,3.074161e-05,3.073800e-05,3.065159e-05,3.061927e-05,3.056193e-05,3.050119e-05,3.047267e-05,3.038388e-05,3.026743e-05,3.015194e-05,3.003749e-05,2.992415e-05,2.981197e-05,2.970103e-05,2.959136e-05,2.948302e-05,2.937604e-05,2.927045e-05,2.916630e-05,2.906358e-05,2.896234e-05,2.886259e-05,2.876434e-05,2.866759e-05,2.857237e-05,2.847867e-05,2.838649e-05,2.829584e-05,2.820672e-05,2.811912e-05,2.803303e-05,2.794845e-05
0.000000e+00,4.157565e-09,9.539270e-09,3.293377e-08,7.544188e-08,1.107276e-07,2.577104e-07,2.658343e-07,5.365097e-07,6.398817e-07,9.761758e-07,1.348573e-06,1.650927e-06,2.527120e-06,2.615434e-06,3.871735e-06,4.211127e-06,5.363715e-06,6.274644e-06,7.018789e-06,8.563746e-06,8.779101e-06,1.060561e-05,1.097641e-05,1.247236e-05,1.345267e-05,1.436093e-05,1.595355e-05,1.625687e-05,1.814782e-05,1.844916e-05,2.002261e-05,2.091368e-05,2.187084e-05,2.332381e-05,2.368290e-05,2.545002e-05,2.565868e-05,2.716430e-05,2.790003e-05,2.881887e-05,3.003287e-05,3.040804e-05,3.192714e-05,3.204553e-05,3.337267e-05,3.392968e-05,3.474210e-05,3.568009e-05,3.603392e-05,3.724754e-05,3.729446e-05,3.838318e-05,3.877303e-05,3.944150e-05,4.011766e-05,4.042386e-05,4.133209e-05,4.216833e-05,4.242112e-05,4.293505e-05,4.339048e-05,4.363489e-05,4.424642e-05,4.427066e-05,4.484528e-05,4.499562e-05,4.536171e-05,4.564486e-05,4.582288e-05,4.620088e-05,4.623173e-05,4.659113e-05,4.667035e-05,4.690393e-05,4.705975e-05,4.717284e-05,4.737529e-05,4.740052e-05,4.758953e-05,4.762291e-05,4.774230e-05,4.780821e-05,4.786119e-05,4.793651e-05,4.794843e-05,4.800613e-05,4.801276e-05,4.803632e-05,4.804161e-05,4.804092e-05,4.802740e-05,4.802175e-05,4.798051e-05,4.797415e-05,4.791883e-05,4.788561e-05,4.783824e-05,4.776524e-05,4.774019e-05,4.762603e-05,4.761624e-05,4.749705e-05,4.744157e-05,4.735444e-05,4.724397e-05,4.719935e-05,4.703283e-05,4.702595e-05,4.685589e-05,4.678982e-05,4.666945e-05,4.653771e-05,4.647441e-05,4.627157e-05,4.606172e-05,4.599320e-05,4.584557e-05,4.570425e-05,4.562381e-05,4.540621e-05,4.539705e-05,4.516590e-05,4.510047e-05,4.493091e-05,4.478828e-05,4.469258e-05,4.447079e-05,4.445141e-05,4.420783e-05,4.414906e-05,4.396226e-05,4.382402e-05,4.371510e-05,4.349656e-05,4.346670e-05,4.321740e-05,4.316746e-05,4.296751e-05,4.283743e-05,4.271732e-05,4.250713e-05,4.246710e-05,4.221710e-05,4.217713e-05,4.196754e-05,4.184797e-05,4.171864e-05,4.152013e-05,4.147060e-05,4.122359e-05,4.119403e-05,4.097778e-05,4.087005e-05,4.073333e-05,4.054854e-05,4.049038e-05,4.024904e-05,4.022981e-05,4.000945e-05,3.991412e-05,3.977169e-05,3.960171e-05,3.953588e-05,3.930210e-05,3.929279e-05,3.907042e-05,3.898755e-05,3.884093e-05,3.868615e-05,3.861367e-05,3.838871e-05,3.809537e-05,3.780622e-05,3.752134e-05,3.724079e-05,3.696464e-05,3.669291e-05,3.642565e-05,3.616286e-05,3.590455e-05,3.565072e-05,3.540137e-05,3.515648e-05,3.491603e-05,3.467999e-05,3.444833e-05,3.422100e-05,3.399798e-05,3.377922e-05,3.356466e-05,3.335427e-05,3.314798e-05,3.294574e-05,3.274749e-05,3.255318e-05
0.000000e+00,4.410962e-09,1.012208e-08,3.497864e-08,8.036394e-08,1.182726e-07,2.781674e-07,2.870838e-07,5.873036e-07,7.030624e-07,1.081667e-06,1.502456e-06,1.844456e-06,2.836062e-06,2.936016e-06,4.354667e-06,4.735653e-06,6.015941e-06,7.008547e-06,7.804691e-06,9.412688e-06,9.631967e-06,1.144479e-05,1.180279e-05,1.321409e-05,1.411121e-05,1.492356e-05,1.630597e-05,1.656336e-05,1.812714e-05,1.836999e-05,1.961069e-05,2.029348e-05,2.101142e-05,2.207147e-05,2.232805e-05,2.356048e-05,2.370274e-05,2.470959e-05,2.518923e-05,2.577714e-05,2.653538e-05,2.676552e-05,2.767770e-05,2.774748e-05,2.851701e-05,2.883312e-05,2.928702e-05,2.980062e-05,2.999148e-05,3.063414e-05,3.065862e-05,3.121878e-05,3.141576e-05,3.174909e-05,3.208048e-05,3.222862e-05,3.266082e-05,3.304894e-05,3.316434e-05,3.339609e-05,3.359811e-05,3.370517e-05,3.396862e-05,3.397893e-05,3.421992e-05,3.428186e-05,3.443055e-05,3.454328e-05,3.461303e-05,3.475785e-05,3.476945e-05,3.490175e-05,3.493011e-05,3.501170e-05,3.506415e-05,3.510098e-05,3.516368e-05,3.517113e-05,3.522358e-05,3.523207e-05,3.525966e-05,3.527235e-05,3.528059e-05,3.528730e-05,3.528751e-05,3.528148e-05,3.527938e-05,3.526349e-05,3.525086e-05,3.523442e-05,3.520378e-05,3.519514e-05,3.514641e-05,3.513996e-05,3.508896e-05,3.506110e-05,3.502347e-05,3.496869e-05,3.495054e-05,3.487078e-05,3.486411e-05,3.478470e-05,3.474861e-05,3.469280e-05,3.462330e-05,3.459556e-05,3.449341e-05,3.448922e-05,3.438673e-05,3.434730e-05,3.427592e-05,3.419837e-05,3.416131e-05,3.404322e-05,3.392197e-05,3.388254e-05,3.379782e-05,3.371697e-05,3.367104e-05,3.354709e-05,3.354188e-05,3.341056e-05,3.337343e-05,3.327730e-05,3.319649e-05,3.314228e-05,3.301669e-05,3.300571e-05,3.286774e-05,3.283444e-05,3.272855e-05,3.265013e-05,3.258828e-05,3.246407e-05,3.244708e-05,3.230507e-05,3.227659e-05,3.216239e-05,3.208796e-05,3.201914e-05,3.189845e-05,3.187543e-05,3.173137e-05,3.170829e-05,3.158705e-05,3.151771e-05,3.144256e-05,3.132690e-05,3.129798e-05,3.115339e-05,3.113604e-05,3.100887e-05,3.094531e-05,3.086447e-05,3.075486e-05,3.072027e-05,3.057633e-05,3.056482e-05,3.043269e-05,3.037533e-05,3.028942e-05,3.018651e-05,3.014656e-05,3.000415e-05,2.999847e-05,2.986225e-05,2.981129e-05,2.972088e-05,2.962508e-05,2.958010e-05,2.943992e-05,2.925588e-05,2.907304e-05,2.889144e-05,2.871116e-05,2.853224e-05,2.835473e-05,2.817867e-05,2.800410e-05,2.783106e-05,2.765956e-05,2.748965e-05,2.732133e-05,2.715464e-05,2.698959e-05,2.682620e-05,2.666448e-05,2.650443e-05,2.634608e-05,2.618942e-05,2.603445e-05,2.588120e-05,2.572964e-05,2.557979e-05,2.543164e-05
0.000000e+00,1.078367e-10,5.532963e-10,5.044870e-09,1.881216e-08,3.312961e-08,1.050536e-07,1.093498e-07,2.597424e-07,3.188579e-07,5.121011e-07,7.252591e-07,8.976158e-07,1.400233e-06,1.451651e-06,2.212306e-06,2.429709e-06,3.214728e-06,3.890552e-06,4.480158e-06,5.808895e-06,6.004734e-06,7.758672e-06,8.133203e-06,9.698224e-06,1.076534e-05,1.177952e-05,1.361001e-05,1.396550e-05,1.622661e-05,1.659370e-05,1.853897e-05,1.966112e-05,2.088256e-05,2.276811e-05,2.323991e-05,2.559546e-05,2.587732e-05,2.793518e-05,2.895636e-05,3.024651e-05,3.197721e-05,3.251828e-05,3.474076e-05,3.491617e-05,3.690561e-05,3.775382e-05,3.900588e-05,4.047484e-05,4.103588e-05,4.299118e-05,4.306779e-05,4.486847e-05,4.552472e-05,4.666540e-05,4.784061e-05,4.838049e-05,5.001312e-05,5.156321e-05,5.204186e-05,5.303121e-05,5.392810e-05,5.441814e-05,5.567457e-05,5.572534e-05,5.695443e-05,5.728482e-05,5.810730e-05,5.876333e-05,5.918608e-05,6.011500e-05,6.019296e-05,6.113029e-05,6.134516e-05,6.200048e-05,6.245936e-05,6.280595e-05,6.346317e-05,6.354914e-05,6.423251e-05,6.436222e-05,6.485850e-05,6.516213e-05,6.542950e-05,6.586839e-05,6.594789e-05,6.641598e-05,6.648636e-05,6.683603e-05,6.702125e-05,6.721027e-05,6.747810e-05,6.754082e-05,6.782979e-05,6.786176e-05,6.807918e-05,6.817689e-05,6.829097e-05,6.842794e-05,6.846704e-05,6.860921e-05,6.861917e-05,6.871925e-05,6.875465e-05,6.879886e-05,6.883825e-05,6.884966e-05,6.887324e-05,6.887364e-05,6.887110e-05,6.886432e-05,6.884469e-05,6.881358e-05,6.879541e-05,6.872458e-05,6.863349e-05,6.860027e-05,6.852337e-05,6.844345e-05,6.839539e-05,6.825677e-05,6.825067e-05,6.809029e-05,6.804272e-05,6.791527e-05,6.780365e-05,6.772661e-05,6.754178e-05,6.752522e-05,6.731201e-05,6.725918e-05,6.708784e-05,6.695781e-05,6.685351e-05,6.663951e-05,6.660980e-05,6.635745e-05,6.630600e-05,6.609715e-05,6.595889e-05,6.582959e-05,6.559969e-05,6.555540e-05,6.527518e-05,6.522982e-05,6.498950e-05,6.485060e-05,6.469891e-05,6.446326e-05,6.440393e-05,6.410505e-05,6.406895e-05,6.380274e-05,6.366875e-05,6.349743e-05,6.326365e-05,6.318955e-05,6.287948e-05,6.285459e-05,6.256760e-05,6.244243e-05,6.225427e-05,6.202795e-05,6.193981e-05,6.162454e-05,6.161192e-05,6.130876e-05,6.119501e-05,6.099274e-05,6.077785e-05,6.067675e-05,6.036103e-05,5.994509e-05,5.953053e-05,5.911779e-05,5.870729e-05,5.829941e-05,5.789449e-05,5.749286e-05,5.709479e-05,5.670054e-05,5.631034e-05,5.592440e-05,5.554291e-05,5.516601e-05,5.479387e-05,5.442660e-05,5.406430e-05,5.370708e-05,5.335501e-05,5.300815e-05,5.266656e-05,5.233026e-05,5.199929e-05,5.167368e-05,5.135342e-05
0.000000e+00,3.990729e-09,9.220466e-09,3.204940e-08,7.335479e-08,1.072966e-07,2.447614e-07,2.521764e-07,4.895079e-07,5.757750e-07,8.434038e-07,1.122117e-06,1.338767e-06,1.937770e-06,1.996706e-06,2.826750e-06,3.051376e-06,3.825504e-06,4.455068e-06,4.983624e-06,6.126661e-06,6.291131e-06,7.738382e-06,8.043740e-06,9.315439e-06,1.018326e-05,1.101149e-05,1.251944e-05,1.281461e-05,1.471186e-05,1.502324e-05,1.668948e-05,1.766312e-05,1.873327e-05,2.040636e-05,2.082897e-05,2.296254e-05,2.322047e-05,2.512054e-05,2.607450e-05,2.729031e-05,2.893998e-05,2.946018e-05,3.161958e-05,3.179159e-05,3.375910e-05,3.460745e-05,3.587049e-05,3.736923e-05,3.794663e-05,3.998151e-05,4.006197e-05,4.197011e-05,4.267387e-05,4.390836e-05,4.519591e-05,4.579299e-05,4.762146e-05,4.939191e-05,4.994597e-05,5.110304e-05,5.216664e-05,5.275404e-05,5.428204e-05,5.434450e-05,5.587439e-05,5.629193e-05,5.734396e-05,5.819695e-05,5.875372e-05,5.999848e-05,6.010438e-05,6.139682e-05,6.169845e-05,6.263205e-05,6.329922e-05,6.381122e-05,6.480346e-05,6.493553e-05,6.600626e-05,6.621410e-05,6.702476e-05,6.753419e-05,6.799239e-05,6.876689e-05,6.891053e-05,6.978059e-05,6.991544e-05,7.060400e-05,7.098308e-05,7.138216e-05,7.197306e-05,7.211648e-05,7.280837e-05,7.288861e-05,7.345920e-05,7.373292e-05,7.407035e-05,7.450910e-05,7.464315e-05,7.517893e-05,7.522023e-05,7.567898e-05,7.586929e-05,7.614459e-05,7.645920e-05,7.657699e-05,7.697741e-05,7.699278e-05,7.734704e-05,7.747279e-05,7.768702e-05,7.790187e-05,7.799851e-05,7.828260e-05,7.854036e-05,7.861745e-05,7.877284e-05,7.890883e-05,7.898105e-05,7.915902e-05,7.916598e-05,7.932859e-05,7.937025e-05,7.946981e-05,7.954464e-05,7.959053e-05,7.968425e-05,7.969163e-05,7.977397e-05,7.979103e-05,7.983835e-05,7.986686e-05,7.988557e-05,7.991355e-05,7.991641e-05,7.993160e-05,7.993282e-05,7.993186e-05,7.992633e-05,7.991789e-05,7.989565e-05,7.989036e-05,7.984992e-05,7.984230e-05,7.979720e-05,7.976770e-05,7.973279e-05,7.967325e-05,7.965729e-05,7.957126e-05,7.956025e-05,7.947523e-05,7.942995e-05,7.936974e-05,7.928354e-05,7.925528e-05,7.913235e-05,7.912216e-05,7.900140e-05,7.894688e-05,7.886290e-05,7.875874e-05,7.871727e-05,7.856494e-05,7.855871e-05,7.840630e-05,7.834772e-05,7.824174e-05,7.812664e-05,7.807162e-05,7.789632e-05,7.765755e-05,7.741108e-05,7.715762e-05,7.689785e-05,7.663241e-05,7.636189e-05,7.608688e-05,7.580791e-05,7.552549e-05,7.524010e-05,7.495219e-05,7.466220e-05,7.437051e-05,7.407751e-05,7.378356e-05,7.348899e-05,7.319410e-05,7.289920e-05,7.260456e-05,7.231043e-05,7.201705e-05,7.172465e-05,7.143344e-05,7.114360e-05
0.000000e+00,4.428839e-13,3.135618e-12,5.072036e-11,2.880285e-10,6.162176e-10,2.925063e-09,3.086889e-09,9.736213e-09,1.271429e-08,2.329680e-08,3.593672e-08,4.661974e-08,7.913377e-08,8.253573e-08,1.337436e-07,1.485734e-07,2.024628e-07,2.490908e-07,2.898765e-07,3.821718e-07,3.958317e-07,5.190878e-07,5.456609e-07,6.578458e-07,7.354849e-07,8.101786e-07,9.472610e-07,9.742203e-07,1.148190e-06,1.176830e-06,1.330345e-06,1.420176e-06,1.518942e-06,1.673271e-06,1.712215e-06,1.908388e-06,1.932040e-06,2.105701e-06,2.192436e-06,2.302444e-06,2.450588e-06,2.496999e-06,2.687874e-06,2.702944e-06,2.873731e-06,2.946402e-06,3.053406e-06,3.178390e-06,3.225925e-06,3.390504e-06,3.396913e-06,3.546548e-06,3.600550e-06,3.693643e-06,3.788421e-06,3.831538e-06,3.960131e-06,4.079452e-06,4.115697e-06,4.189639e-06,4.255468e-06,4.290921e-06,4.380053e-06,4.383599e-06,4.468031e-06,4.490247e-06,4.544612e-06,4.586968e-06,4.613766e-06,4.671203e-06,4.675929e-06,4.731545e-06,4.743968e-06,4.781053e-06,4.806271e-06,4.824884e-06,4.859090e-06,4.863454e-06,4.897164e-06,4.903356e-06,4.926391e-06,4.939938e-06,4.951496e-06,4.969643e-06,4.972812e-06,4.990655e-06,4.993207e-06,5.005314e-06,5.011299e-06,5.017058e-06,5.024523e-06,5.026136e-06,5.032777e-06,5.033421e-06,5.037191e-06,5.038477e-06,5.039569e-06,5.040125e-06,5.040089e-06,5.038911e-06,5.038748e-06,5.036182e-06,5.034686e-06,5.032036e-06,5.028244e-06,5.026597e-06,5.019977e-06,5.019689e-06,5.012278e-06,5.009261e-06,5.003594e-06,4.997170e-06,4.994010e-06,4.983605e-06,4.972450e-06,4.968733e-06,4.960612e-06,4.952705e-06,4.948151e-06,4.935654e-06,4.935122e-06,4.921577e-06,4.917698e-06,4.907562e-06,4.898946e-06,4.893121e-06,4.879494e-06,4.878295e-06,4.863119e-06,4.859428e-06,4.847628e-06,4.838828e-06,4.831855e-06,4.817764e-06,4.815828e-06,4.799575e-06,4.796300e-06,4.783121e-06,4.774493e-06,4.766490e-06,4.752398e-06,4.749703e-06,4.732781e-06,4.730063e-06,4.715744e-06,4.707531e-06,4.698609e-06,4.684842e-06,4.681393e-06,4.664110e-06,4.662033e-06,4.646777e-06,4.639137e-06,4.629406e-06,4.616186e-06,4.612009e-06,4.594600e-06,4.593207e-06,4.577188e-06,4.570225e-06,4.559785e-06,4.547265e-06,4.542399e-06,4.525041e-06,4.524348e-06,4.507719e-06,4.501493e-06,4.490440e-06,4.478719e-06,4.473212e-06,4.456042e-06,4.433478e-06,4.411040e-06,4.388740e-06,4.366591e-06,4.344603e-06,4.322784e-06,4.301145e-06,4.279692e-06,4.258432e-06,4.237373e-06,4.216519e-06,4.195875e-06,4.175447e-06,4.155237e-06,4.135250e-06,4.115488e-06,4.095954e-06,4.076650e-06,4.057578e-06,4.038739e-06,4.020134e-06,4.001764e-06,3.983630e-06,3.965731e-06
0.000000e+00,1.068918e-09,2.548430e-09,9.155213e-09,2.128884e-08,3.133578e-08,7.241483e-08,7.464452e-08,1.466084e-07,1.730271e-07,2.557774e-07,3.431264e-07,4.117798e-07,6.045836e-07,6.237595e-07,8.965997e-07,9.710575e-07,1.228482e-06,1.437927e-06,1.613380e-06,1.990762e-06,2.044795e-06,2.517176e-06,2.616143e-06,3.025802e-06,3.303174e-06,3.566362e-06,4.042035e-06,4.134650e-06,4.726430e-06,4.823008e-06,5.337407e-06,5.636227e-06,5.963270e-06,6.471816e-06,6.599766e-06,7.242780e-06,7.320191e-06,7.888410e-06,8.172372e-06,8.533034e-06,9.020230e-06,9.173349e-06,9.806406e-06,9.856657e-06,1.042962e-05,1.067564e-05,1.104076e-05,1.147224e-05,1.163795e-05,1.221966e-05,1.224258e-05,1.278463e-05,1.298373e-05,1.333191e-05,1.369357e-05,1.386077e-05,1.437073e-05,1.486145e-05,1.501440e-05,1.533281e-05,1.562430e-05,1.578478e-05,1.620053e-05,1.621747e-05,1.663108e-05,1.674351e-05,1.702588e-05,1.725388e-05,1.740223e-05,1.773249e-05,1.776050e-05,1.810114e-05,1.818032e-05,1.842460e-05,1.859841e-05,1.873136e-05,1.898789e-05,1.902192e-05,1.929680e-05,1.934994e-05,1.955651e-05,1.968573e-05,1.980156e-05,1.999645e-05,2.003246e-05,2.024973e-05,2.028326e-05,2.045387e-05,2.054733e-05,2.064536e-05,2.078979e-05,2.082471e-05,2.099238e-05,2.101174e-05,2.114884e-05,2.121424e-05,2.129453e-05,2.139834e-05,2.142991e-05,2.155540e-05,2.156502e-05,2.167140e-05,2.171525e-05,2.177834e-05,2.184993e-05,2.187659e-05,2.196653e-05,2.196996e-05,2.204853e-05,2.207617e-05,2.212294e-05,2.216938e-05,2.219010e-05,2.225034e-05,2.230397e-05,2.231979e-05,2.235131e-05,2.237843e-05,2.239264e-05,2.242693e-05,2.242825e-05,2.245841e-05,2.246592e-05,2.248339e-05,2.249599e-05,2.250344e-05,2.251773e-05,2.251879e-05,2.252969e-05,2.253167e-05,2.253637e-05,2.253833e-05,2.253902e-05,2.253820e-05,2.253787e-05,2.253311e-05,2.253174e-05,2.252493e-05,2.251939e-05,2.251352e-05,2.250157e-05,2.249905e-05,2.248169e-05,2.247866e-05,2.246160e-05,2.245104e-05,2.243894e-05,2.241906e-05,2.241386e-05,2.238649e-05,2.238306e-05,2.235698e-05,2.234334e-05,2.232545e-05,2.230021e-05,2.229202e-05,2.225683e-05,2.225394e-05,2.221998e-05,2.220480e-05,2.218159e-05,2.215304e-05,2.214175e-05,2.210056e-05,2.209889e-05,2.205813e-05,2.204257e-05,2.201454e-05,2.198429e-05,2.196989e-05,2.192424e-05,2.186262e-05,2.179959e-05,2.173531e-05,2.166994e-05,2.160363e-05,2.153649e-05,2.146867e-05,2.140028e-05,2.133143e-05,2.126223e-05,2.119276e-05,2.112312e-05,2.105339e-05,2.098366e-05,2.091399e-05,2.084445e-05,2.077511e-05,2.070602e-05,2.063724e-05,2.056882e-05,2.050080e-05,2.043322e-05,2.036613e-05,2.029956e-05
0.000000e+00,9.201420e-10,3.444188e-09,2.015699e-08,5.885914e-08,9.433918e-08,2.543485e-07,2.634873e-07,5.740738e-07,6.940469e-07,1.085304e-06,1.519197e-06,1.872744e-06,2.913587e-06,3.020420e-06,4.589965e-06,5.031030e-06,6.582476e-06,7.863091e-06,8.941253e-06,1.126085e-05,1.159212e-05,1.447187e-05,1.507088e-05,1.753318e-05,1.918459e-05,2.074019e-05,2.352529e-05,2.406383e-05,2.747873e-05,2.803201e-05,3.096166e-05,3.265120e-05,3.449091e-05,3.733398e-05,3.804618e-05,4.160853e-05,4.203565e-05,4.516064e-05,4.671625e-05,4.868692e-05,5.134104e-05,5.217354e-05,5.560851e-05,5.588076e-05,5.898162e-05,6.031160e-05,6.228440e-05,6.461480e-05,6.550973e-05,6.865194e-05,6.877583e-05,7.170668e-05,7.278432e-05,7.467071e-05,7.663325e-05,7.754177e-05,8.031837e-05,8.299978e-05,8.383768e-05,8.558582e-05,8.719096e-05,8.807680e-05,9.037938e-05,9.047345e-05,9.277681e-05,9.340520e-05,9.498819e-05,9.627150e-05,9.710913e-05,9.898197e-05,9.914132e-05,1.010866e-04,1.015408e-04,1.029469e-04,1.039523e-04,1.047243e-04,1.062214e-04,1.064207e-04,1.080384e-04,1.083527e-04,1.095794e-04,1.103511e-04,1.110459e-04,1.122217e-04,1.124400e-04,1.137638e-04,1.139693e-04,1.150195e-04,1.155987e-04,1.162092e-04,1.171147e-04,1.173348e-04,1.183986e-04,1.185221e-04,1.194023e-04,1.198255e-04,1.203481e-04,1.210294e-04,1.212379e-04,1.220735e-04,1.221381e-04,1.228568e-04,1.231559e-04,1.235897e-04,1.240871e-04,1.242738e-04,1.249109e-04,1.249355e-04,1.255028e-04,1.257050e-04,1.260509e-04,1.263995e-04,1.265570e-04,1.270226e-04,1.274492e-04,1.275777e-04,1.278383e-04,1.280683e-04,1.281913e-04,1.284975e-04,1.285096e-04,1.287945e-04,1.288685e-04,1.290474e-04,1.291843e-04,1.292695e-04,1.294478e-04,1.294621e-04,1.296264e-04,1.296617e-04,1.297635e-04,1.298288e-04,1.298745e-04,1.299515e-04,1.299606e-04,1.300227e-04,1.300324e-04,1.300619e-04,1.300736e-04,1.300793e-04,1.300776e-04,1.300756e-04,1.300520e-04,1.300464e-04,1.300092e-04,1.299821e-04,1.299481e-04,1.298866e-04,1.298696e-04,1.297744e-04,1.297619e-04,1.296634e-04,1.296097e-04,1.295372e-04,1.294317e-04,1.293967e-04,1.292425e-04,1.292296e-04,1.290753e-04,1.290049e-04,1.288957e-04,1.287591e-04,1.287044e-04,1.285019e-04,1.284936e-04,1.282890e-04,1.282098e-04,1.280660e-04,1.279090e-04,1.278337e-04,1.275924e-04,1.272611e-04,1.269163e-04,1.265590e-04,1.261902e-04,1.258110e-04,1.254221e-04,1.250244e-04,1.246188e-04,1.242061e-04,1.237869e-04,1.233620e-04,1.229321e-04,1.224977e-04,1.220594e-04,1.216178e-04,1.211735e-04,1.207269e-04,1.202785e-04,1.198288e-04,1.193782e-04,1.189270e-04,1.184756e-04,1.180244e-04,1.175738e-04
0.000000e+00,2.825834e-09,6.614173e-09,2.317999e-08,5.298533e-08,7.731327e-08,1.746788e-07,1.798868e-07,3.447773e-07,4.039952e-07,5.858854e-07,7.731266e-07,9.176664e-07,1.315507e-06,1.354650e-06,1.908665e-06,2.059726e-06,2.583827e-06,3.012824e-06,3.373755e-06,4.153094e-06,4.264856e-06,5.241878e-06,5.446336e-06,6.290912e-06,6.860785e-06,7.399832e-06,8.369648e-06,8.557795e-06,9.754669e-06,9.949123e-06,1.098068e-05,1.157669e-05,1.222625e-05,1.323046e-05,1.348197e-05,1.473873e-05,1.488919e-05,1.598775e-05,1.653272e-05,1.722078e-05,1.814249e-05,1.843022e-05,1.960917e-05,1.970198e-05,2.075158e-05,2.119712e-05,2.185226e-05,2.261645e-05,2.290689e-05,2.391202e-05,2.395115e-05,2.486502e-05,2.519496e-05,2.576407e-05,2.634402e-05,2.660808e-05,2.739659e-05,2.812974e-05,2.835275e-05,2.880817e-05,2.921411e-05,2.943292e-05,2.998348e-05,3.000539e-05,3.052728e-05,3.066460e-05,3.100048e-05,3.126188e-05,3.142705e-05,3.178018e-05,3.180917e-05,3.214908e-05,3.222464e-05,3.244908e-05,3.260050e-05,3.271145e-05,3.291302e-05,3.293847e-05,3.313234e-05,3.316733e-05,3.329522e-05,3.336836e-05,3.342918e-05,3.352083e-05,3.353623e-05,3.361829e-05,3.362922e-05,3.367718e-05,3.369773e-05,3.371463e-05,3.373025e-05,3.373227e-05,3.373165e-05,3.373041e-05,3.371421e-05,3.370157e-05,3.368132e-05,3.364678e-05,3.363425e-05,3.357420e-05,3.356887e-05,3.350228e-05,3.347042e-05,3.341951e-05,3.335376e-05,3.332688e-05,3.322527e-05,3.322103e-05,3.311551e-05,3.307416e-05,3.299840e-05,3.291492e-05,3.287464e-05,3.274490e-05,3.260980e-05,3.256553e-05,3.246992e-05,3.237812e-05,3.232577e-05,3.218384e-05,3.217786e-05,3.202662e-05,3.198374e-05,3.187250e-05,3.177879e-05,3.171586e-05,3.156984e-05,3.155707e-05,3.139646e-05,3.135767e-05,3.123433e-05,3.114298e-05,3.107096e-05,3.092638e-05,3.090662e-05,3.074154e-05,3.070845e-05,3.057593e-05,3.048968e-05,3.041001e-05,3.027053e-05,3.024396e-05,3.007795e-05,3.005141e-05,2.991214e-05,2.983267e-05,2.974667e-05,2.961463e-05,2.958168e-05,2.941728e-05,2.939759e-05,2.925358e-05,2.918180e-05,2.909069e-05,2.896749e-05,2.892870e-05,2.876770e-05,2.875486e-05,2.860775e-05,2.854409e-05,2.844894e-05,2.833533e-05,2.829132e-05,2.813495e-05,2.812872e-05,2.797988e-05,2.792438e-05,2.782616e-05,2.772242e-05,2.767383e-05,2.752292e-05,2.732595e-05,2.713159e-05,2.693988e-05,2.675087e-05,2.656460e-05,2.638109e-05,2.620035e-05,2.602242e-05,2.584729e-05,2.567496e-05,2.550544e-05,2.533871e-05,2.517476e-05,2.501359e-05,2.485518e-05,2.469950e-05,2.454653e-05,2.439625e-05,2.424863e-05,2.410364e-05,2.396126e-05,2.382146e-05,2.368419e-05,2.354944e-05
0.000000e+00,8.998728e-09,2.065639e-08,7.129457e-08,1.628201e-07,2.382022e-07,5.462006e-07,5.629519e-07,1.106879e-06,1.308271e-06,1.944763e-06,2.624678e-06,3.163605e-06,4.690259e-06,4.842695e-06,7.011776e-06,7.601829e-06,9.629031e-06,1.126055e-05,1.261373e-05,1.548190e-05,1.588790e-05,1.939037e-05,2.011394e-05,2.307411e-05,2.504835e-05,2.690084e-05,3.020138e-05,3.083733e-05,3.485347e-05,3.550155e-05,3.892144e-05,4.088485e-05,4.301555e-05,4.629378e-05,4.711229e-05,5.119042e-05,5.167762e-05,5.523113e-05,5.699287e-05,5.921801e-05,6.220332e-05,6.313703e-05,6.697644e-05,6.727985e-05,7.072656e-05,7.219981e-05,7.437964e-05,7.694632e-05,7.792965e-05,8.137202e-05,8.150743e-05,8.470353e-05,8.587529e-05,8.792204e-05,9.004543e-05,9.102635e-05,9.401605e-05,9.689141e-05,9.778750e-05,9.965324e-05,1.013618e-04,1.023028e-04,1.047422e-04,1.048416e-04,1.072717e-04,1.079329e-04,1.095951e-04,1.109389e-04,1.118142e-04,1.137657e-04,1.139313e-04,1.159491e-04,1.164189e-04,1.178702e-04,1.189047e-04,1.196972e-04,1.212292e-04,1.214328e-04,1.230797e-04,1.233987e-04,1.246407e-04,1.254193e-04,1.261184e-04,1.272973e-04,1.275155e-04,1.288346e-04,1.290386e-04,1.300783e-04,1.306493e-04,1.312493e-04,1.321353e-04,1.323499e-04,1.333827e-04,1.335022e-04,1.343502e-04,1.347557e-04,1.352546e-04,1.359012e-04,1.360983e-04,1.368835e-04,1.369439e-04,1.376125e-04,1.378888e-04,1.382874e-04,1.387409e-04,1.389102e-04,1.394831e-04,1.395050e-04,1.400079e-04,1.401855e-04,1.404867e-04,1.407868e-04,1.409212e-04,1.413133e-04,1.416647e-04,1.417688e-04,1.419771e-04,1.421573e-04,1.422522e-04,1.424826e-04,1.424915e-04,1.426967e-04,1.427482e-04,1.428691e-04,1.429575e-04,1.430103e-04,1.431137e-04,1.431216e-04,1.432043e-04,1.432201e-04,1.432599e-04,1.432796e-04,1.432894e-04,1.432950e-04,1.432943e-04,1.432755e-04,1.432690e-04,1.432343e-04,1.432043e-04,1.431717e-04,1.431034e-04,1.430888e-04,1.429866e-04,1.429685e-04,1.428660e-04,1.428019e-04,1.427281e-04,1.426059e-04,1.425737e-04,1.424037e-04,1.423823e-04,1.422189e-04,1.421331e-04,1.420201e-04,1.418602e-04,1.418082e-04,1.415838e-04,1.415653e-04,1.413476e-04,1.412501e-04,1.411005e-04,1.409161e-04,1.408429e-04,1.405757e-04,1.405648e-04,1.402993e-04,1.401976e-04,1.400143e-04,1.398160e-04,1.397214e-04,1.394211e-04,1.390141e-04,1.385962e-04,1.381685e-04,1.377319e-04,1.372875e-04,1.368361e-04,1.363786e-04,1.359158e-04,1.354484e-04,1.349773e-04,1.345029e-04,1.340261e-04,1.335473e-04,1.330672e-04,1.325862e-04,1.321049e-04,1.316237e-04,1.311430e-04,1.306633e-04,1.301849e-04,1.297081e-04,1.292334e-04,1.287609e-04,1.282910e-04
0.000000e+00,7.742652e-11,3.570990e-10,2.757464e-09,9.271964e-09,1.563421e-08,4.554216e-08,4.726910e-08,1.055928e-07,1.277287e-07,1.980560e-07,2.729120e-07,3.318262e-07,4.973221e-07,5.138110e-07,7.504266e-07,8.159740e-07,1.047056e-06,1.240791e-06,1.407182e-06,1.777076e-06,1.831266e-06,2.315706e-06,2.419203e-06,2.852469e-06,3.148511e-06,3.429983e-06,3.936983e-06,4.035126e-06,4.655325e-06,4.755206e-06,5.279855e-06,5.578583e-06,5.900187e-06,6.388983e-06,6.509789e-06,7.103743e-06,7.173781e-06,7.678387e-06,7.924393e-06,8.231043e-06,8.635164e-06,8.759813e-06,9.263434e-06,9.302611e-06,9.741157e-06,9.924912e-06,1.019266e-05,1.050152e-05,1.061798e-05,1.101741e-05,1.103286e-05,1.139148e-05,1.152006e-05,1.174087e-05,1.196478e-05,1.206641e-05,1.236900e-05,1.264961e-05,1.273493e-05,1.290924e-05,1.306485e-05,1.314889e-05,1.336111e-05,1.336959e-05,1.357234e-05,1.362602e-05,1.375811e-05,1.386182e-05,1.392786e-05,1.407066e-05,1.408250e-05,1.422292e-05,1.425460e-05,1.434996e-05,1.441555e-05,1.446442e-05,1.455535e-05,1.456707e-05,1.465864e-05,1.467569e-05,1.473983e-05,1.477815e-05,1.481127e-05,1.486420e-05,1.487358e-05,1.492736e-05,1.493521e-05,1.497314e-05,1.499242e-05,1.501144e-05,1.503702e-05,1.504275e-05,1.506752e-05,1.507008e-05,1.508619e-05,1.509258e-05,1.509917e-05,1.510545e-05,1.510682e-05,1.510951e-05,1.510952e-05,1.510757e-05,1.510558e-05,1.510133e-05,1.509433e-05,1.509107e-05,1.507708e-05,1.507645e-05,1.505961e-05,1.505252e-05,1.503892e-05,1.502312e-05,1.501523e-05,1.498876e-05,1.495972e-05,1.494991e-05,1.492829e-05,1.490701e-05,1.489465e-05,1.486045e-05,1.485898e-05,1.482144e-05,1.481061e-05,1.478216e-05,1.475782e-05,1.474129e-05,1.470240e-05,1.469896e-05,1.465530e-05,1.464464e-05,1.461042e-05,1.458480e-05,1.456443e-05,1.452312e-05,1.451743e-05,1.446952e-05,1.445984e-05,1.442078e-05,1.439515e-05,1.437131e-05,1.432924e-05,1.432118e-05,1.427046e-05,1.426230e-05,1.421923e-05,1.419447e-05,1.416755e-05,1.412592e-05,1.411548e-05,1.406308e-05,1.405677e-05,1.401040e-05,1.398715e-05,1.395750e-05,1.391718e-05,1.390442e-05,1.385121e-05,1.384695e-05,1.379791e-05,1.377657e-05,1.374456e-05,1.370613e-05,1.369119e-05,1.363784e-05,1.363570e-05,1.358454e-05,1.356537e-05,1.353132e-05,1.349519e-05,1.347821e-05,1.342524e-05,1.335557e-05,1.328623e-05,1.321726e-05,1.314872e-05,1.308065e-05,1.301306e-05,1.294601e-05,1.287952e-05,1.281361e-05,1.274831e-05,1.268364e-05,1.261962e-05,1.255626e-05,1.249359e-05,1.243160e-05,1.237032e-05,1.230976e-05,1.224991e-05,1.219079e-05,1.213241e-05,1.207476e-05,1.201785e-05,1.196169e-05,1.190627e-05
0.000000e+00,4.153850e-10,1.331494e-09,6.488920e-09,1.727303e-08,2.667332e-08,6.661991e-08,6.882075e-08,1.402836e-07,1.665220e-07,2.482253e-07,3.335049e-07,3.998893e-07,5.844222e-07,6.027056e-07,8.639727e-07,9.360930e-07,1.189658e-06,1.401306e-06,1.582219e-06,1.980901e-06,2.038873e-06,2.552417e-06,2.661169e-06,3.113927e-06,3.421990e-06,3.714853e-06,4.244560e-06,4.347673e-06,5.005774e-06,5.113010e-06,5.683168e-06,6.013517e-06,6.374265e-06,6.933445e-06,7.073774e-06,7.776667e-06,7.861013e-06,8.478198e-06,8.785288e-06,9.173946e-06,9.696339e-06,9.859858e-06,1.053229e-05,1.058540e-05,1.118802e-05,1.144500e-05,1.182429e-05,1.226905e-05,1.243880e-05,1.302965e-05,1.305277e-05,1.359540e-05,1.379271e-05,1.413497e-05,1.448655e-05,1.464765e-05,1.513303e-05,1.559101e-05,1.573178e-05,1.602169e-05,1.628314e-05,1.642540e-05,1.678807e-05,1.680266e-05,1.715408e-05,1.724795e-05,1.748043e-05,1.766455e-05,1.778254e-05,1.803985e-05,1.806131e-05,1.831770e-05,1.837600e-05,1.855266e-05,1.867526e-05,1.876721e-05,1.893990e-05,1.896232e-05,1.913899e-05,1.917219e-05,1.929818e-05,1.937438e-05,1.944086e-05,1.954863e-05,1.956795e-05,1.968035e-05,1.969702e-05,1.977892e-05,1.982157e-05,1.986450e-05,1.992415e-05,1.993790e-05,1.999987e-05,2.000657e-05,2.005114e-05,2.007050e-05,2.009242e-05,2.011751e-05,2.012436e-05,2.014758e-05,2.014908e-05,2.016269e-05,2.016659e-05,2.017024e-05,2.017130e-05,2.017077e-05,2.016477e-05,2.016440e-05,2.015272e-05,2.014699e-05,2.013507e-05,2.012008e-05,2.011223e-05,2.008461e-05,2.005257e-05,2.004144e-05,2.001647e-05,1.999138e-05,1.997663e-05,1.993516e-05,1.993336e-05,1.988696e-05,1.987345e-05,1.983770e-05,1.980687e-05,1.978583e-05,1.973601e-05,1.973159e-05,1.967521e-05,1.966138e-05,1.961689e-05,1.958346e-05,1.955684e-05,1.950271e-05,1.949524e-05,1.943226e-05,1.941951e-05,1.936806e-05,1.933425e-05,1.930280e-05,1.924726e-05,1.923661e-05,1.916963e-05,1.915885e-05,1.910198e-05,1.906930e-05,1.903377e-05,1.897888e-05,1.896511e-05,1.889611e-05,1.888781e-05,1.882684e-05,1.879631e-05,1.875741e-05,1.870457e-05,1.868788e-05,1.861834e-05,1.861277e-05,1.854885e-05,1.852108e-05,1.847947e-05,1.842963e-05,1.841027e-05,1.834131e-05,1.833855e-05,1.827262e-05,1.824797e-05,1.820427e-05,1.815799e-05,1.813628e-05,1.806870e-05,1.798020e-05,1.789254e-05,1.780581e-05,1.772006e-05,1.763534e-05,1.755170e-05,1.746918e-05,1.738781e-05,1.730763e-05,1.722865e-05,1.715090e-05,1.707439e-05,1.699913e-05,1.692515e-05,1.685243e-05,1.678099e-05,1.671083e-05,1.664194e-05,1.657433e-05,1.650799e-05,1.644291e-05,1.637909e-05,1.631652e-05,1.625518e-05
0.000000e+00,2.144236e-09,5.275231e-09,1.947399e-08,4.565994e-08,6.733293e-08,1.558201e-07,1.606207e-07,3.157251e-07,3.728072e-07,5.522470e-07,7.426832e-07,8.929553e-07,1.316325e-06,1.358443e-06,1.954944e-06,2.116264e-06,2.667029e-06,3.106030e-06,3.467059e-06,4.222788e-06,4.328722e-06,5.232022e-06,5.416323e-06,6.162381e-06,6.653071e-06,7.108649e-06,7.909026e-06,8.061605e-06,9.013162e-06,9.164783e-06,9.955997e-06,1.040347e-05,1.088343e-05,1.161024e-05,1.178947e-05,1.266886e-05,1.277237e-05,1.351712e-05,1.387953e-05,1.433061e-05,1.492386e-05,1.510653e-05,1.584288e-05,1.590004e-05,1.653846e-05,1.680513e-05,1.719271e-05,1.763819e-05,1.780568e-05,1.837789e-05,1.839994e-05,1.891034e-05,1.909254e-05,1.940434e-05,1.971900e-05,1.986130e-05,2.028292e-05,2.067100e-05,2.078840e-05,2.102738e-05,2.123971e-05,2.135397e-05,2.164121e-05,2.165264e-05,2.192521e-05,2.199710e-05,2.217346e-05,2.231144e-05,2.239908e-05,2.258806e-05,2.260369e-05,2.278882e-05,2.283052e-05,2.295591e-05,2.304210e-05,2.310629e-05,2.322581e-05,2.324122e-05,2.336188e-05,2.338439e-05,2.346933e-05,2.352032e-05,2.356458e-05,2.363585e-05,2.364856e-05,2.372212e-05,2.373298e-05,2.378604e-05,2.381352e-05,2.384106e-05,2.387911e-05,2.388784e-05,2.392699e-05,2.393120e-05,2.395909e-05,2.397111e-05,2.398465e-05,2.400001e-05,2.400416e-05,2.401807e-05,2.401895e-05,2.402677e-05,2.402888e-05,2.403065e-05,2.403065e-05,2.403005e-05,2.402530e-05,2.402503e-05,2.401670e-05,2.401271e-05,2.400452e-05,2.399432e-05,2.398901e-05,2.397042e-05,2.394896e-05,2.394152e-05,2.392484e-05,2.390810e-05,2.389825e-05,2.387056e-05,2.386937e-05,2.383835e-05,2.382931e-05,2.380536e-05,2.378467e-05,2.377053e-05,2.373699e-05,2.373401e-05,2.369591e-05,2.368655e-05,2.365636e-05,2.363361e-05,2.361546e-05,2.357844e-05,2.357332e-05,2.353003e-05,2.352124e-05,2.348568e-05,2.346224e-05,2.344037e-05,2.340162e-05,2.339417e-05,2.334715e-05,2.333956e-05,2.329939e-05,2.327623e-05,2.325096e-05,2.321177e-05,2.320191e-05,2.315231e-05,2.314632e-05,2.310221e-05,2.308002e-05,2.305166e-05,2.301298e-05,2.300073e-05,2.294944e-05,2.294532e-05,2.289785e-05,2.287714e-05,2.284600e-05,2.280853e-05,2.279393e-05,2.274168e-05,2.273959e-05,2.268928e-05,2.267039e-05,2.263677e-05,2.260101e-05,2.258417e-05,2.253153e-05,2.246200e-05,2.239250e-05,2.232308e-05,2.225378e-05,2.218467e-05,2.211578e-05,2.204716e-05,2.197885e-05,2.191088e-05,2.184329e-05,2.177611e-05,2.170936e-05,2.164308e-05,2.157728e-05,2.151200e-05,2.144725e-05,2.138304e-05,2.131941e-05,2.125635e-05,2.119390e-05,2.113205e-05,2.107082e-05,2.101022e-05,2.095026e-05
0.000000e+00,2.685899e-15,2.396737e-14,6.216571e-13,5.374513e-12,1.441843e-11,1.208680e-10,1.304737e-10,7.053706e-10,1.061602e-09,2.754605e-09,5.577204e-09,8.599206e-09,2.119291e-08,2.279789e-08,5.337170e-08,6.446087e-08,1.133032e-07,1.666899e-07,2.222546e-07,3.808166e-07,4.083980e-07,7.101997e-07,7.886437e-07,1.177979e-06,1.507306e-06,1.875084e-06,2.693837e-06,2.878564e-06,4.279269e-06,4.547025e-06,6.181364e-06,7.306219e-06,8.701273e-06,1.124714e-05,1.196612e-05,1.611169e-05,1.667504e-05,2.128011e-05,2.391576e-05,2.761719e-05,3.330527e-05,3.526961e-05,4.438209e-05,4.517840e-05,5.509451e-05,5.985741e-05,6.753918e-05,7.764101e-05,8.183828e-05,9.810152e-05,9.879431e-05,1.164241e-04,1.235401e-04,1.368850e-04,1.520519e-04,1.595456e-04,1.844487e-04,2.116179e-04,2.207919e-04,2.410575e-04,2.610841e-04,2.727523e-04,3.052694e-04,3.066681e-04,3.427526e-04,3.532358e-04,3.809362e-04,4.048188e-04,4.211331e-04,4.598063e-04,4.632429e-04,5.071518e-04,5.179440e-04,5.527346e-04,5.789421e-04,5.998560e-04,6.424818e-04,6.483725e-04,6.981341e-04,7.082223e-04,7.489860e-04,7.758074e-04,8.007701e-04,8.448723e-04,8.533267e-04,9.064960e-04,9.150493e-04,9.601194e-04,9.859738e-04,1.014040e-03,1.057289e-03,1.068107e-03,1.122170e-03,1.128651e-03,1.176088e-03,1.199731e-03,1.229724e-03,1.270220e-03,1.282950e-03,1.335642e-03,1.339831e-03,1.387687e-03,1.408299e-03,1.438978e-03,1.475385e-03,1.489417e-03,1.538916e-03,1.540875e-03,1.587392e-03,1.604579e-03,1.634773e-03,1.666333e-03,1.680994e-03,1.725999e-03,1.769739e-03,1.783462e-03,1.812173e-03,1.838629e-03,1.853267e-03,1.891430e-03,1.892992e-03,1.931330e-03,1.941814e-03,1.968265e-03,1.989749e-03,2.003789e-03,2.035221e-03,2.037898e-03,2.070593e-03,2.078230e-03,2.101881e-03,2.118792e-03,2.131773e-03,2.156933e-03,2.160282e-03,2.187426e-03,2.192693e-03,2.213226e-03,2.226118e-03,2.237704e-03,2.257264e-03,2.260888e-03,2.282804e-03,2.286195e-03,2.303483e-03,2.312978e-03,2.322955e-03,2.337686e-03,2.341253e-03,2.358411e-03,2.360395e-03,2.374463e-03,2.381185e-03,2.389444e-03,2.400136e-03,2.403390e-03,2.416335e-03,2.417329e-03,2.428316e-03,2.432847e-03,2.439368e-03,2.446771e-03,2.449527e-03,2.458828e-03,2.459182e-03,2.467305e-03,2.470161e-03,2.474992e-03,2.479786e-03,2.481924e-03,2.488133e-03,2.495276e-03,2.501288e-03,2.506239e-03,2.510196e-03,2.513223e-03,2.515383e-03,2.516734e-03,2.517331e-03,2.517231e-03,2.516481e-03,2.515132e-03,2.513229e-03,2.510816e-03,2.507932e-03,2.504617e-03,2.500907e-03,2.496836e-03,2.492437e-03,2.487739e-03,2.482770e-03,2.477557e-03,2.472124e-03,2.466496e-03,2.460692e-03
0.000000e+00,2.144713e-16,1.924235e-15,5.048706e-14,4.412906e-13,1.191266e-12,1.015723e-11,1.097236e-11,6.042233e-11,9.142207e-11,2.405697e-10,4.930117e-10,7.664822e-10,1.926766e-09,2.076352e-09,4.972754e-09,6.039894e-09,1.081212e-08,1.612855e-08,2.174484e-08,3.811198e-08,4.100041e-08,7.320000e-08,8.171649e-08,1.246686e-07,1.617199e-07,2.037148e-07,2.990468e-07,3.208489e-07,4.889188e-07,5.215211e-07,7.231510e-07,8.641510e-07,1.041095e-06,1.368909e-06,1.462473e-06,2.008942e-06,2.084016e-06,2.703790e-06,3.062818e-06,3.571561e-06,4.362326e-06,4.637653e-06,5.927872e-06,6.041546e-06,7.467986e-06,8.159689e-06,9.283266e-06,1.077437e-05,1.139805e-05,1.383534e-05,1.393985e-05,1.661638e-05,1.770546e-05,1.976034e-05,2.211422e-05,2.328403e-05,2.720160e-05,3.152438e-05,3.299470e-05,3.626072e-05,3.951158e-05,4.141589e-05,4.676090e-05,4.699202e-05,5.298814e-05,5.474183e-05,5.940016e-05,6.344418e-05,6.622101e-05,7.284877e-05,7.344074e-05,8.104668e-05,8.292793e-05,8.902358e-05,9.364623e-05,9.735388e-05,1.049613e-04,1.060179e-04,1.149939e-04,1.168245e-04,1.242587e-04,1.291824e-04,1.337877e-04,1.419772e-04,1.435548e-04,1.535334e-04,1.551478e-04,1.636959e-04,1.686311e-04,1.740144e-04,1.823626e-04,1.844608e-04,1.950067e-04,1.962775e-04,2.056241e-04,2.103113e-04,2.162854e-04,2.244005e-04,2.269633e-04,2.376313e-04,2.384836e-04,2.482637e-04,2.525011e-04,2.588358e-04,2.663968e-04,2.693236e-04,2.797046e-04,2.801173e-04,2.899573e-04,2.936130e-04,3.000616e-04,3.068379e-04,3.099983e-04,3.197501e-04,3.293006e-04,3.323117e-04,3.386349e-04,3.444891e-04,3.477395e-04,3.562526e-04,3.566023e-04,3.652124e-04,3.675766e-04,3.735603e-04,3.784396e-04,3.816376e-04,3.888239e-04,3.894375e-04,3.969541e-04,3.987154e-04,4.041828e-04,4.081038e-04,4.111201e-04,4.169817e-04,4.177633e-04,4.241112e-04,4.253452e-04,4.301630e-04,4.331930e-04,4.359191e-04,4.405265e-04,4.413806e-04,4.465495e-04,4.473496e-04,4.514285e-04,4.536683e-04,4.560207e-04,4.594907e-04,4.603302e-04,4.643614e-04,4.648267e-04,4.681192e-04,4.696874e-04,4.716090e-04,4.740856e-04,4.748366e-04,4.778081e-04,4.780350e-04,4.805301e-04,4.815505e-04,4.830091e-04,4.846475e-04,4.852521e-04,4.872663e-04,4.873422e-04,4.890588e-04,4.896513e-04,4.906370e-04,4.915916e-04,4.920085e-04,4.931806e-04,4.944353e-04,4.953730e-04,4.960110e-04,4.963663e-04,4.964555e-04,4.962952e-04,4.959014e-04,4.952897e-04,4.944754e-04,4.934732e-04,4.922972e-04,4.909612e-04,4.894782e-04,4.878608e-04,4.861210e-04,4.842702e-04,4.823195e-04,4.802790e-04,4.781588e-04,4.759679e-04,4.737153e-04,4.714090e-04,4.690569e-04,4.666662e-04
0.000000e+00,1.481923e-09,4.640363e-09,2.195902e-08,5.748470e-08,8.815208e-08,2.173389e-07,2.244313e-07,4.545481e-07,5.391679e-07,8.037011e-07,1.081783e-06,1.299667e-06,1.910974e-06,1.971914e-06,2.846914e-06,3.089026e-06,3.937999e-06,4.640132e-06,5.233070e-06,6.509929e-06,6.691832e-06,8.259146e-06,8.580834e-06,9.882513e-06,1.073468e-05,1.152082e-05,1.288670e-05,1.314458e-05,1.473307e-05,1.498290e-05,1.627147e-05,1.698883e-05,1.774901e-05,1.888179e-05,1.915773e-05,2.049185e-05,2.064673e-05,2.174742e-05,2.227429e-05,2.292196e-05,2.375973e-05,2.401442e-05,2.502484e-05,2.510215e-05,2.595423e-05,2.630373e-05,2.680457e-05,2.736924e-05,2.757833e-05,2.827854e-05,2.830507e-05,2.890865e-05,2.911902e-05,2.947231e-05,2.981961e-05,2.997338e-05,3.041574e-05,3.080329e-05,3.091637e-05,3.113989e-05,3.133031e-05,3.142927e-05,3.166598e-05,3.167501e-05,3.188053e-05,3.193132e-05,3.204908e-05,3.213373e-05,3.218370e-05,3.228005e-05,3.228725e-05,3.236241e-05,3.237651e-05,3.241166e-05,3.242878e-05,3.243729e-05,3.244202e-05,3.244145e-05,3.242609e-05,3.242084e-05,3.239304e-05,3.236942e-05,3.234396e-05,3.229147e-05,3.228039e-05,3.220373e-05,3.219034e-05,3.211529e-05,3.206901e-05,3.201626e-05,3.193013e-05,3.190771e-05,3.179065e-05,3.177608e-05,3.166599e-05,3.160896e-05,3.153458e-05,3.143065e-05,3.139716e-05,3.125445e-05,3.124283e-05,3.110710e-05,3.104698e-05,3.095567e-05,3.084444e-05,3.080073e-05,3.064275e-05,3.063637e-05,3.048218e-05,3.042382e-05,3.031944e-05,3.020773e-05,3.015491e-05,2.998892e-05,2.982180e-05,2.976812e-05,2.965382e-05,2.954600e-05,2.948526e-05,2.932311e-05,2.931635e-05,2.914731e-05,2.909998e-05,2.897834e-05,2.887707e-05,2.880962e-05,2.865476e-05,2.864132e-05,2.847358e-05,2.843343e-05,2.830655e-05,2.821337e-05,2.814035e-05,2.799487e-05,2.797509e-05,2.781088e-05,2.777817e-05,2.764780e-05,2.756347e-05,2.748594e-05,2.735097e-05,2.732537e-05,2.716617e-05,2.714082e-05,2.700838e-05,2.693317e-05,2.685207e-05,2.672812e-05,2.669728e-05,2.654406e-05,2.652578e-05,2.639243e-05,2.632624e-05,2.624244e-05,2.612956e-05,2.609411e-05,2.594747e-05,2.593581e-05,2.580253e-05,2.574503e-05,2.565931e-05,2.555726e-05,2.551782e-05,2.537808e-05,2.537253e-05,2.524009e-05,2.519085e-05,2.510386e-05,2.501224e-05,2.496940e-05,2.483669e-05,2.466423e-05,2.449482e-05,2.432847e-05,2.416515e-05,2.400485e-05,2.384755e-05,2.369322e-05,2.354183e-05,2.339335e-05,2.324775e-05,2.310499e-05,2.296504e-05,2.282786e-05,2.269341e-05,2.256165e-05,2.243254e-05,2.230604e-05,2.218211e-05,2.206071e-05,2.194179e-05,2.182532e-05,2.171124e-05,2.159952e-05,2.149012e-05
0.000000e+00,8.725702e-10,2.103747e-09,7.627499e-09,1.775219e-08,2.609258e-08,5.974805e-08,6.155454e-08,1.188094e-07,1.393488e-07,2.022078e-07,2.664509e-07,3.156880e-07,4.496964e-07,4.627753e-07,6.465030e-07,6.963261e-07,8.691704e-07,1.011360e-06,1.131924e-06,1.396084e-06,1.434441e-06,1.775086e-06,1.847584e-06,2.151412e-06,2.360266e-06,2.560563e-06,2.927351e-06,2.999433e-06,3.464707e-06,3.541370e-06,3.952883e-06,4.194273e-06,4.460307e-06,4.877588e-06,4.983231e-06,5.517886e-06,5.582655e-06,6.060549e-06,6.300924e-06,6.607618e-06,7.024223e-06,7.155670e-06,7.701515e-06,7.744998e-06,8.242234e-06,8.456487e-06,8.775200e-06,9.152824e-06,9.298099e-06,9.808930e-06,9.829087e-06,1.030600e-05,1.048129e-05,1.078790e-05,1.110636e-05,1.125353e-05,1.170200e-05,1.213270e-05,1.226670e-05,1.254521e-05,1.279954e-05,1.293928e-05,1.330017e-05,1.331484e-05,1.367196e-05,1.376868e-05,1.401082e-05,1.420549e-05,1.433170e-05,1.461134e-05,1.463496e-05,1.492103e-05,1.498718e-05,1.519038e-05,1.533410e-05,1.544353e-05,1.565333e-05,1.568102e-05,1.590343e-05,1.594615e-05,1.611133e-05,1.621389e-05,1.630529e-05,1.645789e-05,1.648592e-05,1.665378e-05,1.667949e-05,1.680945e-05,1.688000e-05,1.695349e-05,1.706072e-05,1.708645e-05,1.720886e-05,1.722287e-05,1.732125e-05,1.736765e-05,1.742411e-05,1.749621e-05,1.751793e-05,1.760318e-05,1.760964e-05,1.768030e-05,1.770898e-05,1.774973e-05,1.779519e-05,1.781189e-05,1.786715e-05,1.786922e-05,1.791591e-05,1.793194e-05,1.795852e-05,1.798416e-05,1.799533e-05,1.802667e-05,1.805285e-05,1.806019e-05,1.807417e-05,1.808540e-05,1.809091e-05,1.810293e-05,1.810335e-05,1.811174e-05,1.811339e-05,1.811632e-05,1.811734e-05,1.811733e-05,1.811529e-05,1.811498e-05,1.810950e-05,1.810774e-05,1.810107e-05,1.809513e-05,1.808989e-05,1.807791e-05,1.807613e-05,1.805996e-05,1.805645e-05,1.804155e-05,1.803114e-05,1.802105e-05,1.800231e-05,1.799859e-05,1.797433e-05,1.797029e-05,1.794839e-05,1.793538e-05,1.792089e-05,1.789785e-05,1.789195e-05,1.786168e-05,1.785797e-05,1.783019e-05,1.781596e-05,1.779756e-05,1.777207e-05,1.776390e-05,1.772930e-05,1.772649e-05,1.769384e-05,1.767943e-05,1.765759e-05,1.763105e-05,1.762064e-05,1.758304e-05,1.758153e-05,1.754488e-05,1.753101e-05,1.750621e-05,1.747965e-05,1.746709e-05,1.742758e-05,1.737491e-05,1.732177e-05,1.726825e-05,1.721446e-05,1.716048e-05,1.710640e-05,1.705229e-05,1.699822e-05,1.694426e-05,1.689046e-05,1.683689e-05,1.678358e-05,1.673059e-05,1.667796e-05,1.662572e-05,1.657391e-05,1.652256e-05,1.647170e-05,1.642135e-05,1.637153e-05,1.632227e-05,1.627358e-05,1.622548e-05,1.617799e-05
0.000000e+00,1.465111e-09,3.398961e-09,1.182247e-08,2.697042e-08,3.934424e-08,8.894680e-08,9.160269e-08,1.757577e-07,2.059916e-07,2.988101e-07,3.942036e-07,4.676895e-07,6.691356e-07,6.888875e-07,9.671493e-07,1.042622e-06,1.303267e-06,1.515330e-06,1.692923e-06,2.074013e-06,2.128411e-06,2.601391e-06,2.699800e-06,3.104260e-06,3.375304e-06,3.630296e-06,4.085615e-06,4.173429e-06,4.728063e-06,4.817519e-06,5.289005e-06,5.559075e-06,5.851467e-06,6.299595e-06,6.411104e-06,6.964048e-06,7.029786e-06,7.506934e-06,7.741865e-06,8.036911e-06,8.429597e-06,8.551630e-06,9.049215e-06,9.088235e-06,9.528230e-06,9.714392e-06,9.987636e-06,1.030586e-05,1.042674e-05,1.084514e-05,1.086145e-05,1.124271e-05,1.138074e-05,1.161950e-05,1.186397e-05,1.197576e-05,1.231186e-05,1.262828e-05,1.272547e-05,1.292558e-05,1.310610e-05,1.320438e-05,1.345523e-05,1.346534e-05,1.370914e-05,1.377442e-05,1.393648e-05,1.406527e-05,1.414806e-05,1.432940e-05,1.434459e-05,1.452675e-05,1.456841e-05,1.469522e-05,1.478383e-05,1.485066e-05,1.497719e-05,1.499372e-05,1.512501e-05,1.514991e-05,1.524513e-05,1.530336e-05,1.535465e-05,1.543886e-05,1.545413e-05,1.554409e-05,1.555763e-05,1.562504e-05,1.566085e-05,1.569747e-05,1.574959e-05,1.576184e-05,1.581858e-05,1.582490e-05,1.586812e-05,1.588774e-05,1.591085e-05,1.593901e-05,1.594715e-05,1.597740e-05,1.597956e-05,1.600192e-05,1.601020e-05,1.602104e-05,1.603165e-05,1.603508e-05,1.604433e-05,1.604461e-05,1.604907e-05,1.604973e-05,1.604957e-05,1.604761e-05,1.604607e-05,1.603881e-05,1.602803e-05,1.602387e-05,1.601394e-05,1.600327e-05,1.599673e-05,1.597747e-05,1.597661e-05,1.595375e-05,1.594689e-05,1.592834e-05,1.591193e-05,1.590053e-05,1.587297e-05,1.587049e-05,1.583835e-05,1.583034e-05,1.580426e-05,1.578436e-05,1.576835e-05,1.573535e-05,1.573075e-05,1.569157e-05,1.568356e-05,1.565094e-05,1.562927e-05,1.560895e-05,1.557271e-05,1.556571e-05,1.552131e-05,1.551411e-05,1.547585e-05,1.545367e-05,1.542940e-05,1.539160e-05,1.538206e-05,1.533390e-05,1.532806e-05,1.528498e-05,1.526324e-05,1.523539e-05,1.519728e-05,1.518518e-05,1.513442e-05,1.513034e-05,1.508317e-05,1.506254e-05,1.503147e-05,1.499401e-05,1.497939e-05,1.492697e-05,1.492487e-05,1.487426e-05,1.485522e-05,1.482131e-05,1.478518e-05,1.476815e-05,1.471482e-05,1.464424e-05,1.457352e-05,1.450273e-05,1.443194e-05,1.436121e-05,1.429060e-05,1.422016e-05,1.414995e-05,1.408002e-05,1.401039e-05,1.394113e-05,1.387225e-05,1.380379e-05,1.373578e-05,1.366826e-05,1.360124e-05,1.353475e-05,1.346881e-05,1.340344e-05,1.333865e-05,1.327446e-05,1.321088e-05,1.314793e-05,1.308561e-05
0.000000e+00,9.422526e-14,7.505960e-13,1.537824e-11,1.072097e-10,2.555650e-10,1.579574e-09,1.684142e-09,6.739756e-09,9.351648e-09,1.980494e-08,3.407421e-08,4.728653e-08,9.236360e-08,9.743127e-08,1.800373e-07,2.058951e-07,3.060914e-07,3.999783e-07,4.871717e-07,7.008978e-07,7.343840e-07,1.056851e-06,1.130946e-06,1.460217e-06,1.702545e-06,1.945771e-06,2.415053e-06,2.510495e-06,3.147866e-06,3.256016e-06,3.849001e-06,4.205246e-06,4.603783e-06,5.239205e-06,5.401760e-06,6.232757e-06,6.334234e-06,7.087229e-06,7.468355e-06,7.956456e-06,8.622091e-06,8.832618e-06,9.708814e-06,9.778725e-06,1.057904e-05,1.092429e-05,1.143817e-05,1.204742e-05,1.228189e-05,1.310665e-05,1.313920e-05,1.390961e-05,1.419290e-05,1.468857e-05,1.520370e-05,1.544189e-05,1.616844e-05,1.686751e-05,1.708534e-05,1.753875e-05,1.795371e-05,1.818213e-05,1.877373e-05,1.879783e-05,1.938627e-05,1.954622e-05,1.994800e-05,2.027250e-05,2.048371e-05,2.095422e-05,2.099414e-05,2.148013e-05,2.159323e-05,2.194254e-05,2.219152e-05,2.238226e-05,2.275115e-05,2.280017e-05,2.319719e-05,2.327416e-05,2.357419e-05,2.376260e-05,2.393203e-05,2.421844e-05,2.427157e-05,2.459362e-05,2.464358e-05,2.489899e-05,2.503986e-05,2.518843e-05,2.540901e-05,2.546268e-05,2.572246e-05,2.575269e-05,2.596843e-05,2.607246e-05,2.620125e-05,2.636978e-05,2.642154e-05,2.662989e-05,2.664605e-05,2.682685e-05,2.690257e-05,2.701298e-05,2.714056e-05,2.718877e-05,2.735473e-05,2.736117e-05,2.751130e-05,2.756546e-05,2.765894e-05,2.775445e-05,2.779807e-05,2.792909e-05,2.805237e-05,2.809024e-05,2.816827e-05,2.823875e-05,2.827715e-05,2.837537e-05,2.837933e-05,2.847513e-05,2.850084e-05,2.856483e-05,2.861584e-05,2.864871e-05,2.872099e-05,2.872706e-05,2.880012e-05,2.881690e-05,2.886814e-05,2.890411e-05,2.893135e-05,2.898316e-05,2.898996e-05,2.904419e-05,2.905453e-05,2.909424e-05,2.911867e-05,2.914029e-05,2.917602e-05,2.918253e-05,2.922114e-05,2.922699e-05,2.925626e-05,2.927194e-05,2.928807e-05,2.931123e-05,2.931672e-05,2.934233e-05,2.934521e-05,2.936506e-05,2.937418e-05,2.938503e-05,2.939843e-05,2.940236e-05,2.941717e-05,2.941825e-05,2.942958e-05,2.943389e-05,2.943969e-05,2.944561e-05,2.944761e-05,2.945343e-05,2.945362e-05,2.945726e-05,2.945816e-05,2.945917e-05,2.945942e-05,2.945926e-05,2.945760e-05,2.945289e-05,2.944544e-05,2.943544e-05,2.942303e-05,2.940835e-05,2.939155e-05,2.937275e-05,2.935208e-05,2.932965e-05,2.930558e-05,2.927997e-05,2.925292e-05,2.922451e-05,2.919485e-05,2.916401e-05,2.913208e-05,2.909913e-05,2.906523e-05,2.903045e-05,2.899486e-05,2.895851e-05,2.892148e-05,2.888380e-05,2.884554e-05
0.000000e+00,1.754806e-12,1.229216e-11,1.949929e-10,1.091349e-09,2.319382e-09,1.086695e-08,1.146345e-08,3.588909e-08,4.680866e-08,8.560445e-08,1.319792e-07,1.712180e-07,2.909004e-07,3.034465e-07,4.929789e-07,5.481633e-07,7.502099e-07,9.273601e-07,1.084371e-06,1.447405e-06,1.502071e-06,2.006106e-06,2.117239e-06,2.595414e-06,2.934333e-06,3.266083e-06,3.888297e-06,4.012578e-06,4.828614e-06,4.965193e-06,5.707570e-06,6.149822e-06,6.642621e-06,7.426338e-06,7.626746e-06,8.652759e-06,8.778349e-06,9.713367e-06,1.018911e-05,1.080126e-05,1.164186e-05,1.190922e-05,1.303025e-05,1.312029e-05,1.415768e-05,1.460903e-05,1.528526e-05,1.609396e-05,1.640724e-05,1.751841e-05,1.756256e-05,1.861412e-05,1.900400e-05,1.969033e-05,2.040922e-05,2.074356e-05,2.177087e-05,2.276985e-05,2.308321e-05,2.373856e-05,2.434194e-05,2.467550e-05,2.554407e-05,2.557959e-05,2.645009e-05,2.668774e-05,2.728655e-05,2.777200e-05,2.808880e-05,2.879671e-05,2.885691e-05,2.959113e-05,2.976234e-05,3.029188e-05,3.066987e-05,3.095970e-05,3.152066e-05,3.159525e-05,3.219929e-05,3.231638e-05,3.277262e-05,3.305890e-05,3.331611e-05,3.375024e-05,3.383066e-05,3.431722e-05,3.439253e-05,3.477671e-05,3.498794e-05,3.521010e-05,3.553865e-05,3.561833e-05,3.600236e-05,3.604687e-05,3.636313e-05,3.651473e-05,3.670155e-05,3.694437e-05,3.701854e-05,3.731498e-05,3.733783e-05,3.759173e-05,3.769711e-05,3.784965e-05,3.802414e-05,3.808955e-05,3.831222e-05,3.832078e-05,3.851843e-05,3.858879e-05,3.870894e-05,3.882987e-05,3.888445e-05,3.904566e-05,3.919325e-05,3.923770e-05,3.932785e-05,3.940746e-05,3.945008e-05,3.955635e-05,3.956055e-05,3.965983e-05,3.968570e-05,3.974846e-05,3.979676e-05,3.982699e-05,3.989073e-05,3.989590e-05,3.995571e-05,3.996876e-05,4.000686e-05,4.003190e-05,4.004982e-05,4.008118e-05,4.008500e-05,4.011283e-05,4.011754e-05,4.013369e-05,4.014191e-05,4.014796e-05,4.015512e-05,4.015601e-05,4.015817e-05,4.015799e-05,4.015479e-05,4.015128e-05,4.014617e-05,4.013570e-05,4.013261e-05,4.011441e-05,4.011193e-05,4.009185e-05,4.008060e-05,4.006518e-05,4.004231e-05,4.003465e-05,4.000051e-05,3.999763e-05,3.996298e-05,3.994707e-05,3.992229e-05,3.989114e-05,3.987863e-05,3.983222e-05,3.983031e-05,3.978324e-05,3.976501e-05,3.973186e-05,3.969565e-05,3.967827e-05,3.962262e-05,3.954629e-05,3.946698e-05,3.938503e-05,3.930071e-05,3.921432e-05,3.912612e-05,3.903633e-05,3.894520e-05,3.885294e-05,3.875973e-05,3.866576e-05,3.857121e-05,3.847623e-05,3.838098e-05,3.828558e-05,3.819017e-05,3.809485e-05,3.799975e-05,3.790496e-05,3.781058e-05,3.771668e-05,3.762335e-05,3.753066e-05,3.743868e-05
0.000000e+00,1.423311e-09,4.615402e-09,2.285244e-08,6.145706e-08,9.535365e-08,2.406296e-07,2.486710e-07,5.108994e-07,6.075227e-07,9.089006e-07,1.223694e-06,1.468591e-06,2.147521e-06,2.214593e-06,3.168106e-06,3.429544e-06,4.342592e-06,5.098329e-06,5.741068e-06,7.153286e-06,7.358715e-06,9.187113e-06,9.577218e-06,1.121614e-05,1.234671e-05,1.343410e-05,1.543341e-05,1.582754e-05,1.838120e-05,1.880354e-05,2.107820e-05,2.241841e-05,2.390048e-05,2.623584e-05,2.682917e-05,2.984512e-05,3.021199e-05,3.292930e-05,3.430317e-05,3.606324e-05,3.846745e-05,3.922934e-05,4.241109e-05,4.266584e-05,4.559332e-05,4.686320e-05,4.876224e-05,5.102865e-05,5.190553e-05,5.501233e-05,5.513570e-05,5.807318e-05,5.916224e-05,6.108000e-05,6.309027e-05,6.402601e-05,6.690560e-05,6.971419e-05,7.059731e-05,7.244809e-05,7.415725e-05,7.510448e-05,7.757981e-05,7.768133e-05,8.017718e-05,8.086137e-05,8.259113e-05,8.400003e-05,8.492283e-05,8.699538e-05,8.717232e-05,8.933997e-05,8.984811e-05,9.142652e-05,9.255992e-05,9.343295e-05,9.513332e-05,9.536052e-05,9.721075e-05,9.757165e-05,9.898516e-05,9.987839e-05,1.006853e-04,1.020572e-04,1.023127e-04,1.038694e-04,1.041120e-04,1.053570e-04,1.060470e-04,1.067773e-04,1.078664e-04,1.081323e-04,1.094237e-04,1.095745e-04,1.106535e-04,1.111756e-04,1.118235e-04,1.126739e-04,1.129356e-04,1.139916e-04,1.140737e-04,1.149932e-04,1.153791e-04,1.159424e-04,1.165942e-04,1.168407e-04,1.176900e-04,1.177230e-04,1.184920e-04,1.187695e-04,1.192483e-04,1.197373e-04,1.199605e-04,1.206303e-04,1.212591e-04,1.214519e-04,1.218485e-04,1.222057e-04,1.224000e-04,1.228951e-04,1.229150e-04,1.233949e-04,1.235232e-04,1.238411e-04,1.240931e-04,1.242548e-04,1.246080e-04,1.246375e-04,1.249902e-04,1.250706e-04,1.253144e-04,1.254838e-04,1.256110e-04,1.258503e-04,1.258814e-04,1.261265e-04,1.261726e-04,1.263474e-04,1.264531e-04,1.265453e-04,1.266944e-04,1.267210e-04,1.268756e-04,1.268985e-04,1.270101e-04,1.270677e-04,1.271252e-04,1.272041e-04,1.272220e-04,1.273012e-04,1.273096e-04,1.273637e-04,1.273862e-04,1.274103e-04,1.274356e-04,1.274418e-04,1.274588e-04,1.274595e-04,1.274621e-04,1.274597e-04,1.274524e-04,1.274377e-04,1.274303e-04,1.273966e-04,1.273950e-04,1.273518e-04,1.273330e-04,1.272964e-04,1.272531e-04,1.272311e-04,1.271565e-04,1.270445e-04,1.269183e-04,1.267789e-04,1.266274e-04,1.264649e-04,1.262922e-04,1.261102e-04,1.259198e-04,1.257218e-04,1.255169e-04,1.253059e-04,1.250894e-04,1.248681e-04,1.246426e-04,1.244134e-04,1.241810e-04,1.239461e-04,1.237089e-04,1.234700e-04,1.232298e-04,1.229887e-04,1.227470e-04,1.225051e-04,1.222633e-04
0.000000e+00,2.373315e-10,9.993349e-10,6.788951e-09,2.128732e-08,3.494694e-08,9.714826e-08,1.006882e-07,2.187789e-07,2.631299e-07,4.030871e-07,5.510159e-07,6.669424e-07,9.911070e-07,1.023319e-06,1.484479e-06,1.611950e-06,2.060503e-06,2.435477e-06,2.756629e-06,3.467420e-06,3.571211e-06,4.496536e-06,4.693957e-06,5.521747e-06,6.090477e-06,6.635246e-06,7.630474e-06,7.825646e-06,9.081878e-06,9.288256e-06,1.039306e-05,1.103878e-05,1.174841e-05,1.285733e-05,1.313728e-05,1.454924e-05,1.471974e-05,1.597417e-05,1.660277e-05,1.740250e-05,1.848475e-05,1.882524e-05,2.023415e-05,2.034604e-05,2.162180e-05,2.216940e-05,2.298160e-05,2.394020e-05,2.430788e-05,2.559579e-05,2.564645e-05,2.684136e-05,2.727876e-05,2.804140e-05,2.883013e-05,2.919342e-05,3.029560e-05,3.134675e-05,3.167223e-05,3.234624e-05,3.295864e-05,3.329377e-05,3.415467e-05,3.418951e-05,3.503402e-05,3.526140e-05,3.582807e-05,3.628068e-05,3.657266e-05,3.721506e-05,3.726903e-05,3.791853e-05,3.806760e-05,3.852265e-05,3.884172e-05,3.908297e-05,3.954112e-05,3.960113e-05,4.007880e-05,4.016962e-05,4.051764e-05,4.073106e-05,4.091935e-05,4.122930e-05,4.128559e-05,4.161802e-05,4.166818e-05,4.191825e-05,4.205140e-05,4.218789e-05,4.238261e-05,4.242848e-05,4.264152e-05,4.266531e-05,4.282849e-05,4.290285e-05,4.299078e-05,4.309847e-05,4.312978e-05,4.324678e-05,4.325523e-05,4.334305e-05,4.337602e-05,4.341979e-05,4.346361e-05,4.347817e-05,4.351930e-05,4.352060e-05,4.354424e-05,4.354945e-05,4.355399e-05,4.355246e-05,4.354954e-05,4.353180e-05,4.350165e-05,4.348952e-05,4.345993e-05,4.342752e-05,4.340743e-05,4.334760e-05,4.334491e-05,4.327310e-05,4.325141e-05,4.319266e-05,4.314053e-05,4.310425e-05,4.301640e-05,4.300849e-05,4.290595e-05,4.288039e-05,4.279719e-05,4.273376e-05,4.268272e-05,4.257767e-05,4.256305e-05,4.243864e-05,4.241322e-05,4.230992e-05,4.224143e-05,4.217732e-05,4.206323e-05,4.204123e-05,4.190202e-05,4.187948e-05,4.176004e-05,4.169100e-05,4.161562e-05,4.149853e-05,4.146906e-05,4.132067e-05,4.130275e-05,4.117071e-05,4.110429e-05,4.101943e-05,4.090374e-05,4.086709e-05,4.071391e-05,4.070163e-05,4.056010e-05,4.049844e-05,4.040586e-05,4.029464e-05,4.025137e-05,4.009681e-05,4.009062e-05,3.994234e-05,3.988678e-05,3.978811e-05,3.968344e-05,3.963426e-05,3.948092e-05,3.927951e-05,3.907946e-05,3.888099e-05,3.868433e-05,3.848964e-05,3.829711e-05,3.810687e-05,3.791906e-05,3.773379e-05,3.755117e-05,3.737127e-05,3.719417e-05,3.701993e-05,3.684861e-05,3.668025e-05,3.651487e-05,3.635251e-05,3.619318e-05,3.603688e-05,3.588363e-05,3.573343e-05,3.558625e-05,3.544210e-05,3.530096e-05
0.000000e+00,1.580257e-09,3.700352e-09,1.301444e-08,2.987791e-08,4.370571e-08,9.938000e-08,1.023685e-07,1.973075e-07,2.315035e-07,3.366934e-07,4.450773e-07,5.287512e-07,7.590597e-07,7.817296e-07,1.103411e-06,1.191572e-06,1.499827e-06,1.755487e-06,1.973116e-06,2.450474e-06,2.519669e-06,3.130507e-06,3.259375e-06,3.793979e-06,4.155890e-06,4.498493e-06,5.114445e-06,5.233781e-06,5.991049e-06,6.113732e-06,6.762725e-06,7.136269e-06,7.542178e-06,8.167379e-06,8.323548e-06,9.101643e-06,9.194571e-06,9.871892e-06,1.020727e-05,1.063031e-05,1.119669e-05,1.137350e-05,1.209859e-05,1.215575e-05,1.280324e-05,1.307894e-05,1.348556e-05,1.396219e-05,1.414413e-05,1.477788e-05,1.480270e-05,1.538610e-05,1.559872e-05,1.596838e-05,1.634941e-05,1.652454e-05,1.705463e-05,1.755886e-05,1.771482e-05,1.803762e-05,1.833086e-05,1.849136e-05,1.890396e-05,1.892067e-05,1.932618e-05,1.943555e-05,1.970858e-05,1.992724e-05,2.006862e-05,2.038074e-05,2.040703e-05,2.072460e-05,2.079781e-05,2.102211e-05,2.118023e-05,2.130032e-05,2.152980e-05,2.156001e-05,2.180195e-05,2.184828e-05,2.202689e-05,2.213738e-05,2.223555e-05,2.239877e-05,2.242865e-05,2.260690e-05,2.263408e-05,2.277096e-05,2.284487e-05,2.292150e-05,2.303262e-05,2.305914e-05,2.318451e-05,2.319876e-05,2.329819e-05,2.334465e-05,2.340075e-05,2.347159e-05,2.349273e-05,2.357468e-05,2.358082e-05,2.364708e-05,2.367349e-05,2.371044e-05,2.375071e-05,2.376521e-05,2.381183e-05,2.381354e-05,2.385075e-05,2.386295e-05,2.388237e-05,2.389990e-05,2.390708e-05,2.392525e-05,2.393726e-05,2.393985e-05,2.394343e-05,2.394448e-05,2.394411e-05,2.393987e-05,2.393960e-05,2.393020e-05,2.392673e-05,2.391620e-05,2.390570e-05,2.389787e-05,2.387741e-05,2.387548e-05,2.384926e-05,2.384243e-05,2.381947e-05,2.380131e-05,2.378633e-05,2.375455e-05,2.375004e-05,2.371082e-05,2.370264e-05,2.366887e-05,2.364603e-05,2.362436e-05,2.358513e-05,2.357747e-05,2.352839e-05,2.352034e-05,2.347725e-05,2.345203e-05,2.342422e-05,2.338054e-05,2.336945e-05,2.331307e-05,2.330620e-05,2.325520e-05,2.322931e-05,2.319599e-05,2.315015e-05,2.313554e-05,2.307396e-05,2.306899e-05,2.301137e-05,2.298607e-05,2.294786e-05,2.290162e-05,2.288353e-05,2.281847e-05,2.281586e-05,2.275277e-05,2.272898e-05,2.268651e-05,2.264117e-05,2.261976e-05,2.255260e-05,2.246344e-05,2.237383e-05,2.228390e-05,2.219380e-05,2.210363e-05,2.201350e-05,2.192352e-05,2.183379e-05,2.174437e-05,2.165537e-05,2.156684e-05,2.147886e-05,2.139148e-05,2.130476e-05,2.121876e-05,2.113351e-05,2.104906e-05,2.096545e-05,2.088271e-05,2.080087e-05,2.071995e-05,2.064000e-05,2.056101e-05,2.048301e-05
0.000000e+00,3.602155e-15,3.225763e-14,8.429404e-13,7.338467e-12,1.976382e-11,1.673918e-10,1.807721e-10,9.877364e-10,1.490984e-09,3.898307e-09,7.943007e-09,1.229878e-08,3.060737e-08,3.295331e-08,7.797371e-08,9.441727e-08,1.673232e-07,2.476645e-07,3.318105e-07,5.740495e-07,6.164405e-07,1.083899e-06,1.206292e-06,1.817896e-06,2.339629e-06,2.926102e-06,4.243368e-06,4.542461e-06,6.828723e-06,7.269002e-06,9.975098e-06,1.185395e-05,1.420001e-05,1.852059e-05,1.974895e-05,2.689249e-05,2.787057e-05,3.592349e-05,4.057480e-05,4.715363e-05,5.735980e-05,6.090941e-05,7.752752e-05,7.899085e-05,9.734999e-05,1.062530e-04,1.207190e-04,1.399304e-04,1.479717e-04,1.794349e-04,1.807855e-04,2.154197e-04,2.295379e-04,2.562169e-04,2.868445e-04,3.020920e-04,3.532810e-04,4.099867e-04,4.293259e-04,4.723754e-04,5.153470e-04,5.405742e-04,6.115909e-04,6.146686e-04,6.947014e-04,7.181758e-04,7.806720e-04,8.350876e-04,8.725354e-04,9.621792e-04,9.702034e-04,1.073545e-03,1.099173e-03,1.182388e-03,1.245666e-03,1.296521e-03,1.401138e-03,1.415696e-03,1.539632e-03,1.564963e-03,1.668014e-03,1.736418e-03,1.800502e-03,1.914698e-03,1.936730e-03,2.076314e-03,2.098932e-03,2.218849e-03,2.288193e-03,2.363921e-03,2.481518e-03,2.511103e-03,2.659964e-03,2.677919e-03,2.810069e-03,2.876398e-03,2.960986e-03,3.075960e-03,3.112284e-03,3.263540e-03,3.275626e-03,3.414341e-03,3.474444e-03,3.564285e-03,3.671497e-03,3.712986e-03,3.860071e-03,3.865916e-03,4.005188e-03,4.056883e-03,4.148001e-03,4.243637e-03,4.288197e-03,4.425482e-03,4.559587e-03,4.601787e-03,4.690261e-03,4.771988e-03,4.817280e-03,4.935591e-03,4.940441e-03,5.059563e-03,5.092171e-03,5.174489e-03,5.241372e-03,5.285082e-03,5.382904e-03,5.391230e-03,5.492839e-03,5.516541e-03,5.589835e-03,5.642118e-03,5.682167e-03,5.759530e-03,5.769797e-03,5.852709e-03,5.868725e-03,5.930902e-03,5.969701e-03,6.004390e-03,6.062505e-03,6.073202e-03,6.137382e-03,6.147224e-03,6.196983e-03,6.223985e-03,6.252073e-03,6.292947e-03,6.302727e-03,6.349033e-03,6.354301e-03,6.391083e-03,6.408264e-03,6.428981e-03,6.455072e-03,6.462834e-03,6.492756e-03,6.494983e-03,6.518866e-03,6.528269e-03,6.541286e-03,6.555215e-03,6.560143e-03,6.575564e-03,6.576111e-03,6.587680e-03,6.591259e-03,6.596624e-03,6.600960e-03,6.602526e-03,6.605518e-03,6.605237e-03,6.600416e-03,6.591353e-03,6.578337e-03,6.561656e-03,6.541584e-03,6.518390e-03,6.492334e-03,6.463666e-03,6.432623e-03,6.399436e-03,6.364320e-03,6.327484e-03,6.289124e-03,6.249425e-03,6.208562e-03,6.166699e-03,6.123990e-03,6.080580e-03,6.036603e-03,5.992183e-03,5.947437e-03,5.902472e-03,5.857388e-03
0.000000e+00,1.135635e-15,1.015440e-14,2.645094e-13,2.296055e-12,6.173729e-12,5.207059e-11,5.622320e-11,3.059221e-10,4.612621e-10,1.202548e-09,2.444535e-09,3.779267e-09,9.372812e-09,1.008821e-08,2.378373e-08,2.877476e-08,5.085919e-08,7.514013e-08,1.005307e-07,1.734902e-07,1.862445e-07,3.267557e-07,3.635216e-07,5.471964e-07,7.038750e-07,8.800255e-07,1.275843e-06,1.365749e-06,2.053326e-06,2.185791e-06,3.000196e-06,3.565754e-06,4.271926e-06,5.572012e-06,5.941471e-06,8.088108e-06,8.381723e-06,1.079608e-05,1.218792e-05,1.415303e-05,1.719331e-05,1.824830e-05,2.317113e-05,2.360334e-05,2.900887e-05,3.161906e-05,3.584525e-05,4.143009e-05,4.375870e-05,5.282087e-05,5.320818e-05,6.309528e-05,6.710157e-05,7.463617e-05,8.323032e-05,8.748761e-05,1.016828e-04,1.172434e-04,1.225132e-04,1.341798e-04,1.457408e-04,1.524903e-04,1.713491e-04,1.721618e-04,1.931701e-04,1.992875e-04,2.154802e-04,2.294728e-04,2.390470e-04,2.617915e-04,2.638158e-04,2.897236e-04,2.961032e-04,3.166996e-04,3.322442e-04,3.446665e-04,3.700309e-04,3.735409e-04,4.032349e-04,4.092641e-04,4.336568e-04,4.497326e-04,4.647121e-04,4.912175e-04,4.963044e-04,5.283363e-04,5.334957e-04,5.607105e-04,5.763433e-04,5.933303e-04,6.195386e-04,6.261001e-04,6.589267e-04,6.628654e-04,6.917195e-04,7.061150e-04,7.243909e-04,7.490882e-04,7.568570e-04,7.890380e-04,7.915978e-04,8.208581e-04,8.334691e-04,8.522465e-04,8.745413e-04,8.831367e-04,9.134675e-04,9.146682e-04,9.431823e-04,9.537188e-04,9.722299e-04,9.915772e-04,1.000564e-03,1.028142e-03,1.054930e-03,1.063329e-03,1.080893e-03,1.097065e-03,1.106006e-03,1.129293e-03,1.130245e-03,1.153593e-03,1.159968e-03,1.176034e-03,1.189060e-03,1.197559e-03,1.216547e-03,1.218161e-03,1.237835e-03,1.242419e-03,1.256583e-03,1.266679e-03,1.274408e-03,1.289333e-03,1.291313e-03,1.307309e-03,1.310400e-03,1.322405e-03,1.329903e-03,1.336613e-03,1.347874e-03,1.349949e-03,1.362429e-03,1.364347e-03,1.374070e-03,1.379365e-03,1.384890e-03,1.392970e-03,1.394912e-03,1.404154e-03,1.405212e-03,1.412640e-03,1.416140e-03,1.420392e-03,1.425806e-03,1.427432e-03,1.433785e-03,1.434264e-03,1.439474e-03,1.441570e-03,1.444524e-03,1.447777e-03,1.448957e-03,1.452799e-03,1.452941e-03,1.456073e-03,1.457117e-03,1.458803e-03,1.460360e-03,1.461012e-03,1.462723e-03,1.464259e-03,1.465019e-03,1.465053e-03,1.464409e-03,1.463134e-03,1.461273e-03,1.458870e-03,1.455966e-03,1.452600e-03,1.448811e-03,1.444634e-03,1.440103e-03,1.435250e-03,1.430107e-03,1.424702e-03,1.419063e-03,1.413214e-03,1.407180e-03,1.400983e-03,1.394644e-03,1.388183e-03,1.381618e-03,1.374967e-03,1.368244e-03
0.000000e+00,5.879971e-14,4.896770e-13,1.099474e-11,8.326052e-11,2.076305e-10,1.440291e-09,1.542812e-09,6.912009e-09,9.886777e-09,2.259038e-08,4.130922e-08,5.963765e-08,1.271537e-07,1.351265e-07,2.730448e-07,3.187427e-07,5.043875e-07,6.882301e-07,8.657194e-07,1.322202e-06,1.396035e-06,2.132705e-06,2.307746e-06,3.107742e-06,3.717332e-06,4.345292e-06,5.599101e-06,5.860577e-06,7.660070e-06,7.974375e-06,9.742470e-06,1.084043e-05,1.209996e-05,1.417543e-05,1.471954e-05,1.758419e-05,1.794350e-05,2.067386e-05,2.209892e-05,2.396626e-05,2.658944e-05,2.743754e-05,3.106286e-05,3.135878e-05,3.481687e-05,3.634881e-05,3.867417e-05,4.150131e-05,4.260974e-05,4.659931e-05,4.675968e-05,5.061969e-05,5.207032e-05,5.464906e-05,5.738378e-05,5.866719e-05,6.265561e-05,6.659769e-05,6.784691e-05,7.047870e-05,7.292450e-05,7.428581e-05,7.786090e-05,7.800804e-05,8.163616e-05,8.263410e-05,8.516260e-05,8.722708e-05,8.858131e-05,9.162737e-05,9.188766e-05,9.507824e-05,9.582647e-05,9.815075e-05,9.981925e-05,1.011039e-04,1.036035e-04,1.039371e-04,1.066507e-04,1.071792e-04,1.092456e-04,1.105484e-04,1.117230e-04,1.137146e-04,1.140848e-04,1.163331e-04,1.166825e-04,1.184705e-04,1.194577e-04,1.204994e-04,1.220464e-04,1.224228e-04,1.242435e-04,1.244552e-04,1.259646e-04,1.266911e-04,1.275892e-04,1.287613e-04,1.291204e-04,1.305614e-04,1.306729e-04,1.319153e-04,1.324331e-04,1.331851e-04,1.340491e-04,1.343740e-04,1.354848e-04,1.355277e-04,1.365207e-04,1.368759e-04,1.374846e-04,1.381002e-04,1.383791e-04,1.392072e-04,1.399715e-04,1.402030e-04,1.406746e-04,1.410936e-04,1.413191e-04,1.418849e-04,1.419074e-04,1.424420e-04,1.425824e-04,1.429252e-04,1.431914e-04,1.433592e-04,1.437170e-04,1.437462e-04,1.440884e-04,1.441640e-04,1.443876e-04,1.445373e-04,1.446460e-04,1.448410e-04,1.448654e-04,1.450475e-04,1.450797e-04,1.451943e-04,1.452572e-04,1.453073e-04,1.453773e-04,1.453882e-04,1.454386e-04,1.454439e-04,1.454599e-04,1.454603e-04,1.454537e-04,1.454298e-04,1.454213e-04,1.453641e-04,1.453557e-04,1.452834e-04,1.452408e-04,1.451804e-04,1.450879e-04,1.450563e-04,1.449122e-04,1.448998e-04,1.447493e-04,1.446790e-04,1.445685e-04,1.444279e-04,1.443710e-04,1.441576e-04,1.441488e-04,1.439294e-04,1.438438e-04,1.436872e-04,1.435149e-04,1.434318e-04,1.431640e-04,1.427931e-04,1.424037e-04,1.419976e-04,1.415761e-04,1.411409e-04,1.406931e-04,1.402342e-04,1.397652e-04,1.392874e-04,1.388018e-04,1.383093e-04,1.378110e-04,1.373077e-04,1.368002e-04,1.362893e-04,1.357757e-04,1.352601e-04,1.347432e-04,1.342255e-04,1.337076e-04,1.331900e-04,1.326732e-04,1.321576e-04,1.316436e-04
0.000000e+00,2.065854e-09,7.507970e-09,4.231503e-08,1.210602e-07,1.924030e-07,5.099328e-07,5.279361e-07,1.134875e-06,1.367436e-06,2.120743e-06,2.948508e-06,3.617478e-06,5.556711e-06,5.753065e-06,8.579655e-06,9.355569e-06,1.203191e-05,1.419132e-05,1.598309e-05,1.977843e-05,2.031521e-05,2.493935e-05,2.589309e-05,2.978890e-05,3.238151e-05,3.480987e-05,3.912525e-05,3.995498e-05,4.518063e-05,4.602145e-05,5.044595e-05,5.297604e-05,5.571266e-05,5.990318e-05,6.094544e-05,6.611248e-05,6.672673e-05,7.118566e-05,7.338174e-05,7.614074e-05,7.981498e-05,8.095741e-05,8.561910e-05,8.598493e-05,9.011279e-05,9.186093e-05,9.442869e-05,9.742208e-05,9.855994e-05,1.025024e-04,1.026561e-04,1.062535e-04,1.075570e-04,1.098131e-04,1.121245e-04,1.131820e-04,1.163629e-04,1.193591e-04,1.202796e-04,1.221749e-04,1.238846e-04,1.248152e-04,1.271896e-04,1.272852e-04,1.295907e-04,1.302076e-04,1.317375e-04,1.329520e-04,1.337317e-04,1.354368e-04,1.355793e-04,1.372865e-04,1.376760e-04,1.388594e-04,1.396837e-04,1.403038e-04,1.414735e-04,1.416259e-04,1.428312e-04,1.430588e-04,1.439255e-04,1.444525e-04,1.449143e-04,1.456671e-04,1.458028e-04,1.465962e-04,1.467147e-04,1.472995e-04,1.476066e-04,1.479176e-04,1.483537e-04,1.484549e-04,1.489160e-04,1.489664e-04,1.493051e-04,1.494546e-04,1.496264e-04,1.498276e-04,1.498837e-04,1.500808e-04,1.500941e-04,1.502214e-04,1.502626e-04,1.503089e-04,1.503408e-04,1.503465e-04,1.503374e-04,1.503361e-04,1.502846e-04,1.502555e-04,1.501910e-04,1.501054e-04,1.500593e-04,1.498921e-04,1.496918e-04,1.496212e-04,1.494609e-04,1.492980e-04,1.492015e-04,1.489277e-04,1.489158e-04,1.486058e-04,1.485149e-04,1.482734e-04,1.480639e-04,1.479204e-04,1.475790e-04,1.475486e-04,1.471595e-04,1.470637e-04,1.467547e-04,1.465218e-04,1.463358e-04,1.459564e-04,1.459040e-04,1.454606e-04,1.453707e-04,1.450070e-04,1.447674e-04,1.445443e-04,1.441493e-04,1.440735e-04,1.435957e-04,1.435186e-04,1.431118e-04,1.428777e-04,1.426229e-04,1.422287e-04,1.421297e-04,1.416331e-04,1.415734e-04,1.411339e-04,1.409135e-04,1.406326e-04,1.402508e-04,1.401301e-04,1.396269e-04,1.395867e-04,1.391237e-04,1.389224e-04,1.386209e-04,1.382594e-04,1.381190e-04,1.376187e-04,1.375987e-04,1.371202e-04,1.369413e-04,1.366240e-04,1.362881e-04,1.361305e-04,1.356401e-04,1.349979e-04,1.343622e-04,1.337337e-04,1.331129e-04,1.325003e-04,1.318962e-04,1.313011e-04,1.307153e-04,1.301391e-04,1.295727e-04,1.290163e-04,1.284700e-04,1.279340e-04,1.274084e-04,1.268933e-04,1.263886e-04,1.258944e-04,1.254107e-04,1.249375e-04,1.244748e-04,1.240224e-04,1.235803e-04,1.231485e-04,1.227268e-04
0.000000e+00,8.153141e-16,7.303738e-15,1.910030e-13,1.664083e-12,4.483553e-12,3.801564e-11,4.105621e-11,2.245705e-10,3.390825e-10,8.871456e-10,1.808474e-09,2.800980e-09,6.974120e-09,7.508910e-09,1.777251e-08,2.152120e-08,3.814038e-08,5.645216e-08,7.562956e-08,1.308361e-07,1.404976e-07,2.470625e-07,2.749732e-07,4.145117e-07,5.336351e-07,6.676352e-07,9.689492e-07,1.037424e-06,1.561490e-06,1.662530e-06,2.284269e-06,2.716580e-06,3.257013e-06,4.253827e-06,4.537539e-06,6.189768e-06,6.416256e-06,8.283061e-06,9.362754e-06,1.089138e-05,1.326577e-05,1.409228e-05,1.796584e-05,1.830721e-05,2.259338e-05,2.467378e-05,2.805631e-05,3.255197e-05,3.443476e-05,4.180636e-05,4.212294e-05,5.024499e-05,5.355756e-05,5.981962e-05,6.701166e-05,7.059322e-05,8.262181e-05,9.595357e-05,1.005017e-04,1.106282e-04,1.207391e-04,1.266761e-04,1.433938e-04,1.441184e-04,1.629664e-04,1.684961e-04,1.832212e-04,1.960463e-04,2.048743e-04,2.260145e-04,2.279073e-04,2.522921e-04,2.583417e-04,2.779918e-04,2.929413e-04,3.049606e-04,3.297005e-04,3.331448e-04,3.624829e-04,3.684831e-04,3.929070e-04,4.091324e-04,4.243430e-04,4.514733e-04,4.567116e-04,4.899287e-04,4.953164e-04,5.239069e-04,5.404603e-04,5.585557e-04,5.866953e-04,5.937823e-04,6.294928e-04,6.338061e-04,6.655924e-04,6.815750e-04,7.019863e-04,7.297846e-04,7.385805e-04,7.752820e-04,7.782200e-04,8.119998e-04,8.266715e-04,8.486450e-04,8.749362e-04,8.851316e-04,9.213765e-04,9.228201e-04,9.573003e-04,9.701395e-04,9.928272e-04,1.016722e-03,1.027886e-03,1.062408e-03,1.096331e-03,1.107050e-03,1.129596e-03,1.150515e-03,1.162149e-03,1.192684e-03,1.193941e-03,1.224926e-03,1.233452e-03,1.255064e-03,1.272725e-03,1.284320e-03,1.310428e-03,1.312661e-03,1.340060e-03,1.346494e-03,1.366496e-03,1.380871e-03,1.391948e-03,1.413520e-03,1.416401e-03,1.439845e-03,1.444412e-03,1.462271e-03,1.473529e-03,1.483676e-03,1.500865e-03,1.504057e-03,1.523417e-03,1.526420e-03,1.541761e-03,1.550206e-03,1.559094e-03,1.572240e-03,1.575427e-03,1.590772e-03,1.592547e-03,1.605142e-03,1.611159e-03,1.618552e-03,1.628113e-03,1.631021e-03,1.642567e-03,1.643451e-03,1.653209e-03,1.657218e-03,1.662970e-03,1.669464e-03,1.671871e-03,1.679935e-03,1.680241e-03,1.687187e-03,1.689604e-03,1.693651e-03,1.697609e-03,1.699351e-03,1.704314e-03,1.709777e-03,1.714059e-03,1.717217e-03,1.719312e-03,1.720401e-03,1.720543e-03,1.719793e-03,1.718209e-03,1.715843e-03,1.712749e-03,1.708978e-03,1.704579e-03,1.699601e-03,1.694088e-03,1.688084e-03,1.681633e-03,1.674773e-03,1.667543e-03,1.659980e-03,1.652119e-03,1.643990e-03,1.635627e-03,1.627057e-03,1.618309e-03
0.000000e+00,5.246564e-16,4.667804e-15,1.203257e-13,1.034478e-12,2.766823e-12,2.301731e-11,2.483903e-11,1.333304e-10,2.002982e-10,5.174683e-10,1.044354e-09,1.607157e-09,3.946286e-09,4.243989e-09,9.908322e-09,1.196133e-08,2.100272e-08,3.088889e-08,4.118519e-08,7.060828e-08,7.573224e-08,1.318945e-07,1.465163e-07,2.191962e-07,2.807797e-07,3.496304e-07,5.030778e-07,5.377167e-07,8.004067e-07,8.506115e-07,1.156843e-06,1.367329e-06,1.627986e-06,2.102446e-06,2.236139e-06,3.004396e-06,3.108454e-06,3.956059e-06,4.438824e-06,5.114032e-06,6.145613e-06,6.500239e-06,8.135069e-06,8.277161e-06,1.003688e-05,1.087602e-05,1.222159e-05,1.397722e-05,1.470229e-05,1.748898e-05,1.760692e-05,2.058842e-05,2.178153e-05,2.400397e-05,2.650722e-05,2.773558e-05,3.177986e-05,3.613013e-05,3.758533e-05,4.077664e-05,4.390015e-05,4.570675e-05,5.069231e-05,5.090519e-05,5.635435e-05,5.792242e-05,6.203458e-05,6.554480e-05,6.792449e-05,7.350885e-05,7.400131e-05,8.024118e-05,8.176028e-05,8.661947e-05,9.024243e-05,9.311109e-05,9.889743e-05,9.969081e-05,1.063334e-04,1.076673e-04,1.130142e-04,1.164952e-04,1.197088e-04,1.253258e-04,1.263938e-04,1.330466e-04,1.341066e-04,1.396456e-04,1.427881e-04,1.461707e-04,1.513247e-04,1.526028e-04,1.589243e-04,1.596747e-04,1.651190e-04,1.678006e-04,1.711721e-04,1.756695e-04,1.770703e-04,1.828018e-04,1.832528e-04,1.883562e-04,1.905263e-04,1.937246e-04,1.974703e-04,1.988993e-04,2.038741e-04,2.040689e-04,2.086441e-04,2.103104e-04,2.132054e-04,2.161866e-04,2.175555e-04,2.216927e-04,2.256165e-04,2.268271e-04,2.293273e-04,2.315909e-04,2.328262e-04,2.359876e-04,2.361152e-04,2.391969e-04,2.400231e-04,2.420747e-04,2.437050e-04,2.447524e-04,2.470428e-04,2.472342e-04,2.495251e-04,2.500470e-04,2.516300e-04,2.527296e-04,2.535544e-04,2.551031e-04,2.553040e-04,2.568847e-04,2.571811e-04,2.583025e-04,2.589774e-04,2.595635e-04,2.605061e-04,2.606740e-04,2.616402e-04,2.617818e-04,2.624684e-04,2.628188e-04,2.631649e-04,2.636314e-04,2.637359e-04,2.641874e-04,2.642339e-04,2.645256e-04,2.646400e-04,2.647564e-04,2.648635e-04,2.648855e-04,2.649186e-04,2.649173e-04,2.648614e-04,2.648143e-04,2.647190e-04,2.645667e-04,2.644967e-04,2.641996e-04,2.641862e-04,2.638323e-04,2.636839e-04,2.633998e-04,2.630706e-04,2.629063e-04,2.623562e-04,2.615505e-04,2.606625e-04,2.597006e-04,2.586727e-04,2.575865e-04,2.564489e-04,2.552663e-04,2.540448e-04,2.527900e-04,2.515071e-04,2.502009e-04,2.488758e-04,2.475360e-04,2.461851e-04,2.448266e-04,2.434636e-04,2.420990e-04,2.407354e-04,2.393751e-04,2.380203e-04,2.366729e-04,2.353347e-04,2.340072e-04,2.326918e-04
0.000000e+00,7.663597e-11,3.947286e-10,3.614211e-09,1.347503e-08,2.369411e-08,7.450982e-08,7.752049e-08,1.814524e-07,2.216188e-07,3.506447e-07,4.894795e-07,5.994435e-07,9.104140e-07,9.415194e-07,1.389494e-06,1.514006e-06,1.953969e-06,2.323783e-06,2.641971e-06,3.350964e-06,3.455012e-06,4.387145e-06,4.586735e-06,5.423839e-06,5.997047e-06,6.542692e-06,7.526153e-06,7.716489e-06,8.917600e-06,9.110619e-06,1.012170e-05,1.069488e-05,1.130955e-05,1.223849e-05,1.246702e-05,1.358421e-05,1.371522e-05,1.465441e-05,1.510923e-05,1.567330e-05,1.641168e-05,1.663827e-05,1.754807e-05,1.761845e-05,1.840238e-05,1.872865e-05,1.920168e-05,1.974367e-05,1.994699e-05,2.063979e-05,2.066643e-05,2.128185e-05,2.150095e-05,2.187518e-05,2.225190e-05,2.242192e-05,2.292431e-05,2.338462e-05,2.352341e-05,2.380512e-05,2.405439e-05,2.418805e-05,2.452232e-05,2.453557e-05,2.484981e-05,2.493212e-05,2.513283e-05,2.528846e-05,2.538657e-05,2.559575e-05,2.561289e-05,2.581360e-05,2.585815e-05,2.599039e-05,2.607954e-05,2.614485e-05,2.626352e-05,2.627851e-05,2.639279e-05,2.641344e-05,2.648903e-05,2.653238e-05,2.656851e-05,2.662318e-05,2.663241e-05,2.668185e-05,2.668849e-05,2.671789e-05,2.673072e-05,2.674151e-05,2.675208e-05,2.675362e-05,2.675511e-05,2.675462e-05,2.674678e-05,2.674020e-05,2.672939e-05,2.671055e-05,2.670365e-05,2.667022e-05,2.666724e-05,2.662974e-05,2.661169e-05,2.658277e-05,2.654524e-05,2.652986e-05,2.647153e-05,2.646909e-05,2.640824e-05,2.638433e-05,2.634045e-05,2.629198e-05,2.626855e-05,2.619295e-05,2.611399e-05,2.608808e-05,2.603203e-05,2.597813e-05,2.594736e-05,2.586380e-05,2.586028e-05,2.577106e-05,2.574573e-05,2.567996e-05,2.562450e-05,2.558722e-05,2.550063e-05,2.549305e-05,2.539765e-05,2.537459e-05,2.530122e-05,2.524684e-05,2.520394e-05,2.511775e-05,2.510596e-05,2.500744e-05,2.498769e-05,2.490853e-05,2.485698e-05,2.480934e-05,2.472591e-05,2.471001e-05,2.461065e-05,2.459476e-05,2.451136e-05,2.446375e-05,2.441223e-05,2.433310e-05,2.431335e-05,2.421482e-05,2.420302e-05,2.411669e-05,2.407367e-05,2.401905e-05,2.394520e-05,2.392195e-05,2.382546e-05,2.381777e-05,2.372962e-05,2.369148e-05,2.363449e-05,2.356646e-05,2.354011e-05,2.344651e-05,2.344279e-05,2.335375e-05,2.332056e-05,2.326184e-05,2.319985e-05,2.317083e-05,2.308073e-05,2.296324e-05,2.284744e-05,2.273337e-05,2.262106e-05,2.251053e-05,2.240182e-05,2.229493e-05,2.218989e-05,2.208669e-05,2.198534e-05,2.188585e-05,2.178821e-05,2.169241e-05,2.159845e-05,2.150631e-05,2.141599e-05,2.132747e-05,2.124073e-05,2.115576e-05,2.107254e-05,2.099105e-05,2.091126e-05,2.083316e-05,2.075673e-05
0.000000e+00,3.160877e-16,2.806368e-15,7.204805e-14,6.172856e-13,1.648049e-12,1.365135e-11,1.472935e-11,7.876195e-11,1.182065e-10,3.046703e-10,6.137820e-10,9.434813e-10,2.311021e-09,2.484857e-09,5.787141e-09,6.982282e-09,1.223861e-08,1.797679e-08,2.394576e-08,4.097519e-08,4.393765e-08,7.636746e-08,8.480129e-08,1.266877e-07,1.621491e-07,2.017774e-07,2.900733e-07,3.100055e-07,4.612252e-07,4.901436e-07,6.666956e-07,7.882254e-07,9.389408e-07,1.213919e-06,1.291553e-06,1.738949e-06,1.799714e-06,2.296103e-06,2.579943e-06,2.978243e-06,3.589616e-06,3.800558e-06,4.777887e-06,4.863201e-06,5.924434e-06,6.433446e-06,7.253487e-06,8.330274e-06,8.777173e-06,1.050624e-05,1.057981e-05,1.244985e-05,1.320357e-05,1.461547e-05,1.621785e-05,1.700871e-05,1.963327e-05,2.249090e-05,2.345458e-05,2.558138e-05,2.768057e-05,2.890255e-05,3.230418e-05,3.245037e-05,3.621901e-05,3.731281e-05,4.020092e-05,4.268870e-05,4.438697e-05,4.840938e-05,4.876661e-05,5.332796e-05,5.444831e-05,5.805805e-05,6.077542e-05,6.294289e-05,6.735784e-05,6.796770e-05,7.311706e-05,7.416048e-05,7.837504e-05,8.114673e-05,8.372538e-05,8.827904e-05,8.915166e-05,9.463740e-05,9.551954e-05,1.001662e-04,1.028305e-04,1.057219e-04,1.101751e-04,1.112885e-04,1.168508e-04,1.175172e-04,1.223936e-04,1.248226e-04,1.279027e-04,1.320586e-04,1.333643e-04,1.387655e-04,1.391946e-04,1.440939e-04,1.462023e-04,1.493380e-04,1.530557e-04,1.544873e-04,1.595318e-04,1.597312e-04,1.644625e-04,1.662081e-04,1.692712e-04,1.724677e-04,1.739506e-04,1.784941e-04,1.828961e-04,1.842739e-04,1.871515e-04,1.897961e-04,1.912562e-04,1.950517e-04,1.952067e-04,1.990004e-04,2.000342e-04,2.026351e-04,2.047389e-04,2.061093e-04,2.091632e-04,2.094223e-04,2.125737e-04,2.133060e-04,2.155638e-04,2.171681e-04,2.183934e-04,2.207515e-04,2.210635e-04,2.235760e-04,2.240597e-04,2.259326e-04,2.270973e-04,2.281358e-04,2.298699e-04,2.301883e-04,2.320929e-04,2.323841e-04,2.338528e-04,2.346471e-04,2.354714e-04,2.366670e-04,2.369524e-04,2.382994e-04,2.384522e-04,2.395163e-04,2.400116e-04,2.406072e-04,2.413544e-04,2.415760e-04,2.424270e-04,2.424901e-04,2.431643e-04,2.434284e-04,2.437922e-04,2.441789e-04,2.443148e-04,2.447365e-04,2.447513e-04,2.450614e-04,2.451554e-04,2.452936e-04,2.454008e-04,2.454375e-04,2.454969e-04,2.454531e-04,2.452782e-04,2.449814e-04,2.445709e-04,2.440553e-04,2.434424e-04,2.427398e-04,2.419551e-04,2.410951e-04,2.401667e-04,2.391761e-04,2.381294e-04,2.370325e-04,2.358907e-04,2.347091e-04,2.334925e-04,2.322455e-04,2.309724e-04,2.296771e-04,2.283632e-04,2.270344e-04,2.256937e-04,2.243443e-04,2.229888e-04
0.000000e+00,1.426671e-11,7.714898e-11,7.653894e-10,3.008588e-09,5.411230e-09,1.776567e-08,1.850904e-08,4.451156e-08,5.466530e-08,8.746450e-08,1.229184e-07,1.510542e-07,2.307154e-07,2.386869e-07,3.535324e-07,3.854724e-07,4.984607e-07,5.936520e-07,6.757588e-07,8.595115e-07,8.865803e-07,1.130430e-06,1.183000e-06,1.405197e-06,1.559281e-06,1.707773e-06,1.980916e-06,2.034724e-06,2.382643e-06,2.440035e-06,2.748243e-06,2.929071e-06,3.128330e-06,3.440724e-06,3.519772e-06,3.919504e-06,3.967886e-06,4.324534e-06,4.503679e-06,4.731984e-06,5.041580e-06,5.139127e-06,5.543420e-06,5.575569e-06,5.942540e-06,6.100264e-06,6.334404e-06,6.611017e-06,6.717185e-06,7.089318e-06,7.103962e-06,7.449496e-06,7.576022e-06,7.796663e-06,8.024878e-06,8.130000e-06,8.448906e-06,8.752981e-06,8.847112e-06,9.042001e-06,9.219036e-06,9.315898e-06,9.564673e-06,9.574739e-06,9.818705e-06,9.884386e-06,1.004807e-05,1.017883e-05,1.026319e-05,1.044888e-05,1.046448e-05,1.065240e-05,1.069557e-05,1.082745e-05,1.092004e-05,1.099014e-05,1.112352e-05,1.114102e-05,1.128062e-05,1.130724e-05,1.140950e-05,1.147246e-05,1.152819e-05,1.162041e-05,1.163722e-05,1.173712e-05,1.175229e-05,1.182839e-05,1.186927e-05,1.191151e-05,1.197246e-05,1.198696e-05,1.205518e-05,1.206290e-05,1.211662e-05,1.214160e-05,1.217167e-05,1.220949e-05,1.222074e-05,1.226420e-05,1.226744e-05,1.230239e-05,1.231627e-05,1.233566e-05,1.235674e-05,1.236432e-05,1.238867e-05,1.238955e-05,1.240898e-05,1.241536e-05,1.242554e-05,1.243477e-05,1.243858e-05,1.244834e-05,1.245505e-05,1.245659e-05,1.245892e-05,1.245998e-05,1.246013e-05,1.245897e-05,1.245887e-05,1.245532e-05,1.245394e-05,1.244965e-05,1.244528e-05,1.244199e-05,1.243332e-05,1.243250e-05,1.242131e-05,1.241839e-05,1.240855e-05,1.240076e-05,1.239433e-05,1.238071e-05,1.237877e-05,1.236198e-05,1.235848e-05,1.234404e-05,1.233429e-05,1.232505e-05,1.230836e-05,1.230510e-05,1.228427e-05,1.228087e-05,1.226264e-05,1.225199e-05,1.224027e-05,1.222189e-05,1.221723e-05,1.219359e-05,1.219072e-05,1.216941e-05,1.215861e-05,1.214473e-05,1.212568e-05,1.211962e-05,1.209411e-05,1.209205e-05,1.206826e-05,1.205783e-05,1.204211e-05,1.202311e-05,1.201569e-05,1.198905e-05,1.198798e-05,1.196222e-05,1.195252e-05,1.193523e-05,1.191681e-05,1.190812e-05,1.188091e-05,1.184489e-05,1.180880e-05,1.177270e-05,1.173663e-05,1.170065e-05,1.166478e-05,1.162906e-05,1.159354e-05,1.155823e-05,1.152317e-05,1.148837e-05,1.145388e-05,1.141969e-05,1.138584e-05,1.135233e-05,1.131919e-05,1.128642e-05,1.125404e-05,1.122205e-05,1.119047e-05,1.115930e-05,1.112855e-05,1.109823e-05,1.106834e-05
0.000000e+00,1.223287e-09,3.974395e-09,1.964175e-08,5.261399e-08,8.145399e-08,2.047185e-07,2.115407e-07,4.347746e-07,5.175610e-07,7.780890e-07,1.054206e-06,1.271850e-06,1.887214e-06,1.948866e-06,2.837944e-06,3.084734e-06,3.950776e-06,4.666866e-06,5.271514e-06,6.576251e-06,6.762768e-06,8.382036e-06,8.717866e-06,1.009246e-05,1.100798e-05,1.186493e-05,1.338471e-05,1.367632e-05,1.550759e-05,1.580131e-05,1.734230e-05,1.821986e-05,1.916595e-05,2.060818e-05,2.096563e-05,2.272991e-05,2.293875e-05,2.444884e-05,2.518855e-05,2.611390e-05,2.733896e-05,2.771809e-05,2.925581e-05,2.937583e-05,3.072285e-05,3.128917e-05,3.211624e-05,3.307281e-05,3.343416e-05,3.467579e-05,3.472386e-05,3.584118e-05,3.624219e-05,3.693110e-05,3.762980e-05,3.794689e-05,3.889044e-05,3.976401e-05,4.002917e-05,4.057011e-05,4.105186e-05,4.131147e-05,4.196494e-05,4.199096e-05,4.261151e-05,4.277510e-05,4.317605e-05,4.348912e-05,4.368753e-05,4.411373e-05,4.414885e-05,4.456285e-05,4.465547e-05,4.493226e-05,4.512064e-05,4.525974e-05,4.551526e-05,4.554784e-05,4.579900e-05,4.584500e-05,4.601554e-05,4.611521e-05,4.619969e-05,4.633088e-05,4.635354e-05,4.647909e-05,4.649668e-05,4.657821e-05,4.661692e-05,4.665268e-05,4.669564e-05,4.670418e-05,4.673430e-05,4.673655e-05,4.674452e-05,4.674308e-05,4.673624e-05,4.671839e-05,4.671078e-05,4.666937e-05,4.666541e-05,4.661318e-05,4.658681e-05,4.654330e-05,4.648509e-05,4.646075e-05,4.636649e-05,4.636249e-05,4.626143e-05,4.622112e-05,4.614640e-05,4.606290e-05,4.602220e-05,4.588957e-05,4.574921e-05,4.570277e-05,4.560177e-05,4.550397e-05,4.544785e-05,4.529453e-05,4.528803e-05,4.512284e-05,4.507570e-05,4.495279e-05,4.484862e-05,4.477834e-05,4.461434e-05,4.459993e-05,4.441798e-05,4.437382e-05,4.423285e-05,4.412794e-05,4.404493e-05,4.387750e-05,4.385453e-05,4.366198e-05,4.362323e-05,4.346756e-05,4.336582e-05,4.327155e-05,4.310587e-05,4.307421e-05,4.287578e-05,4.284394e-05,4.267647e-05,4.258056e-05,4.247650e-05,4.231618e-05,4.227606e-05,4.207533e-05,4.205123e-05,4.187448e-05,4.178611e-05,4.167367e-05,4.152116e-05,4.147303e-05,4.127272e-05,4.125671e-05,4.107284e-05,4.099305e-05,4.087353e-05,4.073044e-05,4.067489e-05,4.047702e-05,4.046912e-05,4.028001e-05,4.020931e-05,4.008395e-05,3.995121e-05,3.988892e-05,3.969499e-05,3.944081e-05,3.918880e-05,3.893911e-05,3.869183e-05,3.844707e-05,3.820492e-05,3.796545e-05,3.772873e-05,3.749482e-05,3.726376e-05,3.703559e-05,3.681036e-05,3.658808e-05,3.636879e-05,3.615248e-05,3.593919e-05,3.572890e-05,3.552163e-05,3.531737e-05,3.511611e-05,3.491785e-05,3.472258e-05,3.453027e-05,3.434092e-05
0.000000e+00,8.131738e-16,7.288520e-15,1.908265e-13,1.664444e-12,4.487560e-12,3.812472e-11,4.117767e-11,2.257820e-10,3.411713e-10,8.945277e-10,1.827202e-09,2.834143e-09,7.083355e-09,7.629225e-09,1.814364e-08,2.199773e-08,3.914473e-08,5.812149e-08,7.806235e-08,1.357264e-07,1.458478e-07,2.578674e-07,2.872936e-07,4.347523e-07,5.609494e-07,7.031240e-07,1.023312e-06,1.096135e-06,1.653782e-06,1.761321e-06,2.422964e-06,2.882804e-06,3.457293e-06,4.515711e-06,4.816656e-06,6.566542e-06,6.806063e-06,8.777183e-06,9.914779e-06,1.152252e-05,1.401360e-05,1.487906e-05,1.892461e-05,1.928036e-05,2.373697e-05,2.589383e-05,2.939264e-05,3.402851e-05,3.596548e-05,4.352553e-05,4.384940e-05,5.213774e-05,5.550726e-05,6.186101e-05,6.913421e-05,7.274714e-05,8.484012e-05,9.817540e-05,1.027096e-04,1.127794e-04,1.228001e-04,1.286693e-04,1.451403e-04,1.458525e-04,1.643269e-04,1.697298e-04,1.840810e-04,1.965394e-04,2.050940e-04,2.255121e-04,2.273359e-04,2.507685e-04,2.565645e-04,2.753456e-04,2.895890e-04,3.010137e-04,3.244564e-04,3.277125e-04,3.553760e-04,3.610183e-04,3.839328e-04,3.991104e-04,4.133072e-04,4.385556e-04,4.434198e-04,4.741885e-04,4.791667e-04,5.055288e-04,5.207501e-04,5.373551e-04,5.631080e-04,5.695810e-04,6.021201e-04,6.060418e-04,6.348866e-04,6.493540e-04,6.677957e-04,6.928510e-04,7.007646e-04,7.337123e-04,7.363448e-04,7.665607e-04,7.796552e-04,7.992344e-04,8.226107e-04,8.316614e-04,8.637732e-04,8.650502e-04,8.955050e-04,9.068236e-04,9.267960e-04,9.477929e-04,9.575893e-04,9.878324e-04,1.017477e-03,1.026829e-03,1.046478e-03,1.064683e-03,1.074796e-03,1.101306e-03,1.102395e-03,1.129243e-03,1.136622e-03,1.155313e-03,1.170570e-03,1.180579e-03,1.203098e-03,1.205023e-03,1.228626e-03,1.234165e-03,1.251377e-03,1.263741e-03,1.273265e-03,1.291808e-03,1.294284e-03,1.314429e-03,1.318353e-03,1.333699e-03,1.343374e-03,1.352096e-03,1.366877e-03,1.369624e-03,1.386288e-03,1.388875e-03,1.402097e-03,1.409385e-03,1.417061e-03,1.428432e-03,1.431192e-03,1.444502e-03,1.446045e-03,1.457007e-03,1.462258e-03,1.468722e-03,1.477108e-03,1.479664e-03,1.489851e-03,1.490634e-03,1.499302e-03,1.502881e-03,1.508036e-03,1.513892e-03,1.516073e-03,1.523433e-03,1.523714e-03,1.530138e-03,1.532395e-03,1.536207e-03,1.539983e-03,1.541663e-03,1.546526e-03,1.552075e-03,1.556677e-03,1.560382e-03,1.563236e-03,1.565287e-03,1.566580e-03,1.567162e-03,1.567074e-03,1.566360e-03,1.565060e-03,1.563214e-03,1.560860e-03,1.558034e-03,1.554771e-03,1.551105e-03,1.547067e-03,1.542688e-03,1.537997e-03,1.533020e-03,1.527785e-03,1.522315e-03,1.516633e-03,1.510762e-03,1.504722e-03
0.000000e+00,3.645872e-16,3.265566e-15,8.536390e-14,7.433693e-13,2.002275e-12,1.696074e-11,1.831646e-11,1.000562e-10,1.510115e-10,3.946007e-10,8.034364e-10,1.243258e-09,3.088322e-09,3.324397e-09,7.844234e-09,9.491067e-09,1.677394e-08,2.477285e-08,3.312842e-08,5.709441e-08,6.127818e-08,1.072808e-07,1.192952e-07,1.792117e-07,2.302142e-07,2.874684e-07,4.158855e-07,4.450204e-07,6.675766e-07,7.104158e-07,9.736514e-07,1.156378e-06,1.384519e-06,1.804623e-06,1.924049e-06,2.618436e-06,2.713488e-06,3.495829e-06,3.947456e-06,4.585875e-06,5.575358e-06,5.919203e-06,7.526866e-06,7.668259e-06,9.439753e-06,1.029716e-05,1.168800e-05,1.353065e-05,1.430044e-05,1.730402e-05,1.743266e-05,2.072336e-05,2.206038e-05,2.458024e-05,2.746249e-05,2.889330e-05,3.367768e-05,3.894481e-05,4.073359e-05,4.470222e-05,4.864608e-05,5.095348e-05,5.741894e-05,5.769815e-05,6.493185e-05,6.704389e-05,7.264634e-05,7.750099e-05,8.082968e-05,8.875924e-05,8.946645e-05,9.853797e-05,1.007775e-04,1.080226e-04,1.135054e-04,1.178959e-04,1.268849e-04,1.281313e-04,1.387001e-04,1.408512e-04,1.495717e-04,1.553341e-04,1.607143e-04,1.702596e-04,1.720952e-04,1.836807e-04,1.855511e-04,1.954369e-04,2.011305e-04,2.073297e-04,2.169194e-04,2.193251e-04,2.313895e-04,2.328403e-04,2.434900e-04,2.488174e-04,2.555945e-04,2.647775e-04,2.676720e-04,2.796926e-04,2.806509e-04,2.916277e-04,2.963717e-04,3.034502e-04,3.118782e-04,3.151345e-04,3.266566e-04,3.271138e-04,3.379943e-04,3.420267e-04,3.491270e-04,3.565703e-04,3.600357e-04,3.707034e-04,3.811146e-04,3.843898e-04,3.912557e-04,3.975985e-04,4.011145e-04,4.103038e-04,4.106807e-04,4.199453e-04,4.224844e-04,4.289012e-04,4.341240e-04,4.375425e-04,4.452106e-04,4.458646e-04,4.538644e-04,4.557361e-04,4.615400e-04,4.656965e-04,4.688908e-04,4.750909e-04,4.759170e-04,4.826200e-04,4.839220e-04,4.890022e-04,4.921951e-04,4.950666e-04,4.999182e-04,5.008174e-04,5.062591e-04,5.071015e-04,5.113971e-04,5.137572e-04,5.162373e-04,5.198993e-04,5.207860e-04,5.250501e-04,5.255430e-04,5.290368e-04,5.307050e-04,5.327536e-04,5.354027e-04,5.362083e-04,5.394091e-04,5.396544e-04,5.423639e-04,5.434789e-04,5.450814e-04,5.468956e-04,5.475698e-04,5.498376e-04,5.499239e-04,5.518934e-04,5.525832e-04,5.537457e-04,5.548932e-04,5.554028e-04,5.568732e-04,5.585422e-04,5.599190e-04,5.610219e-04,5.618687e-04,5.624767e-04,5.628627e-04,5.630428e-04,5.630325e-04,5.628466e-04,5.624994e-04,5.620042e-04,5.613741e-04,5.606211e-04,5.597568e-04,5.587922e-04,5.577375e-04,5.566024e-04,5.553960e-04,5.541267e-04,5.528025e-04,5.514308e-04,5.500185e-04,5.485720e-04,5.470972e-04
0.000000e+00,3.436004e-09,7.934605e-09,2.748706e-08,6.264863e-08,9.140335e-08,2.070290e-07,2.132364e-07,4.107616e-07,4.821071e-07,7.023018e-07,9.302339e-07,1.106749e-06,1.593320e-06,1.641148e-06,2.314739e-06,2.497002e-06,3.124278e-06,3.632512e-06,4.057289e-06,4.968624e-06,5.098873e-06,6.235104e-06,6.472576e-06,7.453279e-06,8.115087e-06,8.741293e-06,9.868438e-06,1.008717e-05,1.147889e-05,1.170501e-05,1.290440e-05,1.359716e-05,1.435186e-05,1.551789e-05,1.580977e-05,1.726729e-05,1.744167e-05,1.871433e-05,1.934533e-05,2.014180e-05,2.120858e-05,2.154162e-05,2.290683e-05,2.301436e-05,2.423153e-05,2.474896e-05,2.551093e-05,2.640186e-05,2.674120e-05,2.791944e-05,2.796546e-05,2.904363e-05,2.943483e-05,3.011246e-05,3.080730e-05,3.112530e-05,3.208203e-05,3.298305e-05,3.325973e-05,3.382912e-05,3.434226e-05,3.462132e-05,3.533238e-05,3.536097e-05,3.604959e-05,3.623349e-05,3.668886e-05,3.704946e-05,3.728054e-05,3.778444e-05,3.782648e-05,3.832857e-05,3.844275e-05,3.878871e-05,3.902877e-05,3.920880e-05,3.954687e-05,3.959075e-05,3.993639e-05,4.000133e-05,4.024756e-05,4.039633e-05,4.052603e-05,4.073593e-05,4.077351e-05,4.099168e-05,4.102397e-05,4.118214e-05,4.126417e-05,4.134644e-05,4.146004e-05,4.148606e-05,4.160244e-05,4.161490e-05,4.169693e-05,4.173191e-05,4.177084e-05,4.181401e-05,4.182541e-05,4.186184e-05,4.186401e-05,4.188126e-05,4.188450e-05,4.188474e-05,4.187795e-05,4.187330e-05,4.184793e-05,4.184664e-05,4.180955e-05,4.179271e-05,4.175903e-05,4.171817e-05,4.169721e-05,4.162488e-05,4.154279e-05,4.151458e-05,4.145165e-05,4.138888e-05,4.135213e-05,4.124929e-05,4.124486e-05,4.113045e-05,4.109721e-05,4.100946e-05,4.093393e-05,4.088243e-05,4.076066e-05,4.074987e-05,4.061225e-05,4.057852e-05,4.047003e-05,4.038854e-05,4.032364e-05,4.019167e-05,4.017347e-05,4.001990e-05,3.998881e-05,3.986329e-05,3.978077e-05,3.970398e-05,3.956830e-05,3.954228e-05,3.937849e-05,3.935210e-05,3.921288e-05,3.913282e-05,3.904572e-05,3.891104e-05,3.887725e-05,3.870771e-05,3.868731e-05,3.853731e-05,3.846212e-05,3.836625e-05,3.823593e-05,3.819473e-05,3.802292e-05,3.800916e-05,3.785098e-05,3.778221e-05,3.767907e-05,3.755540e-05,3.750734e-05,3.733592e-05,3.732907e-05,3.716494e-05,3.710351e-05,3.699450e-05,3.687898e-05,3.682473e-05,3.665572e-05,3.643394e-05,3.621385e-05,3.599562e-05,3.577940e-05,3.556534e-05,3.535356e-05,3.514418e-05,3.493729e-05,3.473297e-05,3.453130e-05,3.433234e-05,3.413616e-05,3.394278e-05,3.375225e-05,3.356460e-05,3.337985e-05,3.319801e-05,3.301910e-05,3.284312e-05,3.267007e-05,3.249994e-05,3.233273e-05,3.216843e-05,3.200702e-05
0.000000e+00,6.157029e-13,4.632660e-12,8.463788e-11,5.342217e-10,1.208659e-09,6.585835e-09,6.988007e-09,2.506406e-08,3.385669e-08,6.743471e-08,1.111442e-07,1.504824e-07,2.808116e-07,2.952414e-07,5.273413e-07,5.991718e-07,8.748170e-07,1.129335e-06,1.362254e-06,1.918205e-06,2.003349e-06,2.797036e-06,2.973037e-06,3.729558e-06,4.262546e-06,4.780107e-06,5.737313e-06,5.926225e-06,7.147107e-06,7.348147e-06,8.424814e-06,9.053756e-06,9.744192e-06,1.082095e-05,1.109232e-05,1.245798e-05,1.262255e-05,1.383124e-05,1.443557e-05,1.520327e-05,1.624032e-05,1.656621e-05,1.791312e-05,1.802000e-05,1.923802e-05,1.976063e-05,2.053579e-05,2.145098e-05,2.180220e-05,2.303382e-05,2.308232e-05,2.422798e-05,2.464830e-05,2.538265e-05,2.614452e-05,2.649641e-05,2.756832e-05,2.859788e-05,2.891837e-05,2.958497e-05,3.019448e-05,3.052974e-05,3.139728e-05,3.143260e-05,3.229414e-05,3.252807e-05,3.311512e-05,3.358861e-05,3.389643e-05,3.458100e-05,3.463901e-05,3.534390e-05,3.550758e-05,3.601218e-05,3.637083e-05,3.664496e-05,3.717335e-05,3.724338e-05,3.780859e-05,3.791774e-05,3.834172e-05,3.860665e-05,3.884391e-05,3.924266e-05,3.931628e-05,3.975992e-05,3.982831e-05,4.017592e-05,4.036610e-05,4.056535e-05,4.085847e-05,4.092925e-05,4.126862e-05,4.130775e-05,4.158445e-05,4.171621e-05,4.187770e-05,4.208604e-05,4.214929e-05,4.240014e-05,4.241934e-05,4.263111e-05,4.271813e-05,4.284306e-05,4.298434e-05,4.303680e-05,4.321312e-05,4.321982e-05,4.337278e-05,4.342632e-05,4.351653e-05,4.360555e-05,4.364508e-05,4.375911e-05,4.385929e-05,4.388853e-05,4.394626e-05,4.399528e-05,4.402064e-05,4.408073e-05,4.408300e-05,4.413392e-05,4.414621e-05,4.417395e-05,4.419296e-05,4.420362e-05,4.422219e-05,4.422342e-05,4.423386e-05,4.423502e-05,4.423539e-05,4.423252e-05,4.422846e-05,4.421571e-05,4.421351e-05,4.419095e-05,4.418556e-05,4.416117e-05,4.414297e-05,4.412457e-05,4.408881e-05,4.408149e-05,4.403230e-05,4.402389e-05,4.397733e-05,4.394898e-05,4.391690e-05,4.386483e-05,4.385132e-05,4.378088e-05,4.377212e-05,4.370587e-05,4.367149e-05,4.362657e-05,4.356358e-05,4.354322e-05,4.345608e-05,4.344895e-05,4.336539e-05,4.332817e-05,4.327137e-05,4.320174e-05,4.317424e-05,4.307421e-05,4.307015e-05,4.297148e-05,4.293388e-05,4.286624e-05,4.279334e-05,4.275868e-05,4.264895e-05,4.250110e-05,4.235014e-05,4.219642e-05,4.204025e-05,4.188195e-05,4.172178e-05,4.156001e-05,4.139690e-05,4.123268e-05,4.106757e-05,4.090176e-05,4.073546e-05,4.056884e-05,4.040207e-05,4.023530e-05,4.006869e-05,3.990236e-05,3.973645e-05,3.957107e-05,3.940633e-05,3.924233e-05,3.907917e-05,3.891693e-05,3.875570e-05
0.000000e+00,7.034235e-16,6.278899e-15,1.629738e-13,1.409889e-12,3.783746e-12,3.175139e-11,3.427633e-11,1.855377e-10,2.793506e-10,7.256818e-10,1.470917e-09,2.269828e-09,5.606550e-09,6.032449e-09,1.416508e-08,1.712203e-08,3.017893e-08,4.449761e-08,5.943958e-08,1.022362e-07,1.096992e-07,1.916099e-07,2.129580e-07,3.191509e-07,4.091967e-07,5.099121e-07,7.344816e-07,7.851907e-07,1.169890e-06,1.243438e-06,1.692216e-06,2.000837e-06,2.383196e-06,3.079675e-06,3.276043e-06,4.405414e-06,4.558507e-06,5.806576e-06,6.518245e-06,7.514549e-06,9.038725e-06,9.563229e-06,1.198455e-05,1.219525e-05,1.480770e-05,1.605537e-05,1.805841e-05,2.067600e-05,2.175834e-05,2.592460e-05,2.610114e-05,3.056934e-05,3.236009e-05,3.569954e-05,3.946642e-05,4.131682e-05,4.741748e-05,5.399254e-05,5.619460e-05,6.102798e-05,6.576377e-05,6.850500e-05,7.607685e-05,7.640037e-05,8.468690e-05,8.707312e-05,9.333385e-05,9.868108e-05,1.023075e-04,1.108206e-04,1.115715e-04,1.210877e-04,1.234048e-04,1.308165e-04,1.363424e-04,1.407173e-04,1.495397e-04,1.507491e-04,1.608709e-04,1.629026e-04,1.710425e-04,1.763381e-04,1.812241e-04,1.897564e-04,1.913775e-04,2.014658e-04,2.030716e-04,2.114542e-04,2.162033e-04,2.213096e-04,2.290775e-04,2.310014e-04,2.405011e-04,2.416269e-04,2.497828e-04,2.537916e-04,2.588232e-04,2.655195e-04,2.676013e-04,2.760987e-04,2.767659e-04,2.842997e-04,2.874940e-04,2.921908e-04,2.976743e-04,2.997611e-04,3.070018e-04,3.072844e-04,3.139062e-04,3.163086e-04,3.204701e-04,3.247375e-04,3.266907e-04,3.325673e-04,3.381009e-04,3.397995e-04,3.432938e-04,3.464402e-04,3.481498e-04,3.524994e-04,3.526741e-04,3.568727e-04,3.579909e-04,3.607528e-04,3.629312e-04,3.643223e-04,3.673394e-04,3.675900e-04,3.705652e-04,3.712368e-04,3.732577e-04,3.746459e-04,3.756779e-04,3.775907e-04,3.778362e-04,3.797434e-04,3.800957e-04,3.814105e-04,3.821862e-04,3.828486e-04,3.838875e-04,3.840685e-04,3.850813e-04,3.852249e-04,3.858980e-04,3.862234e-04,3.865291e-04,3.869074e-04,3.869852e-04,3.872766e-04,3.873010e-04,3.874133e-04,3.874270e-04,3.874052e-04,3.873080e-04,3.872617e-04,3.869918e-04,3.869651e-04,3.866047e-04,3.864188e-04,3.861086e-04,3.856886e-04,3.855118e-04,3.848221e-04,3.847927e-04,3.840471e-04,3.837485e-04,3.831937e-04,3.825722e-04,3.822689e-04,3.812790e-04,3.798830e-04,3.783975e-04,3.768347e-04,3.752058e-04,3.735214e-04,3.717909e-04,3.700233e-04,3.682265e-04,3.664078e-04,3.645740e-04,3.627311e-04,3.608844e-04,3.590391e-04,3.571993e-04,3.553692e-04,3.535523e-04,3.517515e-04,3.499698e-04,3.482096e-04,3.464728e-04,3.447615e-04,3.430771e-04,3.414209e-04,3.397942e-04
0.000000e+00,3.942934e-15,3.406715e-14,8.255542e-13,6.700605e-12,1.735526e-11,1.326599e-10,1.426598e-10,7.022663e-10,1.030034e-09,2.503723e-09,4.806104e-09,7.155775e-09,1.630369e-08,1.742124e-08,3.757270e-08,4.451662e-08,7.372787e-08,1.039466e-07,1.341379e-07,2.157039e-07,2.293780e-07,3.723529e-07,4.079615e-07,5.780119e-07,7.151274e-07,8.627160e-07,1.175272e-06,1.243287e-06,1.735864e-06,1.826062e-06,2.354742e-06,2.700153e-06,3.111350e-06,3.821183e-06,4.013495e-06,5.064916e-06,5.201140e-06,6.265165e-06,6.839403e-06,7.609744e-06,8.723245e-06,9.090481e-06,1.069605e-05,1.082949e-05,1.241259e-05,1.312679e-05,1.422430e-05,1.557811e-05,1.611411e-05,1.806422e-05,1.814322e-05,2.005665e-05,2.078086e-05,2.207371e-05,2.345063e-05,2.409832e-05,2.611438e-05,2.810696e-05,2.873736e-05,3.006246e-05,3.128888e-05,3.196879e-05,3.374275e-05,3.381535e-05,3.559309e-05,3.607746e-05,3.729447e-05,3.827607e-05,3.891345e-05,4.032611e-05,4.044538e-05,4.188691e-05,4.221917e-05,4.323593e-05,4.395054e-05,4.449139e-05,4.551874e-05,4.565324e-05,4.672229e-05,4.692509e-05,4.770010e-05,4.817321e-05,4.858886e-05,4.926856e-05,4.939127e-05,5.011049e-05,5.021807e-05,5.074998e-05,5.102971e-05,5.131347e-05,5.171214e-05,5.180484e-05,5.222808e-05,5.227448e-05,5.258724e-05,5.272602e-05,5.288637e-05,5.307602e-05,5.312946e-05,5.332043e-05,5.333358e-05,5.346310e-05,5.350747e-05,5.356113e-05,5.360607e-05,5.361807e-05,5.363728e-05,5.363731e-05,5.362197e-05,5.360859e-05,5.357516e-05,5.352680e-05,5.349971e-05,5.339830e-05,5.327343e-05,5.322891e-05,5.312745e-05,5.302395e-05,5.296252e-05,5.278824e-05,5.278066e-05,5.258374e-05,5.252615e-05,5.237349e-05,5.224161e-05,5.215149e-05,5.193814e-05,5.191921e-05,5.167799e-05,5.161891e-05,5.142907e-05,5.128673e-05,5.117356e-05,5.094409e-05,5.091251e-05,5.064684e-05,5.059323e-05,5.037743e-05,5.023611e-05,5.010504e-05,4.987446e-05,4.983040e-05,4.955414e-05,4.950983e-05,4.927685e-05,4.914354e-05,4.899906e-05,4.877680e-05,4.872126e-05,4.844386e-05,4.841061e-05,4.816726e-05,4.804589e-05,4.789180e-05,4.768342e-05,4.761781e-05,4.734556e-05,4.732386e-05,4.707530e-05,4.696780e-05,4.680725e-05,4.661574e-05,4.654162e-05,4.627857e-05,4.626811e-05,4.601827e-05,4.592526e-05,4.576085e-05,4.558751e-05,4.550643e-05,4.525511e-05,4.492826e-05,4.460713e-05,4.429186e-05,4.398254e-05,4.367925e-05,4.338205e-05,4.309095e-05,4.280597e-05,4.252711e-05,4.225433e-05,4.198762e-05,4.172692e-05,4.147217e-05,4.122333e-05,4.098031e-05,4.074305e-05,4.051146e-05,4.028546e-05,4.006496e-05,3.984987e-05,3.964009e-05,3.943554e-05,3.923610e-05,3.904168e-05
0.000000e+00,3.083319e-10,1.089563e-09,5.926112e-09,1.659960e-08,2.611228e-08,6.728878e-08,6.957586e-08,1.442539e-07,1.717758e-07,2.575591e-07,3.470513e-07,4.166076e-07,6.092740e-07,6.283031e-07,8.989852e-07,9.732999e-07,1.233287e-06,1.448961e-06,1.632593e-06,2.035997e-06,2.094608e-06,2.614648e-06,2.725137e-06,3.187204e-06,3.503840e-06,3.806724e-06,4.359425e-06,4.467756e-06,5.164850e-06,5.279364e-06,5.892489e-06,6.250957e-06,6.645051e-06,7.261223e-06,7.416847e-06,8.202185e-06,8.297068e-06,8.995461e-06,9.345611e-06,9.791253e-06,1.039455e-05,1.058441e-05,1.137011e-05,1.143250e-05,1.214395e-05,1.244927e-05,1.290200e-05,1.343604e-05,1.364077e-05,1.435730e-05,1.438546e-05,1.504909e-05,1.529167e-05,1.571412e-05,1.615024e-05,1.635083e-05,1.695806e-05,1.753503e-05,1.771319e-05,1.808131e-05,1.841474e-05,1.859676e-05,1.906270e-05,1.908151e-05,1.953592e-05,1.965779e-05,1.996053e-05,2.020127e-05,2.035603e-05,2.069489e-05,2.072325e-05,2.106310e-05,2.114070e-05,2.137657e-05,2.154098e-05,2.166471e-05,2.189818e-05,2.192860e-05,2.216934e-05,2.221481e-05,2.238803e-05,2.249339e-05,2.258576e-05,2.273647e-05,2.276364e-05,2.292272e-05,2.294650e-05,2.306404e-05,2.312587e-05,2.318863e-05,2.327690e-05,2.329744e-05,2.339143e-05,2.340176e-05,2.347151e-05,2.350255e-05,2.353852e-05,2.358123e-05,2.359330e-05,2.363665e-05,2.363964e-05,2.366930e-05,2.367952e-05,2.369197e-05,2.370249e-05,2.370533e-05,2.371002e-05,2.371003e-05,2.370664e-05,2.370357e-05,2.369578e-05,2.368438e-05,2.367796e-05,2.365369e-05,2.362345e-05,2.361259e-05,2.358770e-05,2.356212e-05,2.354686e-05,2.350323e-05,2.350132e-05,2.345147e-05,2.343679e-05,2.339766e-05,2.336360e-05,2.334021e-05,2.328441e-05,2.327944e-05,2.321564e-05,2.319991e-05,2.314908e-05,2.311070e-05,2.308003e-05,2.301738e-05,2.300872e-05,2.293537e-05,2.292048e-05,2.286020e-05,2.282046e-05,2.278341e-05,2.271778e-05,2.270518e-05,2.262568e-05,2.261285e-05,2.254507e-05,2.250603e-05,2.246351e-05,2.239767e-05,2.238114e-05,2.229809e-05,2.228808e-05,2.221448e-05,2.217754e-05,2.213042e-05,2.206630e-05,2.204603e-05,2.196139e-05,2.195462e-05,2.187662e-05,2.184268e-05,2.179178e-05,2.173071e-05,2.170697e-05,2.162225e-05,2.161886e-05,2.153769e-05,2.150731e-05,2.145337e-05,2.139618e-05,2.136933e-05,2.128563e-05,2.117576e-05,2.106668e-05,2.095848e-05,2.085125e-05,2.074507e-05,2.064000e-05,2.053611e-05,2.043343e-05,2.033203e-05,2.023193e-05,2.013318e-05,2.003580e-05,1.993982e-05,1.984525e-05,1.975212e-05,1.966042e-05,1.957019e-05,1.948141e-05,1.939409e-05,1.930824e-05,1.922385e-05,1.914092e-05,1.905945e-05,1.897942e-05
0.000000e+00,6.538760e-09,1.504927e-08,5.252358e-08,1.222113e-07,1.813949e-07,4.384951e-07,4.531287e-07,9.578327e-07,1.155955e-06,1.800805e-06,2.490812e-06,3.023004e-06,4.435294e-06,4.569051e-06,6.367056e-06,6.830422e-06,8.370734e-06,9.572125e-06,1.055307e-05,1.260644e-05,1.289543e-05,1.538144e-05,1.589443e-05,1.799431e-05,1.939721e-05,2.071604e-05,2.307243e-05,2.352747e-05,2.640868e-05,2.687480e-05,2.933959e-05,3.075830e-05,3.230061e-05,3.467856e-05,3.527313e-05,3.823977e-05,3.859460e-05,4.118474e-05,4.247007e-05,4.409437e-05,4.627477e-05,4.695691e-05,4.976229e-05,4.998399e-05,5.250223e-05,5.357835e-05,5.517008e-05,5.704327e-05,5.776055e-05,6.026966e-05,6.036829e-05,6.269455e-05,6.354651e-05,6.503335e-05,6.657393e-05,6.728484e-05,6.944812e-05,7.152367e-05,7.216945e-05,7.351224e-05,7.473967e-05,7.541474e-05,7.716145e-05,7.723255e-05,7.896707e-05,7.943804e-05,8.062002e-05,8.157341e-05,8.219326e-05,8.357189e-05,8.368872e-05,8.510842e-05,8.543812e-05,8.645452e-05,8.717698e-05,8.772915e-05,8.879343e-05,8.893448e-05,9.007267e-05,9.029244e-05,9.114586e-05,9.167895e-05,9.215622e-05,9.295791e-05,9.310586e-05,9.399692e-05,9.413419e-05,9.483146e-05,9.521257e-05,9.561153e-05,9.619770e-05,9.633911e-05,9.701616e-05,9.709410e-05,9.764459e-05,9.790618e-05,9.822626e-05,9.863819e-05,9.876300e-05,9.925658e-05,9.929425e-05,9.970872e-05,9.987835e-05,1.001211e-04,1.003943e-04,1.004953e-04,1.008330e-04,1.008458e-04,1.011357e-04,1.012364e-04,1.014049e-04,1.015695e-04,1.016420e-04,1.018483e-04,1.020254e-04,1.020761e-04,1.021744e-04,1.022557e-04,1.022967e-04,1.023900e-04,1.023934e-04,1.024658e-04,1.024818e-04,1.025149e-04,1.025337e-04,1.025420e-04,1.025482e-04,1.025479e-04,1.025339e-04,1.025276e-04,1.025008e-04,1.024743e-04,1.024496e-04,1.023903e-04,1.023812e-04,1.022965e-04,1.022777e-04,1.021964e-04,1.021385e-04,1.020816e-04,1.019745e-04,1.019531e-04,1.018114e-04,1.017876e-04,1.016574e-04,1.015793e-04,1.014917e-04,1.013513e-04,1.013151e-04,1.011281e-04,1.011050e-04,1.009314e-04,1.008419e-04,1.007256e-04,1.005634e-04,1.005112e-04,1.002889e-04,1.002707e-04,1.000590e-04,9.996512e-05,9.982223e-05,9.964769e-05,9.957895e-05,9.932964e-05,9.931955e-05,9.907475e-05,9.898171e-05,9.881471e-05,9.863515e-05,9.854992e-05,9.828078e-05,9.791946e-05,9.755201e-05,9.717919e-05,9.680172e-05,9.642028e-05,9.603550e-05,9.564799e-05,9.525831e-05,9.486697e-05,9.447448e-05,9.408130e-05,9.368786e-05,9.329455e-05,9.290177e-05,9.250985e-05,9.211913e-05,9.172991e-05,9.134247e-05,9.095708e-05,9.057397e-05,9.019337e-05,8.981548e-05,8.944050e-05,8.906859e-05
0.000000e+00,3.834768e-09,8.834228e-09,3.076510e-08,7.120666e-08,1.052618e-07,2.509714e-07,2.591809e-07,5.392222e-07,6.483008e-07,1.003560e-06,1.386737e-06,1.684788e-06,2.483045e-06,2.558991e-06,3.581981e-06,3.845782e-06,4.721950e-06,5.404012e-06,5.959865e-06,7.120124e-06,7.283057e-06,8.681071e-06,8.968763e-06,1.014374e-05,1.092638e-05,1.166045e-05,1.296811e-05,1.322006e-05,1.481110e-05,1.506782e-05,1.642211e-05,1.719917e-05,1.804188e-05,1.933691e-05,1.965989e-05,2.126641e-05,2.145800e-05,2.285275e-05,2.354234e-05,2.441129e-05,2.557318e-05,2.593557e-05,2.742019e-05,2.753711e-05,2.886083e-05,2.942397e-05,3.025408e-05,3.122645e-05,3.159746e-05,3.288924e-05,3.293982e-05,3.412840e-05,3.456150e-05,3.531439e-05,3.609041e-05,3.644709e-05,3.752682e-05,3.855418e-05,3.887202e-05,3.953006e-05,4.012810e-05,4.045555e-05,4.129778e-05,4.133191e-05,4.216050e-05,4.238415e-05,4.294280e-05,4.339059e-05,4.368033e-05,4.432074e-05,4.437475e-05,4.502781e-05,4.517857e-05,4.564108e-05,4.596770e-05,4.621608e-05,4.669166e-05,4.675437e-05,4.725744e-05,4.735395e-05,4.772675e-05,4.795794e-05,4.816376e-05,4.850692e-05,4.856987e-05,4.894645e-05,4.900405e-05,4.929479e-05,4.945234e-05,4.961617e-05,4.985468e-05,4.991181e-05,5.018290e-05,5.021383e-05,5.043058e-05,5.053244e-05,5.065597e-05,5.081300e-05,5.086011e-05,5.104403e-05,5.105790e-05,5.120870e-05,5.126939e-05,5.135507e-05,5.144962e-05,5.148403e-05,5.159646e-05,5.160062e-05,5.169318e-05,5.172431e-05,5.177499e-05,5.182249e-05,5.184264e-05,5.189687e-05,5.193837e-05,5.194907e-05,5.196781e-05,5.198061e-05,5.198582e-05,5.199293e-05,5.199302e-05,5.198999e-05,5.198739e-05,5.197730e-05,5.196526e-05,5.195546e-05,5.192774e-05,5.192499e-05,5.188638e-05,5.187596e-05,5.184009e-05,5.181098e-05,5.178657e-05,5.173382e-05,5.172623e-05,5.165949e-05,5.164540e-05,5.158672e-05,5.154662e-05,5.150829e-05,5.143831e-05,5.142457e-05,5.133587e-05,5.132124e-05,5.124252e-05,5.119615e-05,5.114482e-05,5.106373e-05,5.104306e-05,5.093753e-05,5.092462e-05,5.082847e-05,5.077943e-05,5.071614e-05,5.062874e-05,5.060079e-05,5.048263e-05,5.047306e-05,5.036188e-05,5.031291e-05,5.023876e-05,5.014874e-05,5.011345e-05,4.998614e-05,4.998100e-05,4.985700e-05,4.981010e-05,4.972622e-05,4.963642e-05,4.959394e-05,4.946032e-05,4.928214e-05,4.910218e-05,4.892075e-05,4.873811e-05,4.855452e-05,4.837022e-05,4.818543e-05,4.800035e-05,4.781519e-05,4.763011e-05,4.744528e-05,4.726086e-05,4.707699e-05,4.689380e-05,4.671142e-05,4.652995e-05,4.634949e-05,4.617016e-05,4.599203e-05,4.581519e-05,4.563970e-05,4.546564e-05,4.529307e-05,4.512204e-05
0.000000e+00,4.913518e-09,1.168474e-08,4.173185e-08,9.643865e-08,1.414032e-07,3.228869e-07,3.326432e-07,6.431497e-07,7.552198e-07,1.100546e-06,1.457055e-06,1.732602e-06,2.491597e-06,2.566307e-06,3.625379e-06,3.915122e-06,4.925983e-06,5.761608e-06,6.470990e-06,8.020868e-06,8.244815e-06,1.021271e-05,1.062550e-05,1.232707e-05,1.346760e-05,1.453770e-05,1.643604e-05,1.679985e-05,1.907736e-05,1.944121e-05,2.134227e-05,2.241847e-05,2.357323e-05,2.532245e-05,2.575393e-05,2.787188e-05,2.812134e-05,2.991764e-05,3.079303e-05,3.188424e-05,3.332280e-05,3.376672e-05,3.556184e-05,3.570161e-05,3.726776e-05,3.792498e-05,3.888384e-05,3.999192e-05,4.041037e-05,4.184842e-05,4.190413e-05,4.319968e-05,4.366528e-05,4.446627e-05,4.528045e-05,4.565069e-05,4.675567e-05,4.778414e-05,4.809757e-05,4.873909e-05,4.931310e-05,4.962361e-05,5.040933e-05,5.044076e-05,5.119362e-05,5.139332e-05,5.188521e-05,5.227197e-05,5.251846e-05,5.305202e-05,5.309627e-05,5.362142e-05,5.373993e-05,5.409662e-05,5.434189e-05,5.452447e-05,5.486380e-05,5.490748e-05,5.524805e-05,5.531127e-05,5.554849e-05,5.568960e-05,5.581101e-05,5.600378e-05,5.603773e-05,5.623066e-05,5.625852e-05,5.639171e-05,5.645824e-05,5.652274e-05,5.660711e-05,5.662547e-05,5.670158e-05,5.670900e-05,5.675265e-05,5.676758e-05,5.678018e-05,5.678624e-05,5.678560e-05,5.677027e-05,5.676819e-05,5.673548e-05,5.671639e-05,5.668245e-05,5.663363e-05,5.661234e-05,5.652626e-05,5.652250e-05,5.642525e-05,5.638542e-05,5.631030e-05,5.622465e-05,5.618234e-05,5.604227e-05,5.589093e-05,5.584025e-05,5.572911e-05,5.562040e-05,5.555757e-05,5.538441e-05,5.537703e-05,5.518815e-05,5.513386e-05,5.499159e-05,5.487021e-05,5.478794e-05,5.459481e-05,5.457777e-05,5.436163e-05,5.430892e-05,5.414002e-05,5.401371e-05,5.391342e-05,5.371026e-05,5.368230e-05,5.344708e-05,5.339958e-05,5.320817e-05,5.308260e-05,5.296594e-05,5.276017e-05,5.272076e-05,5.247297e-05,5.243311e-05,5.222289e-05,5.210213e-05,5.197082e-05,5.176793e-05,5.171705e-05,5.146184e-05,5.143113e-05,5.120544e-05,5.109232e-05,5.094810e-05,5.075202e-05,5.069003e-05,5.043144e-05,5.041074e-05,5.017253e-05,5.006892e-05,4.991349e-05,4.972699e-05,4.965448e-05,4.939568e-05,4.938533e-05,4.913722e-05,4.904429e-05,4.887926e-05,4.870420e-05,4.862192e-05,4.836534e-05,4.802799e-05,4.769240e-05,4.735879e-05,4.702736e-05,4.669830e-05,4.637178e-05,4.604793e-05,4.572691e-05,4.540883e-05,4.509380e-05,4.478192e-05,4.447326e-05,4.416790e-05,4.386591e-05,4.356735e-05,4.327225e-05,4.298066e-05,4.269261e-05,4.240812e-05,4.212722e-05,4.184991e-05,4.157621e-05,4.130612e-05,4.103963e-05
0.000000e+00,5.679745e-15,5.067017e-14,1.315174e-12,1.139989e-11,3.065927e-11,2.599092e-10,2.807415e-10,1.549238e-09,2.349229e-09,6.237919e-09,1.292796e-08,2.028525e-08,5.230913e-08,5.650721e-08,1.396557e-07,1.709031e-07,3.128534e-07,4.733992e-07,6.443272e-07,1.144815e-06,1.233154e-06,2.213049e-06,2.470262e-06,3.753717e-06,4.843082e-06,6.059726e-06,8.760133e-06,9.367160e-06,1.393843e-05,1.480576e-05,2.005575e-05,2.362747e-05,2.801378e-05,3.590668e-05,3.811181e-05,5.064592e-05,5.232743e-05,6.590146e-05,7.354578e-05,8.414597e-05,1.001617e-04,1.056230e-04,1.305467e-04,1.326952e-04,1.590974e-04,1.715666e-04,1.914181e-04,2.170830e-04,2.276122e-04,2.677423e-04,2.694298e-04,3.118292e-04,3.286664e-04,3.598528e-04,3.947286e-04,4.117533e-04,4.674327e-04,5.267577e-04,5.464854e-04,5.895623e-04,6.314942e-04,6.556511e-04,7.219814e-04,7.248033e-04,7.967757e-04,8.173981e-04,8.713070e-04,9.171398e-04,9.481214e-04,1.020561e-03,1.026932e-03,1.107446e-03,1.126990e-03,1.189365e-03,1.235743e-03,1.272392e-03,1.346135e-03,1.356229e-03,1.440585e-03,1.457494e-03,1.525178e-03,1.569167e-03,1.609731e-03,1.680533e-03,1.693982e-03,1.777680e-03,1.791004e-03,1.860586e-03,1.900034e-03,1.942478e-03,2.007122e-03,2.023150e-03,2.102408e-03,2.111816e-03,2.180079e-03,2.213710e-03,2.256003e-03,2.312449e-03,2.330038e-03,2.402056e-03,2.407727e-03,2.471947e-03,2.499285e-03,2.539613e-03,2.586910e-03,2.604975e-03,2.667963e-03,2.670432e-03,2.728524e-03,2.749724e-03,2.786616e-03,2.824693e-03,2.842210e-03,2.895287e-03,2.945838e-03,2.961481e-03,2.993865e-03,3.023281e-03,3.039377e-03,3.080720e-03,3.082393e-03,3.122938e-03,3.133852e-03,3.161043e-03,3.182751e-03,3.196747e-03,3.227511e-03,3.230092e-03,3.261126e-03,3.268236e-03,3.289901e-03,3.305047e-03,3.316470e-03,3.338073e-03,3.340892e-03,3.363227e-03,3.367449e-03,3.383538e-03,3.393321e-03,3.401889e-03,3.415835e-03,3.418343e-03,3.432968e-03,3.435143e-03,3.445830e-03,3.451397e-03,3.456995e-03,3.464751e-03,3.466530e-03,3.474502e-03,3.475356e-03,3.480975e-03,3.483366e-03,3.486015e-03,3.488928e-03,3.489687e-03,3.492054e-03,3.492188e-03,3.493177e-03,3.493291e-03,3.493117e-03,3.492376e-03,3.491935e-03,3.489688e-03,3.489576e-03,3.486432e-03,3.485024e-03,3.482223e-03,3.478844e-03,3.477115e-03,3.471159e-03,3.462084e-03,3.451730e-03,3.440205e-03,3.427608e-03,3.414036e-03,3.399581e-03,3.384330e-03,3.368364e-03,3.351760e-03,3.334592e-03,3.316928e-03,3.298834e-03,3.280368e-03,3.261589e-03,3.242550e-03,3.223299e-03,3.203883e-03,3.184345e-03,3.164725e-03,3.145060e-03,3.125384e-03,3.105730e-03,3.086126e-03,3.066598e-03
0.000000e+00,5.615240e-15,4.999126e-14,1.291818e-12,1.114914e-11,2.991066e-11,2.518367e-10,2.719426e-10,1.489501e-09,2.253796e-09,5.951132e-09,1.227603e-08,1.920297e-08,4.918181e-08,5.309887e-08,1.303747e-07,1.593198e-07,2.904670e-07,4.383823e-07,5.955703e-07,1.054765e-06,1.135697e-06,2.031808e-06,2.266638e-06,3.436603e-06,4.427720e-06,5.532944e-06,7.980849e-06,8.530264e-06,1.265937e-05,1.344134e-05,1.816619e-05,2.137333e-05,2.530487e-05,3.236245e-05,3.433071e-05,4.549328e-05,4.698781e-05,5.902993e-05,6.579545e-05,7.515996e-05,8.927494e-05,9.407957e-05,1.159577e-04,1.178401e-04,1.409325e-04,1.518142e-04,1.691094e-04,1.914206e-04,2.005591e-04,2.353174e-04,2.367767e-04,2.733849e-04,2.878938e-04,3.147279e-04,3.446795e-04,3.592800e-04,4.069441e-04,4.575945e-04,4.744092e-04,5.110796e-04,5.467182e-04,5.672254e-04,6.234485e-04,6.258377e-04,6.867063e-04,7.041237e-04,7.496075e-04,7.882269e-04,8.143075e-04,8.752133e-04,8.805655e-04,9.481365e-04,9.645216e-04,1.016774e-03,1.055586e-03,1.086233e-03,1.147845e-03,1.156272e-03,1.226655e-03,1.240752e-03,1.297151e-03,1.333781e-03,1.367541e-03,1.426433e-03,1.437615e-03,1.507174e-03,1.518243e-03,1.576031e-03,1.608782e-03,1.644012e-03,1.697658e-03,1.710956e-03,1.776715e-03,1.784520e-03,1.841154e-03,1.869058e-03,1.904154e-03,1.951004e-03,1.965606e-03,2.025416e-03,2.030128e-03,2.083502e-03,2.106237e-03,2.139793e-03,2.179179e-03,2.194232e-03,2.246770e-03,2.248831e-03,2.297370e-03,2.315107e-03,2.346006e-03,2.377946e-03,2.392658e-03,2.437316e-03,2.479978e-03,2.493209e-03,2.520649e-03,2.545639e-03,2.559341e-03,2.594638e-03,2.596070e-03,2.630858e-03,2.640255e-03,2.663734e-03,2.682554e-03,2.694728e-03,2.721611e-03,2.723876e-03,2.751214e-03,2.757511e-03,2.776786e-03,2.790350e-03,2.800633e-03,2.820228e-03,2.822802e-03,2.843338e-03,2.847254e-03,2.862290e-03,2.871536e-03,2.879708e-03,2.893188e-03,2.895640e-03,2.910136e-03,2.912325e-03,2.923247e-03,2.929063e-03,2.935023e-03,2.943517e-03,2.945515e-03,2.954772e-03,2.955802e-03,2.962843e-03,2.966031e-03,2.969777e-03,2.974316e-03,2.975622e-03,2.980426e-03,2.980767e-03,2.984235e-03,2.985490e-03,2.987093e-03,2.988588e-03,2.989046e-03,2.990136e-03,2.990162e-03,2.990406e-03,2.990310e-03,2.989896e-03,2.989124e-03,2.988646e-03,2.986696e-03,2.983111e-03,2.978452e-03,2.972798e-03,2.966226e-03,2.958808e-03,2.950611e-03,2.941702e-03,2.932142e-03,2.921989e-03,2.911300e-03,2.900127e-03,2.888519e-03,2.876523e-03,2.864184e-03,2.851541e-03,2.838636e-03,2.825503e-03,2.812178e-03,2.798692e-03,2.785075e-03,2.771355e-03,2.757559e-03,2.743710e-03,2.729832e-03
0.000000e+00,7.521400e-16,6.550700e-15,1.614428e-13,1.331070e-12,3.477850e-12,2.720045e-11,2.927840e-11,1.475102e-10,2.177380e-10,5.378307e-10,1.045973e-09,1.570674e-09,3.647444e-09,3.903776e-09,8.586905e-09,1.022055e-08,1.716706e-08,2.444477e-08,3.178260e-08,5.183952e-08,5.522764e-08,9.096409e-08,9.993523e-08,1.430652e-07,1.781239e-07,2.160895e-07,2.971505e-07,3.148966e-07,4.444303e-07,4.683318e-07,6.094899e-07,7.026597e-07,8.145143e-07,1.009944e-06,1.063392e-06,1.359306e-06,1.398099e-06,1.704628e-06,1.872637e-06,2.100841e-06,2.436378e-06,2.548506e-06,3.047266e-06,3.089343e-06,3.595874e-06,3.828834e-06,4.192243e-06,4.649628e-06,4.833519e-06,5.516164e-06,5.544274e-06,6.236057e-06,6.503462e-06,6.988589e-06,7.516424e-06,7.768776e-06,8.571357e-06,9.390906e-06,9.655847e-06,1.022193e-05,1.075727e-05,1.105895e-05,1.186315e-05,1.189661e-05,1.272974e-05,1.296153e-05,1.355344e-05,1.404119e-05,1.436309e-05,1.509192e-05,1.515447e-05,1.592373e-05,1.610467e-05,1.666745e-05,1.707164e-05,1.738264e-05,1.798638e-05,1.806676e-05,1.871772e-05,1.884378e-05,1.933384e-05,1.964002e-05,1.991386e-05,2.037254e-05,2.045692e-05,2.096253e-05,2.103994e-05,2.143053e-05,2.164184e-05,2.186107e-05,2.217880e-05,2.225457e-05,2.261171e-05,2.265217e-05,2.293338e-05,2.306394e-05,2.322062e-05,2.341664e-05,2.347465e-05,2.369680e-05,2.371324e-05,2.388848e-05,2.395696e-05,2.405119e-05,2.415127e-05,2.418647e-05,2.429586e-05,2.429972e-05,2.438094e-05,2.440592e-05,2.444328e-05,2.447345e-05,2.448439e-05,2.450580e-05,2.450897e-05,2.450637e-05,2.449531e-05,2.447837e-05,2.446618e-05,2.442486e-05,2.442288e-05,2.436664e-05,2.434874e-05,2.429864e-05,2.425265e-05,2.421998e-05,2.413910e-05,2.413171e-05,2.403479e-05,2.401034e-05,2.393014e-05,2.386847e-05,2.381860e-05,2.371539e-05,2.370097e-05,2.357798e-05,2.355279e-05,2.345029e-05,2.338225e-05,2.331853e-05,2.320513e-05,2.318328e-05,2.304504e-05,2.302268e-05,2.290432e-05,2.283602e-05,2.276155e-05,2.264612e-05,2.261713e-05,2.247142e-05,2.245386e-05,2.232476e-05,2.226001e-05,2.217746e-05,2.206524e-05,2.202978e-05,2.188197e-05,2.187015e-05,2.173426e-05,2.167525e-05,2.158685e-05,2.148099e-05,2.143991e-05,2.129361e-05,2.128778e-05,2.114810e-05,2.109594e-05,2.100351e-05,2.090576e-05,2.085994e-05,2.071751e-05,2.053138e-05,2.034757e-05,2.016622e-05,1.998745e-05,1.981138e-05,1.963808e-05,1.946763e-05,1.930006e-05,1.913542e-05,1.897374e-05,1.881503e-05,1.865930e-05,1.850654e-05,1.835675e-05,1.820991e-05,1.806600e-05,1.792500e-05,1.778688e-05,1.765162e-05,1.751916e-05,1.738948e-05,1.726255e-05,1.713831e-05,1.701672e-05
0.000000e+00,1.311706e-15,1.166373e-14,3.004168e-13,2.580523e-12,6.898290e-12,5.730039e-11,6.183136e-11,3.313187e-10,4.974752e-10,1.283484e-09,2.587327e-09,3.978507e-09,9.750717e-09,1.048452e-08,2.442138e-08,2.946280e-08,5.161228e-08,7.574294e-08,1.007864e-07,1.719168e-07,1.842447e-07,3.183988e-07,3.530687e-07,5.241128e-07,6.676256e-07,8.268130e-07,1.177752e-06,1.256355e-06,1.846657e-06,1.958481e-06,2.635134e-06,3.095706e-06,3.661953e-06,4.683232e-06,4.969162e-06,6.599724e-06,6.819163e-06,8.596489e-06,9.601891e-06,1.100116e-05,1.312596e-05,1.385328e-05,1.718926e-05,1.747804e-05,2.104148e-05,2.273327e-05,2.543753e-05,2.895210e-05,3.039957e-05,3.594373e-05,3.617777e-05,4.207986e-05,4.443461e-05,4.881121e-05,5.372706e-05,5.613439e-05,6.403948e-05,7.251017e-05,7.533675e-05,8.152412e-05,8.756548e-05,9.105342e-05,1.006558e-04,1.010650e-04,1.115214e-04,1.145234e-04,1.223812e-04,1.290723e-04,1.335998e-04,1.441973e-04,1.451300e-04,1.569230e-04,1.597868e-04,1.689285e-04,1.757256e-04,1.810960e-04,1.918972e-04,1.933748e-04,2.057150e-04,2.081861e-04,2.180677e-04,2.244803e-04,2.303857e-04,2.406727e-04,2.426236e-04,2.547386e-04,2.566628e-04,2.666902e-04,2.723578e-04,2.784409e-04,2.876734e-04,2.899560e-04,3.012040e-04,3.025345e-04,3.121566e-04,3.168754e-04,3.227883e-04,3.306401e-04,3.330771e-04,3.430039e-04,3.437819e-04,3.525528e-04,3.562635e-04,3.617105e-04,3.680559e-04,3.704667e-04,3.788136e-04,3.791389e-04,3.867460e-04,3.894995e-04,3.942608e-04,3.991318e-04,4.013572e-04,4.080363e-04,4.143009e-04,4.162188e-04,4.201556e-04,4.236902e-04,4.256063e-04,4.304656e-04,4.306602e-04,4.353256e-04,4.365636e-04,4.396119e-04,4.420057e-04,4.435290e-04,4.468160e-04,4.470878e-04,4.502997e-04,4.510202e-04,4.531765e-04,4.546456e-04,4.557302e-04,4.577202e-04,4.579734e-04,4.599185e-04,4.602729e-04,4.615781e-04,4.623325e-04,4.629649e-04,4.639282e-04,4.640914e-04,4.649701e-04,4.650885e-04,4.656131e-04,4.658417e-04,4.660327e-04,4.662153e-04,4.662405e-04,4.662482e-04,4.662362e-04,4.660668e-04,4.659300e-04,4.657075e-04,4.653218e-04,4.651806e-04,4.644965e-04,4.644353e-04,4.636650e-04,4.632932e-04,4.626954e-04,4.619171e-04,4.615970e-04,4.603785e-04,4.603274e-04,4.590482e-04,4.585435e-04,4.576142e-04,4.565837e-04,4.560840e-04,4.544649e-04,4.522033e-04,4.498140e-04,4.473108e-04,4.447070e-04,4.420145e-04,4.392447e-04,4.364081e-04,4.335143e-04,4.305721e-04,4.275900e-04,4.245753e-04,4.215352e-04,4.184761e-04,4.154037e-04,4.123235e-04,4.092403e-04,4.061587e-04,4.030826e-04,4.000158e-04,3.969615e-04,3.939228e-04,3.909025e-04,3.879029e-04,3.849263e-04
0.000000e+00,1.291531e-09,2.974201e-09,1.030391e-08,2.356008e-08,3.446176e-08,7.874471e-08,8.113995e-08,1.581733e-07,1.863514e-07,2.743686e-07,3.670133e-07,4.397568e-07,6.445278e-07,6.649820e-07,9.589081e-07,1.040198e-06,1.324816e-06,1.559926e-06,1.758746e-06,2.190201e-06,2.252262e-06,2.796320e-06,2.910481e-06,3.383072e-06,3.702848e-06,4.005994e-06,4.553087e-06,4.659489e-06,5.338516e-06,5.449212e-06,6.038373e-06,6.380384e-06,6.754593e-06,7.336481e-06,7.482918e-06,8.219322e-06,8.308051e-06,8.960035e-06,9.286407e-06,9.701580e-06,1.026375e-05,1.044080e-05,1.117486e-05,1.123328e-05,1.190126e-05,1.218919e-05,1.261785e-05,1.312666e-05,1.332276e-05,1.401444e-05,1.404181e-05,1.469159e-05,1.493159e-05,1.535316e-05,1.579369e-05,1.599832e-05,1.662643e-05,1.723702e-05,1.742865e-05,1.782976e-05,1.819966e-05,1.840447e-05,1.893913e-05,1.896104e-05,1.949949e-05,1.964701e-05,2.001987e-05,2.032350e-05,2.052235e-05,2.096898e-05,2.100711e-05,2.147439e-05,2.158396e-05,2.192446e-05,2.216910e-05,2.235764e-05,2.272512e-05,2.277425e-05,2.317463e-05,2.325279e-05,2.355913e-05,2.375292e-05,2.392813e-05,2.422637e-05,2.428198e-05,2.462108e-05,2.467399e-05,2.494580e-05,2.509667e-05,2.525652e-05,2.549527e-05,2.555362e-05,2.583748e-05,2.587067e-05,2.610848e-05,2.622373e-05,2.636698e-05,2.655531e-05,2.661335e-05,2.684795e-05,2.686622e-05,2.707115e-05,2.715731e-05,2.728329e-05,2.742937e-05,2.748471e-05,2.767575e-05,2.768318e-05,2.785674e-05,2.791950e-05,2.802801e-05,2.813908e-05,2.818988e-05,2.834264e-05,2.848661e-05,2.853087e-05,2.862207e-05,2.870445e-05,2.874933e-05,2.886402e-05,2.886865e-05,2.898031e-05,2.901024e-05,2.908458e-05,2.914370e-05,2.918171e-05,2.926499e-05,2.927197e-05,2.935559e-05,2.937469e-05,2.943281e-05,2.947334e-05,2.950386e-05,2.956147e-05,2.956898e-05,2.962838e-05,2.963959e-05,2.968227e-05,2.970818e-05,2.973086e-05,2.976772e-05,2.977434e-05,2.981293e-05,2.981866e-05,2.984679e-05,2.986143e-05,2.987612e-05,2.989644e-05,2.990110e-05,2.992189e-05,2.992411e-05,2.993866e-05,2.994480e-05,2.995157e-05,2.995890e-05,2.996078e-05,2.996645e-05,2.996675e-05,2.996871e-05,2.996870e-05,2.996771e-05,2.996505e-05,2.996359e-05,2.995648e-05,2.995614e-05,2.994651e-05,2.994225e-05,2.993381e-05,2.992366e-05,2.991848e-05,2.990066e-05,2.987350e-05,2.984242e-05,2.980767e-05,2.976948e-05,2.972806e-05,2.968362e-05,2.963635e-05,2.958645e-05,2.953410e-05,2.947946e-05,2.942271e-05,2.936400e-05,2.930347e-05,2.924128e-05,2.917755e-05,2.911241e-05,2.904599e-05,2.897840e-05,2.890976e-05,2.884016e-05,2.876972e-05,2.869852e-05,2.862665e-05,2.855420e-05
0.000000e+00,2.876166e-16,2.533815e-15,6.397699e-14,5.393111e-13,1.426409e-12,1.151195e-11,1.240716e-11,6.446139e-11,9.593705e-11,2.418437e-10,4.779263e-10,7.250038e-10,1.720642e-09,1.844848e-09,4.143099e-09,4.953872e-09,8.433236e-09,1.211630e-08,1.585658e-08,2.617487e-08,2.792870e-08,4.657186e-08,5.128783e-08,7.412978e-08,9.288305e-08,1.133615e-07,1.576283e-07,1.674121e-07,2.397595e-07,2.532798e-07,3.341399e-07,3.884106e-07,4.544547e-07,5.720415e-07,6.046642e-07,7.886730e-07,8.132053e-07,1.010215e-06,1.120487e-06,1.272743e-06,1.501578e-06,1.579321e-06,1.932539e-06,1.962876e-06,2.334431e-06,2.509157e-06,2.786420e-06,3.143330e-06,3.289274e-06,3.843084e-06,3.866290e-06,4.447257e-06,4.676866e-06,5.100534e-06,5.571862e-06,5.801008e-06,6.546171e-06,7.332967e-06,7.592969e-06,8.157856e-06,8.703964e-06,9.016881e-06,9.869672e-06,9.905743e-06,1.081988e-05,1.107973e-05,1.175456e-05,1.232320e-05,1.270491e-05,1.358889e-05,1.366606e-05,1.463317e-05,1.486563e-05,1.560147e-05,1.614253e-05,1.656640e-05,1.740924e-05,1.752355e-05,1.846882e-05,1.865610e-05,1.939835e-05,1.987430e-05,2.030862e-05,2.105601e-05,2.119643e-05,2.205893e-05,2.219441e-05,2.289362e-05,2.328375e-05,2.369836e-05,2.431936e-05,2.447134e-05,2.521111e-05,2.529759e-05,2.591652e-05,2.621579e-05,2.658674e-05,2.707224e-05,2.722124e-05,2.781973e-05,2.786605e-05,2.838218e-05,2.859711e-05,2.890879e-05,2.926597e-05,2.939994e-05,2.985620e-05,2.987373e-05,3.027827e-05,3.042201e-05,3.066701e-05,3.091280e-05,3.102338e-05,3.134842e-05,3.164325e-05,3.173140e-05,3.190904e-05,3.206447e-05,3.214702e-05,3.235046e-05,3.235842e-05,3.254450e-05,3.259223e-05,3.270651e-05,3.279269e-05,3.284572e-05,3.295470e-05,3.296334e-05,3.306060e-05,3.308105e-05,3.313868e-05,3.317446e-05,3.319874e-05,3.323756e-05,3.324189e-05,3.326920e-05,3.327285e-05,3.328171e-05,3.328269e-05,3.328041e-05,3.326933e-05,3.326624e-05,3.324011e-05,3.323487e-05,3.320286e-05,3.318128e-05,3.315532e-05,3.311038e-05,3.309824e-05,3.303234e-05,3.302388e-05,3.295831e-05,3.292333e-05,3.287680e-05,3.281021e-05,3.278840e-05,3.269367e-05,3.268584e-05,3.259316e-05,3.255144e-05,3.248735e-05,3.240815e-05,3.237671e-05,3.226167e-05,3.225698e-05,3.214263e-05,3.209887e-05,3.201998e-05,3.193469e-05,3.189406e-05,3.176520e-05,3.159113e-05,3.141310e-05,3.123171e-05,3.104750e-05,3.086094e-05,3.067247e-05,3.048249e-05,3.029136e-05,3.009941e-05,2.990693e-05,2.971419e-05,2.952144e-05,2.932889e-05,2.913674e-05,2.894518e-05,2.875436e-05,2.856444e-05,2.837553e-05,2.818777e-05,2.800126e-05,2.781609e-05,2.763235e-05,2.745011e-05,2.726945e-05
0.000000e+00,1.050368e-08,2.432302e-08,8.472243e-08,1.942754e-07,2.846090e-07,6.537133e-07,6.737763e-07,1.324131e-06,1.564348e-06,2.321679e-06,3.128452e-06,3.767325e-06,5.581824e-06,5.763826e-06,8.379152e-06,9.099668e-06,1.160279e-05,1.364254e-05,1.534609e-05,1.897618e-05,1.949106e-05,2.393183e-05,2.484781e-05,2.858557e-05,3.106787e-05,3.338824e-05,3.749942e-05,3.828801e-05,4.324056e-05,4.403519e-05,4.820662e-05,5.058460e-05,5.315077e-05,5.706875e-05,5.804108e-05,6.284908e-05,6.341929e-05,6.754983e-05,6.957856e-05,7.212198e-05,7.549969e-05,7.654768e-05,8.081248e-05,8.114635e-05,8.490514e-05,8.649208e-05,8.881747e-05,9.151952e-05,9.254401e-05,9.608151e-05,9.621905e-05,9.942843e-05,1.005867e-04,1.025853e-04,1.046243e-04,1.055539e-04,1.083373e-04,1.109393e-04,1.117345e-04,1.133648e-04,1.148269e-04,1.156190e-04,1.176270e-04,1.177074e-04,1.196360e-04,1.201482e-04,1.214110e-04,1.224048e-04,1.230386e-04,1.244112e-04,1.245251e-04,1.258767e-04,1.261818e-04,1.270998e-04,1.277308e-04,1.282003e-04,1.290721e-04,1.291843e-04,1.300576e-04,1.302195e-04,1.308259e-04,1.311857e-04,1.314947e-04,1.319835e-04,1.320693e-04,1.325550e-04,1.326248e-04,1.329566e-04,1.331209e-04,1.332789e-04,1.334828e-04,1.335266e-04,1.337039e-04,1.337207e-04,1.338152e-04,1.338443e-04,1.338645e-04,1.338628e-04,1.338555e-04,1.337921e-04,1.337848e-04,1.336777e-04,1.336185e-04,1.335158e-04,1.333715e-04,1.333094e-04,1.330616e-04,1.330509e-04,1.327755e-04,1.326636e-04,1.324536e-04,1.322157e-04,1.320987e-04,1.317133e-04,1.312996e-04,1.311617e-04,1.308600e-04,1.305661e-04,1.303966e-04,1.299312e-04,1.299114e-04,1.294064e-04,1.292617e-04,1.288833e-04,1.285615e-04,1.283438e-04,1.278345e-04,1.277896e-04,1.272222e-04,1.270843e-04,1.266431e-04,1.263142e-04,1.260536e-04,1.255272e-04,1.254549e-04,1.248484e-04,1.247262e-04,1.242351e-04,1.239139e-04,1.236161e-04,1.230925e-04,1.229924e-04,1.223650e-04,1.222644e-04,1.217348e-04,1.214315e-04,1.211025e-04,1.205957e-04,1.204690e-04,1.198349e-04,1.197588e-04,1.192010e-04,1.189224e-04,1.185680e-04,1.180877e-04,1.179363e-04,1.173065e-04,1.172562e-04,1.166792e-04,1.164291e-04,1.160548e-04,1.156073e-04,1.154338e-04,1.148165e-04,1.147919e-04,1.142034e-04,1.139837e-04,1.135947e-04,1.131836e-04,1.129909e-04,1.123922e-04,1.116101e-04,1.108379e-04,1.100760e-04,1.093250e-04,1.085851e-04,1.078566e-04,1.071399e-04,1.064351e-04,1.057424e-04,1.050620e-04,1.043939e-04,1.037382e-04,1.030950e-04,1.024643e-04,1.018461e-04,1.012403e-04,1.006469e-04,1.000658e-04,9.949690e-05,9.894016e-05,9.839545e-05,9.786261e-05,9.734153e-05,9.683206e-05
0.000000e+00,1.185903e-09,2.733759e-09,9.450410e-09,2.150229e-08,3.133498e-08,7.066548e-08,7.276760e-08,1.391767e-07,1.629419e-07,2.356094e-07,3.098740e-07,3.668350e-07,5.221906e-07,5.373829e-07,7.514010e-07,8.096270e-07,1.012171e-06,1.179322e-06,1.321336e-06,1.633115e-06,1.678437e-06,2.081277e-06,2.167068e-06,2.526758e-06,2.774135e-06,3.011480e-06,3.446427e-06,3.531962e-06,4.084657e-06,4.175836e-06,4.665922e-06,4.953976e-06,5.271994e-06,5.772114e-06,5.899002e-06,6.543002e-06,6.621235e-06,7.200020e-06,7.492214e-06,7.866117e-06,8.376050e-06,8.537445e-06,9.210304e-06,9.264092e-06,9.881193e-06,1.014826e-05,1.054685e-05,1.102119e-05,1.120428e-05,1.185080e-05,1.187640e-05,1.248402e-05,1.270832e-05,1.310187e-05,1.351230e-05,1.370256e-05,1.428463e-05,1.484688e-05,1.502245e-05,1.538838e-05,1.572372e-05,1.590845e-05,1.638712e-05,1.640662e-05,1.688264e-05,1.701194e-05,1.733641e-05,1.759802e-05,1.776800e-05,1.814564e-05,1.817761e-05,1.856555e-05,1.865547e-05,1.893222e-05,1.912844e-05,1.927810e-05,1.956572e-05,1.960375e-05,1.990975e-05,1.996865e-05,2.019674e-05,2.033868e-05,2.046538e-05,2.067734e-05,2.071633e-05,2.095029e-05,2.098620e-05,2.116795e-05,2.126683e-05,2.136999e-05,2.152083e-05,2.155708e-05,2.172992e-05,2.174973e-05,2.188914e-05,2.195506e-05,2.203540e-05,2.213827e-05,2.216931e-05,2.229148e-05,2.230077e-05,2.240249e-05,2.244390e-05,2.250290e-05,2.256894e-05,2.259325e-05,2.267406e-05,2.267711e-05,2.274584e-05,2.276955e-05,2.280904e-05,2.284736e-05,2.286414e-05,2.291157e-05,2.295174e-05,2.296312e-05,2.298505e-05,2.300294e-05,2.301188e-05,2.303187e-05,2.303259e-05,2.304752e-05,2.305071e-05,2.305700e-05,2.306021e-05,2.306135e-05,2.306106e-05,2.306085e-05,2.305578e-05,2.305392e-05,2.304642e-05,2.303940e-05,2.303302e-05,2.301807e-05,2.301581e-05,2.299503e-05,2.299047e-05,2.297089e-05,2.295708e-05,2.294360e-05,2.291839e-05,2.291336e-05,2.288035e-05,2.287482e-05,2.284474e-05,2.282677e-05,2.280670e-05,2.277463e-05,2.276640e-05,2.272397e-05,2.271875e-05,2.267957e-05,2.265945e-05,2.263334e-05,2.259704e-05,2.258538e-05,2.253584e-05,2.253181e-05,2.248482e-05,2.246403e-05,2.243244e-05,2.239394e-05,2.237879e-05,2.232398e-05,2.232177e-05,2.226810e-05,2.224774e-05,2.221124e-05,2.217206e-05,2.215348e-05,2.209490e-05,2.201644e-05,2.193685e-05,2.185628e-05,2.177486e-05,2.169273e-05,2.161002e-05,2.152682e-05,2.144326e-05,2.135943e-05,2.127541e-05,2.119130e-05,2.110718e-05,2.102310e-05,2.093916e-05,2.085539e-05,2.077187e-05,2.068865e-05,2.060577e-05,2.052329e-05,2.044124e-05,2.035967e-05,2.027860e-05,2.019808e-05,2.011812e-05
0.000000e+00,3.676010e-16,3.294474e-15,8.623269e-14,7.519604e-13,2.027150e-12,1.721880e-11,1.859760e-11,1.019839e-10,1.541195e-10,4.042597e-10,8.262137e-10,1.282143e-09,3.209184e-09,3.457026e-09,8.240042e-09,9.996734e-09,1.782853e-08,2.651925e-08,3.567076e-08,6.221162e-08,6.687908e-08,1.186552e-07,1.322831e-07,2.006829e-07,2.593192e-07,3.254480e-07,4.745283e-07,5.084525e-07,7.683062e-07,8.184208e-07,1.126686e-06,1.340818e-06,1.608170e-06,2.100184e-06,2.239947e-06,3.051428e-06,3.162346e-06,4.073762e-06,4.598694e-06,5.339295e-06,6.484016e-06,6.880969e-06,8.731700e-06,8.894084e-06,1.092375e-05,1.190314e-05,1.348810e-05,1.558138e-05,1.645385e-05,1.984766e-05,1.999266e-05,2.369325e-05,2.519229e-05,2.801095e-05,3.122528e-05,3.281734e-05,3.812488e-05,4.394179e-05,4.591152e-05,5.027183e-05,5.459219e-05,5.711426e-05,6.416023e-05,6.446384e-05,7.231092e-05,7.459545e-05,8.064156e-05,8.586473e-05,8.943777e-05,9.792279e-05,9.867774e-05,1.083361e-04,1.107133e-04,1.183845e-04,1.241702e-04,1.287914e-04,1.382193e-04,1.395231e-04,1.505438e-04,1.527794e-04,1.618162e-04,1.677644e-04,1.733014e-04,1.830847e-04,1.849601e-04,1.967521e-04,1.986486e-04,2.086375e-04,2.143639e-04,2.205764e-04,2.301396e-04,2.325296e-04,2.444585e-04,2.458866e-04,2.563261e-04,2.615191e-04,2.680964e-04,2.769555e-04,2.797350e-04,2.912094e-04,2.921193e-04,3.024889e-04,3.069397e-04,3.135450e-04,3.213519e-04,3.243509e-04,3.348826e-04,3.352978e-04,3.451177e-04,3.487259e-04,3.550365e-04,3.615916e-04,3.646214e-04,3.738570e-04,3.827302e-04,3.854912e-04,3.912299e-04,3.964694e-04,3.993471e-04,4.067734e-04,4.070750e-04,4.144085e-04,4.163907e-04,4.213443e-04,4.253143e-04,4.278811e-04,4.335426e-04,4.340189e-04,4.397595e-04,4.410784e-04,4.451057e-04,4.479290e-04,4.500622e-04,4.541056e-04,4.546342e-04,4.588285e-04,4.596227e-04,4.626527e-04,4.644977e-04,4.661150e-04,4.687505e-04,4.692248e-04,4.719918e-04,4.724034e-04,4.744265e-04,4.754802e-04,4.765396e-04,4.780063e-04,4.783426e-04,4.798469e-04,4.800079e-04,4.810645e-04,4.815124e-04,4.820072e-04,4.825473e-04,4.826872e-04,4.831167e-04,4.831406e-04,4.833077e-04,4.833201e-04,4.832724e-04,4.831135e-04,4.830227e-04,4.825704e-04,4.825482e-04,4.819271e-04,4.816510e-04,4.811043e-04,4.804479e-04,4.801131e-04,4.789645e-04,4.772252e-04,4.752536e-04,4.730725e-04,4.707033e-04,4.681665e-04,4.654818e-04,4.626674e-04,4.597407e-04,4.567179e-04,4.536142e-04,4.504437e-04,4.472198e-04,4.439545e-04,4.406591e-04,4.373440e-04,4.340186e-04,4.306916e-04,4.273711e-04,4.240641e-04,4.207773e-04,4.175164e-04,4.142866e-04,4.110928e-04,4.079389e-04
0.000000e+00,1.069043e-15,9.582910e-15,2.509292e-13,2.188726e-12,5.900938e-12,5.012025e-11,5.413291e-11,2.966455e-10,4.481473e-10,1.174134e-09,2.396398e-09,3.714634e-09,9.267274e-09,9.979664e-09,2.367366e-08,2.868290e-08,5.092260e-08,7.547048e-08,1.012130e-07,1.754508e-07,1.884581e-07,3.321269e-07,3.698016e-07,5.583416e-07,7.194703e-07,9.008436e-07,1.308955e-06,1.401731e-06,2.111903e-06,2.248824e-06,3.091159e-06,3.676565e-06,4.407957e-06,5.755602e-06,6.138823e-06,8.367437e-06,8.672523e-06,1.118345e-05,1.263274e-05,1.468109e-05,1.785491e-05,1.895755e-05,2.411135e-05,2.456450e-05,3.024054e-05,3.298691e-05,3.744097e-05,4.334042e-05,4.580460e-05,5.541784e-05,5.582952e-05,6.636015e-05,7.063870e-05,7.870260e-05,8.792711e-05,9.250686e-05,1.078241e-04,1.246944e-04,1.304259e-04,1.431462e-04,1.557934e-04,1.631959e-04,1.839509e-04,1.848477e-04,2.080939e-04,2.148862e-04,2.329151e-04,2.485514e-04,2.592804e-04,2.848646e-04,2.871481e-04,3.164665e-04,3.237122e-04,3.471744e-04,3.649522e-04,3.792022e-04,4.084173e-04,4.124727e-04,4.469018e-04,4.539189e-04,4.824000e-04,5.012505e-04,5.188730e-04,5.501920e-04,5.562227e-04,5.943483e-04,6.005135e-04,6.331470e-04,6.519790e-04,6.725149e-04,7.043493e-04,7.123482e-04,7.525433e-04,7.573862e-04,7.929980e-04,8.108544e-04,8.336120e-04,8.645249e-04,8.742875e-04,9.149295e-04,9.181767e-04,9.554467e-04,9.715988e-04,9.957513e-04,1.024592e-03,1.035760e-03,1.075393e-03,1.076970e-03,1.114576e-03,1.128559e-03,1.153240e-03,1.179201e-03,1.191319e-03,1.228753e-03,1.265487e-03,1.277085e-03,1.301470e-03,1.324085e-03,1.336658e-03,1.369651e-03,1.371009e-03,1.404487e-03,1.413700e-03,1.437061e-03,1.456159e-03,1.468703e-03,1.496971e-03,1.499391e-03,1.529105e-03,1.536090e-03,1.557831e-03,1.573480e-03,1.585556e-03,1.609120e-03,1.612272e-03,1.637976e-03,1.642995e-03,1.662664e-03,1.675101e-03,1.686338e-03,1.705443e-03,1.709001e-03,1.730660e-03,1.734033e-03,1.751322e-03,1.760889e-03,1.770999e-03,1.786038e-03,1.789701e-03,1.807443e-03,1.809509e-03,1.824241e-03,1.831337e-03,1.840110e-03,1.851561e-03,1.855069e-03,1.869137e-03,1.870224e-03,1.882333e-03,1.887372e-03,1.894678e-03,1.903052e-03,1.906194e-03,1.916901e-03,1.917313e-03,1.926823e-03,1.930207e-03,1.935982e-03,1.941785e-03,1.944400e-03,1.952101e-03,1.961206e-03,1.969154e-03,1.975997e-03,1.981788e-03,1.986578e-03,1.990417e-03,1.993355e-03,1.995442e-03,1.996723e-03,1.997245e-03,1.997053e-03,1.996189e-03,1.994696e-03,1.992612e-03,1.989978e-03,1.986830e-03,1.983204e-03,1.979134e-03,1.974652e-03,1.969790e-03,1.964578e-03,1.959044e-03,1.953214e-03,1.947116e-03
0.000000e+00,1.411318e-15,1.243215e-14,3.137758e-13,2.644788e-12,6.995835e-12,5.651686e-11,6.091594e-11,3.172896e-10,4.727007e-10,1.195607e-09,2.371384e-09,3.607810e-09,8.632722e-09,9.263393e-09,2.104238e-08,2.523749e-08,4.341135e-08,6.287919e-08,8.282918e-08,1.385244e-07,1.480645e-07,2.503505e-07,2.764144e-07,4.033336e-07,5.080910e-07,6.228136e-07,8.713383e-07,9.263009e-07,1.332442e-06,1.408228e-06,1.860362e-06,2.162601e-06,2.528980e-06,3.177342e-06,3.356330e-06,4.358935e-06,4.491737e-06,5.551256e-06,6.139154e-06,6.945223e-06,8.145175e-06,8.549875e-06,1.037110e-05,1.052626e-05,1.241150e-05,1.328896e-05,1.467030e-05,1.642972e-05,1.714344e-05,1.982371e-05,1.993509e-05,2.270090e-05,2.378250e-05,2.576215e-05,2.794124e-05,2.899221e-05,3.237382e-05,3.588809e-05,3.703741e-05,3.951490e-05,4.188546e-05,4.323328e-05,4.686917e-05,4.702179e-05,5.085887e-05,5.193904e-05,5.472319e-05,5.704618e-05,5.859395e-05,6.214351e-05,6.245113e-05,6.627572e-05,6.718676e-05,7.004990e-05,7.213524e-05,7.375722e-05,7.695241e-05,7.738268e-05,8.091279e-05,8.160629e-05,8.433564e-05,8.606964e-05,8.764090e-05,9.031999e-05,9.081980e-05,9.386510e-05,9.433954e-05,9.677101e-05,9.811500e-05,9.953315e-05,1.016372e-04,1.021484e-04,1.046150e-04,1.049010e-04,1.069321e-04,1.079043e-04,1.091000e-04,1.106486e-04,1.111199e-04,1.129938e-04,1.131375e-04,1.147243e-04,1.153770e-04,1.163147e-04,1.173751e-04,1.177688e-04,1.190909e-04,1.191411e-04,1.202855e-04,1.206853e-04,1.213574e-04,1.220189e-04,1.223118e-04,1.231538e-04,1.238887e-04,1.241021e-04,1.245217e-04,1.248759e-04,1.250583e-04,1.254875e-04,1.255036e-04,1.258629e-04,1.259487e-04,1.261412e-04,1.262714e-04,1.263435e-04,1.264667e-04,1.264746e-04,1.265393e-04,1.265454e-04,1.265420e-04,1.265180e-04,1.264870e-04,1.263942e-04,1.263785e-04,1.262204e-04,1.261831e-04,1.260165e-04,1.258935e-04,1.257703e-04,1.255334e-04,1.254854e-04,1.251648e-04,1.251104e-04,1.248116e-04,1.246314e-04,1.244287e-04,1.241029e-04,1.240189e-04,1.235846e-04,1.235309e-04,1.231282e-04,1.229210e-04,1.226519e-04,1.222780e-04,1.221579e-04,1.216482e-04,1.216067e-04,1.211244e-04,1.209113e-04,1.205883e-04,1.201956e-04,1.200416e-04,1.194856e-04,1.194632e-04,1.189217e-04,1.187171e-04,1.183513e-04,1.179603e-04,1.177755e-04,1.171953e-04,1.164246e-04,1.156503e-04,1.148742e-04,1.140981e-04,1.133234e-04,1.125516e-04,1.117839e-04,1.110213e-04,1.102649e-04,1.095154e-04,1.087735e-04,1.080400e-04,1.073154e-04,1.066002e-04,1.058948e-04,1.051995e-04,1.045147e-04,1.038405e-04,1.031772e-04,1.025250e-04,1.018839e-04,1.012540e-04,1.006354e-04,1.000281e-04
0.000000e+00,2.030526e-09,5.312929e-09,2.094421e-08,5.063211e-08,7.547385e-08,1.772555e-07,1.827645e-07,3.589300e-07,4.227379e-07,6.196690e-07,8.232582e-07,9.807513e-07,1.415225e-06,1.458051e-06,2.066426e-06,2.233281e-06,2.816595e-06,3.299879e-06,3.710731e-06,4.610312e-06,4.740587e-06,5.890710e-06,6.133611e-06,7.143489e-06,7.829872e-06,8.482151e-06,9.661828e-06,9.891484e-06,1.135757e-05,1.159653e-05,1.286737e-05,1.360394e-05,1.440849e-05,1.565595e-05,1.596907e-05,1.753780e-05,1.772608e-05,1.910402e-05,1.978978e-05,2.065783e-05,2.182482e-05,2.219017e-05,2.369293e-05,2.381165e-05,2.515898e-05,2.573371e-05,2.658218e-05,2.757744e-05,2.795741e-05,2.928050e-05,2.933229e-05,3.054822e-05,3.099056e-05,3.175816e-05,3.254704e-05,3.290866e-05,3.399873e-05,3.502803e-05,3.534458e-05,3.599670e-05,3.658510e-05,3.690535e-05,3.772208e-05,3.775494e-05,3.854675e-05,3.875831e-05,3.928231e-05,3.969735e-05,3.996333e-05,4.054329e-05,4.059166e-05,4.116930e-05,4.130061e-05,4.169827e-05,4.197403e-05,4.218069e-05,4.256837e-05,4.261865e-05,4.301425e-05,4.308847e-05,4.336956e-05,4.353909e-05,4.368665e-05,4.392492e-05,4.396750e-05,4.421408e-05,4.425048e-05,4.442829e-05,4.452014e-05,4.461194e-05,4.473805e-05,4.476680e-05,4.489457e-05,4.490816e-05,4.499688e-05,4.503424e-05,4.507530e-05,4.511983e-05,4.513131e-05,4.516633e-05,4.516826e-05,4.518172e-05,4.518268e-05,4.517878e-05,4.516600e-05,4.515873e-05,4.512273e-05,4.512098e-05,4.507190e-05,4.505018e-05,4.500729e-05,4.495598e-05,4.492988e-05,4.484062e-05,4.474041e-05,4.470616e-05,4.463007e-05,4.455452e-05,4.451042e-05,4.438747e-05,4.438219e-05,4.424610e-05,4.420668e-05,4.410282e-05,4.401367e-05,4.395298e-05,4.380984e-05,4.379717e-05,4.363595e-05,4.359651e-05,4.346985e-05,4.337489e-05,4.329937e-05,4.314608e-05,4.312496e-05,4.294707e-05,4.291111e-05,4.276610e-05,4.267091e-05,4.258245e-05,4.242636e-05,4.239647e-05,4.220850e-05,4.217826e-05,4.201886e-05,4.192732e-05,4.182784e-05,4.167423e-05,4.163573e-05,4.144278e-05,4.141959e-05,4.124924e-05,4.116395e-05,4.105533e-05,4.090784e-05,4.086125e-05,4.066722e-05,4.065170e-05,4.047340e-05,4.039598e-05,4.027997e-05,4.014104e-05,4.008709e-05,3.989490e-05,3.988723e-05,3.970354e-05,3.963487e-05,3.951312e-05,3.938424e-05,3.932377e-05,3.913559e-05,3.888916e-05,3.864514e-05,3.840371e-05,3.816503e-05,3.792924e-05,3.769647e-05,3.746682e-05,3.724038e-05,3.701722e-05,3.679742e-05,3.658102e-05,3.636807e-05,3.615860e-05,3.595264e-05,3.575020e-05,3.555128e-05,3.535590e-05,3.516404e-05,3.497569e-05,3.479085e-05,3.460949e-05,3.443159e-05,3.425711e-05,3.408604e-05
0.000000e+00,2.402702e-10,9.792639e-10,6.377524e-09,1.960686e-08,3.199453e-08,8.852885e-08,9.176349e-08,2.010931e-07,2.429057e-07,3.775584e-07,5.241418e-07,6.417915e-07,9.810312e-07,1.015367e-06,1.512668e-06,1.650646e-06,2.132735e-06,2.529109e-06,2.863117e-06,3.585831e-06,3.689693e-06,4.601026e-06,4.792642e-06,5.588094e-06,6.128667e-06,6.643017e-06,7.576012e-06,7.758164e-06,8.925717e-06,9.116849e-06,1.013754e-05,1.073248e-05,1.138524e-05,1.240352e-05,1.266032e-05,1.395435e-05,1.411051e-05,1.525916e-05,1.583468e-05,1.656703e-05,1.755862e-05,1.787079e-05,1.916393e-05,1.926674e-05,2.044064e-05,2.094558e-05,2.169588e-05,2.258390e-05,2.292532e-05,2.412535e-05,2.417269e-05,2.529301e-05,2.570498e-05,2.642598e-05,2.717566e-05,2.752249e-05,2.858126e-05,2.960145e-05,2.991968e-05,3.058259e-05,3.118996e-05,3.152455e-05,3.239207e-05,3.242744e-05,3.329161e-05,3.352672e-05,3.411761e-05,3.459516e-05,3.490611e-05,3.559910e-05,3.565792e-05,3.637392e-05,3.654054e-05,3.705507e-05,3.742167e-05,3.770239e-05,3.824487e-05,3.831692e-05,3.889972e-05,3.901256e-05,3.945186e-05,3.972722e-05,3.997442e-05,4.039130e-05,4.046847e-05,4.093507e-05,4.100725e-05,4.137525e-05,4.157745e-05,4.179003e-05,4.210423e-05,4.218040e-05,4.254735e-05,4.258985e-05,4.289180e-05,4.303648e-05,4.321469e-05,4.344620e-05,4.351689e-05,4.379927e-05,4.382103e-05,4.406266e-05,4.416288e-05,4.430786e-05,4.447358e-05,4.453565e-05,4.474677e-05,4.475488e-05,4.494195e-05,4.500844e-05,4.512187e-05,4.523585e-05,4.528721e-05,4.543860e-05,4.557666e-05,4.561812e-05,4.570198e-05,4.577577e-05,4.581514e-05,4.591283e-05,4.591667e-05,4.600711e-05,4.603052e-05,4.608696e-05,4.612999e-05,4.615670e-05,4.621233e-05,4.621679e-05,4.626769e-05,4.627858e-05,4.630981e-05,4.632972e-05,4.634356e-05,4.636666e-05,4.636935e-05,4.638754e-05,4.639030e-05,4.639850e-05,4.640146e-05,4.640257e-05,4.640091e-05,4.640008e-05,4.639136e-05,4.638941e-05,4.637670e-05,4.636764e-05,4.635640e-05,4.633628e-05,4.633073e-05,4.629997e-05,4.629595e-05,4.626438e-05,4.624724e-05,4.622418e-05,4.619071e-05,4.617963e-05,4.613095e-05,4.612688e-05,4.607835e-05,4.605626e-05,4.602204e-05,4.597931e-05,4.596222e-05,4.589907e-05,4.589648e-05,4.583279e-05,4.580819e-05,4.576353e-05,4.571483e-05,4.569148e-05,4.561678e-05,4.551440e-05,4.540802e-05,4.529795e-05,4.518449e-05,4.506793e-05,4.494852e-05,4.482652e-05,4.470216e-05,4.457566e-05,4.444723e-05,4.431709e-05,4.418540e-05,4.405234e-05,4.391810e-05,4.378281e-05,4.364663e-05,4.350970e-05,4.337215e-05,4.323410e-05,4.309567e-05,4.295697e-05,4.281809e-05,4.267914e-05,4.254021e-05
0.000000e+00,1.836455e-10,7.599015e-10,5.056655e-09,1.574633e-08,2.583683e-08,7.232519e-08,7.499946e-08,1.659636e-07,2.009774e-07,3.142602e-07,4.379403e-07,5.369841e-07,8.188681e-07,8.470097e-07,1.247221e-06,1.356382e-06,1.734664e-06,2.044617e-06,2.306494e-06,2.878193e-06,2.961070e-06,3.697077e-06,3.853911e-06,4.512770e-06,4.967599e-06,5.405551e-06,6.212459e-06,6.371824e-06,7.407018e-06,7.578692e-06,8.505675e-06,9.053773e-06,9.661592e-06,1.062303e-05,1.086802e-05,1.211785e-05,1.227040e-05,1.340377e-05,1.397913e-05,1.471852e-05,1.573267e-05,1.605506e-05,1.740661e-05,1.751519e-05,1.876680e-05,1.931196e-05,2.012975e-05,2.110973e-05,2.149006e-05,2.284290e-05,2.289679e-05,2.418396e-05,2.466311e-05,2.550946e-05,2.640023e-05,2.681614e-05,2.810119e-05,2.936225e-05,2.976039e-05,3.059736e-05,3.137347e-05,3.180493e-05,3.293708e-05,3.298367e-05,3.413258e-05,3.444882e-05,3.525092e-05,3.590702e-05,3.633816e-05,3.731067e-05,3.739397e-05,3.841816e-05,3.865926e-05,3.941071e-05,3.995273e-05,4.037168e-05,4.119136e-05,4.130127e-05,4.219973e-05,4.237571e-05,4.306740e-05,4.350656e-05,4.390469e-05,4.458485e-05,4.471203e-05,4.548992e-05,4.561168e-05,4.623886e-05,4.658823e-05,4.695940e-05,4.751577e-05,4.765212e-05,4.831758e-05,4.839563e-05,4.895638e-05,4.922916e-05,4.956912e-05,5.001774e-05,5.015640e-05,5.071884e-05,5.076278e-05,5.125703e-05,5.146566e-05,5.177160e-05,5.212780e-05,5.226314e-05,5.273226e-05,5.275057e-05,5.317955e-05,5.333535e-05,5.360561e-05,5.388349e-05,5.401100e-05,5.439632e-05,5.476211e-05,5.487514e-05,5.510896e-05,5.532124e-05,5.543739e-05,5.573586e-05,5.574795e-05,5.604117e-05,5.612024e-05,5.631757e-05,5.647555e-05,5.657766e-05,5.680296e-05,5.682193e-05,5.705087e-05,5.710359e-05,5.726496e-05,5.737854e-05,5.746467e-05,5.762889e-05,5.765046e-05,5.782277e-05,5.785565e-05,5.798203e-05,5.805983e-05,5.812867e-05,5.824240e-05,5.826311e-05,5.838575e-05,5.840430e-05,5.849698e-05,5.854644e-05,5.859720e-05,5.866970e-05,5.868678e-05,5.876607e-05,5.877491e-05,5.883545e-05,5.886292e-05,5.889524e-05,5.893449e-05,5.894580e-05,5.898745e-05,5.899041e-05,5.902051e-05,5.903140e-05,5.904530e-05,5.905818e-05,5.906210e-05,5.907122e-05,5.907143e-05,5.907294e-05,5.907181e-05,5.906755e-05,5.905995e-05,5.905530e-05,5.903646e-05,5.900194e-05,5.895695e-05,5.890203e-05,5.883770e-05,5.876447e-05,5.868282e-05,5.859322e-05,5.849610e-05,5.839190e-05,5.828102e-05,5.816386e-05,5.804080e-05,5.791220e-05,5.777840e-05,5.763973e-05,5.749653e-05,5.734908e-05,5.719768e-05,5.704262e-05,5.688415e-05,5.672253e-05,5.655801e-05,5.639081e-05,5.622116e-05
0.000000e+00,2.077392e-15,1.835380e-14,4.661061e-13,3.950710e-12,1.048156e-11,8.530708e-11,9.197361e-11,4.822185e-10,7.195654e-10,1.826533e-09,3.631260e-09,5.531289e-09,1.325784e-08,1.422751e-08,3.232184e-08,3.875834e-08,6.660298e-08,9.637956e-08,1.268612e-07,2.118957e-07,2.264612e-07,3.827885e-07,4.226904e-07,6.174874e-07,7.789287e-07,9.564223e-07,1.343343e-06,1.429340e-06,2.069245e-06,2.189466e-06,2.911531e-06,3.398481e-06,3.992937e-06,5.055071e-06,5.350395e-06,7.019842e-06,7.242775e-06,9.035058e-06,1.003930e-05,1.142659e-05,1.351221e-05,1.422077e-05,1.743894e-05,1.771522e-05,2.109679e-05,2.268539e-05,2.520388e-05,2.844122e-05,2.976343e-05,3.477214e-05,3.498171e-05,4.022034e-05,4.228641e-05,4.609221e-05,5.031628e-05,5.236614e-05,5.901524e-05,6.600789e-05,6.831237e-05,7.330845e-05,7.812450e-05,8.087792e-05,8.835903e-05,8.867473e-05,9.665541e-05,9.891690e-05,1.047754e-04,1.096955e-04,1.129897e-04,1.205915e-04,1.212534e-04,1.295227e-04,1.315034e-04,1.377550e-04,1.423337e-04,1.459096e-04,1.529908e-04,1.539481e-04,1.618345e-04,1.633906e-04,1.695359e-04,1.734575e-04,1.770224e-04,1.831253e-04,1.842673e-04,1.912469e-04,1.923377e-04,1.979412e-04,2.010479e-04,2.043330e-04,2.092194e-04,2.104086e-04,2.161571e-04,2.168246e-04,2.215707e-04,2.238452e-04,2.266442e-04,2.302709e-04,2.313750e-04,2.357628e-04,2.360990e-04,2.398094e-04,2.413333e-04,2.435186e-04,2.459834e-04,2.468960e-04,2.499485e-04,2.500639e-04,2.526845e-04,2.535938e-04,2.551135e-04,2.565952e-04,2.572459e-04,2.590928e-04,2.606660e-04,2.611136e-04,2.619777e-04,2.626857e-04,2.630404e-04,2.638383e-04,2.638669e-04,2.644700e-04,2.646006e-04,2.648624e-04,2.650021e-04,2.650569e-04,2.650718e-04,2.650660e-04,2.649020e-04,2.648382e-04,2.645768e-04,2.643287e-04,2.641021e-04,2.635697e-04,2.634892e-04,2.627489e-04,2.625865e-04,2.618917e-04,2.614031e-04,2.609275e-04,2.600419e-04,2.598658e-04,2.587158e-04,2.585242e-04,2.574859e-04,2.568696e-04,2.561844e-04,2.550967e-04,2.548188e-04,2.533966e-04,2.532224e-04,2.519244e-04,2.512625e-04,2.504086e-04,2.492312e-04,2.488553e-04,2.472699e-04,2.471419e-04,2.456577e-04,2.450063e-04,2.440234e-04,2.428355e-04,2.423715e-04,2.407061e-04,2.406392e-04,2.390310e-04,2.384263e-04,2.373498e-04,2.362048e-04,2.356657e-04,2.339816e-04,2.317632e-04,2.295550e-04,2.273622e-04,2.251889e-04,2.230389e-04,2.209155e-04,2.188215e-04,2.167593e-04,2.147308e-04,2.127378e-04,2.107816e-04,2.088633e-04,2.069837e-04,2.051435e-04,2.033431e-04,2.015828e-04,1.998626e-04,1.981825e-04,1.965423e-04,1.949419e-04,1.933808e-04,1.918587e-04,1.903750e-04,1.889292e-04
0.000000e+00,7.228002e-14,5.833785e-13,1.226928e-11,8.748534e-11,2.110110e-10,1.341221e-09,1.431527e-09,5.866103e-09,8.185587e-09,1.755478e-08,3.045500e-08,4.245294e-08,8.350951e-08,8.812739e-08,1.632566e-07,1.866932e-07,2.770864e-07,3.612050e-07,4.388800e-07,6.278275e-07,6.572813e-07,9.394980e-07,1.004077e-06,1.290379e-06,1.500687e-06,1.711665e-06,2.118833e-06,2.201691e-06,2.755631e-06,2.849730e-06,3.366135e-06,3.676652e-06,4.024147e-06,4.578078e-06,4.719701e-06,5.442565e-06,5.530664e-06,6.182719e-06,6.511393e-06,6.930669e-06,7.498903e-06,7.677653e-06,8.415755e-06,8.474203e-06,9.137975e-06,9.421028e-06,9.838261e-06,1.032599e-05,1.051152e-05,1.115361e-05,1.117860e-05,1.176131e-05,1.197118e-05,1.233226e-05,1.269870e-05,1.286493e-05,1.335850e-05,1.381281e-05,1.394996e-05,1.422828e-05,1.447419e-05,1.460578e-05,1.493362e-05,1.494656e-05,1.525218e-05,1.533168e-05,1.552439e-05,1.567248e-05,1.576512e-05,1.596050e-05,1.597637e-05,1.616017e-05,1.620043e-05,1.631857e-05,1.639692e-05,1.645356e-05,1.655451e-05,1.656706e-05,1.666092e-05,1.667749e-05,1.673688e-05,1.676985e-05,1.679658e-05,1.683528e-05,1.684154e-05,1.687319e-05,1.687710e-05,1.689281e-05,1.689832e-05,1.690162e-05,1.690162e-05,1.690071e-05,1.689107e-05,1.688937e-05,1.687361e-05,1.686366e-05,1.684915e-05,1.682634e-05,1.681844e-05,1.678215e-05,1.677902e-05,1.674089e-05,1.672312e-05,1.669521e-05,1.665987e-05,1.664561e-05,1.659253e-05,1.659034e-05,1.653638e-05,1.651549e-05,1.647752e-05,1.643612e-05,1.641629e-05,1.635297e-05,1.628784e-05,1.626666e-05,1.622114e-05,1.617774e-05,1.615310e-05,1.608669e-05,1.608390e-05,1.601373e-05,1.599394e-05,1.594276e-05,1.589985e-05,1.587113e-05,1.580477e-05,1.579899e-05,1.572644e-05,1.570898e-05,1.565361e-05,1.561274e-05,1.558060e-05,1.551626e-05,1.550749e-05,1.543438e-05,1.541976e-05,1.536133e-05,1.532340e-05,1.528843e-05,1.522735e-05,1.521573e-05,1.514330e-05,1.513174e-05,1.507118e-05,1.503669e-05,1.499943e-05,1.494232e-05,1.492808e-05,1.485719e-05,1.484871e-05,1.478677e-05,1.475596e-05,1.471688e-05,1.466413e-05,1.464754e-05,1.457877e-05,1.457329e-05,1.451059e-05,1.448350e-05,1.444304e-05,1.439480e-05,1.437614e-05,1.430988e-05,1.430725e-05,1.424431e-05,1.422087e-05,1.417941e-05,1.413569e-05,1.411522e-05,1.405174e-05,1.396905e-05,1.388762e-05,1.380748e-05,1.372863e-05,1.365108e-05,1.357484e-05,1.349991e-05,1.342628e-05,1.335395e-05,1.328292e-05,1.321319e-05,1.314474e-05,1.307758e-05,1.301167e-05,1.294703e-05,1.288363e-05,1.282146e-05,1.276051e-05,1.270077e-05,1.264221e-05,1.258483e-05,1.252860e-05,1.247351e-05,1.241955e-05
0.000000e+00,6.011376e-10,2.339273e-09,1.436915e-08,4.299786e-08,6.958211e-08,1.912588e-07,1.982700e-07,4.391921e-07,5.332434e-07,8.410277e-07,1.178692e-06,1.446967e-06,2.191011e-06,2.263669e-06,3.271695e-06,3.540081e-06,4.454769e-06,5.190441e-06,5.804484e-06,7.125818e-06,7.315477e-06,8.982036e-06,9.333391e-06,1.079660e-05,1.179547e-05,1.274926e-05,1.448735e-05,1.482782e-05,1.701808e-05,1.737786e-05,1.930440e-05,2.043109e-05,2.167017e-05,2.360859e-05,2.409842e-05,2.657228e-05,2.687142e-05,2.907541e-05,3.018204e-05,3.159237e-05,3.350567e-05,3.410887e-05,3.661191e-05,3.681121e-05,3.908993e-05,4.007181e-05,4.153279e-05,4.326495e-05,4.393180e-05,4.627960e-05,4.637236e-05,4.857012e-05,4.937970e-05,5.079844e-05,5.227617e-05,5.296072e-05,5.505402e-05,5.707624e-05,5.770809e-05,5.902598e-05,6.023540e-05,6.090247e-05,6.263472e-05,6.270543e-05,6.443503e-05,6.490624e-05,6.609180e-05,6.705125e-05,6.767658e-05,6.907190e-05,6.919043e-05,7.063463e-05,7.097102e-05,7.201059e-05,7.275191e-05,7.331988e-05,7.441820e-05,7.456413e-05,7.574505e-05,7.597379e-05,7.686440e-05,7.742272e-05,7.792397e-05,7.876914e-05,7.892557e-05,7.987101e-05,8.001719e-05,8.076210e-05,8.117104e-05,8.160063e-05,8.223481e-05,8.238838e-05,8.312711e-05,8.321254e-05,8.381853e-05,8.410822e-05,8.446436e-05,8.492571e-05,8.506625e-05,8.562582e-05,8.566880e-05,8.614465e-05,8.634113e-05,8.662431e-05,8.694625e-05,8.706630e-05,8.747208e-05,8.748758e-05,8.784309e-05,8.796841e-05,8.818071e-05,8.839191e-05,8.848629e-05,8.876114e-05,8.900652e-05,8.907902e-05,8.922366e-05,8.934836e-05,8.941375e-05,8.957186e-05,8.957794e-05,8.971735e-05,8.975209e-05,8.983305e-05,8.989152e-05,8.992607e-05,8.999250e-05,8.999744e-05,9.004811e-05,9.005729e-05,9.007902e-05,9.008804e-05,9.009108e-05,9.008679e-05,9.008516e-05,9.006210e-05,9.005550e-05,9.002270e-05,8.999603e-05,8.996777e-05,8.991015e-05,8.989803e-05,8.981423e-05,8.979956e-05,8.971706e-05,8.966586e-05,8.960718e-05,8.951058e-05,8.948526e-05,8.935191e-05,8.933516e-05,8.920772e-05,8.914100e-05,8.905328e-05,8.892939e-05,8.888914e-05,8.871583e-05,8.870159e-05,8.853386e-05,8.845876e-05,8.834373e-05,8.820204e-05,8.814590e-05,8.794083e-05,8.793248e-05,8.772895e-05,8.765109e-05,8.751069e-05,8.735882e-05,8.728644e-05,8.705658e-05,8.674521e-05,8.642552e-05,8.609829e-05,8.576422e-05,8.542400e-05,8.507829e-05,8.472767e-05,8.437274e-05,8.401403e-05,8.365204e-05,8.328727e-05,8.292016e-05,8.255114e-05,8.218060e-05,8.180893e-05,8.143648e-05,8.106357e-05,8.069053e-05,8.031763e-05,7.994516e-05,7.957336e-05,7.920248e-05,7.883273e-05,7.846433e-05
0.000000e+00,1.038139e-09,2.497401e-09,9.025492e-09,2.096294e-08,3.078698e-08,7.043159e-08,7.256116e-08,1.402103e-07,1.645647e-07,2.394158e-07,3.164234e-07,3.757885e-07,5.387865e-07,5.547986e-07,7.813828e-07,8.432811e-07,1.059072e-06,1.237353e-06,1.388673e-06,1.719334e-06,1.767131e-06,2.187623e-06,2.275989e-06,2.641160e-06,2.886969e-06,3.118533e-06,3.531889e-06,3.611514e-06,4.113196e-06,4.193877e-06,4.617888e-06,4.859797e-06,5.120894e-06,5.519451e-06,5.618330e-06,6.106987e-06,6.164905e-06,6.584235e-06,6.790047e-06,7.047956e-06,7.390298e-06,7.496487e-06,7.928569e-06,7.962396e-06,8.343303e-06,8.504197e-06,8.740098e-06,9.014492e-06,9.118632e-06,9.478811e-06,9.492837e-06,9.820726e-06,9.939388e-06,1.014462e-05,1.035477e-05,1.045087e-05,1.073993e-05,1.101235e-05,1.109610e-05,1.126870e-05,1.142462e-05,1.150962e-05,1.172698e-05,1.173575e-05,1.194774e-05,1.200466e-05,1.214627e-05,1.225920e-05,1.233199e-05,1.249208e-05,1.250554e-05,1.266754e-05,1.270478e-05,1.281863e-05,1.289868e-05,1.295937e-05,1.307514e-05,1.309036e-05,1.321212e-05,1.323541e-05,1.332519e-05,1.338071e-05,1.343006e-05,1.351218e-05,1.352722e-05,1.361712e-05,1.363085e-05,1.370018e-05,1.373774e-05,1.377681e-05,1.383376e-05,1.384741e-05,1.391234e-05,1.391977e-05,1.397194e-05,1.399657e-05,1.402655e-05,1.406490e-05,1.407647e-05,1.412199e-05,1.412545e-05,1.416340e-05,1.417886e-05,1.420094e-05,1.422572e-05,1.423487e-05,1.426542e-05,1.426658e-05,1.429280e-05,1.430193e-05,1.431722e-05,1.433224e-05,1.433888e-05,1.435795e-05,1.437461e-05,1.437945e-05,1.438901e-05,1.439712e-05,1.440131e-05,1.441128e-05,1.441166e-05,1.442018e-05,1.442226e-05,1.442701e-05,1.443034e-05,1.443226e-05,1.443578e-05,1.443604e-05,1.443845e-05,1.443884e-05,1.443961e-05,1.443974e-05,1.443959e-05,1.443868e-05,1.443849e-05,1.443639e-05,1.443585e-05,1.443336e-05,1.443144e-05,1.442948e-05,1.442561e-05,1.442481e-05,1.441942e-05,1.441850e-05,1.441337e-05,1.441025e-05,1.440671e-05,1.440098e-05,1.439950e-05,1.439178e-05,1.439082e-05,1.438361e-05,1.437987e-05,1.437501e-05,1.436823e-05,1.436604e-05,1.435674e-05,1.435598e-05,1.434713e-05,1.434320e-05,1.433725e-05,1.432998e-05,1.432713e-05,1.431680e-05,1.431638e-05,1.430629e-05,1.430246e-05,1.429562e-05,1.428829e-05,1.428482e-05,1.427390e-05,1.425936e-05,1.424470e-05,1.422996e-05,1.421518e-05,1.420040e-05,1.418563e-05,1.417091e-05,1.415626e-05,1.414170e-05,1.412726e-05,1.411294e-05,1.409877e-05,1.408476e-05,1.407092e-05,1.405726e-05,1.404379e-05,1.403052e-05,1.401745e-05,1.400459e-05,1.399195e-05,1.397953e-05,1.396733e-05,1.395536e-05,1.394362e-05
0.000000e+00,6.167518e-14,5.055070e-13,1.098140e-11,8.067238e-11,1.978183e-10,1.312824e-09,1.403702e-09,6.008816e-09,8.486144e-09,1.876396e-08,3.338034e-08,4.730871e-08,9.664132e-08,1.023184e-07,1.973813e-07,2.279073e-07,3.487029e-07,4.647754e-07,5.745795e-07,8.504263e-07,8.944063e-07,1.327078e-06,1.428665e-06,1.889036e-06,2.236614e-06,2.592525e-06,3.298138e-06,3.444580e-06,4.446864e-06,4.621019e-06,5.596202e-06,6.198154e-06,6.885485e-06,8.010999e-06,8.304673e-06,9.841699e-06,1.003343e-05,1.148317e-05,1.223488e-05,1.321493e-05,1.458250e-05,1.502242e-05,1.689098e-05,1.704267e-05,1.880608e-05,1.958196e-05,2.075351e-05,2.216795e-05,2.271955e-05,2.469115e-05,2.476996e-05,2.665605e-05,2.735957e-05,2.860293e-05,2.991122e-05,3.052150e-05,3.240256e-05,3.423807e-05,3.481466e-05,3.602115e-05,3.713210e-05,3.774604e-05,3.934287e-05,3.940809e-05,4.100372e-05,4.143820e-05,4.253026e-05,4.341226e-05,4.398597e-05,4.526181e-05,4.536987e-05,4.668170e-05,4.698584e-05,4.792179e-05,4.858520e-05,4.909099e-05,5.006225e-05,5.019057e-05,5.122217e-05,5.142050e-05,5.218769e-05,5.266435e-05,5.308927e-05,5.379885e-05,5.392920e-05,5.470987e-05,5.482944e-05,5.543376e-05,5.576180e-05,5.610339e-05,5.660172e-05,5.672127e-05,5.728990e-05,5.735494e-05,5.781172e-05,5.802712e-05,5.828915e-05,5.862375e-05,5.872453e-05,5.912011e-05,5.915011e-05,5.947809e-05,5.961122e-05,5.980055e-05,6.001185e-05,6.008950e-05,6.034686e-05,6.035652e-05,6.057446e-05,6.064945e-05,6.077404e-05,6.089460e-05,6.094726e-05,6.109568e-05,6.122079e-05,6.125613e-05,6.132399e-05,6.137916e-05,6.140662e-05,6.146776e-05,6.146994e-05,6.151513e-05,6.152470e-05,6.154333e-05,6.155253e-05,6.155558e-05,6.155364e-05,6.155290e-05,6.153622e-05,6.153023e-05,6.150643e-05,6.148434e-05,6.146438e-05,6.141786e-05,6.141085e-05,6.134660e-05,6.133253e-05,6.127233e-05,6.122996e-05,6.118869e-05,6.111166e-05,6.109632e-05,6.099580e-05,6.097900e-05,6.088770e-05,6.083327e-05,6.077253e-05,6.067565e-05,6.065080e-05,6.052295e-05,6.050722e-05,6.038945e-05,6.032902e-05,6.025069e-05,6.014197e-05,6.010708e-05,5.995897e-05,5.994694e-05,5.980672e-05,5.974474e-05,5.965066e-05,5.953610e-05,5.949109e-05,5.932831e-05,5.932173e-05,5.916259e-05,5.910226e-05,5.899419e-05,5.887828e-05,5.882336e-05,5.865033e-05,5.841892e-05,5.818453e-05,5.794759e-05,5.770849e-05,5.746762e-05,5.722533e-05,5.698192e-05,5.673770e-05,5.649294e-05,5.624790e-05,5.600281e-05,5.575788e-05,5.551332e-05,5.526931e-05,5.502602e-05,5.478362e-05,5.454223e-05,5.430201e-05,5.406307e-05,5.382552e-05,5.358948e-05,5.335502e-05,5.312225e-05,5.289123e-05
0.000000e+00,5.006771e-15,4.281885e-14,1.015916e-12,8.086306e-12,2.071789e-11,1.538793e-10,1.652817e-10,7.897819e-10,1.148774e-09,2.732831e-09,5.151683e-09,7.577303e-09,1.677888e-08,1.788401e-08,3.735916e-08,4.391943e-08,7.093631e-08,9.814530e-08,1.247701e-07,1.946621e-07,2.061468e-07,3.233167e-07,3.518257e-07,4.852453e-07,5.902369e-07,7.012853e-07,9.314225e-07,9.807813e-07,1.332637e-06,1.396202e-06,1.764892e-06,2.002985e-06,2.284348e-06,2.766297e-06,2.896277e-06,3.604230e-06,3.695739e-06,4.409936e-06,4.795452e-06,5.313293e-06,6.064070e-06,6.312440e-06,7.403872e-06,7.495034e-06,8.582598e-06,9.077160e-06,9.842324e-06,1.079537e-05,1.117566e-05,1.257433e-05,1.263151e-05,1.402935e-05,1.456515e-05,1.553130e-05,1.657446e-05,1.707043e-05,1.863693e-05,2.022103e-05,2.073009e-05,2.181319e-05,2.283214e-05,2.340423e-05,2.492249e-05,2.498545e-05,2.654869e-05,2.698214e-05,2.808647e-05,2.899404e-05,2.959195e-05,3.094323e-05,3.105906e-05,3.248245e-05,3.281703e-05,3.385754e-05,3.460502e-05,3.518046e-05,3.629897e-05,3.644808e-05,3.765792e-05,3.789279e-05,3.880817e-05,3.938230e-05,3.989757e-05,4.076514e-05,4.092545e-05,4.189159e-05,4.204045e-05,4.279622e-05,4.320877e-05,4.363998e-05,4.427177e-05,4.442380e-05,4.514892e-05,4.523206e-05,4.581682e-05,4.609300e-05,4.642918e-05,4.685854e-05,4.698782e-05,4.749469e-05,4.753307e-05,4.795184e-05,4.812125e-05,4.836138e-05,4.862796e-05,4.872544e-05,4.904618e-05,4.905814e-05,4.932577e-05,4.941676e-05,4.956633e-05,4.970870e-05,4.976998e-05,4.993877e-05,5.007471e-05,5.011159e-05,5.017975e-05,5.023163e-05,5.025578e-05,5.030316e-05,5.030462e-05,5.032801e-05,5.033023e-05,5.032763e-05,5.031666e-05,5.030508e-05,5.026608e-05,5.026190e-05,5.019952e-05,5.018185e-05,5.011934e-05,5.006716e-05,5.002267e-05,4.992495e-05,4.991075e-05,4.978477e-05,4.975798e-05,4.964583e-05,4.956881e-05,4.949499e-05,4.935981e-05,4.933323e-05,4.916150e-05,4.913316e-05,4.898067e-05,4.889089e-05,4.879157e-05,4.863486e-05,4.859498e-05,4.839162e-05,4.836680e-05,4.818219e-05,4.808829e-05,4.796733e-05,4.780077e-05,4.774763e-05,4.752367e-05,4.750559e-05,4.729597e-05,4.720396e-05,4.706503e-05,4.689700e-05,4.683130e-05,4.659522e-05,4.658573e-05,4.635719e-05,4.627109e-05,4.611757e-05,4.595392e-05,4.587673e-05,4.563499e-05,4.531500e-05,4.499460e-05,4.467436e-05,4.435480e-05,4.403638e-05,4.371955e-05,4.340466e-05,4.309207e-05,4.278208e-05,4.247495e-05,4.217092e-05,4.187021e-05,4.157300e-05,4.127945e-05,4.098969e-05,4.070385e-05,4.042203e-05,4.014431e-05,3.987077e-05,3.960145e-05,3.933640e-05,3.907565e-05,3.881921e-05,3.856711e-05
0.000000e+00,9.888421e-13,7.563352e-12,1.426562e-10,9.241056e-10,2.117690e-09,1.186028e-08,1.259622e-08,4.597230e-08,6.227770e-08,1.244589e-07,2.048217e-07,2.764663e-07,5.093340e-07,5.347224e-07,9.339521e-07,1.054463e-06,1.506315e-06,1.911533e-06,2.274628e-06,3.119808e-06,3.247212e-06,4.417626e-06,4.674050e-06,5.768411e-06,6.534366e-06,7.275865e-06,8.644024e-06,8.913747e-06,1.065537e-05,1.094190e-05,1.247452e-05,1.336777e-05,1.434582e-05,1.586401e-05,1.624493e-05,1.814878e-05,1.837652e-05,2.003596e-05,2.085596e-05,2.188705e-05,2.325911e-05,2.368492e-05,2.541501e-05,2.555011e-05,2.706539e-05,2.770106e-05,2.862681e-05,2.969208e-05,3.009255e-05,3.145827e-05,3.151078e-05,3.272173e-05,3.315141e-05,3.388252e-05,3.461374e-05,3.494178e-05,3.590189e-05,3.676621e-05,3.702321e-05,3.753883e-05,3.798731e-05,3.822438e-05,3.880519e-05,3.882781e-05,3.935425e-05,3.948856e-05,3.980888e-05,4.004935e-05,4.019687e-05,4.049928e-05,4.052324e-05,4.079285e-05,4.084963e-05,4.101035e-05,4.111105e-05,4.118016e-05,4.129344e-05,4.130642e-05,4.139303e-05,4.140592e-05,4.144363e-05,4.145683e-05,4.146158e-05,4.145373e-05,4.145002e-05,4.141183e-05,4.140342e-05,4.134966e-05,4.131204e-05,4.126598e-05,4.118505e-05,4.116301e-05,4.104282e-05,4.102734e-05,4.090730e-05,4.084326e-05,4.075817e-05,4.063670e-05,4.059700e-05,4.042522e-05,4.041106e-05,4.024415e-05,4.016939e-05,4.005498e-05,3.991438e-05,3.985880e-05,3.965660e-05,3.964840e-05,3.944929e-05,3.937356e-05,3.923767e-05,3.909169e-05,3.902249e-05,3.880444e-05,3.858412e-05,3.851323e-05,3.836209e-05,3.821932e-05,3.813885e-05,3.792383e-05,3.791486e-05,3.769054e-05,3.762772e-05,3.746625e-05,3.733184e-05,3.724234e-05,3.703693e-05,3.701910e-05,3.679682e-05,3.674364e-05,3.657573e-05,3.645253e-05,3.635606e-05,3.616407e-05,3.613800e-05,3.592172e-05,3.587869e-05,3.570739e-05,3.559675e-05,3.549514e-05,3.531855e-05,3.528509e-05,3.507735e-05,3.504434e-05,3.487202e-05,3.477434e-05,3.466917e-05,3.450873e-05,3.446888e-05,3.427120e-05,3.424766e-05,3.407619e-05,3.399124e-05,3.388389e-05,3.373957e-05,3.369433e-05,3.350754e-05,3.349271e-05,3.332353e-05,3.325072e-05,3.314233e-05,3.301361e-05,3.296394e-05,3.278837e-05,3.278141e-05,3.261561e-05,3.255411e-05,3.244567e-05,3.233171e-05,3.227853e-05,3.211418e-05,3.190149e-05,3.169359e-05,3.149045e-05,3.129200e-05,3.109820e-05,3.090896e-05,3.072424e-05,3.054395e-05,3.036802e-05,3.019639e-05,3.002896e-05,2.986566e-05,2.970642e-05,2.955114e-05,2.939975e-05,2.925217e-05,2.910832e-05,2.896810e-05,2.883146e-05,2.869829e-05,2.856853e-05,2.844209e-05,2.831889e-05,2.819887e-05
0.000000e+00,5.310206e-15,4.563811e-14,1.093942e-12,8.789765e-12,2.263877e-11,1.705041e-10,1.832447e-10,8.885325e-10,1.297811e-09,3.121321e-09,5.939658e-09,8.792858e-09,1.977426e-08,2.110602e-08,4.489098e-08,5.301135e-08,8.688020e-08,1.215398e-07,1.558724e-07,2.474780e-07,2.626958e-07,4.198624e-07,4.585175e-07,6.408657e-07,7.855244e-07,9.391931e-07,1.258655e-06,1.327221e-06,1.815185e-06,1.903068e-06,2.410381e-06,2.735434e-06,3.116668e-06,3.761972e-06,3.934298e-06,4.860017e-06,4.978093e-06,5.887406e-06,6.369400e-06,7.007345e-06,7.913534e-06,8.208578e-06,9.478293e-06,9.582420e-06,1.080269e-05,1.134457e-05,1.216752e-05,1.316722e-05,1.355853e-05,1.496188e-05,1.501808e-05,1.636446e-05,1.686682e-05,1.775412e-05,1.868607e-05,1.911990e-05,2.045210e-05,2.174236e-05,2.214521e-05,2.298370e-05,2.374982e-05,2.417047e-05,2.525437e-05,2.529831e-05,2.636404e-05,2.665101e-05,2.736560e-05,2.793526e-05,2.830194e-05,2.910558e-05,2.917285e-05,2.997890e-05,3.016283e-05,3.072131e-05,3.110988e-05,3.140179e-05,3.195109e-05,3.202250e-05,3.258592e-05,3.269196e-05,3.309476e-05,3.333872e-05,3.355187e-05,3.389804e-05,3.396022e-05,3.432281e-05,3.437678e-05,3.464263e-05,3.478181e-05,3.492259e-05,3.511979e-05,3.516556e-05,3.537426e-05,3.539713e-05,3.555133e-05,3.561987e-05,3.569925e-05,3.579363e-05,3.582038e-05,3.591690e-05,3.592362e-05,3.599088e-05,3.601460e-05,3.604424e-05,3.607089e-05,3.607874e-05,3.609604e-05,3.609639e-05,3.609763e-05,3.609463e-05,3.608492e-05,3.606876e-05,3.605918e-05,3.602159e-05,3.597320e-05,3.595560e-05,3.591500e-05,3.587303e-05,3.584789e-05,3.577585e-05,3.577270e-05,3.569016e-05,3.566583e-05,3.560098e-05,3.554454e-05,3.550577e-05,3.541335e-05,3.540511e-05,3.529953e-05,3.527351e-05,3.518950e-05,3.512611e-05,3.507547e-05,3.497212e-05,3.495783e-05,3.483696e-05,3.481243e-05,3.471319e-05,3.464780e-05,3.458685e-05,3.447895e-05,3.445822e-05,3.432756e-05,3.430649e-05,3.419513e-05,3.413101e-05,3.406116e-05,3.395300e-05,3.392584e-05,3.378938e-05,3.377294e-05,3.365196e-05,3.359123e-05,3.351374e-05,3.340825e-05,3.337487e-05,3.323549e-05,3.322432e-05,3.309574e-05,3.303976e-05,3.295573e-05,3.285483e-05,3.281558e-05,3.267540e-05,3.266979e-05,3.253528e-05,3.248487e-05,3.239531e-05,3.230027e-05,3.225558e-05,3.211617e-05,3.193276e-05,3.175018e-05,3.156858e-05,3.138809e-05,3.120881e-05,3.103085e-05,3.085430e-05,3.067926e-05,3.050578e-05,3.033395e-05,3.016382e-05,2.999544e-05,2.982887e-05,2.966414e-05,2.950129e-05,2.934035e-05,2.918135e-05,2.902431e-05,2.886925e-05,2.871619e-05,2.856513e-05,2.841609e-05,2.826906e-05,2.812406e-05
0.000000e+00,4.985460e-11,2.823469e-10,3.019336e-09,1.243871e-08,2.279411e-08,7.719192e-08,8.048996e-08,1.962576e-07,2.415154e-07,3.876131e-07,5.453405e-07,6.704038e-07,1.024123e-06,1.059483e-06,1.567246e-06,1.707553e-06,2.198326e-06,2.602650e-06,2.943099e-06,3.674282e-06,3.778356e-06,4.676095e-06,4.860847e-06,5.611329e-06,6.105735e-06,6.564340e-06,7.367218e-06,7.519686e-06,8.464810e-06,8.614351e-06,9.389141e-06,9.822747e-06,1.028373e-05,1.097294e-05,1.114114e-05,1.195548e-05,1.205009e-05,1.272235e-05,1.304393e-05,1.343882e-05,1.394861e-05,1.410330e-05,1.471541e-05,1.476213e-05,1.527577e-05,1.548573e-05,1.578584e-05,1.612309e-05,1.624769e-05,1.666386e-05,1.667960e-05,1.703718e-05,1.716167e-05,1.737066e-05,1.757622e-05,1.766734e-05,1.793024e-05,1.816230e-05,1.823051e-05,1.836632e-05,1.848338e-05,1.854490e-05,1.869469e-05,1.870050e-05,1.883536e-05,1.886968e-05,1.895151e-05,1.901301e-05,1.905084e-05,1.912880e-05,1.913501e-05,1.920556e-05,1.922061e-05,1.926383e-05,1.929157e-05,1.931106e-05,1.934436e-05,1.934835e-05,1.937666e-05,1.938132e-05,1.939688e-05,1.940445e-05,1.940978e-05,1.941547e-05,1.941606e-05,1.941634e-05,1.941586e-05,1.941118e-05,1.940692e-05,1.940109e-05,1.938977e-05,1.938652e-05,1.936787e-05,1.936538e-05,1.934552e-05,1.933460e-05,1.931979e-05,1.929817e-05,1.929100e-05,1.925941e-05,1.925677e-05,1.922528e-05,1.921097e-05,1.918884e-05,1.916129e-05,1.915029e-05,1.910984e-05,1.910818e-05,1.906765e-05,1.905206e-05,1.902389e-05,1.899331e-05,1.897871e-05,1.893224e-05,1.888463e-05,1.886917e-05,1.883598e-05,1.880436e-05,1.878642e-05,1.873806e-05,1.873603e-05,1.868492e-05,1.867049e-05,1.863317e-05,1.860186e-05,1.858088e-05,1.853235e-05,1.852811e-05,1.847494e-05,1.846212e-05,1.842143e-05,1.839134e-05,1.836765e-05,1.832014e-05,1.831365e-05,1.825950e-05,1.824865e-05,1.820524e-05,1.817700e-05,1.815092e-05,1.810527e-05,1.809658e-05,1.804227e-05,1.803358e-05,1.798802e-05,1.796202e-05,1.793387e-05,1.789065e-05,1.787986e-05,1.782602e-05,1.781957e-05,1.777237e-05,1.774883e-05,1.771894e-05,1.767850e-05,1.766577e-05,1.761286e-05,1.760864e-05,1.756025e-05,1.753929e-05,1.750795e-05,1.747051e-05,1.745599e-05,1.740438e-05,1.740232e-05,1.735314e-05,1.733478e-05,1.730228e-05,1.726792e-05,1.725181e-05,1.720176e-05,1.713633e-05,1.707166e-05,1.700777e-05,1.694467e-05,1.688239e-05,1.682093e-05,1.676031e-05,1.670054e-05,1.664162e-05,1.658357e-05,1.652639e-05,1.647008e-05,1.641464e-05,1.636008e-05,1.630639e-05,1.625358e-05,1.620163e-05,1.615056e-05,1.610035e-05,1.605101e-05,1.600252e-05,1.595488e-05,1.590808e-05,1.586212e-05
0.000000e+00,2.188562e-11,1.380955e-10,1.799237e-09,8.626097e-09,1.701446e-08,6.807297e-08,7.142653e-08,2.014607e-07,2.576216e-07,4.554476e-07,6.937922e-07,8.988249e-07,1.542573e-06,1.611299e-06,2.659988e-06,2.964703e-06,4.058811e-06,4.979043e-06,5.760269e-06,7.447622e-06,7.688500e-06,9.773202e-06,1.020399e-05,1.196193e-05,1.312851e-05,1.421788e-05,1.614498e-05,1.651417e-05,1.882941e-05,1.920035e-05,2.114532e-05,2.225236e-05,2.344567e-05,2.526492e-05,2.571592e-05,2.794319e-05,2.820703e-05,3.011638e-05,3.105297e-05,3.222612e-05,3.378237e-05,3.426484e-05,3.622665e-05,3.638013e-05,3.810726e-05,3.883609e-05,3.990382e-05,4.114435e-05,4.161471e-05,4.323934e-05,4.330253e-05,4.477803e-05,4.531112e-05,4.623189e-05,4.717285e-05,4.760251e-05,4.889199e-05,5.010274e-05,5.047397e-05,5.123739e-05,5.192494e-05,5.229878e-05,5.325147e-05,5.328980e-05,5.421342e-05,5.446035e-05,5.507259e-05,5.555839e-05,5.587027e-05,5.655231e-05,5.660935e-05,5.729268e-05,5.744868e-05,5.792300e-05,5.825382e-05,5.850299e-05,5.897380e-05,5.903523e-05,5.952220e-05,5.961437e-05,5.996628e-05,6.018102e-05,6.036976e-05,6.067891e-05,6.073483e-05,6.106356e-05,6.111292e-05,6.135796e-05,6.148763e-05,6.161992e-05,6.180734e-05,6.185124e-05,6.205366e-05,6.207608e-05,6.222880e-05,6.229763e-05,6.237823e-05,6.247550e-05,6.250341e-05,6.260576e-05,6.261301e-05,6.268661e-05,6.271321e-05,6.274722e-05,6.277900e-05,6.278879e-05,6.281245e-05,6.281304e-05,6.281929e-05,6.281783e-05,6.281033e-05,6.279571e-05,6.278653e-05,6.274882e-05,6.269806e-05,6.267920e-05,6.263508e-05,6.258872e-05,6.256065e-05,6.247913e-05,6.247552e-05,6.238039e-05,6.235205e-05,6.227591e-05,6.220900e-05,6.216271e-05,6.205139e-05,6.204139e-05,6.191251e-05,6.188051e-05,6.177660e-05,6.169760e-05,6.163415e-05,6.150378e-05,6.148566e-05,6.133156e-05,6.130010e-05,6.117228e-05,6.108754e-05,6.100822e-05,6.086700e-05,6.083977e-05,6.066728e-05,6.063933e-05,6.049110e-05,6.040532e-05,6.031154e-05,6.016567e-05,6.012892e-05,5.994351e-05,5.992108e-05,5.975558e-05,5.967217e-05,5.956541e-05,5.941951e-05,5.937322e-05,5.917924e-05,5.916366e-05,5.898370e-05,5.890509e-05,5.878680e-05,5.864429e-05,5.858872e-05,5.838965e-05,5.838167e-05,5.818977e-05,5.811764e-05,5.798923e-05,5.785256e-05,5.778818e-05,5.758678e-05,5.732060e-05,5.705432e-05,5.678821e-05,5.652250e-05,5.625745e-05,5.599324e-05,5.573008e-05,5.546814e-05,5.520758e-05,5.494856e-05,5.469122e-05,5.443567e-05,5.418203e-05,5.393040e-05,5.368089e-05,5.343356e-05,5.318851e-05,5.294579e-05,5.270547e-05,5.246761e-05,5.223224e-05,5.199943e-05,5.176919e-05,5.154157e-05
0.000000e+00,1.526757e-09,3.915594e-09,1.516590e-08,3.663078e-08,5.484498e-08,1.324070e-07,1.367448e-07,2.829750e-07,3.394098e-07,5.241039e-07,7.292384e-07,8.953981e-07,1.371371e-06,1.418771e-06,2.081003e-06,2.256302e-06,2.842008e-06,3.295999e-06,3.661997e-06,4.410044e-06,4.513178e-06,5.377890e-06,5.551361e-06,6.244467e-06,6.692933e-06,7.104443e-06,7.816771e-06,7.951097e-06,8.778799e-06,8.909141e-06,9.582764e-06,9.959031e-06,1.035898e-05,1.095773e-05,1.110415e-05,1.181573e-05,1.189877e-05,1.249191e-05,1.277791e-05,1.313156e-05,1.359287e-05,1.373409e-05,1.429946e-05,1.434309e-05,1.482805e-05,1.502934e-05,1.532059e-05,1.565345e-05,1.577808e-05,1.620173e-05,1.621799e-05,1.659292e-05,1.672609e-05,1.695315e-05,1.718121e-05,1.728395e-05,1.758682e-05,1.786331e-05,1.794647e-05,1.811495e-05,1.826364e-05,1.834321e-05,1.854169e-05,1.854954e-05,1.873531e-05,1.878382e-05,1.890185e-05,1.899306e-05,1.905040e-05,1.917219e-05,1.918214e-05,1.929821e-05,1.932385e-05,1.939965e-05,1.945044e-05,1.948747e-05,1.955422e-05,1.956259e-05,1.962591e-05,1.963723e-05,1.967824e-05,1.970137e-05,1.972036e-05,1.974838e-05,1.975299e-05,1.977680e-05,1.977983e-05,1.979242e-05,1.979719e-05,1.980046e-05,1.980179e-05,1.980145e-05,1.979593e-05,1.979485e-05,1.978436e-05,1.977747e-05,1.976720e-05,1.975068e-05,1.974487e-05,1.971776e-05,1.971539e-05,1.968624e-05,1.967247e-05,1.965065e-05,1.962269e-05,1.961132e-05,1.956853e-05,1.956675e-05,1.952257e-05,1.950530e-05,1.947370e-05,1.943893e-05,1.942217e-05,1.936819e-05,1.931198e-05,1.929356e-05,1.925375e-05,1.921550e-05,1.919367e-05,1.913441e-05,1.913191e-05,1.906865e-05,1.905069e-05,1.900403e-05,1.896466e-05,1.893818e-05,1.887664e-05,1.887125e-05,1.880335e-05,1.878692e-05,1.873460e-05,1.869577e-05,1.866511e-05,1.860342e-05,1.859497e-05,1.852429e-05,1.851009e-05,1.845314e-05,1.841599e-05,1.838161e-05,1.832129e-05,1.830977e-05,1.823771e-05,1.822616e-05,1.816547e-05,1.813075e-05,1.809312e-05,1.803521e-05,1.802073e-05,1.794834e-05,1.793966e-05,1.787601e-05,1.784421e-05,1.780378e-05,1.774897e-05,1.773169e-05,1.765979e-05,1.765404e-05,1.758811e-05,1.755950e-05,1.751668e-05,1.746544e-05,1.744555e-05,1.737474e-05,1.737191e-05,1.730427e-05,1.727899e-05,1.723418e-05,1.718674e-05,1.716449e-05,1.709521e-05,1.700444e-05,1.691448e-05,1.682537e-05,1.673714e-05,1.664982e-05,1.656344e-05,1.647801e-05,1.639357e-05,1.631012e-05,1.622769e-05,1.614629e-05,1.606592e-05,1.598659e-05,1.590832e-05,1.583111e-05,1.575495e-05,1.567986e-05,1.560583e-05,1.553286e-05,1.546096e-05,1.539011e-05,1.532031e-05,1.525157e-05,1.518387e-05
0.000000e+00,2.782910e-09,6.712301e-09,2.430148e-08,5.645542e-08,8.290967e-08,1.896827e-07,1.954207e-07,3.779255e-07,4.437518e-07,6.465053e-07,8.557996e-07,1.017618e-06,1.463948e-06,1.507949e-06,2.133559e-06,2.305441e-06,2.908170e-06,3.410601e-06,3.840552e-06,4.792246e-06,4.931251e-06,6.169616e-06,6.433205e-06,7.532942e-06,8.280853e-06,8.989242e-06,1.025838e-05,1.050302e-05,1.204102e-05,1.228740e-05,1.357557e-05,1.430445e-05,1.508537e-05,1.626467e-05,1.655470e-05,1.797227e-05,1.813849e-05,1.933006e-05,1.990706e-05,2.062257e-05,2.155893e-05,2.184618e-05,2.299872e-05,2.308782e-05,2.407924e-05,2.449124e-05,2.508769e-05,2.576954e-05,2.602482e-05,2.689196e-05,2.692521e-05,2.769094e-05,2.796231e-05,2.842398e-05,2.888603e-05,2.909354e-05,2.970234e-05,3.025317e-05,3.041767e-05,3.074894e-05,3.103869e-05,3.119258e-05,3.157213e-05,3.158700e-05,3.193508e-05,3.202462e-05,3.223963e-05,3.240261e-05,3.250340e-05,3.271231e-05,3.272902e-05,3.291903e-05,3.295961e-05,3.307587e-05,3.315008e-05,3.320185e-05,3.328894e-05,3.329918e-05,3.336994e-05,3.338108e-05,3.341611e-05,3.343102e-05,3.343955e-05,3.344298e-05,3.344203e-05,3.342521e-05,3.342083e-05,3.339063e-05,3.336816e-05,3.333977e-05,3.328827e-05,3.327399e-05,3.319457e-05,3.318418e-05,3.310272e-05,3.305866e-05,3.299956e-05,3.291424e-05,3.288614e-05,3.276344e-05,3.275325e-05,3.263237e-05,3.257780e-05,3.249379e-05,3.238981e-05,3.234850e-05,3.219722e-05,3.219105e-05,3.204065e-05,3.198311e-05,3.187942e-05,3.176744e-05,3.171414e-05,3.154534e-05,3.137355e-05,3.131802e-05,3.119923e-05,3.108654e-05,3.102282e-05,3.085187e-05,3.084472e-05,3.066532e-05,3.061490e-05,3.048495e-05,3.037640e-05,3.030393e-05,3.013708e-05,3.012257e-05,2.994112e-05,2.989758e-05,2.975983e-05,2.965847e-05,2.957893e-05,2.942024e-05,2.939864e-05,2.921913e-05,2.918334e-05,2.904059e-05,2.894817e-05,2.886316e-05,2.871509e-05,2.868700e-05,2.851223e-05,2.848440e-05,2.833897e-05,2.825637e-05,2.816733e-05,2.803124e-05,2.799739e-05,2.782925e-05,2.780920e-05,2.766299e-05,2.759044e-05,2.749866e-05,2.737510e-05,2.733632e-05,2.717603e-05,2.716330e-05,2.701783e-05,2.695515e-05,2.686176e-05,2.675072e-05,2.670785e-05,2.655612e-05,2.655009e-05,2.640660e-05,2.635331e-05,2.625930e-05,2.616041e-05,2.611423e-05,2.597141e-05,2.578632e-05,2.560515e-05,2.542789e-05,2.525452e-05,2.508501e-05,2.491934e-05,2.475747e-05,2.459937e-05,2.444497e-05,2.429425e-05,2.414714e-05,2.400359e-05,2.386354e-05,2.372694e-05,2.359371e-05,2.346382e-05,2.333717e-05,2.321373e-05,2.309341e-05,2.297616e-05,2.286191e-05,2.275060e-05,2.264215e-05,2.253652e-05
0.000000e+00,6.246099e-16,5.549030e-15,1.425745e-13,1.221808e-12,3.261619e-12,2.698372e-11,2.911222e-11,1.552464e-10,2.327577e-10,5.980502e-10,1.201029e-09,1.841796e-09,4.483195e-09,4.817541e-09,1.112890e-08,1.339863e-08,2.331785e-08,3.405840e-08,4.515869e-08,7.653620e-08,8.195971e-08,1.408407e-07,1.560339e-07,2.309472e-07,2.938035e-07,3.635649e-07,5.175709e-07,5.521088e-07,8.119799e-07,8.613013e-07,1.160297e-06,1.364287e-06,1.615521e-06,2.069653e-06,2.196992e-06,2.924419e-06,3.022451e-06,3.817338e-06,4.267540e-06,4.894575e-06,5.847431e-06,6.173723e-06,7.670672e-06,7.800265e-06,9.399185e-06,1.015805e-05,1.137056e-05,1.294523e-05,1.359333e-05,1.607311e-05,1.617769e-05,1.881243e-05,1.986212e-05,2.181076e-05,2.399584e-05,2.506447e-05,2.856702e-05,3.230906e-05,3.355520e-05,3.627863e-05,3.893208e-05,4.046149e-05,4.466257e-05,4.484132e-05,4.940006e-05,5.070594e-05,5.411822e-05,5.701711e-05,5.897521e-05,6.354788e-05,6.394965e-05,6.901966e-05,7.024824e-05,7.416319e-05,7.706747e-05,7.935825e-05,8.395532e-05,8.458319e-05,8.981690e-05,9.086289e-05,9.503905e-05,9.774351e-05,1.002302e-04,1.045534e-04,1.053720e-04,1.104472e-04,1.112520e-04,1.154400e-04,1.178029e-04,1.203356e-04,1.241733e-04,1.251209e-04,1.297840e-04,1.303348e-04,1.343143e-04,1.362633e-04,1.387029e-04,1.419384e-04,1.429418e-04,1.470245e-04,1.473443e-04,1.509459e-04,1.524684e-04,1.547019e-04,1.573020e-04,1.582894e-04,1.617065e-04,1.618396e-04,1.649522e-04,1.660787e-04,1.680264e-04,1.700193e-04,1.709299e-04,1.736640e-04,1.762309e-04,1.770174e-04,1.786332e-04,1.800857e-04,1.808740e-04,1.828766e-04,1.829570e-04,1.848862e-04,1.853993e-04,1.866658e-04,1.876637e-04,1.883004e-04,1.896804e-04,1.897949e-04,1.911541e-04,1.914607e-04,1.923830e-04,1.930163e-04,1.934869e-04,1.943589e-04,1.944708e-04,1.953400e-04,1.955005e-04,1.960996e-04,1.964530e-04,1.967548e-04,1.972281e-04,1.973106e-04,1.977719e-04,1.978373e-04,1.981438e-04,1.982918e-04,1.984308e-04,1.986025e-04,1.986377e-04,1.987690e-04,1.987799e-04,1.988291e-04,1.988340e-04,1.988221e-04,1.987745e-04,1.987521e-04,1.986231e-04,1.986104e-04,1.984388e-04,1.983504e-04,1.982029e-04,1.980029e-04,1.979186e-04,1.975895e-04,1.975754e-04,1.972185e-04,1.970753e-04,1.968088e-04,1.965095e-04,1.963632e-04,1.958844e-04,1.952059e-04,1.944797e-04,1.937109e-04,1.929045e-04,1.920649e-04,1.911963e-04,1.903024e-04,1.893870e-04,1.884531e-04,1.875040e-04,1.865423e-04,1.855705e-04,1.845911e-04,1.836062e-04,1.826176e-04,1.816273e-04,1.806369e-04,1.796477e-04,1.786613e-04,1.776787e-04,1.767010e-04,1.757294e-04,1.747647e-04,1.738076e-04
0.000000e+00,2.110392e-11,1.161170e-10,1.186124e-09,4.755115e-09,8.625862e-09,2.879106e-08,3.001185e-08,7.295166e-08,8.979679e-08,1.443689e-07,2.035288e-07,2.505578e-07,3.839547e-07,3.973181e-07,5.900436e-07,6.436983e-07,8.336658e-07,9.939129e-07,1.132302e-06,1.442728e-06,1.488556e-06,1.902799e-06,1.992468e-06,2.373057e-06,2.638551e-06,2.895656e-06,3.371789e-06,3.466072e-06,4.079519e-06,4.181342e-06,4.731175e-06,5.056123e-06,5.416203e-06,5.984983e-06,6.129734e-06,6.866849e-06,6.956652e-06,7.622593e-06,7.959745e-06,8.392016e-06,8.982916e-06,9.170233e-06,9.952481e-06,1.001510e-05,1.073420e-05,1.104576e-05,1.151107e-05,1.206516e-05,1.227910e-05,1.303463e-05,1.306455e-05,1.377439e-05,1.403627e-05,1.449547e-05,1.497386e-05,1.519540e-05,1.587208e-05,1.652383e-05,1.672689e-05,1.714929e-05,1.753532e-05,1.774747e-05,1.829545e-05,1.831772e-05,1.885962e-05,1.900625e-05,1.937305e-05,1.966747e-05,1.985810e-05,2.027953e-05,2.031506e-05,2.074438e-05,2.084337e-05,2.114665e-05,2.136036e-05,2.152257e-05,2.183222e-05,2.187294e-05,2.219864e-05,2.226089e-05,2.250057e-05,2.264850e-05,2.277969e-05,2.299725e-05,2.303699e-05,2.327346e-05,2.330943e-05,2.349008e-05,2.358731e-05,2.368786e-05,2.383315e-05,2.386774e-05,2.403068e-05,2.404913e-05,2.417759e-05,2.423739e-05,2.430938e-05,2.439995e-05,2.442690e-05,2.453098e-05,2.453875e-05,2.462243e-05,2.465564e-05,2.470200e-05,2.475234e-05,2.477041e-05,2.482836e-05,2.483047e-05,2.487651e-05,2.489156e-05,2.491548e-05,2.493704e-05,2.494586e-05,2.496821e-05,2.498306e-05,2.498630e-05,2.499090e-05,2.499247e-05,2.499221e-05,2.498774e-05,2.498744e-05,2.497700e-05,2.497311e-05,2.496128e-05,2.494947e-05,2.494066e-05,2.491765e-05,2.491548e-05,2.488607e-05,2.487842e-05,2.485275e-05,2.483249e-05,2.481580e-05,2.478049e-05,2.477549e-05,2.473207e-05,2.472304e-05,2.468580e-05,2.466068e-05,2.463689e-05,2.459392e-05,2.458556e-05,2.453200e-05,2.452323e-05,2.447640e-05,2.444904e-05,2.441893e-05,2.437173e-05,2.435977e-05,2.429906e-05,2.429168e-05,2.423695e-05,2.420921e-05,2.417357e-05,2.412464e-05,2.410906e-05,2.404352e-05,2.403824e-05,2.397708e-05,2.395027e-05,2.390983e-05,2.386097e-05,2.384188e-05,2.377332e-05,2.377057e-05,2.370423e-05,2.367925e-05,2.363470e-05,2.358721e-05,2.356480e-05,2.349460e-05,2.340160e-05,2.330833e-05,2.321494e-05,2.312153e-05,2.302823e-05,2.293512e-05,2.284229e-05,2.274985e-05,2.265784e-05,2.256636e-05,2.247546e-05,2.238519e-05,2.229561e-05,2.220676e-05,2.211870e-05,2.203144e-05,2.194504e-05,2.185952e-05,2.177490e-05,2.169121e-05,2.160847e-05,2.152670e-05,2.144592e-05,2.136614e-05
0.000000e+00,4.412322e-13,3.384948e-12,6.424412e-11,4.185933e-10,9.623696e-10,5.435714e-09,5.775003e-09,2.125438e-08,2.885729e-08,5.798591e-08,9.582938e-08,1.296896e-07,2.402845e-07,2.523845e-07,4.437562e-07,5.019738e-07,7.224929e-07,9.236535e-07,1.106894e-06,1.544765e-06,1.612134e-06,2.246705e-06,2.389243e-06,3.009829e-06,3.454429e-06,3.891434e-06,4.711226e-06,4.874507e-06,5.938409e-06,6.114699e-06,7.061821e-06,7.616222e-06,8.224656e-06,9.171162e-06,9.408959e-06,1.059916e-05,1.074173e-05,1.178201e-05,1.229717e-05,1.294630e-05,1.381298e-05,1.408275e-05,1.518372e-05,1.527007e-05,1.624311e-05,1.665413e-05,1.725622e-05,1.795500e-05,1.821957e-05,1.913084e-05,1.916619e-05,1.998866e-05,2.028427e-05,2.079251e-05,2.130836e-05,2.154256e-05,2.223959e-05,2.288482e-05,2.308060e-05,2.347983e-05,2.383514e-05,2.402649e-05,2.450769e-05,2.452685e-05,2.498306e-05,2.510320e-05,2.539738e-05,2.562680e-05,2.577206e-05,2.608371e-05,2.610937e-05,2.641152e-05,2.647904e-05,2.668067e-05,2.681776e-05,2.691890e-05,2.710458e-05,2.712824e-05,2.731060e-05,2.734399e-05,2.746781e-05,2.754019e-05,2.760160e-05,2.769709e-05,2.771362e-05,2.780541e-05,2.781832e-05,2.787844e-05,2.790723e-05,2.793408e-05,2.796693e-05,2.797361e-05,2.799825e-05,2.800026e-05,2.800914e-05,2.800984e-05,2.800732e-05,2.799806e-05,2.799380e-05,2.796950e-05,2.796712e-05,2.793529e-05,2.791901e-05,2.789198e-05,2.785558e-05,2.784032e-05,2.778102e-05,2.777849e-05,2.771473e-05,2.768928e-05,2.764208e-05,2.758933e-05,2.756362e-05,2.747990e-05,2.739141e-05,2.736217e-05,2.729861e-05,2.723716e-05,2.720193e-05,2.710584e-05,2.710177e-05,2.699851e-05,2.696908e-05,2.689248e-05,2.682767e-05,2.678401e-05,2.668231e-05,2.667339e-05,2.656092e-05,2.653367e-05,2.644683e-05,2.638233e-05,2.633138e-05,2.622883e-05,2.621478e-05,2.609724e-05,2.607364e-05,2.597895e-05,2.591720e-05,2.586009e-05,2.575992e-05,2.574082e-05,2.562129e-05,2.560215e-05,2.550164e-05,2.544420e-05,2.538200e-05,2.528637e-05,2.526248e-05,2.514321e-05,2.512892e-05,2.502428e-05,2.497208e-05,2.490578e-05,2.481607e-05,2.478780e-05,2.467042e-05,2.466106e-05,2.455371e-05,2.450722e-05,2.443773e-05,2.435471e-05,2.432254e-05,2.420821e-05,2.420365e-05,2.409477e-05,2.405416e-05,2.398228e-05,2.390635e-05,2.387077e-05,2.376029e-05,2.361607e-05,2.347376e-05,2.333340e-05,2.319506e-05,2.305876e-05,2.292455e-05,2.279245e-05,2.266247e-05,2.253464e-05,2.240896e-05,2.228544e-05,2.216408e-05,2.204487e-05,2.192782e-05,2.181291e-05,2.170012e-05,2.158945e-05,2.148088e-05,2.137440e-05,2.126997e-05,2.116758e-05,2.106722e-05,2.096884e-05,2.087244e-05
0.000000e+00,8.157868e-13,6.512108e-12,1.340422e-10,9.390244e-10,2.245241e-09,1.401162e-08,1.494608e-08,6.062434e-08,8.450111e-08,1.813818e-07,3.162588e-07,4.433081e-07,8.889740e-07,9.400755e-07,1.794840e-06,2.069303e-06,3.154841e-06,4.194641e-06,5.172809e-06,7.597283e-06,7.978902e-06,1.165633e-05,1.249967e-05,1.623139e-05,1.895844e-05,2.167874e-05,2.688334e-05,2.793548e-05,3.491685e-05,3.609489e-05,4.252899e-05,4.637892e-05,5.067708e-05,5.751976e-05,5.926958e-05,6.821981e-05,6.931395e-05,7.744610e-05,8.157314e-05,8.687150e-05,9.412315e-05,9.642344e-05,1.060337e-04,1.068031e-04,1.156387e-04,1.194658e-04,1.251796e-04,1.319792e-04,1.346030e-04,1.438612e-04,1.442275e-04,1.529122e-04,1.561127e-04,1.617200e-04,1.675547e-04,1.702543e-04,1.784907e-04,1.864097e-04,1.888743e-04,1.939971e-04,1.986741e-04,2.012428e-04,2.078714e-04,2.081406e-04,2.146881e-04,2.164585e-04,2.208853e-04,2.244367e-04,2.267352e-04,2.318143e-04,2.322424e-04,2.374134e-04,2.386053e-04,2.422563e-04,2.448281e-04,2.467797e-04,2.505038e-04,2.509934e-04,2.549078e-04,2.556557e-04,2.585334e-04,2.603082e-04,2.618812e-04,2.644867e-04,2.649622e-04,2.677874e-04,2.682164e-04,2.703677e-04,2.715226e-04,2.727142e-04,2.744300e-04,2.748372e-04,2.767474e-04,2.769628e-04,2.784548e-04,2.791444e-04,2.799693e-04,2.809971e-04,2.813004e-04,2.824574e-04,2.825427e-04,2.834491e-04,2.838015e-04,2.842843e-04,2.847933e-04,2.849711e-04,2.855176e-04,2.855366e-04,2.859313e-04,2.860491e-04,2.862196e-04,2.863476e-04,2.863895e-04,2.864477e-04,2.864006e-04,2.863644e-04,2.862545e-04,2.861117e-04,2.860151e-04,2.857028e-04,2.856881e-04,2.852789e-04,2.851503e-04,2.847925e-04,2.844657e-04,2.842339e-04,2.836601e-04,2.836076e-04,2.829181e-04,2.827437e-04,2.821697e-04,2.817263e-04,2.813662e-04,2.806168e-04,2.805116e-04,2.796095e-04,2.794236e-04,2.786632e-04,2.781549e-04,2.776762e-04,2.768178e-04,2.766514e-04,2.755919e-04,2.754194e-04,2.745005e-04,2.739661e-04,2.733798e-04,2.724639e-04,2.722323e-04,2.710605e-04,2.709184e-04,2.698666e-04,2.693349e-04,2.686528e-04,2.677182e-04,2.674210e-04,2.661732e-04,2.660728e-04,2.649113e-04,2.644030e-04,2.636369e-04,2.627126e-04,2.623518e-04,2.610573e-04,2.610053e-04,2.597549e-04,2.592845e-04,2.584461e-04,2.575531e-04,2.571322e-04,2.558142e-04,2.540704e-04,2.523240e-04,2.505775e-04,2.488327e-04,2.470918e-04,2.453564e-04,2.436281e-04,2.419084e-04,2.401986e-04,2.385000e-04,2.368137e-04,2.351407e-04,2.334818e-04,2.318379e-04,2.302098e-04,2.285980e-04,2.270032e-04,2.254259e-04,2.238665e-04,2.223254e-04,2.208030e-04,2.192995e-04,2.178152e-04,2.163503e-04
0.000000e+00,3.727211e-09,9.461746e-09,3.617031e-08,8.627850e-08,1.280252e-07,2.987339e-07,3.079740e-07,6.039818e-07,7.114949e-07,1.044307e-06,1.389729e-06,1.657683e-06,2.399069e-06,2.472262e-06,3.513103e-06,3.798794e-06,4.798314e-06,5.627792e-06,6.334334e-06,7.886233e-06,8.111458e-06,1.010162e-05,1.052155e-05,1.226072e-05,1.343277e-05,1.453594e-05,1.649841e-05,1.687497e-05,1.923285e-05,1.960938e-05,2.157450e-05,2.268481e-05,2.387402e-05,2.567065e-05,2.611287e-05,2.827801e-05,2.853241e-05,3.036039e-05,3.124877e-05,3.235396e-05,3.380727e-05,3.425492e-05,3.606118e-05,3.620157e-05,3.777205e-05,3.842974e-05,3.938787e-05,4.049305e-05,4.090983e-05,4.233974e-05,4.239505e-05,4.367991e-05,4.414091e-05,4.493302e-05,4.573688e-05,4.610199e-05,4.718991e-05,4.820000e-05,4.850733e-05,4.913553e-05,4.969664e-05,4.999976e-05,5.076538e-05,5.079597e-05,5.152735e-05,5.172096e-05,5.219707e-05,5.257059e-05,5.280820e-05,5.332125e-05,5.336372e-05,5.386652e-05,5.397967e-05,5.431941e-05,5.455223e-05,5.472506e-05,5.504502e-05,5.508607e-05,5.540492e-05,5.546384e-05,5.568398e-05,5.581414e-05,5.592555e-05,5.610107e-05,5.613179e-05,5.630478e-05,5.632951e-05,5.644652e-05,5.650401e-05,5.655889e-05,5.662886e-05,5.664370e-05,5.670267e-05,5.670809e-05,5.673744e-05,5.674547e-05,5.674955e-05,5.674451e-05,5.674048e-05,5.671165e-05,5.670853e-05,5.666438e-05,5.664059e-05,5.659993e-05,5.654357e-05,5.651951e-05,5.642425e-05,5.642015e-05,5.631523e-05,5.627281e-05,5.619347e-05,5.610389e-05,5.605994e-05,5.591555e-05,5.576116e-05,5.570978e-05,5.559759e-05,5.548844e-05,5.542561e-05,5.525328e-05,5.524595e-05,5.505931e-05,5.500588e-05,5.486632e-05,5.474774e-05,5.466760e-05,5.448022e-05,5.446373e-05,5.425525e-05,5.420459e-05,5.404267e-05,5.392202e-05,5.382648e-05,5.363359e-05,5.360712e-05,5.338502e-05,5.334031e-05,5.316059e-05,5.304308e-05,5.293419e-05,5.274275e-05,5.270617e-05,5.247688e-05,5.244009e-05,5.224661e-05,5.213582e-05,5.201566e-05,5.183058e-05,5.178429e-05,5.155275e-05,5.152497e-05,5.132129e-05,5.121953e-05,5.109012e-05,5.091475e-05,5.085945e-05,5.062946e-05,5.061110e-05,5.040033e-05,5.030896e-05,5.017224e-05,5.000873e-05,4.994532e-05,4.971971e-05,4.971072e-05,4.949555e-05,4.941524e-05,4.927296e-05,4.912255e-05,4.905204e-05,4.883290e-05,4.854651e-05,4.826355e-05,4.798421e-05,4.770862e-05,4.743691e-05,4.716920e-05,4.690557e-05,4.664611e-05,4.639088e-05,4.613992e-05,4.589329e-05,4.565099e-05,4.541306e-05,4.517950e-05,4.495032e-05,4.472550e-05,4.450503e-05,4.428890e-05,4.407708e-05,4.386955e-05,4.366627e-05,4.346719e-05,4.327228e-05,4.308150e-05
0.000000e+00,3.473070e-14,2.922616e-13,6.706667e-12,5.178010e-11,1.304651e-10,9.280970e-10,9.951243e-10,4.557000e-09,6.552636e-09,1.514728e-08,2.790617e-08,4.044150e-08,8.667616e-08,9.213199e-08,1.862115e-07,2.172581e-07,3.428795e-07,4.667556e-07,5.861185e-07,8.931854e-07,9.429503e-07,1.442316e-06,1.561886e-06,2.113516e-06,2.539775e-06,2.984279e-06,3.887725e-06,4.078709e-06,5.415481e-06,5.652755e-06,7.006565e-06,7.862269e-06,8.856630e-06,1.052165e-05,1.096310e-05,1.331670e-05,1.361508e-05,1.590239e-05,1.710867e-05,1.870043e-05,2.095473e-05,2.168754e-05,2.483796e-05,2.509624e-05,2.812450e-05,2.947100e-05,3.151937e-05,3.401524e-05,3.499498e-05,3.852450e-05,3.866644e-05,4.208243e-05,4.336558e-05,4.564490e-05,4.805870e-05,4.918999e-05,5.269792e-05,5.615108e-05,5.724195e-05,5.953412e-05,6.165631e-05,6.283390e-05,6.591310e-05,6.603939e-05,6.914156e-05,6.999064e-05,7.213328e-05,7.387297e-05,7.500911e-05,7.754913e-05,7.776513e-05,8.039883e-05,8.101255e-05,8.290889e-05,8.426037e-05,8.529502e-05,8.729279e-05,8.755786e-05,8.969876e-05,9.011248e-05,9.171974e-05,9.272408e-05,9.362332e-05,9.513373e-05,9.541243e-05,9.709031e-05,9.734867e-05,9.866045e-05,9.937692e-05,1.001265e-04,1.012270e-04,1.014923e-04,1.027618e-04,1.029078e-04,1.039387e-04,1.044283e-04,1.050271e-04,1.057974e-04,1.060308e-04,1.069536e-04,1.070241e-04,1.077993e-04,1.081169e-04,1.085716e-04,1.090842e-04,1.092741e-04,1.099102e-04,1.099343e-04,1.104833e-04,1.106748e-04,1.109966e-04,1.113132e-04,1.114534e-04,1.118567e-04,1.122094e-04,1.123120e-04,1.125142e-04,1.126854e-04,1.127739e-04,1.129832e-04,1.129911e-04,1.131682e-04,1.132109e-04,1.133076e-04,1.133740e-04,1.134115e-04,1.134777e-04,1.134821e-04,1.135215e-04,1.135266e-04,1.135317e-04,1.135252e-04,1.135144e-04,1.134779e-04,1.134715e-04,1.134046e-04,1.133885e-04,1.133155e-04,1.132608e-04,1.132055e-04,1.130982e-04,1.130763e-04,1.129291e-04,1.129040e-04,1.127653e-04,1.126811e-04,1.125861e-04,1.124325e-04,1.123928e-04,1.121864e-04,1.121608e-04,1.119680e-04,1.118683e-04,1.117386e-04,1.115575e-04,1.114992e-04,1.112506e-04,1.112303e-04,1.109937e-04,1.108889e-04,1.107294e-04,1.105349e-04,1.104584e-04,1.101814e-04,1.101702e-04,1.098990e-04,1.097962e-04,1.096120e-04,1.094145e-04,1.093209e-04,1.090263e-04,1.086330e-04,1.082356e-04,1.078353e-04,1.074329e-04,1.070293e-04,1.066255e-04,1.062220e-04,1.058197e-04,1.054191e-04,1.050208e-04,1.046252e-04,1.042329e-04,1.038443e-04,1.034597e-04,1.030795e-04,1.027040e-04,1.023334e-04,1.019679e-04,1.016078e-04,1.012533e-04,1.009045e-04,1.005614e-04,1.002243e-04,9.989323e-05
0.000000e+00,1.004799e-09,2.865851e-09,1.233140e-08,3.101729e-08,4.693536e-08,1.134848e-07,1.171318e-07,2.355834e-07,2.792528e-07,4.162059e-07,5.608017e-07,6.744513e-07,9.944065e-07,1.026360e-06,1.485530e-06,1.612572e-06,2.057548e-06,2.424745e-06,2.734211e-06,3.398915e-06,3.493453e-06,4.307008e-06,4.473855e-06,5.148960e-06,5.591147e-06,5.999407e-06,6.709817e-06,6.844134e-06,7.673053e-06,7.803696e-06,8.478879e-06,8.855843e-06,9.256260e-06,9.855007e-06,1.000127e-05,1.071113e-05,1.079385e-05,1.138398e-05,1.166801e-05,1.201878e-05,1.247555e-05,1.261519e-05,1.317337e-05,1.321640e-05,1.369403e-05,1.389200e-05,1.417817e-05,1.450484e-05,1.462707e-05,1.504222e-05,1.505815e-05,1.542525e-05,1.555559e-05,1.577783e-05,1.600109e-05,1.610171e-05,1.639860e-05,1.667020e-05,1.675204e-05,1.691816e-05,1.706519e-05,1.714408e-05,1.734164e-05,1.734948e-05,1.753579e-05,1.758472e-05,1.770436e-05,1.779752e-05,1.785647e-05,1.798290e-05,1.799332e-05,1.811601e-05,1.814347e-05,1.822559e-05,1.828160e-05,1.832303e-05,1.839944e-05,1.840921e-05,1.848498e-05,1.849895e-05,1.855110e-05,1.858191e-05,1.860829e-05,1.864991e-05,1.865720e-05,1.869846e-05,1.870439e-05,1.873263e-05,1.874667e-05,1.876024e-05,1.877793e-05,1.878177e-05,1.879767e-05,1.879922e-05,1.880837e-05,1.881152e-05,1.881424e-05,1.881569e-05,1.881564e-05,1.881292e-05,1.881253e-05,1.880636e-05,1.880274e-05,1.879627e-05,1.878697e-05,1.878291e-05,1.876652e-05,1.876580e-05,1.874733e-05,1.873978e-05,1.872555e-05,1.870937e-05,1.870139e-05,1.867502e-05,1.864662e-05,1.863713e-05,1.861634e-05,1.859605e-05,1.858434e-05,1.855213e-05,1.855076e-05,1.851571e-05,1.850566e-05,1.847934e-05,1.845691e-05,1.844173e-05,1.840615e-05,1.840301e-05,1.836327e-05,1.835359e-05,1.832260e-05,1.829945e-05,1.828109e-05,1.824392e-05,1.823881e-05,1.819585e-05,1.818718e-05,1.815227e-05,1.812939e-05,1.810815e-05,1.807070e-05,1.806353e-05,1.801849e-05,1.801124e-05,1.797306e-05,1.795114e-05,1.792732e-05,1.789052e-05,1.788129e-05,1.783503e-05,1.782947e-05,1.778858e-05,1.776810e-05,1.774198e-05,1.770649e-05,1.769527e-05,1.764848e-05,1.764473e-05,1.760164e-05,1.758290e-05,1.755478e-05,1.752105e-05,1.750794e-05,1.746114e-05,1.745927e-05,1.741440e-05,1.739759e-05,1.736775e-05,1.733609e-05,1.732121e-05,1.727480e-05,1.721378e-05,1.715306e-05,1.709268e-05,1.703268e-05,1.697309e-05,1.691394e-05,1.685526e-05,1.679706e-05,1.673938e-05,1.668223e-05,1.662562e-05,1.656958e-05,1.651413e-05,1.645926e-05,1.640500e-05,1.635135e-05,1.629833e-05,1.624594e-05,1.619418e-05,1.614307e-05,1.609260e-05,1.604279e-05,1.599362e-05,1.594512e-05
0.000000e+00,1.071746e-08,2.547119e-08,9.124549e-08,2.120283e-07,3.121117e-07,7.221825e-07,7.444796e-07,1.466085e-06,1.731848e-06,2.566716e-06,3.451217e-06,4.148248e-06,6.112363e-06,6.308148e-06,9.099884e-06,9.863059e-06,1.250241e-05,1.464767e-05,1.644126e-05,2.028371e-05,2.083189e-05,2.560105e-05,2.659479e-05,3.068805e-05,3.344127e-05,3.604041e-05,4.070628e-05,4.161015e-05,4.735195e-05,4.828368e-05,5.322247e-05,5.607383e-05,5.918045e-05,6.398366e-05,6.518713e-05,7.120670e-05,7.192833e-05,7.720670e-05,7.983291e-05,8.315816e-05,8.763311e-05,8.903580e-05,9.481798e-05,9.527585e-05,1.004863e-04,1.027183e-04,1.060257e-04,1.099272e-04,1.114239e-04,1.166713e-04,1.168780e-04,1.217607e-04,1.235530e-04,1.266866e-04,1.299411e-04,1.314456e-04,1.360356e-04,1.404555e-04,1.418340e-04,1.447057e-04,1.473371e-04,1.487870e-04,1.525477e-04,1.527011e-04,1.564504e-04,1.574711e-04,1.600377e-04,1.621135e-04,1.634659e-04,1.664823e-04,1.667384e-04,1.698589e-04,1.705855e-04,1.728309e-04,1.744319e-04,1.756584e-04,1.780302e-04,1.783454e-04,1.808957e-04,1.813897e-04,1.833134e-04,1.845196e-04,1.856025e-04,1.874289e-04,1.877670e-04,1.898109e-04,1.901270e-04,1.917381e-04,1.926228e-04,1.935524e-04,1.949251e-04,1.952576e-04,1.968577e-04,1.970428e-04,1.983561e-04,1.989842e-04,1.997566e-04,2.007576e-04,2.010626e-04,2.022776e-04,2.023710e-04,2.034051e-04,2.038323e-04,2.044482e-04,2.051489e-04,2.054102e-04,2.062943e-04,2.063281e-04,2.071034e-04,2.073769e-04,2.078406e-04,2.083022e-04,2.085086e-04,2.091103e-04,2.096485e-04,2.098077e-04,2.101256e-04,2.104002e-04,2.105444e-04,2.108938e-04,2.109072e-04,2.112165e-04,2.112938e-04,2.114746e-04,2.116057e-04,2.116836e-04,2.118346e-04,2.118459e-04,2.119634e-04,2.119852e-04,2.120383e-04,2.120623e-04,2.120724e-04,2.120703e-04,2.120678e-04,2.120261e-04,2.120135e-04,2.119492e-04,2.118959e-04,2.118389e-04,2.117214e-04,2.116966e-04,2.115241e-04,2.114938e-04,2.113228e-04,2.112164e-04,2.110942e-04,2.108927e-04,2.108399e-04,2.105610e-04,2.105259e-04,2.102589e-04,2.101190e-04,2.099350e-04,2.096749e-04,2.095904e-04,2.092263e-04,2.091964e-04,2.088439e-04,2.086860e-04,2.084442e-04,2.081463e-04,2.080282e-04,2.075971e-04,2.075795e-04,2.071516e-04,2.069880e-04,2.066929e-04,2.063738e-04,2.062217e-04,2.057390e-04,2.050853e-04,2.044148e-04,2.037290e-04,2.030295e-04,2.023179e-04,2.015956e-04,2.008640e-04,2.001243e-04,1.993777e-04,1.986254e-04,1.978685e-04,1.971079e-04,1.963445e-04,1.955794e-04,1.948132e-04,1.940469e-04,1.932810e-04,1.925163e-04,1.917535e-04,1.909930e-04,1.902356e-04,1.894816e-04,1.887316e-04,1.879860e-04
0.000000e+00,1.301618e-12,9.289524e-12,1.527736e-10,8.807635e-10,1.900014e-09,9.213694e-09,9.731866e-09,3.134824e-08,4.117053e-08,7.651788e-08,1.193841e-07,1.560163e-07,2.691561e-07,2.811114e-07,4.631746e-07,5.165487e-07,7.126145e-07,8.846916e-07,1.036886e-06,1.386456e-06,1.438747e-06,1.916146e-06,2.020249e-06,2.463614e-06,2.773631e-06,3.073956e-06,3.629552e-06,3.739403e-06,4.452132e-06,4.570037e-06,5.204396e-06,5.577274e-06,5.988537e-06,6.633721e-06,6.797003e-06,7.622426e-06,7.722276e-06,8.457722e-06,8.826642e-06,9.296216e-06,9.931804e-06,1.013176e-05,1.095881e-05,1.102445e-05,1.177250e-05,1.209329e-05,1.256868e-05,1.312911e-05,1.334388e-05,1.409531e-05,1.412484e-05,1.482082e-05,1.507533e-05,1.551881e-05,1.597716e-05,1.618821e-05,1.682839e-05,1.743909e-05,1.762829e-05,1.802038e-05,1.837711e-05,1.857258e-05,1.907582e-05,1.909623e-05,1.959200e-05,1.972593e-05,2.006073e-05,2.032936e-05,2.050331e-05,2.088823e-05,2.092072e-05,2.131395e-05,2.140484e-05,2.168404e-05,2.188156e-05,2.203200e-05,2.232072e-05,2.235887e-05,2.266564e-05,2.272467e-05,2.295330e-05,2.309565e-05,2.322280e-05,2.343581e-05,2.347505e-05,2.371095e-05,2.374723e-05,2.393133e-05,2.403185e-05,2.413702e-05,2.429151e-05,2.432879e-05,2.450736e-05,2.452794e-05,2.467345e-05,2.474275e-05,2.482772e-05,2.493745e-05,2.497080e-05,2.510329e-05,2.511345e-05,2.522576e-05,2.527206e-05,2.533874e-05,2.541450e-05,2.544274e-05,2.553825e-05,2.554190e-05,2.562572e-05,2.565532e-05,2.570558e-05,2.575574e-05,2.577823e-05,2.584407e-05,2.590345e-05,2.592115e-05,2.595673e-05,2.598777e-05,2.600422e-05,2.604465e-05,2.604623e-05,2.608307e-05,2.609249e-05,2.611499e-05,2.613190e-05,2.614227e-05,2.616347e-05,2.616515e-05,2.618386e-05,2.618776e-05,2.619863e-05,2.620526e-05,2.620967e-05,2.621645e-05,2.621717e-05,2.622133e-05,2.622177e-05,2.622231e-05,2.622163e-05,2.622030e-05,2.621642e-05,2.621546e-05,2.620793e-05,2.620648e-05,2.619785e-05,2.619216e-05,2.618538e-05,2.617376e-05,2.617063e-05,2.615374e-05,2.615157e-05,2.613481e-05,2.612587e-05,2.611397e-05,2.609691e-05,2.609131e-05,2.606694e-05,2.606492e-05,2.604096e-05,2.603013e-05,2.601345e-05,2.599275e-05,2.598451e-05,2.595421e-05,2.595297e-05,2.592264e-05,2.591097e-05,2.588986e-05,2.586693e-05,2.585597e-05,2.582101e-05,2.577335e-05,2.572410e-05,2.567339e-05,2.562134e-05,2.556808e-05,2.551371e-05,2.545834e-05,2.540206e-05,2.534497e-05,2.528715e-05,2.522869e-05,2.516966e-05,2.511012e-05,2.505016e-05,2.498983e-05,2.492919e-05,2.486831e-05,2.480722e-05,2.474599e-05,2.468466e-05,2.462327e-05,2.456186e-05,2.450048e-05,2.443917e-05
0.000000e+00,1.183625e-12,8.344321e-12,1.335440e-10,7.494867e-10,1.591820e-09,7.395225e-09,7.796918e-09,2.398309e-08,3.108887e-08,5.586608e-08,8.475462e-08,1.087253e-07,1.798779e-07,1.871988e-07,2.954609e-07,3.263098e-07,4.373183e-07,5.326176e-07,6.157833e-07,8.040496e-07,8.319435e-07,1.083696e-06,1.137878e-06,1.365449e-06,1.521224e-06,1.669269e-06,1.935341e-06,1.986725e-06,2.310377e-06,2.362325e-06,2.634418e-06,2.788806e-06,2.954631e-06,3.206000e-06,3.268015e-06,3.572348e-06,3.608174e-06,3.865891e-06,3.991250e-06,4.147192e-06,4.352016e-06,4.414999e-06,4.668244e-06,4.687846e-06,4.906048e-06,4.996690e-06,5.127748e-06,5.277147e-06,5.332909e-06,5.521334e-06,5.528523e-06,5.693054e-06,5.750825e-06,5.848314e-06,5.944704e-06,5.987549e-06,6.111354e-06,6.220460e-06,6.252403e-06,6.315697e-06,6.369779e-06,6.397952e-06,6.465553e-06,6.468141e-06,6.527187e-06,6.541849e-06,6.576009e-06,6.600766e-06,6.615497e-06,6.644321e-06,6.646509e-06,6.669868e-06,6.674421e-06,6.686334e-06,6.692810e-06,6.696616e-06,6.701070e-06,6.701369e-06,6.701191e-06,6.700612e-06,6.696618e-06,6.692668e-06,6.688139e-06,6.678323e-06,6.676196e-06,6.661187e-06,6.658524e-06,6.643459e-06,6.634078e-06,6.623327e-06,6.605681e-06,6.601073e-06,6.576947e-06,6.573937e-06,6.551172e-06,6.539360e-06,6.523945e-06,6.502389e-06,6.495440e-06,6.465815e-06,6.463401e-06,6.435210e-06,6.422722e-06,6.403751e-06,6.380636e-06,6.371551e-06,6.338707e-06,6.337382e-06,6.305311e-06,6.293168e-06,6.271442e-06,6.248179e-06,6.237173e-06,6.202573e-06,6.167699e-06,6.156490e-06,6.132605e-06,6.110053e-06,6.097341e-06,6.063369e-06,6.061951e-06,6.026476e-06,6.016533e-06,5.990953e-06,5.969631e-06,5.955417e-06,5.922738e-06,5.919898e-06,5.884424e-06,5.875921e-06,5.849022e-06,5.829237e-06,5.813716e-06,5.782742e-06,5.778526e-06,5.743474e-06,5.736482e-06,5.708578e-06,5.690499e-06,5.673855e-06,5.644832e-06,5.639320e-06,5.604986e-06,5.599513e-06,5.570868e-06,5.554572e-06,5.536977e-06,5.510034e-06,5.503323e-06,5.469916e-06,5.465924e-06,5.436765e-06,5.422262e-06,5.403878e-06,5.379065e-06,5.371263e-06,5.338925e-06,5.336350e-06,5.306870e-06,5.294129e-06,5.275104e-06,5.252413e-06,5.243631e-06,5.212455e-06,5.211214e-06,5.181580e-06,5.170539e-06,5.151009e-06,5.130395e-06,5.120744e-06,5.090787e-06,5.051720e-06,5.013196e-06,4.975217e-06,4.937786e-06,4.900902e-06,4.864564e-06,4.828771e-06,4.793523e-06,4.758815e-06,4.724646e-06,4.691012e-06,4.657909e-06,4.625332e-06,4.593279e-06,4.561742e-06,4.530719e-06,4.500202e-06,4.470186e-06,4.440667e-06,4.411636e-06,4.383090e-06,4.355020e-06,4.327421e-06,4.300287e-06
0.000000e+00,1.522848e-11,9.480057e-11,1.203650e-09,5.644812e-09,1.100004e-08,4.252928e-08,4.455534e-08,1.202606e-07,1.515785e-07,2.569706e-07,3.761702e-07,4.737006e-07,7.605431e-07,7.899770e-07,1.225593e-06,1.350006e-06,1.798809e-06,2.185026e-06,2.522290e-06,3.284906e-06,3.397692e-06,4.412534e-06,4.630250e-06,5.542744e-06,6.166419e-06,6.759300e-06,7.827382e-06,8.034258e-06,9.343684e-06,9.555028e-06,1.066802e-05,1.130420e-05,1.199133e-05,1.304041e-05,1.330059e-05,1.458500e-05,1.473702e-05,1.583567e-05,1.637336e-05,1.704538e-05,1.793380e-05,1.820842e-05,1.932043e-05,1.940708e-05,2.037828e-05,2.078577e-05,2.137994e-05,2.206569e-05,2.232431e-05,2.321107e-05,2.324534e-05,2.404057e-05,2.432533e-05,2.481370e-05,2.530788e-05,2.553176e-05,2.619638e-05,2.680942e-05,2.699503e-05,2.737293e-05,2.770856e-05,2.788903e-05,2.834195e-05,2.835994e-05,2.878788e-05,2.890031e-05,2.917508e-05,2.938875e-05,2.952371e-05,2.981225e-05,2.983593e-05,3.011382e-05,3.017563e-05,3.035939e-05,3.048352e-05,3.057458e-05,3.074030e-05,3.076125e-05,3.092118e-05,3.095011e-05,3.105607e-05,3.111685e-05,3.116752e-05,3.124416e-05,3.125708e-05,3.132620e-05,3.133546e-05,3.137625e-05,3.139389e-05,3.140855e-05,3.142243e-05,3.142432e-05,3.142473e-05,3.142380e-05,3.141087e-05,3.140053e-05,3.138379e-05,3.135497e-05,3.134446e-05,3.129380e-05,3.128929e-05,3.123268e-05,3.120549e-05,3.116191e-05,3.110541e-05,3.108225e-05,3.099442e-05,3.099075e-05,3.089911e-05,3.086309e-05,3.079694e-05,3.072386e-05,3.068851e-05,3.057438e-05,3.045507e-05,3.041588e-05,3.033107e-05,3.024946e-05,3.020284e-05,3.007617e-05,3.007082e-05,2.993540e-05,2.989692e-05,2.979696e-05,2.971259e-05,2.965585e-05,2.952396e-05,2.951241e-05,2.936693e-05,2.933175e-05,2.921971e-05,2.913661e-05,2.907102e-05,2.893914e-05,2.892109e-05,2.877018e-05,2.873989e-05,2.861848e-05,2.853936e-05,2.846621e-05,2.833799e-05,2.831355e-05,2.816067e-05,2.813620e-05,2.800774e-05,2.793436e-05,2.785491e-05,2.773280e-05,2.770231e-05,2.755007e-05,2.753183e-05,2.739831e-05,2.733171e-05,2.724714e-05,2.713271e-05,2.709666e-05,2.694696e-05,2.693502e-05,2.679814e-05,2.673887e-05,2.665025e-05,2.654440e-05,2.650339e-05,2.635761e-05,2.635180e-05,2.621297e-05,2.616119e-05,2.606952e-05,2.597269e-05,2.592732e-05,2.578641e-05,2.560245e-05,2.542088e-05,2.524177e-05,2.506518e-05,2.489116e-05,2.471975e-05,2.455098e-05,2.438486e-05,2.422143e-05,2.406068e-05,2.390263e-05,2.374727e-05,2.359460e-05,2.344461e-05,2.329729e-05,2.315263e-05,2.301060e-05,2.287119e-05,2.273436e-05,2.260011e-05,2.246839e-05,2.233918e-05,2.221245e-05,2.208817e-05
0.000000e+00,1.333566e-09,3.580440e-09,1.443878e-08,3.515977e-08,5.250142e-08,1.234727e-07,1.273114e-07,2.500744e-07,2.945851e-07,4.322559e-07,5.751428e-07,6.860694e-07,9.933341e-07,1.023669e-06,1.453385e-06,1.570327e-06,1.973814e-06,2.300597e-06,2.572739e-06,3.151490e-06,3.233520e-06,3.941017e-06,4.087007e-06,4.683082e-06,5.079271e-06,5.449825e-06,6.106694e-06,6.232715e-06,7.024002e-06,7.150898e-06,7.816469e-06,8.195277e-06,8.603387e-06,9.224743e-06,9.378561e-06,1.013641e-05,1.022595e-05,1.087205e-05,1.118760e-05,1.158135e-05,1.210069e-05,1.226093e-05,1.290821e-05,1.295854e-05,1.352132e-05,1.375671e-05,1.409907e-05,1.449282e-05,1.464089e-05,1.514673e-05,1.516622e-05,1.561697e-05,1.577767e-05,1.605235e-05,1.632905e-05,1.645396e-05,1.682305e-05,1.716107e-05,1.726292e-05,1.746956e-05,1.765225e-05,1.775015e-05,1.799479e-05,1.800448e-05,1.823420e-05,1.829433e-05,1.844092e-05,1.855457e-05,1.862621e-05,1.877907e-05,1.879160e-05,1.893853e-05,1.897121e-05,1.906838e-05,1.913413e-05,1.918245e-05,1.927075e-05,1.928196e-05,1.936805e-05,1.938376e-05,1.944180e-05,1.947560e-05,1.950418e-05,1.954848e-05,1.955612e-05,1.959846e-05,1.960440e-05,1.963200e-05,1.964518e-05,1.965744e-05,1.967243e-05,1.967548e-05,1.968670e-05,1.968762e-05,1.969170e-05,1.969205e-05,1.969097e-05,1.968690e-05,1.968502e-05,1.967427e-05,1.967321e-05,1.965913e-05,1.965193e-05,1.963998e-05,1.962391e-05,1.961717e-05,1.959100e-05,1.958989e-05,1.956177e-05,1.955055e-05,1.952975e-05,1.950651e-05,1.949519e-05,1.945832e-05,1.941934e-05,1.940645e-05,1.937845e-05,1.935137e-05,1.933584e-05,1.929346e-05,1.929166e-05,1.924608e-05,1.923308e-05,1.919923e-05,1.917057e-05,1.915125e-05,1.910621e-05,1.910226e-05,1.905237e-05,1.904028e-05,1.900169e-05,1.897300e-05,1.895031e-05,1.890460e-05,1.889833e-05,1.884583e-05,1.883527e-05,1.879288e-05,1.876520e-05,1.873957e-05,1.869455e-05,1.868595e-05,1.863209e-05,1.862346e-05,1.857805e-05,1.855206e-05,1.852388e-05,1.848049e-05,1.846963e-05,1.841535e-05,1.840884e-05,1.836109e-05,1.833723e-05,1.830688e-05,1.826573e-05,1.825275e-05,1.819876e-05,1.819444e-05,1.814492e-05,1.812343e-05,1.809127e-05,1.805277e-05,1.803784e-05,1.798464e-05,1.798252e-05,1.793172e-05,1.791274e-05,1.787908e-05,1.784347e-05,1.782676e-05,1.777476e-05,1.770665e-05,1.763918e-05,1.757238e-05,1.750628e-05,1.744091e-05,1.737629e-05,1.731244e-05,1.724938e-05,1.718712e-05,1.712568e-05,1.706507e-05,1.700529e-05,1.694636e-05,1.688828e-05,1.683106e-05,1.677470e-05,1.671919e-05,1.666455e-05,1.661077e-05,1.655785e-05,1.650579e-05,1.645459e-05,1.640423e-05,1.635473e-05
0.000000e+00,1.166270e-15,1.034524e-14,2.649728e-13,2.264311e-12,6.035566e-12,4.975807e-11,5.367606e-11,2.854477e-10,4.277118e-10,1.097724e-09,2.203409e-09,3.378617e-09,8.227239e-09,8.841415e-09,2.044752e-08,2.462516e-08,4.289038e-08,6.266524e-08,8.308568e-08,1.406700e-07,1.506001e-07,2.579600e-07,2.855343e-07,4.208012e-07,5.335012e-07,6.578451e-07,9.300388e-07,9.907027e-07,1.443523e-06,1.528834e-06,2.042510e-06,2.390030e-06,2.815337e-06,3.577890e-06,3.790480e-06,4.996515e-06,5.158094e-06,6.461401e-06,7.194883e-06,8.211774e-06,9.748247e-06,1.027228e-05,1.266498e-05,1.287133e-05,1.540879e-05,1.660820e-05,1.851911e-05,2.099208e-05,2.200741e-05,2.588108e-05,2.604410e-05,3.014324e-05,3.177264e-05,3.479278e-05,3.817319e-05,3.982438e-05,4.522872e-05,5.099268e-05,5.291049e-05,5.709969e-05,6.117921e-05,6.353001e-05,6.998650e-05,7.026122e-05,7.726854e-05,7.927648e-05,8.452533e-05,8.898750e-05,9.200348e-05,9.905384e-05,9.967384e-05,1.075067e-04,1.094074e-04,1.154719e-04,1.199791e-04,1.235396e-04,1.307006e-04,1.316804e-04,1.398653e-04,1.415052e-04,1.480667e-04,1.523291e-04,1.562579e-04,1.631121e-04,1.644136e-04,1.725100e-04,1.737984e-04,1.805247e-04,1.843368e-04,1.884374e-04,1.946813e-04,1.962291e-04,2.038828e-04,2.047912e-04,2.113829e-04,2.146308e-04,2.187160e-04,2.241699e-04,2.258699e-04,2.328342e-04,2.333829e-04,2.396002e-04,2.422494e-04,2.461605e-04,2.507530e-04,2.525090e-04,2.586412e-04,2.588819e-04,2.645536e-04,2.666278e-04,2.702439e-04,2.739858e-04,2.757109e-04,2.809543e-04,2.859745e-04,2.875341e-04,2.907731e-04,2.937287e-04,2.953519e-04,2.995434e-04,2.997138e-04,3.038618e-04,3.049854e-04,3.077996e-04,3.100631e-04,3.115314e-04,3.147865e-04,3.150616e-04,3.183949e-04,3.191661e-04,3.215362e-04,3.232135e-04,3.244909e-04,3.269408e-04,3.272642e-04,3.298615e-04,3.303603e-04,3.322884e-04,3.334848e-04,3.345504e-04,3.363271e-04,3.366531e-04,3.386021e-04,3.389001e-04,3.404030e-04,3.412164e-04,3.420612e-04,3.432888e-04,3.435823e-04,3.449714e-04,3.451295e-04,3.462340e-04,3.467507e-04,3.473751e-04,3.481643e-04,3.483999e-04,3.493132e-04,3.493816e-04,3.501199e-04,3.504138e-04,3.508247e-04,3.512716e-04,3.514321e-04,3.519465e-04,3.519652e-04,3.523723e-04,3.525046e-04,3.527135e-04,3.528993e-04,3.529742e-04,3.531582e-04,3.532901e-04,3.533033e-04,3.532055e-04,3.530043e-04,3.527067e-04,3.523196e-04,3.518493e-04,3.513018e-04,3.506829e-04,3.499980e-04,3.492522e-04,3.484504e-04,3.475971e-04,3.466966e-04,3.457530e-04,3.447701e-04,3.437514e-04,3.427005e-04,3.416203e-04,3.405140e-04,3.393843e-04,3.382339e-04,3.370652e-04,3.358805e-04
0.000000e+00,7.068267e-11,3.577177e-10,3.187820e-09,1.169721e-08,2.044137e-08,6.361588e-08,6.616644e-08,1.540153e-07,1.879001e-07,2.965883e-07,4.133204e-07,5.056450e-07,7.662503e-07,7.922882e-07,1.166999e-06,1.271128e-06,1.639391e-06,1.949692e-06,2.217498e-06,2.817833e-06,2.906421e-06,3.706554e-06,3.879539e-06,4.612246e-06,5.121318e-06,5.612100e-06,6.513763e-06,6.691037e-06,7.832824e-06,8.020282e-06,9.021870e-06,9.605175e-06,1.024400e-05,1.123698e-05,1.148658e-05,1.273840e-05,1.288875e-05,1.398949e-05,1.453743e-05,1.523105e-05,1.616346e-05,1.645534e-05,1.765565e-05,1.775046e-05,1.882627e-05,1.928511e-05,1.996243e-05,2.075691e-05,2.106024e-05,2.211666e-05,2.215802e-05,2.312939e-05,2.348296e-05,2.409684e-05,2.472830e-05,2.501799e-05,2.589238e-05,2.671997e-05,2.697496e-05,2.750111e-05,2.797696e-05,2.823647e-05,2.890020e-05,2.892697e-05,2.957373e-05,2.974716e-05,3.017804e-05,3.052083e-05,3.074130e-05,3.122451e-05,3.126498e-05,3.175063e-05,3.186170e-05,3.219981e-05,3.243602e-05,3.261412e-05,3.295111e-05,3.299512e-05,3.334440e-05,3.341058e-05,3.366347e-05,3.381796e-05,3.395385e-05,3.417668e-05,3.421701e-05,3.445436e-05,3.449003e-05,3.466727e-05,3.476118e-05,3.485707e-05,3.499313e-05,3.502503e-05,3.517237e-05,3.518872e-05,3.530026e-05,3.535066e-05,3.540981e-05,3.548148e-05,3.550211e-05,3.557816e-05,3.558357e-05,3.563894e-05,3.565918e-05,3.568537e-05,3.571041e-05,3.571834e-05,3.573867e-05,3.573924e-05,3.574718e-05,3.574749e-05,3.574460e-05,3.573689e-05,3.573167e-05,3.570905e-05,3.567740e-05,3.566546e-05,3.563732e-05,3.560751e-05,3.558939e-05,3.553651e-05,3.553416e-05,3.547216e-05,3.545365e-05,3.540386e-05,3.536006e-05,3.532974e-05,3.525679e-05,3.525024e-05,3.516576e-05,3.514479e-05,3.507671e-05,3.502498e-05,3.498344e-05,3.489817e-05,3.488632e-05,3.478567e-05,3.476515e-05,3.468180e-05,3.462662e-05,3.457501e-05,3.448325e-05,3.446558e-05,3.435375e-05,3.433566e-05,3.423979e-05,3.418439e-05,3.412392e-05,3.402999e-05,3.400636e-05,3.388731e-05,3.387293e-05,3.376697e-05,3.371366e-05,3.364552e-05,3.355258e-05,3.352313e-05,3.339996e-05,3.339008e-05,3.327616e-05,3.322650e-05,3.315187e-05,3.306215e-05,3.302722e-05,3.290234e-05,3.289734e-05,3.277734e-05,3.273234e-05,3.265233e-05,3.256738e-05,3.252742e-05,3.240269e-05,3.223848e-05,3.207493e-05,3.191223e-05,3.175051e-05,3.158992e-05,3.143059e-05,3.127263e-05,3.111614e-05,3.096122e-05,3.080795e-05,3.065640e-05,3.050663e-05,3.035871e-05,3.021267e-05,3.006857e-05,2.992644e-05,2.978630e-05,2.964819e-05,2.951212e-05,2.937811e-05,2.924617e-05,2.911631e-05,2.898853e-05,2.886284e-05
0.000000e+00,2.087275e-09,4.865506e-09,1.705650e-08,3.919060e-08,5.742323e-08,1.316338e-07,1.356535e-07,2.652046e-07,3.127186e-07,4.615308e-07,6.187719e-07,7.426438e-07,1.093195e-06,1.128361e-06,1.636719e-06,1.778299e-06,2.277055e-06,2.691997e-06,3.044334e-06,3.811135e-06,3.921498e-06,4.887573e-06,5.089730e-06,5.923669e-06,6.484930e-06,7.014587e-06,7.964409e-06,8.148231e-06,9.314581e-06,9.503634e-06,1.050489e-05,1.108239e-05,1.171120e-05,1.268279e-05,1.292612e-05,1.414270e-05,1.428849e-05,1.535445e-05,1.588454e-05,1.655540e-05,1.745750e-05,1.774006e-05,1.890357e-05,1.899560e-05,2.004162e-05,2.048887e-05,2.115054e-05,2.192917e-05,2.222724e-05,2.326922e-05,2.331015e-05,2.427451e-05,2.462713e-05,2.524163e-05,2.587693e-05,2.616957e-05,2.705771e-05,2.790579e-05,2.816872e-05,2.871385e-05,2.921014e-05,2.948220e-05,3.018292e-05,3.021134e-05,3.090197e-05,3.108856e-05,3.155494e-05,3.192903e-05,3.217119e-05,3.270662e-05,3.275177e-05,3.329779e-05,3.342381e-05,3.381038e-05,3.408328e-05,3.429074e-05,3.468774e-05,3.474005e-05,3.515952e-05,3.523994e-05,3.555033e-05,3.574262e-05,3.591367e-05,3.619848e-05,3.625068e-05,3.656251e-05,3.661014e-05,3.685028e-05,3.698017e-05,3.711505e-05,3.731103e-05,3.735790e-05,3.757981e-05,3.760508e-05,3.778179e-05,3.786458e-05,3.796476e-05,3.809168e-05,3.812965e-05,3.827732e-05,3.828842e-05,3.840864e-05,3.845676e-05,3.852439e-05,3.859853e-05,3.862536e-05,3.871228e-05,3.871548e-05,3.878588e-05,3.880925e-05,3.884683e-05,3.888139e-05,3.889579e-05,3.893338e-05,3.896019e-05,3.896659e-05,3.897680e-05,3.898232e-05,3.898374e-05,3.898181e-05,3.898155e-05,3.897071e-05,3.896619e-05,3.895170e-05,3.893656e-05,3.892497e-05,3.889394e-05,3.889096e-05,3.885007e-05,3.883927e-05,3.880269e-05,3.877347e-05,3.874921e-05,3.869738e-05,3.868998e-05,3.862533e-05,3.861178e-05,3.855560e-05,3.851743e-05,3.848109e-05,3.841502e-05,3.840209e-05,3.831889e-05,3.830521e-05,3.823176e-05,3.818861e-05,3.814094e-05,3.806579e-05,3.804668e-05,3.794921e-05,3.793731e-05,3.784875e-05,3.780366e-05,3.774551e-05,3.766531e-05,3.763969e-05,3.753147e-05,3.752272e-05,3.742105e-05,3.737630e-05,3.730858e-05,3.722643e-05,3.719423e-05,3.707816e-05,3.707348e-05,3.696051e-05,3.691779e-05,3.684142e-05,3.675969e-05,3.672103e-05,3.659946e-05,3.643739e-05,3.627374e-05,3.610874e-05,3.594264e-05,3.577563e-05,3.560792e-05,3.543968e-05,3.527110e-05,3.510234e-05,3.493353e-05,3.476482e-05,3.459634e-05,3.442821e-05,3.426053e-05,3.409341e-05,3.392695e-05,3.376123e-05,3.359634e-05,3.343234e-05,3.326931e-05,3.310732e-05,3.294641e-05,3.278665e-05,3.262808e-05
0.000000e+00,2.220102e-12,1.547998e-11,2.433807e-10,1.352371e-09,2.864051e-09,1.332304e-08,1.405121e-08,4.383979e-08,5.716889e-08,1.046883e-07,1.619022e-07,2.106927e-07,3.616912e-07,3.777067e-07,6.236530e-07,6.965669e-07,9.677742e-07,1.210085e-06,1.427509e-06,1.936378e-06,2.013465e-06,2.725809e-06,2.882735e-06,3.555011e-06,4.027440e-06,4.485908e-06,5.334331e-06,5.501969e-06,6.587883e-06,6.767195e-06,7.730343e-06,8.295376e-06,8.917852e-06,9.893432e-06,1.014024e-05,1.138822e-05,1.153927e-05,1.265305e-05,1.321276e-05,1.392646e-05,1.489514e-05,1.520059e-05,1.646807e-05,1.656897e-05,1.772203e-05,1.821842e-05,1.895625e-05,1.982948e-05,2.016512e-05,2.134375e-05,2.139020e-05,2.248797e-05,2.289077e-05,2.359431e-05,2.432353e-05,2.465997e-05,2.568279e-05,2.666121e-05,2.696476e-05,2.759424e-05,2.816727e-05,2.848131e-05,2.928955e-05,2.932231e-05,3.011750e-05,3.033202e-05,3.086743e-05,3.129599e-05,3.157290e-05,3.218355e-05,3.223494e-05,3.285472e-05,3.299732e-05,3.343356e-05,3.374034e-05,3.397285e-05,3.441590e-05,3.447408e-05,3.493877e-05,3.502746e-05,3.536846e-05,3.557858e-05,3.576469e-05,3.607278e-05,3.612899e-05,3.646286e-05,3.651356e-05,3.676779e-05,3.690430e-05,3.704523e-05,3.724833e-05,3.729657e-05,3.752319e-05,3.754879e-05,3.772639e-05,3.780871e-05,3.790743e-05,3.803095e-05,3.806753e-05,3.820785e-05,3.821825e-05,3.832950e-05,3.837317e-05,3.843355e-05,3.849813e-05,3.852100e-05,3.859282e-05,3.859539e-05,3.864994e-05,3.866707e-05,3.869322e-05,3.871517e-05,3.872349e-05,3.874156e-05,3.874816e-05,3.874797e-05,3.874401e-05,3.873603e-05,3.872979e-05,3.870724e-05,3.870612e-05,3.867363e-05,3.866302e-05,3.863287e-05,3.860469e-05,3.858441e-05,3.853345e-05,3.852874e-05,3.846637e-05,3.845045e-05,3.839773e-05,3.835673e-05,3.832329e-05,3.825329e-05,3.824344e-05,3.815858e-05,3.814104e-05,3.806907e-05,3.802081e-05,3.797527e-05,3.789339e-05,3.787750e-05,3.777607e-05,3.775952e-05,3.767128e-05,3.761986e-05,3.756340e-05,3.747505e-05,3.745270e-05,3.733942e-05,3.732567e-05,3.722380e-05,3.717225e-05,3.710606e-05,3.701529e-05,3.698641e-05,3.686503e-05,3.685526e-05,3.674213e-05,3.669257e-05,3.661786e-05,3.652764e-05,3.649240e-05,3.636589e-05,3.636081e-05,3.623849e-05,3.619244e-05,3.611033e-05,3.602282e-05,3.598155e-05,3.585225e-05,3.568100e-05,3.550930e-05,3.533739e-05,3.516547e-05,3.499373e-05,3.482235e-05,3.465148e-05,3.448128e-05,3.431187e-05,3.414339e-05,3.397594e-05,3.380963e-05,3.364454e-05,3.348077e-05,3.331839e-05,3.315746e-05,3.299805e-05,3.284022e-05,3.268401e-05,3.252947e-05,3.237663e-05,3.222553e-05,3.207620e-05,3.192866e-05
0.000000e+00,3.591861e-09,8.929857e-09,3.346952e-08,7.925723e-08,1.173760e-07,2.735560e-07,2.820291e-07,5.546504e-07,6.542468e-07,9.644908e-07,1.289523e-06,1.543707e-06,2.255547e-06,2.326444e-06,3.344090e-06,3.625781e-06,4.615104e-06,5.436536e-06,6.133766e-06,7.651207e-06,7.869593e-06,9.780076e-06,1.017939e-05,1.182397e-05,1.292777e-05,1.396674e-05,1.582247e-05,1.618042e-05,1.844191e-05,1.880682e-05,2.073150e-05,2.183537e-05,2.303204e-05,2.487012e-05,2.532839e-05,2.760723e-05,2.787895e-05,2.985697e-05,3.083500e-05,3.206761e-05,3.371634e-05,3.423076e-05,3.633946e-05,3.650562e-05,3.838809e-05,3.918971e-05,4.037229e-05,4.175912e-05,4.228875e-05,4.413516e-05,4.420754e-05,4.591002e-05,4.653128e-05,4.761254e-05,4.872881e-05,4.924252e-05,5.080027e-05,5.228649e-05,5.274714e-05,5.370224e-05,5.457192e-05,5.504881e-05,5.627785e-05,5.632772e-05,5.754064e-05,5.786867e-05,5.868935e-05,5.934854e-05,5.977575e-05,6.072187e-05,6.080178e-05,6.176942e-05,6.199319e-05,6.268067e-05,6.316709e-05,6.353754e-05,6.424819e-05,6.434203e-05,6.509612e-05,6.524106e-05,6.580177e-05,6.615021e-05,6.646092e-05,6.698002e-05,6.707542e-05,6.764712e-05,6.773474e-05,6.817780e-05,6.841847e-05,6.866921e-05,6.903521e-05,6.912306e-05,6.954099e-05,6.958880e-05,6.992460e-05,7.008293e-05,7.027546e-05,7.052111e-05,7.059504e-05,7.088481e-05,7.090674e-05,7.114616e-05,7.124305e-05,7.138046e-05,7.153313e-05,7.158900e-05,7.177305e-05,7.177992e-05,7.193381e-05,7.198622e-05,7.207246e-05,7.215469e-05,7.219012e-05,7.228787e-05,7.236675e-05,7.238817e-05,7.242776e-05,7.245786e-05,7.247185e-05,7.249912e-05,7.249995e-05,7.251294e-05,7.251398e-05,7.251167e-05,7.250440e-05,7.249694e-05,7.247219e-05,7.246955e-05,7.243023e-05,7.241910e-05,7.237970e-05,7.234676e-05,7.231864e-05,7.225671e-05,7.224770e-05,7.216751e-05,7.215042e-05,7.207867e-05,7.202925e-05,7.198175e-05,7.189449e-05,7.187730e-05,7.176583e-05,7.174737e-05,7.164784e-05,7.158903e-05,7.152381e-05,7.142054e-05,7.139419e-05,7.125941e-05,7.124291e-05,7.111988e-05,7.105708e-05,7.097599e-05,7.086395e-05,7.082812e-05,7.067662e-05,7.066435e-05,7.052182e-05,7.045905e-05,7.036405e-05,7.024879e-05,7.020362e-05,7.004080e-05,7.003424e-05,6.987588e-05,6.981605e-05,6.970912e-05,6.959479e-05,6.954076e-05,6.937103e-05,6.914528e-05,6.891801e-05,6.868968e-05,6.846069e-05,6.823142e-05,6.800222e-05,6.777343e-05,6.754534e-05,6.731822e-05,6.709234e-05,6.686791e-05,6.664517e-05,6.642429e-05,6.620546e-05,6.598883e-05,6.577456e-05,6.556276e-05,6.535356e-05,6.514706e-05,6.494335e-05,6.474251e-05,6.454460e-05,6.434970e-05,6.415786e-05
0.000000e+00,3.324034e-09,7.841859e-09,2.780374e-08,6.410899e-08,9.396973e-08,2.148178e-07,2.213303e-07,4.294577e-07,5.049846e-07,7.390508e-07,9.827788e-07,1.172557e-06,1.701161e-06,1.753622e-06,2.504140e-06,2.711297e-06,3.437925e-06,4.040992e-06,4.553170e-06,5.669500e-06,5.830347e-06,7.238829e-06,7.533383e-06,8.746220e-06,9.559424e-06,1.032381e-05,1.168566e-05,1.194775e-05,1.359834e-05,1.386377e-05,1.525905e-05,1.605555e-05,1.691573e-05,1.822989e-05,1.855615e-05,2.016973e-05,2.036111e-05,2.174743e-05,2.242824e-05,2.328162e-05,2.441461e-05,2.476604e-05,2.619565e-05,2.630753e-05,2.756662e-05,2.809793e-05,2.887615e-05,2.977990e-05,3.012239e-05,3.130431e-05,3.135024e-05,3.242157e-05,3.280799e-05,3.347443e-05,3.415397e-05,3.446367e-05,3.539042e-05,3.625618e-05,3.652061e-05,3.706265e-05,3.754855e-05,3.781174e-05,3.847877e-05,3.850549e-05,3.914602e-05,3.931614e-05,3.973553e-05,4.006566e-05,4.027622e-05,4.073242e-05,4.077028e-05,4.121993e-05,4.132147e-05,4.162730e-05,4.183776e-05,4.199452e-05,4.228610e-05,4.232365e-05,4.261669e-05,4.267114e-05,4.287557e-05,4.299731e-05,4.310216e-05,4.326886e-05,4.329826e-05,4.346560e-05,4.348982e-05,4.360585e-05,4.366401e-05,4.372059e-05,4.379504e-05,4.381134e-05,4.387956e-05,4.388630e-05,4.392663e-05,4.394098e-05,4.395388e-05,4.396210e-05,4.396256e-05,4.395387e-05,4.395246e-05,4.392896e-05,4.391470e-05,4.388891e-05,4.385128e-05,4.383475e-05,4.376745e-05,4.376450e-05,4.368795e-05,4.365651e-05,4.359712e-05,4.352932e-05,4.349581e-05,4.338479e-05,4.326481e-05,4.322464e-05,4.313659e-05,4.305051e-05,4.300079e-05,4.286387e-05,4.285804e-05,4.270894e-05,4.266613e-05,4.255406e-05,4.245858e-05,4.239393e-05,4.224240e-05,4.222904e-05,4.205988e-05,4.201870e-05,4.188689e-05,4.178850e-05,4.171049e-05,4.155274e-05,4.153107e-05,4.134900e-05,4.131231e-05,4.116465e-05,4.106798e-05,4.097832e-05,4.082051e-05,4.079034e-05,4.060098e-05,4.057058e-05,4.041053e-05,4.031880e-05,4.021923e-05,4.006575e-05,4.002733e-05,3.983504e-05,3.981194e-05,3.964256e-05,3.955787e-05,3.945011e-05,3.930396e-05,3.925785e-05,3.906595e-05,3.905062e-05,3.887457e-05,3.879820e-05,3.868386e-05,3.854703e-05,3.849394e-05,3.830495e-05,3.829742e-05,3.811700e-05,3.804962e-05,3.793020e-05,3.780387e-05,3.774463e-05,3.756041e-05,3.731941e-05,3.708105e-05,3.684548e-05,3.661284e-05,3.638325e-05,3.615679e-05,3.593357e-05,3.571366e-05,3.549712e-05,3.528399e-05,3.507432e-05,3.486815e-05,3.466548e-05,3.446635e-05,3.427075e-05,3.407868e-05,3.389015e-05,3.370514e-05,3.352363e-05,3.334560e-05,3.317104e-05,3.299991e-05,3.283218e-05,3.266782e-05
0.000000e+00,7.056941e-09,1.611997e-08,5.490585e-08,1.235232e-07,1.789982e-07,3.984676e-07,4.101233e-07,7.760581e-07,9.062320e-07,1.302568e-06,1.705501e-06,2.013270e-06,2.847024e-06,2.928092e-06,4.060487e-06,4.365285e-06,5.413971e-06,6.265503e-06,6.978874e-06,8.511484e-06,8.730315e-06,1.062842e-05,1.102124e-05,1.262162e-05,1.367679e-05,1.465310e-05,1.634932e-05,1.666878e-05,1.862392e-05,1.892879e-05,2.048621e-05,2.134072e-05,2.223516e-05,2.354507e-05,2.385977e-05,2.535578e-05,2.552664e-05,2.672353e-05,2.728546e-05,2.796627e-05,2.883028e-05,2.908916e-05,3.009845e-05,3.017449e-05,3.100102e-05,3.133377e-05,3.180403e-05,3.232459e-05,3.251467e-05,3.314000e-05,3.316334e-05,3.368684e-05,3.386574e-05,3.416167e-05,3.444656e-05,3.457061e-05,3.491940e-05,3.521336e-05,3.529666e-05,3.545741e-05,3.558953e-05,3.565610e-05,3.580805e-05,3.581361e-05,3.593375e-05,3.596117e-05,3.602002e-05,3.605686e-05,3.607561e-05,3.610217e-05,3.610344e-05,3.610616e-05,3.610334e-05,3.608617e-05,3.606589e-05,3.604569e-05,3.599471e-05,3.598672e-05,3.591109e-05,3.589411e-05,3.582045e-05,3.576790e-05,3.571633e-05,3.561945e-05,3.560009e-05,3.547299e-05,3.545173e-05,3.533617e-05,3.526736e-05,3.519068e-05,3.506868e-05,3.503745e-05,3.487736e-05,3.485773e-05,3.471119e-05,3.463633e-05,3.453966e-05,3.440611e-05,3.436342e-05,3.418307e-05,3.416848e-05,3.399916e-05,3.392471e-05,3.381218e-05,3.367593e-05,3.362261e-05,3.343084e-05,3.342313e-05,3.323725e-05,3.316718e-05,3.304219e-05,3.290888e-05,3.284598e-05,3.264891e-05,3.245123e-05,3.238789e-05,3.225320e-05,3.212637e-05,3.205502e-05,3.186484e-05,3.185692e-05,3.165906e-05,3.160373e-05,3.146162e-05,3.134342e-05,3.126475e-05,3.108426e-05,3.106860e-05,3.087328e-05,3.082654e-05,3.067891e-05,3.057053e-05,3.048561e-05,3.031646e-05,3.029347e-05,3.010257e-05,3.006454e-05,2.991299e-05,2.981496e-05,2.972481e-05,2.956786e-05,2.953809e-05,2.935289e-05,2.932340e-05,2.916926e-05,2.908169e-05,2.898725e-05,2.884283e-05,2.880690e-05,2.862824e-05,2.860692e-05,2.845131e-05,2.837402e-05,2.827614e-05,2.814420e-05,2.810275e-05,2.793116e-05,2.791751e-05,2.776139e-05,2.769400e-05,2.759345e-05,2.747368e-05,2.742737e-05,2.726313e-05,2.725660e-05,2.710076e-05,2.704277e-05,2.694026e-05,2.683219e-05,2.678164e-05,2.662488e-05,2.642083e-05,2.622004e-05,2.602250e-05,2.582819e-05,2.563709e-05,2.544919e-05,2.526446e-05,2.508287e-05,2.490440e-05,2.472902e-05,2.455670e-05,2.438739e-05,2.422107e-05,2.405770e-05,2.389724e-05,2.373965e-05,2.358489e-05,2.343293e-05,2.328373e-05,2.313724e-05,2.299341e-05,2.285222e-05,2.271362e-05,2.257757e-05
0.000000e+00,2.291688e-10,9.467610e-10,6.275517e-09,1.947097e-08,3.188984e-08,8.893450e-08,9.221201e-08,2.036444e-07,2.465446e-07,3.855151e-07,5.378605e-07,6.606775e-07,1.016126e-06,1.052137e-06,1.572468e-06,1.716059e-06,2.213689e-06,2.617310e-06,2.953238e-06,3.666888e-06,3.767991e-06,4.640159e-06,4.820256e-06,5.556411e-06,6.046625e-06,6.505902e-06,7.322131e-06,7.479054e-06,8.467041e-06,8.625939e-06,9.461670e-06,9.939219e-06,1.045544e-05,1.124527e-05,1.144160e-05,1.241428e-05,1.252985e-05,1.336846e-05,1.378134e-05,1.430000e-05,1.499075e-05,1.520557e-05,1.608263e-05,1.615150e-05,1.692929e-05,1.725913e-05,1.774425e-05,1.831094e-05,1.852673e-05,1.927634e-05,1.930564e-05,1.999305e-05,2.024305e-05,2.067709e-05,2.112381e-05,2.132893e-05,2.194917e-05,2.253858e-05,2.272082e-05,2.309800e-05,2.344070e-05,2.362833e-05,2.411096e-05,2.413052e-05,2.460555e-05,2.473383e-05,2.505441e-05,2.531158e-05,2.547810e-05,2.584650e-05,2.587759e-05,2.625385e-05,2.634080e-05,2.660784e-05,2.679670e-05,2.694049e-05,2.721629e-05,2.725270e-05,2.754536e-05,2.760162e-05,2.781931e-05,2.795465e-05,2.807539e-05,2.827725e-05,2.831437e-05,2.853704e-05,2.857120e-05,2.874412e-05,2.883820e-05,2.893633e-05,2.907985e-05,2.911435e-05,2.927884e-05,2.929770e-05,2.943041e-05,2.949317e-05,2.956968e-05,2.966764e-05,2.969721e-05,2.981357e-05,2.982241e-05,2.991928e-05,2.995869e-05,3.001484e-05,3.007764e-05,3.010075e-05,3.017746e-05,3.018035e-05,3.024542e-05,3.026783e-05,3.030506e-05,3.034106e-05,3.035677e-05,3.040094e-05,3.043795e-05,3.044834e-05,3.046815e-05,3.048405e-05,3.049187e-05,3.050885e-05,3.050944e-05,3.052117e-05,3.052345e-05,3.052735e-05,3.052851e-05,3.052826e-05,3.052468e-05,3.052417e-05,3.051534e-05,3.051255e-05,3.050202e-05,3.049268e-05,3.048442e-05,3.046559e-05,3.046279e-05,3.043733e-05,3.043180e-05,3.040824e-05,3.039175e-05,3.037573e-05,3.034590e-05,3.033997e-05,3.030114e-05,3.029465e-05,3.025941e-05,3.023840e-05,3.021494e-05,3.017750e-05,3.016789e-05,3.011840e-05,3.011231e-05,3.006662e-05,3.004314e-05,3.001267e-05,2.997030e-05,2.995669e-05,2.989879e-05,2.989408e-05,2.983910e-05,2.981475e-05,2.977773e-05,2.973255e-05,2.971477e-05,2.965034e-05,2.964773e-05,2.958453e-05,2.956052e-05,2.951743e-05,2.947111e-05,2.944913e-05,2.937972e-05,2.928652e-05,2.919169e-05,2.909540e-05,2.899781e-05,2.889904e-05,2.879926e-05,2.869857e-05,2.859711e-05,2.849499e-05,2.839230e-05,2.828917e-05,2.818567e-05,2.808190e-05,2.797794e-05,2.787386e-05,2.776975e-05,2.766567e-05,2.756167e-05,2.745784e-05,2.735421e-05,2.725084e-05,2.714779e-05,2.704509e-05,2.694279e-05
0.000000e+00,7.639727e-10,2.059555e-09,8.320872e-09,2.023359e-08,3.017117e-08,7.060568e-08,7.278347e-08,1.420185e-07,1.669432e-07,2.434968e-07,3.221303e-07,3.826038e-07,5.474014e-07,5.634474e-07,7.864393e-07,8.458093e-07,1.047078e-06,1.206868e-06,1.338339e-06,1.614583e-06,1.653458e-06,1.986689e-06,2.055059e-06,2.333020e-06,2.516752e-06,2.687855e-06,2.989324e-06,3.046879e-06,3.406051e-06,3.463280e-06,3.761671e-06,3.930124e-06,4.110452e-06,4.382647e-06,4.449583e-06,4.776762e-06,4.815130e-06,5.090203e-06,5.223415e-06,5.388615e-06,5.604828e-06,5.671164e-06,5.937414e-06,5.958005e-06,6.187276e-06,6.282666e-06,6.420938e-06,6.579367e-06,6.638811e-06,6.841469e-06,6.849268e-06,7.029605e-06,7.093926e-06,7.203990e-06,7.315130e-06,7.365435e-06,7.514767e-06,7.652808e-06,7.694728e-06,7.780359e-06,7.856842e-06,7.898187e-06,8.002831e-06,8.007020e-06,8.107542e-06,8.134286e-06,8.200388e-06,8.252658e-06,8.286147e-06,8.359256e-06,8.365364e-06,8.438538e-06,8.455252e-06,8.506125e-06,8.541690e-06,8.568542e-06,8.619496e-06,8.626171e-06,8.679357e-06,8.689490e-06,8.728418e-06,8.752396e-06,8.773642e-06,8.808856e-06,8.815290e-06,8.853603e-06,8.859438e-06,8.888799e-06,8.904645e-06,8.921078e-06,8.944926e-06,8.950625e-06,8.977605e-06,8.980678e-06,9.002172e-06,9.012253e-06,9.024466e-06,9.039971e-06,9.044619e-06,9.062751e-06,9.064117e-06,9.078972e-06,9.084950e-06,9.093388e-06,9.102702e-06,9.106092e-06,9.117175e-06,9.117585e-06,9.126719e-06,9.129793e-06,9.134802e-06,9.139502e-06,9.141498e-06,9.146874e-06,9.150994e-06,9.152057e-06,9.153919e-06,9.155190e-06,9.155705e-06,9.156398e-06,9.156406e-06,9.156073e-06,9.155801e-06,9.154752e-06,9.153506e-06,9.152491e-06,9.149616e-06,9.149331e-06,9.145314e-06,9.144227e-06,9.140478e-06,9.137426e-06,9.134861e-06,9.129299e-06,9.128497e-06,9.121420e-06,9.119922e-06,9.113663e-06,9.109370e-06,9.105255e-06,9.097711e-06,9.096225e-06,9.086602e-06,9.085010e-06,9.076413e-06,9.071328e-06,9.065682e-06,9.056725e-06,9.054435e-06,9.042695e-06,9.041254e-06,9.030484e-06,9.024968e-06,9.017824e-06,9.007915e-06,9.004736e-06,8.991239e-06,8.990142e-06,8.977353e-06,8.971694e-06,8.963097e-06,8.952612e-06,8.948487e-06,8.933541e-06,8.932936e-06,8.918275e-06,8.912703e-06,8.902704e-06,8.891951e-06,8.886845e-06,8.870711e-06,8.849019e-06,8.826903e-06,8.804393e-06,8.781518e-06,8.758305e-06,8.734777e-06,8.710961e-06,8.686878e-06,8.662551e-06,8.638001e-06,8.613248e-06,8.588310e-06,8.563207e-06,8.537955e-06,8.512570e-06,8.487070e-06,8.461468e-06,8.435778e-06,8.410016e-06,8.384193e-06,8.358321e-06,8.332414e-06,8.306482e-06,8.280536e-06
0.000000e+00,1.213807e-13,9.807600e-13,2.068836e-11,1.479998e-10,3.577075e-10,2.288199e-09,2.442986e-09,1.009323e-08,1.412069e-08,3.050518e-08,5.328444e-08,7.464376e-08,1.486896e-07,1.570961e-07,2.956516e-07,3.394801e-07,5.108028e-07,6.731036e-07,8.251407e-07,1.202608e-06,1.262336e-06,1.845260e-06,1.981125e-06,2.593148e-06,3.051729e-06,3.518475e-06,4.435680e-06,4.624686e-06,5.905627e-06,6.125918e-06,7.346714e-06,8.089390e-06,8.927183e-06,1.027559e-05,1.062266e-05,1.240743e-05,1.262639e-05,1.425618e-05,1.508367e-05,1.614503e-05,1.759384e-05,1.805212e-05,1.995786e-05,2.010972e-05,2.184492e-05,2.259106e-05,2.369820e-05,2.500423e-05,2.550465e-05,2.725322e-05,2.732182e-05,2.893469e-05,2.952211e-05,3.054160e-05,3.158865e-05,3.206809e-05,3.350983e-05,3.486386e-05,3.527831e-05,3.612848e-05,3.689061e-05,3.730312e-05,3.834646e-05,3.838815e-05,3.938483e-05,3.964831e-05,4.029508e-05,4.080077e-05,4.112142e-05,4.181010e-05,4.186683e-05,4.253463e-05,4.268375e-05,4.312841e-05,4.342999e-05,4.365192e-05,4.405754e-05,4.410902e-05,4.450358e-05,4.457533e-05,4.483949e-05,4.499225e-05,4.512056e-05,4.531700e-05,4.535050e-05,4.553295e-05,4.555796e-05,4.567136e-05,4.572314e-05,4.576908e-05,4.582008e-05,4.582927e-05,4.585495e-05,4.585585e-05,4.584897e-05,4.583700e-05,4.581400e-05,4.576960e-05,4.575258e-05,4.566705e-05,4.565924e-05,4.555964e-05,4.551101e-05,4.543240e-05,4.532960e-05,4.528727e-05,4.512602e-05,4.511926e-05,4.495032e-05,4.488383e-05,4.476170e-05,4.462681e-05,4.456161e-05,4.435135e-05,4.413216e-05,4.406031e-05,4.390514e-05,4.375624e-05,4.367136e-05,4.344144e-05,4.343176e-05,4.318722e-05,4.311798e-05,4.293856e-05,4.278769e-05,4.268651e-05,4.245223e-05,4.243177e-05,4.217496e-05,4.211308e-05,4.191664e-05,4.177153e-05,4.165735e-05,4.142875e-05,4.139757e-05,4.113771e-05,4.108577e-05,4.087819e-05,4.074349e-05,4.061936e-05,4.040272e-05,4.036155e-05,4.010506e-05,4.006416e-05,3.985014e-05,3.972841e-05,3.959704e-05,3.939602e-05,3.934598e-05,3.909715e-05,3.906745e-05,3.885072e-05,3.874310e-05,3.860685e-05,3.842330e-05,3.836566e-05,3.812729e-05,3.810834e-05,3.789182e-05,3.779848e-05,3.765936e-05,3.749390e-05,3.742998e-05,3.720375e-05,3.719477e-05,3.698072e-05,3.690122e-05,3.676093e-05,3.661335e-05,3.654443e-05,3.633124e-05,3.605493e-05,3.578446e-05,3.551982e-05,3.526103e-05,3.500805e-05,3.476085e-05,3.451939e-05,3.428362e-05,3.405347e-05,3.382888e-05,3.360976e-05,3.339604e-05,3.318763e-05,3.298443e-05,3.278636e-05,3.259332e-05,3.240521e-05,3.222194e-05,3.204340e-05,3.186949e-05,3.170012e-05,3.153518e-05,3.137457e-05,3.121819e-05
0.000000e+00,2.415188e-12,1.770767e-11,3.069637e-10,1.849555e-09,4.081374e-09,2.088106e-08,2.210034e-08,7.458233e-08,9.910722e-08,1.894505e-07,3.020489e-07,4.001887e-07,7.113900e-07,7.448536e-07,1.264513e-06,1.419718e-06,1.997470e-06,2.511407e-06,2.969257e-06,4.026713e-06,4.185202e-06,5.631386e-06,5.946088e-06,7.281932e-06,8.211037e-06,9.106898e-06,1.075335e-05,1.107725e-05,1.316659e-05,1.351030e-05,1.535104e-05,1.642681e-05,1.760843e-05,1.945260e-05,1.991757e-05,2.225779e-05,2.253973e-05,2.460888e-05,2.564173e-05,2.695126e-05,2.871412e-05,2.926628e-05,3.153654e-05,3.171574e-05,3.374626e-05,3.461001e-05,3.588149e-05,3.736596e-05,3.793032e-05,3.988293e-05,3.995892e-05,4.173165e-05,4.237060e-05,4.347082e-05,4.458892e-05,4.509674e-05,4.660745e-05,4.800258e-05,4.842473e-05,4.928310e-05,5.004343e-05,5.045114e-05,5.146950e-05,5.150979e-05,5.246288e-05,5.271141e-05,5.331480e-05,5.377940e-05,5.407041e-05,5.468487e-05,5.473479e-05,5.531321e-05,5.543983e-05,5.581100e-05,5.605652e-05,5.623346e-05,5.654706e-05,5.658581e-05,5.687311e-05,5.692320e-05,5.710026e-05,5.719617e-05,5.727194e-05,5.737656e-05,5.739261e-05,5.746649e-05,5.747424e-05,5.749755e-05,5.749835e-05,5.748951e-05,5.745727e-05,5.744585e-05,5.736982e-05,5.735866e-05,5.726442e-05,5.720947e-05,5.713245e-05,5.701598e-05,5.697649e-05,5.679894e-05,5.678387e-05,5.660201e-05,5.651826e-05,5.638771e-05,5.622372e-05,5.615792e-05,5.591435e-05,5.590434e-05,5.565857e-05,5.556378e-05,5.539202e-05,5.520530e-05,5.511604e-05,5.483183e-05,5.454050e-05,5.444594e-05,5.424306e-05,5.404994e-05,5.394045e-05,5.364587e-05,5.363352e-05,5.332303e-05,5.323555e-05,5.300969e-05,5.282059e-05,5.269415e-05,5.240242e-05,5.237700e-05,5.205877e-05,5.198228e-05,5.173994e-05,5.156131e-05,5.142097e-05,5.114047e-05,5.110225e-05,5.078415e-05,5.072063e-05,5.046700e-05,5.030255e-05,5.015109e-05,4.988690e-05,4.983672e-05,4.952411e-05,4.947427e-05,4.921348e-05,4.906515e-05,4.890505e-05,4.866001e-05,4.859899e-05,4.829545e-05,4.825921e-05,4.799459e-05,4.786309e-05,4.769652e-05,4.747192e-05,4.740135e-05,4.710920e-05,4.708596e-05,4.682014e-05,4.670539e-05,4.653424e-05,4.633040e-05,4.625158e-05,4.597221e-05,4.596110e-05,4.569617e-05,4.559762e-05,4.542351e-05,4.524005e-05,4.515426e-05,4.488844e-05,4.454284e-05,4.420328e-05,4.386977e-05,4.354231e-05,4.322089e-05,4.290549e-05,4.259606e-05,4.229258e-05,4.199499e-05,4.170323e-05,4.141725e-05,4.113698e-05,4.086234e-05,4.059327e-05,4.032969e-05,4.007151e-05,3.981866e-05,3.957105e-05,3.932859e-05,3.909121e-05,3.885880e-05,3.863129e-05,3.840858e-05,3.819059e-05
0.000000e+00,2.439975e-10,9.352219e-10,5.615775e-09,1.651693e-08,2.646469e-08,7.048893e-08,7.296147e-08,1.545551e-07,1.849302e-07,2.803198e-07,3.807170e-07,4.592275e-07,6.782048e-07,6.999137e-07,1.009111e-06,1.093889e-06,1.389229e-06,1.632437e-06,1.838270e-06,2.287355e-06,2.352342e-06,2.927412e-06,3.049400e-06,3.559527e-06,3.909407e-06,4.244531e-06,4.857468e-06,4.977839e-06,5.754346e-06,5.882230e-06,6.568467e-06,6.970861e-06,7.414223e-06,8.109423e-06,8.285383e-06,9.175609e-06,9.283417e-06,1.007861e-05,1.047839e-05,1.098827e-05,1.168049e-05,1.189879e-05,1.280475e-05,1.287688e-05,1.370121e-05,1.405612e-05,1.458374e-05,1.520833e-05,1.544846e-05,1.629203e-05,1.632529e-05,1.711166e-05,1.740041e-05,1.790507e-05,1.842867e-05,1.867046e-05,1.940649e-05,2.011220e-05,2.033152e-05,2.078701e-05,2.120252e-05,2.143062e-05,2.201915e-05,2.204305e-05,2.262450e-05,2.278181e-05,2.317539e-05,2.349149e-05,2.369629e-05,2.414963e-05,2.418790e-05,2.465101e-05,2.475801e-05,2.508649e-05,2.531864e-05,2.549528e-05,2.583369e-05,2.587833e-05,2.623664e-05,2.630542e-05,2.657120e-05,2.673612e-05,2.688302e-05,2.712809e-05,2.717308e-05,2.744237e-05,2.748359e-05,2.769184e-05,2.780482e-05,2.792243e-05,2.809391e-05,2.813504e-05,2.833055e-05,2.835290e-05,2.850980e-05,2.858374e-05,2.867362e-05,2.878829e-05,2.882279e-05,2.895805e-05,2.896830e-05,2.908013e-05,2.912543e-05,2.918971e-05,2.926124e-05,2.928745e-05,2.937397e-05,2.937720e-05,2.944986e-05,2.947470e-05,2.951571e-05,2.955502e-05,2.957204e-05,2.961938e-05,2.965821e-05,2.966891e-05,2.968899e-05,2.970467e-05,2.971217e-05,2.972767e-05,2.972817e-05,2.973739e-05,2.973881e-05,2.974021e-05,2.973897e-05,2.973698e-05,2.972896e-05,2.972804e-05,2.971373e-05,2.970953e-05,2.969435e-05,2.968139e-05,2.967019e-05,2.964520e-05,2.964153e-05,2.960864e-05,2.960157e-05,2.957175e-05,2.955107e-05,2.953111e-05,2.949425e-05,2.948695e-05,2.943948e-05,2.943159e-05,2.938889e-05,2.936357e-05,2.933540e-05,2.929062e-05,2.927916e-05,2.922037e-05,2.921315e-05,2.915918e-05,2.913154e-05,2.909576e-05,2.904615e-05,2.903024e-05,2.896278e-05,2.895730e-05,2.889350e-05,2.886530e-05,2.882253e-05,2.877046e-05,2.874999e-05,2.867601e-05,2.867302e-05,2.860068e-05,2.857325e-05,2.852411e-05,2.847138e-05,2.844640e-05,2.836764e-05,2.826222e-05,2.815532e-05,2.804712e-05,2.793779e-05,2.782747e-05,2.771633e-05,2.760450e-05,2.749209e-05,2.737924e-05,2.726605e-05,2.715263e-05,2.703907e-05,2.692546e-05,2.681189e-05,2.669844e-05,2.658517e-05,2.647217e-05,2.635948e-05,2.624716e-05,2.613529e-05,2.602389e-05,2.591302e-05,2.580273e-05,2.569305e-05
0.000000e+00,2.410417e-14,1.974802e-13,4.285282e-12,3.144731e-11,7.706511e-11,5.105531e-10,5.458533e-10,2.331717e-09,3.290854e-09,7.262644e-09,1.289610e-08,1.825186e-08,3.714583e-08,3.931365e-08,7.545292e-08,8.700113e-08,1.324744e-07,1.758803e-07,2.167237e-07,3.185784e-07,3.347349e-07,4.927727e-07,5.296856e-07,6.963278e-07,8.216423e-07,9.496774e-07,1.203057e-06,1.255608e-06,1.615329e-06,1.677877e-06,2.028553e-06,2.245476e-06,2.493667e-06,2.901326e-06,3.007957e-06,3.567824e-06,3.637874e-06,4.168993e-06,4.445374e-06,4.806679e-06,5.312592e-06,5.475745e-06,6.170837e-06,6.227405e-06,6.886502e-06,7.177307e-06,7.617302e-06,8.149855e-06,8.357915e-06,9.103220e-06,9.133060e-06,9.848381e-06,1.011573e-05,1.058890e-05,1.108770e-05,1.132069e-05,1.204008e-05,1.274383e-05,1.296527e-05,1.342918e-05,1.385706e-05,1.409381e-05,1.471059e-05,1.473582e-05,1.535372e-05,1.552225e-05,1.594639e-05,1.628955e-05,1.651306e-05,1.701103e-05,1.705327e-05,1.756681e-05,1.768609e-05,1.805372e-05,1.831485e-05,1.851425e-05,1.889799e-05,1.894878e-05,1.935786e-05,1.943668e-05,1.974214e-05,1.993240e-05,2.010235e-05,2.038691e-05,2.043929e-05,2.075382e-05,2.080212e-05,2.104680e-05,2.118005e-05,2.131914e-05,2.152275e-05,2.157174e-05,2.180549e-05,2.183231e-05,2.202128e-05,2.211077e-05,2.222000e-05,2.236012e-05,2.240249e-05,2.256958e-05,2.258231e-05,2.272208e-05,2.277917e-05,2.286076e-05,2.295247e-05,2.298636e-05,2.309961e-05,2.310389e-05,2.320118e-05,2.323501e-05,2.329172e-05,2.334731e-05,2.337186e-05,2.344220e-05,2.350329e-05,2.352098e-05,2.355568e-05,2.358487e-05,2.359987e-05,2.363502e-05,2.363634e-05,2.366555e-05,2.367249e-05,2.368794e-05,2.369827e-05,2.370392e-05,2.371329e-05,2.371388e-05,2.371818e-05,2.371841e-05,2.371718e-05,2.371442e-05,2.371120e-05,2.370206e-05,2.370055e-05,2.368554e-05,2.368203e-05,2.366643e-05,2.365497e-05,2.364350e-05,2.362146e-05,2.361699e-05,2.358714e-05,2.358206e-05,2.355416e-05,2.353729e-05,2.351828e-05,2.348761e-05,2.347969e-05,2.343857e-05,2.343348e-05,2.339511e-05,2.337529e-05,2.334947e-05,2.331342e-05,2.330181e-05,2.325228e-05,2.324824e-05,2.320102e-05,2.318006e-05,2.314817e-05,2.310920e-05,2.309384e-05,2.303817e-05,2.303592e-05,2.298126e-05,2.296049e-05,2.292322e-05,2.288316e-05,2.286415e-05,2.280415e-05,2.272366e-05,2.264189e-05,2.255902e-05,2.247521e-05,2.239062e-05,2.230538e-05,2.221964e-05,2.213351e-05,2.204711e-05,2.196053e-05,2.187388e-05,2.178725e-05,2.170071e-05,2.161435e-05,2.152823e-05,2.144242e-05,2.135698e-05,2.127196e-05,2.118741e-05,2.110338e-05,2.101991e-05,2.093704e-05,2.085480e-05,2.077323e-05
0.000000e+00,1.435714e-09,3.463639e-09,1.254113e-08,2.914569e-08,4.282377e-08,9.823073e-08,1.012182e-07,1.967925e-07,2.315269e-07,3.393303e-07,4.517216e-07,5.391825e-07,7.812683e-07,8.050871e-07,1.139481e-06,1.229356e-06,1.535817e-06,1.780483e-06,1.982359e-06,2.407537e-06,2.467443e-06,2.981401e-06,3.086936e-06,3.516292e-06,3.800408e-06,4.065279e-06,4.532818e-06,4.622228e-06,5.181545e-06,5.270908e-06,5.738148e-06,6.003001e-06,6.287505e-06,6.719100e-06,6.825668e-06,7.349300e-06,7.411025e-06,7.855685e-06,8.072463e-06,8.342699e-06,8.698889e-06,8.808772e-06,9.252837e-06,9.287390e-06,9.674263e-06,9.836426e-06,1.007280e-05,1.034558e-05,1.044849e-05,1.080165e-05,1.081532e-05,1.113280e-05,1.124675e-05,1.144258e-05,1.164141e-05,1.173175e-05,1.200115e-05,1.225167e-05,1.232800e-05,1.248422e-05,1.262405e-05,1.269973e-05,1.289143e-05,1.289911e-05,1.308325e-05,1.313220e-05,1.325303e-05,1.334836e-05,1.340930e-05,1.354183e-05,1.355286e-05,1.368449e-05,1.371439e-05,1.380494e-05,1.386776e-05,1.391488e-05,1.400348e-05,1.401499e-05,1.410589e-05,1.412302e-05,1.418816e-05,1.422772e-05,1.426236e-05,1.431883e-05,1.432900e-05,1.438858e-05,1.439748e-05,1.444154e-05,1.446474e-05,1.448832e-05,1.452156e-05,1.452931e-05,1.456491e-05,1.456883e-05,1.459545e-05,1.460737e-05,1.462127e-05,1.463793e-05,1.464268e-05,1.465996e-05,1.466118e-05,1.467340e-05,1.467775e-05,1.468324e-05,1.468823e-05,1.468972e-05,1.469307e-05,1.469314e-05,1.469349e-05,1.469296e-05,1.469118e-05,1.468815e-05,1.468633e-05,1.467910e-05,1.466967e-05,1.466621e-05,1.465817e-05,1.464980e-05,1.464476e-05,1.463021e-05,1.462957e-05,1.461271e-05,1.460771e-05,1.459432e-05,1.458259e-05,1.457450e-05,1.455509e-05,1.455335e-05,1.453098e-05,1.452543e-05,1.450746e-05,1.449383e-05,1.448290e-05,1.446049e-05,1.445737e-05,1.443095e-05,1.442557e-05,1.440371e-05,1.438924e-05,1.437572e-05,1.435167e-05,1.434703e-05,1.431772e-05,1.431297e-05,1.428783e-05,1.427330e-05,1.425743e-05,1.423276e-05,1.422655e-05,1.419525e-05,1.419147e-05,1.416357e-05,1.414953e-05,1.413156e-05,1.410703e-05,1.409925e-05,1.406667e-05,1.406406e-05,1.403388e-05,1.402070e-05,1.400089e-05,1.397703e-05,1.396774e-05,1.393445e-05,1.393312e-05,1.390106e-05,1.388902e-05,1.386759e-05,1.384480e-05,1.383407e-05,1.380052e-05,1.375621e-05,1.371194e-05,1.366773e-05,1.362364e-05,1.357969e-05,1.353593e-05,1.349237e-05,1.344906e-05,1.340601e-05,1.336324e-05,1.332079e-05,1.327867e-05,1.323690e-05,1.319550e-05,1.315447e-05,1.311384e-05,1.307361e-05,1.303380e-05,1.299442e-05,1.295547e-05,1.291696e-05,1.287891e-05,1.284131e-05,1.280416e-05
0.000000e+00,2.269412e-15,2.041930e-14,5.389855e-13,4.736319e-12,1.282200e-11,1.100691e-10,1.189326e-10,6.585973e-10,9.977506e-10,2.632307e-09,5.402025e-09,8.402858e-09,2.112104e-08,2.275867e-08,5.437945e-08,6.599183e-08,1.177213e-07,1.750396e-07,2.353149e-07,4.097944e-07,4.404436e-07,7.801328e-07,8.695112e-07,1.318336e-06,1.703682e-06,2.139155e-06,3.124816e-06,3.349905e-06,5.083814e-06,5.420159e-06,7.502202e-06,8.961051e-06,1.079595e-05,1.420880e-05,1.518620e-05,2.092423e-05,2.171638e-05,2.829039e-05,3.212565e-05,3.759234e-05,4.616007e-05,4.916230e-05,6.335379e-05,6.461337e-05,8.053756e-05,8.833451e-05,1.010972e-04,1.182099e-04,1.254239e-04,1.539119e-04,1.551435e-04,1.869522e-04,2.000354e-04,2.249282e-04,2.537604e-04,2.682095e-04,3.171473e-04,3.720694e-04,3.909581e-04,4.332755e-04,4.758706e-04,5.010337e-04,5.724619e-04,5.755764e-04,6.570974e-04,6.811957e-04,7.457498e-04,8.024118e-04,8.416435e-04,9.363190e-04,9.448448e-04,1.055375e-03,1.082991e-03,1.173210e-03,1.242365e-03,1.298282e-03,1.414245e-03,1.430480e-03,1.569649e-03,1.598303e-03,1.715596e-03,1.794091e-03,1.868087e-03,2.001042e-03,2.026855e-03,2.191597e-03,2.218489e-03,2.361983e-03,2.445669e-03,2.537655e-03,2.681741e-03,2.718229e-03,2.903305e-03,2.925796e-03,3.092461e-03,3.176871e-03,3.285264e-03,3.433961e-03,3.481271e-03,3.680030e-03,3.696036e-03,3.881086e-03,3.962049e-03,4.083981e-03,4.230948e-03,4.288260e-03,4.493472e-03,4.501693e-03,4.699171e-03,4.773258e-03,4.904921e-03,5.044644e-03,5.110298e-03,5.314887e-03,5.518291e-03,5.583067e-03,5.720127e-03,5.848310e-03,5.920029e-03,6.109793e-03,6.117649e-03,6.312658e-03,6.366750e-03,6.504747e-03,6.618476e-03,6.693625e-03,6.864325e-03,6.879023e-03,7.060693e-03,7.103713e-03,7.238407e-03,7.336120e-03,7.411956e-03,7.561086e-03,7.581154e-03,7.745834e-03,7.778215e-03,7.905848e-03,7.987168e-03,8.061067e-03,8.187666e-03,8.211383e-03,8.356702e-03,8.379484e-03,8.496951e-03,8.562452e-03,8.632072e-03,8.736448e-03,8.762023e-03,8.886780e-03,8.901401e-03,9.006327e-03,9.057278e-03,9.120669e-03,9.204095e-03,9.229819e-03,9.333802e-03,9.341899e-03,9.432657e-03,9.470773e-03,9.526430e-03,9.590831e-03,9.615178e-03,9.698967e-03,9.702217e-03,9.777871e-03,9.805095e-03,9.851969e-03,9.899656e-03,9.921350e-03,9.986107e-03,1.006467e-02,1.013559e-02,1.019911e-02,1.025549e-02,1.030500e-02,1.034791e-02,1.038448e-02,1.041501e-02,1.043975e-02,1.045900e-02,1.047301e-02,1.048207e-02,1.048643e-02,1.048635e-02,1.048210e-02,1.047391e-02,1.046204e-02,1.044671e-02,1.042815e-02,1.040658e-02,1.038221e-02,1.035524e-02,1.032588e-02,1.029430e-02
0.000000e+00,2.470334e-09,5.685691e-09,1.964829e-08,4.477361e-08,6.534064e-08,1.481821e-07,1.526346e-07,2.945271e-07,3.458651e-07,5.045798e-07,6.693419e-07,7.973416e-07,1.152724e-06,1.187907e-06,1.689517e-06,1.827388e-06,2.309052e-06,2.706879e-06,3.043856e-06,3.777802e-06,3.883704e-06,4.815631e-06,5.011941e-06,5.827113e-06,6.380749e-06,6.906924e-06,7.859315e-06,8.044904e-06,9.231535e-06,9.425295e-06,1.045765e-05,1.105758e-05,1.171431e-05,1.273574e-05,1.299276e-05,1.428452e-05,1.444004e-05,1.558148e-05,1.615180e-05,1.687597e-05,1.785376e-05,1.816092e-05,1.942983e-05,1.953048e-05,2.067692e-05,2.116849e-05,2.189714e-05,2.275657e-05,2.308611e-05,2.424014e-05,2.428553e-05,2.535624e-05,2.574826e-05,2.643201e-05,2.713955e-05,2.746564e-05,2.845586e-05,2.940182e-05,2.969511e-05,3.030313e-05,3.085649e-05,3.115973e-05,3.194022e-05,3.197186e-05,3.274004e-05,3.294734e-05,3.346496e-05,3.387952e-05,3.414753e-05,3.473895e-05,3.478876e-05,3.538979e-05,3.552819e-05,3.595184e-05,3.625003e-05,3.647618e-05,3.690746e-05,3.696414e-05,3.741706e-05,3.750356e-05,3.783630e-05,3.804144e-05,3.822321e-05,3.852422e-05,3.857914e-05,3.890543e-05,3.895497e-05,3.920338e-05,3.933671e-05,3.947428e-05,3.967236e-05,3.971937e-05,3.993988e-05,3.996475e-05,4.013700e-05,4.021661e-05,4.031186e-05,4.043055e-05,4.046557e-05,4.059920e-05,4.060906e-05,4.071379e-05,4.075452e-05,4.081032e-05,4.086918e-05,4.088975e-05,4.095299e-05,4.095520e-05,4.100093e-05,4.101460e-05,4.103440e-05,4.104931e-05,4.105421e-05,4.106114e-05,4.105592e-05,4.105180e-05,4.103927e-05,4.102292e-05,4.101185e-05,4.097600e-05,4.097431e-05,4.092727e-05,4.091248e-05,4.087132e-05,4.083370e-05,4.080701e-05,4.074093e-05,4.073488e-05,4.065545e-05,4.063535e-05,4.056918e-05,4.051807e-05,4.047656e-05,4.039014e-05,4.037802e-05,4.027397e-05,4.025253e-05,4.016481e-05,4.010616e-05,4.005092e-05,3.995187e-05,3.993267e-05,3.981039e-05,3.979047e-05,3.968441e-05,3.962271e-05,3.955503e-05,3.944928e-05,3.942255e-05,3.928724e-05,3.927083e-05,3.914938e-05,3.908797e-05,3.900919e-05,3.890126e-05,3.886694e-05,3.872282e-05,3.871122e-05,3.857707e-05,3.851835e-05,3.842987e-05,3.832311e-05,3.828143e-05,3.813190e-05,3.812590e-05,3.798147e-05,3.792713e-05,3.783030e-05,3.772715e-05,3.767853e-05,3.752631e-05,3.732490e-05,3.712323e-05,3.692155e-05,3.672011e-05,3.651913e-05,3.631882e-05,3.611937e-05,3.592095e-05,3.572372e-05,3.552783e-05,3.533341e-05,3.514057e-05,3.494942e-05,3.476007e-05,3.457259e-05,3.438707e-05,3.420358e-05,3.402218e-05,3.384292e-05,3.366585e-05,3.349101e-05,3.331843e-05,3.314815e-05,3.298019e-05
0.000000e+00,1.040007e-14,9.174050e-14,2.322305e-12,1.962843e-11,5.199916e-11,4.217355e-10,4.546339e-10,2.376953e-09,3.544658e-09,8.986285e-09,1.785349e-08,2.718886e-08,6.517516e-08,6.994559e-08,1.590886e-07,1.908500e-07,3.285037e-07,4.760727e-07,6.274380e-07,1.050862e-06,1.123522e-06,1.904952e-06,2.104748e-06,3.081281e-06,3.891442e-06,4.782511e-06,6.724847e-06,7.156389e-06,1.036419e-05,1.096609e-05,1.457539e-05,1.700364e-05,1.996161e-05,2.522960e-05,2.669057e-05,3.492006e-05,3.601540e-05,4.479271e-05,4.968970e-05,5.643141e-05,6.652019e-05,6.993578e-05,8.537968e-05,8.670057e-05,1.028097e-04,1.103429e-04,1.222445e-04,1.374752e-04,1.436755e-04,1.670676e-04,1.680434e-04,1.923614e-04,2.019175e-04,2.194749e-04,2.389005e-04,2.483067e-04,2.787385e-04,3.106381e-04,3.211329e-04,3.438627e-04,3.657524e-04,3.782615e-04,4.122442e-04,4.136784e-04,4.499552e-04,4.602451e-04,4.869332e-04,5.093913e-04,5.244558e-04,5.593261e-04,5.623702e-04,6.005289e-04,6.097075e-04,6.387909e-04,6.602127e-04,6.770228e-04,7.105426e-04,7.150997e-04,7.529054e-04,7.604244e-04,7.903331e-04,8.096133e-04,8.272852e-04,8.578928e-04,8.636738e-04,8.994199e-04,9.050748e-04,9.344537e-04,9.509988e-04,9.687143e-04,9.955304e-04,1.002149e-03,1.034713e-03,1.038560e-03,1.066368e-03,1.080001e-03,1.097085e-03,1.119787e-03,1.126839e-03,1.155612e-03,1.157871e-03,1.183391e-03,1.194222e-03,1.210168e-03,1.228826e-03,1.235941e-03,1.260709e-03,1.261679e-03,1.284476e-03,1.292789e-03,1.307251e-03,1.322175e-03,1.329042e-03,1.349863e-03,1.369728e-03,1.375885e-03,1.388653e-03,1.400280e-03,1.406656e-03,1.423090e-03,1.423757e-03,1.439977e-03,1.444363e-03,1.455335e-03,1.464146e-03,1.469854e-03,1.482490e-03,1.483557e-03,1.496465e-03,1.499448e-03,1.508603e-03,1.515072e-03,1.519993e-03,1.529415e-03,1.530658e-03,1.540621e-03,1.542532e-03,1.549906e-03,1.554474e-03,1.558536e-03,1.565294e-03,1.566532e-03,1.573918e-03,1.575044e-03,1.580715e-03,1.583774e-03,1.586944e-03,1.591534e-03,1.592628e-03,1.597786e-03,1.598370e-03,1.602438e-03,1.604331e-03,1.606606e-03,1.609461e-03,1.610308e-03,1.613562e-03,1.613804e-03,1.616388e-03,1.617402e-03,1.618803e-03,1.620297e-03,1.620824e-03,1.622469e-03,1.622527e-03,1.623754e-03,1.624131e-03,1.624694e-03,1.625144e-03,1.625305e-03,1.625602e-03,1.625538e-03,1.624984e-03,1.623971e-03,1.622527e-03,1.620682e-03,1.618461e-03,1.615891e-03,1.612994e-03,1.609796e-03,1.606317e-03,1.602578e-03,1.598600e-03,1.594402e-03,1.590001e-03,1.585414e-03,1.580658e-03,1.575748e-03,1.570698e-03,1.565523e-03,1.560235e-03,1.554846e-03,1.549368e-03,1.543813e-03,1.538190e-03
0.000000e+00,6.114673e-09,1.510497e-08,5.663432e-08,1.357283e-07,2.032864e-07,4.961614e-07,5.127723e-07,1.084280e-06,1.309720e-06,2.059797e-06,2.904374e-06,3.590172e-06,5.540130e-06,5.732808e-06,8.408754e-06,9.116196e-06,1.149434e-05,1.336414e-05,1.489442e-05,1.809855e-05,1.854919e-05,2.242108e-05,2.321908e-05,2.648363e-05,2.866414e-05,3.071485e-05,3.438404e-05,3.509370e-05,3.959848e-05,4.032942e-05,4.420640e-05,4.644786e-05,4.889360e-05,5.268397e-05,5.363555e-05,5.840755e-05,5.898105e-05,6.318531e-05,6.528328e-05,6.794545e-05,7.153777e-05,7.266596e-05,7.732652e-05,7.769621e-05,8.190878e-05,8.371604e-05,8.639646e-05,8.956102e-05,9.077545e-05,9.503376e-05,9.520143e-05,9.916149e-05,1.006139e-04,1.031507e-04,1.057810e-04,1.069952e-04,1.106905e-04,1.142337e-04,1.153350e-04,1.176229e-04,1.197109e-04,1.208576e-04,1.238179e-04,1.239381e-04,1.268658e-04,1.276584e-04,1.296426e-04,1.312371e-04,1.322708e-04,1.345602e-04,1.347536e-04,1.370942e-04,1.376352e-04,1.392963e-04,1.404704e-04,1.413637e-04,1.430748e-04,1.433005e-04,1.451108e-04,1.454580e-04,1.467987e-04,1.476295e-04,1.483686e-04,1.495992e-04,1.498247e-04,1.511711e-04,1.513767e-04,1.524121e-04,1.529716e-04,1.535518e-04,1.543933e-04,1.545941e-04,1.555432e-04,1.556510e-04,1.564027e-04,1.567536e-04,1.571766e-04,1.577097e-04,1.578684e-04,1.584818e-04,1.585276e-04,1.590202e-04,1.592154e-04,1.594870e-04,1.597806e-04,1.598855e-04,1.602186e-04,1.602307e-04,1.604896e-04,1.605725e-04,1.607014e-04,1.608130e-04,1.608567e-04,1.609583e-04,1.610089e-04,1.610147e-04,1.610109e-04,1.609879e-04,1.609668e-04,1.608834e-04,1.608790e-04,1.607497e-04,1.607064e-04,1.605811e-04,1.604619e-04,1.603752e-04,1.601547e-04,1.601341e-04,1.598597e-04,1.597891e-04,1.595538e-04,1.593694e-04,1.592182e-04,1.588997e-04,1.588546e-04,1.584646e-04,1.583836e-04,1.580498e-04,1.578248e-04,1.576116e-04,1.572266e-04,1.571516e-04,1.566710e-04,1.565922e-04,1.561711e-04,1.559248e-04,1.556533e-04,1.552270e-04,1.551188e-04,1.545685e-04,1.545015e-04,1.540038e-04,1.537510e-04,1.534256e-04,1.529777e-04,1.528349e-04,1.522326e-04,1.521840e-04,1.516198e-04,1.513718e-04,1.509971e-04,1.505433e-04,1.503656e-04,1.497259e-04,1.497002e-04,1.490789e-04,1.488443e-04,1.484252e-04,1.479772e-04,1.477655e-04,1.471006e-04,1.462157e-04,1.453240e-04,1.444267e-04,1.435250e-04,1.426201e-04,1.417128e-04,1.408043e-04,1.398954e-04,1.389869e-04,1.380796e-04,1.371742e-04,1.362714e-04,1.353718e-04,1.344760e-04,1.335844e-04,1.326977e-04,1.318162e-04,1.309404e-04,1.300706e-04,1.292072e-04,1.283504e-04,1.275007e-04,1.266581e-04,1.258231e-04
0.000000e+00,1.237207e-14,1.053212e-13,2.474818e-12,1.953176e-11,4.982059e-11,3.662296e-10,3.932188e-10,1.864447e-09,2.707758e-09,6.425369e-09,1.210793e-08,1.782059e-08,3.963077e-08,4.226415e-08,8.906973e-08,1.049774e-07,1.710238e-07,2.381538e-07,3.042172e-07,4.784944e-07,5.071798e-07,7.994548e-07,8.703206e-07,1.199949e-06,1.456654e-06,1.725405e-06,2.273284e-06,2.389233e-06,3.200790e-06,3.344744e-06,4.165085e-06,4.682564e-06,5.282822e-06,6.285391e-06,6.550694e-06,7.961836e-06,8.140358e-06,9.506345e-06,1.022507e-05,1.117185e-05,1.250981e-05,1.294405e-05,1.480730e-05,1.495981e-05,1.674508e-05,1.753727e-05,1.874046e-05,2.020330e-05,2.077654e-05,2.283684e-05,2.291953e-05,2.490556e-05,2.564947e-05,2.696786e-05,2.835954e-05,2.901008e-05,3.101986e-05,3.298624e-05,3.360472e-05,3.489969e-05,3.609274e-05,3.675215e-05,3.846691e-05,3.853693e-05,4.024873e-05,4.071437e-05,4.188349e-05,4.282611e-05,4.343830e-05,4.479650e-05,4.491131e-05,4.630161e-05,4.662295e-05,4.760910e-05,4.830532e-05,4.883438e-05,4.984556e-05,4.997865e-05,5.104361e-05,5.124726e-05,5.203135e-05,5.251524e-05,5.294427e-05,5.365525e-05,5.378504e-05,5.455646e-05,5.467365e-05,5.526149e-05,5.557721e-05,5.590316e-05,5.637291e-05,5.648450e-05,5.700855e-05,5.706774e-05,5.747834e-05,5.766863e-05,5.789683e-05,5.818234e-05,5.826689e-05,5.859133e-05,5.861540e-05,5.887287e-05,5.897406e-05,5.911411e-05,5.926426e-05,5.931756e-05,5.948560e-05,5.949162e-05,5.962052e-05,5.966140e-05,5.972449e-05,5.977857e-05,5.979958e-05,5.984775e-05,5.987085e-05,5.987324e-05,5.987064e-05,5.985905e-05,5.984879e-05,5.980889e-05,5.980685e-05,5.974630e-05,5.972620e-05,5.966853e-05,5.961416e-05,5.957486e-05,5.947570e-05,5.946652e-05,5.934466e-05,5.931353e-05,5.921039e-05,5.913015e-05,5.906472e-05,5.892787e-05,5.890861e-05,5.874298e-05,5.870878e-05,5.856866e-05,5.847485e-05,5.838645e-05,5.822785e-05,5.819710e-05,5.800130e-05,5.796942e-05,5.779970e-05,5.770105e-05,5.759291e-05,5.742414e-05,5.738152e-05,5.716604e-05,5.713993e-05,5.694698e-05,5.684959e-05,5.672482e-05,5.655416e-05,5.649997e-05,5.627285e-05,5.625460e-05,5.604385e-05,5.595179e-05,5.581330e-05,5.564654e-05,5.558155e-05,5.534889e-05,5.533957e-05,5.511562e-05,5.503155e-05,5.488200e-05,5.472306e-05,5.464827e-05,5.441467e-05,5.410687e-05,5.380010e-05,5.349477e-05,5.319124e-05,5.288983e-05,5.259083e-05,5.229452e-05,5.200110e-05,5.171080e-05,5.142380e-05,5.114025e-05,5.086029e-05,5.058404e-05,5.031161e-05,5.004308e-05,4.977852e-05,4.951800e-05,4.926156e-05,4.900925e-05,4.876108e-05,4.851707e-05,4.827724e-05,4.804158e-05,4.781010e-05
0.000000e+00,4.165303e-09,9.838281e-09,3.514159e-08,8.215430e-08,1.217646e-07,2.904516e-07,2.999130e-07,6.210467e-07,7.460618e-07,1.158768e-06,1.622500e-06,2.001544e-06,3.101633e-06,3.212263e-06,4.777822e-06,5.198497e-06,6.623353e-06,7.748449e-06,8.668771e-06,1.058728e-05,1.085580e-05,1.314661e-05,1.361487e-05,1.551610e-05,1.677310e-05,1.794597e-05,2.002268e-05,2.042119e-05,2.292810e-05,2.333127e-05,2.545356e-05,2.666857e-05,2.798468e-05,3.000513e-05,3.050879e-05,3.301363e-05,3.331235e-05,3.548763e-05,3.656366e-05,3.792020e-05,3.973527e-05,4.030170e-05,4.262361e-05,4.280657e-05,4.487867e-05,4.576057e-05,4.706079e-05,4.858395e-05,4.916507e-05,5.118787e-05,5.126705e-05,5.312636e-05,5.380317e-05,5.497865e-05,5.618851e-05,5.674387e-05,5.842177e-05,6.001279e-05,6.050372e-05,6.151794e-05,6.243680e-05,6.293861e-05,6.422458e-05,6.427653e-05,6.553376e-05,6.587163e-05,6.671259e-05,6.738326e-05,6.781545e-05,6.876521e-05,6.884492e-05,6.980364e-05,7.002350e-05,7.069429e-05,7.116432e-05,7.151957e-05,7.219388e-05,7.228217e-05,7.298476e-05,7.311831e-05,7.362996e-05,7.394364e-05,7.422035e-05,7.467574e-05,7.475842e-05,7.524663e-05,7.532028e-05,7.568734e-05,7.588268e-05,7.608283e-05,7.636816e-05,7.643532e-05,7.674693e-05,7.678168e-05,7.701972e-05,7.712796e-05,7.725565e-05,7.741147e-05,7.745661e-05,7.762442e-05,7.763647e-05,7.776082e-05,7.780695e-05,7.786745e-05,7.792670e-05,7.794592e-05,7.799775e-05,7.799929e-05,7.802438e-05,7.802807e-05,7.802720e-05,7.801621e-05,7.800755e-05,7.796668e-05,7.790579e-05,7.788227e-05,7.782605e-05,7.776562e-05,7.772854e-05,7.761918e-05,7.761431e-05,7.748435e-05,7.744527e-05,7.733961e-05,7.724606e-05,7.718100e-05,7.702356e-05,7.700937e-05,7.682555e-05,7.677970e-05,7.663030e-05,7.651625e-05,7.642437e-05,7.623488e-05,7.620847e-05,7.598326e-05,7.593716e-05,7.574938e-05,7.562454e-05,7.550743e-05,7.529839e-05,7.525800e-05,7.500162e-05,7.495999e-05,7.473881e-05,7.461053e-05,7.447008e-05,7.425114e-05,7.419588e-05,7.391667e-05,7.388285e-05,7.363286e-05,7.350663e-05,7.334485e-05,7.312339e-05,7.305303e-05,7.275775e-05,7.273399e-05,7.245936e-05,7.233920e-05,7.215818e-05,7.193977e-05,7.185452e-05,7.154866e-05,7.153639e-05,7.124089e-05,7.112968e-05,7.093147e-05,7.072024e-05,7.062064e-05,7.030863e-05,6.989536e-05,6.948091e-05,6.906572e-05,6.865021e-05,6.823474e-05,6.781969e-05,6.740536e-05,6.699208e-05,6.658010e-05,6.616971e-05,6.576112e-05,6.535455e-05,6.495022e-05,6.454830e-05,6.414896e-05,6.375235e-05,6.335862e-05,6.296789e-05,6.258027e-05,6.219588e-05,6.181481e-05,6.143713e-05,6.106293e-05,6.069226e-05
0.000000e+00,3.899572e-12,2.700100e-11,4.187445e-10,2.300007e-09,4.841691e-09,2.219411e-08,2.339362e-08,7.198352e-08,9.351690e-08,1.695985e-07,2.601186e-07,3.365575e-07,5.694314e-07,5.938306e-07,9.618445e-07,1.068627e-06,1.457051e-06,1.793258e-06,2.087180e-06,2.751125e-06,2.849213e-06,3.731847e-06,3.921527e-06,4.719784e-06,5.269751e-06,5.796867e-06,6.759014e-06,6.947415e-06,8.156505e-06,8.354433e-06,9.409927e-06,1.002332e-05,1.069418e-05,1.173523e-05,1.199658e-05,1.330543e-05,1.346241e-05,1.461016e-05,1.518050e-05,1.590149e-05,1.686897e-05,1.717142e-05,1.841329e-05,1.851125e-05,1.962166e-05,2.009464e-05,2.079227e-05,2.160988e-05,2.192189e-05,2.300820e-05,2.305073e-05,2.404967e-05,2.441343e-05,2.504540e-05,2.569620e-05,2.599508e-05,2.689880e-05,2.775704e-05,2.802218e-05,2.857052e-05,2.906811e-05,2.934022e-05,3.003897e-05,3.006725e-05,3.075285e-05,3.093757e-05,3.139834e-05,3.176696e-05,3.200511e-05,3.253034e-05,3.257456e-05,3.310811e-05,3.323098e-05,3.360719e-05,3.387215e-05,3.407322e-05,3.445708e-05,3.450758e-05,3.491164e-05,3.498893e-05,3.528674e-05,3.547079e-05,3.563419e-05,3.590560e-05,3.595524e-05,3.625113e-05,3.629622e-05,3.652304e-05,3.664538e-05,3.677212e-05,3.695568e-05,3.699946e-05,3.720612e-05,3.722958e-05,3.739314e-05,3.746946e-05,3.756148e-05,3.767752e-05,3.771210e-05,3.784589e-05,3.785589e-05,3.796372e-05,3.800657e-05,3.806641e-05,3.813143e-05,3.815477e-05,3.822954e-05,3.823226e-05,3.829147e-05,3.831075e-05,3.834123e-05,3.836846e-05,3.837949e-05,3.840689e-05,3.842403e-05,3.842745e-05,3.843149e-05,3.843144e-05,3.842982e-05,3.842010e-05,3.841953e-05,3.840114e-05,3.839461e-05,3.837512e-05,3.835604e-05,3.834193e-05,3.830542e-05,3.830199e-05,3.825572e-05,3.824372e-05,3.820351e-05,3.817182e-05,3.814574e-05,3.809058e-05,3.808276e-05,3.801491e-05,3.800079e-05,3.794251e-05,3.790317e-05,3.786587e-05,3.779843e-05,3.778528e-05,3.770102e-05,3.768722e-05,3.761335e-05,3.757012e-05,3.752251e-05,3.744772e-05,3.742875e-05,3.733229e-05,3.732054e-05,3.723335e-05,3.718908e-05,3.713212e-05,3.705378e-05,3.702881e-05,3.692359e-05,3.691509e-05,3.681664e-05,3.677341e-05,3.670812e-05,3.662911e-05,3.659819e-05,3.648700e-05,3.648253e-05,3.637469e-05,3.633400e-05,3.626138e-05,3.618383e-05,3.614721e-05,3.603229e-05,3.587965e-05,3.572615e-05,3.557200e-05,3.541743e-05,3.526262e-05,3.510776e-05,3.495300e-05,3.479851e-05,3.464442e-05,3.449087e-05,3.433797e-05,3.418583e-05,3.403456e-05,3.388425e-05,3.373499e-05,3.358684e-05,3.343989e-05,3.329419e-05,3.314981e-05,3.300679e-05,3.286519e-05,3.272505e-05,3.258639e-05,3.244926e-05
0.000000e+00,2.243864e-14,2.013803e-13,5.286947e-12,4.622479e-11,1.247867e-10,1.063399e-09,1.148688e-09,6.314588e-09,9.547430e-09,2.506416e-08,5.123431e-08,7.949363e-08,1.987153e-07,2.140250e-07,5.086345e-07,6.165015e-07,1.095767e-06,1.625221e-06,2.180768e-06,3.784117e-06,4.065184e-06,7.171682e-06,7.986832e-06,1.206886e-05,1.556058e-05,1.949414e-05,2.835628e-05,3.037296e-05,4.583299e-05,4.881816e-05,6.721260e-05,8.002481e-05,9.606270e-05,1.256966e-04,1.341420e-04,1.834058e-04,1.901687e-04,2.459887e-04,2.783300e-04,3.241816e-04,3.955327e-04,4.204035e-04,5.371697e-04,5.474754e-04,6.770562e-04,7.400668e-04,8.426621e-04,9.792755e-04,1.036570e-03,1.261307e-03,1.270972e-03,1.519304e-03,1.620772e-03,1.812859e-03,2.033881e-03,2.144100e-03,2.514953e-03,2.927111e-03,3.067967e-03,3.382008e-03,3.696115e-03,3.880795e-03,4.401721e-03,4.424330e-03,5.013154e-03,5.186179e-03,5.647492e-03,6.049914e-03,6.327246e-03,6.992376e-03,7.051996e-03,7.821006e-03,8.012044e-03,8.633229e-03,9.106463e-03,9.487328e-03,1.027230e-02,1.038168e-02,1.131442e-02,1.150539e-02,1.228342e-02,1.280086e-02,1.328634e-02,1.415316e-02,1.432066e-02,1.538368e-02,1.555624e-02,1.647259e-02,1.700359e-02,1.758441e-02,1.848835e-02,1.871613e-02,1.986465e-02,2.000345e-02,2.102682e-02,2.154169e-02,2.219949e-02,2.309582e-02,2.337953e-02,2.456383e-02,2.465867e-02,2.574932e-02,2.622318e-02,2.693302e-02,2.778253e-02,2.811201e-02,2.928348e-02,2.933015e-02,3.044476e-02,3.085982e-02,3.159325e-02,3.236567e-02,3.272652e-02,3.384227e-02,3.493835e-02,3.528461e-02,3.601277e-02,3.668816e-02,3.706366e-02,3.804883e-02,3.808935e-02,3.908831e-02,3.936304e-02,4.005916e-02,4.062766e-02,4.100067e-02,4.184004e-02,4.191179e-02,4.279159e-02,4.299799e-02,4.363930e-02,4.409976e-02,4.445429e-02,4.514401e-02,4.523605e-02,4.598422e-02,4.612980e-02,4.669855e-02,4.705658e-02,4.737890e-02,4.792413e-02,4.802526e-02,4.863771e-02,4.873256e-02,4.921642e-02,4.948229e-02,4.976166e-02,5.017398e-02,5.027378e-02,5.075320e-02,5.080855e-02,5.120041e-02,5.138712e-02,5.161598e-02,5.191101e-02,5.200050e-02,5.235465e-02,5.238169e-02,5.267913e-02,5.280077e-02,5.297467e-02,5.316999e-02,5.324207e-02,5.348211e-02,5.349116e-02,5.369563e-02,5.376617e-02,5.388348e-02,5.399698e-02,5.404650e-02,5.418558e-02,5.433399e-02,5.444422e-02,5.451831e-02,5.455825e-02,5.456604e-02,5.454362e-02,5.449292e-02,5.441580e-02,5.431407e-02,5.418949e-02,5.404377e-02,5.387855e-02,5.369539e-02,5.349581e-02,5.328124e-02,5.305307e-02,5.281261e-02,5.256109e-02,5.229969e-02,5.202952e-02,5.175164e-02,5.146704e-02,5.117663e-02,5.088129e-02
0.000000e+00,6.670195e-11,3.404482e-10,3.070676e-09,1.133774e-08,1.985804e-08,6.208587e-08,6.458780e-08,1.513086e-07,1.850669e-07,2.946071e-07,4.144642e-07,5.108888e-07,7.904866e-07,8.189868e-07,1.238631e-06,1.357832e-06,1.784836e-06,2.147354e-06,2.459274e-06,3.146771e-06,3.246324e-06,4.119310e-06,4.301720e-06,5.050592e-06,5.550062e-06,6.017268e-06,6.843799e-06,7.001988e-06,7.991699e-06,8.149806e-06,8.976236e-06,9.444504e-06,9.947370e-06,1.070998e-05,1.089824e-05,1.182305e-05,1.193204e-05,1.271697e-05,1.309946e-05,1.357605e-05,1.420370e-05,1.439717e-05,1.517800e-05,1.523867e-05,1.591697e-05,1.620061e-05,1.661318e-05,1.708780e-05,1.726635e-05,1.787670e-05,1.790023e-05,1.844487e-05,1.863928e-05,1.897189e-05,1.930741e-05,1.945906e-05,1.990786e-05,2.031998e-05,2.044440e-05,2.069718e-05,2.092110e-05,2.104127e-05,2.134218e-05,2.135412e-05,2.163754e-05,2.171188e-05,2.189336e-05,2.203432e-05,2.212332e-05,2.231350e-05,2.232912e-05,2.251239e-05,2.255319e-05,2.267467e-05,2.275694e-05,2.281746e-05,2.292808e-05,2.294213e-05,2.304999e-05,2.306965e-05,2.314224e-05,2.318442e-05,2.322002e-05,2.327497e-05,2.328442e-05,2.333642e-05,2.334365e-05,2.337695e-05,2.339258e-05,2.340686e-05,2.342370e-05,2.342697e-05,2.343801e-05,2.343876e-05,2.344069e-05,2.343938e-05,2.343563e-05,2.342699e-05,2.342345e-05,2.340468e-05,2.340291e-05,2.337986e-05,2.336834e-05,2.334945e-05,2.332434e-05,2.331389e-05,2.327360e-05,2.327190e-05,2.322897e-05,2.321190e-05,2.318033e-05,2.314515e-05,2.312803e-05,2.307238e-05,2.301365e-05,2.299425e-05,2.295210e-05,2.291136e-05,2.288800e-05,2.282425e-05,2.282156e-05,2.275299e-05,2.273344e-05,2.268250e-05,2.263936e-05,2.261027e-05,2.254244e-05,2.253648e-05,2.246127e-05,2.244303e-05,2.238481e-05,2.234149e-05,2.230723e-05,2.223813e-05,2.222865e-05,2.214921e-05,2.213323e-05,2.206901e-05,2.202704e-05,2.198816e-05,2.191981e-05,2.190675e-05,2.182488e-05,2.181175e-05,2.174264e-05,2.170305e-05,2.166010e-05,2.159390e-05,2.157733e-05,2.149441e-05,2.148445e-05,2.141140e-05,2.137486e-05,2.132836e-05,2.126527e-05,2.124535e-05,2.116242e-05,2.115579e-05,2.107961e-05,2.104654e-05,2.099698e-05,2.093762e-05,2.091457e-05,2.083241e-05,2.082913e-05,2.075054e-05,2.072115e-05,2.066900e-05,2.061376e-05,2.058782e-05,2.050703e-05,2.040102e-05,2.029579e-05,2.019140e-05,2.008788e-05,1.998529e-05,1.988366e-05,1.978302e-05,1.968340e-05,1.958483e-05,1.948734e-05,1.939094e-05,1.929565e-05,1.920149e-05,1.910847e-05,1.901660e-05,1.892588e-05,1.883634e-05,1.874796e-05,1.866075e-05,1.857473e-05,1.848988e-05,1.840620e-05,1.832370e-05,1.824237e-05
0.000000e+00,3.800616e-13,2.944261e-12,5.698455e-11,3.778128e-10,8.769677e-10,5.082122e-09,5.405252e-09,2.047386e-08,2.804000e-08,5.771000e-08,9.748697e-08,1.340049e-07,2.579334e-07,2.718479e-07,4.985696e-07,5.694136e-07,8.422733e-07,1.094189e-06,1.323850e-06,1.866662e-06,1.949020e-06,2.705743e-06,2.870760e-06,3.568116e-06,4.047555e-06,4.503579e-06,5.321971e-06,5.479638e-06,6.468053e-06,6.625768e-06,7.446461e-06,7.907462e-06,8.398227e-06,9.132361e-06,9.311498e-06,1.017808e-05,1.027865e-05,1.099248e-05,1.133333e-05,1.175122e-05,1.228939e-05,1.245235e-05,1.309520e-05,1.314412e-05,1.368011e-05,1.389810e-05,1.420831e-05,1.455455e-05,1.468171e-05,1.510284e-05,1.511863e-05,1.547460e-05,1.559696e-05,1.580021e-05,1.599700e-05,1.608307e-05,1.632660e-05,1.653420e-05,1.659358e-05,1.670916e-05,1.680547e-05,1.685463e-05,1.696927e-05,1.697356e-05,1.706868e-05,1.709139e-05,1.714252e-05,1.717757e-05,1.719737e-05,1.723287e-05,1.723533e-05,1.725825e-05,1.726171e-05,1.726783e-05,1.726793e-05,1.726556e-05,1.725484e-05,1.725279e-05,1.723069e-05,1.722524e-05,1.720031e-05,1.718156e-05,1.716259e-05,1.712584e-05,1.711836e-05,1.706834e-05,1.705985e-05,1.701320e-05,1.698508e-05,1.695350e-05,1.690282e-05,1.688977e-05,1.682246e-05,1.681416e-05,1.675198e-05,1.672007e-05,1.667871e-05,1.662135e-05,1.660296e-05,1.652505e-05,1.651873e-05,1.644522e-05,1.641281e-05,1.636373e-05,1.630415e-05,1.628080e-05,1.619662e-05,1.619323e-05,1.611137e-05,1.608045e-05,1.602522e-05,1.596620e-05,1.593831e-05,1.585079e-05,1.576277e-05,1.573451e-05,1.567437e-05,1.561764e-05,1.558569e-05,1.550039e-05,1.549683e-05,1.540788e-05,1.538297e-05,1.531893e-05,1.526558e-05,1.523003e-05,1.514836e-05,1.514126e-05,1.505269e-05,1.503147e-05,1.496437e-05,1.491504e-05,1.487636e-05,1.479920e-05,1.478870e-05,1.470143e-05,1.468403e-05,1.461461e-05,1.456965e-05,1.452827e-05,1.445613e-05,1.444243e-05,1.435714e-05,1.434355e-05,1.427243e-05,1.423197e-05,1.418831e-05,1.412146e-05,1.410481e-05,1.402196e-05,1.401207e-05,1.393978e-05,1.390383e-05,1.385828e-05,1.379680e-05,1.377748e-05,1.369739e-05,1.369101e-05,1.361803e-05,1.358649e-05,1.353940e-05,1.348326e-05,1.346153e-05,1.338441e-05,1.338134e-05,1.330805e-05,1.328075e-05,1.323247e-05,1.318152e-05,1.315766e-05,1.308364e-05,1.298713e-05,1.289199e-05,1.279824e-05,1.270586e-05,1.261486e-05,1.252524e-05,1.243699e-05,1.235010e-05,1.226458e-05,1.218042e-05,1.209759e-05,1.201611e-05,1.193594e-05,1.185709e-05,1.177954e-05,1.170328e-05,1.162829e-05,1.155455e-05,1.148207e-05,1.141081e-05,1.134077e-05,1.127192e-05,1.120426e-05,1.113777e-05
0.000000e+00,1.426707e-09,3.984815e-09,1.687138e-08,4.241538e-08,6.438798e-08,1.584424e-07,1.636959e-07,3.395429e-07,4.067666e-07,6.250026e-07,8.658556e-07,1.061061e-06,1.627236e-06,1.684458e-06,2.503880e-06,2.727316e-06,3.493685e-06,4.108162e-06,4.616138e-06,5.688417e-06,5.839792e-06,7.142432e-06,7.410963e-06,8.508135e-06,9.238982e-06,9.924361e-06,1.114502e-05,1.138018e-05,1.286539e-05,1.310509e-05,1.437016e-05,1.509660e-05,1.588500e-05,1.709799e-05,1.740082e-05,1.890909e-05,1.908919e-05,2.040194e-05,2.105206e-05,2.187232e-05,2.297091e-05,2.331399e-05,2.472164e-05,2.483264e-05,2.609080e-05,2.662685e-05,2.741785e-05,2.834564e-05,2.869997e-05,2.993507e-05,2.998347e-05,3.112164e-05,3.153673e-05,3.225879e-05,3.300360e-05,3.334612e-05,3.438357e-05,3.537148e-05,3.567724e-05,3.631046e-05,3.688611e-05,3.720136e-05,3.801233e-05,3.804520e-05,3.884316e-05,3.905854e-05,3.959653e-05,4.002772e-05,4.030668e-05,4.092304e-05,4.097500e-05,4.160295e-05,4.174782e-05,4.219199e-05,4.250541e-05,4.274359e-05,4.319918e-05,4.325920e-05,4.374027e-05,4.383246e-05,4.418821e-05,4.440851e-05,4.460441e-05,4.493047e-05,4.499022e-05,4.534697e-05,4.540143e-05,4.567593e-05,4.582434e-05,4.597836e-05,4.620201e-05,4.625546e-05,4.650839e-05,4.653717e-05,4.673827e-05,4.683239e-05,4.694618e-05,4.709014e-05,4.713316e-05,4.730023e-05,4.731276e-05,4.744833e-05,4.750247e-05,4.757840e-05,4.766139e-05,4.769133e-05,4.778797e-05,4.779151e-05,4.786913e-05,4.789472e-05,4.793561e-05,4.797281e-05,4.798815e-05,4.802747e-05,4.805426e-05,4.806030e-05,4.806919e-05,4.807280e-05,4.807288e-05,4.806641e-05,4.806593e-05,4.804894e-05,4.804245e-05,4.802244e-05,4.800220e-05,4.798696e-05,4.794683e-05,4.794302e-05,4.789108e-05,4.787748e-05,4.783162e-05,4.779520e-05,4.776507e-05,4.770097e-05,4.769185e-05,4.761236e-05,4.759574e-05,4.752698e-05,4.748038e-05,4.743608e-05,4.735571e-05,4.734001e-05,4.723909e-05,4.722252e-05,4.713365e-05,4.708152e-05,4.702398e-05,4.693340e-05,4.691037e-05,4.679310e-05,4.677880e-05,4.667243e-05,4.661832e-05,4.654860e-05,4.645252e-05,4.642185e-05,4.629241e-05,4.628195e-05,4.616049e-05,4.610707e-05,4.602630e-05,4.592838e-05,4.589002e-05,4.575185e-05,4.574629e-05,4.561196e-05,4.556121e-05,4.547051e-05,4.537353e-05,4.532767e-05,4.518359e-05,4.499174e-05,4.479828e-05,4.460350e-05,4.440768e-05,4.421105e-05,4.401387e-05,4.381634e-05,4.361868e-05,4.342106e-05,4.322367e-05,4.302666e-05,4.283020e-05,4.263441e-05,4.243944e-05,4.224539e-05,4.205238e-05,4.186051e-05,4.166987e-05,4.148055e-05,4.129263e-05,4.110618e-05,4.092127e-05,4.073794e-05,4.055627e-05
0.000000e+00,3.511134e-09,9.447894e-09,3.847905e-08,9.493309e-08,1.429942e-07,3.457590e-07,3.569717e-07,7.268163e-07,8.657560e-07,1.309351e-06,1.788721e-06,2.171934e-06,3.272202e-06,3.383295e-06,4.989312e-06,5.434091e-06,6.983829e-06,8.249670e-06,9.307632e-06,1.156169e-05,1.188122e-05,1.463411e-05,1.520123e-05,1.751280e-05,1.904581e-05,2.047748e-05,2.301149e-05,2.349726e-05,2.654682e-05,2.703603e-05,2.960456e-05,3.106958e-05,3.265173e-05,3.507079e-05,3.567199e-05,3.865123e-05,3.900539e-05,4.157747e-05,4.284558e-05,4.444070e-05,4.656951e-05,4.723273e-05,4.994708e-05,5.016071e-05,5.257873e-05,5.360735e-05,5.512391e-05,5.690141e-05,5.758004e-05,5.994543e-05,6.003814e-05,6.221920e-05,6.301528e-05,6.440117e-05,6.583263e-05,6.649169e-05,6.849154e-05,7.040189e-05,7.099452e-05,7.222417e-05,7.334500e-05,7.396011e-05,7.554709e-05,7.561155e-05,7.718045e-05,7.760523e-05,7.866888e-05,7.952421e-05,8.007900e-05,8.130902e-05,8.141299e-05,8.267308e-05,8.296475e-05,8.386149e-05,8.449652e-05,8.498045e-05,8.590944e-05,8.603217e-05,8.701886e-05,8.720859e-05,8.794272e-05,8.839901e-05,8.880590e-05,8.948564e-05,8.961053e-05,9.035870e-05,9.047330e-05,9.105244e-05,9.136670e-05,9.169377e-05,9.217042e-05,9.228465e-05,9.282699e-05,9.288890e-05,9.332268e-05,9.352646e-05,9.377351e-05,9.408726e-05,9.418129e-05,9.454772e-05,9.457530e-05,9.487450e-05,9.499448e-05,9.516326e-05,9.534851e-05,9.541557e-05,9.563298e-05,9.564097e-05,9.581698e-05,9.587532e-05,9.596901e-05,9.605485e-05,9.609048e-05,9.618273e-05,9.624709e-05,9.626200e-05,9.628481e-05,9.629555e-05,9.629713e-05,9.628616e-05,9.628523e-05,9.625026e-05,9.623648e-05,9.619332e-05,9.614905e-05,9.611547e-05,9.602628e-05,9.601775e-05,9.590116e-05,9.587047e-05,9.576663e-05,9.568382e-05,9.561511e-05,9.546842e-05,9.544748e-05,9.526459e-05,9.522626e-05,9.506728e-05,9.495923e-05,9.485632e-05,9.466914e-05,9.463249e-05,9.439652e-05,9.435769e-05,9.414912e-05,9.402651e-05,9.389096e-05,9.367713e-05,9.362270e-05,9.334497e-05,9.331103e-05,9.305836e-05,9.292959e-05,9.276345e-05,9.253411e-05,9.246080e-05,9.215094e-05,9.212585e-05,9.183437e-05,9.170598e-05,9.151160e-05,9.127561e-05,9.118308e-05,9.084926e-05,9.083580e-05,9.051058e-05,9.038754e-05,9.016745e-05,8.993177e-05,8.982025e-05,8.946938e-05,8.900119e-05,8.852800e-05,8.805054e-05,8.756952e-05,8.708559e-05,8.659936e-05,8.611141e-05,8.562229e-05,8.513250e-05,8.464252e-05,8.415278e-05,8.366372e-05,8.317570e-05,8.268911e-05,8.220426e-05,8.172147e-05,8.124104e-05,8.076322e-05,8.028828e-05,7.981643e-05,7.934789e-05,7.888286e-05,7.842150e-05,7.796398e-05
0.000000e+00,3.959868e-16,3.480867e-15,8.749413e-14,7.350394e-13,1.941138e-12,1.562838e-11,1.684299e-11,8.757302e-11,1.304479e-10,3.300687e-10,6.554166e-10,9.983019e-10,2.397215e-09,2.573232e-09,5.870129e-09,7.046719e-09,1.214697e-08,1.760607e-08,2.318967e-08,3.870732e-08,4.135479e-08,6.956168e-08,7.670161e-08,1.112362e-07,1.394899e-07,1.702147e-07,2.361392e-07,2.506187e-07,3.567119e-07,3.763565e-07,4.927489e-07,5.698951e-07,6.628248e-07,8.259560e-07,8.707326e-07,1.119833e-06,1.152633e-06,1.412942e-06,1.556438e-06,1.752240e-06,2.041934e-06,2.139204e-06,2.574564e-06,2.611487e-06,3.058279e-06,3.265150e-06,3.589545e-06,4.000662e-06,4.166819e-06,4.787861e-06,4.813574e-06,5.449798e-06,5.697462e-06,6.149200e-06,6.644215e-06,6.882158e-06,7.644383e-06,8.431296e-06,8.687545e-06,9.238119e-06,9.762684e-06,1.005997e-05,1.085855e-05,1.089197e-05,1.172926e-05,1.196401e-05,1.256715e-05,1.306829e-05,1.340114e-05,1.416130e-05,1.422697e-05,1.504068e-05,1.523375e-05,1.583862e-05,1.627734e-05,1.661751e-05,1.728484e-05,1.737442e-05,1.810678e-05,1.825010e-05,1.881240e-05,1.916814e-05,1.948946e-05,2.003502e-05,2.013647e-05,2.075231e-05,2.084789e-05,2.133613e-05,2.160482e-05,2.188740e-05,2.230481e-05,2.240587e-05,2.289152e-05,2.294759e-05,2.334454e-05,2.353363e-05,2.376534e-05,2.406395e-05,2.415450e-05,2.451271e-05,2.454006e-05,2.484084e-05,2.496387e-05,2.513981e-05,2.533760e-05,2.541067e-05,2.565449e-05,2.566370e-05,2.587243e-05,2.594477e-05,2.606564e-05,2.618352e-05,2.623534e-05,2.638271e-05,2.650895e-05,2.654508e-05,2.661526e-05,2.667338e-05,2.670280e-05,2.677024e-05,2.677272e-05,2.682612e-05,2.683826e-05,2.686409e-05,2.687989e-05,2.688766e-05,2.689749e-05,2.689783e-05,2.689556e-05,2.689327e-05,2.688176e-05,2.686931e-05,2.685729e-05,2.682759e-05,2.682298e-05,2.677960e-05,2.676990e-05,2.672790e-05,2.669796e-05,2.666857e-05,2.661332e-05,2.660227e-05,2.652961e-05,2.651744e-05,2.645117e-05,2.641162e-05,2.636748e-05,2.629710e-05,2.627906e-05,2.618636e-05,2.617497e-05,2.608983e-05,2.604625e-05,2.598987e-05,2.591185e-05,2.588687e-05,2.578117e-05,2.577260e-05,2.567310e-05,2.562928e-05,2.556297e-05,2.548255e-05,2.545105e-05,2.533761e-05,2.533305e-05,2.522289e-05,2.518132e-05,2.510710e-05,2.502787e-05,2.499046e-05,2.487314e-05,2.471756e-05,2.456147e-05,2.440521e-05,2.424906e-05,2.409329e-05,2.393813e-05,2.378377e-05,2.363041e-05,2.347820e-05,2.332729e-05,2.317781e-05,2.302986e-05,2.288354e-05,2.273893e-05,2.259611e-05,2.245514e-05,2.231606e-05,2.217893e-05,2.204377e-05,2.191061e-05,2.177949e-05,2.165041e-05,2.152339e-05,2.139843e-05
0.000000e+00,6.281905e-13,4.655955e-12,8.252098e-11,5.070024e-10,1.130409e-09,5.930547e-09,6.282909e-09,2.167247e-08,2.895247e-08,5.600825e-08,9.000959e-08,1.197700e-07,2.144412e-07,2.246346e-07,3.832017e-07,4.307114e-07,6.086683e-07,7.689993e-07,9.138573e-07,1.256715e-06,1.309138e-06,1.799730e-06,1.909264e-06,2.383989e-06,2.722357e-06,3.053901e-06,3.674000e-06,3.797329e-06,4.600608e-06,4.733781e-06,5.450411e-06,5.871240e-06,6.334667e-06,7.059724e-06,7.242802e-06,8.165633e-06,8.276971e-06,9.095185e-06,9.504494e-06,1.002451e-05,1.072692e-05,1.094760e-05,1.185924e-05,1.193154e-05,1.275505e-05,1.310810e-05,1.363135e-05,1.424849e-05,1.448513e-05,1.531402e-05,1.534663e-05,1.611618e-05,1.639814e-05,1.689028e-05,1.740015e-05,1.763539e-05,1.835096e-05,1.903674e-05,1.924990e-05,1.969273e-05,2.009702e-05,2.031914e-05,2.089299e-05,2.091632e-05,2.148480e-05,2.163891e-05,2.202516e-05,2.233617e-05,2.253810e-05,2.298641e-05,2.302434e-05,2.348468e-05,2.359139e-05,2.391991e-05,2.415298e-05,2.433087e-05,2.467308e-05,2.471837e-05,2.508327e-05,2.515360e-05,2.542637e-05,2.559645e-05,2.574852e-05,2.600351e-05,2.605051e-05,2.633313e-05,2.637660e-05,2.659716e-05,2.671752e-05,2.684337e-05,2.702798e-05,2.707247e-05,2.728520e-05,2.730966e-05,2.748225e-05,2.756416e-05,2.766429e-05,2.779300e-05,2.783197e-05,2.798592e-05,2.799767e-05,2.812677e-05,2.817956e-05,2.825508e-05,2.834003e-05,2.837144e-05,2.847638e-05,2.848035e-05,2.857045e-05,2.860174e-05,2.865413e-05,2.870536e-05,2.872792e-05,2.879230e-05,2.884770e-05,2.886360e-05,2.889457e-05,2.892027e-05,2.893331e-05,2.896324e-05,2.896434e-05,2.898803e-05,2.899340e-05,2.900475e-05,2.901159e-05,2.901486e-05,2.901861e-05,2.901869e-05,2.901657e-05,2.901522e-05,2.900881e-05,2.900212e-05,2.899571e-05,2.897999e-05,2.897755e-05,2.895460e-05,2.894946e-05,2.892714e-05,2.891115e-05,2.889540e-05,2.886562e-05,2.885963e-05,2.882006e-05,2.881339e-05,2.877691e-05,2.875499e-05,2.873038e-05,2.869087e-05,2.868069e-05,2.862801e-05,2.862150e-05,2.857254e-05,2.854729e-05,2.851444e-05,2.846864e-05,2.845390e-05,2.839105e-05,2.838593e-05,2.832607e-05,2.829951e-05,2.825909e-05,2.820971e-05,2.819026e-05,2.811970e-05,2.811684e-05,2.804755e-05,2.802120e-05,2.797392e-05,2.792306e-05,2.789892e-05,2.782268e-05,2.772030e-05,2.761616e-05,2.751045e-05,2.740340e-05,2.729517e-05,2.718595e-05,2.707591e-05,2.696519e-05,2.685394e-05,2.674230e-05,2.663039e-05,2.651833e-05,2.640622e-05,2.629418e-05,2.618228e-05,2.607063e-05,2.595931e-05,2.584838e-05,2.573793e-05,2.562801e-05,2.551869e-05,2.541001e-05,2.530204e-05,2.519482e-05
0.000000e+00,3.571770e-09,8.263330e-09,2.871917e-08,6.561040e-08,9.581923e-08,2.173201e-07,2.238386e-07,4.307786e-07,5.052526e-07,7.341294e-07,9.696205e-07,1.151194e-06,1.649974e-06,1.698995e-06,2.393214e-06,2.583049e-06,3.245557e-06,3.793864e-06,4.260142e-06,5.283196e-06,5.431701e-06,6.747682e-06,7.026833e-06,8.192231e-06,8.988775e-06,9.749054e-06,1.113207e-05,1.140249e-05,1.313760e-05,1.342183e-05,1.494002e-05,1.582501e-05,1.679591e-05,1.831007e-05,1.869184e-05,2.061497e-05,2.084699e-05,2.255311e-05,2.340767e-05,2.449484e-05,2.596645e-05,2.642964e-05,2.834793e-05,2.850042e-05,3.024116e-05,3.098972e-05,3.210181e-05,3.341761e-05,3.392337e-05,3.570032e-05,3.577040e-05,3.742808e-05,3.803729e-05,3.910292e-05,4.021007e-05,4.072193e-05,4.228289e-05,4.378422e-05,4.425188e-05,4.522493e-05,4.611491e-05,4.660450e-05,4.787127e-05,4.792282e-05,4.918018e-05,4.952138e-05,5.037713e-05,5.106664e-05,5.151450e-05,5.250915e-05,5.259333e-05,5.361482e-05,5.385159e-05,5.458031e-05,5.509707e-05,5.549126e-05,5.624899e-05,5.634920e-05,5.715571e-05,5.731099e-05,5.791244e-05,5.828681e-05,5.862104e-05,5.918029e-05,5.928319e-05,5.990056e-05,5.999530e-05,6.047483e-05,6.073566e-05,6.100765e-05,6.140516e-05,6.150066e-05,6.195546e-05,6.200754e-05,6.237363e-05,6.254643e-05,6.275673e-05,6.302534e-05,6.310625e-05,6.342367e-05,6.344772e-05,6.371043e-05,6.381687e-05,6.396793e-05,6.413596e-05,6.419750e-05,6.440047e-05,6.440806e-05,6.457811e-05,6.463609e-05,6.473164e-05,6.482288e-05,6.486225e-05,6.497109e-05,6.505927e-05,6.508330e-05,6.512786e-05,6.516195e-05,6.517788e-05,6.520935e-05,6.521032e-05,6.522615e-05,6.522772e-05,6.522626e-05,6.521917e-05,6.521156e-05,6.518567e-05,6.518288e-05,6.514104e-05,6.512912e-05,6.508681e-05,6.505132e-05,6.502095e-05,6.495394e-05,6.494417e-05,6.485717e-05,6.483860e-05,6.476059e-05,6.470680e-05,6.465508e-05,6.455998e-05,6.454122e-05,6.441961e-05,6.439947e-05,6.429078e-05,6.422654e-05,6.415527e-05,6.404239e-05,6.401358e-05,6.386619e-05,6.384814e-05,6.371355e-05,6.364485e-05,6.355611e-05,6.343349e-05,6.339427e-05,6.322844e-05,6.321501e-05,6.305898e-05,6.299027e-05,6.288627e-05,6.276008e-05,6.271063e-05,6.253240e-05,6.252522e-05,6.235187e-05,6.228638e-05,6.216935e-05,6.204423e-05,6.198510e-05,6.179939e-05,6.155244e-05,6.130392e-05,6.105431e-05,6.080408e-05,6.055366e-05,6.030344e-05,6.005378e-05,5.980503e-05,5.955748e-05,5.931142e-05,5.906712e-05,5.882480e-05,5.858468e-05,5.834695e-05,5.811180e-05,5.787937e-05,5.764982e-05,5.742326e-05,5.719982e-05,5.697958e-05,5.676263e-05,5.654906e-05,5.633891e-05,5.613224e-05
0.000000e+00,4.857942e-09,1.205715e-08,4.513666e-08,1.068232e-07,1.581222e-07,3.675686e-07,3.788941e-07,7.411071e-07,8.723803e-07,1.277850e-06,1.697476e-06,2.022350e-06,2.919589e-06,3.008111e-06,4.267669e-06,4.613976e-06,5.828834e-06,6.841686e-06,7.708232e-06,9.625435e-06,9.905431e-06,1.240294e-05,1.293610e-05,1.517249e-05,1.670957e-05,1.818213e-05,2.087269e-05,2.140038e-05,2.479753e-05,2.535579e-05,2.834561e-05,3.009446e-05,3.201806e-05,3.502848e-05,3.578952e-05,3.963574e-05,4.010121e-05,4.353372e-05,4.525958e-05,4.746175e-05,5.045467e-05,5.139964e-05,5.532880e-05,5.564224e-05,5.923237e-05,6.078319e-05,6.309525e-05,6.584378e-05,6.690411e-05,7.064736e-05,7.079558e-05,7.431507e-05,7.561529e-05,7.789886e-05,8.028432e-05,8.139183e-05,8.478840e-05,8.808420e-05,8.911701e-05,9.127594e-05,9.326292e-05,9.436128e-05,9.722169e-05,9.733871e-05,1.002075e-04,1.009912e-04,1.029674e-04,1.045713e-04,1.056189e-04,1.079632e-04,1.081628e-04,1.106004e-04,1.111698e-04,1.129332e-04,1.141944e-04,1.151630e-04,1.170417e-04,1.172919e-04,1.193220e-04,1.197164e-04,1.212557e-04,1.222240e-04,1.230955e-04,1.245702e-04,1.248439e-04,1.265033e-04,1.267608e-04,1.280766e-04,1.288018e-04,1.295662e-04,1.306994e-04,1.309748e-04,1.323050e-04,1.324595e-04,1.335595e-04,1.340881e-04,1.347408e-04,1.355912e-04,1.358515e-04,1.368940e-04,1.369745e-04,1.378709e-04,1.382438e-04,1.387845e-04,1.394045e-04,1.396373e-04,1.404315e-04,1.404621e-04,1.411695e-04,1.414218e-04,1.418533e-04,1.422886e-04,1.424853e-04,1.430674e-04,1.436018e-04,1.437630e-04,1.440903e-04,1.443798e-04,1.445350e-04,1.449223e-04,1.449376e-04,1.453001e-04,1.453946e-04,1.456241e-04,1.458008e-04,1.459114e-04,1.461447e-04,1.461637e-04,1.463824e-04,1.464301e-04,1.465692e-04,1.466604e-04,1.467256e-04,1.468392e-04,1.468530e-04,1.469527e-04,1.469695e-04,1.470262e-04,1.470545e-04,1.470748e-04,1.470972e-04,1.470996e-04,1.471019e-04,1.471003e-04,1.470829e-04,1.470666e-04,1.470437e-04,1.469985e-04,1.469854e-04,1.469090e-04,1.468986e-04,1.468154e-04,1.467691e-04,1.467058e-04,1.466123e-04,1.465810e-04,1.464418e-04,1.464301e-04,1.462893e-04,1.462246e-04,1.461240e-04,1.459977e-04,1.459470e-04,1.457589e-04,1.457511e-04,1.455604e-04,1.454866e-04,1.453523e-04,1.452056e-04,1.451352e-04,1.449097e-04,1.446004e-04,1.442789e-04,1.439466e-04,1.436046e-04,1.432541e-04,1.428961e-04,1.425316e-04,1.421616e-04,1.417869e-04,1.414084e-04,1.410267e-04,1.406428e-04,1.402571e-04,1.398704e-04,1.394833e-04,1.390962e-04,1.387097e-04,1.383243e-04,1.379405e-04,1.375585e-04,1.371788e-04,1.368018e-04,1.364277e-04,1.360569e-04
0.000000e+00,8.785375e-12,4.911207e-11,5.156277e-10,2.107597e-09,3.857011e-09,1.311111e-08,1.367574e-08,3.370348e-08,4.162306e-08,6.744122e-08,9.564386e-08,1.181895e-07,1.826236e-07,1.891122e-07,2.832286e-07,3.095783e-07,4.032221e-07,4.824732e-07,5.509716e-07,7.043810e-07,7.269694e-07,9.301191e-07,9.738202e-07,1.158146e-06,1.285627e-06,1.408245e-06,1.633266e-06,1.677521e-06,1.963148e-06,2.010181e-06,2.262386e-06,2.410069e-06,2.572565e-06,2.826831e-06,2.891077e-06,3.215388e-06,3.254579e-06,3.543070e-06,3.687722e-06,3.871832e-06,4.121101e-06,4.199551e-06,4.524296e-06,4.550094e-06,4.844346e-06,4.970708e-06,5.158201e-06,5.379614e-06,5.464582e-06,5.762426e-06,5.774150e-06,6.050875e-06,6.152282e-06,6.329261e-06,6.512557e-06,6.597090e-06,6.854025e-06,7.099862e-06,7.176170e-06,7.334519e-06,7.478836e-06,7.558012e-06,7.762153e-06,7.770439e-06,7.971971e-06,8.026477e-06,8.162832e-06,8.272336e-06,8.343290e-06,8.500382e-06,8.513647e-06,8.674229e-06,8.711352e-06,8.825379e-06,8.906035e-06,8.967451e-06,9.085254e-06,9.100808e-06,9.225814e-06,9.249844e-06,9.342828e-06,9.400636e-06,9.452208e-06,9.538442e-06,9.554302e-06,9.649453e-06,9.664056e-06,9.737994e-06,9.778241e-06,9.820247e-06,9.881732e-06,9.896523e-06,9.967120e-06,9.975224e-06,1.003232e-05,1.005938e-05,1.009241e-05,1.013482e-05,1.014764e-05,1.019827e-05,1.020213e-05,1.024453e-05,1.026187e-05,1.028666e-05,1.031456e-05,1.032488e-05,1.035938e-05,1.036069e-05,1.039038e-05,1.040071e-05,1.041805e-05,1.043506e-05,1.044258e-05,1.046414e-05,1.048288e-05,1.048831e-05,1.049897e-05,1.050794e-05,1.051255e-05,1.052335e-05,1.052376e-05,1.053272e-05,1.053485e-05,1.053957e-05,1.054271e-05,1.054442e-05,1.054722e-05,1.054739e-05,1.054858e-05,1.054861e-05,1.054809e-05,1.054712e-05,1.054603e-05,1.054297e-05,1.054247e-05,1.053751e-05,1.053636e-05,1.053124e-05,1.052748e-05,1.052372e-05,1.051650e-05,1.051504e-05,1.050526e-05,1.050360e-05,1.049445e-05,1.048891e-05,1.048267e-05,1.047260e-05,1.046999e-05,1.045646e-05,1.045478e-05,1.044214e-05,1.043559e-05,1.042707e-05,1.041515e-05,1.041130e-05,1.039489e-05,1.039355e-05,1.037788e-05,1.037091e-05,1.036030e-05,1.034732e-05,1.034220e-05,1.032362e-05,1.032286e-05,1.030459e-05,1.029763e-05,1.028514e-05,1.027169e-05,1.026531e-05,1.024513e-05,1.021799e-05,1.019036e-05,1.016229e-05,1.013383e-05,1.010504e-05,1.007596e-05,1.004664e-05,1.001711e-05,9.987425e-06,9.957612e-06,9.927707e-06,9.897741e-06,9.867744e-06,9.837742e-06,9.807762e-06,9.777826e-06,9.747956e-06,9.718173e-06,9.688496e-06,9.658943e-06,9.629529e-06,9.600269e-06,9.571178e-06,9.542269e-06
0.000000e+00,9.369544e-16,8.174938e-15,2.024903e-13,1.677354e-12,4.393806e-12,3.458551e-11,3.723710e-11,1.887356e-10,2.790207e-10,6.917444e-10,1.348976e-09,2.028986e-09,4.726612e-09,5.059957e-09,1.115524e-08,1.328220e-08,2.232267e-08,3.178232e-08,4.130503e-08,6.725481e-08,7.162746e-08,1.175803e-07,1.290735e-07,1.841357e-07,2.287002e-07,2.768071e-07,3.791246e-07,4.014681e-07,5.641469e-07,5.941051e-07,7.708126e-07,8.873259e-07,1.027167e-06,1.271566e-06,1.338448e-06,1.709262e-06,1.757951e-06,2.143435e-06,2.355334e-06,2.643902e-06,3.069834e-06,3.212618e-06,3.850515e-06,3.904539e-06,4.557479e-06,4.859381e-06,5.332364e-06,5.931173e-06,6.173029e-06,7.076407e-06,7.113793e-06,8.038584e-06,8.398486e-06,9.054907e-06,9.774260e-06,1.012009e-05,1.122836e-05,1.237353e-05,1.274674e-05,1.354919e-05,1.431459e-05,1.474879e-05,1.591682e-05,1.596575e-05,1.719357e-05,1.753845e-05,1.842596e-05,1.916504e-05,1.965685e-05,2.078302e-05,2.088052e-05,2.209162e-05,2.237986e-05,2.328524e-05,2.394434e-05,2.445690e-05,2.546660e-05,2.560259e-05,2.671879e-05,2.693821e-05,2.780244e-05,2.835219e-05,2.885094e-05,2.970295e-05,2.986216e-05,3.083438e-05,3.098622e-05,3.176627e-05,3.219896e-05,3.265688e-05,3.333925e-05,3.350563e-05,3.431219e-05,3.440614e-05,3.507656e-05,3.539957e-05,3.579897e-05,3.632020e-05,3.647986e-05,3.711986e-05,3.716932e-05,3.771978e-05,3.794872e-05,3.828054e-05,3.866061e-05,3.880317e-05,3.928882e-05,3.930750e-05,3.973869e-05,3.989212e-05,4.015403e-05,4.041739e-05,4.053612e-05,4.088629e-05,4.120586e-05,4.130188e-05,4.149615e-05,4.166719e-05,4.175849e-05,4.198525e-05,4.199418e-05,4.220449e-05,4.225900e-05,4.239068e-05,4.249133e-05,4.255397e-05,4.268500e-05,4.269555e-05,4.281657e-05,4.284268e-05,4.291813e-05,4.296692e-05,4.300132e-05,4.306014e-05,4.306715e-05,4.311662e-05,4.312464e-05,4.315067e-05,4.316259e-05,4.317021e-05,4.317604e-05,4.317610e-05,4.316916e-05,4.316691e-05,4.315019e-05,4.313702e-05,4.311992e-05,4.308807e-05,4.307909e-05,4.302835e-05,4.302163e-05,4.296836e-05,4.293919e-05,4.289972e-05,4.284213e-05,4.282301e-05,4.273878e-05,4.273173e-05,4.264755e-05,4.260921e-05,4.254981e-05,4.247567e-05,4.244603e-05,4.233664e-05,4.233215e-05,4.222206e-05,4.217962e-05,4.210269e-05,4.201897e-05,4.197890e-05,4.185103e-05,4.167658e-05,4.149632e-05,4.131092e-05,4.112100e-05,4.092712e-05,4.072980e-05,4.052954e-05,4.032678e-05,4.012193e-05,3.991539e-05,3.970750e-05,3.949859e-05,3.928896e-05,3.907888e-05,3.886862e-05,3.865841e-05,3.844846e-05,3.823897e-05,3.803013e-05,3.782209e-05,3.761501e-05,3.740903e-05,3.720428e-05,3.700087e-05
0.000000e+00,1.579552e-10,7.819937e-10,6.718504e-09,2.405565e-08,4.159686e-08,1.269780e-07,1.319950e-07,3.047107e-07,3.715917e-07,5.880159e-07,8.242424e-07,1.013940e-06,1.561270e-06,1.616724e-06,2.421895e-06,2.645940e-06,3.429691e-06,4.073154e-06,4.613072e-06,5.769604e-06,5.934213e-06,7.358902e-06,7.653779e-06,8.860174e-06,9.663829e-06,1.041657e-05,1.175310e-05,1.200980e-05,1.362335e-05,1.388236e-05,1.524182e-05,1.601613e-05,1.685071e-05,1.812188e-05,1.843662e-05,1.998734e-05,2.017053e-05,2.149208e-05,2.213716e-05,2.294161e-05,2.400161e-05,2.432837e-05,2.564646e-05,2.574880e-05,2.689153e-05,2.736843e-05,2.806076e-05,2.885474e-05,2.915262e-05,3.016677e-05,3.020572e-05,3.110385e-05,3.142259e-05,3.196533e-05,3.250901e-05,3.275333e-05,3.347049e-05,3.411981e-05,3.431380e-05,3.470458e-05,3.504653e-05,3.522821e-05,3.567664e-05,3.569422e-05,3.610613e-05,3.621224e-05,3.646742e-05,3.666132e-05,3.678150e-05,3.703158e-05,3.705166e-05,3.728105e-05,3.733038e-05,3.747269e-05,3.756459e-05,3.762944e-05,3.774065e-05,3.775398e-05,3.784886e-05,3.786449e-05,3.791644e-05,3.794153e-05,3.795894e-05,3.797678e-05,3.797843e-05,3.797683e-05,3.797474e-05,3.795593e-05,3.793953e-05,3.791738e-05,3.787488e-05,3.786273e-05,3.779338e-05,3.778414e-05,3.771067e-05,3.767035e-05,3.761579e-05,3.753625e-05,3.750988e-05,3.739398e-05,3.738431e-05,3.726904e-05,3.721673e-05,3.713594e-05,3.703552e-05,3.699550e-05,3.684848e-05,3.684247e-05,3.669556e-05,3.663919e-05,3.653739e-05,3.642714e-05,3.637456e-05,3.620762e-05,3.603706e-05,3.598179e-05,3.586334e-05,3.575071e-05,3.568691e-05,3.551533e-05,3.550814e-05,3.532740e-05,3.527649e-05,3.514503e-05,3.503495e-05,3.496133e-05,3.479140e-05,3.477659e-05,3.459107e-05,3.454645e-05,3.440500e-05,3.430064e-05,3.421861e-05,3.405448e-05,3.403210e-05,3.384566e-05,3.380839e-05,3.365946e-05,3.356278e-05,3.347365e-05,3.331799e-05,3.328839e-05,3.310381e-05,3.307434e-05,3.292002e-05,3.283211e-05,3.273713e-05,3.259154e-05,3.255525e-05,3.237447e-05,3.235285e-05,3.219487e-05,3.211624e-05,3.201653e-05,3.188188e-05,3.183952e-05,3.166390e-05,3.164991e-05,3.148972e-05,3.142047e-05,3.131705e-05,3.119368e-05,3.114592e-05,3.097637e-05,3.096962e-05,3.080844e-05,3.074839e-05,3.064216e-05,3.053005e-05,3.047757e-05,3.031467e-05,3.010230e-05,2.989297e-05,2.968671e-05,2.948355e-05,2.928351e-05,2.908659e-05,2.889280e-05,2.870214e-05,2.851459e-05,2.833016e-05,2.814882e-05,2.797055e-05,2.779535e-05,2.762318e-05,2.745401e-05,2.728783e-05,2.712459e-05,2.696427e-05,2.680684e-05,2.665225e-05,2.650048e-05,2.635148e-05,2.620522e-05,2.606165e-05
0.000000e+00,1.959364e-08,4.520748e-08,1.591327e-07,3.751300e-07,5.621031e-07,1.402133e-06,1.451036e-06,3.190472e-06,3.898367e-06,6.301927e-06,9.053951e-06,1.130104e-05,1.767058e-05,1.829537e-05,2.684178e-05,2.905606e-05,3.635567e-05,4.194268e-05,4.642019e-05,5.553610e-05,5.679152e-05,6.732636e-05,6.944416e-05,7.793071e-05,8.344837e-05,8.853366e-05,9.739525e-05,9.907562e-05,1.095037e-04,1.111584e-04,1.197706e-04,1.246292e-04,1.298350e-04,1.377164e-04,1.396611e-04,1.492189e-04,1.503466e-04,1.584844e-04,1.624636e-04,1.674388e-04,1.740275e-04,1.760684e-04,1.843636e-04,1.850126e-04,1.923189e-04,1.954052e-04,1.999320e-04,2.052015e-04,2.072031e-04,2.141347e-04,2.144049e-04,2.207311e-04,2.230249e-04,2.269981e-04,2.310748e-04,2.329423e-04,2.385713e-04,2.438934e-04,2.455330e-04,2.489171e-04,2.519798e-04,2.536513e-04,2.579324e-04,2.581053e-04,2.622881e-04,2.634120e-04,2.662091e-04,2.684398e-04,2.698774e-04,2.730368e-04,2.733020e-04,2.764920e-04,2.772237e-04,2.794563e-04,2.810209e-04,2.822034e-04,2.844481e-04,2.847420e-04,2.870802e-04,2.875246e-04,2.892263e-04,2.902689e-04,2.911880e-04,2.926991e-04,2.929731e-04,2.945890e-04,2.948324e-04,2.960430e-04,2.966855e-04,2.973421e-04,2.982743e-04,2.984930e-04,2.995024e-04,2.996143e-04,3.003766e-04,3.007201e-04,3.011219e-04,3.016056e-04,3.017441e-04,3.022490e-04,3.022845e-04,3.026422e-04,3.027694e-04,3.029290e-04,3.030725e-04,3.031146e-04,3.032040e-04,3.032056e-04,3.032020e-04,3.031797e-04,3.031131e-04,3.030054e-04,3.029419e-04,3.026927e-04,3.023695e-04,3.022511e-04,3.019763e-04,3.016897e-04,3.015170e-04,3.010171e-04,3.009951e-04,3.004142e-04,3.002414e-04,2.997777e-04,2.993704e-04,2.990888e-04,2.984114e-04,2.983506e-04,2.975661e-04,2.973713e-04,2.967382e-04,2.962566e-04,2.958696e-04,2.950736e-04,2.949629e-04,2.940206e-04,2.938281e-04,2.930452e-04,2.925256e-04,2.920389e-04,2.911715e-04,2.910040e-04,2.899426e-04,2.897705e-04,2.888567e-04,2.883273e-04,2.877481e-04,2.868463e-04,2.866189e-04,2.854706e-04,2.853317e-04,2.843051e-04,2.837872e-04,2.831239e-04,2.822166e-04,2.819285e-04,2.807204e-04,2.806232e-04,2.795010e-04,2.790104e-04,2.782716e-04,2.773810e-04,2.770335e-04,2.757878e-04,2.757379e-04,2.745358e-04,2.740838e-04,2.732785e-04,2.724211e-04,2.720170e-04,2.707521e-04,2.690791e-04,2.674040e-04,2.657287e-04,2.640549e-04,2.623844e-04,2.607185e-04,2.590588e-04,2.574064e-04,2.557627e-04,2.541286e-04,2.525053e-04,2.508936e-04,2.492945e-04,2.477086e-04,2.461368e-04,2.445796e-04,2.430377e-04,2.415116e-04,2.400017e-04,2.385085e-04,2.370324e-04,2.355737e-04,2.341327e-04,2.327096e-04
0.000000e+00,8.044956e-09,1.908971e-08,6.828146e-08,1.587801e-07,2.340609e-07,5.458574e-07,5.629718e-07,1.125580e-06,1.336758e-06,2.011302e-06,2.738137e-06,3.314158e-06,4.923722e-06,5.081946e-06,7.284670e-06,7.870689e-06,9.856278e-06,1.143517e-05,1.273877e-05,1.549896e-05,1.589023e-05,1.927885e-05,1.998258e-05,2.287698e-05,2.482188e-05,2.665766e-05,2.995417e-05,3.059305e-05,3.465402e-05,3.531343e-05,3.881045e-05,4.083048e-05,4.303182e-05,4.643530e-05,4.728785e-05,5.154920e-05,5.205958e-05,5.578820e-05,5.763962e-05,5.997931e-05,6.311822e-05,6.409945e-05,6.812828e-05,6.844610e-05,7.204827e-05,7.358241e-05,7.584470e-05,7.849478e-05,7.950556e-05,8.302137e-05,8.315887e-05,8.638498e-05,8.755758e-05,8.959134e-05,9.168017e-05,9.263731e-05,9.552146e-05,9.824374e-05,9.908084e-05,1.008053e-04,1.023612e-04,1.032081e-04,1.053681e-04,1.054550e-04,1.075493e-04,1.081089e-04,1.094949e-04,1.105927e-04,1.112962e-04,1.128300e-04,1.129579e-04,1.144850e-04,1.148321e-04,1.158826e-04,1.166107e-04,1.171560e-04,1.181779e-04,1.183103e-04,1.193510e-04,1.195460e-04,1.202838e-04,1.207281e-04,1.211144e-04,1.217368e-04,1.218478e-04,1.224887e-04,1.225830e-04,1.230418e-04,1.232775e-04,1.235117e-04,1.238306e-04,1.239027e-04,1.242192e-04,1.242524e-04,1.244652e-04,1.245521e-04,1.246446e-04,1.247388e-04,1.247613e-04,1.248189e-04,1.248210e-04,1.248209e-04,1.248069e-04,1.247707e-04,1.247040e-04,1.246715e-04,1.245263e-04,1.245196e-04,1.243381e-04,1.242603e-04,1.241097e-04,1.239328e-04,1.238437e-04,1.235428e-04,1.232094e-04,1.230962e-04,1.228457e-04,1.225981e-04,1.224540e-04,1.220535e-04,1.220364e-04,1.215948e-04,1.214671e-04,1.211312e-04,1.208432e-04,1.206473e-04,1.201857e-04,1.201449e-04,1.196256e-04,1.194986e-04,1.190909e-04,1.187852e-04,1.185422e-04,1.180489e-04,1.179809e-04,1.174084e-04,1.172926e-04,1.168258e-04,1.165192e-04,1.162343e-04,1.157314e-04,1.156350e-04,1.150289e-04,1.149314e-04,1.144171e-04,1.141216e-04,1.138003e-04,1.133040e-04,1.131796e-04,1.125556e-04,1.124805e-04,1.119291e-04,1.116529e-04,1.113010e-04,1.108228e-04,1.106717e-04,1.100421e-04,1.099917e-04,1.094125e-04,1.091609e-04,1.087837e-04,1.083317e-04,1.081561e-04,1.075302e-04,1.075052e-04,1.069064e-04,1.066824e-04,1.062851e-04,1.058643e-04,1.056668e-04,1.050518e-04,1.042456e-04,1.034464e-04,1.026548e-04,1.018713e-04,1.010966e-04,1.003310e-04,9.957481e-05,9.882850e-05,9.809232e-05,9.736650e-05,9.665126e-05,9.594678e-05,9.525319e-05,9.457060e-05,9.389911e-05,9.323875e-05,9.258957e-05,9.195158e-05,9.132476e-05,9.070910e-05,9.010454e-05,8.951102e-05,8.892849e-05,8.835685e-05
0.000000e+00,1.121088e-09,2.568848e-09,8.797695e-09,1.987843e-08,2.886845e-08,6.458200e-08,6.648316e-08,1.263101e-07,1.476433e-07,2.127312e-07,2.791125e-07,3.299714e-07,4.685169e-07,4.820523e-07,6.723599e-07,7.239677e-07,9.026226e-07,1.048722e-06,1.171661e-06,1.437093e-06,1.475128e-06,1.806783e-06,1.875916e-06,2.160131e-06,2.350460e-06,2.529286e-06,2.847826e-06,2.909128e-06,3.295181e-06,3.357255e-06,3.683477e-06,3.869599e-06,4.070467e-06,4.376980e-06,4.452987e-06,4.828247e-06,4.872672e-06,5.193835e-06,5.351093e-06,5.547720e-06,5.807811e-06,5.888243e-06,6.214110e-06,6.239516e-06,6.524368e-06,6.643946e-06,6.818372e-06,7.019777e-06,7.095760e-06,7.356416e-06,7.366495e-06,7.600426e-06,7.684239e-06,7.828045e-06,7.973663e-06,8.039672e-06,8.235811e-06,8.417045e-06,8.471996e-06,8.584018e-06,8.683712e-06,8.737415e-06,8.872558e-06,8.877940e-06,9.006306e-06,9.040167e-06,9.123224e-06,9.188171e-06,9.229393e-06,9.318161e-06,9.325495e-06,9.412190e-06,9.431668e-06,9.490109e-06,9.530135e-06,9.559852e-06,9.614916e-06,9.621989e-06,9.677060e-06,9.687272e-06,9.725573e-06,9.748367e-06,9.768003e-06,9.799272e-06,9.804797e-06,9.836372e-06,9.840966e-06,9.863116e-06,9.874344e-06,9.885392e-06,9.900223e-06,9.903538e-06,9.917868e-06,9.919345e-06,9.928674e-06,9.932383e-06,9.936228e-06,9.939949e-06,9.940780e-06,9.942565e-06,9.942595e-06,9.941799e-06,9.940823e-06,9.938682e-06,9.935089e-06,9.933403e-06,9.926133e-06,9.925803e-06,9.917033e-06,9.913338e-06,9.906252e-06,9.898032e-06,9.893928e-06,9.880190e-06,9.865156e-06,9.860089e-06,9.848936e-06,9.837982e-06,9.831635e-06,9.814096e-06,9.813346e-06,9.794159e-06,9.788638e-06,9.774157e-06,9.761795e-06,9.753414e-06,9.733740e-06,9.732004e-06,9.709991e-06,9.704626e-06,9.687438e-06,9.674594e-06,9.664402e-06,9.643774e-06,9.640937e-06,9.617091e-06,9.612280e-06,9.592911e-06,9.580220e-06,9.568441e-06,9.547691e-06,9.543720e-06,9.518786e-06,9.514779e-06,9.493673e-06,9.481565e-06,9.468414e-06,9.448122e-06,9.443039e-06,9.417576e-06,9.414516e-06,9.392052e-06,9.380808e-06,9.366490e-06,9.347052e-06,9.340913e-06,9.315342e-06,9.313298e-06,9.289798e-06,9.279592e-06,9.264298e-06,9.245975e-06,9.238859e-06,9.213498e-06,9.212485e-06,9.188228e-06,9.179156e-06,9.163064e-06,9.146019e-06,9.138017e-06,9.113100e-06,9.080427e-06,9.048021e-06,9.015902e-06,8.984089e-06,8.952598e-06,8.921444e-06,8.890639e-06,8.860196e-06,8.830125e-06,8.800433e-06,8.771129e-06,8.742219e-06,8.713709e-06,8.685602e-06,8.657904e-06,8.630617e-06,8.603742e-06,8.577282e-06,8.551237e-06,8.525608e-06,8.500395e-06,8.475596e-06,8.451211e-06,8.427237e-06
0.000000e+00,1.081825e-15,9.415909e-15,2.316896e-13,1.906812e-12,4.976454e-12,3.878280e-11,4.173867e-11,2.093274e-10,3.085400e-10,7.590346e-10,1.470606e-09,2.202302e-09,5.078815e-09,5.432209e-09,1.184473e-08,1.406610e-08,2.344597e-08,3.318365e-08,4.292953e-08,6.928579e-08,7.370427e-08,1.198522e-07,1.313266e-07,1.860057e-07,2.299593e-07,2.771496e-07,3.767468e-07,3.983695e-07,5.545749e-07,5.831211e-07,7.502261e-07,8.592878e-07,9.890894e-07,1.213259e-06,1.274040e-06,1.606920e-06,1.650132e-06,1.988453e-06,2.171675e-06,2.418225e-06,2.776209e-06,2.894701e-06,3.415309e-06,3.458764e-06,3.976535e-06,4.211456e-06,4.574068e-06,5.024007e-06,5.202944e-06,5.857714e-06,5.884363e-06,6.532608e-06,6.779355e-06,7.221692e-06,7.695336e-06,7.919019e-06,8.618768e-06,9.315358e-06,9.536734e-06,1.000355e-05,1.043735e-05,1.067854e-05,1.131007e-05,1.133599e-05,1.197208e-05,1.214590e-05,1.258355e-05,1.293747e-05,1.316770e-05,1.367909e-05,1.372234e-05,1.424582e-05,1.436669e-05,1.473700e-05,1.499768e-05,1.519518e-05,1.557084e-05,1.562007e-05,1.601176e-05,1.608615e-05,1.637067e-05,1.654457e-05,1.669749e-05,1.694788e-05,1.699313e-05,1.725871e-05,1.729850e-05,1.749550e-05,1.759933e-05,1.770486e-05,1.785357e-05,1.788823e-05,1.804713e-05,1.806462e-05,1.818306e-05,1.823599e-05,1.829755e-05,1.837114e-05,1.839210e-05,1.846817e-05,1.847350e-05,1.852718e-05,1.854632e-05,1.857051e-05,1.859273e-05,1.859945e-05,1.861525e-05,1.861562e-05,1.861906e-05,1.861771e-05,1.861198e-05,1.860147e-05,1.859504e-05,1.856918e-05,1.853529e-05,1.852288e-05,1.849418e-05,1.846443e-05,1.844661e-05,1.839550e-05,1.839326e-05,1.833477e-05,1.831756e-05,1.827173e-05,1.823193e-05,1.820465e-05,1.813979e-05,1.813402e-05,1.806028e-05,1.804217e-05,1.798383e-05,1.793998e-05,1.790505e-05,1.783404e-05,1.782424e-05,1.774173e-05,1.772504e-05,1.765777e-05,1.761363e-05,1.757262e-05,1.750033e-05,1.748649e-05,1.739959e-05,1.738562e-05,1.731210e-05,1.726994e-05,1.722418e-05,1.715364e-05,1.713598e-05,1.704764e-05,1.703704e-05,1.695929e-05,1.692043e-05,1.687102e-05,1.680405e-05,1.678294e-05,1.669513e-05,1.668812e-05,1.660769e-05,1.657282e-05,1.652067e-05,1.645832e-05,1.643415e-05,1.634818e-05,1.634475e-05,1.626282e-05,1.623224e-05,1.617811e-05,1.612090e-05,1.609410e-05,1.601082e-05,1.590208e-05,1.579474e-05,1.568887e-05,1.558450e-05,1.548169e-05,1.538046e-05,1.528084e-05,1.518285e-05,1.508650e-05,1.499180e-05,1.489877e-05,1.480740e-05,1.471770e-05,1.462965e-05,1.454326e-05,1.445852e-05,1.437541e-05,1.429392e-05,1.421404e-05,1.413575e-05,1.405904e-05,1.398389e-05,1.391028e-05,1.383818e-05
0.000000e+00,2.546710e-08,6.004244e-08,2.146022e-07,5.036736e-07,7.490260e-07,1.808802e-06,1.868835e-06,3.929594e-06,4.738398e-06,7.400934e-06,1.033146e-05,1.265426e-05,1.901740e-05,1.963023e-05,2.793727e-05,3.008453e-05,3.719970e-05,4.270613e-05,4.716620e-05,5.638724e-05,5.767218e-05,6.859625e-05,7.082207e-05,7.983651e-05,8.577542e-05,9.130041e-05,1.010396e-04,1.029017e-04,1.145603e-04,1.164260e-04,1.262034e-04,1.317672e-04,1.377660e-04,1.469199e-04,1.491917e-04,1.604325e-04,1.617669e-04,1.714482e-04,1.762152e-04,1.822065e-04,1.901946e-04,1.926817e-04,2.028541e-04,2.036543e-04,2.127091e-04,2.165598e-04,2.222364e-04,2.288894e-04,2.314296e-04,2.402849e-04,2.406320e-04,2.488012e-04,2.517842e-04,2.569794e-04,2.623488e-04,2.648222e-04,2.723332e-04,2.795175e-04,2.817483e-04,2.863804e-04,2.906069e-04,2.929282e-04,2.989240e-04,2.991678e-04,3.051061e-04,3.067159e-04,3.107506e-04,3.139993e-04,3.161088e-04,3.207921e-04,3.211884e-04,3.259972e-04,3.271119e-04,3.305431e-04,3.329769e-04,3.348339e-04,3.384050e-04,3.388775e-04,3.426815e-04,3.434143e-04,3.462538e-04,3.480223e-04,3.496019e-04,3.522466e-04,3.527334e-04,3.556556e-04,3.561043e-04,3.583759e-04,3.596120e-04,3.609014e-04,3.627862e-04,3.632390e-04,3.653957e-04,3.656427e-04,3.673782e-04,3.681970e-04,3.691931e-04,3.704641e-04,3.708466e-04,3.723452e-04,3.724586e-04,3.736949e-04,3.741944e-04,3.749016e-04,3.756851e-04,3.759711e-04,3.769090e-04,3.769439e-04,3.777209e-04,3.779833e-04,3.784119e-04,3.788154e-04,3.789872e-04,3.794520e-04,3.798109e-04,3.799041e-04,3.800687e-04,3.801827e-04,3.802299e-04,3.802980e-04,3.802990e-04,3.802803e-04,3.802598e-04,3.801778e-04,3.800777e-04,3.799955e-04,3.797608e-04,3.797374e-04,3.794071e-04,3.793176e-04,3.790084e-04,3.787564e-04,3.785445e-04,3.780852e-04,3.780190e-04,3.774350e-04,3.773114e-04,3.767957e-04,3.764424e-04,3.761040e-04,3.754848e-04,3.753630e-04,3.745754e-04,3.744453e-04,3.737439e-04,3.733300e-04,3.728711e-04,3.721448e-04,3.719595e-04,3.710115e-04,3.708954e-04,3.700294e-04,3.695871e-04,3.690155e-04,3.682249e-04,3.679718e-04,3.669005e-04,3.668136e-04,3.658034e-04,3.653579e-04,3.646826e-04,3.638619e-04,3.635398e-04,3.623767e-04,3.623298e-04,3.611951e-04,3.607654e-04,3.599964e-04,3.591725e-04,3.587824e-04,3.575543e-04,3.559143e-04,3.542554e-04,3.525805e-04,3.508924e-04,3.491937e-04,3.474867e-04,3.457738e-04,3.440570e-04,3.423383e-04,3.406196e-04,3.389026e-04,3.371891e-04,3.354804e-04,3.337780e-04,3.320832e-04,3.303973e-04,3.287213e-04,3.270564e-04,3.254034e-04,3.237633e-04,3.221370e-04,3.205250e-04,3.189283e-04,3.173472e-04
0.000000e+00,7.559873e-16,6.780187e-15,1.777560e-13,1.552193e-12,4.187261e-12,3.561506e-11,3.846847e-11,2.110484e-10,3.189170e-10,8.359927e-10,1.706723e-09,2.645833e-09,6.600532e-09,7.107771e-09,1.685243e-08,2.041455e-08,3.621651e-08,5.363861e-08,7.189080e-08,1.244513e-07,1.336511e-07,2.351322e-07,2.617120e-07,3.945906e-07,5.080184e-07,6.356001e-07,9.224439e-07,9.876249e-07,1.486429e-06,1.582592e-06,2.174294e-06,2.585708e-06,3.100019e-06,4.048696e-06,4.318723e-06,5.891420e-06,6.107030e-06,7.884406e-06,8.912567e-06,1.036847e-05,1.263043e-05,1.341795e-05,1.710968e-05,1.743510e-05,2.152183e-05,2.350598e-05,2.673272e-05,3.102257e-05,3.281957e-05,3.985725e-05,4.015956e-05,4.791715e-05,5.108197e-05,5.706602e-05,6.394070e-05,6.736493e-05,7.886835e-05,9.162335e-05,9.597588e-05,1.056689e-04,1.153497e-04,1.210353e-04,1.370497e-04,1.377440e-04,1.558070e-04,1.611079e-04,1.752270e-04,1.875280e-04,1.959975e-04,2.162857e-04,2.181027e-04,2.415181e-04,2.473292e-04,2.662104e-04,2.805809e-04,2.921386e-04,3.159393e-04,3.192540e-04,3.475012e-04,3.532812e-04,3.768185e-04,3.924643e-04,4.071387e-04,4.333303e-04,4.383900e-04,4.704963e-04,4.757074e-04,5.033784e-04,5.194134e-04,5.369544e-04,5.642588e-04,5.711408e-04,6.058527e-04,6.100494e-04,6.410047e-04,6.565891e-04,6.765117e-04,7.036822e-04,7.122890e-04,7.482533e-04,7.511360e-04,7.843229e-04,7.987624e-04,8.204183e-04,8.463797e-04,8.564625e-04,8.923814e-04,8.938145e-04,9.281037e-04,9.409026e-04,9.635620e-04,9.874900e-04,9.986922e-04,1.033434e-03,1.067731e-03,1.078603e-03,1.101530e-03,1.122878e-03,1.134783e-03,1.166151e-03,1.167445e-03,1.199477e-03,1.208327e-03,1.230840e-03,1.249324e-03,1.261503e-03,1.289068e-03,1.291435e-03,1.320613e-03,1.327501e-03,1.349013e-03,1.364571e-03,1.376618e-03,1.400241e-03,1.403413e-03,1.429385e-03,1.434480e-03,1.454525e-03,1.467267e-03,1.478827e-03,1.498591e-03,1.502288e-03,1.524905e-03,1.528446e-03,1.546681e-03,1.556835e-03,1.567619e-03,1.583768e-03,1.587723e-03,1.607000e-03,1.609258e-03,1.625460e-03,1.633326e-03,1.643112e-03,1.655995e-03,1.659969e-03,1.676042e-03,1.677294e-03,1.691345e-03,1.697254e-03,1.705894e-03,1.715910e-03,1.719703e-03,1.732790e-03,1.733298e-03,1.745170e-03,1.749458e-03,1.756862e-03,1.764428e-03,1.767883e-03,1.778251e-03,1.790969e-03,1.802624e-03,1.813259e-03,1.822917e-03,1.831641e-03,1.839472e-03,1.846453e-03,1.852623e-03,1.858022e-03,1.862691e-03,1.866665e-03,1.869983e-03,1.872680e-03,1.874790e-03,1.876347e-03,1.877382e-03,1.877926e-03,1.878008e-03,1.877656e-03,1.876898e-03,1.875759e-03,1.874264e-03,1.872435e-03,1.870296e-03
0.000000e+00,1.335341e-14,1.193808e-13,3.108387e-12,2.696776e-11,7.248603e-11,6.106214e-10,6.592791e-10,3.581095e-09,5.396408e-09,1.404551e-08,2.850582e-08,4.401790e-08,1.088297e-07,1.171019e-07,2.749740e-07,3.323277e-07,5.853028e-07,8.622930e-07,1.150977e-06,1.976493e-06,2.120314e-06,3.697735e-06,4.108747e-06,6.154097e-06,7.890518e-06,9.835726e-06,1.418617e-05,1.517113e-05,2.267461e-05,2.411526e-05,3.294601e-05,3.905661e-05,4.666677e-05,6.063218e-05,6.459205e-05,8.753942e-05,9.067131e-05,1.163748e-04,1.311584e-04,1.519962e-04,1.841682e-04,1.953158e-04,2.472413e-04,2.517939e-04,3.086577e-04,3.360725e-04,3.804087e-04,4.389124e-04,4.632799e-04,5.579834e-04,5.620268e-04,6.651440e-04,7.068759e-04,7.852880e-04,8.746201e-04,9.188338e-04,1.066085e-03,1.227228e-03,1.281741e-03,1.402326e-03,1.521691e-03,1.591323e-03,1.785675e-03,1.794044e-03,2.010202e-03,2.073082e-03,2.239399e-03,2.382973e-03,2.481138e-03,2.714109e-03,2.734828e-03,2.999795e-03,3.064984e-03,3.275292e-03,3.433869e-03,3.560507e-03,3.818850e-03,3.854576e-03,4.156593e-03,4.217868e-03,4.465620e-03,4.628767e-03,4.780698e-03,5.049327e-03,5.100852e-03,5.425109e-03,5.477305e-03,5.752496e-03,5.910472e-03,6.082057e-03,6.346639e-03,6.412853e-03,6.743972e-03,6.783686e-03,7.074535e-03,7.219587e-03,7.403697e-03,7.652428e-03,7.730656e-03,8.054650e-03,8.080420e-03,8.374966e-03,8.501911e-03,8.690937e-03,8.915398e-03,9.001948e-03,9.307432e-03,9.319529e-03,9.606873e-03,9.713101e-03,9.899805e-03,1.009507e-02,1.018581e-02,1.046453e-02,1.073562e-02,1.082072e-02,1.099883e-02,1.116304e-02,1.125392e-02,1.149099e-02,1.150070e-02,1.173902e-02,1.180422e-02,1.196877e-02,1.210247e-02,1.218987e-02,1.238561e-02,1.240228e-02,1.260600e-02,1.265359e-02,1.280102e-02,1.290646e-02,1.298741e-02,1.314433e-02,1.316522e-02,1.333455e-02,1.336740e-02,1.349550e-02,1.357593e-02,1.364820e-02,1.377020e-02,1.379280e-02,1.392944e-02,1.395058e-02,1.405830e-02,1.411744e-02,1.417956e-02,1.427121e-02,1.429340e-02,1.440001e-02,1.441233e-02,1.449961e-02,1.454126e-02,1.459239e-02,1.465848e-02,1.467857e-02,1.475836e-02,1.476447e-02,1.483196e-02,1.485973e-02,1.489961e-02,1.494474e-02,1.496150e-02,1.501785e-02,1.502000e-02,1.506888e-02,1.508599e-02,1.511480e-02,1.514320e-02,1.515580e-02,1.519211e-02,1.523316e-02,1.526681e-02,1.529350e-02,1.531366e-02,1.532768e-02,1.533597e-02,1.533891e-02,1.533684e-02,1.533013e-02,1.531911e-02,1.530409e-02,1.528536e-02,1.526323e-02,1.523795e-02,1.520979e-02,1.517898e-02,1.514576e-02,1.511035e-02,1.507294e-02,1.503373e-02,1.499290e-02,1.495061e-02,1.490704e-02,1.486233e-02
0.000000e+00,1.433050e-09,4.325890e-09,1.986472e-08,5.173899e-08,7.945171e-08,1.980460e-07,2.046320e-07,4.216404e-07,5.028208e-07,7.604530e-07,1.036618e-06,1.256276e-06,1.885727e-06,1.949442e-06,2.881453e-06,3.144663e-06,4.084676e-06,4.881695e-06,5.568630e-06,7.092778e-06,7.315120e-06,9.288769e-06,9.707354e-06,1.145171e-05,1.264017e-05,1.377135e-05,1.582150e-05,1.622131e-05,1.877999e-05,1.919820e-05,2.142882e-05,2.272732e-05,2.415109e-05,2.637135e-05,2.693132e-05,2.975489e-05,3.009597e-05,3.260798e-05,3.386930e-05,3.547758e-05,3.766204e-05,3.835159e-05,4.121885e-05,4.144763e-05,4.406923e-05,4.520258e-05,4.689364e-05,4.890656e-05,4.968402e-05,5.243334e-05,5.254237e-05,5.513554e-05,5.609578e-05,5.778548e-05,5.955537e-05,6.037888e-05,6.291227e-05,6.538287e-05,6.615983e-05,6.778850e-05,6.929320e-05,7.012746e-05,7.230898e-05,7.239851e-05,7.460085e-05,7.520512e-05,7.673401e-05,7.798064e-05,7.879788e-05,8.063560e-05,8.079265e-05,8.271868e-05,8.317076e-05,8.457657e-05,8.558749e-05,8.636707e-05,8.788769e-05,8.809110e-05,8.974975e-05,9.007375e-05,9.134439e-05,9.214875e-05,9.287632e-05,9.411549e-05,9.434666e-05,9.575672e-05,9.597683e-05,9.710781e-05,9.773575e-05,9.840121e-05,9.939531e-05,9.963828e-05,1.008204e-04,1.009586e-04,1.019489e-04,1.024288e-04,1.030251e-04,1.038090e-04,1.040505e-04,1.050263e-04,1.051023e-04,1.059539e-04,1.063118e-04,1.068346e-04,1.074405e-04,1.076698e-04,1.084608e-04,1.084915e-04,1.092088e-04,1.094678e-04,1.099152e-04,1.103723e-04,1.105811e-04,1.112078e-04,1.117965e-04,1.119771e-04,1.123484e-04,1.126829e-04,1.128647e-04,1.133278e-04,1.133465e-04,1.137949e-04,1.139146e-04,1.142110e-04,1.144456e-04,1.145959e-04,1.149233e-04,1.149506e-04,1.152762e-04,1.153502e-04,1.155737e-04,1.157284e-04,1.158440e-04,1.160602e-04,1.160882e-04,1.163071e-04,1.163479e-04,1.165016e-04,1.165934e-04,1.166727e-04,1.167989e-04,1.168212e-04,1.169479e-04,1.169662e-04,1.170537e-04,1.170973e-04,1.171394e-04,1.171940e-04,1.172057e-04,1.172534e-04,1.172579e-04,1.172833e-04,1.172910e-04,1.172960e-04,1.172947e-04,1.172923e-04,1.172728e-04,1.172706e-04,1.172383e-04,1.172203e-04,1.171892e-04,1.171452e-04,1.171263e-04,1.170501e-04,1.170468e-04,1.169613e-04,1.169263e-04,1.168603e-04,1.167851e-04,1.167478e-04,1.166243e-04,1.164453e-04,1.162491e-04,1.160369e-04,1.158096e-04,1.155684e-04,1.153141e-04,1.150477e-04,1.147701e-04,1.144821e-04,1.141845e-04,1.138781e-04,1.135637e-04,1.132419e-04,1.129134e-04,1.125789e-04,1.122389e-04,1.118940e-04,1.115449e-04,1.111919e-04,1.108357e-04,1.104766e-04,1.101152e-04,1.097519e-04,1.093870e-04
0.000000e+00,7.904985e-09,1.941342e-08,7.168404e-08,1.687001e-07,2.496390e-07,5.858670e-07,6.043579e-07,1.213675e-06,1.442907e-06,2.175827e-06,2.964977e-06,3.588518e-06,5.313432e-06,5.481146e-06,7.772748e-06,8.367951e-06,1.033890e-05,1.185749e-05,1.308073e-05,1.558640e-05,1.593287e-05,1.885015e-05,1.943822e-05,2.179732e-05,2.333142e-05,2.474389e-05,2.719822e-05,2.766218e-05,3.052692e-05,3.097877e-05,3.331562e-05,3.462135e-05,3.600879e-05,3.808354e-05,3.859022e-05,4.104718e-05,4.133317e-05,4.337028e-05,4.434832e-05,4.555328e-05,4.711648e-05,4.759280e-05,4.948792e-05,4.963331e-05,5.123980e-05,5.190102e-05,5.285125e-05,5.392684e-05,5.432643e-05,5.567045e-05,5.572156e-05,5.688903e-05,5.729820e-05,5.798841e-05,5.867126e-05,5.897520e-05,5.985611e-05,6.063778e-05,6.086802e-05,6.132669e-05,6.172186e-05,6.192920e-05,6.243194e-05,6.245136e-05,6.289897e-05,6.301170e-05,6.327752e-05,6.347367e-05,6.359220e-05,6.382949e-05,6.384788e-05,6.404915e-05,6.408984e-05,6.420027e-05,6.426448e-05,6.430522e-05,6.436234e-05,6.436771e-05,6.439121e-05,6.439151e-05,6.437891e-05,6.435937e-05,6.433380e-05,6.427257e-05,6.425864e-05,6.415598e-05,6.413717e-05,6.402821e-05,6.395860e-05,6.387751e-05,6.374181e-05,6.370591e-05,6.351531e-05,6.349124e-05,6.330743e-05,6.321091e-05,6.308389e-05,6.290444e-05,6.284617e-05,6.259567e-05,6.257511e-05,6.233363e-05,6.222586e-05,6.206126e-05,6.185936e-05,6.177963e-05,6.148974e-05,6.147799e-05,6.119254e-05,6.108392e-05,6.088888e-05,6.067911e-05,6.057955e-05,6.026530e-05,5.994679e-05,5.984407e-05,5.962466e-05,5.941686e-05,5.929948e-05,5.898494e-05,5.897179e-05,5.864209e-05,5.854948e-05,5.831083e-05,5.811150e-05,5.797842e-05,5.767193e-05,5.764526e-05,5.731171e-05,5.723163e-05,5.697809e-05,5.679134e-05,5.664470e-05,5.635174e-05,5.631183e-05,5.597973e-05,5.591342e-05,5.564864e-05,5.547694e-05,5.531877e-05,5.504277e-05,5.499033e-05,5.466349e-05,5.461135e-05,5.433841e-05,5.418305e-05,5.401527e-05,5.375822e-05,5.369418e-05,5.337528e-05,5.333716e-05,5.305868e-05,5.292013e-05,5.274448e-05,5.250736e-05,5.243278e-05,5.212367e-05,5.209905e-05,5.181721e-05,5.169539e-05,5.151349e-05,5.129652e-05,5.121255e-05,5.091444e-05,5.090258e-05,5.061923e-05,5.051367e-05,5.032694e-05,5.012988e-05,5.003762e-05,4.975129e-05,4.937796e-05,4.900994e-05,4.864725e-05,4.828992e-05,4.793797e-05,4.759139e-05,4.725019e-05,4.691434e-05,4.658383e-05,4.625863e-05,4.593871e-05,4.562404e-05,4.531457e-05,4.501026e-05,4.471106e-05,4.441692e-05,4.412778e-05,4.384359e-05,4.356430e-05,4.328983e-05,4.302012e-05,4.275512e-05,4.249475e-05,4.223896e-05
0.000000e+00,5.646768e-11,2.864775e-10,2.566041e-09,9.467875e-09,1.660804e-08,5.239553e-08,5.453454e-08,1.297174e-07,1.594542e-07,2.573916e-07,3.666120e-07,4.557123e-07,7.184935e-07,7.455512e-07,1.146952e-06,1.261448e-06,1.671171e-06,2.017463e-06,2.314123e-06,2.965384e-06,3.059609e-06,3.888539e-06,4.062842e-06,4.784719e-06,5.273062e-06,5.735717e-06,6.569695e-06,6.731724e-06,7.764343e-06,7.932438e-06,8.825847e-06,9.343441e-06,9.908807e-06,1.078575e-05,1.100598e-05,1.211032e-05,1.224300e-05,1.321509e-05,1.369968e-05,1.431396e-05,1.514153e-05,1.540107e-05,1.647116e-05,1.655589e-05,1.751957e-05,1.793194e-05,1.854228e-05,1.926079e-05,1.953590e-05,2.049769e-05,2.053547e-05,2.142542e-05,2.175073e-05,2.231745e-05,2.290302e-05,2.317261e-05,2.399013e-05,2.476965e-05,2.501106e-05,2.551114e-05,2.596581e-05,2.621479e-05,2.685514e-05,2.688108e-05,2.751065e-05,2.768045e-05,2.810427e-05,2.844357e-05,2.866287e-05,2.914672e-05,2.918746e-05,2.967912e-05,2.979234e-05,3.013896e-05,3.038299e-05,3.056812e-05,3.092133e-05,3.096777e-05,3.133908e-05,3.141005e-05,3.168323e-05,3.185183e-05,3.200135e-05,3.224930e-05,3.229459e-05,3.256406e-05,3.260504e-05,3.281085e-05,3.292157e-05,3.303602e-05,3.320128e-05,3.324059e-05,3.342557e-05,3.344649e-05,3.359190e-05,3.365943e-05,3.374053e-05,3.384219e-05,3.387234e-05,3.398819e-05,3.399680e-05,3.408892e-05,3.412515e-05,3.417531e-05,3.422906e-05,3.424812e-05,3.430810e-05,3.431024e-05,3.435593e-05,3.437030e-05,3.439228e-05,3.441078e-05,3.441780e-05,3.443310e-05,3.443875e-05,3.443862e-05,3.443533e-05,3.442862e-05,3.442336e-05,3.440430e-05,3.440335e-05,3.437579e-05,3.436678e-05,3.434113e-05,3.431711e-05,3.429982e-05,3.425630e-05,3.425228e-05,3.419891e-05,3.418528e-05,3.414009e-05,3.410490e-05,3.407617e-05,3.401600e-05,3.400752e-05,3.393445e-05,3.391933e-05,3.385727e-05,3.381562e-05,3.377629e-05,3.370552e-05,3.369177e-05,3.360400e-05,3.358968e-05,3.351323e-05,3.346866e-05,3.341969e-05,3.334302e-05,3.332361e-05,3.322522e-05,3.321326e-05,3.312471e-05,3.307987e-05,3.302228e-05,3.294327e-05,3.291813e-05,3.281241e-05,3.280389e-05,3.270530e-05,3.266210e-05,3.259696e-05,3.251827e-05,3.248753e-05,3.237715e-05,3.237272e-05,3.226596e-05,3.222576e-05,3.215408e-05,3.207767e-05,3.204163e-05,3.192872e-05,3.177916e-05,3.162921e-05,3.147908e-05,3.132896e-05,3.117904e-05,3.102947e-05,3.088041e-05,3.073199e-05,3.058434e-05,3.043758e-05,3.029182e-05,3.014715e-05,3.000365e-05,2.986142e-05,2.972051e-05,2.958100e-05,2.944294e-05,2.930639e-05,2.917139e-05,2.903798e-05,2.890619e-05,2.877606e-05,2.864762e-05,2.852088e-05
0.000000e+00,1.852110e-10,6.665321e-10,3.714276e-09,1.056100e-08,1.673173e-08,4.388390e-08,4.540873e-08,9.595800e-08,1.149169e-07,1.749927e-07,2.390868e-07,2.897977e-07,4.337881e-07,4.482576e-07,6.578657e-07,7.164031e-07,9.232973e-07,1.096338e-06,1.244001e-06,1.567951e-06,1.614890e-06,2.029461e-06,2.117085e-06,2.481890e-06,2.730491e-06,2.967382e-06,3.397723e-06,3.481819e-06,4.021386e-06,4.109800e-06,4.582355e-06,4.858127e-06,5.160993e-06,5.634103e-06,5.753547e-06,6.356290e-06,6.429130e-06,6.965577e-06,7.234826e-06,7.577901e-06,8.043256e-06,8.189957e-06,8.798682e-06,8.847151e-06,9.401293e-06,9.640059e-06,9.995305e-06,1.041643e-05,1.057854e-05,1.114912e-05,1.117166e-05,1.170548e-05,1.190203e-05,1.224632e-05,1.260468e-05,1.277059e-05,1.327751e-05,1.376649e-05,1.391910e-05,1.423712e-05,1.452859e-05,1.468918e-05,1.510560e-05,1.512258e-05,1.553735e-05,1.565016e-05,1.593362e-05,1.616260e-05,1.631162e-05,1.664350e-05,1.667165e-05,1.701404e-05,1.709363e-05,1.733919e-05,1.751391e-05,1.764754e-05,1.790534e-05,1.793953e-05,1.821566e-05,1.826902e-05,1.847640e-05,1.860607e-05,1.872226e-05,1.891764e-05,1.895373e-05,1.917132e-05,1.920488e-05,1.937553e-05,1.946894e-05,1.956684e-05,1.971094e-05,1.974575e-05,1.991274e-05,1.993199e-05,2.006826e-05,2.013318e-05,2.021278e-05,2.031554e-05,2.034675e-05,2.047059e-05,2.048008e-05,2.058474e-05,2.062777e-05,2.068959e-05,2.075955e-05,2.078554e-05,2.087298e-05,2.087631e-05,2.095228e-05,2.097890e-05,2.102379e-05,2.106815e-05,2.108786e-05,2.114483e-05,2.119501e-05,2.120969e-05,2.123872e-05,2.126344e-05,2.127626e-05,2.130675e-05,2.130790e-05,2.133394e-05,2.134026e-05,2.135462e-05,2.136458e-05,2.137022e-05,2.138029e-05,2.138098e-05,2.138712e-05,2.138794e-05,2.138889e-05,2.138804e-05,2.138649e-05,2.138110e-05,2.138014e-05,2.137003e-05,2.136758e-05,2.135637e-05,2.134792e-05,2.133933e-05,2.132254e-05,2.131909e-05,2.129582e-05,2.129183e-05,2.126969e-05,2.125618e-05,2.124085e-05,2.121593e-05,2.120945e-05,2.117564e-05,2.117143e-05,2.113955e-05,2.112298e-05,2.110131e-05,2.107089e-05,2.106105e-05,2.101889e-05,2.101544e-05,2.097494e-05,2.095689e-05,2.092933e-05,2.089550e-05,2.088214e-05,2.083349e-05,2.083151e-05,2.078346e-05,2.076513e-05,2.073216e-05,2.069659e-05,2.067966e-05,2.062607e-05,2.055376e-05,2.047984e-05,2.040448e-05,2.032783e-05,2.025004e-05,2.017125e-05,2.009158e-05,2.001116e-05,1.993010e-05,1.984851e-05,1.976649e-05,1.968413e-05,1.960152e-05,1.951874e-05,1.943588e-05,1.935299e-05,1.927016e-05,1.918744e-05,1.910489e-05,1.902257e-05,1.894052e-05,1.885879e-05,1.877744e-05,1.869649e-05
0.000000e+00,4.411542e-16,3.896578e-15,9.896477e-14,8.388921e-13,2.225753e-12,1.811536e-11,1.953096e-11,1.023757e-10,1.527439e-10,3.875218e-10,7.699235e-10,1.172139e-09,2.804808e-09,3.009429e-09,6.819230e-09,8.171225e-09,1.400514e-08,2.022250e-08,2.656924e-08,4.420374e-08,4.721599e-08,7.943754e-08,8.763736e-08,1.275735e-07,1.605901e-07,1.968394e-07,2.757771e-07,2.933174e-07,4.239078e-07,4.484685e-07,5.962403e-07,6.961851e-07,8.185474e-07,1.038196e-06,1.099506e-06,1.448058e-06,1.494855e-06,1.873207e-06,2.086832e-06,2.383815e-06,2.834289e-06,2.988397e-06,3.694925e-06,3.756074e-06,4.510643e-06,4.868961e-06,5.441907e-06,6.186998e-06,6.494044e-06,7.671241e-06,7.720976e-06,8.976460e-06,9.478043e-06,1.041139e-05,1.146147e-05,1.197640e-05,1.367058e-05,1.549172e-05,1.610077e-05,1.743641e-05,1.874378e-05,1.950007e-05,2.158790e-05,2.167708e-05,2.396085e-05,2.461844e-05,2.634395e-05,2.781814e-05,2.881826e-05,3.116766e-05,3.137503e-05,3.400508e-05,3.464614e-05,3.669888e-05,3.823164e-05,3.944672e-05,4.190170e-05,4.223876e-05,4.506520e-05,4.563377e-05,4.791637e-05,4.940560e-05,5.078280e-05,5.319566e-05,5.365530e-05,5.652507e-05,5.698341e-05,5.938371e-05,6.074956e-05,6.222330e-05,6.447626e-05,6.503644e-05,6.781623e-05,6.814726e-05,7.055636e-05,7.174795e-05,7.325107e-05,7.526546e-05,7.589517e-05,7.848403e-05,7.868863e-05,8.101361e-05,8.200802e-05,8.348035e-05,8.521579e-05,8.588125e-05,8.821381e-05,8.830566e-05,9.047596e-05,9.127278e-05,9.266613e-05,9.411370e-05,9.478312e-05,9.682615e-05,9.879478e-05,9.940900e-05,1.006889e-04,1.018621e-04,1.025087e-04,1.041862e-04,1.042546e-04,1.059274e-04,1.063828e-04,1.075279e-04,1.084540e-04,1.090572e-04,1.104024e-04,1.105166e-04,1.119076e-04,1.122314e-04,1.132315e-04,1.139443e-04,1.144901e-04,1.155449e-04,1.156850e-04,1.168180e-04,1.170374e-04,1.178910e-04,1.184258e-04,1.189058e-04,1.197146e-04,1.198642e-04,1.207682e-04,1.209079e-04,1.216197e-04,1.220103e-04,1.224205e-04,1.230260e-04,1.231726e-04,1.238778e-04,1.239593e-04,1.245379e-04,1.248145e-04,1.251547e-04,1.255957e-04,1.257301e-04,1.262657e-04,1.263069e-04,1.267633e-04,1.269520e-04,1.272245e-04,1.275349e-04,1.276508e-04,1.280440e-04,1.280590e-04,1.284054e-04,1.285280e-04,1.287366e-04,1.289452e-04,1.290389e-04,1.293138e-04,1.296368e-04,1.299172e-04,1.301576e-04,1.303609e-04,1.305294e-04,1.306655e-04,1.307715e-04,1.308494e-04,1.309014e-04,1.309292e-04,1.309347e-04,1.309194e-04,1.308851e-04,1.308332e-04,1.307650e-04,1.306820e-04,1.305853e-04,1.304761e-04,1.303555e-04,1.302245e-04,1.300841e-04,1.299351e-04,1.297784e-04,1.296148e-04
0.000000e+00,1.431546e-12,9.765014e-12,1.468822e-10,7.848673e-10,1.627540e-09,7.175322e-09,7.551036e-09,2.232961e-08,2.868794e-08,5.054333e-08,7.563555e-08,9.623995e-08,1.565558e-07,1.627006e-07,2.524301e-07,2.776396e-07,3.672016e-07,4.428355e-07,5.080694e-07,6.538603e-07,6.753096e-07,8.682641e-07,9.098040e-07,1.085121e-06,1.206349e-06,1.322759e-06,1.535292e-06,1.576846e-06,1.842263e-06,1.885426e-06,2.113725e-06,2.244702e-06,2.386300e-06,2.602268e-06,2.655721e-06,2.918490e-06,2.949437e-06,3.171839e-06,3.279762e-06,3.413652e-06,3.588740e-06,3.642376e-06,3.856939e-06,3.873470e-06,4.056686e-06,4.132358e-06,4.241317e-06,4.364881e-06,4.410831e-06,4.565472e-06,4.571353e-06,4.705678e-06,4.752729e-06,4.832042e-06,4.910416e-06,4.945262e-06,5.046112e-06,5.135407e-06,5.161676e-06,5.213977e-06,5.259016e-06,5.282649e-06,5.340012e-06,5.342230e-06,5.393496e-06,5.406462e-06,5.437182e-06,5.460043e-06,5.473977e-06,5.502295e-06,5.504524e-06,5.529415e-06,5.534609e-06,5.549196e-06,5.558227e-06,5.564362e-06,5.574252e-06,5.575367e-06,5.582620e-06,5.583654e-06,5.586491e-06,5.587281e-06,5.587316e-06,5.585878e-06,5.585399e-06,5.581012e-06,5.580098e-06,5.574403e-06,5.570506e-06,5.565790e-06,5.557592e-06,5.555374e-06,5.543334e-06,5.541788e-06,5.529834e-06,5.523469e-06,5.515019e-06,5.502962e-06,5.499021e-06,5.481960e-06,5.480552e-06,5.463944e-06,5.456493e-06,5.445073e-06,5.431006e-06,5.425435e-06,5.405113e-06,5.404287e-06,5.384179e-06,5.376506e-06,5.362701e-06,5.347818e-06,5.340743e-06,5.318359e-06,5.295603e-06,5.288249e-06,5.272520e-06,5.257596e-06,5.249155e-06,5.226496e-06,5.225548e-06,5.201735e-06,5.195036e-06,5.177753e-06,5.163295e-06,5.153631e-06,5.131342e-06,5.129401e-06,5.105087e-06,5.099242e-06,5.080715e-06,5.067049e-06,5.056307e-06,5.034817e-06,5.031886e-06,5.007471e-06,5.002590e-06,4.983080e-06,4.970413e-06,4.958732e-06,4.938323e-06,4.934440e-06,4.910221e-06,4.906353e-06,4.886087e-06,4.874536e-06,4.862050e-06,4.842899e-06,4.838123e-06,4.814315e-06,4.811466e-06,4.790636e-06,4.780260e-06,4.767095e-06,4.749302e-06,4.743701e-06,4.720461e-06,4.718609e-06,4.697382e-06,4.688197e-06,4.674471e-06,4.658082e-06,4.651733e-06,4.629174e-06,4.628276e-06,4.606798e-06,4.598789e-06,4.584611e-06,4.569632e-06,4.562614e-06,4.540814e-06,4.512341e-06,4.484221e-06,4.456458e-06,4.429058e-06,4.402023e-06,4.375356e-06,4.349061e-06,4.323137e-06,4.297587e-06,4.272411e-06,4.247608e-06,4.223178e-06,4.199119e-06,4.175432e-06,4.152113e-06,4.129161e-06,4.106574e-06,4.084348e-06,4.062481e-06,4.040971e-06,4.019813e-06,3.999005e-06,3.978542e-06,3.958422e-06
0.000000e+00,1.053177e-12,7.679687e-12,1.317049e-10,7.862252e-10,1.726310e-09,8.717629e-09,9.221595e-09,3.067384e-08,4.058034e-08,7.660621e-08,1.206796e-07,1.584737e-07,2.752446e-07,2.875640e-07,4.744348e-07,5.289699e-07,7.286835e-07,9.037119e-07,1.058808e-06,1.417789e-06,1.471943e-06,1.973311e-06,2.084448e-06,2.565375e-06,2.908866e-06,3.246972e-06,3.885013e-06,4.012901e-06,4.854311e-06,4.995201e-06,5.759750e-06,6.213372e-06,6.716446e-06,7.509965e-06,7.711409e-06,8.732178e-06,8.855845e-06,9.767208e-06,1.022440e-05,1.080602e-05,1.159225e-05,1.183926e-05,1.285865e-05,1.293938e-05,1.385700e-05,1.424904e-05,1.482816e-05,1.550762e-05,1.576697e-05,1.666921e-05,1.670449e-05,1.753157e-05,1.783176e-05,1.835158e-05,1.888408e-05,1.912750e-05,1.985828e-05,2.054348e-05,2.075312e-05,2.118316e-05,2.156887e-05,2.177781e-05,2.230709e-05,2.232828e-05,2.283572e-05,2.297028e-05,2.330151e-05,2.356163e-05,2.372719e-05,2.408483e-05,2.411444e-05,2.446500e-05,2.454388e-05,2.478069e-05,2.494293e-05,2.506333e-05,2.528616e-05,2.531474e-05,2.553673e-05,2.557775e-05,2.573104e-05,2.582172e-05,2.589941e-05,2.602199e-05,2.604347e-05,2.616483e-05,2.618224e-05,2.626500e-05,2.630599e-05,2.634545e-05,2.639654e-05,2.640756e-05,2.645263e-05,2.645695e-05,2.648190e-05,2.649008e-05,2.649656e-05,2.649860e-05,2.649769e-05,2.648635e-05,2.648494e-05,2.646351e-05,2.645137e-05,2.643009e-05,2.639996e-05,2.638695e-05,2.633489e-05,2.633263e-05,2.627467e-05,2.625113e-05,2.620699e-05,2.615705e-05,2.613251e-05,2.605185e-05,2.596558e-05,2.593688e-05,2.587424e-05,2.581336e-05,2.577833e-05,2.568238e-05,2.567831e-05,2.557462e-05,2.554498e-05,2.546765e-05,2.540206e-05,2.535779e-05,2.525447e-05,2.524539e-05,2.513076e-05,2.510295e-05,2.501421e-05,2.494821e-05,2.489602e-05,2.479086e-05,2.477644e-05,2.465573e-05,2.463146e-05,2.453409e-05,2.447054e-05,2.441173e-05,2.430854e-05,2.428885e-05,2.416562e-05,2.414588e-05,2.404221e-05,2.398295e-05,2.391876e-05,2.382006e-05,2.379540e-05,2.367228e-05,2.365753e-05,2.354950e-05,2.349561e-05,2.342717e-05,2.333456e-05,2.330539e-05,2.318425e-05,2.317459e-05,2.306383e-05,2.301589e-05,2.294421e-05,2.285862e-05,2.282545e-05,2.270762e-05,2.270293e-05,2.259077e-05,2.254895e-05,2.247495e-05,2.239681e-05,2.236021e-05,2.224659e-05,2.209838e-05,2.195225e-05,2.180827e-05,2.166648e-05,2.152694e-05,2.138966e-05,2.125467e-05,2.112201e-05,2.099167e-05,2.086366e-05,2.073799e-05,2.061465e-05,2.049364e-05,2.037494e-05,2.025854e-05,2.014443e-05,2.003259e-05,1.992299e-05,1.981560e-05,1.971042e-05,1.960740e-05,1.950652e-05,1.940775e-05,1.931105e-05
0.000000e+00,2.399874e-15,2.105518e-14,5.269143e-13,4.405704e-12,1.160034e-11,9.253985e-11,9.968893e-11,5.120148e-10,7.596630e-10,1.900235e-09,3.732086e-09,5.639051e-09,1.326746e-08,1.421490e-08,3.164949e-08,3.776937e-08,6.392059e-08,9.146676e-08,1.193427e-07,1.958952e-07,2.088679e-07,3.462617e-07,3.808959e-07,5.481077e-07,6.848200e-07,8.336104e-07,1.153701e-06,1.224190e-06,1.742897e-06,1.839375e-06,2.413682e-06,2.796758e-06,3.260595e-06,4.080646e-06,4.306945e-06,5.574505e-06,5.742432e-06,7.082770e-06,7.827054e-06,8.848323e-06,1.037045e-05,1.088432e-05,1.320011e-05,1.339764e-05,1.580098e-05,1.692154e-05,1.868804e-05,2.094240e-05,2.185827e-05,2.530458e-05,2.544803e-05,2.901611e-05,3.041452e-05,3.297850e-05,3.580741e-05,3.717427e-05,4.158327e-05,4.618313e-05,4.769149e-05,5.094971e-05,5.407613e-05,5.585763e-05,6.067790e-05,6.088070e-05,6.599239e-05,6.743593e-05,7.116623e-05,7.428950e-05,7.637618e-05,8.117949e-05,8.159697e-05,8.680442e-05,8.804965e-05,9.197562e-05,9.484761e-05,9.708916e-05,1.015257e-04,1.021253e-04,1.070660e-04,1.080412e-04,1.118950e-04,1.143571e-04,1.165980e-04,1.204419e-04,1.211624e-04,1.255776e-04,1.262695e-04,1.298344e-04,1.318193e-04,1.339257e-04,1.370755e-04,1.378456e-04,1.415899e-04,1.420273e-04,1.451558e-04,1.466678e-04,1.485417e-04,1.509942e-04,1.517470e-04,1.547725e-04,1.550068e-04,1.576196e-04,1.587090e-04,1.602906e-04,1.621064e-04,1.627886e-04,1.651172e-04,1.652068e-04,1.672805e-04,1.680197e-04,1.692832e-04,1.705558e-04,1.711302e-04,1.728266e-04,1.743780e-04,1.748447e-04,1.757899e-04,1.766228e-04,1.770679e-04,1.781741e-04,1.782177e-04,1.792452e-04,1.795117e-04,1.801559e-04,1.806486e-04,1.809555e-04,1.815979e-04,1.816496e-04,1.822437e-04,1.823720e-04,1.827430e-04,1.829832e-04,1.831528e-04,1.834434e-04,1.834782e-04,1.837239e-04,1.837639e-04,1.838947e-04,1.839554e-04,1.839952e-04,1.840284e-04,1.840297e-04,1.840024e-04,1.839926e-04,1.839174e-04,1.838572e-04,1.837785e-04,1.836310e-04,1.835894e-04,1.833535e-04,1.833223e-04,1.830743e-04,1.829385e-04,1.827549e-04,1.824871e-04,1.823983e-04,1.820074e-04,1.819747e-04,1.815849e-04,1.814076e-04,1.811334e-04,1.807917e-04,1.806553e-04,1.801529e-04,1.801323e-04,1.796285e-04,1.794347e-04,1.790840e-04,1.787033e-04,1.785214e-04,1.779426e-04,1.771567e-04,1.763491e-04,1.755232e-04,1.746823e-04,1.738292e-04,1.729665e-04,1.720967e-04,1.712220e-04,1.703444e-04,1.694658e-04,1.685877e-04,1.677119e-04,1.668396e-04,1.659721e-04,1.651105e-04,1.642558e-04,1.634089e-04,1.625707e-04,1.617419e-04,1.609230e-04,1.601147e-04,1.593175e-04,1.585317e-04,1.577577e-04
0.000000e+00,1.326845e-15,1.180311e-14,3.040907e-13,2.612178e-12,6.982217e-12,5.795305e-11,6.253252e-11,3.344815e-10,5.018726e-10,1.291904e-09,2.597975e-09,3.987241e-09,9.720374e-09,1.044646e-08,2.415834e-08,2.909054e-08,5.064426e-08,7.397621e-08,9.808077e-08,1.661722e-07,1.779355e-07,3.055615e-07,3.384736e-07,5.006799e-07,6.367219e-07,7.876821e-07,1.120946e-06,1.195696e-06,1.758377e-06,1.865228e-06,2.513440e-06,2.956152e-06,3.501927e-06,4.489926e-06,4.767287e-06,6.354288e-06,6.568482e-06,8.307848e-06,9.294907e-06,1.067182e-05,1.276862e-05,1.348778e-05,1.679396e-05,1.708067e-05,2.062413e-05,2.230950e-05,2.500680e-05,2.851732e-05,2.996448e-05,3.551310e-05,3.574748e-05,4.166167e-05,4.402261e-05,4.841211e-05,5.334382e-05,5.575920e-05,6.369077e-05,7.218796e-05,7.502259e-05,8.122567e-05,8.727943e-05,9.077304e-05,1.003847e-04,1.007941e-04,1.112485e-04,1.142474e-04,1.220920e-04,1.287654e-04,1.332775e-04,1.438278e-04,1.447556e-04,1.564752e-04,1.593181e-04,1.683845e-04,1.751172e-04,1.804315e-04,1.911058e-04,1.925646e-04,2.047332e-04,2.071668e-04,2.168880e-04,2.231873e-04,2.289818e-04,2.390606e-04,2.409697e-04,2.528093e-04,2.546872e-04,2.644610e-04,2.699762e-04,2.758883e-04,2.848460e-04,2.870578e-04,2.979395e-04,2.992247e-04,3.085066e-04,3.130502e-04,3.187354e-04,3.262705e-04,3.286057e-04,3.381004e-04,3.388433e-04,3.472053e-04,3.507354e-04,3.559091e-04,3.619228e-04,3.642037e-04,3.720830e-04,3.723895e-04,3.795440e-04,3.821272e-04,3.865854e-04,3.911343e-04,3.932083e-04,3.994156e-04,4.052120e-04,4.069810e-04,4.106036e-04,4.138454e-04,4.155982e-04,4.200274e-04,4.202043e-04,4.244319e-04,4.255492e-04,4.282916e-04,4.304355e-04,4.317948e-04,4.347134e-04,4.349538e-04,4.377809e-04,4.384115e-04,4.402891e-04,4.415593e-04,4.424916e-04,4.441875e-04,4.444018e-04,4.460329e-04,4.463268e-04,4.473984e-04,4.480080e-04,4.485117e-04,4.492615e-04,4.493859e-04,4.500340e-04,4.501175e-04,4.504688e-04,4.506054e-04,4.507028e-04,4.507537e-04,4.507483e-04,4.506170e-04,4.505899e-04,4.503204e-04,4.501405e-04,4.498698e-04,4.494308e-04,4.492757e-04,4.485486e-04,4.484850e-04,4.476983e-04,4.473258e-04,4.467342e-04,4.459748e-04,4.456655e-04,4.445008e-04,4.444523e-04,4.432484e-04,4.427775e-04,4.419160e-04,4.409682e-04,4.405112e-04,4.390410e-04,4.370113e-04,4.348937e-04,4.327013e-04,4.304464e-04,4.281403e-04,4.257933e-04,4.234150e-04,4.210140e-04,4.185981e-04,4.161746e-04,4.137499e-04,4.113298e-04,4.089195e-04,4.065239e-04,4.041471e-04,4.017928e-04,3.994644e-04,3.971648e-04,3.948965e-04,3.926617e-04,3.904623e-04,3.883000e-04,3.861760e-04,3.840916e-04
0.000000e+00,1.397567e-10,5.424776e-10,3.299661e-09,9.736758e-09,1.560136e-08,4.143063e-08,4.287611e-08,9.035181e-08,1.079362e-07,1.629283e-07,2.205215e-07,2.654127e-07,3.902633e-07,4.026322e-07,5.792891e-07,6.280245e-07,7.993303e-07,9.423542e-07,1.064698e-06,1.334671e-06,1.373961e-06,1.722061e-06,1.795714e-06,2.101674e-06,2.308945e-06,2.505095e-06,2.857257e-06,2.925382e-06,3.356658e-06,3.426340e-06,3.793974e-06,4.004762e-06,4.233083e-06,4.583143e-06,4.670260e-06,5.102190e-06,5.153525e-06,5.525920e-06,5.709077e-06,5.938837e-06,6.244012e-06,6.338670e-06,6.723492e-06,6.753579e-06,7.091720e-06,7.234076e-06,7.442114e-06,7.682828e-06,7.773759e-06,8.086050e-06,8.098134e-06,8.378664e-06,8.479167e-06,8.651530e-06,8.825870e-06,8.904802e-06,9.138811e-06,9.354038e-06,9.419041e-06,9.551098e-06,9.668011e-06,9.730708e-06,9.887434e-06,9.893641e-06,1.004072e-05,1.007918e-05,1.017281e-05,1.024523e-05,1.029078e-05,1.038759e-05,1.039550e-05,1.048782e-05,1.050823e-05,1.056858e-05,1.060906e-05,1.063858e-05,1.069190e-05,1.069861e-05,1.074940e-05,1.075852e-05,1.079167e-05,1.081049e-05,1.082605e-05,1.084930e-05,1.085317e-05,1.087360e-05,1.087628e-05,1.088788e-05,1.089270e-05,1.089651e-05,1.089967e-05,1.089996e-05,1.089866e-05,1.089820e-05,1.089300e-05,1.088923e-05,1.088335e-05,1.087356e-05,1.087006e-05,1.085343e-05,1.085196e-05,1.083376e-05,1.082510e-05,1.081132e-05,1.079358e-05,1.078635e-05,1.075908e-05,1.075794e-05,1.072971e-05,1.071867e-05,1.069845e-05,1.067621e-05,1.066548e-05,1.063094e-05,1.059500e-05,1.058323e-05,1.055779e-05,1.053338e-05,1.051945e-05,1.048168e-05,1.048009e-05,1.043982e-05,1.042839e-05,1.039874e-05,1.037374e-05,1.035694e-05,1.031793e-05,1.031452e-05,1.027154e-05,1.026115e-05,1.022809e-05,1.020358e-05,1.018423e-05,1.014535e-05,1.014003e-05,1.009554e-05,1.008661e-05,1.005082e-05,1.002748e-05,1.000591e-05,9.968080e-06,9.960866e-06,9.915727e-06,9.908499e-06,9.870535e-06,9.848834e-06,9.825324e-06,9.789165e-06,9.780129e-06,9.734981e-06,9.729568e-06,9.689910e-06,9.670109e-06,9.644941e-06,9.610850e-06,9.600101e-06,9.555413e-06,9.551845e-06,9.510896e-06,9.493142e-06,9.466572e-06,9.434788e-06,9.422458e-06,9.378571e-06,9.376820e-06,9.334926e-06,9.319276e-06,9.291538e-06,9.262187e-06,9.248420e-06,9.205584e-06,9.149490e-06,9.093929e-06,9.038921e-06,8.984484e-06,8.930634e-06,8.877383e-06,8.824745e-06,8.772728e-06,8.721342e-06,8.670593e-06,8.620487e-06,8.571030e-06,8.522224e-06,8.474071e-06,8.426574e-06,8.379733e-06,8.333548e-06,8.288017e-06,8.243140e-06,8.198913e-06,8.155336e-06,8.112403e-06,8.070112e-06,8.028458e-06
0.000000e+00,3.510630e-09,8.217624e-09,2.897961e-08,6.682822e-08,9.805541e-08,2.251362e-07,2.320112e-07,4.528127e-07,5.333739e-07,7.841735e-07,1.046761e-06,1.251976e-06,1.825532e-06,1.882519e-06,2.696275e-06,2.919859e-06,3.698919e-06,4.339288e-06,4.879505e-06,6.050376e-06,6.218811e-06,7.697452e-06,8.008361e-06,9.298386e-06,1.017413e-05,1.100647e-05,1.251370e-05,1.280756e-05,1.468795e-05,1.499528e-05,1.663421e-05,1.758793e-05,1.863317e-05,2.026172e-05,2.067212e-05,2.273899e-05,2.298835e-05,2.482250e-05,2.574180e-05,2.691227e-05,2.849888e-05,2.899894e-05,3.107421e-05,3.123951e-05,3.313077e-05,3.394671e-05,3.516233e-05,3.660653e-05,3.716353e-05,3.912986e-05,3.920773e-05,4.105760e-05,4.174154e-05,4.294373e-05,4.420127e-05,4.478583e-05,4.658202e-05,4.833088e-05,4.888035e-05,5.003140e-05,5.109404e-05,5.168290e-05,5.322185e-05,5.328498e-05,5.483749e-05,5.526332e-05,5.634049e-05,5.721862e-05,5.779421e-05,5.908842e-05,5.919901e-05,6.055539e-05,6.087378e-05,6.186393e-05,6.257606e-05,6.312529e-05,6.419685e-05,6.434021e-05,6.550948e-05,6.573793e-05,6.663393e-05,6.720122e-05,6.771443e-05,6.858874e-05,6.875188e-05,6.974719e-05,6.990259e-05,7.070129e-05,7.114490e-05,7.161513e-05,7.231784e-05,7.248965e-05,7.332581e-05,7.342361e-05,7.412456e-05,7.446440e-05,7.488684e-05,7.544238e-05,7.561362e-05,7.630582e-05,7.635973e-05,7.696437e-05,7.721858e-05,7.759021e-05,7.802106e-05,7.818424e-05,7.874736e-05,7.876925e-05,7.928046e-05,7.946519e-05,7.978441e-05,8.011089e-05,8.026008e-05,8.070831e-05,8.112994e-05,8.125937e-05,8.152577e-05,8.176595e-05,8.189662e-05,8.222986e-05,8.224327e-05,8.256649e-05,8.265289e-05,8.286702e-05,8.303677e-05,8.314562e-05,8.338317e-05,8.340299e-05,8.363985e-05,8.369372e-05,8.385688e-05,8.397001e-05,8.405476e-05,8.421357e-05,8.423414e-05,8.439567e-05,8.442588e-05,8.453996e-05,8.460839e-05,8.466763e-05,8.476247e-05,8.477928e-05,8.487548e-05,8.488947e-05,8.495679e-05,8.499070e-05,8.502377e-05,8.506739e-05,8.507695e-05,8.511685e-05,8.512077e-05,8.514397e-05,8.515199e-05,8.515882e-05,8.516218e-05,8.516186e-05,8.515356e-05,8.515242e-05,8.513438e-05,8.512376e-05,8.510475e-05,8.507719e-05,8.506510e-05,8.501585e-05,8.501369e-05,8.495739e-05,8.493417e-05,8.489012e-05,8.483954e-05,8.481442e-05,8.473064e-05,8.460831e-05,8.447333e-05,8.432646e-05,8.416844e-05,8.399994e-05,8.382166e-05,8.363422e-05,8.343823e-05,8.323430e-05,8.302297e-05,8.280479e-05,8.258027e-05,8.234990e-05,8.211415e-05,8.187347e-05,8.162829e-05,8.137901e-05,8.112603e-05,8.086972e-05,8.061042e-05,8.034847e-05,8.008421e-05,7.981792e-05,7.954990e-05
0.000000e+00,6.627741e-12,4.500975e-11,6.726177e-10,3.585314e-09,7.435906e-09,3.297067e-08,3.471100e-08,1.041019e-07,1.344559e-07,2.407646e-07,3.661893e-07,4.716191e-07,7.916186e-07,8.251065e-07,1.331041e-06,1.478503e-06,2.019266e-06,2.494396e-06,2.916027e-06,3.891008e-06,4.037635e-06,5.383272e-06,5.677758e-06,6.931830e-06,7.805363e-06,8.646308e-06,1.018295e-05,1.048335e-05,1.240181e-05,1.271390e-05,1.436707e-05,1.531871e-05,1.635169e-05,1.793878e-05,1.833426e-05,2.029790e-05,2.053159e-05,2.222915e-05,2.306578e-05,2.411722e-05,2.551789e-05,2.595347e-05,2.773110e-05,2.787062e-05,2.944493e-05,3.011169e-05,3.109113e-05,3.223301e-05,3.266709e-05,3.417124e-05,3.422989e-05,3.560282e-05,3.610040e-05,3.696181e-05,3.784473e-05,3.824877e-05,3.946469e-05,4.061095e-05,4.096330e-05,4.168918e-05,4.234441e-05,4.270125e-05,4.361245e-05,4.364916e-05,4.453500e-05,4.477221e-05,4.536094e-05,4.582865e-05,4.612916e-05,4.678686e-05,4.684189e-05,4.750133e-05,4.765191e-05,4.810967e-05,4.842882e-05,4.866905e-05,4.912251e-05,4.918161e-05,4.964942e-05,4.973779e-05,5.007448e-05,5.027928e-05,5.045877e-05,5.075145e-05,5.080419e-05,5.111260e-05,5.115863e-05,5.138580e-05,5.150494e-05,5.162552e-05,5.179431e-05,5.183342e-05,5.201109e-05,5.203045e-05,5.216006e-05,5.221690e-05,5.228182e-05,5.235704e-05,5.237780e-05,5.244936e-05,5.245407e-05,5.249782e-05,5.251102e-05,5.252442e-05,5.253072e-05,5.253038e-05,5.251683e-05,5.251589e-05,5.248489e-05,5.246909e-05,5.243561e-05,5.239273e-05,5.237002e-05,5.228908e-05,5.219370e-05,5.216028e-05,5.208477e-05,5.200832e-05,5.196312e-05,5.183511e-05,5.182955e-05,5.168484e-05,5.164242e-05,5.152971e-05,5.143192e-05,5.136486e-05,5.120519e-05,5.119096e-05,5.100862e-05,5.096368e-05,5.081846e-05,5.070877e-05,5.062105e-05,5.044175e-05,5.041692e-05,5.020659e-05,5.016383e-05,4.999057e-05,4.987613e-05,4.976930e-05,4.957972e-05,4.954325e-05,4.931283e-05,4.927558e-05,4.907843e-05,4.896462e-05,4.884044e-05,4.864770e-05,4.859921e-05,4.835509e-05,4.832562e-05,4.810840e-05,4.799912e-05,4.785944e-05,4.766890e-05,4.760851e-05,4.735588e-05,4.733561e-05,4.710181e-05,4.699983e-05,4.684654e-05,4.666213e-05,4.659030e-05,4.633331e-05,4.632302e-05,4.607578e-05,4.598298e-05,4.581790e-05,4.564244e-05,4.555985e-05,4.530181e-05,4.496147e-05,4.462177e-05,4.428303e-05,4.394553e-05,4.360955e-05,4.327533e-05,4.294310e-05,4.261306e-05,4.228540e-05,4.196029e-05,4.163788e-05,4.131831e-05,4.100169e-05,4.068815e-05,4.037778e-05,4.007066e-05,3.976687e-05,3.946649e-05,3.916955e-05,3.887612e-05,3.858623e-05,3.829992e-05,3.801720e-05,3.773811e-05
0.000000e+00,3.776983e-15,3.322553e-14,8.363348e-13,7.033823e-12,1.858531e-11,1.498107e-10,1.614602e-10,8.400824e-10,1.251484e-09,3.166499e-09,6.285923e-09,9.571713e-09,2.296976e-08,2.465554e-08,5.627206e-08,6.758302e-08,1.168264e-07,1.699378e-07,2.246844e-07,3.788907e-07,4.054762e-07,6.929737e-07,7.668385e-07,1.129237e-06,1.431095e-06,1.763877e-06,2.490799e-06,2.652450e-06,3.854203e-06,4.079585e-06,5.429420e-06,6.335514e-06,7.436678e-06,9.390230e-06,9.930250e-06,1.295784e-05,1.335900e-05,1.655880e-05,1.833288e-05,2.076281e-05,2.437345e-05,2.558917e-05,3.104648e-05,3.151034e-05,3.713281e-05,3.974111e-05,4.383621e-05,4.903321e-05,5.113553e-05,5.900142e-05,5.932735e-05,6.739748e-05,7.054186e-05,7.628147e-05,8.257754e-05,8.560656e-05,9.532257e-05,1.053771e-04,1.086572e-04,1.157165e-04,1.224584e-04,1.262870e-04,1.366029e-04,1.370357e-04,1.479106e-04,1.509715e-04,1.588623e-04,1.654503e-04,1.698433e-04,1.799337e-04,1.808094e-04,1.917193e-04,1.943250e-04,2.025351e-04,2.085378e-04,2.132222e-04,2.224958e-04,2.237497e-04,2.340898e-04,2.361332e-04,2.442184e-04,2.493945e-04,2.541142e-04,2.622337e-04,2.637594e-04,2.731388e-04,2.746140e-04,2.822401e-04,2.865070e-04,2.910535e-04,2.978916e-04,2.995713e-04,3.077881e-04,3.087538e-04,3.157006e-04,3.190851e-04,3.233067e-04,3.288824e-04,3.306064e-04,3.376007e-04,3.381471e-04,3.442920e-04,3.468843e-04,3.506835e-04,3.551021e-04,3.567795e-04,3.625851e-04,3.628113e-04,3.681058e-04,3.700248e-04,3.733480e-04,3.767570e-04,3.783182e-04,3.830235e-04,3.874710e-04,3.888410e-04,3.916682e-04,3.942266e-04,3.956228e-04,3.991980e-04,3.993424e-04,4.028347e-04,4.037730e-04,4.061076e-04,4.079692e-04,4.091688e-04,4.118046e-04,4.120258e-04,4.146862e-04,4.152963e-04,4.171575e-04,4.184616e-04,4.194470e-04,4.213171e-04,4.215619e-04,4.235091e-04,4.238791e-04,4.252956e-04,4.261632e-04,4.269279e-04,4.281847e-04,4.284126e-04,4.297559e-04,4.299582e-04,4.309641e-04,4.314978e-04,4.320430e-04,4.328170e-04,4.329985e-04,4.338360e-04,4.339288e-04,4.345609e-04,4.348456e-04,4.351785e-04,4.355792e-04,4.356938e-04,4.361116e-04,4.361409e-04,4.364365e-04,4.365415e-04,4.366732e-04,4.367913e-04,4.368258e-04,4.368987e-04,4.369000e-04,4.368958e-04,4.368769e-04,4.368209e-04,4.367308e-04,4.366778e-04,4.364700e-04,4.361026e-04,4.356360e-04,4.350773e-04,4.344333e-04,4.337105e-04,4.329148e-04,4.320519e-04,4.311273e-04,4.301461e-04,4.291130e-04,4.280326e-04,4.269092e-04,4.257469e-04,4.245494e-04,4.233203e-04,4.220631e-04,4.207808e-04,4.194765e-04,4.181530e-04,4.168129e-04,4.154586e-04,4.140926e-04,4.127169e-04,4.113336e-04
0.000000e+00,4.393581e-15,3.926617e-14,1.021640e-12,8.858602e-12,2.380443e-11,2.004156e-10,2.163820e-10,1.175013e-09,1.770605e-09,4.608755e-09,9.355468e-09,1.444943e-08,3.574965e-08,3.846992e-08,9.043545e-08,1.093331e-07,1.927730e-07,2.842529e-07,3.796887e-07,6.529356e-07,7.005761e-07,1.223449e-06,1.359746e-06,2.038053e-06,2.613744e-06,3.258307e-06,4.698156e-06,5.023790e-06,7.500118e-06,7.974707e-06,1.087810e-05,1.288184e-05,1.537179e-05,1.992688e-05,2.121544e-05,2.865960e-05,2.967282e-05,3.796657e-05,4.272096e-05,4.940527e-05,5.969074e-05,6.324590e-05,7.975454e-05,8.119826e-05,9.918777e-05,1.078348e-04,1.217876e-04,1.401463e-04,1.477770e-04,1.773554e-04,1.786157e-04,2.106954e-04,2.236472e-04,2.479400e-04,2.755546e-04,2.892002e-04,3.345534e-04,3.840430e-04,4.007556e-04,4.376777e-04,4.741691e-04,4.954325e-04,5.546996e-04,5.572492e-04,6.230382e-04,6.421553e-04,6.926800e-04,7.362544e-04,7.660279e-04,8.366339e-04,8.429101e-04,9.231326e-04,9.428597e-04,1.006482e-03,1.054438e-03,1.092728e-03,1.170827e-03,1.181627e-03,1.272924e-03,1.291449e-03,1.366357e-03,1.415698e-03,1.461658e-03,1.542956e-03,1.558556e-03,1.656779e-03,1.672599e-03,1.756058e-03,1.804009e-03,1.856127e-03,1.936576e-03,1.956726e-03,2.057601e-03,2.069712e-03,2.158507e-03,2.202854e-03,2.259208e-03,2.335466e-03,2.359480e-03,2.459109e-03,2.467046e-03,2.557893e-03,2.597128e-03,2.655644e-03,2.725284e-03,2.752184e-03,2.847350e-03,2.851126e-03,2.940991e-03,2.974302e-03,3.032970e-03,3.094501e-03,3.123161e-03,3.211451e-03,3.297741e-03,3.324917e-03,3.381942e-03,3.434699e-03,3.463977e-03,3.540631e-03,3.543780e-03,3.621294e-03,3.642582e-03,3.696474e-03,3.740446e-03,3.769284e-03,3.834151e-03,3.839695e-03,3.907688e-03,3.923645e-03,3.973251e-03,4.008904e-03,4.036381e-03,4.089923e-03,4.097079e-03,4.155353e-03,4.166719e-03,4.211219e-03,4.239322e-03,4.264694e-03,4.307783e-03,4.315802e-03,4.364572e-03,4.372161e-03,4.411036e-03,4.432530e-03,4.455229e-03,4.488974e-03,4.497189e-03,4.536958e-03,4.541585e-03,4.574578e-03,4.590461e-03,4.610094e-03,4.635709e-03,4.643555e-03,4.675007e-03,4.677438e-03,4.704501e-03,4.715761e-03,4.732086e-03,4.750795e-03,4.757814e-03,4.781737e-03,4.782657e-03,4.803906e-03,4.811468e-03,4.824374e-03,4.837347e-03,4.843192e-03,4.860414e-03,4.880787e-03,4.898584e-03,4.913922e-03,4.926915e-03,4.937675e-03,4.946310e-03,4.952929e-03,4.957635e-03,4.960530e-03,4.961711e-03,4.961273e-03,4.959309e-03,4.955906e-03,4.951152e-03,4.945127e-03,4.937911e-03,4.929579e-03,4.920206e-03,4.909861e-03,4.898610e-03,4.886517e-03,4.873645e-03,4.860051e-03,4.845791e-03
0.000000e+00,1.845753e-15,1.647800e-14,4.278764e-13,3.703987e-12,9.944918e-12,8.357563e-11,9.022797e-11,4.893186e-10,7.371504e-10,1.917855e-09,3.892544e-09,6.012143e-09,1.488140e-08,1.601480e-08,3.769224e-08,4.558621e-08,8.049700e-08,1.188602e-07,1.589643e-07,2.741630e-07,2.942968e-07,5.160423e-07,5.740463e-07,8.637242e-07,1.110709e-06,1.388276e-06,2.011614e-06,2.153139e-06,3.234939e-06,3.443265e-06,4.723668e-06,5.612584e-06,6.722401e-06,8.765736e-06,9.346510e-06,1.272246e-05,1.318446e-05,1.698620e-05,1.918028e-05,2.228134e-05,2.708701e-05,2.875692e-05,3.656516e-05,3.725198e-05,4.585905e-05,5.002659e-05,5.678989e-05,6.575657e-05,6.950488e-05,8.414479e-05,8.477232e-05,1.008417e-04,1.073799e-04,1.197171e-04,1.338529e-04,1.408799e-04,1.644250e-04,1.904318e-04,1.992846e-04,2.189631e-04,2.385699e-04,2.500647e-04,2.823664e-04,2.837645e-04,3.200721e-04,3.307048e-04,3.589793e-04,3.835612e-04,4.004599e-04,4.408578e-04,4.444705e-04,4.909508e-04,5.024654e-04,5.398246e-04,5.682062e-04,5.910011e-04,6.378581e-04,6.443753e-04,6.998298e-04,7.111591e-04,7.572358e-04,7.878124e-04,8.164546e-04,8.674918e-04,8.773389e-04,9.397343e-04,9.498471e-04,1.003480e-03,1.034510e-03,1.068412e-03,1.121098e-03,1.134362e-03,1.201159e-03,1.209224e-03,1.268634e-03,1.298494e-03,1.336617e-03,1.388520e-03,1.404940e-03,1.473435e-03,1.478917e-03,1.541942e-03,1.569312e-03,1.610302e-03,1.659344e-03,1.678362e-03,1.745976e-03,1.748669e-03,1.813001e-03,1.836960e-03,1.879304e-03,1.923912e-03,1.944757e-03,2.009241e-03,2.072643e-03,2.092686e-03,2.134860e-03,2.174012e-03,2.195795e-03,2.253004e-03,2.255359e-03,2.313473e-03,2.329474e-03,2.370063e-03,2.403259e-03,2.425065e-03,2.474216e-03,2.478423e-03,2.530086e-03,2.542229e-03,2.580013e-03,2.607200e-03,2.628168e-03,2.669056e-03,2.674523e-03,2.719055e-03,2.727742e-03,2.761750e-03,2.783221e-03,2.802597e-03,2.835477e-03,2.841592e-03,2.878736e-03,2.884507e-03,2.914034e-03,2.930325e-03,2.947498e-03,2.972958e-03,2.979142e-03,3.008984e-03,3.012445e-03,3.037047e-03,3.048838e-03,3.063356e-03,3.082196e-03,3.087941e-03,3.110831e-03,3.112590e-03,3.132062e-03,3.140097e-03,3.151668e-03,3.164800e-03,3.169688e-03,3.186161e-03,3.186789e-03,3.201129e-03,3.206156e-03,3.214632e-03,3.223001e-03,3.226715e-03,3.237422e-03,3.249521e-03,3.259402e-03,3.267169e-03,3.272926e-03,3.276777e-03,3.278823e-03,3.279167e-03,3.277907e-03,3.275141e-03,3.270965e-03,3.265470e-03,3.258747e-03,3.250883e-03,3.241961e-03,3.232063e-03,3.221266e-03,3.209644e-03,3.197268e-03,3.184207e-03,3.170524e-03,3.156282e-03,3.141539e-03,3.126351e-03,3.110769e-03
0.000000e+00,7.565863e-13,5.629805e-12,1.005248e-10,6.213651e-10,1.389633e-09,7.343278e-09,7.781735e-09,2.702127e-08,3.616404e-08,7.030040e-08,1.134787e-07,1.514825e-07,2.734195e-07,2.866260e-07,4.932568e-07,5.554064e-07,7.880436e-07,9.964188e-07,1.183075e-06,1.617757e-06,1.683340e-06,2.287159e-06,2.419873e-06,2.988623e-06,3.389459e-06,3.780104e-06,4.508791e-06,4.653794e-06,5.602256e-06,5.760470e-06,6.618344e-06,7.127999e-06,7.694924e-06,8.594797e-06,8.824618e-06,9.999648e-06,1.014331e-05,1.121181e-05,1.175472e-05,1.245253e-05,1.340917e-05,1.371301e-05,1.498439e-05,1.508631e-05,1.625795e-05,1.676608e-05,1.752525e-05,1.842934e-05,1.877834e-05,2.000983e-05,2.005854e-05,2.121305e-05,2.163814e-05,2.238213e-05,2.315496e-05,2.351196e-05,2.459831e-05,2.563774e-05,2.595999e-05,2.662761e-05,2.723422e-05,2.756603e-05,2.841738e-05,2.845179e-05,2.928430e-05,2.950784e-05,3.006351e-05,3.050562e-05,3.078987e-05,3.141215e-05,3.146421e-05,3.208772e-05,3.222996e-05,3.266187e-05,3.296244e-05,3.318833e-05,3.361363e-05,3.366895e-05,3.410571e-05,3.418798e-05,3.450065e-05,3.469019e-05,3.485587e-05,3.512509e-05,3.517347e-05,3.545555e-05,3.549752e-05,3.570418e-05,3.581223e-05,3.592138e-05,3.607384e-05,3.610912e-05,3.626929e-05,3.628675e-05,3.640372e-05,3.645516e-05,3.651413e-05,3.658302e-05,3.660220e-05,3.666950e-05,3.667403e-05,3.671750e-05,3.673162e-05,3.674762e-05,3.675898e-05,3.676118e-05,3.675942e-05,3.675905e-05,3.674351e-05,3.673453e-05,3.671454e-05,3.668791e-05,3.667354e-05,3.662145e-05,3.655917e-05,3.653723e-05,3.648754e-05,3.643714e-05,3.640732e-05,3.632291e-05,3.631925e-05,3.622398e-05,3.619611e-05,3.612216e-05,3.605816e-05,3.601435e-05,3.591035e-05,3.590111e-05,3.578293e-05,3.575388e-05,3.566028e-05,3.558981e-05,3.553360e-05,3.541911e-05,3.540329e-05,3.526973e-05,3.524266e-05,3.513326e-05,3.506126e-05,3.499421e-05,3.487564e-05,3.485289e-05,3.470956e-05,3.468646e-05,3.456449e-05,3.449431e-05,3.441792e-05,3.429973e-05,3.427007e-05,3.412115e-05,3.410322e-05,3.397136e-05,3.390522e-05,3.382087e-05,3.370613e-05,3.366984e-05,3.351844e-05,3.350632e-05,3.336680e-05,3.330611e-05,3.321506e-05,3.310582e-05,3.306334e-05,3.291175e-05,3.290569e-05,3.276040e-05,3.270600e-05,3.260939e-05,3.250694e-05,3.245880e-05,3.230873e-05,3.211153e-05,3.191552e-05,3.172083e-05,3.152760e-05,3.133594e-05,3.114596e-05,3.095773e-05,3.077136e-05,3.058691e-05,3.040443e-05,3.022400e-05,3.004565e-05,2.986942e-05,2.969535e-05,2.952347e-05,2.935380e-05,2.918636e-05,2.902117e-05,2.885823e-05,2.869755e-05,2.853914e-05,2.838299e-05,2.822910e-05,2.807748e-05
0.000000e+00,1.601717e-09,3.843936e-09,1.389163e-08,3.235562e-08,4.762892e-08,1.098722e-07,1.132408e-07,2.214458e-07,2.609303e-07,3.838886e-07,5.127423e-07,6.135831e-07,8.965528e-07,9.247931e-07,1.331678e-06,1.444896e-06,1.844962e-06,2.180317e-06,2.467353e-06,3.099501e-06,3.191276e-06,4.001748e-06,4.172713e-06,4.881708e-06,5.361485e-06,5.815605e-06,6.632169e-06,6.790423e-06,7.795396e-06,7.958363e-06,8.821404e-06,9.318989e-06,9.860495e-06,1.069640e-05,1.090558e-05,1.195028e-05,1.207534e-05,1.298883e-05,1.344250e-05,1.401608e-05,1.478638e-05,1.502744e-05,1.601895e-05,1.609731e-05,1.698718e-05,1.736730e-05,1.792928e-05,1.859007e-05,1.884290e-05,1.972620e-05,1.976088e-05,2.057775e-05,2.087633e-05,2.139653e-05,2.193425e-05,2.218190e-05,2.293349e-05,2.365123e-05,2.387377e-05,2.433525e-05,2.475547e-05,2.498588e-05,2.557953e-05,2.560361e-05,2.618906e-05,2.634730e-05,2.674294e-05,2.706045e-05,2.726606e-05,2.772089e-05,2.775926e-05,2.822348e-05,2.833068e-05,2.865963e-05,2.889197e-05,2.906867e-05,2.940696e-05,2.945156e-05,2.980926e-05,2.987786e-05,3.014272e-05,3.030686e-05,3.045290e-05,3.069613e-05,3.074072e-05,3.100712e-05,3.104781e-05,3.125297e-05,3.136395e-05,3.147917e-05,3.164655e-05,3.168656e-05,3.187598e-05,3.189754e-05,3.204822e-05,3.211877e-05,3.220407e-05,3.231203e-05,3.234429e-05,3.246960e-05,3.247900e-05,3.258071e-05,3.262133e-05,3.267829e-05,3.274054e-05,3.276300e-05,3.283548e-05,3.283813e-05,3.289632e-05,3.291549e-05,3.294611e-05,3.297394e-05,3.298541e-05,3.301477e-05,3.303469e-05,3.303915e-05,3.304567e-05,3.304824e-05,3.304820e-05,3.304309e-05,3.304272e-05,3.302968e-05,3.302473e-05,3.300949e-05,3.299411e-05,3.298255e-05,3.295215e-05,3.294926e-05,3.290997e-05,3.289969e-05,3.286505e-05,3.283755e-05,3.281482e-05,3.276649e-05,3.275961e-05,3.269973e-05,3.268722e-05,3.263547e-05,3.260042e-05,3.256711e-05,3.250672e-05,3.249493e-05,3.241917e-05,3.240673e-05,3.234008e-05,3.230100e-05,3.225789e-05,3.219007e-05,3.217284e-05,3.208512e-05,3.207442e-05,3.199494e-05,3.195454e-05,3.190250e-05,3.183084e-05,3.180797e-05,3.171154e-05,3.170375e-05,3.161336e-05,3.157364e-05,3.151360e-05,3.144088e-05,3.141241e-05,3.130993e-05,3.130580e-05,3.120629e-05,3.116872e-05,3.110163e-05,3.102994e-05,3.099606e-05,3.088971e-05,3.074831e-05,3.060597e-05,3.046291e-05,3.031935e-05,3.017546e-05,3.003144e-05,2.988745e-05,2.974363e-05,2.960014e-05,2.945711e-05,2.931465e-05,2.917289e-05,2.903191e-05,2.889182e-05,2.875271e-05,2.861465e-05,2.847771e-05,2.834197e-05,2.820748e-05,2.807430e-05,2.794246e-05,2.781203e-05,2.768303e-05,2.755551e-05
0.000000e+00,2.018951e-15,1.792067e-14,4.598136e-13,3.934891e-12,1.049561e-11,8.663263e-11,9.345693e-11,4.970537e-10,7.446236e-10,1.909025e-09,3.826075e-09,5.858912e-09,1.420976e-08,1.526433e-08,3.510186e-08,4.221099e-08,7.316986e-08,1.065395e-07,1.409013e-07,2.375328e-07,2.541761e-07,4.340721e-07,4.803043e-07,7.074757e-07,8.973296e-07,1.107466e-06,1.569886e-06,1.673383e-06,2.450524e-06,2.597781e-06,3.489437e-06,4.097041e-06,4.844847e-06,6.195654e-06,6.574276e-06,8.736442e-06,9.027762e-06,1.138954e-05,1.272695e-05,1.458947e-05,1.741930e-05,1.838819e-05,2.283216e-05,2.321679e-05,2.796098e-05,3.021165e-05,3.380633e-05,3.847187e-05,4.039109e-05,4.772883e-05,4.803809e-05,5.582349e-05,5.892206e-05,6.466940e-05,7.110640e-05,7.425146e-05,8.454562e-05,9.551947e-05,9.916832e-05,1.071330e-04,1.148801e-04,1.193396e-04,1.315671e-04,1.320867e-04,1.453172e-04,1.491001e-04,1.589701e-04,1.673383e-04,1.729819e-04,1.861337e-04,1.872874e-04,2.018203e-04,2.053347e-04,2.165148e-04,2.247900e-04,2.313058e-04,2.443513e-04,2.461299e-04,2.609259e-04,2.638765e-04,2.756352e-04,2.832314e-04,2.902028e-04,3.022921e-04,3.045770e-04,3.187101e-04,3.209460e-04,3.325583e-04,3.390925e-04,3.460822e-04,3.566439e-04,3.592463e-04,3.720196e-04,3.735248e-04,3.843751e-04,3.896730e-04,3.962898e-04,4.050383e-04,4.077447e-04,4.187246e-04,4.195821e-04,4.292179e-04,4.332769e-04,4.392160e-04,4.461051e-04,4.487139e-04,4.577090e-04,4.580584e-04,4.662018e-04,4.691366e-04,4.741947e-04,4.793468e-04,4.816927e-04,4.887025e-04,4.952325e-04,4.972224e-04,5.012928e-04,5.049300e-04,5.068946e-04,5.118523e-04,5.120502e-04,5.167728e-04,5.180194e-04,5.210764e-04,5.234636e-04,5.249757e-04,5.282188e-04,5.284856e-04,5.316214e-04,5.323201e-04,5.343988e-04,5.358033e-04,5.368333e-04,5.387044e-04,5.389405e-04,5.407361e-04,5.410591e-04,5.422354e-04,5.429030e-04,5.434536e-04,5.442706e-04,5.444057e-04,5.451062e-04,5.451958e-04,5.455693e-04,5.457114e-04,5.458089e-04,5.458487e-04,5.458384e-04,5.456709e-04,5.456381e-04,5.453187e-04,5.451084e-04,5.447940e-04,5.442871e-04,5.441084e-04,5.432731e-04,5.432001e-04,5.422986e-04,5.418721e-04,5.411951e-04,5.403263e-04,5.399725e-04,5.386398e-04,5.385844e-04,5.372060e-04,5.366667e-04,5.356794e-04,5.345924e-04,5.340680e-04,5.323792e-04,5.300437e-04,5.276012e-04,5.250659e-04,5.224511e-04,5.197688e-04,5.170302e-04,5.142457e-04,5.114246e-04,5.085756e-04,5.057066e-04,5.028249e-04,4.999370e-04,4.970490e-04,4.941661e-04,4.912934e-04,4.884352e-04,4.855956e-04,4.827779e-04,4.799855e-04,4.772212e-04,4.744874e-04,4.717863e-04,4.691200e-04,4.664900e-04
0.000000e+00,3.955213e-15,3.512320e-14,9.021078e-13,7.733134e-12,2.065307e-11,1.712477e-10,1.847789e-10,9.892217e-10,1.485139e-09,3.831326e-09,7.724462e-09,1.187992e-08,2.913450e-08,3.132929e-08,7.306054e-08,8.817637e-08,1.547084e-07,2.274067e-07,3.030813e-07,5.191829e-07,5.568000e-07,9.689296e-07,1.076195e-06,1.609339e-06,2.061174e-06,2.566553e-06,3.694111e-06,3.948918e-06,5.884998e-06,6.255801e-06,8.523185e-06,1.008729e-05,1.203054e-05,1.558531e-05,1.659098e-05,2.240283e-05,2.319422e-05,2.967597e-05,3.339507e-05,3.862849e-05,4.669260e-05,4.948321e-05,6.246400e-05,6.360097e-05,7.779204e-05,8.462890e-05,9.568218e-05,1.102651e-04,1.163394e-04,1.399556e-04,1.409644e-04,1.667065e-04,1.771350e-04,1.967489e-04,2.191280e-04,2.302185e-04,2.672281e-04,3.078659e-04,3.216473e-04,3.521947e-04,3.825200e-04,4.002509e-04,4.499013e-04,4.520446e-04,5.075599e-04,5.237659e-04,5.667547e-04,6.040109e-04,6.295622e-04,6.904583e-04,6.958918e-04,7.656303e-04,7.828603e-04,8.386436e-04,8.809051e-04,9.147784e-04,9.842239e-04,9.938640e-04,1.075714e-03,1.092399e-03,1.160129e-03,1.204969e-03,1.246898e-03,1.321443e-03,1.335801e-03,1.426609e-03,1.441300e-03,1.519090e-03,1.564005e-03,1.613005e-03,1.689011e-03,1.708118e-03,1.804187e-03,1.815769e-03,1.900977e-03,1.943732e-03,1.998253e-03,2.072365e-03,2.095783e-03,2.193344e-03,2.201144e-03,2.290718e-03,2.329567e-03,2.387692e-03,2.457153e-03,2.484065e-03,2.579643e-03,2.583447e-03,2.674243e-03,2.708026e-03,2.767691e-03,2.830493e-03,2.859822e-03,2.950486e-03,3.039539e-03,3.067675e-03,3.126853e-03,3.181764e-03,3.212306e-03,3.292490e-03,3.295791e-03,3.377209e-03,3.399624e-03,3.456474e-03,3.502967e-03,3.533508e-03,3.602353e-03,3.608246e-03,3.680631e-03,3.697647e-03,3.750614e-03,3.788741e-03,3.818158e-03,3.875556e-03,3.883234e-03,3.945821e-03,3.958038e-03,4.005905e-03,4.036157e-03,4.063479e-03,4.109904e-03,4.118546e-03,4.171113e-03,4.179292e-03,4.221192e-03,4.244353e-03,4.268804e-03,4.305133e-03,4.313972e-03,4.356726e-03,4.361696e-03,4.397100e-03,4.414119e-03,4.435130e-03,4.462490e-03,4.470857e-03,4.504327e-03,4.506908e-03,4.535585e-03,4.547480e-03,4.564682e-03,4.584322e-03,4.591669e-03,4.616600e-03,4.617555e-03,4.639529e-03,4.647305e-03,4.660514e-03,4.673702e-03,4.679611e-03,4.696879e-03,4.716972e-03,4.734115e-03,4.748446e-03,4.760099e-03,4.769211e-03,4.775913e-03,4.780337e-03,4.782611e-03,4.782862e-03,4.781210e-03,4.777775e-03,4.772673e-03,4.766015e-03,4.757907e-03,4.748455e-03,4.737758e-03,4.725910e-03,4.713005e-03,4.699128e-03,4.684363e-03,4.668790e-03,4.652483e-03,4.635513e-03,4.617950e-03
0.000000e+00,1.008643e-12,7.407463e-12,1.289018e-10,7.796149e-10,1.723972e-09,8.864308e-09,9.383568e-09,3.176604e-08,4.222486e-08,8.066252e-08,1.282945e-07,1.695323e-07,2.986271e-07,3.123691e-07,5.230399e-07,5.851910e-07,8.148466e-07,1.018297e-06,1.199926e-06,1.623902e-06,1.688191e-06,2.285952e-06,2.418878e-06,2.994886e-06,3.406631e-06,3.811972e-06,4.576991e-06,4.730383e-06,5.740785e-06,5.910283e-06,6.832484e-06,7.382074e-06,7.994208e-06,8.966363e-06,9.214591e-06,1.048242e-05,1.063723e-05,1.178685e-05,1.236968e-05,1.311747e-05,1.414022e-05,1.446451e-05,1.581890e-05,1.592731e-05,1.717238e-05,1.771183e-05,1.851755e-05,1.947724e-05,1.984790e-05,2.115781e-05,2.120971e-05,2.244249e-05,2.289802e-05,2.369799e-05,2.453339e-05,2.492109e-05,2.610926e-05,2.726058e-05,2.762097e-05,2.837363e-05,2.906547e-05,2.944751e-05,3.044108e-05,3.048168e-05,3.147593e-05,3.174718e-05,3.243037e-05,3.298404e-05,3.334531e-05,3.415260e-05,3.422125e-05,3.505888e-05,3.525430e-05,3.585898e-05,3.629096e-05,3.662242e-05,3.726468e-05,3.735015e-05,3.804320e-05,3.817773e-05,3.870259e-05,3.903253e-05,3.932940e-05,3.983152e-05,3.992469e-05,4.048957e-05,4.057720e-05,4.102510e-05,4.127204e-05,4.153235e-05,4.191851e-05,4.201239e-05,4.246625e-05,4.251901e-05,4.289495e-05,4.307587e-05,4.329949e-05,4.359138e-05,4.368083e-05,4.403993e-05,4.406773e-05,4.437770e-05,4.450704e-05,4.469504e-05,4.491136e-05,4.499281e-05,4.527184e-05,4.528263e-05,4.553296e-05,4.562272e-05,4.577693e-05,4.593343e-05,4.600452e-05,4.621646e-05,4.641344e-05,4.647343e-05,4.659615e-05,4.670590e-05,4.676524e-05,4.691534e-05,4.692134e-05,4.706505e-05,4.710315e-05,4.719696e-05,4.727067e-05,4.731762e-05,4.741915e-05,4.742757e-05,4.752732e-05,4.754980e-05,4.761738e-05,4.766376e-05,4.769822e-05,4.776209e-05,4.777029e-05,4.783403e-05,4.784582e-05,4.788987e-05,4.791592e-05,4.793821e-05,4.797329e-05,4.797942e-05,4.801389e-05,4.801880e-05,4.804196e-05,4.805326e-05,4.806398e-05,4.807746e-05,4.808027e-05,4.809114e-05,4.809210e-05,4.809690e-05,4.809788e-05,4.809781e-05,4.809545e-05,4.809417e-05,4.808623e-05,4.808541e-05,4.807423e-05,4.806835e-05,4.805842e-05,4.804480e-05,4.803902e-05,4.801625e-05,4.801527e-05,4.799033e-05,4.798026e-05,4.796144e-05,4.794019e-05,4.792977e-05,4.789552e-05,4.784662e-05,4.779388e-05,4.773765e-05,4.767827e-05,4.761603e-05,4.755124e-05,4.748417e-05,4.741506e-05,4.734417e-05,4.727171e-05,4.719790e-05,4.712292e-05,4.704697e-05,4.697020e-05,4.689279e-05,4.681487e-05,4.673659e-05,4.665806e-05,4.657943e-05,4.650078e-05,4.642222e-05,4.634385e-05,4.626575e-05,4.618801e-05
0.000000e+00,7.392755e-13,5.693496e-12,1.088875e-10,7.138418e-10,1.646098e-09,9.357622e-09,9.943887e-09,3.675231e-08,4.993672e-08,1.004548e-07,1.660224e-07,2.245954e-07,4.152448e-07,4.360432e-07,7.635833e-07,8.627613e-07,1.236908e-06,1.576658e-06,1.885353e-06,2.622014e-06,2.735397e-06,3.806267e-06,4.047789e-06,5.104380e-06,5.866410e-06,6.619164e-06,8.039146e-06,8.322869e-06,1.017482e-05,1.048178e-05,1.212806e-05,1.308771e-05,1.413576e-05,1.575250e-05,1.615565e-05,1.815236e-05,1.838900e-05,2.009781e-05,2.093185e-05,2.197068e-05,2.333577e-05,2.375542e-05,2.544117e-05,2.557152e-05,2.702090e-05,2.762213e-05,2.849062e-05,2.947976e-05,2.984879e-05,3.109582e-05,3.114341e-05,3.223368e-05,3.261717e-05,3.326557e-05,3.390881e-05,3.419562e-05,3.502864e-05,3.576989e-05,3.598861e-05,3.642493e-05,3.680153e-05,3.699944e-05,3.748049e-05,3.749911e-05,3.792953e-05,3.803838e-05,3.829613e-05,3.848762e-05,3.860410e-05,3.883990e-05,3.885838e-05,3.906364e-05,3.910609e-05,3.922421e-05,3.929615e-05,3.934418e-05,3.941914e-05,3.942729e-05,3.947702e-05,3.948325e-05,3.949659e-05,3.949582e-05,3.948891e-05,3.946339e-05,3.945669e-05,3.940238e-05,3.939180e-05,3.932824e-05,3.928622e-05,3.923631e-05,3.915121e-05,3.912845e-05,3.900636e-05,3.899083e-05,3.887160e-05,3.880865e-05,3.872556e-05,3.860781e-05,3.856952e-05,3.840464e-05,3.839110e-05,3.823198e-05,3.816096e-05,3.805250e-05,3.791953e-05,3.786706e-05,3.767645e-05,3.766873e-05,3.748139e-05,3.741021e-05,3.728254e-05,3.714545e-05,3.708048e-05,3.687575e-05,3.666885e-05,3.660225e-05,3.646022e-05,3.632597e-05,3.625026e-05,3.604780e-05,3.603935e-05,3.582781e-05,3.576851e-05,3.561595e-05,3.548880e-05,3.540406e-05,3.520929e-05,3.519237e-05,3.498111e-05,3.493050e-05,3.477050e-05,3.465291e-05,3.456072e-05,3.437693e-05,3.435194e-05,3.414430e-05,3.410293e-05,3.393796e-05,3.383121e-05,3.373303e-05,3.356206e-05,3.352962e-05,3.332783e-05,3.329570e-05,3.312776e-05,3.303236e-05,3.292948e-05,3.277220e-05,3.273307e-05,3.253858e-05,3.251538e-05,3.234608e-05,3.226203e-05,3.215562e-05,3.201225e-05,3.196723e-05,3.178096e-05,3.176615e-05,3.159682e-05,3.152378e-05,3.141486e-05,3.128521e-05,3.123509e-05,3.105754e-05,3.105048e-05,3.088220e-05,3.081963e-05,3.070911e-05,3.059268e-05,3.053825e-05,3.036964e-05,3.015052e-05,2.993532e-05,2.972401e-05,2.951660e-05,2.931305e-05,2.911334e-05,2.891743e-05,2.872531e-05,2.853692e-05,2.835223e-05,2.817119e-05,2.799376e-05,2.781989e-05,2.764954e-05,2.748264e-05,2.731915e-05,2.715902e-05,2.700220e-05,2.684862e-05,2.669823e-05,2.655099e-05,2.640683e-05,2.626570e-05,2.612754e-05
0.000000e+00,3.052936e-15,2.620562e-14,6.265270e-13,5.024543e-12,1.293155e-11,9.735335e-11,1.046321e-10,5.087636e-10,7.441970e-10,1.799336e-09,3.445344e-09,5.126373e-09,1.169731e-08,1.250306e-08,2.712750e-08,3.220109e-08,5.367159e-08,7.601490e-08,9.839709e-08,1.588445e-07,1.689515e-07,2.738051e-07,2.996479e-07,4.214377e-07,5.176971e-07,6.194609e-07,8.291804e-07,8.738585e-07,1.188463e-06,1.244517e-06,1.564709e-06,1.767007e-06,2.001637e-06,2.392826e-06,2.496108e-06,3.043141e-06,3.112025e-06,3.636332e-06,3.910077e-06,4.268276e-06,4.769560e-06,4.930972e-06,5.616185e-06,5.671729e-06,6.315749e-06,6.597819e-06,7.021811e-06,7.530047e-06,7.727018e-06,8.424655e-06,8.452315e-06,9.108728e-06,9.350645e-06,9.774023e-06,1.021341e-05,1.041612e-05,1.103139e-05,1.161697e-05,1.179772e-05,1.217071e-05,1.250769e-05,1.269114e-05,1.315860e-05,1.317739e-05,1.362911e-05,1.374941e-05,1.404643e-05,1.428053e-05,1.442991e-05,1.475354e-05,1.478038e-05,1.509900e-05,1.517087e-05,1.538709e-05,1.553564e-05,1.564615e-05,1.585137e-05,1.587778e-05,1.608363e-05,1.612185e-05,1.626539e-05,1.635094e-05,1.642474e-05,1.654248e-05,1.656333e-05,1.668276e-05,1.670020e-05,1.678458e-05,1.682762e-05,1.687023e-05,1.692805e-05,1.694111e-05,1.699849e-05,1.700453e-05,1.704358e-05,1.705982e-05,1.707749e-05,1.709642e-05,1.710125e-05,1.711579e-05,1.711658e-05,1.712197e-05,1.712228e-05,1.712057e-05,1.711528e-05,1.711231e-05,1.709784e-05,1.709714e-05,1.707773e-05,1.706922e-05,1.705252e-05,1.703272e-05,1.702270e-05,1.698869e-05,1.695088e-05,1.693804e-05,1.690963e-05,1.688158e-05,1.686527e-05,1.682001e-05,1.681807e-05,1.676832e-05,1.675396e-05,1.671624e-05,1.668398e-05,1.666207e-05,1.661054e-05,1.660599e-05,1.654819e-05,1.653408e-05,1.648884e-05,1.645498e-05,1.642808e-05,1.637357e-05,1.636607e-05,1.630291e-05,1.629016e-05,1.623874e-05,1.620501e-05,1.617367e-05,1.611837e-05,1.610778e-05,1.604119e-05,1.603047e-05,1.597396e-05,1.594150e-05,1.590620e-05,1.585164e-05,1.583796e-05,1.576932e-05,1.576106e-05,1.570034e-05,1.566990e-05,1.563109e-05,1.557831e-05,1.556162e-05,1.549199e-05,1.548641e-05,1.542223e-05,1.539431e-05,1.535241e-05,1.530211e-05,1.528256e-05,1.521272e-05,1.520992e-05,1.514293e-05,1.511782e-05,1.507322e-05,1.502589e-05,1.500364e-05,1.493420e-05,1.484283e-05,1.475183e-05,1.466126e-05,1.457117e-05,1.448160e-05,1.439262e-05,1.430424e-05,1.421651e-05,1.412946e-05,1.404311e-05,1.395751e-05,1.387266e-05,1.378859e-05,1.370533e-05,1.362288e-05,1.354126e-05,1.346049e-05,1.338057e-05,1.330152e-05,1.322335e-05,1.314605e-05,1.306965e-05,1.299413e-05,1.291951e-05
0.000000e+00,1.903862e-10,8.395080e-10,6.085616e-09,1.979010e-08,3.297009e-08,9.432139e-08,9.785533e-08,2.174206e-07,2.630095e-07,4.088464e-07,5.658344e-07,6.906569e-07,1.046776e-06,1.082653e-06,1.603325e-06,1.748919e-06,2.263766e-06,2.694544e-06,3.062231e-06,3.869003e-06,3.985893e-06,5.017704e-06,5.235567e-06,6.141273e-06,6.756926e-06,7.342150e-06,8.401151e-06,8.607420e-06,9.925096e-06,1.014002e-05,1.128374e-05,1.194720e-05,1.267236e-05,1.379774e-05,1.408041e-05,1.549791e-05,1.566820e-05,1.691558e-05,1.753720e-05,1.832496e-05,1.938584e-05,1.971846e-05,2.108944e-05,2.119797e-05,2.243221e-05,2.296032e-05,2.374198e-05,2.466236e-05,2.501485e-05,2.624769e-05,2.629614e-05,2.743817e-05,2.785602e-05,2.858458e-05,2.933838e-05,2.968582e-05,3.074124e-05,3.175058e-05,3.206385e-05,3.271398e-05,3.330662e-05,3.363185e-05,3.447071e-05,3.450478e-05,3.533360e-05,3.555790e-05,3.611932e-05,3.657050e-05,3.686301e-05,3.751112e-05,3.756587e-05,3.822919e-05,3.838266e-05,3.885433e-05,3.918826e-05,3.944271e-05,3.993118e-05,3.999572e-05,4.051463e-05,4.061444e-05,4.100078e-05,4.124109e-05,4.145553e-05,4.181418e-05,4.188015e-05,4.227587e-05,4.233659e-05,4.264396e-05,4.281118e-05,4.298562e-05,4.324071e-05,4.330203e-05,4.359431e-05,4.362782e-05,4.386356e-05,4.397501e-05,4.411084e-05,4.428470e-05,4.433716e-05,4.454352e-05,4.455919e-05,4.473087e-05,4.480069e-05,4.490012e-05,4.501128e-05,4.505216e-05,4.518784e-05,4.519294e-05,4.530796e-05,4.534754e-05,4.541330e-05,4.547689e-05,4.550463e-05,4.558265e-05,4.564805e-05,4.566642e-05,4.570149e-05,4.572972e-05,4.574362e-05,4.577396e-05,4.577502e-05,4.579627e-05,4.580048e-05,4.580794e-05,4.581057e-05,4.581056e-05,4.580539e-05,4.580462e-05,4.579061e-05,4.578610e-05,4.576900e-05,4.575374e-05,4.574022e-05,4.570930e-05,4.570470e-05,4.566284e-05,4.565374e-05,4.561503e-05,4.558794e-05,4.556163e-05,4.551271e-05,4.550299e-05,4.543945e-05,4.542885e-05,4.537132e-05,4.533708e-05,4.529890e-05,4.523808e-05,4.522250e-05,4.514237e-05,4.513252e-05,4.505879e-05,4.502098e-05,4.497200e-05,4.490404e-05,4.488224e-05,4.478974e-05,4.478222e-05,4.469471e-05,4.465603e-05,4.459735e-05,4.452593e-05,4.449787e-05,4.439645e-05,4.439235e-05,4.429326e-05,4.425571e-05,4.418847e-05,4.411637e-05,4.408223e-05,4.397470e-05,4.383103e-05,4.368567e-05,4.353890e-05,4.339099e-05,4.324220e-05,4.309275e-05,4.294287e-05,4.279274e-05,4.264257e-05,4.249251e-05,4.234273e-05,4.219338e-05,4.204459e-05,4.189649e-05,4.174920e-05,4.160281e-05,4.145743e-05,4.131314e-05,4.117002e-05,4.102816e-05,4.088761e-05,4.074844e-05,4.061070e-05,4.047445e-05
0.000000e+00,6.143016e-10,1.724527e-09,7.333156e-09,1.840753e-08,2.785516e-08,6.738017e-08,6.954456e-08,1.395991e-07,1.652805e-07,2.452698e-07,3.288638e-07,3.940238e-07,5.755062e-07,5.935102e-07,8.510443e-07,9.221806e-07,1.172309e-06,1.381096e-06,1.559639e-06,1.953870e-06,2.011339e-06,2.522855e-06,2.631846e-06,3.088567e-06,3.402277e-06,3.702852e-06,4.252483e-06,4.360382e-06,5.056063e-06,5.170579e-06,5.784924e-06,6.145121e-06,6.542063e-06,7.164876e-06,7.322636e-06,8.121892e-06,8.218837e-06,8.935223e-06,9.296404e-06,9.758224e-06,1.038761e-05,1.058674e-05,1.141693e-05,1.148331e-05,1.224529e-05,1.257539e-05,1.306861e-05,1.365670e-05,1.388409e-05,1.468924e-05,1.472120e-05,1.548191e-05,1.576386e-05,1.626029e-05,1.678063e-05,1.702284e-05,1.776829e-05,1.849564e-05,1.872442e-05,1.920407e-05,1.964725e-05,1.989298e-05,2.053557e-05,2.056194e-05,2.121065e-05,2.138863e-05,2.183895e-05,2.220610e-05,2.244678e-05,2.298794e-05,2.303418e-05,2.360128e-05,2.373438e-05,2.414826e-05,2.444586e-05,2.467536e-05,2.512298e-05,2.518286e-05,2.567109e-05,2.576645e-05,2.614039e-05,2.637707e-05,2.659114e-05,2.695572e-05,2.702373e-05,2.743857e-05,2.750333e-05,2.783608e-05,2.802086e-05,2.821669e-05,2.850930e-05,2.858083e-05,2.892892e-05,2.896964e-05,2.926142e-05,2.940288e-05,2.957873e-05,2.981001e-05,2.988131e-05,3.016957e-05,3.019203e-05,3.044395e-05,3.054990e-05,3.070484e-05,3.088458e-05,3.095268e-05,3.118786e-05,3.119701e-05,3.141078e-05,3.148810e-05,3.162183e-05,3.175876e-05,3.182139e-05,3.200985e-05,3.218756e-05,3.224222e-05,3.235489e-05,3.245669e-05,3.251219e-05,3.265407e-05,3.265980e-05,3.279805e-05,3.283513e-05,3.292728e-05,3.300061e-05,3.304780e-05,3.315124e-05,3.315991e-05,3.326393e-05,3.328772e-05,3.336014e-05,3.341072e-05,3.344884e-05,3.352089e-05,3.353029e-05,3.360477e-05,3.361885e-05,3.367254e-05,3.370522e-05,3.373386e-05,3.378057e-05,3.378898e-05,3.383813e-05,3.384545e-05,3.388154e-05,3.390041e-05,3.391945e-05,3.394596e-05,3.395208e-05,3.397963e-05,3.398260e-05,3.400231e-05,3.401080e-05,3.402032e-05,3.403101e-05,3.403387e-05,3.404312e-05,3.404368e-05,3.404828e-05,3.404923e-05,3.404950e-05,3.404805e-05,3.404697e-05,3.404084e-05,3.404052e-05,3.403128e-05,3.402703e-05,3.401844e-05,3.400791e-05,3.400247e-05,3.398351e-05,3.395415e-05,3.392014e-05,3.388177e-05,3.383932e-05,3.379306e-05,3.374325e-05,3.369012e-05,3.363393e-05,3.357487e-05,3.351318e-05,3.344905e-05,3.338266e-05,3.331421e-05,3.324387e-05,3.317180e-05,3.309816e-05,3.302311e-05,3.294677e-05,3.286929e-05,3.279079e-05,3.271140e-05,3.263123e-05,3.255038e-05,3.246897e-05
0.000000e+00,5.256691e-10,1.955276e-09,1.130151e-08,3.258264e-08,5.179415e-08,1.358501e-07,1.405414e-07,2.942829e-07,3.511038e-07,5.284497e-07,7.136325e-07,8.575872e-07,1.256238e-06,1.295603e-06,1.855733e-06,2.009717e-06,2.550106e-06,3.001465e-06,3.388769e-06,4.251317e-06,4.378069e-06,5.518491e-06,5.764208e-06,6.802540e-06,7.521916e-06,8.213892e-06,9.480614e-06,9.728852e-06,1.131984e-05,1.157958e-05,1.295925e-05,1.375591e-05,1.462216e-05,1.595505e-05,1.628739e-05,1.793755e-05,1.813386e-05,1.955855e-05,2.025954e-05,2.113903e-05,2.230746e-05,2.266994e-05,2.414407e-05,2.425936e-05,2.555583e-05,2.610208e-05,2.690102e-05,2.782660e-05,2.817663e-05,2.938073e-05,2.942738e-05,3.051227e-05,3.090179e-05,3.157102e-05,3.224959e-05,3.255741e-05,3.347247e-05,3.431766e-05,3.457366e-05,3.509485e-05,3.555755e-05,3.580620e-05,3.642939e-05,3.645412e-05,3.704116e-05,3.719498e-05,3.757000e-05,3.786051e-05,3.804340e-05,3.843234e-05,3.846412e-05,3.883496e-05,3.891685e-05,3.915867e-05,3.932036e-05,3.943794e-05,3.964905e-05,3.967542e-05,3.987368e-05,3.990885e-05,4.003519e-05,4.010545e-05,4.016234e-05,4.024427e-05,4.025742e-05,4.032262e-05,4.033042e-05,4.036003e-05,4.036870e-05,4.037163e-05,4.036360e-05,4.035931e-05,4.032487e-05,4.031933e-05,4.026999e-05,4.023978e-05,4.019627e-05,4.012859e-05,4.010524e-05,3.999830e-05,3.998910e-05,3.987681e-05,3.982442e-05,3.974202e-05,3.963741e-05,3.959512e-05,3.943722e-05,3.943069e-05,3.926937e-05,3.920669e-05,3.909254e-05,3.896763e-05,3.890764e-05,3.871554e-05,3.851703e-05,3.845228e-05,3.831286e-05,3.817955e-05,3.810373e-05,3.789890e-05,3.789029e-05,3.767314e-05,3.761175e-05,3.745285e-05,3.731938e-05,3.722994e-05,3.702296e-05,3.700489e-05,3.677816e-05,3.672355e-05,3.655017e-05,3.642209e-05,3.632130e-05,3.611945e-05,3.609191e-05,3.586233e-05,3.581642e-05,3.563286e-05,3.551368e-05,3.540379e-05,3.521187e-05,3.517538e-05,3.494785e-05,3.491155e-05,3.472143e-05,3.461321e-05,3.449632e-05,3.431729e-05,3.427269e-05,3.405072e-05,3.402420e-05,3.383054e-05,3.373427e-05,3.361230e-05,3.344780e-05,3.339611e-05,3.318208e-05,3.316506e-05,3.297032e-05,3.288627e-05,3.276091e-05,3.261163e-05,3.255392e-05,3.234942e-05,3.234130e-05,3.214748e-05,3.207542e-05,3.194814e-05,3.181410e-05,3.175145e-05,3.155743e-05,3.130549e-05,3.105832e-05,3.081596e-05,3.057844e-05,3.034575e-05,3.011790e-05,2.989487e-05,2.967664e-05,2.946318e-05,2.925443e-05,2.905037e-05,2.885093e-05,2.865605e-05,2.846568e-05,2.827975e-05,2.809819e-05,2.792093e-05,2.774789e-05,2.757900e-05,2.741418e-05,2.725335e-05,2.709643e-05,2.694335e-05,2.679402e-05
0.000000e+00,1.664413e-12,1.291448e-11,2.508643e-10,1.668682e-09,3.879234e-09,2.252555e-08,2.395763e-08,9.044692e-08,1.236012e-07,2.522139e-07,4.215600e-07,5.743876e-07,1.078351e-06,1.133780e-06,2.014450e-06,2.283314e-06,3.303847e-06,4.236914e-06,5.088559e-06,7.132271e-06,7.448064e-06,1.044590e-05,1.112597e-05,1.412028e-05,1.630186e-05,1.847796e-05,2.264928e-05,2.349435e-05,2.911912e-05,3.007119e-05,3.528464e-05,3.841381e-05,4.191430e-05,4.749908e-05,4.892910e-05,5.625188e-05,5.714780e-05,6.380983e-05,6.719229e-05,7.153575e-05,7.748201e-05,7.936862e-05,8.725368e-05,8.788524e-05,9.514242e-05,9.828925e-05,1.029924e-04,1.085996e-04,1.107669e-04,1.184348e-04,1.187389e-04,1.259697e-04,1.286455e-04,1.333501e-04,1.382714e-04,1.405585e-04,1.475809e-04,1.544067e-04,1.565480e-04,1.610279e-04,1.651555e-04,1.674390e-04,1.733926e-04,1.736364e-04,1.796181e-04,1.812542e-04,1.853836e-04,1.887394e-04,1.909337e-04,1.958507e-04,1.962698e-04,2.013944e-04,2.025931e-04,2.063104e-04,2.089736e-04,2.110214e-04,2.150006e-04,2.155313e-04,2.198443e-04,2.206836e-04,2.239648e-04,2.260329e-04,2.278975e-04,2.310593e-04,2.316471e-04,2.352186e-04,2.357739e-04,2.386169e-04,2.401881e-04,2.418470e-04,2.443132e-04,2.449138e-04,2.478222e-04,2.481608e-04,2.505773e-04,2.517422e-04,2.531839e-04,2.550685e-04,2.556467e-04,2.579707e-04,2.581508e-04,2.601605e-04,2.609999e-04,2.622207e-04,2.636263e-04,2.641558e-04,2.659703e-04,2.660404e-04,2.676685e-04,2.682523e-04,2.692548e-04,2.702716e-04,2.707332e-04,2.721078e-04,2.733826e-04,2.737701e-04,2.745614e-04,2.752672e-04,2.756480e-04,2.766079e-04,2.766461e-04,2.775593e-04,2.778002e-04,2.783909e-04,2.788522e-04,2.791444e-04,2.797714e-04,2.798230e-04,2.804299e-04,2.805652e-04,2.809682e-04,2.812407e-04,2.814408e-04,2.818047e-04,2.818506e-04,2.822005e-04,2.822635e-04,2.824931e-04,2.826235e-04,2.827311e-04,2.828906e-04,2.829169e-04,2.830531e-04,2.830705e-04,2.831420e-04,2.831686e-04,2.831859e-04,2.831901e-04,2.831870e-04,2.831474e-04,2.831400e-04,2.830692e-04,2.830231e-04,2.829544e-04,2.828439e-04,2.828049e-04,2.826225e-04,2.826066e-04,2.824091e-04,2.823154e-04,2.821662e-04,2.819741e-04,2.818957e-04,2.815989e-04,2.815865e-04,2.812776e-04,2.811562e-04,2.809331e-04,2.806864e-04,2.805669e-04,2.801803e-04,2.796410e-04,2.790712e-04,2.784738e-04,2.778513e-04,2.772061e-04,2.765405e-04,2.758567e-04,2.751566e-04,2.744424e-04,2.737156e-04,2.729782e-04,2.722317e-04,2.714775e-04,2.707172e-04,2.699520e-04,2.691833e-04,2.684121e-04,2.676397e-04,2.668669e-04,2.660948e-04,2.653243e-04,2.645561e-04,2.637911e-04,2.630300e-04
0.000000e+00,4.281582e-09,9.850805e-09,3.401205e-08,7.743017e-08,1.129280e-07,2.555873e-07,2.632416e-07,5.065094e-07,5.942244e-07,8.644334e-07,1.143457e-06,1.359246e-06,1.954402e-06,2.013044e-06,2.845011e-06,3.072657e-06,3.865862e-06,4.519361e-06,5.072009e-06,6.272449e-06,6.445211e-06,7.959056e-06,8.276258e-06,9.586174e-06,1.046868e-05,1.130178e-05,1.279534e-05,1.308421e-05,1.491437e-05,1.521046e-05,1.677517e-05,1.767463e-05,1.865113e-05,2.015334e-05,2.052823e-05,2.239392e-05,2.261649e-05,2.423707e-05,2.503836e-05,2.604798e-05,2.739758e-05,2.781840e-05,2.954145e-05,2.967707e-05,3.121158e-05,3.186380e-05,3.282443e-05,3.394829e-05,3.437666e-05,3.586595e-05,3.592419e-05,3.729081e-05,3.778782e-05,3.865046e-05,3.953768e-05,3.994475e-05,4.117401e-05,4.233903e-05,4.269843e-05,4.344089e-05,4.411356e-05,4.448097e-05,4.542280e-05,4.546086e-05,4.638229e-05,4.663006e-05,4.724711e-05,4.773963e-05,4.805725e-05,4.875597e-05,4.881467e-05,4.952136e-05,4.968365e-05,5.017934e-05,5.052727e-05,5.079058e-05,5.129137e-05,5.135704e-05,5.188066e-05,5.198041e-05,5.236333e-05,5.259874e-05,5.280688e-05,5.315055e-05,5.321312e-05,5.358378e-05,5.363990e-05,5.392056e-05,5.407065e-05,5.422507e-05,5.444652e-05,5.449891e-05,5.474357e-05,5.477104e-05,5.496052e-05,5.504757e-05,5.515117e-05,5.527930e-05,5.531686e-05,5.545889e-05,5.546927e-05,5.557850e-05,5.562033e-05,5.567687e-05,5.573520e-05,5.575515e-05,5.581444e-05,5.581643e-05,5.585577e-05,5.586644e-05,5.588014e-05,5.588752e-05,5.588851e-05,5.588179e-05,5.586085e-05,5.585128e-05,5.582652e-05,5.579790e-05,5.577960e-05,5.572342e-05,5.572085e-05,5.565098e-05,5.562952e-05,5.557069e-05,5.551778e-05,5.548062e-05,5.538968e-05,5.538142e-05,5.527366e-05,5.524659e-05,5.515792e-05,5.508983e-05,5.503474e-05,5.492060e-05,5.490463e-05,5.476809e-05,5.474004e-05,5.462556e-05,5.454923e-05,5.447750e-05,5.434916e-05,5.432432e-05,5.416643e-05,5.414075e-05,5.400420e-05,5.392489e-05,5.383798e-05,5.370238e-05,5.366813e-05,5.349497e-05,5.347398e-05,5.331880e-05,5.324040e-05,5.313991e-05,5.300230e-05,5.295857e-05,5.277506e-05,5.276030e-05,5.258962e-05,5.251495e-05,5.240248e-05,5.226681e-05,5.221386e-05,5.202397e-05,5.201635e-05,5.183301e-05,5.176404e-05,5.164117e-05,5.151031e-05,5.144863e-05,5.125554e-05,5.100012e-05,5.074436e-05,5.048859e-05,5.023310e-05,4.997815e-05,4.972398e-05,4.947083e-05,4.921890e-05,4.896837e-05,4.871943e-05,4.847223e-05,4.822691e-05,4.798361e-05,4.774244e-05,4.750352e-05,4.726693e-05,4.703277e-05,4.680111e-05,4.657201e-05,4.634555e-05,4.612177e-05,4.590071e-05,4.568242e-05,4.546693e-05
0.000000e+00,9.261075e-14,7.508075e-13,1.594181e-11,1.147328e-10,2.782505e-10,1.797124e-09,1.919511e-09,8.024227e-09,1.126829e-08,2.460817e-08,4.343853e-08,6.133033e-08,1.247128e-07,1.320210e-07,2.549941e-07,2.947013e-07,4.525168e-07,6.046281e-07,7.484149e-07,1.107063e-06,1.163751e-06,1.712224e-06,1.838395e-06,2.397370e-06,2.805789e-06,3.212471e-06,3.986852e-06,4.142622e-06,5.167795e-06,5.339167e-06,6.265828e-06,6.812252e-06,7.414708e-06,8.356612e-06,8.593995e-06,9.785523e-06,9.928557e-06,1.097358e-05,1.149171e-05,1.214481e-05,1.301670e-05,1.328797e-05,1.439369e-05,1.448029e-05,1.545428e-05,1.586445e-05,1.646355e-05,1.715567e-05,1.741664e-05,1.831001e-05,1.834446e-05,1.914123e-05,1.942498e-05,1.990900e-05,2.039461e-05,2.061294e-05,2.125360e-05,2.183223e-05,2.200460e-05,2.235075e-05,2.265215e-05,2.281156e-05,2.320225e-05,2.321746e-05,2.357153e-05,2.366182e-05,2.387701e-05,2.403836e-05,2.413724e-05,2.433959e-05,2.435559e-05,2.453536e-05,2.457313e-05,2.467978e-05,2.474638e-05,2.479195e-05,2.486633e-05,2.487482e-05,2.493117e-05,2.493948e-05,2.496358e-05,2.497180e-05,2.497449e-05,2.496865e-05,2.496610e-05,2.494045e-05,2.493487e-05,2.489941e-05,2.487474e-05,2.484467e-05,2.479205e-05,2.477777e-05,2.470010e-05,2.469012e-05,2.461293e-05,2.457187e-05,2.451740e-05,2.443984e-05,2.441453e-05,2.430525e-05,2.429625e-05,2.419037e-05,2.414303e-05,2.407066e-05,2.398185e-05,2.394678e-05,2.381932e-05,2.381416e-05,2.368885e-05,2.364123e-05,2.355583e-05,2.346415e-05,2.342070e-05,2.328387e-05,2.314567e-05,2.310121e-05,2.300642e-05,2.291688e-05,2.286641e-05,2.273152e-05,2.272589e-05,2.258510e-05,2.254565e-05,2.244423e-05,2.235975e-05,2.230348e-05,2.217423e-05,2.216301e-05,2.202297e-05,2.198944e-05,2.188350e-05,2.180569e-05,2.174471e-05,2.162324e-05,2.160672e-05,2.146962e-05,2.144232e-05,2.133351e-05,2.126314e-05,2.119844e-05,2.108586e-05,2.106451e-05,2.093177e-05,2.091064e-05,2.080027e-05,2.073761e-05,2.067006e-05,2.056686e-05,2.054119e-05,2.041369e-05,2.039848e-05,2.028759e-05,2.023256e-05,2.016293e-05,2.006915e-05,2.003972e-05,1.991798e-05,1.990831e-05,1.979774e-05,1.975006e-05,1.967900e-05,1.959445e-05,1.956178e-05,1.944608e-05,1.944148e-05,1.933191e-05,1.929119e-05,1.921928e-05,1.914356e-05,1.910818e-05,1.899862e-05,1.885634e-05,1.871672e-05,1.857975e-05,1.844542e-05,1.831370e-05,1.818456e-05,1.805799e-05,1.793396e-05,1.781243e-05,1.769338e-05,1.757677e-05,1.746257e-05,1.735075e-05,1.724126e-05,1.713407e-05,1.702914e-05,1.692644e-05,1.682593e-05,1.672757e-05,1.663131e-05,1.653713e-05,1.644498e-05,1.635482e-05,1.626663e-05
0.000000e+00,2.082189e-12,1.451702e-11,2.278806e-10,1.262273e-09,2.666764e-09,1.229944e-08,1.296625e-08,3.998051e-08,5.194299e-08,9.415141e-08,1.442839e-07,1.865802e-07,3.154906e-07,3.290176e-07,5.340475e-07,5.940014e-07,8.143149e-07,1.008048e-06,1.179682e-06,1.573963e-06,1.632825e-06,2.166415e-06,2.281495e-06,2.764626e-06,3.094715e-06,3.407776e-06,3.968742e-06,4.076832e-06,4.755867e-06,4.864566e-06,5.432525e-06,5.753653e-06,6.097515e-06,6.616341e-06,6.743835e-06,7.366125e-06,7.438977e-06,7.960245e-06,8.211884e-06,8.523018e-06,8.928284e-06,9.052090e-06,9.545856e-06,9.583800e-06,1.000339e-05,1.017617e-05,1.042437e-05,1.070496e-05,1.080904e-05,1.115808e-05,1.117132e-05,1.147260e-05,1.157764e-05,1.175400e-05,1.192724e-05,1.200389e-05,1.222408e-05,1.241647e-05,1.247248e-05,1.258299e-05,1.267688e-05,1.272558e-05,1.284173e-05,1.284615e-05,1.294656e-05,1.297130e-05,1.302855e-05,1.306961e-05,1.309381e-05,1.314042e-05,1.314390e-05,1.318028e-05,1.318712e-05,1.320429e-05,1.321281e-05,1.321719e-05,1.322024e-05,1.322009e-05,1.321406e-05,1.321186e-05,1.320002e-05,1.318985e-05,1.317885e-05,1.315611e-05,1.315131e-05,1.311811e-05,1.311232e-05,1.307989e-05,1.305994e-05,1.303723e-05,1.300024e-05,1.299063e-05,1.294057e-05,1.293435e-05,1.288746e-05,1.286323e-05,1.283169e-05,1.278773e-05,1.277359e-05,1.271347e-05,1.270858e-05,1.265160e-05,1.262643e-05,1.258825e-05,1.254184e-05,1.252363e-05,1.245794e-05,1.245530e-05,1.239138e-05,1.236723e-05,1.232409e-05,1.227800e-05,1.225624e-05,1.218795e-05,1.211936e-05,1.209736e-05,1.205056e-05,1.200647e-05,1.198166e-05,1.191551e-05,1.191275e-05,1.184392e-05,1.182466e-05,1.177522e-05,1.173410e-05,1.170674e-05,1.164397e-05,1.163852e-05,1.157064e-05,1.155440e-05,1.150312e-05,1.146549e-05,1.143603e-05,1.137736e-05,1.136939e-05,1.130324e-05,1.129008e-05,1.123763e-05,1.120372e-05,1.117256e-05,1.111836e-05,1.110808e-05,1.104421e-05,1.103405e-05,1.098096e-05,1.095082e-05,1.091835e-05,1.086873e-05,1.085640e-05,1.079511e-05,1.078781e-05,1.073452e-05,1.070807e-05,1.067461e-05,1.062956e-05,1.061541e-05,1.055692e-05,1.055227e-05,1.049914e-05,1.047623e-05,1.044209e-05,1.040145e-05,1.038575e-05,1.033015e-05,1.032794e-05,1.027527e-05,1.025569e-05,1.022112e-05,1.018471e-05,1.016770e-05,1.011500e-05,1.004655e-05,9.979366e-06,9.913431e-06,9.848741e-06,9.785284e-06,9.723051e-06,9.662029e-06,9.602205e-06,9.543566e-06,9.486097e-06,9.429783e-06,9.374608e-06,9.320556e-06,9.267611e-06,9.215755e-06,9.164972e-06,9.115245e-06,9.066556e-06,9.018887e-06,8.972221e-06,8.926541e-06,8.881828e-06,8.838064e-06,8.795233e-06
0.000000e+00,1.590668e-14,1.312459e-13,2.889203e-12,2.146960e-11,5.296289e-11,3.565777e-10,3.814695e-10,1.653021e-09,2.341337e-09,5.210338e-09,9.307438e-09,1.321923e-08,2.708356e-08,2.867814e-08,5.531211e-08,6.383318e-08,9.739505e-08,1.294215e-07,1.595397e-07,2.345767e-07,2.464718e-07,3.627763e-07,3.899379e-07,5.125926e-07,6.048907e-07,6.992560e-07,8.861537e-07,9.249311e-07,1.190321e-06,1.236432e-06,1.494533e-06,1.653681e-06,1.835122e-06,2.131281e-06,2.208308e-06,2.609285e-06,2.659015e-06,3.032590e-06,3.224433e-06,3.472447e-06,3.814237e-06,3.923063e-06,4.378863e-06,4.415393e-06,4.834668e-06,5.015924e-06,5.285799e-06,5.605391e-06,5.728151e-06,6.158217e-06,6.175121e-06,6.573088e-06,6.718257e-06,6.970438e-06,7.229699e-06,7.348487e-06,7.705959e-06,8.042033e-06,8.144979e-06,8.356291e-06,8.545921e-06,8.648662e-06,8.908955e-06,8.919373e-06,9.168891e-06,9.235045e-06,9.397882e-06,9.525757e-06,9.607160e-06,9.783079e-06,9.797650e-06,9.970353e-06,1.000927e-05,1.012632e-05,1.020674e-05,1.026661e-05,1.037794e-05,1.039229e-05,1.050440e-05,1.052529e-05,1.060397e-05,1.065111e-05,1.069197e-05,1.075761e-05,1.076931e-05,1.083688e-05,1.084684e-05,1.089549e-05,1.092067e-05,1.094591e-05,1.098082e-05,1.098884e-05,1.102493e-05,1.102883e-05,1.105479e-05,1.106609e-05,1.107896e-05,1.109385e-05,1.109796e-05,1.111225e-05,1.111320e-05,1.112223e-05,1.112511e-05,1.112830e-05,1.113044e-05,1.113080e-05,1.113004e-05,1.112995e-05,1.112633e-05,1.112431e-05,1.111991e-05,1.111412e-05,1.111102e-05,1.109989e-05,1.108670e-05,1.108208e-05,1.107165e-05,1.106110e-05,1.105488e-05,1.103732e-05,1.103656e-05,1.101682e-05,1.101106e-05,1.099579e-05,1.098260e-05,1.097358e-05,1.095220e-05,1.095030e-05,1.092604e-05,1.092008e-05,1.090090e-05,1.088646e-05,1.087495e-05,1.085151e-05,1.084828e-05,1.082095e-05,1.081541e-05,1.079304e-05,1.077831e-05,1.076459e-05,1.074034e-05,1.073568e-05,1.070634e-05,1.070162e-05,1.067664e-05,1.066226e-05,1.064661e-05,1.062237e-05,1.061629e-05,1.058573e-05,1.058204e-05,1.055496e-05,1.054136e-05,1.052401e-05,1.050040e-05,1.049292e-05,1.046172e-05,1.045922e-05,1.043044e-05,1.041791e-05,1.039910e-05,1.037651e-05,1.036772e-05,1.033633e-05,1.033508e-05,1.030495e-05,1.029366e-05,1.027360e-05,1.025231e-05,1.024230e-05,1.021107e-05,1.016997e-05,1.012904e-05,1.008832e-05,1.004785e-05,1.000763e-05,9.967706e-06,9.928089e-06,9.888803e-06,9.849864e-06,9.811289e-06,9.773093e-06,9.735288e-06,9.697886e-06,9.660898e-06,9.624333e-06,9.588198e-06,9.552501e-06,9.517248e-06,9.482444e-06,9.448093e-06,9.414199e-06,9.380764e-06,9.347792e-06,9.315283e-06
0.000000e+00,5.427022e-16,4.746898e-15,1.180598e-13,9.816062e-13,2.576646e-12,2.039539e-11,2.196424e-11,1.119992e-10,1.658661e-10,4.131315e-10,8.089399e-10,1.220165e-09,2.862006e-09,3.065753e-09,6.813650e-09,8.129215e-09,1.375231e-08,1.967722e-08,2.567320e-08,4.212780e-08,4.491345e-08,7.434669e-08,8.174360e-08,1.173160e-07,1.462263e-07,1.775164e-07,2.442469e-07,2.588406e-07,3.652062e-07,3.848038e-07,5.003793e-07,5.765239e-07,6.678098e-07,8.270067e-07,8.704865e-07,1.110819e-06,1.142279e-06,1.390548e-06,1.526399e-06,1.710689e-06,1.981213e-06,2.071504e-06,2.472497e-06,2.506281e-06,2.912445e-06,3.098925e-06,3.389437e-06,3.754413e-06,3.900947e-06,4.443906e-06,4.466230e-06,5.014791e-06,5.226408e-06,5.609724e-06,6.025911e-06,6.224567e-06,6.855018e-06,7.496708e-06,7.703710e-06,8.145285e-06,8.562018e-06,8.796495e-06,9.420339e-06,9.446253e-06,1.009070e-05,1.026969e-05,1.072624e-05,1.110193e-05,1.134962e-05,1.190985e-05,1.195790e-05,1.254849e-05,1.268735e-05,1.311918e-05,1.342937e-05,1.366812e-05,1.413200e-05,1.419381e-05,1.469509e-05,1.479233e-05,1.517110e-05,1.540845e-05,1.562130e-05,1.597932e-05,1.604543e-05,1.644343e-05,1.650470e-05,1.681552e-05,1.698501e-05,1.716205e-05,1.742123e-05,1.748357e-05,1.778075e-05,1.781481e-05,1.805437e-05,1.816753e-05,1.830532e-05,1.848144e-05,1.853452e-05,1.874297e-05,1.875878e-05,1.893169e-05,1.900189e-05,1.910172e-05,1.921314e-05,1.925408e-05,1.938983e-05,1.939493e-05,1.950997e-05,1.954959e-05,1.961549e-05,1.967938e-05,1.970735e-05,1.978647e-05,1.985374e-05,1.987291e-05,1.991001e-05,1.994062e-05,1.995608e-05,1.999142e-05,1.999271e-05,2.002061e-05,2.002695e-05,2.004046e-05,2.004877e-05,2.005289e-05,2.005827e-05,2.005848e-05,2.005779e-05,2.005675e-05,2.005133e-05,2.004536e-05,2.003957e-05,2.002519e-05,2.002295e-05,2.000189e-05,1.999718e-05,1.997676e-05,1.996220e-05,1.994791e-05,1.992105e-05,1.991568e-05,1.988034e-05,1.987442e-05,1.984219e-05,1.982296e-05,1.980148e-05,1.976722e-05,1.975844e-05,1.971329e-05,1.970774e-05,1.966623e-05,1.964496e-05,1.961744e-05,1.957932e-05,1.956710e-05,1.951537e-05,1.951117e-05,1.946239e-05,1.944087e-05,1.940829e-05,1.936872e-05,1.935321e-05,1.929724e-05,1.929499e-05,1.924051e-05,1.921992e-05,1.918311e-05,1.914375e-05,1.912514e-05,1.906666e-05,1.898885e-05,1.891048e-05,1.883170e-05,1.875264e-05,1.867344e-05,1.859419e-05,1.851501e-05,1.843598e-05,1.835718e-05,1.827871e-05,1.820061e-05,1.812296e-05,1.804581e-05,1.796922e-05,1.789322e-05,1.781787e-05,1.774320e-05,1.766924e-05,1.759602e-05,1.752357e-05,1.745191e-05,1.738107e-05,1.731107e-05,1.724191e-05
0.000000e+00,1.073632e-12,7.935755e-12,1.398432e-10,8.547111e-10,1.900183e-09,9.893376e-09,1.047783e-08,3.584650e-08,4.777204e-08,9.181039e-08,1.466744e-07,1.943472e-07,3.442783e-07,3.602857e-07,6.064765e-07,6.793223e-07,9.490031e-07,1.188239e-06,1.401800e-06,1.899309e-06,1.974553e-06,2.670817e-06,2.824732e-06,3.487572e-06,3.957260e-06,4.416369e-06,5.274464e-06,5.445259e-06,6.560516e-06,6.746017e-06,7.747816e-06,8.339104e-06,8.992879e-06,1.002117e-05,1.028182e-05,1.160135e-05,1.176114e-05,1.293894e-05,1.353017e-05,1.428298e-05,1.530223e-05,1.562292e-05,1.694934e-05,1.705462e-05,1.825407e-05,1.876828e-05,1.953012e-05,2.042784e-05,2.077173e-05,2.197423e-05,2.202147e-05,2.313403e-05,2.354056e-05,2.424843e-05,2.497932e-05,2.531559e-05,2.633437e-05,2.730422e-05,2.760423e-05,2.822513e-05,2.878897e-05,2.909746e-05,2.988986e-05,2.992193e-05,3.069953e-05,3.090902e-05,3.143144e-05,3.184920e-05,3.211899e-05,3.271361e-05,3.276364e-05,3.336690e-05,3.350570e-05,3.393035e-05,3.422909e-05,3.445558e-05,3.488743e-05,3.494418e-05,3.539775e-05,3.548439e-05,3.581784e-05,3.602357e-05,3.620599e-05,3.650846e-05,3.656371e-05,3.689245e-05,3.694245e-05,3.719362e-05,3.732880e-05,3.746860e-05,3.767061e-05,3.771870e-05,3.794518e-05,3.797083e-05,3.814928e-05,3.823229e-05,3.833215e-05,3.845764e-05,3.849493e-05,3.863868e-05,3.864939e-05,3.876444e-05,3.880993e-05,3.887319e-05,3.894149e-05,3.896587e-05,3.904337e-05,3.904617e-05,3.910655e-05,3.912594e-05,3.915622e-05,3.918268e-05,3.919317e-05,3.921812e-05,3.923179e-05,3.923390e-05,3.923485e-05,3.923154e-05,3.922794e-05,3.921248e-05,3.921166e-05,3.918659e-05,3.917807e-05,3.915328e-05,3.912955e-05,3.911224e-05,3.906810e-05,3.906399e-05,3.900897e-05,3.899482e-05,3.894766e-05,3.891072e-05,3.888045e-05,3.881677e-05,3.880777e-05,3.872998e-05,3.871385e-05,3.864746e-05,3.860279e-05,3.856054e-05,3.848437e-05,3.846956e-05,3.837481e-05,3.835932e-05,3.827659e-05,3.822830e-05,3.817518e-05,3.809193e-05,3.807084e-05,3.796382e-05,3.795081e-05,3.785435e-05,3.780547e-05,3.774266e-05,3.765641e-05,3.762895e-05,3.751343e-05,3.750411e-05,3.739627e-05,3.734899e-05,3.727767e-05,3.719147e-05,3.715778e-05,3.703677e-05,3.703190e-05,3.691478e-05,3.687065e-05,3.679195e-05,3.670803e-05,3.666843e-05,3.654433e-05,3.637983e-05,3.621479e-05,3.604945e-05,3.588400e-05,3.571866e-05,3.555361e-05,3.538902e-05,3.522504e-05,3.506181e-05,3.489946e-05,3.473812e-05,3.457789e-05,3.441886e-05,3.426113e-05,3.410478e-05,3.394988e-05,3.379649e-05,3.364468e-05,3.349449e-05,3.334598e-05,3.319919e-05,3.305414e-05,3.291087e-05,3.276941e-05
0.000000e+00,3.281741e-10,1.121279e-09,5.829958e-09,1.588671e-08,2.467857e-08,6.180913e-08,6.384064e-08,1.290027e-07,1.525623e-07,2.248113e-07,2.986150e-07,3.550556e-07,5.079134e-07,5.227677e-07,7.302043e-07,7.860687e-07,9.786574e-07,1.135747e-06,1.268036e-06,1.554937e-06,1.596244e-06,1.958643e-06,2.034636e-06,2.348137e-06,2.558555e-06,2.756150e-06,3.106810e-06,3.173988e-06,3.593846e-06,3.660757e-06,4.009209e-06,4.205404e-06,4.414839e-06,4.729526e-06,4.806604e-06,5.181305e-06,5.225000e-06,5.536529e-06,5.686190e-06,5.870546e-06,6.109491e-06,6.182211e-06,6.470895e-06,6.492988e-06,6.736408e-06,6.836156e-06,6.978935e-06,7.139588e-06,7.198969e-06,7.397250e-06,7.404742e-06,7.574710e-06,7.633702e-06,7.732420e-06,7.828967e-06,7.871534e-06,7.993261e-06,8.098842e-06,8.129420e-06,8.189511e-06,8.240270e-06,8.266471e-06,8.328541e-06,8.330891e-06,8.383888e-06,8.396825e-06,8.426516e-06,8.447532e-06,8.459769e-06,8.482875e-06,8.484569e-06,8.501774e-06,8.504863e-06,8.512176e-06,8.515302e-06,8.516500e-06,8.515808e-06,8.515412e-06,8.509516e-06,8.507810e-06,8.499362e-06,8.492565e-06,8.485445e-06,8.471179e-06,8.468217e-06,8.448084e-06,8.444619e-06,8.425414e-06,8.413730e-06,8.400537e-06,8.379247e-06,8.373750e-06,8.345320e-06,8.341809e-06,8.315484e-06,8.301967e-06,8.284457e-06,8.260199e-06,8.252432e-06,8.219580e-06,8.216921e-06,8.186055e-06,8.172489e-06,8.151996e-06,8.127211e-06,8.117524e-06,8.082750e-06,8.081354e-06,8.047771e-06,8.035146e-06,8.012676e-06,7.988785e-06,7.977542e-06,7.942439e-06,7.907429e-06,7.896254e-06,7.872565e-06,7.850353e-06,7.837898e-06,7.804842e-06,7.803470e-06,7.769318e-06,7.759810e-06,7.735478e-06,7.715336e-06,7.701978e-06,7.671481e-06,7.668845e-06,7.636100e-06,7.628301e-06,7.603763e-06,7.585839e-06,7.571851e-06,7.544132e-06,7.540379e-06,7.509359e-06,7.503210e-06,7.478800e-06,7.463095e-06,7.448712e-06,7.423807e-06,7.419101e-06,7.389973e-06,7.385358e-06,7.361332e-06,7.347758e-06,7.333180e-06,7.311013e-06,7.305520e-06,7.278352e-06,7.275125e-06,7.251676e-06,7.240095e-06,7.225492e-06,7.205920e-06,7.199798e-06,7.174591e-06,7.172595e-06,7.149869e-06,7.140115e-06,7.125628e-06,7.108471e-06,7.101866e-06,7.078577e-06,7.077655e-06,7.055758e-06,7.047657e-06,7.033403e-06,7.018464e-06,7.011507e-06,6.990066e-06,6.962448e-06,6.935598e-06,6.909501e-06,6.884144e-06,6.859511e-06,6.835587e-06,6.812358e-06,6.789809e-06,6.767923e-06,6.746686e-06,6.726082e-06,6.706096e-06,6.686713e-06,6.667918e-06,6.649696e-06,6.632032e-06,6.614912e-06,6.598321e-06,6.582246e-06,6.566671e-06,6.551584e-06,6.536971e-06,6.522818e-06,6.509113e-06
0.000000e+00,3.426938e-10,1.380459e-09,8.820096e-09,2.673251e-08,4.330480e-08,1.176037e-07,1.218059e-07,2.616705e-07,3.142542e-07,4.809985e-07,6.589558e-07,7.997613e-07,1.199533e-06,1.239699e-06,1.821161e-06,1.983321e-06,2.554874e-06,3.029914e-06,3.432138e-06,4.301003e-06,4.425111e-06,5.499178e-06,5.720920e-06,6.623984e-06,7.221013e-06,7.776433e-06,8.753080e-06,8.939236e-06,1.009896e-05,1.028347e-05,1.124468e-05,1.178692e-05,1.236727e-05,1.324349e-05,1.345906e-05,1.451373e-05,1.463754e-05,1.552617e-05,1.595721e-05,1.649246e-05,1.719421e-05,1.740979e-05,1.827634e-05,1.834344e-05,1.909121e-05,1.940263e-05,1.985424e-05,2.037178e-05,2.056593e-05,2.122733e-05,2.125276e-05,2.183987e-05,2.204876e-05,2.240533e-05,2.276395e-05,2.292569e-05,2.340309e-05,2.383978e-05,2.397129e-05,2.423803e-05,2.447380e-05,2.460013e-05,2.491584e-05,2.492834e-05,2.522484e-05,2.530246e-05,2.549172e-05,2.563849e-05,2.573103e-05,2.592849e-05,2.594468e-05,2.613449e-05,2.617670e-05,2.630219e-05,2.638704e-05,2.644938e-05,2.656315e-05,2.657758e-05,2.668821e-05,2.670834e-05,2.678259e-05,2.682566e-05,2.686195e-05,2.691786e-05,2.692745e-05,2.698015e-05,2.698746e-05,2.702104e-05,2.703675e-05,2.705105e-05,2.706779e-05,2.707102e-05,2.708176e-05,2.708246e-05,2.708400e-05,2.708247e-05,2.707842e-05,2.706935e-05,2.706566e-05,2.704630e-05,2.704448e-05,2.702089e-05,2.700914e-05,2.698993e-05,2.696447e-05,2.695389e-05,2.691320e-05,2.691148e-05,2.686827e-05,2.685113e-05,2.681947e-05,2.678425e-05,2.676714e-05,2.671161e-05,2.665317e-05,2.663390e-05,2.659210e-05,2.655176e-05,2.652866e-05,2.646574e-05,2.646308e-05,2.639559e-05,2.637638e-05,2.632639e-05,2.628413e-05,2.625568e-05,2.618943e-05,2.618362e-05,2.611038e-05,2.609265e-05,2.603612e-05,2.599414e-05,2.596098e-05,2.589422e-05,2.588508e-05,2.580856e-05,2.579319e-05,2.573151e-05,2.569128e-05,2.565406e-05,2.558876e-05,2.557630e-05,2.549831e-05,2.548582e-05,2.542018e-05,2.538266e-05,2.534200e-05,2.527945e-05,2.526382e-05,2.518573e-05,2.517636e-05,2.510777e-05,2.507353e-05,2.503001e-05,2.497108e-05,2.495251e-05,2.487530e-05,2.486914e-05,2.479844e-05,2.476781e-05,2.472197e-05,2.466718e-05,2.464593e-05,2.457034e-05,2.456733e-05,2.449526e-05,2.446835e-05,2.442069e-05,2.437031e-05,2.434668e-05,2.427325e-05,2.417725e-05,2.408233e-05,2.398856e-05,2.389595e-05,2.380455e-05,2.371438e-05,2.362546e-05,2.353782e-05,2.345147e-05,2.336642e-05,2.328268e-05,2.320027e-05,2.311918e-05,2.303942e-05,2.296099e-05,2.288389e-05,2.280812e-05,2.273367e-05,2.266053e-05,2.258871e-05,2.251819e-05,2.244896e-05,2.238101e-05,2.231433e-05
0.000000e+00,1.099793e-13,8.644338e-13,1.722747e-11,1.171293e-10,2.754130e-10,1.643373e-09,1.749666e-09,6.763007e-09,9.295939e-09,1.922629e-08,3.244976e-08,4.447028e-08,8.444428e-08,8.886252e-08,1.594031e-07,1.810317e-07,2.633831e-07,3.389408e-07,4.080789e-07,5.745824e-07,6.003820e-07,8.462527e-07,9.022696e-07,1.149945e-06,1.331391e-06,1.513108e-06,1.862992e-06,1.934050e-06,2.407522e-06,2.487629e-06,2.925155e-06,3.186272e-06,3.476453e-06,3.934063e-06,4.050005e-06,4.634602e-06,4.704998e-06,5.220059e-06,5.475627e-06,5.797660e-06,6.226971e-06,6.360333e-06,6.902608e-06,6.944979e-06,7.420451e-06,7.620083e-06,7.911063e-06,8.246413e-06,8.372671e-06,8.804330e-06,8.820967e-06,9.205756e-06,9.342900e-06,9.577184e-06,9.812931e-06,9.919249e-06,1.023289e-05,1.051926e-05,1.060534e-05,1.077966e-05,1.093334e-05,1.101551e-05,1.122018e-05,1.122827e-05,1.141940e-05,1.146924e-05,1.159038e-05,1.168389e-05,1.174264e-05,1.186738e-05,1.187757e-05,1.199649e-05,1.202279e-05,1.210066e-05,1.215301e-05,1.219128e-05,1.226070e-05,1.226946e-05,1.233623e-05,1.234831e-05,1.239257e-05,1.241805e-05,1.243938e-05,1.247194e-05,1.247748e-05,1.250765e-05,1.251179e-05,1.253059e-05,1.253922e-05,1.254694e-05,1.255568e-05,1.255731e-05,1.256223e-05,1.256248e-05,1.256222e-05,1.256078e-05,1.255774e-05,1.255159e-05,1.254919e-05,1.253698e-05,1.253585e-05,1.252144e-05,1.251437e-05,1.250291e-05,1.248788e-05,1.248168e-05,1.245802e-05,1.245703e-05,1.243218e-05,1.242239e-05,1.240439e-05,1.238447e-05,1.237484e-05,1.234374e-05,1.231126e-05,1.230060e-05,1.227755e-05,1.225540e-05,1.224276e-05,1.220848e-05,1.220703e-05,1.217049e-05,1.216012e-05,1.213323e-05,1.211058e-05,1.209537e-05,1.206009e-05,1.205700e-05,1.201821e-05,1.200884e-05,1.197907e-05,1.195703e-05,1.193966e-05,1.190481e-05,1.190005e-05,1.186029e-05,1.185233e-05,1.182045e-05,1.179971e-05,1.178057e-05,1.174708e-05,1.174071e-05,1.170090e-05,1.169454e-05,1.166118e-05,1.164216e-05,1.162160e-05,1.159005e-05,1.158218e-05,1.154295e-05,1.153826e-05,1.150395e-05,1.148686e-05,1.146519e-05,1.143591e-05,1.142670e-05,1.138850e-05,1.138545e-05,1.135060e-05,1.133554e-05,1.131304e-05,1.128620e-05,1.127581e-05,1.123894e-05,1.123747e-05,1.120243e-05,1.118938e-05,1.116630e-05,1.114196e-05,1.113056e-05,1.109521e-05,1.104918e-05,1.100386e-05,1.095927e-05,1.091542e-05,1.087231e-05,1.082996e-05,1.078837e-05,1.074754e-05,1.070746e-05,1.066814e-05,1.062959e-05,1.059178e-05,1.055472e-05,1.051841e-05,1.048285e-05,1.044801e-05,1.041390e-05,1.038051e-05,1.034783e-05,1.031585e-05,1.028457e-05,1.025397e-05,1.022405e-05,1.019479e-05
0.000000e+00,9.599709e-10,2.314942e-09,8.388682e-09,1.951924e-08,2.869774e-08,6.589979e-08,6.790553e-08,1.320165e-07,1.552840e-07,2.273914e-07,3.024271e-07,3.607457e-07,5.219571e-07,5.378087e-07,7.604896e-07,8.204916e-07,1.026183e-06,1.192146e-06,1.330585e-06,1.627372e-06,1.669805e-06,2.040574e-06,2.118248e-06,2.439878e-06,2.657784e-06,2.864658e-06,3.238796e-06,3.311674e-06,3.777481e-06,3.853515e-06,4.258473e-06,4.493660e-06,4.750957e-06,5.150737e-06,5.251244e-06,5.755738e-06,5.816395e-06,6.261016e-06,6.482757e-06,6.763894e-06,7.142682e-06,7.261475e-06,7.751181e-06,7.789948e-06,8.230775e-06,8.419344e-06,8.698356e-06,9.026684e-06,9.152359e-06,9.591534e-06,9.608778e-06,1.001492e-05,1.016334e-05,1.042184e-05,1.068890e-05,1.081183e-05,1.118465e-05,1.154023e-05,1.165039e-05,1.187867e-05,1.208635e-05,1.220016e-05,1.249315e-05,1.250503e-05,1.279367e-05,1.287165e-05,1.306655e-05,1.322291e-05,1.332416e-05,1.354815e-05,1.356706e-05,1.379579e-05,1.384865e-05,1.401095e-05,1.412572e-05,1.421311e-05,1.438071e-05,1.440284e-05,1.458073e-05,1.461494e-05,1.474733e-05,1.482969e-05,1.490319e-05,1.502621e-05,1.504884e-05,1.518480e-05,1.520569e-05,1.531155e-05,1.536927e-05,1.542958e-05,1.551802e-05,1.553933e-05,1.564124e-05,1.565296e-05,1.573572e-05,1.577505e-05,1.582318e-05,1.588517e-05,1.590397e-05,1.597846e-05,1.598416e-05,1.604699e-05,1.607280e-05,1.610987e-05,1.615182e-05,1.616741e-05,1.621990e-05,1.622190e-05,1.626762e-05,1.628367e-05,1.631081e-05,1.633772e-05,1.634972e-05,1.638459e-05,1.641563e-05,1.642479e-05,1.644305e-05,1.645879e-05,1.646705e-05,1.648704e-05,1.648781e-05,1.650551e-05,1.650994e-05,1.652031e-05,1.652787e-05,1.653238e-05,1.654119e-05,1.654185e-05,1.654888e-05,1.655022e-05,1.655359e-05,1.655527e-05,1.655612e-05,1.655662e-05,1.655657e-05,1.655508e-05,1.655455e-05,1.655173e-05,1.654930e-05,1.654664e-05,1.654109e-05,1.653990e-05,1.653161e-05,1.653015e-05,1.652185e-05,1.651667e-05,1.651070e-05,1.650084e-05,1.649825e-05,1.648456e-05,1.648284e-05,1.646971e-05,1.646283e-05,1.645377e-05,1.644096e-05,1.643679e-05,1.641885e-05,1.641737e-05,1.639999e-05,1.639220e-05,1.638027e-05,1.636558e-05,1.635975e-05,1.633847e-05,1.633761e-05,1.631649e-05,1.630841e-05,1.629384e-05,1.627808e-05,1.627057e-05,1.624672e-05,1.621441e-05,1.618124e-05,1.614729e-05,1.611264e-05,1.607735e-05,1.604148e-05,1.600510e-05,1.596827e-05,1.593104e-05,1.589346e-05,1.585558e-05,1.581744e-05,1.577909e-05,1.574056e-05,1.570188e-05,1.566311e-05,1.562426e-05,1.558537e-05,1.554647e-05,1.550758e-05,1.546873e-05,1.542994e-05,1.539124e-05,1.535265e-05
0.000000e+00,1.810879e-15,1.561927e-14,3.770458e-13,3.048893e-12,7.879421e-12,5.983952e-11,6.433154e-11,3.142067e-10,4.597406e-10,1.109997e-09,2.117519e-09,3.138672e-09,7.070174e-09,7.546761e-09,1.604358e-08,1.893724e-08,3.096672e-08,4.321612e-08,5.529626e-08,8.731064e-08,9.260262e-08,1.469138e-07,1.601912e-07,2.224996e-07,2.716264e-07,3.235901e-07,4.310722e-07,4.540660e-07,6.171634e-07,6.464573e-07,8.152302e-07,9.231458e-07,1.049558e-06,1.263272e-06,1.320303e-06,1.626481e-06,1.665517e-06,1.966049e-06,2.125299e-06,2.336030e-06,2.635277e-06,2.732683e-06,3.151700e-06,3.186049e-06,3.588395e-06,3.766935e-06,4.037902e-06,4.366741e-06,4.495349e-06,4.956011e-06,4.974440e-06,5.415437e-06,5.579730e-06,5.869551e-06,6.173440e-06,6.314718e-06,6.747792e-06,7.166131e-06,7.296526e-06,7.567604e-06,7.814916e-06,7.950566e-06,8.299694e-06,8.313836e-06,8.656651e-06,8.748913e-06,8.978625e-06,9.161768e-06,9.279697e-06,9.538404e-06,9.560083e-06,9.820230e-06,9.879720e-06,1.006077e-05,1.018719e-05,1.028246e-05,1.046267e-05,1.048620e-05,1.067290e-05,1.070829e-05,1.084357e-05,1.092631e-05,1.099920e-05,1.111904e-05,1.114079e-05,1.126933e-05,1.128874e-05,1.138574e-05,1.143759e-05,1.149096e-05,1.156765e-05,1.158584e-05,1.167119e-05,1.168083e-05,1.174777e-05,1.177887e-05,1.181629e-05,1.186338e-05,1.187740e-05,1.193171e-05,1.193578e-05,1.197976e-05,1.199735e-05,1.202208e-05,1.204925e-05,1.205912e-05,1.209130e-05,1.209249e-05,1.211901e-05,1.212797e-05,1.214261e-05,1.215647e-05,1.216241e-05,1.217871e-05,1.219176e-05,1.219529e-05,1.220181e-05,1.220678e-05,1.220909e-05,1.221365e-05,1.221379e-05,1.221611e-05,1.221635e-05,1.221619e-05,1.221525e-05,1.221422e-05,1.221069e-05,1.221031e-05,1.220462e-05,1.220300e-05,1.219725e-05,1.219244e-05,1.218833e-05,1.217926e-05,1.217794e-05,1.216620e-05,1.216370e-05,1.215319e-05,1.214595e-05,1.213899e-05,1.212621e-05,1.212369e-05,1.210735e-05,1.210464e-05,1.209004e-05,1.208141e-05,1.207184e-05,1.205666e-05,1.205279e-05,1.203295e-05,1.203052e-05,1.201239e-05,1.200312e-05,1.199114e-05,1.197457e-05,1.196926e-05,1.194679e-05,1.194497e-05,1.192377e-05,1.191442e-05,1.190025e-05,1.188302e-05,1.187626e-05,1.185184e-05,1.185085e-05,1.182702e-05,1.181799e-05,1.180183e-05,1.178451e-05,1.177631e-05,1.175048e-05,1.171597e-05,1.168104e-05,1.164573e-05,1.161011e-05,1.157423e-05,1.153812e-05,1.150183e-05,1.146541e-05,1.142888e-05,1.139229e-05,1.135567e-05,1.131904e-05,1.128244e-05,1.124589e-05,1.120942e-05,1.117305e-05,1.113680e-05,1.110070e-05,1.106476e-05,1.102899e-05,1.099342e-05,1.095806e-05,1.092293e-05,1.088803e-05
0.000000e+00,3.314357e-12,2.163047e-11,2.994242e-10,1.498906e-09,3.011468e-09,1.239743e-08,1.301525e-08,3.660318e-08,4.650990e-08,8.005184e-08,1.180440e-07,1.490369e-07,2.393702e-07,2.485639e-07,3.830562e-07,4.209812e-07,5.564005e-07,6.716768e-07,7.718008e-07,9.978412e-07,1.031350e-06,1.335481e-06,1.401559e-06,1.682717e-06,1.879343e-06,2.069993e-06,2.423325e-06,2.493295e-06,2.948235e-06,3.023664e-06,3.430374e-06,3.670169e-06,3.935318e-06,4.352771e-06,4.458722e-06,4.996279e-06,5.061533e-06,5.543714e-06,5.786625e-06,6.096810e-06,6.518412e-06,6.651451e-06,7.203672e-06,7.247632e-06,7.749724e-06,7.965627e-06,8.286124e-06,8.664561e-06,8.809700e-06,9.317625e-06,9.337581e-06,9.807443e-06,9.978933e-06,1.027708e-05,1.058403e-05,1.072485e-05,1.114945e-05,1.154992e-05,1.167286e-05,1.192565e-05,1.215299e-05,1.227635e-05,1.258943e-05,1.260198e-05,1.290275e-05,1.298257e-05,1.317910e-05,1.333343e-05,1.343163e-05,1.364354e-05,1.366107e-05,1.386828e-05,1.391481e-05,1.405422e-05,1.414943e-05,1.421989e-05,1.434975e-05,1.436634e-05,1.449464e-05,1.451822e-05,1.460587e-05,1.465732e-05,1.470111e-05,1.476950e-05,1.478139e-05,1.484775e-05,1.485714e-05,1.490118e-05,1.492251e-05,1.494263e-05,1.496778e-05,1.497302e-05,1.499319e-05,1.499497e-05,1.500397e-05,1.500594e-05,1.500612e-05,1.500243e-05,1.500037e-05,1.498739e-05,1.498605e-05,1.496780e-05,1.495825e-05,1.494220e-05,1.492035e-05,1.491112e-05,1.487508e-05,1.487354e-05,1.483454e-05,1.481892e-05,1.478993e-05,1.475747e-05,1.474165e-05,1.469007e-05,1.463552e-05,1.461749e-05,1.457832e-05,1.454045e-05,1.451875e-05,1.445959e-05,1.445708e-05,1.439355e-05,1.437546e-05,1.432839e-05,1.428858e-05,1.426178e-05,1.419940e-05,1.419393e-05,1.412501e-05,1.410832e-05,1.405516e-05,1.401571e-05,1.398455e-05,1.392187e-05,1.391329e-05,1.384151e-05,1.382710e-05,1.376932e-05,1.373166e-05,1.369683e-05,1.363577e-05,1.362412e-05,1.355129e-05,1.353963e-05,1.347840e-05,1.344342e-05,1.340554e-05,1.334731e-05,1.333276e-05,1.326013e-05,1.325143e-05,1.318770e-05,1.315591e-05,1.311553e-05,1.306087e-05,1.304365e-05,1.297211e-05,1.296640e-05,1.290095e-05,1.287260e-05,1.283020e-05,1.277953e-05,1.275989e-05,1.269005e-05,1.268727e-05,1.262071e-05,1.259588e-05,1.255190e-05,1.250541e-05,1.248362e-05,1.241590e-05,1.232740e-05,1.223994e-05,1.215355e-05,1.206825e-05,1.198407e-05,1.190102e-05,1.181911e-05,1.173835e-05,1.165876e-05,1.158034e-05,1.150309e-05,1.142701e-05,1.135210e-05,1.127836e-05,1.120579e-05,1.113437e-05,1.106411e-05,1.099500e-05,1.092703e-05,1.086018e-05,1.079445e-05,1.072983e-05,1.066631e-05,1.060387e-05
0.000000e+00,4.387400e-15,3.802827e-14,9.282542e-13,7.584819e-12,1.971877e-11,1.522089e-10,1.637485e-10,8.142109e-10,1.197572e-09,2.931984e-09,5.662189e-09,8.464517e-09,1.946730e-08,2.081880e-08,4.536444e-08,5.388027e-08,8.991525e-08,1.274388e-07,1.650865e-07,2.672196e-07,2.843742e-07,4.638306e-07,5.084937e-07,7.213244e-07,8.922512e-07,1.075494e-06,1.461080e-06,1.544566e-06,2.145214e-06,2.254516e-06,2.891580e-06,3.304926e-06,3.794537e-06,4.634578e-06,4.861224e-06,6.094824e-06,6.254076e-06,7.494564e-06,8.162039e-06,9.055891e-06,1.034576e-05,1.077079e-05,1.262818e-05,1.278253e-05,1.461437e-05,1.544143e-05,1.671354e-05,1.828517e-05,1.890827e-05,2.117999e-05,2.127219e-05,2.350947e-05,2.435849e-05,2.587729e-05,2.749947e-05,2.826420e-05,3.065149e-05,3.302134e-05,3.377324e-05,3.535703e-05,3.682680e-05,3.764321e-05,3.977849e-05,3.986603e-05,4.201323e-05,4.259942e-05,4.407427e-05,4.526578e-05,4.604030e-05,4.775896e-05,4.790417e-05,4.966037e-05,5.006536e-05,5.130495e-05,5.217617e-05,5.283542e-05,5.408693e-05,5.425067e-05,5.555076e-05,5.579705e-05,5.673688e-05,5.730928e-05,5.781113e-05,5.862917e-05,5.877644e-05,5.963640e-05,5.976448e-05,6.039514e-05,6.072470e-05,6.105721e-05,6.152054e-05,6.162750e-05,6.211107e-05,6.216351e-05,6.251312e-05,6.266555e-05,6.283890e-05,6.303871e-05,6.309365e-05,6.328250e-05,6.329492e-05,6.341050e-05,6.344575e-05,6.348250e-05,6.350230e-05,6.350318e-05,6.347701e-05,6.347505e-05,6.340821e-05,6.337379e-05,6.330079e-05,6.320761e-05,6.315850e-05,6.298485e-05,6.278311e-05,6.271312e-05,6.255632e-05,6.239933e-05,6.230729e-05,6.204969e-05,6.203860e-05,6.175263e-05,6.166977e-05,6.145157e-05,6.126454e-05,6.113742e-05,6.083841e-05,6.081200e-05,6.047697e-05,6.039530e-05,6.013383e-05,5.993865e-05,5.978396e-05,5.947149e-05,5.942859e-05,5.906885e-05,5.899647e-05,5.870576e-05,5.851592e-05,5.834021e-05,5.803186e-05,5.797304e-05,5.760498e-05,5.754605e-05,5.723670e-05,5.706003e-05,5.686880e-05,5.657510e-05,5.650179e-05,5.613617e-05,5.609241e-05,5.577234e-05,5.561293e-05,5.541070e-05,5.513750e-05,5.505155e-05,5.469522e-05,5.466684e-05,5.434194e-05,5.420154e-05,5.399196e-05,5.374213e-05,5.364547e-05,5.330265e-05,5.328902e-05,5.296366e-05,5.284258e-05,5.262861e-05,5.240310e-05,5.229763e-05,5.197081e-05,5.154590e-05,5.112853e-05,5.071879e-05,5.031676e-05,4.992249e-05,4.953600e-05,4.915730e-05,4.878636e-05,4.842314e-05,4.806760e-05,4.771968e-05,4.737930e-05,4.704638e-05,4.672082e-05,4.640255e-05,4.609144e-05,4.578739e-05,4.549030e-05,4.520003e-05,4.491648e-05,4.463953e-05,4.436904e-05,4.410490e-05,4.384697e-05
0.000000e+00,6.795337e-10,1.608584e-09,5.713614e-09,1.316504e-08,1.928190e-08,4.396462e-08,4.529228e-08,8.763417e-08,1.029664e-07,1.503880e-07,1.995846e-07,2.377032e-07,3.424553e-07,3.527029e-07,4.956775e-07,5.339086e-07,6.641439e-07,7.683957e-07,8.548517e-07,1.038780e-06,1.064927e-06,1.291875e-06,1.339082e-06,1.533342e-06,1.663860e-06,1.786962e-06,2.007623e-06,2.050311e-06,2.320933e-06,2.364744e-06,2.596387e-06,2.729623e-06,2.874312e-06,3.096932e-06,3.152487e-06,3.428877e-06,3.461835e-06,3.701670e-06,3.820146e-06,3.969294e-06,4.168409e-06,4.230427e-06,4.483989e-06,4.503920e-06,4.729133e-06,4.824685e-06,4.965226e-06,5.129353e-06,5.191825e-06,5.408656e-06,5.417123e-06,5.615585e-06,5.687651e-06,5.812604e-06,5.940955e-06,5.999797e-06,6.177333e-06,6.345438e-06,6.397283e-06,6.504387e-06,6.601452e-06,6.654491e-06,6.790575e-06,6.796080e-06,6.929502e-06,6.965445e-06,7.055111e-06,7.126874e-06,7.173263e-06,7.275680e-06,7.284310e-06,7.388600e-06,7.412662e-06,7.486470e-06,7.538597e-06,7.578249e-06,7.654227e-06,7.664252e-06,7.744783e-06,7.760257e-06,7.820129e-06,7.857353e-06,7.890568e-06,7.946137e-06,7.956362e-06,8.017762e-06,8.027194e-06,8.075002e-06,8.101067e-06,8.128308e-06,8.168263e-06,8.177891e-06,8.223950e-06,8.229249e-06,8.266673e-06,8.284462e-06,8.306241e-06,8.334305e-06,8.342820e-06,8.376570e-06,8.379152e-06,8.407641e-06,8.419351e-06,8.436174e-06,8.455222e-06,8.462303e-06,8.486154e-06,8.487062e-06,8.507845e-06,8.515147e-06,8.527489e-06,8.539732e-06,8.545191e-06,8.561053e-06,8.575168e-06,8.579330e-06,8.587626e-06,8.594768e-06,8.598510e-06,8.607554e-06,8.607902e-06,8.615877e-06,8.617866e-06,8.622506e-06,8.625865e-06,8.627856e-06,8.631705e-06,8.631993e-06,8.634976e-06,8.635527e-06,8.636864e-06,8.637463e-06,8.637711e-06,8.637636e-06,8.637569e-06,8.636487e-06,8.636162e-06,8.634511e-06,8.633146e-06,8.631687e-06,8.628690e-06,8.628056e-06,8.623659e-06,8.622887e-06,8.618533e-06,8.615825e-06,8.612715e-06,8.607586e-06,8.606240e-06,8.599139e-06,8.598247e-06,8.591446e-06,8.587880e-06,8.583189e-06,8.576554e-06,8.574397e-06,8.565097e-06,8.564332e-06,8.555315e-06,8.551273e-06,8.545076e-06,8.537434e-06,8.534404e-06,8.523321e-06,8.522869e-06,8.511848e-06,8.507627e-06,8.500007e-06,8.491754e-06,8.487816e-06,8.475296e-06,8.458294e-06,8.440788e-06,8.422814e-06,8.404409e-06,8.385606e-06,8.366435e-06,8.346927e-06,8.327110e-06,8.307010e-06,8.286652e-06,8.266061e-06,8.245258e-06,8.224266e-06,8.203105e-06,8.181793e-06,8.160350e-06,8.138791e-06,8.117134e-06,8.095395e-06,8.073587e-06,8.051724e-06,8.029821e-06,8.007889e-06,7.985940e-06
0.000000e+00,7.935654e-15,7.085411e-14,1.839978e-12,1.592673e-11,4.275863e-11,3.592514e-10,3.878431e-10,2.103067e-09,3.168283e-09,8.244461e-09,1.673888e-08,2.586230e-08,6.408707e-08,6.897648e-08,1.626382e-07,1.968000e-07,3.481155e-07,5.146996e-07,6.890565e-07,1.190494e-06,1.278174e-06,2.243695e-06,2.496082e-06,3.754726e-06,4.825107e-06,6.024781e-06,8.706470e-06,9.313006e-06,1.392293e-05,1.480564e-05,2.019880e-05,2.391317e-05,2.851981e-05,3.692158e-05,3.929245e-05,5.294166e-05,5.479344e-05,6.990104e-05,7.852346e-05,9.060264e-05,1.090980e-04,1.154668e-04,1.448924e-04,1.474548e-04,1.792476e-04,1.944452e-04,2.188617e-04,2.508012e-04,2.640180e-04,3.149482e-04,3.171082e-04,3.718276e-04,3.937849e-04,4.347725e-04,4.810703e-04,5.038381e-04,5.790179e-04,6.602452e-04,6.874962e-04,7.473942e-04,8.061957e-04,8.402834e-04,9.346407e-04,9.386788e-04,1.042299e-03,1.072206e-03,1.150819e-03,1.218134e-03,1.263877e-03,1.371559e-03,1.381078e-03,1.502002e-03,1.531529e-03,1.626207e-03,1.697025e-03,1.753236e-03,1.866988e-03,1.882624e-03,2.013898e-03,2.040337e-03,2.146588e-03,2.215991e-03,2.280227e-03,2.392884e-03,2.414359e-03,2.548538e-03,2.569982e-03,2.682334e-03,2.746299e-03,2.815336e-03,2.920903e-03,2.947153e-03,3.077417e-03,3.092927e-03,3.205783e-03,3.261579e-03,3.331931e-03,3.426140e-03,3.455570e-03,3.576430e-03,3.585972e-03,3.694272e-03,3.740515e-03,3.808882e-03,3.889292e-03,3.920070e-03,4.027674e-03,4.031901e-03,4.131554e-03,4.168017e-03,4.231597e-03,4.297386e-03,4.327710e-03,4.419823e-03,4.507886e-03,4.535206e-03,4.591868e-03,4.643468e-03,4.671756e-03,4.744601e-03,4.747554e-03,4.819280e-03,4.838638e-03,4.886967e-03,4.925659e-03,4.950660e-03,5.005780e-03,5.010417e-03,5.066305e-03,5.079150e-03,5.118400e-03,5.145947e-03,5.166786e-03,5.206371e-03,5.211555e-03,5.252805e-03,5.260641e-03,5.290637e-03,5.308994e-03,5.325158e-03,5.351676e-03,5.356477e-03,5.384708e-03,5.388946e-03,5.409965e-03,5.421064e-03,5.432361e-03,5.448297e-03,5.452014e-03,5.469038e-03,5.470910e-03,5.483551e-03,5.489170e-03,5.495665e-03,5.503338e-03,5.505495e-03,5.513154e-03,5.513676e-03,5.518750e-03,5.520435e-03,5.522391e-03,5.523864e-03,5.524186e-03,5.524234e-03,5.524201e-03,5.522639e-03,5.521681e-03,5.519497e-03,5.516524e-03,5.514902e-03,5.508947e-03,5.499152e-03,5.487336e-03,5.473685e-03,5.458374e-03,5.441571e-03,5.423433e-03,5.404109e-03,5.383736e-03,5.362447e-03,5.340364e-03,5.317599e-03,5.294260e-03,5.270445e-03,5.246246e-03,5.221746e-03,5.197026e-03,5.172155e-03,5.147201e-03,5.122224e-03,5.097279e-03,5.072418e-03,5.047685e-03,5.023122e-03,4.998767e-03
0.000000e+00,6.424850e-09,1.793909e-08,7.607544e-08,1.920059e-07,2.924042e-07,7.280909e-07,7.526741e-07,1.587135e-06,1.910940e-06,2.974690e-06,4.163304e-06,5.132657e-06,7.948799e-06,8.232645e-06,1.226239e-05,1.334850e-05,1.703438e-05,1.995165e-05,2.234248e-05,2.734074e-05,2.804195e-05,3.404098e-05,3.527089e-05,4.027655e-05,4.359570e-05,4.669876e-05,5.220495e-05,5.326301e-05,5.992684e-05,6.099952e-05,6.664899e-05,6.988461e-05,7.338980e-05,7.877057e-05,8.011170e-05,8.677970e-05,8.757468e-05,9.336184e-05,9.622347e-05,9.983016e-05,1.046547e-04,1.061602e-04,1.123313e-04,1.128176e-04,1.183265e-04,1.206722e-04,1.241321e-04,1.281886e-04,1.297374e-04,1.351346e-04,1.353461e-04,1.403184e-04,1.421316e-04,1.452854e-04,1.485383e-04,1.500342e-04,1.545649e-04,1.588786e-04,1.602136e-04,1.629779e-04,1.654903e-04,1.668658e-04,1.704030e-04,1.705463e-04,1.740238e-04,1.749618e-04,1.773031e-04,1.791777e-04,1.803894e-04,1.830629e-04,1.832880e-04,1.860046e-04,1.866301e-04,1.885448e-04,1.898925e-04,1.909144e-04,1.928631e-04,1.931191e-04,1.951647e-04,1.955552e-04,1.970569e-04,1.979820e-04,1.988013e-04,2.001564e-04,2.004035e-04,2.018689e-04,2.020911e-04,2.032031e-04,2.037984e-04,2.044112e-04,2.052904e-04,2.054984e-04,2.064698e-04,2.065788e-04,2.073303e-04,2.076750e-04,2.080846e-04,2.085897e-04,2.087373e-04,2.092931e-04,2.093335e-04,2.097563e-04,2.099166e-04,2.101311e-04,2.103486e-04,2.104217e-04,2.106321e-04,2.106389e-04,2.107661e-04,2.107963e-04,2.108274e-04,2.108294e-04,2.108197e-04,2.107464e-04,2.106109e-04,2.105550e-04,2.104165e-04,2.102626e-04,2.101662e-04,2.098763e-04,2.098632e-04,2.095102e-04,2.094028e-04,2.091100e-04,2.088485e-04,2.086655e-04,2.082194e-04,2.081790e-04,2.076532e-04,2.075214e-04,2.070904e-04,2.067599e-04,2.064929e-04,2.059401e-04,2.058628e-04,2.052024e-04,2.050668e-04,2.045135e-04,2.041448e-04,2.037983e-04,2.031783e-04,2.030584e-04,2.022957e-04,2.021716e-04,2.015118e-04,2.011286e-04,2.007085e-04,2.000529e-04,1.998873e-04,1.990496e-04,1.989480e-04,1.981969e-04,1.978173e-04,1.973305e-04,1.966637e-04,1.964517e-04,1.955618e-04,1.954901e-04,1.946619e-04,1.942994e-04,1.937532e-04,1.930940e-04,1.928367e-04,1.919134e-04,1.918763e-04,1.909843e-04,1.906487e-04,1.900504e-04,1.894130e-04,1.891125e-04,1.881714e-04,1.869256e-04,1.856774e-04,1.844284e-04,1.831799e-04,1.819334e-04,1.806902e-04,1.794514e-04,1.782180e-04,1.769912e-04,1.757719e-04,1.745608e-04,1.733587e-04,1.721665e-04,1.709846e-04,1.698137e-04,1.686543e-04,1.675069e-04,1.663720e-04,1.652498e-04,1.641408e-04,1.630452e-04,1.619633e-04,1.608953e-04,1.598414e-04
0.000000e+00,7.538313e-13,5.985098e-12,1.218698e-10,8.459329e-10,2.013181e-09,1.243172e-08,1.325592e-08,5.338531e-08,7.431965e-08,1.592958e-07,2.779562e-07,3.901985e-07,7.873591e-07,8.332072e-07,1.607436e-06,1.858403e-06,2.858601e-06,3.824246e-06,4.736548e-06,7.004392e-06,7.361541e-06,1.079685e-05,1.158206e-05,1.504059e-05,1.754963e-05,2.003596e-05,2.474602e-05,2.569072e-05,3.189684e-05,3.293361e-05,3.854501e-05,4.186274e-05,4.553300e-05,5.130609e-05,5.276915e-05,6.017287e-05,6.106913e-05,6.767359e-05,7.098841e-05,7.520940e-05,8.092633e-05,8.272584e-05,9.017496e-05,9.076669e-05,9.751475e-05,1.004117e-04,1.047087e-04,1.097804e-04,1.117258e-04,1.185397e-04,1.188077e-04,1.251291e-04,1.274429e-04,1.314770e-04,1.356489e-04,1.375706e-04,1.434008e-04,1.489616e-04,1.506836e-04,1.542501e-04,1.574915e-04,1.592658e-04,1.638256e-04,1.640102e-04,1.684866e-04,1.696925e-04,1.726996e-04,1.751035e-04,1.766552e-04,1.800727e-04,1.803600e-04,1.838214e-04,1.846168e-04,1.870472e-04,1.887538e-04,1.900456e-04,1.925028e-04,1.928251e-04,1.953941e-04,1.958834e-04,1.977612e-04,1.989151e-04,1.999348e-04,2.016174e-04,2.019235e-04,2.037354e-04,2.040095e-04,2.053788e-04,2.061100e-04,2.068614e-04,2.079370e-04,2.081910e-04,2.093752e-04,2.095078e-04,2.104210e-04,2.108392e-04,2.113356e-04,2.119471e-04,2.121258e-04,2.127979e-04,2.128468e-04,2.133584e-04,2.135526e-04,2.138132e-04,2.140785e-04,2.141681e-04,2.144288e-04,2.144374e-04,2.146006e-04,2.146416e-04,2.146885e-04,2.147029e-04,2.146975e-04,2.146322e-04,2.144972e-04,2.144400e-04,2.142968e-04,2.141360e-04,2.140349e-04,2.137295e-04,2.137157e-04,2.133427e-04,2.132291e-04,2.129195e-04,2.126429e-04,2.124495e-04,2.119786e-04,2.119360e-04,2.113820e-04,2.112434e-04,2.107905e-04,2.104439e-04,2.101642e-04,2.095864e-04,2.095058e-04,2.088178e-04,2.086769e-04,2.081026e-04,2.077207e-04,2.073625e-04,2.067230e-04,2.065995e-04,2.058159e-04,2.056887e-04,2.050134e-04,2.046221e-04,2.041939e-04,2.035273e-04,2.033593e-04,2.025110e-04,2.024084e-04,2.016507e-04,2.012688e-04,2.007799e-04,2.001118e-04,1.998998e-04,1.990120e-04,1.989406e-04,1.981175e-04,1.977581e-04,1.972175e-04,1.965668e-04,1.963132e-04,1.954056e-04,1.953692e-04,1.944956e-04,1.941676e-04,1.935842e-04,1.929640e-04,1.926722e-04,1.917604e-04,1.905586e-04,1.893601e-04,1.881664e-04,1.869788e-04,1.857987e-04,1.846271e-04,1.834650e-04,1.823134e-04,1.811730e-04,1.800446e-04,1.789289e-04,1.778265e-04,1.767378e-04,1.756634e-04,1.746036e-04,1.735587e-04,1.725292e-04,1.715151e-04,1.705168e-04,1.695343e-04,1.685678e-04,1.676174e-04,1.666832e-04,1.657651e-04
0.000000e+00,1.730066e-15,1.492305e-14,3.604422e-13,2.916986e-12,7.543077e-12,5.742310e-11,6.174173e-11,3.028234e-10,4.437678e-10,1.076613e-09,2.064284e-09,3.071932e-09,6.996586e-09,7.476340e-09,1.613874e-08,1.912793e-08,3.171663e-08,4.474763e-08,5.775984e-08,9.281079e-08,9.866692e-08,1.594779e-07,1.744973e-07,2.455246e-07,3.019854e-07,3.620059e-07,4.867915e-07,5.135649e-07,7.039347e-07,7.381852e-07,9.356877e-07,1.062054e-06,1.210100e-06,1.460353e-06,1.527120e-06,1.885437e-06,1.931105e-06,2.282598e-06,2.468802e-06,2.715177e-06,3.065062e-06,3.178970e-06,3.669184e-06,3.709389e-06,4.180635e-06,4.389957e-06,4.707930e-06,5.094336e-06,5.245628e-06,5.788388e-06,5.810130e-06,6.331086e-06,6.525507e-06,6.868924e-06,7.229613e-06,7.397499e-06,7.912870e-06,8.411587e-06,8.567166e-06,8.890720e-06,9.185952e-06,9.347856e-06,9.764241e-06,9.781092e-06,1.018901e-05,1.029855e-05,1.057066e-05,1.078680e-05,1.092549e-05,1.122812e-05,1.125336e-05,1.155442e-05,1.162273e-05,1.182913e-05,1.197172e-05,1.207820e-05,1.227686e-05,1.230251e-05,1.250310e-05,1.254047e-05,1.268113e-05,1.276520e-05,1.283784e-05,1.295394e-05,1.297452e-05,1.309247e-05,1.310969e-05,1.319300e-05,1.323544e-05,1.327739e-05,1.333414e-05,1.334692e-05,1.340277e-05,1.340861e-05,1.344612e-05,1.346151e-05,1.347804e-05,1.349530e-05,1.349957e-05,1.351167e-05,1.351226e-05,1.351523e-05,1.351446e-05,1.351109e-05,1.350376e-05,1.349999e-05,1.348265e-05,1.348184e-05,1.345970e-05,1.345018e-05,1.343172e-05,1.341010e-05,1.339925e-05,1.336277e-05,1.332272e-05,1.330921e-05,1.327949e-05,1.325033e-05,1.323345e-05,1.318689e-05,1.318491e-05,1.313417e-05,1.311960e-05,1.308149e-05,1.304906e-05,1.302712e-05,1.297579e-05,1.297128e-05,1.291414e-05,1.290026e-05,1.285590e-05,1.282286e-05,1.279671e-05,1.274396e-05,1.273672e-05,1.267606e-05,1.266386e-05,1.261485e-05,1.258283e-05,1.255318e-05,1.250112e-05,1.249118e-05,1.242891e-05,1.241893e-05,1.236647e-05,1.233645e-05,1.230392e-05,1.225386e-05,1.224134e-05,1.217879e-05,1.217128e-05,1.211631e-05,1.208887e-05,1.205397e-05,1.200671e-05,1.199181e-05,1.192988e-05,1.192493e-05,1.186820e-05,1.184361e-05,1.180682e-05,1.176283e-05,1.174577e-05,1.168508e-05,1.168266e-05,1.162478e-05,1.160317e-05,1.156488e-05,1.152440e-05,1.150542e-05,1.144642e-05,1.136925e-05,1.129295e-05,1.121754e-05,1.114305e-05,1.106951e-05,1.099693e-05,1.092533e-05,1.085473e-05,1.078514e-05,1.071656e-05,1.064901e-05,1.058249e-05,1.051701e-05,1.045255e-05,1.038913e-05,1.032674e-05,1.026538e-05,1.020504e-05,1.014572e-05,1.008741e-05,1.003010e-05,9.973793e-06,9.918473e-06,9.864131e-06
0.000000e+00,4.257260e-09,9.935964e-09,3.487456e-08,8.031654e-08,1.179572e-07,2.733495e-07,2.818678e-07,5.615319e-07,6.662809e-07,9.994252e-07,1.354762e-06,1.632980e-06,2.393532e-06,2.467026e-06,3.470422e-06,3.731993e-06,4.604638e-06,5.285505e-06,5.840022e-06,6.993646e-06,7.155062e-06,8.532498e-06,8.814094e-06,9.956848e-06,1.071114e-05,1.141338e-05,1.265135e-05,1.288792e-05,1.436698e-05,1.460320e-05,1.583806e-05,1.653799e-05,1.728992e-05,1.843092e-05,1.871274e-05,2.009829e-05,2.026171e-05,2.143984e-05,2.201478e-05,2.273213e-05,2.367890e-05,2.397129e-05,2.515465e-05,2.524685e-05,2.628060e-05,2.671472e-05,2.734843e-05,2.808128e-05,2.835818e-05,2.931046e-05,2.934737e-05,3.020639e-05,3.051540e-05,3.104742e-05,3.158884e-05,3.183529e-05,3.257191e-05,3.325934e-05,3.346927e-05,3.389969e-05,3.428581e-05,3.449513e-05,3.502650e-05,3.504782e-05,3.555989e-05,3.569628e-05,3.603344e-05,3.629993e-05,3.647050e-05,3.684208e-05,3.687306e-05,3.724302e-05,3.732716e-05,3.758219e-05,3.775933e-05,3.789232e-05,3.814255e-05,3.817509e-05,3.843207e-05,3.848051e-05,3.866479e-05,3.877669e-05,3.887467e-05,3.903431e-05,3.906307e-05,3.923129e-05,3.925641e-05,3.938054e-05,3.944578e-05,3.951197e-05,3.960503e-05,3.962669e-05,3.972572e-05,3.973659e-05,3.981003e-05,3.984270e-05,3.988054e-05,3.992544e-05,3.993813e-05,3.998360e-05,3.998674e-05,4.001775e-05,4.002839e-05,4.004128e-05,4.005204e-05,4.005489e-05,4.005923e-05,4.005922e-05,4.005491e-05,4.005135e-05,4.004251e-05,4.002974e-05,4.002256e-05,3.999559e-05,3.996206e-05,3.995002e-05,3.992244e-05,3.989408e-05,3.987715e-05,3.982871e-05,3.982660e-05,3.977116e-05,3.975481e-05,3.971120e-05,3.967319e-05,3.964705e-05,3.958461e-05,3.957903e-05,3.950744e-05,3.948976e-05,3.943256e-05,3.938929e-05,3.935466e-05,3.928380e-05,3.927398e-05,3.919077e-05,3.917384e-05,3.910524e-05,3.905991e-05,3.901759e-05,3.894249e-05,3.892804e-05,3.883676e-05,3.882201e-05,3.874393e-05,3.869886e-05,3.864970e-05,3.857343e-05,3.855425e-05,3.845770e-05,3.844604e-05,3.836020e-05,3.831703e-05,3.826187e-05,3.818666e-05,3.816284e-05,3.806321e-05,3.805522e-05,3.796310e-05,3.792295e-05,3.786261e-05,3.779007e-05,3.776183e-05,3.766084e-05,3.765680e-05,3.755973e-05,3.752332e-05,3.745858e-05,3.738981e-05,3.735746e-05,3.725644e-05,3.712336e-05,3.699069e-05,3.685857e-05,3.672711e-05,3.659640e-05,3.646656e-05,3.633766e-05,3.620978e-05,3.608300e-05,3.595737e-05,3.583296e-05,3.570982e-05,3.558799e-05,3.546751e-05,3.534843e-05,3.523077e-05,3.511456e-05,3.499983e-05,3.488659e-05,3.477487e-05,3.466468e-05,3.455603e-05,3.444894e-05,3.434339e-05
0.000000e+00,5.146632e-09,1.204640e-08,4.238453e-08,9.744194e-08,1.427113e-07,3.260463e-07,3.359341e-07,6.523574e-07,7.673563e-07,1.124088e-06,1.495565e-06,1.784327e-06,2.582807e-06,2.661365e-06,3.766122e-06,4.064034e-06,5.084389e-06,5.904720e-06,6.585671e-06,8.032105e-06,8.237227e-06,1.001009e-05,1.037695e-05,1.187909e-05,1.288138e-05,1.382161e-05,1.549486e-05,1.581682e-05,1.784535e-05,1.817180e-05,1.988943e-05,2.087131e-05,2.193296e-05,2.355775e-05,2.396169e-05,2.596333e-05,2.620119e-05,2.792747e-05,2.877755e-05,2.984557e-05,3.126826e-05,3.171077e-05,3.351772e-05,3.365963e-05,3.526247e-05,3.594231e-05,3.694228e-05,3.811049e-05,3.855536e-05,4.010078e-05,4.016118e-05,4.157830e-05,4.209363e-05,4.298823e-05,4.390875e-05,4.433134e-05,4.560873e-05,4.682179e-05,4.719664e-05,4.797213e-05,4.867622e-05,4.906148e-05,5.005161e-05,5.009170e-05,5.106474e-05,5.132721e-05,5.198255e-05,5.250757e-05,5.284715e-05,5.359730e-05,5.366053e-05,5.442468e-05,5.460097e-05,5.514158e-05,5.552312e-05,5.581315e-05,5.636816e-05,5.644131e-05,5.702790e-05,5.714039e-05,5.757474e-05,5.784397e-05,5.808358e-05,5.848289e-05,5.855613e-05,5.899405e-05,5.906101e-05,5.939893e-05,5.958200e-05,5.977233e-05,6.004938e-05,6.011573e-05,6.043057e-05,6.046650e-05,6.071824e-05,6.083656e-05,6.098008e-05,6.116259e-05,6.121737e-05,6.143133e-05,6.144748e-05,6.162316e-05,6.169395e-05,6.179399e-05,6.190459e-05,6.194490e-05,6.207696e-05,6.208186e-05,6.219115e-05,6.222808e-05,6.228844e-05,6.234542e-05,6.236975e-05,6.243595e-05,6.248789e-05,6.250163e-05,6.252637e-05,6.254429e-05,6.255216e-05,6.256566e-05,6.256599e-05,6.256857e-05,6.256736e-05,6.256056e-05,6.255094e-05,6.254260e-05,6.251782e-05,6.251531e-05,6.247926e-05,6.246937e-05,6.243502e-05,6.240685e-05,6.238310e-05,6.233146e-05,6.232401e-05,6.225824e-05,6.224432e-05,6.218623e-05,6.214647e-05,6.210842e-05,6.203889e-05,6.202523e-05,6.193705e-05,6.192251e-05,6.184426e-05,6.179818e-05,6.174720e-05,6.166671e-05,6.164621e-05,6.154163e-05,6.152885e-05,6.143374e-05,6.138530e-05,6.132284e-05,6.123672e-05,6.120921e-05,6.109310e-05,6.108371e-05,6.097476e-05,6.092686e-05,6.085443e-05,6.076667e-05,6.073231e-05,6.060863e-05,6.060366e-05,6.048358e-05,6.043827e-05,6.035735e-05,6.027093e-05,6.023011e-05,6.010204e-05,5.993195e-05,5.976102e-05,5.958955e-05,5.941783e-05,5.924613e-05,5.907469e-05,5.890374e-05,5.873348e-05,5.856411e-05,5.839580e-05,5.822871e-05,5.806297e-05,5.789873e-05,5.773610e-05,5.757519e-05,5.741609e-05,5.725888e-05,5.710366e-05,5.695047e-05,5.679938e-05,5.665045e-05,5.650371e-05,5.635921e-05,5.621697e-05
0.000000e+00,3.542435e-09,8.129750e-09,2.804722e-08,6.398298e-08,9.350429e-08,2.133481e-07,2.198303e-07,4.284273e-07,5.048089e-07,7.437081e-07,9.957078e-07,1.193993e-06,1.754534e-06,1.810753e-06,2.624498e-06,2.851776e-06,3.655961e-06,4.329832e-06,4.905486e-06,6.167379e-06,6.349781e-06,7.950775e-06,8.286179e-06,9.668421e-06,1.059595e-05,1.146820e-05,1.302320e-05,1.332263e-05,1.521007e-05,1.551391e-05,1.711312e-05,1.802782e-05,1.901741e-05,2.053347e-05,2.091074e-05,2.278267e-05,2.300542e-05,2.462421e-05,2.542286e-05,2.642776e-05,2.776905e-05,2.818689e-05,2.989636e-05,3.003084e-05,3.155199e-05,3.219841e-05,3.315055e-05,3.426483e-05,3.468969e-05,3.616785e-05,3.622570e-05,3.758413e-05,3.807876e-05,3.893820e-05,3.982351e-05,4.023025e-05,4.146086e-05,4.263095e-05,4.299278e-05,4.374170e-05,4.442208e-05,4.479451e-05,4.575215e-05,4.579094e-05,4.673267e-05,4.698679e-05,4.762145e-05,4.813007e-05,4.845912e-05,4.918621e-05,4.924751e-05,4.998851e-05,5.015950e-05,5.068395e-05,5.105420e-05,5.133570e-05,5.187453e-05,5.194556e-05,5.251532e-05,5.262462e-05,5.304672e-05,5.330845e-05,5.354145e-05,5.392990e-05,5.400117e-05,5.442746e-05,5.449267e-05,5.482188e-05,5.500032e-05,5.518591e-05,5.545623e-05,5.552100e-05,5.582853e-05,5.586365e-05,5.610984e-05,5.622563e-05,5.636620e-05,5.654511e-05,5.659884e-05,5.680896e-05,5.682483e-05,5.699768e-05,5.706742e-05,5.716608e-05,5.727534e-05,5.731521e-05,5.744607e-05,5.745094e-05,5.755960e-05,5.759641e-05,5.765673e-05,5.771384e-05,5.773831e-05,5.780519e-05,5.785817e-05,5.787231e-05,5.789800e-05,5.791693e-05,5.792541e-05,5.794069e-05,5.794110e-05,5.794572e-05,5.794512e-05,5.793992e-05,5.793169e-05,5.792430e-05,5.790174e-05,5.789942e-05,5.786585e-05,5.785655e-05,5.782409e-05,5.779733e-05,5.777466e-05,5.772519e-05,5.771803e-05,5.765465e-05,5.764120e-05,5.758495e-05,5.754634e-05,5.750934e-05,5.744155e-05,5.742822e-05,5.734195e-05,5.732769e-05,5.725089e-05,5.720558e-05,5.715537e-05,5.707597e-05,5.705573e-05,5.695226e-05,5.693960e-05,5.684524e-05,5.679711e-05,5.673497e-05,5.664914e-05,5.662170e-05,5.650567e-05,5.649627e-05,5.638712e-05,5.633905e-05,5.626629e-05,5.617798e-05,5.614337e-05,5.601858e-05,5.601355e-05,5.589210e-05,5.584619e-05,5.576411e-05,5.567631e-05,5.563479e-05,5.550431e-05,5.533054e-05,5.515533e-05,5.497900e-05,5.480183e-05,5.462408e-05,5.444602e-05,5.426786e-05,5.408982e-05,5.391210e-05,5.373488e-05,5.355832e-05,5.338257e-05,5.320779e-05,5.303410e-05,5.286162e-05,5.269046e-05,5.252071e-05,5.235247e-05,5.218582e-05,5.202084e-05,5.185758e-05,5.169612e-05,5.153650e-05,5.137877e-05
0.000000e+00,1.430966e-13,1.130342e-12,2.275229e-11,1.560308e-10,3.685423e-10,2.222929e-09,2.367678e-09,9.236103e-09,1.272310e-08,2.644241e-08,4.477084e-08,6.145837e-08,1.169982e-07,1.231362e-07,2.210097e-07,2.509590e-07,3.646997e-07,4.686544e-07,5.634608e-07,7.907036e-07,8.257963e-07,1.159013e-06,1.234685e-06,1.568596e-06,1.812843e-06,2.057428e-06,2.529055e-06,2.625037e-06,3.267207e-06,3.376397e-06,3.976135e-06,4.337083e-06,4.741153e-06,5.385193e-06,5.549773e-06,6.388769e-06,6.490864e-06,7.245095e-06,7.624183e-06,8.106550e-06,8.757891e-06,8.962175e-06,9.802440e-06,9.868746e-06,1.061929e-05,1.093794e-05,1.140608e-05,1.195094e-05,1.215752e-05,1.286954e-05,1.289715e-05,1.353914e-05,1.376941e-05,1.416434e-05,1.456351e-05,1.474401e-05,1.527776e-05,1.576586e-05,1.591253e-05,1.620910e-05,1.646979e-05,1.660872e-05,1.695276e-05,1.696627e-05,1.728362e-05,1.736554e-05,1.756278e-05,1.771284e-05,1.780592e-05,1.799970e-05,1.801526e-05,1.819305e-05,1.823127e-05,1.834153e-05,1.841271e-05,1.846291e-05,1.854899e-05,1.855931e-05,1.863278e-05,1.864490e-05,1.868528e-05,1.870491e-05,1.871865e-05,1.873316e-05,1.873462e-05,1.873482e-05,1.873350e-05,1.872077e-05,1.870938e-05,1.869386e-05,1.866396e-05,1.865541e-05,1.860660e-05,1.860010e-05,1.854854e-05,1.852033e-05,1.848225e-05,1.842693e-05,1.840864e-05,1.832857e-05,1.832191e-05,1.824281e-05,1.820708e-05,1.815207e-05,1.808401e-05,1.805698e-05,1.795814e-05,1.795412e-05,1.785608e-05,1.781864e-05,1.775127e-05,1.767866e-05,1.764416e-05,1.753514e-05,1.742457e-05,1.738891e-05,1.731278e-05,1.724073e-05,1.720006e-05,1.709122e-05,1.708668e-05,1.697287e-05,1.694096e-05,1.685886e-05,1.679043e-05,1.674483e-05,1.664007e-05,1.663097e-05,1.651742e-05,1.649024e-05,1.640434e-05,1.634126e-05,1.629184e-05,1.619342e-05,1.618004e-05,1.606904e-05,1.604694e-05,1.595893e-05,1.590205e-05,1.584978e-05,1.575890e-05,1.574168e-05,1.563467e-05,1.561765e-05,1.552881e-05,1.547842e-05,1.542415e-05,1.534131e-05,1.532073e-05,1.521858e-05,1.520641e-05,1.511774e-05,1.507379e-05,1.501823e-05,1.494350e-05,1.492006e-05,1.482326e-05,1.481558e-05,1.472784e-05,1.469006e-05,1.463380e-05,1.456696e-05,1.454116e-05,1.444991e-05,1.444629e-05,1.436006e-05,1.432806e-05,1.427161e-05,1.421227e-05,1.418456e-05,1.409890e-05,1.398794e-05,1.387938e-05,1.377319e-05,1.366935e-05,1.356783e-05,1.346860e-05,1.337163e-05,1.327688e-05,1.318432e-05,1.309391e-05,1.300562e-05,1.291940e-05,1.283521e-05,1.275302e-05,1.267278e-05,1.259446e-05,1.251802e-05,1.244341e-05,1.237059e-05,1.229954e-05,1.223020e-05,1.216253e-05,1.209651e-05,1.203209e-05
0.000000e+00,5.316643e-12,3.597210e-11,5.343343e-10,2.839915e-09,5.888355e-09,2.623933e-08,2.763562e-08,8.423117e-08,1.095232e-07,2.004616e-07,3.120933e-07,4.092276e-07,7.197760e-07,7.534532e-07,1.281819e-06,1.440837e-06,2.033252e-06,2.557222e-06,3.019648e-06,4.069150e-06,4.224212e-06,5.614979e-06,5.912494e-06,7.159065e-06,8.013371e-06,8.829559e-06,1.031539e-05,1.060607e-05,1.247285e-05,1.277901e-05,1.441674e-05,1.537362e-05,1.642563e-05,1.807161e-05,1.848771e-05,2.059110e-05,2.084572e-05,2.272386e-05,2.366851e-05,2.487412e-05,2.651287e-05,2.703028e-05,2.918121e-05,2.935274e-05,3.131648e-05,3.216402e-05,3.342648e-05,3.492512e-05,3.550253e-05,3.753694e-05,3.761736e-05,3.952309e-05,4.022518e-05,4.145534e-05,4.273607e-05,4.332903e-05,4.514045e-05,4.688670e-05,4.743137e-05,4.856568e-05,4.960424e-05,5.017596e-05,5.165644e-05,5.171673e-05,5.318770e-05,5.358707e-05,5.458902e-05,5.539660e-05,5.592125e-05,5.708659e-05,5.718523e-05,5.838209e-05,5.865950e-05,5.951318e-05,6.011842e-05,6.058001e-05,6.146697e-05,6.158422e-05,6.252756e-05,6.270909e-05,6.341185e-05,6.384897e-05,6.423897e-05,6.489095e-05,6.501081e-05,6.572930e-05,6.583944e-05,6.639635e-05,6.669883e-05,6.701389e-05,6.747353e-05,6.758379e-05,6.810794e-05,6.816785e-05,6.858816e-05,6.878601e-05,6.902626e-05,6.933214e-05,6.942401e-05,6.978311e-05,6.981022e-05,7.010524e-05,7.022411e-05,7.039203e-05,7.057752e-05,7.064506e-05,7.086586e-05,7.087404e-05,7.105591e-05,7.111709e-05,7.121666e-05,7.130994e-05,7.134949e-05,7.145575e-05,7.153672e-05,7.155750e-05,7.159366e-05,7.161805e-05,7.162777e-05,7.164012e-05,7.164022e-05,7.163211e-05,7.162631e-05,7.160453e-05,7.157907e-05,7.155851e-05,7.150074e-05,7.149505e-05,7.141509e-05,7.139355e-05,7.131956e-05,7.125959e-05,7.120933e-05,7.110085e-05,7.108526e-05,7.094815e-05,7.091923e-05,7.079878e-05,7.071651e-05,7.063790e-05,7.049438e-05,7.046621e-05,7.028441e-05,7.025443e-05,7.009315e-05,6.999817e-05,6.989305e-05,6.972701e-05,6.968472e-05,6.946872e-05,6.944231e-05,6.924560e-05,6.914531e-05,6.901590e-05,6.883722e-05,6.878010e-05,6.853868e-05,6.851914e-05,6.829210e-05,6.819212e-05,6.804080e-05,6.785717e-05,6.778518e-05,6.752565e-05,6.751520e-05,6.726258e-05,6.716708e-05,6.699633e-05,6.681363e-05,6.672723e-05,6.645562e-05,6.609375e-05,6.572871e-05,6.536110e-05,6.499153e-05,6.462053e-05,6.424861e-05,6.387623e-05,6.350385e-05,6.313186e-05,6.276065e-05,6.239056e-05,6.202191e-05,6.165501e-05,6.129012e-05,6.092750e-05,6.056739e-05,6.020999e-05,5.985549e-05,5.950407e-05,5.915590e-05,5.881111e-05,5.846983e-05,5.813219e-05,5.779828e-05
0.000000e+00,1.858610e-13,1.471882e-12,2.980793e-11,2.056770e-10,4.875781e-10,2.971731e-09,3.166691e-09,1.250427e-08,1.728845e-08,3.629248e-08,6.200657e-08,8.566503e-08,1.656967e-07,1.746449e-07,3.195797e-07,3.646703e-07,5.385147e-07,7.004401e-07,8.501755e-07,1.215199e-06,1.272178e-06,1.818703e-06,1.943834e-06,2.498565e-06,2.905924e-06,3.314477e-06,4.103013e-06,4.263561e-06,5.338623e-06,5.521678e-06,6.529552e-06,7.138913e-06,7.824486e-06,8.926739e-06,9.210635e-06,1.067479e-05,1.085510e-05,1.220365e-05,1.289344e-05,1.378401e-05,1.501155e-05,1.540293e-05,1.704791e-05,1.718028e-05,1.870706e-05,1.937215e-05,2.036919e-05,2.156195e-05,2.202400e-05,2.366216e-05,2.372722e-05,2.527535e-05,2.584856e-05,2.685632e-05,2.790978e-05,2.839888e-05,2.989788e-05,3.134912e-05,3.180288e-05,3.274935e-05,3.361756e-05,3.409611e-05,3.533710e-05,3.538769e-05,3.662305e-05,3.695879e-05,3.780169e-05,3.848163e-05,3.892361e-05,3.990602e-05,3.998921e-05,4.099923e-05,4.123348e-05,4.195468e-05,4.246635e-05,4.285679e-05,4.360762e-05,4.370695e-05,4.450670e-05,4.466074e-05,4.525765e-05,4.562942e-05,4.596150e-05,4.651759e-05,4.661997e-05,4.723480e-05,4.732924e-05,4.780775e-05,4.806839e-05,4.834055e-05,4.873903e-05,4.883491e-05,4.929252e-05,4.934504e-05,4.971503e-05,4.989023e-05,5.010404e-05,5.037825e-05,5.046112e-05,5.078777e-05,5.081264e-05,5.108546e-05,5.119674e-05,5.135559e-05,5.153379e-05,5.159953e-05,5.181857e-05,5.182683e-05,5.201399e-05,5.207879e-05,5.218698e-05,5.229239e-05,5.233869e-05,5.247025e-05,5.258270e-05,5.261481e-05,5.267706e-05,5.272841e-05,5.275430e-05,5.281321e-05,5.281535e-05,5.286110e-05,5.287129e-05,5.289239e-05,5.290457e-05,5.291004e-05,5.291487e-05,5.291480e-05,5.290741e-05,5.290391e-05,5.288858e-05,5.287329e-05,5.285898e-05,5.282452e-05,5.281923e-05,5.276996e-05,5.275901e-05,5.271173e-05,5.267809e-05,5.264509e-05,5.258301e-05,5.257058e-05,5.248868e-05,5.247492e-05,5.239987e-05,5.235492e-05,5.230461e-05,5.222404e-05,5.220331e-05,5.209640e-05,5.208321e-05,5.198426e-05,5.193335e-05,5.186725e-05,5.177529e-05,5.174573e-05,5.162002e-05,5.160980e-05,5.149046e-05,5.143762e-05,5.135733e-05,5.125942e-05,5.122091e-05,5.108149e-05,5.107586e-05,5.093932e-05,5.088751e-05,5.079463e-05,5.069493e-05,5.064767e-05,5.049865e-05,5.029914e-05,5.009684e-05,4.989219e-05,4.968555e-05,4.947731e-05,4.926778e-05,4.905729e-05,4.884612e-05,4.863454e-05,4.842280e-05,4.821113e-05,4.799974e-05,4.778883e-05,4.757858e-05,4.736915e-05,4.716071e-05,4.695339e-05,4.674731e-05,4.654261e-05,4.633938e-05,4.613773e-05,4.593774e-05,4.573950e-05,4.554308e-05
0.000000e+00,2.252743e-09,5.598168e-09,2.094130e-08,4.958468e-08,7.352652e-08,1.729761e-07,1.784399e-07,3.580660e-07,4.254444e-07,6.402793e-07,8.708254e-07,1.052649e-06,1.555864e-06,1.604924e-06,2.280290e-06,2.457627e-06,3.051596e-06,3.516735e-06,3.896299e-06,4.687550e-06,4.798416e-06,5.745987e-06,5.940050e-06,6.728914e-06,7.250878e-06,7.737801e-06,8.598635e-06,8.763507e-06,9.797090e-06,9.962611e-06,1.082991e-05,1.132297e-05,1.185382e-05,1.266150e-05,1.286137e-05,1.384594e-05,1.396227e-05,1.480183e-05,1.521208e-05,1.572431e-05,1.640075e-05,1.660970e-05,1.745522e-05,1.752107e-05,1.825896e-05,1.856847e-05,1.901977e-05,1.954069e-05,1.973719e-05,2.041129e-05,2.043736e-05,2.104265e-05,2.125965e-05,2.163224e-05,2.200988e-05,2.218121e-05,2.269096e-05,2.316309e-05,2.330649e-05,2.359926e-05,2.386034e-05,2.400121e-05,2.435654e-05,2.437072e-05,2.470952e-05,2.479912e-05,2.501933e-05,2.519200e-05,2.530182e-05,2.553898e-05,2.555861e-05,2.579127e-05,2.584369e-05,2.600128e-05,2.610952e-05,2.619005e-05,2.633967e-05,2.635893e-05,2.650918e-05,2.653711e-05,2.664201e-05,2.670457e-05,2.675855e-05,2.684462e-05,2.685984e-05,2.694690e-05,2.695957e-05,2.702065e-05,2.705158e-05,2.708196e-05,2.712262e-05,2.713167e-05,2.717053e-05,2.717450e-05,2.719926e-05,2.720888e-05,2.721855e-05,2.722727e-05,2.722901e-05,2.723123e-05,2.723107e-05,2.722577e-05,2.722155e-05,2.721314e-05,2.719989e-05,2.719383e-05,2.716829e-05,2.716714e-05,2.713693e-05,2.712430e-05,2.710016e-05,2.707225e-05,2.705835e-05,2.701184e-05,2.696096e-05,2.694380e-05,2.690601e-05,2.686885e-05,2.684729e-05,2.678761e-05,2.678506e-05,2.671956e-05,2.670068e-05,2.665105e-05,2.660859e-05,2.657974e-05,2.651184e-05,2.650584e-05,2.642954e-05,2.641090e-05,2.635104e-05,2.630617e-05,2.627049e-05,2.619806e-05,2.618807e-05,2.610393e-05,2.608691e-05,2.601821e-05,2.597306e-05,2.593105e-05,2.585682e-05,2.584258e-05,2.575291e-05,2.573846e-05,2.566216e-05,2.561825e-05,2.557043e-05,2.549642e-05,2.547783e-05,2.538446e-05,2.537320e-05,2.529039e-05,2.524880e-05,2.519571e-05,2.512340e-05,2.510051e-05,2.500485e-05,2.499718e-05,2.490882e-05,2.487031e-05,2.481246e-05,2.474293e-05,2.471586e-05,2.461906e-05,2.461518e-05,2.452212e-05,2.448720e-05,2.442510e-05,2.435910e-05,2.432804e-05,2.423099e-05,2.410298e-05,2.397515e-05,2.384760e-05,2.372041e-05,2.359365e-05,2.346739e-05,2.334170e-05,2.321662e-05,2.309223e-05,2.296855e-05,2.284565e-05,2.272356e-05,2.260232e-05,2.248196e-05,2.236252e-05,2.224403e-05,2.212650e-05,2.200997e-05,2.189445e-05,2.177997e-05,2.166654e-05,2.155417e-05,2.144288e-05,2.133268e-05
0.000000e+00,2.307431e-12,1.704053e-11,3.000982e-10,1.836962e-09,4.092272e-09,2.154210e-08,2.282986e-08,7.992750e-08,1.074718e-07,2.124808e-07,3.496700e-07,4.739236e-07,8.903226e-07,9.367624e-07,1.687099e-06,1.919221e-06,2.803125e-06,3.605876e-06,4.328098e-06,6.007368e-06,6.259595e-06,8.560237e-06,9.060078e-06,1.117707e-05,1.264482e-05,1.405671e-05,1.664436e-05,1.715254e-05,2.042575e-05,2.096369e-05,2.384379e-05,2.552739e-05,2.737808e-05,3.027160e-05,3.100249e-05,3.469238e-05,3.513844e-05,3.842424e-05,4.007375e-05,4.217574e-05,4.502706e-05,4.592593e-05,4.965549e-05,4.995243e-05,5.334699e-05,5.480940e-05,5.698496e-05,5.956356e-05,6.055601e-05,6.404874e-05,6.418668e-05,6.745370e-05,6.865646e-05,7.076322e-05,7.295607e-05,7.397133e-05,7.707349e-05,8.006654e-05,8.100091e-05,8.294845e-05,8.473402e-05,8.571816e-05,8.827129e-05,8.837542e-05,9.092069e-05,9.161343e-05,9.335499e-05,9.476289e-05,9.567977e-05,9.772340e-05,9.789686e-05,1.000084e-04,1.004997e-04,1.020167e-04,1.030972e-04,1.039243e-04,1.055218e-04,1.057339e-04,1.074482e-04,1.077798e-04,1.090699e-04,1.098776e-04,1.106019e-04,1.118215e-04,1.120470e-04,1.134082e-04,1.136183e-04,1.146880e-04,1.152743e-04,1.158895e-04,1.167960e-04,1.170152e-04,1.180679e-04,1.181895e-04,1.190503e-04,1.194609e-04,1.199649e-04,1.206163e-04,1.208144e-04,1.216010e-04,1.216613e-04,1.223274e-04,1.226015e-04,1.229957e-04,1.234423e-04,1.236084e-04,1.241676e-04,1.241889e-04,1.246755e-04,1.248462e-04,1.251341e-04,1.254189e-04,1.255456e-04,1.259118e-04,1.262348e-04,1.263293e-04,1.265162e-04,1.266754e-04,1.267579e-04,1.269543e-04,1.269617e-04,1.271291e-04,1.271697e-04,1.272619e-04,1.273255e-04,1.273615e-04,1.274251e-04,1.274294e-04,1.274671e-04,1.274718e-04,1.274760e-04,1.274689e-04,1.274574e-04,1.274193e-04,1.274126e-04,1.273429e-04,1.273261e-04,1.272495e-04,1.271919e-04,1.271335e-04,1.270194e-04,1.269960e-04,1.268382e-04,1.268111e-04,1.266610e-04,1.265693e-04,1.264654e-04,1.262964e-04,1.262524e-04,1.260230e-04,1.259944e-04,1.257779e-04,1.256653e-04,1.255181e-04,1.253112e-04,1.252443e-04,1.249573e-04,1.249338e-04,1.246580e-04,1.245349e-04,1.243469e-04,1.241161e-04,1.240249e-04,1.236925e-04,1.236790e-04,1.233504e-04,1.232250e-04,1.229993e-04,1.227556e-04,1.226396e-04,1.222720e-04,1.217756e-04,1.212674e-04,1.207486e-04,1.202203e-04,1.196834e-04,1.191389e-04,1.185877e-04,1.180306e-04,1.174684e-04,1.169019e-04,1.163316e-04,1.157584e-04,1.151828e-04,1.146053e-04,1.140266e-04,1.134471e-04,1.128673e-04,1.122877e-04,1.117087e-04,1.111306e-04,1.105539e-04,1.099789e-04,1.094059e-04,1.088352e-04
0.000000e+00,6.189904e-10,1.812739e-09,8.038420e-09,2.054282e-08,3.128908e-08,7.662928e-08,7.912586e-08,1.605744e-07,1.907241e-07,2.855535e-07,3.860405e-07,4.652597e-07,6.894328e-07,7.119182e-07,1.037187e-06,1.127932e-06,1.448525e-06,1.716461e-06,1.944768e-06,2.443311e-06,2.515160e-06,3.143738e-06,3.275005e-06,3.814721e-06,4.175928e-06,4.515022e-06,5.118325e-06,5.234334e-06,5.964424e-06,6.081767e-06,6.698461e-06,7.050453e-06,7.430596e-06,8.011486e-06,8.155730e-06,8.869406e-06,8.954087e-06,9.567766e-06,9.869326e-06,1.024753e-05,1.075001e-05,1.090597e-05,1.154089e-05,1.159061e-05,1.215060e-05,1.238713e-05,1.273386e-05,1.313695e-05,1.328984e-05,1.381807e-05,1.383862e-05,1.431839e-05,1.449170e-05,1.479094e-05,1.509657e-05,1.523605e-05,1.565418e-05,1.604599e-05,1.616592e-05,1.641220e-05,1.663352e-05,1.675363e-05,1.705888e-05,1.707113e-05,1.736562e-05,1.744408e-05,1.763803e-05,1.779126e-05,1.788929e-05,1.810260e-05,1.812036e-05,1.833219e-05,1.838027e-05,1.852575e-05,1.862651e-05,1.870197e-05,1.884341e-05,1.886174e-05,1.900586e-05,1.903288e-05,1.913518e-05,1.919683e-05,1.925047e-05,1.933704e-05,1.935251e-05,1.944200e-05,1.945520e-05,1.951964e-05,1.955289e-05,1.958609e-05,1.963164e-05,1.964201e-05,1.968798e-05,1.969286e-05,1.972459e-05,1.973787e-05,1.975238e-05,1.976793e-05,1.977188e-05,1.978357e-05,1.978419e-05,1.978795e-05,1.978775e-05,1.978545e-05,1.977963e-05,1.977650e-05,1.976151e-05,1.976079e-05,1.974086e-05,1.973212e-05,1.971492e-05,1.969444e-05,1.968404e-05,1.964853e-05,1.960872e-05,1.959511e-05,1.956489e-05,1.953486e-05,1.951733e-05,1.946840e-05,1.946630e-05,1.941205e-05,1.939631e-05,1.935481e-05,1.931913e-05,1.929482e-05,1.923737e-05,1.923228e-05,1.916739e-05,1.915148e-05,1.910034e-05,1.906191e-05,1.903130e-05,1.896905e-05,1.896046e-05,1.888797e-05,1.887329e-05,1.881398e-05,1.877495e-05,1.873862e-05,1.867437e-05,1.866204e-05,1.858437e-05,1.857185e-05,1.850571e-05,1.846764e-05,1.842619e-05,1.836202e-05,1.834591e-05,1.826497e-05,1.825522e-05,1.818346e-05,1.814744e-05,1.810148e-05,1.803890e-05,1.801910e-05,1.793640e-05,1.792977e-05,1.785346e-05,1.782023e-05,1.777035e-05,1.771044e-05,1.768713e-05,1.760386e-05,1.760053e-05,1.752061e-05,1.749065e-05,1.743742e-05,1.738091e-05,1.735434e-05,1.727142e-05,1.716229e-05,1.705362e-05,1.694547e-05,1.683795e-05,1.673110e-05,1.662501e-05,1.651972e-05,1.641529e-05,1.631177e-05,1.620919e-05,1.610761e-05,1.600704e-05,1.590753e-05,1.580909e-05,1.571175e-05,1.561553e-05,1.552045e-05,1.542652e-05,1.533374e-05,1.524214e-05,1.515172e-05,1.506248e-05,1.497443e-05,1.488757e-05
0.000000e+00,6.286297e-15,5.625182e-14,1.467748e-12,1.276058e-11,3.434092e-11,2.902851e-10,3.134632e-10,1.709265e-09,2.578632e-09,6.731802e-09,1.369841e-08,2.119117e-08,5.262278e-08,5.664501e-08,1.336919e-07,1.617828e-07,2.861161e-07,4.228413e-07,5.658145e-07,9.765399e-07,1.048318e-06,1.838588e-06,2.045222e-06,3.076690e-06,3.955606e-06,4.942909e-06,7.158972e-06,7.661970e-06,1.150609e-05,1.224633e-05,1.679666e-05,1.995694e-05,2.390452e-05,3.117931e-05,3.324874e-05,4.529401e-05,4.694460e-05,6.054675e-05,6.841282e-05,7.954994e-05,9.685250e-05,1.028769e-04,1.311244e-04,1.336150e-04,1.649044e-04,1.801043e-04,2.048364e-04,2.377438e-04,2.515381e-04,3.056168e-04,3.079418e-04,3.676609e-04,3.920556e-04,4.382308e-04,4.913579e-04,5.178514e-04,6.070038e-04,7.061186e-04,7.400022e-04,8.155699e-04,8.911901e-04,9.356696e-04,1.061212e-03,1.066664e-03,1.208728e-03,1.250505e-03,1.361966e-03,1.459288e-03,1.526408e-03,1.687555e-03,1.702012e-03,1.888660e-03,1.935080e-03,2.086165e-03,2.201417e-03,2.294269e-03,2.485912e-03,2.512648e-03,2.740915e-03,2.787718e-03,2.978627e-03,3.105807e-03,3.225286e-03,3.438994e-03,3.480344e-03,3.743213e-03,3.785956e-03,4.013267e-03,4.145253e-03,4.289848e-03,4.515354e-03,4.572273e-03,4.859840e-03,4.894659e-03,5.151831e-03,5.281522e-03,5.447521e-03,5.674271e-03,5.746182e-03,6.047085e-03,6.071233e-03,6.349511e-03,6.470748e-03,6.652748e-03,6.871190e-03,6.956101e-03,7.258892e-03,7.270982e-03,7.560465e-03,7.668611e-03,7.860189e-03,8.062635e-03,8.157459e-03,8.451698e-03,8.742364e-03,8.834538e-03,9.028942e-03,9.209985e-03,9.310955e-03,9.576976e-03,9.587954e-03,9.859530e-03,9.934548e-03,1.012531e-02,1.028184e-02,1.038494e-02,1.061811e-02,1.063813e-02,1.088459e-02,1.094271e-02,1.112408e-02,1.125508e-02,1.135641e-02,1.155478e-02,1.158139e-02,1.179887e-02,1.184145e-02,1.200874e-02,1.211483e-02,1.221090e-02,1.237472e-02,1.240530e-02,1.259189e-02,1.262102e-02,1.277067e-02,1.285371e-02,1.294163e-02,1.307280e-02,1.310481e-02,1.326026e-02,1.327840e-02,1.340803e-02,1.347065e-02,1.354822e-02,1.364975e-02,1.368092e-02,1.380623e-02,1.381594e-02,1.392428e-02,1.396950e-02,1.403521e-02,1.411075e-02,1.413916e-02,1.423628e-02,1.424003e-02,1.432673e-02,1.435769e-02,1.441068e-02,1.446414e-02,1.448829e-02,1.455976e-02,1.464496e-02,1.472018e-02,1.478582e-02,1.484233e-02,1.489013e-02,1.492964e-02,1.496129e-02,1.498550e-02,1.500266e-02,1.501319e-02,1.501746e-02,1.501586e-02,1.500876e-02,1.499651e-02,1.497945e-02,1.495792e-02,1.493223e-02,1.490268e-02,1.486956e-02,1.483316e-02,1.479373e-02,1.475153e-02,1.470679e-02,1.465975e-02
0.000000e+00,3.370530e-09,7.766629e-09,2.683465e-08,6.106636e-08,8.903144e-08,2.013290e-07,2.073525e-07,3.988318e-07,4.679189e-07,6.809722e-07,9.013556e-07,1.072017e-06,1.543089e-06,1.589483e-06,2.245443e-06,2.423833e-06,3.040502e-06,3.542621e-06,3.963436e-06,4.868133e-06,4.997528e-06,6.126173e-06,6.361916e-06,7.334580e-06,7.990018e-06,8.609444e-06,9.722540e-06,9.938279e-06,1.130902e-05,1.153143e-05,1.270985e-05,1.338956e-05,1.412930e-05,1.527081e-05,1.555631e-05,1.698048e-05,1.715073e-05,1.839221e-05,1.900714e-05,1.978276e-05,2.082066e-05,2.114446e-05,2.247066e-05,2.257504e-05,2.375578e-05,2.425728e-05,2.499529e-05,2.585745e-05,2.618562e-05,2.732412e-05,2.736855e-05,2.840895e-05,2.878611e-05,2.943899e-05,3.010785e-05,3.041376e-05,3.133332e-05,3.219817e-05,3.246350e-05,3.300920e-05,3.350054e-05,3.376758e-05,3.444741e-05,3.447474e-05,3.513227e-05,3.530772e-05,3.574192e-05,3.608548e-05,3.630551e-05,3.678497e-05,3.682494e-05,3.730213e-05,3.741059e-05,3.773901e-05,3.796676e-05,3.813748e-05,3.845788e-05,3.849945e-05,3.882675e-05,3.888821e-05,3.912120e-05,3.926191e-05,3.938453e-05,3.958293e-05,3.961845e-05,3.982458e-05,3.985508e-05,4.000447e-05,4.008195e-05,4.015964e-05,4.026693e-05,4.029151e-05,4.040146e-05,4.041324e-05,4.049078e-05,4.052388e-05,4.056074e-05,4.060168e-05,4.061251e-05,4.064721e-05,4.064928e-05,4.066592e-05,4.066916e-05,4.066965e-05,4.066360e-05,4.065936e-05,4.063597e-05,4.063477e-05,4.060033e-05,4.058466e-05,4.055326e-05,4.051513e-05,4.049555e-05,4.042792e-05,4.035105e-05,4.032462e-05,4.026562e-05,4.020673e-05,4.017223e-05,4.007564e-05,4.007147e-05,3.996389e-05,3.993262e-05,3.985001e-05,3.977887e-05,3.973033e-05,3.961548e-05,3.960530e-05,3.947536e-05,3.944349e-05,3.934092e-05,3.926382e-05,3.920238e-05,3.907736e-05,3.906010e-05,3.891441e-05,3.888490e-05,3.876566e-05,3.868720e-05,3.861414e-05,3.848494e-05,3.846015e-05,3.830394e-05,3.827876e-05,3.814578e-05,3.806924e-05,3.798591e-05,3.785693e-05,3.782455e-05,3.766191e-05,3.764232e-05,3.749819e-05,3.742586e-05,3.733357e-05,3.720798e-05,3.716824e-05,3.700235e-05,3.698906e-05,3.683606e-05,3.676947e-05,3.666952e-05,3.654952e-05,3.650284e-05,3.633617e-05,3.632951e-05,3.616963e-05,3.610972e-05,3.600331e-05,3.589039e-05,3.583732e-05,3.567176e-05,3.545403e-05,3.523739e-05,3.502202e-05,3.480806e-05,3.459565e-05,3.438493e-05,3.417601e-05,3.396900e-05,3.376397e-05,3.356101e-05,3.336021e-05,3.316160e-05,3.296527e-05,3.277124e-05,3.257956e-05,3.239027e-05,3.220339e-05,3.201895e-05,3.183697e-05,3.165745e-05,3.148042e-05,3.130587e-05,3.113381e-05,3.096423e-05
0.000000e+00,1.491352e-10,6.298410e-10,4.298917e-09,1.352350e-08,2.223634e-08,6.205293e-08,6.432408e-08,1.403183e-07,1.689567e-07,2.596157e-07,3.558423e-07,4.314935e-07,6.438579e-07,6.650057e-07,9.679477e-07,1.051578e-06,1.344759e-06,1.588109e-06,1.795157e-06,2.249332e-06,2.315250e-06,2.899649e-06,3.023744e-06,3.542627e-06,3.898193e-06,4.238344e-06,4.859100e-06,4.980771e-06,5.763631e-06,5.892209e-06,6.580423e-06,6.982592e-06,7.424523e-06,8.115014e-06,8.289313e-06,9.168325e-06,9.274464e-06,1.005537e-05,1.044671e-05,1.094465e-05,1.161871e-05,1.183085e-05,1.270919e-05,1.277899e-05,1.357547e-05,1.391776e-05,1.442601e-05,1.502687e-05,1.525768e-05,1.606793e-05,1.609987e-05,1.685465e-05,1.713178e-05,1.761619e-05,1.811902e-05,1.835133e-05,1.905919e-05,1.973919e-05,1.995086e-05,2.039106e-05,2.079345e-05,2.101473e-05,2.158705e-05,2.161034e-05,2.217819e-05,2.233228e-05,2.271874e-05,2.303017e-05,2.323251e-05,2.368207e-05,2.372014e-05,2.418232e-05,2.428955e-05,2.461981e-05,2.485431e-05,2.503338e-05,2.537818e-05,2.542384e-05,2.579201e-05,2.586305e-05,2.613872e-05,2.631081e-05,2.646480e-05,2.672337e-05,2.677108e-05,2.705835e-05,2.710261e-05,2.732744e-05,2.745036e-05,2.757911e-05,2.776843e-05,2.781414e-05,2.803327e-05,2.805853e-05,2.823722e-05,2.832234e-05,2.842671e-05,2.856146e-05,2.860241e-05,2.876497e-05,2.877743e-05,2.891504e-05,2.897171e-05,2.905323e-05,2.914569e-05,2.918011e-05,2.929627e-05,2.930071e-05,2.940225e-05,2.943801e-05,2.949857e-05,2.955880e-05,2.958572e-05,2.966420e-05,2.973447e-05,2.975529e-05,2.979696e-05,2.983307e-05,2.985210e-05,2.989849e-05,2.990029e-05,2.994192e-05,2.995245e-05,2.997736e-05,2.999580e-05,3.000697e-05,3.002934e-05,3.003107e-05,3.005000e-05,3.005381e-05,3.006406e-05,3.006991e-05,3.007354e-05,3.007832e-05,3.007872e-05,3.007988e-05,3.007964e-05,3.007725e-05,3.007447e-05,3.007109e-05,3.006335e-05,3.006162e-05,3.004906e-05,3.004678e-05,3.003363e-05,3.002526e-05,3.001552e-05,2.999922e-05,2.999491e-05,2.997198e-05,2.996909e-05,2.994692e-05,2.993525e-05,2.991987e-05,2.989808e-05,2.989099e-05,2.986042e-05,2.985791e-05,2.982831e-05,2.981506e-05,2.979478e-05,2.976983e-05,2.975996e-05,2.972396e-05,2.972250e-05,2.968690e-05,2.967331e-05,2.964887e-05,2.962252e-05,2.960998e-05,2.957033e-05,2.951695e-05,2.946259e-05,2.940740e-05,2.935156e-05,2.929521e-05,2.923849e-05,2.918154e-05,2.912446e-05,2.906736e-05,2.901035e-05,2.895352e-05,2.889694e-05,2.884070e-05,2.878486e-05,2.872948e-05,2.867462e-05,2.862033e-05,2.856666e-05,2.851364e-05,2.846131e-05,2.840971e-05,2.835885e-05,2.830877e-05,2.825949e-05
0.000000e+00,1.004655e-09,2.299845e-09,7.893859e-09,1.794367e-08,2.619041e-08,5.976618e-08,6.158963e-08,1.207552e-07,1.426346e-07,2.114536e-07,2.838155e-07,3.398977e-07,4.917633e-07,5.063900e-07,7.065473e-07,7.590521e-07,9.357248e-07,1.075419e-06,1.190487e-06,1.433753e-06,1.468215e-06,1.766562e-06,1.828498e-06,2.083137e-06,2.254114e-06,2.415364e-06,2.704495e-06,2.760453e-06,3.115439e-06,3.172951e-06,3.477247e-06,3.652426e-06,3.842777e-06,4.135841e-06,4.209000e-06,4.573031e-06,4.616437e-06,4.932192e-06,5.088048e-06,5.284069e-06,5.545308e-06,5.626541e-06,5.957800e-06,5.983770e-06,6.276355e-06,6.399945e-06,6.581024e-06,6.791278e-06,6.870919e-06,7.145423e-06,7.156077e-06,7.404160e-06,7.493409e-06,7.646970e-06,7.802990e-06,7.873878e-06,8.085063e-06,8.280831e-06,8.340286e-06,8.461594e-06,8.569630e-06,8.627840e-06,8.774288e-06,8.780119e-06,8.919023e-06,8.955604e-06,9.045172e-06,9.115003e-06,9.159202e-06,9.253954e-06,9.261751e-06,9.353457e-06,9.373922e-06,9.434946e-06,9.476346e-06,9.506831e-06,9.562615e-06,9.569703e-06,9.624136e-06,9.634058e-06,9.670676e-06,9.691933e-06,9.709847e-06,9.737419e-06,9.742145e-06,9.768043e-06,9.771623e-06,9.787986e-06,9.795569e-06,9.802397e-06,9.810209e-06,9.811671e-06,9.816181e-06,9.816420e-06,9.816280e-06,9.815010e-06,9.812294e-06,9.806725e-06,9.804533e-06,9.793286e-06,9.792244e-06,9.778822e-06,9.772193e-06,9.761394e-06,9.747144e-06,9.741238e-06,9.718576e-06,9.717620e-06,9.693611e-06,9.684098e-06,9.666538e-06,9.647016e-06,9.637536e-06,9.606771e-06,9.574401e-06,9.563727e-06,9.540570e-06,9.518215e-06,9.505415e-06,9.470537e-06,9.469062e-06,9.431629e-06,9.420969e-06,9.393226e-06,9.369762e-06,9.353956e-06,9.317143e-06,9.313914e-06,9.273188e-06,9.263322e-06,9.231862e-06,9.208486e-06,9.190013e-06,9.152809e-06,9.147712e-06,9.105025e-06,9.096447e-06,9.062016e-06,9.039543e-06,9.018742e-06,8.982226e-06,8.975256e-06,8.931609e-06,8.924614e-06,8.887846e-06,8.866812e-06,8.844011e-06,8.808918e-06,8.800144e-06,8.756281e-06,8.751020e-06,8.712458e-06,8.693196e-06,8.668704e-06,8.635518e-06,8.625052e-06,8.581526e-06,8.578050e-06,8.538153e-06,8.520852e-06,8.494956e-06,8.463976e-06,8.451957e-06,8.409174e-06,8.407468e-06,8.366627e-06,8.351371e-06,8.324331e-06,8.295722e-06,8.282303e-06,8.240556e-06,8.185902e-06,8.131787e-06,8.078234e-06,8.025264e-06,7.972893e-06,7.921139e-06,7.870013e-06,7.819527e-06,7.769690e-06,7.720510e-06,7.671993e-06,7.624143e-06,7.576964e-06,7.530458e-06,7.484626e-06,7.439467e-06,7.394982e-06,7.351168e-06,7.308022e-06,7.265543e-06,7.223725e-06,7.182566e-06,7.142059e-06,7.102201e-06
0.000000e+00,4.045054e-15,3.391185e-14,7.717982e-13,5.911624e-12,1.482744e-11,1.041891e-10,1.116558e-10,5.046894e-10,7.230501e-10,1.655732e-09,3.026600e-09,4.363455e-09,9.242768e-09,9.814673e-09,1.959406e-08,2.279534e-08,3.565847e-08,4.823653e-08,6.028109e-08,9.100923e-08,9.596013e-08,1.452799e-07,1.570034e-07,2.107233e-07,2.518643e-07,2.944595e-07,3.801675e-07,3.981486e-07,5.228028e-07,5.447232e-07,6.687231e-07,7.462267e-07,8.355110e-07,9.832926e-07,1.022137e-06,1.227047e-06,1.252775e-06,1.448282e-06,1.550227e-06,1.683597e-06,1.870364e-06,1.930565e-06,2.186672e-06,2.207480e-06,2.449394e-06,2.555777e-06,2.716254e-06,2.909616e-06,2.984875e-06,3.253018e-06,3.263704e-06,3.518610e-06,3.613230e-06,3.779767e-06,3.953958e-06,4.034815e-06,4.282291e-06,4.520958e-06,4.595299e-06,4.749797e-06,4.890716e-06,4.968004e-06,5.166925e-06,5.174983e-06,5.370328e-06,5.422906e-06,5.553815e-06,5.658179e-06,5.725373e-06,5.872734e-06,5.885078e-06,6.033122e-06,6.066948e-06,6.169800e-06,6.241514e-06,6.295491e-06,6.397360e-06,6.410636e-06,6.515727e-06,6.535584e-06,6.611287e-06,6.657392e-06,6.697861e-06,6.764044e-06,6.776003e-06,6.846267e-06,6.856815e-06,6.909199e-06,6.936957e-06,6.965327e-06,7.005678e-06,7.015166e-06,7.059203e-06,7.064119e-06,7.097901e-06,7.113351e-06,7.131697e-06,7.154355e-06,7.160998e-06,7.186182e-06,7.188030e-06,7.207602e-06,7.215189e-06,7.225582e-06,7.236567e-06,7.240422e-06,7.252396e-06,7.252819e-06,7.261756e-06,7.264531e-06,7.268731e-06,7.272220e-06,7.273531e-06,7.276345e-06,7.277347e-06,7.277311e-06,7.276694e-06,7.275475e-06,7.274531e-06,7.271155e-06,7.270988e-06,7.266184e-06,7.264628e-06,7.260228e-06,7.256142e-06,7.253217e-06,7.245914e-06,7.245242e-06,7.236385e-06,7.234137e-06,7.226721e-06,7.220983e-06,7.216319e-06,7.206604e-06,7.205241e-06,7.193546e-06,7.191138e-06,7.181287e-06,7.174705e-06,7.168512e-06,7.157416e-06,7.155267e-06,7.141594e-06,7.139369e-06,7.127530e-06,7.120651e-06,7.113112e-06,7.101344e-06,7.098372e-06,7.083342e-06,7.081521e-06,7.068051e-06,7.061247e-06,7.052525e-06,7.040583e-06,7.036788e-06,7.020865e-06,7.019584e-06,7.004777e-06,6.998300e-06,6.988544e-06,6.976777e-06,6.972184e-06,6.955717e-06,6.955056e-06,6.939157e-06,6.933177e-06,6.922522e-06,6.911174e-06,6.905825e-06,6.889081e-06,6.866928e-06,6.844742e-06,6.822549e-06,6.800373e-06,6.778234e-06,6.756153e-06,6.734148e-06,6.712237e-06,6.690433e-06,6.668752e-06,6.647208e-06,6.625811e-06,6.604572e-06,6.583503e-06,6.562612e-06,6.541907e-06,6.521396e-06,6.501086e-06,6.480982e-06,6.461091e-06,6.441416e-06,6.421963e-06,6.402735e-06,6.383736e-06
0.000000e+00,4.553758e-15,3.937706e-14,9.558466e-13,7.770392e-12,2.014363e-11,1.543209e-10,1.659687e-10,8.188169e-10,1.201695e-09,2.925296e-09,5.621956e-09,8.376847e-09,1.911780e-08,2.043114e-08,4.413878e-08,5.231600e-08,8.673921e-08,1.223688e-07,1.579678e-07,2.540807e-07,2.701793e-07,4.381860e-07,4.799328e-07,6.787678e-07,8.384960e-07,1.009895e-06,1.371354e-06,1.449780e-06,2.015901e-06,2.119284e-06,2.724104e-06,3.118573e-06,3.587872e-06,4.398123e-06,4.617806e-06,5.821300e-06,5.977611e-06,7.202416e-06,7.866685e-06,8.761893e-06,1.006499e-05,1.049729e-05,1.240321e-05,1.256283e-05,1.447156e-05,1.534210e-05,1.669185e-05,1.837759e-05,1.905157e-05,2.153646e-05,2.163824e-05,2.413088e-05,2.508849e-05,2.681812e-05,2.868959e-05,2.958075e-05,3.240087e-05,3.526047e-05,3.618094e-05,3.814164e-05,3.998880e-05,4.102687e-05,4.378482e-05,4.389926e-05,4.674273e-05,4.753163e-05,4.954215e-05,5.119481e-05,5.228357e-05,5.474346e-05,5.495423e-05,5.754273e-05,5.815060e-05,6.003901e-05,6.139337e-05,6.243443e-05,6.445318e-05,6.472174e-05,6.689504e-05,6.731560e-05,6.894978e-05,6.997024e-05,7.088265e-05,7.241051e-05,7.269155e-05,7.437547e-05,7.463328e-05,7.593440e-05,7.663852e-05,7.736925e-05,7.842894e-05,7.868175e-05,7.987433e-05,8.000952e-05,8.095002e-05,8.138720e-05,8.191238e-05,8.257042e-05,8.276540e-05,8.351339e-05,8.356882e-05,8.416093e-05,8.439288e-05,8.471279e-05,8.505363e-05,8.517387e-05,8.554912e-05,8.556241e-05,8.584353e-05,8.593068e-05,8.606205e-05,8.616978e-05,8.620956e-05,8.629084e-05,8.631057e-05,8.630462e-05,8.627325e-05,8.622145e-05,8.618324e-05,8.605113e-05,8.604471e-05,8.586166e-05,8.580295e-05,8.563788e-05,8.548558e-05,8.537699e-05,8.510713e-05,8.508240e-05,8.475732e-05,8.467510e-05,8.440478e-05,8.419643e-05,8.402762e-05,8.367747e-05,8.362850e-05,8.320990e-05,8.312405e-05,8.277413e-05,8.254147e-05,8.232335e-05,8.193455e-05,8.185954e-05,8.138456e-05,8.130764e-05,8.090012e-05,8.066469e-05,8.040779e-05,8.000922e-05,7.990902e-05,7.940515e-05,7.934440e-05,7.889741e-05,7.867307e-05,7.838692e-05,7.799774e-05,7.787471e-05,7.736171e-05,7.732066e-05,7.684879e-05,7.664382e-05,7.633672e-05,7.596896e-05,7.582621e-05,7.531790e-05,7.529762e-05,7.481236e-05,7.463114e-05,7.431011e-05,7.397070e-05,7.381162e-05,7.331731e-05,7.267184e-05,7.203503e-05,7.140752e-05,7.078983e-05,7.018242e-05,6.958562e-05,6.899974e-05,6.842499e-05,6.786153e-05,6.730947e-05,6.676889e-05,6.623981e-05,6.572223e-05,6.521610e-05,6.472137e-05,6.423794e-05,6.376570e-05,6.330453e-05,6.285429e-05,6.241483e-05,6.198599e-05,6.156757e-05,6.115942e-05,6.076135e-05
0.000000e+00,1.467774e-14,1.229692e-13,2.797415e-12,2.145393e-11,5.389706e-11,3.818693e-10,4.094362e-10,1.881757e-09,2.713069e-09,6.338571e-09,1.183329e-08,1.734034e-08,3.838181e-08,4.092872e-08,8.645604e-08,1.020242e-07,1.669868e-07,2.332957e-07,2.986072e-07,4.703444e-07,4.984783e-07,7.822627e-07,8.502207e-07,1.161848e-06,1.399555e-06,1.643988e-06,2.129350e-06,2.229995e-06,2.916279e-06,3.034935e-06,3.695364e-06,4.099369e-06,4.557060e-06,5.297997e-06,5.489566e-06,6.480377e-06,6.602594e-06,7.516960e-06,7.984416e-06,8.587216e-06,9.416099e-06,9.679767e-06,1.078412e-05,1.087269e-05,1.189076e-05,1.233212e-05,1.299117e-05,1.377533e-05,1.407781e-05,1.514414e-05,1.518629e-05,1.618455e-05,1.655182e-05,1.719433e-05,1.786148e-05,1.816962e-05,1.910735e-05,2.000520e-05,2.028381e-05,2.086152e-05,2.138726e-05,2.167525e-05,2.241588e-05,2.244587e-05,2.317333e-05,2.336932e-05,2.385797e-05,2.424847e-05,2.450047e-05,2.505517e-05,2.510179e-05,2.566308e-05,2.579199e-05,2.618570e-05,2.646201e-05,2.667110e-05,2.706870e-05,2.712084e-05,2.753652e-05,2.761571e-05,2.791976e-05,2.810678e-05,2.827221e-05,2.854566e-05,2.859549e-05,2.889117e-05,2.893603e-05,2.916082e-05,2.928145e-05,2.940593e-05,2.958532e-05,2.962795e-05,2.982825e-05,2.985089e-05,3.000816e-05,3.008118e-05,3.016893e-05,3.027906e-05,3.031176e-05,3.043778e-05,3.044717e-05,3.054805e-05,3.058798e-05,3.064358e-05,3.070378e-05,3.072533e-05,3.079418e-05,3.079668e-05,3.085098e-05,3.086863e-05,3.089651e-05,3.092142e-05,3.093152e-05,3.095670e-05,3.097271e-05,3.097600e-05,3.098016e-05,3.098070e-05,3.097962e-05,3.097209e-05,3.097163e-05,3.095670e-05,3.095134e-05,3.093530e-05,3.091955e-05,3.090788e-05,3.087769e-05,3.087485e-05,3.083660e-05,3.082669e-05,3.079350e-05,3.076738e-05,3.074590e-05,3.070053e-05,3.069410e-05,3.063843e-05,3.062685e-05,3.057915e-05,3.054699e-05,3.051654e-05,3.046155e-05,3.045085e-05,3.038230e-05,3.037108e-05,3.031113e-05,3.027609e-05,3.023753e-05,3.017704e-05,3.016171e-05,3.008384e-05,3.007436e-05,3.000409e-05,2.996845e-05,2.992264e-05,2.985968e-05,2.983962e-05,2.975518e-05,2.974837e-05,2.966945e-05,2.963483e-05,2.958257e-05,2.951936e-05,2.949465e-05,2.940579e-05,2.940222e-05,2.931611e-05,2.928364e-05,2.922570e-05,2.916386e-05,2.913466e-05,2.904307e-05,2.892148e-05,2.879925e-05,2.867655e-05,2.855353e-05,2.843033e-05,2.830707e-05,2.818387e-05,2.806084e-05,2.793808e-05,2.781569e-05,2.769373e-05,2.757231e-05,2.745147e-05,2.733130e-05,2.721184e-05,2.709316e-05,2.697531e-05,2.685833e-05,2.674226e-05,2.662714e-05,2.651301e-05,2.639989e-05,2.628782e-05,2.617682e-05
0.000000e+00,1.243483e-13,9.691406e-13,1.898476e-11,1.271288e-10,2.965029e-10,1.733776e-09,1.844446e-09,6.996939e-09,9.570984e-09,1.956557e-08,3.273128e-08,4.461133e-08,8.376080e-08,8.806414e-08,1.563800e-07,1.772201e-07,2.562857e-07,3.285547e-07,3.945252e-07,5.529386e-07,5.774334e-07,8.101929e-07,8.630439e-07,1.095854e-06,1.265459e-06,1.434486e-06,1.757619e-06,1.822886e-06,2.254992e-06,2.327667e-06,2.722797e-06,2.957422e-06,3.217413e-06,3.626427e-06,3.729964e-06,4.252192e-06,4.315152e-06,4.776786e-06,5.006706e-06,5.297485e-06,5.687361e-06,5.809065e-06,6.307253e-06,6.346422e-06,6.788632e-06,6.975858e-06,7.250541e-06,7.569915e-06,7.690983e-06,8.108552e-06,8.124765e-06,8.502353e-06,8.638204e-06,8.871936e-06,9.109368e-06,9.217228e-06,9.538477e-06,9.836190e-06,9.926599e-06,1.011108e-05,1.027543e-05,1.036402e-05,1.058711e-05,1.059600e-05,1.080808e-05,1.086405e-05,1.100138e-05,1.110881e-05,1.117702e-05,1.132399e-05,1.133614e-05,1.147984e-05,1.151216e-05,1.160921e-05,1.167577e-05,1.172527e-05,1.181718e-05,1.182901e-05,1.192137e-05,1.193856e-05,1.200323e-05,1.204192e-05,1.207541e-05,1.212913e-05,1.213868e-05,1.219375e-05,1.220185e-05,1.224129e-05,1.226161e-05,1.228190e-05,1.230978e-05,1.231615e-05,1.234456e-05,1.234760e-05,1.236761e-05,1.237616e-05,1.238573e-05,1.239647e-05,1.239934e-05,1.240881e-05,1.240939e-05,1.241446e-05,1.241573e-05,1.241663e-05,1.241619e-05,1.241560e-05,1.241162e-05,1.241140e-05,1.240495e-05,1.240193e-05,1.239581e-05,1.238828e-05,1.238439e-05,1.237090e-05,1.235551e-05,1.235021e-05,1.233837e-05,1.232656e-05,1.231964e-05,1.230027e-05,1.229944e-05,1.227791e-05,1.227166e-05,1.225516e-05,1.224097e-05,1.223131e-05,1.220846e-05,1.220644e-05,1.218065e-05,1.217434e-05,1.215403e-05,1.213880e-05,1.212667e-05,1.210202e-05,1.209862e-05,1.206996e-05,1.206416e-05,1.204075e-05,1.202537e-05,1.201106e-05,1.198578e-05,1.198093e-05,1.195042e-05,1.194551e-05,1.191958e-05,1.190467e-05,1.188844e-05,1.186336e-05,1.185706e-05,1.182547e-05,1.182167e-05,1.179370e-05,1.177968e-05,1.176180e-05,1.173747e-05,1.172978e-05,1.169769e-05,1.169512e-05,1.166554e-05,1.165267e-05,1.163337e-05,1.161020e-05,1.160119e-05,1.156903e-05,1.156775e-05,1.153692e-05,1.152537e-05,1.150486e-05,1.148311e-05,1.147288e-05,1.144100e-05,1.139908e-05,1.135739e-05,1.131596e-05,1.127481e-05,1.123397e-05,1.119346e-05,1.115331e-05,1.111353e-05,1.107413e-05,1.103514e-05,1.099656e-05,1.095842e-05,1.092071e-05,1.088345e-05,1.084664e-05,1.081030e-05,1.077443e-05,1.073904e-05,1.070412e-05,1.066969e-05,1.063574e-05,1.060227e-05,1.056930e-05,1.053681e-05
0.000000e+00,2.764039e-12,1.947616e-11,3.124974e-10,1.765788e-09,3.771457e-09,1.789166e-08,1.888330e-08,5.988182e-08,7.839640e-08,1.448683e-07,2.255095e-07,2.946124e-07,5.096184e-07,5.324889e-07,8.843391e-07,9.886929e-07,1.376134e-06,1.720681e-06,2.028180e-06,2.741300e-06,2.848544e-06,3.830933e-06,4.045483e-06,4.958433e-06,5.594973e-06,6.209520e-06,7.340129e-06,7.562658e-06,8.998381e-06,9.234586e-06,1.049955e-05,1.123883e-05,1.205095e-05,1.331890e-05,1.363874e-05,1.525015e-05,1.544453e-05,1.687326e-05,1.758826e-05,1.849704e-05,1.972531e-05,2.011139e-05,2.170719e-05,2.183380e-05,2.327639e-05,2.389502e-05,2.481202e-05,2.589354e-05,2.630819e-05,2.776006e-05,2.781715e-05,2.916377e-05,2.965672e-05,3.051637e-05,3.140584e-05,3.181575e-05,3.306049e-05,3.424981e-05,3.461864e-05,3.538350e-05,3.607993e-05,3.646175e-05,3.744527e-05,3.748516e-05,3.845464e-05,3.871657e-05,3.937130e-05,3.989650e-05,4.023649e-05,4.098827e-05,4.105168e-05,4.181843e-05,4.199542e-05,4.253839e-05,4.292177e-05,4.321327e-05,4.377122e-05,4.384476e-05,4.443460e-05,4.454772e-05,4.498449e-05,4.525521e-05,4.549612e-05,4.589755e-05,4.597117e-05,4.641124e-05,4.647852e-05,4.681794e-05,4.700176e-05,4.719281e-05,4.747078e-05,4.753732e-05,4.785294e-05,4.788893e-05,4.814104e-05,4.825944e-05,4.840298e-05,4.858534e-05,4.864004e-05,4.885346e-05,4.886955e-05,4.904444e-05,4.911480e-05,4.921411e-05,4.932370e-05,4.936357e-05,4.949388e-05,4.949870e-05,4.960602e-05,4.964213e-05,4.970096e-05,4.975616e-05,4.977961e-05,4.984285e-05,4.989152e-05,4.990415e-05,4.992641e-05,4.994187e-05,4.994829e-05,4.995772e-05,4.995788e-05,4.995587e-05,4.995332e-05,4.994293e-05,4.993018e-05,4.991968e-05,4.988970e-05,4.988672e-05,4.984463e-05,4.983323e-05,4.979394e-05,4.976200e-05,4.973519e-05,4.967720e-05,4.966885e-05,4.959541e-05,4.957990e-05,4.951530e-05,4.947115e-05,4.942895e-05,4.935190e-05,4.933677e-05,4.923914e-05,4.922304e-05,4.913643e-05,4.908543e-05,4.902898e-05,4.893984e-05,4.891713e-05,4.880119e-05,4.878701e-05,4.868145e-05,4.862764e-05,4.855821e-05,4.846236e-05,4.843172e-05,4.830226e-05,4.829178e-05,4.817005e-05,4.811645e-05,4.803533e-05,4.793689e-05,4.789831e-05,4.775922e-05,4.775361e-05,4.761823e-05,4.756705e-05,4.747554e-05,4.737764e-05,4.733133e-05,4.718577e-05,4.699181e-05,4.679611e-05,4.659898e-05,4.640072e-05,4.620162e-05,4.600191e-05,4.580186e-05,4.560166e-05,4.540153e-05,4.520166e-05,4.500223e-05,4.480338e-05,4.460528e-05,4.440807e-05,4.421187e-05,4.401679e-05,4.382294e-05,4.363043e-05,4.343933e-05,4.324974e-05,4.306173e-05,4.287535e-05,4.269069e-05,4.250778e-05
0.000000e+00,5.546140e-09,1.274997e-08,4.408593e-08,1.006722e-07,1.471424e-07,3.353610e-07,3.455180e-07,6.709971e-07,7.895235e-07,1.158132e-06,1.543747e-06,1.845000e-06,2.686554e-06,2.770126e-06,3.962387e-06,4.289606e-06,5.428970e-06,6.365215e-06,7.155312e-06,8.869814e-06,9.116744e-06,1.128805e-05,1.174544e-05,1.364639e-05,1.493966e-05,1.617086e-05,1.840516e-05,1.884146e-05,2.163841e-05,2.209632e-05,2.454182e-05,2.596741e-05,2.753175e-05,2.997268e-05,3.058841e-05,3.369242e-05,3.406719e-05,3.682514e-05,3.820806e-05,3.996897e-05,4.235559e-05,4.310755e-05,4.622594e-05,4.647413e-05,4.931075e-05,5.053256e-05,5.235011e-05,5.450448e-05,5.533374e-05,5.825284e-05,5.836816e-05,6.110006e-05,6.210626e-05,6.386937e-05,6.570551e-05,6.655598e-05,6.915615e-05,7.166716e-05,7.245152e-05,7.408712e-05,7.558756e-05,7.641490e-05,7.856239e-05,7.865001e-05,8.079253e-05,8.137591e-05,8.284300e-05,8.402946e-05,8.480234e-05,8.652552e-05,8.667181e-05,8.845294e-05,8.886746e-05,9.014748e-05,9.105931e-05,9.175735e-05,9.310562e-05,9.328460e-05,9.473139e-05,9.501129e-05,9.609996e-05,9.678147e-05,9.739261e-05,9.842145e-05,9.861165e-05,9.975944e-05,9.993663e-05,1.008383e-04,1.013324e-04,1.018506e-04,1.026141e-04,1.027987e-04,1.036848e-04,1.037870e-04,1.045112e-04,1.048564e-04,1.052801e-04,1.058274e-04,1.059938e-04,1.066543e-04,1.067049e-04,1.072638e-04,1.074938e-04,1.078244e-04,1.081987e-04,1.083379e-04,1.088064e-04,1.088242e-04,1.092317e-04,1.093747e-04,1.096158e-04,1.098542e-04,1.099603e-04,1.102670e-04,1.105376e-04,1.106168e-04,1.107737e-04,1.109074e-04,1.109769e-04,1.111424e-04,1.111487e-04,1.112906e-04,1.113251e-04,1.114040e-04,1.114589e-04,1.114903e-04,1.115469e-04,1.115508e-04,1.115869e-04,1.115920e-04,1.115996e-04,1.115971e-04,1.115904e-04,1.115649e-04,1.115602e-04,1.115102e-04,1.114979e-04,1.114415e-04,1.113987e-04,1.113550e-04,1.112695e-04,1.112519e-04,1.111329e-04,1.111125e-04,1.109992e-04,1.109299e-04,1.108514e-04,1.107237e-04,1.106905e-04,1.105173e-04,1.104957e-04,1.103325e-04,1.102477e-04,1.101369e-04,1.099814e-04,1.099312e-04,1.097161e-04,1.096985e-04,1.094922e-04,1.094004e-04,1.092602e-04,1.090885e-04,1.090207e-04,1.087743e-04,1.087643e-04,1.085214e-04,1.084289e-04,1.082627e-04,1.080837e-04,1.079986e-04,1.077296e-04,1.073678e-04,1.069993e-04,1.066250e-04,1.062458e-04,1.058626e-04,1.054760e-04,1.050868e-04,1.046957e-04,1.043034e-04,1.039103e-04,1.035171e-04,1.031243e-04,1.027323e-04,1.023416e-04,1.019526e-04,1.015656e-04,1.011810e-04,1.007992e-04,1.004204e-04,1.000448e-04,9.967278e-05,9.930451e-05,9.894019e-05,9.858000e-05
0.000000e+00,3.957620e-11,2.392776e-10,2.882804e-09,1.300887e-08,2.490774e-08,9.297608e-08,9.729455e-08,2.570039e-07,3.226478e-07,5.432204e-07,7.928631e-07,9.973141e-07,1.597058e-06,1.658261e-06,2.550719e-06,2.800167e-06,3.678642e-06,4.409834e-06,5.032573e-06,6.400443e-06,6.599228e-06,8.365142e-06,8.741028e-06,1.031633e-05,1.139905e-05,1.243713e-05,1.433667e-05,1.470966e-05,1.711379e-05,1.750922e-05,1.962760e-05,2.086643e-05,2.222802e-05,2.435492e-05,2.489156e-05,2.759503e-05,2.792105e-05,3.031615e-05,3.151361e-05,3.303410e-05,3.508584e-05,3.572985e-05,3.838649e-05,3.859688e-05,4.098935e-05,4.201258e-05,4.352598e-05,4.530547e-05,4.598608e-05,4.836145e-05,4.845461e-05,5.064577e-05,5.144490e-05,5.283440e-05,5.426636e-05,5.492422e-05,5.691340e-05,5.880122e-05,5.938392e-05,6.058789e-05,6.167871e-05,6.227440e-05,6.380070e-05,6.386235e-05,6.535384e-05,6.575450e-05,6.675136e-05,6.754591e-05,6.805768e-05,6.918153e-05,6.927580e-05,7.040887e-05,7.066850e-05,7.146010e-05,7.201427e-05,7.243278e-05,7.322638e-05,7.333021e-05,7.415564e-05,7.431238e-05,7.491233e-05,7.527970e-05,7.560345e-05,7.613559e-05,7.623210e-05,7.680130e-05,7.688706e-05,7.731400e-05,7.754086e-05,7.777302e-05,7.810344e-05,7.818112e-05,7.854092e-05,7.858098e-05,7.885498e-05,7.897930e-05,7.912573e-05,7.930398e-05,7.935551e-05,7.954657e-05,7.956024e-05,7.970104e-05,7.975305e-05,7.982099e-05,7.988708e-05,7.990838e-05,7.996507e-05,7.996673e-05,7.999286e-05,7.999611e-05,7.999344e-05,7.997913e-05,7.996844e-05,7.991941e-05,7.984783e-05,7.982038e-05,7.975508e-05,7.968524e-05,7.964251e-05,7.951697e-05,7.951138e-05,7.936290e-05,7.931838e-05,7.919822e-05,7.909208e-05,7.901841e-05,7.884053e-05,7.882452e-05,7.861752e-05,7.856600e-05,7.839835e-05,7.827062e-05,7.816788e-05,7.795639e-05,7.792695e-05,7.767637e-05,7.762515e-05,7.741686e-05,7.727864e-05,7.714916e-05,7.691845e-05,7.687393e-05,7.659182e-05,7.654608e-05,7.630342e-05,7.616292e-05,7.600930e-05,7.577026e-05,7.571002e-05,7.540607e-05,7.536931e-05,7.509795e-05,7.496117e-05,7.478611e-05,7.454688e-05,7.447097e-05,7.415295e-05,7.412740e-05,7.383244e-05,7.370361e-05,7.350978e-05,7.327633e-05,7.318532e-05,7.285940e-05,7.284633e-05,7.253229e-05,7.241431e-05,7.220430e-05,7.198090e-05,7.187570e-05,7.154672e-05,7.111231e-05,7.067818e-05,7.024479e-05,6.981257e-05,6.938191e-05,6.895318e-05,6.852669e-05,6.810275e-05,6.768163e-05,6.726358e-05,6.684881e-05,6.643753e-05,6.602993e-05,6.562615e-05,6.522636e-05,6.483067e-05,6.443920e-05,6.405206e-05,6.366931e-05,6.329105e-05,6.291733e-05,6.254821e-05,6.218374e-05,6.182393e-05
0.000000e+00,1.200149e-09,3.361322e-09,1.415137e-08,3.525886e-08,5.325913e-08,1.296937e-07,1.339506e-07,2.763799e-07,3.308218e-07,5.067557e-07,6.972024e-07,8.469695e-07,1.254226e-06,1.293253e-06,1.819036e-06,1.953986e-06,2.398626e-06,2.740459e-06,3.016210e-06,3.584195e-06,3.663202e-06,4.334580e-06,4.471448e-06,5.026625e-06,5.393485e-06,5.735775e-06,6.341836e-06,6.458125e-06,7.189306e-06,7.306798e-06,7.924504e-06,8.277333e-06,8.658610e-06,9.241592e-06,9.386392e-06,1.010267e-05,1.018761e-05,1.080249e-05,1.110402e-05,1.148136e-05,1.198081e-05,1.213528e-05,1.276083e-05,1.280956e-05,1.335523e-05,1.358377e-05,1.391635e-05,1.429889e-05,1.444270e-05,1.493339e-05,1.495227e-05,1.538807e-05,1.554296e-05,1.580689e-05,1.607149e-05,1.619043e-05,1.653966e-05,1.685578e-05,1.695014e-05,1.714008e-05,1.730609e-05,1.739420e-05,1.761130e-05,1.761980e-05,1.781863e-05,1.786974e-05,1.799244e-05,1.808545e-05,1.814299e-05,1.826242e-05,1.827199e-05,1.838110e-05,1.840450e-05,1.847191e-05,1.851533e-05,1.854591e-05,1.859825e-05,1.860452e-05,1.864905e-05,1.865637e-05,1.868074e-05,1.869252e-05,1.870073e-05,1.870924e-05,1.871006e-05,1.870971e-05,1.870882e-05,1.870056e-05,1.869328e-05,1.868342e-05,1.866445e-05,1.865902e-05,1.862805e-05,1.862392e-05,1.859110e-05,1.857310e-05,1.854874e-05,1.851325e-05,1.850148e-05,1.844977e-05,1.844546e-05,1.839403e-05,1.837070e-05,1.833465e-05,1.828983e-05,1.827197e-05,1.820630e-05,1.820361e-05,1.813793e-05,1.811271e-05,1.806713e-05,1.801771e-05,1.799413e-05,1.791915e-05,1.784239e-05,1.781748e-05,1.776404e-05,1.771314e-05,1.768427e-05,1.760649e-05,1.760323e-05,1.752106e-05,1.749787e-05,1.743789e-05,1.738757e-05,1.735385e-05,1.727587e-05,1.726906e-05,1.718360e-05,1.716300e-05,1.709758e-05,1.704920e-05,1.701110e-05,1.693466e-05,1.692422e-05,1.683703e-05,1.681956e-05,1.674960e-05,1.670407e-05,1.666200e-05,1.658832e-05,1.657428e-05,1.648651e-05,1.647247e-05,1.639874e-05,1.635663e-05,1.631102e-05,1.624091e-05,1.622339e-05,1.613591e-05,1.612542e-05,1.604860e-05,1.601025e-05,1.596151e-05,1.589549e-05,1.587467e-05,1.578811e-05,1.578120e-05,1.570188e-05,1.566747e-05,1.561598e-05,1.555436e-05,1.553045e-05,1.544532e-05,1.544193e-05,1.536061e-05,1.533022e-05,1.527633e-05,1.521929e-05,1.519252e-05,1.510917e-05,1.499992e-05,1.489156e-05,1.478413e-05,1.467764e-05,1.457214e-05,1.446764e-05,1.436416e-05,1.426171e-05,1.416032e-05,1.405999e-05,1.396074e-05,1.386257e-05,1.376549e-05,1.366951e-05,1.357463e-05,1.348085e-05,1.338818e-05,1.329662e-05,1.320615e-05,1.311679e-05,1.302854e-05,1.294137e-05,1.285530e-05,1.277032e-05
0.000000e+00,1.722498e-11,9.894476e-11,1.088684e-09,4.597935e-09,8.537502e-09,2.986201e-08,3.117708e-08,7.826672e-08,9.702540e-08,1.584225e-07,2.256942e-07,2.795258e-07,4.333414e-07,4.488192e-07,6.729986e-07,7.356671e-07,9.582503e-07,1.146789e-06,1.310189e-06,1.678914e-06,1.733636e-06,2.232176e-06,2.341085e-06,2.807484e-06,3.136788e-06,3.458615e-06,4.061360e-06,4.181624e-06,4.969837e-06,5.101448e-06,5.814706e-06,6.237626e-06,6.706869e-06,7.448342e-06,7.636957e-06,8.596055e-06,8.712696e-06,9.575884e-06,1.001159e-05,1.056882e-05,1.132790e-05,1.156789e-05,1.256667e-05,1.264638e-05,1.355934e-05,1.395349e-05,1.454061e-05,1.523740e-05,1.550577e-05,1.645061e-05,1.648793e-05,1.737149e-05,1.769653e-05,1.826530e-05,1.885626e-05,1.912941e-05,1.996169e-05,2.076046e-05,2.100878e-05,2.152448e-05,2.199478e-05,2.225286e-05,2.291808e-05,2.294508e-05,2.360091e-05,2.377803e-05,2.422042e-05,2.457480e-05,2.480389e-05,2.530926e-05,2.535180e-05,2.586480e-05,2.598281e-05,2.634368e-05,2.659729e-05,2.678936e-05,2.715488e-05,2.720283e-05,2.758514e-05,2.765796e-05,2.793740e-05,2.810909e-05,2.826078e-05,2.851094e-05,2.855642e-05,2.882552e-05,2.886619e-05,2.906923e-05,2.917755e-05,2.928874e-05,2.944768e-05,2.948518e-05,2.965969e-05,2.967921e-05,2.981337e-05,2.987467e-05,2.994730e-05,3.003651e-05,3.006251e-05,3.016002e-05,3.016709e-05,3.024081e-05,3.026865e-05,3.030581e-05,3.034335e-05,3.035593e-05,3.039203e-05,3.039319e-05,3.041494e-05,3.042011e-05,3.042546e-05,3.042592e-05,3.042435e-05,3.041234e-05,3.039011e-05,3.038095e-05,3.035834e-05,3.033329e-05,3.031765e-05,3.027074e-05,3.026863e-05,3.021186e-05,3.019465e-05,3.014788e-05,3.010624e-05,3.007720e-05,3.000668e-05,3.000031e-05,2.991767e-05,2.989703e-05,2.982971e-05,2.977829e-05,2.973686e-05,2.965142e-05,2.963951e-05,2.953802e-05,2.951726e-05,2.943276e-05,2.937664e-05,2.932405e-05,2.923029e-05,2.921220e-05,2.909752e-05,2.907892e-05,2.898027e-05,2.892317e-05,2.886074e-05,2.876363e-05,2.873917e-05,2.861578e-05,2.860086e-05,2.849081e-05,2.843537e-05,2.836445e-05,2.826762e-05,2.823692e-05,2.810838e-05,2.809806e-05,2.797902e-05,2.792708e-05,2.784899e-05,2.775504e-05,2.771844e-05,2.758753e-05,2.758229e-05,2.745639e-05,2.740914e-05,2.732513e-05,2.723587e-05,2.719388e-05,2.706274e-05,2.688999e-05,2.671783e-05,2.654647e-05,2.637608e-05,2.620681e-05,2.603883e-05,2.587226e-05,2.570721e-05,2.554380e-05,2.538212e-05,2.522226e-05,2.506427e-05,2.490824e-05,2.475421e-05,2.460223e-05,2.445235e-05,2.430460e-05,2.415900e-05,2.401558e-05,2.387436e-05,2.373534e-05,2.359854e-05,2.346396e-05,2.333160e-05
0.000000e+00,2.141513e-09,4.910512e-09,1.690704e-08,3.847748e-08,5.613957e-08,1.273902e-07,1.312253e-07,2.537522e-07,2.982270e-07,4.361723e-07,5.800302e-07,6.922034e-07,1.005267e-06,1.036375e-06,1.481667e-06,1.604540e-06,2.034888e-06,2.391067e-06,2.692896e-06,3.349574e-06,3.444171e-06,4.274126e-06,4.448315e-06,5.169025e-06,5.656063e-06,6.117117e-06,6.947220e-06,7.108335e-06,8.133747e-06,8.300429e-06,9.185131e-06,9.696733e-06,1.025475e-05,1.111863e-05,1.133527e-05,1.241977e-05,1.254987e-05,1.350178e-05,1.397551e-05,1.457532e-05,1.538222e-05,1.563501e-05,1.667605e-05,1.675840e-05,1.769425e-05,1.809433e-05,1.868607e-05,1.938216e-05,1.964855e-05,2.057930e-05,2.061584e-05,2.147648e-05,2.179096e-05,2.233870e-05,2.290455e-05,2.316503e-05,2.395492e-05,2.470816e-05,2.494146e-05,2.542482e-05,2.586441e-05,2.610519e-05,2.672470e-05,2.674980e-05,2.735931e-05,2.752379e-05,2.793453e-05,2.826356e-05,2.847635e-05,2.894617e-05,2.898576e-05,2.946379e-05,2.957397e-05,2.991153e-05,3.014944e-05,3.033007e-05,3.067512e-05,3.072053e-05,3.108403e-05,3.115359e-05,3.142166e-05,3.158738e-05,3.173453e-05,3.197900e-05,3.202372e-05,3.229027e-05,3.233089e-05,3.253522e-05,3.264541e-05,3.275956e-05,3.292485e-05,3.296426e-05,3.315027e-05,3.317138e-05,3.331848e-05,3.338709e-05,3.346978e-05,3.357397e-05,3.360500e-05,3.372496e-05,3.373392e-05,3.383043e-05,3.386873e-05,3.392216e-05,3.398009e-05,3.400086e-05,3.406721e-05,3.406962e-05,3.412189e-05,3.413884e-05,3.416551e-05,3.418917e-05,3.419868e-05,3.422196e-05,3.423592e-05,3.423850e-05,3.424107e-05,3.423998e-05,3.423792e-05,3.422752e-05,3.422693e-05,3.420858e-05,3.420217e-05,3.418328e-05,3.416495e-05,3.415147e-05,3.411677e-05,3.411352e-05,3.406982e-05,3.405852e-05,3.402073e-05,3.399101e-05,3.396659e-05,3.391502e-05,3.390772e-05,3.384443e-05,3.383126e-05,3.377701e-05,3.374042e-05,3.370575e-05,3.364312e-05,3.363092e-05,3.355275e-05,3.353996e-05,3.347151e-05,3.343148e-05,3.338740e-05,3.331821e-05,3.330066e-05,3.321149e-05,3.320063e-05,3.312007e-05,3.307919e-05,3.302661e-05,3.295432e-05,3.293127e-05,3.283423e-05,3.282639e-05,3.273563e-05,3.269580e-05,3.263564e-05,3.256286e-05,3.253439e-05,3.243203e-05,3.242791e-05,3.232867e-05,3.229124e-05,3.222444e-05,3.215312e-05,3.211945e-05,3.201381e-05,3.187356e-05,3.173257e-05,3.159106e-05,3.144922e-05,3.130722e-05,3.116523e-05,3.102340e-05,3.088186e-05,3.074075e-05,3.060018e-05,3.046027e-05,3.032110e-05,3.018279e-05,3.004539e-05,2.990901e-05,2.977369e-05,2.963952e-05,2.950654e-05,2.937480e-05,2.924436e-05,2.911526e-05,2.898752e-05,2.886120e-05,2.873630e-05
0.000000e+00,1.081121e-14,9.056177e-14,2.056485e-12,1.571703e-11,3.937149e-11,2.757458e-10,2.954684e-10,1.331530e-09,1.906275e-09,4.358769e-09,7.961501e-09,1.147540e-08,2.431751e-08,2.582486e-08,5.167380e-08,6.016513e-08,9.441957e-08,1.281014e-07,1.605021e-07,2.436772e-07,2.571339e-07,3.917492e-07,4.238522e-07,5.711696e-07,6.840083e-07,8.006550e-07,1.034309e-06,1.083096e-06,1.418562e-06,1.477009e-06,1.804274e-06,2.005800e-06,2.234979e-06,2.607199e-06,2.703558e-06,3.201732e-06,3.263087e-06,3.720746e-06,3.953470e-06,4.251947e-06,4.658781e-06,4.787207e-06,5.319211e-06,5.361434e-06,5.841616e-06,6.046664e-06,6.349104e-06,6.702800e-06,6.837364e-06,7.303033e-06,7.321152e-06,7.743621e-06,7.895739e-06,8.157403e-06,8.422905e-06,8.543333e-06,8.900937e-06,9.230233e-06,9.329687e-06,9.531640e-06,9.710240e-06,9.805908e-06,1.004461e-05,1.005404e-05,1.027725e-05,1.033547e-05,1.047688e-05,1.058593e-05,1.065436e-05,1.079938e-05,1.081120e-05,1.094888e-05,1.097925e-05,1.106892e-05,1.112897e-05,1.117276e-05,1.125185e-05,1.126180e-05,1.133738e-05,1.135099e-05,1.140075e-05,1.142926e-05,1.145306e-05,1.148926e-05,1.149540e-05,1.152877e-05,1.153333e-05,1.155405e-05,1.156356e-05,1.157208e-05,1.158178e-05,1.158359e-05,1.158925e-05,1.158957e-05,1.158966e-05,1.158832e-05,1.158536e-05,1.157923e-05,1.157681e-05,1.156447e-05,1.156333e-05,1.154869e-05,1.154150e-05,1.152984e-05,1.151452e-05,1.150820e-05,1.148406e-05,1.148304e-05,1.145765e-05,1.144764e-05,1.142920e-05,1.140879e-05,1.139891e-05,1.136694e-05,1.133347e-05,1.132246e-05,1.129863e-05,1.127568e-05,1.126256e-05,1.122688e-05,1.122538e-05,1.118719e-05,1.117633e-05,1.114810e-05,1.112425e-05,1.110820e-05,1.107084e-05,1.106757e-05,1.102629e-05,1.101629e-05,1.098443e-05,1.096077e-05,1.094206e-05,1.090441e-05,1.089925e-05,1.085604e-05,1.084735e-05,1.081249e-05,1.078972e-05,1.076865e-05,1.073163e-05,1.072456e-05,1.068028e-05,1.067318e-05,1.063583e-05,1.061445e-05,1.059126e-05,1.055554e-05,1.054661e-05,1.050189e-05,1.049652e-05,1.045715e-05,1.043747e-05,1.041242e-05,1.037844e-05,1.036771e-05,1.032307e-05,1.031950e-05,1.027850e-05,1.026069e-05,1.023403e-05,1.020208e-05,1.018968e-05,1.014547e-05,1.014371e-05,1.010142e-05,1.008561e-05,1.005755e-05,1.002782e-05,1.001386e-05,9.970383e-06,9.913326e-06,9.856677e-06,9.800463e-06,9.744708e-06,9.689432e-06,9.634654e-06,9.580392e-06,9.526662e-06,9.473476e-06,9.420847e-06,9.368785e-06,9.317300e-06,9.266399e-06,9.216090e-06,9.166379e-06,9.117270e-06,9.068766e-06,9.020871e-06,8.973588e-06,8.926916e-06,8.880858e-06,8.835412e-06,8.790579e-06,8.746357e-06
0.000000e+00,6.438518e-16,5.771349e-15,1.511260e-13,1.318183e-12,3.553854e-12,3.018137e-11,3.259744e-11,1.785777e-10,2.697466e-10,7.064387e-10,1.441189e-09,2.233177e-09,5.565694e-09,5.992927e-09,1.419522e-08,1.719159e-08,3.047449e-08,4.510446e-08,6.041731e-08,1.044455e-07,1.121428e-07,1.969042e-07,2.190668e-07,3.296770e-07,4.238971e-07,5.297040e-07,7.670985e-07,8.209680e-07,1.232571e-06,1.311822e-06,1.799002e-06,2.137422e-06,2.560280e-06,3.340029e-06,3.561972e-06,4.855065e-06,5.032434e-06,6.495709e-06,7.343232e-06,8.544821e-06,1.041529e-05,1.106757e-05,1.413275e-05,1.440353e-05,1.781205e-05,1.947218e-05,2.217919e-05,2.579148e-05,2.730909e-05,3.327690e-05,3.353410e-05,4.015703e-05,4.287128e-05,4.802216e-05,5.396892e-05,5.694225e-05,6.698367e-05,7.820820e-05,8.205930e-05,9.067226e-05,9.932326e-05,1.044261e-04,1.188837e-04,1.195132e-04,1.359697e-04,1.408269e-04,1.538237e-04,1.652156e-04,1.730952e-04,1.920871e-04,1.937959e-04,2.159286e-04,2.214531e-04,2.394877e-04,2.532989e-04,2.644590e-04,2.875842e-04,2.908199e-04,3.185397e-04,3.242434e-04,3.475799e-04,3.631877e-04,3.778948e-04,4.043062e-04,4.094318e-04,4.421320e-04,4.474678e-04,4.759308e-04,4.925240e-04,5.107583e-04,5.393112e-04,5.465403e-04,5.831988e-04,5.876529e-04,6.206527e-04,6.373628e-04,6.588181e-04,6.882470e-04,6.976094e-04,7.369398e-04,7.401069e-04,7.767217e-04,7.927413e-04,8.168677e-04,8.459492e-04,8.572905e-04,8.979039e-04,8.995312e-04,9.386233e-04,9.532923e-04,9.793659e-04,1.007043e-03,1.020051e-03,1.060600e-03,1.100939e-03,1.113791e-03,1.140995e-03,1.166451e-03,1.180701e-03,1.218427e-03,1.219990e-03,1.258801e-03,1.269575e-03,1.297078e-03,1.319765e-03,1.334767e-03,1.368878e-03,1.371817e-03,1.408184e-03,1.416806e-03,1.443826e-03,1.463454e-03,1.478704e-03,1.508739e-03,1.512785e-03,1.546040e-03,1.552589e-03,1.578441e-03,1.594944e-03,1.609965e-03,1.635755e-03,1.640594e-03,1.670312e-03,1.674981e-03,1.699104e-03,1.712594e-03,1.726963e-03,1.748572e-03,1.753880e-03,1.779852e-03,1.782905e-03,1.804878e-03,1.815589e-03,1.828957e-03,1.846627e-03,1.852094e-03,1.874293e-03,1.876028e-03,1.895561e-03,1.903810e-03,1.915908e-03,1.929994e-03,1.935345e-03,1.953883e-03,1.954606e-03,1.971535e-03,1.977676e-03,1.988317e-03,1.999240e-03,2.004245e-03,2.019334e-03,2.037999e-03,2.055276e-03,2.071210e-03,2.085847e-03,2.099232e-03,2.111413e-03,2.122438e-03,2.132354e-03,2.141208e-03,2.149049e-03,2.155922e-03,2.161874e-03,2.166950e-03,2.171194e-03,2.174649e-03,2.177358e-03,2.179360e-03,2.180696e-03,2.181404e-03,2.181520e-03,2.181080e-03,2.180117e-03,2.178666e-03,2.176756e-03
0.000000e+00,1.444201e-09,3.320083e-09,1.145444e-08,2.608081e-08,3.805554e-08,8.636699e-08,8.896809e-08,1.721275e-07,2.023441e-07,2.961718e-07,3.941728e-07,4.706759e-07,6.844577e-07,7.057148e-07,1.010097e-06,1.094085e-06,1.388064e-06,1.630984e-06,1.836398e-06,2.281315e-06,2.345133e-06,2.901508e-06,3.017402e-06,3.493429e-06,3.811839e-06,4.110786e-06,4.642973e-06,4.745372e-06,5.390429e-06,5.494215e-06,6.040238e-06,6.352359e-06,6.689862e-06,7.206519e-06,7.335000e-06,7.971916e-06,8.047636e-06,8.597399e-06,8.868274e-06,9.208739e-06,9.662511e-06,9.803707e-06,1.038052e-05,1.042583e-05,1.093780e-05,1.115502e-05,1.147458e-05,1.184797e-05,1.199017e-05,1.248418e-05,1.250349e-05,1.295649e-05,1.312122e-05,1.340717e-05,1.370138e-05,1.383644e-05,1.424470e-05,1.463242e-05,1.475224e-05,1.500017e-05,1.522533e-05,1.534857e-05,1.566545e-05,1.567829e-05,1.599005e-05,1.607421e-05,1.628454e-05,1.645325e-05,1.656249e-05,1.680420e-05,1.682461e-05,1.707159e-05,1.712869e-05,1.730413e-05,1.742830e-05,1.752291e-05,1.770455e-05,1.772856e-05,1.792172e-05,1.795891e-05,1.810299e-05,1.819275e-05,1.827296e-05,1.840741e-05,1.843218e-05,1.858119e-05,1.860412e-05,1.872050e-05,1.878407e-05,1.885060e-05,1.894835e-05,1.897194e-05,1.908499e-05,1.909801e-05,1.919015e-05,1.923402e-05,1.928783e-05,1.935730e-05,1.937841e-05,1.946225e-05,1.946868e-05,1.953970e-05,1.956897e-05,1.961109e-05,1.965892e-05,1.967673e-05,1.973691e-05,1.973921e-05,1.979192e-05,1.981050e-05,1.984201e-05,1.987340e-05,1.988745e-05,1.992847e-05,1.996530e-05,1.997624e-05,1.999816e-05,2.001721e-05,2.002726e-05,2.005183e-05,2.005278e-05,2.007492e-05,2.008054e-05,2.009385e-05,2.010373e-05,2.010973e-05,2.012180e-05,2.012273e-05,2.013300e-05,2.013507e-05,2.014068e-05,2.014390e-05,2.014590e-05,2.014857e-05,2.014880e-05,2.014950e-05,2.014938e-05,2.014811e-05,2.014660e-05,2.014474e-05,2.014047e-05,2.013951e-05,2.013251e-05,2.013123e-05,2.012384e-05,2.011911e-05,2.011359e-05,2.010430e-05,2.010184e-05,2.008867e-05,2.008700e-05,2.007417e-05,2.006739e-05,2.005842e-05,2.004564e-05,2.004147e-05,2.002340e-05,2.002191e-05,2.000427e-05,1.999634e-05,1.998415e-05,1.996908e-05,1.996309e-05,1.994115e-05,1.994025e-05,1.991837e-05,1.990998e-05,1.989482e-05,1.987839e-05,1.987054e-05,1.984557e-05,1.981164e-05,1.977669e-05,1.974080e-05,1.970407e-05,1.966656e-05,1.962836e-05,1.958954e-05,1.955015e-05,1.951026e-05,1.946994e-05,1.942922e-05,1.938818e-05,1.934684e-05,1.930526e-05,1.926349e-05,1.922155e-05,1.917949e-05,1.913735e-05,1.909515e-05,1.905293e-05,1.901072e-05,1.896854e-05,1.892642e-05,1.888438e-05
0.000000e+00,4.579188e-13,3.450346e-12,6.316520e-11,3.988326e-10,9.018027e-10,4.888780e-09,5.185565e-09,1.837242e-08,2.469737e-08,4.842986e-08,7.851108e-08,1.049455e-07,1.891952e-07,1.982631e-07,3.389108e-07,3.808686e-07,5.372582e-07,6.772408e-07,8.031381e-07,1.099828e-06,1.145116e-06,1.569309e-06,1.664303e-06,2.078145e-06,2.375737e-06,2.669753e-06,3.226517e-06,3.338330e-06,4.075227e-06,4.198800e-06,4.870230e-06,5.269312e-06,5.712580e-06,6.413390e-06,6.591644e-06,7.497256e-06,7.607254e-06,8.419877e-06,8.828910e-06,9.350648e-06,1.005845e-05,1.028143e-05,1.120483e-05,1.127818e-05,1.211423e-05,1.247275e-05,1.300382e-05,1.362921e-05,1.386859e-05,1.470434e-05,1.473712e-05,1.550768e-05,1.578841e-05,1.627594e-05,1.677729e-05,1.700715e-05,1.770000e-05,1.835370e-05,1.855455e-05,1.896798e-05,1.934048e-05,1.954298e-05,2.005849e-05,2.007921e-05,2.057744e-05,2.071027e-05,2.103870e-05,2.129820e-05,2.146419e-05,2.182519e-05,2.185524e-05,2.221329e-05,2.229448e-05,2.253985e-05,2.270953e-05,2.283644e-05,2.307388e-05,2.310461e-05,2.334591e-05,2.339108e-05,2.356185e-05,2.366462e-05,2.375393e-05,2.389789e-05,2.392358e-05,2.407220e-05,2.409412e-05,2.420114e-05,2.425641e-05,2.431167e-05,2.438767e-05,2.440503e-05,2.448237e-05,2.449063e-05,2.454482e-05,2.456785e-05,2.459342e-05,2.462170e-05,2.462915e-05,2.465297e-05,2.465438e-05,2.466574e-05,2.466795e-05,2.466831e-05,2.466428e-05,2.466145e-05,2.464590e-05,2.464510e-05,2.462234e-05,2.461202e-05,2.459142e-05,2.456651e-05,2.455375e-05,2.450990e-05,2.446039e-05,2.444343e-05,2.440572e-05,2.436824e-05,2.434635e-05,2.428534e-05,2.428272e-05,2.421523e-05,2.419570e-05,2.414426e-05,2.410016e-05,2.407016e-05,2.399951e-05,2.399326e-05,2.391387e-05,2.389447e-05,2.383226e-05,2.378570e-05,2.374871e-05,2.367377e-05,2.366346e-05,2.357674e-05,2.355924e-05,2.348877e-05,2.344259e-05,2.339973e-05,2.332426e-05,2.330983e-05,2.321921e-05,2.320466e-05,2.312805e-05,2.308415e-05,2.303649e-05,2.296305e-05,2.294467e-05,2.285270e-05,2.284167e-05,2.276072e-05,2.272026e-05,2.266881e-05,2.259908e-05,2.257709e-05,2.248563e-05,2.247833e-05,2.239453e-05,2.235821e-05,2.230386e-05,2.223889e-05,2.221369e-05,2.212409e-05,2.212052e-05,2.203511e-05,2.200323e-05,2.194680e-05,2.188716e-05,2.185921e-05,2.177240e-05,2.165904e-05,2.154717e-05,2.143686e-05,2.132816e-05,2.122113e-05,2.111581e-05,2.101223e-05,2.091043e-05,2.081041e-05,2.071221e-05,2.061583e-05,2.052128e-05,2.042856e-05,2.033767e-05,2.024861e-05,2.016136e-05,2.007592e-05,1.999228e-05,1.991042e-05,1.983032e-05,1.975197e-05,1.967534e-05,1.960042e-05,1.952717e-05
0.000000e+00,1.750684e-11,1.029781e-10,1.178864e-09,5.110713e-09,9.595419e-09,3.428284e-08,3.581800e-08,9.135691e-08,1.137411e-07,1.879423e-07,2.708569e-07,3.383966e-07,5.368469e-07,5.572272e-07,8.588826e-07,9.447685e-07,1.251599e-06,1.509971e-06,1.730204e-06,2.208479e-06,2.276962e-06,2.870313e-06,2.992876e-06,3.492008e-06,3.821927e-06,4.128810e-06,4.668409e-06,4.771267e-06,5.412179e-06,5.514171e-06,6.045579e-06,6.345383e-06,6.666235e-06,7.150436e-06,7.269490e-06,7.851243e-06,7.919435e-06,8.407984e-06,8.644265e-06,8.936850e-06,9.318771e-06,9.435648e-06,9.902845e-06,9.938825e-06,1.033755e-05,1.050224e-05,1.073943e-05,1.100856e-05,1.110869e-05,1.144595e-05,1.145879e-05,1.175218e-05,1.185507e-05,1.202864e-05,1.220036e-05,1.227678e-05,1.249817e-05,1.269449e-05,1.275228e-05,1.286741e-05,1.296660e-05,1.301865e-05,1.314499e-05,1.314987e-05,1.326267e-05,1.329116e-05,1.335858e-05,1.340863e-05,1.343906e-05,1.350065e-05,1.350548e-05,1.355911e-05,1.357021e-05,1.360112e-05,1.361999e-05,1.363262e-05,1.365243e-05,1.365460e-05,1.366799e-05,1.366971e-05,1.367362e-05,1.367373e-05,1.367225e-05,1.366621e-05,1.366459e-05,1.365126e-05,1.364864e-05,1.363284e-05,1.362234e-05,1.360984e-05,1.358848e-05,1.358276e-05,1.355200e-05,1.354808e-05,1.351796e-05,1.350204e-05,1.348099e-05,1.345114e-05,1.344141e-05,1.339951e-05,1.339607e-05,1.335555e-05,1.333745e-05,1.330977e-05,1.327580e-05,1.326238e-05,1.321359e-05,1.321161e-05,1.316356e-05,1.314528e-05,1.311247e-05,1.307719e-05,1.306046e-05,1.300766e-05,1.295421e-05,1.293698e-05,1.290020e-05,1.286540e-05,1.284575e-05,1.279315e-05,1.279096e-05,1.273589e-05,1.272044e-05,1.268064e-05,1.264743e-05,1.262527e-05,1.257429e-05,1.256985e-05,1.251445e-05,1.250116e-05,1.245910e-05,1.242816e-05,1.240387e-05,1.235541e-05,1.234881e-05,1.229394e-05,1.228300e-05,1.223932e-05,1.221102e-05,1.218497e-05,1.213956e-05,1.213093e-05,1.207723e-05,1.206867e-05,1.202389e-05,1.199843e-05,1.197094e-05,1.192887e-05,1.191840e-05,1.186629e-05,1.186006e-05,1.181462e-05,1.179203e-05,1.176342e-05,1.172482e-05,1.171269e-05,1.166246e-05,1.165846e-05,1.161273e-05,1.159298e-05,1.156351e-05,1.152839e-05,1.151481e-05,1.146664e-05,1.146473e-05,1.141901e-05,1.140200e-05,1.137192e-05,1.134021e-05,1.132538e-05,1.127939e-05,1.121953e-05,1.116065e-05,1.110274e-05,1.104581e-05,1.098986e-05,1.093488e-05,1.088088e-05,1.082785e-05,1.077578e-05,1.072468e-05,1.067453e-05,1.062532e-05,1.057705e-05,1.052971e-05,1.048328e-05,1.043777e-05,1.039315e-05,1.034941e-05,1.030655e-05,1.026456e-05,1.022342e-05,1.018311e-05,1.014363e-05,1.010497e-05
0.000000e+00,4.554359e-13,3.497057e-12,6.650547e-11,4.341616e-10,9.992228e-10,5.658430e-09,6.012190e-09,2.216873e-08,3.010805e-08,6.051427e-08,9.995943e-08,1.351827e-07,2.497413e-07,2.622302e-07,4.586903e-07,5.180994e-07,7.419344e-07,9.448756e-07,1.129091e-06,1.568477e-06,1.636126e-06,2.276436e-06,2.421397e-06,3.059341e-06,3.524451e-06,3.989190e-06,4.883547e-06,5.065435e-06,6.283449e-06,6.491013e-06,7.635651e-06,8.329618e-06,9.112475e-06,1.037640e-05,1.070306e-05,1.239570e-05,1.260509e-05,1.417805e-05,1.498742e-05,1.603730e-05,1.749370e-05,1.796034e-05,1.993385e-05,2.009351e-05,2.194452e-05,2.275625e-05,2.397924e-05,2.545194e-05,2.602525e-05,2.807036e-05,2.815198e-05,3.010309e-05,3.082976e-05,3.211280e-05,3.346126e-05,3.408979e-05,3.602540e-05,3.791197e-05,3.850422e-05,3.974294e-05,4.088298e-05,4.151277e-05,4.315005e-05,4.321691e-05,4.485176e-05,4.529670e-05,4.641459e-05,4.731690e-05,4.790350e-05,4.920697e-05,4.931729e-05,5.065541e-05,5.096530e-05,5.191790e-05,5.259203e-05,5.310528e-05,5.408877e-05,5.421848e-05,5.525882e-05,5.545829e-05,5.622790e-05,5.670427e-05,5.712757e-05,5.783113e-05,5.795985e-05,5.872696e-05,5.884379e-05,5.943117e-05,5.974756e-05,6.007489e-05,6.054795e-05,6.066055e-05,6.119060e-05,6.125059e-05,6.166751e-05,6.186114e-05,6.209371e-05,6.238519e-05,6.247162e-05,6.280362e-05,6.282827e-05,6.309205e-05,6.319573e-05,6.333917e-05,6.349277e-05,6.354720e-05,6.371827e-05,6.372437e-05,6.385446e-05,6.389533e-05,6.395775e-05,6.401019e-05,6.403009e-05,6.407331e-05,6.408920e-05,6.408880e-05,6.407946e-05,6.406054e-05,6.404572e-05,6.399220e-05,6.398954e-05,6.391240e-05,6.388724e-05,6.381572e-05,6.374889e-05,6.370085e-05,6.358021e-05,6.356908e-05,6.342163e-05,6.338404e-05,6.325968e-05,6.316306e-05,6.308431e-05,6.291974e-05,6.289660e-05,6.269751e-05,6.265642e-05,6.248801e-05,6.237525e-05,6.226898e-05,6.207826e-05,6.204128e-05,6.180569e-05,6.176731e-05,6.156297e-05,6.144415e-05,6.131385e-05,6.111038e-05,6.105898e-05,6.079901e-05,6.076750e-05,6.053453e-05,6.041688e-05,6.026612e-05,6.005981e-05,5.999429e-05,5.971956e-05,5.969747e-05,5.944238e-05,5.933092e-05,5.916320e-05,5.896118e-05,5.888242e-05,5.860045e-05,5.858915e-05,5.831764e-05,5.821569e-05,5.803432e-05,5.784155e-05,5.775083e-05,5.746744e-05,5.709400e-05,5.672183e-05,5.635144e-05,5.598332e-05,5.561789e-05,5.525556e-05,5.489667e-05,5.454153e-05,5.419042e-05,5.384358e-05,5.350124e-05,5.316359e-05,5.283077e-05,5.250295e-05,5.218022e-05,5.186270e-05,5.155046e-05,5.124357e-05,5.094208e-05,5.064601e-05,5.035539e-05,5.007024e-05,4.979054e-05,4.951628e-05
0.000000e+00,6.063908e-11,2.927760e-10,2.421709e-09,8.478489e-09,1.452821e-08,4.356733e-08,4.526032e-08,1.029223e-07,1.249694e-07,1.953802e-07,2.707910e-07,3.304176e-07,4.989899e-07,5.158595e-07,7.589058e-07,8.264091e-07,1.064143e-06,1.262390e-06,1.431416e-06,1.802356e-06,1.856146e-06,2.331807e-06,2.432465e-06,2.851848e-06,3.137789e-06,3.410243e-06,3.904800e-06,4.001348e-06,4.619663e-06,4.720752e-06,5.259705e-06,5.573031e-06,5.915985e-06,6.449038e-06,6.583058e-06,7.255612e-06,7.336442e-06,7.928568e-06,8.223560e-06,8.597180e-06,9.099732e-06,9.257108e-06,9.904481e-06,9.955624e-06,1.053593e-05,1.078340e-05,1.114861e-05,1.157679e-05,1.174019e-05,1.230882e-05,1.233107e-05,1.285313e-05,1.304293e-05,1.337217e-05,1.371038e-05,1.386537e-05,1.433248e-05,1.477355e-05,1.490923e-05,1.518886e-05,1.544136e-05,1.557890e-05,1.593015e-05,1.594430e-05,1.628583e-05,1.637730e-05,1.660434e-05,1.678478e-05,1.690076e-05,1.715478e-05,1.717605e-05,1.743120e-05,1.748955e-05,1.766720e-05,1.779138e-05,1.788507e-05,1.806255e-05,1.808576e-05,1.827025e-05,1.830528e-05,1.843945e-05,1.852169e-05,1.859426e-05,1.871382e-05,1.873555e-05,1.886414e-05,1.888359e-05,1.898081e-05,1.903280e-05,1.908630e-05,1.916313e-05,1.918133e-05,1.926654e-05,1.927614e-05,1.934258e-05,1.937329e-05,1.941004e-05,1.945591e-05,1.946947e-05,1.952139e-05,1.952523e-05,1.956630e-05,1.958240e-05,1.960465e-05,1.962845e-05,1.963688e-05,1.966340e-05,1.966434e-05,1.968457e-05,1.969096e-05,1.970077e-05,1.970911e-05,1.971232e-05,1.971952e-05,1.972268e-05,1.972288e-05,1.972207e-05,1.971981e-05,1.971794e-05,1.971088e-05,1.971053e-05,1.970006e-05,1.969661e-05,1.968675e-05,1.967749e-05,1.967080e-05,1.965394e-05,1.965238e-05,1.963167e-05,1.962638e-05,1.960884e-05,1.959518e-05,1.958403e-05,1.956068e-05,1.955739e-05,1.952905e-05,1.952319e-05,1.949914e-05,1.948301e-05,1.946778e-05,1.944039e-05,1.943507e-05,1.940113e-05,1.939559e-05,1.936604e-05,1.934882e-05,1.932991e-05,1.930031e-05,1.929281e-05,1.925484e-05,1.925023e-05,1.921606e-05,1.919876e-05,1.917655e-05,1.914607e-05,1.913637e-05,1.909560e-05,1.909231e-05,1.905428e-05,1.903762e-05,1.901249e-05,1.898212e-05,1.897026e-05,1.892765e-05,1.892594e-05,1.888471e-05,1.886918e-05,1.884148e-05,1.881194e-05,1.879800e-05,1.875432e-05,1.869640e-05,1.863827e-05,1.857999e-05,1.852164e-05,1.846328e-05,1.840497e-05,1.834675e-05,1.828868e-05,1.823081e-05,1.817317e-05,1.811581e-05,1.805875e-05,1.800204e-05,1.794571e-05,1.788977e-05,1.783426e-05,1.777920e-05,1.772460e-05,1.767049e-05,1.761689e-05,1.756381e-05,1.751126e-05,1.745926e-05,1.740782e-05
0.000000e+00,1.131380e-14,9.690206e-14,2.305801e-12,1.840331e-11,4.722505e-11,3.522951e-10,3.784718e-10,1.817582e-09,2.647751e-09,6.324896e-09,1.196816e-08,1.765076e-08,3.935207e-08,4.197057e-08,8.842478e-08,1.041814e-07,1.695100e-07,2.358769e-07,3.012595e-07,4.744728e-07,5.031125e-07,7.973681e-07,8.694159e-07,1.208200e-06,1.476132e-06,1.760339e-06,2.350830e-06,2.477615e-06,3.381583e-06,3.544812e-06,4.490389e-06,5.099640e-06,5.817960e-06,7.043894e-06,7.373527e-06,9.161476e-06,9.391677e-06,1.118144e-05,1.214263e-05,1.342858e-05,1.528297e-05,1.589395e-05,1.856503e-05,1.878716e-05,2.142624e-05,2.261997e-05,2.445945e-05,2.673863e-05,2.764454e-05,3.095994e-05,3.109495e-05,3.438314e-05,3.563746e-05,3.789114e-05,4.031326e-05,4.146091e-05,4.506978e-05,4.869581e-05,4.985630e-05,5.231804e-05,5.462514e-05,5.591682e-05,5.933268e-05,5.947395e-05,6.297286e-05,6.394005e-05,6.639867e-05,6.841354e-05,6.973828e-05,7.272481e-05,7.298036e-05,7.611534e-05,7.685089e-05,7.913534e-05,8.077393e-05,8.203412e-05,8.448097e-05,8.480693e-05,8.745044e-05,8.796342e-05,8.996258e-05,9.121664e-05,9.234246e-05,9.423941e-05,9.459020e-05,9.670681e-05,9.703341e-05,9.869407e-05,9.960271e-05,1.005544e-04,1.019533e-04,1.022909e-04,1.039068e-04,1.040928e-04,1.054060e-04,1.060297e-04,1.067926e-04,1.077736e-04,1.080707e-04,1.092447e-04,1.093343e-04,1.103192e-04,1.107221e-04,1.112985e-04,1.119472e-04,1.121872e-04,1.129896e-04,1.130200e-04,1.137102e-04,1.139504e-04,1.143532e-04,1.147482e-04,1.149227e-04,1.154227e-04,1.158572e-04,1.159830e-04,1.162298e-04,1.164375e-04,1.165442e-04,1.167944e-04,1.168038e-04,1.170118e-04,1.170612e-04,1.171714e-04,1.172452e-04,1.172856e-04,1.173529e-04,1.173572e-04,1.173888e-04,1.173908e-04,1.173832e-04,1.173646e-04,1.173426e-04,1.172798e-04,1.172694e-04,1.171657e-04,1.171415e-04,1.170336e-04,1.169544e-04,1.168751e-04,1.167228e-04,1.166919e-04,1.164857e-04,1.164507e-04,1.162583e-04,1.161421e-04,1.160112e-04,1.158002e-04,1.157457e-04,1.154634e-04,1.154284e-04,1.151654e-04,1.150296e-04,1.148529e-04,1.146065e-04,1.145272e-04,1.141893e-04,1.141617e-04,1.138402e-04,1.136976e-04,1.134808e-04,1.132162e-04,1.131121e-04,1.127349e-04,1.127197e-04,1.123500e-04,1.122097e-04,1.119582e-04,1.116881e-04,1.115601e-04,1.111564e-04,1.106160e-04,1.100682e-04,1.095144e-04,1.089556e-04,1.083929e-04,1.078271e-04,1.072593e-04,1.066901e-04,1.061204e-04,1.055507e-04,1.049819e-04,1.044143e-04,1.038485e-04,1.032850e-04,1.027243e-04,1.021666e-04,1.016125e-04,1.010622e-04,1.005159e-04,9.997407e-05,9.943681e-05,9.890438e-05,9.837696e-05,9.785473e-05
0.000000e+00,4.471241e-10,1.199821e-09,4.837436e-09,1.177632e-08,1.757747e-08,4.123614e-08,4.251155e-08,8.304872e-08,9.762345e-08,1.422898e-07,1.880155e-07,2.231044e-07,3.187538e-07,3.280971e-07,4.593489e-07,4.948979e-07,6.178099e-07,7.181533e-07,8.024650e-07,9.840251e-07,1.009979e-06,1.235439e-06,1.282219e-06,1.473625e-06,1.600918e-06,1.719826e-06,1.929889e-06,1.970050e-06,2.220956e-06,2.260969e-06,2.469722e-06,2.587657e-06,2.713970e-06,2.904764e-06,2.951707e-06,3.181297e-06,3.208235e-06,3.401438e-06,3.495041e-06,3.611141e-06,3.763088e-06,3.809697e-06,3.996657e-06,4.011104e-06,4.171791e-06,4.238519e-06,4.335061e-06,4.445332e-06,4.486587e-06,4.626617e-06,4.631984e-06,4.755499e-06,4.799246e-06,4.873654e-06,4.948115e-06,4.981561e-06,5.079732e-06,5.168699e-06,5.195314e-06,5.249006e-06,5.296107e-06,5.321192e-06,5.383345e-06,5.385789e-06,5.443315e-06,5.458223e-06,5.494267e-06,5.521882e-06,5.539123e-06,5.575396e-06,5.578336e-06,5.612334e-06,5.619763e-06,5.641522e-06,5.655908e-06,5.666277e-06,5.684678e-06,5.686955e-06,5.703888e-06,5.706853e-06,5.717385e-06,5.723143e-06,5.727734e-06,5.734189e-06,5.735201e-06,5.740032e-06,5.740576e-06,5.742456e-06,5.742829e-06,5.742687e-06,5.741424e-06,5.740920e-06,5.737335e-06,5.736791e-06,5.732100e-06,5.729314e-06,5.725369e-06,5.719341e-06,5.717284e-06,5.707977e-06,5.707184e-06,5.697569e-06,5.693123e-06,5.686171e-06,5.677410e-06,5.673886e-06,5.660808e-06,5.660270e-06,5.647025e-06,5.641906e-06,5.632617e-06,5.622500e-06,5.617657e-06,5.602215e-06,5.586352e-06,5.581196e-06,5.570126e-06,5.559575e-06,5.553590e-06,5.537469e-06,5.536792e-06,5.519778e-06,5.514981e-06,5.502588e-06,5.492205e-06,5.485260e-06,5.469226e-06,5.467829e-06,5.450325e-06,5.446117e-06,5.432780e-06,5.422945e-06,5.415218e-06,5.399769e-06,5.397664e-06,5.380141e-06,5.376642e-06,5.362669e-06,5.353610e-06,5.345266e-06,5.330714e-06,5.327950e-06,5.310735e-06,5.307991e-06,5.293635e-06,5.285472e-06,5.276664e-06,5.263187e-06,5.259832e-06,5.243150e-06,5.241158e-06,5.226626e-06,5.219408e-06,5.210270e-06,5.197955e-06,5.194088e-06,5.178087e-06,5.176815e-06,5.162273e-06,5.156001e-06,5.146652e-06,5.135526e-06,5.131226e-06,5.116002e-06,5.115397e-06,5.100980e-06,5.095623e-06,5.086165e-06,5.076210e-06,5.071559e-06,5.057163e-06,5.038486e-06,5.020180e-06,5.002247e-06,4.984689e-06,4.967503e-06,4.950689e-06,4.934246e-06,4.918172e-06,4.902462e-06,4.887114e-06,4.872125e-06,4.857489e-06,4.843204e-06,4.829264e-06,4.815664e-06,4.802399e-06,4.789464e-06,4.776854e-06,4.764563e-06,4.752585e-06,4.740914e-06,4.729545e-06,4.718472e-06,4.707689e-06
0.000000e+00,2.457493e-12,1.753085e-11,2.878940e-10,1.656681e-09,3.569480e-09,1.724483e-08,1.821163e-08,5.841067e-08,7.661880e-08,1.419657e-07,2.209721e-07,2.883595e-07,4.961105e-07,5.180470e-07,8.521703e-07,9.502188e-07,1.311030e-06,1.628583e-06,1.910050e-06,2.557824e-06,2.654779e-06,3.538887e-06,3.731171e-06,4.546792e-06,5.113247e-06,5.658531e-06,6.657742e-06,6.853807e-06,8.113980e-06,8.320496e-06,9.422478e-06,1.006331e-05,1.076447e-05,1.185305e-05,1.212642e-05,1.349576e-05,1.366001e-05,1.486076e-05,1.545716e-05,1.621058e-05,1.722019e-05,1.753536e-05,1.882631e-05,1.892788e-05,2.007582e-05,2.056255e-05,2.127752e-05,2.211024e-05,2.242633e-05,2.351835e-05,2.356081e-05,2.455088e-05,2.490768e-05,2.552226e-05,2.614748e-05,2.643180e-05,2.727963e-05,2.806658e-05,2.830576e-05,2.879405e-05,2.922927e-05,2.946392e-05,3.005484e-05,3.007839e-05,3.063992e-05,3.078802e-05,3.115114e-05,3.143486e-05,3.161479e-05,3.200169e-05,3.203361e-05,3.241038e-05,3.249485e-05,3.274781e-05,3.292057e-05,3.304853e-05,3.328482e-05,3.331509e-05,3.354991e-05,3.359327e-05,3.375531e-05,3.385122e-05,3.393346e-05,3.406355e-05,3.408641e-05,3.421608e-05,3.423479e-05,3.432425e-05,3.436903e-05,3.441260e-05,3.447004e-05,3.448266e-05,3.453587e-05,3.454119e-05,3.457356e-05,3.458555e-05,3.459696e-05,3.460588e-05,3.460720e-05,3.460533e-05,3.460469e-05,3.459233e-05,3.458421e-05,3.456907e-05,3.454644e-05,3.453639e-05,3.449504e-05,3.449322e-05,3.444573e-05,3.442616e-05,3.438910e-05,3.434673e-05,3.432576e-05,3.425625e-05,3.418109e-05,3.415592e-05,3.410074e-05,3.404680e-05,3.401565e-05,3.392987e-05,3.392621e-05,3.383281e-05,3.380600e-05,3.373579e-05,3.367598e-05,3.363547e-05,3.354053e-05,3.353216e-05,3.342612e-05,3.340029e-05,3.331762e-05,3.325587e-05,3.320689e-05,3.310779e-05,3.309416e-05,3.297964e-05,3.295654e-05,3.286353e-05,3.280257e-05,3.274599e-05,3.264629e-05,3.262720e-05,3.250732e-05,3.248805e-05,3.238649e-05,3.232820e-05,3.226485e-05,3.216704e-05,3.214252e-05,3.201963e-05,3.200485e-05,3.189629e-05,3.184190e-05,3.177259e-05,3.167840e-05,3.164864e-05,3.152452e-05,3.151459e-05,3.140033e-05,3.135065e-05,3.127614e-05,3.118677e-05,3.115202e-05,3.102805e-05,3.102310e-05,3.090429e-05,3.085980e-05,3.078080e-05,3.069700e-05,3.065763e-05,3.053484e-05,3.037342e-05,3.021285e-05,3.005323e-05,2.989463e-05,2.973715e-05,2.958085e-05,2.942579e-05,2.927204e-05,2.911965e-05,2.896866e-05,2.881912e-05,2.867106e-05,2.852452e-05,2.837953e-05,2.823611e-05,2.809428e-05,2.795408e-05,2.781550e-05,2.767856e-05,2.754328e-05,2.740967e-05,2.727772e-05,2.714745e-05,2.701886e-05
0.000000e+00,7.702655e-16,6.881526e-15,1.789325e-13,1.550550e-12,4.164992e-12,3.502504e-11,3.781328e-11,2.050176e-10,3.087817e-10,8.025731e-10,1.626916e-09,2.510197e-09,6.194150e-09,6.663813e-09,1.561239e-08,1.885811e-08,3.315132e-08,4.876861e-08,6.501705e-08,1.113588e-07,1.194168e-07,2.075558e-07,2.304584e-07,3.441173e-07,4.402620e-07,5.476534e-07,7.868542e-07,8.408503e-07,1.250646e-06,1.329057e-06,1.808186e-06,2.138461e-06,2.548619e-06,3.298607e-06,3.510738e-06,4.736467e-06,4.903357e-06,6.270242e-06,7.054556e-06,8.158280e-06,9.859144e-06,1.044777e-05,1.318603e-05,1.342588e-05,1.641960e-05,1.786185e-05,2.019340e-05,2.326898e-05,2.454986e-05,2.952812e-05,2.974070e-05,3.516333e-05,3.735885e-05,4.148594e-05,4.619108e-05,4.852121e-05,5.628874e-05,6.480215e-05,6.768536e-05,7.406887e-05,8.039569e-05,8.409002e-05,9.441536e-05,9.486044e-05,1.063688e-04,1.097211e-04,1.185977e-04,1.262716e-04,1.315243e-04,1.440085e-04,1.451201e-04,1.593519e-04,1.628581e-04,1.741822e-04,1.827332e-04,1.895693e-04,2.035349e-04,2.054683e-04,2.218314e-04,2.251554e-04,2.386086e-04,2.474793e-04,2.557482e-04,2.703868e-04,2.731972e-04,2.909020e-04,2.937549e-04,3.088088e-04,3.174601e-04,3.268642e-04,3.413800e-04,3.450154e-04,3.632106e-04,3.653946e-04,3.813997e-04,3.893884e-04,3.995342e-04,4.132512e-04,4.175676e-04,4.354557e-04,4.368792e-04,4.531567e-04,4.601758e-04,4.706313e-04,4.830522e-04,4.878430e-04,5.047581e-04,5.054281e-04,5.213456e-04,5.272313e-04,5.375773e-04,5.483986e-04,5.534279e-04,5.688749e-04,5.838986e-04,5.886139e-04,5.984818e-04,6.075770e-04,6.126099e-04,6.257336e-04,6.262709e-04,6.394552e-04,6.430603e-04,6.521553e-04,6.595407e-04,6.643660e-04,6.751647e-04,6.760839e-04,6.873077e-04,6.899279e-04,6.980377e-04,7.038315e-04,7.082758e-04,7.168812e-04,7.180255e-04,7.272916e-04,7.290873e-04,7.360800e-04,7.404636e-04,7.443979e-04,7.510271e-04,7.522533e-04,7.596551e-04,7.607979e-04,7.666130e-04,7.697981e-04,7.731374e-04,7.780521e-04,7.792391e-04,7.849296e-04,7.855854e-04,7.902206e-04,7.924252e-04,7.951242e-04,7.985993e-04,7.996526e-04,8.038182e-04,8.041362e-04,8.076337e-04,8.090646e-04,8.111116e-04,8.134136e-04,8.142644e-04,8.171048e-04,8.172120e-04,8.196450e-04,8.204884e-04,8.218975e-04,8.232710e-04,8.238744e-04,8.255874e-04,8.274648e-04,8.289292e-04,8.300061e-04,8.307200e-04,8.310946e-04,8.311526e-04,8.309158e-04,8.304050e-04,8.296400e-04,8.286398e-04,8.274223e-04,8.260045e-04,8.244026e-04,8.226317e-04,8.207062e-04,8.186395e-04,8.164444e-04,8.141329e-04,8.117161e-04,8.092045e-04,8.066080e-04,8.039359e-04,8.011966e-04,7.983983e-04
0.000000e+00,1.003881e-15,8.985157e-15,2.348018e-13,2.044423e-12,5.506122e-12,4.662720e-11,5.035356e-11,2.749655e-10,4.149517e-10,1.083982e-09,2.206531e-09,3.413887e-09,8.477155e-09,9.124874e-09,2.152293e-08,2.603927e-08,4.600823e-08,6.793512e-08,9.083490e-08,1.564932e-07,1.679517e-07,2.938735e-07,3.267394e-07,4.905186e-07,6.297750e-07,7.859399e-07,1.135646e-06,1.214887e-06,1.819157e-06,1.935281e-06,2.647692e-06,3.141212e-06,3.756420e-06,4.886938e-06,5.207843e-06,7.070378e-06,7.324950e-06,9.417473e-06,1.062354e-05,1.232655e-05,1.496256e-05,1.587778e-05,2.015275e-05,2.052846e-05,2.523307e-05,2.750875e-05,3.119896e-05,3.608631e-05,3.812775e-05,4.609261e-05,4.643373e-05,5.516118e-05,5.870801e-05,6.539439e-05,7.304573e-05,7.684548e-05,8.955898e-05,1.035701e-04,1.083322e-04,1.189042e-04,1.294195e-04,1.355761e-04,1.528440e-04,1.535903e-04,1.729409e-04,1.785966e-04,1.936115e-04,2.066367e-04,2.155754e-04,2.368937e-04,2.387966e-04,2.632299e-04,2.692684e-04,2.888214e-04,3.036360e-04,3.155098e-04,3.398487e-04,3.432266e-04,3.718975e-04,3.777393e-04,4.014428e-04,4.171242e-04,4.317785e-04,4.578075e-04,4.628173e-04,4.944694e-04,4.995845e-04,5.266431e-04,5.422447e-04,5.592462e-04,5.855757e-04,5.921862e-04,6.253713e-04,6.293657e-04,6.587111e-04,6.734068e-04,6.921171e-04,7.174970e-04,7.255034e-04,7.587869e-04,7.614427e-04,7.918880e-04,8.050603e-04,8.247310e-04,8.481776e-04,8.572440e-04,8.893598e-04,8.906352e-04,9.210152e-04,9.322870e-04,9.521519e-04,9.730011e-04,9.827164e-04,1.012660e-03,1.041938e-03,1.051160e-03,1.070511e-03,1.088412e-03,1.098344e-03,1.124340e-03,1.125408e-03,1.151675e-03,1.158884e-03,1.177124e-03,1.191994e-03,1.201738e-03,1.223632e-03,1.225502e-03,1.248406e-03,1.253774e-03,1.270443e-03,1.282403e-03,1.291609e-03,1.309515e-03,1.311905e-03,1.331332e-03,1.335113e-03,1.349894e-03,1.359207e-03,1.367600e-03,1.381817e-03,1.384457e-03,1.400479e-03,1.402966e-03,1.415677e-03,1.422684e-03,1.430066e-03,1.441006e-03,1.443663e-03,1.456483e-03,1.457971e-03,1.468547e-03,1.473619e-03,1.479872e-03,1.487997e-03,1.490478e-03,1.500386e-03,1.501149e-03,1.509617e-03,1.513125e-03,1.518192e-03,1.523972e-03,1.526133e-03,1.533460e-03,1.533741e-03,1.540197e-03,1.542482e-03,1.546364e-03,1.550244e-03,1.551984e-03,1.557077e-03,1.563030e-03,1.568150e-03,1.572485e-03,1.576080e-03,1.578980e-03,1.581226e-03,1.582862e-03,1.583926e-03,1.584456e-03,1.584490e-03,1.584061e-03,1.583204e-03,1.581950e-03,1.580329e-03,1.578369e-03,1.576099e-03,1.573541e-03,1.570722e-03,1.567663e-03,1.564386e-03,1.560910e-03,1.557255e-03,1.553439e-03,1.549477e-03
0.000000e+00,1.665311e-09,4.096078e-09,1.519974e-08,3.586738e-08,5.307164e-08,1.236582e-07,1.274931e-07,2.511849e-07,2.965188e-07,4.382110e-07,5.873707e-07,7.044559e-07,1.033752e-06,1.066613e-06,1.538045e-06,1.668154e-06,2.122927e-06,2.498040e-06,2.815204e-06,3.504462e-06,3.603796e-06,4.477523e-06,4.661606e-06,5.426709e-06,5.947286e-06,6.442957e-06,7.342783e-06,7.518560e-06,8.646055e-06,8.830774e-06,9.818011e-06,1.039415e-05,1.102696e-05,1.201573e-05,1.226543e-05,1.352606e-05,1.367848e-05,1.480168e-05,1.536593e-05,1.608546e-05,1.706262e-05,1.737098e-05,1.865230e-05,1.875446e-05,1.992406e-05,2.042899e-05,2.118144e-05,2.207546e-05,2.242023e-05,2.363677e-05,2.368492e-05,2.482796e-05,2.525007e-05,2.599122e-05,2.676519e-05,2.712445e-05,2.822598e-05,2.929456e-05,2.962939e-05,3.032927e-05,3.097341e-05,3.132949e-05,3.225694e-05,3.229489e-05,3.322535e-05,3.347963e-05,3.412096e-05,3.464170e-05,3.498198e-05,3.574388e-05,3.580877e-05,3.660186e-05,3.678725e-05,3.736183e-05,3.777320e-05,3.808936e-05,3.870333e-05,3.878517e-05,3.945006e-05,3.957940e-05,4.008482e-05,4.040327e-05,4.069029e-05,4.117685e-05,4.126730e-05,4.181671e-05,4.190211e-05,4.233937e-05,4.258101e-05,4.283615e-05,4.321551e-05,4.330789e-05,4.375543e-05,4.380755e-05,4.417959e-05,4.435903e-05,4.458120e-05,4.487182e-05,4.496104e-05,4.531991e-05,4.534774e-05,4.565856e-05,4.578853e-05,4.597775e-05,4.619591e-05,4.627819e-05,4.656059e-05,4.657153e-05,4.682566e-05,4.691696e-05,4.707404e-05,4.723374e-05,4.730639e-05,4.752334e-05,4.772551e-05,4.778717e-05,4.791347e-05,4.802658e-05,4.808780e-05,4.824285e-05,4.824906e-05,4.839778e-05,4.843724e-05,4.853447e-05,4.861092e-05,4.865964e-05,4.876504e-05,4.877377e-05,4.887733e-05,4.890066e-05,4.897076e-05,4.901883e-05,4.905451e-05,4.912052e-05,4.912898e-05,4.919459e-05,4.920668e-05,4.925172e-05,4.927820e-05,4.930075e-05,4.933594e-05,4.934204e-05,4.937594e-05,4.938070e-05,4.940279e-05,4.941327e-05,4.942291e-05,4.943437e-05,4.943661e-05,4.944419e-05,4.944470e-05,4.944594e-05,4.944494e-05,4.944214e-05,4.943570e-05,4.943306e-05,4.941895e-05,4.941761e-05,4.940006e-05,4.939121e-05,4.937662e-05,4.935707e-05,4.934888e-05,4.931704e-05,4.931569e-05,4.928133e-05,4.926756e-05,4.924193e-05,4.921314e-05,4.919905e-05,4.915288e-05,4.908719e-05,4.901647e-05,4.894108e-05,4.886140e-05,4.877775e-05,4.869045e-05,4.859980e-05,4.850610e-05,4.840959e-05,4.831056e-05,4.820922e-05,4.810582e-05,4.800057e-05,4.789366e-05,4.778530e-05,4.767565e-05,4.756491e-05,4.745321e-05,4.734072e-05,4.722758e-05,4.711393e-05,4.699988e-05,4.688556e-05,4.677107e-05
0.000000e+00,1.984442e-09,4.590035e-09,1.591987e-08,3.629617e-08,5.296326e-08,1.200574e-07,1.236636e-07,2.386948e-07,2.803851e-07,4.095472e-07,5.440205e-07,6.486682e-07,9.390765e-07,9.677478e-07,1.372920e-06,1.482761e-06,1.860470e-06,2.165490e-06,2.419409e-06,2.960584e-06,3.037513e-06,3.704263e-06,3.842655e-06,4.410877e-06,4.791477e-06,5.149617e-06,5.789696e-06,5.913264e-06,6.694869e-06,6.821139e-06,7.487695e-06,7.870326e-06,8.285273e-06,8.922636e-06,9.081493e-06,9.870705e-06,9.964691e-06,1.064781e-05,1.098472e-05,1.140831e-05,1.197279e-05,1.214835e-05,1.286471e-05,1.292092e-05,1.355482e-05,1.382305e-05,1.421667e-05,1.467488e-05,1.484882e-05,1.545030e-05,1.547371e-05,1.602056e-05,1.621818e-05,1.655945e-05,1.690803e-05,1.706710e-05,1.754392e-05,1.799051e-05,1.812716e-05,1.840766e-05,1.865960e-05,1.879627e-05,1.914341e-05,1.915733e-05,1.949192e-05,1.958101e-05,1.980113e-05,1.997495e-05,2.008611e-05,2.032785e-05,2.034798e-05,2.058789e-05,2.064232e-05,2.080695e-05,2.092092e-05,2.100625e-05,2.116615e-05,2.118687e-05,2.134983e-05,2.138039e-05,2.149613e-05,2.156594e-05,2.162673e-05,2.172496e-05,2.174254e-05,2.184443e-05,2.185950e-05,2.193326e-05,2.197149e-05,2.200981e-05,2.206272e-05,2.207484e-05,2.212907e-05,2.213488e-05,2.217317e-05,2.218954e-05,2.220781e-05,2.222817e-05,2.223358e-05,2.225107e-05,2.225213e-05,2.226082e-05,2.226268e-05,2.226336e-05,2.226098e-05,2.225915e-05,2.224868e-05,2.224814e-05,2.223236e-05,2.222514e-05,2.221062e-05,2.219293e-05,2.218383e-05,2.215236e-05,2.211655e-05,2.210422e-05,2.207672e-05,2.204926e-05,2.203318e-05,2.198815e-05,2.198621e-05,2.193609e-05,2.192152e-05,2.188306e-05,2.184994e-05,2.182736e-05,2.177395e-05,2.176922e-05,2.170884e-05,2.169404e-05,2.164643e-05,2.161066e-05,2.158217e-05,2.152423e-05,2.151624e-05,2.144879e-05,2.143514e-05,2.137999e-05,2.134373e-05,2.130998e-05,2.125033e-05,2.123889e-05,2.116685e-05,2.115525e-05,2.109398e-05,2.105875e-05,2.102040e-05,2.096108e-05,2.094620e-05,2.087149e-05,2.086249e-05,2.079635e-05,2.076318e-05,2.072088e-05,2.066335e-05,2.064516e-05,2.056926e-05,2.056318e-05,2.049324e-05,2.046282e-05,2.041719e-05,2.036243e-05,2.034115e-05,2.026519e-05,2.026215e-05,2.018936e-05,2.016210e-05,2.011370e-05,2.006239e-05,2.003828e-05,1.996312e-05,1.986439e-05,1.976628e-05,1.966887e-05,1.957223e-05,1.947642e-05,1.938150e-05,1.928751e-05,1.919450e-05,1.910251e-05,1.901158e-05,1.892173e-05,1.883299e-05,1.874538e-05,1.865893e-05,1.857364e-05,1.848954e-05,1.840663e-05,1.832492e-05,1.824442e-05,1.816513e-05,1.808705e-05,1.801019e-05,1.793454e-05,1.786010e-05
0.000000e+00,3.315066e-09,7.600070e-09,2.616230e-08,5.954127e-08,8.687958e-08,1.972551e-07,2.032007e-07,3.934004e-07,4.625515e-07,6.773124e-07,9.014036e-07,1.075849e-06,1.558396e-06,1.605825e-06,2.271076e-06,2.449981e-06,3.062321e-06,3.555533e-06,3.966503e-06,4.846469e-06,4.972175e-06,6.069523e-06,6.299174e-06,7.249202e-06,7.891996e-06,8.501579e-06,9.602313e-06,9.816457e-06,1.118311e-05,1.140584e-05,1.259048e-05,1.327722e-05,1.402748e-05,1.519109e-05,1.548324e-05,1.694738e-05,1.712318e-05,1.841025e-05,1.905120e-05,1.986302e-05,2.095549e-05,2.129783e-05,2.270782e-05,2.281937e-05,2.408715e-05,2.462916e-05,2.543091e-05,2.637414e-05,2.673515e-05,2.799675e-05,2.804630e-05,2.921336e-05,2.963998e-05,3.038329e-05,3.115160e-05,3.150545e-05,3.257926e-05,3.360458e-05,3.392246e-05,3.458161e-05,3.518179e-05,3.551086e-05,3.635869e-05,3.639309e-05,3.722923e-05,3.745523e-05,3.802037e-05,3.847396e-05,3.876773e-05,3.941775e-05,3.947261e-05,4.013634e-05,4.028968e-05,4.076034e-05,4.109295e-05,4.134601e-05,4.183083e-05,4.189479e-05,4.240808e-05,4.250660e-05,4.288729e-05,4.312348e-05,4.333382e-05,4.368465e-05,4.374903e-05,4.413425e-05,4.419318e-05,4.449077e-05,4.465208e-05,4.481987e-05,4.506423e-05,4.512277e-05,4.540065e-05,4.543237e-05,4.565468e-05,4.575917e-05,4.588595e-05,4.604715e-05,4.609553e-05,4.628447e-05,4.629872e-05,4.645375e-05,4.651617e-05,4.660432e-05,4.670166e-05,4.673710e-05,4.685298e-05,4.685728e-05,4.695280e-05,4.698496e-05,4.703737e-05,4.708656e-05,4.710746e-05,4.716383e-05,4.720719e-05,4.721843e-05,4.723822e-05,4.725191e-05,4.725757e-05,4.726574e-05,4.726587e-05,4.726372e-05,4.726133e-05,4.725169e-05,4.723996e-05,4.723034e-05,4.720289e-05,4.720017e-05,4.716169e-05,4.715127e-05,4.711538e-05,4.708620e-05,4.706170e-05,4.700870e-05,4.700107e-05,4.693392e-05,4.691974e-05,4.686064e-05,4.682023e-05,4.678160e-05,4.671103e-05,4.669718e-05,4.660770e-05,4.659294e-05,4.651351e-05,4.646671e-05,4.641491e-05,4.633305e-05,4.631219e-05,4.620565e-05,4.619262e-05,4.609555e-05,4.604605e-05,4.598215e-05,4.589391e-05,4.586570e-05,4.574642e-05,4.573677e-05,4.562455e-05,4.557512e-05,4.550028e-05,4.540944e-05,4.537383e-05,4.524537e-05,4.524020e-05,4.511510e-05,4.506779e-05,4.498319e-05,4.489263e-05,4.484979e-05,4.471507e-05,4.453546e-05,4.435412e-05,4.417134e-05,4.398740e-05,4.380257e-05,4.361708e-05,4.343116e-05,4.324502e-05,4.305885e-05,4.287283e-05,4.268713e-05,4.250190e-05,4.231729e-05,4.213342e-05,4.195043e-05,4.176842e-05,4.158749e-05,4.140775e-05,4.122927e-05,4.105215e-05,4.087644e-05,4.070222e-05,4.052955e-05,4.035848e-05
0.000000e+00,4.724998e-09,1.138659e-08,4.134254e-08,9.655473e-08,1.423224e-07,3.295119e-07,3.396703e-07,6.672752e-07,7.873960e-07,1.163114e-06,1.558914e-06,1.869541e-06,2.740577e-06,2.827141e-06,4.057725e-06,4.393049e-06,5.549544e-06,6.486249e-06,7.267473e-06,8.936404e-06,9.174070e-06,1.123838e-05,1.166788e-05,1.343510e-05,1.462227e-05,1.574199e-05,1.774961e-05,1.813816e-05,2.060340e-05,2.100293e-05,2.311808e-05,2.433711e-05,2.566333e-05,2.770951e-05,2.822132e-05,3.077558e-05,3.108112e-05,3.331121e-05,3.441751e-05,3.581498e-05,3.768944e-05,3.827545e-05,4.068288e-05,4.087293e-05,4.302919e-05,4.394910e-05,4.530789e-05,4.690375e-05,4.751382e-05,4.964309e-05,4.972663e-05,5.169293e-05,5.241105e-05,5.366150e-05,5.495316e-05,5.554779e-05,5.735146e-05,5.907277e-05,5.960629e-05,6.071242e-05,6.171945e-05,6.227153e-05,6.369381e-05,6.375151e-05,6.515402e-05,6.553309e-05,6.648092e-05,6.724159e-05,6.773421e-05,6.882404e-05,6.891601e-05,7.002848e-05,7.028541e-05,7.107386e-05,7.163081e-05,7.205441e-05,7.286545e-05,7.297237e-05,7.383002e-05,7.399451e-05,7.462960e-05,7.502317e-05,7.537332e-05,7.595647e-05,7.606336e-05,7.670187e-05,7.679939e-05,7.729095e-05,7.755676e-05,7.783265e-05,7.823325e-05,7.832897e-05,7.878187e-05,7.883339e-05,7.919323e-05,7.936155e-05,7.956491e-05,7.982193e-05,7.989868e-05,8.019627e-05,8.021857e-05,8.045937e-05,8.055532e-05,8.068959e-05,8.083588e-05,8.088850e-05,8.105762e-05,8.106378e-05,8.119839e-05,8.124240e-05,8.131223e-05,8.137496e-05,8.140050e-05,8.146451e-05,8.150550e-05,8.151396e-05,8.152469e-05,8.152608e-05,8.152325e-05,8.150349e-05,8.150229e-05,8.146289e-05,8.144869e-05,8.140608e-05,8.136405e-05,8.133284e-05,8.125178e-05,8.124414e-05,8.114088e-05,8.111402e-05,8.102393e-05,8.095277e-05,8.089413e-05,8.076991e-05,8.075228e-05,8.059915e-05,8.056723e-05,8.043547e-05,8.034643e-05,8.026195e-05,8.010907e-05,8.007925e-05,7.988802e-05,7.985667e-05,7.968887e-05,7.959064e-05,7.948238e-05,7.931229e-05,7.926912e-05,7.904961e-05,7.902287e-05,7.882437e-05,7.872357e-05,7.859387e-05,7.841547e-05,7.835859e-05,7.811895e-05,7.809960e-05,7.787538e-05,7.777694e-05,7.762828e-05,7.744839e-05,7.737802e-05,7.712496e-05,7.711479e-05,7.686945e-05,7.677693e-05,7.661181e-05,7.643556e-05,7.635235e-05,7.609135e-05,7.574497e-05,7.539699e-05,7.504798e-05,7.469846e-05,7.434890e-05,7.399974e-05,7.365140e-05,7.330425e-05,7.295864e-05,7.261490e-05,7.227331e-05,7.193416e-05,7.159767e-05,7.126409e-05,7.093361e-05,7.060642e-05,7.028268e-05,6.996255e-05,6.964616e-05,6.933363e-05,6.902505e-05,6.872054e-05,6.842016e-05,6.812398e-05
0.000000e+00,1.506715e-09,3.465892e-09,1.198691e-08,2.740068e-08,4.010187e-08,9.203660e-08,9.486278e-08,1.867083e-07,2.207531e-07,3.285224e-07,4.440696e-07,5.361373e-07,8.006707e-07,8.274777e-07,1.218963e-06,1.328998e-06,1.718642e-06,2.043944e-06,2.320114e-06,2.918593e-06,3.004280e-06,3.747842e-06,3.901791e-06,4.530288e-06,4.947163e-06,5.336017e-06,6.022414e-06,6.153665e-06,6.974825e-06,7.106084e-06,7.793021e-06,8.183136e-06,8.603045e-06,9.242249e-06,9.400570e-06,1.018196e-05,1.027449e-05,1.094415e-05,1.127275e-05,1.168458e-05,1.223147e-05,1.240119e-05,1.309234e-05,1.314649e-05,1.375676e-05,1.401485e-05,1.439361e-05,1.483473e-05,1.500232e-05,1.558265e-05,1.560528e-05,1.613461e-05,1.632640e-05,1.665840e-05,1.699868e-05,1.715441e-05,1.762318e-05,1.806537e-05,1.820137e-05,1.848171e-05,1.873498e-05,1.887302e-05,1.922591e-05,1.924015e-05,1.958399e-05,1.967621e-05,1.990544e-05,2.008795e-05,2.020542e-05,2.046322e-05,2.048483e-05,2.074459e-05,2.080410e-05,2.098556e-05,2.111263e-05,2.120862e-05,2.139077e-05,2.141462e-05,2.160437e-05,2.164044e-05,2.177867e-05,2.186345e-05,2.193828e-05,2.206155e-05,2.208394e-05,2.221637e-05,2.223637e-05,2.233624e-05,2.238951e-05,2.244420e-05,2.252243e-05,2.254089e-05,2.262690e-05,2.263653e-05,2.270281e-05,2.273315e-05,2.276916e-05,2.281351e-05,2.282647e-05,2.287524e-05,2.287879e-05,2.291595e-05,2.293008e-05,2.294905e-05,2.296841e-05,2.297497e-05,2.299412e-05,2.299475e-05,2.300689e-05,2.301000e-05,2.301366e-05,2.301502e-05,2.301478e-05,2.301058e-05,2.300138e-05,2.299744e-05,2.298750e-05,2.297628e-05,2.296921e-05,2.294777e-05,2.294679e-05,2.292051e-05,2.291249e-05,2.289061e-05,2.287103e-05,2.285732e-05,2.282390e-05,2.282087e-05,2.278147e-05,2.277160e-05,2.273933e-05,2.271460e-05,2.269463e-05,2.265332e-05,2.264755e-05,2.259827e-05,2.258816e-05,2.254694e-05,2.251950e-05,2.249373e-05,2.244768e-05,2.243877e-05,2.238221e-05,2.237302e-05,2.232418e-05,2.229584e-05,2.226480e-05,2.221641e-05,2.220419e-05,2.214247e-05,2.213499e-05,2.207973e-05,2.205182e-05,2.201607e-05,2.196714e-05,2.195160e-05,2.188639e-05,2.188115e-05,2.182054e-05,2.179404e-05,2.175412e-05,2.170600e-05,2.168722e-05,2.161989e-05,2.161719e-05,2.155221e-05,2.152777e-05,2.148424e-05,2.143789e-05,2.141604e-05,2.134767e-05,2.125725e-05,2.116673e-05,2.107622e-05,2.098582e-05,2.089562e-05,2.080570e-05,2.071614e-05,2.062700e-05,2.053835e-05,2.045025e-05,2.036276e-05,2.027591e-05,2.018976e-05,2.010434e-05,2.001970e-05,1.993586e-05,1.985286e-05,1.977071e-05,1.968945e-05,1.960910e-05,1.952967e-05,1.945117e-05,1.937363e-05,1.929706e-05
0.000000e+00,3.185928e-13,2.486030e-12,4.887883e-11,3.289044e-10,7.697517e-10,4.556490e-09,4.850341e-09,1.874964e-08,2.581544e-08,5.381796e-08,9.180162e-08,1.269431e-07,2.472041e-07,2.607623e-07,4.821716e-07,5.514025e-07,8.179984e-07,1.064382e-06,1.289741e-06,1.827992e-06,1.910606e-06,2.685787e-06,2.859358e-06,3.614620e-06,4.157036e-06,4.692920e-06,5.709785e-06,5.914604e-06,7.272467e-06,7.501835e-06,8.758415e-06,9.514550e-06,1.036341e-05,1.172640e-05,1.207741e-05,1.388937e-05,1.411283e-05,1.578741e-05,1.664660e-05,1.775899e-05,1.929865e-05,1.979123e-05,2.187119e-05,2.203927e-05,2.398618e-05,2.483923e-05,2.612401e-05,2.767090e-05,2.827318e-05,3.042307e-05,3.050894e-05,3.256402e-05,3.333089e-05,3.468741e-05,3.611735e-05,3.678562e-05,3.885208e-05,4.088117e-05,4.152179e-05,4.286817e-05,4.411595e-05,4.480922e-05,4.662648e-05,4.670118e-05,4.854161e-05,4.904743e-05,5.032865e-05,5.137466e-05,5.206094e-05,5.360554e-05,5.373761e-05,5.535814e-05,5.573869e-05,5.692235e-05,5.777373e-05,5.843033e-05,5.971110e-05,5.988241e-05,6.127911e-05,6.155186e-05,6.262111e-05,6.329760e-05,6.390922e-05,6.495025e-05,6.514435e-05,6.632752e-05,6.651207e-05,6.745978e-05,6.798552e-05,6.854227e-05,6.937321e-05,6.957615e-05,7.056262e-05,7.067787e-05,7.150289e-05,7.190229e-05,7.239818e-05,7.304928e-05,7.324973e-05,7.405877e-05,7.412169e-05,7.482653e-05,7.512235e-05,7.555424e-05,7.605407e-05,7.624310e-05,7.689432e-05,7.691961e-05,7.750908e-05,7.772170e-05,7.808855e-05,7.846301e-05,7.863386e-05,7.914616e-05,7.962655e-05,7.977371e-05,8.007610e-05,8.034813e-05,8.049589e-05,8.087185e-05,8.088695e-05,8.125030e-05,8.134721e-05,8.158693e-05,8.177649e-05,8.189781e-05,8.216189e-05,8.218388e-05,8.244607e-05,8.250554e-05,8.268526e-05,8.280949e-05,8.290234e-05,8.307575e-05,8.309815e-05,8.327352e-05,8.330621e-05,8.342925e-05,8.350273e-05,8.356613e-05,8.366708e-05,8.368490e-05,8.378632e-05,8.380098e-05,8.387109e-05,8.390607e-05,8.393990e-05,8.398392e-05,8.399343e-05,8.403234e-05,8.403605e-05,8.405724e-05,8.406392e-05,8.406875e-05,8.406892e-05,8.406747e-05,8.405397e-05,8.405238e-05,8.402880e-05,8.401559e-05,8.399250e-05,8.395977e-05,8.394559e-05,8.388858e-05,8.388609e-05,8.382194e-05,8.379568e-05,8.374614e-05,8.368961e-05,8.366165e-05,8.356890e-05,8.343452e-05,8.328742e-05,8.312847e-05,8.295854e-05,8.277842e-05,8.258889e-05,8.239067e-05,8.218448e-05,8.197096e-05,8.175075e-05,8.152445e-05,8.129263e-05,8.105582e-05,8.081454e-05,8.056928e-05,8.032048e-05,8.006859e-05,7.981402e-05,7.955716e-05,7.929837e-05,7.903800e-05,7.877638e-05,7.851382e-05,7.825061e-05
0.000000e+00,1.109634e-15,9.828524e-15,2.509341e-13,2.137576e-12,5.687145e-12,4.663575e-11,5.029602e-11,2.657916e-10,3.974955e-10,1.014799e-09,2.027185e-09,3.097801e-09,7.479857e-09,8.032042e-09,1.839154e-08,2.209514e-08,3.818952e-08,5.549294e-08,7.327569e-08,1.231389e-07,1.317086e-07,2.240501e-07,2.477036e-07,3.635197e-07,4.598283e-07,5.659566e-07,7.979203e-07,8.495607e-07,1.234413e-06,1.306798e-06,1.741812e-06,2.035280e-06,2.393488e-06,3.033060e-06,3.210743e-06,4.213605e-06,4.347301e-06,5.420030e-06,6.019375e-06,6.845211e-06,8.082094e-06,8.501023e-06,1.039561e-05,1.055765e-05,1.253316e-05,1.345638e-05,1.491380e-05,1.677636e-05,1.753365e-05,2.038502e-05,2.050374e-05,2.345667e-05,2.461371e-05,2.673422e-05,2.907193e-05,3.020056e-05,3.383630e-05,3.762030e-05,3.885886e-05,4.153014e-05,4.408777e-05,4.554259e-05,4.946918e-05,4.963406e-05,5.378101e-05,5.494893e-05,5.796034e-05,6.047413e-05,6.214968e-05,6.599434e-05,6.632768e-05,7.047424e-05,7.146263e-05,7.457067e-05,7.683632e-05,7.859983e-05,8.207749e-05,8.254621e-05,8.639599e-05,8.715325e-05,9.013704e-05,9.203589e-05,9.375893e-05,9.670274e-05,9.725286e-05,1.006116e-04,1.011361e-04,1.038295e-04,1.053227e-04,1.069022e-04,1.092538e-04,1.098268e-04,1.126015e-04,1.129243e-04,1.152256e-04,1.163326e-04,1.176995e-04,1.194800e-04,1.200245e-04,1.222025e-04,1.223704e-04,1.242361e-04,1.250099e-04,1.261287e-04,1.274061e-04,1.278840e-04,1.295061e-04,1.295683e-04,1.309995e-04,1.315065e-04,1.323689e-04,1.332318e-04,1.336192e-04,1.347555e-04,1.357828e-04,1.360893e-04,1.367062e-04,1.372451e-04,1.375310e-04,1.382347e-04,1.382622e-04,1.389047e-04,1.390694e-04,1.394634e-04,1.397605e-04,1.399432e-04,1.403189e-04,1.403487e-04,1.406842e-04,1.407549e-04,1.409543e-04,1.410784e-04,1.411630e-04,1.412990e-04,1.413142e-04,1.414120e-04,1.414254e-04,1.414597e-04,1.414660e-04,1.414610e-04,1.414286e-04,1.414191e-04,1.413371e-04,1.413205e-04,1.412180e-04,1.411484e-04,1.410645e-04,1.409187e-04,1.408792e-04,1.406647e-04,1.406371e-04,1.404232e-04,1.403090e-04,1.401569e-04,1.399393e-04,1.398680e-04,1.395582e-04,1.395326e-04,1.392294e-04,1.390930e-04,1.388833e-04,1.386243e-04,1.385215e-04,1.381455e-04,1.381302e-04,1.377565e-04,1.376136e-04,1.373560e-04,1.370776e-04,1.369451e-04,1.365249e-04,1.359578e-04,1.353786e-04,1.347892e-04,1.341916e-04,1.335873e-04,1.329779e-04,1.323648e-04,1.317492e-04,1.311322e-04,1.305148e-04,1.298980e-04,1.292826e-04,1.286694e-04,1.280589e-04,1.274520e-04,1.268490e-04,1.262505e-04,1.256569e-04,1.250686e-04,1.244860e-04,1.239093e-04,1.233389e-04,1.227750e-04,1.222178e-04
0.000000e+00,1.045512e-15,9.028264e-15,2.184430e-13,1.769971e-12,4.579238e-12,3.487228e-11,3.749417e-11,1.836051e-10,2.688300e-10,6.501368e-10,1.241834e-09,1.842168e-09,4.156736e-09,4.437556e-09,9.449547e-09,1.115820e-08,1.826847e-08,2.551838e-08,3.267634e-08,5.168178e-08,5.482813e-08,8.719308e-08,9.512540e-08,1.324536e-07,1.620023e-07,1.933674e-07,2.585939e-07,2.726080e-07,3.726019e-07,3.906694e-07,4.953823e-07,5.628791e-07,6.424696e-07,7.782837e-07,8.147894e-07,1.012629e-06,1.038075e-06,1.235632e-06,1.341494e-06,1.482818e-06,1.685919e-06,1.752638e-06,2.043043e-06,2.067093e-06,2.351566e-06,2.479431e-06,2.675416e-06,2.916389e-06,3.011573e-06,3.356878e-06,3.370836e-06,3.708127e-06,3.835418e-06,4.062147e-06,4.302894e-06,4.415874e-06,4.766410e-06,5.111078e-06,5.219729e-06,5.447455e-06,5.657386e-06,5.773404e-06,6.074795e-06,6.087086e-06,6.386972e-06,6.468292e-06,6.671833e-06,6.835138e-06,6.940738e-06,7.173472e-06,7.193033e-06,7.428324e-06,7.482241e-06,7.646450e-06,7.761112e-06,7.847458e-06,8.010363e-06,8.031577e-06,8.199191e-06,8.230776e-06,8.350809e-06,8.423530e-06,8.487046e-06,8.590103e-06,8.608593e-06,8.716199e-06,8.732175e-06,8.810650e-06,8.851551e-06,8.892755e-06,8.950095e-06,8.963326e-06,9.023174e-06,9.029673e-06,9.073092e-06,9.092110e-06,9.113851e-06,9.139158e-06,9.146190e-06,9.170815e-06,9.172472e-06,9.188395e-06,9.193596e-06,9.199558e-06,9.203954e-06,9.204892e-06,9.204946e-06,9.204846e-06,9.200227e-06,9.197451e-06,9.191203e-06,9.182830e-06,9.178306e-06,9.161932e-06,9.142442e-06,9.135602e-06,9.120168e-06,9.104590e-06,9.095409e-06,9.069558e-06,9.068440e-06,9.039510e-06,9.031090e-06,9.008845e-06,8.989699e-06,8.976649e-06,8.945835e-06,8.943107e-06,8.908387e-06,8.899896e-06,8.872641e-06,8.852227e-06,8.836007e-06,8.803134e-06,8.798610e-06,8.760562e-06,8.752884e-06,8.721966e-06,8.701711e-06,8.682915e-06,8.649821e-06,8.643492e-06,8.603773e-06,8.597395e-06,8.563828e-06,8.544593e-06,8.523719e-06,8.491552e-06,8.483503e-06,8.443232e-06,8.438399e-06,8.402954e-06,8.385240e-06,8.362710e-06,8.332171e-06,8.322539e-06,8.282478e-06,8.279279e-06,8.242558e-06,8.226636e-06,8.202808e-06,8.174309e-06,8.163256e-06,8.123925e-06,8.122356e-06,8.084836e-06,8.070827e-06,8.046010e-06,8.019769e-06,8.007467e-06,7.969220e-06,7.919215e-06,7.869786e-06,7.820956e-06,7.772750e-06,7.725186e-06,7.678281e-06,7.632046e-06,7.586495e-06,7.541635e-06,7.497474e-06,7.454017e-06,7.411268e-06,7.369229e-06,7.327902e-06,7.287285e-06,7.247377e-06,7.208176e-06,7.169679e-06,7.131882e-06,7.094779e-06,7.058365e-06,7.022635e-06,6.987581e-06,6.953197e-06
0.000000e+00,6.831632e-09,1.634573e-08,5.870943e-08,1.359916e-07,1.995928e-07,4.570469e-07,4.709240e-07,9.147365e-07,1.075983e-06,1.576352e-06,2.097985e-06,2.503971e-06,3.628518e-06,3.739262e-06,5.297235e-06,5.717327e-06,7.155571e-06,8.311296e-06,9.270467e-06,1.130819e-05,1.159728e-05,1.409792e-05,1.461598e-05,1.673993e-05,1.815985e-05,1.949406e-05,2.187396e-05,2.233272e-05,2.522932e-05,2.569642e-05,2.815822e-05,2.956834e-05,3.109502e-05,3.343476e-05,3.401692e-05,3.690311e-05,3.724615e-05,3.973506e-05,4.095969e-05,4.249668e-05,4.454006e-05,4.517444e-05,4.775730e-05,4.795955e-05,5.023656e-05,5.119775e-05,5.260582e-05,5.424105e-05,5.486072e-05,5.699869e-05,5.708176e-05,5.901866e-05,5.971698e-05,6.092093e-05,6.214798e-05,6.270701e-05,6.437900e-05,6.593966e-05,6.641614e-05,6.739257e-05,6.826762e-05,6.874152e-05,6.994255e-05,6.999065e-05,7.114431e-05,7.145082e-05,7.220690e-05,7.280258e-05,7.318284e-05,7.400795e-05,7.407652e-05,7.489226e-05,7.507692e-05,7.563433e-05,7.601925e-05,7.630685e-05,7.684428e-05,7.691378e-05,7.745896e-05,7.756091e-05,7.794605e-05,7.817755e-05,7.837856e-05,7.870214e-05,7.875983e-05,7.909304e-05,7.914209e-05,7.938119e-05,7.950434e-05,7.962714e-05,7.979534e-05,7.983359e-05,8.000310e-05,8.002107e-05,8.013807e-05,8.018711e-05,8.024079e-05,8.029861e-05,8.031340e-05,8.035793e-05,8.036033e-05,8.037627e-05,8.037668e-05,8.037022e-05,8.035172e-05,8.034148e-05,8.029162e-05,8.028921e-05,8.022215e-05,8.019260e-05,8.013446e-05,8.006510e-05,8.002987e-05,7.990963e-05,7.977491e-05,7.972892e-05,7.962679e-05,7.952545e-05,7.946631e-05,7.930152e-05,7.929443e-05,7.911207e-05,7.905924e-05,7.892006e-05,7.880057e-05,7.871922e-05,7.852729e-05,7.851029e-05,7.829399e-05,7.824105e-05,7.807096e-05,7.794336e-05,7.784184e-05,7.763563e-05,7.760720e-05,7.736759e-05,7.731912e-05,7.712352e-05,7.699501e-05,7.687548e-05,7.666438e-05,7.662391e-05,7.636925e-05,7.632824e-05,7.611187e-05,7.598748e-05,7.585216e-05,7.564294e-05,7.559046e-05,7.532709e-05,7.529539e-05,7.506237e-05,7.494554e-05,7.479658e-05,7.459402e-05,7.452998e-05,7.426282e-05,7.424143e-05,7.399534e-05,7.388831e-05,7.372776e-05,7.353515e-05,7.346027e-05,7.319307e-05,7.318239e-05,7.292633e-05,7.283046e-05,7.266023e-05,7.247972e-05,7.239491e-05,7.213051e-05,7.178315e-05,7.143792e-05,7.109507e-05,7.075483e-05,7.041741e-05,7.008299e-05,6.975175e-05,6.942383e-05,6.909937e-05,6.877848e-05,6.846126e-05,6.814781e-05,6.783821e-05,6.753252e-05,6.723080e-05,6.693309e-05,6.663944e-05,6.634988e-05,6.606443e-05,6.578310e-05,6.550592e-05,6.523287e-05,6.496398e-05,6.469922e-05
0.000000e+00,7.339152e-09,1.707047e-08,5.981011e-08,1.379171e-07,2.028383e-07,4.726178e-07,4.874777e-07,9.787147e-07,1.164280e-06,1.760514e-06,2.408847e-06,2.927445e-06,4.400529e-06,4.547098e-06,6.607927e-06,7.159233e-06,9.022315e-06,1.048929e-05,1.168632e-05,1.417155e-05,1.451816e-05,1.746077e-05,1.805879e-05,2.047328e-05,2.205668e-05,2.352411e-05,2.609717e-05,2.658709e-05,2.963964e-05,3.012572e-05,3.266203e-05,3.409696e-05,3.563721e-05,3.797355e-05,3.855070e-05,4.139047e-05,4.172581e-05,4.414687e-05,4.533127e-05,4.681240e-05,4.877400e-05,4.938160e-05,5.185068e-05,5.204380e-05,5.421720e-05,5.513485e-05,5.648019e-05,5.804532e-05,5.863951e-05,6.069590e-05,6.077603e-05,6.265076e-05,6.333001e-05,6.450600e-05,6.571183e-05,6.626396e-05,6.792728e-05,6.949880e-05,6.998277e-05,7.098144e-05,7.188511e-05,7.237828e-05,7.364140e-05,7.369242e-05,7.492696e-05,7.525879e-05,7.608500e-05,7.674438e-05,7.716961e-05,7.810516e-05,7.818378e-05,7.913047e-05,7.934795e-05,8.001256e-05,8.047936e-05,8.083285e-05,8.150575e-05,8.159407e-05,8.229885e-05,8.243325e-05,8.294973e-05,8.326771e-05,8.354919e-05,8.401473e-05,8.409960e-05,8.460325e-05,8.467964e-05,8.506234e-05,8.526750e-05,8.547900e-05,8.578314e-05,8.585526e-05,8.619308e-05,8.623113e-05,8.649435e-05,8.661579e-05,8.676086e-05,8.694123e-05,8.699435e-05,8.719646e-05,8.721132e-05,8.736880e-05,8.742973e-05,8.751287e-05,8.759992e-05,8.763013e-05,8.772198e-05,8.772514e-05,8.778974e-05,8.780848e-05,8.783469e-05,8.785285e-05,8.785805e-05,8.786098e-05,8.784459e-05,8.783544e-05,8.780995e-05,8.777867e-05,8.775807e-05,8.769294e-05,8.768991e-05,8.760640e-05,8.758039e-05,8.750843e-05,8.744305e-05,8.739683e-05,8.728282e-05,8.727241e-05,8.713594e-05,8.710148e-05,8.698814e-05,8.690069e-05,8.682972e-05,8.668204e-05,8.666133e-05,8.648361e-05,8.644700e-05,8.629716e-05,8.619695e-05,8.610256e-05,8.593320e-05,8.590036e-05,8.569107e-05,8.565696e-05,8.547519e-05,8.536937e-05,8.525321e-05,8.507151e-05,8.502555e-05,8.479266e-05,8.476438e-05,8.455495e-05,8.444892e-05,8.431279e-05,8.412601e-05,8.406656e-05,8.381661e-05,8.379647e-05,8.356328e-05,8.346106e-05,8.330687e-05,8.312053e-05,8.304770e-05,8.278604e-05,8.277552e-05,8.252217e-05,8.242669e-05,8.225635e-05,8.207460e-05,8.198882e-05,8.171982e-05,8.136285e-05,8.100418e-05,8.064424e-05,8.028345e-05,7.992219e-05,7.956083e-05,7.919969e-05,7.883909e-05,7.847931e-05,7.812061e-05,7.776325e-05,7.740745e-05,7.705342e-05,7.670136e-05,7.635144e-05,7.600382e-05,7.565866e-05,7.531610e-05,7.497626e-05,7.463925e-05,7.430519e-05,7.397415e-05,7.364623e-05,7.332151e-05
0.000000e+00,3.029374e-14,2.557265e-13,5.902981e-12,4.581360e-11,1.157583e-10,8.294570e-10,8.896223e-10,4.103507e-09,5.912419e-09,1.373842e-08,2.542205e-08,3.695189e-08,7.976531e-08,8.484065e-08,1.729132e-07,2.021654e-07,3.212473e-07,4.395775e-07,5.542571e-07,8.514770e-07,8.998795e-07,1.387995e-06,1.505352e-06,2.048136e-06,2.468399e-06,2.906857e-06,3.797324e-06,3.985313e-06,5.297487e-06,5.529634e-06,6.849283e-06,7.678903e-06,8.638475e-06,1.023444e-05,1.065532e-05,1.288361e-05,1.316425e-05,1.530197e-05,1.641987e-05,1.788518e-05,1.994164e-05,2.060545e-05,2.343352e-05,2.366353e-05,2.633966e-05,2.751738e-05,2.929451e-05,3.143619e-05,3.226971e-05,3.523843e-05,3.535669e-05,3.817583e-05,3.922120e-05,4.105931e-05,4.297889e-05,4.386872e-05,4.658654e-05,4.919784e-05,5.000887e-05,5.169031e-05,5.321851e-05,5.405416e-05,5.619560e-05,5.628203e-05,5.836877e-05,5.892730e-05,6.031130e-05,6.140701e-05,6.210838e-05,6.363355e-05,6.376041e-05,6.526921e-05,6.561032e-05,6.663777e-05,6.734437e-05,6.787011e-05,6.884567e-05,6.897101e-05,6.994590e-05,7.012627e-05,7.080065e-05,7.119969e-05,7.154146e-05,7.208035e-05,7.217471e-05,7.270687e-05,7.278307e-05,7.314440e-05,7.332267e-05,7.349365e-05,7.371370e-05,7.376087e-05,7.395210e-05,7.397022e-05,7.407316e-05,7.410565e-05,7.412964e-05,7.413264e-05,7.412684e-05,7.406977e-05,7.406301e-05,7.396320e-05,7.390771e-05,7.381156e-05,7.367684e-05,7.361904e-05,7.338954e-05,7.337964e-05,7.312669e-05,7.302456e-05,7.283387e-05,7.261925e-05,7.251422e-05,7.217064e-05,7.180582e-05,7.168500e-05,7.142222e-05,7.116793e-05,7.102214e-05,7.062450e-05,7.060767e-05,7.018075e-05,7.005922e-05,6.974314e-05,6.947613e-05,6.929647e-05,6.887882e-05,6.884223e-05,6.838178e-05,6.827049e-05,6.791637e-05,6.765399e-05,6.744712e-05,6.703183e-05,6.697507e-05,6.650117e-05,6.640624e-05,6.602627e-05,6.577920e-05,6.555116e-05,6.515241e-05,6.507653e-05,6.460304e-05,6.452742e-05,6.413124e-05,6.390554e-05,6.366167e-05,6.328793e-05,6.319479e-05,6.273102e-05,6.267559e-05,6.227073e-05,6.206940e-05,6.181426e-05,6.147009e-05,6.136192e-05,6.091396e-05,6.087832e-05,6.047062e-05,6.029462e-05,6.003209e-05,5.971945e-05,5.959857e-05,5.917020e-05,5.915318e-05,5.874712e-05,5.859613e-05,5.832944e-05,5.804855e-05,5.791725e-05,5.751062e-05,5.698250e-05,5.646430e-05,5.595606e-05,5.545784e-05,5.496963e-05,5.449141e-05,5.402313e-05,5.356473e-05,5.311612e-05,5.267722e-05,5.224790e-05,5.182804e-05,5.141752e-05,5.101620e-05,5.062392e-05,5.024054e-05,4.986590e-05,4.949983e-05,4.914219e-05,4.879280e-05,4.845149e-05,4.811810e-05,4.779247e-05,4.747442e-05
0.000000e+00,3.686155e-09,9.137788e-09,3.431842e-08,8.204120e-08,1.225322e-07,2.954650e-07,3.051603e-07,6.330090e-07,7.598774e-07,1.175258e-06,1.635016e-06,2.004925e-06,3.050151e-06,3.153245e-06,4.585736e-06,4.964991e-06,6.242047e-06,7.248340e-06,8.073159e-06,9.802924e-06,1.004642e-05,1.213943e-05,1.257082e-05,1.433468e-05,1.551136e-05,1.661642e-05,1.858867e-05,1.896926e-05,2.137763e-05,2.176707e-05,2.382576e-05,2.501036e-05,2.629795e-05,2.828281e-05,2.877904e-05,3.125461e-05,3.155067e-05,3.371133e-05,3.478316e-05,3.613713e-05,3.795346e-05,3.852136e-05,4.085482e-05,4.103906e-05,4.312976e-05,4.402188e-05,4.533983e-05,4.688803e-05,4.747998e-05,4.954637e-05,4.962745e-05,5.153621e-05,5.223343e-05,5.344765e-05,5.470209e-05,5.527965e-05,5.703188e-05,5.870457e-05,5.922314e-05,6.029845e-05,6.127767e-05,6.181463e-05,6.319840e-05,6.325455e-05,6.461989e-05,6.498907e-05,6.591253e-05,6.665405e-05,6.713448e-05,6.819808e-05,6.828788e-05,6.937491e-05,6.962617e-05,7.039781e-05,7.094347e-05,7.135885e-05,7.215518e-05,7.226028e-05,7.310434e-05,7.326646e-05,7.389325e-05,7.428242e-05,7.462920e-05,7.520804e-05,7.531433e-05,7.595073e-05,7.604817e-05,7.654045e-05,7.680752e-05,7.708548e-05,7.749062e-05,7.758774e-05,7.804911e-05,7.810181e-05,7.847139e-05,7.864527e-05,7.885635e-05,7.912500e-05,7.920567e-05,7.952099e-05,7.954480e-05,7.980389e-05,7.990831e-05,8.005588e-05,8.021900e-05,8.027843e-05,8.047294e-05,8.048015e-05,8.064076e-05,8.069490e-05,8.078321e-05,8.086621e-05,8.090152e-05,8.099690e-05,8.107050e-05,8.108963e-05,8.112343e-05,8.114694e-05,8.115674e-05,8.117122e-05,8.117146e-05,8.116857e-05,8.116473e-05,8.114898e-05,8.112960e-05,8.111361e-05,8.106786e-05,8.106331e-05,8.099889e-05,8.098142e-05,8.092115e-05,8.087208e-05,8.083084e-05,8.074153e-05,8.072867e-05,8.061534e-05,8.059139e-05,8.049151e-05,8.042317e-05,8.035779e-05,8.023828e-05,8.021480e-05,8.006311e-05,8.003807e-05,7.990327e-05,7.982380e-05,7.973580e-05,7.959667e-05,7.956120e-05,7.937995e-05,7.935778e-05,7.919251e-05,7.910819e-05,7.899931e-05,7.884889e-05,7.880077e-05,7.859728e-05,7.858080e-05,7.838922e-05,7.830480e-05,7.817695e-05,7.802171e-05,7.796082e-05,7.774114e-05,7.773229e-05,7.751824e-05,7.743726e-05,7.729240e-05,7.713730e-05,7.706391e-05,7.683304e-05,7.652507e-05,7.621395e-05,7.590019e-05,7.558428e-05,7.526667e-05,7.494778e-05,7.462800e-05,7.430771e-05,7.398724e-05,7.366690e-05,7.334701e-05,7.302782e-05,7.270960e-05,7.239257e-05,7.207697e-05,7.176298e-05,7.145079e-05,7.114058e-05,7.083250e-05,7.052669e-05,7.022329e-05,6.992241e-05,6.962418e-05,6.932869e-05
0.000000e+00,1.229710e-10,6.374040e-10,5.904421e-09,2.222049e-08,3.926237e-08,1.250221e-07,1.301420e-07,3.088140e-07,3.787239e-07,6.060240e-07,8.547360e-07,1.054417e-06,1.629722e-06,1.687981e-06,2.535924e-06,2.773248e-06,3.611202e-06,4.310073e-06,4.904921e-06,6.205894e-06,6.394025e-06,8.052278e-06,8.402036e-06,9.855308e-06,1.084269e-05,1.178097e-05,1.347798e-05,1.380835e-05,1.591713e-05,1.626075e-05,1.808733e-05,1.914511e-05,2.029950e-05,2.208689e-05,2.253500e-05,2.477637e-05,2.504496e-05,2.700761e-05,2.798240e-05,2.921441e-05,3.086745e-05,3.138424e-05,3.350645e-05,3.367389e-05,3.557216e-05,3.638098e-05,3.757424e-05,3.897315e-05,3.950712e-05,4.136665e-05,4.143946e-05,4.314993e-05,4.377287e-05,4.485512e-05,4.596954e-05,4.648129e-05,4.802831e-05,4.949670e-05,4.995012e-05,5.088744e-05,5.173741e-05,5.220196e-05,5.339385e-05,5.344205e-05,5.460967e-05,5.492391e-05,5.570701e-05,5.633265e-05,5.673640e-05,5.762548e-05,5.770023e-05,5.860096e-05,5.880803e-05,5.944109e-05,5.988600e-05,6.022306e-05,6.086502e-05,6.094931e-05,6.162227e-05,6.175067e-05,6.224430e-05,6.254840e-05,6.281772e-05,6.326347e-05,6.334478e-05,6.382764e-05,6.390093e-05,6.426841e-05,6.446564e-05,6.466915e-05,6.496225e-05,6.503183e-05,6.535835e-05,6.539519e-05,6.565054e-05,6.576868e-05,6.591015e-05,6.608670e-05,6.613887e-05,6.633832e-05,6.635306e-05,6.651006e-05,6.657133e-05,6.665557e-05,6.674489e-05,6.677627e-05,6.687353e-05,6.687695e-05,6.694864e-05,6.697050e-05,6.700286e-05,6.702839e-05,6.703736e-05,6.705328e-05,6.705171e-05,6.704769e-05,6.703368e-05,6.701396e-05,6.700017e-05,6.695431e-05,6.695212e-05,6.689042e-05,6.687081e-05,6.681592e-05,6.676542e-05,6.672944e-05,6.663996e-05,6.663175e-05,6.652357e-05,6.649613e-05,6.640562e-05,6.633554e-05,6.627855e-05,6.615968e-05,6.614299e-05,6.599954e-05,6.596996e-05,6.584878e-05,6.576768e-05,6.569125e-05,6.555406e-05,6.552745e-05,6.535788e-05,6.533025e-05,6.518300e-05,6.509730e-05,6.500325e-05,6.485622e-05,6.481904e-05,6.463077e-05,6.460792e-05,6.443881e-05,6.435327e-05,6.424352e-05,6.409307e-05,6.404523e-05,6.384426e-05,6.382807e-05,6.364090e-05,6.355896e-05,6.343546e-05,6.328639e-05,6.322818e-05,6.301933e-05,6.301095e-05,6.280915e-05,6.273320e-05,6.259785e-05,6.245365e-05,6.238566e-05,6.217278e-05,6.189103e-05,6.160881e-05,6.132649e-05,6.104442e-05,6.076292e-05,6.048228e-05,6.020277e-05,5.992463e-05,5.964810e-05,5.937338e-05,5.910066e-05,5.883011e-05,5.856188e-05,5.829611e-05,5.803294e-05,5.777246e-05,5.751480e-05,5.726002e-05,5.700822e-05,5.675947e-05,5.651381e-05,5.627132e-05,5.603202e-05,5.579596e-05
0.000000e+00,1.375395e-11,8.020601e-11,9.052345e-10,3.888964e-09,7.273998e-09,2.579673e-08,2.694476e-08,6.826369e-08,8.480650e-08,1.392069e-07,1.992270e-07,2.475561e-07,3.870648e-07,4.012141e-07,6.081390e-07,6.665501e-07,8.753064e-07,1.052845e-06,1.206493e-06,1.549881e-06,1.600262e-06,2.050242e-06,2.146211e-06,2.547485e-06,2.821649e-06,3.082797e-06,3.555740e-06,3.647828e-06,4.235229e-06,4.330842e-06,4.838442e-06,5.131828e-06,5.451489e-06,5.945272e-06,6.068833e-06,6.685341e-06,6.759038e-06,7.296301e-06,7.562250e-06,7.897447e-06,8.345403e-06,8.484989e-06,9.055654e-06,9.100493e-06,9.606703e-06,9.821114e-06,1.013591e-05,1.050243e-05,1.064156e-05,1.112242e-05,1.114112e-05,1.157767e-05,1.173520e-05,1.200689e-05,1.228385e-05,1.241001e-05,1.278722e-05,1.313896e-05,1.324624e-05,1.346588e-05,1.366243e-05,1.376875e-05,1.403773e-05,1.404849e-05,1.430607e-05,1.437436e-05,1.454253e-05,1.467471e-05,1.475894e-05,1.494125e-05,1.495638e-05,1.513592e-05,1.517646e-05,1.529862e-05,1.538276e-05,1.544551e-05,1.556249e-05,1.557759e-05,1.569581e-05,1.571787e-05,1.580110e-05,1.585102e-05,1.589432e-05,1.596390e-05,1.597629e-05,1.604781e-05,1.605833e-05,1.610960e-05,1.613600e-05,1.616235e-05,1.619848e-05,1.620671e-05,1.624328e-05,1.624718e-05,1.627264e-05,1.628341e-05,1.629531e-05,1.630837e-05,1.631178e-05,1.632252e-05,1.632314e-05,1.632795e-05,1.632872e-05,1.632847e-05,1.632602e-05,1.632446e-05,1.631625e-05,1.631584e-05,1.630418e-05,1.629895e-05,1.628854e-05,1.627601e-05,1.626961e-05,1.624765e-05,1.622291e-05,1.621444e-05,1.619559e-05,1.617686e-05,1.616592e-05,1.613541e-05,1.613409e-05,1.610028e-05,1.609049e-05,1.606466e-05,1.604249e-05,1.602739e-05,1.599176e-05,1.598860e-05,1.594844e-05,1.593862e-05,1.590704e-05,1.588336e-05,1.586451e-05,1.582624e-05,1.582097e-05,1.577651e-05,1.576752e-05,1.573123e-05,1.570740e-05,1.568523e-05,1.564608e-05,1.563858e-05,1.559137e-05,1.558376e-05,1.554366e-05,1.552060e-05,1.549552e-05,1.545675e-05,1.544702e-05,1.539822e-05,1.539235e-05,1.534917e-05,1.532753e-05,1.529993e-05,1.526240e-05,1.525053e-05,1.520103e-05,1.519707e-05,1.515147e-05,1.513163e-05,1.510188e-05,1.506619e-05,1.505231e-05,1.500278e-05,1.500080e-05,1.495333e-05,1.493556e-05,1.490399e-05,1.487052e-05,1.485479e-05,1.480574e-05,1.474129e-05,1.467721e-05,1.461355e-05,1.455034e-05,1.448763e-05,1.442545e-05,1.436383e-05,1.430280e-05,1.424237e-05,1.418258e-05,1.412344e-05,1.406496e-05,1.400717e-05,1.395008e-05,1.389369e-05,1.383802e-05,1.378307e-05,1.372885e-05,1.367537e-05,1.362263e-05,1.357063e-05,1.351938e-05,1.346887e-05,1.341910e-05
0.000000e+00,7.166524e-15,6.121429e-14,1.448398e-12,1.150050e-11,2.942745e-11,2.178908e-10,2.340087e-10,1.115228e-09,1.621129e-09,3.851196e-09,7.253559e-09,1.066414e-08,2.360117e-08,2.515521e-08,5.255885e-08,6.179813e-08,9.989156e-08,1.383214e-07,1.759822e-07,2.750610e-07,2.913668e-07,4.580159e-07,4.986259e-07,6.888680e-07,8.386918e-07,9.971729e-07,1.325386e-06,1.395710e-06,1.895989e-06,1.986145e-06,2.507540e-06,2.842774e-06,3.237378e-06,3.909320e-06,4.089679e-06,5.065681e-06,5.191066e-06,6.163771e-06,6.684605e-06,7.379717e-06,8.378722e-06,8.707002e-06,1.013722e-05,1.025580e-05,1.166050e-05,1.229344e-05,1.326590e-05,1.446614e-05,1.494182e-05,1.667634e-05,1.674678e-05,1.845755e-05,1.910795e-05,2.027376e-05,2.152302e-05,2.211375e-05,2.396695e-05,2.582351e-05,2.641682e-05,2.767442e-05,2.885224e-05,2.951154e-05,3.125547e-05,3.132762e-05,3.311632e-05,3.361148e-05,3.487214e-05,3.590788e-05,3.659042e-05,3.813470e-05,3.826725e-05,3.989945e-05,4.028425e-05,4.148452e-05,4.235082e-05,4.302051e-05,4.433047e-05,4.450603e-05,4.594014e-05,4.622074e-05,4.732232e-05,4.802046e-05,4.865241e-05,4.972951e-05,4.993053e-05,5.115710e-05,5.134860e-05,5.233272e-05,5.287915e-05,5.345819e-05,5.432309e-05,5.453445e-05,5.556259e-05,5.568278e-05,5.654374e-05,5.696088e-05,5.747915e-05,5.816027e-05,5.837011e-05,5.921794e-05,5.928394e-05,6.002399e-05,6.033502e-05,6.078962e-05,6.131663e-05,6.151621e-05,6.220512e-05,6.223191e-05,6.285770e-05,6.308399e-05,6.347529e-05,6.387593e-05,6.405920e-05,6.461073e-05,6.513114e-05,6.529130e-05,6.562166e-05,6.592048e-05,6.608351e-05,6.650100e-05,6.651786e-05,6.692584e-05,6.703551e-05,6.730857e-05,6.752653e-05,6.766711e-05,6.797650e-05,6.800250e-05,6.831576e-05,6.838775e-05,6.860785e-05,6.876253e-05,6.887972e-05,6.910295e-05,6.913226e-05,6.936637e-05,6.941105e-05,6.958288e-05,6.968878e-05,6.978260e-05,6.993797e-05,6.996633e-05,7.013480e-05,7.016039e-05,7.028875e-05,7.035770e-05,7.042889e-05,7.053149e-05,7.055587e-05,7.067034e-05,7.068327e-05,7.077293e-05,7.081446e-05,7.086423e-05,7.092642e-05,7.094481e-05,7.101522e-05,7.102043e-05,7.107598e-05,7.109770e-05,7.112761e-05,7.115939e-05,7.117057e-05,7.120535e-05,7.120658e-05,7.123238e-05,7.124029e-05,7.125208e-05,7.126151e-05,7.126488e-05,7.127114e-05,7.127006e-05,7.125907e-05,7.123895e-05,7.121042e-05,7.117416e-05,7.113081e-05,7.108099e-05,7.102525e-05,7.096414e-05,7.089814e-05,7.082774e-05,7.075337e-05,7.067545e-05,7.059436e-05,7.051046e-05,7.042410e-05,7.033558e-05,7.024521e-05,7.015326e-05,7.005999e-05,6.996563e-05,6.987041e-05,6.977454e-05,6.967821e-05
0.000000e+00,9.729749e-12,6.620612e-11,9.929902e-10,5.308419e-09,1.102613e-08,4.908444e-08,5.168441e-08,1.558007e-07,2.015860e-07,3.629718e-07,5.553098e-07,7.185048e-07,1.221514e-06,1.274759e-06,2.090083e-06,2.330659e-06,3.218352e-06,3.999192e-06,4.688295e-06,6.256512e-06,6.488759e-06,8.575533e-06,9.022230e-06,1.089155e-05,1.216830e-05,1.338316e-05,1.557925e-05,1.600623e-05,1.872534e-05,1.916728e-05,2.151101e-05,2.286405e-05,2.433726e-05,2.661138e-05,2.718021e-05,3.001746e-05,3.035654e-05,3.282813e-05,3.405139e-05,3.559301e-05,3.765295e-05,3.829476e-05,4.091819e-05,4.112428e-05,4.345035e-05,4.443521e-05,4.588061e-05,4.756251e-05,4.820058e-05,5.040403e-05,5.048968e-05,5.248671e-05,5.320639e-05,5.444615e-05,5.570766e-05,5.628144e-05,5.799298e-05,5.958232e-05,6.006549e-05,6.105200e-05,6.193130e-05,6.240532e-05,6.359864e-05,6.364617e-05,6.477880e-05,6.507717e-05,6.580783e-05,6.637751e-05,6.673804e-05,6.751069e-05,6.757424e-05,6.832135e-05,6.848795e-05,6.898428e-05,6.932055e-05,6.956785e-05,7.001950e-05,7.007678e-05,7.051567e-05,7.059544e-05,7.088891e-05,7.105845e-05,7.120071e-05,7.141810e-05,7.145511e-05,7.165600e-05,7.168343e-05,7.180706e-05,7.186290e-05,7.191177e-05,7.196439e-05,7.197343e-05,7.199519e-05,7.199526e-05,7.197999e-05,7.196231e-05,7.193062e-05,7.187186e-05,7.184970e-05,7.173970e-05,7.172971e-05,7.160294e-05,7.154123e-05,7.144160e-05,7.131136e-05,7.125771e-05,7.105320e-05,7.104462e-05,7.082986e-05,7.074518e-05,7.058937e-05,7.041685e-05,7.033331e-05,7.006313e-05,6.978022e-05,6.968721e-05,6.948586e-05,6.929201e-05,6.918124e-05,6.888020e-05,6.886748e-05,6.854563e-05,6.845420e-05,6.821665e-05,6.801622e-05,6.788145e-05,6.756829e-05,6.754086e-05,6.719568e-05,6.711223e-05,6.684662e-05,6.664970e-05,6.649436e-05,6.618222e-05,6.613952e-05,6.578270e-05,6.571114e-05,6.542442e-05,6.523771e-05,6.506519e-05,6.476304e-05,6.470546e-05,6.434567e-05,6.428812e-05,6.398620e-05,6.381387e-05,6.362741e-05,6.334110e-05,6.326965e-05,6.291320e-05,6.287053e-05,6.255836e-05,6.240281e-05,6.220539e-05,6.193852e-05,6.185451e-05,6.150595e-05,6.147817e-05,6.115990e-05,6.102222e-05,6.081653e-05,6.057106e-05,6.047601e-05,6.013849e-05,6.012505e-05,5.980409e-05,5.968450e-05,5.947294e-05,5.924966e-05,5.914513e-05,5.882076e-05,5.839800e-05,5.798154e-05,5.757152e-05,5.716803e-05,5.677117e-05,5.638100e-05,5.599756e-05,5.562088e-05,5.525098e-05,5.488785e-05,5.453147e-05,5.418183e-05,5.383888e-05,5.350258e-05,5.317288e-05,5.284972e-05,5.253302e-05,5.222272e-05,5.191875e-05,5.162101e-05,5.132943e-05,5.104392e-05,5.076438e-05,5.049072e-05
0.000000e+00,3.641870e-15,3.144109e-14,7.607905e-13,6.168931e-12,1.597312e-11,1.221252e-10,1.313375e-10,6.481532e-10,9.517885e-10,2.323116e-09,4.480615e-09,6.696887e-09,1.542589e-08,1.650110e-08,3.612467e-08,4.296817e-08,7.207005e-08,1.025482e-07,1.332416e-07,2.168123e-07,2.308716e-07,3.779822e-07,4.145607e-07,5.884491e-07,7.274831e-07,8.758521e-07,1.185675e-06,1.252334e-06,1.727639e-06,1.813353e-06,2.308448e-06,2.625801e-06,2.998015e-06,3.627931e-06,3.796108e-06,4.699200e-06,4.814348e-06,5.700829e-06,6.170539e-06,6.792070e-06,7.674722e-06,7.962067e-06,9.198581e-06,9.299987e-06,1.048851e-05,1.101642e-05,1.181836e-05,1.279302e-05,1.317469e-05,1.454444e-05,1.459933e-05,1.591523e-05,1.640672e-05,1.727558e-05,1.818931e-05,1.861510e-05,1.992455e-05,2.119592e-05,2.159358e-05,2.242245e-05,2.318130e-05,2.359861e-05,2.467626e-05,2.472002e-05,2.578342e-05,2.607045e-05,2.678656e-05,2.735893e-05,2.772810e-05,2.853947e-05,2.860754e-05,2.942505e-05,2.961211e-05,3.018144e-05,3.057879e-05,3.087802e-05,3.144289e-05,3.151651e-05,3.209897e-05,3.220894e-05,3.262771e-05,3.288224e-05,3.310522e-05,3.346864e-05,3.353410e-05,3.391705e-05,3.397423e-05,3.425676e-05,3.440525e-05,3.455592e-05,3.476785e-05,3.481720e-05,3.504317e-05,3.506803e-05,3.523631e-05,3.531152e-05,3.539903e-05,3.550375e-05,3.553360e-05,3.564220e-05,3.564983e-05,3.572686e-05,3.575446e-05,3.578952e-05,3.582203e-05,3.583198e-05,3.585591e-05,3.585650e-05,3.586289e-05,3.586154e-05,3.585438e-05,3.584043e-05,3.583173e-05,3.579619e-05,3.574892e-05,3.573149e-05,3.569099e-05,3.564878e-05,3.562339e-05,3.555023e-05,3.554702e-05,3.546272e-05,3.543780e-05,3.537125e-05,3.531323e-05,3.527333e-05,3.517811e-05,3.516961e-05,3.506068e-05,3.503383e-05,3.494710e-05,3.488165e-05,3.482937e-05,3.472270e-05,3.470795e-05,3.458327e-05,3.455797e-05,3.445572e-05,3.438838e-05,3.432566e-05,3.421471e-05,3.419342e-05,3.405931e-05,3.403769e-05,3.392359e-05,3.385796e-05,3.378654e-05,3.367609e-05,3.364838e-05,3.350934e-05,3.349261e-05,3.336961e-05,3.330796e-05,3.322938e-05,3.312257e-05,3.308881e-05,3.294806e-05,3.293680e-05,3.280727e-05,3.275098e-05,3.266658e-05,3.256541e-05,3.252610e-05,3.238595e-05,3.238035e-05,3.224622e-05,3.219604e-05,3.210702e-05,3.201270e-05,3.196842e-05,3.183050e-05,3.164962e-05,3.147021e-05,3.129240e-05,3.111631e-05,3.094203e-05,3.076967e-05,3.059930e-05,3.043099e-05,3.026479e-05,3.010077e-05,2.993897e-05,2.977942e-05,2.962215e-05,2.946718e-05,2.931454e-05,2.916424e-05,2.901628e-05,2.887068e-05,2.872744e-05,2.858654e-05,2.844800e-05,2.831179e-05,2.817792e-05,2.804636e-05
0.000000e+00,1.367136e-10,6.850636e-10,6.009312e-09,2.184728e-08,3.806043e-08,1.182726e-07,1.230330e-07,2.890694e-07,3.542767e-07,5.679581e-07,8.049523e-07,9.975299e-07,1.561640e-06,1.619358e-06,2.465599e-06,2.703187e-06,3.539019e-06,4.228919e-06,4.809292e-06,6.054591e-06,6.231920e-06,7.766198e-06,8.083513e-06,9.380384e-06,1.024298e-05,1.104991e-05,1.248028e-05,1.275467e-05,1.447733e-05,1.475355e-05,1.620241e-05,1.702719e-05,1.791609e-05,1.927052e-05,1.960609e-05,2.126176e-05,2.145768e-05,2.287406e-05,2.356777e-05,2.443560e-05,2.558476e-05,2.594053e-05,2.738447e-05,2.749725e-05,2.876434e-05,2.929788e-05,3.007820e-05,3.098273e-05,3.132508e-05,3.250482e-05,3.255062e-05,3.361801e-05,3.400267e-05,3.466571e-05,3.534143e-05,3.564931e-05,3.657061e-05,3.743159e-05,3.769472e-05,3.823446e-05,3.871886e-05,3.898151e-05,3.964833e-05,3.967508e-05,4.031753e-05,4.048858e-05,4.091124e-05,4.124502e-05,4.145851e-05,4.192297e-05,4.196165e-05,4.242287e-05,4.252757e-05,4.284433e-05,4.306377e-05,4.322813e-05,4.353630e-05,4.357626e-05,4.389066e-05,4.394965e-05,4.417317e-05,4.430807e-05,4.442557e-05,4.461555e-05,4.464954e-05,4.484670e-05,4.487586e-05,4.501858e-05,4.509253e-05,4.516664e-05,4.526888e-05,4.529228e-05,4.539681e-05,4.540800e-05,4.548149e-05,4.551277e-05,4.554752e-05,4.558591e-05,4.559601e-05,4.562805e-05,4.562993e-05,4.564464e-05,4.564717e-05,4.564676e-05,4.563983e-05,4.563531e-05,4.561115e-05,4.560993e-05,4.557511e-05,4.555937e-05,4.552795e-05,4.548992e-05,4.547042e-05,4.540319e-05,4.532693e-05,4.530072e-05,4.524225e-05,4.518392e-05,4.514975e-05,4.505409e-05,4.504996e-05,4.494342e-05,4.491245e-05,4.483063e-05,4.476014e-05,4.471203e-05,4.459819e-05,4.458809e-05,4.445920e-05,4.442758e-05,4.432577e-05,4.424921e-05,4.418817e-05,4.406390e-05,4.404674e-05,4.390182e-05,4.387244e-05,4.375372e-05,4.367554e-05,4.360272e-05,4.347386e-05,4.344912e-05,4.329316e-05,4.326801e-05,4.313510e-05,4.305856e-05,4.297517e-05,4.284603e-05,4.281359e-05,4.265055e-05,4.263090e-05,4.248627e-05,4.241363e-05,4.232091e-05,4.219463e-05,4.215465e-05,4.198766e-05,4.197427e-05,4.182008e-05,4.175291e-05,4.165205e-05,4.153087e-05,4.148371e-05,4.131520e-05,4.130845e-05,4.114661e-05,4.108593e-05,4.097808e-05,4.086355e-05,4.080969e-05,4.064155e-05,4.042013e-05,4.019950e-05,3.997984e-05,3.976129e-05,3.954402e-05,3.932816e-05,3.911382e-05,3.890113e-05,3.869018e-05,3.848106e-05,3.827386e-05,3.806864e-05,3.786547e-05,3.766442e-05,3.746552e-05,3.726883e-05,3.707439e-05,3.688222e-05,3.669235e-05,3.650482e-05,3.631963e-05,3.613681e-05,3.595636e-05,3.577829e-05
0.000000e+00,1.081701e-09,3.308194e-09,1.539208e-08,4.032512e-08,6.207170e-08,1.556295e-07,1.608466e-07,3.338847e-07,3.991236e-07,6.074625e-07,8.316947e-07,1.009467e-06,1.508560e-06,1.557896e-06,2.250830e-06,2.437134e-06,3.074230e-06,3.586837e-06,4.013708e-06,4.927205e-06,5.057659e-06,6.196126e-06,6.434319e-06,7.419493e-06,8.085915e-06,8.717814e-06,9.858704e-06,1.008065e-05,1.149719e-05,1.172808e-05,1.295650e-05,1.366900e-05,1.444784e-05,1.565701e-05,1.596088e-05,1.748598e-05,1.766938e-05,1.901431e-05,1.968571e-05,2.053793e-05,2.168843e-05,2.204991e-05,2.354421e-05,2.366284e-05,2.501576e-05,2.559703e-05,2.646030e-05,2.748166e-05,2.787435e-05,2.925513e-05,2.930964e-05,3.060046e-05,3.107577e-05,3.190872e-05,3.277657e-05,3.317877e-05,3.440980e-05,3.560126e-05,3.597412e-05,3.675290e-05,3.746906e-05,3.786473e-05,3.889477e-05,3.893690e-05,3.996974e-05,4.025195e-05,4.096374e-05,4.154173e-05,4.191948e-05,4.276552e-05,4.283760e-05,4.371887e-05,4.392499e-05,4.456414e-05,4.502212e-05,4.537437e-05,4.605912e-05,4.615047e-05,4.689325e-05,4.703788e-05,4.760358e-05,4.796042e-05,4.828235e-05,4.882877e-05,4.893044e-05,4.954870e-05,4.964492e-05,5.013802e-05,5.041086e-05,5.069926e-05,5.112860e-05,5.123327e-05,5.174090e-05,5.180008e-05,5.222298e-05,5.242721e-05,5.268032e-05,5.301186e-05,5.311373e-05,5.352399e-05,5.355584e-05,5.391188e-05,5.406094e-05,5.427815e-05,5.452889e-05,5.462354e-05,5.494877e-05,5.496137e-05,5.525454e-05,5.535999e-05,5.554155e-05,5.572634e-05,5.581046e-05,5.606192e-05,5.629658e-05,5.636822e-05,5.651504e-05,5.664663e-05,5.671791e-05,5.689853e-05,5.690576e-05,5.707918e-05,5.712523e-05,5.723871e-05,5.732798e-05,5.738488e-05,5.750800e-05,5.751821e-05,5.763920e-05,5.766646e-05,5.774835e-05,5.780448e-05,5.784613e-05,5.792312e-05,5.793298e-05,5.800936e-05,5.802342e-05,5.807570e-05,5.810636e-05,5.813240e-05,5.817289e-05,5.817988e-05,5.821852e-05,5.822390e-05,5.824869e-05,5.826028e-05,5.827077e-05,5.828284e-05,5.828510e-05,5.829203e-05,5.829238e-05,5.829188e-05,5.828965e-05,5.828496e-05,5.827537e-05,5.827159e-05,5.825206e-05,5.825024e-05,5.822666e-05,5.821492e-05,5.819566e-05,5.817003e-05,5.815933e-05,5.811793e-05,5.811617e-05,5.807170e-05,5.805392e-05,5.802088e-05,5.798381e-05,5.796570e-05,5.790638e-05,5.782211e-05,5.773148e-05,5.763493e-05,5.753289e-05,5.742576e-05,5.731394e-05,5.719779e-05,5.707766e-05,5.695387e-05,5.682675e-05,5.669658e-05,5.656367e-05,5.642826e-05,5.629062e-05,5.615098e-05,5.600959e-05,5.586664e-05,5.572234e-05,5.557690e-05,5.543048e-05,5.528327e-05,5.513543e-05,5.498710e-05,5.483844e-05
0.000000e+00,3.145294e-15,2.744726e-14,6.791865e-13,5.620854e-12,1.471712e-11,1.157500e-10,1.246219e-10,6.316288e-10,9.339377e-10,2.317337e-09,4.524336e-09,6.812048e-09,1.591932e-08,1.704762e-08,3.776354e-08,4.502344e-08,7.601543e-08,1.086261e-07,1.415966e-07,2.319652e-07,2.472508e-07,4.085733e-07,4.490676e-07,6.435705e-07,8.013765e-07,9.719204e-07,1.334813e-06,1.414037e-06,1.990054e-06,2.095929e-06,2.718826e-06,3.127899e-06,3.617041e-06,4.466984e-06,4.698479e-06,5.973472e-06,6.139829e-06,7.448541e-06,8.161755e-06,9.126231e-06,1.053605e-05,1.100511e-05,1.307993e-05,1.325414e-05,1.534188e-05,1.629646e-05,1.777896e-05,1.963394e-05,2.037646e-05,2.311739e-05,2.322975e-05,2.598302e-05,2.704136e-05,2.895340e-05,3.102255e-05,3.200783e-05,3.512535e-05,3.828515e-05,3.930188e-05,4.146695e-05,4.350585e-05,4.465135e-05,4.769383e-05,4.782006e-05,5.095613e-05,5.182623e-05,5.404407e-05,5.586791e-05,5.707003e-05,5.978860e-05,6.002175e-05,6.288867e-05,6.356309e-05,6.566185e-05,6.717108e-05,6.833393e-05,7.059708e-05,7.089910e-05,7.335292e-05,7.383003e-05,7.569230e-05,7.686287e-05,7.791532e-05,7.969207e-05,8.002112e-05,8.200980e-05,8.231718e-05,8.388232e-05,8.474033e-05,8.564032e-05,8.696578e-05,8.728608e-05,8.882236e-05,8.899950e-05,9.025234e-05,9.084875e-05,9.157952e-05,9.252173e-05,9.280766e-05,9.394067e-05,9.402732e-05,9.498260e-05,9.537478e-05,9.593755e-05,9.657358e-05,9.680965e-05,9.760300e-05,9.763315e-05,9.832165e-05,9.856285e-05,9.896958e-05,9.937175e-05,9.955065e-05,1.000686e-04,1.005271e-04,1.006619e-04,1.009297e-04,1.011595e-04,1.012796e-04,1.015689e-04,1.015801e-04,1.018341e-04,1.018973e-04,1.020447e-04,1.021513e-04,1.022145e-04,1.023370e-04,1.023462e-04,1.024422e-04,1.024602e-04,1.025049e-04,1.025262e-04,1.025364e-04,1.025401e-04,1.025389e-04,1.025142e-04,1.025062e-04,1.024643e-04,1.024289e-04,1.023908e-04,1.023120e-04,1.022954e-04,1.021795e-04,1.021592e-04,1.020447e-04,1.019736e-04,1.018922e-04,1.017583e-04,1.017233e-04,1.015392e-04,1.015161e-04,1.013410e-04,1.012496e-04,1.011298e-04,1.009611e-04,1.009064e-04,1.006719e-04,1.006527e-04,1.004271e-04,1.003264e-04,1.001727e-04,9.998416e-05,9.990965e-05,9.963852e-05,9.962751e-05,9.936000e-05,9.925805e-05,9.907473e-05,9.887718e-05,9.878328e-05,9.848621e-05,9.808635e-05,9.767869e-05,9.726425e-05,9.684397e-05,9.641872e-05,9.598929e-05,9.555640e-05,9.512074e-05,9.468293e-05,9.424354e-05,9.380310e-05,9.336209e-05,9.292097e-05,9.248015e-05,9.204001e-05,9.160089e-05,9.116312e-05,9.072700e-05,9.029280e-05,8.986076e-05,8.943111e-05,8.900408e-05,8.857983e-05,8.815856e-05
0.000000e+00,2.006969e-15,1.747745e-14,4.308938e-13,3.553651e-12,9.286356e-12,7.265329e-11,7.820461e-11,3.941575e-10,5.818833e-10,1.437840e-09,2.797379e-09,4.201867e-09,9.764931e-09,1.045190e-08,2.300988e-08,2.739255e-08,4.603195e-08,6.555764e-08,8.523487e-08,1.389406e-07,1.479993e-07,2.432767e-07,2.671147e-07,3.812662e-07,4.735149e-07,5.728882e-07,7.833498e-07,8.291301e-07,1.160354e-06,1.220938e-06,1.575650e-06,1.807073e-06,2.082299e-06,2.556886e-06,2.685379e-06,3.387527e-06,3.478473e-06,4.188853e-06,4.572333e-06,5.086993e-06,5.831532e-06,6.077274e-06,7.152962e-06,7.242463e-06,8.305576e-06,8.785987e-06,9.525242e-06,1.043883e-05,1.080106e-05,1.212145e-05,1.217503e-05,1.347454e-05,1.396736e-05,1.484843e-05,1.578861e-05,1.623151e-05,1.761268e-05,1.898158e-05,1.941545e-05,2.032868e-05,2.117540e-05,2.164545e-05,2.287403e-05,2.292438e-05,2.415905e-05,2.449607e-05,2.534410e-05,2.602949e-05,2.647524e-05,2.746543e-05,2.754918e-05,2.856355e-05,2.879795e-05,2.951685e-05,3.002373e-05,3.040837e-05,3.114176e-05,3.123808e-05,3.200655e-05,3.215299e-05,3.271490e-05,3.305996e-05,3.336462e-05,3.386646e-05,3.395761e-05,3.449600e-05,3.457724e-05,3.498217e-05,3.519770e-05,3.541861e-05,3.573370e-05,3.580792e-05,3.615277e-05,3.619129e-05,3.645582e-05,3.657660e-05,3.671971e-05,3.689567e-05,3.694703e-05,3.714031e-05,3.715437e-05,3.730197e-05,3.735831e-05,3.743434e-05,3.751277e-05,3.753965e-05,3.762000e-05,3.762273e-05,3.767739e-05,3.769279e-05,3.771368e-05,3.772721e-05,3.773063e-05,3.772987e-05,3.771293e-05,3.770432e-05,3.768121e-05,3.765378e-05,3.763604e-05,3.758113e-05,3.757862e-05,3.751006e-05,3.748902e-05,3.743142e-05,3.737978e-05,3.734362e-05,3.725553e-05,3.724756e-05,3.714402e-05,3.711815e-05,3.703376e-05,3.696933e-05,3.691745e-05,3.681058e-05,3.679571e-05,3.666911e-05,3.664325e-05,3.653818e-05,3.646855e-05,3.640340e-05,3.628754e-05,3.626522e-05,3.612404e-05,3.610120e-05,3.598023e-05,3.591036e-05,3.583413e-05,3.571581e-05,3.568606e-05,3.553630e-05,3.551823e-05,3.538512e-05,3.531821e-05,3.523276e-05,3.511633e-05,3.507946e-05,3.492540e-05,3.491305e-05,3.477078e-05,3.470882e-05,3.461579e-05,3.450404e-05,3.446056e-05,3.430527e-05,3.429906e-05,3.415003e-05,3.409419e-05,3.399498e-05,3.388972e-05,3.384024e-05,3.368590e-05,3.348296e-05,3.328110e-05,3.308051e-05,3.288134e-05,3.268376e-05,3.248787e-05,3.229381e-05,3.210167e-05,3.191154e-05,3.172350e-05,3.153763e-05,3.135397e-05,3.117259e-05,3.099352e-05,3.081681e-05,3.064249e-05,3.047058e-05,3.030110e-05,3.013407e-05,2.996950e-05,2.980739e-05,2.964775e-05,2.949058e-05,2.933587e-05
0.000000e+00,9.319966e-10,3.814571e-09,2.504169e-08,7.776380e-08,1.279034e-07,3.653692e-07,3.793622e-07,8.755401e-07,1.076140e-06,1.756241e-06,2.544537e-06,3.204308e-06,5.188125e-06,5.392822e-06,8.370688e-06,9.191102e-06,1.200706e-05,1.425177e-05,1.609109e-05,1.991318e-05,2.044567e-05,2.495397e-05,2.586706e-05,2.954210e-05,3.194233e-05,3.416023e-05,3.803536e-05,3.877139e-05,4.334592e-05,4.407273e-05,4.785910e-05,4.999738e-05,5.229011e-05,5.576398e-05,5.662159e-05,6.083935e-05,6.133728e-05,6.493212e-05,6.669102e-05,6.889126e-05,7.180689e-05,7.271048e-05,7.638552e-05,7.667321e-05,7.991382e-05,8.128375e-05,8.329425e-05,8.563659e-05,8.652686e-05,8.961267e-05,8.973307e-05,9.255343e-05,9.357703e-05,9.535148e-05,9.717407e-05,9.800966e-05,1.005311e-04,1.029193e-04,1.036560e-04,1.051778e-04,1.065570e-04,1.073104e-04,1.092429e-04,1.093210e-04,1.112133e-04,1.117226e-04,1.129914e-04,1.140050e-04,1.146591e-04,1.160993e-04,1.162203e-04,1.176789e-04,1.180141e-04,1.190386e-04,1.197582e-04,1.203031e-04,1.213400e-04,1.214761e-04,1.225611e-04,1.227679e-04,1.235618e-04,1.240499e-04,1.244814e-04,1.251938e-04,1.253234e-04,1.260909e-04,1.262070e-04,1.267872e-04,1.270970e-04,1.274152e-04,1.278705e-04,1.279779e-04,1.284783e-04,1.285343e-04,1.289191e-04,1.290949e-04,1.293031e-04,1.295584e-04,1.296328e-04,1.299107e-04,1.299308e-04,1.301394e-04,1.302176e-04,1.303211e-04,1.304242e-04,1.304583e-04,1.305529e-04,1.305559e-04,1.306073e-04,1.306174e-04,1.306234e-04,1.306134e-04,1.306031e-04,1.305485e-04,1.304613e-04,1.304268e-04,1.303432e-04,1.302523e-04,1.301960e-04,1.300288e-04,1.300213e-04,1.298207e-04,1.297600e-04,1.295955e-04,1.294493e-04,1.293474e-04,1.290999e-04,1.290776e-04,1.287875e-04,1.287150e-04,1.284783e-04,1.282973e-04,1.281513e-04,1.278497e-04,1.278076e-04,1.274484e-04,1.273748e-04,1.270747e-04,1.268750e-04,1.266876e-04,1.263527e-04,1.262879e-04,1.258768e-04,1.258100e-04,1.254549e-04,1.252489e-04,1.250233e-04,1.246715e-04,1.245827e-04,1.241339e-04,1.240796e-04,1.236777e-04,1.234748e-04,1.232147e-04,1.228588e-04,1.227457e-04,1.222712e-04,1.222330e-04,1.217919e-04,1.215990e-04,1.213084e-04,1.209580e-04,1.208213e-04,1.203309e-04,1.203113e-04,1.198380e-04,1.196600e-04,1.193429e-04,1.190052e-04,1.188461e-04,1.183480e-04,1.176893e-04,1.170299e-04,1.163707e-04,1.157125e-04,1.150559e-04,1.144017e-04,1.137503e-04,1.131024e-04,1.124585e-04,1.118191e-04,1.111845e-04,1.105552e-04,1.099316e-04,1.093139e-04,1.087025e-04,1.080977e-04,1.074996e-04,1.069085e-04,1.063246e-04,1.057481e-04,1.051791e-04,1.046177e-04,1.040640e-04,1.035182e-04
0.000000e+00,1.809804e-11,1.118259e-10,1.397974e-09,6.463853e-09,1.249803e-08,4.734662e-08,4.956076e-08,1.310461e-07,1.642399e-07,2.744614e-07,3.970691e-07,4.961519e-07,7.826323e-07,8.116740e-07,1.234920e-06,1.353675e-06,1.774502e-06,2.127205e-06,2.428148e-06,3.085573e-06,3.180255e-06,4.006347e-06,4.178122e-06,4.880523e-06,5.346420e-06,5.780203e-06,6.542273e-06,6.687273e-06,7.587424e-06,7.730008e-06,8.469221e-06,8.883195e-06,9.323491e-06,9.982141e-06,1.014296e-05,1.092206e-05,1.101263e-05,1.165677e-05,1.196526e-05,1.234450e-05,1.283490e-05,1.298392e-05,1.357476e-05,1.361995e-05,1.411766e-05,1.432167e-05,1.461394e-05,1.494342e-05,1.506546e-05,1.547449e-05,1.549000e-05,1.584352e-05,1.596709e-05,1.617519e-05,1.638076e-05,1.647219e-05,1.673718e-05,1.697276e-05,1.704235e-05,1.718145e-05,1.730198e-05,1.736557e-05,1.752121e-05,1.752727e-05,1.766862e-05,1.770481e-05,1.779149e-05,1.785706e-05,1.789760e-05,1.798182e-05,1.798857e-05,1.806581e-05,1.808245e-05,1.813063e-05,1.816197e-05,1.818426e-05,1.822305e-05,1.822777e-05,1.826211e-05,1.826795e-05,1.828817e-05,1.829873e-05,1.830677e-05,1.831715e-05,1.831862e-05,1.832438e-05,1.832477e-05,1.832461e-05,1.832293e-05,1.831988e-05,1.831283e-05,1.831065e-05,1.829737e-05,1.829552e-05,1.828043e-05,1.827191e-05,1.826019e-05,1.824280e-05,1.823698e-05,1.821110e-05,1.820892e-05,1.818282e-05,1.817089e-05,1.815238e-05,1.812926e-05,1.812002e-05,1.808593e-05,1.808453e-05,1.805031e-05,1.803714e-05,1.801332e-05,1.798747e-05,1.797513e-05,1.793588e-05,1.789570e-05,1.788267e-05,1.785472e-05,1.782812e-05,1.781304e-05,1.777247e-05,1.777077e-05,1.772800e-05,1.771595e-05,1.768483e-05,1.765876e-05,1.764132e-05,1.760107e-05,1.759756e-05,1.755360e-05,1.754303e-05,1.750953e-05,1.748481e-05,1.746538e-05,1.742652e-05,1.742122e-05,1.737709e-05,1.736827e-05,1.733304e-05,1.731018e-05,1.728911e-05,1.725233e-05,1.724534e-05,1.720176e-05,1.719480e-05,1.715840e-05,1.713768e-05,1.711530e-05,1.708102e-05,1.707248e-05,1.702997e-05,1.702489e-05,1.698778e-05,1.696933e-05,1.694594e-05,1.691439e-05,1.690447e-05,1.686339e-05,1.686012e-05,1.682271e-05,1.680655e-05,1.678243e-05,1.675370e-05,1.674259e-05,1.670318e-05,1.670161e-05,1.666422e-05,1.665030e-05,1.662571e-05,1.659979e-05,1.658767e-05,1.655010e-05,1.650123e-05,1.645320e-05,1.640603e-05,1.635970e-05,1.631424e-05,1.626963e-05,1.622589e-05,1.618301e-05,1.614099e-05,1.609982e-05,1.605951e-05,1.602004e-05,1.598141e-05,1.594362e-05,1.590665e-05,1.587049e-05,1.583514e-05,1.580059e-05,1.576682e-05,1.573383e-05,1.570161e-05,1.567013e-05,1.563940e-05,1.560940e-05
0.000000e+00,5.227107e-14,4.386778e-13,1.001369e-11,7.695458e-11,1.934113e-10,1.367532e-09,1.465955e-09,6.678928e-09,9.592746e-09,2.212377e-08,4.071390e-08,5.898578e-08,1.265322e-07,1.345212e-07,2.729039e-07,3.188163e-07,5.056858e-07,6.914380e-07,8.715530e-07,1.338674e-06,1.414766e-06,2.181902e-06,2.366199e-06,3.217334e-06,3.874623e-06,4.558555e-06,5.941574e-06,6.232519e-06,8.253648e-06,8.609524e-06,1.062351e-05,1.188231e-05,1.333187e-05,1.572905e-05,1.635863e-05,1.967591e-05,2.009196e-05,2.325034e-05,2.489513e-05,2.704499e-05,3.005234e-05,3.102101e-05,3.513896e-05,3.547335e-05,3.935985e-05,4.106853e-05,4.364597e-05,4.675215e-05,4.796146e-05,5.227283e-05,5.244476e-05,5.654924e-05,5.807472e-05,6.076280e-05,6.357932e-05,6.488869e-05,6.890528e-05,7.279408e-05,7.400891e-05,7.653971e-05,7.885595e-05,8.012979e-05,8.342103e-05,8.355476e-05,8.680767e-05,8.768698e-05,8.988398e-05,9.164392e-05,9.278131e-05,9.528834e-05,9.549918e-05,9.803877e-05,9.862201e-05,1.004027e-04,1.016511e-04,1.025947e-04,1.043851e-04,1.046195e-04,1.064826e-04,1.068363e-04,1.081900e-04,1.090186e-04,1.097484e-04,1.109471e-04,1.111644e-04,1.124451e-04,1.126379e-04,1.135974e-04,1.141070e-04,1.146284e-04,1.153705e-04,1.155450e-04,1.163539e-04,1.164441e-04,1.170618e-04,1.173429e-04,1.176750e-04,1.180815e-04,1.181997e-04,1.186417e-04,1.186736e-04,1.190066e-04,1.191322e-04,1.192998e-04,1.194692e-04,1.195262e-04,1.196907e-04,1.196961e-04,1.197978e-04,1.198232e-04,1.198518e-04,1.198601e-04,1.198565e-04,1.198158e-04,1.197333e-04,1.196985e-04,1.196121e-04,1.195157e-04,1.194554e-04,1.192742e-04,1.192661e-04,1.190468e-04,1.189804e-04,1.188002e-04,1.186400e-04,1.185285e-04,1.182583e-04,1.182340e-04,1.179187e-04,1.178401e-04,1.175845e-04,1.173898e-04,1.172332e-04,1.169113e-04,1.168665e-04,1.164860e-04,1.164083e-04,1.160929e-04,1.158841e-04,1.156888e-04,1.153416e-04,1.152748e-04,1.148521e-04,1.147837e-04,1.144218e-04,1.142128e-04,1.139849e-04,1.136312e-04,1.135422e-04,1.130948e-04,1.130408e-04,1.126433e-04,1.124436e-04,1.121885e-04,1.118411e-04,1.117312e-04,1.112719e-04,1.112351e-04,1.108112e-04,1.106267e-04,1.103497e-04,1.100173e-04,1.098880e-04,1.094264e-04,1.094079e-04,1.089654e-04,1.087996e-04,1.085054e-04,1.081933e-04,1.080467e-04,1.075898e-04,1.069898e-04,1.063940e-04,1.058029e-04,1.052171e-04,1.046371e-04,1.040631e-04,1.034957e-04,1.029350e-04,1.023815e-04,1.018352e-04,1.012964e-04,1.007654e-04,1.002421e-04,9.972677e-05,9.921947e-05,9.872026e-05,9.822920e-05,9.774633e-05,9.727165e-05,9.680517e-05,9.634689e-05,9.589677e-05,9.545479e-05,9.502091e-05
0.000000e+00,1.802830e-09,4.151896e-09,1.433204e-08,3.256980e-08,4.742938e-08,1.067213e-07,1.098843e-07,2.095140e-07,2.450342e-07,3.532246e-07,4.631540e-07,5.470445e-07,7.740539e-07,7.961186e-07,1.104654e-06,1.187926e-06,1.475809e-06,1.711781e-06,1.911503e-06,2.348684e-06,2.412166e-06,2.976416e-06,3.096630e-06,3.600776e-06,3.947400e-06,4.279581e-06,4.886346e-06,5.005246e-06,5.768914e-06,5.894004e-06,6.561251e-06,6.949059e-06,7.373145e-06,8.031020e-06,8.196123e-06,9.022531e-06,9.121600e-06,9.845585e-06,1.020510e-05,1.065934e-05,1.126838e-05,1.145865e-05,1.223910e-05,1.230061e-05,1.299701e-05,1.329316e-05,1.372932e-05,1.423934e-05,1.443359e-05,1.510792e-05,1.513425e-05,1.575092e-05,1.597453e-05,1.636164e-05,1.675819e-05,1.693952e-05,1.748435e-05,1.799620e-05,1.815307e-05,1.847540e-05,1.876519e-05,1.892247e-05,1.932210e-05,1.933813e-05,1.972319e-05,1.982565e-05,2.007860e-05,2.027802e-05,2.040536e-05,2.068161e-05,2.070456e-05,2.097730e-05,2.103894e-05,2.122471e-05,2.135263e-05,2.144795e-05,2.162530e-05,2.164814e-05,2.182642e-05,2.185955e-05,2.198391e-05,2.205795e-05,2.212170e-05,2.222299e-05,2.224084e-05,2.234237e-05,2.235705e-05,2.242729e-05,2.246243e-05,2.249656e-05,2.254133e-05,2.255111e-05,2.259183e-05,2.259583e-05,2.261958e-05,2.262790e-05,2.263518e-05,2.263939e-05,2.263941e-05,2.263300e-05,2.263205e-05,2.261669e-05,2.260754e-05,2.259114e-05,2.256738e-05,2.255699e-05,2.251487e-05,2.251303e-05,2.246535e-05,2.244581e-05,2.240897e-05,2.236700e-05,2.234628e-05,2.227775e-05,2.220387e-05,2.217916e-05,2.212506e-05,2.207224e-05,2.204176e-05,2.195792e-05,2.195435e-05,2.186320e-05,2.183706e-05,2.176868e-05,2.171048e-05,2.167111e-05,2.157892e-05,2.157080e-05,2.146805e-05,2.144306e-05,2.136314e-05,2.130353e-05,2.125631e-05,2.116092e-05,2.114783e-05,2.103790e-05,2.101577e-05,2.092676e-05,2.086855e-05,2.081460e-05,2.071973e-05,2.070161e-05,2.058796e-05,2.056972e-05,2.047382e-05,2.041890e-05,2.035933e-05,2.026760e-05,2.024466e-05,2.012992e-05,2.011615e-05,2.001524e-05,1.996483e-05,1.990073e-05,1.981389e-05,1.978651e-05,1.967267e-05,1.966358e-05,1.955930e-05,1.951410e-05,1.944649e-05,1.936565e-05,1.933430e-05,1.922283e-05,1.921838e-05,1.911212e-05,1.907247e-05,1.900225e-05,1.892803e-05,1.889326e-05,1.878520e-05,1.864408e-05,1.850475e-05,1.836731e-05,1.823182e-05,1.809834e-05,1.796692e-05,1.783760e-05,1.771042e-05,1.758539e-05,1.746255e-05,1.734190e-05,1.722344e-05,1.710720e-05,1.699315e-05,1.688130e-05,1.677164e-05,1.666415e-05,1.655882e-05,1.645563e-05,1.635457e-05,1.625559e-05,1.615869e-05,1.606384e-05,1.597100e-05
0.000000e+00,2.775962e-13,2.136383e-12,4.083447e-11,2.679631e-10,6.186882e-10,3.538304e-09,3.761263e-09,1.405577e-08,1.917474e-08,3.904880e-08,6.534611e-08,8.924165e-08,1.692020e-07,1.781031e-07,3.220545e-07,3.668430e-07,5.396416e-07,7.005487e-07,8.490354e-07,1.208677e-06,1.264441e-06,1.793420e-06,1.913001e-06,2.436502e-06,2.814508e-06,3.188730e-06,3.898982e-06,4.041879e-06,4.986341e-06,5.145268e-06,6.012266e-06,6.530821e-06,7.110087e-06,8.033934e-06,8.270634e-06,9.485083e-06,9.634031e-06,1.074488e-05,1.131141e-05,1.204171e-05,1.304707e-05,1.336747e-05,1.471440e-05,1.482285e-05,1.607509e-05,1.662165e-05,1.744260e-05,1.842781e-05,1.881052e-05,2.017301e-05,2.022732e-05,2.152485e-05,2.200800e-05,2.286142e-05,2.375951e-05,2.417873e-05,2.547335e-05,2.674241e-05,2.714271e-05,2.798354e-05,2.876230e-05,2.919481e-05,3.032814e-05,3.037472e-05,3.152210e-05,3.183742e-05,3.263612e-05,3.328826e-05,3.371620e-05,3.467961e-05,3.476201e-05,3.577343e-05,3.601106e-05,3.675049e-05,3.728270e-05,3.769337e-05,3.849507e-05,3.860237e-05,3.947787e-05,3.964899e-05,4.032036e-05,4.074558e-05,4.113036e-05,4.178610e-05,4.190848e-05,4.265534e-05,4.277198e-05,4.337161e-05,4.370475e-05,4.405797e-05,4.458601e-05,4.471514e-05,4.534385e-05,4.541741e-05,4.594480e-05,4.620062e-05,4.651874e-05,4.693732e-05,4.706640e-05,4.758851e-05,4.762920e-05,4.808580e-05,4.827793e-05,4.855899e-05,4.888516e-05,4.900879e-05,4.943590e-05,4.945253e-05,4.984103e-05,4.998162e-05,5.022485e-05,5.047402e-05,5.058804e-05,5.093126e-05,5.125515e-05,5.135481e-05,5.156034e-05,5.174615e-05,5.184747e-05,5.210667e-05,5.211713e-05,5.236992e-05,5.243776e-05,5.260642e-05,5.274073e-05,5.282719e-05,5.301688e-05,5.303279e-05,5.322375e-05,5.326746e-05,5.340059e-05,5.349365e-05,5.356384e-05,5.369664e-05,5.371398e-05,5.385149e-05,5.387752e-05,5.397686e-05,5.403740e-05,5.409053e-05,5.417730e-05,5.419295e-05,5.428455e-05,5.429823e-05,5.436575e-05,5.440115e-05,5.443696e-05,5.448700e-05,5.449857e-05,5.455097e-05,5.455665e-05,5.459452e-05,5.461098e-05,5.462959e-05,5.465079e-05,5.465653e-05,5.467567e-05,5.467688e-05,5.468735e-05,5.469000e-05,5.469188e-05,5.469089e-05,5.468957e-05,5.468072e-05,5.468023e-05,5.466561e-05,5.465869e-05,5.464452e-05,5.462691e-05,5.461773e-05,5.458550e-05,5.453503e-05,5.447608e-05,5.440918e-05,5.433482e-05,5.425351e-05,5.416570e-05,5.407184e-05,5.397235e-05,5.386763e-05,5.375808e-05,5.364405e-05,5.352590e-05,5.340396e-05,5.327854e-05,5.314995e-05,5.301847e-05,5.288437e-05,5.274792e-05,5.260935e-05,5.246890e-05,5.232679e-05,5.218323e-05,5.203842e-05,5.189254e-05
0.000000e+00,3.264484e-09,7.451015e-09,2.540061e-08,5.731092e-08,8.325445e-08,1.871412e-07,1.927136e-07,3.704427e-07,4.349453e-07,6.353364e-07,8.449796e-07,1.008875e-06,1.467248e-06,1.512790e-06,2.161656e-06,2.339024e-06,2.951432e-06,3.445855e-06,3.855040e-06,4.713462e-06,4.833578e-06,5.851267e-06,6.057003e-06,6.881528e-06,7.415890e-06,7.906021e-06,8.752732e-06,8.912046e-06,9.890467e-06,1.004397e-05,1.083447e-05,1.127381e-05,1.173892e-05,1.243139e-05,1.259999e-05,1.341497e-05,1.350958e-05,1.418215e-05,1.450432e-05,1.490069e-05,1.541419e-05,1.557053e-05,1.619224e-05,1.623993e-05,1.676694e-05,1.698398e-05,1.729614e-05,1.765004e-05,1.778172e-05,1.822579e-05,1.824272e-05,1.863062e-05,1.876722e-05,1.899863e-05,1.922900e-05,1.933208e-05,1.963330e-05,1.990456e-05,1.998540e-05,2.014807e-05,2.029033e-05,2.036594e-05,2.055282e-05,2.056016e-05,2.073263e-05,2.077726e-05,2.088509e-05,2.096764e-05,2.101918e-05,2.112762e-05,2.113642e-05,2.123822e-05,2.126050e-05,2.132588e-05,2.136924e-05,2.140060e-05,2.145652e-05,2.146347e-05,2.151551e-05,2.152470e-05,2.155764e-05,2.157592e-05,2.159072e-05,2.161208e-05,2.161552e-05,2.163276e-05,2.163486e-05,2.164310e-05,2.164578e-05,2.164713e-05,2.164618e-05,2.164540e-05,2.163841e-05,2.163724e-05,2.162663e-05,2.162004e-05,2.161048e-05,2.159552e-05,2.159034e-05,2.156658e-05,2.156453e-05,2.153952e-05,2.152784e-05,2.150946e-05,2.148611e-05,2.147667e-05,2.144141e-05,2.143995e-05,2.140392e-05,2.138991e-05,2.136440e-05,2.133648e-05,2.132306e-05,2.128008e-05,2.123563e-05,2.122112e-05,2.118986e-05,2.115995e-05,2.114292e-05,2.109688e-05,2.109495e-05,2.104605e-05,2.103221e-05,2.099635e-05,2.096619e-05,2.094595e-05,2.089905e-05,2.089495e-05,2.084344e-05,2.083101e-05,2.079150e-05,2.076226e-05,2.073921e-05,2.069297e-05,2.068665e-05,2.063387e-05,2.062329e-05,2.058093e-05,2.055337e-05,2.052791e-05,2.048333e-05,2.047484e-05,2.042178e-05,2.041329e-05,2.036877e-05,2.034336e-05,2.031586e-05,2.027362e-05,2.026308e-05,2.021047e-05,2.020417e-05,2.015807e-05,2.013508e-05,2.010590e-05,2.006642e-05,2.005399e-05,2.000237e-05,1.999825e-05,1.995106e-05,1.993063e-05,1.990008e-05,1.986360e-05,1.984946e-05,1.979922e-05,1.979722e-05,1.974936e-05,1.973152e-05,1.969992e-05,1.966653e-05,1.965089e-05,1.960230e-05,1.953885e-05,1.947620e-05,1.941437e-05,1.935338e-05,1.929325e-05,1.923399e-05,1.917562e-05,1.911813e-05,1.906154e-05,1.900586e-05,1.895108e-05,1.889721e-05,1.884425e-05,1.879220e-05,1.874106e-05,1.869082e-05,1.864148e-05,1.859303e-05,1.854548e-05,1.849881e-05,1.845303e-05,1.840811e-05,1.836405e-05,1.832085e-05
0.000000e+00,1.428513e-10,7.637504e-10,7.445901e-09,2.898070e-08,5.194517e-08,1.698628e-07,1.769635e-07,4.261478e-07,5.238967e-07,8.412640e-07,1.186843e-06,1.462761e-06,2.250899e-06,2.330269e-06,3.482001e-06,3.804625e-06,4.951617e-06,5.922475e-06,6.761392e-06,8.638469e-06,8.914584e-06,1.139437e-05,1.192703e-05,1.417120e-05,1.572138e-05,1.721145e-05,1.994449e-05,2.048190e-05,2.395058e-05,2.452188e-05,2.758643e-05,2.938204e-05,3.135894e-05,3.445521e-05,3.523818e-05,3.919508e-05,3.967379e-05,4.320181e-05,4.497375e-05,4.723222e-05,5.029621e-05,5.126212e-05,5.526961e-05,5.558864e-05,5.923517e-05,6.080575e-05,6.314172e-05,6.590957e-05,6.697459e-05,7.072144e-05,7.086937e-05,7.437207e-05,7.566111e-05,7.791829e-05,8.026673e-05,8.135367e-05,8.467342e-05,8.787410e-05,8.887278e-05,9.095351e-05,9.286012e-05,9.391050e-05,9.663376e-05,9.674478e-05,9.945681e-05,1.001944e-04,1.020477e-04,1.035447e-04,1.045190e-04,1.066887e-04,1.068728e-04,1.091113e-04,1.096317e-04,1.112372e-04,1.123796e-04,1.132533e-04,1.149389e-04,1.151625e-04,1.169679e-04,1.173168e-04,1.186726e-04,1.195204e-04,1.202799e-04,1.215570e-04,1.217928e-04,1.232147e-04,1.234339e-04,1.245487e-04,1.251587e-04,1.257979e-04,1.267384e-04,1.269655e-04,1.280546e-04,1.281802e-04,1.290682e-04,1.294911e-04,1.300093e-04,1.306777e-04,1.308807e-04,1.316852e-04,1.317468e-04,1.324257e-04,1.327046e-04,1.331048e-04,1.335572e-04,1.337251e-04,1.342892e-04,1.343106e-04,1.347994e-04,1.349704e-04,1.352582e-04,1.355420e-04,1.356680e-04,1.360308e-04,1.363489e-04,1.364416e-04,1.366244e-04,1.367793e-04,1.368593e-04,1.370484e-04,1.370555e-04,1.372150e-04,1.372533e-04,1.373394e-04,1.373981e-04,1.374307e-04,1.374867e-04,1.374904e-04,1.375202e-04,1.375230e-04,1.375216e-04,1.375106e-04,1.374962e-04,1.374527e-04,1.374453e-04,1.373704e-04,1.373527e-04,1.372729e-04,1.372136e-04,1.371539e-04,1.370383e-04,1.370147e-04,1.368566e-04,1.368296e-04,1.366806e-04,1.365900e-04,1.364877e-04,1.363221e-04,1.362792e-04,1.360559e-04,1.360282e-04,1.358188e-04,1.357104e-04,1.355688e-04,1.353708e-04,1.353069e-04,1.350338e-04,1.350115e-04,1.347503e-04,1.346342e-04,1.344572e-04,1.342407e-04,1.341553e-04,1.338452e-04,1.338327e-04,1.335276e-04,1.334116e-04,1.332032e-04,1.329790e-04,1.328725e-04,1.325362e-04,1.320845e-04,1.316250e-04,1.311590e-04,1.306874e-04,1.302113e-04,1.297316e-04,1.292491e-04,1.287646e-04,1.282789e-04,1.277927e-04,1.273066e-04,1.268213e-04,1.263372e-04,1.258549e-04,1.253749e-04,1.248976e-04,1.244234e-04,1.239527e-04,1.234858e-04,1.230230e-04,1.225647e-04,1.221110e-04,1.216622e-04,1.212185e-04
0.000000e+00,4.075673e-13,3.152064e-12,6.080388e-11,4.018095e-10,9.306777e-10,5.352294e-09,5.690318e-09,2.127634e-08,2.900000e-08,5.879850e-08,9.779193e-08,1.328346e-07,2.478254e-07,2.604381e-07,4.603852e-07,5.213453e-07,7.527687e-07,9.647214e-07,1.158700e-06,1.626897e-06,1.699628e-06,2.395710e-06,2.555070e-06,3.263010e-06,3.784902e-06,4.310105e-06,5.327814e-06,5.535472e-06,6.926956e-06,7.163701e-06,8.463509e-06,9.244857e-06,1.011840e-05,1.150804e-05,1.186265e-05,1.366786e-05,1.388731e-05,1.550800e-05,1.632272e-05,1.736022e-05,1.876388e-05,1.920505e-05,2.102620e-05,2.117045e-05,2.281022e-05,2.351088e-05,2.454606e-05,2.576096e-05,2.622482e-05,2.783937e-05,2.790254e-05,2.938422e-05,2.992247e-05,3.085526e-05,3.181189e-05,3.224961e-05,3.356551e-05,3.480216e-05,3.518114e-05,3.595961e-05,3.665913e-05,3.703861e-05,3.800192e-05,3.804054e-05,3.896726e-05,3.921357e-05,3.982105e-05,4.029938e-05,4.060449e-05,4.126553e-05,4.132039e-05,4.197175e-05,4.211881e-05,4.256165e-05,4.286632e-05,4.309323e-05,4.351529e-05,4.356965e-05,4.399402e-05,4.407293e-05,4.436943e-05,4.454629e-05,4.469886e-05,4.494218e-05,4.498522e-05,4.523131e-05,4.526713e-05,4.543981e-05,4.552728e-05,4.561326e-05,4.572845e-05,4.575413e-05,4.586471e-05,4.587605e-05,4.594719e-05,4.597512e-05,4.600365e-05,4.603036e-05,4.603604e-05,4.604617e-05,4.604607e-05,4.603578e-05,4.602624e-05,4.600647e-05,4.597452e-05,4.595977e-05,4.589708e-05,4.589426e-05,4.581973e-05,4.578854e-05,4.572896e-05,4.566015e-05,4.562591e-05,4.551167e-05,4.538725e-05,4.534543e-05,4.525357e-05,4.516356e-05,4.511151e-05,4.496800e-05,4.496188e-05,4.480544e-05,4.476051e-05,4.464289e-05,4.454269e-05,4.447487e-05,4.431600e-05,4.430201e-05,4.412486e-05,4.408176e-05,4.394394e-05,4.384117e-05,4.375975e-05,4.359531e-05,4.357273e-05,4.338330e-05,4.334516e-05,4.319185e-05,4.309161e-05,4.299873e-05,4.283547e-05,4.280429e-05,4.260881e-05,4.257746e-05,4.241260e-05,4.231824e-05,4.221591e-05,4.205838e-05,4.201899e-05,4.182205e-05,4.179843e-05,4.162531e-05,4.153885e-05,4.142894e-05,4.128007e-05,4.123314e-05,4.103805e-05,4.102248e-05,4.084383e-05,4.076641e-05,4.065061e-05,4.051218e-05,4.045851e-05,4.026764e-05,4.026003e-05,4.007811e-05,4.001023e-05,3.989001e-05,3.976296e-05,3.970343e-05,3.951843e-05,3.927679e-05,3.903819e-05,3.880273e-05,3.857054e-05,3.834168e-05,3.811625e-05,3.789429e-05,3.767586e-05,3.746100e-05,3.724973e-05,3.704206e-05,3.683802e-05,3.663761e-05,3.644081e-05,3.624762e-05,3.605803e-05,3.587202e-05,3.568957e-05,3.551064e-05,3.533522e-05,3.516325e-05,3.499472e-05,3.482957e-05,3.466777e-05
0.000000e+00,5.490808e-15,4.789352e-14,1.184583e-12,9.797186e-12,2.563993e-11,2.012992e-10,2.167080e-10,1.095180e-09,1.617695e-09,4.001429e-09,7.787682e-09,1.169731e-08,2.716008e-08,2.906706e-08,6.384656e-08,7.595393e-08,1.273146e-07,1.809480e-07,2.348780e-07,3.817218e-07,4.064619e-07,6.665908e-07,7.317078e-07,1.044054e-06,1.297310e-06,1.571121e-06,2.154721e-06,2.282354e-06,3.213143e-06,3.384783e-06,4.398124e-06,5.066821e-06,5.869617e-06,7.272473e-06,7.656217e-06,9.781605e-06,1.006033e-05,1.226365e-05,1.347192e-05,1.511378e-05,1.752918e-05,1.833666e-05,2.193012e-05,2.223339e-05,2.588531e-05,2.756547e-05,3.018704e-05,3.348728e-05,3.481431e-05,3.974098e-05,3.994386e-05,4.493646e-05,4.686614e-05,5.036653e-05,5.417415e-05,5.599414e-05,6.178029e-05,6.768483e-05,6.959265e-05,7.366720e-05,7.751817e-05,7.968721e-05,8.546544e-05,8.570567e-05,9.168498e-05,9.334727e-05,9.758959e-05,1.010826e-04,1.033865e-04,1.085984e-04,1.090454e-04,1.145392e-04,1.158304e-04,1.198438e-04,1.227240e-04,1.249387e-04,1.292347e-04,1.298063e-04,1.344325e-04,1.353277e-04,1.388062e-04,1.409780e-04,1.429194e-04,1.461693e-04,1.467669e-04,1.503458e-04,1.508935e-04,1.536560e-04,1.551499e-04,1.566992e-04,1.589440e-04,1.594792e-04,1.620013e-04,1.622869e-04,1.642722e-04,1.651939e-04,1.663000e-04,1.676840e-04,1.680935e-04,1.696625e-04,1.697786e-04,1.710171e-04,1.715014e-04,1.721681e-04,1.728769e-04,1.731264e-04,1.739031e-04,1.739306e-04,1.745092e-04,1.746878e-04,1.749558e-04,1.751739e-04,1.752537e-04,1.754133e-04,1.754451e-04,1.754299e-04,1.753589e-04,1.752462e-04,1.751642e-04,1.748836e-04,1.748700e-04,1.744852e-04,1.743623e-04,1.740178e-04,1.737011e-04,1.734757e-04,1.729172e-04,1.728661e-04,1.721960e-04,1.720269e-04,1.714717e-04,1.710446e-04,1.706992e-04,1.699840e-04,1.698841e-04,1.690316e-04,1.688571e-04,1.681466e-04,1.676749e-04,1.672334e-04,1.664475e-04,1.662961e-04,1.653386e-04,1.651838e-04,1.643643e-04,1.638916e-04,1.633764e-04,1.625783e-04,1.623778e-04,1.613712e-04,1.612500e-04,1.603589e-04,1.599124e-04,1.593433e-04,1.585704e-04,1.583263e-04,1.573098e-04,1.572285e-04,1.562953e-04,1.558904e-04,1.552844e-04,1.545595e-04,1.542784e-04,1.532786e-04,1.532387e-04,1.522859e-04,1.519305e-04,1.513013e-04,1.506369e-04,1.503258e-04,1.493599e-04,1.481010e-04,1.468616e-04,1.456426e-04,1.444450e-04,1.432695e-04,1.421167e-04,1.409869e-04,1.398805e-04,1.387978e-04,1.377386e-04,1.367032e-04,1.356915e-04,1.347032e-04,1.337384e-04,1.327967e-04,1.318779e-04,1.309818e-04,1.301079e-04,1.292560e-04,1.284258e-04,1.276167e-04,1.268285e-04,1.260608e-04,1.253131e-04
0.000000e+00,7.163223e-09,1.740083e-08,6.381378e-08,1.500571e-07,2.219976e-07,5.194510e-07,5.357243e-07,1.066795e-06,1.264281e-06,1.890005e-06,2.559584e-06,3.090146e-06,4.587431e-06,4.736315e-06,6.844056e-06,7.415225e-06,9.378247e-06,1.096549e-05,1.229087e-05,1.513537e-05,1.554239e-05,1.910268e-05,1.984954e-05,2.294668e-05,2.504983e-05,2.705069e-05,3.068121e-05,3.139034e-05,3.593972e-05,3.668526e-05,4.067128e-05,4.299871e-05,4.555617e-05,4.955458e-05,5.056476e-05,5.566736e-05,5.628459e-05,6.083471e-05,6.312153e-05,6.603858e-05,7.000145e-05,7.125227e-05,7.645103e-05,7.686559e-05,8.161218e-05,8.366147e-05,8.671538e-05,9.034360e-05,9.174263e-05,9.667827e-05,9.687359e-05,1.015089e-04,1.032200e-04,1.062232e-04,1.093578e-04,1.108120e-04,1.152678e-04,1.195849e-04,1.209363e-04,1.237588e-04,1.263536e-04,1.277867e-04,1.315141e-04,1.316665e-04,1.353973e-04,1.364152e-04,1.389790e-04,1.410568e-04,1.424124e-04,1.454414e-04,1.456990e-04,1.488403e-04,1.495729e-04,1.518387e-04,1.534563e-04,1.546967e-04,1.570979e-04,1.574171e-04,1.600031e-04,1.605045e-04,1.624578e-04,1.636835e-04,1.647846e-04,1.666428e-04,1.669869e-04,1.690684e-04,1.693904e-04,1.710325e-04,1.719346e-04,1.728828e-04,1.742836e-04,1.746230e-04,1.762565e-04,1.764455e-04,1.777870e-04,1.784286e-04,1.792178e-04,1.802408e-04,1.805526e-04,1.817946e-04,1.818901e-04,1.829473e-04,1.833841e-04,1.840138e-04,1.847302e-04,1.849975e-04,1.859013e-04,1.859359e-04,1.867285e-04,1.870080e-04,1.874819e-04,1.879536e-04,1.881645e-04,1.887791e-04,1.893285e-04,1.894910e-04,1.898153e-04,1.900953e-04,1.902423e-04,1.905981e-04,1.906118e-04,1.909263e-04,1.910049e-04,1.911883e-04,1.913213e-04,1.914001e-04,1.915524e-04,1.915638e-04,1.916816e-04,1.917033e-04,1.917557e-04,1.917788e-04,1.917880e-04,1.917835e-04,1.917805e-04,1.917352e-04,1.917217e-04,1.916538e-04,1.915978e-04,1.915380e-04,1.914156e-04,1.913897e-04,1.912104e-04,1.911790e-04,1.910018e-04,1.908917e-04,1.907653e-04,1.905571e-04,1.905025e-04,1.902147e-04,1.901786e-04,1.899034e-04,1.897593e-04,1.895698e-04,1.893022e-04,1.892152e-04,1.888409e-04,1.888101e-04,1.884479e-04,1.882858e-04,1.880375e-04,1.877318e-04,1.876107e-04,1.871686e-04,1.871506e-04,1.867122e-04,1.865445e-04,1.862423e-04,1.859157e-04,1.857601e-04,1.852662e-04,1.845981e-04,1.839131e-04,1.832131e-04,1.824997e-04,1.817745e-04,1.810389e-04,1.802944e-04,1.795422e-04,1.787837e-04,1.780199e-04,1.772520e-04,1.764810e-04,1.757079e-04,1.749335e-04,1.741587e-04,1.733843e-04,1.726111e-04,1.718397e-04,1.710707e-04,1.703048e-04,1.695426e-04,1.687844e-04,1.680309e-04,1.672825e-04
0.000000e+00,2.478586e-09,6.052520e-09,2.232589e-08,5.268374e-08,7.808349e-08,1.836677e-07,1.894670e-07,3.797778e-07,4.509855e-07,6.777257e-07,9.215808e-07,1.115205e-06,1.660955e-06,1.715050e-06,2.475508e-06,2.679669e-06,3.374990e-06,3.930320e-06,4.389624e-06,5.362854e-06,5.500794e-06,6.694308e-06,6.941820e-06,7.958230e-06,8.639615e-06,9.281520e-06,1.043110e-05,1.065344e-05,1.206346e-05,1.229191e-05,1.350132e-05,1.419848e-05,1.495724e-05,1.612884e-05,1.642212e-05,1.788762e-05,1.806316e-05,1.934631e-05,1.998428e-05,2.079170e-05,2.187779e-05,2.221815e-05,2.362094e-05,2.373202e-05,2.499618e-05,2.553782e-05,2.634067e-05,2.728826e-05,2.765194e-05,2.892803e-05,2.897833e-05,3.016753e-05,3.060459e-05,3.136943e-05,3.216490e-05,3.253307e-05,3.365812e-05,3.474447e-05,3.508394e-05,3.579224e-05,3.644270e-05,3.680172e-05,3.773516e-05,3.777330e-05,3.870750e-05,3.896246e-05,3.960492e-05,4.012599e-05,4.046622e-05,4.122735e-05,4.129214e-05,4.208343e-05,4.226828e-05,4.284090e-05,4.325060e-05,4.356535e-05,4.417622e-05,4.425762e-05,4.491856e-05,4.504706e-05,4.554901e-05,4.586507e-05,4.614981e-05,4.663220e-05,4.672182e-05,4.726587e-05,4.735038e-05,4.778279e-05,4.802152e-05,4.827342e-05,4.864752e-05,4.873855e-05,4.917900e-05,4.923023e-05,4.959554e-05,4.977144e-05,4.998895e-05,5.027294e-05,5.035999e-05,5.070939e-05,5.073643e-05,5.103789e-05,5.116360e-05,5.134620e-05,5.155606e-05,5.163500e-05,5.190497e-05,5.191538e-05,5.215677e-05,5.224310e-05,5.239105e-05,5.254067e-05,5.260843e-05,5.280953e-05,5.299493e-05,5.305104e-05,5.316521e-05,5.326651e-05,5.332093e-05,5.345724e-05,5.346264e-05,5.359087e-05,5.362443e-05,5.370613e-05,5.376927e-05,5.380892e-05,5.389288e-05,5.389972e-05,5.397900e-05,5.399636e-05,5.404721e-05,5.408075e-05,5.410481e-05,5.414704e-05,5.415220e-05,5.418982e-05,5.419620e-05,5.421805e-05,5.422915e-05,5.423729e-05,5.424677e-05,5.424790e-05,5.425026e-05,5.424990e-05,5.424472e-05,5.423935e-05,5.423160e-05,5.421589e-05,5.421125e-05,5.418398e-05,5.418026e-05,5.415009e-05,5.413316e-05,5.410989e-05,5.407528e-05,5.406365e-05,5.401166e-05,5.400726e-05,5.395418e-05,5.392971e-05,5.389147e-05,5.384322e-05,5.382378e-05,5.375135e-05,5.374836e-05,5.367441e-05,5.364565e-05,5.359318e-05,5.353561e-05,5.350788e-05,5.341872e-05,5.329545e-05,5.316625e-05,5.303153e-05,5.289169e-05,5.274711e-05,5.259816e-05,5.244519e-05,5.228852e-05,5.212846e-05,5.196532e-05,5.179936e-05,5.163087e-05,5.146010e-05,5.128728e-05,5.111264e-05,5.093641e-05,5.075878e-05,5.057995e-05,5.040012e-05,5.021944e-05,5.003809e-05,4.985622e-05,4.967398e-05,4.949150e-05
0.000000e+00,1.066803e-09,3.128999e-09,1.395331e-08,3.591059e-08,5.494917e-08,1.365815e-07,1.411301e-07,2.921175e-07,3.491431e-07,5.316850e-07,7.288083e-07,8.854425e-07,1.326122e-06,1.369735e-06,1.983474e-06,2.148986e-06,2.717199e-06,3.177316e-06,3.562707e-06,4.394694e-06,4.514339e-06,5.567487e-06,5.789891e-06,6.717386e-06,7.351770e-06,7.958500e-06,9.066794e-06,9.284322e-06,1.068742e-05,1.091855e-05,1.215963e-05,1.288829e-05,1.369223e-05,1.495579e-05,1.527628e-05,1.690280e-05,1.710041e-05,1.856300e-05,1.930198e-05,2.024848e-05,2.154146e-05,2.195132e-05,2.366423e-05,2.380149e-05,2.538054e-05,2.606666e-05,2.709427e-05,2.832356e-05,2.880012e-05,3.049342e-05,3.056083e-05,3.217014e-05,3.276901e-05,3.382679e-05,3.494033e-05,3.546043e-05,3.706859e-05,3.864919e-05,3.914887e-05,4.020054e-05,4.117741e-05,4.172128e-05,4.315138e-05,4.321032e-05,4.466682e-05,4.506873e-05,4.609017e-05,4.692807e-05,4.747991e-05,4.872854e-05,4.883576e-05,5.015757e-05,5.046973e-05,5.144529e-05,5.215154e-05,5.269899e-05,5.377420e-05,5.391880e-05,5.510494e-05,5.533816e-05,5.625769e-05,5.684403e-05,5.737737e-05,5.829261e-05,5.846435e-05,5.951903e-05,5.968481e-05,6.054184e-05,6.102161e-05,6.153326e-05,6.230410e-05,6.249375e-05,6.342383e-05,6.353342e-05,6.432401e-05,6.471074e-05,6.519480e-05,6.583729e-05,6.603676e-05,6.685041e-05,6.691430e-05,6.763631e-05,6.794303e-05,6.839502e-05,6.892475e-05,6.912707e-05,6.983303e-05,6.986073e-05,7.051345e-05,7.075226e-05,7.116889e-05,7.160059e-05,7.179988e-05,7.240699e-05,7.299075e-05,7.317271e-05,7.355170e-05,7.389899e-05,7.409038e-05,7.458704e-05,7.460731e-05,7.510302e-05,7.523808e-05,7.557801e-05,7.585328e-05,7.603281e-05,7.643382e-05,7.646792e-05,7.688382e-05,7.698083e-05,7.728101e-05,7.749544e-05,7.765997e-05,7.797874e-05,7.802117e-05,7.836507e-05,7.843182e-05,7.869214e-05,7.885571e-05,7.900281e-05,7.925144e-05,7.929754e-05,7.957676e-05,7.962002e-05,7.984089e-05,7.996243e-05,8.009034e-05,8.027961e-05,8.032553e-05,8.054685e-05,8.057250e-05,8.075471e-05,8.084199e-05,8.094947e-05,8.108898e-05,8.113153e-05,8.130124e-05,8.131430e-05,8.145898e-05,8.151879e-05,8.160508e-05,8.170327e-05,8.173990e-05,8.186377e-05,8.186851e-05,8.197703e-05,8.201527e-05,8.208000e-05,8.214430e-05,8.217299e-05,8.225631e-05,8.235199e-05,8.243202e-05,8.249705e-05,8.254772e-05,8.258463e-05,8.260838e-05,8.261953e-05,8.261866e-05,8.260628e-05,8.258292e-05,8.254909e-05,8.250525e-05,8.245190e-05,8.238946e-05,8.231839e-05,8.223910e-05,8.215200e-05,8.205748e-05,8.195593e-05,8.184769e-05,8.173314e-05,8.161259e-05,8.148639e-05,8.135485e-05
0.000000e+00,3.251272e-09,8.196195e-09,3.123623e-08,7.478996e-08,1.114191e-07,2.642250e-07,2.726273e-07,5.480696e-07,6.507049e-07,9.741074e-07,1.313577e-06,1.576127e-06,2.288231e-06,2.357135e-06,3.310066e-06,3.563648e-06,4.429068e-06,5.126725e-06,5.710083e-06,6.968041e-06,7.148848e-06,8.739526e-06,9.075225e-06,1.047408e-05,1.142955e-05,1.234214e-05,1.400540e-05,1.433121e-05,1.642707e-05,1.677128e-05,1.861413e-05,1.969153e-05,2.087604e-05,2.272829e-05,2.319618e-05,2.555806e-05,2.584353e-05,2.794580e-05,2.900068e-05,3.034433e-05,3.216580e-05,3.273970e-05,3.511943e-05,3.530879e-05,3.747242e-05,3.840390e-05,3.978892e-05,4.142948e-05,4.206061e-05,4.428050e-05,4.436813e-05,4.644284e-05,4.720627e-05,4.854300e-05,4.993372e-05,5.057739e-05,5.254332e-05,5.443889e-05,5.503041e-05,5.626292e-05,5.739243e-05,5.801477e-05,5.962855e-05,5.969435e-05,6.130196e-05,6.173927e-05,6.283825e-05,6.372617e-05,6.430417e-05,6.559166e-05,6.570088e-05,6.702975e-05,6.733875e-05,6.829228e-05,6.897091e-05,6.949008e-05,7.049194e-05,7.062485e-05,7.169834e-05,7.190585e-05,7.271236e-05,7.321675e-05,7.366873e-05,7.442886e-05,7.456928e-05,7.541583e-05,7.554639e-05,7.621021e-05,7.657352e-05,7.695423e-05,7.751438e-05,7.764966e-05,7.829825e-05,7.837302e-05,7.890172e-05,7.915339e-05,7.946176e-05,7.985936e-05,7.998001e-05,8.045808e-05,8.049464e-05,8.089753e-05,8.106284e-05,8.129989e-05,8.156746e-05,8.166665e-05,8.199924e-05,8.201185e-05,8.229906e-05,8.239923e-05,8.256746e-05,8.273271e-05,8.280577e-05,8.301526e-05,8.319715e-05,8.324973e-05,8.335265e-05,8.343884e-05,8.348289e-05,8.358521e-05,8.358900e-05,8.367205e-05,8.369132e-05,8.373308e-05,8.375955e-05,8.377310e-05,8.379218e-05,8.379306e-05,8.379390e-05,8.379136e-05,8.377652e-05,8.375916e-05,8.374179e-05,8.369753e-05,8.369054e-05,8.362357e-05,8.360836e-05,8.354166e-05,8.349341e-05,8.344555e-05,8.335437e-05,8.333596e-05,8.321358e-05,8.319285e-05,8.307906e-05,8.301038e-05,8.293306e-05,8.280839e-05,8.277617e-05,8.260899e-05,8.258827e-05,8.243209e-05,8.235131e-05,8.224600e-05,8.209875e-05,8.205125e-05,8.184834e-05,8.183176e-05,8.163774e-05,8.155146e-05,8.141992e-05,8.125888e-05,8.119533e-05,8.096438e-05,8.095502e-05,8.072748e-05,8.064082e-05,8.048503e-05,8.031718e-05,8.023739e-05,7.998492e-05,7.964485e-05,7.929771e-05,7.894422e-05,7.858504e-05,7.822079e-05,7.785208e-05,7.747946e-05,7.710347e-05,7.672458e-05,7.634328e-05,7.596000e-05,7.557515e-05,7.518912e-05,7.480227e-05,7.441494e-05,7.402745e-05,7.364010e-05,7.325316e-05,7.286690e-05,7.248157e-05,7.209738e-05,7.171455e-05,7.133328e-05,7.095374e-05
0.000000e+00,6.552519e-16,5.820466e-15,1.494979e-13,1.280608e-12,3.417664e-12,2.825148e-11,3.047881e-11,1.623530e-10,2.433229e-10,6.245219e-10,1.252859e-09,1.919744e-09,4.662947e-09,5.009661e-09,1.153919e-08,1.388168e-08,2.409250e-08,3.511033e-08,4.646389e-08,7.841618e-08,8.392153e-08,1.434395e-07,1.587351e-07,2.338748e-07,2.966395e-07,3.660726e-07,5.187400e-07,5.528885e-07,8.091261e-07,8.576525e-07,1.151391e-06,1.351520e-06,1.597864e-06,2.043119e-06,2.168012e-06,2.882241e-06,2.978622e-06,3.761504e-06,4.206101e-06,4.826884e-06,5.773859e-06,6.099164e-06,7.598385e-06,7.728701e-06,9.343431e-06,1.011422e-05,1.135163e-05,1.296921e-05,1.363838e-05,1.621687e-05,1.632623e-05,1.909772e-05,2.021047e-05,2.228889e-05,2.463885e-05,2.579545e-05,2.961948e-05,3.376009e-05,3.515140e-05,3.821343e-05,4.122467e-05,4.297272e-05,4.782069e-05,4.802847e-05,5.336857e-05,5.491284e-05,5.897854e-05,6.246724e-05,6.484178e-05,7.044378e-05,7.093980e-05,7.725250e-05,7.879714e-05,8.375849e-05,8.747796e-05,9.043536e-05,9.643396e-05,9.725993e-05,1.042086e-04,1.056111e-04,1.112575e-04,1.149547e-04,1.183830e-04,1.244103e-04,1.255614e-04,1.327699e-04,1.339246e-04,1.399861e-04,1.434463e-04,1.471886e-04,1.529267e-04,1.543567e-04,1.614710e-04,1.623203e-04,1.685134e-04,1.715849e-04,1.754668e-04,1.806822e-04,1.823156e-04,1.890453e-04,1.895782e-04,1.956431e-04,1.982425e-04,2.020971e-04,2.066491e-04,2.083970e-04,2.145339e-04,2.147759e-04,2.204999e-04,2.226046e-04,2.262885e-04,2.301206e-04,2.318943e-04,2.373130e-04,2.425413e-04,2.441738e-04,2.475770e-04,2.506981e-04,2.524187e-04,2.568837e-04,2.570659e-04,2.615188e-04,2.627309e-04,2.657783e-04,2.682419e-04,2.698462e-04,2.734211e-04,2.737244e-04,2.774157e-04,2.782742e-04,2.809233e-04,2.828085e-04,2.842505e-04,2.870323e-04,2.874012e-04,2.903797e-04,2.909551e-04,2.931902e-04,2.945869e-04,2.958374e-04,2.979383e-04,2.983260e-04,3.006609e-04,3.010206e-04,3.028470e-04,3.038450e-04,3.048894e-04,3.064232e-04,3.067931e-04,3.085631e-04,3.087668e-04,3.102045e-04,3.108873e-04,3.117223e-04,3.127962e-04,3.131215e-04,3.144069e-04,3.145049e-04,3.155834e-04,3.160245e-04,3.166556e-04,3.173658e-04,3.176283e-04,3.185060e-04,3.185392e-04,3.192930e-04,3.195550e-04,3.199936e-04,3.204229e-04,3.206121e-04,3.211524e-04,3.217525e-04,3.222318e-04,3.225987e-04,3.228610e-04,3.230261e-04,3.231012e-04,3.230929e-04,3.230078e-04,3.228517e-04,3.226304e-04,3.223491e-04,3.220130e-04,3.216268e-04,3.211948e-04,3.207213e-04,3.202103e-04,3.196653e-04,3.190898e-04,3.184870e-04,3.178600e-04,3.172114e-04,3.165441e-04,3.158603e-04,3.151624e-04
0.000000e+00,5.827552e-09,1.332832e-08,4.581096e-08,1.047900e-07,1.538549e-07,3.596042e-07,3.710339e-07,7.536386e-07,8.999161e-07,1.371740e-06,1.880081e-06,2.277888e-06,3.350390e-06,3.452395e-06,4.811349e-06,5.155160e-06,6.272133e-06,7.113398e-06,7.780422e-06,9.120319e-06,9.302979e-06,1.081757e-05,1.111799e-05,1.230737e-05,1.306759e-05,1.375860e-05,1.493944e-05,1.515988e-05,1.650188e-05,1.671059e-05,1.777743e-05,1.836451e-05,1.898139e-05,1.989078e-05,2.011052e-05,2.116315e-05,2.128431e-05,2.213921e-05,2.254471e-05,2.303994e-05,2.367539e-05,2.386745e-05,2.462455e-05,2.468217e-05,2.531454e-05,2.557255e-05,2.594102e-05,2.635487e-05,2.650775e-05,2.701853e-05,2.703785e-05,2.747714e-05,2.763017e-05,2.788723e-05,2.814020e-05,2.825235e-05,2.857585e-05,2.886091e-05,2.894450e-05,2.911051e-05,2.925294e-05,2.932744e-05,2.950736e-05,2.951429e-05,2.967349e-05,2.971341e-05,2.980726e-05,2.987618e-05,2.991767e-05,3.000027e-05,3.000664e-05,3.007592e-05,3.008980e-05,3.012715e-05,3.014851e-05,3.016181e-05,3.017971e-05,3.018129e-05,3.018686e-05,3.018641e-05,3.017969e-05,3.017128e-05,3.016085e-05,3.013675e-05,3.013135e-05,3.009208e-05,3.008495e-05,3.004391e-05,3.001785e-05,2.998759e-05,2.993717e-05,2.992386e-05,2.985336e-05,2.984447e-05,2.977670e-05,2.974117e-05,2.969445e-05,2.962852e-05,2.960712e-05,2.951520e-05,2.950766e-05,2.941911e-05,2.937961e-05,2.931928e-05,2.924529e-05,2.921607e-05,2.910983e-05,2.910553e-05,2.900089e-05,2.896107e-05,2.888955e-05,2.881260e-05,2.877607e-05,2.866071e-05,2.854372e-05,2.850597e-05,2.842530e-05,2.834886e-05,2.830566e-05,2.818983e-05,2.818499e-05,2.806346e-05,2.802930e-05,2.794123e-05,2.786761e-05,2.781844e-05,2.770512e-05,2.769525e-05,2.757177e-05,2.754211e-05,2.744813e-05,2.737885e-05,2.732443e-05,2.721560e-05,2.720077e-05,2.707725e-05,2.705257e-05,2.695395e-05,2.688996e-05,2.683097e-05,2.672795e-05,2.670836e-05,2.658620e-05,2.656670e-05,2.646455e-05,2.640636e-05,2.634347e-05,2.624705e-05,2.622302e-05,2.610323e-05,2.608891e-05,2.598417e-05,2.593203e-05,2.586587e-05,2.577650e-05,2.574837e-05,2.563171e-05,2.562241e-05,2.551591e-05,2.546984e-05,2.540101e-05,2.531885e-05,2.528703e-05,2.517400e-05,2.516950e-05,2.506194e-05,2.502184e-05,2.495087e-05,2.487592e-05,2.484081e-05,2.473176e-05,2.458942e-05,2.444890e-05,2.431024e-05,2.417346e-05,2.403857e-05,2.390558e-05,2.377450e-05,2.364534e-05,2.351809e-05,2.339276e-05,2.326934e-05,2.314783e-05,2.302823e-05,2.291052e-05,2.279469e-05,2.268073e-05,2.256864e-05,2.245838e-05,2.234996e-05,2.224336e-05,2.213854e-05,2.203551e-05,2.193424e-05,2.183471e-05
0.000000e+00,9.707600e-12,6.315041e-11,8.684614e-10,4.323380e-09,8.662253e-09,3.546437e-08,3.722579e-08,1.045108e-07,1.328481e-07,2.293338e-07,3.397838e-07,4.308582e-07,7.012816e-07,7.292054e-07,1.145264e-06,1.264845e-06,1.697847e-06,2.071297e-06,2.397042e-06,3.128918e-06,3.236348e-06,4.190496e-06,4.391926e-06,5.222404e-06,5.776844e-06,6.293861e-06,7.200748e-06,7.372803e-06,8.435395e-06,8.602697e-06,9.464978e-06,9.943935e-06,1.045009e-05,1.120081e-05,1.138290e-05,1.225813e-05,1.235910e-05,1.307237e-05,1.341079e-05,1.382378e-05,1.435242e-05,1.451176e-05,1.513681e-05,1.518413e-05,1.570032e-05,1.590894e-05,1.620440e-05,1.653204e-05,1.665176e-05,1.704547e-05,1.706015e-05,1.738891e-05,1.750093e-05,1.768563e-05,1.786253e-05,1.793919e-05,1.815315e-05,1.833096e-05,1.838076e-05,1.847592e-05,1.855291e-05,1.859116e-05,1.867654e-05,1.867960e-05,1.874398e-05,1.875804e-05,1.878679e-05,1.880310e-05,1.881035e-05,1.881681e-05,1.881673e-05,1.880786e-05,1.880365e-05,1.878545e-05,1.876757e-05,1.875105e-05,1.871200e-05,1.870609e-05,1.865180e-05,1.863993e-05,1.858932e-05,1.855394e-05,1.851968e-05,1.845630e-05,1.844376e-05,1.836240e-05,1.834892e-05,1.827631e-05,1.823350e-05,1.818614e-05,1.811147e-05,1.809249e-05,1.799587e-05,1.798409e-05,1.789674e-05,1.785244e-05,1.779552e-05,1.771743e-05,1.769259e-05,1.758829e-05,1.757989e-05,1.748290e-05,1.744050e-05,1.737670e-05,1.729987e-05,1.726993e-05,1.716280e-05,1.715851e-05,1.705551e-05,1.701688e-05,1.694823e-05,1.687536e-05,1.684111e-05,1.673430e-05,1.662790e-05,1.659397e-05,1.652204e-05,1.645462e-05,1.641682e-05,1.631648e-05,1.631231e-05,1.620861e-05,1.617972e-05,1.610577e-05,1.604450e-05,1.600385e-05,1.591096e-05,1.590293e-05,1.580303e-05,1.577921e-05,1.570420e-05,1.564934e-05,1.560649e-05,1.552144e-05,1.550991e-05,1.541450e-05,1.539556e-05,1.532028e-05,1.527176e-05,1.522727e-05,1.515009e-05,1.513548e-05,1.504494e-05,1.503056e-05,1.495564e-05,1.491322e-05,1.486760e-05,1.479807e-05,1.478082e-05,1.469530e-05,1.468513e-05,1.461105e-05,1.457439e-05,1.452807e-05,1.446585e-05,1.444636e-05,1.436590e-05,1.435952e-05,1.428670e-05,1.425537e-05,1.420875e-05,1.415339e-05,1.413204e-05,1.405657e-05,1.405358e-05,1.398232e-05,1.395589e-05,1.390930e-05,1.386033e-05,1.383748e-05,1.376685e-05,1.367544e-05,1.358606e-05,1.349869e-05,1.341329e-05,1.332984e-05,1.324831e-05,1.316865e-05,1.309084e-05,1.301484e-05,1.294063e-05,1.286816e-05,1.279740e-05,1.272832e-05,1.266088e-05,1.259505e-05,1.253080e-05,1.246809e-05,1.240689e-05,1.234717e-05,1.228889e-05,1.223203e-05,1.217654e-05,1.212240e-05,1.206958e-05
0.000000e+00,2.402295e-14,2.051482e-13,4.852243e-12,3.852381e-11,9.858253e-11,7.305283e-10,7.846104e-10,3.746932e-09,5.451171e-09,1.298524e-08,2.452999e-08,3.614920e-08,8.053414e-08,8.589289e-08,1.810897e-07,2.134275e-07,3.476781e-07,4.842249e-07,6.187936e-07,9.750645e-07,1.033907e-06,1.636975e-06,1.784182e-06,2.473950e-06,3.016745e-06,3.590104e-06,4.774388e-06,5.027573e-06,6.823390e-06,7.146116e-06,9.008092e-06,1.020199e-05,1.160488e-05,1.398970e-05,1.462927e-05,1.808908e-05,1.853361e-05,2.198475e-05,2.383550e-05,2.630983e-05,2.987646e-05,3.105159e-05,3.619176e-05,3.661953e-05,4.170731e-05,4.401271e-05,4.757126e-05,5.199223e-05,5.375350e-05,6.022163e-05,6.048582e-05,6.694167e-05,6.941587e-05,7.387887e-05,7.870238e-05,8.099831e-05,8.826553e-05,9.564702e-05,9.802794e-05,1.031107e-04,1.079164e-04,1.106260e-04,1.178629e-04,1.181646e-04,1.257001e-04,1.278062e-04,1.332085e-04,1.376913e-04,1.406679e-04,1.474704e-04,1.480588e-04,1.553639e-04,1.571026e-04,1.625680e-04,1.665532e-04,1.696579e-04,1.757937e-04,1.766224e-04,1.834520e-04,1.848010e-04,1.901388e-04,1.935572e-04,1.966762e-04,2.020485e-04,2.030592e-04,2.092837e-04,2.102647e-04,2.153469e-04,2.181994e-04,2.212468e-04,2.258483e-04,2.269822e-04,2.325526e-04,2.332100e-04,2.379582e-04,2.402845e-04,2.431995e-04,2.470738e-04,2.482778e-04,2.531946e-04,2.535810e-04,2.579516e-04,2.598102e-04,2.625511e-04,2.657665e-04,2.669953e-04,2.712869e-04,2.714554e-04,2.754285e-04,2.768833e-04,2.794229e-04,2.820565e-04,2.832731e-04,2.869820e-04,2.905528e-04,2.916668e-04,2.939885e-04,2.961180e-04,2.972923e-04,3.003428e-04,3.004674e-04,3.035168e-04,3.043486e-04,3.064438e-04,3.081425e-04,3.092514e-04,3.117318e-04,3.119429e-04,3.145212e-04,3.151235e-04,3.169894e-04,3.183247e-04,3.193506e-04,3.213422e-04,3.216077e-04,3.237636e-04,3.241829e-04,3.258213e-04,3.268534e-04,3.277836e-04,3.293602e-04,3.296533e-04,3.314331e-04,3.317097e-04,3.331257e-04,3.339080e-04,3.347338e-04,3.359612e-04,3.362600e-04,3.377068e-04,3.378752e-04,3.390767e-04,3.396557e-04,3.403721e-04,3.413082e-04,3.415954e-04,3.427488e-04,3.428381e-04,3.438347e-04,3.442507e-04,3.448553e-04,3.455509e-04,3.458127e-04,3.467091e-04,3.467437e-04,3.475464e-04,3.478338e-04,3.483267e-04,3.488258e-04,3.490520e-04,3.497241e-04,3.505329e-04,3.512565e-04,3.518988e-04,3.524636e-04,3.529546e-04,3.533754e-04,3.537295e-04,3.540200e-04,3.542503e-04,3.544234e-04,3.545422e-04,3.546096e-04,3.546282e-04,3.546007e-04,3.545297e-04,3.544174e-04,3.542662e-04,3.540783e-04,3.538559e-04,3.536010e-04,3.533156e-04,3.530014e-04,3.526604e-04,3.522942e-04
0.000000e+00,8.838391e-10,2.067907e-09,7.235479e-09,1.649975e-08,2.403370e-08,5.395998e-08,5.555098e-08,1.054422e-07,1.231406e-07,1.768207e-07,2.310747e-07,2.723164e-07,3.833524e-07,3.941068e-07,5.439083e-07,5.841732e-07,7.229040e-07,8.361105e-07,9.315798e-07,1.139419e-06,1.169464e-06,1.434861e-06,1.491000e-06,1.724779e-06,1.883919e-06,2.035198e-06,2.308481e-06,2.361586e-06,2.699372e-06,2.754181e-06,3.044227e-06,3.211090e-06,3.392188e-06,3.670371e-06,3.739670e-06,4.083462e-06,4.124331e-06,4.420723e-06,4.566395e-06,4.748968e-06,4.991084e-06,5.066072e-06,5.370259e-06,5.393990e-06,5.660093e-06,5.771749e-06,5.934467e-06,6.121981e-06,6.192578e-06,6.433905e-06,6.443205e-06,6.658181e-06,6.734731e-06,6.865361e-06,6.996548e-06,7.055595e-06,7.229193e-06,7.386600e-06,7.433638e-06,7.528366e-06,7.611178e-06,7.655125e-06,7.763336e-06,7.767568e-06,7.866431e-06,7.891782e-06,7.952471e-06,7.998260e-06,8.026457e-06,8.084538e-06,8.089156e-06,8.141326e-06,8.152363e-06,8.183708e-06,8.203433e-06,8.217016e-06,8.239370e-06,8.241940e-06,8.259138e-06,8.261706e-06,8.269235e-06,8.271877e-06,8.272823e-06,8.271216e-06,8.270460e-06,8.262670e-06,8.260953e-06,8.249941e-06,8.242213e-06,8.232732e-06,8.216027e-06,8.211469e-06,8.186547e-06,8.183329e-06,8.158335e-06,8.144967e-06,8.127170e-06,8.101706e-06,8.093369e-06,8.057221e-06,8.054236e-06,8.018994e-06,8.003177e-06,7.978933e-06,7.949083e-06,7.937266e-06,7.894200e-06,7.892451e-06,7.849927e-06,7.833727e-06,7.804621e-06,7.773306e-06,7.758443e-06,7.711540e-06,7.664046e-06,7.648743e-06,7.616083e-06,7.585193e-06,7.567763e-06,7.521136e-06,7.519189e-06,7.470453e-06,7.456790e-06,7.421640e-06,7.392347e-06,7.372825e-06,7.327975e-06,7.324079e-06,7.275465e-06,7.263823e-06,7.227038e-06,7.200021e-06,7.178852e-06,7.136682e-06,7.130951e-06,7.083377e-06,7.073905e-06,7.036167e-06,7.011774e-06,6.989356e-06,6.950363e-06,6.942971e-06,6.897039e-06,6.889734e-06,6.851584e-06,6.829941e-06,6.806625e-06,6.771028e-06,6.762181e-06,6.718266e-06,6.713032e-06,6.674894e-06,6.655985e-06,6.632075e-06,6.599910e-06,6.589820e-06,6.548136e-06,6.544826e-06,6.507029e-06,6.490749e-06,6.466504e-06,6.437688e-06,6.426564e-06,6.387212e-06,6.385650e-06,6.348449e-06,6.334638e-06,6.310275e-06,6.284653e-06,6.272689e-06,6.235692e-06,6.187750e-06,6.140822e-06,6.094900e-06,6.049972e-06,6.006030e-06,5.963060e-06,5.921049e-06,5.879984e-06,5.839850e-06,5.800631e-06,5.762313e-06,5.724879e-06,5.688313e-06,5.652599e-06,5.617719e-06,5.583658e-06,5.550397e-06,5.517921e-06,5.486213e-06,5.455256e-06,5.425033e-06,5.395528e-06,5.366725e-06,5.338608e-06
0.000000e+00,2.443106e-15,2.150253e-14,5.416741e-13,4.557111e-12,1.204047e-11,9.693641e-11,1.044651e-10,5.417065e-10,8.058814e-10,2.029911e-09,4.010137e-09,6.083019e-09,1.444356e-08,1.548743e-08,3.483571e-08,4.167504e-08,7.109487e-08,1.023431e-07,1.341719e-07,2.223859e-07,2.374313e-07,3.981014e-07,4.389277e-07,6.374930e-07,8.013492e-07,9.809556e-07,1.371043e-06,1.457533e-06,2.099309e-06,2.219589e-06,2.940506e-06,3.425461e-06,4.016391e-06,5.069718e-06,5.362095e-06,7.011415e-06,7.231257e-06,8.995676e-06,9.982181e-06,1.134271e-05,1.338372e-05,1.407601e-05,1.721405e-05,1.748300e-05,2.076977e-05,2.231082e-05,2.475035e-05,2.788038e-05,2.915705e-05,3.398529e-05,3.418706e-05,3.922486e-05,4.120896e-05,4.486024e-05,4.890819e-05,5.087109e-05,5.723271e-05,6.391666e-05,6.611853e-05,7.089139e-05,7.549217e-05,7.812283e-05,8.527321e-05,8.557508e-05,9.321098e-05,9.537681e-05,1.009928e-04,1.057161e-04,1.088825e-04,1.162043e-04,1.168429e-04,1.248372e-04,1.267569e-04,1.328302e-04,1.372931e-04,1.407882e-04,1.477370e-04,1.486794e-04,1.564742e-04,1.580191e-04,1.641450e-04,1.680766e-04,1.716671e-04,1.778540e-04,1.790178e-04,1.861770e-04,1.873035e-04,1.931273e-04,1.963847e-04,1.998535e-04,2.050645e-04,2.063429e-04,2.125850e-04,2.133170e-04,2.185715e-04,2.211229e-04,2.242960e-04,2.284688e-04,2.297543e-04,2.349435e-04,2.353470e-04,2.398627e-04,2.417548e-04,2.445121e-04,2.476937e-04,2.488936e-04,2.530099e-04,2.531691e-04,2.568650e-04,2.581897e-04,2.604635e-04,2.627667e-04,2.638110e-04,2.669136e-04,2.697782e-04,2.706458e-04,2.724119e-04,2.739797e-04,2.748221e-04,2.769329e-04,2.770167e-04,2.790036e-04,2.795238e-04,2.807909e-04,2.817709e-04,2.823869e-04,2.836931e-04,2.837996e-04,2.850372e-04,2.853091e-04,2.861079e-04,2.866374e-04,2.870194e-04,2.876963e-04,2.877798e-04,2.883966e-04,2.885034e-04,2.888773e-04,2.890759e-04,2.892292e-04,2.894305e-04,2.894594e-04,2.895747e-04,2.895829e-04,2.895817e-04,2.895484e-04,2.894867e-04,2.893415e-04,2.892960e-04,2.890154e-04,2.889760e-04,2.886506e-04,2.884649e-04,2.882071e-04,2.878205e-04,2.876900e-04,2.871043e-04,2.870547e-04,2.864548e-04,2.861781e-04,2.857459e-04,2.852013e-04,2.849821e-04,2.841673e-04,2.841337e-04,2.833055e-04,2.829844e-04,2.824004e-04,2.817619e-04,2.814554e-04,2.804740e-04,2.791281e-04,2.777310e-04,2.762889e-04,2.748079e-04,2.732933e-04,2.717502e-04,2.701833e-04,2.685969e-04,2.669949e-04,2.653811e-04,2.637587e-04,2.621310e-04,2.605007e-04,2.588705e-04,2.572426e-04,2.556194e-04,2.540027e-04,2.523944e-04,2.507961e-04,2.492092e-04,2.476351e-04,2.460750e-04,2.445299e-04,2.430008e-04
0.000000e+00,1.162483e-09,3.755928e-09,1.849940e-08,4.960210e-08,7.688686e-08,1.940568e-07,2.005610e-07,4.140795e-07,4.935001e-07,7.438662e-07,1.009443e-06,1.218582e-06,1.806594e-06,1.865094e-06,2.696924e-06,2.923577e-06,3.705273e-06,4.338704e-06,4.867430e-06,5.998789e-06,6.160126e-06,7.563799e-06,7.856333e-06,9.061484e-06,9.872137e-06,1.063727e-05,1.200988e-05,1.227557e-05,1.396096e-05,1.423397e-05,1.567836e-05,1.650984e-05,1.741341e-05,1.880510e-05,1.915269e-05,2.088402e-05,2.109071e-05,2.259658e-05,2.334170e-05,2.428103e-05,2.553750e-05,2.592948e-05,2.753544e-05,2.766192e-05,2.909373e-05,2.970276e-05,3.060034e-05,3.165140e-05,3.205232e-05,3.344762e-05,3.350223e-05,3.478497e-05,3.525210e-05,3.606376e-05,3.689983e-05,3.728391e-05,3.844579e-05,3.955012e-05,3.989151e-05,4.059789e-05,4.123934e-05,4.159033e-05,4.249228e-05,4.252881e-05,4.341484e-05,4.365375e-05,4.425003e-05,4.472741e-05,4.503601e-05,4.571713e-05,4.577450e-05,4.646719e-05,4.662681e-05,4.711580e-05,4.746040e-05,4.772203e-05,4.822180e-05,4.828757e-05,4.881406e-05,4.891481e-05,4.930313e-05,4.954318e-05,4.975635e-05,5.011049e-05,5.017528e-05,5.056141e-05,5.062025e-05,5.091621e-05,5.107579e-05,5.124107e-05,5.148034e-05,5.153738e-05,5.180644e-05,5.183695e-05,5.204953e-05,5.214858e-05,5.226788e-05,5.241801e-05,5.246267e-05,5.263505e-05,5.264790e-05,5.278611e-05,5.284080e-05,5.291689e-05,5.299908e-05,5.302843e-05,5.312168e-05,5.312504e-05,5.319758e-05,5.322084e-05,5.325703e-05,5.328850e-05,5.330089e-05,5.332997e-05,5.334507e-05,5.334707e-05,5.334693e-05,5.334152e-05,5.333629e-05,5.331496e-05,5.331384e-05,5.328023e-05,5.326891e-05,5.323610e-05,5.320482e-05,5.318205e-05,5.312407e-05,5.311866e-05,5.304649e-05,5.302792e-05,5.296606e-05,5.291759e-05,5.287787e-05,5.279423e-05,5.278240e-05,5.268012e-05,5.265889e-05,5.257146e-05,5.251258e-05,5.245684e-05,5.235624e-05,5.233666e-05,5.221129e-05,5.219077e-05,5.208110e-05,5.201700e-05,5.194644e-05,5.183570e-05,5.180762e-05,5.166497e-05,5.164761e-05,5.151878e-05,5.145341e-05,5.136934e-05,5.125375e-05,5.121690e-05,5.106174e-05,5.104922e-05,5.090409e-05,5.084039e-05,5.074419e-05,5.062778e-05,5.058225e-05,5.041848e-05,5.041190e-05,5.025309e-05,5.019319e-05,5.008626e-05,4.997208e-05,4.991816e-05,4.974897e-05,4.952425e-05,4.929825e-05,4.907129e-05,4.884369e-05,4.861571e-05,4.838762e-05,4.815965e-05,4.793203e-05,4.770497e-05,4.747866e-05,4.725326e-05,4.702895e-05,4.680587e-05,4.658416e-05,4.636395e-05,4.614534e-05,4.592845e-05,4.571337e-05,4.550018e-05,4.528897e-05,4.507981e-05,4.487275e-05,4.466785e-05,4.446517e-05
0.000000e+00,1.031764e-09,2.717715e-09,1.080359e-08,2.624485e-08,3.920012e-08,9.237573e-08,9.525452e-08,1.871737e-07,2.203665e-07,3.223668e-07,4.270403e-07,5.074506e-07,7.267883e-07,7.482206e-07,1.049569e-06,1.131358e-06,1.415314e-06,1.649235e-06,1.847885e-06,2.284340e-06,2.347862e-06,2.913515e-06,3.034202e-06,3.540732e-06,3.889283e-06,4.223543e-06,4.834966e-06,4.954958e-06,5.727667e-06,5.854645e-06,6.534410e-06,6.931656e-06,7.368140e-06,8.050003e-06,8.222100e-06,9.089876e-06,9.194647e-06,9.965454e-06,1.035173e-05,1.084327e-05,1.150877e-05,1.171826e-05,1.258587e-05,1.265483e-05,1.344209e-05,1.378059e-05,1.428343e-05,1.487831e-05,1.510694e-05,1.591014e-05,1.594182e-05,1.669102e-05,1.696634e-05,1.744796e-05,1.794836e-05,1.817974e-05,1.888547e-05,1.956455e-05,1.977616e-05,2.021663e-05,2.061972e-05,2.084158e-05,2.141607e-05,2.143946e-05,2.201048e-05,2.216560e-05,2.255498e-05,2.286912e-05,2.307339e-05,2.352775e-05,2.356625e-05,2.403414e-05,2.414279e-05,2.447772e-05,2.471575e-05,2.489766e-05,2.524823e-05,2.529468e-05,2.566951e-05,2.574188e-05,2.602290e-05,2.619843e-05,2.635558e-05,2.661959e-05,2.666831e-05,2.696183e-05,2.700706e-05,2.723688e-05,2.736255e-05,2.749417e-05,2.768770e-05,2.773442e-05,2.795832e-05,2.798413e-05,2.816656e-05,2.825339e-05,2.835979e-05,2.849701e-05,2.853867e-05,2.870381e-05,2.871644e-05,2.885582e-05,2.891308e-05,2.899529e-05,2.908827e-05,2.912279e-05,2.923887e-05,2.924329e-05,2.934406e-05,2.937937e-05,2.943888e-05,2.949768e-05,2.952381e-05,2.959933e-05,2.966590e-05,2.968539e-05,2.972397e-05,2.975686e-05,2.977395e-05,2.981471e-05,2.981626e-05,2.985128e-05,2.985983e-05,2.987939e-05,2.989309e-05,2.990096e-05,2.991532e-05,2.991633e-05,2.992583e-05,2.992727e-05,2.992978e-05,2.992968e-05,2.992849e-05,2.992325e-05,2.992225e-05,2.991134e-05,2.990862e-05,2.989603e-05,2.988642e-05,2.987658e-05,2.985722e-05,2.985323e-05,2.982622e-05,2.982157e-05,2.979577e-05,2.978000e-05,2.976210e-05,2.973298e-05,2.972541e-05,2.968590e-05,2.968098e-05,2.964376e-05,2.962443e-05,2.959917e-05,2.956374e-05,2.955229e-05,2.950329e-05,2.949929e-05,2.945233e-05,2.943143e-05,2.939955e-05,2.936050e-05,2.934509e-05,2.928909e-05,2.928682e-05,2.923168e-05,2.921069e-05,2.917297e-05,2.913238e-05,2.911309e-05,2.905215e-05,2.897024e-05,2.888689e-05,2.880230e-05,2.871667e-05,2.863019e-05,2.854303e-05,2.845535e-05,2.836730e-05,2.827901e-05,2.819062e-05,2.810224e-05,2.801399e-05,2.792597e-05,2.783827e-05,2.775097e-05,2.766416e-05,2.757791e-05,2.749229e-05,2.740735e-05,2.732316e-05,2.723977e-05,2.715722e-05,2.707555e-05,2.699480e-05
0.000000e+00,8.548615e-16,7.470403e-15,1.853782e-13,1.537822e-12,4.031327e-12,3.179016e-11,3.422987e-11,1.737826e-10,2.570253e-10,6.378770e-10,1.244925e-09,1.873426e-09,4.369013e-09,4.677574e-09,1.032472e-08,1.229729e-08,2.069221e-08,2.949481e-08,3.837520e-08,6.267116e-08,6.677874e-08,1.101695e-07,1.210822e-07,1.736641e-07,2.165501e-07,2.631344e-07,3.630652e-07,3.850222e-07,5.460749e-07,5.759310e-07,7.530278e-07,8.705664e-07,1.012268e-06,1.261180e-06,1.329513e-06,1.709530e-06,1.759535e-06,2.155915e-06,2.373986e-06,2.670944e-06,3.108867e-06,3.255495e-06,3.909033e-06,3.964249e-06,4.629661e-06,4.936026e-06,5.414207e-06,6.016280e-06,6.258363e-06,7.156836e-06,7.193821e-06,8.103525e-06,8.454856e-06,9.091700e-06,9.783706e-06,1.011418e-05,1.116353e-05,1.223217e-05,1.257699e-05,1.331262e-05,1.400689e-05,1.439752e-05,1.543669e-05,1.547985e-05,1.655297e-05,1.685094e-05,1.761070e-05,1.823558e-05,1.864741e-05,1.957825e-05,1.965803e-05,2.063813e-05,2.086836e-05,2.158384e-05,2.209719e-05,2.249195e-05,2.325787e-05,2.335982e-05,2.418542e-05,2.434533e-05,2.496724e-05,2.535614e-05,2.570430e-05,2.628844e-05,2.639607e-05,2.704246e-05,2.714169e-05,2.764377e-05,2.791655e-05,2.820060e-05,2.861466e-05,2.871389e-05,2.918477e-05,2.923849e-05,2.961462e-05,2.979113e-05,3.000494e-05,3.027617e-05,3.035740e-05,3.067373e-05,3.069752e-05,3.095572e-05,3.105932e-05,3.120523e-05,3.136579e-05,3.142409e-05,3.161415e-05,3.162118e-05,3.177724e-05,3.182969e-05,3.191512e-05,3.199537e-05,3.202953e-05,3.212213e-05,3.219452e-05,3.221367e-05,3.224824e-05,3.227348e-05,3.228472e-05,3.230481e-05,3.230535e-05,3.231141e-05,3.231067e-05,3.230413e-05,3.229384e-05,3.228465e-05,3.225686e-05,3.225402e-05,3.221324e-05,3.220205e-05,3.216324e-05,3.213152e-05,3.210485e-05,3.204717e-05,3.203888e-05,3.196605e-05,3.195073e-05,3.188705e-05,3.184373e-05,3.180248e-05,3.172756e-05,3.171292e-05,3.161890e-05,3.160347e-05,3.152089e-05,3.147257e-05,3.141935e-05,3.133584e-05,3.131467e-05,3.120723e-05,3.119417e-05,3.109737e-05,3.104835e-05,3.098541e-05,3.089908e-05,3.087162e-05,3.075629e-05,3.074700e-05,3.063963e-05,3.059266e-05,3.052189e-05,3.043654e-05,3.040324e-05,3.028389e-05,3.027910e-05,3.016400e-05,3.012073e-05,3.004371e-05,2.996177e-05,2.992318e-05,2.980254e-05,2.964331e-05,2.948433e-05,2.932582e-05,2.916798e-05,2.901098e-05,2.885497e-05,2.870009e-05,2.854647e-05,2.839420e-05,2.824339e-05,2.809413e-05,2.794647e-05,2.780050e-05,2.765626e-05,2.751380e-05,2.737316e-05,2.723439e-05,2.709751e-05,2.696254e-05,2.682950e-05,2.669842e-05,2.656930e-05,2.644214e-05,2.631696e-05
0.000000e+00,6.766118e-10,1.772579e-09,6.992885e-09,1.690050e-08,2.518280e-08,5.904753e-08,6.087747e-08,1.192482e-07,1.403231e-07,2.051540e-07,2.718466e-07,3.232082e-07,4.637986e-07,4.775636e-07,6.711166e-07,7.235192e-07,9.043895e-07,1.051693e-06,1.175361e-06,1.442266e-06,1.480573e-06,1.816174e-06,1.886601e-06,2.178297e-06,2.375793e-06,2.563053e-06,2.900852e-06,2.966494e-06,3.384614e-06,3.452606e-06,3.813394e-06,4.021830e-06,4.248882e-06,4.599542e-06,4.687278e-06,5.125008e-06,5.177332e-06,5.558794e-06,5.747642e-06,5.985701e-06,6.303957e-06,6.403163e-06,6.808995e-06,6.840902e-06,7.201391e-06,7.354253e-06,7.578909e-06,7.840875e-06,7.940441e-06,8.285192e-06,8.298624e-06,8.612636e-06,8.726218e-06,8.922490e-06,9.123098e-06,9.214678e-06,9.489296e-06,9.746582e-06,9.825309e-06,9.986893e-06,1.013199e-05,1.021068e-05,1.041044e-05,1.041845e-05,1.061079e-05,1.066196e-05,1.078829e-05,1.088794e-05,1.095160e-05,1.108986e-05,1.110136e-05,1.123821e-05,1.126920e-05,1.136280e-05,1.142746e-05,1.147577e-05,1.156608e-05,1.157775e-05,1.166935e-05,1.168648e-05,1.175115e-05,1.179001e-05,1.182374e-05,1.187798e-05,1.188764e-05,1.194340e-05,1.195160e-05,1.199151e-05,1.201203e-05,1.203245e-05,1.206035e-05,1.206668e-05,1.209464e-05,1.209759e-05,1.211673e-05,1.212469e-05,1.213334e-05,1.214253e-05,1.214484e-05,1.215160e-05,1.215194e-05,1.215392e-05,1.215368e-05,1.215213e-05,1.214846e-05,1.214652e-05,1.213738e-05,1.213694e-05,1.212495e-05,1.211972e-05,1.210950e-05,1.209737e-05,1.209124e-05,1.207041e-05,1.204720e-05,1.203930e-05,1.202181e-05,1.200450e-05,1.199442e-05,1.196641e-05,1.196521e-05,1.193433e-05,1.192540e-05,1.190193e-05,1.188182e-05,1.186816e-05,1.183599e-05,1.183314e-05,1.179701e-05,1.178818e-05,1.175988e-05,1.173868e-05,1.172185e-05,1.168773e-05,1.168303e-05,1.164352e-05,1.163554e-05,1.160341e-05,1.158233e-05,1.156277e-05,1.152828e-05,1.152168e-05,1.148023e-05,1.147357e-05,1.143847e-05,1.141834e-05,1.139648e-05,1.136275e-05,1.135430e-05,1.131200e-05,1.130692e-05,1.126962e-05,1.125096e-05,1.122722e-05,1.119500e-05,1.118483e-05,1.114250e-05,1.113911e-05,1.110026e-05,1.108340e-05,1.105816e-05,1.102794e-05,1.101622e-05,1.097447e-05,1.097280e-05,1.093294e-05,1.091805e-05,1.089166e-05,1.086374e-05,1.085065e-05,1.080993e-05,1.075666e-05,1.070397e-05,1.065190e-05,1.060047e-05,1.054972e-05,1.049968e-05,1.045035e-05,1.040176e-05,1.035392e-05,1.030685e-05,1.026055e-05,1.021503e-05,1.017029e-05,1.012635e-05,1.008319e-05,1.004083e-05,9.999258e-06,9.958474e-06,9.918474e-06,9.879255e-06,9.840810e-06,9.803134e-06,9.766221e-06,9.730062e-06
0.000000e+00,2.219364e-09,5.200266e-09,1.827498e-08,4.191810e-08,6.131304e-08,1.397105e-07,1.439369e-07,2.793432e-07,3.286775e-07,4.822358e-07,6.429110e-07,7.681880e-07,1.114884e-06,1.148931e-06,1.624937e-06,1.752263e-06,2.185117e-06,2.530004e-06,2.814623e-06,3.415413e-06,3.500282e-06,4.231300e-06,4.382113e-06,4.998396e-06,5.408695e-06,5.793036e-06,6.475835e-06,6.607050e-06,7.432541e-06,7.565173e-06,8.261941e-06,8.659333e-06,9.088141e-06,9.742399e-06,9.904631e-06,1.070561e-05,1.080044e-05,1.148605e-05,1.182182e-05,1.224173e-05,1.279736e-05,1.296924e-05,1.366596e-05,1.372030e-05,1.432997e-05,1.458612e-05,1.496002e-05,1.539222e-05,1.555542e-05,1.611596e-05,1.613766e-05,1.664185e-05,1.682278e-05,1.713363e-05,1.744895e-05,1.759210e-05,1.801827e-05,1.841330e-05,1.853334e-05,1.877846e-05,1.899711e-05,1.911509e-05,1.941270e-05,1.942457e-05,1.970829e-05,1.978330e-05,1.996764e-05,2.011212e-05,2.020398e-05,2.040225e-05,2.041865e-05,2.061294e-05,2.065668e-05,2.078810e-05,2.087827e-05,2.094530e-05,2.106970e-05,2.108569e-05,2.121035e-05,2.123349e-05,2.132030e-05,2.137199e-05,2.141651e-05,2.148738e-05,2.149989e-05,2.157131e-05,2.158168e-05,2.163158e-05,2.165677e-05,2.168145e-05,2.171435e-05,2.172165e-05,2.175285e-05,2.175602e-05,2.177568e-05,2.178323e-05,2.179073e-05,2.179731e-05,2.179856e-05,2.179968e-05,2.179950e-05,2.179458e-05,2.179091e-05,2.178372e-05,2.177257e-05,2.176752e-05,2.174638e-05,2.174544e-05,2.172068e-05,2.171037e-05,2.169075e-05,2.166817e-05,2.165694e-05,2.161954e-05,2.157884e-05,2.156517e-05,2.153511e-05,2.150565e-05,2.148860e-05,2.144155e-05,2.143954e-05,2.138815e-05,2.137337e-05,2.133463e-05,2.130158e-05,2.127918e-05,2.122661e-05,2.122197e-05,2.116318e-05,2.114885e-05,2.110295e-05,2.106866e-05,2.104144e-05,2.098636e-05,2.097879e-05,2.091511e-05,2.090226e-05,2.085053e-05,2.081663e-05,2.078517e-05,2.072973e-05,2.071912e-05,2.065248e-05,2.064177e-05,2.058535e-05,2.055298e-05,2.051781e-05,2.046354e-05,2.044994e-05,2.038181e-05,2.037362e-05,2.031350e-05,2.028340e-05,2.024506e-05,2.019301e-05,2.017656e-05,2.010806e-05,2.010258e-05,2.003961e-05,2.001225e-05,1.997125e-05,1.992211e-05,1.990303e-05,1.983500e-05,1.983228e-05,1.976718e-05,1.974283e-05,1.969963e-05,1.965386e-05,1.963238e-05,1.956544e-05,1.947764e-05,1.939051e-05,1.930412e-05,1.921851e-05,1.913372e-05,1.904980e-05,1.896679e-05,1.888470e-05,1.880357e-05,1.872343e-05,1.864429e-05,1.856617e-05,1.848909e-05,1.841306e-05,1.833809e-05,1.826419e-05,1.819136e-05,1.811960e-05,1.804893e-05,1.797934e-05,1.791083e-05,1.784340e-05,1.777704e-05,1.771176e-05
0.000000e+00,1.132643e-09,2.596017e-09,8.946221e-09,2.044222e-08,2.994398e-08,6.915225e-08,7.130322e-08,1.421555e-07,1.688468e-07,2.544665e-07,3.471988e-07,4.208685e-07,6.265117e-07,6.466640e-07,9.254314e-07,9.990090e-07,1.246593e-06,1.441781e-06,1.601976e-06,1.938789e-06,1.986308e-06,2.395962e-06,2.480666e-06,2.827977e-06,3.060530e-06,3.279538e-06,3.671831e-06,3.747735e-06,4.229493e-06,4.307619e-06,4.721594e-06,4.960509e-06,5.220740e-06,5.622910e-06,5.723632e-06,6.227060e-06,6.287361e-06,6.727974e-06,6.946844e-06,7.223552e-06,7.595043e-06,7.711246e-06,8.188813e-06,8.226521e-06,8.654325e-06,8.836781e-06,9.106164e-06,9.422283e-06,9.543034e-06,9.963930e-06,9.980423e-06,1.036812e-05,1.050943e-05,1.075510e-05,1.100828e-05,1.112461e-05,1.147656e-05,1.181102e-05,1.191438e-05,1.212819e-05,1.232225e-05,1.242839e-05,1.270098e-05,1.271202e-05,1.297954e-05,1.305163e-05,1.323149e-05,1.337540e-05,1.346840e-05,1.367359e-05,1.369087e-05,1.389948e-05,1.394755e-05,1.409483e-05,1.419867e-05,1.427753e-05,1.442831e-05,1.444817e-05,1.460733e-05,1.463783e-05,1.475556e-05,1.482850e-05,1.489341e-05,1.500158e-05,1.502142e-05,1.514009e-05,1.515824e-05,1.524990e-05,1.529961e-05,1.535133e-05,1.542673e-05,1.544481e-05,1.553078e-05,1.554061e-05,1.560962e-05,1.564216e-05,1.568174e-05,1.573227e-05,1.574748e-05,1.580720e-05,1.581173e-05,1.586122e-05,1.588131e-05,1.590985e-05,1.594170e-05,1.595339e-05,1.599211e-05,1.599356e-05,1.602628e-05,1.603751e-05,1.605613e-05,1.607410e-05,1.608192e-05,1.610386e-05,1.612216e-05,1.612728e-05,1.613702e-05,1.614481e-05,1.614862e-05,1.615687e-05,1.615716e-05,1.616279e-05,1.616386e-05,1.616567e-05,1.616614e-05,1.616596e-05,1.616405e-05,1.616379e-05,1.615931e-05,1.615790e-05,1.615264e-05,1.614799e-05,1.614390e-05,1.613459e-05,1.613321e-05,1.612067e-05,1.611795e-05,1.610640e-05,1.609832e-05,1.609048e-05,1.607590e-05,1.607300e-05,1.605407e-05,1.605091e-05,1.603376e-05,1.602354e-05,1.601214e-05,1.599397e-05,1.598930e-05,1.596531e-05,1.596236e-05,1.594023e-05,1.592887e-05,1.591413e-05,1.589365e-05,1.588707e-05,1.585911e-05,1.585684e-05,1.583030e-05,1.581855e-05,1.580070e-05,1.577892e-05,1.577035e-05,1.573931e-05,1.573805e-05,1.570761e-05,1.569605e-05,1.567530e-05,1.565301e-05,1.564243e-05,1.560903e-05,1.556419e-05,1.551857e-05,1.547226e-05,1.542531e-05,1.537781e-05,1.532980e-05,1.528135e-05,1.523252e-05,1.518335e-05,1.513390e-05,1.508421e-05,1.503432e-05,1.498428e-05,1.493411e-05,1.488387e-05,1.483358e-05,1.478327e-05,1.473297e-05,1.468271e-05,1.463252e-05,1.458242e-05,1.453244e-05,1.448259e-05,1.443289e-05
0.000000e+00,1.205710e-12,9.373408e-12,1.828328e-10,1.220601e-09,2.843134e-09,1.659170e-08,1.765010e-08,6.696848e-08,9.164534e-08,1.877005e-07,3.147488e-07,4.298305e-07,8.115310e-07,8.536898e-07,1.527261e-06,1.734094e-06,2.522992e-06,3.248168e-06,3.912112e-06,5.508858e-06,5.755675e-06,8.095318e-06,8.624732e-06,1.094832e-05,1.263353e-05,1.430859e-05,1.750586e-05,1.815185e-05,2.244178e-05,2.316679e-05,2.713511e-05,2.951754e-05,3.218509e-05,3.644948e-05,3.754351e-05,4.316189e-05,4.385128e-05,4.899222e-05,5.161255e-05,5.498754e-05,5.962642e-05,6.110262e-05,6.729452e-05,6.779197e-05,7.352311e-05,7.601644e-05,7.975150e-05,8.421695e-05,8.594634e-05,9.207801e-05,9.232158e-05,9.812061e-05,1.002697e-04,1.040519e-04,1.080119e-04,1.098532e-04,1.155091e-04,1.210070e-04,1.227313e-04,1.263372e-04,1.296571e-04,1.314924e-04,1.362717e-04,1.364672e-04,1.412581e-04,1.425663e-04,1.458632e-04,1.485368e-04,1.502819e-04,1.541828e-04,1.545146e-04,1.585626e-04,1.595069e-04,1.624282e-04,1.645142e-04,1.661141e-04,1.692114e-04,1.696233e-04,1.729597e-04,1.736066e-04,1.761271e-04,1.777087e-04,1.791295e-04,1.815274e-04,1.819715e-04,1.846573e-04,1.850728e-04,1.871914e-04,1.883553e-04,1.895786e-04,1.913855e-04,1.918233e-04,1.939300e-04,1.941738e-04,1.959035e-04,1.967307e-04,1.977481e-04,1.990666e-04,1.994684e-04,2.010687e-04,2.011917e-04,2.025533e-04,2.031158e-04,2.039266e-04,2.048487e-04,2.051926e-04,2.063554e-04,2.063998e-04,2.074190e-04,2.077783e-04,2.083872e-04,2.089931e-04,2.092639e-04,2.100527e-04,2.107571e-04,2.109653e-04,2.113808e-04,2.117391e-04,2.119270e-04,2.123815e-04,2.123990e-04,2.128000e-04,2.129000e-04,2.131331e-04,2.133016e-04,2.134012e-04,2.135931e-04,2.136073e-04,2.137542e-04,2.137809e-04,2.138445e-04,2.138714e-04,2.138809e-04,2.138703e-04,2.138659e-04,2.138019e-04,2.137834e-04,2.136913e-04,2.136161e-04,2.135364e-04,2.133735e-04,2.133393e-04,2.131021e-04,2.130606e-04,2.128270e-04,2.126820e-04,2.125159e-04,2.122423e-04,2.121705e-04,2.117929e-04,2.117455e-04,2.113847e-04,2.111958e-04,2.109476e-04,2.105971e-04,2.104832e-04,2.099931e-04,2.099529e-04,2.094788e-04,2.092667e-04,2.089417e-04,2.085417e-04,2.083833e-04,2.078047e-04,2.077812e-04,2.072074e-04,2.069880e-04,2.065925e-04,2.061649e-04,2.059612e-04,2.053146e-04,2.044395e-04,2.035420e-04,2.026244e-04,2.016888e-04,2.007371e-04,1.997711e-04,1.987928e-04,1.978037e-04,1.968054e-04,1.957993e-04,1.947869e-04,1.937694e-04,1.927482e-04,1.917242e-04,1.906986e-04,1.896723e-04,1.886464e-04,1.876217e-04,1.865989e-04,1.855789e-04,1.845624e-04,1.835499e-04,1.825422e-04,1.815398e-04
0.000000e+00,5.228817e-10,1.639694e-09,7.812458e-09,2.061486e-08,3.175858e-08,7.924517e-08,8.187064e-08,1.677288e-07,1.995535e-07,2.996615e-07,4.056811e-07,4.891827e-07,7.248662e-07,7.484387e-07,1.087393e-06,1.181143e-06,1.509193e-06,1.779860e-06,2.008517e-06,2.504136e-06,2.575376e-06,3.199587e-06,3.330519e-06,3.872462e-06,4.239120e-06,4.586680e-06,5.213790e-06,5.335721e-06,6.113432e-06,6.240124e-06,6.913799e-06,7.304272e-06,7.730865e-06,8.392583e-06,8.558747e-06,9.391709e-06,9.491742e-06,1.022426e-05,1.058910e-05,1.105121e-05,1.167300e-05,1.186780e-05,1.266972e-05,1.273312e-05,1.345319e-05,1.376066e-05,1.421493e-05,1.474838e-05,1.495222e-05,1.566282e-05,1.569066e-05,1.634499e-05,1.658334e-05,1.699742e-05,1.742363e-05,1.761925e-05,1.820992e-05,1.876925e-05,1.894162e-05,1.929729e-05,1.961895e-05,1.979435e-05,2.024284e-05,2.026092e-05,2.069766e-05,2.081470e-05,2.110533e-05,2.133636e-05,2.148483e-05,2.180991e-05,2.183711e-05,2.216317e-05,2.223763e-05,2.246405e-05,2.262194e-05,2.274081e-05,2.296526e-05,2.299452e-05,2.322626e-05,2.327006e-05,2.343706e-05,2.353875e-05,2.362797e-05,2.377371e-05,2.380001e-05,2.395415e-05,2.397722e-05,2.409136e-05,2.415147e-05,2.421255e-05,2.429857e-05,2.431862e-05,2.441041e-05,2.442051e-05,2.448876e-05,2.451917e-05,2.455443e-05,2.459633e-05,2.460819e-05,2.465074e-05,2.465368e-05,2.468276e-05,2.469277e-05,2.470491e-05,2.471510e-05,2.471781e-05,2.472203e-05,2.472202e-05,2.471813e-05,2.471484e-05,2.470664e-05,2.469476e-05,2.468807e-05,2.466288e-05,2.463153e-05,2.462027e-05,2.459444e-05,2.456787e-05,2.455201e-05,2.450661e-05,2.450463e-05,2.445265e-05,2.443732e-05,2.439641e-05,2.436076e-05,2.433624e-05,2.427767e-05,2.427244e-05,2.420529e-05,2.418871e-05,2.413507e-05,2.409450e-05,2.406204e-05,2.399562e-05,2.398642e-05,2.390846e-05,2.389260e-05,2.382835e-05,2.378592e-05,2.374632e-05,2.367605e-05,2.366253e-05,2.357718e-05,2.356339e-05,2.349043e-05,2.344834e-05,2.340245e-05,2.333126e-05,2.331337e-05,2.322333e-05,2.321247e-05,2.313248e-05,2.309228e-05,2.304093e-05,2.297096e-05,2.294880e-05,2.285620e-05,2.284878e-05,2.276323e-05,2.272596e-05,2.266998e-05,2.260272e-05,2.257655e-05,2.248301e-05,2.247927e-05,2.238946e-05,2.235578e-05,2.229595e-05,2.223243e-05,2.220256e-05,2.210935e-05,2.198670e-05,2.186459e-05,2.174314e-05,2.162245e-05,2.150263e-05,2.138375e-05,2.126588e-05,2.114911e-05,2.103349e-05,2.091907e-05,2.080590e-05,2.069403e-05,2.058349e-05,2.047431e-05,2.036653e-05,2.026017e-05,2.015524e-05,2.005176e-05,1.994975e-05,1.984922e-05,1.975016e-05,1.965260e-05,1.955652e-05,1.946193e-05
0.000000e+00,8.390365e-10,1.921649e-09,6.588638e-09,1.491876e-08,2.169654e-08,4.874338e-08,5.018762e-08,9.580686e-08,1.121400e-07,1.621342e-07,2.133177e-07,2.526360e-07,3.600976e-07,3.706210e-07,5.190729e-07,5.595145e-07,7.003345e-07,8.166931e-07,9.156351e-07,1.132935e-06,1.164506e-06,1.444283e-06,1.503550e-06,1.750063e-06,1.917223e-06,2.075358e-06,2.358602e-06,2.413233e-06,2.757316e-06,2.812573e-06,3.102291e-06,3.266924e-06,3.443958e-06,3.712703e-06,3.779073e-06,4.105144e-06,4.143569e-06,4.420270e-06,4.555075e-06,4.723021e-06,4.944177e-06,5.012347e-06,5.287521e-06,5.308908e-06,5.548085e-06,5.648162e-06,5.793811e-06,5.961519e-06,6.024662e-06,6.240762e-06,6.249103e-06,6.442365e-06,6.511459e-06,6.629826e-06,6.749443e-06,6.803583e-06,6.964131e-06,7.112007e-06,7.156743e-06,7.247777e-06,7.328585e-06,7.372023e-06,7.480999e-06,7.485328e-06,7.588276e-06,7.615324e-06,7.681440e-06,7.732876e-06,7.765380e-06,7.834925e-06,7.840638e-06,7.907737e-06,7.922683e-06,7.967178e-06,7.997299e-06,8.019439e-06,8.059852e-06,8.064976e-06,8.104222e-06,8.111352e-06,8.137586e-06,8.152740e-06,8.165455e-06,8.184887e-06,8.188195e-06,8.206151e-06,8.208602e-06,8.219647e-06,8.224631e-06,8.228988e-06,8.233663e-06,8.234462e-06,8.236338e-06,8.236333e-06,8.234868e-06,8.233224e-06,8.230291e-06,8.224871e-06,8.222829e-06,8.212690e-06,8.211769e-06,8.200071e-06,8.194371e-06,8.185155e-06,8.173091e-06,8.168115e-06,8.149110e-06,8.148311e-06,8.128291e-06,8.120380e-06,8.105801e-06,8.089621e-06,8.081772e-06,8.056326e-06,8.029581e-06,8.020766e-06,8.001644e-06,7.983187e-06,7.972618e-06,7.943816e-06,7.942598e-06,7.911672e-06,7.902862e-06,7.879924e-06,7.860513e-06,7.847432e-06,7.816945e-06,7.814269e-06,7.780504e-06,7.772318e-06,7.746200e-06,7.726777e-06,7.711417e-06,7.680456e-06,7.676211e-06,7.640634e-06,7.633478e-06,7.604735e-06,7.585956e-06,7.568560e-06,7.537991e-06,7.532152e-06,7.495550e-06,7.489678e-06,7.458791e-06,7.441102e-06,7.421912e-06,7.392342e-06,7.384943e-06,7.347916e-06,7.343470e-06,7.310858e-06,7.294551e-06,7.273797e-06,7.245643e-06,7.236757e-06,7.199760e-06,7.196803e-06,7.162829e-06,7.148079e-06,7.125982e-06,7.099516e-06,7.089240e-06,7.052617e-06,7.051155e-06,7.016132e-06,7.003033e-06,6.979798e-06,6.955184e-06,6.943629e-06,6.907638e-06,6.860423e-06,6.813562e-06,6.767078e-06,6.720992e-06,6.675320e-06,6.630079e-06,6.585282e-06,6.540942e-06,6.497069e-06,6.453672e-06,6.410760e-06,6.368339e-06,6.326415e-06,6.284993e-06,6.244076e-06,6.203667e-06,6.163768e-06,6.124380e-06,6.085504e-06,6.047140e-06,6.009287e-06,5.971945e-06,5.935111e-06,5.898784e-06
0.000000e+00,7.544943e-09,1.740696e-08,6.020331e-08,1.370330e-07,1.997897e-07,4.517597e-07,4.652746e-07,8.949545e-07,1.050035e-06,1.528522e-06,2.023934e-06,2.407942e-06,3.469714e-06,3.574426e-06,5.057186e-06,5.460924e-06,6.856751e-06,7.991990e-06,8.941528e-06,1.097489e-05,1.126470e-05,1.378101e-05,1.430395e-05,1.645192e-05,1.789078e-05,1.924444e-05,2.166245e-05,2.212901e-05,2.507819e-05,2.555430e-05,2.806606e-05,2.950676e-05,3.106822e-05,3.346491e-05,3.406196e-05,3.702649e-05,3.737936e-05,3.994322e-05,4.120716e-05,4.279589e-05,4.491247e-05,4.557065e-05,4.825604e-05,4.846671e-05,5.084286e-05,5.184836e-05,5.332413e-05,5.504236e-05,5.569475e-05,5.795136e-05,5.803922e-05,6.009217e-05,6.083438e-05,6.211669e-05,6.342718e-05,6.402547e-05,6.582000e-05,6.750252e-05,6.801771e-05,6.907584e-05,7.002695e-05,7.054323e-05,7.185560e-05,7.190829e-05,7.317488e-05,7.351242e-05,7.434702e-05,7.500667e-05,7.542881e-05,7.634783e-05,7.642440e-05,7.733789e-05,7.754537e-05,7.817335e-05,7.860862e-05,7.893478e-05,7.954669e-05,7.962607e-05,8.025101e-05,8.036835e-05,8.081323e-05,8.108198e-05,8.131627e-05,8.169556e-05,8.176350e-05,8.215818e-05,8.221666e-05,8.250339e-05,8.265240e-05,8.280211e-05,8.300951e-05,8.305716e-05,8.327122e-05,8.329428e-05,8.344685e-05,8.351258e-05,8.358647e-05,8.366993e-05,8.369240e-05,8.376681e-05,8.377147e-05,8.381177e-05,8.382196e-05,8.382925e-05,8.382586e-05,8.382109e-05,8.378905e-05,8.378730e-05,8.373479e-05,8.371012e-05,8.365987e-05,8.359789e-05,8.356578e-05,8.345390e-05,8.332556e-05,8.328121e-05,8.318199e-05,8.308267e-05,8.302438e-05,8.286088e-05,8.285382e-05,8.267135e-05,8.261827e-05,8.247796e-05,8.235707e-05,8.227457e-05,8.207937e-05,8.206205e-05,8.184121e-05,8.178706e-05,8.161282e-05,8.148190e-05,8.137761e-05,8.116551e-05,8.113625e-05,8.088938e-05,8.083940e-05,8.063760e-05,8.050493e-05,8.038148e-05,8.016336e-05,8.012154e-05,7.985827e-05,7.981587e-05,7.959214e-05,7.946351e-05,7.932358e-05,7.910727e-05,7.905301e-05,7.878079e-05,7.874804e-05,7.850730e-05,7.838664e-05,7.823285e-05,7.802383e-05,7.795777e-05,7.768233e-05,7.766029e-05,7.740683e-05,7.729666e-05,7.713149e-05,7.693349e-05,7.685657e-05,7.658227e-05,7.657132e-05,7.630881e-05,7.621060e-05,7.603636e-05,7.585177e-05,7.576511e-05,7.549522e-05,7.514129e-05,7.479029e-05,7.444251e-05,7.409820e-05,7.375758e-05,7.342085e-05,7.308819e-05,7.275976e-05,7.243567e-05,7.211606e-05,7.180102e-05,7.149062e-05,7.118495e-05,7.088406e-05,7.058799e-05,7.029677e-05,7.001042e-05,6.972897e-05,6.945241e-05,6.918074e-05,6.891395e-05,6.865202e-05,6.839494e-05,6.814267e-05
0.000000e+00,7.191356e-12,4.473967e-11,5.673436e-10,2.657617e-09,5.175204e-09,1.996106e-08,2.090946e-08,5.622471e-08,7.077081e-08,1.194816e-07,1.741722e-07,2.186378e-07,3.481615e-07,3.613598e-07,5.551157e-07,6.100100e-07,8.069259e-07,9.754960e-07,1.122411e-06,1.454879e-06,1.504178e-06,1.950640e-06,2.047277e-06,2.456505e-06,2.740652e-06,3.014525e-06,3.517997e-06,3.617100e-06,4.257027e-06,4.362427e-06,4.927589e-06,5.258468e-06,5.622445e-06,6.191717e-06,6.335498e-06,7.060860e-06,7.148458e-06,7.792857e-06,8.115637e-06,8.526097e-06,9.081073e-06,9.255537e-06,9.976549e-06,1.003374e-05,1.068498e-05,1.096399e-05,1.137717e-05,1.186371e-05,1.204999e-05,1.270084e-05,1.272638e-05,1.332761e-05,1.354703e-05,1.392868e-05,1.432211e-05,1.450287e-05,1.504939e-05,1.556779e-05,1.572772e-05,1.605797e-05,1.635693e-05,1.652006e-05,1.693756e-05,1.695441e-05,1.736157e-05,1.747079e-05,1.774221e-05,1.795820e-05,1.809714e-05,1.840173e-05,1.842725e-05,1.873347e-05,1.880352e-05,1.901679e-05,1.916583e-05,1.927823e-05,1.949101e-05,1.951881e-05,1.973954e-05,1.978139e-05,1.994143e-05,2.003930e-05,2.012547e-05,2.026698e-05,2.029263e-05,2.044383e-05,2.046661e-05,2.057999e-05,2.064025e-05,2.070196e-05,2.078990e-05,2.081059e-05,2.090667e-05,2.091739e-05,2.099095e-05,2.102448e-05,2.106416e-05,2.111281e-05,2.112698e-05,2.118007e-05,2.118391e-05,2.122403e-05,2.123919e-05,2.125945e-05,2.127998e-05,2.128689e-05,2.130685e-05,2.130750e-05,2.131984e-05,2.132290e-05,2.132632e-05,2.132722e-05,2.132671e-05,2.132145e-05,2.131090e-05,2.130647e-05,2.129544e-05,2.128313e-05,2.127542e-05,2.125219e-05,2.125114e-05,2.122293e-05,2.121437e-05,2.119107e-05,2.117031e-05,2.115582e-05,2.112062e-05,2.111744e-05,2.107616e-05,2.106585e-05,2.103222e-05,2.100653e-05,2.098582e-05,2.094311e-05,2.093716e-05,2.088643e-05,2.087605e-05,2.083379e-05,2.080573e-05,2.077943e-05,2.073253e-05,2.072348e-05,2.066609e-05,2.065679e-05,2.060741e-05,2.057882e-05,2.054756e-05,2.049891e-05,2.048665e-05,2.042481e-05,2.041733e-05,2.036213e-05,2.033432e-05,2.029872e-05,2.025010e-05,2.023467e-05,2.017007e-05,2.016488e-05,2.010500e-05,2.007885e-05,2.003953e-05,1.999219e-05,1.997374e-05,1.990770e-05,1.990505e-05,1.984146e-05,1.981758e-05,1.977509e-05,1.972991e-05,1.970865e-05,1.964218e-05,1.955448e-05,1.946693e-05,1.937961e-05,1.929262e-05,1.920602e-05,1.911990e-05,1.903432e-05,1.894934e-05,1.886500e-05,1.878137e-05,1.869847e-05,1.861636e-05,1.853506e-05,1.845460e-05,1.837502e-05,1.829633e-05,1.821857e-05,1.814174e-05,1.806586e-05,1.799095e-05,1.791701e-05,1.784407e-05,1.777211e-05,1.770116e-05
0.000000e+00,3.729496e-15,3.292857e-14,8.351026e-13,7.070082e-12,1.874638e-11,1.523642e-10,1.642629e-10,8.603272e-10,1.283485e-09,3.256474e-09,6.472419e-09,9.857963e-09,2.362569e-08,2.535360e-08,5.759970e-08,6.907108e-08,1.186983e-07,1.717673e-07,2.260888e-07,3.776026e-07,4.035515e-07,6.819961e-07,7.530539e-07,1.099892e-06,1.387281e-06,1.703197e-06,2.391700e-06,2.544695e-06,3.682704e-06,3.896413e-06,5.179243e-06,6.043579e-06,7.097787e-06,8.978548e-06,9.500815e-06,1.244735e-05,1.284007e-05,1.599070e-05,1.775090e-05,2.017642e-05,2.380993e-05,2.504087e-05,3.061001e-05,3.108651e-05,3.689888e-05,3.961720e-05,4.391139e-05,4.940498e-05,5.164057e-05,6.006914e-05,6.042048e-05,6.917040e-05,7.260502e-05,7.890931e-05,8.587469e-05,8.924361e-05,1.001252e-04,1.115012e-04,1.152368e-04,1.233155e-04,1.310799e-04,1.355099e-04,1.475188e-04,1.480248e-04,1.608010e-04,1.644171e-04,1.737797e-04,1.816404e-04,1.869039e-04,1.990594e-04,2.001187e-04,2.133717e-04,2.165526e-04,2.266140e-04,2.340077e-04,2.397997e-04,2.513227e-04,2.528866e-04,2.658360e-04,2.684063e-04,2.786133e-04,2.851788e-04,2.911870e-04,3.015714e-04,3.035297e-04,3.156171e-04,3.175260e-04,3.274285e-04,3.329946e-04,3.389461e-04,3.479387e-04,3.501552e-04,3.610439e-04,3.623285e-04,3.716026e-04,3.761420e-04,3.818242e-04,3.893642e-04,3.917039e-04,4.012385e-04,4.019863e-04,4.104267e-04,4.140050e-04,4.192687e-04,4.254214e-04,4.277660e-04,4.359215e-04,4.362407e-04,4.437390e-04,4.464714e-04,4.512231e-04,4.561247e-04,4.583795e-04,4.652143e-04,4.717342e-04,4.737552e-04,4.779464e-04,4.817643e-04,4.838586e-04,4.892592e-04,4.894785e-04,4.948142e-04,4.962584e-04,4.998740e-04,5.027808e-04,5.046661e-04,5.088456e-04,5.091989e-04,5.134807e-04,5.144719e-04,5.175200e-04,5.196791e-04,5.213249e-04,5.244860e-04,5.249037e-04,5.282646e-04,5.289114e-04,5.314155e-04,5.329736e-04,5.343643e-04,5.366906e-04,5.371186e-04,5.396859e-04,5.400799e-04,5.420737e-04,5.431582e-04,5.442890e-04,5.459419e-04,5.463389e-04,5.482301e-04,5.484467e-04,5.499691e-04,5.506878e-04,5.515624e-04,5.526797e-04,5.530162e-04,5.543364e-04,5.544364e-04,5.555289e-04,5.559714e-04,5.565993e-04,5.572974e-04,5.575530e-04,5.583952e-04,5.584266e-04,5.591311e-04,5.593709e-04,5.597655e-04,5.601413e-04,5.603031e-04,5.607485e-04,5.612025e-04,5.615131e-04,5.616895e-04,5.617402e-04,5.616737e-04,5.614977e-04,5.612197e-04,5.608468e-04,5.603858e-04,5.598429e-04,5.592241e-04,5.585352e-04,5.577815e-04,5.569682e-04,5.561000e-04,5.551815e-04,5.542170e-04,5.532106e-04,5.521661e-04,5.510870e-04,5.499769e-04,5.488389e-04,5.476760e-04,5.464910e-04
0.000000e+00,2.565798e-09,5.836579e-09,1.977202e-08,4.433736e-08,6.416310e-08,1.425248e-07,1.466873e-07,2.776143e-07,3.243510e-07,4.673349e-07,6.138798e-07,7.266426e-07,1.035344e-06,1.065566e-06,1.489545e-06,1.603737e-06,1.994484e-06,2.307712e-06,2.566598e-06,3.111661e-06,3.188332e-06,3.843721e-06,3.977658e-06,4.519954e-06,4.876377e-06,5.206859e-06,5.785923e-06,5.896034e-06,6.580259e-06,6.688840e-06,7.253177e-06,7.570487e-06,7.909178e-06,8.418493e-06,8.543380e-06,9.151656e-06,9.222739e-06,9.730637e-06,9.975411e-06,1.027773e-05,1.067104e-05,1.079110e-05,1.126962e-05,1.130638e-05,1.171277e-05,1.188011e-05,1.212059e-05,1.239264e-05,1.249363e-05,1.283281e-05,1.284569e-05,1.313935e-05,1.324199e-05,1.341472e-05,1.358500e-05,1.366055e-05,1.387857e-05,1.407056e-05,1.412679e-05,1.423831e-05,1.433378e-05,1.438361e-05,1.450356e-05,1.450817e-05,1.461366e-05,1.464000e-05,1.470167e-05,1.474671e-05,1.477369e-05,1.482705e-05,1.483114e-05,1.487530e-05,1.488406e-05,1.490740e-05,1.492052e-05,1.492854e-05,1.493890e-05,1.493976e-05,1.494200e-05,1.494144e-05,1.493612e-05,1.493011e-05,1.492290e-05,1.490667e-05,1.490308e-05,1.487730e-05,1.487266e-05,1.484615e-05,1.482946e-05,1.481019e-05,1.477828e-05,1.476989e-05,1.472572e-05,1.472018e-05,1.467807e-05,1.465611e-05,1.462733e-05,1.458689e-05,1.457381e-05,1.451784e-05,1.451326e-05,1.445968e-05,1.443586e-05,1.439959e-05,1.435527e-05,1.433781e-05,1.427454e-05,1.427198e-05,1.420998e-05,1.418645e-05,1.414430e-05,1.409907e-05,1.407765e-05,1.401020e-05,1.394206e-05,1.392014e-05,1.387337e-05,1.382916e-05,1.380423e-05,1.373753e-05,1.373475e-05,1.366501e-05,1.364545e-05,1.359511e-05,1.355313e-05,1.352513e-05,1.346073e-05,1.345513e-05,1.338518e-05,1.336841e-05,1.331535e-05,1.327631e-05,1.324568e-05,1.318455e-05,1.317623e-05,1.310705e-05,1.309325e-05,1.303817e-05,1.300249e-05,1.296964e-05,1.291236e-05,1.290149e-05,1.283375e-05,1.282295e-05,1.276645e-05,1.273431e-05,1.269962e-05,1.264652e-05,1.263329e-05,1.256747e-05,1.255961e-05,1.250219e-05,1.247364e-05,1.243746e-05,1.238864e-05,1.237330e-05,1.230972e-05,1.230466e-05,1.224674e-05,1.222171e-05,1.218436e-05,1.213984e-05,1.212261e-05,1.206148e-05,1.205905e-05,1.200099e-05,1.197937e-05,1.194113e-05,1.190080e-05,1.188193e-05,1.182337e-05,1.174708e-05,1.167194e-05,1.159795e-05,1.152511e-05,1.145342e-05,1.138289e-05,1.131351e-05,1.124527e-05,1.117817e-05,1.111220e-05,1.104736e-05,1.098363e-05,1.092101e-05,1.085948e-05,1.079904e-05,1.073968e-05,1.068137e-05,1.062411e-05,1.056789e-05,1.051270e-05,1.045851e-05,1.040532e-05,1.035310e-05,1.030186e-05
0.000000e+00,1.244592e-10,5.594062e-10,4.160028e-09,1.369090e-08,2.289109e-08,6.568211e-08,6.814106e-08,1.508743e-07,1.821888e-07,2.815857e-07,3.874100e-07,4.708050e-07,7.058402e-07,7.293256e-07,1.067533e-06,1.161513e-06,1.493028e-06,1.770275e-06,2.007217e-06,2.528505e-06,2.604185e-06,3.273440e-06,3.414946e-06,4.003510e-06,4.403609e-06,4.783779e-06,5.471017e-06,5.604739e-06,6.457700e-06,6.596593e-06,7.334507e-06,7.761548e-06,8.227382e-06,8.948241e-06,9.128889e-06,1.003198e-05,1.014014e-05,1.093007e-05,1.132207e-05,1.181713e-05,1.248055e-05,1.268772e-05,1.353709e-05,1.360399e-05,1.436116e-05,1.468293e-05,1.515655e-05,1.570994e-05,1.592057e-05,1.665113e-05,1.667963e-05,1.734676e-05,1.758844e-05,1.800652e-05,1.843440e-05,1.862992e-05,1.921690e-05,1.976772e-05,1.993644e-05,2.028296e-05,2.059441e-05,2.076343e-05,2.119289e-05,2.121013e-05,2.162421e-05,2.173448e-05,2.200691e-05,2.222198e-05,2.235948e-05,2.265838e-05,2.268326e-05,2.297964e-05,2.304685e-05,2.325001e-05,2.339057e-05,2.349573e-05,2.369266e-05,2.371817e-05,2.391866e-05,2.395625e-05,2.409852e-05,2.418430e-05,2.425898e-05,2.437967e-05,2.440126e-05,2.452653e-05,2.454507e-05,2.463591e-05,2.468310e-05,2.473055e-05,2.479638e-05,2.481153e-05,2.487976e-05,2.488713e-05,2.493607e-05,2.495730e-05,2.498134e-05,2.500882e-05,2.501631e-05,2.504170e-05,2.504334e-05,2.505823e-05,2.506250e-05,2.506652e-05,2.506772e-05,2.506716e-05,2.506076e-05,2.506036e-05,2.504782e-05,2.504166e-05,2.502884e-05,2.501273e-05,2.500430e-05,2.497463e-05,2.494025e-05,2.492831e-05,2.490153e-05,2.487464e-05,2.485883e-05,2.481442e-05,2.481250e-05,2.476284e-05,2.474837e-05,2.471014e-05,2.467718e-05,2.465469e-05,2.460145e-05,2.459673e-05,2.453651e-05,2.452175e-05,2.447425e-05,2.443857e-05,2.441016e-05,2.435240e-05,2.434444e-05,2.427726e-05,2.426366e-05,2.420879e-05,2.417273e-05,2.413920e-05,2.407998e-05,2.406863e-05,2.399721e-05,2.398572e-05,2.392508e-05,2.389024e-05,2.385236e-05,2.379383e-05,2.377915e-05,2.370557e-05,2.369672e-05,2.363170e-05,2.359913e-05,2.355763e-05,2.350126e-05,2.348345e-05,2.340924e-05,2.340330e-05,2.333506e-05,2.330542e-05,2.326099e-05,2.320776e-05,2.318708e-05,2.311340e-05,2.311045e-05,2.303998e-05,2.301363e-05,2.296689e-05,2.291739e-05,2.289416e-05,2.282184e-05,2.272707e-05,2.263316e-05,2.254016e-05,2.244816e-05,2.235720e-05,2.226734e-05,2.217861e-05,2.209105e-05,2.200469e-05,2.191957e-05,2.183570e-05,2.175310e-05,2.167179e-05,2.159178e-05,2.151308e-05,2.143569e-05,2.135963e-05,2.128488e-05,2.121146e-05,2.113935e-05,2.106855e-05,2.099906e-05,2.093087e-05,2.086398e-05
0.000000e+00,6.948913e-10,2.339956e-09,1.208863e-08,3.318484e-08,5.190130e-08,1.330362e-07,1.375571e-07,2.861535e-07,3.413877e-07,5.150448e-07,6.984138e-07,8.423362e-07,1.246636e-06,1.286979e-06,1.867839e-06,2.029411e-06,2.600911e-06,3.081585e-06,3.494925e-06,4.413850e-06,4.548413e-06,5.751349e-06,6.008655e-06,7.089674e-06,7.834254e-06,8.548852e-06,9.857900e-06,1.011518e-05,1.177585e-05,1.204949e-05,1.351870e-05,1.438098e-05,1.533193e-05,1.682542e-05,1.720400e-05,1.912368e-05,1.935672e-05,2.108008e-05,2.194983e-05,2.306279e-05,2.458116e-05,2.506196e-05,2.706843e-05,2.722900e-05,2.907376e-05,2.987385e-05,3.107034e-05,3.249857e-05,3.305131e-05,3.501067e-05,3.508851e-05,3.694314e-05,3.763135e-05,3.884420e-05,4.011700e-05,4.071001e-05,4.253736e-05,4.432361e-05,4.488616e-05,4.606661e-05,4.715865e-05,4.776471e-05,4.935144e-05,4.941661e-05,5.102141e-05,5.146222e-05,5.257848e-05,5.348964e-05,5.408745e-05,5.543310e-05,5.554819e-05,5.696075e-05,5.729262e-05,5.832537e-05,5.906874e-05,5.964239e-05,6.076238e-05,6.091229e-05,6.213565e-05,6.237479e-05,6.331311e-05,6.390749e-05,6.444540e-05,6.536218e-05,6.553329e-05,6.657760e-05,6.674070e-05,6.757919e-05,6.804503e-05,6.853893e-05,6.927721e-05,6.945774e-05,7.033652e-05,7.043933e-05,7.117622e-05,7.153354e-05,7.197776e-05,7.256200e-05,7.274210e-05,7.347017e-05,7.352687e-05,7.416290e-05,7.443032e-05,7.482124e-05,7.527447e-05,7.544612e-05,7.603845e-05,7.606148e-05,7.659914e-05,7.679342e-05,7.712909e-05,7.747236e-05,7.762920e-05,7.810033e-05,7.854335e-05,7.867932e-05,7.895911e-05,7.921127e-05,7.934844e-05,7.969809e-05,7.971216e-05,8.005107e-05,8.014163e-05,8.036597e-05,8.054370e-05,8.065762e-05,8.090605e-05,8.092677e-05,8.117418e-05,8.123040e-05,8.140056e-05,8.151842e-05,8.160663e-05,8.177171e-05,8.179307e-05,8.196055e-05,8.199184e-05,8.210975e-05,8.218032e-05,8.224130e-05,8.233863e-05,8.235584e-05,8.245397e-05,8.246818e-05,8.253629e-05,8.257036e-05,8.260338e-05,8.264647e-05,8.265582e-05,8.269414e-05,8.269782e-05,8.271890e-05,8.272563e-05,8.273061e-05,8.273110e-05,8.272979e-05,8.271692e-05,8.271538e-05,8.269248e-05,8.267958e-05,8.265696e-05,8.262476e-05,8.261079e-05,8.255442e-05,8.255196e-05,8.248828e-05,8.246216e-05,8.241278e-05,8.235631e-05,8.232834e-05,8.223533e-05,8.210010e-05,8.195145e-05,8.179021e-05,8.161715e-05,8.143300e-05,8.123850e-05,8.103432e-05,8.082111e-05,8.059951e-05,8.037012e-05,8.013351e-05,7.989023e-05,7.964080e-05,7.938574e-05,7.912551e-05,7.886058e-05,7.859138e-05,7.831833e-05,7.804183e-05,7.776224e-05,7.747994e-05,7.719526e-05,7.690853e-05,7.662005e-05
0.000000e+00,2.013306e-12,1.478753e-11,2.573211e-10,1.555752e-09,3.439108e-09,1.766057e-08,1.869391e-08,6.316998e-08,8.392141e-08,1.600760e-07,2.542803e-07,3.357352e-07,5.903282e-07,6.174035e-07,1.032121e-06,1.154388e-06,1.606074e-06,2.006258e-06,2.363668e-06,3.198821e-06,3.325577e-06,4.505568e-06,4.768254e-06,5.907166e-06,6.721271e-06,7.522044e-06,9.029690e-06,9.331182e-06,1.130824e-05,1.163818e-05,1.342339e-05,1.447876e-05,1.564628e-05,1.748266e-05,1.794798e-05,2.030175e-05,2.058652e-05,2.268333e-05,2.373434e-05,2.507095e-05,2.687760e-05,2.744527e-05,2.978926e-05,2.997501e-05,3.208816e-05,3.299222e-05,3.432944e-05,3.590155e-05,3.650267e-05,3.859940e-05,3.868158e-05,4.061307e-05,4.131667e-05,4.253880e-05,4.379631e-05,4.437326e-05,4.611445e-05,4.776153e-05,4.826873e-05,4.931467e-05,5.025980e-05,5.077485e-05,5.209069e-05,5.214371e-05,5.342347e-05,5.376618e-05,5.461673e-05,5.529237e-05,5.572642e-05,5.667625e-05,5.675571e-05,5.770790e-05,5.792533e-05,5.858640e-05,5.904744e-05,5.939463e-05,6.005049e-05,6.013604e-05,6.081403e-05,6.094232e-05,6.143194e-05,6.173059e-05,6.199302e-05,6.242273e-05,6.250044e-05,6.295726e-05,6.302585e-05,6.336641e-05,6.354671e-05,6.373073e-05,6.399173e-05,6.405292e-05,6.433555e-05,6.436693e-05,6.458110e-05,6.467799e-05,6.479189e-05,6.493023e-05,6.497016e-05,6.511802e-05,6.512860e-05,6.523747e-05,6.527772e-05,6.533040e-05,6.538189e-05,6.539860e-05,6.544377e-05,6.544512e-05,6.546751e-05,6.547110e-05,6.547132e-05,6.546327e-05,6.545664e-05,6.542481e-05,6.537709e-05,6.535866e-05,6.531468e-05,6.526755e-05,6.523870e-05,6.515397e-05,6.515020e-05,6.505018e-05,6.502024e-05,6.493958e-05,6.486851e-05,6.481928e-05,6.470073e-05,6.469009e-05,6.455279e-05,6.451872e-05,6.440812e-05,6.432414e-05,6.425676e-05,6.411853e-05,6.409934e-05,6.393647e-05,6.390329e-05,6.376870e-05,6.367971e-05,6.359658e-05,6.344898e-05,6.342058e-05,6.324118e-05,6.321219e-05,6.305881e-05,6.297033e-05,6.287386e-05,6.272431e-05,6.268673e-05,6.249775e-05,6.247497e-05,6.230727e-05,6.222306e-05,6.211558e-05,6.196927e-05,6.192298e-05,6.172972e-05,6.171424e-05,6.153607e-05,6.145854e-05,6.134224e-05,6.120269e-05,6.114845e-05,6.095490e-05,6.094717e-05,6.076178e-05,6.069239e-05,6.056925e-05,6.043875e-05,6.037748e-05,6.018660e-05,5.993625e-05,5.968798e-05,5.944203e-05,5.919864e-05,5.895801e-05,5.872030e-05,5.848566e-05,5.825425e-05,5.802616e-05,5.780150e-05,5.758036e-05,5.736279e-05,5.714888e-05,5.693865e-05,5.673215e-05,5.652940e-05,5.633043e-05,5.613522e-05,5.594380e-05,5.575615e-05,5.557225e-05,5.539211e-05,5.521568e-05,5.504295e-05
0.000000e+00,2.714762e-10,1.056564e-09,6.481871e-09,1.931219e-08,3.111812e-08,8.385449e-08,8.683107e-08,1.855164e-07,2.223999e-07,3.384730e-07,4.608216e-07,5.565351e-07,8.236047e-07,8.501053e-07,1.229019e-06,1.333673e-06,1.702163e-06,2.011080e-06,2.276782e-06,2.870090e-06,2.957429e-06,3.744726e-06,3.914699e-06,4.634398e-06,5.134595e-06,5.617220e-06,6.505345e-06,6.680211e-06,7.808619e-06,7.994239e-06,8.987720e-06,9.567645e-06,1.020392e-05,1.119546e-05,1.144520e-05,1.270108e-05,1.285233e-05,1.396256e-05,1.451733e-05,1.522184e-05,1.617328e-05,1.647225e-05,1.770810e-05,1.780619e-05,1.892456e-05,1.940479e-05,2.011761e-05,2.096022e-05,2.128393e-05,2.242085e-05,2.246568e-05,2.352626e-05,2.391617e-05,2.459855e-05,2.530818e-05,2.563655e-05,2.663948e-05,2.760686e-05,2.790888e-05,2.853850e-05,2.911601e-05,2.943445e-05,3.026119e-05,3.029494e-05,3.112035e-05,3.134526e-05,3.191123e-05,3.236943e-05,3.266818e-05,3.333523e-05,3.339193e-05,3.408325e-05,3.424443e-05,3.474297e-05,3.509892e-05,3.537194e-05,3.590071e-05,3.597106e-05,3.654122e-05,3.665186e-05,3.708335e-05,3.735448e-05,3.759835e-05,3.801066e-05,3.808714e-05,3.855062e-05,3.862249e-05,3.898969e-05,3.919202e-05,3.940522e-05,3.972128e-05,3.979808e-05,4.016913e-05,4.021223e-05,4.051919e-05,4.066678e-05,4.084908e-05,4.108679e-05,4.115958e-05,4.145147e-05,4.147403e-05,4.172549e-05,4.183026e-05,4.198237e-05,4.215711e-05,4.222282e-05,4.244753e-05,4.245620e-05,4.265716e-05,4.272906e-05,4.285235e-05,4.297715e-05,4.303372e-05,4.320188e-05,4.335741e-05,4.340460e-05,4.350086e-05,4.358659e-05,4.363279e-05,4.374909e-05,4.375372e-05,4.386414e-05,4.389325e-05,4.396456e-05,4.402020e-05,4.405543e-05,4.413100e-05,4.413721e-05,4.421034e-05,4.422665e-05,4.427523e-05,4.430813e-05,4.433229e-05,4.437634e-05,4.438191e-05,4.442445e-05,4.443215e-05,4.446029e-05,4.447638e-05,4.448975e-05,4.450983e-05,4.451318e-05,4.453090e-05,4.453322e-05,4.454320e-05,4.454726e-05,4.455038e-05,4.455262e-05,4.455272e-05,4.455049e-05,4.454993e-05,4.454396e-05,4.453978e-05,4.453336e-05,4.452273e-05,4.451894e-05,4.450092e-05,4.449932e-05,4.447952e-05,4.447006e-05,4.445495e-05,4.443540e-05,4.442740e-05,4.439708e-05,4.439581e-05,4.436416e-05,4.435171e-05,4.432882e-05,4.430348e-05,4.429122e-05,4.425152e-05,4.419616e-05,4.413774e-05,4.407657e-05,4.401295e-05,4.394714e-05,4.387941e-05,4.380999e-05,4.373912e-05,4.366700e-05,4.359383e-05,4.351980e-05,4.344506e-05,4.336980e-05,4.329415e-05,4.321825e-05,4.314223e-05,4.306621e-05,4.299030e-05,4.291460e-05,4.283921e-05,4.276421e-05,4.268967e-05,4.261568e-05,4.254231e-05
0.000000e+00,9.072010e-12,6.426653e-11,1.041738e-09,5.934221e-09,1.272398e-08,6.084535e-08,6.423410e-08,2.045855e-07,2.679780e-07,4.951460e-07,7.695165e-07,1.003469e-06,1.724754e-06,1.800923e-06,2.960994e-06,3.301278e-06,4.552250e-06,5.651052e-06,6.623063e-06,8.853900e-06,9.187209e-06,1.222315e-05,1.288327e-05,1.568631e-05,1.763827e-05,1.952312e-05,2.299533e-05,2.367973e-05,2.810495e-05,2.883463e-05,3.275014e-05,3.504416e-05,3.756849e-05,4.151732e-05,4.251464e-05,4.754472e-05,4.815195e-05,5.261681e-05,5.485160e-05,5.769160e-05,6.152787e-05,6.273293e-05,6.770827e-05,6.810256e-05,7.258901e-05,7.450917e-05,7.735056e-05,8.069339e-05,8.197237e-05,8.643770e-05,8.661286e-05,9.073343e-05,9.223637e-05,9.484965e-05,9.754248e-05,9.877938e-05,1.025182e-04,1.060639e-04,1.071577e-04,1.094162e-04,1.114606e-04,1.125762e-04,1.154313e-04,1.155466e-04,1.183308e-04,1.190775e-04,1.209332e-04,1.224095e-04,1.233589e-04,1.254392e-04,1.256134e-04,1.277025e-04,1.281800e-04,1.296324e-04,1.306459e-04,1.314093e-04,1.328515e-04,1.330396e-04,1.345296e-04,1.348113e-04,1.358855e-04,1.365397e-04,1.371137e-04,1.380510e-04,1.382201e-04,1.392109e-04,1.393590e-04,1.400917e-04,1.404771e-04,1.408683e-04,1.414182e-04,1.415461e-04,1.421304e-04,1.421945e-04,1.426264e-04,1.428179e-04,1.430389e-04,1.432995e-04,1.433727e-04,1.436323e-04,1.436499e-04,1.438220e-04,1.438793e-04,1.439461e-04,1.439970e-04,1.440085e-04,1.440131e-04,1.440121e-04,1.439634e-04,1.439329e-04,1.438630e-04,1.437674e-04,1.437151e-04,1.435230e-04,1.432897e-04,1.432067e-04,1.430179e-04,1.428251e-04,1.427105e-04,1.423842e-04,1.423699e-04,1.419988e-04,1.418897e-04,1.415993e-04,1.413470e-04,1.411738e-04,1.407611e-04,1.407243e-04,1.402527e-04,1.401365e-04,1.397611e-04,1.394776e-04,1.392511e-04,1.387885e-04,1.387244e-04,1.381827e-04,1.380727e-04,1.376274e-04,1.373338e-04,1.370600e-04,1.365750e-04,1.364818e-04,1.358940e-04,1.357991e-04,1.352978e-04,1.350091e-04,1.346945e-04,1.342073e-04,1.340849e-04,1.334701e-04,1.333961e-04,1.328511e-04,1.325776e-04,1.322287e-04,1.317539e-04,1.316037e-04,1.309769e-04,1.309267e-04,1.303490e-04,1.300977e-04,1.297207e-04,1.292684e-04,1.290926e-04,1.284652e-04,1.284402e-04,1.278392e-04,1.276143e-04,1.272151e-04,1.267919e-04,1.265932e-04,1.259741e-04,1.251618e-04,1.243558e-04,1.235569e-04,1.227658e-04,1.219831e-04,1.212093e-04,1.204450e-04,1.196905e-04,1.189462e-04,1.182125e-04,1.174895e-04,1.167776e-04,1.160769e-04,1.153876e-04,1.147097e-04,1.140434e-04,1.133888e-04,1.127458e-04,1.121146e-04,1.114949e-04,1.108870e-04,1.102906e-04,1.097057e-04,1.091324e-04
0.000000e+00,2.176408e-09,5.947508e-09,2.448346e-08,6.032159e-08,9.054594e-08,2.154686e-07,2.222677e-07,4.413677e-07,5.214816e-07,7.711202e-07,1.032745e-06,1.237349e-06,1.809467e-06,1.866297e-06,2.676124e-06,2.897775e-06,3.666095e-06,4.292459e-06,4.817095e-06,5.942634e-06,6.103291e-06,7.500916e-06,7.792014e-06,8.990248e-06,9.795322e-06,1.055460e-05,1.191564e-05,1.217899e-05,1.384929e-05,1.411987e-05,1.555173e-05,1.637636e-05,1.727286e-05,1.865439e-05,1.899956e-05,2.071923e-05,2.092455e-05,2.242000e-05,2.315946e-05,2.409082e-05,2.533447e-05,2.572176e-05,2.730403e-05,2.742828e-05,2.883007e-05,2.942329e-05,3.029359e-05,3.130574e-05,3.168955e-05,3.301409e-05,3.306554e-05,3.426447e-05,3.469610e-05,3.543899e-05,3.619390e-05,3.653686e-05,3.755808e-05,3.850336e-05,3.879001e-05,3.937399e-05,3.989283e-05,4.017177e-05,4.087114e-05,4.089890e-05,4.155787e-05,4.173053e-05,4.215138e-05,4.247723e-05,4.268224e-05,4.311785e-05,4.315341e-05,4.356785e-05,4.365920e-05,4.392853e-05,4.410815e-05,4.423847e-05,4.447163e-05,4.450067e-05,4.471807e-05,4.475643e-05,4.489352e-05,4.496909e-05,4.502977e-05,4.511588e-05,4.512949e-05,4.519528e-05,4.520282e-05,4.522961e-05,4.523564e-05,4.523501e-05,4.522024e-05,4.521404e-05,4.516872e-05,4.516174e-05,4.510090e-05,4.506442e-05,4.501245e-05,4.493245e-05,4.490503e-05,4.478024e-05,4.476956e-05,4.463959e-05,4.457921e-05,4.448449e-05,4.436459e-05,4.431622e-05,4.413603e-05,4.412859e-05,4.394506e-05,4.387388e-05,4.374439e-05,4.360292e-05,4.353504e-05,4.331792e-05,4.309391e-05,4.302091e-05,4.286382e-05,4.271371e-05,4.262838e-05,4.239800e-05,4.238832e-05,4.214426e-05,4.207529e-05,4.189682e-05,4.174697e-05,4.164656e-05,4.141426e-05,4.139398e-05,4.113957e-05,4.107829e-05,4.088377e-05,4.074007e-05,4.062699e-05,4.040050e-05,4.036959e-05,4.011193e-05,4.006040e-05,3.985433e-05,3.972049e-05,3.959707e-05,3.938144e-05,3.934043e-05,3.908464e-05,3.904381e-05,3.882994e-05,3.870814e-05,3.857654e-05,3.837487e-05,3.832461e-05,3.807432e-05,3.804441e-05,3.782584e-05,3.771712e-05,3.757930e-05,3.739331e-05,3.733483e-05,3.709253e-05,3.707325e-05,3.685252e-05,3.675718e-05,3.661489e-05,3.644530e-05,3.637970e-05,3.614704e-05,3.613779e-05,3.591696e-05,3.583478e-05,3.568952e-05,3.553639e-05,3.546476e-05,3.524273e-05,3.495387e-05,3.466987e-05,3.439077e-05,3.411660e-05,3.384737e-05,3.358309e-05,3.332375e-05,3.306933e-05,3.281981e-05,3.257514e-05,3.233530e-05,3.210023e-05,3.186989e-05,3.164422e-05,3.142315e-05,3.120663e-05,3.099460e-05,3.078697e-05,3.058369e-05,3.038467e-05,3.018986e-05,2.999917e-05,2.981252e-05,2.962985e-05
0.000000e+00,2.083568e-10,1.029220e-09,8.835078e-09,3.171017e-08,5.494732e-08,1.687793e-07,1.754918e-07,4.072129e-07,4.970560e-07,7.874595e-07,1.103369e-06,1.356205e-06,2.083612e-06,2.157352e-06,3.237443e-06,3.543131e-06,4.638820e-06,5.574336e-06,6.386362e-06,8.207827e-06,8.475740e-06,1.087522e-05,1.138841e-05,1.353954e-05,1.501427e-05,1.642294e-05,1.898448e-05,1.948489e-05,2.269053e-05,2.321467e-05,2.600927e-05,2.763425e-05,2.941353e-05,3.218135e-05,3.287785e-05,3.637846e-05,3.679990e-05,3.989321e-05,4.143884e-05,4.340160e-05,4.605213e-05,4.688489e-05,5.032619e-05,5.059921e-05,5.371053e-05,5.504535e-05,5.702493e-05,5.936168e-05,6.025827e-05,6.340125e-05,6.352498e-05,6.644636e-05,6.751746e-05,6.938770e-05,7.132615e-05,7.222070e-05,7.494219e-05,7.755018e-05,7.836057e-05,8.004360e-05,8.157913e-05,8.242226e-05,8.459836e-05,8.468677e-05,8.683828e-05,8.742068e-05,8.887852e-05,9.005014e-05,9.080963e-05,9.249193e-05,9.263402e-05,9.435437e-05,9.475209e-05,9.597359e-05,9.683732e-05,9.749474e-05,9.875468e-05,9.892092e-05,1.002553e-04,1.005115e-04,1.015013e-04,1.021152e-04,1.026619e-04,1.035734e-04,1.037406e-04,1.047405e-04,1.048934e-04,1.056648e-04,1.060825e-04,1.065166e-04,1.071479e-04,1.072990e-04,1.080149e-04,1.080965e-04,1.086673e-04,1.089349e-04,1.092590e-04,1.096698e-04,1.097927e-04,1.102713e-04,1.103072e-04,1.106971e-04,1.108532e-04,1.110728e-04,1.113136e-04,1.114007e-04,1.116832e-04,1.116936e-04,1.119226e-04,1.119987e-04,1.121210e-04,1.122336e-04,1.122806e-04,1.124032e-04,1.124910e-04,1.125120e-04,1.125456e-04,1.125641e-04,1.125690e-04,1.125636e-04,1.125628e-04,1.125287e-04,1.125144e-04,1.124683e-04,1.124200e-04,1.123830e-04,1.122839e-04,1.122744e-04,1.121438e-04,1.121093e-04,1.119925e-04,1.118993e-04,1.118219e-04,1.116567e-04,1.116331e-04,1.114273e-04,1.113842e-04,1.112057e-04,1.110845e-04,1.109692e-04,1.107599e-04,1.107189e-04,1.104558e-04,1.104126e-04,1.101808e-04,1.100448e-04,1.098948e-04,1.096586e-04,1.095986e-04,1.092929e-04,1.092557e-04,1.089787e-04,1.088379e-04,1.086566e-04,1.084069e-04,1.083273e-04,1.079914e-04,1.079642e-04,1.076496e-04,1.075113e-04,1.073025e-04,1.070495e-04,1.069506e-04,1.065944e-04,1.065801e-04,1.062346e-04,1.061043e-04,1.058715e-04,1.056230e-04,1.055057e-04,1.051375e-04,1.046485e-04,1.041571e-04,1.036640e-04,1.031700e-04,1.026758e-04,1.021820e-04,1.016892e-04,1.011981e-04,1.007091e-04,1.002226e-04,9.973917e-05,9.925914e-05,9.878286e-05,9.831068e-05,9.784289e-05,9.737975e-05,9.692151e-05,9.646839e-05,9.602057e-05,9.557823e-05,9.514152e-05,9.471058e-05,9.428551e-05,9.386643e-05
0.000000e+00,4.735678e-09,1.093370e-08,3.785170e-08,8.623691e-08,1.258136e-07,2.851942e-07,2.937642e-07,5.673100e-07,6.665320e-07,9.742033e-07,1.295027e-06,1.545181e-06,2.243120e-06,2.312436e-06,3.303166e-06,3.575869e-06,4.527699e-06,5.310797e-06,5.970546e-06,7.392480e-06,7.595728e-06,9.361431e-06,9.728018e-06,1.123024e-05,1.223238e-05,1.317162e-05,1.484020e-05,1.516078e-05,1.717687e-05,1.750070e-05,1.920176e-05,2.017203e-05,2.121930e-05,2.281823e-05,2.321496e-05,2.517577e-05,2.540817e-05,2.709026e-05,2.791535e-05,2.894852e-05,3.031798e-05,3.074217e-05,3.246437e-05,3.259889e-05,3.410976e-05,3.474546e-05,3.567430e-05,3.674913e-05,3.715525e-05,3.855101e-05,3.860505e-05,3.986098e-05,4.031160e-05,4.108549e-05,4.186984e-05,4.222555e-05,4.328260e-05,4.425875e-05,4.455442e-05,4.515646e-05,4.569107e-05,4.597844e-05,4.669905e-05,4.672766e-05,4.740723e-05,4.758546e-05,4.802034e-05,4.835764e-05,4.857020e-05,4.902298e-05,4.906003e-05,4.949303e-05,4.958884e-05,4.987234e-05,5.006245e-05,5.020103e-05,5.045078e-05,5.048209e-05,5.071840e-05,5.076053e-05,5.091273e-05,5.099808e-05,5.106776e-05,5.116947e-05,5.118603e-05,5.126999e-05,5.128040e-05,5.132197e-05,5.133620e-05,5.134416e-05,5.134188e-05,5.133867e-05,5.130748e-05,5.130211e-05,5.125249e-05,5.122122e-05,5.117548e-05,5.110326e-05,5.107813e-05,5.096203e-05,5.095197e-05,5.082867e-05,5.077082e-05,5.067948e-05,5.056300e-05,5.051577e-05,5.033881e-05,5.033148e-05,5.014977e-05,5.007897e-05,4.994975e-05,4.980799e-05,4.973979e-05,4.952085e-05,4.929386e-05,4.921966e-05,4.905967e-05,4.890637e-05,4.881907e-05,4.858276e-05,4.857281e-05,4.832159e-05,4.825045e-05,4.806606e-05,4.791094e-05,4.780684e-05,4.756558e-05,4.754449e-05,4.727953e-05,4.721561e-05,4.701246e-05,4.686215e-05,4.674374e-05,4.650624e-05,4.647380e-05,4.620302e-05,4.614880e-05,4.593178e-05,4.579067e-05,4.566041e-05,4.543260e-05,4.538923e-05,4.511853e-05,4.507528e-05,4.484857e-05,4.471933e-05,4.457960e-05,4.436529e-05,4.431185e-05,4.404552e-05,4.401367e-05,4.378081e-05,4.366490e-05,4.351789e-05,4.331936e-05,4.325691e-05,4.299803e-05,4.297741e-05,4.274137e-05,4.263936e-05,4.248705e-05,4.230545e-05,4.223518e-05,4.198585e-05,4.197593e-05,4.173915e-05,4.165100e-05,4.149516e-05,4.133082e-05,4.125393e-05,4.101554e-05,4.070527e-05,4.040012e-05,4.010017e-05,3.980546e-05,3.951604e-05,3.923195e-05,3.895319e-05,3.867977e-05,3.841167e-05,3.814888e-05,3.789138e-05,3.763911e-05,3.739205e-05,3.715014e-05,3.691332e-05,3.668155e-05,3.645475e-05,3.623285e-05,3.601579e-05,3.580350e-05,3.559589e-05,3.539289e-05,3.519443e-05,3.500042e-05
0.000000e+00,3.627180e-09,8.335424e-09,2.879123e-08,6.567358e-08,9.592735e-08,2.182518e-07,2.248450e-07,4.357677e-07,5.124133e-07,7.501922e-07,9.978676e-07,1.190452e-06,1.723267e-06,1.775715e-06,2.514253e-06,2.713874e-06,3.399945e-06,3.954905e-06,4.418289e-06,5.411635e-06,5.553547e-06,6.791234e-06,7.049872e-06,8.117947e-06,8.838723e-06,9.520764e-06,1.074862e-05,1.098694e-05,1.250390e-05,1.275049e-05,1.405934e-05,1.481614e-05,1.564149e-05,1.691901e-05,1.723933e-05,1.884269e-05,1.903502e-05,2.044244e-05,2.114307e-05,2.203050e-05,2.322526e-05,2.359986e-05,2.514450e-05,2.526685e-05,2.665944e-05,2.725615e-05,2.814056e-05,2.918413e-05,2.958454e-05,3.098880e-05,3.104411e-05,3.235136e-05,3.283138e-05,3.367080e-05,3.454290e-05,3.494619e-05,3.617696e-05,3.736290e-05,3.773293e-05,3.850404e-05,3.921098e-05,3.960066e-05,4.061195e-05,4.065321e-05,4.166230e-05,4.193715e-05,4.262865e-05,4.318829e-05,4.355310e-05,4.436734e-05,4.443652e-05,4.527989e-05,4.547645e-05,4.608420e-05,4.651793e-05,4.685048e-05,4.749419e-05,4.757979e-05,4.827319e-05,4.840765e-05,4.893176e-05,4.926081e-05,4.955657e-05,5.005611e-05,5.014870e-05,5.070921e-05,5.079602e-05,5.123915e-05,5.148297e-05,5.173957e-05,5.211934e-05,5.221149e-05,5.265592e-05,5.270745e-05,5.307385e-05,5.324959e-05,5.346625e-05,5.374798e-05,5.383406e-05,5.417823e-05,5.420477e-05,5.449964e-05,5.462204e-05,5.479919e-05,5.500181e-05,5.507774e-05,5.533612e-05,5.534604e-05,5.557514e-05,5.565661e-05,5.579561e-05,5.593532e-05,5.599829e-05,5.618392e-05,5.635324e-05,5.640409e-05,5.650693e-05,5.659742e-05,5.664570e-05,5.676547e-05,5.677018e-05,5.688102e-05,5.690970e-05,5.697884e-05,5.703153e-05,5.706424e-05,5.713232e-05,5.713778e-05,5.720003e-05,5.721335e-05,5.725153e-05,5.727586e-05,5.729279e-05,5.732102e-05,5.732431e-05,5.734658e-05,5.734996e-05,5.736006e-05,5.736375e-05,5.736520e-05,5.736339e-05,5.736244e-05,5.735218e-05,5.734988e-05,5.733484e-05,5.732411e-05,5.731079e-05,5.728698e-05,5.728041e-05,5.724405e-05,5.723930e-05,5.720205e-05,5.718188e-05,5.715475e-05,5.711545e-05,5.710246e-05,5.704548e-05,5.704073e-05,5.698411e-05,5.695839e-05,5.691862e-05,5.686906e-05,5.684928e-05,5.677635e-05,5.677336e-05,5.670007e-05,5.667183e-05,5.662068e-05,5.656504e-05,5.653841e-05,5.645347e-05,5.633761e-05,5.621791e-05,5.609479e-05,5.596866e-05,5.583989e-05,5.570884e-05,5.557583e-05,5.544118e-05,5.530518e-05,5.516810e-05,5.503019e-05,5.489170e-05,5.475285e-05,5.461385e-05,5.447488e-05,5.433613e-05,5.419777e-05,5.405994e-05,5.392279e-05,5.378646e-05,5.365106e-05,5.351670e-05,5.338348e-05,5.325151e-05
0.000000e+00,5.623618e-09,1.609212e-08,6.972121e-08,1.765342e-07,2.681627e-07,6.555954e-07,6.769962e-07,1.379763e-06,1.642076e-06,2.472840e-06,3.357125e-06,4.051822e-06,5.977313e-06,6.166027e-06,8.796874e-06,9.499924e-06,1.189729e-05,1.382232e-05,1.542455e-05,1.885392e-05,1.934389e-05,2.362330e-05,2.451951e-05,2.822953e-05,3.074201e-05,3.312626e-05,3.743505e-05,3.827378e-05,4.362964e-05,4.450298e-05,4.914974e-05,5.184464e-05,5.478955e-05,5.935812e-05,6.050529e-05,6.625507e-05,6.694544e-05,7.199971e-05,7.451637e-05,7.770341e-05,8.199102e-05,8.333418e-05,8.886400e-05,8.930128e-05,9.426888e-05,9.639122e-05,9.952872e-05,1.032167e-04,1.046271e-04,1.095511e-04,1.097443e-04,1.142906e-04,1.159503e-04,1.188388e-04,1.218197e-04,1.231909e-04,1.273444e-04,1.312984e-04,1.325215e-04,1.350533e-04,1.373528e-04,1.386110e-04,1.418433e-04,1.419741e-04,1.451462e-04,1.460007e-04,1.481314e-04,1.498349e-04,1.509347e-04,1.533574e-04,1.535611e-04,1.560162e-04,1.565806e-04,1.583057e-04,1.595178e-04,1.604359e-04,1.621838e-04,1.624133e-04,1.642436e-04,1.645925e-04,1.659327e-04,1.667572e-04,1.674865e-04,1.686912e-04,1.689106e-04,1.702106e-04,1.704074e-04,1.713919e-04,1.719184e-04,1.724601e-04,1.732365e-04,1.734202e-04,1.742772e-04,1.743734e-04,1.750362e-04,1.753403e-04,1.757018e-04,1.761480e-04,1.762786e-04,1.767710e-04,1.768069e-04,1.771835e-04,1.773270e-04,1.775200e-04,1.777175e-04,1.777846e-04,1.779810e-04,1.779875e-04,1.781130e-04,1.781454e-04,1.781840e-04,1.781992e-04,1.781975e-04,1.781567e-04,1.780647e-04,1.780249e-04,1.779245e-04,1.778109e-04,1.777390e-04,1.775209e-04,1.775109e-04,1.772429e-04,1.771610e-04,1.769374e-04,1.767370e-04,1.765967e-04,1.762544e-04,1.762234e-04,1.758193e-04,1.757181e-04,1.753868e-04,1.751329e-04,1.749278e-04,1.745033e-04,1.744441e-04,1.739375e-04,1.738336e-04,1.734098e-04,1.731277e-04,1.728627e-04,1.723892e-04,1.722976e-04,1.717161e-04,1.716216e-04,1.711195e-04,1.708282e-04,1.705092e-04,1.700120e-04,1.698865e-04,1.692526e-04,1.691758e-04,1.686086e-04,1.683223e-04,1.679556e-04,1.674539e-04,1.672946e-04,1.666266e-04,1.665729e-04,1.659526e-04,1.656815e-04,1.652734e-04,1.647816e-04,1.645898e-04,1.639026e-04,1.638750e-04,1.632125e-04,1.629635e-04,1.625203e-04,1.620486e-04,1.618265e-04,1.611319e-04,1.602146e-04,1.592980e-04,1.583832e-04,1.574714e-04,1.565634e-04,1.556601e-04,1.547625e-04,1.538711e-04,1.529866e-04,1.521098e-04,1.512411e-04,1.503810e-04,1.495300e-04,1.486884e-04,1.478567e-04,1.470351e-04,1.462239e-04,1.454233e-04,1.446336e-04,1.438548e-04,1.430872e-04,1.423309e-04,1.415860e-04,1.408524e-04
0.000000e+00,3.754776e-09,8.671574e-09,3.007715e-08,6.875848e-08,1.005859e-07,2.303814e-07,2.374314e-07,4.659892e-07,5.504756e-07,8.171400e-07,1.101470e-06,1.326398e-06,1.960362e-06,2.023329e-06,2.911336e-06,3.150314e-06,3.964032e-06,4.612297e-06,5.146686e-06,6.272739e-06,6.431626e-06,7.799233e-06,8.081318e-06,9.234664e-06,1.000364e-05,1.072524e-05,1.201121e-05,1.225904e-05,1.382433e-05,1.407692e-05,1.540942e-05,1.617390e-05,1.700278e-05,1.827591e-05,1.859326e-05,2.017027e-05,2.035813e-05,2.172403e-05,2.239800e-05,2.324570e-05,2.437588e-05,2.472750e-05,2.616274e-05,2.627538e-05,2.754588e-05,2.808351e-05,2.887243e-05,2.979055e-05,3.013897e-05,3.134299e-05,3.138983e-05,3.248289e-05,3.287736e-05,3.355778e-05,3.425146e-05,3.456748e-05,3.551235e-05,3.639323e-05,3.666179e-05,3.721136e-05,3.770273e-05,3.796828e-05,3.863900e-05,3.866578e-05,3.930586e-05,3.947507e-05,3.989062e-05,4.021586e-05,4.042230e-05,4.086652e-05,4.090317e-05,4.133553e-05,4.143234e-05,4.172170e-05,4.191863e-05,4.206396e-05,4.233063e-05,4.236458e-05,4.262576e-05,4.267346e-05,4.284967e-05,4.295206e-05,4.303838e-05,4.317116e-05,4.319390e-05,4.331817e-05,4.333528e-05,4.341310e-05,4.344880e-05,4.348055e-05,4.351588e-05,4.352224e-05,4.353982e-05,4.354038e-05,4.353483e-05,4.352588e-05,4.350879e-05,4.347581e-05,4.346314e-05,4.339924e-05,4.339337e-05,4.331836e-05,4.328154e-05,4.322174e-05,4.314307e-05,4.311053e-05,4.298583e-05,4.298058e-05,4.284869e-05,4.279646e-05,4.270009e-05,4.259298e-05,4.254097e-05,4.237220e-05,4.219461e-05,4.213605e-05,4.200898e-05,4.188630e-05,4.181604e-05,4.162460e-05,4.161650e-05,4.141100e-05,4.135248e-05,4.120016e-05,4.107133e-05,4.098456e-05,4.078246e-05,4.076474e-05,4.054120e-05,4.048706e-05,4.031444e-05,4.018621e-05,4.008490e-05,3.988093e-05,3.985299e-05,3.961910e-05,3.957212e-05,3.938361e-05,3.926064e-05,3.914686e-05,3.894725e-05,3.890917e-05,3.867084e-05,3.863267e-05,3.843214e-05,3.831752e-05,3.819334e-05,3.800239e-05,3.795468e-05,3.771637e-05,3.768781e-05,3.747863e-05,3.737425e-05,3.724165e-05,3.706216e-05,3.700560e-05,3.677065e-05,3.675191e-05,3.653695e-05,3.644385e-05,3.630463e-05,3.613830e-05,3.607383e-05,3.584467e-05,3.583553e-05,3.561724e-05,3.553580e-05,3.539164e-05,3.523933e-05,3.516797e-05,3.494629e-05,3.465687e-05,3.437121e-05,3.408943e-05,3.381164e-05,3.353793e-05,3.326836e-05,3.300301e-05,3.274191e-05,3.248509e-05,3.223259e-05,3.198440e-05,3.174054e-05,3.150099e-05,3.126575e-05,3.103479e-05,3.080809e-05,3.058563e-05,3.036735e-05,3.015322e-05,2.994321e-05,2.973726e-05,2.953532e-05,2.933733e-05,2.914326e-05
0.000000e+00,2.674414e-09,8.018974e-09,3.636444e-08,9.362057e-08,1.427912e-07,3.489591e-07,3.602449e-07,7.247818e-07,8.580463e-07,1.272031e-06,1.703217e-06,2.038463e-06,2.968555e-06,3.060521e-06,4.368592e-06,4.727006e-06,5.974953e-06,7.000440e-06,7.865175e-06,9.735932e-06,1.000443e-05,1.235160e-05,1.284250e-05,1.486794e-05,1.623166e-05,1.751884e-05,1.982661e-05,2.027299e-05,2.310121e-05,2.355874e-05,2.597594e-05,2.736460e-05,2.887105e-05,3.118526e-05,3.176200e-05,3.462609e-05,3.496697e-05,3.744278e-05,3.866233e-05,4.019387e-05,4.223104e-05,4.286361e-05,4.543885e-05,4.564046e-05,4.790895e-05,4.886560e-05,5.026554e-05,5.188849e-05,5.250252e-05,5.461581e-05,5.469773e-05,5.660310e-05,5.728750e-05,5.846365e-05,5.965667e-05,6.019802e-05,6.180792e-05,6.329594e-05,6.374689e-05,6.466540e-05,6.548140e-05,6.592018e-05,6.702088e-05,6.706460e-05,6.810325e-05,6.837577e-05,6.904094e-05,6.955713e-05,6.988257e-05,7.057629e-05,7.063310e-05,7.129747e-05,7.144465e-05,7.188058e-05,7.217340e-05,7.238717e-05,7.277336e-05,7.282188e-05,7.318915e-05,7.325489e-05,7.349331e-05,7.362791e-05,7.373849e-05,7.390176e-05,7.392865e-05,7.406755e-05,7.408526e-05,7.415877e-05,7.418663e-05,7.420572e-05,7.421358e-05,7.421163e-05,7.417954e-05,7.417327e-05,7.411233e-05,7.407234e-05,7.401272e-05,7.391692e-05,7.388326e-05,7.372638e-05,7.371271e-05,7.354433e-05,7.346494e-05,7.333924e-05,7.317843e-05,7.311310e-05,7.286779e-05,7.285761e-05,7.260507e-05,7.250655e-05,7.232658e-05,7.212898e-05,7.203385e-05,7.172832e-05,7.141134e-05,7.130770e-05,7.108416e-05,7.086996e-05,7.074796e-05,7.041772e-05,7.040381e-05,7.005275e-05,6.995334e-05,6.969571e-05,6.947898e-05,6.933357e-05,6.899661e-05,6.896716e-05,6.859724e-05,6.850801e-05,6.822450e-05,6.801479e-05,6.784961e-05,6.751840e-05,6.747317e-05,6.709573e-05,6.702017e-05,6.671783e-05,6.652129e-05,6.633992e-05,6.602282e-05,6.596247e-05,6.558587e-05,6.552572e-05,6.521049e-05,6.503085e-05,6.483668e-05,6.453897e-05,6.446475e-05,6.409499e-05,6.405077e-05,6.372765e-05,6.356685e-05,6.336298e-05,6.308775e-05,6.300119e-05,6.264248e-05,6.261392e-05,6.228703e-05,6.214579e-05,6.193499e-05,6.168371e-05,6.158650e-05,6.124170e-05,6.122798e-05,6.090069e-05,6.077887e-05,6.056357e-05,6.033660e-05,6.023043e-05,5.990135e-05,5.947328e-05,5.905250e-05,5.863911e-05,5.823317e-05,5.783474e-05,5.744383e-05,5.706046e-05,5.668461e-05,5.631626e-05,5.595537e-05,5.560190e-05,5.525578e-05,5.491695e-05,5.458534e-05,5.426084e-05,5.394339e-05,5.363287e-05,5.332920e-05,5.303226e-05,5.274195e-05,5.245816e-05,5.218078e-05,5.190968e-05,5.164477e-05
0.000000e+00,1.879643e-10,6.468486e-10,3.390020e-09,9.269719e-09,1.441631e-08,3.616766e-08,3.735794e-08,7.552992e-08,8.932512e-08,1.316021e-07,1.747386e-07,2.076887e-07,2.967473e-07,3.053872e-07,4.257622e-07,4.580917e-07,5.692731e-07,6.596796e-07,7.356527e-07,9.000952e-07,9.237519e-07,1.131385e-06,1.174985e-06,1.355247e-06,1.476664e-06,1.591005e-06,1.794576e-06,1.833647e-06,2.078037e-06,2.116979e-06,2.319487e-06,2.433162e-06,2.554113e-06,2.734885e-06,2.778960e-06,2.991931e-06,3.016617e-06,3.191652e-06,3.275108e-06,3.377323e-06,3.508805e-06,3.548590e-06,3.705439e-06,3.717370e-06,3.848122e-06,3.901323e-06,3.977086e-06,4.061772e-06,4.092922e-06,4.196322e-06,4.200210e-06,4.288044e-06,4.318357e-06,4.368880e-06,4.418040e-06,4.439633e-06,4.501101e-06,4.554061e-06,4.569334e-06,4.599257e-06,4.624438e-06,4.637398e-06,4.667991e-06,4.669146e-06,4.695121e-06,4.701438e-06,4.715892e-06,4.726079e-06,4.731987e-06,4.743078e-06,4.743886e-06,4.752026e-06,4.753465e-06,4.756806e-06,4.758150e-06,4.758585e-06,4.757927e-06,4.757688e-06,4.754409e-06,4.753491e-06,4.749010e-06,4.745445e-06,4.741730e-06,4.734316e-06,4.732780e-06,4.722352e-06,4.720558e-06,4.710618e-06,4.704567e-06,4.697731e-06,4.686684e-06,4.683829e-06,4.669037e-06,4.667207e-06,4.653466e-06,4.646394e-06,4.637216e-06,4.624467e-06,4.620377e-06,4.603029e-06,4.601622e-06,4.585247e-06,4.578028e-06,4.567096e-06,4.553832e-06,4.548634e-06,4.529916e-06,4.529163e-06,4.510990e-06,4.504134e-06,4.491899e-06,4.478843e-06,4.472682e-06,4.453376e-06,4.434012e-06,4.427809e-06,4.414621e-06,4.402207e-06,4.395227e-06,4.376630e-06,4.375856e-06,4.356528e-06,4.351127e-06,4.337264e-06,4.325743e-06,4.318081e-06,4.300518e-06,4.298995e-06,4.280022e-06,4.275486e-06,4.261173e-06,4.250676e-06,4.242461e-06,4.226116e-06,4.223896e-06,4.205489e-06,4.201827e-06,4.187247e-06,4.177829e-06,4.169179e-06,4.154140e-06,4.151291e-06,4.133589e-06,4.130774e-06,4.116079e-06,4.107743e-06,4.098765e-06,4.085058e-06,4.081652e-06,4.064743e-06,4.062728e-06,4.048041e-06,4.040759e-06,4.031549e-06,4.019157e-06,4.015269e-06,3.999203e-06,3.997927e-06,3.983353e-06,3.977073e-06,3.967718e-06,3.956596e-06,3.952301e-06,3.937101e-06,3.936498e-06,3.922120e-06,3.916780e-06,3.907356e-06,3.897441e-06,3.892810e-06,3.878480e-06,3.859897e-06,3.841689e-06,3.823854e-06,3.806389e-06,3.789290e-06,3.772554e-06,3.756178e-06,3.740156e-06,3.724486e-06,3.709161e-06,3.694177e-06,3.679530e-06,3.665213e-06,3.651223e-06,3.637554e-06,3.624200e-06,3.611156e-06,3.598417e-06,3.585977e-06,3.573830e-06,3.561972e-06,3.550397e-06,3.539099e-06,3.528073e-06
0.000000e+00,2.619820e-09,6.131125e-09,2.152723e-08,4.934087e-08,7.211629e-08,1.636941e-07,1.686072e-07,3.246786e-07,3.809142e-07,5.540273e-07,7.326051e-07,8.705869e-07,1.250537e-06,1.287920e-06,1.816932e-06,1.961155e-06,2.461411e-06,2.870459e-06,3.213938e-06,3.951975e-06,4.057287e-06,4.970845e-06,5.160263e-06,5.935713e-06,6.452371e-06,6.936120e-06,7.794285e-06,7.958971e-06,8.993111e-06,9.158956e-06,1.002885e-05,1.052404e-05,1.105771e-05,1.187085e-05,1.207231e-05,1.306634e-05,1.318398e-05,1.403451e-05,1.445117e-05,1.497251e-05,1.566307e-05,1.587692e-05,1.674517e-05,1.681301e-05,1.757545e-05,1.789664e-05,1.836657e-05,1.891157e-05,1.911793e-05,1.982934e-05,1.985697e-05,2.050106e-05,2.073326e-05,2.113363e-05,2.154180e-05,2.172782e-05,2.228462e-05,2.280515e-05,2.296425e-05,2.329063e-05,2.358354e-05,2.374236e-05,2.414553e-05,2.416170e-05,2.455002e-05,2.465337e-05,2.490870e-05,2.511026e-05,2.523913e-05,2.551932e-05,2.554264e-05,2.582056e-05,2.588360e-05,2.607418e-05,2.620605e-05,2.630474e-05,2.648953e-05,2.651346e-05,2.670151e-05,2.673673e-05,2.686999e-05,2.695023e-05,2.701999e-05,2.713246e-05,2.715253e-05,2.726862e-05,2.728573e-05,2.736918e-05,2.741221e-05,2.745513e-05,2.751395e-05,2.752733e-05,2.758659e-05,2.759287e-05,2.763369e-05,2.765076e-05,2.766938e-05,2.768931e-05,2.769437e-05,2.770932e-05,2.771010e-05,2.771487e-05,2.771460e-05,2.771163e-05,2.770418e-05,2.770018e-05,2.768105e-05,2.768013e-05,2.765475e-05,2.764363e-05,2.762179e-05,2.759581e-05,2.758263e-05,2.753769e-05,2.748740e-05,2.747024e-05,2.743215e-05,2.739436e-05,2.737231e-05,2.731087e-05,2.730823e-05,2.724023e-05,2.722054e-05,2.716865e-05,2.712409e-05,2.709376e-05,2.702219e-05,2.701585e-05,2.693518e-05,2.691544e-05,2.685200e-05,2.680442e-05,2.676655e-05,2.668964e-05,2.667904e-05,2.658968e-05,2.657161e-05,2.649867e-05,2.645076e-05,2.640619e-05,2.632751e-05,2.631242e-05,2.621752e-05,2.620224e-05,2.612163e-05,2.607530e-05,2.602491e-05,2.594703e-05,2.592750e-05,2.582950e-05,2.581771e-05,2.573106e-05,2.568763e-05,2.563227e-05,2.555703e-05,2.553324e-05,2.543408e-05,2.542614e-05,2.533486e-05,2.529518e-05,2.523568e-05,2.516434e-05,2.513662e-05,2.503774e-05,2.503379e-05,2.493913e-05,2.490370e-05,2.484084e-05,2.477422e-05,2.474293e-05,2.464547e-05,2.451757e-05,2.439064e-05,2.426478e-05,2.414006e-05,2.401658e-05,2.389439e-05,2.377357e-05,2.365417e-05,2.353624e-05,2.341981e-05,2.330494e-05,2.319164e-05,2.307994e-05,2.296987e-05,2.286144e-05,2.275466e-05,2.264956e-05,2.254613e-05,2.244437e-05,2.234430e-05,2.224590e-05,2.214918e-05,2.205412e-05,2.196073e-05
0.000000e+00,8.306276e-14,6.722849e-13,1.423173e-11,1.021397e-10,2.473009e-10,1.589143e-09,1.696956e-09,7.043125e-09,9.866046e-09,2.138388e-08,3.745587e-08,5.256916e-08,1.051801e-07,1.111694e-07,2.101868e-07,2.415858e-07,3.644242e-07,4.806704e-07,5.892376e-07,8.566727e-07,8.986680e-07,1.303511e-06,1.396568e-06,1.810044e-06,2.114292e-06,2.419714e-06,3.009531e-06,3.129626e-06,3.933458e-06,4.070227e-06,4.822437e-06,5.276388e-06,5.786191e-06,6.603444e-06,6.813400e-06,7.892278e-06,8.024650e-06,9.010927e-06,9.512696e-06,1.015761e-05,1.104083e-05,1.132098e-05,1.249027e-05,1.258376e-05,1.365549e-05,1.411837e-05,1.480754e-05,1.562427e-05,1.593833e-05,1.704084e-05,1.708426e-05,1.810916e-05,1.848442e-05,1.913847e-05,1.981415e-05,2.012500e-05,2.106598e-05,2.195951e-05,2.223523e-05,2.280452e-05,2.331966e-05,2.360062e-05,2.431905e-05,2.434802e-05,2.504741e-05,2.523478e-05,2.569990e-05,2.606946e-05,2.630690e-05,2.682657e-05,2.687005e-05,2.739116e-05,2.751019e-05,2.787217e-05,2.812476e-05,2.831506e-05,2.867487e-05,2.872185e-05,2.909453e-05,2.916515e-05,2.943509e-05,2.960013e-05,2.974545e-05,2.998418e-05,3.002747e-05,3.028293e-05,3.032146e-05,3.051354e-05,3.061588e-05,3.072092e-05,3.087112e-05,3.090659e-05,3.107200e-05,3.109055e-05,3.121852e-05,3.127733e-05,3.134742e-05,3.143434e-05,3.145990e-05,3.155708e-05,3.156423e-05,3.164001e-05,3.166942e-05,3.170968e-05,3.175214e-05,3.176699e-05,3.181281e-05,3.181441e-05,3.184792e-05,3.185809e-05,3.187308e-05,3.188486e-05,3.188897e-05,3.189625e-05,3.189551e-05,3.189367e-05,3.188731e-05,3.187840e-05,3.187219e-05,3.185161e-05,3.185063e-05,3.182308e-05,3.181436e-05,3.178999e-05,3.176763e-05,3.175173e-05,3.171230e-05,3.170869e-05,3.166121e-05,3.164919e-05,3.160961e-05,3.157904e-05,3.155421e-05,3.150253e-05,3.149528e-05,3.143309e-05,3.142029e-05,3.136789e-05,3.133288e-05,3.129992e-05,3.124084e-05,3.122939e-05,3.115650e-05,3.114463e-05,3.108145e-05,3.104472e-05,3.100442e-05,3.094149e-05,3.092558e-05,3.084509e-05,3.083532e-05,3.076309e-05,3.072657e-05,3.067972e-05,3.061553e-05,3.059512e-05,3.050942e-05,3.050252e-05,3.042272e-05,3.038779e-05,3.033514e-05,3.027159e-05,3.024677e-05,3.015773e-05,3.015415e-05,3.006808e-05,3.003568e-05,2.997793e-05,2.991638e-05,2.988735e-05,2.979642e-05,2.967597e-05,2.955518e-05,2.943420e-05,2.931314e-05,2.919214e-05,2.907130e-05,2.895072e-05,2.883051e-05,2.871073e-05,2.859148e-05,2.847283e-05,2.835483e-05,2.823757e-05,2.812108e-05,2.800543e-05,2.789066e-05,2.777681e-05,2.766392e-05,2.755202e-05,2.744116e-05,2.733135e-05,2.722262e-05,2.711500e-05,2.700851e-05
0.000000e+00,4.255897e-09,1.113479e-08,4.400249e-08,1.068488e-07,1.598071e-07,3.799204e-07,3.919696e-07,7.841028e-07,9.292362e-07,1.386685e-06,1.873170e-06,2.257525e-06,3.343601e-06,3.452018e-06,4.998619e-06,5.421218e-06,6.880797e-06,8.064458e-06,9.052165e-06,1.116263e-05,1.146315e-05,1.407234e-05,1.461490e-05,1.684604e-05,1.834363e-05,1.975523e-05,2.228414e-05,2.277329e-05,2.587490e-05,2.637727e-05,2.903572e-05,3.056706e-05,3.223245e-05,3.480085e-05,3.544309e-05,3.864727e-05,3.903044e-05,4.182651e-05,4.321315e-05,4.496435e-05,4.731251e-05,4.804644e-05,5.106056e-05,5.129844e-05,5.399662e-05,5.514729e-05,5.684641e-05,5.884116e-05,5.960350e-05,6.226303e-05,6.236733e-05,6.482156e-05,6.571744e-05,6.727685e-05,6.888683e-05,6.962772e-05,7.187398e-05,7.401597e-05,7.467948e-05,7.605453e-05,7.730567e-05,7.799127e-05,7.975644e-05,7.982802e-05,8.156698e-05,8.203671e-05,8.321065e-05,8.415219e-05,8.476163e-05,8.610899e-05,8.622263e-05,8.759647e-05,8.791354e-05,8.888604e-05,8.957249e-05,9.009427e-05,9.109254e-05,9.122407e-05,9.227832e-05,9.248036e-05,9.325993e-05,9.374259e-05,9.417171e-05,9.488570e-05,9.501647e-05,9.579693e-05,9.591602e-05,9.651576e-05,9.683967e-05,9.717556e-05,9.766260e-05,9.777886e-05,9.832813e-05,9.839053e-05,9.882576e-05,9.902896e-05,9.927407e-05,9.958318e-05,9.967529e-05,1.000316e-04,1.000582e-04,1.003451e-04,1.004590e-04,1.006178e-04,1.007900e-04,1.008517e-04,1.010486e-04,1.010557e-04,1.012104e-04,1.012604e-04,1.013388e-04,1.014079e-04,1.014355e-04,1.015021e-04,1.015401e-04,1.015465e-04,1.015512e-04,1.015447e-04,1.015366e-04,1.014998e-04,1.014978e-04,1.014361e-04,1.014149e-04,1.013527e-04,1.012928e-04,1.012489e-04,1.011364e-04,1.011259e-04,1.009848e-04,1.009483e-04,1.008265e-04,1.007309e-04,1.006523e-04,1.004864e-04,1.004629e-04,1.002595e-04,1.002171e-04,1.000428e-04,9.992514e-05,9.981370e-05,9.961232e-05,9.957307e-05,9.932168e-05,9.928051e-05,9.906027e-05,9.893144e-05,9.878954e-05,9.856671e-05,9.851018e-05,9.822285e-05,9.818786e-05,9.792815e-05,9.779631e-05,9.762669e-05,9.739340e-05,9.731902e-05,9.700568e-05,9.698038e-05,9.668718e-05,9.655845e-05,9.636401e-05,9.612869e-05,9.603662e-05,9.570547e-05,9.569215e-05,9.537096e-05,9.524979e-05,9.503349e-05,9.480252e-05,9.469344e-05,9.435117e-05,9.389655e-05,9.343938e-05,9.298035e-05,9.252009e-05,9.205920e-05,9.159822e-05,9.113768e-05,9.067803e-05,9.021972e-05,8.976315e-05,8.930870e-05,8.885669e-05,8.840746e-05,8.796129e-05,8.751844e-05,8.707915e-05,8.664364e-05,8.621212e-05,8.578476e-05,8.536173e-05,8.494316e-05,8.452919e-05,8.411994e-05,8.371550e-05
0.000000e+00,1.945432e-09,4.499920e-09,1.561605e-08,3.561632e-08,5.197016e-08,1.176663e-07,1.211897e-07,2.331068e-07,2.734364e-07,3.976269e-07,5.258443e-07,6.250235e-07,8.988757e-07,9.258974e-07,1.310441e-06,1.416147e-06,1.786574e-06,2.094546e-06,2.357087e-06,2.933785e-06,3.017450e-06,3.756490e-06,3.912477e-06,4.559669e-06,4.997756e-06,5.412348e-06,6.157223e-06,6.301442e-06,7.215729e-06,7.363693e-06,8.145620e-06,8.595030e-06,9.082814e-06,9.832914e-06,1.002004e-05,1.095091e-05,1.106192e-05,1.186980e-05,1.226903e-05,1.277180e-05,1.344342e-05,1.365271e-05,1.450899e-05,1.457633e-05,1.533771e-05,1.566095e-05,1.613656e-05,1.669222e-05,1.690376e-05,1.763802e-05,1.766669e-05,1.833851e-05,1.858232e-05,1.900478e-05,1.943823e-05,1.963672e-05,2.023450e-05,2.079854e-05,2.097200e-05,2.132944e-05,2.165219e-05,2.182799e-05,2.227698e-05,2.229507e-05,2.273168e-05,2.284862e-05,2.313888e-05,2.336954e-05,2.351778e-05,2.384235e-05,2.386951e-05,2.419524e-05,2.426967e-05,2.449612e-05,2.465418e-05,2.477329e-05,2.499851e-05,2.502791e-05,2.526106e-05,2.530522e-05,2.547385e-05,2.557681e-05,2.566733e-05,2.581568e-05,2.584252e-05,2.600040e-05,2.602412e-05,2.614192e-05,2.620432e-05,2.626800e-05,2.635834e-05,2.637952e-05,2.647729e-05,2.648814e-05,2.656214e-05,2.659558e-05,2.663482e-05,2.668237e-05,2.669606e-05,2.674656e-05,2.675016e-05,2.678697e-05,2.680046e-05,2.681793e-05,2.683471e-05,2.684003e-05,2.685385e-05,2.685423e-05,2.685990e-05,2.686029e-05,2.685872e-05,2.685403e-05,2.685078e-05,2.683654e-05,2.681644e-05,2.680884e-05,2.679089e-05,2.677185e-05,2.676027e-05,2.672645e-05,2.672495e-05,2.668529e-05,2.667345e-05,2.664161e-05,2.661361e-05,2.659423e-05,2.654761e-05,2.654343e-05,2.648949e-05,2.647611e-05,2.643268e-05,2.639970e-05,2.637323e-05,2.631894e-05,2.631140e-05,2.624738e-05,2.623434e-05,2.618140e-05,2.614637e-05,2.611364e-05,2.605548e-05,2.604428e-05,2.597351e-05,2.596207e-05,2.590148e-05,2.586650e-05,2.582834e-05,2.576913e-05,2.575424e-05,2.567930e-05,2.567026e-05,2.560367e-05,2.557020e-05,2.552745e-05,2.546920e-05,2.545076e-05,2.537369e-05,2.536751e-05,2.529635e-05,2.526536e-05,2.521883e-05,2.516295e-05,2.514122e-05,2.506358e-05,2.506048e-05,2.498600e-05,2.495810e-05,2.490854e-05,2.485597e-05,2.483127e-05,2.475425e-05,2.465306e-05,2.455251e-05,2.445271e-05,2.435376e-05,2.425574e-05,2.415873e-05,2.406279e-05,2.396800e-05,2.387439e-05,2.378202e-05,2.369094e-05,2.360116e-05,2.351273e-05,2.342567e-05,2.333999e-05,2.325573e-05,2.317289e-05,2.309147e-05,2.301150e-05,2.293296e-05,2.285587e-05,2.278022e-05,2.270600e-05,2.263322e-05
0.000000e+00,5.913288e-10,1.693625e-09,7.335752e-09,1.852616e-08,2.807107e-08,6.787061e-08,7.004331e-08,1.400137e-07,1.655061e-07,2.444316e-07,3.262357e-07,3.895817e-07,5.643981e-07,5.816287e-07,8.263813e-07,8.935249e-07,1.128514e-06,1.323744e-06,1.490271e-06,1.857139e-06,1.910551e-06,2.385410e-06,2.486471e-06,2.909511e-06,3.199637e-06,3.477248e-06,3.983885e-06,4.083184e-06,4.722074e-06,4.827011e-06,5.388798e-06,5.717228e-06,6.078310e-06,6.642981e-06,6.785635e-06,7.505899e-06,7.592974e-06,8.234381e-06,8.556347e-06,8.966578e-06,9.522915e-06,9.698256e-06,1.042550e-05,1.048338e-05,1.114477e-05,1.142951e-05,1.185287e-05,1.235420e-05,1.254701e-05,1.322481e-05,1.325155e-05,1.388423e-05,1.411680e-05,1.452362e-05,1.494626e-05,1.514163e-05,1.573725e-05,1.630974e-05,1.648796e-05,1.685859e-05,1.719732e-05,1.738353e-05,1.786490e-05,1.788447e-05,1.836149e-05,1.849079e-05,1.881479e-05,1.907553e-05,1.924472e-05,1.961996e-05,1.965169e-05,2.003620e-05,2.012520e-05,2.039882e-05,2.059256e-05,2.074017e-05,2.102346e-05,2.106088e-05,2.136163e-05,2.141945e-05,2.164312e-05,2.178212e-05,2.190605e-05,2.211308e-05,2.215112e-05,2.237903e-05,2.241395e-05,2.259048e-05,2.268633e-05,2.278616e-05,2.293181e-05,2.296675e-05,2.313291e-05,2.315191e-05,2.328528e-05,2.334812e-05,2.342450e-05,2.352189e-05,2.355118e-05,2.366590e-05,2.367458e-05,2.376924e-05,2.380752e-05,2.386175e-05,2.392195e-05,2.394396e-05,2.401639e-05,2.401909e-05,2.407953e-05,2.410008e-05,2.413385e-05,2.416599e-05,2.417982e-05,2.421787e-05,2.424842e-05,2.425668e-05,2.427187e-05,2.428334e-05,2.428862e-05,2.429872e-05,2.429902e-05,2.430344e-05,2.430365e-05,2.430221e-05,2.429890e-05,2.429566e-05,2.428519e-05,2.428409e-05,2.426780e-05,2.426322e-05,2.424708e-05,2.423363e-05,2.422218e-05,2.419704e-05,2.419338e-05,2.416091e-05,2.415400e-05,2.412501e-05,2.410507e-05,2.408591e-05,2.405073e-05,2.404380e-05,2.399890e-05,2.399147e-05,2.395141e-05,2.392774e-05,2.390149e-05,2.385993e-05,2.384933e-05,2.379509e-05,2.378845e-05,2.373893e-05,2.371365e-05,2.368100e-05,2.363589e-05,2.362145e-05,2.356041e-05,2.355546e-05,2.349800e-05,2.347269e-05,2.343436e-05,2.338783e-05,2.336959e-05,2.330380e-05,2.330115e-05,2.323711e-05,2.321290e-05,2.316961e-05,2.312329e-05,2.310139e-05,2.303254e-05,2.294084e-05,2.284837e-05,2.275531e-05,2.266180e-05,2.256800e-05,2.247403e-05,2.238002e-05,2.228609e-05,2.219234e-05,2.209887e-05,2.200577e-05,2.191312e-05,2.182100e-05,2.172948e-05,2.163861e-05,2.154846e-05,2.145909e-05,2.137053e-05,2.128283e-05,2.119603e-05,2.111016e-05,2.102526e-05,2.094135e-05,2.085845e-05
0.000000e+00,9.082444e-09,2.111613e-08,7.402589e-08,1.706588e-07,2.507630e-07,5.808034e-07,5.988455e-07,1.187984e-06,1.407309e-06,2.102944e-06,2.848003e-06,3.438466e-06,5.103301e-06,5.268624e-06,7.602213e-06,8.231951e-06,1.038651e-05,1.211731e-05,1.355494e-05,1.661791e-05,1.705378e-05,2.084244e-05,2.163193e-05,2.488725e-05,2.708138e-05,2.915692e-05,3.289443e-05,3.362028e-05,3.824558e-05,3.899850e-05,4.300060e-05,4.531966e-05,4.785328e-05,5.178466e-05,5.277232e-05,5.772788e-05,5.832366e-05,6.269213e-05,6.487249e-05,6.763959e-05,7.137428e-05,7.254743e-05,7.739554e-05,7.778027e-05,8.216656e-05,8.404999e-05,8.684572e-05,9.015085e-05,9.142074e-05,9.588158e-05,9.605752e-05,1.002202e-04,1.017510e-04,1.044306e-04,1.072179e-04,1.085080e-04,1.124492e-04,1.162522e-04,1.174398e-04,1.199160e-04,1.221877e-04,1.234404e-04,1.266931e-04,1.268258e-04,1.300734e-04,1.309582e-04,1.331847e-04,1.349869e-04,1.361617e-04,1.387839e-04,1.390066e-04,1.417221e-04,1.423548e-04,1.443107e-04,1.457060e-04,1.467754e-04,1.488442e-04,1.491192e-04,1.513452e-04,1.517765e-04,1.534565e-04,1.545101e-04,1.554562e-04,1.570522e-04,1.573477e-04,1.591340e-04,1.594103e-04,1.608183e-04,1.615916e-04,1.624039e-04,1.636033e-04,1.638938e-04,1.652911e-04,1.654527e-04,1.665989e-04,1.671468e-04,1.678202e-04,1.686924e-04,1.689579e-04,1.700150e-04,1.700962e-04,1.709943e-04,1.713648e-04,1.718985e-04,1.725046e-04,1.727304e-04,1.734926e-04,1.735216e-04,1.741877e-04,1.744220e-04,1.748183e-04,1.752115e-04,1.753868e-04,1.758957e-04,1.763472e-04,1.764800e-04,1.767437e-04,1.769695e-04,1.770873e-04,1.773694e-04,1.773802e-04,1.776244e-04,1.776844e-04,1.778221e-04,1.779192e-04,1.779752e-04,1.780782e-04,1.780855e-04,1.781549e-04,1.781657e-04,1.781853e-04,1.781859e-04,1.781783e-04,1.781426e-04,1.781356e-04,1.780589e-04,1.780396e-04,1.779496e-04,1.778805e-04,1.778095e-04,1.776688e-04,1.776398e-04,1.774420e-04,1.774079e-04,1.772175e-04,1.771007e-04,1.769677e-04,1.767504e-04,1.766937e-04,1.763969e-04,1.763598e-04,1.760784e-04,1.759317e-04,1.757394e-04,1.754687e-04,1.753810e-04,1.750041e-04,1.749732e-04,1.746100e-04,1.744477e-04,1.741996e-04,1.738944e-04,1.737737e-04,1.733334e-04,1.733155e-04,1.728795e-04,1.727130e-04,1.724129e-04,1.720888e-04,1.719344e-04,1.714448e-04,1.707827e-04,1.701042e-04,1.694109e-04,1.687043e-04,1.679858e-04,1.672567e-04,1.665182e-04,1.657717e-04,1.650182e-04,1.642588e-04,1.634944e-04,1.627261e-04,1.619548e-04,1.611812e-04,1.604062e-04,1.596305e-04,1.588548e-04,1.580798e-04,1.573061e-04,1.565342e-04,1.557647e-04,1.549982e-04,1.542349e-04,1.534755e-04
0.000000e+00,7.879462e-13,6.090251e-12,1.172719e-10,7.731899e-10,1.788152e-09,1.023508e-08,1.087914e-08,4.044721e-08,5.503870e-08,1.111136e-07,1.841503e-07,2.495703e-07,4.633459e-07,4.867324e-07,8.563566e-07,9.686862e-07,1.393622e-06,1.780438e-06,2.132066e-06,2.969324e-06,3.097755e-06,4.302321e-06,4.571614e-06,5.738701e-06,6.569574e-06,7.382097e-06,8.895512e-06,9.195287e-06,1.113534e-05,1.145462e-05,1.315933e-05,1.414890e-05,1.522789e-05,1.689166e-05,1.730681e-05,1.936720e-05,1.961201e-05,2.138504e-05,2.225418e-05,2.334055e-05,2.477499e-05,2.521758e-05,2.700316e-05,2.714174e-05,2.868718e-05,2.933058e-05,3.026213e-05,3.132562e-05,3.172294e-05,3.306673e-05,3.311803e-05,3.429265e-05,3.470526e-05,3.540162e-05,3.609011e-05,3.639608e-05,3.727973e-05,3.805729e-05,3.828459e-05,3.873428e-05,3.911753e-05,3.931672e-05,3.979283e-05,3.981099e-05,4.022364e-05,4.032544e-05,4.056121e-05,4.073040e-05,4.083015e-05,4.102234e-05,4.103671e-05,4.118685e-05,4.121513e-05,4.128623e-05,4.132169e-05,4.134013e-05,4.135387e-05,4.135349e-05,4.133085e-05,4.132237e-05,4.127637e-05,4.123673e-05,4.119386e-05,4.110543e-05,4.108678e-05,4.095827e-05,4.093591e-05,4.081115e-05,4.073468e-05,4.064796e-05,4.050737e-05,4.047097e-05,4.028221e-05,4.025886e-05,4.008352e-05,3.999336e-05,3.987649e-05,3.971447e-05,3.966257e-05,3.944304e-05,3.942527e-05,3.921902e-05,3.912839e-05,3.899152e-05,3.882607e-05,3.876144e-05,3.852954e-05,3.852023e-05,3.829652e-05,3.821248e-05,3.806299e-05,3.790418e-05,3.782949e-05,3.759649e-05,3.736441e-05,3.729039e-05,3.713360e-05,3.698670e-05,3.690438e-05,3.668609e-05,3.667704e-05,3.645181e-05,3.638915e-05,3.622890e-05,3.609634e-05,3.600849e-05,3.580807e-05,3.579075e-05,3.557580e-05,3.552464e-05,3.536375e-05,3.524631e-05,3.515471e-05,3.497329e-05,3.494874e-05,3.474592e-05,3.470574e-05,3.454629e-05,3.444376e-05,3.434990e-05,3.418745e-05,3.415677e-05,3.396693e-05,3.393686e-05,3.378039e-05,3.369203e-05,3.359716e-05,3.345295e-05,3.341723e-05,3.324060e-05,3.321963e-05,3.306726e-05,3.299203e-05,3.289720e-05,3.277012e-05,3.273038e-05,3.256679e-05,3.255384e-05,3.240640e-05,3.234313e-05,3.224918e-05,3.213793e-05,3.209510e-05,3.194412e-05,3.193815e-05,3.179621e-05,3.174371e-05,3.165133e-05,3.155452e-05,3.150944e-05,3.137049e-05,3.119153e-05,3.101753e-05,3.084840e-05,3.068403e-05,3.052432e-05,3.036917e-05,3.021846e-05,3.007210e-05,2.992998e-05,2.979200e-05,2.965806e-05,2.952805e-05,2.940187e-05,2.927942e-05,2.916061e-05,2.904533e-05,2.893350e-05,2.882502e-05,2.871980e-05,2.861774e-05,2.851876e-05,2.842277e-05,2.832970e-05,2.823944e-05
0.000000e+00,7.710390e-09,1.810276e-08,6.379862e-08,1.466592e-07,2.147807e-07,4.911666e-07,5.061073e-07,9.866328e-07,1.162510e-06,1.712285e-06,2.290809e-06,2.743767e-06,4.002874e-06,4.126770e-06,5.858317e-06,6.320498e-06,7.886536e-06,9.128124e-06,1.014871e-05,1.229214e-05,1.259384e-05,1.518254e-05,1.571454e-05,1.788183e-05,1.931910e-05,2.066157e-05,2.303761e-05,2.349294e-05,2.634816e-05,2.680542e-05,2.920081e-05,3.056186e-05,3.202629e-05,3.425205e-05,3.480232e-05,3.750930e-05,3.782868e-05,4.013052e-05,4.125303e-05,4.265221e-05,4.449533e-05,4.506349e-05,4.735619e-05,4.753430e-05,4.952462e-05,5.035635e-05,5.156529e-05,5.295451e-05,5.347662e-05,5.525864e-05,5.532725e-05,5.691271e-05,5.747729e-05,5.844128e-05,5.941068e-05,5.984766e-05,6.113579e-05,6.231013e-05,6.266265e-05,6.337543e-05,6.400230e-05,6.433668e-05,6.516631e-05,6.519897e-05,6.596744e-05,6.616650e-05,6.664721e-05,6.701459e-05,6.724331e-05,6.772206e-05,6.776066e-05,6.820406e-05,6.829999e-05,6.857812e-05,6.875899e-05,6.888732e-05,6.910914e-05,6.913591e-05,6.932797e-05,6.935995e-05,6.946738e-05,6.952030e-05,6.955784e-05,6.959854e-05,6.960283e-05,6.960568e-05,6.960244e-05,6.956954e-05,6.953922e-05,6.949737e-05,6.941558e-05,6.939197e-05,6.925597e-05,6.923771e-05,6.909185e-05,6.901135e-05,6.890196e-05,6.874176e-05,6.868849e-05,6.845350e-05,6.843383e-05,6.819891e-05,6.809201e-05,6.792655e-05,6.772040e-05,6.763811e-05,6.733518e-05,6.732278e-05,6.701925e-05,6.690260e-05,6.669169e-05,6.646299e-05,6.635382e-05,6.600684e-05,6.565188e-05,6.553678e-05,6.528999e-05,6.505519e-05,6.492214e-05,6.456426e-05,6.454926e-05,6.417218e-05,6.406595e-05,6.379169e-05,6.356206e-05,6.340851e-05,6.305420e-05,6.302333e-05,6.263676e-05,6.254385e-05,6.224939e-05,6.203231e-05,6.186175e-05,6.152078e-05,6.147432e-05,6.108756e-05,6.101032e-05,6.070188e-05,6.050189e-05,6.031767e-05,5.999633e-05,5.993528e-05,5.955503e-05,5.949441e-05,5.917720e-05,5.899678e-05,5.880206e-05,5.850406e-05,5.842986e-05,5.806081e-05,5.801675e-05,5.769511e-05,5.753531e-05,5.733293e-05,5.706013e-05,5.697444e-05,5.661976e-05,5.659156e-05,5.626904e-05,5.612988e-05,5.592237e-05,5.567534e-05,5.557986e-05,5.524158e-05,5.522814e-05,5.490762e-05,5.478845e-05,5.457801e-05,5.435641e-05,5.425283e-05,5.393210e-05,5.351561e-05,5.310699e-05,5.270626e-05,5.231343e-05,5.192847e-05,5.155138e-05,5.118210e-05,5.082058e-05,5.046676e-05,5.012054e-05,4.978186e-05,4.945061e-05,4.912670e-05,4.881002e-05,4.850046e-05,4.819791e-05,4.790224e-05,4.761334e-05,4.733108e-05,4.705534e-05,4.678599e-05,4.652291e-05,4.626597e-05,4.601503e-05
0.000000e+00,1.629252e-14,1.369615e-13,3.134847e-12,2.414239e-11,6.074151e-11,4.304430e-10,4.614569e-10,2.105183e-09,3.024126e-09,6.974515e-09,1.282826e-08,1.857353e-08,3.974658e-08,4.224451e-08,8.533197e-08,9.956069e-08,1.571937e-07,2.141178e-07,2.690427e-07,4.105854e-07,4.335475e-07,6.640781e-07,7.192672e-07,9.735437e-07,1.169434e-06,1.372959e-06,1.783751e-06,1.870045e-06,2.468206e-06,2.573269e-06,3.166096e-06,3.534926e-06,3.957788e-06,4.652174e-06,4.833442e-06,5.780252e-06,5.897966e-06,6.783516e-06,7.238828e-06,7.827643e-06,8.638896e-06,8.897043e-06,9.976815e-06,1.006322e-05,1.105325e-05,1.148010e-05,1.211416e-05,1.286243e-05,1.314903e-05,1.414914e-05,1.418832e-05,1.510746e-05,1.544114e-05,1.601860e-05,1.660919e-05,1.687868e-05,1.768515e-05,1.843664e-05,1.866542e-05,1.913277e-05,1.954943e-05,1.977400e-05,2.033899e-05,2.036148e-05,2.089687e-05,2.103772e-05,2.138224e-05,2.165044e-05,2.181998e-05,2.218283e-05,2.221265e-05,2.256292e-05,2.264098e-05,2.287354e-05,2.303117e-05,2.314721e-05,2.335961e-05,2.338662e-05,2.359435e-05,2.363231e-05,2.377288e-05,2.385496e-05,2.392457e-05,2.403288e-05,2.405165e-05,2.415619e-05,2.417096e-05,2.424014e-05,2.427366e-05,2.430531e-05,2.434504e-05,2.435336e-05,2.438583e-05,2.438875e-05,2.440413e-05,2.440803e-05,2.440956e-05,2.440581e-05,2.440330e-05,2.438644e-05,2.438466e-05,2.435996e-05,2.434689e-05,2.432478e-05,2.429453e-05,2.428172e-05,2.423153e-05,2.422939e-05,2.417490e-05,2.415306e-05,2.411246e-05,2.406696e-05,2.404476e-05,2.397234e-05,2.389567e-05,2.387031e-05,2.381519e-05,2.376186e-05,2.373128e-05,2.364785e-05,2.364432e-05,2.355463e-05,2.352907e-05,2.346252e-05,2.340620e-05,2.336826e-05,2.327987e-05,2.327211e-05,2.317431e-05,2.315062e-05,2.307507e-05,2.301894e-05,2.297459e-05,2.288529e-05,2.287305e-05,2.277063e-05,2.275005e-05,2.266746e-05,2.261357e-05,2.256370e-05,2.247618e-05,2.245947e-05,2.235490e-05,2.233815e-05,2.225010e-05,2.219974e-05,2.214516e-05,2.206119e-05,2.204019e-05,2.193527e-05,2.192269e-05,2.183049e-05,2.178444e-05,2.172590e-05,2.164660e-05,2.162160e-05,2.151763e-05,2.150932e-05,2.141405e-05,2.137275e-05,2.131093e-05,2.123698e-05,2.120830e-05,2.110622e-05,2.110215e-05,2.100473e-05,2.096834e-05,2.090386e-05,2.083564e-05,2.080364e-05,2.070412e-05,2.057387e-05,2.044493e-05,2.031736e-05,2.019121e-05,2.006652e-05,1.994332e-05,1.982164e-05,1.970152e-05,1.958297e-05,1.946601e-05,1.935066e-05,1.923693e-05,1.912482e-05,1.901433e-05,1.890549e-05,1.879827e-05,1.869269e-05,1.858873e-05,1.848640e-05,1.838568e-05,1.828658e-05,1.818907e-05,1.809314e-05,1.799880e-05
0.000000e+00,2.412211e-10,8.955271e-10,5.161799e-09,1.485548e-08,2.359625e-08,6.179499e-08,6.392583e-08,1.337483e-07,1.595612e-07,2.401952e-07,3.245421e-07,3.902335e-07,5.727100e-07,5.907678e-07,8.480887e-07,9.188204e-07,1.166222e-06,1.371114e-06,1.545170e-06,1.926066e-06,1.981238e-06,2.469109e-06,2.572420e-06,3.003399e-06,3.297889e-06,3.579067e-06,4.091076e-06,4.191292e-06,4.835269e-06,4.940926e-06,5.506085e-06,5.836128e-06,6.198676e-06,6.764944e-06,6.907856e-06,7.628379e-06,7.715355e-06,8.355027e-06,8.675373e-06,9.082705e-06,9.633414e-06,9.806529e-06,1.052191e-05,1.057865e-05,1.122463e-05,1.150130e-05,1.191088e-05,1.239287e-05,1.257729e-05,1.322099e-05,1.324623e-05,1.383956e-05,1.405570e-05,1.443105e-05,1.481701e-05,1.499396e-05,1.552721e-05,1.603010e-05,1.618454e-05,1.650227e-05,1.678832e-05,1.694370e-05,1.733875e-05,1.735461e-05,1.773545e-05,1.783679e-05,1.808689e-05,1.828398e-05,1.840974e-05,1.868231e-05,1.870494e-05,1.897352e-05,1.903414e-05,1.921660e-05,1.934202e-05,1.943535e-05,1.960866e-05,1.963095e-05,1.980461e-05,1.983681e-05,1.995753e-05,2.002925e-05,2.009092e-05,2.018872e-05,2.020593e-05,2.030372e-05,2.031784e-05,2.038539e-05,2.041918e-05,2.045201e-05,2.049516e-05,2.050460e-05,2.054415e-05,2.054806e-05,2.057159e-05,2.058005e-05,2.058780e-05,2.059314e-05,2.059364e-05,2.058989e-05,2.058919e-05,2.057729e-05,2.056994e-05,2.055657e-05,2.053699e-05,2.052838e-05,2.049333e-05,2.049180e-05,2.045202e-05,2.043573e-05,2.040499e-05,2.037001e-05,2.035275e-05,2.029577e-05,2.023449e-05,2.021404e-05,2.016932e-05,2.012575e-05,2.010065e-05,2.003177e-05,2.002884e-05,1.995422e-05,1.993286e-05,1.987709e-05,1.982973e-05,1.979774e-05,1.972301e-05,1.971644e-05,1.963344e-05,1.961329e-05,1.954896e-05,1.950108e-05,1.946321e-05,1.938686e-05,1.937639e-05,1.928867e-05,1.927104e-05,1.920024e-05,1.915402e-05,1.911123e-05,1.903613e-05,1.902180e-05,1.893207e-05,1.891769e-05,1.884216e-05,1.879898e-05,1.875220e-05,1.868024e-05,1.866227e-05,1.857247e-05,1.856170e-05,1.848289e-05,1.844356e-05,1.839361e-05,1.832600e-05,1.830470e-05,1.821622e-05,1.820917e-05,1.812825e-05,1.809321e-05,1.804082e-05,1.797825e-05,1.795400e-05,1.786782e-05,1.786439e-05,1.778234e-05,1.775174e-05,1.769758e-05,1.764037e-05,1.761358e-05,1.753037e-05,1.742178e-05,1.731467e-05,1.720908e-05,1.710505e-05,1.700261e-05,1.690179e-05,1.680260e-05,1.670506e-05,1.660918e-05,1.651497e-05,1.642242e-05,1.633154e-05,1.624233e-05,1.615478e-05,1.606887e-05,1.598461e-05,1.590197e-05,1.582094e-05,1.574151e-05,1.566366e-05,1.558737e-05,1.551263e-05,1.543940e-05,1.536768e-05
0.000000e+00,6.628751e-10,2.538652e-09,1.522077e-08,4.471841e-08,7.162115e-08,1.907109e-07,1.974042e-07,4.187426e-07,5.014017e-07,7.619931e-07,1.037959e-06,1.254970e-06,1.865685e-06,1.926652e-06,2.802581e-06,3.044940e-06,3.894334e-06,4.596800e-06,5.191046e-06,6.479595e-06,6.664691e-06,8.283047e-06,8.621455e-06,1.001718e-05,1.095636e-05,1.184243e-05,1.343015e-05,1.373714e-05,1.568145e-05,1.599588e-05,1.765669e-05,1.861057e-05,1.964520e-05,2.123438e-05,2.163040e-05,2.359697e-05,2.383103e-05,2.553105e-05,2.636854e-05,2.742041e-05,2.881986e-05,2.925451e-05,3.102457e-05,3.116318e-05,3.272348e-05,3.338185e-05,3.434578e-05,3.546412e-05,3.588752e-05,3.734611e-05,3.740270e-05,3.872014e-05,3.919400e-05,4.000926e-05,4.083758e-05,4.121398e-05,4.233563e-05,4.337597e-05,4.369204e-05,4.433718e-05,4.491210e-05,4.522202e-05,4.600222e-05,4.603330e-05,4.677417e-05,4.696943e-05,4.744781e-05,4.782108e-05,4.805749e-05,4.856473e-05,4.860650e-05,4.909812e-05,4.920792e-05,4.953554e-05,4.975799e-05,4.992189e-05,5.022206e-05,5.026022e-05,5.055346e-05,5.060695e-05,5.080445e-05,5.091917e-05,5.101590e-05,5.116487e-05,5.119041e-05,5.133045e-05,5.134982e-05,5.143837e-05,5.147941e-05,5.151639e-05,5.155870e-05,5.156662e-05,5.159108e-05,5.159237e-05,5.159165e-05,5.158479e-05,5.157010e-05,5.153998e-05,5.152812e-05,5.146730e-05,5.146166e-05,5.138911e-05,5.135329e-05,5.129496e-05,5.121803e-05,5.118617e-05,5.106395e-05,5.105880e-05,5.092948e-05,5.087829e-05,5.078384e-05,5.067894e-05,5.062804e-05,5.046304e-05,5.028971e-05,5.023263e-05,5.010891e-05,4.998963e-05,4.992140e-05,4.973576e-05,4.972791e-05,4.952912e-05,4.947260e-05,4.932566e-05,4.920159e-05,4.911813e-05,4.892406e-05,4.890706e-05,4.869298e-05,4.864120e-05,4.847635e-05,4.835410e-05,4.825763e-05,4.806374e-05,4.803721e-05,4.781550e-05,4.777103e-05,4.759282e-05,4.747677e-05,4.736953e-05,4.718170e-05,4.714591e-05,4.692225e-05,4.688648e-05,4.669880e-05,4.659170e-05,4.647581e-05,4.629790e-05,4.625350e-05,4.603206e-05,4.600556e-05,4.581169e-05,4.571510e-05,4.559254e-05,4.542692e-05,4.537479e-05,4.515857e-05,4.514134e-05,4.494401e-05,4.485867e-05,4.473122e-05,4.457917e-05,4.452032e-05,4.431140e-05,4.430308e-05,4.410454e-05,4.403059e-05,4.389983e-05,4.376189e-05,4.369733e-05,4.349711e-05,4.323638e-05,4.297982e-05,4.272750e-05,4.247950e-05,4.223588e-05,4.199666e-05,4.176189e-05,4.153158e-05,4.130573e-05,4.108434e-05,4.086739e-05,4.065488e-05,4.044676e-05,4.024302e-05,4.004360e-05,3.984847e-05,3.965758e-05,3.947089e-05,3.928833e-05,3.910985e-05,3.893539e-05,3.876489e-05,3.859829e-05,3.843552e-05
0.000000e+00,1.167005e-08,2.709023e-08,9.469345e-08,2.176933e-07,3.193370e-07,7.360637e-07,7.587699e-07,1.497379e-06,1.771358e-06,2.638818e-06,3.568432e-06,4.308061e-06,6.421578e-06,6.634382e-06,9.702131e-06,1.054947e-05,1.349765e-05,1.590478e-05,1.791878e-05,2.222397e-05,2.283630e-05,2.813721e-05,2.923527e-05,3.373347e-05,3.673683e-05,3.955619e-05,4.458045e-05,4.554851e-05,5.166084e-05,5.264689e-05,5.784824e-05,6.083259e-05,6.406935e-05,6.904475e-05,7.028601e-05,7.646340e-05,7.720052e-05,8.257015e-05,8.522747e-05,8.857859e-05,9.306435e-05,9.446470e-05,1.002080e-04,1.006607e-04,1.057916e-04,1.079773e-04,1.112021e-04,1.149842e-04,1.164286e-04,1.214632e-04,1.216605e-04,1.263004e-04,1.279928e-04,1.309368e-04,1.339740e-04,1.353709e-04,1.396025e-04,1.436329e-04,1.448805e-04,1.474645e-04,1.498137e-04,1.511003e-04,1.544103e-04,1.545444e-04,1.578011e-04,1.586801e-04,1.608755e-04,1.626347e-04,1.637727e-04,1.662865e-04,1.664983e-04,1.690579e-04,1.696480e-04,1.714569e-04,1.727324e-04,1.737012e-04,1.755528e-04,1.757965e-04,1.777485e-04,1.781222e-04,1.795628e-04,1.804537e-04,1.812450e-04,1.825599e-04,1.828004e-04,1.842345e-04,1.844530e-04,1.855524e-04,1.861452e-04,1.867592e-04,1.876480e-04,1.878599e-04,1.888593e-04,1.889726e-04,1.897619e-04,1.901296e-04,1.905724e-04,1.911295e-04,1.912952e-04,1.919343e-04,1.919820e-04,1.924940e-04,1.926966e-04,1.929782e-04,1.932822e-04,1.933906e-04,1.937350e-04,1.937474e-04,1.940148e-04,1.941004e-04,1.942334e-04,1.943489e-04,1.943942e-04,1.945003e-04,1.945546e-04,1.945615e-04,1.945600e-04,1.945392e-04,1.945195e-04,1.944397e-04,1.944355e-04,1.943107e-04,1.942688e-04,1.941475e-04,1.940322e-04,1.939483e-04,1.937352e-04,1.937154e-04,1.934507e-04,1.933827e-04,1.931565e-04,1.929796e-04,1.928347e-04,1.925302e-04,1.924872e-04,1.921157e-04,1.920386e-04,1.917219e-04,1.915090e-04,1.913076e-04,1.909448e-04,1.908743e-04,1.904234e-04,1.903497e-04,1.899564e-04,1.897269e-04,1.894746e-04,1.890793e-04,1.889793e-04,1.884717e-04,1.884100e-04,1.879530e-04,1.877215e-04,1.874243e-04,1.870165e-04,1.868867e-04,1.863411e-04,1.862971e-04,1.857884e-04,1.855656e-04,1.852297e-04,1.848241e-04,1.846657e-04,1.840972e-04,1.840744e-04,1.835251e-04,1.833183e-04,1.829499e-04,1.825575e-04,1.823725e-04,1.817934e-04,1.810274e-04,1.802610e-04,1.794952e-04,1.787311e-04,1.779699e-04,1.772124e-04,1.764596e-04,1.757121e-04,1.749707e-04,1.742361e-04,1.735088e-04,1.727894e-04,1.720784e-04,1.713762e-04,1.706831e-04,1.699996e-04,1.693259e-04,1.686622e-04,1.680089e-04,1.673660e-04,1.667338e-04,1.661124e-04,1.655019e-04,1.649023e-04
0.000000e+00,5.447516e-09,1.253052e-08,4.343948e-08,9.970431e-08,1.463560e-07,3.393641e-07,3.499602e-07,6.987072e-07,8.298847e-07,1.250534e-06,1.708400e-06,2.076375e-06,3.136687e-06,3.243693e-06,4.781256e-06,5.203213e-06,6.661280e-06,7.842376e-06,8.826368e-06,1.092420e-05,1.122248e-05,1.380965e-05,1.434736e-05,1.655953e-05,1.804650e-05,1.945074e-05,2.197540e-05,2.246534e-05,2.558674e-05,2.609498e-05,2.879861e-05,3.036761e-05,3.208446e-05,3.475514e-05,3.542752e-05,3.881091e-05,3.921882e-05,4.221787e-05,4.372017e-05,4.563205e-05,4.822197e-05,4.903776e-05,5.242022e-05,5.268939e-05,5.576573e-05,5.709075e-05,5.906182e-05,6.139810e-05,6.229736e-05,6.546253e-05,6.558755e-05,6.854890e-05,6.963928e-05,7.154932e-05,7.353747e-05,7.445793e-05,7.727001e-05,7.998195e-05,8.082816e-05,8.259111e-05,8.420619e-05,8.509573e-05,8.740091e-05,8.749484e-05,8.978816e-05,9.041136e-05,9.197599e-05,9.323838e-05,9.405915e-05,9.588428e-05,9.603888e-05,9.791680e-05,9.835256e-05,9.969481e-05,1.006476e-04,1.013750e-04,1.027746e-04,1.029599e-04,1.044518e-04,1.047392e-04,1.058533e-04,1.065473e-04,1.071673e-04,1.082053e-04,1.083964e-04,1.095434e-04,1.097194e-04,1.106110e-04,1.110962e-04,1.116022e-04,1.123419e-04,1.125196e-04,1.133661e-04,1.134630e-04,1.141443e-04,1.144657e-04,1.148568e-04,1.153561e-04,1.155063e-04,1.160954e-04,1.161400e-04,1.166265e-04,1.168232e-04,1.171020e-04,1.174113e-04,1.175244e-04,1.178958e-04,1.179097e-04,1.182186e-04,1.183234e-04,1.184950e-04,1.186574e-04,1.187269e-04,1.189165e-04,1.190657e-04,1.191052e-04,1.191763e-04,1.192278e-04,1.192504e-04,1.192886e-04,1.192895e-04,1.192954e-04,1.192914e-04,1.192698e-04,1.192400e-04,1.192143e-04,1.191380e-04,1.191303e-04,1.190193e-04,1.189889e-04,1.188829e-04,1.187958e-04,1.187222e-04,1.185619e-04,1.185387e-04,1.183336e-04,1.182901e-04,1.181081e-04,1.179831e-04,1.178633e-04,1.176437e-04,1.176004e-04,1.173205e-04,1.172742e-04,1.170246e-04,1.168771e-04,1.167136e-04,1.164546e-04,1.163885e-04,1.160503e-04,1.160088e-04,1.156997e-04,1.155417e-04,1.153376e-04,1.150552e-04,1.149648e-04,1.145821e-04,1.145511e-04,1.141902e-04,1.140310e-04,1.137898e-04,1.134966e-04,1.133815e-04,1.129660e-04,1.129493e-04,1.125439e-04,1.123905e-04,1.121158e-04,1.118216e-04,1.116822e-04,1.112437e-04,1.106581e-04,1.100659e-04,1.094681e-04,1.088656e-04,1.082593e-04,1.076502e-04,1.070389e-04,1.064262e-04,1.058129e-04,1.051995e-04,1.045867e-04,1.039750e-04,1.033649e-04,1.027568e-04,1.021514e-04,1.015489e-04,1.009497e-04,1.003542e-04,9.976269e-05,9.917549e-05,9.859286e-05,9.801504e-05,9.744226e-05,9.687472e-05
0.000000e+00,1.490911e-09,3.428202e-09,1.186551e-08,2.714483e-08,3.973416e-08,9.109723e-08,9.388552e-08,1.840797e-07,2.173098e-07,3.218349e-07,4.328605e-07,5.205827e-07,7.688536e-07,7.936867e-07,1.149376e-06,1.247116e-06,1.586791e-06,1.864779e-06,2.098519e-06,2.603354e-06,2.675833e-06,3.311289e-06,3.444811e-06,3.998896e-06,4.375351e-06,4.733560e-06,5.383590e-06,5.510565e-06,6.325253e-06,6.458784e-06,7.172867e-06,7.589984e-06,8.048508e-06,8.765829e-06,8.947157e-06,9.863752e-06,9.974710e-06,1.079327e-05,1.120509e-05,1.173083e-05,1.244586e-05,1.267174e-05,1.361159e-05,1.368661e-05,1.454631e-05,1.491791e-05,1.547219e-05,1.613150e-05,1.638595e-05,1.728470e-05,1.732030e-05,1.816594e-05,1.847847e-05,1.902749e-05,1.960119e-05,1.986759e-05,2.068478e-05,2.147793e-05,2.172652e-05,2.224621e-05,2.272456e-05,2.298899e-05,2.367771e-05,2.370588e-05,2.439667e-05,2.458540e-05,2.506131e-05,2.544758e-05,2.569991e-05,2.626461e-05,2.631269e-05,2.689997e-05,2.703716e-05,2.746214e-05,2.776617e-05,2.799968e-05,2.845274e-05,2.851310e-05,2.900296e-05,2.909816e-05,2.946987e-05,2.970379e-05,2.991443e-05,3.027105e-05,3.033728e-05,3.073906e-05,3.080143e-05,3.112043e-05,3.129643e-05,3.148204e-05,3.175754e-05,3.182454e-05,3.214856e-05,3.218623e-05,3.245475e-05,3.258399e-05,3.274374e-05,3.295223e-05,3.301612e-05,3.327252e-05,3.329236e-05,3.351352e-05,3.360573e-05,3.373969e-05,3.389366e-05,3.395159e-05,3.414977e-05,3.415742e-05,3.433477e-05,3.439823e-05,3.450708e-05,3.461727e-05,3.466722e-05,3.481567e-05,3.495290e-05,3.499452e-05,3.507936e-05,3.515485e-05,3.519550e-05,3.529766e-05,3.530173e-05,3.539846e-05,3.542390e-05,3.548610e-05,3.553448e-05,3.556504e-05,3.563027e-05,3.563562e-05,3.569823e-05,3.571210e-05,3.575319e-05,3.578076e-05,3.580084e-05,3.583699e-05,3.584151e-05,3.587550e-05,3.588152e-05,3.590310e-05,3.591503e-05,3.592461e-05,3.593818e-05,3.594031e-05,3.595044e-05,3.595157e-05,3.595528e-05,3.595580e-05,3.595507e-05,3.595143e-05,3.595005e-05,3.594043e-05,3.593898e-05,3.592646e-05,3.591898e-05,3.590832e-05,3.589189e-05,3.588623e-05,3.586039e-05,3.585816e-05,3.583097e-05,3.581825e-05,3.579817e-05,3.577255e-05,3.576215e-05,3.572308e-05,3.572145e-05,3.568112e-05,3.566533e-05,3.563642e-05,3.560454e-05,3.558913e-05,3.553940e-05,3.547024e-05,3.539734e-05,3.532101e-05,3.524149e-05,3.515905e-05,3.507393e-05,3.498636e-05,3.489654e-05,3.480468e-05,3.471098e-05,3.461561e-05,3.451876e-05,3.442057e-05,3.432121e-05,3.422081e-05,3.411952e-05,3.401746e-05,3.391475e-05,3.381151e-05,3.370785e-05,3.360386e-05,3.349965e-05,3.339529e-05,3.329089e-05
0.000000e+00,4.157879e-13,3.006944e-12,5.070902e-11,2.981574e-10,6.492785e-10,3.210269e-09,3.392963e-09,1.105561e-08,1.454510e-08,2.707893e-08,4.218383e-08,5.499329e-08,9.397399e-08,9.804400e-08,1.590247e-07,1.765935e-07,2.402280e-07,2.952187e-07,3.434287e-07,4.534193e-07,4.698389e-07,6.199978e-07,6.528690e-07,7.935902e-07,8.927140e-07,9.892610e-07,1.168916e-06,1.204549e-06,1.436040e-06,1.474318e-06,1.679715e-06,1.799772e-06,1.931380e-06,2.135744e-06,2.187005e-06,2.442950e-06,2.473530e-06,2.696059e-06,2.805828e-06,2.943679e-06,3.126841e-06,3.183629e-06,3.414167e-06,3.432161e-06,3.633946e-06,3.718612e-06,3.841973e-06,3.984086e-06,4.037574e-06,4.220356e-06,4.227397e-06,4.390168e-06,4.448132e-06,4.547071e-06,4.646503e-06,4.691295e-06,4.823210e-06,4.943292e-06,4.979309e-06,5.052099e-06,5.116098e-06,5.150240e-06,5.235018e-06,5.238359e-06,5.317113e-06,5.337576e-06,5.387160e-06,5.425279e-06,5.449148e-06,5.499596e-06,5.503701e-06,5.551420e-06,5.561920e-06,5.592874e-06,5.613553e-06,5.628598e-06,5.655692e-06,5.659091e-06,5.684816e-06,5.689428e-06,5.706203e-06,5.715742e-06,5.723646e-06,5.735515e-06,5.737506e-06,5.748115e-06,5.749531e-06,5.755773e-06,5.758483e-06,5.760756e-06,5.762987e-06,5.763317e-06,5.763683e-06,5.763589e-06,5.762061e-06,5.760767e-06,5.758640e-06,5.754942e-06,5.753589e-06,5.747063e-06,5.746482e-06,5.739204e-06,5.735717e-06,5.730140e-06,5.722934e-06,5.719987e-06,5.708850e-06,5.708385e-06,5.696824e-06,5.692295e-06,5.683998e-06,5.674860e-06,5.670452e-06,5.656259e-06,5.641486e-06,5.636646e-06,5.626193e-06,5.616159e-06,5.610437e-06,5.594922e-06,5.594268e-06,5.577732e-06,5.573042e-06,5.560874e-06,5.550621e-06,5.543732e-06,5.527744e-06,5.526345e-06,5.508745e-06,5.504492e-06,5.490962e-06,5.480935e-06,5.473027e-06,5.457137e-06,5.454964e-06,5.436798e-06,5.433155e-06,5.418554e-06,5.409042e-06,5.400250e-06,5.384844e-06,5.381907e-06,5.363543e-06,5.360604e-06,5.345174e-06,5.336359e-06,5.326815e-06,5.312145e-06,5.308481e-06,5.290184e-06,5.287992e-06,5.271938e-06,5.263928e-06,5.253753e-06,5.239981e-06,5.235641e-06,5.217610e-06,5.216171e-06,5.199670e-06,5.192521e-06,5.181829e-06,5.169049e-06,5.164095e-06,5.146474e-06,5.145772e-06,5.128973e-06,5.122703e-06,5.111598e-06,5.099858e-06,5.094355e-06,5.077247e-06,5.054882e-06,5.032772e-06,5.010925e-06,4.989349e-06,4.968050e-06,4.947033e-06,4.926303e-06,4.905863e-06,4.885718e-06,4.865869e-06,4.846318e-06,4.827068e-06,4.808118e-06,4.789469e-06,4.771122e-06,4.753076e-06,4.735330e-06,4.717883e-06,4.700735e-06,4.683883e-06,4.667326e-06,4.651061e-06,4.635088e-06,4.619402e-06
0.000000e+00,3.291221e-14,2.749636e-13,6.211484e-12,4.727148e-11,1.181789e-10,8.246628e-10,8.835652e-10,3.980059e-09,5.701327e-09,1.307618e-08,2.398864e-08,3.470958e-08,7.441140e-08,7.911693e-08,1.609350e-07,1.881867e-07,2.994221e-07,4.101879e-07,5.175020e-07,7.943137e-07,8.391207e-07,1.285333e-06,1.390936e-06,1.870381e-06,2.231475e-06,2.599058e-06,3.318487e-06,3.465984e-06,4.456671e-06,4.625311e-06,5.549756e-06,6.103409e-06,6.719748e-06,7.692956e-06,7.939635e-06,9.183031e-06,9.332638e-06,1.042572e-05,1.096672e-05,1.164661e-05,1.254898e-05,1.282815e-05,1.395641e-05,1.404403e-05,1.502089e-05,1.542708e-05,1.601422e-05,1.668264e-05,1.693172e-05,1.777103e-05,1.780297e-05,1.853172e-05,1.878648e-05,1.921486e-05,1.963625e-05,1.982277e-05,2.035868e-05,2.082649e-05,2.096251e-05,2.123056e-05,2.145784e-05,2.157550e-05,2.185543e-05,2.186607e-05,2.210700e-05,2.216620e-05,2.230291e-05,2.240071e-05,2.245826e-05,2.256897e-05,2.257725e-05,2.266380e-05,2.268016e-05,2.272157e-05,2.274259e-05,2.275388e-05,2.276367e-05,2.276376e-05,2.275395e-05,2.274985e-05,2.272690e-05,2.270676e-05,2.268479e-05,2.263921e-05,2.262956e-05,2.256292e-05,2.255130e-05,2.248638e-05,2.244652e-05,2.240127e-05,2.232781e-05,2.230876e-05,2.220987e-05,2.219762e-05,2.210550e-05,2.205805e-05,2.199643e-05,2.191083e-05,2.188336e-05,2.176689e-05,2.175744e-05,2.164755e-05,2.159911e-05,2.152581e-05,2.143690e-05,2.140208e-05,2.127675e-05,2.127170e-05,2.115012e-05,2.110428e-05,2.102249e-05,2.093527e-05,2.089413e-05,2.076525e-05,2.063607e-05,2.059469e-05,2.050676e-05,2.042402e-05,2.037750e-05,2.025359e-05,2.024843e-05,2.011968e-05,2.008371e-05,1.999139e-05,1.991467e-05,1.986364e-05,1.974670e-05,1.973656e-05,1.961021e-05,1.958000e-05,1.948468e-05,1.941477e-05,1.936005e-05,1.925116e-05,1.923637e-05,1.911371e-05,1.908930e-05,1.899211e-05,1.892932e-05,1.887163e-05,1.877131e-05,1.875230e-05,1.863416e-05,1.861537e-05,1.851724e-05,1.846157e-05,1.840158e-05,1.830996e-05,1.828719e-05,1.817409e-05,1.816061e-05,1.806232e-05,1.801355e-05,1.795187e-05,1.786883e-05,1.784276e-05,1.773501e-05,1.772645e-05,1.762862e-05,1.758645e-05,1.752360e-05,1.744884e-05,1.741996e-05,1.731768e-05,1.731362e-05,1.721679e-05,1.718080e-05,1.711727e-05,1.705038e-05,1.701912e-05,1.692234e-05,1.679668e-05,1.667339e-05,1.655245e-05,1.643384e-05,1.631754e-05,1.620353e-05,1.609178e-05,1.598227e-05,1.587497e-05,1.576985e-05,1.566687e-05,1.556602e-05,1.546726e-05,1.537055e-05,1.527586e-05,1.518317e-05,1.509243e-05,1.500361e-05,1.491668e-05,1.483161e-05,1.474837e-05,1.466691e-05,1.458720e-05,1.450922e-05
0.000000e+00,4.375825e-12,2.999103e-11,4.559321e-10,2.462577e-09,5.139024e-09,2.306576e-08,2.429237e-08,7.329518e-08,9.471966e-08,1.694906e-07,2.570577e-07,3.300975e-07,5.487980e-07,5.714442e-07,9.088515e-07,1.005734e-06,1.356601e-06,1.660428e-06,1.927603e-06,2.540553e-06,2.632474e-06,3.477878e-06,3.664011e-06,4.464528e-06,5.031507e-06,5.585810e-06,6.621946e-06,6.828126e-06,8.172932e-06,8.396233e-06,9.599473e-06,1.030713e-05,1.108708e-05,1.230813e-05,1.261651e-05,1.417053e-05,1.435792e-05,1.573391e-05,1.642126e-05,1.729330e-05,1.846856e-05,1.883708e-05,2.035518e-05,2.047525e-05,2.183903e-05,2.242132e-05,2.328142e-05,2.429093e-05,2.467648e-05,2.601952e-05,2.607211e-05,2.730702e-05,2.775641e-05,2.853647e-05,2.933847e-05,2.970625e-05,3.081557e-05,3.186433e-05,3.218721e-05,3.285300e-05,3.345463e-05,3.378251e-05,3.462044e-05,3.465422e-05,3.546973e-05,3.568826e-05,3.623093e-05,3.666240e-05,3.693982e-05,3.754765e-05,3.759856e-05,3.820935e-05,3.834905e-05,3.877443e-05,3.907174e-05,3.929604e-05,3.972085e-05,3.977638e-05,4.021763e-05,4.030138e-05,4.062190e-05,4.081819e-05,4.099123e-05,4.127591e-05,4.132759e-05,4.163285e-05,4.167893e-05,4.190883e-05,4.203141e-05,4.215724e-05,4.233722e-05,4.237972e-05,4.257781e-05,4.260001e-05,4.275296e-05,4.282311e-05,4.290655e-05,4.300967e-05,4.303989e-05,4.315422e-05,4.316258e-05,4.325071e-05,4.328455e-05,4.333044e-05,4.337806e-05,4.339445e-05,4.344371e-05,4.344539e-05,4.347913e-05,4.348866e-05,4.350158e-05,4.350985e-05,4.351187e-05,4.351076e-05,4.349897e-05,4.349305e-05,4.347718e-05,4.345827e-05,4.344601e-05,4.340783e-05,4.340607e-05,4.335792e-05,4.334304e-05,4.330210e-05,4.326513e-05,4.323910e-05,4.317521e-05,4.316940e-05,4.309342e-05,4.307430e-05,4.301160e-05,4.296337e-05,4.292432e-05,4.284329e-05,4.283195e-05,4.273484e-05,4.271488e-05,4.263332e-05,4.257889e-05,4.252770e-05,4.243602e-05,4.241827e-05,4.230531e-05,4.228692e-05,4.218907e-05,4.213219e-05,4.206980e-05,4.197237e-05,4.194774e-05,4.182309e-05,4.180797e-05,4.169608e-05,4.163949e-05,4.156688e-05,4.146734e-05,4.143569e-05,4.130267e-05,4.129195e-05,4.116799e-05,4.111369e-05,4.103181e-05,4.093291e-05,4.089427e-05,4.075551e-05,4.074994e-05,4.061567e-05,4.056508e-05,4.047485e-05,4.037860e-05,4.033318e-05,4.019078e-05,4.000184e-05,3.981202e-05,3.962153e-05,3.943055e-05,3.923927e-05,3.904785e-05,3.885645e-05,3.866521e-05,3.847426e-05,3.828372e-05,3.809371e-05,3.790434e-05,3.771570e-05,3.752788e-05,3.734096e-05,3.715503e-05,3.697014e-05,3.678638e-05,3.660379e-05,3.642243e-05,3.624235e-05,3.606360e-05,3.588621e-05,3.571024e-05
0.000000e+00,4.342395e-14,3.589134e-13,7.926869e-12,5.906619e-11,1.459199e-10,9.860360e-10,1.055028e-09,4.589572e-09,6.508238e-09,1.453051e-08,2.603731e-08,3.706657e-08,7.641981e-08,8.096869e-08,1.575155e-07,1.822042e-07,2.802158e-07,3.746972e-07,4.642243e-07,6.893289e-07,7.252116e-07,1.077595e-06,1.160095e-06,1.532453e-06,1.811695e-06,2.095752e-06,2.652850e-06,2.767417e-06,3.541434e-06,3.674097e-06,4.406788e-06,4.850409e-06,5.348875e-06,6.146617e-06,6.351016e-06,7.395827e-06,7.523254e-06,8.466258e-06,8.941191e-06,9.546313e-06,1.036461e-05,1.062150e-05,1.167903e-05,1.176253e-05,1.270788e-05,1.310926e-05,1.369878e-05,1.438439e-05,1.464411e-05,1.553781e-05,1.557242e-05,1.637530e-05,1.666236e-05,1.715330e-05,1.764729e-05,1.786979e-05,1.852382e-05,1.911545e-05,1.929171e-05,1.964556e-05,1.995326e-05,2.011577e-05,2.051288e-05,2.052831e-05,2.088587e-05,2.097654e-05,2.119150e-05,2.135132e-05,2.144850e-05,2.164496e-05,2.166032e-05,2.183047e-05,2.186549e-05,2.196243e-05,2.202094e-05,2.205965e-05,2.211908e-05,2.212542e-05,2.216289e-05,2.216725e-05,2.217504e-05,2.217228e-05,2.216464e-05,2.214037e-05,2.213426e-05,2.208627e-05,2.207710e-05,2.202282e-05,2.198745e-05,2.194585e-05,2.187575e-05,2.185715e-05,2.175829e-05,2.174582e-05,2.165070e-05,2.160091e-05,2.153562e-05,2.144387e-05,2.141420e-05,2.128743e-05,2.127708e-05,2.115619e-05,2.110262e-05,2.102126e-05,2.092222e-05,2.088334e-05,2.074302e-05,2.073737e-05,2.060084e-05,2.054930e-05,2.045727e-05,2.035906e-05,2.031272e-05,2.016756e-05,2.002209e-05,1.997553e-05,1.987661e-05,1.978361e-05,1.973136e-05,1.959233e-05,1.958655e-05,1.944237e-05,1.940213e-05,1.929899e-05,1.921341e-05,1.915655e-05,1.902646e-05,1.901519e-05,1.887501e-05,1.884156e-05,1.873612e-05,1.865893e-05,1.859859e-05,1.847875e-05,1.846250e-05,1.832791e-05,1.830118e-05,1.819488e-05,1.812634e-05,1.806346e-05,1.795434e-05,1.793368e-05,1.780558e-05,1.778525e-05,1.767919e-05,1.761913e-05,1.755452e-05,1.745605e-05,1.743160e-05,1.731044e-05,1.729602e-05,1.719104e-05,1.713907e-05,1.707342e-05,1.698521e-05,1.695757e-05,1.684350e-05,1.683445e-05,1.673120e-05,1.668678e-05,1.662067e-05,1.654218e-05,1.651190e-05,1.640489e-05,1.640064e-05,1.629962e-05,1.626214e-05,1.619607e-05,1.612665e-05,1.609425e-05,1.599413e-05,1.586455e-05,1.573787e-05,1.561405e-05,1.549306e-05,1.537483e-05,1.525933e-05,1.514651e-05,1.503633e-05,1.492872e-05,1.482365e-05,1.472106e-05,1.462090e-05,1.452313e-05,1.442768e-05,1.433452e-05,1.424359e-05,1.415485e-05,1.406823e-05,1.398371e-05,1.390122e-05,1.382071e-05,1.374216e-05,1.366549e-05,1.359068e-05
0.000000e+00,2.837123e-15,2.478815e-14,6.152123e-13,5.109058e-12,1.340812e-11,1.062883e-10,1.144795e-10,5.869945e-10,8.713713e-10,2.187453e-09,4.319801e-09,6.559265e-09,1.566341e-08,1.680705e-08,3.819957e-08,4.582681e-08,7.886145e-08,1.141696e-07,1.502215e-07,2.500461e-07,2.670203e-07,4.468207e-07,4.920343e-07,7.091066e-07,8.848209e-07,1.074131e-06,1.474665e-06,1.561683e-06,2.189931e-06,2.304591e-06,2.974425e-06,3.410199e-06,3.927336e-06,4.816615e-06,5.056923e-06,6.367262e-06,6.536685e-06,7.858179e-06,8.570424e-06,9.525371e-06,1.090544e-05,1.136068e-05,1.335248e-05,1.351816e-05,1.548616e-05,1.637561e-05,1.774466e-05,1.943747e-05,2.010901e-05,2.255890e-05,2.265838e-05,2.507326e-05,2.599009e-05,2.763073e-05,2.938363e-05,3.021018e-05,3.279111e-05,3.535400e-05,3.616730e-05,3.788063e-05,3.947088e-05,4.035433e-05,4.266534e-05,4.276010e-05,4.508478e-05,4.571957e-05,4.731706e-05,4.860809e-05,4.944754e-05,5.131111e-05,5.146862e-05,5.337452e-05,5.381431e-05,5.516112e-05,5.610849e-05,5.682586e-05,5.818910e-05,5.836761e-05,5.978651e-05,6.005564e-05,6.108384e-05,6.171112e-05,6.226184e-05,6.316138e-05,6.332360e-05,6.427289e-05,6.441462e-05,6.511403e-05,6.548074e-05,6.585177e-05,6.637091e-05,6.649117e-05,6.703753e-05,6.709710e-05,6.749625e-05,6.767174e-05,6.787280e-05,6.810736e-05,6.817261e-05,6.840104e-05,6.841639e-05,6.856335e-05,6.861090e-05,6.866461e-05,6.870247e-05,6.870971e-05,6.870335e-05,6.870209e-05,6.864998e-05,6.862008e-05,6.855382e-05,6.846602e-05,6.841884e-05,6.824879e-05,6.804715e-05,6.797649e-05,6.781718e-05,6.765652e-05,6.756188e-05,6.729559e-05,6.728408e-05,6.698631e-05,6.689969e-05,6.667099e-05,6.647429e-05,6.634030e-05,6.602421e-05,6.599624e-05,6.564067e-05,6.555381e-05,6.527526e-05,6.506692e-05,6.490156e-05,6.456695e-05,6.452096e-05,6.413472e-05,6.405690e-05,6.374400e-05,6.353940e-05,6.334984e-05,6.301678e-05,6.295318e-05,6.255488e-05,6.249105e-05,6.215571e-05,6.196400e-05,6.175635e-05,6.143716e-05,6.135745e-05,6.095954e-05,6.091189e-05,6.056315e-05,6.038933e-05,6.016871e-05,5.987050e-05,5.977663e-05,5.938726e-05,5.935624e-05,5.900093e-05,5.884730e-05,5.861790e-05,5.834431e-05,5.823843e-05,5.786273e-05,5.784779e-05,5.749101e-05,5.735819e-05,5.712341e-05,5.687588e-05,5.676010e-05,5.640118e-05,5.593432e-05,5.547550e-05,5.502487e-05,5.458255e-05,5.414862e-05,5.372312e-05,5.330608e-05,5.289749e-05,5.249733e-05,5.210556e-05,5.172213e-05,5.134697e-05,5.097999e-05,5.062111e-05,5.027023e-05,4.992724e-05,4.959202e-05,4.926447e-05,4.894445e-05,4.863185e-05,4.832652e-05,4.802835e-05,4.773720e-05,4.745292e-05
0.000000e+00,3.509627e-12,2.433037e-11,3.780556e-10,2.078685e-09,4.376959e-09,2.005663e-08,2.113961e-08,6.491994e-08,8.427234e-08,1.524471e-07,2.332207e-07,3.011966e-07,5.073382e-07,5.288759e-07,8.531040e-07,9.471365e-07,1.289859e-06,1.587985e-06,1.850059e-06,2.447344e-06,2.536191e-06,3.341978e-06,3.516482e-06,4.255220e-06,4.767747e-06,5.261324e-06,6.167459e-06,6.345617e-06,7.494181e-06,7.683029e-06,8.693900e-06,9.284248e-06,9.932285e-06,1.094276e-05,1.119735e-05,1.247760e-05,1.263173e-05,1.376219e-05,1.432615e-05,1.504102e-05,1.600339e-05,1.630491e-05,1.754572e-05,1.764377e-05,1.875645e-05,1.923097e-05,1.993124e-05,2.075213e-05,2.106534e-05,2.215509e-05,2.219771e-05,2.319781e-05,2.356132e-05,2.419176e-05,2.483925e-05,2.513595e-05,2.603010e-05,2.687450e-05,2.713431e-05,2.766989e-05,2.815374e-05,2.841742e-05,2.909132e-05,2.911849e-05,2.977476e-05,2.995072e-05,3.038800e-05,3.073609e-05,3.096012e-05,3.145182e-05,3.149306e-05,3.198878e-05,3.210243e-05,3.244924e-05,3.269241e-05,3.287636e-05,3.322615e-05,3.327204e-05,3.363807e-05,3.370787e-05,3.397620e-05,3.414157e-05,3.428811e-05,3.453099e-05,3.457536e-05,3.483947e-05,3.487967e-05,3.508186e-05,3.519089e-05,3.530387e-05,3.546765e-05,3.550676e-05,3.569172e-05,3.571277e-05,3.585987e-05,3.592881e-05,3.601226e-05,3.611814e-05,3.614986e-05,3.627359e-05,3.628292e-05,3.638432e-05,3.642515e-05,3.648285e-05,3.654666e-05,3.656993e-05,3.664628e-05,3.664912e-05,3.671254e-05,3.673405e-05,3.676935e-05,3.680287e-05,3.681727e-05,3.685685e-05,3.688861e-05,3.689719e-05,3.691301e-05,3.692497e-05,3.693050e-05,3.694119e-05,3.694151e-05,3.694641e-05,3.694675e-05,3.694560e-05,3.694250e-05,3.693940e-05,3.692922e-05,3.692814e-05,3.691214e-05,3.690762e-05,3.689167e-05,3.687837e-05,3.686702e-05,3.684206e-05,3.683843e-05,3.680614e-05,3.679926e-05,3.677038e-05,3.675049e-05,3.673137e-05,3.669623e-05,3.668930e-05,3.664437e-05,3.663693e-05,3.659676e-05,3.657300e-05,3.654663e-05,3.650482e-05,3.649414e-05,3.643946e-05,3.643275e-05,3.638271e-05,3.635712e-05,3.632404e-05,3.627824e-05,3.626357e-05,3.620143e-05,3.619639e-05,3.613773e-05,3.611184e-05,3.607258e-05,3.602483e-05,3.600608e-05,3.593834e-05,3.593560e-05,3.586944e-05,3.584437e-05,3.579948e-05,3.575134e-05,3.572853e-05,3.565669e-05,3.556060e-05,3.546323e-05,3.536475e-05,3.526528e-05,3.516498e-05,3.506395e-05,3.496233e-05,3.486022e-05,3.475773e-05,3.465494e-05,3.455196e-05,3.444887e-05,3.434574e-05,3.424265e-05,3.413967e-05,3.403687e-05,3.393430e-05,3.383203e-05,3.373010e-05,3.362857e-05,3.352747e-05,3.342687e-05,3.332678e-05,3.322726e-05
0.000000e+00,5.324598e-10,1.639791e-09,7.641271e-09,1.989682e-08,3.046078e-08,7.484009e-08,7.727007e-08,1.556751e-07,1.842782e-07,2.728743e-07,3.646963e-07,4.357560e-07,6.314806e-07,6.507330e-07,9.232473e-07,9.976667e-07,1.256895e-06,1.470796e-06,1.652173e-06,2.047951e-06,2.105086e-06,2.606428e-06,2.711379e-06,3.142877e-06,3.430821e-06,3.699831e-06,4.173862e-06,4.264200e-06,4.825659e-06,4.914678e-06,5.376551e-06,5.635530e-06,5.911318e-06,6.324782e-06,6.425944e-06,6.917560e-06,6.974905e-06,7.384183e-06,7.581229e-06,7.824541e-06,8.141207e-06,8.237948e-06,8.624193e-06,8.653922e-06,8.983454e-06,9.119703e-06,9.316218e-06,9.539802e-06,9.623213e-06,9.905348e-06,9.916131e-06,1.016366e-05,1.025104e-05,1.039928e-05,1.054713e-05,1.061337e-05,1.080714e-05,1.098179e-05,1.103384e-05,1.113851e-05,1.122993e-05,1.127844e-05,1.139802e-05,1.140271e-05,1.151238e-05,1.154061e-05,1.160848e-05,1.166003e-05,1.169198e-05,1.175845e-05,1.176378e-05,1.182476e-05,1.183787e-05,1.187572e-05,1.190017e-05,1.191743e-05,1.194705e-05,1.195060e-05,1.197589e-05,1.198006e-05,1.199394e-05,1.200065e-05,1.200532e-05,1.201012e-05,1.201058e-05,1.201021e-05,1.200966e-05,1.200470e-05,1.200035e-05,1.199447e-05,1.198317e-05,1.197994e-05,1.196149e-05,1.195903e-05,1.193948e-05,1.192874e-05,1.191422e-05,1.189303e-05,1.188601e-05,1.185513e-05,1.185255e-05,1.182184e-05,1.180790e-05,1.178637e-05,1.175962e-05,1.174895e-05,1.170980e-05,1.170820e-05,1.166908e-05,1.165408e-05,1.162699e-05,1.159767e-05,1.158369e-05,1.153931e-05,1.149402e-05,1.147935e-05,1.144792e-05,1.141806e-05,1.140115e-05,1.135571e-05,1.135381e-05,1.130600e-05,1.129254e-05,1.125782e-05,1.122877e-05,1.120936e-05,1.116458e-05,1.116068e-05,1.111188e-05,1.110015e-05,1.106300e-05,1.103563e-05,1.101413e-05,1.097116e-05,1.096530e-05,1.091658e-05,1.090685e-05,1.086801e-05,1.084283e-05,1.081963e-05,1.077918e-05,1.077149e-05,1.072362e-05,1.071599e-05,1.067606e-05,1.065335e-05,1.062884e-05,1.059131e-05,1.058197e-05,1.053549e-05,1.052994e-05,1.048943e-05,1.046929e-05,1.044379e-05,1.040941e-05,1.039860e-05,1.035388e-05,1.035032e-05,1.030963e-05,1.029207e-05,1.026588e-05,1.023468e-05,1.022263e-05,1.017989e-05,1.017819e-05,1.013767e-05,1.012260e-05,1.009598e-05,1.006793e-05,1.005482e-05,1.001420e-05,9.961414e-06,9.909581e-06,9.858704e-06,9.808787e-06,9.759828e-06,9.711826e-06,9.664778e-06,9.618679e-06,9.573524e-06,9.529304e-06,9.486012e-06,9.443638e-06,9.402173e-06,9.361606e-06,9.321926e-06,9.283120e-06,9.245177e-06,9.208084e-06,9.171827e-06,9.136395e-06,9.101772e-06,9.067947e-06,9.034904e-06,9.002629e-06
0.000000e+00,2.766364e-11,1.653535e-10,1.953118e-09,8.694070e-09,1.654897e-08,6.112880e-08,6.394883e-08,1.681200e-07,2.109530e-07,3.551992e-07,5.193235e-07,6.546750e-07,1.058669e-06,1.100608e-06,1.730320e-06,1.912765e-06,2.577253e-06,3.153634e-06,3.657956e-06,4.795622e-06,4.963262e-06,6.463934e-06,6.784366e-06,8.124533e-06,9.040408e-06,9.913143e-06,1.149539e-05,1.180386e-05,1.377565e-05,1.409743e-05,1.581060e-05,1.680504e-05,1.789265e-05,1.958223e-05,2.000701e-05,2.213994e-05,2.239653e-05,2.427870e-05,2.521856e-05,2.641165e-05,2.802231e-05,2.852830e-05,3.061940e-05,3.078533e-05,3.267690e-05,3.348892e-05,3.469395e-05,3.611795e-05,3.666487e-05,3.858500e-05,3.866069e-05,4.045066e-05,4.110841e-05,4.225905e-05,4.345496e-05,4.400809e-05,4.569638e-05,4.732305e-05,4.783050e-05,4.888774e-05,4.985661e-05,5.039048e-05,5.177515e-05,5.183162e-05,5.321179e-05,5.358743e-05,5.453186e-05,5.529547e-05,5.579284e-05,5.690177e-05,5.699591e-05,5.814235e-05,5.840922e-05,5.923352e-05,5.982096e-05,6.027084e-05,6.114027e-05,6.125573e-05,6.218971e-05,6.237053e-05,6.307432e-05,6.351533e-05,6.391113e-05,6.457824e-05,6.470168e-05,6.544743e-05,6.556269e-05,6.614987e-05,6.647211e-05,6.681054e-05,6.730997e-05,6.743088e-05,6.801230e-05,6.807952e-05,6.855619e-05,6.878399e-05,6.906398e-05,6.942657e-05,6.953700e-05,6.997654e-05,7.001030e-05,7.038388e-05,7.053808e-05,7.076027e-05,7.101279e-05,7.110693e-05,7.142507e-05,7.143722e-05,7.171581e-05,7.181399e-05,7.198028e-05,7.214566e-05,7.221955e-05,7.243467e-05,7.262666e-05,7.268338e-05,7.279651e-05,7.289404e-05,7.294517e-05,7.306880e-05,7.307356e-05,7.318258e-05,7.320975e-05,7.327309e-05,7.331885e-05,7.334592e-05,7.339801e-05,7.340188e-05,7.344175e-05,7.344901e-05,7.346628e-05,7.347359e-05,7.347619e-05,7.347338e-05,7.347219e-05,7.345494e-05,7.344996e-05,7.342510e-05,7.340481e-05,7.338328e-05,7.333935e-05,7.333011e-05,7.326614e-05,7.325495e-05,7.319195e-05,7.315287e-05,7.310808e-05,7.303435e-05,7.301503e-05,7.291331e-05,7.290055e-05,7.280340e-05,7.275257e-05,7.268576e-05,7.259145e-05,7.256082e-05,7.242902e-05,7.241819e-05,7.229077e-05,7.223374e-05,7.214644e-05,7.203899e-05,7.199643e-05,7.184109e-05,7.183477e-05,7.168076e-05,7.162189e-05,7.151579e-05,7.140112e-05,7.134649e-05,7.117316e-05,7.093869e-05,7.069835e-05,7.045275e-05,7.020246e-05,6.994802e-05,6.968992e-05,6.942866e-05,6.916468e-05,6.889841e-05,6.863023e-05,6.836053e-05,6.808966e-05,6.781794e-05,6.754568e-05,6.727318e-05,6.700070e-05,6.672850e-05,6.645681e-05,6.618585e-05,6.591582e-05,6.564692e-05,6.537932e-05,6.511319e-05,6.484868e-05
0.000000e+00,1.849247e-12,1.348565e-11,2.322906e-10,1.403217e-09,3.115767e-09,1.655473e-08,1.756210e-08,6.410753e-08,8.765767e-08,1.819680e-07,3.116205e-07,4.316640e-07,8.310982e-07,8.746030e-07,1.538908e-06,1.730344e-06,2.409829e-06,2.973518e-06,3.448273e-06,4.467374e-06,4.612522e-06,5.869028e-06,6.129136e-06,7.193603e-06,7.903247e-06,8.568570e-06,9.752042e-06,9.979724e-06,1.141434e-05,1.164523e-05,1.286025e-05,1.355485e-05,1.430574e-05,1.545433e-05,1.573969e-05,1.715186e-05,1.731941e-05,1.853321e-05,1.912921e-05,1.987603e-05,2.086689e-05,2.117404e-05,2.242234e-05,2.251994e-05,2.361738e-05,2.407992e-05,2.475679e-05,2.554192e-05,2.583922e-05,2.686424e-05,2.690404e-05,2.783209e-05,2.816666e-05,2.874360e-05,2.933190e-05,2.960007e-05,3.040308e-05,3.115449e-05,3.138436e-05,3.185628e-05,3.228036e-05,3.251056e-05,3.309597e-05,3.311948e-05,3.368519e-05,3.383614e-05,3.420983e-05,3.450578e-05,3.469550e-05,3.510966e-05,3.514425e-05,3.555804e-05,3.565236e-05,3.593878e-05,3.613825e-05,3.628830e-05,3.657144e-05,3.660834e-05,3.690056e-05,3.695581e-05,3.716654e-05,3.729499e-05,3.740779e-05,3.759237e-05,3.762573e-05,3.782172e-05,3.785112e-05,3.799702e-05,3.807418e-05,3.815285e-05,3.826427e-05,3.829036e-05,3.841062e-05,3.842394e-05,3.851465e-05,3.855554e-05,3.860343e-05,3.866125e-05,3.867784e-05,3.873877e-05,3.874308e-05,3.878701e-05,3.880292e-05,3.882332e-05,3.884249e-05,3.884844e-05,3.886303e-05,3.886340e-05,3.886774e-05,3.886714e-05,3.886318e-05,3.885507e-05,3.884991e-05,3.882847e-05,3.879938e-05,3.878853e-05,3.876310e-05,3.873632e-05,3.872009e-05,3.867287e-05,3.867078e-05,3.861557e-05,3.859911e-05,3.855484e-05,3.851590e-05,3.848895e-05,3.842405e-05,3.841823e-05,3.834300e-05,3.832431e-05,3.826357e-05,3.821736e-05,3.818023e-05,3.810385e-05,3.809323e-05,3.800283e-05,3.798437e-05,3.790928e-05,3.785947e-05,3.781281e-05,3.772966e-05,3.771361e-05,3.761190e-05,3.759541e-05,3.750788e-05,3.745717e-05,3.740171e-05,3.731535e-05,3.729357e-05,3.718362e-05,3.717032e-05,3.707203e-05,3.702243e-05,3.695892e-05,3.687203e-05,3.684443e-05,3.672871e-05,3.671940e-05,3.661186e-05,3.656484e-05,3.649401e-05,3.640860e-05,3.637526e-05,3.625572e-05,3.625092e-05,3.613549e-05,3.609205e-05,3.601465e-05,3.593218e-05,3.589330e-05,3.577152e-05,3.561024e-05,3.544852e-05,3.528650e-05,3.512435e-05,3.496218e-05,3.480014e-05,3.463833e-05,3.447687e-05,3.431585e-05,3.415536e-05,3.399550e-05,3.383634e-05,3.367795e-05,3.352041e-05,3.336377e-05,3.320809e-05,3.305343e-05,3.289983e-05,3.274735e-05,3.259601e-05,3.244585e-05,3.229692e-05,3.214924e-05,3.200283e-05
0.000000e+00,8.827302e-09,2.066205e-08,7.274717e-08,1.675797e-07,2.458951e-07,5.663922e-07,5.838297e-07,1.149654e-06,1.358750e-06,2.016604e-06,2.710998e-06,3.252576e-06,4.735694e-06,4.879672e-06,6.863727e-06,7.387283e-06,9.154461e-06,1.055542e-05,1.171059e-05,1.415352e-05,1.449950e-05,1.749192e-05,1.811227e-05,2.065865e-05,2.236422e-05,2.396939e-05,2.683884e-05,2.739286e-05,3.089747e-05,3.146364e-05,3.445218e-05,3.616748e-05,3.802741e-05,4.088382e-05,4.159569e-05,4.513223e-05,4.555341e-05,4.861523e-05,5.012586e-05,5.202602e-05,5.456022e-05,5.534901e-05,5.857152e-05,5.882467e-05,6.168363e-05,6.289582e-05,6.467795e-05,6.675796e-05,6.754933e-05,7.029442e-05,7.040157e-05,7.291151e-05,7.382223e-05,7.540027e-05,7.701974e-05,7.776158e-05,7.999690e-05,8.210842e-05,8.275844e-05,8.409911e-05,8.531121e-05,8.597218e-05,8.766302e-05,8.773124e-05,8.938011e-05,8.982258e-05,9.092274e-05,9.179899e-05,9.236314e-05,9.360147e-05,9.370533e-05,9.495335e-05,9.523931e-05,9.611121e-05,9.672172e-05,9.718288e-05,9.805772e-05,9.817222e-05,9.908299e-05,9.925604e-05,9.991887e-05,1.003251e-04,1.006834e-04,1.012730e-04,1.013800e-04,1.020121e-04,1.021074e-04,1.025828e-04,1.028359e-04,1.030952e-04,1.034652e-04,1.035524e-04,1.039571e-04,1.040022e-04,1.043121e-04,1.044532e-04,1.046200e-04,1.048240e-04,1.048833e-04,1.051044e-04,1.051204e-04,1.052857e-04,1.053476e-04,1.054293e-04,1.055106e-04,1.055374e-04,1.056119e-04,1.056142e-04,1.056547e-04,1.056627e-04,1.056677e-04,1.056605e-04,1.056527e-04,1.056112e-04,1.055449e-04,1.055187e-04,1.054553e-04,1.053864e-04,1.053438e-04,1.052174e-04,1.052118e-04,1.050605e-04,1.050149e-04,1.048913e-04,1.047816e-04,1.047053e-04,1.045203e-04,1.045036e-04,1.042872e-04,1.042333e-04,1.040573e-04,1.039229e-04,1.038147e-04,1.035915e-04,1.035604e-04,1.032952e-04,1.032409e-04,1.030199e-04,1.028731e-04,1.027354e-04,1.024897e-04,1.024423e-04,1.021414e-04,1.020926e-04,1.018334e-04,1.016831e-04,1.015188e-04,1.012628e-04,1.011982e-04,1.008723e-04,1.008329e-04,1.005416e-04,1.003947e-04,1.002065e-04,9.994927e-05,9.986760e-05,9.952528e-05,9.949776e-05,9.917999e-05,9.904114e-05,9.883214e-05,9.858031e-05,9.848210e-05,9.813024e-05,9.811613e-05,9.777690e-05,9.764940e-05,9.742240e-05,9.718084e-05,9.706705e-05,9.671113e-05,9.624089e-05,9.577070e-05,9.530109e-05,9.483256e-05,9.436555e-05,9.390047e-05,9.343771e-05,9.297760e-05,9.252048e-05,9.206663e-05,9.161630e-05,9.116974e-05,9.072717e-05,9.028878e-05,8.985473e-05,8.942520e-05,8.900032e-05,8.858020e-05,8.816497e-05,8.775471e-05,8.734950e-05,8.694942e-05,8.655452e-05,8.616484e-05
0.000000e+00,5.637077e-14,4.677293e-13,1.042104e-11,7.833017e-11,1.944919e-10,1.332706e-09,1.426800e-09,6.300800e-09,8.972931e-09,2.025399e-08,3.662428e-08,5.245118e-08,1.095984e-07,1.162541e-07,2.292512e-07,2.659954e-07,4.127892e-07,5.552597e-07,6.908393e-07,1.033389e-06,1.088162e-06,1.628107e-06,1.755042e-06,2.330589e-06,2.765331e-06,3.210665e-06,4.094285e-06,4.277828e-06,5.535925e-06,5.754911e-06,6.983493e-06,7.743967e-06,8.614324e-06,1.004415e-05,1.041813e-05,1.238124e-05,1.262676e-05,1.448724e-05,1.545445e-05,1.671766e-05,1.848377e-05,1.905258e-05,2.147124e-05,2.166772e-05,2.395258e-05,2.495799e-05,2.647579e-05,2.830707e-05,2.902072e-05,3.156832e-05,3.167002e-05,3.410090e-05,3.500580e-05,3.660237e-05,3.827822e-05,3.905841e-05,4.145654e-05,4.378611e-05,4.451560e-05,4.603830e-05,4.743574e-05,4.820601e-05,5.020243e-05,5.028376e-05,5.226753e-05,5.280575e-05,5.415465e-05,5.523986e-05,5.594361e-05,5.750233e-05,5.763393e-05,5.922601e-05,5.959360e-05,6.072097e-05,6.151635e-05,6.212056e-05,6.327507e-05,6.342701e-05,6.464295e-05,6.487553e-05,6.577131e-05,6.632447e-05,6.681522e-05,6.762926e-05,6.777799e-05,6.866302e-05,6.879765e-05,6.947377e-05,6.983756e-05,7.021369e-05,7.075695e-05,7.088623e-05,7.149479e-05,7.156367e-05,7.204269e-05,7.226540e-05,7.253319e-05,7.286953e-05,7.296945e-05,7.335452e-05,7.338320e-05,7.369134e-05,7.381319e-05,7.398274e-05,7.416596e-05,7.423145e-05,7.444007e-05,7.444762e-05,7.461108e-05,7.466391e-05,7.474687e-05,7.482025e-05,7.484970e-05,7.492171e-05,7.496496e-05,7.497305e-05,7.498140e-05,7.497871e-05,7.497287e-05,7.494282e-05,7.494112e-05,7.488781e-05,7.486924e-05,7.481452e-05,7.476156e-05,7.472271e-05,7.462311e-05,7.461380e-05,7.448912e-05,7.445699e-05,7.434992e-05,7.426606e-05,7.419737e-05,7.405298e-05,7.403260e-05,7.385665e-05,7.382021e-05,7.367052e-05,7.357001e-05,7.347513e-05,7.330449e-05,7.327136e-05,7.306003e-05,7.302557e-05,7.284192e-05,7.273504e-05,7.261776e-05,7.243453e-05,7.238823e-05,7.215396e-05,7.212556e-05,7.191556e-05,7.180950e-05,7.167359e-05,7.148762e-05,7.142857e-05,7.118100e-05,7.116110e-05,7.093133e-05,7.083098e-05,7.068000e-05,7.049824e-05,7.042741e-05,7.017392e-05,7.016377e-05,6.991989e-05,6.982837e-05,6.966563e-05,6.949277e-05,6.941146e-05,6.915764e-05,6.882358e-05,6.849115e-05,6.816081e-05,6.783303e-05,6.750818e-05,6.718662e-05,6.686867e-05,6.655458e-05,6.624462e-05,6.593899e-05,6.563787e-05,6.534142e-05,6.504978e-05,6.476305e-05,6.448133e-05,6.420469e-05,6.393319e-05,6.366688e-05,6.340577e-05,6.314988e-05,6.289922e-05,6.265378e-05,6.241355e-05,6.217849e-05
0.000000e+00,2.976103e-09,6.877316e-09,2.385676e-08,5.445802e-08,7.953766e-08,1.808266e-07,1.862832e-07,3.608485e-07,4.243179e-07,6.214534e-07,8.272483e-07,9.876005e-07,1.432423e-06,1.476266e-06,2.093217e-06,2.259517e-06,2.828382e-06,3.284927e-06,3.663502e-06,4.467135e-06,4.581101e-06,5.566799e-06,5.771011e-06,6.608366e-06,7.168328e-06,7.694630e-06,8.633818e-06,8.814922e-06,9.958941e-06,1.014352e-05,1.111682e-05,1.167478e-05,1.227930e-05,1.320686e-05,1.343789e-05,1.458495e-05,1.472150e-05,1.571386e-05,1.620332e-05,1.681893e-05,1.763994e-05,1.789551e-05,1.893981e-05,1.902187e-05,1.994895e-05,2.034225e-05,2.092078e-05,2.159654e-05,2.185383e-05,2.274722e-05,2.278213e-05,2.360055e-05,2.389793e-05,2.441381e-05,2.494408e-05,2.518731e-05,2.592168e-05,2.661770e-05,2.683248e-05,2.727634e-05,2.767875e-05,2.789868e-05,2.846306e-05,2.848589e-05,2.903920e-05,2.918823e-05,2.955988e-05,2.985714e-05,3.004919e-05,3.047276e-05,3.050842e-05,3.093885e-05,3.103801e-05,3.134174e-05,3.155579e-05,3.171832e-05,3.202889e-05,3.206978e-05,3.239729e-05,3.246002e-05,3.270197e-05,3.285175e-05,3.298492e-05,3.320658e-05,3.324720e-05,3.348980e-05,3.352686e-05,3.371371e-05,3.381483e-05,3.391986e-05,3.407260e-05,3.410915e-05,3.428242e-05,3.430217e-05,3.444050e-05,3.450544e-05,3.458417e-05,3.468419e-05,3.471418e-05,3.483125e-05,3.484007e-05,3.493605e-05,3.497468e-05,3.502924e-05,3.508949e-05,3.511144e-05,3.518323e-05,3.518589e-05,3.524518e-05,3.526518e-05,3.529784e-05,3.532859e-05,3.534170e-05,3.537725e-05,3.540497e-05,3.541225e-05,3.542528e-05,3.543459e-05,3.543861e-05,3.544521e-05,3.544536e-05,3.544590e-05,3.544499e-05,3.544060e-05,3.543476e-05,3.542980e-05,3.541529e-05,3.541383e-05,3.539299e-05,3.538730e-05,3.536759e-05,3.535147e-05,3.533789e-05,3.530842e-05,3.530417e-05,3.526669e-05,3.525876e-05,3.522567e-05,3.520302e-05,3.518135e-05,3.514173e-05,3.513395e-05,3.508367e-05,3.507537e-05,3.503070e-05,3.500438e-05,3.497524e-05,3.492919e-05,3.491746e-05,3.485752e-05,3.485019e-05,3.479559e-05,3.476775e-05,3.473181e-05,3.468220e-05,3.466634e-05,3.459929e-05,3.459387e-05,3.453082e-05,3.450305e-05,3.446103e-05,3.441003e-05,3.439004e-05,3.431796e-05,3.431505e-05,3.424490e-05,3.421837e-05,3.417095e-05,3.412021e-05,3.409621e-05,3.402077e-05,3.392025e-05,3.381883e-05,3.371668e-05,3.361397e-05,3.351082e-05,3.340738e-05,3.330378e-05,3.320013e-05,3.309654e-05,3.299311e-05,3.288993e-05,3.278709e-05,3.268467e-05,3.258273e-05,3.248135e-05,3.238059e-05,3.228050e-05,3.218115e-05,3.208256e-05,3.198479e-05,3.188788e-05,3.179186e-05,3.169677e-05,3.160263e-05
0.000000e+00,2.691172e-09,8.708552e-09,4.295877e-08,1.152269e-07,1.785941e-07,4.502373e-07,4.652919e-07,9.579950e-07,1.140519e-06,1.713398e-06,2.317353e-06,2.790800e-06,4.116663e-06,4.248488e-06,6.131361e-06,6.648723e-06,8.450635e-06,9.929231e-06,1.117321e-05,1.385341e-05,1.423677e-05,1.757417e-05,1.826910e-05,2.112579e-05,2.304011e-05,2.484073e-05,2.805480e-05,2.867450e-05,3.258716e-05,3.321803e-05,3.654243e-05,3.844631e-05,4.050745e-05,4.366660e-05,4.445281e-05,4.835272e-05,4.881656e-05,5.218495e-05,5.384477e-05,5.593087e-05,5.871053e-05,5.957520e-05,6.310580e-05,6.338304e-05,6.651331e-05,6.784021e-05,6.979080e-05,7.206740e-05,7.293362e-05,7.593882e-05,7.605614e-05,7.880490e-05,7.980258e-05,8.153175e-05,8.330687e-05,8.412020e-05,8.657192e-05,8.888927e-05,8.960289e-05,9.107507e-05,9.240645e-05,9.313259e-05,9.499040e-05,9.506536e-05,9.687716e-05,9.736331e-05,9.857188e-05,9.953418e-05,1.001535e-04,1.015122e-04,1.016261e-04,1.029937e-04,1.033068e-04,1.042604e-04,1.049272e-04,1.054302e-04,1.063825e-04,1.065070e-04,1.074947e-04,1.076818e-04,1.083971e-04,1.088339e-04,1.092179e-04,1.098471e-04,1.099609e-04,1.106294e-04,1.107297e-04,1.112270e-04,1.114896e-04,1.117570e-04,1.121344e-04,1.122225e-04,1.126268e-04,1.126714e-04,1.129729e-04,1.131075e-04,1.132636e-04,1.134493e-04,1.135018e-04,1.136901e-04,1.137031e-04,1.138313e-04,1.138751e-04,1.139278e-04,1.139709e-04,1.139819e-04,1.139962e-04,1.139959e-04,1.139727e-04,1.139554e-04,1.139136e-04,1.138541e-04,1.138210e-04,1.136968e-04,1.135429e-04,1.134877e-04,1.133611e-04,1.132310e-04,1.131532e-04,1.129306e-04,1.129208e-04,1.126655e-04,1.125901e-04,1.123888e-04,1.122131e-04,1.120921e-04,1.118027e-04,1.117768e-04,1.114443e-04,1.113620e-04,1.110957e-04,1.108940e-04,1.107323e-04,1.104012e-04,1.103553e-04,1.099656e-04,1.098862e-04,1.095644e-04,1.093515e-04,1.091525e-04,1.087991e-04,1.087311e-04,1.083008e-04,1.082312e-04,1.078627e-04,1.076498e-04,1.074174e-04,1.070565e-04,1.069657e-04,1.065085e-04,1.064532e-04,1.060462e-04,1.058414e-04,1.055797e-04,1.052226e-04,1.051094e-04,1.046361e-04,1.045981e-04,1.041601e-04,1.039692e-04,1.036821e-04,1.033370e-04,1.032026e-04,1.027219e-04,1.027027e-04,1.022406e-04,1.020672e-04,1.017590e-04,1.014316e-04,1.012775e-04,1.007966e-04,1.001630e-04,9.953159e-05,9.890301e-05,9.827787e-05,9.765673e-05,9.704009e-05,9.642842e-05,9.582214e-05,9.522163e-05,9.462722e-05,9.403921e-05,9.345789e-05,9.288348e-05,9.231621e-05,9.175625e-05,9.120377e-05,9.065890e-05,9.012175e-05,8.959242e-05,8.907099e-05,8.855751e-05,8.805203e-05,8.755458e-05,8.706516e-05
0.000000e+00,1.422219e-09,3.359136e-09,1.194790e-08,2.767809e-08,4.071586e-08,9.436055e-08,9.729050e-08,1.929255e-07,2.285418e-07,3.416643e-07,4.631288e-07,5.595783e-07,8.319516e-07,8.590075e-07,1.240614e-06,1.343454e-06,1.694791e-06,1.976457e-06,2.210045e-06,2.706713e-06,2.777290e-06,3.389847e-06,3.517316e-06,4.042413e-06,4.395977e-06,4.730247e-06,5.331894e-06,5.448714e-06,6.193081e-06,6.314259e-06,6.958472e-06,7.331866e-06,7.739901e-06,8.373215e-06,8.532346e-06,9.330860e-06,9.426860e-06,1.013066e-05,1.048180e-05,1.092721e-05,1.152781e-05,1.171629e-05,1.249409e-05,1.255573e-05,1.325724e-05,1.355771e-05,1.400276e-05,1.452720e-05,1.472815e-05,1.543129e-05,1.545893e-05,1.611050e-05,1.634890e-05,1.676446e-05,1.719421e-05,1.739218e-05,1.799298e-05,1.856645e-05,1.874416e-05,1.911244e-05,1.944747e-05,1.963101e-05,2.010322e-05,2.012235e-05,2.058680e-05,2.071208e-05,2.102480e-05,2.127516e-05,2.143696e-05,2.179386e-05,2.182391e-05,2.218636e-05,2.226978e-05,2.252505e-05,2.270464e-05,2.284079e-05,2.310027e-05,2.313436e-05,2.340659e-05,2.345855e-05,2.365831e-05,2.378137e-05,2.389033e-05,2.407061e-05,2.410347e-05,2.429854e-05,2.432813e-05,2.447633e-05,2.455575e-05,2.463760e-05,2.475524e-05,2.478312e-05,2.491362e-05,2.492831e-05,2.502982e-05,2.507660e-05,2.513241e-05,2.520168e-05,2.522205e-05,2.529940e-05,2.530508e-05,2.536507e-05,2.538821e-05,2.541968e-05,2.545246e-05,2.546378e-05,2.549795e-05,2.549912e-05,2.552271e-05,2.552943e-05,2.553858e-05,2.554455e-05,2.554605e-05,2.554559e-05,2.553765e-05,2.553359e-05,2.552265e-05,2.550955e-05,2.550103e-05,2.547439e-05,2.547316e-05,2.543942e-05,2.542898e-05,2.540019e-05,2.537415e-05,2.535579e-05,2.531067e-05,2.530656e-05,2.525281e-05,2.523927e-05,2.519485e-05,2.516065e-05,2.513294e-05,2.507543e-05,2.506738e-05,2.499841e-05,2.498423e-05,2.492627e-05,2.488760e-05,2.485122e-05,2.478607e-05,2.477346e-05,2.469320e-05,2.468014e-05,2.461066e-05,2.457028e-05,2.452601e-05,2.445691e-05,2.443945e-05,2.435114e-05,2.434043e-05,2.426125e-05,2.422124e-05,2.416993e-05,2.409966e-05,2.407733e-05,2.398359e-05,2.397604e-05,2.388884e-05,2.385068e-05,2.379320e-05,2.372386e-05,2.369680e-05,2.359974e-05,2.359585e-05,2.350214e-05,2.346689e-05,2.340408e-05,2.333720e-05,2.330567e-05,2.320700e-05,2.307648e-05,2.294582e-05,2.281519e-05,2.268474e-05,2.255462e-05,2.242494e-05,2.229584e-05,2.216742e-05,2.203978e-05,2.191301e-05,2.178719e-05,2.166240e-05,2.153871e-05,2.141618e-05,2.129486e-05,2.117480e-05,2.105606e-05,2.093865e-05,2.082263e-05,2.070802e-05,2.059484e-05,2.048312e-05,2.037287e-05,2.026412e-05
0.000000e+00,1.306221e-15,1.136018e-14,2.794571e-13,2.301346e-12,6.010200e-12,4.699206e-11,5.058308e-11,2.552655e-10,3.771227e-10,9.344903e-10,1.824235e-09,2.747823e-09,6.438136e-09,6.896725e-09,1.536112e-08,1.834437e-08,3.115408e-08,4.473250e-08,5.853663e-08,9.663345e-08,1.031047e-07,1.716781e-07,1.889423e-07,2.719824e-07,3.393863e-07,4.121728e-07,5.666493e-07,6.002818e-07,8.436744e-07,8.881829e-07,1.148573e-06,1.318221e-06,1.519694e-06,1.866330e-06,1.960009e-06,2.470637e-06,2.536622e-06,3.050847e-06,3.327602e-06,3.698154e-06,4.232532e-06,4.408491e-06,5.176425e-06,5.240159e-06,5.995415e-06,6.335673e-06,6.858070e-06,7.501758e-06,7.756418e-06,8.682160e-06,8.719640e-06,9.626903e-06,9.970060e-06,1.058237e-05,1.123412e-05,1.154057e-05,1.249397e-05,1.343558e-05,1.373336e-05,1.435908e-05,1.493799e-05,1.525884e-05,1.609573e-05,1.612997e-05,1.696834e-05,1.719673e-05,1.777054e-05,1.823336e-05,1.853390e-05,1.920016e-05,1.925642e-05,1.993671e-05,2.009360e-05,2.057400e-05,2.091196e-05,2.116798e-05,2.165500e-05,2.171885e-05,2.222716e-05,2.232379e-05,2.269382e-05,2.292040e-05,2.312001e-05,2.344776e-05,2.350713e-05,2.385678e-05,2.390936e-05,2.417065e-05,2.430913e-05,2.445056e-05,2.465128e-05,2.469836e-05,2.491594e-05,2.494011e-05,2.510518e-05,2.517995e-05,2.526795e-05,2.537506e-05,2.540606e-05,2.552128e-05,2.552956e-05,2.561531e-05,2.564736e-05,2.568978e-05,2.573217e-05,2.574625e-05,2.578618e-05,2.578745e-05,2.581095e-05,2.581641e-05,2.582185e-05,2.582197e-05,2.582010e-05,2.580682e-05,2.578307e-05,2.577342e-05,2.574982e-05,2.572396e-05,2.570796e-05,2.566045e-05,2.565833e-05,2.560169e-05,2.558467e-05,2.553875e-05,2.549823e-05,2.547015e-05,2.540255e-05,2.539648e-05,2.531829e-05,2.529890e-05,2.523606e-05,2.518843e-05,2.515027e-05,2.507214e-05,2.506131e-05,2.496957e-05,2.495091e-05,2.487539e-05,2.482556e-05,2.477909e-05,2.469678e-05,2.468097e-05,2.458127e-05,2.456519e-05,2.448025e-05,2.443135e-05,2.437811e-05,2.429574e-05,2.427507e-05,2.417130e-05,2.415881e-05,2.406698e-05,2.402094e-05,2.396225e-05,2.388247e-05,2.385725e-05,2.375212e-05,2.374370e-05,2.364696e-05,2.360491e-05,2.354188e-05,2.346634e-05,2.343699e-05,2.333236e-05,2.332818e-05,2.322808e-05,2.319064e-05,2.312422e-05,2.305387e-05,2.302085e-05,2.291803e-05,2.278324e-05,2.264961e-05,2.251726e-05,2.238626e-05,2.225670e-05,2.212864e-05,2.200214e-05,2.187726e-05,2.175403e-05,2.163249e-05,2.151268e-05,2.139462e-05,2.127832e-05,2.116381e-05,2.105110e-05,2.094019e-05,2.083109e-05,2.072381e-05,2.061833e-05,2.051466e-05,2.041280e-05,2.031273e-05,2.021444e-05,2.011792e-05
0.000000e+00,4.983986e-10,1.681060e-09,8.642021e-09,2.350659e-08,3.654195e-08,9.200280e-08,9.505448e-08,1.937456e-07,2.297760e-07,3.412823e-07,4.566289e-07,5.457409e-07,7.906682e-07,8.147318e-07,1.155179e-06,1.248170e-06,1.572472e-06,1.840711e-06,2.068720e-06,2.568182e-06,2.640514e-06,3.277973e-06,3.412115e-06,3.966676e-06,4.339889e-06,4.691203e-06,5.317263e-06,5.437666e-06,6.194472e-06,6.315861e-06,6.952119e-06,7.313729e-06,7.702752e-06,8.293762e-06,8.439811e-06,9.157815e-06,9.242471e-06,9.852232e-06,1.014933e-05,1.051939e-05,1.100642e-05,1.115644e-05,1.176126e-05,1.180821e-05,1.233242e-05,1.255126e-05,1.286911e-05,1.323401e-05,1.337105e-05,1.383841e-05,1.385639e-05,1.427174e-05,1.441957e-05,1.467192e-05,1.492565e-05,1.504004e-05,1.537740e-05,1.568541e-05,1.577801e-05,1.596556e-05,1.613094e-05,1.621939e-05,1.643975e-05,1.644846e-05,1.665430e-05,1.670798e-05,1.683843e-05,1.693909e-05,1.700230e-05,1.713640e-05,1.714734e-05,1.727487e-05,1.730302e-05,1.738619e-05,1.744189e-05,1.748248e-05,1.755570e-05,1.756490e-05,1.763449e-05,1.764695e-05,1.769225e-05,1.771792e-05,1.773911e-05,1.777068e-05,1.777593e-05,1.780350e-05,1.780711e-05,1.782258e-05,1.782893e-05,1.783386e-05,1.783768e-05,1.783795e-05,1.783547e-05,1.783476e-05,1.782695e-05,1.782142e-05,1.781290e-05,1.779881e-05,1.779379e-05,1.777003e-05,1.776795e-05,1.774204e-05,1.772974e-05,1.771018e-05,1.768504e-05,1.767479e-05,1.763618e-05,1.763458e-05,1.759465e-05,1.757903e-05,1.755046e-05,1.751902e-05,1.750385e-05,1.745507e-05,1.740432e-05,1.738769e-05,1.735179e-05,1.731733e-05,1.729767e-05,1.724438e-05,1.724213e-05,1.718532e-05,1.716921e-05,1.712739e-05,1.709215e-05,1.706847e-05,1.701350e-05,1.700868e-05,1.694814e-05,1.693352e-05,1.688696e-05,1.685245e-05,1.682523e-05,1.677052e-05,1.676304e-05,1.670048e-05,1.668793e-05,1.663763e-05,1.660486e-05,1.657456e-05,1.652146e-05,1.651133e-05,1.644802e-05,1.643788e-05,1.638467e-05,1.635427e-05,1.632134e-05,1.627073e-05,1.625808e-05,1.619494e-05,1.618738e-05,1.613196e-05,1.610431e-05,1.606918e-05,1.602161e-05,1.600663e-05,1.594434e-05,1.593937e-05,1.588236e-05,1.585766e-05,1.582071e-05,1.577653e-05,1.575940e-05,1.569848e-05,1.569605e-05,1.563796e-05,1.561627e-05,1.557785e-05,1.553723e-05,1.551819e-05,1.545898e-05,1.538155e-05,1.530497e-05,1.522928e-05,1.515449e-05,1.508063e-05,1.500772e-05,1.493577e-05,1.486479e-05,1.479480e-05,1.472580e-05,1.465780e-05,1.459081e-05,1.452482e-05,1.445985e-05,1.439588e-05,1.433292e-05,1.427097e-05,1.421001e-05,1.415006e-05,1.409110e-05,1.403313e-05,1.397614e-05,1.392012e-05,1.386506e-05
0.000000e+00,3.253858e-12,2.277890e-11,3.609917e-10,2.019821e-09,4.293564e-09,2.016810e-08,2.127904e-08,6.709360e-08,8.776836e-08,1.621169e-07,2.526894e-07,3.306438e-07,5.747210e-07,6.007726e-07,1.001627e-06,1.120073e-06,1.556100e-06,1.938036e-06,2.274293e-06,3.040047e-06,3.153834e-06,4.185394e-06,4.408972e-06,5.357972e-06,6.020025e-06,6.661434e-06,7.850925e-06,8.086836e-06,9.625769e-06,9.881968e-06,1.126964e-05,1.209330e-05,1.300920e-05,1.446294e-05,1.483427e-05,1.673379e-05,1.696618e-05,1.869590e-05,1.957587e-05,2.070820e-05,2.226330e-05,2.275799e-05,2.483256e-05,2.499923e-05,2.691949e-05,2.775502e-05,2.900680e-05,3.050355e-05,3.108323e-05,3.313834e-05,3.321997e-05,3.516267e-05,3.588222e-05,3.714773e-05,3.847134e-05,3.908615e-05,4.097156e-05,4.279866e-05,4.337029e-05,4.456312e-05,4.565788e-05,4.626152e-05,4.782745e-05,4.789130e-05,4.945068e-05,4.987453e-05,5.093857e-05,5.179675e-05,5.235446e-05,5.359354e-05,5.369841e-05,5.497092e-05,5.526578e-05,5.617287e-05,5.681558e-05,5.730547e-05,5.824595e-05,5.837019e-05,5.936872e-05,5.956065e-05,6.030293e-05,6.076394e-05,6.117479e-05,6.186049e-05,6.198638e-05,6.273986e-05,6.285517e-05,6.343740e-05,6.375300e-05,6.408121e-05,6.455905e-05,6.467348e-05,6.521640e-05,6.527834e-05,6.571213e-05,6.591585e-05,6.616279e-05,6.647642e-05,6.657045e-05,6.693713e-05,6.696476e-05,6.726481e-05,6.738538e-05,6.755538e-05,6.774266e-05,6.781070e-05,6.803255e-05,6.804075e-05,6.822264e-05,6.828363e-05,6.838265e-05,6.847508e-05,6.851415e-05,6.861868e-05,6.869770e-05,6.871783e-05,6.875261e-05,6.877573e-05,6.878476e-05,6.879541e-05,6.879545e-05,6.878588e-05,6.877974e-05,6.875726e-05,6.873140e-05,6.871068e-05,6.865291e-05,6.864724e-05,6.856794e-05,6.854666e-05,6.847377e-05,6.841488e-05,6.836565e-05,6.825967e-05,6.824446e-05,6.811106e-05,6.808298e-05,6.796623e-05,6.788666e-05,6.781075e-05,6.767244e-05,6.764533e-05,6.747067e-05,6.744192e-05,6.728743e-05,6.719661e-05,6.709623e-05,6.693793e-05,6.689765e-05,6.669227e-05,6.666719e-05,6.648061e-05,6.638562e-05,6.626318e-05,6.609437e-05,6.604046e-05,6.581291e-05,6.579451e-05,6.558096e-05,6.548704e-05,6.534502e-05,6.517288e-05,6.510547e-05,6.486268e-05,6.485291e-05,6.461701e-05,6.452792e-05,6.436877e-05,6.419867e-05,6.411829e-05,6.386584e-05,6.353009e-05,6.319201e-05,6.285215e-05,6.251104e-05,6.216913e-05,6.182688e-05,6.148469e-05,6.114292e-05,6.080193e-05,6.046203e-05,6.012350e-05,5.978663e-05,5.945164e-05,5.911877e-05,5.878821e-05,5.846015e-05,5.813475e-05,5.781217e-05,5.749255e-05,5.717600e-05,5.686263e-05,5.655255e-05,5.624583e-05,5.594255e-05
0.000000e+00,1.233406e-14,1.039513e-13,2.392911e-12,1.853922e-11,4.681697e-11,3.355254e-10,3.598870e-10,1.665698e-09,2.403800e-09,5.616078e-09,1.045417e-08,1.526504e-08,3.333466e-08,3.549217e-08,7.322116e-08,8.582715e-08,1.372873e-07,1.884554e-07,2.379562e-07,3.655653e-07,3.862430e-07,5.932115e-07,6.425875e-07,8.693749e-07,1.043532e-06,1.224245e-06,1.589204e-06,1.666024e-06,2.201414e-06,2.296126e-06,2.835498e-06,3.175980e-06,3.571687e-06,4.235372e-06,4.411709e-06,5.355631e-06,5.475827e-06,6.401923e-06,6.893993e-06,7.547555e-06,8.482016e-06,8.788131e-06,1.011805e-05,1.022811e-05,1.153069e-05,1.211727e-05,1.301863e-05,1.413207e-05,1.457382e-05,1.618785e-05,1.625351e-05,1.785209e-05,1.846185e-05,1.955792e-05,2.073732e-05,2.129688e-05,2.306078e-05,2.484183e-05,2.541418e-05,2.663275e-05,2.778097e-05,2.842678e-05,3.014624e-05,3.021774e-05,3.200008e-05,3.249689e-05,3.376880e-05,3.482165e-05,3.551951e-05,3.711095e-05,3.724837e-05,3.895207e-05,3.935689e-05,4.062778e-05,4.155305e-05,4.227313e-05,4.369436e-05,4.388616e-05,4.546526e-05,4.577689e-05,4.700917e-05,4.779775e-05,4.851689e-05,4.975489e-05,4.998772e-05,5.142115e-05,5.164701e-05,5.281687e-05,5.347338e-05,5.417475e-05,5.523380e-05,5.549478e-05,5.677710e-05,5.692846e-05,5.802195e-05,5.855789e-05,5.922963e-05,6.012287e-05,6.040056e-05,6.153519e-05,6.162440e-05,6.263403e-05,6.306366e-05,6.369763e-05,6.444194e-05,6.472659e-05,6.572152e-05,6.576062e-05,6.668306e-05,6.702117e-05,6.761188e-05,6.822512e-05,6.850863e-05,6.937401e-05,7.020870e-05,7.046943e-05,7.101338e-05,7.151296e-05,7.178876e-05,7.250619e-05,7.253552e-05,7.325435e-05,7.345071e-05,7.394593e-05,7.434808e-05,7.461094e-05,7.519987e-05,7.525007e-05,7.586396e-05,7.600761e-05,7.645328e-05,7.677281e-05,7.701868e-05,7.749695e-05,7.756080e-05,7.808026e-05,7.818149e-05,7.857769e-05,7.882785e-05,7.905370e-05,7.943742e-05,7.950887e-05,7.994381e-05,8.001156e-05,8.035908e-05,8.055160e-05,8.075526e-05,8.105882e-05,8.113289e-05,8.149251e-05,8.153448e-05,8.183466e-05,8.197981e-05,8.215986e-05,8.239599e-05,8.246861e-05,8.276141e-05,8.278416e-05,8.303875e-05,8.314546e-05,8.330110e-05,8.348096e-05,8.354891e-05,8.378265e-05,8.379171e-05,8.400276e-05,8.407874e-05,8.420965e-05,8.434302e-05,8.440377e-05,8.458550e-05,8.480712e-05,8.500875e-05,8.519127e-05,8.535549e-05,8.550223e-05,8.563226e-05,8.574633e-05,8.584515e-05,8.592942e-05,8.599982e-05,8.605698e-05,8.610153e-05,8.613408e-05,8.615519e-05,8.616542e-05,8.616531e-05,8.615537e-05,8.613610e-05,8.610796e-05,8.607143e-05,8.602694e-05,8.597490e-05,8.591573e-05,8.584982e-05
0.000000e+00,7.491645e-09,1.726665e-08,5.987124e-08,1.368832e-07,2.001294e-07,4.560031e-07,4.697930e-07,9.105100e-07,1.070404e-06,1.565607e-06,2.080503e-06,2.480757e-06,3.591766e-06,3.701673e-06,5.265681e-06,5.694461e-06,7.188814e-06,8.419680e-06,9.460871e-06,1.172789e-05,1.205520e-05,1.494117e-05,1.555076e-05,1.808967e-05,1.982154e-05,2.147344e-05,2.447830e-05,2.506607e-05,2.884118e-05,2.946035e-05,3.277207e-05,3.470634e-05,3.683187e-05,4.015459e-05,4.099391e-05,4.523210e-05,4.574459e-05,4.952136e-05,5.141868e-05,5.383809e-05,5.712362e-05,5.816037e-05,6.246824e-05,6.281169e-05,6.674377e-05,6.844131e-05,7.097113e-05,7.397718e-05,7.513653e-05,7.922815e-05,7.939013e-05,8.323597e-05,8.465662e-05,8.715171e-05,8.975836e-05,9.096870e-05,9.468168e-05,9.828665e-05,9.941688e-05,1.017804e-04,1.039570e-04,1.051608e-04,1.082981e-04,1.084266e-04,1.115771e-04,1.124386e-04,1.146124e-04,1.163785e-04,1.175330e-04,1.201193e-04,1.203397e-04,1.230338e-04,1.236638e-04,1.256168e-04,1.270154e-04,1.280904e-04,1.301782e-04,1.304566e-04,1.327174e-04,1.331571e-04,1.348750e-04,1.359570e-04,1.369319e-04,1.385834e-04,1.388902e-04,1.407525e-04,1.410418e-04,1.425213e-04,1.433377e-04,1.441989e-04,1.454770e-04,1.457879e-04,1.472907e-04,1.474654e-04,1.487099e-04,1.493085e-04,1.500479e-04,1.510119e-04,1.513071e-04,1.524900e-04,1.525814e-04,1.535989e-04,1.540223e-04,1.546362e-04,1.553400e-04,1.556042e-04,1.565052e-04,1.565399e-04,1.573414e-04,1.576270e-04,1.581149e-04,1.586063e-04,1.588280e-04,1.594827e-04,1.600811e-04,1.602611e-04,1.606252e-04,1.609458e-04,1.611169e-04,1.615415e-04,1.615582e-04,1.619509e-04,1.620524e-04,1.622968e-04,1.624826e-04,1.625977e-04,1.628363e-04,1.628553e-04,1.630714e-04,1.631172e-04,1.632474e-04,1.633292e-04,1.633851e-04,1.634757e-04,1.634859e-04,1.635514e-04,1.635604e-04,1.635831e-04,1.635866e-04,1.635822e-04,1.635574e-04,1.635502e-04,1.634885e-04,1.634759e-04,1.633982e-04,1.633452e-04,1.632807e-04,1.631680e-04,1.631372e-04,1.629689e-04,1.629470e-04,1.627768e-04,1.626850e-04,1.625621e-04,1.623844e-04,1.623258e-04,1.620690e-04,1.620476e-04,1.617927e-04,1.616769e-04,1.614978e-04,1.612745e-04,1.611852e-04,1.608559e-04,1.608424e-04,1.605108e-04,1.603828e-04,1.601506e-04,1.598975e-04,1.597762e-04,1.593883e-04,1.588571e-04,1.583054e-04,1.577348e-04,1.571469e-04,1.565431e-04,1.559247e-04,1.552931e-04,1.546496e-04,1.539952e-04,1.533311e-04,1.526584e-04,1.519781e-04,1.512911e-04,1.505983e-04,1.499007e-04,1.491989e-04,1.484938e-04,1.477861e-04,1.470765e-04,1.463656e-04,1.456540e-04,1.449423e-04,1.442311e-04,1.435208e-04
0.000000e+00,4.122667e-09,9.581497e-09,3.351598e-08,7.703087e-08,1.129558e-07,2.599438e-07,2.679399e-07,5.273735e-07,6.232816e-07,9.256330e-07,1.246789e-06,1.499439e-06,2.202919e-06,2.272096e-06,3.238390e-06,3.496738e-06,4.376619e-06,5.081451e-06,5.666879e-06,6.916716e-06,7.094989e-06,8.649955e-06,8.975274e-06,1.032152e-05,1.123326e-05,1.209885e-05,1.366484e-05,1.397000e-05,1.592187e-05,1.624073e-05,1.794044e-05,1.892876e-05,2.001109e-05,2.169516e-05,2.211901e-05,2.424956e-05,2.450607e-05,2.638863e-05,2.732906e-05,2.852292e-05,3.013420e-05,3.064018e-05,3.272934e-05,3.289496e-05,3.478062e-05,3.558858e-05,3.678552e-05,3.819623e-05,3.873683e-05,4.062863e-05,4.070299e-05,4.245612e-05,4.309753e-05,4.421561e-05,4.537179e-05,4.590437e-05,4.752054e-05,4.906303e-05,4.954098e-05,5.053139e-05,5.143228e-05,5.192575e-05,5.319525e-05,5.324669e-05,5.449521e-05,5.483198e-05,5.567260e-05,5.634554e-05,5.678043e-05,5.773972e-05,5.782048e-05,5.879465e-05,5.901888e-05,5.970501e-05,6.018773e-05,6.055368e-05,6.125120e-05,6.134283e-05,6.207467e-05,6.221435e-05,6.275140e-05,6.308225e-05,6.337522e-05,6.385996e-05,6.394833e-05,6.447288e-05,6.455245e-05,6.495099e-05,6.516459e-05,6.538471e-05,6.570109e-05,6.577607e-05,6.612703e-05,6.616652e-05,6.643949e-05,6.656526e-05,6.671531e-05,6.690152e-05,6.695626e-05,6.716408e-05,6.717932e-05,6.734042e-05,6.740250e-05,6.748689e-05,6.757472e-05,6.760503e-05,6.769633e-05,6.769945e-05,6.776221e-05,6.777997e-05,6.780404e-05,6.781942e-05,6.782314e-05,6.782076e-05,6.779810e-05,6.778676e-05,6.775634e-05,6.772009e-05,6.769656e-05,6.762322e-05,6.761984e-05,6.752718e-05,6.749851e-05,6.741954e-05,6.734816e-05,6.729786e-05,6.717427e-05,6.716302e-05,6.701585e-05,6.697879e-05,6.685717e-05,6.676356e-05,6.668773e-05,6.653031e-05,6.650827e-05,6.631949e-05,6.628067e-05,6.612204e-05,6.601615e-05,6.591656e-05,6.573819e-05,6.570365e-05,6.548389e-05,6.544812e-05,6.525781e-05,6.514720e-05,6.502593e-05,6.483659e-05,6.478875e-05,6.454674e-05,6.451739e-05,6.430033e-05,6.419062e-05,6.404994e-05,6.385724e-05,6.379599e-05,6.353884e-05,6.351814e-05,6.327885e-05,6.317414e-05,6.301636e-05,6.282601e-05,6.275171e-05,6.248518e-05,6.247448e-05,6.221707e-05,6.212022e-05,6.194765e-05,6.176383e-05,6.167718e-05,6.140591e-05,6.104697e-05,6.068753e-05,6.032802e-05,5.996887e-05,5.961047e-05,5.925318e-05,5.889733e-05,5.854321e-05,5.819111e-05,5.784127e-05,5.749393e-05,5.714929e-05,5.680754e-05,5.646887e-05,5.613341e-05,5.580131e-05,5.547269e-05,5.514767e-05,5.482633e-05,5.450876e-05,5.419505e-05,5.388524e-05,5.357939e-05,5.327756e-05
0.000000e+00,2.030737e-10,9.401532e-10,7.323721e-09,2.485097e-08,4.213322e-08,1.247119e-07,1.295335e-07,2.949961e-07,3.589587e-07,5.657919e-07,7.913615e-07,9.724325e-07,1.495809e-06,1.549032e-06,2.330566e-06,2.552020e-06,3.344750e-06,4.018849e-06,4.601253e-06,5.898597e-06,6.088497e-06,7.782089e-06,8.143187e-06,9.655388e-06,1.069249e-05,1.168463e-05,1.349470e-05,1.384940e-05,1.613157e-05,1.650647e-05,1.851426e-05,1.968887e-05,2.098124e-05,2.300488e-05,2.351671e-05,2.610526e-05,2.641874e-05,2.873205e-05,2.989629e-05,3.138298e-05,3.340563e-05,3.404479e-05,3.670534e-05,3.691779e-05,3.935354e-05,4.040709e-05,4.197944e-05,4.385136e-05,4.457435e-05,4.713067e-05,4.723202e-05,4.964190e-05,5.053384e-05,5.210262e-05,5.374470e-05,5.450829e-05,5.685526e-05,5.914064e-05,5.985856e-05,6.136219e-05,6.274972e-05,6.351829e-05,6.552554e-05,6.560783e-05,6.763013e-05,6.818428e-05,6.958490e-05,7.072535e-05,7.147216e-05,7.314905e-05,7.329219e-05,7.504550e-05,7.545644e-05,7.673280e-05,7.764916e-05,7.835494e-05,7.972929e-05,7.991289e-05,8.140776e-05,8.169927e-05,8.284071e-05,8.356178e-05,8.421298e-05,8.531973e-05,8.552585e-05,8.678065e-05,8.697613e-05,8.797875e-05,8.853410e-05,8.912152e-05,8.999683e-05,9.021034e-05,9.124663e-05,9.136752e-05,9.223177e-05,9.264939e-05,9.316717e-05,9.384566e-05,9.405421e-05,9.489427e-05,9.495948e-05,9.568871e-05,9.599402e-05,9.643889e-05,9.695236e-05,9.714613e-05,9.781175e-05,9.783753e-05,9.843705e-05,9.865252e-05,9.902328e-05,9.940024e-05,9.957170e-05,1.000835e-04,1.005600e-04,1.007052e-04,1.010022e-04,1.012678e-04,1.014114e-04,1.017741e-04,1.017886e-04,1.021350e-04,1.022266e-04,1.024516e-04,1.026278e-04,1.027396e-04,1.029800e-04,1.029998e-04,1.032334e-04,1.032856e-04,1.034412e-04,1.035467e-04,1.036243e-04,1.037657e-04,1.037835e-04,1.039198e-04,1.039444e-04,1.040341e-04,1.040851e-04,1.041271e-04,1.041895e-04,1.041998e-04,1.042528e-04,1.042596e-04,1.042871e-04,1.042971e-04,1.043034e-04,1.043039e-04,1.043023e-04,1.042847e-04,1.042815e-04,1.042512e-04,1.042316e-04,1.042025e-04,1.041557e-04,1.041392e-04,1.040621e-04,1.040553e-04,1.039716e-04,1.039318e-04,1.038684e-04,1.037866e-04,1.037531e-04,1.036263e-04,1.036210e-04,1.034884e-04,1.034361e-04,1.033400e-04,1.032334e-04,1.031816e-04,1.030138e-04,1.027784e-04,1.025284e-04,1.022648e-04,1.019884e-04,1.017003e-04,1.014012e-04,1.010921e-04,1.007736e-04,1.004467e-04,1.001120e-04,9.977022e-05,9.942198e-05,9.906792e-05,9.870865e-05,9.834473e-05,9.797669e-05,9.760505e-05,9.723029e-05,9.685288e-05,9.647324e-05,9.609179e-05,9.570892e-05,9.532501e-05,9.494040e-05
0.000000e+00,9.210629e-13,7.045964e-12,1.330031e-10,8.626177e-10,1.978491e-09,1.111269e-08,1.180386e-08,4.324439e-08,5.865140e-08,1.175915e-07,1.940831e-07,2.625114e-07,4.862030e-07,5.107035e-07,8.990067e-07,1.017416e-06,1.466821e-06,1.877500e-06,2.251748e-06,3.145152e-06,3.282409e-06,4.572206e-06,4.861241e-06,6.117896e-06,7.017694e-06,7.903017e-06,9.569885e-06,9.903262e-06,1.209118e-05,1.245680e-05,1.443905e-05,1.561493e-05,1.692010e-05,1.898361e-05,1.950876e-05,2.218050e-05,2.250556e-05,2.491169e-05,2.612633e-05,2.767949e-05,2.979401e-05,3.046204e-05,3.323860e-05,3.345987e-05,3.598985e-05,3.707925e-05,3.869814e-05,4.061258e-05,4.134771e-05,4.392477e-05,4.402618e-05,4.641766e-05,4.729257e-05,4.881674e-05,5.039056e-05,5.111439e-05,5.330488e-05,5.538425e-05,5.602574e-05,5.735006e-05,5.854807e-05,5.920131e-05,6.087086e-05,6.093815e-05,6.256180e-05,6.299639e-05,6.407428e-05,6.492952e-05,6.547832e-05,6.667707e-05,6.677719e-05,6.797455e-05,6.824725e-05,6.907439e-05,6.964926e-05,7.008089e-05,7.089282e-05,7.099835e-05,7.183114e-05,7.198792e-05,7.258361e-05,7.294460e-05,7.326010e-05,7.377272e-05,7.386483e-05,7.440196e-05,7.448190e-05,7.487548e-05,7.508132e-05,7.528925e-05,7.557974e-05,7.564697e-05,7.595217e-05,7.598543e-05,7.620825e-05,7.630619e-05,7.641841e-05,7.654931e-05,7.658570e-05,7.671302e-05,7.672156e-05,7.680309e-05,7.682927e-05,7.685850e-05,7.687830e-05,7.688168e-05,7.687494e-05,7.687408e-05,7.684043e-05,7.682161e-05,7.678019e-05,7.672551e-05,7.669612e-05,7.659004e-05,7.646361e-05,7.641912e-05,7.631843e-05,7.621637e-05,7.615599e-05,7.598508e-05,7.597766e-05,7.578477e-05,7.572831e-05,7.557852e-05,7.544884e-05,7.536007e-05,7.514924e-05,7.513049e-05,7.489078e-05,7.483185e-05,7.464188e-05,7.449882e-05,7.438468e-05,7.415212e-05,7.411999e-05,7.384857e-05,7.379355e-05,7.357116e-05,7.342476e-05,7.328842e-05,7.304725e-05,7.300097e-05,7.270940e-05,7.266240e-05,7.241426e-05,7.227147e-05,7.211605e-05,7.187560e-05,7.181526e-05,7.151232e-05,7.147584e-05,7.120765e-05,7.107314e-05,7.090163e-05,7.066837e-05,7.059462e-05,7.028695e-05,7.026232e-05,6.997894e-05,6.985570e-05,6.967087e-05,6.944917e-05,6.936300e-05,6.905559e-05,6.904330e-05,6.874886e-05,6.863865e-05,6.844303e-05,6.823567e-05,6.813829e-05,6.783482e-05,6.743648e-05,6.704100e-05,6.664871e-05,6.625987e-05,6.587474e-05,6.549354e-05,6.511647e-05,6.474370e-05,6.437538e-05,6.401164e-05,6.365260e-05,6.329834e-05,6.294895e-05,6.260449e-05,6.226501e-05,6.193056e-05,6.160116e-05,6.127684e-05,6.095760e-05,6.064345e-05,6.033439e-05,6.003041e-05,5.973148e-05,5.943758e-05
0.000000e+00,1.442810e-09,3.309144e-09,1.136678e-08,2.576626e-08,3.748948e-08,8.429487e-08,8.679466e-08,1.657613e-07,1.940338e-07,2.805685e-07,3.691513e-07,4.371850e-07,6.229592e-07,6.411277e-07,8.964867e-07,9.656135e-07,1.204150e-06,1.398182e-06,1.560747e-06,1.910052e-06,1.959979e-06,2.394906e-06,2.485597e-06,2.859098e-06,3.110094e-06,3.346743e-06,3.770549e-06,3.852468e-06,4.371203e-06,4.455083e-06,4.898152e-06,5.152672e-06,5.428819e-06,5.853232e-06,5.959061e-06,6.485142e-06,6.547831e-06,7.003772e-06,7.228864e-06,7.512127e-06,7.890137e-06,8.007850e-06,8.489035e-06,8.526855e-06,8.954201e-06,9.135524e-06,9.402249e-06,9.713808e-06,9.832424e-06,1.024427e-05,1.026036e-05,1.063759e-05,1.077464e-05,1.101238e-05,1.125674e-05,1.136883e-05,1.170726e-05,1.202811e-05,1.212715e-05,1.233188e-05,1.251760e-05,1.261915e-05,1.287997e-05,1.289053e-05,1.314665e-05,1.321572e-05,1.338817e-05,1.352634e-05,1.361573e-05,1.381333e-05,1.383000e-05,1.403160e-05,1.407817e-05,1.422116e-05,1.432228e-05,1.439928e-05,1.454704e-05,1.456656e-05,1.472354e-05,1.475376e-05,1.487078e-05,1.494366e-05,1.500878e-05,1.511793e-05,1.513804e-05,1.525901e-05,1.527763e-05,1.537215e-05,1.542379e-05,1.547786e-05,1.555736e-05,1.557656e-05,1.566861e-05,1.567922e-05,1.575437e-05,1.579020e-05,1.583418e-05,1.589105e-05,1.590835e-05,1.597720e-05,1.598249e-05,1.604100e-05,1.606517e-05,1.610002e-05,1.613971e-05,1.615453e-05,1.620475e-05,1.620667e-05,1.625091e-05,1.626658e-05,1.629324e-05,1.631993e-05,1.633193e-05,1.636717e-05,1.639915e-05,1.640872e-05,1.642804e-05,1.644498e-05,1.645399e-05,1.647630e-05,1.647717e-05,1.649772e-05,1.650302e-05,1.651577e-05,1.652546e-05,1.653146e-05,1.654391e-05,1.654491e-05,1.655623e-05,1.655864e-05,1.656554e-05,1.656991e-05,1.657294e-05,1.657795e-05,1.657853e-05,1.658240e-05,1.658298e-05,1.658465e-05,1.658520e-05,1.658535e-05,1.658481e-05,1.658460e-05,1.658246e-05,1.658200e-05,1.657901e-05,1.657691e-05,1.657432e-05,1.656972e-05,1.656845e-05,1.656147e-05,1.656056e-05,1.655343e-05,1.654958e-05,1.654440e-05,1.653690e-05,1.653442e-05,1.652355e-05,1.652264e-05,1.651183e-05,1.650692e-05,1.649932e-05,1.648984e-05,1.648606e-05,1.647208e-05,1.647150e-05,1.645743e-05,1.645200e-05,1.644215e-05,1.643142e-05,1.642627e-05,1.640984e-05,1.638734e-05,1.636399e-05,1.633987e-05,1.631504e-05,1.628955e-05,1.626346e-05,1.623684e-05,1.620972e-05,1.618216e-05,1.615420e-05,1.612588e-05,1.609725e-05,1.606833e-05,1.603918e-05,1.600981e-05,1.598027e-05,1.595057e-05,1.592076e-05,1.589085e-05,1.586087e-05,1.583085e-05,1.580080e-05,1.577075e-05,1.574072e-05
0.000000e+00,3.802297e-10,1.294840e-09,6.713935e-09,1.829461e-08,2.843472e-08,7.142091e-08,7.377993e-08,1.498081e-07,1.774602e-07,2.627673e-07,3.506615e-07,4.183629e-07,6.036874e-07,6.218417e-07,8.777882e-07,9.474287e-07,1.189484e-06,1.388827e-06,1.557721e-06,1.926122e-06,1.979307e-06,2.446204e-06,2.544013e-06,2.946472e-06,3.215351e-06,3.466773e-06,3.910251e-06,3.994814e-06,4.520542e-06,4.603899e-06,5.036250e-06,5.278476e-06,5.536175e-06,5.921860e-06,6.016077e-06,6.472883e-06,6.526037e-06,6.904449e-06,7.085960e-06,7.309388e-06,7.598848e-06,7.686944e-06,8.036892e-06,8.063699e-06,8.359449e-06,8.480921e-06,8.655195e-06,8.852008e-06,8.924997e-06,9.169929e-06,9.179226e-06,9.391225e-06,9.465362e-06,9.590229e-06,9.713532e-06,9.768341e-06,9.926981e-06,1.006756e-05,1.010896e-05,1.019147e-05,1.026264e-05,1.030004e-05,1.039102e-05,1.039454e-05,1.047618e-05,1.049688e-05,1.054607e-05,1.058281e-05,1.060528e-05,1.065115e-05,1.065477e-05,1.069546e-05,1.070400e-05,1.072814e-05,1.074324e-05,1.075360e-05,1.077056e-05,1.077251e-05,1.078549e-05,1.078743e-05,1.079314e-05,1.079518e-05,1.079596e-05,1.079494e-05,1.079442e-05,1.078896e-05,1.078775e-05,1.077996e-05,1.077449e-05,1.076777e-05,1.075595e-05,1.075272e-05,1.073509e-05,1.073281e-05,1.071514e-05,1.070569e-05,1.069312e-05,1.067512e-05,1.066923e-05,1.064368e-05,1.064157e-05,1.061664e-05,1.060544e-05,1.058827e-05,1.056711e-05,1.055873e-05,1.052814e-05,1.052690e-05,1.049664e-05,1.048509e-05,1.046432e-05,1.044194e-05,1.043130e-05,1.039767e-05,1.036351e-05,1.035248e-05,1.032891e-05,1.030655e-05,1.029392e-05,1.026004e-05,1.025862e-05,1.022308e-05,1.021309e-05,1.018733e-05,1.016581e-05,1.015145e-05,1.011834e-05,1.011546e-05,1.007941e-05,1.007076e-05,1.004336e-05,1.002317e-05,1.000732e-05,9.975642e-06,9.971327e-06,9.935423e-06,9.928254e-06,9.899629e-06,9.881069e-06,9.863972e-06,9.834142e-06,9.828475e-06,9.793160e-06,9.787527e-06,9.758046e-06,9.741268e-06,9.723152e-06,9.695407e-06,9.688495e-06,9.654089e-06,9.649978e-06,9.619949e-06,9.605014e-06,9.586086e-06,9.560544e-06,9.552513e-06,9.519239e-06,9.516591e-06,9.486274e-06,9.473177e-06,9.453627e-06,9.430321e-06,9.421304e-06,9.389312e-06,9.388039e-06,9.357657e-06,9.346345e-06,9.326345e-06,9.305251e-06,9.295380e-06,9.264767e-06,9.224900e-06,9.185658e-06,9.147045e-06,9.109065e-06,9.071720e-06,9.035011e-06,8.998939e-06,8.963503e-06,8.928702e-06,8.894532e-06,8.860992e-06,8.828077e-06,8.795783e-06,8.764106e-06,8.733040e-06,8.702579e-06,8.672717e-06,8.643449e-06,8.614767e-06,8.586664e-06,8.559133e-06,8.532167e-06,8.505758e-06,8.479898e-06
0.000000e+00,6.479019e-10,2.351268e-09,1.318958e-08,3.750696e-08,5.936704e-08,1.552111e-07,1.605847e-07,3.386832e-07,4.055685e-07,6.181570e-07,8.461737e-07,1.027361e-06,1.543594e-06,1.595451e-06,2.340858e-06,2.546099e-06,3.258460e-06,3.838636e-06,4.323537e-06,5.360008e-06,5.507530e-06,6.786938e-06,7.052616e-06,8.143828e-06,8.875156e-06,9.563763e-06,1.079589e-05,1.103401e-05,1.254252e-05,1.278664e-05,1.407745e-05,1.482014e-05,1.562704e-05,1.686952e-05,1.717978e-05,1.872452e-05,1.890884e-05,2.025072e-05,2.091384e-05,2.174868e-05,2.286281e-05,2.320964e-05,2.462594e-05,2.473711e-05,2.599109e-05,2.652160e-05,2.729977e-05,2.820466e-05,2.854779e-05,2.973209e-05,2.977810e-05,3.085060e-05,3.123691e-05,3.190218e-05,3.257883e-05,3.288650e-05,3.380394e-05,3.465545e-05,3.491425e-05,3.544251e-05,3.591324e-05,3.616695e-05,3.680548e-05,3.683091e-05,3.743677e-05,3.759635e-05,3.798709e-05,3.829171e-05,3.848450e-05,3.889770e-05,3.893169e-05,3.933138e-05,3.942054e-05,3.968626e-05,3.986640e-05,3.999896e-05,4.024131e-05,4.027208e-05,4.050809e-05,4.055105e-05,4.070939e-05,4.080112e-05,4.087829e-05,4.099673e-05,4.101698e-05,4.112753e-05,4.114275e-05,4.121194e-05,4.124371e-05,4.127205e-05,4.130382e-05,4.130961e-05,4.132629e-05,4.132696e-05,4.132361e-05,4.131669e-05,4.130305e-05,4.127629e-05,4.126595e-05,4.121359e-05,4.120878e-05,4.114717e-05,4.111692e-05,4.106780e-05,4.100322e-05,4.097651e-05,4.087428e-05,4.086998e-05,4.076200e-05,4.071929e-05,4.064053e-05,4.055308e-05,4.051065e-05,4.037309e-05,4.022853e-05,4.018090e-05,4.007762e-05,3.997797e-05,3.992093e-05,3.976560e-05,3.975903e-05,3.959243e-05,3.954500e-05,3.942160e-05,3.931726e-05,3.924698e-05,3.908336e-05,3.906901e-05,3.888804e-05,3.884421e-05,3.870446e-05,3.860063e-05,3.851858e-05,3.835336e-05,3.833072e-05,3.814117e-05,3.810308e-05,3.795019e-05,3.785041e-05,3.775804e-05,3.759589e-05,3.756494e-05,3.737112e-05,3.734005e-05,3.717676e-05,3.708334e-05,3.698206e-05,3.682617e-05,3.678719e-05,3.659230e-05,3.656892e-05,3.639755e-05,3.631194e-05,3.620307e-05,3.605552e-05,3.600898e-05,3.581541e-05,3.579995e-05,3.562247e-05,3.554549e-05,3.543025e-05,3.529235e-05,3.523884e-05,3.504834e-05,3.504074e-05,3.485882e-05,3.479084e-05,3.467035e-05,3.454282e-05,3.448300e-05,3.429682e-05,3.405298e-05,3.381140e-05,3.357218e-05,3.333543e-05,3.310120e-05,3.286959e-05,3.264063e-05,3.241439e-05,3.219090e-05,3.197020e-05,3.175231e-05,3.153727e-05,3.132508e-05,3.111575e-05,3.090930e-05,3.070572e-05,3.050501e-05,3.030717e-05,3.011220e-05,2.992007e-05,2.973077e-05,2.954429e-05,2.936062e-05,2.917972e-05
0.000000e+00,2.848666e-16,2.512768e-15,6.364624e-14,5.384728e-13,1.427469e-12,1.160462e-11,1.251133e-11,6.564302e-11,9.800867e-11,2.493590e-10,4.971754e-10,7.591581e-10,1.832479e-09,1.967887e-09,4.514280e-09,5.426912e-09,9.401987e-09,1.368581e-08,1.809349e-08,3.045665e-08,3.258030e-08,5.541553e-08,6.124831e-08,8.970319e-08,1.132370e-07,1.390455e-07,1.950529e-07,2.074545e-07,2.992373e-07,3.163892e-07,4.188629e-07,4.874940e-07,5.708198e-07,7.186048e-07,7.594729e-07,9.889256e-07,1.019383e-06,1.262892e-06,1.398389e-06,1.584587e-06,1.862632e-06,1.956631e-06,2.380975e-06,2.417224e-06,2.858857e-06,3.065135e-06,3.390765e-06,3.807074e-06,3.976436e-06,4.614865e-06,4.641478e-06,5.304338e-06,5.564606e-06,6.042480e-06,6.570719e-06,6.826312e-06,7.652328e-06,8.516569e-06,8.800501e-06,9.414707e-06,1.000518e-05,1.034213e-05,1.125554e-05,1.129403e-05,1.226548e-05,1.254031e-05,1.325151e-05,1.384808e-05,1.424720e-05,1.516760e-05,1.524770e-05,1.624835e-05,1.648803e-05,1.724467e-05,1.779914e-05,1.823245e-05,1.909148e-05,1.920773e-05,2.016690e-05,2.035650e-05,2.110664e-05,2.158663e-05,2.202399e-05,2.277531e-05,2.291630e-05,2.378131e-05,2.391704e-05,2.461704e-05,2.500731e-05,2.542188e-05,2.604262e-05,2.619452e-05,2.693394e-05,2.702040e-05,2.763940e-05,2.793891e-05,2.831043e-05,2.879723e-05,2.894679e-05,2.954847e-05,2.959511e-05,3.011564e-05,3.033293e-05,3.064868e-05,3.101160e-05,3.114808e-05,3.161450e-05,3.163248e-05,3.204870e-05,3.219729e-05,3.245155e-05,3.270807e-05,3.282400e-05,3.316707e-05,3.348181e-05,3.357672e-05,3.376932e-05,3.393957e-05,3.403075e-05,3.425825e-05,3.426724e-05,3.447994e-05,3.453539e-05,3.467000e-05,3.477365e-05,3.483857e-05,3.497564e-05,3.498677e-05,3.511571e-05,3.514392e-05,3.522648e-05,3.528097e-05,3.532013e-05,3.538918e-05,3.539767e-05,3.546010e-05,3.547086e-05,3.550837e-05,3.552817e-05,3.554339e-05,3.556320e-05,3.556603e-05,3.557713e-05,3.557789e-05,3.557750e-05,3.557408e-05,3.556789e-05,3.555350e-05,3.554902e-05,3.552157e-05,3.551773e-05,3.548621e-05,3.546830e-05,3.544353e-05,3.540656e-05,3.539411e-05,3.533851e-05,3.533381e-05,3.527722e-05,3.525122e-05,3.521073e-05,3.515989e-05,3.513950e-05,3.506394e-05,3.506083e-05,3.498446e-05,3.495496e-05,3.490143e-05,3.484313e-05,3.481521e-05,3.472611e-05,3.460461e-05,3.447929e-05,3.435073e-05,3.421946e-05,3.408598e-05,3.395073e-05,3.381411e-05,3.367649e-05,3.353819e-05,3.339951e-05,3.326073e-05,3.312209e-05,3.298380e-05,3.284607e-05,3.270907e-05,3.257295e-05,3.243786e-05,3.230393e-05,3.217126e-05,3.203996e-05,3.191011e-05,3.178179e-05,3.165507e-05,3.153001e-05
0.000000e+00,5.030237e-09,1.246260e-08,4.658996e-08,1.102670e-07,1.632835e-07,3.803854e-07,3.921546e-07,7.701324e-07,9.078576e-07,1.335630e-06,1.781929e-06,2.129795e-06,3.099984e-06,3.196375e-06,4.578171e-06,4.960737e-06,6.308031e-06,7.434062e-06,8.397112e-06,1.052125e-05,1.083043e-05,1.357492e-05,1.415774e-05,1.659173e-05,1.825555e-05,1.984352e-05,2.273185e-05,2.329657e-05,2.692028e-05,2.751399e-05,3.068623e-05,3.253645e-05,3.456747e-05,3.773811e-05,3.853821e-05,4.257373e-05,4.306122e-05,4.665050e-05,4.845158e-05,5.074635e-05,5.385919e-05,5.484063e-05,5.891441e-05,5.923891e-05,6.295057e-05,6.455101e-05,6.693383e-05,6.976143e-05,7.085080e-05,7.468990e-05,7.484170e-05,7.844130e-05,7.976871e-05,8.209682e-05,8.452433e-05,8.564977e-05,8.909485e-05,9.242800e-05,9.347046e-05,9.564627e-05,9.764470e-05,9.874764e-05,1.016139e-04,1.017310e-04,1.045959e-04,1.053768e-04,1.073425e-04,1.089341e-04,1.099717e-04,1.122877e-04,1.124845e-04,1.148825e-04,1.154412e-04,1.171677e-04,1.183988e-04,1.193420e-04,1.211656e-04,1.214078e-04,1.233677e-04,1.237471e-04,1.252241e-04,1.261494e-04,1.269798e-04,1.283787e-04,1.286375e-04,1.302000e-04,1.304414e-04,1.316702e-04,1.323440e-04,1.330509e-04,1.340929e-04,1.343450e-04,1.355551e-04,1.356949e-04,1.366843e-04,1.371561e-04,1.377351e-04,1.384831e-04,1.387104e-04,1.396128e-04,1.396820e-04,1.404450e-04,1.407588e-04,1.412096e-04,1.417196e-04,1.419091e-04,1.425459e-04,1.425701e-04,1.431226e-04,1.433159e-04,1.436414e-04,1.439624e-04,1.441048e-04,1.445148e-04,1.448738e-04,1.449783e-04,1.451839e-04,1.453576e-04,1.454470e-04,1.456574e-04,1.456653e-04,1.458407e-04,1.458824e-04,1.459751e-04,1.460368e-04,1.460702e-04,1.461247e-04,1.461280e-04,1.461501e-04,1.461503e-04,1.461382e-04,1.461173e-04,1.460939e-04,1.460293e-04,1.460187e-04,1.459142e-04,1.458900e-04,1.457819e-04,1.457025e-04,1.456231e-04,1.454702e-04,1.454392e-04,1.452315e-04,1.451961e-04,1.450013e-04,1.448832e-04,1.447498e-04,1.445340e-04,1.444782e-04,1.441876e-04,1.441515e-04,1.438791e-04,1.437379e-04,1.435537e-04,1.432959e-04,1.432126e-04,1.428566e-04,1.428275e-04,1.424867e-04,1.423350e-04,1.421037e-04,1.418204e-04,1.417087e-04,1.413023e-04,1.412858e-04,1.408854e-04,1.407328e-04,1.404587e-04,1.401634e-04,1.400230e-04,1.395791e-04,1.389814e-04,1.383720e-04,1.377521e-04,1.371231e-04,1.364863e-04,1.358428e-04,1.351937e-04,1.345401e-04,1.338829e-04,1.332230e-04,1.325614e-04,1.318988e-04,1.312359e-04,1.305735e-04,1.299123e-04,1.292528e-04,1.285956e-04,1.279413e-04,1.272903e-04,1.266430e-04,1.260000e-04,1.253617e-04,1.247282e-04,1.241001e-04
0.000000e+00,9.739715e-15,8.288779e-14,1.946000e-12,1.533945e-11,3.909096e-11,2.863369e-10,3.073804e-10,1.448706e-09,2.099381e-09,4.948066e-09,9.258700e-09,1.355318e-08,2.969966e-08,3.162820e-08,6.538653e-08,7.668746e-08,1.229852e-07,1.693304e-07,2.144875e-07,3.323988e-07,3.517069e-07,5.479316e-07,5.955069e-07,8.175071e-07,9.915933e-07,1.175243e-06,1.554499e-06,1.635625e-06,2.211880e-06,2.315608e-06,2.915000e-06,3.300014e-06,3.752873e-06,4.523117e-06,4.729646e-06,5.845399e-06,5.988481e-06,7.096160e-06,7.687398e-06,8.474205e-06,9.600004e-06,9.968572e-06,1.156571e-05,1.169746e-05,1.325017e-05,1.394471e-05,1.500533e-05,1.630319e-05,1.681402e-05,1.865907e-05,1.873339e-05,2.052380e-05,2.119684e-05,2.239238e-05,2.365765e-05,2.425010e-05,2.608358e-05,2.788088e-05,2.844663e-05,2.963157e-05,3.072336e-05,3.132671e-05,3.289485e-05,3.295884e-05,3.452192e-05,3.494653e-05,3.601123e-05,3.686790e-05,3.742328e-05,3.865209e-05,3.875571e-05,4.000716e-05,4.029538e-05,4.117713e-05,4.179681e-05,4.226593e-05,4.315767e-05,4.327451e-05,4.420437e-05,4.438106e-05,4.505749e-05,4.547155e-05,4.583622e-05,4.643477e-05,4.654318e-05,4.718125e-05,4.727715e-05,4.775344e-05,4.800560e-05,4.826287e-05,4.862736e-05,4.871272e-05,4.910620e-05,4.914978e-05,4.944651e-05,4.958020e-05,4.973678e-05,4.992582e-05,4.998009e-05,5.017946e-05,5.019360e-05,5.033779e-05,5.039025e-05,5.045787e-05,5.052216e-05,5.054240e-05,5.059395e-05,5.059536e-05,5.061497e-05,5.061551e-05,5.060779e-05,5.058793e-05,5.057461e-05,5.051754e-05,5.043854e-05,5.040893e-05,5.033947e-05,5.026634e-05,5.022207e-05,5.009367e-05,5.008800e-05,4.993880e-05,4.989450e-05,4.977589e-05,4.967214e-05,4.960064e-05,4.942959e-05,4.941431e-05,4.921806e-05,4.916961e-05,4.901301e-05,4.889471e-05,4.880016e-05,4.860716e-05,4.858047e-05,4.835482e-05,4.830905e-05,4.812403e-05,4.800225e-05,4.788887e-05,4.768847e-05,4.765003e-05,4.740817e-05,4.736924e-05,4.716389e-05,4.704594e-05,4.691775e-05,4.671984e-05,4.667025e-05,4.642188e-05,4.639203e-05,4.617305e-05,4.606354e-05,4.592418e-05,4.573524e-05,4.567563e-05,4.542773e-05,4.540794e-05,4.518079e-05,4.508235e-05,4.493509e-05,4.475909e-05,4.469087e-05,4.444838e-05,4.443872e-05,4.420781e-05,4.412172e-05,4.396936e-05,4.380851e-05,4.373319e-05,4.349946e-05,4.319490e-05,4.289508e-05,4.260025e-05,4.231058e-05,4.202624e-05,4.174735e-05,4.147401e-05,4.120631e-05,4.094428e-05,4.068796e-05,4.043737e-05,4.019251e-05,3.995335e-05,3.971986e-05,3.949202e-05,3.926976e-05,3.905303e-05,3.884176e-05,3.863588e-05,3.843531e-05,3.823996e-05,3.804975e-05,3.786460e-05,3.768440e-05
0.000000e+00,3.318310e-09,7.629372e-09,2.638994e-08,6.038207e-08,8.844451e-08,2.036407e-07,2.099289e-07,4.152564e-07,4.917995e-07,7.353462e-07,9.979632e-07,1.207701e-06,1.807860e-06,1.868170e-06,2.730693e-06,2.966097e-06,3.775152e-06,4.425579e-06,4.964219e-06,6.103436e-06,6.264465e-06,7.651947e-06,7.938332e-06,9.109649e-06,9.890913e-06,1.062429e-05,1.193212e-05,1.218432e-05,1.377884e-05,1.403646e-05,1.539726e-05,1.617954e-05,1.702920e-05,1.833768e-05,1.866455e-05,2.029369e-05,2.048834e-05,2.190762e-05,2.261077e-05,2.349808e-05,2.468656e-05,2.505770e-05,2.658000e-05,2.670000e-05,2.805947e-05,2.863822e-05,2.949154e-05,3.049116e-05,3.087250e-05,3.219950e-05,3.225142e-05,3.347044e-05,3.391397e-05,3.468393e-05,3.547585e-05,3.583916e-05,3.693586e-05,3.797421e-05,3.829424e-05,3.895476e-05,3.955236e-05,3.987837e-05,4.071253e-05,4.074619e-05,4.155953e-05,4.177771e-05,4.231990e-05,4.275136e-05,4.302890e-05,4.363728e-05,4.368824e-05,4.429968e-05,4.443950e-05,4.486503e-05,4.516217e-05,4.538610e-05,4.580945e-05,4.586470e-05,4.630267e-05,4.638554e-05,4.670178e-05,4.689455e-05,4.706380e-05,4.734050e-05,4.739045e-05,4.768342e-05,4.772728e-05,4.794434e-05,4.805866e-05,4.817479e-05,4.833827e-05,4.837633e-05,4.855044e-05,4.856955e-05,4.869854e-05,4.875583e-05,4.882203e-05,4.890025e-05,4.892224e-05,4.900045e-05,4.900579e-05,4.905787e-05,4.907529e-05,4.909570e-05,4.911144e-05,4.911506e-05,4.911702e-05,4.911676e-05,4.910263e-05,4.909364e-05,4.907287e-05,4.904434e-05,4.902869e-05,4.897099e-05,4.890063e-05,4.887558e-05,4.881843e-05,4.875998e-05,4.872518e-05,4.862595e-05,4.862162e-05,4.850847e-05,4.847516e-05,4.838639e-05,4.830913e-05,4.825604e-05,4.812934e-05,4.811803e-05,4.797293e-05,4.793712e-05,4.782131e-05,4.773374e-05,4.766368e-05,4.752040e-05,4.750055e-05,4.733238e-05,4.729818e-05,4.715963e-05,4.706813e-05,4.698273e-05,4.683120e-05,4.680206e-05,4.661802e-05,4.658829e-05,4.643097e-05,4.634021e-05,4.624124e-05,4.608775e-05,4.604916e-05,4.585503e-05,4.583161e-05,4.565914e-05,4.557246e-05,4.546176e-05,4.531091e-05,4.526314e-05,4.506354e-05,4.504753e-05,4.486316e-05,4.478285e-05,4.466224e-05,4.451734e-05,4.446095e-05,4.425951e-05,4.425145e-05,4.405807e-05,4.398559e-05,4.385682e-05,4.372014e-05,4.365589e-05,4.345544e-05,4.319181e-05,4.292953e-05,4.266887e-05,4.241006e-05,4.215332e-05,4.189885e-05,4.164682e-05,4.139739e-05,4.115070e-05,4.090688e-05,4.066603e-05,4.042826e-05,4.019365e-05,3.996227e-05,3.973418e-05,3.950944e-05,3.928808e-05,3.907014e-05,3.885566e-05,3.864464e-05,3.843709e-05,3.823304e-05,3.803247e-05,3.783537e-05
0.000000e+00,3.145864e-15,2.711865e-14,6.543161e-13,5.293578e-12,1.369200e-11,1.044777e-10,1.123529e-10,5.542445e-10,8.140691e-10,1.989524e-09,3.844162e-09,5.754283e-09,1.330533e-08,1.423725e-08,3.125970e-08,3.719132e-08,6.233495e-08,8.849938e-08,1.146715e-07,1.851284e-07,1.968797e-07,3.184496e-07,3.483468e-07,4.891194e-07,6.004106e-07,7.182499e-07,9.621100e-07,1.014282e-06,1.384322e-06,1.450787e-06,1.833859e-06,2.079034e-06,2.366607e-06,2.854046e-06,2.984453e-06,3.687487e-06,3.777516e-06,4.474093e-06,4.845908e-06,5.341092e-06,6.051012e-06,6.283914e-06,7.296797e-06,7.380659e-06,8.372998e-06,8.819545e-06,9.505005e-06,1.035010e-05,1.068476e-05,1.190387e-05,1.195333e-05,1.315380e-05,1.360967e-05,1.442604e-05,1.529966e-05,1.571229e-05,1.700460e-05,1.829546e-05,1.870707e-05,1.957788e-05,2.039124e-05,2.084551e-05,2.204318e-05,2.209260e-05,2.331412e-05,2.365095e-05,2.450566e-05,2.520463e-05,2.566351e-05,2.669630e-05,2.678456e-05,2.786634e-05,2.811989e-05,2.890690e-05,2.947106e-05,2.990483e-05,3.074698e-05,3.085918e-05,3.176942e-05,3.194615e-05,3.263538e-05,3.306822e-05,3.345721e-05,3.411376e-05,3.423535e-05,3.497044e-05,3.508412e-05,3.566336e-05,3.598127e-05,3.631510e-05,3.680760e-05,3.692680e-05,3.749970e-05,3.756590e-05,3.803509e-05,3.825913e-05,3.853434e-05,3.889046e-05,3.899884e-05,3.942999e-05,3.946308e-05,3.982919e-05,3.998024e-05,4.019785e-05,4.044515e-05,4.053735e-05,4.084905e-05,4.086096e-05,4.113427e-05,4.123071e-05,4.139430e-05,4.155738e-05,4.163040e-05,4.184379e-05,4.203564e-05,4.209266e-05,4.220706e-05,4.230657e-05,4.235916e-05,4.248794e-05,4.249296e-05,4.260946e-05,4.263911e-05,4.270961e-05,4.276223e-05,4.279432e-05,4.285937e-05,4.286447e-05,4.292087e-05,4.293245e-05,4.296433e-05,4.298329e-05,4.299558e-05,4.301356e-05,4.301535e-05,4.302431e-05,4.302487e-05,4.302312e-05,4.301868e-05,4.301238e-05,4.299641e-05,4.299267e-05,4.296457e-05,4.295932e-05,4.292858e-05,4.290865e-05,4.288521e-05,4.284552e-05,4.283494e-05,4.277821e-05,4.277098e-05,4.271544e-05,4.268602e-05,4.264705e-05,4.259155e-05,4.257342e-05,4.249490e-05,4.248842e-05,4.241185e-05,4.237743e-05,4.232458e-05,4.225931e-05,4.223341e-05,4.213862e-05,4.213476e-05,4.204050e-05,4.200441e-05,4.193930e-05,4.186886e-05,4.183528e-05,4.172866e-05,4.158433e-05,4.143635e-05,4.128516e-05,4.113116e-05,4.097475e-05,4.081628e-05,4.065608e-05,4.049445e-05,4.033167e-05,4.016802e-05,4.000372e-05,3.983901e-05,3.967409e-05,3.950915e-05,3.934437e-05,3.917991e-05,3.901592e-05,3.885254e-05,3.868989e-05,3.852810e-05,3.836726e-05,3.820747e-05,3.804882e-05,3.789140e-05
0.000000e+00,5.967177e-16,5.168838e-15,1.259018e-13,1.026413e-12,2.664565e-12,2.047353e-11,2.202093e-11,1.088121e-10,1.597145e-10,3.886689e-10,7.461613e-10,1.110522e-09,2.524208e-09,2.696404e-09,5.785015e-09,6.842898e-09,1.126324e-08,1.579300e-08,2.028231e-08,3.226552e-08,3.425694e-08,5.484664e-08,5.991958e-08,8.391792e-08,1.030522e-07,1.234866e-07,1.663644e-07,1.756410e-07,2.424508e-07,2.546333e-07,3.258682e-07,3.723287e-07,4.276320e-07,5.232308e-07,5.491802e-07,6.915809e-07,7.101057e-07,8.554833e-07,9.344808e-07,1.041091e-06,1.196533e-06,1.248156e-06,1.475992e-06,1.495086e-06,1.723505e-06,1.827705e-06,1.989236e-06,2.190855e-06,2.271407e-06,2.567983e-06,2.580114e-06,2.876730e-06,2.990404e-06,3.195275e-06,3.416232e-06,3.521165e-06,3.851922e-06,4.185095e-06,4.291829e-06,4.518306e-06,4.730529e-06,4.849289e-06,5.162966e-06,5.175923e-06,5.496259e-06,5.584580e-06,5.808539e-06,5.991387e-06,6.111213e-06,6.380035e-06,6.402943e-06,6.682605e-06,6.747823e-06,6.949290e-06,7.092696e-06,7.202296e-06,7.413218e-06,7.441115e-06,7.665423e-06,7.708527e-06,7.875066e-06,7.978278e-06,8.070041e-06,8.222577e-06,8.250480e-06,8.416632e-06,8.441912e-06,8.568847e-06,8.637084e-06,8.707558e-06,8.809139e-06,8.833267e-06,8.946525e-06,8.959307e-06,9.047926e-06,9.088945e-06,9.138088e-06,9.199485e-06,9.217647e-06,9.287240e-06,9.292396e-06,9.347505e-06,9.369141e-06,9.399072e-06,9.431157e-06,9.442551e-06,9.478536e-06,9.479827e-06,9.507598e-06,9.516471e-06,9.530281e-06,9.542327e-06,9.547102e-06,9.558549e-06,9.565079e-06,9.566202e-06,9.567122e-06,9.566260e-06,9.565076e-06,9.559611e-06,9.559314e-06,9.550178e-06,9.547059e-06,9.537987e-06,9.529328e-06,9.523032e-06,9.507066e-06,9.505584e-06,9.485888e-06,9.480852e-06,9.464171e-06,9.451205e-06,9.440640e-06,9.418582e-06,9.415484e-06,9.388875e-06,9.383393e-06,9.360970e-06,9.345997e-06,9.331915e-06,9.306714e-06,9.301838e-06,9.270860e-06,9.265827e-06,9.239089e-06,9.223586e-06,9.206623e-06,9.180213e-06,9.173555e-06,9.139964e-06,9.135902e-06,9.105928e-06,9.090828e-06,9.071513e-06,9.045145e-06,9.036784e-06,9.001796e-06,8.998988e-06,8.966602e-06,8.952478e-06,8.931250e-06,8.905723e-06,8.895783e-06,8.860240e-06,8.858818e-06,8.824659e-06,8.811847e-06,8.789073e-06,8.764888e-06,8.753513e-06,8.718006e-06,8.671263e-06,8.624712e-06,8.578401e-06,8.532373e-06,8.486665e-06,8.441313e-06,8.396346e-06,8.351790e-06,8.307670e-06,8.264008e-06,8.220821e-06,8.178126e-06,8.135937e-06,8.094267e-06,8.053126e-06,8.012523e-06,7.972465e-06,7.932958e-06,7.894007e-06,7.855617e-06,7.817789e-06,7.780526e-06,7.743828e-06,7.707696e-06
0.000000e+00,3.578849e-15,3.116474e-14,7.677302e-13,6.326490e-12,1.652421e-11,1.290892e-10,1.389432e-10,6.989188e-10,1.031129e-09,2.543123e-09,4.938576e-09,7.407787e-09,1.715216e-08,1.835239e-08,4.021161e-08,4.781226e-08,8.002755e-08,1.136408e-07,1.474255e-07,2.393922e-07,2.548865e-07,4.178491e-07,4.586623e-07,6.545612e-07,8.135616e-07,9.856218e-07,1.352825e-06,1.433207e-06,2.020051e-06,2.128367e-06,2.768288e-06,3.190848e-06,3.698292e-06,4.585083e-06,4.827619e-06,6.170151e-06,6.346086e-06,7.735483e-06,8.496259e-06,9.528564e-06,1.104392e-05,1.154959e-05,1.379411e-05,1.398309e-05,1.625333e-05,1.729441e-05,1.891455e-05,2.094678e-05,2.176167e-05,2.477580e-05,2.489955e-05,2.793590e-05,2.910495e-05,3.121937e-05,3.351059e-05,3.460264e-05,3.806175e-05,4.157283e-05,4.270352e-05,4.511256e-05,4.738261e-05,4.865850e-05,5.204876e-05,5.218945e-05,5.568567e-05,5.665587e-05,5.912902e-05,6.116278e-05,6.250316e-05,6.553370e-05,6.579354e-05,6.898747e-05,6.973842e-05,7.207409e-05,7.375228e-05,7.504433e-05,7.755598e-05,7.789081e-05,8.060778e-05,8.113524e-05,8.319099e-05,8.448040e-05,8.563758e-05,8.758591e-05,8.794592e-05,9.011552e-05,9.044980e-05,9.214688e-05,9.307320e-05,9.404138e-05,9.545986e-05,9.580116e-05,9.742901e-05,9.761564e-05,9.892825e-05,9.954812e-05,1.003026e-04,1.012662e-04,1.015563e-04,1.026936e-04,1.027797e-04,1.037191e-04,1.040991e-04,1.046376e-04,1.052354e-04,1.054539e-04,1.061729e-04,1.061997e-04,1.067993e-04,1.070031e-04,1.073381e-04,1.076567e-04,1.077939e-04,1.081714e-04,1.084751e-04,1.085575e-04,1.087095e-04,1.088251e-04,1.088788e-04,1.089840e-04,1.089872e-04,1.090386e-04,1.090433e-04,1.090368e-04,1.090117e-04,1.089854e-04,1.088974e-04,1.088880e-04,1.087478e-04,1.087081e-04,1.085680e-04,1.084511e-04,1.083516e-04,1.081332e-04,1.081015e-04,1.078203e-04,1.077606e-04,1.075106e-04,1.073392e-04,1.071749e-04,1.068744e-04,1.068154e-04,1.064342e-04,1.063713e-04,1.060334e-04,1.058346e-04,1.056148e-04,1.052684e-04,1.051803e-04,1.047315e-04,1.046768e-04,1.042701e-04,1.040634e-04,1.037974e-04,1.034315e-04,1.033149e-04,1.028238e-04,1.027842e-04,1.023255e-04,1.021243e-04,1.018209e-04,1.014543e-04,1.013112e-04,1.007973e-04,1.007766e-04,1.002801e-04,1.000933e-04,9.976058e-05,9.940632e-05,9.923942e-05,9.871738e-05,9.802808e-05,9.733986e-05,9.665399e-05,9.597163e-05,9.529383e-05,9.462149e-05,9.395545e-05,9.329642e-05,9.264506e-05,9.200192e-05,9.136749e-05,9.074220e-05,9.012640e-05,8.952039e-05,8.892445e-05,8.833877e-05,8.776352e-05,8.719884e-05,8.664481e-05,8.610151e-05,8.556897e-05,8.504718e-05,8.453614e-05,8.403582e-05
0.000000e+00,7.856069e-10,3.150299e-09,2.008433e-08,6.132093e-08,1.001832e-07,2.830726e-07,2.938345e-07,6.761062e-07,8.310902e-07,1.356765e-06,1.961147e-06,2.458144e-06,3.884268e-06,4.025323e-06,5.967676e-06,6.473331e-06,8.142205e-06,9.418718e-06,1.043980e-05,1.251043e-05,1.279454e-05,1.516639e-05,1.564026e-05,1.752783e-05,1.874430e-05,1.985709e-05,2.177501e-05,2.213540e-05,2.434610e-05,2.469254e-05,2.647467e-05,2.746357e-05,2.850904e-05,3.006218e-05,3.043963e-05,3.225949e-05,3.247019e-05,3.396413e-05,3.467702e-05,3.555135e-05,3.667892e-05,3.702094e-05,3.837436e-05,3.847769e-05,3.961439e-05,4.007949e-05,4.074487e-05,4.149353e-05,4.177038e-05,4.269600e-05,4.273103e-05,4.352716e-05,4.380432e-05,4.426940e-05,4.472618e-05,4.492829e-05,4.550935e-05,4.601791e-05,4.616618e-05,4.645913e-05,4.670845e-05,4.683792e-05,4.714716e-05,4.715895e-05,4.742662e-05,4.749257e-05,4.764505e-05,4.775410e-05,4.781812e-05,4.794038e-05,4.794942e-05,4.804234e-05,4.805927e-05,4.809998e-05,4.811794e-05,4.812525e-05,4.812285e-05,4.812084e-05,4.808925e-05,4.807988e-05,4.803278e-05,4.799430e-05,4.795357e-05,4.787090e-05,4.785358e-05,4.773466e-05,4.771399e-05,4.759847e-05,4.752743e-05,4.744659e-05,4.731475e-05,4.728044e-05,4.710136e-05,4.707907e-05,4.691058e-05,4.682323e-05,4.670924e-05,4.654979e-05,4.649837e-05,4.627894e-05,4.626104e-05,4.605185e-05,4.595905e-05,4.581792e-05,4.564569e-05,4.557791e-05,4.533253e-05,4.532262e-05,4.508243e-05,4.499135e-05,4.482819e-05,4.465324e-05,4.457038e-05,4.430951e-05,4.404604e-05,4.396126e-05,4.378041e-05,4.360947e-05,4.351303e-05,4.325502e-05,4.324425e-05,4.297442e-05,4.289873e-05,4.270386e-05,4.254130e-05,4.243286e-05,4.218337e-05,4.216167e-05,4.189055e-05,4.182552e-05,4.161973e-05,4.146827e-05,4.134940e-05,4.111208e-05,4.107977e-05,4.081100e-05,4.075736e-05,4.054326e-05,4.040449e-05,4.027669e-05,4.005378e-05,4.001143e-05,3.974760e-05,3.970553e-05,3.948532e-05,3.936001e-05,3.922469e-05,3.901743e-05,3.896580e-05,3.870873e-05,3.867801e-05,3.845357e-05,3.834192e-05,3.820038e-05,3.800931e-05,3.794922e-05,3.770015e-05,3.768032e-05,3.745322e-05,3.735506e-05,3.720848e-05,3.703364e-05,3.696597e-05,3.672571e-05,3.671614e-05,3.648774e-05,3.640264e-05,3.625208e-05,3.609317e-05,3.601877e-05,3.578781e-05,3.548657e-05,3.518949e-05,3.489659e-05,3.460787e-05,3.432334e-05,3.404300e-05,3.376684e-05,3.349484e-05,3.322698e-05,3.296325e-05,3.270362e-05,3.244806e-05,3.219652e-05,3.194899e-05,3.170542e-05,3.146576e-05,3.122999e-05,3.099805e-05,3.076989e-05,3.054548e-05,3.032476e-05,3.010769e-05,2.989421e-05,2.968428e-05
0.000000e+00,4.092958e-09,9.423805e-09,3.255014e-08,7.407562e-08,1.079913e-07,2.439886e-07,2.512721e-07,4.821022e-07,5.650360e-07,8.196082e-07,1.081164e-06,1.282612e-06,1.834996e-06,1.889200e-06,2.654820e-06,2.863417e-06,3.588198e-06,4.183671e-06,4.686537e-06,5.777641e-06,5.934592e-06,7.309584e-06,7.597668e-06,8.787384e-06,9.588976e-06,1.034572e-05,1.170237e-05,1.196473e-05,1.362662e-05,1.389540e-05,1.531521e-05,1.613082e-05,1.701571e-05,1.837561e-05,1.871468e-05,2.040006e-05,2.060087e-05,2.206117e-05,2.278194e-05,2.368877e-05,2.489847e-05,2.527504e-05,2.681354e-05,2.693440e-05,2.829912e-05,2.887761e-05,2.972782e-05,3.071961e-05,3.109677e-05,3.240404e-05,3.245503e-05,3.364856e-05,3.408113e-05,3.482994e-05,3.559731e-05,3.594841e-05,3.700467e-05,3.799981e-05,3.830556e-05,3.893522e-05,3.950331e-05,3.981259e-05,4.060197e-05,4.063376e-05,4.140072e-05,4.160603e-05,4.211553e-05,4.252028e-05,4.278034e-05,4.334964e-05,4.339729e-05,4.396855e-05,4.409909e-05,4.449627e-05,4.477356e-05,4.498255e-05,4.537787e-05,4.542949e-05,4.583911e-05,4.591672e-05,4.621337e-05,4.639464e-05,4.655417e-05,4.681592e-05,4.686333e-05,4.714261e-05,4.718463e-05,4.739369e-05,4.750467e-05,4.761819e-05,4.777970e-05,4.781767e-05,4.799360e-05,4.801319e-05,4.814740e-05,4.820840e-05,4.828040e-05,4.836837e-05,4.839390e-05,4.848911e-05,4.849597e-05,4.856719e-05,4.859387e-05,4.862924e-05,4.866458e-05,4.867630e-05,4.870938e-05,4.871042e-05,4.872940e-05,4.873359e-05,4.873726e-05,4.873609e-05,4.873381e-05,4.871983e-05,4.869610e-05,4.868656e-05,4.866331e-05,4.863789e-05,4.862215e-05,4.857535e-05,4.857326e-05,4.851723e-05,4.850034e-05,4.845464e-05,4.841415e-05,4.838601e-05,4.831799e-05,4.831187e-05,4.823268e-05,4.821297e-05,4.814889e-05,4.810011e-05,4.806092e-05,4.798037e-05,4.796917e-05,4.787402e-05,4.785461e-05,4.777582e-05,4.772365e-05,4.767489e-05,4.758823e-05,4.757155e-05,4.746608e-05,4.744903e-05,4.735877e-05,4.730667e-05,4.724986e-05,4.716174e-05,4.713959e-05,4.702819e-05,4.701476e-05,4.691587e-05,4.686621e-05,4.680282e-05,4.671654e-05,4.668923e-05,4.657527e-05,4.656614e-05,4.646108e-05,4.641538e-05,4.634683e-05,4.626461e-05,4.623265e-05,4.611866e-05,4.611411e-05,4.600499e-05,4.596416e-05,4.589174e-05,4.581502e-05,4.577901e-05,4.566690e-05,4.552000e-05,4.537452e-05,4.523059e-05,4.508837e-05,4.494799e-05,4.480955e-05,4.467315e-05,4.453887e-05,4.440678e-05,4.427695e-05,4.414942e-05,4.402424e-05,4.390144e-05,4.378104e-05,4.366306e-05,4.354752e-05,4.343441e-05,4.332375e-05,4.321552e-05,4.310971e-05,4.300632e-05,4.290533e-05,4.280671e-05,4.271045e-05
0.000000e+00,8.966139e-13,6.446339e-12,1.075876e-10,6.281286e-10,1.363909e-09,6.716588e-09,7.098406e-09,2.315480e-08,3.049768e-08,5.702797e-08,8.929599e-08,1.168888e-07,2.019956e-07,2.109726e-07,3.473148e-07,3.871927e-07,5.336652e-07,6.626399e-07,7.774176e-07,1.044850e-06,1.085405e-06,1.463434e-06,1.547841e-06,1.915539e-06,2.180515e-06,2.443187e-06,2.943743e-06,3.044828e-06,3.716116e-06,3.829578e-06,4.450655e-06,4.823512e-06,5.240923e-06,5.907965e-06,6.079040e-06,6.957247e-06,7.064970e-06,7.868143e-06,8.277478e-06,8.804744e-06,9.529711e-06,9.760508e-06,1.072933e-05,1.080723e-05,1.170554e-05,1.209691e-05,1.268391e-05,1.338697e-05,1.365965e-05,1.462844e-05,1.466699e-05,1.558643e-05,1.592799e-05,1.653021e-05,1.716234e-05,1.745684e-05,1.836380e-05,1.924900e-05,1.952737e-05,2.011070e-05,2.064920e-05,2.094752e-05,2.172649e-05,2.175842e-05,2.254261e-05,2.275732e-05,2.329957e-05,2.374054e-05,2.402899e-05,2.467562e-05,2.473074e-05,2.540487e-05,2.556257e-05,2.605156e-05,2.640183e-05,2.667111e-05,2.719417e-05,2.726391e-05,2.783044e-05,2.794064e-05,2.837124e-05,2.864247e-05,2.888689e-05,2.930106e-05,2.937803e-05,2.984531e-05,2.991791e-05,3.028943e-05,3.049457e-05,3.071106e-05,3.103267e-05,3.111094e-05,3.148975e-05,3.153382e-05,3.184821e-05,3.199967e-05,3.218703e-05,3.243182e-05,3.250690e-05,3.280851e-05,3.283187e-05,3.309253e-05,3.320137e-05,3.335964e-05,3.354183e-05,3.361046e-05,3.384564e-05,3.385473e-05,3.406579e-05,3.414148e-05,3.427151e-05,3.440346e-05,3.446340e-05,3.464200e-05,3.480788e-05,3.485836e-05,3.496156e-05,3.505376e-05,3.510357e-05,3.522937e-05,3.523440e-05,3.535453e-05,3.538631e-05,3.546443e-05,3.552566e-05,3.556456e-05,3.564842e-05,3.565535e-05,3.573722e-05,3.575558e-05,3.581056e-05,3.584806e-05,3.587578e-05,3.592676e-05,3.593326e-05,3.598334e-05,3.599250e-05,3.602639e-05,3.604611e-05,3.606274e-05,3.608833e-05,3.609271e-05,3.611662e-05,3.611990e-05,3.613475e-05,3.614149e-05,3.614741e-05,3.615377e-05,3.615486e-05,3.615737e-05,3.615735e-05,3.615519e-05,3.615282e-05,3.614858e-05,3.614073e-05,3.613777e-05,3.612297e-05,3.612163e-05,3.610442e-05,3.609599e-05,3.608231e-05,3.606430e-05,3.605685e-05,3.602822e-05,3.602701e-05,3.599661e-05,3.598454e-05,3.596220e-05,3.593728e-05,3.592515e-05,3.588562e-05,3.582991e-05,3.577049e-05,3.570768e-05,3.564178e-05,3.557307e-05,3.550181e-05,3.542826e-05,3.535266e-05,3.527522e-05,3.519615e-05,3.511566e-05,3.503392e-05,3.495111e-05,3.486739e-05,3.478291e-05,3.469782e-05,3.461225e-05,3.452632e-05,3.444015e-05,3.435384e-05,3.426751e-05,3.418124e-05,3.409512e-05,3.400923e-05
0.000000e+00,1.683945e-15,1.499018e-14,3.870419e-13,3.334914e-12,8.934141e-12,7.477393e-11,8.071721e-11,4.374813e-10,6.594500e-10,1.721204e-09,3.509421e-09,5.442119e-09,1.362995e-08,1.468515e-08,3.511115e-08,4.263166e-08,7.619782e-08,1.134293e-07,1.525527e-07,2.653547e-07,2.850835e-07,5.018489e-07,5.583117e-07,8.384864e-07,1.074957e-06,1.338183e-06,1.920531e-06,2.051214e-06,3.034104e-06,3.220467e-06,4.348474e-06,5.116197e-06,6.059663e-06,7.759666e-06,8.235192e-06,1.094313e-05,1.130706e-05,1.425046e-05,1.591227e-05,1.822145e-05,2.172042e-05,2.291618e-05,2.838907e-05,2.886200e-05,3.468771e-05,3.744755e-05,4.185178e-05,4.756353e-05,4.991224e-05,5.889066e-05,5.926909e-05,6.879886e-05,7.259409e-05,7.963871e-05,8.753825e-05,9.140214e-05,1.040714e-04,1.176193e-04,1.221346e-04,1.320101e-04,1.416426e-04,1.471998e-04,1.624859e-04,1.631370e-04,1.797641e-04,1.845348e-04,1.970177e-04,2.076425e-04,2.148300e-04,2.316493e-04,2.331295e-04,2.518421e-04,2.563862e-04,2.708920e-04,2.816787e-04,2.902025e-04,3.073504e-04,3.096969e-04,3.292994e-04,3.332263e-04,3.489356e-04,3.591357e-04,3.685334e-04,3.849148e-04,3.880232e-04,4.073386e-04,4.104087e-04,4.264170e-04,4.354730e-04,4.451996e-04,4.599758e-04,4.636317e-04,4.816630e-04,4.837976e-04,4.992478e-04,5.068329e-04,5.163449e-04,5.289897e-04,5.329175e-04,5.489335e-04,5.501899e-04,5.643653e-04,5.703690e-04,5.791894e-04,5.894756e-04,5.933867e-04,6.069420e-04,6.074707e-04,6.198439e-04,6.243270e-04,6.320846e-04,6.400282e-04,6.436597e-04,6.545681e-04,6.648113e-04,6.679493e-04,6.743937e-04,6.801827e-04,6.833222e-04,6.912865e-04,6.916055e-04,6.992548e-04,7.012847e-04,7.062826e-04,7.102069e-04,7.127032e-04,7.180871e-04,7.185321e-04,7.237858e-04,7.249631e-04,7.284822e-04,7.308755e-04,7.326395e-04,7.358672e-04,7.362769e-04,7.394137e-04,7.399828e-04,7.420699e-04,7.432677e-04,7.442654e-04,7.457684e-04,7.460204e-04,7.473550e-04,7.475309e-04,7.482892e-04,7.486013e-04,7.488430e-04,7.490251e-04,7.490358e-04,7.488869e-04,7.488469e-04,7.484152e-04,7.481101e-04,7.476392e-04,7.468569e-04,7.465768e-04,7.452456e-04,7.451280e-04,7.436625e-04,7.429625e-04,7.418440e-04,7.403978e-04,7.398058e-04,7.375634e-04,7.374697e-04,7.351313e-04,7.342121e-04,7.325237e-04,7.306572e-04,7.297540e-04,7.268353e-04,7.227751e-04,7.185034e-04,7.140454e-04,7.094246e-04,7.046628e-04,6.997805e-04,6.947964e-04,6.897281e-04,6.845917e-04,6.794019e-04,6.741725e-04,6.689160e-04,6.636437e-04,6.583660e-04,6.530926e-04,6.478318e-04,6.425916e-04,6.373789e-04,6.322001e-04,6.270607e-04,6.219657e-04,6.169198e-04,6.119267e-04,6.069900e-04
0.000000e+00,1.301301e-13,1.015450e-12,1.994618e-11,1.338973e-10,3.126971e-10,1.834113e-09,1.951408e-09,7.420011e-09,1.015436e-08,2.077302e-08,3.475193e-08,4.735066e-08,8.874463e-08,9.328248e-08,1.649961e-07,1.867542e-07,2.688337e-07,3.432650e-07,4.107749e-07,5.714922e-07,5.961972e-07,8.295751e-07,8.823112e-07,1.114054e-06,1.282699e-06,1.450946e-06,1.773846e-06,1.839346e-06,2.276064e-06,2.350101e-06,2.755943e-06,2.999725e-06,3.272423e-06,3.707061e-06,3.818199e-06,4.385773e-06,4.454997e-06,4.967860e-06,5.226798e-06,5.557641e-06,6.007173e-06,6.148902e-06,6.736092e-06,6.782741e-06,7.314341e-06,7.542175e-06,7.879452e-06,8.276184e-06,8.427884e-06,8.956721e-06,8.977433e-06,9.463642e-06,9.640411e-06,9.946874e-06,1.026128e-05,1.040515e-05,1.083767e-05,1.124401e-05,1.136850e-05,1.162412e-05,1.185373e-05,1.197824e-05,1.229418e-05,1.230684e-05,1.261060e-05,1.269131e-05,1.289034e-05,1.304705e-05,1.314701e-05,1.336366e-05,1.338165e-05,1.359533e-05,1.364361e-05,1.378916e-05,1.388945e-05,1.396426e-05,1.410375e-05,1.412176e-05,1.426274e-05,1.428905e-05,1.438829e-05,1.444782e-05,1.449943e-05,1.458238e-05,1.459715e-05,1.468242e-05,1.469496e-05,1.475612e-05,1.478764e-05,1.481910e-05,1.486232e-05,1.487218e-05,1.491610e-05,1.492079e-05,1.495157e-05,1.496467e-05,1.497925e-05,1.499546e-05,1.499976e-05,1.501368e-05,1.501452e-05,1.502154e-05,1.502310e-05,1.502384e-05,1.502231e-05,1.502104e-05,1.501357e-05,1.501318e-05,1.500184e-05,1.499664e-05,1.498620e-05,1.497352e-05,1.496701e-05,1.494459e-05,1.491922e-05,1.491052e-05,1.489118e-05,1.487195e-05,1.486072e-05,1.482942e-05,1.482808e-05,1.479347e-05,1.478345e-05,1.475709e-05,1.473450e-05,1.471913e-05,1.468296e-05,1.467977e-05,1.463914e-05,1.462923e-05,1.459742e-05,1.457362e-05,1.455472e-05,1.451644e-05,1.451117e-05,1.446689e-05,1.445796e-05,1.442199e-05,1.439843e-05,1.437657e-05,1.433808e-05,1.433071e-05,1.428451e-05,1.427709e-05,1.423803e-05,1.421564e-05,1.419135e-05,1.415391e-05,1.414454e-05,1.409765e-05,1.409202e-05,1.405074e-05,1.403011e-05,1.400387e-05,1.396830e-05,1.395708e-05,1.391042e-05,1.390669e-05,1.386392e-05,1.384538e-05,1.381762e-05,1.378443e-05,1.377156e-05,1.372577e-05,1.372394e-05,1.368026e-05,1.366396e-05,1.363508e-05,1.360455e-05,1.359024e-05,1.354577e-05,1.348766e-05,1.343025e-05,1.337358e-05,1.331769e-05,1.326259e-05,1.320831e-05,1.315487e-05,1.310228e-05,1.305055e-05,1.299969e-05,1.294972e-05,1.290063e-05,1.285243e-05,1.280511e-05,1.275869e-05,1.271315e-05,1.266850e-05,1.262473e-05,1.258182e-05,1.253979e-05,1.249862e-05,1.245830e-05,1.241883e-05,1.238018e-05
0.000000e+00,1.310841e-15,1.132128e-14,2.747059e-13,2.232729e-12,5.786781e-12,4.428187e-11,4.762092e-11,2.343896e-10,3.436784e-10,8.341883e-10,1.598162e-09,2.375392e-09,5.383210e-09,5.748983e-09,1.229566e-08,1.453329e-08,2.386502e-08,3.340408e-08,4.283941e-08,6.795401e-08,7.211916e-08,1.150692e-07,1.256234e-07,1.754282e-07,2.150122e-07,2.571807e-07,3.453639e-07,3.643952e-07,5.010329e-07,5.258752e-07,6.707361e-07,7.648777e-07,8.766161e-07,1.069000e-06,1.121059e-06,1.405572e-06,1.442442e-06,1.730679e-06,1.886493e-06,2.095878e-06,2.399354e-06,2.499666e-06,2.939605e-06,2.976269e-06,3.412435e-06,3.609915e-06,3.914224e-06,4.290961e-06,4.440523e-06,4.986536e-06,5.008716e-06,5.547278e-06,5.751783e-06,6.117730e-06,6.508665e-06,6.692970e-06,7.268285e-06,7.839262e-06,8.020387e-06,8.401860e-06,8.755833e-06,8.952454e-06,9.466779e-06,9.487869e-06,1.000539e-05,1.014677e-05,1.050275e-05,1.079072e-05,1.097815e-05,1.139491e-05,1.143019e-05,1.185788e-05,1.195682e-05,1.226057e-05,1.247503e-05,1.263795e-05,1.294908e-05,1.298999e-05,1.331691e-05,1.337931e-05,1.361912e-05,1.376670e-05,1.389722e-05,1.411274e-05,1.415196e-05,1.438419e-05,1.441932e-05,1.459484e-05,1.468858e-05,1.478491e-05,1.492284e-05,1.495543e-05,1.510748e-05,1.512453e-05,1.524210e-05,1.529609e-05,1.536037e-05,1.543995e-05,1.546332e-05,1.555197e-05,1.555847e-05,1.562730e-05,1.565392e-05,1.569027e-05,1.572846e-05,1.574178e-05,1.578269e-05,1.578412e-05,1.581383e-05,1.582280e-05,1.583597e-05,1.584626e-05,1.584984e-05,1.585613e-05,1.585547e-05,1.585389e-05,1.584847e-05,1.584093e-05,1.583569e-05,1.581847e-05,1.581766e-05,1.579484e-05,1.578766e-05,1.576770e-05,1.574951e-05,1.573665e-05,1.570496e-05,1.570207e-05,1.566432e-05,1.565483e-05,1.562373e-05,1.559988e-05,1.558061e-05,1.554078e-05,1.553523e-05,1.548785e-05,1.547816e-05,1.543872e-05,1.541254e-05,1.538804e-05,1.534443e-05,1.533603e-05,1.528286e-05,1.527425e-05,1.522870e-05,1.520241e-05,1.517372e-05,1.512924e-05,1.511806e-05,1.506184e-05,1.505506e-05,1.500519e-05,1.498016e-05,1.494822e-05,1.490477e-05,1.489102e-05,1.483370e-05,1.482911e-05,1.477633e-05,1.475339e-05,1.471900e-05,1.467778e-05,1.466177e-05,1.460470e-05,1.460242e-05,1.454786e-05,1.452746e-05,1.449130e-05,1.445302e-05,1.443506e-05,1.437920e-05,1.430608e-05,1.423377e-05,1.416231e-05,1.409178e-05,1.402223e-05,1.395369e-05,1.388622e-05,1.381983e-05,1.375455e-05,1.369042e-05,1.362743e-05,1.356561e-05,1.350496e-05,1.344549e-05,1.338720e-05,1.333009e-05,1.327416e-05,1.321940e-05,1.316581e-05,1.311337e-05,1.306209e-05,1.301194e-05,1.296291e-05,1.291500e-05
0.000000e+00,3.604006e-13,2.796523e-12,5.424245e-11,3.596519e-10,8.340036e-10,4.800546e-09,5.103589e-09,1.904451e-08,2.593355e-08,5.242621e-08,8.694730e-08,1.178722e-07,2.189364e-07,2.299937e-07,4.048009e-07,4.579444e-07,6.590480e-07,8.421455e-07,1.008549e-06,1.404289e-06,1.464904e-06,2.031745e-06,2.157990e-06,2.702778e-06,3.088127e-06,3.462844e-06,4.155050e-06,4.291271e-06,5.165814e-06,5.308592e-06,6.065691e-06,6.501312e-06,6.973256e-06,7.695267e-06,7.874428e-06,8.758357e-06,8.862855e-06,9.616770e-06,9.984685e-06,1.044326e-05,1.104691e-05,1.123280e-05,1.198134e-05,1.203935e-05,1.268565e-05,1.295440e-05,1.334320e-05,1.378661e-05,1.395212e-05,1.451125e-05,1.453257e-05,1.502009e-05,1.519097e-05,1.547881e-05,1.576248e-05,1.588819e-05,1.624958e-05,1.656478e-05,1.665625e-05,1.683600e-05,1.698764e-05,1.706573e-05,1.724974e-05,1.725667e-05,1.741163e-05,1.744897e-05,1.753350e-05,1.759193e-05,1.762514e-05,1.768516e-05,1.768935e-05,1.772883e-05,1.773491e-05,1.774613e-05,1.774703e-05,1.774365e-05,1.772690e-05,1.772364e-05,1.768815e-05,1.767937e-05,1.763907e-05,1.760875e-05,1.757811e-05,1.751884e-05,1.750680e-05,1.742654e-05,1.741295e-05,1.733857e-05,1.729393e-05,1.724398e-05,1.716422e-05,1.714378e-05,1.703881e-05,1.702593e-05,1.692986e-05,1.688084e-05,1.681760e-05,1.673043e-05,1.670262e-05,1.658545e-05,1.657600e-05,1.646656e-05,1.641861e-05,1.634635e-05,1.625917e-05,1.622516e-05,1.610333e-05,1.609844e-05,1.598111e-05,1.593707e-05,1.585875e-05,1.577558e-05,1.573647e-05,1.561445e-05,1.549285e-05,1.545405e-05,1.537181e-05,1.529471e-05,1.525147e-05,1.513669e-05,1.513193e-05,1.501329e-05,1.498024e-05,1.489563e-05,1.482553e-05,1.477903e-05,1.467274e-05,1.466355e-05,1.454925e-05,1.452200e-05,1.443617e-05,1.437341e-05,1.432437e-05,1.422706e-05,1.421387e-05,1.410471e-05,1.408304e-05,1.399691e-05,1.394139e-05,1.389048e-05,1.380217e-05,1.378546e-05,1.368185e-05,1.366540e-05,1.357966e-05,1.353111e-05,1.347889e-05,1.339932e-05,1.337957e-05,1.328167e-05,1.327002e-05,1.318522e-05,1.314323e-05,1.309020e-05,1.301894e-05,1.299661e-05,1.290444e-05,1.289713e-05,1.281369e-05,1.277779e-05,1.272436e-05,1.266090e-05,1.263642e-05,1.254987e-05,1.254644e-05,1.246471e-05,1.243438e-05,1.238091e-05,1.232470e-05,1.229846e-05,1.221736e-05,1.211233e-05,1.200958e-05,1.190907e-05,1.181077e-05,1.171464e-05,1.162064e-05,1.152873e-05,1.143887e-05,1.135102e-05,1.126515e-05,1.118121e-05,1.109916e-05,1.101897e-05,1.094059e-05,1.086399e-05,1.078912e-05,1.071596e-05,1.064445e-05,1.057457e-05,1.050627e-05,1.043953e-05,1.037429e-05,1.031054e-05,1.024823e-05
0.000000e+00,3.186437e-09,7.317453e-09,2.518204e-08,5.718366e-08,8.330029e-08,1.880996e-07,1.937200e-07,3.724346e-07,4.369580e-07,6.361257e-07,8.424843e-07,1.002554e-06,1.445905e-06,1.489711e-06,2.112504e-06,2.283074e-06,2.876577e-06,3.363449e-06,3.773019e-06,4.654437e-06,4.780296e-06,5.872296e-06,6.098672e-06,7.024937e-06,7.641499e-06,8.218288e-06,9.240234e-06,9.436162e-06,1.066516e-05,1.086204e-05,1.189390e-05,1.248067e-05,1.311259e-05,1.407458e-05,1.431277e-05,1.548722e-05,1.562613e-05,1.662986e-05,1.712122e-05,1.773569e-05,1.854903e-05,1.880076e-05,1.982203e-05,1.990177e-05,2.079736e-05,2.117429e-05,2.172533e-05,2.236370e-05,2.260519e-05,2.343675e-05,2.346901e-05,2.422028e-05,2.449071e-05,2.495644e-05,2.543046e-05,2.564620e-05,2.629078e-05,2.689155e-05,2.707479e-05,2.745003e-05,2.778601e-05,2.796785e-05,2.842823e-05,2.844665e-05,2.888816e-05,2.900532e-05,2.929406e-05,2.952122e-05,2.966605e-05,2.997978e-05,3.000581e-05,3.031496e-05,3.038478e-05,3.059511e-05,3.073990e-05,3.084779e-05,3.104861e-05,3.107449e-05,3.127666e-05,3.131427e-05,3.145566e-05,3.154003e-05,3.161282e-05,3.172889e-05,3.174941e-05,3.186663e-05,3.188366e-05,3.196563e-05,3.200700e-05,3.204750e-05,3.210138e-05,3.211330e-05,3.216401e-05,3.216913e-05,3.220057e-05,3.221241e-05,3.222388e-05,3.223326e-05,3.223479e-05,3.223410e-05,3.223356e-05,3.222256e-05,3.221508e-05,3.220091e-05,3.217944e-05,3.216983e-05,3.212995e-05,3.212818e-05,3.208190e-05,3.206271e-05,3.202624e-05,3.198433e-05,3.196353e-05,3.189427e-05,3.181897e-05,3.179366e-05,3.173806e-05,3.168355e-05,3.165200e-05,3.156490e-05,3.156118e-05,3.146600e-05,3.143861e-05,3.136681e-05,3.130552e-05,3.126396e-05,3.116639e-05,3.115778e-05,3.104856e-05,3.102193e-05,3.093659e-05,3.087279e-05,3.082215e-05,3.071959e-05,3.070548e-05,3.058683e-05,3.056288e-05,3.046641e-05,3.040316e-05,3.034444e-05,3.024093e-05,3.022111e-05,3.009662e-05,3.007661e-05,2.997114e-05,2.991060e-05,2.984482e-05,2.974327e-05,2.971782e-05,2.959029e-05,2.957496e-05,2.946237e-05,2.940598e-05,2.933416e-05,2.923662e-05,2.920580e-05,2.907740e-05,2.906713e-05,2.894905e-05,2.889775e-05,2.882086e-05,2.872870e-05,2.869290e-05,2.856527e-05,2.856017e-05,2.843805e-05,2.839236e-05,2.831129e-05,2.822541e-05,2.818508e-05,2.805948e-05,2.789470e-05,2.773119e-05,2.756906e-05,2.740841e-05,2.724932e-05,2.709188e-05,2.693615e-05,2.678219e-05,2.663006e-05,2.647979e-05,2.633143e-05,2.618502e-05,2.604058e-05,2.589813e-05,2.575770e-05,2.561929e-05,2.548291e-05,2.534858e-05,2.521630e-05,2.508606e-05,2.495786e-05,2.483171e-05,2.470758e-05,2.458547e-05
0.000000e+00,1.158915e-14,1.042321e-13,2.748656e-12,2.413106e-11,6.529192e-11,5.597048e-10,6.047410e-10,3.344004e-09,5.064051e-09,1.334690e-08,2.736839e-08,4.254917e-08,1.068250e-07,1.150963e-07,2.746841e-07,3.332502e-07,5.939819e-07,8.826723e-07,1.186090e-06,2.063728e-06,2.217813e-06,3.924319e-06,4.373008e-06,6.624473e-06,8.555555e-06,1.073593e-05,1.566463e-05,1.678904e-05,2.543853e-05,2.711411e-05,3.747224e-05,4.471711e-05,5.381631e-05,7.070647e-05,7.553634e-05,1.038345e-04,1.077343e-04,1.400426e-04,1.588498e-04,1.856110e-04,2.274563e-04,2.420942e-04,3.111330e-04,3.172493e-04,3.944344e-04,4.321397e-04,4.937489e-04,5.761642e-04,6.108464e-04,7.474917e-04,7.533888e-04,9.054194e-04,9.678089e-04,1.086309e-03,1.223250e-03,1.291761e-03,1.523273e-03,1.782223e-03,1.871088e-03,2.069845e-03,2.269475e-03,2.387217e-03,2.720725e-03,2.735245e-03,3.114651e-03,3.226586e-03,3.525970e-03,3.788226e-03,3.969536e-03,4.406220e-03,4.445488e-03,4.953763e-03,5.080535e-03,5.494104e-03,5.810540e-03,6.066058e-03,6.595029e-03,6.668991e-03,7.302087e-03,7.432243e-03,7.964368e-03,8.319917e-03,8.654699e-03,9.255323e-03,9.371803e-03,1.011427e-02,1.023532e-02,1.088059e-02,1.125642e-02,1.166914e-02,1.231483e-02,1.247821e-02,1.330602e-02,1.340653e-02,1.415076e-02,1.452732e-02,1.501054e-02,1.567287e-02,1.588347e-02,1.676763e-02,1.683880e-02,1.766113e-02,1.802071e-02,1.856204e-02,1.921423e-02,1.946849e-02,2.037863e-02,2.041509e-02,2.129065e-02,2.161910e-02,2.220280e-02,2.282225e-02,2.311336e-02,2.402071e-02,2.492327e-02,2.521083e-02,2.581954e-02,2.638919e-02,2.670810e-02,2.755263e-02,2.758762e-02,2.845683e-02,2.869820e-02,2.931457e-02,2.982324e-02,3.015973e-02,3.092532e-02,3.099133e-02,3.180843e-02,3.200229e-02,3.261021e-02,3.305223e-02,3.339592e-02,3.407350e-02,3.416487e-02,3.491648e-02,3.506467e-02,3.565023e-02,3.602457e-02,3.636568e-02,3.695225e-02,3.706246e-02,3.774027e-02,3.784695e-02,3.839888e-02,3.870813e-02,3.903809e-02,3.953543e-02,3.965781e-02,4.025797e-02,4.032867e-02,4.083855e-02,4.108782e-02,4.139961e-02,4.181299e-02,4.194121e-02,4.246348e-02,4.250443e-02,4.296659e-02,4.316251e-02,4.345073e-02,4.378770e-02,4.391613e-02,4.436306e-02,4.438056e-02,4.479179e-02,4.494174e-02,4.520264e-02,4.547197e-02,4.559594e-02,4.597202e-02,4.644273e-02,4.688495e-02,4.729961e-02,4.768762e-02,4.804992e-02,4.838749e-02,4.870128e-02,4.899225e-02,4.926137e-02,4.950958e-02,4.973782e-02,4.994702e-02,5.013808e-02,5.031189e-02,5.046930e-02,5.061115e-02,5.073826e-02,5.085141e-02,5.095135e-02,5.103883e-02,5.111454e-02,5.117916e-02,5.123335e-02,5.127773e-02
0.000000e+00,2.792097e-15,2.444962e-14,6.093928e-13,5.076038e-12,1.333725e-11,1.058186e-10,1.139684e-10,5.822616e-10,8.626726e-10,2.150501e-09,4.212416e-09,6.354274e-09,1.489861e-08,1.595810e-08,3.541881e-08,4.223907e-08,7.134685e-08,1.019660e-07,1.329238e-07,2.178459e-07,2.322266e-07,3.843968e-07,4.227217e-07,6.075788e-07,7.585101e-07,9.225613e-07,1.274697e-06,1.352094e-06,1.919911e-06,2.025181e-06,2.649550e-06,3.063829e-06,3.563091e-06,4.439489e-06,4.679936e-06,6.015747e-06,6.191338e-06,7.581622e-06,8.345226e-06,9.383543e-06,1.091144e-05,1.142211e-05,1.369256e-05,1.388395e-05,1.618501e-05,1.724104e-05,1.888493e-05,2.094703e-05,2.177372e-05,2.482945e-05,2.495481e-05,2.802757e-05,2.920872e-05,3.134173e-05,3.364766e-05,3.474449e-05,3.820806e-05,4.170492e-05,4.282656e-05,4.520840e-05,4.744230e-05,4.869310e-05,5.199874e-05,5.213533e-05,5.551339e-05,5.644503e-05,5.880773e-05,6.073688e-05,6.200112e-05,6.483707e-05,6.507870e-05,6.802799e-05,6.871555e-05,7.083882e-05,7.234936e-05,7.350324e-05,7.572212e-05,7.601539e-05,7.837133e-05,7.882355e-05,8.056890e-05,8.164881e-05,8.260755e-05,8.419779e-05,8.448813e-05,8.621274e-05,8.647439e-05,8.778450e-05,8.848582e-05,8.920747e-05,9.024189e-05,9.048640e-05,9.162664e-05,9.175443e-05,9.263400e-05,9.303672e-05,9.351461e-05,9.410300e-05,9.427482e-05,9.492111e-05,9.496808e-05,9.546000e-05,9.564695e-05,9.589802e-05,9.615453e-05,9.624157e-05,9.649697e-05,9.650544e-05,9.667029e-05,9.671374e-05,9.676745e-05,9.679293e-05,9.679414e-05,9.675578e-05,9.665757e-05,9.661432e-05,9.650443e-05,9.637975e-05,9.630101e-05,9.606250e-05,9.605170e-05,9.576063e-05,9.567218e-05,9.543166e-05,9.521760e-05,9.506841e-05,9.470684e-05,9.467424e-05,9.425230e-05,9.414723e-05,9.380551e-05,9.354547e-05,9.333657e-05,9.290758e-05,9.284800e-05,9.234210e-05,9.223904e-05,9.182103e-05,9.154474e-05,9.128676e-05,9.082909e-05,9.074109e-05,9.018572e-05,9.009606e-05,8.962216e-05,8.934916e-05,8.905183e-05,8.859156e-05,8.847602e-05,8.789591e-05,8.782606e-05,8.731259e-05,8.705517e-05,8.672705e-05,8.628110e-05,8.614017e-05,8.555281e-05,8.550582e-05,8.496569e-05,8.473106e-05,8.437950e-05,8.395837e-05,8.379486e-05,8.321233e-05,8.318908e-05,8.263241e-05,8.242437e-05,8.205556e-05,8.166527e-05,8.148219e-05,8.091268e-05,8.016737e-05,7.943003e-05,7.870122e-05,7.798144e-05,7.727111e-05,7.657059e-05,7.588015e-05,7.520004e-05,7.453044e-05,7.387149e-05,7.322330e-05,7.258594e-05,7.195945e-05,7.134385e-05,7.073913e-05,7.014526e-05,6.956218e-05,6.898983e-05,6.842814e-05,6.787700e-05,6.733631e-05,6.680597e-05,6.628584e-05,6.577580e-05
0.000000e+00,5.464542e-16,4.773324e-15,1.183589e-13,9.813173e-13,2.571956e-12,2.027973e-11,2.183632e-11,1.109432e-10,1.641475e-10,4.079272e-10,7.973901e-10,1.201493e-09,2.812327e-09,3.012056e-09,6.683290e-09,7.971440e-09,1.347844e-08,1.928655e-08,2.517262e-08,4.137528e-08,4.412572e-08,7.331301e-08,8.068223e-08,1.162891e-07,1.454062e-07,1.770712e-07,2.450220e-07,2.599457e-07,3.692203e-07,3.894311e-07,5.089528e-07,5.879107e-07,6.826915e-07,8.480881e-07,8.932518e-07,1.142550e-06,1.175124e-06,1.431503e-06,1.571210e-06,1.759987e-06,2.035408e-06,2.126864e-06,2.530055e-06,2.563797e-06,2.966649e-06,3.149853e-06,3.433044e-06,3.784989e-06,3.925093e-06,4.438266e-06,4.459166e-06,4.967805e-06,5.161511e-06,5.508861e-06,5.880903e-06,6.056633e-06,6.606470e-06,7.153973e-06,7.328004e-06,7.695060e-06,8.036263e-06,8.226029e-06,8.723178e-06,8.743586e-06,9.244873e-06,9.381977e-06,9.727471e-06,1.000722e-05,1.018940e-05,1.059475e-05,1.062908e-05,1.104535e-05,1.114167e-05,1.143740e-05,1.164619e-05,1.180477e-05,1.210750e-05,1.214729e-05,1.246505e-05,1.252566e-05,1.275839e-05,1.290143e-05,1.302781e-05,1.323615e-05,1.327401e-05,1.349779e-05,1.353157e-05,1.370006e-05,1.378980e-05,1.388181e-05,1.401314e-05,1.404409e-05,1.418796e-05,1.420403e-05,1.431450e-05,1.436498e-05,1.442482e-05,1.449846e-05,1.451997e-05,1.460101e-05,1.460692e-05,1.466897e-05,1.469270e-05,1.472481e-05,1.475805e-05,1.476949e-05,1.480390e-05,1.480507e-05,1.482888e-05,1.483573e-05,1.484524e-05,1.485182e-05,1.485372e-05,1.485503e-05,1.484982e-05,1.484687e-05,1.483869e-05,1.482873e-05,1.482221e-05,1.480184e-05,1.480090e-05,1.477524e-05,1.476733e-05,1.474566e-05,1.472621e-05,1.471258e-05,1.467937e-05,1.467636e-05,1.463735e-05,1.462761e-05,1.459586e-05,1.457164e-05,1.455217e-05,1.451212e-05,1.450655e-05,1.445923e-05,1.444958e-05,1.441043e-05,1.438454e-05,1.436035e-05,1.431743e-05,1.430917e-05,1.425705e-05,1.424864e-05,1.420414e-05,1.417851e-05,1.415058e-05,1.410734e-05,1.409648e-05,1.404197e-05,1.403540e-05,1.398714e-05,1.396293e-05,1.393208e-05,1.389014e-05,1.387688e-05,1.382162e-05,1.381720e-05,1.376636e-05,1.374428e-05,1.371118e-05,1.367152e-05,1.365611e-05,1.360123e-05,1.359904e-05,1.354657e-05,1.352695e-05,1.349217e-05,1.345536e-05,1.343808e-05,1.338434e-05,1.331396e-05,1.324430e-05,1.317541e-05,1.310733e-05,1.304011e-05,1.297378e-05,1.290838e-05,1.284394e-05,1.278046e-05,1.271798e-05,1.265650e-05,1.259605e-05,1.253661e-05,1.247821e-05,1.242085e-05,1.236451e-05,1.230922e-05,1.225496e-05,1.220173e-05,1.214953e-05,1.209834e-05,1.204817e-05,1.199901e-05,1.195084e-05
0.000000e+00,3.317900e-12,2.348842e-11,3.805603e-10,2.168743e-09,4.652686e-09,2.229987e-08,2.354456e-08,7.522632e-08,9.862617e-08,1.826432e-07,2.843118e-07,3.710854e-07,6.387546e-07,6.670237e-07,1.097714e-06,1.224188e-06,1.690486e-06,2.102811e-06,2.470490e-06,3.327057e-06,3.456693e-06,4.658303e-06,4.924543e-06,6.074330e-06,6.892756e-06,7.696195e-06,9.208362e-06,9.511141e-06,1.150464e-05,1.183916e-05,1.366148e-05,1.475021e-05,1.596604e-05,1.790534e-05,1.840237e-05,2.095413e-05,2.126731e-05,2.360480e-05,2.479817e-05,2.633788e-05,2.846014e-05,2.913716e-05,3.198704e-05,3.221676e-05,3.487269e-05,3.603385e-05,3.778035e-05,3.988031e-05,4.069732e-05,4.361214e-05,4.372854e-05,4.651456e-05,4.755461e-05,4.939553e-05,5.133827e-05,5.224718e-05,5.506271e-05,5.783635e-05,5.871426e-05,6.056326e-05,6.228206e-05,6.323940e-05,6.575766e-05,6.586147e-05,6.842684e-05,6.913468e-05,7.093343e-05,7.240849e-05,7.337966e-05,7.557588e-05,7.576438e-05,7.808680e-05,7.863485e-05,8.034646e-05,8.158437e-05,8.254315e-05,8.442418e-05,8.467692e-05,8.674799e-05,8.715471e-05,8.875675e-05,8.977685e-05,9.070373e-05,9.229191e-05,9.258956e-05,9.441497e-05,9.470149e-05,9.618080e-05,9.700749e-05,9.788793e-05,9.921199e-05,9.953729e-05,1.011299e-04,1.013172e-04,1.026667e-04,1.033255e-04,1.041489e-04,1.052394e-04,1.055774e-04,1.069534e-04,1.070613e-04,1.082780e-04,1.087937e-04,1.095523e-04,1.104393e-04,1.107775e-04,1.119545e-04,1.120006e-04,1.130847e-04,1.134803e-04,1.141691e-04,1.148809e-04,1.152088e-04,1.162049e-04,1.171585e-04,1.174549e-04,1.180707e-04,1.186333e-04,1.189426e-04,1.197428e-04,1.197753e-04,1.205698e-04,1.207856e-04,1.213272e-04,1.217642e-04,1.220484e-04,1.226808e-04,1.227344e-04,1.233864e-04,1.235379e-04,1.240052e-04,1.243376e-04,1.245918e-04,1.250821e-04,1.251472e-04,1.256722e-04,1.257736e-04,1.261678e-04,1.264142e-04,1.266348e-04,1.270058e-04,1.270743e-04,1.274868e-04,1.275504e-04,1.278735e-04,1.280501e-04,1.282350e-04,1.285066e-04,1.285721e-04,1.288856e-04,1.289217e-04,1.291764e-04,1.292973e-04,1.294451e-04,1.296350e-04,1.296925e-04,1.299192e-04,1.299365e-04,1.301261e-04,1.302034e-04,1.303137e-04,1.304372e-04,1.304827e-04,1.306339e-04,1.306396e-04,1.307677e-04,1.308118e-04,1.308849e-04,1.309554e-04,1.309860e-04,1.310716e-04,1.311618e-04,1.312274e-04,1.312694e-04,1.312891e-04,1.312876e-04,1.312660e-04,1.312254e-04,1.311668e-04,1.310912e-04,1.309995e-04,1.308926e-04,1.307714e-04,1.306367e-04,1.304894e-04,1.303303e-04,1.301599e-04,1.299792e-04,1.297887e-04,1.295892e-04,1.293812e-04,1.291653e-04,1.289422e-04,1.287124e-04,1.284763e-04
0.000000e+00,3.377923e-16,2.978064e-15,7.528651e-14,6.353707e-13,1.681558e-12,1.359496e-11,1.465325e-11,7.627832e-11,1.135884e-10,2.867747e-10,5.674777e-10,8.616578e-10,2.049674e-09,2.198094e-09,4.950195e-09,5.923141e-09,1.010737e-08,1.454896e-08,1.906989e-08,3.158405e-08,3.371635e-08,5.645776e-08,6.222934e-08,9.027251e-08,1.133900e-07,1.387160e-07,1.937057e-07,2.058988e-07,2.964284e-07,3.134099e-07,4.153151e-07,4.839984e-07,5.678439e-07,7.177234e-07,7.594225e-07,9.954133e-07,1.026964e-06,1.280960e-06,1.423544e-06,1.620822e-06,1.918062e-06,2.019216e-06,2.479689e-06,2.519297e-06,3.005003e-06,3.233740e-06,3.597059e-06,4.065254e-06,4.256839e-06,4.984387e-06,5.014889e-06,5.778801e-06,6.080837e-06,6.638267e-06,7.258523e-06,7.560095e-06,8.540793e-06,9.576134e-06,9.918205e-06,1.066126e-05,1.137938e-05,1.179075e-05,1.291139e-05,1.295877e-05,1.415914e-05,1.450017e-05,1.538545e-05,1.613096e-05,1.663115e-05,1.778869e-05,1.788969e-05,1.915457e-05,1.945837e-05,2.041941e-05,2.112542e-05,2.167809e-05,2.277597e-05,2.292475e-05,2.415387e-05,2.439714e-05,2.536034e-05,2.597717e-05,2.653944e-05,2.750562e-05,2.768693e-05,2.879901e-05,2.897343e-05,2.987238e-05,3.037300e-05,3.090420e-05,3.169812e-05,3.189209e-05,3.283416e-05,3.294405e-05,3.372892e-05,3.410734e-05,3.457533e-05,3.518584e-05,3.537273e-05,3.612083e-05,3.617855e-05,3.681968e-05,3.708550e-05,3.746963e-05,3.790766e-05,3.807131e-05,3.862557e-05,3.864677e-05,3.913351e-05,3.930526e-05,3.959636e-05,3.988608e-05,4.001556e-05,4.039264e-05,4.072923e-05,4.082867e-05,4.102705e-05,4.119813e-05,4.128788e-05,4.150515e-05,4.151352e-05,4.170579e-05,4.175390e-05,4.186652e-05,4.194857e-05,4.199751e-05,4.209330e-05,4.210056e-05,4.217742e-05,4.219216e-05,4.222979e-05,4.224904e-05,4.225934e-05,4.226773e-05,4.226766e-05,4.225631e-05,4.225180e-05,4.222674e-05,4.220465e-05,4.218039e-05,4.212946e-05,4.211859e-05,4.204261e-05,4.202922e-05,4.195366e-05,4.190670e-05,4.185288e-05,4.176446e-05,4.174134e-05,4.162006e-05,4.160489e-05,4.148995e-05,4.143015e-05,4.135192e-05,4.124222e-05,4.120678e-05,4.105529e-05,4.104292e-05,4.089817e-05,4.083390e-05,4.073608e-05,4.061665e-05,4.056964e-05,4.039942e-05,4.039254e-05,4.022593e-05,4.016278e-05,4.004968e-05,3.992847e-05,3.987109e-05,3.969059e-05,3.945003e-05,3.920757e-05,3.896391e-05,3.871967e-05,3.847542e-05,3.823163e-05,3.798874e-05,3.774713e-05,3.750714e-05,3.726906e-05,3.703314e-05,3.679962e-05,3.656867e-05,3.634046e-05,3.611514e-05,3.589282e-05,3.567362e-05,3.545760e-05,3.524484e-05,3.503539e-05,3.482930e-05,3.462659e-05,3.442730e-05,3.423142e-05
0.000000e+00,1.951360e-13,1.544721e-12,3.125421e-11,2.155612e-10,5.109980e-10,3.117286e-09,3.322033e-09,1.315473e-08,1.820921e-08,3.837450e-08,6.584416e-08,9.127569e-08,1.782302e-07,1.880308e-07,3.485824e-07,3.991422e-07,5.962788e-07,7.825164e-07,9.565351e-07,1.386273e-06,1.453918e-06,2.108202e-06,2.259079e-06,2.931051e-06,3.426669e-06,3.924755e-06,4.887191e-06,5.083147e-06,6.393838e-06,6.616638e-06,7.840735e-06,8.578446e-06,9.406126e-06,1.073169e-05,1.107207e-05,1.282122e-05,1.303592e-05,1.463715e-05,1.545333e-05,1.650453e-05,1.794935e-05,1.840913e-05,2.033780e-05,2.049276e-05,2.227849e-05,2.305565e-05,2.422027e-05,2.561344e-05,2.615327e-05,2.806878e-05,2.814493e-05,2.995916e-05,3.063224e-05,3.181781e-05,3.306070e-05,3.363918e-05,3.541866e-05,3.715252e-05,3.769721e-05,3.883780e-05,3.988983e-05,4.047228e-05,4.199209e-05,4.205435e-05,4.358295e-05,4.400128e-05,4.505748e-05,4.591614e-05,4.647773e-05,4.773654e-05,4.784385e-05,4.915623e-05,4.946327e-05,5.041550e-05,5.109780e-05,5.162249e-05,5.264215e-05,5.277816e-05,5.388358e-05,5.409873e-05,5.493992e-05,5.547023e-05,5.594842e-05,5.675952e-05,5.691035e-05,5.782705e-05,5.796961e-05,5.869983e-05,5.910357e-05,5.953005e-05,6.016448e-05,6.031905e-05,6.106817e-05,6.115545e-05,6.177874e-05,6.207951e-05,6.245206e-05,6.293968e-05,6.308944e-05,6.369213e-05,6.373889e-05,6.426139e-05,6.448000e-05,6.479842e-05,6.516579e-05,6.530441e-05,6.578053e-05,6.579897e-05,6.622790e-05,6.638212e-05,6.664761e-05,6.691777e-05,6.704074e-05,6.740832e-05,6.775137e-05,6.785612e-05,6.807084e-05,6.826337e-05,6.836769e-05,6.863224e-05,6.864284e-05,6.889718e-05,6.896478e-05,6.913155e-05,6.926294e-05,6.934680e-05,6.952862e-05,6.954372e-05,6.972309e-05,6.976361e-05,6.988565e-05,6.996962e-05,7.003214e-05,7.014831e-05,7.016325e-05,7.027965e-05,7.030123e-05,7.038200e-05,7.042988e-05,7.047092e-05,7.053568e-05,7.054701e-05,7.061087e-05,7.061998e-05,7.066304e-05,7.068409e-05,7.070407e-05,7.072922e-05,7.073448e-05,7.075477e-05,7.075655e-05,7.076543e-05,7.076719e-05,7.076692e-05,7.076220e-05,7.075969e-05,7.074416e-05,7.074258e-05,7.072076e-05,7.070928e-05,7.068987e-05,7.066322e-05,7.065189e-05,7.060717e-05,7.060525e-05,7.055608e-05,7.053619e-05,7.049895e-05,7.045682e-05,7.043610e-05,7.036786e-05,7.027002e-05,7.016396e-05,7.005029e-05,6.992962e-05,6.980250e-05,6.966946e-05,6.953101e-05,6.938761e-05,6.923972e-05,6.908775e-05,6.893211e-05,6.877318e-05,6.861131e-05,6.844683e-05,6.828007e-05,6.811132e-05,6.794085e-05,6.776895e-05,6.759584e-05,6.742177e-05,6.724696e-05,6.707161e-05,6.689591e-05,6.672005e-05
0.000000e+00,1.025553e-15,9.176757e-15,2.397221e-13,2.086515e-12,5.618330e-12,4.755045e-11,5.134935e-11,2.802285e-10,4.228173e-10,1.103996e-09,2.246319e-09,3.474421e-09,8.621234e-09,9.279349e-09,2.186816e-08,2.645103e-08,4.670106e-08,6.891838e-08,9.210662e-08,1.585338e-07,1.701198e-07,2.973553e-07,3.305444e-07,4.958541e-07,6.363378e-07,7.938239e-07,1.146342e-06,1.226199e-06,1.834961e-06,1.951911e-06,2.669164e-06,3.165815e-06,3.784673e-06,4.921167e-06,5.243595e-06,7.113444e-06,7.368815e-06,9.466077e-06,1.067341e-05,1.237643e-05,1.500843e-05,1.592113e-05,2.017704e-05,2.055051e-05,2.521970e-05,2.747349e-05,3.112191e-05,3.594245e-05,3.795226e-05,4.577383e-05,4.610813e-05,5.464299e-05,5.810196e-05,6.460840e-05,7.203186e-05,7.571012e-05,8.797897e-05,1.014361e-04,1.059954e-04,1.160925e-04,1.261030e-04,1.319494e-04,1.482930e-04,1.489976e-04,1.672184e-04,1.725267e-04,1.865835e-04,1.987368e-04,2.070560e-04,2.268297e-04,2.285903e-04,2.511335e-04,2.566875e-04,2.746259e-04,2.881719e-04,2.990016e-04,3.211267e-04,3.241897e-04,3.501149e-04,3.553815e-04,3.766984e-04,3.907551e-04,4.038590e-04,4.270592e-04,4.315137e-04,4.595783e-04,4.641010e-04,4.879685e-04,5.016869e-04,5.166006e-04,5.396247e-04,5.453918e-04,5.742609e-04,5.777266e-04,6.031290e-04,6.158110e-04,6.319200e-04,6.537044e-04,6.605606e-04,6.889810e-04,6.912431e-04,7.171150e-04,7.282743e-04,7.449004e-04,7.646571e-04,7.722789e-04,7.991966e-04,8.002630e-04,8.256037e-04,8.349764e-04,8.514547e-04,8.686946e-04,8.767085e-04,9.013281e-04,9.252808e-04,9.328000e-04,9.485380e-04,9.630461e-04,9.710751e-04,9.920139e-04,9.928713e-04,1.013909e-03,1.019662e-03,1.034176e-03,1.045961e-03,1.053661e-03,1.070890e-03,1.072356e-03,1.090259e-03,1.094437e-03,1.107366e-03,1.116600e-03,1.123681e-03,1.137384e-03,1.139206e-03,1.153946e-03,1.156801e-03,1.167911e-03,1.174869e-03,1.181109e-03,1.191612e-03,1.193553e-03,1.205253e-03,1.207058e-03,1.216226e-03,1.221238e-03,1.226485e-03,1.234191e-03,1.236048e-03,1.244931e-03,1.245953e-03,1.253153e-03,1.256565e-03,1.260731e-03,1.266072e-03,1.267685e-03,1.274034e-03,1.274516e-03,1.279797e-03,1.281943e-03,1.284996e-03,1.288399e-03,1.289648e-03,1.293775e-03,1.293929e-03,1.297396e-03,1.298580e-03,1.300531e-03,1.302396e-03,1.303200e-03,1.305423e-03,1.307704e-03,1.309284e-03,1.310205e-03,1.310506e-03,1.310229e-03,1.309412e-03,1.308091e-03,1.306302e-03,1.304080e-03,1.301457e-03,1.298464e-03,1.295131e-03,1.291486e-03,1.287556e-03,1.283367e-03,1.278942e-03,1.274304e-03,1.269476e-03,1.264475e-03,1.259323e-03,1.254037e-03,1.248633e-03,1.243127e-03,1.237534e-03
0.000000e+00,1.882303e-09,4.808137e-09,1.849949e-08,4.425579e-08,6.573581e-08,1.536176e-07,1.583749e-07,3.107521e-07,3.660880e-07,5.373882e-07,7.152540e-07,8.533204e-07,1.235771e-06,1.273554e-06,1.810509e-06,1.957513e-06,2.468934e-06,2.888585e-06,3.241929e-06,4.004471e-06,4.113694e-06,5.066279e-06,5.265034e-06,6.083605e-06,6.633583e-06,7.152000e-06,8.080152e-06,8.259530e-06,9.395358e-06,9.579035e-06,1.054943e-05,1.110708e-05,1.171237e-05,1.264326e-05,1.287551e-05,1.403101e-05,1.416881e-05,1.517184e-05,1.566755e-05,1.629190e-05,1.712603e-05,1.738601e-05,1.844987e-05,1.853356e-05,1.948005e-05,1.988207e-05,2.047390e-05,2.116588e-05,2.142950e-05,2.234555e-05,2.238136e-05,2.322130e-05,2.352663e-05,2.405646e-05,2.460123e-05,2.485115e-05,2.560580e-05,2.632109e-05,2.654182e-05,2.699792e-05,2.741138e-05,2.763733e-05,2.821703e-05,2.824048e-05,2.880861e-05,2.896160e-05,2.934306e-05,2.964811e-05,2.984514e-05,3.027965e-05,3.031622e-05,3.075764e-05,3.085931e-05,3.117072e-05,3.139017e-05,3.155679e-05,3.187519e-05,3.191711e-05,3.225294e-05,3.231727e-05,3.256547e-05,3.271916e-05,3.285586e-05,3.308349e-05,3.312522e-05,3.337464e-05,3.341277e-05,3.360515e-05,3.370936e-05,3.381772e-05,3.397549e-05,3.401329e-05,3.419278e-05,3.421327e-05,3.435702e-05,3.442467e-05,3.450684e-05,3.461153e-05,3.464301e-05,3.476628e-05,3.477560e-05,3.487734e-05,3.491850e-05,3.497687e-05,3.504175e-05,3.506550e-05,3.514383e-05,3.514676e-05,3.521245e-05,3.523487e-05,3.527188e-05,3.530732e-05,3.532265e-05,3.536526e-05,3.540015e-05,3.540977e-05,3.542779e-05,3.544186e-05,3.544858e-05,3.546246e-05,3.546292e-05,3.547119e-05,3.547247e-05,3.547375e-05,3.547268e-05,3.547093e-05,3.546387e-05,3.546306e-05,3.545045e-05,3.544675e-05,3.543337e-05,3.542197e-05,3.541212e-05,3.539016e-05,3.538694e-05,3.535808e-05,3.535188e-05,3.532577e-05,3.530769e-05,3.529025e-05,3.525807e-05,3.525171e-05,3.521036e-05,3.520349e-05,3.516638e-05,3.514439e-05,3.511996e-05,3.508118e-05,3.507126e-05,3.502045e-05,3.501422e-05,3.496767e-05,3.494387e-05,3.491308e-05,3.487046e-05,3.485681e-05,3.479898e-05,3.479429e-05,3.473973e-05,3.471565e-05,3.467916e-05,3.463480e-05,3.461739e-05,3.455453e-05,3.455199e-05,3.449066e-05,3.446744e-05,3.442589e-05,3.438138e-05,3.436031e-05,3.429400e-05,3.420548e-05,3.411600e-05,3.402572e-05,3.393479e-05,3.384334e-05,3.375151e-05,3.365941e-05,3.356715e-05,3.347484e-05,3.338258e-05,3.329044e-05,3.319852e-05,3.310688e-05,3.301560e-05,3.292474e-05,3.283437e-05,3.274453e-05,3.265528e-05,3.256666e-05,3.247871e-05,3.239148e-05,3.230500e-05,3.221929e-05,3.213440e-05
0.000000e+00,1.369774e-15,1.229535e-14,3.230745e-13,2.827144e-12,7.635545e-12,6.514119e-11,7.036879e-11,3.872133e-10,5.855908e-10,1.538102e-09,3.145082e-09,4.880562e-09,1.220206e-08,1.314213e-08,3.122554e-08,3.784337e-08,6.722906e-08,9.966296e-08,1.336688e-07,2.316985e-07,2.488694e-07,4.384621e-07,4.881675e-07,7.368956e-07,9.494811e-07,1.188836e-06,1.727742e-06,1.850323e-06,2.789559e-06,2.970830e-06,4.087253e-06,4.864334e-06,5.836449e-06,7.630891e-06,8.141861e-06,1.111871e-05,1.152686e-05,1.489112e-05,1.683660e-05,1.959020e-05,2.386469e-05,2.535173e-05,3.231380e-05,3.292677e-05,4.061425e-05,4.433957e-05,5.038808e-05,5.841063e-05,6.176496e-05,7.486688e-05,7.542846e-05,8.980592e-05,9.565340e-05,1.066823e-04,1.193097e-04,1.255827e-04,1.465789e-04,1.697265e-04,1.775949e-04,1.950644e-04,2.124408e-04,2.226142e-04,2.511470e-04,2.523800e-04,2.843486e-04,2.936908e-04,3.184896e-04,3.399982e-04,3.547564e-04,3.899462e-04,3.930868e-04,4.334038e-04,4.433656e-04,4.756168e-04,5.000465e-04,5.196233e-04,5.597423e-04,5.653093e-04,6.125518e-04,6.221756e-04,6.612192e-04,6.870436e-04,7.111732e-04,7.540239e-04,7.622702e-04,8.143628e-04,8.227800e-04,8.673008e-04,8.929668e-04,9.209326e-04,9.642357e-04,9.751066e-04,1.029672e-03,1.036239e-03,1.084481e-03,1.108636e-03,1.139387e-03,1.181093e-03,1.194248e-03,1.248928e-03,1.253290e-03,1.303294e-03,1.324924e-03,1.357221e-03,1.395708e-03,1.410588e-03,1.463283e-03,1.465375e-03,1.515200e-03,1.533680e-03,1.566239e-03,1.600399e-03,1.616311e-03,1.665331e-03,1.713222e-03,1.728298e-03,1.759917e-03,1.789144e-03,1.805353e-03,1.847738e-03,1.849477e-03,1.892241e-03,1.903966e-03,1.933607e-03,1.957740e-03,1.973540e-03,2.008989e-03,2.012013e-03,2.049006e-03,2.057662e-03,2.084503e-03,2.103725e-03,2.118496e-03,2.147161e-03,2.150979e-03,2.181954e-03,2.187968e-03,2.211424e-03,2.226158e-03,2.239401e-03,2.261756e-03,2.265896e-03,2.290927e-03,2.294798e-03,2.314514e-03,2.325329e-03,2.336679e-03,2.353405e-03,2.357448e-03,2.376849e-03,2.379087e-03,2.394912e-03,2.402444e-03,2.411668e-03,2.423550e-03,2.427151e-03,2.441396e-03,2.442483e-03,2.454437e-03,2.459325e-03,2.466313e-03,2.474162e-03,2.477060e-03,2.486716e-03,2.487080e-03,2.495319e-03,2.498166e-03,2.502908e-03,2.507509e-03,2.509521e-03,2.515197e-03,2.521319e-03,2.525960e-03,2.529207e-03,2.531144e-03,2.531851e-03,2.531409e-03,2.529895e-03,2.527384e-03,2.523948e-03,2.519655e-03,2.514573e-03,2.508765e-03,2.502290e-03,2.495208e-03,2.487573e-03,2.479436e-03,2.470848e-03,2.461853e-03,2.452498e-03,2.442821e-03,2.432864e-03,2.422660e-03,2.412246e-03,2.401652e-03
0.000000e+00,1.548262e-15,1.390790e-14,3.660856e-13,3.209560e-12,8.678636e-12,7.431411e-11,8.029173e-11,4.439868e-10,6.725178e-10,1.774505e-09,3.644376e-09,5.673614e-09,1.430427e-08,1.541856e-08,3.703419e-08,4.501143e-08,8.073892e-08,1.206119e-07,1.627906e-07,2.859394e-07,3.077001e-07,5.506917e-07,6.150632e-07,9.402118e-07,1.221237e-06,1.540254e-06,2.266038e-06,2.432289e-06,3.716650e-06,3.966291e-06,5.513247e-06,6.597792e-06,7.961599e-06,1.049542e-05,1.122017e-05,1.546503e-05,1.604965e-05,2.088798e-05,2.369973e-05,2.769412e-05,3.392419e-05,3.609900e-05,4.632551e-05,4.722911e-05,5.860048e-05,6.413502e-05,7.315122e-05,8.516303e-05,9.020199e-05,1.099705e-04,1.108208e-04,1.326648e-04,1.415889e-04,1.584797e-04,1.779084e-04,1.875942e-04,2.201691e-04,2.563442e-04,2.687004e-04,2.962369e-04,3.237633e-04,3.399404e-04,3.855445e-04,3.875228e-04,4.390263e-04,4.541527e-04,4.944664e-04,5.296169e-04,5.538328e-04,6.118864e-04,6.170887e-04,6.841723e-04,7.008328e-04,7.549972e-04,7.962534e-04,8.294538e-04,8.978757e-04,9.074104e-04,9.887153e-04,1.005363e-03,1.073198e-03,1.118323e-03,1.160671e-03,1.236312e-03,1.250933e-03,1.343768e-03,1.358845e-03,1.438951e-03,1.485403e-03,1.536246e-03,1.615441e-03,1.635412e-03,1.736202e-03,1.748394e-03,1.838366e-03,1.883688e-03,1.941652e-03,2.020745e-03,2.045809e-03,2.150588e-03,2.158990e-03,2.255743e-03,2.297856e-03,2.361031e-03,2.436789e-03,2.466218e-03,2.571073e-03,2.575257e-03,2.675376e-03,2.712749e-03,2.778915e-03,2.848781e-03,2.881486e-03,2.982897e-03,3.082965e-03,3.114675e-03,3.181518e-03,3.243723e-03,3.278397e-03,3.369687e-03,3.373452e-03,3.466547e-03,3.492244e-03,3.557554e-03,3.611108e-03,3.646360e-03,3.726028e-03,3.732861e-03,3.816966e-03,3.836785e-03,3.898593e-03,3.943195e-03,3.977672e-03,4.045107e-03,4.054144e-03,4.127958e-03,4.142398e-03,4.199074e-03,4.234977e-03,4.267461e-03,4.322781e-03,4.333097e-03,4.395967e-03,4.405769e-03,4.456066e-03,4.483928e-03,4.513394e-03,4.557267e-03,4.567959e-03,4.619777e-03,4.625812e-03,4.668868e-03,4.689611e-03,4.715259e-03,4.748728e-03,4.758980e-03,4.800068e-03,4.803243e-03,4.838564e-03,4.853247e-03,4.874512e-03,4.898844e-03,4.907961e-03,4.938960e-03,4.940150e-03,4.967565e-03,4.977287e-03,4.993831e-03,5.010386e-03,5.017817e-03,5.039582e-03,5.065017e-03,5.086836e-03,5.105187e-03,5.120218e-03,5.132080e-03,5.140922e-03,5.146894e-03,5.150144e-03,5.150819e-03,5.149061e-03,5.145013e-03,5.138812e-03,5.130592e-03,5.120486e-03,5.108619e-03,5.095114e-03,5.080090e-03,5.063662e-03,5.045939e-03,5.027027e-03,5.007027e-03,4.986035e-03,4.964145e-03,4.941443e-03
0.000000e+00,2.858644e-15,2.563537e-14,6.722193e-13,5.872582e-12,1.584811e-11,1.350102e-10,1.458396e-10,8.023725e-10,1.213728e-09,3.191869e-09,6.538194e-09,1.016200e-08,2.553065e-08,2.751157e-08,6.585776e-08,7.998248e-08,1.431294e-07,2.134409e-07,2.876733e-07,5.037242e-07,5.418084e-07,9.654993e-07,1.077308e-06,1.639739e-06,2.123124e-06,2.669254e-06,3.903109e-06,4.184269e-06,6.341124e-06,6.757591e-06,9.321739e-06,1.110462e-05,1.333194e-05,1.743333e-05,1.859873e-05,2.536675e-05,2.629194e-05,3.389394e-05,3.827169e-05,4.444677e-05,5.398776e-05,5.729515e-05,7.270711e-05,7.405870e-05,9.094369e-05,9.908551e-05,1.122539e-04,1.296315e-04,1.368699e-04,1.650030e-04,1.662042e-04,1.968398e-04,2.092392e-04,2.325389e-04,2.590873e-04,2.722286e-04,3.160048e-04,3.639299e-04,3.801477e-04,4.160319e-04,4.515678e-04,4.723047e-04,5.302136e-04,5.327082e-04,5.971697e-04,6.159326e-04,6.655848e-04,7.084771e-04,7.378197e-04,8.075111e-04,8.137130e-04,8.930781e-04,9.126196e-04,9.757062e-04,1.023319e-03,1.061368e-03,1.139066e-03,1.149819e-03,1.240798e-03,1.259273e-03,1.334034e-03,1.383316e-03,1.429247e-03,1.510545e-03,1.526152e-03,1.624459e-03,1.640299e-03,1.723879e-03,1.771911e-03,1.824124e-03,1.904722e-03,1.924908e-03,2.025953e-03,2.038083e-03,2.126986e-03,2.171369e-03,2.227744e-03,2.303980e-03,2.327974e-03,2.427434e-03,2.435351e-03,2.525895e-03,2.564950e-03,2.623139e-03,2.692287e-03,2.718964e-03,2.813181e-03,2.816913e-03,2.905615e-03,2.938423e-03,2.996106e-03,3.056456e-03,3.084509e-03,3.170694e-03,3.254543e-03,3.280864e-03,3.335954e-03,3.386736e-03,3.414838e-03,3.488120e-03,3.491121e-03,3.564739e-03,3.584867e-03,3.635641e-03,3.676863e-03,3.703790e-03,3.764030e-03,3.769157e-03,3.831725e-03,3.846325e-03,3.891489e-03,3.923731e-03,3.948448e-03,3.996262e-03,4.002615e-03,4.054007e-03,4.063955e-03,4.102651e-03,4.126869e-03,4.148577e-03,4.185084e-03,4.191825e-03,4.232439e-03,4.238696e-03,4.270466e-03,4.287816e-03,4.305960e-03,4.332569e-03,4.338978e-03,4.369578e-03,4.373091e-03,4.397826e-03,4.409525e-03,4.423784e-03,4.442023e-03,4.447521e-03,4.469105e-03,4.470741e-03,4.488606e-03,4.495839e-03,4.506094e-03,4.517479e-03,4.521640e-03,4.535317e-03,4.535826e-03,4.547194e-03,4.551044e-03,4.557344e-03,4.563295e-03,4.565837e-03,4.572742e-03,4.579542e-03,4.583853e-03,4.585826e-03,4.585609e-03,4.583347e-03,4.579177e-03,4.573233e-03,4.565645e-03,4.556535e-03,4.546023e-03,4.534219e-03,4.521233e-03,4.507165e-03,4.492113e-03,4.476168e-03,4.459417e-03,4.441942e-03,4.423820e-03,4.405123e-03,4.385919e-03,4.366271e-03,4.346241e-03,4.325882e-03,4.305248e-03
0.000000e+00,7.552894e-16,6.534653e-15,1.587747e-13,1.291421e-12,3.348170e-12,2.563685e-11,2.757048e-11,1.357356e-10,1.990254e-10,4.830195e-10,9.251489e-10,1.374742e-09,3.113101e-09,3.324359e-09,7.101562e-09,8.391165e-09,1.376312e-08,1.924602e-08,2.466255e-08,3.905404e-08,4.143772e-08,6.597777e-08,7.199858e-08,1.003716e-07,1.228848e-07,1.468403e-07,1.968687e-07,2.076566e-07,2.850537e-07,2.991188e-07,3.811286e-07,4.344380e-07,4.977467e-07,6.068830e-07,6.364526e-07,7.983950e-07,8.194277e-07,9.842703e-07,1.073709e-06,1.194287e-06,1.369886e-06,1.428155e-06,1.685091e-06,1.706609e-06,1.963849e-06,2.081102e-06,2.262762e-06,2.489330e-06,2.579797e-06,2.912620e-06,2.926226e-06,3.258668e-06,3.385961e-06,3.615214e-06,3.862227e-06,3.979442e-06,4.348510e-06,4.719614e-06,4.838350e-06,5.090041e-06,5.325563e-06,5.457217e-06,5.804424e-06,5.818749e-06,6.172451e-06,6.269812e-06,6.516368e-06,6.717300e-06,6.848792e-06,7.143216e-06,7.168268e-06,7.473595e-06,7.544658e-06,7.763823e-06,7.919480e-06,8.038239e-06,8.266254e-06,8.296357e-06,8.537899e-06,8.584207e-06,8.762777e-06,8.873148e-06,8.971072e-06,9.133389e-06,9.163014e-06,9.338961e-06,9.365658e-06,9.499376e-06,9.571016e-06,9.644808e-06,9.750782e-06,9.775879e-06,9.893257e-06,9.906456e-06,9.997650e-06,1.003966e-05,1.008979e-05,1.015207e-05,1.017041e-05,1.024024e-05,1.024539e-05,1.030003e-05,1.032129e-05,1.035048e-05,1.038141e-05,1.039228e-05,1.042610e-05,1.042729e-05,1.045257e-05,1.046042e-05,1.047230e-05,1.048215e-05,1.048585e-05,1.049376e-05,1.049652e-05,1.049640e-05,1.049461e-05,1.049113e-05,1.048845e-05,1.047892e-05,1.047845e-05,1.046496e-05,1.046061e-05,1.044834e-05,1.043699e-05,1.042889e-05,1.040875e-05,1.040690e-05,1.038263e-05,1.037649e-05,1.035631e-05,1.034076e-05,1.032817e-05,1.030205e-05,1.029840e-05,1.026718e-05,1.026078e-05,1.023468e-05,1.021732e-05,1.020104e-05,1.017201e-05,1.016641e-05,1.013090e-05,1.012515e-05,1.009463e-05,1.007698e-05,1.005770e-05,1.002775e-05,1.002021e-05,9.982229e-06,9.977643e-06,9.943848e-06,9.926851e-06,9.905134e-06,9.875527e-06,9.866149e-06,9.826954e-06,9.823811e-06,9.787602e-06,9.771827e-06,9.748140e-06,9.719686e-06,9.708614e-06,9.669065e-06,9.667483e-06,9.629529e-06,9.615306e-06,9.590041e-06,9.563233e-06,9.550632e-06,9.511331e-06,9.459662e-06,9.408281e-06,9.357235e-06,9.306568e-06,9.256318e-06,9.206518e-06,9.157199e-06,9.108388e-06,9.060106e-06,9.012375e-06,8.965213e-06,8.918634e-06,8.872654e-06,8.827283e-06,8.782529e-06,8.738402e-06,8.694908e-06,8.652050e-06,8.609833e-06,8.568258e-06,8.527328e-06,8.487043e-06,8.447403e-06,8.408405e-06
0.000000e+00,3.378909e-09,7.697305e-09,2.602344e-08,5.812297e-08,8.390044e-08,1.850982e-07,1.904514e-07,3.581227e-07,4.177371e-07,5.996412e-07,7.855454e-07,9.282898e-07,1.317467e-06,1.355410e-06,1.883656e-06,2.024452e-06,2.501073e-06,2.877498e-06,3.185109e-06,3.823558e-06,3.912460e-06,4.664421e-06,4.816472e-06,5.427047e-06,5.824199e-06,6.189684e-06,6.823945e-06,6.943688e-06,7.681675e-06,7.797824e-06,8.397202e-06,8.730995e-06,9.084646e-06,9.611132e-06,9.739215e-06,1.035700e-05,1.042851e-05,1.093500e-05,1.117614e-05,1.147112e-05,1.184979e-05,1.196415e-05,1.241366e-05,1.244775e-05,1.282000e-05,1.297063e-05,1.318410e-05,1.342090e-05,1.350742e-05,1.379181e-05,1.380241e-05,1.403941e-05,1.411998e-05,1.425254e-05,1.437903e-05,1.443366e-05,1.458526e-05,1.470987e-05,1.474441e-05,1.480976e-05,1.486179e-05,1.488726e-05,1.494264e-05,1.494457e-05,1.498373e-05,1.499170e-05,1.500665e-05,1.501335e-05,1.501509e-05,1.501146e-05,1.501067e-05,1.499484e-05,1.498949e-05,1.496894e-05,1.495050e-05,1.493419e-05,1.489713e-05,1.489165e-05,1.484230e-05,1.483169e-05,1.478701e-05,1.475618e-05,1.472656e-05,1.467230e-05,1.466164e-05,1.459286e-05,1.458153e-05,1.452077e-05,1.448515e-05,1.444587e-05,1.438422e-05,1.436859e-05,1.428931e-05,1.427968e-05,1.420838e-05,1.417233e-05,1.412611e-05,1.406285e-05,1.404276e-05,1.395858e-05,1.395182e-05,1.387379e-05,1.383974e-05,1.378857e-05,1.372704e-05,1.370309e-05,1.361752e-05,1.361409e-05,1.353197e-05,1.350121e-05,1.344658e-05,1.338866e-05,1.336146e-05,1.327668e-05,1.319235e-05,1.316547e-05,1.310854e-05,1.305520e-05,1.302531e-05,1.294602e-05,1.294272e-05,1.286084e-05,1.283804e-05,1.277969e-05,1.273138e-05,1.269933e-05,1.262613e-05,1.261980e-05,1.254111e-05,1.252236e-05,1.246331e-05,1.242013e-05,1.238640e-05,1.231949e-05,1.231043e-05,1.223539e-05,1.222050e-05,1.216131e-05,1.212317e-05,1.208820e-05,1.202754e-05,1.201607e-05,1.194492e-05,1.193363e-05,1.187476e-05,1.184144e-05,1.180560e-05,1.175098e-05,1.173743e-05,1.167026e-05,1.166227e-05,1.160409e-05,1.157529e-05,1.153891e-05,1.149004e-05,1.147473e-05,1.141153e-05,1.140652e-05,1.134932e-05,1.132471e-05,1.128809e-05,1.124460e-05,1.122782e-05,1.116853e-05,1.116617e-05,1.111018e-05,1.108942e-05,1.105279e-05,1.101430e-05,1.099634e-05,1.094082e-05,1.086894e-05,1.079865e-05,1.072991e-05,1.066271e-05,1.059702e-05,1.053282e-05,1.047007e-05,1.040875e-05,1.034884e-05,1.029030e-05,1.023312e-05,1.017726e-05,1.012270e-05,1.006942e-05,1.001737e-05,9.966549e-06,9.916917e-06,9.868451e-06,9.821127e-06,9.774918e-06,9.729800e-06,9.685749e-06,9.642739e-06,9.600747e-06
0.000000e+00,9.926588e-12,6.522913e-11,9.163390e-10,4.652304e-09,9.422714e-09,3.965958e-08,4.167543e-08,1.201025e-07,1.537006e-07,2.696255e-07,4.042669e-07,5.163323e-07,8.527338e-07,8.877118e-07,1.413176e-06,1.565652e-06,2.123784e-06,2.614081e-06,3.049912e-06,4.062828e-06,4.215953e-06,5.633495e-06,5.947027e-06,7.297519e-06,8.254227e-06,9.188803e-06,1.093357e-05,1.128054e-05,1.354446e-05,1.392086e-05,1.595412e-05,1.715548e-05,1.848585e-05,2.058475e-05,2.111836e-05,2.383213e-05,2.416237e-05,2.660893e-05,2.784624e-05,2.943161e-05,3.159753e-05,3.228398e-05,3.515087e-05,3.538042e-05,3.801822e-05,3.916236e-05,4.087314e-05,4.291440e-05,4.370398e-05,4.650037e-05,4.661137e-05,4.925318e-05,5.023197e-05,5.195454e-05,5.375861e-05,5.459775e-05,5.717721e-05,5.968834e-05,6.047685e-05,6.212748e-05,6.364941e-05,6.449180e-05,6.668920e-05,6.677920e-05,6.898819e-05,6.959252e-05,7.111785e-05,7.235738e-05,7.316776e-05,7.498323e-05,7.513792e-05,7.702864e-05,7.747066e-05,7.884056e-05,7.982112e-05,8.057454e-05,8.203683e-05,8.223167e-05,8.381320e-05,8.412056e-05,8.532052e-05,8.607548e-05,8.675510e-05,8.790511e-05,8.811854e-05,8.941250e-05,8.961320e-05,9.063868e-05,9.120368e-05,9.179882e-05,9.268057e-05,9.289469e-05,9.392805e-05,9.404794e-05,9.490068e-05,9.530985e-05,9.581433e-05,9.647036e-05,9.667079e-05,9.747181e-05,9.753354e-05,9.821913e-05,9.850341e-05,9.891447e-05,9.938389e-05,9.955954e-05,1.001560e-04,1.001788e-04,1.007054e-04,1.008920e-04,1.012095e-04,1.015272e-04,1.016698e-04,1.020879e-04,1.024653e-04,1.025777e-04,1.028035e-04,1.030000e-04,1.031038e-04,1.033580e-04,1.033678e-04,1.035969e-04,1.036549e-04,1.037923e-04,1.038939e-04,1.039554e-04,1.040780e-04,1.040874e-04,1.041897e-04,1.042099e-04,1.042633e-04,1.042926e-04,1.043096e-04,1.043286e-04,1.043296e-04,1.043245e-04,1.043206e-04,1.042953e-04,1.042710e-04,1.042431e-04,1.041822e-04,1.041689e-04,1.040737e-04,1.040565e-04,1.039584e-04,1.038962e-04,1.038240e-04,1.037033e-04,1.036713e-04,1.035013e-04,1.034798e-04,1.033148e-04,1.032277e-04,1.031125e-04,1.029488e-04,1.028953e-04,1.026640e-04,1.026449e-04,1.024192e-04,1.023177e-04,1.021617e-04,1.019688e-04,1.018922e-04,1.016113e-04,1.015998e-04,1.013196e-04,1.012121e-04,1.010179e-04,1.008072e-04,1.007066e-04,1.003864e-04,9.995093e-05,9.950206e-05,9.904093e-05,9.856866e-05,9.808628e-05,9.759479e-05,9.709514e-05,9.658822e-05,9.607488e-05,9.555593e-05,9.503212e-05,9.450418e-05,9.397279e-05,9.343859e-05,9.290220e-05,9.236417e-05,9.182505e-05,9.128535e-05,9.074554e-05,9.020608e-05,8.966739e-05,8.912985e-05,8.859384e-05,8.805970e-05
0.000000e+00,8.055821e-14,6.763859e-13,1.544843e-11,1.188060e-10,2.987646e-10,2.116810e-09,2.269398e-09,1.037198e-08,1.491282e-08,3.450092e-08,6.368373e-08,9.247047e-08,1.995097e-07,2.122214e-07,4.336685e-07,5.075678e-07,8.099762e-07,1.112600e-06,1.407513e-06,2.177382e-06,2.303345e-06,3.579782e-06,3.887921e-06,5.316973e-06,6.426383e-06,7.585469e-06,9.942551e-06,1.044052e-05,1.391897e-05,1.453482e-05,1.803861e-05,2.024441e-05,2.279946e-05,2.705992e-05,2.818614e-05,3.417075e-05,3.492738e-05,4.071560e-05,4.376144e-05,4.777576e-05,5.345549e-05,5.530122e-05,6.323863e-05,6.388978e-05,7.153280e-05,7.493785e-05,8.012788e-05,8.647147e-05,8.896838e-05,9.800000e-05,9.836449e-05,1.071704e-04,1.104960e-04,1.164296e-04,1.227526e-04,1.257308e-04,1.350305e-04,1.442888e-04,1.472366e-04,1.534693e-04,1.592891e-04,1.625399e-04,1.711177e-04,1.714720e-04,1.802407e-04,1.826636e-04,1.888246e-04,1.938787e-04,1.972059e-04,2.047247e-04,2.053695e-04,2.133035e-04,2.151724e-04,2.209984e-04,2.252003e-04,2.284470e-04,2.347941e-04,2.356444e-04,2.425874e-04,2.439452e-04,2.492741e-04,2.526499e-04,2.557045e-04,2.609084e-04,2.618793e-04,2.678006e-04,2.687247e-04,2.734712e-04,2.761050e-04,2.788944e-04,2.830577e-04,2.840745e-04,2.890159e-04,2.895931e-04,2.937236e-04,2.957223e-04,2.982029e-04,3.014577e-04,3.024592e-04,3.064982e-04,3.068121e-04,3.103257e-04,3.117987e-04,3.139475e-04,3.164312e-04,3.173696e-04,3.205979e-04,3.207231e-04,3.236383e-04,3.246880e-04,3.264968e-04,3.283396e-04,3.291792e-04,3.316912e-04,3.340385e-04,3.347558e-04,3.362269e-04,3.375465e-04,3.382617e-04,3.400758e-04,3.401485e-04,3.418925e-04,3.423560e-04,3.434990e-04,3.443990e-04,3.449730e-04,3.462164e-04,3.463195e-04,3.475434e-04,3.478194e-04,3.486493e-04,3.492188e-04,3.496419e-04,3.504252e-04,3.505257e-04,3.513050e-04,3.514487e-04,3.519841e-04,3.522990e-04,3.525671e-04,3.529855e-04,3.530580e-04,3.534608e-04,3.535173e-04,3.537790e-04,3.539029e-04,3.540166e-04,3.541508e-04,3.541769e-04,3.542634e-04,3.542690e-04,3.542794e-04,3.542650e-04,3.542283e-04,3.541463e-04,3.541130e-04,3.539366e-04,3.539199e-04,3.537021e-04,3.535926e-04,3.534122e-04,3.531707e-04,3.530696e-04,3.526771e-04,3.526604e-04,3.522371e-04,3.520676e-04,3.517521e-04,3.513978e-04,3.512245e-04,3.506565e-04,3.498487e-04,3.489793e-04,3.480528e-04,3.470738e-04,3.460463e-04,3.449744e-04,3.438618e-04,3.427121e-04,3.415288e-04,3.403149e-04,3.390737e-04,3.378079e-04,3.365204e-04,3.352137e-04,3.338903e-04,3.325524e-04,3.312023e-04,3.298421e-04,3.284735e-04,3.270986e-04,3.257190e-04,3.243362e-04,3.229520e-04,3.215675e-04
0.000000e+00,2.815013e-14,2.334130e-13,5.192160e-12,3.897976e-11,9.675116e-11,6.636446e-10,7.105885e-10,3.156592e-09,4.507759e-09,1.027482e-08,1.878994e-08,2.715763e-08,5.824130e-08,6.193679e-08,1.265351e-07,1.481717e-07,2.369164e-07,3.257304e-07,4.119926e-07,6.346715e-07,6.706781e-07,1.027752e-06,1.111749e-06,1.490129e-06,1.771633e-06,2.054980e-06,2.599968e-06,2.710128e-06,3.436256e-06,3.557490e-06,4.209988e-06,4.591106e-06,5.006987e-06,5.645926e-06,5.804464e-06,6.582846e-06,6.674187e-06,7.326630e-06,7.639887e-06,8.024566e-06,8.519720e-06,8.669370e-06,9.257170e-06,9.301682e-06,9.786850e-06,9.982609e-06,1.025938e-05,1.056554e-05,1.067721e-05,1.104378e-05,1.105743e-05,1.136310e-05,1.146730e-05,1.163943e-05,1.180497e-05,1.187707e-05,1.208020e-05,1.225276e-05,1.230213e-05,1.239839e-05,1.247901e-05,1.252042e-05,1.261812e-05,1.262182e-05,1.270525e-05,1.272572e-05,1.277305e-05,1.280710e-05,1.282727e-05,1.286669e-05,1.286968e-05,1.290183e-05,1.290817e-05,1.292503e-05,1.293456e-05,1.294045e-05,1.294834e-05,1.294904e-05,1.295166e-05,1.295153e-05,1.294902e-05,1.294578e-05,1.294175e-05,1.293245e-05,1.293038e-05,1.291536e-05,1.291264e-05,1.289709e-05,1.288728e-05,1.287593e-05,1.285712e-05,1.285217e-05,1.282608e-05,1.282280e-05,1.279789e-05,1.278487e-05,1.276780e-05,1.274378e-05,1.273600e-05,1.270265e-05,1.269993e-05,1.266791e-05,1.265366e-05,1.263192e-05,1.260529e-05,1.259478e-05,1.255662e-05,1.255507e-05,1.251753e-05,1.250325e-05,1.247761e-05,1.245003e-05,1.243694e-05,1.239560e-05,1.235367e-05,1.234013e-05,1.231121e-05,1.228378e-05,1.226828e-05,1.222670e-05,1.222495e-05,1.218128e-05,1.216899e-05,1.213730e-05,1.211079e-05,1.209308e-05,1.205220e-05,1.204864e-05,1.200404e-05,1.199332e-05,1.195932e-05,1.193423e-05,1.191450e-05,1.187501e-05,1.186963e-05,1.182473e-05,1.181575e-05,1.177984e-05,1.175650e-05,1.173498e-05,1.169734e-05,1.169018e-05,1.164546e-05,1.163831e-05,1.160085e-05,1.157948e-05,1.155636e-05,1.152088e-05,1.151202e-05,1.146785e-05,1.146256e-05,1.142386e-05,1.140456e-05,1.138007e-05,1.134693e-05,1.133649e-05,1.129314e-05,1.128968e-05,1.125003e-05,1.123286e-05,1.120718e-05,1.117648e-05,1.116459e-05,1.112227e-05,1.112058e-05,1.108024e-05,1.106518e-05,1.103850e-05,1.101029e-05,1.099707e-05,1.095594e-05,1.090214e-05,1.084891e-05,1.079626e-05,1.074419e-05,1.069273e-05,1.064188e-05,1.059164e-05,1.054203e-05,1.049304e-05,1.044469e-05,1.039697e-05,1.034989e-05,1.030346e-05,1.025766e-05,1.021250e-05,1.016799e-05,1.012411e-05,1.008088e-05,1.003828e-05,9.996311e-06,9.954977e-06,9.914270e-06,9.874188e-06,9.834726e-06
0.000000e+00,1.048867e-09,3.393499e-09,1.671778e-08,4.475187e-08,6.926497e-08,1.737869e-07,1.795561e-07,3.672285e-07,4.362469e-07,6.513453e-07,8.758920e-07,1.050494e-06,1.533468e-06,1.581035e-06,2.252481e-06,2.434685e-06,3.063709e-06,3.575758e-06,4.005427e-06,4.932369e-06,5.065390e-06,6.230964e-06,6.475635e-06,7.489377e-06,8.176086e-06,8.827447e-06,1.000299e-05,1.023150e-05,1.168753e-05,1.192437e-05,1.318148e-05,1.390800e-05,1.469965e-05,1.592283e-05,1.622899e-05,1.775742e-05,1.794023e-05,1.927400e-05,1.993501e-05,2.076911e-05,2.188591e-05,2.223450e-05,2.366325e-05,2.377579e-05,2.504975e-05,2.559150e-05,2.638961e-05,2.732352e-05,2.767950e-05,2.891710e-05,2.896549e-05,3.010088e-05,3.051371e-05,3.123012e-05,3.196674e-05,3.230464e-05,3.332480e-05,3.429134e-05,3.458948e-05,3.520533e-05,3.576329e-05,3.606807e-05,3.684947e-05,3.688106e-05,3.764592e-05,3.785169e-05,3.836438e-05,3.877392e-05,3.903822e-05,3.962028e-05,3.966923e-05,4.025923e-05,4.039492e-05,4.081001e-05,4.110198e-05,4.132334e-05,4.174548e-05,4.180096e-05,4.224456e-05,4.232934e-05,4.265578e-05,4.285734e-05,4.303619e-05,4.333305e-05,4.338733e-05,4.371067e-05,4.375992e-05,4.400762e-05,4.414118e-05,4.427953e-05,4.447990e-05,4.452769e-05,4.475335e-05,4.477898e-05,4.495769e-05,4.504113e-05,4.514182e-05,4.526892e-05,4.530683e-05,4.545374e-05,4.546474e-05,4.558352e-05,4.563085e-05,4.569710e-05,4.576935e-05,4.579537e-05,4.587916e-05,4.588222e-05,4.594927e-05,4.597130e-05,4.600645e-05,4.603833e-05,4.605144e-05,4.608491e-05,4.610752e-05,4.611256e-05,4.611988e-05,4.612268e-05,4.612257e-05,4.611659e-05,4.611616e-05,4.610118e-05,4.609552e-05,4.607813e-05,4.606062e-05,4.604747e-05,4.601295e-05,4.600968e-05,4.596517e-05,4.595353e-05,4.591435e-05,4.588328e-05,4.585761e-05,4.580308e-05,4.579532e-05,4.572783e-05,4.571373e-05,4.565546e-05,4.561600e-05,4.557853e-05,4.551060e-05,4.549733e-05,4.541216e-05,4.539818e-05,4.532328e-05,4.527937e-05,4.523093e-05,4.515473e-05,4.513538e-05,4.503683e-05,4.502481e-05,4.493552e-05,4.489011e-05,4.483164e-05,4.475109e-05,4.472539e-05,4.461696e-05,4.460820e-05,4.450652e-05,4.446182e-05,4.439425e-05,4.431236e-05,4.428029e-05,4.416480e-05,4.416015e-05,4.404792e-05,4.400553e-05,4.392979e-05,4.384881e-05,4.381053e-05,4.369027e-05,4.353018e-05,4.336878e-05,4.320632e-05,4.304301e-05,4.287904e-05,4.271460e-05,4.254987e-05,4.238500e-05,4.222016e-05,4.205547e-05,4.189107e-05,4.172708e-05,4.156360e-05,4.140074e-05,4.123860e-05,4.107726e-05,4.091680e-05,4.075731e-05,4.059884e-05,4.044145e-05,4.028522e-05,4.013019e-05,3.997641e-05,3.982391e-05
0.000000e+00,6.651146e-10,1.770283e-09,7.083300e-09,1.721526e-08,2.571121e-08,6.069959e-08,6.260258e-08,1.240296e-07,1.465656e-07,2.170873e-07,2.914333e-07,3.498060e-07,5.133947e-07,5.296291e-07,7.595585e-07,8.218784e-07,1.035585e-06,1.207275e-06,1.349531e-06,1.650741e-06,1.693352e-06,2.060756e-06,2.136625e-06,2.446937e-06,2.653847e-06,2.847967e-06,3.193738e-06,3.260342e-06,3.680743e-06,3.748535e-06,4.105936e-06,4.310802e-06,4.532770e-06,4.873370e-06,4.958204e-06,5.379370e-06,5.429495e-06,5.793623e-06,5.973083e-06,6.198592e-06,6.498877e-06,6.592212e-06,6.972747e-06,7.002580e-06,7.338792e-06,7.480902e-06,7.689272e-06,7.931537e-06,8.023420e-06,8.340755e-06,8.353094e-06,8.641038e-06,8.744955e-06,8.924250e-06,9.107165e-06,9.190565e-06,9.440315e-06,9.673950e-06,9.745396e-06,9.892017e-06,1.002369e-05,1.009514e-05,1.027669e-05,1.028398e-05,1.045925e-05,1.050599e-05,1.062166e-05,1.071322e-05,1.077192e-05,1.090004e-05,1.091074e-05,1.103883e-05,1.106804e-05,1.115684e-05,1.121877e-05,1.126542e-05,1.135367e-05,1.136520e-05,1.145674e-05,1.147411e-05,1.154060e-05,1.158135e-05,1.161731e-05,1.167656e-05,1.168734e-05,1.175115e-05,1.176081e-05,1.180915e-05,1.183505e-05,1.186175e-05,1.190018e-05,1.190931e-05,1.195216e-05,1.195700e-05,1.199062e-05,1.200623e-05,1.202499e-05,1.204854e-05,1.205553e-05,1.208250e-05,1.208451e-05,1.210612e-05,1.211468e-05,1.212661e-05,1.213954e-05,1.214417e-05,1.215899e-05,1.215953e-05,1.217124e-05,1.217505e-05,1.218108e-05,1.218647e-05,1.218865e-05,1.219410e-05,1.219756e-05,1.219826e-05,1.219914e-05,1.219921e-05,1.219895e-05,1.219721e-05,1.219710e-05,1.219370e-05,1.219248e-05,1.218882e-05,1.218522e-05,1.218256e-05,1.217564e-05,1.217499e-05,1.216619e-05,1.216391e-05,1.215624e-05,1.215018e-05,1.214519e-05,1.213462e-05,1.213312e-05,1.212007e-05,1.211735e-05,1.210612e-05,1.209851e-05,1.209130e-05,1.207822e-05,1.207566e-05,1.205926e-05,1.205657e-05,1.204215e-05,1.203369e-05,1.202435e-05,1.200965e-05,1.200591e-05,1.198687e-05,1.198455e-05,1.196727e-05,1.195848e-05,1.194714e-05,1.193150e-05,1.192651e-05,1.190541e-05,1.190370e-05,1.188387e-05,1.187513e-05,1.186192e-05,1.184587e-05,1.183958e-05,1.181689e-05,1.181597e-05,1.179386e-05,1.178549e-05,1.177052e-05,1.175448e-05,1.174689e-05,1.172300e-05,1.169107e-05,1.165876e-05,1.162610e-05,1.159312e-05,1.155987e-05,1.152639e-05,1.149269e-05,1.145882e-05,1.142480e-05,1.139066e-05,1.135642e-05,1.132211e-05,1.128775e-05,1.125337e-05,1.121898e-05,1.118460e-05,1.115025e-05,1.111595e-05,1.108171e-05,1.104755e-05,1.101348e-05,1.097952e-05,1.094567e-05,1.091196e-05
0.000000e+00,1.178874e-15,1.013079e-14,2.426753e-13,1.948026e-12,5.013842e-12,3.766902e-11,4.047873e-11,1.955368e-10,2.852324e-10,6.833161e-10,1.295194e-09,1.911644e-09,4.264782e-09,4.548483e-09,9.571125e-09,1.127026e-08,1.829286e-08,2.539495e-08,3.236512e-08,5.073033e-08,5.375542e-08,8.470098e-08,9.224849e-08,1.276357e-07,1.555386e-07,1.850865e-07,2.463865e-07,2.595391e-07,3.532788e-07,3.702017e-07,4.682231e-07,5.313615e-07,6.057675e-07,7.326037e-07,7.666632e-07,9.509436e-07,9.746029e-07,1.157906e-06,1.255816e-06,1.386142e-06,1.572596e-06,1.633615e-06,1.897766e-06,1.919533e-06,2.175644e-06,2.289924e-06,2.464033e-06,2.676306e-06,2.759590e-06,3.058962e-06,3.070970e-06,3.358891e-06,3.466403e-06,3.656303e-06,3.855654e-06,3.948376e-06,4.232587e-06,4.506742e-06,4.592037e-06,4.768997e-06,4.929888e-06,5.017853e-06,5.243075e-06,5.252156e-06,5.471072e-06,5.529531e-06,5.674065e-06,5.788100e-06,5.860875e-06,6.018422e-06,6.031477e-06,6.186057e-06,6.220809e-06,6.324976e-06,6.396114e-06,6.448741e-06,6.545610e-06,6.557973e-06,6.653383e-06,6.670873e-06,6.735742e-06,6.773681e-06,6.805867e-06,6.855929e-06,6.864595e-06,6.912767e-06,6.919551e-06,6.951220e-06,6.966466e-06,6.980770e-06,6.998532e-06,7.002208e-06,7.016288e-06,7.017518e-06,7.023731e-06,7.025077e-06,7.025209e-06,7.022733e-06,7.021354e-06,7.012752e-06,7.011875e-06,6.999945e-06,6.993757e-06,6.983430e-06,6.969501e-06,6.963663e-06,6.941058e-06,6.940100e-06,6.915991e-06,6.906432e-06,6.888804e-06,6.869262e-06,6.859802e-06,6.829260e-06,6.797427e-06,6.787004e-06,6.764522e-06,6.742993e-06,6.730743e-06,6.697654e-06,6.696264e-06,6.661241e-06,6.651356e-06,6.625812e-06,6.604410e-06,6.590098e-06,6.557084e-06,6.554208e-06,6.518237e-06,6.509602e-06,6.482269e-06,6.462155e-06,6.446376e-06,6.414905e-06,6.410624e-06,6.375069e-06,6.367987e-06,6.339761e-06,6.321512e-06,6.304741e-06,6.275575e-06,6.270047e-06,6.235712e-06,6.230254e-06,6.201763e-06,6.185612e-06,6.168224e-06,6.141701e-06,6.135115e-06,6.102454e-06,6.098565e-06,6.070254e-06,6.056236e-06,6.038529e-06,6.014741e-06,6.007287e-06,5.976537e-06,5.974099e-06,5.946285e-06,5.934324e-06,5.916535e-06,5.895427e-06,5.887290e-06,5.858552e-06,5.857413e-06,5.830323e-06,5.820285e-06,5.802602e-06,5.784041e-06,5.775387e-06,5.748679e-06,5.714193e-06,5.680577e-06,5.647823e-06,5.615919e-06,5.584855e-06,5.554617e-06,5.525194e-06,5.496571e-06,5.468734e-06,5.441668e-06,5.415357e-06,5.389787e-06,5.364942e-06,5.340807e-06,5.317364e-06,5.294599e-06,5.272496e-06,5.251039e-06,5.230213e-06,5.210000e-06,5.190387e-06,5.171358e-06,5.152898e-06,5.134991e-06
0.000000e+00,1.202903e-14,1.005191e-13,2.271736e-12,1.729163e-11,4.322448e-11,3.011928e-10,3.226718e-10,1.447406e-09,2.069658e-09,4.718104e-09,8.596685e-09,1.237058e-08,2.611253e-08,2.772142e-08,5.521298e-08,6.421003e-08,1.003724e-07,1.357625e-07,1.696823e-07,2.563425e-07,2.703194e-07,4.096977e-07,4.428533e-07,5.948035e-07,7.111197e-07,8.314232e-07,1.072906e-06,1.123445e-06,1.472402e-06,1.533489e-06,1.877330e-06,2.090692e-06,2.334944e-06,2.735513e-06,2.840022e-06,3.385908e-06,3.453804e-06,3.965039e-06,4.228334e-06,4.569424e-06,5.040705e-06,5.191046e-06,5.822172e-06,5.872852e-06,6.455575e-06,6.708077e-06,7.084682e-06,7.531674e-06,7.703661e-06,8.307455e-06,8.331228e-06,8.891798e-06,9.096702e-06,9.453189e-06,9.820386e-06,9.988864e-06,1.049674e-05,1.097536e-05,1.112218e-05,1.142383e-05,1.169482e-05,1.184175e-05,1.221424e-05,1.222915e-05,1.258645e-05,1.268119e-05,1.291434e-05,1.309734e-05,1.321377e-05,1.346507e-05,1.348586e-05,1.373190e-05,1.378723e-05,1.395326e-05,1.406696e-05,1.415135e-05,1.430758e-05,1.432763e-05,1.448355e-05,1.451241e-05,1.462051e-05,1.468471e-05,1.473991e-05,1.482760e-05,1.484306e-05,1.493124e-05,1.494404e-05,1.500563e-05,1.503678e-05,1.506737e-05,1.510835e-05,1.511749e-05,1.515699e-05,1.516105e-05,1.518675e-05,1.519698e-05,1.520762e-05,1.521801e-05,1.522036e-05,1.522568e-05,1.522580e-05,1.522422e-05,1.522187e-05,1.521657e-05,1.520754e-05,1.520328e-05,1.518484e-05,1.518400e-05,1.516169e-05,1.515229e-05,1.513426e-05,1.511335e-05,1.510292e-05,1.506801e-05,1.502984e-05,1.501699e-05,1.498871e-05,1.496095e-05,1.494487e-05,1.490047e-05,1.489858e-05,1.485004e-05,1.483607e-05,1.479945e-05,1.476821e-05,1.474702e-05,1.469729e-05,1.469291e-05,1.463727e-05,1.462370e-05,1.458025e-05,1.454777e-05,1.452199e-05,1.446979e-05,1.446261e-05,1.440222e-05,1.439004e-05,1.434094e-05,1.430875e-05,1.427886e-05,1.422616e-05,1.421607e-05,1.415266e-05,1.414246e-05,1.408871e-05,1.405784e-05,1.402429e-05,1.397246e-05,1.395946e-05,1.389430e-05,1.388646e-05,1.382887e-05,1.380000e-05,1.376321e-05,1.371319e-05,1.369737e-05,1.363142e-05,1.362614e-05,1.356539e-05,1.353897e-05,1.349933e-05,1.345176e-05,1.343327e-05,1.336725e-05,1.336461e-05,1.330131e-05,1.327760e-05,1.323548e-05,1.319079e-05,1.316979e-05,1.310426e-05,1.301806e-05,1.293226e-05,1.284689e-05,1.276201e-05,1.267767e-05,1.259389e-05,1.251072e-05,1.242818e-05,1.234631e-05,1.226512e-05,1.218465e-05,1.210490e-05,1.202591e-05,1.194769e-05,1.187025e-05,1.179360e-05,1.171775e-05,1.164272e-05,1.156851e-05,1.149513e-05,1.142258e-05,1.135087e-05,1.127999e-05,1.120996e-05
0.000000e+00,2.883186e-14,2.428523e-13,5.584125e-12,4.320855e-11,1.090261e-10,7.793840e-10,8.358740e-10,3.855938e-09,5.558725e-09,1.294934e-08,2.404438e-08,3.505356e-08,7.633923e-08,8.126873e-08,1.676800e-07,1.966663e-07,3.156363e-07,4.348641e-07,5.509421e-07,8.526171e-07,9.017450e-07,1.395574e-06,1.513702e-06,2.056372e-06,2.472253e-06,2.902223e-06,3.763985e-06,3.944090e-06,5.185540e-06,5.402558e-06,6.623202e-06,7.380418e-06,8.247689e-06,9.672343e-06,1.004474e-05,1.199640e-05,1.224003e-05,1.408212e-05,1.503665e-05,1.627980e-05,1.801088e-05,1.856662e-05,2.091978e-05,2.111023e-05,2.331714e-05,2.428369e-05,2.573763e-05,2.748367e-05,2.816170e-05,3.057151e-05,3.066738e-05,3.295117e-05,3.379772e-05,3.528676e-05,3.684365e-05,3.756640e-05,3.978019e-05,4.192010e-05,4.258820e-05,4.397987e-05,4.525384e-05,4.595483e-05,4.776800e-05,4.784176e-05,4.963872e-05,5.012560e-05,5.134485e-05,5.232492e-05,5.296022e-05,5.436694e-05,5.448570e-05,5.592279e-05,5.625475e-05,5.727349e-05,5.799303e-05,5.854021e-05,5.958761e-05,5.972566e-05,6.083278e-05,6.104507e-05,6.186462e-05,6.237248e-05,6.282435e-05,6.357715e-05,6.371518e-05,6.454030e-05,6.466644e-05,6.530289e-05,6.564763e-05,6.600605e-05,6.652783e-05,6.665282e-05,6.724616e-05,6.731391e-05,6.778892e-05,6.801242e-05,6.828384e-05,6.862961e-05,6.873356e-05,6.914059e-05,6.917138e-05,6.950736e-05,6.964331e-05,6.983616e-05,7.005063e-05,7.012919e-05,7.038853e-05,7.039823e-05,7.061616e-05,7.069071e-05,7.081396e-05,7.093233e-05,7.098370e-05,7.112708e-05,7.124569e-05,7.127867e-05,7.134106e-05,7.139055e-05,7.141460e-05,7.146592e-05,7.146767e-05,7.150155e-05,7.150777e-05,7.151746e-05,7.151886e-05,7.151654e-05,7.150175e-05,7.149986e-05,7.146845e-05,7.145883e-05,7.142327e-05,7.139230e-05,7.136523e-05,7.130421e-05,7.129520e-05,7.121398e-05,7.119646e-05,7.112233e-05,7.107080e-05,7.102099e-05,7.092887e-05,7.091064e-05,7.079191e-05,7.077218e-05,7.066542e-05,7.060212e-05,7.053174e-05,7.041998e-05,7.039141e-05,7.024494e-05,7.022698e-05,7.009282e-05,7.002421e-05,6.993549e-05,6.981271e-05,6.977339e-05,6.960692e-05,6.959343e-05,6.943647e-05,6.936725e-05,6.926238e-05,6.913499e-05,6.908501e-05,6.890466e-05,6.889739e-05,6.872165e-05,6.865517e-05,6.853626e-05,6.840896e-05,6.834874e-05,6.815936e-05,6.790693e-05,6.765217e-05,6.739555e-05,6.713750e-05,6.687843e-05,6.661871e-05,6.635868e-05,6.609865e-05,6.583892e-05,6.557974e-05,6.532136e-05,6.506401e-05,6.480789e-05,6.455319e-05,6.430007e-05,6.404870e-05,6.379922e-05,6.355175e-05,6.330642e-05,6.306332e-05,6.282256e-05,6.258422e-05,6.234838e-05,6.211510e-05
0.000000e+00,1.195488e-12,8.905830e-12,1.594676e-10,9.891986e-10,2.217950e-09,1.183467e-08,1.254773e-08,4.428538e-08,5.961766e-08,1.179814e-07,1.938852e-07,2.622789e-07,4.894792e-07,5.146658e-07,9.189385e-07,1.043299e-06,1.515152e-06,1.942089e-06,2.325175e-06,3.211998e-06,3.344669e-06,4.547011e-06,4.806146e-06,5.894147e-06,6.638669e-06,7.346706e-06,8.622622e-06,8.869802e-06,1.043475e-05,1.068742e-05,1.201855e-05,1.277991e-05,1.360272e-05,1.486004e-05,1.517210e-05,1.671415e-05,1.689684e-05,1.821841e-05,1.886605e-05,1.967631e-05,2.074902e-05,2.108097e-05,2.242711e-05,2.253215e-05,2.371090e-05,2.420635e-05,2.492982e-05,2.576648e-05,2.608253e-05,2.716863e-05,2.721069e-05,2.818858e-05,2.853977e-05,2.914348e-05,2.975647e-05,3.003495e-05,3.086499e-05,3.163590e-05,3.187050e-05,3.235014e-05,3.277871e-05,3.301031e-05,3.359564e-05,3.361904e-05,3.417898e-05,3.432738e-05,3.469275e-05,3.497991e-05,3.516290e-05,3.555907e-05,3.559193e-05,3.598224e-05,3.607040e-05,3.633611e-05,3.651919e-05,3.665574e-05,3.691037e-05,3.694324e-05,3.720057e-05,3.724859e-05,3.742963e-05,3.753816e-05,3.763219e-05,3.778308e-05,3.780992e-05,3.796441e-05,3.798707e-05,3.809716e-05,3.815356e-05,3.820956e-05,3.828572e-05,3.830293e-05,3.837853e-05,3.838646e-05,3.843751e-05,3.845848e-05,3.848097e-05,3.850426e-05,3.850994e-05,3.852539e-05,3.852607e-05,3.852823e-05,3.852603e-05,3.851930e-05,3.850605e-05,3.849942e-05,3.846932e-05,3.846791e-05,3.842972e-05,3.841326e-05,3.838126e-05,3.834358e-05,3.832459e-05,3.826027e-05,3.818886e-05,3.816459e-05,3.811086e-05,3.805771e-05,3.802676e-05,3.794071e-05,3.793702e-05,3.784204e-05,3.781457e-05,3.774224e-05,3.768020e-05,3.763799e-05,3.753845e-05,3.752964e-05,3.741752e-05,3.739008e-05,3.730193e-05,3.723580e-05,3.718318e-05,3.707627e-05,3.706153e-05,3.693724e-05,3.691209e-05,3.681055e-05,3.674380e-05,3.668169e-05,3.657192e-05,3.655087e-05,3.641829e-05,3.639693e-05,3.628414e-05,3.621924e-05,3.614859e-05,3.603926e-05,3.601181e-05,3.587396e-05,3.585735e-05,3.573518e-05,3.567385e-05,3.559560e-05,3.548908e-05,3.545537e-05,3.531460e-05,3.530332e-05,3.517340e-05,3.511682e-05,3.503188e-05,3.492984e-05,3.489014e-05,3.474827e-05,3.474260e-05,3.460637e-05,3.455529e-05,3.446451e-05,3.436812e-05,3.432278e-05,3.418124e-05,3.399483e-05,3.380901e-05,3.362394e-05,3.343973e-05,3.325648e-05,3.307431e-05,3.289331e-05,3.271355e-05,3.253513e-05,3.235809e-05,3.218252e-05,3.200846e-05,3.183597e-05,3.166509e-05,3.149586e-05,3.132833e-05,3.116251e-05,3.099845e-05,3.083616e-05,3.067566e-05,3.051697e-05,3.036011e-05,3.020508e-05,3.005190e-05
0.000000e+00,3.486033e-14,2.886489e-13,6.398282e-12,4.782916e-11,1.183581e-10,8.029756e-10,8.592863e-10,3.749896e-09,5.321170e-09,1.189564e-08,2.132704e-08,3.036236e-08,6.254142e-08,6.625447e-08,1.285362e-07,1.485485e-07,2.276830e-07,3.035754e-07,3.752145e-07,5.545562e-07,5.830750e-07,8.627544e-07,9.282187e-07,1.224085e-06,1.446654e-06,1.673841e-06,2.121919e-06,2.214485e-06,2.843433e-06,2.951817e-06,3.553087e-06,3.919029e-06,4.331557e-06,4.993895e-06,5.163883e-06,6.033432e-06,6.139469e-06,6.923228e-06,7.316924e-06,7.817053e-06,8.489956e-06,8.700236e-06,9.560114e-06,9.627569e-06,1.038625e-05,1.070536e-05,1.117047e-05,1.170568e-05,1.190672e-05,1.259088e-05,1.261712e-05,1.322051e-05,1.343359e-05,1.379462e-05,1.415336e-05,1.431341e-05,1.477803e-05,1.519038e-05,1.531168e-05,1.555291e-05,1.576008e-05,1.586846e-05,1.613007e-05,1.614014e-05,1.637117e-05,1.642902e-05,1.656483e-05,1.666444e-05,1.672436e-05,1.684368e-05,1.685289e-05,1.695343e-05,1.697371e-05,1.702880e-05,1.706101e-05,1.708164e-05,1.711143e-05,1.711437e-05,1.712923e-05,1.713024e-05,1.712824e-05,1.712207e-05,1.711322e-05,1.709098e-05,1.708583e-05,1.704752e-05,1.704047e-05,1.699961e-05,1.697356e-05,1.694327e-05,1.689283e-05,1.687954e-05,1.680932e-05,1.680050e-05,1.673343e-05,1.669843e-05,1.665259e-05,1.658823e-05,1.656743e-05,1.647851e-05,1.647125e-05,1.638633e-05,1.634865e-05,1.629134e-05,1.622142e-05,1.619392e-05,1.609443e-05,1.609042e-05,1.599318e-05,1.595636e-05,1.589045e-05,1.581987e-05,1.578648e-05,1.568150e-05,1.557570e-05,1.554171e-05,1.546928e-05,1.540091e-05,1.536239e-05,1.525947e-05,1.525517e-05,1.514777e-05,1.511768e-05,1.504030e-05,1.497584e-05,1.493288e-05,1.483417e-05,1.482560e-05,1.471855e-05,1.469291e-05,1.461183e-05,1.455222e-05,1.450549e-05,1.441229e-05,1.439961e-05,1.429426e-05,1.427326e-05,1.418949e-05,1.413525e-05,1.408534e-05,1.399838e-05,1.398187e-05,1.387912e-05,1.386275e-05,1.377713e-05,1.372845e-05,1.367593e-05,1.359556e-05,1.357555e-05,1.347602e-05,1.346413e-05,1.337736e-05,1.333424e-05,1.327960e-05,1.320591e-05,1.318276e-05,1.308684e-05,1.307921e-05,1.299188e-05,1.295416e-05,1.289787e-05,1.283079e-05,1.280484e-05,1.271279e-05,1.270913e-05,1.262173e-05,1.258919e-05,1.253166e-05,1.247098e-05,1.244259e-05,1.235453e-05,1.223982e-05,1.212687e-05,1.201567e-05,1.190623e-05,1.179853e-05,1.169256e-05,1.158833e-05,1.148581e-05,1.138499e-05,1.128586e-05,1.118839e-05,1.109259e-05,1.099841e-05,1.090586e-05,1.081490e-05,1.072551e-05,1.063768e-05,1.055138e-05,1.046659e-05,1.038329e-05,1.030146e-05,1.022107e-05,1.014209e-05,1.006452e-05
0.000000e+00,4.048372e-15,3.416586e-14,7.879828e-13,6.107997e-12,1.541943e-11,1.101449e-10,1.181164e-10,5.424222e-10,7.803938e-10,1.805750e-09,3.328007e-09,4.823144e-09,1.033256e-08,1.098216e-08,2.216807e-08,2.585369e-08,4.074214e-08,5.539093e-08,6.947981e-08,1.056243e-07,1.114700e-07,1.699658e-07,1.839315e-07,2.481730e-07,2.976095e-07,3.489757e-07,4.527874e-07,4.746301e-07,6.264810e-07,6.532405e-07,8.047640e-07,8.994951e-07,1.008533e-06,1.188542e-06,1.235720e-06,1.483305e-06,1.514214e-06,1.747559e-06,1.868047e-06,2.024317e-06,2.240349e-06,2.309246e-06,2.598078e-06,2.621231e-06,2.886805e-06,3.001439e-06,3.171805e-06,3.372915e-06,3.449939e-06,3.718587e-06,3.729104e-06,3.975661e-06,4.065055e-06,4.219584e-06,4.377358e-06,4.449252e-06,4.663987e-06,4.863480e-06,4.924091e-06,5.047733e-06,5.157766e-06,5.217002e-06,5.365829e-06,5.371747e-06,5.512578e-06,5.549613e-06,5.640216e-06,5.710795e-06,5.755456e-06,5.851245e-06,5.859134e-06,5.952098e-06,5.972909e-06,6.035193e-06,6.077724e-06,6.109242e-06,6.167550e-06,6.175034e-06,6.233316e-06,6.244133e-06,6.284787e-06,6.309077e-06,6.330095e-06,6.363829e-06,6.369837e-06,6.404556e-06,6.409679e-06,6.434747e-06,6.447764e-06,6.460858e-06,6.479079e-06,6.483289e-06,6.502402e-06,6.504488e-06,6.518519e-06,6.524737e-06,6.531928e-06,6.540467e-06,6.542886e-06,6.551621e-06,6.552230e-06,6.558338e-06,6.560502e-06,6.563219e-06,6.565688e-06,6.566426e-06,6.568103e-06,6.568140e-06,6.568382e-06,6.568163e-06,6.567379e-06,6.566018e-06,6.565198e-06,6.561935e-06,6.557675e-06,6.556114e-06,6.552496e-06,6.548732e-06,6.546469e-06,6.539944e-06,6.539658e-06,6.532123e-06,6.529891e-06,6.523918e-06,6.518694e-06,6.515093e-06,6.506467e-06,6.505695e-06,6.495767e-06,6.493310e-06,6.485348e-06,6.479312e-06,6.474475e-06,6.464560e-06,6.463184e-06,6.451505e-06,6.449126e-06,6.439472e-06,6.433083e-06,6.427111e-06,6.416494e-06,6.414449e-06,6.401511e-06,6.399417e-06,6.388320e-06,6.381905e-06,6.374899e-06,6.364010e-06,6.361268e-06,6.347447e-06,6.345776e-06,6.333453e-06,6.327247e-06,6.319306e-06,6.308461e-06,6.305020e-06,6.290613e-06,6.289455e-06,6.276097e-06,6.270264e-06,6.261488e-06,6.250919e-06,6.246799e-06,6.232042e-06,6.231450e-06,6.217228e-06,6.211884e-06,6.202370e-06,6.192245e-06,6.187476e-06,6.172558e-06,6.152844e-06,6.133124e-06,6.113415e-06,6.093737e-06,6.074104e-06,6.054532e-06,6.035034e-06,6.015624e-06,5.996313e-06,5.977112e-06,5.958032e-06,5.939081e-06,5.920268e-06,5.901602e-06,5.883088e-06,5.864734e-06,5.846546e-06,5.828528e-06,5.810687e-06,5.793026e-06,5.775550e-06,5.758261e-06,5.741163e-06,5.724260e-06
0.000000e+00,3.587157e-16,3.220501e-15,8.460847e-14,7.402083e-13,1.998907e-12,1.704821e-11,1.841613e-11,1.013122e-10,1.532085e-10,4.023746e-10,8.227389e-10,1.276738e-09,3.192361e-09,3.438363e-09,8.172082e-09,9.905099e-09,1.760382e-08,2.610651e-08,3.502603e-08,6.075861e-08,6.526831e-08,1.150948e-07,1.281654e-07,1.936030e-07,2.495629e-07,3.125943e-07,4.545813e-07,4.868902e-07,7.345728e-07,7.823995e-07,1.077129e-06,1.282445e-06,1.539490e-06,2.014555e-06,2.149969e-06,2.940081e-06,3.048573e-06,3.944267e-06,4.463378e-06,5.199520e-06,6.345414e-06,6.744928e-06,8.621145e-06,8.786777e-06,1.086981e-05,1.188298e-05,1.353294e-05,1.573046e-05,1.665223e-05,2.026846e-05,2.042400e-05,2.442082e-05,2.605412e-05,2.914628e-05,3.270453e-05,3.447903e-05,4.044987e-05,4.708581e-05,4.935363e-05,5.440961e-05,5.946641e-05,6.243941e-05,7.082460e-05,7.118849e-05,8.066507e-05,8.344942e-05,9.087216e-05,9.734636e-05,1.018076e-04,1.125051e-04,1.134639e-04,1.258285e-04,1.288996e-04,1.388841e-04,1.464890e-04,1.526085e-04,1.652180e-04,1.669749e-04,1.819527e-04,1.850187e-04,1.975073e-04,2.058111e-04,2.136007e-04,2.275056e-04,2.301918e-04,2.472373e-04,2.500036e-04,2.646912e-04,2.732002e-04,2.825061e-04,2.969851e-04,3.006331e-04,3.190226e-04,3.212446e-04,3.376243e-04,3.458633e-04,3.563878e-04,3.707254e-04,3.752630e-04,3.942002e-04,3.957164e-04,4.131508e-04,4.207241e-04,4.320672e-04,4.456398e-04,4.509032e-04,4.696145e-04,4.703598e-04,4.881584e-04,4.947853e-04,5.064942e-04,5.188240e-04,5.245835e-04,5.423902e-04,5.598804e-04,5.654053e-04,5.770230e-04,5.877982e-04,5.937889e-04,6.095054e-04,6.101519e-04,6.260881e-04,6.304709e-04,6.415764e-04,6.506463e-04,6.565977e-04,6.699907e-04,6.711356e-04,6.851761e-04,6.884704e-04,6.987074e-04,7.060588e-04,7.117199e-04,7.227357e-04,7.242061e-04,7.361607e-04,7.384875e-04,7.475802e-04,7.533061e-04,7.584628e-04,7.671893e-04,7.688086e-04,7.786194e-04,7.801396e-04,7.878981e-04,7.921642e-04,7.966494e-04,8.032746e-04,8.048791e-04,8.125942e-04,8.134858e-04,8.198026e-04,8.228162e-04,8.265135e-04,8.312870e-04,8.327367e-04,8.384827e-04,8.389221e-04,8.437630e-04,8.457473e-04,8.485893e-04,8.517901e-04,8.529741e-04,8.569300e-04,8.570795e-04,8.604703e-04,8.616457e-04,8.636084e-04,8.655194e-04,8.663578e-04,8.687323e-04,8.713161e-04,8.733027e-04,8.747239e-04,8.756114e-04,8.759961e-04,8.759087e-04,8.753790e-04,8.744364e-04,8.731090e-04,8.714244e-04,8.694089e-04,8.670882e-04,8.644866e-04,8.616276e-04,8.585335e-04,8.552257e-04,8.517243e-04,8.480487e-04,8.442171e-04,8.402465e-04,8.361533e-04,8.319526e-04,8.276587e-04,8.232853e-04
0.000000e+00,1.196968e-15,1.051225e-14,2.637960e-13,2.211618e-12,5.832483e-12,4.674142e-11,5.036267e-11,2.601076e-10,3.865807e-10,9.716892e-10,1.917070e-09,2.906184e-09,6.895916e-09,7.394276e-09,1.664358e-08,1.991860e-08,3.403572e-08,4.907439e-08,6.442973e-08,1.071284e-07,1.144264e-07,1.925280e-07,2.124041e-07,3.091314e-07,3.889360e-07,4.763236e-07,6.656278e-07,7.074922e-07,1.016793e-06,1.074492e-06,1.418539e-06,1.648309e-06,1.926561e-06,2.418120e-06,2.553616e-06,3.310849e-06,3.410922e-06,4.207375e-06,4.647805e-06,5.249950e-06,6.142670e-06,6.442779e-06,7.787418e-06,7.901532e-06,9.282777e-06,9.922391e-06,1.092522e-05,1.219558e-05,1.270875e-05,1.462521e-05,1.470449e-05,1.666454e-05,1.742659e-05,1.881513e-05,2.033454e-05,2.106408e-05,2.339752e-05,2.580095e-05,2.658241e-05,2.825951e-05,2.985502e-05,3.075826e-05,3.318117e-05,3.328244e-05,3.581768e-05,3.652763e-05,3.835019e-05,3.986293e-05,4.086693e-05,4.315792e-05,4.335572e-05,4.580536e-05,4.638629e-05,4.820567e-05,4.952486e-05,5.054756e-05,5.255373e-05,5.282304e-05,5.502520e-05,5.545630e-05,5.714820e-05,5.821924e-05,5.918723e-05,6.083233e-05,6.113850e-05,6.299912e-05,6.328826e-05,6.476707e-05,6.558239e-05,6.644114e-05,6.771245e-05,6.802084e-05,6.950633e-05,6.967829e-05,7.089835e-05,7.148154e-05,7.219816e-05,7.312536e-05,7.340744e-05,7.452826e-05,7.461418e-05,7.556302e-05,7.595341e-05,7.651435e-05,7.714925e-05,7.738511e-05,7.817831e-05,7.820846e-05,7.889707e-05,7.913822e-05,7.954461e-05,7.994590e-05,8.012416e-05,8.063899e-05,8.109235e-05,8.122497e-05,8.148746e-05,8.171123e-05,8.182749e-05,8.210499e-05,8.211555e-05,8.235465e-05,8.241323e-05,8.254772e-05,8.264266e-05,8.269761e-05,8.279971e-05,8.280704e-05,8.287863e-05,8.289046e-05,8.291489e-05,8.292067e-05,8.291823e-05,8.289575e-05,8.289093e-05,8.283517e-05,8.282079e-05,8.275302e-05,8.270052e-05,8.264643e-05,8.253935e-05,8.251723e-05,8.236721e-05,8.234138e-05,8.219798e-05,8.211040e-05,8.201112e-05,8.184992e-05,8.180809e-05,8.159026e-05,8.156318e-05,8.135892e-05,8.125317e-05,8.111530e-05,8.092263e-05,8.086053e-05,8.059568e-05,8.057408e-05,8.032174e-05,8.020983e-05,8.003965e-05,7.983199e-05,7.975028e-05,7.945444e-05,7.944248e-05,7.915289e-05,7.904307e-05,7.884634e-05,7.863537e-05,7.853545e-05,7.822083e-05,7.780080e-05,7.737648e-05,7.694898e-05,7.651929e-05,7.608832e-05,7.565688e-05,7.522572e-05,7.479549e-05,7.436680e-05,7.394018e-05,7.351613e-05,7.309506e-05,7.267737e-05,7.226340e-05,7.185345e-05,7.144780e-05,7.104668e-05,7.065029e-05,7.025883e-05,6.987245e-05,6.949127e-05,6.911541e-05,6.874498e-05,6.838002e-05
0.000000e+00,2.925162e-15,2.601744e-14,6.701995e-13,5.758204e-12,1.539570e-11,1.279811e-10,1.381069e-10,7.410255e-10,1.113186e-09,2.876232e-09,5.806682e-09,8.938888e-09,2.197365e-08,2.363416e-08,5.527604e-08,6.676192e-08,1.174206e-07,1.729109e-07,2.307748e-07,3.963562e-07,4.252121e-07,7.416098e-07,8.239804e-07,1.233173e-06,1.579438e-06,1.965976e-06,2.825084e-06,3.018564e-06,4.480616e-06,4.759032e-06,6.450792e-06,7.607593e-06,9.033928e-06,1.161419e-05,1.233782e-05,1.646978e-05,1.702624e-05,2.153326e-05,2.408143e-05,2.762455e-05,3.299487e-05,3.482994e-05,4.322316e-05,4.394782e-05,5.286341e-05,5.707891e-05,6.379385e-05,7.247804e-05,7.604068e-05,8.961266e-05,9.018304e-05,1.045012e-04,1.101790e-04,1.206808e-04,1.323998e-04,1.381099e-04,1.567320e-04,1.764774e-04,1.830200e-04,1.972641e-04,2.110720e-04,2.190003e-04,2.406674e-04,2.415858e-04,2.649139e-04,2.715638e-04,2.888732e-04,3.035043e-04,3.133493e-04,3.362242e-04,3.382264e-04,3.633891e-04,3.694579e-04,3.887233e-04,4.029438e-04,4.141180e-04,4.364300e-04,4.394659e-04,4.646647e-04,4.696779e-04,4.896176e-04,5.024656e-04,5.142341e-04,5.345904e-04,5.384303e-04,5.621295e-04,5.658704e-04,5.852619e-04,5.961456e-04,6.077653e-04,6.252781e-04,6.295849e-04,6.506729e-04,6.531523e-04,6.709887e-04,6.796741e-04,6.904986e-04,7.047702e-04,7.091755e-04,7.269982e-04,7.283866e-04,7.439517e-04,7.504874e-04,7.600264e-04,7.710533e-04,7.752178e-04,7.895260e-04,7.900800e-04,8.029554e-04,8.075763e-04,8.155142e-04,8.235628e-04,8.272143e-04,8.380703e-04,8.480998e-04,8.511378e-04,8.573226e-04,8.628118e-04,8.657604e-04,8.731441e-04,8.734369e-04,8.803768e-04,8.821915e-04,8.866061e-04,8.900137e-04,8.921516e-04,8.966732e-04,8.970408e-04,9.013016e-04,9.022338e-04,9.049621e-04,9.067602e-04,9.080504e-04,9.103170e-04,9.105945e-04,9.126222e-04,9.129683e-04,9.141611e-04,9.147770e-04,9.152379e-04,9.158048e-04,9.158793e-04,9.161109e-04,9.161116e-04,9.159578e-04,9.157549e-04,9.154446e-04,9.147904e-04,9.145946e-04,9.134308e-04,9.132712e-04,9.119751e-04,9.112476e-04,9.102487e-04,9.087679e-04,9.082716e-04,9.060633e-04,9.058773e-04,9.036424e-04,9.026185e-04,9.010265e-04,8.990318e-04,8.982325e-04,8.952763e-04,8.951549e-04,8.921732e-04,8.910228e-04,8.889374e-04,8.866685e-04,8.855828e-04,8.821221e-04,8.774119e-04,8.725639e-04,8.676022e-04,8.625489e-04,8.574242e-04,8.522468e-04,8.470336e-04,8.418001e-04,8.365604e-04,8.313270e-04,8.261116e-04,8.209243e-04,8.157744e-04,8.106701e-04,8.056187e-04,8.006268e-04,7.957000e-04,7.908433e-04,7.860609e-04,7.813567e-04,7.767338e-04,7.721947e-04,7.677417e-04,7.633765e-04
0.000000e+00,2.220986e-15,1.941757e-14,4.829322e-13,4.017440e-12,1.055186e-11,8.376396e-11,9.022212e-11,4.625902e-10,6.864785e-10,1.720780e-09,3.391693e-09,5.141775e-09,1.222458e-08,1.311173e-08,2.964834e-08,3.552758e-08,6.094822e-08,8.809169e-08,1.158123e-07,1.926940e-07,2.057902e-07,3.449630e-07,3.800876e-07,5.493878e-07,6.871765e-07,8.363002e-07,1.153865e-06,1.223195e-06,1.726900e-06,1.819384e-06,2.362724e-06,2.718790e-06,3.143749e-06,3.880140e-06,4.080278e-06,5.179472e-06,5.322523e-06,6.445150e-06,7.055023e-06,7.877748e-06,9.076520e-06,9.474414e-06,1.122922e-05,1.137619e-05,1.313345e-05,1.393457e-05,1.517598e-05,1.672491e-05,1.734365e-05,1.962171e-05,1.971490e-05,2.199424e-05,2.286829e-05,2.444459e-05,2.614660e-05,2.695573e-05,2.951064e-05,3.209261e-05,3.292190e-05,3.468553e-05,3.634364e-05,3.727411e-05,3.974178e-05,3.984405e-05,4.238222e-05,4.308556e-05,4.487669e-05,4.634792e-05,4.731683e-05,4.950576e-05,4.969334e-05,5.199823e-05,5.253997e-05,5.422475e-05,5.543527e-05,5.636740e-05,5.818007e-05,5.842183e-05,6.038477e-05,6.076616e-05,6.225394e-05,6.318837e-05,6.402798e-05,6.544422e-05,6.570632e-05,6.728912e-05,6.753355e-05,6.877718e-05,6.945817e-05,7.017183e-05,7.122150e-05,7.147487e-05,7.268849e-05,7.282823e-05,7.381518e-05,7.428410e-05,7.485772e-05,7.559557e-05,7.581904e-05,7.670227e-05,7.676965e-05,7.751061e-05,7.781370e-05,7.824731e-05,7.873523e-05,7.891567e-05,7.951898e-05,7.954180e-05,8.006049e-05,8.024092e-05,8.054341e-05,8.083995e-05,8.097091e-05,8.134605e-05,8.167181e-05,8.176611e-05,8.195110e-05,8.210673e-05,8.218668e-05,8.237420e-05,8.238123e-05,8.253731e-05,8.257446e-05,8.265738e-05,8.271311e-05,8.274377e-05,8.279543e-05,8.279872e-05,8.282434e-05,8.282635e-05,8.282264e-05,8.281048e-05,8.279554e-05,8.275212e-05,8.274485e-05,8.267224e-05,8.265524e-05,8.257936e-05,8.252356e-05,8.246772e-05,8.236048e-05,8.233874e-05,8.219378e-05,8.216919e-05,8.203413e-05,8.195262e-05,8.186096e-05,8.171347e-05,8.167542e-05,8.147857e-05,8.145423e-05,8.127139e-05,8.117720e-05,8.105482e-05,8.088449e-05,8.082974e-05,8.059696e-05,8.057803e-05,8.035726e-05,8.025960e-05,8.011135e-05,7.993082e-05,7.985990e-05,7.960355e-05,7.959320e-05,7.934288e-05,7.924810e-05,7.907846e-05,7.889676e-05,7.881078e-05,7.854034e-05,7.817989e-05,7.781634e-05,7.745058e-05,7.708339e-05,7.671550e-05,7.634755e-05,7.598014e-05,7.561380e-05,7.524903e-05,7.488626e-05,7.452587e-05,7.416824e-05,7.381367e-05,7.346245e-05,7.311482e-05,7.277102e-05,7.243124e-05,7.209565e-05,7.176440e-05,7.143764e-05,7.111545e-05,7.079795e-05,7.048522e-05,7.017731e-05
0.000000e+00,5.346266e-15,4.596551e-14,1.102677e-12,8.869928e-12,2.286442e-11,1.727461e-10,1.856845e-10,9.049154e-10,1.324086e-09,3.201664e-09,6.125698e-09,9.105725e-09,2.070500e-08,2.212283e-08,4.773664e-08,5.658259e-08,9.387626e-08,1.325398e-07,1.711978e-07,2.755291e-07,2.929840e-07,4.745536e-07,5.194750e-07,7.322450e-07,9.017222e-07,1.082174e-06,1.458186e-06,1.538999e-06,2.114893e-06,2.218733e-06,2.818811e-06,3.203878e-06,3.656100e-06,4.423179e-06,4.628397e-06,5.733795e-06,5.875175e-06,6.967169e-06,7.548448e-06,8.320615e-06,9.423338e-06,9.783943e-06,1.134520e-05,1.147394e-05,1.299114e-05,1.367011e-05,1.470775e-05,1.597936e-05,1.648059e-05,1.829523e-05,1.836848e-05,2.013751e-05,2.080487e-05,2.199387e-05,2.325765e-05,2.385148e-05,2.569847e-05,2.752401e-05,2.810202e-05,2.931836e-05,3.044639e-05,3.107299e-05,3.271320e-05,3.278051e-05,3.443466e-05,3.488753e-05,3.603031e-05,3.695786e-05,3.756334e-05,3.891574e-05,3.903065e-05,4.042998e-05,4.075553e-05,4.175991e-05,4.247407e-05,4.301974e-05,4.407031e-05,4.420938e-05,4.532930e-05,4.554499e-05,4.638043e-05,4.690027e-05,4.736411e-05,4.813946e-05,4.828197e-05,4.913592e-05,4.926676e-05,4.992805e-05,5.028698e-05,5.066063e-05,5.120540e-05,5.133602e-05,5.195663e-05,5.202754e-05,5.252494e-05,5.275906e-05,5.304342e-05,5.340564e-05,5.351451e-05,5.394066e-05,5.397288e-05,5.432422e-05,5.446625e-05,5.466752e-05,5.489103e-05,5.497280e-05,5.524222e-05,5.525228e-05,5.547788e-05,5.555484e-05,5.568177e-05,5.580326e-05,5.585582e-05,5.600185e-05,5.612161e-05,5.615466e-05,5.621676e-05,5.626547e-05,5.628887e-05,5.633780e-05,5.633943e-05,5.636986e-05,5.637496e-05,5.638150e-05,5.637999e-05,5.637561e-05,5.635575e-05,5.635340e-05,5.631599e-05,5.630487e-05,5.626445e-05,5.622979e-05,5.619978e-05,5.613277e-05,5.612293e-05,5.603480e-05,5.601589e-05,5.593622e-05,5.588109e-05,5.582798e-05,5.573014e-05,5.571082e-05,5.558545e-05,5.556468e-05,5.545253e-05,5.538622e-05,5.531266e-05,5.519616e-05,5.516643e-05,5.501440e-05,5.499579e-05,5.485706e-05,5.478628e-05,5.469491e-05,5.456873e-05,5.452839e-05,5.435793e-05,5.434414e-05,5.418393e-05,5.411342e-05,5.400675e-05,5.387742e-05,5.382676e-05,5.364427e-05,5.363692e-05,5.345960e-05,5.339264e-05,5.327303e-05,5.314522e-05,5.308484e-05,5.289527e-05,5.264334e-05,5.238994e-05,5.213553e-05,5.188053e-05,5.162532e-05,5.137026e-05,5.111568e-05,5.086185e-05,5.060905e-05,5.035753e-05,5.010749e-05,4.985913e-05,4.961265e-05,4.936819e-05,4.912590e-05,4.888592e-05,4.864835e-05,4.841331e-05,4.818087e-05,4.795113e-05,4.772415e-05,4.749998e-05,4.727870e-05,4.706033e-05
0.000000e+00,2.083564e-10,8.093396e-10,4.919318e-09,1.450324e-08,2.324227e-08,6.200146e-08,6.418692e-08,1.370999e-07,1.646890e-07,2.530021e-07,3.485586e-07,4.248745e-07,6.423337e-07,6.640658e-07,9.714199e-07,1.054056e-06,1.333781e-06,1.553991e-06,1.733400e-06,2.104754e-06,2.156416e-06,2.593731e-06,2.682333e-06,3.039143e-06,3.272327e-06,3.487831e-06,3.864179e-06,3.935596e-06,4.378556e-06,4.448738e-06,4.813098e-06,5.017707e-06,5.235929e-06,5.563802e-06,5.644157e-06,6.035369e-06,6.081075e-06,6.407662e-06,6.565103e-06,6.759654e-06,7.013033e-06,7.090467e-06,7.399680e-06,7.423481e-06,7.687276e-06,7.796324e-06,7.953577e-06,8.132454e-06,8.199180e-06,8.424887e-06,8.433515e-06,8.631655e-06,8.701656e-06,8.820538e-06,8.939329e-06,8.992647e-06,9.149115e-06,9.291065e-06,9.333604e-06,9.419594e-06,9.495296e-06,9.535751e-06,9.636550e-06,9.640535e-06,9.734880e-06,9.759546e-06,9.819657e-06,9.866268e-06,9.895671e-06,9.958502e-06,9.963663e-06,1.002431e-05,1.003784e-05,1.007823e-05,1.010570e-05,1.012599e-05,1.016333e-05,1.016811e-05,1.020503e-05,1.021183e-05,1.023719e-05,1.025216e-05,1.026497e-05,1.028517e-05,1.028871e-05,1.030873e-05,1.031160e-05,1.032531e-05,1.033212e-05,1.033871e-05,1.034730e-05,1.034916e-05,1.035689e-05,1.035764e-05,1.036208e-05,1.036361e-05,1.036492e-05,1.036561e-05,1.036557e-05,1.036418e-05,1.036398e-05,1.036088e-05,1.035906e-05,1.035581e-05,1.035113e-05,1.034909e-05,1.034081e-05,1.034045e-05,1.033109e-05,1.032725e-05,1.032001e-05,1.031174e-05,1.030766e-05,1.029413e-05,1.027948e-05,1.027457e-05,1.026379e-05,1.025324e-05,1.024713e-05,1.023028e-05,1.022956e-05,1.021113e-05,1.020583e-05,1.019190e-05,1.018000e-05,1.017193e-05,1.015293e-05,1.015125e-05,1.012992e-05,1.012470e-05,1.010797e-05,1.009543e-05,1.008546e-05,1.006521e-05,1.006241e-05,1.003887e-05,1.003411e-05,1.001487e-05,1.000222e-05,9.990439e-06,9.969609e-06,9.965611e-06,9.940416e-06,9.936352e-06,9.914881e-06,9.902511e-06,9.889033e-06,9.868146e-06,9.862897e-06,9.836498e-06,9.833313e-06,9.809857e-06,9.798065e-06,9.782997e-06,9.762450e-06,9.755939e-06,9.728702e-06,9.726516e-06,9.701306e-06,9.690306e-06,9.673767e-06,9.653860e-06,9.646102e-06,9.618329e-06,9.617216e-06,9.590463e-06,9.580411e-06,9.562517e-06,9.543477e-06,9.534507e-06,9.506445e-06,9.469347e-06,9.432208e-06,9.395055e-06,9.357912e-06,9.320803e-06,9.283747e-06,9.246766e-06,9.209878e-06,9.173101e-06,9.136451e-06,9.099943e-06,9.063591e-06,9.027409e-06,8.991410e-06,8.955605e-06,8.920005e-06,8.884619e-06,8.849457e-06,8.814528e-06,8.779839e-06,8.745399e-06,8.711213e-06,8.677288e-06,8.643629e-06
0.000000e+00,1.084524e-12,8.407430e-12,1.630422e-10,1.083336e-09,2.517660e-09,1.462789e-08,1.555911e-08,5.896516e-08,8.072419e-08,1.657684e-07,2.791167e-07,3.825947e-07,7.305775e-07,7.694053e-07,1.397708e-06,1.592949e-06,2.343469e-06,3.037583e-06,3.673864e-06,5.199454e-06,5.434250e-06,7.642621e-06,8.137849e-06,1.029270e-05,1.183810e-05,1.336144e-05,1.623924e-05,1.681655e-05,2.062170e-05,2.126050e-05,2.473929e-05,2.681557e-05,2.913135e-05,3.281699e-05,3.375973e-05,3.858607e-05,3.917670e-05,4.357185e-05,4.580621e-05,4.867873e-05,5.261769e-05,5.386898e-05,5.910612e-05,5.952607e-05,6.435548e-05,6.645130e-05,6.958470e-05,7.332056e-05,7.476423e-05,7.986754e-05,8.006974e-05,8.487133e-05,8.664436e-05,8.975552e-05,9.299972e-05,9.450324e-05,9.910064e-05,1.035368e-04,1.049208e-04,1.078032e-04,1.104418e-04,1.118939e-04,1.156520e-04,1.158050e-04,1.195342e-04,1.205456e-04,1.230809e-04,1.251215e-04,1.264457e-04,1.293821e-04,1.296303e-04,1.326371e-04,1.333326e-04,1.354695e-04,1.369808e-04,1.381312e-04,1.403358e-04,1.406267e-04,1.429607e-04,1.434087e-04,1.451387e-04,1.462113e-04,1.471658e-04,1.487562e-04,1.490478e-04,1.507900e-04,1.510561e-04,1.523979e-04,1.531236e-04,1.538770e-04,1.549710e-04,1.552325e-04,1.564698e-04,1.566106e-04,1.575940e-04,1.580541e-04,1.586100e-04,1.593129e-04,1.595228e-04,1.603372e-04,1.603982e-04,1.610577e-04,1.613207e-04,1.616889e-04,1.620905e-04,1.622351e-04,1.627005e-04,1.627175e-04,1.630892e-04,1.632112e-04,1.634052e-04,1.635804e-04,1.636521e-04,1.638336e-04,1.639532e-04,1.639790e-04,1.640143e-04,1.640243e-04,1.640202e-04,1.639767e-04,1.639739e-04,1.638783e-04,1.638431e-04,1.637364e-04,1.636302e-04,1.635509e-04,1.633440e-04,1.633244e-04,1.630594e-04,1.629904e-04,1.627583e-04,1.625748e-04,1.624234e-04,1.621025e-04,1.620570e-04,1.616610e-04,1.615784e-04,1.612375e-04,1.610070e-04,1.607884e-04,1.603927e-04,1.603155e-04,1.598205e-04,1.597394e-04,1.593052e-04,1.590510e-04,1.587710e-04,1.583311e-04,1.582195e-04,1.576521e-04,1.575830e-04,1.570701e-04,1.568098e-04,1.564749e-04,1.560144e-04,1.558677e-04,1.552495e-04,1.551996e-04,1.546216e-04,1.543680e-04,1.539850e-04,1.535218e-04,1.533406e-04,1.526895e-04,1.526633e-04,1.520324e-04,1.517946e-04,1.513703e-04,1.509176e-04,1.507040e-04,1.500341e-04,1.491457e-04,1.482539e-04,1.473602e-04,1.464659e-04,1.455722e-04,1.446802e-04,1.437909e-04,1.429052e-04,1.420241e-04,1.411483e-04,1.402786e-04,1.394155e-04,1.385597e-04,1.377118e-04,1.368721e-04,1.360412e-04,1.352195e-04,1.344071e-04,1.336046e-04,1.328121e-04,1.320299e-04,1.312581e-04,1.304970e-04,1.297467e-04
0.000000e+00,1.796135e-16,1.601153e-15,4.143657e-14,3.574768e-13,9.578585e-13,8.003778e-12,8.638707e-12,4.654763e-11,6.999103e-11,1.811877e-10,3.661563e-10,5.638663e-10,1.385917e-09,1.490539e-09,3.480113e-09,4.200637e-09,7.370028e-09,1.082907e-08,1.442531e-08,2.467275e-08,2.645352e-08,4.591464e-08,5.096691e-08,7.601392e-08,9.716953e-08,1.207675e-07,1.732150e-07,1.850338e-07,2.745079e-07,2.915861e-07,3.956789e-07,4.671908e-07,5.557524e-07,7.170550e-07,7.625427e-07,1.024339e-06,1.059858e-06,1.349753e-06,1.515348e-06,1.747553e-06,2.103681e-06,2.226487e-06,2.795106e-06,2.844719e-06,3.461593e-06,3.757324e-06,4.233587e-06,4.858685e-06,5.118036e-06,6.121048e-06,6.163711e-06,7.247771e-06,7.684497e-06,8.502288e-06,9.429902e-06,9.887534e-06,1.140524e-05,1.305590e-05,1.361209e-05,1.483874e-05,1.604825e-05,1.675176e-05,1.870776e-05,1.879174e-05,2.095430e-05,2.158106e-05,2.323396e-05,2.465530e-05,2.562422e-05,2.791460e-05,2.811769e-05,3.070613e-05,3.134052e-05,3.338064e-05,3.491244e-05,3.613171e-05,3.860807e-05,3.894936e-05,4.182330e-05,4.240392e-05,4.474298e-05,4.627576e-05,4.769775e-05,5.019908e-05,5.067696e-05,5.367006e-05,5.414955e-05,5.666667e-05,5.810333e-05,5.965672e-05,6.203748e-05,6.263047e-05,6.557861e-05,6.593024e-05,6.849231e-05,6.976126e-05,7.136326e-05,7.351180e-05,7.418372e-05,7.694655e-05,7.716488e-05,7.964521e-05,8.070536e-05,8.227379e-05,8.411999e-05,8.482702e-05,8.730025e-05,8.739746e-05,8.968947e-05,9.052834e-05,9.199124e-05,9.350504e-05,9.420276e-05,9.632175e-05,9.834651e-05,9.897432e-05,1.002758e-04,1.014601e-04,1.021090e-04,1.037780e-04,1.038456e-04,1.054860e-04,1.059282e-04,1.070307e-04,1.079118e-04,1.084804e-04,1.097314e-04,1.098365e-04,1.111003e-04,1.113901e-04,1.122737e-04,1.128921e-04,1.133587e-04,1.142419e-04,1.143573e-04,1.152719e-04,1.154449e-04,1.161049e-04,1.165067e-04,1.168590e-04,1.174334e-04,1.175368e-04,1.181411e-04,1.182312e-04,1.186746e-04,1.189064e-04,1.191403e-04,1.194658e-04,1.195408e-04,1.198791e-04,1.199157e-04,1.201580e-04,1.202626e-04,1.203803e-04,1.205130e-04,1.205487e-04,1.206660e-04,1.206733e-04,1.207349e-04,1.207494e-04,1.207579e-04,1.207475e-04,1.207376e-04,1.206764e-04,1.206732e-04,1.205769e-04,1.205320e-04,1.204412e-04,1.203294e-04,1.202716e-04,1.200704e-04,1.197597e-04,1.194019e-04,1.190013e-04,1.185620e-04,1.180878e-04,1.175822e-04,1.170487e-04,1.164902e-04,1.159099e-04,1.153102e-04,1.146938e-04,1.140629e-04,1.134197e-04,1.127662e-04,1.121043e-04,1.114355e-04,1.107614e-04,1.100834e-04,1.094029e-04,1.087210e-04,1.080387e-04,1.073571e-04,1.066771e-04,1.059993e-04
0.000000e+00,1.938711e-09,5.274263e-09,2.165579e-08,5.341457e-08,8.029600e-08,1.922480e-07,1.983772e-07,3.976344e-07,4.712528e-07,7.027366e-07,9.476718e-07,1.139886e-06,1.674258e-06,1.726797e-06,2.461165e-06,2.657667e-06,3.327190e-06,3.863521e-06,4.308780e-06,5.258103e-06,5.393327e-06,6.570291e-06,6.815890e-06,7.829581e-06,8.513483e-06,9.160679e-06,1.032610e-05,1.055236e-05,1.199278e-05,1.222695e-05,1.346969e-05,1.418794e-05,1.497077e-05,1.618094e-05,1.648399e-05,1.799788e-05,1.817907e-05,1.950178e-05,2.015781e-05,2.098607e-05,2.209573e-05,2.244223e-05,2.386293e-05,2.397487e-05,2.524203e-05,2.578086e-05,2.657453e-05,2.750287e-05,2.785656e-05,2.908520e-05,2.913321e-05,3.025848e-05,3.066705e-05,3.137517e-05,3.210191e-05,3.243476e-05,3.343732e-05,3.438337e-05,3.467432e-05,3.527387e-05,3.581519e-05,3.611005e-05,3.686307e-05,3.689341e-05,3.762565e-05,3.782176e-05,3.830857e-05,3.869544e-05,3.894408e-05,3.948857e-05,3.953415e-05,4.008076e-05,4.020570e-05,4.058590e-05,4.085141e-05,4.105156e-05,4.143021e-05,4.147967e-05,4.187211e-05,4.194649e-05,4.223074e-05,4.240445e-05,4.255732e-05,4.280814e-05,4.285357e-05,4.312115e-05,4.316141e-05,4.336163e-05,4.346788e-05,4.357653e-05,4.373099e-05,4.376728e-05,4.393527e-05,4.395396e-05,4.408180e-05,4.413980e-05,4.420812e-05,4.429134e-05,4.431542e-05,4.440482e-05,4.441123e-05,4.447738e-05,4.450193e-05,4.453413e-05,4.456572e-05,4.457600e-05,4.460392e-05,4.460476e-05,4.461874e-05,4.462103e-05,4.462128e-05,4.461638e-05,4.461230e-05,4.459252e-05,4.456265e-05,4.455106e-05,4.452333e-05,4.449348e-05,4.447517e-05,4.442116e-05,4.441875e-05,4.435463e-05,4.433536e-05,4.428332e-05,4.423729e-05,4.420531e-05,4.412803e-05,4.412108e-05,4.403104e-05,4.400862e-05,4.393562e-05,4.387998e-05,4.383521e-05,4.374301e-05,4.373018e-05,4.362086e-05,4.359852e-05,4.350760e-05,4.344725e-05,4.339070e-05,4.328991e-05,4.327046e-05,4.314715e-05,4.312715e-05,4.302102e-05,4.295956e-05,4.289234e-05,4.278771e-05,4.276133e-05,4.262821e-05,4.261210e-05,4.249318e-05,4.243322e-05,4.235645e-05,4.225150e-05,4.221819e-05,4.207858e-05,4.206735e-05,4.193778e-05,4.188116e-05,4.179594e-05,4.169327e-05,4.165322e-05,4.150975e-05,4.150400e-05,4.136565e-05,4.131365e-05,4.122105e-05,4.112250e-05,4.107607e-05,4.093081e-05,4.073880e-05,4.054670e-05,4.035470e-05,4.016300e-05,3.997175e-05,3.978112e-05,3.959124e-05,3.940225e-05,3.921427e-05,3.902741e-05,3.884176e-05,3.865743e-05,3.847449e-05,3.829301e-05,3.811308e-05,3.793474e-05,3.775805e-05,3.758307e-05,3.740983e-05,3.723838e-05,3.706875e-05,3.690097e-05,3.673506e-05,3.657106e-05
0.000000e+00,1.894444e-09,4.598899e-09,1.677048e-08,3.911460e-08,5.754604e-08,1.322250e-07,1.362492e-07,2.647340e-07,3.112898e-07,4.553175e-07,6.048778e-07,7.210383e-07,1.043200e-06,1.075059e-06,1.528473e-06,1.652820e-06,2.086113e-06,2.442269e-06,2.742286e-06,3.388624e-06,3.480932e-06,4.281152e-06,4.446777e-06,5.123059e-06,5.571743e-06,5.990283e-06,6.728812e-06,6.869948e-06,7.751865e-06,7.892608e-06,8.627795e-06,9.044079e-06,9.490969e-06,1.016854e-05,1.033581e-05,1.115776e-05,1.125468e-05,1.195319e-05,1.229402e-05,1.271928e-05,1.328058e-05,1.345395e-05,1.415580e-05,1.421050e-05,1.482399e-05,1.508175e-05,1.545818e-05,1.589378e-05,1.605845e-05,1.662515e-05,1.664713e-05,1.715892e-05,1.734318e-05,1.766065e-05,1.798403e-05,1.813134e-05,1.857213e-05,1.898424e-05,1.911026e-05,1.936892e-05,1.960130e-05,1.972743e-05,2.004817e-05,2.006105e-05,2.037104e-05,2.045378e-05,2.065865e-05,2.082097e-05,2.092507e-05,2.115248e-05,2.117148e-05,2.139899e-05,2.145091e-05,2.160869e-05,2.171873e-05,2.180161e-05,2.195827e-05,2.197872e-05,2.214097e-05,2.217171e-05,2.228923e-05,2.236108e-05,2.242436e-05,2.252829e-05,2.254714e-05,2.265833e-05,2.267509e-05,2.275865e-05,2.280313e-05,2.284876e-05,2.291393e-05,2.292930e-05,2.300087e-05,2.300888e-05,2.306402e-05,2.308929e-05,2.311930e-05,2.315636e-05,2.316721e-05,2.320821e-05,2.321120e-05,2.324274e-05,2.325484e-05,2.327123e-05,2.328823e-05,2.329407e-05,2.331163e-05,2.331223e-05,2.332426e-05,2.332766e-05,2.333228e-05,2.333527e-05,2.333601e-05,2.333573e-05,2.333171e-05,2.332968e-05,2.332421e-05,2.331771e-05,2.331348e-05,2.330035e-05,2.329975e-05,2.328321e-05,2.327811e-05,2.326408e-05,2.325144e-05,2.324255e-05,2.322077e-05,2.321879e-05,2.319297e-05,2.318648e-05,2.316524e-05,2.314894e-05,2.313576e-05,2.310848e-05,2.310466e-05,2.307208e-05,2.306540e-05,2.303814e-05,2.301999e-05,2.300295e-05,2.297251e-05,2.296663e-05,2.292927e-05,2.292320e-05,2.289097e-05,2.287228e-05,2.285182e-05,2.281995e-05,2.281191e-05,2.277131e-05,2.276640e-05,2.273011e-05,2.271181e-05,2.268837e-05,2.265633e-05,2.264616e-05,2.260354e-05,2.260011e-05,2.256057e-05,2.254330e-05,2.251731e-05,2.248600e-05,2.247380e-05,2.243010e-05,2.242834e-05,2.238624e-05,2.237043e-05,2.234228e-05,2.231235e-05,2.229826e-05,2.225420e-05,2.219606e-05,2.213800e-05,2.208010e-05,2.202241e-05,2.196499e-05,2.190789e-05,2.185117e-05,2.179486e-05,2.173900e-05,2.168363e-05,2.162878e-05,2.157448e-05,2.152075e-05,2.146763e-05,2.141512e-05,2.136324e-05,2.131202e-05,2.126147e-05,2.121159e-05,2.116240e-05,2.111391e-05,2.106612e-05,2.101905e-05,2.097268e-05
0.000000e+00,8.635095e-15,7.299528e-14,1.692510e-12,1.318979e-11,3.339920e-11,2.406096e-10,2.581175e-10,1.196774e-09,1.726773e-09,4.027005e-09,7.474693e-09,1.088769e-08,2.362224e-08,2.513679e-08,5.153276e-08,6.033633e-08,9.629386e-08,1.321418e-07,1.669355e-07,2.571136e-07,2.717819e-07,4.191699e-07,4.544315e-07,6.165158e-07,7.408449e-07,8.694750e-07,1.127446e-06,1.181372e-06,1.552961e-06,1.617872e-06,1.982502e-06,2.208181e-06,2.466051e-06,2.887982e-06,2.997891e-06,3.571010e-06,3.642191e-06,4.177563e-06,4.452914e-06,4.809285e-06,5.301093e-06,5.457842e-06,6.115114e-06,6.167838e-06,6.773413e-06,7.035408e-06,7.425645e-06,7.887885e-06,8.065433e-06,8.687183e-06,8.711608e-06,9.286135e-06,9.495396e-06,9.858369e-06,1.023062e-05,1.040079e-05,1.091112e-05,1.138779e-05,1.153305e-05,1.182993e-05,1.209464e-05,1.223729e-05,1.259588e-05,1.261014e-05,1.294918e-05,1.303819e-05,1.325550e-05,1.342414e-05,1.353046e-05,1.375709e-05,1.377565e-05,1.399280e-05,1.404095e-05,1.418374e-05,1.427990e-05,1.435032e-05,1.447826e-05,1.449443e-05,1.461789e-05,1.464026e-05,1.472247e-05,1.476995e-05,1.480986e-05,1.487115e-05,1.488165e-05,1.493934e-05,1.494736e-05,1.498431e-05,1.500175e-05,1.501783e-05,1.503719e-05,1.504106e-05,1.505508e-05,1.505619e-05,1.506083e-05,1.506098e-05,1.505920e-05,1.505349e-05,1.505095e-05,1.503680e-05,1.503543e-05,1.501736e-05,1.500824e-05,1.499321e-05,1.497319e-05,1.496485e-05,1.493272e-05,1.493136e-05,1.489724e-05,1.488371e-05,1.485875e-05,1.483104e-05,1.481760e-05,1.477405e-05,1.472839e-05,1.471336e-05,1.468083e-05,1.464950e-05,1.463159e-05,1.458292e-05,1.458087e-05,1.452882e-05,1.451404e-05,1.447562e-05,1.444321e-05,1.442141e-05,1.437074e-05,1.436631e-05,1.431044e-05,1.429693e-05,1.425392e-05,1.422202e-05,1.419684e-05,1.414622e-05,1.413929e-05,1.408137e-05,1.406974e-05,1.402313e-05,1.399275e-05,1.396467e-05,1.391542e-05,1.390603e-05,1.384729e-05,1.383788e-05,1.378849e-05,1.376027e-05,1.372970e-05,1.368270e-05,1.367096e-05,1.361230e-05,1.360527e-05,1.355379e-05,1.352809e-05,1.349544e-05,1.345123e-05,1.343730e-05,1.337940e-05,1.337478e-05,1.332177e-05,1.329880e-05,1.326444e-05,1.322336e-05,1.320743e-05,1.315076e-05,1.314850e-05,1.309446e-05,1.307429e-05,1.303855e-05,1.300077e-05,1.298305e-05,1.292797e-05,1.285593e-05,1.278469e-05,1.271427e-05,1.264470e-05,1.257599e-05,1.250817e-05,1.244125e-05,1.237524e-05,1.231016e-05,1.224601e-05,1.218281e-05,1.212054e-05,1.205923e-05,1.199886e-05,1.193945e-05,1.188098e-05,1.182347e-05,1.176689e-05,1.171126e-05,1.165656e-05,1.160280e-05,1.154996e-05,1.149803e-05,1.144701e-05
0.000000e+00,7.971065e-10,1.831139e-09,6.272502e-09,1.416221e-08,2.056912e-08,4.618474e-08,4.755766e-08,9.132304e-08,1.072009e-07,1.565051e-07,2.079894e-07,2.480966e-07,3.590143e-07,3.698985e-07,5.215521e-07,5.618404e-07,6.973762e-07,8.034081e-07,8.894199e-07,1.066340e-06,1.090824e-06,1.296671e-06,1.338051e-06,1.503510e-06,1.610584e-06,1.708779e-06,1.878495e-06,1.910448e-06,2.106842e-06,2.137680e-06,2.296579e-06,2.384949e-06,2.478540e-06,2.617924e-06,2.651865e-06,2.815946e-06,2.834995e-06,2.970409e-06,3.035276e-06,3.115090e-06,3.218513e-06,3.250012e-06,3.375352e-06,3.384973e-06,3.491404e-06,3.535308e-06,3.598553e-06,3.670438e-06,3.697248e-06,3.787978e-06,3.791448e-06,3.871250e-06,3.899502e-06,3.947582e-06,3.995783e-06,4.017482e-06,4.081442e-06,4.139934e-06,4.157569e-06,4.193401e-06,4.225179e-06,4.242264e-06,4.285200e-06,4.286909e-06,4.327690e-06,4.338461e-06,4.364931e-06,4.385701e-06,4.398930e-06,4.427580e-06,4.429959e-06,4.458264e-06,4.464678e-06,4.484068e-06,4.497501e-06,4.507571e-06,4.526496e-06,4.528956e-06,4.548390e-06,4.552056e-06,4.566022e-06,4.574525e-06,4.581990e-06,4.594208e-06,4.596417e-06,4.609416e-06,4.611370e-06,4.621087e-06,4.626246e-06,4.631525e-06,4.639045e-06,4.640815e-06,4.649034e-06,4.649952e-06,4.656254e-06,4.659131e-06,4.662539e-06,4.666728e-06,4.667950e-06,4.672543e-06,4.672876e-06,4.676367e-06,4.677692e-06,4.679470e-06,4.681283e-06,4.681897e-06,4.683687e-06,4.683746e-06,4.684879e-06,4.685168e-06,4.685507e-06,4.685629e-06,4.685605e-06,4.685203e-06,4.684329e-06,4.683955e-06,4.683012e-06,4.681947e-06,4.681275e-06,4.679236e-06,4.679144e-06,4.676640e-06,4.675875e-06,4.673784e-06,4.671910e-06,4.670596e-06,4.667387e-06,4.667096e-06,4.663301e-06,4.662348e-06,4.659228e-06,4.656831e-06,4.654892e-06,4.650872e-06,4.650309e-06,4.645494e-06,4.644505e-06,4.640460e-06,4.637760e-06,4.635220e-06,4.630668e-06,4.629787e-06,4.624171e-06,4.623257e-06,4.618385e-06,4.615550e-06,4.612439e-06,4.607574e-06,4.606343e-06,4.600107e-06,4.599350e-06,4.593740e-06,4.590900e-06,4.587251e-06,4.582243e-06,4.580648e-06,4.573940e-06,4.573399e-06,4.567133e-06,4.564385e-06,4.560236e-06,4.555218e-06,4.553255e-06,4.546196e-06,4.545913e-06,4.539067e-06,4.536485e-06,4.531874e-06,4.526948e-06,4.524621e-06,4.517316e-06,4.507600e-06,4.497811e-06,4.487962e-06,4.478063e-06,4.468122e-06,4.458149e-06,4.448153e-06,4.438142e-06,4.428123e-06,4.418104e-06,4.408091e-06,4.398091e-06,4.388110e-06,4.378153e-06,4.368225e-06,4.358332e-06,4.348478e-06,4.338668e-06,4.328905e-06,4.319193e-06,4.309536e-06,4.299937e-06,4.290400e-06,4.280926e-06
0.000000e+00,5.434453e-10,1.959668e-09,1.093106e-08,3.104554e-08,4.912984e-08,1.283235e-07,1.327553e-07,2.789171e-07,3.334021e-07,5.050207e-07,6.865777e-07,8.292193e-07,1.230092e-06,1.270080e-06,1.844931e-06,2.004399e-06,2.566387e-06,3.036082e-06,3.437424e-06,4.319674e-06,4.447567e-06,5.574018e-06,5.810752e-06,6.787984e-06,7.444375e-06,8.061443e-06,9.159631e-06,9.370681e-06,1.069680e-05,1.090951e-05,1.202494e-05,1.265962e-05,1.334333e-05,1.438463e-05,1.464256e-05,1.591508e-05,1.606569e-05,1.715491e-05,1.768883e-05,1.835738e-05,1.924405e-05,1.951895e-05,2.063704e-05,2.072456e-05,2.170993e-05,2.212617e-05,2.273655e-05,2.344680e-05,2.371646e-05,2.464967e-05,2.468603e-05,2.553657e-05,2.584465e-05,2.637787e-05,2.692438e-05,2.717451e-05,2.792760e-05,2.863840e-05,2.885715e-05,2.930826e-05,2.971612e-05,2.993857e-05,3.050782e-05,3.053079e-05,3.108638e-05,3.123558e-05,3.160681e-05,3.190279e-05,3.209352e-05,3.251276e-05,3.254796e-05,3.297154e-05,3.306876e-05,3.336562e-05,3.357393e-05,3.373156e-05,3.403132e-05,3.407064e-05,3.438413e-05,3.444387e-05,3.467325e-05,3.481435e-05,3.493917e-05,3.514545e-05,3.518303e-05,3.540590e-05,3.543969e-05,3.560885e-05,3.569948e-05,3.579287e-05,3.592711e-05,3.595892e-05,3.610794e-05,3.612472e-05,3.624080e-05,3.629437e-05,3.635836e-05,3.643797e-05,3.646142e-05,3.655076e-05,3.655734e-05,3.662712e-05,3.665419e-05,3.669121e-05,3.673014e-05,3.674371e-05,3.678525e-05,3.678670e-05,3.681646e-05,3.682528e-05,3.683793e-05,3.684724e-05,3.685020e-05,3.685383e-05,3.684931e-05,3.684622e-05,3.683713e-05,3.682553e-05,3.681775e-05,3.679279e-05,3.679162e-05,3.675914e-05,3.674897e-05,3.672073e-05,3.669499e-05,3.667675e-05,3.663169e-05,3.662757e-05,3.657353e-05,3.655988e-05,3.651496e-05,3.648030e-05,3.645216e-05,3.639364e-05,3.638544e-05,3.631506e-05,3.630057e-05,3.624130e-05,3.620169e-05,3.616441e-05,3.609757e-05,3.608462e-05,3.600217e-05,3.598874e-05,3.591726e-05,3.587570e-05,3.583011e-05,3.575890e-05,3.574090e-05,3.564983e-05,3.563878e-05,3.555706e-05,3.551574e-05,3.546275e-05,3.539016e-05,3.536708e-05,3.527017e-05,3.526237e-05,3.517218e-05,3.513270e-05,3.507323e-05,3.500146e-05,3.497344e-05,3.487295e-05,3.486892e-05,3.477186e-05,3.473534e-05,3.467027e-05,3.460095e-05,3.456828e-05,3.446599e-05,3.433065e-05,3.419513e-05,3.405961e-05,3.392423e-05,3.378916e-05,3.365453e-05,3.352047e-05,3.338708e-05,3.325449e-05,3.312278e-05,3.299205e-05,3.286237e-05,3.273382e-05,3.260647e-05,3.248036e-05,3.235557e-05,3.223213e-05,3.211009e-05,3.198948e-05,3.187035e-05,3.175271e-05,3.163659e-05,3.152202e-05,3.140902e-05
0.000000e+00,7.565065e-14,6.098299e-13,1.279813e-11,9.113621e-11,2.197405e-10,1.397837e-09,1.492099e-09,6.141052e-09,8.586148e-09,1.853928e-08,3.241273e-08,4.546690e-08,9.106739e-08,9.627705e-08,1.829802e-07,2.106962e-07,3.200710e-07,4.248147e-07,5.235687e-07,7.698629e-07,8.088552e-07,1.187745e-06,1.275386e-06,1.665997e-06,1.953788e-06,2.242283e-06,2.796592e-06,2.908834e-06,3.653183e-06,3.778510e-06,4.460255e-06,4.865271e-06,5.314223e-06,6.020872e-06,6.199836e-06,7.103215e-06,7.212217e-06,8.012173e-06,8.411127e-06,8.916255e-06,9.594615e-06,9.806642e-06,1.067598e-05,1.074443e-05,1.151821e-05,1.184637e-05,1.232839e-05,1.288966e-05,1.310263e-05,1.383794e-05,1.386650e-05,1.453215e-05,1.477171e-05,1.518387e-05,1.560239e-05,1.579240e-05,1.635760e-05,1.687991e-05,1.703812e-05,1.736017e-05,1.764603e-05,1.779962e-05,1.818449e-05,1.819976e-05,1.856235e-05,1.865740e-05,1.888928e-05,1.906915e-05,1.918256e-05,1.942442e-05,1.944424e-05,1.967639e-05,1.972794e-05,1.988106e-05,1.998443e-05,2.006026e-05,2.019840e-05,2.021590e-05,2.034983e-05,2.037417e-05,2.046381e-05,2.051574e-05,2.055947e-05,2.062681e-05,2.063836e-05,2.070193e-05,2.071076e-05,2.075149e-05,2.077068e-05,2.078830e-05,2.080932e-05,2.081348e-05,2.082808e-05,2.082916e-05,2.083305e-05,2.083242e-05,2.082929e-05,2.082107e-05,2.081758e-05,2.079867e-05,2.079686e-05,2.077321e-05,2.076134e-05,2.074184e-05,2.071590e-05,2.070510e-05,2.066350e-05,2.066174e-05,2.061751e-05,2.059996e-05,2.056755e-05,2.053150e-05,2.051400e-05,2.045723e-05,2.039755e-05,2.037789e-05,2.033527e-05,2.029416e-05,2.027064e-05,2.020663e-05,2.020393e-05,2.013535e-05,2.011584e-05,2.006511e-05,2.002226e-05,1.999342e-05,1.992631e-05,1.992043e-05,1.984631e-05,1.982837e-05,1.977122e-05,1.972879e-05,1.969528e-05,1.962786e-05,1.961863e-05,1.954138e-05,1.952587e-05,1.946363e-05,1.942305e-05,1.938550e-05,1.931962e-05,1.930706e-05,1.922840e-05,1.921580e-05,1.914960e-05,1.911174e-05,1.907073e-05,1.900763e-05,1.899186e-05,1.891305e-05,1.890360e-05,1.883436e-05,1.879978e-05,1.875583e-05,1.869630e-05,1.867753e-05,1.859949e-05,1.859325e-05,1.852175e-05,1.849075e-05,1.844435e-05,1.838886e-05,1.836733e-05,1.829073e-05,1.828767e-05,1.821457e-05,1.818726e-05,1.813887e-05,1.808768e-05,1.806367e-05,1.798899e-05,1.789123e-05,1.779446e-05,1.769872e-05,1.760403e-05,1.751042e-05,1.741793e-05,1.732658e-05,1.723639e-05,1.714737e-05,1.705954e-05,1.697290e-05,1.688747e-05,1.680326e-05,1.672027e-05,1.663849e-05,1.655794e-05,1.647862e-05,1.640051e-05,1.632362e-05,1.624795e-05,1.617348e-05,1.610021e-05,1.602814e-05,1.595726e-05
0.000000e+00,3.337320e-11,1.912811e-10,2.096990e-09,8.837231e-09,1.639742e-08,5.734269e-08,5.987062e-08,1.506664e-07,1.869914e-07,3.064986e-07,4.384851e-07,5.448496e-07,8.521397e-07,8.833184e-07,1.339508e-06,1.468400e-06,1.929969e-06,2.324348e-06,2.667590e-06,3.442657e-06,3.557357e-06,4.592496e-06,4.815516e-06,5.754749e-06,6.401259e-06,7.019519e-06,8.142844e-06,8.361892e-06,9.760002e-06,9.987606e-06,1.119559e-05,1.189341e-05,1.265339e-05,1.382682e-05,1.412040e-05,1.558535e-05,1.576052e-05,1.703843e-05,1.767180e-05,1.847118e-05,1.954196e-05,1.987635e-05,2.124790e-05,2.135602e-05,2.258091e-05,2.310242e-05,2.387149e-05,2.477274e-05,2.511669e-05,2.631439e-05,2.636129e-05,2.746322e-05,2.786467e-05,2.856243e-05,2.928142e-05,2.961180e-05,3.061155e-05,3.156226e-05,3.185626e-05,3.246479e-05,3.301763e-05,3.332024e-05,3.409835e-05,3.412987e-05,3.489506e-05,3.510156e-05,3.561730e-05,3.603066e-05,3.629812e-05,3.688923e-05,3.693908e-05,3.754176e-05,3.768089e-05,3.810775e-05,3.840925e-05,3.863859e-05,3.907789e-05,3.913584e-05,3.960099e-05,3.969029e-05,4.003550e-05,4.024982e-05,4.044080e-05,4.075969e-05,4.081827e-05,4.116923e-05,4.122301e-05,4.149497e-05,4.164272e-05,4.179671e-05,4.202163e-05,4.207565e-05,4.233292e-05,4.236239e-05,4.256960e-05,4.266750e-05,4.278675e-05,4.293934e-05,4.298537e-05,4.316639e-05,4.318014e-05,4.333075e-05,4.339201e-05,4.347929e-05,4.357692e-05,4.361286e-05,4.373223e-05,4.373672e-05,4.383817e-05,4.387316e-05,4.393140e-05,4.398788e-05,4.401259e-05,4.408242e-05,4.414148e-05,4.415821e-05,4.419038e-05,4.421660e-05,4.422968e-05,4.425887e-05,4.425991e-05,4.428159e-05,4.428620e-05,4.429520e-05,4.429969e-05,4.430121e-05,4.430039e-05,4.430005e-05,4.429214e-05,4.428928e-05,4.427788e-05,4.426726e-05,4.425765e-05,4.423519e-05,4.423180e-05,4.420068e-05,4.419386e-05,4.416462e-05,4.414401e-05,4.412391e-05,4.408635e-05,4.407887e-05,4.402975e-05,4.402153e-05,4.397683e-05,4.395016e-05,4.392036e-05,4.387279e-05,4.386058e-05,4.379772e-05,4.378998e-05,4.373198e-05,4.370220e-05,4.366358e-05,4.360994e-05,4.359271e-05,4.351956e-05,4.351361e-05,4.344429e-05,4.341363e-05,4.336708e-05,4.331037e-05,4.328808e-05,4.320744e-05,4.320418e-05,4.312530e-05,4.309540e-05,4.304181e-05,4.298432e-05,4.295708e-05,4.287123e-05,4.275641e-05,4.264009e-05,4.252250e-05,4.240387e-05,4.228440e-05,4.216426e-05,4.204363e-05,4.192267e-05,4.180153e-05,4.168035e-05,4.155926e-05,4.143837e-05,4.131779e-05,4.119762e-05,4.107797e-05,4.095891e-05,4.084052e-05,4.072287e-05,4.060604e-05,4.049009e-05,4.037506e-05,4.026102e-05,4.014800e-05,4.003605e-05
0.000000e+00,5.843345e-09,1.359773e-08,4.769603e-08,1.100082e-07,1.617299e-07,3.757472e-07,3.874942e-07,7.739245e-07,9.191705e-07,1.384293e-06,1.888531e-06,2.291265e-06,3.434107e-06,3.547843e-06,5.152681e-06,5.585091e-06,7.061680e-06,8.244788e-06,9.225640e-06,1.131073e-05,1.160701e-05,1.417887e-05,1.471420e-05,1.692035e-05,1.840681e-05,1.981308e-05,2.234686e-05,2.283928e-05,2.598083e-05,2.649293e-05,2.921893e-05,3.080186e-05,3.253425e-05,3.522891e-05,3.590716e-05,3.931819e-05,3.972917e-05,4.274843e-05,4.425911e-05,4.617975e-05,4.877781e-05,4.959522e-05,5.297926e-05,5.324819e-05,5.631777e-05,5.763758e-05,5.959828e-05,6.191815e-05,6.280989e-05,6.594329e-05,6.606688e-05,6.899069e-05,7.006544e-05,7.194572e-05,7.389974e-05,7.480331e-05,7.755958e-05,8.021173e-05,8.103810e-05,8.275789e-05,8.433130e-05,8.519702e-05,8.743759e-05,8.752880e-05,8.975351e-05,9.035733e-05,9.187194e-05,9.309250e-05,9.388536e-05,9.564630e-05,9.579534e-05,9.760378e-05,9.802293e-05,9.931282e-05,1.002273e-04,1.009248e-04,1.022649e-04,1.024421e-04,1.038674e-04,1.041417e-04,1.052033e-04,1.058636e-04,1.064526e-04,1.074369e-04,1.076179e-04,1.087020e-04,1.088681e-04,1.097077e-04,1.101634e-04,1.106377e-04,1.113291e-04,1.114948e-04,1.122815e-04,1.123713e-04,1.130006e-04,1.132963e-04,1.136546e-04,1.141098e-04,1.142462e-04,1.147776e-04,1.148176e-04,1.152515e-04,1.154255e-04,1.156701e-04,1.159386e-04,1.160358e-04,1.163508e-04,1.163624e-04,1.166173e-04,1.167018e-04,1.168375e-04,1.169617e-04,1.170133e-04,1.171467e-04,1.172398e-04,1.172614e-04,1.172943e-04,1.173098e-04,1.173121e-04,1.172963e-04,1.172950e-04,1.172445e-04,1.172247e-04,1.171624e-04,1.170987e-04,1.170503e-04,1.169218e-04,1.169096e-04,1.167418e-04,1.166976e-04,1.165483e-04,1.164292e-04,1.163305e-04,1.161198e-04,1.160897e-04,1.158271e-04,1.157721e-04,1.155441e-04,1.153892e-04,1.152417e-04,1.149735e-04,1.149210e-04,1.145832e-04,1.145276e-04,1.142293e-04,1.140539e-04,1.138602e-04,1.135547e-04,1.134770e-04,1.130805e-04,1.130320e-04,1.126716e-04,1.124880e-04,1.122512e-04,1.119245e-04,1.118201e-04,1.113790e-04,1.113433e-04,1.109287e-04,1.107462e-04,1.104699e-04,1.101347e-04,1.100033e-04,1.095295e-04,1.095105e-04,1.090492e-04,1.088748e-04,1.085629e-04,1.082291e-04,1.080712e-04,1.075747e-04,1.069127e-04,1.062442e-04,1.055704e-04,1.048922e-04,1.042105e-04,1.035263e-04,1.028402e-04,1.021532e-04,1.014658e-04,1.007788e-04,1.000927e-04,9.940823e-05,9.872578e-05,9.804590e-05,9.736905e-05,9.669563e-05,9.602604e-05,9.536065e-05,9.469978e-05,9.404373e-05,9.339277e-05,9.274717e-05,9.210714e-05,9.147289e-05
0.000000e+00,8.387575e-13,6.442661e-12,1.226553e-10,8.020661e-10,1.848452e-09,1.052613e-08,1.118767e-08,4.167393e-08,5.681453e-08,1.155723e-07,1.933381e-07,2.640487e-07,5.009920e-07,5.273933e-07,9.546420e-07,1.087565e-06,1.599674e-06,2.074916e-06,2.511714e-06,3.561937e-06,3.723783e-06,5.246134e-06,5.587172e-06,7.067702e-06,8.125032e-06,9.162912e-06,1.111064e-05,1.149925e-05,1.404281e-05,1.446681e-05,1.676118e-05,1.811921e-05,1.962442e-05,2.200070e-05,2.260492e-05,2.567693e-05,2.605056e-05,2.881624e-05,3.021291e-05,3.199995e-05,3.443593e-05,3.520647e-05,3.841567e-05,3.867196e-05,4.160898e-05,4.287802e-05,4.476956e-05,4.701643e-05,4.788244e-05,5.093454e-05,5.105520e-05,5.391472e-05,5.496813e-05,5.681366e-05,5.873463e-05,5.962384e-05,6.233931e-05,6.495563e-05,6.577136e-05,6.746964e-05,6.902398e-05,6.987940e-05,7.209375e-05,7.218391e-05,7.438303e-05,7.497997e-05,7.647733e-05,7.768403e-05,7.846790e-05,8.020895e-05,8.035631e-05,8.214447e-05,8.255895e-05,8.383463e-05,8.473922e-05,8.542927e-05,8.675566e-05,8.693107e-05,8.834285e-05,8.861466e-05,8.966751e-05,9.032291e-05,9.090807e-05,9.188741e-05,9.206762e-05,9.314933e-05,9.331539e-05,9.415637e-05,9.461415e-05,9.509185e-05,9.579073e-05,9.595877e-05,9.676004e-05,9.685192e-05,9.749846e-05,9.780415e-05,9.817672e-05,9.865359e-05,9.879745e-05,9.936320e-05,9.940616e-05,9.987643e-05,1.000675e-04,1.003395e-04,1.006431e-04,1.007547e-04,1.011242e-04,1.011381e-04,1.014503e-04,1.015574e-04,1.017349e-04,1.019057e-04,1.019800e-04,1.021876e-04,1.023596e-04,1.024074e-04,1.024976e-04,1.025690e-04,1.026035e-04,1.026763e-04,1.026787e-04,1.027250e-04,1.027329e-04,1.027437e-04,1.027424e-04,1.027365e-04,1.027080e-04,1.027046e-04,1.026494e-04,1.026328e-04,1.025721e-04,1.025197e-04,1.024741e-04,1.023716e-04,1.023564e-04,1.022203e-04,1.021909e-04,1.020667e-04,1.019802e-04,1.018966e-04,1.017419e-04,1.017112e-04,1.015113e-04,1.014780e-04,1.012978e-04,1.011907e-04,1.010715e-04,1.008819e-04,1.008334e-04,1.005841e-04,1.005535e-04,1.003244e-04,1.002071e-04,1.000551e-04,9.984441e-05,9.977683e-05,9.949020e-05,9.946693e-05,9.919585e-05,9.907608e-05,9.889437e-05,9.867321e-05,9.858633e-05,9.827227e-05,9.825959e-05,9.795269e-05,9.783638e-05,9.762807e-05,9.740470e-05,9.729889e-05,9.696558e-05,9.651999e-05,9.606884e-05,9.561297e-05,9.515318e-05,9.469021e-05,9.422474e-05,9.375742e-05,9.328885e-05,9.281959e-05,9.235015e-05,9.188101e-05,9.141262e-05,9.094539e-05,9.047970e-05,9.001590e-05,8.955433e-05,8.909528e-05,8.863902e-05,8.818580e-05,8.773587e-05,8.728943e-05,8.684667e-05,8.640777e-05,8.597288e-05
0.000000e+00,1.460595e-11,8.464447e-11,9.459112e-10,4.040415e-09,7.542195e-09,2.669226e-08,2.787999e-08,7.072557e-08,8.793068e-08,1.446815e-07,2.075448e-07,2.583149e-07,4.054560e-07,4.204213e-07,6.400926e-07,7.023918e-07,9.263024e-07,1.118597e-06,1.286671e-06,1.668578e-06,1.725372e-06,2.241141e-06,2.353013e-06,2.826998e-06,3.155835e-06,3.472156e-06,4.051189e-06,4.164705e-06,4.893448e-06,5.012732e-06,5.648611e-06,6.017969e-06,6.421824e-06,7.048511e-06,7.205874e-06,7.994459e-06,8.089123e-06,8.782022e-06,9.126941e-06,9.563663e-06,1.015108e-05,1.033508e-05,1.109254e-05,1.115244e-05,1.183287e-05,1.212359e-05,1.255340e-05,1.305870e-05,1.325199e-05,1.392691e-05,1.395340e-05,1.457690e-05,1.480461e-05,1.520104e-05,1.561039e-05,1.579875e-05,1.636974e-05,1.691395e-05,1.708246e-05,1.743153e-05,1.774895e-05,1.792281e-05,1.837012e-05,1.838825e-05,1.882840e-05,1.894720e-05,1.924393e-05,1.948171e-05,1.963553e-05,1.997533e-05,2.000397e-05,2.035004e-05,2.042985e-05,2.067455e-05,2.084716e-05,2.097832e-05,2.122913e-05,2.126217e-05,2.152691e-05,2.157764e-05,2.177335e-05,2.189453e-05,2.200228e-05,2.218161e-05,2.221447e-05,2.241066e-05,2.244062e-05,2.259159e-05,2.267323e-05,2.275796e-05,2.288104e-05,2.291046e-05,2.304974e-05,2.306560e-05,2.317643e-05,2.322834e-05,2.329114e-05,2.337067e-05,2.339445e-05,2.348693e-05,2.349387e-05,2.356910e-05,2.359921e-05,2.364150e-05,2.368784e-05,2.370460e-05,2.375888e-05,2.376088e-05,2.380480e-05,2.381936e-05,2.384277e-05,2.386427e-05,2.387322e-05,2.389654e-05,2.391311e-05,2.391704e-05,2.392328e-05,2.392658e-05,2.392739e-05,2.392594e-05,2.392577e-05,2.391874e-05,2.391584e-05,2.390659e-05,2.389697e-05,2.388961e-05,2.386995e-05,2.386806e-05,2.384220e-05,2.383539e-05,2.381229e-05,2.379385e-05,2.377854e-05,2.374586e-05,2.374119e-05,2.370045e-05,2.369191e-05,2.365652e-05,2.363248e-05,2.360959e-05,2.356799e-05,2.355985e-05,2.350746e-05,2.349885e-05,2.345261e-05,2.342545e-05,2.339544e-05,2.334814e-05,2.333610e-05,2.327475e-05,2.326726e-05,2.321151e-05,2.318312e-05,2.314652e-05,2.309603e-05,2.307990e-05,2.301176e-05,2.300625e-05,2.294223e-05,2.291404e-05,2.287140e-05,2.281965e-05,2.279937e-05,2.272625e-05,2.272330e-05,2.265212e-05,2.262521e-05,2.257708e-05,2.252557e-05,2.250120e-05,2.242456e-05,2.232236e-05,2.221913e-05,2.211503e-05,2.201018e-05,2.190474e-05,2.179881e-05,2.169252e-05,2.158596e-05,2.147925e-05,2.137247e-05,2.126571e-05,2.115905e-05,2.105256e-05,2.094631e-05,2.084038e-05,2.073481e-05,2.062966e-05,2.052499e-05,2.042084e-05,2.031726e-05,2.021428e-05,2.011194e-05,2.001028e-05,1.990933e-05
0.000000e+00,2.963174e-13,2.367404e-12,4.881325e-11,3.425110e-10,8.197407e-10,5.131334e-09,5.474380e-09,2.230998e-08,3.114963e-08,6.721720e-08,1.178408e-07,1.658604e-07,3.360314e-07,3.556659e-07,6.858299e-07,7.921169e-07,1.211651e-06,1.610686e-06,1.982741e-06,2.890009e-06,3.030908e-06,4.364152e-06,4.664087e-06,5.968244e-06,6.899829e-06,7.813067e-06,9.520647e-06,9.860059e-06,1.206820e-05,1.243377e-05,1.439784e-05,1.554839e-05,1.681256e-05,1.878354e-05,1.927974e-05,2.177042e-05,2.206963e-05,2.425899e-05,2.534736e-05,2.672283e-05,2.856652e-05,2.914213e-05,3.149973e-05,3.168522e-05,3.378105e-05,3.466944e-05,3.597405e-05,3.749286e-05,3.806916e-05,4.005916e-05,4.013650e-05,4.193903e-05,4.258818e-05,4.370573e-05,4.484174e-05,4.535802e-05,4.689620e-05,4.832185e-05,4.875470e-05,4.963762e-05,5.042362e-05,5.084698e-05,5.191166e-05,5.195404e-05,5.296336e-05,5.322911e-05,5.387979e-05,5.438715e-05,5.470836e-05,5.539741e-05,5.545415e-05,5.612221e-05,5.627154e-05,5.671752e-05,5.702092e-05,5.724489e-05,5.765648e-05,5.770898e-05,5.811423e-05,5.818859e-05,5.846486e-05,5.862693e-05,5.876486e-05,5.898050e-05,5.901801e-05,5.922783e-05,5.925760e-05,5.939763e-05,5.946583e-05,5.953049e-05,5.961214e-05,5.962931e-05,5.969677e-05,5.970288e-05,5.973535e-05,5.974379e-05,5.974738e-05,5.974010e-05,5.973501e-05,5.970022e-05,5.969653e-05,5.964487e-05,5.961737e-05,5.957067e-05,5.950647e-05,5.947921e-05,5.937195e-05,5.936735e-05,5.925025e-05,5.920315e-05,5.911538e-05,5.901673e-05,5.896849e-05,5.881068e-05,5.864294e-05,5.858732e-05,5.846620e-05,5.834876e-05,5.828131e-05,5.809690e-05,5.808908e-05,5.789023e-05,5.783347e-05,5.768546e-05,5.756001e-05,5.747539e-05,5.727795e-05,5.726061e-05,5.704165e-05,5.698854e-05,5.681903e-05,5.669294e-05,5.659321e-05,5.639219e-05,5.636462e-05,5.613367e-05,5.608723e-05,5.590071e-05,5.577891e-05,5.566611e-05,5.546800e-05,5.543017e-05,5.519319e-05,5.515520e-05,5.495545e-05,5.484114e-05,5.471720e-05,5.452638e-05,5.447867e-05,5.424007e-05,5.421145e-05,5.400162e-05,5.389680e-05,5.376350e-05,5.358285e-05,5.352587e-05,5.328891e-05,5.326998e-05,5.305275e-05,5.295854e-05,5.281753e-05,5.264883e-05,5.258338e-05,5.235042e-05,5.234112e-05,5.211874e-05,5.203567e-05,5.188844e-05,5.173268e-05,5.165962e-05,5.143235e-05,5.113487e-05,5.084038e-05,5.054901e-05,5.026090e-05,4.997614e-05,4.969482e-05,4.941703e-05,4.914284e-05,4.887228e-05,4.860543e-05,4.834230e-05,4.808293e-05,4.782734e-05,4.757555e-05,4.732757e-05,4.708339e-05,4.684302e-05,4.660645e-05,4.637367e-05,4.614466e-05,4.591940e-05,4.569788e-05,4.548007e-05,4.526593e-05
0.000000e+00,2.689533e-13,2.132860e-12,4.330618e-11,2.995473e-10,7.110787e-10,4.349359e-09,4.635361e-09,1.836530e-08,2.541355e-08,5.345252e-08,9.144278e-08,1.264169e-07,2.447338e-07,2.579581e-07,4.719122e-07,5.383758e-07,7.942151e-07,1.032062e-06,1.251775e-06,1.787275e-06,1.870925e-06,2.675319e-06,2.860183e-06,3.683674e-06,4.292931e-06,4.908097e-06,6.107399e-06,6.353517e-06,8.018164e-06,8.304427e-06,9.894691e-06,1.086741e-05,1.197150e-05,1.376737e-05,1.423392e-05,1.666526e-05,1.696752e-05,1.924743e-05,2.042654e-05,2.196161e-05,2.410087e-05,2.478861e-05,2.770929e-05,2.794643e-05,3.070489e-05,3.192001e-05,3.375726e-05,3.598040e-05,3.684917e-05,3.996444e-05,4.008932e-05,4.308814e-05,4.421208e-05,4.620668e-05,4.831804e-05,4.930783e-05,5.238075e-05,5.541596e-05,5.637790e-05,5.840531e-05,6.029117e-05,6.134185e-05,6.410585e-05,6.421977e-05,6.703432e-05,6.781049e-05,6.978166e-05,7.139652e-05,7.245880e-05,7.485782e-05,7.506349e-05,7.759412e-05,7.819033e-05,8.004966e-05,8.139173e-05,8.242954e-05,8.446113e-05,8.473362e-05,8.696210e-05,8.739876e-05,8.911548e-05,9.020580e-05,9.119450e-05,9.288412e-05,9.320013e-05,9.513347e-05,9.543618e-05,9.699579e-05,9.786487e-05,9.878845e-05,1.001734e-04,1.005129e-04,1.021707e-04,1.023652e-04,1.037633e-04,1.044439e-04,1.052925e-04,1.064132e-04,1.067598e-04,1.081669e-04,1.082769e-04,1.095154e-04,1.100388e-04,1.108070e-04,1.117027e-04,1.120434e-04,1.132262e-04,1.132724e-04,1.143569e-04,1.147516e-04,1.154373e-04,1.161439e-04,1.164688e-04,1.174531e-04,1.183917e-04,1.186826e-04,1.192860e-04,1.198358e-04,1.201375e-04,1.209161e-04,1.209477e-04,1.217180e-04,1.219267e-04,1.224497e-04,1.228707e-04,1.231442e-04,1.237514e-04,1.238028e-04,1.244267e-04,1.245715e-04,1.250173e-04,1.253339e-04,1.255757e-04,1.260414e-04,1.261031e-04,1.266007e-04,1.266967e-04,1.270695e-04,1.273023e-04,1.275107e-04,1.278606e-04,1.279252e-04,1.283142e-04,1.283741e-04,1.286786e-04,1.288451e-04,1.290194e-04,1.292756e-04,1.293375e-04,1.296338e-04,1.296679e-04,1.299092e-04,1.300239e-04,1.301645e-04,1.303456e-04,1.304006e-04,1.306182e-04,1.306348e-04,1.308182e-04,1.308934e-04,1.310012e-04,1.311229e-04,1.311681e-04,1.313194e-04,1.313251e-04,1.314559e-04,1.315015e-04,1.315782e-04,1.316536e-04,1.316870e-04,1.317828e-04,1.318905e-04,1.319779e-04,1.320463e-04,1.320970e-04,1.321309e-04,1.321492e-04,1.321529e-04,1.321430e-04,1.321204e-04,1.320859e-04,1.320405e-04,1.319848e-04,1.319198e-04,1.318460e-04,1.317641e-04,1.316748e-04,1.315788e-04,1.314765e-04,1.313686e-04,1.312554e-04,1.311377e-04,1.310157e-04,1.308899e-04,1.307608e-04
0.000000e+00,2.186916e-13,1.780686e-12,3.817216e-11,2.772291e-10,6.758056e-10,4.425676e-09,4.729819e-09,2.006350e-08,2.829115e-08,6.244292e-08,1.112041e-07,1.579334e-07,3.254953e-07,3.449705e-07,6.760808e-07,7.841290e-07,1.217927e-06,1.641747e-06,2.046869e-06,3.073986e-06,3.238303e-06,4.852385e-06,5.229379e-06,6.922011e-06,8.179668e-06,9.447614e-06,1.190041e-05,1.239937e-05,1.572457e-05,1.628693e-05,1.935667e-05,2.118796e-05,2.322363e-05,2.643834e-05,2.725430e-05,3.138248e-05,3.188152e-05,3.554908e-05,3.738109e-05,3.970294e-05,4.282438e-05,4.380067e-05,4.780623e-05,4.812177e-05,5.169022e-05,5.320434e-05,5.542921e-05,5.802113e-05,5.900505e-05,6.240423e-05,6.253638e-05,6.561733e-05,6.672726e-05,6.863848e-05,7.058167e-05,7.146486e-05,7.409628e-05,7.653470e-05,7.727480e-05,7.878388e-05,8.012638e-05,8.084899e-05,8.266415e-05,8.273632e-05,8.445296e-05,8.490406e-05,8.600658e-05,8.686384e-05,8.740523e-05,8.856220e-05,8.865714e-05,8.977061e-05,9.001815e-05,9.075384e-05,9.125058e-05,9.161491e-05,9.227784e-05,9.236167e-05,9.300171e-05,9.311755e-05,9.354229e-05,9.378641e-05,9.399037e-05,9.430010e-05,9.435254e-05,9.463507e-05,9.467329e-05,9.484387e-05,9.491955e-05,9.498450e-05,9.505146e-05,9.506221e-05,9.508190e-05,9.508058e-05,9.504817e-05,9.501753e-05,9.496534e-05,9.487203e-05,9.483742e-05,9.466818e-05,9.465296e-05,9.446112e-05,9.436844e-05,9.421950e-05,9.402587e-05,9.394639e-05,9.364460e-05,9.363197e-05,9.331678e-05,9.319287e-05,9.296538e-05,9.271412e-05,9.259267e-05,9.220077e-05,9.179165e-05,9.165740e-05,9.136714e-05,9.108816e-05,9.092892e-05,9.049680e-05,9.047857e-05,9.001753e-05,8.988672e-05,8.954717e-05,8.926100e-05,8.906873e-05,8.862242e-05,8.858336e-05,8.809214e-05,8.797349e-05,8.759606e-05,8.731647e-05,8.709602e-05,8.665340e-05,8.659288e-05,8.608741e-05,8.598610e-05,8.558033e-05,8.531623e-05,8.507230e-05,8.464526e-05,8.456392e-05,8.405577e-05,8.397452e-05,8.354835e-05,8.330519e-05,8.304214e-05,8.263833e-05,8.253757e-05,8.203504e-05,8.197489e-05,8.153491e-05,8.131570e-05,8.103752e-05,8.066151e-05,8.054316e-05,8.005211e-05,8.001298e-05,7.956462e-05,7.937068e-05,7.908092e-05,7.873511e-05,7.860120e-05,7.812566e-05,7.810673e-05,7.765445e-05,7.748591e-05,7.718773e-05,7.687299e-05,7.672563e-05,7.626825e-05,7.567192e-05,7.508421e-05,7.450527e-05,7.393524e-05,7.337422e-05,7.282228e-05,7.227947e-05,7.174582e-05,7.122135e-05,7.070604e-05,7.019988e-05,6.970282e-05,6.921482e-05,6.873581e-05,6.826572e-05,6.780448e-05,6.735200e-05,6.690817e-05,6.647290e-05,6.604608e-05,6.562760e-05,6.521735e-05,6.481521e-05,6.442107e-05
0.000000e+00,5.587552e-13,4.152167e-12,7.394896e-11,4.560812e-10,1.018742e-09,5.364331e-09,5.683687e-09,1.963800e-08,2.623601e-08,5.071634e-08,8.137620e-08,1.081143e-07,1.926017e-07,2.016504e-07,3.413666e-07,3.828912e-07,5.373381e-07,6.753517e-07,7.994207e-07,1.091931e-06,1.136619e-06,1.555927e-06,1.650032e-06,2.060958e-06,2.357409e-06,2.651061e-06,3.209090e-06,3.321450e-06,4.064233e-06,4.189165e-06,4.869744e-06,5.275651e-06,5.727698e-06,6.444981e-06,6.627942e-06,7.560837e-06,7.674544e-06,8.517370e-06,8.943555e-06,9.489178e-06,1.023319e-05,1.046854e-05,1.144837e-05,1.152658e-05,1.242220e-05,1.280873e-05,1.338422e-05,1.406665e-05,1.432929e-05,1.525292e-05,1.528936e-05,1.615130e-05,1.646791e-05,1.702127e-05,1.759529e-05,1.786027e-05,1.866633e-05,1.943801e-05,1.967752e-05,2.017436e-05,2.062681e-05,2.087483e-05,2.151337e-05,2.153926e-05,2.216778e-05,2.233738e-05,2.276081e-05,2.309985e-05,2.331898e-05,2.380240e-05,2.384310e-05,2.433409e-05,2.444712e-05,2.479302e-05,2.503643e-05,2.522101e-05,2.557298e-05,2.561924e-05,2.598892e-05,2.605954e-05,2.633128e-05,2.649893e-05,2.664756e-05,2.689397e-05,2.693897e-05,2.720672e-05,2.724744e-05,2.745198e-05,2.756206e-05,2.767590e-05,2.784042e-05,2.787959e-05,2.806413e-05,2.808504e-05,2.823054e-05,2.829828e-05,2.837983e-05,2.848242e-05,2.851294e-05,2.863078e-05,2.863958e-05,2.873423e-05,2.877176e-05,2.882410e-05,2.888085e-05,2.890119e-05,2.896626e-05,2.896862e-05,2.902000e-05,2.903671e-05,2.906310e-05,2.908666e-05,2.909621e-05,2.911992e-05,2.913483e-05,2.913783e-05,2.914147e-05,2.914162e-05,2.914037e-05,2.913248e-05,2.913201e-05,2.911686e-05,2.911146e-05,2.909536e-05,2.907959e-05,2.906793e-05,2.903779e-05,2.903496e-05,2.899681e-05,2.898693e-05,2.895385e-05,2.892781e-05,2.890640e-05,2.886118e-05,2.885478e-05,2.879928e-05,2.878774e-05,2.874019e-05,2.870812e-05,2.867776e-05,2.862293e-05,2.861225e-05,2.854390e-05,2.853271e-05,2.847292e-05,2.843798e-05,2.839952e-05,2.833921e-05,2.832392e-05,2.824628e-05,2.823684e-05,2.816679e-05,2.813128e-05,2.808562e-05,2.802290e-05,2.800292e-05,2.791884e-05,2.791206e-05,2.783352e-05,2.779907e-05,2.774709e-05,2.768424e-05,2.765967e-05,2.757139e-05,2.756784e-05,2.748235e-05,2.745013e-05,2.739266e-05,2.733134e-05,2.730241e-05,2.721169e-05,2.709138e-05,2.697059e-05,2.684951e-05,2.672827e-05,2.660703e-05,2.648593e-05,2.636508e-05,2.624459e-05,2.612457e-05,2.600512e-05,2.588631e-05,2.576823e-05,2.565094e-05,2.553453e-05,2.541903e-05,2.530451e-05,2.519101e-05,2.507858e-05,2.496726e-05,2.485708e-05,2.474807e-05,2.464025e-05,2.453366e-05,2.442831e-05
0.000000e+00,1.334124e-15,1.158048e-14,2.833250e-13,2.319508e-12,6.035813e-12,4.667904e-11,5.022090e-11,2.499158e-10,3.675777e-10,8.993720e-10,1.734770e-09,2.590310e-09,5.934308e-09,6.343643e-09,1.373654e-08,1.628625e-08,2.701104e-08,3.809430e-08,4.915079e-08,7.892969e-08,8.390896e-08,1.357673e-07,1.486301e-07,2.098125e-07,2.588965e-07,3.115296e-07,4.224675e-07,4.465335e-07,6.202683e-07,6.520016e-07,8.377102e-07,9.588868e-07,1.103101e-06,1.352187e-06,1.419736e-06,1.789813e-06,1.837875e-06,2.214352e-06,2.418399e-06,2.693171e-06,3.092590e-06,3.224925e-06,3.807182e-06,3.855849e-06,4.436541e-06,4.700550e-06,5.108770e-06,5.616587e-06,5.818962e-06,6.561698e-06,6.592004e-06,7.331209e-06,7.613642e-06,8.121533e-06,8.667773e-06,8.926661e-06,9.740673e-06,1.055784e-05,1.081911e-05,1.137276e-05,1.189077e-05,1.218037e-05,1.294453e-05,1.297608e-05,1.375577e-05,1.397070e-05,1.451582e-05,1.496113e-05,1.525316e-05,1.590922e-05,1.596520e-05,1.664987e-05,1.680994e-05,1.730559e-05,1.765971e-05,1.793122e-05,1.845629e-05,1.852602e-05,1.908965e-05,1.919863e-05,1.962208e-05,1.988670e-05,2.012358e-05,2.052132e-05,2.059467e-05,2.103608e-05,2.110400e-05,2.144868e-05,2.163680e-05,2.183352e-05,2.212216e-05,2.219172e-05,2.252448e-05,2.256276e-05,2.283305e-05,2.296148e-05,2.311869e-05,2.332123e-05,2.338268e-05,2.362628e-05,2.364493e-05,2.385074e-05,2.393544e-05,2.405726e-05,2.419550e-05,2.424700e-05,2.442108e-05,2.442773e-05,2.458055e-05,2.463458e-05,2.472642e-05,2.481833e-05,2.485964e-05,2.498109e-05,2.509160e-05,2.512479e-05,2.519196e-05,2.525120e-05,2.528289e-05,2.536192e-05,2.536505e-05,2.543907e-05,2.545841e-05,2.550552e-05,2.554198e-05,2.556493e-05,2.561380e-05,2.561780e-05,2.566458e-05,2.567495e-05,2.570569e-05,2.572637e-05,2.574150e-05,2.576893e-05,2.577238e-05,2.579866e-05,2.580339e-05,2.582063e-05,2.583045e-05,2.583858e-05,2.585074e-05,2.585277e-05,2.586343e-05,2.586483e-05,2.587080e-05,2.587322e-05,2.587506e-05,2.587638e-05,2.587642e-05,2.587506e-05,2.587472e-05,2.587113e-05,2.586863e-05,2.586480e-05,2.585846e-05,2.585620e-05,2.584547e-05,2.584453e-05,2.583274e-05,2.582712e-05,2.581813e-05,2.580650e-05,2.580174e-05,2.578368e-05,2.578293e-05,2.576406e-05,2.575663e-05,2.574296e-05,2.572781e-05,2.572046e-05,2.569666e-05,2.566338e-05,2.562812e-05,2.559104e-05,2.555230e-05,2.551203e-05,2.547035e-05,2.542739e-05,2.538326e-05,2.533806e-05,2.529190e-05,2.524487e-05,2.519706e-05,2.514854e-05,2.509940e-05,2.504971e-05,2.499953e-05,2.494894e-05,2.489799e-05,2.484674e-05,2.479524e-05,2.474355e-05,2.469171e-05,2.463976e-05,2.458776e-05
0.000000e+00,3.314907e-09,7.614234e-09,2.621440e-08,5.955948e-08,8.679505e-08,1.962641e-07,2.021422e-07,3.893744e-07,4.571018e-07,6.664804e-07,8.838046e-07,1.052587e-06,1.520947e-06,1.567305e-06,2.228822e-06,2.411075e-06,3.050470e-06,3.582448e-06,4.035898e-06,5.030383e-06,5.174330e-06,6.439405e-06,6.704466e-06,7.794387e-06,8.521682e-06,9.201157e-06,1.039880e-05,1.062713e-05,1.204751e-05,1.227298e-05,1.344447e-05,1.410282e-05,1.480536e-05,1.586199e-05,1.612123e-05,1.738575e-05,1.753382e-05,1.859452e-05,1.910793e-05,1.974464e-05,2.057838e-05,2.083435e-05,2.186288e-05,2.194251e-05,2.283023e-05,2.320016e-05,2.373702e-05,2.435302e-05,2.458437e-05,2.537381e-05,2.540421e-05,2.610714e-05,2.635779e-05,2.678639e-05,2.721850e-05,2.741374e-05,2.799145e-05,2.852185e-05,2.868196e-05,2.900725e-05,2.929537e-05,2.944998e-05,2.983696e-05,2.985230e-05,3.021644e-05,3.031185e-05,3.054455e-05,3.072499e-05,3.083871e-05,3.108107e-05,3.110092e-05,3.133308e-05,3.138453e-05,3.153703e-05,3.163957e-05,3.171451e-05,3.185012e-05,3.186718e-05,3.199661e-05,3.201984e-05,3.210431e-05,3.215219e-05,3.219167e-05,3.225033e-05,3.226005e-05,3.231071e-05,3.231725e-05,3.234485e-05,3.235570e-05,3.236359e-05,3.236821e-05,3.236800e-05,3.235908e-05,3.235716e-05,3.233778e-05,3.232472e-05,3.230500e-05,3.227292e-05,3.226157e-05,3.220828e-05,3.220361e-05,3.214588e-05,3.211852e-05,3.207506e-05,3.201923e-05,3.199648e-05,3.191076e-05,3.190719e-05,3.181847e-05,3.178374e-05,3.172016e-05,3.165013e-05,3.161634e-05,3.150749e-05,3.139405e-05,3.135686e-05,3.127646e-05,3.119920e-05,3.115510e-05,3.103540e-05,3.103035e-05,3.090256e-05,3.086627e-05,3.077204e-05,3.069255e-05,3.063910e-05,3.051491e-05,3.050403e-05,3.036710e-05,3.033398e-05,3.022855e-05,3.015034e-05,3.008862e-05,2.996450e-05,2.994752e-05,2.980546e-05,2.977695e-05,2.966263e-05,2.958811e-05,2.951920e-05,2.939838e-05,2.937534e-05,2.923121e-05,2.920813e-05,2.908694e-05,2.901768e-05,2.894267e-05,2.882734e-05,2.879853e-05,2.865462e-05,2.863737e-05,2.851105e-05,2.844802e-05,2.836793e-05,2.825951e-05,2.822534e-05,2.808337e-05,2.807205e-05,2.794210e-05,2.788580e-05,2.780160e-05,2.770095e-05,2.766193e-05,2.752316e-05,2.751762e-05,2.738533e-05,2.733596e-05,2.724852e-05,2.715607e-05,2.711275e-05,2.697807e-05,2.680203e-05,2.662804e-05,2.645617e-05,2.628647e-05,2.611900e-05,2.595381e-05,2.579092e-05,2.563037e-05,2.547217e-05,2.531636e-05,2.516293e-05,2.501190e-05,2.486328e-05,2.471705e-05,2.457322e-05,2.443178e-05,2.429273e-05,2.415604e-05,2.402171e-05,2.388971e-05,2.376004e-05,2.363266e-05,2.350756e-05,2.338472e-05
0.000000e+00,2.600548e-14,2.198162e-13,5.088659e-12,3.959899e-11,1.002046e-10,7.208455e-10,7.732596e-10,3.581549e-09,5.166428e-09,1.204182e-08,2.234091e-08,3.253114e-08,7.051834e-08,7.503329e-08,1.536545e-07,1.798588e-07,2.868799e-07,3.936689e-07,4.975037e-07,7.678731e-07,8.120507e-07,1.259431e-06,1.367432e-06,1.868690e-06,2.258393e-06,2.666082e-06,3.496459e-06,3.672041e-06,4.898736e-06,5.115800e-06,6.348683e-06,7.122168e-06,8.014572e-06,9.492099e-06,9.880147e-06,1.192183e-05,1.217734e-05,1.411078e-05,1.511238e-05,1.641497e-05,1.822275e-05,1.880113e-05,2.123640e-05,2.143239e-05,2.368962e-05,2.466944e-05,2.613224e-05,2.787002e-05,2.853895e-05,3.088793e-05,3.098042e-05,3.316104e-05,3.395787e-05,3.534365e-05,3.677024e-05,3.742447e-05,3.939531e-05,4.125069e-05,4.181946e-05,4.298754e-05,4.403636e-05,4.460482e-05,4.604556e-05,4.610323e-05,4.748484e-05,4.785117e-05,4.875284e-05,4.946075e-05,4.991126e-05,5.088425e-05,5.096479e-05,5.191852e-05,5.213316e-05,5.277785e-05,5.321989e-05,5.354828e-05,5.415715e-05,5.423538e-05,5.484464e-05,5.495763e-05,5.538142e-05,5.563363e-05,5.585090e-05,5.619690e-05,5.625806e-05,5.660763e-05,5.665852e-05,5.690409e-05,5.702877e-05,5.715164e-05,5.731713e-05,5.735424e-05,5.751556e-05,5.753231e-05,5.763905e-05,5.768223e-05,5.772789e-05,5.777407e-05,5.778504e-05,5.781323e-05,5.781431e-05,5.781497e-05,5.780879e-05,5.779259e-05,5.776276e-05,5.774825e-05,5.768390e-05,5.768094e-05,5.760138e-05,5.756755e-05,5.750234e-05,5.742635e-05,5.738833e-05,5.726075e-05,5.712091e-05,5.707377e-05,5.697000e-05,5.686811e-05,5.680911e-05,5.664621e-05,5.663925e-05,5.646135e-05,5.641022e-05,5.627627e-05,5.616210e-05,5.608478e-05,5.590358e-05,5.588761e-05,5.568542e-05,5.563621e-05,5.547881e-05,5.536140e-05,5.526836e-05,5.508038e-05,5.505457e-05,5.483792e-05,5.479429e-05,5.461885e-05,5.450412e-05,5.439777e-05,5.421078e-05,5.417504e-05,5.395101e-05,5.391507e-05,5.372599e-05,5.361772e-05,5.350028e-05,5.331938e-05,5.327413e-05,5.304780e-05,5.302063e-05,5.282150e-05,5.272200e-05,5.259546e-05,5.242395e-05,5.236986e-05,5.214487e-05,5.212691e-05,5.192067e-05,5.183123e-05,5.169739e-05,5.153727e-05,5.147517e-05,5.125414e-05,5.124532e-05,5.103441e-05,5.095565e-05,5.081609e-05,5.066848e-05,5.059927e-05,5.038404e-05,5.010250e-05,4.982403e-05,4.954877e-05,4.927684e-05,4.900836e-05,4.874341e-05,4.848208e-05,4.822442e-05,4.797050e-05,4.772036e-05,4.747403e-05,4.723154e-05,4.699292e-05,4.675816e-05,4.652727e-05,4.630027e-05,4.607712e-05,4.585784e-05,4.564239e-05,4.543076e-05,4.522293e-05,4.501887e-05,4.481854e-05,4.462192e-05
0.000000e+00,2.421770e-14,2.010594e-13,4.482561e-12,3.370309e-11,8.369399e-11,5.738529e-10,6.143976e-10,2.718914e-09,3.875903e-09,8.781548e-09,1.595240e-08,2.293590e-08,4.849638e-08,5.150420e-08,1.033677e-07,1.205109e-07,1.900526e-07,2.588054e-07,3.250764e-07,4.948979e-07,5.222638e-07,7.933690e-07,8.572110e-07,1.145851e-06,1.362152e-06,1.581562e-06,2.009184e-06,2.096613e-06,2.682270e-06,2.781751e-06,3.326410e-06,3.652310e-06,4.015108e-06,4.588514e-06,4.734051e-06,5.469600e-06,5.558381e-06,6.209465e-06,6.533582e-06,6.943066e-06,7.490940e-06,7.661612e-06,8.358032e-06,8.412615e-06,9.026832e-06,9.285656e-06,9.663900e-06,1.010126e-05,1.026631e-05,1.083214e-05,1.085400e-05,1.136034e-05,1.154119e-05,1.185055e-05,1.216230e-05,1.230302e-05,1.271849e-05,1.309810e-05,1.321223e-05,1.344330e-05,1.364694e-05,1.375578e-05,1.402671e-05,1.403741e-05,1.429014e-05,1.435600e-05,1.451599e-05,1.463945e-05,1.471700e-05,1.488170e-05,1.489515e-05,1.505238e-05,1.508721e-05,1.519052e-05,1.526020e-05,1.531132e-05,1.540457e-05,1.541640e-05,1.550726e-05,1.552385e-05,1.558529e-05,1.562122e-05,1.565174e-05,1.569946e-05,1.570776e-05,1.575438e-05,1.576103e-05,1.579252e-05,1.580806e-05,1.582301e-05,1.584241e-05,1.584660e-05,1.586395e-05,1.586564e-05,1.587565e-05,1.587914e-05,1.588222e-05,1.588408e-05,1.588413e-05,1.588181e-05,1.588145e-05,1.587562e-05,1.587214e-05,1.586591e-05,1.585690e-05,1.585296e-05,1.583706e-05,1.583637e-05,1.581844e-05,1.581112e-05,1.579733e-05,1.578165e-05,1.577393e-05,1.574841e-05,1.572095e-05,1.571177e-05,1.569169e-05,1.567209e-05,1.566078e-05,1.562967e-05,1.562835e-05,1.559451e-05,1.558480e-05,1.555938e-05,1.553772e-05,1.552305e-05,1.548866e-05,1.548563e-05,1.544720e-05,1.543784e-05,1.540785e-05,1.538544e-05,1.536765e-05,1.533163e-05,1.532668e-05,1.528500e-05,1.527659e-05,1.524268e-05,1.522045e-05,1.519979e-05,1.516335e-05,1.515636e-05,1.511247e-05,1.510541e-05,1.506816e-05,1.504675e-05,1.502347e-05,1.498748e-05,1.497845e-05,1.493315e-05,1.492770e-05,1.488760e-05,1.486749e-05,1.484184e-05,1.480695e-05,1.479591e-05,1.474984e-05,1.474615e-05,1.470366e-05,1.468516e-05,1.465740e-05,1.462406e-05,1.461109e-05,1.456475e-05,1.456290e-05,1.451842e-05,1.450174e-05,1.447211e-05,1.444064e-05,1.442585e-05,1.437965e-05,1.431881e-05,1.425817e-05,1.419776e-05,1.413762e-05,1.407779e-05,1.401830e-05,1.395917e-05,1.390043e-05,1.384211e-05,1.378423e-05,1.372681e-05,1.366987e-05,1.361342e-05,1.355748e-05,1.350206e-05,1.344718e-05,1.339284e-05,1.333906e-05,1.328585e-05,1.323322e-05,1.318116e-05,1.312969e-05,1.307881e-05,1.302853e-05
0.000000e+00,1.132511e-09,2.749737e-09,1.005683e-08,2.357845e-08,3.482779e-08,8.122476e-08,8.376074e-08,1.665001e-07,1.972480e-07,2.943033e-07,3.968243e-07,4.766050e-07,6.942524e-07,7.153512e-07,1.006718e-06,1.083987e-06,1.346574e-06,1.556986e-06,1.732115e-06,2.107585e-06,2.161339e-06,2.632397e-06,2.731452e-06,3.143199e-06,3.423705e-06,3.691223e-06,4.178139e-06,4.273456e-06,4.886408e-06,4.987076e-06,5.526179e-06,5.841567e-06,6.188554e-06,6.731757e-06,6.869105e-06,7.563305e-06,7.647312e-06,8.266643e-06,8.577867e-06,8.974718e-06,9.513426e-06,9.683325e-06,1.038853e-05,1.044469e-05,1.108673e-05,1.136331e-05,1.177467e-05,1.226201e-05,1.244948e-05,1.310869e-05,1.313471e-05,1.375021e-05,1.397648e-05,1.437231e-05,1.478354e-05,1.497363e-05,1.555313e-05,1.611007e-05,1.628344e-05,1.664398e-05,1.697346e-05,1.715459e-05,1.762279e-05,1.764183e-05,1.810583e-05,1.823162e-05,1.854687e-05,1.880063e-05,1.896534e-05,1.933080e-05,1.936171e-05,1.973657e-05,1.982340e-05,2.009054e-05,2.027990e-05,2.042432e-05,2.070191e-05,2.073862e-05,2.103417e-05,2.109109e-05,2.131171e-05,2.144917e-05,2.157201e-05,2.177788e-05,2.181582e-05,2.204392e-05,2.207900e-05,2.225704e-05,2.235423e-05,2.245589e-05,2.260512e-05,2.264111e-05,2.281336e-05,2.283319e-05,2.297330e-05,2.303992e-05,2.312151e-05,2.322668e-05,2.325860e-05,2.338510e-05,2.339478e-05,2.350156e-05,2.354545e-05,2.360849e-05,2.367986e-05,2.370638e-05,2.379570e-05,2.379911e-05,2.387690e-05,2.390422e-05,2.395039e-05,2.399616e-05,2.401657e-05,2.407582e-05,2.412850e-05,2.414403e-05,2.417497e-05,2.420159e-05,2.421554e-05,2.424923e-05,2.425053e-05,2.428023e-05,2.428764e-05,2.430493e-05,2.431745e-05,2.432488e-05,2.433927e-05,2.434035e-05,2.435156e-05,2.435364e-05,2.435875e-05,2.436110e-05,2.436213e-05,2.436212e-05,2.436191e-05,2.435827e-05,2.435716e-05,2.435142e-05,2.434664e-05,2.434151e-05,2.433095e-05,2.432872e-05,2.431320e-05,2.431048e-05,2.429511e-05,2.428555e-05,2.427458e-05,2.425650e-05,2.425176e-05,2.422676e-05,2.422362e-05,2.419972e-05,2.418720e-05,2.417075e-05,2.414750e-05,2.413995e-05,2.410744e-05,2.410477e-05,2.407331e-05,2.405923e-05,2.403766e-05,2.401110e-05,2.400058e-05,2.396216e-05,2.396059e-05,2.392247e-05,2.390789e-05,2.388160e-05,2.385316e-05,2.383961e-05,2.379659e-05,2.373831e-05,2.367849e-05,2.361726e-05,2.355474e-05,2.349106e-05,2.342632e-05,2.336065e-05,2.329413e-05,2.322686e-05,2.315893e-05,2.309041e-05,2.302140e-05,2.295196e-05,2.288216e-05,2.281206e-05,2.274173e-05,2.267122e-05,2.260059e-05,2.252989e-05,2.245915e-05,2.238844e-05,2.231778e-05,2.224722e-05,2.217679e-05
0.000000e+00,2.767689e-15,2.388647e-14,5.773405e-13,4.673308e-12,1.208439e-11,9.192015e-11,9.882728e-11,4.835926e-10,7.079901e-10,1.712135e-09,3.271183e-09,4.854113e-09,1.096667e-08,1.170923e-08,2.499161e-08,2.953108e-08,4.847373e-08,6.786457e-08,8.707509e-08,1.383524e-07,1.468752e-07,2.350181e-07,2.567383e-07,3.594692e-07,4.413131e-07,5.286097e-07,7.112775e-07,7.506905e-07,1.033216e-06,1.084464e-06,1.382343e-06,1.574926e-06,1.802379e-06,2.190963e-06,2.295440e-06,2.861289e-06,2.933983e-06,3.497348e-06,3.798306e-06,4.198872e-06,4.771794e-06,4.959232e-06,5.770279e-06,5.837081e-06,6.622744e-06,6.973105e-06,7.506642e-06,8.156729e-06,8.411668e-06,9.327541e-06,9.364259e-06,1.024431e-05,1.057274e-05,1.115260e-05,1.176096e-05,1.204379e-05,1.291021e-05,1.374514e-05,1.400471e-05,1.454293e-05,1.503185e-05,1.529898e-05,1.598218e-05,1.600970e-05,1.667252e-05,1.684927e-05,1.728572e-05,1.762945e-05,1.784847e-05,1.832150e-05,1.836062e-05,1.882272e-05,1.892628e-05,1.923581e-05,1.944629e-05,1.960143e-05,1.988540e-05,1.992147e-05,2.019808e-05,2.024840e-05,2.043364e-05,2.054075e-05,2.063067e-05,2.076829e-05,2.079176e-05,2.091951e-05,2.093703e-05,2.101654e-05,2.105296e-05,2.108540e-05,2.112187e-05,2.112857e-05,2.114841e-05,2.114933e-05,2.114718e-05,2.114052e-05,2.112702e-05,2.110026e-05,2.108991e-05,2.103772e-05,2.103294e-05,2.097216e-05,2.094255e-05,2.089481e-05,2.083265e-05,2.080713e-05,2.071044e-05,2.070640e-05,2.060594e-05,2.056662e-05,2.049473e-05,2.041577e-05,2.037777e-05,2.025597e-05,2.013011e-05,2.008910e-05,2.000091e-05,1.991676e-05,1.986899e-05,1.974034e-05,1.973494e-05,1.959925e-05,1.956103e-05,1.946237e-05,1.937984e-05,1.932470e-05,1.919765e-05,1.918659e-05,1.904835e-05,1.901518e-05,1.891025e-05,1.883307e-05,1.877253e-05,1.865182e-05,1.863540e-05,1.849906e-05,1.847189e-05,1.836365e-05,1.829365e-05,1.822932e-05,1.811741e-05,1.809619e-05,1.796438e-05,1.794341e-05,1.783396e-05,1.777188e-05,1.770503e-05,1.760299e-05,1.757764e-05,1.745185e-05,1.743687e-05,1.732772e-05,1.727364e-05,1.720528e-05,1.711338e-05,1.708456e-05,1.696560e-05,1.695615e-05,1.684840e-05,1.680202e-05,1.673299e-05,1.665100e-05,1.661937e-05,1.650755e-05,1.650312e-05,1.639754e-05,1.635838e-05,1.628934e-05,1.621679e-05,1.618293e-05,1.607832e-05,1.594297e-05,1.581070e-05,1.568150e-05,1.555531e-05,1.543211e-05,1.531185e-05,1.519449e-05,1.507999e-05,1.496828e-05,1.485933e-05,1.475308e-05,1.464949e-05,1.454848e-05,1.445002e-05,1.435405e-05,1.426051e-05,1.416936e-05,1.408053e-05,1.399398e-05,1.390964e-05,1.382748e-05,1.374743e-05,1.366945e-05,1.359348e-05
0.000000e+00,1.196599e-13,9.519899e-13,1.945556e-11,1.353746e-10,3.224464e-10,1.991567e-09,2.123466e-09,8.519666e-09,1.183867e-08,2.521178e-08,4.367356e-08,6.095655e-08,1.210810e-07,1.279395e-07,2.419965e-07,2.784285e-07,4.219471e-07,5.587999e-07,6.871274e-07,1.003785e-06,1.053459e-06,1.529910e-06,1.638609e-06,2.117045e-06,2.464024e-06,2.807895e-06,3.459523e-06,3.590251e-06,4.449199e-06,4.592693e-06,5.369162e-06,5.827989e-06,6.335214e-06,7.132022e-06,7.333713e-06,8.352502e-06,8.475597e-06,9.380854e-06,9.833880e-06,1.040932e-05,1.118588e-05,1.142960e-05,1.243444e-05,1.251397e-05,1.341756e-05,1.380349e-05,1.437358e-05,1.504258e-05,1.529802e-05,1.618726e-05,1.622206e-05,1.703849e-05,1.733520e-05,1.784964e-05,1.837761e-05,1.861936e-05,1.934693e-05,2.003216e-05,2.024254e-05,2.067537e-05,2.106527e-05,2.127724e-05,2.181711e-05,2.183881e-05,2.236135e-05,2.250086e-05,2.284633e-05,2.311996e-05,2.329537e-05,2.367821e-05,2.371017e-05,2.409250e-05,2.417962e-05,2.444413e-05,2.462829e-05,2.476682e-05,2.502824e-05,2.506232e-05,2.533232e-05,2.538340e-05,2.557844e-05,2.569750e-05,2.580224e-05,2.597408e-05,2.600522e-05,2.618878e-05,2.621644e-05,2.635426e-05,2.642764e-05,2.650292e-05,2.661053e-05,2.663593e-05,2.675441e-05,2.676770e-05,2.685938e-05,2.690155e-05,2.695183e-05,2.701426e-05,2.703264e-05,2.710266e-05,2.710782e-05,2.716267e-05,2.718404e-05,2.721340e-05,2.724456e-05,2.725552e-05,2.728967e-05,2.729088e-05,2.731643e-05,2.732436e-05,2.733634e-05,2.734622e-05,2.734990e-05,2.735759e-05,2.735985e-05,2.735948e-05,2.735707e-05,2.735282e-05,2.734963e-05,2.733844e-05,2.733789e-05,2.732217e-05,2.731710e-05,2.730278e-05,2.728949e-05,2.727999e-05,2.725625e-05,2.725407e-05,2.722526e-05,2.721794e-05,2.719379e-05,2.717508e-05,2.715987e-05,2.712816e-05,2.712371e-05,2.708548e-05,2.707761e-05,2.704537e-05,2.702381e-05,2.700352e-05,2.696714e-05,2.696009e-05,2.691521e-05,2.690791e-05,2.686903e-05,2.684643e-05,2.682166e-05,2.678299e-05,2.677322e-05,2.672381e-05,2.671782e-05,2.667353e-05,2.665116e-05,2.662248e-05,2.658322e-05,2.657074e-05,2.651840e-05,2.651419e-05,2.646554e-05,2.644426e-05,2.641221e-05,2.637358e-05,2.635850e-05,2.630447e-05,2.630230e-05,2.625016e-05,2.623056e-05,2.619565e-05,2.615848e-05,2.614097e-05,2.608619e-05,2.601377e-05,2.594134e-05,2.586898e-05,2.579676e-05,2.572477e-05,2.565308e-05,2.558173e-05,2.551080e-05,2.544032e-05,2.537035e-05,2.530093e-05,2.523210e-05,2.516390e-05,2.509634e-05,2.502947e-05,2.496331e-05,2.489788e-05,2.483320e-05,2.476929e-05,2.470616e-05,2.464383e-05,2.458230e-05,2.452160e-05,2.446173e-05
0.000000e+00,2.013167e-10,8.861033e-10,6.405189e-09,2.078865e-08,3.460004e-08,9.872990e-08,1.024174e-07,2.268390e-07,2.741207e-07,4.248366e-07,5.862107e-07,7.138991e-07,1.075143e-06,1.111279e-06,1.630184e-06,1.773436e-06,2.274008e-06,2.686685e-06,3.035466e-06,3.793015e-06,3.902141e-06,4.861270e-06,5.063133e-06,5.900978e-06,6.469698e-06,7.009921e-06,7.986720e-06,8.176864e-06,9.390556e-06,9.588335e-06,1.063981e-05,1.124887e-05,1.191373e-05,1.294361e-05,1.320190e-05,1.449465e-05,1.464966e-05,1.578316e-05,1.634671e-05,1.705961e-05,1.801741e-05,1.831718e-05,1.955010e-05,1.964751e-05,2.075355e-05,2.122579e-05,2.192368e-05,2.274380e-05,2.305744e-05,2.415255e-05,2.419552e-05,2.520737e-05,2.557702e-05,2.622085e-05,2.688608e-05,2.719239e-05,2.812183e-05,2.900931e-05,2.928450e-05,2.985525e-05,3.037515e-05,3.066031e-05,3.139546e-05,3.142530e-05,3.215118e-05,3.234755e-05,3.283899e-05,3.323387e-05,3.348986e-05,3.405707e-05,3.410499e-05,3.468557e-05,3.481991e-05,3.523286e-05,3.552525e-05,3.574808e-05,3.617594e-05,3.623248e-05,3.668728e-05,3.677479e-05,3.711369e-05,3.732460e-05,3.751290e-05,3.782807e-05,3.788608e-05,3.823435e-05,3.828784e-05,3.855883e-05,3.870644e-05,3.886058e-05,3.908631e-05,3.914064e-05,3.940001e-05,3.942979e-05,3.963967e-05,3.973912e-05,3.986056e-05,4.001643e-05,4.006357e-05,4.024957e-05,4.026374e-05,4.041941e-05,4.048300e-05,4.057389e-05,4.067603e-05,4.071377e-05,4.083981e-05,4.084458e-05,4.095272e-05,4.099028e-05,4.105317e-05,4.111470e-05,4.114182e-05,4.121931e-05,4.128622e-05,4.130549e-05,4.134314e-05,4.137457e-05,4.139060e-05,4.142778e-05,4.142915e-05,4.145928e-05,4.146627e-05,4.148147e-05,4.149117e-05,4.149618e-05,4.150348e-05,4.150385e-05,4.150489e-05,4.150420e-05,4.149971e-05,4.149423e-05,4.148868e-05,4.147442e-05,4.147216e-05,4.145051e-05,4.144559e-05,4.142405e-05,4.140849e-05,4.139309e-05,4.136384e-05,4.135794e-05,4.131888e-05,4.131228e-05,4.127617e-05,4.125446e-05,4.123008e-05,4.119094e-05,4.118085e-05,4.112872e-05,4.112228e-05,4.107389e-05,4.104897e-05,4.101659e-05,4.097151e-05,4.095702e-05,4.089535e-05,4.089033e-05,4.083178e-05,4.080585e-05,4.076647e-05,4.071846e-05,4.069958e-05,4.063127e-05,4.062851e-05,4.056168e-05,4.053634e-05,4.049094e-05,4.044226e-05,4.041920e-05,4.034657e-05,4.024952e-05,4.015138e-05,4.005237e-05,3.995271e-05,3.985260e-05,3.975222e-05,3.965173e-05,3.955130e-05,3.945106e-05,3.935116e-05,3.925170e-05,3.915280e-05,3.905457e-05,3.895709e-05,3.886044e-05,3.876471e-05,3.866995e-05,3.857624e-05,3.848363e-05,3.839216e-05,3.830189e-05,3.821284e-05,3.812505e-05,3.803855e-05
0.000000e+00,1.677075e-13,1.371243e-12,2.963652e-11,2.166963e-10,5.299738e-10,3.492706e-09,3.733391e-09,1.586282e-08,2.235453e-08,4.914530e-08,8.698410e-08,1.228398e-07,2.487181e-07,2.631131e-07,5.020455e-07,5.780573e-07,8.761795e-07,1.159369e-06,1.424924e-06,2.084526e-06,2.188910e-06,3.208171e-06,3.446008e-06,4.519899e-06,5.328382e-06,6.155712e-06,7.797495e-06,8.138769e-06,1.048141e-05,1.088980e-05,1.318400e-05,1.460616e-05,1.623511e-05,1.891256e-05,1.961291e-05,2.328729e-05,2.374648e-05,2.722218e-05,2.902589e-05,3.137778e-05,3.465805e-05,3.571244e-05,4.018415e-05,4.054656e-05,4.475167e-05,4.659658e-05,4.937543e-05,5.271829e-05,5.401808e-05,5.864497e-05,5.882926e-05,6.322446e-05,6.485589e-05,6.772809e-05,7.073426e-05,7.213072e-05,7.641053e-05,8.054900e-05,8.184086e-05,8.453078e-05,8.699110e-05,8.834359e-05,9.183608e-05,9.197794e-05,9.542699e-05,9.635886e-05,9.868627e-05,1.005497e-04,1.017534e-04,1.044051e-04,1.046280e-04,1.073111e-04,1.079267e-04,1.098051e-04,1.111206e-04,1.121139e-04,1.139960e-04,1.142420e-04,1.161947e-04,1.165648e-04,1.179781e-04,1.188407e-04,1.195986e-04,1.208388e-04,1.210628e-04,1.223778e-04,1.225749e-04,1.235507e-04,1.240652e-04,1.245884e-04,1.253260e-04,1.254980e-04,1.262865e-04,1.263734e-04,1.269609e-04,1.272231e-04,1.275276e-04,1.278904e-04,1.279933e-04,1.283641e-04,1.283899e-04,1.286462e-04,1.287355e-04,1.288454e-04,1.289406e-04,1.289672e-04,1.290169e-04,1.290175e-04,1.289997e-04,1.289781e-04,1.289204e-04,1.288333e-04,1.287835e-04,1.285934e-04,1.283544e-04,1.282681e-04,1.280702e-04,1.278663e-04,1.277445e-04,1.273962e-04,1.273810e-04,1.269828e-04,1.268656e-04,1.265532e-04,1.262814e-04,1.260949e-04,1.256504e-04,1.256107e-04,1.251033e-04,1.249784e-04,1.245751e-04,1.242710e-04,1.240283e-04,1.235334e-04,1.234650e-04,1.228873e-04,1.227702e-04,1.222970e-04,1.219856e-04,1.216958e-04,1.211837e-04,1.210855e-04,1.204674e-04,1.203679e-04,1.198430e-04,1.195414e-04,1.192136e-04,1.187074e-04,1.185805e-04,1.179447e-04,1.178683e-04,1.173074e-04,1.170267e-04,1.166694e-04,1.161847e-04,1.160317e-04,1.153951e-04,1.153443e-04,1.147604e-04,1.145072e-04,1.141283e-04,1.136751e-04,1.134993e-04,1.128742e-04,1.128493e-04,1.122535e-04,1.120311e-04,1.116375e-04,1.112217e-04,1.110269e-04,1.104219e-04,1.096327e-04,1.088548e-04,1.080888e-04,1.073353e-04,1.065947e-04,1.058674e-04,1.051538e-04,1.044540e-04,1.037684e-04,1.030969e-04,1.024397e-04,1.017969e-04,1.011685e-04,1.005543e-04,9.995444e-05,9.936873e-05,9.879710e-05,9.823940e-05,9.769548e-05,9.716516e-05,9.664827e-05,9.614460e-05,9.565395e-05,9.517608e-05
0.000000e+00,2.817320e-11,1.698060e-10,2.036672e-09,9.177268e-09,1.757871e-08,6.599390e-08,6.908607e-08,1.850536e-07,2.335752e-07,3.999564e-07,5.940018e-07,7.570925e-07,1.254741e-06,1.306974e-06,2.092629e-06,2.318648e-06,3.128787e-06,3.813305e-06,4.399526e-06,5.688482e-06,5.875455e-06,7.528885e-06,7.878882e-06,9.338350e-06,1.033528e-05,1.128718e-05,1.302141e-05,1.336107e-05,1.554628e-05,1.590532e-05,1.782876e-05,1.895462e-05,2.019386e-05,2.213522e-05,2.262637e-05,2.511073e-05,2.541160e-05,2.763144e-05,2.874815e-05,3.017336e-05,3.211046e-05,3.272201e-05,3.526392e-05,3.546660e-05,3.778667e-05,3.878785e-05,4.027908e-05,4.204925e-05,4.273130e-05,4.513478e-05,4.522980e-05,4.748226e-05,4.831244e-05,4.976769e-05,5.128380e-05,5.198618e-05,5.413384e-05,5.620778e-05,5.685550e-05,5.820588e-05,5.944420e-05,6.012678e-05,6.189753e-05,6.196975e-05,6.373459e-05,6.421477e-05,6.542158e-05,6.639665e-05,6.703135e-05,6.844499e-05,6.856489e-05,7.002342e-05,7.036246e-05,7.140838e-05,7.215242e-05,7.272139e-05,7.381870e-05,7.396419e-05,7.513860e-05,7.536545e-05,7.624656e-05,7.679709e-05,7.729003e-05,7.811816e-05,7.827100e-05,7.919149e-05,7.933329e-05,8.005351e-05,8.044711e-05,8.085908e-05,8.146422e-05,8.161018e-05,8.230879e-05,8.238919e-05,8.295685e-05,8.322648e-05,8.355628e-05,8.398046e-05,8.410893e-05,8.461665e-05,8.465538e-05,8.508123e-05,8.525537e-05,8.550440e-05,8.578440e-05,8.588787e-05,8.623329e-05,8.624634e-05,8.654227e-05,8.664489e-05,8.681638e-05,8.698362e-05,8.705711e-05,8.726595e-05,8.744431e-05,8.749517e-05,8.759356e-05,8.767443e-05,8.771504e-05,8.780673e-05,8.781004e-05,8.787979e-05,8.789496e-05,8.792550e-05,8.794186e-05,8.794832e-05,8.795006e-05,8.794937e-05,8.792972e-05,8.792205e-05,8.789043e-05,8.786021e-05,8.783247e-05,8.776681e-05,8.775683e-05,8.766442e-05,8.764400e-05,8.755613e-05,8.749384e-05,8.743283e-05,8.731826e-05,8.729534e-05,8.714445e-05,8.711911e-05,8.698092e-05,8.689815e-05,8.680548e-05,8.665703e-05,8.661884e-05,8.642167e-05,8.639733e-05,8.621461e-05,8.612054e-05,8.599830e-05,8.582807e-05,8.577331e-05,8.554023e-05,8.552125e-05,8.529959e-05,8.520134e-05,8.505193e-05,8.486954e-05,8.479774e-05,8.453751e-05,8.452698e-05,8.427168e-05,8.417470e-05,8.400070e-05,8.381371e-05,8.372500e-05,8.344496e-05,8.306932e-05,8.268764e-05,8.230069e-05,8.190923e-05,8.151393e-05,8.111545e-05,8.071440e-05,8.031135e-05,7.990684e-05,7.950135e-05,7.909536e-05,7.868930e-05,7.828358e-05,7.787857e-05,7.747463e-05,7.707209e-05,7.667124e-05,7.627236e-05,7.587571e-05,7.548153e-05,7.509004e-05,7.470145e-05,7.431592e-05,7.393364e-05
0.000000e+00,2.547349e-15,2.209886e-14,5.406638e-13,4.427414e-12,1.152313e-11,8.916874e-11,9.593708e-11,4.777243e-10,7.027583e-10,1.720123e-09,3.318625e-09,4.955704e-09,1.135291e-08,1.213575e-08,2.626499e-08,3.113390e-08,5.159337e-08,7.270687e-08,9.374486e-08,1.503186e-07,1.597688e-07,2.581005e-07,2.824760e-07,3.984168e-07,4.914820e-07,5.913742e-07,8.023693e-07,8.482323e-07,1.180387e-06,1.241265e-06,1.598851e-06,1.833388e-06,2.113739e-06,2.601003e-06,2.733789e-06,3.465973e-06,3.561626e-06,4.315201e-06,4.726713e-06,5.284143e-06,6.100904e-06,6.373149e-06,7.580278e-06,7.681842e-06,8.901409e-06,9.460472e-06,1.033042e-05,1.142173e-05,1.185941e-05,1.347899e-05,1.354551e-05,1.517857e-05,1.580780e-05,1.694663e-05,1.818186e-05,1.877105e-05,2.063938e-05,2.253910e-05,2.315162e-05,2.445787e-05,2.569033e-05,2.638371e-05,2.822858e-05,2.830522e-05,3.021167e-05,3.074140e-05,3.209315e-05,3.320627e-05,3.394065e-05,3.560337e-05,3.574609e-05,3.750236e-05,3.791584e-05,3.920332e-05,4.012973e-05,4.084379e-05,4.223397e-05,4.241952e-05,4.392713e-05,4.422024e-05,4.536408e-05,4.608274e-05,4.672858e-05,4.781797e-05,4.801956e-05,4.923656e-05,4.942441e-05,5.037969e-05,5.090232e-05,5.144956e-05,5.225340e-05,5.244722e-05,5.337406e-05,5.348060e-05,5.423181e-05,5.458783e-05,5.502243e-05,5.557975e-05,5.574812e-05,5.641119e-05,5.646161e-05,5.701412e-05,5.723902e-05,5.755945e-05,5.791788e-05,5.804978e-05,5.848772e-05,5.850418e-05,5.887590e-05,5.900397e-05,5.921693e-05,5.942322e-05,5.951339e-05,5.976779e-05,5.998260e-05,6.004336e-05,6.016019e-05,6.025541e-05,6.030291e-05,6.040915e-05,6.041296e-05,6.049250e-05,6.050959e-05,6.054360e-05,6.056143e-05,6.056822e-05,6.056912e-05,6.056826e-05,6.054549e-05,6.053682e-05,6.050162e-05,6.046845e-05,6.043828e-05,6.036764e-05,6.035698e-05,6.025918e-05,6.023777e-05,6.014625e-05,6.008198e-05,6.001948e-05,5.990319e-05,5.988009e-05,5.972922e-05,5.970409e-05,5.956795e-05,5.948714e-05,5.939729e-05,5.925464e-05,5.921818e-05,5.903153e-05,5.900866e-05,5.883815e-05,5.875114e-05,5.863884e-05,5.848384e-05,5.843432e-05,5.822526e-05,5.820836e-05,5.801231e-05,5.792617e-05,5.779605e-05,5.763861e-05,5.757704e-05,5.735579e-05,5.734690e-05,5.713277e-05,5.705213e-05,5.690842e-05,5.675532e-05,5.668316e-05,5.645735e-05,5.615905e-05,5.586114e-05,5.556429e-05,5.526908e-05,5.497604e-05,5.468563e-05,5.439827e-05,5.411431e-05,5.383408e-05,5.355785e-05,5.328586e-05,5.301832e-05,5.275540e-05,5.249723e-05,5.224395e-05,5.199564e-05,5.175238e-05,5.151423e-05,5.128120e-05,5.105334e-05,5.083064e-05,5.061310e-05,5.040071e-05,5.019343e-05
0.000000e+00,2.098484e-10,1.102643e-09,1.043737e-08,3.980553e-08,7.070793e-08,2.271883e-07,2.365521e-07,5.637158e-07,6.917789e-07,1.108037e-06,1.563293e-06,1.928802e-06,2.983875e-06,3.091033e-06,4.662481e-06,5.107324e-06,6.699208e-06,8.052608e-06,9.221490e-06,1.182131e-05,1.220114e-05,1.557639e-05,1.629269e-05,1.927745e-05,2.130954e-05,2.324164e-05,2.673599e-05,2.741608e-05,3.175526e-05,3.246204e-05,3.621827e-05,3.839321e-05,4.076692e-05,4.444300e-05,4.536483e-05,4.997729e-05,5.053018e-05,5.457144e-05,5.657906e-05,5.911657e-05,6.252066e-05,6.358453e-05,6.795002e-05,6.829415e-05,7.219083e-05,7.384787e-05,7.628793e-05,7.913985e-05,8.022550e-05,8.399083e-05,8.413772e-05,8.757420e-05,8.881823e-05,9.096859e-05,9.316646e-05,9.416953e-05,9.717474e-05,9.998394e-05,1.008417e-04,1.025985e-04,1.041709e-04,1.050212e-04,1.071703e-04,1.072561e-04,1.093081e-04,1.098506e-04,1.111828e-04,1.122251e-04,1.128865e-04,1.143087e-04,1.144260e-04,1.158082e-04,1.161174e-04,1.170404e-04,1.176676e-04,1.181299e-04,1.189763e-04,1.190838e-04,1.199095e-04,1.200599e-04,1.206142e-04,1.209350e-04,1.212047e-04,1.216175e-04,1.216879e-04,1.220703e-04,1.221226e-04,1.223585e-04,1.224651e-04,1.225584e-04,1.226588e-04,1.226760e-04,1.227170e-04,1.227170e-04,1.226866e-04,1.226520e-04,1.225901e-04,1.224755e-04,1.224323e-04,1.222178e-04,1.221983e-04,1.219510e-04,1.218305e-04,1.216360e-04,1.213817e-04,1.212769e-04,1.208774e-04,1.208606e-04,1.204408e-04,1.202752e-04,1.199706e-04,1.196332e-04,1.194698e-04,1.189414e-04,1.183881e-04,1.182063e-04,1.178126e-04,1.174337e-04,1.172172e-04,1.166290e-04,1.166042e-04,1.159757e-04,1.157972e-04,1.153337e-04,1.149429e-04,1.146802e-04,1.140701e-04,1.140167e-04,1.133450e-04,1.131827e-04,1.126665e-04,1.122841e-04,1.119826e-04,1.113774e-04,1.112947e-04,1.106039e-04,1.104655e-04,1.099114e-04,1.095509e-04,1.092182e-04,1.086360e-04,1.085252e-04,1.078334e-04,1.077229e-04,1.071436e-04,1.068134e-04,1.064564e-04,1.059091e-04,1.057727e-04,1.050930e-04,1.050117e-04,1.044179e-04,1.041224e-04,1.037479e-04,1.032424e-04,1.030835e-04,1.024251e-04,1.023727e-04,1.017732e-04,1.015143e-04,1.011280e-04,1.006678e-04,1.004899e-04,9.985917e-05,9.983409e-05,9.923605e-05,9.901363e-05,9.862075e-05,9.820692e-05,9.801348e-05,9.741438e-05,9.663631e-05,9.587300e-05,9.512462e-05,9.439133e-05,9.367321e-05,9.297030e-05,9.228263e-05,9.161014e-05,9.095277e-05,9.031043e-05,8.968299e-05,8.907031e-05,8.847221e-05,8.788853e-05,8.731905e-05,8.676356e-05,8.622185e-05,8.569367e-05,8.517878e-05,8.467694e-05,8.418789e-05,8.371137e-05,8.324712e-05,8.279489e-05
0.000000e+00,2.954319e-09,7.311524e-09,2.727377e-08,6.442498e-08,9.530055e-08,2.214305e-07,2.282579e-07,4.471754e-07,5.268132e-07,7.738468e-07,1.031130e-06,1.231351e-06,1.787945e-06,1.843065e-06,2.628387e-06,2.843919e-06,3.595270e-06,4.213636e-06,4.735749e-06,5.867634e-06,6.030370e-06,7.456363e-06,7.755401e-06,8.992337e-06,9.828092e-06,1.061921e-05,1.204332e-05,1.231967e-05,1.407763e-05,1.436321e-05,1.587789e-05,1.675278e-05,1.770605e-05,1.917958e-05,1.954863e-05,2.139315e-05,2.161407e-05,2.322827e-05,2.403010e-05,2.504387e-05,2.640516e-05,2.683107e-05,2.858229e-05,2.872063e-05,3.029117e-05,3.096166e-05,3.195250e-05,3.311687e-05,3.356217e-05,3.511703e-05,3.517805e-05,3.661478e-05,3.713967e-05,3.805388e-05,3.899849e-05,3.943345e-05,4.075313e-05,4.201307e-05,4.240370e-05,4.321375e-05,4.395146e-05,4.435600e-05,4.539858e-05,4.544089e-05,4.646967e-05,4.674787e-05,4.744378e-05,4.800264e-05,4.836475e-05,4.916652e-05,4.923422e-05,5.005385e-05,5.024333e-05,5.082534e-05,5.123700e-05,5.155043e-05,5.215149e-05,5.223084e-05,5.286829e-05,5.299077e-05,5.346448e-05,5.375875e-05,5.402108e-05,5.445923e-05,5.453974e-05,5.502205e-05,5.509596e-05,5.546959e-05,5.567251e-05,5.588388e-05,5.619237e-05,5.626640e-05,5.661858e-05,5.665886e-05,5.694180e-05,5.707519e-05,5.723742e-05,5.744442e-05,5.750672e-05,5.775096e-05,5.776945e-05,5.797134e-05,5.805308e-05,5.816903e-05,5.829794e-05,5.834514e-05,5.850074e-05,5.850655e-05,5.863687e-05,5.868130e-05,5.875451e-05,5.882444e-05,5.885463e-05,5.893813e-05,5.900589e-05,5.902438e-05,5.905874e-05,5.908513e-05,5.909751e-05,5.912217e-05,5.912294e-05,5.913579e-05,5.913723e-05,5.913676e-05,5.913192e-05,5.912652e-05,5.910776e-05,5.910572e-05,5.907498e-05,5.906619e-05,5.903489e-05,5.900857e-05,5.898602e-05,5.893616e-05,5.892889e-05,5.886403e-05,5.885017e-05,5.879193e-05,5.875173e-05,5.871305e-05,5.864189e-05,5.862785e-05,5.853675e-05,5.852165e-05,5.844015e-05,5.839194e-05,5.833844e-05,5.825364e-05,5.823199e-05,5.812116e-05,5.810758e-05,5.800627e-05,5.795452e-05,5.788765e-05,5.779518e-05,5.776559e-05,5.764039e-05,5.763024e-05,5.751231e-05,5.746034e-05,5.738163e-05,5.728606e-05,5.724858e-05,5.711339e-05,5.710795e-05,5.697630e-05,5.692652e-05,5.683752e-05,5.674227e-05,5.669723e-05,5.655564e-05,5.636703e-05,5.617685e-05,5.598545e-05,5.579317e-05,5.560031e-05,5.540717e-05,5.521401e-05,5.502108e-05,5.482861e-05,5.463680e-05,5.444585e-05,5.425593e-05,5.406722e-05,5.387984e-05,5.369396e-05,5.350967e-05,5.332711e-05,5.314636e-05,5.296752e-05,5.279068e-05,5.261590e-05,5.244326e-05,5.227280e-05,5.210459e-05
0.000000e+00,8.751498e-16,7.750568e-15,1.978434e-13,1.685149e-12,4.483421e-12,3.677308e-11,3.965998e-11,2.097393e-10,3.137681e-10,8.019092e-10,1.603874e-09,2.453377e-09,5.941114e-09,6.381591e-09,1.467539e-08,1.765183e-08,3.063867e-08,4.467626e-08,5.916585e-08,1.000500e-07,1.071071e-07,1.835620e-07,2.032443e-07,3.000356e-07,3.809364e-07,4.704117e-07,6.668626e-07,7.107289e-07,1.038770e-06,1.100654e-06,1.473504e-06,1.725799e-06,2.034435e-06,2.587054e-06,2.740891e-06,3.611325e-06,3.727619e-06,4.662646e-06,5.186430e-06,5.909633e-06,6.995786e-06,7.364432e-06,9.036171e-06,9.179481e-06,1.093070e-05,1.175155e-05,1.305043e-05,1.471562e-05,1.539430e-05,1.795784e-05,1.806485e-05,2.073333e-05,2.178241e-05,2.371003e-05,2.584237e-05,2.687450e-05,3.021092e-05,3.370145e-05,3.484783e-05,3.732667e-05,3.970802e-05,4.106597e-05,4.474314e-05,4.489792e-05,4.880070e-05,4.990318e-05,5.275239e-05,5.513786e-05,5.673134e-05,6.039790e-05,6.071645e-05,6.468747e-05,6.563626e-05,6.862519e-05,7.080899e-05,7.251158e-05,7.587586e-05,7.632996e-05,8.006514e-05,8.080096e-05,8.370342e-05,8.555296e-05,8.723271e-05,9.010535e-05,9.064250e-05,9.392381e-05,9.443638e-05,9.706922e-05,9.852893e-05,1.000727e-04,1.023703e-04,1.029298e-04,1.056372e-04,1.059519e-04,1.081929e-04,1.092690e-04,1.105959e-04,1.123203e-04,1.128466e-04,1.149459e-04,1.151074e-04,1.168958e-04,1.176345e-04,1.186989e-04,1.199081e-04,1.203586e-04,1.218786e-04,1.219366e-04,1.232633e-04,1.237295e-04,1.245173e-04,1.252979e-04,1.256455e-04,1.266532e-04,1.275457e-04,1.278079e-04,1.283285e-04,1.287744e-04,1.290070e-04,1.295654e-04,1.295867e-04,1.300732e-04,1.301935e-04,1.304719e-04,1.306711e-04,1.307880e-04,1.310104e-04,1.310267e-04,1.311932e-04,1.312229e-04,1.312922e-04,1.313199e-04,1.313284e-04,1.313121e-04,1.313065e-04,1.312306e-04,1.312094e-04,1.311051e-04,1.310214e-04,1.309337e-04,1.307571e-04,1.307203e-04,1.304683e-04,1.304247e-04,1.301813e-04,1.300320e-04,1.298623e-04,1.295860e-04,1.295142e-04,1.291400e-04,1.290934e-04,1.287421e-04,1.285603e-04,1.283232e-04,1.279920e-04,1.278854e-04,1.274308e-04,1.273938e-04,1.269616e-04,1.267702e-04,1.264795e-04,1.261254e-04,1.259863e-04,1.254835e-04,1.254632e-04,1.249726e-04,1.247870e-04,1.244551e-04,1.240999e-04,1.239321e-04,1.234047e-04,1.227039e-04,1.219997e-04,1.212942e-04,1.205890e-04,1.198857e-04,1.191858e-04,1.184905e-04,1.178009e-04,1.171178e-04,1.164422e-04,1.157748e-04,1.151161e-04,1.144667e-04,1.138271e-04,1.131976e-04,1.125785e-04,1.119702e-04,1.113727e-04,1.107862e-04,1.102109e-04,1.096469e-04,1.090942e-04,1.085527e-04,1.080225e-04
0.000000e+00,1.337238e-15,1.157910e-14,2.818068e-13,2.295804e-12,5.957771e-12,4.574009e-11,4.919573e-11,2.429569e-10,3.565787e-10,8.676521e-10,1.665830e-09,2.479611e-09,5.639405e-09,6.024524e-09,1.293942e-08,1.531055e-08,2.523023e-08,3.541190e-08,4.551585e-08,7.253556e-08,7.703146e-08,1.235838e-07,1.350683e-07,1.894493e-07,2.328463e-07,2.792077e-07,3.764758e-07,3.975097e-07,5.487907e-07,5.763274e-07,7.369585e-07,8.413241e-07,9.650920e-07,1.177758e-06,1.235190e-06,1.547997e-06,1.588390e-06,1.902925e-06,2.071993e-06,2.298072e-06,2.623405e-06,2.730321e-06,3.195513e-06,3.234007e-06,3.688662e-06,3.892515e-06,4.204192e-06,4.585916e-06,4.736185e-06,5.278612e-06,5.300441e-06,5.825537e-06,6.022429e-06,6.371297e-06,6.739051e-06,6.910644e-06,7.438844e-06,7.951753e-06,8.112061e-06,8.445849e-06,8.750840e-06,8.918250e-06,9.349238e-06,9.366693e-06,9.789510e-06,9.903142e-06,1.018558e-05,1.041011e-05,1.055429e-05,1.086917e-05,1.089545e-05,1.120926e-05,1.128056e-05,1.149624e-05,1.164550e-05,1.175714e-05,1.196595e-05,1.199296e-05,1.220482e-05,1.224443e-05,1.239398e-05,1.248381e-05,1.256175e-05,1.268714e-05,1.270949e-05,1.283856e-05,1.285757e-05,1.295032e-05,1.299821e-05,1.304610e-05,1.311208e-05,1.312717e-05,1.319476e-05,1.320203e-05,1.325003e-05,1.327073e-05,1.329407e-05,1.332067e-05,1.332791e-05,1.335248e-05,1.335407e-05,1.336867e-05,1.337298e-05,1.337729e-05,1.337923e-05,1.337908e-05,1.337471e-05,1.337442e-05,1.336482e-05,1.336001e-05,1.334995e-05,1.333727e-05,1.333063e-05,1.330732e-05,1.328045e-05,1.327115e-05,1.325038e-05,1.322962e-05,1.321746e-05,1.318348e-05,1.318201e-05,1.314431e-05,1.313339e-05,1.310461e-05,1.307992e-05,1.306313e-05,1.302359e-05,1.302009e-05,1.297568e-05,1.296483e-05,1.293005e-05,1.290403e-05,1.288337e-05,1.284153e-05,1.283578e-05,1.278740e-05,1.277763e-05,1.273834e-05,1.271260e-05,1.268872e-05,1.264666e-05,1.263862e-05,1.258814e-05,1.258003e-05,1.253735e-05,1.251288e-05,1.248632e-05,1.244538e-05,1.243513e-05,1.238383e-05,1.237767e-05,1.233248e-05,1.230988e-05,1.228112e-05,1.224211e-05,1.222981e-05,1.217858e-05,1.217449e-05,1.212748e-05,1.210708e-05,1.207654e-05,1.203998e-05,1.202580e-05,1.197528e-05,1.197326e-05,1.192501e-05,1.190698e-05,1.187502e-05,1.184120e-05,1.182534e-05,1.177598e-05,1.171135e-05,1.164735e-05,1.158403e-05,1.152142e-05,1.145953e-05,1.139840e-05,1.133805e-05,1.127850e-05,1.121976e-05,1.116184e-05,1.110475e-05,1.104851e-05,1.099312e-05,1.093858e-05,1.088490e-05,1.083208e-05,1.078012e-05,1.072902e-05,1.067878e-05,1.062939e-05,1.058086e-05,1.053318e-05,1.048633e-05,1.044032e-05
0.000000e+00,1.095538e-12,7.997631e-12,1.375019e-10,8.229171e-10,1.809648e-09,9.180725e-09,9.713524e-09,3.250355e-08,4.308418e-08,8.178928e-08,1.295453e-07,1.708025e-07,2.997960e-07,3.135255e-07,5.241413e-07,5.863227e-07,8.160852e-07,1.019290e-06,1.200119e-06,1.619010e-06,1.682062e-06,2.261749e-06,2.389019e-06,2.933870e-06,3.317122e-06,3.689812e-06,4.382152e-06,4.519394e-06,5.411914e-06,5.559839e-06,6.356627e-06,6.825503e-06,7.342915e-06,8.154871e-06,8.360362e-06,9.398846e-06,9.524412e-06,1.044867e-05,1.091180e-05,1.150070e-05,1.229652e-05,1.254653e-05,1.357862e-05,1.366038e-05,1.459032e-05,1.498799e-05,1.557597e-05,1.626683e-05,1.653087e-05,1.745125e-05,1.748730e-05,1.833418e-05,1.864244e-05,1.917756e-05,1.972771e-05,1.997997e-05,2.074063e-05,2.145929e-05,2.168042e-05,2.213614e-05,2.254762e-05,2.277172e-05,2.334382e-05,2.336687e-05,2.392263e-05,2.407135e-05,2.444023e-05,2.473304e-05,2.492103e-05,2.533210e-05,2.536647e-05,2.577802e-05,2.587192e-05,2.615721e-05,2.635599e-05,2.650556e-05,2.678779e-05,2.682457e-05,2.711573e-05,2.717075e-05,2.738049e-05,2.750820e-05,2.762026e-05,2.780335e-05,2.783640e-05,2.803023e-05,2.805925e-05,2.820300e-05,2.827881e-05,2.835594e-05,2.846477e-05,2.849018e-05,2.860684e-05,2.861971e-05,2.870696e-05,2.874603e-05,2.879154e-05,2.884600e-05,2.886152e-05,2.891780e-05,2.892174e-05,2.896125e-05,2.897521e-05,2.899265e-05,2.900824e-05,2.901278e-05,2.902237e-05,2.902254e-05,2.902209e-05,2.901969e-05,2.901258e-05,2.900117e-05,2.899447e-05,2.896833e-05,2.893470e-05,2.892244e-05,2.889409e-05,2.886467e-05,2.884700e-05,2.879612e-05,2.879388e-05,2.873516e-05,2.871777e-05,2.867125e-05,2.863058e-05,2.860254e-05,2.853538e-05,2.852938e-05,2.845211e-05,2.843299e-05,2.837107e-05,2.832414e-05,2.828654e-05,2.820951e-05,2.819882e-05,2.810818e-05,2.808972e-05,2.801486e-05,2.796536e-05,2.791911e-05,2.783696e-05,2.782114e-05,2.772118e-05,2.770501e-05,2.761942e-05,2.756998e-05,2.751604e-05,2.743229e-05,2.741122e-05,2.730512e-05,2.729232e-05,2.719791e-05,2.715042e-05,2.708972e-05,2.700693e-05,2.698070e-05,2.687096e-05,2.686216e-05,2.676064e-05,2.671637e-05,2.664984e-05,2.656983e-05,2.653867e-05,2.642722e-05,2.642276e-05,2.631561e-05,2.627540e-05,2.620390e-05,2.612792e-05,2.609218e-05,2.598053e-05,2.583337e-05,2.568661e-05,2.554037e-05,2.539480e-05,2.525000e-05,2.510607e-05,2.496312e-05,2.482122e-05,2.468046e-05,2.454090e-05,2.440261e-05,2.426564e-05,2.413005e-05,2.399587e-05,2.386315e-05,2.373191e-05,2.360219e-05,2.347402e-05,2.334741e-05,2.322238e-05,2.309895e-05,2.297714e-05,2.285693e-05,2.273836e-05
0.000000e+00,3.563126e-09,8.212382e-09,2.854245e-08,6.564979e-08,9.649506e-08,2.247039e-07,2.317657e-07,4.651040e-07,5.531739e-07,8.358656e-07,1.142835e-06,1.388138e-06,2.084417e-06,2.153703e-06,3.129780e-06,3.391869e-06,4.282137e-06,4.989061e-06,5.570277e-06,6.790462e-06,6.962131e-06,8.434617e-06,8.737189e-06,9.970289e-06,1.078894e-05,1.155471e-05,1.291388e-05,1.317505e-05,1.481944e-05,1.508402e-05,1.647686e-05,1.727403e-05,1.813714e-05,1.946120e-05,1.979107e-05,2.143042e-05,2.162581e-05,2.304805e-05,2.375132e-05,2.463786e-05,2.582432e-05,2.619474e-05,2.771454e-05,2.783442e-05,2.919397e-05,2.977384e-05,3.063048e-05,3.163713e-05,3.202221e-05,3.336784e-05,3.342069e-05,3.466655e-05,3.512251e-05,3.591793e-05,3.674177e-05,3.712188e-05,3.827862e-05,3.938854e-05,3.973392e-05,4.045225e-05,4.110911e-05,4.147049e-05,4.240601e-05,4.244411e-05,4.337405e-05,4.362674e-05,4.426131e-05,4.477362e-05,4.510695e-05,4.584911e-05,4.591205e-05,4.667774e-05,4.685576e-05,4.740513e-05,4.779617e-05,4.809537e-05,4.867295e-05,4.874959e-05,4.936892e-05,4.948870e-05,4.995448e-05,5.024599e-05,5.050738e-05,5.094738e-05,5.102872e-05,5.151956e-05,5.159534e-05,5.198098e-05,5.219231e-05,5.241400e-05,5.274066e-05,5.281965e-05,5.319891e-05,5.324269e-05,5.355275e-05,5.370063e-05,5.388212e-05,5.411665e-05,5.418795e-05,5.447112e-05,5.449282e-05,5.473251e-05,5.483116e-05,5.497297e-05,5.513361e-05,5.519333e-05,5.539438e-05,5.540203e-05,5.557690e-05,5.563822e-05,5.574165e-05,5.584390e-05,5.588936e-05,5.602072e-05,5.613644e-05,5.617027e-05,5.623716e-05,5.629405e-05,5.632354e-05,5.639353e-05,5.639618e-05,5.645571e-05,5.647010e-05,5.650268e-05,5.652507e-05,5.653767e-05,5.655973e-05,5.656120e-05,5.657382e-05,5.657528e-05,5.657601e-05,5.657287e-05,5.656828e-05,5.655362e-05,5.655107e-05,5.652486e-05,5.651857e-05,5.649006e-05,5.646872e-05,5.644711e-05,5.640503e-05,5.639641e-05,5.633835e-05,5.632841e-05,5.627331e-05,5.623971e-05,5.620164e-05,5.613977e-05,5.612369e-05,5.603981e-05,5.602936e-05,5.595030e-05,5.590922e-05,5.585549e-05,5.578006e-05,5.575566e-05,5.565112e-05,5.564256e-05,5.554212e-05,5.549734e-05,5.542894e-05,5.534500e-05,5.531183e-05,5.519103e-05,5.518613e-05,5.506678e-05,5.502125e-05,5.493931e-05,5.485089e-05,5.480882e-05,5.467553e-05,5.449563e-05,5.431162e-05,5.412392e-05,5.393292e-05,5.373898e-05,5.354244e-05,5.334365e-05,5.314289e-05,5.294048e-05,5.273667e-05,5.253173e-05,5.232590e-05,5.211941e-05,5.191247e-05,5.170529e-05,5.149805e-05,5.129093e-05,5.108409e-05,5.087769e-05,5.067187e-05,5.046677e-05,5.026252e-05,5.005923e-05,4.985700e-05
0.000000e+00,8.017558e-10,2.486314e-09,1.169060e-08,3.060229e-08,4.695443e-08,1.158244e-07,1.195984e-07,2.413161e-07,2.856549e-07,4.226684e-07,5.641130e-07,6.731899e-07,9.720727e-07,1.001364e-06,1.414399e-06,1.526805e-06,1.917721e-06,2.240193e-06,2.514098e-06,3.115151e-06,3.202464e-06,3.976910e-06,4.141257e-06,4.826712e-06,5.293795e-06,5.737820e-06,6.539429e-06,6.695079e-06,7.684016e-06,7.844296e-06,8.691673e-06,9.178623e-06,9.706770e-06,1.051763e-05,1.071960e-05,1.172186e-05,1.184108e-05,1.270652e-05,1.313263e-05,1.366768e-05,1.437945e-05,1.460053e-05,1.550120e-05,1.557177e-05,1.636674e-05,1.670261e-05,1.719497e-05,1.776735e-05,1.798443e-05,1.873426e-05,1.876342e-05,1.944410e-05,1.968985e-05,2.011403e-05,2.054702e-05,2.074452e-05,2.133628e-05,2.189027e-05,2.205975e-05,2.240761e-05,2.272006e-05,2.288957e-05,2.332020e-05,2.333748e-05,2.375274e-05,2.386336e-05,2.413679e-05,2.435284e-05,2.449107e-05,2.479194e-05,2.481701e-05,2.511603e-05,2.518395e-05,2.538953e-05,2.553204e-05,2.563884e-05,2.583928e-05,2.586528e-05,2.607011e-05,2.610859e-05,2.625454e-05,2.634278e-05,2.641974e-05,2.654446e-05,2.656682e-05,2.669684e-05,2.671613e-05,2.681081e-05,2.686010e-05,2.690970e-05,2.697857e-05,2.699442e-05,2.706584e-05,2.707356e-05,2.712479e-05,2.714698e-05,2.717205e-05,2.720061e-05,2.720836e-05,2.723442e-05,2.723608e-05,2.725089e-05,2.725494e-05,2.725840e-05,2.725859e-05,2.725754e-05,2.724888e-05,2.724837e-05,2.723293e-05,2.722550e-05,2.721020e-05,2.719111e-05,2.718116e-05,2.714626e-05,2.710591e-05,2.709191e-05,2.706051e-05,2.702897e-05,2.701043e-05,2.695827e-05,2.695602e-05,2.689761e-05,2.688059e-05,2.683553e-05,2.679663e-05,2.677005e-05,2.670705e-05,2.670145e-05,2.663000e-05,2.661246e-05,2.655595e-05,2.651342e-05,2.647951e-05,2.641045e-05,2.640092e-05,2.632036e-05,2.630403e-05,2.623804e-05,2.619460e-05,2.615414e-05,2.608256e-05,2.606882e-05,2.598224e-05,2.596828e-05,2.589456e-05,2.585212e-05,2.580591e-05,2.573438e-05,2.571642e-05,2.562623e-05,2.561536e-05,2.553544e-05,2.549533e-05,2.544416e-05,2.537453e-05,2.535250e-05,2.526055e-05,2.525319e-05,2.516840e-05,2.513151e-05,2.507614e-05,2.500968e-05,2.498384e-05,2.489157e-05,2.488788e-05,2.479940e-05,2.476626e-05,2.470741e-05,2.464497e-05,2.461563e-05,2.452414e-05,2.440389e-05,2.428433e-05,2.416555e-05,2.404765e-05,2.393070e-05,2.381478e-05,2.369995e-05,2.358628e-05,2.347380e-05,2.336258e-05,2.325264e-05,2.314403e-05,2.303677e-05,2.293089e-05,2.282642e-05,2.272336e-05,2.262175e-05,2.252158e-05,2.242287e-05,2.232563e-05,2.222986e-05,2.213556e-05,2.204273e-05,2.195137e-05
0.000000e+00,4.340708e-09,1.089692e-08,4.120551e-08,9.796150e-08,1.453482e-07,3.408233e-07,3.514915e-07,6.982836e-07,8.266612e-07,1.231900e-06,1.663975e-06,2.006031e-06,2.974233e-06,3.070905e-06,4.447090e-06,4.821557e-06,6.107334e-06,7.140128e-06,7.994612e-06,9.797687e-06,1.005194e-05,1.223437e-05,1.268272e-05,1.450774e-05,1.571656e-05,1.684467e-05,1.883953e-05,1.922164e-05,2.161745e-05,2.200121e-05,2.401259e-05,2.515668e-05,2.638909e-05,2.826588e-05,2.873068e-05,3.102287e-05,3.129400e-05,3.325310e-05,3.421198e-05,3.541080e-05,3.699679e-05,3.748739e-05,3.947617e-05,3.963132e-05,4.137224e-05,4.210393e-05,4.317231e-05,4.440779e-05,4.487445e-05,4.647789e-05,4.653998e-05,4.798305e-05,4.850108e-05,4.939125e-05,5.029443e-05,5.070447e-05,5.192528e-05,5.305665e-05,5.340033e-05,5.410186e-05,5.472719e-05,5.506442e-05,5.591407e-05,5.594794e-05,5.675615e-05,5.696946e-05,5.749277e-05,5.790192e-05,5.816150e-05,5.871989e-05,5.876597e-05,5.930976e-05,5.943162e-05,5.979631e-05,6.004504e-05,6.022898e-05,6.056772e-05,6.061099e-05,6.094541e-05,6.100685e-05,6.123521e-05,6.136921e-05,6.148320e-05,6.166117e-05,6.169207e-05,6.186437e-05,6.188871e-05,6.200253e-05,6.205740e-05,6.210884e-05,6.217241e-05,6.218547e-05,6.223447e-05,6.223859e-05,6.225779e-05,6.226039e-05,6.225726e-05,6.224197e-05,6.223460e-05,6.219145e-05,6.218716e-05,6.212934e-05,6.209951e-05,6.204971e-05,6.198230e-05,6.195392e-05,6.184325e-05,6.183853e-05,6.171890e-05,6.167100e-05,6.158199e-05,6.148227e-05,6.143359e-05,6.127470e-05,6.110623e-05,6.105045e-05,6.092907e-05,6.081151e-05,6.074404e-05,6.055972e-05,6.055191e-05,6.035339e-05,6.029675e-05,6.014916e-05,6.002414e-05,5.993985e-05,5.974330e-05,5.972604e-05,5.950830e-05,5.945551e-05,5.928712e-05,5.916195e-05,5.906300e-05,5.886369e-05,5.883638e-05,5.860767e-05,5.856172e-05,5.837728e-05,5.825692e-05,5.814555e-05,5.795012e-05,5.791283e-05,5.767943e-05,5.764204e-05,5.744564e-05,5.733336e-05,5.721173e-05,5.702469e-05,5.697796e-05,5.674455e-05,5.671657e-05,5.651172e-05,5.640951e-05,5.627966e-05,5.610394e-05,5.604857e-05,5.581861e-05,5.580027e-05,5.558993e-05,5.549886e-05,5.536269e-05,5.520003e-05,5.513700e-05,5.491299e-05,5.490406e-05,5.469077e-05,5.461122e-05,5.447043e-05,5.432173e-05,5.425208e-05,5.403578e-05,5.375355e-05,5.347518e-05,5.320081e-05,5.293054e-05,5.266447e-05,5.240268e-05,5.214522e-05,5.189214e-05,5.164348e-05,5.139926e-05,5.115950e-05,5.092421e-05,5.069337e-05,5.046699e-05,5.024504e-05,5.002750e-05,4.981435e-05,4.960554e-05,4.940104e-05,4.920081e-05,4.900481e-05,4.881298e-05,4.862528e-05,4.844165e-05
0.000000e+00,1.600675e-09,4.832686e-09,2.217523e-08,5.765841e-08,8.842073e-08,2.192648e-07,2.264961e-07,4.629600e-07,5.505874e-07,8.259647e-07,1.116736e-06,1.344696e-06,1.980381e-06,2.043208e-06,2.930824e-06,3.171662e-06,4.003290e-06,4.681519e-06,5.252328e-06,6.491224e-06,6.669988e-06,8.248270e-06,8.582426e-06,9.978050e-06,1.093389e-05,1.184852e-05,1.351932e-05,1.384715e-05,1.595991e-05,1.630754e-05,1.817168e-05,1.926389e-05,2.046674e-05,2.235211e-05,2.282925e-05,2.524363e-05,2.553612e-05,2.769497e-05,2.878162e-05,3.016926e-05,3.205711e-05,3.265364e-05,3.513643e-05,3.533466e-05,3.760724e-05,3.859014e-05,4.005698e-05,4.180327e-05,4.247776e-05,4.486287e-05,4.495745e-05,4.720666e-05,4.803938e-05,4.950446e-05,5.103872e-05,5.175246e-05,5.394763e-05,5.608761e-05,5.676045e-05,5.817063e-05,5.947326e-05,6.019541e-05,6.208363e-05,6.216111e-05,6.406726e-05,6.459028e-05,6.591369e-05,6.699290e-05,6.770048e-05,6.929193e-05,6.942795e-05,7.109659e-05,7.148838e-05,7.270705e-05,7.358377e-05,7.426008e-05,7.557994e-05,7.575656e-05,7.719743e-05,7.747902e-05,7.858371e-05,7.928335e-05,7.991646e-05,8.099543e-05,8.119681e-05,8.242587e-05,8.261784e-05,8.360483e-05,8.415327e-05,8.473485e-05,8.560444e-05,8.581713e-05,8.685287e-05,8.697409e-05,8.784326e-05,8.826497e-05,8.878949e-05,8.947982e-05,8.969275e-05,9.055421e-05,9.062136e-05,9.137506e-05,9.169228e-05,9.215643e-05,9.269522e-05,9.289947e-05,9.360530e-05,9.363278e-05,9.427503e-05,9.450751e-05,9.490975e-05,9.532191e-05,9.551053e-05,9.607842e-05,9.661444e-05,9.677941e-05,9.711962e-05,9.742719e-05,9.759493e-05,9.802403e-05,9.804134e-05,9.845980e-05,9.857209e-05,9.885124e-05,9.907351e-05,9.921656e-05,9.953035e-05,9.955664e-05,9.987235e-05,9.994459e-05,1.001645e-04,1.003182e-04,1.004340e-04,1.006529e-04,1.006815e-04,1.009079e-04,1.009507e-04,1.011139e-04,1.012132e-04,1.013003e-04,1.014422e-04,1.014677e-04,1.016169e-04,1.016391e-04,1.017486e-04,1.018057e-04,1.018633e-04,1.019434e-04,1.019618e-04,1.020447e-04,1.020536e-04,1.021126e-04,1.021378e-04,1.021660e-04,1.021973e-04,1.022055e-04,1.022318e-04,1.022333e-04,1.022453e-04,1.022472e-04,1.022465e-04,1.022401e-04,1.022360e-04,1.022142e-04,1.022131e-04,1.021816e-04,1.021674e-04,1.021388e-04,1.021039e-04,1.020860e-04,1.020238e-04,1.019280e-04,1.018173e-04,1.016928e-04,1.015552e-04,1.014053e-04,1.012440e-04,1.010719e-04,1.008899e-04,1.006985e-04,1.004984e-04,1.002903e-04,1.000747e-04,9.985225e-05,9.962341e-05,9.938872e-05,9.914868e-05,9.890375e-05,9.865438e-05,9.840099e-05,9.814399e-05,9.788376e-05,9.762065e-05,9.735503e-05,9.708722e-05
0.000000e+00,1.515927e-11,9.754519e-11,1.312424e-09,6.410284e-09,1.271484e-08,5.078451e-08,5.325535e-08,1.461759e-07,1.847368e-07,3.145082e-07,4.611049e-07,5.809038e-07,9.326287e-07,9.686694e-07,1.500232e-06,1.651084e-06,2.189282e-06,2.642331e-06,3.028571e-06,3.866402e-06,3.986078e-06,5.016617e-06,5.227574e-06,6.077628e-06,6.630355e-06,7.137221e-06,8.010351e-06,8.174084e-06,9.174333e-06,9.330302e-06,1.012856e-05,1.056818e-05,1.102999e-05,1.170973e-05,1.187366e-05,1.265606e-05,1.274571e-05,1.337501e-05,1.367098e-05,1.402963e-05,1.448425e-05,1.462020e-05,1.514808e-05,1.518766e-05,1.561551e-05,1.578619e-05,1.602544e-05,1.628693e-05,1.638136e-05,1.668707e-05,1.669831e-05,1.694656e-05,1.702943e-05,1.716385e-05,1.728955e-05,1.734293e-05,1.748760e-05,1.760147e-05,1.763197e-05,1.768792e-05,1.773030e-05,1.775005e-05,1.778944e-05,1.779069e-05,1.781239e-05,1.781540e-05,1.781746e-05,1.781337e-05,1.780794e-05,1.778786e-05,1.778565e-05,1.775222e-05,1.774270e-05,1.770907e-05,1.768114e-05,1.765746e-05,1.760593e-05,1.759850e-05,1.753318e-05,1.751943e-05,1.746236e-05,1.742361e-05,1.738679e-05,1.732014e-05,1.730715e-05,1.722401e-05,1.721042e-05,1.713788e-05,1.709562e-05,1.704923e-05,1.697677e-05,1.695846e-05,1.686594e-05,1.685473e-05,1.677198e-05,1.673025e-05,1.667686e-05,1.660394e-05,1.658083e-05,1.648412e-05,1.647636e-05,1.638693e-05,1.634796e-05,1.628945e-05,1.621917e-05,1.619183e-05,1.609422e-05,1.609032e-05,1.599675e-05,1.596172e-05,1.589953e-05,1.583363e-05,1.580268e-05,1.570628e-05,1.561042e-05,1.557987e-05,1.551518e-05,1.545458e-05,1.542062e-05,1.533055e-05,1.532681e-05,1.523380e-05,1.520791e-05,1.514164e-05,1.508676e-05,1.505036e-05,1.496721e-05,1.496002e-05,1.487064e-05,1.484933e-05,1.478225e-05,1.473320e-05,1.469488e-05,1.461886e-05,1.460855e-05,1.452328e-05,1.450636e-05,1.443909e-05,1.439574e-05,1.435598e-05,1.428702e-05,1.427398e-05,1.419308e-05,1.418024e-05,1.411331e-05,1.407541e-05,1.403465e-05,1.397253e-05,1.395712e-05,1.388071e-05,1.387162e-05,1.380543e-05,1.377266e-05,1.373127e-05,1.367567e-05,1.365824e-05,1.358633e-05,1.358062e-05,1.351552e-05,1.348752e-05,1.344583e-05,1.339634e-05,1.337724e-05,1.330974e-05,1.330707e-05,1.324334e-05,1.321969e-05,1.317800e-05,1.313419e-05,1.311374e-05,1.305054e-05,1.296871e-05,1.288869e-05,1.281044e-05,1.273394e-05,1.265917e-05,1.258609e-05,1.251468e-05,1.244491e-05,1.237674e-05,1.231015e-05,1.224511e-05,1.218158e-05,1.211955e-05,1.205897e-05,1.199982e-05,1.194207e-05,1.188569e-05,1.183065e-05,1.177693e-05,1.172448e-05,1.167329e-05,1.162333e-05,1.157457e-05,1.152698e-05
0.000000e+00,6.758995e-10,2.061682e-09,9.512643e-09,2.466544e-08,3.770742e-08,9.244740e-08,9.544399e-08,1.921507e-07,2.274496e-07,3.368815e-07,4.504811e-07,5.385407e-07,7.818248e-07,8.058169e-07,1.146652e-06,1.240128e-06,1.567021e-06,1.838152e-06,2.068945e-06,2.575024e-06,2.648340e-06,3.294379e-06,3.430265e-06,3.991610e-06,4.368888e-06,4.723570e-06,5.354379e-06,5.475497e-06,6.235260e-06,6.356872e-06,6.993172e-06,7.353982e-06,7.741509e-06,8.329071e-06,8.474064e-06,9.185841e-06,9.269659e-06,9.872853e-06,1.016646e-05,1.053200e-05,1.101285e-05,1.116095e-05,1.175808e-05,1.180444e-05,1.232237e-05,1.253876e-05,1.285332e-05,1.321493e-05,1.335091e-05,1.381546e-05,1.383336e-05,1.424761e-05,1.439543e-05,1.464826e-05,1.490324e-05,1.501847e-05,1.535943e-05,1.567243e-05,1.576691e-05,1.595884e-05,1.612880e-05,1.622001e-05,1.644827e-05,1.645732e-05,1.667215e-05,1.672845e-05,1.686582e-05,1.697241e-05,1.703964e-05,1.718308e-05,1.719484e-05,1.733262e-05,1.736323e-05,1.745414e-05,1.751548e-05,1.756046e-05,1.764227e-05,1.765262e-05,1.773158e-05,1.774587e-05,1.779827e-05,1.782838e-05,1.785353e-05,1.789172e-05,1.789818e-05,1.793298e-05,1.793768e-05,1.795862e-05,1.796788e-05,1.797579e-05,1.798383e-05,1.798509e-05,1.798712e-05,1.798690e-05,1.798240e-05,1.797832e-05,1.797146e-05,1.795926e-05,1.795476e-05,1.793274e-05,1.793076e-05,1.790582e-05,1.789377e-05,1.787439e-05,1.784916e-05,1.783880e-05,1.779938e-05,1.779773e-05,1.775646e-05,1.774021e-05,1.771032e-05,1.767725e-05,1.766123e-05,1.760946e-05,1.755522e-05,1.753739e-05,1.749876e-05,1.746154e-05,1.744026e-05,1.738238e-05,1.737993e-05,1.731794e-05,1.730031e-05,1.725446e-05,1.721572e-05,1.718965e-05,1.712896e-05,1.712364e-05,1.705658e-05,1.704035e-05,1.698860e-05,1.695016e-05,1.691980e-05,1.685868e-05,1.685030e-05,1.678021e-05,1.676613e-05,1.670961e-05,1.667273e-05,1.663860e-05,1.657869e-05,1.656725e-05,1.649565e-05,1.648418e-05,1.642387e-05,1.638937e-05,1.635197e-05,1.629441e-05,1.628001e-05,1.620806e-05,1.619943e-05,1.613616e-05,1.610456e-05,1.606437e-05,1.600991e-05,1.599273e-05,1.592129e-05,1.591558e-05,1.585008e-05,1.582167e-05,1.577914e-05,1.572825e-05,1.570851e-05,1.563821e-05,1.563541e-05,1.556829e-05,1.554321e-05,1.549875e-05,1.545170e-05,1.542963e-05,1.536095e-05,1.527100e-05,1.518190e-05,1.509369e-05,1.500639e-05,1.492004e-05,1.483467e-05,1.475030e-05,1.466694e-05,1.458462e-05,1.450335e-05,1.442313e-05,1.434399e-05,1.426592e-05,1.418893e-05,1.411303e-05,1.403822e-05,1.396449e-05,1.389185e-05,1.382029e-05,1.374981e-05,1.368041e-05,1.361208e-05,1.354482e-05,1.347861e-05
0.000000e+00,1.157307e-11,7.805895e-11,1.149999e-09,6.050426e-09,1.245863e-08,5.422312e-08,5.704208e-08,1.679653e-07,2.158752e-07,3.818930e-07,5.753688e-07,7.366476e-07,1.221309e-06,1.271717e-06,2.028196e-06,2.247081e-06,3.043449e-06,3.733892e-06,4.338310e-06,5.703763e-06,5.905204e-06,7.709949e-06,8.095359e-06,9.705635e-06,1.080331e-05,1.184624e-05,1.372767e-05,1.409289e-05,1.641407e-05,1.679057e-05,1.878362e-05,1.993135e-05,2.117855e-05,2.309851e-05,2.357772e-05,2.596128e-05,2.624536e-05,2.831055e-05,2.932885e-05,3.060821e-05,3.231018e-05,3.283854e-05,3.498769e-05,3.515575e-05,3.704390e-05,3.783813e-05,3.899755e-05,4.033644e-05,4.084126e-05,4.256976e-05,4.263645e-05,4.417983e-05,4.473014e-05,4.567007e-05,4.661505e-05,4.704072e-05,4.829342e-05,4.943098e-05,4.977126e-05,5.045713e-05,5.105746e-05,5.137638e-05,5.216300e-05,5.219381e-05,5.291481e-05,5.310019e-05,5.354507e-05,5.388205e-05,5.409033e-05,5.452189e-05,5.455640e-05,5.494894e-05,5.503282e-05,5.527349e-05,5.542754e-05,5.553540e-05,5.571812e-05,5.573977e-05,5.589146e-05,5.591588e-05,5.599502e-05,5.603129e-05,5.605475e-05,5.607400e-05,5.607467e-05,5.605851e-05,5.605280e-05,5.600971e-05,5.597564e-05,5.593146e-05,5.584963e-05,5.582669e-05,5.569809e-05,5.568118e-05,5.554814e-05,5.547600e-05,5.537912e-05,5.523920e-05,5.519311e-05,5.499199e-05,5.497530e-05,5.477749e-05,5.468830e-05,5.455119e-05,5.438176e-05,5.431453e-05,5.406882e-05,5.405882e-05,5.381526e-05,5.372226e-05,5.355492e-05,5.337452e-05,5.328878e-05,5.301774e-05,5.274263e-05,5.265385e-05,5.246418e-05,5.228452e-05,5.218305e-05,5.191123e-05,5.189987e-05,5.161518e-05,5.153526e-05,5.132948e-05,5.115776e-05,5.104322e-05,5.077974e-05,5.075683e-05,5.047067e-05,5.040207e-05,5.018508e-05,5.002552e-05,4.990037e-05,4.965076e-05,4.961680e-05,4.933464e-05,4.927839e-05,4.905409e-05,4.890892e-05,4.877538e-05,4.854279e-05,4.849866e-05,4.822412e-05,4.818040e-05,4.795188e-05,4.782207e-05,4.768209e-05,4.746809e-05,4.741485e-05,4.715028e-05,4.711871e-05,4.688845e-05,4.677413e-05,4.662944e-05,4.643453e-05,4.637333e-05,4.612017e-05,4.610005e-05,4.587002e-05,4.577081e-05,4.562291e-05,4.544690e-05,4.537888e-05,4.513797e-05,4.512839e-05,4.490018e-05,4.481535e-05,4.466555e-05,4.450780e-05,4.443408e-05,4.420578e-05,4.390928e-05,4.361831e-05,4.333286e-05,4.305289e-05,4.277839e-05,4.250930e-05,4.224560e-05,4.198722e-05,4.173410e-05,4.148620e-05,4.124345e-05,4.100577e-05,4.077310e-05,4.054537e-05,4.032250e-05,4.010441e-05,3.989104e-05,3.968229e-05,3.947809e-05,3.927837e-05,3.908303e-05,3.889200e-05,3.870520e-05,3.852254e-05
0.000000e+00,4.459199e-11,2.556907e-10,2.806078e-09,1.184596e-08,2.201456e-08,7.756520e-08,8.102048e-08,2.070242e-07,2.584385e-07,4.313597e-07,6.283343e-07,7.908291e-07,1.272114e-06,1.321471e-06,2.041382e-06,2.241729e-06,2.940816e-06,3.513309e-06,3.993592e-06,5.025231e-06,5.172590e-06,6.455435e-06,6.722795e-06,7.823655e-06,8.563344e-06,9.260721e-06,1.050954e-05,1.075090e-05,1.227892e-05,1.252592e-05,1.383004e-05,1.457866e-05,1.539035e-05,1.663659e-05,1.694708e-05,1.848883e-05,1.867234e-05,2.000569e-05,2.066303e-05,2.148935e-05,2.259046e-05,2.293297e-05,2.433128e-05,2.444106e-05,2.568028e-05,2.620541e-05,2.697714e-05,2.787754e-05,2.822005e-05,2.940804e-05,2.945441e-05,3.054083e-05,3.093516e-05,3.161871e-05,3.232069e-05,3.264247e-05,3.361320e-05,3.453217e-05,3.481556e-05,3.540095e-05,3.593139e-05,3.622118e-05,3.696454e-05,3.699460e-05,3.772308e-05,3.791925e-05,3.840844e-05,3.879970e-05,3.905247e-05,3.961007e-05,3.965702e-05,4.022388e-05,4.035451e-05,4.075476e-05,4.103697e-05,4.125135e-05,4.166131e-05,4.171532e-05,4.214824e-05,4.223123e-05,4.255163e-05,4.275022e-05,4.292697e-05,4.322160e-05,4.327565e-05,4.359904e-05,4.364852e-05,4.389840e-05,4.403393e-05,4.417498e-05,4.438063e-05,4.442995e-05,4.466443e-05,4.469124e-05,4.487949e-05,4.496823e-05,4.507615e-05,4.521390e-05,4.525537e-05,4.541809e-05,4.543042e-05,4.556518e-05,4.561983e-05,4.569748e-05,4.578402e-05,4.581578e-05,4.592084e-05,4.592477e-05,4.601337e-05,4.604375e-05,4.609406e-05,4.614250e-05,4.616356e-05,4.622249e-05,4.627142e-05,4.628507e-05,4.631093e-05,4.633150e-05,4.634152e-05,4.636298e-05,4.636371e-05,4.637798e-05,4.638061e-05,4.638477e-05,4.638544e-05,4.638452e-05,4.637841e-05,4.637763e-05,4.636449e-05,4.636044e-05,4.634547e-05,4.633238e-05,4.632091e-05,4.629500e-05,4.629116e-05,4.625652e-05,4.624904e-05,4.621730e-05,4.619519e-05,4.617377e-05,4.613408e-05,4.612621e-05,4.607487e-05,4.606633e-05,4.602000e-05,4.599248e-05,4.596182e-05,4.591305e-05,4.590056e-05,4.583642e-05,4.582854e-05,4.576960e-05,4.573940e-05,4.570029e-05,4.564606e-05,4.562866e-05,4.555489e-05,4.554890e-05,4.547913e-05,4.544831e-05,4.540154e-05,4.534462e-05,4.532226e-05,4.524142e-05,4.523816e-05,4.515916e-05,4.512923e-05,4.507561e-05,4.501811e-05,4.499087e-05,4.490506e-05,4.479033e-05,4.467415e-05,4.455673e-05,4.443826e-05,4.431893e-05,4.419892e-05,4.407838e-05,4.395746e-05,4.383631e-05,4.371505e-05,4.359380e-05,4.347267e-05,4.335177e-05,4.323119e-05,4.311103e-05,4.299136e-05,4.287226e-05,4.275380e-05,4.263605e-05,4.251907e-05,4.240290e-05,4.228761e-05,4.217324e-05,4.205982e-05
0.000000e+00,2.647853e-12,1.983526e-11,3.590342e-10,2.246159e-09,5.055752e-09,2.714253e-08,2.878089e-08,1.013639e-07,1.361387e-07,2.667880e-07,4.330723e-07,5.799495e-07,1.052891e-06,1.104220e-06,1.909753e-06,2.153077e-06,3.069345e-06,3.898495e-06,4.648542e-06,6.421863e-06,6.692496e-06,9.217541e-06,9.779696e-06,1.221241e-05,1.394571e-05,1.564632e-05,1.884017e-05,1.947818e-05,2.366339e-05,2.436281e-05,2.815714e-05,3.041081e-05,3.291556e-05,3.688402e-05,3.789577e-05,4.305563e-05,4.368490e-05,4.835365e-05,5.071805e-05,5.374926e-05,5.789096e-05,5.920318e-05,6.467797e-05,6.511579e-05,7.013852e-05,7.231142e-05,7.555253e-05,7.940530e-05,8.089085e-05,8.612770e-05,8.633474e-05,9.124081e-05,9.304750e-05,9.621133e-05,9.950178e-05,1.010237e-04,1.056657e-04,1.101277e-04,1.115163e-04,1.144028e-04,1.170386e-04,1.184865e-04,1.222243e-04,1.223761e-04,1.260709e-04,1.270706e-04,1.295716e-04,1.315795e-04,1.328800e-04,1.357567e-04,1.359994e-04,1.389333e-04,1.396104e-04,1.416864e-04,1.431509e-04,1.442636e-04,1.463903e-04,1.466703e-04,1.489123e-04,1.493415e-04,1.509954e-04,1.520178e-04,1.529255e-04,1.544330e-04,1.547087e-04,1.563511e-04,1.566012e-04,1.578585e-04,1.585359e-04,1.592370e-04,1.602508e-04,1.604923e-04,1.616301e-04,1.617590e-04,1.626558e-04,1.630731e-04,1.635750e-04,1.642055e-04,1.643928e-04,1.651143e-04,1.651680e-04,1.657442e-04,1.659717e-04,1.662874e-04,1.666274e-04,1.667484e-04,1.671315e-04,1.671453e-04,1.674409e-04,1.675350e-04,1.676805e-04,1.678057e-04,1.678544e-04,1.679661e-04,1.680192e-04,1.680243e-04,1.680170e-04,1.679881e-04,1.679628e-04,1.678648e-04,1.678598e-04,1.677107e-04,1.676611e-04,1.675185e-04,1.673836e-04,1.672859e-04,1.670383e-04,1.670153e-04,1.667093e-04,1.666308e-04,1.663701e-04,1.661666e-04,1.660000e-04,1.656505e-04,1.656012e-04,1.651755e-04,1.650873e-04,1.647249e-04,1.644814e-04,1.642512e-04,1.638368e-04,1.637562e-04,1.632415e-04,1.631574e-04,1.627086e-04,1.624468e-04,1.621591e-04,1.617084e-04,1.615942e-04,1.610154e-04,1.609451e-04,1.604240e-04,1.601600e-04,1.598210e-04,1.593557e-04,1.592076e-04,1.585850e-04,1.585348e-04,1.579541e-04,1.576996e-04,1.573158e-04,1.568523e-04,1.566712e-04,1.560209e-04,1.559948e-04,1.553660e-04,1.551292e-04,1.547070e-04,1.542570e-04,1.540448e-04,1.533799e-04,1.524995e-04,1.516170e-04,1.507337e-04,1.498509e-04,1.489695e-04,1.480905e-04,1.472149e-04,1.463435e-04,1.454770e-04,1.446162e-04,1.437616e-04,1.429138e-04,1.420733e-04,1.412407e-04,1.404162e-04,1.396003e-04,1.387934e-04,1.379956e-04,1.372073e-04,1.364287e-04,1.356600e-04,1.349013e-04,1.341527e-04,1.334145e-04
0.000000e+00,1.253511e-09,2.933233e-09,1.029555e-08,2.362859e-08,3.459703e-08,7.925206e-08,8.167386e-08,1.599914e-07,1.888541e-07,2.797243e-07,3.764492e-07,4.530938e-07,6.717610e-07,6.938226e-07,1.014872e-06,1.104904e-06,1.423696e-06,1.690173e-06,1.916691e-06,2.407921e-06,2.478217e-06,3.086634e-06,3.212083e-06,3.721679e-06,4.057090e-06,4.367889e-06,4.911378e-06,5.014540e-06,5.654344e-06,5.755716e-06,6.282236e-06,6.578269e-06,6.894512e-06,7.371152e-06,7.488320e-06,8.061367e-06,8.128645e-06,8.611790e-06,8.846409e-06,9.138082e-06,9.521185e-06,9.639059e-06,1.011385e-05,1.015068e-05,1.056189e-05,1.073353e-05,1.098288e-05,1.126922e-05,1.137680e-05,1.174388e-05,1.175801e-05,1.208454e-05,1.220082e-05,1.239940e-05,1.259915e-05,1.268922e-05,1.295492e-05,1.319746e-05,1.327035e-05,1.341788e-05,1.354786e-05,1.361729e-05,1.379000e-05,1.379682e-05,1.395758e-05,1.399938e-05,1.410070e-05,1.417857e-05,1.422729e-05,1.433007e-05,1.433842e-05,1.443513e-05,1.445631e-05,1.451843e-05,1.455958e-05,1.458927e-05,1.464203e-05,1.464857e-05,1.469718e-05,1.470569e-05,1.473592e-05,1.475243e-05,1.476557e-05,1.478397e-05,1.478683e-05,1.480038e-05,1.480187e-05,1.480684e-05,1.480759e-05,1.480678e-05,1.480242e-05,1.480077e-05,1.478929e-05,1.478756e-05,1.477282e-05,1.476410e-05,1.475179e-05,1.473300e-05,1.472660e-05,1.469763e-05,1.469516e-05,1.466522e-05,1.465136e-05,1.462968e-05,1.460232e-05,1.459130e-05,1.455033e-05,1.454865e-05,1.450707e-05,1.449098e-05,1.446174e-05,1.442986e-05,1.441457e-05,1.436574e-05,1.431544e-05,1.429906e-05,1.426384e-05,1.423020e-05,1.421109e-05,1.415952e-05,1.415735e-05,1.410274e-05,1.408730e-05,1.404737e-05,1.401384e-05,1.399137e-05,1.393937e-05,1.393483e-05,1.387786e-05,1.386413e-05,1.382054e-05,1.378831e-05,1.376295e-05,1.371211e-05,1.370517e-05,1.364727e-05,1.363568e-05,1.358930e-05,1.355916e-05,1.353134e-05,1.348269e-05,1.347343e-05,1.341562e-05,1.340639e-05,1.335797e-05,1.333036e-05,1.330050e-05,1.325469e-05,1.324326e-05,1.318628e-05,1.317947e-05,1.312960e-05,1.310477e-05,1.307325e-05,1.303066e-05,1.301725e-05,1.296163e-05,1.295720e-05,1.290641e-05,1.288444e-05,1.285161e-05,1.281242e-05,1.279725e-05,1.274334e-05,1.274119e-05,1.268991e-05,1.267079e-05,1.263695e-05,1.260123e-05,1.258450e-05,1.253255e-05,1.246477e-05,1.239791e-05,1.233198e-05,1.226700e-05,1.220299e-05,1.213994e-05,1.207786e-05,1.201676e-05,1.195664e-05,1.189750e-05,1.183934e-05,1.178216e-05,1.172595e-05,1.167071e-05,1.161644e-05,1.156312e-05,1.151075e-05,1.145933e-05,1.140885e-05,1.135929e-05,1.131065e-05,1.126291e-05,1.121608e-05,1.117013e-05
0.000000e+00,1.229462e-13,9.868566e-13,2.052813e-11,1.450044e-10,3.480623e-10,2.188133e-09,2.334538e-09,9.489570e-09,1.322067e-08,2.827749e-08,4.902945e-08,6.837781e-08,1.350070e-07,1.425423e-07,2.662169e-07,3.051753e-07,4.568131e-07,5.994858e-07,7.321903e-07,1.057260e-06,1.108088e-06,1.595112e-06,1.706280e-06,2.196516e-06,2.553203e-06,2.907671e-06,3.581688e-06,3.717203e-06,4.609081e-06,4.758207e-06,5.564868e-06,6.040762e-06,6.565609e-06,7.386321e-06,7.593152e-06,8.630937e-06,8.755444e-06,9.664348e-06,1.011436e-05,1.068084e-05,1.143554e-05,1.166993e-05,1.262307e-05,1.269755e-05,1.353352e-05,1.388457e-05,1.439623e-05,1.498577e-05,1.520764e-05,1.596555e-05,1.599474e-05,1.666892e-05,1.690874e-05,1.731771e-05,1.772809e-05,1.791272e-05,1.845541e-05,1.894776e-05,1.909506e-05,1.939213e-05,1.965254e-05,1.979112e-05,2.013402e-05,2.014750e-05,2.046410e-05,2.054601e-05,2.074376e-05,2.089498e-05,2.098926e-05,2.118727e-05,2.120329e-05,2.138842e-05,2.142882e-05,2.154707e-05,2.162520e-05,2.168151e-05,2.178147e-05,2.179385e-05,2.188605e-05,2.190223e-05,2.195990e-05,2.199162e-05,2.201708e-05,2.205332e-05,2.205908e-05,2.208729e-05,2.209060e-05,2.210296e-05,2.210637e-05,2.210725e-05,2.210319e-05,2.210120e-05,2.208574e-05,2.208330e-05,2.206176e-05,2.204871e-05,2.203003e-05,2.200116e-05,2.199125e-05,2.194609e-05,2.194222e-05,2.189512e-05,2.187323e-05,2.183889e-05,2.179543e-05,2.177789e-05,2.171256e-05,2.170986e-05,2.164331e-05,2.161750e-05,2.157052e-05,2.151917e-05,2.149452e-05,2.141563e-05,2.133413e-05,2.130755e-05,2.125030e-05,2.119553e-05,2.116437e-05,2.108011e-05,2.107656e-05,2.098709e-05,2.096176e-05,2.089614e-05,2.084093e-05,2.080388e-05,2.071799e-05,2.071048e-05,2.061609e-05,2.059330e-05,2.052085e-05,2.046718e-05,2.042487e-05,2.033991e-05,2.032829e-05,2.023121e-05,2.021174e-05,2.013373e-05,2.008292e-05,2.003595e-05,1.995365e-05,1.993796e-05,1.983983e-05,1.982412e-05,1.974165e-05,1.969452e-05,1.964347e-05,1.956499e-05,1.954538e-05,1.944742e-05,1.943568e-05,1.934966e-05,1.930672e-05,1.925215e-05,1.917823e-05,1.915493e-05,1.905805e-05,1.905032e-05,1.896155e-05,1.892307e-05,1.886548e-05,1.879658e-05,1.876986e-05,1.867473e-05,1.867093e-05,1.858012e-05,1.854619e-05,1.848606e-05,1.842242e-05,1.839257e-05,1.829968e-05,1.817803e-05,1.805750e-05,1.793813e-05,1.781998e-05,1.770306e-05,1.758740e-05,1.747303e-05,1.735998e-05,1.724825e-05,1.713786e-05,1.702883e-05,1.692116e-05,1.681486e-05,1.670994e-05,1.660640e-05,1.650425e-05,1.640347e-05,1.630408e-05,1.620606e-05,1.610942e-05,1.601415e-05,1.592024e-05,1.582768e-05,1.573647e-05
0.000000e+00,7.186590e-16,6.453267e-15,1.695870e-13,1.484067e-12,4.008289e-12,3.420032e-11,3.694517e-11,2.033436e-10,3.075486e-10,8.080372e-10,1.652782e-09,2.565446e-09,6.418552e-09,6.913543e-09,1.644307e-08,1.993334e-08,3.544358e-08,5.257836e-08,7.055471e-08,1.224089e-07,1.314943e-07,2.318204e-07,2.581199e-07,3.896765e-07,5.020421e-07,6.284721e-07,9.128250e-07,9.774530e-07,1.472131e-06,1.567516e-06,2.154542e-06,2.562813e-06,3.073321e-06,4.015353e-06,4.283579e-06,5.846589e-06,6.060978e-06,7.829279e-06,8.852985e-06,1.030355e-05,1.255942e-05,1.334544e-05,1.703410e-05,1.735956e-05,2.145077e-05,2.343966e-05,2.667750e-05,3.098826e-05,3.279599e-05,3.988624e-05,4.019117e-05,4.802534e-05,5.122635e-05,5.728615e-05,6.425894e-05,6.773621e-05,7.943656e-05,9.244075e-05,9.688509e-05,1.067940e-04,1.167051e-04,1.225324e-04,1.389689e-04,1.396823e-04,1.582599e-04,1.637186e-04,1.782712e-04,1.909645e-04,1.997112e-04,2.206849e-04,2.225647e-04,2.468058e-04,2.528264e-04,2.723987e-04,2.873046e-04,2.992978e-04,3.240062e-04,3.274483e-04,3.567869e-04,3.627910e-04,3.872423e-04,4.034948e-04,4.187363e-04,4.459321e-04,4.511843e-04,4.844963e-04,4.899001e-04,5.185778e-04,5.351815e-04,5.533306e-04,5.815484e-04,5.886538e-04,6.244444e-04,6.287658e-04,6.605986e-04,6.765947e-04,6.970121e-04,7.247961e-04,7.335814e-04,7.702040e-04,7.731331e-04,8.067794e-04,8.213744e-04,8.432097e-04,8.692963e-04,8.794000e-04,9.152588e-04,9.166850e-04,9.506990e-04,9.633388e-04,9.856375e-04,1.009069e-03,1.019996e-03,1.053702e-03,1.086686e-03,1.097078e-03,1.118885e-03,1.139055e-03,1.150244e-03,1.179507e-03,1.180708e-03,1.210232e-03,1.218324e-03,1.238774e-03,1.255413e-03,1.266299e-03,1.290697e-03,1.292775e-03,1.318178e-03,1.324113e-03,1.342486e-03,1.355615e-03,1.365684e-03,1.385170e-03,1.387760e-03,1.408707e-03,1.412761e-03,1.428522e-03,1.438379e-03,1.447206e-03,1.462030e-03,1.464763e-03,1.481202e-03,1.483729e-03,1.496534e-03,1.503503e-03,1.510771e-03,1.521385e-03,1.523932e-03,1.536034e-03,1.537416e-03,1.547099e-03,1.551645e-03,1.557150e-03,1.564126e-03,1.566212e-03,1.574310e-03,1.574917e-03,1.581473e-03,1.584082e-03,1.587728e-03,1.591686e-03,1.593105e-03,1.597635e-03,1.597799e-03,1.601347e-03,1.602490e-03,1.604274e-03,1.605832e-03,1.606447e-03,1.607897e-03,1.608757e-03,1.608484e-03,1.607151e-03,1.604827e-03,1.601581e-03,1.597480e-03,1.592590e-03,1.586973e-03,1.580691e-03,1.573803e-03,1.566363e-03,1.558427e-03,1.550044e-03,1.541263e-03,1.532131e-03,1.522689e-03,1.512980e-03,1.503042e-03,1.492910e-03,1.482617e-03,1.472196e-03,1.461675e-03,1.451082e-03,1.440440e-03
0.000000e+00,5.995800e-09,1.638031e-08,6.754304e-08,1.670280e-07,2.514718e-07,6.053202e-07,6.247895e-07,1.262595e-06,1.500352e-06,2.253536e-06,3.056359e-06,3.687797e-06,5.435108e-06,5.605624e-06,7.956744e-06,8.575266e-06,1.065063e-05,1.227998e-05,1.361222e-05,1.639632e-05,1.678705e-05,2.013101e-05,2.081651e-05,2.360360e-05,2.544706e-05,2.716539e-05,3.019796e-05,3.077780e-05,3.440386e-05,3.498295e-05,3.800916e-05,3.972310e-05,4.156274e-05,4.435009e-05,4.503762e-05,4.841114e-05,4.880824e-05,5.166495e-05,5.305489e-05,5.478483e-05,5.705984e-05,5.776039e-05,6.058459e-05,6.080385e-05,6.325334e-05,6.427688e-05,6.576502e-05,6.747632e-05,6.812001e-05,7.032036e-05,7.040520e-05,7.236935e-05,7.307074e-05,7.427127e-05,7.548310e-05,7.603111e-05,7.765436e-05,7.914684e-05,7.959779e-05,8.051455e-05,8.132722e-05,8.176358e-05,8.285663e-05,8.290000e-05,8.392979e-05,8.419983e-05,8.485884e-05,8.537029e-05,8.569284e-05,8.638093e-05,8.643732e-05,8.709760e-05,8.724411e-05,8.767876e-05,8.797149e-05,8.818569e-05,8.857407e-05,8.862302e-05,8.899516e-05,8.906213e-05,8.930628e-05,8.944529e-05,8.956040e-05,8.973260e-05,8.976132e-05,8.991266e-05,8.993250e-05,9.001778e-05,9.005278e-05,9.007990e-05,9.010068e-05,9.010205e-05,9.008707e-05,9.008291e-05,9.003769e-05,9.000571e-05,8.995643e-05,8.987484e-05,8.984570e-05,8.970773e-05,8.969559e-05,8.954467e-05,8.947287e-05,8.935851e-05,8.921122e-05,8.915111e-05,8.892423e-05,8.891477e-05,8.867949e-05,8.858731e-05,8.841843e-05,8.823234e-05,8.814252e-05,8.785314e-05,8.755154e-05,8.745265e-05,8.723892e-05,8.703357e-05,8.691638e-05,8.659838e-05,8.658497e-05,8.624564e-05,8.614934e-05,8.589933e-05,8.568855e-05,8.554689e-05,8.521790e-05,8.518910e-05,8.482671e-05,8.473913e-05,8.446041e-05,8.425382e-05,8.409085e-05,8.376341e-05,8.371862e-05,8.334430e-05,8.326923e-05,8.296839e-05,8.277245e-05,8.259139e-05,8.227419e-05,8.221374e-05,8.183587e-05,8.177542e-05,8.145818e-05,8.127705e-05,8.108100e-05,8.077987e-05,8.070469e-05,8.032954e-05,8.028461e-05,7.995584e-05,7.979194e-05,7.958385e-05,7.930244e-05,7.921382e-05,7.884596e-05,7.881663e-05,7.848048e-05,7.833499e-05,7.811756e-05,7.785794e-05,7.775737e-05,7.740008e-05,7.738585e-05,7.704581e-05,7.691905e-05,7.669471e-05,7.645782e-05,7.634688e-05,7.600243e-05,7.555308e-05,7.510997e-05,7.467325e-05,7.424305e-05,7.381949e-05,7.340265e-05,7.299259e-05,7.258938e-05,7.219304e-05,7.180359e-05,7.142104e-05,7.104538e-05,7.067660e-05,7.031467e-05,6.995954e-05,6.961118e-05,6.926953e-05,6.893454e-05,6.860614e-05,6.828427e-05,6.796884e-05,6.765978e-05,6.735701e-05,6.706045e-05
0.000000e+00,2.194431e-11,1.340824e-10,1.646020e-09,7.532256e-09,1.451890e-08,5.505452e-08,5.764765e-08,1.547578e-07,1.952544e-07,3.334941e-07,4.937543e-07,6.279421e-07,1.036859e-06,1.079864e-06,1.731911e-06,1.921633e-06,2.609198e-06,3.197113e-06,3.703364e-06,4.817156e-06,4.978180e-06,6.389208e-06,6.684197e-06,7.897906e-06,8.711040e-06,9.475184e-06,1.083710e-05,1.109939e-05,1.275349e-05,1.301994e-05,1.442306e-05,1.522608e-05,1.609507e-05,1.742629e-05,1.775744e-05,1.939892e-05,1.959399e-05,2.100916e-05,2.170533e-05,2.257883e-05,2.373956e-05,2.409974e-05,2.556491e-05,2.567953e-05,2.696865e-05,2.751191e-05,2.830652e-05,2.922713e-05,2.957527e-05,3.077278e-05,3.081918e-05,3.189792e-05,3.228519e-05,3.295046e-05,3.362495e-05,3.393092e-05,3.484046e-05,3.568076e-05,3.593537e-05,3.645392e-05,3.691461e-05,3.716235e-05,3.778398e-05,3.780867e-05,3.839569e-05,3.854981e-05,3.892627e-05,3.921875e-05,3.940335e-05,3.979753e-05,3.982986e-05,4.020869e-05,4.029283e-05,4.054266e-05,4.071112e-05,4.083453e-05,4.105867e-05,4.108697e-05,4.130252e-05,4.134142e-05,4.148362e-05,4.156496e-05,4.163261e-05,4.173456e-05,4.175170e-05,4.184296e-05,4.185512e-05,4.190840e-05,4.193118e-05,4.194986e-05,4.196695e-05,4.196911e-05,4.196780e-05,4.196634e-05,4.194749e-05,4.193290e-05,4.190962e-05,4.186994e-05,4.185556e-05,4.178660e-05,4.178047e-05,4.170392e-05,4.166726e-05,4.160864e-05,4.153284e-05,4.150182e-05,4.138442e-05,4.137951e-05,4.125735e-05,4.120941e-05,4.112147e-05,4.102445e-05,4.097758e-05,4.082641e-05,4.066865e-05,4.061688e-05,4.050495e-05,4.039733e-05,4.033590e-05,4.016910e-05,4.016207e-05,3.998397e-05,3.993340e-05,3.980209e-05,3.969133e-05,3.961688e-05,3.944390e-05,3.942876e-05,3.923811e-05,3.919202e-05,3.904531e-05,3.893652e-05,3.885068e-05,3.867815e-05,3.865454e-05,3.845718e-05,3.841758e-05,3.825887e-05,3.815545e-05,3.805985e-05,3.789230e-05,3.786036e-05,3.766062e-05,3.762865e-05,3.746081e-05,3.736494e-05,3.726113e-05,3.710159e-05,3.706174e-05,3.686281e-05,3.683897e-05,3.666446e-05,3.657741e-05,3.646684e-05,3.631721e-05,3.627007e-05,3.607426e-05,3.605864e-05,3.587952e-05,3.580194e-05,3.568593e-05,3.554731e-05,3.549358e-05,3.530256e-05,3.529495e-05,3.511294e-05,3.504503e-05,3.492478e-05,3.479769e-05,3.473813e-05,3.455306e-05,3.431126e-05,3.407237e-05,3.383650e-05,3.360370e-05,3.337404e-05,3.314756e-05,3.292431e-05,3.270431e-05,3.248760e-05,3.227418e-05,3.206406e-05,3.185726e-05,3.165376e-05,3.145356e-05,3.125665e-05,3.106302e-05,3.087264e-05,3.068550e-05,3.050156e-05,3.032081e-05,3.014321e-05,2.996874e-05,2.979735e-05,2.962901e-05
0.000000e+00,4.562892e-12,3.017591e-11,4.287130e-10,2.194360e-09,4.461061e-09,1.892829e-08,1.989635e-08,5.776680e-08,7.409374e-08,1.308439e-07,1.975241e-07,2.536246e-07,4.250801e-07,4.431524e-07,7.193466e-07,8.008830e-07,1.102971e-06,1.371071e-06,1.609924e-06,2.161759e-06,2.244434e-06,2.997101e-06,3.160272e-06,3.849525e-06,4.325301e-06,4.781079e-06,5.611195e-06,5.773399e-06,6.811758e-06,6.981364e-06,7.884671e-06,8.409174e-06,8.982917e-06,9.874455e-06,1.009866e-05,1.122483e-05,1.136036e-05,1.235485e-05,1.285163e-05,1.348239e-05,1.433394e-05,1.460141e-05,1.570615e-05,1.579375e-05,1.679121e-05,1.721859e-05,1.785157e-05,1.859717e-05,1.888270e-05,1.988059e-05,1.991976e-05,2.084180e-05,2.117828e-05,2.176344e-05,2.236638e-05,2.264324e-05,2.347946e-05,2.427086e-05,2.451451e-05,2.501673e-05,2.547005e-05,2.571680e-05,2.634594e-05,2.637124e-05,2.698053e-05,2.714313e-05,2.754540e-05,2.786342e-05,2.806686e-05,2.850925e-05,2.854607e-05,2.898435e-05,2.908360e-05,2.938315e-05,2.958982e-05,2.974406e-05,3.003165e-05,3.006876e-05,3.035899e-05,3.041305e-05,3.061647e-05,3.073800e-05,3.084294e-05,3.101051e-05,3.104018e-05,3.120996e-05,3.123471e-05,3.135418e-05,3.141487e-05,3.147467e-05,3.155507e-05,3.157306e-05,3.165087e-05,3.165889e-05,3.170947e-05,3.172952e-05,3.175020e-05,3.176997e-05,3.177430e-05,3.178294e-05,3.178300e-05,3.177726e-05,3.177122e-05,3.175833e-05,3.173706e-05,3.172716e-05,3.168468e-05,3.168275e-05,3.163177e-05,3.161034e-05,3.156929e-05,3.152174e-05,3.149803e-05,3.141872e-05,3.133204e-05,3.130286e-05,3.123865e-05,3.117564e-05,3.113915e-05,3.103840e-05,3.103410e-05,3.092404e-05,3.089239e-05,3.080946e-05,3.073873e-05,3.069081e-05,3.057844e-05,3.056853e-05,3.044301e-05,3.041245e-05,3.031463e-05,3.024162e-05,3.018374e-05,3.006672e-05,3.005064e-05,2.991566e-05,2.988846e-05,2.977905e-05,2.970746e-05,2.964108e-05,2.952431e-05,2.950199e-05,2.936201e-05,2.933954e-05,2.922133e-05,2.915361e-05,2.908014e-05,2.896696e-05,2.893864e-05,2.879697e-05,2.877997e-05,2.865529e-05,2.859298e-05,2.851374e-05,2.840633e-05,2.837245e-05,2.823153e-05,2.822027e-05,2.809110e-05,2.803508e-05,2.795125e-05,2.785097e-05,2.781208e-05,2.767366e-05,2.766815e-05,2.753609e-05,2.748678e-05,2.739943e-05,2.730705e-05,2.726373e-05,2.712907e-05,2.695299e-05,2.677890e-05,2.660690e-05,2.643708e-05,2.626950e-05,2.610422e-05,2.594129e-05,2.578076e-05,2.562265e-05,2.546700e-05,2.531382e-05,2.516313e-05,2.501493e-05,2.486923e-05,2.472602e-05,2.458530e-05,2.444707e-05,2.431131e-05,2.417800e-05,2.404713e-05,2.391868e-05,2.379263e-05,2.366895e-05,2.354762e-05
0.000000e+00,3.032161e-16,2.700559e-15,6.979764e-14,6.014024e-13,1.610286e-12,1.342730e-11,1.449112e-11,7.788674e-11,1.170237e-10,3.022943e-10,6.096895e-10,9.375620e-10,2.296100e-09,2.468598e-09,5.737633e-09,6.917455e-09,1.208954e-08,1.771005e-08,2.353388e-08,4.005213e-08,4.291367e-08,7.406665e-08,8.212621e-08,1.219631e-07,1.554945e-07,1.928058e-07,2.754863e-07,2.940819e-07,4.345604e-07,4.613264e-07,6.242353e-07,7.359774e-07,8.742168e-07,1.125707e-06,1.196576e-06,1.604149e-06,1.659415e-06,2.110312e-06,2.367775e-06,2.728733e-06,3.282242e-06,3.473104e-06,4.356874e-06,4.433989e-06,5.392977e-06,5.852828e-06,6.593578e-06,7.566172e-06,7.969822e-06,9.531612e-06,9.598068e-06,1.128741e-05,1.196837e-05,1.324408e-05,1.469204e-05,1.540673e-05,1.777862e-05,2.036112e-05,2.123196e-05,2.315365e-05,2.504999e-05,2.615367e-05,2.922482e-05,2.935677e-05,3.275670e-05,3.374291e-05,3.634549e-05,3.858548e-05,4.011354e-05,4.372899e-05,4.404979e-05,4.814188e-05,4.914568e-05,5.237628e-05,5.480435e-05,5.673852e-05,6.067096e-05,6.121337e-05,6.578498e-05,6.670949e-05,7.043711e-05,7.288258e-05,7.515330e-05,7.915232e-05,7.991703e-05,8.471189e-05,8.548087e-05,8.952172e-05,9.183110e-05,9.433075e-05,9.816715e-05,9.912376e-05,1.038861e-04,1.044549e-04,1.086039e-04,1.106622e-04,1.132640e-04,1.167596e-04,1.178543e-04,1.223632e-04,1.227201e-04,1.267805e-04,1.285195e-04,1.310966e-04,1.341368e-04,1.353031e-04,1.393926e-04,1.395536e-04,1.433584e-04,1.447547e-04,1.471949e-04,1.497276e-04,1.508976e-04,1.544625e-04,1.578868e-04,1.589524e-04,1.611682e-04,1.631926e-04,1.643053e-04,1.671806e-04,1.672975e-04,1.701447e-04,1.709160e-04,1.728474e-04,1.744001e-04,1.754068e-04,1.776362e-04,1.778244e-04,1.801023e-04,1.806284e-04,1.822429e-04,1.833826e-04,1.842489e-04,1.859055e-04,1.861236e-04,1.878702e-04,1.882044e-04,1.894922e-04,1.902877e-04,1.909935e-04,1.921641e-04,1.923779e-04,1.936494e-04,1.938427e-04,1.948121e-04,1.953328e-04,1.958701e-04,1.966439e-04,1.968276e-04,1.976887e-04,1.977858e-04,1.984576e-04,1.987677e-04,1.991383e-04,1.995993e-04,1.997350e-04,2.002516e-04,2.002896e-04,2.006920e-04,2.008477e-04,2.010601e-04,2.012823e-04,2.013595e-04,2.015938e-04,2.016019e-04,2.017667e-04,2.018145e-04,2.018814e-04,2.019279e-04,2.019413e-04,2.019495e-04,2.018864e-04,2.017453e-04,2.015324e-04,2.012538e-04,2.009150e-04,2.005212e-04,2.000776e-04,1.995885e-04,1.990584e-04,1.984913e-04,1.978908e-04,1.972605e-04,1.966036e-04,1.959230e-04,1.952216e-04,1.945018e-04,1.937662e-04,1.930167e-04,1.922556e-04,1.914845e-04,1.907052e-04,1.899194e-04,1.891283e-04,1.883335e-04
0.000000e+00,2.099744e-15,1.884376e-14,4.947598e-13,4.326354e-12,1.168050e-11,9.957794e-11,1.075667e-10,5.917079e-10,8.948498e-10,2.350850e-09,4.808898e-09,7.465446e-09,1.868955e-08,2.013234e-08,4.794027e-08,5.813791e-08,1.035211e-07,1.537626e-07,2.065694e-07,3.593418e-07,3.861672e-07,6.832752e-07,7.613857e-07,1.153191e-06,1.488976e-06,1.867749e-06,2.722405e-06,2.917070e-06,4.410695e-06,4.699274e-06,6.478021e-06,7.717133e-06,9.268014e-06,1.213230e-05,1.294817e-05,1.770279e-05,1.835485e-05,2.373067e-05,2.684018e-05,3.124223e-05,3.807774e-05,4.045630e-05,5.159653e-05,5.257770e-05,6.488767e-05,7.085630e-05,8.055176e-05,9.342060e-05,9.880434e-05,1.198509e-04,1.207536e-04,1.438832e-04,1.533000e-04,1.710764e-04,1.914537e-04,2.015863e-04,2.355466e-04,2.730673e-04,2.858403e-04,3.142327e-04,3.425193e-04,3.591009e-04,4.056869e-04,4.077028e-04,4.600418e-04,4.753638e-04,5.160942e-04,5.514882e-04,5.758097e-04,6.339182e-04,6.391122e-04,7.059011e-04,7.224360e-04,7.760529e-04,8.167536e-04,8.494226e-04,9.165195e-04,9.258456e-04,1.005140e-03,1.021326e-03,1.087108e-03,1.130719e-03,1.171540e-03,1.244204e-03,1.258212e-03,1.346896e-03,1.361256e-03,1.437353e-03,1.481331e-03,1.529340e-03,1.603868e-03,1.622614e-03,1.716928e-03,1.728304e-03,1.812037e-03,1.854074e-03,1.907699e-03,1.980626e-03,2.003676e-03,2.099736e-03,2.107417e-03,2.195651e-03,2.233928e-03,2.291204e-03,2.359660e-03,2.386185e-03,2.480395e-03,2.484145e-03,2.573643e-03,2.606942e-03,2.665751e-03,2.727647e-03,2.756551e-03,2.845885e-03,2.933611e-03,2.961321e-03,3.019594e-03,3.073652e-03,3.103713e-03,3.182613e-03,3.185860e-03,3.265936e-03,3.287974e-03,3.343855e-03,3.389539e-03,3.419542e-03,3.487146e-03,3.492931e-03,3.563968e-03,3.580662e-03,3.632609e-03,3.669988e-03,3.698819e-03,3.755052e-03,3.762572e-03,3.823849e-03,3.835807e-03,3.882643e-03,3.912233e-03,3.938951e-03,3.984333e-03,3.992779e-03,4.044139e-03,4.052129e-03,4.093049e-03,4.115662e-03,4.139533e-03,4.174992e-03,4.183619e-03,4.225341e-03,4.230191e-03,4.264737e-03,4.281345e-03,4.301849e-03,4.328554e-03,4.336721e-03,4.369403e-03,4.371924e-03,4.399943e-03,4.411571e-03,4.428395e-03,4.447618e-03,4.454813e-03,4.479255e-03,4.480192e-03,4.501776e-03,4.509426e-03,4.522437e-03,4.535454e-03,4.541296e-03,4.558413e-03,4.578442e-03,4.595678e-03,4.610259e-03,4.622322e-03,4.632002e-03,4.639430e-03,4.644736e-03,4.648047e-03,4.649486e-03,4.649172e-03,4.647221e-03,4.643743e-03,4.638847e-03,4.632635e-03,4.625206e-03,4.616655e-03,4.607071e-03,4.596542e-03,4.585147e-03,4.572967e-03,4.560073e-03,4.546535e-03,4.532420e-03,4.517790e-03
0.000000e+00,4.549039e-09,1.093252e-08,3.971765e-08,9.326295e-08,1.381312e-07,3.258856e-07,3.362593e-07,6.800066e-07,8.101655e-07,1.229680e-06,1.689186e-06,2.060378e-06,3.139737e-06,3.249519e-06,4.844399e-06,5.287275e-06,6.830111e-06,8.088657e-06,9.139313e-06,1.137571e-05,1.169266e-05,1.442472e-05,1.498811e-05,1.728762e-05,1.881603e-05,2.024627e-05,2.278544e-05,2.327341e-05,2.634639e-05,2.684097e-05,2.944542e-05,3.093692e-05,3.255272e-05,3.503360e-05,3.565214e-05,3.872916e-05,3.909626e-05,4.177085e-05,4.309503e-05,4.476589e-05,4.700487e-05,4.770454e-05,5.057861e-05,5.080554e-05,5.338135e-05,5.448120e-05,5.610731e-05,5.802006e-05,5.875229e-05,6.131319e-05,6.141385e-05,6.378782e-05,6.465728e-05,6.617480e-05,6.774749e-05,6.847342e-05,7.068360e-05,7.280568e-05,7.346626e-05,7.484044e-05,7.609736e-05,7.678897e-05,7.857969e-05,7.865262e-05,8.043295e-05,8.091674e-05,8.213168e-05,8.311251e-05,8.375065e-05,8.517134e-05,8.529182e-05,8.675719e-05,8.709783e-05,8.814881e-05,8.889669e-05,8.946879e-05,9.057276e-05,9.071921e-05,9.190218e-05,9.213087e-05,9.301981e-05,9.357585e-05,9.407418e-05,9.491247e-05,9.506735e-05,9.600136e-05,9.614544e-05,9.687821e-05,9.727938e-05,9.769989e-05,9.831879e-05,9.846831e-05,9.918539e-05,9.926807e-05,9.985297e-05,1.001315e-04,1.004729e-04,1.009132e-04,1.010469e-04,1.015767e-04,1.016172e-04,1.020640e-04,1.022474e-04,1.025104e-04,1.028075e-04,1.029176e-04,1.032871e-04,1.033011e-04,1.036203e-04,1.037317e-04,1.039189e-04,1.041027e-04,1.041841e-04,1.044173e-04,1.046200e-04,1.046786e-04,1.047933e-04,1.048894e-04,1.049386e-04,1.050528e-04,1.050570e-04,1.051498e-04,1.051714e-04,1.052181e-04,1.052478e-04,1.052629e-04,1.052844e-04,1.052854e-04,1.052866e-04,1.052838e-04,1.052674e-04,1.052482e-04,1.052289e-04,1.051797e-04,1.051719e-04,1.050974e-04,1.050805e-04,1.050062e-04,1.049525e-04,1.048992e-04,1.047976e-04,1.047771e-04,1.046407e-04,1.046176e-04,1.044908e-04,1.044143e-04,1.043281e-04,1.041892e-04,1.041533e-04,1.039671e-04,1.039440e-04,1.037700e-04,1.036801e-04,1.035628e-04,1.033989e-04,1.033460e-04,1.031202e-04,1.031017e-04,1.028859e-04,1.027899e-04,1.026437e-04,1.024647e-04,1.023941e-04,1.021375e-04,1.021271e-04,1.018745e-04,1.017783e-04,1.016054e-04,1.014192e-04,1.013308e-04,1.010510e-04,1.006744e-04,1.002903e-04,9.989968e-05,9.950319e-05,9.910159e-05,9.869558e-05,9.828581e-05,9.787290e-05,9.745743e-05,9.703994e-05,9.662096e-05,9.620095e-05,9.578039e-05,9.535968e-05,9.493923e-05,9.451941e-05,9.410056e-05,9.368302e-05,9.326708e-05,9.285303e-05,9.244113e-05,9.203162e-05,9.162474e-05,9.122069e-05
0.000000e+00,4.885725e-16,4.304537e-15,1.087038e-13,9.166010e-13,2.424773e-12,1.958411e-11,2.110788e-11,1.098036e-10,1.634928e-10,4.127133e-10,8.167640e-10,1.240388e-09,2.952828e-09,3.166938e-09,7.142808e-09,8.550663e-09,1.461629e-08,2.107145e-08,2.765633e-08,4.594406e-08,4.906760e-08,8.248481e-08,9.099099e-08,1.324292e-07,1.666933e-07,2.043094e-07,2.861771e-07,3.043551e-07,4.394805e-07,4.648457e-07,6.170857e-07,7.196669e-07,8.448131e-07,1.068209e-06,1.130278e-06,1.480795e-06,1.527556e-06,1.903112e-06,2.113245e-06,2.403179e-06,2.838314e-06,2.985943e-06,3.655200e-06,3.712561e-06,4.413476e-06,4.742026e-06,5.261971e-06,5.928717e-06,6.200531e-06,7.227672e-06,7.270565e-06,8.340630e-06,8.761575e-06,9.535446e-06,1.039215e-05,1.080708e-05,1.214952e-05,1.355595e-05,1.401831e-05,1.501887e-05,1.598110e-05,1.653027e-05,1.801906e-05,1.808178e-05,1.966479e-05,2.011250e-05,2.127064e-05,2.224151e-05,2.289070e-05,2.438645e-05,2.451653e-05,2.613997e-05,2.652836e-05,2.775321e-05,2.864941e-05,2.934890e-05,3.073317e-05,3.092023e-05,3.246090e-05,3.276484e-05,3.396523e-05,3.473142e-05,3.542817e-05,3.662178e-05,3.684527e-05,3.821271e-05,3.842668e-05,3.952731e-05,4.013876e-05,4.078645e-05,4.175245e-05,4.198811e-05,4.313080e-05,4.326390e-05,4.421354e-05,4.467081e-05,4.523582e-05,4.597226e-05,4.619757e-05,4.709908e-05,4.716862e-05,4.794101e-05,4.826130e-05,4.872430e-05,4.925265e-05,4.945019e-05,5.012011e-05,5.014577e-05,5.073571e-05,5.094437e-05,5.129879e-05,5.165265e-05,5.181125e-05,5.227512e-05,5.269247e-05,5.281655e-05,5.306543e-05,5.328181e-05,5.339614e-05,5.367586e-05,5.368674e-05,5.393939e-05,5.400361e-05,5.415617e-05,5.426989e-05,5.433916e-05,5.447940e-05,5.449037e-05,5.461176e-05,5.463667e-05,5.470523e-05,5.474606e-05,5.477260e-05,5.481168e-05,5.481562e-05,5.483596e-05,5.483745e-05,5.483521e-05,5.482701e-05,5.481492e-05,5.478380e-05,5.477649e-05,5.472129e-05,5.471100e-05,5.465062e-05,5.461156e-05,5.456568e-05,5.448823e-05,5.446761e-05,5.435749e-05,5.434351e-05,5.423631e-05,5.417973e-05,5.410502e-05,5.399903e-05,5.396451e-05,5.381559e-05,5.380334e-05,5.365904e-05,5.359444e-05,5.349556e-05,5.337395e-05,5.332584e-05,5.315047e-05,5.314335e-05,5.297005e-05,5.290396e-05,5.278510e-05,5.265701e-05,5.259613e-05,5.240359e-05,5.214471e-05,5.188127e-05,5.161409e-05,5.134390e-05,5.107137e-05,5.079711e-05,5.052166e-05,5.024550e-05,4.996909e-05,4.969282e-05,4.941704e-05,4.914208e-05,4.886824e-05,4.859577e-05,4.832490e-05,4.805586e-05,4.778882e-05,4.752394e-05,4.726139e-05,4.700128e-05,4.674374e-05,4.648886e-05,4.623674e-05,4.598745e-05
0.000000e+00,1.713198e-12,1.265124e-11,2.225650e-10,1.358685e-09,3.019133e-09,1.570958e-08,1.663760e-08,5.695522e-08,7.593512e-08,1.461723e-07,2.339857e-07,3.105503e-07,5.527716e-07,5.787491e-07,9.806159e-07,1.100233e-06,1.545061e-06,1.941492e-06,2.296253e-06,3.124457e-06,3.249862e-06,4.411918e-06,4.669282e-06,5.780496e-06,6.571548e-06,7.348478e-06,8.812348e-06,9.105760e-06,1.104042e-05,1.136555e-05,1.313912e-05,1.420049e-05,1.538714e-05,1.728230e-05,1.776839e-05,2.026550e-05,2.057207e-05,2.286009e-05,2.402770e-05,2.553311e-05,2.760515e-05,2.826521e-05,3.103720e-05,3.126012e-05,3.383045e-05,3.494969e-05,3.662720e-05,3.863366e-05,3.941086e-05,4.216626e-05,4.227568e-05,4.487973e-05,4.584394e-05,4.753924e-05,4.931151e-05,5.013438e-05,5.265637e-05,5.509795e-05,5.586128e-05,5.745330e-05,5.891336e-05,5.971795e-05,6.180364e-05,6.188863e-05,6.396316e-05,6.452661e-05,6.594033e-05,6.707972e-05,6.781978e-05,6.946281e-05,6.960181e-05,7.128729e-05,7.167759e-05,7.287760e-05,7.372725e-05,7.437450e-05,7.561617e-05,7.578010e-05,7.709671e-05,7.734958e-05,7.832688e-05,7.893331e-05,7.947332e-05,8.037369e-05,8.053885e-05,8.152637e-05,8.167732e-05,8.243880e-05,8.285098e-05,8.327916e-05,8.390163e-05,8.405053e-05,8.475594e-05,8.483630e-05,8.539836e-05,8.566180e-05,8.598063e-05,8.638465e-05,8.650554e-05,8.697577e-05,8.701111e-05,8.739392e-05,8.754716e-05,8.776249e-05,8.799852e-05,8.808390e-05,8.836052e-05,8.837069e-05,8.859464e-05,8.866893e-05,8.878841e-05,8.889821e-05,8.894393e-05,8.906320e-05,8.914815e-05,8.916839e-05,8.920064e-05,8.921803e-05,8.922246e-05,8.921616e-05,8.921534e-05,8.918091e-05,8.916659e-05,8.912072e-05,8.907287e-05,8.903626e-05,8.893834e-05,8.892895e-05,8.880016e-05,8.876620e-05,8.865120e-05,8.855945e-05,8.848333e-05,8.832089e-05,8.829772e-05,8.809551e-05,8.805317e-05,8.787777e-05,8.775876e-05,8.764554e-05,8.743998e-05,8.739979e-05,8.714145e-05,8.709901e-05,8.687143e-05,8.673792e-05,8.659056e-05,8.635861e-05,8.629966e-05,8.599948e-05,8.596287e-05,8.569075e-05,8.555239e-05,8.537417e-05,8.512872e-05,8.505039e-05,8.472002e-05,8.469333e-05,8.438367e-05,8.424758e-05,8.404190e-05,8.379276e-05,8.369522e-05,8.334416e-05,8.333003e-05,8.298918e-05,8.286052e-05,8.263075e-05,8.238525e-05,8.226928e-05,8.190518e-05,8.142120e-05,8.093413e-05,8.044475e-05,7.995375e-05,7.946180e-05,7.896951e-05,7.847744e-05,7.798610e-05,7.749597e-05,7.700750e-05,7.652108e-05,7.603708e-05,7.555585e-05,7.507769e-05,7.460287e-05,7.413167e-05,7.366431e-05,7.320099e-05,7.274191e-05,7.228723e-05,7.183712e-05,7.139169e-05,7.095106e-05,7.051535e-05
0.000000e+00,6.626253e-15,5.837944e-14,1.474052e-12,1.242970e-11,3.288526e-11,2.657929e-10,2.864858e-10,1.492572e-09,2.223670e-09,5.623685e-09,1.115093e-08,1.695998e-08,4.054003e-08,4.349680e-08,9.863454e-08,1.182396e-07,2.030255e-07,2.936450e-07,3.863453e-07,6.445189e-07,6.886710e-07,1.161169e-06,1.281370e-06,1.865928e-06,2.347738e-06,2.874920e-06,4.015960e-06,4.268190e-06,6.131464e-06,6.479111e-06,8.553372e-06,9.940405e-06,1.162249e-05,1.460144e-05,1.542437e-05,2.003874e-05,2.065056e-05,2.553693e-05,2.825221e-05,3.197970e-05,3.753822e-05,3.941546e-05,4.787896e-05,4.860115e-05,5.739046e-05,6.149020e-05,6.795531e-05,7.620949e-05,7.956403e-05,9.219278e-05,9.271866e-05,1.058041e-04,1.109355e-04,1.203482e-04,1.307402e-04,1.357640e-04,1.519809e-04,1.689203e-04,1.744798e-04,1.864973e-04,1.980400e-04,2.046223e-04,2.224521e-04,2.232029e-04,2.421449e-04,2.475006e-04,2.613544e-04,2.729698e-04,2.807387e-04,2.986490e-04,3.002076e-04,3.196743e-04,3.243367e-04,3.390563e-04,3.498441e-04,3.582760e-04,3.749978e-04,3.772614e-04,3.959463e-04,3.996418e-04,4.142705e-04,4.236383e-04,4.321799e-04,4.468683e-04,4.496270e-04,4.665699e-04,4.692315e-04,4.829730e-04,4.906459e-04,4.988065e-04,5.110465e-04,5.140459e-04,5.286718e-04,5.303850e-04,5.426699e-04,5.486274e-04,5.560300e-04,5.657533e-04,5.687463e-04,5.808166e-04,5.817543e-04,5.922420e-04,5.966324e-04,6.030267e-04,6.103988e-04,6.131777e-04,6.227042e-04,6.230724e-04,6.316173e-04,6.346784e-04,6.399302e-04,6.452474e-04,6.476573e-04,6.548142e-04,6.614179e-04,6.634170e-04,6.674856e-04,6.710961e-04,6.730357e-04,6.778939e-04,6.780866e-04,6.826572e-04,6.838536e-04,6.867667e-04,6.890189e-04,6.904340e-04,6.934336e-04,6.936780e-04,6.965177e-04,6.971411e-04,6.989716e-04,7.001841e-04,7.010580e-04,7.026043e-04,7.027949e-04,7.041999e-04,7.044426e-04,7.052902e-04,7.057383e-04,7.060824e-04,7.065295e-04,7.065929e-04,7.068372e-04,7.068527e-04,7.068306e-04,7.067427e-04,7.065878e-04,7.062330e-04,7.061229e-04,7.054494e-04,7.053552e-04,7.045805e-04,7.041395e-04,7.035287e-04,7.026145e-04,7.023061e-04,7.009242e-04,7.008071e-04,6.993940e-04,6.987428e-04,6.977261e-04,6.964455e-04,6.959305e-04,6.940168e-04,6.939379e-04,6.919943e-04,6.912412e-04,6.898715e-04,6.883750e-04,6.876568e-04,6.853582e-04,6.822079e-04,6.789404e-04,6.755708e-04,6.721132e-04,6.685806e-04,6.649852e-04,6.613382e-04,6.576500e-04,6.539302e-04,6.501877e-04,6.464307e-04,6.426666e-04,6.389024e-04,6.351445e-04,6.313984e-04,6.276696e-04,6.239628e-04,6.202824e-04,6.166322e-04,6.130158e-04,6.094364e-04,6.058969e-04,6.023997e-04,5.989471e-04
0.000000e+00,1.903347e-09,4.381904e-09,1.517621e-08,3.467829e-08,5.069030e-08,1.154438e-07,1.189324e-07,2.303589e-07,2.707507e-07,3.957304e-07,5.255182e-07,6.263335e-07,9.062430e-07,9.339716e-07,1.330541e-06,1.440205e-06,1.826923e-06,2.151628e-06,2.430990e-06,3.053704e-06,3.145124e-06,3.964728e-06,4.140448e-06,4.879226e-06,5.387792e-06,5.875039e-06,6.764257e-06,6.938400e-06,8.056804e-06,8.240105e-06,9.219305e-06,9.790105e-06,1.041630e-05,1.139292e-05,1.163919e-05,1.288020e-05,1.302999e-05,1.413215e-05,1.468477e-05,1.538848e-05,1.634249e-05,1.664316e-05,1.789072e-05,1.799006e-05,1.912621e-05,1.961604e-05,2.034528e-05,2.121066e-05,2.154408e-05,2.271932e-05,2.276580e-05,2.386819e-05,2.427487e-05,2.498836e-05,2.573269e-05,2.607793e-05,2.713539e-05,2.815960e-05,2.848018e-05,2.914972e-05,2.976525e-05,3.010522e-05,3.098962e-05,3.102577e-05,3.191128e-05,3.215295e-05,3.276183e-05,3.325547e-05,3.357765e-05,3.429784e-05,3.435910e-05,3.510666e-05,3.528109e-05,3.582087e-05,3.620649e-05,3.650236e-05,3.707556e-05,3.715182e-05,3.776998e-05,3.788992e-05,3.835759e-05,3.865133e-05,3.891544e-05,3.936163e-05,3.944434e-05,3.994511e-05,4.002268e-05,4.041857e-05,4.063637e-05,4.086555e-05,4.120462e-05,4.128687e-05,4.168335e-05,4.172930e-05,4.205581e-05,4.221229e-05,4.240504e-05,4.265542e-05,4.273184e-05,4.303699e-05,4.306048e-05,4.332123e-05,4.342925e-05,4.358534e-05,4.376343e-05,4.383003e-05,4.405602e-05,4.406468e-05,4.426401e-05,4.433461e-05,4.445469e-05,4.457479e-05,4.462871e-05,4.478672e-05,4.492936e-05,4.497186e-05,4.505723e-05,4.513160e-05,4.517094e-05,4.526730e-05,4.527105e-05,4.535814e-05,4.538026e-05,4.543273e-05,4.547172e-05,4.549537e-05,4.554287e-05,4.554656e-05,4.558680e-05,4.559488e-05,4.561656e-05,4.562883e-05,4.563632e-05,4.564579e-05,4.564652e-05,4.564760e-05,4.564676e-05,4.563997e-05,4.563271e-05,4.562405e-05,4.560456e-05,4.560023e-05,4.556888e-05,4.556319e-05,4.553038e-05,4.550945e-05,4.548506e-05,4.544415e-05,4.543329e-05,4.537538e-05,4.536804e-05,4.531166e-05,4.528186e-05,4.524242e-05,4.518630e-05,4.516797e-05,4.508859e-05,4.508203e-05,4.500455e-05,4.496969e-05,4.491611e-05,4.484986e-05,4.482354e-05,4.472706e-05,4.472313e-05,4.462693e-05,4.459003e-05,4.452336e-05,4.445108e-05,4.441657e-05,4.430676e-05,4.415756e-05,4.400389e-05,4.384619e-05,4.368484e-05,4.352023e-05,4.335269e-05,4.318258e-05,4.301020e-05,4.283585e-05,4.265982e-05,4.248237e-05,4.230375e-05,4.212419e-05,4.194393e-05,4.176316e-05,4.158208e-05,4.140088e-05,4.121973e-05,4.103879e-05,4.085820e-05,4.067812e-05,4.049868e-05,4.031998e-05,4.014216e-05
0.000000e+00,7.426784e-14,6.064427e-13,1.307803e-11,9.545878e-11,2.332735e-10,1.534850e-09,1.640534e-09,6.964799e-09,9.814381e-09,2.157935e-08,3.821197e-08,5.398993e-08,1.094996e-07,1.158582e-07,2.216794e-07,2.554434e-07,3.882565e-07,5.149042e-07,6.340158e-07,9.309806e-07,9.780888e-07,1.439122e-06,1.546892e-06,2.033972e-06,2.400950e-06,2.776594e-06,3.522283e-06,3.677343e-06,4.742751e-06,4.928736e-06,5.975665e-06,6.626933e-06,7.375590e-06,8.613566e-06,8.939104e-06,1.066027e-05,1.087704e-05,1.253101e-05,1.339902e-05,1.454141e-05,1.615574e-05,1.668005e-05,1.893429e-05,1.911922e-05,2.129055e-05,2.225846e-05,2.373463e-05,2.554057e-05,2.625196e-05,2.882791e-05,2.893197e-05,3.144804e-05,3.239939e-05,3.409833e-05,3.591088e-05,3.676537e-05,3.943654e-05,4.210013e-05,4.294910e-05,4.474541e-05,4.642426e-05,4.736269e-05,4.984094e-05,4.994336e-05,5.247985e-05,5.318123e-05,5.496561e-05,5.643036e-05,5.739507e-05,5.957644e-05,5.976358e-05,6.206735e-05,6.261027e-05,6.430337e-05,6.552505e-05,6.646931e-05,6.831604e-05,6.856351e-05,7.058484e-05,7.098030e-05,7.253269e-05,7.351645e-05,7.440686e-05,7.592435e-05,7.620753e-05,7.793520e-05,7.820490e-05,7.959063e-05,8.035986e-05,8.117482e-05,8.239166e-05,8.268895e-05,8.413435e-05,8.430325e-05,8.551250e-05,8.609797e-05,8.682494e-05,8.777946e-05,8.807332e-05,8.925931e-05,8.935155e-05,9.038468e-05,9.081824e-05,9.145116e-05,9.218358e-05,9.246055e-05,9.341463e-05,9.345166e-05,9.431516e-05,9.462659e-05,9.516393e-05,9.571240e-05,9.596266e-05,9.671310e-05,9.741694e-05,9.763260e-05,9.807586e-05,9.847474e-05,9.869148e-05,9.924325e-05,9.926543e-05,9.979926e-05,9.994175e-05,1.002945e-04,1.005738e-04,1.007527e-04,1.011427e-04,1.011752e-04,1.015635e-04,1.016518e-04,1.019190e-04,1.021042e-04,1.022430e-04,1.025031e-04,1.025368e-04,1.028016e-04,1.028512e-04,1.030387e-04,1.031515e-04,1.032493e-04,1.034066e-04,1.034346e-04,1.035955e-04,1.036191e-04,1.037333e-04,1.037914e-04,1.038489e-04,1.039261e-04,1.039433e-04,1.040176e-04,1.040252e-04,1.040726e-04,1.040910e-04,1.041093e-04,1.041255e-04,1.041286e-04,1.041312e-04,1.041307e-04,1.041180e-04,1.041085e-04,1.040899e-04,1.040607e-04,1.040474e-04,1.039915e-04,1.039889e-04,1.039227e-04,1.038949e-04,1.038417e-04,1.037801e-04,1.037493e-04,1.036460e-04,1.034940e-04,1.033254e-04,1.031415e-04,1.029435e-04,1.027325e-04,1.025095e-04,1.022757e-04,1.020319e-04,1.017791e-04,1.015182e-04,1.012498e-04,1.009749e-04,1.006941e-04,1.004081e-04,1.001176e-04,9.982314e-05,9.952532e-05,9.922467e-05,9.892170e-05,9.861688e-05,9.831066e-05,9.800344e-05,9.769562e-05,9.738757e-05
0.000000e+00,5.295700e-14,4.295014e-13,9.123218e-12,6.563033e-11,1.590579e-10,1.023415e-09,1.092859e-09,4.532125e-09,6.344660e-09,1.371837e-08,2.395915e-08,3.354629e-08,6.666549e-08,7.041469e-08,1.319237e-07,1.512781e-07,2.265191e-07,2.972483e-07,3.630666e-07,5.248255e-07,5.502210e-07,7.954908e-07,8.520328e-07,1.104139e-06,1.290524e-06,1.478274e-06,1.842210e-06,1.916467e-06,2.413987e-06,2.498634e-06,2.963495e-06,3.243110e-06,3.555947e-06,4.054202e-06,4.181471e-06,4.830090e-06,4.909014e-06,5.492217e-06,5.785512e-06,6.158961e-06,6.663796e-06,6.822287e-06,7.475082e-06,7.526659e-06,8.111159e-06,8.359695e-06,8.725234e-06,9.151236e-06,9.312898e-06,9.870577e-06,9.892218e-06,1.039549e-05,1.057603e-05,1.088561e-05,1.119832e-05,1.133961e-05,1.175679e-05,1.213705e-05,1.225098e-05,1.248076e-05,1.268193e-05,1.278876e-05,1.305193e-05,1.306223e-05,1.330263e-05,1.336424e-05,1.351166e-05,1.362278e-05,1.369116e-05,1.383189e-05,1.384308e-05,1.396941e-05,1.399615e-05,1.407216e-05,1.412013e-05,1.415328e-05,1.420830e-05,1.421468e-05,1.425818e-05,1.426489e-05,1.428551e-05,1.429387e-05,1.429828e-05,1.429889e-05,1.429803e-05,1.428617e-05,1.428328e-05,1.426398e-05,1.425003e-05,1.423268e-05,1.420183e-05,1.419337e-05,1.414707e-05,1.414109e-05,1.409471e-05,1.406997e-05,1.403713e-05,1.399034e-05,1.397508e-05,1.390924e-05,1.390383e-05,1.384021e-05,1.381181e-05,1.376849e-05,1.371546e-05,1.369456e-05,1.361880e-05,1.361574e-05,1.354158e-05,1.351348e-05,1.346320e-05,1.340938e-05,1.338394e-05,1.330403e-05,1.322369e-05,1.319792e-05,1.314311e-05,1.309148e-05,1.306245e-05,1.298508e-05,1.298186e-05,1.290147e-05,1.287902e-05,1.282141e-05,1.277356e-05,1.274175e-05,1.266892e-05,1.266261e-05,1.258404e-05,1.256528e-05,1.250614e-05,1.246282e-05,1.242894e-05,1.236165e-05,1.235252e-05,1.227691e-05,1.226189e-05,1.220216e-05,1.216363e-05,1.212829e-05,1.206695e-05,1.205534e-05,1.198333e-05,1.197190e-05,1.191229e-05,1.187853e-05,1.184222e-05,1.178689e-05,1.177315e-05,1.170509e-05,1.169699e-05,1.163805e-05,1.160887e-05,1.157203e-05,1.152254e-05,1.150703e-05,1.144306e-05,1.143799e-05,1.138013e-05,1.135524e-05,1.131822e-05,1.127427e-05,1.125733e-05,1.119746e-05,1.119509e-05,1.113862e-05,1.111768e-05,1.108078e-05,1.104202e-05,1.102395e-05,1.096811e-05,1.089592e-05,1.082543e-05,1.075662e-05,1.068946e-05,1.062392e-05,1.056000e-05,1.049764e-05,1.043683e-05,1.037754e-05,1.031975e-05,1.026341e-05,1.020850e-05,1.015499e-05,1.010285e-05,1.005206e-05,1.000257e-05,9.954372e-06,9.907425e-06,9.861704e-06,9.817179e-06,9.773821e-06,9.731605e-06,9.690501e-06,9.650482e-06
0.000000e+00,5.486192e-09,1.273652e-08,4.450542e-08,1.022203e-07,1.498251e-07,3.441256e-07,3.546716e-07,6.954403e-07,8.207409e-07,1.213762e-06,1.629287e-06,1.956304e-06,2.877711e-06,2.969692e-06,4.287494e-06,4.650170e-06,5.911970e-06,6.943396e-06,7.807045e-06,9.652486e-06,9.914631e-06,1.217749e-05,1.264443e-05,1.454971e-05,1.581459e-05,1.699653e-05,1.908967e-05,1.949105e-05,2.201160e-05,2.241605e-05,2.454011e-05,2.575204e-05,2.706129e-05,2.906418e-05,2.956219e-05,3.203192e-05,3.232575e-05,3.446145e-05,3.551576e-05,3.684344e-05,3.861828e-05,3.917200e-05,4.144257e-05,4.162160e-05,4.365170e-05,4.451756e-05,4.579689e-05,4.730085e-05,4.787644e-05,4.988930e-05,4.996842e-05,5.183498e-05,5.251896e-05,5.371342e-05,5.495250e-05,5.552494e-05,5.727011e-05,5.894976e-05,5.947357e-05,6.056489e-05,6.156524e-05,6.211665e-05,6.354787e-05,6.360628e-05,6.503511e-05,6.542448e-05,6.640455e-05,6.719830e-05,6.771604e-05,6.887270e-05,6.897106e-05,7.017111e-05,7.045111e-05,7.131770e-05,7.193699e-05,7.241233e-05,7.333383e-05,7.345652e-05,7.445177e-05,7.464507e-05,7.539956e-05,7.587415e-05,7.630137e-05,7.702443e-05,7.715867e-05,7.797287e-05,7.809924e-05,7.874538e-05,7.910178e-05,7.947757e-05,8.003520e-05,8.017080e-05,8.082637e-05,8.090257e-05,8.144559e-05,8.170686e-05,8.202972e-05,8.245095e-05,8.258000e-05,8.309761e-05,8.313765e-05,8.358375e-05,8.376964e-05,8.403954e-05,8.434954e-05,8.446610e-05,8.486450e-05,8.487987e-05,8.523582e-05,8.536305e-05,8.558105e-05,8.580142e-05,8.590120e-05,8.619723e-05,8.647008e-05,8.655264e-05,8.672064e-05,8.686972e-05,8.694982e-05,8.715048e-05,8.715844e-05,8.734735e-05,8.739682e-05,8.751733e-05,8.761057e-05,8.766918e-05,8.779350e-05,8.780363e-05,8.792141e-05,8.794728e-05,8.802323e-05,8.807353e-05,8.810976e-05,8.817378e-05,8.818166e-05,8.823957e-05,8.824952e-05,8.828409e-05,8.830215e-05,8.831583e-05,8.833302e-05,8.833535e-05,8.834320e-05,8.834341e-05,8.833993e-05,8.833455e-05,8.832604e-05,8.830762e-05,8.830203e-05,8.826838e-05,8.826372e-05,8.822556e-05,8.820393e-05,8.817401e-05,8.812926e-05,8.811416e-05,8.804642e-05,8.804067e-05,8.797120e-05,8.793910e-05,8.788887e-05,8.782541e-05,8.779982e-05,8.770439e-05,8.770044e-05,8.760293e-05,8.756499e-05,8.749577e-05,8.741981e-05,8.738324e-05,8.726562e-05,8.710310e-05,8.693290e-05,8.675564e-05,8.657189e-05,8.638222e-05,8.618714e-05,8.598717e-05,8.578275e-05,8.557436e-05,8.536240e-05,8.514728e-05,8.492938e-05,8.470905e-05,8.448663e-05,8.426245e-05,8.403679e-05,8.380995e-05,8.358220e-05,8.335378e-05,8.312493e-05,8.289587e-05,8.266682e-05,8.243796e-05,8.220949e-05
0.000000e+00,3.736559e-13,2.684733e-12,4.475407e-11,2.609612e-10,5.662083e-10,2.781769e-09,2.939589e-09,9.560570e-09,1.258074e-08,2.346341e-08,3.664973e-08,4.788928e-08,8.237976e-08,8.600382e-08,1.407579e-07,1.566784e-07,2.148241e-07,2.656243e-07,3.105401e-07,4.142031e-07,4.298088e-07,5.739511e-07,6.058314e-07,7.435804e-07,8.418492e-07,9.385828e-07,1.121460e-06,1.158208e-06,1.401213e-06,1.442159e-06,1.665984e-06,1.800260e-06,1.950632e-06,2.191251e-06,2.253048e-06,2.570950e-06,2.610026e-06,2.901929e-06,3.051061e-06,3.243491e-06,3.508604e-06,3.593114e-06,3.948292e-06,3.976872e-06,4.306587e-06,4.450251e-06,4.665670e-06,4.923467e-06,5.023359e-06,5.377646e-06,5.391720e-06,5.726714e-06,5.850784e-06,6.068954e-06,6.297056e-06,6.402970e-06,6.727570e-06,7.041769e-06,7.139981e-06,7.344773e-06,7.532529e-06,7.635966e-06,7.903981e-06,7.914899e-06,8.181267e-06,8.253573e-06,8.434900e-06,8.580939e-06,8.675741e-06,8.886052e-06,8.903832e-06,9.119301e-06,9.169156e-06,9.322346e-06,9.430717e-06,9.513222e-06,9.671369e-06,9.692235e-06,9.859725e-06,9.891872e-06,1.001606e-05,1.009308e-05,1.016164e-05,1.027590e-05,1.029685e-05,1.042212e-05,1.044127e-05,1.053787e-05,1.059017e-05,1.064451e-05,1.072354e-05,1.074246e-05,1.083212e-05,1.084234e-05,1.091390e-05,1.094749e-05,1.098819e-05,1.103988e-05,1.105538e-05,1.111583e-05,1.112039e-05,1.116990e-05,1.118982e-05,1.121794e-05,1.124897e-05,1.126027e-05,1.129722e-05,1.129859e-05,1.132909e-05,1.133937e-05,1.135617e-05,1.137199e-05,1.137874e-05,1.139707e-05,1.141141e-05,1.141520e-05,1.142201e-05,1.142693e-05,1.142909e-05,1.143279e-05,1.143288e-05,1.143357e-05,1.143324e-05,1.143138e-05,1.142875e-05,1.142648e-05,1.141974e-05,1.141906e-05,1.140928e-05,1.140660e-05,1.139730e-05,1.138970e-05,1.138329e-05,1.136937e-05,1.136737e-05,1.134968e-05,1.134594e-05,1.133036e-05,1.131971e-05,1.130953e-05,1.129094e-05,1.128729e-05,1.126377e-05,1.125989e-05,1.123906e-05,1.122680e-05,1.121325e-05,1.119189e-05,1.118645e-05,1.115874e-05,1.115536e-05,1.113020e-05,1.111740e-05,1.110090e-05,1.107818e-05,1.107093e-05,1.104034e-05,1.103786e-05,1.100920e-05,1.099661e-05,1.097758e-05,1.095454e-05,1.094553e-05,1.091310e-05,1.091179e-05,1.088035e-05,1.086849e-05,1.084732e-05,1.082472e-05,1.081406e-05,1.078060e-05,1.073622e-05,1.069166e-05,1.064700e-05,1.060230e-05,1.055765e-05,1.051308e-05,1.046867e-05,1.042445e-05,1.038047e-05,1.033678e-05,1.029341e-05,1.025040e-05,1.020776e-05,1.016555e-05,1.012376e-05,1.008244e-05,1.004159e-05,1.000124e-05,9.961392e-06,9.922068e-06,9.883278e-06,9.845030e-06,9.807332e-06,9.770191e-06
0.000000e+00,4.579346e-12,3.140551e-11,4.780804e-10,2.586959e-09,5.406937e-09,2.444381e-08,2.575472e-08,7.889808e-08,1.025797e-07,1.872263e-07,2.901007e-07,3.787980e-07,6.582318e-07,6.882096e-07,1.151931e-06,1.289422e-06,1.795022e-06,2.235104e-06,2.619042e-06,3.477938e-06,3.603570e-06,4.718091e-06,4.953893e-06,5.932921e-06,6.596049e-06,7.224027e-06,8.354042e-06,8.573194e-06,9.966317e-06,1.019249e-05,1.139165e-05,1.208411e-05,1.283857e-05,1.400485e-05,1.429696e-05,1.575685e-05,1.593168e-05,1.720847e-05,1.784210e-05,1.864232e-05,1.971458e-05,2.004937e-05,2.142122e-05,2.152921e-05,2.275030e-05,2.326843e-05,2.402997e-05,2.491758e-05,2.525468e-05,2.641990e-05,2.646522e-05,2.752217e-05,2.790308e-05,2.855903e-05,2.922594e-05,2.952900e-05,3.043144e-05,3.126651e-05,3.151961e-05,3.203499e-05,3.249245e-05,3.273819e-05,3.335354e-05,3.337794e-05,3.395641e-05,3.410773e-05,3.447606e-05,3.476071e-05,3.493955e-05,3.531879e-05,3.534971e-05,3.570944e-05,3.578860e-05,3.602164e-05,3.617679e-05,3.628920e-05,3.649002e-05,3.651500e-05,3.670184e-05,3.673477e-05,3.685241e-05,3.691723e-05,3.696930e-05,3.704329e-05,3.705501e-05,3.711189e-05,3.711847e-05,3.714220e-05,3.714792e-05,3.714802e-05,3.713638e-05,3.713133e-05,3.709401e-05,3.708823e-05,3.703779e-05,3.700749e-05,3.696430e-05,3.689783e-05,3.687504e-05,3.677144e-05,3.676257e-05,3.665478e-05,3.660474e-05,3.652629e-05,3.642709e-05,3.638710e-05,3.623823e-05,3.623209e-05,3.608067e-05,3.602199e-05,3.591529e-05,3.579879e-05,3.574292e-05,3.556433e-05,3.538021e-05,3.532024e-05,3.519122e-05,3.506798e-05,3.499794e-05,3.480888e-05,3.480094e-05,3.460071e-05,3.454414e-05,3.439773e-05,3.427480e-05,3.419243e-05,3.400184e-05,3.398520e-05,3.377641e-05,3.372610e-05,3.356638e-05,3.344835e-05,3.335545e-05,3.316929e-05,3.314387e-05,3.293192e-05,3.288951e-05,3.271983e-05,3.260957e-05,3.250783e-05,3.232995e-05,3.229611e-05,3.208485e-05,3.205110e-05,3.187422e-05,3.177339e-05,3.166438e-05,3.149717e-05,3.145546e-05,3.124760e-05,3.122274e-05,3.104091e-05,3.095036e-05,3.083549e-05,3.068029e-05,3.063144e-05,3.042885e-05,3.041271e-05,3.022779e-05,3.014781e-05,3.002833e-05,2.988575e-05,2.983054e-05,2.963448e-05,2.962667e-05,2.944018e-05,2.937068e-05,2.924770e-05,2.911788e-05,2.905708e-05,2.886835e-05,2.862216e-05,2.837938e-05,2.814004e-05,2.790418e-05,2.767182e-05,2.744299e-05,2.721768e-05,2.699591e-05,2.677767e-05,2.656295e-05,2.635173e-05,2.614400e-05,2.593973e-05,2.573890e-05,2.554148e-05,2.534744e-05,2.515674e-05,2.496934e-05,2.478521e-05,2.460431e-05,2.442659e-05,2.425201e-05,2.408053e-05,2.391211e-05
0.000000e+00,7.135028e-10,2.057417e-09,8.941259e-09,2.254535e-08,3.410858e-08,8.210306e-08,8.471672e-08,1.687523e-07,1.993507e-07,2.941788e-07,3.927373e-07,4.692952e-07,6.816767e-07,7.026906e-07,1.002268e-06,1.084658e-06,1.372816e-06,1.611115e-06,1.812964e-06,2.251423e-06,2.314449e-06,2.865000e-06,2.979868e-06,3.452031e-06,3.767978e-06,4.064553e-06,4.592055e-06,4.693450e-06,5.331097e-06,5.433483e-06,5.970951e-06,6.277154e-06,6.607274e-06,7.110353e-06,7.234980e-06,7.849571e-06,7.922248e-06,8.447117e-06,8.703752e-06,9.024262e-06,9.447515e-06,9.578223e-06,1.010678e-05,1.014791e-05,1.060823e-05,1.080095e-05,1.108143e-05,1.140421e-05,1.152564e-05,1.194056e-05,1.195655e-05,1.232624e-05,1.245800e-05,1.268306e-05,1.290951e-05,1.301163e-05,1.331276e-05,1.358744e-05,1.366993e-05,1.383677e-05,1.398358e-05,1.406193e-05,1.425650e-05,1.426416e-05,1.444471e-05,1.449155e-05,1.460485e-05,1.469166e-05,1.474583e-05,1.485966e-05,1.486887e-05,1.497517e-05,1.499831e-05,1.506586e-05,1.511024e-05,1.514205e-05,1.519792e-05,1.520477e-05,1.525502e-05,1.526366e-05,1.529374e-05,1.530960e-05,1.532179e-05,1.533773e-05,1.534002e-05,1.534919e-05,1.534986e-05,1.535002e-05,1.534766e-05,1.534319e-05,1.533264e-05,1.532933e-05,1.530903e-05,1.530619e-05,1.528283e-05,1.526956e-05,1.525123e-05,1.522390e-05,1.521471e-05,1.517369e-05,1.517023e-05,1.512860e-05,1.510950e-05,1.507979e-05,1.504254e-05,1.502761e-05,1.497240e-05,1.497013e-05,1.491444e-05,1.489295e-05,1.485400e-05,1.481163e-05,1.479136e-05,1.472673e-05,1.466034e-05,1.463876e-05,1.459240e-05,1.454818e-05,1.452308e-05,1.445540e-05,1.445256e-05,1.438100e-05,1.436080e-05,1.430855e-05,1.426471e-05,1.423535e-05,1.416744e-05,1.416151e-05,1.408716e-05,1.406925e-05,1.401240e-05,1.397040e-05,1.393734e-05,1.387110e-05,1.386206e-05,1.378665e-05,1.377156e-05,1.371118e-05,1.367194e-05,1.363574e-05,1.357242e-05,1.356037e-05,1.348516e-05,1.347314e-05,1.341014e-05,1.337422e-05,1.333538e-05,1.327578e-05,1.326091e-05,1.318679e-05,1.317792e-05,1.311305e-05,1.308074e-05,1.303973e-05,1.298431e-05,1.296686e-05,1.289447e-05,1.288870e-05,1.282259e-05,1.279399e-05,1.275125e-05,1.270022e-05,1.268046e-05,1.261024e-05,1.260744e-05,1.254062e-05,1.251571e-05,1.247161e-05,1.242504e-05,1.240323e-05,1.233548e-05,1.224706e-05,1.215979e-05,1.207369e-05,1.198878e-05,1.190507e-05,1.182258e-05,1.174130e-05,1.166123e-05,1.158239e-05,1.150478e-05,1.142838e-05,1.135320e-05,1.127922e-05,1.120646e-05,1.113489e-05,1.106451e-05,1.099530e-05,1.092727e-05,1.086039e-05,1.079466e-05,1.073006e-05,1.066658e-05,1.060421e-05,1.054292e-05
0.000000e+00,5.308983e-11,3.087577e-10,3.474182e-09,1.492693e-08,2.795144e-08,9.974085e-08,1.042154e-07,2.668095e-07,3.326407e-07,5.515911e-07,7.969871e-07,9.971496e-07,1.586093e-06,1.646664e-06,2.547887e-06,2.807046e-06,3.748236e-06,4.565243e-06,5.283258e-06,6.920339e-06,7.163951e-06,9.373944e-06,9.852599e-06,1.187887e-05,1.328474e-05,1.463892e-05,1.712682e-05,1.761641e-05,2.077817e-05,2.129916e-05,2.409506e-05,2.573448e-05,2.754082e-05,3.037378e-05,3.109107e-05,3.472269e-05,3.516289e-05,3.841364e-05,4.005099e-05,4.214286e-05,4.499034e-05,4.589040e-05,4.963754e-05,4.993677e-05,5.336694e-05,5.485014e-05,5.706277e-05,5.969492e-05,6.071078e-05,6.429835e-05,6.444044e-05,6.781448e-05,6.906093e-05,7.124972e-05,7.353538e-05,7.459616e-05,7.784728e-05,8.099786e-05,8.198413e-05,8.404388e-05,8.593705e-05,8.698237e-05,8.970026e-05,8.981130e-05,9.252947e-05,9.327063e-05,9.513642e-05,9.664723e-05,9.763228e-05,9.983094e-05,1.000177e-04,1.022939e-04,1.028241e-04,1.044623e-04,1.056301e-04,1.065246e-04,1.082535e-04,1.084831e-04,1.103398e-04,1.106991e-04,1.120972e-04,1.129727e-04,1.137579e-04,1.150800e-04,1.153244e-04,1.167995e-04,1.170272e-04,1.181858e-04,1.188205e-04,1.194861e-04,1.204664e-04,1.207032e-04,1.218399e-04,1.219710e-04,1.228987e-04,1.233406e-04,1.238825e-04,1.245815e-04,1.247938e-04,1.256354e-04,1.256997e-04,1.264097e-04,1.267012e-04,1.271193e-04,1.275916e-04,1.277667e-04,1.283543e-04,1.283766e-04,1.288844e-04,1.290616e-04,1.293593e-04,1.296519e-04,1.297813e-04,1.301526e-04,1.304752e-04,1.305685e-04,1.307511e-04,1.309042e-04,1.309825e-04,1.311644e-04,1.311712e-04,1.313191e-04,1.313534e-04,1.314280e-04,1.314753e-04,1.314996e-04,1.315341e-04,1.315357e-04,1.315379e-04,1.315335e-04,1.315077e-04,1.314773e-04,1.314468e-04,1.313689e-04,1.313566e-04,1.312385e-04,1.312116e-04,1.310939e-04,1.310087e-04,1.309241e-04,1.307630e-04,1.307305e-04,1.305142e-04,1.304775e-04,1.302764e-04,1.301550e-04,1.300183e-04,1.297980e-04,1.297410e-04,1.294456e-04,1.294089e-04,1.291330e-04,1.289903e-04,1.288043e-04,1.285443e-04,1.284604e-04,1.281022e-04,1.280729e-04,1.277306e-04,1.275783e-04,1.273464e-04,1.270624e-04,1.269504e-04,1.265434e-04,1.265269e-04,1.261262e-04,1.259736e-04,1.256994e-04,1.254041e-04,1.252638e-04,1.248199e-04,1.242225e-04,1.236132e-04,1.229934e-04,1.223642e-04,1.217268e-04,1.210823e-04,1.204318e-04,1.197761e-04,1.191162e-04,1.184529e-04,1.177870e-04,1.171194e-04,1.164506e-04,1.157813e-04,1.151122e-04,1.144437e-04,1.137766e-04,1.131112e-04,1.124480e-04,1.117874e-04,1.111299e-04,1.104758e-04,1.098254e-04,1.091792e-04
0.000000e+00,1.499703e-14,1.342329e-13,3.503944e-12,3.047204e-11,8.201399e-11,6.932982e-10,7.486507e-10,4.080665e-09,6.154945e-09,1.605669e-08,3.264616e-08,5.046826e-08,1.250732e-07,1.346056e-07,3.167502e-07,3.829875e-07,6.753523e-07,9.956770e-07,1.329628e-06,2.284754e-06,2.451154e-06,4.275857e-06,4.751166e-06,7.115621e-06,9.121942e-06,1.136860e-05,1.639069e-05,1.752736e-05,2.618408e-05,2.784589e-05,3.803233e-05,4.508228e-05,5.386502e-05,6.999275e-05,7.456862e-05,1.011138e-04,1.047406e-04,1.345427e-04,1.517136e-04,1.759537e-04,2.134630e-04,2.264836e-04,2.872885e-04,2.926315e-04,3.595239e-04,3.918738e-04,4.443239e-04,5.137758e-04,5.427816e-04,6.559291e-04,6.607743e-04,7.847204e-04,8.350835e-04,9.300145e-04,1.038629e-03,1.092562e-03,1.272991e-03,1.471802e-03,1.539367e-03,1.689356e-03,1.838534e-03,1.925872e-03,2.170840e-03,2.181428e-03,2.455954e-03,2.536195e-03,2.749241e-03,2.934081e-03,3.060944e-03,3.363567e-03,3.390585e-03,3.737564e-03,3.823341e-03,4.101165e-03,4.311742e-03,4.480570e-03,4.826797e-03,4.874866e-03,5.283057e-03,5.366270e-03,5.704076e-03,5.927704e-03,6.136797e-03,6.508469e-03,6.580047e-03,7.032615e-03,7.105808e-03,7.493267e-03,7.716886e-03,7.960755e-03,8.338825e-03,8.433825e-03,8.911229e-03,8.968750e-03,9.391734e-03,9.603825e-03,9.874127e-03,1.024128e-02,1.035723e-02,1.083988e-02,1.087844e-02,1.132099e-02,1.151276e-02,1.179950e-02,1.214184e-02,1.227438e-02,1.274470e-02,1.276341e-02,1.320955e-02,1.337539e-02,1.366809e-02,1.397589e-02,1.411953e-02,1.456317e-02,1.499833e-02,1.513570e-02,1.542443e-02,1.569212e-02,1.584092e-02,1.623127e-02,1.624733e-02,1.664323e-02,1.675215e-02,1.702827e-02,1.725394e-02,1.740213e-02,1.773599e-02,1.776455e-02,1.811534e-02,1.819777e-02,1.845432e-02,1.863895e-02,1.878138e-02,1.905929e-02,1.909646e-02,1.939952e-02,1.945869e-02,1.969057e-02,1.983718e-02,1.996965e-02,2.019487e-02,2.023683e-02,2.049221e-02,2.053199e-02,2.073594e-02,2.084882e-02,2.096815e-02,2.114575e-02,2.118903e-02,2.139878e-02,2.142321e-02,2.159760e-02,2.168169e-02,2.178574e-02,2.192173e-02,2.196344e-02,2.213094e-02,2.214391e-02,2.228852e-02,2.234884e-02,2.243646e-02,2.253715e-02,2.257502e-02,2.270451e-02,2.270950e-02,2.282520e-02,2.286655e-02,2.293739e-02,2.300897e-02,2.304137e-02,2.313745e-02,2.325264e-02,2.335522e-02,2.344586e-02,2.352520e-02,2.359387e-02,2.365251e-02,2.370172e-02,2.374208e-02,2.377416e-02,2.379851e-02,2.381565e-02,2.382608e-02,2.383029e-02,2.382874e-02,2.382187e-02,2.381010e-02,2.379382e-02,2.377341e-02,2.374922e-02,2.372160e-02,2.369086e-02,2.365730e-02,2.362120e-02,2.358282e-02
0.000000e+00,1.262545e-13,1.038073e-12,2.269567e-11,1.677380e-10,4.127291e-10,2.765192e-09,2.957821e-09,1.279888e-08,1.813442e-08,4.045689e-08,7.256017e-08,1.034381e-07,2.144123e-07,2.273131e-07,4.462400e-07,5.174670e-07,8.023645e-07,1.079313e-06,1.343100e-06,2.009634e-06,2.116139e-06,3.163625e-06,3.409079e-06,4.517469e-06,5.349473e-06,6.196998e-06,7.864718e-06,8.208894e-06,1.054877e-05,1.095281e-05,1.320340e-05,1.458381e-05,1.615299e-05,1.870871e-05,1.937308e-05,2.283605e-05,2.326654e-05,2.651216e-05,2.818920e-05,3.037034e-05,3.340477e-05,3.437878e-05,3.850543e-05,3.883971e-05,4.271852e-05,4.442097e-05,4.698700e-05,5.007776e-05,5.128097e-05,5.557211e-05,5.574332e-05,5.983402e-05,6.135642e-05,6.404251e-05,6.686258e-05,6.817584e-05,7.221484e-05,7.614294e-05,7.737416e-05,7.994621e-05,8.230944e-05,8.361327e-05,8.699712e-05,8.713511e-05,9.050501e-05,9.142067e-05,9.371828e-05,9.556980e-05,9.677206e-05,9.943963e-05,9.966516e-05,1.023978e-04,1.030299e-04,1.049713e-04,1.063439e-04,1.073883e-04,1.093882e-04,1.096518e-04,1.117660e-04,1.121713e-04,1.137352e-04,1.147036e-04,1.155645e-04,1.169965e-04,1.172588e-04,1.188236e-04,1.190624e-04,1.202645e-04,1.209136e-04,1.215868e-04,1.225631e-04,1.227961e-04,1.238980e-04,1.240232e-04,1.248976e-04,1.253064e-04,1.258003e-04,1.264247e-04,1.266112e-04,1.273352e-04,1.273895e-04,1.279770e-04,1.282118e-04,1.285413e-04,1.289020e-04,1.290324e-04,1.294546e-04,1.294701e-04,1.298119e-04,1.299254e-04,1.301081e-04,1.302765e-04,1.303469e-04,1.305318e-04,1.306661e-04,1.306989e-04,1.307530e-04,1.307851e-04,1.307954e-04,1.307969e-04,1.307962e-04,1.307581e-04,1.307408e-04,1.306836e-04,1.306224e-04,1.305751e-04,1.304472e-04,1.304349e-04,1.302652e-04,1.302203e-04,1.300680e-04,1.299463e-04,1.298452e-04,1.296295e-04,1.295987e-04,1.293302e-04,1.292740e-04,1.290413e-04,1.288835e-04,1.287335e-04,1.284615e-04,1.284083e-04,1.280671e-04,1.280111e-04,1.277111e-04,1.275354e-04,1.273416e-04,1.270370e-04,1.269596e-04,1.265664e-04,1.265185e-04,1.261628e-04,1.259822e-04,1.257499e-04,1.254304e-04,1.253286e-04,1.248996e-04,1.248650e-04,1.244639e-04,1.242878e-04,1.240221e-04,1.237006e-04,1.235749e-04,1.231231e-04,1.231050e-04,1.226673e-04,1.225023e-04,1.222080e-04,1.218940e-04,1.217458e-04,1.212812e-04,1.206650e-04,1.200466e-04,1.194268e-04,1.188066e-04,1.181867e-04,1.175679e-04,1.169509e-04,1.163362e-04,1.157244e-04,1.151160e-04,1.145115e-04,1.139113e-04,1.133157e-04,1.127252e-04,1.121400e-04,1.115604e-04,1.109866e-04,1.104189e-04,1.098575e-04,1.093024e-04,1.087539e-04,1.082122e-04,1.076772e-04,1.071491e-04
0.000000e+00,1.991752e-14,1.787787e-13,4.694261e-12,4.104858e-11,1.108200e-10,9.444657e-10,1.020217e-09,5.608148e-09,8.478978e-09,2.225541e-08,4.548262e-08,7.055562e-08,1.762653e-07,1.898332e-07,4.507045e-07,5.461310e-07,9.696737e-07,1.436866e-06,1.926428e-06,3.336325e-06,3.583087e-06,6.304277e-06,7.016731e-06,1.057671e-05,1.361341e-05,1.702694e-05,2.469482e-05,2.643612e-05,3.975078e-05,4.231582e-05,5.808894e-05,6.904805e-05,8.274118e-05,1.079840e-04,1.151663e-04,1.569815e-04,1.627126e-04,2.099477e-04,2.372672e-04,2.759498e-04,3.360483e-04,3.569729e-04,4.550751e-04,4.637239e-04,5.723572e-04,6.251138e-04,7.109305e-04,8.250612e-04,8.728836e-04,1.060249e-03,1.068300e-03,1.274969e-03,1.359321e-03,1.518868e-03,1.702245e-03,1.793615e-03,2.100707e-03,2.441434e-03,2.557752e-03,2.816869e-03,3.075758e-03,3.227846e-03,3.656363e-03,3.674946e-03,4.158493e-03,4.300433e-03,4.678548e-03,5.008032e-03,5.234908e-03,5.778428e-03,5.827108e-03,6.454429e-03,6.610111e-03,7.115910e-03,7.500824e-03,7.810356e-03,8.447622e-03,8.536357e-03,9.292300e-03,9.446928e-03,1.007640e-02,1.049461e-02,1.088669e-02,1.158606e-02,1.172109e-02,1.257739e-02,1.271628e-02,1.345327e-02,1.387995e-02,1.434635e-02,1.507156e-02,1.525419e-02,1.617431e-02,1.628543e-02,1.710422e-02,1.751584e-02,1.804144e-02,1.875708e-02,1.898348e-02,1.992793e-02,2.000352e-02,2.087241e-02,2.124969e-02,2.181460e-02,2.249029e-02,2.275225e-02,2.368323e-02,2.372030e-02,2.460548e-02,2.493497e-02,2.551703e-02,2.612985e-02,2.641607e-02,2.730085e-02,2.816977e-02,2.844423e-02,2.902135e-02,2.955662e-02,2.985422e-02,3.063503e-02,3.066715e-02,3.145902e-02,3.167683e-02,3.222883e-02,3.267976e-02,3.297571e-02,3.364194e-02,3.369891e-02,3.439778e-02,3.456183e-02,3.507178e-02,3.543820e-02,3.572050e-02,3.627018e-02,3.634359e-02,3.694084e-02,3.705718e-02,3.751211e-02,3.779887e-02,3.805733e-02,3.849522e-02,3.857655e-02,3.906987e-02,3.914641e-02,3.953746e-02,3.975283e-02,3.997956e-02,4.031509e-02,4.039647e-02,4.078854e-02,4.083394e-02,4.115618e-02,4.131032e-02,4.149983e-02,4.174526e-02,4.181998e-02,4.211715e-02,4.213995e-02,4.239189e-02,4.249564e-02,4.264478e-02,4.281367e-02,4.287642e-02,4.308744e-02,4.309546e-02,4.327846e-02,4.334246e-02,4.345014e-02,4.355616e-02,4.360312e-02,4.373808e-02,4.388975e-02,4.401269e-02,4.410844e-02,4.417849e-02,4.422434e-02,4.424745e-02,4.424925e-02,4.423113e-02,4.419444e-02,4.414048e-02,4.407052e-02,4.398577e-02,4.388739e-02,4.377651e-02,4.365417e-02,4.352141e-02,4.337917e-02,4.322838e-02,4.306990e-02,4.290455e-02,4.273310e-02,4.255628e-02,4.237476e-02,4.218919e-02
0.000000e+00,2.120598e-09,4.872281e-09,1.681874e-08,3.833575e-08,5.596951e-08,1.271532e-07,1.309854e-07,2.533750e-07,2.977642e-07,4.352743e-07,5.783768e-07,6.897493e-07,9.997849e-07,1.030547e-06,1.470754e-06,1.592379e-06,2.019816e-06,2.375893e-06,2.679456e-06,3.345082e-06,3.441446e-06,4.289989e-06,4.468471e-06,5.206859e-06,5.704941e-06,6.175219e-06,7.017966e-06,7.180864e-06,8.212018e-06,8.378686e-06,9.258758e-06,9.764177e-06,1.031254e-05,1.115557e-05,1.136588e-05,1.241222e-05,1.253703e-05,1.344580e-05,1.389523e-05,1.446165e-05,1.521919e-05,1.545552e-05,1.642386e-05,1.650013e-05,1.736378e-05,1.773126e-05,1.827299e-05,1.890761e-05,1.914974e-05,1.999277e-05,2.002578e-05,2.080123e-05,2.108372e-05,2.157466e-05,2.208048e-05,2.231288e-05,2.301601e-05,2.368436e-05,2.389096e-05,2.431842e-05,2.470652e-05,2.491884e-05,2.546428e-05,2.548636e-05,2.602181e-05,2.616612e-05,2.652611e-05,2.681413e-05,2.700020e-05,2.741052e-05,2.744505e-05,2.786167e-05,2.795757e-05,2.825107e-05,2.845762e-05,2.861426e-05,2.891298e-05,2.895224e-05,2.926601e-05,2.932595e-05,2.955655e-05,2.969876e-05,2.982481e-05,3.003363e-05,3.007174e-05,3.029826e-05,3.033267e-05,3.050526e-05,3.059794e-05,3.069361e-05,3.083143e-05,3.086415e-05,3.101770e-05,3.103502e-05,3.115505e-05,3.121056e-05,3.127697e-05,3.135976e-05,3.138419e-05,3.147743e-05,3.148430e-05,3.155737e-05,3.158577e-05,3.162467e-05,3.166566e-05,3.167997e-05,3.172388e-05,3.172541e-05,3.175699e-05,3.176638e-05,3.177987e-05,3.178986e-05,3.179306e-05,3.179707e-05,3.179242e-05,3.178918e-05,3.177958e-05,3.176728e-05,3.175901e-05,3.173240e-05,3.173116e-05,3.169643e-05,3.168553e-05,3.165524e-05,3.162759e-05,3.160798e-05,3.155944e-05,3.155500e-05,3.149668e-05,3.148192e-05,3.143334e-05,3.139580e-05,3.136531e-05,3.130180e-05,3.129289e-05,3.121638e-05,3.120062e-05,3.113607e-05,3.109289e-05,3.105222e-05,3.097923e-05,3.096508e-05,3.087490e-05,3.086020e-05,3.078191e-05,3.073635e-05,3.068634e-05,3.060816e-05,3.058839e-05,3.048826e-05,3.047611e-05,3.038615e-05,3.034065e-05,3.028224e-05,3.020217e-05,3.017670e-05,3.006969e-05,3.006107e-05,2.996137e-05,2.991771e-05,2.985189e-05,2.977243e-05,2.974139e-05,2.963000e-05,2.962553e-05,2.951785e-05,2.947731e-05,2.940505e-05,2.932804e-05,2.929172e-05,2.917798e-05,2.902735e-05,2.887639e-05,2.872529e-05,2.857423e-05,2.842340e-05,2.827296e-05,2.812304e-05,2.797379e-05,2.782534e-05,2.767779e-05,2.753126e-05,2.738584e-05,2.724161e-05,2.709866e-05,2.695706e-05,2.681687e-05,2.667815e-05,2.654095e-05,2.640533e-05,2.627131e-05,2.613894e-05,2.600825e-05,2.587926e-05,2.575200e-05
0.000000e+00,1.710656e-09,3.946519e-09,1.363763e-08,3.102202e-08,4.522596e-08,1.023881e-07,1.054617e-07,2.036364e-07,2.392883e-07,3.499672e-07,4.654806e-07,5.554966e-07,8.053658e-07,8.300119e-07,1.177169e-06,1.270803e-06,1.590823e-06,1.846844e-06,2.058249e-06,2.503542e-06,2.566264e-06,3.104002e-06,3.214327e-06,3.662838e-06,3.959361e-06,4.235641e-06,4.723040e-06,4.816221e-06,5.399050e-06,5.492172e-06,5.979156e-06,6.255318e-06,6.552110e-06,7.002706e-06,7.114045e-06,7.661665e-06,7.726282e-06,8.192251e-06,8.419735e-06,8.703638e-06,9.078423e-06,9.194184e-06,9.662723e-06,9.699230e-06,1.010851e-05,1.028036e-05,1.053116e-05,1.082110e-05,1.093061e-05,1.130702e-05,1.132161e-05,1.166079e-05,1.178270e-05,1.199245e-05,1.220568e-05,1.230265e-05,1.259215e-05,1.286175e-05,1.294396e-05,1.311230e-05,1.326305e-05,1.334466e-05,1.355142e-05,1.355970e-05,1.375828e-05,1.381105e-05,1.394125e-05,1.404389e-05,1.410944e-05,1.425182e-05,1.426366e-05,1.440467e-05,1.443663e-05,1.453322e-05,1.460002e-05,1.465001e-05,1.474361e-05,1.475573e-05,1.485103e-05,1.486889e-05,1.493650e-05,1.497727e-05,1.501275e-05,1.507006e-05,1.508031e-05,1.513971e-05,1.514849e-05,1.519144e-05,1.521369e-05,1.523597e-05,1.526671e-05,1.527374e-05,1.530517e-05,1.530853e-05,1.533063e-05,1.534005e-05,1.535052e-05,1.536211e-05,1.536516e-05,1.537490e-05,1.537548e-05,1.538004e-05,1.538088e-05,1.538087e-05,1.537896e-05,1.537767e-05,1.537070e-05,1.537035e-05,1.536020e-05,1.535560e-05,1.534639e-05,1.533524e-05,1.532951e-05,1.530974e-05,1.528729e-05,1.527957e-05,1.526234e-05,1.524513e-05,1.523504e-05,1.520680e-05,1.520558e-05,1.517409e-05,1.516493e-05,1.514072e-05,1.511985e-05,1.510561e-05,1.507187e-05,1.506887e-05,1.503064e-05,1.502126e-05,1.499103e-05,1.496827e-05,1.495013e-05,1.491316e-05,1.490805e-05,1.486489e-05,1.485614e-05,1.482073e-05,1.479741e-05,1.477566e-05,1.473716e-05,1.472976e-05,1.468310e-05,1.467557e-05,1.463575e-05,1.461280e-05,1.458778e-05,1.454900e-05,1.453926e-05,1.449023e-05,1.448432e-05,1.444076e-05,1.441887e-05,1.439090e-05,1.435277e-05,1.434070e-05,1.429020e-05,1.428615e-05,1.423945e-05,1.421909e-05,1.418849e-05,1.415170e-05,1.413737e-05,1.408611e-05,1.408405e-05,1.403475e-05,1.401624e-05,1.398332e-05,1.394833e-05,1.393186e-05,1.388040e-05,1.381250e-05,1.374470e-05,1.367704e-05,1.360959e-05,1.354238e-05,1.347546e-05,1.340887e-05,1.334264e-05,1.327681e-05,1.321140e-05,1.314644e-05,1.308196e-05,1.301798e-05,1.295452e-05,1.289159e-05,1.282923e-05,1.276743e-05,1.270622e-05,1.264560e-05,1.258559e-05,1.252619e-05,1.246742e-05,1.240928e-05,1.235177e-05
0.000000e+00,2.232597e-09,5.154739e-09,1.791441e-08,4.108903e-08,6.024360e-08,1.389598e-07,1.432588e-07,2.836515e-07,3.359749e-07,5.023279e-07,6.814265e-07,8.242648e-07,1.232575e-06,1.273621e-06,1.862369e-06,2.023824e-06,2.581467e-06,3.032377e-06,3.407001e-06,4.201055e-06,4.313344e-06,5.279791e-06,5.478854e-06,6.290830e-06,6.830133e-06,7.334528e-06,8.229281e-06,8.401112e-06,9.482123e-06,9.655907e-06,1.056999e-05,1.109256e-05,1.165785e-05,1.252395e-05,1.273951e-05,1.380946e-05,1.393683e-05,1.486289e-05,1.532007e-05,1.589566e-05,1.666460e-05,1.690432e-05,1.788608e-05,1.796339e-05,1.883870e-05,1.921120e-05,1.976053e-05,2.040449e-05,2.065037e-05,2.150747e-05,2.154107e-05,2.233143e-05,2.261991e-05,2.312215e-05,2.364093e-05,2.387979e-05,2.460472e-05,2.529746e-05,2.551245e-05,2.595868e-05,2.636568e-05,2.658916e-05,2.716627e-05,2.718973e-05,2.776129e-05,2.791625e-05,2.830476e-05,2.861775e-05,2.882109e-05,2.927295e-05,2.931122e-05,2.977613e-05,2.988406e-05,3.021676e-05,3.045326e-05,3.063405e-05,3.098270e-05,3.102893e-05,3.140229e-05,3.147446e-05,3.175503e-05,3.193059e-05,3.208799e-05,3.235301e-05,3.240202e-05,3.269791e-05,3.274362e-05,3.297644e-05,3.310419e-05,3.323837e-05,3.343645e-05,3.348442e-05,3.371530e-05,3.374201e-05,3.393167e-05,3.402244e-05,3.413418e-05,3.427920e-05,3.432345e-05,3.450009e-05,3.451370e-05,3.466467e-05,3.472724e-05,3.481773e-05,3.492110e-05,3.495980e-05,3.509140e-05,3.509645e-05,3.521300e-05,3.525442e-05,3.532507e-05,3.539606e-05,3.542806e-05,3.552239e-05,3.560847e-05,3.563434e-05,3.568670e-05,3.573282e-05,3.575744e-05,3.581865e-05,3.582106e-05,3.587790e-05,3.589265e-05,3.592829e-05,3.595555e-05,3.597253e-05,3.600808e-05,3.601094e-05,3.604380e-05,3.605089e-05,3.607137e-05,3.608461e-05,3.609393e-05,3.610984e-05,3.611173e-05,3.612500e-05,3.612713e-05,3.613398e-05,3.613702e-05,3.613888e-05,3.614000e-05,3.613992e-05,3.613729e-05,3.613654e-05,3.613118e-05,3.612707e-05,3.612178e-05,3.611202e-05,3.610927e-05,3.609381e-05,3.609176e-05,3.607556e-05,3.606668e-05,3.605467e-05,3.603712e-05,3.603129e-05,3.600556e-05,3.600340e-05,3.597760e-05,3.596583e-05,3.594756e-05,3.592470e-05,3.591555e-05,3.588168e-05,3.588029e-05,3.584606e-05,3.583284e-05,3.580881e-05,3.578260e-05,3.577003e-05,3.572980e-05,3.567465e-05,3.561736e-05,3.555810e-05,3.549707e-05,3.543442e-05,3.537031e-05,3.530490e-05,3.523832e-05,3.517069e-05,3.510216e-05,3.503282e-05,3.496279e-05,3.489216e-05,3.482105e-05,3.474952e-05,3.467768e-05,3.460559e-05,3.453334e-05,3.446098e-05,3.438859e-05,3.431622e-05,3.424393e-05,3.417178e-05,3.409981e-05
0.000000e+00,9.730884e-10,2.556077e-09,1.016361e-08,2.483318e-08,3.729671e-08,8.993613e-08,9.285266e-08,1.894304e-07,2.258923e-07,3.428807e-07,4.701568e-07,5.724441e-07,8.682542e-07,8.982646e-07,1.333953e-06,1.454987e-06,1.876961e-06,2.221344e-06,2.508755e-06,3.119841e-06,3.206354e-06,3.951082e-06,4.104447e-06,4.729791e-06,5.144943e-06,5.533122e-06,6.221612e-06,6.353832e-06,7.185796e-06,7.319581e-06,8.023521e-06,8.426174e-06,8.861947e-06,9.530046e-06,9.696411e-06,1.052266e-05,1.062107e-05,1.133689e-05,1.169046e-05,1.213576e-05,1.273088e-05,1.291645e-05,1.367658e-05,1.373644e-05,1.441422e-05,1.470265e-05,1.512793e-05,1.562634e-05,1.581659e-05,1.647943e-05,1.650539e-05,1.711599e-05,1.733868e-05,1.772609e-05,1.812584e-05,1.830973e-05,1.886711e-05,1.939857e-05,1.956323e-05,1.990456e-05,2.021529e-05,2.038566e-05,2.082465e-05,2.084247e-05,2.127569e-05,2.139286e-05,2.168604e-05,2.192158e-05,2.207425e-05,2.241249e-05,2.244106e-05,2.278724e-05,2.286733e-05,2.311353e-05,2.328785e-05,2.342069e-05,2.367575e-05,2.370945e-05,2.398055e-05,2.403271e-05,2.423468e-05,2.436035e-05,2.447254e-05,2.466027e-05,2.469482e-05,2.490215e-05,2.493398e-05,2.509517e-05,2.518292e-05,2.527451e-05,2.540851e-05,2.544074e-05,2.559444e-05,2.561207e-05,2.573617e-05,2.579487e-05,2.586645e-05,2.595812e-05,2.598579e-05,2.609470e-05,2.610297e-05,2.619363e-05,2.623051e-05,2.628305e-05,2.634178e-05,2.636339e-05,2.643507e-05,2.643776e-05,2.649849e-05,2.651938e-05,2.655404e-05,2.658751e-05,2.660209e-05,2.664300e-05,2.667709e-05,2.668662e-05,2.670471e-05,2.671913e-05,2.672616e-05,2.674123e-05,2.674175e-05,2.675175e-05,2.675359e-05,2.675644e-05,2.675682e-05,2.675609e-05,2.675153e-05,2.675095e-05,2.674126e-05,2.673828e-05,2.672724e-05,2.671759e-05,2.670913e-05,2.668996e-05,2.668712e-05,2.666143e-05,2.665587e-05,2.663225e-05,2.661575e-05,2.659975e-05,2.657003e-05,2.656413e-05,2.652554e-05,2.651910e-05,2.648414e-05,2.646333e-05,2.644011e-05,2.640307e-05,2.639357e-05,2.634467e-05,2.633865e-05,2.629355e-05,2.627039e-05,2.624034e-05,2.619858e-05,2.618516e-05,2.612813e-05,2.612349e-05,2.606936e-05,2.604539e-05,2.600896e-05,2.596451e-05,2.594702e-05,2.588366e-05,2.588110e-05,2.581897e-05,2.579537e-05,2.575303e-05,2.570752e-05,2.568593e-05,2.561775e-05,2.552623e-05,2.543315e-05,2.533866e-05,2.524290e-05,2.514603e-05,2.504818e-05,2.494947e-05,2.485002e-05,2.474995e-05,2.464935e-05,2.454833e-05,2.444697e-05,2.434537e-05,2.424360e-05,2.414174e-05,2.403986e-05,2.393803e-05,2.383631e-05,2.373476e-05,2.363343e-05,2.353238e-05,2.343165e-05,2.333129e-05,2.323133e-05
0.000000e+00,4.285107e-10,1.136415e-09,4.542660e-09,1.105796e-08,1.653287e-08,3.911363e-08,4.034178e-08,7.990418e-08,9.436436e-08,1.394001e-07,1.865649e-07,2.234441e-07,3.267869e-07,3.370903e-07,4.853861e-07,5.266047e-07,6.720915e-07,7.937970e-07,8.977304e-07,1.125674e-06,1.158648e-06,1.448501e-06,1.509346e-06,1.760677e-06,1.929934e-06,2.089612e-06,2.375627e-06,2.430912e-06,2.781049e-06,2.837686e-06,3.137044e-06,3.309219e-06,3.496260e-06,3.784326e-06,3.856287e-06,4.214897e-06,4.257736e-06,4.570031e-06,4.724697e-06,4.919807e-06,5.181003e-06,5.262531e-06,5.596711e-06,5.623037e-06,5.921064e-06,6.047806e-06,6.234516e-06,6.452957e-06,6.536201e-06,6.825448e-06,6.836752e-06,7.101776e-06,7.198026e-06,7.364869e-06,7.536120e-06,7.614558e-06,7.850807e-06,8.073699e-06,8.142229e-06,8.283406e-06,8.410813e-06,8.480182e-06,8.657218e-06,8.664348e-06,8.836275e-06,8.882277e-06,8.996374e-06,9.086938e-06,9.145083e-06,9.272229e-06,9.282860e-06,9.410174e-06,9.439225e-06,9.527500e-06,9.589016e-06,9.635311e-06,9.722688e-06,9.734078e-06,9.824265e-06,9.841313e-06,9.906326e-06,9.945931e-06,9.980697e-06,1.003753e-05,1.004780e-05,1.010804e-05,1.011706e-05,1.016180e-05,1.018541e-05,1.020946e-05,1.024343e-05,1.025137e-05,1.028788e-05,1.029192e-05,1.031931e-05,1.033161e-05,1.034596e-05,1.036320e-05,1.036813e-05,1.038609e-05,1.038735e-05,1.040009e-05,1.040465e-05,1.041040e-05,1.041566e-05,1.041724e-05,1.042083e-05,1.042091e-05,1.042138e-05,1.042087e-05,1.041909e-05,1.041600e-05,1.041414e-05,1.040670e-05,1.039695e-05,1.039337e-05,1.038504e-05,1.037635e-05,1.037111e-05,1.035597e-05,1.035531e-05,1.033775e-05,1.033254e-05,1.031858e-05,1.030634e-05,1.029789e-05,1.027762e-05,1.027581e-05,1.025242e-05,1.024663e-05,1.022784e-05,1.021358e-05,1.020215e-05,1.017869e-05,1.017543e-05,1.014777e-05,1.014213e-05,1.011925e-05,1.010409e-05,1.008992e-05,1.006473e-05,1.005987e-05,1.002916e-05,1.002419e-05,9.997837e-06,9.982605e-06,9.965968e-06,9.940114e-06,9.933604e-06,9.900793e-06,9.896828e-06,9.867584e-06,9.852857e-06,9.834021e-06,9.808300e-06,9.800143e-06,9.765993e-06,9.763250e-06,9.731605e-06,9.717791e-06,9.697015e-06,9.672003e-06,9.662254e-06,9.627355e-06,9.625957e-06,9.592345e-06,9.579720e-06,9.557252e-06,9.533353e-06,9.522100e-06,9.486914e-06,9.440454e-06,9.394022e-06,9.347660e-06,9.301410e-06,9.255309e-06,9.209391e-06,9.163687e-06,9.118225e-06,9.073032e-06,9.028132e-06,8.983545e-06,8.939292e-06,8.895391e-06,8.851857e-06,8.808705e-06,8.765948e-06,8.723598e-06,8.681666e-06,8.640159e-06,8.599087e-06,8.558457e-06,8.518275e-06,8.478545e-06,8.439273e-06
0.000000e+00,2.633520e-09,6.082052e-09,2.115195e-08,4.844865e-08,7.088399e-08,1.616296e-07,1.665163e-07,3.223489e-07,3.787014e-07,5.525738e-07,7.323504e-07,8.714573e-07,1.255275e-06,1.293105e-06,1.830278e-06,1.977525e-06,2.492309e-06,2.919471e-06,3.283765e-06,4.087840e-06,4.205241e-06,5.255122e-06,5.480281e-06,6.430699e-06,7.090556e-06,7.728513e-06,8.910057e-06,9.144314e-06,1.067298e-05,1.092765e-05,1.230849e-05,1.312949e-05,1.404393e-05,1.549909e-05,1.587161e-05,1.778319e-05,1.801780e-05,1.976981e-05,2.066534e-05,2.182231e-05,2.342052e-05,2.393134e-05,2.608758e-05,2.626184e-05,2.828183e-05,2.916817e-05,3.050520e-05,3.211925e-05,3.274916e-05,3.500564e-05,3.509605e-05,3.726712e-05,3.808112e-05,3.952663e-05,4.105869e-05,4.177779e-05,4.401481e-05,4.623250e-05,4.693731e-05,4.842624e-05,4.981575e-05,5.059194e-05,5.264133e-05,5.272605e-05,5.482548e-05,5.540674e-05,5.688760e-05,5.810603e-05,5.891020e-05,6.073447e-05,6.089141e-05,6.282972e-05,6.328839e-05,6.472393e-05,6.576505e-05,6.657308e-05,6.816252e-05,6.837649e-05,7.013367e-05,7.047953e-05,7.184432e-05,7.271541e-05,7.350830e-05,7.486999e-05,7.512563e-05,7.669646e-05,7.694349e-05,7.822102e-05,7.893647e-05,7.969966e-05,8.084979e-05,8.113280e-05,8.252094e-05,8.268452e-05,8.386463e-05,8.444193e-05,8.516448e-05,8.612345e-05,8.642114e-05,8.763528e-05,8.773059e-05,8.880762e-05,8.926501e-05,8.993889e-05,9.072841e-05,9.102986e-05,9.208128e-05,9.212253e-05,9.309395e-05,9.344918e-05,9.406866e-05,9.471017e-05,9.500619e-05,9.590736e-05,9.677295e-05,9.704257e-05,9.760379e-05,9.811764e-05,9.840065e-05,9.913442e-05,9.916434e-05,9.989565e-05,1.000947e-04,1.005953e-04,1.010003e-04,1.012642e-04,1.018530e-04,1.019030e-04,1.025126e-04,1.026546e-04,1.030935e-04,1.034067e-04,1.036467e-04,1.041111e-04,1.041728e-04,1.046725e-04,1.047694e-04,1.051466e-04,1.053833e-04,1.055958e-04,1.059543e-04,1.060206e-04,1.064219e-04,1.064840e-04,1.068003e-04,1.069739e-04,1.071564e-04,1.074256e-04,1.074908e-04,1.078042e-04,1.078405e-04,1.080973e-04,1.082199e-04,1.083705e-04,1.085653e-04,1.086245e-04,1.088599e-04,1.088780e-04,1.090773e-04,1.091593e-04,1.092771e-04,1.094105e-04,1.094600e-04,1.096264e-04,1.096328e-04,1.097770e-04,1.098274e-04,1.099121e-04,1.099954e-04,1.100323e-04,1.101381e-04,1.102564e-04,1.103515e-04,1.104243e-04,1.104760e-04,1.105073e-04,1.105193e-04,1.105128e-04,1.104888e-04,1.104481e-04,1.103914e-04,1.103196e-04,1.102334e-04,1.101336e-04,1.100208e-04,1.098958e-04,1.097592e-04,1.096116e-04,1.094537e-04,1.092860e-04,1.091091e-04,1.089235e-04,1.087298e-04,1.085285e-04,1.083200e-04
0.000000e+00,2.811821e-14,2.527648e-13,6.658181e-12,5.839597e-11,1.579192e-10,1.351986e-09,1.460701e-09,8.068274e-09,1.221518e-08,3.217689e-08,6.595894e-08,1.025308e-07,2.573930e-07,2.773249e-07,6.620674e-07,8.033407e-07,1.432727e-06,2.130333e-06,2.864217e-06,4.990182e-06,5.363848e-06,9.508689e-06,1.060014e-05,1.608495e-05,2.079788e-05,2.612666e-05,3.819409e-05,4.095045e-05,6.218345e-05,6.630149e-05,9.178175e-05,1.096206e-04,1.320376e-04,1.736685e-04,1.855753e-04,2.553336e-04,2.649450e-04,3.445378e-04,3.908352e-04,4.566610e-04,5.594570e-04,5.953763e-04,7.645019e-04,7.794622e-04,9.679408e-04,1.059804e-03,1.209617e-03,1.409483e-03,1.493412e-03,1.823096e-03,1.837290e-03,2.202270e-03,2.351545e-03,2.634302e-03,2.959863e-03,3.122275e-03,3.668936e-03,4.276654e-03,4.484351e-03,4.947386e-03,5.410441e-03,5.682643e-03,6.450175e-03,6.483476e-03,7.350460e-03,7.605094e-03,8.283687e-03,8.875279e-03,9.282769e-03,1.025935e-02,1.034684e-02,1.147459e-02,1.175453e-02,1.266424e-02,1.335669e-02,1.391362e-02,1.506045e-02,1.522016e-02,1.658093e-02,1.685931e-02,1.799268e-02,1.874577e-02,1.945187e-02,2.071148e-02,2.095471e-02,2.249718e-02,2.274738e-02,2.407512e-02,2.484385e-02,2.568419e-02,2.699089e-02,2.731997e-02,2.897800e-02,2.917824e-02,3.065374e-02,3.139551e-02,3.234268e-02,3.363234e-02,3.404034e-02,3.574231e-02,3.587852e-02,3.744424e-02,3.812406e-02,3.914193e-02,4.035933e-02,4.083127e-02,4.250834e-02,4.257512e-02,4.416937e-02,4.476271e-02,4.581076e-02,4.691395e-02,4.742912e-02,4.902127e-02,5.058422e-02,5.107774e-02,5.211521e-02,5.307709e-02,5.361169e-02,5.501369e-02,5.507134e-02,5.649205e-02,5.688260e-02,5.787192e-02,5.867955e-02,5.920932e-02,6.040092e-02,6.050275e-02,6.175099e-02,6.204373e-02,6.295299e-02,6.360558e-02,6.410789e-02,6.508471e-02,6.521502e-02,6.627390e-02,6.647985e-02,6.728420e-02,6.779030e-02,6.824577e-02,6.901581e-02,6.915859e-02,7.002282e-02,7.015660e-02,7.083871e-02,7.121329e-02,7.160667e-02,7.218687e-02,7.232721e-02,7.300094e-02,7.307868e-02,7.362858e-02,7.389034e-02,7.421093e-02,7.462376e-02,7.474886e-02,7.524334e-02,7.528105e-02,7.569536e-02,7.586452e-02,7.610600e-02,7.637667e-02,7.647639e-02,7.680766e-02,7.682012e-02,7.710103e-02,7.719759e-02,7.735769e-02,7.751190e-02,7.757890e-02,7.776591e-02,7.796255e-02,7.810474e-02,7.819540e-02,7.823746e-02,7.823379e-02,7.818724e-02,7.810060e-02,7.797660e-02,7.781788e-02,7.762703e-02,7.740655e-02,7.715884e-02,7.688621e-02,7.659090e-02,7.627502e-02,7.594061e-02,7.558962e-02,7.522385e-02,7.484506e-02,7.445489e-02,7.405488e-02,7.364651e-02,7.323113e-02,7.281004e-02
0.000000e+00,1.515007e-12,1.080950e-11,1.772309e-10,1.015905e-09,2.182005e-09,1.042277e-08,1.100096e-08,3.473089e-08,4.533123e-08,8.285315e-08,1.274051e-07,1.648704e-07,2.780713e-07,2.898571e-07,4.663211e-07,5.171712e-07,7.012858e-07,8.598538e-07,9.979523e-07,1.307727e-06,1.353174e-06,1.757197e-06,1.842675e-06,2.196245e-06,2.433591e-06,2.656033e-06,3.049150e-06,3.124187e-06,3.591072e-06,3.665150e-06,4.049568e-06,4.265078e-06,4.494452e-06,4.837902e-06,4.921822e-06,5.328735e-06,5.376079e-06,5.712993e-06,5.874465e-06,6.073036e-06,6.329859e-06,6.407899e-06,6.717165e-06,6.740800e-06,7.000918e-06,7.107380e-06,7.259681e-06,7.430999e-06,7.494335e-06,7.706047e-06,7.714057e-06,7.896183e-06,7.959636e-06,8.066239e-06,8.171201e-06,8.217772e-06,8.352348e-06,8.471502e-06,8.506616e-06,8.576700e-06,8.637343e-06,8.669320e-06,8.747589e-06,8.750639e-06,8.821823e-06,8.840086e-06,8.883932e-06,8.917242e-06,8.937919e-06,8.981147e-06,8.984635e-06,9.024835e-06,9.033590e-06,9.059191e-06,9.076101e-06,9.088294e-06,9.109979e-06,9.112670e-06,9.132778e-06,9.136325e-06,9.149026e-06,9.156070e-06,9.161772e-06,9.170009e-06,9.171337e-06,9.178001e-06,9.178816e-06,9.182013e-06,9.183062e-06,9.183592e-06,9.183236e-06,9.182935e-06,9.180221e-06,9.179766e-06,9.175616e-06,9.173028e-06,9.169265e-06,9.163351e-06,9.161299e-06,9.151837e-06,9.151018e-06,9.140988e-06,9.136284e-06,9.128858e-06,9.119383e-06,9.115540e-06,9.101123e-06,9.100525e-06,9.085685e-06,9.079892e-06,9.069299e-06,9.057651e-06,9.052035e-06,9.033959e-06,9.015132e-06,9.008958e-06,8.995611e-06,8.982778e-06,8.975449e-06,8.955537e-06,8.954696e-06,8.933397e-06,8.927342e-06,8.911597e-06,8.898294e-06,8.889337e-06,8.868486e-06,8.866657e-06,8.843595e-06,8.838006e-06,8.820183e-06,8.806933e-06,8.796456e-06,8.775340e-06,8.772445e-06,8.748176e-06,8.743294e-06,8.723679e-06,8.710859e-06,8.698980e-06,8.678094e-06,8.674103e-06,8.649071e-06,8.645054e-06,8.623908e-06,8.611788e-06,8.598633e-06,8.578346e-06,8.573266e-06,8.547825e-06,8.544768e-06,8.522327e-06,8.511095e-06,8.496791e-06,8.477366e-06,8.471230e-06,8.445659e-06,8.443614e-06,8.420094e-06,8.409872e-06,8.394547e-06,8.376171e-06,8.369030e-06,8.343556e-06,8.342538e-06,8.318136e-06,8.308999e-06,8.292779e-06,8.275578e-06,8.267496e-06,8.242296e-06,8.209173e-06,8.176229e-06,8.143481e-06,8.110944e-06,8.078633e-06,8.046562e-06,8.014743e-06,7.983186e-06,7.951903e-06,7.920902e-06,7.890192e-06,7.859780e-06,7.829673e-06,7.799878e-06,7.770399e-06,7.741242e-06,7.712410e-06,7.683907e-06,7.655737e-06,7.627901e-06,7.600403e-06,7.573243e-06,7.546423e-06,7.519944e-06
0.000000e+00,6.909431e-15,6.219841e-14,1.643228e-12,1.445223e-11,3.914418e-11,3.365274e-10,3.636511e-10,2.017411e-09,3.058038e-09,8.080688e-09,1.660778e-08,2.586114e-08,6.518188e-08,7.025383e-08,1.684489e-07,2.046056e-07,3.661081e-07,5.456863e-07,7.350620e-07,1.285498e-06,1.382464e-06,2.461155e-06,2.745970e-06,4.180770e-06,5.417401e-06,6.818879e-06,1.000257e-05,1.073138e-05,1.636133e-05,1.745601e-05,2.424558e-05,2.901331e-05,3.501872e-05,4.620669e-05,4.941397e-05,6.826100e-05,7.086463e-05,9.248072e-05,1.050954e-04,1.230771e-04,1.512551e-04,1.611267e-04,2.077654e-04,2.119027e-04,2.641742e-04,2.897437e-04,3.315627e-04,3.875671e-04,4.111529e-04,5.041610e-04,5.081774e-04,6.117808e-04,6.543247e-04,7.351664e-04,8.286372e-04,8.754160e-04,1.033557e-03,1.210532e-03,1.271283e-03,1.407186e-03,1.543718e-03,1.624258e-03,1.852432e-03,1.862367e-03,2.122012e-03,2.198626e-03,2.403562e-03,2.583110e-03,2.707253e-03,3.006295e-03,3.033189e-03,3.381338e-03,3.468184e-03,3.751538e-03,3.968380e-03,4.143500e-03,4.506100e-03,4.556807e-03,4.990927e-03,5.080193e-03,5.445213e-03,5.689166e-03,5.918915e-03,6.331213e-03,6.411187e-03,6.921096e-03,7.004252e-03,7.447630e-03,7.705956e-03,7.989707e-03,8.433794e-03,8.546186e-03,9.115876e-03,9.185068e-03,9.697545e-03,9.956950e-03,1.028993e-02,1.074652e-02,1.089174e-02,1.150169e-02,1.155079e-02,1.211845e-02,1.236678e-02,1.274073e-02,1.319147e-02,1.336724e-02,1.399669e-02,1.402191e-02,1.462782e-02,1.485520e-02,1.525941e-02,1.568854e-02,1.589025e-02,1.651919e-02,1.714511e-02,1.734458e-02,1.776692e-02,1.816225e-02,1.838361e-02,1.896990e-02,1.899419e-02,1.959775e-02,1.976536e-02,2.019340e-02,2.054666e-02,2.078033e-02,2.131195e-02,2.135778e-02,2.192504e-02,2.205959e-02,2.248145e-02,2.278808e-02,2.302642e-02,2.349610e-02,2.355941e-02,2.407993e-02,2.418249e-02,2.458753e-02,2.484626e-02,2.508185e-02,2.548655e-02,2.556253e-02,2.602929e-02,2.610267e-02,2.648190e-02,2.669406e-02,2.692015e-02,2.726031e-02,2.734390e-02,2.775302e-02,2.780113e-02,2.814746e-02,2.831635e-02,2.852717e-02,2.880590e-02,2.889216e-02,2.924245e-02,2.926984e-02,2.957810e-02,2.970828e-02,2.989921e-02,3.012147e-02,3.020590e-02,3.049829e-02,3.050970e-02,3.077657e-02,3.087333e-02,3.104092e-02,3.121282e-02,3.129153e-02,3.152864e-02,3.182134e-02,3.209150e-02,3.233974e-02,3.256672e-02,3.277311e-02,3.295960e-02,3.312691e-02,3.327576e-02,3.340687e-02,3.352098e-02,3.361882e-02,3.370113e-02,3.376861e-02,3.382200e-02,3.386199e-02,3.388928e-02,3.390455e-02,3.390846e-02,3.390167e-02,3.388480e-02,3.385846e-02,3.382326e-02,3.377976e-02,3.372853e-02
0.000000e+00,1.183837e-09,2.708654e-09,9.262141e-09,2.091821e-08,3.038000e-08,6.804115e-08,7.004972e-08,1.334675e-07,1.561829e-07,2.258246e-07,2.973689e-07,3.525289e-07,5.042118e-07,5.191340e-07,7.305760e-07,7.883619e-07,9.894803e-07,1.154883e-06,1.294551e-06,1.597370e-06,1.640903e-06,2.022144e-06,2.102023e-06,2.432125e-06,2.654884e-06,2.865559e-06,3.244457e-06,3.317943e-06,3.785302e-06,3.861221e-06,4.263972e-06,4.496724e-06,4.750471e-06,5.143043e-06,5.241435e-06,5.733612e-06,5.792605e-06,6.223883e-06,6.438231e-06,6.709295e-06,7.073255e-06,7.187094e-06,7.654778e-06,7.691687e-06,8.110122e-06,8.288358e-06,8.551179e-06,8.858960e-06,8.976307e-06,9.384174e-06,9.400114e-06,9.773744e-06,9.909356e-06,1.014426e-05,1.038507e-05,1.049524e-05,1.082642e-05,1.113778e-05,1.123324e-05,1.142946e-05,1.160595e-05,1.170178e-05,1.194540e-05,1.195518e-05,1.219020e-05,1.225280e-05,1.240749e-05,1.252963e-05,1.260774e-05,1.277754e-05,1.279167e-05,1.296005e-05,1.299823e-05,1.311368e-05,1.319358e-05,1.325338e-05,1.336542e-05,1.337994e-05,1.349410e-05,1.351551e-05,1.359662e-05,1.364558e-05,1.368824e-05,1.375726e-05,1.376963e-05,1.384146e-05,1.385211e-05,1.390436e-05,1.393157e-05,1.395894e-05,1.399699e-05,1.400576e-05,1.404535e-05,1.404963e-05,1.407820e-05,1.409064e-05,1.410478e-05,1.412107e-05,1.412554e-05,1.414088e-05,1.414188e-05,1.415118e-05,1.415397e-05,1.415679e-05,1.415812e-05,1.415806e-05,1.415528e-05,1.415509e-05,1.414874e-05,1.414552e-05,1.413871e-05,1.413003e-05,1.412544e-05,1.410916e-05,1.409008e-05,1.408341e-05,1.406840e-05,1.405324e-05,1.404430e-05,1.401906e-05,1.401797e-05,1.398956e-05,1.398125e-05,1.395922e-05,1.394014e-05,1.392709e-05,1.389606e-05,1.389330e-05,1.385797e-05,1.384927e-05,1.382121e-05,1.380005e-05,1.378314e-05,1.374863e-05,1.374385e-05,1.370343e-05,1.369522e-05,1.366197e-05,1.364003e-05,1.361956e-05,1.358324e-05,1.357626e-05,1.353215e-05,1.352502e-05,1.348729e-05,1.346552e-05,1.344176e-05,1.340488e-05,1.339560e-05,1.334888e-05,1.334323e-05,1.330163e-05,1.328070e-05,1.325393e-05,1.321739e-05,1.320581e-05,1.315731e-05,1.315341e-05,1.310847e-05,1.308885e-05,1.305934e-05,1.302381e-05,1.300996e-05,1.296034e-05,1.295835e-05,1.291054e-05,1.289257e-05,1.286058e-05,1.282652e-05,1.281048e-05,1.276028e-05,1.269389e-05,1.262742e-05,1.256093e-05,1.249444e-05,1.242802e-05,1.236170e-05,1.229552e-05,1.222952e-05,1.216372e-05,1.209816e-05,1.203287e-05,1.196788e-05,1.190320e-05,1.183886e-05,1.177488e-05,1.171128e-05,1.164807e-05,1.158528e-05,1.152292e-05,1.146099e-05,1.139952e-05,1.133852e-05,1.127798e-05,1.121794e-05
0.000000e+00,1.500528e-09,4.140042e-09,1.723565e-08,4.271208e-08,6.424788e-08,1.532513e-07,1.580876e-07,3.131649e-07,3.694389e-07,5.431954e-07,7.227522e-07,8.615050e-07,1.243193e-06,1.280707e-06,1.810831e-06,1.955197e-06,2.456161e-06,2.867141e-06,3.214178e-06,3.969226e-06,4.078260e-06,5.040618e-06,5.244187e-06,6.093330e-06,6.673768e-06,7.228278e-06,8.238945e-06,8.436908e-06,9.710090e-06,9.919149e-06,1.103815e-05,1.169215e-05,1.241098e-05,1.353454e-05,1.381825e-05,1.524958e-05,1.542247e-05,1.669481e-05,1.733257e-05,1.814414e-05,1.924267e-05,1.958834e-05,2.101888e-05,2.113250e-05,2.242801e-05,2.298410e-05,2.380886e-05,2.478214e-05,2.515541e-05,2.646257e-05,2.651397e-05,2.772609e-05,2.816959e-05,2.894256e-05,2.974152e-05,3.010936e-05,3.122453e-05,3.228678e-05,3.261540e-05,3.329540e-05,3.391263e-05,3.425014e-05,3.511619e-05,3.515121e-05,3.599917e-05,3.622719e-05,3.679488e-05,3.724769e-05,3.753948e-05,3.818049e-05,3.823427e-05,3.888075e-05,3.902890e-05,3.948052e-05,3.979662e-05,4.003528e-05,4.048761e-05,4.054676e-05,4.101677e-05,4.110596e-05,4.144711e-05,4.165581e-05,4.183959e-05,4.214132e-05,4.219599e-05,4.251809e-05,4.256655e-05,4.280760e-05,4.293549e-05,4.306622e-05,4.325197e-05,4.329558e-05,4.349728e-05,4.351970e-05,4.367284e-05,4.374219e-05,4.382374e-05,4.392281e-05,4.395141e-05,4.405720e-05,4.406475e-05,4.414241e-05,4.417101e-05,4.420829e-05,4.424443e-05,4.425603e-05,4.428677e-05,4.428766e-05,4.430157e-05,4.430320e-05,4.430148e-05,4.429340e-05,4.428746e-05,4.426045e-05,4.422131e-05,4.420637e-05,4.417090e-05,4.413309e-05,4.411000e-05,4.404236e-05,4.403936e-05,4.395968e-05,4.393585e-05,4.387165e-05,4.381508e-05,4.377589e-05,4.368149e-05,4.367301e-05,4.356357e-05,4.353639e-05,4.344811e-05,4.338101e-05,4.332714e-05,4.321649e-05,4.320112e-05,4.307051e-05,4.304388e-05,4.293574e-05,4.286415e-05,4.279720e-05,4.267820e-05,4.265527e-05,4.251031e-05,4.248685e-05,4.236264e-05,4.229089e-05,4.221258e-05,4.209100e-05,4.206042e-05,4.190644e-05,4.188785e-05,4.175090e-05,4.168203e-05,4.159404e-05,4.147408e-05,4.143609e-05,4.127726e-05,4.126453e-05,4.111776e-05,4.105381e-05,4.095777e-05,4.084237e-05,4.079746e-05,4.063700e-05,4.063058e-05,4.047655e-05,4.041881e-05,4.031624e-05,4.020737e-05,4.015620e-05,3.999657e-05,3.978666e-05,3.957789e-05,3.937048e-05,3.916462e-05,3.896050e-05,3.875827e-05,3.855808e-05,3.836005e-05,3.816430e-05,3.797092e-05,3.777999e-05,3.759161e-05,3.740583e-05,3.722270e-05,3.704227e-05,3.686459e-05,3.668967e-05,3.651755e-05,3.634824e-05,3.618175e-05,3.601809e-05,3.585726e-05,3.569925e-05,3.554406e-05
0.000000e+00,1.367072e-14,1.145390e-13,2.603552e-12,1.993319e-11,5.000160e-11,3.520040e-10,3.772808e-10,1.713944e-09,2.460547e-09,5.672401e-09,1.044464e-08,1.514494e-08,3.259888e-08,3.467064e-08,7.076011e-08,8.280627e-08,1.321198e-07,1.814851e-07,2.295887e-07,3.550278e-07,3.755221e-07,5.825323e-07,6.322949e-07,8.618517e-07,1.038587e-06,1.221807e-06,1.589841e-06,1.666816e-06,2.197075e-06,2.289628e-06,2.808848e-06,3.129512e-06,3.495187e-06,4.091768e-06,4.246817e-06,5.053027e-06,5.152903e-06,5.902447e-06,6.286929e-06,6.783658e-06,7.467829e-06,7.685628e-06,8.598008e-06,8.671158e-06,9.511312e-06,9.874947e-06,1.041700e-05,1.106011e-05,1.130753e-05,1.217632e-05,1.221054e-05,1.301779e-05,1.331311e-05,1.382728e-05,1.435750e-05,1.460100e-05,1.533603e-05,1.603019e-05,1.624343e-05,1.668203e-05,1.707660e-05,1.729075e-05,1.783433e-05,1.785611e-05,1.837839e-05,1.851699e-05,1.885828e-05,1.912629e-05,1.929684e-05,1.966497e-05,1.969542e-05,2.005561e-05,2.013654e-05,2.037917e-05,2.054505e-05,2.066797e-05,2.089491e-05,2.092396e-05,2.114915e-05,2.119066e-05,2.134552e-05,2.143689e-05,2.151504e-05,2.163810e-05,2.165964e-05,2.178118e-05,2.179860e-05,2.188144e-05,2.192251e-05,2.196212e-05,2.201364e-05,2.202482e-05,2.207105e-05,2.207556e-05,2.210223e-05,2.211152e-05,2.211968e-05,2.212450e-05,2.212461e-05,2.211816e-05,2.211718e-05,2.210138e-05,2.209199e-05,2.207523e-05,2.205110e-05,2.204060e-05,2.199831e-05,2.199647e-05,2.194910e-05,2.192982e-05,2.189366e-05,2.185272e-05,2.183261e-05,2.176652e-05,2.169594e-05,2.167248e-05,2.162132e-05,2.157165e-05,2.154311e-05,2.146503e-05,2.146172e-05,2.137749e-05,2.135345e-05,2.129078e-05,2.123768e-05,2.120188e-05,2.111840e-05,2.111107e-05,2.101861e-05,2.099620e-05,2.092473e-05,2.087162e-05,2.082965e-05,2.074513e-05,2.073355e-05,2.063661e-05,2.061714e-05,2.053901e-05,2.048804e-05,2.044088e-05,2.035815e-05,2.034237e-05,2.024360e-05,2.022778e-05,2.014468e-05,2.009718e-05,2.004572e-05,1.996659e-05,1.994682e-05,1.984806e-05,1.983622e-05,1.974952e-05,1.970626e-05,1.965129e-05,1.957687e-05,1.955342e-05,1.945597e-05,1.944820e-05,1.935901e-05,1.932038e-05,1.926259e-05,1.919352e-05,1.916674e-05,1.907152e-05,1.906772e-05,1.897695e-05,1.894308e-05,1.888309e-05,1.881967e-05,1.878995e-05,1.869757e-05,1.857683e-05,1.845751e-05,1.833965e-05,1.822330e-05,1.810848e-05,1.799522e-05,1.788355e-05,1.777347e-05,1.766502e-05,1.755820e-05,1.745301e-05,1.734946e-05,1.724756e-05,1.714729e-05,1.704866e-05,1.695167e-05,1.685630e-05,1.676255e-05,1.667041e-05,1.657986e-05,1.649089e-05,1.640350e-05,1.631765e-05,1.623335e-05
0.000000e+00,3.633847e-09,9.287870e-09,3.578286e-08,8.568369e-08,1.273136e-07,2.975179e-07,3.067220e-07,6.008492e-07,7.073096e-07,1.035666e-06,1.374765e-06,1.636800e-06,2.358016e-06,2.428946e-06,3.432487e-06,3.706186e-06,4.657283e-06,5.438864e-06,6.099544e-06,7.538413e-06,7.746301e-06,9.581671e-06,9.969963e-06,1.158960e-05,1.269659e-05,1.375401e-05,1.568096e-05,1.605835e-05,1.848528e-05,1.888376e-05,2.101663e-05,2.226328e-05,2.363366e-05,2.577614e-05,2.631728e-05,2.904854e-05,2.937860e-05,3.180889e-05,3.302806e-05,3.458061e-05,3.668443e-05,3.734705e-05,4.009284e-05,4.031119e-05,4.280410e-05,4.387611e-05,4.546846e-05,4.735165e-05,4.807515e-05,5.061495e-05,5.071503e-05,5.308015e-05,5.394810e-05,5.546446e-05,5.703700e-05,5.776291e-05,5.997176e-05,6.208832e-05,6.274582e-05,6.411088e-05,6.535556e-05,6.603859e-05,6.779981e-05,6.787130e-05,6.960952e-05,7.007942e-05,7.125427e-05,7.219685e-05,7.280701e-05,7.415583e-05,7.426957e-05,7.564406e-05,7.596109e-05,7.693284e-05,7.761805e-05,7.813843e-05,7.913266e-05,7.926351e-05,8.031081e-05,8.051118e-05,8.128316e-05,8.176010e-05,8.218340e-05,8.288597e-05,8.301440e-05,8.377898e-05,8.389534e-05,8.447998e-05,8.479469e-05,8.512017e-05,8.559037e-05,8.570228e-05,8.622897e-05,8.628858e-05,8.670286e-05,8.689530e-05,8.712647e-05,8.741631e-05,8.750227e-05,8.783263e-05,8.785717e-05,8.811987e-05,8.822319e-05,8.836620e-05,8.851945e-05,8.857378e-05,8.874468e-05,8.875078e-05,8.888087e-05,8.892178e-05,8.898428e-05,8.903681e-05,8.905674e-05,8.910001e-05,8.911578e-05,8.911528e-05,8.910566e-05,8.908632e-05,8.907121e-05,8.901662e-05,8.901391e-05,8.893517e-05,8.890947e-05,8.883635e-05,8.876795e-05,8.871873e-05,8.859498e-05,8.858355e-05,8.843199e-05,8.839330e-05,8.826516e-05,8.816547e-05,8.808414e-05,8.791391e-05,8.788994e-05,8.768353e-05,8.764087e-05,8.746583e-05,8.734846e-05,8.723772e-05,8.703868e-05,8.700003e-05,8.675356e-05,8.671335e-05,8.649904e-05,8.637423e-05,8.623720e-05,8.602290e-05,8.596870e-05,8.569420e-05,8.566089e-05,8.541430e-05,8.528958e-05,8.512956e-05,8.491027e-05,8.484055e-05,8.454776e-05,8.452419e-05,8.425169e-05,8.413245e-05,8.395280e-05,8.373609e-05,8.365152e-05,8.334826e-05,8.333609e-05,8.304339e-05,8.293332e-05,8.273730e-05,8.252863e-05,8.243032e-05,8.212277e-05,8.171644e-05,8.131029e-05,8.090490e-05,8.050084e-05,8.009858e-05,7.969860e-05,7.930129e-05,7.890704e-05,7.851618e-05,7.812903e-05,7.774586e-05,7.736691e-05,7.699242e-05,7.662257e-05,7.625753e-05,7.589747e-05,7.554250e-05,7.519275e-05,7.484831e-05,7.450925e-05,7.417564e-05,7.384753e-05,7.352497e-05,7.320797e-05
0.000000e+00,4.200482e-11,1.927157e-10,1.479203e-09,4.966675e-09,8.377158e-09,2.447668e-08,2.540932e-08,5.706331e-08,6.914691e-08,1.077564e-07,1.491862e-07,1.820170e-07,2.752068e-07,2.845635e-07,4.200166e-07,4.578605e-07,5.919731e-07,7.048637e-07,8.019114e-07,1.017543e-06,1.049117e-06,1.331681e-06,1.392245e-06,1.647433e-06,1.824044e-06,1.994290e-06,2.308218e-06,2.370244e-06,2.773257e-06,2.840108e-06,3.201173e-06,3.414744e-06,3.651675e-06,4.026675e-06,4.122280e-06,4.610354e-06,4.669968e-06,5.113156e-06,5.338331e-06,5.627877e-06,6.025300e-06,6.151697e-06,6.681835e-06,6.724437e-06,7.215587e-06,7.429516e-06,7.750368e-06,8.134676e-06,8.283750e-06,8.813501e-06,8.834587e-06,9.337586e-06,9.524510e-06,9.854172e-06,1.020034e-05,1.036165e-05,1.085863e-05,1.134393e-05,1.149659e-05,1.181656e-05,1.211202e-05,1.227573e-05,1.270328e-05,1.272081e-05,1.315135e-05,1.326924e-05,1.356702e-05,1.380920e-05,1.396763e-05,1.432283e-05,1.435311e-05,1.472348e-05,1.481013e-05,1.507883e-05,1.527133e-05,1.541934e-05,1.570690e-05,1.574524e-05,1.605682e-05,1.611745e-05,1.635440e-05,1.650373e-05,1.663834e-05,1.686657e-05,1.690900e-05,1.716680e-05,1.720687e-05,1.741212e-05,1.752557e-05,1.764540e-05,1.782362e-05,1.786704e-05,1.807748e-05,1.810199e-05,1.827711e-05,1.836164e-05,1.846636e-05,1.860349e-05,1.864563e-05,1.881532e-05,1.882849e-05,1.897580e-05,1.903751e-05,1.912747e-05,1.923141e-05,1.927068e-05,1.940579e-05,1.941103e-05,1.953314e-05,1.957715e-05,1.965307e-05,1.973053e-05,1.976588e-05,1.987189e-05,1.997139e-05,2.000190e-05,2.006466e-05,2.012122e-05,2.015198e-05,2.023045e-05,2.023361e-05,2.030980e-05,2.033019e-05,2.038078e-05,2.042097e-05,2.044680e-05,2.050333e-05,2.050806e-05,2.056477e-05,2.057773e-05,2.061715e-05,2.064466e-05,2.066538e-05,2.070454e-05,2.070965e-05,2.075013e-05,2.075778e-05,2.078699e-05,2.080478e-05,2.082039e-05,2.084590e-05,2.085050e-05,2.087744e-05,2.088147e-05,2.090138e-05,2.091184e-05,2.092243e-05,2.093729e-05,2.094074e-05,2.095642e-05,2.095813e-05,2.096959e-05,2.097462e-05,2.098037e-05,2.098702e-05,2.098886e-05,2.099516e-05,2.099557e-05,2.099938e-05,2.100051e-05,2.100161e-05,2.100204e-05,2.100194e-05,2.100046e-05,2.100037e-05,2.099725e-05,2.099568e-05,2.099238e-05,2.098817e-05,2.098595e-05,2.097801e-05,2.096534e-05,2.095034e-05,2.093313e-05,2.091386e-05,2.089266e-05,2.086964e-05,2.084492e-05,2.081862e-05,2.079083e-05,2.076165e-05,2.073117e-05,2.069949e-05,2.066668e-05,2.063282e-05,2.059799e-05,2.056226e-05,2.052569e-05,2.048834e-05,2.045029e-05,2.041157e-05,2.037226e-05,2.033239e-05,2.029202e-05,2.025119e-05
0.000000e+00,1.920050e-09,4.405990e-09,1.516495e-08,3.445179e-08,5.018880e-08,1.131946e-07,1.165650e-07,2.231810e-07,2.613941e-07,3.783932e-07,4.981448e-07,5.900758e-07,8.409507e-07,8.654838e-07,1.210820e-06,1.304639e-06,1.630379e-06,1.898344e-06,2.125293e-06,2.620718e-06,2.692359e-06,3.323971e-06,3.457140e-06,4.009611e-06,4.383721e-06,4.737956e-06,5.374936e-06,5.498349e-06,6.281363e-06,6.408180e-06,7.078785e-06,7.464532e-06,7.883475e-06,8.528259e-06,8.689224e-06,9.490647e-06,9.586299e-06,1.028312e-05,1.062794e-05,1.106272e-05,1.164459e-05,1.182620e-05,1.257090e-05,1.262960e-05,1.329474e-05,1.357806e-05,1.399611e-05,1.448652e-05,1.467386e-05,1.532719e-05,1.535281e-05,1.595563e-05,1.617573e-05,1.655897e-05,1.695491e-05,1.713724e-05,1.769063e-05,1.821948e-05,1.838360e-05,1.872424e-05,1.903490e-05,1.920547e-05,1.964586e-05,1.966376e-05,2.009978e-05,2.021796e-05,2.051421e-05,2.075280e-05,2.090776e-05,2.125201e-05,2.128115e-05,2.163512e-05,2.171726e-05,2.197037e-05,2.215020e-05,2.228761e-05,2.255245e-05,2.258755e-05,2.287087e-05,2.292560e-05,2.313824e-05,2.327119e-05,2.339032e-05,2.359070e-05,2.362772e-05,2.385107e-05,2.388555e-05,2.406096e-05,2.415709e-05,2.425796e-05,2.440664e-05,2.444261e-05,2.461545e-05,2.463542e-05,2.477699e-05,2.484461e-05,2.492772e-05,2.503534e-05,2.506811e-05,2.519862e-05,2.520865e-05,2.531967e-05,2.536555e-05,2.543170e-05,2.550699e-05,2.553509e-05,2.563023e-05,2.563387e-05,2.571750e-05,2.574705e-05,2.579723e-05,2.584733e-05,2.586978e-05,2.593546e-05,2.599458e-05,2.601217e-05,2.604745e-05,2.607813e-05,2.609434e-05,2.613398e-05,2.613552e-05,2.617127e-05,2.618034e-05,2.620182e-05,2.621776e-05,2.622741e-05,2.624678e-05,2.624828e-05,2.626465e-05,2.626792e-05,2.627671e-05,2.628166e-05,2.628467e-05,2.628844e-05,2.628873e-05,2.628906e-05,2.628870e-05,2.628585e-05,2.628283e-05,2.627925e-05,2.627122e-05,2.626944e-05,2.625656e-05,2.625422e-05,2.624076e-05,2.623218e-05,2.622218e-05,2.620541e-05,2.620096e-05,2.617723e-05,2.617422e-05,2.615110e-05,2.613888e-05,2.612271e-05,2.609968e-05,2.609216e-05,2.605956e-05,2.605686e-05,2.602501e-05,2.601066e-05,2.598861e-05,2.596132e-05,2.595047e-05,2.591066e-05,2.590903e-05,2.586928e-05,2.585402e-05,2.582641e-05,2.579645e-05,2.578214e-05,2.573653e-05,2.567441e-05,2.561026e-05,2.554423e-05,2.547646e-05,2.540710e-05,2.533626e-05,2.526407e-05,2.519065e-05,2.511610e-05,2.504053e-05,2.496403e-05,2.488669e-05,2.480861e-05,2.472986e-05,2.465052e-05,2.457066e-05,2.449036e-05,2.440968e-05,2.432868e-05,2.424742e-05,2.416595e-05,2.408433e-05,2.400260e-05,2.392082e-05
0.000000e+00,2.846508e-12,2.051012e-11,3.435328e-10,2.010302e-09,4.369366e-09,2.155886e-08,2.278610e-08,7.449275e-08,9.820205e-08,1.842078e-07,2.895637e-07,3.803171e-07,6.639605e-07,6.941893e-07,1.159393e-06,1.297225e-06,1.807619e-06,2.259269e-06,2.660401e-06,3.583716e-06,3.721778e-06,4.978005e-06,5.250517e-06,6.403754e-06,7.202367e-06,7.969587e-06,9.372183e-06,9.646965e-06,1.141023e-05,1.169877e-05,1.323660e-05,1.412959e-05,1.510557e-05,1.661868e-05,1.699824e-05,1.889693e-05,1.912437e-05,2.078505e-05,2.160846e-05,2.264721e-05,2.403637e-05,2.446934e-05,2.623887e-05,2.637782e-05,2.794492e-05,2.860745e-05,2.957834e-05,3.070523e-05,3.113178e-05,3.259968e-05,3.265655e-05,3.397813e-05,3.445198e-05,3.526479e-05,3.608673e-05,3.645868e-05,3.756007e-05,3.857025e-05,3.887457e-05,3.949133e-05,4.003532e-05,4.032610e-05,4.104936e-05,4.107788e-05,4.175039e-05,4.192503e-05,4.234763e-05,4.267158e-05,4.287377e-05,4.329867e-05,4.333306e-05,4.372975e-05,4.381611e-05,4.406804e-05,4.423350e-05,4.435203e-05,4.456017e-05,4.458568e-05,4.477279e-05,4.480496e-05,4.491702e-05,4.497621e-05,4.502178e-05,4.508169e-05,4.509035e-05,4.512577e-05,4.512855e-05,4.513089e-05,4.512337e-05,4.510838e-05,4.507216e-05,4.506074e-05,4.499026e-05,4.498038e-05,4.489911e-05,4.485297e-05,4.478927e-05,4.469442e-05,4.466257e-05,4.452072e-05,4.450876e-05,4.436526e-05,4.429959e-05,4.419764e-05,4.407017e-05,4.401918e-05,4.383110e-05,4.382340e-05,4.363452e-05,4.356187e-05,4.343047e-05,4.328792e-05,4.321988e-05,4.300363e-05,4.278250e-05,4.271083e-05,4.255722e-05,4.241117e-05,4.232845e-05,4.210613e-05,4.209681e-05,4.186285e-05,4.179699e-05,4.162707e-05,4.148493e-05,4.138995e-05,4.117096e-05,4.115189e-05,4.091330e-05,4.085599e-05,4.067451e-05,4.054083e-05,4.043585e-05,4.022617e-05,4.019762e-05,3.996007e-05,3.991266e-05,3.972344e-05,3.960083e-05,3.948795e-05,3.929116e-05,3.925380e-05,3.902116e-05,3.898408e-05,3.879019e-05,3.867996e-05,3.856103e-05,3.837910e-05,3.833382e-05,3.810866e-05,3.808178e-05,3.788566e-05,3.778825e-05,3.766491e-05,3.749869e-05,3.744648e-05,3.723045e-05,3.721327e-05,3.701688e-05,3.693215e-05,3.680581e-05,3.665542e-05,3.659730e-05,3.639138e-05,3.638320e-05,3.618809e-05,3.611555e-05,3.598744e-05,3.585252e-05,3.578945e-05,3.559415e-05,3.534048e-05,3.509151e-05,3.484724e-05,3.460767e-05,3.437277e-05,3.414253e-05,3.391691e-05,3.369586e-05,3.347936e-05,3.326734e-05,3.305976e-05,3.285656e-05,3.265769e-05,3.246307e-05,3.227264e-05,3.208635e-05,3.190412e-05,3.172588e-05,3.155156e-05,3.138110e-05,3.121443e-05,3.105146e-05,3.089214e-05,3.073639e-05
0.000000e+00,4.948202e-14,4.143936e-13,9.413344e-12,7.205767e-11,1.807815e-10,1.274525e-09,1.366179e-09,6.228484e-09,8.954304e-09,2.073754e-08,3.837235e-08,5.585470e-08,1.214812e-07,1.293299e-07,2.674153e-07,3.139342e-07,5.057113e-07,6.989739e-07,8.878834e-07,1.381132e-06,1.461678e-06,2.273168e-06,2.467580e-06,3.361074e-06,4.045608e-06,4.752689e-06,6.166992e-06,6.462024e-06,8.490035e-06,8.843531e-06,1.082624e-05,1.205160e-05,1.345100e-05,1.574108e-05,1.633805e-05,1.945664e-05,1.984487e-05,2.277350e-05,2.428687e-05,2.625420e-05,2.898790e-05,2.986432e-05,3.357020e-05,3.386983e-05,3.733954e-05,3.885814e-05,4.114181e-05,4.388379e-05,4.494859e-05,4.873377e-05,4.888438e-05,5.247374e-05,5.380494e-05,5.614750e-05,5.859833e-05,5.973664e-05,6.322537e-05,6.660046e-05,6.765466e-05,6.985110e-05,7.186216e-05,7.296874e-05,7.583059e-05,7.594699e-05,7.878134e-05,7.954876e-05,8.146905e-05,8.301071e-05,8.400886e-05,8.621491e-05,8.640085e-05,8.864621e-05,8.916350e-05,9.074709e-05,9.186154e-05,9.270641e-05,9.431633e-05,9.452773e-05,9.621510e-05,9.653689e-05,9.777295e-05,9.853340e-05,9.920598e-05,1.003169e-04,1.005191e-04,1.017173e-04,1.018987e-04,1.028057e-04,1.032906e-04,1.037893e-04,1.045042e-04,1.046732e-04,1.054624e-04,1.055509e-04,1.061616e-04,1.064420e-04,1.067756e-04,1.071882e-04,1.073091e-04,1.077664e-04,1.077998e-04,1.081519e-04,1.082870e-04,1.084697e-04,1.086589e-04,1.087238e-04,1.089180e-04,1.089246e-04,1.090559e-04,1.090925e-04,1.091411e-04,1.091705e-04,1.091767e-04,1.091661e-04,1.091122e-04,1.090863e-04,1.090179e-04,1.089376e-04,1.088859e-04,1.087261e-04,1.087188e-04,1.085191e-04,1.084576e-04,1.082891e-04,1.081374e-04,1.080309e-04,1.077705e-04,1.077468e-04,1.074387e-04,1.073614e-04,1.071085e-04,1.069145e-04,1.067579e-04,1.064338e-04,1.063885e-04,1.060021e-04,1.059229e-04,1.056001e-04,1.053853e-04,1.051838e-04,1.048242e-04,1.047547e-04,1.043140e-04,1.042425e-04,1.038628e-04,1.036429e-04,1.034023e-04,1.030279e-04,1.029335e-04,1.024574e-04,1.023998e-04,1.019750e-04,1.017609e-04,1.014870e-04,1.011129e-04,1.009943e-04,1.004977e-04,1.004578e-04,9.999787e-05,9.979719e-05,9.949550e-05,9.913257e-05,9.899121e-05,9.848559e-05,9.846534e-05,9.797918e-05,9.779678e-05,9.747251e-05,9.712806e-05,9.696604e-05,9.646022e-05,9.579423e-05,9.513097e-05,9.447122e-05,9.381571e-05,9.316508e-05,9.251991e-05,9.188072e-05,9.124797e-05,9.062208e-05,9.000341e-05,8.939227e-05,8.878895e-05,8.819370e-05,8.760670e-05,8.702814e-05,8.645817e-05,8.589691e-05,8.534443e-05,8.480083e-05,8.426615e-05,8.374041e-05,8.322364e-05,8.271584e-05,8.221697e-05
0.000000e+00,1.125636e-14,9.547076e-14,2.226758e-12,1.745164e-11,4.433680e-11,3.223154e-10,3.459019e-10,1.619458e-09,2.343041e-09,5.502522e-09,1.027213e-08,1.501863e-08,3.285855e-08,3.499018e-08,7.236591e-08,8.490793e-08,1.364526e-07,1.882969e-07,2.390247e-07,3.723035e-07,3.942235e-07,6.181055e-07,6.726224e-07,9.277548e-07,1.128315e-06,1.340040e-06,1.776937e-06,1.870251e-06,2.530887e-06,2.649340e-06,3.330798e-06,3.765786e-06,4.274757e-06,5.134225e-06,5.363440e-06,6.593709e-06,6.750580e-06,7.959103e-06,8.600399e-06,9.450430e-06,1.066116e-05,1.105636e-05,1.276403e-05,1.290462e-05,1.455951e-05,1.529905e-05,1.642829e-05,1.781094e-05,1.835565e-05,2.032696e-05,2.040653e-05,2.232794e-05,2.305290e-05,2.434488e-05,2.571885e-05,2.636480e-05,2.837559e-05,3.036614e-05,3.099715e-05,3.232633e-05,3.356073e-05,3.424717e-05,3.604681e-05,3.612076e-05,3.794028e-05,3.843926e-05,3.970001e-05,4.072516e-05,4.139526e-05,4.289473e-05,4.302231e-05,4.457835e-05,4.494100e-05,4.606144e-05,4.685962e-05,4.747036e-05,4.864845e-05,4.880461e-05,5.006428e-05,5.030731e-05,5.124998e-05,5.183764e-05,5.236276e-05,5.324219e-05,5.340407e-05,5.437564e-05,5.452475e-05,5.527948e-05,5.568990e-05,5.611778e-05,5.674279e-05,5.689287e-05,5.760719e-05,5.768894e-05,5.826325e-05,5.853411e-05,5.886358e-05,5.928412e-05,5.941072e-05,5.990722e-05,5.994482e-05,6.035555e-05,6.052195e-05,6.075816e-05,6.102108e-05,6.111745e-05,6.143571e-05,6.144762e-05,6.171520e-05,6.180674e-05,6.195806e-05,6.210334e-05,6.216636e-05,6.234209e-05,6.248714e-05,6.252737e-05,6.260332e-05,6.266333e-05,6.269236e-05,6.275383e-05,6.275590e-05,6.279551e-05,6.280251e-05,6.281265e-05,6.281275e-05,6.280874e-05,6.278769e-05,6.278510e-05,6.274300e-05,6.273028e-05,6.268362e-05,6.264324e-05,6.260809e-05,6.252911e-05,6.251748e-05,6.241278e-05,6.239024e-05,6.229496e-05,6.222881e-05,6.216491e-05,6.204684e-05,6.202348e-05,6.187146e-05,6.184620e-05,6.170961e-05,6.162864e-05,6.153864e-05,6.139575e-05,6.135922e-05,6.117198e-05,6.114902e-05,6.097753e-05,6.088982e-05,6.077641e-05,6.061944e-05,6.056918e-05,6.035631e-05,6.033905e-05,6.013829e-05,6.004974e-05,5.991556e-05,5.975250e-05,5.968853e-05,5.945760e-05,5.944828e-05,5.922314e-05,5.913794e-05,5.898550e-05,5.882226e-05,5.874501e-05,5.850197e-05,5.817777e-05,5.785027e-05,5.752005e-05,5.718764e-05,5.685354e-05,5.651820e-05,5.618203e-05,5.584542e-05,5.550873e-05,5.517227e-05,5.483635e-05,5.450125e-05,5.416721e-05,5.383446e-05,5.350323e-05,5.317369e-05,5.284603e-05,5.252041e-05,5.219697e-05,5.187585e-05,5.155717e-05,5.124103e-05,5.092753e-05,5.061677e-05
0.000000e+00,5.071450e-15,4.335087e-14,1.027321e-12,8.168332e-12,2.091665e-11,1.551785e-10,1.666713e-10,7.960611e-10,1.157955e-09,2.756073e-09,5.200292e-09,7.655643e-09,1.700300e-08,1.812876e-08,3.805833e-08,4.480583e-08,7.274481e-08,1.010929e-07,1.290050e-07,2.029415e-07,2.151696e-07,3.409190e-07,3.717446e-07,5.168871e-07,6.318765e-07,7.540023e-07,1.008048e-06,1.062621e-06,1.451593e-06,1.521759e-06,1.927424e-06,2.187843e-06,2.493676e-06,3.012111e-06,3.150678e-06,3.895542e-06,3.990582e-06,4.722438e-06,5.110193e-06,5.623052e-06,6.350587e-06,6.587164e-06,7.603244e-06,7.686410e-06,8.659022e-06,9.089650e-06,9.742018e-06,1.053173e-05,1.083998e-05,1.194122e-05,1.198519e-05,1.303493e-05,1.342490e-05,1.411129e-05,1.482885e-05,1.516166e-05,1.617859e-05,1.715583e-05,1.745931e-05,1.808832e-05,1.865977e-05,1.897212e-05,1.977206e-05,1.980433e-05,2.058301e-05,2.079127e-05,2.130705e-05,2.171507e-05,2.197610e-05,2.254332e-05,2.259048e-05,2.315101e-05,2.327767e-05,2.365901e-05,2.392115e-05,2.411614e-05,2.447789e-05,2.452437e-05,2.488586e-05,2.495276e-05,2.520296e-05,2.535111e-05,2.547809e-05,2.567860e-05,2.571375e-05,2.591243e-05,2.594096e-05,2.607662e-05,2.614389e-05,2.620875e-05,2.629296e-05,2.631119e-05,2.638623e-05,2.639349e-05,2.643606e-05,2.645054e-05,2.646277e-05,2.646883e-05,2.646834e-05,2.645463e-05,2.645275e-05,2.642340e-05,2.640637e-05,2.637628e-05,2.633338e-05,2.631481e-05,2.624042e-05,2.623719e-05,2.615442e-05,2.612087e-05,2.605806e-05,2.598718e-05,2.595244e-05,2.583863e-05,2.571757e-05,2.567745e-05,2.559016e-05,2.550565e-05,2.545719e-05,2.532502e-05,2.531942e-05,2.517753e-05,2.513714e-05,2.503212e-05,2.494343e-05,2.488378e-05,2.474515e-05,2.473301e-05,2.458029e-05,2.454339e-05,2.442604e-05,2.433914e-05,2.427066e-05,2.413326e-05,2.411449e-05,2.395786e-05,2.392650e-05,2.380105e-05,2.371953e-05,2.364434e-05,2.351294e-05,2.348794e-05,2.333209e-05,2.330721e-05,2.317695e-05,2.310280e-05,2.302272e-05,2.290008e-05,2.286953e-05,2.271754e-05,2.269938e-05,2.256685e-05,2.250099e-05,2.241757e-05,2.230513e-05,2.226981e-05,2.212364e-05,2.211202e-05,2.197915e-05,2.192183e-05,2.183638e-05,2.173469e-05,2.169540e-05,2.155625e-05,2.155072e-05,2.141898e-05,2.137002e-05,2.128361e-05,2.119266e-05,2.115017e-05,2.101869e-05,2.084815e-05,2.068107e-05,2.051746e-05,2.035733e-05,2.020066e-05,2.004744e-05,1.989766e-05,1.975127e-05,1.960825e-05,1.946856e-05,1.933216e-05,1.919900e-05,1.906903e-05,1.894220e-05,1.881846e-05,1.869775e-05,1.858002e-05,1.846521e-05,1.835326e-05,1.824411e-05,1.813771e-05,1.803400e-05,1.793291e-05,1.783439e-05
0.000000e+00,1.223541e-13,9.659287e-13,1.942555e-11,1.331539e-10,3.144725e-10,1.897224e-09,2.020816e-09,7.891112e-09,1.087485e-08,2.263088e-08,3.836875e-08,5.272311e-08,1.006328e-07,1.059384e-07,1.907719e-07,2.168074e-07,3.159557e-07,4.069026e-07,4.900873e-07,6.903139e-07,7.213339e-07,1.017138e-06,1.084627e-06,1.383831e-06,1.604169e-06,1.826111e-06,2.257893e-06,2.346401e-06,2.944242e-06,3.046893e-06,3.615950e-06,3.962711e-06,4.354697e-06,4.987691e-06,5.151051e-06,5.993824e-06,6.097508e-06,6.871001e-06,7.264749e-06,7.770582e-06,8.462220e-06,8.681205e-06,9.592551e-06,9.665209e-06,1.049554e-05,1.085262e-05,1.138241e-05,1.200727e-05,1.224665e-05,1.308291e-05,1.311572e-05,1.388694e-05,1.416784e-05,1.465544e-05,1.515645e-05,1.538598e-05,1.607684e-05,1.672701e-05,1.692638e-05,1.733602e-05,1.770416e-05,1.790387e-05,1.841068e-05,1.843099e-05,1.891814e-05,1.904751e-05,1.936634e-05,1.961709e-05,1.977686e-05,2.012247e-05,2.015111e-05,2.049062e-05,2.056711e-05,2.079701e-05,2.095474e-05,2.107195e-05,2.128922e-05,2.131713e-05,2.153424e-05,2.157445e-05,2.172496e-05,2.181424e-05,2.189091e-05,2.201235e-05,2.203370e-05,2.215486e-05,2.217234e-05,2.225587e-05,2.229761e-05,2.233813e-05,2.239137e-05,2.240301e-05,2.245178e-05,2.245661e-05,2.248565e-05,2.249612e-05,2.250575e-05,2.251250e-05,2.251318e-05,2.250894e-05,2.250812e-05,2.249398e-05,2.248519e-05,2.246919e-05,2.244572e-05,2.243540e-05,2.239340e-05,2.239156e-05,2.234391e-05,2.232439e-05,2.228760e-05,2.224575e-05,2.222512e-05,2.215704e-05,2.208392e-05,2.205954e-05,2.200626e-05,2.195440e-05,2.192454e-05,2.184267e-05,2.183919e-05,2.175063e-05,2.172531e-05,2.165923e-05,2.160317e-05,2.156533e-05,2.147703e-05,2.146927e-05,2.137134e-05,2.134759e-05,2.127182e-05,2.121549e-05,2.117096e-05,2.108129e-05,2.106900e-05,2.096617e-05,2.094551e-05,2.086265e-05,2.080861e-05,2.075864e-05,2.067101e-05,2.065430e-05,2.054979e-05,2.053306e-05,2.044526e-05,2.039512e-05,2.034083e-05,2.025745e-05,2.023664e-05,2.013278e-05,2.012034e-05,2.002936e-05,1.998402e-05,1.992647e-05,1.984868e-05,1.982420e-05,1.972261e-05,1.971452e-05,1.962179e-05,1.958169e-05,1.952179e-05,1.945032e-05,1.942266e-05,1.932446e-05,1.932056e-05,1.922724e-05,1.919249e-05,1.913103e-05,1.906620e-05,1.903587e-05,1.894179e-05,1.881930e-05,1.869879e-05,1.858031e-05,1.846390e-05,1.834957e-05,1.823735e-05,1.812726e-05,1.801929e-05,1.791345e-05,1.780975e-05,1.770816e-05,1.760868e-05,1.751130e-05,1.741600e-05,1.732277e-05,1.723157e-05,1.714239e-05,1.705519e-05,1.696997e-05,1.688667e-05,1.680528e-05,1.672577e-05,1.664811e-05,1.657225e-05
0.000000e+00,1.287707e-09,3.365715e-09,1.323094e-08,3.195911e-08,4.767888e-08,1.128702e-07,1.164395e-07,2.329492e-07,2.762821e-07,4.136341e-07,5.608405e-07,6.778157e-07,1.010549e-06,1.043881e-06,1.519710e-06,1.649349e-06,2.093430e-06,2.447465e-06,2.737619e-06,3.339564e-06,3.423204e-06,4.127729e-06,4.269451e-06,4.835791e-06,5.201752e-06,5.536866e-06,6.114785e-06,6.223399e-06,6.889649e-06,6.994050e-06,7.531094e-06,7.829099e-06,8.144172e-06,8.612327e-06,8.726119e-06,9.274923e-06,9.338482e-06,9.789263e-06,1.000446e-05,1.026845e-05,1.060902e-05,1.071235e-05,1.112132e-05,1.115254e-05,1.149610e-05,1.163668e-05,1.183777e-05,1.206397e-05,1.214759e-05,1.242711e-05,1.243768e-05,1.267794e-05,1.276154e-05,1.290177e-05,1.303944e-05,1.310034e-05,1.327534e-05,1.342846e-05,1.347310e-05,1.356131e-05,1.363642e-05,1.367546e-05,1.376882e-05,1.377238e-05,1.385348e-05,1.387354e-05,1.392007e-05,1.395357e-05,1.397337e-05,1.401167e-05,1.401454e-05,1.404463e-05,1.405032e-05,1.406463e-05,1.407177e-05,1.407545e-05,1.407805e-05,1.407794e-05,1.407285e-05,1.407099e-05,1.406092e-05,1.405223e-05,1.404279e-05,1.402321e-05,1.401906e-05,1.399029e-05,1.398526e-05,1.395699e-05,1.393953e-05,1.391961e-05,1.388706e-05,1.387859e-05,1.383431e-05,1.382879e-05,1.378713e-05,1.376553e-05,1.373738e-05,1.369803e-05,1.368535e-05,1.363133e-05,1.362693e-05,1.357556e-05,1.355282e-05,1.351827e-05,1.347621e-05,1.345968e-05,1.339997e-05,1.339756e-05,1.333932e-05,1.331728e-05,1.327789e-05,1.323574e-05,1.321582e-05,1.315326e-05,1.309032e-05,1.307012e-05,1.302712e-05,1.298658e-05,1.296376e-05,1.290286e-05,1.290032e-05,1.283690e-05,1.281916e-05,1.277358e-05,1.273566e-05,1.271041e-05,1.265250e-05,1.264747e-05,1.258482e-05,1.256983e-05,1.252250e-05,1.248777e-05,1.246057e-05,1.240641e-05,1.239906e-05,1.233801e-05,1.232586e-05,1.227747e-05,1.224619e-05,1.221746e-05,1.216747e-05,1.215800e-05,1.209913e-05,1.208977e-05,1.204086e-05,1.201312e-05,1.198322e-05,1.193757e-05,1.192623e-05,1.186989e-05,1.186317e-05,1.181422e-05,1.178994e-05,1.175923e-05,1.171790e-05,1.170493e-05,1.165133e-05,1.164708e-05,1.159844e-05,1.157748e-05,1.154626e-05,1.150913e-05,1.149479e-05,1.144404e-05,1.144203e-05,1.139401e-05,1.137617e-05,1.134470e-05,1.131157e-05,1.129610e-05,1.124823e-05,1.118613e-05,1.112528e-05,1.106566e-05,1.100727e-05,1.095010e-05,1.089414e-05,1.083936e-05,1.078577e-05,1.073334e-05,1.068206e-05,1.063191e-05,1.058289e-05,1.053496e-05,1.048811e-05,1.044233e-05,1.039760e-05,1.035390e-05,1.031121e-05,1.026951e-05,1.022879e-05,1.018902e-05,1.015019e-05,1.011229e-05,1.007528e-05
0.000000e+00,2.632578e-14,2.226919e-13,5.164757e-12,4.027175e-11,1.020342e-10,7.367823e-10,7.904909e-10,3.678537e-09,5.314005e-09,1.243519e-08,2.315393e-08,3.380054e-08,7.372506e-08,7.848921e-08,1.618931e-07,1.898379e-07,3.045061e-07,4.195749e-07,5.319157e-07,8.259001e-07,8.740889e-07,1.363698e-06,1.482229e-06,2.033511e-06,2.463116e-06,2.913287e-06,3.832214e-06,4.026850e-06,5.389943e-06,5.631764e-06,7.009119e-06,7.876842e-06,8.881738e-06,1.055517e-05,1.099681e-05,1.333637e-05,1.363114e-05,1.587716e-05,1.705202e-05,1.859232e-05,2.075473e-05,2.145297e-05,2.442954e-05,2.467180e-05,2.749291e-05,2.873626e-05,3.061520e-05,3.288507e-05,3.377044e-05,3.693491e-05,3.706137e-05,4.008741e-05,4.121572e-05,4.320934e-05,4.530651e-05,4.628467e-05,4.929986e-05,5.224372e-05,5.316915e-05,5.510719e-05,5.689429e-05,5.788321e-05,6.046092e-05,6.056641e-05,6.315299e-05,6.385954e-05,6.564044e-05,6.708473e-05,6.802742e-05,7.013434e-05,7.031352e-05,7.249913e-05,7.300883e-05,7.458530e-05,7.571070e-05,7.657362e-05,7.824397e-05,7.846608e-05,8.026502e-05,8.061381e-05,8.197303e-05,8.282617e-05,8.359287e-05,8.488751e-05,8.512743e-05,8.657968e-05,8.680461e-05,8.795264e-05,8.858439e-05,8.924934e-05,9.023381e-05,9.047277e-05,9.162593e-05,9.175972e-05,9.271172e-05,9.316887e-05,9.373302e-05,9.446779e-05,9.469262e-05,9.559323e-05,9.566281e-05,9.643749e-05,9.675999e-05,9.722795e-05,9.776515e-05,9.796707e-05,9.865721e-05,9.868383e-05,9.930067e-05,9.952132e-05,9.989965e-05,1.002826e-04,1.004563e-04,1.009725e-04,1.014504e-04,1.015955e-04,1.018918e-04,1.021559e-04,1.022984e-04,1.026577e-04,1.026720e-04,1.030143e-04,1.031047e-04,1.033267e-04,1.035005e-04,1.036108e-04,1.038485e-04,1.038681e-04,1.040998e-04,1.041518e-04,1.043074e-04,1.044135e-04,1.044920e-04,1.046365e-04,1.046549e-04,1.047972e-04,1.048233e-04,1.049200e-04,1.049765e-04,1.050243e-04,1.050984e-04,1.051111e-04,1.051814e-04,1.051912e-04,1.052361e-04,1.052570e-04,1.052760e-04,1.052979e-04,1.053020e-04,1.053148e-04,1.053155e-04,1.053152e-04,1.053116e-04,1.053039e-04,1.052879e-04,1.052815e-04,1.052488e-04,1.052458e-04,1.052063e-04,1.051868e-04,1.051547e-04,1.051121e-04,1.050944e-04,1.050261e-04,1.050232e-04,1.049501e-04,1.049210e-04,1.048671e-04,1.048068e-04,1.047774e-04,1.046815e-04,1.045461e-04,1.044015e-04,1.042486e-04,1.040882e-04,1.039209e-04,1.037475e-04,1.035686e-04,1.033849e-04,1.031968e-04,1.030050e-04,1.028099e-04,1.026119e-04,1.024116e-04,1.022092e-04,1.020053e-04,1.018000e-04,1.015938e-04,1.013869e-04,1.011797e-04,1.009723e-04,1.007651e-04,1.005582e-04,1.003518e-04,1.001462e-04
0.000000e+00,1.735793e-14,1.556575e-13,4.080555e-12,3.564758e-11,9.621684e-11,8.206370e-10,8.865277e-10,4.890289e-09,7.404944e-09,1.953646e-08,4.015377e-08,6.257178e-08,1.583060e-07,1.707028e-07,4.122976e-07,5.018540e-07,9.045442e-07,1.355854e-06,1.834429e-06,3.234267e-06,3.481709e-06,6.241385e-06,6.970873e-06,1.064327e-05,1.380054e-05,1.736677e-05,2.541692e-05,2.724977e-05,4.129101e-05,4.399857e-05,6.064595e-05,7.220084e-05,8.661658e-05,1.131154e-04,1.206358e-04,1.642469e-04,1.702015e-04,2.190799e-04,2.471954e-04,2.868242e-04,3.480032e-04,3.692002e-04,4.679294e-04,4.765852e-04,5.847049e-04,6.368370e-04,7.211623e-04,8.324734e-04,8.788524e-04,1.059215e-03,1.066920e-03,1.263557e-03,1.343217e-03,1.493031e-03,1.663938e-03,1.748621e-03,2.031125e-03,2.341149e-03,2.446240e-03,2.679097e-03,2.910142e-03,3.045174e-03,3.423069e-03,3.439376e-03,3.861502e-03,3.984653e-03,4.311158e-03,4.593930e-03,4.787760e-03,5.249384e-03,5.290550e-03,5.818605e-03,5.948982e-03,6.370852e-03,6.690231e-03,6.946080e-03,7.470238e-03,7.542961e-03,8.160058e-03,8.285771e-03,8.795847e-03,9.133317e-03,9.448731e-03,1.000915e-02,1.011705e-02,1.079912e-02,1.090941e-02,1.149320e-02,1.183011e-02,1.219756e-02,1.276727e-02,1.291045e-02,1.363017e-02,1.371691e-02,1.435498e-02,1.467509e-02,1.508324e-02,1.563801e-02,1.581330e-02,1.654359e-02,1.660197e-02,1.727257e-02,1.756348e-02,1.799880e-02,1.851920e-02,1.872088e-02,1.943749e-02,1.946602e-02,2.014737e-02,2.040106e-02,2.084937e-02,2.132165e-02,2.154238e-02,2.222540e-02,2.289749e-02,2.311011e-02,2.355780e-02,2.397386e-02,2.420556e-02,2.481494e-02,2.484006e-02,2.546069e-02,2.563190e-02,2.606688e-02,2.642347e-02,2.665817e-02,2.718863e-02,2.723414e-02,2.779443e-02,2.792654e-02,2.833878e-02,2.863655e-02,2.886694e-02,2.931820e-02,2.937875e-02,2.987409e-02,2.997118e-02,3.035289e-02,3.059533e-02,3.081514e-02,3.119063e-02,3.126083e-02,3.169005e-02,3.175720e-02,3.210287e-02,3.229525e-02,3.249944e-02,3.280509e-02,3.287990e-02,3.324446e-02,3.328714e-02,3.359331e-02,3.374189e-02,3.392670e-02,3.416989e-02,3.424488e-02,3.454813e-02,3.457175e-02,3.483673e-02,3.494814e-02,3.511099e-02,3.529976e-02,3.537123e-02,3.561776e-02,3.562734e-02,3.585092e-02,3.593165e-02,3.607105e-02,3.621347e-02,3.627849e-02,3.647359e-02,3.671283e-02,3.693198e-02,3.713186e-02,3.731326e-02,3.747700e-02,3.762384e-02,3.775457e-02,3.786995e-02,3.797071e-02,3.805759e-02,3.813129e-02,3.819249e-02,3.824186e-02,3.828005e-02,3.830767e-02,3.832533e-02,3.833360e-02,3.833304e-02,3.832418e-02,3.830755e-02,3.828363e-02,3.825288e-02,3.821577e-02,3.817272e-02
0.000000e+00,7.825676e-15,7.025112e-14,1.845560e-12,1.615384e-11,4.364610e-11,3.732121e-10,4.032184e-10,2.229352e-09,3.377637e-09,8.922898e-09,1.835629e-08,2.861961e-08,7.247438e-08,7.815468e-08,1.888712e-07,2.299130e-07,4.144343e-07,6.211817e-07,8.403661e-07,1.481260e-06,1.594523e-06,2.857475e-06,3.191285e-06,4.871789e-06,6.316803e-06,7.949401e-06,1.163665e-05,1.247655e-05,1.891600e-05,2.015872e-05,2.780636e-05,3.312113e-05,3.975882e-05,5.197893e-05,5.545116e-05,7.561956e-05,7.837737e-05,1.010484e-04,1.141142e-04,1.325587e-04,1.610929e-04,1.709949e-04,2.172115e-04,2.212705e-04,2.720587e-04,2.966015e-04,3.363685e-04,3.889816e-04,4.109408e-04,4.965303e-04,5.001931e-04,5.938343e-04,6.318549e-04,7.034818e-04,7.853773e-04,8.260237e-04,9.619246e-04,1.111556e-03,1.162386e-03,1.275193e-03,1.387355e-03,1.453009e-03,1.637117e-03,1.645073e-03,1.851354e-03,1.911645e-03,2.071719e-03,2.210605e-03,2.305935e-03,2.533368e-03,2.553676e-03,2.814524e-03,2.879024e-03,3.087980e-03,3.246410e-03,3.373465e-03,3.634130e-03,3.670332e-03,3.977869e-03,4.040591e-03,4.295313e-03,4.464031e-03,4.621852e-03,4.902553e-03,4.956637e-03,5.298788e-03,5.354156e-03,5.647405e-03,5.816769e-03,6.001571e-03,6.288280e-03,6.360364e-03,6.722860e-03,6.766565e-03,7.088142e-03,7.249515e-03,7.455305e-03,7.735059e-03,7.823461e-03,8.191745e-03,8.221188e-03,8.559319e-03,8.705968e-03,8.925376e-03,9.187561e-03,9.289141e-03,9.649879e-03,9.664236e-03,1.000689e-02,1.013438e-02,1.035952e-02,1.059649e-02,1.070715e-02,1.104922e-02,1.138518e-02,1.149133e-02,1.171457e-02,1.192172e-02,1.203694e-02,1.233944e-02,1.235189e-02,1.265907e-02,1.274364e-02,1.295817e-02,1.313363e-02,1.324891e-02,1.350882e-02,1.353107e-02,1.380445e-02,1.386874e-02,1.406889e-02,1.421303e-02,1.432427e-02,1.454143e-02,1.457050e-02,1.480751e-02,1.485380e-02,1.503528e-02,1.515006e-02,1.525380e-02,1.543024e-02,1.546311e-02,1.566323e-02,1.569441e-02,1.585425e-02,1.594273e-02,1.603626e-02,1.617544e-02,1.620935e-02,1.637365e-02,1.639278e-02,1.652930e-02,1.659509e-02,1.667646e-02,1.678272e-02,1.681529e-02,1.694596e-02,1.695607e-02,1.706866e-02,1.711555e-02,1.718358e-02,1.726161e-02,1.729092e-02,1.739087e-02,1.739472e-02,1.748366e-02,1.751536e-02,1.756950e-02,1.762400e-02,1.764859e-02,1.772116e-02,1.780732e-02,1.788300e-02,1.794868e-02,1.800487e-02,1.805205e-02,1.809069e-02,1.812127e-02,1.814424e-02,1.816005e-02,1.816913e-02,1.817190e-02,1.816877e-02,1.816012e-02,1.814633e-02,1.812776e-02,1.810474e-02,1.807762e-02,1.804671e-02,1.801230e-02,1.797468e-02,1.793412e-02,1.789088e-02,1.784520e-02,1.779732e-02
0.000000e+00,1.465043e-09,3.977822e-09,1.632925e-08,4.032083e-08,6.064927e-08,1.452993e-07,1.499291e-07,2.999860e-07,3.551797e-07,5.279250e-07,7.097893e-07,8.523236e-07,1.250911e-06,1.290443e-06,1.851929e-06,2.005137e-06,2.536165e-06,2.970786e-06,3.337216e-06,4.133752e-06,4.248793e-06,5.265534e-06,5.481071e-06,6.382545e-06,7.001353e-06,7.594752e-06,8.682449e-06,8.896486e-06,1.028126e-05,1.051006e-05,1.174176e-05,1.246734e-05,1.326988e-05,1.453518e-05,1.485685e-05,1.649346e-05,1.669274e-05,1.817020e-05,1.891821e-05,1.987749e-05,2.118962e-05,2.160584e-05,2.334604e-05,2.348551e-05,2.508930e-05,2.578559e-05,2.682736e-05,2.807121e-05,2.855256e-05,3.025792e-05,3.032563e-05,3.193721e-05,3.253428e-05,3.358490e-05,3.468482e-05,3.519621e-05,3.676704e-05,3.829399e-05,3.877288e-05,3.977428e-05,4.069614e-05,4.120571e-05,4.253238e-05,4.258663e-05,4.391587e-05,4.427868e-05,4.519267e-05,4.593342e-05,4.641668e-05,4.749611e-05,4.758786e-05,4.870648e-05,4.896718e-05,4.977305e-05,5.034784e-05,5.078826e-05,5.163988e-05,5.175302e-05,5.266834e-05,5.284557e-05,5.353537e-05,5.396756e-05,5.435536e-05,5.500874e-05,5.512960e-05,5.585947e-05,5.597222e-05,5.654635e-05,5.686120e-05,5.719166e-05,5.767894e-05,5.779684e-05,5.836329e-05,5.842873e-05,5.889245e-05,5.911383e-05,5.938573e-05,5.973748e-05,5.984451e-05,6.027017e-05,6.030283e-05,6.066402e-05,6.081296e-05,6.102740e-05,6.127086e-05,6.136156e-05,6.166775e-05,6.167943e-05,6.194717e-05,6.204144e-05,6.220100e-05,6.235956e-05,6.243037e-05,6.263637e-05,6.282006e-05,6.287430e-05,6.298247e-05,6.307570e-05,6.312458e-05,6.324279e-05,6.324735e-05,6.335168e-05,6.337771e-05,6.343847e-05,6.348248e-05,6.350856e-05,6.355900e-05,6.356277e-05,6.360189e-05,6.360911e-05,6.362666e-05,6.363454e-05,6.363782e-05,6.363693e-05,6.363606e-05,6.362204e-05,6.361782e-05,6.359641e-05,6.357870e-05,6.355978e-05,6.352094e-05,6.351274e-05,6.345585e-05,6.344587e-05,6.338965e-05,6.335473e-05,6.331467e-05,6.324869e-05,6.323139e-05,6.314030e-05,6.312886e-05,6.304184e-05,6.299630e-05,6.293645e-05,6.285198e-05,6.282455e-05,6.270654e-05,6.269684e-05,6.258279e-05,6.253176e-05,6.245367e-05,6.235757e-05,6.231952e-05,6.218069e-05,6.217504e-05,6.203748e-05,6.198491e-05,6.189020e-05,6.178787e-05,6.173914e-05,6.158457e-05,6.137562e-05,6.116160e-05,6.094304e-05,6.072045e-05,6.049431e-05,6.026506e-05,6.003312e-05,5.979889e-05,5.956273e-05,5.932498e-05,5.908597e-05,5.884599e-05,5.860533e-05,5.836426e-05,5.812300e-05,5.788180e-05,5.764085e-05,5.740037e-05,5.716054e-05,5.692151e-05,5.668346e-05,5.644653e-05,5.621085e-05,5.597654e-05
0.000000e+00,2.693831e-10,1.084345e-09,6.919725e-09,2.095740e-08,3.394177e-08,9.218539e-08,9.548200e-08,2.053997e-07,2.468285e-07,3.785881e-07,5.198463e-07,6.320580e-07,9.525458e-07,9.848836e-07,1.455218e-06,1.586988e-06,2.053037e-06,2.442145e-06,2.772907e-06,3.492080e-06,3.595386e-06,4.496183e-06,4.683743e-06,5.453548e-06,5.967898e-06,6.450425e-06,7.308656e-06,7.473696e-06,8.512841e-06,8.679965e-06,9.558924e-06,1.006114e-05,1.060396e-05,1.143428e-05,1.164060e-05,1.266203e-05,1.278327e-05,1.366196e-05,1.409362e-05,1.463469e-05,1.535263e-05,1.557514e-05,1.647892e-05,1.654952e-05,1.734242e-05,1.767588e-05,1.816274e-05,1.872532e-05,1.893761e-05,1.966561e-05,1.969374e-05,2.034588e-05,2.057902e-05,2.097816e-05,2.138083e-05,2.156274e-05,2.210033e-05,2.259204e-05,2.273993e-05,2.303929e-05,2.330296e-05,2.344374e-05,2.379345e-05,2.380723e-05,2.413171e-05,2.421585e-05,2.441923e-05,2.457487e-05,2.467189e-05,2.487533e-05,2.489176e-05,2.508094e-05,2.512200e-05,2.524144e-05,2.531954e-05,2.537525e-05,2.547243e-05,2.548427e-05,2.557031e-05,2.558491e-05,2.563511e-05,2.566096e-05,2.568031e-05,2.570427e-05,2.570747e-05,2.571804e-05,2.571828e-05,2.571339e-05,2.570613e-05,2.569480e-05,2.567069e-05,2.566346e-05,2.562047e-05,2.561458e-05,2.556688e-05,2.554019e-05,2.550364e-05,2.544967e-05,2.543163e-05,2.535168e-05,2.534496e-05,2.526454e-05,2.522783e-05,2.517092e-05,2.509986e-05,2.507146e-05,2.496677e-05,2.496248e-05,2.485738e-05,2.481696e-05,2.474382e-05,2.466445e-05,2.462654e-05,2.450599e-05,2.438255e-05,2.434250e-05,2.425659e-05,2.417481e-05,2.412845e-05,2.400367e-05,2.399843e-05,2.386683e-05,2.382973e-05,2.373390e-05,2.365360e-05,2.359988e-05,2.347581e-05,2.346499e-05,2.332944e-05,2.329684e-05,2.319342e-05,2.311710e-05,2.305709e-05,2.293698e-05,2.292060e-05,2.278412e-05,2.275683e-05,2.264775e-05,2.257693e-05,2.251164e-05,2.239757e-05,2.237588e-05,2.224057e-05,2.221898e-05,2.210582e-05,2.204136e-05,2.197171e-05,2.186492e-05,2.183830e-05,2.170567e-05,2.168981e-05,2.157389e-05,2.151619e-05,2.144301e-05,2.134417e-05,2.131308e-05,2.118415e-05,2.117388e-05,2.105626e-05,2.100540e-05,2.092945e-05,2.083883e-05,2.080375e-05,2.067920e-05,2.067424e-05,2.055581e-05,2.051168e-05,2.043362e-05,2.035122e-05,2.031264e-05,2.019290e-05,2.003674e-05,1.988279e-05,1.973106e-05,1.958156e-05,1.943432e-05,1.928934e-05,1.914662e-05,1.900615e-05,1.886794e-05,1.873198e-05,1.859825e-05,1.846674e-05,1.833744e-05,1.821033e-05,1.808539e-05,1.796260e-05,1.784194e-05,1.772338e-05,1.760690e-05,1.749247e-05,1.738007e-05,1.726967e-05,1.716125e-05,1.705477e-05
0.000000e+00,4.328567e-09,1.036563e-08,3.742098e-08,8.719860e-08,1.284164e-07,2.965843e-07,3.056904e-07,5.982085e-07,7.049116e-07,1.036902e-06,1.384196e-06,1.655474e-06,2.413938e-06,2.489388e-06,3.570854e-06,3.869778e-06,4.918735e-06,5.789511e-06,6.529364e-06,8.145180e-06,8.378618e-06,1.043359e-05,1.086638e-05,1.266215e-05,1.388012e-05,1.503619e-05,1.712487e-05,1.753130e-05,2.012571e-05,2.054867e-05,2.279942e-05,2.410546e-05,2.553382e-05,2.775331e-05,2.831152e-05,3.111636e-05,3.145404e-05,3.393349e-05,3.517341e-05,3.674947e-05,3.888139e-05,3.955227e-05,4.233131e-05,4.255232e-05,4.507738e-05,4.616479e-05,4.778268e-05,4.970147e-05,5.044057e-05,5.304557e-05,5.314860e-05,5.559324e-05,5.649566e-05,5.808004e-05,5.973486e-05,6.050322e-05,6.286073e-05,6.515114e-05,6.586974e-05,6.737353e-05,6.875991e-05,6.952739e-05,7.153053e-05,7.161262e-05,7.362942e-05,7.418192e-05,7.557826e-05,7.671521e-05,7.745979e-05,7.913207e-05,7.927485e-05,8.102441e-05,8.143467e-05,8.270954e-05,8.362552e-05,8.433144e-05,8.570739e-05,8.589135e-05,8.739058e-05,8.768326e-05,8.883047e-05,8.955622e-05,9.021239e-05,9.132943e-05,9.153775e-05,9.280795e-05,9.300616e-05,9.402443e-05,9.458967e-05,9.518860e-05,9.608322e-05,9.630187e-05,9.736567e-05,9.749006e-05,9.838137e-05,9.881341e-05,9.935038e-05,1.000564e-04,1.002741e-04,1.011537e-04,1.012223e-04,1.019908e-04,1.023139e-04,1.027864e-04,1.033344e-04,1.035420e-04,1.042588e-04,1.042867e-04,1.049380e-04,1.051736e-04,1.055809e-04,1.059978e-04,1.061885e-04,1.067622e-04,1.073029e-04,1.074692e-04,1.078119e-04,1.081214e-04,1.082901e-04,1.087213e-04,1.087387e-04,1.091587e-04,1.092713e-04,1.095510e-04,1.097735e-04,1.099167e-04,1.102304e-04,1.102566e-04,1.105718e-04,1.106439e-04,1.108631e-04,1.110162e-04,1.111314e-04,1.113492e-04,1.113776e-04,1.116024e-04,1.116449e-04,1.118067e-04,1.119051e-04,1.119913e-04,1.121316e-04,1.121569e-04,1.123042e-04,1.123261e-04,1.124340e-04,1.124903e-04,1.125470e-04,1.126256e-04,1.126437e-04,1.127250e-04,1.127337e-04,1.127914e-04,1.128160e-04,1.128435e-04,1.128739e-04,1.128819e-04,1.129072e-04,1.129087e-04,1.129200e-04,1.129217e-04,1.129207e-04,1.129141e-04,1.129100e-04,1.128882e-04,1.128871e-04,1.128560e-04,1.128419e-04,1.128138e-04,1.127795e-04,1.127619e-04,1.127010e-04,1.126073e-04,1.124994e-04,1.123782e-04,1.122445e-04,1.120992e-04,1.119431e-04,1.117769e-04,1.116013e-04,1.114170e-04,1.112247e-04,1.110249e-04,1.108184e-04,1.106055e-04,1.103869e-04,1.101631e-04,1.099346e-04,1.097018e-04,1.094651e-04,1.092250e-04,1.089819e-04,1.087361e-04,1.084880e-04,1.082379e-04,1.079861e-04
0.000000e+00,2.977363e-11,1.623797e-10,1.635216e-09,6.497559e-09,1.174522e-08,3.897560e-08,4.062188e-08,9.850126e-08,1.212094e-07,1.948157e-07,2.746826e-07,3.382200e-07,5.186148e-07,5.366971e-07,7.976173e-07,8.702913e-07,1.127690e-06,1.344952e-06,1.532723e-06,1.954674e-06,2.017080e-06,2.582822e-06,2.705700e-06,3.228825e-06,3.595060e-06,3.950469e-06,4.609693e-06,4.740280e-06,5.589180e-06,5.729849e-06,6.487626e-06,6.933721e-06,7.426285e-06,8.200199e-06,8.396304e-06,9.389355e-06,9.509692e-06,1.039761e-05,1.084415e-05,1.141374e-05,1.218705e-05,1.243092e-05,1.344288e-05,1.352344e-05,1.444390e-05,1.484007e-05,1.542885e-05,1.612551e-05,1.639322e-05,1.733309e-05,1.737013e-05,1.824517e-05,1.856617e-05,1.912671e-05,1.970757e-05,1.997552e-05,2.078993e-05,2.156871e-05,2.181026e-05,2.231107e-05,2.276684e-05,2.301655e-05,2.365904e-05,2.368507e-05,2.431676e-05,2.448709e-05,2.491203e-05,2.525193e-05,2.547144e-05,2.595509e-05,2.599577e-05,2.648589e-05,2.659854e-05,2.694280e-05,2.718455e-05,2.736754e-05,2.771561e-05,2.776125e-05,2.812510e-05,2.819439e-05,2.846027e-05,2.862362e-05,2.876796e-05,2.900605e-05,2.904936e-05,2.930568e-05,2.934444e-05,2.953809e-05,2.964149e-05,2.974775e-05,2.989985e-05,2.993578e-05,3.010330e-05,3.012208e-05,3.025138e-05,3.031064e-05,3.038104e-05,3.046788e-05,3.049328e-05,3.058906e-05,3.059604e-05,3.066931e-05,3.069725e-05,3.073490e-05,3.077353e-05,3.078669e-05,3.082550e-05,3.082679e-05,3.085210e-05,3.085884e-05,3.086724e-05,3.087135e-05,3.087162e-05,3.086592e-05,3.085079e-05,3.084405e-05,3.082684e-05,3.080715e-05,3.079465e-05,3.075651e-05,3.075477e-05,3.070774e-05,3.069336e-05,3.065406e-05,3.061885e-05,3.059419e-05,3.053405e-05,3.052860e-05,3.045770e-05,3.043994e-05,3.038191e-05,3.033747e-05,3.030160e-05,3.022749e-05,3.021714e-05,3.012888e-05,3.011079e-05,3.003713e-05,2.998814e-05,2.994220e-05,2.986022e-05,2.984439e-05,2.974397e-05,2.972768e-05,2.964119e-05,2.959110e-05,2.953631e-05,2.945103e-05,2.942954e-05,2.932111e-05,2.930800e-05,2.921123e-05,2.916246e-05,2.910007e-05,2.901486e-05,2.898783e-05,2.887468e-05,2.886559e-05,2.876077e-05,2.871502e-05,2.864625e-05,2.856350e-05,2.853126e-05,2.841594e-05,2.841132e-05,2.830041e-05,2.825879e-05,2.818478e-05,2.810616e-05,2.806917e-05,2.795367e-05,2.780154e-05,2.764997e-05,2.749915e-05,2.734923e-05,2.720036e-05,2.705269e-05,2.690633e-05,2.676140e-05,2.661798e-05,2.647616e-05,2.633603e-05,2.619765e-05,2.606108e-05,2.592637e-05,2.579356e-05,2.566269e-05,2.553380e-05,2.540690e-05,2.528201e-05,2.515916e-05,2.503835e-05,2.491958e-05,2.480287e-05,2.468821e-05
0.000000e+00,3.772806e-15,3.228179e-14,7.667952e-13,6.109719e-12,1.566274e-11,1.165150e-10,1.251571e-10,5.991645e-10,8.720337e-10,2.078142e-09,3.924437e-09,5.780041e-09,1.284691e-08,1.369809e-08,2.876291e-08,3.386050e-08,5.494485e-08,7.629202e-08,9.725876e-08,1.525220e-07,1.616218e-07,2.545405e-07,2.771389e-07,3.826580e-07,4.652996e-07,5.522427e-07,7.307326e-07,7.687056e-07,1.036214e-06,1.083953e-06,1.357438e-06,1.531077e-06,1.733433e-06,2.073341e-06,2.163641e-06,2.645990e-06,2.707226e-06,3.177059e-06,3.425024e-06,3.752287e-06,4.215655e-06,4.366204e-06,5.012671e-06,5.065600e-06,5.685112e-06,5.959841e-06,6.376730e-06,6.882741e-06,7.080714e-06,7.790408e-06,7.818823e-06,8.499465e-06,8.753416e-06,9.201970e-06,9.673157e-06,9.892533e-06,1.056636e-05,1.121929e-05,1.142322e-05,1.184782e-05,1.223593e-05,1.244910e-05,1.299864e-05,1.302093e-05,1.356168e-05,1.370736e-05,1.407030e-05,1.435981e-05,1.454626e-05,1.495519e-05,1.498945e-05,1.540015e-05,1.549395e-05,1.577900e-05,1.597756e-05,1.612688e-05,1.640827e-05,1.644489e-05,1.673433e-05,1.678891e-05,1.699659e-05,1.712271e-05,1.723314e-05,1.741310e-05,1.744552e-05,1.763526e-05,1.766362e-05,1.780390e-05,1.787780e-05,1.795295e-05,1.805906e-05,1.808386e-05,1.819805e-05,1.821069e-05,1.829685e-05,1.833578e-05,1.838153e-05,1.843718e-05,1.845329e-05,1.851323e-05,1.851754e-05,1.856240e-05,1.857926e-05,1.860175e-05,1.862452e-05,1.863219e-05,1.865454e-05,1.865527e-05,1.866953e-05,1.867327e-05,1.867787e-05,1.868007e-05,1.868019e-05,1.867706e-05,1.866901e-05,1.866548e-05,1.865652e-05,1.864640e-05,1.864003e-05,1.862080e-05,1.861993e-05,1.859658e-05,1.858951e-05,1.857032e-05,1.855329e-05,1.854144e-05,1.851280e-05,1.851022e-05,1.847690e-05,1.846861e-05,1.844171e-05,1.842126e-05,1.840485e-05,1.837119e-05,1.836652e-05,1.832688e-05,1.831881e-05,1.828609e-05,1.826447e-05,1.824429e-05,1.820849e-05,1.820161e-05,1.815817e-05,1.815116e-05,1.811408e-05,1.809272e-05,1.806945e-05,1.803340e-05,1.802435e-05,1.797889e-05,1.797341e-05,1.793312e-05,1.791291e-05,1.788713e-05,1.785206e-05,1.784098e-05,1.779472e-05,1.779102e-05,1.774842e-05,1.772990e-05,1.770213e-05,1.766883e-05,1.765589e-05,1.760974e-05,1.760790e-05,1.756374e-05,1.754721e-05,1.751790e-05,1.748684e-05,1.747226e-05,1.742687e-05,1.736735e-05,1.730835e-05,1.724991e-05,1.719209e-05,1.713492e-05,1.707845e-05,1.702270e-05,1.696769e-05,1.691346e-05,1.686002e-05,1.680740e-05,1.675560e-05,1.670463e-05,1.665452e-05,1.660525e-05,1.655685e-05,1.650931e-05,1.646264e-05,1.641683e-05,1.637189e-05,1.632781e-05,1.628460e-05,1.624223e-05,1.620072e-05
0.000000e+00,1.986586e-10,8.400523e-10,5.738029e-09,1.803905e-08,2.964182e-08,8.254028e-08,8.555311e-08,1.861924e-07,2.240570e-07,3.437968e-07,4.707730e-07,5.705653e-07,8.507183e-07,8.786244e-07,1.278550e-06,1.388984e-06,1.776017e-06,2.096895e-06,2.369487e-06,2.965791e-06,3.052139e-06,3.815483e-06,3.977093e-06,4.651167e-06,5.111640e-06,5.551158e-06,6.350992e-06,6.507446e-06,7.511821e-06,7.676422e-06,8.555826e-06,9.068491e-06,9.630821e-06,1.050730e-05,1.072813e-05,1.183923e-05,1.197309e-05,1.295588e-05,1.344695e-05,1.407035e-05,1.491145e-05,1.517547e-05,1.626478e-05,1.635107e-05,1.733257e-05,1.775252e-05,1.837389e-05,1.910489e-05,1.938459e-05,2.036122e-05,2.039954e-05,2.130106e-05,2.162997e-05,2.220201e-05,2.279168e-05,2.306261e-05,2.388189e-05,2.465934e-05,2.489927e-05,2.539488e-05,2.584371e-05,2.608873e-05,2.671609e-05,2.674141e-05,2.735369e-05,2.751802e-05,2.792651e-05,2.825171e-05,2.846097e-05,2.891981e-05,2.895826e-05,2.941967e-05,2.952523e-05,2.984657e-05,3.007108e-05,3.024034e-05,3.056056e-05,3.060238e-05,3.093411e-05,3.099694e-05,3.123693e-05,3.138343e-05,3.151223e-05,3.172322e-05,3.176138e-05,3.198571e-05,3.201939e-05,3.218650e-05,3.227488e-05,3.236499e-05,3.249256e-05,3.252242e-05,3.265993e-05,3.267515e-05,3.277865e-05,3.282522e-05,3.287966e-05,3.294522e-05,3.296399e-05,3.303262e-05,3.303746e-05,3.308650e-05,3.310412e-05,3.312652e-05,3.314724e-05,3.315355e-05,3.316840e-05,3.316875e-05,3.317184e-05,3.317044e-05,3.316463e-05,3.315399e-05,3.314745e-05,3.312097e-05,3.308584e-05,3.307286e-05,3.304264e-05,3.301102e-05,3.299195e-05,3.293673e-05,3.293430e-05,3.287020e-05,3.285117e-05,3.280015e-05,3.275544e-05,3.272458e-05,3.265057e-05,3.264395e-05,3.255864e-05,3.253752e-05,3.246905e-05,3.241715e-05,3.237555e-05,3.229029e-05,3.227847e-05,3.217813e-05,3.215770e-05,3.207486e-05,3.202008e-05,3.196892e-05,3.187808e-05,3.186060e-05,3.175014e-05,3.173229e-05,3.163779e-05,3.158326e-05,3.152378e-05,3.143151e-05,3.140831e-05,3.129159e-05,3.127750e-05,3.117380e-05,3.112167e-05,3.105511e-05,3.096442e-05,3.093570e-05,3.081572e-05,3.080610e-05,3.069531e-05,3.064706e-05,3.057461e-05,3.048759e-05,3.045374e-05,3.033282e-05,3.032799e-05,3.021197e-05,3.016850e-05,3.009128e-05,3.000935e-05,2.997085e-05,2.985077e-05,2.969294e-05,2.953604e-05,2.938023e-05,2.922565e-05,2.907242e-05,2.892067e-05,2.877049e-05,2.862197e-05,2.847521e-05,2.833026e-05,2.818719e-05,2.804605e-05,2.790689e-05,2.776975e-05,2.763465e-05,2.750163e-05,2.737071e-05,2.724190e-05,2.711522e-05,2.699066e-05,2.686824e-05,2.674796e-05,2.662980e-05,2.651377e-05
0.000000e+00,1.297828e-15,1.151424e-14,2.950065e-13,2.521584e-12,6.721921e-12,5.541391e-11,5.977656e-11,3.177073e-10,4.759223e-10,1.220340e-09,2.447036e-09,3.749169e-09,9.109728e-09,9.787763e-09,2.257524e-08,2.716986e-08,4.722879e-08,6.891340e-08,9.128726e-08,1.543388e-07,1.652096e-07,2.827632e-07,3.129691e-07,4.612541e-07,5.849473e-07,7.215749e-07,1.021195e-06,1.088066e-06,1.588200e-06,1.682605e-06,2.252118e-06,2.638372e-06,3.112032e-06,3.963623e-06,4.201529e-06,5.554817e-06,5.736562e-06,7.205926e-06,8.035334e-06,9.187903e-06,1.093482e-05,1.153203e-05,1.426708e-05,1.450357e-05,1.741865e-05,1.880093e-05,2.100856e-05,2.387475e-05,2.505437e-05,2.956897e-05,2.975943e-05,3.456034e-05,3.647467e-05,4.003139e-05,4.402479e-05,4.597992e-05,5.239867e-05,5.927552e-05,6.157026e-05,6.659375e-05,7.149951e-05,7.433235e-05,8.213386e-05,8.246648e-05,9.096787e-05,9.340990e-05,9.980536e-05,1.052553e-04,1.089454e-04,1.175910e-04,1.183525e-04,1.279899e-04,1.303330e-04,1.378200e-04,1.433948e-04,1.478047e-04,1.566890e-04,1.579061e-04,1.680868e-04,1.701292e-04,1.783103e-04,1.836316e-04,1.885411e-04,1.971160e-04,1.987456e-04,2.088915e-04,2.105074e-04,2.189487e-04,2.237364e-04,2.288892e-04,2.367400e-04,2.386869e-04,2.483183e-04,2.494619e-04,2.577621e-04,2.618529e-04,2.669991e-04,2.738706e-04,2.760127e-04,2.847883e-04,2.854797e-04,2.933136e-04,2.966513e-04,3.015783e-04,3.073629e-04,3.095742e-04,3.172949e-04,3.175979e-04,3.247356e-04,3.273452e-04,3.318935e-04,3.365984e-04,3.387669e-04,3.453558e-04,3.516612e-04,3.536194e-04,3.576854e-04,3.613949e-04,3.634318e-04,3.686906e-04,3.689043e-04,3.741079e-04,3.755175e-04,3.790482e-04,3.818885e-04,3.837313e-04,3.878184e-04,3.881640e-04,3.923531e-04,3.933230e-04,3.963060e-04,3.984192e-04,4.000303e-04,4.031247e-04,4.035337e-04,4.068241e-04,4.074573e-04,4.099094e-04,4.114354e-04,4.127976e-04,4.150771e-04,4.154965e-04,4.180141e-04,4.184006e-04,4.203579e-04,4.214235e-04,4.225357e-04,4.241634e-04,4.245549e-04,4.264228e-04,4.266372e-04,4.281466e-04,4.288612e-04,4.297332e-04,4.308513e-04,4.311892e-04,4.325213e-04,4.326227e-04,4.337356e-04,4.341896e-04,4.348381e-04,4.355661e-04,4.358348e-04,4.367312e-04,4.367651e-04,4.375327e-04,4.377990e-04,4.382445e-04,4.386797e-04,4.388714e-04,4.394182e-04,4.400250e-04,4.405100e-04,4.408824e-04,4.411509e-04,4.413236e-04,4.414082e-04,4.414116e-04,4.413406e-04,4.412014e-04,4.409996e-04,4.407408e-04,4.404298e-04,4.400714e-04,4.396700e-04,4.392294e-04,4.387536e-04,4.382459e-04,4.377097e-04,4.371478e-04,4.365632e-04,4.359583e-04,4.353355e-04,4.346972e-04,4.340453e-04
0.000000e+00,4.141648e-09,9.492559e-09,3.267768e-08,7.441685e-08,1.086550e-07,2.473997e-07,2.548970e-07,4.959901e-07,5.842310e-07,8.601431e-07,1.150798e-06,1.378803e-06,2.016312e-06,2.079448e-06,2.972186e-06,3.214126e-06,4.046206e-06,4.719413e-06,5.281557e-06,6.487111e-06,6.659450e-06,8.164580e-06,8.479710e-06,9.783976e-06,1.066721e-05,1.150557e-05,1.302186e-05,1.331728e-05,1.520657e-05,1.551519e-05,1.716037e-05,1.811716e-05,1.916518e-05,2.079653e-05,2.120727e-05,2.327301e-05,2.352184e-05,2.534907e-05,2.626251e-05,2.742277e-05,2.898986e-05,2.948223e-05,3.151655e-05,3.167790e-05,3.351594e-05,3.430395e-05,3.547179e-05,3.684882e-05,3.737667e-05,3.922430e-05,3.929694e-05,4.100954e-05,4.163615e-05,4.272838e-05,4.385766e-05,4.437776e-05,4.595551e-05,4.746029e-05,4.792628e-05,4.889143e-05,4.976868e-05,5.024889e-05,5.148315e-05,5.153312e-05,5.274501e-05,5.307154e-05,5.388583e-05,5.453683e-05,5.495712e-05,5.588284e-05,5.596067e-05,5.689846e-05,5.711397e-05,5.777257e-05,5.823508e-05,5.858522e-05,5.925130e-05,5.933866e-05,6.003520e-05,6.016789e-05,6.067715e-05,6.099016e-05,6.126681e-05,6.172340e-05,6.180648e-05,6.229839e-05,6.237281e-05,6.274476e-05,6.294347e-05,6.314774e-05,6.344029e-05,6.350942e-05,6.383184e-05,6.386799e-05,6.411697e-05,6.423110e-05,6.436670e-05,6.453395e-05,6.458286e-05,6.476723e-05,6.478065e-05,6.492148e-05,6.497512e-05,6.504725e-05,6.512105e-05,6.514610e-05,6.521951e-05,6.522194e-05,6.526891e-05,6.528109e-05,6.529568e-05,6.530161e-05,6.530110e-05,6.528643e-05,6.525285e-05,6.523830e-05,6.520150e-05,6.515981e-05,6.513345e-05,6.505338e-05,6.504974e-05,6.495134e-05,6.492129e-05,6.483919e-05,6.476567e-05,6.471417e-05,6.458852e-05,6.457713e-05,6.442887e-05,6.439170e-05,6.427015e-05,6.417697e-05,6.410169e-05,6.394595e-05,6.392419e-05,6.373830e-05,6.370017e-05,6.354464e-05,6.344106e-05,6.334379e-05,6.316993e-05,6.313632e-05,6.292275e-05,6.288804e-05,6.270359e-05,6.259654e-05,6.247931e-05,6.229650e-05,6.225036e-05,6.201717e-05,6.198892e-05,6.178014e-05,6.167474e-05,6.153966e-05,6.135481e-05,6.129609e-05,6.104977e-05,6.102995e-05,6.080101e-05,6.070090e-05,6.055014e-05,6.036836e-05,6.029743e-05,6.004316e-05,6.003296e-05,5.978758e-05,5.969530e-05,5.953094e-05,5.935594e-05,5.927347e-05,5.901538e-05,5.867409e-05,5.833251e-05,5.799104e-05,5.765004e-05,5.730987e-05,5.697082e-05,5.663318e-05,5.629722e-05,5.596318e-05,5.563126e-05,5.530168e-05,5.497461e-05,5.465021e-05,5.432864e-05,5.401002e-05,5.369447e-05,5.338210e-05,5.307300e-05,5.276725e-05,5.246494e-05,5.216611e-05,5.187082e-05,5.157913e-05,5.129106e-05
0.000000e+00,9.793095e-15,8.357615e-14,1.973512e-12,1.563715e-11,3.996179e-11,2.948085e-10,3.165649e-10,1.502211e-09,2.180854e-09,5.162936e-09,9.694294e-09,1.422198e-08,3.131185e-08,3.335792e-08,6.927339e-08,8.132681e-08,1.308065e-07,1.804461e-07,2.288812e-07,3.555375e-07,3.762933e-07,5.873142e-07,6.384770e-07,8.770839e-07,1.063954e-06,1.260795e-06,1.666205e-06,1.752725e-06,2.365242e-06,2.475121e-06,3.107917e-06,3.512573e-06,3.986863e-06,4.789794e-06,5.004350e-06,6.158705e-06,6.306204e-06,7.444492e-06,8.049710e-06,8.852875e-06,9.998109e-06,1.037212e-05,1.198817e-05,1.212118e-05,1.368528e-05,1.438307e-05,1.544658e-05,1.674470e-05,1.725467e-05,1.909208e-05,1.916594e-05,2.094176e-05,2.160749e-05,2.278744e-05,2.403239e-05,2.461389e-05,2.640717e-05,2.815481e-05,2.870259e-05,2.984589e-05,3.089412e-05,3.147108e-05,3.296210e-05,3.302267e-05,3.449450e-05,3.489165e-05,3.588191e-05,3.667243e-05,3.718165e-05,3.829826e-05,3.839175e-05,3.951137e-05,3.976663e-05,4.054075e-05,4.107815e-05,4.148096e-05,4.223606e-05,4.233388e-05,4.310200e-05,4.324570e-05,4.378830e-05,4.411397e-05,4.439620e-05,4.484894e-05,4.492939e-05,4.539176e-05,4.545943e-05,4.578734e-05,4.595470e-05,4.612022e-05,4.634413e-05,4.639449e-05,4.661418e-05,4.663707e-05,4.678326e-05,4.684261e-05,4.690556e-05,4.696951e-05,4.698478e-05,4.702446e-05,4.702603e-05,4.702797e-05,4.701996e-05,4.699848e-05,4.695851e-05,4.693900e-05,4.685235e-05,4.684836e-05,4.674116e-05,4.669561e-05,4.660790e-05,4.650584e-05,4.645483e-05,4.628409e-05,4.609762e-05,4.603493e-05,4.589724e-05,4.576246e-05,4.568460e-05,4.547035e-05,4.546123e-05,4.522854e-05,4.516189e-05,4.498780e-05,4.484000e-05,4.474021e-05,4.450728e-05,4.448682e-05,4.422861e-05,4.416603e-05,4.396648e-05,4.381828e-05,4.370124e-05,4.346584e-05,4.343363e-05,4.316430e-05,4.311029e-05,4.289387e-05,4.275300e-05,4.262289e-05,4.239520e-05,4.235185e-05,4.208119e-05,4.203795e-05,4.181132e-05,4.168216e-05,4.154259e-05,4.132864e-05,4.127532e-05,4.100981e-05,4.097808e-05,4.074631e-05,4.063107e-05,4.048505e-05,4.028811e-05,4.022623e-05,3.997003e-05,3.994965e-05,3.971660e-05,3.961604e-05,3.946609e-05,3.928759e-05,3.921861e-05,3.897426e-05,3.896455e-05,3.873314e-05,3.864713e-05,3.849530e-05,3.833549e-05,3.826083e-05,3.802975e-05,3.773002e-05,3.743635e-05,3.714879e-05,3.686736e-05,3.659206e-05,3.632287e-05,3.605976e-05,3.580269e-05,3.555160e-05,3.530643e-05,3.506711e-05,3.483356e-05,3.460569e-05,3.438342e-05,3.416664e-05,3.395526e-05,3.374919e-05,3.354831e-05,3.335252e-05,3.316173e-05,3.297582e-05,3.279469e-05,3.261822e-05,3.244633e-05
0.000000e+00,7.924456e-14,7.112613e-13,1.867482e-11,1.633033e-10,4.409037e-10,3.759213e-09,4.060829e-09,2.234362e-08,3.379400e-08,8.880810e-08,1.817279e-07,2.821945e-07,7.069973e-07,7.616322e-07,1.815506e-06,2.202289e-06,3.924954e-06,5.833789e-06,7.841384e-06,1.365378e-05,1.467481e-05,2.598710e-05,2.896170e-05,4.388258e-05,5.666845e-05,7.108824e-05,1.036119e-04,1.110174e-04,1.678116e-04,1.787798e-04,2.463581e-04,2.934111e-04,3.522818e-04,4.609632e-04,4.919118e-04,6.722231e-04,6.969470e-04,9.007567e-04,1.018638e-03,1.185521e-03,1.444684e-03,1.534876e-03,1.957408e-03,1.994631e-03,2.461787e-03,2.688393e-03,3.056636e-03,3.545688e-03,3.750380e-03,4.551112e-03,4.585477e-03,5.466459e-03,5.825416e-03,6.503453e-03,7.281355e-03,7.668422e-03,8.966888e-03,1.040348e-02,1.089299e-02,1.198186e-02,1.306770e-02,1.370468e-02,1.549597e-02,1.557354e-02,1.758896e-02,1.817949e-02,1.975038e-02,2.111669e-02,2.205620e-02,2.430281e-02,2.450375e-02,2.708937e-02,2.772997e-02,2.980845e-02,3.138742e-02,3.265550e-02,3.526174e-02,3.562418e-02,3.870744e-02,3.933717e-02,4.189753e-02,4.359586e-02,4.518614e-02,4.801827e-02,4.856446e-02,5.202325e-02,5.258349e-02,5.555298e-02,5.726958e-02,5.914386e-02,6.205393e-02,6.278597e-02,6.646930e-02,6.691359e-02,7.018384e-02,7.182556e-02,7.391966e-02,7.676708e-02,7.766696e-02,8.141615e-02,8.171589e-02,8.515788e-02,8.665045e-02,8.888312e-02,9.155017e-02,9.258315e-02,9.624967e-02,9.639552e-02,9.987477e-02,1.011682e-01,1.034510e-01,1.058513e-01,1.069713e-01,1.104292e-01,1.138186e-01,1.148878e-01,1.171339e-01,1.192146e-01,1.203702e-01,1.233984e-01,1.235228e-01,1.265877e-01,1.274296e-01,1.295611e-01,1.313001e-01,1.324401e-01,1.350031e-01,1.352220e-01,1.379044e-01,1.385332e-01,1.404856e-01,1.418864e-01,1.429642e-01,1.450597e-01,1.453392e-01,1.476100e-01,1.480516e-01,1.497761e-01,1.508612e-01,1.518377e-01,1.534889e-01,1.537951e-01,1.556489e-01,1.559359e-01,1.573999e-01,1.582042e-01,1.590493e-01,1.602965e-01,1.605984e-01,1.620488e-01,1.622163e-01,1.634022e-01,1.639674e-01,1.646604e-01,1.655542e-01,1.658254e-01,1.668996e-01,1.669816e-01,1.678849e-01,1.682548e-01,1.687840e-01,1.693791e-01,1.695991e-01,1.703327e-01,1.703604e-01,1.709875e-01,1.712044e-01,1.715659e-01,1.719170e-01,1.720707e-01,1.725044e-01,1.729726e-01,1.733276e-01,1.735755e-01,1.737222e-01,1.737736e-01,1.737354e-01,1.736132e-01,1.734125e-01,1.731387e-01,1.727967e-01,1.723917e-01,1.719283e-01,1.714111e-01,1.708445e-01,1.702326e-01,1.695796e-01,1.688891e-01,1.681648e-01,1.674100e-01,1.666280e-01,1.658219e-01,1.649945e-01,1.641485e-01,1.632865e-01
0.000000e+00,5.557225e-10,1.694019e-09,7.816378e-09,2.028361e-08,3.102957e-08,7.626484e-08,7.874684e-08,1.591409e-07,1.886223e-07,2.804604e-07,3.764675e-07,4.513276e-07,6.598648e-07,6.805462e-07,9.757477e-07,1.056933e-06,1.340324e-06,1.573648e-06,1.770383e-06,2.194901e-06,2.255633e-06,2.783772e-06,2.893537e-06,3.343746e-06,3.644436e-06,3.926493e-06,4.428083e-06,4.524519e-06,5.131396e-06,5.228930e-06,5.741450e-06,6.033894e-06,6.349611e-06,6.831731e-06,6.951374e-06,7.542796e-06,7.612906e-06,8.120500e-06,8.369598e-06,8.681671e-06,9.095690e-06,9.224043e-06,9.745864e-06,9.786681e-06,1.024586e-05,1.043954e-05,1.072317e-05,1.105251e-05,1.117732e-05,1.160815e-05,1.162489e-05,1.201574e-05,1.215684e-05,1.240041e-05,1.264914e-05,1.276265e-05,1.310307e-05,1.342240e-05,1.352025e-05,1.372141e-05,1.390250e-05,1.400095e-05,1.425178e-05,1.426187e-05,1.450504e-05,1.457007e-05,1.473135e-05,1.485939e-05,1.494164e-05,1.512170e-05,1.513677e-05,1.531755e-05,1.535889e-05,1.548477e-05,1.557279e-05,1.563921e-05,1.576511e-05,1.578158e-05,1.591259e-05,1.593749e-05,1.603291e-05,1.609146e-05,1.614316e-05,1.622843e-05,1.624394e-05,1.633582e-05,1.634973e-05,1.641933e-05,1.645659e-05,1.649498e-05,1.655015e-05,1.656323e-05,1.662456e-05,1.663147e-05,1.667937e-05,1.670153e-05,1.672807e-05,1.676122e-05,1.677103e-05,1.680861e-05,1.681140e-05,1.684114e-05,1.685281e-05,1.686894e-05,1.688619e-05,1.689230e-05,1.691150e-05,1.691218e-05,1.692680e-05,1.693140e-05,1.693844e-05,1.694439e-05,1.694666e-05,1.695169e-05,1.695371e-05,1.695375e-05,1.695293e-05,1.695104e-05,1.694952e-05,1.694394e-05,1.694366e-05,1.693551e-05,1.693284e-05,1.692523e-05,1.691809e-05,1.691294e-05,1.689999e-05,1.689879e-05,1.688291e-05,1.687886e-05,1.686542e-05,1.685495e-05,1.684642e-05,1.682854e-05,1.682602e-05,1.680432e-05,1.679984e-05,1.678142e-05,1.676907e-05,1.675741e-05,1.673644e-05,1.673236e-05,1.670637e-05,1.670213e-05,1.667949e-05,1.666630e-05,1.665181e-05,1.662913e-05,1.662339e-05,1.659429e-05,1.659075e-05,1.656456e-05,1.655131e-05,1.653428e-05,1.651092e-05,1.650348e-05,1.647222e-05,1.646970e-05,1.644054e-05,1.642776e-05,1.640849e-05,1.638521e-05,1.637611e-05,1.634344e-05,1.634213e-05,1.631051e-05,1.629860e-05,1.627737e-05,1.625472e-05,1.624404e-05,1.621055e-05,1.616616e-05,1.612161e-05,1.607696e-05,1.603226e-05,1.598757e-05,1.594293e-05,1.589838e-05,1.585396e-05,1.580971e-05,1.576566e-05,1.572184e-05,1.567828e-05,1.563500e-05,1.559203e-05,1.554938e-05,1.550709e-05,1.546516e-05,1.542362e-05,1.538247e-05,1.534173e-05,1.530142e-05,1.526154e-05,1.522210e-05,1.518311e-05
0.000000e+00,2.388911e-09,5.925341e-09,2.212793e-08,5.224084e-08,7.723105e-08,1.790759e-07,1.845798e-07,3.607004e-07,4.246258e-07,6.225339e-07,8.281165e-07,9.877591e-07,1.429988e-06,1.473654e-06,2.093067e-06,2.262151e-06,2.848571e-06,3.327978e-06,3.730823e-06,4.599272e-06,4.723678e-06,5.810061e-06,6.037159e-06,6.974400e-06,7.605984e-06,8.202750e-06,9.274644e-06,9.482312e-06,1.080106e-05,1.101493e-05,1.214762e-05,1.280066e-05,1.351123e-05,1.460765e-05,1.488190e-05,1.625043e-05,1.641411e-05,1.760859e-05,1.820098e-05,1.894909e-05,1.995218e-05,2.026567e-05,2.155306e-05,2.165465e-05,2.280691e-05,2.329826e-05,2.402377e-05,2.487545e-05,2.520092e-05,2.633642e-05,2.638095e-05,2.742890e-05,2.781149e-05,2.847755e-05,2.916540e-05,2.948202e-05,3.044232e-05,3.135879e-05,3.164289e-05,3.223202e-05,3.276855e-05,3.306280e-05,3.382132e-05,3.385211e-05,3.460102e-05,3.480363e-05,3.531069e-05,3.571817e-05,3.598236e-05,3.656781e-05,3.661728e-05,3.721676e-05,3.735550e-05,3.778209e-05,3.808425e-05,3.831458e-05,3.875702e-05,3.881551e-05,3.928615e-05,3.937676e-05,3.972776e-05,3.994632e-05,4.014155e-05,4.046850e-05,4.052870e-05,4.089037e-05,4.094595e-05,4.122769e-05,4.138126e-05,4.154172e-05,4.177689e-05,4.183352e-05,4.210410e-05,4.213519e-05,4.235442e-05,4.245838e-05,4.258542e-05,4.274862e-05,4.279800e-05,4.299303e-05,4.300790e-05,4.317133e-05,4.323815e-05,4.333370e-05,4.344118e-05,4.348091e-05,4.361368e-05,4.361870e-05,4.373272e-05,4.377234e-05,4.383870e-05,4.390363e-05,4.393226e-05,4.401401e-05,4.408456e-05,4.410485e-05,4.414445e-05,4.417744e-05,4.419422e-05,4.423298e-05,4.423441e-05,4.426548e-05,4.427262e-05,4.428792e-05,4.429743e-05,4.430218e-05,4.430843e-05,4.430868e-05,4.430783e-05,4.430658e-05,4.430003e-05,4.429277e-05,4.428566e-05,4.426784e-05,4.426506e-05,4.423857e-05,4.423260e-05,4.420653e-05,4.418778e-05,4.416925e-05,4.413410e-05,4.412702e-05,4.408012e-05,4.407220e-05,4.402883e-05,4.400272e-05,4.397340e-05,4.392624e-05,4.391408e-05,4.385110e-05,4.384330e-05,4.378468e-05,4.375443e-05,4.371505e-05,4.366010e-05,4.364240e-05,4.356692e-05,4.356077e-05,4.348881e-05,4.345687e-05,4.340823e-05,4.334879e-05,4.332537e-05,4.324036e-05,4.323692e-05,4.315338e-05,4.312161e-05,4.306456e-05,4.300318e-05,4.297404e-05,4.288196e-05,4.275822e-05,4.263225e-05,4.250431e-05,4.237462e-05,4.224342e-05,4.211091e-05,4.197731e-05,4.184278e-05,4.170750e-05,4.157163e-05,4.143534e-05,4.129874e-05,4.116199e-05,4.102519e-05,4.088848e-05,4.075194e-05,4.061569e-05,4.047981e-05,4.034439e-05,4.020952e-05,4.007526e-05,3.994168e-05,3.980885e-05,3.967683e-05
0.000000e+00,1.313406e-10,5.003021e-10,2.974580e-09,8.687199e-09,1.387201e-08,3.666560e-08,3.794102e-08,7.987805e-08,9.544092e-08,1.442285e-07,1.955151e-07,2.356208e-07,3.476887e-07,3.588271e-07,5.183394e-07,5.624049e-07,7.170209e-07,8.453265e-07,9.542284e-07,1.191310e-06,1.225442e-06,1.524238e-06,1.586745e-06,1.844417e-06,2.017594e-06,2.180774e-06,2.472638e-06,2.528990e-06,2.885330e-06,2.942870e-06,3.246431e-06,3.420531e-06,3.609191e-06,3.898657e-06,3.970740e-06,4.328449e-06,4.371001e-06,4.679950e-06,4.832095e-06,5.023157e-06,5.277337e-06,5.356285e-06,5.677854e-06,5.703043e-06,5.986687e-06,6.106444e-06,6.281891e-06,6.485639e-06,6.562842e-06,6.829156e-06,6.839501e-06,7.080662e-06,7.167576e-06,7.317369e-06,7.469956e-06,7.539442e-06,7.747171e-06,7.940943e-06,8.000078e-06,8.121227e-06,8.229769e-06,8.288544e-06,8.437490e-06,8.443456e-06,8.586550e-06,8.624579e-06,8.718423e-06,8.792411e-06,8.839676e-06,8.942360e-06,8.950903e-06,9.052685e-06,9.075771e-06,9.145589e-06,9.193941e-06,9.230159e-06,9.298102e-06,9.306917e-06,9.376361e-06,9.389414e-06,9.438964e-06,9.468963e-06,9.495173e-06,9.537756e-06,9.545409e-06,9.590071e-06,9.596725e-06,9.629531e-06,9.646728e-06,9.664140e-06,9.688556e-06,9.694226e-06,9.720096e-06,9.722931e-06,9.742038e-06,9.750517e-06,9.760318e-06,9.771918e-06,9.775189e-06,9.786882e-06,9.787687e-06,9.795617e-06,9.798328e-06,9.801596e-06,9.804303e-06,9.805010e-06,9.806036e-06,9.806030e-06,9.804839e-06,9.803893e-06,9.801572e-06,9.798242e-06,9.796380e-06,9.789397e-06,9.780749e-06,9.777649e-06,9.770552e-06,9.763264e-06,9.758917e-06,9.746488e-06,9.745944e-06,9.731731e-06,9.727541e-06,9.716367e-06,9.706630e-06,9.699934e-06,9.683942e-06,9.682513e-06,9.664177e-06,9.659648e-06,9.644994e-06,9.633906e-06,9.625029e-06,9.606862e-06,9.604344e-06,9.582994e-06,9.578649e-06,9.561033e-06,9.549388e-06,9.538511e-06,9.519193e-06,9.515475e-06,9.491970e-06,9.488168e-06,9.468036e-06,9.456408e-06,9.443714e-06,9.424001e-06,9.419040e-06,9.394048e-06,9.391029e-06,9.368771e-06,9.357567e-06,9.343239e-06,9.323683e-06,9.317482e-06,9.291527e-06,9.289442e-06,9.265398e-06,9.254904e-06,9.239121e-06,9.220122e-06,9.212718e-06,9.186210e-06,9.185148e-06,9.159618e-06,9.150027e-06,9.132960e-06,9.114804e-06,9.106254e-06,9.079517e-06,9.044204e-06,9.008899e-06,8.973633e-06,8.938434e-06,8.903331e-06,8.868347e-06,8.833506e-06,8.798828e-06,8.764333e-06,8.730038e-06,8.695960e-06,8.662114e-06,8.628513e-06,8.595171e-06,8.562098e-06,8.529304e-06,8.496800e-06,8.464593e-06,8.432692e-06,8.401103e-06,8.369833e-06,8.338886e-06,8.308269e-06,8.277984e-06
0.000000e+00,4.411815e-12,3.108115e-11,4.985566e-10,2.816652e-09,6.015693e-09,2.854187e-08,3.012423e-08,9.559038e-08,1.251826e-07,2.315654e-07,3.609071e-07,4.719821e-07,8.189855e-07,8.560240e-07,1.429128e-06,1.600364e-06,2.241651e-06,2.819651e-06,3.341755e-06,4.574254e-06,4.762037e-06,6.506792e-06,6.892821e-06,8.549643e-06,9.714370e-06,1.084297e-05,1.292260e-05,1.333170e-05,1.596364e-05,1.639494e-05,1.869423e-05,2.002900e-05,2.148714e-05,2.374636e-05,2.431292e-05,2.714735e-05,2.748706e-05,2.997008e-05,3.120382e-05,3.276380e-05,3.485838e-05,3.551363e-05,3.820687e-05,3.841955e-05,4.083280e-05,4.186227e-05,4.338252e-05,4.516704e-05,4.584885e-05,4.822622e-05,4.831940e-05,5.051046e-05,5.130940e-05,5.269873e-05,5.413102e-05,5.478932e-05,5.678150e-05,5.867540e-05,5.926081e-05,6.047185e-05,6.157105e-05,6.217223e-05,6.371596e-05,6.377842e-05,6.529267e-05,6.570052e-05,6.671752e-05,6.753065e-05,6.805571e-05,6.921280e-05,6.931014e-05,7.048383e-05,7.075384e-05,7.157985e-05,7.216084e-05,7.260128e-05,7.344090e-05,7.355122e-05,7.443273e-05,7.460109e-05,7.524883e-05,7.564834e-05,7.600249e-05,7.658942e-05,7.669660e-05,7.733398e-05,7.743088e-05,7.791736e-05,7.817898e-05,7.844937e-05,7.883971e-05,7.893256e-05,7.936939e-05,7.941881e-05,7.976222e-05,7.992172e-05,8.011334e-05,8.035365e-05,8.042494e-05,8.069909e-05,8.071947e-05,8.093782e-05,8.102382e-05,8.114304e-05,8.127109e-05,8.131660e-05,8.146026e-05,8.146541e-05,8.157571e-05,8.161068e-05,8.166455e-05,8.171054e-05,8.172831e-05,8.176846e-05,8.178639e-05,8.178766e-05,8.178344e-05,8.177119e-05,8.176088e-05,8.172189e-05,8.171992e-05,8.166169e-05,8.164245e-05,8.158731e-05,8.153535e-05,8.149780e-05,8.140295e-05,8.139417e-05,8.127734e-05,8.124744e-05,8.114823e-05,8.107088e-05,8.100768e-05,8.087517e-05,8.085650e-05,8.069545e-05,8.066212e-05,8.052526e-05,8.043339e-05,8.034663e-05,8.019054e-05,8.016021e-05,7.996663e-05,7.993503e-05,7.976646e-05,7.966821e-05,7.956028e-05,7.939135e-05,7.934860e-05,7.913193e-05,7.910562e-05,7.891075e-05,7.881211e-05,7.868550e-05,7.851185e-05,7.845660e-05,7.822446e-05,7.820576e-05,7.798946e-05,7.789473e-05,7.775195e-05,7.757958e-05,7.751227e-05,7.727074e-05,7.726105e-05,7.702766e-05,7.693983e-05,7.678332e-05,7.661659e-05,7.653799e-05,7.629190e-05,7.596632e-05,7.564036e-05,7.531448e-05,7.498911e-05,7.466464e-05,7.434144e-05,7.401984e-05,7.370013e-05,7.338260e-05,7.306749e-05,7.275502e-05,7.244542e-05,7.213885e-05,7.183548e-05,7.153548e-05,7.123895e-05,7.094603e-05,7.065682e-05,7.037141e-05,7.008987e-05,6.981227e-05,6.953868e-05,6.926913e-05,6.900366e-05
0.000000e+00,3.944034e-13,2.964054e-12,5.398139e-11,3.391078e-10,7.644877e-10,4.110804e-09,4.358862e-09,1.531134e-08,2.053354e-08,4.002458e-08,6.457634e-08,8.605767e-08,1.541499e-07,1.614540e-07,2.743363e-07,3.078910e-07,4.325491e-07,5.435713e-07,6.429247e-07,8.749214e-07,9.100471e-07,1.235139e-06,1.306964e-06,1.615869e-06,1.834229e-06,2.047169e-06,2.443739e-06,2.522448e-06,3.034614e-06,3.119513e-06,3.576687e-06,3.845540e-06,4.142021e-06,4.606802e-06,4.724332e-06,5.317669e-06,5.389339e-06,5.916381e-06,6.180131e-06,6.515133e-06,6.967130e-06,7.108941e-06,7.693235e-06,7.739441e-06,8.263916e-06,8.487558e-06,8.817412e-06,9.203571e-06,9.350705e-06,9.861350e-06,9.881276e-06,1.034746e-05,1.051618e-05,1.080769e-05,1.110541e-05,1.124119e-05,1.164755e-05,1.202676e-05,1.214242e-05,1.237914e-05,1.259085e-05,1.270529e-05,1.299447e-05,1.300602e-05,1.328231e-05,1.335545e-05,1.353528e-05,1.367635e-05,1.376610e-05,1.395997e-05,1.397602e-05,1.416629e-05,1.420918e-05,1.433817e-05,1.442685e-05,1.449288e-05,1.461577e-05,1.463161e-05,1.475552e-05,1.477862e-05,1.486569e-05,1.491789e-05,1.496314e-05,1.503589e-05,1.504886e-05,1.512374e-05,1.513477e-05,1.518862e-05,1.521644e-05,1.524428e-05,1.528267e-05,1.529146e-05,1.533080e-05,1.533503e-05,1.536294e-05,1.537495e-05,1.538843e-05,1.540368e-05,1.540780e-05,1.542151e-05,1.542238e-05,1.543001e-05,1.543204e-05,1.543370e-05,1.543359e-05,1.543295e-05,1.542810e-05,1.542783e-05,1.541946e-05,1.541548e-05,1.540731e-05,1.539719e-05,1.539193e-05,1.537354e-05,1.535238e-05,1.534506e-05,1.532866e-05,1.531221e-05,1.530255e-05,1.527542e-05,1.527425e-05,1.524390e-05,1.523506e-05,1.521167e-05,1.519149e-05,1.517770e-05,1.514501e-05,1.514211e-05,1.510502e-05,1.509591e-05,1.506656e-05,1.504446e-05,1.502682e-05,1.499088e-05,1.498591e-05,1.494391e-05,1.493539e-05,1.490091e-05,1.487819e-05,1.485700e-05,1.481946e-05,1.481224e-05,1.476672e-05,1.475937e-05,1.472049e-05,1.469807e-05,1.467362e-05,1.463570e-05,1.462616e-05,1.457818e-05,1.457239e-05,1.452973e-05,1.450827e-05,1.448085e-05,1.444344e-05,1.443159e-05,1.438199e-05,1.437801e-05,1.433210e-05,1.431207e-05,1.428195e-05,1.424571e-05,1.423159e-05,1.418104e-05,1.417901e-05,1.413034e-05,1.411206e-05,1.407952e-05,1.404491e-05,1.402861e-05,1.397763e-05,1.391029e-05,1.384294e-05,1.377564e-05,1.370842e-05,1.364134e-05,1.357445e-05,1.350777e-05,1.344134e-05,1.337520e-05,1.330937e-05,1.324389e-05,1.317878e-05,1.311407e-05,1.304977e-05,1.298591e-05,1.292251e-05,1.285958e-05,1.279715e-05,1.273521e-05,1.267379e-05,1.261290e-05,1.255255e-05,1.249275e-05,1.243350e-05
0.000000e+00,4.314871e-09,1.094556e-08,4.194406e-08,1.006432e-07,1.500696e-07,3.569117e-07,3.683191e-07,7.446861e-07,8.863584e-07,1.339506e-06,1.828163e-06,2.215371e-06,3.296262e-06,3.402422e-06,4.879098e-06,5.271709e-06,6.601748e-06,7.659398e-06,8.532778e-06,1.038255e-05,1.064481e-05,1.291643e-05,1.338820e-05,1.532841e-05,1.663177e-05,1.786158e-05,2.006854e-05,2.049600e-05,2.321092e-05,2.365136e-05,2.598503e-05,2.733134e-05,2.879697e-05,3.105969e-05,3.162585e-05,3.445180e-05,3.478982e-05,3.725635e-05,3.847919e-05,4.002272e-05,4.209036e-05,4.273598e-05,4.538337e-05,4.559198e-05,4.795418e-05,4.895902e-05,5.043961e-05,5.217230e-05,5.283275e-05,5.512839e-05,5.521813e-05,5.732288e-05,5.808764e-05,5.941387e-05,6.077601e-05,6.140023e-05,6.328192e-05,6.505966e-05,6.560675e-05,6.673467e-05,6.775366e-05,6.830892e-05,6.972760e-05,6.978478e-05,7.116500e-05,7.153474e-05,7.245262e-05,7.318206e-05,7.365082e-05,7.467703e-05,7.476291e-05,7.579229e-05,7.602742e-05,7.674240e-05,7.724111e-05,7.761665e-05,7.832596e-05,7.841847e-05,7.915119e-05,7.928973e-05,7.981810e-05,8.013996e-05,8.042241e-05,8.088395e-05,8.096725e-05,8.145564e-05,8.152874e-05,8.189051e-05,8.208107e-05,8.227468e-05,8.254733e-05,8.261086e-05,8.290166e-05,8.293363e-05,8.314960e-05,8.324574e-05,8.335708e-05,8.348911e-05,8.352639e-05,8.365974e-05,8.366891e-05,8.375922e-05,8.378999e-05,8.382686e-05,8.385691e-05,8.386455e-05,8.387414e-05,8.387396e-05,8.385734e-05,8.384516e-05,8.381583e-05,8.377430e-05,8.375118e-05,8.366489e-05,8.355838e-05,8.352025e-05,8.343300e-05,8.334346e-05,8.329005e-05,8.313742e-05,8.313075e-05,8.295625e-05,8.290482e-05,8.276766e-05,8.264817e-05,8.256601e-05,8.236982e-05,8.235230e-05,8.212746e-05,8.207194e-05,8.189237e-05,8.175657e-05,8.164789e-05,8.142559e-05,8.139479e-05,8.113384e-05,8.108077e-05,8.086574e-05,8.072373e-05,8.059117e-05,8.035599e-05,8.031075e-05,8.002510e-05,7.997894e-05,7.973476e-05,7.959390e-05,7.944028e-05,7.920205e-05,7.914216e-05,7.884087e-05,7.880453e-05,7.853686e-05,7.840234e-05,7.823055e-05,7.799645e-05,7.792232e-05,7.761257e-05,7.758773e-05,7.730162e-05,7.717699e-05,7.698982e-05,7.676496e-05,7.667746e-05,7.636484e-05,7.635233e-05,7.605223e-05,7.593973e-05,7.573987e-05,7.552774e-05,7.542801e-05,7.511686e-05,7.470759e-05,7.430037e-05,7.389558e-05,7.349359e-05,7.309473e-05,7.269929e-05,7.230754e-05,7.191971e-05,7.153602e-05,7.115665e-05,7.078178e-05,7.041155e-05,7.004609e-05,6.968550e-05,6.932988e-05,6.897932e-05,6.863387e-05,6.829359e-05,6.795852e-05,6.762869e-05,6.730413e-05,6.698483e-05,6.667081e-05,6.636206e-05
0.000000e+00,2.316345e-14,1.919987e-13,4.268231e-12,3.202000e-11,7.942559e-11,5.430370e-10,5.813330e-10,2.563581e-09,3.650048e-09,8.238454e-09,1.490445e-08,2.135857e-08,4.473550e-08,4.746494e-08,9.398886e-08,1.091832e-07,1.701432e-07,2.296283e-07,2.864653e-07,4.307990e-07,4.539537e-07,6.829625e-07,7.369487e-07,9.821604e-07,1.167668e-06,1.357809e-06,1.735105e-06,1.813448e-06,2.349933e-06,2.443200e-06,2.965706e-06,3.288455e-06,3.657185e-06,4.261427e-06,4.419170e-06,5.245223e-06,5.348314e-06,6.128002e-06,6.532361e-06,7.059550e-06,7.795030e-06,8.031545e-06,9.035514e-06,9.116960e-06,1.006303e-05,1.047878e-05,1.110588e-05,1.186179e-05,1.215620e-05,1.320662e-05,1.324854e-05,1.425037e-05,1.462327e-05,1.528128e-05,1.597218e-05,1.629394e-05,1.728361e-05,1.824631e-05,1.854812e-05,1.917873e-05,1.975835e-05,2.007825e-05,2.090896e-05,2.094285e-05,2.177110e-05,2.199636e-05,2.256207e-05,2.301854e-05,2.331527e-05,2.397477e-05,2.403060e-05,2.470830e-05,2.486539e-05,2.534886e-05,2.569162e-05,2.595302e-05,2.645529e-05,2.652169e-05,2.705591e-05,2.715872e-05,2.755684e-05,2.780457e-05,2.802570e-05,2.839568e-05,2.846376e-05,2.887233e-05,2.893505e-05,2.925272e-05,2.942569e-05,2.960625e-05,2.987059e-05,2.993419e-05,3.023783e-05,3.027269e-05,3.051839e-05,3.063484e-05,3.077708e-05,3.095976e-05,3.101505e-05,3.123341e-05,3.125007e-05,3.143325e-05,3.150823e-05,3.161558e-05,3.173657e-05,3.178138e-05,3.193158e-05,3.193728e-05,3.206708e-05,3.211242e-05,3.218871e-05,3.226391e-05,3.229728e-05,3.239356e-05,3.247825e-05,3.250303e-05,3.255206e-05,3.259388e-05,3.261562e-05,3.266757e-05,3.266955e-05,3.271443e-05,3.272545e-05,3.275081e-05,3.276877e-05,3.277921e-05,3.279870e-05,3.280011e-05,3.281398e-05,3.281631e-05,3.282127e-05,3.282262e-05,3.282237e-05,3.281855e-05,3.281769e-05,3.280760e-05,3.280496e-05,3.279244e-05,3.278266e-05,3.277254e-05,3.275239e-05,3.274822e-05,3.271976e-05,3.271484e-05,3.268745e-05,3.267065e-05,3.265154e-05,3.262040e-05,3.261229e-05,3.256993e-05,3.256465e-05,3.252468e-05,3.250390e-05,3.247674e-05,3.243864e-05,3.242632e-05,3.237360e-05,3.236928e-05,3.231875e-05,3.229625e-05,3.226194e-05,3.221992e-05,3.220334e-05,3.214307e-05,3.214063e-05,3.208130e-05,3.205871e-05,3.201814e-05,3.197446e-05,3.195372e-05,3.188815e-05,3.180005e-05,3.171038e-05,3.161937e-05,3.152723e-05,3.143414e-05,3.134028e-05,3.124580e-05,3.115087e-05,3.105562e-05,3.096017e-05,3.086464e-05,3.076914e-05,3.067378e-05,3.057864e-05,3.048382e-05,3.038938e-05,3.029540e-05,3.020194e-05,3.010908e-05,3.001685e-05,2.992532e-05,2.983453e-05,2.974451e-05,2.965532e-05
0.000000e+00,5.523949e-12,3.295356e-11,3.870000e-10,1.709885e-09,3.238407e-09,1.176904e-08,1.230253e-08,3.165433e-08,3.944869e-08,6.516263e-08,9.360545e-08,1.165312e-07,1.827386e-07,1.894539e-07,2.876909e-07,3.154527e-07,4.149620e-07,5.001754e-07,5.745416e-07,7.433482e-07,7.684446e-07,9.962914e-07,1.045672e-06,1.254428e-06,1.398491e-06,1.536159e-06,1.785029e-06,1.833256e-06,2.137762e-06,2.186709e-06,2.443113e-06,2.588480e-06,2.744395e-06,2.980104e-06,3.038112e-06,3.321814e-06,3.355098e-06,3.593805e-06,3.709458e-06,3.852928e-06,4.040778e-06,4.098428e-06,4.329866e-06,4.347766e-06,4.547060e-06,4.629951e-06,4.750042e-06,4.887498e-06,4.939016e-06,5.114326e-06,5.121060e-06,5.276430e-06,5.331656e-06,5.425867e-06,5.520554e-06,5.563239e-06,5.689182e-06,5.804356e-06,5.839046e-06,5.909426e-06,5.971673e-06,6.005051e-06,6.088562e-06,6.091874e-06,6.170516e-06,6.191151e-06,6.241571e-06,6.280798e-06,6.305602e-06,6.358764e-06,6.363140e-06,6.414682e-06,6.426212e-06,6.460691e-06,6.484202e-06,6.501599e-06,6.533695e-06,6.537804e-06,6.569674e-06,6.575558e-06,6.597549e-06,6.610570e-06,6.621741e-06,6.639429e-06,6.642539e-06,6.660207e-06,6.662760e-06,6.674988e-06,6.681123e-06,6.687104e-06,6.695017e-06,6.696761e-06,6.704147e-06,6.704889e-06,6.709433e-06,6.711136e-06,6.712779e-06,6.714114e-06,6.714329e-06,6.714219e-06,6.714142e-06,6.712571e-06,6.711507e-06,6.709499e-06,6.706465e-06,6.705108e-06,6.699492e-06,6.699244e-06,6.692743e-06,6.690052e-06,6.684943e-06,6.679078e-06,6.676168e-06,6.666488e-06,6.655968e-06,6.652435e-06,6.644670e-06,6.637057e-06,6.632650e-06,6.620481e-06,6.619961e-06,6.606651e-06,6.602819e-06,6.592766e-06,6.584178e-06,6.578350e-06,6.564651e-06,6.563441e-06,6.548077e-06,6.544326e-06,6.532294e-06,6.523283e-06,6.516122e-06,6.501595e-06,6.499594e-06,6.482738e-06,6.479330e-06,6.465580e-06,6.456548e-06,6.448147e-06,6.433307e-06,6.430461e-06,6.412546e-06,6.409660e-06,6.394423e-06,6.385655e-06,6.376111e-06,6.361338e-06,6.357629e-06,6.338995e-06,6.336749e-06,6.320225e-06,6.311928e-06,6.301336e-06,6.286909e-06,6.282342e-06,6.263257e-06,6.261727e-06,6.244095e-06,6.236411e-06,6.224868e-06,6.210991e-06,6.205588e-06,6.186267e-06,6.185493e-06,6.166914e-06,6.159941e-06,6.147540e-06,6.134359e-06,6.128155e-06,6.108768e-06,6.083186e-06,6.057634e-06,6.032127e-06,6.006682e-06,5.981313e-06,5.956034e-06,5.930858e-06,5.905796e-06,5.880860e-06,5.856059e-06,5.831403e-06,5.806900e-06,5.782559e-06,5.758386e-06,5.734389e-06,5.710573e-06,5.686945e-06,5.663509e-06,5.640270e-06,5.617232e-06,5.594400e-06,5.571776e-06,5.549365e-06,5.527168e-06
0.000000e+00,6.770600e-13,5.067619e-12,9.153549e-11,5.711896e-10,1.283440e-09,6.850971e-09,7.262493e-09,2.537319e-08,3.398748e-08,6.609209e-08,1.064886e-07,1.418215e-07,2.538419e-07,2.658629e-07,4.518018e-07,5.071348e-07,7.129584e-07,8.966135e-07,1.061244e-06,1.446688e-06,1.505170e-06,2.047912e-06,2.168175e-06,2.686766e-06,3.054612e-06,3.414267e-06,4.086357e-06,4.220081e-06,5.092694e-06,5.237729e-06,6.020450e-06,6.482016e-06,6.992019e-06,7.793496e-06,7.996527e-06,9.023564e-06,9.147845e-06,1.006318e-05,1.052215e-05,1.110596e-05,1.189514e-05,1.214309e-05,1.316645e-05,1.324750e-05,1.416875e-05,1.456231e-05,1.514359e-05,1.582535e-05,1.608548e-05,1.698988e-05,1.702523e-05,1.785321e-05,1.815341e-05,1.867275e-05,1.920402e-05,1.944660e-05,2.017362e-05,2.085334e-05,2.106085e-05,2.148582e-05,2.186608e-05,2.207166e-05,2.259106e-05,2.261181e-05,2.310756e-05,2.323862e-05,2.356045e-05,2.381232e-05,2.397220e-05,2.431627e-05,2.434466e-05,2.467977e-05,2.475486e-05,2.497951e-05,2.513265e-05,2.524586e-05,2.545421e-05,2.548081e-05,2.568630e-05,2.572403e-05,2.586421e-05,2.594644e-05,2.601639e-05,2.612560e-05,2.614457e-05,2.625045e-05,2.626543e-05,2.633562e-05,2.636959e-05,2.640159e-05,2.644151e-05,2.644979e-05,2.648158e-05,2.648435e-05,2.649823e-05,2.650106e-05,2.650092e-05,2.649431e-05,2.649076e-05,2.646881e-05,2.646658e-05,2.643604e-05,2.642010e-05,2.639334e-05,2.635693e-05,2.634157e-05,2.628152e-05,2.627896e-05,2.621393e-05,2.618788e-05,2.613947e-05,2.608523e-05,2.605877e-05,2.597243e-05,2.588100e-05,2.585075e-05,2.578498e-05,2.572134e-05,2.568485e-05,2.558525e-05,2.558103e-05,2.547395e-05,2.544343e-05,2.536396e-05,2.529672e-05,2.525142e-05,2.514591e-05,2.513665e-05,2.501995e-05,2.499169e-05,2.490159e-05,2.483469e-05,2.478184e-05,2.467548e-05,2.466091e-05,2.453905e-05,2.451458e-05,2.441643e-05,2.435244e-05,2.429325e-05,2.418948e-05,2.416969e-05,2.404589e-05,2.402607e-05,2.392200e-05,2.386254e-05,2.379816e-05,2.369920e-05,2.367449e-05,2.355110e-05,2.353631e-05,2.342809e-05,2.337412e-05,2.330557e-05,2.321283e-05,2.318361e-05,2.306230e-05,2.305263e-05,2.294171e-05,2.289369e-05,2.282191e-05,2.273617e-05,2.270295e-05,2.258489e-05,2.258018e-05,2.246777e-05,2.242585e-05,2.235166e-05,2.227328e-05,2.223657e-05,2.212255e-05,2.197374e-05,2.182691e-05,2.168212e-05,2.153940e-05,2.139881e-05,2.126036e-05,2.112408e-05,2.098999e-05,2.085810e-05,2.072842e-05,2.060094e-05,2.047567e-05,2.035260e-05,2.023172e-05,2.011302e-05,1.999649e-05,1.988210e-05,1.976985e-05,1.965971e-05,1.955165e-05,1.944566e-05,1.934171e-05,1.923977e-05,1.913982e-05
0.000000e+00,1.830267e-13,1.433945e-12,2.842717e-11,1.925656e-10,4.521321e-10,2.694576e-09,2.868992e-09,1.113555e-08,1.534134e-08,3.199915e-08,5.454479e-08,7.534441e-08,1.460977e-07,1.540350e-07,2.826681e-07,3.225542e-07,4.749513e-07,6.144104e-07,7.410401e-07,1.040673e-06,1.086368e-06,1.512106e-06,1.606778e-06,2.016399e-06,2.308503e-06,2.595569e-06,3.136504e-06,3.244894e-06,3.958972e-06,4.078842e-06,4.731820e-06,5.121757e-06,5.556871e-06,6.249713e-06,6.426978e-06,7.334480e-06,7.445514e-06,8.271332e-06,8.690721e-06,9.229283e-06,9.966359e-06,1.020009e-05,1.117572e-05,1.125374e-05,1.214855e-05,1.253529e-05,1.311153e-05,1.379518e-05,1.405831e-05,1.498332e-05,1.501980e-05,1.588181e-05,1.619800e-05,1.674988e-05,1.732117e-05,1.758442e-05,1.838308e-05,1.914425e-05,1.937972e-05,1.986690e-05,2.030896e-05,2.055059e-05,2.117030e-05,2.119534e-05,2.180157e-05,2.196450e-05,2.237000e-05,2.269332e-05,2.290164e-05,2.335927e-05,2.339767e-05,2.385944e-05,2.396532e-05,2.428838e-05,2.451480e-05,2.468599e-05,2.501120e-05,2.505381e-05,2.539338e-05,2.545804e-05,2.570623e-05,2.585884e-05,2.599384e-05,2.621700e-05,2.625767e-05,2.649912e-05,2.653577e-05,2.671955e-05,2.681827e-05,2.692024e-05,2.706739e-05,2.710240e-05,2.726721e-05,2.728587e-05,2.741575e-05,2.747622e-05,2.754906e-05,2.764079e-05,2.766811e-05,2.777382e-05,2.778172e-05,2.786704e-05,2.790101e-05,2.794857e-05,2.800047e-05,2.801918e-05,2.807957e-05,2.808178e-05,2.813039e-05,2.814646e-05,2.817226e-05,2.819593e-05,2.820577e-05,2.823146e-05,2.824982e-05,2.825423e-05,2.826134e-05,2.826532e-05,2.826645e-05,2.826571e-05,2.826557e-05,2.825908e-05,2.825632e-05,2.824736e-05,2.823796e-05,2.823074e-05,2.821139e-05,2.820954e-05,2.818405e-05,2.817733e-05,2.815456e-05,2.813640e-05,2.812134e-05,2.808920e-05,2.808462e-05,2.804464e-05,2.803627e-05,2.800161e-05,2.797810e-05,2.795575e-05,2.791516e-05,2.790723e-05,2.785625e-05,2.784788e-05,2.780297e-05,2.777663e-05,2.774756e-05,2.770179e-05,2.769016e-05,2.763091e-05,2.762369e-05,2.756996e-05,2.754263e-05,2.750742e-05,2.745890e-05,2.744341e-05,2.737805e-05,2.737277e-05,2.731144e-05,2.728447e-05,2.724369e-05,2.719425e-05,2.717488e-05,2.710511e-05,2.710230e-05,2.703446e-05,2.700883e-05,2.696301e-05,2.691401e-05,2.689084e-05,2.681802e-05,2.672101e-05,2.662312e-05,2.652450e-05,2.642527e-05,2.632555e-05,2.622544e-05,2.612504e-05,2.602446e-05,2.592378e-05,2.582308e-05,2.572244e-05,2.562193e-05,2.552162e-05,2.542156e-05,2.532181e-05,2.522243e-05,2.512346e-05,2.502496e-05,2.492696e-05,2.482950e-05,2.473262e-05,2.463635e-05,2.454072e-05,2.444576e-05
0.000000e+00,1.002935e-08,2.313407e-08,8.027172e-08,1.839438e-07,2.696278e-07,6.222335e-07,6.415207e-07,1.273234e-06,1.509472e-06,2.261981e-06,3.070866e-06,3.711535e-06,5.502726e-06,5.678854e-06,8.127117e-06,8.776172e-06,1.096410e-05,1.268937e-05,1.410324e-05,1.706440e-05,1.748057e-05,2.104828e-05,2.178109e-05,2.476665e-05,2.674768e-05,2.859955e-05,3.188236e-05,3.251240e-05,3.647177e-05,3.710742e-05,4.044569e-05,4.234947e-05,4.440424e-05,4.754148e-05,4.831998e-05,5.216846e-05,5.262472e-05,5.592847e-05,5.755010e-05,5.958208e-05,6.227856e-05,6.311468e-05,6.651470e-05,6.678070e-05,6.977346e-05,7.103595e-05,7.288480e-05,7.503143e-05,7.584483e-05,7.865156e-05,7.876063e-05,8.130463e-05,8.222227e-05,8.380501e-05,8.541906e-05,8.615476e-05,8.835676e-05,9.041460e-05,9.104334e-05,9.233250e-05,9.348863e-05,9.411505e-05,9.570343e-05,9.576706e-05,9.729352e-05,9.769912e-05,9.869951e-05,9.948742e-05,9.999018e-05,1.010801e-04,1.011706e-04,1.022459e-04,1.024888e-04,1.032209e-04,1.037250e-04,1.041006e-04,1.047997e-04,1.048897e-04,1.055928e-04,1.057235e-04,1.062143e-04,1.065067e-04,1.067586e-04,1.071591e-04,1.072297e-04,1.076317e-04,1.076899e-04,1.079685e-04,1.081080e-04,1.082436e-04,1.084217e-04,1.084606e-04,1.086229e-04,1.086388e-04,1.087337e-04,1.087669e-04,1.087960e-04,1.088129e-04,1.088130e-04,1.087872e-04,1.087834e-04,1.087215e-04,1.086846e-04,1.086183e-04,1.085222e-04,1.084801e-04,1.083093e-04,1.083018e-04,1.081079e-04,1.080283e-04,1.078781e-04,1.077066e-04,1.076219e-04,1.073411e-04,1.070376e-04,1.069359e-04,1.067130e-04,1.064949e-04,1.063689e-04,1.060217e-04,1.060069e-04,1.056284e-04,1.055197e-04,1.052348e-04,1.049919e-04,1.048274e-04,1.044413e-04,1.044073e-04,1.039757e-04,1.038706e-04,1.035338e-04,1.032822e-04,1.030826e-04,1.026785e-04,1.026229e-04,1.021559e-04,1.020616e-04,1.016822e-04,1.014336e-04,1.012028e-04,1.007962e-04,1.007183e-04,1.002296e-04,1.001511e-04,9.973729e-05,9.949988e-05,9.924200e-05,9.884404e-05,9.874435e-05,9.824489e-05,9.818486e-05,9.774416e-05,9.752356e-05,9.724265e-05,9.686126e-05,9.674082e-05,9.623910e-05,9.619898e-05,9.573791e-05,9.553767e-05,9.523762e-05,9.487817e-05,9.473858e-05,9.424112e-05,9.422126e-05,9.374555e-05,9.356766e-05,9.325214e-05,9.291800e-05,9.276117e-05,9.227288e-05,9.163281e-05,9.099827e-05,9.036968e-05,8.974743e-05,8.913185e-05,8.852323e-05,8.792185e-05,8.732792e-05,8.674165e-05,8.616321e-05,8.559273e-05,8.503034e-05,8.447613e-05,8.393018e-05,8.339254e-05,8.286326e-05,8.234235e-05,8.182983e-05,8.132568e-05,8.082990e-05,8.034245e-05,7.986330e-05,7.939240e-05,7.892969e-05
0.000000e+00,2.459654e-14,2.018756e-13,4.397612e-12,3.238829e-11,7.953012e-11,5.296492e-10,5.663915e-10,2.432334e-09,3.437897e-09,7.615580e-09,1.356461e-08,1.923731e-08,3.933385e-08,4.164596e-08,8.031600e-08,9.270981e-08,1.416176e-07,1.883960e-07,2.324524e-07,3.423547e-07,3.597845e-07,5.301642e-07,5.699295e-07,7.493474e-07,8.842242e-07,1.022064e-06,1.295191e-06,1.351925e-06,1.741425e-06,1.809389e-06,2.191992e-06,2.430118e-06,2.704056e-06,3.157678e-06,3.277116e-06,3.909793e-06,3.989624e-06,4.599892e-06,4.920992e-06,5.344461e-06,5.944545e-06,6.139857e-06,6.981825e-06,7.051054e-06,7.865589e-06,8.229645e-06,8.785950e-06,9.468185e-06,9.737396e-06,1.071421e-05,1.075373e-05,1.171059e-05,1.207296e-05,1.272074e-05,1.341260e-05,1.373897e-05,1.475982e-05,1.577807e-05,1.610255e-05,1.678885e-05,1.742974e-05,1.778768e-05,1.873154e-05,1.877049e-05,1.973365e-05,1.999937e-05,2.067397e-05,2.122604e-05,2.158871e-05,2.240568e-05,2.247555e-05,2.333260e-05,2.353368e-05,2.415835e-05,2.460666e-05,2.495167e-05,2.562230e-05,2.571173e-05,2.643803e-05,2.657922e-05,2.713034e-05,2.747690e-05,2.778865e-05,2.831551e-05,2.841318e-05,2.900430e-05,2.909582e-05,2.956257e-05,2.981905e-05,3.008863e-05,3.048682e-05,3.058327e-05,3.104734e-05,3.110101e-05,3.148174e-05,3.166373e-05,3.188746e-05,3.217723e-05,3.226549e-05,3.261685e-05,3.264384e-05,3.294258e-05,3.306593e-05,3.324372e-05,3.344590e-05,3.352131e-05,3.377636e-05,3.378611e-05,3.400989e-05,3.408888e-05,3.422287e-05,3.435646e-05,3.441628e-05,3.459105e-05,3.474809e-05,3.479474e-05,3.488826e-05,3.496953e-05,3.501244e-05,3.511734e-05,3.512142e-05,3.521599e-05,3.524000e-05,3.529692e-05,3.533923e-05,3.536493e-05,3.541668e-05,3.542071e-05,3.546492e-05,3.547388e-05,3.549820e-05,3.551229e-05,3.552115e-05,3.553327e-05,3.553436e-05,3.553837e-05,3.553811e-05,3.553371e-05,3.552803e-05,3.552088e-05,3.550415e-05,3.550037e-05,3.547262e-05,3.546754e-05,3.543807e-05,3.541919e-05,3.539713e-05,3.536004e-05,3.535019e-05,3.529762e-05,3.529095e-05,3.523978e-05,3.521274e-05,3.517700e-05,3.512618e-05,3.510960e-05,3.503790e-05,3.503198e-05,3.496216e-05,3.493080e-05,3.488267e-05,3.482327e-05,3.479969e-05,3.471347e-05,3.470995e-05,3.462423e-05,3.459141e-05,3.453220e-05,3.446813e-05,3.443759e-05,3.434060e-05,3.420924e-05,3.407448e-05,3.393669e-05,3.379622e-05,3.365342e-05,3.350857e-05,3.336198e-05,3.321391e-05,3.306460e-05,3.291429e-05,3.276319e-05,3.261149e-05,3.245938e-05,3.230704e-05,3.215461e-05,3.200225e-05,3.185009e-05,3.169825e-05,3.154686e-05,3.139601e-05,3.124581e-05,3.109634e-05,3.094769e-05,3.079993e-05
0.000000e+00,6.409356e-10,2.314277e-09,1.294368e-08,3.687782e-08,5.849345e-08,1.541131e-07,1.595084e-07,3.399340e-07,4.083764e-07,6.277889e-07,8.653437e-07,1.054944e-06,1.594455e-06,1.648374e-06,2.414990e-06,2.623448e-06,3.340965e-06,3.921609e-06,4.406394e-06,5.445761e-06,5.594309e-06,6.891201e-06,7.162605e-06,8.285248e-06,9.044737e-06,9.764938e-06,1.106540e-05,1.131840e-05,1.293327e-05,1.319649e-05,1.459674e-05,1.540868e-05,1.629592e-05,1.767242e-05,1.801809e-05,1.975101e-05,1.995913e-05,2.148320e-05,2.224237e-05,2.320411e-05,2.449861e-05,2.490430e-05,2.657550e-05,2.670773e-05,2.821062e-05,2.885320e-05,2.980372e-05,3.092199e-05,3.134998e-05,3.284560e-05,3.290433e-05,3.428770e-05,3.479334e-05,3.567424e-05,3.658464e-05,3.700387e-05,3.827590e-05,3.949016e-05,3.986657e-05,4.064696e-05,4.135744e-05,4.174694e-05,4.275031e-05,4.279101e-05,4.378029e-05,4.404764e-05,4.471604e-05,4.525238e-05,4.559968e-05,4.636794e-05,4.643277e-05,4.721696e-05,4.739808e-05,4.795395e-05,4.834669e-05,4.864545e-05,4.921771e-05,4.929319e-05,4.989893e-05,5.001519e-05,5.046442e-05,5.074318e-05,5.099154e-05,5.140607e-05,5.148219e-05,5.193790e-05,5.200767e-05,5.236022e-05,5.255154e-05,5.275070e-05,5.304109e-05,5.311074e-05,5.344176e-05,5.347960e-05,5.374514e-05,5.387021e-05,5.402220e-05,5.421592e-05,5.427417e-05,5.450225e-05,5.451951e-05,5.470762e-05,5.478366e-05,5.489140e-05,5.501094e-05,5.505464e-05,5.519839e-05,5.520375e-05,5.532363e-05,5.536437e-05,5.543130e-05,5.549494e-05,5.552230e-05,5.559750e-05,5.565771e-05,5.567395e-05,5.570374e-05,5.572609e-05,5.573632e-05,5.575563e-05,5.575619e-05,5.576403e-05,5.576416e-05,5.576051e-05,5.575320e-05,5.574624e-05,5.572414e-05,5.572183e-05,5.568786e-05,5.567834e-05,5.564486e-05,5.561703e-05,5.559335e-05,5.554139e-05,5.553385e-05,5.546681e-05,5.545253e-05,5.539269e-05,5.535149e-05,5.531192e-05,5.523923e-05,5.522491e-05,5.513205e-05,5.511667e-05,5.503371e-05,5.498467e-05,5.493025e-05,5.484403e-05,5.482201e-05,5.470931e-05,5.469550e-05,5.459245e-05,5.453979e-05,5.447172e-05,5.437755e-05,5.434740e-05,5.421977e-05,5.420942e-05,5.408905e-05,5.403596e-05,5.395551e-05,5.385773e-05,5.381936e-05,5.368081e-05,5.367522e-05,5.354008e-05,5.348892e-05,5.339736e-05,5.329927e-05,5.325284e-05,5.310668e-05,5.291154e-05,5.271422e-05,5.251504e-05,5.231433e-05,5.211239e-05,5.190948e-05,5.170586e-05,5.150176e-05,5.129742e-05,5.109304e-05,5.088880e-05,5.068488e-05,5.048145e-05,5.027867e-05,5.007666e-05,4.987556e-05,4.967550e-05,4.947657e-05,4.927889e-05,4.908255e-05,4.888762e-05,4.869420e-05,4.850235e-05,4.831214e-05
0.000000e+00,1.062529e-09,2.671968e-09,9.976796e-09,2.325286e-08,3.405846e-08,7.683014e-08,7.909796e-08,1.500738e-07,1.752407e-07,2.517416e-07,3.295015e-07,3.889941e-07,5.509799e-07,5.668079e-07,7.894126e-07,8.497624e-07,1.058279e-06,1.227867e-06,1.369515e-06,1.670682e-06,1.713215e-06,2.076400e-06,2.150270e-06,2.447078e-06,2.639686e-06,2.816279e-06,3.120815e-06,3.178013e-06,3.528443e-06,3.583284e-06,3.865089e-06,4.021273e-06,4.186291e-06,4.431352e-06,4.490906e-06,4.778154e-06,4.811431e-06,5.047546e-06,5.160353e-06,5.298850e-06,5.477741e-06,5.532075e-06,5.747453e-06,5.763923e-06,5.945409e-06,6.019842e-06,6.126541e-06,6.246948e-06,6.291585e-06,6.441380e-06,6.447067e-06,6.576834e-06,6.622270e-06,6.698901e-06,6.774753e-06,6.808548e-06,6.906736e-06,6.994399e-06,7.020377e-06,7.072436e-06,7.117721e-06,7.141693e-06,7.200657e-06,7.202964e-06,7.256985e-06,7.270905e-06,7.304430e-06,7.329999e-06,7.345915e-06,7.379301e-06,7.382001e-06,7.413192e-06,7.420002e-06,7.439944e-06,7.453139e-06,7.462664e-06,7.479613e-06,7.481717e-06,7.497429e-06,7.500197e-06,7.510092e-06,7.515560e-06,7.519968e-06,7.526282e-06,7.527291e-06,7.532274e-06,7.532867e-06,7.535104e-06,7.535749e-06,7.535951e-06,7.535302e-06,7.534965e-06,7.532285e-06,7.531855e-06,7.528035e-06,7.525698e-06,7.522329e-06,7.517083e-06,7.515271e-06,7.506954e-06,7.506236e-06,7.497463e-06,7.493357e-06,7.486880e-06,7.478624e-06,7.475277e-06,7.462721e-06,7.462200e-06,7.449276e-06,7.444229e-06,7.434999e-06,7.424844e-06,7.419945e-06,7.404164e-06,7.387704e-06,7.382301e-06,7.370609e-06,7.359355e-06,7.352922e-06,7.335420e-06,7.334680e-06,7.315922e-06,7.310582e-06,7.296682e-06,7.284921e-06,7.276994e-06,7.258510e-06,7.256887e-06,7.236392e-06,7.231419e-06,7.215536e-06,7.203710e-06,7.194347e-06,7.175443e-06,7.172848e-06,7.151063e-06,7.146674e-06,7.129015e-06,7.117454e-06,7.106726e-06,7.087831e-06,7.084216e-06,7.061503e-06,7.057851e-06,7.038606e-06,7.027556e-06,7.015544e-06,6.996985e-06,6.992331e-06,6.968985e-06,6.966175e-06,6.945519e-06,6.935160e-06,6.921949e-06,6.903974e-06,6.898288e-06,6.874548e-06,6.872646e-06,6.850742e-06,6.841204e-06,6.826882e-06,6.809676e-06,6.802979e-06,6.779044e-06,6.778086e-06,6.755086e-06,6.746457e-06,6.731115e-06,6.714812e-06,6.707140e-06,6.683171e-06,6.651552e-06,6.619975e-06,6.588456e-06,6.557010e-06,6.525653e-06,6.494397e-06,6.463256e-06,6.432242e-06,6.401366e-06,6.370637e-06,6.340067e-06,6.309663e-06,6.279435e-06,6.249390e-06,6.219534e-06,6.189875e-06,6.160419e-06,6.131171e-06,6.102137e-06,6.073321e-06,6.044727e-06,6.016359e-06,5.988222e-06,5.960317e-06
0.000000e+00,2.787415e-09,6.380832e-09,2.181154e-08,4.926751e-08,7.160211e-08,1.611522e-07,1.659611e-07,3.196277e-07,3.755152e-07,5.492868e-07,7.305990e-07,8.712500e-07,1.254804e-06,1.291913e-06,1.799325e-06,1.931598e-06,2.371810e-06,2.713498e-06,2.990325e-06,3.561568e-06,3.640971e-06,4.313114e-06,4.449311e-06,4.997738e-06,5.355946e-06,5.686702e-06,6.263292e-06,6.372524e-06,7.048424e-06,7.155236e-06,7.708439e-06,8.018089e-06,8.347535e-06,8.840993e-06,8.961658e-06,9.547733e-06,9.616066e-06,1.010361e-05,1.033827e-05,1.062799e-05,1.100507e-05,1.112029e-05,1.158054e-05,1.161598e-05,1.200926e-05,1.217211e-05,1.240736e-05,1.267570e-05,1.277603e-05,1.311664e-05,1.312970e-05,1.343068e-05,1.353754e-05,1.371972e-05,1.390280e-05,1.398534e-05,1.422910e-05,1.445251e-05,1.451994e-05,1.465702e-05,1.477864e-05,1.484403e-05,1.500830e-05,1.501483e-05,1.517065e-05,1.521174e-05,1.531261e-05,1.539157e-05,1.544177e-05,1.555013e-05,1.555910e-05,1.566550e-05,1.568951e-05,1.576180e-05,1.581160e-05,1.584876e-05,1.591810e-05,1.592706e-05,1.599737e-05,1.601052e-05,1.606025e-05,1.609020e-05,1.611625e-05,1.615834e-05,1.616587e-05,1.620956e-05,1.621603e-05,1.624775e-05,1.626423e-05,1.628080e-05,1.630380e-05,1.630909e-05,1.633294e-05,1.633552e-05,1.635264e-05,1.636007e-05,1.636848e-05,1.637810e-05,1.638072e-05,1.638958e-05,1.639016e-05,1.639530e-05,1.639676e-05,1.639808e-05,1.639837e-05,1.639811e-05,1.639556e-05,1.639540e-05,1.639060e-05,1.638825e-05,1.638338e-05,1.637726e-05,1.637405e-05,1.636274e-05,1.634958e-05,1.634499e-05,1.633468e-05,1.632428e-05,1.631815e-05,1.630085e-05,1.630010e-05,1.628062e-05,1.627492e-05,1.625981e-05,1.624671e-05,1.623774e-05,1.621641e-05,1.621451e-05,1.619018e-05,1.618419e-05,1.616483e-05,1.615022e-05,1.613853e-05,1.611465e-05,1.611134e-05,1.608332e-05,1.607762e-05,1.605452e-05,1.603926e-05,1.602501e-05,1.599970e-05,1.599483e-05,1.596404e-05,1.595905e-05,1.593267e-05,1.591742e-05,1.590077e-05,1.587490e-05,1.586839e-05,1.583556e-05,1.583159e-05,1.580232e-05,1.578757e-05,1.576870e-05,1.574293e-05,1.573475e-05,1.570048e-05,1.569773e-05,1.566594e-05,1.565205e-05,1.563115e-05,1.560596e-05,1.559613e-05,1.556092e-05,1.555951e-05,1.552554e-05,1.551276e-05,1.549001e-05,1.546578e-05,1.545435e-05,1.541860e-05,1.537127e-05,1.532385e-05,1.527637e-05,1.522886e-05,1.518137e-05,1.513393e-05,1.508658e-05,1.503933e-05,1.499222e-05,1.494528e-05,1.489852e-05,1.485197e-05,1.480566e-05,1.475959e-05,1.471380e-05,1.466829e-05,1.462308e-05,1.457818e-05,1.453362e-05,1.448939e-05,1.444552e-05,1.440201e-05,1.435887e-05,1.431611e-05
0.000000e+00,1.526316e-13,1.200568e-12,2.396380e-11,1.631607e-10,3.839384e-10,2.295007e-09,2.443606e-09,9.457699e-09,1.300305e-08,2.690250e-08,4.540169e-08,6.220401e-08,1.179713e-07,1.241247e-07,2.220978e-07,2.520406e-07,3.656719e-07,4.694599e-07,5.640898e-07,7.909007e-07,8.259314e-07,1.158699e-06,1.234316e-06,1.568243e-06,1.812813e-06,2.058022e-06,2.531787e-06,2.628366e-06,3.276035e-06,3.386432e-06,3.994295e-06,4.361398e-06,4.773536e-06,5.433124e-06,5.602227e-06,6.467953e-06,6.573736e-06,7.358329e-06,7.754853e-06,8.261656e-06,8.950269e-06,9.167320e-06,1.006600e-05,1.013734e-05,1.094970e-05,1.129746e-05,1.181177e-05,1.241596e-05,1.264675e-05,1.345033e-05,1.348177e-05,1.421918e-05,1.448698e-05,1.495091e-05,1.542642e-05,1.564389e-05,1.629721e-05,1.691052e-05,1.709835e-05,1.748401e-05,1.783039e-05,1.801825e-05,1.849503e-05,1.851414e-05,1.897288e-05,1.909485e-05,1.939583e-05,1.963305e-05,1.978452e-05,2.011323e-05,2.014055e-05,2.046562e-05,2.053922e-05,2.076141e-05,2.091490e-05,2.102963e-05,2.124418e-05,2.127194e-05,2.148998e-05,2.153082e-05,2.168534e-05,2.177846e-05,2.185952e-05,2.199053e-05,2.201397e-05,2.215008e-05,2.217024e-05,2.226915e-05,2.232061e-05,2.237240e-05,2.244439e-05,2.246099e-05,2.253602e-05,2.254416e-05,2.259848e-05,2.262224e-05,2.264934e-05,2.268078e-05,2.268948e-05,2.271972e-05,2.272174e-05,2.274084e-05,2.274689e-05,2.275353e-05,2.275784e-05,2.275848e-05,2.275629e-05,2.275607e-05,2.274755e-05,2.274289e-05,2.273277e-05,2.271953e-05,2.271246e-05,2.268706e-05,2.265702e-05,2.264649e-05,2.262271e-05,2.259869e-05,2.258451e-05,2.254449e-05,2.254276e-05,2.249777e-05,2.248463e-05,2.244982e-05,2.241976e-05,2.239920e-05,2.235048e-05,2.234616e-05,2.229092e-05,2.227736e-05,2.223370e-05,2.220087e-05,2.217471e-05,2.212148e-05,2.211413e-05,2.205213e-05,2.203958e-05,2.198888e-05,2.195555e-05,2.192453e-05,2.186972e-05,2.185921e-05,2.179304e-05,2.178239e-05,2.172616e-05,2.169384e-05,2.165868e-05,2.160432e-05,2.159069e-05,2.152228e-05,2.151405e-05,2.145356e-05,2.142325e-05,2.138460e-05,2.133208e-05,2.131548e-05,2.124627e-05,2.124073e-05,2.117704e-05,2.114935e-05,2.110784e-05,2.105807e-05,2.103873e-05,2.096977e-05,2.096701e-05,2.090100e-05,2.087630e-05,2.083247e-05,2.078603e-05,2.076422e-05,2.069628e-05,2.060716e-05,2.051872e-05,2.043103e-05,2.034416e-05,2.025816e-05,2.017306e-05,2.008893e-05,2.000578e-05,1.992366e-05,1.984258e-05,1.976258e-05,1.968368e-05,1.960588e-05,1.952921e-05,1.945368e-05,1.937929e-05,1.930606e-05,1.923398e-05,1.916306e-05,1.909330e-05,1.902471e-05,1.895727e-05,1.889098e-05,1.882585e-05
0.000000e+00,2.913111e-11,1.642197e-10,1.748617e-09,7.217717e-09,1.326914e-08,4.559473e-08,4.757935e-08,1.186736e-07,1.471262e-07,2.411000e-07,3.457524e-07,4.308236e-07,6.803133e-07,7.059273e-07,1.086491e-06,1.195827e-06,1.592998e-06,1.938335e-06,2.242556e-06,2.938998e-06,3.042920e-06,3.986769e-06,4.190941e-06,5.050823e-06,5.640723e-06,6.201771e-06,7.210308e-06,7.405047e-06,8.631026e-06,8.827674e-06,9.856960e-06,1.044035e-05,1.106633e-05,1.201382e-05,1.224729e-05,1.339132e-05,1.352581e-05,1.449217e-05,1.496163e-05,1.554527e-05,1.631164e-05,1.654736e-05,1.749622e-05,1.756979e-05,1.839051e-05,1.873278e-05,1.922962e-05,1.979963e-05,2.001363e-05,2.074313e-05,2.077119e-05,2.141921e-05,2.164979e-05,2.204332e-05,2.243891e-05,2.261720e-05,2.314281e-05,2.362229e-05,2.376635e-05,2.405788e-05,2.431467e-05,2.445186e-05,2.479309e-05,2.480655e-05,2.512424e-05,2.520688e-05,2.540720e-05,2.556121e-05,2.565761e-05,2.586108e-05,2.587761e-05,2.606924e-05,2.611122e-05,2.623443e-05,2.631609e-05,2.637505e-05,2.647986e-05,2.649285e-05,2.658949e-05,2.660641e-05,2.666651e-05,2.669931e-05,2.672540e-05,2.676186e-05,2.676752e-05,2.679416e-05,2.679707e-05,2.680653e-05,2.680772e-05,2.680573e-05,2.679634e-05,2.679284e-05,2.676881e-05,2.676522e-05,2.673455e-05,2.671646e-05,2.669092e-05,2.665198e-05,2.663870e-05,2.657862e-05,2.657350e-05,2.651137e-05,2.648260e-05,2.643756e-05,2.638070e-05,2.635780e-05,2.627262e-05,2.626911e-05,2.618254e-05,2.614900e-05,2.608801e-05,2.602142e-05,2.598948e-05,2.588736e-05,2.578201e-05,2.574767e-05,2.567378e-05,2.560316e-05,2.556300e-05,2.545453e-05,2.544997e-05,2.533495e-05,2.530243e-05,2.521822e-05,2.514746e-05,2.510001e-05,2.499013e-05,2.498053e-05,2.486000e-05,2.483094e-05,2.473860e-05,2.467030e-05,2.461651e-05,2.450862e-05,2.449389e-05,2.437088e-05,2.434625e-05,2.424763e-05,2.418349e-05,2.412427e-05,2.402064e-05,2.400090e-05,2.387765e-05,2.385795e-05,2.375461e-05,2.369566e-05,2.363188e-05,2.353397e-05,2.350953e-05,2.338765e-05,2.337306e-05,2.326631e-05,2.321311e-05,2.314558e-05,2.305427e-05,2.302551e-05,2.290617e-05,2.289665e-05,2.278759e-05,2.274039e-05,2.266984e-05,2.258558e-05,2.255294e-05,2.243694e-05,2.243232e-05,2.232187e-05,2.228069e-05,2.220777e-05,2.213075e-05,2.209466e-05,2.198257e-05,2.183620e-05,2.169169e-05,2.154908e-05,2.140839e-05,2.126965e-05,2.113288e-05,2.099811e-05,2.086533e-05,2.073456e-05,2.060581e-05,2.047906e-05,2.035433e-05,2.023161e-05,2.011088e-05,1.999214e-05,1.987538e-05,1.976059e-05,1.964775e-05,1.953684e-05,1.942785e-05,1.932076e-05,1.921555e-05,1.911219e-05,1.901068e-05
0.000000e+00,2.947364e-09,6.848659e-09,2.390009e-08,5.471371e-08,7.999602e-08,1.821867e-07,1.876934e-07,3.638787e-07,4.279389e-07,6.269157e-07,8.346430e-07,9.964969e-07,1.445451e-06,1.489710e-06,2.113707e-06,2.282605e-06,2.864156e-06,3.336254e-06,3.731963e-06,4.585916e-06,4.708620e-06,5.787167e-06,6.014556e-06,6.961435e-06,7.607848e-06,8.225245e-06,9.351166e-06,9.571902e-06,1.099396e-05,1.122794e-05,1.248315e-05,1.321920e-05,1.403050e-05,1.530383e-05,1.562643e-05,1.726096e-05,1.745922e-05,1.892393e-05,1.966203e-05,2.060519e-05,2.188906e-05,2.229481e-05,2.398325e-05,2.411800e-05,2.566152e-05,2.632808e-05,2.732128e-05,2.850057e-05,2.895496e-05,3.055581e-05,3.061908e-05,3.211790e-05,3.266975e-05,3.363612e-05,3.464124e-05,3.510620e-05,3.652469e-05,3.788886e-05,3.831358e-05,3.919670e-05,4.000347e-05,4.044679e-05,4.159179e-05,4.163832e-05,4.277097e-05,4.307757e-05,4.384486e-05,4.446118e-05,4.486049e-05,4.574412e-05,4.581869e-05,4.672054e-05,4.692874e-05,4.756737e-05,4.801811e-05,4.836066e-05,4.901577e-05,4.910205e-05,4.979327e-05,4.992565e-05,5.043612e-05,5.075191e-05,5.103247e-05,5.149885e-05,5.158420e-05,5.209320e-05,5.217079e-05,5.256134e-05,5.277209e-05,5.299050e-05,5.330700e-05,5.338251e-05,5.373917e-05,5.377967e-05,5.406220e-05,5.419412e-05,5.435330e-05,5.455419e-05,5.461410e-05,5.484618e-05,5.486355e-05,5.505105e-05,5.512571e-05,5.523018e-05,5.534400e-05,5.538496e-05,5.551673e-05,5.552154e-05,5.562676e-05,5.566129e-05,5.571628e-05,5.576603e-05,5.578644e-05,5.583837e-05,5.587310e-05,5.588075e-05,5.589166e-05,5.589548e-05,5.589498e-05,5.588469e-05,5.588398e-05,5.585952e-05,5.585037e-05,5.582242e-05,5.579441e-05,5.577344e-05,5.571854e-05,5.571333e-05,5.564279e-05,5.562438e-05,5.556247e-05,5.551346e-05,5.547300e-05,5.538718e-05,5.537498e-05,5.526897e-05,5.524686e-05,5.515550e-05,5.509371e-05,5.503507e-05,5.492889e-05,5.490817e-05,5.477524e-05,5.475345e-05,5.463672e-05,5.456836e-05,5.449301e-05,5.437456e-05,5.434449e-05,5.419153e-05,5.417289e-05,5.403447e-05,5.396415e-05,5.387363e-05,5.374907e-05,5.370933e-05,5.354185e-05,5.352833e-05,5.337147e-05,5.330257e-05,5.319845e-05,5.307238e-05,5.302303e-05,5.284545e-05,5.283831e-05,5.266593e-05,5.260087e-05,5.248467e-05,5.236053e-05,5.230188e-05,5.211772e-05,5.187287e-05,5.162633e-05,5.137847e-05,5.112960e-05,5.088003e-05,5.063004e-05,5.037987e-05,5.012978e-05,4.987997e-05,4.963065e-05,4.938200e-05,4.913421e-05,4.888742e-05,4.864178e-05,4.839743e-05,4.815448e-05,4.791306e-05,4.767326e-05,4.743517e-05,4.719889e-05,4.696449e-05,4.673203e-05,4.650159e-05,4.627321e-05
0.000000e+00,1.117137e-15,9.856404e-15,2.497011e-13,2.111821e-12,5.595784e-12,4.538607e-11,4.892568e-11,2.555452e-10,3.809006e-10,9.640044e-10,1.911495e-09,2.906371e-09,6.935266e-09,7.439489e-09,1.681099e-08,2.013139e-08,3.443931e-08,4.966268e-08,6.518357e-08,1.082310e-07,1.155744e-07,1.939734e-07,2.138833e-07,3.106306e-07,3.903523e-07,4.776211e-07,6.667804e-07,7.086565e-07,1.018782e-06,1.076800e-06,1.423977e-06,1.657066e-06,1.940694e-06,2.445405e-06,2.585343e-06,3.373782e-06,3.478774e-06,4.320805e-06,4.791217e-06,5.439672e-06,6.411976e-06,6.741684e-06,8.235836e-06,8.363879e-06,9.928529e-06,1.066210e-05,1.182337e-05,1.331335e-05,1.392108e-05,1.621944e-05,1.631548e-05,1.871334e-05,1.965758e-05,2.139493e-05,2.332039e-05,2.425377e-05,2.727710e-05,3.045010e-05,3.149441e-05,3.375622e-05,3.593376e-05,3.717752e-05,4.055269e-05,4.069499e-05,4.428893e-05,4.530620e-05,4.793926e-05,5.014815e-05,5.162586e-05,5.503246e-05,5.532885e-05,5.902886e-05,5.991434e-05,6.270729e-05,6.475116e-05,6.634647e-05,6.950333e-05,6.992988e-05,7.344223e-05,7.413493e-05,7.686963e-05,7.861409e-05,8.019957e-05,8.291329e-05,8.342102e-05,8.652444e-05,8.700948e-05,8.950175e-05,9.088405e-05,9.234628e-05,9.452272e-05,9.505276e-05,9.761724e-05,9.791530e-05,1.000370e-04,1.010554e-04,1.023105e-04,1.039401e-04,1.044371e-04,1.064175e-04,1.065696e-04,1.082529e-04,1.089468e-04,1.099453e-04,1.110770e-04,1.114977e-04,1.129134e-04,1.129672e-04,1.141962e-04,1.146263e-04,1.153504e-04,1.160642e-04,1.163808e-04,1.172921e-04,1.180894e-04,1.183213e-04,1.187780e-04,1.191642e-04,1.193633e-04,1.198328e-04,1.198505e-04,1.202449e-04,1.203395e-04,1.205520e-04,1.206965e-04,1.207769e-04,1.209156e-04,1.209248e-04,1.210005e-04,1.210085e-04,1.210091e-04,1.209863e-04,1.209552e-04,1.208596e-04,1.208432e-04,1.206776e-04,1.206384e-04,1.204625e-04,1.203324e-04,1.202018e-04,1.199504e-04,1.198993e-04,1.195587e-04,1.195009e-04,1.191832e-04,1.189916e-04,1.187761e-04,1.184298e-04,1.183405e-04,1.178790e-04,1.178220e-04,1.173945e-04,1.171746e-04,1.168893e-04,1.164930e-04,1.163658e-04,1.158263e-04,1.157825e-04,1.152726e-04,1.150477e-04,1.147068e-04,1.142929e-04,1.141306e-04,1.135455e-04,1.135220e-04,1.129532e-04,1.127385e-04,1.123550e-04,1.119455e-04,1.117522e-04,1.111460e-04,1.103425e-04,1.095372e-04,1.087322e-04,1.079293e-04,1.071301e-04,1.063360e-04,1.055483e-04,1.047680e-04,1.039962e-04,1.032336e-04,1.024810e-04,1.017389e-04,1.010079e-04,1.002884e-04,9.958075e-05,9.888522e-05,9.820205e-05,9.753141e-05,9.687342e-05,9.622816e-05,9.559566e-05,9.497593e-05,9.436894e-05,9.377464e-05
0.000000e+00,5.303315e-10,1.962509e-09,1.128280e-08,3.248226e-08,5.163751e-08,1.357365e-07,1.404444e-07,2.955327e-07,3.532314e-07,5.345574e-07,7.257720e-07,8.756255e-07,1.295259e-06,1.337002e-06,1.934351e-06,2.098987e-06,2.674442e-06,3.149051e-06,3.549954e-06,4.418278e-06,4.542959e-06,5.633202e-06,5.861276e-06,6.802563e-06,7.436625e-06,8.035377e-06,9.109631e-06,9.317540e-06,1.063583e-05,1.084926e-05,1.197766e-05,1.262655e-05,1.333103e-05,1.441446e-05,1.468471e-05,1.602837e-05,1.618849e-05,1.735274e-05,1.792721e-05,1.864968e-05,1.961270e-05,1.991225e-05,2.113469e-05,2.123061e-05,2.231239e-05,2.277011e-05,2.344179e-05,2.422356e-05,2.452029e-05,2.554619e-05,2.558611e-05,2.651849e-05,2.685531e-05,2.743685e-05,2.803062e-05,2.830149e-05,2.911303e-05,2.987249e-05,3.010471e-05,3.058113e-05,3.100868e-05,3.124046e-05,3.182855e-05,3.185212e-05,3.241791e-05,3.256836e-05,3.293965e-05,3.323235e-05,3.341925e-05,3.382490e-05,3.385861e-05,3.425963e-05,3.435038e-05,3.462419e-05,3.481311e-05,3.495414e-05,3.521731e-05,3.525129e-05,3.551740e-05,3.556705e-05,3.575417e-05,3.586624e-05,3.596323e-05,3.611859e-05,3.614617e-05,3.630449e-05,3.632764e-05,3.643967e-05,3.649674e-05,3.655308e-05,3.662902e-05,3.664604e-05,3.671983e-05,3.672745e-05,3.677565e-05,3.679481e-05,3.681464e-05,3.683369e-05,3.683789e-05,3.684644e-05,3.684652e-05,3.684126e-05,3.683556e-05,3.682330e-05,3.680294e-05,3.679342e-05,3.675247e-05,3.675061e-05,3.670123e-05,3.668042e-05,3.664046e-05,3.659404e-05,3.657084e-05,3.649307e-05,3.640775e-05,3.637895e-05,3.631549e-05,3.625306e-05,3.621685e-05,3.611665e-05,3.611236e-05,3.600252e-05,3.597087e-05,3.588779e-05,3.581679e-05,3.576862e-05,3.565542e-05,3.564543e-05,3.551860e-05,3.548766e-05,3.538851e-05,3.531436e-05,3.525550e-05,3.513630e-05,3.511990e-05,3.498201e-05,3.495418e-05,3.484212e-05,3.476868e-05,3.470050e-05,3.458038e-05,3.455740e-05,3.441305e-05,3.438986e-05,3.426768e-05,3.419760e-05,3.412150e-05,3.400409e-05,3.397469e-05,3.382743e-05,3.380974e-05,3.367990e-05,3.361494e-05,3.353225e-05,3.342005e-05,3.338463e-05,3.323717e-05,3.322539e-05,3.309001e-05,3.303125e-05,3.294324e-05,3.283789e-05,3.279700e-05,3.265137e-05,3.264555e-05,3.250644e-05,3.245446e-05,3.236232e-05,3.226481e-05,3.221907e-05,3.207676e-05,3.189049e-05,3.170612e-05,3.152378e-05,3.134358e-05,3.116562e-05,3.098997e-05,3.081672e-05,3.064591e-05,3.047761e-05,3.031186e-05,3.014869e-05,2.998813e-05,2.983020e-05,2.967492e-05,2.952229e-05,2.937233e-05,2.922502e-05,2.908037e-05,2.893836e-05,2.879898e-05,2.866222e-05,2.852806e-05,2.839647e-05,2.826744e-05
0.000000e+00,8.821412e-15,7.486330e-14,1.747132e-12,1.369437e-11,3.478757e-11,2.526524e-10,2.711243e-10,1.266653e-09,1.831122e-09,4.289519e-09,7.987004e-09,1.165449e-08,2.536209e-08,2.699338e-08,5.542581e-08,6.490657e-08,1.036245e-07,1.422432e-07,1.797779e-07,2.774723e-07,2.934342e-07,4.551716e-07,4.942604e-07,6.760249e-07,8.178110e-07,9.666467e-07,1.271517e-06,1.336285e-06,1.791773e-06,1.872909e-06,2.336722e-06,2.630201e-06,2.971076e-06,3.540518e-06,3.691070e-06,4.489551e-06,4.590196e-06,5.356569e-06,5.756727e-06,6.280104e-06,7.011628e-06,7.246849e-06,8.242947e-06,8.323487e-06,9.254635e-06,9.660699e-06,1.026876e-05,1.099359e-05,1.127320e-05,1.225707e-05,1.229586e-05,1.321097e-05,1.354547e-05,1.412699e-05,1.472493e-05,1.499874e-05,1.582127e-05,1.659100e-05,1.682575e-05,1.730559e-05,1.773338e-05,1.796381e-05,1.854241e-05,1.856539e-05,1.911089e-05,1.925373e-05,1.960154e-05,1.987032e-05,2.003911e-05,2.039671e-05,2.042583e-05,2.076423e-05,2.083856e-05,2.105707e-05,2.120224e-05,2.130725e-05,2.149448e-05,2.151774e-05,2.169150e-05,2.172211e-05,2.183149e-05,2.189188e-05,2.194054e-05,2.201026e-05,2.202141e-05,2.207672e-05,2.208337e-05,2.210894e-05,2.211689e-05,2.212039e-05,2.211605e-05,2.211323e-05,2.208945e-05,2.208557e-05,2.205090e-05,2.202969e-05,2.199925e-05,2.195221e-05,2.193607e-05,2.186274e-05,2.185647e-05,2.178054e-05,2.174543e-05,2.169061e-05,2.162167e-05,2.159400e-05,2.149164e-05,2.148744e-05,2.138437e-05,2.134469e-05,2.127293e-05,2.119513e-05,2.115801e-05,2.104020e-05,2.092004e-05,2.088117e-05,2.079800e-05,2.071912e-05,2.067453e-05,2.055498e-05,2.054998e-05,2.042472e-05,2.038955e-05,2.029902e-05,2.022351e-05,2.017316e-05,2.005743e-05,2.004738e-05,1.992188e-05,1.989182e-05,1.979685e-05,1.972710e-05,1.967245e-05,1.956362e-05,1.954883e-05,1.942611e-05,1.940168e-05,1.930440e-05,1.924155e-05,1.918381e-05,1.908343e-05,1.906441e-05,1.894629e-05,1.892751e-05,1.882950e-05,1.877394e-05,1.871411e-05,1.862283e-05,1.860015e-05,1.848768e-05,1.847428e-05,1.837671e-05,1.832838e-05,1.826729e-05,1.818518e-05,1.815944e-05,1.805317e-05,1.804473e-05,1.794849e-05,1.790707e-05,1.784542e-05,1.777222e-05,1.774397e-05,1.764414e-05,1.764018e-05,1.754592e-05,1.751096e-05,1.744933e-05,1.738456e-05,1.735434e-05,1.726097e-05,1.714017e-05,1.702213e-05,1.690683e-05,1.679424e-05,1.668433e-05,1.657705e-05,1.647238e-05,1.637027e-05,1.627068e-05,1.617357e-05,1.607889e-05,1.598659e-05,1.589664e-05,1.580898e-05,1.572357e-05,1.564035e-05,1.555930e-05,1.548035e-05,1.540346e-05,1.532858e-05,1.525567e-05,1.518469e-05,1.511558e-05,1.504830e-05
0.000000e+00,7.872865e-13,6.104140e-12,1.183900e-10,7.863916e-10,1.826749e-09,1.058701e-08,1.125924e-08,4.243267e-08,5.796183e-08,1.181602e-07,1.973769e-07,2.688527e-07,5.046065e-07,5.305477e-07,9.431562e-07,1.069313e-06,1.549038e-06,1.988831e-06,2.391177e-06,3.359890e-06,3.509933e-06,4.938281e-06,5.263190e-06,6.697084e-06,7.744913e-06,8.792576e-06,1.080761e-05,1.121694e-05,1.395113e-05,1.441566e-05,1.696856e-05,1.850853e-05,2.023825e-05,2.301349e-05,2.372722e-05,2.740192e-05,2.785377e-05,3.122902e-05,3.295279e-05,3.517593e-05,3.823630e-05,3.921117e-05,4.330460e-05,4.363372e-05,4.742773e-05,4.907928e-05,5.155402e-05,5.451309e-05,5.565904e-05,5.972070e-05,5.988198e-05,6.371936e-05,6.514006e-05,6.763781e-05,7.024893e-05,7.146132e-05,7.517750e-05,7.877620e-05,7.990160e-05,8.224934e-05,8.440333e-05,8.559075e-05,8.867038e-05,8.879593e-05,9.186189e-05,9.269516e-05,9.478698e-05,9.647415e-05,9.757066e-05,1.000071e-04,1.002133e-04,1.027163e-04,1.032964e-04,1.050814e-04,1.063466e-04,1.073112e-04,1.091637e-04,1.094085e-04,1.113767e-04,1.117552e-04,1.132193e-04,1.141290e-04,1.149399e-04,1.162940e-04,1.165427e-04,1.180314e-04,1.182593e-04,1.194102e-04,1.200341e-04,1.206831e-04,1.216280e-04,1.218543e-04,1.229277e-04,1.230501e-04,1.239073e-04,1.243097e-04,1.247972e-04,1.254158e-04,1.256011e-04,1.263229e-04,1.263772e-04,1.269662e-04,1.272024e-04,1.275347e-04,1.278996e-04,1.280318e-04,1.284610e-04,1.284768e-04,1.288254e-04,1.289414e-04,1.291284e-04,1.293009e-04,1.293730e-04,1.295622e-04,1.296989e-04,1.297320e-04,1.297857e-04,1.298165e-04,1.298255e-04,1.298218e-04,1.298208e-04,1.297740e-04,1.297537e-04,1.296875e-04,1.296175e-04,1.295636e-04,1.294185e-04,1.294045e-04,1.292123e-04,1.291615e-04,1.289890e-04,1.288511e-04,1.287366e-04,1.284918e-04,1.284568e-04,1.281515e-04,1.280876e-04,1.278224e-04,1.276424e-04,1.274710e-04,1.271598e-04,1.270990e-04,1.267077e-04,1.266435e-04,1.262987e-04,1.260965e-04,1.258732e-04,1.255219e-04,1.254326e-04,1.249780e-04,1.249226e-04,1.245107e-04,1.243013e-04,1.240317e-04,1.236605e-04,1.235421e-04,1.230429e-04,1.230025e-04,1.225350e-04,1.223297e-04,1.220194e-04,1.216439e-04,1.214969e-04,1.209684e-04,1.209472e-04,1.204346e-04,1.202413e-04,1.198962e-04,1.195279e-04,1.193540e-04,1.188085e-04,1.180847e-04,1.173577e-04,1.166288e-04,1.158991e-04,1.151698e-04,1.144416e-04,1.137157e-04,1.129928e-04,1.122736e-04,1.115588e-04,1.108492e-04,1.101452e-04,1.094474e-04,1.087562e-04,1.080721e-04,1.073955e-04,1.067267e-04,1.060661e-04,1.054137e-04,1.047700e-04,1.041352e-04,1.035093e-04,1.028925e-04,1.022850e-04
0.000000e+00,3.656919e-15,3.141472e-14,7.522050e-13,6.038649e-12,1.554661e-11,1.170058e-10,1.257469e-10,6.097694e-10,8.908132e-10,2.144400e-09,4.085787e-09,6.055249e-09,1.366556e-08,1.459128e-08,3.120339e-08,3.690344e-08,6.079520e-08,8.539544e-08,1.098734e-07,1.755450e-07,1.864913e-07,2.999099e-07,3.278758e-07,4.599989e-07,5.649458e-07,6.764851e-07,9.084139e-07,9.581917e-07,1.312391e-06,1.376173e-06,1.744345e-06,1.980272e-06,2.257054e-06,2.725898e-06,2.851198e-06,3.525237e-06,3.611341e-06,4.275628e-06,4.628685e-06,5.097103e-06,5.764898e-06,5.982983e-06,6.925501e-06,7.003097e-06,7.916107e-06,8.323800e-06,8.945761e-06,9.706086e-06,1.000519e-05,1.108511e-05,1.112860e-05,1.217642e-05,1.257039e-05,1.327041e-05,1.401162e-05,1.435882e-05,1.543403e-05,1.648908e-05,1.682141e-05,1.751778e-05,1.815978e-05,1.851470e-05,1.943754e-05,1.947521e-05,2.039548e-05,2.064551e-05,2.127244e-05,2.177682e-05,2.210375e-05,2.282683e-05,2.288779e-05,2.362354e-05,2.379288e-05,2.431060e-05,2.467409e-05,2.494905e-05,2.547111e-05,2.553945e-05,2.608273e-05,2.618584e-05,2.658015e-05,2.682119e-05,2.703325e-05,2.738087e-05,2.744377e-05,2.781359e-05,2.786912e-05,2.814474e-05,2.829056e-05,2.843929e-05,2.865001e-05,2.869937e-05,2.892710e-05,2.895235e-05,2.912458e-05,2.920243e-05,2.929388e-05,2.940494e-05,2.943701e-05,2.955590e-05,2.956442e-05,2.965241e-05,2.968514e-05,2.972830e-05,2.977111e-05,2.978523e-05,2.982479e-05,2.982603e-05,2.984845e-05,2.985335e-05,2.985760e-05,2.985619e-05,2.985352e-05,2.983741e-05,2.981038e-05,2.979959e-05,2.977346e-05,2.974507e-05,2.972759e-05,2.967595e-05,2.967364e-05,2.961243e-05,2.959409e-05,2.954468e-05,2.950118e-05,2.947107e-05,2.939872e-05,2.939223e-05,2.930872e-05,2.928804e-05,2.922105e-05,2.917032e-05,2.912971e-05,2.904664e-05,2.903513e-05,2.893771e-05,2.891791e-05,2.883780e-05,2.878498e-05,2.873575e-05,2.864859e-05,2.863185e-05,2.852639e-05,2.850939e-05,2.841961e-05,2.836795e-05,2.831174e-05,2.822481e-05,2.820300e-05,2.809358e-05,2.808041e-05,2.798365e-05,2.793517e-05,2.787338e-05,2.778943e-05,2.776291e-05,2.765237e-05,2.764353e-05,2.754189e-05,2.749774e-05,2.743158e-05,2.735232e-05,2.732154e-05,2.721187e-05,2.720749e-05,2.710264e-05,2.706344e-05,2.699394e-05,2.692035e-05,2.688583e-05,2.677838e-05,2.663765e-05,2.649829e-05,2.636040e-05,2.622407e-05,2.608939e-05,2.595641e-05,2.582520e-05,2.569581e-05,2.556829e-05,2.544266e-05,2.531896e-05,2.519721e-05,2.507742e-05,2.495962e-05,2.484380e-05,2.472997e-05,2.461813e-05,2.450829e-05,2.440043e-05,2.429456e-05,2.419065e-05,2.408870e-05,2.398869e-05,2.389061e-05
0.000000e+00,1.410288e-10,6.696683e-10,5.408201e-09,1.869579e-08,3.189342e-08,9.502935e-08,9.870707e-08,2.239752e-07,2.718899e-07,4.249710e-07,5.889679e-07,7.186401e-07,1.085227e-06,1.121920e-06,1.651338e-06,1.798839e-06,2.321069e-06,2.760806e-06,3.139263e-06,3.981498e-06,4.104905e-06,5.208445e-06,5.444481e-06,6.435598e-06,7.117424e-06,7.770888e-06,8.965034e-06,9.199217e-06,1.070615e-05,1.095362e-05,1.227776e-05,1.305110e-05,1.390045e-05,1.522643e-05,1.556092e-05,1.724627e-05,1.744959e-05,1.894412e-05,1.969210e-05,2.064279e-05,2.192761e-05,2.233142e-05,2.400010e-05,2.413246e-05,2.564000e-05,2.628613e-05,2.724337e-05,2.837140e-05,2.880357e-05,3.031504e-05,3.037442e-05,3.177327e-05,3.228448e-05,3.317470e-05,3.409384e-05,3.451667e-05,3.579733e-05,3.701550e-05,3.739202e-05,3.817067e-05,3.887689e-05,3.926283e-05,4.025244e-05,4.029243e-05,4.126031e-05,4.152040e-05,4.216760e-05,4.268346e-05,4.301570e-05,4.374504e-05,4.380620e-05,4.454087e-05,4.470908e-05,4.522155e-05,4.557986e-05,4.585017e-05,4.636187e-05,4.642872e-05,4.695924e-05,4.705975e-05,4.744373e-05,4.767815e-05,4.788422e-05,4.822169e-05,4.828270e-05,4.864115e-05,4.869491e-05,4.896147e-05,4.910225e-05,4.924557e-05,4.944798e-05,4.949525e-05,4.971230e-05,4.973623e-05,4.989843e-05,4.997096e-05,5.005530e-05,5.015594e-05,5.018451e-05,5.028759e-05,5.029475e-05,5.036602e-05,5.039081e-05,5.042122e-05,5.044734e-05,5.045455e-05,5.046731e-05,5.046741e-05,5.046074e-05,5.045387e-05,5.043603e-05,5.040945e-05,5.039433e-05,5.033670e-05,5.026420e-05,5.023802e-05,5.017780e-05,5.011564e-05,5.007844e-05,4.997169e-05,4.996701e-05,4.984437e-05,4.980813e-05,4.971132e-05,4.962681e-05,4.956862e-05,4.942946e-05,4.941702e-05,4.925719e-05,4.921768e-05,4.908979e-05,4.899298e-05,4.891545e-05,4.875676e-05,4.873476e-05,4.854827e-05,4.851032e-05,4.835651e-05,4.825488e-05,4.815998e-05,4.799156e-05,4.795916e-05,4.775448e-05,4.772141e-05,4.754638e-05,4.744539e-05,4.733525e-05,4.716441e-05,4.712146e-05,4.690537e-05,4.687930e-05,4.668731e-05,4.659082e-05,4.646760e-05,4.629969e-05,4.624653e-05,4.602437e-05,4.600656e-05,4.580140e-05,4.571203e-05,4.557784e-05,4.541666e-05,4.535394e-05,4.512991e-05,4.512095e-05,4.490595e-05,4.482538e-05,4.468224e-05,4.453036e-05,4.445897e-05,4.423629e-05,4.394352e-05,4.365238e-05,4.336316e-05,4.307613e-05,4.279152e-05,4.250955e-05,4.223041e-05,4.195427e-05,4.168129e-05,4.141159e-05,4.114531e-05,4.088253e-05,4.062335e-05,4.036785e-05,4.011608e-05,3.986809e-05,3.962394e-05,3.938364e-05,3.914723e-05,3.891470e-05,3.868609e-05,3.846137e-05,3.824055e-05,3.802362e-05
0.000000e+00,2.214627e-09,5.738600e-09,2.244464e-08,5.415554e-08,8.070834e-08,1.896174e-07,1.955146e-07,3.840239e-07,4.522174e-07,6.622163e-07,8.784183e-07,1.044975e-06,1.501215e-06,1.545934e-06,2.176753e-06,2.348470e-06,2.945411e-06,3.437127e-06,3.854001e-06,4.765967e-06,4.898157e-06,6.069033e-06,6.317477e-06,7.355788e-06,8.066869e-06,8.746843e-06,9.987173e-06,1.023021e-05,1.179353e-05,1.205024e-05,1.342417e-05,1.422705e-05,1.510939e-05,1.648839e-05,1.683660e-05,1.859356e-05,1.880584e-05,2.036864e-05,2.115260e-05,2.215100e-05,2.350430e-05,2.393068e-05,2.569875e-05,2.583945e-05,2.744729e-05,2.813966e-05,2.916941e-05,3.038965e-05,3.085925e-05,3.251187e-05,3.257714e-05,3.412321e-05,3.469254e-05,3.569003e-05,3.672872e-05,3.720979e-05,3.868059e-05,4.010109e-05,4.054487e-05,4.147041e-05,4.231971e-05,4.278812e-05,4.400445e-05,4.405410e-05,4.526855e-05,4.559942e-05,4.643190e-05,4.710565e-05,4.754480e-05,4.852478e-05,4.860804e-05,4.962255e-05,4.985890e-05,5.058939e-05,5.111040e-05,5.150966e-05,5.228193e-05,5.238456e-05,5.321531e-05,5.337627e-05,5.400317e-05,5.439634e-05,5.474943e-05,5.534508e-05,5.545537e-05,5.612230e-05,5.622547e-05,5.675149e-05,5.704047e-05,5.734423e-05,5.779303e-05,5.790178e-05,5.842540e-05,5.848601e-05,5.891631e-05,5.912226e-05,5.937571e-05,5.970452e-05,5.980479e-05,6.020470e-05,6.023546e-05,6.057655e-05,6.071769e-05,6.092146e-05,6.115371e-05,6.124049e-05,6.153468e-05,6.154595e-05,6.180504e-05,6.189673e-05,6.205256e-05,6.220830e-05,6.227818e-05,6.248282e-05,6.266739e-05,6.272236e-05,6.283275e-05,6.292889e-05,6.297974e-05,6.310432e-05,6.310916e-05,6.322181e-05,6.325045e-05,6.331844e-05,6.336903e-05,6.339978e-05,6.346172e-05,6.346654e-05,6.351940e-05,6.353009e-05,6.355901e-05,6.357565e-05,6.358602e-05,6.359984e-05,6.360102e-05,6.360462e-05,6.360402e-05,6.359738e-05,6.358951e-05,6.357984e-05,6.355753e-05,6.355253e-05,6.351595e-05,6.350927e-05,6.347060e-05,6.344585e-05,6.341693e-05,6.336832e-05,6.335540e-05,6.328645e-05,6.327769e-05,6.321048e-05,6.317493e-05,6.312789e-05,6.306094e-05,6.303907e-05,6.294438e-05,6.293657e-05,6.284419e-05,6.280264e-05,6.273881e-05,6.265992e-05,6.262859e-05,6.251383e-05,6.250915e-05,6.239482e-05,6.235100e-05,6.227186e-05,6.218613e-05,6.214522e-05,6.201515e-05,6.183865e-05,6.165717e-05,6.147123e-05,6.128132e-05,6.108789e-05,6.089138e-05,6.069218e-05,6.049069e-05,6.028726e-05,6.008223e-05,5.987591e-05,5.966860e-05,5.946057e-05,5.925209e-05,5.904339e-05,5.883470e-05,5.862623e-05,5.841818e-05,5.821072e-05,5.800404e-05,5.779829e-05,5.759361e-05,5.739013e-05,5.718799e-05
0.000000e+00,1.418779e-09,3.253802e-09,1.121119e-08,2.553965e-08,3.728737e-08,8.479294e-08,8.735466e-08,1.694116e-07,1.992859e-07,2.921499e-07,3.890966e-07,4.645305e-07,6.727360e-07,6.931554e-07,9.788127e-07,1.055450e-06,1.317435e-06,1.528257e-06,1.703870e-06,2.079826e-06,2.133529e-06,2.602262e-06,2.700339e-06,3.105965e-06,3.380297e-06,3.640353e-06,4.109665e-06,4.200925e-06,4.783016e-06,4.877832e-06,5.381911e-06,5.673979e-06,5.992965e-06,6.487558e-06,6.611719e-06,7.234001e-06,7.308726e-06,7.855990e-06,8.128677e-06,8.474269e-06,8.939817e-06,9.085836e-06,9.688115e-06,9.735828e-06,1.027894e-05,1.051164e-05,1.085651e-05,1.126335e-05,1.141941e-05,1.196652e-05,1.198806e-05,1.249700e-05,1.268378e-05,1.301025e-05,1.334922e-05,1.350590e-05,1.398373e-05,1.444369e-05,1.458711e-05,1.488584e-05,1.515955e-05,1.531035e-05,1.570151e-05,1.571746e-05,1.610749e-05,1.621369e-05,1.648080e-05,1.669692e-05,1.683778e-05,1.715216e-05,1.717887e-05,1.750452e-05,1.758043e-05,1.781519e-05,1.798280e-05,1.811135e-05,1.836035e-05,1.839348e-05,1.866205e-05,1.871418e-05,1.891754e-05,1.904538e-05,1.916042e-05,1.935502e-05,1.939114e-05,1.961017e-05,1.964415e-05,1.981793e-05,1.991379e-05,2.001488e-05,2.016492e-05,2.020141e-05,2.037796e-05,2.039849e-05,2.054491e-05,2.061543e-05,2.070265e-05,2.081661e-05,2.085156e-05,2.099200e-05,2.100287e-05,2.112431e-05,2.117503e-05,2.124883e-05,2.133386e-05,2.136590e-05,2.147583e-05,2.148008e-05,2.157892e-05,2.161441e-05,2.167546e-05,2.173751e-05,2.176573e-05,2.185001e-05,2.192856e-05,2.195253e-05,2.200164e-05,2.204564e-05,2.206947e-05,2.212988e-05,2.213230e-05,2.219034e-05,2.220577e-05,2.224382e-05,2.227380e-05,2.229294e-05,2.233444e-05,2.233789e-05,2.237888e-05,2.238814e-05,2.241607e-05,2.243531e-05,2.244965e-05,2.247635e-05,2.247979e-05,2.250664e-05,2.251163e-05,2.253037e-05,2.254152e-05,2.255111e-05,2.256634e-05,2.256903e-05,2.258424e-05,2.258643e-05,2.259688e-05,2.260207e-05,2.260708e-05,2.261357e-05,2.261496e-05,2.262064e-05,2.262117e-05,2.262422e-05,2.262515e-05,2.262581e-05,2.262575e-05,2.262551e-05,2.262343e-05,2.262318e-05,2.261964e-05,2.261768e-05,2.261426e-05,2.260943e-05,2.260735e-05,2.259900e-05,2.259864e-05,2.258929e-05,2.258548e-05,2.257830e-05,2.257013e-05,2.256610e-05,2.255275e-05,2.253349e-05,2.251250e-05,2.248990e-05,2.246584e-05,2.244043e-05,2.241378e-05,2.238601e-05,2.235721e-05,2.232747e-05,2.229690e-05,2.226557e-05,2.223357e-05,2.220096e-05,2.216781e-05,2.213421e-05,2.210019e-05,2.206584e-05,2.203119e-05,2.199630e-05,2.196122e-05,2.192599e-05,2.189066e-05,2.185526e-05,2.181984e-05
0.000000e+00,2.770762e-09,6.363446e-09,2.193104e-08,4.987738e-08,7.270599e-08,1.642834e-07,1.691894e-07,3.247238e-07,3.806247e-07,5.522672e-07,7.286946e-07,8.646397e-07,1.237824e-06,1.274488e-06,1.793704e-06,1.935740e-06,2.431924e-06,2.843394e-06,3.193987e-06,3.965188e-06,4.077303e-06,5.071277e-06,5.281987e-06,6.159798e-06,6.757234e-06,7.324960e-06,8.350387e-06,8.549695e-06,9.818719e-06,1.002495e-05,1.111857e-05,1.174990e-05,1.243735e-05,1.349881e-05,1.376442e-05,1.509032e-05,1.524893e-05,1.640659e-05,1.698075e-05,1.770580e-05,1.867775e-05,1.898145e-05,2.022802e-05,2.032634e-05,2.144086e-05,2.191567e-05,2.261618e-05,2.343747e-05,2.375098e-05,2.484298e-05,2.488574e-05,2.589054e-05,2.625656e-05,2.689258e-05,2.754766e-05,2.784853e-05,2.875824e-05,2.962191e-05,2.988863e-05,3.044003e-05,3.094006e-05,3.121335e-05,3.191446e-05,3.194281e-05,3.262950e-05,3.281427e-05,3.327462e-05,3.364229e-05,3.387949e-05,3.440157e-05,3.444544e-05,3.497389e-05,3.509530e-05,3.546625e-05,3.572675e-05,3.592396e-05,3.629920e-05,3.634843e-05,3.674107e-05,3.681590e-05,3.710328e-05,3.728005e-05,3.743641e-05,3.769475e-05,3.774180e-05,3.802074e-05,3.806300e-05,3.827448e-05,3.838769e-05,3.850425e-05,3.867160e-05,3.871122e-05,3.889653e-05,3.891736e-05,3.906127e-05,3.912751e-05,3.920649e-05,3.930443e-05,3.933321e-05,3.944239e-05,3.945039e-05,3.953497e-05,3.956756e-05,3.961185e-05,3.965795e-05,3.967387e-05,3.972186e-05,3.972350e-05,3.975660e-05,3.976600e-05,3.977884e-05,3.978718e-05,3.978929e-05,3.978864e-05,3.977754e-05,3.977189e-05,3.975662e-05,3.973834e-05,3.972646e-05,3.968935e-05,3.968763e-05,3.964068e-05,3.962615e-05,3.958611e-05,3.954992e-05,3.952442e-05,3.946177e-05,3.945606e-05,3.938150e-05,3.936272e-05,3.930113e-05,3.925375e-05,3.921538e-05,3.913575e-05,3.912461e-05,3.902919e-05,3.900958e-05,3.892947e-05,3.887602e-05,3.882577e-05,3.873581e-05,3.871840e-05,3.860766e-05,3.858964e-05,3.849382e-05,3.843816e-05,3.837715e-05,3.828195e-05,3.825791e-05,3.813633e-05,3.812159e-05,3.801263e-05,3.795759e-05,3.788703e-05,3.779043e-05,3.775974e-05,3.763093e-05,3.762057e-05,3.750080e-05,3.744842e-05,3.736952e-05,3.727437e-05,3.723724e-05,3.710413e-05,3.709879e-05,3.697031e-05,3.692200e-05,3.683594e-05,3.674431e-05,3.670113e-05,3.656602e-05,3.638738e-05,3.620863e-05,3.603002e-05,3.585173e-05,3.567396e-05,3.549689e-05,3.532068e-05,3.514547e-05,3.497140e-05,3.479859e-05,3.462715e-05,3.445718e-05,3.428877e-05,3.412200e-05,3.395695e-05,3.379368e-05,3.363226e-05,3.347272e-05,3.331512e-05,3.315949e-05,3.300587e-05,3.285429e-05,3.270477e-05,3.255733e-05
0.000000e+00,2.690285e-09,6.169908e-09,2.124953e-08,4.835126e-08,7.051751e-08,1.596372e-07,1.644194e-07,3.163693e-07,3.711259e-07,5.396618e-07,7.134619e-07,8.477287e-07,1.217656e-06,1.254098e-06,1.771808e-06,1.913932e-06,2.411965e-06,2.826696e-06,3.181238e-06,3.964659e-06,4.078925e-06,5.095490e-06,5.311684e-06,6.214261e-06,6.829845e-06,7.415413e-06,8.473799e-06,8.679555e-06,9.989470e-06,1.020229e-05,1.133043e-05,1.198136e-05,1.268987e-05,1.378344e-05,1.405701e-05,1.542251e-05,1.558587e-05,1.677826e-05,1.736986e-05,1.811725e-05,1.911993e-05,1.943346e-05,2.072181e-05,2.082355e-05,2.197808e-05,2.247082e-05,2.319884e-05,2.405424e-05,2.438136e-05,2.552358e-05,2.556841e-05,2.662400e-05,2.700970e-05,2.768160e-05,2.837601e-05,2.869582e-05,2.966646e-05,3.059362e-05,3.088118e-05,3.147766e-05,3.202107e-05,3.231915e-05,3.308765e-05,3.311885e-05,3.387763e-05,3.408288e-05,3.459647e-05,3.500906e-05,3.527646e-05,3.586869e-05,3.591871e-05,3.652440e-05,3.666446e-05,3.709474e-05,3.739913e-05,3.763092e-05,3.807548e-05,3.813417e-05,3.860570e-05,3.869631e-05,3.904673e-05,3.926440e-05,3.945843e-05,3.978246e-05,3.984199e-05,4.019853e-05,4.025315e-05,4.052920e-05,4.067904e-05,4.083507e-05,4.106264e-05,4.111722e-05,4.137669e-05,4.140634e-05,4.161447e-05,4.171247e-05,4.183154e-05,4.198324e-05,4.202884e-05,4.220729e-05,4.222078e-05,4.236776e-05,4.242711e-05,4.251111e-05,4.260419e-05,4.263816e-05,4.274970e-05,4.275385e-05,4.284648e-05,4.287786e-05,4.292925e-05,4.297788e-05,4.299870e-05,4.305552e-05,4.310036e-05,4.311228e-05,4.313384e-05,4.314958e-05,4.315656e-05,4.316880e-05,4.316911e-05,4.317203e-05,4.317120e-05,4.316586e-05,4.315801e-05,4.315111e-05,4.313037e-05,4.312826e-05,4.309777e-05,4.308937e-05,4.306011e-05,4.303604e-05,4.301569e-05,4.297134e-05,4.296493e-05,4.290821e-05,4.289619e-05,4.284592e-05,4.281144e-05,4.277841e-05,4.271791e-05,4.270602e-05,4.262907e-05,4.261636e-05,4.254789e-05,4.250750e-05,4.246276e-05,4.239202e-05,4.237398e-05,4.228181e-05,4.227054e-05,4.218651e-05,4.214365e-05,4.208833e-05,4.201193e-05,4.198750e-05,4.188425e-05,4.187589e-05,4.177878e-05,4.173602e-05,4.167130e-05,4.159278e-05,4.156201e-05,4.145108e-05,4.144661e-05,4.133868e-05,4.129789e-05,4.122499e-05,4.114702e-05,4.111016e-05,4.099434e-05,4.084017e-05,4.068483e-05,4.052859e-05,4.037172e-05,4.021446e-05,4.005704e-05,3.989968e-05,3.974256e-05,3.958587e-05,3.942977e-05,3.927441e-05,3.911994e-05,3.896648e-05,3.881416e-05,3.866307e-05,3.851332e-05,3.836500e-05,3.821819e-05,3.807296e-05,3.792937e-05,3.778749e-05,3.764737e-05,3.750904e-05,3.737256e-05
0.000000e+00,1.090013e-14,9.092449e-14,2.048771e-12,1.555684e-11,3.884177e-11,2.699581e-10,2.891842e-10,1.295020e-09,1.851237e-09,4.218788e-09,7.688246e-09,1.106721e-08,2.339609e-08,2.484185e-08,4.960358e-08,5.772546e-08,9.042170e-08,1.224535e-07,1.531477e-07,2.314019e-07,2.439920e-07,3.689845e-07,3.985673e-07,5.334604e-07,6.360570e-07,7.416852e-07,9.526362e-07,9.966588e-07,1.300080e-06,1.353171e-06,1.652422e-06,1.838778e-06,2.053060e-06,2.407313e-06,2.500418e-06,2.992110e-06,3.053953e-06,3.525066e-06,3.771718e-06,4.095641e-06,4.551918e-06,4.699716e-06,5.332793e-06,5.384550e-06,5.990091e-06,6.258682e-06,6.666638e-06,7.162831e-06,7.357373e-06,8.057234e-06,8.085347e-06,8.761254e-06,9.014791e-06,9.464649e-06,9.940275e-06,1.016289e-05,1.085176e-05,1.152742e-05,1.174027e-05,1.218645e-05,1.259809e-05,1.282584e-05,1.341881e-05,1.344305e-05,1.403595e-05,1.419737e-05,1.460287e-05,1.493000e-05,1.514253e-05,1.561417e-05,1.565404e-05,1.613685e-05,1.624842e-05,1.659074e-05,1.683229e-05,1.701576e-05,1.736612e-05,1.741220e-05,1.778056e-05,1.785092e-05,1.812152e-05,1.828825e-05,1.843588e-05,1.868007e-05,1.872457e-05,1.898859e-05,1.902861e-05,1.922899e-05,1.933632e-05,1.944689e-05,1.960575e-05,1.964339e-05,1.981964e-05,1.983948e-05,1.997675e-05,2.004009e-05,2.011581e-05,2.021010e-05,2.023791e-05,2.034408e-05,2.035192e-05,2.043534e-05,2.046788e-05,2.051265e-05,2.056019e-05,2.057692e-05,2.062905e-05,2.063090e-05,2.066986e-05,2.068194e-05,2.070015e-05,2.071511e-05,2.072065e-05,2.073206e-05,2.073505e-05,2.073433e-05,2.073024e-05,2.072332e-05,2.071819e-05,2.070033e-05,2.069946e-05,2.067455e-05,2.066654e-05,2.064394e-05,2.062302e-05,2.060807e-05,2.057078e-05,2.056735e-05,2.052217e-05,2.051070e-05,2.047288e-05,2.044361e-05,2.041982e-05,2.037027e-05,2.036331e-05,2.030364e-05,2.029135e-05,2.024107e-05,2.020747e-05,2.017585e-05,2.011921e-05,2.010824e-05,2.003843e-05,2.002707e-05,1.996664e-05,1.993153e-05,1.989306e-05,1.983302e-05,1.981786e-05,1.974122e-05,1.973193e-05,1.966327e-05,1.962861e-05,1.958418e-05,1.952338e-05,1.950407e-05,1.942306e-05,1.941654e-05,1.934127e-05,1.930837e-05,1.925882e-05,1.919909e-05,1.917580e-05,1.909230e-05,1.908895e-05,1.900841e-05,1.897814e-05,1.892422e-05,1.886684e-05,1.883980e-05,1.875522e-05,1.864345e-05,1.853165e-05,1.841996e-05,1.830849e-05,1.819735e-05,1.808663e-05,1.797642e-05,1.786680e-05,1.775783e-05,1.764959e-05,1.754214e-05,1.743551e-05,1.732977e-05,1.722495e-05,1.712108e-05,1.701822e-05,1.691637e-05,1.681557e-05,1.671585e-05,1.661721e-05,1.651968e-05,1.642328e-05,1.632801e-05,1.623388e-05
0.000000e+00,1.688672e-09,4.620196e-09,1.911452e-08,4.737051e-08,7.135688e-08,1.714809e-07,1.769658e-07,3.550989e-07,4.207704e-07,6.267450e-07,8.442953e-07,1.015380e-06,1.497532e-06,1.545716e-06,2.238211e-06,2.429692e-06,3.099608e-06,3.652038e-06,4.118300e-06,5.126837e-06,5.271514e-06,6.535541e-06,6.799799e-06,7.890192e-06,8.624781e-06,9.318788e-06,1.056543e-05,1.080700e-05,1.234192e-05,1.259103e-05,1.391155e-05,1.467398e-05,1.550466e-05,1.678895e-05,1.711073e-05,1.872008e-05,1.891300e-05,2.032391e-05,2.102579e-05,2.191437e-05,2.310991e-05,2.348459e-05,2.502866e-05,2.515091e-05,2.654165e-05,2.713721e-05,2.801949e-05,2.905991e-05,2.945893e-05,3.085746e-05,3.091252e-05,3.221320e-05,3.269051e-05,3.352480e-05,3.439105e-05,3.479145e-05,3.601274e-05,3.718856e-05,3.755525e-05,3.831914e-05,3.901916e-05,3.940492e-05,4.040570e-05,4.044652e-05,4.144473e-05,4.171657e-05,4.240044e-05,4.295387e-05,4.331464e-05,4.411995e-05,4.418838e-05,4.502279e-05,4.521732e-05,4.581899e-05,4.624860e-05,4.657813e-05,4.721644e-05,4.730137e-05,4.798986e-05,4.812349e-05,4.864476e-05,4.897241e-05,4.926721e-05,4.976582e-05,4.985834e-05,5.041924e-05,5.050626e-05,5.095100e-05,5.119620e-05,5.145466e-05,5.183806e-05,5.193126e-05,5.238180e-05,5.243417e-05,5.280727e-05,5.298677e-05,5.320861e-05,5.349806e-05,5.358674e-05,5.394256e-05,5.397009e-05,5.427694e-05,5.440487e-05,5.459071e-05,5.480432e-05,5.488468e-05,5.515964e-05,5.517026e-05,5.541635e-05,5.550444e-05,5.565555e-05,5.580855e-05,5.587792e-05,5.608417e-05,5.627494e-05,5.633283e-05,5.645088e-05,5.655597e-05,5.661259e-05,5.675499e-05,5.676066e-05,5.689566e-05,5.693120e-05,5.701815e-05,5.708585e-05,5.712863e-05,5.722013e-05,5.722764e-05,5.731564e-05,5.733518e-05,5.739312e-05,5.743207e-05,5.746052e-05,5.751184e-05,5.751828e-05,5.756682e-05,5.757546e-05,5.760654e-05,5.762384e-05,5.763784e-05,5.765788e-05,5.766108e-05,5.767662e-05,5.767841e-05,5.768480e-05,5.768622e-05,5.768597e-05,5.768206e-05,5.768043e-05,5.766850e-05,5.766665e-05,5.765047e-05,5.764067e-05,5.762661e-05,5.760476e-05,5.759721e-05,5.756253e-05,5.755953e-05,5.752281e-05,5.750556e-05,5.747830e-05,5.744341e-05,5.742922e-05,5.737581e-05,5.737359e-05,5.731828e-05,5.729660e-05,5.725683e-05,5.721291e-05,5.719166e-05,5.712296e-05,5.702718e-05,5.692597e-05,5.681970e-05,5.670874e-05,5.659342e-05,5.647408e-05,5.635101e-05,5.622451e-05,5.609485e-05,5.596229e-05,5.582708e-05,5.568945e-05,5.554963e-05,5.540782e-05,5.526422e-05,5.511902e-05,5.497240e-05,5.482453e-05,5.467555e-05,5.452564e-05,5.437492e-05,5.422353e-05,5.407160e-05,5.391925e-05
0.000000e+00,2.082908e-09,4.994661e-09,1.803008e-08,4.194964e-08,6.170527e-08,1.419443e-07,1.462749e-07,2.847502e-07,3.349910e-07,4.905216e-07,6.520930e-07,7.775734e-07,1.125216e-06,1.159544e-06,1.646451e-06,1.779362e-06,2.240556e-06,2.618271e-06,2.936517e-06,3.626469e-06,3.725828e-06,4.600049e-06,4.784393e-06,5.551450e-06,6.074221e-06,6.572622e-06,7.478842e-06,7.656058e-06,8.793946e-06,8.980521e-06,9.978141e-06,1.056054e-05,1.120025e-05,1.219954e-05,1.245180e-05,1.372438e-05,1.387811e-05,1.500984e-05,1.557751e-05,1.630044e-05,1.728026e-05,1.758894e-05,1.886873e-05,1.897056e-05,2.013387e-05,2.063462e-05,2.137909e-05,2.226075e-05,2.259986e-05,2.379231e-05,2.383937e-05,2.495321e-05,2.536289e-05,2.607995e-05,2.682555e-05,2.717048e-05,2.822324e-05,2.923711e-05,2.955322e-05,3.021138e-05,3.081394e-05,3.114565e-05,3.200483e-05,3.203983e-05,3.289405e-05,3.312612e-05,3.370868e-05,3.417866e-05,3.448424e-05,3.516381e-05,3.522139e-05,3.592091e-05,3.608329e-05,3.658367e-05,3.693909e-05,3.721059e-05,3.773342e-05,3.780266e-05,3.836090e-05,3.846858e-05,3.888636e-05,3.914699e-05,3.938009e-05,3.977109e-05,3.984317e-05,4.027666e-05,4.034334e-05,4.068162e-05,4.086617e-05,4.105909e-05,4.134197e-05,4.141010e-05,4.173567e-05,4.177307e-05,4.203678e-05,4.216177e-05,4.231440e-05,4.251027e-05,4.256948e-05,4.280294e-05,4.282071e-05,4.301568e-05,4.309516e-05,4.320856e-05,4.333560e-05,4.338242e-05,4.353808e-05,4.354394e-05,4.367633e-05,4.372199e-05,4.379794e-05,4.387150e-05,4.390364e-05,4.399415e-05,4.407016e-05,4.409153e-05,4.413233e-05,4.416515e-05,4.418130e-05,4.421647e-05,4.421769e-05,4.424209e-05,4.424685e-05,4.425508e-05,4.425762e-05,4.425720e-05,4.425002e-05,4.424899e-05,4.423096e-05,4.422523e-05,4.420359e-05,4.418437e-05,4.416737e-05,4.412851e-05,4.412273e-05,4.407012e-05,4.405867e-05,4.400994e-05,4.397580e-05,4.394262e-05,4.388081e-05,4.386852e-05,4.378801e-05,4.377456e-05,4.370146e-05,4.365786e-05,4.360919e-05,4.353149e-05,4.351154e-05,4.340882e-05,4.339616e-05,4.330132e-05,4.325258e-05,4.318933e-05,4.310138e-05,4.307313e-05,4.295297e-05,4.294320e-05,4.282912e-05,4.277859e-05,4.270180e-05,4.260812e-05,4.257125e-05,4.243770e-05,4.243230e-05,4.230134e-05,4.225161e-05,4.216239e-05,4.206652e-05,4.202103e-05,4.187745e-05,4.168482e-05,4.148900e-05,4.129036e-05,4.108924e-05,4.088596e-05,4.068081e-05,4.047407e-05,4.026602e-05,4.005689e-05,3.984693e-05,3.963634e-05,3.942533e-05,3.921409e-05,3.900280e-05,3.879163e-05,3.858072e-05,3.837022e-05,3.816027e-05,3.795100e-05,3.774251e-05,3.753492e-05,3.732832e-05,3.712282e-05,3.691848e-05
0.000000e+00,3.460880e-11,1.961495e-10,2.111105e-09,8.799313e-09,1.626796e-08,5.683887e-08,5.935879e-08,1.513785e-07,1.890571e-07,3.165074e-07,4.631744e-07,5.854182e-07,9.540253e-07,9.923466e-07,1.560186e-06,1.720608e-06,2.285885e-06,2.753301e-06,3.147569e-06,3.999322e-06,4.121457e-06,5.189424e-06,5.413093e-06,6.338327e-06,6.964166e-06,7.557528e-06,8.628790e-06,8.837198e-06,1.016752e-05,1.038440e-05,1.153847e-05,1.220799e-05,1.293994e-05,1.407633e-05,1.436189e-05,1.579462e-05,1.596683e-05,1.722900e-05,1.785846e-05,1.865663e-05,1.973242e-05,2.006995e-05,2.146232e-05,2.157263e-05,2.282806e-05,2.336580e-05,2.416239e-05,2.510144e-05,2.546142e-05,2.672204e-05,2.677164e-05,2.794192e-05,2.837074e-05,2.911931e-05,2.989507e-05,3.025308e-05,3.134256e-05,3.238749e-05,3.271247e-05,3.338797e-05,3.400510e-05,3.434436e-05,3.522159e-05,3.525728e-05,3.612752e-05,3.636366e-05,3.695600e-05,3.743348e-05,3.774378e-05,3.843356e-05,3.849199e-05,3.920180e-05,3.936658e-05,3.987447e-05,4.023540e-05,4.051124e-05,4.104291e-05,4.111338e-05,4.168216e-05,4.179202e-05,4.221883e-05,4.248564e-05,4.272466e-05,4.312660e-05,4.320084e-05,4.364860e-05,4.371768e-05,4.406909e-05,4.426159e-05,4.446348e-05,4.476092e-05,4.483285e-05,4.517830e-05,4.521820e-05,4.550087e-05,4.563581e-05,4.580157e-05,4.601608e-05,4.608138e-05,4.634125e-05,4.636120e-05,4.658208e-05,4.667328e-05,4.680475e-05,4.695430e-05,4.701010e-05,4.719896e-05,4.720618e-05,4.737210e-05,4.743072e-05,4.753027e-05,4.762964e-05,4.767419e-05,4.780456e-05,4.792203e-05,4.795701e-05,4.802726e-05,4.808846e-05,4.812085e-05,4.820029e-05,4.820338e-05,4.827543e-05,4.829379e-05,4.833752e-05,4.837021e-05,4.839017e-05,4.843070e-05,4.843387e-05,4.846911e-05,4.847635e-05,4.849632e-05,4.850822e-05,4.851594e-05,4.852726e-05,4.852839e-05,4.853405e-05,4.853441e-05,4.853332e-05,4.853052e-05,4.852654e-05,4.851643e-05,4.851406e-05,4.849622e-05,4.849288e-05,4.847332e-05,4.846062e-05,4.844566e-05,4.842031e-05,4.841354e-05,4.837723e-05,4.837260e-05,4.833698e-05,4.831810e-05,4.829306e-05,4.825735e-05,4.824568e-05,4.819509e-05,4.819091e-05,4.814149e-05,4.811926e-05,4.808509e-05,4.804287e-05,4.802610e-05,4.796468e-05,4.796218e-05,4.790103e-05,4.787760e-05,4.783531e-05,4.778952e-05,4.776768e-05,4.769830e-05,4.760427e-05,4.750776e-05,4.740906e-05,4.730844e-05,4.720616e-05,4.710247e-05,4.699759e-05,4.689173e-05,4.678509e-05,4.667784e-05,4.657016e-05,4.646221e-05,4.635412e-05,4.624604e-05,4.613809e-05,4.603039e-05,4.592305e-05,4.581616e-05,4.570982e-05,4.560411e-05,4.549911e-05,4.539489e-05,4.529152e-05,4.518904e-05
0.000000e+00,3.387444e-14,2.799517e-13,6.185222e-12,4.612851e-11,1.140378e-10,7.725835e-10,8.267474e-10,3.610093e-09,5.125624e-09,1.148406e-08,2.064639e-08,2.946191e-08,6.110358e-08,6.477620e-08,1.269257e-07,1.470871e-07,2.275577e-07,3.056646e-07,3.800693e-07,5.685147e-07,5.987094e-07,8.971242e-07,9.674362e-07,1.286642e-06,1.527880e-06,1.774811e-06,2.263409e-06,2.364584e-06,3.054264e-06,3.173547e-06,3.838053e-06,4.245149e-06,4.706938e-06,5.455817e-06,5.649686e-06,6.653758e-06,6.777748e-06,7.706052e-06,8.180951e-06,8.793468e-06,9.635563e-06,9.903317e-06,1.102359e-05,1.111332e-05,1.214315e-05,1.258847e-05,1.325184e-05,1.403822e-05,1.434057e-05,1.540133e-05,1.544308e-05,1.642726e-05,1.678692e-05,1.741261e-05,1.805704e-05,1.835271e-05,1.924397e-05,2.008374e-05,2.034130e-05,2.087033e-05,2.134540e-05,2.160285e-05,2.225505e-05,2.228114e-05,2.290570e-05,2.307107e-05,2.347755e-05,2.379596e-05,2.399816e-05,2.443344e-05,2.446937e-05,2.489325e-05,2.498820e-05,2.527211e-05,2.546550e-05,2.560836e-05,2.587099e-05,2.590450e-05,2.616303e-05,2.621044e-05,2.638647e-05,2.648960e-05,2.657726e-05,2.671406e-05,2.673780e-05,2.687039e-05,2.688915e-05,2.697720e-05,2.701993e-05,2.706032e-05,2.711109e-05,2.712172e-05,2.716323e-05,2.716696e-05,2.718657e-05,2.719150e-05,2.719334e-05,2.718833e-05,2.718504e-05,2.716303e-05,2.716071e-05,2.712859e-05,2.711160e-05,2.708290e-05,2.704363e-05,2.702702e-05,2.696196e-05,2.695918e-05,2.688863e-05,2.686037e-05,2.680786e-05,2.674908e-05,2.672041e-05,2.662700e-05,2.652825e-05,2.649563e-05,2.642477e-05,2.635630e-05,2.631708e-05,2.621021e-05,2.620569e-05,2.609104e-05,2.605841e-05,2.597354e-05,2.590183e-05,2.585357e-05,2.574131e-05,2.573147e-05,2.560757e-05,2.557759e-05,2.548214e-05,2.541133e-05,2.535545e-05,2.524312e-05,2.522775e-05,2.509925e-05,2.507347e-05,2.497015e-05,2.490285e-05,2.484064e-05,2.473166e-05,2.471089e-05,2.458106e-05,2.456029e-05,2.445128e-05,2.438904e-05,2.432167e-05,2.421820e-05,2.419237e-05,2.406347e-05,2.404804e-05,2.393508e-05,2.387876e-05,2.380727e-05,2.371058e-05,2.368014e-05,2.355375e-05,2.354367e-05,2.342817e-05,2.337818e-05,2.330346e-05,2.321425e-05,2.317968e-05,2.305688e-05,2.305199e-05,2.293510e-05,2.289151e-05,2.281438e-05,2.273291e-05,2.269475e-05,2.257625e-05,2.242160e-05,2.226902e-05,2.211855e-05,2.197024e-05,2.182411e-05,2.168019e-05,2.153851e-05,2.139906e-05,2.126186e-05,2.112692e-05,2.099423e-05,2.086378e-05,2.073559e-05,2.060962e-05,2.048587e-05,2.036433e-05,2.024498e-05,2.012780e-05,2.001277e-05,1.989986e-05,1.978906e-05,1.968034e-05,1.957367e-05,1.946903e-05
0.000000e+00,3.196704e-09,7.708858e-09,2.803031e-08,6.555757e-08,9.671297e-08,2.244485e-07,2.313922e-07,4.558272e-07,5.383200e-07,7.967857e-07,1.069309e-06,1.282931e-06,1.878429e-06,1.937237e-06,2.765933e-06,2.989817e-06,3.758609e-06,4.380031e-06,4.898926e-06,6.012295e-06,6.171535e-06,7.562998e-06,7.854448e-06,9.060824e-06,9.877624e-06,1.065262e-05,1.205309e-05,1.232572e-05,1.406712e-05,1.435121e-05,1.586371e-05,1.674185e-05,1.770250e-05,1.919544e-05,1.957090e-05,2.145701e-05,2.168400e-05,2.334977e-05,2.418207e-05,2.523913e-05,2.666720e-05,2.711611e-05,2.897284e-05,2.912029e-05,3.080252e-05,3.152550e-05,3.259942e-05,3.387016e-05,3.435875e-05,3.607663e-05,3.614443e-05,3.774996e-05,3.834097e-05,3.937636e-05,4.045457e-05,4.095404e-05,4.248178e-05,4.395877e-05,4.442062e-05,4.538462e-05,4.627027e-05,4.675924e-05,4.803086e-05,4.808283e-05,4.935579e-05,4.970323e-05,5.057873e-05,5.128880e-05,5.175241e-05,5.278942e-05,5.287769e-05,5.395551e-05,5.420724e-05,5.498690e-05,5.554461e-05,5.597296e-05,5.680407e-05,5.691480e-05,5.781359e-05,5.798828e-05,5.867049e-05,5.909992e-05,5.948670e-05,6.014174e-05,6.026341e-05,6.100180e-05,6.111647e-05,6.170306e-05,6.202683e-05,6.236837e-05,6.287551e-05,6.299889e-05,6.359575e-05,6.366516e-05,6.416009e-05,6.439838e-05,6.469301e-05,6.507769e-05,6.519560e-05,6.566892e-05,6.570555e-05,6.611401e-05,6.628437e-05,6.653189e-05,6.681647e-05,6.692355e-05,6.728995e-05,6.730410e-05,6.763204e-05,6.774942e-05,6.795074e-05,6.815455e-05,6.824693e-05,6.852150e-05,6.877527e-05,6.885222e-05,6.900906e-05,6.914858e-05,6.922369e-05,6.941240e-05,6.941990e-05,6.959846e-05,6.964539e-05,6.976008e-05,6.984922e-05,6.990547e-05,7.002548e-05,7.003531e-05,7.015025e-05,7.017569e-05,7.025093e-05,7.030132e-05,7.033797e-05,7.040375e-05,7.041196e-05,7.047348e-05,7.048434e-05,7.052309e-05,7.054435e-05,7.056131e-05,7.058500e-05,7.058867e-05,7.060568e-05,7.060747e-05,7.061280e-05,7.061285e-05,7.061052e-05,7.060222e-05,7.059928e-05,7.057950e-05,7.057658e-05,7.055162e-05,7.053689e-05,7.051604e-05,7.048408e-05,7.047313e-05,7.042328e-05,7.041900e-05,7.036685e-05,7.034251e-05,7.030418e-05,7.025538e-05,7.023560e-05,7.016145e-05,7.015837e-05,7.008201e-05,7.005219e-05,6.999761e-05,6.993751e-05,6.990851e-05,6.981499e-05,6.968524e-05,6.954882e-05,6.940630e-05,6.925820e-05,6.910500e-05,6.894717e-05,6.878516e-05,6.861938e-05,6.845023e-05,6.827809e-05,6.810330e-05,6.792619e-05,6.774709e-05,6.756628e-05,6.738405e-05,6.720065e-05,6.701634e-05,6.683134e-05,6.664587e-05,6.646014e-05,6.627434e-05,6.608865e-05,6.590323e-05,6.571824e-05
0.000000e+00,2.001153e-14,1.675992e-13,3.806629e-12,2.911563e-11,7.298331e-11,5.123511e-10,5.490580e-10,2.481692e-09,3.555923e-09,8.147793e-09,1.490499e-08,2.150149e-08,4.561823e-08,4.844820e-08,9.691153e-08,1.127987e-07,1.767111e-07,2.392923e-07,2.992748e-07,4.524778e-07,4.771810e-07,7.235148e-07,7.821333e-07,1.051065e-06,1.257416e-06,1.471457e-06,1.903488e-06,1.994372e-06,2.626958e-06,2.738677e-06,3.373499e-06,3.772820e-06,4.235332e-06,5.006886e-06,5.210951e-06,6.296279e-06,6.433612e-06,7.485006e-06,8.038756e-06,8.768970e-06,9.802605e-06,1.013856e-05,1.158309e-05,1.170155e-05,1.309119e-05,1.370960e-05,1.465111e-05,1.579971e-05,1.625105e-05,1.787942e-05,1.794499e-05,1.952504e-05,2.011964e-05,2.117735e-05,2.229970e-05,2.282654e-05,2.446363e-05,2.608059e-05,2.659257e-05,2.767029e-05,2.867052e-05,2.922659e-05,3.068433e-05,3.074424e-05,3.221890e-05,3.262361e-05,3.364706e-05,3.448046e-05,3.502596e-05,3.624927e-05,3.635355e-05,3.762841e-05,3.792642e-05,3.884965e-05,3.950996e-05,4.001688e-05,4.099938e-05,4.113013e-05,4.218976e-05,4.239531e-05,4.319646e-05,4.369931e-05,4.415112e-05,4.491363e-05,4.505486e-05,4.590895e-05,4.604109e-05,4.671477e-05,4.708486e-05,4.747382e-05,4.804840e-05,4.818762e-05,4.885778e-05,4.893534e-05,4.948590e-05,4.974938e-05,5.007362e-05,5.049426e-05,5.062256e-05,5.113431e-05,5.117369e-05,5.161046e-05,5.179131e-05,5.205257e-05,5.235067e-05,5.246216e-05,5.284070e-05,5.285521e-05,5.318963e-05,5.330827e-05,5.351035e-05,5.371301e-05,5.380420e-05,5.407250e-05,5.431650e-05,5.438964e-05,5.453740e-05,5.466721e-05,5.473638e-05,5.490782e-05,5.491456e-05,5.507300e-05,5.511397e-05,5.521274e-05,5.528802e-05,5.533477e-05,5.543221e-05,5.544004e-05,5.552945e-05,5.554864e-05,5.560386e-05,5.563930e-05,5.566411e-05,5.570605e-05,5.571100e-05,5.574527e-05,5.575067e-05,5.576765e-05,5.577482e-05,5.577883e-05,5.578005e-05,5.577947e-05,5.577020e-05,5.576784e-05,5.575162e-05,5.573956e-05,5.572430e-05,5.569651e-05,5.568878e-05,5.564558e-05,5.563990e-05,5.559519e-05,5.557086e-05,5.553808e-05,5.549047e-05,5.547471e-05,5.540549e-05,5.539971e-05,5.533083e-05,5.529954e-05,5.525112e-05,5.519080e-05,5.516672e-05,5.507797e-05,5.507434e-05,5.498521e-05,5.495090e-05,5.488876e-05,5.482120e-05,5.478889e-05,5.468591e-05,5.454564e-05,5.440098e-05,5.425246e-05,5.410059e-05,5.394583e-05,5.378862e-05,5.362936e-05,5.346842e-05,5.330615e-05,5.314288e-05,5.297889e-05,5.281447e-05,5.264987e-05,5.248531e-05,5.232103e-05,5.215722e-05,5.199405e-05,5.183170e-05,5.167032e-05,5.151005e-05,5.135101e-05,5.119333e-05,5.103710e-05,5.088242e-05
0.000000e+00,2.078206e-09,5.243732e-09,1.994787e-08,4.752442e-08,7.050670e-08,1.645209e-07,1.696101e-07,3.325812e-07,3.917319e-07,5.746661e-07,7.642599e-07,9.111434e-07,1.316575e-06,1.356508e-06,1.921717e-06,2.075733e-06,2.609437e-06,3.045353e-06,3.411351e-06,4.199133e-06,4.311821e-06,5.293889e-06,5.498708e-06,6.342188e-06,6.908907e-06,7.443116e-06,8.399511e-06,8.584331e-06,9.754396e-06,9.943561e-06,1.094267e-05,1.151659e-05,1.213934e-05,1.309673e-05,1.333553e-05,1.452334e-05,1.466497e-05,1.569588e-05,1.620542e-05,1.684730e-05,1.770524e-05,1.797275e-05,1.906828e-05,1.915454e-05,2.013079e-05,2.054599e-05,2.115790e-05,2.187452e-05,2.214790e-05,2.309966e-05,2.313692e-05,2.401248e-05,2.433149e-05,2.488606e-05,2.545768e-05,2.572042e-05,2.651583e-05,2.727281e-05,2.750702e-05,2.799200e-05,2.843281e-05,2.867419e-05,2.929511e-05,2.932028e-05,2.993122e-05,3.009613e-05,3.050805e-05,3.083821e-05,3.105182e-05,3.152382e-05,3.156361e-05,3.204453e-05,3.215547e-05,3.249566e-05,3.273570e-05,3.291811e-05,3.326700e-05,3.331295e-05,3.368125e-05,3.375182e-05,3.402406e-05,3.419259e-05,3.434241e-05,3.459166e-05,3.463731e-05,3.490973e-05,3.495130e-05,3.516065e-05,3.527372e-05,3.539098e-05,3.556103e-05,3.560163e-05,3.579349e-05,3.581529e-05,3.596740e-05,3.603844e-05,3.612417e-05,3.623236e-05,3.626462e-05,3.638950e-05,3.639884e-05,3.649956e-05,3.653959e-05,3.659550e-05,3.665624e-05,3.667803e-05,3.674781e-05,3.675034e-05,3.680547e-05,3.682338e-05,3.685162e-05,3.687674e-05,3.688687e-05,3.691178e-05,3.692689e-05,3.692974e-05,3.693273e-05,3.693183e-05,3.692980e-05,3.691919e-05,3.691859e-05,3.689955e-05,3.689288e-05,3.687314e-05,3.685393e-05,3.683978e-05,3.680329e-05,3.679987e-05,3.675380e-05,3.674187e-05,3.670195e-05,3.667052e-05,3.664467e-05,3.659005e-05,3.658231e-05,3.651519e-05,3.650123e-05,3.644363e-05,3.640476e-05,3.636792e-05,3.630132e-05,3.628834e-05,3.620516e-05,3.619154e-05,3.611866e-05,3.607602e-05,3.602907e-05,3.595533e-05,3.593662e-05,3.584155e-05,3.582998e-05,3.574407e-05,3.570046e-05,3.564437e-05,3.556725e-05,3.554266e-05,3.543913e-05,3.543077e-05,3.533393e-05,3.529143e-05,3.522725e-05,3.514960e-05,3.511923e-05,3.501004e-05,3.500565e-05,3.489980e-05,3.485989e-05,3.478867e-05,3.471265e-05,3.467676e-05,3.456421e-05,3.441483e-05,3.426477e-05,3.411425e-05,3.396350e-05,3.381271e-05,3.366207e-05,3.351174e-05,3.336189e-05,3.321265e-05,3.306418e-05,3.291657e-05,3.276996e-05,3.262444e-05,3.248010e-05,3.233704e-05,3.219533e-05,3.205503e-05,3.191622e-05,3.177894e-05,3.164326e-05,3.150921e-05,3.137683e-05,3.124616e-05,3.111722e-05
0.000000e+00,9.489581e-14,8.528722e-13,2.245735e-11,1.969015e-10,5.323969e-10,4.556629e-09,4.922988e-09,2.718946e-08,4.116469e-08,1.084486e-07,2.223553e-07,3.457140e-07,8.684523e-07,9.357687e-07,2.236297e-06,2.714261e-06,4.845530e-06,7.210345e-06,9.700009e-06,1.691805e-05,1.818719e-05,3.226614e-05,3.597273e-05,5.458713e-05,7.056209e-05,8.860023e-05,1.293535e-04,1.386442e-04,2.100092e-04,2.238115e-04,3.089688e-04,3.683645e-04,4.427778e-04,5.803979e-04,6.196380e-04,8.486297e-04,8.800728e-04,1.139614e-03,1.289977e-03,1.503110e-03,1.834633e-03,1.950144e-03,2.492087e-03,2.539888e-03,3.140479e-03,3.432226e-03,3.906837e-03,4.538026e-03,4.802476e-03,5.838314e-03,5.882813e-03,7.024700e-03,7.490528e-03,8.371239e-03,9.382851e-03,9.886643e-03,1.157859e-02,1.345362e-02,1.409319e-02,1.551700e-02,1.693830e-02,1.777270e-02,2.012150e-02,2.022328e-02,2.286993e-02,2.364613e-02,2.571240e-02,2.751124e-02,2.874902e-02,3.171160e-02,3.197675e-02,3.539123e-02,3.623789e-02,3.898680e-02,4.107691e-02,4.275661e-02,4.621187e-02,4.669269e-02,5.078608e-02,5.162278e-02,5.502688e-02,5.728683e-02,5.940439e-02,6.317884e-02,6.390722e-02,6.852340e-02,6.927168e-02,7.324048e-02,7.553677e-02,7.804567e-02,8.194449e-02,8.292591e-02,8.786803e-02,8.846461e-02,9.285878e-02,9.506672e-02,9.788500e-02,1.017206e-01,1.029336e-01,1.079919e-01,1.083966e-01,1.130472e-01,1.150658e-01,1.180875e-01,1.217006e-01,1.231010e-01,1.280764e-01,1.282745e-01,1.330030e-01,1.347626e-01,1.378706e-01,1.411420e-01,1.426696e-01,1.473911e-01,1.520267e-01,1.534907e-01,1.565687e-01,1.594232e-01,1.610100e-01,1.651730e-01,1.653443e-01,1.695656e-01,1.707267e-01,1.736690e-01,1.760725e-01,1.776499e-01,1.812008e-01,1.815045e-01,1.852293e-01,1.861037e-01,1.888218e-01,1.907749e-01,1.922797e-01,1.952101e-01,1.956014e-01,1.987858e-01,1.994062e-01,2.018322e-01,2.033618e-01,2.047405e-01,2.070767e-01,2.075107e-01,2.101436e-01,2.105522e-01,2.126401e-01,2.137904e-01,2.150016e-01,2.167946e-01,2.172296e-01,2.193261e-01,2.195690e-01,2.212933e-01,2.221185e-01,2.231335e-01,2.244488e-01,2.248494e-01,2.264437e-01,2.265661e-01,2.279195e-01,2.284772e-01,2.292797e-01,2.301893e-01,2.305276e-01,2.316666e-01,2.317099e-01,2.327000e-01,2.330468e-01,2.336312e-01,2.342078e-01,2.344637e-01,2.352012e-01,2.360350e-01,2.367173e-01,2.372564e-01,2.376603e-01,2.379369e-01,2.380939e-01,2.381391e-01,2.380798e-01,2.379231e-01,2.376762e-01,2.373457e-01,2.369381e-01,2.364595e-01,2.359160e-01,2.353132e-01,2.346564e-01,2.339509e-01,2.332015e-01,2.324128e-01,2.315892e-01,2.307347e-01,2.298533e-01,2.289484e-01,2.280236e-01
0.000000e+00,1.675606e-10,8.179083e-10,6.888759e-09,2.442073e-08,4.208780e-08,1.278336e-07,1.328643e-07,3.055025e-07,3.720296e-07,5.859245e-07,8.169838e-07,1.000881e-06,1.525441e-06,1.578259e-06,2.344154e-06,2.558153e-06,3.314584e-06,3.947417e-06,4.487758e-06,5.675039e-06,5.847339e-06,7.372499e-06,7.695648e-06,9.043797e-06,9.964798e-06,1.084383e-05,1.244333e-05,1.275618e-05,1.476446e-05,1.509357e-05,1.685200e-05,1.787721e-05,1.900187e-05,2.075519e-05,2.119704e-05,2.342080e-05,2.368879e-05,2.565705e-05,2.664101e-05,2.789064e-05,2.957776e-05,3.010762e-05,3.229539e-05,3.246880e-05,3.444283e-05,3.528832e-05,3.654036e-05,3.801507e-05,3.857987e-05,4.055472e-05,4.063229e-05,4.245962e-05,4.312744e-05,4.429051e-05,4.549172e-05,4.604449e-05,4.771962e-05,4.931483e-05,4.980835e-05,5.082982e-05,5.175744e-05,5.226490e-05,5.356818e-05,5.362092e-05,5.489913e-05,5.524330e-05,5.610116e-05,5.678659e-05,5.722891e-05,5.820264e-05,5.828449e-05,5.927016e-05,5.949659e-05,6.018832e-05,6.067391e-05,6.104142e-05,6.174032e-05,6.183196e-05,6.256248e-05,6.270160e-05,6.323548e-05,6.356354e-05,6.385346e-05,6.433184e-05,6.441888e-05,6.493415e-05,6.501210e-05,6.540165e-05,6.560975e-05,6.582366e-05,6.613002e-05,6.620242e-05,6.654008e-05,6.657794e-05,6.683873e-05,6.695830e-05,6.710038e-05,6.727568e-05,6.732697e-05,6.752035e-05,6.753445e-05,6.768234e-05,6.773873e-05,6.781464e-05,6.789245e-05,6.791890e-05,6.799670e-05,6.799929e-05,6.804955e-05,6.806275e-05,6.807889e-05,6.808613e-05,6.808611e-05,6.807252e-05,6.803937e-05,6.802483e-05,6.798788e-05,6.794582e-05,6.791917e-05,6.783804e-05,6.783435e-05,6.773446e-05,6.770392e-05,6.762047e-05,6.754570e-05,6.749333e-05,6.736552e-05,6.735394e-05,6.720314e-05,6.716534e-05,6.704175e-05,6.694703e-05,6.687053e-05,6.671231e-05,6.669021e-05,6.650149e-05,6.646280e-05,6.630502e-05,6.620000e-05,6.610142e-05,6.592533e-05,6.589129e-05,6.567518e-05,6.564009e-05,6.545363e-05,6.534550e-05,6.522714e-05,6.504270e-05,6.499617e-05,6.476119e-05,6.473275e-05,6.452262e-05,6.441661e-05,6.428085e-05,6.409521e-05,6.403627e-05,6.378924e-05,6.376938e-05,6.354009e-05,6.343991e-05,6.328915e-05,6.310752e-05,6.303671e-05,6.278305e-05,6.277288e-05,6.252845e-05,6.243661e-05,6.227315e-05,6.209927e-05,6.201739e-05,6.176140e-05,6.142346e-05,6.108592e-05,6.074918e-05,6.041361e-05,6.007955e-05,5.974732e-05,5.941719e-05,5.908944e-05,5.876428e-05,5.844194e-05,5.812260e-05,5.780643e-05,5.749359e-05,5.718421e-05,5.687842e-05,5.657631e-05,5.627798e-05,5.598351e-05,5.569297e-05,5.540641e-05,5.512388e-05,5.484542e-05,5.457105e-05,5.430081e-05
0.000000e+00,8.254245e-13,6.339407e-12,1.206413e-10,7.881812e-10,1.815095e-09,1.030714e-08,1.095335e-08,4.063197e-08,5.531871e-08,1.120915e-07,1.868027e-07,2.543655e-07,4.781924e-07,5.028774e-07,8.949351e-07,1.014090e-06,1.461635e-06,1.862566e-06,2.220868e-06,3.051048e-06,3.175770e-06,4.317874e-06,4.567469e-06,5.631627e-06,6.376356e-06,7.097954e-06,8.432535e-06,8.696262e-06,1.040531e-05,1.068760e-05,1.220359e-05,1.309214e-05,1.406958e-05,1.559687e-05,1.598209e-05,1.792069e-05,1.815415e-05,1.986618e-05,2.071977e-05,2.180097e-05,2.325460e-05,2.370949e-05,2.557830e-05,2.572574e-05,2.739625e-05,2.810710e-05,2.915437e-05,3.037927e-05,3.084584e-05,3.246575e-05,3.252901e-05,3.401088e-05,3.454845e-05,3.547949e-05,3.643414e-05,3.687108e-05,3.818613e-05,3.942594e-05,3.980709e-05,4.059243e-05,4.130158e-05,4.168795e-05,4.267539e-05,4.271521e-05,4.367710e-05,4.393513e-05,4.457667e-05,4.508777e-05,4.541698e-05,4.614038e-05,4.620112e-05,4.693213e-05,4.710000e-05,4.761297e-05,4.797340e-05,4.824650e-05,4.876707e-05,4.883548e-05,4.938254e-05,4.948714e-05,4.989017e-05,5.013936e-05,5.036076e-05,5.072906e-05,5.079654e-05,5.119963e-05,5.126122e-05,5.157202e-05,5.174042e-05,5.191559e-05,5.217089e-05,5.223211e-05,5.252322e-05,5.255652e-05,5.279048e-05,5.290089e-05,5.303534e-05,5.320729e-05,5.325916e-05,5.346324e-05,5.347875e-05,5.364875e-05,5.371802e-05,5.381684e-05,5.392766e-05,5.396854e-05,5.410485e-05,5.411000e-05,5.422670e-05,5.426719e-05,5.433494e-05,5.440120e-05,5.443040e-05,5.451384e-05,5.458597e-05,5.460677e-05,5.464747e-05,5.468154e-05,5.469897e-05,5.473955e-05,5.474106e-05,5.477431e-05,5.478211e-05,5.479924e-05,5.481041e-05,5.481634e-05,5.482556e-05,5.482607e-05,5.482889e-05,5.482858e-05,5.482519e-05,5.482042e-05,5.481537e-05,5.480196e-05,5.479980e-05,5.477882e-05,5.477401e-05,5.475276e-05,5.473731e-05,5.472193e-05,5.469256e-05,5.468662e-05,5.464710e-05,5.464040e-05,5.460363e-05,5.458144e-05,5.455646e-05,5.451622e-05,5.450583e-05,5.445195e-05,5.444527e-05,5.439503e-05,5.436907e-05,5.433526e-05,5.428806e-05,5.427285e-05,5.420795e-05,5.420266e-05,5.414075e-05,5.411326e-05,5.407140e-05,5.402022e-05,5.400005e-05,5.392685e-05,5.392388e-05,5.385192e-05,5.382456e-05,5.377541e-05,5.372254e-05,5.369743e-05,5.361810e-05,5.351150e-05,5.340299e-05,5.329277e-05,5.318107e-05,5.306807e-05,5.295397e-05,5.283893e-05,5.272311e-05,5.260666e-05,5.248973e-05,5.237243e-05,5.225490e-05,5.213725e-05,5.201959e-05,5.190201e-05,5.178461e-05,5.166747e-05,5.155067e-05,5.143430e-05,5.131841e-05,5.120308e-05,5.108837e-05,5.097432e-05,5.086100e-05
0.000000e+00,2.302469e-15,1.995053e-14,4.862864e-13,3.967279e-12,1.030353e-11,7.927007e-11,8.526619e-11,4.219718e-10,6.196577e-10,1.509857e-09,2.901877e-09,4.322317e-09,9.843552e-09,1.051689e-08,2.261452e-08,2.676493e-08,4.413380e-08,6.196568e-08,7.966228e-08,1.269783e-07,1.348495e-07,2.163068e-07,2.363891e-07,3.314057e-07,4.071437e-07,4.879771e-07,6.573446e-07,6.939365e-07,9.568721e-07,1.004701e-06,1.283635e-06,1.464890e-06,1.679970e-06,2.050100e-06,2.150218e-06,2.697098e-06,2.767938e-06,3.321587e-06,3.620806e-06,4.022884e-06,4.605744e-06,4.798460e-06,5.644169e-06,5.714698e-06,6.554423e-06,6.935106e-06,7.522403e-06,8.250738e-06,8.540297e-06,9.599555e-06,9.642659e-06,1.069114e-05,1.109024e-05,1.180578e-05,1.257216e-05,1.293419e-05,1.406728e-05,1.519635e-05,1.555546e-05,1.631324e-05,1.701814e-05,1.741040e-05,1.843883e-05,1.848107e-05,1.951925e-05,1.980339e-05,2.051979e-05,2.110022e-05,2.147839e-05,2.232024e-05,2.239156e-05,2.325662e-05,2.345684e-05,2.407164e-05,2.450572e-05,2.483541e-05,2.546463e-05,2.554732e-05,2.620736e-05,2.633318e-05,2.681601e-05,2.711249e-05,2.737420e-05,2.780500e-05,2.788319e-05,2.834459e-05,2.841411e-05,2.876020e-05,2.894402e-05,2.913205e-05,2.939944e-05,2.946226e-05,2.975307e-05,2.978543e-05,3.000677e-05,3.010723e-05,3.022565e-05,3.037012e-05,3.041199e-05,3.056806e-05,3.057930e-05,3.069603e-05,3.073984e-05,3.079804e-05,3.085656e-05,3.087613e-05,3.093224e-05,3.093406e-05,3.096822e-05,3.097659e-05,3.098583e-05,3.098815e-05,3.098670e-05,3.097238e-05,3.094431e-05,3.093264e-05,3.090383e-05,3.087199e-05,3.085218e-05,3.079317e-05,3.079052e-05,3.071991e-05,3.069867e-05,3.064133e-05,3.059074e-05,3.055568e-05,3.047136e-05,3.046380e-05,3.036643e-05,3.034232e-05,3.026428e-05,3.020522e-05,3.015797e-05,3.006144e-05,3.004809e-05,2.993516e-05,2.991225e-05,2.981966e-05,2.975873e-05,2.970203e-05,2.960187e-05,2.958267e-05,2.946194e-05,2.944252e-05,2.934016e-05,2.928143e-05,2.921763e-05,2.911925e-05,2.909462e-05,2.897137e-05,2.895657e-05,2.884809e-05,2.879389e-05,2.872498e-05,2.863164e-05,2.860222e-05,2.847997e-05,2.847021e-05,2.835836e-05,2.830993e-05,2.823754e-05,2.815109e-05,2.811760e-05,2.799866e-05,2.799392e-05,2.788080e-05,2.783865e-05,2.776410e-05,2.768544e-05,2.764863e-05,2.753447e-05,2.738584e-05,2.723967e-05,2.709605e-05,2.695504e-05,2.681671e-05,2.668109e-05,2.654822e-05,2.641812e-05,2.629079e-05,2.616624e-05,2.604446e-05,2.592546e-05,2.580920e-05,2.569568e-05,2.558486e-05,2.547673e-05,2.537124e-05,2.526836e-05,2.516807e-05,2.507031e-05,2.497504e-05,2.488224e-05,2.479185e-05,2.470382e-05
0.000000e+00,3.988004e-15,3.432193e-14,8.257547e-13,6.657424e-12,1.717838e-11,1.299734e-10,1.397104e-10,6.801891e-10,9.944716e-10,2.396930e-09,4.567421e-09,6.766015e-09,1.522831e-08,1.625421e-08,3.455604e-08,4.079499e-08,6.676783e-08,9.327512e-08,1.194724e-07,1.891488e-07,2.006989e-07,3.197172e-07,3.489376e-07,4.866540e-07,5.958715e-07,7.119587e-07,9.537776e-07,1.005793e-06,1.377421e-06,1.444648e-06,1.834678e-06,2.086414e-06,2.383555e-06,2.891305e-06,3.027931e-06,3.769437e-06,3.864939e-06,4.607455e-06,5.006118e-06,5.539215e-06,6.307197e-06,6.559976e-06,7.663267e-06,7.754867e-06,8.841159e-06,9.331202e-06,1.008457e-05,1.101484e-05,1.138355e-05,1.272762e-05,1.278217e-05,1.410599e-05,1.460852e-05,1.550787e-05,1.646917e-05,1.692268e-05,1.834026e-05,1.975102e-05,2.019955e-05,2.114608e-05,2.202692e-05,2.251737e-05,2.380475e-05,2.385769e-05,2.516075e-05,2.551818e-05,2.642120e-05,2.715512e-05,2.763458e-05,2.870623e-05,2.879731e-05,2.990666e-05,3.016473e-05,3.096067e-05,3.152624e-05,3.195808e-05,3.278848e-05,3.289828e-05,3.378123e-05,3.395098e-05,3.460739e-05,3.501482e-05,3.537763e-05,3.598232e-05,3.609319e-05,3.675559e-05,3.685676e-05,3.736659e-05,3.764218e-05,3.792813e-05,3.834314e-05,3.844228e-05,3.891120e-05,3.896454e-05,3.933710e-05,3.951144e-05,3.972221e-05,3.998899e-05,4.006877e-05,4.037897e-05,4.040228e-05,4.065498e-05,4.075628e-05,4.089888e-05,4.105576e-05,4.111272e-05,4.129844e-05,4.130531e-05,4.145790e-05,4.150922e-05,4.159288e-05,4.167156e-05,4.170509e-05,4.179611e-05,4.186745e-05,4.188637e-05,4.192055e-05,4.194558e-05,4.195674e-05,4.197674e-05,4.197728e-05,4.198333e-05,4.198258e-05,4.197601e-05,4.196562e-05,4.195634e-05,4.192816e-05,4.192528e-05,4.188373e-05,4.187230e-05,4.183254e-05,4.179994e-05,4.177247e-05,4.171284e-05,4.170425e-05,4.162855e-05,4.161257e-05,4.154601e-05,4.150058e-05,4.145721e-05,4.137818e-05,4.136269e-05,4.126296e-05,4.124655e-05,4.115848e-05,4.110678e-05,4.104971e-05,4.095986e-05,4.093703e-05,4.082084e-05,4.080667e-05,4.070147e-05,4.064804e-05,4.057927e-05,4.048468e-05,4.045453e-05,4.032754e-05,4.031729e-05,4.019855e-05,4.014646e-05,4.006783e-05,3.997275e-05,3.993558e-05,3.980203e-05,3.979666e-05,3.966737e-05,3.961866e-05,3.953179e-05,3.943915e-05,3.939545e-05,3.925852e-05,3.907710e-05,3.889522e-05,3.871315e-05,3.853116e-05,3.834947e-05,3.816830e-05,3.798785e-05,3.780827e-05,3.762974e-05,3.745239e-05,3.727634e-05,3.710173e-05,3.692865e-05,3.675719e-05,3.658744e-05,3.641946e-05,3.625333e-05,3.608909e-05,3.592680e-05,3.576651e-05,3.560824e-05,3.545204e-05,3.529792e-05,3.514592e-05
0.000000e+00,7.365514e-12,4.860784e-11,6.879781e-10,3.511065e-09,7.127115e-09,3.011744e-08,3.165193e-08,9.139775e-08,1.170045e-07,2.053793e-07,3.080671e-07,3.935786e-07,6.504910e-07,6.772186e-07,1.078693e-06,1.195035e-06,1.619297e-06,1.988731e-06,2.313649e-06,3.053766e-06,3.163724e-06,4.158188e-06,4.372767e-06,5.277674e-06,5.902133e-06,6.500984e-06,7.594390e-06,7.808519e-06,9.183047e-06,9.408144e-06,1.060924e-05,1.130800e-05,1.207305e-05,1.326233e-05,1.356135e-05,1.506180e-05,1.524212e-05,1.656291e-05,1.722084e-05,1.805408e-05,1.917484e-05,1.952581e-05,2.096971e-05,2.108379e-05,2.237856e-05,2.293089e-05,2.374633e-05,2.470289e-05,2.506812e-05,2.634010e-05,2.638990e-05,2.755943e-05,2.798510e-05,2.872413e-05,2.948428e-05,2.983300e-05,3.088547e-05,3.188153e-05,3.218843e-05,3.282166e-05,3.339437e-05,3.370670e-05,3.450557e-05,3.453779e-05,3.531631e-05,3.552508e-05,3.604381e-05,3.645652e-05,3.672199e-05,3.730388e-05,3.735263e-05,3.793756e-05,3.807135e-05,3.847866e-05,3.876323e-05,3.897781e-05,3.938385e-05,3.943689e-05,3.985774e-05,3.993748e-05,4.024218e-05,4.042828e-05,4.059197e-05,4.086028e-05,4.090884e-05,4.119445e-05,4.123735e-05,4.145041e-05,4.156321e-05,4.167830e-05,4.184139e-05,4.187960e-05,4.205574e-05,4.207525e-05,4.220810e-05,4.226795e-05,4.233801e-05,4.242249e-05,4.244672e-05,4.253545e-05,4.254172e-05,4.260535e-05,4.262828e-05,4.265751e-05,4.268468e-05,4.269299e-05,4.271278e-05,4.271326e-05,4.271785e-05,4.271624e-05,4.270908e-05,4.269567e-05,4.268735e-05,4.265348e-05,4.260823e-05,4.259148e-05,4.255236e-05,4.251135e-05,4.248656e-05,4.241467e-05,4.241149e-05,4.232780e-05,4.230290e-05,4.223608e-05,4.217743e-05,4.213690e-05,4.203952e-05,4.203079e-05,4.191827e-05,4.189036e-05,4.179982e-05,4.173107e-05,4.167590e-05,4.156266e-05,4.154693e-05,4.141334e-05,4.138610e-05,4.127551e-05,4.120228e-05,4.113380e-05,4.101202e-05,4.098856e-05,4.084012e-05,4.081609e-05,4.068878e-05,4.061520e-05,4.053484e-05,4.041000e-05,4.037858e-05,4.022024e-05,4.020111e-05,4.006008e-05,3.998910e-05,3.989833e-05,3.977447e-05,3.973521e-05,3.957091e-05,3.955772e-05,3.940564e-05,3.933929e-05,3.923957e-05,3.911960e-05,3.907287e-05,3.890570e-05,3.889901e-05,3.873822e-05,3.867788e-05,3.857057e-05,3.845653e-05,3.840287e-05,3.823525e-05,3.801432e-05,3.779397e-05,3.757444e-05,3.735593e-05,3.713863e-05,3.692272e-05,3.670833e-05,3.649562e-05,3.628472e-05,3.607573e-05,3.586876e-05,3.566390e-05,3.546123e-05,3.526082e-05,3.506274e-05,3.486704e-05,3.467376e-05,3.448295e-05,3.429464e-05,3.410886e-05,3.392563e-05,3.374497e-05,3.356689e-05,3.339140e-05
0.000000e+00,6.474834e-15,5.592572e-14,1.354331e-12,1.098575e-11,2.844455e-11,2.172295e-10,2.335955e-10,1.148858e-09,1.684636e-09,4.092216e-09,7.851009e-09,1.168473e-08,2.659299e-08,2.841242e-08,6.114876e-08,7.239648e-08,1.195199e-07,1.679377e-07,2.159829e-07,3.442482e-07,3.655466e-07,5.851575e-07,6.390642e-07,8.928541e-07,1.093722e-06,1.306809e-06,1.749386e-06,1.844374e-06,2.521208e-06,2.643349e-06,3.350540e-06,3.805915e-06,4.342594e-06,5.258099e-06,5.504186e-06,6.838485e-06,7.010219e-06,8.344926e-06,9.061333e-06,1.001928e-05,1.139947e-05,1.185385e-05,1.383775e-05,1.400252e-05,1.595732e-05,1.683961e-05,1.819655e-05,1.987294e-05,2.053762e-05,2.296137e-05,2.305976e-05,2.544784e-05,2.635443e-05,2.797681e-05,2.971051e-05,3.052818e-05,3.308248e-05,3.562117e-05,3.642739e-05,3.812696e-05,3.970603e-05,4.058404e-05,4.288384e-05,4.297824e-05,4.529717e-05,4.593148e-05,4.753020e-05,4.882505e-05,4.966854e-05,5.154610e-05,5.170515e-05,5.363466e-05,5.408136e-05,5.545329e-05,5.642236e-05,5.715870e-05,5.856497e-05,5.874987e-05,6.022694e-05,6.050875e-05,6.159107e-05,6.225644e-05,6.284431e-05,6.381333e-05,6.398941e-05,6.502975e-05,6.518673e-05,6.596917e-05,6.638547e-05,6.681189e-05,6.741944e-05,6.756238e-05,6.822530e-05,6.829919e-05,6.880540e-05,6.903564e-05,6.930745e-05,6.963974e-05,6.973621e-05,7.009637e-05,7.012236e-05,7.039251e-05,7.049404e-05,7.062908e-05,7.076493e-05,7.081036e-05,7.094045e-05,7.094465e-05,7.102328e-05,7.104225e-05,7.106257e-05,7.106622e-05,7.106184e-05,7.102441e-05,7.095340e-05,7.092407e-05,7.085175e-05,7.077188e-05,7.072219e-05,7.057394e-05,7.056729e-05,7.038943e-05,7.033582e-05,7.019082e-05,7.006256e-05,6.997352e-05,6.975874e-05,6.973944e-05,6.949036e-05,6.942853e-05,6.922789e-05,6.907563e-05,6.895356e-05,6.870343e-05,6.866875e-05,6.837475e-05,6.831495e-05,6.807275e-05,6.791291e-05,6.776383e-05,6.749974e-05,6.744901e-05,6.712919e-05,6.707761e-05,6.680523e-05,6.664849e-05,6.647790e-05,6.621410e-05,6.614792e-05,6.581594e-05,6.577599e-05,6.548254e-05,6.533554e-05,6.514828e-05,6.489397e-05,6.481365e-05,6.447912e-05,6.445237e-05,6.414508e-05,6.401169e-05,6.381193e-05,6.357280e-05,6.348000e-05,6.314961e-05,6.313643e-05,6.282103e-05,6.270324e-05,6.249452e-05,6.227380e-05,6.217032e-05,6.184863e-05,6.142815e-05,6.101275e-05,6.060274e-05,6.019841e-05,5.979999e-05,5.940767e-05,5.902161e-05,5.864195e-05,5.826879e-05,5.790220e-05,5.754224e-05,5.718896e-05,5.684236e-05,5.650245e-05,5.616922e-05,5.584264e-05,5.552268e-05,5.520929e-05,5.490241e-05,5.460199e-05,5.430796e-05,5.402023e-05,5.373874e-05,5.346340e-05
0.000000e+00,2.284074e-09,5.921699e-09,2.333052e-08,5.721137e-08,8.645198e-08,2.147623e-07,2.220914e-07,4.757693e-07,5.759010e-07,9.046434e-07,1.261513e-06,1.540000e-06,2.289167e-06,2.360704e-06,3.328853e-06,3.579875e-06,4.417414e-06,5.073236e-06,5.610014e-06,6.736639e-06,6.895481e-06,8.264334e-06,8.547287e-06,9.707108e-06,1.048325e-05,1.121373e-05,1.252077e-05,1.277343e-05,1.437499e-05,1.463436e-05,1.600701e-05,1.679788e-05,1.765825e-05,1.898584e-05,1.931797e-05,2.097614e-05,2.117457e-05,2.262361e-05,2.334297e-05,2.425224e-05,2.547300e-05,2.585494e-05,2.742566e-05,2.754978e-05,2.895938e-05,2.956156e-05,3.045201e-05,3.149941e-05,3.190030e-05,3.330181e-05,3.335687e-05,3.465473e-05,3.512964e-05,3.595786e-05,3.681518e-05,3.721051e-05,3.841237e-05,3.956353e-05,3.992124e-05,4.066434e-05,4.134270e-05,4.171540e-05,4.267836e-05,4.271752e-05,4.367160e-05,4.393029e-05,4.457872e-05,4.510092e-05,4.544002e-05,4.619298e-05,4.625670e-05,4.703003e-05,4.720932e-05,4.776130e-05,4.815293e-05,4.845182e-05,4.902682e-05,4.910292e-05,4.971591e-05,4.983405e-05,5.029211e-05,5.057763e-05,5.083282e-05,5.126054e-05,5.133933e-05,5.181291e-05,5.188571e-05,5.225479e-05,5.245599e-05,5.266619e-05,5.297417e-05,5.304830e-05,5.340229e-05,5.344293e-05,5.372927e-05,5.386488e-05,5.403036e-05,5.424253e-05,5.430662e-05,5.455909e-05,5.457829e-05,5.478878e-05,5.487450e-05,5.499666e-05,5.513337e-05,5.518369e-05,5.535077e-05,5.535705e-05,5.549879e-05,5.554757e-05,5.562860e-05,5.570690e-05,5.574104e-05,5.583690e-05,5.591696e-05,5.593936e-05,5.598195e-05,5.601596e-05,5.603259e-05,5.606834e-05,5.606957e-05,5.609356e-05,5.609804e-05,5.610520e-05,5.610651e-05,5.610510e-05,5.609515e-05,5.609385e-05,5.607204e-05,5.606529e-05,5.604020e-05,5.601819e-05,5.599886e-05,5.595504e-05,5.594854e-05,5.588971e-05,5.587696e-05,5.582284e-05,5.578505e-05,5.574839e-05,5.568030e-05,5.566678e-05,5.557842e-05,5.556368e-05,5.548372e-05,5.543611e-05,5.538304e-05,5.529845e-05,5.527676e-05,5.516523e-05,5.515151e-05,5.504877e-05,5.499606e-05,5.492771e-05,5.483282e-05,5.480236e-05,5.467300e-05,5.466249e-05,5.453992e-05,5.448571e-05,5.440339e-05,5.430309e-05,5.426365e-05,5.412097e-05,5.411521e-05,5.397557e-05,5.392260e-05,5.382767e-05,5.372579e-05,5.367750e-05,5.352524e-05,5.332142e-05,5.311473e-05,5.290559e-05,5.269437e-05,5.248141e-05,5.226704e-05,5.205157e-05,5.183529e-05,5.161847e-05,5.140135e-05,5.118418e-05,5.096716e-05,5.075051e-05,5.053441e-05,5.031903e-05,5.010454e-05,4.989109e-05,4.967882e-05,4.946786e-05,4.925832e-05,4.905031e-05,4.884394e-05,4.863929e-05,4.843644e-05
0.000000e+00,3.056345e-09,7.207866e-09,2.577365e-08,6.061179e-08,9.033496e-08,2.204009e-07,2.278446e-07,4.868370e-07,5.895484e-07,9.268963e-07,1.291258e-06,1.573409e-06,2.322004e-06,2.392709e-06,3.337477e-06,3.579016e-06,4.375859e-06,4.990970e-06,5.489218e-06,6.521276e-06,6.665405e-06,7.894708e-06,8.146136e-06,9.167945e-06,9.844290e-06,1.047574e-05,1.159391e-05,1.180841e-05,1.315611e-05,1.337248e-05,1.450908e-05,1.515761e-05,1.585796e-05,1.692822e-05,1.719401e-05,1.850933e-05,1.866543e-05,1.979693e-05,2.035311e-05,2.105081e-05,2.197813e-05,2.226604e-05,2.343869e-05,2.353057e-05,2.456575e-05,2.500328e-05,2.564501e-05,2.639165e-05,2.667504e-05,2.765506e-05,2.769321e-05,2.858484e-05,2.890727e-05,2.946450e-05,3.003432e-05,3.029462e-05,3.107608e-05,3.180999e-05,3.203501e-05,3.249766e-05,3.291416e-05,3.314053e-05,3.371697e-05,3.374014e-05,3.429807e-05,3.444704e-05,3.481596e-05,3.510816e-05,3.529547e-05,3.570415e-05,3.573826e-05,3.614598e-05,3.623879e-05,3.652024e-05,3.671580e-05,3.686263e-05,3.713880e-05,3.717470e-05,3.745796e-05,3.751128e-05,3.771386e-05,3.783659e-05,3.794382e-05,3.811792e-05,3.814918e-05,3.833126e-05,3.835832e-05,3.849133e-05,3.856069e-05,3.863057e-05,3.872775e-05,3.875015e-05,3.885117e-05,3.886210e-05,3.893470e-05,3.896617e-05,3.900174e-05,3.904226e-05,3.905325e-05,3.909017e-05,3.909251e-05,3.911335e-05,3.911897e-05,3.912365e-05,3.912353e-05,3.912186e-05,3.910873e-05,3.910798e-05,3.908498e-05,3.907397e-05,3.905131e-05,3.902308e-05,3.900836e-05,3.895675e-05,3.889707e-05,3.887636e-05,3.882988e-05,3.878318e-05,3.875570e-05,3.867839e-05,3.867504e-05,3.858838e-05,3.856309e-05,3.849615e-05,3.843833e-05,3.839880e-05,3.830506e-05,3.829673e-05,3.819031e-05,3.816416e-05,3.807991e-05,3.801648e-05,3.796588e-05,3.786277e-05,3.784853e-05,3.772817e-05,3.770377e-05,3.760510e-05,3.754012e-05,3.747958e-05,3.737244e-05,3.735187e-05,3.722222e-05,3.720131e-05,3.709085e-05,3.702725e-05,3.695799e-05,3.685075e-05,3.682382e-05,3.668856e-05,3.667226e-05,3.655236e-05,3.649219e-05,3.641542e-05,3.631093e-05,3.627788e-05,3.613989e-05,3.612884e-05,3.600160e-05,3.594622e-05,3.586313e-05,3.576339e-05,3.572461e-05,3.558616e-05,3.558062e-05,3.544788e-05,3.539816e-05,3.530987e-05,3.521623e-05,3.517223e-05,3.503505e-05,3.485481e-05,3.467568e-05,3.449782e-05,3.432137e-05,3.414646e-05,3.397321e-05,3.380172e-05,3.363208e-05,3.346438e-05,3.329868e-05,3.313506e-05,3.297356e-05,3.281424e-05,3.265713e-05,3.250228e-05,3.234971e-05,3.219944e-05,3.205149e-05,3.190587e-05,3.176259e-05,3.162166e-05,3.148308e-05,3.134685e-05,3.121295e-05
0.000000e+00,2.181757e-12,1.605914e-11,2.807247e-10,1.704598e-09,3.777463e-09,1.953178e-08,2.068077e-08,7.043881e-08,9.380304e-08,1.801176e-07,2.878757e-07,3.817772e-07,6.788958e-07,7.107827e-07,1.205162e-06,1.352844e-06,1.904879e-06,2.401220e-06,2.849184e-06,3.908812e-06,4.070848e-06,5.588978e-06,5.928598e-06,7.404678e-06,8.461798e-06,9.502377e-06,1.146294e-05,1.185525e-05,1.443132e-05,1.486200e-05,1.719782e-05,1.858413e-05,2.012350e-05,2.255893e-05,2.317911e-05,2.633737e-05,2.672203e-05,2.957270e-05,3.101439e-05,3.286095e-05,3.538135e-05,3.617935e-05,3.950660e-05,3.977256e-05,4.282298e-05,4.414239e-05,4.611047e-05,4.845043e-05,4.935291e-05,5.253599e-05,5.266190e-05,5.564737e-05,5.674784e-05,5.867656e-05,6.068496e-05,6.161487e-05,6.445533e-05,6.719250e-05,6.804590e-05,6.982239e-05,7.144790e-05,7.234224e-05,7.465620e-05,7.475037e-05,7.704610e-05,7.766876e-05,7.922955e-05,8.048605e-05,8.130156e-05,8.311056e-05,8.326350e-05,8.511727e-05,8.554632e-05,8.686512e-05,8.779861e-05,8.850964e-05,8.987355e-05,9.005362e-05,9.150006e-05,9.177792e-05,9.285209e-05,9.351890e-05,9.411293e-05,9.510395e-05,9.528584e-05,9.637411e-05,9.654060e-05,9.738102e-05,9.783639e-05,9.830982e-05,9.899878e-05,9.916372e-05,9.994590e-05,1.000351e-04,1.006595e-04,1.009525e-04,1.013074e-04,1.017579e-04,1.018928e-04,1.024184e-04,1.024580e-04,1.028871e-04,1.030593e-04,1.033015e-04,1.035678e-04,1.036643e-04,1.039781e-04,1.039896e-04,1.042452e-04,1.043304e-04,1.044680e-04,1.045954e-04,1.046489e-04,1.047899e-04,1.048933e-04,1.049187e-04,1.049610e-04,1.049865e-04,1.049949e-04,1.049976e-04,1.049971e-04,1.049692e-04,1.049563e-04,1.049130e-04,1.048664e-04,1.048301e-04,1.047317e-04,1.047222e-04,1.045906e-04,1.045557e-04,1.044369e-04,1.043417e-04,1.042624e-04,1.040928e-04,1.040685e-04,1.038565e-04,1.038120e-04,1.036274e-04,1.035020e-04,1.033826e-04,1.031655e-04,1.031231e-04,1.028499e-04,1.028049e-04,1.025640e-04,1.024226e-04,1.022664e-04,1.020205e-04,1.019580e-04,1.016397e-04,1.016008e-04,1.013122e-04,1.011654e-04,1.009764e-04,1.007161e-04,1.006330e-04,1.002827e-04,1.002544e-04,9.992620e-05,9.978199e-05,9.956409e-05,9.930025e-05,9.919700e-05,9.882549e-05,9.881055e-05,9.845011e-05,9.831413e-05,9.807137e-05,9.781216e-05,9.768977e-05,9.730574e-05,9.679588e-05,9.628349e-05,9.576947e-05,9.525460e-05,9.473963e-05,9.422524e-05,9.371207e-05,9.320069e-05,9.269165e-05,9.218542e-05,9.168246e-05,9.118317e-05,9.068792e-05,9.019705e-05,8.971085e-05,8.922962e-05,8.875358e-05,8.828296e-05,8.781796e-05,8.735874e-05,8.690545e-05,8.645823e-05,8.601719e-05,8.558242e-05
0.000000e+00,6.164231e-13,4.587942e-12,8.196688e-11,5.065234e-10,1.132183e-09,5.964342e-09,6.319285e-09,2.180319e-08,2.910914e-08,5.614824e-08,8.989218e-08,1.192323e-07,2.115260e-07,2.213790e-07,3.728837e-07,4.177073e-07,5.836823e-07,7.310260e-07,8.626780e-07,1.169828e-06,1.216328e-06,1.646815e-06,1.741948e-06,2.150961e-06,2.439712e-06,2.720747e-06,3.242019e-06,3.345076e-06,4.011752e-06,4.121544e-06,4.708912e-06,5.051154e-06,5.425736e-06,6.006863e-06,6.152626e-06,6.881162e-06,6.968337e-06,7.603978e-06,7.918519e-06,8.314657e-06,8.843227e-06,9.007678e-06,9.678384e-06,9.730957e-06,1.032296e-05,1.057278e-05,1.093842e-05,1.136224e-05,1.152254e-05,1.207383e-05,1.209519e-05,1.259147e-05,1.276951e-05,1.307519e-05,1.338485e-05,1.352523e-05,1.394223e-05,1.432715e-05,1.444374e-05,1.468121e-05,1.489226e-05,1.500581e-05,1.529112e-05,1.530247e-05,1.557278e-05,1.564397e-05,1.581837e-05,1.595453e-05,1.604085e-05,1.622650e-05,1.624183e-05,1.642284e-05,1.646348e-05,1.658536e-05,1.666883e-05,1.673081e-05,1.684573e-05,1.686051e-05,1.697570e-05,1.699710e-05,1.707755e-05,1.712560e-05,1.716714e-05,1.723366e-05,1.724547e-05,1.731347e-05,1.732345e-05,1.737199e-05,1.739694e-05,1.742181e-05,1.745589e-05,1.746365e-05,1.749817e-05,1.750185e-05,1.752599e-05,1.753624e-05,1.754764e-05,1.756029e-05,1.756364e-05,1.757446e-05,1.757511e-05,1.758052e-05,1.758170e-05,1.758221e-05,1.758093e-05,1.757990e-05,1.757390e-05,1.757359e-05,1.756452e-05,1.756038e-05,1.755205e-05,1.754192e-05,1.753672e-05,1.751878e-05,1.749844e-05,1.749146e-05,1.747591e-05,1.746041e-05,1.745135e-05,1.742604e-05,1.742495e-05,1.739686e-05,1.738872e-05,1.736723e-05,1.734876e-05,1.733618e-05,1.730648e-05,1.730385e-05,1.727034e-05,1.726213e-05,1.723577e-05,1.721598e-05,1.720023e-05,1.716823e-05,1.716381e-05,1.712662e-05,1.711909e-05,1.708871e-05,1.706874e-05,1.705017e-05,1.701736e-05,1.701107e-05,1.697147e-05,1.696509e-05,1.693143e-05,1.691208e-05,1.689102e-05,1.685845e-05,1.685028e-05,1.680926e-05,1.680432e-05,1.676801e-05,1.674980e-05,1.672657e-05,1.669498e-05,1.668499e-05,1.664330e-05,1.663996e-05,1.660153e-05,1.658481e-05,1.655973e-05,1.652962e-05,1.651791e-05,1.647612e-05,1.647445e-05,1.643437e-05,1.641936e-05,1.639270e-05,1.636442e-05,1.635113e-05,1.630967e-05,1.625517e-05,1.620095e-05,1.614707e-05,1.609355e-05,1.604043e-05,1.598774e-05,1.593551e-05,1.588376e-05,1.583251e-05,1.578180e-05,1.573162e-05,1.568201e-05,1.563297e-05,1.558452e-05,1.553667e-05,1.548943e-05,1.544280e-05,1.539680e-05,1.535143e-05,1.530669e-05,1.526259e-05,1.521913e-05,1.517632e-05,1.513415e-05
0.000000e+00,7.721939e-10,2.197999e-09,9.417712e-09,2.358399e-08,3.558812e-08,8.529832e-08,8.800322e-08,1.749546e-07,2.066160e-07,3.047368e-07,4.066523e-07,4.857127e-07,7.042021e-07,7.257343e-07,1.030523e-06,1.113539e-06,1.400778e-06,1.634398e-06,1.829376e-06,2.243601e-06,2.302107e-06,2.802603e-06,2.904734e-06,3.316823e-06,3.586039e-06,3.834302e-06,4.265923e-06,4.347500e-06,4.850893e-06,4.930234e-06,5.340346e-06,5.569385e-06,5.812747e-06,6.176833e-06,6.265814e-06,6.697956e-06,6.748354e-06,7.108178e-06,7.281588e-06,7.495986e-06,7.775669e-06,7.861303e-06,8.204391e-06,8.230891e-06,8.525771e-06,8.648401e-06,8.826164e-06,9.029929e-06,9.106428e-06,9.367514e-06,9.377572e-06,9.610426e-06,9.693623e-06,9.836192e-06,9.980443e-06,1.004584e-05,1.024037e-05,1.042077e-05,1.047566e-05,1.058795e-05,1.068843e-05,1.074281e-05,1.088066e-05,1.088618e-05,1.101886e-05,1.105419e-05,1.114157e-05,1.121070e-05,1.125501e-05,1.135174e-05,1.135982e-05,1.145659e-05,1.147869e-05,1.154589e-05,1.159283e-05,1.162823e-05,1.169531e-05,1.170408e-05,1.177390e-05,1.178717e-05,1.183807e-05,1.186934e-05,1.189698e-05,1.194266e-05,1.195098e-05,1.200039e-05,1.200788e-05,1.204550e-05,1.206571e-05,1.208659e-05,1.211675e-05,1.212393e-05,1.215774e-05,1.216157e-05,1.218825e-05,1.220068e-05,1.221567e-05,1.223455e-05,1.224018e-05,1.226196e-05,1.226359e-05,1.228117e-05,1.228818e-05,1.229798e-05,1.230867e-05,1.231253e-05,1.232494e-05,1.232539e-05,1.233534e-05,1.233862e-05,1.234386e-05,1.234863e-05,1.235060e-05,1.235566e-05,1.235914e-05,1.235994e-05,1.236113e-05,1.236167e-05,1.236172e-05,1.236104e-05,1.236098e-05,1.235900e-05,1.235822e-05,1.235583e-05,1.235339e-05,1.235155e-05,1.234668e-05,1.234622e-05,1.233990e-05,1.233824e-05,1.233265e-05,1.232820e-05,1.232451e-05,1.231666e-05,1.231555e-05,1.230579e-05,1.230375e-05,1.229530e-05,1.228957e-05,1.228412e-05,1.227421e-05,1.227227e-05,1.225981e-05,1.225776e-05,1.224677e-05,1.224031e-05,1.223317e-05,1.222193e-05,1.221907e-05,1.220448e-05,1.220270e-05,1.218944e-05,1.218268e-05,1.217397e-05,1.216194e-05,1.215810e-05,1.214186e-05,1.214054e-05,1.212527e-05,1.211854e-05,1.210836e-05,1.209599e-05,1.209114e-05,1.207364e-05,1.207293e-05,1.205588e-05,1.204942e-05,1.203787e-05,1.202550e-05,1.201965e-05,1.200121e-05,1.197659e-05,1.195167e-05,1.192649e-05,1.190109e-05,1.187549e-05,1.184971e-05,1.182380e-05,1.179777e-05,1.177165e-05,1.174546e-05,1.171922e-05,1.169295e-05,1.166668e-05,1.164041e-05,1.161417e-05,1.158796e-05,1.156182e-05,1.153574e-05,1.150974e-05,1.148384e-05,1.145804e-05,1.143236e-05,1.140681e-05,1.138139e-05
0.000000e+00,6.457671e-16,5.615248e-15,1.379406e-13,1.133550e-12,2.955888e-12,2.298481e-11,2.473434e-11,1.237615e-10,1.823014e-10,4.477292e-10,8.662486e-10,1.296032e-09,2.982357e-09,3.189273e-09,6.937851e-09,8.234466e-09,1.370291e-08,1.937302e-08,2.504446e-08,4.037994e-08,4.295175e-08,6.984877e-08,7.654948e-08,1.085652e-07,1.344082e-07,1.622626e-07,2.214091e-07,2.343116e-07,3.281261e-07,3.453783e-07,4.469700e-07,5.137802e-07,5.937599e-07,7.329402e-07,7.708851e-07,9.800620e-07,1.007370e-06,1.222236e-06,1.339307e-06,1.497528e-06,1.728497e-06,1.805237e-06,2.143880e-06,2.172246e-06,2.511265e-06,2.665658e-06,2.904592e-06,3.202016e-06,3.320565e-06,3.755517e-06,3.773256e-06,4.205531e-06,4.370444e-06,4.666555e-06,4.984261e-06,5.134518e-06,5.605421e-06,6.075420e-06,6.225030e-06,6.540898e-06,6.834879e-06,6.998521e-06,7.427645e-06,7.445272e-06,7.878484e-06,7.997034e-06,8.295852e-06,8.537847e-06,8.695439e-06,9.045998e-06,9.075673e-06,9.435333e-06,9.518484e-06,9.773529e-06,9.953316e-06,1.008968e-05,1.034942e-05,1.038350e-05,1.065493e-05,1.070655e-05,1.090417e-05,1.102512e-05,1.113159e-05,1.130616e-05,1.133774e-05,1.152330e-05,1.155113e-05,1.168906e-05,1.176185e-05,1.183590e-05,1.194037e-05,1.196475e-05,1.207660e-05,1.208893e-05,1.217245e-05,1.220982e-05,1.225331e-05,1.230537e-05,1.232020e-05,1.237410e-05,1.237788e-05,1.241599e-05,1.242959e-05,1.244679e-05,1.246262e-05,1.246741e-05,1.247871e-05,1.247898e-05,1.248148e-05,1.248054e-05,1.247650e-05,1.246905e-05,1.246448e-05,1.244609e-05,1.242196e-05,1.241312e-05,1.239265e-05,1.237143e-05,1.235871e-05,1.232221e-05,1.232061e-05,1.227883e-05,1.226652e-05,1.223375e-05,1.220529e-05,1.218578e-05,1.213937e-05,1.213524e-05,1.208246e-05,1.206949e-05,1.202773e-05,1.199631e-05,1.197129e-05,1.192041e-05,1.191339e-05,1.185424e-05,1.184228e-05,1.179404e-05,1.176238e-05,1.173297e-05,1.168110e-05,1.167117e-05,1.160880e-05,1.159877e-05,1.154598e-05,1.151570e-05,1.148283e-05,1.143215e-05,1.141947e-05,1.135597e-05,1.134835e-05,1.129244e-05,1.126450e-05,1.122895e-05,1.118076e-05,1.116556e-05,1.110235e-05,1.109730e-05,1.103936e-05,1.101424e-05,1.097665e-05,1.093170e-05,1.091427e-05,1.085226e-05,1.084978e-05,1.079065e-05,1.076857e-05,1.072947e-05,1.068814e-05,1.066877e-05,1.060856e-05,1.052987e-05,1.045214e-05,1.037540e-05,1.029968e-05,1.022501e-05,1.015142e-05,1.007893e-05,1.000755e-05,9.937287e-06,9.868158e-06,9.800165e-06,9.733311e-06,9.667598e-06,9.603024e-06,9.539587e-06,9.477280e-06,9.416100e-06,9.356037e-06,9.297083e-06,9.239230e-06,9.182465e-06,9.126778e-06,9.072157e-06,9.018589e-06
0.000000e+00,5.646983e-09,1.315910e-08,4.607471e-08,1.056528e-07,1.545604e-07,3.521491e-07,3.627869e-07,7.023263e-07,8.253366e-07,1.205800e-06,1.600612e-06,1.906979e-06,2.755053e-06,2.838779e-06,4.027566e-06,4.352705e-06,5.483033e-06,6.409511e-06,7.188505e-06,8.863665e-06,9.102694e-06,1.117436e-05,1.160328e-05,1.335614e-05,1.452100e-05,1.560935e-05,1.753454e-05,1.790320e-05,2.021267e-05,2.058220e-05,2.251701e-05,2.361603e-05,2.479875e-05,2.659798e-05,2.704329e-05,2.923855e-05,2.949818e-05,3.137471e-05,3.229386e-05,3.344409e-05,3.496850e-05,3.544084e-05,3.736074e-05,3.751092e-05,3.920102e-05,3.991444e-05,4.096004e-05,4.217582e-05,4.263715e-05,4.423254e-05,4.429467e-05,4.574704e-05,4.627269e-05,4.718195e-05,4.811309e-05,4.853899e-05,4.982021e-05,5.102786e-05,5.139916e-05,5.216435e-05,5.285552e-05,5.323220e-05,5.419519e-05,5.423402e-05,5.517247e-05,5.542423e-05,5.605013e-05,5.654862e-05,5.686958e-05,5.757425e-05,5.763337e-05,5.834399e-05,5.850690e-05,5.900389e-05,5.935216e-05,5.961543e-05,6.011540e-05,6.018090e-05,6.070252e-05,6.080177e-05,6.118243e-05,6.141619e-05,6.162271e-05,6.196339e-05,6.202536e-05,6.239230e-05,6.244782e-05,6.272536e-05,6.287372e-05,6.302632e-05,6.324512e-05,6.329687e-05,6.353865e-05,6.356580e-05,6.375320e-05,6.383937e-05,6.394202e-05,6.406919e-05,6.410653e-05,6.424809e-05,6.425846e-05,6.436799e-05,6.441017e-05,6.446749e-05,6.452715e-05,6.454776e-05,6.460993e-05,6.461205e-05,6.465507e-05,6.466736e-05,6.468422e-05,6.469541e-05,6.469835e-05,6.469839e-05,6.468522e-05,6.467836e-05,6.465969e-05,6.463723e-05,6.462259e-05,6.457680e-05,6.457469e-05,6.451671e-05,6.449876e-05,6.444933e-05,6.440467e-05,6.437322e-05,6.429601e-05,6.428898e-05,6.419721e-05,6.417413e-05,6.409847e-05,6.404032e-05,6.399328e-05,6.389578e-05,6.388214e-05,6.376554e-05,6.374160e-05,6.364391e-05,6.357882e-05,6.351769e-05,6.340841e-05,6.338728e-05,6.325306e-05,6.323126e-05,6.311539e-05,6.304819e-05,6.297462e-05,6.285998e-05,6.283106e-05,6.268502e-05,6.266734e-05,6.253678e-05,6.247094e-05,6.238663e-05,6.227138e-05,6.223480e-05,6.208155e-05,6.206924e-05,6.192710e-05,6.186504e-05,6.177167e-05,6.165926e-05,6.161545e-05,6.145863e-05,6.145235e-05,6.130139e-05,6.124472e-05,6.114391e-05,6.103675e-05,6.098632e-05,6.082879e-05,6.062114e-05,6.041412e-05,6.020798e-05,6.000296e-05,5.979930e-05,5.959718e-05,5.939680e-05,5.919831e-05,5.900187e-05,5.880760e-05,5.861563e-05,5.842605e-05,5.823897e-05,5.805446e-05,5.787259e-05,5.769342e-05,5.751702e-05,5.734341e-05,5.717263e-05,5.700472e-05,5.683969e-05,5.667756e-05,5.651835e-05,5.636204e-05
0.000000e+00,3.501506e-15,3.115426e-14,8.034433e-13,6.908807e-12,1.847802e-11,1.536278e-10,1.657795e-10,8.883878e-10,1.333698e-09,3.438033e-09,6.922236e-09,1.063281e-08,2.597333e-08,2.791847e-08,6.471343e-08,7.797036e-08,1.359958e-07,1.989359e-07,2.640646e-07,4.484627e-07,4.803698e-07,8.272580e-07,9.168898e-07,1.359451e-06,1.731490e-06,2.145083e-06,3.060474e-06,3.266178e-06,4.818484e-06,5.113961e-06,6.910680e-06,8.141609e-06,9.662981e-06,1.242709e-05,1.320523e-05,1.767456e-05,1.827988e-05,2.321274e-05,2.602516e-05,2.996335e-05,3.599240e-05,3.806874e-05,4.766712e-05,4.850348e-05,5.888969e-05,6.386107e-05,7.185788e-05,8.233775e-05,8.668094e-05,1.034537e-04,1.041663e-04,1.222548e-04,1.295321e-04,1.431452e-04,1.585664e-04,1.661670e-04,1.913429e-04,2.186758e-04,2.278757e-04,2.481490e-04,2.681191e-04,2.797262e-04,3.119694e-04,3.133530e-04,3.489570e-04,3.592687e-04,3.864498e-04,4.098096e-04,4.257280e-04,4.633407e-04,4.666749e-04,5.091625e-04,5.195736e-04,5.530528e-04,5.781900e-04,5.982000e-04,6.388487e-04,6.444522e-04,6.916529e-04,7.011930e-04,7.396433e-04,7.648573e-04,7.882635e-04,8.294743e-04,8.373538e-04,8.867570e-04,8.946801e-04,9.363185e-04,9.601201e-04,9.858885e-04,1.025453e-03,1.035322e-03,1.084481e-03,1.090355e-03,1.133234e-03,1.154524e-03,1.181456e-03,1.217678e-03,1.229031e-03,1.275852e-03,1.279562e-03,1.321819e-03,1.339946e-03,1.366842e-03,1.398626e-03,1.410837e-03,1.453732e-03,1.455424e-03,1.495461e-03,1.510187e-03,1.535968e-03,1.562788e-03,1.575202e-03,1.613123e-03,1.649697e-03,1.661112e-03,1.684897e-03,1.706694e-03,1.718703e-03,1.749830e-03,1.751099e-03,1.782079e-03,1.790498e-03,1.811638e-03,1.828692e-03,1.839779e-03,1.864421e-03,1.866508e-03,1.891836e-03,1.897707e-03,1.915777e-03,1.928585e-03,1.938350e-03,1.957098e-03,1.959574e-03,1.979475e-03,1.983298e-03,1.998077e-03,2.007246e-03,2.015409e-03,2.029008e-03,2.031501e-03,2.046383e-03,2.048655e-03,2.060090e-03,2.066261e-03,2.072653e-03,2.081904e-03,2.084108e-03,2.094490e-03,2.095665e-03,2.103834e-03,2.107625e-03,2.112175e-03,2.117866e-03,2.119550e-03,2.125994e-03,2.126470e-03,2.131543e-03,2.133520e-03,2.136232e-03,2.139096e-03,2.140097e-03,2.143171e-03,2.143278e-03,2.145489e-03,2.146145e-03,2.147085e-03,2.147774e-03,2.147991e-03,2.148239e-03,2.147612e-03,2.145964e-03,2.143363e-03,2.139873e-03,2.135558e-03,2.130478e-03,2.124689e-03,2.118248e-03,2.111206e-03,2.103613e-03,2.095518e-03,2.086964e-03,2.077996e-03,2.068652e-03,2.058972e-03,2.048992e-03,2.038745e-03,2.028263e-03,2.017578e-03,2.006716e-03,1.995705e-03,1.984569e-03,1.973332e-03,1.962016e-03
0.000000e+00,7.668630e-09,1.788815e-08,6.286644e-08,1.449343e-07,2.128479e-07,4.915428e-07,5.067284e-07,1.000080e-06,1.182645e-06,1.758796e-06,2.373249e-06,2.860443e-06,4.249935e-06,4.390010e-06,6.424852e-06,6.994202e-06,9.006313e-06,1.068553e-05,1.211330e-05,1.522072e-05,1.566754e-05,1.956925e-05,2.038301e-05,2.372820e-05,2.596826e-05,2.807355e-05,3.182778e-05,3.255123e-05,3.711853e-05,3.785516e-05,4.173981e-05,4.396793e-05,4.638395e-05,5.009688e-05,5.102304e-05,5.563176e-05,5.618166e-05,6.018724e-05,6.216943e-05,6.466903e-05,6.801475e-05,6.905915e-05,7.334207e-05,7.367966e-05,7.750472e-05,7.913362e-05,8.153636e-05,8.435313e-05,8.542844e-05,8.917449e-05,8.932123e-05,9.276983e-05,9.402660e-05,9.621131e-05,9.846274e-05,9.949730e-05,1.026274e-04,1.056022e-04,1.065216e-04,1.084232e-04,1.101488e-04,1.110924e-04,1.135147e-04,1.136127e-04,1.159873e-04,1.166266e-04,1.182198e-04,1.194927e-04,1.203141e-04,1.221222e-04,1.222742e-04,1.241044e-04,1.245247e-04,1.258090e-04,1.267103e-04,1.273924e-04,1.286891e-04,1.288591e-04,1.302134e-04,1.304712e-04,1.314597e-04,1.320664e-04,1.326021e-04,1.334845e-04,1.336448e-04,1.345921e-04,1.347351e-04,1.354479e-04,1.358273e-04,1.362161e-04,1.367703e-04,1.369006e-04,1.375051e-04,1.375725e-04,1.380332e-04,1.382422e-04,1.384883e-04,1.387876e-04,1.388740e-04,1.391933e-04,1.392161e-04,1.394496e-04,1.395351e-04,1.396459e-04,1.397517e-04,1.397850e-04,1.398700e-04,1.398723e-04,1.399034e-04,1.399034e-04,1.398880e-04,1.398510e-04,1.398263e-04,1.397208e-04,1.395737e-04,1.395182e-04,1.393874e-04,1.392485e-04,1.391640e-04,1.389165e-04,1.389056e-04,1.386141e-04,1.385269e-04,1.382916e-04,1.380840e-04,1.379399e-04,1.375920e-04,1.375607e-04,1.371556e-04,1.370548e-04,1.367264e-04,1.364761e-04,1.362746e-04,1.358594e-04,1.358016e-04,1.353089e-04,1.352081e-04,1.347977e-04,1.345251e-04,1.342695e-04,1.338136e-04,1.337255e-04,1.331668e-04,1.330761e-04,1.325945e-04,1.323153e-04,1.320098e-04,1.315337e-04,1.314136e-04,1.308069e-04,1.307335e-04,1.301908e-04,1.299168e-04,1.295659e-04,1.290858e-04,1.289333e-04,1.282937e-04,1.282422e-04,1.276478e-04,1.273879e-04,1.269965e-04,1.265245e-04,1.263403e-04,1.256800e-04,1.256535e-04,1.250161e-04,1.247764e-04,1.243494e-04,1.238946e-04,1.236802e-04,1.230092e-04,1.221215e-04,1.212325e-04,1.203433e-04,1.194548e-04,1.185679e-04,1.176834e-04,1.168019e-04,1.159243e-04,1.150511e-04,1.141829e-04,1.133202e-04,1.124636e-04,1.116135e-04,1.107702e-04,1.099342e-04,1.091057e-04,1.082852e-04,1.074727e-04,1.066687e-04,1.058732e-04,1.050866e-04,1.043088e-04,1.035402e-04,1.027807e-04
0.000000e+00,8.228893e-10,2.283594e-09,9.584189e-09,2.388984e-08,3.604460e-08,8.666387e-08,8.942872e-08,1.786872e-07,2.113271e-07,3.128075e-07,4.186468e-07,5.010363e-07,7.301660e-07,7.528781e-07,1.077641e-06,1.167366e-06,1.483181e-06,1.747348e-06,1.973665e-06,2.474252e-06,2.547249e-06,3.195797e-06,3.333484e-06,3.907457e-06,4.298326e-06,4.669897e-06,5.341467e-06,5.472083e-06,6.304627e-06,6.440099e-06,7.159500e-06,7.575681e-06,8.029697e-06,8.732689e-06,8.909003e-06,9.791857e-06,9.897796e-06,1.067329e-05,1.105953e-05,1.154892e-05,1.220812e-05,1.241488e-05,1.326787e-05,1.333546e-05,1.410507e-05,1.443500e-05,1.492417e-05,1.550162e-05,1.572326e-05,1.650087e-05,1.653151e-05,1.725586e-05,1.752195e-05,1.798739e-05,1.847114e-05,1.869491e-05,1.937810e-05,2.003681e-05,2.024243e-05,2.067108e-05,2.106426e-05,2.128108e-05,2.184410e-05,2.186708e-05,2.242946e-05,2.258276e-05,2.296866e-05,2.328126e-05,2.348517e-05,2.394079e-05,2.397954e-05,2.445233e-05,2.456265e-05,2.490413e-05,2.514820e-05,2.533556e-05,2.569884e-05,2.574722e-05,2.613973e-05,2.621599e-05,2.651372e-05,2.670107e-05,2.686979e-05,2.715549e-05,2.720855e-05,2.753060e-05,2.758062e-05,2.783653e-05,2.797781e-05,2.812690e-05,2.834838e-05,2.840229e-05,2.866323e-05,2.869360e-05,2.891027e-05,2.901470e-05,2.914392e-05,2.931286e-05,2.936470e-05,2.957308e-05,2.958923e-05,2.976954e-05,2.984490e-05,2.995456e-05,3.008092e-05,3.012856e-05,3.029199e-05,3.029832e-05,3.044526e-05,3.049803e-05,3.058878e-05,3.068101e-05,3.072294e-05,3.084811e-05,3.096466e-05,3.100019e-05,3.107293e-05,3.113805e-05,3.117328e-05,3.126245e-05,3.126602e-05,3.135146e-05,3.137412e-05,3.142993e-05,3.147377e-05,3.150169e-05,3.156205e-05,3.156705e-05,3.162626e-05,3.163959e-05,3.167960e-05,3.170700e-05,3.172731e-05,3.176483e-05,3.176964e-05,3.180681e-05,3.181365e-05,3.183906e-05,3.185395e-05,3.186660e-05,3.188624e-05,3.188963e-05,3.190836e-05,3.191097e-05,3.192299e-05,3.192860e-05,3.193369e-05,3.193954e-05,3.194064e-05,3.194401e-05,3.194419e-05,3.194398e-05,3.194293e-05,3.194069e-05,3.193611e-05,3.193430e-05,3.192496e-05,3.192409e-05,3.191281e-05,3.190719e-05,3.189797e-05,3.188570e-05,3.188059e-05,3.186078e-05,3.185994e-05,3.183866e-05,3.183016e-05,3.181436e-05,3.179664e-05,3.178798e-05,3.175962e-05,3.171934e-05,3.167603e-05,3.162989e-05,3.158112e-05,3.152993e-05,3.147648e-05,3.142095e-05,3.136350e-05,3.130429e-05,3.124345e-05,3.118113e-05,3.111746e-05,3.105256e-05,3.098655e-05,3.091953e-05,3.085162e-05,3.078291e-05,3.071349e-05,3.064345e-05,3.057288e-05,3.050185e-05,3.043044e-05,3.035871e-05,3.028675e-05
0.000000e+00,6.605823e-10,2.508948e-09,1.491727e-08,4.374327e-08,7.007681e-08,1.872165e-07,1.938256e-07,4.136810e-07,4.963659e-07,7.588172e-07,1.039365e-06,1.261641e-06,1.893767e-06,1.957333e-06,2.877590e-06,3.134092e-06,4.037865e-06,4.790300e-06,5.430295e-06,6.829975e-06,7.032483e-06,8.820121e-06,9.197994e-06,1.077226e-05,1.184639e-05,1.287109e-05,1.473563e-05,1.510045e-05,1.744457e-05,1.782922e-05,1.988745e-05,2.109029e-05,2.241263e-05,2.448071e-05,2.500326e-05,2.764233e-05,2.796146e-05,3.031291e-05,3.149369e-05,3.299853e-05,3.503992e-05,3.568342e-05,3.835275e-05,3.856521e-05,4.099287e-05,4.203793e-05,4.359143e-05,4.543044e-05,4.613744e-05,4.862136e-05,4.871930e-05,5.103501e-05,5.188538e-05,5.337162e-05,5.491367e-05,5.562571e-05,5.779299e-05,5.987028e-05,6.051562e-05,6.185537e-05,6.307679e-05,6.374692e-05,6.547434e-05,6.554443e-05,6.724803e-05,6.770830e-05,6.885844e-05,6.978043e-05,7.037685e-05,7.169392e-05,7.180488e-05,7.314447e-05,7.345306e-05,7.439784e-05,7.506296e-05,7.556741e-05,7.652936e-05,7.665577e-05,7.766561e-05,7.785840e-05,7.859972e-05,7.905648e-05,7.946096e-05,8.013017e-05,8.025217e-05,8.097623e-05,8.108604e-05,8.163596e-05,8.193060e-05,8.223417e-05,8.267030e-05,8.277362e-05,8.325703e-05,8.331140e-05,8.368705e-05,8.386000e-05,8.406624e-05,8.432198e-05,8.439712e-05,8.468210e-05,8.470299e-05,8.492353e-05,8.500842e-05,8.512369e-05,8.524347e-05,8.528475e-05,8.540883e-05,8.541306e-05,8.549797e-05,8.552188e-05,8.555410e-05,8.557438e-05,8.557911e-05,8.557479e-05,8.554286e-05,8.552709e-05,8.548497e-05,8.543503e-05,8.540270e-05,8.530219e-05,8.529756e-05,8.517099e-05,8.513190e-05,8.502437e-05,8.492732e-05,8.485901e-05,8.469141e-05,8.467617e-05,8.447704e-05,8.442695e-05,8.426277e-05,8.413656e-05,8.403443e-05,8.382269e-05,8.379307e-05,8.353967e-05,8.348763e-05,8.327516e-05,8.313352e-05,8.300043e-05,8.276238e-05,8.271633e-05,8.242365e-05,8.237608e-05,8.212317e-05,8.197637e-05,8.181559e-05,8.156488e-05,8.150160e-05,8.118186e-05,8.114314e-05,8.085698e-05,8.071255e-05,8.052753e-05,8.027444e-05,8.019407e-05,7.985712e-05,7.983003e-05,7.951716e-05,7.938044e-05,7.917467e-05,7.892674e-05,7.883007e-05,7.848378e-05,7.846990e-05,7.813618e-05,7.801080e-05,7.778766e-05,7.755030e-05,7.743853e-05,7.708914e-05,7.662803e-05,7.616763e-05,7.570853e-05,7.525126e-05,7.479634e-05,7.434420e-05,7.389527e-05,7.344991e-05,7.300847e-05,7.257125e-05,7.213852e-05,7.171052e-05,7.128749e-05,7.086960e-05,7.045703e-05,7.004992e-05,6.964840e-05,6.925258e-05,6.886255e-05,6.847839e-05,6.810015e-05,6.772787e-05,6.736160e-05,6.700136e-05
0.000000e+00,9.462218e-11,4.355361e-10,3.361441e-09,1.134609e-08,1.920766e-08,5.693818e-08,5.915398e-08,1.362192e-07,1.665565e-07,2.666684e-07,3.790727e-07,4.714555e-07,7.472409e-07,7.758899e-07,1.205368e-06,1.329171e-06,1.775642e-06,2.155790e-06,2.482301e-06,3.197617e-06,3.300614e-06,4.197411e-06,4.383434e-06,5.142874e-06,5.646082e-06,6.114800e-06,6.940238e-06,7.097771e-06,8.081049e-06,8.237853e-06,9.056880e-06,9.520864e-06,1.001942e-05,1.077681e-05,1.096414e-05,1.188750e-05,1.199673e-05,1.278671e-05,1.317416e-05,1.365969e-05,1.430464e-05,1.450490e-05,1.532128e-05,1.538532e-05,1.610821e-05,1.641466e-05,1.686541e-05,1.739220e-05,1.759291e-05,1.829094e-05,1.831826e-05,1.895995e-05,1.919379e-05,1.960051e-05,2.002018e-05,2.021330e-05,2.079911e-05,2.135874e-05,2.153243e-05,2.189306e-05,2.222215e-05,2.240295e-05,2.287028e-05,2.288929e-05,2.335298e-05,2.347888e-05,2.379489e-05,2.404995e-05,2.421589e-05,2.458546e-05,2.461682e-05,2.499850e-05,2.508732e-05,2.536173e-05,2.555737e-05,2.570729e-05,2.599737e-05,2.603593e-05,2.634837e-05,2.640898e-05,2.664531e-05,2.679381e-05,2.692741e-05,2.715338e-05,2.719532e-05,2.744966e-05,2.748913e-05,2.769101e-05,2.780241e-05,2.791995e-05,2.809452e-05,2.813701e-05,2.834272e-05,2.836667e-05,2.853759e-05,2.862001e-05,2.872207e-05,2.885562e-05,2.889664e-05,2.906172e-05,2.907453e-05,2.921774e-05,2.927770e-05,2.936509e-05,2.946603e-05,2.950415e-05,2.963529e-05,2.964038e-05,2.975886e-05,2.980155e-05,2.987518e-05,2.995031e-05,2.998458e-05,3.008736e-05,3.018381e-05,3.021339e-05,3.027421e-05,3.032901e-05,3.035882e-05,3.043483e-05,3.043789e-05,3.051167e-05,3.053141e-05,3.058038e-05,3.061927e-05,3.064425e-05,3.069892e-05,3.070349e-05,3.075830e-05,3.077082e-05,3.080888e-05,3.083541e-05,3.085539e-05,3.089312e-05,3.089803e-05,3.093696e-05,3.094432e-05,3.097234e-05,3.098939e-05,3.100433e-05,3.102868e-05,3.103307e-05,3.105870e-05,3.106252e-05,3.108136e-05,3.109122e-05,3.110117e-05,3.111506e-05,3.111827e-05,3.113276e-05,3.113433e-05,3.114476e-05,3.114928e-05,3.115438e-05,3.116016e-05,3.116172e-05,3.116689e-05,3.116721e-05,3.116996e-05,3.117063e-05,3.117105e-05,3.117064e-05,3.117023e-05,3.116758e-05,3.116744e-05,3.116319e-05,3.116120e-05,3.115714e-05,3.115211e-05,3.114950e-05,3.114033e-05,3.112601e-05,3.110931e-05,3.109036e-05,3.106929e-05,3.104624e-05,3.102133e-05,3.099465e-05,3.096633e-05,3.093647e-05,3.090515e-05,3.087248e-05,3.083854e-05,3.080341e-05,3.076716e-05,3.072988e-05,3.069164e-05,3.065250e-05,3.061252e-05,3.057177e-05,3.053030e-05,3.048817e-05,3.044544e-05,3.040214e-05,3.035834e-05
0.000000e+00,3.375212e-09,7.743058e-09,2.648803e-08,5.967052e-08,8.646931e-08,1.920771e-07,1.976654e-07,3.720354e-07,4.335727e-07,6.194587e-07,8.063727e-07,9.479067e-07,1.326863e-06,1.363413e-06,1.869726e-06,2.004908e-06,2.467507e-06,2.841068e-06,3.153100e-06,3.822068e-06,3.917542e-06,4.746978e-06,4.919220e-06,5.624787e-06,6.094723e-06,6.534107e-06,7.310887e-06,7.459430e-06,8.387145e-06,8.534993e-06,9.305549e-06,9.740098e-06,1.020472e-05,1.090460e-05,1.107639e-05,1.191382e-05,1.201175e-05,1.271175e-05,1.304927e-05,1.346625e-05,1.400893e-05,1.417463e-05,1.483529e-05,1.488605e-05,1.544757e-05,1.567896e-05,1.601166e-05,1.638839e-05,1.652836e-05,1.699903e-05,1.701692e-05,1.742541e-05,1.756846e-05,1.780955e-05,1.804777e-05,1.815368e-05,1.846016e-05,1.873139e-05,1.881114e-05,1.896978e-05,1.910621e-05,1.917769e-05,1.935074e-05,1.935741e-05,1.951116e-05,1.954984e-05,1.964101e-05,1.970829e-05,1.974896e-05,1.983052e-05,1.983686e-05,1.990644e-05,1.992060e-05,1.995931e-05,1.998219e-05,1.999698e-05,2.001864e-05,2.002081e-05,2.003209e-05,2.003294e-05,2.003197e-05,2.002778e-05,2.002155e-05,2.000555e-05,2.000180e-05,1.997364e-05,1.996840e-05,1.993787e-05,1.991824e-05,1.989528e-05,1.985675e-05,1.984654e-05,1.979229e-05,1.978543e-05,1.973310e-05,1.970564e-05,1.966952e-05,1.961854e-05,1.960201e-05,1.953102e-05,1.952520e-05,1.945696e-05,1.942655e-05,1.938019e-05,1.932342e-05,1.930104e-05,1.921984e-05,1.921655e-05,1.913685e-05,1.910659e-05,1.905233e-05,1.899411e-05,1.896653e-05,1.887964e-05,1.879187e-05,1.876363e-05,1.870341e-05,1.864649e-05,1.861440e-05,1.852858e-05,1.852500e-05,1.843535e-05,1.841022e-05,1.834557e-05,1.829169e-05,1.825577e-05,1.817324e-05,1.816607e-05,1.807654e-05,1.805509e-05,1.798729e-05,1.793745e-05,1.789838e-05,1.782049e-05,1.780989e-05,1.772189e-05,1.770435e-05,1.763443e-05,1.758918e-05,1.754756e-05,1.747509e-05,1.746134e-05,1.737580e-05,1.736218e-05,1.729099e-05,1.725055e-05,1.720694e-05,1.714026e-05,1.712368e-05,1.704124e-05,1.703140e-05,1.695964e-05,1.692401e-05,1.687891e-05,1.681815e-05,1.679907e-05,1.672012e-05,1.671385e-05,1.664210e-05,1.661115e-05,1.656500e-05,1.651007e-05,1.648884e-05,1.641363e-05,1.641064e-05,1.633938e-05,1.631288e-05,1.626608e-05,1.621679e-05,1.619375e-05,1.612238e-05,1.602966e-05,1.593862e-05,1.584927e-05,1.576160e-05,1.567560e-05,1.559125e-05,1.550856e-05,1.542750e-05,1.534806e-05,1.527022e-05,1.519397e-05,1.511928e-05,1.504614e-05,1.497453e-05,1.490442e-05,1.483579e-05,1.476863e-05,1.470290e-05,1.463858e-05,1.457566e-05,1.451410e-05,1.445389e-05,1.439499e-05,1.433740e-05
0.000000e+00,3.398859e-12,2.254443e-11,3.220599e-10,1.654993e-09,3.369851e-09,1.431699e-08,1.504845e-08,4.349242e-08,5.564385e-08,9.734806e-08,1.453311e-07,1.849028e-07,3.018332e-07,3.138415e-07,4.912290e-07,5.417406e-07,7.235029e-07,8.797130e-07,1.016366e-06,1.327957e-06,1.374502e-06,1.801066e-06,1.894718e-06,2.296971e-06,2.581704e-06,2.860197e-06,3.381592e-06,3.485512e-06,4.164912e-06,4.277998e-06,4.888659e-06,5.248782e-06,5.646460e-06,6.270511e-06,6.428372e-06,7.225315e-06,7.321564e-06,8.029215e-06,8.383277e-06,8.832994e-06,9.439968e-06,9.630500e-06,1.041642e-05,1.047865e-05,1.118619e-05,1.148870e-05,1.193598e-05,1.246164e-05,1.266260e-05,1.336347e-05,1.339094e-05,1.403656e-05,1.427177e-05,1.468036e-05,1.510087e-05,1.529383e-05,1.587629e-05,1.642746e-05,1.659721e-05,1.694732e-05,1.726370e-05,1.743612e-05,1.787659e-05,1.789434e-05,1.832259e-05,1.843723e-05,1.872165e-05,1.894744e-05,1.909240e-05,1.940930e-05,1.943578e-05,1.975282e-05,1.982510e-05,2.004455e-05,2.019726e-05,2.031205e-05,2.052826e-05,2.055640e-05,2.077867e-05,2.082057e-05,2.097993e-05,2.107663e-05,2.116123e-05,2.129884e-05,2.132359e-05,2.146801e-05,2.148952e-05,2.159546e-05,2.165088e-05,2.170686e-05,2.178505e-05,2.180313e-05,2.188513e-05,2.189405e-05,2.195369e-05,2.197980e-05,2.200960e-05,2.204411e-05,2.205363e-05,2.208650e-05,2.208867e-05,2.210891e-05,2.211509e-05,2.212151e-05,2.212486e-05,2.212493e-05,2.211978e-05,2.211940e-05,2.210661e-05,2.210001e-05,2.208597e-05,2.206792e-05,2.205836e-05,2.202428e-05,2.198418e-05,2.197015e-05,2.193849e-05,2.190651e-05,2.188763e-05,2.183430e-05,2.183199e-05,2.177193e-05,2.175437e-05,2.170780e-05,2.166751e-05,2.163993e-05,2.157446e-05,2.156863e-05,2.149420e-05,2.147590e-05,2.141690e-05,2.137246e-05,2.133700e-05,2.126473e-05,2.125474e-05,2.117036e-05,2.115325e-05,2.108407e-05,2.103851e-05,2.099607e-05,2.092098e-05,2.090656e-05,2.081572e-05,2.080108e-05,2.072372e-05,2.067920e-05,2.063072e-05,2.055570e-05,2.053687e-05,2.044230e-05,2.043091e-05,2.034715e-05,2.030513e-05,2.025154e-05,2.017864e-05,2.015559e-05,2.005940e-05,2.005170e-05,1.996307e-05,1.992453e-05,1.986671e-05,1.979735e-05,1.977039e-05,1.967419e-05,1.967035e-05,1.957820e-05,1.954371e-05,1.948248e-05,1.941759e-05,1.938710e-05,1.929212e-05,1.916746e-05,1.904370e-05,1.892096e-05,1.879933e-05,1.867889e-05,1.855973e-05,1.844191e-05,1.832549e-05,1.821051e-05,1.809702e-05,1.798507e-05,1.787468e-05,1.776588e-05,1.765869e-05,1.755314e-05,1.744922e-05,1.734696e-05,1.724635e-05,1.714741e-05,1.705013e-05,1.695452e-05,1.686055e-05,1.676824e-05,1.667757e-05
0.000000e+00,1.776581e-11,1.156718e-10,1.595602e-09,7.976696e-09,1.602768e-08,6.621136e-08,6.952835e-08,1.973336e-07,2.516455e-07,4.380971e-07,6.537590e-07,8.329855e-07,1.370892e-06,1.426847e-06,2.267737e-06,2.511538e-06,3.400632e-06,4.174211e-06,4.853535e-06,6.395277e-06,6.623504e-06,8.675794e-06,9.115588e-06,1.095733e-05,1.221566e-05,1.341253e-05,1.557294e-05,1.599231e-05,1.865599e-05,1.908765e-05,2.137007e-05,2.268223e-05,2.410615e-05,2.629419e-05,2.683958e-05,2.954861e-05,2.987111e-05,3.221409e-05,3.336872e-05,3.481935e-05,3.675022e-05,3.735014e-05,3.979465e-05,3.998619e-05,4.214343e-05,4.305443e-05,4.438916e-05,4.593925e-05,4.652657e-05,4.855225e-05,4.863092e-05,5.046434e-05,5.112477e-05,5.226243e-05,5.342033e-05,5.394722e-05,5.552036e-05,5.698428e-05,5.743016e-05,5.834209e-05,5.915701e-05,5.959732e-05,6.070943e-05,6.075385e-05,6.181580e-05,6.209678e-05,6.278742e-05,6.332881e-05,6.367298e-05,6.441537e-05,6.447676e-05,6.520302e-05,6.536626e-05,6.585595e-05,6.619108e-05,6.643960e-05,6.689904e-05,6.695791e-05,6.741467e-05,6.749896e-05,6.781354e-05,6.799924e-05,6.815801e-05,6.840776e-05,6.845141e-05,6.869692e-05,6.873196e-05,6.889758e-05,6.897880e-05,6.905624e-05,6.915477e-05,6.917563e-05,6.925834e-05,6.926592e-05,6.930680e-05,6.931787e-05,6.932331e-05,6.931584e-05,6.931006e-05,6.926910e-05,6.926469e-05,6.920238e-05,6.916888e-05,6.911171e-05,6.903257e-05,6.899882e-05,6.886533e-05,6.885959e-05,6.871278e-05,6.865347e-05,6.854259e-05,6.841748e-05,6.835612e-05,6.815464e-05,6.793934e-05,6.786772e-05,6.771136e-05,6.755927e-05,6.747173e-05,6.723166e-05,6.722146e-05,6.696147e-05,6.688705e-05,6.669263e-05,6.652743e-05,6.641577e-05,6.615463e-05,6.613165e-05,6.584099e-05,6.577034e-05,6.554447e-05,6.537610e-05,6.524273e-05,6.497334e-05,6.493634e-05,6.462588e-05,6.456335e-05,6.431186e-05,6.414732e-05,6.399476e-05,6.372635e-05,6.367504e-05,6.335312e-05,6.330144e-05,6.302941e-05,6.287350e-05,6.270427e-05,6.244336e-05,6.237805e-05,6.205107e-05,6.201180e-05,6.172363e-05,6.157949e-05,6.139602e-05,6.114708e-05,6.106850e-05,6.074130e-05,6.071515e-05,6.041466e-05,6.028421e-05,6.008879e-05,5.985475e-05,5.976388e-05,5.944011e-05,5.942718e-05,5.911765e-05,5.900191e-05,5.879665e-05,5.857928e-05,5.847726e-05,5.815961e-05,5.774318e-05,5.733024e-05,5.692103e-05,5.651574e-05,5.611455e-05,5.571762e-05,5.532509e-05,5.493707e-05,5.455366e-05,5.417495e-05,5.380103e-05,5.343193e-05,5.306772e-05,5.270844e-05,5.235410e-05,5.200472e-05,5.166033e-05,5.132091e-05,5.098647e-05,5.065699e-05,5.033245e-05,5.001285e-05,4.969814e-05,4.938830e-05
0.000000e+00,1.505050e-09,3.441223e-09,1.174135e-08,2.647562e-08,3.843520e-08,8.617764e-08,8.873262e-08,1.699638e-07,1.993401e-07,2.903440e-07,3.852639e-07,4.593664e-07,6.666532e-07,6.872791e-07,9.823970e-07,1.063577e-06,1.345885e-06,1.576230e-06,1.768571e-06,2.177294e-06,2.235068e-06,2.730640e-06,2.832208e-06,3.244289e-06,3.515918e-06,3.768454e-06,4.212939e-06,4.297806e-06,4.828264e-06,4.913004e-06,5.356385e-06,5.608133e-06,5.879061e-06,6.291319e-06,6.393381e-06,6.896606e-06,6.956125e-06,7.386193e-06,7.596685e-06,7.859831e-06,8.207870e-06,8.315491e-06,8.751453e-06,8.785435e-06,9.166332e-06,9.326135e-06,9.559084e-06,9.827753e-06,9.928998e-06,1.027568e-05,1.028907e-05,1.059904e-05,1.070976e-05,1.089923e-05,1.109031e-05,1.117664e-05,1.143185e-05,1.166559e-05,1.173599e-05,1.187872e-05,1.200474e-05,1.207218e-05,1.224033e-05,1.224697e-05,1.240414e-05,1.244513e-05,1.254472e-05,1.262155e-05,1.266977e-05,1.277200e-05,1.278034e-05,1.287741e-05,1.289881e-05,1.296198e-05,1.300421e-05,1.303495e-05,1.309029e-05,1.309722e-05,1.314962e-05,1.315898e-05,1.319291e-05,1.321208e-05,1.322785e-05,1.325123e-05,1.325510e-05,1.327529e-05,1.327790e-05,1.328900e-05,1.329345e-05,1.329679e-05,1.329909e-05,1.329914e-05,1.329652e-05,1.329589e-05,1.328934e-05,1.328484e-05,1.327799e-05,1.326679e-05,1.326282e-05,1.324415e-05,1.324251e-05,1.322228e-05,1.321270e-05,1.319748e-05,1.317795e-05,1.316999e-05,1.314005e-05,1.313880e-05,1.310786e-05,1.309575e-05,1.307361e-05,1.304925e-05,1.303750e-05,1.299970e-05,1.296036e-05,1.294747e-05,1.291963e-05,1.289289e-05,1.287764e-05,1.283625e-05,1.283450e-05,1.279033e-05,1.277779e-05,1.274523e-05,1.271775e-05,1.269927e-05,1.265631e-05,1.265255e-05,1.260514e-05,1.259366e-05,1.255711e-05,1.252996e-05,1.250852e-05,1.246534e-05,1.245942e-05,1.240988e-05,1.239993e-05,1.235996e-05,1.233387e-05,1.230971e-05,1.226729e-05,1.225919e-05,1.220844e-05,1.220030e-05,1.215749e-05,1.213297e-05,1.210637e-05,1.206539e-05,1.205513e-05,1.200381e-05,1.199764e-05,1.195243e-05,1.192982e-05,1.190104e-05,1.186199e-05,1.184966e-05,1.179832e-05,1.179422e-05,1.174705e-05,1.172656e-05,1.169586e-05,1.165907e-05,1.164477e-05,1.159382e-05,1.159178e-05,1.154301e-05,1.152476e-05,1.149237e-05,1.145804e-05,1.144192e-05,1.139166e-05,1.132565e-05,1.126004e-05,1.119487e-05,1.113015e-05,1.106591e-05,1.100217e-05,1.093895e-05,1.087627e-05,1.081414e-05,1.075258e-05,1.069160e-05,1.063121e-05,1.057142e-05,1.051224e-05,1.045367e-05,1.039573e-05,1.033841e-05,1.028173e-05,1.022568e-05,1.017027e-05,1.011550e-05,1.006137e-05,1.000788e-05,9.955035e-06
0.000000e+00,4.598305e-09,1.068197e-08,3.725467e-08,8.519820e-08,1.244573e-07,2.823855e-07,2.908608e-07,5.601292e-07,6.571432e-07,9.556632e-07,1.263352e-06,1.500916e-06,2.154580e-06,2.218885e-06,3.130158e-06,3.379408e-06,4.248839e-06,4.967262e-06,5.576848e-06,6.907769e-06,7.100019e-06,8.790355e-06,9.145487e-06,1.061362e-05,1.160300e-05,1.253637e-05,1.420667e-05,1.452914e-05,1.656683e-05,1.689555e-05,1.862797e-05,1.962010e-05,2.069398e-05,2.233934e-05,2.274868e-05,2.477800e-05,2.501921e-05,2.676982e-05,2.763163e-05,2.871387e-05,3.015408e-05,3.060161e-05,3.242611e-05,3.256917e-05,3.418197e-05,3.486413e-05,3.586511e-05,3.703031e-05,3.747269e-05,3.900292e-05,3.906251e-05,4.045490e-05,4.095842e-05,4.182852e-05,4.271806e-05,4.312429e-05,4.434325e-05,4.548687e-05,4.583720e-05,4.655693e-05,4.720411e-05,4.755549e-05,4.844890e-05,4.848477e-05,4.934715e-05,4.957696e-05,5.014509e-05,5.059397e-05,5.088111e-05,5.150574e-05,5.155775e-05,5.217754e-05,5.231811e-05,5.274301e-05,5.303687e-05,5.325664e-05,5.366769e-05,5.372087e-05,5.413807e-05,5.421607e-05,5.451057e-05,5.468735e-05,5.484062e-05,5.508665e-05,5.513039e-05,5.538200e-05,5.541885e-05,5.559747e-05,5.568864e-05,5.577876e-05,5.590045e-05,5.592775e-05,5.604625e-05,5.605851e-05,5.613599e-05,5.616680e-05,5.619863e-05,5.622910e-05,5.623576e-05,5.624890e-05,5.624896e-05,5.623950e-05,5.622975e-05,5.620896e-05,5.617462e-05,5.615859e-05,5.608966e-05,5.608653e-05,5.600337e-05,5.596828e-05,5.590088e-05,5.582248e-05,5.578327e-05,5.565158e-05,5.550681e-05,5.545788e-05,5.534989e-05,5.524350e-05,5.518172e-05,5.501047e-05,5.500313e-05,5.481495e-05,5.476064e-05,5.461793e-05,5.449577e-05,5.441279e-05,5.421748e-05,5.420022e-05,5.398086e-05,5.392728e-05,5.375535e-05,5.362658e-05,5.352424e-05,5.331669e-05,5.328810e-05,5.304745e-05,5.299882e-05,5.280277e-05,5.267410e-05,5.255452e-05,5.234357e-05,5.230315e-05,5.204907e-05,5.200819e-05,5.179266e-05,5.166887e-05,5.153429e-05,5.132642e-05,5.127431e-05,5.101303e-05,5.098160e-05,5.075076e-05,5.063512e-05,5.048779e-05,5.028762e-05,5.022438e-05,4.996078e-05,4.993969e-05,4.969723e-05,4.959187e-05,4.943394e-05,4.924466e-05,4.917113e-05,4.890898e-05,4.889851e-05,4.864767e-05,4.855384e-05,4.838737e-05,4.821102e-05,4.812822e-05,4.787039e-05,4.753226e-05,4.719692e-05,4.686461e-05,4.653555e-05,4.620995e-05,4.588799e-05,4.556982e-05,4.525559e-05,4.494540e-05,4.463936e-05,4.433757e-05,4.404009e-05,4.374699e-05,4.345832e-05,4.317410e-05,4.289438e-05,4.261917e-05,4.234847e-05,4.208229e-05,4.182063e-05,4.156346e-05,4.131078e-05,4.106256e-05,4.081877e-05
0.000000e+00,9.163737e-15,7.846589e-14,1.866180e-12,1.489009e-11,3.820635e-11,2.850532e-10,3.062393e-10,1.471991e-09,2.145191e-09,5.131723e-09,9.726468e-09,1.436418e-08,3.215144e-08,3.430450e-08,7.268694e-08,8.577192e-08,1.402912e-07,1.960175e-07,2.511652e-07,3.980760e-07,4.224499e-07,6.737026e-07,7.353768e-07,1.025778e-06,1.255646e-06,1.499464e-06,2.005572e-06,2.114118e-06,2.886500e-06,3.025662e-06,3.829920e-06,4.346416e-06,4.953716e-06,5.986235e-06,6.263054e-06,7.758985e-06,7.950940e-06,9.438682e-06,1.023445e-05,1.129580e-05,1.282017e-05,1.332091e-05,1.550199e-05,1.568280e-05,1.782488e-05,1.879025e-05,2.027379e-05,2.210553e-05,2.283172e-05,2.548093e-05,2.558854e-05,2.820329e-05,2.919775e-05,3.098068e-05,3.289164e-05,3.379531e-05,3.662995e-05,3.946824e-05,4.037472e-05,4.229480e-05,4.409104e-05,4.509545e-05,4.774769e-05,4.785727e-05,5.056867e-05,5.131741e-05,5.321945e-05,5.477707e-05,5.580073e-05,5.810768e-05,5.830503e-05,6.072611e-05,6.129420e-05,6.305895e-05,6.432532e-05,6.529970e-05,6.719310e-05,6.744551e-05,6.949454e-05,6.989262e-05,7.144575e-05,7.242162e-05,7.329891e-05,7.478004e-05,7.505439e-05,7.671318e-05,7.696970e-05,7.827673e-05,7.899394e-05,7.974691e-05,8.085730e-05,8.112592e-05,8.241625e-05,8.256525e-05,8.362056e-05,8.412394e-05,8.474170e-05,8.553995e-05,8.578262e-05,8.674635e-05,8.682021e-05,8.763597e-05,8.797176e-05,8.845456e-05,8.900169e-05,8.920520e-05,8.989093e-05,8.991705e-05,9.051476e-05,9.072475e-05,9.107961e-05,9.143149e-05,9.158836e-05,9.204378e-05,9.244859e-05,9.256787e-05,9.280539e-05,9.300972e-05,9.311670e-05,9.337502e-05,9.338496e-05,9.361248e-05,9.366920e-05,9.380152e-05,9.389736e-05,9.395421e-05,9.406435e-05,9.407261e-05,9.415867e-05,9.417472e-05,9.421427e-05,9.423278e-05,9.424120e-05,9.424254e-05,9.424117e-05,9.421580e-05,9.420782e-05,9.416663e-05,9.413215e-05,9.409514e-05,9.401886e-05,9.400273e-05,9.389073e-05,9.387108e-05,9.376040e-05,9.369170e-05,9.361296e-05,9.348344e-05,9.344953e-05,9.327121e-05,9.324886e-05,9.307902e-05,9.299031e-05,9.287393e-05,9.271001e-05,9.265688e-05,9.242873e-05,9.241002e-05,9.219033e-05,9.209227e-05,9.194245e-05,9.175853e-05,9.168584e-05,9.142121e-05,9.141047e-05,9.114923e-05,9.104964e-05,9.087052e-05,9.067747e-05,9.058569e-05,9.029531e-05,8.990438e-05,8.950586e-05,8.910079e-05,8.869018e-05,8.827493e-05,8.785591e-05,8.743389e-05,8.700961e-05,8.658372e-05,8.615686e-05,8.572959e-05,8.530243e-05,8.487588e-05,8.445037e-05,8.402632e-05,8.360409e-05,8.318403e-05,8.276646e-05,8.235164e-05,8.193985e-05,8.153132e-05,8.112627e-05,8.072487e-05,8.032731e-05
0.000000e+00,1.425971e-09,3.805536e-09,1.536792e-08,3.776564e-08,5.679965e-08,1.369591e-07,1.413878e-07,2.873738e-07,3.422046e-07,5.173720e-07,7.070330e-07,8.590381e-07,1.297843e-06,1.342360e-06,1.990356e-06,2.171235e-06,2.805824e-06,3.328687e-06,3.768456e-06,4.712927e-06,4.847583e-06,6.015103e-06,6.257217e-06,7.249588e-06,7.912558e-06,8.535176e-06,9.645467e-06,9.859526e-06,1.121231e-05,1.143076e-05,1.258432e-05,1.324719e-05,1.396705e-05,1.507560e-05,1.535256e-05,1.673342e-05,1.689848e-05,1.810277e-05,1.870001e-05,1.945439e-05,2.046632e-05,2.078273e-05,2.208294e-05,2.218562e-05,2.335090e-05,2.384826e-05,2.458317e-05,2.544671e-05,2.577695e-05,2.693009e-05,2.697535e-05,2.804098e-05,2.843033e-05,2.910851e-05,2.980931e-05,3.013201e-05,3.111119e-05,3.204609e-05,3.233595e-05,3.293702e-05,3.348438e-05,3.378452e-05,3.455792e-05,3.458930e-05,3.535225e-05,3.555851e-05,3.607434e-05,3.648843e-05,3.675666e-05,3.735025e-05,3.740035e-05,3.800660e-05,3.814667e-05,3.857664e-05,3.888050e-05,3.911170e-05,3.955461e-05,3.961303e-05,4.008187e-05,4.017185e-05,4.051946e-05,4.073505e-05,4.092700e-05,4.124699e-05,4.130569e-05,4.165671e-05,4.171038e-05,4.198120e-05,4.212785e-05,4.228027e-05,4.250195e-05,4.255500e-05,4.280646e-05,4.283512e-05,4.303565e-05,4.312970e-05,4.324357e-05,4.338795e-05,4.343117e-05,4.359937e-05,4.361202e-05,4.374907e-05,4.380396e-05,4.388111e-05,4.396572e-05,4.399633e-05,4.409552e-05,4.409917e-05,4.417945e-05,4.420607e-05,4.424885e-05,4.428811e-05,4.430444e-05,4.434688e-05,4.437684e-05,4.438389e-05,4.439494e-05,4.440058e-05,4.440178e-05,4.439830e-05,4.439795e-05,4.438398e-05,4.437833e-05,4.436043e-05,4.434190e-05,4.432778e-05,4.429014e-05,4.428653e-05,4.423715e-05,4.422414e-05,4.418008e-05,4.414493e-05,4.411576e-05,4.405347e-05,4.404458e-05,4.396695e-05,4.395068e-05,4.388324e-05,4.383742e-05,4.379380e-05,4.371450e-05,4.369898e-05,4.359910e-05,4.358268e-05,4.349449e-05,4.344268e-05,4.338544e-05,4.329519e-05,4.327223e-05,4.315514e-05,4.314084e-05,4.303443e-05,4.298023e-05,4.291034e-05,4.281393e-05,4.278313e-05,4.265300e-05,4.264247e-05,4.252019e-05,4.246635e-05,4.238489e-05,4.228604e-05,4.224730e-05,4.210761e-05,4.210198e-05,4.196600e-05,4.191459e-05,4.182264e-05,4.172424e-05,4.167770e-05,4.153132e-05,4.133615e-05,4.113905e-05,4.094034e-05,4.074028e-05,4.053914e-05,4.033716e-05,4.013457e-05,3.993159e-05,3.972841e-05,3.952522e-05,3.932220e-05,3.911949e-05,3.891726e-05,3.871564e-05,3.851476e-05,3.831474e-05,3.811569e-05,3.791770e-05,3.772088e-05,3.752532e-05,3.733108e-05,3.713824e-05,3.694687e-05,3.675703e-05
0.000000e+00,4.061180e-12,2.767975e-11,4.162903e-10,2.229801e-09,4.636048e-09,2.069693e-08,2.179634e-08,6.602090e-08,8.558571e-08,1.550896e-07,2.389601e-07,3.109319e-07,5.366815e-07,5.608677e-07,9.358652e-07,1.047633e-06,1.461679e-06,1.825879e-06,2.146051e-06,2.867859e-06,2.973835e-06,3.914751e-06,4.113521e-06,4.935475e-06,5.488034e-06,6.007455e-06,6.931529e-06,7.109074e-06,8.224617e-06,8.403571e-06,9.342369e-06,9.876906e-06,1.045312e-05,1.133147e-05,1.154918e-05,1.262383e-05,1.275107e-05,1.367119e-05,1.412202e-05,1.468609e-05,1.543296e-05,1.566412e-05,1.660164e-05,1.667480e-05,1.749582e-05,1.784086e-05,1.834461e-05,1.892690e-05,1.914676e-05,1.990171e-05,1.993093e-05,2.060950e-05,2.085285e-05,2.127070e-05,2.169422e-05,2.188635e-05,2.245780e-05,2.298672e-05,2.314729e-05,2.347498e-05,2.376703e-05,2.392454e-05,2.432160e-05,2.433744e-05,2.471576e-05,2.481578e-05,2.506158e-05,2.525431e-05,2.537693e-05,2.564186e-05,2.566381e-05,2.592415e-05,2.598289e-05,2.615978e-05,2.628158e-05,2.637241e-05,2.654181e-05,2.656369e-05,2.673516e-05,2.676721e-05,2.688825e-05,2.696104e-05,2.702430e-05,2.712632e-05,2.714454e-05,2.725016e-05,2.726577e-05,2.734222e-05,2.738189e-05,2.742172e-05,2.747689e-05,2.748957e-05,2.754662e-05,2.755278e-05,2.759365e-05,2.761137e-05,2.763141e-05,2.765430e-05,2.766054e-05,2.768167e-05,2.768304e-05,2.769537e-05,2.769889e-05,2.770217e-05,2.770307e-05,2.770256e-05,2.769699e-05,2.769665e-05,2.768588e-05,2.768059e-05,2.766961e-05,2.765578e-05,2.764854e-05,2.762301e-05,2.759333e-05,2.758301e-05,2.755979e-05,2.753642e-05,2.752265e-05,2.748385e-05,2.748217e-05,2.743857e-05,2.742583e-05,2.739207e-05,2.736287e-05,2.734289e-05,2.729542e-05,2.729120e-05,2.723718e-05,2.722389e-05,2.718100e-05,2.714866e-05,2.712282e-05,2.707007e-05,2.706277e-05,2.700101e-05,2.698846e-05,2.693765e-05,2.690411e-05,2.687281e-05,2.681730e-05,2.680662e-05,2.673917e-05,2.672827e-05,2.667057e-05,2.663726e-05,2.660092e-05,2.654449e-05,2.653029e-05,2.645878e-05,2.645015e-05,2.638647e-05,2.635442e-05,2.631343e-05,2.625748e-05,2.623974e-05,2.616545e-05,2.615949e-05,2.609064e-05,2.606059e-05,2.601537e-05,2.596091e-05,2.593968e-05,2.586364e-05,2.586059e-05,2.578729e-05,2.575974e-05,2.571069e-05,2.565848e-05,2.563388e-05,2.555690e-05,2.545510e-05,2.535317e-05,2.525119e-05,2.514924e-05,2.504739e-05,2.494571e-05,2.484426e-05,2.474309e-05,2.464226e-05,2.454183e-05,2.444183e-05,2.434231e-05,2.424331e-05,2.414487e-05,2.404702e-05,2.394980e-05,2.385322e-05,2.375733e-05,2.366213e-05,2.356767e-05,2.347395e-05,2.338100e-05,2.328883e-05,2.319747e-05
0.000000e+00,1.108048e-14,9.448806e-14,2.227645e-12,1.762983e-11,4.503255e-11,3.321006e-10,3.566166e-10,1.695146e-09,2.463258e-09,5.852032e-09,1.103546e-08,1.624830e-08,3.616263e-08,3.856851e-08,8.139747e-08,9.598749e-08,1.567752e-07,2.189244e-07,2.804402e-07,4.442744e-07,4.714389e-07,7.509267e-07,8.193469e-07,1.140323e-06,1.392882e-06,1.659237e-06,2.207021e-06,2.323615e-06,3.144442e-06,3.290733e-06,4.127100e-06,4.656396e-06,5.271368e-06,6.299701e-06,6.571897e-06,8.018986e-06,8.201891e-06,9.599497e-06,1.033323e-05,1.129778e-05,1.265663e-05,1.309652e-05,1.497746e-05,1.513093e-05,1.692200e-05,1.771347e-05,1.891165e-05,2.036198e-05,2.092838e-05,2.295488e-05,2.303591e-05,2.497479e-05,2.569736e-05,2.697281e-05,2.831173e-05,2.893487e-05,3.084816e-05,3.270125e-05,3.327985e-05,3.448411e-05,3.558424e-05,3.618812e-05,3.774311e-05,3.780610e-05,3.933231e-05,3.974257e-05,4.076234e-05,4.157286e-05,4.209312e-05,4.322819e-05,4.332282e-05,4.445077e-05,4.470635e-05,4.547732e-05,4.600836e-05,4.640380e-05,4.713799e-05,4.723233e-05,4.796574e-05,4.810130e-05,4.860744e-05,4.890616e-05,4.916132e-05,4.956182e-05,4.963164e-05,5.002290e-05,5.007848e-05,5.033981e-05,5.046692e-05,5.058714e-05,5.073814e-05,5.076970e-05,5.089224e-05,5.090314e-05,5.095944e-05,5.097265e-05,5.097583e-05,5.095700e-05,5.094578e-05,5.087346e-05,5.086597e-05,5.076284e-05,5.070871e-05,5.061765e-05,5.049368e-05,5.044139e-05,5.023735e-05,5.022865e-05,5.000854e-05,4.992066e-05,4.975780e-05,4.957609e-05,4.948770e-05,4.920062e-05,4.889876e-05,4.879936e-05,4.858408e-05,4.837681e-05,4.825841e-05,4.793694e-05,4.792337e-05,4.758048e-05,4.748324e-05,4.723105e-05,4.701878e-05,4.687632e-05,4.654622e-05,4.651738e-05,4.615520e-05,4.606789e-05,4.579066e-05,4.558580e-05,4.542457e-05,4.510168e-05,4.505762e-05,4.469045e-05,4.461704e-05,4.432362e-05,4.413317e-05,4.395764e-05,4.365119e-05,4.359294e-05,4.322994e-05,4.317204e-05,4.286897e-05,4.269652e-05,4.251035e-05,4.222533e-05,4.215435e-05,4.180122e-05,4.175904e-05,4.145115e-05,4.129814e-05,4.110434e-05,4.084305e-05,4.076095e-05,4.042112e-05,4.039409e-05,4.008495e-05,3.995154e-05,3.975257e-05,3.951564e-05,3.942404e-05,3.909945e-05,3.908655e-05,3.877885e-05,3.866442e-05,3.846228e-05,3.824935e-05,3.814979e-05,3.784141e-05,3.744064e-05,3.704708e-05,3.666072e-05,3.628155e-05,3.590955e-05,3.554465e-05,3.518683e-05,3.483599e-05,3.449209e-05,3.415503e-05,3.382472e-05,3.350107e-05,3.318399e-05,3.287337e-05,3.256911e-05,3.227110e-05,3.197924e-05,3.169341e-05,3.141350e-05,3.113941e-05,3.087101e-05,3.060819e-05,3.035085e-05,3.009887e-05
0.000000e+00,1.245301e-15,1.109764e-14,2.870734e-13,2.475383e-12,6.630648e-12,5.534474e-11,5.973191e-11,3.213247e-10,4.828841e-10,1.247921e-09,2.517518e-09,3.871745e-09,9.482036e-09,1.019424e-08,2.368471e-08,2.855064e-08,4.986673e-08,7.300842e-08,9.696827e-08,1.648540e-07,1.766064e-07,3.044726e-07,3.375397e-07,5.009785e-07,6.385929e-07,7.918133e-07,1.131798e-06,1.208359e-06,1.787911e-06,1.898572e-06,2.573664e-06,3.038202e-06,3.614440e-06,4.666760e-06,4.964160e-06,6.681059e-06,6.914658e-06,8.826713e-06,9.923013e-06,1.146489e-05,1.383911e-05,1.466028e-05,1.847717e-05,1.881126e-05,2.297812e-05,2.498349e-05,2.822262e-05,3.249026e-05,3.426588e-05,4.115767e-05,4.145163e-05,4.894132e-05,5.196895e-05,5.765290e-05,6.412146e-05,6.732047e-05,7.796366e-05,8.959326e-05,9.352362e-05,1.022111e-04,1.108023e-04,1.158101e-04,1.297735e-04,1.303743e-04,1.458794e-04,1.503851e-04,1.622928e-04,1.725606e-04,1.795747e-04,1.962010e-04,1.976783e-04,2.165506e-04,2.211879e-04,2.361332e-04,2.473864e-04,2.563631e-04,2.746481e-04,2.771737e-04,2.984951e-04,3.028144e-04,3.202554e-04,3.317199e-04,3.423813e-04,3.611954e-04,3.647988e-04,3.874340e-04,3.910709e-04,4.102137e-04,4.211780e-04,4.330659e-04,4.513528e-04,4.559206e-04,4.787102e-04,4.814375e-04,5.013696e-04,5.112824e-04,5.238369e-04,5.407475e-04,5.460537e-04,5.679649e-04,5.697031e-04,5.895197e-04,5.980310e-04,6.106707e-04,6.256250e-04,6.313748e-04,6.515930e-04,6.523911e-04,6.712901e-04,6.782474e-04,6.904350e-04,7.031242e-04,7.090006e-04,7.269635e-04,7.443040e-04,7.497187e-04,7.610058e-04,7.713539e-04,7.770563e-04,7.918431e-04,7.924459e-04,8.071679e-04,8.111698e-04,8.212186e-04,8.293262e-04,8.345969e-04,8.463123e-04,8.473042e-04,8.593440e-04,8.621348e-04,8.707220e-04,8.768073e-04,8.814456e-04,8.903483e-04,8.915240e-04,9.009680e-04,9.027816e-04,9.097894e-04,9.141349e-04,9.180015e-04,9.244392e-04,9.256186e-04,9.326555e-04,9.337287e-04,9.391283e-04,9.420396e-04,9.450532e-04,9.494100e-04,9.504472e-04,9.553275e-04,9.558795e-04,9.597118e-04,9.614884e-04,9.636178e-04,9.662775e-04,9.670634e-04,9.700664e-04,9.702880e-04,9.726447e-04,9.735610e-04,9.748159e-04,9.761371e-04,9.765977e-04,9.780074e-04,9.780563e-04,9.790621e-04,9.793582e-04,9.797786e-04,9.800810e-04,9.801733e-04,9.802623e-04,9.799384e-04,9.791444e-04,9.779140e-04,9.762798e-04,9.742728e-04,9.719229e-04,9.692585e-04,9.663064e-04,9.630926e-04,9.596409e-04,9.559748e-04,9.521157e-04,9.480842e-04,9.438994e-04,9.395796e-04,9.351418e-04,9.306018e-04,9.259747e-04,9.212743e-04,9.165135e-04,9.117046e-04,9.068585e-04,9.019858e-04,8.970960e-04
0.000000e+00,4.126232e-09,1.012627e-08,3.756424e-08,8.883857e-08,1.317074e-07,3.091284e-07,3.188322e-07,6.349443e-07,7.521622e-07,1.122319e-06,1.516494e-06,1.827631e-06,2.701656e-06,2.788349e-06,4.014473e-06,4.346891e-06,5.491687e-06,6.420843e-06,7.199421e-06,8.878761e-06,9.119957e-06,1.123857e-05,1.168486e-05,1.354160e-05,1.480745e-05,1.601507e-05,1.821355e-05,1.864397e-05,2.141219e-05,2.186691e-05,2.430269e-05,2.572841e-05,2.729788e-05,2.975748e-05,3.038002e-05,3.353164e-05,3.391370e-05,3.673594e-05,3.815838e-05,3.997700e-05,4.245566e-05,4.324006e-05,4.651164e-05,4.677336e-05,4.977957e-05,5.108327e-05,5.303309e-05,5.536131e-05,5.626269e-05,5.946011e-05,5.958723e-05,6.261828e-05,6.374442e-05,6.573120e-05,6.781954e-05,6.879384e-05,7.180201e-05,7.475231e-05,7.568372e-05,7.764201e-05,7.945859e-05,8.046894e-05,8.312221e-05,8.323146e-05,8.592836e-05,8.667161e-05,8.855880e-05,9.010495e-05,9.112229e-05,9.342134e-05,9.361857e-05,9.604764e-05,9.662063e-05,9.840967e-05,9.970325e-05,1.007050e-04,1.026702e-04,1.029342e-04,1.050978e-04,1.055227e-04,1.071965e-04,1.082625e-04,1.092312e-04,1.108914e-04,1.112026e-04,1.131118e-04,1.134116e-04,1.149597e-04,1.158253e-04,1.167474e-04,1.181348e-04,1.184758e-04,1.201460e-04,1.203426e-04,1.217592e-04,1.224512e-04,1.233165e-04,1.244632e-04,1.248189e-04,1.262676e-04,1.263812e-04,1.276638e-04,1.282078e-04,1.290086e-04,1.299456e-04,1.303031e-04,1.315484e-04,1.315972e-04,1.327457e-04,1.331652e-04,1.338962e-04,1.346522e-04,1.350008e-04,1.360608e-04,1.370771e-04,1.373933e-04,1.380510e-04,1.386525e-04,1.389834e-04,1.398405e-04,1.398755e-04,1.407281e-04,1.409600e-04,1.415425e-04,1.420131e-04,1.423196e-04,1.430023e-04,1.430603e-04,1.437657e-04,1.439298e-04,1.444367e-04,1.447978e-04,1.450743e-04,1.456084e-04,1.456793e-04,1.462528e-04,1.463638e-04,1.467956e-04,1.470660e-04,1.473085e-04,1.477170e-04,1.477925e-04,1.482484e-04,1.483188e-04,1.486769e-04,1.488732e-04,1.490790e-04,1.493821e-04,1.494554e-04,1.498068e-04,1.498473e-04,1.501341e-04,1.502706e-04,1.504379e-04,1.506536e-04,1.507191e-04,1.509782e-04,1.509980e-04,1.512160e-04,1.513054e-04,1.514333e-04,1.515772e-04,1.516305e-04,1.518084e-04,1.518151e-04,1.519676e-04,1.520205e-04,1.521088e-04,1.521947e-04,1.522324e-04,1.523392e-04,1.524552e-04,1.525440e-04,1.526069e-04,1.526450e-04,1.526595e-04,1.526515e-04,1.526220e-04,1.525722e-04,1.525030e-04,1.524153e-04,1.523102e-04,1.521884e-04,1.520509e-04,1.518984e-04,1.517319e-04,1.515520e-04,1.513596e-04,1.511552e-04,1.509396e-04,1.507135e-04,1.504776e-04,1.502323e-04,1.499783e-04,1.497162e-04
0.000000e+00,6.520130e-09,1.505235e-08,5.233395e-08,1.200405e-07,1.759397e-07,4.047608e-07,4.172124e-07,8.213452e-07,9.708221e-07,1.442742e-06,1.946698e-06,2.346842e-06,3.489824e-06,3.605084e-06,5.275861e-06,5.741241e-06,7.375713e-06,8.727649e-06,9.869986e-06,1.234220e-05,1.269687e-05,1.579542e-05,1.644319e-05,1.911642e-05,2.091821e-05,2.262158e-05,2.568541e-05,2.627989e-05,3.006444e-05,3.068002e-05,3.395064e-05,3.584525e-05,3.791519e-05,4.112820e-05,4.193575e-05,4.599089e-05,4.647886e-05,5.006037e-05,5.185051e-05,5.412504e-05,5.719998e-05,5.816716e-05,6.217079e-05,6.248897e-05,6.612148e-05,6.768406e-05,7.000664e-05,7.275715e-05,7.381529e-05,7.753811e-05,7.768513e-05,8.116735e-05,8.244971e-05,8.469668e-05,8.703694e-05,8.812107e-05,9.143670e-05,9.464077e-05,9.564219e-05,9.773144e-05,9.964943e-05,1.007076e-04,1.034568e-04,1.035690e-04,1.063158e-04,1.070644e-04,1.089487e-04,1.104742e-04,1.114689e-04,1.136892e-04,1.138779e-04,1.161774e-04,1.167132e-04,1.183695e-04,1.195510e-04,1.204564e-04,1.222078e-04,1.224405e-04,1.243242e-04,1.246891e-04,1.261101e-04,1.270009e-04,1.278007e-04,1.291493e-04,1.293989e-04,1.309071e-04,1.311403e-04,1.323282e-04,1.329801e-04,1.336647e-04,1.346749e-04,1.349195e-04,1.360950e-04,1.362309e-04,1.371940e-04,1.376540e-04,1.382191e-04,1.389502e-04,1.391726e-04,1.400573e-04,1.401252e-04,1.408755e-04,1.411846e-04,1.416295e-04,1.421341e-04,1.423219e-04,1.429548e-04,1.429789e-04,1.435306e-04,1.437243e-04,1.440513e-04,1.443751e-04,1.445192e-04,1.449364e-04,1.453047e-04,1.454126e-04,1.456263e-04,1.458084e-04,1.459030e-04,1.461282e-04,1.461367e-04,1.463292e-04,1.463759e-04,1.464822e-04,1.465558e-04,1.465975e-04,1.466716e-04,1.466767e-04,1.467213e-04,1.467271e-04,1.467330e-04,1.467257e-04,1.467133e-04,1.466710e-04,1.466635e-04,1.465850e-04,1.465661e-04,1.464794e-04,1.464141e-04,1.463477e-04,1.462180e-04,1.461914e-04,1.460117e-04,1.459808e-04,1.458096e-04,1.457050e-04,1.455864e-04,1.453933e-04,1.453431e-04,1.450809e-04,1.450482e-04,1.448007e-04,1.446720e-04,1.445036e-04,1.442670e-04,1.441904e-04,1.438621e-04,1.438352e-04,1.435196e-04,1.433788e-04,1.431637e-04,1.428997e-04,1.427953e-04,1.424151e-04,1.423996e-04,1.420239e-04,1.418805e-04,1.416224e-04,1.413438e-04,1.412113e-04,1.407912e-04,1.402242e-04,1.396442e-04,1.390526e-04,1.384505e-04,1.378392e-04,1.372199e-04,1.365935e-04,1.359612e-04,1.353239e-04,1.346824e-04,1.340376e-04,1.333903e-04,1.327413e-04,1.320913e-04,1.314408e-04,1.307906e-04,1.301412e-04,1.294932e-04,1.288470e-04,1.282031e-04,1.275620e-04,1.269241e-04,1.262898e-04,1.256593e-04
0.000000e+00,4.450219e-10,1.817096e-09,1.188319e-08,3.671713e-08,6.013159e-08,1.686243e-07,1.749066e-07,3.914736e-07,4.762628e-07,7.552082e-07,1.065936e-06,1.317815e-06,2.041150e-06,2.113518e-06,3.138894e-06,3.416508e-06,4.369576e-06,5.139647e-06,5.782782e-06,7.164479e-06,7.362398e-06,9.096255e-06,9.460565e-06,1.097330e-05,1.200215e-05,1.298198e-05,1.476175e-05,1.510960e-05,1.734224e-05,1.770822e-05,1.966498e-05,2.080735e-05,2.206227e-05,2.402317e-05,2.451833e-05,2.701760e-05,2.731970e-05,2.954513e-05,3.066253e-05,3.208683e-05,3.401996e-05,3.462971e-05,3.716201e-05,3.736382e-05,3.967330e-05,4.066984e-05,4.215443e-05,4.391772e-05,4.459756e-05,4.699604e-05,4.709097e-05,4.934437e-05,5.017661e-05,5.163812e-05,5.316486e-05,5.387376e-05,5.604857e-05,5.816049e-05,5.882277e-05,6.020805e-05,6.148423e-05,6.219025e-05,6.403123e-05,6.410662e-05,6.595711e-05,6.646347e-05,6.774197e-05,6.878159e-05,6.946172e-05,7.098704e-05,7.111712e-05,7.270914e-05,7.308192e-05,7.423894e-05,7.506899e-05,7.570800e-05,7.695176e-05,7.711785e-05,7.846970e-05,7.873324e-05,7.976503e-05,8.041673e-05,8.100522e-05,8.200538e-05,8.219167e-05,8.332591e-05,8.350264e-05,8.440940e-05,8.491186e-05,8.544356e-05,8.623634e-05,8.642984e-05,8.736969e-05,8.747942e-05,8.826453e-05,8.864435e-05,8.911576e-05,8.973438e-05,8.992476e-05,9.069291e-05,9.075264e-05,9.142154e-05,9.170222e-05,9.211195e-05,9.258610e-05,9.276542e-05,9.338320e-05,9.340719e-05,9.396651e-05,9.416830e-05,9.451656e-05,9.487218e-05,9.503449e-05,9.552145e-05,9.597855e-05,9.611869e-05,9.640685e-05,9.666633e-05,9.680739e-05,9.716676e-05,9.718121e-05,9.752928e-05,9.762226e-05,9.785257e-05,9.803503e-05,9.815200e-05,9.840719e-05,9.842848e-05,9.868289e-05,9.874076e-05,9.891607e-05,9.903770e-05,9.912886e-05,9.929987e-05,9.932204e-05,9.949640e-05,9.952907e-05,9.965267e-05,9.972703e-05,9.979159e-05,9.989539e-05,9.991386e-05,1.000202e-04,1.000357e-04,1.001112e-04,1.001496e-04,1.001875e-04,1.002383e-04,1.002497e-04,1.002985e-04,1.003035e-04,1.003344e-04,1.003462e-04,1.003579e-04,1.003679e-04,1.003696e-04,1.003701e-04,1.003696e-04,1.003598e-04,1.003527e-04,1.003391e-04,1.003181e-04,1.003086e-04,1.002688e-04,1.002670e-04,1.002200e-04,1.002003e-04,1.001627e-04,1.001190e-04,1.000972e-04,1.000240e-04,9.991617e-05,9.979634e-05,9.966531e-05,9.952383e-05,9.937261e-05,9.921234e-05,9.904366e-05,9.886720e-05,9.868353e-05,9.849323e-05,9.829681e-05,9.809479e-05,9.788763e-05,9.767581e-05,9.745974e-05,9.723983e-05,9.701648e-05,9.679005e-05,9.656089e-05,9.632934e-05,9.609569e-05,9.586025e-05,9.562330e-05,9.538509e-05
0.000000e+00,3.763395e-14,3.386776e-13,8.942416e-12,7.860194e-11,2.128194e-10,1.827723e-09,1.974942e-09,1.094225e-08,1.657991e-08,4.376273e-08,8.985053e-08,1.398088e-07,3.517147e-07,3.790149e-07,9.065650e-07,1.100444e-06,1.964671e-06,2.922913e-06,3.930955e-06,6.849412e-06,7.362015e-06,1.303986e-05,1.453249e-05,2.201842e-05,2.843271e-05,3.566740e-05,5.199186e-05,5.571062e-05,8.425690e-05,8.977561e-05,1.238214e-04,1.475711e-04,1.773366e-04,2.324297e-04,2.481509e-04,3.400162e-04,3.526470e-04,4.570629e-04,5.176822e-04,6.037640e-04,7.380146e-04,7.848884e-04,1.005446e-03,1.024948e-03,1.270622e-03,1.390369e-03,1.585711e-03,1.846472e-03,1.956040e-03,2.386895e-03,2.405461e-03,2.883442e-03,3.079246e-03,3.450655e-03,3.879139e-03,4.093240e-03,4.815572e-03,5.621625e-03,5.897834e-03,6.514927e-03,7.133847e-03,7.498502e-03,8.529976e-03,8.574836e-03,9.745845e-03,1.009089e-02,1.101285e-02,1.181945e-02,1.237656e-02,1.371669e-02,1.383709e-02,1.539390e-02,1.578176e-02,1.704590e-02,1.801199e-02,1.879139e-02,2.040295e-02,2.062809e-02,2.255321e-02,2.294856e-02,2.456345e-02,2.564118e-02,2.665504e-02,2.847181e-02,2.882381e-02,3.106517e-02,3.143020e-02,3.337423e-02,3.450510e-02,3.574577e-02,3.768434e-02,3.817436e-02,4.065434e-02,4.095512e-02,4.317993e-02,4.430411e-02,4.574520e-02,4.771767e-02,4.834418e-02,5.097085e-02,5.118200e-02,5.361922e-02,5.468331e-02,5.628334e-02,5.820796e-02,5.895734e-02,6.163545e-02,6.174258e-02,6.431205e-02,6.527421e-02,6.698169e-02,6.879037e-02,6.963910e-02,7.227920e-02,7.489716e-02,7.572947e-02,7.748837e-02,7.913068e-02,8.004847e-02,8.247308e-02,8.257335e-02,8.505919e-02,8.574773e-02,8.750240e-02,8.894649e-02,8.989970e-02,9.206206e-02,9.224806e-02,9.454473e-02,9.508795e-02,9.678722e-02,9.801852e-02,9.897332e-02,1.008489e-01,1.011011e-01,1.031687e-01,1.035749e-01,1.051749e-01,1.061933e-01,1.071183e-01,1.087015e-01,1.089979e-01,1.108129e-01,1.110973e-01,1.125629e-01,1.133796e-01,1.142473e-01,1.155476e-01,1.158661e-01,1.174191e-01,1.176011e-01,1.189067e-01,1.195405e-01,1.203289e-01,1.213665e-01,1.216864e-01,1.229797e-01,1.230804e-01,1.242095e-01,1.246838e-01,1.253766e-01,1.261787e-01,1.264820e-01,1.275267e-01,1.275672e-01,1.285117e-01,1.288519e-01,1.294382e-01,1.300355e-01,1.303076e-01,1.311210e-01,1.321114e-01,1.330100e-01,1.338200e-01,1.345448e-01,1.351880e-01,1.357528e-01,1.362429e-01,1.366617e-01,1.370126e-01,1.372991e-01,1.375244e-01,1.376919e-01,1.378049e-01,1.378663e-01,1.378794e-01,1.378471e-01,1.377722e-01,1.376575e-01,1.375058e-01,1.373196e-01,1.371013e-01,1.368534e-01,1.365781e-01,1.362775e-01
0.000000e+00,6.143602e-12,4.149926e-11,6.144607e-10,3.255973e-09,6.738498e-09,2.983819e-08,3.141577e-08,9.476618e-08,1.227556e-07,2.220478e-07,3.415262e-07,4.437090e-07,7.619090e-07,7.957870e-07,1.316161e-06,1.469703e-06,2.034215e-06,2.527662e-06,2.961167e-06,3.944838e-06,4.090572e-06,5.406662e-06,5.690724e-06,6.891998e-06,7.725953e-06,8.530846e-06,1.001592e-05,1.030932e-05,1.221454e-05,1.253029e-05,1.423376e-05,1.523966e-05,1.635394e-05,1.811376e-05,1.856165e-05,2.084320e-05,2.112129e-05,2.318487e-05,2.423078e-05,2.557325e-05,2.741173e-05,2.799549e-05,3.043946e-05,3.063558e-05,3.289400e-05,3.387646e-05,3.534893e-05,3.711159e-05,3.779518e-05,4.022472e-05,4.032145e-05,4.263058e-05,4.348971e-05,4.500679e-05,4.660305e-05,4.734827e-05,4.965073e-05,5.191065e-05,5.262435e-05,5.412514e-05,5.551751e-05,5.629194e-05,5.832554e-05,5.840926e-05,6.047578e-05,6.104516e-05,6.249054e-05,6.367427e-05,6.445289e-05,6.621165e-05,6.636247e-05,6.821914e-05,6.865687e-05,7.002295e-05,7.101007e-05,7.177412e-05,7.327190e-05,7.347302e-05,7.512012e-05,7.544338e-05,7.671600e-05,7.752581e-05,7.826129e-05,7.952076e-05,7.975671e-05,8.120304e-05,8.142996e-05,8.260110e-05,8.325528e-05,8.395174e-05,8.499871e-05,8.525585e-05,8.651432e-05,8.666231e-05,8.772807e-05,8.824820e-05,8.889805e-05,8.975854e-05,9.002520e-05,9.111046e-05,9.119550e-05,9.215479e-05,9.256127e-05,9.315913e-05,9.385804e-05,9.412444e-05,9.505166e-05,9.508797e-05,9.594174e-05,9.625325e-05,9.679559e-05,9.735599e-05,9.761414e-05,9.839832e-05,9.914901e-05,9.938230e-05,9.986711e-05,1.003100e-04,1.005535e-04,1.011834e-04,1.012090e-04,1.018346e-04,1.020045e-04,1.024310e-04,1.027752e-04,1.029991e-04,1.034973e-04,1.035396e-04,1.040534e-04,1.041728e-04,1.045413e-04,1.048035e-04,1.050040e-04,1.053909e-04,1.054423e-04,1.058568e-04,1.059370e-04,1.062484e-04,1.064432e-04,1.066177e-04,1.069113e-04,1.069655e-04,1.072923e-04,1.073427e-04,1.075989e-04,1.077391e-04,1.078859e-04,1.081018e-04,1.081540e-04,1.084036e-04,1.084324e-04,1.086355e-04,1.087321e-04,1.088503e-04,1.090023e-04,1.090484e-04,1.092305e-04,1.092444e-04,1.093971e-04,1.094595e-04,1.095487e-04,1.096489e-04,1.096859e-04,1.098091e-04,1.098138e-04,1.099189e-04,1.099552e-04,1.100157e-04,1.100744e-04,1.101000e-04,1.101722e-04,1.102498e-04,1.103082e-04,1.103482e-04,1.103708e-04,1.103769e-04,1.103673e-04,1.103429e-04,1.103043e-04,1.102525e-04,1.101880e-04,1.101116e-04,1.100241e-04,1.099259e-04,1.098177e-04,1.097002e-04,1.095739e-04,1.094393e-04,1.092970e-04,1.091475e-04,1.089912e-04,1.088287e-04,1.086603e-04,1.084865e-04,1.083076e-04
0.000000e+00,6.815959e-15,5.908032e-14,1.441515e-12,1.177430e-11,3.060381e-11,2.360754e-10,2.539653e-10,1.261607e-09,1.854998e-09,4.536796e-09,8.751662e-09,1.307159e-08,2.998910e-08,3.206322e-08,6.962582e-08,8.261959e-08,1.374481e-07,1.943463e-07,2.512944e-07,4.053641e-07,4.312035e-07,7.012529e-07,7.684440e-07,1.088847e-06,1.346632e-06,1.623608e-06,2.208845e-06,2.336018e-06,3.255998e-06,3.424366e-06,4.411556e-06,5.057369e-06,5.827637e-06,7.162314e-06,7.525198e-06,9.520555e-06,9.780599e-06,1.182497e-05,1.293855e-05,1.444443e-05,1.664658e-05,1.737970e-05,2.062642e-05,2.089937e-05,2.417541e-05,2.567673e-05,2.801304e-05,3.094510e-05,3.212166e-05,3.648012e-05,3.665932e-05,4.106430e-05,4.276481e-05,4.584767e-05,4.919973e-05,5.080189e-05,5.589734e-05,6.110368e-05,6.278814e-05,6.639039e-05,6.980207e-05,7.172723e-05,7.687034e-05,7.708467e-05,8.243433e-05,8.392712e-05,8.774922e-05,9.091088e-05,9.300410e-05,9.776550e-05,9.817564e-05,1.032426e-04,1.044410e-04,1.081860e-04,1.108939e-04,1.129889e-04,1.170878e-04,1.176369e-04,1.221176e-04,1.229928e-04,1.264209e-04,1.285857e-04,1.305387e-04,1.338497e-04,1.344648e-04,1.381949e-04,1.387734e-04,1.417265e-04,1.433507e-04,1.450583e-04,1.475801e-04,1.481906e-04,1.511251e-04,1.514640e-04,1.538641e-04,1.550083e-04,1.564113e-04,1.582215e-04,1.587709e-04,1.609478e-04,1.611143e-04,1.629476e-04,1.636992e-04,1.647761e-04,1.659900e-04,1.664395e-04,1.679444e-04,1.680014e-04,1.692974e-04,1.697486e-04,1.705052e-04,1.712470e-04,1.715745e-04,1.725122e-04,1.733249e-04,1.735596e-04,1.740191e-04,1.744042e-04,1.746013e-04,1.750606e-04,1.750777e-04,1.754545e-04,1.755430e-04,1.757375e-04,1.758647e-04,1.759324e-04,1.760386e-04,1.760447e-04,1.760795e-04,1.760770e-04,1.760420e-04,1.759912e-04,1.759370e-04,1.757922e-04,1.757689e-04,1.755422e-04,1.754902e-04,1.752609e-04,1.750945e-04,1.749291e-04,1.746141e-04,1.745505e-04,1.741285e-04,1.740572e-04,1.736665e-04,1.734314e-04,1.731676e-04,1.727441e-04,1.726349e-04,1.720712e-04,1.720016e-04,1.714790e-04,1.712101e-04,1.708609e-04,1.703752e-04,1.702192e-04,1.695561e-04,1.695022e-04,1.688737e-04,1.685958e-04,1.681740e-04,1.676604e-04,1.674587e-04,1.667296e-04,1.667002e-04,1.659883e-04,1.657188e-04,1.652363e-04,1.647196e-04,1.644750e-04,1.637057e-04,1.626801e-04,1.616454e-04,1.606039e-04,1.595578e-04,1.585092e-04,1.574598e-04,1.564113e-04,1.553651e-04,1.543227e-04,1.532851e-04,1.522537e-04,1.512292e-04,1.502127e-04,1.492048e-04,1.482064e-04,1.472179e-04,1.462401e-04,1.452733e-04,1.443181e-04,1.433746e-04,1.424434e-04,1.415246e-04,1.406184e-04,1.397251e-04
0.000000e+00,1.788150e-14,1.610015e-13,4.255101e-12,3.743459e-11,1.014050e-10,8.719131e-10,9.421878e-10,5.225808e-09,7.920332e-09,2.091820e-08,4.296490e-08,6.686830e-08,1.682742e-07,1.813388e-07,4.337738e-07,5.265300e-07,9.399012e-07,1.398098e-06,1.879991e-06,3.274783e-06,3.519734e-06,6.232838e-06,6.946125e-06,1.052418e-05,1.359127e-05,1.705220e-05,2.486777e-05,2.664937e-05,4.033948e-05,4.298883e-05,5.935087e-05,7.078142e-05,8.512484e-05,1.117195e-04,1.193186e-04,1.638027e-04,1.699287e-04,2.206521e-04,2.501606e-04,2.921326e-04,3.577362e-04,3.806801e-04,4.888768e-04,4.984616e-04,6.194214e-04,6.785179e-04,7.750966e-04,9.043323e-04,9.587337e-04,1.173175e-03,1.182433e-03,1.421235e-03,1.519299e-03,1.705663e-03,1.921202e-03,2.029103e-03,2.394057e-03,2.802854e-03,2.943281e-03,3.257615e-03,3.573665e-03,3.760225e-03,4.289258e-03,4.312310e-03,4.915214e-03,5.093284e-03,5.569986e-03,5.988065e-03,6.277362e-03,6.974977e-03,7.037765e-03,7.851292e-03,8.054425e-03,8.717722e-03,9.225843e-03,9.636515e-03,1.048770e-02,1.060682e-02,1.162749e-02,1.183755e-02,1.269710e-02,1.327207e-02,1.381393e-02,1.478714e-02,1.497603e-02,1.618122e-02,1.637789e-02,1.742709e-02,1.803882e-02,1.871108e-02,1.976386e-02,2.003041e-02,2.138222e-02,2.154647e-02,2.276348e-02,2.337977e-02,2.417109e-02,2.525655e-02,2.560189e-02,2.705264e-02,2.716947e-02,2.852010e-02,2.911103e-02,3.000101e-02,3.107377e-02,3.149213e-02,3.299024e-02,3.305026e-02,3.449216e-02,3.503319e-02,3.599481e-02,3.701548e-02,3.749515e-02,3.899025e-02,4.047727e-02,4.095096e-02,4.195348e-02,4.289138e-02,4.341628e-02,4.480566e-02,4.486320e-02,4.629188e-02,4.668834e-02,4.770012e-02,4.853439e-02,4.908585e-02,5.033919e-02,5.044715e-02,5.178224e-02,5.209857e-02,5.308948e-02,5.380881e-02,5.436738e-02,5.546660e-02,5.561460e-02,5.682994e-02,5.706908e-02,5.801232e-02,5.861382e-02,5.916082e-02,6.009878e-02,6.027463e-02,6.135309e-02,6.152232e-02,6.239566e-02,6.288320e-02,6.340189e-02,6.418050e-02,6.437148e-02,6.530423e-02,6.541368e-02,6.620003e-02,6.658247e-02,6.705886e-02,6.768691e-02,6.788082e-02,6.866607e-02,6.872731e-02,6.941485e-02,6.970422e-02,7.012748e-02,7.061841e-02,7.080436e-02,7.144593e-02,7.147087e-02,7.205272e-02,7.226275e-02,7.262528e-02,7.299538e-02,7.316422e-02,7.367020e-02,7.428881e-02,7.485289e-02,7.536420e-02,7.582457e-02,7.623590e-02,7.660011e-02,7.691916e-02,7.719503e-02,7.742969e-02,7.762512e-02,7.778328e-02,7.790610e-02,7.799550e-02,7.805336e-02,7.808151e-02,7.808175e-02,7.805582e-02,7.800543e-02,7.793222e-02,7.783778e-02,7.772363e-02,7.759126e-02,7.744209e-02,7.727744e-02
0.000000e+00,3.394843e-15,2.955136e-14,7.273478e-13,5.988080e-12,1.563109e-11,1.218881e-10,1.311811e-10,6.582748e-10,9.704033e-10,2.387939e-09,4.627124e-09,6.929422e-09,1.597662e-08,1.708766e-08,3.723174e-08,4.420329e-08,7.361113e-08,1.041005e-07,1.345864e-07,2.169487e-07,2.307503e-07,3.749225e-07,4.107952e-07,5.820012e-07,7.200191e-07,8.686596e-07,1.184079e-06,1.252874e-06,1.753284e-06,1.845379e-06,2.388406e-06,2.746317e-06,3.175746e-06,3.925773e-06,4.130886e-06,5.266621e-06,5.415527e-06,6.592239e-06,7.237172e-06,8.112986e-06,9.399978e-06,9.829771e-06,1.173910e-05,1.189996e-05,1.383325e-05,1.472017e-05,1.610058e-05,1.783198e-05,1.852608e-05,2.109192e-05,2.119719e-05,2.377811e-05,2.477051e-05,2.656320e-05,2.850218e-05,2.942488e-05,3.234058e-05,3.528806e-05,3.623443e-05,3.824583e-05,4.013473e-05,4.119351e-05,4.399621e-05,4.411218e-05,4.698456e-05,4.777838e-05,4.979518e-05,5.144617e-05,5.253044e-05,5.497025e-05,5.517867e-05,5.773004e-05,5.832704e-05,6.017658e-05,6.149846e-05,6.251204e-05,6.447163e-05,6.473177e-05,6.683262e-05,6.723834e-05,6.881277e-05,6.979449e-05,7.067159e-05,7.213951e-05,7.240950e-05,7.402785e-05,7.427582e-05,7.552876e-05,7.620828e-05,7.691501e-05,7.794367e-05,7.818991e-05,7.935719e-05,7.949022e-05,8.042091e-05,8.085724e-05,8.138538e-05,8.205476e-05,8.225509e-05,8.303462e-05,8.309322e-05,8.372858e-05,8.398324e-05,8.434159e-05,8.473540e-05,8.487823e-05,8.534298e-05,8.536014e-05,8.574025e-05,8.586757e-05,8.607429e-05,8.626742e-05,8.634920e-05,8.656898e-05,8.673737e-05,8.678101e-05,8.685803e-05,8.691178e-05,8.693437e-05,8.696901e-05,8.696968e-05,8.696705e-05,8.695992e-05,8.692942e-05,8.689119e-05,8.685955e-05,8.676903e-05,8.676004e-05,8.663335e-05,8.659915e-05,8.648176e-05,8.638681e-05,8.630743e-05,8.613681e-05,8.611237e-05,8.589845e-05,8.585356e-05,8.566744e-05,8.554111e-05,8.542098e-05,8.520313e-05,8.516060e-05,8.488771e-05,8.484298e-05,8.460366e-05,8.446371e-05,8.430966e-05,8.406808e-05,8.400688e-05,8.369635e-05,8.365862e-05,8.337909e-05,8.323760e-05,8.305600e-05,8.280707e-05,8.272792e-05,8.239565e-05,8.236891e-05,8.205991e-05,8.192480e-05,8.172137e-05,8.147624e-05,8.138066e-05,8.103834e-05,8.102462e-05,8.069494e-05,8.057115e-05,8.035096e-05,8.011695e-05,8.000684e-05,7.966300e-05,7.921018e-05,7.875930e-05,7.831103e-05,7.786602e-05,7.742481e-05,7.698789e-05,7.655569e-05,7.612857e-05,7.570687e-05,7.529087e-05,7.488081e-05,7.447690e-05,7.407931e-05,7.368818e-05,7.330363e-05,7.292574e-05,7.255459e-05,7.219023e-05,7.183269e-05,7.148198e-05,7.113811e-05,7.080105e-05,7.047080e-05,7.014730e-05
0.000000e+00,8.112083e-09,1.860177e-08,6.426927e-08,1.475029e-07,2.167806e-07,5.063506e-07,5.223801e-07,1.055928e-06,1.258695e-06,1.909879e-06,2.608231e-06,3.153371e-06,4.625179e-06,4.765899e-06,6.667170e-06,7.158389e-06,8.790433e-06,1.006051e-05,1.109481e-05,1.325045e-05,1.355272e-05,1.614091e-05,1.667217e-05,1.883651e-05,2.027287e-05,2.161594e-05,2.399775e-05,2.445500e-05,2.732951e-05,2.779114e-05,3.021606e-05,3.159938e-05,3.309273e-05,3.537346e-05,3.593956e-05,3.873892e-05,3.907091e-05,4.147568e-05,4.265668e-05,4.413723e-05,4.610334e-05,4.671337e-05,4.919618e-05,4.939058e-05,5.157978e-05,5.250447e-05,5.386008e-05,5.543648e-05,5.603458e-05,5.810207e-05,5.818254e-05,6.006245e-05,6.074210e-05,6.191652e-05,6.311732e-05,6.366580e-05,6.531240e-05,6.685883e-05,6.733299e-05,6.830796e-05,6.918577e-05,6.966290e-05,7.087806e-05,7.092691e-05,7.210337e-05,7.241755e-05,7.319570e-05,7.381215e-05,7.420735e-05,7.506977e-05,7.514176e-05,7.600231e-05,7.619822e-05,7.679234e-05,7.720518e-05,7.751512e-05,7.809806e-05,7.817382e-05,7.877152e-05,7.888400e-05,7.931121e-05,7.956989e-05,7.979579e-05,8.016231e-05,8.022807e-05,8.061074e-05,8.066754e-05,8.094640e-05,8.109155e-05,8.123754e-05,8.144002e-05,8.148657e-05,8.169576e-05,8.171829e-05,8.186732e-05,8.193144e-05,8.200337e-05,8.208426e-05,8.210592e-05,8.217691e-05,8.218128e-05,8.221818e-05,8.222677e-05,8.223149e-05,8.222468e-05,8.221848e-05,8.218076e-05,8.217876e-05,8.211984e-05,8.209251e-05,8.203718e-05,8.196927e-05,8.193417e-05,8.181213e-05,8.167230e-05,8.162399e-05,8.151586e-05,8.140756e-05,8.134396e-05,8.116537e-05,8.115766e-05,8.095797e-05,8.089979e-05,8.074585e-05,8.061301e-05,8.052224e-05,8.030709e-05,8.028798e-05,8.004391e-05,7.998396e-05,7.979080e-05,7.964539e-05,7.952940e-05,7.929307e-05,7.926041e-05,7.898449e-05,7.892853e-05,7.870227e-05,7.855322e-05,7.841434e-05,7.816848e-05,7.812127e-05,7.782358e-05,7.777556e-05,7.752178e-05,7.737560e-05,7.721634e-05,7.696968e-05,7.690772e-05,7.659632e-05,7.655879e-05,7.628256e-05,7.614385e-05,7.596680e-05,7.572571e-05,7.564941e-05,7.533070e-05,7.530516e-05,7.501100e-05,7.488291e-05,7.469061e-05,7.445964e-05,7.436979e-05,7.404881e-05,7.403597e-05,7.372791e-05,7.361245e-05,7.340732e-05,7.318961e-05,7.308726e-05,7.276792e-05,7.234783e-05,7.192973e-05,7.151398e-05,7.110092e-05,7.069085e-05,7.028403e-05,6.988072e-05,6.948114e-05,6.908548e-05,6.869392e-05,6.830663e-05,6.792373e-05,6.754536e-05,6.717162e-05,6.680260e-05,6.643837e-05,6.607901e-05,6.572458e-05,6.537510e-05,6.503062e-05,6.469115e-05,6.435673e-05,6.402734e-05,6.370300e-05
0.000000e+00,3.842304e-16,3.349049e-15,8.268566e-14,6.832215e-13,1.787637e-12,1.404418e-11,1.512032e-11,7.665593e-11,1.133858e-10,2.817792e-10,5.512722e-10,8.314947e-10,1.953664e-09,2.093304e-09,4.675557e-09,5.587494e-09,9.512593e-09,1.368884e-08,1.795022e-08,2.978791e-08,3.180931e-08,5.340003e-08,5.888114e-08,8.546914e-08,1.072954e-07,1.310817e-07,1.822166e-07,1.934557e-07,2.757743e-07,2.909989e-07,3.810027e-07,4.404272e-07,5.117267e-07,6.360809e-07,6.700278e-07,8.573962e-07,8.818810e-07,1.074684e-06,1.179845e-06,1.322097e-06,1.530039e-06,1.599209e-06,1.905010e-06,1.930671e-06,2.237960e-06,2.378307e-06,2.596059e-06,2.868140e-06,2.976928e-06,3.377886e-06,3.394301e-06,3.796025e-06,3.950176e-06,4.228291e-06,4.528704e-06,4.671551e-06,5.122659e-06,5.578514e-06,5.724896e-06,6.036112e-06,6.328557e-06,6.492584e-06,6.927239e-06,6.945240e-06,7.391589e-06,7.515122e-06,7.829364e-06,8.087060e-06,8.256536e-06,8.638632e-06,8.671321e-06,9.072184e-06,9.166171e-06,9.457834e-06,9.666753e-06,9.827222e-06,1.013817e-05,1.017953e-05,1.051414e-05,1.057890e-05,1.083066e-05,1.098802e-05,1.112887e-05,1.136518e-05,1.140872e-05,1.167030e-05,1.171048e-05,1.191385e-05,1.202445e-05,1.213971e-05,1.230795e-05,1.234831e-05,1.254018e-05,1.256211e-05,1.271589e-05,1.278825e-05,1.287608e-05,1.298785e-05,1.302142e-05,1.315260e-05,1.316250e-05,1.327033e-05,1.331382e-05,1.337534e-05,1.344347e-05,1.346834e-05,1.355002e-05,1.355307e-05,1.362110e-05,1.364422e-05,1.368224e-05,1.371848e-05,1.373410e-05,1.377730e-05,1.381245e-05,1.382210e-05,1.384013e-05,1.385417e-05,1.386087e-05,1.387474e-05,1.387519e-05,1.388358e-05,1.388493e-05,1.388650e-05,1.388580e-05,1.388436e-05,1.387829e-05,1.387759e-05,1.386654e-05,1.386329e-05,1.385156e-05,1.384158e-05,1.383298e-05,1.381389e-05,1.381110e-05,1.378620e-05,1.378088e-05,1.375854e-05,1.374315e-05,1.372836e-05,1.370121e-05,1.369587e-05,1.366129e-05,1.365557e-05,1.362480e-05,1.360666e-05,1.358657e-05,1.355486e-05,1.354678e-05,1.350556e-05,1.350053e-05,1.346306e-05,1.344398e-05,1.341940e-05,1.338551e-05,1.337469e-05,1.332905e-05,1.332537e-05,1.328258e-05,1.326378e-05,1.323537e-05,1.320096e-05,1.318750e-05,1.313905e-05,1.313710e-05,1.309010e-05,1.307237e-05,1.304071e-05,1.300691e-05,1.299095e-05,1.294087e-05,1.287437e-05,1.280753e-05,1.274044e-05,1.267321e-05,1.260591e-05,1.253862e-05,1.247142e-05,1.240436e-05,1.233750e-05,1.227091e-05,1.220461e-05,1.213866e-05,1.207310e-05,1.200796e-05,1.194327e-05,1.187906e-05,1.181536e-05,1.175219e-05,1.168958e-05,1.162754e-05,1.156608e-05,1.150524e-05,1.144501e-05,1.138541e-05
0.000000e+00,8.060211e-09,1.847202e-08,6.372941e-08,1.461422e-07,2.147627e-07,5.023494e-07,5.183100e-07,1.051524e-06,1.254692e-06,1.905293e-06,2.594340e-06,3.124064e-06,4.523955e-06,4.656037e-06,6.422385e-06,6.874866e-06,8.371360e-06,9.530757e-06,1.047249e-05,1.242962e-05,1.270352e-05,1.504396e-05,1.552333e-05,1.747259e-05,1.876297e-05,1.996714e-05,2.209669e-05,2.250463e-05,2.506219e-05,2.547177e-05,2.761785e-05,2.883782e-05,3.015120e-05,3.214942e-05,3.264391e-05,3.508003e-05,3.536790e-05,3.744611e-05,3.846210e-05,3.973124e-05,4.140847e-05,4.192689e-05,4.402677e-05,4.419048e-05,4.602654e-05,4.679779e-05,4.792363e-05,4.922527e-05,4.971691e-05,5.140650e-05,5.147194e-05,5.299350e-05,5.354005e-05,5.447983e-05,5.543430e-05,5.586801e-05,5.716105e-05,5.836229e-05,5.872787e-05,5.947528e-05,6.014299e-05,6.050374e-05,6.141506e-05,6.145147e-05,6.232227e-05,6.255282e-05,6.311992e-05,6.356495e-05,6.384814e-05,6.445993e-05,6.451059e-05,6.511079e-05,6.524596e-05,6.565216e-05,6.593087e-05,6.613800e-05,6.652211e-05,6.657146e-05,6.695559e-05,6.702675e-05,6.729326e-05,6.745142e-05,6.758725e-05,6.780238e-05,6.784020e-05,6.805460e-05,6.808548e-05,6.823283e-05,6.830620e-05,6.837715e-05,6.846963e-05,6.848970e-05,6.857251e-05,6.858054e-05,6.862749e-05,6.864334e-05,6.865647e-05,6.866215e-05,6.866115e-05,6.864317e-05,6.864080e-05,6.860406e-05,6.858283e-05,6.854527e-05,6.849151e-05,6.846815e-05,6.837401e-05,6.836991e-05,6.826406e-05,6.822083e-05,6.813945e-05,6.804689e-05,6.800126e-05,6.785050e-05,6.768815e-05,6.763390e-05,6.751510e-05,6.739912e-05,6.733220e-05,6.714809e-05,6.714025e-05,6.694001e-05,6.688255e-05,6.673218e-05,6.660412e-05,6.651743e-05,6.631429e-05,6.629639e-05,6.606965e-05,6.601444e-05,6.583775e-05,6.570584e-05,6.560123e-05,6.538966e-05,6.536057e-05,6.511623e-05,6.506696e-05,6.486865e-05,6.473875e-05,6.461821e-05,6.440593e-05,6.436532e-05,6.411031e-05,6.406934e-05,6.385353e-05,6.372974e-05,6.359529e-05,6.338784e-05,6.333588e-05,6.307558e-05,6.304429e-05,6.281464e-05,6.269968e-05,6.255330e-05,6.235455e-05,6.229178e-05,6.203031e-05,6.200940e-05,6.176906e-05,6.166467e-05,6.150823e-05,6.132078e-05,6.124798e-05,6.098847e-05,6.097811e-05,6.072985e-05,6.063699e-05,6.047226e-05,6.029775e-05,6.021582e-05,5.996065e-05,5.962595e-05,5.929388e-05,5.896465e-05,5.863845e-05,5.831543e-05,5.799575e-05,5.767953e-05,5.736690e-05,5.705794e-05,5.675275e-05,5.645139e-05,5.615395e-05,5.586046e-05,5.557097e-05,5.528551e-05,5.500412e-05,5.472681e-05,5.445359e-05,5.418448e-05,5.391946e-05,5.365854e-05,5.340170e-05,5.314894e-05,5.290023e-05
0.000000e+00,1.432954e-11,8.729454e-11,1.065711e-09,4.853401e-09,9.329166e-09,3.505784e-08,3.669248e-08,9.710650e-08,1.218826e-07,2.048445e-07,2.982964e-07,3.746431e-07,5.991412e-07,6.221918e-07,9.637849e-07,1.061459e-06,1.413734e-06,1.716128e-06,1.979111e-06,2.568883e-06,2.655501e-06,3.428678e-06,3.593346e-06,4.280649e-06,4.749075e-06,5.194440e-06,5.999219e-06,6.155688e-06,7.152303e-06,7.314321e-06,8.173696e-06,8.669913e-06,9.210250e-06,1.004441e-05,1.025307e-05,1.129391e-05,1.141831e-05,1.232523e-05,1.277423e-05,1.334027e-05,1.409710e-05,1.433306e-05,1.529852e-05,1.537444e-05,1.623243e-05,1.659638e-05,1.713142e-05,1.775557e-05,1.799288e-05,1.881495e-05,1.884700e-05,1.959640e-05,1.986764e-05,2.033657e-05,2.081621e-05,2.103531e-05,2.169282e-05,2.230968e-05,2.249861e-05,2.288671e-05,2.323559e-05,2.342498e-05,2.390635e-05,2.392567e-05,2.439013e-05,2.451388e-05,2.481977e-05,2.506146e-05,2.521606e-05,2.555248e-05,2.558050e-05,2.591461e-05,2.599045e-05,2.621988e-05,2.637878e-05,2.649777e-05,2.672082e-05,2.674973e-05,2.697717e-05,2.701984e-05,2.718145e-05,2.727896e-05,2.736389e-05,2.750117e-05,2.752573e-05,2.766819e-05,2.768927e-05,2.779244e-05,2.784593e-05,2.789956e-05,2.797365e-05,2.799062e-05,2.806662e-05,2.807477e-05,2.812849e-05,2.815148e-05,2.817716e-05,2.820583e-05,2.821346e-05,2.823822e-05,2.823973e-05,2.825220e-05,2.825494e-05,2.825613e-05,2.825311e-05,2.825068e-05,2.823652e-05,2.823578e-05,2.821425e-05,2.820436e-05,2.818446e-05,2.816017e-05,2.814767e-05,2.810442e-05,2.805518e-05,2.803824e-05,2.800042e-05,2.796267e-05,2.794055e-05,2.787866e-05,2.787600e-05,2.780713e-05,2.778712e-05,2.773430e-05,2.768885e-05,2.765787e-05,2.758462e-05,2.757813e-05,2.749539e-05,2.747512e-05,2.740993e-05,2.736098e-05,2.732202e-05,2.724281e-05,2.723189e-05,2.713978e-05,2.712114e-05,2.704592e-05,2.699648e-05,2.695050e-05,2.686928e-05,2.685371e-05,2.675573e-05,2.673996e-05,2.665674e-05,2.660891e-05,2.655689e-05,2.647648e-05,2.645632e-05,2.635517e-05,2.634300e-05,2.625358e-05,2.620877e-05,2.615166e-05,2.607405e-05,2.604952e-05,2.594727e-05,2.593908e-05,2.584500e-05,2.580411e-05,2.574281e-05,2.566933e-05,2.564078e-05,2.553898e-05,2.553492e-05,2.543750e-05,2.540105e-05,2.533639e-05,2.526789e-05,2.523573e-05,2.513556e-05,2.500419e-05,2.487390e-05,2.474478e-05,2.461692e-05,2.449040e-05,2.436529e-05,2.424166e-05,2.411956e-05,2.399904e-05,2.388013e-05,2.376287e-05,2.364730e-05,2.353343e-05,2.342129e-05,2.331089e-05,2.320224e-05,2.309535e-05,2.299022e-05,2.288686e-05,2.278526e-05,2.268543e-05,2.258735e-05,2.249101e-05,2.239641e-05
0.000000e+00,4.629135e-14,3.640796e-13,7.263707e-12,4.941893e-11,1.162275e-10,6.935531e-10,7.384006e-10,2.851753e-09,3.918286e-09,8.093412e-09,1.364066e-08,1.867321e-08,3.535434e-08,3.719367e-08,6.646666e-08,7.541217e-08,1.093722e-07,1.404197e-07,1.687593e-07,2.368242e-07,2.473552e-07,3.476377e-07,3.704854e-07,4.716250e-07,5.459237e-07,6.205738e-07,7.651335e-07,7.946395e-07,9.926180e-07,1.026358e-06,1.211895e-06,1.323628e-06,1.448653e-06,1.647564e-06,1.698285e-06,1.955886e-06,1.987105e-06,2.216706e-06,2.331361e-06,2.476465e-06,2.670921e-06,2.731546e-06,2.979049e-06,2.998451e-06,3.216766e-06,3.308738e-06,3.443109e-06,3.598418e-06,3.657014e-06,3.857848e-06,3.865605e-06,4.045321e-06,4.109529e-06,4.219411e-06,4.330240e-06,4.380311e-06,4.528370e-06,4.664057e-06,4.704953e-06,4.787926e-06,4.861282e-06,4.900591e-06,4.998810e-06,5.002700e-06,5.094918e-06,5.119058e-06,5.177915e-06,5.223562e-06,5.252350e-06,5.313822e-06,5.318866e-06,5.378079e-06,5.391270e-06,5.430577e-06,5.457251e-06,5.476915e-06,5.513011e-06,5.517613e-06,5.553155e-06,5.559685e-06,5.583989e-06,5.598302e-06,5.610531e-06,5.629788e-06,5.633160e-06,5.652227e-06,5.654969e-06,5.668051e-06,5.674580e-06,5.680922e-06,5.689272e-06,5.691105e-06,5.698842e-06,5.699617e-06,5.704351e-06,5.706122e-06,5.707832e-06,5.709232e-06,5.709464e-06,5.709412e-06,5.709340e-06,5.707824e-06,5.706790e-06,5.704835e-06,5.701886e-06,5.700569e-06,5.695136e-06,5.694896e-06,5.688639e-06,5.686058e-06,5.681170e-06,5.675579e-06,5.672813e-06,5.663646e-06,5.653739e-06,5.650423e-06,5.643156e-06,5.636057e-06,5.631958e-06,5.620679e-06,5.620199e-06,5.607928e-06,5.604407e-06,5.595192e-06,5.587345e-06,5.582033e-06,5.569587e-06,5.568491e-06,5.554601e-06,5.551220e-06,5.540398e-06,5.532319e-06,5.525912e-06,5.512953e-06,5.511172e-06,5.496205e-06,5.493187e-06,5.481037e-06,5.473077e-06,5.465689e-06,5.452675e-06,5.450185e-06,5.434543e-06,5.432029e-06,5.418782e-06,5.411181e-06,5.402922e-06,5.390171e-06,5.386976e-06,5.370962e-06,5.369036e-06,5.354892e-06,5.347808e-06,5.338782e-06,5.326518e-06,5.322643e-06,5.306487e-06,5.305194e-06,5.290325e-06,5.283861e-06,5.274167e-06,5.262542e-06,5.258024e-06,5.241903e-06,5.241259e-06,5.225814e-06,5.220031e-06,5.209764e-06,5.198877e-06,5.193761e-06,5.177812e-06,5.156852e-06,5.136011e-06,5.115301e-06,5.094733e-06,5.074319e-06,5.054067e-06,5.033987e-06,5.014086e-06,4.994371e-06,4.974849e-06,4.955526e-06,4.936406e-06,4.917495e-06,4.898796e-06,4.880313e-06,4.862048e-06,4.844005e-06,4.826186e-06,4.808592e-06,4.791226e-06,4.774088e-06,4.757180e-06,4.740501e-06,4.724053e-06
0.000000e+00,3.797063e-09,8.837631e-09,3.082968e-08,7.040364e-08,1.027375e-07,2.324194e-07,2.393668e-07,4.597640e-07,5.390854e-07,7.831232e-07,1.034775e-06,1.229206e-06,1.764448e-06,1.817078e-06,2.560363e-06,2.762321e-06,3.459992e-06,4.027299e-06,4.501934e-06,5.518842e-06,5.663824e-06,6.922776e-06,7.184380e-06,8.258512e-06,8.977480e-06,9.653318e-06,1.085890e-05,1.109125e-05,1.255753e-05,1.279383e-05,1.403836e-05,1.475050e-05,1.552084e-05,1.670001e-05,1.699312e-05,1.844449e-05,1.861679e-05,1.986553e-05,2.047904e-05,2.124813e-05,2.226902e-05,2.258557e-05,2.387243e-05,2.397306e-05,2.510454e-05,2.558135e-05,2.627891e-05,2.708755e-05,2.739356e-05,2.844744e-05,2.848832e-05,2.944027e-05,2.978280e-05,3.037245e-05,3.097213e-05,3.124489e-05,3.205895e-05,3.281634e-05,3.304705e-05,3.351901e-05,3.394098e-05,3.416908e-05,3.474578e-05,3.476883e-05,3.532059e-05,3.546680e-05,3.582671e-05,3.610947e-05,3.628958e-05,3.667921e-05,3.671151e-05,3.709481e-05,3.718130e-05,3.744170e-05,3.762086e-05,3.775433e-05,3.800275e-05,3.803478e-05,3.828502e-05,3.833162e-05,3.850697e-05,3.861180e-05,3.870243e-05,3.884739e-05,3.887310e-05,3.902061e-05,3.904217e-05,3.914651e-05,3.919969e-05,3.925224e-05,3.932323e-05,3.933917e-05,3.940860e-05,3.941582e-05,3.946175e-05,3.948027e-05,3.949975e-05,3.951917e-05,3.952369e-05,3.953457e-05,3.953491e-05,3.953334e-05,3.952965e-05,3.952087e-05,3.950542e-05,3.949801e-05,3.946554e-05,3.946405e-05,3.942419e-05,3.940726e-05,3.937464e-05,3.933660e-05,3.931754e-05,3.925349e-05,3.918306e-05,3.915926e-05,3.910677e-05,3.905509e-05,3.902511e-05,3.894210e-05,3.893855e-05,3.884752e-05,3.882129e-05,3.875243e-05,3.869358e-05,3.865365e-05,3.855983e-05,3.855155e-05,3.844644e-05,3.842080e-05,3.833864e-05,3.827720e-05,3.822843e-05,3.812968e-05,3.811610e-05,3.800189e-05,3.797884e-05,3.788603e-05,3.782521e-05,3.776875e-05,3.766929e-05,3.765025e-05,3.753073e-05,3.751152e-05,3.741036e-05,3.735233e-05,3.728931e-05,3.719208e-05,3.716773e-05,3.704577e-05,3.703112e-05,3.692357e-05,3.686975e-05,3.680124e-05,3.670827e-05,3.667891e-05,3.655668e-05,3.654691e-05,3.643466e-05,3.638593e-05,3.631293e-05,3.622552e-05,3.619158e-05,3.607070e-05,3.606588e-05,3.595035e-05,3.590717e-05,3.583061e-05,3.574957e-05,3.571154e-05,3.559319e-05,3.543817e-05,3.528463e-05,3.513265e-05,3.498232e-05,3.483373e-05,3.468695e-05,3.454202e-05,3.439901e-05,3.425796e-05,3.411890e-05,3.398187e-05,3.384690e-05,3.371400e-05,3.358318e-05,3.345447e-05,3.332787e-05,3.320338e-05,3.308101e-05,3.296074e-05,3.284259e-05,3.272653e-05,3.261255e-05,3.250066e-05,3.239082e-05
0.000000e+00,3.785853e-09,8.893797e-09,3.146619e-08,7.277338e-08,1.070444e-07,2.485493e-07,2.563001e-07,5.099994e-07,6.044827e-07,9.019932e-07,1.213205e-06,1.452511e-06,2.093220e-06,2.154508e-06,2.989209e-06,3.207423e-06,3.940725e-06,4.519926e-06,4.996693e-06,6.003334e-06,6.145752e-06,7.376043e-06,7.630738e-06,8.674753e-06,9.372634e-06,1.002830e-05,1.119747e-05,1.142275e-05,1.284432e-05,1.307340e-05,1.427985e-05,1.497025e-05,1.571719e-05,1.686097e-05,1.714541e-05,1.855498e-05,1.872247e-05,1.993778e-05,2.053596e-05,2.128713e-05,2.228697e-05,2.259775e-05,2.386551e-05,2.396498e-05,2.508739e-05,2.556280e-05,2.626130e-05,2.707605e-05,2.738593e-05,2.846062e-05,2.850257e-05,2.948527e-05,2.984195e-05,3.046020e-05,3.109508e-05,3.138608e-05,3.226383e-05,3.309460e-05,3.335073e-05,3.387967e-05,3.435878e-05,3.462044e-05,3.529127e-05,3.531839e-05,3.597502e-05,3.615168e-05,3.659187e-05,3.694353e-05,3.717049e-05,3.767039e-05,3.771243e-05,3.821919e-05,3.833575e-05,3.869228e-05,3.894305e-05,3.913316e-05,3.949562e-05,3.954325e-05,3.992395e-05,3.999668e-05,4.027659e-05,4.044930e-05,4.060247e-05,4.085646e-05,4.090285e-05,4.117895e-05,4.122095e-05,4.143193e-05,4.154547e-05,4.166290e-05,4.183257e-05,4.187296e-05,4.206314e-05,4.208467e-05,4.223442e-05,4.230405e-05,4.238776e-05,4.249287e-05,4.252408e-05,4.264425e-05,4.265319e-05,4.274910e-05,4.278693e-05,4.283943e-05,4.289592e-05,4.291602e-05,4.297958e-05,4.298186e-05,4.303082e-05,4.304638e-05,4.307040e-05,4.309099e-05,4.309897e-05,4.311713e-05,4.312545e-05,4.312613e-05,4.312450e-05,4.311927e-05,4.311480e-05,4.309772e-05,4.309685e-05,4.307113e-05,4.306260e-05,4.303810e-05,4.301496e-05,4.299820e-05,4.295577e-05,4.295183e-05,4.289940e-05,4.288595e-05,4.284127e-05,4.280637e-05,4.277781e-05,4.271783e-05,4.270936e-05,4.263625e-05,4.262109e-05,4.255877e-05,4.251686e-05,4.247722e-05,4.240579e-05,4.239189e-05,4.230304e-05,4.228851e-05,4.221091e-05,4.216560e-05,4.211576e-05,4.203761e-05,4.201780e-05,4.191726e-05,4.190503e-05,4.181433e-05,4.176834e-05,4.170922e-05,4.162799e-05,4.160211e-05,4.149318e-05,4.148439e-05,4.138259e-05,4.133792e-05,4.127050e-05,4.118895e-05,4.115706e-05,4.104241e-05,4.103780e-05,4.092670e-05,4.088480e-05,4.081004e-05,4.073024e-05,4.069256e-05,4.057437e-05,4.041747e-05,4.025976e-05,4.010146e-05,3.994277e-05,3.978388e-05,3.962498e-05,3.946620e-05,3.930772e-05,3.914966e-05,3.899216e-05,3.883532e-05,3.867927e-05,3.852409e-05,3.836989e-05,3.821674e-05,3.806472e-05,3.791391e-05,3.776436e-05,3.761613e-05,3.746928e-05,3.732385e-05,3.717988e-05,3.703742e-05,3.689650e-05
0.000000e+00,5.474808e-15,4.699999e-14,1.123768e-12,9.009327e-12,2.317654e-11,1.740298e-10,1.870112e-10,9.041293e-10,1.319525e-09,3.166975e-09,6.016044e-09,8.895445e-09,1.994935e-08,2.128762e-08,4.513506e-08,5.325901e-08,8.707943e-08,1.216198e-07,1.557959e-07,2.469367e-07,2.620824e-07,4.188123e-07,4.574777e-07,6.406851e-07,7.870846e-07,9.437018e-07,1.273006e-06,1.344337e-06,1.858460e-06,1.952227e-06,2.500144e-06,2.856877e-06,3.280551e-06,4.009844e-06,4.207038e-06,5.282626e-06,5.421693e-06,6.505846e-06,7.089490e-06,7.870926e-06,8.997481e-06,9.368268e-06,1.098511e-05,1.111918e-05,1.270628e-05,1.342023e-05,1.451498e-05,1.586153e-05,1.639353e-05,1.832402e-05,1.840207e-05,2.028888e-05,2.100139e-05,2.227133e-05,2.362140e-05,2.425570e-05,2.622769e-05,2.817450e-05,2.879028e-05,3.008489e-05,3.128391e-05,3.194922e-05,3.368814e-05,3.375942e-05,3.550885e-05,3.598706e-05,3.719230e-05,3.816899e-05,3.880578e-05,4.022594e-05,4.034647e-05,4.181254e-05,4.215318e-05,4.320308e-05,4.394869e-05,4.451791e-05,4.561274e-05,4.575755e-05,4.692304e-05,4.714737e-05,4.801588e-05,4.855604e-05,4.903792e-05,4.984331e-05,4.999134e-05,5.087851e-05,5.101448e-05,5.170198e-05,5.207539e-05,5.246439e-05,5.303218e-05,5.316846e-05,5.381695e-05,5.389116e-05,5.441260e-05,5.465865e-05,5.495813e-05,5.534088e-05,5.545624e-05,5.590952e-05,5.594392e-05,5.632052e-05,5.647363e-05,5.669170e-05,5.693562e-05,5.702542e-05,5.732397e-05,5.733521e-05,5.758950e-05,5.767742e-05,5.782411e-05,5.796698e-05,5.802976e-05,5.820833e-05,5.836160e-05,5.840558e-05,5.849126e-05,5.856260e-05,5.859892e-05,5.868296e-05,5.868607e-05,5.875415e-05,5.876997e-05,5.880449e-05,5.882672e-05,5.883837e-05,5.885603e-05,5.885698e-05,5.886145e-05,5.886053e-05,5.885281e-05,5.884263e-05,5.883208e-05,5.880456e-05,5.880017e-05,5.875796e-05,5.874835e-05,5.870627e-05,5.867590e-05,5.864587e-05,5.858893e-05,5.857748e-05,5.850179e-05,5.848904e-05,5.841941e-05,5.837767e-05,5.833094e-05,5.825616e-05,5.823695e-05,5.813794e-05,5.812575e-05,5.803440e-05,5.798753e-05,5.792679e-05,5.784255e-05,5.781554e-05,5.770103e-05,5.769174e-05,5.758364e-05,5.753596e-05,5.746372e-05,5.737598e-05,5.734158e-05,5.721754e-05,5.721254e-05,5.709186e-05,5.704626e-05,5.696481e-05,5.687776e-05,5.683663e-05,5.670756e-05,5.653615e-05,5.636398e-05,5.619144e-05,5.601891e-05,5.584671e-05,5.567514e-05,5.550446e-05,5.533491e-05,5.516671e-05,5.500005e-05,5.483510e-05,5.467200e-05,5.451089e-05,5.435189e-05,5.419510e-05,5.404060e-05,5.388847e-05,5.373877e-05,5.359155e-05,5.344687e-05,5.330475e-05,5.316523e-05,5.302831e-05,5.289403e-05
0.000000e+00,2.456301e-10,8.344996e-10,4.318873e-09,1.176733e-08,1.829442e-08,4.600729e-08,4.752982e-08,9.667246e-08,1.145770e-07,1.699034e-07,2.270406e-07,2.711382e-07,3.922069e-07,4.040921e-07,5.719906e-07,6.177359e-07,7.766484e-07,9.071312e-07,1.017235e-06,1.255792e-06,1.290066e-06,1.589925e-06,1.652667e-06,1.911535e-06,2.085777e-06,2.250173e-06,2.544723e-06,2.601666e-06,2.962228e-06,3.020521e-06,3.328324e-06,3.505025e-06,3.696606e-06,3.990673e-06,4.063910e-06,4.427280e-06,4.470488e-06,4.784000e-06,4.938212e-06,5.131637e-06,5.388449e-06,5.468069e-06,5.791504e-06,5.816772e-06,6.100488e-06,6.219773e-06,6.393899e-06,6.595049e-06,6.670933e-06,6.931081e-06,6.941132e-06,7.174100e-06,7.257385e-06,7.399982e-06,7.543885e-06,7.608922e-06,7.801282e-06,7.977563e-06,8.030673e-06,8.138369e-06,8.233479e-06,8.284388e-06,8.411344e-06,8.416363e-06,8.535070e-06,8.566039e-06,8.641306e-06,8.699393e-06,8.735868e-06,8.813234e-06,8.819546e-06,8.893113e-06,8.909347e-06,8.957313e-06,8.989441e-06,9.012861e-06,9.055129e-06,9.060440e-06,9.100691e-06,9.107916e-06,9.134221e-06,9.149190e-06,9.161596e-06,9.180221e-06,9.183344e-06,9.199955e-06,9.202167e-06,9.211886e-06,9.216075e-06,9.219557e-06,9.222890e-06,9.223358e-06,9.223646e-06,9.223460e-06,9.220747e-06,9.218541e-06,9.214964e-06,9.208810e-06,9.206571e-06,9.195824e-06,9.194869e-06,9.182951e-06,9.177255e-06,9.168165e-06,9.156444e-06,9.151660e-06,9.133610e-06,9.132858e-06,9.114179e-06,9.106874e-06,9.093513e-06,9.078825e-06,9.071748e-06,9.049006e-06,9.025400e-06,9.017681e-06,9.001033e-06,8.985081e-06,8.975997e-06,8.951413e-06,8.950378e-06,8.924255e-06,8.916860e-06,8.897699e-06,8.881585e-06,8.870776e-06,8.845734e-06,8.843546e-06,8.816064e-06,8.809437e-06,8.788381e-06,8.772808e-06,8.760543e-06,8.735950e-06,8.732591e-06,8.704565e-06,8.698954e-06,8.676500e-06,8.661902e-06,8.648428e-06,8.624865e-06,8.620380e-06,8.592382e-06,8.587909e-06,8.564460e-06,8.551091e-06,8.536636e-06,8.514462e-06,8.508931e-06,8.481364e-06,8.478066e-06,8.453953e-06,8.441946e-06,8.426714e-06,8.406135e-06,8.399660e-06,8.372806e-06,8.370667e-06,8.346163e-06,8.335567e-06,8.319742e-06,8.300862e-06,8.293553e-06,8.267605e-06,8.266572e-06,8.241906e-06,8.232717e-06,8.216463e-06,8.199311e-06,8.191282e-06,8.166369e-06,8.133903e-06,8.101922e-06,8.070435e-06,8.039447e-06,8.008966e-06,7.978994e-06,7.949534e-06,7.920589e-06,7.892158e-06,7.864243e-06,7.836841e-06,7.809952e-06,7.783573e-06,7.757702e-06,7.732334e-06,7.707468e-06,7.683097e-06,7.659218e-06,7.635826e-06,7.612915e-06,7.590480e-06,7.568514e-06,7.547013e-06,7.525970e-06
0.000000e+00,3.775327e-14,3.134005e-13,6.991123e-12,5.260573e-11,1.306976e-10,8.970814e-10,9.604904e-10,4.250356e-09,6.056957e-09,1.369874e-08,2.481879e-08,3.559639e-08,7.467946e-08,7.924601e-08,1.571693e-07,1.826557e-07,2.851339e-07,3.855511e-07,4.819438e-07,7.288743e-07,7.687835e-07,1.167812e-06,1.262969e-06,1.699866e-06,2.034886e-06,2.381620e-06,3.077454e-06,3.222959e-06,4.225365e-06,4.400332e-06,5.381667e-06,5.987266e-06,6.677102e-06,7.799985e-06,8.091168e-06,9.599821e-06,9.786008e-06,1.117757e-05,1.188713e-05,1.279921e-05,1.404637e-05,1.444108e-05,1.608194e-05,1.621259e-05,1.770334e-05,1.834289e-05,1.928982e-05,2.040327e-05,2.082877e-05,2.231034e-05,2.236830e-05,2.372709e-05,2.422017e-05,2.507372e-05,2.594757e-05,2.634682e-05,2.754449e-05,2.866617e-05,2.900911e-05,2.971233e-05,3.034282e-05,3.068429e-05,3.154940e-05,3.158403e-05,3.241402e-05,3.263429e-05,3.317709e-05,3.360409e-05,3.387633e-05,3.446603e-05,3.451497e-05,3.509633e-05,3.522770e-05,3.562374e-05,3.589676e-05,3.610050e-05,3.648071e-05,3.652983e-05,3.691486e-05,3.698682e-05,3.725860e-05,3.742199e-05,3.756392e-05,3.779272e-05,3.783357e-05,3.807013e-05,3.810508e-05,3.827605e-05,3.836468e-05,3.845362e-05,3.857671e-05,3.860499e-05,3.873219e-05,3.874592e-05,3.883710e-05,3.887665e-05,3.892146e-05,3.897286e-05,3.898693e-05,3.903501e-05,3.903815e-05,3.906713e-05,3.907580e-05,3.908459e-05,3.908877e-05,3.908861e-05,3.908033e-05,3.907975e-05,3.906079e-05,3.905118e-05,3.903096e-05,3.900526e-05,3.899174e-05,3.894397e-05,3.888841e-05,3.886910e-05,3.882577e-05,3.878229e-05,3.875673e-05,3.868499e-05,3.868189e-05,3.860181e-05,3.857852e-05,3.851702e-05,3.846408e-05,3.842800e-05,3.834275e-05,3.833520e-05,3.823903e-05,3.821550e-05,3.813989e-05,3.808320e-05,3.803812e-05,3.794664e-05,3.793404e-05,3.782797e-05,3.780655e-05,3.772019e-05,3.766355e-05,3.761094e-05,3.751822e-05,3.750048e-05,3.738901e-05,3.737110e-05,3.727675e-05,3.722263e-05,3.716387e-05,3.707325e-05,3.705057e-05,3.693698e-05,3.692334e-05,3.682327e-05,3.677323e-05,3.670956e-05,3.662322e-05,3.659598e-05,3.648265e-05,3.647360e-05,3.636967e-05,3.632459e-05,3.625713e-05,3.617643e-05,3.614513e-05,3.603374e-05,3.602930e-05,3.592305e-05,3.588338e-05,3.581311e-05,3.573881e-05,3.570399e-05,3.559574e-05,3.545428e-05,3.531453e-05,3.517659e-05,3.504053e-05,3.490642e-05,3.477432e-05,3.464427e-05,3.451633e-05,3.439051e-05,3.426685e-05,3.414536e-05,3.402606e-05,3.390896e-05,3.379407e-05,3.368137e-05,3.357087e-05,3.346256e-05,3.335643e-05,3.325247e-05,3.315066e-05,3.305099e-05,3.295343e-05,3.285797e-05,3.276458e-05
0.000000e+00,6.643591e-09,1.567653e-08,5.612348e-08,1.318721e-07,1.961903e-07,4.738928e-07,4.896137e-07,1.028263e-06,1.238919e-06,1.927664e-06,2.675791e-06,3.262055e-06,4.851117e-06,5.003652e-06,7.078230e-06,7.618663e-06,9.427520e-06,1.084904e-05,1.201536e-05,1.447061e-05,1.481751e-05,1.781409e-05,1.843505e-05,2.098574e-05,2.269750e-05,2.431215e-05,2.721020e-05,2.777177e-05,3.134223e-05,3.192227e-05,3.500079e-05,3.678158e-05,3.872503e-05,4.173721e-05,4.249344e-05,4.628581e-05,4.674161e-05,5.008364e-05,5.175205e-05,5.387026e-05,5.673146e-05,5.763094e-05,6.135288e-05,6.164862e-05,6.502509e-05,6.647792e-05,6.863832e-05,7.119894e-05,7.218487e-05,7.565853e-05,7.579589e-05,7.905434e-05,8.025699e-05,8.236835e-05,8.457350e-05,8.559739e-05,8.873920e-05,9.179218e-05,9.275019e-05,9.475531e-05,9.660431e-05,9.762810e-05,1.003009e-04,1.004105e-04,1.031028e-04,1.038406e-04,1.057056e-04,1.072247e-04,1.082197e-04,1.104553e-04,1.106463e-04,1.129868e-04,1.135359e-04,1.152428e-04,1.164698e-04,1.174156e-04,1.192601e-04,1.195068e-04,1.215179e-04,1.219106e-04,1.234504e-04,1.244248e-04,1.253061e-04,1.268067e-04,1.270866e-04,1.287936e-04,1.290601e-04,1.304290e-04,1.311890e-04,1.319943e-04,1.331973e-04,1.334913e-04,1.349217e-04,1.350890e-04,1.362873e-04,1.368681e-04,1.375898e-04,1.385385e-04,1.388308e-04,1.400121e-04,1.401041e-04,1.411353e-04,1.415687e-04,1.422021e-04,1.429361e-04,1.432140e-04,1.441727e-04,1.442099e-04,1.450797e-04,1.453939e-04,1.459366e-04,1.464915e-04,1.467449e-04,1.475062e-04,1.482218e-04,1.484414e-04,1.488932e-04,1.493003e-04,1.495218e-04,1.500863e-04,1.501090e-04,1.506562e-04,1.508024e-04,1.511646e-04,1.514515e-04,1.516355e-04,1.520368e-04,1.520703e-04,1.524701e-04,1.525609e-04,1.528361e-04,1.530268e-04,1.531695e-04,1.534369e-04,1.534715e-04,1.537432e-04,1.537940e-04,1.539857e-04,1.541005e-04,1.541999e-04,1.543588e-04,1.543870e-04,1.545479e-04,1.545713e-04,1.546837e-04,1.547402e-04,1.547953e-04,1.548677e-04,1.548835e-04,1.549494e-04,1.549558e-04,1.549937e-04,1.550066e-04,1.550174e-04,1.550221e-04,1.550212e-04,1.550060e-04,1.550040e-04,1.549725e-04,1.549542e-04,1.549215e-04,1.548744e-04,1.548537e-04,1.547699e-04,1.547662e-04,1.546707e-04,1.546314e-04,1.545568e-04,1.544713e-04,1.544289e-04,1.542875e-04,1.540814e-04,1.538543e-04,1.536075e-04,1.533423e-04,1.530599e-04,1.527613e-04,1.524478e-04,1.521203e-04,1.517799e-04,1.514274e-04,1.510639e-04,1.506901e-04,1.503070e-04,1.499152e-04,1.495156e-04,1.491090e-04,1.486959e-04,1.482770e-04,1.478530e-04,1.474244e-04,1.469919e-04,1.465559e-04,1.461169e-04,1.456755e-04
0.000000e+00,1.858807e-11,1.029928e-10,1.064577e-09,4.304303e-09,7.840980e-09,2.646590e-08,2.760202e-08,6.809392e-08,8.424514e-08,1.375390e-07,1.968738e-07,2.450708e-07,3.855218e-07,3.998080e-07,6.072863e-07,6.649367e-07,8.663750e-07,1.031872e-06,1.171157e-06,1.471775e-06,1.514876e-06,1.891779e-06,1.970707e-06,2.297049e-06,2.517535e-06,2.726291e-06,3.102219e-06,3.175182e-06,3.639326e-06,3.714707e-06,4.114272e-06,4.344780e-06,4.595597e-06,4.982364e-06,5.079018e-06,5.560507e-06,5.617977e-06,6.036380e-06,6.243126e-06,6.503369e-06,6.850593e-06,6.958664e-06,7.399928e-06,7.434563e-06,7.825288e-06,7.990644e-06,8.233314e-06,8.515773e-06,8.622987e-06,8.993649e-06,9.008074e-06,9.344961e-06,9.466676e-06,9.676855e-06,9.891520e-06,9.989481e-06,1.028317e-05,1.055840e-05,1.064266e-05,1.081575e-05,1.097137e-05,1.105588e-05,1.127088e-05,1.127952e-05,1.148740e-05,1.154289e-05,1.168031e-05,1.178918e-05,1.185900e-05,1.201149e-05,1.202424e-05,1.217677e-05,1.221157e-05,1.231733e-05,1.239108e-05,1.244661e-05,1.255159e-05,1.256529e-05,1.267400e-05,1.269461e-05,1.277336e-05,1.282152e-05,1.286394e-05,1.293363e-05,1.294628e-05,1.302090e-05,1.303215e-05,1.308828e-05,1.311819e-05,1.314888e-05,1.319277e-05,1.320313e-05,1.325142e-05,1.325683e-05,1.329413e-05,1.331125e-05,1.333162e-05,1.335682e-05,1.336422e-05,1.339223e-05,1.339428e-05,1.341594e-05,1.342428e-05,1.343563e-05,1.344745e-05,1.345154e-05,1.346393e-05,1.346435e-05,1.347300e-05,1.347550e-05,1.347898e-05,1.348137e-05,1.348204e-05,1.348239e-05,1.348019e-05,1.347897e-05,1.347559e-05,1.347147e-05,1.346877e-05,1.346024e-05,1.345984e-05,1.344896e-05,1.344557e-05,1.343624e-05,1.342777e-05,1.342180e-05,1.340709e-05,1.340575e-05,1.338820e-05,1.338378e-05,1.336925e-05,1.335806e-05,1.334898e-05,1.333013e-05,1.332749e-05,1.330486e-05,1.330020e-05,1.328116e-05,1.326844e-05,1.325647e-05,1.323501e-05,1.323085e-05,1.320437e-05,1.320006e-05,1.317709e-05,1.316373e-05,1.314908e-05,1.312617e-05,1.312037e-05,1.309103e-05,1.308747e-05,1.306111e-05,1.304777e-05,1.303064e-05,1.300716e-05,1.299968e-05,1.296827e-05,1.296574e-05,1.293644e-05,1.292360e-05,1.290423e-05,1.288082e-05,1.287167e-05,1.283880e-05,1.283748e-05,1.280566e-05,1.279366e-05,1.277226e-05,1.274943e-05,1.273865e-05,1.270484e-05,1.265995e-05,1.261482e-05,1.256950e-05,1.252403e-05,1.247847e-05,1.243285e-05,1.238721e-05,1.234158e-05,1.229601e-05,1.225051e-05,1.220513e-05,1.215988e-05,1.211479e-05,1.206988e-05,1.202518e-05,1.198070e-05,1.193647e-05,1.189249e-05,1.184879e-05,1.180539e-05,1.176228e-05,1.171950e-05,1.167703e-05,1.163491e-05
0.000000e+00,4.881864e-16,4.302629e-15,1.087101e-13,9.170260e-13,2.426442e-12,1.960755e-11,2.113351e-11,1.099710e-10,1.637474e-10,4.133346e-10,8.178144e-10,1.241675e-09,2.953161e-09,3.166959e-09,7.130713e-09,8.531757e-09,1.455568e-08,2.094782e-08,2.745180e-08,4.544343e-08,4.850737e-08,8.115587e-08,8.943361e-08,1.296091e-07,1.626748e-07,1.988476e-07,2.772160e-07,2.945628e-07,4.230499e-07,4.470950e-07,5.910546e-07,6.877871e-07,8.055861e-07,1.015459e-06,1.073705e-06,1.402302e-06,1.446111e-06,1.797876e-06,1.994694e-06,2.266332e-06,2.674288e-06,2.812794e-06,3.441455e-06,3.495400e-06,4.155450e-06,4.465430e-06,4.956784e-06,5.588332e-06,5.846277e-06,6.823558e-06,6.864457e-06,7.887084e-06,8.290588e-06,9.034197e-06,9.860131e-06,1.026120e-05,1.156344e-05,1.293546e-05,1.338825e-05,1.437108e-05,1.532015e-05,1.586354e-05,1.734313e-05,1.740567e-05,1.898996e-05,1.944008e-05,2.060874e-05,2.159334e-05,2.225426e-05,2.378514e-05,2.391882e-05,2.559488e-05,2.599803e-05,2.727511e-05,2.821524e-05,2.895251e-05,3.042099e-05,3.062043e-05,3.227265e-05,3.260069e-05,3.390338e-05,3.474110e-05,3.550735e-05,3.683046e-05,3.707974e-05,3.861629e-05,3.885854e-05,4.011318e-05,4.081662e-05,4.156714e-05,4.269749e-05,4.297535e-05,4.433545e-05,4.449534e-05,4.564555e-05,4.620576e-05,4.690415e-05,4.782554e-05,4.811014e-05,4.926276e-05,4.935265e-05,5.036162e-05,5.078606e-05,5.140657e-05,5.212564e-05,5.239778e-05,5.333565e-05,5.337206e-05,5.422076e-05,5.452664e-05,5.505394e-05,5.559130e-05,5.583612e-05,5.656841e-05,5.725202e-05,5.746070e-05,5.788826e-05,5.827125e-05,5.847854e-05,5.900330e-05,5.902430e-05,5.952704e-05,5.966031e-05,5.998831e-05,6.024581e-05,6.040966e-05,6.076339e-05,6.079265e-05,6.113887e-05,6.121666e-05,6.144987e-05,6.160922e-05,6.172720e-05,6.194461e-05,6.197239e-05,6.218695e-05,6.222632e-05,6.237234e-05,6.245771e-05,6.253003e-05,6.264208e-05,6.266139e-05,6.276778e-05,6.278258e-05,6.285056e-05,6.288226e-05,6.291096e-05,6.294402e-05,6.295024e-05,6.296960e-05,6.297064e-05,6.297017e-05,6.296477e-05,6.295308e-05,6.292893e-05,6.291938e-05,6.287009e-05,6.286550e-05,6.280619e-05,6.277675e-05,6.272861e-05,6.266480e-05,6.263826e-05,6.253598e-05,6.253165e-05,6.242259e-05,6.237920e-05,6.229886e-05,6.220920e-05,6.216554e-05,6.202333e-05,6.182314e-05,6.161007e-05,6.138551e-05,6.115070e-05,6.090684e-05,6.065503e-05,6.039629e-05,6.013158e-05,5.986177e-05,5.958769e-05,5.931010e-05,5.902969e-05,5.874711e-05,5.846296e-05,5.817780e-05,5.789212e-05,5.760640e-05,5.732105e-05,5.703648e-05,5.675302e-05,5.647102e-05,5.619076e-05,5.591252e-05,5.563653e-05
0.000000e+00,6.184982e-09,1.439367e-08,5.042687e-08,1.158913e-07,1.698143e-07,3.889400e-07,4.007875e-07,7.812308e-07,9.200702e-07,1.352570e-06,1.805888e-06,2.160457e-06,3.151997e-06,3.250498e-06,4.655104e-06,5.040174e-06,6.378861e-06,7.476267e-06,8.400600e-06,1.040160e-05,1.068933e-05,1.321538e-05,1.374673e-05,1.595274e-05,1.745181e-05,1.887787e-05,2.146356e-05,2.196818e-05,2.520128e-05,2.573032e-05,2.855458e-05,3.020022e-05,3.200549e-05,3.482146e-05,3.553166e-05,3.911136e-05,3.954353e-05,4.272385e-05,4.431867e-05,4.634968e-05,4.910317e-05,4.997096e-05,5.357149e-05,5.385819e-05,5.713678e-05,5.855014e-05,6.065419e-05,6.315090e-05,6.411282e-05,6.750336e-05,6.763745e-05,7.081803e-05,7.199148e-05,7.405052e-05,7.619906e-05,7.719579e-05,8.024991e-05,8.320998e-05,8.413699e-05,8.607400e-05,8.785594e-05,8.884069e-05,9.140459e-05,9.150945e-05,9.408025e-05,9.478257e-05,9.655351e-05,9.799097e-05,9.893005e-05,1.010320e-04,1.012110e-04,1.033979e-04,1.039089e-04,1.054922e-04,1.066254e-04,1.074960e-04,1.091858e-04,1.094110e-04,1.112394e-04,1.115949e-04,1.129833e-04,1.138575e-04,1.146449e-04,1.159788e-04,1.162265e-04,1.177304e-04,1.179639e-04,1.191587e-04,1.198182e-04,1.205139e-04,1.215469e-04,1.217982e-04,1.230137e-04,1.231551e-04,1.241629e-04,1.246480e-04,1.252478e-04,1.260307e-04,1.262707e-04,1.272336e-04,1.273081e-04,1.281387e-04,1.284851e-04,1.289881e-04,1.295663e-04,1.297837e-04,1.305276e-04,1.305563e-04,1.312215e-04,1.314595e-04,1.318675e-04,1.322803e-04,1.324673e-04,1.330228e-04,1.335356e-04,1.336909e-04,1.340074e-04,1.342886e-04,1.344399e-04,1.348196e-04,1.348347e-04,1.351933e-04,1.352874e-04,1.355172e-04,1.356955e-04,1.358079e-04,1.360472e-04,1.360668e-04,1.362952e-04,1.363457e-04,1.364946e-04,1.365939e-04,1.366660e-04,1.367949e-04,1.368109e-04,1.369304e-04,1.369513e-04,1.370256e-04,1.370659e-04,1.370977e-04,1.371412e-04,1.371478e-04,1.371769e-04,1.371797e-04,1.371860e-04,1.371836e-04,1.371761e-04,1.371552e-04,1.371482e-04,1.371031e-04,1.370966e-04,1.370417e-04,1.370098e-04,1.369649e-04,1.368967e-04,1.368735e-04,1.367683e-04,1.367593e-04,1.366500e-04,1.365991e-04,1.365193e-04,1.364180e-04,1.363770e-04,1.362237e-04,1.362174e-04,1.360601e-04,1.359988e-04,1.358868e-04,1.357637e-04,1.357043e-04,1.355133e-04,1.352491e-04,1.349722e-04,1.346837e-04,1.343847e-04,1.340763e-04,1.337595e-04,1.334350e-04,1.331039e-04,1.327669e-04,1.324248e-04,1.320783e-04,1.317281e-04,1.313748e-04,1.310191e-04,1.306615e-04,1.303025e-04,1.299427e-04,1.295824e-04,1.292222e-04,1.288625e-04,1.285036e-04,1.281458e-04,1.277895e-04,1.274351e-04
0.000000e+00,1.209742e-12,8.944311e-12,1.577505e-10,9.652276e-10,2.147479e-09,1.120735e-08,1.187073e-08,4.073215e-08,5.433177e-08,1.046695e-07,1.675704e-07,2.223557e-07,3.952539e-07,4.137595e-07,6.993406e-07,7.841757e-07,1.099579e-06,1.381239e-06,1.634273e-06,2.230134e-06,2.321076e-06,3.173366e-06,3.364442e-06,4.198426e-06,4.800213e-06,5.396969e-06,6.534388e-06,6.764143e-06,8.291205e-06,8.549655e-06,9.967079e-06,1.082076e-05,1.177941e-05,1.331876e-05,1.371514e-05,1.576073e-05,1.601293e-05,1.790233e-05,1.887144e-05,2.012589e-05,2.186193e-05,2.241730e-05,2.476257e-05,2.495211e-05,2.714803e-05,2.811050e-05,2.956052e-05,3.130720e-05,3.198753e-05,3.441741e-05,3.451451e-05,3.683939e-05,3.770746e-05,3.924371e-05,4.086407e-05,4.162165e-05,4.396548e-05,4.626850e-05,4.699589e-05,4.852498e-05,4.994243e-05,5.073009e-05,5.279495e-05,5.287983e-05,5.497101e-05,5.554568e-05,5.700108e-05,5.818899e-05,5.896817e-05,6.072108e-05,6.087091e-05,6.270846e-05,6.313971e-05,6.448036e-05,6.544390e-05,6.618653e-05,6.763378e-05,6.782722e-05,6.940292e-05,6.971032e-05,7.091434e-05,7.167516e-05,7.236238e-05,7.353053e-05,7.374810e-05,7.507268e-05,7.527903e-05,7.633740e-05,7.692360e-05,7.754362e-05,7.846742e-05,7.869275e-05,7.978626e-05,7.991381e-05,8.082564e-05,8.126621e-05,8.181241e-05,8.252811e-05,8.274809e-05,8.363423e-05,8.370303e-05,8.447234e-05,8.479448e-05,8.526395e-05,8.580595e-05,8.601055e-05,8.671364e-05,8.674088e-05,8.737468e-05,8.760264e-05,8.799511e-05,8.839453e-05,8.857635e-05,8.911978e-05,8.962677e-05,8.978152e-05,9.009864e-05,9.038281e-05,9.053669e-05,9.092658e-05,9.094219e-05,9.131637e-05,9.141569e-05,9.166043e-05,9.185290e-05,9.197555e-05,9.224088e-05,9.226287e-05,9.252348e-05,9.258218e-05,9.275847e-05,9.287927e-05,9.296888e-05,9.313452e-05,9.315572e-05,9.331998e-05,9.335021e-05,9.346260e-05,9.352852e-05,9.358451e-05,9.367157e-05,9.368661e-05,9.376975e-05,9.378135e-05,9.383477e-05,9.385979e-05,9.388249e-05,9.390873e-05,9.391368e-05,9.392911e-05,9.392994e-05,9.392951e-05,9.392510e-05,9.391557e-05,9.389582e-05,9.388799e-05,9.384742e-05,9.384364e-05,9.379451e-05,9.377002e-05,9.372985e-05,9.367636e-05,9.365404e-05,9.356766e-05,9.356400e-05,9.347126e-05,9.343420e-05,9.336535e-05,9.328817e-05,9.325046e-05,9.312707e-05,9.295199e-05,9.276397e-05,9.256400e-05,9.235302e-05,9.213192e-05,9.190154e-05,9.166270e-05,9.141614e-05,9.116260e-05,9.090274e-05,9.063723e-05,9.036666e-05,9.009162e-05,8.981264e-05,8.953025e-05,8.924493e-05,8.895713e-05,8.866729e-05,8.837581e-05,8.808307e-05,8.778943e-05,8.749522e-05,8.720076e-05,8.690635e-05
0.000000e+00,4.467983e-10,2.025638e-09,1.526606e-08,5.073569e-08,8.529945e-08,2.492298e-07,2.587972e-07,5.895597e-07,7.191238e-07,1.145531e-06,1.623141e-06,2.014836e-06,3.175306e-06,3.294712e-06,5.046378e-06,5.536273e-06,7.246749e-06,8.642088e-06,9.805035e-06,1.227202e-05,1.262063e-05,1.561484e-05,1.622991e-05,1.873215e-05,2.038807e-05,2.193238e-05,2.466132e-05,2.518384e-05,2.845939e-05,2.898404e-05,3.173434e-05,3.329929e-05,3.498570e-05,3.755535e-05,3.819204e-05,4.133359e-05,4.170536e-05,4.439269e-05,4.570854e-05,4.735397e-05,4.953100e-05,5.020438e-05,5.293338e-05,5.314619e-05,5.553284e-05,5.653497e-05,5.799693e-05,5.968511e-05,6.032196e-05,6.250615e-05,6.259058e-05,6.454940e-05,6.525068e-05,6.645309e-05,6.766922e-05,6.821988e-05,6.985299e-05,7.135671e-05,7.181134e-05,7.273579e-05,7.355541e-05,7.399551e-05,7.509762e-05,7.514134e-05,7.617893e-05,7.645085e-05,7.711407e-05,7.762833e-05,7.795241e-05,7.864303e-05,7.869958e-05,7.936110e-05,7.950772e-05,7.994229e-05,8.023460e-05,8.044830e-05,8.083533e-05,8.088408e-05,8.125432e-05,8.132091e-05,8.156353e-05,8.170161e-05,8.181594e-05,8.198705e-05,8.201561e-05,8.216631e-05,8.218613e-05,8.227165e-05,8.230709e-05,8.233499e-05,8.235755e-05,8.235949e-05,8.234812e-05,8.234448e-05,8.230368e-05,8.227432e-05,8.222875e-05,8.215294e-05,8.212579e-05,8.199707e-05,8.198572e-05,8.184472e-05,8.177761e-05,8.167072e-05,8.153309e-05,8.147694e-05,8.126510e-05,8.125628e-05,8.103683e-05,8.095091e-05,8.079361e-05,8.062040e-05,8.053685e-05,8.026786e-05,7.998786e-05,7.989611e-05,7.969796e-05,7.950773e-05,7.939923e-05,7.910505e-05,7.909265e-05,7.877912e-05,7.869020e-05,7.845948e-05,7.826510e-05,7.813453e-05,7.783151e-05,7.780500e-05,7.747155e-05,7.739101e-05,7.713483e-05,7.694505e-05,7.679540e-05,7.649491e-05,7.645382e-05,7.611058e-05,7.604178e-05,7.576615e-05,7.558672e-05,7.542095e-05,7.513069e-05,7.507539e-05,7.472983e-05,7.467456e-05,7.438460e-05,7.421911e-05,7.404003e-05,7.376503e-05,7.369639e-05,7.335396e-05,7.331296e-05,7.301298e-05,7.286346e-05,7.267366e-05,7.241703e-05,7.233623e-05,7.200085e-05,7.197412e-05,7.166772e-05,7.153513e-05,7.133697e-05,7.110040e-05,7.100877e-05,7.068322e-05,7.067026e-05,7.036046e-05,7.024497e-05,7.004059e-05,6.982478e-05,6.972370e-05,6.940989e-05,6.900048e-05,6.859670e-05,6.819868e-05,6.780654e-05,6.742035e-05,6.704018e-05,6.666610e-05,6.629813e-05,6.593630e-05,6.558064e-05,6.523112e-05,6.488776e-05,6.455053e-05,6.421940e-05,6.389434e-05,6.357532e-05,6.326229e-05,6.295520e-05,6.265398e-05,6.235859e-05,6.206896e-05,6.178502e-05,6.150671e-05,6.123394e-05
0.000000e+00,2.575781e-09,6.052879e-09,2.126635e-08,4.861310e-08,7.091836e-08,1.601854e-07,1.649630e-07,3.165289e-07,3.711311e-07,5.394636e-07,7.137110e-07,8.488361e-07,1.223005e-06,1.259959e-06,1.784317e-06,1.927401e-06,2.422586e-06,2.825123e-06,3.160993e-06,3.875571e-06,3.976749e-06,4.846735e-06,5.025482e-06,5.751899e-06,6.231440e-06,6.677460e-06,7.462112e-06,7.611777e-06,8.545263e-06,8.693978e-06,9.469697e-06,9.908062e-06,1.037788e-05,1.108844e-05,1.126348e-05,1.212100e-05,1.222179e-05,1.294577e-05,1.329728e-05,1.373396e-05,1.430663e-05,1.448255e-05,1.518936e-05,1.524405e-05,1.585295e-05,1.610609e-05,1.647257e-05,1.689138e-05,1.704810e-05,1.757993e-05,1.760031e-05,1.806894e-05,1.823473e-05,1.851635e-05,1.879756e-05,1.892363e-05,1.929252e-05,1.962488e-05,1.972384e-05,1.992268e-05,2.009606e-05,2.018792e-05,2.041381e-05,2.042264e-05,2.062885e-05,2.068175e-05,2.080851e-05,2.090435e-05,2.096352e-05,2.108594e-05,2.109572e-05,2.120684e-05,2.123057e-05,2.129857e-05,2.134204e-05,2.137245e-05,2.142388e-05,2.142996e-05,2.147244e-05,2.147925e-05,2.150117e-05,2.151108e-05,2.151734e-05,2.152201e-05,2.152204e-05,2.151628e-05,2.151445e-05,2.150100e-05,2.149055e-05,2.147707e-05,2.145222e-05,2.144527e-05,2.140633e-05,2.140121e-05,2.136094e-05,2.133908e-05,2.130971e-05,2.126722e-05,2.125321e-05,2.119197e-05,2.118688e-05,2.112647e-05,2.109918e-05,2.105715e-05,2.100510e-05,2.098442e-05,2.090864e-05,2.090555e-05,2.083016e-05,2.080131e-05,2.074931e-05,2.069311e-05,2.066635e-05,2.058156e-05,2.049519e-05,2.046725e-05,2.040744e-05,2.035067e-05,2.031854e-05,2.023227e-05,2.022866e-05,2.013799e-05,2.011247e-05,2.004667e-05,1.999163e-05,1.995485e-05,1.987006e-05,1.986268e-05,1.977026e-05,1.974806e-05,1.967772e-05,1.962588e-05,1.958515e-05,1.950374e-05,1.949265e-05,1.940031e-05,1.938187e-05,1.930820e-05,1.926043e-05,1.921641e-05,1.913958e-05,1.912498e-05,1.903400e-05,1.901948e-05,1.894350e-05,1.890025e-05,1.885354e-05,1.878200e-05,1.876418e-05,1.867544e-05,1.866483e-05,1.858736e-05,1.854883e-05,1.849999e-05,1.843407e-05,1.841335e-05,1.832746e-05,1.832063e-05,1.824236e-05,1.820855e-05,1.815807e-05,1.809789e-05,1.807461e-05,1.799198e-05,1.798870e-05,1.791022e-05,1.788100e-05,1.782933e-05,1.777483e-05,1.774933e-05,1.767022e-05,1.756717e-05,1.746572e-05,1.736587e-05,1.726762e-05,1.717099e-05,1.707598e-05,1.698258e-05,1.689079e-05,1.680060e-05,1.671201e-05,1.662501e-05,1.653959e-05,1.645573e-05,1.637343e-05,1.629266e-05,1.621341e-05,1.613567e-05,1.605941e-05,1.598463e-05,1.591129e-05,1.583939e-05,1.576890e-05,1.569980e-05,1.563207e-05
0.000000e+00,1.721153e-09,3.943359e-09,1.353066e-08,3.065282e-08,4.458487e-08,1.001420e-07,1.031062e-07,1.965867e-07,2.299832e-07,3.319750e-07,4.360501e-07,5.157768e-07,7.327310e-07,7.539013e-07,1.050959e-06,1.131316e-06,1.408902e-06,1.635414e-06,1.825893e-06,2.237644e-06,2.296777e-06,2.814773e-06,2.923401e-06,3.372815e-06,3.676536e-06,3.964049e-06,4.481514e-06,4.581893e-06,5.219987e-06,5.323548e-06,5.872194e-06,6.188530e-06,6.532639e-06,7.063188e-06,7.195779e-06,7.856477e-06,7.935370e-06,8.510069e-06,8.794312e-06,9.152414e-06,9.630841e-06,9.779917e-06,1.038953e-05,1.043745e-05,1.097877e-05,1.120829e-05,1.154563e-05,1.193906e-05,1.208862e-05,1.260665e-05,1.262684e-05,1.309903e-05,1.326993e-05,1.356541e-05,1.386765e-05,1.400572e-05,1.442011e-05,1.480895e-05,1.492807e-05,1.517277e-05,1.539279e-05,1.551223e-05,1.581589e-05,1.582808e-05,1.612113e-05,1.619922e-05,1.639227e-05,1.654482e-05,1.664241e-05,1.685479e-05,1.687248e-05,1.708341e-05,1.713128e-05,1.727612e-05,1.737644e-05,1.745155e-05,1.759235e-05,1.761060e-05,1.775414e-05,1.778106e-05,1.788302e-05,1.794453e-05,1.799808e-05,1.808461e-05,1.810009e-05,1.818983e-05,1.820309e-05,1.826801e-05,1.830163e-05,1.833533e-05,1.838182e-05,1.839246e-05,1.844003e-05,1.844513e-05,1.847864e-05,1.849294e-05,1.850886e-05,1.852654e-05,1.853122e-05,1.854624e-05,1.854714e-05,1.855442e-05,1.855587e-05,1.855620e-05,1.855377e-05,1.855202e-05,1.854230e-05,1.854181e-05,1.852743e-05,1.852088e-05,1.850776e-05,1.849183e-05,1.848365e-05,1.845543e-05,1.842340e-05,1.841239e-05,1.838785e-05,1.836338e-05,1.834906e-05,1.830900e-05,1.830728e-05,1.826275e-05,1.824983e-05,1.821572e-05,1.818638e-05,1.816638e-05,1.811913e-05,1.811495e-05,1.806161e-05,1.804854e-05,1.800653e-05,1.797500e-05,1.794990e-05,1.789890e-05,1.789187e-05,1.783257e-05,1.782058e-05,1.777216e-05,1.774035e-05,1.771077e-05,1.765852e-05,1.764851e-05,1.758549e-05,1.757535e-05,1.752184e-05,1.749108e-05,1.745764e-05,1.740595e-05,1.739299e-05,1.732798e-05,1.732015e-05,1.726268e-05,1.723389e-05,1.719719e-05,1.714732e-05,1.713156e-05,1.706587e-05,1.706061e-05,1.700017e-05,1.697390e-05,1.693453e-05,1.688733e-05,1.686899e-05,1.680362e-05,1.680101e-05,1.673845e-05,1.671504e-05,1.667352e-05,1.662953e-05,1.660888e-05,1.654457e-05,1.646023e-05,1.637659e-05,1.629370e-05,1.621164e-05,1.613044e-05,1.605015e-05,1.597081e-05,1.589246e-05,1.581513e-05,1.573883e-05,1.566361e-05,1.558946e-05,1.551642e-05,1.544449e-05,1.537367e-05,1.530399e-05,1.523543e-05,1.516801e-05,1.510172e-05,1.503657e-05,1.497255e-05,1.490966e-05,1.484789e-05,1.478724e-05
0.000000e+00,2.912091e-09,6.709608e-09,2.322902e-08,5.303287e-08,7.749219e-08,1.765229e-07,1.818676e-07,3.532693e-07,4.157555e-07,6.101986e-07,8.133662e-07,9.714551e-07,1.407433e-06,1.450160e-06,2.047665e-06,2.208004e-06,2.756636e-06,3.198906e-06,3.567925e-06,4.359908e-06,4.473258e-06,5.464990e-06,5.673032e-06,6.535400e-06,7.120401e-06,7.676262e-06,8.682568e-06,8.878717e-06,1.013335e-05,1.033828e-05,1.143037e-05,1.206510e-05,1.275991e-05,1.384037e-05,1.411218e-05,1.547773e-05,1.564206e-05,1.684766e-05,1.744968e-05,1.821376e-05,1.924482e-05,1.956859e-05,2.090554e-05,2.101155e-05,2.221888e-05,2.273648e-05,2.350371e-05,2.440878e-05,2.475589e-05,2.597206e-05,2.601992e-05,2.714961e-05,2.756368e-05,2.828656e-05,2.903573e-05,2.938146e-05,3.043338e-05,3.144179e-05,3.175526e-05,3.240653e-05,3.300110e-05,3.332774e-05,3.417149e-05,3.420580e-05,3.504131e-05,3.526772e-05,3.583503e-05,3.629159e-05,3.658788e-05,3.724526e-05,3.730085e-05,3.797503e-05,3.813118e-05,3.861156e-05,3.895201e-05,3.921162e-05,3.971048e-05,3.977644e-05,4.030723e-05,4.040941e-05,4.080522e-05,4.105163e-05,4.127166e-05,4.163996e-05,4.170774e-05,4.211468e-05,4.217717e-05,4.249365e-05,4.266597e-05,4.284581e-05,4.310900e-05,4.317229e-05,4.347420e-05,4.350882e-05,4.375259e-05,4.386791e-05,4.400853e-05,4.418863e-05,4.424301e-05,4.445701e-05,4.447327e-05,4.465148e-05,4.472401e-05,4.482734e-05,4.494293e-05,4.498546e-05,4.512670e-05,4.513201e-05,4.525188e-05,4.529316e-05,4.536178e-05,4.542818e-05,4.545717e-05,4.553878e-05,4.560730e-05,4.562658e-05,4.566342e-05,4.569312e-05,4.570778e-05,4.573987e-05,4.574099e-05,4.576367e-05,4.576821e-05,4.577638e-05,4.577945e-05,4.577966e-05,4.577481e-05,4.577405e-05,4.576004e-05,4.575548e-05,4.573812e-05,4.572256e-05,4.570874e-05,4.567708e-05,4.567235e-05,4.562937e-05,4.562002e-05,4.558020e-05,4.555232e-05,4.552523e-05,4.547483e-05,4.546481e-05,4.539931e-05,4.538838e-05,4.532906e-05,4.529375e-05,4.525438e-05,4.519164e-05,4.517556e-05,4.509292e-05,4.508275e-05,4.500671e-05,4.496772e-05,4.491721e-05,4.484714e-05,4.482466e-05,4.472931e-05,4.472157e-05,4.463139e-05,4.459154e-05,4.453110e-05,4.445755e-05,4.442866e-05,4.432427e-05,4.432006e-05,4.421811e-05,4.417949e-05,4.411035e-05,4.403626e-05,4.400117e-05,4.389073e-05,4.374326e-05,4.359418e-05,4.344380e-05,4.329239e-05,4.314023e-05,4.298755e-05,4.283459e-05,4.268155e-05,4.252863e-05,4.237602e-05,4.222387e-05,4.207235e-05,4.192159e-05,4.177173e-05,4.162287e-05,4.147514e-05,4.132863e-05,4.118343e-05,4.103962e-05,4.089727e-05,4.075646e-05,4.061724e-05,4.047967e-05,4.034379e-05
0.000000e+00,3.202335e-09,7.354140e-09,2.534791e-08,5.767567e-08,8.411313e-08,1.904669e-07,1.961786e-07,3.780170e-07,4.437322e-07,6.466571e-07,8.568915e-07,1.019847e-06,1.469873e-06,1.514186e-06,2.140030e-06,2.309972e-06,2.896830e-06,3.374504e-06,3.775148e-06,4.638708e-06,4.762547e-06,5.846982e-06,6.074523e-06,7.017324e-06,7.656309e-06,8.262918e-06,9.359633e-06,9.573181e-06,1.093742e-05,1.115999e-05,1.234485e-05,1.303259e-05,1.378471e-05,1.495287e-05,1.524648e-05,1.672005e-05,1.689721e-05,1.819590e-05,1.884370e-05,1.966522e-05,2.077261e-05,2.112005e-05,2.255330e-05,2.266684e-05,2.395882e-05,2.451204e-05,2.533132e-05,2.629658e-05,2.666642e-05,2.796054e-05,2.801141e-05,2.921088e-05,2.964984e-05,3.041529e-05,3.120727e-05,3.157228e-05,3.268082e-05,3.374037e-05,3.406906e-05,3.475086e-05,3.537190e-05,3.571249e-05,3.659015e-05,3.662577e-05,3.749144e-05,3.772542e-05,3.831045e-05,3.877989e-05,3.908386e-05,3.975617e-05,3.981289e-05,4.049881e-05,4.065717e-05,4.114299e-05,4.148602e-05,4.174684e-05,4.224599e-05,4.231178e-05,4.283926e-05,4.294039e-05,4.333073e-05,4.357254e-05,4.378762e-05,4.414575e-05,4.421138e-05,4.460339e-05,4.466326e-05,4.496505e-05,4.512826e-05,4.529769e-05,4.554380e-05,4.560263e-05,4.588116e-05,4.591287e-05,4.613451e-05,4.623832e-05,4.636388e-05,4.652290e-05,4.657045e-05,4.675534e-05,4.676923e-05,4.691963e-05,4.697982e-05,4.706438e-05,4.715706e-05,4.719058e-05,4.729921e-05,4.730321e-05,4.739120e-05,4.742042e-05,4.746745e-05,4.751074e-05,4.752881e-05,4.757611e-05,4.761013e-05,4.761834e-05,4.763164e-05,4.763917e-05,4.764135e-05,4.764023e-05,4.763997e-05,4.762814e-05,4.762304e-05,4.760651e-05,4.758907e-05,4.757567e-05,4.753968e-05,4.753622e-05,4.748868e-05,4.747613e-05,4.743361e-05,4.739965e-05,4.737148e-05,4.731136e-05,4.730279e-05,4.722798e-05,4.721232e-05,4.714749e-05,4.710353e-05,4.706174e-05,4.698592e-05,4.697111e-05,4.687598e-05,4.686036e-05,4.677670e-05,4.672767e-05,4.667361e-05,4.658862e-05,4.656704e-05,4.645727e-05,4.644390e-05,4.634462e-05,4.629420e-05,4.622934e-05,4.614013e-05,4.611169e-05,4.599193e-05,4.598226e-05,4.587028e-05,4.582114e-05,4.574696e-05,4.565726e-05,4.562219e-05,4.549616e-05,4.549110e-05,4.536905e-05,4.532307e-05,4.524105e-05,4.515358e-05,4.511231e-05,4.498300e-05,4.481166e-05,4.463990e-05,4.446799e-05,4.429621e-05,4.412479e-05,4.395398e-05,4.378396e-05,4.361494e-05,4.344709e-05,4.328056e-05,4.311549e-05,4.295201e-05,4.279025e-05,4.263030e-05,4.247225e-05,4.231619e-05,4.216220e-05,4.201032e-05,4.186063e-05,4.171317e-05,4.156798e-05,4.142509e-05,4.128452e-05,4.114631e-05
0.000000e+00,3.853184e-15,3.451211e-14,9.024879e-13,7.861564e-12,2.117882e-11,1.794774e-10,1.938266e-10,1.059180e-09,1.598711e-09,4.178175e-09,8.507730e-09,1.316536e-08,3.270192e-08,3.520131e-08,8.304221e-08,1.004683e-07,1.775062e-07,2.620767e-07,3.503799e-07,6.034855e-07,6.476484e-07,1.132904e-06,1.259551e-06,1.890739e-06,2.427597e-06,3.029909e-06,4.379898e-06,4.686047e-06,7.023744e-06,7.473613e-06,1.023786e-05,1.215702e-05,1.455401e-05,1.897135e-05,2.022807e-05,2.754488e-05,2.854782e-05,3.681597e-05,4.159998e-05,4.837656e-05,5.891172e-05,6.258178e-05,7.980228e-05,8.132155e-05,1.004193e-04,1.097037e-04,1.248195e-04,1.449474e-04,1.533894e-04,1.865094e-04,1.879342e-04,2.245489e-04,2.395159e-04,2.678601e-04,3.004923e-04,3.167730e-04,3.715907e-04,4.325849e-04,4.534471e-04,4.999917e-04,5.465904e-04,5.740089e-04,6.514298e-04,6.547926e-04,7.424558e-04,7.682446e-04,8.370664e-04,8.971789e-04,9.386472e-04,1.038238e-03,1.047175e-03,1.162581e-03,1.191291e-03,1.284754e-03,1.356070e-03,1.413538e-03,1.532183e-03,1.548738e-03,1.690121e-03,1.719116e-03,1.837417e-03,1.916249e-03,1.990325e-03,2.122865e-03,2.148516e-03,2.311634e-03,2.338165e-03,2.479300e-03,2.561279e-03,2.651118e-03,2.791286e-03,2.826677e-03,3.005554e-03,3.027222e-03,3.187318e-03,3.268097e-03,3.371534e-03,3.512908e-03,3.557763e-03,3.745571e-03,3.760651e-03,3.934525e-03,4.010333e-03,4.124201e-03,4.260981e-03,4.314183e-03,4.504065e-03,4.511653e-03,4.693456e-03,4.761444e-03,4.881980e-03,5.009496e-03,5.069275e-03,5.254998e-03,5.438823e-03,5.497195e-03,5.620444e-03,5.735392e-03,5.799575e-03,5.968951e-03,5.975949e-03,6.149321e-03,6.197295e-03,6.319463e-03,6.419912e-03,6.486171e-03,6.636349e-03,6.649259e-03,6.808561e-03,6.846213e-03,6.963931e-03,7.049172e-03,7.115240e-03,7.244947e-03,7.262380e-03,7.405258e-03,7.433316e-03,7.543800e-03,7.614107e-03,7.677946e-03,7.787199e-03,7.807652e-03,7.932889e-03,7.952511e-03,8.053641e-03,8.110008e-03,8.169906e-03,8.259692e-03,8.281692e-03,8.389020e-03,8.401601e-03,8.491919e-03,8.535802e-03,8.590431e-03,8.662394e-03,8.684602e-03,8.774489e-03,8.781497e-03,8.860157e-03,8.893257e-03,8.941673e-03,8.997837e-03,9.019114e-03,9.092560e-03,9.095416e-03,9.162097e-03,9.186190e-03,9.227812e-03,9.270362e-03,9.289798e-03,9.348149e-03,9.419770e-03,9.485455e-03,9.545432e-03,9.599934e-03,9.649193e-03,9.693443e-03,9.732913e-03,9.767831e-03,9.798422e-03,9.824903e-03,9.847491e-03,9.866393e-03,9.881814e-03,9.893948e-03,9.902986e-03,9.909113e-03,9.912504e-03,9.913330e-03,9.911754e-03,9.907932e-03,9.902015e-03,9.894143e-03,9.884455e-03,9.873078e-03
0.000000e+00,3.748482e-11,2.347342e-10,3.016964e-09,1.430639e-08,2.804825e-08,1.101454e-07,1.154656e-07,3.164909e-07,4.005815e-07,6.862935e-07,1.013296e-06,1.283238e-06,2.086898e-06,2.170068e-06,3.413295e-06,3.772026e-06,5.076867e-06,6.210981e-06,7.208472e-06,9.486280e-06,9.825789e-06,1.291488e-05,1.358650e-05,1.644167e-05,1.843502e-05,2.036525e-05,2.393817e-05,2.464538e-05,2.924452e-05,3.000760e-05,3.412721e-05,3.656149e-05,3.925907e-05,4.352129e-05,4.460638e-05,5.013595e-05,5.081020e-05,5.581538e-05,5.835371e-05,6.161347e-05,6.608108e-05,6.750059e-05,7.344909e-05,7.392684e-05,7.943349e-05,8.183205e-05,8.543068e-05,8.974487e-05,9.141998e-05,9.738303e-05,9.762077e-05,1.033037e-04,1.054221e-04,1.091682e-04,1.131177e-04,1.149644e-04,1.206824e-04,1.263135e-04,1.280959e-04,1.318507e-04,1.353426e-04,1.372883e-04,1.424102e-04,1.426215e-04,1.478466e-04,1.492898e-04,1.529607e-04,1.559749e-04,1.579616e-04,1.624611e-04,1.628477e-04,1.676181e-04,1.687457e-04,1.722721e-04,1.748274e-04,1.768095e-04,1.807061e-04,1.812304e-04,1.855354e-04,1.863825e-04,1.897249e-04,1.918581e-04,1.937999e-04,1.971351e-04,1.977614e-04,2.016106e-04,2.022161e-04,2.053487e-04,2.071040e-04,2.089773e-04,2.118023e-04,2.124978e-04,2.159118e-04,2.163144e-04,2.192209e-04,2.206441e-04,2.224269e-04,2.247955e-04,2.255314e-04,2.285363e-04,2.287725e-04,2.314434e-04,2.325793e-04,2.342545e-04,2.362201e-04,2.369715e-04,2.395962e-04,2.396993e-04,2.421304e-04,2.430210e-04,2.445761e-04,2.461896e-04,2.469352e-04,2.492094e-04,2.514007e-04,2.520846e-04,2.535108e-04,2.548196e-04,2.555417e-04,2.574185e-04,2.574952e-04,2.593730e-04,2.598855e-04,2.611770e-04,2.622247e-04,2.629089e-04,2.644402e-04,2.645706e-04,2.661636e-04,2.665360e-04,2.676898e-04,2.685159e-04,2.691509e-04,2.703840e-04,2.705484e-04,2.718841e-04,2.721440e-04,2.731596e-04,2.737995e-04,2.743764e-04,2.753543e-04,2.755361e-04,2.766403e-04,2.768120e-04,2.776905e-04,2.781759e-04,2.786882e-04,2.794495e-04,2.796348e-04,2.805317e-04,2.806361e-04,2.813805e-04,2.817390e-04,2.821824e-04,2.827614e-04,2.829388e-04,2.836511e-04,2.837062e-04,2.843206e-04,2.845766e-04,2.849484e-04,2.853755e-04,2.855360e-04,2.860845e-04,2.861056e-04,2.865950e-04,2.867698e-04,2.870689e-04,2.873707e-04,2.875071e-04,2.879110e-04,2.883931e-04,2.888196e-04,2.891927e-04,2.895150e-04,2.897884e-04,2.900154e-04,2.901978e-04,2.903378e-04,2.904374e-04,2.904984e-04,2.905227e-04,2.905120e-04,2.904682e-04,2.903927e-04,2.902873e-04,2.901535e-04,2.899928e-04,2.898067e-04,2.895964e-04,2.893634e-04,2.891089e-04,2.888342e-04,2.885404e-04,2.882288e-04
0.000000e+00,3.044885e-15,2.628622e-14,6.360790e-13,5.158475e-12,1.335858e-11,1.021902e-10,1.099019e-10,5.428274e-10,7.973510e-10,1.947815e-09,3.759903e-09,5.623243e-09,1.297572e-08,1.388266e-08,3.047735e-08,3.628228e-08,6.106339e-08,8.717344e-08,1.136190e-07,1.863155e-07,1.986363e-07,3.289041e-07,3.616373e-07,5.188177e-07,6.461162e-07,7.833142e-07,1.073600e-06,1.136642e-06,1.591188e-06,1.673995e-06,2.156547e-06,2.469236e-06,2.838905e-06,3.470845e-06,3.640777e-06,4.561050e-06,4.679259e-06,5.595255e-06,6.084594e-06,6.736030e-06,7.668383e-06,7.973655e-06,9.296632e-06,9.405783e-06,1.069224e-05,1.126784e-05,1.214709e-05,1.322359e-05,1.364753e-05,1.518008e-05,1.524187e-05,1.673176e-05,1.729266e-05,1.829030e-05,1.934818e-05,1.984433e-05,2.138354e-05,2.289871e-05,2.337713e-05,2.438177e-05,2.531083e-05,2.582578e-05,2.716990e-05,2.722495e-05,2.857450e-05,2.894294e-05,2.987068e-05,3.062155e-05,3.111065e-05,3.220004e-05,3.229240e-05,3.341469e-05,3.367511e-05,3.447692e-05,3.504550e-05,3.547906e-05,3.631163e-05,3.642162e-05,3.730548e-05,3.747531e-05,3.813190e-05,3.853943e-05,3.890240e-05,3.950768e-05,3.961874e-05,4.028284e-05,4.038439e-05,4.089676e-05,4.117424e-05,4.146263e-05,4.188220e-05,4.198264e-05,4.245900e-05,4.251333e-05,4.289391e-05,4.307270e-05,4.328954e-05,4.356528e-05,4.364804e-05,4.397150e-05,4.399592e-05,4.426194e-05,4.436931e-05,4.452132e-05,4.468990e-05,4.475152e-05,4.495433e-05,4.496190e-05,4.513149e-05,4.518929e-05,4.528460e-05,4.537579e-05,4.541524e-05,4.552486e-05,4.561487e-05,4.563974e-05,4.568656e-05,4.572342e-05,4.574120e-05,4.577869e-05,4.577995e-05,4.580390e-05,4.580810e-05,4.581411e-05,4.581404e-05,4.581153e-05,4.579866e-05,4.579709e-05,4.577164e-05,4.576399e-05,4.573598e-05,4.571184e-05,4.569087e-05,4.564390e-05,4.563700e-05,4.557505e-05,4.556174e-05,4.550563e-05,4.546677e-05,4.542932e-05,4.536029e-05,4.534666e-05,4.525817e-05,4.524351e-05,4.516433e-05,4.511751e-05,4.506556e-05,4.498329e-05,4.496230e-05,4.485493e-05,4.484179e-05,4.474381e-05,4.469383e-05,4.462930e-05,4.454019e-05,4.451170e-05,4.439132e-05,4.438158e-05,4.426843e-05,4.421864e-05,4.414331e-05,4.405196e-05,4.401618e-05,4.388729e-05,4.388210e-05,4.375684e-05,4.370953e-05,4.362503e-05,4.353473e-05,4.349206e-05,4.335810e-05,4.318002e-05,4.300084e-05,4.282088e-05,4.264043e-05,4.245975e-05,4.227909e-05,4.209866e-05,4.191868e-05,4.173932e-05,4.156075e-05,4.138312e-05,4.120657e-05,4.103122e-05,4.085719e-05,4.068457e-05,4.051346e-05,4.034394e-05,4.017609e-05,4.000996e-05,3.984562e-05,3.968312e-05,3.952250e-05,3.936381e-05,3.920707e-05
0.000000e+00,1.943064e-11,1.080071e-10,1.117853e-09,4.499081e-09,8.158359e-09,2.705268e-08,2.818892e-08,6.779227e-08,8.319131e-08,1.327736e-07,1.862235e-07,2.286114e-07,3.487805e-07,3.608295e-07,5.350601e-07,5.837389e-07,7.566646e-07,9.030858e-07,1.029762e-06,1.313779e-06,1.355600e-06,1.730640e-06,1.810825e-06,2.145484e-06,2.372337e-06,2.585957e-06,2.964156e-06,3.036242e-06,3.482248e-06,3.552454e-06,3.913467e-06,4.113098e-06,4.323172e-06,4.632883e-06,4.707664e-06,5.065325e-06,5.106416e-06,5.395832e-06,5.532751e-06,5.699642e-06,5.913227e-06,5.977658e-06,6.231040e-06,6.250284e-06,6.461098e-06,6.546902e-06,6.669228e-06,6.806309e-06,6.856866e-06,7.025467e-06,7.031836e-06,7.176471e-06,7.226798e-06,7.311290e-06,7.394421e-06,7.431290e-06,7.537778e-06,7.631980e-06,7.659719e-06,7.715038e-06,7.762837e-06,7.788008e-06,7.849487e-06,7.851878e-06,7.907551e-06,7.921783e-06,7.955833e-06,7.981562e-06,7.997456e-06,8.030443e-06,8.033087e-06,8.063328e-06,8.069843e-06,8.088701e-06,8.100962e-06,8.109679e-06,8.124845e-06,8.126690e-06,8.140109e-06,8.142391e-06,8.150269e-06,8.154366e-06,8.157474e-06,8.161440e-06,8.161993e-06,8.164055e-06,8.164171e-06,8.163865e-06,8.163030e-06,8.161612e-06,8.158441e-06,8.157468e-06,8.151579e-06,8.150762e-06,8.144079e-06,8.140301e-06,8.135092e-06,8.127338e-06,8.124732e-06,8.113100e-06,8.112118e-06,8.100288e-06,8.094853e-06,8.086381e-06,8.075733e-06,8.071455e-06,8.055584e-06,8.054930e-06,8.038833e-06,8.032599e-06,8.021264e-06,8.008880e-06,8.002935e-06,7.983899e-06,7.964204e-06,7.957770e-06,7.943897e-06,7.930600e-06,7.923022e-06,7.902485e-06,7.901620e-06,7.879728e-06,7.873515e-06,7.857383e-06,7.843772e-06,7.834618e-06,7.813331e-06,7.811465e-06,7.787955e-06,7.782263e-06,7.764115e-06,7.750631e-06,7.739973e-06,7.718498e-06,7.715554e-06,7.690881e-06,7.685918e-06,7.665978e-06,7.652945e-06,7.640866e-06,7.619626e-06,7.615566e-06,7.590097e-06,7.586007e-06,7.564477e-06,7.552131e-06,7.538724e-06,7.518036e-06,7.512854e-06,7.486883e-06,7.483761e-06,7.460826e-06,7.449338e-06,7.434698e-06,7.414801e-06,7.408511e-06,7.382279e-06,7.380178e-06,7.356013e-06,7.345500e-06,7.329725e-06,7.310791e-06,7.303427e-06,7.277128e-06,7.276076e-06,7.250838e-06,7.241378e-06,7.224567e-06,7.206718e-06,7.198324e-06,7.172117e-06,7.137592e-06,7.103163e-06,7.068843e-06,7.034650e-06,7.000596e-06,6.966695e-06,6.932960e-06,6.899400e-06,6.866028e-06,6.832852e-06,6.799882e-06,6.767126e-06,6.734591e-06,6.702285e-06,6.670214e-06,6.638385e-06,6.606802e-06,6.575470e-06,6.544395e-06,6.513579e-06,6.483028e-06,6.452743e-06,6.422728e-06,6.392986e-06
0.000000e+00,1.096027e-09,2.620348e-09,9.394622e-09,2.171423e-08,3.182197e-08,7.249031e-08,7.467194e-08,1.439404e-07,1.688846e-07,2.456372e-07,3.247620e-07,3.858454e-07,5.535189e-07,5.699523e-07,8.006602e-07,8.628813e-07,1.076494e-06,1.249078e-06,1.393055e-06,1.701309e-06,1.745305e-06,2.128591e-06,2.208593e-06,2.538657e-06,2.761118e-06,2.971420e-06,3.349501e-06,3.422805e-06,3.888693e-06,3.964304e-06,4.364941e-06,4.596012e-06,4.847449e-06,5.235283e-06,5.332239e-06,5.815545e-06,5.873273e-06,6.293883e-06,6.501954e-06,6.764109e-06,7.114338e-06,7.223456e-06,7.669558e-06,7.704613e-06,8.100454e-06,8.268191e-06,8.514576e-06,8.801672e-06,8.910728e-06,9.288059e-06,9.302753e-06,9.646028e-06,9.770098e-06,9.984366e-06,1.020320e-05,1.030304e-05,1.060222e-05,1.088222e-05,1.096785e-05,1.114352e-05,1.130119e-05,1.138668e-05,1.160364e-05,1.161233e-05,1.182120e-05,1.187677e-05,1.201400e-05,1.212229e-05,1.219150e-05,1.234195e-05,1.235448e-05,1.250369e-05,1.253753e-05,1.263990e-05,1.271077e-05,1.276384e-05,1.286335e-05,1.287625e-05,1.297781e-05,1.299688e-05,1.306919e-05,1.311289e-05,1.315102e-05,1.321283e-05,1.322392e-05,1.328846e-05,1.329804e-05,1.334518e-05,1.336978e-05,1.339459e-05,1.342920e-05,1.343719e-05,1.347343e-05,1.347738e-05,1.350374e-05,1.351530e-05,1.352852e-05,1.354389e-05,1.354815e-05,1.356298e-05,1.356397e-05,1.357335e-05,1.357632e-05,1.357957e-05,1.358164e-05,1.358193e-05,1.358070e-05,1.358058e-05,1.357613e-05,1.357372e-05,1.356847e-05,1.356161e-05,1.355794e-05,1.354474e-05,1.352907e-05,1.352357e-05,1.351112e-05,1.349851e-05,1.349106e-05,1.346995e-05,1.346904e-05,1.344521e-05,1.343823e-05,1.341972e-05,1.340368e-05,1.339269e-05,1.336657e-05,1.336425e-05,1.333451e-05,1.332719e-05,1.330358e-05,1.328577e-05,1.327156e-05,1.324255e-05,1.323854e-05,1.320461e-05,1.319773e-05,1.316986e-05,1.315149e-05,1.313437e-05,1.310402e-05,1.309819e-05,1.306141e-05,1.305547e-05,1.302409e-05,1.300599e-05,1.298628e-05,1.295572e-05,1.294804e-05,1.290942e-05,1.290477e-05,1.287048e-05,1.285326e-05,1.283126e-05,1.280129e-05,1.279180e-05,1.275215e-05,1.274897e-05,1.271233e-05,1.269637e-05,1.267239e-05,1.264358e-05,1.263236e-05,1.259228e-05,1.259067e-05,1.255216e-05,1.253771e-05,1.251204e-05,1.248477e-05,1.247194e-05,1.243189e-05,1.237913e-05,1.232654e-05,1.227417e-05,1.222205e-05,1.217021e-05,1.211870e-05,1.206754e-05,1.201676e-05,1.196638e-05,1.191643e-05,1.186693e-05,1.181789e-05,1.176934e-05,1.172128e-05,1.167373e-05,1.162670e-05,1.158021e-05,1.153425e-05,1.148884e-05,1.144399e-05,1.139969e-05,1.135596e-05,1.131279e-05,1.127020e-05
0.000000e+00,8.195887e-09,1.892579e-08,6.563351e-08,1.501621e-07,2.198996e-07,5.063790e-07,5.220389e-07,1.035088e-06,1.227165e-06,1.840209e-06,2.501371e-06,3.026566e-06,4.500808e-06,4.646155e-06,6.671326e-06,7.209299e-06,9.024703e-06,1.045766e-05,1.163275e-05,1.409649e-05,1.444312e-05,1.741984e-05,1.803267e-05,2.053589e-05,2.220355e-05,2.376810e-05,2.655674e-05,2.709433e-05,3.049219e-05,3.104097e-05,3.393871e-05,3.560348e-05,3.741051e-05,4.019029e-05,4.088401e-05,4.433608e-05,4.474783e-05,4.774451e-05,4.922497e-05,5.108846e-05,5.357489e-05,5.434879e-05,5.750837e-05,5.775633e-05,6.055257e-05,6.173515e-05,6.346926e-05,6.548472e-05,6.624862e-05,6.888308e-05,6.898536e-05,7.136734e-05,7.222422e-05,7.369812e-05,7.519457e-05,7.587395e-05,7.789493e-05,7.976260e-05,8.032829e-05,8.147967e-05,8.250122e-05,8.304984e-05,8.442328e-05,8.447772e-05,8.576834e-05,8.610581e-05,8.692700e-05,8.756134e-05,8.795968e-05,8.880370e-05,8.887245e-05,8.967145e-05,8.984698e-05,9.036293e-05,9.070550e-05,9.095305e-05,9.139333e-05,9.144788e-05,9.185331e-05,9.192418e-05,9.217512e-05,9.231126e-05,9.241886e-05,9.256719e-05,9.258988e-05,9.269326e-05,9.270385e-05,9.273385e-05,9.273240e-05,9.271627e-05,9.266326e-05,9.264488e-05,9.252380e-05,9.250612e-05,9.235694e-05,9.226997e-05,9.214797e-05,9.196312e-05,9.190034e-05,9.161729e-05,9.159321e-05,9.130186e-05,9.116725e-05,9.095687e-05,9.069168e-05,9.058499e-05,9.018869e-05,9.017236e-05,8.977030e-05,8.961469e-05,8.933198e-05,8.902357e-05,8.887574e-05,8.840347e-05,8.791690e-05,8.775844e-05,8.741765e-05,8.709219e-05,8.690725e-05,8.640807e-05,8.638709e-05,8.585848e-05,8.570912e-05,8.532261e-05,8.499809e-05,8.478062e-05,8.427747e-05,8.423354e-05,8.368232e-05,8.354952e-05,8.312786e-05,8.281626e-05,8.257098e-05,8.207952e-05,8.201243e-05,8.145291e-05,8.134095e-05,8.089307e-05,8.060203e-05,8.033350e-05,7.986407e-05,7.977475e-05,7.921731e-05,7.912828e-05,7.866166e-05,7.839570e-05,7.810820e-05,7.766728e-05,7.755733e-05,7.700939e-05,7.694385e-05,7.646471e-05,7.622616e-05,7.592358e-05,7.551485e-05,7.538625e-05,7.485299e-05,7.481051e-05,7.432398e-05,7.411362e-05,7.379944e-05,7.342463e-05,7.327954e-05,7.276442e-05,7.274392e-05,7.225424e-05,7.207180e-05,7.174910e-05,7.140855e-05,7.124912e-05,7.075439e-05,7.010952e-05,6.947408e-05,6.884819e-05,6.823194e-05,6.762539e-05,6.702858e-05,6.644152e-05,6.586421e-05,6.529662e-05,6.473872e-05,6.419046e-05,6.365177e-05,6.312258e-05,6.260280e-05,6.209233e-05,6.159109e-05,6.109894e-05,6.061579e-05,6.014152e-05,5.967599e-05,5.921909e-05,5.877068e-05,5.833063e-05,5.789881e-05
0.000000e+00,4.983306e-15,4.317223e-14,1.052241e-12,8.588705e-12,2.231914e-11,1.722297e-10,1.852904e-10,9.225822e-10,1.357958e-09,3.333475e-09,6.457628e-09,9.678356e-09,2.242372e-08,2.399820e-08,5.284525e-08,6.294513e-08,1.060793e-07,1.515385e-07,1.975858e-07,3.241821e-07,3.456413e-07,5.726241e-07,6.296915e-07,9.039225e-07,1.126269e-06,1.366152e-06,1.874479e-06,1.985002e-06,2.783085e-06,2.928676e-06,3.778111e-06,4.329319e-06,4.981600e-06,6.097844e-06,6.398199e-06,8.025588e-06,8.234681e-06,9.854867e-06,1.072010e-05,1.187133e-05,1.351716e-05,1.405544e-05,1.638400e-05,1.657577e-05,1.883123e-05,1.983728e-05,2.136992e-05,2.323886e-05,2.397239e-05,2.661136e-05,2.671730e-05,2.926065e-05,3.021215e-05,3.189577e-05,3.366803e-05,3.449430e-05,3.703622e-05,3.950405e-05,4.027561e-05,4.188292e-05,4.335295e-05,4.416059e-05,4.624287e-05,4.632731e-05,4.837573e-05,4.892734e-05,5.030073e-05,5.139510e-05,5.209917e-05,5.364080e-05,5.376973e-05,5.531266e-05,5.566412e-05,5.672955e-05,5.746895e-05,5.802316e-05,5.906243e-05,5.919714e-05,6.025591e-05,6.045428e-05,6.120448e-05,6.165595e-05,6.204823e-05,6.268012e-05,6.279284e-05,6.344416e-05,6.354010e-05,6.400807e-05,6.424943e-05,6.449045e-05,6.482153e-05,6.489706e-05,6.523352e-05,6.526944e-05,6.550524e-05,6.560563e-05,6.571739e-05,6.584184e-05,6.587491e-05,6.598245e-05,6.598903e-05,6.604440e-05,6.605733e-05,6.606483e-05,6.605600e-05,6.604758e-05,6.599618e-05,6.599346e-05,6.591393e-05,6.587735e-05,6.580384e-05,6.571451e-05,6.566870e-05,6.551108e-05,6.533332e-05,6.527254e-05,6.513756e-05,6.500374e-05,6.492576e-05,6.470901e-05,6.469971e-05,6.446104e-05,6.439215e-05,6.421123e-05,6.405656e-05,6.395163e-05,6.370522e-05,6.368348e-05,6.340789e-05,6.334075e-05,6.312586e-05,6.296546e-05,6.283832e-05,6.258139e-05,6.254611e-05,6.224997e-05,6.219033e-05,6.195059e-05,6.179385e-05,6.164861e-05,6.139334e-05,6.134458e-05,6.103902e-05,6.099002e-05,6.073239e-05,6.058496e-05,6.042512e-05,6.017911e-05,6.011760e-05,5.981016e-05,5.977329e-05,5.950313e-05,5.936824e-05,5.919679e-05,5.896460e-05,5.889141e-05,5.858722e-05,5.856294e-05,5.828443e-05,5.816375e-05,5.798323e-05,5.776746e-05,5.768381e-05,5.738632e-05,5.737447e-05,5.709091e-05,5.698509e-05,5.679770e-05,5.659963e-05,5.650680e-05,5.621833e-05,5.584141e-05,5.546907e-05,5.510147e-05,5.473873e-05,5.438099e-05,5.402834e-05,5.368085e-05,5.333859e-05,5.300161e-05,5.266993e-05,5.234359e-05,5.202259e-05,5.170694e-05,5.139664e-05,5.109167e-05,5.079201e-05,5.049764e-05,5.020853e-05,4.992465e-05,4.964594e-05,4.937236e-05,4.910387e-05,4.884042e-05,4.858194e-05
0.000000e+00,4.327094e-14,3.631465e-13,8.285425e-12,6.366627e-11,1.600420e-10,1.133189e-09,1.214857e-09,5.552504e-09,7.984586e-09,1.848506e-08,3.415111e-08,4.962458e-08,1.072717e-07,1.141253e-07,2.335955e-07,2.734518e-07,4.362354e-07,5.984171e-07,7.556595e-07,1.162301e-06,1.228325e-06,1.890181e-06,2.048186e-06,2.773437e-06,3.329162e-06,3.904127e-06,5.058873e-06,5.300724e-06,6.973700e-06,7.267313e-06,8.925847e-06,9.961055e-06,1.115299e-05,1.312604e-05,1.364496e-05,1.638659e-05,1.673150e-05,1.935878e-05,2.073398e-05,2.253942e-05,2.508129e-05,2.590432e-05,2.942800e-05,2.971597e-05,3.308446e-05,3.457841e-05,3.684781e-05,3.960942e-05,4.069284e-05,4.459543e-05,4.475240e-05,4.853294e-05,4.995492e-05,5.248448e-05,5.516975e-05,5.643103e-05,6.035557e-05,6.424305e-05,6.547702e-05,6.808038e-05,7.050470e-05,7.185635e-05,7.541473e-05,7.556147e-05,7.918790e-05,8.018829e-05,8.272923e-05,8.481102e-05,8.618037e-05,8.927238e-05,8.953740e-05,9.279740e-05,9.356512e-05,9.595833e-05,9.768467e-05,9.901890e-05,1.016287e-04,1.019785e-04,1.048370e-04,1.053965e-04,1.075947e-04,1.089891e-04,1.102524e-04,1.124083e-04,1.128111e-04,1.152722e-04,1.156570e-04,1.176372e-04,1.187387e-04,1.199076e-04,1.216572e-04,1.220854e-04,1.241725e-04,1.244169e-04,1.261708e-04,1.270225e-04,1.280824e-04,1.294786e-04,1.299094e-04,1.316540e-04,1.317900e-04,1.333182e-04,1.339618e-04,1.349042e-04,1.359989e-04,1.364141e-04,1.378502e-04,1.379061e-04,1.392144e-04,1.396883e-04,1.405089e-04,1.413504e-04,1.417358e-04,1.428971e-04,1.439948e-04,1.443329e-04,1.450308e-04,1.456625e-04,1.460072e-04,1.468902e-04,1.469259e-04,1.477886e-04,1.480204e-04,1.485973e-04,1.490572e-04,1.493536e-04,1.500048e-04,1.500594e-04,1.507164e-04,1.508670e-04,1.513262e-04,1.516477e-04,1.518905e-04,1.523506e-04,1.524107e-04,1.528886e-04,1.529792e-04,1.533255e-04,1.535370e-04,1.537230e-04,1.540274e-04,1.540824e-04,1.544052e-04,1.544535e-04,1.546926e-04,1.548185e-04,1.549461e-04,1.551252e-04,1.551668e-04,1.553560e-04,1.553767e-04,1.555150e-04,1.555756e-04,1.556447e-04,1.557246e-04,1.557465e-04,1.558214e-04,1.558262e-04,1.558704e-04,1.558829e-04,1.558945e-04,1.558971e-04,1.558949e-04,1.558723e-04,1.558710e-04,1.558279e-04,1.558067e-04,1.557624e-04,1.557063e-04,1.556768e-04,1.555718e-04,1.554052e-04,1.552082e-04,1.549825e-04,1.547300e-04,1.544520e-04,1.541502e-04,1.538261e-04,1.534809e-04,1.531162e-04,1.527330e-04,1.523328e-04,1.519165e-04,1.514853e-04,1.510403e-04,1.505825e-04,1.501128e-04,1.496322e-04,1.491415e-04,1.486416e-04,1.481332e-04,1.476171e-04,1.470941e-04,1.465647e-04,1.460297e-04
0.000000e+00,5.844131e-13,4.539208e-12,8.836564e-11,5.887637e-10,1.369787e-09,7.966853e-09,8.473817e-09,3.202761e-08,4.377914e-08,8.939018e-08,1.494932e-07,2.037745e-07,3.830296e-07,4.027683e-07,7.169054e-07,8.129723e-07,1.178015e-06,1.511919e-06,1.816437e-06,2.544807e-06,2.656950e-06,3.715010e-06,3.953318e-06,4.995203e-06,5.747267e-06,6.492256e-06,7.908264e-06,8.193512e-06,1.008157e-05,1.039967e-05,1.213629e-05,1.317544e-05,1.433607e-05,1.618534e-05,1.665858e-05,1.908120e-05,1.937756e-05,2.158135e-05,2.270023e-05,2.413681e-05,2.610269e-05,2.672608e-05,2.932872e-05,2.953693e-05,3.192568e-05,3.295891e-05,3.449954e-05,3.632962e-05,3.703476e-05,3.951774e-05,3.961580e-05,4.193691e-05,4.279028e-05,4.428267e-05,4.583184e-05,4.654730e-05,4.872489e-05,5.081110e-05,5.145889e-05,5.280307e-05,5.402767e-05,5.469917e-05,5.642875e-05,5.649889e-05,5.820261e-05,5.866259e-05,5.981150e-05,6.073202e-05,6.132731e-05,6.264160e-05,6.275232e-05,6.408916e-05,6.439720e-05,6.534075e-05,6.600557e-05,6.651023e-05,6.747402e-05,6.760083e-05,6.861590e-05,6.881014e-05,6.955877e-05,7.002165e-05,7.043281e-05,7.111621e-05,7.124130e-05,7.198750e-05,7.210133e-05,7.267457e-05,7.298426e-05,7.330557e-05,7.377201e-05,7.388348e-05,7.441114e-05,7.447121e-05,7.489129e-05,7.508819e-05,7.532656e-05,7.562890e-05,7.571946e-05,7.607238e-05,7.609896e-05,7.638761e-05,7.650364e-05,7.666731e-05,7.684786e-05,7.691355e-05,7.712828e-05,7.713624e-05,7.731337e-05,7.737308e-05,7.747057e-05,7.756239e-05,7.760155e-05,7.770791e-05,7.779113e-05,7.781311e-05,7.785263e-05,7.788122e-05,7.789376e-05,7.791525e-05,7.791578e-05,7.791989e-05,7.791799e-05,7.790723e-05,7.789204e-05,7.787888e-05,7.783979e-05,7.783583e-05,7.777906e-05,7.776349e-05,7.770946e-05,7.766521e-05,7.762789e-05,7.754686e-05,7.753517e-05,7.743204e-05,7.741023e-05,7.731924e-05,7.725699e-05,7.719745e-05,7.708866e-05,7.706730e-05,7.692941e-05,7.690667e-05,7.678435e-05,7.671233e-05,7.663266e-05,7.650687e-05,7.647485e-05,7.631140e-05,7.629143e-05,7.614277e-05,7.606705e-05,7.596940e-05,7.583470e-05,7.579167e-05,7.560999e-05,7.559529e-05,7.542470e-05,7.534965e-05,7.523615e-05,7.509856e-05,7.504466e-05,7.485054e-05,7.484272e-05,7.465407e-05,7.458281e-05,7.445551e-05,7.431944e-05,7.425514e-05,7.405317e-05,7.378453e-05,7.351400e-05,7.324203e-05,7.296903e-05,7.269539e-05,7.242145e-05,7.214754e-05,7.187396e-05,7.160099e-05,7.132887e-05,7.105784e-05,7.078811e-05,7.051988e-05,7.025333e-05,6.998861e-05,6.972589e-05,6.946528e-05,6.920691e-05,6.895089e-05,6.869733e-05,6.844631e-05,6.819790e-05,6.795219e-05,6.770923e-05
0.000000e+00,1.266252e-14,1.090848e-13,2.628741e-12,2.122951e-11,5.483763e-11,4.162943e-10,4.475512e-10,2.188699e-09,3.204665e-09,7.756749e-09,1.484112e-08,2.205157e-08,5.002345e-08,5.343309e-08,1.147322e-07,1.357894e-07,2.240614e-07,3.148881e-07,4.051600e-07,6.468244e-07,6.870384e-07,1.102883e-06,1.205247e-06,1.688404e-06,2.072019e-06,2.479924e-06,3.329701e-06,3.512473e-06,4.818105e-06,5.054271e-06,6.424539e-06,7.309265e-06,8.354148e-06,1.014173e-05,1.062330e-05,1.324199e-05,1.357996e-05,1.621374e-05,1.763266e-05,1.953574e-05,2.228946e-05,2.319911e-05,2.718935e-05,2.752213e-05,3.148689e-05,3.328671e-05,3.606775e-05,3.952597e-05,4.090422e-05,4.596567e-05,4.617235e-05,5.121925e-05,5.315100e-05,5.663068e-05,6.038279e-05,6.216501e-05,6.778724e-05,7.346303e-05,7.528512e-05,7.915916e-05,8.280070e-05,8.484407e-05,9.026354e-05,9.048817e-05,9.606420e-05,9.760986e-05,1.015474e-04,1.047834e-04,1.069156e-04,1.117360e-04,1.121494e-04,1.172319e-04,1.184276e-04,1.221492e-04,1.248263e-04,1.268896e-04,1.309073e-04,1.314438e-04,1.358048e-04,1.366534e-04,1.399678e-04,1.420532e-04,1.439297e-04,1.471011e-04,1.476890e-04,1.512458e-04,1.517962e-04,1.546016e-04,1.561416e-04,1.577587e-04,1.601436e-04,1.607206e-04,1.634915e-04,1.638114e-04,1.660764e-04,1.671561e-04,1.684805e-04,1.701903e-04,1.707097e-04,1.727700e-04,1.729277e-04,1.746678e-04,1.753829e-04,1.764096e-04,1.775706e-04,1.780017e-04,1.794509e-04,1.795060e-04,1.807634e-04,1.812038e-04,1.819458e-04,1.826787e-04,1.830044e-04,1.839452e-04,1.847743e-04,1.850170e-04,1.854976e-04,1.859075e-04,1.861206e-04,1.866295e-04,1.866489e-04,1.870876e-04,1.871950e-04,1.874418e-04,1.876157e-04,1.877163e-04,1.879025e-04,1.879158e-04,1.880447e-04,1.880656e-04,1.881073e-04,1.881149e-04,1.881076e-04,1.880594e-04,1.880494e-04,1.879365e-04,1.879076e-04,1.877722e-04,1.876677e-04,1.875600e-04,1.873470e-04,1.873030e-04,1.870042e-04,1.869527e-04,1.866664e-04,1.864913e-04,1.862924e-04,1.859688e-04,1.858847e-04,1.854457e-04,1.853910e-04,1.849777e-04,1.847632e-04,1.844830e-04,1.840903e-04,1.839635e-04,1.834212e-04,1.833769e-04,1.828580e-04,1.826272e-04,1.822756e-04,1.818453e-04,1.816756e-04,1.810596e-04,1.810346e-04,1.804290e-04,1.801988e-04,1.797853e-04,1.793408e-04,1.791298e-04,1.784636e-04,1.775700e-04,1.766624e-04,1.757431e-04,1.748142e-04,1.738778e-04,1.729355e-04,1.719891e-04,1.710401e-04,1.700899e-04,1.691399e-04,1.681911e-04,1.672446e-04,1.663016e-04,1.653627e-04,1.644290e-04,1.635011e-04,1.625797e-04,1.616654e-04,1.607588e-04,1.598603e-04,1.589705e-04,1.580897e-04,1.572182e-04,1.563564e-04
0.000000e+00,3.020482e-10,1.518001e-09,1.339348e-08,4.896419e-08,8.559174e-08,2.688489e-07,2.798124e-07,6.669145e-07,8.210135e-07,1.331802e-06,1.904817e-06,2.372216e-06,3.731228e-06,3.868514e-06,5.829663e-06,6.362762e-06,8.186407e-06,9.643832e-06,1.084575e-05,1.337428e-05,1.373025e-05,1.678173e-05,1.740785e-05,1.995377e-05,2.163741e-05,2.320634e-05,2.597441e-05,2.650361e-05,2.981350e-05,3.034232e-05,3.310786e-05,3.467642e-05,3.636264e-05,3.892444e-05,3.955792e-05,4.267771e-05,4.304639e-05,4.570964e-05,4.701339e-05,4.864454e-05,5.080611e-05,5.147595e-05,5.419956e-05,5.441271e-05,5.681301e-05,5.782729e-05,5.931534e-05,6.104828e-05,6.170675e-05,6.398837e-05,6.407737e-05,6.616196e-05,6.691845e-05,6.822985e-05,6.957697e-05,7.019468e-05,7.205937e-05,7.382704e-05,7.437274e-05,7.550096e-05,7.652458e-05,7.708442e-05,7.852251e-05,7.858073e-05,7.999321e-05,8.037413e-05,8.132515e-05,8.208700e-05,8.257978e-05,8.366847e-05,8.376025e-05,8.486968e-05,8.512571e-05,8.591107e-05,8.646563e-05,8.688736e-05,8.769490e-05,8.780139e-05,8.865590e-05,8.881990e-05,8.945357e-05,8.984675e-05,9.019696e-05,9.078128e-05,9.088855e-05,9.153072e-05,9.162903e-05,9.212576e-05,9.239530e-05,9.267589e-05,9.308509e-05,9.318323e-05,9.364982e-05,9.370317e-05,9.407761e-05,9.425403e-05,9.446848e-05,9.474195e-05,9.482422e-05,9.514657e-05,9.517096e-05,9.543716e-05,9.554486e-05,9.569759e-05,9.586726e-05,9.592936e-05,9.613392e-05,9.614155e-05,9.631266e-05,9.637094e-05,9.646689e-05,9.655843e-05,9.659790e-05,9.670688e-05,9.679500e-05,9.681897e-05,9.686335e-05,9.689722e-05,9.691300e-05,9.694400e-05,9.694495e-05,9.696016e-05,9.696154e-05,9.695955e-05,9.695195e-05,9.694399e-05,9.691721e-05,9.691433e-05,9.687136e-05,9.685916e-05,9.681585e-05,9.677955e-05,9.674851e-05,9.668002e-05,9.667004e-05,9.658110e-05,9.656211e-05,9.648232e-05,9.642727e-05,9.637430e-05,9.627684e-05,9.625761e-05,9.613280e-05,9.611212e-05,9.600039e-05,9.593428e-05,9.586087e-05,9.574445e-05,9.571470e-05,9.556235e-05,9.554367e-05,9.540424e-05,9.533295e-05,9.524077e-05,9.511319e-05,9.507233e-05,9.489930e-05,9.488527e-05,9.472202e-05,9.464999e-05,9.454082e-05,9.440811e-05,9.435602e-05,9.416793e-05,9.416035e-05,9.397684e-05,9.390736e-05,9.378301e-05,9.364977e-05,9.358670e-05,9.338817e-05,9.312309e-05,9.285504e-05,9.258450e-05,9.231192e-05,9.203769e-05,9.176222e-05,9.148585e-05,9.120893e-05,9.093175e-05,9.065463e-05,9.037781e-05,9.010155e-05,8.982609e-05,8.955163e-05,8.927838e-05,8.900652e-05,8.873621e-05,8.846762e-05,8.820089e-05,8.793615e-05,8.767351e-05,8.741310e-05,8.715500e-05,8.689931e-05
0.000000e+00,4.029262e-09,9.337016e-09,3.254768e-08,7.469753e-08,1.095110e-07,2.523892e-07,2.601859e-07,5.146381e-07,6.094348e-07,9.107947e-07,1.235027e-06,1.493134e-06,2.225995e-06,2.299131e-06,3.336111e-06,3.616833e-06,4.577383e-06,5.347154e-06,5.984187e-06,7.332262e-06,7.522988e-06,9.168624e-06,9.508806e-06,1.090184e-05,1.183233e-05,1.270662e-05,1.426734e-05,1.456851e-05,1.647374e-05,1.678170e-05,1.840892e-05,1.934459e-05,2.036099e-05,2.192635e-05,2.231739e-05,2.426622e-05,2.449904e-05,2.619644e-05,2.703721e-05,2.809801e-05,2.951852e-05,2.996202e-05,3.178073e-05,3.192407e-05,3.354756e-05,3.423852e-05,3.525714e-05,3.645017e-05,3.690523e-05,3.848858e-05,3.855053e-05,4.000489e-05,4.053403e-05,4.145266e-05,4.239760e-05,4.283116e-05,4.414025e-05,4.538032e-05,4.576269e-05,4.655221e-05,4.726699e-05,4.765713e-05,4.865623e-05,4.869657e-05,4.967224e-05,4.993425e-05,5.058604e-05,5.110545e-05,5.143999e-05,5.217458e-05,5.223620e-05,5.297685e-05,5.314658e-05,5.366413e-05,5.402652e-05,5.430025e-05,5.481946e-05,5.488740e-05,5.542776e-05,5.553041e-05,5.592346e-05,5.616426e-05,5.637657e-05,5.672578e-05,5.678915e-05,5.716316e-05,5.721955e-05,5.750052e-05,5.764997e-05,5.780307e-05,5.802126e-05,5.807261e-05,5.831085e-05,5.833741e-05,5.851944e-05,5.860224e-05,5.869997e-05,5.881935e-05,5.885397e-05,5.898287e-05,5.899215e-05,5.908809e-05,5.912385e-05,5.917096e-05,5.921749e-05,5.923274e-05,5.927466e-05,5.927594e-05,5.929787e-05,5.930186e-05,5.930349e-05,5.929779e-05,5.929256e-05,5.926610e-05,5.922506e-05,5.920900e-05,5.917036e-05,5.912858e-05,5.910286e-05,5.902678e-05,5.902339e-05,5.893272e-05,5.890544e-05,5.883162e-05,5.876624e-05,5.872078e-05,5.861080e-05,5.860089e-05,5.847257e-05,5.844059e-05,5.833644e-05,5.825701e-05,5.819307e-05,5.806134e-05,5.804300e-05,5.788676e-05,5.785481e-05,5.772483e-05,5.763854e-05,5.755769e-05,5.741357e-05,5.738576e-05,5.720947e-05,5.718088e-05,5.702921e-05,5.694138e-05,5.684535e-05,5.669592e-05,5.665826e-05,5.646825e-05,5.644527e-05,5.627566e-05,5.619017e-05,5.608076e-05,5.593129e-05,5.588386e-05,5.568521e-05,5.566925e-05,5.548506e-05,5.540464e-05,5.528366e-05,5.513799e-05,5.508121e-05,5.487794e-05,5.486979e-05,5.467404e-05,5.460051e-05,5.446969e-05,5.433057e-05,5.426508e-05,5.406036e-05,5.379022e-05,5.352051e-05,5.325151e-05,5.298350e-05,5.271674e-05,5.245147e-05,5.218788e-05,5.192618e-05,5.166653e-05,5.140911e-05,5.115404e-05,5.090146e-05,5.065148e-05,5.040421e-05,5.015973e-05,4.991813e-05,4.967947e-05,4.944382e-05,4.921123e-05,4.898174e-05,4.875539e-05,4.853221e-05,4.831223e-05,4.809546e-05
0.000000e+00,2.165272e-12,1.584307e-11,2.736505e-10,1.644438e-09,3.624188e-09,1.848967e-08,1.956716e-08,6.584608e-08,8.741845e-08,1.666381e-07,2.648767e-07,3.500880e-07,6.180578e-07,6.466926e-07,1.087870e-06,1.218622e-06,1.702773e-06,2.131493e-06,2.512926e-06,3.395219e-06,3.527827e-06,4.744770e-06,5.011493e-06,6.152186e-06,6.953980e-06,7.733689e-06,9.183226e-06,9.470845e-06,1.134447e-05,1.165562e-05,1.333506e-05,1.432628e-05,1.542282e-05,1.714964e-05,1.758788e-05,1.981043e-05,2.008007e-05,2.207115e-05,2.307316e-05,2.435157e-05,2.608717e-05,2.663440e-05,2.890389e-05,2.908444e-05,3.114596e-05,3.203231e-05,3.334839e-05,3.490369e-05,3.550080e-05,3.759465e-05,3.767708e-05,3.962312e-05,4.033632e-05,4.158099e-05,4.287003e-05,4.346447e-05,4.527105e-05,4.699929e-05,4.753568e-05,4.864870e-05,4.966306e-05,5.021956e-05,5.165453e-05,5.171278e-05,5.312977e-05,5.351311e-05,5.447235e-05,5.524305e-05,5.574263e-05,5.684945e-05,5.694296e-05,5.807582e-05,5.833796e-05,5.914381e-05,5.971454e-05,6.014958e-05,6.098529e-05,6.109578e-05,6.198505e-05,6.215630e-05,6.282001e-05,6.323357e-05,6.360321e-05,6.422291e-05,6.433713e-05,6.502419e-05,6.512992e-05,6.566671e-05,6.595996e-05,6.626693e-05,6.671810e-05,6.682700e-05,6.734899e-05,6.740916e-05,6.783486e-05,6.803770e-05,6.828650e-05,6.860796e-05,6.870570e-05,6.909416e-05,6.912396e-05,6.945351e-05,6.958944e-05,6.978529e-05,7.000793e-05,7.009097e-05,7.037195e-05,7.038270e-05,7.062955e-05,7.071681e-05,7.086502e-05,7.101312e-05,7.107956e-05,7.127430e-05,7.145031e-05,7.150284e-05,7.160860e-05,7.170106e-05,7.175014e-05,7.187111e-05,7.187585e-05,7.198658e-05,7.201502e-05,7.208317e-05,7.213465e-05,7.216638e-05,7.223176e-05,7.223695e-05,7.229560e-05,7.230797e-05,7.234297e-05,7.236481e-05,7.237970e-05,7.240369e-05,7.240638e-05,7.242358e-05,7.242594e-05,7.243184e-05,7.243277e-05,7.243166e-05,7.242535e-05,7.242353e-05,7.240790e-05,7.240474e-05,7.238521e-05,7.237193e-05,7.235587e-05,7.232787e-05,7.232027e-05,7.227878e-05,7.227342e-05,7.223175e-05,7.220939e-05,7.217952e-05,7.213654e-05,7.212240e-05,7.206070e-05,7.205558e-05,7.199470e-05,7.196716e-05,7.192468e-05,7.187191e-05,7.185088e-05,7.177356e-05,7.177039e-05,7.169294e-05,7.166316e-05,7.160925e-05,7.155070e-05,7.152271e-05,7.143349e-05,7.131198e-05,7.118657e-05,7.105765e-05,7.092557e-05,7.079067e-05,7.065327e-05,7.051366e-05,7.037212e-05,7.022889e-05,7.008422e-05,6.993833e-05,6.979144e-05,6.964374e-05,6.949540e-05,6.934661e-05,6.919752e-05,6.904828e-05,6.889903e-05,6.874990e-05,6.860100e-05,6.845246e-05,6.830436e-05,6.815682e-05,6.800992e-05
0.000000e+00,2.931450e-14,2.627655e-13,6.879496e-12,5.999378e-11,1.617205e-10,1.372715e-09,1.482565e-09,8.115776e-09,1.225602e-08,3.207366e-08,6.538606e-08,1.012647e-07,2.520355e-07,2.713475e-07,6.416433e-07,7.767536e-07,1.375046e-06,2.033199e-06,2.721492e-06,4.698580e-06,5.044033e-06,8.845959e-06,9.839600e-06,1.479695e-05,1.901790e-05,2.375620e-05,3.438091e-05,3.679062e-05,5.518668e-05,5.872541e-05,8.045504e-05,9.552516e-05,1.143273e-04,1.489182e-04,1.587453e-04,2.158423e-04,2.236536e-04,2.879182e-04,3.250004e-04,3.774081e-04,4.586232e-04,4.868455e-04,6.188228e-04,6.304329e-04,7.759480e-04,8.464193e-04,9.608008e-04,1.112475e-03,1.175888e-03,1.423599e-03,1.434218e-03,1.706168e-03,1.816824e-03,2.025629e-03,2.264866e-03,2.383787e-03,2.782187e-03,3.222084e-03,3.371779e-03,3.704429e-03,4.035710e-03,4.229849e-03,4.775058e-03,4.798643e-03,5.410774e-03,5.589894e-03,6.065871e-03,6.479277e-03,6.763239e-03,7.441286e-03,7.501865e-03,8.280435e-03,8.473063e-03,9.097350e-03,9.570890e-03,9.950752e-03,1.073027e-02,1.083854e-02,1.175841e-02,1.194602e-02,1.270786e-02,1.321239e-02,1.368423e-02,1.452316e-02,1.468474e-02,1.570650e-02,1.587176e-02,1.674655e-02,1.725138e-02,1.780186e-02,1.865507e-02,1.886941e-02,1.994616e-02,2.007585e-02,2.102910e-02,2.150680e-02,2.211528e-02,2.294114e-02,2.320178e-02,2.428579e-02,2.437232e-02,2.536460e-02,2.579407e-02,2.643559e-02,2.720046e-02,2.749628e-02,2.854432e-02,2.858594e-02,2.957749e-02,2.994539e-02,3.059372e-02,3.127411e-02,3.159111e-02,3.256789e-02,3.352245e-02,3.382298e-02,3.445335e-02,3.503609e-02,3.535927e-02,3.620442e-02,3.623910e-02,3.709182e-02,3.732560e-02,3.791658e-02,3.839773e-02,3.871269e-02,3.941930e-02,3.947956e-02,4.021676e-02,4.038923e-02,4.092396e-02,4.130681e-02,4.160096e-02,4.217166e-02,4.224766e-02,4.286409e-02,4.298375e-02,4.345034e-02,4.374333e-02,4.400661e-02,4.445092e-02,4.453320e-02,4.503043e-02,4.510730e-02,4.549875e-02,4.571342e-02,4.593864e-02,4.627044e-02,4.635063e-02,4.673532e-02,4.677968e-02,4.709333e-02,4.724258e-02,4.742535e-02,4.766072e-02,4.773207e-02,4.801422e-02,4.803576e-02,4.827257e-02,4.836941e-02,4.850787e-02,4.866346e-02,4.872091e-02,4.891250e-02,4.891973e-02,4.908343e-02,4.914006e-02,4.923449e-02,4.932629e-02,4.936651e-02,4.948026e-02,4.960381e-02,4.969874e-02,4.976681e-02,4.980976e-02,4.982927e-02,4.982698e-02,4.980446e-02,4.976323e-02,4.970477e-02,4.963046e-02,4.954165e-02,4.943962e-02,4.932557e-02,4.920064e-02,4.906594e-02,4.892246e-02,4.877119e-02,4.861303e-02,4.844883e-02,4.827939e-02,4.810545e-02,4.792772e-02,4.774683e-02,4.756338e-02
0.000000e+00,1.009723e-09,3.388896e-09,1.737254e-08,4.749157e-08,7.428182e-08,1.925792e-07,1.992959e-07,4.282376e-07,5.173877e-07,8.108674e-07,1.138645e-06,1.404551e-06,2.162844e-06,2.237878e-06,3.276303e-06,3.548583e-06,4.453602e-06,5.152702e-06,5.716296e-06,6.871466e-06,7.031272e-06,8.378129e-06,8.650007e-06,9.742561e-06,1.045508e-05,1.111287e-05,1.226070e-05,1.247846e-05,1.382932e-05,1.404345e-05,1.515606e-05,1.578176e-05,1.645006e-05,1.745653e-05,1.770370e-05,1.891047e-05,1.905187e-05,2.006511e-05,2.055556e-05,2.116362e-05,2.195919e-05,2.220322e-05,2.318226e-05,2.325794e-05,2.410008e-05,2.445009e-05,2.495691e-05,2.553657e-05,2.575369e-05,2.649193e-05,2.652027e-05,2.717358e-05,2.740555e-05,2.780094e-05,2.819783e-05,2.837657e-05,2.890321e-05,2.938363e-05,2.952804e-05,2.982048e-05,3.007845e-05,3.021649e-05,3.056074e-05,3.057436e-05,3.089659e-05,3.098078e-05,3.118570e-05,3.134423e-05,3.144399e-05,3.165629e-05,3.167366e-05,3.187677e-05,3.192178e-05,3.205527e-05,3.214517e-05,3.221099e-05,3.233052e-05,3.234562e-05,3.246072e-05,3.248152e-05,3.255775e-05,3.260152e-05,3.263807e-05,3.269354e-05,3.270293e-05,3.275350e-05,3.276034e-05,3.279085e-05,3.280437e-05,3.281597e-05,3.282789e-05,3.282979e-05,3.283316e-05,3.283290e-05,3.282686e-05,3.282122e-05,3.281163e-05,3.279450e-05,3.278815e-05,3.275703e-05,3.275423e-05,3.271886e-05,3.270174e-05,3.267417e-05,3.263825e-05,3.262347e-05,3.256722e-05,3.256486e-05,3.250584e-05,3.248257e-05,3.243974e-05,3.239228e-05,3.236928e-05,3.229482e-05,3.221667e-05,3.219093e-05,3.213513e-05,3.208130e-05,3.205048e-05,3.196653e-05,3.196298e-05,3.187287e-05,3.184721e-05,3.178038e-05,3.172383e-05,3.168572e-05,3.159688e-05,3.158909e-05,3.149066e-05,3.146679e-05,3.139062e-05,3.133395e-05,3.128912e-05,3.119872e-05,3.118631e-05,3.108235e-05,3.106143e-05,3.097735e-05,3.092238e-05,3.087144e-05,3.078186e-05,3.076474e-05,3.065736e-05,3.064012e-05,3.054940e-05,3.049740e-05,3.044095e-05,3.035391e-05,3.033211e-05,3.022296e-05,3.020984e-05,3.011358e-05,3.006540e-05,3.000404e-05,2.992073e-05,2.989441e-05,2.978477e-05,2.977600e-05,2.967516e-05,2.963134e-05,2.956565e-05,2.948690e-05,2.945630e-05,2.934714e-05,2.934278e-05,2.923824e-05,2.919910e-05,2.912963e-05,2.905597e-05,2.902136e-05,2.891346e-05,2.877168e-05,2.863069e-05,2.849057e-05,2.835139e-05,2.821320e-05,2.807605e-05,2.794000e-05,2.780510e-05,2.767138e-05,2.753887e-05,2.740762e-05,2.727765e-05,2.714898e-05,2.702165e-05,2.689566e-05,2.677105e-05,2.664782e-05,2.652598e-05,2.640555e-05,2.628653e-05,2.616894e-05,2.605278e-05,2.593805e-05,2.582475e-05
0.000000e+00,3.651819e-10,1.323579e-09,7.396539e-09,2.094636e-08,3.307473e-08,8.592038e-08,8.887173e-08,1.862407e-07,2.226324e-07,3.378207e-07,4.606530e-07,5.577408e-07,8.315701e-07,8.588272e-07,1.245121e-06,1.349665e-06,1.706815e-06,1.991764e-06,2.226322e-06,2.718061e-06,2.787076e-06,3.376402e-06,3.496810e-06,3.984666e-06,4.305799e-06,4.604027e-06,5.127852e-06,5.227660e-06,5.849431e-06,5.948363e-06,6.463809e-06,6.754621e-06,7.065896e-06,7.535856e-06,7.651473e-06,8.217043e-06,8.283428e-06,8.759842e-06,8.990905e-06,9.277814e-06,9.653988e-06,9.769565e-06,1.023430e-05,1.027030e-05,1.067172e-05,1.083906e-05,1.108198e-05,1.136082e-05,1.146558e-05,1.182328e-05,1.183706e-05,1.215605e-05,1.226995e-05,1.246498e-05,1.266206e-05,1.275129e-05,1.301620e-05,1.326100e-05,1.333529e-05,1.348692e-05,1.362218e-05,1.369520e-05,1.387965e-05,1.388702e-05,1.406350e-05,1.411032e-05,1.422572e-05,1.431663e-05,1.437468e-05,1.450084e-05,1.451134e-05,1.463656e-05,1.466501e-05,1.475119e-05,1.481103e-05,1.485597e-05,1.494060e-05,1.495162e-05,1.503877e-05,1.505524e-05,1.511804e-05,1.515632e-05,1.518997e-05,1.524509e-05,1.525507e-05,1.531383e-05,1.532267e-05,1.536666e-05,1.539004e-05,1.541398e-05,1.544812e-05,1.545616e-05,1.549353e-05,1.549770e-05,1.552641e-05,1.553953e-05,1.555509e-05,1.557425e-05,1.557985e-05,1.560093e-05,1.560246e-05,1.561856e-05,1.562470e-05,1.563297e-05,1.564146e-05,1.564435e-05,1.565289e-05,1.565317e-05,1.565876e-05,1.566025e-05,1.566212e-05,1.566306e-05,1.566313e-05,1.566193e-05,1.565864e-05,1.565717e-05,1.565339e-05,1.564906e-05,1.564630e-05,1.563787e-05,1.563748e-05,1.562702e-05,1.562382e-05,1.561503e-05,1.560714e-05,1.560159e-05,1.558802e-05,1.558679e-05,1.557071e-05,1.556667e-05,1.555342e-05,1.554324e-05,1.553500e-05,1.551790e-05,1.551551e-05,1.549502e-05,1.549080e-05,1.547358e-05,1.546208e-05,1.545126e-05,1.543187e-05,1.542811e-05,1.540418e-05,1.540028e-05,1.537951e-05,1.536743e-05,1.535417e-05,1.533342e-05,1.532818e-05,1.530159e-05,1.529836e-05,1.527444e-05,1.526233e-05,1.524678e-05,1.522542e-05,1.521862e-05,1.519002e-05,1.518771e-05,1.516100e-05,1.514928e-05,1.513159e-05,1.511019e-05,1.510182e-05,1.507172e-05,1.507051e-05,1.504133e-05,1.503031e-05,1.501065e-05,1.498965e-05,1.497972e-05,1.494857e-05,1.490713e-05,1.486538e-05,1.482337e-05,1.478113e-05,1.473871e-05,1.469615e-05,1.465348e-05,1.461074e-05,1.456795e-05,1.452516e-05,1.448237e-05,1.443963e-05,1.439696e-05,1.435437e-05,1.431190e-05,1.426956e-05,1.422737e-05,1.418535e-05,1.414351e-05,1.410188e-05,1.406046e-05,1.401927e-05,1.397833e-05,1.393763e-05
0.000000e+00,3.798137e-09,9.736561e-09,3.768301e-08,9.058352e-08,1.349004e-07,3.174243e-07,3.273486e-07,6.469940e-07,7.637797e-07,1.127109e-06,1.506480e-06,1.801846e-06,2.620272e-06,2.700925e-06,3.838136e-06,4.145921e-06,5.204604e-06,6.061550e-06,6.777247e-06,8.311391e-06,8.530517e-06,1.044073e-05,1.083964e-05,1.248582e-05,1.359550e-05,1.464451e-05,1.653025e-05,1.689583e-05,1.921925e-05,1.959635e-05,2.159495e-05,2.274831e-05,2.400422e-05,2.594414e-05,2.642978e-05,2.885598e-05,2.914649e-05,3.126899e-05,3.232338e-05,3.365681e-05,3.544835e-05,3.600921e-05,3.831764e-05,3.850020e-05,4.057514e-05,4.146259e-05,4.277612e-05,4.432331e-05,4.491617e-05,4.699195e-05,4.707361e-05,4.900108e-05,4.970770e-05,5.094189e-05,5.222208e-05,5.281339e-05,5.461513e-05,5.634711e-05,5.688665e-05,5.800968e-05,5.903760e-05,5.960351e-05,6.106976e-05,6.112951e-05,6.258878e-05,6.298558e-05,6.398257e-05,6.478799e-05,6.531228e-05,6.648025e-05,6.657935e-05,6.778533e-05,6.806585e-05,6.893182e-05,6.954847e-05,7.002044e-05,7.093188e-05,7.105286e-05,7.203073e-05,7.221990e-05,7.295572e-05,7.341638e-05,7.382951e-05,7.452513e-05,7.465374e-05,7.543007e-05,7.554994e-05,7.616010e-05,7.649455e-05,7.684546e-05,7.736263e-05,7.748770e-05,7.808839e-05,7.815775e-05,7.864904e-05,7.888342e-05,7.917113e-05,7.954303e-05,7.965613e-05,8.010545e-05,8.013990e-05,8.052049e-05,8.067721e-05,8.090260e-05,8.115806e-05,8.125309e-05,8.157325e-05,8.158545e-05,8.186434e-05,8.196225e-05,8.212756e-05,8.229123e-05,8.236409e-05,8.257508e-05,8.276163e-05,8.281635e-05,8.292483e-05,8.301750e-05,8.306571e-05,8.318090e-05,8.318529e-05,8.328454e-05,8.330881e-05,8.336440e-05,8.340339e-05,8.342579e-05,8.346672e-05,8.346960e-05,8.349666e-05,8.350076e-05,8.350782e-05,8.350742e-05,8.350386e-05,8.348848e-05,8.348555e-05,8.345362e-05,8.344567e-05,8.340880e-05,8.338062e-05,8.335176e-05,8.329490e-05,8.328317e-05,8.320367e-05,8.318998e-05,8.311386e-05,8.306726e-05,8.301433e-05,8.292810e-05,8.290566e-05,8.278839e-05,8.277376e-05,8.266303e-05,8.260544e-05,8.253009e-05,8.242429e-05,8.239006e-05,8.224340e-05,8.223139e-05,8.209054e-05,8.202777e-05,8.193193e-05,8.181439e-05,8.176796e-05,8.159902e-05,8.159217e-05,8.142550e-05,8.136198e-05,8.124774e-05,8.112463e-05,8.106610e-05,8.088090e-05,8.063151e-05,8.037716e-05,8.011848e-05,7.985607e-05,7.959052e-05,7.932235e-05,7.905206e-05,7.878013e-05,7.850700e-05,7.823307e-05,7.795872e-05,7.768433e-05,7.741022e-05,7.713670e-05,7.686405e-05,7.659255e-05,7.632245e-05,7.605396e-05,7.578731e-05,7.552268e-05,7.526025e-05,7.500018e-05,7.474263e-05,7.448773e-05
0.000000e+00,5.119108e-14,4.273756e-13,9.640971e-12,7.328430e-11,1.830871e-10,1.274987e-09,1.365922e-09,6.135386e-09,8.780253e-09,2.007930e-08,3.672845e-08,5.302459e-08,1.129815e-07,1.200530e-07,2.420477e-07,2.823212e-07,4.451353e-07,6.051216e-07,7.584487e-07,1.148101e-06,1.210537e-06,1.825583e-06,1.969787e-06,2.620548e-06,3.108160e-06,3.603791e-06,4.575266e-06,4.775061e-06,6.126463e-06,6.358536e-06,7.643913e-06,8.425916e-06,9.308719e-06,1.073206e-05,1.109905e-05,1.299119e-05,1.322392e-05,1.496057e-05,1.584521e-05,1.698261e-05,1.853981e-05,1.903338e-05,2.109017e-05,2.125433e-05,2.313189e-05,2.394002e-05,2.513947e-05,2.655422e-05,2.709604e-05,2.898715e-05,2.906126e-05,3.080083e-05,3.143290e-05,3.252757e-05,3.364837e-05,3.416026e-05,3.569402e-05,3.712604e-05,3.756260e-05,3.845534e-05,3.925241e-05,3.968252e-05,4.076630e-05,4.080949e-05,4.183927e-05,4.211070e-05,4.277570e-05,4.329458e-05,4.362324e-05,4.432867e-05,4.438679e-05,4.507148e-05,4.522466e-05,4.568259e-05,4.599464e-05,4.622538e-05,4.665060e-05,4.670498e-05,4.712640e-05,4.720412e-05,4.749438e-05,4.766611e-05,4.781342e-05,4.804668e-05,4.808773e-05,4.832126e-05,4.835508e-05,4.851763e-05,4.859968e-05,4.868018e-05,4.878795e-05,4.881199e-05,4.891584e-05,4.892655e-05,4.899429e-05,4.902136e-05,4.904965e-05,4.907757e-05,4.908401e-05,4.909930e-05,4.909975e-05,4.909722e-05,4.909188e-05,4.907934e-05,4.905748e-05,4.904707e-05,4.900168e-05,4.899961e-05,4.894435e-05,4.892099e-05,4.887612e-05,4.882399e-05,4.879795e-05,4.871070e-05,4.861517e-05,4.858298e-05,4.851209e-05,4.844246e-05,4.840211e-05,4.829060e-05,4.828584e-05,4.816383e-05,4.812871e-05,4.803660e-05,4.795794e-05,4.790461e-05,4.777935e-05,4.776830e-05,4.762806e-05,4.759386e-05,4.748427e-05,4.740232e-05,4.733727e-05,4.720550e-05,4.718737e-05,4.703486e-05,4.700407e-05,4.688003e-05,4.679868e-05,4.672313e-05,4.658990e-05,4.656438e-05,4.640403e-05,4.637823e-05,4.624226e-05,4.616417e-05,4.607928e-05,4.594814e-05,4.591526e-05,4.575038e-05,4.573054e-05,4.558478e-05,4.551174e-05,4.541863e-05,4.529206e-05,4.525204e-05,4.508517e-05,4.507181e-05,4.491812e-05,4.485128e-05,4.475101e-05,4.463072e-05,4.458395e-05,4.441704e-05,4.441036e-05,4.425036e-05,4.419043e-05,4.408401e-05,4.397113e-05,4.391808e-05,4.375262e-05,4.353509e-05,4.331868e-05,4.310352e-05,4.288976e-05,4.267749e-05,4.246683e-05,4.225788e-05,4.205071e-05,4.184542e-05,4.164206e-05,4.144070e-05,4.124140e-05,4.104421e-05,4.084917e-05,4.065632e-05,4.046569e-05,4.027731e-05,4.009122e-05,3.990742e-05,3.972594e-05,3.954679e-05,3.936997e-05,3.919550e-05,3.902338e-05
0.000000e+00,2.570507e-16,2.301943e-15,6.015851e-14,5.237204e-13,1.410401e-12,1.194120e-11,1.289542e-11,7.040413e-11,1.062417e-10,2.775007e-10,5.648167e-10,8.738112e-10,2.169464e-09,2.335196e-09,5.507124e-09,6.662463e-09,1.177033e-08,1.737856e-08,2.323553e-08,4.003012e-08,4.296146e-08,7.518649e-08,8.360120e-08,1.255599e-07,1.612707e-07,2.013542e-07,2.912457e-07,3.116380e-07,4.673922e-07,4.973696e-07,6.815534e-07,8.093887e-07,9.689786e-07,1.262809e-06,1.346329e-06,1.831875e-06,1.898331e-06,2.445236e-06,2.760897e-06,3.207055e-06,3.898422e-06,4.138637e-06,5.261550e-06,5.360293e-06,6.597214e-06,7.195748e-06,8.166477e-06,9.452200e-06,9.989217e-06,1.208395e-05,1.217364e-05,1.446748e-05,1.539916e-05,1.715458e-05,1.916166e-05,2.015771e-05,2.348682e-05,2.714914e-05,2.839226e-05,3.114912e-05,3.388713e-05,3.548829e-05,3.997179e-05,4.016531e-05,4.517597e-05,4.663786e-05,5.051328e-05,5.386853e-05,5.616756e-05,6.163900e-05,6.212662e-05,6.837593e-05,6.991715e-05,7.489885e-05,7.866433e-05,8.167677e-05,8.783625e-05,8.868947e-05,9.591525e-05,9.738399e-05,1.033313e-04,1.072549e-04,1.109138e-04,1.173938e-04,1.186383e-04,1.264799e-04,1.277437e-04,1.344136e-04,1.382470e-04,1.424141e-04,1.488461e-04,1.504568e-04,1.585171e-04,1.594844e-04,1.665711e-04,1.701069e-04,1.745956e-04,1.806608e-04,1.825684e-04,1.904681e-04,1.910963e-04,1.982746e-04,2.013667e-04,2.059686e-04,2.114287e-04,2.135324e-04,2.209494e-04,2.212429e-04,2.282044e-04,2.307738e-04,2.352835e-04,2.399903e-04,2.421740e-04,2.488648e-04,2.553460e-04,2.573743e-04,2.616090e-04,2.654994e-04,2.676465e-04,2.732246e-04,2.734523e-04,2.790216e-04,2.805381e-04,2.843506e-04,2.874314e-04,2.894365e-04,2.938996e-04,2.942779e-04,2.988738e-04,2.999404e-04,3.032247e-04,3.055544e-04,3.073314e-04,3.107448e-04,3.111958e-04,3.148205e-04,3.155169e-04,3.182086e-04,3.198782e-04,3.213640e-04,3.238377e-04,3.242908e-04,3.269940e-04,3.274061e-04,3.294786e-04,3.305953e-04,3.317503e-04,3.334183e-04,3.338150e-04,3.356787e-04,3.358892e-04,3.373479e-04,3.380223e-04,3.388289e-04,3.398329e-04,3.401287e-04,3.412538e-04,3.413364e-04,3.422111e-04,3.425486e-04,3.430075e-04,3.434851e-04,3.436498e-04,3.441450e-04,3.441618e-04,3.444997e-04,3.445943e-04,3.447208e-04,3.447982e-04,3.448149e-04,3.447884e-04,3.445799e-04,3.441869e-04,3.436236e-04,3.429031e-04,3.420386e-04,3.410424e-04,3.399263e-04,3.387016e-04,3.373790e-04,3.359687e-04,3.344801e-04,3.329224e-04,3.313040e-04,3.296329e-04,3.279166e-04,3.261618e-04,3.243752e-04,3.225628e-04,3.207300e-04,3.188821e-04,3.170237e-04,3.151593e-04,3.132928e-04,3.114279e-04
0.000000e+00,7.321045e-15,6.234896e-14,1.465980e-12,1.157168e-11,2.951152e-11,2.165828e-10,2.325176e-10,1.097846e-09,1.591672e-09,3.755565e-09,7.032976e-09,1.029998e-08,2.259064e-08,2.405905e-08,4.976607e-08,5.837140e-08,9.361624e-08,1.288771e-07,1.632121e-07,2.527617e-07,2.674116e-07,4.160905e-07,4.520864e-07,6.198238e-07,7.511324e-07,8.894806e-07,1.174759e-06,1.235726e-06,1.668436e-06,1.746284e-06,2.196066e-06,2.485023e-06,2.825043e-06,3.403901e-06,3.559253e-06,4.399713e-06,4.507646e-06,5.344452e-06,5.792018e-06,6.388605e-06,7.244138e-06,7.524702e-06,8.743098e-06,8.843795e-06,1.003248e-05,1.056534e-05,1.138037e-05,1.237976e-05,1.277371e-05,1.419923e-05,1.425674e-05,1.564395e-05,1.616634e-05,1.709545e-05,1.808037e-05,1.854211e-05,1.997336e-05,2.137971e-05,2.182310e-05,2.275288e-05,2.361095e-05,2.408574e-05,2.532186e-05,2.537238e-05,2.660797e-05,2.694425e-05,2.778876e-05,2.846973e-05,2.891195e-05,2.989276e-05,2.997563e-05,3.097866e-05,3.121030e-05,3.192060e-05,3.242144e-05,3.280160e-05,3.352696e-05,3.362230e-05,3.438378e-05,3.452910e-05,3.508748e-05,3.543113e-05,3.573510e-05,3.623717e-05,3.632856e-05,3.686996e-05,3.695189e-05,3.736148e-05,3.758037e-05,3.780543e-05,3.812788e-05,3.820411e-05,3.855987e-05,3.859979e-05,3.887503e-05,3.900143e-05,3.915188e-05,3.933805e-05,3.939267e-05,3.959958e-05,3.961473e-05,3.977472e-05,3.983634e-05,3.992014e-05,4.000754e-05,4.003779e-05,4.012955e-05,4.013271e-05,4.019720e-05,4.021599e-05,4.024245e-05,4.026125e-05,4.026691e-05,4.027212e-05,4.025950e-05,4.025193e-05,4.023044e-05,4.020380e-05,4.018621e-05,4.013060e-05,4.012802e-05,4.005701e-05,4.003498e-05,3.997426e-05,3.991938e-05,3.988075e-05,3.978604e-05,3.977744e-05,3.966519e-05,3.963702e-05,3.954484e-05,3.947419e-05,3.941715e-05,3.929928e-05,3.928283e-05,3.914257e-05,3.911386e-05,3.899698e-05,3.891937e-05,3.884666e-05,3.871713e-05,3.869214e-05,3.853394e-05,3.850832e-05,3.837252e-05,3.829403e-05,3.820833e-05,3.807525e-05,3.804177e-05,3.787322e-05,3.785287e-05,3.770303e-05,3.762771e-05,3.753153e-05,3.740050e-05,3.735902e-05,3.718579e-05,3.717190e-05,3.701208e-05,3.694251e-05,3.683813e-05,3.671287e-05,3.666418e-05,3.649041e-05,3.648347e-05,3.631703e-05,3.625473e-05,3.614419e-05,3.602706e-05,3.597206e-05,3.580079e-05,3.557623e-05,3.535367e-05,3.513333e-05,3.491544e-05,3.470018e-05,3.448772e-05,3.427819e-05,3.407172e-05,3.386840e-05,3.366832e-05,3.347156e-05,3.327817e-05,3.308819e-05,3.290165e-05,3.271858e-05,3.253900e-05,3.236291e-05,3.219031e-05,3.202118e-05,3.185552e-05,3.169330e-05,3.153450e-05,3.137908e-05,3.122703e-05
0.000000e+00,2.353117e-14,1.964800e-13,4.435281e-12,3.373547e-11,8.430808e-11,5.873899e-10,6.292864e-10,2.825067e-09,4.041220e-09,9.225641e-09,1.683682e-08,2.425960e-08,5.139737e-08,5.458404e-08,1.092712e-07,1.272488e-07,1.998048e-07,2.711576e-07,3.397689e-07,5.156508e-07,5.440654e-07,8.276521e-07,8.951163e-07,1.204060e-06,1.440194e-06,1.684075e-06,2.172709e-06,2.274857e-06,2.979615e-06,3.102962e-06,3.797738e-06,4.229649e-06,4.725245e-06,5.541545e-06,5.755382e-06,6.879257e-06,7.019938e-06,8.086430e-06,8.641046e-06,9.365432e-06,1.037809e-05,1.070418e-05,1.209036e-05,1.220293e-05,1.351167e-05,1.408734e-05,1.495614e-05,1.600401e-05,1.641226e-05,1.786920e-05,1.792736e-05,1.931695e-05,1.983411e-05,2.074639e-05,2.170374e-05,2.214936e-05,2.351876e-05,2.484851e-05,2.526481e-05,2.613356e-05,2.693060e-05,2.736982e-05,2.850784e-05,2.855419e-05,2.968439e-05,2.999092e-05,3.075896e-05,3.137665e-05,3.177713e-05,3.266389e-05,3.273875e-05,3.364421e-05,3.385324e-05,3.449434e-05,3.494668e-05,3.529035e-05,3.594726e-05,3.603374e-05,3.672624e-05,3.685880e-05,3.736977e-05,3.768571e-05,3.796634e-05,3.843271e-05,3.851806e-05,3.902708e-05,3.910471e-05,3.949555e-05,3.970664e-05,3.992560e-05,4.024339e-05,4.031932e-05,4.067877e-05,4.071970e-05,4.100592e-05,4.114013e-05,4.130267e-05,4.150900e-05,4.157085e-05,4.181220e-05,4.183040e-05,4.202837e-05,4.210814e-05,4.222094e-05,4.234580e-05,4.239138e-05,4.254110e-05,4.254668e-05,4.267142e-05,4.271382e-05,4.278358e-05,4.285007e-05,4.287875e-05,4.295803e-05,4.302245e-05,4.304008e-05,4.307296e-05,4.309842e-05,4.311049e-05,4.313508e-05,4.313587e-05,4.314990e-05,4.315190e-05,4.315332e-05,4.315057e-05,4.314683e-05,4.313267e-05,4.313108e-05,4.310669e-05,4.309962e-05,4.307422e-05,4.305272e-05,4.303422e-05,4.299318e-05,4.298718e-05,4.293358e-05,4.292212e-05,4.287387e-05,4.284053e-05,4.280845e-05,4.274937e-05,4.273771e-05,4.266203e-05,4.264948e-05,4.258174e-05,4.254166e-05,4.249717e-05,4.242663e-05,4.240862e-05,4.231637e-05,4.230507e-05,4.222070e-05,4.217758e-05,4.212185e-05,4.204475e-05,4.202007e-05,4.191557e-05,4.190710e-05,4.180856e-05,4.176511e-05,4.169925e-05,4.161923e-05,4.158783e-05,4.147445e-05,4.146988e-05,4.135930e-05,4.131745e-05,4.124253e-05,4.116228e-05,4.112429e-05,4.100471e-05,4.084505e-05,4.068357e-05,4.052054e-05,4.035620e-05,4.019079e-05,4.002450e-05,3.985753e-05,3.969006e-05,3.952226e-05,3.935429e-05,3.918629e-05,3.901839e-05,3.885071e-05,3.868338e-05,3.851649e-05,3.835016e-05,3.818446e-05,3.801948e-05,3.785530e-05,3.769200e-05,3.752964e-05,3.736827e-05,3.720797e-05,3.704877e-05
0.000000e+00,4.135119e-09,9.577962e-09,3.332405e-08,7.619208e-08,1.113448e-07,2.532781e-07,2.609196e-07,5.050274e-07,5.936093e-07,8.682400e-07,1.154363e-06,1.377149e-06,1.996253e-06,2.057472e-06,2.925546e-06,3.162059e-06,3.980076e-06,4.646435e-06,5.205213e-06,6.408284e-06,6.580615e-06,8.087306e-06,8.402893e-06,9.708523e-06,1.059168e-05,1.142887e-05,1.293970e-05,1.323350e-05,1.510771e-05,1.541306e-05,1.703681e-05,1.797799e-05,1.900625e-05,2.060132e-05,2.100187e-05,2.301005e-05,2.325126e-05,2.501798e-05,2.589831e-05,2.701386e-05,2.851604e-05,2.898699e-05,3.092789e-05,3.108152e-05,3.282832e-05,3.357554e-05,3.468124e-05,3.598260e-05,3.648081e-05,3.822231e-05,3.829071e-05,3.990203e-05,4.049104e-05,4.151717e-05,4.257755e-05,4.306578e-05,4.454665e-05,4.595923e-05,4.639682e-05,4.730354e-05,4.812827e-05,4.858003e-05,4.974235e-05,4.978946e-05,5.093287e-05,5.124137e-05,5.201158e-05,5.262837e-05,5.302709e-05,5.390698e-05,5.398108e-05,5.487537e-05,5.508134e-05,5.571191e-05,5.615588e-05,5.649267e-05,5.713521e-05,5.721968e-05,5.789502e-05,5.802408e-05,5.852080e-05,5.882736e-05,5.909929e-05,5.955043e-05,5.963287e-05,6.012346e-05,6.019810e-05,6.057298e-05,6.077474e-05,6.098336e-05,6.128470e-05,6.135641e-05,6.169390e-05,6.173209e-05,6.199758e-05,6.212093e-05,6.226914e-05,6.245503e-05,6.251019e-05,6.272227e-05,6.273803e-05,6.290690e-05,6.297339e-05,6.306553e-05,6.316443e-05,6.319955e-05,6.331031e-05,6.331428e-05,6.339910e-05,6.342592e-05,6.346714e-05,6.350216e-05,6.351562e-05,6.354567e-05,6.355838e-05,6.355896e-05,6.355479e-05,6.354439e-05,6.353588e-05,6.350421e-05,6.350261e-05,6.345589e-05,6.344051e-05,6.339657e-05,6.335528e-05,6.332549e-05,6.325038e-05,6.324342e-05,6.315113e-05,6.312754e-05,6.304932e-05,6.298840e-05,6.293867e-05,6.283450e-05,6.281983e-05,6.269342e-05,6.266728e-05,6.256002e-05,6.248808e-05,6.242019e-05,6.229814e-05,6.227445e-05,6.212331e-05,6.209866e-05,6.196724e-05,6.189071e-05,6.180669e-05,6.167531e-05,6.164209e-05,6.147384e-05,6.145343e-05,6.130234e-05,6.122593e-05,6.112793e-05,6.099365e-05,6.095096e-05,6.077176e-05,6.075734e-05,6.059064e-05,6.051771e-05,6.040787e-05,6.027542e-05,6.022374e-05,6.003849e-05,6.003107e-05,5.985238e-05,5.978521e-05,5.966563e-05,5.953838e-05,5.947845e-05,5.929104e-05,5.904363e-05,5.879656e-05,5.855018e-05,5.830485e-05,5.806086e-05,5.781849e-05,5.757801e-05,5.733964e-05,5.710360e-05,5.687005e-05,5.663919e-05,5.641115e-05,5.618607e-05,5.596406e-05,5.574523e-05,5.552967e-05,5.531744e-05,5.510862e-05,5.490326e-05,5.470140e-05,5.450308e-05,5.430831e-05,5.411713e-05,5.392953e-05
0.000000e+00,1.053415e-15,9.422166e-15,2.456003e-13,2.133190e-12,5.737634e-12,4.842822e-11,5.229174e-11,2.846834e-10,4.292814e-10,1.119318e-09,2.275246e-09,3.517140e-09,8.717832e-09,9.382587e-09,2.209416e-08,2.672071e-08,4.716204e-08,6.958897e-08,9.299721e-08,1.600638e-07,1.717625e-07,3.002578e-07,3.337804e-07,5.007709e-07,6.426994e-07,8.018138e-07,1.157980e-06,1.238661e-06,1.853623e-06,1.971745e-06,2.696015e-06,3.197342e-06,3.821806e-06,4.967947e-06,5.292960e-06,7.176506e-06,7.433580e-06,9.543376e-06,1.075680e-05,1.246708e-05,1.510743e-05,1.602225e-05,2.028315e-05,2.065670e-05,2.532218e-05,2.757127e-05,3.120839e-05,3.600741e-05,3.800618e-05,4.577401e-05,4.610565e-05,5.456335e-05,5.798623e-05,6.441777e-05,7.174535e-05,7.537221e-05,8.745243e-05,1.006747e-04,1.051484e-04,1.150456e-04,1.248447e-04,1.305619e-04,1.465237e-04,1.472112e-04,1.649715e-04,1.701396e-04,1.838123e-04,1.956195e-04,2.036946e-04,2.228665e-04,2.245721e-04,2.463912e-04,2.517614e-04,2.690925e-04,2.821665e-04,2.926110e-04,3.139280e-04,3.168770e-04,3.418172e-04,3.468794e-04,3.673552e-04,3.808452e-04,3.934125e-04,4.156432e-04,4.199089e-04,4.467636e-04,4.510882e-04,4.738958e-04,4.869942e-04,5.012251e-04,5.231771e-04,5.286722e-04,5.561597e-04,5.594573e-04,5.836120e-04,5.956610e-04,6.109563e-04,6.316225e-04,6.381226e-04,6.650440e-04,6.671853e-04,6.916574e-04,7.022029e-04,7.179029e-04,7.365404e-04,7.437248e-04,7.690712e-04,7.700745e-04,7.938942e-04,8.026939e-04,8.181502e-04,8.342999e-04,8.417993e-04,8.648060e-04,8.871386e-04,8.941380e-04,9.087693e-04,9.222333e-04,9.296741e-04,9.490410e-04,9.498328e-04,9.692288e-04,9.745211e-04,9.878489e-04,9.986442e-04,1.005683e-03,1.021390e-03,1.022724e-03,1.038969e-03,1.042749e-03,1.054416e-03,1.062718e-03,1.069066e-03,1.081302e-03,1.082923e-03,1.095993e-03,1.098513e-03,1.108284e-03,1.114371e-03,1.119806e-03,1.128898e-03,1.130570e-03,1.140590e-03,1.142125e-03,1.149879e-03,1.154083e-03,1.158454e-03,1.164811e-03,1.166331e-03,1.173528e-03,1.174347e-03,1.180064e-03,1.182735e-03,1.185957e-03,1.190017e-03,1.191227e-03,1.195894e-03,1.196242e-03,1.199979e-03,1.201454e-03,1.203502e-03,1.205703e-03,1.206485e-03,1.208948e-03,1.209036e-03,1.210912e-03,1.211500e-03,1.212397e-03,1.213145e-03,1.213426e-03,1.214018e-03,1.214164e-03,1.213630e-03,1.212461e-03,1.210700e-03,1.208389e-03,1.205569e-03,1.202279e-03,1.198557e-03,1.194440e-03,1.189962e-03,1.185155e-03,1.180053e-03,1.174683e-03,1.169075e-03,1.163255e-03,1.157249e-03,1.151080e-03,1.144770e-03,1.138341e-03,1.131811e-03,1.125200e-03,1.118523e-03,1.111797e-03,1.105037e-03
0.000000e+00,2.534957e-09,5.818880e-09,2.002873e-08,4.549817e-08,6.628351e-08,1.495880e-07,1.540492e-07,2.954930e-07,3.463528e-07,5.026446e-07,6.635038e-07,7.875699e-07,1.128221e-06,1.161656e-06,1.633135e-06,1.761132e-06,2.203646e-06,2.564535e-06,2.867661e-06,3.521923e-06,3.615810e-06,4.438145e-06,4.610677e-06,5.325276e-06,5.809225e-06,6.268301e-06,7.097275e-06,7.258527e-06,8.287304e-06,8.454909e-06,9.346011e-06,9.862317e-06,1.042614e-05,1.130012e-05,1.151945e-05,1.261805e-05,1.274988e-05,1.371460e-05,1.419468e-05,1.480239e-05,1.561950e-05,1.587537e-05,1.692827e-05,1.701150e-05,1.795655e-05,1.836008e-05,1.895638e-05,1.965688e-05,1.992466e-05,2.085895e-05,2.089559e-05,2.175740e-05,2.207179e-05,2.261866e-05,2.318263e-05,2.344189e-05,2.422662e-05,2.497277e-05,2.520342e-05,2.568054e-05,2.611356e-05,2.635037e-05,2.695830e-05,2.698289e-05,2.757893e-05,2.773941e-05,2.813942e-05,2.845907e-05,2.866538e-05,2.911972e-05,2.915792e-05,2.961820e-05,2.972400e-05,3.004740e-05,3.027463e-05,3.044674e-05,3.077441e-05,3.081742e-05,3.116065e-05,3.122611e-05,3.147762e-05,3.163246e-05,3.176950e-05,3.199613e-05,3.203744e-05,3.228256e-05,3.231974e-05,3.250595e-05,3.260577e-05,3.270867e-05,3.285665e-05,3.289174e-05,3.305614e-05,3.307466e-05,3.320283e-05,3.326199e-05,3.333271e-05,3.342073e-05,3.344668e-05,3.354556e-05,3.355285e-05,3.363018e-05,3.366020e-05,3.370129e-05,3.374456e-05,3.375966e-05,3.380597e-05,3.380758e-05,3.384092e-05,3.385084e-05,3.386515e-05,3.387581e-05,3.387927e-05,3.388387e-05,3.387952e-05,3.387633e-05,3.386676e-05,3.385441e-05,3.384609e-05,3.381925e-05,3.381799e-05,3.378294e-05,3.377193e-05,3.374136e-05,3.371347e-05,3.369369e-05,3.364479e-05,3.364031e-05,3.358162e-05,3.356678e-05,3.351795e-05,3.348026e-05,3.344967e-05,3.338602e-05,3.337709e-05,3.330052e-05,3.328475e-05,3.322025e-05,3.317715e-05,3.313657e-05,3.306383e-05,3.304973e-05,3.295999e-05,3.294537e-05,3.286757e-05,3.282233e-05,3.277271e-05,3.269521e-05,3.267563e-05,3.257651e-05,3.256448e-05,3.247554e-05,3.243059e-05,3.237293e-05,3.229393e-05,3.226882e-05,3.216338e-05,3.215489e-05,3.205677e-05,3.201383e-05,3.194912e-05,3.187106e-05,3.184059e-05,3.173128e-05,3.172690e-05,3.162133e-05,3.158161e-05,3.151085e-05,3.143548e-05,3.139995e-05,3.128873e-05,3.114158e-05,3.099425e-05,3.084692e-05,3.069976e-05,3.055294e-05,3.040661e-05,3.026089e-05,3.011591e-05,2.997178e-05,2.982862e-05,2.968650e-05,2.954553e-05,2.940576e-05,2.926728e-05,2.913015e-05,2.899442e-05,2.886014e-05,2.872735e-05,2.859610e-05,2.846643e-05,2.833835e-05,2.821189e-05,2.808709e-05,2.796394e-05
0.000000e+00,1.742971e-10,7.444951e-10,5.161859e-09,1.637853e-08,2.702210e-08,7.588105e-08,7.867422e-08,1.723393e-07,2.077092e-07,3.198528e-07,4.391173e-07,5.330338e-07,7.974709e-07,8.238799e-07,1.204209e-06,1.309997e-06,1.684108e-06,1.998668e-06,2.269078e-06,2.869853e-06,2.957770e-06,3.742872e-06,3.910584e-06,4.614235e-06,5.097929e-06,5.561362e-06,6.408218e-06,6.574325e-06,7.643741e-06,7.819480e-06,8.760581e-06,9.310909e-06,9.916011e-06,1.086231e-05,1.110136e-05,1.230819e-05,1.245406e-05,1.352833e-05,1.406740e-05,1.475406e-05,1.568488e-05,1.597815e-05,1.719400e-05,1.729073e-05,1.839564e-05,1.887111e-05,1.957779e-05,2.041428e-05,2.073588e-05,2.186602e-05,2.191060e-05,2.296498e-05,2.335246e-05,2.403015e-05,2.473409e-05,2.505947e-05,2.605141e-05,2.700489e-05,2.730176e-05,2.791923e-05,2.848371e-05,2.879412e-05,2.959687e-05,2.962953e-05,3.042569e-05,3.064163e-05,3.118303e-05,3.161906e-05,3.190218e-05,3.253072e-05,3.258390e-05,3.322905e-05,3.337855e-05,3.383859e-05,3.416476e-05,3.441355e-05,3.489176e-05,3.495500e-05,3.546405e-05,3.556207e-05,3.594183e-05,3.617829e-05,3.638947e-05,3.674304e-05,3.680812e-05,3.719891e-05,3.725892e-05,3.756295e-05,3.772851e-05,3.790135e-05,3.815433e-05,3.821518e-05,3.850551e-05,3.853881e-05,3.877335e-05,3.888434e-05,3.901972e-05,3.919319e-05,3.924557e-05,3.945185e-05,3.946754e-05,3.963947e-05,3.970948e-05,3.980929e-05,3.992103e-05,3.996218e-05,4.009896e-05,4.010410e-05,4.022039e-05,4.026050e-05,4.032725e-05,4.039196e-05,4.042026e-05,4.050012e-05,4.056750e-05,4.058653e-05,4.062305e-05,4.065267e-05,4.066738e-05,4.069994e-05,4.070109e-05,4.072474e-05,4.072964e-05,4.073889e-05,4.074303e-05,4.074404e-05,4.074128e-05,4.074071e-05,4.072936e-05,4.072550e-05,4.071046e-05,4.069674e-05,4.068443e-05,4.065597e-05,4.065171e-05,4.061267e-05,4.060414e-05,4.056772e-05,4.054212e-05,4.051720e-05,4.047072e-05,4.046147e-05,4.040085e-05,4.039072e-05,4.033567e-05,4.030285e-05,4.026622e-05,4.020778e-05,4.019279e-05,4.011566e-05,4.010617e-05,4.003508e-05,3.999860e-05,3.995131e-05,3.988565e-05,3.986458e-05,3.977511e-05,3.976785e-05,3.968313e-05,3.964568e-05,3.958883e-05,3.951961e-05,3.949241e-05,3.939405e-05,3.939007e-05,3.929392e-05,3.925748e-05,3.919221e-05,3.912221e-05,3.908905e-05,3.898461e-05,3.884502e-05,3.870373e-05,3.856105e-05,3.841724e-05,3.827254e-05,3.812719e-05,3.798141e-05,3.783538e-05,3.768931e-05,3.754336e-05,3.739768e-05,3.725243e-05,3.710774e-05,3.696373e-05,3.682052e-05,3.667822e-05,3.653691e-05,3.639669e-05,3.625764e-05,3.611983e-05,3.598333e-05,3.584819e-05,3.571447e-05,3.558221e-05
0.000000e+00,9.585345e-16,8.539427e-15,2.208424e-13,1.903913e-12,5.099313e-12,4.254968e-11,4.592198e-11,2.469516e-10,3.710806e-10,9.587396e-10,1.933702e-09,2.973427e-09,7.279331e-09,7.825825e-09,1.817394e-08,2.190516e-08,3.824450e-08,5.597429e-08,7.432280e-08,1.262723e-07,1.352608e-07,2.329718e-07,2.582174e-07,3.828726e-07,4.876823e-07,6.042303e-07,8.623333e-07,9.203650e-07,1.358672e-06,1.442178e-06,1.950439e-06,2.299090e-06,2.730449e-06,3.515239e-06,3.736389e-06,5.008094e-06,5.180502e-06,6.586654e-06,7.389107e-06,8.513442e-06,1.023576e-05,1.082910e-05,1.357256e-05,1.381163e-05,1.678007e-05,1.820046e-05,2.048431e-05,2.347507e-05,2.471368e-05,2.949162e-05,2.969442e-05,3.483612e-05,3.690138e-05,4.075942e-05,4.512128e-05,4.726772e-05,5.436122e-05,6.203410e-05,6.461005e-05,7.027478e-05,7.583912e-05,7.906617e-05,8.800344e-05,8.838607e-05,9.820761e-05,1.010434e-04,1.084998e-04,1.148867e-04,1.192280e-04,1.294507e-04,1.303545e-04,1.418394e-04,1.446444e-04,1.536404e-04,1.603711e-04,1.657145e-04,1.765305e-04,1.780174e-04,1.905049e-04,1.930206e-04,2.031326e-04,2.097400e-04,2.158571e-04,2.265892e-04,2.286357e-04,2.414273e-04,2.434725e-04,2.541922e-04,2.602987e-04,2.668926e-04,2.769825e-04,2.794929e-04,2.919596e-04,2.934451e-04,3.042615e-04,3.096147e-04,3.163700e-04,3.254269e-04,3.282589e-04,3.399044e-04,3.408248e-04,3.512851e-04,3.557590e-04,3.623823e-04,3.701874e-04,3.731795e-04,3.836625e-04,3.840751e-04,3.938193e-04,3.973939e-04,4.036401e-04,4.101223e-04,4.131171e-04,4.222443e-04,4.310175e-04,4.337497e-04,4.394343e-04,4.446334e-04,4.474935e-04,4.548944e-04,4.551957e-04,4.625424e-04,4.645361e-04,4.695365e-04,4.735653e-04,4.761819e-04,4.819918e-04,4.824834e-04,4.884466e-04,4.898281e-04,4.940778e-04,4.970889e-04,4.993841e-04,5.037906e-04,5.043728e-04,5.090520e-04,5.099514e-04,5.134299e-04,5.155903e-04,5.175153e-04,5.207274e-04,5.213170e-04,5.248441e-04,5.253836e-04,5.281057e-04,5.295797e-04,5.311111e-04,5.333372e-04,5.338696e-04,5.363903e-04,5.366773e-04,5.386826e-04,5.396212e-04,5.407555e-04,5.421897e-04,5.426180e-04,5.442791e-04,5.444035e-04,5.457474e-04,5.462826e-04,5.470314e-04,5.478466e-04,5.481396e-04,5.490800e-04,5.491143e-04,5.498607e-04,5.501041e-04,5.504893e-04,5.508337e-04,5.509732e-04,5.513199e-04,5.515791e-04,5.516267e-04,5.514775e-04,5.511457e-04,5.506447e-04,5.499871e-04,5.491850e-04,5.482498e-04,5.471922e-04,5.460224e-04,5.447499e-04,5.433838e-04,5.419324e-04,5.404037e-04,5.388052e-04,5.371438e-04,5.354262e-04,5.336583e-04,5.318460e-04,5.299945e-04,5.281089e-04,5.261938e-04,5.242536e-04,5.222923e-04
0.000000e+00,6.143310e-10,2.098933e-09,1.098450e-08,3.024620e-08,4.731746e-08,1.212007e-07,1.253156e-07,2.607340e-07,3.112104e-07,4.705571e-07,6.398429e-07,7.732657e-07,1.148556e-06,1.185892e-06,1.716858e-06,1.861654e-06,2.362029e-06,2.769076e-06,3.110159e-06,3.844469e-06,3.949703e-06,4.870968e-06,5.064282e-06,5.865631e-06,6.409261e-06,6.925857e-06,7.861321e-06,8.043714e-06,9.210906e-06,9.401659e-06,1.041873e-05,1.101027e-05,1.165814e-05,1.266623e-05,1.291994e-05,1.419497e-05,1.434843e-05,1.547427e-05,1.603629e-05,1.674930e-05,1.771055e-05,1.801210e-05,1.925538e-05,1.935380e-05,2.047263e-05,2.095094e-05,2.165816e-05,2.248933e-05,2.280709e-05,2.391543e-05,2.395887e-05,2.497993e-05,2.535192e-05,2.599812e-05,2.666312e-05,2.696824e-05,2.788914e-05,2.876024e-05,2.902844e-05,2.958143e-05,3.008094e-05,3.035304e-05,3.104778e-05,3.107576e-05,3.175055e-05,3.193107e-05,3.237864e-05,3.273365e-05,3.296142e-05,3.345890e-05,3.350045e-05,3.399737e-05,3.411056e-05,3.445393e-05,3.469263e-05,3.487189e-05,3.520918e-05,3.525304e-05,3.559918e-05,3.566436e-05,3.591209e-05,3.606225e-05,3.619352e-05,3.640685e-05,3.644518e-05,3.666874e-05,3.670201e-05,3.686581e-05,3.695145e-05,3.703794e-05,3.715870e-05,3.718663e-05,3.731331e-05,3.732710e-05,3.741934e-05,3.745980e-05,3.750604e-05,3.755975e-05,3.757463e-05,3.762630e-05,3.762974e-05,3.766218e-05,3.767234e-05,3.768331e-05,3.768997e-05,3.769071e-05,3.768533e-05,3.768486e-05,3.766806e-05,3.765910e-05,3.763975e-05,3.761460e-05,3.760119e-05,3.755315e-05,3.749632e-05,3.747639e-05,3.743138e-05,3.738584e-05,3.735894e-05,3.728292e-05,3.727962e-05,3.719395e-05,3.716890e-05,3.710246e-05,3.704498e-05,3.700564e-05,3.691225e-05,3.690395e-05,3.679782e-05,3.677173e-05,3.668766e-05,3.662435e-05,3.657384e-05,3.647095e-05,3.645673e-05,3.633666e-05,3.631231e-05,3.621393e-05,3.614916e-05,3.608885e-05,3.598216e-05,3.596168e-05,3.583269e-05,3.581190e-05,3.570211e-05,3.563893e-05,3.557017e-05,3.546378e-05,3.543708e-05,3.530303e-05,3.528689e-05,3.516821e-05,3.510869e-05,3.503279e-05,3.492957e-05,3.489693e-05,3.476077e-05,3.474987e-05,3.462446e-05,3.456992e-05,3.448812e-05,3.439001e-05,3.435187e-05,3.421583e-05,3.421039e-05,3.408009e-05,3.403132e-05,3.394476e-05,3.385301e-05,3.380992e-05,3.367565e-05,3.349942e-05,3.332448e-05,3.315098e-05,3.297904e-05,3.280877e-05,3.264028e-05,3.247366e-05,3.230898e-05,3.214631e-05,3.198572e-05,3.182726e-05,3.167096e-05,3.151687e-05,3.136501e-05,3.121542e-05,3.106810e-05,3.092308e-05,3.078036e-05,3.063995e-05,3.050185e-05,3.036605e-05,3.023256e-05,3.010137e-05,2.997246e-05
0.000000e+00,3.238425e-09,7.429117e-09,2.562127e-08,5.844367e-08,8.540919e-08,1.949023e-07,2.008258e-07,3.915162e-07,4.613705e-07,6.798932e-07,9.102579e-07,1.091176e-06,1.598942e-06,1.649437e-06,2.368077e-06,2.564259e-06,3.242450e-06,3.793716e-06,4.254812e-06,5.243522e-06,5.384687e-06,6.614132e-06,6.870606e-06,7.928116e-06,8.640395e-06,9.313518e-06,1.052356e-05,1.075822e-05,1.225060e-05,1.249305e-05,1.377940e-05,1.452294e-05,1.533372e-05,1.658851e-05,1.690312e-05,1.847782e-05,1.866670e-05,2.004876e-05,2.073664e-05,2.160775e-05,2.278007e-05,2.314751e-05,2.466168e-05,2.478154e-05,2.614485e-05,2.672839e-05,2.759248e-05,2.861065e-05,2.900086e-05,3.036705e-05,3.042079e-05,3.168880e-05,3.215342e-05,3.296447e-05,3.380500e-05,3.419292e-05,3.537351e-05,3.650595e-05,3.685817e-05,3.759031e-05,3.825921e-05,3.862692e-05,3.957764e-05,3.961632e-05,4.055926e-05,4.081508e-05,4.145663e-05,4.197359e-05,4.230943e-05,4.305557e-05,4.311874e-05,4.388574e-05,4.406365e-05,4.461161e-05,4.500061e-05,4.529762e-05,4.586932e-05,4.594501e-05,4.655507e-05,4.667272e-05,4.712907e-05,4.741371e-05,4.766827e-05,4.809522e-05,4.817393e-05,4.864729e-05,4.872011e-05,4.908958e-05,4.929119e-05,4.950199e-05,4.981120e-05,4.988570e-05,5.024185e-05,5.028279e-05,5.057156e-05,5.070854e-05,5.087592e-05,5.109093e-05,5.115599e-05,5.141279e-05,5.143236e-05,5.164733e-05,5.173513e-05,5.186057e-05,5.200145e-05,5.205346e-05,5.222688e-05,5.223343e-05,5.238173e-05,5.243310e-05,5.251886e-05,5.260239e-05,5.263907e-05,5.274316e-05,5.283189e-05,5.285717e-05,5.290601e-05,5.294609e-05,5.296620e-05,5.301153e-05,5.301317e-05,5.304755e-05,5.305502e-05,5.307000e-05,5.307799e-05,5.308111e-05,5.308182e-05,5.308147e-05,5.307164e-05,5.306783e-05,5.305217e-05,5.303724e-05,5.302356e-05,5.299123e-05,5.298632e-05,5.294094e-05,5.293092e-05,5.288786e-05,5.285736e-05,5.282752e-05,5.277154e-05,5.276036e-05,5.268676e-05,5.267442e-05,5.260713e-05,5.256688e-05,5.252184e-05,5.244976e-05,5.243123e-05,5.233565e-05,5.232386e-05,5.223542e-05,5.218993e-05,5.213086e-05,5.204869e-05,5.202227e-05,5.190993e-05,5.190079e-05,5.179411e-05,5.174687e-05,5.167507e-05,5.158751e-05,5.155307e-05,5.142833e-05,5.142329e-05,5.130109e-05,5.125471e-05,5.117156e-05,5.108228e-05,5.103995e-05,5.090646e-05,5.072767e-05,5.054633e-05,5.036281e-05,5.017749e-05,4.999068e-05,4.980270e-05,4.961384e-05,4.942438e-05,4.923457e-05,4.904464e-05,4.885482e-05,4.866531e-05,4.847629e-05,4.828794e-05,4.810043e-05,4.791391e-05,4.772851e-05,4.754436e-05,4.736157e-05,4.718026e-05,4.700053e-05,4.682245e-05,4.664611e-05,4.647159e-05
0.000000e+00,1.956475e-15,1.756272e-14,4.612825e-13,4.034795e-12,1.089491e-11,9.291036e-11,1.003653e-10,5.521998e-10,8.351224e-10,2.193940e-09,4.487561e-09,6.965913e-09,1.743255e-08,1.877752e-08,4.468423e-08,5.417840e-08,9.639953e-08,1.430927e-07,1.921273e-07,3.337997e-07,3.586527e-07,6.335708e-07,7.057623e-07,1.067485e-06,1.377086e-06,1.725990e-06,2.512308e-06,2.691267e-06,4.063176e-06,4.328048e-06,5.959733e-06,7.095701e-06,8.516942e-06,1.114078e-05,1.188799e-05,1.624180e-05,1.683885e-05,2.176105e-05,2.460835e-05,2.863962e-05,3.490068e-05,3.707977e-05,4.728884e-05,4.818824e-05,5.947586e-05,6.495105e-05,7.384802e-05,8.566260e-05,9.060708e-05,1.099459e-04,1.107757e-04,1.320452e-04,1.407092e-04,1.570705e-04,1.758349e-04,1.851690e-04,2.164677e-04,2.510710e-04,2.628558e-04,2.890591e-04,3.151743e-04,3.304870e-04,3.735208e-04,3.753834e-04,4.237505e-04,4.379126e-04,4.755641e-04,5.082866e-04,5.307738e-04,5.845015e-04,5.893039e-04,6.510546e-04,6.663407e-04,7.159028e-04,7.535180e-04,7.837045e-04,8.456833e-04,8.542957e-04,9.274951e-04,9.424309e-04,1.003106e-03,1.043306e-03,1.080916e-03,1.147816e-03,1.160706e-03,1.242242e-03,1.255434e-03,1.325288e-03,1.365614e-03,1.409599e-03,1.477795e-03,1.494931e-03,1.581036e-03,1.591409e-03,1.667669e-03,1.705891e-03,1.754585e-03,1.820684e-03,1.841547e-03,1.928319e-03,1.935246e-03,2.014677e-03,2.049054e-03,2.100400e-03,2.161611e-03,2.185282e-03,2.269121e-03,2.272450e-03,2.351730e-03,2.381133e-03,2.432931e-03,2.487260e-03,2.512560e-03,2.590464e-03,2.666502e-03,2.690418e-03,2.740545e-03,2.786833e-03,2.812479e-03,2.879456e-03,2.882201e-03,2.949619e-03,2.968073e-03,3.014657e-03,3.052508e-03,3.077246e-03,3.132618e-03,3.137332e-03,3.194871e-03,3.208297e-03,3.249829e-03,3.279470e-03,3.302184e-03,3.346091e-03,3.351921e-03,3.399036e-03,3.408145e-03,3.443534e-03,3.465641e-03,3.485425e-03,3.518614e-03,3.524730e-03,3.561475e-03,3.567119e-03,3.595693e-03,3.611232e-03,3.627424e-03,3.651046e-03,3.656710e-03,3.683601e-03,3.686670e-03,3.708150e-03,3.718224e-03,3.730414e-03,3.745843e-03,3.750453e-03,3.768329e-03,3.769668e-03,3.784108e-03,3.789848e-03,3.797859e-03,3.806541e-03,3.809648e-03,3.819548e-03,3.819906e-03,3.827629e-03,3.830107e-03,3.833963e-03,3.837309e-03,3.838622e-03,3.841679e-03,3.843381e-03,3.842580e-03,3.839438e-03,3.834113e-03,3.826760e-03,3.817532e-03,3.806574e-03,3.794028e-03,3.780032e-03,3.764716e-03,3.748207e-03,3.730625e-03,3.712083e-03,3.692690e-03,3.672549e-03,3.651756e-03,3.630403e-03,3.608575e-03,3.586352e-03,3.563810e-03,3.541019e-03,3.518043e-03,3.494942e-03,3.471772e-03
0.000000e+00,1.087361e-12,7.953549e-12,1.371874e-10,8.226161e-10,1.810129e-09,9.185378e-09,9.718137e-09,3.246237e-08,4.299603e-08,8.141861e-08,1.286326e-07,1.692830e-07,2.957495e-07,3.091644e-07,5.142085e-07,5.745577e-07,7.972573e-07,9.942513e-07,1.169870e-06,1.578497e-06,1.640244e-06,2.210529e-06,2.336222e-06,2.875157e-06,3.254077e-06,3.621523e-06,4.299266e-06,4.432639e-06,5.290247e-06,5.430600e-06,6.177103e-06,6.608650e-06,7.078081e-06,7.800378e-06,7.980415e-06,8.873486e-06,8.979598e-06,9.748495e-06,1.012585e-05,1.059817e-05,1.122328e-05,1.141657e-05,1.219893e-05,1.225984e-05,1.294159e-05,1.322692e-05,1.364192e-05,1.411894e-05,1.429818e-05,1.490950e-05,1.493302e-05,1.547573e-05,1.566861e-05,1.599735e-05,1.632707e-05,1.647536e-05,1.691118e-05,1.730654e-05,1.742482e-05,1.766340e-05,1.787256e-05,1.798388e-05,1.825936e-05,1.827019e-05,1.852454e-05,1.859034e-05,1.874916e-05,1.887056e-05,1.894620e-05,1.910493e-05,1.911777e-05,1.926585e-05,1.929811e-05,1.939234e-05,1.945441e-05,1.949901e-05,1.957781e-05,1.958753e-05,1.965944e-05,1.967196e-05,1.971617e-05,1.974012e-05,1.975905e-05,1.978526e-05,1.978929e-05,1.980801e-05,1.981001e-05,1.981624e-05,1.981673e-05,1.981490e-05,1.980752e-05,1.980486e-05,1.978690e-05,1.978425e-05,1.976174e-05,1.974856e-05,1.973003e-05,1.970192e-05,1.969237e-05,1.964930e-05,1.964564e-05,1.960133e-05,1.958087e-05,1.954890e-05,1.950863e-05,1.949244e-05,1.943233e-05,1.942985e-05,1.936890e-05,1.934532e-05,1.930249e-05,1.925577e-05,1.923338e-05,1.916183e-05,1.908811e-05,1.906410e-05,1.901243e-05,1.896307e-05,1.893501e-05,1.885922e-05,1.885603e-05,1.877568e-05,1.875295e-05,1.869410e-05,1.864464e-05,1.861146e-05,1.853461e-05,1.852789e-05,1.844353e-05,1.842317e-05,1.835848e-05,1.831061e-05,1.827287e-05,1.819715e-05,1.818680e-05,1.810035e-05,1.808303e-05,1.801362e-05,1.796843e-05,1.792668e-05,1.785355e-05,1.783962e-05,1.775249e-05,1.773855e-05,1.766537e-05,1.762357e-05,1.757831e-05,1.750874e-05,1.749137e-05,1.740460e-05,1.739420e-05,1.731805e-05,1.728005e-05,1.723176e-05,1.716639e-05,1.714578e-05,1.706014e-05,1.705331e-05,1.697488e-05,1.694088e-05,1.689002e-05,1.682919e-05,1.680560e-05,1.672165e-05,1.671830e-05,1.663819e-05,1.660827e-05,1.655525e-05,1.649916e-05,1.647285e-05,1.639100e-05,1.628384e-05,1.617773e-05,1.607268e-05,1.596874e-05,1.586593e-05,1.576427e-05,1.566377e-05,1.556446e-05,1.546636e-05,1.536946e-05,1.527378e-05,1.517932e-05,1.508610e-05,1.499411e-05,1.490336e-05,1.481384e-05,1.472556e-05,1.463850e-05,1.455268e-05,1.446808e-05,1.438469e-05,1.430252e-05,1.422155e-05,1.414177e-05
0.000000e+00,3.586352e-16,3.200352e-15,8.303649e-14,7.181438e-13,1.926982e-12,1.616161e-11,1.744632e-11,9.434609e-11,1.419966e-10,3.684132e-10,7.457176e-10,1.149446e-09,2.829850e-09,3.043802e-09,7.112721e-09,8.585923e-09,1.506236e-08,2.212379e-08,2.945882e-08,5.033437e-08,5.395929e-08,9.354791e-08,1.038218e-07,1.547626e-07,1.978193e-07,2.458970e-07,3.529830e-07,3.771616e-07,5.607885e-07,5.959543e-07,8.110712e-07,9.596009e-07,1.144333e-06,1.482886e-06,1.578817e-06,2.134512e-06,2.210348e-06,2.832906e-06,3.191216e-06,3.696685e-06,4.478230e-06,4.749390e-06,6.015034e-06,6.126207e-06,7.517696e-06,8.190462e-06,9.281106e-06,1.072515e-05,1.132823e-05,1.368089e-05,1.378164e-05,1.635933e-05,1.740693e-05,1.938194e-05,2.164226e-05,2.276489e-05,2.652188e-05,3.066392e-05,3.207211e-05,3.519917e-05,3.831061e-05,4.013282e-05,4.524595e-05,4.546700e-05,5.120079e-05,5.287739e-05,5.733023e-05,6.119504e-05,6.384839e-05,7.018008e-05,7.074551e-05,7.800911e-05,7.980529e-05,8.562418e-05,9.003576e-05,9.357337e-05,1.008296e-04,1.018372e-04,1.103945e-04,1.121391e-04,1.192221e-04,1.239113e-04,1.282957e-04,1.360892e-04,1.375900e-04,1.470785e-04,1.486129e-04,1.567344e-04,1.614206e-04,1.665301e-04,1.744490e-04,1.764383e-04,1.864314e-04,1.876350e-04,1.964823e-04,2.009160e-04,2.065640e-04,2.142307e-04,2.166505e-04,2.267162e-04,2.275198e-04,2.367366e-04,2.407268e-04,2.466881e-04,2.537980e-04,2.565484e-04,2.662959e-04,2.666832e-04,2.759108e-04,2.793361e-04,2.853743e-04,2.917140e-04,2.946690e-04,3.037787e-04,3.126890e-04,3.154959e-04,3.213864e-04,3.268355e-04,3.298591e-04,3.377716e-04,3.380964e-04,3.460892e-04,3.482822e-04,3.538293e-04,3.583493e-04,3.613102e-04,3.679588e-04,3.685262e-04,3.754730e-04,3.770998e-04,3.821474e-04,3.857652e-04,3.885471e-04,3.939506e-04,3.946708e-04,4.005183e-04,4.016547e-04,4.060901e-04,4.088789e-04,4.113876e-04,4.156269e-04,4.164127e-04,4.211684e-04,4.219045e-04,4.256580e-04,4.277196e-04,4.298855e-04,4.330818e-04,4.338554e-04,4.375726e-04,4.380019e-04,4.410425e-04,4.424924e-04,4.442709e-04,4.465666e-04,4.472637e-04,4.500273e-04,4.502386e-04,4.525681e-04,4.535236e-04,4.548929e-04,4.564369e-04,4.570086e-04,4.589220e-04,4.589945e-04,4.606403e-04,4.612125e-04,4.621706e-04,4.631074e-04,4.635199e-04,4.646954e-04,4.659928e-04,4.670157e-04,4.677799e-04,4.683012e-04,4.685947e-04,4.686753e-04,4.685575e-04,4.682551e-04,4.677817e-04,4.671502e-04,4.663731e-04,4.654622e-04,4.644288e-04,4.632839e-04,4.620375e-04,4.606995e-04,4.592790e-04,4.577849e-04,4.562251e-04,4.546075e-04,4.529393e-04,4.512273e-04,4.494778e-04,4.476967e-04
0.000000e+00,2.799851e-09,7.788941e-09,3.269978e-08,8.134200e-08,1.225301e-07,2.930653e-07,3.023419e-07,6.001699e-07,7.083870e-07,1.042874e-06,1.388942e-06,1.656591e-06,2.393823e-06,2.466372e-06,3.494316e-06,3.775377e-06,4.755327e-06,5.564509e-06,6.250653e-06,7.746965e-06,7.962874e-06,9.858161e-06,1.025559e-05,1.189542e-05,1.299752e-05,1.403491e-05,1.588560e-05,1.624201e-05,1.848737e-05,1.884846e-05,2.074600e-05,2.182842e-05,2.299640e-05,2.477823e-05,2.522001e-05,2.740092e-05,2.765910e-05,2.952567e-05,3.043982e-05,3.158312e-05,3.309619e-05,3.356431e-05,3.546231e-05,3.561039e-05,3.727199e-05,3.797030e-05,3.898985e-05,4.016866e-05,4.061384e-05,4.214307e-05,4.220227e-05,4.357772e-05,4.407120e-05,4.491877e-05,4.577805e-05,4.616790e-05,4.732733e-05,4.839969e-05,4.872492e-05,4.938790e-05,4.997765e-05,5.029513e-05,5.109294e-05,5.112467e-05,5.187993e-05,5.207856e-05,5.256433e-05,5.294238e-05,5.318129e-05,5.369225e-05,5.373421e-05,5.422642e-05,5.433588e-05,5.466119e-05,5.488076e-05,5.504170e-05,5.533411e-05,5.537102e-05,5.565214e-05,5.570283e-05,5.588791e-05,5.599352e-05,5.608110e-05,5.621240e-05,5.623434e-05,5.635016e-05,5.636538e-05,5.643097e-05,5.645801e-05,5.647908e-05,5.649550e-05,5.649668e-05,5.648586e-05,5.648275e-05,5.644863e-05,5.642437e-05,5.638686e-05,5.632462e-05,5.630235e-05,5.619678e-05,5.618747e-05,5.607175e-05,5.601662e-05,5.592876e-05,5.581550e-05,5.576925e-05,5.559458e-05,5.558730e-05,5.540603e-05,5.533499e-05,5.520480e-05,5.506130e-05,5.499202e-05,5.476877e-05,5.453604e-05,5.445972e-05,5.429479e-05,5.413633e-05,5.404591e-05,5.380058e-05,5.379023e-05,5.352854e-05,5.345429e-05,5.326158e-05,5.309915e-05,5.299002e-05,5.273670e-05,5.271453e-05,5.243570e-05,5.236835e-05,5.215410e-05,5.199540e-05,5.187026e-05,5.161901e-05,5.158466e-05,5.129776e-05,5.124026e-05,5.100999e-05,5.086014e-05,5.072174e-05,5.047952e-05,5.043339e-05,5.014527e-05,5.009921e-05,4.985770e-05,4.971994e-05,4.957097e-05,4.934237e-05,4.928535e-05,4.900109e-05,4.896708e-05,4.871842e-05,4.859461e-05,4.843755e-05,4.822541e-05,4.815867e-05,4.788195e-05,4.785992e-05,4.760756e-05,4.749849e-05,4.733564e-05,4.714147e-05,4.706633e-05,4.679973e-05,4.678913e-05,4.653596e-05,4.644172e-05,4.627512e-05,4.609945e-05,4.601728e-05,4.576252e-05,4.543106e-05,4.510522e-05,4.478508e-05,4.447074e-05,4.416225e-05,4.385965e-05,4.356297e-05,4.327222e-05,4.298740e-05,4.270849e-05,4.243547e-05,4.216829e-05,4.190693e-05,4.165132e-05,4.140140e-05,4.115711e-05,4.091838e-05,4.068513e-05,4.045728e-05,4.023475e-05,4.001745e-05,3.980529e-05,3.959819e-05,3.939604e-05
0.000000e+00,7.152400e-09,1.647860e-08,5.706129e-08,1.302600e-07,1.902749e-07,4.324909e-07,4.455242e-07,8.612762e-07,1.011810e-06,1.477272e-06,1.960373e-06,2.335551e-06,3.377050e-06,3.480207e-06,4.954663e-06,5.361901e-06,6.794910e-06,7.992890e-06,9.018561e-06,1.128458e-05,1.161469e-05,1.454349e-05,1.516428e-05,1.774796e-05,1.950320e-05,2.116832e-05,2.416859e-05,2.475067e-05,2.844913e-05,2.904899e-05,3.222508e-05,3.405520e-05,3.604558e-05,3.911477e-05,3.988211e-05,4.370973e-05,4.416738e-05,4.750657e-05,4.916242e-05,5.125355e-05,5.405769e-05,5.493421e-05,5.853453e-05,5.881872e-05,6.204280e-05,6.341812e-05,6.544946e-05,6.783500e-05,6.874691e-05,7.192933e-05,7.205417e-05,7.499250e-05,7.606546e-05,7.793358e-05,7.986291e-05,8.075095e-05,8.344404e-05,8.601315e-05,8.680924e-05,8.845935e-05,8.996115e-05,9.078428e-05,9.290413e-05,9.299010e-05,9.507938e-05,9.564387e-05,9.705497e-05,9.818705e-05,9.892000e-05,1.005410e-04,1.006777e-04,1.023316e-04,1.027135e-04,1.038851e-04,1.047126e-04,1.053418e-04,1.065464e-04,1.067052e-04,1.079790e-04,1.082233e-04,1.091665e-04,1.097512e-04,1.102714e-04,1.111381e-04,1.112970e-04,1.122468e-04,1.123919e-04,1.131239e-04,1.135201e-04,1.139316e-04,1.145300e-04,1.146731e-04,1.153513e-04,1.154286e-04,1.159693e-04,1.162228e-04,1.165297e-04,1.169190e-04,1.170355e-04,1.174893e-04,1.175234e-04,1.178936e-04,1.180421e-04,1.182510e-04,1.184806e-04,1.185638e-04,1.188343e-04,1.188443e-04,1.190648e-04,1.191384e-04,1.192573e-04,1.193676e-04,1.194140e-04,1.195367e-04,1.196275e-04,1.196500e-04,1.196880e-04,1.197116e-04,1.197200e-04,1.197255e-04,1.197252e-04,1.197052e-04,1.196953e-04,1.196615e-04,1.196245e-04,1.195956e-04,1.195165e-04,1.195088e-04,1.194025e-04,1.193743e-04,1.192780e-04,1.192008e-04,1.191365e-04,1.189987e-04,1.189791e-04,1.188069e-04,1.187708e-04,1.186211e-04,1.185194e-04,1.184225e-04,1.182467e-04,1.182123e-04,1.179912e-04,1.179549e-04,1.177602e-04,1.176461e-04,1.175201e-04,1.173220e-04,1.172717e-04,1.170156e-04,1.169844e-04,1.167527e-04,1.166351e-04,1.164836e-04,1.162754e-04,1.162090e-04,1.159294e-04,1.159068e-04,1.156454e-04,1.155307e-04,1.153576e-04,1.151482e-04,1.150664e-04,1.147724e-04,1.147606e-04,1.144761e-04,1.143689e-04,1.141778e-04,1.139741e-04,1.138780e-04,1.135770e-04,1.131786e-04,1.127796e-04,1.123808e-04,1.119827e-04,1.115860e-04,1.111914e-04,1.107991e-04,1.104098e-04,1.100239e-04,1.096416e-04,1.092635e-04,1.088897e-04,1.085206e-04,1.081564e-04,1.077974e-04,1.074436e-04,1.070954e-04,1.067527e-04,1.064159e-04,1.060849e-04,1.057598e-04,1.054407e-04,1.051277e-04,1.048208e-04
0.000000e+00,3.461404e-15,3.069038e-14,7.856410e-13,6.708876e-12,1.787361e-11,1.470783e-10,1.586441e-10,8.411400e-10,1.259020e-09,3.220876e-09,6.444010e-09,9.856488e-09,2.384376e-08,2.560769e-08,5.872921e-08,7.057897e-08,1.221033e-07,1.775364e-07,2.345365e-07,3.945111e-07,4.220258e-07,7.188720e-07,7.950186e-07,1.168497e-06,1.479870e-06,1.823824e-06,2.578571e-06,2.747136e-06,4.009346e-06,4.247891e-06,5.688749e-06,6.667535e-06,7.869290e-06,1.003329e-05,1.063849e-05,1.408514e-05,1.454845e-05,1.829685e-05,2.041422e-05,2.335767e-05,2.782016e-05,2.934578e-05,3.633139e-05,3.693521e-05,4.437490e-05,4.789993e-05,5.352542e-05,6.082034e-05,6.381959e-05,7.528078e-05,7.576369e-05,8.791868e-05,9.275603e-05,1.017292e-04,1.117818e-04,1.166948e-04,1.327848e-04,1.499566e-04,1.556715e-04,1.681561e-04,1.803140e-04,1.873194e-04,2.065555e-04,2.073738e-04,2.282393e-04,2.342154e-04,2.498299e-04,2.630948e-04,2.720552e-04,2.929825e-04,2.948215e-04,3.180333e-04,3.236598e-04,3.415947e-04,3.549062e-04,3.654102e-04,3.865035e-04,3.893860e-04,4.134308e-04,4.182402e-04,4.374565e-04,4.499144e-04,4.613794e-04,4.813369e-04,4.851200e-04,5.086042e-04,5.123332e-04,5.317629e-04,5.427446e-04,5.545326e-04,5.724295e-04,5.768558e-04,5.986805e-04,6.012637e-04,6.199605e-04,6.291404e-04,6.406552e-04,6.559700e-04,6.607296e-04,6.801540e-04,6.816792e-04,6.989038e-04,7.062103e-04,7.169592e-04,7.295202e-04,7.343048e-04,7.509296e-04,7.515795e-04,7.668267e-04,7.723707e-04,7.819925e-04,7.918874e-04,7.964270e-04,8.101331e-04,8.231164e-04,8.271197e-04,8.353851e-04,8.428667e-04,8.469494e-04,8.573997e-04,8.578215e-04,8.680151e-04,8.707498e-04,8.775456e-04,8.829523e-04,8.864293e-04,8.940459e-04,8.946835e-04,9.023267e-04,9.040722e-04,9.093775e-04,9.130745e-04,9.158554e-04,9.210977e-04,9.217801e-04,9.271714e-04,9.281875e-04,9.320495e-04,9.343899e-04,9.364343e-04,9.397509e-04,9.403458e-04,9.438038e-04,9.443163e-04,9.468278e-04,9.481308e-04,9.494370e-04,9.512386e-04,9.516505e-04,9.534866e-04,9.536825e-04,9.549635e-04,9.555041e-04,9.560989e-04,9.567439e-04,9.569098e-04,9.574130e-04,9.574404e-04,9.576246e-04,9.576311e-04,9.575603e-04,9.573516e-04,9.572351e-04,9.566637e-04,9.566360e-04,9.558602e-04,9.555167e-04,9.548380e-04,9.540247e-04,9.536102e-04,9.521892e-04,9.500382e-04,9.475977e-04,9.448928e-04,9.419466e-04,9.387814e-04,9.354177e-04,9.318749e-04,9.281714e-04,9.243242e-04,9.203493e-04,9.162617e-04,9.120753e-04,9.078031e-04,9.034573e-04,8.990493e-04,8.945894e-04,8.900875e-04,8.855525e-04,8.809929e-04,8.764164e-04,8.718302e-04,8.672408e-04,8.626544e-04,8.580765e-04
0.000000e+00,1.544063e-09,5.060817e-09,2.530336e-08,6.827645e-08,1.060642e-07,2.687023e-07,2.777426e-07,5.750852e-07,6.859644e-07,1.036535e-06,1.410285e-06,1.706172e-06,2.547369e-06,2.631940e-06,3.855227e-06,4.195606e-06,5.391510e-06,6.381662e-06,7.218800e-06,9.030157e-06,9.289800e-06,1.155321e-05,1.202493e-05,1.396485e-05,1.526530e-05,1.648884e-05,1.867384e-05,1.909532e-05,2.175825e-05,2.218795e-05,2.445403e-05,2.575322e-05,2.716086e-05,2.932064e-05,2.985851e-05,3.252840e-05,3.284611e-05,3.515372e-05,3.629082e-05,3.771956e-05,3.962181e-05,4.021302e-05,4.262326e-05,4.281220e-05,4.494138e-05,4.584122e-05,4.716044e-05,4.869386e-05,4.927528e-05,5.128242e-05,5.136044e-05,5.317988e-05,5.383593e-05,5.496680e-05,5.611878e-05,5.664331e-05,5.821071e-05,5.967084e-05,6.011583e-05,6.102628e-05,6.184019e-05,6.228003e-05,6.339106e-05,6.343543e-05,6.449612e-05,6.477665e-05,6.546589e-05,6.600576e-05,6.634870e-05,6.708748e-05,6.714851e-05,6.786930e-05,6.803097e-05,6.851503e-05,6.884532e-05,6.908961e-05,6.953940e-05,6.959684e-05,7.004044e-05,7.012185e-05,7.042402e-05,7.060092e-05,7.075105e-05,7.098450e-05,7.102487e-05,7.124871e-05,7.128010e-05,7.142566e-05,7.149480e-05,7.155865e-05,7.163530e-05,7.165051e-05,7.170392e-05,7.170787e-05,7.172142e-05,7.171838e-05,7.170545e-05,7.167235e-05,7.165831e-05,7.158219e-05,7.157491e-05,7.147915e-05,7.143085e-05,7.135117e-05,7.124461e-05,7.120009e-05,7.102766e-05,7.102035e-05,7.083556e-05,7.076189e-05,7.062535e-05,7.047281e-05,7.039849e-05,7.015639e-05,6.990037e-05,6.981570e-05,6.963164e-05,6.945354e-05,6.935139e-05,6.907252e-05,6.906071e-05,6.876062e-05,6.867504e-05,6.845210e-05,6.826331e-05,6.813604e-05,6.783936e-05,6.781331e-05,6.748471e-05,6.740506e-05,6.715098e-05,6.696212e-05,6.681283e-05,6.651212e-05,6.647091e-05,6.612584e-05,6.605650e-05,6.577818e-05,6.559657e-05,6.542849e-05,6.513353e-05,6.507725e-05,6.472493e-05,6.466849e-05,6.437197e-05,6.420244e-05,6.401877e-05,6.373629e-05,6.366571e-05,6.331312e-05,6.327086e-05,6.296135e-05,6.280690e-05,6.261067e-05,6.234507e-05,6.226138e-05,6.191372e-05,6.188598e-05,6.156792e-05,6.143018e-05,6.122422e-05,6.097815e-05,6.088279e-05,6.054383e-05,6.053033e-05,6.020750e-05,6.008710e-05,5.987395e-05,5.964880e-05,5.954332e-05,5.921574e-05,5.878817e-05,5.836632e-05,5.795039e-05,5.754055e-05,5.713693e-05,5.673964e-05,5.634879e-05,5.596445e-05,5.558666e-05,5.521546e-05,5.485088e-05,5.449292e-05,5.414158e-05,5.379683e-05,5.345865e-05,5.312701e-05,5.280185e-05,5.248313e-05,5.217078e-05,5.186474e-05,5.156494e-05,5.127130e-05,5.098375e-05,5.070219e-05
0.000000e+00,3.657565e-14,2.986951e-13,6.436333e-12,4.692340e-11,1.145786e-10,7.525568e-10,8.043359e-10,3.414791e-09,4.814614e-09,1.061720e-08,1.888201e-08,2.678249e-08,5.495720e-08,5.821579e-08,1.130654e-07,1.307294e-07,2.004708e-07,2.668591e-07,3.288313e-07,4.802942e-07,5.038595e-07,7.273203e-07,7.776843e-07,9.968713e-07,1.153461e-06,1.306810e-06,1.592646e-06,1.649263e-06,2.015393e-06,2.075573e-06,2.396356e-06,2.582045e-06,2.783957e-06,3.093945e-06,3.171002e-06,3.551453e-06,3.596421e-06,3.920438e-06,4.078151e-06,4.274191e-06,4.531127e-06,4.609957e-06,4.925873e-06,4.950251e-06,5.220855e-06,5.332872e-06,5.494478e-06,5.678309e-06,5.746860e-06,5.978551e-06,5.987399e-06,6.190429e-06,6.262064e-06,6.383608e-06,6.504930e-06,6.559352e-06,6.719003e-06,6.863927e-06,6.907412e-06,6.995465e-06,7.073222e-06,7.114904e-06,7.219301e-06,7.223448e-06,7.322208e-06,7.348247e-06,7.412192e-06,7.462353e-06,7.494310e-06,7.563608e-06,7.569371e-06,7.638091e-06,7.653711e-06,7.701098e-06,7.734096e-06,7.758945e-06,7.805965e-06,7.812112e-06,7.861021e-06,7.870324e-06,7.906038e-06,7.928017e-06,7.947485e-06,7.979749e-06,7.985644e-06,8.020763e-06,8.026115e-06,8.053060e-06,8.067619e-06,8.082731e-06,8.104694e-06,8.109949e-06,8.134869e-06,8.137712e-06,8.157632e-06,8.166998e-06,8.178366e-06,8.192837e-06,8.197185e-06,8.214198e-06,8.215484e-06,8.229501e-06,8.235163e-06,8.243183e-06,8.252080e-06,8.255331e-06,8.266020e-06,8.266419e-06,8.275325e-06,8.278349e-06,8.283313e-06,8.288026e-06,8.290049e-06,8.295591e-06,8.299996e-06,8.301175e-06,8.303319e-06,8.304900e-06,8.305608e-06,8.306879e-06,8.306913e-06,8.307279e-06,8.307218e-06,8.306748e-06,8.306016e-06,8.305361e-06,8.303364e-06,8.303158e-06,8.300176e-06,8.299348e-06,8.296449e-06,8.294050e-06,8.292012e-06,8.287546e-06,8.286897e-06,8.281135e-06,8.279907e-06,8.274754e-06,8.271201e-06,8.267783e-06,8.261492e-06,8.260249e-06,8.252178e-06,8.250839e-06,8.243595e-06,8.239300e-06,8.234522e-06,8.226927e-06,8.224983e-06,8.215000e-06,8.213773e-06,8.204592e-06,8.199884e-06,8.193781e-06,8.185306e-06,8.182585e-06,8.171023e-06,8.170083e-06,8.159112e-06,8.154254e-06,8.146870e-06,8.137859e-06,8.134313e-06,8.121456e-06,8.120935e-06,8.108314e-06,8.103517e-06,8.094904e-06,8.085637e-06,8.081237e-06,8.067328e-06,8.048618e-06,8.029538e-06,8.010113e-06,7.990370e-06,7.970333e-06,7.950025e-06,7.929469e-06,7.908685e-06,7.887695e-06,7.866516e-06,7.845168e-06,7.823667e-06,7.802031e-06,7.780274e-06,7.758413e-06,7.736460e-06,7.714430e-06,7.692336e-06,7.670190e-06,7.648004e-06,7.625788e-06,7.603554e-06,7.581312e-06,7.559071e-06
0.000000e+00,2.176667e-09,5.233455e-09,1.893443e-08,4.413734e-08,6.503290e-08,1.508142e-07,1.554886e-07,3.074786e-07,3.638329e-07,5.422338e-07,7.334406e-07,8.855978e-07,1.320225e-06,1.363942e-06,1.992280e-06,2.165031e-06,2.762953e-06,3.247552e-06,3.650710e-06,4.506358e-06,4.627450e-06,5.670334e-06,5.885267e-06,6.762349e-06,7.345200e-06,7.890534e-06,8.858385e-06,9.044319e-06,1.021448e-05,1.040265e-05,1.139260e-05,1.195860e-05,1.257083e-05,1.350857e-05,1.374187e-05,1.489898e-05,1.503660e-05,1.603604e-05,1.652858e-05,1.714765e-05,1.797253e-05,1.822911e-05,1.927651e-05,1.935874e-05,2.028673e-05,2.067984e-05,2.125735e-05,2.193072e-05,2.218668e-05,2.307344e-05,2.310801e-05,2.391704e-05,2.421013e-05,2.471732e-05,2.523689e-05,2.547455e-05,2.618933e-05,2.686252e-05,2.706932e-05,2.749519e-05,2.787942e-05,2.808861e-05,2.862262e-05,2.864413e-05,2.916323e-05,2.930226e-05,2.964741e-05,2.992180e-05,3.009821e-05,3.048480e-05,3.051718e-05,3.090587e-05,3.099481e-05,3.126578e-05,3.145532e-05,3.159840e-05,3.186968e-05,3.190518e-05,3.218750e-05,3.224114e-05,3.244670e-05,3.257277e-05,3.268407e-05,3.286749e-05,3.290084e-05,3.309819e-05,3.312804e-05,3.327723e-05,3.335698e-05,3.343903e-05,3.355673e-05,3.358459e-05,3.371488e-05,3.372953e-05,3.383079e-05,3.387747e-05,3.393319e-05,3.400247e-05,3.402288e-05,3.410063e-05,3.410636e-05,3.416716e-05,3.419078e-05,3.422315e-05,3.425729e-05,3.426924e-05,3.430604e-05,3.430733e-05,3.433413e-05,3.434221e-05,3.435404e-05,3.436317e-05,3.436628e-05,3.437134e-05,3.436965e-05,3.436776e-05,3.436165e-05,3.435341e-05,3.434775e-05,3.432919e-05,3.432831e-05,3.430370e-05,3.429593e-05,3.427425e-05,3.425439e-05,3.424028e-05,3.420529e-05,3.420208e-05,3.415995e-05,3.414928e-05,3.411414e-05,3.408698e-05,3.406491e-05,3.401894e-05,3.401249e-05,3.395711e-05,3.394569e-05,3.389897e-05,3.386772e-05,3.383828e-05,3.378546e-05,3.377522e-05,3.370997e-05,3.369934e-05,3.364270e-05,3.360973e-05,3.357355e-05,3.351700e-05,3.350269e-05,3.343025e-05,3.342146e-05,3.335637e-05,3.332344e-05,3.328117e-05,3.322320e-05,3.320476e-05,3.312726e-05,3.312101e-05,3.304877e-05,3.301712e-05,3.296940e-05,3.291175e-05,3.288923e-05,3.280836e-05,3.280511e-05,3.272687e-05,3.269740e-05,3.264483e-05,3.258878e-05,3.256233e-05,3.247943e-05,3.236951e-05,3.225915e-05,3.214849e-05,3.203765e-05,3.192675e-05,3.181588e-05,3.170516e-05,3.159465e-05,3.148446e-05,3.137465e-05,3.126530e-05,3.115648e-05,3.104823e-05,3.094062e-05,3.083370e-05,3.072751e-05,3.062210e-05,3.051751e-05,3.041376e-05,3.031090e-05,3.020896e-05,3.010795e-05,3.000791e-05,2.990885e-05
0.000000e+00,1.261657e-09,4.068077e-09,2.001382e-08,5.373793e-08,8.343904e-08,2.122438e-07,2.194526e-07,4.593135e-07,5.500137e-07,8.403386e-07,1.153737e-06,1.402743e-06,2.103606e-06,2.172984e-06,3.148267e-06,3.410606e-06,4.307699e-06,5.029368e-06,5.630243e-06,6.916016e-06,7.099644e-06,8.702591e-06,9.038104e-06,1.042651e-05,1.136643e-05,1.225827e-05,1.387000e-05,1.418376e-05,1.618785e-05,1.651474e-05,1.825472e-05,1.926438e-05,2.036824e-05,2.208190e-05,2.251244e-05,2.467189e-05,2.493134e-05,2.683205e-05,2.777927e-05,2.897959e-05,3.059583e-05,3.110249e-05,3.319021e-05,3.335543e-05,3.523367e-05,3.603690e-05,3.722524e-05,3.862352e-05,3.915874e-05,4.102928e-05,4.110274e-05,4.283314e-05,4.346566e-05,4.456764e-05,4.570657e-05,4.623107e-05,4.782254e-05,4.934158e-05,4.981240e-05,5.078847e-05,5.167696e-05,5.216397e-05,5.341824e-05,5.346912e-05,5.470536e-05,5.503938e-05,5.587434e-05,5.654420e-05,5.697788e-05,5.793697e-05,5.801788e-05,5.899637e-05,5.922230e-05,5.991547e-05,6.040501e-05,6.077730e-05,6.149003e-05,6.158399e-05,6.233768e-05,6.248224e-05,6.304048e-05,6.338651e-05,6.369446e-05,6.420758e-05,6.430168e-05,6.486412e-05,6.495008e-05,6.538373e-05,6.561848e-05,6.586239e-05,6.621707e-05,6.630193e-05,6.670414e-05,6.674998e-05,6.707071e-05,6.722114e-05,6.740330e-05,6.763433e-05,6.770351e-05,6.797286e-05,6.799312e-05,6.821283e-05,6.830091e-05,6.842484e-05,6.856093e-05,6.861024e-05,6.877035e-05,6.877625e-05,6.890641e-05,6.894974e-05,6.901964e-05,6.908417e-05,6.911117e-05,6.918211e-05,6.923352e-05,6.924602e-05,6.926642e-05,6.927820e-05,6.928176e-05,6.928083e-05,6.928047e-05,6.926343e-05,6.925596e-05,6.923151e-05,6.920554e-05,6.918549e-05,6.913138e-05,6.912616e-05,6.905425e-05,6.903520e-05,6.897046e-05,6.891861e-05,6.887548e-05,6.878315e-05,6.876994e-05,6.865446e-05,6.863023e-05,6.852963e-05,6.846120e-05,6.839599e-05,6.827733e-05,6.825409e-05,6.810444e-05,6.807981e-05,6.794751e-05,6.786974e-05,6.778377e-05,6.764818e-05,6.761367e-05,6.743762e-05,6.741611e-05,6.725602e-05,6.717446e-05,6.706926e-05,6.692409e-05,6.687769e-05,6.668168e-05,6.666581e-05,6.648153e-05,6.640039e-05,6.627758e-05,6.612854e-05,6.607011e-05,6.585942e-05,6.585093e-05,6.564577e-05,6.556818e-05,6.542942e-05,6.528089e-05,6.521062e-05,6.498960e-05,6.469483e-05,6.439706e-05,6.409674e-05,6.379429e-05,6.349011e-05,6.318455e-05,6.287797e-05,6.257067e-05,6.226297e-05,6.195513e-05,6.164741e-05,6.134006e-05,6.103329e-05,6.072732e-05,6.042233e-05,6.011850e-05,5.981600e-05,5.951498e-05,5.921558e-05,5.891792e-05,5.862214e-05,5.832832e-05,5.803659e-05,5.774702e-05
0.000000e+00,1.541139e-09,3.579397e-09,1.249575e-08,2.861811e-08,4.184112e-08,9.514018e-08,9.800375e-08,1.890730e-07,2.219105e-07,3.229870e-07,4.271786e-07,5.076138e-07,7.288668e-07,7.506290e-07,1.059046e-06,1.143448e-06,1.438227e-06,1.682477e-06,1.890375e-06,2.346857e-06,2.413117e-06,2.999416e-06,3.123448e-06,3.639281e-06,3.989616e-06,4.322044e-06,4.921461e-06,5.037838e-06,5.778049e-06,5.898238e-06,6.535251e-06,6.902815e-06,7.302990e-06,7.920954e-06,8.075627e-06,8.848222e-06,8.940719e-06,9.616468e-06,9.952140e-06,1.037665e-05,1.094702e-05,1.112559e-05,1.186064e-05,1.191877e-05,1.257961e-05,1.286229e-05,1.328074e-05,1.377373e-05,1.396267e-05,1.462433e-05,1.465037e-05,1.526500e-05,1.549040e-05,1.588416e-05,1.629276e-05,1.648154e-05,1.705701e-05,1.761061e-05,1.778317e-05,1.814251e-05,1.847164e-05,1.865295e-05,1.912309e-05,1.914226e-05,1.961084e-05,1.973839e-05,2.005913e-05,2.031856e-05,2.048760e-05,2.086473e-05,2.089676e-05,2.128713e-05,2.137809e-05,2.165925e-05,2.185986e-05,2.201365e-05,2.231130e-05,2.235088e-05,2.267149e-05,2.273367e-05,2.297602e-05,2.312820e-05,2.326501e-05,2.349613e-05,2.353898e-05,2.379846e-05,2.383867e-05,2.404396e-05,2.415698e-05,2.427597e-05,2.445221e-05,2.449500e-05,2.470151e-05,2.472547e-05,2.489597e-05,2.497783e-05,2.507883e-05,2.521032e-05,2.525054e-05,2.541151e-05,2.542394e-05,2.556218e-05,2.561965e-05,2.570293e-05,2.579836e-05,2.583416e-05,2.595625e-05,2.596095e-05,2.606957e-05,2.610828e-05,2.617446e-05,2.624114e-05,2.627126e-05,2.636032e-05,2.644195e-05,2.646656e-05,2.651646e-05,2.656055e-05,2.658415e-05,2.664297e-05,2.664530e-05,2.670019e-05,2.671448e-05,2.674910e-05,2.677568e-05,2.679228e-05,2.682715e-05,2.682997e-05,2.686242e-05,2.686946e-05,2.688987e-05,2.690313e-05,2.691253e-05,2.692868e-05,2.693061e-05,2.694433e-05,2.694657e-05,2.695389e-05,2.695728e-05,2.695947e-05,2.696123e-05,2.696127e-05,2.695945e-05,2.695883e-05,2.695419e-05,2.695049e-05,2.694565e-05,2.693657e-05,2.693399e-05,2.691937e-05,2.691742e-05,2.690193e-05,2.689340e-05,2.688180e-05,2.686480e-05,2.685913e-05,2.683405e-05,2.683194e-05,2.680667e-05,2.679511e-05,2.677713e-05,2.675457e-05,2.674552e-05,2.671198e-05,2.671059e-05,2.667659e-05,2.666342e-05,2.663946e-05,2.661327e-05,2.660069e-05,2.656038e-05,2.650495e-05,2.644719e-05,2.638727e-05,2.632537e-05,2.626167e-05,2.619632e-05,2.612946e-05,2.606125e-05,2.599182e-05,2.592128e-05,2.584977e-05,2.577739e-05,2.570426e-05,2.563046e-05,2.555610e-05,2.548127e-05,2.540605e-05,2.533051e-05,2.525474e-05,2.517881e-05,2.510277e-05,2.502669e-05,2.495063e-05,2.487465e-05
0.000000e+00,5.754826e-13,4.436644e-12,8.504661e-11,5.589732e-10,1.291011e-09,7.372507e-09,7.835943e-09,2.910486e-08,3.959942e-08,7.992334e-08,1.324139e-07,1.793854e-07,3.324824e-07,3.491902e-07,6.121363e-07,6.916412e-07,9.909203e-07,1.261739e-06,1.507058e-06,2.090125e-06,2.179641e-06,3.023718e-06,3.214034e-06,4.048274e-06,4.653033e-06,5.254204e-06,6.401399e-06,6.632989e-06,8.166793e-06,8.424972e-06,9.830231e-06,1.066602e-05,1.159335e-05,1.305451e-05,1.342479e-05,1.529452e-05,1.552014e-05,1.717553e-05,1.800065e-05,1.904474e-05,2.044561e-05,2.088315e-05,2.267562e-05,2.281666e-05,2.441038e-05,2.508607e-05,2.607862e-05,2.723488e-05,2.767393e-05,2.919196e-05,2.925103e-05,3.063001e-05,3.112784e-05,3.198675e-05,3.286272e-05,3.326194e-05,3.445621e-05,3.557092e-05,3.591111e-05,3.660793e-05,3.723187e-05,3.756950e-05,3.842404e-05,3.845822e-05,3.927686e-05,3.949392e-05,4.002834e-05,4.044823e-05,4.071564e-05,4.129386e-05,4.134177e-05,4.190976e-05,4.203775e-05,4.242257e-05,4.268674e-05,4.288314e-05,4.324748e-05,4.329431e-05,4.365884e-05,4.372638e-05,4.397940e-05,4.412958e-05,4.425858e-05,4.446293e-05,4.449886e-05,4.470260e-05,4.473196e-05,4.487208e-05,4.494191e-05,4.500947e-05,4.509767e-05,4.511684e-05,4.519616e-05,4.520388e-05,4.524930e-05,4.526485e-05,4.527804e-05,4.528462e-05,4.528409e-05,4.526903e-05,4.526696e-05,4.523438e-05,4.521537e-05,4.518159e-05,4.513312e-05,4.511202e-05,4.502695e-05,4.502324e-05,4.492759e-05,4.488855e-05,4.481510e-05,4.473166e-05,4.469056e-05,4.455497e-05,4.440931e-05,4.436072e-05,4.425447e-05,4.415095e-05,4.409130e-05,4.392756e-05,4.392060e-05,4.374312e-05,4.369231e-05,4.355957e-05,4.344680e-05,4.337060e-05,4.319250e-05,4.317684e-05,4.297886e-05,4.293078e-05,4.277721e-05,4.266287e-05,4.257239e-05,4.238991e-05,4.236488e-05,4.215513e-05,4.211294e-05,4.194354e-05,4.183292e-05,4.173050e-05,4.155069e-05,4.151638e-05,4.130149e-05,4.126706e-05,4.108617e-05,4.098274e-05,4.087069e-05,4.069837e-05,4.065532e-05,4.044030e-05,4.041454e-05,4.022587e-05,4.013177e-05,4.001224e-05,3.985053e-05,3.979960e-05,3.958813e-05,3.957126e-05,3.937798e-05,3.929433e-05,3.916932e-05,3.902008e-05,3.896228e-05,3.875698e-05,3.874881e-05,3.855355e-05,3.848078e-05,3.835207e-05,3.821623e-05,3.815264e-05,3.795535e-05,3.769833e-05,3.744530e-05,3.719640e-05,3.695173e-05,3.671138e-05,3.647541e-05,3.624388e-05,3.601683e-05,3.579429e-05,3.557625e-05,3.536274e-05,3.515373e-05,3.494921e-05,3.474917e-05,3.455356e-05,3.436235e-05,3.417550e-05,3.399295e-05,3.381467e-05,3.364058e-05,3.347064e-05,3.330478e-05,3.314293e-05,3.298503e-05
0.000000e+00,1.421904e-10,7.485048e-10,7.116265e-09,2.728347e-08,4.864593e-08,1.584587e-07,1.651070e-07,4.022030e-07,4.973850e-07,8.150958e-07,1.175628e-06,1.473520e-06,2.364223e-06,2.456489e-06,3.823555e-06,4.210675e-06,5.579975e-06,6.718117e-06,7.681544e-06,9.770328e-06,1.007044e-05,1.269847e-05,1.324947e-05,1.553019e-05,1.707398e-05,1.853846e-05,2.118477e-05,2.170001e-05,2.499277e-05,2.553031e-05,2.839454e-05,3.005945e-05,3.188258e-05,3.471956e-05,3.543372e-05,3.902472e-05,3.945723e-05,4.263269e-05,4.421987e-05,4.623565e-05,4.895777e-05,4.981291e-05,5.334528e-05,5.362540e-05,5.681551e-05,5.818272e-05,6.020835e-05,6.259577e-05,6.351059e-05,6.671116e-05,6.683694e-05,6.980096e-05,7.088472e-05,7.277276e-05,7.472335e-05,7.562112e-05,7.834214e-05,8.093333e-05,8.173487e-05,8.339353e-05,8.489925e-05,8.572269e-05,8.783612e-05,8.792159e-05,8.999176e-05,9.054861e-05,9.193529e-05,9.304165e-05,9.375470e-05,9.532142e-05,9.545289e-05,9.703320e-05,9.739533e-05,9.849927e-05,9.927181e-05,9.985496e-05,1.009597e-04,1.011041e-04,1.022508e-04,1.024683e-04,1.032992e-04,1.038069e-04,1.042533e-04,1.049851e-04,1.051175e-04,1.058964e-04,1.060134e-04,1.065942e-04,1.069014e-04,1.072146e-04,1.076578e-04,1.077615e-04,1.082383e-04,1.082910e-04,1.086486e-04,1.088089e-04,1.089957e-04,1.092193e-04,1.092829e-04,1.095132e-04,1.095293e-04,1.096898e-04,1.097460e-04,1.098155e-04,1.098761e-04,1.098932e-04,1.099254e-04,1.099258e-04,1.099148e-04,1.099010e-04,1.098639e-04,1.098075e-04,1.097751e-04,1.096505e-04,1.094923e-04,1.094349e-04,1.093026e-04,1.091657e-04,1.090835e-04,1.088471e-04,1.088367e-04,1.085641e-04,1.084833e-04,1.082673e-04,1.080784e-04,1.079481e-04,1.076359e-04,1.076080e-04,1.072484e-04,1.071594e-04,1.068708e-04,1.066520e-04,1.064765e-04,1.061168e-04,1.060668e-04,1.056429e-04,1.055566e-04,1.052060e-04,1.049740e-04,1.047571e-04,1.043716e-04,1.042974e-04,1.038277e-04,1.037516e-04,1.033490e-04,1.031162e-04,1.028621e-04,1.024674e-04,1.023681e-04,1.018675e-04,1.018071e-04,1.013613e-04,1.011369e-04,1.008500e-04,1.004585e-04,1.003343e-04,9.981500e-05,9.977332e-05,9.929256e-05,9.908283e-05,9.876756e-05,9.838828e-05,9.824054e-05,9.771201e-05,9.769085e-05,9.718244e-05,9.699162e-05,9.665227e-05,9.629162e-05,9.612191e-05,9.559176e-05,9.489290e-05,9.419582e-05,9.350125e-05,9.280984e-05,9.212219e-05,9.143884e-05,9.076030e-05,9.008701e-05,8.941939e-05,8.875779e-05,8.810254e-05,8.745395e-05,8.681226e-05,8.617771e-05,8.555050e-05,8.493081e-05,8.431878e-05,8.371454e-05,8.311820e-05,8.252984e-05,8.194955e-05,8.137736e-05,8.081332e-05,8.025745e-05
0.000000e+00,2.194397e-10,5.101552e-10,1.772692e-09,4.030632e-09,5.866680e-09,1.317772e-08,1.356748e-08,2.585533e-08,3.024650e-08,4.367124e-08,5.740062e-08,6.794272e-08,9.675254e-08,9.957411e-08,1.393828e-07,1.502269e-07,1.879604e-07,2.190747e-07,2.454548e-07,3.030277e-07,3.113416e-07,3.843534e-07,3.996580e-07,4.626998e-07,5.049072e-07,5.444669e-07,6.145335e-07,6.279440e-07,7.117584e-07,7.251261e-07,7.948644e-07,8.342658e-07,8.764803e-07,9.403048e-07,9.560258e-07,1.033072e-06,1.042134e-06,1.107309e-06,1.139025e-06,1.178521e-06,1.230532e-06,1.246571e-06,1.311386e-06,1.316430e-06,1.372948e-06,1.396668e-06,1.431286e-06,1.471326e-06,1.486461e-06,1.538565e-06,1.540587e-06,1.587711e-06,1.604704e-06,1.634027e-06,1.663974e-06,1.677649e-06,1.718721e-06,1.757388e-06,1.769277e-06,1.793793e-06,1.815972e-06,1.828079e-06,1.859125e-06,1.860381e-06,1.890829e-06,1.899039e-06,1.919547e-06,1.935996e-06,1.946651e-06,1.970257e-06,1.972252e-06,1.996450e-06,2.002060e-06,2.019341e-06,2.031622e-06,2.041013e-06,2.059140e-06,2.061546e-06,2.081017e-06,2.084789e-06,2.099494e-06,2.108731e-06,2.117041e-06,2.131106e-06,2.133718e-06,2.149579e-06,2.152044e-06,2.164673e-06,2.171660e-06,2.179047e-06,2.190055e-06,2.192742e-06,2.205798e-06,2.207323e-06,2.218250e-06,2.223547e-06,2.230132e-06,2.238800e-06,2.241475e-06,2.252306e-06,2.253151e-06,2.262652e-06,2.266660e-06,2.272537e-06,2.279382e-06,2.281984e-06,2.291013e-06,2.291366e-06,2.299645e-06,2.302658e-06,2.307896e-06,2.313299e-06,2.315785e-06,2.323327e-06,2.330537e-06,2.332777e-06,2.337429e-06,2.341679e-06,2.344016e-06,2.350064e-06,2.350310e-06,2.356323e-06,2.357958e-06,2.362067e-06,2.365387e-06,2.367550e-06,2.372373e-06,2.372783e-06,2.377775e-06,2.378939e-06,2.382536e-06,2.385103e-06,2.387072e-06,2.390886e-06,2.391393e-06,2.395506e-06,2.396304e-06,2.399418e-06,2.401375e-06,2.403135e-06,2.406113e-06,2.406665e-06,2.410013e-06,2.410533e-06,2.413186e-06,2.414649e-06,2.416189e-06,2.418473e-06,2.419028e-06,2.421708e-06,2.422019e-06,2.424234e-06,2.425298e-06,2.426611e-06,2.428320e-06,2.428843e-06,2.430935e-06,2.431097e-06,2.432892e-06,2.433637e-06,2.434717e-06,2.435952e-06,2.436415e-06,2.437988e-06,2.438049e-06,2.439442e-06,2.439937e-06,2.440780e-06,2.441625e-06,2.442005e-06,2.443120e-06,2.444430e-06,2.445562e-06,2.446523e-06,2.447320e-06,2.447958e-06,2.448444e-06,2.448785e-06,2.448984e-06,2.449048e-06,2.448982e-06,2.448792e-06,2.448480e-06,2.448054e-06,2.447516e-06,2.446871e-06,2.446123e-06,2.445277e-06,2.444336e-06,2.443303e-06,2.442183e-06,2.440979e-06,2.439694e-06,2.438331e-06,2.436893e-06
0.000000e+00,1.639698e-09,4.218193e-09,1.635838e-08,3.929665e-08,5.847059e-08,1.371181e-07,1.413816e-07,2.781476e-07,3.278877e-07,4.820353e-07,6.422869e-07,7.667647e-07,1.111589e-06,1.145629e-06,1.628103e-06,1.759616e-06,2.214917e-06,2.586226e-06,2.897749e-06,3.568584e-06,3.664666e-06,4.504361e-06,4.680140e-06,5.406889e-06,5.897975e-06,6.363075e-06,7.201196e-06,7.363977e-06,8.400656e-06,8.569247e-06,9.464177e-06,9.981606e-06,1.054573e-05,1.141823e-05,1.163681e-05,1.272937e-05,1.286022e-05,1.381600e-05,1.429048e-05,1.488998e-05,1.569409e-05,1.594541e-05,1.697720e-05,1.705858e-05,1.798105e-05,1.837396e-05,1.895346e-05,1.963255e-05,1.989167e-05,2.079356e-05,2.082885e-05,2.165762e-05,2.195922e-05,2.248288e-05,2.302160e-05,2.326880e-05,2.401525e-05,2.472241e-05,2.494047e-05,2.539073e-05,2.579837e-05,2.602089e-05,2.659072e-05,2.661373e-05,2.717023e-05,2.731969e-05,2.769148e-05,2.798779e-05,2.817864e-05,2.859775e-05,2.863291e-05,2.905555e-05,2.915241e-05,2.944780e-05,2.965466e-05,2.981093e-05,3.010740e-05,3.014620e-05,3.045485e-05,3.051349e-05,3.073810e-05,3.087574e-05,3.099713e-05,3.119687e-05,3.123313e-05,3.144721e-05,3.147950e-05,3.164046e-05,3.172614e-05,3.181395e-05,3.193920e-05,3.196870e-05,3.210568e-05,3.212096e-05,3.222583e-05,3.227361e-05,3.233008e-05,3.239920e-05,3.241928e-05,3.249426e-05,3.249967e-05,3.255583e-05,3.257687e-05,3.260474e-05,3.263254e-05,3.264173e-05,3.266749e-05,3.266829e-05,3.268267e-05,3.268568e-05,3.268793e-05,3.268613e-05,3.268385e-05,3.267101e-05,3.264997e-05,3.264159e-05,3.262124e-05,3.259904e-05,3.258531e-05,3.254450e-05,3.254267e-05,3.249375e-05,3.247899e-05,3.243899e-05,3.240349e-05,3.237878e-05,3.231892e-05,3.231352e-05,3.224356e-05,3.222612e-05,3.216926e-05,3.212588e-05,3.209094e-05,3.201894e-05,3.200891e-05,3.192347e-05,3.190600e-05,3.183490e-05,3.178769e-05,3.174346e-05,3.166461e-05,3.164940e-05,3.155295e-05,3.153732e-05,3.145435e-05,3.140632e-05,3.135381e-05,3.127211e-05,3.125152e-05,3.114767e-05,3.113511e-05,3.104245e-05,3.099576e-05,3.093601e-05,3.085441e-05,3.082853e-05,3.072015e-05,3.071144e-05,3.061100e-05,3.056717e-05,3.050124e-05,3.042189e-05,3.039097e-05,3.028031e-05,3.027588e-05,3.016939e-05,3.012941e-05,3.005829e-05,2.998270e-05,2.994713e-05,2.983598e-05,2.968944e-05,2.954327e-05,2.939763e-05,2.925268e-05,2.910856e-05,2.896538e-05,2.882328e-05,2.868234e-05,2.854268e-05,2.840436e-05,2.826747e-05,2.813207e-05,2.799823e-05,2.786600e-05,2.773542e-05,2.760653e-05,2.747937e-05,2.735398e-05,2.723036e-05,2.710855e-05,2.698856e-05,2.687040e-05,2.675408e-05,2.663961e-05
0.000000e+00,3.782685e-13,2.896378e-12,5.478753e-11,3.559804e-10,8.172111e-10,4.598128e-09,4.884342e-09,1.789822e-08,2.426720e-08,4.856741e-08,7.994406e-08,1.078613e-07,1.981781e-07,2.079874e-07,3.615433e-07,4.077356e-07,5.809389e-07,7.369991e-07,8.779890e-07,1.212224e-06,1.263471e-06,1.746464e-06,1.855390e-06,2.333459e-06,2.680981e-06,3.027574e-06,3.693090e-06,3.828226e-06,4.731421e-06,4.885031e-06,5.730469e-06,6.241597e-06,6.816808e-06,7.742210e-06,7.980701e-06,9.211755e-06,9.363488e-06,1.049926e-05,1.108086e-05,1.183241e-05,1.286953e-05,1.320049e-05,1.459299e-05,1.470514e-05,1.599980e-05,1.656435e-05,1.741128e-05,1.842535e-05,1.881841e-05,2.021289e-05,2.026829e-05,2.158719e-05,2.207569e-05,2.293464e-05,2.383254e-05,2.424938e-05,2.552645e-05,2.676168e-05,2.714755e-05,2.795170e-05,2.868835e-05,2.909389e-05,3.014356e-05,3.018629e-05,3.122755e-05,3.150983e-05,3.221690e-05,3.278543e-05,3.315399e-05,3.397006e-05,3.403894e-05,3.487220e-05,3.506456e-05,3.565450e-05,3.607070e-05,3.638685e-05,3.699093e-05,3.707042e-05,3.770659e-05,3.782826e-05,3.829681e-05,3.858608e-05,3.884265e-05,3.926805e-05,3.934575e-05,3.980777e-05,3.987800e-05,4.023042e-05,4.041981e-05,4.061540e-05,4.089739e-05,4.096439e-05,4.127907e-05,4.131461e-05,4.156109e-05,4.167525e-05,4.181206e-05,4.198301e-05,4.203356e-05,4.222711e-05,4.224144e-05,4.239421e-05,4.245396e-05,4.253627e-05,4.262384e-05,4.265469e-05,4.275079e-05,4.275419e-05,4.282587e-05,4.284799e-05,4.288115e-05,4.290803e-05,4.291780e-05,4.293696e-05,4.293970e-05,4.293728e-05,4.292705e-05,4.291134e-05,4.290000e-05,4.286136e-05,4.285949e-05,4.280640e-05,4.278940e-05,4.274160e-05,4.269743e-05,4.266588e-05,4.258724e-05,4.258002e-05,4.248474e-05,4.246056e-05,4.238075e-05,4.231896e-05,4.226871e-05,4.216393e-05,4.214922e-05,4.202290e-05,4.199686e-05,4.189029e-05,4.181903e-05,4.175194e-05,4.163164e-05,4.160833e-05,4.145996e-05,4.143581e-05,4.130726e-05,4.123255e-05,4.115066e-05,4.102284e-05,4.099056e-05,4.082734e-05,4.080756e-05,4.066136e-05,4.058754e-05,4.049294e-05,4.036352e-05,4.032242e-05,4.015007e-05,4.013622e-05,3.997619e-05,3.990627e-05,3.980104e-05,3.967428e-05,3.962486e-05,3.944788e-05,3.944079e-05,3.927033e-05,3.920630e-05,3.909240e-05,3.897128e-05,3.891428e-05,3.873615e-05,3.850130e-05,3.826706e-05,3.803378e-05,3.780173e-05,3.757118e-05,3.734237e-05,3.711552e-05,3.689081e-05,3.666842e-05,3.644850e-05,3.623119e-05,3.601661e-05,3.580485e-05,3.559602e-05,3.539019e-05,3.518743e-05,3.498778e-05,3.479130e-05,3.459802e-05,3.440797e-05,3.422117e-05,3.403762e-05,3.385735e-05,3.368033e-05
0.000000e+00,1.181148e-13,9.485544e-13,1.975809e-11,1.397941e-10,3.359152e-10,2.118863e-09,2.260984e-09,9.229834e-09,1.287585e-08,2.764121e-08,4.808756e-08,6.722570e-08,1.335458e-07,1.410808e-07,2.655939e-07,3.051219e-07,4.602778e-07,6.081021e-07,7.471776e-07,1.094193e-06,1.149254e-06,1.687463e-06,1.812929e-06,2.377184e-06,2.798410e-06,3.225393e-06,4.058851e-06,4.229660e-06,5.379100e-06,5.575403e-06,6.656601e-06,7.309284e-06,8.041472e-06,9.211918e-06,9.511759e-06,1.104594e-05,1.123336e-05,1.262397e-05,1.332746e-05,1.422779e-05,1.545408e-05,1.584151e-05,1.745129e-05,1.757954e-05,1.904530e-05,1.967618e-05,2.061346e-05,2.172173e-05,2.214732e-05,2.363990e-05,2.369866e-05,2.508554e-05,2.559360e-05,2.647981e-05,2.739682e-05,2.781935e-05,2.910178e-05,3.032558e-05,3.070467e-05,3.148998e-05,3.220393e-05,3.259484e-05,3.359986e-05,3.364057e-05,3.462801e-05,3.489421e-05,3.555839e-05,3.608983e-05,3.643319e-05,3.719040e-05,3.725414e-05,3.802311e-05,3.820015e-05,3.874211e-05,3.912369e-05,3.941319e-05,3.996578e-05,4.003846e-05,4.062000e-05,4.073125e-05,4.115992e-05,4.142490e-05,4.166025e-05,4.205142e-05,4.212302e-05,4.255015e-05,4.261531e-05,4.294354e-05,4.312092e-05,4.330501e-05,4.357236e-05,4.363628e-05,4.393902e-05,4.397351e-05,4.421483e-05,4.432805e-05,4.446522e-05,4.463940e-05,4.469162e-05,4.489541e-05,4.491078e-05,4.507789e-05,4.514519e-05,4.524028e-05,4.534543e-05,4.538376e-05,4.550942e-05,4.551409e-05,4.561831e-05,4.565360e-05,4.571142e-05,4.576620e-05,4.578968e-05,4.585398e-05,4.590515e-05,4.591888e-05,4.594398e-05,4.596269e-05,4.597120e-05,4.598708e-05,4.598754e-05,4.599363e-05,4.599359e-05,4.599013e-05,4.598366e-05,4.597761e-05,4.595861e-05,4.595663e-05,4.592773e-05,4.591967e-05,4.589140e-05,4.586798e-05,4.584811e-05,4.580461e-05,4.579830e-05,4.574240e-05,4.573053e-05,4.568081e-05,4.564665e-05,4.561389e-05,4.555382e-05,4.554200e-05,4.546547e-05,4.545281e-05,4.538462e-05,4.534437e-05,4.529975e-05,4.522914e-05,4.521114e-05,4.511905e-05,4.510778e-05,4.502374e-05,4.498084e-05,4.492544e-05,4.484888e-05,4.482438e-05,4.472078e-05,4.471239e-05,4.461483e-05,4.457183e-05,4.450671e-05,4.442764e-05,4.439662e-05,4.428473e-05,4.428021e-05,4.417118e-05,4.412993e-05,4.405614e-05,4.397712e-05,4.393974e-05,4.382212e-05,4.366522e-05,4.350670e-05,4.334681e-05,4.318580e-05,4.302387e-05,4.286125e-05,4.269811e-05,4.253464e-05,4.237100e-05,4.220735e-05,4.204381e-05,4.188053e-05,4.171763e-05,4.155521e-05,4.139338e-05,4.123224e-05,4.107187e-05,4.091236e-05,4.075377e-05,4.059619e-05,4.043967e-05,4.028427e-05,4.013004e-05,3.997704e-05
0.000000e+00,7.693212e-13,5.505432e-12,9.100525e-11,5.267916e-10,1.138643e-09,5.544323e-09,5.856929e-09,1.891357e-08,2.484951e-08,4.620322e-08,7.206541e-08,9.413154e-08,1.620932e-07,1.692603e-07,2.782328e-07,3.101682e-07,4.277722e-07,5.317316e-07,6.245454e-07,8.416881e-07,8.747012e-07,1.182960e-06,1.251826e-06,1.551368e-06,1.766302e-06,1.978192e-06,2.377727e-06,2.457627e-06,2.980578e-06,3.067574e-06,3.536204e-06,3.811250e-06,4.113491e-06,4.584095e-06,4.702359e-06,5.294196e-06,5.365066e-06,5.881955e-06,6.137780e-06,6.460004e-06,6.890060e-06,7.023907e-06,7.570206e-06,7.613065e-06,8.096240e-06,8.300512e-06,8.600012e-06,8.948121e-06,9.080091e-06,9.535519e-06,9.553214e-06,9.965745e-06,1.011441e-05,1.037056e-05,1.063136e-05,1.075006e-05,1.110457e-05,1.143462e-05,1.153518e-05,1.174090e-05,1.192480e-05,1.202420e-05,1.227539e-05,1.228543e-05,1.252554e-05,1.258912e-05,1.274553e-05,1.286828e-05,1.294641e-05,1.311523e-05,1.312921e-05,1.329494e-05,1.333229e-05,1.344460e-05,1.352174e-05,1.357914e-05,1.368579e-05,1.369951e-05,1.380660e-05,1.382650e-05,1.390127e-05,1.394587e-05,1.398434e-05,1.404573e-05,1.405659e-05,1.411876e-05,1.412782e-05,1.417153e-05,1.419373e-05,1.421558e-05,1.424494e-05,1.425151e-05,1.427990e-05,1.428283e-05,1.430131e-05,1.430865e-05,1.431624e-05,1.432355e-05,1.432517e-05,1.432855e-05,1.432859e-05,1.432680e-05,1.432476e-05,1.432032e-05,1.431292e-05,1.430946e-05,1.429458e-05,1.429390e-05,1.427599e-05,1.426844e-05,1.425399e-05,1.423722e-05,1.422885e-05,1.420085e-05,1.417022e-05,1.415990e-05,1.413719e-05,1.411489e-05,1.410197e-05,1.406628e-05,1.406475e-05,1.402573e-05,1.401450e-05,1.398506e-05,1.395994e-05,1.394292e-05,1.390297e-05,1.389944e-05,1.385477e-05,1.384389e-05,1.380904e-05,1.378301e-05,1.376236e-05,1.372059e-05,1.371485e-05,1.366661e-05,1.365689e-05,1.361774e-05,1.359211e-05,1.356833e-05,1.352647e-05,1.351846e-05,1.346821e-05,1.346014e-05,1.341765e-05,1.339329e-05,1.336685e-05,1.332608e-05,1.331587e-05,1.326477e-05,1.325863e-05,1.321360e-05,1.319108e-05,1.316242e-05,1.312354e-05,1.311126e-05,1.306018e-05,1.305610e-05,1.300921e-05,1.298886e-05,1.295839e-05,1.292191e-05,1.290775e-05,1.285732e-05,1.285531e-05,1.280714e-05,1.278914e-05,1.275722e-05,1.272345e-05,1.270760e-05,1.265829e-05,1.259373e-05,1.252979e-05,1.246651e-05,1.240394e-05,1.234209e-05,1.228100e-05,1.222069e-05,1.216117e-05,1.210246e-05,1.204457e-05,1.198752e-05,1.193132e-05,1.187597e-05,1.182148e-05,1.176784e-05,1.171507e-05,1.166317e-05,1.161212e-05,1.156194e-05,1.151262e-05,1.146415e-05,1.141653e-05,1.136976e-05,1.132382e-05
0.000000e+00,4.740544e-11,2.793067e-10,3.213921e-09,1.402288e-08,2.643419e-08,9.550425e-08,9.982652e-08,2.573235e-07,3.211884e-07,5.336104e-07,7.714725e-07,9.652297e-07,1.533675e-06,1.591981e-06,2.455115e-06,2.701521e-06,3.587978e-06,4.345489e-06,5.001582e-06,6.465541e-06,6.679929e-06,8.591178e-06,8.998332e-06,1.070140e-05,1.186723e-05,1.298066e-05,1.500688e-05,1.540311e-05,1.794523e-05,1.836156e-05,2.058446e-05,2.187924e-05,2.329853e-05,2.550882e-05,2.606537e-05,2.886333e-05,2.920017e-05,3.167156e-05,3.290530e-05,3.447036e-05,3.657988e-05,3.724154e-05,3.996866e-05,4.018448e-05,4.263724e-05,4.368541e-05,4.523477e-05,4.705506e-05,4.775080e-05,5.017678e-05,5.027185e-05,5.250596e-05,5.331975e-05,5.473331e-05,5.618789e-05,5.685532e-05,5.886979e-05,6.077572e-05,6.136268e-05,6.257314e-05,6.366690e-05,6.426288e-05,6.578516e-05,6.584649e-05,6.732611e-05,6.772211e-05,6.870431e-05,6.948376e-05,6.998403e-05,7.107716e-05,7.116849e-05,7.226108e-05,7.251002e-05,7.326532e-05,7.379046e-05,7.418486e-05,7.492688e-05,7.502333e-05,7.578442e-05,7.592767e-05,7.647175e-05,7.680120e-05,7.708889e-05,7.755558e-05,7.763931e-05,7.812642e-05,7.819871e-05,7.855356e-05,7.873823e-05,7.892394e-05,7.918147e-05,7.924067e-05,7.950672e-05,7.953538e-05,7.972499e-05,7.980660e-05,7.989824e-05,8.000145e-05,8.002914e-05,8.012022e-05,8.012586e-05,8.017390e-05,8.018543e-05,8.019252e-05,8.018546e-05,8.017829e-05,8.013333e-05,8.013092e-05,8.005965e-05,8.002646e-05,7.995915e-05,7.987644e-05,7.983367e-05,7.968494e-05,7.951461e-05,7.945580e-05,7.932423e-05,7.919256e-05,7.911530e-05,7.889857e-05,7.888921e-05,7.864730e-05,7.857690e-05,7.839082e-05,7.823045e-05,7.812098e-05,7.786189e-05,7.783890e-05,7.754564e-05,7.747371e-05,7.724222e-05,7.706823e-05,7.692960e-05,7.664758e-05,7.660865e-05,7.628025e-05,7.621374e-05,7.594517e-05,7.576855e-05,7.560418e-05,7.531370e-05,7.525799e-05,7.490726e-05,7.485076e-05,7.455262e-05,7.438117e-05,7.419465e-05,7.390626e-05,7.383391e-05,7.347093e-05,7.342724e-05,7.310618e-05,7.294525e-05,7.274012e-05,7.246130e-05,7.237318e-05,7.200575e-05,7.197635e-05,7.163821e-05,7.149125e-05,7.127091e-05,7.100678e-05,7.090417e-05,7.053828e-05,7.052367e-05,7.017354e-05,7.004256e-05,6.981019e-05,6.956404e-05,6.944849e-05,6.908865e-05,6.861687e-05,6.814912e-05,6.768580e-05,6.722725e-05,6.677378e-05,6.632566e-05,6.588313e-05,6.544639e-05,6.501562e-05,6.459099e-05,6.417260e-05,6.376058e-05,6.335502e-05,6.295596e-05,6.256348e-05,6.217761e-05,6.179836e-05,6.142574e-05,6.105976e-05,6.070039e-05,6.034761e-05,6.000139e-05,5.966169e-05,5.932846e-05
0.000000e+00,2.417429e-10,9.569488e-10,5.973783e-09,1.787605e-08,2.880375e-08,7.731891e-08,8.004563e-08,1.700098e-07,2.034851e-07,3.085695e-07,4.191552e-07,5.056675e-07,7.474369e-07,7.714641e-07,1.115447e-06,1.210431e-06,1.543566e-06,1.819865e-06,2.054302e-06,2.564550e-06,2.638007e-06,3.281130e-06,3.415699e-06,3.970579e-06,4.343638e-06,4.695254e-06,5.324320e-06,5.445796e-06,6.213963e-06,6.337994e-06,6.992219e-06,7.367285e-06,7.773536e-06,8.396369e-06,8.551354e-06,9.319625e-06,9.410910e-06,1.007289e-05,1.039831e-05,1.080635e-05,1.134796e-05,1.151587e-05,1.219804e-05,1.225135e-05,1.285018e-05,1.310214e-05,1.347024e-05,1.389603e-05,1.405686e-05,1.460921e-05,1.463059e-05,1.512700e-05,1.530495e-05,1.561034e-05,1.591958e-05,1.605973e-05,1.647597e-05,1.686007e-05,1.697639e-05,1.721325e-05,1.742366e-05,1.753683e-05,1.782094e-05,1.783223e-05,1.810094e-05,1.817160e-05,1.834445e-05,1.847908e-05,1.856426e-05,1.874681e-05,1.876183e-05,1.893861e-05,1.897809e-05,1.909596e-05,1.917609e-05,1.923521e-05,1.934380e-05,1.935764e-05,1.946443e-05,1.948402e-05,1.955673e-05,1.959935e-05,1.963559e-05,1.969218e-05,1.970201e-05,1.975694e-05,1.976472e-05,1.980124e-05,1.981897e-05,1.983573e-05,1.985676e-05,1.986116e-05,1.987825e-05,1.987977e-05,1.988764e-05,1.988949e-05,1.988994e-05,1.988730e-05,1.988572e-05,1.987550e-05,1.987444e-05,1.985976e-05,1.985202e-05,1.983896e-05,1.982107e-05,1.981350e-05,1.978377e-05,1.978250e-05,1.975013e-05,1.973713e-05,1.971291e-05,1.968571e-05,1.967241e-05,1.962893e-05,1.958271e-05,1.956738e-05,1.953401e-05,1.950164e-05,1.948305e-05,1.943219e-05,1.943004e-05,1.937517e-05,1.935950e-05,1.931863e-05,1.928397e-05,1.926058e-05,1.920598e-05,1.920118e-05,1.914057e-05,1.912586e-05,1.907889e-05,1.904392e-05,1.901626e-05,1.896045e-05,1.895279e-05,1.888860e-05,1.887568e-05,1.882379e-05,1.878987e-05,1.875844e-05,1.870320e-05,1.869265e-05,1.862649e-05,1.861587e-05,1.856004e-05,1.852806e-05,1.849337e-05,1.843992e-05,1.842655e-05,1.835963e-05,1.835159e-05,1.829266e-05,1.826320e-05,1.822572e-05,1.817487e-05,1.815883e-05,1.809204e-05,1.808671e-05,1.802541e-05,1.799880e-05,1.795896e-05,1.791125e-05,1.789273e-05,1.782676e-05,1.782412e-05,1.776107e-05,1.773750e-05,1.769570e-05,1.765144e-05,1.763067e-05,1.756600e-05,1.748124e-05,1.739720e-05,1.731392e-05,1.723145e-05,1.714982e-05,1.706905e-05,1.698918e-05,1.691023e-05,1.683221e-05,1.675514e-05,1.667905e-05,1.660393e-05,1.652981e-05,1.645669e-05,1.638458e-05,1.631348e-05,1.624339e-05,1.617432e-05,1.610627e-05,1.603924e-05,1.597323e-05,1.590822e-05,1.584423e-05,1.578124e-05
0.000000e+00,1.349929e-09,3.751253e-09,1.574246e-08,3.921726e-08,5.917070e-08,1.425823e-07,1.471571e-07,2.960842e-07,3.511728e-07,5.246300e-07,7.089271e-07,8.546032e-07,1.268214e-06,1.309766e-06,1.910205e-06,2.077049e-06,2.662227e-06,3.145295e-06,3.552553e-06,4.429872e-06,4.555186e-06,5.643002e-06,5.868718e-06,6.793593e-06,7.410789e-06,7.989619e-06,9.019288e-06,9.217368e-06,1.046542e-05,1.066631e-05,1.172381e-05,1.232885e-05,1.298358e-05,1.398691e-05,1.423661e-05,1.547558e-05,1.562300e-05,1.669397e-05,1.722204e-05,1.788606e-05,1.877142e-05,1.904697e-05,2.017265e-05,2.026108e-05,2.125985e-05,2.168336e-05,2.230606e-05,2.303292e-05,2.330949e-05,2.426894e-05,2.430639e-05,2.518377e-05,2.550215e-05,2.605383e-05,2.661999e-05,2.687933e-05,2.766085e-05,2.839921e-05,2.862653e-05,2.909546e-05,2.951951e-05,2.975080e-05,3.034269e-05,3.036658e-05,3.094421e-05,3.109932e-05,3.148520e-05,3.179283e-05,3.199105e-05,3.242670e-05,3.246328e-05,3.290342e-05,3.300445e-05,3.331297e-05,3.352950e-05,3.369340e-05,3.400522e-05,3.404613e-05,3.437257e-05,3.443482e-05,3.467405e-05,3.482139e-05,3.495187e-05,3.516786e-05,3.520727e-05,3.544144e-05,3.547701e-05,3.565552e-05,3.575146e-05,3.585060e-05,3.599368e-05,3.602772e-05,3.618786e-05,3.620598e-05,3.633196e-05,3.639052e-05,3.646093e-05,3.654934e-05,3.657560e-05,3.667678e-05,3.668432e-05,3.676524e-05,3.679723e-05,3.684170e-05,3.688972e-05,3.690686e-05,3.696135e-05,3.696332e-05,3.700580e-05,3.701946e-05,3.704080e-05,3.705948e-05,3.706689e-05,3.708461e-05,3.709445e-05,3.709601e-05,3.709688e-05,3.709475e-05,3.709234e-05,3.708182e-05,3.708126e-05,3.706404e-05,3.705816e-05,3.704105e-05,3.702463e-05,3.701265e-05,3.698203e-05,3.697918e-05,3.694096e-05,3.693111e-05,3.689829e-05,3.687256e-05,3.685146e-05,3.680703e-05,3.680075e-05,3.674640e-05,3.673512e-05,3.668867e-05,3.665739e-05,3.662778e-05,3.657435e-05,3.656395e-05,3.649739e-05,3.648650e-05,3.642828e-05,3.639427e-05,3.635683e-05,3.629809e-05,3.628320e-05,3.620755e-05,3.619834e-05,3.613005e-05,3.609540e-05,3.605084e-05,3.598958e-05,3.597006e-05,3.588785e-05,3.588121e-05,3.580433e-05,3.577058e-05,3.571962e-05,3.565796e-05,3.563384e-05,3.554708e-05,3.554360e-05,3.545946e-05,3.542773e-05,3.537107e-05,3.531057e-05,3.528199e-05,3.519232e-05,3.507317e-05,3.495329e-05,3.483286e-05,3.471200e-05,3.459088e-05,3.446960e-05,3.434831e-05,3.422709e-05,3.410607e-05,3.398534e-05,3.386497e-05,3.374506e-05,3.362568e-05,3.350690e-05,3.338878e-05,3.327139e-05,3.315477e-05,3.303897e-05,3.292405e-05,3.281004e-05,3.269697e-05,3.258490e-05,3.247384e-05,3.236382e-05
0.000000e+00,3.033990e-15,2.664141e-14,6.679838e-13,5.596483e-12,1.475474e-11,1.182059e-10,1.273643e-10,6.582160e-10,9.786416e-10,2.463475e-09,4.868878e-09,7.391815e-09,1.761310e-08,1.889373e-08,4.276328e-08,5.124855e-08,8.794051e-08,1.271440e-07,1.672242e-07,2.786731e-07,2.977031e-07,5.007591e-07,5.522392e-07,8.015972e-07,1.005933e-06,1.228357e-06,1.705991e-06,1.810925e-06,2.579584e-06,2.721822e-06,3.563633e-06,4.120534e-06,4.790085e-06,5.961767e-06,6.282526e-06,8.060179e-06,8.293392e-06,1.013720e-05,1.114836e-05,1.252222e-05,1.454280e-05,1.521810e-05,1.822196e-05,1.847536e-05,2.152529e-05,2.292756e-05,2.511434e-05,2.786515e-05,2.897060e-05,3.307134e-05,3.324009e-05,3.739030e-05,3.899301e-05,4.189838e-05,4.505602e-05,4.656435e-05,5.135559e-05,5.623877e-05,5.781535e-05,6.118052e-05,6.435877e-05,6.614799e-05,7.091146e-05,7.110941e-05,7.603456e-05,7.740319e-05,8.089512e-05,8.376950e-05,8.566500e-05,8.995283e-05,9.032056e-05,9.484072e-05,9.590331e-05,9.920710e-05,1.015792e-04,1.034041e-04,1.069469e-04,1.074186e-04,1.112404e-04,1.119809e-04,1.148615e-04,1.166633e-04,1.182764e-04,1.209830e-04,1.214816e-04,1.244759e-04,1.249354e-04,1.272595e-04,1.285213e-04,1.298344e-04,1.317464e-04,1.322042e-04,1.343732e-04,1.346203e-04,1.363472e-04,1.371556e-04,1.381325e-04,1.393675e-04,1.397362e-04,1.411659e-04,1.412730e-04,1.424295e-04,1.428903e-04,1.435353e-04,1.442384e-04,1.444916e-04,1.453067e-04,1.453365e-04,1.459891e-04,1.462039e-04,1.465470e-04,1.468593e-04,1.469883e-04,1.473210e-04,1.475525e-04,1.476065e-04,1.476902e-04,1.477324e-04,1.477411e-04,1.477143e-04,1.477117e-04,1.476083e-04,1.475669e-04,1.474370e-04,1.473039e-04,1.472033e-04,1.469377e-04,1.469125e-04,1.465695e-04,1.464800e-04,1.461791e-04,1.459414e-04,1.457456e-04,1.453315e-04,1.452728e-04,1.447647e-04,1.446592e-04,1.442247e-04,1.439323e-04,1.436559e-04,1.431582e-04,1.430615e-04,1.424441e-04,1.423434e-04,1.418063e-04,1.414937e-04,1.411506e-04,1.406144e-04,1.404789e-04,1.397934e-04,1.397103e-04,1.390960e-04,1.387857e-04,1.383882e-04,1.378443e-04,1.376716e-04,1.369478e-04,1.368896e-04,1.362179e-04,1.359246e-04,1.354833e-04,1.349520e-04,1.347449e-04,1.340039e-04,1.339742e-04,1.332611e-04,1.329935e-04,1.325175e-04,1.320117e-04,1.317737e-04,1.310306e-04,1.300517e-04,1.290764e-04,1.281058e-04,1.271411e-04,1.261831e-04,1.252328e-04,1.242909e-04,1.233579e-04,1.224346e-04,1.215212e-04,1.206184e-04,1.197265e-04,1.188457e-04,1.179764e-04,1.171188e-04,1.162730e-04,1.154392e-04,1.146175e-04,1.138081e-04,1.130109e-04,1.122260e-04,1.114534e-04,1.106931e-04,1.099451e-04
0.000000e+00,1.343922e-13,1.005490e-12,1.815269e-11,1.132815e-10,2.546027e-10,1.360830e-09,1.442674e-09,5.050756e-09,6.769892e-09,1.318713e-08,2.127618e-08,2.835910e-08,5.083710e-08,5.325014e-08,9.057522e-08,1.016815e-07,1.430009e-07,1.799160e-07,2.130880e-07,2.912667e-07,3.032111e-07,4.154140e-07,4.406480e-07,5.511846e-07,6.313587e-07,7.111843e-07,8.640614e-07,8.950309e-07,1.101245e-06,1.136164e-06,1.327411e-06,1.442180e-06,1.570490e-06,1.774902e-06,1.827163e-06,2.094125e-06,2.126701e-06,2.368268e-06,2.490430e-06,2.646781e-06,2.859833e-06,2.927180e-06,3.207298e-06,3.229638e-06,3.485265e-06,3.595482e-06,3.759480e-06,3.953825e-06,4.028593e-06,4.291475e-06,4.301847e-06,4.547201e-06,4.637364e-06,4.795034e-06,4.958752e-06,5.034399e-06,5.264871e-06,5.486155e-06,5.554993e-06,5.698070e-06,5.828735e-06,5.900531e-06,6.085998e-06,6.093537e-06,6.277158e-06,6.326905e-06,6.451517e-06,6.551757e-06,6.616787e-06,6.760985e-06,6.773175e-06,6.920917e-06,6.955117e-06,7.060273e-06,7.134749e-06,7.191514e-06,7.300519e-06,7.314925e-06,7.430796e-06,7.453091e-06,7.539419e-06,7.593137e-06,7.641089e-06,7.721331e-06,7.736096e-06,7.824728e-06,7.838336e-06,7.907265e-06,7.944799e-06,7.983983e-06,8.041348e-06,8.055150e-06,8.121027e-06,8.128589e-06,8.181866e-06,8.207101e-06,8.237909e-06,8.277441e-06,8.289393e-06,8.336543e-06,8.340135e-06,8.379577e-06,8.395686e-06,8.418704e-06,8.444569e-06,8.454124e-06,8.486029e-06,8.487235e-06,8.514604e-06,8.524110e-06,8.540024e-06,8.555594e-06,8.562458e-06,8.582067e-06,8.599005e-06,8.603885e-06,8.613419e-06,8.621384e-06,8.625448e-06,8.634878e-06,8.635227e-06,8.642884e-06,8.644664e-06,8.648539e-06,8.651020e-06,8.652309e-06,8.654207e-06,8.654304e-06,8.654630e-06,8.654470e-06,8.653385e-06,8.652039e-06,8.650667e-06,8.647127e-06,8.646565e-06,8.641166e-06,8.639938e-06,8.634551e-06,8.630658e-06,8.626800e-06,8.619464e-06,8.617985e-06,8.608178e-06,8.606521e-06,8.597445e-06,8.591984e-06,8.585851e-06,8.575996e-06,8.573455e-06,8.560315e-06,8.558691e-06,8.546485e-06,8.540195e-06,8.532018e-06,8.520626e-06,8.516961e-06,8.501362e-06,8.500092e-06,8.485265e-06,8.478696e-06,8.468711e-06,8.456532e-06,8.451740e-06,8.434390e-06,8.433689e-06,8.416696e-06,8.410248e-06,8.398691e-06,8.386287e-06,8.380408e-06,8.361877e-06,8.337083e-06,8.311967e-06,8.286586e-06,8.260993e-06,8.235237e-06,8.209363e-06,8.183412e-06,8.157425e-06,8.131435e-06,8.105476e-06,8.079579e-06,8.053771e-06,8.028078e-06,8.002523e-06,7.977128e-06,7.951913e-06,7.926895e-06,7.902090e-06,7.877513e-06,7.853178e-06,7.829095e-06,7.805277e-06,7.781732e-06,7.758469e-06
0.000000e+00,3.845161e-15,3.319824e-14,8.032872e-13,6.509877e-12,1.684545e-11,1.284008e-10,1.380618e-10,6.772097e-10,9.921600e-10,2.403955e-09,4.600700e-09,6.834914e-09,1.548473e-08,1.653731e-08,3.540758e-08,4.187075e-08,6.889097e-08,9.660769e-08,1.241020e-07,1.975761e-07,2.097937e-07,3.361332e-07,3.672496e-07,5.142824e-07,6.312433e-07,7.558308e-07,1.016071e-06,1.072157e-06,1.473803e-06,1.546620e-06,1.969922e-06,2.243846e-06,2.567841e-06,3.123038e-06,3.272752e-06,4.087542e-06,4.192750e-06,5.012736e-06,5.454417e-06,6.046543e-06,6.902498e-06,7.184974e-06,8.422043e-06,8.525048e-06,9.749992e-06,1.030459e-05,1.115956e-05,1.221916e-05,1.264029e-05,1.418078e-05,1.424348e-05,1.576903e-05,1.635012e-05,1.739269e-05,1.851067e-05,1.903936e-05,2.069680e-05,2.235321e-05,2.288120e-05,2.399738e-05,2.503836e-05,2.561885e-05,2.714523e-05,2.720807e-05,2.875644e-05,2.918161e-05,3.025643e-05,3.113047e-05,3.170158e-05,3.297803e-05,3.308650e-05,3.440685e-05,3.471374e-05,3.565934e-05,3.633017e-05,3.684160e-05,3.782272e-05,3.795218e-05,3.899043e-05,3.918940e-05,3.995643e-05,4.043042e-05,4.085091e-05,4.154792e-05,4.167514e-05,4.243086e-05,4.254556e-05,4.312021e-05,4.342823e-05,4.374562e-05,4.420171e-05,4.430978e-05,4.481552e-05,4.487243e-05,4.526583e-05,4.544718e-05,4.566372e-05,4.593294e-05,4.601225e-05,4.631447e-05,4.633673e-05,4.657335e-05,4.666543e-05,4.679183e-05,4.692571e-05,4.697273e-05,4.711876e-05,4.712391e-05,4.723252e-05,4.726606e-05,4.731649e-05,4.735778e-05,4.737301e-05,4.740428e-05,4.741237e-05,4.741038e-05,4.739922e-05,4.738050e-05,4.736664e-05,4.731865e-05,4.731632e-05,4.724982e-05,4.722850e-05,4.716859e-05,4.711335e-05,4.707398e-05,4.697619e-05,4.696723e-05,4.684947e-05,4.681970e-05,4.672178e-05,4.664629e-05,4.658510e-05,4.645812e-05,4.644035e-05,4.628834e-05,4.625714e-05,4.612983e-05,4.604507e-05,4.596551e-05,4.582346e-05,4.579602e-05,4.562196e-05,4.559372e-05,4.544384e-05,4.535706e-05,4.526218e-05,4.511460e-05,4.507742e-05,4.488997e-05,4.486732e-05,4.470023e-05,4.461611e-05,4.450855e-05,4.436176e-05,4.431524e-05,4.412060e-05,4.410498e-05,4.392491e-05,4.384639e-05,4.372841e-05,4.358657e-05,4.353135e-05,4.333392e-05,4.332602e-05,4.313633e-05,4.306519e-05,4.293875e-05,4.280449e-05,4.274135e-05,4.254429e-05,4.228490e-05,4.202663e-05,4.176972e-05,4.151441e-05,4.126092e-05,4.100942e-05,4.076008e-05,4.051304e-05,4.026845e-05,4.002640e-05,3.978700e-05,3.955033e-05,3.931648e-05,3.908550e-05,3.885745e-05,3.863237e-05,3.841031e-05,3.819130e-05,3.797535e-05,3.776249e-05,3.755273e-05,3.734608e-05,3.714254e-05,3.694211e-05
0.000000e+00,1.203523e-09,3.070979e-09,1.180700e-08,2.836519e-08,4.235389e-08,1.015683e-07,1.048679e-07,2.156306e-07,2.581805e-07,3.966658e-07,5.486203e-07,6.697559e-07,1.005467e-06,1.038015e-06,1.480114e-06,1.594231e-06,1.970789e-06,2.260205e-06,2.493303e-06,2.971751e-06,3.038084e-06,3.599185e-06,3.712955e-06,4.172107e-06,4.473359e-06,4.752827e-06,5.243757e-06,5.337379e-06,5.921784e-06,6.015011e-06,6.502113e-06,6.778112e-06,7.074616e-06,7.524648e-06,7.635835e-06,8.182700e-06,8.247230e-06,8.712595e-06,8.939806e-06,9.223389e-06,9.597793e-06,9.713445e-06,1.018160e-05,1.021808e-05,1.062712e-05,1.079891e-05,1.104968e-05,1.133970e-05,1.144928e-05,1.182619e-05,1.184080e-05,1.218092e-05,1.230332e-05,1.251415e-05,1.272889e-05,1.282671e-05,1.311951e-05,1.339350e-05,1.347738e-05,1.364970e-05,1.380479e-05,1.388911e-05,1.410407e-05,1.411273e-05,1.432152e-05,1.437746e-05,1.451645e-05,1.462712e-05,1.469840e-05,1.485507e-05,1.486823e-05,1.502675e-05,1.506320e-05,1.517473e-05,1.525325e-05,1.531286e-05,1.542681e-05,1.544183e-05,1.556223e-05,1.558534e-05,1.567465e-05,1.573013e-05,1.577962e-05,1.586239e-05,1.587762e-05,1.596912e-05,1.598318e-05,1.605453e-05,1.609347e-05,1.613423e-05,1.619414e-05,1.620860e-05,1.627796e-05,1.628596e-05,1.634261e-05,1.636964e-05,1.640284e-05,1.644582e-05,1.645891e-05,1.651107e-05,1.651508e-05,1.655954e-05,1.657794e-05,1.660452e-05,1.663486e-05,1.664622e-05,1.668481e-05,1.668629e-05,1.672046e-05,1.673261e-05,1.675333e-05,1.677417e-05,1.678356e-05,1.681130e-05,1.683666e-05,1.684429e-05,1.685977e-05,1.687343e-05,1.688074e-05,1.689895e-05,1.689967e-05,1.691667e-05,1.692110e-05,1.693183e-05,1.694007e-05,1.694522e-05,1.695607e-05,1.695695e-05,1.696708e-05,1.696929e-05,1.697570e-05,1.697988e-05,1.698286e-05,1.698801e-05,1.698864e-05,1.699309e-05,1.699383e-05,1.699629e-05,1.699747e-05,1.699827e-05,1.699905e-05,1.699911e-05,1.699885e-05,1.699871e-05,1.699753e-05,1.699654e-05,1.699521e-05,1.699266e-05,1.699193e-05,1.698773e-05,1.698717e-05,1.698266e-05,1.698016e-05,1.697674e-05,1.697171e-05,1.697003e-05,1.696255e-05,1.696192e-05,1.695433e-05,1.695085e-05,1.694542e-05,1.693858e-05,1.693583e-05,1.692561e-05,1.692519e-05,1.691478e-05,1.691074e-05,1.690336e-05,1.689528e-05,1.689139e-05,1.687889e-05,1.686162e-05,1.684352e-05,1.682464e-05,1.680503e-05,1.678474e-05,1.676381e-05,1.674228e-05,1.672020e-05,1.669760e-05,1.667451e-05,1.665098e-05,1.662703e-05,1.660269e-05,1.657800e-05,1.655298e-05,1.652767e-05,1.650208e-05,1.647624e-05,1.645017e-05,1.642391e-05,1.639746e-05,1.637085e-05,1.634410e-05,1.631722e-05
0.000000e+00,5.629457e-09,1.301120e-08,4.520238e-08,1.034028e-07,1.512376e-07,3.454113e-07,3.559116e-07,6.936870e-07,8.173127e-07,1.203689e-06,1.610310e-06,1.928963e-06,2.818491e-06,2.906477e-06,4.148492e-06,4.484408e-06,5.637368e-06,6.567475e-06,7.342228e-06,8.997767e-06,9.233760e-06,1.128754e-05,1.171587e-05,1.348242e-05,1.467297e-05,1.579872e-05,1.782408e-05,1.821709e-05,2.071822e-05,2.112479e-05,2.328288e-05,2.453092e-05,2.589220e-05,2.799958e-05,2.852803e-05,3.117330e-05,3.149060e-05,3.381225e-05,3.496768e-05,3.643070e-05,3.839924e-05,3.901612e-05,4.155767e-05,4.175881e-05,4.404620e-05,4.502503e-05,4.647417e-05,4.818136e-05,4.883553e-05,5.112557e-05,5.121564e-05,5.334083e-05,5.411953e-05,5.547891e-05,5.688792e-05,5.753831e-05,5.951829e-05,6.141881e-05,6.201027e-05,6.324038e-05,6.436518e-05,6.498395e-05,6.658561e-05,6.665083e-05,6.824261e-05,6.867510e-05,6.976112e-05,7.063787e-05,7.120834e-05,7.247863e-05,7.258637e-05,7.389742e-05,7.420235e-05,7.514371e-05,7.581420e-05,7.632752e-05,7.731940e-05,7.745113e-05,7.851680e-05,7.872317e-05,7.952675e-05,8.003063e-05,8.048317e-05,8.124677e-05,8.138821e-05,8.224396e-05,8.237645e-05,8.305247e-05,8.342435e-05,8.381570e-05,8.439499e-05,8.453559e-05,8.521399e-05,8.529269e-05,8.585268e-05,8.612158e-05,8.645341e-05,8.688559e-05,8.701782e-05,8.754754e-05,8.758846e-05,8.804409e-05,8.823377e-05,8.850897e-05,8.882487e-05,8.894360e-05,8.934934e-05,8.936499e-05,8.972752e-05,8.985715e-05,9.007938e-05,9.030423e-05,9.040613e-05,9.070894e-05,9.098892e-05,9.107386e-05,9.124711e-05,9.140140e-05,9.148455e-05,9.169387e-05,9.170221e-05,9.190102e-05,9.195343e-05,9.208187e-05,9.218211e-05,9.224561e-05,9.238186e-05,9.239308e-05,9.252504e-05,9.255449e-05,9.264225e-05,9.270171e-05,9.274542e-05,9.282515e-05,9.283524e-05,9.291237e-05,9.292633e-05,9.297743e-05,9.300669e-05,9.303101e-05,9.306758e-05,9.307370e-05,9.310604e-05,9.311029e-05,9.312856e-05,9.313602e-05,9.314174e-05,9.314590e-05,9.314609e-05,9.314204e-05,9.314101e-05,9.313004e-05,9.312235e-05,9.311051e-05,9.309088e-05,9.308385e-05,9.305043e-05,9.304747e-05,9.301062e-05,9.299299e-05,9.296478e-05,9.292823e-05,9.291324e-05,9.285630e-05,9.285392e-05,9.279429e-05,9.277078e-05,9.272749e-05,9.267947e-05,9.265617e-05,9.258061e-05,9.247480e-05,9.236258e-05,9.224448e-05,9.212098e-05,9.199256e-05,9.185963e-05,9.172262e-05,9.158191e-05,9.143786e-05,9.129081e-05,9.114107e-05,9.098896e-05,9.083475e-05,9.067871e-05,9.052109e-05,9.036213e-05,9.020203e-05,9.004102e-05,8.987927e-05,8.971699e-05,8.955432e-05,8.939144e-05,8.922850e-05,8.906563e-05
0.000000e+00,8.502431e-09,1.955680e-08,6.759401e-08,1.544599e-07,2.260804e-07,5.197222e-07,5.357432e-07,1.058681e-06,1.253469e-06,1.871582e-06,2.532353e-06,3.053273e-06,4.500640e-06,4.642431e-06,6.609201e-06,7.130308e-06,8.889417e-06,1.028105e-05,1.142532e-05,1.383447e-05,1.417451e-05,1.710485e-05,1.771020e-05,2.018890e-05,2.184472e-05,2.340069e-05,2.617831e-05,2.671424e-05,3.010322e-05,3.065069e-05,3.354116e-05,3.520107e-05,3.700197e-05,3.977013e-05,4.046049e-05,4.389307e-05,4.430218e-05,4.727786e-05,4.874696e-05,5.059552e-05,5.306152e-05,5.382911e-05,5.696437e-05,5.721058e-05,5.998956e-05,6.116665e-05,6.289534e-05,6.490954e-05,6.567469e-05,6.832268e-05,6.842582e-05,7.083621e-05,7.170783e-05,7.321381e-05,7.475284e-05,7.545540e-05,7.756205e-05,7.953582e-05,8.013980e-05,8.137952e-05,8.249280e-05,8.309660e-05,8.462948e-05,8.469095e-05,8.616684e-05,8.655947e-05,8.752877e-05,8.829316e-05,8.878139e-05,8.984134e-05,8.992945e-05,9.097771e-05,9.121497e-05,9.193091e-05,9.242494e-05,9.279374e-05,9.348193e-05,9.357079e-05,9.426653e-05,9.439630e-05,9.488531e-05,9.517806e-05,9.543132e-05,9.583672e-05,9.590863e-05,9.632112e-05,9.638135e-05,9.667252e-05,9.682055e-05,9.696641e-05,9.716241e-05,9.720620e-05,9.739516e-05,9.741457e-05,9.753639e-05,9.758417e-05,9.763283e-05,9.767792e-05,9.768731e-05,9.770250e-05,9.770209e-05,9.768091e-05,9.766253e-05,9.762496e-05,9.756469e-05,9.753693e-05,9.741897e-05,9.741366e-05,9.727313e-05,9.721417e-05,9.710133e-05,9.697063e-05,9.690541e-05,9.668710e-05,9.644804e-05,9.636740e-05,9.618975e-05,9.601504e-05,9.591371e-05,9.563329e-05,9.562129e-05,9.531379e-05,9.522516e-05,9.499243e-05,9.479345e-05,9.465837e-05,9.434076e-05,9.431270e-05,9.395644e-05,9.386948e-05,9.359057e-05,9.338182e-05,9.321598e-05,9.287982e-05,9.283354e-05,9.244405e-05,9.236538e-05,9.204828e-05,9.184022e-05,9.164692e-05,9.130596e-05,9.124066e-05,9.083011e-05,9.076407e-05,9.041588e-05,9.021590e-05,8.999851e-05,8.966271e-05,8.957854e-05,8.915644e-05,8.910567e-05,8.873268e-05,8.854581e-05,8.830769e-05,8.798412e-05,8.788186e-05,8.745557e-05,8.742145e-05,8.702916e-05,8.685864e-05,8.660296e-05,8.629640e-05,8.617728e-05,8.575240e-05,8.573542e-05,8.532858e-05,8.517632e-05,8.490608e-05,8.461964e-05,8.448512e-05,8.406591e-05,8.351558e-05,8.296907e-05,8.242675e-05,8.188895e-05,8.135599e-05,8.082812e-05,8.030558e-05,7.978860e-05,7.927734e-05,7.877199e-05,7.827267e-05,7.777951e-05,7.729261e-05,7.681205e-05,7.633790e-05,7.587022e-05,7.540905e-05,7.495442e-05,7.450634e-05,7.406483e-05,7.362988e-05,7.320148e-05,7.277962e-05,7.236427e-05
0.000000e+00,2.887096e-13,2.276012e-12,4.566235e-11,3.124178e-10,7.372232e-10,4.441422e-09,4.730612e-09,1.847601e-08,2.547216e-08,5.310472e-08,9.025728e-08,1.242934e-07,2.388265e-07,2.515920e-07,4.576557e-07,5.215614e-07,7.672928e-07,9.953773e-07,1.205664e-06,1.715869e-06,1.795206e-06,2.552130e-06,2.724440e-06,3.484191e-06,4.038116e-06,4.590596e-06,5.649212e-06,5.863623e-06,7.290898e-06,7.532596e-06,8.857414e-06,9.654057e-06,1.054694e-05,1.197591e-05,1.234278e-05,1.422818e-05,1.445965e-05,1.618636e-05,1.706673e-05,1.820067e-05,1.975893e-05,2.025462e-05,2.233204e-05,2.249877e-05,2.441725e-05,2.525014e-05,2.649530e-05,2.797913e-05,2.855214e-05,3.057485e-05,3.065488e-05,3.255177e-05,3.325023e-05,3.447261e-05,3.574216e-05,3.632850e-05,3.811206e-05,3.981732e-05,4.034567e-05,4.143966e-05,4.243286e-05,4.297577e-05,4.436729e-05,4.442348e-05,4.578171e-05,4.614594e-05,4.705030e-05,4.776866e-05,4.822989e-05,4.923765e-05,4.932182e-05,5.032799e-05,5.055696e-05,5.125077e-05,5.173211e-05,5.209291e-05,5.276967e-05,5.285742e-05,5.354753e-05,5.367692e-05,5.416661e-05,5.446160e-05,5.471810e-05,5.513166e-05,5.520548e-05,5.563222e-05,5.569510e-05,5.600175e-05,5.615980e-05,5.631744e-05,5.653343e-05,5.658257e-05,5.680030e-05,5.682338e-05,5.697369e-05,5.703670e-05,5.710570e-05,5.718008e-05,5.719914e-05,5.725669e-05,5.725982e-05,5.728092e-05,5.728183e-05,5.727426e-05,5.725162e-05,5.723899e-05,5.717729e-05,5.717430e-05,5.709120e-05,5.705460e-05,5.698263e-05,5.689691e-05,5.685342e-05,5.670525e-05,5.653974e-05,5.648336e-05,5.635838e-05,5.623465e-05,5.616258e-05,5.596225e-05,5.595366e-05,5.573284e-05,5.566904e-05,5.550127e-05,5.535762e-05,5.526003e-05,5.503041e-05,5.501012e-05,5.475248e-05,5.468959e-05,5.448798e-05,5.433717e-05,5.421744e-05,5.397496e-05,5.394160e-05,5.366118e-05,5.360460e-05,5.337681e-05,5.322759e-05,5.308912e-05,5.284530e-05,5.279867e-05,5.250597e-05,5.245897e-05,5.221152e-05,5.206970e-05,5.191578e-05,5.167852e-05,5.161914e-05,5.132200e-05,5.128633e-05,5.102471e-05,5.089394e-05,5.072760e-05,5.050210e-05,5.043097e-05,5.013509e-05,5.011146e-05,4.984022e-05,4.972260e-05,4.954659e-05,4.933607e-05,4.925442e-05,4.896391e-05,4.895232e-05,4.867523e-05,4.857179e-05,4.838855e-05,4.819482e-05,4.810401e-05,4.782175e-05,4.745286e-05,4.708839e-05,4.672857e-05,4.637356e-05,4.602353e-05,4.567861e-05,4.533890e-05,4.500449e-05,4.467545e-05,4.435182e-05,4.403365e-05,4.372094e-05,4.341372e-05,4.311199e-05,4.281572e-05,4.252490e-05,4.223949e-05,4.195947e-05,4.168479e-05,4.141539e-05,4.115123e-05,4.089224e-05,4.063837e-05,4.038954e-05
0.000000e+00,5.490631e-09,1.280145e-08,4.493854e-08,1.034103e-07,1.516394e-07,3.482105e-07,3.588649e-07,7.024050e-07,8.284403e-07,1.223189e-06,1.640080e-06,1.968043e-06,2.891051e-06,2.983023e-06,4.294813e-06,4.653732e-06,5.897377e-06,6.912351e-06,7.764877e-06,9.606324e-06,9.870909e-06,1.219484e-05,1.268429e-05,1.472035e-05,1.610842e-05,1.743286e-05,1.984524e-05,2.031779e-05,2.335965e-05,2.385981e-05,2.654173e-05,2.811373e-05,2.984616e-05,3.256517e-05,3.325412e-05,3.674622e-05,3.716999e-05,4.030285e-05,4.188320e-05,4.390461e-05,4.666048e-05,4.753261e-05,5.116881e-05,5.145955e-05,5.479632e-05,5.624135e-05,5.839955e-05,6.097083e-05,6.196432e-05,6.547791e-05,6.561722e-05,6.892908e-05,7.015431e-05,7.230811e-05,7.456034e-05,7.560668e-05,7.881779e-05,8.193575e-05,8.291304e-05,8.495598e-05,8.683597e-05,8.787497e-05,9.057956e-05,9.069015e-05,9.339978e-05,9.413941e-05,9.600288e-05,9.751343e-05,9.849908e-05,1.007013e-04,1.008886e-04,1.031721e-04,1.037045e-04,1.053507e-04,1.065254e-04,1.074258e-04,1.091676e-04,1.093990e-04,1.112725e-04,1.116354e-04,1.130482e-04,1.139337e-04,1.147285e-04,1.160680e-04,1.163158e-04,1.178125e-04,1.180437e-04,1.192212e-04,1.198669e-04,1.205445e-04,1.215434e-04,1.217850e-04,1.229454e-04,1.230793e-04,1.240282e-04,1.244807e-04,1.250360e-04,1.257535e-04,1.259716e-04,1.268373e-04,1.269036e-04,1.276358e-04,1.279369e-04,1.283694e-04,1.288589e-04,1.290407e-04,1.296520e-04,1.296752e-04,1.302056e-04,1.303913e-04,1.307039e-04,1.310122e-04,1.311489e-04,1.315430e-04,1.318881e-04,1.319885e-04,1.321864e-04,1.323536e-04,1.324397e-04,1.326426e-04,1.326502e-04,1.328196e-04,1.328599e-04,1.329497e-04,1.330097e-04,1.330423e-04,1.330959e-04,1.330992e-04,1.331219e-04,1.331224e-04,1.331120e-04,1.330929e-04,1.330712e-04,1.330108e-04,1.330009e-04,1.329025e-04,1.328795e-04,1.327774e-04,1.327023e-04,1.326270e-04,1.324821e-04,1.324526e-04,1.322554e-04,1.322218e-04,1.320367e-04,1.319243e-04,1.317975e-04,1.315922e-04,1.315390e-04,1.312623e-04,1.312280e-04,1.309685e-04,1.308340e-04,1.306584e-04,1.304126e-04,1.303332e-04,1.299936e-04,1.299659e-04,1.296407e-04,1.294959e-04,1.292751e-04,1.290046e-04,1.288979e-04,1.285097e-04,1.284939e-04,1.281112e-04,1.279655e-04,1.277034e-04,1.274209e-04,1.272867e-04,1.268619e-04,1.262898e-04,1.257061e-04,1.251120e-04,1.245089e-04,1.238978e-04,1.232799e-04,1.226563e-04,1.220278e-04,1.213955e-04,1.207602e-04,1.201226e-04,1.194836e-04,1.188438e-04,1.182040e-04,1.175646e-04,1.169264e-04,1.162899e-04,1.156555e-04,1.150237e-04,1.143950e-04,1.137697e-04,1.131482e-04,1.125309e-04,1.119180e-04
0.000000e+00,3.419432e-09,7.963736e-09,2.796608e-08,6.449858e-08,9.476062e-08,2.191749e-07,2.259636e-07,4.470189e-07,5.290576e-07,7.887194e-07,1.066664e-06,1.287486e-06,1.916602e-06,1.979773e-06,2.886591e-06,3.135829e-06,3.999738e-06,4.702734e-06,5.290468e-06,6.549024e-06,6.728525e-06,8.290323e-06,8.615899e-06,9.958133e-06,1.086243e-05,1.171752e-05,1.325666e-05,1.355550e-05,1.545961e-05,1.576958e-05,1.741759e-05,1.837300e-05,1.941736e-05,2.103932e-05,2.144712e-05,2.349561e-05,2.374218e-05,2.555223e-05,2.645716e-05,2.760718e-05,2.916235e-05,2.965161e-05,3.167764e-05,3.183871e-05,3.367835e-05,3.447018e-05,3.564780e-05,3.704359e-05,3.758095e-05,3.947362e-05,3.954844e-05,4.132239e-05,4.197666e-05,4.312454e-05,4.432227e-05,4.487795e-05,4.658106e-05,4.823274e-05,4.875030e-05,4.983230e-05,5.082847e-05,5.137935e-05,5.281504e-05,5.287381e-05,5.431583e-05,5.471024e-05,5.570576e-05,5.651493e-05,5.704412e-05,5.823042e-05,5.833156e-05,5.956884e-05,5.985842e-05,6.075682e-05,6.140089e-05,6.189642e-05,6.286002e-05,6.298862e-05,6.403445e-05,6.423814e-05,6.503496e-05,6.553768e-05,6.599124e-05,6.676114e-05,6.690439e-05,6.777551e-05,6.791106e-05,6.860570e-05,6.898999e-05,6.939610e-05,7.000049e-05,7.014779e-05,7.086189e-05,7.094510e-05,7.153948e-05,7.182633e-05,7.218164e-05,7.264664e-05,7.278944e-05,7.336393e-05,7.340848e-05,7.390613e-05,7.411420e-05,7.441707e-05,7.476615e-05,7.489774e-05,7.534912e-05,7.536658e-05,7.577217e-05,7.591771e-05,7.616782e-05,7.642169e-05,7.653700e-05,7.688060e-05,7.719949e-05,7.729646e-05,7.749454e-05,7.767125e-05,7.776659e-05,7.800685e-05,7.801643e-05,7.824487e-05,7.830511e-05,7.845269e-05,7.856779e-05,7.864063e-05,7.879661e-05,7.880942e-05,7.895979e-05,7.899321e-05,7.909242e-05,7.915920e-05,7.920799e-05,7.929610e-05,7.930716e-05,7.939055e-05,7.940539e-05,7.945879e-05,7.948849e-05,7.951248e-05,7.954677e-05,7.955221e-05,7.957853e-05,7.958153e-05,7.959199e-05,7.959405e-05,7.959314e-05,7.958552e-05,7.958247e-05,7.956049e-05,7.955712e-05,7.952770e-05,7.950996e-05,7.948454e-05,7.944509e-05,7.943148e-05,7.936896e-05,7.936356e-05,7.929740e-05,7.926634e-05,7.921722e-05,7.915437e-05,7.912881e-05,7.903255e-05,7.902855e-05,7.892883e-05,7.888973e-05,7.881799e-05,7.873874e-05,7.870040e-05,7.857637e-05,7.840337e-05,7.822046e-05,7.802832e-05,7.782760e-05,7.761893e-05,7.740291e-05,7.718010e-05,7.695104e-05,7.671625e-05,7.647622e-05,7.623141e-05,7.598227e-05,7.572922e-05,7.547266e-05,7.521297e-05,7.495052e-05,7.468565e-05,7.441867e-05,7.414991e-05,7.387966e-05,7.360818e-05,7.333574e-05,7.306260e-05,7.278898e-05
0.000000e+00,1.362323e-11,8.711877e-11,1.163396e-09,5.681071e-09,1.129797e-08,4.585034e-08,4.812593e-08,1.360758e-07,1.737684e-07,3.049946e-07,4.603717e-07,5.922772e-07,1.001118e-06,1.044594e-06,1.712613e-06,1.909795e-06,2.634000e-06,3.264459e-06,3.815056e-06,5.049276e-06,5.230113e-06,6.837810e-06,7.178746e-06,8.597170e-06,9.560478e-06,1.047453e-05,1.212337e-05,1.244370e-05,1.448379e-05,1.481557e-05,1.657707e-05,1.759603e-05,1.870769e-05,2.042919e-05,2.086099e-05,2.302323e-05,2.328268e-05,2.518162e-05,2.612701e-05,2.732436e-05,2.893580e-05,2.944083e-05,3.152157e-05,3.168623e-05,3.355838e-05,3.435921e-05,3.554431e-05,3.693942e-05,3.747364e-05,3.934176e-05,3.941516e-05,4.114515e-05,4.177800e-05,4.288122e-05,4.402237e-05,4.454822e-05,4.614513e-05,4.767155e-05,4.814512e-05,4.912761e-05,5.002281e-05,5.051388e-05,5.177992e-05,5.183131e-05,5.308110e-05,5.341912e-05,5.426473e-05,5.494381e-05,5.538381e-05,5.635790e-05,5.644014e-05,5.743558e-05,5.766564e-05,5.837207e-05,5.887149e-05,5.925159e-05,5.998005e-05,6.007616e-05,6.084778e-05,6.099593e-05,6.156846e-05,6.192375e-05,6.224019e-05,6.276805e-05,6.286493e-05,6.344458e-05,6.353327e-05,6.398104e-05,6.422374e-05,6.447614e-05,6.484364e-05,6.493167e-05,6.534936e-05,6.539702e-05,6.573091e-05,6.588776e-05,6.607795e-05,6.631959e-05,6.639206e-05,6.667477e-05,6.669607e-05,6.692755e-05,6.702061e-05,6.715184e-05,6.729645e-05,6.734900e-05,6.752035e-05,6.752669e-05,6.766718e-05,6.771427e-05,6.779070e-05,6.786198e-05,6.789208e-05,6.797247e-05,6.803295e-05,6.804826e-05,6.807455e-05,6.809174e-05,6.809828e-05,6.810515e-05,6.810511e-05,6.809594e-05,6.809062e-05,6.807166e-05,6.805019e-05,6.803311e-05,6.798574e-05,6.798110e-05,6.791641e-05,6.789908e-05,6.783977e-05,6.779190e-05,6.775189e-05,6.766580e-05,6.765345e-05,6.754510e-05,6.752229e-05,6.742745e-05,6.736280e-05,6.730109e-05,6.718864e-05,6.716660e-05,6.702449e-05,6.700109e-05,6.687530e-05,6.680132e-05,6.671951e-05,6.659044e-05,6.655758e-05,6.638997e-05,6.636950e-05,6.621710e-05,6.613947e-05,6.603936e-05,6.590128e-05,6.585716e-05,6.567085e-05,6.565578e-05,6.548078e-05,6.540378e-05,6.528729e-05,6.514603e-05,6.509069e-05,6.489128e-05,6.488325e-05,6.468935e-05,6.461609e-05,6.448517e-05,6.434517e-05,6.427899e-05,6.407107e-05,6.379432e-05,6.351543e-05,6.323487e-05,6.295306e-05,6.267042e-05,6.238732e-05,6.210410e-05,6.182110e-05,6.153862e-05,6.125692e-05,6.097626e-05,6.069689e-05,6.041901e-05,6.014283e-05,5.986853e-05,5.959627e-05,5.932621e-05,5.905849e-05,5.879323e-05,5.853055e-05,5.827054e-05,5.801331e-05,5.775893e-05,5.750747e-05
0.000000e+00,6.472973e-15,5.785390e-14,1.506622e-12,1.308856e-11,3.522864e-11,2.986539e-10,3.225682e-10,1.772989e-09,2.683419e-09,7.078983e-09,1.456582e-08,2.272707e-08,5.773592e-08,6.228217e-08,1.511622e-07,1.841763e-07,3.326619e-07,4.988035e-07,6.744693e-07,1.184982e-06,1.274726e-06,2.266842e-06,2.526708e-06,3.822558e-06,4.922806e-06,6.153039e-06,8.890989e-06,9.507993e-06,1.417298e-05,1.506174e-05,2.046509e-05,2.416315e-05,2.872730e-05,3.699853e-05,3.932189e-05,5.262300e-05,5.441898e-05,6.900890e-05,7.729278e-05,8.885406e-05,1.064738e-04,1.125213e-04,1.403543e-04,1.427706e-04,1.726706e-04,1.869175e-04,2.097554e-04,2.395496e-04,2.518561e-04,2.991777e-04,3.011816e-04,3.518795e-04,3.721921e-04,4.100722e-04,4.528128e-04,4.738167e-04,5.431233e-04,6.179525e-04,6.430511e-04,6.982157e-04,7.523753e-04,7.837776e-04,8.707360e-04,8.744589e-04,9.700391e-04,9.976452e-04,1.070261e-03,1.132502e-03,1.174833e-03,1.274609e-03,1.283437e-03,1.395729e-03,1.423187e-03,1.511344e-03,1.577399e-03,1.629903e-03,1.736361e-03,1.751016e-03,1.874286e-03,1.899164e-03,1.999313e-03,2.064889e-03,2.125697e-03,2.232620e-03,2.253044e-03,2.380965e-03,2.401461e-03,2.509084e-03,2.570544e-03,2.637036e-03,2.739042e-03,2.764472e-03,2.891058e-03,2.906176e-03,3.016479e-03,3.071219e-03,3.140441e-03,3.233505e-03,3.262667e-03,3.382903e-03,3.392428e-03,3.500915e-03,3.547449e-03,3.616492e-03,3.698091e-03,3.729442e-03,3.839596e-03,3.843942e-03,3.946804e-03,3.984652e-03,4.050936e-03,4.119933e-03,4.151883e-03,4.249552e-03,4.343869e-03,4.373333e-03,4.434778e-03,4.491151e-03,4.522237e-03,4.602926e-03,4.606219e-03,4.686711e-03,4.708623e-03,4.763714e-03,4.808245e-03,4.837238e-03,4.901828e-03,4.907307e-03,4.973952e-03,4.989441e-03,5.037213e-03,5.071180e-03,5.097141e-03,5.147164e-03,5.153790e-03,5.207224e-03,5.217531e-03,5.257510e-03,5.282438e-03,5.304719e-03,5.342053e-03,5.348928e-03,5.390217e-03,5.396558e-03,5.428667e-03,5.446140e-03,5.464363e-03,5.490994e-03,5.497390e-03,5.527835e-03,5.531319e-03,5.555785e-03,5.567316e-03,5.581329e-03,5.599186e-03,5.604553e-03,5.625544e-03,5.627130e-03,5.644390e-03,5.651347e-03,5.661175e-03,5.672031e-03,5.675983e-03,5.688898e-03,5.689376e-03,5.699999e-03,5.703567e-03,5.709367e-03,5.714787e-03,5.717079e-03,5.723211e-03,5.729008e-03,5.732344e-03,5.733374e-03,5.732249e-03,5.729112e-03,5.724100e-03,5.717344e-03,5.708968e-03,5.699088e-03,5.687817e-03,5.675259e-03,5.661514e-03,5.646675e-03,5.630831e-03,5.614066e-03,5.596457e-03,5.578077e-03,5.558997e-03,5.539280e-03,5.518987e-03,5.498176e-03,5.476899e-03,5.455206e-03,5.433144e-03
0.000000e+00,6.671242e-10,2.388697e-09,1.322638e-08,3.748485e-08,5.931824e-08,1.553793e-07,1.607782e-07,3.402387e-07,4.078214e-07,6.229443e-07,8.536358e-07,1.036388e-06,1.551209e-06,1.602320e-06,2.324979e-06,2.520749e-06,3.194532e-06,3.741191e-06,4.199311e-06,5.188020e-06,5.330106e-06,6.579083e-06,6.842372e-06,7.938267e-06,8.685686e-06,9.398744e-06,1.069644e-05,1.095038e-05,1.258189e-05,1.284955e-05,1.428112e-05,1.511708e-05,1.603534e-05,1.746963e-05,1.783164e-05,1.965727e-05,1.987773e-05,2.149996e-05,2.231313e-05,2.334814e-05,2.474982e-05,2.519114e-05,2.701933e-05,2.716468e-05,2.882417e-05,2.953786e-05,3.059823e-05,3.185292e-05,3.233522e-05,3.402985e-05,3.409669e-05,3.567786e-05,3.625905e-05,3.727587e-05,3.833264e-05,3.882135e-05,4.031245e-05,4.174800e-05,4.219552e-05,4.312734e-05,4.398053e-05,4.445032e-05,4.566755e-05,4.571715e-05,4.692838e-05,4.725767e-05,4.808485e-05,4.875287e-05,4.918760e-05,5.015572e-05,5.023784e-05,5.123693e-05,5.146925e-05,5.218632e-05,5.269683e-05,5.308754e-05,5.384202e-05,5.394217e-05,5.475183e-05,5.490850e-05,5.551812e-05,5.590000e-05,5.624269e-05,5.682025e-05,5.692713e-05,5.757305e-05,5.767293e-05,5.818202e-05,5.846165e-05,5.875557e-05,5.918992e-05,5.929520e-05,5.980238e-05,5.986113e-05,6.027852e-05,6.047854e-05,6.072499e-05,6.104530e-05,6.114314e-05,6.153425e-05,6.156440e-05,6.189955e-05,6.203871e-05,6.224024e-05,6.247096e-05,6.255748e-05,6.285238e-05,6.286373e-05,6.312599e-05,6.321948e-05,6.337935e-05,6.354056e-05,6.361342e-05,6.382917e-05,6.402747e-05,6.408739e-05,6.420921e-05,6.431721e-05,6.437521e-05,6.452049e-05,6.452626e-05,6.466312e-05,6.469900e-05,6.478652e-05,6.485439e-05,6.489715e-05,6.498823e-05,6.499568e-05,6.508274e-05,6.510200e-05,6.515894e-05,6.519709e-05,6.522486e-05,6.527480e-05,6.528105e-05,6.532804e-05,6.533637e-05,6.536633e-05,6.538297e-05,6.539641e-05,6.541567e-05,6.541874e-05,6.543375e-05,6.543550e-05,6.544186e-05,6.544342e-05,6.544347e-05,6.544034e-05,6.543897e-05,6.542871e-05,6.542711e-05,6.541304e-05,6.540452e-05,6.539230e-05,6.537332e-05,6.536678e-05,6.533680e-05,6.533421e-05,6.530263e-05,6.528785e-05,6.526455e-05,6.523486e-05,6.522282e-05,6.517768e-05,6.517580e-05,6.512936e-05,6.511123e-05,6.507809e-05,6.504165e-05,6.502408e-05,6.496752e-05,6.488930e-05,6.480740e-05,6.472220e-05,6.463407e-05,6.454334e-05,6.445033e-05,6.435533e-05,6.425861e-05,6.416044e-05,6.406105e-05,6.396065e-05,6.385946e-05,6.375767e-05,6.365545e-05,6.355296e-05,6.345036e-05,6.334779e-05,6.324538e-05,6.314324e-05,6.304149e-05,6.294023e-05,6.283954e-05,6.273953e-05,6.264025e-05
0.000000e+00,5.911405e-16,5.152082e-15,1.272362e-13,1.050903e-12,2.748361e-12,2.154264e-11,2.319032e-11,1.170657e-10,1.728852e-10,4.275529e-10,8.322739e-10,1.250507e-09,2.907634e-09,3.112304e-09,6.854607e-09,8.161020e-09,1.371941e-08,1.954640e-08,2.542346e-08,4.149003e-08,4.420385e-08,7.281287e-08,7.998896e-08,1.144479e-07,1.424034e-07,1.726183e-07,2.369243e-07,2.509650e-07,3.530578e-07,3.718222e-07,4.821948e-07,5.546439e-07,6.412228e-07,7.915033e-07,8.323944e-07,1.057266e-06,1.086561e-06,1.316638e-06,1.441726e-06,1.610539e-06,1.856575e-06,1.938239e-06,2.298300e-06,2.328445e-06,2.688639e-06,2.852678e-06,3.106617e-06,3.422950e-06,3.549134e-06,4.012729e-06,4.031660e-06,4.493681e-06,4.670329e-06,4.988110e-06,5.330007e-06,5.492071e-06,6.001640e-06,6.512993e-06,6.676399e-06,7.022471e-06,7.345956e-06,7.526640e-06,8.002702e-06,8.022329e-06,8.506673e-06,8.639901e-06,8.977127e-06,9.251801e-06,9.431487e-06,9.833674e-06,9.867887e-06,1.028480e-05,1.038182e-05,1.068103e-05,1.089355e-05,1.105570e-05,1.136708e-05,1.140820e-05,1.173821e-05,1.180150e-05,1.204565e-05,1.219663e-05,1.233065e-05,1.255294e-05,1.259353e-05,1.283477e-05,1.287140e-05,1.305499e-05,1.315344e-05,1.325491e-05,1.340078e-05,1.343535e-05,1.359718e-05,1.361540e-05,1.374133e-05,1.379940e-05,1.386876e-05,1.395500e-05,1.398042e-05,1.407728e-05,1.408442e-05,1.416031e-05,1.418985e-05,1.423043e-05,1.427344e-05,1.428856e-05,1.433559e-05,1.433725e-05,1.437234e-05,1.438321e-05,1.439962e-05,1.441316e-05,1.441820e-05,1.442878e-05,1.443204e-05,1.443164e-05,1.442860e-05,1.442317e-05,1.441907e-05,1.440468e-05,1.440398e-05,1.438383e-05,1.437735e-05,1.435911e-05,1.434226e-05,1.433024e-05,1.430035e-05,1.429761e-05,1.426160e-05,1.425249e-05,1.422254e-05,1.419946e-05,1.418075e-05,1.414193e-05,1.413649e-05,1.409005e-05,1.408051e-05,1.404164e-05,1.401577e-05,1.399149e-05,1.394817e-05,1.393980e-05,1.388675e-05,1.387815e-05,1.383250e-05,1.380609e-05,1.377721e-05,1.373232e-05,1.372102e-05,1.366405e-05,1.365717e-05,1.360642e-05,1.358088e-05,1.354823e-05,1.350370e-05,1.348959e-05,1.343059e-05,1.342585e-05,1.337129e-05,1.334751e-05,1.331179e-05,1.326885e-05,1.325214e-05,1.319241e-05,1.319002e-05,1.313266e-05,1.311115e-05,1.307294e-05,1.303237e-05,1.301329e-05,1.295377e-05,1.287547e-05,1.279753e-05,1.272003e-05,1.264306e-05,1.256665e-05,1.249088e-05,1.241577e-05,1.234139e-05,1.226776e-05,1.219491e-05,1.212288e-05,1.205169e-05,1.198136e-05,1.191191e-05,1.184336e-05,1.177572e-05,1.170900e-05,1.164321e-05,1.157835e-05,1.151443e-05,1.145146e-05,1.138943e-05,1.132835e-05,1.126822e-05
0.000000e+00,1.473321e-14,1.219768e-13,2.706950e-12,2.026635e-11,5.020088e-11,3.415810e-10,3.655824e-10,1.600622e-09,2.273374e-09,5.093559e-09,9.147300e-09,1.303548e-08,2.689816e-08,2.849834e-08,5.533318e-08,6.394951e-08,9.797743e-08,1.305402e-07,1.612152e-07,2.377729e-07,2.499209e-07,3.687960e-07,3.965767e-07,5.220941e-07,6.166187e-07,7.133349e-07,9.051729e-07,9.450321e-07,1.218481e-06,1.266124e-06,1.533651e-06,1.699402e-06,1.889186e-06,2.200994e-06,2.282528e-06,2.710100e-06,2.763508e-06,3.167538e-06,3.377020e-06,3.649928e-06,4.030017e-06,4.152035e-06,4.668497e-06,4.710274e-06,5.194004e-06,5.405584e-06,5.723438e-06,6.104341e-06,6.251979e-06,6.775198e-06,6.795958e-06,7.289111e-06,7.471154e-06,7.790226e-06,8.122127e-06,8.275553e-06,8.742614e-06,9.189428e-06,9.327874e-06,9.614489e-06,9.874604e-06,1.001673e-05,1.038081e-05,1.039550e-05,1.075049e-05,1.084562e-05,1.108171e-05,1.126915e-05,1.138945e-05,1.165226e-05,1.167421e-05,1.193666e-05,1.199643e-05,1.217765e-05,1.230356e-05,1.239809e-05,1.257588e-05,1.259899e-05,1.278140e-05,1.281576e-05,1.294640e-05,1.302567e-05,1.309505e-05,1.320808e-05,1.322843e-05,1.334758e-05,1.336539e-05,1.345349e-05,1.349992e-05,1.354714e-05,1.361385e-05,1.362944e-05,1.370127e-05,1.370922e-05,1.376343e-05,1.378792e-05,1.381670e-05,1.385167e-05,1.386178e-05,1.389936e-05,1.390206e-05,1.393003e-05,1.394050e-05,1.395438e-05,1.396829e-05,1.397293e-05,1.398617e-05,1.398660e-05,1.399454e-05,1.399645e-05,1.399847e-05,1.399879e-05,1.399832e-05,1.399444e-05,1.398716e-05,1.398416e-05,1.397677e-05,1.396861e-05,1.396354e-05,1.394839e-05,1.394771e-05,1.392952e-05,1.392403e-05,1.390917e-05,1.389600e-05,1.388685e-05,1.386473e-05,1.386274e-05,1.383701e-05,1.383061e-05,1.380980e-05,1.379397e-05,1.378125e-05,1.375512e-05,1.375149e-05,1.372064e-05,1.371435e-05,1.368880e-05,1.367188e-05,1.365607e-05,1.362796e-05,1.362255e-05,1.358832e-05,1.358278e-05,1.355346e-05,1.353653e-05,1.351805e-05,1.348936e-05,1.348215e-05,1.344582e-05,1.344144e-05,1.340913e-05,1.339289e-05,1.337213e-05,1.334383e-05,1.333487e-05,1.329740e-05,1.329439e-05,1.325975e-05,1.324466e-05,1.322198e-05,1.319473e-05,1.318412e-05,1.314620e-05,1.314468e-05,1.310826e-05,1.309460e-05,1.307032e-05,1.304454e-05,1.303242e-05,1.299458e-05,1.294477e-05,1.289517e-05,1.284581e-05,1.279675e-05,1.274801e-05,1.269964e-05,1.265167e-05,1.260413e-05,1.255703e-05,1.251041e-05,1.246429e-05,1.241867e-05,1.237359e-05,1.232905e-05,1.228506e-05,1.224164e-05,1.219879e-05,1.215652e-05,1.211485e-05,1.207377e-05,1.203329e-05,1.199341e-05,1.195413e-05,1.191546e-05
0.000000e+00,6.259905e-16,5.603303e-15,1.462459e-13,1.271709e-12,3.422486e-12,2.892139e-11,3.122985e-11,1.701228e-10,2.565465e-10,6.688571e-10,1.359103e-09,2.100143e-09,5.198772e-09,5.594395e-09,1.314523e-08,1.588792e-08,2.797894e-08,4.120406e-08,5.497180e-08,9.425769e-08,1.010900e-07,1.758185e-07,1.952325e-07,2.915412e-07,3.729571e-07,4.638399e-07,6.660674e-07,7.116812e-07,1.057475e-06,1.123569e-06,1.526995e-06,1.804690e-06,2.149153e-06,2.778001e-06,2.955652e-06,3.980498e-06,4.119835e-06,5.259426e-06,5.912110e-06,6.829238e-06,8.239703e-06,8.727081e-06,1.098970e-05,1.118754e-05,1.365267e-05,1.483759e-05,1.674969e-05,1.926587e-05,2.031183e-05,2.436695e-05,2.453976e-05,2.893911e-05,3.071561e-05,3.404810e-05,3.783676e-05,3.970903e-05,4.593212e-05,5.272246e-05,5.501531e-05,6.007998e-05,6.508424e-05,6.799943e-05,7.612127e-05,7.647053e-05,8.547811e-05,8.809380e-05,9.500246e-05,1.009553e-04,1.050196e-04,1.146466e-04,1.155015e-04,1.264170e-04,1.290974e-04,1.377315e-04,1.442283e-04,1.494082e-04,1.599522e-04,1.614078e-04,1.736898e-04,1.761764e-04,1.862122e-04,1.928047e-04,1.989323e-04,2.097387e-04,2.118073e-04,2.247944e-04,2.268799e-04,2.378512e-04,2.441310e-04,2.509362e-04,2.613972e-04,2.640089e-04,2.770304e-04,2.785877e-04,2.899632e-04,2.956163e-04,3.027718e-04,3.124026e-04,3.154227e-04,3.278843e-04,3.288722e-04,3.401275e-04,3.449575e-04,3.521254e-04,3.605981e-04,3.638534e-04,3.752893e-04,3.757404e-04,3.864134e-04,3.903383e-04,3.972081e-04,4.043525e-04,4.076582e-04,4.177509e-04,4.274753e-04,4.305078e-04,4.368227e-04,4.426040e-04,4.457864e-04,4.540262e-04,4.543617e-04,4.625454e-04,4.647665e-04,4.703363e-04,4.748223e-04,4.777345e-04,4.841955e-04,4.847418e-04,4.913609e-04,4.928922e-04,4.975961e-04,5.009220e-04,5.034526e-04,5.082980e-04,5.089367e-04,5.140554e-04,5.150360e-04,5.188168e-04,5.211543e-04,5.232293e-04,5.266729e-04,5.273022e-04,5.310450e-04,5.316140e-04,5.344680e-04,5.360004e-04,5.375815e-04,5.398566e-04,5.403961e-04,5.429228e-04,5.432072e-04,5.451726e-04,5.460776e-04,5.471564e-04,5.484932e-04,5.488855e-04,5.503708e-04,5.504795e-04,5.516235e-04,5.520618e-04,5.526543e-04,5.532651e-04,5.534740e-04,5.540932e-04,5.541139e-04,5.545222e-04,5.546321e-04,5.547713e-04,5.548429e-04,5.548503e-04,5.547688e-04,5.544315e-04,5.538518e-04,5.530496e-04,5.520440e-04,5.508529e-04,5.494935e-04,5.479820e-04,5.463336e-04,5.445628e-04,5.426830e-04,5.407070e-04,5.386466e-04,5.365128e-04,5.343160e-04,5.320657e-04,5.297708e-04,5.274393e-04,5.250790e-04,5.226967e-04,5.202988e-04,5.178911e-04,5.154792e-04,5.130677e-04,5.106613e-04
0.000000e+00,1.693655e-15,1.473300e-14,3.624121e-13,2.982299e-12,7.783299e-12,6.066917e-11,6.529405e-11,3.276225e-10,4.829912e-10,1.188877e-09,2.304740e-09,3.452956e-09,7.972054e-09,8.527678e-09,1.862058e-08,2.212044e-08,3.691161e-08,5.228096e-08,6.767123e-08,1.093084e-07,1.162893e-07,1.891915e-07,2.073136e-07,2.936435e-07,3.630102e-07,4.374647e-07,5.945758e-07,6.286852e-07,8.751822e-07,9.202539e-07,1.184325e-06,1.356926e-06,1.562655e-06,1.918834e-06,2.015615e-06,2.547333e-06,2.616574e-06,3.160479e-06,3.456405e-06,3.856176e-06,4.439898e-06,4.633976e-06,5.491896e-06,5.563897e-06,6.426494e-06,6.820775e-06,7.432997e-06,8.198907e-06,8.505461e-06,9.636950e-06,9.683330e-06,1.081974e-05,1.125651e-05,1.204552e-05,1.289918e-05,1.330561e-05,1.459115e-05,1.589329e-05,1.631206e-05,1.720337e-05,1.804212e-05,1.851306e-05,1.976266e-05,1.981446e-05,2.110026e-05,2.145656e-05,2.236375e-05,2.310862e-05,2.359894e-05,2.470575e-05,2.480052e-05,2.596396e-05,2.623706e-05,2.708540e-05,2.769388e-05,2.816173e-05,2.906964e-05,2.919051e-05,3.016993e-05,3.035977e-05,3.109876e-05,3.156152e-05,3.197633e-05,3.267372e-05,3.280245e-05,3.357734e-05,3.369660e-05,3.430161e-05,3.463153e-05,3.497617e-05,3.548084e-05,3.560224e-05,3.618121e-05,3.624759e-05,3.671467e-05,3.693542e-05,3.720437e-05,3.754838e-05,3.765211e-05,3.805980e-05,3.809075e-05,3.842938e-05,3.856697e-05,3.876279e-05,3.898154e-05,3.906198e-05,3.932888e-05,3.933891e-05,3.956537e-05,3.964342e-05,3.977330e-05,3.989929e-05,3.995445e-05,4.011053e-05,4.024319e-05,4.028096e-05,4.035402e-05,4.041418e-05,4.044451e-05,4.051356e-05,4.051608e-05,4.057009e-05,4.058223e-05,4.060780e-05,4.062311e-05,4.063042e-05,4.063888e-05,4.063909e-05,4.063486e-05,4.063204e-05,4.061873e-05,4.060485e-05,4.059163e-05,4.055940e-05,4.055443e-05,4.050795e-05,4.049761e-05,4.045295e-05,4.042122e-05,4.039013e-05,4.033181e-05,4.032016e-05,4.024365e-05,4.023083e-05,4.016117e-05,4.011961e-05,4.007325e-05,3.999934e-05,3.998040e-05,3.988307e-05,3.987111e-05,3.978169e-05,3.973591e-05,3.967667e-05,3.959463e-05,3.956836e-05,3.945712e-05,3.944810e-05,3.934325e-05,3.929705e-05,3.922708e-05,3.914215e-05,3.910885e-05,3.898884e-05,3.898401e-05,3.886728e-05,3.882319e-05,3.874439e-05,3.866017e-05,3.862038e-05,3.849543e-05,3.832936e-05,3.816234e-05,3.799471e-05,3.782677e-05,3.765880e-05,3.749104e-05,3.732373e-05,3.715706e-05,3.699123e-05,3.682638e-05,3.666269e-05,3.650026e-05,3.633923e-05,3.617971e-05,3.602178e-05,3.586552e-05,3.571103e-05,3.555834e-05,3.540754e-05,3.525867e-05,3.511175e-05,3.496685e-05,3.482399e-05,3.468318e-05
0.000000e+00,1.265349e-15,1.122562e-14,2.877275e-13,2.459990e-12,6.557876e-12,5.404144e-11,5.829421e-11,3.094387e-10,4.632888e-10,1.185831e-09,2.373154e-09,3.630241e-09,8.781488e-09,9.430913e-09,2.161689e-08,2.597292e-08,4.489291e-08,6.521418e-08,8.607669e-08,1.444697e-07,1.544913e-07,2.622611e-07,2.898122e-07,4.244647e-07,5.361904e-07,6.591159e-07,9.273144e-07,9.869588e-07,1.431089e-06,1.514585e-06,2.016414e-06,2.355149e-06,2.768990e-06,3.509259e-06,3.715276e-06,4.881335e-06,5.037229e-06,6.292031e-06,6.996227e-06,7.970260e-06,9.437198e-06,9.936242e-06,1.220691e-05,1.240215e-05,1.479540e-05,1.592195e-05,1.771069e-05,2.001479e-05,2.095733e-05,2.453535e-05,2.468532e-05,2.844029e-05,2.992452e-05,3.266330e-05,3.571016e-05,3.719140e-05,4.200782e-05,4.709236e-05,4.877234e-05,5.242189e-05,5.594963e-05,5.797081e-05,6.347860e-05,6.371155e-05,6.961510e-05,7.129320e-05,7.565149e-05,7.932444e-05,8.179030e-05,8.750229e-05,8.800109e-05,9.425379e-05,9.575740e-05,1.005191e-04,1.040227e-04,1.067689e-04,1.122345e-04,1.129763e-04,1.191161e-04,1.203338e-04,1.251647e-04,1.282667e-04,1.311006e-04,1.359853e-04,1.369043e-04,1.425582e-04,1.434478e-04,1.480468e-04,1.506186e-04,1.533568e-04,1.574685e-04,1.584768e-04,1.633974e-04,1.639741e-04,1.681111e-04,1.701180e-04,1.726121e-04,1.758881e-04,1.768964e-04,1.809613e-04,1.812770e-04,1.848059e-04,1.862821e-04,1.884304e-04,1.909045e-04,1.918362e-04,1.950258e-04,1.951490e-04,1.980027e-04,1.990230e-04,2.007710e-04,2.025368e-04,2.033357e-04,2.057023e-04,2.078770e-04,2.085335e-04,2.098662e-04,2.110451e-04,2.116767e-04,2.132531e-04,2.133155e-04,2.147898e-04,2.151741e-04,2.161069e-04,2.168247e-04,2.172741e-04,2.182220e-04,2.182989e-04,2.191885e-04,2.193827e-04,2.199502e-04,2.203234e-04,2.205909e-04,2.210603e-04,2.211177e-04,2.215374e-04,2.216090e-04,2.218564e-04,2.219847e-04,2.220812e-04,2.222018e-04,2.222180e-04,2.222724e-04,2.222739e-04,2.222504e-04,2.222142e-04,2.221572e-04,2.220349e-04,2.219980e-04,2.217778e-04,2.217475e-04,2.215013e-04,2.213629e-04,2.211729e-04,2.208912e-04,2.207968e-04,2.203771e-04,2.203418e-04,2.199176e-04,2.197234e-04,2.194217e-04,2.190441e-04,2.188929e-04,2.183343e-04,2.183114e-04,2.177489e-04,2.175321e-04,2.171394e-04,2.167126e-04,2.165085e-04,2.158585e-04,2.149752e-04,2.140675e-04,2.131399e-04,2.121962e-04,2.112403e-04,2.102752e-04,2.093040e-04,2.083295e-04,2.073539e-04,2.063794e-04,2.054081e-04,2.044416e-04,2.034814e-04,2.025289e-04,2.015855e-04,2.006520e-04,1.997294e-04,1.988187e-04,1.979204e-04,1.970352e-04,1.961636e-04,1.953061e-04,1.944629e-04,1.936345e-04
0.000000e+00,2.664074e-16,2.375411e-15,6.170646e-14,5.344348e-13,1.435054e-12,1.205539e-11,1.301447e-11,7.047072e-11,1.060942e-10,2.754392e-10,5.577516e-10,8.598979e-10,2.117678e-09,2.277824e-09,5.323154e-09,6.425533e-09,1.127009e-08,1.654892e-08,2.202854e-08,3.760289e-08,4.030424e-08,6.975095e-08,7.737708e-08,1.151018e-07,1.468833e-07,1.822691e-07,2.607442e-07,2.784039e-07,4.119088e-07,4.373639e-07,5.924035e-07,6.988489e-07,8.306403e-07,1.070674e-06,1.138374e-06,1.528186e-06,1.581102e-06,2.013279e-06,2.260396e-06,2.607230e-06,3.139870e-06,3.323739e-06,4.176347e-06,4.250832e-06,5.178166e-06,5.623481e-06,6.341604e-06,7.285826e-06,7.678109e-06,9.197932e-06,9.262668e-06,1.090992e-05,1.157472e-05,1.282132e-05,1.423787e-05,1.493766e-05,1.726265e-05,1.979806e-05,2.065386e-05,2.254376e-05,2.441050e-05,2.549769e-05,2.852573e-05,2.865591e-05,3.201268e-05,3.298717e-05,3.556054e-05,3.777728e-05,3.929047e-05,4.287385e-05,4.319202e-05,4.725346e-05,4.825059e-05,5.146197e-05,5.387789e-05,5.580381e-05,5.972343e-05,6.026449e-05,6.482897e-05,6.575297e-05,6.948182e-05,7.193104e-05,7.420740e-05,7.822162e-05,7.899003e-05,8.381410e-05,8.458876e-05,8.866426e-05,9.099719e-05,9.352553e-05,9.741276e-05,9.838338e-05,1.032239e-04,1.038029e-04,1.080337e-04,1.101370e-04,1.128003e-04,1.163866e-04,1.175118e-04,1.221573e-04,1.225257e-04,1.267266e-04,1.285309e-04,1.312104e-04,1.343812e-04,1.356004e-04,1.398891e-04,1.400584e-04,1.440697e-04,1.455471e-04,1.481365e-04,1.508343e-04,1.520844e-04,1.559093e-04,1.596076e-04,1.607639e-04,1.631768e-04,1.653923e-04,1.666147e-04,1.697904e-04,1.699200e-04,1.730919e-04,1.739561e-04,1.761301e-04,1.778890e-04,1.790350e-04,1.815902e-04,1.818071e-04,1.844478e-04,1.850622e-04,1.869586e-04,1.883085e-04,1.893413e-04,1.913339e-04,1.915981e-04,1.937316e-04,1.941437e-04,1.957443e-04,1.967442e-04,1.976392e-04,1.991421e-04,1.994193e-04,2.010878e-04,2.013446e-04,2.026480e-04,2.033594e-04,2.041032e-04,2.051940e-04,2.054568e-04,2.067124e-04,2.068567e-04,2.078735e-04,2.083553e-04,2.089434e-04,2.096978e-04,2.099258e-04,2.108240e-04,2.108923e-04,2.116414e-04,2.119466e-04,2.123815e-04,2.128683e-04,2.130475e-04,2.136427e-04,2.136651e-04,2.141703e-04,2.143442e-04,2.146333e-04,2.149128e-04,2.150347e-04,2.153775e-04,2.157449e-04,2.160214e-04,2.162129e-04,2.163252e-04,2.163636e-04,2.163332e-04,2.162391e-04,2.160858e-04,2.158776e-04,2.156187e-04,2.153129e-04,2.149638e-04,2.145749e-04,2.141494e-04,2.136902e-04,2.132002e-04,2.126820e-04,2.121381e-04,2.115708e-04,2.109822e-04,2.103743e-04,2.097490e-04,2.091081e-04,2.084532e-04
0.000000e+00,8.010328e-12,5.481023e-11,8.313287e-10,4.489992e-09,9.381013e-09,4.247777e-08,4.476255e-08,1.379420e-07,1.797749e-07,3.305676e-07,5.159113e-07,6.770103e-07,1.188422e-06,1.243414e-06,2.091269e-06,2.340819e-06,3.249578e-06,4.029904e-06,4.703966e-06,6.195562e-06,6.412368e-06,8.327122e-06,8.731060e-06,1.040717e-05,1.154310e-05,1.262018e-05,1.456271e-05,1.494013e-05,1.734448e-05,1.773559e-05,1.981218e-05,2.101319e-05,2.232287e-05,2.434896e-05,2.485662e-05,2.739416e-05,2.769804e-05,2.991725e-05,3.101843e-05,3.240902e-05,3.427242e-05,3.485430e-05,3.723983e-05,3.742774e-05,3.955434e-05,4.045812e-05,4.178860e-05,4.334342e-05,4.393533e-05,4.598903e-05,4.606919e-05,4.794591e-05,4.862620e-05,4.980368e-05,5.100979e-05,5.156134e-05,5.321900e-05,5.477768e-05,5.525583e-05,5.623914e-05,5.712448e-05,5.760565e-05,5.883071e-05,5.887995e-05,6.006514e-05,6.038147e-05,6.116452e-05,6.178442e-05,6.218160e-05,6.304771e-05,6.311997e-05,6.398323e-05,6.417964e-05,6.477501e-05,6.518851e-05,6.549887e-05,6.608246e-05,6.615830e-05,6.675670e-05,6.686935e-05,6.729738e-05,6.755678e-05,6.778351e-05,6.815195e-05,6.821816e-05,6.860427e-05,6.866173e-05,6.894465e-05,6.909258e-05,6.924198e-05,6.945057e-05,6.949882e-05,6.971760e-05,6.974141e-05,6.990064e-05,6.997043e-05,7.005013e-05,7.014260e-05,7.016816e-05,7.025670e-05,7.026256e-05,7.031761e-05,7.033464e-05,7.035267e-05,7.036285e-05,7.036355e-05,7.035183e-05,7.035091e-05,7.031901e-05,7.030230e-05,7.026650e-05,7.022023e-05,7.019563e-05,7.010767e-05,7.000379e-05,6.996737e-05,6.988513e-05,6.980191e-05,6.975273e-05,6.961364e-05,6.960760e-05,6.945068e-05,6.940475e-05,6.928285e-05,6.917726e-05,6.910494e-05,6.893305e-05,6.891775e-05,6.872201e-05,6.867384e-05,6.851843e-05,6.840124e-05,6.830765e-05,6.811672e-05,6.809031e-05,6.786698e-05,6.782164e-05,6.763820e-05,6.751726e-05,6.740450e-05,6.720475e-05,6.716637e-05,6.692424e-05,6.688516e-05,6.667856e-05,6.655949e-05,6.642973e-05,6.622865e-05,6.617813e-05,6.592410e-05,6.589347e-05,6.566799e-05,6.555472e-05,6.541011e-05,6.521311e-05,6.515075e-05,6.489019e-05,6.486930e-05,6.462868e-05,6.452387e-05,6.436648e-05,6.417739e-05,6.410380e-05,6.384086e-05,6.383034e-05,6.357786e-05,6.348320e-05,6.331499e-05,6.313639e-05,6.305241e-05,6.279030e-05,6.244527e-05,6.210163e-05,6.175967e-05,6.141966e-05,6.108185e-05,6.074644e-05,6.041364e-05,6.008363e-05,5.975657e-05,5.943260e-05,5.911185e-05,5.879444e-05,5.848046e-05,5.817000e-05,5.786315e-05,5.755995e-05,5.726049e-05,5.696479e-05,5.667290e-05,5.638485e-05,5.610067e-05,5.582038e-05,5.554398e-05,5.527149e-05
0.000000e+00,5.141440e-15,4.374377e-14,1.026554e-12,8.089166e-12,2.061135e-11,1.509518e-10,1.620460e-10,7.640382e-10,1.107469e-09,2.612684e-09,4.894618e-09,7.172226e-09,1.576582e-08,1.679501e-08,3.488770e-08,4.097271e-08,6.602141e-08,9.125499e-08,1.159640e-07,1.809069e-07,1.915868e-07,3.005892e-07,3.271044e-07,4.510264e-07,5.482471e-07,6.507005e-07,8.615742e-07,9.065259e-07,1.223989e-06,1.280776e-06,1.606775e-06,1.814294e-06,2.056595e-06,2.464601e-06,2.573185e-06,3.154449e-06,3.228387e-06,3.796704e-06,4.097369e-06,4.494946e-06,5.059379e-06,5.243154e-06,6.034563e-06,6.099527e-06,6.861927e-06,7.201264e-06,7.717746e-06,8.347308e-06,8.594460e-06,9.484613e-06,9.520396e-06,1.038100e-05,1.070389e-05,1.127677e-05,1.188226e-05,1.216554e-05,1.304143e-05,1.389916e-05,1.416901e-05,1.473404e-05,1.525449e-05,1.554204e-05,1.628925e-05,1.631974e-05,1.706436e-05,1.726661e-05,1.777371e-05,1.818170e-05,1.844618e-05,1.903134e-05,1.908069e-05,1.967663e-05,1.981390e-05,2.023386e-05,2.052907e-05,2.075260e-05,2.117768e-05,2.123340e-05,2.167709e-05,2.176147e-05,2.208476e-05,2.228292e-05,2.245765e-05,2.274503e-05,2.279717e-05,2.310482e-05,2.315119e-05,2.338217e-05,2.350501e-05,2.363083e-05,2.381021e-05,2.385245e-05,2.404863e-05,2.407054e-05,2.422098e-05,2.428966e-05,2.437105e-05,2.447114e-05,2.450036e-05,2.461035e-05,2.461836e-05,2.470241e-05,2.473451e-05,2.477785e-05,2.482256e-05,2.483790e-05,2.488374e-05,2.488529e-05,2.491646e-05,2.492523e-05,2.493709e-05,2.494471e-05,2.494659e-05,2.494584e-05,2.493567e-05,2.493055e-05,2.491684e-05,2.490058e-05,2.489007e-05,2.485751e-05,2.485602e-05,2.481527e-05,2.480275e-05,2.476841e-05,2.473757e-05,2.471594e-05,2.466312e-05,2.465834e-05,2.459604e-05,2.458044e-05,2.452947e-05,2.449045e-05,2.445898e-05,2.439399e-05,2.438493e-05,2.430763e-05,2.429180e-05,2.422737e-05,2.418457e-05,2.414444e-05,2.407289e-05,2.405908e-05,2.397152e-05,2.395732e-05,2.388198e-05,2.383835e-05,2.379065e-05,2.371643e-05,2.369773e-05,2.360337e-05,2.359196e-05,2.350775e-05,2.346531e-05,2.341100e-05,2.333680e-05,2.331326e-05,2.321466e-05,2.320673e-05,2.311531e-05,2.307539e-05,2.301533e-05,2.294301e-05,2.291482e-05,2.281387e-05,2.280982e-05,2.271257e-05,2.267603e-05,2.261100e-05,2.254182e-05,2.250924e-05,2.240736e-05,2.227281e-05,2.213830e-05,2.200398e-05,2.186994e-05,2.173631e-05,2.160318e-05,2.147063e-05,2.133876e-05,2.120763e-05,2.107731e-05,2.094786e-05,2.081934e-05,2.069179e-05,2.056526e-05,2.043980e-05,2.031543e-05,2.019219e-05,2.007012e-05,1.994922e-05,1.982954e-05,1.971108e-05,1.959386e-05,1.947791e-05,1.936322e-05
0.000000e+00,6.415312e-16,5.742317e-15,1.499508e-13,1.304581e-12,3.511987e-12,2.970647e-11,3.207909e-11,1.749857e-10,2.639989e-10,6.892009e-10,1.402274e-09,2.168984e-09,5.383343e-09,5.794489e-09,1.366396e-08,1.653075e-08,2.920793e-08,4.313137e-08,5.767579e-08,9.939079e-08,1.066722e-07,1.867056e-07,2.075967e-07,3.116994e-07,4.001989e-07,4.994161e-07,7.214648e-07,7.717524e-07,1.154878e-06,1.228433e-06,1.679200e-06,1.990993e-06,2.379151e-06,3.091048e-06,3.292816e-06,4.461400e-06,4.620814e-06,5.928573e-06,6.680372e-06,7.739704e-06,9.374639e-06,9.941021e-06,1.257873e-05,1.280996e-05,1.569808e-05,1.709048e-05,1.934249e-05,2.231457e-05,2.355268e-05,2.836582e-05,2.857136e-05,3.381483e-05,3.593769e-05,3.992771e-05,4.447541e-05,4.672701e-05,5.422938e-05,6.244525e-05,6.522587e-05,7.137867e-05,7.747177e-05,8.102719e-05,9.095431e-05,9.138189e-05,1.024276e-04,1.056414e-04,1.141429e-04,1.214825e-04,1.265008e-04,1.384099e-04,1.394689e-04,1.530099e-04,1.563404e-04,1.670819e-04,1.751774e-04,1.816395e-04,1.948132e-04,1.966339e-04,2.120134e-04,2.151308e-04,2.277245e-04,2.360070e-04,2.437120e-04,2.573142e-04,2.599199e-04,2.762918e-04,2.789227e-04,2.927713e-04,3.007032e-04,3.093027e-04,3.225284e-04,3.258314e-04,3.423043e-04,3.442748e-04,3.586699e-04,3.658241e-04,3.748793e-04,3.870649e-04,3.908855e-04,4.066446e-04,4.078934e-04,4.221153e-04,4.282141e-04,4.372593e-04,4.479409e-04,4.520416e-04,4.664301e-04,4.669970e-04,4.803962e-04,4.853155e-04,4.939143e-04,5.028391e-04,5.069620e-04,5.195201e-04,5.315724e-04,5.353201e-04,5.431057e-04,5.502097e-04,5.541096e-04,5.641683e-04,5.645766e-04,5.745015e-04,5.771829e-04,5.838817e-04,5.892482e-04,5.927171e-04,6.003658e-04,6.010093e-04,6.087623e-04,6.105433e-04,6.159816e-04,6.197940e-04,6.226746e-04,6.281361e-04,6.288501e-04,6.345183e-04,6.355920e-04,6.396904e-04,6.421880e-04,6.443789e-04,6.479533e-04,6.485972e-04,6.523592e-04,6.529198e-04,6.556798e-04,6.571214e-04,6.585743e-04,6.605935e-04,6.610582e-04,6.631478e-04,6.633728e-04,6.648591e-04,6.654964e-04,6.662085e-04,6.670023e-04,6.672126e-04,6.678876e-04,6.679279e-04,6.682500e-04,6.683110e-04,6.683157e-04,6.681884e-04,6.681009e-04,6.676211e-04,6.675967e-04,6.668918e-04,6.665711e-04,6.659280e-04,6.651462e-04,6.647443e-04,6.633551e-04,6.612299e-04,6.588012e-04,6.560984e-04,6.531492e-04,6.499801e-04,6.466160e-04,6.430804e-04,6.393954e-04,6.355816e-04,6.316583e-04,6.276434e-04,6.235536e-04,6.194042e-04,6.152096e-04,6.109827e-04,6.067356e-04,6.024792e-04,5.982235e-04,5.939776e-04,5.897496e-04,5.855470e-04,5.813764e-04,5.772438e-04,5.731543e-04
0.000000e+00,1.543623e-15,1.366200e-14,3.482208e-13,2.961472e-12,7.871628e-12,6.437274e-11,6.941673e-11,3.656513e-10,5.462984e-10,1.390909e-09,2.771660e-09,4.228037e-09,1.016456e-08,1.091059e-08,2.485272e-08,2.981839e-08,5.132032e-08,7.433698e-08,9.791479e-08,1.637536e-07,1.750395e-07,2.963169e-07,3.273165e-07,4.789184e-07,6.048997e-07,7.437635e-07,1.047749e-06,1.115546e-06,1.622552e-06,1.718286e-06,2.296266e-06,2.688791e-06,3.170768e-06,4.039023e-06,4.281958e-06,5.666644e-06,5.852938e-06,7.361571e-06,8.214875e-06,9.402401e-06,1.120555e-05,1.182274e-05,1.465321e-05,1.489820e-05,1.792062e-05,1.935509e-05,2.164729e-05,2.462474e-05,2.585043e-05,3.054179e-05,3.073970e-05,3.572732e-05,3.771528e-05,4.140708e-05,4.554889e-05,4.757526e-05,5.422030e-05,6.132517e-05,6.369236e-05,6.886770e-05,7.391238e-05,7.682103e-05,8.481395e-05,8.515414e-05,9.383237e-05,9.631905e-05,1.028180e-04,1.083404e-04,1.120711e-04,1.207840e-04,1.215496e-04,1.312104e-04,1.335513e-04,1.410100e-04,1.465420e-04,1.509044e-04,1.596557e-04,1.608505e-04,1.708059e-04,1.727945e-04,1.807296e-04,1.858643e-04,1.905823e-04,1.987765e-04,2.003269e-04,2.099283e-04,2.114490e-04,2.193542e-04,2.238075e-04,2.285750e-04,2.357856e-04,2.375635e-04,2.462958e-04,2.473254e-04,2.547506e-04,2.583780e-04,2.629095e-04,2.689028e-04,2.707570e-04,2.782802e-04,2.788677e-04,2.854687e-04,2.882487e-04,2.923150e-04,2.970292e-04,2.988135e-04,3.049610e-04,3.051996e-04,3.107565e-04,3.127567e-04,3.162006e-04,3.197031e-04,3.212958e-04,3.260460e-04,3.304566e-04,3.317974e-04,3.345343e-04,3.369727e-04,3.382865e-04,3.415905e-04,3.417219e-04,3.448498e-04,3.456719e-04,3.476801e-04,3.492398e-04,3.502234e-04,3.523189e-04,3.524904e-04,3.544923e-04,3.549345e-04,3.562404e-04,3.571128e-04,3.577462e-04,3.588800e-04,3.590212e-04,3.600768e-04,3.602626e-04,3.609243e-04,3.612865e-04,3.615749e-04,3.619774e-04,3.620397e-04,3.623292e-04,3.623600e-04,3.624541e-04,3.624586e-04,3.624245e-04,3.622962e-04,3.622502e-04,3.619407e-04,3.618950e-04,3.615053e-04,3.612760e-04,3.609526e-04,3.604594e-04,3.602912e-04,3.595291e-04,3.594640e-04,3.586740e-04,3.583075e-04,3.577332e-04,3.570067e-04,3.567137e-04,3.556222e-04,3.555771e-04,3.544648e-04,3.540332e-04,3.532476e-04,3.523886e-04,3.519762e-04,3.506559e-04,3.488464e-04,3.469709e-04,3.450393e-04,3.430605e-04,3.410429e-04,3.389940e-04,3.369207e-04,3.348294e-04,3.327257e-04,3.306150e-04,3.285017e-04,3.263903e-04,3.242844e-04,3.221876e-04,3.201028e-04,3.180328e-04,3.159800e-04,3.139467e-04,3.119346e-04,3.099454e-04,3.079807e-04,3.060415e-04,3.041291e-04,3.022444e-04
0.000000e+00,1.005946e-09,2.935945e-09,1.295143e-08,3.294363e-08,5.002920e-08,1.213393e-07,1.252331e-07,2.506369e-07,2.963282e-07,4.378122e-07,5.844951e-07,6.980922e-07,1.011349e-06,1.042179e-06,1.478159e-06,1.596875e-06,2.008345e-06,2.345059e-06,2.628669e-06,3.243326e-06,3.331817e-06,4.110014e-06,4.273993e-06,4.955729e-06,5.419701e-06,5.861460e-06,6.662998e-06,6.819461e-06,7.821645e-06,7.985537e-06,8.859631e-06,9.368078e-06,9.924891e-06,1.079102e-05,1.100893e-05,1.210348e-05,1.223515e-05,1.320065e-05,1.368234e-05,1.429313e-05,1.511614e-05,1.537424e-05,1.643801e-05,1.652220e-05,1.747927e-05,1.788845e-05,1.849360e-05,1.920516e-05,1.947735e-05,2.042758e-05,2.046486e-05,2.134202e-05,2.166213e-05,2.221902e-05,2.279341e-05,2.305747e-05,2.385672e-05,2.461654e-05,2.485138e-05,2.533708e-05,2.577778e-05,2.601874e-05,2.663717e-05,2.666218e-05,2.726826e-05,2.743140e-05,2.783797e-05,2.816281e-05,2.837244e-05,2.883406e-05,2.887287e-05,2.934052e-05,2.944802e-05,2.977668e-05,3.000767e-05,3.018268e-05,3.051606e-05,3.055984e-05,3.090946e-05,3.097619e-05,3.123283e-05,3.139103e-05,3.153122e-05,3.176347e-05,3.180587e-05,3.205796e-05,3.209628e-05,3.228866e-05,3.239213e-05,3.249909e-05,3.265355e-05,3.269030e-05,3.286334e-05,3.288293e-05,3.301918e-05,3.308255e-05,3.315876e-05,3.325453e-05,3.328299e-05,3.339271e-05,3.340088e-05,3.348874e-05,3.352349e-05,3.357185e-05,3.362412e-05,3.364279e-05,3.370226e-05,3.370441e-05,3.375091e-05,3.376591e-05,3.378939e-05,3.381005e-05,3.381829e-05,3.383817e-05,3.384959e-05,3.385154e-05,3.385304e-05,3.385130e-05,3.384902e-05,3.383855e-05,3.383797e-05,3.382035e-05,3.381429e-05,3.379655e-05,3.377947e-05,3.376697e-05,3.373496e-05,3.373197e-05,3.369191e-05,3.368158e-05,3.364712e-05,3.362009e-05,3.359791e-05,3.355118e-05,3.354457e-05,3.348739e-05,3.347552e-05,3.342663e-05,3.339370e-05,3.336254e-05,3.330631e-05,3.329536e-05,3.322532e-05,3.321386e-05,3.315263e-05,3.311685e-05,3.307748e-05,3.301572e-05,3.300007e-05,3.292058e-05,3.291091e-05,3.283917e-05,3.280279e-05,3.275602e-05,3.269175e-05,3.267127e-05,3.258506e-05,3.257811e-05,3.249753e-05,3.246218e-05,3.240882e-05,3.234427e-05,3.231903e-05,3.222829e-05,3.222464e-05,3.213670e-05,3.210354e-05,3.204437e-05,3.198120e-05,3.195139e-05,3.185785e-05,3.173368e-05,3.160887e-05,3.148359e-05,3.135802e-05,3.123228e-05,3.110653e-05,3.098088e-05,3.085545e-05,3.073035e-05,3.060567e-05,3.048151e-05,3.035795e-05,3.023507e-05,3.011293e-05,2.999160e-05,2.987113e-05,2.975159e-05,2.963302e-05,2.951547e-05,2.939897e-05,2.928355e-05,2.916926e-05,2.905613e-05,2.894417e-05
0.000000e+00,1.451322e-15,1.305794e-14,3.446093e-13,3.028358e-12,8.199132e-12,7.043584e-11,7.611134e-11,4.221640e-10,6.399726e-10,1.691857e-09,3.479499e-09,5.421298e-09,1.368587e-08,1.475294e-08,3.543198e-08,4.305009e-08,7.706794e-08,1.148419e-07,1.545990e-07,2.696695e-07,2.898667e-07,5.131999e-07,5.717904e-07,8.649076e-07,1.115178e-06,1.396590e-06,2.028687e-06,2.172188e-06,3.268704e-06,3.479780e-06,4.776552e-06,5.676392e-06,6.799490e-06,8.866664e-06,9.454141e-06,1.286909e-05,1.333649e-05,1.718361e-05,1.940491e-05,2.254598e-05,2.741759e-05,2.911159e-05,3.704071e-05,3.773881e-05,4.649611e-05,5.074216e-05,5.764061e-05,6.680074e-05,7.063456e-05,8.563329e-05,8.627706e-05,1.027847e-04,1.095132e-04,1.222272e-04,1.368218e-04,1.440872e-04,1.684776e-04,1.954962e-04,2.047109e-04,2.252240e-04,2.457017e-04,2.577245e-04,2.915758e-04,2.930430e-04,3.312057e-04,3.424024e-04,3.722200e-04,3.981932e-04,4.160742e-04,4.589024e-04,4.627379e-04,5.121627e-04,5.244285e-04,5.642827e-04,5.946173e-04,6.190158e-04,6.692652e-04,6.762643e-04,7.359162e-04,7.481242e-04,7.978468e-04,8.309064e-04,8.619197e-04,9.172896e-04,9.279884e-04,9.958975e-04,1.006923e-03,1.065484e-03,1.099433e-03,1.136581e-03,1.194428e-03,1.209013e-03,1.282606e-03,1.291507e-03,1.357181e-03,1.390259e-03,1.432560e-03,1.490276e-03,1.508565e-03,1.585019e-03,1.591149e-03,1.661748e-03,1.692479e-03,1.738584e-03,1.793878e-03,1.815359e-03,1.891914e-03,1.894969e-03,1.968094e-03,1.995398e-03,2.043750e-03,2.094825e-03,2.118741e-03,2.192933e-03,2.266199e-03,2.289429e-03,2.338420e-03,2.384041e-03,2.409485e-03,2.476524e-03,2.479291e-03,2.547743e-03,2.566656e-03,2.614756e-03,2.654239e-03,2.680249e-03,2.739101e-03,2.744153e-03,2.806405e-03,2.821093e-03,2.866950e-03,2.900091e-03,2.925739e-03,2.975989e-03,2.982733e-03,3.037897e-03,3.048708e-03,3.091205e-03,3.118185e-03,3.142637e-03,3.184379e-03,3.192178e-03,3.239819e-03,3.247265e-03,3.285557e-03,3.306835e-03,3.329393e-03,3.363097e-03,3.371334e-03,3.411392e-03,3.416073e-03,3.449580e-03,3.465795e-03,3.485918e-03,3.512310e-03,3.520427e-03,3.553134e-03,3.555673e-03,3.584066e-03,3.595949e-03,3.613255e-03,3.633210e-03,3.640734e-03,3.666537e-03,3.667535e-03,3.690703e-03,3.699010e-03,3.713271e-03,3.727723e-03,3.734279e-03,3.753769e-03,3.777244e-03,3.798247e-03,3.816878e-03,3.833238e-03,3.847429e-03,3.859553e-03,3.869709e-03,3.877997e-03,3.884516e-03,3.889361e-03,3.892627e-03,3.894406e-03,3.894786e-03,3.893856e-03,3.891698e-03,3.888395e-03,3.884023e-03,3.878659e-03,3.872374e-03,3.865237e-03,3.857315e-03,3.848670e-03,3.839363e-03,3.829450e-03
0.000000e+00,1.745765e-15,1.569026e-14,4.133111e-13,3.625763e-12,9.807140e-12,8.403969e-11,9.080212e-11,5.024040e-10,7.611017e-10,2.008726e-09,4.125698e-09,6.422637e-09,1.618337e-08,1.744243e-08,4.181109e-08,5.077795e-08,9.077415e-08,1.351254e-07,1.817543e-07,3.165025e-07,3.401276e-07,6.009782e-07,6.693137e-07,1.010714e-06,1.301699e-06,1.628439e-06,2.360937e-06,2.527000e-06,3.793625e-06,4.037040e-06,5.530124e-06,6.564108e-06,7.852611e-06,1.021922e-05,1.089074e-05,1.478650e-05,1.531878e-05,1.969254e-05,2.221256e-05,2.577016e-05,3.127565e-05,3.318694e-05,4.211421e-05,4.289881e-05,5.272426e-05,5.747776e-05,6.518753e-05,7.540194e-05,7.966981e-05,9.632946e-05,9.704327e-05,1.153149e-04,1.227455e-04,1.367619e-04,1.528147e-04,1.607921e-04,1.875103e-04,2.170036e-04,2.270391e-04,2.493396e-04,2.715495e-04,2.845662e-04,3.211284e-04,3.227104e-04,3.637783e-04,3.757998e-04,4.077555e-04,4.355245e-04,4.546068e-04,5.002018e-04,5.042776e-04,5.566940e-04,5.696727e-04,6.117647e-04,6.437239e-04,6.693813e-04,7.220923e-04,7.294205e-04,7.917451e-04,8.044714e-04,8.562058e-04,8.905168e-04,9.226425e-04,9.798531e-04,9.908863e-04,1.060761e-03,1.072080e-03,1.132084e-03,1.166780e-03,1.204671e-03,1.263522e-03,1.278331e-03,1.352875e-03,1.361870e-03,1.428113e-03,1.461389e-03,1.503856e-03,1.561646e-03,1.579920e-03,1.656122e-03,1.662219e-03,1.732285e-03,1.762700e-03,1.808236e-03,1.862697e-03,1.883811e-03,1.958850e-03,1.961838e-03,2.033204e-03,2.059775e-03,2.106728e-03,2.156182e-03,2.179288e-03,2.250758e-03,2.321022e-03,2.343233e-03,2.389969e-03,2.433359e-03,2.457501e-03,2.520917e-03,2.523528e-03,2.587968e-03,2.605717e-03,2.650749e-03,2.687593e-03,2.711805e-03,2.766407e-03,2.771082e-03,2.828531e-03,2.842042e-03,2.884113e-03,2.914411e-03,2.937795e-03,2.983443e-03,2.989552e-03,3.039365e-03,3.049094e-03,3.087224e-03,3.111336e-03,3.133122e-03,3.170161e-03,3.177059e-03,3.219041e-03,3.225577e-03,3.259077e-03,3.277608e-03,3.297184e-03,3.326292e-03,3.333379e-03,3.367686e-03,3.371677e-03,3.400132e-03,3.413826e-03,3.430746e-03,3.452808e-03,3.459561e-03,3.486613e-03,3.488702e-03,3.511939e-03,3.521595e-03,3.535579e-03,3.551578e-03,3.557574e-03,3.577966e-03,3.578749e-03,3.596801e-03,3.603208e-03,3.614122e-03,3.625059e-03,3.629976e-03,3.644408e-03,3.661362e-03,3.676028e-03,3.688515e-03,3.698930e-03,3.707378e-03,3.713965e-03,3.718794e-03,3.721965e-03,3.723577e-03,3.723724e-03,3.722500e-03,3.719993e-03,3.716292e-03,3.711477e-03,3.705631e-03,3.698828e-03,3.691143e-03,3.682645e-03,3.673401e-03,3.663474e-03,3.652924e-03,3.641810e-03,3.630184e-03,3.618098e-03
0.000000e+00,3.928056e-10,1.590936e-09,1.025336e-08,3.125759e-08,5.076368e-08,1.384851e-07,1.434506e-07,3.085385e-07,3.704351e-07,5.658837e-07,7.729951e-07,9.357894e-07,1.393102e-06,1.438672e-06,2.091438e-06,2.271418e-06,2.900505e-06,3.419731e-06,3.859129e-06,4.815501e-06,4.953508e-06,6.169344e-06,6.425932e-06,7.493758e-06,8.221364e-06,8.914730e-06,1.017422e-05,1.042029e-05,1.199810e-05,1.225641e-05,1.363535e-05,1.443848e-05,1.531888e-05,1.669012e-05,1.703544e-05,1.877200e-05,1.898113e-05,2.051601e-05,2.128265e-05,2.225562e-05,2.356806e-05,2.397996e-05,2.567921e-05,2.581379e-05,2.734472e-05,2.799978e-05,2.896908e-05,3.010958e-05,3.054604e-05,3.207054e-05,3.213037e-05,3.353860e-05,3.405269e-05,3.494725e-05,3.587011e-05,3.629443e-05,3.757888e-05,3.880003e-05,3.917742e-05,3.995793e-05,4.066603e-05,4.105313e-05,4.204642e-05,4.208659e-05,4.305962e-05,4.332145e-05,4.397379e-05,4.449477e-05,4.483087e-05,4.557064e-05,4.563281e-05,4.638165e-05,4.655370e-05,4.707948e-05,4.744880e-05,4.772848e-05,4.826091e-05,4.833079e-05,4.888856e-05,4.899496e-05,4.940392e-05,4.965584e-05,4.987895e-05,5.024828e-05,5.031567e-05,5.071605e-05,5.077686e-05,5.108199e-05,5.124596e-05,5.141534e-05,5.165973e-05,5.171784e-05,5.199119e-05,5.202211e-05,5.223700e-05,5.233684e-05,5.245682e-05,5.260741e-05,5.265212e-05,5.282429e-05,5.283710e-05,5.297467e-05,5.302901e-05,5.310453e-05,5.318599e-05,5.321506e-05,5.330742e-05,5.331075e-05,5.338267e-05,5.340577e-05,5.344185e-05,5.347340e-05,5.348592e-05,5.351581e-05,5.353239e-05,5.353502e-05,5.353648e-05,5.353290e-05,5.352886e-05,5.351121e-05,5.351026e-05,5.348139e-05,5.347156e-05,5.344291e-05,5.341546e-05,5.339543e-05,5.334431e-05,5.333955e-05,5.327582e-05,5.325942e-05,5.320477e-05,5.316197e-05,5.312690e-05,5.305311e-05,5.304268e-05,5.295255e-05,5.293385e-05,5.285693e-05,5.280517e-05,5.275622e-05,5.266797e-05,5.265080e-05,5.254100e-05,5.252306e-05,5.242719e-05,5.237122e-05,5.230965e-05,5.221316e-05,5.218871e-05,5.206463e-05,5.204954e-05,5.193768e-05,5.188098e-05,5.180811e-05,5.170804e-05,5.167617e-05,5.154207e-05,5.153126e-05,5.140603e-05,5.135111e-05,5.126824e-05,5.116806e-05,5.112889e-05,5.098817e-05,5.098251e-05,5.084623e-05,5.079487e-05,5.070324e-05,5.060548e-05,5.055934e-05,5.041468e-05,5.022277e-05,5.003005e-05,4.983677e-05,4.964318e-05,4.944950e-05,4.925594e-05,4.906268e-05,4.886990e-05,4.867777e-05,4.848643e-05,4.829602e-05,4.810666e-05,4.791847e-05,4.773154e-05,4.754599e-05,4.736188e-05,4.717931e-05,4.699834e-05,4.681904e-05,4.664146e-05,4.646566e-05,4.629169e-05,4.611957e-05,4.594936e-05
0.000000e+00,7.730762e-10,2.755587e-09,1.517603e-08,4.291614e-08,6.788307e-08,1.779978e-07,1.842023e-07,3.914251e-07,4.699411e-07,7.214873e-07,9.939271e-07,1.211837e-06,1.836882e-06,1.899879e-06,2.806921e-06,3.056831e-06,3.924138e-06,4.630441e-06,5.220854e-06,6.483587e-06,6.663415e-06,8.224091e-06,8.548400e-06,9.881017e-06,1.077450e-05,1.161590e-05,1.312136e-05,1.341227e-05,1.525465e-05,1.555270e-05,1.712821e-05,1.803442e-05,1.901883e-05,2.053465e-05,2.091323e-05,2.279916e-05,2.302436e-05,2.466558e-05,2.547807e-05,2.650274e-05,2.787421e-05,2.830226e-05,3.005713e-05,3.019541e-05,3.176162e-05,3.242825e-05,3.341119e-05,3.456292e-05,3.500243e-05,3.653286e-05,3.659279e-05,3.800088e-05,3.851391e-05,3.940568e-05,4.032466e-05,4.074694e-05,4.202479e-05,4.323996e-05,4.361571e-05,4.439336e-05,4.509970e-05,4.548627e-05,4.647992e-05,4.652017e-05,4.749662e-05,4.775997e-05,4.841737e-05,4.894383e-05,4.928421e-05,5.003568e-05,5.009899e-05,5.086358e-05,5.103982e-05,5.157987e-05,5.196059e-05,5.224972e-05,5.280226e-05,5.287500e-05,5.345754e-05,5.356907e-05,5.399912e-05,5.426513e-05,5.450149e-05,5.489442e-05,5.496635e-05,5.539537e-05,5.546079e-05,5.579014e-05,5.596793e-05,5.615223e-05,5.641938e-05,5.648313e-05,5.678431e-05,5.681852e-05,5.705714e-05,5.716856e-05,5.730299e-05,5.747259e-05,5.752315e-05,5.771886e-05,5.773350e-05,5.789132e-05,5.795406e-05,5.804169e-05,5.813689e-05,5.817106e-05,5.828050e-05,5.828448e-05,5.837101e-05,5.839916e-05,5.844358e-05,5.848315e-05,5.849913e-05,5.853855e-05,5.856269e-05,5.856733e-05,5.857238e-05,5.857136e-05,5.856840e-05,5.855239e-05,5.855148e-05,5.852234e-05,5.851209e-05,5.848168e-05,5.845201e-05,5.843012e-05,5.837362e-05,5.836831e-05,5.829683e-05,5.827830e-05,5.821625e-05,5.816735e-05,5.812711e-05,5.804200e-05,5.802993e-05,5.792520e-05,5.790339e-05,5.781339e-05,5.775260e-05,5.769495e-05,5.759065e-05,5.757030e-05,5.743986e-05,5.741848e-05,5.730401e-05,5.723699e-05,5.716312e-05,5.704701e-05,5.701754e-05,5.686761e-05,5.684934e-05,5.671365e-05,5.664470e-05,5.655596e-05,5.643380e-05,5.639483e-05,5.623053e-05,5.621726e-05,5.606333e-05,5.599570e-05,5.589348e-05,5.576968e-05,5.572122e-05,5.554676e-05,5.553974e-05,5.537032e-05,5.530636e-05,5.519212e-05,5.507002e-05,5.501232e-05,5.483113e-05,5.459012e-05,5.434734e-05,5.410316e-05,5.385790e-05,5.361186e-05,5.336533e-05,5.311858e-05,5.287184e-05,5.262535e-05,5.237931e-05,5.213392e-05,5.188935e-05,5.164579e-05,5.140337e-05,5.116225e-05,5.092255e-05,5.068440e-05,5.044790e-05,5.021316e-05,4.998026e-05,4.974930e-05,4.952035e-05,4.929347e-05,4.906873e-05
0.000000e+00,2.104593e-09,5.999651e-09,2.578282e-08,6.473595e-08,9.782828e-08,2.354038e-07,2.429103e-07,4.851774e-07,5.738406e-07,8.501273e-07,1.139590e-06,1.365942e-06,1.999778e-06,2.062895e-06,2.968149e-06,3.218311e-06,4.094549e-06,4.818716e-06,5.430818e-06,6.755368e-06,6.945222e-06,8.599352e-06,8.943765e-06,1.035835e-05,1.130478e-05,1.219371e-05,1.377736e-05,1.408227e-05,1.600459e-05,1.631413e-05,1.794361e-05,1.887570e-05,1.988394e-05,2.142762e-05,2.181147e-05,2.371328e-05,2.393920e-05,2.557765e-05,2.638337e-05,2.739410e-05,2.873688e-05,2.915350e-05,3.084808e-05,3.098064e-05,3.247129e-05,3.309944e-05,3.401817e-05,3.508246e-05,3.548489e-05,3.686888e-05,3.692249e-05,3.816868e-05,3.861587e-05,3.938379e-05,4.016184e-05,4.051456e-05,4.156212e-05,4.252815e-05,4.282041e-05,4.341485e-05,4.394190e-05,4.422483e-05,4.493291e-05,4.496098e-05,4.562641e-05,4.580050e-05,4.622440e-05,4.655220e-05,4.675828e-05,4.719574e-05,4.723144e-05,4.764724e-05,4.773888e-05,4.800903e-05,4.818926e-05,4.832007e-05,4.855431e-05,4.858351e-05,4.880243e-05,4.884113e-05,4.897977e-05,4.905649e-05,4.911835e-05,4.920677e-05,4.922086e-05,4.928986e-05,4.929795e-05,4.932776e-05,4.933560e-05,4.933688e-05,4.932489e-05,4.931936e-05,4.927724e-05,4.927063e-05,4.921246e-05,4.917723e-05,4.912680e-05,4.904878e-05,4.902195e-05,4.889951e-05,4.888900e-05,4.876095e-05,4.870133e-05,4.860766e-05,4.848890e-05,4.844094e-05,4.826199e-05,4.825459e-05,4.807194e-05,4.800102e-05,4.787186e-05,4.773057e-05,4.766271e-05,4.744542e-05,4.722083e-05,4.714756e-05,4.698975e-05,4.683878e-05,4.675289e-05,4.652073e-05,4.651096e-05,4.626458e-05,4.619488e-05,4.601435e-05,4.586259e-05,4.576081e-05,4.552508e-05,4.550448e-05,4.524583e-05,4.518345e-05,4.498528e-05,4.483870e-05,4.472325e-05,4.449174e-05,4.446012e-05,4.419622e-05,4.414338e-05,4.393188e-05,4.379434e-05,4.366739e-05,4.344530e-05,4.340302e-05,4.313902e-05,4.309684e-05,4.287563e-05,4.274948e-05,4.261306e-05,4.240372e-05,4.235150e-05,4.209112e-05,4.205996e-05,4.183210e-05,4.171859e-05,4.157457e-05,4.137994e-05,4.131869e-05,4.106456e-05,4.104431e-05,4.081231e-05,4.071195e-05,4.056203e-05,4.038310e-05,4.031381e-05,4.006774e-05,4.005795e-05,3.982390e-05,3.973667e-05,3.958234e-05,3.941942e-05,3.934313e-05,3.910632e-05,3.879748e-05,3.849298e-05,3.819290e-05,3.789729e-05,3.760621e-05,3.731967e-05,3.703769e-05,3.676030e-05,3.648749e-05,3.621925e-05,3.595558e-05,3.569644e-05,3.544181e-05,3.519167e-05,3.494597e-05,3.470467e-05,3.446774e-05,3.423511e-05,3.400675e-05,3.378260e-05,3.356261e-05,3.334672e-05,3.313487e-05,3.292700e-05
0.000000e+00,1.163402e-09,4.200961e-09,2.351498e-08,6.703687e-08,1.063284e-07,2.795740e-07,2.893150e-07,6.126671e-07,7.340980e-07,1.119180e-06,1.530168e-06,1.855170e-06,2.775343e-06,2.867480e-06,4.192055e-06,4.557985e-06,5.835836e-06,6.886544e-06,7.771441e-06,9.681090e-06,9.954677e-06,1.234284e-05,1.284180e-05,1.490005e-05,1.628630e-05,1.759568e-05,1.994681e-05,2.040224e-05,2.329423e-05,2.376325e-05,2.624775e-05,2.768072e-05,2.924064e-05,3.164962e-05,3.225265e-05,3.526559e-05,3.562642e-05,3.826346e-05,3.957412e-05,4.123245e-05,4.346228e-05,4.416084e-05,4.703887e-05,4.726668e-05,4.985853e-05,5.096855e-05,5.261338e-05,5.455391e-05,5.529845e-05,5.790981e-05,5.801268e-05,6.044459e-05,6.133796e-05,6.290080e-05,6.452545e-05,6.527713e-05,6.757286e-05,6.978778e-05,7.047951e-05,7.192209e-05,7.324596e-05,7.397630e-05,7.587373e-05,7.595122e-05,7.784785e-05,7.836503e-05,7.966735e-05,8.072259e-05,8.141107e-05,8.294958e-05,8.308043e-05,8.467697e-05,8.504948e-05,8.620228e-05,8.702596e-05,8.765802e-05,8.888284e-05,8.904585e-05,9.036751e-05,9.062406e-05,9.162473e-05,9.225359e-05,9.281925e-05,9.377546e-05,9.395281e-05,9.502716e-05,9.519367e-05,9.604403e-05,9.651222e-05,9.700515e-05,9.773506e-05,9.791223e-05,9.876695e-05,9.886608e-05,9.957098e-05,9.990912e-05,1.003260e-04,1.008679e-04,1.010335e-04,1.016952e-04,1.017462e-04,1.023126e-04,1.025475e-04,1.028873e-04,1.032754e-04,1.034207e-04,1.039143e-04,1.039332e-04,1.043696e-04,1.045243e-04,1.047879e-04,1.050519e-04,1.051706e-04,1.055191e-04,1.058346e-04,1.059288e-04,1.061184e-04,1.062841e-04,1.063719e-04,1.065876e-04,1.065960e-04,1.067921e-04,1.068422e-04,1.069613e-04,1.070503e-04,1.071046e-04,1.072146e-04,1.072232e-04,1.073181e-04,1.073375e-04,1.073904e-04,1.074213e-04,1.074409e-04,1.074681e-04,1.074706e-04,1.074805e-04,1.074802e-04,1.074715e-04,1.074596e-04,1.074444e-04,1.074083e-04,1.074001e-04,1.073394e-04,1.073282e-04,1.072630e-04,1.072210e-04,1.071717e-04,1.070885e-04,1.070664e-04,1.069476e-04,1.069324e-04,1.068160e-04,1.067543e-04,1.066724e-04,1.065555e-04,1.065173e-04,1.063514e-04,1.063377e-04,1.061753e-04,1.061021e-04,1.059896e-04,1.058501e-04,1.057947e-04,1.055913e-04,1.055830e-04,1.053798e-04,1.053018e-04,1.051608e-04,1.050077e-04,1.049346e-04,1.047019e-04,1.043853e-04,1.040589e-04,1.037237e-04,1.033804e-04,1.030300e-04,1.026732e-04,1.023107e-04,1.019434e-04,1.015717e-04,1.011964e-04,1.008180e-04,1.004372e-04,1.000544e-04,9.967007e-05,9.928479e-05,9.889893e-05,9.851293e-05,9.812716e-05,9.774198e-05,9.735774e-05,9.697475e-05,9.659331e-05,9.621368e-05,9.583613e-05
0.000000e+00,1.125085e-12,8.167684e-12,1.388740e-10,8.231894e-10,1.801097e-09,9.023595e-09,9.542548e-09,3.155471e-08,4.169333e-08,7.851420e-08,1.235346e-07,1.621566e-07,2.817094e-07,2.943461e-07,4.866303e-07,5.429504e-07,7.498805e-07,9.319217e-07,1.093582e-06,1.468256e-06,1.524777e-06,2.047287e-06,2.162851e-06,2.661736e-06,3.017042e-06,3.366266e-06,4.025154e-06,4.157372e-06,5.030523e-06,5.177500e-06,5.980477e-06,6.462037e-06,7.001371e-06,7.864845e-06,8.086750e-06,9.229582e-06,9.370229e-06,1.042231e-05,1.096087e-05,1.165694e-05,1.261817e-05,1.292515e-05,1.421848e-05,1.432278e-05,1.552843e-05,1.605519e-05,1.684666e-05,1.779636e-05,1.816509e-05,1.947608e-05,1.952826e-05,2.077250e-05,2.123437e-05,2.204782e-05,2.289995e-05,2.329614e-05,2.451228e-05,2.569174e-05,2.606079e-05,2.683077e-05,2.753707e-05,2.792628e-05,2.893479e-05,2.897587e-05,2.997775e-05,3.024954e-05,3.093068e-05,3.147863e-05,3.183395e-05,3.262090e-05,3.268733e-05,3.349099e-05,3.367651e-05,3.424542e-05,3.464669e-05,3.495143e-05,3.553351e-05,3.561009e-05,3.622267e-05,3.633978e-05,3.679060e-05,3.706878e-05,3.731543e-05,3.772418e-05,3.779881e-05,3.824246e-05,3.830988e-05,3.864814e-05,3.882990e-05,3.901762e-05,3.928833e-05,3.935267e-05,3.965504e-05,3.968921e-05,3.992647e-05,4.003653e-05,4.016864e-05,4.033414e-05,4.038321e-05,4.057175e-05,4.058575e-05,4.073580e-05,4.079490e-05,4.087685e-05,4.096494e-05,4.099629e-05,4.109548e-05,4.109905e-05,4.117571e-05,4.120019e-05,4.123820e-05,4.127114e-05,4.128410e-05,4.131452e-05,4.133050e-05,4.133273e-05,4.133302e-05,4.132801e-05,4.132302e-05,4.130244e-05,4.130136e-05,4.126887e-05,4.125794e-05,4.122634e-05,4.119629e-05,4.117448e-05,4.111912e-05,4.111398e-05,4.104550e-05,4.102795e-05,4.096964e-05,4.092414e-05,4.088696e-05,4.080899e-05,4.079800e-05,4.070327e-05,4.068367e-05,4.060323e-05,4.054926e-05,4.049832e-05,4.040674e-05,4.038896e-05,4.027553e-05,4.025703e-05,4.015839e-05,4.010095e-05,4.003789e-05,3.993929e-05,3.991435e-05,3.978806e-05,3.977273e-05,3.965929e-05,3.960193e-05,3.952833e-05,3.942746e-05,3.939539e-05,3.926072e-05,3.924988e-05,3.912454e-05,3.906968e-05,3.898703e-05,3.888731e-05,3.884839e-05,3.870880e-05,3.870319e-05,3.856841e-05,3.851770e-05,3.842738e-05,3.833118e-05,3.828585e-05,3.814396e-05,3.795631e-05,3.776851e-05,3.758081e-05,3.739340e-05,3.720651e-05,3.702031e-05,3.683496e-05,3.665062e-05,3.646743e-05,3.628550e-05,3.610494e-05,3.592587e-05,3.574835e-05,3.557249e-05,3.539834e-05,3.522597e-05,3.505544e-05,3.488680e-05,3.472009e-05,3.455534e-05,3.439260e-05,3.423188e-05,3.407321e-05,3.391660e-05
0.000000e+00,2.518120e-09,5.771256e-09,1.988707e-08,4.554675e-08,6.690005e-08,1.564732e-07,1.614512e-07,3.282697e-07,3.921239e-07,5.980176e-07,8.190044e-07,9.910158e-07,1.451662e-06,1.495360e-06,2.078829e-06,2.227330e-06,2.713756e-06,3.084874e-06,3.382391e-06,3.989406e-06,4.073165e-06,4.777404e-06,4.919201e-06,5.487677e-06,5.857123e-06,6.197173e-06,6.787909e-06,6.899571e-06,7.589128e-06,7.697916e-06,8.260773e-06,8.575512e-06,8.910229e-06,9.411480e-06,9.534058e-06,1.012966e-05,1.019914e-05,1.069521e-05,1.093423e-05,1.122962e-05,1.161463e-05,1.173241e-05,1.220364e-05,1.223998e-05,1.264377e-05,1.281129e-05,1.305361e-05,1.333051e-05,1.343419e-05,1.378671e-05,1.380025e-05,1.411250e-05,1.422350e-05,1.441293e-05,1.460347e-05,1.468944e-05,1.494345e-05,1.517634e-05,1.524663e-05,1.538948e-05,1.551612e-05,1.558415e-05,1.575482e-05,1.576160e-05,1.592299e-05,1.596546e-05,1.606944e-05,1.615057e-05,1.620198e-05,1.631247e-05,1.632159e-05,1.642916e-05,1.645329e-05,1.652556e-05,1.657496e-05,1.661157e-05,1.667925e-05,1.668792e-05,1.675531e-05,1.676776e-05,1.681435e-05,1.684195e-05,1.686564e-05,1.690314e-05,1.690974e-05,1.694713e-05,1.695253e-05,1.697831e-05,1.699119e-05,1.700369e-05,1.702011e-05,1.702370e-05,1.703870e-05,1.704018e-05,1.704905e-05,1.705222e-05,1.705508e-05,1.705695e-05,1.705708e-05,1.705533e-05,1.705504e-05,1.705011e-05,1.704710e-05,1.704165e-05,1.703368e-05,1.703018e-05,1.701592e-05,1.701529e-05,1.699906e-05,1.699239e-05,1.697978e-05,1.696538e-05,1.695826e-05,1.693466e-05,1.690913e-05,1.690058e-05,1.688181e-05,1.686344e-05,1.685283e-05,1.682356e-05,1.682231e-05,1.679038e-05,1.678119e-05,1.675713e-05,1.673659e-05,1.672267e-05,1.668997e-05,1.668709e-05,1.665049e-05,1.664156e-05,1.661294e-05,1.659153e-05,1.657453e-05,1.654007e-05,1.653533e-05,1.649540e-05,1.648734e-05,1.645482e-05,1.643348e-05,1.641365e-05,1.637864e-05,1.637194e-05,1.632974e-05,1.632295e-05,1.628712e-05,1.626652e-05,1.624411e-05,1.620946e-05,1.620076e-05,1.615712e-05,1.615187e-05,1.611323e-05,1.609384e-05,1.606912e-05,1.603547e-05,1.602482e-05,1.598039e-05,1.597683e-05,1.593583e-05,1.591799e-05,1.589120e-05,1.585902e-05,1.584650e-05,1.580178e-05,1.579999e-05,1.575706e-05,1.574096e-05,1.571235e-05,1.568197e-05,1.566768e-05,1.562308e-05,1.556433e-05,1.550577e-05,1.544744e-05,1.538937e-05,1.533159e-05,1.527414e-05,1.521705e-05,1.516033e-05,1.510402e-05,1.504814e-05,1.499270e-05,1.493773e-05,1.488324e-05,1.482924e-05,1.477576e-05,1.472280e-05,1.467037e-05,1.461848e-05,1.456715e-05,1.451637e-05,1.446616e-05,1.441652e-05,1.436746e-05,1.431898e-05
0.000000e+00,4.519625e-10,1.610041e-09,8.853253e-09,2.498747e-08,3.947118e-08,1.030164e-07,1.065824e-07,2.249140e-07,2.693921e-07,4.107189e-07,5.619625e-07,6.816882e-07,1.019450e-06,1.053051e-06,1.528864e-06,1.657635e-06,2.098478e-06,2.452101e-06,2.744984e-06,3.365342e-06,3.453150e-06,4.210687e-06,4.367175e-06,5.007083e-06,5.433333e-06,5.832659e-06,6.541942e-06,6.678205e-06,7.534968e-06,7.672536e-06,8.394780e-06,8.806359e-06,9.250211e-06,9.926956e-06,1.009469e-05,1.092259e-05,1.102059e-05,1.172920e-05,1.207637e-05,1.251076e-05,1.308615e-05,1.326433e-05,1.398773e-05,1.404425e-05,1.467948e-05,1.494708e-05,1.533863e-05,1.579276e-05,1.596473e-05,1.655772e-05,1.658076e-05,1.711786e-05,1.731156e-05,1.764565e-05,1.798641e-05,1.814177e-05,1.860708e-05,1.904251e-05,1.917571e-05,1.944910e-05,1.969467e-05,1.982791e-05,2.016645e-05,2.018004e-05,2.050660e-05,2.059361e-05,2.080871e-05,2.097870e-05,2.108747e-05,2.132424e-05,2.134397e-05,2.157926e-05,2.163269e-05,2.179439e-05,2.190643e-05,2.199036e-05,2.214775e-05,2.216815e-05,2.232870e-05,2.235882e-05,2.247291e-05,2.254174e-05,2.260167e-05,2.269848e-05,2.271579e-05,2.281610e-05,2.283092e-05,2.290336e-05,2.294082e-05,2.297830e-05,2.302987e-05,2.304164e-05,2.309404e-05,2.309962e-05,2.313614e-05,2.315156e-05,2.316856e-05,2.318709e-05,2.319189e-05,2.320667e-05,2.320750e-05,2.321343e-05,2.321401e-05,2.321269e-05,2.320777e-05,2.320491e-05,2.319055e-05,2.318985e-05,2.317005e-05,2.316125e-05,2.314382e-05,2.312290e-05,2.311223e-05,2.307567e-05,2.303449e-05,2.302039e-05,2.298901e-05,2.295779e-05,2.293955e-05,2.288860e-05,2.288641e-05,2.282987e-05,2.281346e-05,2.277019e-05,2.273299e-05,2.270764e-05,2.264775e-05,2.264244e-05,2.257483e-05,2.255827e-05,2.250502e-05,2.246504e-05,2.243321e-05,2.236851e-05,2.235958e-05,2.228432e-05,2.226909e-05,2.220761e-05,2.216719e-05,2.212958e-05,2.206315e-05,2.205041e-05,2.197023e-05,2.195731e-05,2.188916e-05,2.184998e-05,2.180735e-05,2.174143e-05,2.172490e-05,2.164193e-05,2.163194e-05,2.155853e-05,2.152173e-05,2.147482e-05,2.141103e-05,2.139087e-05,2.130678e-05,2.130004e-05,2.122262e-05,2.118895e-05,2.113847e-05,2.107793e-05,2.105440e-05,2.097048e-05,2.096713e-05,2.088677e-05,2.085669e-05,2.080332e-05,2.074675e-05,2.072018e-05,2.063742e-05,2.052880e-05,2.042100e-05,2.031410e-05,2.020818e-05,2.010331e-05,1.999955e-05,1.989696e-05,1.979559e-05,1.969548e-05,1.959667e-05,1.949919e-05,1.940307e-05,1.930833e-05,1.921500e-05,1.912308e-05,1.903260e-05,1.894355e-05,1.885595e-05,1.876981e-05,1.868511e-05,1.860186e-05,1.852006e-05,1.843971e-05,1.836079e-05
0.000000e+00,5.082336e-10,1.177070e-09,4.097709e-09,9.371318e-09,1.369148e-08,3.106013e-08,3.199122e-08,6.149003e-08,7.207335e-08,1.044765e-07,1.376151e-07,1.630251e-07,2.322140e-07,2.389679e-07,3.338465e-07,3.595753e-07,4.488463e-07,5.223353e-07,5.847187e-07,7.217564e-07,7.417039e-07,9.194664e-07,9.574397e-07,1.117060e-06,1.227154e-06,1.332935e-06,1.526883e-06,1.565003e-06,1.810756e-06,1.851165e-06,2.067446e-06,2.193716e-06,2.332272e-06,2.548189e-06,2.602564e-06,2.875901e-06,2.908803e-06,3.150178e-06,3.270687e-06,3.423615e-06,3.629948e-06,3.694738e-06,3.962346e-06,3.983572e-06,4.225469e-06,4.329284e-06,4.483337e-06,4.665406e-06,4.735350e-06,4.981048e-06,4.990739e-06,5.220090e-06,5.304467e-06,5.452238e-06,5.606077e-06,5.677335e-06,5.895295e-06,6.106088e-06,6.172030e-06,6.309732e-06,6.436336e-06,6.506281e-06,6.688371e-06,6.695820e-06,6.878458e-06,6.928377e-06,7.054322e-06,7.156648e-06,7.223555e-06,7.373523e-06,7.386309e-06,7.542743e-06,7.579366e-06,7.693024e-06,7.774556e-06,7.837320e-06,7.959485e-06,7.975802e-06,8.108639e-06,8.134545e-06,8.236004e-06,8.300126e-06,8.358064e-06,8.456617e-06,8.474986e-06,8.586935e-06,8.604396e-06,8.694072e-06,8.743835e-06,8.796555e-06,8.875294e-06,8.894538e-06,8.988172e-06,8.999123e-06,9.077605e-06,9.115661e-06,9.162979e-06,9.225234e-06,9.244433e-06,9.322102e-06,9.328156e-06,9.396118e-06,9.424730e-06,9.466608e-06,9.515247e-06,9.533696e-06,9.597501e-06,9.599986e-06,9.658138e-06,9.679214e-06,9.715721e-06,9.753187e-06,9.770357e-06,9.822151e-06,9.871205e-06,9.886340e-06,9.917617e-06,9.945978e-06,9.961482e-06,1.000128e-05,1.000289e-05,1.004193e-05,1.005245e-05,1.007869e-05,1.009969e-05,1.011325e-05,1.014318e-05,1.014570e-05,1.017609e-05,1.018309e-05,1.020452e-05,1.021961e-05,1.023106e-05,1.025289e-05,1.025576e-05,1.027871e-05,1.028309e-05,1.029996e-05,1.031036e-05,1.031957e-05,1.033483e-05,1.033761e-05,1.035413e-05,1.035664e-05,1.036919e-05,1.037592e-05,1.038285e-05,1.039279e-05,1.039515e-05,1.040614e-05,1.040738e-05,1.041588e-05,1.041978e-05,1.042441e-05,1.043011e-05,1.043177e-05,1.043801e-05,1.043846e-05,1.044317e-05,1.044494e-05,1.044729e-05,1.044964e-05,1.045041e-05,1.045257e-05,1.045264e-05,1.045380e-05,1.045403e-05,1.045414e-05,1.045388e-05,1.045362e-05,1.045228e-05,1.044929e-05,1.044499e-05,1.043945e-05,1.043271e-05,1.042486e-05,1.041593e-05,1.040600e-05,1.039510e-05,1.038330e-05,1.037063e-05,1.035715e-05,1.034290e-05,1.032791e-05,1.031224e-05,1.029591e-05,1.027897e-05,1.026144e-05,1.024337e-05,1.022478e-05,1.020570e-05,1.018617e-05,1.016620e-05,1.014584e-05,1.012509e-05
0.000000e+00,2.127089e-15,1.855936e-14,4.591600e-13,3.798110e-12,9.940584e-12,7.805098e-11,8.402564e-11,4.246235e-10,6.271885e-10,1.551127e-09,3.018229e-09,4.532671e-09,1.051881e-08,1.125673e-08,2.470488e-08,2.938259e-08,4.920836e-08,6.988662e-08,9.065884e-08,1.471413e-07,1.566486e-07,2.565073e-07,2.814816e-07,4.011934e-07,4.981870e-07,6.030035e-07,8.262793e-07,8.750882e-07,1.230800e-06,1.296344e-06,1.682942e-06,1.937666e-06,2.243004e-06,2.775203e-06,2.920456e-06,3.722185e-06,3.826962e-06,4.652089e-06,5.102151e-06,5.710873e-06,6.600313e-06,6.896024e-06,8.201954e-06,8.311413e-06,9.620271e-06,1.021672e-05,1.114016e-05,1.229026e-05,1.274883e-05,1.443200e-05,1.450067e-05,1.617438e-05,1.681309e-05,1.796015e-05,1.919112e-05,1.977338e-05,2.159848e-05,2.342046e-05,2.400052e-05,2.522528e-05,2.636533e-05,2.699999e-05,2.866459e-05,2.873298e-05,3.041399e-05,3.087413e-05,3.203423e-05,3.297410e-05,3.358637e-05,3.494907e-05,3.506448e-05,3.646401e-05,3.678782e-05,3.778172e-05,3.848308e-05,3.901553e-05,4.003107e-05,4.016445e-05,4.122846e-05,4.143113e-05,4.220837e-05,4.268517e-05,4.310572e-05,4.379724e-05,4.392265e-05,4.466181e-05,4.477306e-05,4.532624e-05,4.561959e-05,4.591928e-05,4.634470e-05,4.644449e-05,4.690558e-05,4.695678e-05,4.730632e-05,4.746451e-05,4.765052e-05,4.787662e-05,4.794195e-05,4.818432e-05,4.820170e-05,4.838126e-05,4.844810e-05,4.853626e-05,4.862377e-05,4.865266e-05,4.873366e-05,4.873621e-05,4.878230e-05,4.879244e-05,4.880143e-05,4.879895e-05,4.879373e-05,4.876172e-05,4.870775e-05,4.868621e-05,4.863400e-05,4.857734e-05,4.854247e-05,4.843961e-05,4.843503e-05,4.831339e-05,4.827701e-05,4.817914e-05,4.809313e-05,4.803371e-05,4.789119e-05,4.787844e-05,4.771453e-05,4.767403e-05,4.754310e-05,4.744420e-05,4.736516e-05,4.720392e-05,4.718163e-05,4.699334e-05,4.695518e-05,4.680106e-05,4.669972e-05,4.660547e-05,4.643907e-05,4.640719e-05,4.620679e-05,4.617456e-05,4.600477e-05,4.590737e-05,4.580161e-05,4.563853e-05,4.559771e-05,4.539345e-05,4.536893e-05,4.518917e-05,4.509936e-05,4.498517e-05,4.483050e-05,4.478174e-05,4.457911e-05,4.456294e-05,4.437750e-05,4.429719e-05,4.417712e-05,4.403370e-05,4.397814e-05,4.378071e-05,4.377285e-05,4.358498e-05,4.351495e-05,4.339107e-05,4.326030e-05,4.319909e-05,4.300913e-05,4.276164e-05,4.251800e-05,4.227834e-05,4.204278e-05,4.181141e-05,4.158430e-05,4.136150e-05,4.114305e-05,4.092898e-05,4.071929e-05,4.051399e-05,4.031306e-05,4.011649e-05,3.992426e-05,3.973632e-05,3.955265e-05,3.937319e-05,3.919790e-05,3.902673e-05,3.885963e-05,3.869654e-05,3.853739e-05,3.838213e-05,3.823069e-05
0.000000e+00,5.600476e-14,4.653879e-13,1.040500e-11,7.846193e-11,1.951715e-10,1.343913e-09,1.439097e-09,6.389432e-09,9.113682e-09,2.066122e-08,3.750788e-08,5.386724e-08,1.133460e-07,1.203061e-07,2.392063e-07,2.781025e-07,4.342583e-07,5.866348e-07,7.321329e-07,1.101027e-06,1.160125e-06,1.743576e-06,1.880882e-06,2.503760e-06,2.974421e-06,3.456612e-06,4.413479e-06,4.612259e-06,5.975163e-06,6.212480e-06,7.544599e-06,8.369886e-06,9.315253e-06,1.087053e-05,1.127784e-05,1.341969e-05,1.368804e-05,1.572523e-05,1.678700e-05,1.817658e-05,2.012501e-05,2.075397e-05,2.343626e-05,2.365472e-05,2.620148e-05,2.732579e-05,2.902731e-05,3.108698e-05,3.189159e-05,3.477273e-05,3.488803e-05,3.765016e-05,3.868137e-05,4.050464e-05,4.242350e-05,4.331854e-05,4.607603e-05,4.876323e-05,4.960629e-05,5.136821e-05,5.298758e-05,5.388104e-05,5.619918e-05,5.629367e-05,5.859992e-05,5.922595e-05,6.079526e-05,6.205792e-05,6.287670e-05,6.468966e-05,6.484267e-05,6.669276e-05,6.711959e-05,6.842763e-05,6.934937e-05,7.004883e-05,7.138325e-05,7.155864e-05,7.295992e-05,7.322745e-05,7.425604e-05,7.488967e-05,7.545069e-05,7.637868e-05,7.654784e-05,7.755163e-05,7.770386e-05,7.846632e-05,7.887499e-05,7.929620e-05,7.990192e-05,8.004556e-05,8.071863e-05,8.079447e-05,8.131958e-05,8.156219e-05,8.185246e-05,8.221435e-05,8.232120e-05,8.272961e-05,8.275979e-05,8.308133e-05,8.320693e-05,8.337985e-05,8.356372e-05,8.362850e-05,8.383045e-05,8.383760e-05,8.398872e-05,8.403557e-05,8.410619e-05,8.416414e-05,8.418556e-05,8.422939e-05,8.424012e-05,8.423693e-05,8.422002e-05,8.419198e-05,8.417125e-05,8.409935e-05,8.409585e-05,8.399572e-05,8.396349e-05,8.387265e-05,8.378852e-05,8.372835e-05,8.357821e-05,8.356441e-05,8.338230e-05,8.333605e-05,8.318345e-05,8.306526e-05,8.296915e-05,8.276878e-05,8.274065e-05,8.249911e-05,8.244934e-05,8.224562e-05,8.210941e-05,8.198118e-05,8.175131e-05,8.170677e-05,8.142327e-05,8.137713e-05,8.113153e-05,8.098880e-05,8.083233e-05,8.058811e-05,8.052642e-05,8.021448e-05,8.017667e-05,7.989715e-05,7.975598e-05,7.957505e-05,7.932742e-05,7.924875e-05,7.891876e-05,7.889222e-05,7.858559e-05,7.845154e-05,7.824970e-05,7.800642e-05,7.791153e-05,7.757147e-05,7.755784e-05,7.722992e-05,7.710666e-05,7.688721e-05,7.665368e-05,7.654368e-05,7.619965e-05,7.574522e-05,7.529101e-05,7.483757e-05,7.438540e-05,7.393496e-05,7.348667e-05,7.304090e-05,7.259799e-05,7.215823e-05,7.172192e-05,7.128929e-05,7.086057e-05,7.043595e-05,7.001560e-05,6.959969e-05,6.918835e-05,6.878169e-05,6.837982e-05,6.798282e-05,6.759077e-05,6.720372e-05,6.682173e-05,6.644484e-05,6.607307e-05
0.000000e+00,4.028905e-15,3.622857e-14,9.552444e-13,8.385563e-12,2.268814e-11,1.944814e-10,2.101301e-10,1.161993e-09,1.759739e-09,4.638584e-09,9.513128e-09,1.479186e-08,3.715040e-08,4.002829e-08,9.556853e-08,1.159537e-07,2.066989e-07,3.071321e-07,4.126201e-07,7.172958e-07,7.707167e-07,1.361023e-06,1.515850e-06,2.290645e-06,2.952714e-06,3.697903e-06,5.374718e-06,5.755971e-06,8.675829e-06,9.239170e-06,1.270834e-05,1.512329e-05,1.814537e-05,2.372857e-05,2.531977e-05,3.460430e-05,3.587936e-05,4.640929e-05,5.251539e-05,6.117931e-05,7.467845e-05,7.938871e-05,1.015362e-04,1.034935e-04,1.281388e-04,1.401454e-04,1.597247e-04,1.858512e-04,1.968263e-04,2.399722e-04,2.418311e-04,2.896798e-04,3.092775e-04,3.464473e-04,3.893239e-04,4.107466e-04,4.830158e-04,5.636533e-04,5.912836e-04,6.530115e-04,7.149187e-04,7.513917e-04,8.545538e-04,8.590403e-04,9.761448e-04,1.010647e-03,1.102832e-03,1.183473e-03,1.239165e-03,1.373113e-03,1.385145e-03,1.540709e-03,1.579458e-03,1.705731e-03,1.802208e-03,1.880026e-03,2.040883e-03,2.063350e-03,2.255402e-03,2.294830e-03,2.455832e-03,2.563235e-03,2.664240e-03,2.845145e-03,2.880183e-03,3.103180e-03,3.139480e-03,3.332713e-03,3.445052e-03,3.568237e-03,3.760587e-03,3.809182e-03,4.054956e-03,4.084745e-03,4.304956e-03,4.416136e-03,4.558566e-03,4.753342e-03,4.815165e-03,5.074132e-03,5.094933e-03,5.334846e-03,5.439484e-03,5.596696e-03,5.785592e-03,5.859079e-03,6.121405e-03,6.131888e-03,6.383101e-03,6.477051e-03,6.643615e-03,6.819815e-03,6.902412e-03,7.158983e-03,7.412844e-03,7.493431e-03,7.663535e-03,7.822113e-03,7.910625e-03,8.144070e-03,8.153712e-03,8.392421e-03,8.458427e-03,8.626406e-03,8.764397e-03,8.855352e-03,9.061283e-03,9.078971e-03,9.297006e-03,9.348477e-03,9.509227e-03,9.625455e-03,9.715433e-03,9.891780e-03,9.915450e-03,1.010913e-02,1.014709e-02,1.029635e-02,1.039112e-02,1.047701e-02,1.062365e-02,1.065104e-02,1.081839e-02,1.084454e-02,1.097902e-02,1.105373e-02,1.113292e-02,1.125120e-02,1.128010e-02,1.142059e-02,1.143700e-02,1.155443e-02,1.161122e-02,1.168167e-02,1.177400e-02,1.180238e-02,1.191665e-02,1.192552e-02,1.202458e-02,1.206599e-02,1.212626e-02,1.219567e-02,1.222182e-02,1.231137e-02,1.231483e-02,1.239505e-02,1.242377e-02,1.247300e-02,1.252280e-02,1.254536e-02,1.261227e-02,1.269252e-02,1.276390e-02,1.282679e-02,1.288154e-02,1.292854e-02,1.296814e-02,1.300072e-02,1.302663e-02,1.304625e-02,1.305992e-02,1.306798e-02,1.307077e-02,1.306862e-02,1.306185e-02,1.305076e-02,1.303564e-02,1.301679e-02,1.299447e-02,1.296895e-02,1.294047e-02,1.290927e-02,1.287559e-02,1.283963e-02,1.280161e-02
0.000000e+00,4.104830e-15,3.684811e-14,9.680720e-13,8.469773e-12,2.287363e-11,1.951319e-10,2.107918e-10,1.160124e-09,1.754656e-09,4.610459e-09,9.431560e-09,1.464137e-08,3.664528e-08,3.947290e-08,9.394040e-08,1.139022e-07,2.026785e-07,3.008700e-07,4.040013e-07,7.020770e-07,7.543840e-07,1.333332e-06,1.485460e-06,2.248299e-06,2.901932e-06,3.639250e-06,5.303332e-06,5.682477e-06,8.593344e-06,9.156125e-06,1.262774e-05,1.504886e-05,1.808212e-05,2.369230e-05,2.529212e-05,3.462981e-05,3.591222e-05,4.649962e-05,5.263489e-05,6.133317e-05,7.486681e-05,7.958323e-05,1.017169e-04,1.036696e-04,1.282084e-04,1.401315e-04,1.595314e-04,1.853373e-04,1.961512e-04,2.385176e-04,2.403379e-04,2.870574e-04,3.061205e-04,3.421676e-04,3.835816e-04,4.042096e-04,4.735029e-04,5.503214e-04,5.765307e-04,6.348889e-04,6.931600e-04,7.273763e-04,8.237235e-04,8.278996e-04,9.365186e-04,9.683845e-04,1.053237e-03,1.127135e-03,1.178001e-03,1.299798e-03,1.310703e-03,1.451182e-03,1.486032e-03,1.599228e-03,1.685343e-03,1.754579e-03,1.897093e-03,1.916934e-03,2.085949e-03,2.120518e-03,2.261242e-03,2.354740e-03,2.442401e-03,2.598787e-03,2.628986e-03,2.820534e-03,2.851610e-03,3.016561e-03,3.112099e-03,3.216569e-03,3.379102e-03,3.420052e-03,3.626495e-03,3.651442e-03,3.835381e-03,3.927932e-03,4.046195e-03,4.207389e-03,4.258427e-03,4.471574e-03,4.488651e-03,4.685144e-03,4.770583e-03,4.898659e-03,5.052095e-03,5.111656e-03,5.323689e-03,5.332144e-03,5.534333e-03,5.609746e-03,5.743182e-03,5.883979e-03,5.949855e-03,6.153990e-03,6.355253e-03,6.418998e-03,6.553329e-03,6.678293e-03,6.747933e-03,6.931239e-03,6.938799e-03,7.125689e-03,7.177275e-03,7.308387e-03,7.415913e-03,7.486702e-03,7.646736e-03,7.660466e-03,7.829532e-03,7.869394e-03,7.993775e-03,8.083605e-03,8.153092e-03,8.289149e-03,8.307399e-03,8.456631e-03,8.485864e-03,8.600743e-03,8.673647e-03,8.739704e-03,8.852441e-03,8.873501e-03,9.002137e-03,9.022240e-03,9.125626e-03,9.183081e-03,9.243997e-03,9.335036e-03,9.357291e-03,9.465559e-03,9.478216e-03,9.568863e-03,9.612762e-03,9.667273e-03,9.738839e-03,9.760867e-03,9.849734e-03,9.856641e-03,9.933964e-03,9.966380e-03,1.001366e-02,1.006828e-02,1.008892e-02,1.015985e-02,1.016260e-02,1.022657e-02,1.024958e-02,1.028919e-02,1.032948e-02,1.034782e-02,1.040259e-02,1.046917e-02,1.052950e-02,1.058386e-02,1.063253e-02,1.067577e-02,1.071388e-02,1.074710e-02,1.077571e-02,1.079996e-02,1.082009e-02,1.083636e-02,1.084900e-02,1.085823e-02,1.086428e-02,1.086735e-02,1.086764e-02,1.086535e-02,1.086066e-02,1.085375e-02,1.084479e-02,1.083394e-02,1.082134e-02,1.080715e-02,1.079149e-02
0.000000e+00,3.864649e-09,8.909962e-09,3.090608e-08,7.081205e-08,1.037854e-07,2.393598e-07,2.467694e-07,4.889506e-07,5.791502e-07,8.640274e-07,1.164012e-06,1.396005e-06,2.020739e-06,2.080669e-06,2.898319e-06,3.112380e-06,3.832434e-06,4.401983e-06,4.871417e-06,5.864693e-06,6.005479e-06,7.224692e-06,7.477821e-06,8.518277e-06,9.216493e-06,9.874582e-06,1.105341e-05,1.128138e-05,1.272627e-05,1.296018e-05,1.419715e-05,1.490899e-05,1.568250e-05,1.687403e-05,1.717171e-05,1.865525e-05,1.883248e-05,2.012476e-05,2.076501e-05,2.157308e-05,2.265591e-05,2.299423e-05,2.438332e-05,2.449294e-05,2.573646e-05,2.626696e-05,2.705069e-05,2.797157e-05,2.832379e-05,2.955426e-05,2.960257e-05,3.074113e-05,3.115763e-05,3.188395e-05,3.263584e-05,3.298263e-05,3.403742e-05,3.504882e-05,3.536342e-05,3.601754e-05,3.661551e-05,3.694444e-05,3.779583e-05,3.783050e-05,3.867680e-05,3.890679e-05,3.948448e-05,3.995103e-05,4.025471e-05,4.093129e-05,4.098871e-05,4.168769e-05,4.185037e-05,4.235288e-05,4.271108e-05,4.298549e-05,4.351620e-05,4.358673e-05,4.415778e-05,4.426847e-05,4.469980e-05,4.497056e-05,4.521393e-05,4.562506e-05,4.570128e-05,4.616291e-05,4.623446e-05,4.659989e-05,4.680118e-05,4.701322e-05,4.732752e-05,4.740388e-05,4.777283e-05,4.781569e-05,4.812099e-05,4.826781e-05,4.844923e-05,4.868590e-05,4.875842e-05,4.904937e-05,4.907188e-05,4.932288e-05,4.942758e-05,4.957972e-05,4.975473e-05,4.982061e-05,5.004627e-05,5.005499e-05,5.025736e-05,5.032992e-05,5.045455e-05,5.058102e-05,5.063846e-05,5.080969e-05,5.096882e-05,5.101727e-05,5.111639e-05,5.120503e-05,5.125295e-05,5.137415e-05,5.137900e-05,5.149502e-05,5.152578e-05,5.160150e-05,5.166098e-05,5.169887e-05,5.178078e-05,5.178756e-05,5.186799e-05,5.188611e-05,5.194056e-05,5.197790e-05,5.200564e-05,5.205699e-05,5.206358e-05,5.211475e-05,5.212420e-05,5.215947e-05,5.218028e-05,5.219806e-05,5.222595e-05,5.223082e-05,5.225804e-05,5.226190e-05,5.228001e-05,5.228876e-05,5.229699e-05,5.230715e-05,5.230923e-05,5.231698e-05,5.231762e-05,5.232047e-05,5.232072e-05,5.231993e-05,5.231696e-05,5.231557e-05,5.230760e-05,5.230681e-05,5.229620e-05,5.229072e-05,5.228157e-05,5.226913e-05,5.226388e-05,5.224331e-05,5.224243e-05,5.222002e-05,5.221100e-05,5.219417e-05,5.217520e-05,5.216590e-05,5.213536e-05,5.209179e-05,5.204480e-05,5.199466e-05,5.194164e-05,5.188599e-05,5.182793e-05,5.176770e-05,5.170549e-05,5.164150e-05,5.157591e-05,5.150889e-05,5.144061e-05,5.137122e-05,5.130085e-05,5.122964e-05,5.115772e-05,5.108520e-05,5.101219e-05,5.093879e-05,5.086511e-05,5.079122e-05,5.071722e-05,5.064319e-05,5.056919e-05
0.000000e+00,7.778002e-11,3.042085e-10,1.878196e-09,5.616149e-09,9.064583e-09,2.453698e-08,2.541322e-08,5.462652e-08,6.562238e-08,1.004812e-07,1.375977e-07,1.668512e-07,2.490694e-07,2.572474e-07,3.737568e-07,4.056534e-07,5.165139e-07,6.075466e-07,6.844578e-07,8.519768e-07,8.761934e-07,1.090248e-06,1.135600e-06,1.325028e-06,1.454721e-06,1.578752e-06,1.805076e-06,1.849439e-06,2.134934e-06,2.181838e-06,2.432973e-06,2.579806e-06,2.741239e-06,2.993673e-06,3.057440e-06,3.379364e-06,3.418279e-06,3.704924e-06,3.848820e-06,4.032196e-06,4.280994e-06,4.359447e-06,4.685136e-06,4.711082e-06,5.007925e-06,5.135965e-06,5.326669e-06,5.553113e-06,5.640406e-06,5.948343e-06,5.960531e-06,6.249841e-06,6.356702e-06,6.544393e-06,6.740521e-06,6.831615e-06,7.111222e-06,7.383018e-06,7.468322e-06,7.646882e-06,7.811563e-06,7.902755e-06,8.140868e-06,8.150630e-06,8.390541e-06,8.456298e-06,8.622560e-06,8.758024e-06,8.846787e-06,9.046295e-06,9.063340e-06,9.272359e-06,9.321418e-06,9.473993e-06,9.583743e-06,9.668406e-06,9.833651e-06,9.855768e-06,1.003625e-05,1.007154e-05,1.021004e-05,1.029782e-05,1.037731e-05,1.051291e-05,1.053824e-05,1.069302e-05,1.071722e-05,1.084182e-05,1.091118e-05,1.098483e-05,1.109518e-05,1.112221e-05,1.125415e-05,1.126962e-05,1.138081e-05,1.143491e-05,1.150236e-05,1.159142e-05,1.161896e-05,1.173077e-05,1.173952e-05,1.183796e-05,1.187957e-05,1.194066e-05,1.201191e-05,1.203903e-05,1.213321e-05,1.213689e-05,1.222335e-05,1.225483e-05,1.230957e-05,1.236604e-05,1.239202e-05,1.247082e-05,1.254609e-05,1.256945e-05,1.261795e-05,1.266222e-05,1.268653e-05,1.274938e-05,1.275194e-05,1.281428e-05,1.283121e-05,1.287367e-05,1.290793e-05,1.293020e-05,1.297978e-05,1.298398e-05,1.303511e-05,1.304699e-05,1.308366e-05,1.310977e-05,1.312975e-05,1.316833e-05,1.317345e-05,1.321486e-05,1.322287e-05,1.325404e-05,1.327357e-05,1.329109e-05,1.332061e-05,1.332607e-05,1.335906e-05,1.336416e-05,1.339014e-05,1.340440e-05,1.341937e-05,1.344147e-05,1.344682e-05,1.347255e-05,1.347552e-05,1.349662e-05,1.350671e-05,1.351911e-05,1.353516e-05,1.354006e-05,1.355952e-05,1.356102e-05,1.357756e-05,1.358439e-05,1.359423e-05,1.360541e-05,1.360958e-05,1.362365e-05,1.362419e-05,1.363650e-05,1.364083e-05,1.364817e-05,1.365545e-05,1.365870e-05,1.366813e-05,1.367898e-05,1.368809e-05,1.369554e-05,1.370141e-05,1.370579e-05,1.370875e-05,1.371037e-05,1.371070e-05,1.370982e-05,1.370780e-05,1.370468e-05,1.370053e-05,1.369540e-05,1.368935e-05,1.368243e-05,1.367467e-05,1.366614e-05,1.365686e-05,1.364690e-05,1.363627e-05,1.362503e-05,1.361320e-05,1.360083e-05,1.358794e-05
0.000000e+00,2.012167e-15,1.784554e-14,4.569110e-13,3.903354e-12,1.040308e-11,8.574834e-11,9.250011e-11,4.920004e-10,7.373070e-10,1.893340e-09,3.803141e-09,5.835298e-09,1.423896e-08,1.530542e-08,3.552784e-08,4.283613e-08,7.494565e-08,1.099618e-07,1.463597e-07,2.500846e-07,2.681119e-07,4.651244e-07,5.162589e-07,7.695820e-07,9.832225e-07,1.221091e-06,1.747902e-06,1.866244e-06,2.757619e-06,2.926854e-06,3.952295e-06,4.650968e-06,5.510027e-06,7.058244e-06,7.491232e-06,9.954925e-06,1.028568e-05,1.295672e-05,1.446119e-05,1.654701e-05,1.969631e-05,2.076937e-05,2.565929e-05,2.608018e-05,3.124316e-05,3.367509e-05,3.753765e-05,4.251377e-05,4.454931e-05,5.227460e-05,5.259830e-05,6.070007e-05,6.390050e-05,6.980279e-05,7.636364e-05,7.955105e-05,8.990517e-05,1.008184e-04,1.044203e-04,1.122381e-04,1.197860e-04,1.241065e-04,1.358653e-04,1.363622e-04,1.489408e-04,1.525118e-04,1.617766e-04,1.695737e-04,1.748028e-04,1.868981e-04,1.879531e-04,2.011624e-04,2.043344e-04,2.143673e-04,2.217372e-04,2.275068e-04,2.389695e-04,2.405231e-04,2.533622e-04,2.559042e-04,2.659738e-04,2.724264e-04,2.783119e-04,2.884339e-04,2.903348e-04,3.020054e-04,3.038377e-04,3.132910e-04,3.185629e-04,3.241635e-04,3.325480e-04,3.345992e-04,3.445786e-04,3.457447e-04,3.540864e-04,3.581174e-04,3.631112e-04,3.696420e-04,3.716451e-04,3.796838e-04,3.803054e-04,3.872259e-04,3.901041e-04,3.942732e-04,3.990431e-04,4.008299e-04,4.069024e-04,4.071353e-04,4.124993e-04,4.143998e-04,4.176312e-04,4.208612e-04,4.223098e-04,4.265485e-04,4.303615e-04,4.314942e-04,4.337641e-04,4.357337e-04,4.367721e-04,4.393039e-04,4.394021e-04,4.416707e-04,4.422434e-04,4.435949e-04,4.445913e-04,4.451919e-04,4.463866e-04,4.464785e-04,4.474718e-04,4.476684e-04,4.481883e-04,4.484748e-04,4.486445e-04,4.488433e-04,4.488563e-04,4.488394e-04,4.488099e-04,4.486088e-04,4.484093e-04,4.481791e-04,4.476746e-04,4.475644e-04,4.467784e-04,4.466375e-04,4.458337e-04,4.453276e-04,4.447429e-04,4.437730e-04,4.435178e-04,4.421696e-04,4.420001e-04,4.407091e-04,4.400335e-04,4.391464e-04,4.378963e-04,4.374911e-04,4.357522e-04,4.356098e-04,4.339383e-04,4.331936e-04,4.320575e-04,4.306660e-04,4.301172e-04,4.281245e-04,4.280438e-04,4.260861e-04,4.253422e-04,4.240081e-04,4.225754e-04,4.218963e-04,4.197561e-04,4.168959e-04,4.140056e-04,4.110946e-04,4.081717e-04,4.052446e-04,4.023203e-04,3.994051e-04,3.965046e-04,3.936238e-04,3.907669e-04,3.879380e-04,3.851403e-04,3.823769e-04,3.796504e-04,3.769628e-04,3.743162e-04,3.717121e-04,3.691518e-04,3.666364e-04,3.641667e-04,3.617434e-04,3.593670e-04,3.570378e-04,3.547560e-04
0.000000e+00,4.925025e-12,3.058102e-11,3.859317e-10,1.798774e-09,3.492920e-09,1.338437e-08,1.401717e-08,3.755696e-08,4.726462e-08,7.991178e-08,1.168917e-07,1.472375e-07,2.370581e-07,2.463243e-07,3.844205e-07,4.241386e-07,5.680634e-07,6.922780e-07,8.006422e-07,1.044020e-06,1.079724e-06,1.396572e-06,1.463404e-06,1.738818e-06,1.922669e-06,2.094196e-06,2.395541e-06,2.452817e-06,2.807629e-06,2.863703e-06,3.153898e-06,3.316110e-06,3.488499e-06,3.746362e-06,3.809363e-06,4.115140e-06,4.150774e-06,4.404982e-06,4.527333e-06,4.678427e-06,4.875177e-06,4.935326e-06,5.175788e-06,5.194323e-06,5.400132e-06,5.485461e-06,5.608845e-06,5.749784e-06,5.802546e-06,5.981946e-06,5.988835e-06,6.147814e-06,6.204368e-06,6.300955e-06,6.398241e-06,6.442191e-06,6.572339e-06,6.692191e-06,6.728495e-06,6.802512e-06,6.868452e-06,6.904027e-06,6.993829e-06,6.997417e-06,7.083315e-06,7.106105e-06,7.162312e-06,7.206626e-06,7.234952e-06,7.296596e-06,7.301734e-06,7.363114e-06,7.377089e-06,7.419512e-06,7.449061e-06,7.471308e-06,7.513358e-06,7.518850e-06,7.562454e-06,7.570728e-06,7.602408e-06,7.621830e-06,7.638975e-06,7.667248e-06,7.672393e-06,7.702880e-06,7.707499e-06,7.730633e-06,7.743038e-06,7.755835e-06,7.774270e-06,7.778650e-06,7.799231e-06,7.801557e-06,7.817716e-06,7.825219e-06,7.834234e-06,7.845544e-06,7.848901e-06,7.861826e-06,7.862788e-06,7.873109e-06,7.877184e-06,7.882843e-06,7.888940e-06,7.891113e-06,7.897999e-06,7.898247e-06,7.903574e-06,7.905274e-06,7.907909e-06,7.910180e-06,7.911066e-06,7.913106e-06,7.914087e-06,7.914185e-06,7.914059e-06,7.913536e-06,7.913074e-06,7.911271e-06,7.911178e-06,7.908414e-06,7.907491e-06,7.904825e-06,7.902291e-06,7.900449e-06,7.895760e-06,7.895323e-06,7.889484e-06,7.887979e-06,7.882963e-06,7.879026e-06,7.875793e-06,7.868970e-06,7.868003e-06,7.859623e-06,7.857879e-06,7.850679e-06,7.845815e-06,7.841198e-06,7.832837e-06,7.831204e-06,7.820721e-06,7.819000e-06,7.809771e-06,7.804356e-06,7.798376e-06,7.788954e-06,7.786557e-06,7.774333e-06,7.772839e-06,7.761723e-06,7.756057e-06,7.748745e-06,7.738647e-06,7.735418e-06,7.721756e-06,7.720649e-06,7.707777e-06,7.702100e-06,7.693496e-06,7.683035e-06,7.678928e-06,7.664086e-06,7.663486e-06,7.648984e-06,7.643486e-06,7.633636e-06,7.623065e-06,7.618053e-06,7.602249e-06,7.581068e-06,7.559546e-06,7.537708e-06,7.515576e-06,7.493174e-06,7.470522e-06,7.447641e-06,7.424548e-06,7.401264e-06,7.377804e-06,7.354186e-06,7.330425e-06,7.306537e-06,7.282535e-06,7.258434e-06,7.234246e-06,7.209984e-06,7.185660e-06,7.161285e-06,7.136870e-06,7.112424e-06,7.087959e-06,7.063483e-06,7.039005e-06
0.000000e+00,2.679515e-11,1.389855e-10,1.287904e-09,4.849042e-09,8.576165e-09,2.750835e-08,2.864899e-08,6.923283e-08,8.552320e-08,1.400071e-07,2.020442e-07,2.534228e-07,4.071418e-07,4.230358e-07,6.566142e-07,7.218567e-07,9.485165e-07,1.131641e-06,1.282857e-06,1.599275e-06,1.643519e-06,2.019023e-06,2.095202e-06,2.401965e-06,2.602305e-06,2.787303e-06,3.109997e-06,3.171180e-06,3.550364e-06,3.610405e-06,3.922048e-06,4.097061e-06,4.283789e-06,4.564620e-06,4.633519e-06,4.969555e-06,5.008894e-06,5.290601e-06,5.426863e-06,5.595736e-06,5.816630e-06,5.884382e-06,6.156268e-06,6.177293e-06,6.411386e-06,6.508778e-06,6.649943e-06,6.811659e-06,6.872322e-06,7.079028e-06,7.086978e-06,7.270663e-06,7.336090e-06,7.447901e-06,7.560561e-06,7.611453e-06,7.762046e-06,7.900420e-06,7.942238e-06,8.027300e-06,8.102799e-06,8.143394e-06,8.245336e-06,8.249390e-06,8.345944e-06,8.371373e-06,8.433681e-06,8.482336e-06,8.513189e-06,8.579555e-06,8.585034e-06,8.649747e-06,8.664273e-06,8.707826e-06,8.737623e-06,8.759727e-06,8.800628e-06,8.805876e-06,8.846677e-06,8.854229e-06,8.882509e-06,8.899295e-06,8.913722e-06,8.936607e-06,8.940637e-06,8.963554e-06,8.966869e-06,8.982757e-06,8.990733e-06,8.998509e-06,9.008788e-06,9.011051e-06,9.020608e-06,9.021564e-06,9.027391e-06,9.029548e-06,9.031596e-06,9.033181e-06,9.033406e-06,9.032988e-06,9.032864e-06,9.030503e-06,9.028962e-06,9.026095e-06,9.021809e-06,9.019902e-06,9.012052e-06,9.011706e-06,9.002664e-06,8.998929e-06,8.991847e-06,8.983729e-06,8.979706e-06,8.966337e-06,8.951831e-06,8.946963e-06,8.936272e-06,8.925798e-06,8.919738e-06,8.903018e-06,8.902305e-06,8.884039e-06,8.878785e-06,8.865007e-06,8.853244e-06,8.845267e-06,8.826532e-06,8.824878e-06,8.803892e-06,8.798772e-06,8.782359e-06,8.770078e-06,8.760325e-06,8.740556e-06,8.737834e-06,8.714928e-06,8.710300e-06,8.691645e-06,8.679401e-06,8.668021e-06,8.647939e-06,8.644090e-06,8.619885e-06,8.615989e-06,8.595435e-06,8.583621e-06,8.570769e-06,8.550898e-06,8.545912e-06,8.520891e-06,8.517879e-06,8.495728e-06,8.484618e-06,8.470446e-06,8.451165e-06,8.445065e-06,8.419606e-06,8.417566e-06,8.394086e-06,8.383865e-06,8.368522e-06,8.350099e-06,8.342932e-06,8.317331e-06,8.316306e-06,8.291732e-06,8.282520e-06,8.266149e-06,8.248769e-06,8.240596e-06,8.215085e-06,8.181491e-06,8.148014e-06,8.114674e-06,8.081493e-06,8.048489e-06,8.015679e-06,7.983080e-06,7.950706e-06,7.918569e-06,7.886683e-06,7.855059e-06,7.823705e-06,7.792632e-06,7.761847e-06,7.731359e-06,7.701172e-06,7.671294e-06,7.641730e-06,7.612484e-06,7.583560e-06,7.554962e-06,7.526693e-06,7.498754e-06,7.471149e-06
0.000000e+00,1.506737e-11,9.392116e-11,1.195152e-09,5.614184e-09,1.094971e-08,4.244529e-08,4.447323e-08,1.205669e-07,1.522229e-07,2.595016e-07,3.821919e-07,4.836051e-07,7.867310e-07,8.182063e-07,1.290278e-06,1.426736e-06,1.921959e-06,2.348861e-06,2.720172e-06,3.549949e-06,3.671300e-06,4.747168e-06,4.974475e-06,5.916024e-06,6.551040e-06,7.149812e-06,8.219752e-06,8.426012e-06,9.726737e-06,9.936113e-06,1.103728e-05,1.166606e-05,1.234503e-05,1.338174e-05,1.363892e-05,1.490917e-05,1.505959e-05,1.614721e-05,1.667979e-05,1.734565e-05,1.822616e-05,1.849835e-05,1.960036e-05,1.968621e-05,2.064790e-05,2.105103e-05,2.163827e-05,2.231496e-05,2.256978e-05,2.344161e-05,2.347524e-05,2.425371e-05,2.453154e-05,2.500668e-05,2.548547e-05,2.570163e-05,2.634011e-05,2.692399e-05,2.709964e-05,2.745537e-05,2.776894e-05,2.793652e-05,2.835340e-05,2.836984e-05,2.875782e-05,2.885867e-05,2.910293e-05,2.929044e-05,2.940762e-05,2.965432e-05,2.967431e-05,2.990537e-05,2.995578e-05,3.010308e-05,3.020005e-05,3.026962e-05,3.039207e-05,3.040710e-05,3.051751e-05,3.053651e-05,3.060276e-05,3.063775e-05,3.066465e-05,3.069984e-05,3.070490e-05,3.072509e-05,3.072656e-05,3.072675e-05,3.072139e-05,3.071131e-05,3.068754e-05,3.068010e-05,3.063438e-05,3.062797e-05,3.057531e-05,3.054539e-05,3.050401e-05,3.044228e-05,3.042151e-05,3.032876e-05,3.032093e-05,3.022667e-05,3.018341e-05,3.011608e-05,3.003163e-05,2.999776e-05,2.987246e-05,2.986731e-05,2.974085e-05,2.969205e-05,2.960357e-05,2.950728e-05,2.946121e-05,2.931431e-05,2.916339e-05,2.911433e-05,2.900893e-05,2.890841e-05,2.885136e-05,2.869756e-05,2.869110e-05,2.852852e-05,2.848264e-05,2.836399e-05,2.826446e-05,2.819782e-05,2.804376e-05,2.803031e-05,2.786176e-05,2.782118e-05,2.769242e-05,2.759733e-05,2.752252e-05,2.737273e-05,2.735229e-05,2.718194e-05,2.714787e-05,2.701164e-05,2.692317e-05,2.684158e-05,2.669903e-05,2.667192e-05,2.650279e-05,2.647579e-05,2.633433e-05,2.625375e-05,2.616667e-05,2.603319e-05,2.599992e-05,2.583417e-05,2.581436e-05,2.566953e-05,2.559746e-05,2.550608e-05,2.538269e-05,2.534389e-05,2.518303e-05,2.517022e-05,2.502357e-05,2.496018e-05,2.486555e-05,2.475271e-05,2.470904e-05,2.455408e-05,2.454791e-05,2.440069e-05,2.434587e-05,2.424893e-05,2.414667e-05,2.409881e-05,2.395037e-05,2.375703e-05,2.356668e-05,2.337936e-05,2.319510e-05,2.301389e-05,2.283576e-05,2.266070e-05,2.248871e-05,2.231978e-05,2.215390e-05,2.199103e-05,2.183117e-05,2.167429e-05,2.152035e-05,2.136933e-05,2.122119e-05,2.107590e-05,2.093342e-05,2.079370e-05,2.065672e-05,2.052243e-05,2.039079e-05,2.026176e-05,2.013528e-05
0.000000e+00,5.462592e-15,4.920721e-14,1.302119e-12,1.146893e-11,3.108877e-11,2.678190e-10,2.894285e-10,1.608747e-09,2.439800e-09,6.454832e-09,1.327838e-08,2.068824e-08,5.220139e-08,5.626794e-08,1.350229e-07,1.640241e-07,2.935300e-07,4.374194e-07,5.890066e-07,1.028679e-06,1.105993e-06,1.963496e-06,2.189187e-06,3.322226e-06,4.294234e-06,5.391554e-06,7.870599e-06,8.435829e-06,1.277973e-05,1.362043e-05,1.881239e-05,2.243927e-05,2.699002e-05,3.542658e-05,3.783696e-05,5.194484e-05,5.388744e-05,6.997008e-05,7.932486e-05,9.262949e-05,1.134227e-04,1.206943e-04,1.549822e-04,1.580195e-04,1.963489e-04,2.150747e-04,2.456771e-04,2.866276e-04,3.038659e-04,3.718189e-04,3.747528e-04,4.504315e-04,4.815109e-04,5.405791e-04,6.089001e-04,6.431048e-04,7.588073e-04,8.884300e-04,9.329620e-04,1.032651e-03,1.132895e-03,1.192073e-03,1.359903e-03,1.367217e-03,1.558512e-03,1.615016e-03,1.766293e-03,1.898976e-03,1.990795e-03,2.212221e-03,2.232151e-03,2.490389e-03,2.554873e-03,2.765435e-03,2.926740e-03,3.057110e-03,3.327319e-03,3.365133e-03,3.689130e-03,3.755806e-03,4.028628e-03,4.211111e-03,4.383070e-03,4.691882e-03,4.751814e-03,5.134144e-03,5.196526e-03,5.529273e-03,5.723235e-03,5.936354e-03,6.270018e-03,6.354483e-03,6.782713e-03,6.834733e-03,7.220054e-03,7.415109e-03,7.665488e-03,8.008789e-03,8.117972e-03,8.576447e-03,8.613351e-03,9.039844e-03,9.226341e-03,9.507093e-03,9.845299e-03,9.977129e-03,1.044890e-02,1.046779e-02,1.092135e-02,1.109141e-02,1.139349e-02,1.171384e-02,1.186430e-02,1.233283e-02,1.279816e-02,1.294624e-02,1.325938e-02,1.355203e-02,1.371567e-02,1.414829e-02,1.416620e-02,1.461021e-02,1.473327e-02,1.504700e-02,1.530532e-02,1.547589e-02,1.586297e-02,1.589627e-02,1.630757e-02,1.640487e-02,1.670926e-02,1.692984e-02,1.710088e-02,1.743684e-02,1.748201e-02,1.785227e-02,1.792499e-02,1.821134e-02,1.839353e-02,1.855893e-02,1.884186e-02,1.889481e-02,1.921878e-02,1.926950e-02,1.953070e-02,1.967611e-02,1.983046e-02,2.006145e-02,2.011797e-02,2.039321e-02,2.042541e-02,2.065617e-02,2.076798e-02,2.090687e-02,2.108925e-02,2.114538e-02,2.137179e-02,2.138939e-02,2.158622e-02,2.166866e-02,2.178879e-02,2.192740e-02,2.197968e-02,2.215906e-02,2.216600e-02,2.232713e-02,2.238492e-02,2.248413e-02,2.258467e-02,2.263026e-02,2.276580e-02,2.292890e-02,2.307460e-02,2.320353e-02,2.331637e-02,2.341380e-02,2.349651e-02,2.356519e-02,2.362054e-02,2.366326e-02,2.369403e-02,2.371355e-02,2.372247e-02,2.372146e-02,2.371117e-02,2.369220e-02,2.366518e-02,2.363070e-02,2.358930e-02,2.354155e-02,2.348797e-02,2.342906e-02,2.336530e-02,2.329716e-02,2.322506e-02
0.000000e+00,1.590287e-15,1.417198e-14,3.665212e-13,3.160359e-12,8.465968e-12,7.070260e-11,7.631003e-11,4.110791e-10,6.181166e-10,1.600382e-09,3.235158e-09,4.983529e-09,1.226119e-08,1.318819e-08,3.084059e-08,3.724228e-08,6.544083e-08,9.626943e-08,1.283611e-07,2.199474e-07,2.358773e-07,4.101072e-07,4.553612e-07,6.797271e-07,8.691765e-07,1.080372e-06,1.549154e-06,1.654665e-06,2.451862e-06,2.603712e-06,3.527144e-06,4.159542e-06,4.940594e-06,6.357569e-06,6.755932e-06,9.039061e-06,9.347635e-06,1.185650e-05,1.328241e-05,1.527380e-05,1.831100e-05,1.935390e-05,2.415564e-05,2.457260e-05,2.973236e-05,3.219073e-05,3.613063e-05,4.126816e-05,4.338917e-05,5.153806e-05,5.188286e-05,6.059800e-05,6.408502e-05,7.057998e-05,7.789534e-05,8.148506e-05,9.330437e-05,1.060193e-04,1.102730e-04,1.196021e-04,1.287340e-04,1.340162e-04,1.485942e-04,1.492167e-04,1.651519e-04,1.697377e-04,1.817635e-04,1.920288e-04,1.989878e-04,2.153166e-04,2.167564e-04,2.349979e-04,2.394380e-04,2.536379e-04,2.642222e-04,2.726008e-04,2.894945e-04,2.918101e-04,3.111897e-04,3.150794e-04,3.306642e-04,3.408040e-04,3.501602e-04,3.665013e-04,3.696065e-04,3.889347e-04,3.920118e-04,4.080798e-04,4.171863e-04,4.269806e-04,4.418869e-04,4.455801e-04,4.638252e-04,4.659885e-04,4.816678e-04,4.893795e-04,4.990640e-04,5.119623e-04,5.159747e-04,5.323655e-04,5.336533e-04,5.482063e-04,5.543828e-04,5.634717e-04,5.740944e-04,5.781404e-04,5.921955e-04,5.927448e-04,6.056239e-04,6.103028e-04,6.184162e-04,6.267486e-04,6.305667e-04,6.420728e-04,6.529350e-04,6.562754e-04,6.631566e-04,6.693649e-04,6.727435e-04,6.813572e-04,6.817037e-04,6.900475e-04,6.922749e-04,6.977868e-04,7.021458e-04,7.049351e-04,7.110026e-04,7.115075e-04,7.175201e-04,7.188817e-04,7.229901e-04,7.258228e-04,7.279352e-04,7.318675e-04,7.323741e-04,7.363259e-04,7.370594e-04,7.398097e-04,7.414429e-04,7.428453e-04,7.450631e-04,7.454522e-04,7.476502e-04,7.479652e-04,7.494588e-04,7.501942e-04,7.508972e-04,7.517945e-04,7.519848e-04,7.527401e-04,7.528093e-04,7.531817e-04,7.532812e-04,7.533274e-04,7.532510e-04,7.531947e-04,7.528007e-04,7.527583e-04,7.521616e-04,7.518410e-04,7.512935e-04,7.505351e-04,7.502115e-04,7.489306e-04,7.488754e-04,7.474648e-04,7.468945e-04,7.458277e-04,7.446232e-04,7.440322e-04,7.420909e-04,7.393250e-04,7.363511e-04,7.331934e-04,7.298742e-04,7.264144e-04,7.228334e-04,7.191492e-04,7.153783e-04,7.115361e-04,7.076365e-04,7.036926e-04,6.997161e-04,6.957178e-04,6.917076e-04,6.876945e-04,6.836866e-04,6.796911e-04,6.757149e-04,6.717638e-04,6.678431e-04,6.639578e-04,6.601119e-04,6.563092e-04,6.525531e-04
0.000000e+00,8.389416e-16,7.451030e-15,1.914081e-13,1.639797e-12,4.376584e-12,3.618598e-11,3.903924e-11,2.080130e-10,3.117860e-10,8.004899e-10,1.606396e-09,2.462106e-09,5.984787e-09,6.430276e-09,1.482805e-08,1.784391e-08,3.100523e-08,4.522988e-08,5.990858e-08,1.013078e-07,1.084520e-07,1.858464e-07,2.057750e-07,3.038433e-07,3.859260e-07,4.768555e-07,6.771015e-07,7.219333e-07,1.058588e-06,1.122371e-06,1.508474e-06,1.771449e-06,2.094958e-06,2.678959e-06,2.842577e-06,3.776450e-06,3.902226e-06,4.921640e-06,5.498786e-06,6.302504e-06,7.523813e-06,7.942068e-06,9.861434e-06,1.002765e-05,1.207924e-05,1.305356e-05,1.461121e-05,1.663584e-05,1.746972e-05,2.066356e-05,2.079837e-05,2.419770e-05,2.555361e-05,2.807317e-05,3.090213e-05,3.228705e-05,3.683254e-05,4.169909e-05,4.332199e-05,4.687264e-05,5.033694e-05,5.233585e-05,5.783428e-05,5.806848e-05,6.404772e-05,6.576274e-05,7.024857e-05,7.406440e-05,7.664431e-05,8.267639e-05,8.320685e-05,8.990716e-05,9.153246e-05,9.671571e-05,1.005647e-04,1.036028e-04,1.097049e-04,1.105389e-04,1.174950e-04,1.188862e-04,1.244431e-04,1.280439e-04,1.313561e-04,1.371170e-04,1.382083e-04,1.449754e-04,1.460487e-04,1.516349e-04,1.547870e-04,1.581660e-04,1.632856e-04,1.645497e-04,1.707690e-04,1.715036e-04,1.768089e-04,1.794061e-04,1.826560e-04,1.869638e-04,1.882990e-04,1.937286e-04,1.941535e-04,1.989369e-04,2.009568e-04,2.039179e-04,2.073611e-04,2.086674e-04,2.131823e-04,2.133580e-04,2.174613e-04,2.189439e-04,2.215041e-04,2.241187e-04,2.253117e-04,2.288862e-04,2.322306e-04,2.332528e-04,2.353488e-04,2.372278e-04,2.382453e-04,2.408225e-04,2.409256e-04,2.433954e-04,2.440500e-04,2.456609e-04,2.469249e-04,2.477288e-04,2.494628e-04,2.496061e-04,2.512999e-04,2.516799e-04,2.528176e-04,2.535933e-04,2.541665e-04,2.552199e-04,2.553541e-04,2.563880e-04,2.565769e-04,2.572754e-04,2.576814e-04,2.580237e-04,2.585501e-04,2.586401e-04,2.591317e-04,2.591993e-04,2.595054e-04,2.596449e-04,2.597680e-04,2.599023e-04,2.599258e-04,2.599853e-04,2.599861e-04,2.599524e-04,2.599103e-04,2.598332e-04,2.596881e-04,2.596330e-04,2.593574e-04,2.593323e-04,2.590115e-04,2.588546e-04,2.586002e-04,2.582662e-04,2.581281e-04,2.575998e-04,2.575775e-04,2.570193e-04,2.567984e-04,2.563907e-04,2.559378e-04,2.557179e-04,2.550044e-04,2.540058e-04,2.529495e-04,2.518421e-04,2.506898e-04,2.494983e-04,2.482729e-04,2.470184e-04,2.457393e-04,2.444395e-04,2.431229e-04,2.417927e-04,2.404520e-04,2.391037e-04,2.377504e-04,2.363943e-04,2.350376e-04,2.336822e-04,2.323298e-04,2.309820e-04,2.296402e-04,2.283057e-04,2.269796e-04,2.256629e-04,2.243566e-04
0.000000e+00,9.081213e-16,8.125246e-15,2.119229e-13,1.841708e-12,4.955129e-12,4.185801e-11,4.519899e-11,2.463131e-10,3.715402e-10,9.696714e-10,1.972915e-09,3.052002e-09,7.580195e-09,8.159841e-09,1.927037e-08,2.332426e-08,4.128293e-08,6.105543e-08,8.175238e-08,1.412955e-07,1.517113e-07,2.665174e-07,2.965637e-07,4.466391e-07,5.745759e-07,7.182936e-07,1.040725e-06,1.113863e-06,1.672040e-06,1.779353e-06,2.437696e-06,2.893569e-06,3.461453e-06,4.503571e-06,4.799008e-06,6.510230e-06,6.743652e-06,8.658067e-06,9.758097e-06,1.130732e-05,1.369634e-05,1.452336e-05,1.837073e-05,1.870769e-05,2.291187e-05,2.493594e-05,2.820576e-05,3.251419e-05,3.430675e-05,4.126341e-05,4.156009e-05,4.911760e-05,5.217169e-05,5.790366e-05,6.442412e-05,6.764768e-05,7.836711e-05,9.007040e-05,9.402339e-05,1.027569e-04,1.113881e-04,1.164169e-04,1.304291e-04,1.310317e-04,1.465741e-04,1.510876e-04,1.630087e-04,1.732803e-04,1.802927e-04,1.969014e-04,1.983762e-04,2.172032e-04,2.218255e-04,2.367120e-04,2.479104e-04,2.568368e-04,2.750005e-04,2.775075e-04,2.986513e-04,3.029302e-04,3.201932e-04,3.315270e-04,3.420568e-04,3.606147e-04,3.641654e-04,3.864420e-04,3.900168e-04,4.088109e-04,4.195587e-04,4.311974e-04,4.490707e-04,4.535293e-04,4.757366e-04,4.783899e-04,4.977524e-04,5.073622e-04,5.195132e-04,5.358437e-04,5.409589e-04,5.620337e-04,5.637021e-04,5.826857e-04,5.908174e-04,6.028674e-04,6.170825e-04,6.225354e-04,6.416510e-04,6.424036e-04,6.601797e-04,6.667005e-04,6.780915e-04,6.899057e-04,6.953605e-04,7.119650e-04,7.278875e-04,7.328362e-04,7.431140e-04,7.524890e-04,7.576345e-04,7.709038e-04,7.714424e-04,7.845342e-04,7.880715e-04,7.969097e-04,8.039921e-04,8.085714e-04,8.186741e-04,8.195244e-04,8.297764e-04,8.321336e-04,8.393371e-04,8.443934e-04,8.482182e-04,8.554820e-04,8.564331e-04,8.639969e-04,8.654329e-04,8.709259e-04,8.742838e-04,8.772376e-04,8.820759e-04,8.829505e-04,8.880839e-04,8.888528e-04,8.926578e-04,8.946606e-04,8.966927e-04,8.995466e-04,9.002095e-04,9.032292e-04,9.035591e-04,9.057731e-04,9.067472e-04,9.078626e-04,9.091596e-04,9.095187e-04,9.107626e-04,9.108449e-04,9.116151e-04,9.118511e-04,9.120967e-04,9.122251e-04,9.122276e-04,9.120275e-04,9.120129e-04,9.115157e-04,9.112587e-04,9.107109e-04,9.100057e-04,9.096316e-04,9.082952e-04,9.061668e-04,9.036583e-04,9.008056e-04,8.976428e-04,8.942022e-04,8.905143e-04,8.866074e-04,8.825085e-04,8.782425e-04,8.738327e-04,8.693008e-04,8.646669e-04,8.599494e-04,8.551656e-04,8.503314e-04,8.454612e-04,8.405683e-04,8.356650e-04,8.307623e-04,8.258701e-04,8.209977e-04,8.161531e-04,8.113438e-04,8.065763e-04
0.000000e+00,4.051380e-15,3.636597e-14,9.555911e-13,8.368316e-12,2.262075e-11,1.938114e-10,2.094168e-10,1.161996e-09,1.762827e-09,4.675947e-09,9.659698e-09,1.510866e-08,3.858440e-08,4.164171e-08,1.016983e-07,1.241217e-07,2.255862e-07,3.400920e-07,4.620727e-07,8.207160e-07,8.842960e-07,1.595336e-06,1.783667e-06,2.732886e-06,3.549709e-06,4.472612e-06,6.555814e-06,7.030003e-06,1.066061e-05,1.136024e-05,1.565872e-05,1.863927e-05,2.235462e-05,2.917615e-05,3.111043e-05,4.231495e-05,4.384331e-05,5.637757e-05,6.357928e-05,7.372146e-05,8.936173e-05,9.477638e-05,1.199711e-04,1.221782e-04,1.497260e-04,1.629962e-04,1.844457e-04,2.127333e-04,2.245116e-04,2.702762e-04,2.722299e-04,3.220561e-04,3.422239e-04,3.801274e-04,4.233293e-04,4.447211e-04,5.160195e-04,5.941534e-04,6.206141e-04,6.792003e-04,7.372712e-04,7.711834e-04,8.659845e-04,8.700717e-04,9.757803e-04,1.006584e-03,1.088172e-03,1.158740e-03,1.207060e-03,1.321974e-03,1.332210e-03,1.463342e-03,1.495670e-03,1.600138e-03,1.679086e-03,1.742240e-03,1.871373e-03,1.889261e-03,2.040784e-03,2.071591e-03,2.196369e-03,2.278726e-03,2.355556e-03,2.491711e-03,2.517872e-03,2.682832e-03,2.709439e-03,2.849948e-03,2.930784e-03,3.018727e-03,3.154618e-03,3.188679e-03,3.359320e-03,3.379821e-03,3.530174e-03,3.605298e-03,3.700778e-03,3.829992e-03,3.870682e-03,4.039453e-03,4.052893e-03,4.206676e-03,4.273044e-03,4.371960e-03,4.489553e-03,4.534931e-03,4.695243e-03,4.701595e-03,4.852571e-03,4.908420e-03,5.006615e-03,5.109349e-03,5.157102e-03,5.303783e-03,5.446433e-03,5.491197e-03,5.584855e-03,5.671144e-03,5.718874e-03,5.843250e-03,5.848340e-03,5.973126e-03,6.007213e-03,6.093130e-03,6.162800e-03,6.208267e-03,6.309844e-03,6.318479e-03,6.423722e-03,6.448238e-03,6.523975e-03,6.577935e-03,6.619233e-03,6.698936e-03,6.709506e-03,6.794822e-03,6.811294e-03,6.875221e-03,6.915103e-03,6.950757e-03,7.010497e-03,7.021496e-03,7.087515e-03,7.097645e-03,7.148899e-03,7.176746e-03,7.205745e-03,7.248023e-03,7.258156e-03,7.306240e-03,7.311725e-03,7.350115e-03,7.368117e-03,7.389900e-03,7.417477e-03,7.425719e-03,7.457702e-03,7.460099e-03,7.485979e-03,7.496282e-03,7.510682e-03,7.526331e-03,7.531946e-03,7.549904e-03,7.550556e-03,7.564693e-03,7.569267e-03,7.576447e-03,7.582773e-03,7.585298e-03,7.591381e-03,7.595393e-03,7.595104e-03,7.590805e-03,7.582778e-03,7.571294e-03,7.556618e-03,7.539005e-03,7.518698e-03,7.495929e-03,7.470924e-03,7.443890e-03,7.415033e-03,7.384540e-03,7.352592e-03,7.319358e-03,7.284998e-03,7.249662e-03,7.213490e-03,7.176615e-03,7.139156e-03,7.101230e-03,7.062940e-03,7.024385e-03,6.985655e-03
0.000000e+00,1.774044e-12,1.235076e-11,1.936590e-10,1.073960e-09,2.272259e-09,1.054464e-08,1.111977e-08,3.458353e-08,4.504613e-08,8.217922e-08,1.265618e-07,1.641448e-07,2.790397e-07,2.911089e-07,4.739902e-07,5.274134e-07,7.235289e-07,8.959650e-07,1.049040e-06,1.403474e-06,1.456887e-06,1.949835e-06,2.058657e-06,2.527662e-06,2.861034e-06,3.188298e-06,3.805050e-06,3.928745e-06,4.745507e-06,4.883015e-06,5.634674e-06,6.085931e-06,6.591886e-06,7.403394e-06,7.612275e-06,8.690453e-06,8.823443e-06,9.820554e-06,1.033265e-05,1.099632e-05,1.191641e-05,1.221119e-05,1.345849e-05,1.355947e-05,1.473146e-05,1.524634e-05,1.602347e-05,1.696186e-05,1.732805e-05,1.863903e-05,1.869152e-05,1.995059e-05,2.042184e-05,2.125733e-05,2.214062e-05,2.255431e-05,2.383708e-05,2.510165e-05,2.550188e-05,2.634450e-05,2.712712e-05,2.756261e-05,2.870631e-05,2.875338e-05,2.991463e-05,3.023424e-05,3.104456e-05,3.170687e-05,3.214173e-05,3.312122e-05,3.320501e-05,3.423358e-05,3.447520e-05,3.522686e-05,3.576755e-05,3.618450e-05,3.699763e-05,3.710636e-05,3.799247e-05,3.816541e-05,3.884299e-05,3.927129e-05,3.965823e-05,4.031607e-05,4.043861e-05,4.118463e-05,4.130084e-05,4.189687e-05,4.222694e-05,4.257598e-05,4.309588e-05,4.322266e-05,4.383764e-05,4.390935e-05,4.442170e-05,4.466909e-05,4.497562e-05,4.537695e-05,4.550022e-05,4.599632e-05,4.603480e-05,4.646475e-05,4.664456e-05,4.690634e-05,4.720814e-05,4.732193e-05,4.771233e-05,4.772744e-05,4.807838e-05,4.820434e-05,4.842087e-05,4.864072e-05,4.874061e-05,4.903839e-05,4.931497e-05,4.939913e-05,4.957113e-05,4.972469e-05,4.980760e-05,5.001677e-05,5.002511e-05,5.022438e-05,5.027700e-05,5.040609e-05,5.050698e-05,5.057093e-05,5.070825e-05,5.071956e-05,5.085261e-05,5.088230e-05,5.097072e-05,5.103056e-05,5.107450e-05,5.115443e-05,5.116452e-05,5.124138e-05,5.125522e-05,5.130563e-05,5.133423e-05,5.135780e-05,5.139268e-05,5.139842e-05,5.142801e-05,5.143175e-05,5.144705e-05,5.145258e-05,5.145601e-05,5.145625e-05,5.145537e-05,5.144556e-05,5.144379e-05,5.142703e-05,5.141621e-05,5.140018e-05,5.137446e-05,5.136542e-05,5.132314e-05,5.131944e-05,5.127371e-05,5.125202e-05,5.121751e-05,5.117304e-05,5.115487e-05,5.108614e-05,5.108327e-05,5.101165e-05,5.098348e-05,5.093170e-05,5.087438e-05,5.084660e-05,5.075665e-05,5.063095e-05,5.049789e-05,5.035807e-05,5.021203e-05,5.006032e-05,4.990343e-05,4.974183e-05,4.957600e-05,4.940634e-05,4.923327e-05,4.905717e-05,4.887840e-05,4.869731e-05,4.851421e-05,4.832941e-05,4.814321e-05,4.795586e-05,4.776763e-05,4.757875e-05,4.738945e-05,4.719993e-05,4.701041e-05,4.682105e-05,4.663204e-05
0.000000e+00,1.440820e-15,1.294392e-14,3.405186e-13,2.983270e-12,8.063174e-12,6.895014e-11,7.449162e-11,4.111946e-10,6.225016e-10,1.639961e-09,3.363100e-09,5.230111e-09,1.314974e-08,1.417039e-08,3.391454e-08,4.118044e-08,7.362339e-08,1.096818e-07,1.476912e-07,2.580622e-07,2.774873e-07,4.931891e-07,5.500199e-07,8.355533e-07,1.080679e-06,1.357476e-06,1.982717e-06,2.125217e-06,3.219203e-06,3.430654e-06,4.734340e-06,5.642735e-06,6.779836e-06,8.880196e-06,9.478512e-06,1.296565e-05,1.344393e-05,1.738742e-05,1.966878e-05,2.289890e-05,2.791577e-05,2.966184e-05,3.784214e-05,3.856281e-05,4.760724e-05,5.199437e-05,5.912337e-05,6.859054e-05,7.255278e-05,8.805108e-05,8.871615e-05,1.057647e-04,1.127103e-04,1.258285e-04,1.408767e-04,1.483636e-04,1.734755e-04,2.012526e-04,2.107161e-04,2.317646e-04,2.527517e-04,2.650619e-04,2.996761e-04,3.011748e-04,3.401131e-04,3.515212e-04,3.818662e-04,4.082573e-04,4.264034e-04,4.697935e-04,4.736742e-04,5.236094e-04,5.359810e-04,5.761218e-04,6.066163e-04,6.311075e-04,6.814465e-04,6.884473e-04,7.480080e-04,7.601741e-04,8.096441e-04,8.424634e-04,8.731989e-04,9.279468e-04,9.385068e-04,1.005395e-03,1.016231e-03,1.073683e-03,1.106905e-03,1.143188e-03,1.199543e-03,1.213724e-03,1.285103e-03,1.293716e-03,1.357137e-03,1.388992e-03,1.429641e-03,1.484944e-03,1.502429e-03,1.575323e-03,1.581153e-03,1.648146e-03,1.677217e-03,1.720729e-03,1.772749e-03,1.792909e-03,1.864529e-03,1.867380e-03,1.935440e-03,1.960768e-03,2.005502e-03,2.052592e-03,2.074583e-03,2.142559e-03,2.209315e-03,2.230403e-03,2.274747e-03,2.315884e-03,2.338758e-03,2.398791e-03,2.401261e-03,2.462178e-03,2.478941e-03,2.521439e-03,2.556176e-03,2.578985e-03,2.630366e-03,2.634762e-03,2.688728e-03,2.701406e-03,2.740846e-03,2.769214e-03,2.791087e-03,2.833731e-03,2.839431e-03,2.885863e-03,2.894919e-03,2.930374e-03,2.952760e-03,2.972962e-03,3.007254e-03,3.013632e-03,3.052392e-03,3.058417e-03,3.089256e-03,3.106283e-03,3.124243e-03,3.150895e-03,3.157375e-03,3.188677e-03,3.192312e-03,3.218181e-03,3.230601e-03,3.245918e-03,3.265838e-03,3.271923e-03,3.296236e-03,3.298109e-03,3.318894e-03,3.327504e-03,3.339941e-03,3.354121e-03,3.359419e-03,3.377373e-03,3.378060e-03,3.393848e-03,3.399426e-03,3.408890e-03,3.418324e-03,3.422546e-03,3.434864e-03,3.449154e-03,3.461303e-03,3.471419e-03,3.479610e-03,3.485982e-03,3.490638e-03,3.493680e-03,3.495206e-03,3.495313e-03,3.494093e-03,3.491637e-03,3.488030e-03,3.483357e-03,3.477697e-03,3.471126e-03,3.463717e-03,3.455540e-03,3.446660e-03,3.437140e-03,3.427039e-03,3.416414e-03,3.405317e-03,3.393799e-03,3.381905e-03
0.000000e+00,6.967579e-15,6.218607e-14,1.613774e-12,1.396115e-11,3.747197e-11,3.146773e-10,3.397167e-10,1.841830e-09,2.774822e-09,7.222468e-09,1.467007e-08,2.267476e-08,5.625821e-08,6.055824e-08,1.430602e-07,1.731992e-07,3.068988e-07,4.543514e-07,6.088736e-07,1.053885e-06,1.131758e-06,1.989835e-06,2.214226e-06,3.333382e-06,4.285093e-06,5.351583e-06,7.734741e-06,8.273606e-06,1.236774e-05,1.315146e-05,1.793875e-05,2.123526e-05,2.532354e-05,3.278080e-05,3.488554e-05,4.700799e-05,4.865345e-05,6.208647e-05,6.976060e-05,8.052108e-05,9.702029e-05,1.027083e-04,1.290332e-04,1.313291e-04,1.598615e-04,1.735309e-04,1.955328e-04,2.243886e-04,2.363538e-04,2.825929e-04,2.845585e-04,3.344752e-04,3.545701e-04,3.921788e-04,4.348102e-04,4.558324e-04,5.255128e-04,6.012445e-04,6.267537e-04,6.830001e-04,7.384506e-04,7.707006e-04,8.603676e-04,8.642180e-04,9.633769e-04,9.921237e-04,1.067959e-03,1.133204e-03,1.177704e-03,1.282977e-03,1.292318e-03,1.411473e-03,1.440707e-03,1.534814e-03,1.605574e-03,1.661965e-03,1.776694e-03,1.792528e-03,1.926095e-03,1.953132e-03,2.062247e-03,2.133926e-03,2.200558e-03,2.318098e-03,2.340605e-03,2.481963e-03,2.504674e-03,2.624215e-03,2.692693e-03,2.766952e-03,2.881225e-03,2.909779e-03,3.052310e-03,3.069377e-03,3.194180e-03,3.256303e-03,3.335039e-03,3.441211e-03,3.474556e-03,3.612420e-03,3.623368e-03,3.748341e-03,3.802105e-03,3.882052e-03,3.976816e-03,4.013306e-03,4.141879e-03,4.146963e-03,4.267567e-03,4.312073e-03,4.390188e-03,4.471737e-03,4.509583e-03,4.625611e-03,4.738150e-03,4.773409e-03,4.847101e-03,4.914906e-03,4.952378e-03,5.049928e-03,5.053917e-03,5.151666e-03,5.178351e-03,5.245590e-03,5.300100e-03,5.335670e-03,5.415141e-03,5.421897e-03,5.504277e-03,5.523478e-03,5.582827e-03,5.625151e-03,5.657572e-03,5.720230e-03,5.728550e-03,5.795804e-03,5.808813e-03,5.859389e-03,5.891021e-03,5.919362e-03,5.966996e-03,5.975789e-03,6.028742e-03,6.036896e-03,6.078295e-03,6.100896e-03,6.124528e-03,6.159180e-03,6.167524e-03,6.207369e-03,6.211943e-03,6.244151e-03,6.259387e-03,6.277959e-03,6.301721e-03,6.308885e-03,6.337021e-03,6.339154e-03,6.362459e-03,6.371900e-03,6.385292e-03,6.400171e-03,6.405613e-03,6.423515e-03,6.424182e-03,6.439088e-03,6.444142e-03,6.452423e-03,6.460259e-03,6.463611e-03,6.472739e-03,6.481781e-03,6.487582e-03,6.490332e-03,6.490217e-03,6.487414e-03,6.482097e-03,6.474434e-03,6.464584e-03,6.452702e-03,6.438936e-03,6.423426e-03,6.406309e-03,6.387713e-03,6.367761e-03,6.346570e-03,6.324250e-03,6.300908e-03,6.276643e-03,6.251549e-03,6.225717e-03,6.199230e-03,6.172167e-03,6.144605e-03,6.116613e-03
0.000000e+00,1.193417e-11,7.865928e-11,1.110384e-09,5.653079e-09,1.145949e-08,4.824079e-08,5.069019e-08,1.457084e-07,1.862645e-07,3.256157e-07,4.864980e-07,6.197216e-07,1.016466e-06,1.057472e-06,1.668660e-06,1.844465e-06,2.482870e-06,3.037879e-06,3.527391e-06,4.653903e-06,4.823077e-06,6.378482e-06,6.720275e-06,8.184538e-06,9.214149e-06,1.021340e-05,1.205941e-05,1.242318e-05,1.476622e-05,1.515033e-05,1.719652e-05,1.838204e-05,1.967405e-05,2.166763e-05,2.216574e-05,2.464498e-05,2.494059e-05,2.709045e-05,2.815122e-05,2.948503e-05,3.126233e-05,3.181500e-05,3.406941e-05,3.424623e-05,3.623976e-05,3.708285e-05,3.831961e-05,3.975843e-05,4.030438e-05,4.219110e-05,4.226451e-05,4.397817e-05,4.459701e-05,4.566515e-05,4.675537e-05,4.725260e-05,4.874192e-05,5.013516e-05,5.056111e-05,5.143489e-05,5.221901e-05,5.264409e-05,5.372279e-05,5.376604e-05,5.480421e-05,5.508038e-05,5.576221e-05,5.630006e-05,5.664372e-05,5.739034e-05,5.745245e-05,5.819206e-05,5.835969e-05,5.886619e-05,5.921642e-05,5.947837e-05,5.996859e-05,6.003206e-05,6.053056e-05,6.062392e-05,6.097708e-05,6.118976e-05,6.137472e-05,6.167312e-05,6.172643e-05,6.203503e-05,6.208058e-05,6.230320e-05,6.241832e-05,6.253350e-05,6.269210e-05,6.272835e-05,6.289007e-05,6.290736e-05,6.302085e-05,6.306912e-05,6.312274e-05,6.318207e-05,6.319770e-05,6.324759e-05,6.325055e-05,6.327415e-05,6.327861e-05,6.327903e-05,6.326999e-05,6.326378e-05,6.322986e-05,6.322814e-05,6.317867e-05,6.315626e-05,6.311149e-05,6.305731e-05,6.302956e-05,6.293402e-05,6.282596e-05,6.278891e-05,6.270640e-05,6.262429e-05,6.257629e-05,6.244230e-05,6.243653e-05,6.228797e-05,6.224491e-05,6.213140e-05,6.203392e-05,6.196756e-05,6.181100e-05,6.179714e-05,6.162081e-05,6.157768e-05,6.143917e-05,6.133535e-05,6.125279e-05,6.108529e-05,6.106222e-05,6.086795e-05,6.082870e-05,6.067046e-05,6.056663e-05,6.047017e-05,6.030008e-05,6.026751e-05,6.006285e-05,6.002995e-05,5.985656e-05,5.975705e-05,5.964896e-05,5.948214e-05,5.944036e-05,5.923106e-05,5.920591e-05,5.902132e-05,5.892896e-05,5.881138e-05,5.865185e-05,5.860150e-05,5.839186e-05,5.837511e-05,5.818269e-05,5.809919e-05,5.797415e-05,5.782450e-05,5.776643e-05,5.755968e-05,5.755143e-05,5.735403e-05,5.728030e-05,5.714964e-05,5.701142e-05,5.694661e-05,5.674507e-05,5.648147e-05,5.622084e-05,5.596338e-05,5.570924e-05,5.545856e-05,5.521148e-05,5.496810e-05,5.472850e-05,5.449277e-05,5.426097e-05,5.403313e-05,5.380931e-05,5.358952e-05,5.337379e-05,5.316212e-05,5.295451e-05,5.275097e-05,5.255147e-05,5.235600e-05,5.216454e-05,5.197705e-05,5.179351e-05,5.161388e-05,5.143811e-05
0.000000e+00,1.011195e-14,8.956600e-14,2.287002e-12,1.948706e-11,5.185893e-11,4.256903e-10,4.591271e-10,2.430730e-09,3.637648e-09,9.306429e-09,1.863184e-08,2.852099e-08,6.919684e-08,7.434036e-08,1.713667e-07,2.062503e-07,3.587168e-07,5.238617e-07,6.945818e-07,1.177204e-06,1.260610e-06,2.165384e-06,2.398570e-06,3.546356e-06,4.506756e-06,5.569826e-06,7.906637e-06,8.428908e-06,1.233967e-05,1.307840e-05,1.753577e-05,2.055811e-05,2.426209e-05,3.091232e-05,3.276770e-05,4.329867e-05,4.470985e-05,5.609104e-05,6.249338e-05,7.136425e-05,8.475324e-05,8.931526e-05,1.101135e-04,1.119048e-04,1.338969e-04,1.442704e-04,1.607686e-04,1.820673e-04,1.907951e-04,2.240053e-04,2.253999e-04,2.603900e-04,2.742580e-04,2.999034e-04,3.285194e-04,3.424640e-04,3.879571e-04,4.362375e-04,4.522485e-04,4.871330e-04,5.209889e-04,5.404476e-04,5.937052e-04,5.959653e-04,6.534541e-04,6.698711e-04,7.126696e-04,7.489229e-04,7.733591e-04,8.302736e-04,8.352647e-04,8.981271e-04,9.133277e-04,9.616885e-04,9.974935e-04,1.025696e-03,1.082194e-03,1.089902e-03,1.154070e-03,1.166879e-03,1.217973e-03,1.251026e-03,1.281397e-03,1.334156e-03,1.344142e-03,1.406021e-03,1.415830e-03,1.466865e-03,1.495655e-03,1.526517e-03,1.573286e-03,1.584838e-03,1.641703e-03,1.648424e-03,1.697005e-03,1.720817e-03,1.750648e-03,1.790258e-03,1.802553e-03,1.852655e-03,1.856583e-03,1.900900e-03,1.919668e-03,1.947247e-03,1.979426e-03,1.991669e-03,2.034145e-03,2.035804e-03,2.074668e-03,2.088778e-03,2.113238e-03,2.138353e-03,2.149862e-03,2.184557e-03,2.217345e-03,2.227439e-03,2.248253e-03,2.267063e-03,2.277315e-03,2.303513e-03,2.304569e-03,2.330054e-03,2.336879e-03,2.353817e-03,2.367266e-03,2.375903e-03,2.394783e-03,2.396361e-03,2.415244e-03,2.419547e-03,2.432602e-03,2.441676e-03,2.448488e-03,2.461294e-03,2.462957e-03,2.476061e-03,2.478523e-03,2.487856e-03,2.493489e-03,2.498394e-03,2.506313e-03,2.507728e-03,2.515911e-03,2.517116e-03,2.522994e-03,2.526018e-03,2.529028e-03,2.533134e-03,2.534064e-03,2.538149e-03,2.538577e-03,2.541330e-03,2.542456e-03,2.543654e-03,2.544875e-03,2.545166e-03,2.545908e-03,2.545936e-03,2.545923e-03,2.545735e-03,2.545251e-03,2.544365e-03,2.543932e-03,2.542003e-03,2.541914e-03,2.539500e-03,2.538466e-03,2.536459e-03,2.534100e-03,2.532912e-03,2.528893e-03,2.522916e-03,2.516236e-03,2.508917e-03,2.501019e-03,2.492599e-03,2.483710e-03,2.474401e-03,2.464719e-03,2.454709e-03,2.444409e-03,2.433860e-03,2.423095e-03,2.412149e-03,2.401052e-03,2.389833e-03,2.378518e-03,2.367132e-03,2.355696e-03,2.344234e-03,2.332763e-03,2.321302e-03,2.309866e-03,2.298472e-03,2.287132e-03
0.000000e+00,5.549312e-16,4.934550e-15,1.271011e-13,1.092741e-12,2.923886e-12,2.439688e-11,2.633285e-11,1.423181e-10,2.143710e-10,5.585522e-10,1.137412e-09,1.762530e-09,4.409472e-09,4.750634e-09,1.136344e-08,1.380335e-08,2.472907e-08,3.691050e-08,4.977202e-08,8.713100e-08,9.369964e-08,1.663659e-07,1.854129e-07,2.804385e-07,3.611359e-07,4.513375e-07,6.518332e-07,6.969522e-07,1.037171e-06,1.101794e-06,1.493278e-06,1.759821e-06,2.087260e-06,2.676498e-06,2.841087e-06,3.775995e-06,3.901314e-06,4.911825e-06,5.479925e-06,6.266420e-06,7.451765e-06,7.855120e-06,9.690356e-06,9.848125e-06,1.178134e-05,1.269076e-05,1.413387e-05,1.599106e-05,1.675022e-05,1.962915e-05,1.974971e-05,2.276596e-05,2.395690e-05,2.615265e-05,2.859280e-05,2.977815e-05,3.362857e-05,3.768753e-05,3.902746e-05,4.193646e-05,4.474613e-05,4.635500e-05,5.073613e-05,5.092134e-05,5.561260e-05,5.694534e-05,6.040520e-05,6.331944e-05,6.527518e-05,6.980327e-05,7.019854e-05,7.515154e-05,7.634208e-05,8.011099e-05,8.288270e-05,8.505446e-05,8.937445e-05,8.996053e-05,9.480893e-05,9.577001e-05,9.958076e-05,1.020260e-04,1.042585e-04,1.081034e-04,1.088262e-04,1.132693e-04,1.139678e-04,1.175752e-04,1.195899e-04,1.217326e-04,1.249451e-04,1.257319e-04,1.295650e-04,1.300135e-04,1.332255e-04,1.347800e-04,1.367082e-04,1.392338e-04,1.400094e-04,1.431268e-04,1.433682e-04,1.460590e-04,1.471801e-04,1.488062e-04,1.506699e-04,1.513690e-04,1.537495e-04,1.538409e-04,1.559502e-04,1.566991e-04,1.579745e-04,1.592523e-04,1.598265e-04,1.615107e-04,1.630323e-04,1.634857e-04,1.643965e-04,1.651897e-04,1.656091e-04,1.666362e-04,1.666762e-04,1.676038e-04,1.678394e-04,1.683982e-04,1.688136e-04,1.690658e-04,1.695734e-04,1.696129e-04,1.700458e-04,1.701334e-04,1.703708e-04,1.705080e-04,1.705941e-04,1.707114e-04,1.707218e-04,1.707598e-04,1.707572e-04,1.707139e-04,1.706587e-04,1.705896e-04,1.704287e-04,1.703924e-04,1.701274e-04,1.700791e-04,1.697997e-04,1.696215e-04,1.694140e-04,1.690667e-04,1.689748e-04,1.684866e-04,1.684249e-04,1.679534e-04,1.677056e-04,1.673792e-04,1.669177e-04,1.667677e-04,1.661223e-04,1.660694e-04,1.654465e-04,1.651683e-04,1.647432e-04,1.642215e-04,1.640154e-04,1.632659e-04,1.632355e-04,1.624972e-04,1.622163e-04,1.617117e-04,1.611691e-04,1.609117e-04,1.600992e-04,1.590108e-04,1.579082e-04,1.567950e-04,1.556746e-04,1.545500e-04,1.534240e-04,1.522988e-04,1.511769e-04,1.500599e-04,1.489498e-04,1.478479e-04,1.467557e-04,1.456743e-04,1.446047e-04,1.435479e-04,1.425045e-04,1.414753e-04,1.404608e-04,1.394614e-04,1.384776e-04,1.375096e-04,1.365577e-04,1.356222e-04,1.347030e-04
0.000000e+00,1.516742e-15,1.346706e-14,3.456673e-13,2.959770e-12,7.898190e-12,6.530896e-11,7.046024e-11,3.758826e-10,5.637171e-10,1.450108e-09,2.916405e-09,4.477826e-09,1.093875e-08,1.175876e-08,2.730082e-08,3.291251e-08,5.752849e-08,8.429809e-08,1.120452e-07,1.907274e-07,2.043498e-07,3.523999e-07,3.906148e-07,5.789344e-07,7.367114e-07,9.115128e-07,1.296211e-06,1.382264e-06,2.027371e-06,2.149368e-06,2.886320e-06,3.386804e-06,4.000986e-06,5.105864e-06,5.414593e-06,7.170607e-06,7.406378e-06,9.311618e-06,1.038619e-05,1.187824e-05,1.413680e-05,1.490808e-05,1.843484e-05,1.873935e-05,2.248744e-05,2.426118e-05,2.708941e-05,3.075314e-05,3.225838e-05,3.800567e-05,3.824768e-05,4.433617e-05,4.675780e-05,5.124824e-05,5.627678e-05,5.873383e-05,6.677873e-05,7.536291e-05,7.821974e-05,8.446098e-05,9.053965e-05,9.404269e-05,1.036641e-04,1.040735e-04,1.145154e-04,1.175072e-04,1.253271e-04,1.319737e-04,1.364654e-04,1.469621e-04,1.478849e-04,1.595397e-04,1.623667e-04,1.713831e-04,1.780804e-04,1.833685e-04,1.939968e-04,1.954502e-04,2.075833e-04,2.100122e-04,2.197243e-04,2.260270e-04,2.318319e-04,2.419474e-04,2.438665e-04,2.557910e-04,2.576864e-04,2.675708e-04,2.731643e-04,2.791740e-04,2.883096e-04,2.905713e-04,3.017362e-04,3.030592e-04,3.126450e-04,3.173583e-04,3.232769e-04,3.311606e-04,3.336135e-04,3.436393e-04,3.444276e-04,3.533412e-04,3.571287e-04,3.627083e-04,3.692406e-04,3.717324e-04,3.804070e-04,3.807467e-04,3.887279e-04,3.916363e-04,3.966927e-04,4.019047e-04,4.043004e-04,4.115519e-04,4.184494e-04,4.205823e-04,4.249962e-04,4.290042e-04,4.311969e-04,4.368291e-04,4.370570e-04,4.425829e-04,4.440712e-04,4.477817e-04,4.507472e-04,4.526612e-04,4.568753e-04,4.572295e-04,4.614955e-04,4.624754e-04,4.654682e-04,4.675683e-04,4.691570e-04,4.721757e-04,4.725713e-04,4.757208e-04,4.763198e-04,4.786152e-04,4.800227e-04,4.812643e-04,4.833070e-04,4.836778e-04,4.858652e-04,4.861949e-04,4.878363e-04,4.887083e-04,4.896002e-04,4.908686e-04,4.911664e-04,4.925438e-04,4.926968e-04,4.937411e-04,4.942131e-04,4.947670e-04,4.954373e-04,4.956299e-04,4.963378e-04,4.963880e-04,4.968987e-04,4.970835e-04,4.973200e-04,4.975412e-04,4.976093e-04,4.977735e-04,4.977776e-04,4.978196e-04,4.978085e-04,4.977541e-04,4.976490e-04,4.975833e-04,4.973133e-04,4.968149e-04,4.961664e-04,4.953798e-04,4.944665e-04,4.934371e-04,4.923015e-04,4.910692e-04,4.897489e-04,4.883489e-04,4.868769e-04,4.853401e-04,4.837452e-04,4.820985e-04,4.804059e-04,4.786728e-04,4.769043e-04,4.751052e-04,4.732798e-04,4.714322e-04,4.695663e-04,4.676855e-04,4.657932e-04,4.638923e-04,4.619856e-04
0.000000e+00,4.010434e-15,3.451424e-14,8.295937e-13,6.683878e-12,1.724212e-11,1.304321e-10,1.402049e-10,6.831344e-10,9.991916e-10,2.411905e-09,4.603999e-09,6.830005e-09,1.543651e-08,1.648336e-08,3.525456e-08,4.168803e-08,6.861518e-08,9.628817e-08,1.237863e-07,1.974654e-07,2.097409e-07,3.370005e-07,3.684216e-07,5.172353e-07,6.359621e-07,7.627255e-07,1.028378e-06,1.085772e-06,1.498133e-06,1.573135e-06,2.010545e-06,2.294843e-06,2.632344e-06,3.213762e-06,3.371209e-06,4.233010e-06,4.344896e-06,5.221731e-06,5.697585e-06,6.339471e-06,7.275466e-06,7.586488e-06,8.961284e-06,9.076705e-06,1.046071e-05,1.109439e-05,1.208012e-05,1.331703e-05,1.381345e-05,1.565348e-05,1.572918e-05,1.759188e-05,1.831205e-05,1.961950e-05,2.104421e-05,2.172643e-05,2.390230e-05,2.613633e-05,2.686173e-05,2.841762e-05,2.989738e-05,3.073521e-05,3.298421e-05,3.307829e-05,3.543633e-05,3.609786e-05,3.779917e-05,3.921514e-05,4.015715e-05,4.231438e-05,4.250118e-05,4.482281e-05,4.537579e-05,4.711426e-05,4.838164e-05,4.936849e-05,5.131637e-05,5.157916e-05,5.374068e-05,5.416665e-05,5.584819e-05,5.692133e-05,5.789750e-05,5.957137e-05,5.988512e-05,6.180821e-05,6.210976e-05,6.366451e-05,6.453130e-05,6.545234e-05,6.683250e-05,6.717053e-05,6.881839e-05,6.901140e-05,7.039567e-05,7.106732e-05,7.190247e-05,7.300076e-05,7.333923e-05,7.470671e-05,7.481314e-05,7.600587e-05,7.650667e-05,7.723792e-05,7.808422e-05,7.840425e-05,7.950637e-05,7.954914e-05,8.054592e-05,8.090517e-05,8.152463e-05,8.215631e-05,8.244429e-05,8.330674e-05,8.411387e-05,8.436077e-05,8.486756e-05,8.532277e-05,8.556974e-05,8.619712e-05,8.622229e-05,8.682709e-05,8.698814e-05,8.738601e-05,8.770010e-05,8.790088e-05,8.833719e-05,8.837348e-05,8.880558e-05,8.890345e-05,8.919889e-05,8.940283e-05,8.955509e-05,8.983912e-05,8.987578e-05,9.016256e-05,9.021598e-05,9.041693e-05,9.053690e-05,9.064039e-05,9.080524e-05,9.083435e-05,9.100020e-05,9.102421e-05,9.113924e-05,9.119685e-05,9.125278e-05,9.132606e-05,9.134202e-05,9.140817e-05,9.141461e-05,9.145236e-05,9.146513e-05,9.147568e-05,9.148010e-05,9.147919e-05,9.146389e-05,9.146188e-05,9.143075e-05,9.141271e-05,9.138071e-05,9.133470e-05,9.131464e-05,9.123340e-05,9.122985e-05,9.113781e-05,9.110004e-05,9.102865e-05,9.094705e-05,9.090667e-05,9.077258e-05,9.057821e-05,9.036543e-05,9.013567e-05,8.989025e-05,8.963043e-05,8.935738e-05,8.907223e-05,8.877601e-05,8.846971e-05,8.815427e-05,8.783054e-05,8.749935e-05,8.716146e-05,8.681760e-05,8.646845e-05,8.611463e-05,8.575676e-05,8.539538e-05,8.503101e-05,8.466416e-05,8.429528e-05,8.392480e-05,8.355311e-05,8.318061e-05
0.000000e+00,8.230212e-16,7.370537e-15,1.927025e-13,1.678355e-12,4.521114e-12,3.830996e-11,4.137285e-11,2.261151e-10,3.413250e-10,8.923519e-10,1.817833e-09,2.814075e-09,6.997867e-09,7.533586e-09,1.780237e-08,2.154830e-08,3.813397e-08,5.637772e-08,7.545672e-08,1.302609e-07,1.398369e-07,2.452222e-07,2.727627e-07,4.101415e-07,5.270751e-07,6.582926e-07,9.523184e-07,1.018964e-06,1.527246e-06,1.624922e-06,2.224022e-06,2.638856e-06,3.155710e-06,4.104644e-06,4.373800e-06,5.934171e-06,6.147207e-06,7.896242e-06,8.902711e-06,1.032197e-05,1.251460e-05,1.327475e-05,1.681825e-05,1.712913e-05,2.101519e-05,2.289062e-05,2.592621e-05,2.993666e-05,3.160866e-05,3.811553e-05,3.839365e-05,4.549453e-05,4.837266e-05,5.378716e-05,5.996598e-05,6.302804e-05,7.324429e-05,8.445513e-05,8.825469e-05,9.667161e-05,1.050195e-04,1.098964e-04,1.235358e-04,1.241240e-04,1.393407e-04,1.437758e-04,1.555248e-04,1.656878e-04,1.726472e-04,1.891976e-04,1.906718e-04,2.095560e-04,2.142108e-04,2.292513e-04,2.406151e-04,2.497039e-04,2.682826e-04,2.708557e-04,2.926445e-04,2.970730e-04,3.150052e-04,3.268364e-04,3.378701e-04,3.574156e-04,3.611699e-04,3.848343e-04,3.886497e-04,4.087923e-04,4.203758e-04,4.329735e-04,4.524319e-04,4.573077e-04,4.817263e-04,4.846590e-04,5.061622e-04,5.169027e-04,5.305505e-04,5.490151e-04,5.548285e-04,5.789364e-04,5.808559e-04,6.028173e-04,6.122940e-04,6.264176e-04,6.432076e-04,6.496869e-04,6.725784e-04,6.734856e-04,6.950488e-04,7.030273e-04,7.170584e-04,7.317431e-04,7.385711e-04,7.595544e-04,7.799793e-04,7.863932e-04,7.998205e-04,8.122021e-04,8.190557e-04,8.369340e-04,8.376663e-04,8.556364e-04,8.605515e-04,8.729536e-04,8.830263e-04,8.896081e-04,9.043390e-04,9.055930e-04,9.209038e-04,9.244778e-04,9.355384e-04,9.434385e-04,9.494972e-04,9.612235e-04,9.627823e-04,9.753980e-04,9.778413e-04,9.873502e-04,9.933057e-04,9.986467e-04,1.007635e-03,1.009296e-03,1.019310e-03,1.020853e-03,1.028698e-03,1.032986e-03,1.037474e-03,1.044064e-03,1.045652e-03,1.053245e-03,1.054117e-03,1.060268e-03,1.063182e-03,1.066738e-03,1.071294e-03,1.072669e-03,1.078079e-03,1.078490e-03,1.082984e-03,1.084808e-03,1.087400e-03,1.090287e-03,1.091345e-03,1.094836e-03,1.094966e-03,1.097889e-03,1.098885e-03,1.100522e-03,1.102081e-03,1.102752e-03,1.104594e-03,1.106461e-03,1.107720e-03,1.108406e-03,1.108556e-03,1.108202e-03,1.107379e-03,1.106119e-03,1.104451e-03,1.102406e-03,1.100011e-03,1.097294e-03,1.094281e-03,1.090995e-03,1.087461e-03,1.083701e-03,1.079735e-03,1.075583e-03,1.071264e-03,1.066795e-03,1.062193e-03,1.057474e-03,1.052652e-03,1.047740e-03,1.042752e-03
0.000000e+00,1.213996e-11,8.132964e-11,1.184850e-09,6.193146e-09,1.272712e-08,5.542148e-08,5.831470e-08,1.734028e-07,2.238307e-07,4.016391e-07,6.143203e-07,7.956517e-07,1.359413e-06,1.419456e-06,2.344254e-06,2.618198e-06,3.629114e-06,4.516031e-06,5.296205e-06,7.064647e-06,7.326052e-06,9.675739e-06,1.017993e-05,1.229957e-05,1.375917e-05,1.515905e-05,1.772076e-05,1.822386e-05,2.146910e-05,2.200357e-05,2.487243e-05,2.655584e-05,2.841222e-05,3.132761e-05,3.206658e-05,3.581312e-05,3.626782e-05,3.962906e-05,4.132417e-05,4.349158e-05,4.644440e-05,4.737822e-05,5.126733e-05,5.157794e-05,5.513839e-05,5.667745e-05,5.897236e-05,6.170002e-05,6.275186e-05,6.646147e-05,6.660820e-05,7.008770e-05,7.137045e-05,7.361898e-05,7.596096e-05,7.704556e-05,8.035955e-05,8.355470e-05,8.455124e-05,8.662628e-05,8.852566e-05,8.957098e-05,9.227656e-05,9.238669e-05,9.507227e-05,9.580087e-05,9.762757e-05,9.909846e-05,1.000533e-04,1.021715e-04,1.023506e-04,1.045216e-04,1.050241e-04,1.065686e-04,1.076618e-04,1.084944e-04,1.100911e-04,1.103018e-04,1.119943e-04,1.123193e-04,1.135753e-04,1.143546e-04,1.150484e-04,1.162050e-04,1.164172e-04,1.176854e-04,1.178792e-04,1.188567e-04,1.193856e-04,1.199348e-04,1.207327e-04,1.209234e-04,1.218262e-04,1.219289e-04,1.226466e-04,1.229824e-04,1.233883e-04,1.239013e-04,1.240545e-04,1.246488e-04,1.246933e-04,1.251742e-04,1.253659e-04,1.256341e-04,1.259262e-04,1.260314e-04,1.263691e-04,1.263814e-04,1.266500e-04,1.267379e-04,1.268771e-04,1.270021e-04,1.270529e-04,1.271801e-04,1.272610e-04,1.272776e-04,1.272982e-04,1.273001e-04,1.272939e-04,1.272529e-04,1.272504e-04,1.271698e-04,1.271408e-04,1.270541e-04,1.269686e-04,1.269052e-04,1.267407e-04,1.267252e-04,1.265158e-04,1.264613e-04,1.262786e-04,1.261344e-04,1.260155e-04,1.257637e-04,1.257279e-04,1.254175e-04,1.253527e-04,1.250855e-04,1.249049e-04,1.247335e-04,1.244233e-04,1.243628e-04,1.239746e-04,1.239109e-04,1.235701e-04,1.233706e-04,1.231506e-04,1.228048e-04,1.227170e-04,1.222705e-04,1.222161e-04,1.218121e-04,1.216069e-04,1.213427e-04,1.209792e-04,1.208632e-04,1.203745e-04,1.203351e-04,1.198775e-04,1.196765e-04,1.193728e-04,1.190052e-04,1.188613e-04,1.183437e-04,1.183229e-04,1.178206e-04,1.176311e-04,1.172927e-04,1.169313e-04,1.167606e-04,1.162248e-04,1.155130e-04,1.147969e-04,1.140777e-04,1.133565e-04,1.126340e-04,1.119114e-04,1.111892e-04,1.104684e-04,1.097495e-04,1.090333e-04,1.083203e-04,1.076111e-04,1.069061e-04,1.062059e-04,1.055108e-04,1.048211e-04,1.041373e-04,1.034597e-04,1.027885e-04,1.021240e-04,1.014664e-04,1.008159e-04,1.001726e-04,9.953681e-05
0.000000e+00,7.956711e-15,7.158068e-14,1.888926e-12,1.659565e-11,4.492431e-11,3.856829e-10,4.167462e-10,2.309179e-09,3.499314e-09,9.241158e-09,1.898623e-08,2.956044e-08,7.449996e-08,8.029775e-08,1.925890e-07,2.339522e-07,4.187644e-07,6.242857e-07,8.409748e-07,1.470207e-06,1.580940e-06,2.810183e-06,3.133943e-06,4.760051e-06,6.155493e-06,7.730858e-06,1.128872e-05,1.209958e-05,1.832562e-05,1.952937e-05,2.695443e-05,3.213215e-05,3.861856e-05,5.061518e-05,5.403627e-05,7.400737e-05,7.675071e-05,9.940681e-05,1.125426e-04,1.311757e-04,1.601912e-04,1.703102e-04,2.178490e-04,2.220469e-04,2.748585e-04,3.005557e-04,3.424178e-04,3.981974e-04,4.216024e-04,5.134676e-04,5.174205e-04,6.190322e-04,6.605771e-04,7.392626e-04,8.298581e-04,8.750573e-04,1.027233e-03,1.196513e-03,1.254399e-03,1.383514e-03,1.512731e-03,1.588738e-03,1.803249e-03,1.812563e-03,2.055242e-03,2.126590e-03,2.316894e-03,2.482991e-03,2.597504e-03,2.872284e-03,2.896924e-03,3.214875e-03,3.293898e-03,3.550948e-03,3.746872e-03,3.904612e-03,4.229874e-03,4.275217e-03,4.662005e-03,4.741230e-03,5.064114e-03,5.278953e-03,5.480592e-03,5.840782e-03,5.910403e-03,6.352439e-03,6.424222e-03,6.805531e-03,7.026585e-03,7.268457e-03,7.645032e-03,7.739956e-03,8.218736e-03,8.276616e-03,8.703485e-03,8.918325e-03,9.192883e-03,9.567120e-03,9.685607e-03,1.018035e-02,1.021997e-02,1.067580e-02,1.087390e-02,1.117071e-02,1.152600e-02,1.166382e-02,1.215393e-02,1.217346e-02,1.263990e-02,1.281361e-02,1.312060e-02,1.344394e-02,1.359500e-02,1.406208e-02,1.452091e-02,1.466584e-02,1.497061e-02,1.525325e-02,1.541037e-02,1.582251e-02,1.583945e-02,1.625717e-02,1.637201e-02,1.666290e-02,1.690036e-02,1.705610e-02,1.740637e-02,1.743629e-02,1.780304e-02,1.788903e-02,1.815601e-02,1.834753e-02,1.849488e-02,1.878124e-02,1.881943e-02,1.912947e-02,1.918972e-02,1.942487e-02,1.957266e-02,1.970556e-02,1.992994e-02,1.997150e-02,2.022273e-02,2.026157e-02,2.045930e-02,2.056767e-02,2.068131e-02,2.084853e-02,2.088891e-02,2.108226e-02,2.110452e-02,2.126158e-02,2.133610e-02,2.142711e-02,2.154384e-02,2.157910e-02,2.171785e-02,2.172838e-02,2.184365e-02,2.189043e-02,2.195685e-02,2.203073e-02,2.205777e-02,2.214678e-02,2.215010e-02,2.222425e-02,2.224938e-02,2.229054e-02,2.232945e-02,2.234606e-02,2.239119e-02,2.243552e-02,2.246336e-02,2.247562e-02,2.247322e-02,2.245706e-02,2.242803e-02,2.238701e-02,2.233487e-02,2.227242e-02,2.220048e-02,2.211982e-02,2.203121e-02,2.193536e-02,2.183296e-02,2.172467e-02,2.161114e-02,2.149294e-02,2.137066e-02,2.124482e-02,2.111594e-02,2.098447e-02,2.085088e-02,2.071557e-02,2.057893e-02
0.000000e+00,4.627633e-09,1.106191e-08,3.983057e-08,9.275132e-08,1.366675e-07,3.172906e-07,3.271452e-07,6.478253e-07,7.666364e-07,1.140800e-06,1.535378e-06,1.842421e-06,2.680712e-06,2.762010e-06,3.884289e-06,4.181575e-06,5.190039e-06,5.995646e-06,6.664217e-06,8.091049e-06,8.294544e-06,1.006908e-05,1.044018e-05,1.197484e-05,1.301292e-05,1.399724e-05,1.577446e-05,1.612018e-05,1.832634e-05,1.868585e-05,2.059768e-05,2.170570e-05,2.291593e-05,2.479224e-05,2.526316e-05,2.762215e-05,2.790524e-05,2.997681e-05,3.100764e-05,3.231241e-05,3.406656e-05,3.461578e-05,3.687531e-05,3.705387e-05,3.908112e-05,3.994651e-05,4.122499e-05,4.272639e-05,4.330019e-05,4.530140e-05,4.537984e-05,4.722459e-05,4.789726e-05,4.906690e-05,5.027247e-05,5.082645e-05,5.250221e-05,5.409396e-05,5.458562e-05,5.560210e-05,5.652380e-05,5.702746e-05,5.831903e-05,5.837124e-05,5.963512e-05,5.997494e-05,6.082098e-05,6.149591e-05,6.193091e-05,6.288696e-05,6.296721e-05,6.393223e-05,6.415350e-05,6.482843e-05,6.530117e-05,6.565830e-05,6.633571e-05,6.642435e-05,6.712910e-05,6.726292e-05,6.777507e-05,6.808856e-05,6.836472e-05,6.881828e-05,6.890048e-05,6.938475e-05,6.945761e-05,6.981985e-05,7.001190e-05,7.020805e-05,7.048633e-05,7.055156e-05,7.085254e-05,7.088590e-05,7.111306e-05,7.121539e-05,7.133513e-05,7.147937e-05,7.152068e-05,7.167159e-05,7.168222e-05,7.178967e-05,7.182810e-05,7.187666e-05,7.192097e-05,7.193422e-05,7.196395e-05,7.196459e-05,7.196741e-05,7.196251e-05,7.194607e-05,7.191812e-05,7.190135e-05,7.183460e-05,7.174714e-05,7.171498e-05,7.164020e-05,7.156209e-05,7.151497e-05,7.137862e-05,7.137261e-05,7.121418e-05,7.116709e-05,7.104075e-05,7.092989e-05,7.085329e-05,7.066925e-05,7.065275e-05,7.044004e-05,7.038728e-05,7.021602e-05,7.008593e-05,6.998151e-05,6.976708e-05,6.973728e-05,6.948409e-05,6.943244e-05,6.922263e-05,6.908364e-05,6.895359e-05,6.872220e-05,6.867760e-05,6.839526e-05,6.834954e-05,6.810716e-05,6.796699e-05,6.781384e-05,6.757578e-05,6.751582e-05,6.721359e-05,6.717707e-05,6.690763e-05,6.677193e-05,6.659836e-05,6.636137e-05,6.628621e-05,6.597157e-05,6.594630e-05,6.565482e-05,6.552761e-05,6.533631e-05,6.510609e-05,6.501638e-05,6.469533e-05,6.468247e-05,6.437347e-05,6.425746e-05,6.405108e-05,6.383168e-05,6.372841e-05,6.340572e-05,6.298012e-05,6.255539e-05,6.213197e-05,6.171028e-05,6.129071e-05,6.087362e-05,6.045931e-05,6.004809e-05,5.964021e-05,5.923590e-05,5.883540e-05,5.843887e-05,5.804651e-05,5.765845e-05,5.727483e-05,5.689577e-05,5.652138e-05,5.615173e-05,5.578690e-05,5.542696e-05,5.507194e-05,5.472190e-05,5.437686e-05,5.403683e-05
0.000000e+00,7.346405e-09,2.209817e-08,1.013243e-07,2.648368e-07,4.082751e-07,1.035499e-06,1.070950e-06,2.272804e-06,2.738086e-06,4.264108e-06,5.970863e-06,7.370023e-06,1.151133e-05,1.193708e-05,1.817919e-05,1.992547e-05,2.603374e-05,3.103681e-05,3.522474e-05,4.417207e-05,4.544385e-05,5.644695e-05,5.872531e-05,6.805943e-05,7.429512e-05,8.015365e-05,9.061089e-05,9.262885e-05,1.053987e-04,1.074639e-04,1.183847e-04,1.246729e-04,1.315132e-04,1.420720e-04,1.447150e-04,1.579249e-04,1.595077e-04,1.710827e-04,1.768413e-04,1.841334e-04,1.939499e-04,1.970279e-04,2.097229e-04,2.107287e-04,2.221810e-04,2.270906e-04,2.343705e-04,2.429659e-04,2.462654e-04,2.578442e-04,2.583006e-04,2.690903e-04,2.730549e-04,2.799909e-04,2.872011e-04,2.905367e-04,3.007217e-04,3.105424e-04,3.136078e-04,3.199975e-04,3.258571e-04,3.290875e-04,3.374726e-04,3.378147e-04,3.461826e-04,3.484618e-04,3.541957e-04,3.588355e-04,3.618595e-04,3.686071e-04,3.691803e-04,3.761647e-04,3.777917e-04,3.828199e-04,3.864058e-04,3.891534e-04,3.944670e-04,3.951730e-04,4.008868e-04,4.019935e-04,4.063027e-04,4.090039e-04,4.114288e-04,4.155169e-04,4.162734e-04,4.208446e-04,4.215511e-04,4.251504e-04,4.271254e-04,4.291991e-04,4.322581e-04,4.329985e-04,4.365566e-04,4.369677e-04,4.398811e-04,4.412719e-04,4.429798e-04,4.451883e-04,4.458601e-04,4.485296e-04,4.487342e-04,4.509954e-04,4.519263e-04,4.532647e-04,4.547808e-04,4.553444e-04,4.572415e-04,4.573137e-04,4.589625e-04,4.595403e-04,4.605141e-04,4.614755e-04,4.619024e-04,4.631338e-04,4.642143e-04,4.645291e-04,4.651497e-04,4.656749e-04,4.659458e-04,4.665842e-04,4.666082e-04,4.671424e-04,4.672696e-04,4.675535e-04,4.677432e-04,4.678467e-04,4.680166e-04,4.680270e-04,4.680992e-04,4.681009e-04,4.680680e-04,4.680070e-04,4.679379e-04,4.677452e-04,4.677135e-04,4.673989e-04,4.673255e-04,4.669982e-04,4.667573e-04,4.665156e-04,4.660497e-04,4.659549e-04,4.653198e-04,4.652115e-04,4.646140e-04,4.642512e-04,4.638411e-04,4.631766e-04,4.630043e-04,4.621071e-04,4.619955e-04,4.611526e-04,4.607152e-04,4.601438e-04,4.593427e-04,4.590838e-04,4.579754e-04,4.578847e-04,4.568213e-04,4.563475e-04,4.556243e-04,4.547373e-04,4.543868e-04,4.531115e-04,4.530597e-04,4.518006e-04,4.513204e-04,4.504565e-04,4.495246e-04,4.490814e-04,4.476773e-04,4.457833e-04,4.438470e-04,4.418728e-04,4.398648e-04,4.378267e-04,4.357623e-04,4.336750e-04,4.315681e-04,4.294447e-04,4.273077e-04,4.251599e-04,4.230040e-04,4.208423e-04,4.186772e-04,4.165110e-04,4.143455e-04,4.121828e-04,4.100246e-04,4.078727e-04,4.057286e-04,4.035938e-04,4.014696e-04,3.993575e-04,3.972585e-04
0.000000e+00,4.238189e-15,3.725965e-14,9.365364e-13,7.864903e-12,2.076244e-11,1.669044e-10,1.798608e-10,9.326395e-10,1.387897e-09,3.501364e-09,6.932097e-09,1.053559e-08,2.516211e-08,2.699670e-08,6.123576e-08,7.342096e-08,1.261618e-07,1.825774e-07,2.403093e-07,4.010962e-07,4.285866e-07,7.225561e-07,7.972691e-07,1.160200e-06,1.458862e-06,1.785218e-06,2.490303e-06,2.645964e-06,3.794136e-06,4.008086e-06,5.283345e-06,6.135192e-06,7.167633e-06,8.995239e-06,9.500051e-06,1.233131e-05,1.270687e-05,1.570857e-05,1.737868e-05,1.967435e-05,2.310491e-05,2.426560e-05,2.951295e-05,2.996184e-05,3.544007e-05,3.800515e-05,4.206322e-05,4.726801e-05,4.939100e-05,5.742412e-05,5.776005e-05,6.615551e-05,6.946713e-05,7.557038e-05,8.235186e-05,8.564654e-05,9.635483e-05,1.076596e-04,1.113965e-04,1.195194e-04,1.273795e-04,1.318874e-04,1.441917e-04,1.447128e-04,1.579408e-04,1.617090e-04,1.715139e-04,1.797988e-04,1.853727e-04,1.983232e-04,1.994568e-04,2.137050e-04,2.171423e-04,2.280569e-04,2.361169e-04,2.424528e-04,2.551118e-04,2.568351e-04,2.711480e-04,2.739975e-04,2.853385e-04,2.926526e-04,2.993568e-04,3.109651e-04,3.131566e-04,3.266950e-04,3.288342e-04,3.399332e-04,3.461705e-04,3.528363e-04,3.628965e-04,3.653732e-04,3.775170e-04,3.789467e-04,3.892446e-04,3.942678e-04,4.005369e-04,4.088182e-04,4.113783e-04,4.217570e-04,4.225670e-04,4.316639e-04,4.354932e-04,4.410935e-04,4.475855e-04,4.500428e-04,4.585118e-04,4.588406e-04,4.665027e-04,4.692631e-04,4.740198e-04,4.788640e-04,4.810695e-04,4.876597e-04,4.937999e-04,4.956714e-04,4.995007e-04,5.029241e-04,5.047740e-04,5.094459e-04,5.096324e-04,5.140893e-04,5.152672e-04,5.181587e-04,5.204203e-04,5.218549e-04,5.249383e-04,5.251924e-04,5.281862e-04,5.288552e-04,5.308510e-04,5.322051e-04,5.332016e-04,5.350219e-04,5.352528e-04,5.370190e-04,5.373394e-04,5.385147e-04,5.391902e-04,5.397538e-04,5.406063e-04,5.407499e-04,5.415165e-04,5.416187e-04,5.420664e-04,5.422571e-04,5.424122e-04,5.425499e-04,5.425658e-04,5.425390e-04,5.425242e-04,5.423429e-04,5.422058e-04,5.419883e-04,5.416190e-04,5.414853e-04,5.408440e-04,5.407870e-04,5.400737e-04,5.397314e-04,5.391832e-04,5.384725e-04,5.381812e-04,5.370758e-04,5.370295e-04,5.358746e-04,5.354201e-04,5.345850e-04,5.336611e-04,5.332139e-04,5.317679e-04,5.297550e-04,5.276357e-04,5.254226e-04,5.231270e-04,5.207597e-04,5.183305e-04,5.158484e-04,5.133218e-04,5.107585e-04,5.081654e-04,5.055491e-04,5.029155e-04,5.002701e-04,4.976179e-04,4.949634e-04,4.923108e-04,4.896638e-04,4.870259e-04,4.844001e-04,4.817894e-04,4.791962e-04,4.766228e-04,4.740713e-04,4.715435e-04
0.000000e+00,2.203772e-14,1.978574e-13,5.198826e-12,4.549779e-11,1.229004e-10,1.049433e-09,1.133710e-09,6.249502e-09,9.457554e-09,2.489262e-08,5.100891e-08,7.928563e-08,1.991003e-07,2.145306e-07,5.127196e-07,6.223489e-07,1.111434e-06,1.654522e-06,2.226687e-06,3.887515e-06,4.179814e-06,7.427022e-06,8.283183e-06,1.258942e-05,1.629252e-05,2.048070e-05,2.996421e-05,3.212962e-05,4.879486e-05,5.202336e-05,7.197081e-05,8.590609e-05,1.033832e-04,1.357424e-04,1.449751e-04,1.988835e-04,2.062880e-04,2.674084e-04,3.028112e-04,3.529748e-04,4.309438e-04,4.580903e-04,5.852998e-04,5.965072e-04,7.371380e-04,8.053272e-04,9.160824e-04,1.063045e-03,1.124508e-03,1.364643e-03,1.374938e-03,1.638534e-03,1.745757e-03,1.948004e-03,2.179582e-03,2.294630e-03,2.679713e-03,3.104264e-03,3.248580e-03,3.568986e-03,3.887684e-03,4.074271e-03,4.597579e-03,4.620195e-03,5.206520e-03,5.377864e-03,5.832704e-03,6.227211e-03,6.497912e-03,7.143413e-03,7.201026e-03,7.940667e-03,8.123441e-03,8.715214e-03,9.163530e-03,9.522828e-03,1.025927e-02,1.036147e-02,1.122894e-02,1.140568e-02,1.212287e-02,1.259736e-02,1.304080e-02,1.382852e-02,1.398014e-02,1.493827e-02,1.509313e-02,1.591248e-02,1.638501e-02,1.690005e-02,1.769790e-02,1.789826e-02,1.890441e-02,1.902555e-02,1.991581e-02,2.036182e-02,2.092985e-02,2.170070e-02,2.194395e-02,2.295565e-02,2.303641e-02,2.396254e-02,2.436344e-02,2.496234e-02,2.567657e-02,2.595286e-02,2.693203e-02,2.697093e-02,2.789791e-02,2.824201e-02,2.884867e-02,2.948570e-02,2.978264e-02,3.069824e-02,3.159405e-02,3.187631e-02,3.246877e-02,3.301697e-02,3.332121e-02,3.411765e-02,3.415035e-02,3.495527e-02,3.517619e-02,3.573515e-02,3.619078e-02,3.648933e-02,3.715998e-02,3.721724e-02,3.791841e-02,3.808268e-02,3.859250e-02,3.895806e-02,3.923925e-02,3.978564e-02,3.985849e-02,4.045015e-02,4.056517e-02,4.101423e-02,4.129667e-02,4.155081e-02,4.198040e-02,4.206005e-02,4.254217e-02,4.261681e-02,4.299745e-02,4.320655e-02,4.342622e-02,4.375041e-02,4.382887e-02,4.420582e-02,4.424935e-02,4.455755e-02,4.470445e-02,4.488456e-02,4.511688e-02,4.518739e-02,4.546660e-02,4.548794e-02,4.572279e-02,4.581895e-02,4.595656e-02,4.611134e-02,4.616853e-02,4.635935e-02,4.636655e-02,4.652967e-02,4.658608e-02,4.668013e-02,4.677144e-02,4.681140e-02,4.692415e-02,4.704573e-02,4.713771e-02,4.720159e-02,4.723886e-02,4.725099e-02,4.723940e-02,4.720549e-02,4.715064e-02,4.707616e-02,4.698333e-02,4.687340e-02,4.674755e-02,4.660694e-02,4.645265e-02,4.628575e-02,4.610723e-02,4.591805e-02,4.571913e-02,4.551135e-02,4.529553e-02,4.507246e-02,4.484287e-02,4.460746e-02,4.436690e-02
0.000000e+00,1.946176e-15,1.723007e-14,4.394671e-13,3.740221e-12,9.946150e-12,8.145586e-11,8.784441e-11,4.636131e-10,6.930904e-10,1.767812e-09,3.528711e-09,5.389575e-09,1.299836e-08,1.395654e-08,3.191815e-08,3.833485e-08,6.620228e-08,9.614414e-08,1.269042e-07,2.131339e-07,2.279535e-07,3.876861e-07,4.286233e-07,6.292302e-07,7.962779e-07,9.806114e-07,1.384434e-06,1.474503e-06,2.147594e-06,2.274539e-06,3.039590e-06,3.557646e-06,4.191941e-06,5.329343e-06,5.646366e-06,7.443305e-06,7.683782e-06,9.620418e-06,1.070760e-05,1.221119e-05,1.447436e-05,1.524374e-05,1.873990e-05,1.904011e-05,2.271448e-05,2.444019e-05,2.717493e-05,3.068758e-05,3.212121e-05,3.754584e-05,3.777260e-05,4.343432e-05,4.566386e-05,4.976558e-05,5.431022e-05,5.651267e-05,6.364349e-05,7.112166e-05,7.358160e-05,7.890734e-05,8.403205e-05,8.695813e-05,9.489533e-05,9.522988e-05,1.036775e-04,1.060682e-04,1.122558e-04,1.174468e-04,1.209199e-04,1.289291e-04,1.296261e-04,1.383324e-04,1.404174e-04,1.469986e-04,1.518200e-04,1.555870e-04,1.630525e-04,1.640625e-04,1.723930e-04,1.740390e-04,1.805490e-04,1.847123e-04,1.885044e-04,1.950148e-04,1.962359e-04,2.037236e-04,2.048977e-04,2.109500e-04,2.143215e-04,2.179008e-04,2.232551e-04,2.245644e-04,2.309317e-04,2.316755e-04,2.369959e-04,2.395669e-04,2.427526e-04,2.469205e-04,2.481994e-04,2.533357e-04,2.537332e-04,2.581626e-04,2.600073e-04,2.626828e-04,2.657497e-04,2.669003e-04,2.708202e-04,2.709708e-04,2.744485e-04,2.756847e-04,2.777924e-04,2.799077e-04,2.808595e-04,2.836583e-04,2.861973e-04,2.869565e-04,2.884860e-04,2.898236e-04,2.905336e-04,2.922816e-04,2.923499e-04,2.939447e-04,2.943528e-04,2.953276e-04,2.960598e-04,2.965086e-04,2.974250e-04,2.974973e-04,2.983033e-04,2.984706e-04,2.989361e-04,2.992182e-04,2.994049e-04,2.996890e-04,2.997188e-04,2.998865e-04,2.999033e-04,2.999166e-04,2.998807e-04,2.998174e-04,2.996400e-04,2.995969e-04,2.992626e-04,2.991991e-04,2.988221e-04,2.985750e-04,2.982825e-04,2.977839e-04,2.976505e-04,2.969326e-04,2.968410e-04,2.961351e-04,2.957605e-04,2.952639e-04,2.945559e-04,2.943246e-04,2.933226e-04,2.932399e-04,2.922631e-04,2.918242e-04,2.911508e-04,2.903198e-04,2.899903e-04,2.887859e-04,2.887369e-04,2.875419e-04,2.870851e-04,2.862620e-04,2.853731e-04,2.849499e-04,2.836091e-04,2.818007e-04,2.799549e-04,2.780780e-04,2.761760e-04,2.742543e-04,2.723178e-04,2.703712e-04,2.684185e-04,2.664636e-04,2.645100e-04,2.625607e-04,2.606186e-04,2.586863e-04,2.567661e-04,2.548600e-04,2.529699e-04,2.510976e-04,2.492444e-04,2.474116e-04,2.456005e-04,2.438120e-04,2.420471e-04,2.403063e-04,2.385905e-04
0.000000e+00,3.892289e-09,1.169584e-08,5.326592e-08,1.377337e-07,2.106545e-07,5.194045e-07,5.364314e-07,1.092654e-06,1.298841e-06,1.948354e-06,2.638428e-06,3.183863e-06,4.733847e-06,4.889788e-06,7.151585e-06,7.783613e-06,1.001544e-05,1.187706e-05,1.346055e-05,1.691489e-05,1.741300e-05,2.178413e-05,2.270141e-05,2.649530e-05,2.905782e-05,3.148277e-05,3.584742e-05,3.669445e-05,4.208551e-05,4.296197e-05,4.761523e-05,5.030740e-05,5.324517e-05,5.779637e-05,5.893833e-05,6.465897e-05,6.534564e-05,7.037273e-05,7.287613e-05,7.604700e-05,8.031417e-05,8.165126e-05,8.715747e-05,8.759295e-05,9.254030e-05,9.465378e-05,9.777740e-05,1.014469e-04,1.028495e-04,1.077403e-04,1.079320e-04,1.124367e-04,1.140776e-04,1.169280e-04,1.198611e-04,1.212068e-04,1.252675e-04,1.291073e-04,1.302891e-04,1.327249e-04,1.349239e-04,1.361212e-04,1.391753e-04,1.392982e-04,1.422594e-04,1.430504e-04,1.450093e-04,1.465600e-04,1.475533e-04,1.497172e-04,1.498976e-04,1.520487e-04,1.525370e-04,1.540138e-04,1.550357e-04,1.558003e-04,1.572305e-04,1.574156e-04,1.588675e-04,1.591390e-04,1.601637e-04,1.607787e-04,1.613119e-04,1.621674e-04,1.623195e-04,1.631942e-04,1.633223e-04,1.639432e-04,1.642601e-04,1.645735e-04,1.649971e-04,1.650922e-04,1.655058e-04,1.655487e-04,1.658209e-04,1.659299e-04,1.660436e-04,1.661548e-04,1.661799e-04,1.662355e-04,1.662366e-04,1.662158e-04,1.661881e-04,1.661261e-04,1.660210e-04,1.659713e-04,1.657562e-04,1.657464e-04,1.654852e-04,1.653747e-04,1.651625e-04,1.649158e-04,1.647924e-04,1.643785e-04,1.639246e-04,1.637714e-04,1.634340e-04,1.631023e-04,1.629100e-04,1.623784e-04,1.623557e-04,1.617739e-04,1.616065e-04,1.611674e-04,1.607927e-04,1.605388e-04,1.599429e-04,1.598903e-04,1.592244e-04,1.590622e-04,1.585431e-04,1.581556e-04,1.578485e-04,1.572276e-04,1.571423e-04,1.564263e-04,1.562821e-04,1.557023e-04,1.553231e-04,1.549716e-04,1.543538e-04,1.542358e-04,1.534961e-04,1.533775e-04,1.527538e-04,1.523970e-04,1.520101e-04,1.514148e-04,1.512660e-04,1.505225e-04,1.504333e-04,1.497805e-04,1.494547e-04,1.490409e-04,1.484808e-04,1.483044e-04,1.475718e-04,1.475134e-04,1.468438e-04,1.465539e-04,1.461209e-04,1.456039e-04,1.454037e-04,1.446927e-04,1.446644e-04,1.439884e-04,1.437365e-04,1.432911e-04,1.428213e-04,1.426014e-04,1.419195e-04,1.410318e-04,1.401589e-04,1.393012e-04,1.384593e-04,1.376334e-04,1.368238e-04,1.360308e-04,1.352546e-04,1.344952e-04,1.337526e-04,1.330270e-04,1.323182e-04,1.316263e-04,1.309510e-04,1.302923e-04,1.296501e-04,1.290242e-04,1.284143e-04,1.278202e-04,1.272418e-04,1.266788e-04,1.261309e-04,1.255979e-04,1.250794e-04
0.000000e+00,8.028263e-16,6.934735e-15,1.679241e-13,1.361581e-12,3.524097e-12,2.686938e-11,2.889112e-11,1.416809e-10,2.075371e-10,5.025148e-10,9.609156e-10,1.426560e-09,3.225199e-09,3.443702e-09,7.350594e-09,8.685004e-09,1.424829e-08,1.993509e-08,2.556165e-08,4.055007e-08,4.303767e-08,6.871936e-08,7.503796e-08,1.048897e-07,1.286482e-07,1.539810e-07,2.070027e-07,2.184497e-07,3.006246e-07,3.155574e-07,4.025452e-07,4.589703e-07,5.258097e-07,6.405050e-07,6.714521e-07,8.398607e-07,8.615930e-07,1.030747e-06,1.121635e-06,1.243159e-06,1.418049e-06,1.475537e-06,1.725801e-06,1.746523e-06,1.991457e-06,2.101412e-06,2.269714e-06,2.476198e-06,2.557601e-06,2.852083e-06,2.863956e-06,3.150155e-06,3.257779e-06,3.448934e-06,3.651122e-06,3.745723e-06,4.038068e-06,4.323788e-06,4.413504e-06,4.601004e-06,4.773218e-06,4.868140e-06,5.113926e-06,5.123926e-06,5.367382e-06,5.433238e-06,5.597805e-06,5.729604e-06,5.814740e-06,6.002209e-06,6.017960e-06,6.207435e-06,6.250876e-06,6.383304e-06,6.475948e-06,6.545849e-06,6.678180e-06,6.695467e-06,6.832647e-06,6.858638e-06,6.957945e-06,7.018603e-06,7.071966e-06,7.159493e-06,7.175345e-06,7.268737e-06,7.282796e-06,7.352796e-06,7.390020e-06,7.428172e-06,7.482647e-06,7.495499e-06,7.555390e-06,7.562106e-06,7.608432e-06,7.629745e-06,7.655180e-06,7.686822e-06,7.696157e-06,7.731856e-06,7.734498e-06,7.762732e-06,7.773828e-06,7.789210e-06,7.805771e-06,7.811680e-06,7.830501e-06,7.831183e-06,7.846005e-06,7.850832e-06,7.858491e-06,7.865399e-06,7.868235e-06,7.875487e-06,7.880476e-06,7.881628e-06,7.883407e-06,7.884292e-06,7.884470e-06,7.883889e-06,7.883833e-06,7.881652e-06,7.880784e-06,7.878066e-06,7.875294e-06,7.873203e-06,7.867701e-06,7.867179e-06,7.860098e-06,7.858253e-06,7.852057e-06,7.847166e-06,7.843141e-06,7.834635e-06,7.833430e-06,7.822997e-06,7.820829e-06,7.811906e-06,7.805900e-06,7.800220e-06,7.789984e-06,7.787993e-06,7.775276e-06,7.773199e-06,7.762117e-06,7.755656e-06,7.748557e-06,7.737449e-06,7.734638e-06,7.720396e-06,7.718667e-06,7.705866e-06,7.699389e-06,7.691077e-06,7.679684e-06,7.676061e-06,7.660843e-06,7.659618e-06,7.645450e-06,7.639249e-06,7.629904e-06,7.618629e-06,7.614228e-06,7.598443e-06,7.597810e-06,7.582567e-06,7.576833e-06,7.566618e-06,7.555740e-06,7.550614e-06,7.534569e-06,7.513353e-06,7.492123e-06,7.470907e-06,7.449730e-06,7.428617e-06,7.407588e-06,7.386663e-06,7.365861e-06,7.345197e-06,7.324688e-06,7.304345e-06,7.284183e-06,7.264211e-06,7.244440e-06,7.224878e-06,7.205535e-06,7.186416e-06,7.167529e-06,7.148879e-06,7.130470e-06,7.112308e-06,7.094396e-06,7.076737e-06,7.059333e-06
0.000000e+00,1.951576e-14,1.620226e-13,3.611751e-12,2.714287e-11,6.737329e-11,4.610266e-10,4.935437e-10,2.175825e-09,3.097271e-09,6.985605e-09,1.262886e-08,1.808892e-08,3.784948e-08,4.015570e-08,7.944732e-08,9.227279e-08,1.436859e-07,1.937676e-07,2.415156e-07,3.622026e-07,3.814795e-07,5.707420e-07,6.149741e-07,8.139714e-07,9.624231e-07,1.112722e-06,1.405500e-06,1.465404e-06,1.867727e-06,1.936307e-06,2.313408e-06,2.540558e-06,2.794938e-06,3.200573e-06,3.304275e-06,3.833362e-06,3.897809e-06,4.374508e-06,4.614576e-06,4.920603e-06,5.334977e-06,5.465243e-06,6.002776e-06,6.045320e-06,6.528311e-06,6.734212e-06,7.037701e-06,7.392513e-06,7.527518e-06,7.995024e-06,8.013228e-06,8.438129e-06,8.591372e-06,8.855357e-06,9.123801e-06,9.245790e-06,9.609021e-06,9.945090e-06,1.004696e-05,1.025443e-05,1.043871e-05,1.053778e-05,1.078628e-05,1.079615e-05,1.103075e-05,1.109236e-05,1.124291e-05,1.136004e-05,1.143407e-05,1.159266e-05,1.160570e-05,1.175927e-05,1.179360e-05,1.189623e-05,1.196620e-05,1.201799e-05,1.211362e-05,1.212587e-05,1.222113e-05,1.223877e-05,1.230493e-05,1.234434e-05,1.237835e-05,1.243271e-05,1.244236e-05,1.249787e-05,1.250602e-05,1.254567e-05,1.256610e-05,1.258650e-05,1.261458e-05,1.262101e-05,1.264978e-05,1.265287e-05,1.267332e-05,1.268215e-05,1.269212e-05,1.270348e-05,1.270657e-05,1.271706e-05,1.271774e-05,1.272391e-05,1.272570e-05,1.272742e-05,1.272803e-05,1.272785e-05,1.272545e-05,1.272530e-05,1.272042e-05,1.271801e-05,1.271297e-05,1.270661e-05,1.270327e-05,1.269148e-05,1.267775e-05,1.267296e-05,1.266221e-05,1.265137e-05,1.264499e-05,1.262698e-05,1.262620e-05,1.260594e-05,1.260003e-05,1.258433e-05,1.257075e-05,1.256144e-05,1.253934e-05,1.253737e-05,1.251219e-05,1.250599e-05,1.248598e-05,1.247088e-05,1.245881e-05,1.243415e-05,1.243074e-05,1.240183e-05,1.239596e-05,1.237215e-05,1.235643e-05,1.234175e-05,1.231569e-05,1.231068e-05,1.227899e-05,1.227386e-05,1.224672e-05,1.223105e-05,1.221393e-05,1.218734e-05,1.218065e-05,1.214692e-05,1.214284e-05,1.211277e-05,1.209763e-05,1.207826e-05,1.205179e-05,1.204340e-05,1.200823e-05,1.200540e-05,1.197278e-05,1.195853e-05,1.193708e-05,1.191123e-05,1.190115e-05,1.186503e-05,1.186358e-05,1.182874e-05,1.181564e-05,1.179230e-05,1.176744e-05,1.175573e-05,1.171905e-05,1.167051e-05,1.162187e-05,1.157316e-05,1.152443e-05,1.147570e-05,1.142702e-05,1.137841e-05,1.132991e-05,1.128153e-05,1.123331e-05,1.118527e-05,1.113744e-05,1.108982e-05,1.104244e-05,1.099532e-05,1.094848e-05,1.090192e-05,1.085567e-05,1.080974e-05,1.076413e-05,1.071887e-05,1.067395e-05,1.062939e-05,1.058520e-05
0.000000e+00,1.798778e-16,1.593824e-15,4.081708e-14,3.491811e-13,9.318052e-13,7.718869e-12,8.328788e-12,4.464127e-11,6.707095e-11,1.735134e-10,3.509892e-10,5.412670e-10,1.337442e-09,1.439244e-09,3.389063e-09,4.100095e-09,7.247629e-09,1.070768e-08,1.432251e-08,2.468009e-08,2.648565e-08,4.627496e-08,5.142323e-08,7.697659e-08,9.857951e-08,1.226837e-07,1.762582e-07,1.883296e-07,2.796955e-07,2.971312e-07,4.033920e-07,4.763939e-07,5.668167e-07,7.315948e-07,7.780890e-07,1.045964e-06,1.082349e-06,1.379731e-06,1.549950e-06,1.789091e-06,2.156901e-06,2.284033e-06,2.874690e-06,2.926382e-06,3.571203e-06,3.881696e-06,4.383571e-06,5.045688e-06,5.321517e-06,6.394348e-06,6.440192e-06,7.610826e-06,8.085507e-06,8.979058e-06,9.999918e-06,1.050639e-05,1.219930e-05,1.406335e-05,1.469677e-05,1.610312e-05,1.750246e-05,1.832213e-05,2.062331e-05,2.072285e-05,2.330668e-05,2.406303e-05,2.607392e-05,2.782203e-05,2.902381e-05,3.189751e-05,3.215456e-05,3.546337e-05,3.628357e-05,3.894645e-05,4.097140e-05,4.259915e-05,4.594946e-05,4.641593e-05,5.039048e-05,5.120372e-05,5.451578e-05,5.671800e-05,5.878417e-05,6.247418e-05,6.318740e-05,6.771676e-05,6.845255e-05,7.236310e-05,7.463212e-05,7.711694e-05,8.099085e-05,8.196851e-05,8.690787e-05,8.750601e-05,9.192492e-05,9.415441e-05,9.700949e-05,1.009127e-04,1.021514e-04,1.073406e-04,1.077575e-04,1.125670e-04,1.146657e-04,1.178207e-04,1.216149e-04,1.230921e-04,1.283717e-04,1.285829e-04,1.336502e-04,1.355486e-04,1.389190e-04,1.424917e-04,1.441693e-04,1.493929e-04,1.545820e-04,1.562340e-04,1.597291e-04,1.629980e-04,1.648273e-04,1.696691e-04,1.698697e-04,1.748501e-04,1.762327e-04,1.797627e-04,1.826755e-04,1.846021e-04,1.889853e-04,1.893632e-04,1.940415e-04,1.951514e-04,1.986326e-04,2.011642e-04,2.031329e-04,2.070152e-04,2.075388e-04,2.118474e-04,2.126972e-04,2.160560e-04,2.182041e-04,2.201621e-04,2.235307e-04,2.241639e-04,2.280597e-04,2.286731e-04,2.318481e-04,2.336280e-04,2.355281e-04,2.383935e-04,2.390989e-04,2.425600e-04,2.429679e-04,2.459112e-04,2.473509e-04,2.491525e-04,2.515425e-04,2.522841e-04,2.553065e-04,2.555436e-04,2.582202e-04,2.593555e-04,2.610262e-04,2.629803e-04,2.637253e-04,2.663187e-04,2.664203e-04,2.688078e-04,2.696785e-04,2.711938e-04,2.727582e-04,2.734783e-04,2.756630e-04,2.783968e-04,2.809637e-04,2.833683e-04,2.856151e-04,2.877087e-04,2.896541e-04,2.914561e-04,2.931197e-04,2.946498e-04,2.960516e-04,2.973299e-04,2.984897e-04,2.995359e-04,3.004734e-04,3.013070e-04,3.020412e-04,3.026808e-04,3.032302e-04,3.036937e-04,3.040757e-04,3.043803e-04,3.046115e-04,3.047731e-04,3.048691e-04
0.000000e+00,2.435189e-09,6.538642e-09,2.640046e-08,6.439554e-08,9.625882e-08,2.270738e-07,2.341643e-07,4.614978e-07,5.441423e-07,8.002785e-07,1.066736e-06,1.273922e-06,1.849177e-06,1.906085e-06,2.715170e-06,2.936460e-06,3.704053e-06,4.330154e-06,4.854136e-06,5.974209e-06,6.133433e-06,7.509613e-06,7.794016e-06,8.955940e-06,9.728506e-06,1.045108e-05,1.173167e-05,1.197729e-05,1.351900e-05,1.376615e-05,1.506205e-05,1.579933e-05,1.659342e-05,1.780208e-05,1.810121e-05,1.957471e-05,1.974876e-05,2.100450e-05,2.161766e-05,2.238261e-05,2.339131e-05,2.370246e-05,2.495895e-05,2.505661e-05,2.614830e-05,2.660466e-05,2.726806e-05,2.803040e-05,2.831688e-05,2.929440e-05,2.933202e-05,3.020118e-05,3.051054e-05,3.103849e-05,3.156905e-05,3.180809e-05,3.251229e-05,3.315369e-05,3.334615e-05,3.373517e-05,3.407725e-05,3.425973e-05,3.471265e-05,3.473048e-05,3.515057e-05,3.525953e-05,3.552309e-05,3.572504e-05,3.585110e-05,3.611614e-05,3.613760e-05,3.638547e-05,3.643951e-05,3.659745e-05,3.670148e-05,3.677618e-05,3.690790e-05,3.692410e-05,3.704354e-05,3.706420e-05,3.713669e-05,3.717543e-05,3.720562e-05,3.724622e-05,3.725225e-05,3.727837e-05,3.728076e-05,3.728565e-05,3.728291e-05,3.727564e-05,3.725616e-05,3.724979e-05,3.720945e-05,3.720369e-05,3.715585e-05,3.712836e-05,3.709014e-05,3.703277e-05,3.701340e-05,3.692662e-05,3.691927e-05,3.683070e-05,3.678997e-05,3.672650e-05,3.664679e-05,3.661479e-05,3.649631e-05,3.649144e-05,3.637172e-05,3.632549e-05,3.624163e-05,3.615033e-05,3.610662e-05,3.596722e-05,3.582392e-05,3.577732e-05,3.567717e-05,3.558163e-05,3.552738e-05,3.538108e-05,3.537493e-05,3.522020e-05,3.517651e-05,3.506349e-05,3.496865e-05,3.490513e-05,3.475820e-05,3.474537e-05,3.458450e-05,3.454575e-05,3.442273e-05,3.433184e-05,3.426030e-05,3.411697e-05,3.409741e-05,3.393424e-05,3.390159e-05,3.377096e-05,3.368607e-05,3.360774e-05,3.347079e-05,3.344472e-05,3.328204e-05,3.325605e-05,3.311981e-05,3.304214e-05,3.295816e-05,3.282932e-05,3.279719e-05,3.263699e-05,3.261782e-05,3.247765e-05,3.240784e-05,3.231925e-05,3.219955e-05,3.216187e-05,3.200557e-05,3.199311e-05,3.185040e-05,3.178867e-05,3.169644e-05,3.158635e-05,3.154372e-05,3.139229e-05,3.138626e-05,3.124219e-05,3.118849e-05,3.109346e-05,3.099312e-05,3.094613e-05,3.080023e-05,3.060987e-05,3.042210e-05,3.023696e-05,3.005447e-05,2.987467e-05,2.969757e-05,2.952320e-05,2.935156e-05,2.918265e-05,2.901647e-05,2.885302e-05,2.869229e-05,2.853427e-05,2.837895e-05,2.822630e-05,2.807632e-05,2.792897e-05,2.778423e-05,2.764208e-05,2.750250e-05,2.736544e-05,2.723090e-05,2.709883e-05,2.696920e-05
0.000000e+00,4.834619e-11,2.470778e-10,2.239027e-09,8.314932e-09,1.461262e-08,4.604386e-08,4.791179e-08,1.126889e-07,1.378443e-07,2.189753e-07,3.066955e-07,3.764147e-07,5.744798e-07,5.943551e-07,8.816347e-07,9.617760e-07,1.245710e-06,1.485042e-06,1.691319e-06,2.152120e-06,2.219916e-06,2.830483e-06,2.962242e-06,3.520688e-06,3.910079e-06,4.287484e-06,4.988129e-06,5.127218e-06,6.035587e-06,6.186972e-06,7.007610e-06,7.495161e-06,8.037662e-06,8.899350e-06,9.119567e-06,1.024672e-05,1.038470e-05,1.141225e-05,1.193543e-05,1.260915e-05,1.353546e-05,1.383042e-05,1.506926e-05,1.516892e-05,1.631908e-05,1.682069e-05,1.757370e-05,1.847673e-05,1.882734e-05,2.007470e-05,2.012440e-05,2.131101e-05,2.175253e-05,2.253198e-05,2.335154e-05,2.373386e-05,2.491340e-05,2.606780e-05,2.643151e-05,2.719474e-05,2.790066e-05,2.829228e-05,2.931683e-05,2.935888e-05,3.039332e-05,3.067706e-05,3.139468e-05,3.197935e-05,3.236233e-05,3.322244e-05,3.329586e-05,3.419507e-05,3.440576e-05,3.505992e-05,3.552928e-05,3.589055e-05,3.659340e-05,3.668722e-05,3.745029e-05,3.759891e-05,3.818022e-05,3.854686e-05,3.887755e-05,3.943854e-05,3.954286e-05,4.017682e-05,4.027539e-05,4.078011e-05,4.105900e-05,4.135344e-05,4.179105e-05,4.189757e-05,4.241325e-05,4.247326e-05,4.290125e-05,4.310741e-05,4.336236e-05,4.369530e-05,4.379736e-05,4.420703e-05,4.423873e-05,4.459214e-05,4.473948e-05,4.495346e-05,4.519931e-05,4.529176e-05,4.560779e-05,4.561998e-05,4.590230e-05,4.600319e-05,4.617601e-05,4.635062e-05,4.642964e-05,4.666390e-05,4.687947e-05,4.694462e-05,4.707703e-05,4.719432e-05,4.725724e-05,4.741451e-05,4.742073e-05,4.756814e-05,4.760662e-05,4.770008e-05,4.777207e-05,4.781714e-05,4.791220e-05,4.791991e-05,4.800894e-05,4.802832e-05,4.808478e-05,4.812169e-05,4.814797e-05,4.819352e-05,4.819903e-05,4.823845e-05,4.824498e-05,4.826672e-05,4.827718e-05,4.828433e-05,4.829120e-05,4.829171e-05,4.828933e-05,4.828807e-05,4.827760e-05,4.826878e-05,4.825695e-05,4.823427e-05,4.822777e-05,4.819047e-05,4.818546e-05,4.814540e-05,4.812321e-05,4.809295e-05,4.804836e-05,4.803346e-05,4.796727e-05,4.796170e-05,4.789471e-05,4.786398e-05,4.781611e-05,4.775594e-05,4.773175e-05,4.764196e-05,4.763825e-05,4.754699e-05,4.751160e-05,4.744715e-05,4.737659e-05,4.734268e-05,4.723384e-05,4.708392e-05,4.692735e-05,4.676468e-05,4.659638e-05,4.642292e-05,4.624475e-05,4.606230e-05,4.587595e-05,4.568609e-05,4.549308e-05,4.529726e-05,4.509895e-05,4.489847e-05,4.469609e-05,4.449209e-05,4.428673e-05,4.408025e-05,4.387288e-05,4.366484e-05,4.345633e-05,4.324755e-05,4.303866e-05,4.282985e-05,4.262127e-05
0.000000e+00,6.183208e-15,5.276313e-14,1.246077e-12,9.880053e-12,2.526608e-11,1.869564e-10,2.007873e-10,9.580836e-10,1.393748e-09,3.320563e-09,6.276183e-09,9.254448e-09,2.065890e-08,2.203834e-08,4.661297e-08,5.498493e-08,8.983300e-08,1.253849e-07,1.604906e-07,2.536099e-07,2.690025e-07,4.267715e-07,4.652604e-07,6.453539e-07,7.867035e-07,9.356054e-07,1.241754e-06,1.306954e-06,1.766872e-06,1.849060e-06,2.320570e-06,2.620577e-06,2.970882e-06,3.561114e-06,3.718321e-06,4.561220e-06,4.668629e-06,5.495959e-06,5.935026e-06,6.517232e-06,7.347182e-06,7.618318e-06,8.791377e-06,8.888075e-06,1.002772e-05,1.053791e-05,1.131807e-05,1.227519e-05,1.265284e-05,1.402233e-05,1.407770e-05,1.541694e-05,1.592334e-05,1.682734e-05,1.779088e-05,1.824465e-05,1.966052e-05,2.106722e-05,2.151427e-05,2.245777e-05,2.333631e-05,2.382588e-05,2.511304e-05,2.516604e-05,2.647350e-05,2.683317e-05,2.774424e-05,2.848764e-05,2.897492e-05,3.006946e-05,3.016287e-05,3.130605e-05,3.157357e-05,3.240293e-05,3.299657e-05,3.345252e-05,3.433657e-05,3.445424e-05,3.540791e-05,3.559289e-05,3.631368e-05,3.676589e-05,3.717199e-05,3.785676e-05,3.798349e-05,3.874908e-05,3.886737e-05,3.946976e-05,3.980008e-05,4.014671e-05,4.065763e-05,4.078119e-05,4.137452e-05,4.144302e-05,4.192809e-05,4.215943e-05,4.244333e-05,4.281015e-05,4.292167e-05,4.336456e-05,4.339850e-05,4.377344e-05,4.392779e-05,4.414973e-05,4.440128e-05,4.449486e-05,4.481018e-05,4.482219e-05,4.509706e-05,4.519363e-05,4.535681e-05,4.551860e-05,4.559071e-05,4.580000e-05,4.598588e-05,4.604060e-05,4.614950e-05,4.624305e-05,4.629198e-05,4.640987e-05,4.641439e-05,4.651778e-05,4.654346e-05,4.660314e-05,4.664609e-05,4.667142e-05,4.671994e-05,4.672353e-05,4.676036e-05,4.676702e-05,4.678275e-05,4.678928e-05,4.679150e-05,4.678854e-05,4.678739e-05,4.677114e-05,4.676650e-05,4.674347e-05,4.672478e-05,4.670504e-05,4.666491e-05,4.665649e-05,4.659844e-05,4.658831e-05,4.653148e-05,4.649633e-05,4.645615e-05,4.639023e-05,4.637299e-05,4.628251e-05,4.627119e-05,4.618519e-05,4.614032e-05,4.608148e-05,4.599867e-05,4.597183e-05,4.585665e-05,4.584721e-05,4.573633e-05,4.568685e-05,4.561125e-05,4.551845e-05,4.548177e-05,4.534822e-05,4.534280e-05,4.521094e-05,4.516066e-05,4.507022e-05,4.497272e-05,4.492636e-05,4.477964e-05,4.458201e-05,4.438041e-05,4.417537e-05,4.396737e-05,4.375688e-05,4.354432e-05,4.333008e-05,4.311453e-05,4.289802e-05,4.268085e-05,4.246332e-05,4.224570e-05,4.202824e-05,4.181116e-05,4.159469e-05,4.137901e-05,4.116430e-05,4.095074e-05,4.073846e-05,4.052761e-05,4.031831e-05,4.011068e-05,3.990482e-05,3.970081e-05
