0.000000e+00,1.010101e+00,1.333333e+00,2.020202e+00,2.666667e+00,3.030303e+00,4.000000e+00,4.040404e+00,5.050505e+00,5.333333e+00,6.060606e+00,6.666667e+00,7.070707e+00,8.000000e+00,8.080808e+00,9.090909e+00,9.333333e+00,1.010101e+01,1.066667e+01,1.111111e+01,1.200000e+01,1.212121e+01,1.313131e+01,1.333333e+01,1.414141e+01,1.466667e+01,1.515152e+01,1.600000e+01,1.616162e+01,1.717172e+01,1.733333e+01,1.818182e+01,1.866667e+01,1.919192e+01,2.000000e+01,2.020202e+01,2.121212e+01,2.133333e+01,2.222222e+01,2.266667e+01,2.323232e+01,2.400000e+01,2.424242e+01,2.525253e+01,2.533333e+01,2.626263e+01,2.666667e+01,2.727273e+01,2.800000e+01,2.828283e+01,2.929293e+01,2.933333e+01,3.030303e+01,3.066667e+01,3.131313e+01,3.200000e+01,3.232323e+01,3.333333e+01,3.434343e+01,3.466667e+01,3.535354e+01,3.600000e+01,3.636364e+01,3.733333e+01,3.737374e+01,3.838384e+01,3.866667e+01,3.939394e+01,4.000000e+01,4.040404e+01,4.133333e+01,4.141414e+01,4.242424e+01,4.266667e+01,4.343434e+01,4.400000e+01,4.444444e+01,4.533333e+01,4.545455e+01,4.646465e+01,4.666667e+01,4.747475e+01,4.800000e+01,4.848485e+01,4.933333e+01,4.949495e+01,5.050505e+01,5.066667e+01,5.151515e+01,5.200000e+01,5.252525e+01,5.333333e+01,5.353535e+01,5.454545e+01,5.466667e+01,5.555556e+01,5.600000e+01,5.656566e+01,5.733333e+01,5.757576e+01,5.858586e+01,5.866667e+01,5.959596e+01,6.000000e+01,6.060606e+01,6.133333e+01,6.161616e+01,6.262626e+01,6.266667e+01,6.363636e+01,6.400000e+01,6.464646e+01,6.533333e+01,6.565657e+01,6.666667e+01,6.767677e+01,6.800000e+01,6.868687e+01,6.933333e+01,6.969697e+01,7.066667e+01,7.070707e+01,7.171717e+01,7.200000e+01,7.272727e+01,7.333333e+01,7.373737e+01,7.466667e+01,7.474747e+01,7.575758e+01,7.600000e+01,7.676768e+01,7.733333e+01,7.777778e+01,7.866667e+01,7.878788e+01,7.979798e+01,8.000000e+01,8.080808e+01,8.133333e+01,8.181818e+01,8.266667e+01,8.282828e+01,8.383838e+01,8.400000e+01,8.484848e+01,8.533333e+01,8.585859e+01,8.666667e+01,8.686869e+01,8.787879e+01,8.800000e+01,8.888889e+01,8.933333e+01,8.989899e+01,9.066667e+01,9.090909e+01,9.191919e+01,9.200000e+01,9.292929e+01,9.333333e+01,9.393939e+01,9.466667e+01,9.494949e+01,9.595960e+01,9.600000e+01,9.696970e+01,9.733333e+01,9.797980e+01,9.866667e+01,9.898990e+01,1.000000e+02,1.013333e+02,1.026667e+02,1.040000e+02,1.053333e+02,1.066667e+02,1.080000e+02,1.093333e+02,1.106667e+02,1.120000e+02,1.133333e+02,1.146667e+02,1.160000e+02,1.173333e+02,1.186667e+02,1.200000e+02,1.213333e+02,1.226667e+02,1.240000e+02,1.253333e+02,1.266667e+02,1.280000e+02,1.293333e+02,1.306667e+02,1.320000e+02
0.000000e+00,2.706386e-17,3.054050e-16,1.096792e-14,1.151824e-13,3.353198e-13,3.288646e-12,3.568137e-12,2.134356e-11,3.280411e-11,8.886310e-11,1.846870e-10,2.886293e-10,7.268240e-10,7.829181e-10,1.853275e-09,2.241242e-09,3.944715e-09,5.795937e-09,7.711542e-09,1.312515e-08,1.405988e-08,2.417942e-08,2.678147e-08,3.955595e-08,5.020617e-08,6.195833e-08,8.767244e-08,9.339911e-08,1.360728e-07,1.440960e-07,1.922801e-07,2.247504e-07,2.643452e-07,3.349432e-07,3.545367e-07,4.649948e-07,4.797067e-07,5.976713e-07,6.635391e-07,7.542813e-07,8.902113e-07,9.362696e-07,1.144789e-06,1.162644e-06,1.380688e-06,1.482847e-06,1.644514e-06,1.851912e-06,1.936515e-06,2.256659e-06,2.270047e-06,2.604647e-06,2.736643e-06,2.979941e-06,3.250361e-06,3.381785e-06,3.809233e-06,4.261177e-06,4.410772e-06,4.736371e-06,5.052075e-06,5.233461e-06,5.729933e-06,5.751009e-06,6.287515e-06,6.440925e-06,6.841439e-06,7.181506e-06,7.411222e-06,7.948086e-06,7.995301e-06,8.592127e-06,8.737092e-06,9.200173e-06,9.545024e-06,9.817951e-06,1.036850e-05,1.044402e-05,1.107698e-05,1.120428e-05,1.171550e-05,1.204930e-05,1.235830e-05,1.290068e-05,1.300418e-05,1.365200e-05,1.375575e-05,1.430066e-05,1.461202e-05,1.494917e-05,1.546723e-05,1.559658e-05,1.624201e-05,1.631929e-05,1.688464e-05,1.716632e-05,1.752372e-05,1.800662e-05,1.815856e-05,1.878850e-05,1.883867e-05,1.941297e-05,1.966110e-05,2.003143e-05,2.047272e-05,2.064339e-05,2.124843e-05,2.127248e-05,2.184613e-05,2.205944e-05,2.243615e-05,2.283282e-05,2.301818e-05,2.359193e-05,2.415715e-05,2.433619e-05,2.471364e-05,2.506513e-05,2.526122e-05,2.577835e-05,2.579971e-05,2.632901e-05,2.647555e-05,2.684899e-05,2.715648e-05,2.735958e-05,2.782098e-05,2.786072e-05,2.835236e-05,2.846893e-05,2.883447e-05,2.910028e-05,2.930704e-05,2.971502e-05,2.977008e-05,3.022362e-05,3.031318e-05,3.066767e-05,3.089484e-05,3.110229e-05,3.146011e-05,3.152752e-05,3.194344e-05,3.200912e-05,3.235011e-05,3.254205e-05,3.274761e-05,3.305907e-05,3.313604e-05,3.351548e-05,3.356042e-05,3.388604e-05,3.404630e-05,3.424782e-05,3.451698e-05,3.460094e-05,3.494550e-05,3.497270e-05,3.528163e-05,3.541375e-05,3.560945e-05,3.584040e-05,3.592907e-05,3.624063e-05,3.625293e-05,3.654426e-05,3.665165e-05,3.684008e-05,3.703685e-05,3.712823e-05,3.740883e-05,3.776791e-05,3.811438e-05,3.844856e-05,3.877075e-05,3.908127e-05,3.938041e-05,3.966849e-05,3.994579e-05,4.021262e-05,4.046928e-05,4.071604e-05,4.095321e-05,4.118105e-05,4.139985e-05,4.160988e-05,4.181140e-05,4.200467e-05,4.218996e-05,4.236752e-05,4.253758e-05,4.270039e-05,4.285619e-05,4.300520e-05,4.314764e-05
0.000000e+00,3.649079e-12,1.182747e-11,6.638496e-11,2.065026e-10,3.469145e-10,1.063606e-09,1.107487e-09,2.713878e-09,3.377255e-09,5.642929e-09,8.279859e-09,1.049625e-08,1.729392e-08,1.801307e-08,2.906380e-08,3.234691e-08,4.459834e-08,5.560791e-08,6.555083e-08,8.913468e-08,9.275326e-08,1.269015e-07,1.346166e-07,1.685632e-07,1.933529e-07,2.181978e-07,2.663239e-07,2.761733e-07,3.427777e-07,3.542505e-07,4.182255e-07,4.576269e-07,5.026621e-07,5.767387e-07,5.961668e-07,6.987566e-07,7.116765e-07,8.103895e-07,8.623498e-07,9.309691e-07,1.028505e-06,1.060349e-06,1.198340e-06,1.209744e-06,1.344711e-06,1.405548e-06,1.499201e-06,1.615297e-06,1.661517e-06,1.831348e-06,1.838293e-06,2.008362e-06,2.073780e-06,2.192217e-06,2.320964e-06,2.382557e-06,2.579024e-06,2.781258e-06,2.847131e-06,2.988896e-06,3.124456e-06,3.201581e-06,3.410178e-06,3.418959e-06,3.640683e-06,3.703497e-06,3.866412e-06,4.003633e-06,4.095815e-06,4.309833e-06,4.328570e-06,4.564364e-06,4.621373e-06,4.802897e-06,4.937562e-06,5.043876e-06,5.257739e-06,5.287022e-06,5.532066e-06,5.581279e-06,5.778749e-06,5.907589e-06,6.026823e-06,6.236108e-06,6.276052e-06,6.526211e-06,6.566308e-06,6.777082e-06,6.897692e-06,7.028460e-06,7.229796e-06,7.280150e-06,7.531965e-06,7.562183e-06,7.783728e-06,7.894444e-06,8.035272e-06,8.226199e-06,8.286436e-06,8.537070e-06,8.557093e-06,8.787031e-06,8.886797e-06,9.036185e-06,9.215003e-06,9.284403e-06,9.531566e-06,9.541429e-06,9.777561e-06,9.865812e-06,1.002228e-05,1.018791e-05,1.026562e-05,1.050750e-05,1.074782e-05,1.082438e-05,1.098650e-05,1.113835e-05,1.122346e-05,1.144926e-05,1.145863e-05,1.169195e-05,1.175694e-05,1.192335e-05,1.206125e-05,1.215278e-05,1.236206e-05,1.238018e-05,1.260550e-05,1.265927e-05,1.282870e-05,1.295275e-05,1.304974e-05,1.324243e-05,1.326858e-05,1.348518e-05,1.352823e-05,1.369951e-05,1.381006e-05,1.391155e-05,1.408787e-05,1.412127e-05,1.432865e-05,1.436162e-05,1.453367e-05,1.463124e-05,1.473631e-05,1.489670e-05,1.493656e-05,1.513441e-05,1.515799e-05,1.532984e-05,1.541506e-05,1.552284e-05,1.566791e-05,1.571342e-05,1.590157e-05,1.591652e-05,1.608728e-05,1.616089e-05,1.627056e-05,1.640101e-05,1.645140e-05,1.662981e-05,1.663690e-05,1.680580e-05,1.686856e-05,1.697936e-05,1.709600e-05,1.715050e-05,1.731924e-05,1.753829e-05,1.775319e-05,1.796396e-05,1.817062e-05,1.837320e-05,1.857175e-05,1.876630e-05,1.895687e-05,1.914352e-05,1.932628e-05,1.950520e-05,1.968031e-05,1.985167e-05,2.001931e-05,2.018329e-05,2.034364e-05,2.050043e-05,2.065370e-05,2.080349e-05,2.094985e-05,2.109284e-05,2.123251e-05,2.136889e-05,2.150206e-05
0.000000e+00,2.160137e-11,6.602989e-11,3.488556e-10,1.056983e-09,1.760187e-09,5.335283e-09,5.554297e-09,1.361399e-08,1.696862e-08,2.853560e-08,4.218180e-08,5.377407e-08,8.979110e-08,9.362844e-08,1.528151e-07,1.704018e-07,2.357516e-07,2.939717e-07,3.461111e-07,4.682464e-07,4.868147e-07,6.601920e-07,6.989601e-07,8.681167e-07,9.904014e-07,1.112086e-06,1.345733e-06,1.393259e-06,1.712475e-06,1.767120e-06,2.070267e-06,2.255791e-06,2.466875e-06,2.812088e-06,2.902255e-06,3.376108e-06,3.435533e-06,3.887896e-06,4.124914e-06,4.436870e-06,4.878390e-06,5.022095e-06,5.642479e-06,5.693593e-06,6.296802e-06,6.567740e-06,6.983737e-06,7.497734e-06,7.701873e-06,8.449742e-06,8.480254e-06,9.225831e-06,9.511835e-06,1.002860e-05,1.058893e-05,1.085649e-05,1.170796e-05,1.258146e-05,1.286538e-05,1.347546e-05,1.405768e-05,1.438845e-05,1.528142e-05,1.531896e-05,1.626556e-05,1.653329e-05,1.722682e-05,1.781005e-05,1.820139e-05,1.910861e-05,1.918795e-05,2.018520e-05,2.042599e-05,2.119191e-05,2.175935e-05,2.220688e-05,2.310597e-05,2.322896e-05,2.425704e-05,2.446328e-05,2.529006e-05,2.582883e-05,2.632699e-05,2.720031e-05,2.736685e-05,2.840871e-05,2.857553e-05,2.945167e-05,2.995242e-05,3.049487e-05,3.132905e-05,3.153749e-05,3.257876e-05,3.270359e-05,3.361794e-05,3.407433e-05,3.465431e-05,3.543966e-05,3.568721e-05,3.671600e-05,3.679810e-05,3.774007e-05,3.814826e-05,3.875887e-05,3.948882e-05,3.977184e-05,4.077847e-05,4.081860e-05,4.177829e-05,4.213647e-05,4.277085e-05,4.344142e-05,4.375571e-05,4.473249e-05,4.570079e-05,4.600881e-05,4.666029e-05,4.726959e-05,4.761064e-05,4.851409e-05,4.855155e-05,4.948273e-05,4.974168e-05,5.040392e-05,5.095174e-05,5.131488e-05,5.214374e-05,5.221539e-05,5.310524e-05,5.331720e-05,5.398425e-05,5.447170e-05,5.485225e-05,5.560687e-05,5.570909e-05,5.655463e-05,5.672237e-05,5.738874e-05,5.781793e-05,5.821132e-05,5.889330e-05,5.902227e-05,5.982151e-05,5.994830e-05,6.060898e-05,6.098276e-05,6.138461e-05,6.199656e-05,6.214835e-05,6.290018e-05,6.298960e-05,6.364006e-05,6.396182e-05,6.436799e-05,6.491321e-05,6.508395e-05,6.578794e-05,6.584374e-05,6.647998e-05,6.675345e-05,6.716008e-05,6.764238e-05,6.782828e-05,6.848460e-05,6.851061e-05,6.912909e-05,6.935821e-05,6.976178e-05,7.018530e-05,7.038274e-05,7.099201e-05,7.177848e-05,7.254486e-05,7.329133e-05,7.401808e-05,7.472529e-05,7.541319e-05,7.608198e-05,7.673189e-05,7.736316e-05,7.797602e-05,7.857073e-05,7.914754e-05,7.970671e-05,8.024849e-05,8.077317e-05,8.128100e-05,8.177226e-05,8.224722e-05,8.270616e-05,8.314936e-05,8.357710e-05,8.398965e-05,8.438730e-05,8.477032e-05
0.000000e+00,1.591236e-16,1.702472e-15,5.479437e-14,5.211701e-13,1.437639e-12,1.229330e-11,1.326487e-11,6.953287e-11,1.031886e-10,2.564368e-10,4.981512e-10,7.458552e-10,1.713114e-09,1.831406e-09,3.965829e-09,4.701691e-09,7.798827e-09,1.100511e-08,1.421029e-08,2.287342e-08,2.432571e-08,3.949524e-08,4.326658e-08,6.122525e-08,7.563516e-08,9.107033e-08,1.234997e-07,1.305115e-07,1.808494e-07,1.899887e-07,2.431317e-07,2.775045e-07,3.181197e-07,3.875866e-07,4.062885e-07,5.078501e-07,5.209388e-07,6.227881e-07,6.775514e-07,7.508971e-07,8.568541e-07,8.918208e-07,1.045086e-06,1.057863e-06,1.210130e-06,1.279307e-06,1.386328e-06,1.519724e-06,1.573014e-06,1.769490e-06,1.777543e-06,1.975051e-06,2.051140e-06,2.188987e-06,2.338887e-06,2.410594e-06,2.639183e-06,2.874086e-06,2.950481e-06,3.114654e-06,3.271304e-06,3.360269e-06,3.600256e-06,3.610337e-06,3.864296e-06,3.936029e-06,4.121615e-06,4.277409e-06,4.381792e-06,4.623272e-06,4.644354e-06,4.908859e-06,4.972583e-06,5.174894e-06,5.324397e-06,5.442073e-06,5.677849e-06,5.710034e-06,5.978444e-06,6.032152e-06,6.246992e-06,6.386594e-06,6.515389e-06,6.740531e-06,6.783369e-06,7.050685e-06,7.093379e-06,7.317109e-06,7.444614e-06,7.582432e-06,7.793766e-06,7.846459e-06,8.109014e-06,8.140414e-06,8.369933e-06,8.484180e-06,8.629067e-06,8.824729e-06,8.886278e-06,9.141443e-06,9.161764e-06,9.394447e-06,9.495020e-06,9.645187e-06,9.824266e-06,9.893570e-06,1.013951e-05,1.014930e-05,1.038294e-05,1.046994e-05,1.062377e-05,1.078603e-05,1.086196e-05,1.109745e-05,1.133019e-05,1.140408e-05,1.156014e-05,1.170583e-05,1.178727e-05,1.200262e-05,1.201153e-05,1.223291e-05,1.229438e-05,1.245139e-05,1.258107e-05,1.266693e-05,1.286264e-05,1.287954e-05,1.308921e-05,1.313908e-05,1.329591e-05,1.341037e-05,1.349965e-05,1.367650e-05,1.370043e-05,1.389826e-05,1.393747e-05,1.409312e-05,1.419328e-05,1.428503e-05,1.444397e-05,1.447401e-05,1.466005e-05,1.468954e-05,1.484317e-05,1.493003e-05,1.502338e-05,1.516547e-05,1.520070e-05,1.537515e-05,1.539589e-05,1.554674e-05,1.562134e-05,1.571549e-05,1.584185e-05,1.588142e-05,1.604456e-05,1.605749e-05,1.620492e-05,1.626830e-05,1.636254e-05,1.647433e-05,1.651742e-05,1.666960e-05,1.667563e-05,1.681910e-05,1.687227e-05,1.696595e-05,1.706431e-05,1.711018e-05,1.725180e-05,1.743481e-05,1.761340e-05,1.778764e-05,1.795758e-05,1.812330e-05,1.828486e-05,1.844233e-05,1.859577e-05,1.874525e-05,1.889084e-05,1.903260e-05,1.917060e-05,1.930491e-05,1.943559e-05,1.956271e-05,1.968634e-05,1.980653e-05,1.992336e-05,2.003688e-05,2.014717e-05,2.025428e-05,2.035828e-05,2.045922e-05,2.055718e-05
0.000000e+00,2.367446e-17,2.766353e-16,1.068842e-14,1.200435e-13,3.626842e-13,3.918070e-12,4.267897e-12,2.812698e-11,4.438848e-11,1.285251e-10,2.819195e-10,4.563452e-10,1.242826e-09,1.347673e-09,3.458800e-09,4.262210e-09,7.949315e-09,1.217151e-08,1.671357e-08,3.023841e-08,3.265643e-08,6.000388e-08,6.732625e-08,1.046321e-07,1.371873e-07,1.743923e-07,2.597430e-07,2.794022e-07,4.322758e-07,4.621587e-07,6.482634e-07,7.795167e-07,9.452838e-07,1.254939e-06,1.343839e-06,1.866804e-06,1.939085e-06,2.539106e-06,2.889025e-06,3.387302e-06,4.166577e-06,4.439077e-06,5.722681e-06,5.836232e-06,7.266331e-06,7.962817e-06,9.097607e-06,1.060908e-05,1.124285e-05,1.372660e-05,1.383331e-05,1.657106e-05,1.768720e-05,1.979567e-05,2.221397e-05,2.341667e-05,2.744687e-05,3.189533e-05,3.340813e-05,3.676728e-05,4.010835e-05,4.206405e-05,4.754626e-05,4.778306e-05,5.391793e-05,5.570893e-05,6.045862e-05,6.457236e-05,6.739165e-05,7.410224e-05,7.470031e-05,8.236501e-05,8.425510e-05,9.036353e-05,9.497949e-05,9.867142e-05,1.062174e-04,1.072623e-04,1.161082e-04,1.179055e-04,1.251801e-04,1.299767e-04,1.344478e-04,1.423617e-04,1.438809e-04,1.534485e-04,1.549898e-04,1.631200e-04,1.677903e-04,1.728650e-04,1.806938e-04,1.826536e-04,1.924568e-04,1.936328e-04,2.022466e-04,2.065428e-04,2.119959e-04,2.193625e-04,2.216792e-04,2.312721e-04,2.320349e-04,2.407518e-04,2.445072e-04,2.500971e-04,2.567313e-04,2.592881e-04,2.683069e-04,2.686639e-04,2.771370e-04,2.802666e-04,2.857633e-04,2.915061e-04,2.941727e-04,3.023535e-04,3.102952e-04,3.127847e-04,3.179893e-04,3.227801e-04,3.254283e-04,3.323242e-04,3.326063e-04,3.395184e-04,3.414057e-04,3.461613e-04,3.500166e-04,3.525323e-04,3.581526e-04,3.586304e-04,3.644550e-04,3.658122e-04,3.700066e-04,3.729969e-04,3.752868e-04,3.797105e-04,3.802976e-04,3.850419e-04,3.859591e-04,3.895232e-04,3.917509e-04,3.937455e-04,3.970955e-04,3.977135e-04,4.014320e-04,4.020041e-04,4.049065e-04,4.064892e-04,4.081427e-04,4.105641e-04,4.111466e-04,4.139245e-04,4.142430e-04,4.164829e-04,4.175408e-04,4.188284e-04,4.204726e-04,4.209676e-04,4.229075e-04,4.230543e-04,4.246549e-04,4.253015e-04,4.262167e-04,4.272302e-04,4.275999e-04,4.288113e-04,4.288563e-04,4.298578e-04,4.301955e-04,4.307462e-04,4.312634e-04,4.314832e-04,4.320753e-04,4.326463e-04,4.329909e-04,4.331234e-04,4.330577e-04,4.328070e-04,4.323843e-04,4.318018e-04,4.310715e-04,4.302049e-04,4.292127e-04,4.281054e-04,4.268929e-04,4.255845e-04,4.241893e-04,4.227155e-04,4.211713e-04,4.195641e-04,4.179011e-04,4.161888e-04,4.144337e-04,4.126415e-04,4.108179e-04,4.089679e-04,4.070965e-04
0.000000e+00,2.586114e-16,2.748095e-15,8.722327e-14,8.193021e-13,2.244634e-12,1.885531e-11,2.033056e-11,1.046218e-10,1.544472e-10,3.785259e-10,7.264454e-10,1.078506e-09,2.426216e-09,2.588818e-09,5.466805e-09,6.439792e-09,1.045826e-08,1.451931e-08,1.850399e-08,2.900670e-08,3.073782e-08,4.847427e-08,5.280887e-08,7.318268e-08,8.930889e-08,1.064465e-07,1.422029e-07,1.499111e-07,2.052274e-07,2.152861e-07,2.739989e-07,3.122367e-07,3.577366e-07,4.364381e-07,4.578256e-07,5.755012e-07,5.908567e-07,7.118337e-07,7.779679e-07,8.677194e-07,9.997182e-07,1.043876e-06,1.240844e-06,1.257513e-06,1.458987e-06,1.552222e-06,1.698498e-06,1.884201e-06,1.959408e-06,2.241592e-06,2.253319e-06,2.544786e-06,2.659007e-06,2.868595e-06,3.100303e-06,3.212506e-06,3.575906e-06,3.958092e-06,4.084234e-06,4.358288e-06,4.623480e-06,4.775656e-06,5.191664e-06,5.209311e-06,5.658330e-06,5.786679e-06,6.121764e-06,6.406343e-06,6.598650e-06,7.048430e-06,7.088016e-06,7.588890e-06,7.710705e-06,8.100309e-06,8.390954e-06,8.621320e-06,9.087002e-06,9.150989e-06,9.688400e-06,9.796733e-06,1.023267e-05,1.051810e-05,1.078292e-05,1.124915e-05,1.133833e-05,1.189810e-05,1.198801e-05,1.246144e-05,1.273290e-05,1.302762e-05,1.348213e-05,1.359593e-05,1.416570e-05,1.423413e-05,1.473627e-05,1.498741e-05,1.530703e-05,1.574058e-05,1.587741e-05,1.644685e-05,1.649235e-05,1.701483e-05,1.724150e-05,1.758086e-05,1.798693e-05,1.814448e-05,1.870524e-05,1.872761e-05,1.926275e-05,1.946258e-05,1.981661e-05,2.019098e-05,2.036648e-05,2.091201e-05,2.145289e-05,2.162494e-05,2.198884e-05,2.232913e-05,2.251958e-05,2.302396e-05,2.304487e-05,2.356448e-05,2.370892e-05,2.407819e-05,2.438351e-05,2.458582e-05,2.504732e-05,2.508719e-05,2.558215e-05,2.569997e-05,2.607054e-05,2.634112e-05,2.655224e-05,2.697050e-05,2.702713e-05,2.749511e-05,2.758787e-05,2.795609e-05,2.819301e-05,2.841000e-05,2.878577e-05,2.885677e-05,2.929633e-05,2.936599e-05,2.972866e-05,2.993359e-05,3.015370e-05,3.048848e-05,3.057144e-05,3.098186e-05,3.103061e-05,3.138494e-05,3.155997e-05,3.178069e-05,3.207655e-05,3.216910e-05,3.255020e-05,3.258037e-05,3.292400e-05,3.307148e-05,3.329052e-05,3.354993e-05,3.364980e-05,3.400186e-05,3.401579e-05,3.434675e-05,3.446916e-05,3.468452e-05,3.491015e-05,3.501520e-05,3.533886e-05,3.575543e-05,3.615999e-05,3.655270e-05,3.693371e-05,3.730317e-05,3.766127e-05,3.800818e-05,3.834409e-05,3.866916e-05,3.898361e-05,3.928761e-05,3.958137e-05,3.986508e-05,4.013895e-05,4.040316e-05,4.065793e-05,4.090345e-05,4.113993e-05,4.136756e-05,4.158656e-05,4.179711e-05,4.199942e-05,4.219369e-05,4.238011e-05
0.000000e+00,7.096420e-12,2.169590e-11,1.145941e-10,3.468748e-10,5.771631e-10,1.743417e-09,1.814650e-09,4.422648e-09,5.501676e-09,9.199970e-09,1.352982e-08,1.718881e-08,2.850530e-08,2.970967e-08,4.834762e-08,5.392303e-08,7.483504e-08,9.372886e-08,1.108459e-07,1.515647e-07,1.578214e-07,2.169137e-07,2.302686e-07,2.890143e-07,3.318810e-07,3.748053e-07,4.578304e-07,4.748014e-07,5.893783e-07,6.090823e-07,7.187896e-07,7.862220e-07,8.631778e-07,9.895016e-07,1.022582e-06,1.196946e-06,1.218869e-06,1.386123e-06,1.473997e-06,1.589883e-06,1.754310e-06,1.807923e-06,2.039872e-06,2.059017e-06,2.285303e-06,2.387145e-06,2.543739e-06,2.737577e-06,2.814663e-06,3.097525e-06,3.109080e-06,3.391751e-06,3.500340e-06,3.696748e-06,3.909991e-06,4.011912e-06,4.336633e-06,4.670300e-06,4.778862e-06,5.012302e-06,5.235280e-06,5.362038e-06,5.704509e-06,5.718914e-06,6.082348e-06,6.185208e-06,6.451773e-06,6.676073e-06,6.826635e-06,7.175849e-06,7.206398e-06,7.590542e-06,7.683332e-06,7.978565e-06,8.197372e-06,8.369986e-06,8.716876e-06,8.764338e-06,9.161176e-06,9.240804e-06,9.560073e-06,9.768177e-06,9.960620e-06,1.029807e-05,1.036242e-05,1.076512e-05,1.082960e-05,1.116834e-05,1.136197e-05,1.157175e-05,1.189441e-05,1.197504e-05,1.237789e-05,1.242619e-05,1.278001e-05,1.295665e-05,1.318114e-05,1.348517e-05,1.358101e-05,1.397938e-05,1.401117e-05,1.437601e-05,1.453413e-05,1.477069e-05,1.505353e-05,1.516321e-05,1.555338e-05,1.556894e-05,1.594103e-05,1.607992e-05,1.632597e-05,1.658610e-05,1.670805e-05,1.708712e-05,1.746305e-05,1.758266e-05,1.783570e-05,1.807242e-05,1.820496e-05,1.855616e-05,1.857072e-05,1.893287e-05,1.903362e-05,1.929133e-05,1.950459e-05,1.964600e-05,1.996889e-05,1.999681e-05,2.034369e-05,2.042634e-05,2.068657e-05,2.087681e-05,2.102539e-05,2.132016e-05,2.136010e-05,2.169066e-05,2.175627e-05,2.201703e-05,2.218507e-05,2.233917e-05,2.260647e-05,2.265704e-05,2.297063e-05,2.302041e-05,2.327992e-05,2.342684e-05,2.358488e-05,2.382573e-05,2.388550e-05,2.418179e-05,2.421705e-05,2.447372e-05,2.460079e-05,2.476130e-05,2.497695e-05,2.504453e-05,2.532342e-05,2.534554e-05,2.559797e-05,2.570658e-05,2.586820e-05,2.606009e-05,2.613411e-05,2.639572e-05,2.640610e-05,2.665306e-05,2.674466e-05,2.690614e-05,2.707581e-05,2.715497e-05,2.739960e-05,2.771610e-05,2.802536e-05,2.832746e-05,2.862247e-05,2.891046e-05,2.919151e-05,2.946571e-05,2.973314e-05,2.999388e-05,3.024803e-05,3.049569e-05,3.073693e-05,3.097186e-05,3.120058e-05,3.142317e-05,3.163974e-05,3.185039e-05,3.205521e-05,3.225430e-05,3.244777e-05,3.263570e-05,3.281820e-05,3.299537e-05,3.316731e-05
0.000000e+00,6.616634e-18,7.641675e-17,2.881295e-15,3.164971e-14,9.446997e-14,9.895366e-13,1.076556e-12,6.888926e-12,1.078819e-11,3.065912e-11,6.630283e-11,1.063913e-10,2.846372e-10,3.082197e-10,7.789802e-10,9.569164e-10,1.769388e-09,2.695067e-09,3.687691e-09,6.631815e-09,7.156811e-09,1.307262e-08,1.465056e-08,2.265494e-08,2.959620e-08,3.748326e-08,5.541161e-08,5.951131e-08,9.105853e-08,9.716252e-08,1.347793e-07,1.609429e-07,1.936121e-07,2.536760e-07,2.707154e-07,3.693927e-07,3.828436e-07,4.930141e-07,5.561772e-07,6.449371e-07,7.813435e-07,8.284310e-07,1.046607e-06,1.065648e-06,1.302358e-06,1.415777e-06,1.598304e-06,1.837581e-06,1.936749e-06,2.319652e-06,2.335917e-06,2.748600e-06,2.914537e-06,3.224797e-06,3.576030e-06,3.749056e-06,4.321806e-06,4.943095e-06,5.152117e-06,5.612611e-06,6.066124e-06,6.329702e-06,7.061969e-06,7.093397e-06,7.902432e-06,8.136886e-06,8.755287e-06,9.287312e-06,9.650207e-06,1.050901e-05,1.058524e-05,1.155826e-05,1.179719e-05,1.256702e-05,1.314665e-05,1.360914e-05,1.455185e-05,1.468217e-05,1.578360e-05,1.600707e-05,1.691090e-05,1.750647e-05,1.806151e-05,1.904418e-05,1.923290e-05,2.042255e-05,2.061443e-05,2.162800e-05,2.221152e-05,2.284684e-05,2.382997e-05,2.407671e-05,2.531536e-05,2.546448e-05,2.656059e-05,2.711003e-05,2.781031e-05,2.876187e-05,2.906252e-05,3.031533e-05,3.041552e-05,3.156691e-05,3.206682e-05,3.281558e-05,3.371191e-05,3.405973e-05,3.529785e-05,3.534723e-05,3.652853e-05,3.696950e-05,3.775047e-05,3.857577e-05,3.896245e-05,4.016333e-05,4.135208e-05,4.172976e-05,4.252775e-05,4.327289e-05,4.368945e-05,4.479080e-05,4.483638e-05,4.596783e-05,4.628177e-05,4.708314e-05,4.774433e-05,4.818172e-05,4.917718e-05,4.926304e-05,5.032664e-05,5.057922e-05,5.137211e-05,5.194951e-05,5.239909e-05,5.328729e-05,5.340728e-05,5.439641e-05,5.459193e-05,5.536628e-05,5.586294e-05,5.631670e-05,5.709994e-05,5.724755e-05,5.815873e-05,5.830269e-05,5.905016e-05,5.947102e-05,5.992182e-05,6.060490e-05,6.077369e-05,6.160581e-05,6.170434e-05,6.241821e-05,6.276944e-05,6.321097e-05,6.380039e-05,6.398419e-05,6.473796e-05,6.479742e-05,6.547242e-05,6.576083e-05,6.618772e-05,6.669096e-05,6.688402e-05,6.756149e-05,6.758820e-05,6.822031e-05,6.845296e-05,6.886070e-05,6.928573e-05,6.948285e-05,7.008700e-05,7.085727e-05,7.159711e-05,7.230707e-05,7.298773e-05,7.363969e-05,7.426356e-05,7.485995e-05,7.542948e-05,7.597278e-05,7.649047e-05,7.698319e-05,7.745157e-05,7.789623e-05,7.831781e-05,7.871693e-05,7.909421e-05,7.945025e-05,7.978567e-05,8.010107e-05,8.039703e-05,8.067415e-05,8.093300e-05,8.117415e-05,8.139815e-05
0.000000e+00,1.808925e-17,2.028551e-16,7.194021e-15,7.467684e-14,2.160040e-13,2.083341e-12,2.258855e-12,1.328820e-11,2.033087e-11,5.445004e-11,1.121302e-10,1.741954e-10,4.328961e-10,4.657851e-10,1.087733e-09,1.311303e-09,2.285521e-09,3.334448e-09,4.412091e-09,7.426696e-09,7.943488e-09,1.348578e-08,1.489787e-08,2.177086e-08,2.743900e-08,3.364139e-08,4.706165e-08,5.002697e-08,7.191511e-08,7.599553e-08,1.003204e-07,1.165678e-07,1.362545e-07,1.710838e-07,1.806990e-07,2.345813e-07,2.417228e-07,2.987550e-07,3.304521e-07,3.739840e-07,4.389629e-07,4.609298e-07,5.601428e-07,5.686236e-07,6.720557e-07,7.204508e-07,7.969806e-07,8.950951e-07,9.351079e-07,1.086508e-06,1.092840e-06,1.251136e-06,1.313614e-06,1.428836e-06,1.557011e-06,1.619350e-06,1.822323e-06,2.037321e-06,2.108578e-06,2.263832e-06,2.414579e-06,2.501283e-06,2.738949e-06,2.749050e-06,3.006467e-06,3.080179e-06,3.272840e-06,3.436665e-06,3.547453e-06,3.806751e-06,3.829581e-06,4.118496e-06,4.188765e-06,4.413475e-06,4.581046e-06,4.713805e-06,4.981972e-06,5.018794e-06,5.327766e-06,5.389981e-06,5.640074e-06,5.803586e-06,5.955099e-06,6.221387e-06,6.272250e-06,6.590970e-06,6.642075e-06,6.910732e-06,7.064442e-06,7.231044e-06,7.487378e-06,7.551444e-06,7.871505e-06,7.909870e-06,8.190830e-06,8.331005e-06,8.509054e-06,8.749959e-06,8.825839e-06,9.140876e-06,9.165994e-06,9.453882e-06,9.578458e-06,9.764602e-06,9.986772e-06,1.007280e-05,1.037827e-05,1.039043e-05,1.068082e-05,1.078899e-05,1.098027e-05,1.118206e-05,1.127649e-05,1.156932e-05,1.185866e-05,1.195049e-05,1.214439e-05,1.232533e-05,1.242643e-05,1.269364e-05,1.270470e-05,1.297913e-05,1.305527e-05,1.324966e-05,1.341009e-05,1.351624e-05,1.375798e-05,1.377885e-05,1.403743e-05,1.409889e-05,1.429198e-05,1.443276e-05,1.454248e-05,1.475956e-05,1.478892e-05,1.503128e-05,1.507927e-05,1.526958e-05,1.539189e-05,1.550382e-05,1.569746e-05,1.573401e-05,1.596017e-05,1.599598e-05,1.618230e-05,1.628751e-05,1.640044e-05,1.657209e-05,1.661461e-05,1.682482e-05,1.684979e-05,1.703112e-05,1.712066e-05,1.723353e-05,1.738479e-05,1.743209e-05,1.762683e-05,1.764224e-05,1.781779e-05,1.789312e-05,1.800500e-05,1.813749e-05,1.818850e-05,1.836835e-05,1.837546e-05,1.854457e-05,1.860713e-05,1.871720e-05,1.883257e-05,1.888630e-05,1.905191e-05,1.926523e-05,1.947264e-05,1.967424e-05,1.987014e-05,2.006045e-05,2.024527e-05,2.042470e-05,2.059885e-05,2.076782e-05,2.093172e-05,2.109066e-05,2.124473e-05,2.139405e-05,2.153870e-05,2.167880e-05,2.181444e-05,2.194571e-05,2.207273e-05,2.219558e-05,2.231436e-05,2.242916e-05,2.254008e-05,2.264720e-05,2.275061e-05
0.000000e+00,1.055156e-17,1.234010e-16,4.777378e-15,5.377700e-14,1.627165e-13,1.766417e-12,1.924588e-12,1.277190e-11,2.020280e-11,5.889749e-11,1.300603e-10,2.115857e-10,5.838518e-10,6.338945e-10,1.654351e-09,2.047398e-09,3.872565e-09,5.992368e-09,8.296759e-09,1.525232e-08,1.650646e-08,3.082759e-08,3.469269e-08,5.450427e-08,7.189972e-08,9.185196e-08,1.377814e-07,1.483782e-07,2.308619e-07,2.469898e-07,3.473844e-07,4.181083e-07,5.073112e-07,6.735761e-07,7.212233e-07,1.000804e-06,1.039357e-06,1.358682e-06,1.544380e-06,1.808243e-06,2.219783e-06,2.363414e-06,3.038421e-06,3.098027e-06,3.847548e-06,4.211920e-06,4.804882e-06,5.593617e-06,5.924067e-06,7.218064e-06,7.273634e-06,8.698933e-06,9.279941e-06,1.037763e-05,1.163715e-05,1.226385e-05,1.436584e-05,1.669034e-05,1.748206e-05,1.924245e-05,2.099690e-05,2.202559e-05,2.491639e-05,2.504150e-05,2.829021e-05,2.924138e-05,3.177008e-05,3.396768e-05,3.547787e-05,3.908624e-05,3.940879e-05,4.355661e-05,4.458355e-05,4.791377e-05,5.044199e-05,5.247148e-05,5.664033e-05,5.721985e-05,6.214803e-05,6.315423e-05,6.724435e-05,6.995679e-05,7.249642e-05,7.701908e-05,7.789131e-05,8.341565e-05,8.431064e-05,8.905574e-05,9.180004e-05,9.479772e-05,9.945528e-05,1.006276e-04,1.065315e-04,1.072443e-04,1.124955e-04,1.151352e-04,1.185061e-04,1.230970e-04,1.245498e-04,1.306136e-04,1.310992e-04,1.366849e-04,1.391128e-04,1.427516e-04,1.471101e-04,1.488019e-04,1.548246e-04,1.550648e-04,1.608093e-04,1.629524e-04,1.667457e-04,1.707500e-04,1.726244e-04,1.784366e-04,1.841740e-04,1.859929e-04,1.898289e-04,1.934014e-04,1.953941e-04,2.006464e-04,2.008633e-04,2.062303e-04,2.077141e-04,2.114899e-04,2.145921e-04,2.166373e-04,2.212699e-04,2.216680e-04,2.265783e-04,2.277385e-04,2.313648e-04,2.339902e-04,2.360248e-04,2.400189e-04,2.405557e-04,2.449556e-04,2.458197e-04,2.492228e-04,2.513889e-04,2.533562e-04,2.567241e-04,2.573548e-04,2.612181e-04,2.618237e-04,2.649459e-04,2.666871e-04,2.685383e-04,2.713149e-04,2.719955e-04,2.753183e-04,2.757080e-04,2.785073e-04,2.798684e-04,2.815637e-04,2.837985e-04,2.844886e-04,2.872835e-04,2.875015e-04,2.899500e-04,2.909810e-04,2.924897e-04,2.942409e-04,2.949046e-04,2.971966e-04,2.972858e-04,2.993678e-04,3.001203e-04,3.014204e-04,3.027496e-04,3.033567e-04,3.051789e-04,3.074138e-04,3.094599e-04,3.113230e-04,3.130090e-04,3.145238e-04,3.158735e-04,3.170639e-04,3.181011e-04,3.189911e-04,3.197397e-04,3.203528e-04,3.208362e-04,3.211955e-04,3.214363e-04,3.215641e-04,3.215842e-04,3.215019e-04,3.213224e-04,3.210505e-04,3.206911e-04,3.202489e-04,3.197285e-04,3.191344e-04,3.184707e-04
0.000000e+00,4.386304e-16,4.708227e-15,1.525704e-13,1.460544e-12,4.043685e-12,3.492664e-11,3.770318e-11,1.998446e-10,2.975450e-10,7.459529e-10,1.460375e-09,2.198431e-09,5.116717e-09,5.476589e-09,1.204480e-08,1.433460e-08,2.406955e-08,3.426781e-08,4.454733e-08,7.260341e-08,7.733397e-08,1.270155e-07,1.394183e-07,1.986252e-07,2.462332e-07,2.972775e-07,4.046017e-07,4.278158e-07,5.945424e-07,6.248280e-07,8.010552e-07,9.151744e-07,1.050187e-06,1.281596e-06,1.344012e-06,1.683905e-06,1.727829e-06,2.070604e-06,2.255647e-06,2.504298e-06,2.865170e-06,2.984693e-06,3.511085e-06,3.555154e-06,4.082419e-06,4.323243e-06,4.697345e-06,5.166196e-06,5.354266e-06,6.051385e-06,6.080079e-06,6.786745e-06,7.060438e-06,7.558266e-06,8.102453e-06,8.363781e-06,9.201065e-06,1.006786e-05,1.035110e-05,1.096191e-05,1.154735e-05,1.188095e-05,1.278468e-05,1.282276e-05,1.378516e-05,1.405804e-05,1.476604e-05,1.536256e-05,1.576331e-05,1.669357e-05,1.677499e-05,1.779916e-05,1.804661e-05,1.883397e-05,1.941745e-05,1.987765e-05,2.080209e-05,2.092853e-05,2.198498e-05,2.219681e-05,2.304550e-05,2.359809e-05,2.410863e-05,2.500268e-05,2.517301e-05,2.623733e-05,2.640753e-05,2.730037e-05,2.780984e-05,2.836099e-05,2.920702e-05,2.941811e-05,3.047070e-05,3.059667e-05,3.151782e-05,3.197659e-05,3.255858e-05,3.334479e-05,3.359214e-05,3.461774e-05,3.469942e-05,3.563464e-05,3.603881e-05,3.664217e-05,3.736145e-05,3.763973e-05,3.862673e-05,3.866599e-05,3.960265e-05,3.995117e-05,4.056700e-05,4.121592e-05,4.151934e-05,4.245925e-05,4.338638e-05,4.368030e-05,4.430038e-05,4.487831e-05,4.520096e-05,4.605263e-05,4.608784e-05,4.696078e-05,4.720268e-05,4.781958e-05,4.832799e-05,4.866404e-05,4.942816e-05,4.949402e-05,5.030936e-05,5.050285e-05,5.110996e-05,5.155183e-05,5.189573e-05,5.257488e-05,5.266660e-05,5.342250e-05,5.357189e-05,5.416342e-05,5.454276e-05,5.488932e-05,5.548747e-05,5.560021e-05,5.629609e-05,5.640604e-05,5.697700e-05,5.729853e-05,5.764298e-05,5.816504e-05,5.829407e-05,5.893034e-05,5.900570e-05,5.955186e-05,5.982068e-05,6.015872e-05,6.061018e-05,6.075101e-05,6.132883e-05,6.137443e-05,6.189228e-05,6.211367e-05,6.244150e-05,6.282818e-05,6.297659e-05,6.349769e-05,6.351825e-05,6.400494e-05,6.418419e-05,6.449848e-05,6.482632e-05,6.497845e-05,6.544500e-05,6.604057e-05,6.661339e-05,6.716385e-05,6.769232e-05,6.819920e-05,6.868488e-05,6.914976e-05,6.959425e-05,7.001875e-05,7.042367e-05,7.080943e-05,7.117644e-05,7.152511e-05,7.185584e-05,7.216905e-05,7.246515e-05,7.274455e-05,7.300763e-05,7.325481e-05,7.348648e-05,7.370303e-05,7.390484e-05,7.409231e-05,7.426581e-05
0.000000e+00,1.859002e-16,1.946408e-15,5.993172e-14,5.478925e-13,1.479244e-12,1.197566e-11,1.289365e-11,6.406314e-11,9.370188e-11,2.245027e-10,4.233047e-10,6.214608e-10,1.364911e-09,1.453514e-09,2.998933e-09,3.514414e-09,5.619760e-09,7.720244e-09,9.762745e-09,1.508619e-08,1.595723e-08,2.480840e-08,2.695525e-08,3.698288e-08,4.486009e-08,5.318472e-08,7.042576e-08,7.412261e-08,1.004738e-07,1.052345e-07,1.328511e-07,1.506904e-07,1.717784e-07,2.079225e-07,2.176764e-07,2.708589e-07,2.777413e-07,3.315348e-07,3.606380e-07,3.998151e-07,4.568108e-07,4.757222e-07,5.591993e-07,5.662011e-07,6.501202e-07,6.885329e-07,7.482986e-07,8.233492e-07,8.534967e-07,9.654335e-07,9.700468e-07,1.083793e-06,1.127909e-06,1.208230e-06,1.296133e-06,1.338379e-06,1.473860e-06,1.614282e-06,1.660197e-06,1.759252e-06,1.854238e-06,1.908376e-06,2.055081e-06,2.061264e-06,2.217534e-06,2.261845e-06,2.376814e-06,2.473677e-06,2.538744e-06,2.689762e-06,2.702978e-06,2.869184e-06,2.909331e-06,3.037047e-06,3.131662e-06,3.206269e-06,3.356082e-06,3.376566e-06,3.547673e-06,3.581969e-06,3.719341e-06,3.808751e-06,3.891335e-06,4.035903e-06,4.063439e-06,4.235449e-06,4.262949e-06,4.407176e-06,4.489453e-06,4.578447e-06,4.715025e-06,4.749099e-06,4.918983e-06,4.939311e-06,5.087962e-06,5.161993e-06,5.255909e-06,5.382787e-06,5.422709e-06,5.588254e-06,5.601440e-06,5.752448e-06,5.817727e-06,5.915202e-06,6.031448e-06,6.076436e-06,6.236077e-06,6.242428e-06,6.394058e-06,6.450514e-06,6.550321e-06,6.655571e-06,6.704812e-06,6.857484e-06,7.008293e-06,7.056152e-06,7.157203e-06,7.251493e-06,7.304180e-06,7.443434e-06,7.449196e-06,7.592227e-06,7.631917e-06,7.733251e-06,7.816895e-06,7.872251e-06,7.998331e-06,8.009212e-06,8.144124e-06,8.176196e-06,8.276976e-06,8.350472e-06,8.407764e-06,8.521146e-06,8.536483e-06,8.663131e-06,8.688212e-06,8.787710e-06,8.851673e-06,8.910221e-06,9.011535e-06,9.030668e-06,9.149057e-06,9.167809e-06,9.265395e-06,9.320511e-06,9.379691e-06,9.469663e-06,9.491953e-06,9.602194e-06,9.615288e-06,9.710425e-06,9.757413e-06,9.816658e-06,9.896068e-06,9.920908e-06,1.002319e-05,1.003129e-05,1.012352e-05,1.016311e-05,1.022191e-05,1.029156e-05,1.031838e-05,1.041295e-05,1.041669e-05,1.050563e-05,1.053854e-05,1.059644e-05,1.065714e-05,1.068541e-05,1.077255e-05,1.088480e-05,1.099395e-05,1.110003e-05,1.120310e-05,1.130320e-05,1.140038e-05,1.149470e-05,1.158618e-05,1.167490e-05,1.176088e-05,1.184420e-05,1.192488e-05,1.200298e-05,1.207855e-05,1.215163e-05,1.222228e-05,1.229055e-05,1.235646e-05,1.242009e-05,1.248146e-05,1.254064e-05,1.259765e-05,1.265256e-05,1.270539e-05
0.000000e+00,4.658210e-15,5.022631e-14,1.669671e-12,1.661372e-11,4.721951e-11,4.420341e-10,4.788924e-10,2.786744e-09,4.262019e-09,1.145025e-08,2.372948e-08,3.707551e-08,9.368693e-08,1.009702e-07,2.411377e-07,2.923953e-07,5.195303e-07,7.693170e-07,1.030272e-06,1.778030e-06,1.908411e-06,3.338587e-06,3.711081e-06,5.562859e-06,7.132113e-06,8.886870e-06,1.279981e-05,1.368364e-05,2.039454e-05,2.167894e-05,2.952711e-05,3.493568e-05,4.164973e-05,5.391657e-05,5.738355e-05,7.739177e-05,8.011267e-05,1.023670e-04,1.151118e-04,1.330170e-04,1.605424e-04,1.700499e-04,2.141587e-04,2.180132e-04,2.660062e-04,2.890524e-04,3.262109e-04,3.750504e-04,3.953334e-04,4.738654e-04,4.772085e-04,5.622193e-04,5.964966e-04,6.607207e-04,7.336205e-04,7.696023e-04,8.890008e-04,1.018954e-03,1.062762e-03,1.159404e-03,1.254732e-03,1.310195e-03,1.464455e-03,1.471080e-03,1.641727e-03,1.691203e-03,1.821723e-03,1.934008e-03,2.010581e-03,2.191686e-03,2.207752e-03,2.412627e-03,2.462872e-03,2.624555e-03,2.746057e-03,2.842841e-03,3.039622e-03,3.066766e-03,3.295586e-03,3.341871e-03,3.528547e-03,3.651072e-03,3.764890e-03,3.965478e-03,4.003859e-03,4.244705e-03,4.283366e-03,4.486698e-03,4.603053e-03,4.729127e-03,4.922922e-03,4.971306e-03,5.212579e-03,5.241440e-03,5.452321e-03,5.557170e-03,5.689946e-03,5.868783e-03,5.924901e-03,6.156674e-03,6.175064e-03,6.384793e-03,6.474920e-03,6.608826e-03,6.767377e-03,6.828380e-03,7.043103e-03,7.051587e-03,7.252683e-03,7.326819e-03,7.456844e-03,7.592457e-03,7.655350e-03,7.847997e-03,8.034619e-03,8.093042e-03,8.215079e-03,8.327290e-03,8.389273e-03,8.550534e-03,8.557125e-03,8.718586e-03,8.762646e-03,8.873631e-03,8.963578e-03,9.022260e-03,9.153346e-03,9.164490e-03,9.300362e-03,9.332031e-03,9.429932e-03,9.499765e-03,9.553272e-03,9.656727e-03,9.670469e-03,9.781622e-03,9.803137e-03,9.886841e-03,9.939249e-03,9.986244e-03,1.006534e-02,1.007996e-02,1.016813e-02,1.018173e-02,1.025088e-02,1.028872e-02,1.032836e-02,1.038666e-02,1.040073e-02,1.046813e-02,1.047589e-02,1.053072e-02,1.055677e-02,1.058865e-02,1.062966e-02,1.064208e-02,1.069117e-02,1.069491e-02,1.073606e-02,1.075288e-02,1.077692e-02,1.080393e-02,1.081390e-02,1.084714e-02,1.084839e-02,1.087680e-02,1.088663e-02,1.090302e-02,1.091896e-02,1.092594e-02,1.094571e-02,1.096721e-02,1.098375e-02,1.099562e-02,1.100313e-02,1.100652e-02,1.100608e-02,1.100204e-02,1.099465e-02,1.098414e-02,1.097072e-02,1.095460e-02,1.093597e-02,1.091503e-02,1.089194e-02,1.086688e-02,1.084001e-02,1.081147e-02,1.078141e-02,1.074995e-02,1.071723e-02,1.068336e-02,1.064845e-02,1.061261e-02,1.057593e-02
0.000000e+00,4.771934e-12,1.503593e-11,8.168912e-11,2.495193e-10,4.157875e-10,1.251219e-09,1.301887e-09,3.132702e-09,3.878184e-09,6.390226e-09,9.261358e-09,1.163959e-08,1.877915e-08,1.952310e-08,3.074928e-08,3.402393e-08,4.606789e-08,5.671365e-08,6.622458e-08,8.851167e-08,9.190549e-08,1.236965e-07,1.308314e-07,1.620694e-07,1.847486e-07,2.073857e-07,2.510107e-07,2.599061e-07,3.197995e-07,3.300734e-07,3.871500e-07,4.221317e-07,4.619640e-07,5.271473e-07,5.441763e-07,6.336570e-07,6.448748e-07,7.302193e-07,7.748909e-07,8.336269e-07,9.166251e-07,9.436019e-07,1.059833e-06,1.069392e-06,1.181984e-06,1.232422e-06,1.309698e-06,1.404890e-06,1.442606e-06,1.580334e-06,1.585938e-06,1.722504e-06,1.774700e-06,1.868742e-06,1.970320e-06,2.018681e-06,2.171960e-06,2.328233e-06,2.378818e-06,2.487165e-06,2.590128e-06,2.648435e-06,2.805171e-06,2.811738e-06,2.976785e-06,3.023273e-06,3.143301e-06,3.243808e-06,3.311029e-06,3.466202e-06,3.479728e-06,3.649170e-06,3.689923e-06,3.819143e-06,3.914487e-06,3.989452e-06,4.139454e-06,4.159912e-06,4.330353e-06,4.364425e-06,4.500618e-06,4.589038e-06,4.670562e-06,4.812968e-06,4.840050e-06,5.008958e-06,5.035922e-06,5.177174e-06,5.257641e-06,5.344594e-06,5.477891e-06,5.511121e-06,5.676670e-06,5.696466e-06,5.841161e-06,5.913183e-06,6.004522e-06,6.127881e-06,6.166689e-06,6.327602e-06,6.340419e-06,6.487209e-06,6.550676e-06,6.645463e-06,6.758544e-06,6.802321e-06,6.957746e-06,6.963933e-06,7.111705e-06,7.166765e-06,7.264168e-06,7.366976e-06,7.415111e-06,7.564512e-06,7.712352e-06,7.759329e-06,7.858617e-06,7.951394e-06,8.003293e-06,8.140679e-06,8.146372e-06,8.287844e-06,8.327168e-06,8.427706e-06,8.510848e-06,8.565953e-06,8.691713e-06,8.702585e-06,8.837601e-06,8.869764e-06,8.971004e-06,9.045006e-06,9.102797e-06,9.217446e-06,9.232984e-06,9.361573e-06,9.387100e-06,9.488570e-06,9.553982e-06,9.613983e-06,9.718113e-06,9.737822e-06,9.860095e-06,9.879515e-06,9.980815e-06,1.003821e-05,1.009999e-05,1.019423e-05,1.021764e-05,1.033377e-05,1.034761e-05,1.044840e-05,1.049836e-05,1.056153e-05,1.064653e-05,1.067319e-05,1.078339e-05,1.079215e-05,1.089214e-05,1.093524e-05,1.099947e-05,1.107586e-05,1.110537e-05,1.120987e-05,1.121402e-05,1.131299e-05,1.134978e-05,1.141474e-05,1.148316e-05,1.151514e-05,1.161420e-05,1.174294e-05,1.186942e-05,1.199368e-05,1.211575e-05,1.223566e-05,1.235347e-05,1.246920e-05,1.258289e-05,1.269458e-05,1.280431e-05,1.291210e-05,1.301801e-05,1.312206e-05,1.322428e-05,1.332472e-05,1.342340e-05,1.352036e-05,1.361564e-05,1.370926e-05,1.380126e-05,1.389166e-05,1.398051e-05,1.406783e-05,1.415365e-05
0.000000e+00,7.682264e-13,2.588111e-12,1.510790e-11,4.778822e-11,8.072643e-11,2.493310e-10,2.596546e-10,6.366835e-10,7.917889e-10,1.318963e-09,1.928018e-09,2.436682e-09,3.981597e-09,4.143895e-09,6.616600e-09,7.344886e-09,1.004397e-08,1.245080e-08,1.461400e-08,1.972060e-08,2.050221e-08,2.786793e-08,2.953130e-08,3.685516e-08,4.221309e-08,4.759411e-08,5.805472e-08,6.020204e-08,7.478339e-08,7.730582e-08,9.142936e-08,1.001761e-07,1.102174e-07,1.268329e-07,1.312105e-07,1.544571e-07,1.573998e-07,1.799903e-07,1.919545e-07,2.078284e-07,2.305295e-07,2.379748e-07,2.704189e-07,2.731130e-07,3.051364e-07,3.196521e-07,3.420905e-07,3.700557e-07,3.812329e-07,4.225051e-07,4.241994e-07,4.658395e-07,4.819304e-07,5.111605e-07,5.430720e-07,5.583863e-07,6.074295e-07,6.581986e-07,6.747940e-07,7.105994e-07,7.449477e-07,7.645353e-07,8.176677e-07,8.199090e-07,8.766225e-07,8.927291e-07,9.345785e-07,9.699082e-07,9.936804e-07,1.048985e-06,1.053833e-06,1.114945e-06,1.129744e-06,1.176924e-06,1.211978e-06,1.239683e-06,1.295490e-06,1.303138e-06,1.367207e-06,1.380088e-06,1.431813e-06,1.465594e-06,1.496879e-06,1.551840e-06,1.562336e-06,1.628115e-06,1.638666e-06,1.694153e-06,1.725925e-06,1.760389e-06,1.813481e-06,1.826765e-06,1.893228e-06,1.901207e-06,1.959727e-06,1.988985e-06,2.026214e-06,2.076708e-06,2.092643e-06,2.158974e-06,2.164274e-06,2.225165e-06,2.251595e-06,2.291181e-06,2.338584e-06,2.356987e-06,2.422551e-06,2.425168e-06,2.487843e-06,2.511276e-06,2.552835e-06,2.596845e-06,2.617502e-06,2.681820e-06,2.745767e-06,2.766148e-06,2.809323e-06,2.849785e-06,2.872470e-06,2.932689e-06,2.935190e-06,2.997468e-06,3.014824e-06,3.059289e-06,3.096158e-06,3.120642e-06,3.176662e-06,3.181514e-06,3.241894e-06,3.256311e-06,3.301774e-06,3.335085e-06,3.361145e-06,3.412964e-06,3.419999e-06,3.478330e-06,3.489933e-06,3.536132e-06,3.565979e-06,3.593401e-06,3.641091e-06,3.650131e-06,3.706320e-06,3.715260e-06,3.761965e-06,3.788481e-06,3.817064e-06,3.860748e-06,3.871614e-06,3.925616e-06,3.932059e-06,3.979067e-06,4.002411e-06,4.031968e-06,4.071806e-06,4.084320e-06,4.136122e-06,4.140243e-06,4.187377e-06,4.207725e-06,4.238084e-06,4.274256e-06,4.288247e-06,4.337866e-06,4.339840e-06,4.386945e-06,4.404482e-06,4.435486e-06,4.468188e-06,4.483492e-06,4.530965e-06,4.592820e-06,4.653760e-06,4.713795e-06,4.772932e-06,4.831182e-06,4.888553e-06,4.945056e-06,5.000701e-06,5.055497e-06,5.109456e-06,5.162588e-06,5.214904e-06,5.266414e-06,5.317131e-06,5.367064e-06,5.416226e-06,5.464627e-06,5.512278e-06,5.559190e-06,5.605375e-06,5.650843e-06,5.695606e-06,5.739674e-06,5.783059e-06
0.000000e+00,8.181844e-15,7.429553e-14,1.730158e-12,1.250549e-11,2.992327e-11,1.823131e-10,1.941974e-10,7.586807e-10,1.046727e-09,2.193851e-09,3.762677e-09,5.226329e-09,1.032039e-08,1.090292e-08,2.065379e-08,2.379488e-08,3.629208e-08,4.838504e-08,5.987439e-08,8.882366e-08,9.344106e-08,1.387732e-07,1.493821e-07,1.972774e-07,2.332634e-07,2.699935e-07,3.426042e-07,3.576581e-07,4.607712e-07,4.787262e-07,5.796473e-07,6.423591e-07,7.144464e-07,8.337722e-07,8.651951e-07,1.031801e-06,1.052851e-06,1.214063e-06,1.299145e-06,1.411684e-06,1.571915e-06,1.624281e-06,1.851398e-06,1.870179e-06,2.092515e-06,2.192756e-06,2.347063e-06,2.538313e-06,2.614433e-06,2.893986e-06,2.905412e-06,3.185063e-06,3.292543e-06,3.486993e-06,3.698161e-06,3.799102e-06,4.120714e-06,4.451161e-06,4.558663e-06,4.789787e-06,5.010501e-06,5.135946e-06,5.474765e-06,5.489012e-06,5.848376e-06,5.950046e-06,6.213450e-06,6.434998e-06,6.583666e-06,6.928336e-06,6.958478e-06,7.337363e-06,7.428845e-06,7.719819e-06,7.935376e-06,8.105369e-06,8.446847e-06,8.493554e-06,8.883940e-06,8.962244e-06,9.276112e-06,9.480617e-06,9.669678e-06,1.000108e-05,1.006426e-05,1.045952e-05,1.052280e-05,1.085510e-05,1.104500e-05,1.125070e-05,1.156699e-05,1.164601e-05,1.204076e-05,1.208808e-05,1.243468e-05,1.260767e-05,1.282751e-05,1.312520e-05,1.321903e-05,1.360901e-05,1.364013e-05,1.399724e-05,1.415200e-05,1.438353e-05,1.466036e-05,1.476770e-05,1.514959e-05,1.516481e-05,1.552902e-05,1.566499e-05,1.590586e-05,1.616055e-05,1.627996e-05,1.665121e-05,1.701947e-05,1.713667e-05,1.738466e-05,1.761671e-05,1.774666e-05,1.809109e-05,1.810538e-05,1.846074e-05,1.855963e-05,1.881267e-05,1.902214e-05,1.916109e-05,1.947848e-05,1.950594e-05,1.984716e-05,1.992851e-05,2.018471e-05,2.037212e-05,2.051854e-05,2.080920e-05,2.084861e-05,2.117488e-05,2.123968e-05,2.149733e-05,2.166348e-05,2.181593e-05,2.208056e-05,2.213065e-05,2.244149e-05,2.249087e-05,2.274843e-05,2.289438e-05,2.305146e-05,2.329107e-05,2.335058e-05,2.364578e-05,2.368094e-05,2.393706e-05,2.406398e-05,2.422442e-05,2.444021e-05,2.450788e-05,2.478744e-05,2.480964e-05,2.506311e-05,2.517229e-05,2.533490e-05,2.552821e-05,2.560284e-05,2.586693e-05,2.587741e-05,2.612719e-05,2.621996e-05,2.638366e-05,2.655589e-05,2.663634e-05,2.688526e-05,2.720813e-05,2.752455e-05,2.783460e-05,2.813834e-05,2.843583e-05,2.872716e-05,2.901240e-05,2.929162e-05,2.956491e-05,2.983234e-05,3.009401e-05,3.034998e-05,3.060034e-05,3.084518e-05,3.108459e-05,3.131865e-05,3.154744e-05,3.177105e-05,3.198957e-05,3.220308e-05,3.241166e-05,3.261542e-05,3.281442e-05,3.300875e-05
0.000000e+00,1.656884e-16,1.800654e-15,5.986262e-14,5.862114e-13,1.642771e-12,1.461794e-11,1.579826e-11,8.599042e-11,1.288747e-10,3.280081e-10,6.489363e-10,9.827104e-10,2.310977e-09,2.475209e-09,5.475641e-09,6.521174e-09,1.095800e-08,1.559176e-08,2.025066e-08,3.292991e-08,3.506483e-08,5.748177e-08,6.308324e-08,8.988759e-08,1.115385e-07,1.348616e-07,1.842830e-07,1.950408e-07,2.729877e-07,2.872704e-07,3.710807e-07,4.259537e-07,4.914348e-07,6.049709e-07,6.358562e-07,8.058212e-07,8.279913e-07,1.002474e-06,1.097679e-06,1.226636e-06,1.415728e-06,1.478827e-06,1.759284e-06,1.782943e-06,2.067987e-06,2.199327e-06,2.404683e-06,2.664189e-06,2.768916e-06,3.160049e-06,3.176243e-06,3.577289e-06,3.733713e-06,4.019715e-06,4.334430e-06,4.486298e-06,4.975926e-06,5.487419e-06,5.655516e-06,6.019555e-06,6.370375e-06,6.571077e-06,7.117598e-06,7.140715e-06,7.727195e-06,7.894254e-06,8.329248e-06,8.697434e-06,8.945623e-06,9.524280e-06,9.575090e-06,1.021645e-05,1.037201e-05,1.086853e-05,1.123795e-05,1.153020e-05,1.211953e-05,1.220037e-05,1.287799e-05,1.301431e-05,1.356204e-05,1.391997e-05,1.425157e-05,1.483433e-05,1.494565e-05,1.564339e-05,1.575532e-05,1.634397e-05,1.668101e-05,1.704658e-05,1.760962e-05,1.775046e-05,1.845491e-05,1.853944e-05,1.915923e-05,1.946893e-05,1.986280e-05,2.039664e-05,2.056501e-05,2.126529e-05,2.132121e-05,2.196310e-05,2.224142e-05,2.265794e-05,2.315613e-05,2.334935e-05,2.403687e-05,2.406428e-05,2.472010e-05,2.496493e-05,2.539864e-05,2.585720e-05,2.607215e-05,2.674029e-05,2.740274e-05,2.761348e-05,2.805923e-05,2.847612e-05,2.870947e-05,2.932762e-05,2.935325e-05,2.999031e-05,3.016746e-05,3.062047e-05,3.099517e-05,3.124353e-05,3.181034e-05,3.185933e-05,3.246770e-05,3.261259e-05,3.306851e-05,3.340162e-05,3.366164e-05,3.417714e-05,3.424697e-05,3.482440e-05,3.493894e-05,3.539386e-05,3.568680e-05,3.595527e-05,3.642058e-05,3.650856e-05,3.705370e-05,3.714016e-05,3.759062e-05,3.784542e-05,3.811931e-05,3.853632e-05,3.863974e-05,3.915190e-05,3.921280e-05,3.965578e-05,3.987486e-05,4.015137e-05,4.052250e-05,4.063870e-05,4.111777e-05,4.115574e-05,4.158860e-05,4.177463e-05,4.205122e-05,4.237924e-05,4.250566e-05,4.295197e-05,4.296965e-05,4.339017e-05,4.354595e-05,4.382032e-05,4.410825e-05,4.424247e-05,4.465667e-05,4.519135e-05,4.571243e-05,4.622005e-05,4.671438e-05,4.719558e-05,4.766383e-05,4.811930e-05,4.856219e-05,4.899267e-05,4.941095e-05,4.981722e-05,5.021167e-05,5.059451e-05,5.096595e-05,5.132618e-05,5.167541e-05,5.201384e-05,5.234169e-05,5.265916e-05,5.296646e-05,5.326379e-05,5.355135e-05,5.382935e-05,5.409800e-05
0.000000e+00,3.963610e-12,1.237659e-11,6.676703e-11,2.039271e-10,3.403728e-10,1.033548e-09,1.075952e-09,2.631250e-09,3.275939e-09,5.489381e-09,8.086596e-09,1.028509e-08,1.709926e-08,1.782542e-08,2.907408e-08,3.244050e-08,4.505897e-08,5.643622e-08,6.671642e-08,9.105049e-08,9.477381e-08,1.297339e-07,1.375852e-07,1.719197e-07,1.967799e-07,2.215237e-07,2.689968e-07,2.786426e-07,3.432986e-07,3.543412e-07,4.154526e-07,4.527245e-07,4.950122e-07,5.639003e-07,5.818390e-07,6.757543e-07,6.874907e-07,7.765446e-07,8.230088e-07,8.839674e-07,9.698813e-07,9.977562e-07,1.117626e-06,1.127469e-06,1.243278e-06,1.295089e-06,1.374403e-06,1.472027e-06,1.510688e-06,1.651816e-06,1.657557e-06,1.797471e-06,1.850954e-06,1.947340e-06,2.051501e-06,2.101116e-06,2.258498e-06,2.419193e-06,2.471268e-06,2.582917e-06,2.689163e-06,2.749395e-06,2.911562e-06,2.918365e-06,3.089572e-06,3.137878e-06,3.262774e-06,3.367555e-06,3.437738e-06,3.600071e-06,3.614244e-06,3.792080e-06,3.834937e-06,3.971048e-06,4.071692e-06,4.150955e-06,4.309909e-06,4.331624e-06,4.512882e-06,4.549190e-06,4.694569e-06,4.789165e-06,4.876533e-06,5.029492e-06,5.058631e-06,5.240726e-06,5.269853e-06,5.422693e-06,5.509956e-06,5.604411e-06,5.749531e-06,5.785769e-06,5.966661e-06,5.988332e-06,6.146989e-06,6.226131e-06,6.326661e-06,6.462721e-06,6.505592e-06,6.683701e-06,6.697911e-06,6.860913e-06,6.931531e-06,7.037160e-06,7.163423e-06,7.212377e-06,7.386504e-06,7.393446e-06,7.559488e-06,7.621472e-06,7.731277e-06,7.847386e-06,7.901824e-06,8.071087e-06,8.239026e-06,8.292482e-06,8.405607e-06,8.511491e-06,8.570797e-06,8.728043e-06,8.734566e-06,8.896889e-06,8.942077e-06,9.057741e-06,9.153538e-06,9.217103e-06,9.362382e-06,9.374954e-06,9.531281e-06,9.568570e-06,9.686067e-06,9.772071e-06,9.839303e-06,9.972859e-06,9.990978e-06,1.014108e-05,1.017092e-05,1.028961e-05,1.036622e-05,1.043656e-05,1.055878e-05,1.058193e-05,1.072571e-05,1.074857e-05,1.086791e-05,1.093560e-05,1.100852e-05,1.111987e-05,1.114755e-05,1.128500e-05,1.130139e-05,1.142087e-05,1.148016e-05,1.155518e-05,1.165620e-05,1.168792e-05,1.181910e-05,1.182953e-05,1.194874e-05,1.200016e-05,1.207683e-05,1.216811e-05,1.220340e-05,1.232843e-05,1.233340e-05,1.245196e-05,1.249606e-05,1.257399e-05,1.265611e-05,1.269452e-05,1.281358e-05,1.296849e-05,1.312088e-05,1.327076e-05,1.341819e-05,1.356317e-05,1.370575e-05,1.384597e-05,1.398384e-05,1.411941e-05,1.425271e-05,1.438376e-05,1.451262e-05,1.463930e-05,1.476385e-05,1.488630e-05,1.500668e-05,1.512502e-05,1.524137e-05,1.535574e-05,1.546818e-05,1.557872e-05,1.568740e-05,1.579423e-05,1.589926e-05
0.000000e+00,2.416697e-12,7.418968e-12,3.928650e-11,1.187945e-10,1.973609e-10,5.921440e-10,6.161143e-10,1.484892e-09,1.840068e-09,3.042274e-09,4.425276e-09,5.577172e-09,9.064535e-09,9.430186e-09,1.499184e-08,1.662808e-08,2.269183e-08,2.810366e-08,3.297374e-08,4.449333e-08,4.625889e-08,6.291474e-08,6.667797e-08,8.324083e-08,9.534063e-08,1.074700e-07,1.309676e-07,1.357761e-07,1.682821e-07,1.738786e-07,2.050662e-07,2.242549e-07,2.461671e-07,2.821590e-07,2.915878e-07,3.412988e-07,3.475500e-07,3.952420e-07,4.202971e-07,4.533336e-07,5.001932e-07,5.154676e-07,5.815191e-07,5.869683e-07,6.513475e-07,6.803024e-07,7.247997e-07,7.798380e-07,8.017128e-07,8.819169e-07,8.851911e-07,9.652374e-07,9.959615e-07,1.051497e-06,1.111741e-06,1.140517e-06,1.232120e-06,1.326130e-06,1.356694e-06,1.422375e-06,1.485066e-06,1.520685e-06,1.616853e-06,1.620896e-06,1.722847e-06,1.751685e-06,1.826386e-06,1.889208e-06,1.931362e-06,2.029087e-06,2.037633e-06,2.145063e-06,2.171003e-06,2.253519e-06,2.314656e-06,2.362877e-06,2.459763e-06,2.473017e-06,2.583826e-06,2.606059e-06,2.695196e-06,2.753295e-06,2.807022e-06,2.901239e-06,2.919209e-06,3.031664e-06,3.049676e-06,3.144299e-06,3.198403e-06,3.257031e-06,3.347234e-06,3.369783e-06,3.482480e-06,3.495996e-06,3.595052e-06,3.644528e-06,3.707435e-06,3.792682e-06,3.819567e-06,3.931389e-06,3.940320e-06,4.042847e-06,4.087316e-06,4.153889e-06,4.233556e-06,4.264468e-06,4.374539e-06,4.378931e-06,4.484060e-06,4.523345e-06,4.592991e-06,4.666709e-06,4.701297e-06,4.808941e-06,4.915894e-06,4.949968e-06,5.022126e-06,5.089723e-06,5.127609e-06,5.228144e-06,5.232318e-06,5.336229e-06,5.365179e-06,5.439322e-06,5.500777e-06,5.541577e-06,5.634895e-06,5.642975e-06,5.743500e-06,5.767494e-06,5.843137e-06,5.898541e-06,5.941873e-06,6.028005e-06,6.039695e-06,6.136593e-06,6.155861e-06,6.232557e-06,6.282085e-06,6.327577e-06,6.406660e-06,6.421648e-06,6.514761e-06,6.529570e-06,6.606912e-06,6.650802e-06,6.698097e-06,6.770345e-06,6.788310e-06,6.877550e-06,6.888194e-06,6.965815e-06,7.004342e-06,7.053102e-06,7.118786e-06,7.139411e-06,7.224743e-06,7.231527e-06,7.309096e-06,7.342564e-06,7.392474e-06,7.451901e-06,7.474876e-06,7.556306e-06,7.559543e-06,7.636765e-06,7.665494e-06,7.716258e-06,7.769762e-06,7.794786e-06,7.872355e-06,7.973284e-06,8.072558e-06,8.170189e-06,8.266190e-06,8.360573e-06,8.453354e-06,8.544545e-06,8.634163e-06,8.722223e-06,8.808742e-06,8.893735e-06,8.977220e-06,9.059214e-06,9.139735e-06,9.218800e-06,9.296427e-06,9.372636e-06,9.447443e-06,9.520868e-06,9.592928e-06,9.663644e-06,9.733032e-06,9.801113e-06,9.867904e-06
0.000000e+00,2.932786e-12,9.223839e-12,5.007259e-11,1.530900e-10,2.553446e-10,7.712500e-10,8.026331e-10,1.942177e-09,2.408832e-09,3.990438e-09,5.812462e-09,7.331107e-09,1.192777e-08,1.240920e-08,1.970455e-08,2.183824e-08,2.968494e-08,3.660468e-08,4.276694e-08,5.712622e-08,5.930312e-08,7.958494e-08,8.411245e-08,1.038479e-07,1.181008e-07,1.322749e-07,1.594691e-07,1.649974e-07,2.020974e-07,2.084425e-07,2.436089e-07,2.650997e-07,2.895208e-07,3.293846e-07,3.397806e-07,3.942987e-07,4.011215e-07,4.529531e-07,4.800339e-07,5.155949e-07,5.657650e-07,5.820533e-07,6.521401e-07,6.578978e-07,7.256549e-07,7.559741e-07,8.023888e-07,8.595105e-07,8.821279e-07,9.646569e-07,9.680130e-07,1.049761e-06,1.080988e-06,1.137229e-06,1.197951e-06,1.226853e-06,1.318433e-06,1.411775e-06,1.441986e-06,1.506694e-06,1.568186e-06,1.603010e-06,1.696633e-06,1.700556e-06,1.799171e-06,1.826953e-06,1.898702e-06,1.958801e-06,1.999007e-06,2.091855e-06,2.099951e-06,2.201406e-06,2.225819e-06,2.303256e-06,2.360421e-06,2.405387e-06,2.495414e-06,2.507698e-06,2.610091e-06,2.630571e-06,2.712476e-06,2.765685e-06,2.814770e-06,2.900570e-06,2.916895e-06,3.018780e-06,3.035055e-06,3.120357e-06,3.168988e-06,3.221567e-06,3.302231e-06,3.322351e-06,3.422659e-06,3.434662e-06,3.522442e-06,3.566169e-06,3.621658e-06,3.696656e-06,3.720265e-06,3.818227e-06,3.826035e-06,3.915512e-06,3.954230e-06,4.012090e-06,4.081173e-06,4.107933e-06,4.203018e-06,4.206805e-06,4.297321e-06,4.331076e-06,4.390825e-06,4.453942e-06,4.483512e-06,4.575366e-06,4.666375e-06,4.695317e-06,4.756527e-06,4.813771e-06,4.845813e-06,4.930705e-06,4.934225e-06,5.021755e-06,5.046105e-06,5.108399e-06,5.159958e-06,5.194152e-06,5.272257e-06,5.279013e-06,5.362978e-06,5.382997e-06,5.446048e-06,5.492176e-06,5.528222e-06,5.599795e-06,5.609502e-06,5.689889e-06,5.705859e-06,5.769386e-06,5.810373e-06,5.847996e-06,5.913345e-06,5.925723e-06,6.002571e-06,6.014786e-06,6.078546e-06,6.114705e-06,6.153653e-06,6.213117e-06,6.227897e-06,6.301285e-06,6.310034e-06,6.373824e-06,6.405473e-06,6.445520e-06,6.499450e-06,6.516381e-06,6.586414e-06,6.591981e-06,6.655626e-06,6.683084e-06,6.724027e-06,6.772777e-06,6.791624e-06,6.858425e-06,6.861080e-06,6.924438e-06,6.948012e-06,6.989673e-06,7.033592e-06,7.054138e-06,7.117841e-06,7.200779e-06,7.282425e-06,7.362802e-06,7.441928e-06,7.519826e-06,7.596515e-06,7.672016e-06,7.746350e-06,7.819537e-06,7.891597e-06,7.962550e-06,8.032416e-06,8.101216e-06,8.168968e-06,8.235691e-06,8.301405e-06,8.366129e-06,8.429880e-06,8.492678e-06,8.554539e-06,8.615483e-06,8.675526e-06,8.734685e-06,8.792977e-06
0.000000e+00,1.121244e-11,3.494352e-11,1.880500e-10,5.730341e-10,9.548233e-10,2.880075e-09,2.997169e-09,7.248062e-09,8.988369e-09,1.488488e-08,2.167558e-08,2.733573e-08,4.448785e-08,4.628735e-08,7.367540e-08,8.173740e-08,1.116230e-07,1.382996e-07,1.623042e-07,2.190696e-07,2.277679e-07,3.098097e-07,3.283444e-07,4.099281e-07,4.695475e-07,5.293387e-07,6.452633e-07,6.690037e-07,8.296588e-07,8.573497e-07,1.011833e-06,1.107026e-06,1.215862e-06,1.394930e-06,1.441901e-06,1.689936e-06,1.721171e-06,1.959796e-06,2.085372e-06,2.251167e-06,2.486727e-06,2.563606e-06,2.896554e-06,2.924057e-06,3.249357e-06,3.395874e-06,3.621274e-06,3.900438e-06,4.011497e-06,4.419166e-06,4.435822e-06,4.843375e-06,4.999960e-06,5.283192e-06,5.590698e-06,5.737666e-06,6.205834e-06,6.686734e-06,6.843154e-06,7.179409e-06,7.500462e-06,7.682912e-06,8.175601e-06,8.196316e-06,8.718709e-06,8.866469e-06,9.249208e-06,9.571039e-06,9.786952e-06,1.028736e-05,1.033111e-05,1.088088e-05,1.101357e-05,1.143549e-05,1.174791e-05,1.199420e-05,1.248869e-05,1.255630e-05,1.312111e-05,1.323434e-05,1.368798e-05,1.398337e-05,1.425630e-05,1.473438e-05,1.482548e-05,1.539497e-05,1.548608e-05,1.596422e-05,1.623724e-05,1.653275e-05,1.698674e-05,1.710009e-05,1.766577e-05,1.773352e-05,1.822939e-05,1.847663e-05,1.879055e-05,1.921515e-05,1.934888e-05,1.990401e-05,1.994828e-05,2.045564e-05,2.067524e-05,2.100345e-05,2.139535e-05,2.154716e-05,2.208650e-05,2.210798e-05,2.262122e-05,2.281255e-05,2.315110e-05,2.350853e-05,2.367591e-05,2.419547e-05,2.470959e-05,2.487294e-05,2.521812e-05,2.554056e-05,2.572088e-05,2.619800e-05,2.621776e-05,2.670862e-05,2.684497e-05,2.719336e-05,2.748121e-05,2.767186e-05,2.810650e-05,2.814404e-05,2.860983e-05,2.872065e-05,2.906914e-05,2.932351e-05,2.952193e-05,2.991494e-05,2.996814e-05,3.040772e-05,3.049484e-05,3.084065e-05,3.106314e-05,3.126690e-05,3.161977e-05,3.168645e-05,3.209928e-05,3.216471e-05,3.250540e-05,3.269794e-05,3.290479e-05,3.321947e-05,3.329747e-05,3.368344e-05,3.372931e-05,3.406273e-05,3.422751e-05,3.443536e-05,3.471411e-05,3.480134e-05,3.516071e-05,3.518918e-05,3.551350e-05,3.565279e-05,3.585976e-05,3.610503e-05,3.619951e-05,3.653281e-05,3.654601e-05,3.685970e-05,3.697582e-05,3.718023e-05,3.739458e-05,3.749445e-05,3.780242e-05,3.819946e-05,3.858584e-05,3.896169e-05,3.932718e-05,3.968243e-05,4.002762e-05,4.036290e-05,4.068841e-05,4.100434e-05,4.131084e-05,4.160807e-05,4.189620e-05,4.217541e-05,4.244585e-05,4.270770e-05,4.296113e-05,4.320629e-05,4.344337e-05,4.367253e-05,4.389392e-05,4.410773e-05,4.431410e-05,4.451321e-05,4.470522e-05
0.000000e+00,1.327636e-13,8.503455e-13,1.088137e-11,5.153438e-11,1.017791e-10,4.181363e-10,4.394418e-10,1.297276e-09,1.681084e-09,3.069659e-09,4.789264e-09,6.294850e-09,1.114716e-08,1.167656e-08,2.008137e-08,2.265537e-08,3.247714e-08,4.151687e-08,4.980037e-08,6.973585e-08,7.281883e-08,1.020786e-07,1.087134e-07,1.379331e-07,1.592588e-07,1.805954e-07,2.217777e-07,2.301784e-07,2.867201e-07,2.964118e-07,3.501991e-07,3.831143e-07,4.205455e-07,4.816942e-07,4.976491e-07,5.813667e-07,5.918494e-07,6.715283e-07,7.131924e-07,7.679432e-07,8.452738e-07,8.704044e-07,9.786931e-07,9.876012e-07,1.092583e-06,1.139655e-06,1.211841e-06,1.300899e-06,1.336232e-06,1.465523e-06,1.470793e-06,1.599477e-06,1.648797e-06,1.737862e-06,1.834378e-06,1.880450e-06,2.027014e-06,2.177335e-06,2.226195e-06,2.331195e-06,2.431426e-06,2.488385e-06,2.642229e-06,2.648699e-06,2.811939e-06,2.858144e-06,2.977911e-06,3.078726e-06,3.146426e-06,3.303551e-06,3.317304e-06,3.490369e-06,3.532211e-06,3.665451e-06,3.764316e-06,3.842385e-06,3.999494e-06,4.021014e-06,4.201184e-06,4.237390e-06,4.382748e-06,4.477665e-06,4.565565e-06,4.719999e-06,4.749498e-06,4.934415e-06,4.964085e-06,5.120192e-06,5.209634e-06,5.306707e-06,5.456372e-06,5.493844e-06,5.681492e-06,5.704038e-06,5.869543e-06,5.952387e-06,6.057896e-06,6.201186e-06,6.246453e-06,6.435120e-06,6.450215e-06,6.623807e-06,6.699268e-06,6.812429e-06,6.948151e-06,7.000904e-06,7.189155e-06,7.196679e-06,7.377106e-06,7.444682e-06,7.564688e-06,7.691997e-06,7.751832e-06,7.938475e-06,8.124555e-06,8.183972e-06,8.310015e-06,8.428358e-06,8.494799e-06,8.671509e-06,8.678856e-06,8.862136e-06,8.913309e-06,9.044593e-06,9.153653e-06,9.226181e-06,9.392440e-06,9.406860e-06,9.586590e-06,9.629580e-06,9.765335e-06,9.864988e-06,9.943058e-06,1.009858e-05,1.011973e-05,1.029532e-05,1.033030e-05,1.046979e-05,1.056007e-05,1.064312e-05,1.078782e-05,1.081529e-05,1.098627e-05,1.101352e-05,1.115605e-05,1.123710e-05,1.132459e-05,1.145853e-05,1.149188e-05,1.165791e-05,1.167775e-05,1.182266e-05,1.189474e-05,1.198612e-05,1.210947e-05,1.214827e-05,1.230909e-05,1.232190e-05,1.246859e-05,1.253202e-05,1.262675e-05,1.273979e-05,1.278357e-05,1.293902e-05,1.294521e-05,1.309312e-05,1.314826e-05,1.324585e-05,1.334893e-05,1.339722e-05,1.354721e-05,1.374308e-05,1.393656e-05,1.412764e-05,1.431631e-05,1.450258e-05,1.468646e-05,1.486795e-05,1.504706e-05,1.522380e-05,1.539817e-05,1.557020e-05,1.573989e-05,1.590726e-05,1.607232e-05,1.623510e-05,1.639560e-05,1.655385e-05,1.670986e-05,1.686366e-05,1.701526e-05,1.716469e-05,1.731197e-05,1.745711e-05,1.760015e-05
0.000000e+00,4.327916e-12,1.335995e-11,7.112423e-11,2.154855e-10,3.581816e-10,1.074914e-09,1.118411e-09,2.693378e-09,3.336506e-09,5.510782e-09,8.007989e-09,1.008522e-08,1.636235e-08,1.701965e-08,2.700146e-08,2.993320e-08,4.078193e-08,5.044578e-08,5.912922e-08,7.962628e-08,8.276301e-08,1.123005e-07,1.189620e-07,1.482347e-07,1.695769e-07,1.909392e-07,2.322422e-07,2.406825e-07,2.976421e-07,3.074329e-07,3.619162e-07,3.953764e-07,4.335322e-07,4.960891e-07,5.124543e-07,5.985900e-07,6.094047e-07,6.917966e-07,7.350011e-07,7.918881e-07,8.724258e-07,8.986408e-07,1.011800e-06,1.021122e-06,1.131087e-06,1.180451e-06,1.256202e-06,1.349718e-06,1.386832e-06,1.522655e-06,1.528192e-06,1.663343e-06,1.715118e-06,1.808566e-06,1.909741e-06,1.957997e-06,2.111311e-06,2.268190e-06,2.319093e-06,2.428324e-06,2.532380e-06,2.591413e-06,2.750488e-06,2.757166e-06,2.925302e-06,2.972770e-06,3.095554e-06,3.198613e-06,3.267664e-06,3.427438e-06,3.441389e-06,3.616496e-06,3.658702e-06,3.792763e-06,3.891901e-06,3.969982e-06,4.126564e-06,4.147954e-06,4.326493e-06,4.362253e-06,4.505423e-06,4.598565e-06,4.684578e-06,4.835128e-06,4.863803e-06,5.042952e-06,5.071599e-06,5.221888e-06,5.307664e-06,5.400483e-06,5.543034e-06,5.578619e-06,5.756183e-06,5.777448e-06,5.933073e-06,6.010666e-06,6.109192e-06,6.242471e-06,6.284450e-06,6.458766e-06,6.472668e-06,6.632061e-06,6.701078e-06,6.804266e-06,6.927542e-06,6.975316e-06,7.145151e-06,7.151918e-06,7.313716e-06,7.374079e-06,7.480961e-06,7.593911e-06,7.646842e-06,7.811316e-06,7.974347e-06,8.026206e-06,8.135900e-06,8.238505e-06,8.295947e-06,8.448149e-06,8.454460e-06,8.611415e-06,8.655081e-06,8.766793e-06,8.859255e-06,8.920576e-06,9.060634e-06,9.072748e-06,9.223296e-06,9.259185e-06,9.372211e-06,9.454886e-06,9.519483e-06,9.647719e-06,9.665107e-06,9.809077e-06,9.837673e-06,9.951392e-06,1.002474e-05,1.009205e-05,1.020892e-05,1.023105e-05,1.036840e-05,1.039022e-05,1.050409e-05,1.056864e-05,1.063814e-05,1.074420e-05,1.077055e-05,1.090132e-05,1.091691e-05,1.103047e-05,1.108678e-05,1.115799e-05,1.125384e-05,1.128391e-05,1.140823e-05,1.141811e-05,1.153096e-05,1.157961e-05,1.165211e-05,1.173837e-05,1.177170e-05,1.188974e-05,1.189443e-05,1.200623e-05,1.204780e-05,1.212120e-05,1.219852e-05,1.223466e-05,1.234663e-05,1.249215e-05,1.263512e-05,1.277558e-05,1.291357e-05,1.304911e-05,1.318224e-05,1.331301e-05,1.344145e-05,1.356760e-05,1.369149e-05,1.381317e-05,1.393266e-05,1.405001e-05,1.416526e-05,1.427844e-05,1.438958e-05,1.449874e-05,1.460593e-05,1.471120e-05,1.481458e-05,1.491611e-05,1.501583e-05,1.511376e-05,1.520994e-05
0.000000e+00,3.395558e-16,3.633693e-15,1.169235e-13,1.111449e-12,3.064717e-12,2.618676e-11,2.825607e-11,1.482151e-10,2.200872e-10,5.483581e-10,1.068866e-09,1.605036e-09,3.718014e-09,3.978074e-09,8.710565e-09,1.035441e-08,1.730703e-08,2.452464e-08,3.173006e-08,5.104998e-08,5.425993e-08,8.722625e-08,9.526153e-08,1.326942e-07,1.618162e-07,1.922075e-07,2.537195e-07,2.666498e-07,3.562328e-07,3.719531e-07,4.605803e-07,5.156808e-07,5.788612e-07,6.827588e-07,7.099355e-07,8.524856e-07,8.702970e-07,1.005123e-06,1.075121e-06,1.166464e-06,1.294086e-06,1.335185e-06,1.510049e-06,1.524269e-06,1.689928e-06,1.763052e-06,1.873805e-06,2.008159e-06,2.060773e-06,2.250035e-06,2.257643e-06,2.440892e-06,2.509870e-06,2.632734e-06,2.763478e-06,2.825035e-06,3.017343e-06,3.209268e-06,3.270548e-06,3.400479e-06,3.522346e-06,3.590691e-06,3.772132e-06,3.779665e-06,3.967195e-06,4.019420e-06,4.153108e-06,4.263819e-06,4.337259e-06,4.505015e-06,4.519524e-06,4.699799e-06,4.742759e-06,4.877997e-06,4.976854e-06,5.054046e-06,5.207142e-06,5.227885e-06,5.399463e-06,5.433504e-06,5.568741e-06,5.655845e-06,5.735685e-06,5.874096e-06,5.900270e-06,6.062474e-06,6.088205e-06,6.222284e-06,6.298139e-06,6.379690e-06,6.503879e-06,6.534685e-06,6.687266e-06,6.705414e-06,6.837436e-06,6.902747e-06,6.985197e-06,7.095888e-06,7.130556e-06,7.273521e-06,7.284855e-06,7.414104e-06,7.469672e-06,7.552316e-06,7.650370e-06,7.688173e-06,7.821690e-06,7.826983e-06,7.952885e-06,7.999550e-06,8.081775e-06,8.168114e-06,8.208380e-06,8.332721e-06,8.454819e-06,8.493420e-06,8.574696e-06,8.650263e-06,8.692376e-06,8.803302e-06,8.807881e-06,8.921236e-06,8.952593e-06,9.032465e-06,9.098192e-06,9.141593e-06,9.240157e-06,9.248646e-06,9.353649e-06,9.378547e-06,9.456627e-06,9.513421e-06,9.557608e-06,9.644840e-06,9.656618e-06,9.753682e-06,9.772863e-06,9.848827e-06,9.897553e-06,9.942080e-06,1.001897e-05,1.003347e-05,1.012302e-05,1.013717e-05,1.021075e-05,1.025223e-05,1.029670e-05,1.036419e-05,1.038089e-05,1.046335e-05,1.047313e-05,1.054410e-05,1.057910e-05,1.062317e-05,1.068216e-05,1.070059e-05,1.077637e-05,1.078237e-05,1.085056e-05,1.087979e-05,1.092316e-05,1.097448e-05,1.099422e-05,1.106374e-05,1.106649e-05,1.113177e-05,1.115589e-05,1.119832e-05,1.124274e-05,1.126341e-05,1.132708e-05,1.140897e-05,1.148846e-05,1.156562e-05,1.164050e-05,1.171313e-05,1.178359e-05,1.185191e-05,1.191815e-05,1.198236e-05,1.204458e-05,1.210486e-05,1.216325e-05,1.221979e-05,1.227453e-05,1.232752e-05,1.237878e-05,1.242838e-05,1.247634e-05,1.252271e-05,1.256754e-05,1.261084e-05,1.265268e-05,1.269308e-05,1.273207e-05
0.000000e+00,2.939557e-16,3.220218e-15,1.087754e-13,1.080284e-12,3.050156e-12,2.764993e-11,2.990422e-11,1.655309e-10,2.491366e-10,6.404057e-10,1.276036e-09,1.940393e-09,4.598423e-09,4.927917e-09,1.095869e-08,1.306187e-08,2.198327e-08,3.128760e-08,4.062754e-08,6.598453e-08,7.024740e-08,1.149505e-07,1.261144e-07,1.795715e-07,2.228422e-07,2.695863e-07,3.691734e-07,3.909541e-07,5.498950e-07,5.792302e-07,7.526254e-07,8.672520e-07,1.005087e-06,1.246530e-06,1.312703e-06,1.680184e-06,1.728498e-06,2.111404e-06,2.322130e-06,2.609327e-06,3.033649e-06,3.175994e-06,3.812555e-06,3.866514e-06,4.519319e-06,4.821603e-06,5.295830e-06,5.897493e-06,6.140955e-06,7.052965e-06,7.090807e-06,8.029631e-06,8.396558e-06,9.068298e-06,9.808489e-06,1.016597e-05,1.131938e-05,1.252506e-05,1.292133e-05,1.377939e-05,1.460598e-05,1.507866e-05,1.636475e-05,1.641911e-05,1.779699e-05,1.818899e-05,1.920854e-05,2.007011e-05,2.065009e-05,2.199971e-05,2.211803e-05,2.360884e-05,2.396966e-05,2.511913e-05,2.597217e-05,2.664561e-05,2.799982e-05,2.818515e-05,2.973473e-05,3.004559e-05,3.129148e-05,3.210291e-05,3.285268e-05,3.416563e-05,3.441574e-05,3.597823e-05,3.622802e-05,3.753784e-05,3.828479e-05,3.909242e-05,4.033109e-05,4.063994e-05,4.217850e-05,4.236244e-05,4.370634e-05,4.437476e-05,4.522181e-05,4.636436e-05,4.672339e-05,4.820967e-05,4.832787e-05,4.967934e-05,5.026229e-05,5.113121e-05,5.216491e-05,5.256418e-05,5.397725e-05,5.403334e-05,5.536950e-05,5.586546e-05,5.674013e-05,5.765941e-05,5.808837e-05,5.941358e-05,6.071515e-05,6.112658e-05,6.199258e-05,6.279725e-05,6.324541e-05,6.442461e-05,6.447324e-05,6.567576e-05,6.600789e-05,6.685268e-05,6.754645e-05,6.800378e-05,6.903984e-05,6.912889e-05,7.022789e-05,7.048775e-05,7.130069e-05,7.188999e-05,7.234725e-05,7.324651e-05,7.336756e-05,7.436166e-05,7.455734e-05,7.532962e-05,7.582266e-05,7.627153e-05,7.704270e-05,7.718752e-05,7.807774e-05,7.821779e-05,7.894236e-05,7.934835e-05,7.978160e-05,8.043485e-05,8.059566e-05,8.138481e-05,8.147784e-05,8.214928e-05,8.247790e-05,8.288936e-05,8.343568e-05,8.360534e-05,8.429752e-05,8.435187e-05,8.496622e-05,8.522720e-05,8.561177e-05,8.606241e-05,8.623450e-05,8.683477e-05,8.685831e-05,8.741292e-05,8.761571e-05,8.796932e-05,8.833544e-05,8.850434e-05,8.901835e-05,8.966531e-05,9.027720e-05,9.085490e-05,9.139930e-05,9.191129e-05,9.239177e-05,9.284163e-05,9.326175e-05,9.365302e-05,9.401632e-05,9.435252e-05,9.466248e-05,9.494705e-05,9.520707e-05,9.544337e-05,9.565676e-05,9.584806e-05,9.601804e-05,9.616748e-05,9.629714e-05,9.640777e-05,9.650010e-05,9.657482e-05,9.663265e-05
0.000000e+00,6.931260e-12,2.332839e-11,1.362425e-10,4.317437e-10,7.303323e-10,2.266092e-09,2.360432e-09,5.822458e-09,7.254131e-09,1.214352e-08,1.782655e-08,2.259410e-08,3.716026e-08,3.869659e-08,6.221692e-08,6.918100e-08,9.512345e-08,1.184259e-07,1.394972e-07,1.896638e-07,1.973883e-07,2.706407e-07,2.872729e-07,3.607425e-07,4.146236e-07,4.687551e-07,5.738144e-07,5.953301e-07,7.407759e-07,7.658042e-07,9.051322e-07,9.906984e-07,1.088235e-06,1.248003e-06,1.289763e-06,1.509276e-06,1.536802e-06,1.746241e-06,1.855879e-06,2.000050e-06,2.203805e-06,2.270042e-06,2.555517e-06,2.579002e-06,2.855744e-06,2.979798e-06,3.169974e-06,3.404466e-06,3.497450e-06,3.837412e-06,3.851259e-06,4.189101e-06,4.318435e-06,4.551768e-06,4.804277e-06,4.924677e-06,5.307105e-06,5.698345e-06,5.825291e-06,6.097713e-06,6.357265e-06,6.504542e-06,6.901518e-06,6.918187e-06,7.338025e-06,7.456608e-06,7.763457e-06,8.021159e-06,8.193903e-06,8.593865e-06,8.628809e-06,9.067640e-06,9.173486e-06,9.509885e-06,9.758850e-06,9.955055e-06,1.034885e-05,1.040268e-05,1.085231e-05,1.094244e-05,1.130353e-05,1.153865e-05,1.175592e-05,1.213655e-05,1.220909e-05,1.266268e-05,1.273527e-05,1.311634e-05,1.333402e-05,1.356972e-05,1.393203e-05,1.402253e-05,1.447445e-05,1.452860e-05,1.492520e-05,1.512309e-05,1.537451e-05,1.571487e-05,1.582214e-05,1.626783e-05,1.630340e-05,1.671138e-05,1.688814e-05,1.715255e-05,1.746862e-05,1.759116e-05,1.802702e-05,1.804440e-05,1.845996e-05,1.861507e-05,1.888980e-05,1.918025e-05,1.931640e-05,1.973962e-05,2.015931e-05,2.029285e-05,2.057537e-05,2.083968e-05,2.098767e-05,2.137985e-05,2.139612e-05,2.180060e-05,2.191314e-05,2.220105e-05,2.243934e-05,2.259737e-05,2.295828e-05,2.298950e-05,2.337736e-05,2.346981e-05,2.376090e-05,2.397377e-05,2.414006e-05,2.447007e-05,2.451480e-05,2.488508e-05,2.495859e-05,2.525085e-05,2.543927e-05,2.561210e-05,2.591203e-05,2.596879e-05,2.632090e-05,2.637681e-05,2.666842e-05,2.683359e-05,2.701133e-05,2.728234e-05,2.734963e-05,2.768331e-05,2.772304e-05,2.801237e-05,2.815570e-05,2.833682e-05,2.858031e-05,2.865666e-05,2.897189e-05,2.899691e-05,2.928254e-05,2.940551e-05,2.958861e-05,2.980616e-05,2.989012e-05,3.018710e-05,3.019888e-05,3.047956e-05,3.058375e-05,3.076753e-05,3.096080e-05,3.105103e-05,3.133010e-05,3.169172e-05,3.204573e-05,3.239221e-05,3.273124e-05,3.306290e-05,3.338728e-05,3.370447e-05,3.401457e-05,3.431767e-05,3.461386e-05,3.490324e-05,3.518593e-05,3.546201e-05,3.573159e-05,3.599478e-05,3.625167e-05,3.650238e-05,3.674701e-05,3.698566e-05,3.721845e-05,3.744546e-05,3.766681e-05,3.788261e-05,3.809296e-05
0.000000e+00,6.986603e-13,2.250296e-12,1.253159e-11,3.877472e-11,6.495365e-11,1.974865e-10,2.055547e-10,4.981721e-10,6.176937e-10,1.021226e-09,1.483225e-09,1.866198e-09,3.016239e-09,3.136061e-09,4.943191e-09,5.469939e-09,7.405965e-09,9.116029e-09,1.064340e-08,1.422327e-08,1.476869e-08,1.988401e-08,2.103391e-08,2.607781e-08,2.974996e-08,3.342415e-08,4.052988e-08,4.198278e-08,5.179950e-08,5.348927e-08,6.290660e-08,6.870252e-08,7.532349e-08,8.620532e-08,8.905744e-08,1.041046e-07,1.059979e-07,1.204509e-07,1.280492e-07,1.380735e-07,1.523017e-07,1.569418e-07,1.770189e-07,1.786761e-07,1.982626e-07,2.070764e-07,2.206263e-07,2.373941e-07,2.440607e-07,2.685139e-07,2.695125e-07,2.939328e-07,3.033097e-07,3.202637e-07,3.386619e-07,3.474523e-07,3.754452e-07,4.041894e-07,4.135377e-07,4.336329e-07,4.528204e-07,4.637253e-07,4.931789e-07,4.944175e-07,5.256620e-07,5.345032e-07,5.574132e-07,5.766888e-07,5.896272e-07,6.196367e-07,6.222620e-07,6.552774e-07,6.632535e-07,6.886353e-07,7.074515e-07,7.222990e-07,7.521485e-07,7.562339e-07,7.904072e-07,7.972677e-07,8.247876e-07,8.427374e-07,8.593457e-07,8.884913e-07,8.940536e-07,9.288848e-07,9.344676e-07,9.638146e-07,9.806090e-07,9.988195e-07,1.026863e-06,1.033877e-06,1.068967e-06,1.073180e-06,1.104070e-06,1.119515e-06,1.139167e-06,1.165827e-06,1.174242e-06,1.209277e-06,1.212078e-06,1.244258e-06,1.258233e-06,1.279172e-06,1.304260e-06,1.314004e-06,1.348742e-06,1.350129e-06,1.383375e-06,1.395815e-06,1.417892e-06,1.441293e-06,1.452284e-06,1.486540e-06,1.520654e-06,1.531538e-06,1.554615e-06,1.576268e-06,1.588419e-06,1.620715e-06,1.622057e-06,1.655523e-06,1.664862e-06,1.688813e-06,1.708699e-06,1.721920e-06,1.752213e-06,1.754840e-06,1.787568e-06,1.795394e-06,1.820102e-06,1.838234e-06,1.852436e-06,1.880724e-06,1.884569e-06,1.916497e-06,1.922858e-06,1.948218e-06,1.964631e-06,1.979730e-06,2.006037e-06,2.011031e-06,2.042119e-06,2.047073e-06,2.072992e-06,2.087735e-06,2.103650e-06,2.128021e-06,2.134092e-06,2.164317e-06,2.167930e-06,2.194325e-06,2.207459e-06,2.224115e-06,2.246609e-06,2.253687e-06,2.283041e-06,2.285380e-06,2.312177e-06,2.323770e-06,2.341096e-06,2.361782e-06,2.369797e-06,2.398282e-06,2.399417e-06,2.426551e-06,2.436675e-06,2.454605e-06,2.473559e-06,2.482445e-06,2.510071e-06,2.546213e-06,2.581987e-06,2.617397e-06,2.652446e-06,2.687136e-06,2.721471e-06,2.755454e-06,2.789089e-06,2.822379e-06,2.855329e-06,2.887942e-06,2.920222e-06,2.952172e-06,2.983798e-06,3.015102e-06,3.046089e-06,3.076763e-06,3.107129e-06,3.137189e-06,3.166949e-06,3.196411e-06,3.225581e-06,3.254463e-06,3.283060e-06
0.000000e+00,2.345758e-17,2.760617e-16,1.082999e-14,1.233738e-13,3.757096e-13,4.144337e-12,4.518257e-12,3.041784e-11,4.828725e-11,1.419252e-10,3.151734e-10,5.143407e-10,1.426872e-09,1.549706e-09,4.056187e-09,5.021655e-09,9.503059e-09,1.470486e-08,2.035810e-08,3.742730e-08,4.050716e-08,7.574584e-08,8.528065e-08,1.343223e-07,1.776089e-07,2.275014e-07,3.432463e-07,3.701130e-07,5.810467e-07,6.226313e-07,8.836585e-07,1.069544e-06,1.306057e-06,1.752233e-06,1.881242e-06,2.647087e-06,2.753775e-06,3.646153e-06,4.171564e-06,4.925331e-06,6.115921e-06,6.535328e-06,8.530008e-06,8.707873e-06,1.096560e-05,1.207620e-05,1.389983e-05,1.635392e-05,1.739092e-05,2.149660e-05,2.167441e-05,2.627310e-05,2.816729e-05,3.177409e-05,3.595435e-05,3.804971e-05,4.514568e-05,5.310242e-05,5.583617e-05,6.195433e-05,6.810245e-05,7.172917e-05,8.200051e-05,8.244755e-05,9.412257e-05,9.756393e-05,1.067596e-04,1.148028e-04,1.203560e-04,1.337034e-04,1.349016e-04,1.503782e-04,1.542284e-04,1.667603e-04,1.763179e-04,1.840153e-04,1.998907e-04,2.021039e-04,2.209808e-04,2.248464e-04,2.405949e-04,2.510673e-04,2.608904e-04,2.784213e-04,2.818071e-04,3.032811e-04,3.067642e-04,3.252458e-04,3.359430e-04,3.476323e-04,3.657978e-04,3.703701e-04,3.933880e-04,3.961656e-04,4.166144e-04,4.268817e-04,4.399781e-04,4.577830e-04,4.634088e-04,4.868376e-04,4.887098e-04,5.101975e-04,5.195076e-04,5.334238e-04,5.500290e-04,5.564544e-04,5.792302e-04,5.801351e-04,6.016953e-04,6.096965e-04,6.237974e-04,6.385943e-04,6.454875e-04,6.667206e-04,6.874554e-04,6.939791e-04,7.076545e-04,7.202852e-04,7.272844e-04,7.455658e-04,7.463152e-04,7.647211e-04,7.697597e-04,7.824798e-04,7.928164e-04,7.995726e-04,8.146969e-04,8.159845e-04,8.317035e-04,8.353720e-04,8.467211e-04,8.548224e-04,8.610316e-04,8.730377e-04,8.746322e-04,8.875227e-04,8.900158e-04,8.997054e-04,9.057621e-04,9.111849e-04,9.202892e-04,9.219680e-04,9.320632e-04,9.336153e-04,9.414811e-04,9.457645e-04,9.502335e-04,9.567653e-04,9.583339e-04,9.657968e-04,9.666503e-04,9.726381e-04,9.754556e-04,9.788743e-04,9.832199e-04,9.845229e-04,9.896020e-04,9.899842e-04,9.941301e-04,9.957913e-04,9.981262e-04,1.000685e-03,1.001610e-03,1.004600e-03,1.004710e-03,1.007118e-03,1.007912e-03,1.009181e-03,1.010335e-03,1.010810e-03,1.012025e-03,1.013026e-03,1.013382e-03,1.013135e-03,1.012328e-03,1.011000e-03,1.009191e-03,1.006937e-03,1.004276e-03,1.001241e-03,9.978651e-04,9.941798e-04,9.902149e-04,9.859982e-04,9.815566e-04,9.769148e-04,9.720964e-04,9.671235e-04,9.620166e-04,9.567949e-04,9.514764e-04,9.460778e-04,9.406145e-04,9.351009e-04,9.295501e-04
0.000000e+00,1.044474e-16,1.084065e-15,3.280370e-14,2.954071e-13,7.912796e-13,6.284458e-12,6.761203e-12,3.303049e-11,4.810908e-11,1.141419e-10,2.137021e-10,3.124342e-10,6.807179e-10,7.244741e-10,1.485545e-09,1.738900e-09,2.772751e-09,3.803943e-09,4.807094e-09,7.425236e-09,7.854189e-09,1.222231e-08,1.328425e-08,1.825582e-08,2.217300e-08,2.632228e-08,3.494154e-08,3.679348e-08,5.002329e-08,5.241781e-08,6.632670e-08,7.532300e-08,8.596454e-08,1.042112e-07,1.091355e-07,1.359749e-07,1.394463e-07,1.665588e-07,1.812097e-07,2.009107e-07,2.295265e-07,2.390093e-07,2.807963e-07,2.842961e-07,3.261830e-07,3.453211e-07,3.750568e-07,4.123317e-07,4.272858e-07,4.827234e-07,4.850055e-07,5.412123e-07,5.629835e-07,6.025870e-07,6.458834e-07,6.666772e-07,7.333097e-07,8.023106e-07,8.248627e-07,8.735067e-07,9.201452e-07,9.467271e-07,1.018768e-06,1.021805e-06,1.098576e-06,1.120354e-06,1.176883e-06,1.224541e-06,1.256573e-06,1.330984e-06,1.337500e-06,1.419524e-06,1.439358e-06,1.502511e-06,1.549356e-06,1.586333e-06,1.660691e-06,1.670869e-06,1.756006e-06,1.773095e-06,1.841634e-06,1.886321e-06,1.927653e-06,2.000140e-06,2.013966e-06,2.100483e-06,2.114338e-06,2.187119e-06,2.228723e-06,2.273796e-06,2.343116e-06,2.360439e-06,2.446979e-06,2.457354e-06,2.533352e-06,2.571288e-06,2.619499e-06,2.684784e-06,2.705363e-06,2.790894e-06,2.797720e-06,2.876043e-06,2.909985e-06,2.960766e-06,3.021481e-06,3.045024e-06,3.128779e-06,3.132118e-06,3.211996e-06,3.241817e-06,3.294646e-06,3.350508e-06,3.376698e-06,3.458127e-06,3.538911e-06,3.564622e-06,3.619027e-06,3.669943e-06,3.698458e-06,3.774049e-06,3.777185e-06,3.855194e-06,3.876906e-06,3.932472e-06,3.978483e-06,4.009008e-06,4.078756e-06,4.084791e-06,4.159813e-06,4.177704e-06,4.234066e-06,4.275311e-06,4.307546e-06,4.371565e-06,4.380248e-06,4.452167e-06,4.466457e-06,4.523302e-06,4.559982e-06,4.593652e-06,4.652137e-06,4.663215e-06,4.731991e-06,4.742923e-06,4.799983e-06,4.832341e-06,4.867192e-06,4.920396e-06,4.933620e-06,4.999270e-06,5.007095e-06,5.064146e-06,5.092447e-06,5.128252e-06,5.176460e-06,5.191592e-06,5.254173e-06,5.259147e-06,5.315999e-06,5.340519e-06,5.377076e-06,5.420591e-06,5.437410e-06,5.497009e-06,5.499377e-06,5.555877e-06,5.576893e-06,5.614023e-06,5.653154e-06,5.671454e-06,5.728177e-06,5.801980e-06,5.874581e-06,5.945997e-06,6.016248e-06,6.085351e-06,6.153326e-06,6.220192e-06,6.285968e-06,6.350674e-06,6.414327e-06,6.476948e-06,6.538554e-06,6.599166e-06,6.658802e-06,6.717481e-06,6.775221e-06,6.832039e-06,6.887955e-06,6.942986e-06,6.997150e-06,7.050463e-06,7.102944e-06,7.154608e-06,7.205472e-06
0.000000e+00,1.329220e-17,1.564155e-16,6.133391e-15,6.984037e-14,2.126282e-13,2.343626e-12,2.554990e-12,1.718472e-11,2.727233e-11,8.009481e-11,1.777362e-10,2.898997e-10,8.031527e-10,8.721834e-10,2.278985e-09,2.820198e-09,5.329163e-09,8.236821e-09,1.139290e-08,2.090602e-08,2.262060e-08,4.221245e-08,4.750771e-08,7.472039e-08,9.871951e-08,1.263687e-07,1.904911e-07,2.053741e-07,3.222431e-07,3.452901e-07,4.900213e-07,5.931603e-07,7.244757e-07,9.724387e-07,1.044189e-06,1.470550e-06,1.529997e-06,2.027644e-06,2.320943e-06,2.742027e-06,3.407747e-06,3.642404e-06,4.759212e-06,4.858849e-06,6.124128e-06,6.746805e-06,7.769515e-06,9.146094e-06,9.727823e-06,1.203098e-05,1.213072e-05,1.470975e-05,1.577172e-05,1.779317e-05,2.013476e-05,2.130793e-05,2.527790e-05,2.972361e-05,3.124957e-05,3.466190e-05,3.808701e-05,4.010559e-05,4.581499e-05,4.606323e-05,5.253895e-05,5.444506e-05,5.953241e-05,6.397515e-05,6.703873e-05,7.438964e-05,7.504868e-05,8.354871e-05,8.565977e-05,9.252123e-05,9.774441e-05,1.019449e-04,1.105911e-04,1.117947e-04,1.220428e-04,1.241375e-04,1.326582e-04,1.383124e-04,1.436077e-04,1.530377e-04,1.548561e-04,1.663666e-04,1.682301e-04,1.781012e-04,1.838021e-04,1.900212e-04,1.996643e-04,2.020874e-04,2.142604e-04,2.157265e-04,2.265014e-04,2.318991e-04,2.387720e-04,2.480944e-04,2.510348e-04,2.632534e-04,2.642279e-04,2.753929e-04,2.802191e-04,2.874200e-04,2.959921e-04,2.993031e-04,3.110125e-04,3.114769e-04,3.225204e-04,3.266089e-04,3.338012e-04,3.413303e-04,3.448314e-04,3.555896e-04,3.660567e-04,3.693419e-04,3.762157e-04,3.825488e-04,3.860517e-04,3.951786e-04,3.955520e-04,4.047059e-04,4.072057e-04,4.135047e-04,4.186107e-04,4.219417e-04,4.293796e-04,4.300116e-04,4.377114e-04,4.395040e-04,4.450391e-04,4.489800e-04,4.519946e-04,4.578086e-04,4.585792e-04,4.647953e-04,4.659946e-04,4.706466e-04,4.735467e-04,4.761380e-04,4.804767e-04,4.812750e-04,4.860645e-04,4.867991e-04,4.905138e-04,4.925309e-04,4.946309e-04,4.976914e-04,4.984247e-04,5.019041e-04,5.023010e-04,5.050790e-04,5.063820e-04,5.079592e-04,5.099573e-04,5.105549e-04,5.128767e-04,5.130510e-04,5.149352e-04,5.156872e-04,5.167409e-04,5.178906e-04,5.183046e-04,5.196372e-04,5.196858e-04,5.207489e-04,5.210972e-04,5.216507e-04,5.221492e-04,5.223527e-04,5.228652e-04,5.232687e-04,5.233820e-04,5.232271e-04,5.228251e-04,5.221961e-04,5.213597e-04,5.203341e-04,5.191370e-04,5.177851e-04,5.162941e-04,5.146787e-04,5.129529e-04,5.111299e-04,5.092218e-04,5.072399e-04,5.051951e-04,5.030971e-04,5.009551e-04,4.987775e-04,4.965721e-04,4.943461e-04,4.921061e-04,4.898580e-04,4.876074e-04
0.000000e+00,1.318568e-11,4.124301e-11,2.230452e-10,6.821481e-10,1.138925e-09,3.455638e-09,3.597099e-09,8.764361e-09,1.089469e-08,1.816313e-08,2.661270e-08,3.370770e-08,5.542563e-08,5.771912e-08,9.284687e-08,1.032381e-07,1.418204e-07,1.762304e-07,2.071028e-07,2.796278e-07,2.906759e-07,3.940362e-07,4.171854e-07,5.182818e-07,5.914136e-07,6.641935e-07,8.038880e-07,8.322883e-07,1.022853e-06,1.055437e-06,1.235970e-06,1.346252e-06,1.471536e-06,1.675980e-06,1.729287e-06,2.008817e-06,2.043800e-06,2.309599e-06,2.448516e-06,2.631004e-06,2.888630e-06,2.972323e-06,3.332784e-06,3.362423e-06,3.711565e-06,3.868017e-06,4.107812e-06,4.403432e-06,4.520647e-06,4.949179e-06,4.966634e-06,5.392515e-06,5.555569e-06,5.849765e-06,6.168192e-06,6.320047e-06,6.802493e-06,7.296250e-06,7.456505e-06,7.800488e-06,8.128326e-06,8.314397e-06,8.816117e-06,8.837190e-06,9.368106e-06,9.518118e-06,9.906410e-06,1.023264e-05,1.045139e-05,1.095808e-05,1.100236e-05,1.155867e-05,1.169291e-05,1.211968e-05,1.243567e-05,1.268479e-05,1.318501e-05,1.325341e-05,1.382499e-05,1.393962e-05,1.439900e-05,1.469828e-05,1.497494e-05,1.545986e-05,1.555231e-05,1.613067e-05,1.622327e-05,1.670956e-05,1.698750e-05,1.728858e-05,1.775162e-05,1.786733e-05,1.844542e-05,1.851474e-05,1.902252e-05,1.927603e-05,1.959827e-05,2.003475e-05,2.017237e-05,2.074450e-05,2.079018e-05,2.131439e-05,2.154166e-05,2.188177e-05,2.228859e-05,2.244639e-05,2.300800e-05,2.303040e-05,2.356640e-05,2.376659e-05,2.412137e-05,2.449669e-05,2.467271e-05,2.522025e-05,2.576382e-05,2.593690e-05,2.630326e-05,2.664627e-05,2.683843e-05,2.734804e-05,2.736919e-05,2.789541e-05,2.804193e-05,2.841699e-05,2.872767e-05,2.893382e-05,2.940503e-05,2.944581e-05,2.995286e-05,3.007381e-05,3.045491e-05,3.073384e-05,3.095187e-05,3.138495e-05,3.144369e-05,3.193032e-05,3.202702e-05,3.241170e-05,3.265993e-05,3.288779e-05,3.328360e-05,3.335856e-05,3.382398e-05,3.389795e-05,3.428402e-05,3.450293e-05,3.473867e-05,3.509850e-05,3.518791e-05,3.563173e-05,3.568462e-05,3.607013e-05,3.626131e-05,3.650311e-05,3.682854e-05,3.693066e-05,3.735281e-05,3.738635e-05,3.776956e-05,3.793475e-05,3.818093e-05,3.847379e-05,3.858693e-05,3.898758e-05,3.900350e-05,3.938291e-05,3.952394e-05,3.977295e-05,4.003517e-05,4.015772e-05,4.053726e-05,4.103029e-05,4.151434e-05,4.198949e-05,4.245584e-05,4.291349e-05,4.336253e-05,4.380307e-05,4.423523e-05,4.465910e-05,4.507481e-05,4.548246e-05,4.588219e-05,4.627409e-05,4.665830e-05,4.703494e-05,4.740412e-05,4.776597e-05,4.812061e-05,4.846817e-05,4.880876e-05,4.914252e-05,4.946955e-05,4.978999e-05,5.010395e-05
0.000000e+00,9.480992e-17,9.710594e-16,2.860588e-14,2.516048e-13,6.655383e-13,5.123653e-12,5.505576e-12,2.612863e-11,3.777051e-11,8.798386e-11,1.624031e-10,2.353139e-10,5.029187e-10,5.343966e-10,1.075353e-09,1.253404e-09,1.972987e-09,2.682437e-09,3.366673e-09,5.131713e-09,5.418514e-09,8.308547e-09,9.003778e-09,1.222650e-08,1.473314e-08,1.736136e-08,2.274582e-08,2.389116e-08,3.197518e-08,3.342228e-08,4.174933e-08,4.707476e-08,5.332442e-08,6.393968e-08,6.678631e-08,8.219714e-08,8.417953e-08,9.959693e-08,1.078887e-07,1.190054e-07,1.351007e-07,1.404238e-07,1.638366e-07,1.657950e-07,1.892133e-07,1.999045e-07,2.165102e-07,2.373226e-07,2.456725e-07,2.766357e-07,2.779107e-07,3.093276e-07,3.215050e-07,3.436700e-07,3.679234e-07,3.795800e-07,4.169720e-07,4.557581e-07,4.684496e-07,4.958499e-07,5.221533e-07,5.371594e-07,5.778811e-07,5.795993e-07,6.230842e-07,6.354359e-07,6.675309e-07,6.946268e-07,7.128586e-07,7.552714e-07,7.589897e-07,8.058497e-07,8.171966e-07,8.533674e-07,8.802391e-07,9.014749e-07,9.442462e-07,9.501078e-07,9.992052e-07,1.009075e-06,1.048709e-06,1.074594e-06,1.098566e-06,1.140681e-06,1.148724e-06,1.199135e-06,1.207221e-06,1.249754e-06,1.274113e-06,1.300539e-06,1.341260e-06,1.351450e-06,1.402450e-06,1.408574e-06,1.453504e-06,1.475977e-06,1.504581e-06,1.543395e-06,1.555649e-06,1.606681e-06,1.610761e-06,1.657651e-06,1.678016e-06,1.708534e-06,1.745104e-06,1.759308e-06,1.809953e-06,1.811975e-06,1.860447e-06,1.878585e-06,1.910774e-06,1.944892e-06,1.960917e-06,2.010860e-06,2.060589e-06,2.076456e-06,2.110092e-06,2.141649e-06,2.159356e-06,2.206414e-06,2.208370e-06,2.257124e-06,2.270727e-06,2.305608e-06,2.334566e-06,2.353815e-06,2.397913e-06,2.401736e-06,2.449364e-06,2.460751e-06,2.496694e-06,2.523066e-06,2.543719e-06,2.584845e-06,2.590434e-06,2.636835e-06,2.646077e-06,2.682917e-06,2.706753e-06,2.728677e-06,2.766865e-06,2.774112e-06,2.819219e-06,2.826405e-06,2.863995e-06,2.885370e-06,2.908439e-06,2.943754e-06,2.952549e-06,2.996324e-06,3.001554e-06,3.039762e-06,3.058768e-06,3.082863e-06,3.115394e-06,3.125626e-06,3.168052e-06,3.171431e-06,3.210139e-06,3.226879e-06,3.251888e-06,3.281739e-06,3.293300e-06,3.334375e-06,3.336011e-06,3.375114e-06,3.389698e-06,3.415518e-06,3.442801e-06,3.455587e-06,3.495324e-06,3.547268e-06,3.598638e-06,3.649437e-06,3.699669e-06,3.749338e-06,3.798449e-06,3.847006e-06,3.895014e-06,3.942478e-06,3.989404e-06,4.035796e-06,4.081661e-06,4.127003e-06,4.171828e-06,4.216142e-06,4.259951e-06,4.303260e-06,4.346075e-06,4.388403e-06,4.430248e-06,4.471617e-06,4.512516e-06,4.552950e-06,4.592926e-06
0.000000e+00,2.939741e-18,3.377575e-17,1.262370e-15,1.374866e-14,4.083626e-14,4.218546e-13,4.586749e-13,2.888615e-12,4.502033e-12,1.262895e-11,2.699385e-11,4.295957e-11,1.126146e-10,1.217174e-10,3.001499e-10,3.664204e-10,6.638056e-10,9.953636e-10,1.344961e-09,2.357893e-09,2.535704e-09,4.500288e-09,5.015009e-09,7.584896e-09,9.771900e-09,1.222293e-08,1.769740e-08,1.893441e-08,2.831891e-08,3.011221e-08,4.104243e-08,4.854416e-08,5.781913e-08,7.465618e-08,7.938963e-08,1.064975e-07,1.101572e-07,1.398655e-07,1.567078e-07,1.801732e-07,2.158302e-07,2.280366e-07,2.839915e-07,2.888314e-07,3.484796e-07,3.767436e-07,4.218393e-07,4.802847e-07,5.042999e-07,5.959796e-07,5.998391e-07,6.968869e-07,7.354568e-07,8.069244e-07,8.868686e-07,9.258956e-07,1.053514e-06,1.189411e-06,1.234577e-06,1.333150e-06,1.429032e-06,1.484236e-06,1.635688e-06,1.642127e-06,1.806245e-06,1.853232e-06,1.975988e-06,2.080279e-06,2.150742e-06,2.315406e-06,2.329884e-06,2.512799e-06,2.557192e-06,2.698878e-06,2.804245e-06,2.887534e-06,3.055229e-06,3.078197e-06,3.270326e-06,3.308882e-06,3.463409e-06,3.564028e-06,3.656964e-06,3.819588e-06,3.850545e-06,4.043736e-06,4.074585e-06,4.236158e-06,4.328145e-06,4.427465e-06,4.579494e-06,4.617341e-06,4.805507e-06,4.827960e-06,4.991710e-06,5.072959e-06,5.175728e-06,5.313998e-06,5.357365e-06,5.536451e-06,5.550663e-06,5.712841e-06,5.782613e-06,5.886410e-06,6.009573e-06,6.057053e-06,6.224685e-06,6.231326e-06,6.389235e-06,6.447708e-06,6.550651e-06,6.658601e-06,6.708890e-06,6.863924e-06,7.015736e-06,7.063634e-06,7.164318e-06,7.257715e-06,7.309670e-06,7.446178e-06,7.451801e-06,7.590726e-06,7.629053e-06,7.726465e-06,7.806390e-06,7.859045e-06,7.978254e-06,7.988495e-06,8.114850e-06,8.144719e-06,8.238148e-06,8.305874e-06,8.358428e-06,8.461812e-06,8.475733e-06,8.590108e-06,8.612636e-06,8.701599e-06,8.758450e-06,8.810252e-06,8.899365e-06,8.916118e-06,9.019244e-06,9.035493e-06,9.119680e-06,9.166949e-06,9.217477e-06,9.293848e-06,9.312685e-06,9.405355e-06,9.416307e-06,9.495536e-06,9.534441e-06,9.583280e-06,9.648365e-06,9.668635e-06,9.751653e-06,9.758195e-06,9.832382e-06,9.864044e-06,9.910872e-06,9.966025e-06,9.987171e-06,1.006133e-05,1.006425e-05,1.013338e-05,1.015882e-05,1.020339e-05,1.024985e-05,1.027140e-05,1.033744e-05,1.042170e-05,1.050272e-05,1.058060e-05,1.065545e-05,1.072734e-05,1.079638e-05,1.086265e-05,1.092624e-05,1.098723e-05,1.104571e-05,1.110175e-05,1.115543e-05,1.120684e-05,1.125603e-05,1.130308e-05,1.134807e-05,1.139105e-05,1.143210e-05,1.147128e-05,1.150864e-05,1.154425e-05,1.157816e-05,1.161044e-05,1.164113e-05
0.000000e+00,2.330804e-13,7.059149e-13,3.679707e-12,1.102698e-11,1.824467e-11,5.420568e-11,5.637756e-11,1.344976e-10,1.661660e-10,2.724724e-10,3.933789e-10,4.931424e-10,7.909677e-10,8.218788e-10,1.286158e-09,1.420964e-09,1.915129e-09,2.350562e-09,2.739119e-09,3.650093e-09,3.789034e-09,5.095559e-09,5.390287e-09,6.688199e-09,7.638622e-09,8.594257e-09,1.045541e-08,1.083800e-08,1.344013e-08,1.389092e-08,1.641762e-08,1.798415e-08,1.978366e-08,2.276280e-08,2.354783e-08,2.771624e-08,2.824378e-08,3.229171e-08,3.443391e-08,3.727398e-08,4.133076e-08,4.265995e-08,4.844391e-08,4.892359e-08,5.461780e-08,5.719434e-08,6.117151e-08,6.611874e-08,6.809313e-08,7.536921e-08,7.566743e-08,8.298511e-08,8.580703e-08,9.092516e-08,9.650121e-08,9.917297e-08,1.077117e-07,1.165240e-07,1.193989e-07,1.255926e-07,1.315231e-07,1.349002e-07,1.440445e-07,1.444297e-07,1.541642e-07,1.569243e-07,1.640872e-07,1.701248e-07,1.741826e-07,1.836095e-07,1.844351e-07,1.948296e-07,1.973438e-07,2.053517e-07,2.112948e-07,2.159879e-07,2.254316e-07,2.267250e-07,2.375506e-07,2.397253e-07,2.484528e-07,2.541486e-07,2.594206e-07,2.686765e-07,2.704434e-07,2.815113e-07,2.832857e-07,2.926148e-07,2.979546e-07,3.037453e-07,3.126636e-07,3.148945e-07,3.260547e-07,3.273943e-07,3.372187e-07,3.421303e-07,3.483798e-07,3.568563e-07,3.595316e-07,3.706683e-07,3.715584e-07,3.817845e-07,3.862240e-07,3.928750e-07,4.008417e-07,4.039353e-07,4.149609e-07,4.154012e-07,4.259478e-07,4.298929e-07,4.368923e-07,4.443085e-07,4.477908e-07,4.586403e-07,4.694378e-07,4.728815e-07,4.801805e-07,4.870261e-07,4.908661e-07,5.010684e-07,5.014923e-07,5.120569e-07,5.150037e-07,5.225582e-07,5.288277e-07,5.329943e-07,5.425366e-07,5.433637e-07,5.536650e-07,5.561271e-07,5.638970e-07,5.695962e-07,5.740585e-07,5.829416e-07,5.841486e-07,5.941662e-07,5.961609e-07,6.041106e-07,6.092526e-07,6.139812e-07,6.222149e-07,6.237772e-07,6.334984e-07,6.350467e-07,6.431441e-07,6.477471e-07,6.527140e-07,6.603153e-07,6.622079e-07,6.716256e-07,6.727506e-07,6.809669e-07,6.850529e-07,6.902318e-07,6.972219e-07,6.994201e-07,7.085319e-07,7.092576e-07,7.175673e-07,7.211601e-07,7.265264e-07,7.329297e-07,7.354093e-07,7.442162e-07,7.445669e-07,7.529474e-07,7.560721e-07,7.616030e-07,7.674458e-07,7.701834e-07,7.786889e-07,7.898020e-07,8.007861e-07,8.116420e-07,8.223706e-07,8.329731e-07,8.434505e-07,8.538039e-07,8.640344e-07,8.741433e-07,8.841318e-07,8.940010e-07,9.037524e-07,9.133870e-07,9.229064e-07,9.323117e-07,9.416042e-07,9.507854e-07,9.598566e-07,9.688190e-07,9.776741e-07,9.864231e-07,9.950675e-07,1.003609e-06,1.012048e-06
0.000000e+00,3.762851e-16,3.945911e-15,1.219104e-13,1.118338e-12,3.025574e-12,2.464373e-11,2.654017e-11,1.328963e-10,1.948698e-10,4.703077e-10,8.930919e-10,1.318144e-09,2.936174e-09,3.131018e-09,6.581548e-09,7.750754e-09,1.259850e-08,1.752652e-08,2.238482e-08,3.526255e-08,3.739162e-08,5.923864e-08,6.457661e-08,8.960051e-08,1.092955e-07,1.300944e-07,1.730247e-07,1.821966e-07,2.471957e-07,2.588678e-07,3.261779e-07,3.693244e-07,4.200319e-07,5.063011e-07,5.294608e-07,6.549978e-07,6.711641e-07,7.970179e-07,8.647924e-07,9.557488e-07,1.087620e-06,1.131279e-06,1.323566e-06,1.339668e-06,1.532441e-06,1.620577e-06,1.757623e-06,1.929635e-06,1.998721e-06,2.255251e-06,2.265826e-06,2.526644e-06,2.627863e-06,2.812259e-06,3.014245e-06,3.111395e-06,3.423302e-06,3.747195e-06,3.853241e-06,4.082266e-06,4.302196e-06,4.427688e-06,4.768262e-06,4.782632e-06,5.146271e-06,5.249536e-06,5.517786e-06,5.744142e-06,5.896376e-06,6.250254e-06,6.281258e-06,6.671676e-06,6.766119e-06,7.066900e-06,7.290063e-06,7.466231e-06,7.820507e-06,7.868999e-06,8.274571e-06,8.355968e-06,8.682344e-06,8.895065e-06,9.091748e-06,9.436515e-06,9.502247e-06,9.913338e-06,9.979136e-06,1.032455e-05,1.052184e-05,1.073544e-05,1.106364e-05,1.114560e-05,1.155464e-05,1.160363e-05,1.196221e-05,1.214098e-05,1.236797e-05,1.267496e-05,1.277164e-05,1.317291e-05,1.320490e-05,1.357154e-05,1.373019e-05,1.396728e-05,1.425030e-05,1.435991e-05,1.474925e-05,1.476475e-05,1.513510e-05,1.527312e-05,1.551730e-05,1.577503e-05,1.589570e-05,1.627016e-05,1.664056e-05,1.675822e-05,1.700680e-05,1.723896e-05,1.736878e-05,1.771218e-05,1.772640e-05,1.807960e-05,1.817770e-05,1.842831e-05,1.863536e-05,1.877247e-05,1.908504e-05,1.911204e-05,1.944697e-05,1.952666e-05,1.977723e-05,1.996013e-05,2.010280e-05,2.038539e-05,2.042365e-05,2.073977e-05,2.080243e-05,2.105115e-05,2.121120e-05,2.135780e-05,2.161172e-05,2.165971e-05,2.195688e-05,2.200399e-05,2.224933e-05,2.238804e-05,2.253708e-05,2.276389e-05,2.282013e-05,2.309851e-05,2.313160e-05,2.337224e-05,2.349122e-05,2.364135e-05,2.384280e-05,2.390587e-05,2.416583e-05,2.418643e-05,2.442125e-05,2.452217e-05,2.467219e-05,2.485010e-05,2.491867e-05,2.516073e-05,2.517032e-05,2.539841e-05,2.548291e-05,2.563175e-05,2.578797e-05,2.586080e-05,2.608560e-05,2.637590e-05,2.665898e-05,2.693493e-05,2.720388e-05,2.746593e-05,2.772120e-05,2.796979e-05,2.821181e-05,2.844739e-05,2.867664e-05,2.889967e-05,2.911659e-05,2.932752e-05,2.953257e-05,2.973185e-05,2.992549e-05,3.011358e-05,3.029624e-05,3.047358e-05,3.064571e-05,3.081273e-05,3.097476e-05,3.113189e-05,3.128424e-05
0.000000e+00,1.366231e-12,4.324210e-12,2.366877e-11,7.272719e-11,1.215657e-10,3.686484e-10,3.836936e-10,9.300025e-10,1.153522e-09,1.909677e-09,2.777960e-09,3.499583e-09,5.675544e-09,5.902970e-09,9.347671e-09,1.035662e-08,1.408228e-08,1.739438e-08,2.036833e-08,2.739200e-08,2.846820e-08,3.863199e-08,4.093297e-08,5.108825e-08,5.853986e-08,6.603973e-08,8.065685e-08,8.366249e-08,1.041063e-07,1.076477e-07,1.274952e-07,1.397979e-07,1.539279e-07,1.773164e-07,1.834788e-07,2.161984e-07,2.203392e-07,2.521142e-07,2.689320e-07,2.912323e-07,3.230959e-07,3.335388e-07,3.790012e-07,3.827732e-07,4.275708e-07,4.478548e-07,4.791838e-07,5.181874e-07,5.337642e-07,5.912246e-07,5.935816e-07,6.514691e-07,6.738189e-07,7.143941e-07,7.586586e-07,7.798903e-07,8.478444e-07,9.181397e-07,9.411093e-07,9.906578e-07,1.038181e-06,1.065279e-06,1.138784e-06,1.141885e-06,1.220356e-06,1.242646e-06,1.300575e-06,1.349497e-06,1.382426e-06,1.459074e-06,1.465797e-06,1.550576e-06,1.571121e-06,1.636656e-06,1.685390e-06,1.723933e-06,1.801645e-06,1.812304e-06,1.901671e-06,1.919656e-06,1.991941e-06,2.039207e-06,2.083021e-06,2.160091e-06,2.174825e-06,2.267267e-06,2.282111e-06,2.360267e-06,2.405082e-06,2.453747e-06,2.528828e-06,2.547634e-06,2.641857e-06,2.653183e-06,2.736348e-06,2.777992e-06,2.831042e-06,2.903108e-06,2.925879e-06,3.020800e-06,3.028395e-06,3.115748e-06,3.153724e-06,3.210673e-06,3.278975e-06,3.305522e-06,3.400250e-06,3.404036e-06,3.494810e-06,3.528802e-06,3.589160e-06,3.653178e-06,3.683261e-06,3.777073e-06,3.870562e-06,3.900404e-06,3.963692e-06,4.023094e-06,4.056434e-06,4.145071e-06,4.148756e-06,4.240630e-06,4.266271e-06,4.332031e-06,4.386634e-06,4.422934e-06,4.506104e-06,4.513315e-06,4.603154e-06,4.624632e-06,4.692430e-06,4.742172e-06,4.781125e-06,4.858682e-06,4.869221e-06,4.956703e-06,4.974125e-06,5.043557e-06,5.088467e-06,5.129767e-06,5.201679e-06,5.215324e-06,5.300214e-06,5.313734e-06,5.384428e-06,5.424607e-06,5.467956e-06,5.534279e-06,5.550790e-06,5.632923e-06,5.642732e-06,5.714348e-06,5.749949e-06,5.795059e-06,5.855919e-06,5.875052e-06,5.954321e-06,5.960631e-06,6.032863e-06,6.064076e-06,6.110675e-06,6.166247e-06,6.187755e-06,6.264101e-06,6.267140e-06,6.339712e-06,6.366752e-06,6.414587e-06,6.465081e-06,6.488725e-06,6.562128e-06,6.657893e-06,6.752380e-06,6.845593e-06,6.937536e-06,7.028215e-06,7.117637e-06,7.205811e-06,7.292743e-06,7.378445e-06,7.462925e-06,7.546194e-06,7.628263e-06,7.709143e-06,7.788847e-06,7.867386e-06,7.944774e-06,8.021022e-06,8.096146e-06,8.170157e-06,8.243069e-06,8.314897e-06,8.385654e-06,8.455354e-06,8.524012e-06
0.000000e+00,8.202630e-18,9.229180e-17,3.295327e-15,3.442243e-14,9.991869e-14,9.726522e-13,1.054996e-12,6.264724e-12,9.609754e-12,2.590560e-11,5.363313e-11,8.361104e-11,2.094167e-10,2.254774e-10,5.308646e-10,6.412010e-10,1.124236e-09,1.647251e-09,2.186892e-09,3.705458e-09,3.966850e-09,6.784788e-09,7.506339e-09,1.103442e-08,1.396071e-08,1.717686e-08,2.417654e-08,2.572962e-08,3.725195e-08,3.940994e-08,5.232806e-08,6.100086e-08,7.154991e-08,9.030504e-08,9.550090e-08,1.247410e-07,1.286306e-07,1.597941e-07,1.771838e-07,2.011370e-07,2.370257e-07,2.491911e-07,3.043161e-07,3.090409e-07,3.668055e-07,3.939159e-07,4.368838e-07,4.921288e-07,5.147057e-07,6.003568e-07,6.039462e-07,6.938557e-07,7.294296e-07,7.951569e-07,8.684470e-07,9.041552e-07,1.020691e-06,1.144554e-06,1.185697e-06,1.275491e-06,1.362872e-06,1.413214e-06,1.551514e-06,1.557401e-06,1.707706e-06,1.750838e-06,1.863763e-06,1.960000e-06,2.025192e-06,2.178119e-06,2.191606e-06,2.362612e-06,2.404293e-06,2.537817e-06,2.637620e-06,2.716830e-06,2.877208e-06,2.899268e-06,3.084757e-06,3.122188e-06,3.272930e-06,3.371724e-06,3.463437e-06,3.625019e-06,3.655940e-06,3.850114e-06,3.881317e-06,4.045653e-06,4.139909e-06,4.242262e-06,4.400135e-06,4.439667e-06,4.637606e-06,4.661382e-06,4.835834e-06,4.923087e-06,5.034124e-06,5.184731e-06,5.232259e-06,5.430040e-06,5.445842e-06,5.627283e-06,5.705990e-06,5.823814e-06,5.964786e-06,6.019474e-06,6.214118e-06,6.221880e-06,6.407609e-06,6.476959e-06,6.599824e-06,6.729743e-06,6.790649e-06,6.979981e-06,7.167725e-06,7.227454e-06,7.353797e-06,7.471968e-06,7.538118e-06,7.713355e-06,7.720620e-06,7.901239e-06,7.951468e-06,8.079921e-06,8.186180e-06,8.256617e-06,8.417385e-06,8.431283e-06,8.603881e-06,8.644993e-06,8.774379e-06,8.868930e-06,8.942749e-06,9.089135e-06,9.108967e-06,9.273014e-06,9.305561e-06,9.434874e-06,9.518173e-06,9.594536e-06,9.726947e-06,9.751991e-06,9.907233e-06,9.931866e-06,1.006026e-05,1.013292e-05,1.021107e-05,1.033012e-05,1.035967e-05,1.050605e-05,1.052347e-05,1.065024e-05,1.071299e-05,1.079223e-05,1.089868e-05,1.093204e-05,1.106967e-05,1.108059e-05,1.120514e-05,1.125873e-05,1.133847e-05,1.143315e-05,1.146967e-05,1.159875e-05,1.160387e-05,1.172574e-05,1.177095e-05,1.185065e-05,1.193442e-05,1.197351e-05,1.209432e-05,1.225072e-05,1.240364e-05,1.255315e-05,1.269930e-05,1.284214e-05,1.298172e-05,1.311810e-05,1.325133e-05,1.338147e-05,1.350857e-05,1.363269e-05,1.375389e-05,1.387221e-05,1.398772e-05,1.410046e-05,1.421050e-05,1.431789e-05,1.442268e-05,1.452492e-05,1.462467e-05,1.472197e-05,1.481689e-05,1.490946e-05,1.499975e-05
0.000000e+00,8.488131e-13,3.327877e-12,2.284562e-11,7.803538e-11,1.357192e-10,4.419937e-10,4.610772e-10,1.170465e-09,1.466882e-09,2.485984e-09,3.678530e-09,4.683187e-09,7.768115e-09,8.094524e-09,1.310859e-08,1.459784e-08,2.015666e-08,2.515755e-08,2.968075e-08,4.043947e-08,4.209403e-08,5.775453e-08,6.130346e-08,7.695918e-08,8.842830e-08,9.994910e-08,1.223280e-07,1.269168e-07,1.580117e-07,1.633778e-07,1.933442e-07,2.118319e-07,2.329877e-07,2.678341e-07,2.769818e-07,3.253333e-07,3.314276e-07,3.780198e-07,4.025633e-07,4.349915e-07,4.811111e-07,4.961742e-07,5.614724e-07,5.668708e-07,6.307724e-07,6.595844e-07,7.039448e-07,7.589475e-07,7.808477e-07,8.613293e-07,8.646208e-07,9.452301e-07,9.762397e-07,1.032385e-06,1.093424e-06,1.122626e-06,1.215783e-06,1.311685e-06,1.342925e-06,1.410162e-06,1.474462e-06,1.511047e-06,1.610009e-06,1.614175e-06,1.719383e-06,1.749193e-06,1.826514e-06,1.891652e-06,1.935415e-06,2.037037e-06,2.045935e-06,2.157931e-06,2.185015e-06,2.271265e-06,2.335266e-06,2.385802e-06,2.487487e-06,2.501413e-06,2.617976e-06,2.641392e-06,2.735370e-06,2.796707e-06,2.853484e-06,2.953177e-06,2.972209e-06,3.091442e-06,3.110560e-06,3.211083e-06,3.268629e-06,3.331040e-06,3.427172e-06,3.451223e-06,3.571546e-06,3.585991e-06,3.691930e-06,3.744898e-06,3.812297e-06,3.903721e-06,3.932576e-06,4.052698e-06,4.062299e-06,4.172597e-06,4.220481e-06,4.292213e-06,4.378128e-06,4.411487e-06,4.530366e-06,4.535112e-06,4.648798e-06,4.691314e-06,4.766734e-06,4.846624e-06,4.884129e-06,5.000942e-06,5.117131e-06,5.154173e-06,5.232659e-06,5.306235e-06,5.347493e-06,5.457049e-06,5.461599e-06,5.574948e-06,5.606546e-06,5.687510e-06,5.754660e-06,5.799262e-06,5.901336e-06,5.910178e-06,6.020236e-06,6.046520e-06,6.129417e-06,6.190167e-06,6.237701e-06,6.332236e-06,6.345072e-06,6.451514e-06,6.472690e-06,6.557013e-06,6.611496e-06,6.661558e-06,6.748629e-06,6.765136e-06,6.867737e-06,6.884063e-06,6.969354e-06,7.017778e-06,7.069978e-06,7.149759e-06,7.169604e-06,7.268224e-06,7.279991e-06,7.365836e-06,7.408465e-06,7.462435e-06,7.535172e-06,7.558019e-06,7.652586e-06,7.660108e-06,7.746135e-06,7.783269e-06,7.838665e-06,7.904656e-06,7.930177e-06,8.020672e-06,8.024271e-06,8.110151e-06,8.142115e-06,8.198617e-06,8.258196e-06,8.286072e-06,8.372520e-06,8.485095e-06,8.595931e-06,8.705040e-06,8.812433e-06,8.918123e-06,9.022125e-06,9.124454e-06,9.225126e-06,9.324157e-06,9.421564e-06,9.517366e-06,9.611580e-06,9.704226e-06,9.795321e-06,9.884887e-06,9.972942e-06,1.005951e-05,1.014460e-05,1.022824e-05,1.031046e-05,1.039126e-05,1.047068e-05,1.054873e-05,1.062543e-05
0.000000e+00,3.385339e-16,3.410598e-15,9.720952e-14,8.305235e-13,2.163009e-12,1.602146e-11,1.718958e-11,7.871820e-11,1.127481e-10,2.568841e-10,4.662656e-10,6.686199e-10,1.398633e-09,1.483627e-09,2.927680e-09,3.398104e-09,5.283701e-09,7.124813e-09,8.887668e-09,1.338810e-08,1.411366e-08,2.134545e-08,2.306484e-08,3.094089e-08,3.696746e-08,4.320117e-08,5.572771e-08,5.835349e-08,7.654760e-08,7.974710e-08,9.786210e-08,1.092087e-07,1.223147e-07,1.441157e-07,1.498728e-07,1.804635e-07,1.843334e-07,2.139812e-07,2.296233e-07,2.502949e-07,2.796709e-07,2.892536e-07,3.306918e-07,3.341088e-07,3.744342e-07,3.925359e-07,4.202998e-07,4.545348e-07,4.681053e-07,5.176686e-07,5.196852e-07,5.688114e-07,5.875760e-07,6.213611e-07,6.578138e-07,6.751523e-07,7.300284e-07,7.858418e-07,8.038773e-07,8.424547e-07,8.790468e-07,8.997387e-07,9.552528e-07,9.575755e-07,1.015856e-06,1.032240e-06,1.074480e-06,1.109781e-06,1.133357e-06,1.187674e-06,1.192402e-06,1.251541e-06,1.265740e-06,1.310704e-06,1.343823e-06,1.369830e-06,1.421784e-06,1.428862e-06,1.487749e-06,1.499505e-06,1.546447e-06,1.576880e-06,1.604913e-06,1.653818e-06,1.663111e-06,1.721007e-06,1.730240e-06,1.778572e-06,1.806078e-06,1.835780e-06,1.881272e-06,1.892605e-06,1.949028e-06,1.955771e-06,2.005029e-06,2.029531e-06,2.060591e-06,2.102516e-06,2.115700e-06,2.170343e-06,2.174693e-06,2.224507e-06,2.246036e-06,2.278183e-06,2.316523e-06,2.331362e-06,2.384037e-06,2.386134e-06,2.436201e-06,2.454854e-06,2.487849e-06,2.522673e-06,2.538976e-06,2.589579e-06,2.639655e-06,2.655567e-06,2.689201e-06,2.720631e-06,2.738216e-06,2.784769e-06,2.786698e-06,2.834649e-06,2.847979e-06,2.882066e-06,2.910262e-06,2.928952e-06,2.971618e-06,2.975307e-06,3.021132e-06,3.032051e-06,3.066429e-06,3.091565e-06,3.111199e-06,3.150164e-06,3.155446e-06,3.199171e-06,3.207853e-06,3.242377e-06,3.264640e-06,3.285067e-06,3.320531e-06,3.327245e-06,3.368913e-06,3.375533e-06,3.410075e-06,3.429655e-06,3.450735e-06,3.482904e-06,3.490897e-06,3.530564e-06,3.535291e-06,3.569741e-06,3.586824e-06,3.608431e-06,3.637513e-06,3.646639e-06,3.684370e-06,3.687368e-06,3.721626e-06,3.736398e-06,3.758414e-06,3.784613e-06,3.794737e-06,3.830600e-06,3.832026e-06,3.866008e-06,3.878644e-06,3.900965e-06,3.924480e-06,3.935475e-06,3.969544e-06,4.013847e-06,4.057399e-06,4.100212e-06,4.142296e-06,4.183662e-06,4.224320e-06,4.264282e-06,4.303559e-06,4.342160e-06,4.380096e-06,4.417379e-06,4.454018e-06,4.490024e-06,4.525406e-06,4.560176e-06,4.594343e-06,4.627918e-06,4.660909e-06,4.693327e-06,4.725182e-06,4.756482e-06,4.787238e-06,4.817459e-06,4.847153e-06
0.000000e+00,5.371149e-12,1.766677e-11,1.006310e-10,3.151704e-10,5.309629e-10,1.638957e-09,1.707075e-09,4.217828e-09,5.263084e-09,8.863560e-09,1.310425e-08,1.670357e-08,2.790046e-08,2.909669e-08,4.768818e-08,5.327237e-08,7.427795e-08,9.330790e-08,1.105668e-07,1.516143e-07,1.579145e-07,2.172500e-07,2.306095e-07,2.891206e-07,3.315420e-07,3.737845e-07,4.548303e-07,4.712918e-07,5.815398e-07,6.003486e-07,7.043094e-07,7.675979e-07,8.392886e-07,9.558051e-07,9.860905e-07,1.144266e-06,1.163988e-06,1.313317e-06,1.391007e-06,1.492704e-06,1.635603e-06,1.681860e-06,1.880198e-06,1.896443e-06,2.087115e-06,2.172148e-06,2.302005e-06,2.461324e-06,2.524264e-06,2.753292e-06,2.762586e-06,2.988502e-06,3.074579e-06,3.229318e-06,3.395992e-06,3.475187e-06,3.725569e-06,3.979952e-06,4.062118e-06,4.237841e-06,4.404512e-06,4.498767e-06,4.751700e-06,4.762285e-06,5.027971e-06,5.102697e-06,5.295426e-06,5.456591e-06,5.564274e-06,5.812539e-06,5.834160e-06,6.104752e-06,6.169764e-06,6.375739e-06,6.527554e-06,6.646829e-06,6.885257e-06,6.917750e-06,7.188249e-06,7.242277e-06,7.458091e-06,7.598075e-06,7.727056e-06,7.952160e-06,7.994942e-06,8.261561e-06,8.304091e-06,8.526741e-06,8.653469e-06,8.790323e-06,8.999938e-06,9.052160e-06,9.312117e-06,9.343180e-06,9.570074e-06,9.682911e-06,9.825917e-06,1.001888e-05,1.007955e-05,1.033087e-05,1.035087e-05,1.057980e-05,1.067869e-05,1.082628e-05,1.100217e-05,1.107022e-05,1.131158e-05,1.132117e-05,1.155029e-05,1.163558e-05,1.178633e-05,1.194528e-05,1.201964e-05,1.225020e-05,1.247797e-05,1.255027e-05,1.270295e-05,1.284545e-05,1.292509e-05,1.313569e-05,1.314441e-05,1.336087e-05,1.342098e-05,1.357449e-05,1.370129e-05,1.378526e-05,1.397664e-05,1.399317e-05,1.419824e-05,1.424703e-05,1.440046e-05,1.451247e-05,1.459986e-05,1.477299e-05,1.479644e-05,1.499021e-05,1.502863e-05,1.518119e-05,1.527941e-05,1.536941e-05,1.552538e-05,1.555488e-05,1.573761e-05,1.576660e-05,1.591764e-05,1.600310e-05,1.609499e-05,1.623495e-05,1.626968e-05,1.644174e-05,1.646221e-05,1.661120e-05,1.668494e-05,1.677807e-05,1.690320e-05,1.694241e-05,1.710422e-05,1.711706e-05,1.726354e-05,1.732658e-05,1.742041e-05,1.753185e-05,1.757485e-05,1.772689e-05,1.773292e-05,1.787656e-05,1.792987e-05,1.802391e-05,1.812278e-05,1.816894e-05,1.831171e-05,1.849675e-05,1.867795e-05,1.885541e-05,1.902918e-05,1.919934e-05,1.936597e-05,1.952914e-05,1.968892e-05,1.984537e-05,1.999857e-05,2.014859e-05,2.029550e-05,2.043935e-05,2.058023e-05,2.071819e-05,2.085330e-05,2.098562e-05,2.111522e-05,2.124214e-05,2.136646e-05,2.148824e-05,2.160752e-05,2.172437e-05,2.183884e-05
0.000000e+00,8.229716e-14,7.324540e-13,1.642136e-11,1.151311e-10,2.713487e-10,1.597337e-09,1.699304e-09,6.453637e-09,8.842594e-09,1.823576e-08,3.090043e-08,4.259997e-08,8.279769e-08,8.735757e-08,1.629824e-07,1.871371e-07,2.826141e-07,3.743579e-07,4.611432e-07,6.788065e-07,7.134317e-07,1.052558e-06,1.131767e-06,1.488907e-06,1.756873e-06,2.030145e-06,2.569825e-06,2.681637e-06,3.446908e-06,3.580065e-06,4.328010e-06,4.792366e-06,5.325769e-06,6.207847e-06,6.439955e-06,7.669396e-06,7.824587e-06,9.012092e-06,9.638077e-06,1.046531e-05,1.164161e-05,1.202567e-05,1.368925e-05,1.382667e-05,1.545169e-05,1.618330e-05,1.730826e-05,1.870048e-05,1.925397e-05,2.128361e-05,2.136647e-05,2.339187e-05,2.416905e-05,2.557335e-05,2.709581e-05,2.782263e-05,3.013433e-05,3.250313e-05,3.327235e-05,3.492380e-05,3.649787e-05,3.739120e-05,3.979926e-05,3.990037e-05,4.244646e-05,4.316535e-05,4.502480e-05,4.658540e-05,4.763088e-05,5.004924e-05,5.026036e-05,5.290907e-05,5.354718e-05,5.557304e-05,5.707009e-05,5.824844e-05,6.060937e-05,6.093165e-05,6.361919e-05,6.415693e-05,6.630779e-05,6.770523e-05,6.899431e-05,7.124722e-05,7.167580e-05,7.434945e-05,7.477632e-05,7.701261e-05,7.828647e-05,7.966280e-05,8.177203e-05,8.229767e-05,8.491499e-05,8.522780e-05,8.751272e-05,8.864900e-05,9.008890e-05,9.203127e-05,9.264172e-05,9.516950e-05,9.537060e-05,9.767067e-05,9.866336e-05,1.001438e-04,1.019063e-04,1.025875e-04,1.050005e-04,1.050963e-04,1.073817e-04,1.082309e-04,1.097300e-04,1.113077e-04,1.120446e-04,1.143245e-04,1.165689e-04,1.172795e-04,1.187772e-04,1.201712e-04,1.209487e-04,1.229982e-04,1.230828e-04,1.251792e-04,1.257593e-04,1.272373e-04,1.284536e-04,1.292568e-04,1.310804e-04,1.312374e-04,1.331789e-04,1.336390e-04,1.350811e-04,1.361291e-04,1.369439e-04,1.385504e-04,1.387671e-04,1.405508e-04,1.409028e-04,1.422950e-04,1.431863e-04,1.439996e-04,1.454011e-04,1.456649e-04,1.472908e-04,1.475473e-04,1.488776e-04,1.496254e-04,1.504254e-04,1.516358e-04,1.519345e-04,1.534051e-04,1.535790e-04,1.548375e-04,1.554558e-04,1.562320e-04,1.572666e-04,1.575889e-04,1.589085e-04,1.590125e-04,1.601912e-04,1.606940e-04,1.614374e-04,1.623123e-04,1.626475e-04,1.638218e-04,1.638680e-04,1.649609e-04,1.653624e-04,1.660651e-04,1.667962e-04,1.671349e-04,1.681707e-04,1.694869e-04,1.707458e-04,1.719487e-04,1.730966e-04,1.741907e-04,1.752323e-04,1.762224e-04,1.771623e-04,1.780531e-04,1.788961e-04,1.796925e-04,1.804434e-04,1.811501e-04,1.818137e-04,1.824354e-04,1.830163e-04,1.835577e-04,1.840607e-04,1.845263e-04,1.849558e-04,1.853503e-04,1.857107e-04,1.860383e-04,1.863340e-04
0.000000e+00,1.345207e-12,5.430933e-12,3.841675e-11,1.328459e-10,2.319555e-10,7.594192e-10,7.923000e-10,2.014097e-09,2.524232e-09,4.276515e-09,6.324623e-09,8.048631e-09,1.333749e-08,1.389680e-08,2.248479e-08,2.503461e-08,3.454926e-08,4.310436e-08,5.083722e-08,6.920435e-08,7.202516e-08,9.866509e-08,1.046863e-07,1.311748e-07,1.505032e-07,1.698539e-07,2.072622e-07,2.149043e-07,2.664462e-07,2.752996e-07,3.245300e-07,3.547327e-07,3.891441e-07,4.454938e-07,4.602214e-07,5.376449e-07,5.473550e-07,6.212536e-07,6.599507e-07,7.108478e-07,7.828006e-07,8.061952e-07,9.070361e-07,9.153324e-07,1.013090e-06,1.056905e-06,1.124059e-06,1.206828e-06,1.239635e-06,1.359504e-06,1.364383e-06,1.483346e-06,1.528841e-06,1.610846e-06,1.699475e-06,1.741690e-06,1.875571e-06,2.012189e-06,2.056437e-06,2.151255e-06,2.241414e-06,2.292492e-06,2.429873e-06,2.435632e-06,2.580421e-06,2.621224e-06,2.726617e-06,2.814915e-06,2.873993e-06,3.010433e-06,3.022331e-06,3.171429e-06,3.207304e-06,3.321096e-06,3.405091e-06,3.471154e-06,3.603395e-06,3.621435e-06,3.771784e-06,3.801850e-06,3.922057e-06,4.000124e-06,4.072119e-06,4.197916e-06,4.221845e-06,4.371120e-06,4.394955e-06,4.519838e-06,4.590996e-06,4.667902e-06,4.785821e-06,4.815221e-06,4.961712e-06,4.979232e-06,5.107300e-06,5.171056e-06,5.251917e-06,5.361138e-06,5.395500e-06,5.537992e-06,5.549343e-06,5.679341e-06,5.735551e-06,5.819502e-06,5.919658e-06,5.958433e-06,6.096096e-06,6.101576e-06,6.232460e-06,6.281227e-06,6.367494e-06,6.458546e-06,6.501175e-06,6.633478e-06,6.764387e-06,6.805981e-06,6.893885e-06,6.976017e-06,7.021959e-06,7.143559e-06,7.148597e-06,7.273793e-06,7.308588e-06,7.397539e-06,7.471089e-06,7.519831e-06,7.631054e-06,7.640667e-06,7.760047e-06,7.788481e-06,7.877971e-06,7.943374e-06,7.994442e-06,8.095737e-06,8.109464e-06,8.223041e-06,8.245584e-06,8.335180e-06,8.392926e-06,8.445888e-06,8.537782e-06,8.555173e-06,8.663044e-06,8.680173e-06,8.769511e-06,8.820119e-06,8.874584e-06,8.957647e-06,8.978275e-06,9.080596e-06,9.092782e-06,9.181557e-06,9.225554e-06,9.281174e-06,9.355990e-06,9.379458e-06,9.476422e-06,9.484123e-06,9.572082e-06,9.609984e-06,9.666452e-06,9.733606e-06,9.759545e-06,9.851376e-06,9.855023e-06,9.941960e-06,9.974268e-06,1.003131e-05,1.009138e-05,1.011945e-05,1.020638e-05,1.031932e-05,1.043023e-05,1.053914e-05,1.064609e-05,1.075112e-05,1.085425e-05,1.095553e-05,1.105499e-05,1.115267e-05,1.124859e-05,1.134279e-05,1.143531e-05,1.152618e-05,1.161543e-05,1.170310e-05,1.178921e-05,1.187380e-05,1.195689e-05,1.203852e-05,1.211873e-05,1.219753e-05,1.227495e-05,1.235103e-05,1.242579e-05
0.000000e+00,3.569573e-14,2.855482e-13,5.268204e-12,3.185155e-11,6.998419e-11,3.551979e-10,3.759482e-10,1.285921e-09,1.723001e-09,3.393462e-09,5.593075e-09,7.602896e-09,1.444914e-08,1.522255e-08,2.797136e-08,3.200763e-08,4.775767e-08,6.256849e-08,7.629700e-08,1.096763e-07,1.148653e-07,1.643014e-07,1.755427e-07,2.251247e-07,2.613615e-07,2.976427e-07,3.677159e-07,3.820153e-07,4.782888e-07,4.947948e-07,5.864118e-07,6.424820e-07,7.062449e-07,8.103978e-07,8.375689e-07,9.800927e-07,9.979319e-07,1.133462e-06,1.204277e-06,1.297269e-06,1.428466e-06,1.471061e-06,1.654354e-06,1.669412e-06,1.846637e-06,1.925950e-06,2.047384e-06,2.196864e-06,2.256063e-06,2.472136e-06,2.480925e-06,2.695069e-06,2.776903e-06,2.924337e-06,3.083594e-06,3.159425e-06,3.399835e-06,3.645082e-06,3.724506e-06,3.894702e-06,4.056546e-06,4.148248e-06,4.394951e-06,4.405295e-06,4.665435e-06,4.738776e-06,4.928282e-06,5.087137e-06,5.193470e-06,5.439210e-06,5.460650e-06,5.729494e-06,5.794230e-06,5.999692e-06,6.151484e-06,6.270951e-06,6.510317e-06,6.542995e-06,6.815565e-06,6.870120e-06,7.088417e-06,7.230335e-06,7.361323e-06,7.590448e-06,7.634068e-06,7.906451e-06,7.949986e-06,8.178284e-06,8.308517e-06,8.449392e-06,8.665645e-06,8.719610e-06,8.988786e-06,9.021010e-06,9.256776e-06,9.374282e-06,9.523449e-06,9.725162e-06,9.788680e-06,1.005236e-05,1.007338e-05,1.031437e-05,1.041869e-05,1.057463e-05,1.076087e-05,1.083303e-05,1.108951e-05,1.109972e-05,1.134397e-05,1.143507e-05,1.159635e-05,1.176675e-05,1.184659e-05,1.209462e-05,1.234040e-05,1.241856e-05,1.258387e-05,1.273846e-05,1.282499e-05,1.305423e-05,1.306373e-05,1.330004e-05,1.336577e-05,1.353390e-05,1.367302e-05,1.376527e-05,1.397592e-05,1.399414e-05,1.422048e-05,1.427442e-05,1.444428e-05,1.456849e-05,1.466551e-05,1.485808e-05,1.488418e-05,1.510027e-05,1.514317e-05,1.531376e-05,1.542376e-05,1.552467e-05,1.569983e-05,1.573298e-05,1.593870e-05,1.597137e-05,1.614182e-05,1.623840e-05,1.634235e-05,1.650091e-05,1.654029e-05,1.673565e-05,1.675892e-05,1.692844e-05,1.701245e-05,1.711866e-05,1.726153e-05,1.730633e-05,1.749146e-05,1.750616e-05,1.767406e-05,1.774639e-05,1.785413e-05,1.798224e-05,1.803171e-05,1.820679e-05,1.821375e-05,1.837941e-05,1.844095e-05,1.854957e-05,1.866388e-05,1.871729e-05,1.888259e-05,1.909711e-05,1.930748e-05,1.951377e-05,1.971600e-05,1.991423e-05,2.010851e-05,2.029889e-05,2.048542e-05,2.066814e-05,2.084711e-05,2.102238e-05,2.119401e-05,2.136205e-05,2.152654e-05,2.168754e-05,2.184511e-05,2.199930e-05,2.215015e-05,2.229772e-05,2.244207e-05,2.258325e-05,2.272130e-05,2.285628e-05,2.298824e-05
0.000000e+00,2.864274e-17,3.230996e-16,1.159692e-14,1.217222e-13,3.542770e-13,3.473997e-12,3.769274e-12,2.256260e-11,3.469104e-11,9.410758e-11,1.959167e-10,3.066079e-10,7.752687e-10,8.354490e-10,1.989536e-09,2.410027e-09,4.266423e-09,6.298449e-09,8.413581e-09,1.444239e-08,1.548959e-08,2.691396e-08,2.987268e-08,4.449122e-08,5.677178e-08,7.039709e-08,1.004097e-07,1.071229e-07,1.573840e-07,1.668701e-07,2.240040e-07,2.626207e-07,3.097913e-07,3.940261e-07,4.174205e-07,5.493312e-07,5.668968e-07,7.076483e-07,7.861397e-07,8.941267e-07,1.055533e-06,1.110121e-06,1.356572e-06,1.377623e-06,1.634020e-06,1.753724e-06,1.942614e-06,2.183987e-06,2.282152e-06,2.652108e-06,2.667528e-06,3.051673e-06,3.202569e-06,3.479797e-06,3.786603e-06,3.935228e-06,4.416549e-06,4.922212e-06,5.088900e-06,5.450577e-06,5.799858e-06,5.999936e-06,6.545453e-06,6.568544e-06,7.154640e-06,7.321641e-06,7.756467e-06,8.124392e-06,8.372291e-06,8.949750e-06,9.000413e-06,9.639184e-06,9.793894e-06,1.028701e-05,1.065317e-05,1.094236e-05,1.152413e-05,1.160377e-05,1.226987e-05,1.240353e-05,1.293933e-05,1.328836e-05,1.361091e-05,1.417584e-05,1.428347e-05,1.495591e-05,1.506342e-05,1.562721e-05,1.594876e-05,1.629645e-05,1.682976e-05,1.696275e-05,1.762530e-05,1.770452e-05,1.828337e-05,1.857132e-05,1.893627e-05,1.942864e-05,1.958339e-05,2.022416e-05,2.027513e-05,2.085806e-05,2.110959e-05,2.148463e-05,2.193098e-05,2.210345e-05,2.271414e-05,2.273839e-05,2.331637e-05,2.353104e-05,2.390984e-05,2.430826e-05,2.449429e-05,2.506949e-05,2.563523e-05,2.581425e-05,2.619136e-05,2.654216e-05,2.673772e-05,2.725293e-05,2.727420e-05,2.780070e-05,2.794632e-05,2.831715e-05,2.862217e-05,2.882349e-05,2.928037e-05,2.931969e-05,2.980573e-05,2.992086e-05,3.028160e-05,3.054365e-05,3.074731e-05,3.114875e-05,3.120289e-05,3.164836e-05,3.173625e-05,3.208379e-05,3.230626e-05,3.250922e-05,3.285890e-05,3.292472e-05,3.333036e-05,3.339435e-05,3.372622e-05,3.391279e-05,3.411240e-05,3.441443e-05,3.448899e-05,3.485608e-05,3.489950e-05,3.521379e-05,3.536824e-05,3.556223e-05,3.582090e-05,3.590150e-05,3.623173e-05,3.625776e-05,3.655303e-05,3.667908e-05,3.686554e-05,3.708516e-05,3.716937e-05,3.746466e-05,3.747629e-05,3.775153e-05,3.785277e-05,3.803012e-05,3.821489e-05,3.830055e-05,3.856297e-05,3.889732e-05,3.921823e-05,3.952603e-05,3.982103e-05,4.010352e-05,4.037382e-05,4.063224e-05,4.087908e-05,4.111464e-05,4.133921e-05,4.155310e-05,4.175659e-05,4.194997e-05,4.213352e-05,4.230752e-05,4.247225e-05,4.262797e-05,4.277495e-05,4.291344e-05,4.304371e-05,4.316600e-05,4.328056e-05,4.338762e-05,4.348743e-05
0.000000e+00,1.326142e-15,1.316061e-14,3.641389e-13,3.036126e-12,7.811539e-12,5.631034e-11,6.035765e-11,2.709614e-10,3.865004e-10,8.737664e-10,1.580416e-09,2.264223e-09,4.743998e-09,5.034026e-09,9.993830e-09,1.161932e-08,1.816000e-08,2.456246e-08,3.069193e-08,4.629576e-08,4.880378e-08,7.368900e-08,7.957958e-08,1.064763e-07,1.269994e-07,1.482121e-07,1.908900e-07,1.998558e-07,2.622792e-07,2.733208e-07,3.362630e-07,3.760865e-07,4.224922e-07,5.006878e-07,5.215502e-07,6.339135e-07,6.483097e-07,7.599484e-07,8.198047e-07,8.999100e-07,1.015688e-06,1.053943e-06,1.222088e-06,1.236148e-06,1.404284e-06,1.481065e-06,1.600379e-06,1.750045e-06,1.810138e-06,2.033254e-06,2.042452e-06,2.269356e-06,2.357452e-06,2.518021e-06,2.694053e-06,2.778782e-06,3.051137e-06,3.334559e-06,3.427502e-06,3.628501e-06,3.821887e-06,3.932404e-06,4.232997e-06,4.245702e-06,4.567829e-06,4.659529e-06,4.898218e-06,5.100186e-06,5.236312e-06,5.553689e-06,5.581559e-06,5.933419e-06,6.018791e-06,6.291366e-06,6.494282e-06,6.654885e-06,6.978997e-06,7.023480e-06,7.396668e-06,7.471815e-06,7.773983e-06,7.971669e-06,8.154978e-06,8.477541e-06,8.539221e-06,8.926298e-06,8.988466e-06,9.315810e-06,9.503529e-06,9.707379e-06,1.002187e-05,1.010064e-05,1.049524e-05,1.054267e-05,1.089086e-05,1.106516e-05,1.128716e-05,1.158864e-05,1.168387e-05,1.208067e-05,1.211241e-05,1.247731e-05,1.263586e-05,1.287353e-05,1.315840e-05,1.326907e-05,1.366371e-05,1.367947e-05,1.405722e-05,1.419856e-05,1.444939e-05,1.471521e-05,1.484003e-05,1.522895e-05,1.561598e-05,1.573940e-05,1.600095e-05,1.624617e-05,1.638369e-05,1.674891e-05,1.676408e-05,1.714196e-05,1.724730e-05,1.751721e-05,1.774105e-05,1.788971e-05,1.822988e-05,1.825934e-05,1.862601e-05,1.871356e-05,1.898961e-05,1.919185e-05,1.935004e-05,1.966455e-05,1.970724e-05,2.006111e-05,2.013148e-05,2.041159e-05,2.059247e-05,2.075860e-05,2.104738e-05,2.110210e-05,2.144202e-05,2.149607e-05,2.177832e-05,2.193844e-05,2.211094e-05,2.237436e-05,2.243985e-05,2.276500e-05,2.280377e-05,2.308638e-05,2.322658e-05,2.340394e-05,2.364273e-05,2.371767e-05,2.402754e-05,2.405217e-05,2.433354e-05,2.445485e-05,2.463565e-05,2.485075e-05,2.493386e-05,2.522816e-05,2.523985e-05,2.551854e-05,2.562212e-05,2.580501e-05,2.599757e-05,2.608756e-05,2.636620e-05,2.672801e-05,2.708302e-05,2.743125e-05,2.777273e-05,2.810749e-05,2.843557e-05,2.875701e-05,2.907186e-05,2.938016e-05,2.968197e-05,2.997735e-05,3.026634e-05,3.054903e-05,3.082546e-05,3.109571e-05,3.135985e-05,3.161794e-05,3.187005e-05,3.211627e-05,3.235667e-05,3.259131e-05,3.282028e-05,3.304366e-05,3.326153e-05
0.000000e+00,1.181084e-16,1.268180e-15,4.112581e-14,3.937165e-13,1.089684e-12,9.388501e-12,1.013322e-11,5.340042e-11,7.932508e-11,1.974042e-10,3.834014e-10,5.735621e-10,1.311858e-09,1.401718e-09,3.009753e-09,3.559052e-09,5.848286e-09,8.186889e-09,1.049958e-08,1.665641e-08,1.767781e-08,2.821590e-08,3.080674e-08,4.303608e-08,5.275587e-08,6.310676e-08,8.473128e-08,8.939352e-08,1.228131e-07,1.288792e-07,1.641969e-07,1.871064e-07,2.142660e-07,2.609799e-07,2.736168e-07,3.427157e-07,3.516800e-07,4.218992e-07,4.599934e-07,5.113783e-07,5.863290e-07,6.112452e-07,7.214813e-07,7.307452e-07,8.419667e-07,8.929861e-07,9.724901e-07,1.072521e-06,1.112759e-06,1.262413e-06,1.268589e-06,1.421031e-06,1.480239e-06,1.588145e-06,1.706379e-06,1.763250e-06,1.945814e-06,2.135287e-06,2.197286e-06,2.331110e-06,2.459510e-06,2.532722e-06,2.731200e-06,2.739567e-06,2.951097e-06,3.011092e-06,3.166779e-06,3.297968e-06,3.386100e-06,3.590664e-06,3.608566e-06,3.833704e-06,3.888085e-06,4.061069e-06,4.189207e-06,4.290237e-06,4.493080e-06,4.520811e-06,4.752420e-06,4.798834e-06,4.984716e-06,5.105674e-06,5.217377e-06,5.412875e-06,5.450104e-06,5.682621e-06,5.719787e-06,5.914674e-06,6.025825e-06,6.146028e-06,6.330464e-06,6.376470e-06,6.605803e-06,6.633240e-06,6.833850e-06,6.933740e-06,7.060447e-06,7.231602e-06,7.285450e-06,7.508723e-06,7.526507e-06,7.730150e-06,7.818179e-06,7.949622e-06,8.106377e-06,8.167044e-06,8.382331e-06,8.390897e-06,8.595408e-06,8.671562e-06,8.806209e-06,8.948225e-06,9.014678e-06,9.220763e-06,9.424422e-06,9.489075e-06,9.625620e-06,9.753081e-06,9.824326e-06,1.001272e-05,1.002052e-05,1.021417e-05,1.026794e-05,1.040528e-05,1.051871e-05,1.059383e-05,1.076502e-05,1.077981e-05,1.096322e-05,1.100686e-05,1.114407e-05,1.124422e-05,1.132235e-05,1.147712e-05,1.149807e-05,1.167125e-05,1.170558e-05,1.184189e-05,1.192963e-05,1.201001e-05,1.214929e-05,1.217562e-05,1.233874e-05,1.236461e-05,1.249939e-05,1.257563e-05,1.265759e-05,1.278239e-05,1.281335e-05,1.296671e-05,1.298496e-05,1.311769e-05,1.318337e-05,1.326630e-05,1.337768e-05,1.341258e-05,1.355655e-05,1.356797e-05,1.369824e-05,1.375428e-05,1.383767e-05,1.393667e-05,1.397487e-05,1.410987e-05,1.411522e-05,1.424269e-05,1.428998e-05,1.437337e-05,1.446102e-05,1.450194e-05,1.462841e-05,1.479221e-05,1.495248e-05,1.510930e-05,1.526273e-05,1.541283e-05,1.555967e-05,1.570331e-05,1.584382e-05,1.598127e-05,1.611571e-05,1.624721e-05,1.637583e-05,1.650162e-05,1.662466e-05,1.674500e-05,1.686269e-05,1.697780e-05,1.709038e-05,1.720048e-05,1.730816e-05,1.741348e-05,1.751649e-05,1.761723e-05,1.771576e-05
0.000000e+00,2.740773e-12,1.125813e-11,8.115928e-11,2.831639e-10,4.960643e-10,1.633684e-09,1.704730e-09,4.349162e-09,5.454767e-09,9.255261e-09,1.369948e-08,1.744038e-08,2.890964e-08,3.012171e-08,4.871112e-08,5.422352e-08,7.477448e-08,9.324051e-08,1.099316e-07,1.496014e-07,1.556980e-07,2.133229e-07,2.263558e-07,2.836970e-07,3.255200e-07,3.673541e-07,4.480692e-07,4.645276e-07,5.752166e-07,5.941713e-07,6.992427e-07,7.634246e-07,8.362919e-07,9.550298e-07,9.859462e-07,1.147708e-06,1.167906e-06,1.321017e-06,1.400777e-06,1.505271e-06,1.652234e-06,1.699835e-06,1.904054e-06,1.920789e-06,2.117266e-06,2.204920e-06,2.338806e-06,2.503100e-06,2.568014e-06,2.804243e-06,2.813829e-06,3.046861e-06,3.135648e-06,3.295254e-06,3.467159e-06,3.548833e-06,3.807029e-06,4.069299e-06,4.154000e-06,4.335125e-06,4.506892e-06,4.604016e-06,4.864601e-06,4.875505e-06,5.149152e-06,5.226102e-06,5.424540e-06,5.590446e-06,5.701279e-06,5.956756e-06,5.979001e-06,6.257361e-06,6.324226e-06,6.536036e-06,6.692119e-06,6.814725e-06,7.059758e-06,7.093146e-06,7.371037e-06,7.426530e-06,7.648155e-06,7.791875e-06,7.924274e-06,8.155288e-06,8.199184e-06,8.472693e-06,8.516312e-06,8.744622e-06,8.874538e-06,9.014807e-06,9.229597e-06,9.283097e-06,9.549355e-06,9.581163e-06,9.813454e-06,9.928944e-06,1.007528e-05,1.027269e-05,1.033473e-05,1.059171e-05,1.061216e-05,1.084614e-05,1.094718e-05,1.109794e-05,1.127756e-05,1.134704e-05,1.159338e-05,1.160318e-05,1.183692e-05,1.192390e-05,1.207761e-05,1.223963e-05,1.231540e-05,1.255028e-05,1.278220e-05,1.285579e-05,1.301116e-05,1.315612e-05,1.323713e-05,1.345123e-05,1.346010e-05,1.368006e-05,1.374111e-05,1.389701e-05,1.402574e-05,1.411095e-05,1.430513e-05,1.432189e-05,1.452983e-05,1.457928e-05,1.473477e-05,1.484824e-05,1.493674e-05,1.511202e-05,1.513574e-05,1.533180e-05,1.537066e-05,1.552492e-05,1.562420e-05,1.571514e-05,1.587270e-05,1.590248e-05,1.608695e-05,1.611621e-05,1.626859e-05,1.635478e-05,1.644743e-05,1.658849e-05,1.662348e-05,1.679678e-05,1.681739e-05,1.696736e-05,1.704156e-05,1.713525e-05,1.726107e-05,1.730048e-05,1.746309e-05,1.747599e-05,1.762310e-05,1.768639e-05,1.778056e-05,1.789236e-05,1.793548e-05,1.808792e-05,1.809396e-05,1.823789e-05,1.829129e-05,1.838545e-05,1.848441e-05,1.853061e-05,1.867342e-05,1.885838e-05,1.903938e-05,1.921650e-05,1.938981e-05,1.955940e-05,1.972535e-05,1.988772e-05,2.004660e-05,2.020207e-05,2.035420e-05,2.050306e-05,2.064872e-05,2.079127e-05,2.093076e-05,2.106727e-05,2.120087e-05,2.133162e-05,2.145959e-05,2.158484e-05,2.170744e-05,2.182745e-05,2.194493e-05,2.205994e-05,2.217254e-05
0.000000e+00,7.750538e-18,9.152115e-17,3.616683e-15,4.149429e-14,1.268880e-13,1.416219e-12,1.544790e-12,1.054257e-11,1.680484e-11,4.994988e-11,1.120525e-10,1.841775e-10,5.201261e-10,5.658278e-10,1.513405e-09,1.883972e-09,3.630486e-09,5.696573e-09,7.975480e-09,1.500091e-08,1.628623e-08,3.125574e-08,3.537133e-08,5.684690e-08,7.612684e-08,9.862718e-08,1.516596e-07,1.641006e-07,2.630141e-07,2.827249e-07,4.076173e-07,4.975380e-07,6.128567e-07,8.325448e-07,8.964916e-07,1.279124e-06,1.332774e-06,1.784136e-06,2.051724e-06,2.437538e-06,3.050761e-06,3.267729e-06,4.305176e-06,4.398079e-06,5.582028e-06,6.167249e-06,7.131667e-06,8.435461e-06,8.988217e-06,1.118602e-05,1.128151e-05,1.375909e-05,1.478368e-05,1.674058e-05,1.901755e-05,2.016224e-05,2.405390e-05,2.844300e-05,2.995668e-05,3.335416e-05,3.678129e-05,3.880875e-05,4.457301e-05,4.482461e-05,5.141575e-05,5.336582e-05,5.859214e-05,6.318148e-05,6.635956e-05,7.402897e-05,7.471954e-05,8.366931e-05,8.590432e-05,9.320186e-05,9.879064e-05,1.033060e-04,1.126585e-04,1.139666e-04,1.251646e-04,1.274668e-04,1.368775e-04,1.431632e-04,1.490794e-04,1.596857e-04,1.617413e-04,1.748316e-04,1.769635e-04,1.883162e-04,1.949184e-04,2.021592e-04,2.134662e-04,2.163226e-04,2.307675e-04,2.325179e-04,2.454537e-04,2.519816e-04,2.603405e-04,2.717632e-04,2.753866e-04,2.905511e-04,2.917681e-04,3.057930e-04,3.119023e-04,3.210719e-04,3.320734e-04,3.363483e-04,3.515837e-04,3.521917e-04,3.667407e-04,3.721710e-04,3.817834e-04,3.919295e-04,3.966774e-04,4.113901e-04,4.258907e-04,4.304812e-04,4.401501e-04,4.491371e-04,4.541415e-04,4.672978e-04,4.678398e-04,4.812224e-04,4.849100e-04,4.942683e-04,5.019265e-04,5.069590e-04,5.183063e-04,5.192777e-04,5.312100e-04,5.340148e-04,5.427430e-04,5.490232e-04,5.538663e-04,5.633086e-04,5.645708e-04,5.748496e-04,5.768538e-04,5.846974e-04,5.896466e-04,5.941106e-04,6.016802e-04,6.030870e-04,6.116263e-04,6.129520e-04,6.197290e-04,6.234638e-04,6.273973e-04,6.332215e-04,6.346346e-04,6.414452e-04,6.422340e-04,6.478345e-04,6.505140e-04,6.538089e-04,6.580764e-04,6.593756e-04,6.645425e-04,6.649388e-04,6.693182e-04,6.711210e-04,6.737119e-04,6.766444e-04,6.777334e-04,6.813929e-04,6.815319e-04,6.847008e-04,6.858077e-04,6.876680e-04,6.894968e-04,6.903056e-04,6.926249e-04,6.952183e-04,6.973034e-04,6.989067e-04,7.000547e-04,7.007734e-04,7.010888e-04,7.010261e-04,7.006102e-04,6.998652e-04,6.988144e-04,6.974804e-04,6.958850e-04,6.940491e-04,6.919925e-04,6.897347e-04,6.872937e-04,6.846869e-04,6.819309e-04,6.790412e-04,6.760326e-04,6.729189e-04,6.697132e-04,6.664277e-04,6.630739e-04
0.000000e+00,2.920598e-17,3.208284e-16,1.090102e-14,1.088562e-13,3.083052e-13,2.818330e-12,3.049193e-12,1.703458e-11,2.570789e-11,6.656701e-11,1.335085e-10,2.039601e-10,4.889730e-10,5.245705e-10,1.183320e-09,1.415619e-09,2.411826e-09,3.465377e-09,4.534477e-09,7.479871e-09,7.979911e-09,1.328285e-08,1.462029e-08,2.107248e-08,2.633594e-08,3.204758e-08,4.426562e-08,4.694278e-08,6.649204e-08,7.009932e-08,9.139536e-08,1.054413e-07,1.222922e-07,1.517045e-07,1.597429e-07,2.042178e-07,2.100457e-07,2.560931e-07,2.813385e-07,3.156506e-07,3.661733e-07,3.830820e-07,4.584943e-07,4.648734e-07,5.419167e-07,5.775216e-07,6.333087e-07,7.039901e-07,7.325673e-07,8.395353e-07,8.439717e-07,9.540090e-07,9.970112e-07,1.075745e-06,1.162535e-06,1.204469e-06,1.339879e-06,1.481655e-06,1.528313e-06,1.629461e-06,1.727064e-06,1.782955e-06,1.935335e-06,1.941787e-06,2.105605e-06,2.152321e-06,2.274063e-06,2.377221e-06,2.446815e-06,2.609249e-06,2.623524e-06,2.803861e-06,2.847645e-06,2.987506e-06,3.091677e-06,3.174151e-06,3.340644e-06,3.363499e-06,3.555264e-06,3.593884e-06,3.749176e-06,3.850771e-06,3.944973e-06,4.110719e-06,4.142409e-06,4.341247e-06,4.373177e-06,4.541266e-06,4.637632e-06,4.742255e-06,4.903610e-06,4.944014e-06,5.146355e-06,5.170667e-06,5.349101e-06,5.438395e-06,5.552086e-06,5.706418e-06,5.755153e-06,5.958155e-06,5.974388e-06,6.160953e-06,6.241987e-06,6.363420e-06,6.508922e-06,6.565434e-06,6.766882e-06,6.774927e-06,6.967660e-06,7.039757e-06,7.167669e-06,7.303189e-06,7.366818e-06,7.565023e-06,7.762204e-06,7.825074e-06,7.958290e-06,8.083179e-06,8.153213e-06,8.339187e-06,8.346910e-06,8.539325e-06,8.592964e-06,8.730406e-06,8.844393e-06,8.920103e-06,9.093365e-06,9.108374e-06,9.295177e-06,9.339788e-06,9.480478e-06,9.583577e-06,9.664242e-06,9.824661e-06,9.846441e-06,1.002705e-05,1.006298e-05,1.020604e-05,1.029847e-05,1.038339e-05,1.053109e-05,1.055909e-05,1.073312e-05,1.076081e-05,1.090547e-05,1.098759e-05,1.107612e-05,1.121141e-05,1.124506e-05,1.141229e-05,1.143224e-05,1.157780e-05,1.165008e-05,1.174159e-05,1.186492e-05,1.190366e-05,1.206399e-05,1.207675e-05,1.222261e-05,1.228557e-05,1.237950e-05,1.249139e-05,1.253466e-05,1.268811e-05,1.269421e-05,1.283985e-05,1.289405e-05,1.298987e-05,1.309092e-05,1.313820e-05,1.328484e-05,1.347582e-05,1.366389e-05,1.384906e-05,1.403137e-05,1.421084e-05,1.438750e-05,1.456137e-05,1.473249e-05,1.490089e-05,1.506660e-05,1.522965e-05,1.539008e-05,1.554791e-05,1.570319e-05,1.585595e-05,1.600623e-05,1.615405e-05,1.629946e-05,1.644249e-05,1.658317e-05,1.672154e-05,1.685764e-05,1.699151e-05,1.712317e-05
0.000000e+00,1.649209e-15,1.455114e-14,3.211132e-13,2.220909e-12,5.196028e-12,2.999986e-11,3.188880e-11,1.185410e-10,1.613757e-10,3.268971e-10,5.448366e-10,7.422168e-10,1.399750e-09,1.472729e-09,2.649243e-09,3.014473e-09,4.424013e-09,5.741917e-09,6.966542e-09,9.979725e-09,1.045387e-08,1.505637e-08,1.612440e-08,2.092470e-08,2.451873e-08,2.818276e-08,3.542479e-08,3.692694e-08,4.722844e-08,4.902476e-08,5.913627e-08,6.543190e-08,7.267977e-08,8.470069e-08,8.787068e-08,1.047048e-07,1.068345e-07,1.231636e-07,1.317926e-07,1.432162e-07,1.594966e-07,1.648206e-07,1.879258e-07,1.898374e-07,2.124736e-07,2.226823e-07,2.383996e-07,2.578815e-07,2.656356e-07,2.941103e-07,2.952740e-07,3.237508e-07,3.346926e-07,3.544837e-07,3.759686e-07,3.862357e-07,4.189346e-07,4.525097e-07,4.634276e-07,4.868925e-07,5.092907e-07,5.220167e-07,5.563743e-07,5.578186e-07,5.942374e-07,6.045372e-07,6.312150e-07,6.536467e-07,6.686963e-07,7.035790e-07,7.066291e-07,7.449640e-07,7.542189e-07,7.836544e-07,8.054599e-07,8.226566e-07,8.572036e-07,8.619293e-07,9.014339e-07,9.093594e-07,9.411341e-07,9.618442e-07,9.809959e-07,1.014582e-06,1.020988e-06,1.061080e-06,1.067502e-06,1.101244e-06,1.120541e-06,1.141455e-06,1.173641e-06,1.181688e-06,1.221922e-06,1.226749e-06,1.262134e-06,1.279816e-06,1.302306e-06,1.332799e-06,1.342420e-06,1.382458e-06,1.385657e-06,1.422406e-06,1.438356e-06,1.462248e-06,1.490861e-06,1.501971e-06,1.541564e-06,1.543145e-06,1.581014e-06,1.595179e-06,1.620311e-06,1.646940e-06,1.659445e-06,1.698408e-06,1.737190e-06,1.749561e-06,1.775785e-06,1.800384e-06,1.814185e-06,1.850861e-06,1.852385e-06,1.890378e-06,1.900978e-06,1.928158e-06,1.950723e-06,1.965723e-06,2.000087e-06,2.003066e-06,2.040184e-06,2.049059e-06,2.077074e-06,2.097632e-06,2.113733e-06,2.145798e-06,2.150157e-06,2.186344e-06,2.193553e-06,2.222293e-06,2.240891e-06,2.258001e-06,2.287809e-06,2.293467e-06,2.328689e-06,2.334302e-06,2.363666e-06,2.380368e-06,2.398398e-06,2.426007e-06,2.432884e-06,2.467123e-06,2.471215e-06,2.501115e-06,2.515994e-06,2.534861e-06,2.560342e-06,2.568359e-06,2.601610e-06,2.604259e-06,2.634614e-06,2.647747e-06,2.667373e-06,2.690807e-06,2.699886e-06,2.732154e-06,2.733439e-06,2.764177e-06,2.775646e-06,2.795958e-06,2.817430e-06,2.827496e-06,2.858793e-06,2.899737e-06,2.940265e-06,2.980381e-06,3.020087e-06,3.059386e-06,3.098282e-06,3.136779e-06,3.174879e-06,3.212587e-06,3.249906e-06,3.286841e-06,3.323395e-06,3.359572e-06,3.395376e-06,3.430812e-06,3.465883e-06,3.500593e-06,3.534946e-06,3.568948e-06,3.602601e-06,3.635910e-06,3.668879e-06,3.701512e-06,3.733813e-06
0.000000e+00,1.055516e-16,1.125174e-15,3.600926e-14,3.406147e-13,9.365312e-13,7.932642e-12,8.555929e-12,4.432829e-11,6.554391e-11,1.612116e-10,3.101413e-10,4.610812e-10,1.039878e-09,1.109771e-09,2.347811e-09,2.766587e-09,4.496454e-09,6.244405e-09,7.958675e-09,1.247088e-08,1.321355e-08,2.080194e-08,2.265027e-08,3.130335e-08,3.811151e-08,4.530760e-08,6.019763e-08,6.338656e-08,8.607035e-08,9.015950e-08,1.138302e-07,1.290788e-07,1.470680e-07,1.778245e-07,1.861105e-07,2.312076e-07,2.370351e-07,2.825325e-07,3.071165e-07,3.401839e-07,3.882490e-07,4.041883e-07,4.745045e-07,4.803998e-07,5.510277e-07,5.833403e-07,6.335950e-07,6.966674e-07,7.219919e-07,8.159583e-07,8.198287e-07,9.151965e-07,9.521503e-07,1.019378e-06,1.092865e-06,1.128149e-06,1.241142e-06,1.357977e-06,1.396113e-06,1.478271e-06,1.556897e-06,1.601640e-06,1.722619e-06,1.727709e-06,1.856110e-06,1.892431e-06,1.986488e-06,2.065522e-06,2.118504e-06,2.241128e-06,2.251836e-06,2.386180e-06,2.418541e-06,2.521251e-06,2.597109e-06,2.656784e-06,2.776240e-06,2.792534e-06,2.928274e-06,2.955403e-06,3.063798e-06,3.134120e-06,3.198914e-06,3.311972e-06,3.333453e-06,3.467258e-06,3.488589e-06,3.600188e-06,3.663647e-06,3.732119e-06,3.836868e-06,3.862938e-06,3.992546e-06,4.008014e-06,4.120855e-06,4.176879e-06,4.247787e-06,4.343293e-06,4.373275e-06,4.497260e-06,4.507112e-06,4.619691e-06,4.668218e-06,4.740525e-06,4.826516e-06,4.859726e-06,4.977264e-06,4.981931e-06,5.093115e-06,5.134403e-06,5.207257e-06,5.283891e-06,5.319677e-06,5.430363e-06,5.539309e-06,5.573803e-06,5.646509e-06,5.714201e-06,5.751964e-06,5.851559e-06,5.855674e-06,5.957645e-06,5.985886e-06,6.057881e-06,6.117195e-06,6.156393e-06,6.245507e-06,6.253188e-06,6.348279e-06,6.370849e-06,6.441679e-06,6.493250e-06,6.533402e-06,6.612742e-06,6.623462e-06,6.711877e-06,6.729364e-06,6.798663e-06,6.843153e-06,6.883837e-06,6.954151e-06,6.967418e-06,7.049424e-06,7.062400e-06,7.129875e-06,7.167946e-06,7.208792e-06,7.270832e-06,7.286192e-06,7.362098e-06,7.371107e-06,7.436530e-06,7.468818e-06,7.509508e-06,7.564012e-06,7.581053e-06,7.651187e-06,7.656737e-06,7.719930e-06,7.747043e-06,7.787304e-06,7.834977e-06,7.853330e-06,7.918028e-06,7.920589e-06,7.981420e-06,8.003925e-06,8.043527e-06,8.085036e-06,8.104369e-06,8.163968e-06,8.240769e-06,8.315486e-06,8.388166e-06,8.458855e-06,8.527598e-06,8.594441e-06,8.659427e-06,8.722600e-06,8.784004e-06,8.843680e-06,8.901670e-06,8.958016e-06,9.012757e-06,9.065932e-06,9.117580e-06,9.167740e-06,9.216448e-06,9.263741e-06,9.309655e-06,9.354224e-06,9.397483e-06,9.439466e-06,9.480206e-06,9.519734e-06
0.000000e+00,5.940725e-18,6.700142e-17,2.404273e-15,2.521725e-14,7.334890e-14,7.172847e-13,7.781339e-13,4.635337e-12,7.114496e-12,1.919503e-11,3.973746e-11,6.192078e-11,1.547329e-10,1.665521e-10,3.902773e-10,4.707108e-10,8.209240e-10,1.197352e-09,1.583417e-09,2.660541e-09,2.844858e-09,4.817655e-09,5.319518e-09,7.760139e-09,9.772075e-09,1.197423e-08,1.674459e-08,1.779995e-08,2.560705e-08,2.706586e-08,3.578420e-08,4.162727e-08,4.872684e-08,6.133433e-08,6.482443e-08,8.444826e-08,8.705669e-08,1.079403e-07,1.195819e-07,1.356037e-07,1.595777e-07,1.676954e-07,2.044205e-07,2.075636e-07,2.459291e-07,2.638948e-07,2.923148e-07,3.287555e-07,3.436149e-07,3.998123e-07,4.021613e-07,4.608386e-07,4.839692e-07,5.265783e-07,5.738947e-07,5.968737e-07,6.715305e-07,7.503230e-07,7.763697e-07,8.330005e-07,8.878289e-07,9.192929e-07,1.005271e-06,1.008916e-06,1.101577e-06,1.128026e-06,1.196978e-06,1.255411e-06,1.294823e-06,1.386746e-06,1.394818e-06,1.496678e-06,1.521371e-06,1.600125e-06,1.658650e-06,1.704895e-06,1.797985e-06,1.810735e-06,1.917407e-06,1.938821e-06,2.024688e-06,2.080646e-06,2.132371e-06,2.222994e-06,2.240264e-06,2.348188e-06,2.365448e-06,2.455983e-06,2.507635e-06,2.563501e-06,2.649224e-06,2.670606e-06,2.777178e-06,2.789926e-06,2.883108e-06,2.929489e-06,2.988299e-06,3.067695e-06,3.092662e-06,3.196121e-06,3.204357e-06,3.298608e-06,3.339317e-06,3.400062e-06,3.472440e-06,3.500431e-06,3.599670e-06,3.603615e-06,3.697738e-06,3.732749e-06,3.794602e-06,3.859766e-06,3.890232e-06,3.984606e-06,4.077702e-06,4.107221e-06,4.169505e-06,4.227574e-06,4.260001e-06,4.345639e-06,4.349181e-06,4.437036e-06,4.461398e-06,4.523563e-06,4.574841e-06,4.608759e-06,4.685963e-06,4.692623e-06,4.775155e-06,4.794765e-06,4.856359e-06,4.901254e-06,4.936239e-06,5.005441e-06,5.014799e-06,5.092046e-06,5.107339e-06,5.167989e-06,5.206966e-06,5.242634e-06,5.304341e-06,5.315992e-06,5.388072e-06,5.399487e-06,5.458885e-06,5.492428e-06,5.528441e-06,5.583190e-06,5.596753e-06,5.663833e-06,5.671801e-06,5.729693e-06,5.758289e-06,5.794346e-06,5.842684e-06,5.857806e-06,5.920086e-06,5.925017e-06,5.981199e-06,6.005321e-06,6.041160e-06,6.083626e-06,6.099982e-06,6.157680e-06,6.159965e-06,6.214269e-06,6.234372e-06,6.269762e-06,6.306880e-06,6.324175e-06,6.377522e-06,6.446332e-06,6.513345e-06,6.578593e-06,6.642111e-06,6.703932e-06,6.764089e-06,6.822617e-06,6.879548e-06,6.934916e-06,6.988752e-06,7.041089e-06,7.091958e-06,7.141393e-06,7.189423e-06,7.236080e-06,7.281394e-06,7.325395e-06,7.368113e-06,7.409577e-06,7.449815e-06,7.488857e-06,7.526729e-06,7.563460e-06,7.599076e-06
0.000000e+00,8.749000e-17,9.396651e-16,3.046529e-14,2.914569e-13,8.062087e-13,6.931516e-12,7.480537e-12,3.929565e-11,5.831022e-11,1.446547e-10,2.801029e-10,4.180959e-10,9.507432e-10,1.015310e-09,2.163811e-09,2.553702e-09,4.168561e-09,5.804928e-09,7.412738e-09,1.165453e-08,1.235382e-08,1.951430e-08,2.126240e-08,2.946568e-08,3.594117e-08,4.280429e-08,5.705883e-08,6.011991e-08,8.196058e-08,8.590793e-08,1.087994e-07,1.235710e-07,1.410086e-07,1.708183e-07,1.788436e-07,2.224393e-07,2.280599e-07,2.718144e-07,2.953518e-07,3.268835e-07,3.724395e-07,3.874720e-07,4.533333e-07,4.588212e-07,5.241654e-07,5.538145e-07,5.996264e-07,6.566185e-07,6.793480e-07,7.629472e-07,7.663663e-07,8.500359e-07,8.821677e-07,9.402291e-07,1.003141e-06,1.033151e-06,1.128439e-06,1.225749e-06,1.257261e-06,1.324755e-06,1.388869e-06,1.425156e-06,1.522590e-06,1.526668e-06,1.629035e-06,1.657817e-06,1.732018e-06,1.794013e-06,1.835403e-06,1.930704e-06,1.938994e-06,2.042618e-06,2.067474e-06,2.146116e-06,2.203968e-06,2.249349e-06,2.339876e-06,2.352193e-06,2.454537e-06,2.474937e-06,2.556285e-06,2.608929e-06,2.657351e-06,2.741665e-06,2.757662e-06,2.857152e-06,2.872990e-06,2.955766e-06,3.002776e-06,3.053457e-06,3.130917e-06,3.150184e-06,3.245911e-06,3.257330e-06,3.340611e-06,3.381947e-06,3.434259e-06,3.504716e-06,3.526836e-06,3.618326e-06,3.625598e-06,3.708719e-06,3.744566e-06,3.798005e-06,3.861602e-06,3.886178e-06,3.973234e-06,3.976693e-06,4.059174e-06,4.089839e-06,4.143997e-06,4.201040e-06,4.227706e-06,4.310305e-06,4.391799e-06,4.417645e-06,4.472195e-06,4.523075e-06,4.551500e-06,4.626615e-06,4.629723e-06,4.706874e-06,4.728285e-06,4.782961e-06,4.828107e-06,4.857996e-06,4.926108e-06,4.931990e-06,5.004954e-06,5.022314e-06,5.076901e-06,5.116751e-06,5.147842e-06,5.209449e-06,5.217791e-06,5.286759e-06,5.300437e-06,5.354761e-06,5.389744e-06,5.421809e-06,5.477401e-06,5.487916e-06,5.553095e-06,5.563439e-06,5.617361e-06,5.647888e-06,5.680726e-06,5.730778e-06,5.743204e-06,5.804807e-06,5.812142e-06,5.865551e-06,5.892008e-06,5.925446e-06,5.970409e-06,5.984508e-06,6.042749e-06,6.047373e-06,6.100182e-06,6.122931e-06,6.156819e-06,6.197113e-06,6.212675e-06,6.267761e-06,6.269948e-06,6.322090e-06,6.341465e-06,6.375674e-06,6.411692e-06,6.428526e-06,6.480658e-06,6.548390e-06,6.614915e-06,6.680260e-06,6.744451e-06,6.807514e-06,6.869474e-06,6.930356e-06,6.990184e-06,7.048982e-06,7.106773e-06,7.163579e-06,7.219423e-06,7.274326e-06,7.328311e-06,7.381396e-06,7.433604e-06,7.484953e-06,7.535462e-06,7.585152e-06,7.634039e-06,7.682142e-06,7.729479e-06,7.776066e-06,7.821920e-06
0.000000e+00,4.429598e-12,1.342080e-11,7.006626e-11,2.106481e-10,3.495220e-10,1.051051e-09,1.093885e-09,2.664799e-09,3.316752e-09,5.559747e-09,8.196919e-09,1.042808e-08,1.729074e-08,1.801502e-08,2.901975e-08,3.223458e-08,4.400070e-08,5.429007e-08,6.338443e-08,8.434992e-08,8.750351e-08,1.166209e-07,1.230631e-07,1.509405e-07,1.708940e-07,1.906104e-07,2.281374e-07,2.357235e-07,2.863183e-07,2.949220e-07,3.423807e-07,3.712157e-07,4.038466e-07,4.568375e-07,4.706062e-07,5.425095e-07,5.514751e-07,6.193716e-07,6.547077e-07,7.009788e-07,7.660291e-07,7.870948e-07,8.774664e-07,8.848721e-07,9.718283e-07,1.010629e-06,1.069908e-06,1.142673e-06,1.171430e-06,1.276119e-06,1.280369e-06,1.383704e-06,1.423091e-06,1.493917e-06,1.570232e-06,1.606501e-06,1.721204e-06,1.837788e-06,1.875454e-06,1.956021e-06,2.032455e-06,2.075686e-06,2.191718e-06,2.196575e-06,2.318491e-06,2.352786e-06,2.441249e-06,2.515236e-06,2.564676e-06,2.678679e-06,2.688608e-06,2.812892e-06,2.842757e-06,2.937386e-06,3.007143e-06,3.061955e-06,3.171540e-06,3.186476e-06,3.310833e-06,3.335675e-06,3.434919e-06,3.499304e-06,3.558636e-06,3.662204e-06,3.681891e-06,3.804600e-06,3.824177e-06,3.926685e-06,3.985043e-06,4.048074e-06,4.144641e-06,4.168702e-06,4.288510e-06,4.302829e-06,4.407441e-06,4.459480e-06,4.525446e-06,4.614483e-06,4.642481e-06,4.758503e-06,4.767740e-06,4.873477e-06,4.919165e-06,4.987369e-06,5.068685e-06,5.100150e-06,5.211794e-06,5.216235e-06,5.322277e-06,5.361763e-06,5.431579e-06,5.505222e-06,5.539684e-06,5.646576e-06,5.752243e-06,5.785796e-06,5.856674e-06,5.922858e-06,5.959861e-06,6.057745e-06,6.061798e-06,6.162479e-06,6.190445e-06,6.261903e-06,6.320952e-06,6.360066e-06,6.449263e-06,6.456969e-06,6.552614e-06,6.575381e-06,6.647002e-06,6.699311e-06,6.740136e-06,6.821061e-06,6.832022e-06,6.922664e-06,6.940644e-06,7.012068e-06,7.058072e-06,7.100243e-06,7.173363e-06,7.187194e-06,7.272930e-06,7.286536e-06,7.357461e-06,7.397610e-06,7.440796e-06,7.506608e-06,7.522944e-06,7.603915e-06,7.613554e-06,7.683722e-06,7.718471e-06,7.762374e-06,7.821385e-06,7.839883e-06,7.916261e-06,7.922323e-06,7.991520e-06,8.021312e-06,8.065671e-06,8.118381e-06,8.138727e-06,8.210700e-06,8.213557e-06,8.281604e-06,8.306869e-06,8.351450e-06,8.398348e-06,8.420251e-06,8.488021e-06,8.575918e-06,8.662070e-06,8.746506e-06,8.829255e-06,8.910347e-06,8.989811e-06,9.067678e-06,9.143974e-06,9.218731e-06,9.291975e-06,9.363735e-06,9.434039e-06,9.502915e-06,9.570390e-06,9.636490e-06,9.701243e-06,9.764673e-06,9.826807e-06,9.887670e-06,9.947287e-06,1.000568e-05,1.006288e-05,1.011890e-05,1.017378e-05
0.000000e+00,5.598247e-12,1.697336e-11,8.871463e-11,2.668773e-10,4.428725e-10,1.330901e-09,1.385055e-09,3.365863e-09,4.185029e-09,6.991593e-09,1.027070e-08,1.302996e-08,2.145171e-08,2.233612e-08,3.571226e-08,3.960570e-08,5.383186e-08,6.626149e-08,7.724941e-08,1.026078e-07,1.064266e-07,1.417466e-07,1.495762e-07,1.835185e-07,2.078708e-07,2.319775e-07,2.779705e-07,2.872841e-07,3.495254e-07,3.601296e-07,4.187173e-07,4.543859e-07,4.948095e-07,5.605792e-07,5.776916e-07,6.672003e-07,6.783772e-07,7.631272e-07,8.073062e-07,8.652267e-07,9.467821e-07,9.732236e-07,1.086821e-06,1.096141e-06,1.205704e-06,1.254666e-06,1.329551e-06,1.421610e-06,1.458033e-06,1.590821e-06,1.596217e-06,1.727586e-06,1.777733e-06,1.868008e-06,1.965422e-06,2.011771e-06,2.158570e-06,2.308110e-06,2.356495e-06,2.460106e-06,2.558547e-06,2.614287e-06,2.764115e-06,2.770393e-06,2.928175e-06,2.972622e-06,3.087398e-06,3.183531e-06,3.247840e-06,3.396340e-06,3.409288e-06,3.571544e-06,3.610584e-06,3.734419e-06,3.825833e-06,3.897737e-06,4.041690e-06,4.061330e-06,4.225043e-06,4.257787e-06,4.388730e-06,4.473791e-06,4.552253e-06,4.689392e-06,4.715484e-06,4.878305e-06,4.904311e-06,5.040603e-06,5.118291e-06,5.202276e-06,5.331099e-06,5.363228e-06,5.523368e-06,5.542527e-06,5.682616e-06,5.752382e-06,5.840894e-06,5.960494e-06,5.998133e-06,6.154269e-06,6.166710e-06,6.309241e-06,6.370892e-06,6.462997e-06,6.572919e-06,6.615486e-06,6.766664e-06,6.772683e-06,6.916491e-06,6.970090e-06,7.064929e-06,7.165057e-06,7.211946e-06,7.357512e-06,7.501602e-06,7.547395e-06,7.644193e-06,7.734655e-06,7.785264e-06,7.919247e-06,7.924799e-06,8.062783e-06,8.101138e-06,8.199203e-06,8.280300e-06,8.334050e-06,8.456712e-06,8.467315e-06,8.598994e-06,8.630360e-06,8.729081e-06,8.801234e-06,8.857575e-06,8.969331e-06,8.984475e-06,9.109782e-06,9.134652e-06,9.233497e-06,9.297201e-06,9.355625e-06,9.456988e-06,9.476169e-06,9.595137e-06,9.614026e-06,9.712533e-06,9.768328e-06,9.828368e-06,9.919915e-06,9.942647e-06,1.005538e-05,1.006881e-05,1.016658e-05,1.021503e-05,1.027626e-05,1.035860e-05,1.038442e-05,1.049109e-05,1.049956e-05,1.059626e-05,1.063792e-05,1.069996e-05,1.077372e-05,1.080220e-05,1.090300e-05,1.090700e-05,1.100235e-05,1.103777e-05,1.110029e-05,1.116609e-05,1.119683e-05,1.129197e-05,1.141546e-05,1.153659e-05,1.165539e-05,1.177190e-05,1.188617e-05,1.199821e-05,1.210808e-05,1.221580e-05,1.232142e-05,1.242496e-05,1.252647e-05,1.262598e-05,1.272353e-05,1.281914e-05,1.291287e-05,1.300473e-05,1.309477e-05,1.318302e-05,1.326951e-05,1.335428e-05,1.343736e-05,1.351877e-05,1.359856e-05,1.367675e-05
0.000000e+00,1.636924e-14,1.448656e-13,3.212147e-12,2.231261e-11,5.233652e-11,3.045677e-10,3.238666e-10,1.217416e-09,1.663690e-09,3.409334e-09,5.749309e-09,7.902418e-09,1.526442e-08,1.609720e-08,2.987192e-08,3.426285e-08,5.160473e-08,6.826634e-08,8.403580e-08,1.236371e-07,1.299432e-07,1.917747e-07,2.062290e-07,2.714214e-07,3.203317e-07,3.701844e-07,4.685119e-07,4.888582e-07,6.278431e-07,6.519759e-07,7.872409e-07,8.709722e-07,9.669226e-07,1.125066e-06,1.166574e-06,1.385727e-06,1.413308e-06,1.623785e-06,1.734342e-06,1.880046e-06,2.086492e-06,2.153715e-06,2.443928e-06,2.467832e-06,2.749764e-06,2.876260e-06,3.070266e-06,3.309556e-06,3.404448e-06,3.751316e-06,3.765440e-06,4.109872e-06,4.241622e-06,4.479127e-06,4.735836e-06,4.858111e-06,5.245876e-06,5.641503e-06,5.769618e-06,6.044105e-06,6.305036e-06,6.452831e-06,6.850214e-06,6.866867e-06,7.285439e-06,7.403350e-06,7.707809e-06,7.962764e-06,8.133283e-06,8.526892e-06,8.561201e-06,8.990944e-06,9.094288e-06,9.421930e-06,9.663620e-06,9.853613e-06,1.023366e-05,1.028548e-05,1.071706e-05,1.080330e-05,1.114790e-05,1.137151e-05,1.157759e-05,1.193735e-05,1.200574e-05,1.243199e-05,1.250000e-05,1.285603e-05,1.305868e-05,1.327753e-05,1.361272e-05,1.369622e-05,1.411183e-05,1.416149e-05,1.452414e-05,1.470445e-05,1.493292e-05,1.524111e-05,1.533798e-05,1.573912e-05,1.577104e-05,1.613620e-05,1.629386e-05,1.652906e-05,1.680923e-05,1.691756e-05,1.730159e-05,1.731686e-05,1.768104e-05,1.781651e-05,1.805582e-05,1.830796e-05,1.842585e-05,1.879104e-05,1.915135e-05,1.926561e-05,1.950672e-05,1.973154e-05,1.985710e-05,2.018874e-05,2.020246e-05,2.054277e-05,2.063715e-05,2.087801e-05,2.107672e-05,2.120818e-05,2.150743e-05,2.153325e-05,2.185324e-05,2.192927e-05,2.216813e-05,2.234226e-05,2.247795e-05,2.274640e-05,2.278271e-05,2.308242e-05,2.314175e-05,2.337710e-05,2.352836e-05,2.366678e-05,2.390627e-05,2.395150e-05,2.423127e-05,2.427558e-05,2.450614e-05,2.463634e-05,2.477614e-05,2.498866e-05,2.504131e-05,2.530170e-05,2.533262e-05,2.555734e-05,2.566833e-05,2.580829e-05,2.599590e-05,2.605459e-05,2.629628e-05,2.631542e-05,2.653343e-05,2.662703e-05,2.676608e-05,2.693083e-05,2.699428e-05,2.721808e-05,2.722694e-05,2.743754e-05,2.751550e-05,2.765272e-05,2.779662e-05,2.786366e-05,2.807043e-05,2.833707e-05,2.859666e-05,2.884933e-05,2.909521e-05,2.933444e-05,2.956713e-05,2.979344e-05,3.001347e-05,3.022737e-05,3.043526e-05,3.063726e-05,3.083351e-05,3.102412e-05,3.120923e-05,3.138895e-05,3.156340e-05,3.173271e-05,3.189698e-05,3.205634e-05,3.221090e-05,3.236077e-05,3.250606e-05,3.264689e-05,3.278335e-05
0.000000e+00,2.133569e-12,1.069216e-11,9.718347e-11,3.792964e-10,6.927525e-10,2.452102e-09,2.564334e-09,6.819582e-09,8.623582e-09,1.487278e-08,2.222528e-08,2.842879e-08,4.745713e-08,4.946641e-08,8.020520e-08,8.928927e-08,1.230314e-07,1.531969e-07,1.803538e-07,2.445523e-07,2.543814e-07,3.468869e-07,3.677214e-07,4.590730e-07,5.254213e-07,5.915845e-07,7.187466e-07,7.446044e-07,9.179576e-07,9.475543e-07,1.111194e-06,1.210823e-06,1.323651e-06,1.506901e-06,1.554497e-06,1.802775e-06,1.833690e-06,2.067430e-06,2.188780e-06,2.347344e-06,2.569572e-06,2.641359e-06,2.948297e-06,2.973375e-06,3.266982e-06,3.397484e-06,3.596252e-06,3.839243e-06,3.934974e-06,4.282051e-06,4.296092e-06,4.636429e-06,4.765597e-06,4.997103e-06,5.245469e-06,5.363120e-06,5.733581e-06,6.107640e-06,6.227968e-06,6.484505e-06,6.726827e-06,6.863436e-06,7.228515e-06,7.243746e-06,7.624797e-06,7.731542e-06,8.005997e-06,8.234562e-06,8.386804e-06,8.736367e-06,8.766715e-06,9.145271e-06,9.235875e-06,9.522049e-06,9.732123e-06,9.896664e-06,1.022426e-05,1.026877e-05,1.063804e-05,1.071152e-05,1.100418e-05,1.119326e-05,1.136695e-05,1.166889e-05,1.172610e-05,1.208142e-05,1.213790e-05,1.243273e-05,1.259988e-05,1.277985e-05,1.305444e-05,1.312265e-05,1.346099e-05,1.350128e-05,1.379475e-05,1.394014e-05,1.412386e-05,1.437080e-05,1.444821e-05,1.476775e-05,1.479310e-05,1.508241e-05,1.520690e-05,1.539216e-05,1.561211e-05,1.569696e-05,1.599677e-05,1.600866e-05,1.629160e-05,1.639652e-05,1.658143e-05,1.677565e-05,1.686626e-05,1.714609e-05,1.742095e-05,1.750785e-05,1.769084e-05,1.786098e-05,1.795580e-05,1.820554e-05,1.821585e-05,1.847103e-05,1.854161e-05,1.872137e-05,1.886927e-05,1.896692e-05,1.918862e-05,1.920771e-05,1.944380e-05,1.949976e-05,1.967523e-05,1.980282e-05,1.990206e-05,2.009790e-05,2.012434e-05,2.034212e-05,2.038514e-05,2.055547e-05,2.066467e-05,2.076444e-05,2.093663e-05,2.096908e-05,2.116948e-05,2.120115e-05,2.136567e-05,2.145837e-05,2.155773e-05,2.170844e-05,2.174572e-05,2.192970e-05,2.195151e-05,2.210973e-05,2.218771e-05,2.228588e-05,2.241720e-05,2.245821e-05,2.262679e-05,2.264012e-05,2.279168e-05,2.285662e-05,2.295294e-05,2.306684e-05,2.311064e-05,2.326484e-05,2.327093e-05,2.341559e-05,2.346904e-05,2.356297e-05,2.366129e-05,2.370704e-05,2.384785e-05,2.402884e-05,2.420441e-05,2.437469e-05,2.453981e-05,2.469990e-05,2.485510e-05,2.500554e-05,2.515133e-05,2.529261e-05,2.542948e-05,2.556207e-05,2.569050e-05,2.581488e-05,2.593532e-05,2.605193e-05,2.616481e-05,2.627406e-05,2.637980e-05,2.648211e-05,2.658110e-05,2.667686e-05,2.676948e-05,2.685905e-05,2.694566e-05
0.000000e+00,4.078174e-12,1.243554e-11,6.539684e-11,1.972317e-10,3.275026e-10,9.836781e-10,1.023617e-09,2.478449e-09,3.077046e-09,5.117827e-09,7.490338e-09,9.484197e-09,1.560360e-08,1.625155e-08,2.622475e-08,2.919401e-08,4.029914e-08,5.030864e-08,5.936805e-08,8.090534e-08,8.421362e-08,1.154425e-07,1.224948e-07,1.534833e-07,1.760546e-07,1.986163e-07,2.421322e-07,2.510063e-07,3.107278e-07,3.209646e-07,3.777821e-07,4.125572e-07,4.521089e-07,5.167315e-07,5.335942e-07,6.220778e-07,6.331570e-07,7.173586e-07,7.613757e-07,8.192004e-07,9.008257e-07,9.273377e-07,1.041481e-06,1.050863e-06,1.161322e-06,1.210782e-06,1.286539e-06,1.379838e-06,1.416800e-06,1.551769e-06,1.557261e-06,1.691107e-06,1.742273e-06,1.834477e-06,1.934102e-06,1.981546e-06,2.131990e-06,2.285489e-06,2.335203e-06,2.441735e-06,2.543037e-06,2.600432e-06,2.754820e-06,2.761293e-06,2.924044e-06,2.969918e-06,3.088425e-06,3.187733e-06,3.254188e-06,3.407706e-06,3.421096e-06,3.588926e-06,3.629318e-06,3.757467e-06,3.852086e-06,3.926521e-06,4.075564e-06,4.095901e-06,4.265431e-06,4.299340e-06,4.434947e-06,4.523038e-06,4.604295e-06,4.746313e-06,4.773332e-06,4.941923e-06,4.968848e-06,5.109945e-06,5.190358e-06,5.277281e-06,5.410583e-06,5.443823e-06,5.609474e-06,5.629288e-06,5.774141e-06,5.846261e-06,5.937740e-06,6.061312e-06,6.100193e-06,6.261429e-06,6.274273e-06,6.421383e-06,6.484992e-06,6.579996e-06,6.693337e-06,6.737215e-06,6.892989e-06,6.899190e-06,7.047277e-06,7.102448e-06,7.200037e-06,7.303024e-06,7.351236e-06,7.500842e-06,7.648828e-06,7.695838e-06,7.795171e-06,7.887958e-06,7.939849e-06,8.077159e-06,8.082846e-06,8.224148e-06,8.263407e-06,8.363742e-06,8.446675e-06,8.501619e-06,8.626944e-06,8.637773e-06,8.772199e-06,8.804204e-06,8.904895e-06,8.978449e-06,9.035860e-06,9.149678e-06,9.165095e-06,9.292603e-06,9.317897e-06,9.418388e-06,9.483117e-06,9.542456e-06,9.645352e-06,9.664815e-06,9.785472e-06,9.804620e-06,9.904437e-06,9.960943e-06,1.002172e-05,1.011434e-05,1.013733e-05,1.025129e-05,1.026485e-05,1.036360e-05,1.041250e-05,1.047428e-05,1.055731e-05,1.058334e-05,1.069080e-05,1.069933e-05,1.079667e-05,1.083858e-05,1.090098e-05,1.097511e-05,1.100372e-05,1.110493e-05,1.110895e-05,1.120462e-05,1.124014e-05,1.130281e-05,1.136873e-05,1.139951e-05,1.149475e-05,1.161824e-05,1.173925e-05,1.185782e-05,1.197399e-05,1.208780e-05,1.219929e-05,1.230852e-05,1.241551e-05,1.252032e-05,1.262298e-05,1.272353e-05,1.282202e-05,1.291850e-05,1.301298e-05,1.310553e-05,1.319618e-05,1.328496e-05,1.337191e-05,1.345708e-05,1.354050e-05,1.362220e-05,1.370223e-05,1.378062e-05,1.385740e-05
0.000000e+00,1.506778e-16,1.552846e-15,4.631487e-14,4.118172e-13,1.095605e-12,8.553562e-12,9.196149e-12,4.419384e-11,6.408652e-11,1.503943e-10,2.791082e-10,4.057228e-10,8.726222e-10,9.276832e-10,1.876131e-09,2.188820e-09,3.453283e-09,4.699712e-09,5.900756e-09,8.991947e-09,9.493206e-09,1.452908e-08,1.573680e-08,2.132032e-08,2.565040e-08,3.018273e-08,3.945612e-08,4.142810e-08,5.535801e-08,5.785530e-08,7.225883e-08,8.150574e-08,9.239759e-08,1.110047e-07,1.160182e-07,1.433384e-07,1.468747e-07,1.745467e-07,1.895518e-07,2.098004e-07,2.393764e-07,2.492237e-07,2.929071e-07,2.965877e-07,3.409072e-07,3.613221e-07,3.932471e-07,4.336151e-07,4.499177e-07,5.108796e-07,5.134065e-07,5.760651e-07,6.005486e-07,6.453809e-07,6.948164e-07,7.187109e-07,7.959192e-07,8.768530e-07,9.035118e-07,9.613457e-07,1.017207e-06,1.049220e-06,1.136587e-06,1.140288e-06,1.234360e-06,1.261212e-06,1.331240e-06,1.390633e-06,1.430729e-06,1.524395e-06,1.532632e-06,1.636751e-06,1.662049e-06,1.742896e-06,1.803151e-06,1.850876e-06,1.947272e-06,1.960510e-06,2.071618e-06,2.094001e-06,2.184029e-06,2.242943e-06,2.297578e-06,2.393723e-06,2.412107e-06,2.527464e-06,2.545989e-06,2.643506e-06,2.699409e-06,2.760096e-06,2.853675e-06,2.877105e-06,2.994409e-06,3.008499e-06,3.111893e-06,3.163614e-06,3.229448e-06,3.318774e-06,3.346972e-06,3.464368e-06,3.473751e-06,3.581546e-06,3.628337e-06,3.698422e-06,3.782342e-06,3.814918e-06,3.930959e-06,3.935590e-06,4.046478e-06,4.087924e-06,4.161410e-06,4.239199e-06,4.275698e-06,4.389285e-06,4.502123e-06,4.538064e-06,4.614163e-06,4.685431e-06,4.725364e-06,4.831289e-06,4.835685e-06,4.945091e-06,4.975556e-06,5.053549e-06,5.118156e-06,5.161028e-06,5.259021e-06,5.267502e-06,5.372945e-06,5.398095e-06,5.477335e-06,5.535327e-06,5.580653e-06,5.670671e-06,5.682880e-06,5.784001e-06,5.804091e-06,5.884002e-06,5.935555e-06,5.982870e-06,6.065037e-06,6.080596e-06,6.177171e-06,6.192515e-06,6.272587e-06,6.317973e-06,6.366838e-06,6.441397e-06,6.459920e-06,6.551829e-06,6.562779e-06,6.642563e-06,6.682113e-06,6.732121e-06,6.799398e-06,6.820503e-06,6.907708e-06,6.914634e-06,6.993740e-06,7.027825e-06,7.078600e-06,7.138976e-06,7.162292e-06,7.244819e-06,7.248096e-06,7.326185e-06,7.355194e-06,7.406397e-06,7.460284e-06,7.485459e-06,7.563377e-06,7.664491e-06,7.763640e-06,7.860844e-06,7.956120e-06,8.049489e-06,8.140972e-06,8.230589e-06,8.318363e-06,8.404317e-06,8.488473e-06,8.570857e-06,8.651491e-06,8.730401e-06,8.807610e-06,8.883144e-06,8.957029e-06,9.029288e-06,9.099948e-06,9.169033e-06,9.236569e-06,9.302581e-06,9.367094e-06,9.430134e-06,9.491726e-06
0.000000e+00,8.278062e-12,2.524376e-11,1.328704e-10,4.015492e-10,6.679704e-10,2.021336e-09,2.104251e-09,5.159252e-09,6.433191e-09,1.083491e-08,1.603872e-08,2.046069e-08,3.415270e-08,3.560471e-08,5.779473e-08,6.431437e-08,8.827895e-08,1.093353e-07,1.280016e-07,1.711715e-07,1.776776e-07,2.378552e-07,2.511895e-07,3.089486e-07,3.503337e-07,3.912532e-07,4.691900e-07,4.849519e-07,5.901199e-07,6.080107e-07,7.067307e-07,7.667363e-07,8.346633e-07,9.450249e-07,9.737112e-07,1.123593e-06,1.142291e-06,1.283963e-06,1.357748e-06,1.454424e-06,1.590455e-06,1.634537e-06,1.823831e-06,1.839357e-06,2.021813e-06,2.103325e-06,2.227976e-06,2.381189e-06,2.441804e-06,2.662784e-06,2.671765e-06,2.890403e-06,2.973873e-06,3.124156e-06,3.286361e-06,3.363551e-06,3.608108e-06,3.857361e-06,3.938040e-06,4.110862e-06,4.275132e-06,4.368180e-06,4.618411e-06,4.628900e-06,4.892628e-06,4.966959e-06,5.158987e-06,5.319914e-06,5.427616e-06,5.676468e-06,5.698176e-06,5.970342e-06,6.035866e-06,6.243806e-06,6.397405e-06,6.518279e-06,6.760431e-06,6.793486e-06,7.069167e-06,7.124339e-06,7.345079e-06,7.488567e-06,7.620991e-06,7.852599e-06,7.896687e-06,8.171964e-06,8.215956e-06,8.446630e-06,8.578200e-06,8.720507e-06,8.938928e-06,8.993428e-06,9.265235e-06,9.297770e-06,9.535782e-06,9.654388e-06,9.804934e-06,1.000848e-05,1.007256e-05,1.033855e-05,1.035975e-05,1.060279e-05,1.070797e-05,1.086517e-05,1.105289e-05,1.112561e-05,1.138401e-05,1.139431e-05,1.164031e-05,1.173204e-05,1.189441e-05,1.206592e-05,1.214627e-05,1.239581e-05,1.264298e-05,1.272156e-05,1.288773e-05,1.304308e-05,1.313001e-05,1.336025e-05,1.336979e-05,1.360702e-05,1.367299e-05,1.384168e-05,1.398123e-05,1.407374e-05,1.428491e-05,1.430316e-05,1.452994e-05,1.458397e-05,1.475405e-05,1.487838e-05,1.497548e-05,1.516811e-05,1.519421e-05,1.541024e-05,1.545312e-05,1.562356e-05,1.573342e-05,1.583417e-05,1.600899e-05,1.604207e-05,1.624725e-05,1.627983e-05,1.644972e-05,1.654594e-05,1.664948e-05,1.680734e-05,1.684654e-05,1.704090e-05,1.706405e-05,1.723259e-05,1.731608e-05,1.742159e-05,1.756346e-05,1.760794e-05,1.779164e-05,1.780622e-05,1.797271e-05,1.804440e-05,1.815116e-05,1.827803e-05,1.832700e-05,1.850027e-05,1.850715e-05,1.867097e-05,1.873179e-05,1.883912e-05,1.895202e-05,1.900475e-05,1.916787e-05,1.937939e-05,1.958664e-05,1.978965e-05,1.998850e-05,2.018323e-05,2.037389e-05,2.056055e-05,2.074325e-05,2.092207e-05,2.109705e-05,2.126825e-05,2.143574e-05,2.159957e-05,2.175979e-05,2.191648e-05,2.206968e-05,2.221946e-05,2.236587e-05,2.250897e-05,2.264882e-05,2.278548e-05,2.291901e-05,2.304945e-05,2.317688e-05
0.000000e+00,2.137587e-14,1.687168e-13,3.038348e-12,1.802629e-11,3.922638e-11,1.941491e-10,2.052693e-10,6.817136e-10,9.048816e-10,1.734661e-09,2.786242e-09,3.717072e-09,6.742435e-09,7.073669e-09,1.234612e-08,1.396530e-08,2.016757e-08,2.591877e-08,3.123235e-08,4.421098e-08,4.624304e-08,6.586032e-08,7.039004e-08,9.067734e-08,1.058131e-07,1.212160e-07,1.516255e-07,1.579322e-07,2.012218e-07,2.087815e-07,2.514236e-07,2.780609e-07,3.088208e-07,3.600744e-07,3.736415e-07,4.460584e-07,4.552650e-07,5.261892e-07,5.639091e-07,6.140986e-07,6.861215e-07,7.097991e-07,8.132548e-07,8.218641e-07,9.243843e-07,9.709585e-07,1.043065e-06,1.133102e-06,1.169136e-06,1.302405e-06,1.307883e-06,1.442652e-06,1.494802e-06,1.589631e-06,1.693288e-06,1.743078e-06,1.902713e-06,2.068245e-06,2.122412e-06,2.239374e-06,2.351692e-06,2.415793e-06,2.589847e-06,2.597195e-06,2.783270e-06,2.836167e-06,2.973711e-06,3.089946e-06,3.168215e-06,3.350489e-06,3.366482e-06,3.568217e-06,3.617118e-06,3.773134e-06,3.889174e-06,3.980955e-06,4.166022e-06,4.191407e-06,4.404228e-06,4.447054e-06,4.619165e-06,4.731687e-06,4.835974e-06,5.019367e-06,5.054419e-06,5.274275e-06,5.309568e-06,5.495326e-06,5.601793e-06,5.717363e-06,5.895571e-06,5.940190e-06,6.163618e-06,6.190461e-06,6.387465e-06,6.486047e-06,6.611562e-06,6.781941e-06,6.835744e-06,7.059856e-06,7.077778e-06,7.283752e-06,7.373219e-06,7.507293e-06,7.667947e-06,7.730345e-06,7.952786e-06,7.961669e-06,8.174497e-06,8.254113e-06,8.395367e-06,8.545025e-06,8.615292e-06,8.834174e-06,9.051919e-06,9.121343e-06,9.268442e-06,9.406338e-06,9.483662e-06,9.688976e-06,9.697502e-06,9.909892e-06,9.969093e-06,1.012077e-05,1.024654e-05,1.033006e-05,1.052118e-05,1.053773e-05,1.074371e-05,1.079288e-05,1.094795e-05,1.106155e-05,1.115041e-05,1.132708e-05,1.135106e-05,1.154984e-05,1.158937e-05,1.174674e-05,1.184836e-05,1.194171e-05,1.210398e-05,1.213473e-05,1.232578e-05,1.235616e-05,1.251483e-05,1.260486e-05,1.270187e-05,1.285003e-05,1.288687e-05,1.306982e-05,1.309164e-05,1.325072e-05,1.332966e-05,1.342954e-05,1.356406e-05,1.360629e-05,1.378095e-05,1.379483e-05,1.395352e-05,1.402197e-05,1.412400e-05,1.424545e-05,1.429239e-05,1.445869e-05,1.446530e-05,1.462290e-05,1.468150e-05,1.478501e-05,1.489407e-05,1.494505e-05,1.510301e-05,1.530835e-05,1.551010e-05,1.570828e-05,1.590292e-05,1.609405e-05,1.628168e-05,1.646587e-05,1.664662e-05,1.682399e-05,1.699801e-05,1.716871e-05,1.733614e-05,1.750033e-05,1.766132e-05,1.781916e-05,1.797388e-05,1.812554e-05,1.827416e-05,1.841981e-05,1.856251e-05,1.870232e-05,1.883928e-05,1.897343e-05,1.910481e-05
0.000000e+00,2.619553e-18,3.078155e-17,1.203664e-15,1.367030e-14,4.155944e-14,4.563224e-13,4.973969e-13,3.332147e-12,5.282226e-12,1.546812e-11,3.424084e-11,5.575698e-11,1.538768e-10,1.670456e-10,4.345993e-10,5.372385e-10,1.011737e-09,1.559758e-09,2.153014e-09,3.934468e-09,4.254724e-09,7.901953e-09,8.884695e-09,1.392076e-08,1.834701e-08,2.343356e-08,3.519189e-08,3.791518e-08,5.924681e-08,6.344489e-08,8.976486e-08,1.084884e-07,1.323018e-07,1.772240e-07,1.902167e-07,2.674125e-07,2.781774e-07,3.683409e-07,4.215345e-07,4.979905e-07,6.190986e-07,6.618602e-07,8.659177e-07,8.841670e-07,1.116544e-06,1.231330e-06,1.420464e-06,1.676202e-06,1.784667e-06,2.216316e-06,2.235087e-06,2.722650e-06,2.924606e-06,3.310883e-06,3.761283e-06,3.988094e-06,4.761127e-06,5.636481e-06,5.939208e-06,6.620212e-06,7.309250e-06,7.717838e-06,8.883255e-06,8.934247e-06,1.027363e-05,1.067117e-05,1.173939e-05,1.268062e-05,1.333411e-05,1.491665e-05,1.505952e-05,1.691641e-05,1.738164e-05,1.890468e-05,2.007514e-05,2.102328e-05,2.299391e-05,2.327024e-05,2.564270e-05,2.613193e-05,2.813691e-05,2.948054e-05,3.074831e-05,3.302854e-05,3.347153e-05,3.630047e-05,3.676247e-05,3.922839e-05,4.066681e-05,4.224794e-05,4.472426e-05,4.535122e-05,4.852991e-05,4.891601e-05,5.177532e-05,5.322213e-05,5.507845e-05,5.762178e-05,5.843010e-05,6.182090e-05,6.209358e-05,6.524145e-05,6.661589e-05,6.868234e-05,7.116712e-05,7.213422e-05,7.558789e-05,7.572595e-05,7.903433e-05,8.027158e-05,8.246478e-05,8.478401e-05,8.587076e-05,8.924413e-05,9.257714e-05,9.363396e-05,9.586241e-05,9.793672e-05,9.909302e-05,1.021370e-04,1.022625e-04,1.053648e-04,1.062207e-04,1.083944e-04,1.101752e-04,1.113463e-04,1.139895e-04,1.142159e-04,1.169992e-04,1.176539e-04,1.196925e-04,1.211603e-04,1.222927e-04,1.245018e-04,1.247972e-04,1.272038e-04,1.276732e-04,1.295107e-04,1.306705e-04,1.317166e-04,1.334907e-04,1.338205e-04,1.358218e-04,1.361325e-04,1.377204e-04,1.385952e-04,1.395163e-04,1.408795e-04,1.412101e-04,1.428024e-04,1.429867e-04,1.442942e-04,1.449191e-04,1.456868e-04,1.466797e-04,1.469817e-04,1.481805e-04,1.482724e-04,1.492852e-04,1.497012e-04,1.502978e-04,1.509710e-04,1.512204e-04,1.520553e-04,1.520869e-04,1.528050e-04,1.530545e-04,1.534720e-04,1.538796e-04,1.540588e-04,1.545681e-04,1.551262e-04,1.555602e-04,1.558765e-04,1.560812e-04,1.561808e-04,1.561814e-04,1.560892e-04,1.559102e-04,1.556503e-04,1.553152e-04,1.549105e-04,1.544415e-04,1.539133e-04,1.533309e-04,1.526991e-04,1.520223e-04,1.513049e-04,1.505510e-04,1.497644e-04,1.489489e-04,1.481078e-04,1.472445e-04,1.463620e-04,1.454632e-04
0.000000e+00,3.690473e-11,1.164567e-10,6.360400e-10,1.955488e-09,3.272404e-09,9.981234e-09,1.039201e-08,2.545803e-08,3.169785e-08,5.308434e-08,7.809422e-08,9.918367e-08,1.640052e-07,1.708606e-07,2.757531e-07,3.066968e-07,4.211716e-07,5.227902e-07,6.136944e-07,8.267571e-07,8.591941e-07,1.162956e-06,1.231128e-06,1.529748e-06,1.746824e-06,1.963831e-06,2.383210e-06,2.468938e-06,3.048240e-06,3.147994e-06,3.704313e-06,4.047096e-06,4.439116e-06,5.084557e-06,5.253977e-06,6.149604e-06,6.262517e-06,7.126094e-06,7.581265e-06,8.182973e-06,9.039359e-06,9.319227e-06,1.053336e-05,1.063379e-05,1.182342e-05,1.236020e-05,1.318711e-05,1.421307e-05,1.462177e-05,1.612448e-05,1.618596e-05,1.769211e-05,1.827171e-05,1.932132e-05,2.046262e-05,2.100868e-05,2.275065e-05,2.454363e-05,2.512756e-05,2.638399e-05,2.758502e-05,2.826813e-05,3.011474e-05,3.019243e-05,3.215335e-05,3.270849e-05,3.414738e-05,3.535825e-05,3.617108e-05,3.805620e-05,3.822110e-05,4.029417e-05,4.079478e-05,4.238713e-05,4.356673e-05,4.449692e-05,4.636512e-05,4.662060e-05,4.875534e-05,4.918337e-05,5.089840e-05,5.201522e-05,5.304719e-05,5.485476e-05,5.519919e-05,5.735202e-05,5.769640e-05,5.950339e-05,6.053489e-05,6.165113e-05,6.336531e-05,6.379317e-05,6.592754e-05,6.618306e-05,6.805238e-05,6.898383e-05,7.016593e-05,7.176365e-05,7.226652e-05,7.435258e-05,7.451879e-05,7.642262e-05,7.724584e-05,7.847525e-05,7.994163e-05,8.050917e-05,8.252316e-05,8.260328e-05,8.451606e-05,8.522813e-05,8.648681e-05,8.781376e-05,8.843442e-05,9.035798e-05,9.225664e-05,9.285881e-05,9.412960e-05,9.531448e-05,9.597616e-05,9.772340e-05,9.779566e-05,9.958749e-05,1.000842e-04,1.013511e-04,1.023956e-04,1.030861e-04,1.046565e-04,1.047919e-04,1.064683e-04,1.068662e-04,1.081148e-04,1.090237e-04,1.097312e-04,1.111285e-04,1.113172e-04,1.128726e-04,1.131800e-04,1.143973e-04,1.151780e-04,1.158911e-04,1.171220e-04,1.173540e-04,1.187859e-04,1.190121e-04,1.201867e-04,1.208480e-04,1.215565e-04,1.226300e-04,1.228952e-04,1.242031e-04,1.243579e-04,1.254801e-04,1.260322e-04,1.267263e-04,1.276530e-04,1.279420e-04,1.291272e-04,1.292207e-04,1.302821e-04,1.307357e-04,1.314070e-04,1.321984e-04,1.325020e-04,1.335674e-04,1.336094e-04,1.346035e-04,1.349693e-04,1.356104e-04,1.362786e-04,1.365885e-04,1.375381e-04,1.387483e-04,1.399101e-04,1.410242e-04,1.420913e-04,1.431123e-04,1.440880e-04,1.450192e-04,1.459068e-04,1.467516e-04,1.475546e-04,1.483167e-04,1.490386e-04,1.497214e-04,1.503659e-04,1.509731e-04,1.515438e-04,1.520789e-04,1.525794e-04,1.530461e-04,1.534800e-04,1.538819e-04,1.542527e-04,1.545933e-04,1.549045e-04
0.000000e+00,4.888871e-13,1.949707e-12,1.363343e-11,4.695862e-11,8.190480e-11,2.677825e-10,2.793647e-10,7.091929e-10,8.882981e-10,1.501754e-09,2.215319e-09,2.813192e-09,4.633060e-09,4.824378e-09,7.739844e-09,8.598844e-09,1.178597e-08,1.463621e-08,1.720714e-08,2.331768e-08,2.425839e-08,3.319412e-08,3.522897e-08,4.425520e-08,5.092009e-08,5.765872e-08,7.086647e-08,7.359287e-08,9.221604e-08,9.545435e-08,1.136581e-07,1.249827e-07,1.380220e-07,1.596702e-07,1.653859e-07,1.958041e-07,1.996612e-07,2.293087e-07,2.450321e-07,2.659109e-07,2.957958e-07,3.056024e-07,3.483569e-07,3.519084e-07,3.941316e-07,4.132748e-07,4.428692e-07,4.797558e-07,4.944993e-07,5.489403e-07,5.511752e-07,6.061012e-07,6.273261e-07,6.658829e-07,7.079780e-07,7.281802e-07,7.928827e-07,8.598763e-07,8.817792e-07,9.290447e-07,9.743994e-07,1.000270e-06,1.070471e-06,1.073434e-06,1.148418e-06,1.169723e-06,1.225105e-06,1.271886e-06,1.303379e-06,1.376696e-06,1.383128e-06,1.464239e-06,1.483896e-06,1.546604e-06,1.593237e-06,1.630118e-06,1.704479e-06,1.714679e-06,1.800187e-06,1.817394e-06,1.886547e-06,1.931761e-06,1.973668e-06,2.047372e-06,2.061461e-06,2.149840e-06,2.164030e-06,2.238726e-06,2.281548e-06,2.328040e-06,2.399749e-06,2.417707e-06,2.507658e-06,2.518468e-06,2.597823e-06,2.637548e-06,2.688140e-06,2.756844e-06,2.778546e-06,2.868984e-06,2.876219e-06,2.959399e-06,2.995546e-06,3.049737e-06,3.114706e-06,3.139951e-06,3.229992e-06,3.233590e-06,3.319817e-06,3.352093e-06,3.409385e-06,3.470123e-06,3.498655e-06,3.587591e-06,3.676159e-06,3.704417e-06,3.764325e-06,3.820526e-06,3.852059e-06,3.935851e-06,3.939333e-06,4.026119e-06,4.050329e-06,4.112394e-06,4.163903e-06,4.198133e-06,4.276522e-06,4.283315e-06,4.367921e-06,4.388139e-06,4.451932e-06,4.498711e-06,4.535330e-06,4.608201e-06,4.618100e-06,4.700228e-06,4.716576e-06,4.781701e-06,4.823804e-06,4.862507e-06,4.929860e-06,4.942634e-06,5.022074e-06,5.034720e-06,5.100817e-06,5.138364e-06,5.178856e-06,5.240776e-06,5.256184e-06,5.332795e-06,5.341940e-06,5.408684e-06,5.441845e-06,5.483846e-06,5.540482e-06,5.558279e-06,5.631978e-06,5.637842e-06,5.704943e-06,5.733922e-06,5.777170e-06,5.828718e-06,5.848660e-06,5.919412e-06,5.922227e-06,5.989426e-06,6.014451e-06,6.058703e-06,6.105390e-06,6.127243e-06,6.195049e-06,6.283430e-06,6.370540e-06,6.456386e-06,6.540974e-06,6.624313e-06,6.706413e-06,6.787284e-06,6.866936e-06,6.945381e-06,7.022631e-06,7.098699e-06,7.173597e-06,7.247339e-06,7.319937e-06,7.391408e-06,7.461764e-06,7.531020e-06,7.599190e-06,7.666291e-06,7.732335e-06,7.797340e-06,7.861319e-06,7.924288e-06,7.986262e-06
0.000000e+00,3.026428e-14,2.027149e-13,2.776588e-12,1.368601e-11,2.744788e-11,1.154659e-10,1.214162e-10,3.602506e-10,4.662673e-10,8.450176e-10,1.304595e-09,1.699623e-09,2.936215e-09,3.068350e-09,5.113514e-09,5.724483e-09,8.013063e-09,1.008070e-08,1.195781e-08,1.645248e-08,1.714777e-08,2.378704e-08,2.530667e-08,3.207708e-08,3.710442e-08,4.220931e-08,5.227270e-08,5.435882e-08,6.868024e-08,7.118238e-08,8.530586e-08,9.413761e-08,1.043451e-07,1.213733e-07,1.258847e-07,1.499893e-07,1.530565e-07,1.767022e-07,1.892887e-07,2.060461e-07,2.301099e-07,2.380245e-07,2.726227e-07,2.755029e-07,3.098096e-07,3.253993e-07,3.495390e-07,3.796855e-07,3.917513e-07,4.363757e-07,4.382097e-07,4.833310e-07,5.007886e-07,5.325282e-07,5.672141e-07,5.838713e-07,6.372594e-07,6.925876e-07,7.106848e-07,7.497484e-07,7.872428e-07,8.086329e-07,8.666819e-07,8.691314e-07,9.311348e-07,9.487506e-07,9.945346e-07,1.033200e-06,1.059224e-06,1.119788e-06,1.125099e-06,1.192057e-06,1.208276e-06,1.259998e-06,1.298438e-06,1.328826e-06,1.390055e-06,1.398449e-06,1.468776e-06,1.482918e-06,1.539721e-06,1.576829e-06,1.611202e-06,1.671601e-06,1.683139e-06,1.755456e-06,1.767058e-06,1.828082e-06,1.863032e-06,1.900948e-06,1.959370e-06,1.973989e-06,2.047142e-06,2.055925e-06,2.120348e-06,2.152561e-06,2.193552e-06,2.249153e-06,2.266701e-06,2.339746e-06,2.345584e-06,2.412639e-06,2.441744e-06,2.485337e-06,2.537534e-06,2.557797e-06,2.629981e-06,2.632862e-06,2.701851e-06,2.727641e-06,2.773373e-06,2.821794e-06,2.844516e-06,2.915249e-06,2.985544e-06,3.007941e-06,3.055374e-06,3.099811e-06,3.124716e-06,3.190804e-06,3.193547e-06,3.261846e-06,3.280872e-06,3.329594e-06,3.369970e-06,3.396772e-06,3.458060e-06,3.463365e-06,3.529358e-06,3.545105e-06,3.594736e-06,3.631075e-06,3.659488e-06,3.715943e-06,3.723602e-06,3.787068e-06,3.799683e-06,3.849877e-06,3.882275e-06,3.912021e-06,3.963702e-06,3.973492e-06,4.034285e-06,4.043948e-06,4.094393e-06,4.123001e-06,4.153813e-06,4.200851e-06,4.212540e-06,4.270572e-06,4.277489e-06,4.327906e-06,4.352911e-06,4.384540e-06,4.427113e-06,4.440473e-06,4.495704e-06,4.500092e-06,4.550233e-06,4.571849e-06,4.604061e-06,4.642384e-06,4.657189e-06,4.709618e-06,4.711700e-06,4.761349e-06,4.779802e-06,4.812385e-06,4.846694e-06,4.862729e-06,4.912382e-06,4.976875e-06,5.040179e-06,5.102304e-06,5.163260e-06,5.223056e-06,5.281705e-06,5.339218e-06,5.395607e-06,5.450884e-06,5.505063e-06,5.558157e-06,5.610179e-06,5.661144e-06,5.711066e-06,5.759958e-06,5.807836e-06,5.854714e-06,5.900608e-06,5.945531e-06,5.989498e-06,6.032526e-06,6.074628e-06,6.115821e-06,6.156117e-06
0.000000e+00,3.666931e-16,4.199167e-15,1.558727e-13,1.691146e-12,5.017026e-12,5.182845e-11,5.635755e-11,3.565850e-10,5.568877e-10,1.572479e-09,3.384218e-09,5.413952e-09,1.438846e-08,1.557177e-08,3.908095e-08,4.792762e-08,8.815335e-08,1.337564e-07,1.824808e-07,3.263496e-07,3.519359e-07,6.395031e-07,7.160699e-07,1.104196e-06,1.440817e-06,1.823697e-06,2.696388e-06,2.896475e-06,4.443204e-06,4.743930e-06,6.607362e-06,7.913383e-06,9.554974e-06,1.260244e-05,1.347349e-05,1.856992e-05,1.927112e-05,2.506811e-05,2.843220e-05,3.320559e-05,4.063841e-05,4.322977e-05,5.539387e-05,5.646708e-05,6.995259e-05,7.650316e-05,8.715765e-05,1.013215e-04,1.072534e-04,1.304726e-04,1.314695e-04,1.570323e-04,1.674503e-04,1.871301e-04,2.097079e-04,2.209409e-04,2.586143e-04,3.002716e-04,3.144592e-04,3.460048e-04,3.774425e-04,3.958748e-04,4.476692e-04,4.499107e-04,5.081098e-04,5.251477e-04,5.704379e-04,6.097907e-04,6.368296e-04,7.014179e-04,7.071900e-04,7.813961e-04,7.997618e-04,8.592984e-04,9.044743e-04,9.407230e-04,1.015135e-03,1.025474e-03,1.113337e-03,1.131263e-03,1.204080e-03,1.252322e-03,1.297455e-03,1.377737e-03,1.393206e-03,1.491064e-03,1.506899e-03,1.590757e-03,1.639180e-03,1.692007e-03,1.773941e-03,1.794535e-03,1.898063e-03,1.910540e-03,2.002313e-03,2.048342e-03,2.107015e-03,2.186727e-03,2.211904e-03,2.316721e-03,2.325095e-03,2.421217e-03,2.462872e-03,2.525155e-03,2.599516e-03,2.628306e-03,2.730456e-03,2.734518e-03,2.831401e-03,2.867410e-03,2.930952e-03,2.997760e-03,3.028933e-03,3.125179e-03,3.219544e-03,3.249321e-03,3.311891e-03,3.369877e-03,3.402098e-03,3.486584e-03,3.490058e-03,3.575674e-03,3.599215e-03,3.658864e-03,3.707583e-03,3.739557e-03,3.811539e-03,3.817694e-03,3.893229e-03,3.910966e-03,3.966124e-03,4.005782e-03,4.036353e-03,4.095935e-03,4.103898e-03,4.168751e-03,4.181399e-03,4.230913e-03,4.262175e-03,4.290390e-03,4.338287e-03,4.347198e-03,4.401359e-03,4.409781e-03,4.452900e-03,4.476718e-03,4.501854e-03,4.539180e-03,4.548259e-03,4.592158e-03,4.597260e-03,4.633597e-03,4.651064e-03,4.672626e-03,4.700709e-03,4.709298e-03,4.743667e-03,4.746319e-03,4.775793e-03,4.788028e-03,4.805734e-03,4.825973e-03,4.833552e-03,4.859308e-03,4.860296e-03,4.883065e-03,4.891141e-03,4.904888e-03,4.918655e-03,4.924840e-03,4.942986e-03,4.964280e-03,4.982685e-03,4.998345e-03,5.011402e-03,5.021996e-03,5.030265e-03,5.036340e-03,5.040353e-03,5.042427e-03,5.042685e-03,5.041244e-03,5.038216e-03,5.033710e-03,5.027830e-03,5.020675e-03,5.012339e-03,5.002914e-03,4.992486e-03,4.981136e-03,4.968942e-03,4.955977e-03,4.942312e-03,4.928012e-03,4.913140e-03
0.000000e+00,2.203565e-12,7.036441e-12,3.885372e-11,1.201034e-10,2.015814e-10,6.214876e-10,6.474375e-10,1.615034e-09,2.023263e-09,3.443516e-09,5.122990e-09,6.538783e-09,1.082932e-08,1.127632e-08,1.796101e-08,1.988426e-08,2.684956e-08,3.287610e-08,3.817124e-08,5.031339e-08,5.213497e-08,6.892915e-08,7.264262e-08,8.871879e-08,1.002402e-07,1.116420e-07,1.333994e-07,1.378072e-07,1.672905e-07,1.723191e-07,2.001354e-07,2.170994e-07,2.363528e-07,2.677423e-07,2.759224e-07,3.187950e-07,3.241584e-07,3.648954e-07,3.861777e-07,4.141257e-07,4.535626e-07,4.663689e-07,5.214923e-07,5.260223e-07,5.793512e-07,6.032266e-07,6.397923e-07,6.848194e-07,7.026562e-07,7.677802e-07,7.704299e-07,8.350010e-07,8.596825e-07,9.041561e-07,9.522047e-07,9.750856e-07,1.047633e-06,1.121648e-06,1.145619e-06,1.196985e-06,1.245829e-06,1.273503e-06,1.347949e-06,1.351070e-06,1.429560e-06,1.451686e-06,1.508853e-06,1.556767e-06,1.588836e-06,1.662939e-06,1.669403e-06,1.750454e-06,1.769968e-06,1.831896e-06,1.877641e-06,1.913641e-06,1.985762e-06,1.995607e-06,2.077718e-06,2.094151e-06,2.159903e-06,2.202646e-06,2.242096e-06,2.311100e-06,2.324236e-06,2.406266e-06,2.419377e-06,2.488133e-06,2.527356e-06,2.569787e-06,2.634928e-06,2.651185e-06,2.732283e-06,2.741993e-06,2.813044e-06,2.848462e-06,2.893431e-06,2.954255e-06,2.973412e-06,3.052956e-06,3.059300e-06,3.132037e-06,3.163534e-06,3.210628e-06,3.266897e-06,3.288706e-06,3.366250e-06,3.369341e-06,3.443241e-06,3.470818e-06,3.519660e-06,3.571290e-06,3.595492e-06,3.670722e-06,3.745337e-06,3.769082e-06,3.819325e-06,3.866344e-06,3.892676e-06,3.962485e-06,3.965380e-06,4.037430e-06,4.057485e-06,4.108817e-06,4.151328e-06,4.179535e-06,4.244001e-06,4.249579e-06,4.318945e-06,4.335491e-06,4.387628e-06,4.425791e-06,4.455625e-06,4.514893e-06,4.522934e-06,4.589552e-06,4.602793e-06,4.655479e-06,4.689487e-06,4.720713e-06,4.774975e-06,4.785255e-06,4.849105e-06,4.859256e-06,4.912263e-06,4.942333e-06,4.974730e-06,5.024207e-06,5.036508e-06,5.097599e-06,5.104883e-06,5.158004e-06,5.184366e-06,5.217727e-06,5.262661e-06,5.276769e-06,5.335134e-06,5.339775e-06,5.392826e-06,5.415715e-06,5.449847e-06,5.490490e-06,5.506202e-06,5.561894e-06,5.564108e-06,5.616927e-06,5.636578e-06,5.671305e-06,5.707911e-06,5.725034e-06,5.778117e-06,5.847206e-06,5.915189e-06,5.982078e-06,6.047884e-06,6.112619e-06,6.176295e-06,6.238926e-06,6.300522e-06,6.361097e-06,6.420663e-06,6.479233e-06,6.536821e-06,6.593438e-06,6.649099e-06,6.703815e-06,6.757600e-06,6.810468e-06,6.862430e-06,6.913499e-06,6.963690e-06,7.013014e-06,7.061484e-06,7.109113e-06,7.155914e-06
0.000000e+00,1.147587e-16,1.332110e-15,5.080629e-14,5.644580e-13,1.695976e-12,1.808954e-11,1.969546e-11,1.285002e-10,2.023360e-10,5.831391e-10,1.275769e-09,2.062803e-09,5.614294e-09,6.088347e-09,1.566484e-08,1.932353e-08,3.619618e-08,5.565065e-08,7.670370e-08,1.399625e-07,1.513443e-07,2.811670e-07,3.162018e-07,4.959884e-07,6.542358e-07,8.362324e-07,1.257108e-06,1.354571e-06,2.117223e-06,2.267100e-06,3.204808e-06,3.869708e-06,4.712696e-06,6.295009e-06,6.750793e-06,9.442817e-06,9.816154e-06,1.292506e-05,1.474516e-05,1.734470e-05,2.142629e-05,2.285775e-05,2.962672e-05,3.022746e-05,3.781798e-05,4.153028e-05,4.759908e-05,5.571920e-05,5.913596e-05,7.259021e-05,7.317048e-05,8.811637e-05,9.424125e-05,1.058594e-04,1.192594e-04,1.259523e-04,1.485143e-04,1.736485e-04,1.822492e-04,2.014409e-04,2.206551e-04,2.319591e-04,2.638657e-04,2.652511e-04,3.013450e-04,3.119550e-04,3.402489e-04,3.649358e-04,3.819506e-04,4.227600e-04,4.264181e-04,4.736002e-04,4.853205e-04,5.234275e-04,5.524544e-04,5.758129e-04,6.239465e-04,6.306532e-04,6.878302e-04,6.995346e-04,7.472123e-04,7.789152e-04,8.086559e-04,8.617492e-04,8.720069e-04,9.371026e-04,9.476685e-04,1.003773e-03,1.036282e-03,1.071842e-03,1.127183e-03,1.141129e-03,1.211453e-03,1.219953e-03,1.282630e-03,1.314170e-03,1.354475e-03,1.409412e-03,1.426806e-03,1.499445e-03,1.505264e-03,1.572213e-03,1.601319e-03,1.644941e-03,1.697186e-03,1.717461e-03,1.789614e-03,1.792490e-03,1.861246e-03,1.886878e-03,1.932211e-03,1.980016e-03,2.002371e-03,2.071597e-03,2.139765e-03,2.161338e-03,2.206765e-03,2.248982e-03,2.272490e-03,2.334300e-03,2.336847e-03,2.399748e-03,2.417088e-03,2.461115e-03,2.497169e-03,2.520878e-03,2.574392e-03,2.578978e-03,2.635359e-03,2.648630e-03,2.689978e-03,2.719780e-03,2.742796e-03,2.787763e-03,2.793784e-03,2.842917e-03,2.852520e-03,2.890179e-03,2.914012e-03,2.935560e-03,2.972222e-03,2.979054e-03,3.020663e-03,3.027145e-03,3.060391e-03,3.078797e-03,3.098252e-03,3.127204e-03,3.134258e-03,3.168429e-03,3.172407e-03,3.200789e-03,3.214460e-03,3.231363e-03,3.253422e-03,3.260180e-03,3.287273e-03,3.289367e-03,3.312676e-03,3.322372e-03,3.336425e-03,3.352522e-03,3.358558e-03,3.379116e-03,3.379907e-03,3.398140e-03,3.404621e-03,3.415671e-03,3.426762e-03,3.431754e-03,3.446431e-03,3.463728e-03,3.478757e-03,3.491620e-03,3.502420e-03,3.511259e-03,3.518237e-03,3.523454e-03,3.527006e-03,3.528988e-03,3.529493e-03,3.528609e-03,3.526425e-03,3.523023e-03,3.518484e-03,3.512887e-03,3.506305e-03,3.498811e-03,3.490472e-03,3.481354e-03,3.471519e-03,3.461025e-03,3.449930e-03,3.438285e-03,3.426141e-03
0.000000e+00,8.375599e-12,2.559812e-11,1.350302e-10,4.080105e-10,6.780468e-10,2.039493e-09,2.122381e-09,5.141132e-09,6.382453e-09,1.061001e-08,1.551580e-08,1.963148e-08,3.222778e-08,3.355885e-08,5.400155e-08,6.007651e-08,8.278106e-08,1.032526e-07,1.218062e-07,1.660575e-07,1.728745e-07,2.374790e-07,2.521275e-07,3.167113e-07,3.639403e-07,4.112750e-07,5.028453e-07,5.215542e-07,6.476865e-07,6.693377e-07,7.896218e-07,8.633109e-07,9.471635e-07,1.084227e-06,1.119999e-06,1.307722e-06,1.331227e-06,1.509850e-06,1.603212e-06,1.725840e-06,1.898901e-06,1.955101e-06,2.197004e-06,2.216883e-06,2.450898e-06,2.555663e-06,2.716111e-06,2.913692e-06,2.991964e-06,3.277776e-06,3.289406e-06,3.572869e-06,3.681244e-06,3.876571e-06,4.087670e-06,4.188225e-06,4.507188e-06,4.832834e-06,4.938353e-06,5.164557e-06,5.379778e-06,5.501772e-06,5.830140e-06,5.843914e-06,6.190441e-06,6.288184e-06,6.540836e-06,6.752721e-06,6.894601e-06,7.222634e-06,7.251262e-06,7.610370e-06,7.696871e-06,7.971493e-06,8.174450e-06,8.334224e-06,8.654451e-06,8.698178e-06,9.062986e-06,9.136019e-06,9.428303e-06,9.618360e-06,9.793802e-06,1.010073e-05,1.015917e-05,1.052413e-05,1.058246e-05,1.088839e-05,1.106292e-05,1.125171e-05,1.154151e-05,1.161383e-05,1.197454e-05,1.201772e-05,1.233363e-05,1.249106e-05,1.269090e-05,1.296108e-05,1.304615e-05,1.339924e-05,1.342738e-05,1.374998e-05,1.388960e-05,1.409825e-05,1.434739e-05,1.444390e-05,1.478681e-05,1.480047e-05,1.512686e-05,1.524856e-05,1.546395e-05,1.569143e-05,1.579798e-05,1.612887e-05,1.645653e-05,1.656069e-05,1.678090e-05,1.698673e-05,1.710190e-05,1.740686e-05,1.741949e-05,1.773362e-05,1.782095e-05,1.804423e-05,1.822890e-05,1.835130e-05,1.863064e-05,1.865478e-05,1.895466e-05,1.902609e-05,1.925091e-05,1.941521e-05,1.954351e-05,1.979797e-05,1.983245e-05,2.011772e-05,2.017434e-05,2.039932e-05,2.054430e-05,2.067725e-05,2.090787e-05,2.095150e-05,2.122209e-05,2.126504e-05,2.148902e-05,2.161585e-05,2.175230e-05,2.196031e-05,2.201195e-05,2.226799e-05,2.229847e-05,2.252043e-05,2.263037e-05,2.276929e-05,2.295605e-05,2.301460e-05,2.325638e-05,2.327557e-05,2.349466e-05,2.358900e-05,2.372947e-05,2.389639e-05,2.396083e-05,2.418877e-05,2.419782e-05,2.441334e-05,2.449336e-05,2.463455e-05,2.478308e-05,2.485245e-05,2.506707e-05,2.534540e-05,2.561817e-05,2.588544e-05,2.614732e-05,2.640389e-05,2.665523e-05,2.690145e-05,2.714262e-05,2.737884e-05,2.761020e-05,2.783679e-05,2.805871e-05,2.827603e-05,2.848886e-05,2.869728e-05,2.890138e-05,2.910124e-05,2.929696e-05,2.948863e-05,2.967631e-05,2.986011e-05,3.004011e-05,3.021637e-05,3.038900e-05
0.000000e+00,4.857580e-12,1.649652e-11,9.733482e-11,3.104548e-10,5.270166e-10,1.653216e-09,1.722951e-09,4.316951e-09,5.406821e-09,9.190588e-09,1.368763e-08,1.752582e-08,2.951044e-08,3.079050e-08,5.055605e-08,5.642808e-08,7.821010e-08,9.755018e-08,1.148131e-07,1.550450e-07,1.611375e-07,2.177490e-07,2.303444e-07,2.850612e-07,3.243934e-07,3.633647e-07,4.377695e-07,4.528410e-07,5.535732e-07,5.707356e-07,6.655534e-07,7.232756e-07,7.886916e-07,8.951290e-07,9.228255e-07,1.067730e-06,1.085829e-06,1.223126e-06,1.294742e-06,1.388692e-06,1.521105e-06,1.564071e-06,1.748881e-06,1.764061e-06,1.942717e-06,2.022686e-06,2.145163e-06,2.296018e-06,2.355795e-06,2.574182e-06,2.583073e-06,2.799896e-06,2.882864e-06,3.032509e-06,3.194412e-06,3.271600e-06,3.516752e-06,3.767558e-06,3.848945e-06,4.023621e-06,4.190080e-06,4.284553e-06,4.539277e-06,4.549976e-06,4.819526e-06,4.895690e-06,5.092848e-06,5.258509e-06,5.369600e-06,5.626957e-06,5.649452e-06,5.932086e-06,6.000298e-06,6.217195e-06,6.377828e-06,6.504486e-06,6.758882e-06,6.793676e-06,7.084493e-06,7.142828e-06,7.376676e-06,7.529068e-06,7.669977e-06,7.917040e-06,7.964158e-06,8.258991e-06,8.306210e-06,8.554257e-06,8.696078e-06,8.849751e-06,9.086175e-06,9.145273e-06,9.440635e-06,9.476059e-06,9.735658e-06,9.865317e-06,1.003017e-05,1.025356e-05,1.032402e-05,1.061703e-05,1.064044e-05,1.090908e-05,1.102560e-05,1.120002e-05,1.140874e-05,1.148973e-05,1.177807e-05,1.178957e-05,1.206493e-05,1.216782e-05,1.235021e-05,1.254324e-05,1.263380e-05,1.291560e-05,1.319553e-05,1.328470e-05,1.347350e-05,1.365033e-05,1.374942e-05,1.401232e-05,1.402324e-05,1.429487e-05,1.437052e-05,1.456425e-05,1.472477e-05,1.483132e-05,1.507495e-05,1.509604e-05,1.535834e-05,1.542093e-05,1.561819e-05,1.576261e-05,1.587554e-05,1.609990e-05,1.613035e-05,1.638258e-05,1.643272e-05,1.663221e-05,1.676098e-05,1.687921e-05,1.708464e-05,1.712355e-05,1.736521e-05,1.740363e-05,1.760417e-05,1.771791e-05,1.784042e-05,1.802745e-05,1.807394e-05,1.830472e-05,1.833223e-05,1.853275e-05,1.863221e-05,1.875802e-05,1.892738e-05,1.898053e-05,1.920029e-05,1.921775e-05,1.941727e-05,1.950330e-05,1.963150e-05,1.978404e-05,1.984297e-05,2.005168e-05,2.005998e-05,2.025765e-05,2.033113e-05,2.046088e-05,2.059751e-05,2.066137e-05,2.085915e-05,2.111607e-05,2.136830e-05,2.161587e-05,2.185882e-05,2.209719e-05,2.233101e-05,2.256035e-05,2.278522e-05,2.300570e-05,2.322182e-05,2.343363e-05,2.364120e-05,2.384456e-05,2.404378e-05,2.423892e-05,2.443002e-05,2.461714e-05,2.480035e-05,2.497969e-05,2.515523e-05,2.532703e-05,2.549514e-05,2.565963e-05,2.582055e-05
0.000000e+00,1.680284e-12,5.119661e-12,2.683732e-11,8.061343e-11,1.335119e-10,3.978293e-10,4.138305e-10,9.920380e-10,1.227841e-09,2.024920e-09,2.941088e-09,3.704134e-09,6.015784e-09,6.258318e-09,9.949543e-09,1.103563e-08,1.505659e-08,1.863558e-08,2.184565e-08,2.939304e-08,3.054401e-08,4.133005e-08,4.375019e-08,5.433659e-08,6.201027e-08,6.965826e-08,8.436447e-08,8.735803e-08,1.074719e-07,1.109153e-07,1.300121e-07,1.416912e-07,1.549692e-07,1.766563e-07,1.823144e-07,2.120012e-07,2.157181e-07,2.439673e-07,2.587353e-07,2.781368e-07,3.055257e-07,3.144220e-07,3.527259e-07,3.558743e-07,3.929437e-07,4.095422e-07,4.349652e-07,4.662738e-07,4.786767e-07,5.239620e-07,5.258045e-07,5.707047e-07,5.878666e-07,6.187892e-07,6.521948e-07,6.681014e-07,7.185299e-07,7.699666e-07,7.866222e-07,8.223076e-07,8.562342e-07,8.754531e-07,9.271414e-07,9.293081e-07,9.837822e-07,9.991342e-07,1.038790e-06,1.072017e-06,1.094251e-06,1.145611e-06,1.150090e-06,1.206236e-06,1.219750e-06,1.262623e-06,1.294282e-06,1.319189e-06,1.369070e-06,1.375877e-06,1.432633e-06,1.443988e-06,1.489409e-06,1.518924e-06,1.546158e-06,1.593776e-06,1.602838e-06,1.659411e-06,1.668451e-06,1.715841e-06,1.742867e-06,1.772096e-06,1.816952e-06,1.828144e-06,1.883959e-06,1.890640e-06,1.939516e-06,1.963873e-06,1.994791e-06,2.036600e-06,2.049765e-06,2.104417e-06,2.108774e-06,2.158731e-06,2.180358e-06,2.212691e-06,2.251316e-06,2.266284e-06,2.319497e-06,2.321618e-06,2.372319e-06,2.391238e-06,2.424741e-06,2.460154e-06,2.476753e-06,2.528347e-06,2.579518e-06,2.595802e-06,2.630260e-06,2.662506e-06,2.680567e-06,2.728449e-06,2.730435e-06,2.779861e-06,2.793621e-06,2.828843e-06,2.858018e-06,2.877378e-06,2.921634e-06,2.925464e-06,2.973102e-06,2.984468e-06,3.020289e-06,3.046517e-06,3.067026e-06,3.107783e-06,3.113314e-06,3.159153e-06,3.168266e-06,3.204543e-06,3.227970e-06,3.249487e-06,3.286897e-06,3.293987e-06,3.338043e-06,3.345051e-06,3.381658e-06,3.402438e-06,3.424835e-06,3.459063e-06,3.467576e-06,3.509884e-06,3.514932e-06,3.551762e-06,3.570053e-06,3.593213e-06,3.624432e-06,3.634240e-06,3.674847e-06,3.678078e-06,3.715037e-06,3.730997e-06,3.754813e-06,3.783199e-06,3.794180e-06,3.833141e-06,3.834691e-06,3.871700e-06,3.885483e-06,3.909860e-06,3.935584e-06,3.947627e-06,3.985002e-06,4.033748e-06,4.081829e-06,4.129256e-06,4.176038e-06,4.222184e-06,4.267704e-06,4.312607e-06,4.356904e-06,4.400602e-06,4.443712e-06,4.486243e-06,4.528204e-06,4.569604e-06,4.610453e-06,4.650759e-06,4.690532e-06,4.729779e-06,4.768511e-06,4.806735e-06,4.844460e-06,4.881695e-06,4.918448e-06,4.954726e-06,4.990539e-06
0.000000e+00,8.646610e-12,2.739483e-11,1.505138e-10,4.653731e-10,7.817117e-10,2.415797e-09,2.516872e-09,6.287129e-09,7.879206e-09,1.344379e-08,2.012422e-08,2.587483e-08,4.406388e-08,4.602445e-08,7.664244e-08,8.584370e-08,1.202946e-07,1.512129e-07,1.790069e-07,2.443007e-07,2.542376e-07,3.470081e-07,3.677339e-07,4.580300e-07,5.231426e-07,5.877874e-07,7.114886e-07,7.365831e-07,9.045656e-07,9.332259e-07,1.091747e-06,1.188385e-06,1.298016e-06,1.476630e-06,1.523152e-06,1.766837e-06,1.797308e-06,2.028669e-06,2.149504e-06,2.308174e-06,2.532090e-06,2.604818e-06,2.918020e-06,2.943773e-06,3.247163e-06,3.383140e-06,3.591601e-06,3.848695e-06,3.950671e-06,4.323695e-06,4.338896e-06,4.709992e-06,4.852177e-06,5.108879e-06,5.386965e-06,5.519675e-06,5.941705e-06,6.374306e-06,6.514864e-06,6.816825e-06,7.104946e-06,7.268622e-06,7.710497e-06,7.729073e-06,8.197569e-06,8.330109e-06,8.673518e-06,8.962425e-06,9.156345e-06,9.606141e-06,9.645492e-06,1.014042e-05,1.026000e-05,1.064060e-05,1.092282e-05,1.114554e-05,1.159343e-05,1.165475e-05,1.216775e-05,1.227077e-05,1.268410e-05,1.295378e-05,1.320336e-05,1.364148e-05,1.372511e-05,1.424895e-05,1.433293e-05,1.477449e-05,1.502724e-05,1.530136e-05,1.572359e-05,1.582922e-05,1.635771e-05,1.642116e-05,1.688651e-05,1.711921e-05,1.741532e-05,1.781703e-05,1.794383e-05,1.847175e-05,1.851395e-05,1.899883e-05,1.920936e-05,1.952479e-05,1.990266e-05,2.004940e-05,2.057242e-05,2.059330e-05,2.109362e-05,2.128077e-05,2.161280e-05,2.196458e-05,2.212975e-05,2.264428e-05,2.315622e-05,2.331946e-05,2.366538e-05,2.398972e-05,2.417162e-05,2.465471e-05,2.467477e-05,2.517470e-05,2.531408e-05,2.567126e-05,2.596753e-05,2.616434e-05,2.661479e-05,2.665381e-05,2.713956e-05,2.725557e-05,2.762148e-05,2.788966e-05,2.809949e-05,2.851682e-05,2.857348e-05,2.904338e-05,2.913686e-05,2.950911e-05,2.974961e-05,2.997059e-05,3.035490e-05,3.042776e-05,3.088055e-05,3.095259e-05,3.132892e-05,3.154255e-05,3.177282e-05,3.212468e-05,3.221219e-05,3.264700e-05,3.269886e-05,3.307720e-05,3.326503e-05,3.350278e-05,3.382311e-05,3.392370e-05,3.433994e-05,3.437303e-05,3.475147e-05,3.491476e-05,3.515829e-05,3.544827e-05,3.556037e-05,3.595771e-05,3.597351e-05,3.635031e-05,3.649048e-05,3.673815e-05,3.699917e-05,3.712125e-05,3.749959e-05,3.799174e-05,3.847564e-05,3.895131e-05,3.941879e-05,3.987811e-05,4.032931e-05,4.077245e-05,4.120757e-05,4.163474e-05,4.205402e-05,4.246546e-05,4.286914e-05,4.326514e-05,4.365353e-05,4.403438e-05,4.440779e-05,4.477382e-05,4.513257e-05,4.548412e-05,4.582857e-05,4.616600e-05,4.649651e-05,4.682018e-05,4.713712e-05
0.000000e+00,2.848368e-12,1.207089e-11,9.024245e-11,3.209608e-10,5.668180e-10,1.898711e-09,1.982527e-09,5.133453e-09,6.464298e-09,1.108200e-08,1.654758e-08,2.119169e-08,3.561909e-08,3.715744e-08,6.098638e-08,6.811776e-08,9.486626e-08,1.190306e-07,1.409193e-07,1.929737e-07,2.009700e-07,2.764543e-07,2.935036e-07,3.684492e-07,4.230818e-07,4.777390e-07,5.833159e-07,6.048732e-07,7.502055e-07,7.751619e-07,9.139195e-07,9.990465e-07,1.096048e-06,1.254945e-06,1.296489e-06,1.515020e-06,1.542445e-06,1.751311e-06,1.860801e-06,2.004942e-06,2.208994e-06,2.275414e-06,2.562162e-06,2.585787e-06,2.864570e-06,2.989772e-06,3.181982e-06,3.419422e-06,3.513708e-06,3.859040e-06,3.873126e-06,4.217255e-06,4.349225e-06,4.587624e-06,4.846044e-06,4.969417e-06,5.361908e-06,5.764380e-06,5.895163e-06,6.176126e-06,6.444190e-06,6.596453e-06,7.007411e-06,7.024683e-06,7.460158e-06,7.583301e-06,7.902236e-06,8.170393e-06,8.350295e-06,8.767276e-06,8.803735e-06,9.261973e-06,9.372602e-06,9.724450e-06,9.985087e-06,1.019063e-05,1.060351e-05,1.065998e-05,1.113202e-05,1.122671e-05,1.160626e-05,1.185358e-05,1.208225e-05,1.248310e-05,1.255954e-05,1.303772e-05,1.311428e-05,1.351639e-05,1.374621e-05,1.399516e-05,1.437800e-05,1.447367e-05,1.495157e-05,1.500887e-05,1.542854e-05,1.563803e-05,1.590426e-05,1.626479e-05,1.637843e-05,1.685078e-05,1.688848e-05,1.732102e-05,1.750848e-05,1.778892e-05,1.812422e-05,1.825423e-05,1.871673e-05,1.873517e-05,1.917621e-05,1.934084e-05,1.963246e-05,1.994077e-05,2.008530e-05,2.053455e-05,2.098005e-05,2.112179e-05,2.142165e-05,2.170215e-05,2.185920e-05,2.227531e-05,2.229257e-05,2.272163e-05,2.284098e-05,2.314627e-05,2.339890e-05,2.356639e-05,2.394883e-05,2.398189e-05,2.439268e-05,2.449056e-05,2.479868e-05,2.502392e-05,2.519981e-05,2.554873e-05,2.559601e-05,2.598721e-05,2.606485e-05,2.637338e-05,2.657217e-05,2.675444e-05,2.707058e-05,2.713038e-05,2.750114e-05,2.755998e-05,2.786671e-05,2.804033e-05,2.822705e-05,2.851155e-05,2.858215e-05,2.893199e-05,2.897361e-05,2.927655e-05,2.942649e-05,2.961584e-05,2.987017e-05,2.994985e-05,3.027858e-05,3.030465e-05,3.060204e-05,3.072995e-05,3.092023e-05,3.114607e-05,3.123316e-05,3.154086e-05,3.155306e-05,3.184333e-05,3.195094e-05,3.214060e-05,3.233978e-05,3.243268e-05,3.271961e-05,3.309051e-05,3.345255e-05,3.380579e-05,3.415032e-05,3.448622e-05,3.481358e-05,3.513250e-05,3.544308e-05,3.574541e-05,3.603960e-05,3.632576e-05,3.660399e-05,3.687441e-05,3.713713e-05,3.739226e-05,3.763993e-05,3.788025e-05,3.811333e-05,3.833930e-05,3.855828e-05,3.877038e-05,3.897573e-05,3.917445e-05,3.936666e-05
0.000000e+00,1.523046e-12,4.654776e-12,2.452966e-11,7.401415e-11,1.228875e-10,3.686332e-10,3.835689e-10,9.261709e-10,1.148696e-09,1.904645e-09,2.778946e-09,3.510458e-09,5.739902e-09,5.974731e-09,9.563910e-09,1.062427e-08,1.456188e-08,1.807845e-08,2.123930e-08,2.868834e-08,2.982590e-08,4.049995e-08,4.289748e-08,5.339204e-08,6.100416e-08,6.859351e-08,8.319163e-08,8.616367e-08,1.061351e-07,1.095543e-07,1.285173e-07,1.401146e-07,1.532995e-07,1.748346e-07,1.804532e-07,2.099342e-07,2.136257e-07,2.416849e-07,2.563568e-07,2.756365e-07,3.028640e-07,3.117110e-07,3.498232e-07,3.529575e-07,3.898823e-07,4.064300e-07,4.317938e-07,4.630629e-07,4.754610e-07,5.207858e-07,5.226318e-07,5.676701e-07,5.849115e-07,6.160168e-07,6.496789e-07,6.657301e-07,7.167165e-07,7.688848e-07,7.858138e-07,8.221470e-07,8.567694e-07,8.764179e-07,9.293912e-07,9.316159e-07,9.876624e-07,1.003497e-06,1.044483e-06,1.078916e-06,1.102005e-06,1.155487e-06,1.160161e-06,1.218886e-06,1.233058e-06,1.278119e-06,1.311489e-06,1.337800e-06,1.390648e-06,1.397876e-06,1.458293e-06,1.470413e-06,1.519002e-06,1.550670e-06,1.579956e-06,1.631314e-06,1.641111e-06,1.702425e-06,1.712248e-06,1.763860e-06,1.793381e-06,1.825379e-06,1.874630e-06,1.886946e-06,1.948529e-06,1.955918e-06,2.010097e-06,2.037175e-06,2.071622e-06,2.118335e-06,2.133076e-06,2.194435e-06,2.199339e-06,2.255674e-06,2.280131e-06,2.316771e-06,2.360662e-06,2.377706e-06,2.438459e-06,2.440885e-06,2.499012e-06,2.520758e-06,2.559348e-06,2.600244e-06,2.619451e-06,2.679308e-06,2.738904e-06,2.757917e-06,2.798226e-06,2.836044e-06,2.857264e-06,2.913662e-06,2.916006e-06,2.974443e-06,2.990749e-06,3.032564e-06,3.067283e-06,3.090363e-06,3.143245e-06,3.147830e-06,3.204960e-06,3.218620e-06,3.261746e-06,3.293393e-06,3.318181e-06,3.367550e-06,3.374261e-06,3.429980e-06,3.441081e-06,3.485336e-06,3.513975e-06,3.540323e-06,3.586225e-06,3.594938e-06,3.649179e-06,3.657823e-06,3.703043e-06,3.728764e-06,3.756528e-06,3.799042e-06,3.809632e-06,3.862354e-06,3.868655e-06,3.914692e-06,3.937598e-06,3.966645e-06,4.005872e-06,4.018213e-06,4.069396e-06,4.073474e-06,4.120193e-06,4.140403e-06,4.170604e-06,4.206662e-06,4.220630e-06,4.270272e-06,4.272249e-06,4.319529e-06,4.337168e-06,4.368403e-06,4.401419e-06,4.416895e-06,4.465006e-06,4.527932e-06,4.590199e-06,4.651813e-06,4.712776e-06,4.773093e-06,4.832769e-06,4.891809e-06,4.950218e-06,5.008002e-06,5.065165e-06,5.121714e-06,5.177654e-06,5.232992e-06,5.287733e-06,5.341884e-06,5.395450e-06,5.448439e-06,5.500857e-06,5.552709e-06,5.604003e-06,5.654745e-06,5.704941e-06,5.754598e-06,5.803723e-06
0.000000e+00,1.521112e-17,1.699260e-16,5.976376e-15,6.156076e-14,1.773131e-13,1.691493e-12,1.833176e-12,1.066717e-11,1.627255e-11,4.325971e-11,8.855667e-11,1.370426e-10,3.376467e-10,3.630332e-10,8.401948e-10,1.010736e-09,1.749874e-09,2.540306e-09,3.348027e-09,5.590082e-09,5.972315e-09,1.004154e-08,1.107087e-08,1.604662e-08,2.011414e-08,2.453425e-08,3.400715e-08,3.608572e-08,5.129369e-08,5.410547e-08,7.073948e-08,8.174178e-08,9.497259e-08,1.181443e-07,1.244934e-07,1.597398e-07,1.643722e-07,2.010768e-07,2.212713e-07,2.487908e-07,2.894470e-07,3.030860e-07,3.640843e-07,3.692555e-07,4.318275e-07,4.608081e-07,5.062812e-07,5.639867e-07,5.873407e-07,6.748381e-07,6.784690e-07,7.685504e-07,8.037574e-07,8.682071e-07,9.392131e-07,9.734998e-07,1.084090e-06,1.199616e-06,1.237566e-06,1.319703e-06,1.398776e-06,1.443969e-06,1.566838e-06,1.572028e-06,1.703498e-06,1.740870e-06,1.838007e-06,1.920018e-06,1.975190e-06,2.103461e-06,2.114700e-06,2.256204e-06,2.290426e-06,2.399386e-06,2.480190e-06,2.543949e-06,2.672087e-06,2.689617e-06,2.836130e-06,2.865512e-06,2.983248e-06,3.059914e-06,3.130749e-06,3.254798e-06,3.278431e-06,3.426105e-06,3.449720e-06,3.573601e-06,3.644289e-06,3.720763e-06,3.838157e-06,3.867450e-06,4.013534e-06,4.031018e-06,4.158900e-06,4.222606e-06,4.303443e-06,4.412687e-06,4.447069e-06,4.589694e-06,4.601058e-06,4.731244e-06,4.787547e-06,4.871651e-06,4.972003e-06,5.010857e-06,5.148809e-06,5.154300e-06,5.285461e-06,5.334329e-06,5.420772e-06,5.512000e-06,5.554708e-06,5.687239e-06,5.818337e-06,5.859983e-06,5.947982e-06,6.030183e-06,6.076155e-06,6.197801e-06,6.202840e-06,6.328026e-06,6.362808e-06,6.451703e-06,6.525182e-06,6.573865e-06,6.684911e-06,6.694506e-06,6.813624e-06,6.841986e-06,6.931219e-06,6.996407e-06,7.047291e-06,7.148177e-06,7.161843e-06,7.274879e-06,7.297304e-06,7.386404e-06,7.443802e-06,7.496424e-06,7.587684e-06,7.604948e-06,7.711982e-06,7.728970e-06,7.817538e-06,7.867681e-06,7.921623e-06,8.003841e-06,8.024251e-06,8.125431e-06,8.137475e-06,8.225175e-06,8.268611e-06,8.323497e-06,8.397278e-06,8.420409e-06,8.515924e-06,8.523505e-06,8.610056e-06,8.647325e-06,8.702819e-06,8.768769e-06,8.794228e-06,8.884296e-06,8.887871e-06,8.973038e-06,9.004664e-06,9.060470e-06,9.119183e-06,9.146607e-06,9.231463e-06,9.341539e-06,9.449447e-06,9.555221e-06,9.658898e-06,9.760514e-06,9.860103e-06,9.957702e-06,1.005335e-05,1.014707e-05,1.023891e-05,1.032890e-05,1.041707e-05,1.050346e-05,1.058811e-05,1.067104e-05,1.075229e-05,1.083189e-05,1.090987e-05,1.098627e-05,1.106112e-05,1.113445e-05,1.120628e-05,1.127665e-05,1.134560e-05
0.000000e+00,5.209394e-17,5.568632e-16,1.791343e-14,1.703236e-13,4.696790e-13,4.009772e-12,4.326257e-12,2.259929e-11,3.349141e-11,8.284923e-11,1.601233e-10,2.387588e-10,5.419277e-10,5.786557e-10,1.231653e-09,1.453257e-09,2.370968e-09,3.300852e-09,4.214561e-09,6.625748e-09,7.023356e-09,1.109715e-08,1.209246e-08,1.676805e-08,2.046542e-08,2.439136e-08,3.257235e-08,3.433431e-08,4.696386e-08,4.925787e-08,6.263469e-08,7.133557e-08,8.167889e-08,9.954667e-08,1.043976e-07,1.310553e-07,1.345300e-07,1.618756e-07,1.768035e-07,1.970395e-07,2.267554e-07,2.366847e-07,2.809060e-07,2.846433e-07,3.297573e-07,3.505987e-07,3.832532e-07,4.246356e-07,4.413725e-07,5.040609e-07,5.066624e-07,5.712350e-07,5.964955e-07,6.427856e-07,6.938738e-07,7.185816e-07,7.984735e-07,8.822967e-07,9.099219e-07,9.698750e-07,1.027811e-06,1.061023e-06,1.151707e-06,1.155551e-06,1.253261e-06,1.281164e-06,1.353959e-06,1.415729e-06,1.457446e-06,1.554950e-06,1.563528e-06,1.672011e-06,1.698383e-06,1.782706e-06,1.845593e-06,1.895429e-06,1.996160e-06,2.010000e-06,2.126245e-06,2.149679e-06,2.243995e-06,2.305767e-06,2.363091e-06,2.464056e-06,2.483375e-06,2.604700e-06,2.624199e-06,2.726922e-06,2.785868e-06,2.849907e-06,2.948756e-06,2.973524e-06,3.097650e-06,3.112574e-06,3.222169e-06,3.277053e-06,3.346969e-06,3.441940e-06,3.471944e-06,3.596996e-06,3.607001e-06,3.722030e-06,3.772019e-06,3.846958e-06,3.936792e-06,3.971695e-06,4.096163e-06,4.101135e-06,4.220287e-06,4.264874e-06,4.343998e-06,4.427851e-06,4.467230e-06,4.589922e-06,4.712017e-06,4.750953e-06,4.833462e-06,4.910821e-06,4.954205e-06,5.069417e-06,5.074202e-06,5.193408e-06,5.226639e-06,5.311784e-06,5.382396e-06,5.429293e-06,5.536605e-06,5.545900e-06,5.661573e-06,5.689192e-06,5.776284e-06,5.840092e-06,5.890006e-06,5.989245e-06,6.002716e-06,6.114390e-06,6.136598e-06,6.225009e-06,6.282107e-06,6.334554e-06,6.425732e-06,6.443011e-06,6.550364e-06,6.567437e-06,6.656601e-06,6.707195e-06,6.761711e-06,6.844980e-06,6.865683e-06,6.968511e-06,6.980773e-06,7.070187e-06,7.114558e-06,7.170706e-06,7.246323e-06,7.270063e-06,7.368255e-06,7.376060e-06,7.465280e-06,7.503763e-06,7.561137e-06,7.629431e-06,7.655826e-06,7.749348e-06,7.753064e-06,7.841703e-06,7.874666e-06,7.932894e-06,7.994241e-06,8.022925e-06,8.111799e-06,8.227348e-06,8.340901e-06,8.452471e-06,8.562072e-06,8.669720e-06,8.775434e-06,8.879231e-06,8.981132e-06,9.081156e-06,9.179325e-06,9.275661e-06,9.370187e-06,9.462925e-06,9.553900e-06,9.643135e-06,9.730655e-06,9.816485e-06,9.900650e-06,9.983174e-06,1.006408e-05,1.014340e-05,1.022116e-05,1.029738e-05,1.037208e-05
0.000000e+00,7.610285e-18,8.442890e-17,2.927910e-15,2.978263e-14,8.519436e-14,7.984089e-13,8.646581e-13,4.942471e-12,7.502625e-12,1.969573e-11,3.989814e-11,6.131044e-11,1.486069e-10,1.595508e-10,3.626171e-10,4.343068e-10,7.415129e-10,1.065600e-09,1.393508e-09,2.292409e-09,2.444457e-09,4.049821e-09,4.453179e-09,6.394309e-09,7.974952e-09,9.690045e-09,1.336585e-08,1.417333e-08,2.010014e-08,2.120030e-08,2.774067e-08,3.209844e-08,3.737336e-08,4.670250e-08,4.927880e-08,6.373374e-08,6.565249e-08,8.100560e-08,8.956344e-08,1.013474e-07,1.190054e-07,1.249935e-07,1.521561e-07,1.544868e-07,1.830221e-07,1.964421e-07,2.177510e-07,2.452223e-07,2.564736e-07,2.992908e-07,3.010898e-07,3.462738e-07,3.642163e-07,3.974639e-07,4.346840e-07,4.528740e-07,5.124893e-07,5.762693e-07,5.975486e-07,6.441497e-07,6.897062e-07,7.160445e-07,7.887426e-07,7.918484e-07,8.714388e-07,8.943843e-07,9.546788e-07,1.006313e-06,1.041419e-06,1.124175e-06,1.131500e-06,1.224755e-06,1.247589e-06,1.321010e-06,1.376157e-06,1.420088e-06,1.509470e-06,1.521810e-06,1.625995e-06,1.647112e-06,1.732463e-06,1.788670e-06,1.841036e-06,1.933734e-06,1.951537e-06,2.063794e-06,2.081906e-06,2.177638e-06,2.232799e-06,2.292905e-06,2.386037e-06,2.409438e-06,2.527081e-06,2.541266e-06,2.645688e-06,2.698144e-06,2.765117e-06,2.856349e-06,2.885232e-06,3.005904e-06,3.015578e-06,3.127007e-06,3.175544e-06,3.248426e-06,3.335980e-06,3.370048e-06,3.491768e-06,3.496637e-06,3.613484e-06,3.657283e-06,3.735103e-06,3.817702e-06,3.856534e-06,3.977694e-06,4.098504e-06,4.137077e-06,4.218889e-06,4.295680e-06,4.338780e-06,4.453350e-06,4.458111e-06,4.576823e-06,4.609943e-06,4.694857e-06,4.765330e-06,4.812161e-06,4.919395e-06,4.928687e-06,5.044388e-06,5.072029e-06,5.159223e-06,5.223137e-06,5.273152e-06,5.372633e-06,5.386141e-06,5.498155e-06,5.520439e-06,5.609166e-06,5.666485e-06,5.719145e-06,5.810712e-06,5.828067e-06,5.935911e-06,5.953064e-06,6.042655e-06,6.093496e-06,6.148282e-06,6.231968e-06,6.252775e-06,6.356120e-06,6.368443e-06,6.458304e-06,6.502895e-06,6.559318e-06,6.635298e-06,6.659150e-06,6.757795e-06,6.765635e-06,6.855244e-06,6.893889e-06,6.951495e-06,7.020050e-06,7.046542e-06,7.140383e-06,7.144112e-06,7.233018e-06,7.266070e-06,7.324445e-06,7.385925e-06,7.414665e-06,7.503679e-06,7.619337e-06,7.732907e-06,7.844399e-06,7.953824e-06,8.061196e-06,8.166532e-06,8.269847e-06,8.371160e-06,8.470492e-06,8.567862e-06,8.663293e-06,8.756806e-06,8.848426e-06,8.938177e-06,9.026083e-06,9.112170e-06,9.196463e-06,9.278989e-06,9.359773e-06,9.438842e-06,9.516224e-06,9.591944e-06,9.666031e-06,9.738510e-06
0.000000e+00,9.585361e-13,2.903748e-12,1.515385e-11,4.548235e-11,7.533136e-11,2.245751e-10,2.336111e-10,5.599162e-10,6.928045e-10,1.141013e-09,1.654217e-09,2.080087e-09,3.362624e-09,3.496606e-09,5.525930e-09,6.120519e-09,8.317653e-09,1.027326e-08,1.203116e-08,1.618940e-08,1.682723e-08,2.285670e-08,2.422253e-08,3.025019e-08,3.466976e-08,3.911260e-08,4.775048e-08,4.952260e-08,6.153494e-08,6.360815e-08,7.518359e-08,8.232145e-08,9.048444e-08,1.039153e-07,1.074377e-07,1.260296e-07,1.283697e-07,1.462345e-07,1.556266e-07,1.680158e-07,1.855960e-07,1.913277e-07,2.161167e-07,2.181619e-07,2.423227e-07,2.531874e-07,2.698803e-07,2.905199e-07,2.987202e-07,3.287701e-07,3.299962e-07,3.599557e-07,3.714461e-07,3.922019e-07,4.146967e-07,4.254334e-07,4.595751e-07,4.945533e-07,5.059112e-07,5.302958e-07,5.535394e-07,5.667321e-07,6.023006e-07,6.037943e-07,6.414167e-07,6.520428e-07,6.795366e-07,7.026222e-07,7.180938e-07,7.539035e-07,7.570311e-07,7.962943e-07,8.057601e-07,8.358318e-07,8.580745e-07,8.755952e-07,9.107374e-07,9.155387e-07,9.556194e-07,9.636484e-07,9.957970e-07,1.016715e-06,1.036034e-06,1.069853e-06,1.076295e-06,1.116547e-06,1.122984e-06,1.156760e-06,1.176039e-06,1.196905e-06,1.228955e-06,1.236956e-06,1.276890e-06,1.281673e-06,1.316683e-06,1.334142e-06,1.356315e-06,1.386316e-06,1.395767e-06,1.435023e-06,1.438154e-06,1.474065e-06,1.489619e-06,1.512880e-06,1.540678e-06,1.551454e-06,1.589776e-06,1.591304e-06,1.627836e-06,1.641471e-06,1.665622e-06,1.691157e-06,1.703128e-06,1.740345e-06,1.777267e-06,1.789018e-06,1.813887e-06,1.837164e-06,1.850202e-06,1.884772e-06,1.886206e-06,1.921896e-06,1.931832e-06,1.957268e-06,1.978339e-06,1.992321e-06,2.024286e-06,2.027053e-06,2.061462e-06,2.069672e-06,2.095547e-06,2.114493e-06,2.129308e-06,2.158749e-06,2.162744e-06,2.195857e-06,2.202441e-06,2.228646e-06,2.245570e-06,2.261114e-06,2.288138e-06,2.293260e-06,2.325086e-06,2.330149e-06,2.356595e-06,2.371607e-06,2.387788e-06,2.412516e-06,2.418667e-06,2.449235e-06,2.452883e-06,2.479495e-06,2.492712e-06,2.509448e-06,2.532010e-06,2.539098e-06,2.568448e-06,2.570783e-06,2.597500e-06,2.609039e-06,2.626259e-06,2.646784e-06,2.654726e-06,2.682906e-06,2.684027e-06,2.710801e-06,2.720775e-06,2.738416e-06,2.757035e-06,2.765753e-06,2.792816e-06,2.828126e-06,2.862972e-06,2.897363e-06,2.931308e-06,2.964814e-06,2.997889e-06,3.030542e-06,3.062780e-06,3.094612e-06,3.126046e-06,3.157089e-06,3.187749e-06,3.218034e-06,3.247951e-06,3.277508e-06,3.306712e-06,3.335570e-06,3.364089e-06,3.392277e-06,3.420139e-06,3.447683e-06,3.474915e-06,3.501841e-06,3.528468e-06
0.000000e+00,2.471261e-12,7.862529e-12,4.319808e-11,1.327769e-10,2.218655e-10,6.718033e-10,6.991743e-10,1.692160e-09,2.098212e-09,3.471928e-09,5.050363e-09,6.363429e-09,1.033064e-08,1.074598e-08,1.705158e-08,1.890322e-08,2.575536e-08,3.186139e-08,3.735114e-08,5.032483e-08,5.231226e-08,7.105265e-08,7.528507e-08,9.390590e-08,1.075018e-07,1.211244e-07,1.474952e-07,1.528885e-07,1.893171e-07,1.955836e-07,2.304764e-07,2.519207e-07,2.763863e-07,3.165220e-07,3.270261e-07,3.823382e-07,3.892857e-07,4.422331e-07,4.700093e-07,5.065932e-07,5.584066e-07,5.752766e-07,6.481212e-07,6.541233e-07,7.249488e-07,7.567526e-07,8.055682e-07,8.658498e-07,8.897789e-07,9.773741e-07,9.809453e-07,1.068143e-06,1.101556e-06,1.161874e-06,1.227196e-06,1.258357e-06,1.357381e-06,1.458742e-06,1.491639e-06,1.562241e-06,1.629512e-06,1.667683e-06,1.770561e-06,1.774881e-06,1.883653e-06,1.914368e-06,1.993827e-06,2.060535e-06,2.105237e-06,2.208689e-06,2.217724e-06,2.331139e-06,2.358480e-06,2.445338e-06,2.509581e-06,2.560185e-06,2.661686e-06,2.675553e-06,2.791321e-06,2.814513e-06,2.907375e-06,2.967799e-06,3.023606e-06,3.121304e-06,3.139915e-06,3.256205e-06,3.274804e-06,3.372389e-06,3.428094e-06,3.488382e-06,3.580987e-06,3.604107e-06,3.719491e-06,3.733310e-06,3.834465e-06,3.884907e-06,3.948966e-06,4.035635e-06,4.062936e-06,4.176319e-06,4.185363e-06,4.289065e-06,4.333974e-06,4.401126e-06,4.481361e-06,4.512459e-06,4.623023e-06,4.627429e-06,4.732781e-06,4.772091e-06,4.841700e-06,4.915269e-06,4.949748e-06,5.056895e-06,5.163117e-06,5.196909e-06,5.268390e-06,5.335255e-06,5.372691e-06,5.471888e-06,5.476001e-06,5.578304e-06,5.606766e-06,5.679584e-06,5.739854e-06,5.779826e-06,5.871122e-06,5.879019e-06,5.977152e-06,6.000545e-06,6.074216e-06,6.128102e-06,6.170203e-06,6.253776e-06,6.265107e-06,6.358923e-06,6.377556e-06,6.451647e-06,6.499431e-06,6.543275e-06,6.619395e-06,6.633806e-06,6.723239e-06,6.737446e-06,6.811573e-06,6.853583e-06,6.898809e-06,6.967808e-06,6.984949e-06,7.069994e-06,7.080126e-06,7.153948e-06,7.190542e-06,7.236813e-06,7.299066e-06,7.318595e-06,7.399297e-06,7.405706e-06,7.478924e-06,7.510475e-06,7.557482e-06,7.613386e-06,7.634978e-06,7.711416e-06,7.714452e-06,7.786805e-06,7.813689e-06,7.861151e-06,7.911114e-06,7.934461e-06,8.006743e-06,8.100596e-06,8.192690e-06,8.283045e-06,8.371682e-06,8.458621e-06,8.543884e-06,8.627490e-06,8.709463e-06,8.789825e-06,8.868597e-06,8.945801e-06,9.021462e-06,9.095600e-06,9.168239e-06,9.239401e-06,9.309110e-06,9.377387e-06,9.444256e-06,9.509738e-06,9.573857e-06,9.636635e-06,9.698093e-06,9.758255e-06,9.817141e-06
0.000000e+00,1.064017e-11,3.496877e-11,1.989727e-10,6.224424e-10,1.047634e-09,3.220768e-09,3.353868e-09,8.224982e-09,1.023482e-08,1.708819e-08,2.504027e-08,3.170282e-08,5.201858e-08,5.415806e-08,8.683937e-08,9.649082e-08,1.323519e-07,1.644517e-07,1.933991e-07,2.620748e-07,2.726244e-07,3.724352e-07,3.950525e-07,4.948328e-07,5.679152e-07,6.412790e-07,7.835192e-07,8.126248e-07,1.009118e-06,1.042878e-06,1.230479e-06,1.345375e-06,1.476017e-06,1.689199e-06,1.744746e-06,2.035487e-06,2.071795e-06,2.346947e-06,2.490204e-06,2.677767e-06,2.941287e-06,3.026564e-06,3.391954e-06,3.421861e-06,3.772574e-06,3.928786e-06,4.167090e-06,4.459019e-06,4.574210e-06,4.992689e-06,5.009648e-06,5.421331e-06,5.577909e-06,5.858994e-06,6.161200e-06,6.304590e-06,6.757087e-06,7.215505e-06,7.363297e-06,7.678920e-06,7.977724e-06,8.146461e-06,8.598417e-06,8.617304e-06,9.090679e-06,9.223577e-06,9.565860e-06,9.851551e-06,1.004217e-05,1.048082e-05,1.051897e-05,1.099567e-05,1.111000e-05,1.147171e-05,1.173781e-05,1.194658e-05,1.236311e-05,1.241979e-05,1.289091e-05,1.298484e-05,1.335951e-05,1.360207e-05,1.382522e-05,1.421392e-05,1.428768e-05,1.474656e-05,1.481963e-05,1.520157e-05,1.541852e-05,1.565243e-05,1.600996e-05,1.609889e-05,1.654071e-05,1.659340e-05,1.697769e-05,1.716837e-05,1.740963e-05,1.773444e-05,1.783637e-05,1.825776e-05,1.829123e-05,1.867365e-05,1.883843e-05,1.908391e-05,1.937577e-05,1.948845e-05,1.988717e-05,1.990300e-05,2.027999e-05,2.041994e-05,2.066683e-05,2.092644e-05,2.104764e-05,2.142236e-05,2.179097e-05,2.190762e-05,2.215342e-05,2.238215e-05,2.250970e-05,2.284592e-05,2.285980e-05,2.320371e-05,2.329889e-05,2.354143e-05,2.374109e-05,2.387296e-05,2.417253e-05,2.419833e-05,2.451755e-05,2.459325e-05,2.483064e-05,2.500331e-05,2.513764e-05,2.540278e-05,2.543857e-05,2.573348e-05,2.579174e-05,2.602241e-05,2.617030e-05,2.630539e-05,2.653855e-05,2.658249e-05,2.685374e-05,2.689660e-05,2.711921e-05,2.724459e-05,2.737894e-05,2.758264e-05,2.763300e-05,2.788145e-05,2.791089e-05,2.812435e-05,2.822948e-05,2.836175e-05,2.853855e-05,2.859374e-05,2.882036e-05,2.883826e-05,2.904170e-05,2.912876e-05,2.925781e-05,2.941021e-05,2.946876e-05,2.967463e-05,2.968276e-05,2.987549e-05,2.994659e-05,3.007140e-05,3.020184e-05,3.026245e-05,3.044868e-05,3.068729e-05,3.091781e-05,3.114043e-05,3.135529e-05,3.156257e-05,3.176243e-05,3.195502e-05,3.214052e-05,3.231908e-05,3.249085e-05,3.265600e-05,3.281467e-05,3.296703e-05,3.311322e-05,3.325339e-05,3.338768e-05,3.351625e-05,3.363923e-05,3.375677e-05,3.386900e-05,3.397605e-05,3.407806e-05,3.417517e-05,3.426749e-05
0.000000e+00,1.952676e-12,7.808287e-12,5.471373e-11,1.885319e-10,3.288533e-10,1.075461e-09,1.122005e-09,2.851658e-09,3.573786e-09,6.053196e-09,8.948095e-09,1.138176e-08,1.882846e-08,1.961430e-08,3.164593e-08,3.520776e-08,4.847208e-08,6.038125e-08,7.114650e-08,9.676572e-08,1.007094e-07,1.380962e-07,1.465824e-07,1.840587e-07,2.115336e-07,2.391287e-07,2.926664e-07,3.036277e-07,3.777001e-07,3.904421e-07,4.613508e-07,5.048785e-07,5.544766e-07,6.356754e-07,6.568897e-07,7.683365e-07,7.823031e-07,8.885114e-07,9.440656e-07,1.017069e-06,1.120149e-06,1.153633e-06,1.297807e-06,1.309657e-06,1.449178e-06,1.511647e-06,1.607325e-06,1.725149e-06,1.771824e-06,1.942254e-06,1.949188e-06,2.118194e-06,2.182803e-06,2.299236e-06,2.425052e-06,2.484976e-06,2.675026e-06,2.869008e-06,2.931853e-06,3.066558e-06,3.194701e-06,3.267327e-06,3.462782e-06,3.470979e-06,3.677195e-06,3.735352e-06,3.885667e-06,4.011712e-06,4.096105e-06,4.291205e-06,4.308231e-06,4.521782e-06,4.573219e-06,4.736509e-06,4.857180e-06,4.952174e-06,5.142558e-06,5.168554e-06,5.385438e-06,5.428858e-06,5.602627e-06,5.715622e-06,5.819931e-06,6.002426e-06,6.037174e-06,6.254189e-06,6.288879e-06,6.470819e-06,6.574622e-06,6.686918e-06,6.859322e-06,6.902348e-06,7.116980e-06,7.142676e-06,7.330692e-06,7.424405e-06,7.543373e-06,7.704256e-06,7.754917e-06,7.965227e-06,7.981996e-06,8.174211e-06,8.257414e-06,8.381785e-06,8.530321e-06,8.587871e-06,8.792396e-06,8.800543e-06,8.995294e-06,9.067927e-06,9.196503e-06,9.332332e-06,9.395968e-06,9.593636e-06,9.789460e-06,9.851728e-06,9.983399e-06,1.010651e-05,1.017541e-05,1.035790e-05,1.036547e-05,1.055353e-05,1.060583e-05,1.073958e-05,1.085022e-05,1.092358e-05,1.109104e-05,1.110552e-05,1.128537e-05,1.132823e-05,1.146313e-05,1.156175e-05,1.163878e-05,1.179159e-05,1.181230e-05,1.198369e-05,1.201771e-05,1.215295e-05,1.224012e-05,1.232006e-05,1.245879e-05,1.248504e-05,1.264787e-05,1.267372e-05,1.280855e-05,1.288492e-05,1.296710e-05,1.309240e-05,1.312351e-05,1.327779e-05,1.329616e-05,1.342994e-05,1.349622e-05,1.357999e-05,1.369261e-05,1.372792e-05,1.387376e-05,1.388534e-05,1.401752e-05,1.407444e-05,1.415920e-05,1.425994e-05,1.429883e-05,1.443641e-05,1.444187e-05,1.457196e-05,1.462026e-05,1.470549e-05,1.479515e-05,1.483703e-05,1.496658e-05,1.513458e-05,1.529919e-05,1.546047e-05,1.561843e-05,1.577315e-05,1.592464e-05,1.607297e-05,1.621818e-05,1.636031e-05,1.649941e-05,1.663553e-05,1.676872e-05,1.689901e-05,1.702647e-05,1.715113e-05,1.727304e-05,1.739226e-05,1.750883e-05,1.762279e-05,1.773419e-05,1.784308e-05,1.794950e-05,1.805351e-05,1.815514e-05
0.000000e+00,6.359181e-12,2.212898e-11,1.339129e-10,4.316230e-10,7.348847e-10,2.307768e-09,2.404789e-09,5.981337e-09,7.466779e-09,1.255849e-08,1.850373e-08,2.350754e-08,3.884852e-08,4.046888e-08,6.525388e-08,7.256977e-08,9.967399e-08,1.237948e-07,1.454219e-07,1.962847e-07,2.040480e-07,2.769739e-07,2.933919e-07,3.655033e-07,4.181032e-07,4.708204e-07,5.730372e-07,5.939817e-07,7.359056e-07,7.604082e-07,8.973619e-07,9.819851e-07,1.078964e-06,1.239061e-06,1.281166e-06,1.504261e-06,1.532444e-06,1.748385e-06,1.862463e-06,2.013525e-06,2.228999e-06,2.299530e-06,2.606116e-06,2.631521e-06,2.932888e-06,3.069140e-06,3.279345e-06,3.540655e-06,3.644898e-06,4.028883e-06,4.044616e-06,4.430574e-06,4.579369e-06,4.849194e-06,5.143110e-06,5.283926e-06,5.733924e-06,6.198316e-06,6.349817e-06,6.676220e-06,6.988760e-06,7.166750e-06,7.648716e-06,7.669021e-06,8.182156e-06,8.327663e-06,8.705289e-06,9.023612e-06,9.237567e-06,9.734622e-06,9.778156e-06,1.032624e-05,1.045881e-05,1.088103e-05,1.119436e-05,1.144176e-05,1.193952e-05,1.200768e-05,1.257807e-05,1.269263e-05,1.315224e-05,1.345208e-05,1.372952e-05,1.421637e-05,1.430927e-05,1.489088e-05,1.498407e-05,1.547375e-05,1.575380e-05,1.605731e-05,1.652431e-05,1.664104e-05,1.722441e-05,1.729437e-05,1.780694e-05,1.806286e-05,1.838816e-05,1.882873e-05,1.896762e-05,1.954490e-05,1.959098e-05,2.011962e-05,2.034870e-05,2.069138e-05,2.110102e-05,2.125984e-05,2.182465e-05,2.184716e-05,2.238550e-05,2.258637e-05,2.294209e-05,2.331799e-05,2.349414e-05,2.404138e-05,2.458358e-05,2.475598e-05,2.512050e-05,2.546126e-05,2.565193e-05,2.615675e-05,2.617767e-05,2.669753e-05,2.684202e-05,2.721136e-05,2.751668e-05,2.771898e-05,2.818039e-05,2.822025e-05,2.871505e-05,2.883282e-05,2.920325e-05,2.947373e-05,2.968475e-05,3.010285e-05,3.015945e-05,3.062727e-05,3.072000e-05,3.108811e-05,3.132498e-05,3.154193e-05,3.191765e-05,3.198865e-05,3.242823e-05,3.249790e-05,3.286063e-05,3.306563e-05,3.328582e-05,3.362075e-05,3.370376e-05,3.411444e-05,3.416324e-05,3.451785e-05,3.469305e-05,3.491398e-05,3.521017e-05,3.530283e-05,3.568441e-05,3.571463e-05,3.605873e-05,3.620643e-05,3.642580e-05,3.668562e-05,3.678565e-05,3.713831e-05,3.715226e-05,3.748379e-05,3.760642e-05,3.782215e-05,3.804818e-05,3.815341e-05,3.847762e-05,3.889487e-05,3.930002e-05,3.969320e-05,4.007454e-05,4.044419e-05,4.080227e-05,4.114896e-05,4.148439e-05,4.180873e-05,4.212216e-05,4.242483e-05,4.271692e-05,4.299860e-05,4.327005e-05,4.353146e-05,4.378300e-05,4.402485e-05,4.425720e-05,4.448023e-05,4.469414e-05,4.489909e-05,4.509528e-05,4.528288e-05,4.546209e-05
0.000000e+00,6.705984e-13,2.096473e-12,1.132567e-11,3.458824e-11,5.768671e-11,1.743105e-10,1.814073e-10,4.391027e-10,5.445957e-10,9.018650e-10,1.312908e-09,1.655148e-09,2.690121e-09,2.798518e-09,4.444011e-09,4.926883e-09,6.711289e-09,8.297259e-09,9.719545e-09,1.306807e-08,1.357963e-08,1.838982e-08,1.947357e-08,2.423495e-08,2.770778e-08,3.118689e-08,3.792580e-08,3.930522e-08,4.863771e-08,5.024617e-08,5.922071e-08,6.475258e-08,7.107958e-08,8.149568e-08,8.422926e-08,9.867489e-08,1.004954e-07,1.144126e-07,1.217438e-07,1.314306e-07,1.452090e-07,1.497097e-07,1.692249e-07,1.708386e-07,1.899457e-07,1.985639e-07,2.118375e-07,2.283034e-07,2.348622e-07,2.589792e-07,2.599660e-07,2.841459e-07,2.934545e-07,3.103184e-07,3.286673e-07,3.374518e-07,3.655012e-07,3.944215e-07,4.038527e-07,4.241681e-07,4.436191e-07,4.546968e-07,4.847001e-07,4.859644e-07,5.179286e-07,5.269978e-07,5.505481e-07,5.704177e-07,5.837829e-07,6.148689e-07,6.175941e-07,6.519442e-07,6.602644e-07,6.867969e-07,7.065209e-07,7.221173e-07,7.535594e-07,7.578718e-07,7.940279e-07,8.013046e-07,8.305547e-07,8.496851e-07,8.674223e-07,8.986335e-07,9.046022e-07,9.420669e-07,9.480860e-07,9.797904e-07,9.979822e-07,1.017748e-06,1.048265e-06,1.055914e-06,1.094268e-06,1.098882e-06,1.132786e-06,1.149781e-06,1.171448e-06,1.200916e-06,1.210235e-06,1.249126e-06,1.252241e-06,1.288104e-06,1.303716e-06,1.327152e-06,1.355299e-06,1.366252e-06,1.405390e-06,1.406956e-06,1.444550e-06,1.458650e-06,1.483718e-06,1.510350e-06,1.522881e-06,1.562025e-06,1.601139e-06,1.613647e-06,1.640210e-06,1.665188e-06,1.679228e-06,1.716625e-06,1.718182e-06,1.757062e-06,1.767934e-06,1.795859e-06,1.819093e-06,1.834564e-06,1.870083e-06,1.873167e-06,1.911662e-06,1.920884e-06,1.950040e-06,1.971479e-06,1.988295e-06,2.021851e-06,2.026419e-06,2.064406e-06,2.071986e-06,2.102249e-06,2.121870e-06,2.139944e-06,2.171489e-06,2.177485e-06,2.214866e-06,2.220832e-06,2.252083e-06,2.269887e-06,2.289131e-06,2.318645e-06,2.326006e-06,2.362704e-06,2.367096e-06,2.399221e-06,2.415231e-06,2.435554e-06,2.463042e-06,2.471700e-06,2.507655e-06,2.510523e-06,2.543417e-06,2.557666e-06,2.578982e-06,2.604467e-06,2.614349e-06,2.649515e-06,2.650918e-06,2.684479e-06,2.697016e-06,2.719238e-06,2.742756e-06,2.753790e-06,2.788134e-06,2.833147e-06,2.877792e-06,2.922066e-06,2.965967e-06,3.009493e-06,3.052643e-06,3.095415e-06,3.137808e-06,3.179822e-06,3.221457e-06,3.262711e-06,3.303586e-06,3.344081e-06,3.384197e-06,3.423935e-06,3.463295e-06,3.502278e-06,3.540887e-06,3.579121e-06,3.616982e-06,3.654472e-06,3.691593e-06,3.728346e-06,3.764733e-06
0.000000e+00,1.041708e-12,4.200045e-12,2.975280e-11,1.033116e-10,1.809616e-10,5.992122e-10,6.255090e-10,1.616719e-09,2.037428e-09,3.506904e-09,5.262815e-09,6.765240e-09,1.146228e-08,1.196395e-08,1.970741e-08,2.200837e-08,3.055829e-08,3.818085e-08,4.501686e-08,6.108215e-08,6.353205e-08,8.651405e-08,9.168023e-08,1.143403e-07,1.308405e-07,1.473566e-07,1.793306e-07,1.858751e-07,2.301711e-07,2.378110e-07,2.804807e-07,3.068239e-07,3.369977e-07,3.867830e-07,3.998722e-07,4.692102e-07,4.779685e-07,5.450737e-07,5.805276e-07,6.274826e-07,6.944796e-07,7.164162e-07,8.118164e-07,8.197252e-07,9.135909e-07,9.560590e-07,1.021617e-06,1.103185e-06,1.135747e-06,1.255806e-06,1.260729e-06,1.381605e-06,1.428258e-06,1.512936e-06,1.605289e-06,1.649579e-06,1.791305e-06,1.937876e-06,1.985763e-06,2.089052e-06,2.188109e-06,2.244589e-06,2.397780e-06,2.404242e-06,2.567768e-06,2.614216e-06,2.734925e-06,2.836863e-06,2.905475e-06,3.065176e-06,3.079183e-06,3.255821e-06,3.298625e-06,3.435165e-06,3.536698e-06,3.616996e-06,3.778898e-06,3.801104e-06,3.987283e-06,4.024750e-06,4.175335e-06,4.273798e-06,4.365068e-06,4.525608e-06,4.556299e-06,4.748849e-06,4.779768e-06,4.942548e-06,5.035883e-06,5.137231e-06,5.293582e-06,5.332743e-06,5.528931e-06,5.552512e-06,5.725653e-06,5.812343e-06,5.922769e-06,6.072761e-06,6.120149e-06,6.317667e-06,6.333470e-06,6.515202e-06,6.594196e-06,6.712641e-06,6.854677e-06,6.909876e-06,7.106801e-06,7.114671e-06,7.303321e-06,7.373950e-06,7.499340e-06,7.632302e-06,7.694771e-06,7.889530e-06,8.083537e-06,8.145449e-06,8.276718e-06,8.399887e-06,8.469001e-06,8.652687e-06,8.660320e-06,8.850611e-06,8.903700e-06,9.039815e-06,9.152793e-06,9.227876e-06,9.399838e-06,9.414742e-06,9.600363e-06,9.644722e-06,9.784694e-06,9.887339e-06,9.967691e-06,1.012759e-05,1.014931e-05,1.032953e-05,1.036540e-05,1.050829e-05,1.060067e-05,1.068558e-05,1.083334e-05,1.086136e-05,1.103560e-05,1.106334e-05,1.120829e-05,1.129061e-05,1.137939e-05,1.151511e-05,1.154888e-05,1.171675e-05,1.173679e-05,1.188298e-05,1.195560e-05,1.204756e-05,1.217151e-05,1.221046e-05,1.237168e-05,1.238450e-05,1.253121e-05,1.259454e-05,1.268903e-05,1.280161e-05,1.284515e-05,1.299955e-05,1.300569e-05,1.315223e-05,1.320677e-05,1.330318e-05,1.340484e-05,1.345241e-05,1.359990e-05,1.379195e-05,1.398098e-05,1.416701e-05,1.435003e-05,1.453006e-05,1.470710e-05,1.488118e-05,1.505231e-05,1.522050e-05,1.538578e-05,1.554816e-05,1.570766e-05,1.586432e-05,1.601815e-05,1.616918e-05,1.631743e-05,1.646294e-05,1.660574e-05,1.674584e-05,1.688329e-05,1.701810e-05,1.715032e-05,1.727997e-05,1.740709e-05
0.000000e+00,2.522247e-12,7.684868e-12,4.047427e-11,1.223798e-10,2.035141e-10,6.133908e-10,6.383719e-10,1.549081e-09,1.923840e-09,3.200524e-09,4.682149e-09,5.925020e-09,9.727633e-09,1.012933e-08,1.629440e-08,1.812463e-08,2.495569e-08,3.110165e-08,3.666176e-08,4.989542e-08,5.193206e-08,7.123530e-08,7.561738e-08,9.498751e-08,1.092211e-07,1.235575e-07,1.515200e-07,1.572725e-07,1.964209e-07,2.032062e-07,2.412545e-07,2.648586e-07,2.919883e-07,3.369449e-07,3.488011e-07,4.118350e-07,4.198226e-07,4.811967e-07,5.137401e-07,5.569576e-07,6.188402e-07,6.391557e-07,7.277971e-07,7.351662e-07,8.228583e-07,8.626698e-07,9.242884e-07,1.001220e-06,1.032012e-06,1.145931e-06,1.150615e-06,1.265928e-06,1.310590e-06,1.391870e-06,1.480830e-06,1.523607e-06,1.660978e-06,1.803813e-06,1.850645e-06,1.951933e-06,2.049417e-06,2.105150e-06,2.256860e-06,2.263277e-06,2.426117e-06,2.472531e-06,2.593476e-06,2.695978e-06,2.765156e-06,2.926750e-06,2.940961e-06,3.120694e-06,3.164392e-06,3.304159e-06,3.408457e-06,3.491163e-06,3.658503e-06,3.681516e-06,3.875030e-06,3.914096e-06,4.071521e-06,4.174811e-06,4.270806e-06,4.440236e-06,4.472709e-06,4.677056e-06,4.709967e-06,4.883679e-06,4.983616e-06,5.092410e-06,5.260806e-06,5.303090e-06,5.515561e-06,5.541171e-06,5.729672e-06,5.824362e-06,5.945273e-06,6.110039e-06,6.162222e-06,6.380378e-06,6.397879e-06,6.599607e-06,6.687569e-06,6.819777e-06,6.978811e-06,7.040761e-06,7.262437e-06,7.271317e-06,7.484687e-06,7.564815e-06,7.707396e-06,7.859043e-06,7.930452e-06,8.153751e-06,8.377188e-06,8.448701e-06,8.600665e-06,8.743666e-06,8.824086e-06,9.038432e-06,9.047359e-06,9.270397e-06,9.332793e-06,9.493113e-06,9.626555e-06,9.715428e-06,9.919534e-06,9.937261e-06,1.015854e-05,1.021156e-05,1.037919e-05,1.050245e-05,1.059914e-05,1.079208e-05,1.081834e-05,1.103670e-05,1.108027e-05,1.125418e-05,1.136690e-05,1.147072e-05,1.165184e-05,1.168626e-05,1.190075e-05,1.193496e-05,1.211413e-05,1.221616e-05,1.232637e-05,1.249531e-05,1.253742e-05,1.274723e-05,1.277233e-05,1.295577e-05,1.304711e-05,1.316299e-05,1.331958e-05,1.336886e-05,1.357335e-05,1.358965e-05,1.377642e-05,1.385724e-05,1.397804e-05,1.412229e-05,1.417818e-05,1.437682e-05,1.438474e-05,1.457394e-05,1.464452e-05,1.476950e-05,1.490159e-05,1.496349e-05,1.515589e-05,1.540738e-05,1.565603e-05,1.590179e-05,1.614464e-05,1.638454e-05,1.662149e-05,1.685544e-05,1.708640e-05,1.731434e-05,1.753926e-05,1.776114e-05,1.797998e-05,1.819579e-05,1.840855e-05,1.861827e-05,1.882496e-05,1.902862e-05,1.922926e-05,1.942688e-05,1.962151e-05,1.981316e-05,2.000183e-05,2.018755e-05,2.037033e-05
0.000000e+00,7.188082e-14,5.494319e-13,9.357777e-12,5.335425e-11,1.140197e-10,5.436976e-10,5.741048e-10,1.855912e-09,2.448225e-09,4.627348e-09,7.356064e-09,9.750998e-09,1.744559e-08,1.828152e-08,3.146137e-08,3.546983e-08,5.069678e-08,6.467362e-08,7.749359e-08,1.085313e-07,1.133632e-07,1.597438e-07,1.704002e-07,2.179623e-07,2.533195e-07,2.892250e-07,3.599636e-07,3.746170e-07,4.750991e-07,4.926341e-07,5.915036e-07,6.532434e-07,7.245278e-07,8.432932e-07,8.747300e-07,1.042527e-06,1.063859e-06,1.228194e-06,1.315589e-06,1.431870e-06,1.598717e-06,1.653561e-06,1.893152e-06,1.913087e-06,2.150414e-06,2.258195e-06,2.425015e-06,2.633232e-06,2.716535e-06,3.024478e-06,3.037129e-06,3.348278e-06,3.468611e-06,3.687320e-06,3.926238e-06,4.040942e-06,4.408449e-06,4.789125e-06,4.913603e-06,5.182234e-06,5.440005e-06,5.587032e-06,5.985942e-06,6.002773e-06,6.428711e-06,6.549701e-06,6.864110e-06,7.129586e-06,7.308241e-06,7.723941e-06,7.760392e-06,8.219865e-06,8.331152e-06,8.685982e-06,8.949663e-06,9.158083e-06,9.577976e-06,9.635531e-06,1.011771e-05,1.021466e-05,1.060403e-05,1.085836e-05,1.109391e-05,1.150777e-05,1.158682e-05,1.208222e-05,1.216168e-05,1.257961e-05,1.281893e-05,1.307853e-05,1.347845e-05,1.357850e-05,1.407911e-05,1.413920e-05,1.457993e-05,1.480025e-05,1.508057e-05,1.546071e-05,1.558066e-05,1.607986e-05,1.611974e-05,1.657782e-05,1.677659e-05,1.707424e-05,1.743053e-05,1.756881e-05,1.806127e-05,1.808092e-05,1.855134e-05,1.872714e-05,1.903879e-05,1.936864e-05,1.952338e-05,2.000490e-05,2.048315e-05,2.063546e-05,2.095793e-05,2.125990e-05,2.142908e-05,2.187781e-05,2.189643e-05,2.235984e-05,2.248886e-05,2.281916e-05,2.309273e-05,2.327426e-05,2.368914e-05,2.372504e-05,2.417139e-05,2.427784e-05,2.461320e-05,2.485860e-05,2.505039e-05,2.543123e-05,2.548288e-05,2.591061e-05,2.599557e-05,2.633349e-05,2.655147e-05,2.675149e-05,2.709880e-05,2.716456e-05,2.757264e-05,2.763747e-05,2.797571e-05,2.816740e-05,2.837374e-05,2.868851e-05,2.876670e-05,2.915458e-05,2.920078e-05,2.953736e-05,2.970416e-05,2.991503e-05,3.019865e-05,3.028760e-05,3.065505e-05,3.068423e-05,3.101741e-05,3.116093e-05,3.137468e-05,3.162876e-05,3.172686e-05,3.207398e-05,3.208776e-05,3.241605e-05,3.253797e-05,3.275311e-05,3.297945e-05,3.308516e-05,3.341225e-05,3.383644e-05,3.425210e-05,3.465931e-05,3.505816e-05,3.544874e-05,3.583115e-05,3.620548e-05,3.657185e-05,3.693035e-05,3.728111e-05,3.762424e-05,3.795984e-05,3.828805e-05,3.860896e-05,3.892272e-05,3.922943e-05,3.952922e-05,3.982221e-05,4.010852e-05,4.038828e-05,4.066160e-05,4.092861e-05,4.118943e-05,4.144417e-05
0.000000e+00,9.443684e-14,5.736705e-13,6.777950e-12,3.056626e-11,5.911797e-11,2.326184e-10,2.440929e-10,6.953142e-10,8.925611e-10,1.591042e-09,2.432625e-09,3.154027e-09,5.411062e-09,5.652457e-09,9.398671e-09,1.052147e-08,1.473929e-08,1.856085e-08,2.203448e-08,3.035117e-08,3.163640e-08,4.387747e-08,4.667006e-08,5.906780e-08,6.822888e-08,7.749568e-08,9.567274e-08,9.942768e-08,1.251078e-07,1.295795e-07,1.547559e-07,1.704544e-07,1.885659e-07,2.187231e-07,2.267039e-07,2.693069e-07,2.747247e-07,3.164818e-07,3.387081e-07,3.683054e-07,4.108299e-07,4.248240e-07,4.860547e-07,4.911566e-07,5.519864e-07,5.796678e-07,6.225816e-07,6.762638e-07,6.977782e-07,7.774917e-07,7.807728e-07,8.616179e-07,8.929605e-07,9.500347e-07,1.012540e-06,1.042605e-06,1.139180e-06,1.239598e-06,1.272516e-06,1.343692e-06,1.412160e-06,1.451286e-06,1.557703e-06,1.562201e-06,1.676256e-06,1.708729e-06,1.793267e-06,1.864816e-06,1.913050e-06,2.025541e-06,2.035422e-06,2.160204e-06,2.190490e-06,2.287217e-06,2.359254e-06,2.416288e-06,2.531436e-06,2.547245e-06,2.679925e-06,2.706653e-06,2.814164e-06,2.884534e-06,2.949809e-06,3.064727e-06,3.086709e-06,3.224719e-06,3.246894e-06,3.363699e-06,3.430714e-06,3.503516e-06,3.615885e-06,3.644041e-06,3.785152e-06,3.802120e-06,3.926732e-06,3.989147e-06,4.068669e-06,4.176713e-06,4.210855e-06,4.353189e-06,4.364579e-06,4.495575e-06,4.552523e-06,4.637921e-06,4.740336e-06,4.780139e-06,4.922147e-06,4.927822e-06,5.063868e-06,5.114802e-06,5.205226e-06,5.301106e-06,5.346151e-06,5.486579e-06,5.626446e-06,5.671076e-06,5.765695e-06,5.854463e-06,5.904269e-06,6.036618e-06,6.042117e-06,6.179191e-06,6.217426e-06,6.315444e-06,6.396784e-06,6.450834e-06,6.574597e-06,6.585322e-06,6.718870e-06,6.750778e-06,6.851443e-06,6.925246e-06,6.983009e-06,7.097931e-06,7.113539e-06,7.243004e-06,7.268767e-06,7.371380e-06,7.437696e-06,7.498642e-06,7.604665e-06,7.624769e-06,7.749741e-06,7.769628e-06,7.873540e-06,7.932542e-06,7.996150e-06,8.093372e-06,8.117556e-06,8.237745e-06,8.252086e-06,8.356705e-06,8.408656e-06,8.474426e-06,8.563059e-06,8.590898e-06,8.706113e-06,8.715276e-06,8.820065e-06,8.865290e-06,8.932747e-06,9.013090e-06,9.044156e-06,9.154288e-06,9.158666e-06,9.263139e-06,9.302012e-06,9.370709e-06,9.443123e-06,9.476996e-06,9.582000e-06,9.718642e-06,9.853053e-06,9.985238e-06,1.011521e-05,1.024296e-05,1.036852e-05,1.049189e-05,1.061309e-05,1.073213e-05,1.084903e-05,1.096380e-05,1.107646e-05,1.118703e-05,1.129553e-05,1.140198e-05,1.150640e-05,1.160881e-05,1.170923e-05,1.180769e-05,1.190421e-05,1.199882e-05,1.209152e-05,1.218236e-05,1.227135e-05
0.000000e+00,1.631657e-17,1.914944e-16,7.468634e-15,8.464848e-14,2.570989e-13,2.818857e-12,3.072520e-12,2.059550e-11,3.266831e-11,9.590682e-11,2.130006e-10,3.478173e-10,9.678894e-10,1.051603e-09,2.768539e-09,3.433223e-09,6.534064e-09,1.015480e-08,1.410631e-08,2.609650e-08,2.826592e-08,5.314841e-08,5.989122e-08,9.458522e-08,1.251923e-07,1.604280e-07,2.419541e-07,2.608328e-07,4.084849e-07,4.374820e-07,6.187502e-07,7.471321e-07,9.097438e-07,1.214579e-06,1.302307e-06,1.819899e-06,1.891617e-06,2.488399e-06,2.837499e-06,3.335833e-06,4.117846e-06,4.392020e-06,5.688165e-06,5.803181e-06,7.256399e-06,7.967168e-06,9.129279e-06,1.068463e-05,1.133927e-05,1.391821e-05,1.402948e-05,1.689679e-05,1.807256e-05,2.030403e-05,2.287962e-05,2.416680e-05,2.850939e-05,3.335309e-05,3.501194e-05,3.871585e-05,4.242719e-05,4.461199e-05,5.078387e-05,5.105201e-05,5.804239e-05,6.009874e-05,6.558552e-05,7.037617e-05,7.367968e-05,8.160807e-05,8.231908e-05,9.149391e-05,9.377410e-05,1.011905e-04,1.068423e-04,1.113917e-04,1.207696e-04,1.220766e-04,1.332215e-04,1.355034e-04,1.447996e-04,1.509819e-04,1.567817e-04,1.671359e-04,1.691364e-04,1.818302e-04,1.838903e-04,1.948283e-04,2.011650e-04,2.080947e-04,2.188763e-04,2.215926e-04,2.352844e-04,2.369387e-04,2.491326e-04,2.552657e-04,2.630997e-04,2.737712e-04,2.771483e-04,2.912419e-04,2.923703e-04,3.053447e-04,3.109805e-04,3.194219e-04,3.295227e-04,3.334399e-04,3.473664e-04,3.479212e-04,3.611709e-04,3.661049e-04,3.748241e-04,3.840078e-04,3.882986e-04,4.015687e-04,4.146105e-04,4.187321e-04,4.274021e-04,4.354479e-04,4.399231e-04,4.516717e-04,4.521552e-04,4.640820e-04,4.673647e-04,4.756887e-04,4.824936e-04,4.869623e-04,4.970302e-04,4.978916e-04,5.084672e-04,5.109517e-04,5.186809e-04,5.242400e-04,5.285263e-04,5.368816e-04,5.379984e-04,5.470937e-04,5.488674e-04,5.558099e-04,5.601920e-04,5.641458e-04,5.708542e-04,5.721016e-04,5.796784e-04,5.808556e-04,5.868783e-04,5.902013e-04,5.937045e-04,5.988989e-04,6.001608e-04,6.062519e-04,6.069586e-04,6.119832e-04,6.143925e-04,6.173606e-04,6.212147e-04,6.223906e-04,6.270803e-04,6.274410e-04,6.314372e-04,6.330885e-04,6.354691e-04,6.381753e-04,6.391840e-04,6.425905e-04,6.427205e-04,6.456973e-04,6.467440e-04,6.485129e-04,6.502659e-04,6.510465e-04,6.533071e-04,6.558885e-04,6.580311e-04,6.597557e-04,6.610835e-04,6.620348e-04,6.626302e-04,6.628894e-04,6.628321e-04,6.624772e-04,6.618432e-04,6.609481e-04,6.598090e-04,6.584429e-04,6.568658e-04,6.550932e-04,6.531399e-04,6.510201e-04,6.487475e-04,6.463349e-04,6.437947e-04,6.411386e-04,6.383777e-04,6.355227e-04,6.325834e-04
0.000000e+00,9.986189e-14,6.219933e-13,7.621599e-12,3.509781e-11,6.844874e-11,2.734205e-10,2.870436e-10,8.253953e-10,1.061692e-09,1.900948e-09,2.915490e-09,3.787147e-09,6.522788e-09,6.816016e-09,1.138081e-08,1.275410e-08,1.793474e-08,2.265935e-08,2.697897e-08,3.741099e-08,3.903328e-08,5.459177e-08,5.816300e-08,7.408062e-08,8.588343e-08,9.783613e-08,1.212707e-07,1.261048e-07,1.590547e-07,1.647689e-07,1.967896e-07,2.166185e-07,2.393596e-07,2.769016e-07,2.867697e-07,3.389868e-07,3.455730e-07,3.959441e-07,4.224834e-07,4.575462e-07,5.073971e-07,5.236729e-07,5.941832e-07,6.000087e-07,6.689188e-07,6.999580e-07,7.477078e-07,8.068435e-07,8.303675e-07,9.167077e-07,9.202351e-07,1.006533e-06,1.039685e-06,1.099645e-06,1.164737e-06,1.195844e-06,1.294933e-06,1.396715e-06,1.429823e-06,1.500998e-06,1.568964e-06,1.607592e-06,1.711927e-06,1.716315e-06,1.826988e-06,1.858303e-06,1.939440e-06,2.007696e-06,2.053505e-06,2.159733e-06,2.169024e-06,2.285844e-06,2.314058e-06,2.403818e-06,2.470336e-06,2.522808e-06,2.628254e-06,2.642681e-06,2.763308e-06,2.787514e-06,2.884571e-06,2.947840e-06,3.006353e-06,3.108973e-06,3.128548e-06,3.251050e-06,3.270673e-06,3.373764e-06,3.432714e-06,3.496596e-06,3.594889e-06,3.619460e-06,3.742273e-06,3.757004e-06,3.864958e-06,3.918880e-06,3.987441e-06,4.080351e-06,4.109654e-06,4.231531e-06,4.241265e-06,4.353013e-06,4.401481e-06,4.474041e-06,4.560870e-06,4.594562e-06,4.714527e-06,4.719313e-06,4.833887e-06,4.876701e-06,4.952601e-06,5.032935e-06,5.070625e-06,5.187924e-06,5.304460e-06,5.341585e-06,5.420202e-06,5.493845e-06,5.535118e-06,5.644635e-06,5.649181e-06,5.762365e-06,5.793895e-06,5.874645e-06,5.941570e-06,5.986000e-06,6.087612e-06,6.096410e-06,6.205856e-06,6.231977e-06,6.314321e-06,6.374628e-06,6.421791e-06,6.515530e-06,6.528252e-06,6.633692e-06,6.654656e-06,6.738099e-06,6.791980e-06,6.841465e-06,6.927481e-06,6.943781e-06,7.045039e-06,7.061142e-06,7.145235e-06,7.192949e-06,7.244362e-06,7.322891e-06,7.342416e-06,7.439395e-06,7.450960e-06,7.535295e-06,7.577150e-06,7.630116e-06,7.701458e-06,7.723857e-06,7.816517e-06,7.823883e-06,7.908098e-06,7.944428e-06,7.998599e-06,8.063094e-06,8.088024e-06,8.176375e-06,8.179887e-06,8.263654e-06,8.294813e-06,8.349866e-06,8.407881e-06,8.435013e-06,8.519101e-06,8.628482e-06,8.736038e-06,8.841780e-06,8.945724e-06,9.047884e-06,9.148275e-06,9.246915e-06,9.343819e-06,9.439007e-06,9.532495e-06,9.624303e-06,9.714449e-06,9.802954e-06,9.889836e-06,9.975116e-06,1.005881e-05,1.014095e-05,1.022155e-05,1.030062e-05,1.037820e-05,1.045430e-05,1.052894e-05,1.060214e-05,1.067393e-05
0.000000e+00,3.163116e-13,2.282326e-12,3.526935e-11,1.881728e-10,3.905803e-10,1.759593e-09,1.854582e-09,5.782954e-09,7.573551e-09,1.411284e-08,2.226095e-08,2.940470e-08,5.238870e-08,5.489007e-08,9.441558e-08,1.064541e-07,1.521624e-07,1.940057e-07,2.322466e-07,3.242199e-07,3.384618e-07,4.742241e-07,5.051978e-07,6.426000e-07,7.439681e-07,8.463340e-07,1.046579e-06,1.087852e-06,1.369250e-06,1.418097e-06,1.692280e-06,1.862546e-06,2.058337e-06,2.382865e-06,2.468449e-06,2.923284e-06,2.980888e-06,3.423154e-06,3.657370e-06,3.968037e-06,4.412057e-06,4.557597e-06,5.191216e-06,5.243784e-06,5.868018e-06,6.150591e-06,6.586907e-06,7.129850e-06,7.346594e-06,8.145634e-06,8.178393e-06,8.982449e-06,9.292629e-06,9.855360e-06,1.046866e-05,1.076261e-05,1.170239e-05,1.267284e-05,1.298956e-05,1.367211e-05,1.432589e-05,1.469831e-05,1.570709e-05,1.574960e-05,1.682414e-05,1.712892e-05,1.792009e-05,1.858721e-05,1.903570e-05,2.007793e-05,2.016923e-05,2.131898e-05,2.159716e-05,2.248333e-05,2.314114e-05,2.366067e-05,2.470627e-05,2.484948e-05,2.604829e-05,2.628913e-05,2.725567e-05,2.788644e-05,2.847026e-05,2.949513e-05,2.969075e-05,3.091590e-05,3.111227e-05,3.214450e-05,3.273512e-05,3.337541e-05,3.436108e-05,3.460756e-05,3.583989e-05,3.598774e-05,3.707144e-05,3.761283e-05,3.830126e-05,3.923423e-05,3.952848e-05,4.075225e-05,4.084998e-05,4.197178e-05,4.245824e-05,4.318633e-05,4.405732e-05,4.439519e-05,4.559770e-05,4.564565e-05,4.679322e-05,4.722179e-05,4.798119e-05,4.878440e-05,4.916104e-05,5.033228e-05,5.149441e-05,5.186429e-05,5.264699e-05,5.337944e-05,5.378962e-05,5.487681e-05,5.492190e-05,5.604348e-05,5.635556e-05,5.715404e-05,5.781496e-05,5.825327e-05,5.925433e-05,5.934091e-05,6.041670e-05,6.067310e-05,6.148041e-05,6.207074e-05,6.253184e-05,6.344680e-05,6.357081e-05,6.459716e-05,6.480090e-05,6.561074e-05,6.613271e-05,6.661143e-05,6.744196e-05,6.759911e-05,6.857371e-05,6.872842e-05,6.953513e-05,6.999192e-05,7.048333e-05,7.123234e-05,7.141826e-05,7.233988e-05,7.244958e-05,7.324818e-05,7.364360e-05,7.414314e-05,7.481440e-05,7.502478e-05,7.589311e-05,7.596200e-05,7.674814e-05,7.708645e-05,7.758993e-05,7.818783e-05,7.841851e-05,7.923393e-05,7.926627e-05,8.003625e-05,8.032189e-05,8.082555e-05,8.135487e-05,8.160189e-05,8.236536e-05,8.335359e-05,8.431976e-05,8.526411e-05,8.618688e-05,8.708834e-05,8.796875e-05,8.882840e-05,8.966759e-05,9.048660e-05,9.128575e-05,9.206535e-05,9.282571e-05,9.356717e-05,9.429004e-05,9.499465e-05,9.568134e-05,9.635043e-05,9.700227e-05,9.763718e-05,9.825550e-05,9.885757e-05,9.944370e-05,1.000142e-04,1.005695e-04
0.000000e+00,8.946151e-13,4.531030e-12,4.185181e-11,1.651658e-10,3.032807e-10,1.087101e-09,1.137413e-09,3.060275e-09,3.881949e-09,6.748356e-09,1.015104e-08,1.304195e-08,2.199956e-08,2.295230e-08,3.766249e-08,4.205246e-08,5.850066e-08,7.336881e-08,8.686756e-08,1.191521e-07,1.241380e-07,1.715872e-07,1.824018e-07,2.303637e-07,2.657487e-07,3.014915e-07,3.714511e-07,3.858780e-07,4.843202e-07,5.014229e-07,5.975061e-07,6.572464e-07,7.260144e-07,8.401715e-07,8.703132e-07,1.030760e-06,1.051111e-06,1.207600e-06,1.290643e-06,1.400973e-06,1.559018e-06,1.610912e-06,1.837351e-06,1.856175e-06,2.080133e-06,2.181769e-06,2.339014e-06,2.535201e-06,2.613676e-06,2.903734e-06,2.915650e-06,3.208739e-06,3.322106e-06,3.528197e-06,3.753410e-06,3.861568e-06,4.208280e-06,4.567732e-06,4.685347e-06,4.939306e-06,5.183181e-06,5.322366e-06,5.700313e-06,5.716269e-06,6.120369e-06,6.235255e-06,6.534017e-06,6.786521e-06,6.956570e-06,7.352636e-06,7.387391e-06,7.825851e-06,7.932149e-06,8.271333e-06,8.523645e-06,8.723234e-06,9.125748e-06,9.180964e-06,9.643948e-06,9.737126e-06,1.011163e-05,1.035650e-05,1.058347e-05,1.098264e-05,1.105894e-05,1.153754e-05,1.161437e-05,1.201878e-05,1.225057e-05,1.250219e-05,1.289018e-05,1.298732e-05,1.347373e-05,1.353217e-05,1.396102e-05,1.417560e-05,1.444878e-05,1.481956e-05,1.493663e-05,1.542421e-05,1.546319e-05,1.591116e-05,1.610569e-05,1.639716e-05,1.674631e-05,1.688189e-05,1.736505e-05,1.738434e-05,1.784634e-05,1.801910e-05,1.832551e-05,1.865000e-05,1.880229e-05,1.927644e-05,1.974772e-05,1.989789e-05,2.021592e-05,2.051386e-05,2.068083e-05,2.112387e-05,2.114226e-05,2.160002e-05,2.172751e-05,2.205394e-05,2.232438e-05,2.250386e-05,2.291412e-05,2.294962e-05,2.339110e-05,2.349640e-05,2.382815e-05,2.407092e-05,2.426065e-05,2.463740e-05,2.468849e-05,2.511157e-05,2.519560e-05,2.552978e-05,2.574530e-05,2.594304e-05,2.628630e-05,2.635127e-05,2.675439e-05,2.681841e-05,2.715233e-05,2.734149e-05,2.754504e-05,2.785539e-05,2.793245e-05,2.831452e-05,2.836001e-05,2.869121e-05,2.885524e-05,2.906248e-05,2.934100e-05,2.942830e-05,2.978864e-05,2.981723e-05,3.014348e-05,3.028387e-05,3.049280e-05,3.074089e-05,3.083659e-05,3.117484e-05,3.118826e-05,3.150755e-05,3.162597e-05,3.183472e-05,3.205402e-05,3.215634e-05,3.247243e-05,3.288120e-05,3.328038e-05,3.367001e-05,3.405012e-05,3.442078e-05,3.478205e-05,3.513400e-05,3.547670e-05,3.581024e-05,3.613469e-05,3.645016e-05,3.675673e-05,3.705450e-05,3.734359e-05,3.762409e-05,3.789611e-05,3.815977e-05,3.841518e-05,3.866245e-05,3.890171e-05,3.913307e-05,3.935666e-05,3.957260e-05,3.978101e-05
0.000000e+00,2.708803e-17,3.088765e-16,1.135014e-14,1.217401e-13,3.586057e-13,3.628117e-12,3.941532e-12,2.434600e-11,3.775575e-11,1.046643e-10,2.217673e-10,3.510894e-10,9.110265e-10,9.839170e-10,2.407335e-09,2.934625e-09,5.297567e-09,7.929730e-09,1.070447e-08,1.874332e-08,2.015430e-08,3.573531e-08,3.981392e-08,6.014817e-08,7.741084e-08,9.671038e-08,1.396430e-07,1.493126e-07,2.223337e-07,2.362254e-07,3.205255e-07,3.780586e-07,4.488802e-07,5.767043e-07,6.124915e-07,8.164195e-07,8.438353e-07,1.065566e-06,1.190721e-06,1.364562e-06,1.627782e-06,1.717679e-06,2.128746e-06,2.164239e-06,2.601098e-06,2.807842e-06,3.137525e-06,3.564702e-06,3.740255e-06,4.410933e-06,4.439191e-06,5.150624e-06,5.433920e-06,5.959824e-06,6.549777e-06,6.838478e-06,7.786010e-06,8.801358e-06,9.140357e-06,9.883010e-06,1.060920e-05,1.102905e-05,1.218772e-05,1.223721e-05,1.350490e-05,1.387014e-05,1.482927e-05,1.564982e-05,1.620724e-05,1.751953e-05,1.763557e-05,1.911088e-05,1.947156e-05,2.062969e-05,2.149791e-05,2.218846e-05,2.359040e-05,2.378362e-05,2.541162e-05,2.574085e-05,2.706892e-05,2.794114e-05,2.875204e-05,3.018330e-05,3.045755e-05,3.218215e-05,3.245964e-05,3.392259e-05,3.476272e-05,3.567577e-05,3.708546e-05,3.743868e-05,3.920845e-05,3.942115e-05,4.098234e-05,4.176347e-05,4.275773e-05,4.410650e-05,4.453215e-05,4.630326e-05,4.644473e-05,4.806884e-05,4.877306e-05,4.982683e-05,5.108677e-05,5.157527e-05,5.331234e-05,5.338156e-05,5.503635e-05,5.565349e-05,5.674572e-05,5.789898e-05,5.843899e-05,6.011480e-05,6.177192e-05,6.229806e-05,6.340920e-05,6.444616e-05,6.502559e-05,6.655680e-05,6.662015e-05,6.819202e-05,6.862796e-05,6.974041e-05,7.065789e-05,7.126464e-05,7.264505e-05,7.276408e-05,7.423818e-05,7.458814e-05,7.568647e-05,7.648608e-05,7.710853e-05,7.833796e-05,7.850401e-05,7.987260e-05,8.014307e-05,8.121407e-05,8.190085e-05,8.252822e-05,8.361090e-05,8.381492e-05,8.507405e-05,8.527295e-05,8.630556e-05,8.688687e-05,8.750943e-05,8.845264e-05,8.868568e-05,8.983436e-05,8.997035e-05,9.095554e-05,9.144018e-05,9.204935e-05,9.286242e-05,9.311592e-05,9.415542e-05,9.423742e-05,9.516803e-05,9.556559e-05,9.615397e-05,9.684745e-05,9.711345e-05,9.804674e-05,9.808353e-05,9.895409e-05,9.927444e-05,9.983579e-05,1.004208e-04,1.006921e-04,1.015234e-04,1.025829e-04,1.036000e-04,1.045755e-04,1.055103e-04,1.064052e-04,1.072609e-04,1.080784e-04,1.088586e-04,1.096022e-04,1.103102e-04,1.109835e-04,1.116229e-04,1.122293e-04,1.128036e-04,1.133466e-04,1.138593e-04,1.143424e-04,1.147968e-04,1.152234e-04,1.156230e-04,1.159964e-04,1.163444e-04,1.166679e-04,1.169675e-04
0.000000e+00,1.046613e-12,3.434889e-12,1.935079e-11,5.978073e-11,9.985560e-11,3.005898e-10,3.127335e-10,7.500720e-10,9.276126e-10,1.524727e-09,2.206153e-09,2.770311e-09,4.464193e-09,4.640774e-09,7.307718e-09,8.086478e-09,1.095344e-08,1.349032e-08,1.575806e-08,2.107203e-08,2.188070e-08,2.943834e-08,3.112839e-08,3.849042e-08,4.379004e-08,4.903623e-08,5.901305e-08,6.102503e-08,7.437209e-08,7.662688e-08,8.897354e-08,9.639505e-08,1.047175e-07,1.180594e-07,1.214912e-07,1.391849e-07,1.413650e-07,1.576946e-07,1.660721e-07,1.769231e-07,1.919617e-07,1.967802e-07,2.171834e-07,2.188370e-07,2.380574e-07,2.465232e-07,2.593337e-07,2.748670e-07,2.809509e-07,3.028533e-07,3.037346e-07,3.249913e-07,3.330099e-07,3.473203e-07,3.625928e-07,3.698007e-07,3.923970e-07,4.150776e-07,4.223485e-07,4.378144e-07,4.523837e-07,4.605822e-07,4.824478e-07,4.833588e-07,5.061241e-07,5.124939e-07,5.288604e-07,5.424815e-07,5.515516e-07,5.723755e-07,5.741836e-07,5.967434e-07,6.021457e-07,6.192195e-07,6.317658e-07,6.416017e-07,6.612128e-07,6.638805e-07,6.860475e-07,6.904668e-07,7.080951e-07,7.195103e-07,7.300164e-07,7.483281e-07,7.518051e-07,7.734557e-07,7.769066e-07,7.949629e-07,8.052340e-07,8.163221e-07,8.333000e-07,8.375290e-07,8.585800e-07,8.610954e-07,8.794714e-07,8.886123e-07,9.002002e-07,9.158435e-07,9.207635e-07,9.411588e-07,9.427831e-07,9.613838e-07,9.694256e-07,9.814364e-07,9.957665e-07,1.001315e-06,1.021017e-06,1.021802e-06,1.040542e-06,1.047528e-06,1.059889e-06,1.072942e-06,1.079056e-06,1.098043e-06,1.116847e-06,1.122827e-06,1.135470e-06,1.147293e-06,1.153911e-06,1.171441e-06,1.172168e-06,1.190242e-06,1.195269e-06,1.208132e-06,1.218778e-06,1.225838e-06,1.241966e-06,1.243361e-06,1.260701e-06,1.264835e-06,1.277857e-06,1.287384e-06,1.294829e-06,1.309614e-06,1.311619e-06,1.328226e-06,1.331526e-06,1.344651e-06,1.353120e-06,1.360894e-06,1.374399e-06,1.376957e-06,1.392839e-06,1.395363e-06,1.408541e-06,1.416014e-06,1.424064e-06,1.436354e-06,1.439409e-06,1.454576e-06,1.456384e-06,1.469567e-06,1.476107e-06,1.484382e-06,1.495524e-06,1.499022e-06,1.513488e-06,1.514637e-06,1.527781e-06,1.533450e-06,1.541902e-06,1.551963e-06,1.555852e-06,1.569632e-06,1.570180e-06,1.583243e-06,1.588102e-06,1.596687e-06,1.605734e-06,1.609964e-06,1.623076e-06,1.640132e-06,1.656905e-06,1.673397e-06,1.689611e-06,1.705549e-06,1.721216e-06,1.736613e-06,1.751743e-06,1.766610e-06,1.781217e-06,1.795566e-06,1.809660e-06,1.823502e-06,1.837096e-06,1.850444e-06,1.863549e-06,1.876414e-06,1.889043e-06,1.901438e-06,1.913602e-06,1.925539e-06,1.937250e-06,1.948740e-06,1.960010e-06
0.000000e+00,5.244343e-16,5.136023e-15,1.383990e-13,1.127693e-12,2.866128e-12,2.003969e-11,2.145395e-11,9.352931e-11,1.323564e-10,2.932643e-10,5.216928e-10,7.391673e-10,1.509487e-09,1.598197e-09,3.086224e-09,3.564950e-09,5.461928e-09,7.286460e-09,9.012434e-09,1.334467e-08,1.403483e-08,2.082014e-08,2.241328e-08,2.964285e-08,3.512047e-08,4.075491e-08,5.202443e-08,5.438236e-08,7.072268e-08,7.360049e-08,8.994277e-08,1.002321e-07,1.121772e-07,1.322044e-07,1.375274e-07,1.660613e-07,1.697014e-07,1.978148e-07,2.128085e-07,2.327927e-07,2.615191e-07,2.709719e-07,3.123039e-07,3.157447e-07,3.567186e-07,3.753282e-07,4.041270e-07,4.400568e-07,4.544251e-07,5.074970e-07,5.096758e-07,5.632178e-07,5.839007e-07,6.214564e-07,6.624280e-07,6.820776e-07,7.449443e-07,8.099191e-07,8.311340e-07,8.768658e-07,9.206844e-07,9.456501e-07,1.013290e-06,1.016141e-06,1.088212e-06,1.108658e-06,1.161739e-06,1.206506e-06,1.236605e-06,1.306566e-06,1.312695e-06,1.389902e-06,1.408586e-06,1.468121e-06,1.512330e-06,1.547255e-06,1.617574e-06,1.627209e-06,1.707894e-06,1.724111e-06,1.789227e-06,1.831750e-06,1.871128e-06,1.940309e-06,1.953522e-06,2.036337e-06,2.049623e-06,2.119508e-06,2.159537e-06,2.202970e-06,2.269909e-06,2.286664e-06,2.370535e-06,2.380608e-06,2.454529e-06,2.491513e-06,2.538597e-06,2.602510e-06,2.622693e-06,2.706774e-06,2.713498e-06,2.790797e-06,2.824382e-06,2.874725e-06,2.935075e-06,2.958523e-06,3.042155e-06,3.045496e-06,3.125591e-06,3.155574e-06,3.208801e-06,3.265240e-06,3.291757e-06,3.374435e-06,3.456809e-06,3.483101e-06,3.538858e-06,3.591189e-06,3.620560e-06,3.698651e-06,3.701897e-06,3.782850e-06,3.805445e-06,3.863402e-06,3.911535e-06,3.943538e-06,4.016884e-06,4.023244e-06,4.102506e-06,4.121461e-06,4.181312e-06,4.225240e-06,4.259651e-06,4.328195e-06,4.337513e-06,4.414887e-06,4.430303e-06,4.491766e-06,4.531544e-06,4.568141e-06,4.631902e-06,4.644006e-06,4.719353e-06,4.731360e-06,4.794177e-06,4.829905e-06,4.868473e-06,4.927526e-06,4.942236e-06,5.015462e-06,5.024213e-06,5.088147e-06,5.119957e-06,5.160289e-06,5.214752e-06,5.231885e-06,5.302931e-06,5.308591e-06,5.373428e-06,5.401472e-06,5.443372e-06,5.493390e-06,5.512764e-06,5.581602e-06,5.584344e-06,5.649886e-06,5.674333e-06,5.717616e-06,5.763356e-06,5.784792e-06,5.851415e-06,5.938511e-06,6.024645e-06,6.109822e-06,6.194044e-06,6.277315e-06,6.359641e-06,6.441025e-06,6.521475e-06,6.600994e-06,6.679590e-06,6.757270e-06,6.834039e-06,6.909906e-06,6.984877e-06,7.058960e-06,7.132163e-06,7.204495e-06,7.275962e-06,7.346573e-06,7.416338e-06,7.485263e-06,7.553359e-06,7.620632e-06,7.687093e-06
0.000000e+00,3.170299e-14,2.727633e-13,5.740018e-12,3.829848e-11,8.813707e-11,4.932678e-10,5.238569e-10,1.924012e-09,2.619630e-09,5.344514e-09,9.020990e-09,1.242624e-08,2.413969e-08,2.546484e-08,4.715710e-08,5.394685e-08,8.009298e-08,1.042725e-07,1.264323e-07,1.796782e-07,1.879028e-07,2.659279e-07,2.836300e-07,3.617311e-07,4.189360e-07,4.763840e-07,5.879438e-07,6.108160e-07,7.658045e-07,7.925535e-07,9.419598e-07,1.034166e-06,1.139712e-06,1.313629e-06,1.359299e-06,1.600766e-06,1.631208e-06,1.863968e-06,1.986584e-06,2.148576e-06,2.378893e-06,2.454091e-06,2.779860e-06,2.806774e-06,3.125098e-06,3.268447e-06,3.488908e-06,3.761797e-06,3.870298e-06,4.268206e-06,4.284450e-06,4.681520e-06,4.833864e-06,5.109092e-06,5.407392e-06,5.549759e-06,6.002355e-06,6.465722e-06,6.616088e-06,6.938723e-06,7.245986e-06,7.420250e-06,7.889538e-06,7.909228e-06,8.404623e-06,8.544348e-06,8.905446e-06,9.208151e-06,9.410754e-06,9.878826e-06,9.919650e-06,1.043129e-05,1.055440e-05,1.094487e-05,1.123304e-05,1.145964e-05,1.191307e-05,1.197490e-05,1.249000e-05,1.259295e-05,1.300432e-05,1.327127e-05,1.351729e-05,1.394675e-05,1.402838e-05,1.453711e-05,1.461825e-05,1.504301e-05,1.528472e-05,1.554567e-05,1.594521e-05,1.604471e-05,1.653978e-05,1.659890e-05,1.703054e-05,1.724503e-05,1.751670e-05,1.788294e-05,1.799799e-05,1.847417e-05,1.851204e-05,1.894501e-05,1.913181e-05,1.941031e-05,1.974179e-05,1.986989e-05,2.032358e-05,2.034161e-05,2.077125e-05,2.093090e-05,2.121275e-05,2.150940e-05,2.164798e-05,2.207684e-05,2.249924e-05,2.263303e-05,2.291510e-05,2.317780e-05,2.332437e-05,2.371102e-05,2.372699e-05,2.412293e-05,2.423258e-05,2.451214e-05,2.474243e-05,2.489461e-05,2.524051e-05,2.527032e-05,2.563926e-05,2.572680e-05,2.600143e-05,2.620129e-05,2.635684e-05,2.666402e-05,2.670550e-05,2.704742e-05,2.711500e-05,2.738264e-05,2.755430e-05,2.771116e-05,2.798198e-05,2.803304e-05,2.834829e-05,2.839812e-05,2.865697e-05,2.880281e-05,2.895911e-05,2.919615e-05,2.925476e-05,2.954397e-05,2.957825e-05,2.982679e-05,2.994923e-05,3.010328e-05,3.030921e-05,3.037349e-05,3.063747e-05,3.065832e-05,3.089529e-05,3.099671e-05,3.114702e-05,3.132452e-05,3.139271e-05,3.163243e-05,3.164189e-05,3.186624e-05,3.194898e-05,3.209422e-05,3.224595e-05,3.231643e-05,3.253294e-05,3.281012e-05,3.307765e-05,3.333569e-05,3.358441e-05,3.382398e-05,3.405456e-05,3.427631e-05,3.448941e-05,3.469402e-05,3.489030e-05,3.507842e-05,3.525854e-05,3.543084e-05,3.559546e-05,3.575258e-05,3.590235e-05,3.604492e-05,3.618047e-05,3.630914e-05,3.643108e-05,3.654646e-05,3.665541e-05,3.675809e-05,3.685465e-05
0.000000e+00,4.515537e-12,1.456341e-11,8.154340e-11,2.542750e-10,4.283261e-10,1.328122e-09,1.383741e-09,3.453058e-09,4.323785e-09,7.354250e-09,1.096763e-08,1.405644e-08,2.369184e-08,2.471858e-08,4.050311e-08,4.517165e-08,6.244616e-08,7.776842e-08,9.146087e-08,1.235054e-07,1.283790e-07,1.739777e-07,1.842042e-07,2.289882e-07,2.615425e-07,2.940953e-07,3.570522e-07,3.699313e-07,4.570689e-07,4.720945e-07,5.560145e-07,6.078330e-07,6.672024e-07,7.652107e-07,7.909912e-07,9.276618e-07,9.449384e-07,1.077418e-06,1.147491e-06,1.240386e-06,1.373115e-06,1.416622e-06,1.606112e-06,1.621841e-06,1.808778e-06,1.893505e-06,2.024486e-06,2.187769e-06,2.253050e-06,2.494238e-06,2.504144e-06,2.747777e-06,2.842017e-06,3.013364e-06,3.200674e-06,3.290663e-06,3.579318e-06,3.878952e-06,3.977091e-06,4.189175e-06,4.393089e-06,4.509584e-06,4.826379e-06,4.839769e-06,5.179313e-06,5.276006e-06,5.527798e-06,5.741007e-06,5.884805e-06,6.220418e-06,6.249915e-06,6.622711e-06,6.713281e-06,7.002783e-06,7.218649e-06,7.389723e-06,7.735594e-06,7.783131e-06,8.182612e-06,8.263203e-06,8.587779e-06,8.800586e-06,8.998252e-06,9.346879e-06,9.413662e-06,9.833644e-06,9.901242e-06,1.025785e-05,1.046286e-05,1.068592e-05,1.103095e-05,1.111754e-05,1.155237e-05,1.160475e-05,1.199009e-05,1.218352e-05,1.243040e-05,1.276658e-05,1.287299e-05,1.331759e-05,1.335323e-05,1.376390e-05,1.394284e-05,1.421165e-05,1.453478e-05,1.466059e-05,1.511045e-05,1.512846e-05,1.556099e-05,1.572331e-05,1.601198e-05,1.631878e-05,1.646318e-05,1.691437e-05,1.736534e-05,1.750957e-05,1.781589e-05,1.810392e-05,1.826581e-05,1.869698e-05,1.871492e-05,1.916304e-05,1.928831e-05,1.960999e-05,1.987753e-05,2.005560e-05,2.046424e-05,2.049971e-05,2.094217e-05,2.104809e-05,2.138282e-05,2.162875e-05,2.182153e-05,2.220588e-05,2.225817e-05,2.269259e-05,2.277920e-05,2.312468e-05,2.334841e-05,2.355432e-05,2.391325e-05,2.398141e-05,2.440582e-05,2.447347e-05,2.482746e-05,2.502884e-05,2.524624e-05,2.557913e-05,2.566205e-05,2.607483e-05,2.612415e-05,2.648448e-05,2.666371e-05,2.689092e-05,2.719763e-05,2.729409e-05,2.769391e-05,2.772575e-05,2.809032e-05,2.824792e-05,2.848327e-05,2.876400e-05,2.887268e-05,2.925852e-05,2.927388e-05,2.964073e-05,2.977742e-05,3.001926e-05,3.027454e-05,3.039408e-05,3.076514e-05,3.124913e-05,3.172644e-05,3.219700e-05,3.266076e-05,3.311766e-05,3.356768e-05,3.401077e-05,3.444690e-05,3.487606e-05,3.529823e-05,3.571341e-05,3.612159e-05,3.652278e-05,3.691698e-05,3.730421e-05,3.768448e-05,3.805782e-05,3.842426e-05,3.878382e-05,3.913654e-05,3.948245e-05,3.982160e-05,4.015402e-05,4.047978e-05
0.000000e+00,1.576815e-17,1.717062e-16,5.730363e-15,5.627609e-14,1.579089e-13,1.408291e-12,1.522087e-12,8.287259e-12,1.241653e-11,3.155304e-11,6.228800e-11,9.414340e-11,2.200967e-10,2.355959e-10,5.166284e-10,6.137783e-10,1.022668e-09,1.445092e-09,1.866111e-09,2.997852e-09,3.186781e-09,5.149789e-09,5.635497e-09,7.940332e-09,9.783736e-09,1.175571e-08,1.589902e-08,1.679584e-08,2.325368e-08,2.443065e-08,3.130704e-08,3.578622e-08,4.111221e-08,5.030641e-08,5.279989e-08,6.647290e-08,6.825090e-08,8.220552e-08,8.979325e-08,1.000439e-07,1.150223e-07,1.200074e-07,1.420902e-07,1.439477e-07,1.662636e-07,1.765079e-07,1.924784e-07,2.125799e-07,2.206674e-07,2.507481e-07,2.519894e-07,2.826256e-07,2.945214e-07,3.161948e-07,3.399311e-07,3.513433e-07,3.879535e-07,4.259050e-07,4.383129e-07,4.650763e-07,4.907303e-07,5.053468e-07,5.449307e-07,5.465981e-07,5.887151e-07,6.006478e-07,6.315871e-07,6.576286e-07,6.751086e-07,7.156358e-07,7.191795e-07,7.637058e-07,7.744499e-07,8.085995e-07,8.338698e-07,8.537790e-07,8.937130e-07,8.991685e-07,9.446985e-07,9.538157e-07,9.903052e-07,1.014031e-06,1.035930e-06,1.074230e-06,1.081520e-06,1.127028e-06,1.134298e-06,1.172409e-06,1.194135e-06,1.217625e-06,1.253654e-06,1.262640e-06,1.307422e-06,1.312779e-06,1.351945e-06,1.371446e-06,1.396182e-06,1.429597e-06,1.440111e-06,1.483713e-06,1.487187e-06,1.526971e-06,1.544174e-06,1.569868e-06,1.600525e-06,1.612393e-06,1.654534e-06,1.656211e-06,1.696280e-06,1.711210e-06,1.737623e-06,1.765503e-06,1.778557e-06,1.819075e-06,1.859173e-06,1.871915e-06,1.898846e-06,1.924013e-06,1.938092e-06,1.975364e-06,1.976908e-06,2.015293e-06,2.025964e-06,2.053246e-06,2.075811e-06,2.090767e-06,2.124905e-06,2.127856e-06,2.164514e-06,2.173247e-06,2.200741e-06,2.220841e-06,2.236540e-06,2.267689e-06,2.271912e-06,2.306859e-06,2.313798e-06,2.341384e-06,2.359171e-06,2.375490e-06,2.403816e-06,2.409179e-06,2.442454e-06,2.447740e-06,2.475320e-06,2.490951e-06,2.507779e-06,2.533456e-06,2.539835e-06,2.571492e-06,2.575264e-06,2.602753e-06,2.616384e-06,2.633623e-06,2.656825e-06,2.664106e-06,2.694205e-06,2.696597e-06,2.723925e-06,2.735708e-06,2.753270e-06,2.774169e-06,2.782244e-06,2.810852e-06,2.811989e-06,2.839098e-06,2.849178e-06,2.866986e-06,2.885747e-06,2.894520e-06,2.921706e-06,2.957063e-06,2.991830e-06,3.026017e-06,3.059632e-06,3.092687e-06,3.125192e-06,3.157155e-06,3.188586e-06,3.219496e-06,3.249894e-06,3.279789e-06,3.309190e-06,3.338106e-06,3.366547e-06,3.394522e-06,3.422039e-06,3.449107e-06,3.475735e-06,3.501930e-06,3.527702e-06,3.553058e-06,3.578006e-06,3.602554e-06,3.626710e-06
0.000000e+00,3.681700e-18,4.286584e-17,1.644193e-15,1.835259e-14,5.527659e-14,5.931471e-13,6.459608e-13,4.240115e-12,6.688093e-12,1.936550e-11,4.254492e-11,6.899666e-11,1.892017e-10,2.053205e-10,5.332213e-10,6.593395e-10,1.244915e-09,1.925827e-09,2.667553e-09,4.916575e-09,5.323646e-09,1.000066e-08,1.127078e-08,1.782224e-08,2.362036e-08,3.031107e-08,4.583365e-08,4.943363e-08,7.761897e-08,8.315609e-08,1.177479e-07,1.422047e-07,1.731125e-07,2.308077e-07,2.473486e-07,3.443480e-07,3.577088e-07,4.681548e-07,5.321766e-07,6.228554e-07,7.635665e-07,8.124662e-07,1.040827e-06,1.060879e-06,1.311503e-06,1.432353e-06,1.627699e-06,1.885124e-06,1.992192e-06,2.407274e-06,2.424956e-06,2.874715e-06,3.056065e-06,3.395744e-06,3.781022e-06,3.971039e-06,4.600734e-06,5.284438e-06,5.514498e-06,6.021265e-06,6.520108e-06,6.809866e-06,7.613996e-06,7.648475e-06,8.534950e-06,8.791413e-06,9.466827e-06,1.004662e-05,1.044137e-05,1.137307e-05,1.145560e-05,1.250639e-05,1.276366e-05,1.359046e-05,1.421083e-05,1.470446e-05,1.570682e-05,1.584497e-05,1.700859e-05,1.724378e-05,1.819191e-05,1.881392e-05,1.939161e-05,2.040962e-05,2.060442e-05,2.182718e-05,2.202354e-05,2.305684e-05,2.364866e-05,2.429049e-05,2.527841e-05,2.552535e-05,2.675882e-05,2.690663e-05,2.798843e-05,2.852764e-05,2.921189e-05,3.013627e-05,3.042704e-05,3.163192e-05,3.172781e-05,3.282470e-05,3.329806e-05,3.400374e-05,3.484327e-05,3.516750e-05,3.631464e-05,3.636017e-05,3.744393e-05,3.784590e-05,3.855429e-05,3.929801e-05,3.964474e-05,4.071445e-05,4.176269e-05,4.209349e-05,4.278884e-05,4.343374e-05,4.379239e-05,4.473411e-05,4.477289e-05,4.573001e-05,4.599377e-05,4.666347e-05,4.721212e-05,4.757310e-05,4.838879e-05,4.845876e-05,4.932039e-05,4.952360e-05,5.015798e-05,5.061654e-05,5.097157e-05,5.166774e-05,5.176125e-05,5.252714e-05,5.267748e-05,5.326943e-05,5.364615e-05,5.398830e-05,5.457423e-05,5.468399e-05,5.535675e-05,5.546228e-05,5.600686e-05,5.631096e-05,5.663463e-05,5.712097e-05,5.724038e-05,5.782442e-05,5.789307e-05,5.838713e-05,5.862805e-05,5.892884e-05,5.932674e-05,5.944994e-05,5.995080e-05,5.999001e-05,6.043180e-05,6.061872e-05,6.089332e-05,6.121379e-05,6.133577e-05,6.175953e-05,6.177610e-05,6.216500e-05,6.230657e-05,6.255258e-05,6.280611e-05,6.292265e-05,6.327563e-05,6.371603e-05,6.412822e-05,6.451307e-05,6.487149e-05,6.520432e-05,6.551242e-05,6.579663e-05,6.605779e-05,6.629668e-05,6.651411e-05,6.671085e-05,6.688766e-05,6.704527e-05,6.718441e-05,6.730577e-05,6.741005e-05,6.749790e-05,6.756999e-05,6.762694e-05,6.766935e-05,6.769784e-05,6.771298e-05,6.771533e-05,6.770543e-05
0.000000e+00,7.861786e-13,2.447832e-12,1.317507e-11,4.019310e-11,6.702688e-11,2.026795e-10,2.109429e-10,5.115731e-10,6.349250e-10,1.053704e-09,1.537233e-09,1.941067e-09,3.168334e-09,3.297352e-09,5.265818e-09,5.846719e-09,8.004551e-09,9.935449e-09,1.167606e-08,1.580235e-08,1.643581e-08,2.242584e-08,2.378296e-08,2.977384e-08,3.416998e-08,3.859435e-08,4.721692e-08,4.898995e-08,6.105178e-08,6.314180e-08,7.485964e-08,8.212809e-08,9.048176e-08,1.043240e-07,1.079745e-07,1.273824e-07,1.298417e-07,1.487378e-07,1.587569e-07,1.720614e-07,1.911095e-07,1.973621e-07,2.246381e-07,2.269052e-07,2.538773e-07,2.661182e-07,2.850582e-07,3.086940e-07,3.181504e-07,3.531163e-07,3.545533e-07,3.899111e-07,4.035955e-07,4.284846e-07,4.557026e-07,4.687816e-07,5.107429e-07,5.543060e-07,5.685740e-07,5.994062e-07,6.290463e-07,6.459769e-07,6.920052e-07,6.939502e-07,7.432578e-07,7.572937e-07,7.938310e-07,8.247541e-07,8.456017e-07,8.942299e-07,8.985019e-07,9.524649e-07,9.655668e-07,1.007425e-06,1.038614e-06,1.063317e-06,1.113224e-06,1.120080e-06,1.177650e-06,1.189256e-06,1.235969e-06,1.266572e-06,1.294979e-06,1.345041e-06,1.354624e-06,1.414850e-06,1.424536e-06,1.475604e-06,1.504939e-06,1.536836e-06,1.586133e-06,1.598498e-06,1.660542e-06,1.668011e-06,1.722925e-06,1.750469e-06,1.785602e-06,1.833409e-06,1.848534e-06,1.911679e-06,1.916739e-06,1.975001e-06,2.000371e-06,2.038463e-06,2.084222e-06,2.102030e-06,2.165670e-06,2.168216e-06,2.229350e-06,2.252279e-06,2.293041e-06,2.336342e-06,2.356713e-06,2.420340e-06,2.483895e-06,2.504213e-06,2.547353e-06,2.587904e-06,2.610690e-06,2.671360e-06,2.673885e-06,2.736915e-06,2.754531e-06,2.799760e-06,2.837371e-06,2.862402e-06,2.919836e-06,2.924821e-06,2.987001e-06,3.001886e-06,3.048924e-06,3.083483e-06,3.110576e-06,3.164593e-06,3.171942e-06,3.233007e-06,3.245183e-06,3.293759e-06,3.325222e-06,3.354186e-06,3.404684e-06,3.414275e-06,3.474017e-06,3.483542e-06,3.533400e-06,3.561773e-06,3.592415e-06,3.639356e-06,3.651053e-06,3.709305e-06,3.716269e-06,3.767164e-06,3.792496e-06,3.824623e-06,3.868019e-06,3.881674e-06,3.938311e-06,3.942824e-06,3.994528e-06,4.016896e-06,4.050320e-06,4.090225e-06,4.105682e-06,4.160610e-06,4.162798e-06,4.215098e-06,4.234605e-06,4.269144e-06,4.305640e-06,4.322743e-06,4.375893e-06,4.445359e-06,4.514032e-06,4.581906e-06,4.648980e-06,4.715248e-06,4.780710e-06,4.845364e-06,4.909209e-06,4.972244e-06,5.034470e-06,5.095888e-06,5.156499e-06,5.216306e-06,5.275310e-06,5.333515e-06,5.390923e-06,5.447538e-06,5.503364e-06,5.558405e-06,5.612666e-06,5.666152e-06,5.718867e-06,5.770817e-06,5.822007e-06
0.000000e+00,3.247382e-11,9.983269e-11,5.305374e-10,1.610821e-09,2.683362e-09,8.121908e-09,8.454251e-09,2.062414e-08,2.565847e-08,4.290061e-08,6.304685e-08,8.002245e-08,1.321202e-07,1.376224e-07,2.216149e-07,2.463242e-07,3.374828e-07,4.181045e-07,4.900170e-07,6.579056e-07,6.833929e-07,9.212813e-07,9.744917e-07,1.206904e-06,1.375235e-06,1.543047e-06,1.866179e-06,1.932057e-06,2.375838e-06,2.452029e-06,2.875850e-06,3.136147e-06,3.433123e-06,3.920598e-06,4.048276e-06,4.721543e-06,4.806238e-06,5.452808e-06,5.792838e-06,6.241642e-06,6.879231e-06,7.087336e-06,7.988942e-06,8.063453e-06,8.945306e-06,9.342892e-06,9.955102e-06,1.071442e-05,1.101686e-05,1.212899e-05,1.217450e-05,1.328983e-05,1.371931e-05,1.449761e-05,1.534480e-05,1.575053e-05,1.704676e-05,1.838443e-05,1.882093e-05,1.976165e-05,2.066296e-05,2.117654e-05,2.256853e-05,2.262722e-05,2.411181e-05,2.453333e-05,2.562847e-05,2.655309e-05,2.717535e-05,2.862361e-05,2.875064e-05,3.035256e-05,3.074079e-05,3.197936e-05,3.290059e-05,3.362932e-05,3.509909e-05,3.530074e-05,3.699199e-05,3.733248e-05,3.870146e-05,3.959705e-05,4.042755e-05,4.188921e-05,4.216875e-05,4.392356e-05,4.420550e-05,4.569052e-05,4.654256e-05,4.746822e-05,4.889718e-05,4.925528e-05,5.105037e-05,5.126626e-05,5.285219e-05,5.364680e-05,5.465949e-05,5.603596e-05,5.647106e-05,5.828572e-05,5.843099e-05,6.010233e-05,6.082928e-05,6.191980e-05,6.322831e-05,6.373707e-05,6.555311e-05,6.562572e-05,6.736695e-05,6.801921e-05,6.917763e-05,7.040662e-05,7.098424e-05,7.278591e-05,7.458179e-05,7.515512e-05,7.637108e-05,7.751240e-05,7.815300e-05,7.985601e-05,7.992680e-05,8.169178e-05,8.218431e-05,8.344727e-05,8.449572e-05,8.519260e-05,8.678881e-05,8.692716e-05,8.865037e-05,8.906219e-05,9.036166e-05,9.131458e-05,9.206050e-05,9.354478e-05,9.374638e-05,9.541883e-05,9.575166e-05,9.707738e-05,9.793419e-05,9.872161e-05,1.000914e-04,1.003511e-04,1.019655e-04,1.022224e-04,1.035645e-04,1.043263e-04,1.051476e-04,1.064025e-04,1.067146e-04,1.082652e-04,1.084502e-04,1.097991e-04,1.104687e-04,1.113161e-04,1.124576e-04,1.128160e-04,1.142984e-04,1.144163e-04,1.157633e-04,1.163443e-04,1.172104e-04,1.182412e-04,1.186396e-04,1.200507e-04,1.201067e-04,1.214436e-04,1.219405e-04,1.228182e-04,1.237424e-04,1.241743e-04,1.255120e-04,1.272492e-04,1.289540e-04,1.306261e-04,1.322656e-04,1.338724e-04,1.354465e-04,1.369880e-04,1.384969e-04,1.399733e-04,1.414173e-04,1.428292e-04,1.442090e-04,1.455569e-04,1.468732e-04,1.481581e-04,1.494119e-04,1.506347e-04,1.518270e-04,1.529889e-04,1.541208e-04,1.552231e-04,1.562960e-04,1.573399e-04,1.583551e-04
0.000000e+00,3.551491e-13,1.159676e-12,6.555040e-12,2.043823e-11,3.434845e-11,1.051932e-10,1.095220e-10,2.673633e-10,3.322263e-10,5.525697e-10,8.070296e-10,1.019487e-09,1.664304e-09,1.731990e-09,2.761343e-09,3.063746e-09,4.181181e-09,5.173498e-09,6.062476e-09,8.152450e-09,8.471469e-09,1.146968e-08,1.214513e-08,1.511422e-08,1.728250e-08,1.945783e-08,2.368197e-08,2.454852e-08,3.042919e-08,3.144598e-08,3.713711e-08,4.066018e-08,4.470357e-08,5.139189e-08,5.315355e-08,6.250560e-08,6.368911e-08,7.277185e-08,7.758033e-08,8.395810e-08,9.307504e-08,9.606416e-08,1.090841e-07,1.101649e-07,1.230070e-07,1.288256e-07,1.378170e-07,1.490184e-07,1.534941e-07,1.700149e-07,1.706930e-07,1.873530e-07,1.937892e-07,2.054791e-07,2.182394e-07,2.243625e-07,2.439706e-07,2.642699e-07,2.709060e-07,2.852261e-07,2.989669e-07,3.068047e-07,3.280736e-07,3.289711e-07,3.516910e-07,3.581471e-07,3.749303e-07,3.891095e-07,3.986559e-07,4.208848e-07,4.228351e-07,4.474362e-07,4.533999e-07,4.724286e-07,4.865840e-07,4.977824e-07,5.203700e-07,5.234690e-07,5.494610e-07,5.546937e-07,5.757318e-07,5.894944e-07,6.022562e-07,6.247149e-07,6.290099e-07,6.559698e-07,6.603011e-07,6.831140e-07,6.962024e-07,7.104213e-07,7.323711e-07,7.378718e-07,7.654465e-07,7.687629e-07,7.931274e-07,8.053361e-07,8.208973e-07,8.420519e-07,8.487400e-07,8.766400e-07,8.788741e-07,9.045829e-07,9.157689e-07,9.325547e-07,9.527049e-07,9.605423e-07,9.885334e-07,9.896530e-07,1.016516e-06,1.026586e-06,1.044480e-06,1.063479e-06,1.072414e-06,1.100308e-06,1.128152e-06,1.137051e-06,1.155940e-06,1.173689e-06,1.183660e-06,1.210203e-06,1.211307e-06,1.238873e-06,1.246575e-06,1.266349e-06,1.282790e-06,1.293731e-06,1.318833e-06,1.321012e-06,1.348186e-06,1.354691e-06,1.375247e-06,1.390350e-06,1.402190e-06,1.425799e-06,1.429011e-06,1.455705e-06,1.461028e-06,1.482267e-06,1.496027e-06,1.508695e-06,1.530786e-06,1.534983e-06,1.561128e-06,1.565298e-06,1.587128e-06,1.599555e-06,1.612979e-06,1.633551e-06,1.638678e-06,1.664223e-06,1.667278e-06,1.689611e-06,1.700732e-06,1.714840e-06,1.733907e-06,1.739908e-06,1.764813e-06,1.766798e-06,1.789553e-06,1.799402e-06,1.814126e-06,1.831715e-06,1.838531e-06,1.862767e-06,1.863733e-06,1.886832e-06,1.895453e-06,1.910725e-06,1.926874e-06,1.934445e-06,1.957992e-06,1.988806e-06,2.019315e-06,2.049516e-06,2.079410e-06,2.108995e-06,2.138270e-06,2.167235e-06,2.195891e-06,2.224237e-06,2.252273e-06,2.280000e-06,2.307419e-06,2.334529e-06,2.361332e-06,2.387829e-06,2.414021e-06,2.439909e-06,2.465495e-06,2.490779e-06,2.515763e-06,2.540449e-06,2.564839e-06,2.588933e-06,2.612735e-06
0.000000e+00,4.654144e-15,4.361822e-14,1.078737e-12,8.182079e-12,2.004692e-11,1.286111e-10,1.372422e-10,5.561996e-10,7.731399e-10,1.643404e-09,2.836673e-09,3.947137e-09,7.774308e-09,8.208063e-09,1.536451e-08,1.763412e-08,2.653658e-08,3.500901e-08,4.297178e-08,6.281874e-08,6.596742e-08,9.680653e-08,1.040254e-07,1.367259e-07,1.614672e-07,1.869080e-07,2.378191e-07,2.484812e-07,3.225191e-07,3.355905e-07,4.100357e-07,4.571119e-07,5.119770e-07,6.045021e-07,6.292111e-07,7.625173e-07,7.796275e-07,9.125763e-07,9.840613e-07,1.079962e-06,1.219049e-06,1.265132e-06,1.468430e-06,1.485484e-06,1.690074e-06,1.783894e-06,1.930162e-06,2.114440e-06,2.188675e-06,2.465475e-06,2.476925e-06,2.760319e-06,2.870815e-06,3.072857e-06,3.295268e-06,3.402647e-06,3.749161e-06,4.111795e-06,4.231134e-06,4.489879e-06,4.739628e-06,4.882687e-06,5.272919e-06,5.289448e-06,5.709351e-06,5.829166e-06,6.141561e-06,6.406438e-06,6.585221e-06,7.002754e-06,7.039462e-06,7.503414e-06,7.616110e-06,7.976204e-06,8.244505e-06,8.456970e-06,8.885965e-06,8.944860e-06,9.439039e-06,9.538558e-06,9.938694e-06,1.020041e-05,1.044303e-05,1.086974e-05,1.095129e-05,1.146273e-05,1.154480e-05,1.197664e-05,1.222399e-05,1.249234e-05,1.290575e-05,1.300918e-05,1.352655e-05,1.358864e-05,1.404387e-05,1.427132e-05,1.456057e-05,1.495253e-05,1.507613e-05,1.559007e-05,1.563110e-05,1.610192e-05,1.630597e-05,1.661124e-05,1.697616e-05,1.711763e-05,1.762071e-05,1.764076e-05,1.812013e-05,1.829896e-05,1.861557e-05,1.895003e-05,1.910671e-05,1.959330e-05,2.007506e-05,2.022816e-05,2.055176e-05,2.085410e-05,2.102320e-05,2.147065e-05,2.148918e-05,2.194951e-05,2.207738e-05,2.240406e-05,2.267394e-05,2.285266e-05,2.326002e-05,2.329520e-05,2.373156e-05,2.383536e-05,2.416166e-05,2.439974e-05,2.458540e-05,2.495298e-05,2.500272e-05,2.541355e-05,2.549493e-05,2.581785e-05,2.602549e-05,2.621557e-05,2.654456e-05,2.660670e-05,2.699121e-05,2.705212e-05,2.736909e-05,2.754812e-05,2.774034e-05,2.803256e-05,2.810496e-05,2.846296e-05,2.850548e-05,2.881437e-05,2.896690e-05,2.915920e-05,2.941689e-05,2.949748e-05,2.982926e-05,2.985552e-05,3.015456e-05,3.028288e-05,3.047343e-05,3.069907e-05,3.078593e-05,3.109209e-05,3.110420e-05,3.139197e-05,3.149841e-05,3.168564e-05,3.188181e-05,3.197315e-05,3.225456e-05,3.261680e-05,3.296869e-05,3.331039e-05,3.364206e-05,3.396387e-05,3.427599e-05,3.457860e-05,3.487187e-05,3.515599e-05,3.543112e-05,3.569746e-05,3.595517e-05,3.620444e-05,3.644545e-05,3.667838e-05,3.690339e-05,3.712068e-05,3.733041e-05,3.753276e-05,3.772789e-05,3.791597e-05,3.809718e-05,3.827168e-05,3.843962e-05
0.000000e+00,3.997714e-13,2.330408e-12,2.592930e-11,1.128824e-10,2.151981e-10,8.239469e-10,8.638214e-10,2.416511e-09,3.089762e-09,5.460299e-09,8.299612e-09,1.072436e-08,1.827819e-08,1.908408e-08,3.156490e-08,3.530084e-08,4.933925e-08,6.208586e-08,7.370835e-08,1.017092e-07,1.060595e-07,1.477921e-07,1.573824e-07,2.002151e-07,2.320788e-07,2.644381e-07,3.281194e-07,3.412892e-07,4.312853e-07,4.469233e-07,5.346526e-07,5.890217e-07,6.513758e-07,7.542393e-07,7.812521e-07,9.239391e-07,9.419022e-07,1.078993e-06,1.151002e-06,1.245894e-06,1.380313e-06,1.424072e-06,1.612919e-06,1.628469e-06,1.811804e-06,1.894025e-06,2.020082e-06,2.175494e-06,2.237104e-06,2.462222e-06,2.471386e-06,2.694794e-06,2.780224e-06,2.934194e-06,3.100572e-06,3.179808e-06,3.431042e-06,3.687322e-06,3.770306e-06,3.948096e-06,4.117106e-06,4.212838e-06,4.470252e-06,4.481041e-06,4.752226e-06,4.828629e-06,5.025936e-06,5.191194e-06,5.301741e-06,5.556979e-06,5.579231e-06,5.858022e-06,5.925085e-06,6.137751e-06,6.294681e-06,6.418077e-06,6.665004e-06,6.698681e-06,6.979264e-06,7.035352e-06,7.259545e-06,7.405084e-06,7.539263e-06,7.773613e-06,7.818176e-06,8.096056e-06,8.140407e-06,8.372695e-06,8.504982e-06,8.647896e-06,8.866901e-06,8.921481e-06,9.193282e-06,9.225771e-06,9.463147e-06,9.581238e-06,9.730936e-06,9.932987e-06,9.996519e-06,1.025978e-05,1.028074e-05,1.052061e-05,1.062424e-05,1.077891e-05,1.096328e-05,1.103460e-05,1.128760e-05,1.129766e-05,1.153783e-05,1.162722e-05,1.178523e-05,1.195183e-05,1.202976e-05,1.227135e-05,1.250997e-05,1.258569e-05,1.274557e-05,1.289477e-05,1.297815e-05,1.319853e-05,1.320765e-05,1.343407e-05,1.349692e-05,1.365740e-05,1.378990e-05,1.387761e-05,1.407745e-05,1.409471e-05,1.430868e-05,1.435957e-05,1.451954e-05,1.463626e-05,1.472728e-05,1.490752e-05,1.493191e-05,1.513344e-05,1.517338e-05,1.533189e-05,1.543386e-05,1.552726e-05,1.568901e-05,1.571958e-05,1.590886e-05,1.593886e-05,1.609512e-05,1.618346e-05,1.627839e-05,1.642287e-05,1.645869e-05,1.663605e-05,1.665713e-05,1.681049e-05,1.688632e-05,1.698204e-05,1.711050e-05,1.715073e-05,1.731659e-05,1.732973e-05,1.747965e-05,1.754410e-05,1.763994e-05,1.775366e-05,1.779750e-05,1.795236e-05,1.795850e-05,1.810455e-05,1.815869e-05,1.825410e-05,1.835431e-05,1.840106e-05,1.854545e-05,1.873218e-05,1.891457e-05,1.909273e-05,1.926672e-05,1.943662e-05,1.960252e-05,1.976450e-05,1.992265e-05,2.007703e-05,2.022773e-05,2.037483e-05,2.051841e-05,2.065854e-05,2.079530e-05,2.092877e-05,2.105902e-05,2.118612e-05,2.131015e-05,2.143118e-05,2.154927e-05,2.166450e-05,2.177693e-05,2.188664e-05,2.199368e-05
0.000000e+00,1.799451e-13,7.834817e-13,6.027621e-12,2.168322e-11,3.841145e-11,1.288421e-10,1.345144e-10,3.461254e-10,4.346286e-10,7.383173e-10,1.092035e-09,1.388543e-09,2.291185e-09,2.386068e-09,3.831551e-09,4.257284e-09,5.836287e-09,7.247673e-09,8.520191e-09,1.154240e-08,1.200735e-08,1.641906e-08,1.742239e-08,2.186675e-08,2.514184e-08,2.844763e-08,3.491181e-08,3.624383e-08,4.532324e-08,4.689887e-08,5.574082e-08,6.122965e-08,6.753962e-08,7.799492e-08,8.075151e-08,9.539759e-08,9.725211e-08,1.114886e-07,1.190270e-07,1.290255e-07,1.433154e-07,1.479994e-07,1.683929e-07,1.700850e-07,1.901800e-07,1.992777e-07,2.133271e-07,2.308129e-07,2.377942e-07,2.635349e-07,2.645903e-07,2.904981e-07,3.004935e-07,3.186282e-07,3.383935e-07,3.478666e-07,3.781520e-07,4.094210e-07,4.196244e-07,4.416097e-07,4.626631e-07,4.746532e-07,5.071194e-07,5.084871e-07,5.430473e-07,5.528457e-07,5.782709e-07,5.996979e-07,6.140964e-07,6.475358e-07,6.504637e-07,6.873151e-07,6.962251e-07,7.245945e-07,7.456378e-07,7.622483e-07,7.956526e-07,8.002253e-07,8.384766e-07,8.461557e-07,8.769559e-07,8.970404e-07,9.156190e-07,9.482078e-07,9.544246e-07,9.933335e-07,9.995661e-07,1.032309e-06,1.051031e-06,1.071316e-06,1.102524e-06,1.110324e-06,1.149301e-06,1.153975e-06,1.188220e-06,1.205318e-06,1.227054e-06,1.256496e-06,1.265779e-06,1.304374e-06,1.307455e-06,1.342817e-06,1.358147e-06,1.381089e-06,1.408530e-06,1.419173e-06,1.457053e-06,1.458563e-06,1.494713e-06,1.508214e-06,1.532141e-06,1.557453e-06,1.569324e-06,1.606251e-06,1.642912e-06,1.654586e-06,1.679298e-06,1.702437e-06,1.715401e-06,1.749786e-06,1.751213e-06,1.786728e-06,1.796619e-06,1.821941e-06,1.842922e-06,1.856847e-06,1.888685e-06,1.891441e-06,1.925719e-06,1.933898e-06,1.959678e-06,1.978555e-06,1.993316e-06,2.022651e-06,2.026631e-06,2.059621e-06,2.066180e-06,2.092285e-06,2.109141e-06,2.124621e-06,2.151531e-06,2.156631e-06,2.188312e-06,2.193351e-06,2.219667e-06,2.234601e-06,2.250694e-06,2.275281e-06,2.281395e-06,2.311772e-06,2.315395e-06,2.341824e-06,2.354944e-06,2.371553e-06,2.393933e-06,2.400962e-06,2.430052e-06,2.432365e-06,2.458824e-06,2.470245e-06,2.487282e-06,2.507578e-06,2.515427e-06,2.543261e-06,2.544368e-06,2.570787e-06,2.580621e-06,2.598008e-06,2.616344e-06,2.624925e-06,2.651543e-06,2.686223e-06,2.720392e-06,2.754056e-06,2.787222e-06,2.819897e-06,2.852088e-06,2.883802e-06,2.915046e-06,2.945827e-06,2.976153e-06,3.006031e-06,3.035468e-06,3.064471e-06,3.093047e-06,3.121204e-06,3.148948e-06,3.176286e-06,3.203225e-06,3.229773e-06,3.255935e-06,3.281719e-06,3.307131e-06,3.332179e-06,3.356867e-06
0.000000e+00,3.845131e-12,1.172434e-11,6.183219e-11,1.873052e-10,3.119433e-10,9.457030e-10,9.845214e-10,2.411731e-09,3.004882e-09,5.046043e-09,7.447160e-09,9.482604e-09,1.579689e-08,1.646969e-08,2.687444e-08,2.997973e-08,4.157971e-08,5.198921e-08,6.136230e-08,8.346435e-08,8.683897e-08,1.184821e-07,1.255842e-07,1.566540e-07,1.791787e-07,2.016328e-07,2.448303e-07,2.536277e-07,3.127876e-07,3.229250e-07,3.792061e-07,4.136798e-07,4.529267e-07,5.171603e-07,5.339467e-07,6.222220e-07,6.332991e-07,7.176718e-07,7.619147e-07,8.201837e-07,9.027306e-07,9.296178e-07,1.045812e-06,1.055394e-06,1.168585e-06,1.219493e-06,1.297742e-06,1.394572e-06,1.433076e-06,1.574371e-06,1.580144e-06,1.721406e-06,1.775701e-06,1.873956e-06,1.980723e-06,2.031791e-06,2.194685e-06,2.362409e-06,2.417064e-06,2.534736e-06,2.647338e-06,2.711443e-06,2.884996e-06,2.892308e-06,3.077113e-06,3.129535e-06,3.265645e-06,3.380466e-06,3.457694e-06,3.637309e-06,3.653055e-06,3.851528e-06,3.899603e-06,4.052917e-06,4.166898e-06,4.257033e-06,4.438762e-06,4.463688e-06,4.672704e-06,4.714775e-06,4.883905e-06,4.994537e-06,5.097122e-06,5.277659e-06,5.312188e-06,5.528944e-06,5.563771e-06,5.747235e-06,5.852516e-06,5.966911e-06,6.143552e-06,6.187827e-06,6.409844e-06,6.436553e-06,6.632824e-06,6.731207e-06,6.856638e-06,7.027217e-06,7.081160e-06,7.306267e-06,7.324297e-06,7.531842e-06,7.622177e-06,7.757772e-06,7.920600e-06,7.983949e-06,8.210267e-06,8.219321e-06,8.436626e-06,8.518106e-06,8.662929e-06,8.816736e-06,8.889084e-06,9.115000e-06,9.340594e-06,9.412702e-06,9.565781e-06,9.709652e-06,9.790485e-06,1.000568e-05,1.001463e-05,1.023814e-05,1.030060e-05,1.046096e-05,1.059428e-05,1.068300e-05,1.088656e-05,1.090422e-05,1.112456e-05,1.117730e-05,1.134394e-05,1.146637e-05,1.156233e-05,1.175364e-05,1.177966e-05,1.199590e-05,1.203901e-05,1.221099e-05,1.232237e-05,1.242489e-05,1.260361e-05,1.263756e-05,1.284895e-05,1.288265e-05,1.305904e-05,1.315940e-05,1.326778e-05,1.343378e-05,1.347514e-05,1.368109e-05,1.370571e-05,1.388561e-05,1.397513e-05,1.408866e-05,1.424198e-05,1.429022e-05,1.449026e-05,1.450620e-05,1.468877e-05,1.476773e-05,1.488571e-05,1.502654e-05,1.508108e-05,1.527486e-05,1.528257e-05,1.546702e-05,1.553580e-05,1.565755e-05,1.578618e-05,1.584645e-05,1.603369e-05,1.627831e-05,1.652000e-05,1.675875e-05,1.699455e-05,1.722738e-05,1.745724e-05,1.768411e-05,1.790800e-05,1.812889e-05,1.834680e-05,1.856172e-05,1.877367e-05,1.898263e-05,1.918864e-05,1.939169e-05,1.959179e-05,1.978897e-05,1.998324e-05,2.017461e-05,2.036310e-05,2.054873e-05,2.073152e-05,2.091149e-05,2.108866e-05
0.000000e+00,8.704443e-13,2.962088e-12,1.748279e-11,5.560990e-11,9.415049e-11,2.920697e-10,3.042080e-10,7.482557e-10,9.311961e-10,1.553561e-09,2.273212e-09,2.874509e-09,4.701682e-09,4.893717e-09,7.822986e-09,8.687555e-09,1.190241e-08,1.478663e-08,1.739476e-08,2.361283e-08,2.457187e-08,3.369397e-08,3.577260e-08,4.498936e-08,5.178527e-08,5.864381e-08,7.204245e-08,7.480041e-08,9.356492e-08,9.681462e-08,1.150119e-07,1.262744e-07,1.391897e-07,1.605158e-07,1.661237e-07,1.958192e-07,1.995677e-07,2.282630e-07,2.434018e-07,2.634252e-07,2.919395e-07,3.012610e-07,3.417115e-07,3.450585e-07,3.847062e-07,4.025986e-07,4.301640e-07,4.643686e-07,4.779949e-07,5.281017e-07,5.301519e-07,5.803814e-07,5.997134e-07,6.347264e-07,6.728045e-07,6.910264e-07,7.491688e-07,8.090404e-07,8.285461e-07,8.705281e-07,9.106764e-07,9.335196e-07,9.953033e-07,9.979041e-07,1.063573e-06,1.082176e-06,1.130421e-06,1.171053e-06,1.198345e-06,1.261699e-06,1.267245e-06,1.337025e-06,1.353893e-06,1.407594e-06,1.447424e-06,1.478862e-06,1.542090e-06,1.550745e-06,1.623163e-06,1.637704e-06,1.696038e-06,1.734089e-06,1.769297e-06,1.831081e-06,1.842872e-06,1.916696e-06,1.928526e-06,1.990707e-06,2.026281e-06,2.064847e-06,2.124214e-06,2.139060e-06,2.213295e-06,2.222203e-06,2.287503e-06,2.320134e-06,2.361638e-06,2.417904e-06,2.435656e-06,2.509518e-06,2.515419e-06,2.583185e-06,2.612589e-06,2.656623e-06,2.709337e-06,2.729798e-06,2.802681e-06,2.805590e-06,2.875242e-06,2.901280e-06,2.947456e-06,2.996350e-06,3.019297e-06,3.090744e-06,3.161775e-06,3.184414e-06,3.232371e-06,3.277316e-06,3.302515e-06,3.369411e-06,3.372189e-06,3.441380e-06,3.460665e-06,3.510074e-06,3.551047e-06,3.578258e-06,3.640529e-06,3.645922e-06,3.713056e-06,3.729088e-06,3.779649e-06,3.816703e-06,3.845696e-06,3.903358e-06,3.911187e-06,3.976118e-06,3.989037e-06,4.040483e-06,4.073728e-06,4.104277e-06,4.157421e-06,4.167497e-06,4.230139e-06,4.240108e-06,4.292200e-06,4.321783e-06,4.353679e-06,4.402442e-06,4.414575e-06,4.474886e-06,4.482084e-06,4.534612e-06,4.560706e-06,4.593753e-06,4.638309e-06,4.652309e-06,4.710282e-06,4.714895e-06,4.767673e-06,4.790467e-06,4.824484e-06,4.865029e-06,4.880715e-06,4.936370e-06,4.938585e-06,4.991452e-06,5.011141e-06,5.045962e-06,5.082704e-06,5.099904e-06,5.153281e-06,5.222880e-06,5.291510e-06,5.359179e-06,5.425896e-06,5.491672e-06,5.556517e-06,5.620442e-06,5.683456e-06,5.745571e-06,5.806799e-06,5.867150e-06,5.926636e-06,5.985269e-06,6.043061e-06,6.100023e-06,6.156167e-06,6.211505e-06,6.266048e-06,6.319810e-06,6.372800e-06,6.425032e-06,6.476516e-06,6.527265e-06,6.577289e-06
0.000000e+00,9.667886e-16,9.743179e-15,2.777511e-13,2.373397e-12,6.181975e-12,4.580548e-11,4.914583e-11,2.251230e-10,3.224591e-10,7.347060e-10,1.333401e-09,1.911788e-09,3.996653e-09,4.239226e-09,8.356272e-09,9.696022e-09,1.506143e-08,2.029632e-08,2.530831e-08,3.811664e-08,4.018459e-08,6.086166e-08,6.579751e-08,8.851348e-08,1.060141e-07,1.242217e-07,1.611130e-07,1.688940e-07,2.232161e-07,2.328364e-07,2.876384e-07,3.222238e-07,3.623904e-07,4.296591e-07,4.475079e-07,5.428647e-07,5.549845e-07,6.482025e-07,6.976225e-07,7.631569e-07,8.566804e-07,8.872793e-07,1.020056e-06,1.031036e-06,1.160926e-06,1.219408e-06,1.309293e-06,1.420414e-06,1.464541e-06,1.626042e-06,1.632623e-06,1.793172e-06,1.854597e-06,1.965313e-06,2.084923e-06,2.141863e-06,2.322243e-06,2.505896e-06,2.565270e-06,2.692298e-06,2.812807e-06,2.880952e-06,3.063748e-06,3.071394e-06,3.263194e-06,3.317086e-06,3.455952e-06,3.571912e-06,3.649300e-06,3.827410e-06,3.842900e-06,4.036445e-06,4.082856e-06,4.229655e-06,4.337609e-06,4.422273e-06,4.591106e-06,4.614071e-06,4.804841e-06,4.842855e-06,4.994397e-06,5.092430e-06,5.182571e-06,5.339462e-06,5.369217e-06,5.554200e-06,5.583635e-06,5.737404e-06,5.824679e-06,5.918726e-06,6.062367e-06,6.098076e-06,6.275373e-06,6.296508e-06,6.450551e-06,6.526942e-06,6.623550e-06,6.753541e-06,6.794320e-06,6.962819e-06,6.976199e-06,7.129011e-06,7.194835e-06,7.292868e-06,7.409387e-06,7.454368e-06,7.613494e-06,7.619809e-06,7.770232e-06,7.826072e-06,7.924575e-06,8.028159e-06,8.076520e-06,8.226064e-06,8.373212e-06,8.419794e-06,8.517970e-06,8.609363e-06,8.660344e-06,8.794792e-06,8.800347e-06,8.937991e-06,8.976110e-06,9.073291e-06,9.153352e-06,9.206263e-06,9.326557e-06,9.336925e-06,9.465298e-06,9.495769e-06,9.591401e-06,9.661036e-06,9.715257e-06,9.822409e-06,9.836888e-06,9.956317e-06,9.979941e-06,1.007357e-05,1.013369e-05,1.018867e-05,1.028371e-05,1.030165e-05,1.041252e-05,1.043007e-05,1.052132e-05,1.057282e-05,1.062807e-05,1.071202e-05,1.073281e-05,1.083555e-05,1.084774e-05,1.093632e-05,1.098005e-05,1.103516e-05,1.110900e-05,1.113209e-05,1.122713e-05,1.123466e-05,1.132032e-05,1.135709e-05,1.141169e-05,1.147635e-05,1.150125e-05,1.158905e-05,1.159252e-05,1.167510e-05,1.170565e-05,1.175943e-05,1.181581e-05,1.184207e-05,1.192305e-05,1.202745e-05,1.212905e-05,1.222793e-05,1.232414e-05,1.241774e-05,1.250879e-05,1.259734e-05,1.268346e-05,1.276720e-05,1.284862e-05,1.292776e-05,1.300468e-05,1.307944e-05,1.315208e-05,1.322266e-05,1.329122e-05,1.335782e-05,1.342249e-05,1.348530e-05,1.354628e-05,1.360547e-05,1.366293e-05,1.371870e-05,1.377281e-05
0.000000e+00,3.182301e-18,3.725266e-17,1.444751e-15,1.628363e-14,4.929520e-14,5.353635e-13,5.832924e-13,3.865448e-12,6.109771e-12,1.776215e-11,3.909363e-11,6.342572e-11,1.736565e-10,1.883945e-10,4.863781e-10,6.002156e-10,1.124605e-09,1.727852e-09,2.379105e-09,4.328023e-09,4.677633e-09,8.648971e-09,9.716599e-09,1.517616e-08,1.996198e-08,2.544994e-08,3.809591e-08,4.101766e-08,6.382328e-08,6.829592e-08,9.623353e-08,1.160076e-07,1.410476e-07,1.879818e-07,2.014884e-07,2.811745e-07,2.922153e-07,3.840750e-07,4.377940e-07,5.144477e-07,6.346504e-07,6.767646e-07,8.756275e-07,8.932545e-07,1.115678e-06,1.224263e-06,1.401505e-06,1.638146e-06,1.737549e-06,2.128021e-06,2.144828e-06,2.576813e-06,2.753343e-06,3.087430e-06,3.471543e-06,3.662926e-06,4.305853e-06,5.018220e-06,5.261095e-06,5.801469e-06,6.340366e-06,6.656454e-06,7.544985e-06,7.583445e-06,8.582129e-06,8.874502e-06,9.651629e-06,1.032675e-05,1.079053e-05,1.189796e-05,1.199690e-05,1.326835e-05,1.358288e-05,1.460206e-05,1.537496e-05,1.599483e-05,1.726651e-05,1.744311e-05,1.894308e-05,1.924892e-05,2.049068e-05,2.131286e-05,2.208168e-05,2.344844e-05,2.371168e-05,2.537621e-05,2.564544e-05,2.707075e-05,2.789345e-05,2.879075e-05,3.018204e-05,3.053169e-05,3.228911e-05,3.250090e-05,3.405866e-05,3.483999e-05,3.583606e-05,3.718959e-05,3.761719e-05,3.939810e-05,3.954045e-05,4.117499e-05,4.188380e-05,4.294425e-05,4.421146e-05,4.470246e-05,4.644642e-05,4.651584e-05,4.817312e-05,4.878996e-05,4.987977e-05,5.102751e-05,5.156378e-05,5.322279e-05,5.485462e-05,5.537074e-05,5.645732e-05,5.746693e-05,5.802912e-05,5.950753e-05,5.956846e-05,6.107395e-05,6.148926e-05,6.254439e-05,6.340939e-05,6.397874e-05,6.526570e-05,6.537611e-05,6.673581e-05,6.705646e-05,6.805723e-05,6.878035e-05,6.933995e-05,7.043648e-05,7.058366e-05,7.178816e-05,7.202434e-05,7.295336e-05,7.354374e-05,7.407929e-05,7.499480e-05,7.516606e-05,7.621387e-05,7.637792e-05,7.722299e-05,7.769373e-05,7.819378e-05,7.894309e-05,7.912665e-05,8.002208e-05,8.012704e-05,8.088058e-05,8.124677e-05,8.170274e-05,8.230365e-05,8.248917e-05,8.324052e-05,8.329913e-05,8.395747e-05,8.423477e-05,8.464072e-05,8.511222e-05,8.529102e-05,8.590912e-05,8.593318e-05,8.649576e-05,8.669941e-05,8.705175e-05,8.741271e-05,8.757786e-05,8.807486e-05,8.868774e-05,8.925314e-05,8.977292e-05,9.024889e-05,9.068286e-05,9.107661e-05,9.143189e-05,9.175043e-05,9.203391e-05,9.228397e-05,9.250223e-05,9.269024e-05,9.284953e-05,9.298158e-05,9.308781e-05,9.316960e-05,9.322830e-05,9.326519e-05,9.328152e-05,9.327848e-05,9.325724e-05,9.321889e-05,9.316451e-05,9.309511e-05
0.000000e+00,6.429419e-12,1.960217e-11,1.029286e-10,3.097140e-10,5.134616e-10,1.534063e-09,1.595940e-09,3.836051e-09,4.751259e-09,7.849290e-09,1.141566e-08,1.438873e-08,2.340308e-08,2.434913e-08,3.874494e-08,4.297820e-08,5.863528e-08,7.254872e-08,8.501024e-08,1.142522e-07,1.187056e-07,1.603822e-07,1.697221e-07,2.105448e-07,2.401116e-07,2.695667e-07,3.261849e-07,3.377080e-07,4.151284e-07,4.283825e-07,5.018949e-07,5.468603e-07,5.979891e-07,6.815176e-07,7.033138e-07,8.177003e-07,8.320252e-07,9.409162e-07,9.978561e-07,1.072674e-06,1.178319e-06,1.212640e-06,1.360442e-06,1.372593e-06,1.515680e-06,1.579763e-06,1.677930e-06,1.798847e-06,1.846756e-06,2.021711e-06,2.028831e-06,2.202350e-06,2.268685e-06,2.388226e-06,2.517390e-06,2.578901e-06,2.773946e-06,2.972942e-06,3.037389e-06,3.175488e-06,3.306800e-06,3.381195e-06,3.581304e-06,3.589693e-06,3.800628e-06,3.860080e-06,4.013664e-06,4.142361e-06,4.228483e-06,4.427432e-06,4.444783e-06,4.662282e-06,4.714630e-06,4.880712e-06,5.003346e-06,5.099824e-06,5.293019e-06,5.319382e-06,5.539168e-06,5.583134e-06,5.758976e-06,5.873221e-06,5.978616e-06,6.162853e-06,6.197910e-06,6.416693e-06,6.451641e-06,6.634812e-06,6.739231e-06,6.852125e-06,7.025306e-06,7.068500e-06,7.283816e-06,7.309577e-06,7.497960e-06,7.591786e-06,7.710830e-06,7.871700e-06,7.922331e-06,8.132376e-06,8.149114e-06,8.340885e-06,8.423842e-06,8.547786e-06,8.695721e-06,8.753012e-06,8.956504e-06,8.964607e-06,9.158208e-06,9.230373e-06,9.358073e-06,9.492909e-06,9.556057e-06,9.752120e-06,9.946227e-06,1.000792e-05,1.013835e-05,1.026025e-05,1.032845e-05,1.050904e-05,1.051652e-05,1.070254e-05,1.075425e-05,1.088647e-05,1.099584e-05,1.106833e-05,1.123377e-05,1.124808e-05,1.142572e-05,1.146804e-05,1.160125e-05,1.169862e-05,1.177466e-05,1.192551e-05,1.194596e-05,1.211513e-05,1.214871e-05,1.228218e-05,1.236821e-05,1.244712e-05,1.258403e-05,1.260994e-05,1.277067e-05,1.279619e-05,1.292929e-05,1.300469e-05,1.308583e-05,1.320956e-05,1.324029e-05,1.339268e-05,1.341083e-05,1.354301e-05,1.360852e-05,1.369131e-05,1.380265e-05,1.383757e-05,1.398182e-05,1.399328e-05,1.412408e-05,1.418042e-05,1.426434e-05,1.436412e-05,1.440264e-05,1.453899e-05,1.454440e-05,1.467341e-05,1.472133e-05,1.480591e-05,1.489492e-05,1.493651e-05,1.506523e-05,1.523229e-05,1.539616e-05,1.555687e-05,1.571448e-05,1.586902e-05,1.602054e-05,1.616909e-05,1.631471e-05,1.645745e-05,1.659736e-05,1.673448e-05,1.686886e-05,1.700055e-05,1.712958e-05,1.725601e-05,1.737989e-05,1.750125e-05,1.762014e-05,1.773661e-05,1.785070e-05,1.796245e-05,1.807190e-05,1.817911e-05,1.828410e-05
0.000000e+00,3.449769e-18,3.897853e-17,1.403815e-15,1.477738e-14,4.307561e-14,4.239226e-13,4.600174e-13,2.762117e-12,4.250039e-12,1.154854e-11,2.406967e-11,3.769288e-11,9.541411e-11,1.028284e-10,2.450420e-10,2.968622e-10,5.256409e-10,7.760687e-10,1.036764e-09,1.780134e-09,1.909318e-09,3.320149e-09,3.686012e-09,5.496699e-09,7.021578e-09,8.717225e-09,1.246486e-08,1.330527e-08,1.961833e-08,2.081351e-08,2.803200e-08,3.292741e-08,3.892159e-08,4.965671e-08,5.264383e-08,6.952041e-08,7.177113e-08,8.982499e-08,9.990303e-08,1.137742e-07,1.345108e-07,1.415230e-07,1.731632e-07,1.758638e-07,2.087258e-07,2.240451e-07,2.481851e-07,2.789677e-07,2.914650e-07,3.384458e-07,3.403999e-07,3.889710e-07,4.079927e-07,4.428549e-07,4.813090e-07,4.998895e-07,5.598506e-07,6.225037e-07,6.430821e-07,6.876087e-07,7.304513e-07,7.549245e-07,8.214060e-07,8.242124e-07,8.952389e-07,9.154069e-07,9.677782e-07,1.011938e-06,1.041614e-06,1.110512e-06,1.116541e-06,1.192366e-06,1.210677e-06,1.268906e-06,1.312018e-06,1.345994e-06,1.414160e-06,1.423473e-06,1.501199e-06,1.516762e-06,1.579040e-06,1.619523e-06,1.656877e-06,1.722176e-06,1.734600e-06,1.812111e-06,1.824487e-06,1.889322e-06,1.926252e-06,1.966152e-06,2.027295e-06,2.042531e-06,2.118396e-06,2.127463e-06,2.193691e-06,2.226627e-06,2.268367e-06,2.324679e-06,2.342379e-06,2.415692e-06,2.421525e-06,2.488270e-06,2.517090e-06,2.560087e-06,2.611309e-06,2.631117e-06,2.701340e-06,2.704132e-06,2.770738e-06,2.795517e-06,2.839297e-06,2.885431e-06,2.907004e-06,2.973850e-06,3.039828e-06,3.060756e-06,3.104930e-06,3.146135e-06,3.169155e-06,3.229981e-06,3.232498e-06,3.294959e-06,3.312290e-06,3.356538e-06,3.393062e-06,3.417235e-06,3.472301e-06,3.477054e-06,3.535996e-06,3.550012e-06,3.594066e-06,3.626205e-06,3.651267e-06,3.700891e-06,3.707606e-06,3.763086e-06,3.774080e-06,3.817715e-06,3.845788e-06,3.871499e-06,3.916029e-06,3.924444e-06,3.976558e-06,3.984819e-06,4.027847e-06,4.052176e-06,4.078321e-06,4.118117e-06,4.127986e-06,4.176851e-06,4.182661e-06,4.224924e-06,4.245828e-06,4.272214e-06,4.307636e-06,4.318729e-06,4.364478e-06,4.368105e-06,4.409470e-06,4.427257e-06,4.453713e-06,4.485110e-06,4.497217e-06,4.539991e-06,4.541687e-06,4.582044e-06,4.597008e-06,4.623384e-06,4.651093e-06,4.664021e-06,4.703964e-06,4.755641e-06,4.806145e-06,4.855498e-06,4.903719e-06,4.950829e-06,4.996849e-06,5.041799e-06,5.085699e-06,5.128569e-06,5.170428e-06,5.211296e-06,5.251193e-06,5.290136e-06,5.328146e-06,5.365240e-06,5.401436e-06,5.436753e-06,5.471209e-06,5.504820e-06,5.537604e-06,5.569578e-06,5.600758e-06,5.631161e-06,5.660803e-06
0.000000e+00,8.248742e-17,8.745240e-16,2.766612e-14,2.589905e-13,7.080883e-13,5.911853e-12,6.372663e-12,3.255724e-11,4.795836e-11,1.168565e-10,2.231252e-10,3.301006e-10,7.364255e-10,7.851965e-10,1.642460e-09,1.930299e-09,3.111537e-09,4.295762e-09,5.450559e-09,8.468580e-09,8.963082e-09,1.399283e-08,1.521347e-08,2.091559e-08,2.539459e-08,3.012720e-08,3.992616e-08,4.202683e-08,5.699619e-08,5.969975e-08,7.537722e-08,8.549748e-08,9.745201e-08,1.179139e-07,1.234286e-07,1.534343e-07,1.573088e-07,1.875166e-07,2.037999e-07,2.256492e-07,2.572858e-07,2.677426e-07,3.136557e-07,3.174886e-07,3.632070e-07,3.839997e-07,4.161855e-07,4.563232e-07,4.723604e-07,5.314885e-07,5.339115e-07,5.933205e-07,6.161939e-07,6.576070e-07,7.025979e-07,7.241017e-07,7.925650e-07,8.627666e-07,8.855621e-07,9.344869e-07,9.810884e-07,1.007518e-06,1.078681e-06,1.081666e-06,1.156748e-06,1.177915e-06,1.232597e-06,1.278408e-06,1.309056e-06,1.379815e-06,1.385983e-06,1.463248e-06,1.481829e-06,1.540732e-06,1.584178e-06,1.618326e-06,1.686623e-06,1.695933e-06,1.773465e-06,1.788955e-06,1.850841e-06,1.890991e-06,1.927990e-06,1.992572e-06,2.004847e-06,2.081356e-06,2.093562e-06,2.157464e-06,2.193841e-06,2.233127e-06,2.293308e-06,2.308302e-06,2.382954e-06,2.391876e-06,2.457052e-06,2.489471e-06,2.530565e-06,2.586030e-06,2.603471e-06,2.675747e-06,2.681501e-06,2.747373e-06,2.775838e-06,2.818334e-06,2.869005e-06,2.888614e-06,2.958203e-06,2.960972e-06,3.027089e-06,3.051714e-06,3.095263e-06,3.141211e-06,3.162718e-06,3.229450e-06,3.295451e-06,3.316417e-06,3.360721e-06,3.402107e-06,3.425254e-06,3.486514e-06,3.489051e-06,3.552111e-06,3.569635e-06,3.614432e-06,3.651472e-06,3.676017e-06,3.732025e-06,3.736866e-06,3.796981e-06,3.811300e-06,3.856365e-06,3.889302e-06,3.915021e-06,3.966037e-06,3.972951e-06,4.030159e-06,4.041515e-06,4.086650e-06,4.115743e-06,4.142428e-06,4.188734e-06,4.197497e-06,4.251863e-06,4.260497e-06,4.305531e-06,4.331045e-06,4.358505e-06,4.400390e-06,4.410792e-06,4.462398e-06,4.468545e-06,4.513328e-06,4.535525e-06,4.563588e-06,4.601342e-06,4.613185e-06,4.662125e-06,4.666012e-06,4.710415e-06,4.729550e-06,4.758060e-06,4.791969e-06,4.805068e-06,4.851445e-06,4.853287e-06,4.897197e-06,4.913517e-06,4.942332e-06,4.972675e-06,4.986857e-06,5.030777e-06,5.087840e-06,5.143878e-06,5.198907e-06,5.252943e-06,5.306003e-06,5.358101e-06,5.409253e-06,5.459475e-06,5.508783e-06,5.557191e-06,5.604716e-06,5.651372e-06,5.697174e-06,5.742138e-06,5.786278e-06,5.829608e-06,5.872143e-06,5.913897e-06,5.954885e-06,5.995120e-06,6.034617e-06,6.073387e-06,6.111446e-06,6.148806e-06
0.000000e+00,7.964787e-13,2.408160e-12,1.247246e-11,3.715919e-11,6.132819e-11,1.817426e-10,1.890327e-10,4.534388e-10,5.619361e-10,9.316176e-10,1.361392e-09,1.722360e-09,2.824643e-09,2.940564e-09,4.696949e-09,5.208612e-09,7.075453e-09,8.699380e-09,1.012721e-08,1.339032e-08,1.387766e-08,1.833511e-08,1.931131e-08,2.349629e-08,2.645460e-08,2.934943e-08,3.478738e-08,3.587593e-08,4.305140e-08,4.425780e-08,5.084654e-08,5.479866e-08,5.922804e-08,6.633100e-08,6.815945e-08,7.760213e-08,7.876772e-08,8.751614e-08,9.201721e-08,9.786109e-08,1.059868e-07,1.085969e-07,1.196844e-07,1.205854e-07,1.310857e-07,1.357261e-07,1.427651e-07,1.513271e-07,1.546883e-07,1.668239e-07,1.673133e-07,1.791424e-07,1.836166e-07,1.916168e-07,2.001757e-07,2.042224e-07,2.169364e-07,2.297385e-07,2.338507e-07,2.426100e-07,2.508764e-07,2.555341e-07,2.679764e-07,2.684954e-07,2.814799e-07,2.851180e-07,2.944751e-07,3.022726e-07,3.074697e-07,3.194158e-07,3.204539e-07,3.334189e-07,3.365268e-07,3.463570e-07,3.535879e-07,3.592610e-07,3.705834e-07,3.721247e-07,3.849422e-07,3.874997e-07,3.977085e-07,4.043251e-07,4.104189e-07,4.210493e-07,4.230692e-07,4.356557e-07,4.376634e-07,4.481750e-07,4.541594e-07,4.606240e-07,4.705307e-07,4.730000e-07,4.853005e-07,4.867714e-07,4.975234e-07,5.028764e-07,5.096667e-07,5.188412e-07,5.217285e-07,5.337074e-07,5.346621e-07,5.456019e-07,5.503358e-07,5.574108e-07,5.658597e-07,5.691331e-07,5.807677e-07,5.812313e-07,5.923139e-07,5.964487e-07,6.037709e-07,6.115105e-07,6.151382e-07,6.264153e-07,6.376017e-07,6.411621e-07,6.486971e-07,6.557503e-07,6.597013e-07,6.701794e-07,6.706141e-07,6.814355e-07,6.844491e-07,6.921653e-07,6.985593e-07,7.028037e-07,7.125102e-07,7.133505e-07,7.238061e-07,7.263019e-07,7.341706e-07,7.399349e-07,7.444441e-07,7.534098e-07,7.546270e-07,7.647194e-07,7.667271e-07,7.747219e-07,7.798877e-07,7.846346e-07,7.928923e-07,7.944581e-07,8.041927e-07,8.057420e-07,8.138388e-07,8.184377e-07,8.233970e-07,8.309806e-07,8.328678e-07,8.422515e-07,8.433718e-07,8.515489e-07,8.556125e-07,8.607603e-07,8.677039e-07,8.698864e-07,8.789278e-07,8.796475e-07,8.878851e-07,8.914445e-07,8.967588e-07,9.030965e-07,9.055495e-07,9.142580e-07,9.146046e-07,9.228848e-07,9.259706e-07,9.314306e-07,9.371957e-07,9.398959e-07,9.482816e-07,9.592297e-07,9.700416e-07,9.807189e-07,9.912630e-07,1.001676e-06,1.011958e-06,1.022112e-06,1.032140e-06,1.042042e-06,1.051821e-06,1.061477e-06,1.071013e-06,1.080430e-06,1.089729e-06,1.098913e-06,1.107982e-06,1.116939e-06,1.125784e-06,1.134520e-06,1.143147e-06,1.151667e-06,1.160083e-06,1.168394e-06,1.176603e-06
0.000000e+00,3.541292e-16,3.737322e-15,1.169902e-13,1.085760e-12,2.955895e-12,2.445577e-11,2.635398e-11,1.338797e-10,1.970345e-10,4.796740e-10,9.166660e-10,1.358028e-09,3.046894e-09,3.250820e-09,6.871268e-09,8.100442e-09,1.320428e-08,1.840304e-08,2.353878e-08,3.720902e-08,3.947773e-08,6.290785e-08,6.867459e-08,9.592299e-08,1.176061e-07,1.407160e-07,1.890410e-07,1.994661e-07,2.742457e-07,2.878278e-07,3.669576e-07,4.183360e-07,4.793009e-07,5.843141e-07,6.127588e-07,7.685996e-07,7.888571e-07,9.478830e-07,1.034422e-06,1.151467e-06,1.322860e-06,1.380018e-06,1.634015e-06,1.655445e-06,1.913759e-06,2.032900e-06,2.219377e-06,2.455430e-06,2.550835e-06,2.907940e-06,2.922754e-06,3.290359e-06,3.434141e-06,3.697623e-06,3.988459e-06,4.129144e-06,4.584227e-06,5.062082e-06,5.219666e-06,5.561842e-06,5.892753e-06,6.082570e-06,6.601278e-06,6.623277e-06,7.182931e-06,7.342886e-06,7.760471e-06,8.115130e-06,8.354812e-06,8.915504e-06,8.964860e-06,9.589514e-06,9.741483e-06,1.022768e-05,1.059055e-05,1.087827e-05,1.146022e-05,1.154022e-05,1.221246e-05,1.234806e-05,1.289398e-05,1.325170e-05,1.358377e-05,1.416887e-05,1.428085e-05,1.498428e-05,1.509736e-05,1.569314e-05,1.603507e-05,1.640656e-05,1.698001e-05,1.712369e-05,1.784371e-05,1.793027e-05,1.856585e-05,1.888407e-05,1.928936e-05,1.983970e-05,2.001352e-05,2.073766e-05,2.079557e-05,2.146114e-05,2.175020e-05,2.218333e-05,2.270219e-05,2.290366e-05,2.362158e-05,2.365023e-05,2.433655e-05,2.459313e-05,2.504810e-05,2.552975e-05,2.575575e-05,2.645907e-05,2.715764e-05,2.738012e-05,2.785108e-05,2.829203e-05,2.853904e-05,2.919399e-05,2.922116e-05,2.989714e-05,3.008528e-05,3.056669e-05,3.096522e-05,3.122953e-05,3.183321e-05,3.188542e-05,3.253411e-05,3.268870e-05,3.317540e-05,3.353122e-05,3.380910e-05,3.436032e-05,3.443501e-05,3.505299e-05,3.517562e-05,3.566289e-05,3.597680e-05,3.626457e-05,3.676355e-05,3.685792e-05,3.744284e-05,3.753564e-05,3.801923e-05,3.829285e-05,3.858702e-05,3.903501e-05,3.914614e-05,3.969653e-05,3.976199e-05,4.023815e-05,4.047368e-05,4.077097e-05,4.117001e-05,4.129496e-05,4.181011e-05,4.185094e-05,4.231640e-05,4.251644e-05,4.281385e-05,4.316653e-05,4.330245e-05,4.378222e-05,4.380123e-05,4.425319e-05,4.442059e-05,4.471538e-05,4.502468e-05,4.516883e-05,4.561358e-05,4.618741e-05,4.674628e-05,4.729032e-05,4.781968e-05,4.833451e-05,4.883499e-05,4.932128e-05,4.979358e-05,5.025208e-05,5.069697e-05,5.112847e-05,5.154678e-05,5.195212e-05,5.234471e-05,5.272477e-05,5.309253e-05,5.344821e-05,5.379205e-05,5.412426e-05,5.444510e-05,5.475478e-05,5.505353e-05,5.534160e-05,5.561920e-05
0.000000e+00,3.422251e-12,1.045036e-11,5.511397e-11,1.666510e-10,2.771222e-10,8.355188e-10,8.695780e-10,2.113646e-09,2.626934e-09,4.380969e-09,6.425843e-09,8.147758e-09,1.344543e-08,1.400720e-08,2.266557e-08,2.524600e-08,3.490068e-08,4.360350e-08,5.147882e-08,7.019540e-08,7.306999e-08,1.002084e-07,1.063394e-07,1.332985e-07,1.529599e-07,1.726380e-07,2.106709e-07,2.184402e-07,2.708492e-07,2.798541e-07,3.299498e-07,3.607065e-07,3.957749e-07,4.532683e-07,4.683100e-07,5.474982e-07,5.574437e-07,6.332445e-07,6.730183e-07,7.254199e-07,7.996768e-07,8.238665e-07,9.284010e-07,9.370208e-07,1.038820e-06,1.084586e-06,1.154903e-06,1.241859e-06,1.276416e-06,1.403118e-06,1.408290e-06,1.534758e-06,1.583309e-06,1.671085e-06,1.766334e-06,1.811843e-06,1.956779e-06,2.105641e-06,2.154065e-06,2.258180e-06,2.357623e-06,2.414153e-06,2.566896e-06,2.573321e-06,2.735451e-06,2.781347e-06,2.900318e-06,3.000460e-06,3.067701e-06,3.223736e-06,3.237391e-06,3.409181e-06,3.450701e-06,3.582875e-06,3.680904e-06,3.758283e-06,3.913915e-06,3.935223e-06,4.113519e-06,4.149327e-06,4.293005e-06,4.386754e-06,4.473520e-06,4.625834e-06,4.654909e-06,4.837026e-06,4.866223e-06,5.019731e-06,5.107599e-06,5.202890e-06,5.349658e-06,5.386375e-06,5.570065e-06,5.592116e-06,5.753843e-06,5.834705e-06,5.937599e-06,6.077175e-06,6.121230e-06,6.304634e-06,6.319294e-06,6.487719e-06,6.560843e-06,6.670394e-06,6.801618e-06,6.852574e-06,7.034179e-06,7.041430e-06,7.215134e-06,7.280104e-06,7.395365e-06,7.517475e-06,7.574806e-06,7.753392e-06,7.931063e-06,7.987715e-06,8.107762e-06,8.220314e-06,8.283436e-06,8.451071e-06,8.458034e-06,8.631510e-06,8.679876e-06,8.803819e-06,8.906627e-06,8.974920e-06,9.131234e-06,9.144775e-06,9.313348e-06,9.353611e-06,9.480605e-06,9.573683e-06,9.646516e-06,9.791381e-06,9.811052e-06,9.974185e-06,1.000664e-05,1.013589e-05,1.021941e-05,1.029615e-05,1.042964e-05,1.045494e-05,1.061225e-05,1.063727e-05,1.076804e-05,1.084229e-05,1.092232e-05,1.104464e-05,1.107507e-05,1.122627e-05,1.124430e-05,1.137591e-05,1.144125e-05,1.152398e-05,1.163547e-05,1.167049e-05,1.181541e-05,1.182693e-05,1.195874e-05,1.201563e-05,1.210049e-05,1.220156e-05,1.224064e-05,1.237919e-05,1.238470e-05,1.251615e-05,1.256506e-05,1.265150e-05,1.274263e-05,1.278526e-05,1.291742e-05,1.308943e-05,1.325867e-05,1.342514e-05,1.358886e-05,1.374983e-05,1.390808e-05,1.406362e-05,1.421646e-05,1.436663e-05,1.451414e-05,1.465901e-05,1.480127e-05,1.494094e-05,1.507804e-05,1.521259e-05,1.534463e-05,1.547418e-05,1.560126e-05,1.572590e-05,1.584814e-05,1.596798e-05,1.608548e-05,1.620064e-05,1.631351e-05
0.000000e+00,1.577260e-12,4.803051e-12,2.520699e-11,7.587979e-11,1.258465e-10,3.764552e-10,3.916610e-10,9.426698e-10,1.167991e-09,1.931243e-09,2.810549e-09,3.543953e-09,5.769289e-09,6.002979e-09,9.562787e-09,1.061116e-08,1.449587e-08,1.795809e-08,2.106710e-08,2.839052e-08,2.950898e-08,4.001066e-08,4.237181e-08,5.271947e-08,6.023855e-08,6.774681e-08,8.222158e-08,8.517367e-08,1.050545e-07,1.084655e-07,1.274197e-07,1.390409e-07,1.522782e-07,1.739531e-07,1.796185e-07,2.094114e-07,2.131494e-07,2.416112e-07,2.565267e-07,2.761581e-07,3.039396e-07,3.129802e-07,3.519957e-07,3.552090e-07,3.931146e-07,4.101297e-07,4.362408e-07,4.684783e-07,4.812738e-07,5.281103e-07,5.300198e-07,5.766453e-07,5.945134e-07,6.267735e-07,6.617172e-07,6.783902e-07,7.313923e-07,7.856785e-07,8.033052e-07,8.411506e-07,8.772308e-07,8.977130e-07,9.529533e-07,9.552737e-07,1.013744e-06,1.030268e-06,1.073040e-06,1.108980e-06,1.133080e-06,1.188908e-06,1.193787e-06,1.255088e-06,1.269881e-06,1.316913e-06,1.351740e-06,1.379197e-06,1.434336e-06,1.441877e-06,1.504894e-06,1.517532e-06,1.568192e-06,1.601201e-06,1.631720e-06,1.685225e-06,1.695429e-06,1.759272e-06,1.769496e-06,1.823205e-06,1.853913e-06,1.887188e-06,1.938385e-06,1.951183e-06,2.015154e-06,2.022827e-06,2.079067e-06,2.107163e-06,2.142892e-06,2.191321e-06,2.206598e-06,2.270160e-06,2.275238e-06,2.333551e-06,2.358854e-06,2.396748e-06,2.442117e-06,2.459728e-06,2.522472e-06,2.524977e-06,2.584961e-06,2.607391e-06,2.647176e-06,2.689319e-06,2.709103e-06,2.770725e-06,2.832029e-06,2.851577e-06,2.893002e-06,2.931846e-06,2.953633e-06,3.011507e-06,3.013911e-06,3.073826e-06,3.090536e-06,3.133369e-06,3.168913e-06,3.192532e-06,3.246620e-06,3.251308e-06,3.309690e-06,3.323643e-06,3.367673e-06,3.399966e-06,3.425250e-06,3.475580e-06,3.482418e-06,3.539172e-06,3.550473e-06,3.595509e-06,3.624638e-06,3.651425e-06,3.698068e-06,3.706918e-06,3.761986e-06,3.770757e-06,3.816627e-06,3.842702e-06,3.870839e-06,3.913900e-06,3.924622e-06,3.977975e-06,3.984349e-06,4.030897e-06,4.054047e-06,4.083389e-06,4.122995e-06,4.135451e-06,4.187082e-06,4.191194e-06,4.238284e-06,4.258645e-06,4.289058e-06,4.325351e-06,4.339405e-06,4.389326e-06,4.391314e-06,4.438823e-06,4.456538e-06,4.487897e-06,4.521027e-06,4.536550e-06,4.584785e-06,4.647817e-06,4.710129e-06,4.771725e-06,4.832612e-06,4.892796e-06,4.952283e-06,5.011080e-06,5.069193e-06,5.126630e-06,5.183398e-06,5.239504e-06,5.294956e-06,5.349760e-06,5.403924e-06,5.457457e-06,5.510365e-06,5.562656e-06,5.614337e-06,5.665418e-06,5.715904e-06,5.765804e-06,5.815126e-06,5.863877e-06,5.912065e-06
0.000000e+00,4.417045e-12,1.344035e-11,7.072089e-11,2.141971e-10,3.569962e-10,1.087869e-09,1.132882e-09,2.804261e-09,3.506696e-09,5.947067e-09,8.840780e-09,1.129484e-08,1.882218e-08,1.961343e-08,3.156302e-08,3.503248e-08,4.767444e-08,5.867960e-08,6.838161e-08,9.069403e-08,9.404592e-08,1.249657e-07,1.318022e-07,1.613782e-07,1.825446e-07,2.034603e-07,2.432777e-07,2.513285e-07,3.050423e-07,3.141801e-07,3.646076e-07,3.952667e-07,4.299822e-07,4.864092e-07,5.010819e-07,5.777869e-07,5.873613e-07,6.599477e-07,6.977830e-07,7.473913e-07,8.172643e-07,8.399262e-07,9.373476e-07,9.453460e-07,1.039441e-06,1.081537e-06,1.145986e-06,1.225329e-06,1.256759e-06,1.371535e-06,1.376206e-06,1.490091e-06,1.533653e-06,1.612205e-06,1.697163e-06,1.737659e-06,1.866240e-06,1.997740e-06,2.040402e-06,2.131954e-06,2.219185e-06,2.268686e-06,2.402140e-06,2.407745e-06,2.548946e-06,2.588842e-06,2.692111e-06,2.778881e-06,2.837068e-06,2.971868e-06,2.983651e-06,3.131700e-06,3.167433e-06,3.281064e-06,3.365226e-06,3.431594e-06,3.564914e-06,3.583151e-06,3.735598e-06,3.766184e-06,3.888808e-06,3.968738e-06,4.042657e-06,4.172297e-06,4.197026e-06,4.351803e-06,4.376598e-06,4.506881e-06,4.581395e-06,4.662157e-06,4.786454e-06,4.817532e-06,4.972916e-06,4.991558e-06,5.128218e-06,5.196504e-06,5.283356e-06,5.401100e-06,5.438248e-06,5.592820e-06,5.605170e-06,5.747000e-06,5.808546e-06,5.900719e-06,6.011076e-06,6.053914e-06,6.206523e-06,6.212614e-06,6.358489e-06,6.413029e-06,6.509758e-06,6.612196e-06,6.660278e-06,6.810003e-06,6.958885e-06,7.006343e-06,7.106883e-06,7.201120e-06,7.253958e-06,7.394245e-06,7.400071e-06,7.545187e-06,7.585637e-06,7.689275e-06,7.775222e-06,7.832304e-06,7.962931e-06,7.974246e-06,8.115075e-06,8.148705e-06,8.254765e-06,8.332487e-06,8.393296e-06,8.514228e-06,8.530647e-06,8.666798e-06,8.693883e-06,8.801733e-06,8.871413e-06,8.935435e-06,9.046783e-06,9.067892e-06,9.199090e-06,9.219964e-06,9.329017e-06,9.390928e-06,9.457664e-06,9.559653e-06,9.585021e-06,9.711082e-06,9.726122e-06,9.835840e-06,9.890318e-06,9.959288e-06,1.005223e-05,1.008142e-05,1.020224e-05,1.021185e-05,1.032174e-05,1.036917e-05,1.043992e-05,1.052418e-05,1.055677e-05,1.067230e-05,1.067690e-05,1.078651e-05,1.082731e-05,1.089940e-05,1.097542e-05,1.101098e-05,1.112123e-05,1.126476e-05,1.140601e-05,1.154499e-05,1.168172e-05,1.181620e-05,1.194846e-05,1.207850e-05,1.220635e-05,1.233202e-05,1.245553e-05,1.257691e-05,1.269616e-05,1.281331e-05,1.292839e-05,1.304142e-05,1.315241e-05,1.326139e-05,1.336838e-05,1.347342e-05,1.357651e-05,1.367769e-05,1.377699e-05,1.387441e-05,1.397000e-05
0.000000e+00,1.851296e-18,2.149713e-17,8.200574e-16,9.102699e-15,2.732470e-14,2.902906e-13,3.159941e-13,2.048345e-12,3.218207e-12,9.215444e-12,2.003679e-11,3.225128e-11,8.676514e-11,9.398924e-11,2.383300e-10,2.928894e-10,5.417680e-10,8.247476e-10,1.127546e-09,2.022486e-09,2.181666e-09,3.969422e-09,4.444868e-09,6.850809e-09,8.931921e-09,1.129314e-08,1.665411e-08,1.787954e-08,2.731250e-08,2.913912e-08,4.041191e-08,4.827115e-08,5.810789e-08,7.626223e-08,8.142860e-08,1.114839e-07,1.155983e-07,1.494456e-07,1.689648e-07,1.965250e-07,2.391585e-07,2.539494e-07,3.229371e-07,3.289914e-07,4.046736e-07,4.411933e-07,5.002884e-07,5.783184e-07,6.108330e-07,7.372619e-07,7.426617e-07,8.804159e-07,9.361873e-07,1.041009e-06,1.160472e-06,1.219616e-06,1.416668e-06,1.632447e-06,1.705477e-06,1.867085e-06,2.027148e-06,2.120564e-06,2.381484e-06,2.392726e-06,2.683273e-06,2.767866e-06,2.991780e-06,3.185284e-06,3.317705e-06,3.632382e-06,3.660397e-06,4.019114e-06,4.107500e-06,4.393029e-06,4.608730e-06,4.781251e-06,5.133965e-06,5.182826e-06,5.596760e-06,5.680940e-06,6.022027e-06,6.247298e-06,6.457582e-06,6.830627e-06,6.902369e-06,7.355334e-06,7.428497e-06,7.815427e-06,8.038500e-06,8.281617e-06,8.658278e-06,8.752892e-06,9.228273e-06,9.285549e-06,9.706809e-06,9.918128e-06,1.018759e-05,1.055395e-05,1.066974e-05,1.115244e-05,1.119105e-05,1.163489e-05,1.182763e-05,1.211636e-05,1.246201e-05,1.259615e-05,1.307360e-05,1.309265e-05,1.354813e-05,1.371813e-05,1.401916e-05,1.433720e-05,1.448618e-05,1.494871e-05,1.540631e-05,1.555164e-05,1.585860e-05,1.614511e-05,1.630522e-05,1.672833e-05,1.674584e-05,1.718017e-05,1.730062e-05,1.760795e-05,1.786138e-05,1.802896e-05,1.841014e-05,1.844300e-05,1.884989e-05,1.894647e-05,1.924949e-05,1.947003e-05,1.964167e-05,1.998057e-05,2.002633e-05,2.040338e-05,2.047787e-05,2.077276e-05,2.096178e-05,2.113441e-05,2.143221e-05,2.148831e-05,2.183443e-05,2.188909e-05,2.217278e-05,2.233242e-05,2.250335e-05,2.276222e-05,2.282616e-05,2.314124e-05,2.317854e-05,2.344864e-05,2.358146e-05,2.374838e-05,2.397110e-05,2.404053e-05,2.432514e-05,2.434758e-05,2.460228e-05,2.471105e-05,2.487201e-05,2.506169e-05,2.513443e-05,2.538960e-05,2.539966e-05,2.563761e-05,2.572516e-05,2.587855e-05,2.603840e-05,2.611251e-05,2.633959e-05,2.662894e-05,2.690669e-05,2.717307e-05,2.742831e-05,2.767264e-05,2.790631e-05,2.812956e-05,2.834264e-05,2.854577e-05,2.873921e-05,2.892319e-05,2.909796e-05,2.926374e-05,2.942078e-05,2.956931e-05,2.970955e-05,2.984174e-05,2.996609e-05,3.008284e-05,3.019219e-05,3.029435e-05,3.038955e-05,3.047799e-05,3.055986e-05
0.000000e+00,1.623248e-13,8.784042e-13,8.834864e-12,3.643083e-11,6.801674e-11,2.509897e-10,2.628376e-10,7.192120e-10,9.153875e-10,1.602108e-09,2.419709e-09,3.115294e-09,5.272592e-09,5.502108e-09,9.045830e-09,1.010336e-08,1.406645e-08,1.765129e-08,2.090907e-08,2.871479e-08,2.992206e-08,4.143186e-08,4.405950e-08,5.572576e-08,6.434124e-08,7.304668e-08,9.008340e-08,9.359517e-08,1.175335e-07,1.216872e-07,1.449893e-07,1.594466e-07,1.760579e-07,2.035590e-07,2.108048e-07,2.492666e-07,2.541324e-07,2.914534e-07,3.111926e-07,3.373502e-07,3.746906e-07,3.869193e-07,4.401019e-07,4.445104e-07,4.968211e-07,5.204787e-07,5.569841e-07,6.023744e-07,6.204841e-07,6.872035e-07,6.899375e-07,7.570152e-07,7.828788e-07,8.297852e-07,8.808877e-07,9.053742e-07,9.836394e-07,1.064436e-06,1.090802e-06,1.147618e-06,1.202039e-06,1.233040e-06,1.317019e-06,1.320558e-06,1.410030e-06,1.435413e-06,1.501316e-06,1.556901e-06,1.594280e-06,1.681174e-06,1.688789e-06,1.784714e-06,1.807933e-06,1.881931e-06,1.936892e-06,1.980319e-06,2.067778e-06,2.079763e-06,2.180150e-06,2.200331e-06,2.281374e-06,2.334307e-06,2.383332e-06,2.469472e-06,2.485926e-06,2.589061e-06,2.605607e-06,2.692650e-06,2.742507e-06,2.796605e-06,2.879978e-06,2.900845e-06,3.005294e-06,3.017838e-06,3.109876e-06,3.155917e-06,3.214524e-06,3.294058e-06,3.319169e-06,3.423750e-06,3.432111e-06,3.528206e-06,3.569940e-06,3.632481e-06,3.707417e-06,3.736522e-06,3.840278e-06,3.844421e-06,3.943702e-06,3.980844e-06,4.046749e-06,4.116584e-06,4.149376e-06,4.251545e-06,4.353217e-06,4.385641e-06,4.454358e-06,4.518793e-06,4.554934e-06,4.650927e-06,4.654915e-06,4.754272e-06,4.781976e-06,4.852978e-06,4.911879e-06,4.951008e-06,5.040579e-06,5.048339e-06,5.144949e-06,5.168025e-06,5.240817e-06,5.294173e-06,5.335926e-06,5.418980e-06,5.430259e-06,5.523798e-06,5.542410e-06,5.616531e-06,5.664428e-06,5.708443e-06,5.785006e-06,5.799523e-06,5.889759e-06,5.904118e-06,5.979143e-06,6.021741e-06,6.067664e-06,6.137855e-06,6.155316e-06,6.242091e-06,6.252445e-06,6.327983e-06,6.365494e-06,6.412987e-06,6.476993e-06,6.497099e-06,6.580314e-06,6.586932e-06,6.662630e-06,6.695305e-06,6.744045e-06,6.802105e-06,6.824557e-06,6.904164e-06,6.907330e-06,6.982867e-06,7.010979e-06,7.060665e-06,7.113052e-06,7.137560e-06,7.213551e-06,7.312479e-06,7.409841e-06,7.505643e-06,7.599891e-06,7.692594e-06,7.783760e-06,7.873400e-06,7.961524e-06,8.048143e-06,8.133269e-06,8.216916e-06,8.299095e-06,8.379822e-06,8.459111e-06,8.536975e-06,8.613430e-06,8.688491e-06,8.762174e-06,8.834496e-06,8.905471e-06,8.975117e-06,9.043449e-06,9.110485e-06,9.176242e-06
0.000000e+00,8.437633e-13,2.817786e-12,1.631378e-11,5.145197e-11,8.684978e-11,2.681148e-10,2.792192e-10,6.851392e-10,8.523010e-10,1.420964e-09,2.078630e-09,2.628256e-09,4.298769e-09,4.474332e-09,7.150334e-09,7.938903e-09,1.086305e-08,1.347273e-08,1.581974e-08,2.136404e-08,2.221291e-08,3.021228e-08,3.201814e-08,3.996386e-08,4.576914e-08,5.159166e-08,6.288549e-08,6.519952e-08,8.087219e-08,8.357612e-08,9.867609e-08,1.079939e-07,1.186598e-07,1.362379e-07,1.408547e-07,1.652758e-07,1.683560e-07,1.919224e-07,2.043486e-07,2.207798e-07,2.441734e-07,2.518203e-07,2.850048e-07,2.877508e-07,3.202842e-07,3.349698e-07,3.576008e-07,3.856942e-07,3.968901e-07,4.380819e-07,4.397681e-07,4.811015e-07,4.970212e-07,5.258713e-07,5.572737e-07,5.723113e-07,6.203401e-07,6.698758e-07,6.860322e-07,7.208369e-07,7.541625e-07,7.731423e-07,8.245459e-07,8.267120e-07,8.814677e-07,8.970013e-07,9.373327e-07,9.713531e-07,9.942326e-07,1.047432e-06,1.052095e-06,1.110849e-06,1.125076e-06,1.170429e-06,1.204129e-06,1.230767e-06,1.284443e-06,1.291802e-06,1.353474e-06,1.365879e-06,1.415723e-06,1.448303e-06,1.478496e-06,1.531590e-06,1.541739e-06,1.605400e-06,1.615622e-06,1.669432e-06,1.700286e-06,1.733789e-06,1.785477e-06,1.798425e-06,1.863299e-06,1.871098e-06,1.928371e-06,1.957056e-06,1.993603e-06,2.043263e-06,2.058958e-06,2.124401e-06,2.129639e-06,2.189900e-06,2.216108e-06,2.255423e-06,2.302598e-06,2.320941e-06,2.386426e-06,2.389044e-06,2.451851e-06,2.475384e-06,2.517190e-06,2.561560e-06,2.582420e-06,2.647518e-06,2.712462e-06,2.733208e-06,2.777232e-06,2.818584e-06,2.841809e-06,2.903604e-06,2.906174e-06,2.970311e-06,2.988226e-06,3.034203e-06,3.072414e-06,3.097835e-06,3.156134e-06,3.161193e-06,3.224262e-06,3.239355e-06,3.287031e-06,3.322046e-06,3.349488e-06,3.404182e-06,3.411621e-06,3.473419e-06,3.485738e-06,3.534874e-06,3.566691e-06,3.595975e-06,3.647021e-06,3.656714e-06,3.717084e-06,3.726708e-06,3.777076e-06,3.805736e-06,3.836684e-06,3.884089e-06,3.895901e-06,3.954722e-06,3.961753e-06,4.013140e-06,4.038716e-06,4.071152e-06,4.114966e-06,4.128752e-06,4.185936e-06,4.190493e-06,4.242701e-06,4.265288e-06,4.299042e-06,4.339344e-06,4.354958e-06,4.410444e-06,4.412654e-06,4.465498e-06,4.485212e-06,4.520119e-06,4.557013e-06,4.574305e-06,4.628053e-06,4.698329e-06,4.767839e-06,4.836580e-06,4.904552e-06,4.971753e-06,5.038185e-06,5.103848e-06,5.168742e-06,5.232869e-06,5.296232e-06,5.358832e-06,5.420673e-06,5.481758e-06,5.542089e-06,5.601671e-06,5.660509e-06,5.718605e-06,5.775965e-06,5.832594e-06,5.888496e-06,5.943676e-06,5.998141e-06,6.051895e-06,6.104944e-06
0.000000e+00,2.083242e-12,6.362812e-12,3.356394e-11,1.014575e-10,1.686352e-10,5.072044e-10,5.278055e-10,1.276937e-09,1.584331e-09,2.628561e-09,3.835614e-09,4.844723e-09,7.914812e-09,8.237685e-09,1.316038e-08,1.461053e-08,1.998182e-08,2.476536e-08,2.905916e-08,3.917619e-08,4.072255e-08,5.527264e-08,5.855353e-08,7.298217e-08,8.352250e-08,9.409727e-08,1.146271e-07,1.188374e-07,1.473943e-07,1.523289e-07,1.799312e-07,1.970030e-07,2.165817e-07,2.489344e-07,2.574492e-07,3.026074e-07,3.083171e-07,3.521004e-07,3.752558e-07,4.059446e-07,4.497711e-07,4.641301e-07,5.266226e-07,5.318066e-07,5.933663e-07,6.212378e-07,6.642856e-07,7.178818e-07,7.392881e-07,8.182669e-07,8.215071e-07,9.011028e-07,9.318434e-07,9.876669e-07,1.048590e-06,1.077822e-06,1.171426e-06,1.268331e-06,1.300013e-06,1.368386e-06,1.434005e-06,1.471441e-06,1.573053e-06,1.577342e-06,1.685937e-06,1.716807e-06,1.797077e-06,1.864919e-06,1.910611e-06,2.017051e-06,2.026393e-06,2.144280e-06,2.172870e-06,2.264130e-06,2.332053e-06,2.385807e-06,2.494287e-06,2.509177e-06,2.634110e-06,2.659273e-06,2.760481e-06,2.826721e-06,2.888167e-06,2.996354e-06,3.017051e-06,3.147019e-06,3.167908e-06,3.277962e-06,3.341130e-06,3.409774e-06,3.515780e-06,3.542352e-06,3.675599e-06,3.691629e-06,3.809420e-06,3.868461e-06,3.943726e-06,4.046069e-06,4.078430e-06,4.213447e-06,4.224260e-06,4.348699e-06,4.402848e-06,4.484109e-06,4.581661e-06,4.619604e-06,4.755114e-06,4.760534e-06,4.890572e-06,4.939312e-06,5.025914e-06,5.117850e-06,5.161080e-06,5.296011e-06,5.430652e-06,5.473667e-06,5.564949e-06,5.650697e-06,5.698854e-06,5.826988e-06,5.832317e-06,5.965294e-06,6.002434e-06,6.097741e-06,6.176938e-06,6.229617e-06,6.350406e-06,6.360884e-06,6.491504e-06,6.522753e-06,6.621444e-06,6.693900e-06,6.750669e-06,6.863771e-06,6.879149e-06,7.006854e-06,7.032300e-06,7.133757e-06,7.199421e-06,7.259832e-06,7.365077e-06,7.385054e-06,7.509400e-06,7.529213e-06,7.632849e-06,7.691780e-06,7.755381e-06,7.852733e-06,7.876976e-06,7.997618e-06,8.012030e-06,8.117290e-06,8.169634e-06,8.235976e-06,8.325511e-06,8.353664e-06,8.470339e-06,8.479629e-06,8.585991e-06,8.631963e-06,8.700608e-06,8.782486e-06,8.814180e-06,8.926699e-06,8.931178e-06,9.038156e-06,9.078019e-06,9.148544e-06,9.222994e-06,9.257857e-06,9.366089e-06,9.507291e-06,9.646592e-06,9.783983e-06,9.919460e-06,1.005302e-05,1.018466e-05,1.031437e-05,1.044217e-05,1.056805e-05,1.069201e-05,1.081407e-05,1.093422e-05,1.105248e-05,1.116884e-05,1.128333e-05,1.139595e-05,1.150672e-05,1.161563e-05,1.172272e-05,1.182798e-05,1.193144e-05,1.203310e-05,1.213298e-05,1.223110e-05
0.000000e+00,1.673414e-12,5.193384e-12,2.779184e-11,8.436676e-11,1.403111e-10,4.212363e-10,4.382782e-10,1.054789e-09,1.306253e-09,2.155340e-09,3.128771e-09,3.937205e-09,6.373693e-09,6.628276e-09,1.048153e-08,1.160861e-08,1.576080e-08,1.943582e-08,2.272053e-08,3.041823e-08,3.159034e-08,4.256956e-08,4.503395e-08,5.582765e-08,6.367049e-08,7.150600e-08,8.663074e-08,8.971913e-08,1.105554e-07,1.141371e-07,1.340774e-07,1.463340e-07,1.603230e-07,1.832903e-07,1.893057e-07,2.210166e-07,2.250041e-07,2.554260e-07,2.714091e-07,2.924851e-07,3.223827e-07,3.321289e-07,3.742779e-07,3.777554e-07,4.188409e-07,4.373197e-07,4.657172e-07,5.008400e-07,5.147986e-07,5.659716e-07,5.680604e-07,6.191194e-07,6.387131e-07,6.741229e-07,7.125242e-07,7.308626e-07,7.892195e-07,8.490765e-07,8.685287e-07,9.103186e-07,9.501886e-07,9.728339e-07,1.033946e-06,1.036514e-06,1.101254e-06,1.119558e-06,1.166955e-06,1.206796e-06,1.233519e-06,1.295442e-06,1.300856e-06,1.368877e-06,1.385295e-06,1.437501e-06,1.476164e-06,1.506648e-06,1.567873e-06,1.576246e-06,1.646222e-06,1.660257e-06,1.716512e-06,1.753166e-06,1.787054e-06,1.846460e-06,1.857789e-06,1.928661e-06,1.940010e-06,1.999621e-06,2.033698e-06,2.070619e-06,2.127415e-06,2.141610e-06,2.212553e-06,2.221061e-06,2.283408e-06,2.314547e-06,2.354138e-06,2.407789e-06,2.424709e-06,2.495090e-06,2.500711e-06,2.565250e-06,2.593246e-06,2.635163e-06,2.685332e-06,2.704801e-06,2.774143e-06,2.776911e-06,2.843167e-06,2.867933e-06,2.911851e-06,2.958353e-06,2.980177e-06,3.048129e-06,3.115690e-06,3.137224e-06,3.182846e-06,3.225607e-06,3.249583e-06,3.313246e-06,3.315890e-06,3.381756e-06,3.400118e-06,3.447171e-06,3.486199e-06,3.512125e-06,3.571470e-06,3.576611e-06,3.640621e-06,3.655912e-06,3.704149e-06,3.739512e-06,3.767190e-06,3.822257e-06,3.829737e-06,3.891787e-06,3.904137e-06,3.953336e-06,3.985142e-06,4.014381e-06,4.065267e-06,4.074919e-06,4.134948e-06,4.144506e-06,4.194467e-06,4.222854e-06,4.253474e-06,4.300310e-06,4.311968e-06,4.369949e-06,4.376872e-06,4.427417e-06,4.452541e-06,4.484373e-06,4.527316e-06,4.540816e-06,4.596748e-06,4.601201e-06,4.652170e-06,4.674197e-06,4.707084e-06,4.746307e-06,4.761490e-06,4.815391e-06,4.817537e-06,4.868790e-06,4.887891e-06,4.921688e-06,4.957373e-06,4.974087e-06,5.025991e-06,5.093750e-06,5.160657e-06,5.226720e-06,5.291945e-06,5.356341e-06,5.419915e-06,5.482677e-06,5.544633e-06,5.605794e-06,5.666168e-06,5.725764e-06,5.784591e-06,5.842658e-06,5.899974e-06,5.956549e-06,6.012392e-06,6.067513e-06,6.121921e-06,6.175624e-06,6.228634e-06,6.280959e-06,6.332608e-06,6.383590e-06,6.433916e-06
0.000000e+00,5.926652e-13,2.559578e-12,1.956347e-11,7.034088e-11,1.247103e-10,4.200580e-10,4.386455e-10,1.135482e-09,1.428440e-09,2.438474e-09,3.621962e-09,4.618496e-09,7.670654e-09,7.992793e-09,1.292299e-08,1.438165e-08,1.981104e-08,2.468452e-08,2.909148e-08,3.959761e-08,4.121826e-08,5.664524e-08,6.016516e-08,7.580168e-08,8.736554e-08,9.906734e-08,1.220165e-07,1.267541e-07,1.590984e-07,1.647177e-07,1.962642e-07,2.158478e-07,2.383510e-07,2.755959e-07,2.854045e-07,3.374254e-07,3.440004e-07,3.943776e-07,4.209826e-07,4.561945e-07,5.063733e-07,5.227845e-07,5.940355e-07,5.999332e-07,6.698187e-07,7.013696e-07,7.499923e-07,8.103507e-07,8.344041e-07,9.228943e-07,9.265164e-07,1.015298e-06,1.049488e-06,1.111445e-06,1.178877e-06,1.211166e-06,1.314289e-06,1.420643e-06,1.455331e-06,1.530059e-06,1.601615e-06,1.642369e-06,1.752757e-06,1.757409e-06,1.875017e-06,1.908386e-06,1.995037e-06,2.068141e-06,2.117313e-06,2.231673e-06,2.241698e-06,2.368044e-06,2.398644e-06,2.496213e-06,2.568732e-06,2.626067e-06,2.741628e-06,2.757475e-06,2.890308e-06,2.917035e-06,3.024445e-06,3.094672e-06,3.159766e-06,3.274268e-06,3.296158e-06,3.433511e-06,3.455569e-06,3.571718e-06,3.638331e-06,3.710678e-06,3.822323e-06,3.850294e-06,3.990471e-06,4.007326e-06,4.131121e-06,4.193134e-06,4.272157e-06,4.379552e-06,4.413496e-06,4.555060e-06,4.566393e-06,4.696773e-06,4.753484e-06,4.838563e-06,4.940661e-06,4.980361e-06,5.122101e-06,5.127769e-06,5.263720e-06,5.314662e-06,5.405159e-06,5.501205e-06,5.546360e-06,5.687269e-06,5.827834e-06,5.872734e-06,5.968006e-06,6.057488e-06,6.107738e-06,6.241427e-06,6.246987e-06,6.385710e-06,6.424452e-06,6.523867e-06,6.606474e-06,6.661420e-06,6.787406e-06,6.798335e-06,6.934577e-06,6.967172e-06,7.070115e-06,7.145698e-06,7.204919e-06,7.322916e-06,7.338960e-06,7.472212e-06,7.498766e-06,7.604651e-06,7.673190e-06,7.736253e-06,7.846136e-06,7.866997e-06,7.996861e-06,8.017557e-06,8.125828e-06,8.187408e-06,8.253880e-06,8.355651e-06,8.380999e-06,8.507173e-06,8.522249e-06,8.632385e-06,8.687171e-06,8.756625e-06,8.850388e-06,8.879879e-06,9.002138e-06,9.011875e-06,9.123392e-06,9.171610e-06,9.243631e-06,9.329572e-06,9.362850e-06,9.481039e-06,9.485745e-06,9.598194e-06,9.640116e-06,9.714309e-06,9.792671e-06,9.829380e-06,9.943402e-06,1.009230e-05,1.023936e-05,1.038459e-05,1.052797e-05,1.066950e-05,1.080920e-05,1.094706e-05,1.108309e-05,1.121728e-05,1.134966e-05,1.148023e-05,1.160899e-05,1.173595e-05,1.186114e-05,1.198455e-05,1.210620e-05,1.222611e-05,1.234428e-05,1.246074e-05,1.257549e-05,1.268855e-05,1.279994e-05,1.290968e-05,1.301778e-05
0.000000e+00,9.684173e-12,2.952365e-11,1.552886e-10,4.683046e-10,7.773550e-10,2.329257e-09,2.423454e-09,5.835859e-09,7.230003e-09,1.194484e-08,1.736057e-08,2.186445e-08,3.546068e-08,3.688276e-08,5.842996e-08,6.473929e-08,8.800432e-08,1.086192e-07,1.270591e-07,1.703091e-07,1.768975e-07,2.386203e-07,2.524733e-07,3.131227e-07,3.571556e-07,4.011098e-07,4.858338e-07,5.031135e-07,6.195073e-07,6.394829e-07,7.505187e-07,8.186283e-07,8.962405e-07,1.023394e-06,1.056644e-06,1.231593e-06,1.253554e-06,1.420855e-06,1.508586e-06,1.624117e-06,1.787726e-06,1.840997e-06,2.071060e-06,2.090020e-06,2.313824e-06,2.414371e-06,2.568775e-06,2.759583e-06,2.835373e-06,3.113063e-06,3.124393e-06,3.401277e-06,3.507500e-06,3.699444e-06,3.907592e-06,4.006994e-06,4.323359e-06,4.647978e-06,4.753510e-06,4.980301e-06,5.196781e-06,5.319788e-06,5.651947e-06,5.665913e-06,6.018161e-06,6.117820e-06,6.376037e-06,6.593262e-06,6.739057e-06,7.077177e-06,7.106754e-06,7.478678e-06,7.568520e-06,7.854395e-06,8.066296e-06,8.233486e-06,8.569557e-06,8.615549e-06,9.000197e-06,9.077404e-06,9.387060e-06,9.588985e-06,9.775782e-06,1.010349e-05,1.016602e-05,1.055745e-05,1.062017e-05,1.094977e-05,1.113830e-05,1.134266e-05,1.165721e-05,1.173586e-05,1.212909e-05,1.217626e-05,1.252208e-05,1.269486e-05,1.291460e-05,1.321246e-05,1.330642e-05,1.369730e-05,1.372852e-05,1.408704e-05,1.424257e-05,1.447544e-05,1.475416e-05,1.486232e-05,1.524748e-05,1.526285e-05,1.563077e-05,1.576826e-05,1.601202e-05,1.627002e-05,1.639108e-05,1.676781e-05,1.714207e-05,1.726129e-05,1.751375e-05,1.775021e-05,1.788272e-05,1.823428e-05,1.824887e-05,1.861210e-05,1.871326e-05,1.897231e-05,1.918695e-05,1.932942e-05,1.965514e-05,1.968333e-05,2.003398e-05,2.011764e-05,2.038129e-05,2.057431e-05,2.072520e-05,2.102498e-05,2.106565e-05,2.140257e-05,2.146953e-05,2.173593e-05,2.190784e-05,2.206566e-05,2.233982e-05,2.239175e-05,2.271414e-05,2.276537e-05,2.303280e-05,2.318443e-05,2.334771e-05,2.359691e-05,2.365884e-05,2.396616e-05,2.400278e-05,2.426967e-05,2.440200e-05,2.456934e-05,2.479452e-05,2.486517e-05,2.515714e-05,2.518033e-05,2.544525e-05,2.555941e-05,2.572950e-05,2.593176e-05,2.600988e-05,2.628639e-05,2.629737e-05,2.655905e-05,2.665626e-05,2.682785e-05,2.700844e-05,2.709281e-05,2.735393e-05,2.769276e-05,2.802496e-05,2.835057e-05,2.866962e-05,2.898217e-05,2.928826e-05,2.958794e-05,2.988128e-05,3.016834e-05,3.044917e-05,3.072384e-05,3.099241e-05,3.125497e-05,3.151157e-05,3.176229e-05,3.200721e-05,3.224640e-05,3.247994e-05,3.270790e-05,3.293037e-05,3.314742e-05,3.335914e-05,3.356560e-05,3.376689e-05
0.000000e+00,1.701976e-14,1.330302e-13,2.355241e-12,1.380355e-11,2.986853e-11,1.460664e-10,1.543660e-10,5.076773e-10,6.721711e-10,1.280291e-09,2.045114e-09,2.717869e-09,4.883110e-09,5.118497e-09,8.830897e-09,9.960263e-09,1.425301e-08,1.820013e-08,2.182940e-08,3.066288e-08,3.204485e-08,4.541076e-08,4.850766e-08,6.244391e-08,7.291704e-08,8.364196e-08,1.050036e-07,1.094631e-07,1.403145e-07,1.457419e-07,1.765488e-07,1.959429e-07,2.184644e-07,2.562549e-07,2.663080e-07,3.202766e-07,3.271721e-07,3.805199e-07,4.090430e-07,4.471415e-07,5.020782e-07,5.202015e-07,5.997181e-07,6.063580e-07,6.856703e-07,7.218413e-07,7.780001e-07,8.483765e-07,8.766161e-07,9.813959e-07,9.857133e-07,1.092190e-06,1.133516e-06,1.208825e-06,1.291375e-06,1.331107e-06,1.458824e-06,1.591751e-06,1.635350e-06,1.729652e-06,1.820404e-06,1.872279e-06,2.013416e-06,2.019383e-06,2.170708e-06,2.213800e-06,2.325996e-06,2.420965e-06,2.484991e-06,2.634320e-06,2.647437e-06,2.813081e-06,2.853283e-06,2.981674e-06,3.077283e-06,3.152971e-06,3.305762e-06,3.326736e-06,3.502734e-06,3.538182e-06,3.680742e-06,3.774027e-06,3.860539e-06,4.012799e-06,4.041917e-06,4.224671e-06,4.254026e-06,4.408606e-06,4.497259e-06,4.593535e-06,4.742072e-06,4.779277e-06,4.965660e-06,4.988061e-06,5.152521e-06,5.234850e-06,5.339702e-06,5.482081e-06,5.527054e-06,5.714435e-06,5.729422e-06,5.901710e-06,5.976562e-06,6.088752e-06,6.223209e-06,6.275438e-06,6.461655e-06,6.469093e-06,6.647295e-06,6.713964e-06,6.832254e-06,6.957589e-06,7.016437e-06,7.199754e-06,7.382118e-06,7.440261e-06,7.563451e-06,7.678929e-06,7.743679e-06,7.915591e-06,7.922730e-06,8.100540e-06,8.150096e-06,8.277049e-06,8.382306e-06,8.452201e-06,8.612096e-06,8.625942e-06,8.798226e-06,8.839352e-06,8.969008e-06,9.063974e-06,9.138247e-06,9.285871e-06,9.305905e-06,9.471949e-06,9.504961e-06,9.636348e-06,9.721176e-06,9.799074e-06,9.934452e-06,9.960102e-06,1.011941e-05,1.014474e-05,1.027698e-05,1.035199e-05,1.043279e-05,1.055616e-05,1.058682e-05,1.073908e-05,1.075722e-05,1.088953e-05,1.095516e-05,1.103818e-05,1.114995e-05,1.118502e-05,1.133005e-05,1.134157e-05,1.147325e-05,1.153002e-05,1.161463e-05,1.171530e-05,1.175419e-05,1.189193e-05,1.189740e-05,1.202785e-05,1.207634e-05,1.216196e-05,1.225211e-05,1.229425e-05,1.242475e-05,1.259425e-05,1.276064e-05,1.292394e-05,1.308417e-05,1.324137e-05,1.339555e-05,1.354675e-05,1.369500e-05,1.384034e-05,1.398280e-05,1.412241e-05,1.425921e-05,1.439324e-05,1.452454e-05,1.465314e-05,1.477910e-05,1.490244e-05,1.502321e-05,1.514144e-05,1.525719e-05,1.537049e-05,1.548138e-05,1.558991e-05,1.569611e-05
0.000000e+00,2.035847e-12,6.390475e-12,3.465662e-11,1.059897e-10,1.768370e-10,5.344637e-10,5.562194e-10,1.345704e-09,1.668643e-09,2.761426e-09,4.017248e-09,5.061914e-09,8.217372e-09,8.547624e-09,1.355890e-08,1.502954e-08,2.046869e-08,2.531251e-08,2.966616e-08,3.995609e-08,4.153308e-08,5.642193e-08,5.979050e-08,7.464406e-08,8.552748e-08,9.646726e-08,1.177482e-07,1.221175e-07,1.517817e-07,1.569109e-07,1.856093e-07,2.033602e-07,2.237144e-07,2.573327e-07,2.661763e-07,3.130414e-07,3.189621e-07,3.643242e-07,3.882854e-07,4.200098e-07,4.652500e-07,4.800553e-07,5.443930e-07,5.497229e-07,6.129326e-07,6.415009e-07,6.855640e-07,7.403216e-07,7.621603e-07,8.425805e-07,8.458747e-07,9.266719e-07,9.578126e-07,1.014273e-06,1.075760e-06,1.105215e-06,1.199324e-06,1.296426e-06,1.328101e-06,1.396341e-06,1.461682e-06,1.498893e-06,1.599661e-06,1.603907e-06,1.711207e-06,1.741638e-06,1.820625e-06,1.887222e-06,1.931993e-06,2.036035e-06,2.045149e-06,2.159937e-06,2.187711e-06,2.276202e-06,2.341902e-06,2.393800e-06,2.498276e-06,2.512589e-06,2.632433e-06,2.656517e-06,2.753202e-06,2.816326e-06,2.874771e-06,2.977422e-06,2.997023e-06,3.119844e-06,3.139541e-06,3.243126e-06,3.302435e-06,3.366766e-06,3.465871e-06,3.490668e-06,3.614738e-06,3.629634e-06,3.738890e-06,3.793521e-06,3.863040e-06,3.957344e-06,3.987110e-06,4.111026e-06,4.120930e-06,4.234718e-06,4.284117e-06,4.358120e-06,4.446756e-06,4.481171e-06,4.603812e-06,4.608709e-06,4.725989e-06,4.769849e-06,4.847650e-06,4.930060e-06,4.968746e-06,5.089234e-06,5.209071e-06,5.247275e-06,5.328218e-06,5.404092e-06,5.446638e-06,5.559605e-06,5.564297e-06,5.681164e-06,5.713740e-06,5.797209e-06,5.866431e-06,5.912406e-06,6.017616e-06,6.026730e-06,6.140157e-06,6.167244e-06,6.252667e-06,6.315265e-06,6.364241e-06,6.461637e-06,6.474860e-06,6.584511e-06,6.606323e-06,6.693177e-06,6.749290e-06,6.800846e-06,6.890509e-06,6.907506e-06,7.013149e-06,7.029957e-06,7.117764e-06,7.167612e-06,7.221344e-06,7.303459e-06,7.323883e-06,7.425374e-06,7.437483e-06,7.525814e-06,7.569674e-06,7.625199e-06,7.700024e-06,7.723526e-06,7.820793e-06,7.828529e-06,7.917000e-06,7.955185e-06,8.012145e-06,8.079993e-06,8.106230e-06,8.199255e-06,8.202954e-06,8.291223e-06,8.324073e-06,8.382135e-06,8.443354e-06,8.471994e-06,8.560804e-06,8.676433e-06,8.790250e-06,8.902267e-06,9.012496e-06,9.120950e-06,9.227644e-06,9.332594e-06,9.435815e-06,9.537325e-06,9.637140e-06,9.735279e-06,9.831760e-06,9.926603e-06,1.001983e-05,1.011145e-05,1.020149e-05,1.028998e-05,1.037692e-05,1.046235e-05,1.054628e-05,1.062873e-05,1.070973e-05,1.078929e-05,1.086744e-05
0.000000e+00,7.621347e-17,8.316286e-16,2.787116e-14,2.749123e-13,7.734459e-13,6.952779e-12,7.517299e-12,4.133562e-11,6.212381e-11,1.592494e-10,3.169368e-10,4.818595e-10,1.143688e-09,1.225965e-09,2.740365e-09,3.271930e-09,5.543182e-09,7.935453e-09,1.035622e-08,1.700127e-08,1.812663e-08,3.002417e-08,3.301583e-08,4.740838e-08,5.910819e-08,7.177023e-08,9.876123e-08,1.046610e-07,1.476221e-07,1.555302e-07,2.021262e-07,2.327927e-07,2.695333e-07,3.335735e-07,3.510624e-07,4.477768e-07,4.604474e-07,5.605771e-07,6.155012e-07,6.902013e-07,8.003290e-07,8.372275e-07,1.002079e-06,1.016047e-06,1.185032e-06,1.263316e-06,1.386220e-06,1.542372e-06,1.605644e-06,1.843180e-06,1.853055e-06,2.098588e-06,2.194847e-06,2.371524e-06,2.566911e-06,2.661547e-06,2.968136e-06,3.290692e-06,3.397177e-06,3.628560e-06,3.852507e-06,3.981033e-06,4.332453e-06,4.347363e-06,4.726773e-06,4.835244e-06,5.118468e-06,5.359044e-06,5.521637e-06,5.901987e-06,5.935466e-06,6.359144e-06,6.462203e-06,6.791867e-06,7.037847e-06,7.232843e-06,7.627113e-06,7.681297e-06,8.136474e-06,8.228252e-06,8.597642e-06,8.839580e-06,9.064091e-06,9.459491e-06,9.535141e-06,1.001014e-05,1.008646e-05,1.048845e-05,1.071904e-05,1.096948e-05,1.135588e-05,1.145267e-05,1.193746e-05,1.199572e-05,1.242334e-05,1.263735e-05,1.290983e-05,1.327969e-05,1.339647e-05,1.388282e-05,1.392170e-05,1.436846e-05,1.456244e-05,1.485303e-05,1.520104e-05,1.533614e-05,1.581748e-05,1.583669e-05,1.629671e-05,1.646866e-05,1.677354e-05,1.709627e-05,1.724769e-05,1.771891e-05,1.818695e-05,1.833602e-05,1.865160e-05,1.894710e-05,1.911264e-05,1.955168e-05,1.956989e-05,2.002317e-05,2.014935e-05,2.047231e-05,2.073975e-05,2.091717e-05,2.132254e-05,2.135761e-05,2.179352e-05,2.189744e-05,2.222476e-05,2.246419e-05,2.265125e-05,2.302256e-05,2.307290e-05,2.348961e-05,2.357236e-05,2.390132e-05,2.411342e-05,2.430797e-05,2.464559e-05,2.470949e-05,2.510584e-05,2.516877e-05,2.549698e-05,2.568286e-05,2.588287e-05,2.618778e-05,2.626348e-05,2.663880e-05,2.668348e-05,2.700880e-05,2.716991e-05,2.737347e-05,2.764706e-05,2.773282e-05,2.808683e-05,2.811492e-05,2.843551e-05,2.857350e-05,2.877887e-05,2.902280e-05,2.911692e-05,2.944967e-05,2.946287e-05,2.977715e-05,2.989375e-05,3.009936e-05,3.031548e-05,3.041634e-05,3.072812e-05,3.113174e-05,3.152641e-05,3.191221e-05,3.228924e-05,3.265757e-05,3.301732e-05,3.336857e-05,3.371143e-05,3.404601e-05,3.437242e-05,3.469078e-05,3.500119e-05,3.530378e-05,3.559866e-05,3.588595e-05,3.616578e-05,3.643826e-05,3.670352e-05,3.696168e-05,3.721287e-05,3.745720e-05,3.769479e-05,3.792578e-05,3.815028e-05
0.000000e+00,2.053955e-16,2.177577e-15,6.878618e-14,6.433279e-13,1.758407e-12,1.468610e-11,1.583163e-11,8.106822e-11,1.195391e-10,2.922748e-10,5.602020e-10,8.313182e-10,1.870649e-09,1.996244e-09,4.226522e-09,4.983455e-09,8.122736e-09,1.131260e-08,1.445513e-08,2.277693e-08,2.415212e-08,3.826408e-08,4.171413e-08,5.790884e-08,7.068567e-08,8.421230e-08,1.122471e-07,1.182569e-07,1.610445e-07,1.687635e-07,2.134744e-07,2.423007e-07,2.763317e-07,3.345776e-07,3.502836e-07,4.358788e-07,4.469544e-07,5.335486e-07,5.804340e-07,6.436084e-07,7.356687e-07,7.662601e-07,9.015941e-07,9.129689e-07,1.049594e-06,1.112316e-06,1.210139e-06,1.333381e-06,1.383013e-06,1.567910e-06,1.575551e-06,1.764444e-06,1.837958e-06,1.972156e-06,2.119523e-06,2.190528e-06,2.418987e-06,2.656923e-06,2.734959e-06,2.903690e-06,3.065951e-06,3.158626e-06,3.410417e-06,3.421049e-06,3.690278e-06,3.766788e-06,3.965628e-06,4.133496e-06,4.246426e-06,4.509003e-06,4.532011e-06,4.821737e-06,4.891818e-06,5.114983e-06,5.280513e-06,5.411148e-06,5.673734e-06,5.709661e-06,6.009973e-06,6.070206e-06,6.311570e-06,6.468744e-06,6.613961e-06,6.868248e-06,6.916688e-06,7.219322e-06,7.267708e-06,7.521460e-06,7.666200e-06,7.822730e-06,8.062886e-06,8.122784e-06,8.421304e-06,8.457009e-06,8.717993e-06,8.847886e-06,9.012582e-06,9.234911e-06,9.304822e-06,9.594488e-06,9.617544e-06,9.881373e-06,9.995306e-06,1.016529e-05,1.036778e-05,1.044608e-05,1.072357e-05,1.073460e-05,1.099765e-05,1.109546e-05,1.126819e-05,1.145009e-05,1.153509e-05,1.179825e-05,1.205759e-05,1.213976e-05,1.231305e-05,1.247448e-05,1.256457e-05,1.280227e-05,1.281209e-05,1.305558e-05,1.312303e-05,1.329502e-05,1.343672e-05,1.353037e-05,1.374327e-05,1.376162e-05,1.398876e-05,1.404266e-05,1.421179e-05,1.433489e-05,1.443071e-05,1.461998e-05,1.464554e-05,1.485627e-05,1.489793e-05,1.506294e-05,1.516880e-05,1.526555e-05,1.543264e-05,1.546414e-05,1.565874e-05,1.568950e-05,1.584936e-05,1.593946e-05,1.603605e-05,1.618260e-05,1.621885e-05,1.639778e-05,1.641900e-05,1.657290e-05,1.664875e-05,1.674424e-05,1.687195e-05,1.691184e-05,1.707575e-05,1.708871e-05,1.723602e-05,1.729912e-05,1.739270e-05,1.750330e-05,1.754582e-05,1.769545e-05,1.770136e-05,1.784162e-05,1.789341e-05,1.798439e-05,1.807956e-05,1.812382e-05,1.825994e-05,1.843466e-05,1.860383e-05,1.876758e-05,1.892601e-05,1.907926e-05,1.922744e-05,1.937065e-05,1.950902e-05,1.964267e-05,1.977169e-05,1.989622e-05,2.001635e-05,2.013219e-05,2.024386e-05,2.035145e-05,2.045507e-05,2.055483e-05,2.065082e-05,2.074315e-05,2.083190e-05,2.091718e-05,2.099907e-05,2.107768e-05,2.115308e-05
0.000000e+00,3.492826e-12,1.063528e-11,5.586535e-11,1.683737e-10,2.794378e-10,8.372069e-10,8.710695e-10,2.098492e-09,2.600374e-09,4.299489e-09,6.254579e-09,7.883175e-09,1.281392e-08,1.333086e-08,2.119082e-08,2.350172e-08,3.205752e-08,3.968078e-08,4.652975e-08,6.268819e-08,6.515975e-08,8.841843e-08,9.366064e-08,1.166864e-07,1.334670e-07,1.502607e-07,1.827297e-07,1.893654e-07,2.341601e-07,2.418629e-07,2.847471e-07,3.111028e-07,3.411764e-07,3.905297e-07,4.034509e-07,4.715305e-07,4.800869e-07,5.453376e-07,5.795997e-07,6.247613e-07,6.887948e-07,7.096621e-07,7.998772e-07,8.073186e-07,8.952240e-07,9.347558e-07,9.955049e-07,1.070645e-06,1.100510e-06,1.210023e-06,1.214494e-06,1.323819e-06,1.365791e-06,1.441673e-06,1.524016e-06,1.563358e-06,1.688646e-06,1.817316e-06,1.859168e-06,1.949145e-06,2.035074e-06,2.083918e-06,2.215873e-06,2.221423e-06,2.361456e-06,2.401090e-06,2.503816e-06,2.590269e-06,2.648311e-06,2.782973e-06,2.794756e-06,2.942969e-06,2.978784e-06,3.092778e-06,3.177307e-06,3.244018e-06,3.378166e-06,3.396529e-06,3.550158e-06,3.581006e-06,3.704760e-06,3.785491e-06,3.860195e-06,3.991306e-06,4.016330e-06,4.173036e-06,4.198154e-06,4.330194e-06,4.405756e-06,4.487687e-06,4.613849e-06,4.645406e-06,4.803246e-06,4.822190e-06,4.961108e-06,5.030550e-06,5.118898e-06,5.238714e-06,5.276525e-06,5.433907e-06,5.446485e-06,5.590963e-06,5.653676e-06,5.747616e-06,5.860117e-06,5.903796e-06,6.059435e-06,6.065648e-06,6.214469e-06,6.270121e-06,6.368838e-06,6.473401e-06,6.522487e-06,6.675362e-06,6.827414e-06,6.875889e-06,6.978596e-06,7.074875e-06,7.128864e-06,7.272225e-06,7.278178e-06,7.426501e-06,7.467848e-06,7.573796e-06,7.661666e-06,7.720031e-06,7.853606e-06,7.865177e-06,8.009203e-06,8.043601e-06,8.152086e-06,8.231592e-06,8.293801e-06,8.417527e-06,8.434326e-06,8.573642e-06,8.601359e-06,8.711730e-06,8.783046e-06,8.848575e-06,8.962552e-06,8.984160e-06,9.118474e-06,9.139846e-06,9.251505e-06,9.314900e-06,9.383241e-06,9.487693e-06,9.513675e-06,9.642799e-06,9.658206e-06,9.770606e-06,9.826423e-06,9.897091e-06,9.992333e-06,1.002225e-05,1.014608e-05,1.015593e-05,1.026858e-05,1.031720e-05,1.038974e-05,1.047616e-05,1.050958e-05,1.062807e-05,1.063279e-05,1.074524e-05,1.078710e-05,1.086108e-05,1.093909e-05,1.097559e-05,1.108878e-05,1.123617e-05,1.138127e-05,1.152409e-05,1.166466e-05,1.180297e-05,1.193905e-05,1.207292e-05,1.220460e-05,1.233409e-05,1.246144e-05,1.258665e-05,1.270975e-05,1.283075e-05,1.294970e-05,1.306660e-05,1.318148e-05,1.329436e-05,1.340528e-05,1.351425e-05,1.362130e-05,1.372646e-05,1.382975e-05,1.393120e-05,1.403083e-05
0.000000e+00,4.921512e-15,4.532722e-14,1.083796e-12,7.994031e-12,1.931013e-11,1.198445e-10,1.277279e-10,5.032303e-10,6.946265e-10,1.452297e-09,2.475907e-09,3.418772e-09,6.625805e-09,6.986338e-09,1.288341e-08,1.473991e-08,2.199119e-08,2.887479e-08,3.534810e-08,5.155281e-08,5.413584e-08,7.963074e-08,8.564879e-08,1.131205e-07,1.341006e-07,1.558111e-07,1.995584e-07,2.087571e-07,2.728302e-07,2.841630e-07,3.487201e-07,3.895042e-07,4.369507e-07,5.166795e-07,5.379009e-07,6.518226e-07,6.663726e-07,7.788541e-07,8.389137e-07,9.190305e-07,1.034322e-06,1.072291e-06,1.238488e-06,1.252336e-06,1.417389e-06,1.492440e-06,1.608688e-06,1.753893e-06,1.812011e-06,2.026923e-06,2.035754e-06,2.252935e-06,2.336916e-06,2.489515e-06,2.656136e-06,2.736092e-06,2.992068e-06,3.256821e-06,3.343293e-06,3.529718e-06,3.708349e-06,3.810116e-06,4.085756e-06,4.097369e-06,4.390838e-06,4.474037e-06,4.689890e-06,4.871743e-06,4.993905e-06,5.277460e-06,5.302277e-06,5.614418e-06,5.689830e-06,5.929764e-06,6.107554e-06,6.247770e-06,6.529401e-06,6.567915e-06,6.889702e-06,6.954215e-06,7.212662e-06,7.380916e-06,7.536349e-06,7.808499e-06,7.860342e-06,8.184245e-06,8.236036e-06,8.507688e-06,8.662675e-06,8.830325e-06,9.087636e-06,9.151832e-06,9.471910e-06,9.510210e-06,9.790280e-06,9.929755e-06,1.010668e-05,1.034569e-05,1.042089e-05,1.073267e-05,1.075750e-05,1.104184e-05,1.116473e-05,1.134820e-05,1.156695e-05,1.165160e-05,1.195188e-05,1.196382e-05,1.224891e-05,1.235502e-05,1.254257e-05,1.274028e-05,1.283275e-05,1.311936e-05,1.340231e-05,1.349207e-05,1.368153e-05,1.385824e-05,1.395695e-05,1.421774e-05,1.422853e-05,1.449622e-05,1.457047e-05,1.475998e-05,1.491634e-05,1.501978e-05,1.525529e-05,1.527561e-05,1.552744e-05,1.558729e-05,1.577528e-05,1.591232e-05,1.601911e-05,1.623037e-05,1.625894e-05,1.649477e-05,1.654146e-05,1.672663e-05,1.684563e-05,1.695452e-05,1.714290e-05,1.717846e-05,1.739848e-05,1.743332e-05,1.761461e-05,1.771697e-05,1.782686e-05,1.799391e-05,1.803529e-05,1.823991e-05,1.826421e-05,1.844076e-05,1.852795e-05,1.863789e-05,1.878524e-05,1.883133e-05,1.902113e-05,1.903615e-05,1.920732e-05,1.928080e-05,1.938996e-05,1.951928e-05,1.956908e-05,1.974474e-05,1.975169e-05,1.991697e-05,1.997815e-05,2.008584e-05,2.019876e-05,2.025137e-05,2.041364e-05,2.062289e-05,2.082663e-05,2.102498e-05,2.121804e-05,2.140593e-05,2.158877e-05,2.176666e-05,2.193971e-05,2.210804e-05,2.227176e-05,2.243097e-05,2.258579e-05,2.273631e-05,2.288264e-05,2.302488e-05,2.316313e-05,2.329750e-05,2.342807e-05,2.355495e-05,2.367822e-05,2.379799e-05,2.391433e-05,2.402733e-05,2.413709e-05
0.000000e+00,2.656225e-15,2.552491e-14,6.628185e-13,5.236422e-12,1.310033e-11,8.828022e-11,9.438006e-11,3.989797e-10,5.604364e-10,1.220964e-09,2.146374e-09,3.020283e-09,6.089312e-09,6.441257e-09,1.233117e-08,1.422605e-08,2.175962e-08,2.906145e-08,3.602958e-08,5.379526e-08,5.666150e-08,8.532919e-08,9.217854e-08,1.237439e-07,1.481136e-07,1.735153e-07,2.251260e-07,2.360352e-07,3.124151e-07,3.259810e-07,4.034779e-07,4.525772e-07,5.097850e-07,6.060406e-07,6.316751e-07,7.693045e-07,7.868794e-07,9.226793e-07,9.951261e-07,1.091682e-06,1.230445e-06,1.276094e-06,1.475606e-06,1.492209e-06,1.689843e-06,1.779564e-06,1.918364e-06,2.091474e-06,2.160684e-06,2.416276e-06,2.426768e-06,2.684584e-06,2.784177e-06,2.965031e-06,3.162365e-06,3.257022e-06,3.559956e-06,3.873227e-06,3.975558e-06,4.196229e-06,4.407780e-06,4.528363e-06,4.855251e-06,4.869035e-06,5.217662e-06,5.316625e-06,5.573675e-06,5.790595e-06,5.936517e-06,6.275897e-06,6.305646e-06,6.680539e-06,6.771314e-06,7.060686e-06,7.275680e-06,7.445597e-06,7.787882e-06,7.834797e-06,8.227831e-06,8.306859e-06,8.624259e-06,8.831603e-06,9.023661e-06,9.361159e-06,9.425631e-06,9.829783e-06,9.894624e-06,1.023574e-05,1.043114e-05,1.064316e-05,1.096992e-05,1.105170e-05,1.146103e-05,1.151018e-05,1.187084e-05,1.205124e-05,1.228085e-05,1.259241e-05,1.269077e-05,1.310033e-05,1.313308e-05,1.350930e-05,1.367266e-05,1.391742e-05,1.421061e-05,1.432446e-05,1.473023e-05,1.474643e-05,1.513450e-05,1.527964e-05,1.553709e-05,1.580981e-05,1.593783e-05,1.633653e-05,1.673304e-05,1.685943e-05,1.712720e-05,1.737817e-05,1.751888e-05,1.789243e-05,1.790794e-05,1.829426e-05,1.840193e-05,1.867773e-05,1.890639e-05,1.905822e-05,1.940557e-05,1.943565e-05,1.980992e-05,1.989926e-05,2.018094e-05,2.038726e-05,2.054863e-05,2.086939e-05,2.091293e-05,2.127375e-05,2.134550e-05,2.163105e-05,2.181543e-05,2.198476e-05,2.227907e-05,2.233483e-05,2.268123e-05,2.273630e-05,2.302389e-05,2.318704e-05,2.336280e-05,2.363120e-05,2.369792e-05,2.402922e-05,2.406872e-05,2.435667e-05,2.449953e-05,2.468026e-05,2.492360e-05,2.499997e-05,2.531579e-05,2.534089e-05,2.562771e-05,2.575138e-05,2.593571e-05,2.615505e-05,2.623980e-05,2.653998e-05,2.655191e-05,2.683625e-05,2.694195e-05,2.712861e-05,2.732518e-05,2.741706e-05,2.770163e-05,2.807131e-05,2.843425e-05,2.879050e-05,2.914009e-05,2.948307e-05,2.981949e-05,3.014940e-05,3.047285e-05,3.078992e-05,3.110067e-05,3.140515e-05,3.170345e-05,3.199562e-05,3.228176e-05,3.256192e-05,3.283619e-05,3.310465e-05,3.336737e-05,3.362444e-05,3.387593e-05,3.412193e-05,3.436253e-05,3.459779e-05,3.482782e-05
0.000000e+00,1.082305e-17,1.269000e-16,4.941374e-15,5.593855e-14,1.698187e-13,1.860801e-12,2.028248e-12,1.360476e-11,2.158916e-11,6.348564e-11,1.412730e-10,2.310633e-10,6.460149e-10,7.022227e-10,1.861555e-09,2.312964e-09,4.432335e-09,6.928128e-09,9.671167e-09,1.808141e-08,1.961398e-08,3.735717e-08,4.220626e-08,6.734773e-08,8.972563e-08,1.156517e-07,1.761047e-07,1.901731e-07,3.008012e-07,3.226211e-07,4.594699e-07,5.567161e-07,6.801265e-07,9.118669e-07,9.786080e-07,1.372434e-06,1.426987e-06,1.880528e-06,2.145410e-06,2.522876e-06,3.113556e-06,3.320152e-06,4.293302e-06,4.379378e-06,5.463130e-06,5.990693e-06,6.849877e-06,7.993525e-06,8.472824e-06,1.034991e-05,1.043052e-05,1.249741e-05,1.333952e-05,1.492960e-05,1.675235e-05,1.765854e-05,2.069388e-05,2.404268e-05,2.518130e-05,2.770934e-05,3.022370e-05,3.169553e-05,3.582197e-05,3.600024e-05,4.061976e-05,4.196884e-05,4.554783e-05,4.864925e-05,5.077574e-05,5.584080e-05,5.629247e-05,6.208490e-05,6.351448e-05,6.813799e-05,7.163539e-05,7.443498e-05,8.016365e-05,8.095766e-05,8.768656e-05,8.905530e-05,9.460120e-05,9.826318e-05,1.016803e-04,1.077379e-04,1.089021e-04,1.162443e-04,1.174287e-04,1.236847e-04,1.272844e-04,1.312009e-04,1.372538e-04,1.387711e-04,1.463734e-04,1.472869e-04,1.539868e-04,1.573349e-04,1.615908e-04,1.673514e-04,1.691657e-04,1.766927e-04,1.772922e-04,1.841538e-04,1.871159e-04,1.915321e-04,1.967844e-04,1.988119e-04,2.059784e-04,2.062625e-04,2.130180e-04,2.155188e-04,2.199182e-04,2.245248e-04,2.266676e-04,2.332559e-04,2.396741e-04,2.416906e-04,2.459141e-04,2.498109e-04,2.519688e-04,2.576016e-04,2.578324e-04,2.634997e-04,2.650508e-04,2.689668e-04,2.721496e-04,2.742305e-04,2.788914e-04,2.792884e-04,2.841391e-04,2.852723e-04,2.887816e-04,2.912905e-04,2.932160e-04,2.969464e-04,2.974427e-04,3.014628e-04,3.022421e-04,3.052780e-04,3.071816e-04,3.088905e-04,3.117702e-04,3.123029e-04,3.155182e-04,3.160145e-04,3.185398e-04,3.199224e-04,3.213713e-04,3.235025e-04,3.240169e-04,3.264806e-04,3.267643e-04,3.287670e-04,3.297180e-04,3.308807e-04,3.323744e-04,3.328263e-04,3.346089e-04,3.347446e-04,3.362333e-04,3.368399e-04,3.377046e-04,3.386721e-04,3.390280e-04,3.402084e-04,3.402527e-04,3.412510e-04,3.415936e-04,3.421610e-04,3.427066e-04,3.429434e-04,3.436031e-04,3.442948e-04,3.447929e-04,3.451084e-04,3.452520e-04,3.452344e-04,3.450657e-04,3.447556e-04,3.443137e-04,3.437490e-04,3.430705e-04,3.422864e-04,3.414049e-04,3.404335e-04,3.393796e-04,3.382503e-04,3.370520e-04,3.357911e-04,3.344736e-04,3.331049e-04,3.316905e-04,3.302353e-04,3.287441e-04,3.272212e-04,3.256709e-04
0.000000e+00,5.540296e-17,6.025188e-16,2.004801e-14,1.964165e-13,5.505026e-13,4.898385e-12,5.293838e-12,2.879765e-11,4.314874e-11,1.097372e-10,2.169420e-10,3.283447e-10,7.711217e-10,8.258251e-10,1.824246e-09,2.171851e-09,3.645919e-09,5.184275e-09,6.730250e-09,1.093537e-08,1.164319e-08,1.907246e-08,2.092813e-08,2.980424e-08,3.696938e-08,4.468334e-08,6.101313e-08,6.456476e-08,9.026662e-08,9.497001e-08,1.225317e-07,1.405428e-07,1.620012e-07,1.991209e-07,2.092002e-07,2.645340e-07,2.717356e-07,3.282902e-07,3.590605e-07,4.006455e-07,4.614359e-07,4.816743e-07,5.713579e-07,5.789040e-07,6.695943e-07,7.112463e-07,7.762067e-07,8.580203e-07,8.909527e-07,1.013532e-06,1.018594e-06,1.143597e-06,1.192179e-06,1.280757e-06,1.377863e-06,1.424589e-06,1.574644e-06,1.730455e-06,1.781452e-06,1.891543e-06,1.997185e-06,2.057423e-06,2.220728e-06,2.227613e-06,2.401632e-06,2.450979e-06,2.579011e-06,2.686862e-06,2.759295e-06,2.927343e-06,2.942043e-06,3.126835e-06,3.171444e-06,3.313269e-06,3.418247e-06,3.500966e-06,3.666902e-06,3.689571e-06,3.878748e-06,3.916624e-06,4.068186e-06,4.166701e-06,4.257598e-06,4.416487e-06,4.446716e-06,4.635295e-06,4.665402e-06,4.823110e-06,4.912929e-06,5.009956e-06,5.158610e-06,5.195647e-06,5.380014e-06,5.402042e-06,5.562904e-06,5.642873e-06,5.744182e-06,5.880798e-06,5.923723e-06,6.101421e-06,6.115554e-06,6.277179e-06,6.346919e-06,6.450912e-06,6.574704e-06,6.622546e-06,6.792018e-06,6.798751e-06,6.959272e-06,7.018931e-06,7.124262e-06,7.235142e-06,7.286949e-06,7.447301e-06,7.605294e-06,7.655349e-06,7.760906e-06,7.859242e-06,7.914124e-06,8.058952e-06,8.064939e-06,8.213344e-06,8.254466e-06,8.359341e-06,8.445782e-06,8.502929e-06,8.632910e-06,8.644117e-06,8.782911e-06,8.815867e-06,8.919325e-06,8.994681e-06,9.053370e-06,9.169385e-06,9.185065e-06,9.314425e-06,9.340019e-06,9.441471e-06,9.506627e-06,9.566224e-06,9.669260e-06,9.688705e-06,9.808939e-06,9.827970e-06,9.926950e-06,9.982813e-06,1.004276e-05,1.013385e-05,1.015640e-05,1.026790e-05,1.028114e-05,1.037728e-05,1.042474e-05,1.048457e-05,1.056473e-05,1.058980e-05,1.069300e-05,1.070117e-05,1.079419e-05,1.083411e-05,1.089341e-05,1.096364e-05,1.099068e-05,1.108604e-05,1.108981e-05,1.117950e-05,1.121270e-05,1.127111e-05,1.133236e-05,1.136089e-05,1.144887e-05,1.156230e-05,1.167270e-05,1.178014e-05,1.188470e-05,1.198642e-05,1.208538e-05,1.218163e-05,1.227524e-05,1.236627e-05,1.245477e-05,1.254081e-05,1.262443e-05,1.270570e-05,1.278467e-05,1.286139e-05,1.293592e-05,1.300831e-05,1.307861e-05,1.314686e-05,1.321311e-05,1.327742e-05,1.333983e-05,1.340038e-05,1.345911e-05
0.000000e+00,7.546178e-15,6.900140e-14,1.628187e-12,1.188787e-11,2.857778e-11,1.755985e-10,1.870872e-10,7.324162e-10,1.009796e-09,2.107139e-09,3.590199e-09,4.957704e-09,9.620438e-09,1.014565e-08,1.876068e-08,2.148080e-08,3.213193e-08,4.227164e-08,5.182373e-08,7.577351e-08,7.959353e-08,1.172934e-07,1.261862e-07,1.667254e-07,1.976113e-07,2.294979e-07,2.935128e-07,3.069331e-07,4.000415e-07,4.164452e-07,5.095433e-07,5.680737e-07,6.359093e-07,7.493265e-07,7.794015e-07,9.401064e-07,9.605461e-07,1.117961e-06,1.201605e-06,1.312774e-06,1.471991e-06,1.524243e-06,1.751970e-06,1.770876e-06,1.995476e-06,2.097176e-06,2.254214e-06,2.449603e-06,2.527585e-06,2.814944e-06,2.826720e-06,3.115617e-06,3.226984e-06,3.428904e-06,3.648782e-06,3.754095e-06,4.090468e-06,4.437306e-06,4.550387e-06,4.793892e-06,5.026897e-06,5.159521e-06,5.518389e-06,5.533499e-06,5.915149e-06,6.023296e-06,6.303810e-06,6.540105e-06,6.698842e-06,7.067363e-06,7.099623e-06,7.505556e-06,7.603682e-06,7.916063e-06,8.147738e-06,8.330591e-06,8.698279e-06,8.748608e-06,9.169604e-06,9.254117e-06,9.593093e-06,9.814137e-06,1.001861e-05,1.037729e-05,1.044571e-05,1.087397e-05,1.094258e-05,1.130300e-05,1.150909e-05,1.173241e-05,1.207596e-05,1.216183e-05,1.259093e-05,1.264239e-05,1.301938e-05,1.320762e-05,1.344688e-05,1.377097e-05,1.387314e-05,1.429788e-05,1.433179e-05,1.472085e-05,1.488949e-05,1.514181e-05,1.544352e-05,1.556053e-05,1.597680e-05,1.599339e-05,1.639041e-05,1.653863e-05,1.680120e-05,1.707883e-05,1.720898e-05,1.761359e-05,1.801489e-05,1.814258e-05,1.841274e-05,1.866548e-05,1.880700e-05,1.918201e-05,1.919756e-05,1.958433e-05,1.969192e-05,1.996718e-05,2.019499e-05,2.034605e-05,2.069101e-05,2.072084e-05,2.109148e-05,2.117981e-05,2.145791e-05,2.166125e-05,2.182007e-05,2.213519e-05,2.217790e-05,2.253137e-05,2.260153e-05,2.288042e-05,2.306018e-05,2.322504e-05,2.351107e-05,2.356519e-05,2.390085e-05,2.395414e-05,2.423201e-05,2.438935e-05,2.455864e-05,2.481668e-05,2.488074e-05,2.519832e-05,2.523612e-05,2.551136e-05,2.564766e-05,2.581987e-05,2.605132e-05,2.612386e-05,2.642335e-05,2.644711e-05,2.671833e-05,2.683507e-05,2.700884e-05,2.721524e-05,2.729488e-05,2.757649e-05,2.758766e-05,2.785369e-05,2.795240e-05,2.812649e-05,2.830951e-05,2.839494e-05,2.865906e-05,2.900112e-05,2.933578e-05,2.966312e-05,2.998322e-05,3.029617e-05,3.060208e-05,3.090103e-05,3.119313e-05,3.147847e-05,3.175717e-05,3.202932e-05,3.229504e-05,3.255443e-05,3.280759e-05,3.305464e-05,3.329569e-05,3.353084e-05,3.376020e-05,3.398389e-05,3.420201e-05,3.441466e-05,3.462197e-05,3.482403e-05,3.502094e-05
0.000000e+00,1.473334e-17,1.728845e-16,6.741484e-15,7.637149e-14,2.318669e-13,2.537711e-12,2.765797e-12,1.847878e-11,2.927516e-11,8.561926e-11,1.894014e-10,3.083399e-10,8.510205e-10,9.238995e-10,2.406749e-09,2.976556e-09,5.616138e-09,8.673335e-09,1.199079e-08,2.198749e-08,2.378888e-08,4.436496e-08,4.992355e-08,7.846925e-08,1.036147e-07,1.325503e-07,1.995221e-07,2.150413e-07,3.366106e-07,3.605280e-07,5.103593e-07,6.167930e-07,7.519541e-07,1.006282e-06,1.079686e-06,1.514448e-06,1.574898e-06,2.079638e-06,2.376190e-06,2.800973e-06,3.470647e-06,3.706241e-06,4.824983e-06,4.924622e-06,6.188107e-06,6.808899e-06,7.827471e-06,9.197013e-06,9.775418e-06,1.206429e-05,1.216339e-05,1.472595e-05,1.578139e-05,1.779126e-05,2.012130e-05,2.128960e-05,2.524844e-05,2.969288e-05,3.122139e-05,3.464527e-05,3.809039e-05,4.012486e-05,4.589604e-05,4.614754e-05,5.272560e-05,5.466824e-05,5.986756e-05,6.442549e-05,6.757803e-05,7.517446e-05,7.585773e-05,8.470344e-05,8.690992e-05,9.410807e-05,9.961492e-05,1.040608e-04,1.132613e-04,1.145473e-04,1.255496e-04,1.278102e-04,1.370470e-04,1.432135e-04,1.490156e-04,1.594141e-04,1.614290e-04,1.742586e-04,1.763479e-04,1.874736e-04,1.939443e-04,2.010418e-04,2.121282e-04,2.149296e-04,2.291024e-04,2.308206e-04,2.435248e-04,2.499406e-04,2.581612e-04,2.694058e-04,2.729756e-04,2.879323e-04,2.891340e-04,3.029962e-04,3.090439e-04,3.181324e-04,3.290563e-04,3.333071e-04,3.484875e-04,3.490944e-04,3.636419e-04,3.690851e-04,3.787397e-04,3.889591e-04,3.937521e-04,4.086515e-04,4.234119e-04,4.281019e-04,4.380092e-04,4.472553e-04,4.524207e-04,4.660615e-04,4.666255e-04,4.806043e-04,4.844754e-04,4.943395e-04,5.024570e-04,5.078152e-04,5.199715e-04,5.210173e-04,5.339329e-04,5.369888e-04,5.465510e-04,5.534836e-04,5.588620e-04,5.694351e-04,5.708576e-04,5.825311e-04,5.848266e-04,5.938768e-04,5.996455e-04,6.048904e-04,6.138829e-04,6.155688e-04,6.259100e-04,6.275332e-04,6.359127e-04,6.405938e-04,6.455771e-04,6.530653e-04,6.549037e-04,6.638941e-04,6.649504e-04,6.725506e-04,6.762545e-04,6.808762e-04,6.869845e-04,6.888744e-04,6.965492e-04,6.971493e-04,7.039052e-04,7.067595e-04,7.109474e-04,7.158266e-04,7.176813e-04,7.241123e-04,7.243634e-04,7.302466e-04,7.323835e-04,7.360904e-04,7.399015e-04,7.416501e-04,7.469323e-04,7.534913e-04,7.595942e-04,7.652569e-04,7.704953e-04,7.753254e-04,7.797632e-04,7.838241e-04,7.875239e-04,7.908778e-04,7.939006e-04,7.966071e-04,7.990114e-04,8.011274e-04,8.029686e-04,8.045480e-04,8.058782e-04,8.069714e-04,8.078393e-04,8.084933e-04,8.089443e-04,8.092027e-04,8.092787e-04,8.091817e-04,8.089211e-04
0.000000e+00,1.501791e-13,8.911592e-13,1.017472e-11,4.497499e-11,8.628383e-11,3.344899e-10,3.508256e-10,9.904247e-10,1.269160e-09,2.254757e-09,3.441360e-09,4.458582e-09,7.643371e-09,7.984184e-09,1.327456e-08,1.485945e-08,2.080268e-08,2.616682e-08,3.102156e-08,4.255689e-08,4.432837e-08,6.105780e-08,6.483986e-08,8.148906e-08,9.365463e-08,1.058527e-07,1.294941e-07,1.343342e-07,1.670755e-07,1.727167e-07,2.041760e-07,2.235513e-07,2.456939e-07,2.821027e-07,2.916481e-07,3.420212e-07,3.483608e-07,3.967627e-07,4.222134e-07,4.557932e-07,5.034610e-07,5.190076e-07,5.862800e-07,5.918330e-07,6.574673e-07,6.870036e-07,7.324126e-07,7.886068e-07,8.109489e-07,8.929020e-07,8.962487e-07,9.780930e-07,1.009520e-06,1.066341e-06,1.128002e-06,1.157463e-06,1.251280e-06,1.347612e-06,1.378941e-06,1.446286e-06,1.510586e-06,1.547129e-06,1.645826e-06,1.649976e-06,1.754667e-06,1.784289e-06,1.861045e-06,1.925620e-06,1.968962e-06,2.069480e-06,2.078273e-06,2.188842e-06,2.215550e-06,2.300536e-06,2.363529e-06,2.413230e-06,2.513132e-06,2.526803e-06,2.641143e-06,2.664093e-06,2.756139e-06,2.816162e-06,2.871689e-06,2.969107e-06,2.987695e-06,3.104063e-06,3.122710e-06,3.220706e-06,3.276768e-06,3.337540e-06,3.431092e-06,3.454487e-06,3.571472e-06,3.585509e-06,3.688424e-06,3.739855e-06,3.805278e-06,3.893982e-06,3.921970e-06,4.038442e-06,4.047749e-06,4.154639e-06,4.201029e-06,4.270509e-06,4.353705e-06,4.386003e-06,4.501074e-06,4.505668e-06,4.615681e-06,4.656818e-06,4.729783e-06,4.807065e-06,4.843343e-06,4.956326e-06,5.068699e-06,5.104524e-06,5.180431e-06,5.251591e-06,5.291496e-06,5.397465e-06,5.401866e-06,5.511518e-06,5.542089e-06,5.620430e-06,5.685413e-06,5.728580e-06,5.827390e-06,5.835950e-06,5.942524e-06,5.967981e-06,6.048284e-06,6.107149e-06,6.153217e-06,6.244863e-06,6.257309e-06,6.360550e-06,6.381095e-06,6.462929e-06,6.515822e-06,6.564436e-06,6.649022e-06,6.665063e-06,6.764803e-06,6.780679e-06,6.863650e-06,6.910777e-06,6.961598e-06,7.039306e-06,7.058643e-06,7.154781e-06,7.166257e-06,7.250011e-06,7.291623e-06,7.344328e-06,7.415399e-06,7.437733e-06,7.530224e-06,7.537583e-06,7.621800e-06,7.658175e-06,7.712464e-06,7.777176e-06,7.802215e-06,7.891055e-06,7.894589e-06,7.978986e-06,8.010419e-06,8.066010e-06,8.124670e-06,8.152130e-06,8.237350e-06,8.348467e-06,8.458031e-06,8.566051e-06,8.672538e-06,8.777505e-06,8.880964e-06,8.982927e-06,9.083409e-06,9.182425e-06,9.279988e-06,9.376114e-06,9.470818e-06,9.564118e-06,9.656027e-06,9.746564e-06,9.835745e-06,9.923586e-06,1.001010e-05,1.009532e-05,1.017924e-05,1.026190e-05,1.034329e-05,1.042346e-05,1.050240e-05
0.000000e+00,8.151661e-18,9.590078e-17,3.758567e-15,4.277861e-14,1.302071e-13,1.434311e-12,1.563629e-12,1.051110e-11,1.667886e-11,4.896663e-11,1.086313e-10,1.771548e-10,4.906148e-10,5.327662e-10,1.391555e-09,1.721858e-09,3.252710e-09,5.026272e-09,6.950873e-09,1.274983e-08,1.379471e-08,2.572956e-08,2.895411e-08,4.551917e-08,6.012125e-08,7.693801e-08,1.159189e-07,1.249634e-07,1.959546e-07,2.099492e-07,2.978054e-07,3.603921e-07,4.400582e-07,5.904552e-07,6.339681e-07,8.925111e-07,9.285582e-07,1.230331e-06,1.408209e-06,1.663627e-06,2.067556e-06,2.209976e-06,2.888110e-06,2.948636e-06,3.717638e-06,4.096348e-06,4.718737e-06,5.557221e-06,5.911810e-06,7.317137e-06,7.378047e-06,8.954502e-06,9.604438e-06,1.084285e-05,1.227940e-05,1.299992e-05,1.544196e-05,1.818342e-05,1.912600e-05,2.123667e-05,2.335916e-05,2.461185e-05,2.816204e-05,2.831663e-05,3.235616e-05,3.354761e-05,3.673290e-05,3.952086e-05,4.144670e-05,4.607868e-05,4.649470e-05,5.187146e-05,5.320997e-05,5.756901e-05,6.089597e-05,6.357695e-05,6.911071e-05,6.988265e-05,7.647138e-05,7.782166e-05,8.332653e-05,8.699047e-05,9.042979e-05,9.657385e-05,9.776140e-05,1.053003e-04,1.065244e-04,1.130246e-04,1.167914e-04,1.209113e-04,1.273219e-04,1.289371e-04,1.370781e-04,1.380617e-04,1.453105e-04,1.489556e-04,1.536105e-04,1.599489e-04,1.619542e-04,1.703184e-04,1.709878e-04,1.786804e-04,1.820196e-04,1.870181e-04,1.929941e-04,1.953100e-04,2.035360e-04,2.038633e-04,2.116763e-04,2.145824e-04,2.197128e-04,2.251094e-04,2.276281e-04,2.354060e-04,2.430317e-04,2.454375e-04,2.504915e-04,2.551728e-04,2.577727e-04,2.645843e-04,2.648641e-04,2.717557e-04,2.736482e-04,2.784384e-04,2.823445e-04,2.849045e-04,2.906563e-04,2.911474e-04,2.971615e-04,2.985704e-04,3.029424e-04,3.060765e-04,3.084866e-04,3.131675e-04,3.137914e-04,3.188554e-04,3.198392e-04,3.236776e-04,3.260896e-04,3.282581e-04,3.319195e-04,3.325977e-04,3.366978e-04,3.373317e-04,3.405604e-04,3.423309e-04,3.441883e-04,3.469237e-04,3.475846e-04,3.507530e-04,3.511181e-04,3.536977e-04,3.549235e-04,3.564230e-04,3.583505e-04,3.589338e-04,3.612353e-04,3.614105e-04,3.633328e-04,3.641159e-04,3.652318e-04,3.664796e-04,3.669383e-04,3.684581e-04,3.685151e-04,3.697972e-04,3.702362e-04,3.709618e-04,3.716572e-04,3.719581e-04,3.727923e-04,3.736557e-04,3.742619e-04,3.746249e-04,3.747588e-04,3.746773e-04,3.743938e-04,3.739216e-04,3.732734e-04,3.724615e-04,3.714979e-04,3.703941e-04,3.691611e-04,3.678097e-04,3.663498e-04,3.647912e-04,3.631431e-04,3.614143e-04,3.596129e-04,3.577469e-04,3.558237e-04,3.538503e-04,3.518332e-04,3.497786e-04,3.476923e-04
0.000000e+00,4.948741e-19,5.732205e-18,2.175571e-16,2.404483e-15,7.201251e-15,7.609167e-14,8.281265e-14,5.345636e-13,8.391300e-13,2.399056e-12,5.213353e-12,8.391864e-12,2.260720e-11,2.449428e-11,6.231743e-11,7.665956e-11,1.422867e-10,2.171717e-10,2.974883e-10,5.354174e-10,5.777793e-10,1.053613e-09,1.180082e-09,1.819036e-09,2.370107e-09,2.993440e-09,4.401376e-09,4.721859e-09,7.173738e-09,7.645679e-09,1.054033e-08,1.254207e-08,1.503089e-08,1.958186e-08,2.086801e-08,2.828232e-08,2.928910e-08,3.750688e-08,4.219867e-08,4.877159e-08,5.883381e-08,6.229770e-08,7.829285e-08,7.968494e-08,9.694658e-08,1.051909e-07,1.184266e-07,1.357234e-07,1.428756e-07,1.704094e-07,1.715762e-07,2.011149e-07,2.129573e-07,2.350499e-07,2.599862e-07,2.722431e-07,3.126943e-07,3.563763e-07,3.710289e-07,4.032361e-07,4.348597e-07,4.531973e-07,5.039874e-07,5.061622e-07,5.620147e-07,5.781531e-07,6.206224e-07,6.570496e-07,6.818400e-07,7.403312e-07,7.455114e-07,8.114725e-07,8.276251e-07,8.795535e-07,9.185404e-07,9.495813e-07,1.012677e-06,1.021381e-06,1.094779e-06,1.109636e-06,1.169604e-06,1.209020e-06,1.245685e-06,1.310445e-06,1.322860e-06,1.400970e-06,1.413545e-06,1.479863e-06,1.517967e-06,1.559394e-06,1.623385e-06,1.639425e-06,1.719824e-06,1.729491e-06,1.800471e-06,1.836004e-06,1.881250e-06,1.942663e-06,1.962053e-06,2.042782e-06,2.049234e-06,2.123344e-06,2.155502e-06,2.203653e-06,2.261276e-06,2.283633e-06,2.363211e-06,2.366385e-06,2.442322e-06,2.470676e-06,2.520906e-06,2.574014e-06,2.598909e-06,2.676281e-06,2.752979e-06,2.777374e-06,2.828964e-06,2.877203e-06,2.904199e-06,2.975690e-06,2.978653e-06,3.052298e-06,3.072770e-06,3.125108e-06,3.168385e-06,3.197064e-06,3.262490e-06,3.268144e-06,3.338334e-06,3.355045e-06,3.407619e-06,3.446018e-06,3.475986e-06,3.535384e-06,3.543427e-06,3.609933e-06,3.623122e-06,3.675498e-06,3.709218e-06,3.740117e-06,3.793662e-06,3.803785e-06,3.866502e-06,3.876448e-06,3.928265e-06,3.957573e-06,3.989075e-06,4.037038e-06,4.048934e-06,4.107841e-06,4.114846e-06,4.165801e-06,4.191004e-06,4.222817e-06,4.265520e-06,4.278892e-06,4.334032e-06,4.338403e-06,4.388241e-06,4.409665e-06,4.441525e-06,4.479321e-06,4.493891e-06,4.545344e-06,4.547384e-06,4.595893e-06,4.613870e-06,4.645544e-06,4.678798e-06,4.694305e-06,4.742184e-06,4.804047e-06,4.864406e-06,4.923283e-06,4.980697e-06,5.036669e-06,5.091221e-06,5.144374e-06,5.196150e-06,5.246572e-06,5.295661e-06,5.343441e-06,5.389933e-06,5.435160e-06,5.479145e-06,5.521910e-06,5.563478e-06,5.603871e-06,5.643111e-06,5.681220e-06,5.718221e-06,5.754135e-06,5.788984e-06,5.822790e-06,5.855573e-06
0.000000e+00,1.973517e-12,6.208846e-12,3.375401e-11,1.034579e-10,1.729089e-10,5.263885e-10,5.480352e-10,1.343233e-09,1.673430e-09,2.809117e-09,4.144767e-09,5.277144e-09,8.791064e-09,9.165514e-09,1.495371e-08,1.667943e-08,2.311579e-08,2.887676e-08,3.405207e-08,4.621284e-08,4.806460e-08,6.536947e-08,6.923974e-08,8.611754e-08,9.830274e-08,1.104107e-07,1.336035e-07,1.383117e-07,1.698510e-07,1.752354e-07,2.050298e-07,2.232022e-07,2.438240e-07,2.774313e-07,2.861862e-07,3.320488e-07,3.377837e-07,3.813265e-07,4.040652e-07,4.339189e-07,4.760369e-07,4.897131e-07,5.485866e-07,5.534257e-07,6.104093e-07,6.359338e-07,6.750455e-07,7.232480e-07,7.423566e-07,8.122017e-07,8.150462e-07,8.844394e-07,9.110036e-07,9.589292e-07,1.010798e-06,1.035532e-06,1.114112e-06,1.194536e-06,1.220640e-06,1.276674e-06,1.330084e-06,1.360400e-06,1.442160e-06,1.445594e-06,1.532138e-06,1.556597e-06,1.619920e-06,1.673138e-06,1.708831e-06,1.791539e-06,1.798769e-06,1.889634e-06,1.911569e-06,1.981332e-06,2.033013e-06,2.073772e-06,2.155666e-06,2.166869e-06,2.260541e-06,2.279337e-06,2.354709e-06,2.403848e-06,2.449300e-06,2.529031e-06,2.544243e-06,2.639471e-06,2.654730e-06,2.734922e-06,2.780799e-06,2.830534e-06,2.907102e-06,2.926252e-06,3.022020e-06,3.033513e-06,3.117789e-06,3.159915e-06,3.213509e-06,3.286197e-06,3.309136e-06,3.404627e-06,3.412259e-06,3.499940e-06,3.538007e-06,3.595037e-06,3.663353e-06,3.689883e-06,3.784443e-06,3.788219e-06,3.878685e-06,3.912529e-06,3.972580e-06,4.036215e-06,4.066098e-06,4.159214e-06,4.251903e-06,4.281469e-06,4.344141e-06,4.402926e-06,4.435906e-06,4.523538e-06,4.527179e-06,4.617940e-06,4.643258e-06,4.708171e-06,4.762048e-06,4.797856e-06,4.879870e-06,4.886979e-06,4.975527e-06,4.996692e-06,5.063487e-06,5.112482e-06,5.150845e-06,5.227214e-06,5.237591e-06,5.323715e-06,5.340864e-06,5.409207e-06,5.453410e-06,5.494058e-06,5.564832e-06,5.578261e-06,5.661809e-06,5.675115e-06,5.744695e-06,5.784243e-06,5.826913e-06,5.892203e-06,5.908458e-06,5.989327e-06,5.998985e-06,6.069514e-06,6.104580e-06,6.149017e-06,6.208980e-06,6.227833e-06,6.305958e-06,6.312179e-06,6.383392e-06,6.414172e-06,6.460133e-06,6.514957e-06,6.536180e-06,6.611531e-06,6.614531e-06,6.686187e-06,6.712894e-06,6.760148e-06,6.810045e-06,6.833414e-06,6.905986e-06,7.000719e-06,7.094247e-06,7.186573e-06,7.277703e-06,7.367641e-06,7.456393e-06,7.543965e-06,7.630364e-06,7.715597e-06,7.799673e-06,7.882600e-06,7.964385e-06,8.045039e-06,8.124569e-06,8.202987e-06,8.280301e-06,8.356522e-06,8.431659e-06,8.505724e-06,8.578727e-06,8.650678e-06,8.721589e-06,8.791470e-06,8.860333e-06
0.000000e+00,5.375013e-18,5.983177e-17,2.094011e-15,2.148174e-14,6.173775e-14,5.856592e-13,6.345701e-13,3.671673e-12,5.592163e-12,1.480482e-11,3.019846e-11,4.661715e-11,1.141705e-10,1.226882e-10,2.819678e-10,3.386171e-10,5.830561e-10,8.431506e-10,1.108065e-09,1.841039e-09,1.965823e-09,3.294174e-09,3.630563e-09,5.261033e-09,6.600537e-09,8.063737e-09,1.122716e-08,1.192630e-08,1.709449e-08,1.805984e-08,2.382901e-08,2.769647e-08,3.239745e-08,4.075174e-08,4.306598e-08,5.609136e-08,5.782441e-08,7.171397e-08,7.946788e-08,9.015214e-08,1.061674e-07,1.115979e-07,1.362142e-07,1.383246e-07,1.641330e-07,1.762489e-07,1.954550e-07,2.201543e-07,2.302497e-07,2.685564e-07,2.701620e-07,3.103857e-07,3.263043e-07,3.557215e-07,3.885328e-07,4.045229e-07,4.567268e-07,5.122502e-07,5.307029e-07,5.709932e-07,6.102257e-07,6.328407e-07,6.950171e-07,6.976656e-07,7.653307e-07,7.847663e-07,8.356910e-07,8.791384e-07,9.085958e-07,9.777829e-07,9.838907e-07,1.061419e-06,1.080340e-06,1.141022e-06,1.186449e-06,1.222545e-06,1.295748e-06,1.305830e-06,1.390727e-06,1.407886e-06,1.477084e-06,1.522519e-06,1.564757e-06,1.639316e-06,1.653605e-06,1.743492e-06,1.757961e-06,1.834286e-06,1.878153e-06,1.925863e-06,1.999608e-06,2.018103e-06,2.110891e-06,2.122057e-06,2.204117e-06,2.245249e-06,2.297679e-06,2.368950e-06,2.391479e-06,2.485423e-06,2.492942e-06,2.579424e-06,2.617022e-06,2.673400e-06,2.741003e-06,2.767273e-06,2.860969e-06,2.864712e-06,2.954420e-06,2.987991e-06,3.047563e-06,3.110692e-06,3.140336e-06,3.232683e-06,3.324553e-06,3.353842e-06,3.415896e-06,3.474058e-06,3.506667e-06,3.593231e-06,3.596825e-06,3.686329e-06,3.711268e-06,3.775144e-06,3.828089e-06,3.863237e-06,3.943618e-06,3.950577e-06,4.037136e-06,4.057791e-06,4.122888e-06,4.170548e-06,4.207810e-06,4.281837e-06,4.291880e-06,4.375079e-06,4.391613e-06,4.457390e-06,4.499836e-06,4.538797e-06,4.606470e-06,4.619286e-06,4.698844e-06,4.711486e-06,4.777461e-06,4.814860e-06,4.855127e-06,4.916569e-06,4.931834e-06,5.007575e-06,5.016599e-06,5.082345e-06,5.114934e-06,5.156138e-06,5.211566e-06,5.228952e-06,5.300784e-06,5.306488e-06,5.371632e-06,5.399695e-06,5.441495e-06,5.491187e-06,5.510373e-06,5.578268e-06,5.580963e-06,5.645181e-06,5.669029e-06,5.711113e-06,5.755388e-06,5.776068e-06,5.840048e-06,5.923018e-06,6.004308e-06,6.083930e-06,6.161897e-06,6.238222e-06,6.312921e-06,6.386010e-06,6.457506e-06,6.527426e-06,6.595790e-06,6.662614e-06,6.727920e-06,6.791727e-06,6.854055e-06,6.914924e-06,6.974357e-06,7.032372e-06,7.088993e-06,7.144239e-06,7.198134e-06,7.250698e-06,7.301952e-06,7.351920e-06,7.400621e-06
0.000000e+00,2.654162e-16,2.730373e-15,8.113503e-14,7.189976e-13,1.909337e-12,1.483749e-11,1.594918e-11,7.629989e-11,1.105080e-10,2.585256e-10,4.785509e-10,6.944509e-10,1.487706e-09,1.581028e-09,3.183509e-09,3.710205e-09,5.834510e-09,7.922351e-09,9.930429e-09,1.508972e-08,1.592572e-08,2.432432e-08,2.633955e-08,3.566676e-08,4.291364e-08,5.051192e-08,6.609543e-08,6.941480e-08,9.290336e-08,9.712002e-08,1.214584e-07,1.370901e-07,1.554989e-07,1.869177e-07,1.953737e-07,2.413582e-07,2.472973e-07,2.936550e-07,3.187017e-07,3.523960e-07,4.013922e-07,4.176475e-07,4.894139e-07,4.954355e-07,5.676442e-07,6.007249e-07,6.522364e-07,7.170016e-07,7.430443e-07,8.398823e-07,8.438783e-07,9.425321e-07,9.808622e-07,1.050748e-06,1.127378e-06,1.164262e-06,1.282790e-06,1.406034e-06,1.446420e-06,1.533692e-06,1.617566e-06,1.665454e-06,1.795520e-06,1.801011e-06,1.940057e-06,1.979574e-06,2.082290e-06,2.169036e-06,2.227414e-06,2.363235e-06,2.375142e-06,2.525198e-06,2.561527e-06,2.677313e-06,2.763302e-06,2.831233e-06,2.967981e-06,2.986713e-06,3.143521e-06,3.175022e-06,3.301437e-06,3.383921e-06,3.460252e-06,3.594209e-06,3.619772e-06,3.779810e-06,3.805452e-06,3.940193e-06,4.017252e-06,4.100760e-06,4.229243e-06,4.261358e-06,4.421845e-06,4.441089e-06,4.582089e-06,4.652487e-06,4.741967e-06,4.863159e-06,4.901365e-06,5.060177e-06,5.072853e-06,5.218305e-06,5.281344e-06,5.375659e-06,5.488427e-06,5.532155e-06,5.687716e-06,5.693918e-06,5.842272e-06,5.897654e-06,5.995759e-06,6.099489e-06,6.148117e-06,6.299292e-06,6.449236e-06,6.496951e-06,6.597905e-06,6.692364e-06,6.745257e-06,6.885444e-06,6.891258e-06,7.035874e-06,7.076115e-06,7.179078e-06,7.264312e-06,7.320844e-06,7.449979e-06,7.461149e-06,7.599975e-06,7.633071e-06,7.737304e-06,7.813550e-06,7.873123e-06,7.991384e-06,8.007419e-06,8.140183e-06,8.166551e-06,8.271407e-06,8.339033e-06,8.401085e-06,8.508818e-06,8.529214e-06,8.655792e-06,8.675900e-06,8.780817e-06,8.840278e-06,8.904290e-06,9.001953e-06,9.026214e-06,9.146590e-06,9.160932e-06,9.265425e-06,9.317225e-06,9.382722e-06,9.470844e-06,9.498489e-06,9.612733e-06,9.621807e-06,9.725461e-06,9.770130e-06,9.836683e-06,9.915835e-06,9.946408e-06,1.005465e-05,1.005894e-05,1.016141e-05,1.019948e-05,1.026671e-05,1.033748e-05,1.037055e-05,1.047295e-05,1.060594e-05,1.073647e-05,1.086457e-05,1.099028e-05,1.111362e-05,1.123463e-05,1.135334e-05,1.146979e-05,1.158401e-05,1.169604e-05,1.180591e-05,1.191365e-05,1.201931e-05,1.212290e-05,1.222448e-05,1.232407e-05,1.242171e-05,1.251743e-05,1.261126e-05,1.270325e-05,1.279342e-05,1.288181e-05,1.296845e-05,1.305337e-05
0.000000e+00,2.561837e-17,3.012698e-16,1.180079e-14,1.343150e-13,4.089647e-13,4.515852e-12,4.923762e-12,3.328170e-11,5.292557e-11,1.564682e-10,3.497085e-10,5.736105e-10,1.613745e-09,1.755044e-09,4.678773e-09,5.819677e-09,1.118132e-08,1.749474e-08,2.442629e-08,4.561873e-08,4.947109e-08,9.389368e-08,1.059858e-07,1.684310e-07,2.237388e-07,2.875786e-07,4.357356e-07,4.701077e-07,7.394587e-07,7.924363e-07,1.123986e-06,1.359073e-06,1.657039e-06,2.215962e-06,2.376862e-06,3.326325e-06,3.457887e-06,4.552487e-06,5.192597e-06,6.106007e-06,7.538474e-06,8.040419e-06,1.041131e-05,1.062153e-05,1.327539e-05,1.457187e-05,1.668953e-05,1.951982e-05,2.070975e-05,2.539023e-05,2.559192e-05,3.078234e-05,3.290701e-05,3.693368e-05,4.157241e-05,4.388724e-05,5.168065e-05,6.034551e-05,6.330658e-05,6.990680e-05,7.650508e-05,8.038252e-05,9.130949e-05,9.178335e-05,1.041125e-04,1.077306e-04,1.173657e-04,1.257565e-04,1.315311e-04,1.453528e-04,1.465898e-04,1.625157e-04,1.664635e-04,1.792763e-04,1.890127e-04,1.968330e-04,2.129061e-04,2.151412e-04,2.341519e-04,2.380336e-04,2.538111e-04,2.642712e-04,2.740614e-04,2.914840e-04,2.948420e-04,3.160900e-04,3.195287e-04,3.377403e-04,3.482559e-04,3.597268e-04,3.775133e-04,3.819828e-04,4.044417e-04,4.071472e-04,4.270372e-04,4.370057e-04,4.497043e-04,4.669400e-04,4.723794e-04,4.950007e-04,4.968063e-04,5.175087e-04,5.264674e-04,5.398466e-04,5.557942e-04,5.619604e-04,5.837991e-04,5.846662e-04,6.053150e-04,6.129730e-04,6.264637e-04,6.406141e-04,6.472043e-04,6.674994e-04,6.873152e-04,6.935499e-04,7.066212e-04,7.186969e-04,7.253906e-04,7.428825e-04,7.435998e-04,7.612288e-04,7.660586e-04,7.782606e-04,7.881872e-04,7.946814e-04,8.092394e-04,8.104802e-04,8.256490e-04,8.291951e-04,8.401824e-04,8.480423e-04,8.540773e-04,8.657763e-04,8.673333e-04,8.799519e-04,8.823994e-04,8.919367e-04,8.979201e-04,9.032932e-04,9.123522e-04,9.140285e-04,9.241511e-04,9.257146e-04,9.336712e-04,9.380300e-04,9.425997e-04,9.493250e-04,9.509491e-04,9.587325e-04,9.596291e-04,9.659638e-04,9.689744e-04,9.726577e-04,9.773951e-04,9.788295e-04,9.844950e-04,9.849268e-04,9.896701e-04,9.916065e-04,9.943713e-04,9.974720e-04,9.986152e-04,1.002418e-03,1.002561e-03,1.005797e-03,1.006913e-03,1.008769e-03,1.010565e-03,1.011349e-03,1.013556e-03,1.015922e-03,1.017701e-03,1.018927e-03,1.019637e-03,1.019864e-03,1.019640e-03,1.018997e-03,1.017964e-03,1.016572e-03,1.014847e-03,1.012816e-03,1.010504e-03,1.007934e-03,1.005130e-03,1.002112e-03,9.989002e-04,9.955138e-04,9.919707e-04,9.882874e-04,9.844797e-04,9.805623e-04,9.765488e-04,9.724521e-04,9.682842e-04
0.000000e+00,4.486939e-17,4.983632e-16,1.732437e-14,1.766426e-13,5.060664e-13,4.766633e-12,5.163430e-12,2.973468e-11,4.525304e-11,1.197237e-10,2.444499e-10,3.779184e-10,9.311787e-10,1.001349e-09,2.326541e-09,2.802770e-09,4.879358e-09,7.117933e-09,9.419915e-09,1.586353e-08,1.696804e-08,2.879717e-08,3.180449e-08,4.639415e-08,5.836266e-08,7.139247e-08,9.935472e-08,1.054926e-07,1.503824e-07,1.586750e-07,2.076671e-07,2.400035e-07,2.788136e-07,3.465849e-07,3.651120e-07,4.676505e-07,4.810902e-07,5.873030e-07,6.455488e-07,7.247264e-07,8.413345e-07,8.803652e-07,1.054461e-06,1.069188e-06,1.247064e-06,1.329266e-06,1.458053e-06,1.621198e-06,1.687148e-06,1.933930e-06,1.944162e-06,2.197862e-06,2.296955e-06,2.478303e-06,2.678067e-06,2.774530e-06,3.085754e-06,3.411135e-06,3.518104e-06,3.749796e-06,3.973095e-06,4.100839e-06,4.448646e-06,4.463356e-06,4.836435e-06,4.942667e-06,5.219176e-06,5.453088e-06,5.610690e-06,5.977888e-06,6.010112e-06,6.416602e-06,6.515120e-06,6.829347e-06,7.062925e-06,7.247569e-06,7.619541e-06,7.670521e-06,8.097492e-06,8.183309e-06,8.527808e-06,8.752680e-06,8.960827e-06,9.326209e-06,9.395945e-06,9.832592e-06,9.902561e-06,1.027023e-05,1.048050e-05,1.070836e-05,1.105889e-05,1.114650e-05,1.158422e-05,1.163670e-05,1.202110e-05,1.221297e-05,1.245677e-05,1.278683e-05,1.289085e-05,1.332302e-05,1.335751e-05,1.375298e-05,1.392427e-05,1.418043e-05,1.448649e-05,1.460511e-05,1.502678e-05,1.504358e-05,1.544522e-05,1.559503e-05,1.586022e-05,1.614035e-05,1.627158e-05,1.667915e-05,1.708275e-05,1.721104e-05,1.748225e-05,1.773572e-05,1.787752e-05,1.825288e-05,1.826844e-05,1.865490e-05,1.876230e-05,1.903681e-05,1.926374e-05,1.941409e-05,1.975704e-05,1.978667e-05,2.015447e-05,2.024203e-05,2.051745e-05,2.071859e-05,2.087555e-05,2.118662e-05,2.122874e-05,2.157697e-05,2.164603e-05,2.192024e-05,2.209676e-05,2.225850e-05,2.253877e-05,2.259176e-05,2.291999e-05,2.297204e-05,2.324320e-05,2.339656e-05,2.356139e-05,2.381232e-05,2.387456e-05,2.418271e-05,2.421935e-05,2.448587e-05,2.461768e-05,2.478405e-05,2.500734e-05,2.507726e-05,2.536553e-05,2.538838e-05,2.564889e-05,2.576086e-05,2.592736e-05,2.612485e-05,2.620097e-05,2.646976e-05,2.648041e-05,2.673376e-05,2.682764e-05,2.699301e-05,2.716660e-05,2.724753e-05,2.749739e-05,2.782010e-05,2.813484e-05,2.844170e-05,2.874079e-05,2.903221e-05,2.931608e-05,2.959250e-05,2.986159e-05,3.012347e-05,3.037824e-05,3.062604e-05,3.086696e-05,3.110114e-05,3.132868e-05,3.154971e-05,3.176434e-05,3.197270e-05,3.217489e-05,3.237104e-05,3.256126e-05,3.274566e-05,3.292436e-05,3.309748e-05,3.326512e-05
0.000000e+00,1.229344e-11,3.746238e-11,1.975128e-10,5.985905e-10,9.974465e-10,3.031508e-09,3.156388e-09,7.766844e-09,9.692167e-09,1.634630e-08,2.420501e-08,3.087035e-08,5.143080e-08,5.360545e-08,8.677179e-08,9.650858e-08,1.323408e-07,1.639278e-07,1.920359e-07,2.574706e-07,2.673858e-07,3.597577e-07,3.803843e-07,4.703654e-07,5.354454e-07,6.002657e-07,7.249493e-07,7.503513e-07,9.213448e-07,9.506832e-07,1.113797e-06,1.213914e-06,1.328089e-06,1.515399e-06,1.564439e-06,1.822914e-06,1.855416e-06,2.103440e-06,2.233811e-06,2.405820e-06,2.650058e-06,2.729744e-06,3.074811e-06,3.103316e-06,3.440536e-06,3.592489e-06,3.826368e-06,4.116280e-06,4.231702e-06,4.655890e-06,4.673240e-06,5.098249e-06,5.261811e-06,5.558071e-06,5.880355e-06,6.034630e-06,6.527186e-06,7.034996e-06,7.200594e-06,7.557310e-06,7.898859e-06,8.093384e-06,8.620270e-06,8.642475e-06,9.203848e-06,9.363134e-06,9.776778e-06,1.012579e-05,1.036055e-05,1.090659e-05,1.095446e-05,1.155782e-05,1.170396e-05,1.216996e-05,1.251634e-05,1.279021e-05,1.334223e-05,1.341793e-05,1.405249e-05,1.418017e-05,1.469329e-05,1.502876e-05,1.533972e-05,1.588664e-05,1.599120e-05,1.664717e-05,1.675251e-05,1.730710e-05,1.762510e-05,1.797044e-05,1.850323e-05,1.863668e-05,1.930534e-05,1.938572e-05,1.997594e-05,2.027149e-05,2.064800e-05,2.115947e-05,2.132108e-05,2.199476e-05,2.204866e-05,2.266861e-05,2.293811e-05,2.334224e-05,2.382689e-05,2.401525e-05,2.468730e-05,2.471415e-05,2.535800e-05,2.559907e-05,2.602704e-05,2.648085e-05,2.669407e-05,2.735878e-05,2.802088e-05,2.823215e-05,2.868007e-05,2.910030e-05,2.933608e-05,2.996262e-05,2.998866e-05,3.063754e-05,3.081854e-05,3.128250e-05,3.166749e-05,3.192330e-05,3.250898e-05,3.255973e-05,3.319159e-05,3.334253e-05,3.381868e-05,3.416769e-05,3.444081e-05,3.498406e-05,3.505782e-05,3.566954e-05,3.579124e-05,3.627582e-05,3.658889e-05,3.687651e-05,3.737667e-05,3.747147e-05,3.806059e-05,3.815429e-05,3.864373e-05,3.892148e-05,3.922078e-05,3.967798e-05,3.979165e-05,4.035624e-05,4.042357e-05,4.091446e-05,4.115804e-05,4.146623e-05,4.188121e-05,4.201147e-05,4.255011e-05,4.259292e-05,4.308210e-05,4.329302e-05,4.360738e-05,4.398140e-05,4.412590e-05,4.463762e-05,4.465795e-05,4.514250e-05,4.532257e-05,4.564050e-05,4.597519e-05,4.613159e-05,4.661577e-05,4.724424e-05,4.786059e-05,4.846480e-05,4.905686e-05,4.963678e-05,5.020459e-05,5.076030e-05,5.130397e-05,5.183563e-05,5.235536e-05,5.286320e-05,5.335925e-05,5.384357e-05,5.431626e-05,5.477740e-05,5.522711e-05,5.566549e-05,5.609263e-05,5.650868e-05,5.691373e-05,5.730791e-05,5.769136e-05,5.806420e-05,5.842657e-05
0.000000e+00,3.573216e-12,1.100276e-11,5.859040e-11,1.781485e-10,2.970069e-10,9.012430e-10,9.382354e-10,2.297103e-09,2.861339e-09,4.801573e-09,7.081470e-09,9.011393e-09,1.497192e-08,1.560403e-08,2.529477e-08,2.815685e-08,3.874548e-08,4.813958e-08,5.653667e-08,7.619270e-08,7.918223e-08,1.071463e-07,1.134152e-07,1.408512e-07,1.607749e-07,1.806787e-07,2.191149e-07,2.269681e-07,2.800126e-07,2.891436e-07,3.400564e-07,3.714223e-07,4.072928e-07,4.663570e-07,4.818627e-07,5.638553e-07,5.741956e-07,6.533098e-07,6.950330e-07,7.502174e-07,8.288209e-07,8.545253e-07,9.661405e-07,9.753818e-07,1.084934e-06,1.134426e-06,1.210745e-06,1.305570e-06,1.343387e-06,1.482648e-06,1.488353e-06,1.628302e-06,1.682256e-06,1.780105e-06,1.886713e-06,1.937801e-06,2.101129e-06,2.269821e-06,2.324891e-06,2.443605e-06,2.557374e-06,2.622210e-06,2.797953e-06,2.805363e-06,2.992796e-06,3.046007e-06,3.184242e-06,3.300927e-06,3.379440e-06,3.562116e-06,3.578134e-06,3.780073e-06,3.828994e-06,3.985013e-06,4.101002e-06,4.192717e-06,4.377599e-06,4.402953e-06,4.615500e-06,4.658267e-06,4.830139e-06,4.942510e-06,5.046664e-06,5.229854e-06,5.264873e-06,5.484571e-06,5.519849e-06,5.705573e-06,5.812063e-06,5.927698e-06,6.106091e-06,6.150775e-06,6.374638e-06,6.401546e-06,6.599128e-06,6.698063e-06,6.824093e-06,6.995296e-06,7.049389e-06,7.274875e-06,7.292919e-06,7.500420e-06,7.590625e-06,7.725895e-06,7.888126e-06,7.951179e-06,8.176158e-06,8.185149e-06,8.400720e-06,8.481441e-06,8.624762e-06,8.776761e-06,8.848183e-06,9.070888e-06,9.292788e-06,9.363611e-06,9.513796e-06,9.654737e-06,9.733833e-06,9.944082e-06,9.952821e-06,1.017069e-05,1.023148e-05,1.038736e-05,1.051677e-05,1.060279e-05,1.079981e-05,1.081689e-05,1.102963e-05,1.108047e-05,1.124093e-05,1.135862e-05,1.145076e-05,1.163415e-05,1.165907e-05,1.186580e-05,1.190695e-05,1.207092e-05,1.217693e-05,1.227439e-05,1.244401e-05,1.247618e-05,1.267624e-05,1.270809e-05,1.287455e-05,1.296911e-05,1.307109e-05,1.322702e-05,1.326582e-05,1.345871e-05,1.348174e-05,1.364976e-05,1.373322e-05,1.383893e-05,1.398144e-05,1.402621e-05,1.421158e-05,1.422633e-05,1.439504e-05,1.446788e-05,1.457655e-05,1.470604e-05,1.475613e-05,1.493374e-05,1.494081e-05,1.510940e-05,1.517215e-05,1.528308e-05,1.540005e-05,1.545479e-05,1.562451e-05,1.584551e-05,1.606305e-05,1.627713e-05,1.648776e-05,1.669493e-05,1.689866e-05,1.709895e-05,1.729582e-05,1.748929e-05,1.767937e-05,1.786608e-05,1.804945e-05,1.822949e-05,1.840623e-05,1.857969e-05,1.874991e-05,1.891691e-05,1.908071e-05,1.924136e-05,1.939888e-05,1.955329e-05,1.970465e-05,1.985297e-05,1.999829e-05
0.000000e+00,1.559840e-12,4.749864e-12,2.502081e-11,7.576789e-11,1.261779e-10,3.825562e-10,3.982627e-10,9.759680e-10,1.216192e-09,2.043345e-09,3.017080e-09,3.842821e-09,6.403444e-09,6.676034e-09,1.088155e-08,1.213266e-08,1.679109e-08,2.095505e-08,2.469507e-08,3.349345e-08,3.483533e-08,4.741258e-08,5.023577e-08,6.259487e-08,7.156688e-08,8.052291e-08,9.779010e-08,1.013129e-07,1.250581e-07,1.291366e-07,1.518295e-07,1.657702e-07,1.816772e-07,2.077911e-07,2.146312e-07,2.507031e-07,2.552412e-07,2.898878e-07,3.081105e-07,3.321649e-07,3.663435e-07,3.775008e-07,4.258505e-07,4.298471e-07,4.771591e-07,4.984972e-07,5.313637e-07,5.721454e-07,5.883948e-07,6.481772e-07,6.506246e-07,7.106316e-07,7.337536e-07,7.756756e-07,8.213414e-07,8.432242e-07,9.131908e-07,9.854876e-07,1.009100e-06,1.060027e-06,1.108867e-06,1.136719e-06,1.212289e-06,1.215478e-06,1.296215e-06,1.319164e-06,1.378844e-06,1.429294e-06,1.463279e-06,1.542482e-06,1.549436e-06,1.637232e-06,1.658538e-06,1.726586e-06,1.777274e-06,1.817417e-06,1.898508e-06,1.909647e-06,2.003199e-06,2.022062e-06,2.097999e-06,2.147764e-06,2.193973e-06,2.275446e-06,2.291049e-06,2.389158e-06,2.404947e-06,2.488232e-06,2.536111e-06,2.588205e-06,2.668786e-06,2.689012e-06,2.790590e-06,2.802828e-06,2.892879e-06,2.938095e-06,2.995819e-06,3.074454e-06,3.099353e-06,3.203426e-06,3.211773e-06,3.307982e-06,3.349929e-06,3.412971e-06,3.488802e-06,3.518341e-06,3.624042e-06,3.628276e-06,3.730028e-06,3.768243e-06,3.836252e-06,3.908597e-06,3.942669e-06,4.049238e-06,4.155915e-06,4.190069e-06,4.262662e-06,4.330998e-06,4.369438e-06,4.471938e-06,4.476208e-06,4.582935e-06,4.612805e-06,4.689583e-06,4.753521e-06,4.796120e-06,4.894009e-06,4.902514e-06,5.008734e-06,5.034197e-06,5.114749e-06,5.174017e-06,5.220531e-06,5.313405e-06,5.326053e-06,5.431288e-06,5.452298e-06,5.536211e-06,5.590639e-06,5.640798e-06,5.728373e-06,5.745025e-06,5.848870e-06,5.865448e-06,5.952312e-06,6.001815e-06,6.055330e-06,6.137427e-06,6.157906e-06,6.260019e-06,6.272241e-06,6.361654e-06,6.406216e-06,6.462792e-06,6.539315e-06,6.563417e-06,6.663515e-06,6.671500e-06,6.763071e-06,6.802739e-06,6.862071e-06,6.932999e-06,6.960502e-06,7.058351e-06,7.062253e-06,7.155607e-06,7.190472e-06,7.252259e-06,7.317632e-06,7.348296e-06,7.443709e-06,7.568682e-06,7.692531e-06,7.815238e-06,7.936787e-06,8.057163e-06,8.176352e-06,8.294343e-06,8.411124e-06,8.526687e-06,8.641023e-06,8.754124e-06,8.865986e-06,8.976603e-06,9.085972e-06,9.194089e-06,9.300953e-06,9.406561e-06,9.510915e-06,9.614015e-06,9.715861e-06,9.816456e-06,9.915802e-06,1.001390e-05,1.011076e-05
0.000000e+00,9.961174e-17,1.067537e-15,3.446467e-14,3.284905e-13,9.068762e-13,7.761325e-12,8.374663e-12,4.383969e-11,6.500798e-11,1.610900e-10,3.118905e-10,4.657190e-10,1.061567e-09,1.134014e-09,2.429923e-09,2.872702e-09,4.719891e-09,6.610676e-09,8.484306e-09,1.348856e-08,1.432073e-08,2.293086e-08,2.505289e-08,3.508515e-08,4.306756e-08,5.156768e-08,6.929819e-08,7.311322e-08,1.003511e-07,1.052721e-07,1.337665e-07,1.521013e-07,1.736830e-07,2.104121e-07,2.202643e-07,2.735279e-07,2.803646e-07,3.333664e-07,3.617276e-07,3.995711e-07,4.539696e-07,4.718541e-07,5.498682e-07,5.563455e-07,6.332238e-07,6.679687e-07,7.215029e-07,7.878684e-07,8.142701e-07,9.110823e-07,9.150327e-07,1.011497e-06,1.048443e-06,1.115076e-06,1.187101e-06,1.221396e-06,1.330047e-06,1.440640e-06,1.476379e-06,1.552806e-06,1.625259e-06,1.666202e-06,1.775922e-06,1.780507e-06,1.895428e-06,1.927679e-06,2.010695e-06,2.079919e-06,2.126064e-06,2.232103e-06,2.241314e-06,2.356247e-06,2.383764e-06,2.470688e-06,2.534500e-06,2.584480e-06,2.683971e-06,2.697486e-06,2.809587e-06,2.831889e-06,2.920678e-06,2.978016e-06,3.030670e-06,3.122156e-06,3.139485e-06,3.247059e-06,3.264152e-06,3.353337e-06,3.403876e-06,3.458274e-06,3.541232e-06,3.561832e-06,3.663983e-06,3.676145e-06,3.764702e-06,3.808561e-06,3.863973e-06,3.938443e-06,3.961784e-06,4.058126e-06,4.065770e-06,4.152996e-06,4.190531e-06,4.246392e-06,4.312727e-06,4.338319e-06,4.428780e-06,4.432368e-06,4.517783e-06,4.549469e-06,4.605337e-06,4.664052e-06,4.691454e-06,4.776145e-06,4.859424e-06,4.885777e-06,4.941306e-06,4.992985e-06,5.021807e-06,5.097804e-06,5.100943e-06,5.178732e-06,5.200273e-06,5.255190e-06,5.300434e-06,5.330336e-06,5.398328e-06,5.404189e-06,5.476767e-06,5.493998e-06,5.548089e-06,5.587488e-06,5.618175e-06,5.678842e-06,5.687043e-06,5.754713e-06,5.768105e-06,5.821204e-06,5.855320e-06,5.886535e-06,5.940532e-06,5.950727e-06,6.013797e-06,6.023785e-06,6.075765e-06,6.105123e-06,6.136649e-06,6.184590e-06,6.196470e-06,6.255244e-06,6.262228e-06,6.312991e-06,6.338079e-06,6.369730e-06,6.412187e-06,6.425477e-06,6.480251e-06,6.484592e-06,6.534070e-06,6.555334e-06,6.586951e-06,6.624454e-06,6.638911e-06,6.689968e-06,6.691992e-06,6.740137e-06,6.757984e-06,6.789436e-06,6.822470e-06,6.837880e-06,6.885486e-06,6.947068e-06,7.007252e-06,7.066073e-06,7.123565e-06,7.179760e-06,7.234692e-06,7.288391e-06,7.340889e-06,7.392216e-06,7.442401e-06,7.491473e-06,7.539461e-06,7.586391e-06,7.632290e-06,7.677184e-06,7.721098e-06,7.764057e-06,7.806086e-06,7.847206e-06,7.887442e-06,7.926816e-06,7.965348e-06,8.003060e-06,8.039972e-06
0.000000e+00,4.326959e-18,5.082074e-17,1.987264e-15,2.258370e-14,6.869854e-14,7.562688e-13,8.244586e-13,5.548217e-12,8.809626e-12,2.592785e-11,5.769265e-11,9.431869e-11,2.630998e-10,2.859110e-10,7.544308e-10,9.360439e-10,1.784371e-09,2.776537e-09,3.860792e-09,7.157509e-09,7.754869e-09,1.462076e-08,1.648511e-08,2.609764e-08,3.460042e-08,4.441025e-08,6.717741e-08,7.246132e-08,1.139102e-07,1.220725e-07,1.732328e-07,2.095883e-07,2.557593e-07,3.426229e-07,3.676870e-07,5.160679e-07,5.366888e-07,7.087697e-07,8.097947e-07,9.544098e-07,1.182189e-06,1.262267e-06,1.642172e-06,1.675982e-06,2.104378e-06,2.314657e-06,2.659413e-06,3.122499e-06,3.317930e-06,4.090541e-06,4.123966e-06,4.987648e-06,5.343030e-06,6.019284e-06,6.802512e-06,7.194947e-06,8.523453e-06,1.001279e-05,1.052453e-05,1.167000e-05,1.282152e-05,1.350106e-05,1.542693e-05,1.551080e-05,1.770283e-05,1.834961e-05,2.007947e-05,2.159455e-05,2.264174e-05,2.516276e-05,2.538935e-05,2.832069e-05,2.905126e-05,3.143286e-05,3.325317e-05,3.472172e-05,3.775785e-05,3.818191e-05,4.180700e-05,4.255116e-05,4.558946e-05,4.761576e-05,4.952084e-05,5.293149e-05,5.359182e-05,5.779232e-05,5.847571e-05,6.211160e-05,6.422375e-05,6.653838e-05,7.014933e-05,7.106093e-05,7.566721e-05,7.622501e-05,8.034492e-05,8.242255e-05,8.508165e-05,8.871336e-05,8.986492e-05,9.468233e-05,9.506883e-05,9.952160e-05,1.014607e-04,1.043707e-04,1.078614e-04,1.092177e-04,1.140513e-04,1.142442e-04,1.188605e-04,1.205837e-04,1.236345e-04,1.268556e-04,1.283633e-04,1.330373e-04,1.376475e-04,1.391079e-04,1.421854e-04,1.450481e-04,1.466432e-04,1.508404e-04,1.510135e-04,1.552897e-04,1.564693e-04,1.594657e-04,1.619209e-04,1.635360e-04,1.671832e-04,1.674959e-04,1.713409e-04,1.722462e-04,1.750674e-04,1.771013e-04,1.786723e-04,1.817418e-04,1.821529e-04,1.855070e-04,1.861625e-04,1.887331e-04,1.903597e-04,1.918300e-04,1.943309e-04,1.947969e-04,1.976335e-04,1.980753e-04,2.003400e-04,2.015929e-04,2.029166e-04,2.048851e-04,2.053643e-04,2.076841e-04,2.079540e-04,2.098774e-04,2.108028e-04,2.119458e-04,2.134353e-04,2.138911e-04,2.157155e-04,2.158563e-04,2.174213e-04,2.180709e-04,2.190108e-04,2.200847e-04,2.204867e-04,2.218517e-04,2.219040e-04,2.231086e-04,2.235352e-04,2.242603e-04,2.249850e-04,2.253100e-04,2.262605e-04,2.273688e-04,2.283170e-04,2.291125e-04,2.297626e-04,2.302745e-04,2.306553e-04,2.309122e-04,2.310520e-04,2.310816e-04,2.310076e-04,2.308364e-04,2.305743e-04,2.302271e-04,2.298008e-04,2.293010e-04,2.287329e-04,2.281018e-04,2.274125e-04,2.266697e-04,2.258779e-04,2.250413e-04,2.241639e-04,2.232495e-04,2.223018e-04
0.000000e+00,9.645942e-12,3.682202e-11,2.453750e-10,8.277212e-10,1.435285e-09,4.690412e-09,4.895264e-09,1.267835e-08,1.602085e-08,2.786539e-08,4.232280e-08,5.492259e-08,9.548808e-08,9.991556e-08,1.701720e-07,1.916322e-07,2.730291e-07,3.470818e-07,4.141431e-07,5.724740e-07,5.965938e-07,8.211613e-07,8.710802e-07,1.087075e-06,1.241157e-06,1.392659e-06,1.678429e-06,1.735745e-06,2.113902e-06,2.177492e-06,2.524574e-06,2.732482e-06,2.965156e-06,3.337406e-06,3.433044e-06,3.925666e-06,3.986323e-06,4.440517e-06,4.673465e-06,4.975170e-06,5.393314e-06,5.527298e-06,6.094684e-06,6.140670e-06,6.675231e-06,6.910688e-06,7.266965e-06,7.698898e-06,7.868037e-06,8.476726e-06,8.501209e-06,9.091433e-06,9.313913e-06,9.710680e-06,1.013366e-05,1.033310e-05,1.095746e-05,1.158259e-05,1.178262e-05,1.220745e-05,1.260678e-05,1.283109e-05,1.342783e-05,1.345264e-05,1.407132e-05,1.424394e-05,1.468641e-05,1.505347e-05,1.529727e-05,1.585504e-05,1.590333e-05,1.650407e-05,1.664740e-05,1.709903e-05,1.742952e-05,1.768778e-05,1.820048e-05,1.826999e-05,1.884530e-05,1.895952e-05,1.941346e-05,1.970599e-05,1.997421e-05,2.043935e-05,2.052733e-05,2.107264e-05,2.115916e-05,2.161000e-05,2.186506e-05,2.213926e-05,2.255677e-05,2.266032e-05,2.317311e-05,2.323408e-05,2.367754e-05,2.389683e-05,2.417358e-05,2.454493e-05,2.466118e-05,2.514034e-05,2.517831e-05,2.561105e-05,2.579697e-05,2.607332e-05,2.640094e-05,2.652717e-05,2.697262e-05,2.699026e-05,2.740971e-05,2.756503e-05,2.783850e-05,2.812536e-05,2.825903e-05,2.867137e-05,2.907558e-05,2.920322e-05,2.947173e-05,2.972108e-05,2.985991e-05,3.022512e-05,3.024018e-05,3.061264e-05,3.071554e-05,3.097737e-05,3.119254e-05,3.133447e-05,3.165633e-05,3.168402e-05,3.202613e-05,3.210714e-05,3.236089e-05,3.254518e-05,3.268840e-05,3.297069e-05,3.300876e-05,3.332207e-05,3.338390e-05,3.362844e-05,3.378504e-05,3.392796e-05,3.417435e-05,3.422075e-05,3.450690e-05,3.455208e-05,3.478652e-05,3.491845e-05,3.505972e-05,3.527372e-05,3.532659e-05,3.558725e-05,3.561812e-05,3.584179e-05,3.595188e-05,3.609032e-05,3.627525e-05,3.633294e-05,3.656976e-05,3.658846e-05,3.680087e-05,3.689174e-05,3.702637e-05,3.718532e-05,3.724637e-05,3.746097e-05,3.746944e-05,3.767025e-05,3.774431e-05,3.787433e-05,3.801017e-05,3.807328e-05,3.826722e-05,3.851570e-05,3.875580e-05,3.898775e-05,3.921174e-05,3.942798e-05,3.963667e-05,3.983801e-05,4.003218e-05,4.021938e-05,4.039980e-05,4.057361e-05,4.074098e-05,4.090211e-05,4.105714e-05,4.120627e-05,4.134963e-05,4.148741e-05,4.161974e-05,4.174680e-05,4.186871e-05,4.198564e-05,4.209772e-05,4.220510e-05,4.230790e-05
0.000000e+00,4.565975e-12,1.389186e-11,7.286796e-11,2.194548e-10,3.641831e-10,1.092442e-09,1.136744e-09,2.749502e-09,3.412695e-09,5.672674e-09,8.298495e-09,1.050408e-08,1.726546e-08,1.798054e-08,2.895989e-08,3.221720e-08,4.434603e-08,5.520376e-08,6.497242e-08,8.799889e-08,9.151428e-08,1.244696e-07,1.318629e-07,1.641834e-07,1.875841e-07,2.108800e-07,2.555974e-07,2.646872e-07,3.256534e-07,3.360719e-07,3.937587e-07,4.289637e-07,4.689232e-07,5.340498e-07,5.510141e-07,6.398529e-07,6.509570e-07,7.352213e-07,7.791883e-07,8.368683e-07,9.181491e-07,9.445163e-07,1.057867e-06,1.067172e-06,1.176608e-06,1.225542e-06,1.300417e-06,1.392512e-06,1.428964e-06,1.561923e-06,1.567328e-06,1.698964e-06,1.749236e-06,1.839766e-06,1.937498e-06,1.984014e-06,2.131400e-06,2.281630e-06,2.330256e-06,2.434416e-06,2.533415e-06,2.589487e-06,2.740260e-06,2.746579e-06,2.905446e-06,2.950214e-06,3.065850e-06,3.162736e-06,3.227567e-06,3.377324e-06,3.390385e-06,3.554105e-06,3.593511e-06,3.718539e-06,3.810867e-06,3.883508e-06,4.028993e-06,4.048849e-06,4.214403e-06,4.247527e-06,4.380026e-06,4.466131e-06,4.545581e-06,4.684502e-06,4.710941e-06,4.875988e-06,4.902359e-06,5.040610e-06,5.119448e-06,5.204705e-06,5.335538e-06,5.368179e-06,5.530941e-06,5.550421e-06,5.692912e-06,5.763908e-06,5.854014e-06,5.975829e-06,6.014179e-06,6.173343e-06,6.186031e-06,6.331446e-06,6.394378e-06,6.488435e-06,6.600750e-06,6.644261e-06,6.798879e-06,6.805038e-06,6.952247e-06,7.007147e-06,7.104330e-06,7.206995e-06,7.255094e-06,7.404510e-06,7.552550e-06,7.599628e-06,7.699191e-06,7.792298e-06,7.844413e-06,7.982474e-06,7.988197e-06,8.130528e-06,8.170118e-06,8.271393e-06,8.355203e-06,8.410780e-06,8.537703e-06,8.548680e-06,8.685087e-06,8.717602e-06,8.819995e-06,8.894887e-06,8.953400e-06,9.069551e-06,9.085299e-06,9.215694e-06,9.241592e-06,9.344583e-06,9.411011e-06,9.471969e-06,9.577814e-06,9.597855e-06,9.722245e-06,9.742008e-06,9.845143e-06,9.903607e-06,9.966557e-06,1.006262e-05,1.008649e-05,1.020496e-05,1.021907e-05,1.032196e-05,1.037298e-05,1.043751e-05,1.052436e-05,1.055162e-05,1.066429e-05,1.067324e-05,1.077554e-05,1.081964e-05,1.088538e-05,1.096360e-05,1.099382e-05,1.110087e-05,1.110512e-05,1.120655e-05,1.124426e-05,1.131086e-05,1.138102e-05,1.141383e-05,1.151546e-05,1.164758e-05,1.177743e-05,1.190504e-05,1.203045e-05,1.215367e-05,1.227475e-05,1.239372e-05,1.251061e-05,1.262546e-05,1.273829e-05,1.284915e-05,1.295806e-05,1.306506e-05,1.317018e-05,1.327345e-05,1.337491e-05,1.347458e-05,1.357250e-05,1.366870e-05,1.376321e-05,1.385607e-05,1.394729e-05,1.403692e-05,1.412498e-05
0.000000e+00,2.095113e-15,1.919752e-14,4.547870e-13,3.331206e-12,8.020839e-12,4.946167e-11,5.270454e-11,2.068983e-10,2.854308e-10,5.963948e-10,1.017009e-09,1.405025e-09,2.728647e-09,2.877783e-09,5.325067e-09,6.098210e-09,9.128053e-09,1.201680e-08,1.474279e-08,2.160092e-08,2.269817e-08,3.358118e-08,3.616310e-08,4.800551e-08,5.710573e-08,6.656786e-08,8.575350e-08,8.980533e-08,1.181671e-07,1.232054e-07,1.520049e-07,1.702712e-07,1.915771e-07,2.274850e-07,2.370607e-07,2.885641e-07,2.951520e-07,3.461378e-07,3.733955e-07,4.097840e-07,4.621933e-07,4.794630e-07,5.550995e-07,5.614047e-07,6.365869e-07,6.707911e-07,7.237920e-07,7.900331e-07,8.165586e-07,9.147112e-07,9.187467e-07,1.018059e-06,1.056497e-06,1.126397e-06,1.202810e-06,1.239514e-06,1.357188e-06,1.479195e-06,1.519115e-06,1.605307e-06,1.688068e-06,1.735297e-06,1.863524e-06,1.868937e-06,2.006004e-06,2.044966e-06,2.146275e-06,2.231887e-06,2.289536e-06,2.423793e-06,2.435573e-06,2.584181e-06,2.620208e-06,2.735161e-06,2.820674e-06,2.888319e-06,3.024752e-06,3.043469e-06,3.200431e-06,3.232026e-06,3.359033e-06,3.442098e-06,3.519108e-06,3.654593e-06,3.680498e-06,3.843050e-06,3.869156e-06,4.006618e-06,4.085451e-06,4.171064e-06,4.303163e-06,4.336255e-06,4.502063e-06,4.521996e-06,4.668368e-06,4.741670e-06,4.835056e-06,4.961926e-06,5.002016e-06,5.169144e-06,5.182519e-06,5.336342e-06,5.403219e-06,5.503515e-06,5.623815e-06,5.670576e-06,5.837438e-06,5.844107e-06,6.004022e-06,6.063910e-06,6.170253e-06,6.283051e-06,6.336058e-06,6.501369e-06,6.666124e-06,6.718718e-06,6.830261e-06,6.934957e-06,6.993722e-06,7.149961e-06,7.156456e-06,7.318410e-06,7.363611e-06,7.479537e-06,7.575798e-06,7.639793e-06,7.786423e-06,7.799135e-06,7.957525e-06,7.995393e-06,8.114925e-06,8.202624e-06,8.271301e-06,8.408039e-06,8.426621e-06,8.580854e-06,8.611568e-06,8.733974e-06,8.813147e-06,8.885953e-06,9.012717e-06,9.036769e-06,9.186398e-06,9.210227e-06,9.334821e-06,9.405629e-06,9.482018e-06,9.598882e-06,9.627972e-06,9.772669e-06,9.789947e-06,9.916092e-06,9.978792e-06,1.005823e-05,1.016539e-05,1.019907e-05,1.033860e-05,1.034971e-05,1.047682e-05,1.053173e-05,1.061371e-05,1.071144e-05,1.074927e-05,1.088349e-05,1.088883e-05,1.101636e-05,1.106387e-05,1.114789e-05,1.123656e-05,1.127807e-05,1.140689e-05,1.157486e-05,1.174047e-05,1.190372e-05,1.206460e-05,1.222313e-05,1.237931e-05,1.253314e-05,1.268464e-05,1.283381e-05,1.298067e-05,1.312523e-05,1.326750e-05,1.340750e-05,1.354525e-05,1.368075e-05,1.381403e-05,1.394510e-05,1.407399e-05,1.420072e-05,1.432530e-05,1.444775e-05,1.456809e-05,1.468635e-05,1.480255e-05
0.000000e+00,8.830680e-18,9.903464e-17,3.511968e-15,3.645480e-14,1.054476e-13,1.017103e-12,1.102793e-12,6.487461e-12,9.925492e-12,2.657786e-11,5.471686e-11,8.497963e-11,2.109838e-10,2.269893e-10,5.292372e-10,6.377273e-10,1.109820e-09,1.617328e-09,2.138273e-09,3.595004e-09,3.844803e-09,6.528055e-09,7.213350e-09,1.056037e-08,1.333591e-08,1.638910e-08,2.305085e-08,2.453260e-08,3.557012e-08,3.764594e-08,5.012600e-08,5.855284e-08,6.884961e-08,8.726818e-08,9.239340e-08,1.213908e-07,1.252657e-07,1.564365e-07,1.739141e-07,1.980700e-07,2.344102e-07,2.467628e-07,3.029104e-07,3.077342e-07,3.668270e-07,3.946237e-07,4.387445e-07,4.955667e-07,5.188131e-07,6.071049e-07,6.108079e-07,7.036185e-07,7.403646e-07,8.082844e-07,8.840495e-07,9.209720e-07,1.041496e-06,1.169622e-06,1.212185e-06,1.305078e-06,1.395474e-06,1.447554e-06,1.590624e-06,1.596715e-06,1.752202e-06,1.796822e-06,1.913642e-06,2.013202e-06,2.080648e-06,2.238873e-06,2.252828e-06,2.429787e-06,2.472925e-06,2.611131e-06,2.714452e-06,2.796468e-06,2.962563e-06,2.985415e-06,3.177595e-06,3.216387e-06,3.372644e-06,3.475085e-06,3.570207e-06,3.737854e-06,3.769944e-06,3.971528e-06,4.003931e-06,4.174645e-06,4.272598e-06,4.378998e-06,4.543178e-06,4.584302e-06,4.790287e-06,4.815039e-06,4.996701e-06,5.087596e-06,5.203301e-06,5.360303e-06,5.409863e-06,5.616172e-06,5.632660e-06,5.822031e-06,5.904207e-06,6.027253e-06,6.174520e-06,6.231663e-06,6.435099e-06,6.443214e-06,6.637410e-06,6.709938e-06,6.838454e-06,6.974375e-06,7.038104e-06,7.236236e-06,7.432742e-06,7.495263e-06,7.627517e-06,7.751222e-06,7.820469e-06,8.003907e-06,8.011511e-06,8.200564e-06,8.253132e-06,8.387556e-06,8.498735e-06,8.572422e-06,8.740571e-06,8.755104e-06,8.935549e-06,8.978517e-06,9.113708e-06,9.212463e-06,9.289540e-06,9.442318e-06,9.463008e-06,9.634078e-06,9.668002e-06,9.802722e-06,9.889451e-06,9.968917e-06,1.010661e-05,1.013264e-05,1.029388e-05,1.031944e-05,1.045261e-05,1.052791e-05,1.060884e-05,1.073200e-05,1.076254e-05,1.091372e-05,1.093170e-05,1.106238e-05,1.112699e-05,1.120851e-05,1.131788e-05,1.135212e-05,1.149321e-05,1.150439e-05,1.163179e-05,1.168652e-05,1.176786e-05,1.186429e-05,1.190144e-05,1.203254e-05,1.203773e-05,1.216117e-05,1.220688e-05,1.228735e-05,1.237175e-05,1.241109e-05,1.253240e-05,1.268886e-05,1.284118e-05,1.298940e-05,1.313357e-05,1.327374e-05,1.340996e-05,1.354230e-05,1.367080e-05,1.379552e-05,1.391652e-05,1.403386e-05,1.414761e-05,1.425781e-05,1.436453e-05,1.446783e-05,1.456778e-05,1.466443e-05,1.475785e-05,1.484809e-05,1.493523e-05,1.501931e-05,1.510041e-05,1.517858e-05,1.525388e-05
0.000000e+00,6.419505e-13,3.702917e-12,4.075338e-11,1.774056e-10,3.393405e-10,1.324952e-09,1.390661e-09,4.036882e-09,5.230124e-09,9.611707e-09,1.516519e-08,2.011864e-08,3.642304e-08,3.821907e-08,6.676638e-08,7.545840e-08,1.082275e-07,1.378227e-07,1.645279e-07,2.275622e-07,2.371890e-07,3.274721e-07,3.477410e-07,4.364551e-07,5.008296e-07,5.650640e-07,6.888391e-07,7.140815e-07,8.841479e-07,9.133471e-07,1.075760e-06,1.175497e-06,1.289274e-06,1.476006e-06,1.524909e-06,1.782752e-06,1.815185e-06,2.062773e-06,2.192976e-06,2.364833e-06,2.608995e-06,2.688695e-06,3.034039e-06,3.062583e-06,3.400473e-06,3.552851e-06,3.787542e-06,4.078728e-06,4.194742e-06,4.621526e-06,4.638997e-06,5.067315e-06,5.232336e-06,5.531503e-06,5.857341e-06,6.013463e-06,6.512556e-06,7.028132e-06,7.196490e-06,7.559532e-06,7.907630e-06,8.106099e-06,8.644460e-06,8.667173e-06,9.242097e-06,9.405468e-06,9.830217e-06,1.018915e-05,1.043089e-05,1.099404e-05,1.104347e-05,1.166733e-05,1.181866e-05,1.230184e-05,1.266159e-05,1.294640e-05,1.352144e-05,1.360039e-05,1.426324e-05,1.439682e-05,1.493436e-05,1.528643e-05,1.561319e-05,1.618895e-05,1.629916e-05,1.699175e-05,1.710314e-05,1.769041e-05,1.802777e-05,1.839463e-05,1.896167e-05,1.910390e-05,1.981774e-05,1.990369e-05,2.053567e-05,2.085274e-05,2.125722e-05,2.180774e-05,2.198194e-05,2.270938e-05,2.276768e-05,2.343913e-05,2.373158e-05,2.417076e-05,2.469847e-05,2.490387e-05,2.563808e-05,2.566746e-05,2.637299e-05,2.663767e-05,2.710826e-05,2.760826e-05,2.784352e-05,2.857843e-05,2.931267e-05,2.954742e-05,3.004590e-05,3.051450e-05,3.077782e-05,3.147896e-05,3.150814e-05,3.223657e-05,3.244015e-05,3.296282e-05,3.339743e-05,3.368665e-05,3.435019e-05,3.440778e-05,3.512597e-05,3.529788e-05,3.584099e-05,3.623994e-05,3.655262e-05,3.717586e-05,3.726062e-05,3.796480e-05,3.810516e-05,3.866496e-05,3.902739e-05,3.936090e-05,3.994210e-05,4.005245e-05,4.073942e-05,4.084890e-05,4.142166e-05,4.174741e-05,4.209901e-05,4.263727e-05,4.277132e-05,4.343844e-05,4.351814e-05,4.410024e-05,4.438971e-05,4.475659e-05,4.525170e-05,4.540738e-05,4.605248e-05,4.610384e-05,4.669179e-05,4.694587e-05,4.732521e-05,4.777758e-05,4.795265e-05,4.857402e-05,4.859874e-05,4.918922e-05,4.940917e-05,4.979820e-05,5.020870e-05,5.040086e-05,5.099716e-05,5.177441e-05,5.254034e-05,5.329481e-05,5.403775e-05,5.476906e-05,5.548868e-05,5.619654e-05,5.689260e-05,5.757683e-05,5.824919e-05,5.890969e-05,5.955831e-05,6.019506e-05,6.081996e-05,6.143302e-05,6.203429e-05,6.262380e-05,6.320159e-05,6.376773e-05,6.432226e-05,6.486526e-05,6.539681e-05,6.591697e-05,6.642583e-05
0.000000e+00,1.361938e-16,1.393286e-15,4.093972e-14,3.592649e-13,9.491143e-13,7.282850e-12,7.824688e-12,3.701767e-11,5.346725e-11,1.243040e-10,2.291129e-10,3.316900e-10,7.077692e-10,7.519843e-10,1.511642e-09,1.761685e-09,2.772635e-09,3.770255e-09,4.733407e-09,7.222611e-09,7.627710e-09,1.171891e-08,1.270537e-08,1.728770e-08,2.086088e-08,2.461377e-08,3.231586e-08,3.395567e-08,4.553407e-08,4.760642e-08,5.952180e-08,6.712950e-08,7.604116e-08,9.113084e-08,9.516647e-08,1.169294e-07,1.197184e-07,1.413255e-07,1.528860e-07,1.683201e-07,1.905380e-07,1.978537e-07,2.298470e-07,2.325099e-07,2.642044e-07,2.785854e-07,3.008176e-07,3.285101e-07,3.395688e-07,3.803330e-07,3.820037e-07,4.229807e-07,4.387696e-07,4.673798e-07,4.985038e-07,5.133975e-07,5.609019e-07,6.097633e-07,6.256648e-07,6.598553e-07,6.925033e-07,7.110555e-07,7.611413e-07,7.632465e-07,8.163159e-07,8.313181e-07,8.701570e-07,9.027898e-07,9.246688e-07,9.753301e-07,9.797561e-07,1.035330e-06,1.048730e-06,1.091305e-06,1.122798e-06,1.147605e-06,1.197359e-06,1.204156e-06,1.260892e-06,1.272255e-06,1.317747e-06,1.347341e-06,1.374666e-06,1.422487e-06,1.431594e-06,1.488482e-06,1.497577e-06,1.545283e-06,1.572504e-06,1.601956e-06,1.647176e-06,1.658462e-06,1.714766e-06,1.721508e-06,1.770836e-06,1.795424e-06,1.826641e-06,1.868860e-06,1.882155e-06,1.937353e-06,1.941754e-06,1.992212e-06,2.014057e-06,2.046713e-06,2.085720e-06,2.100836e-06,2.154564e-06,2.156705e-06,2.207884e-06,2.226976e-06,2.260781e-06,2.296503e-06,2.313243e-06,2.365259e-06,2.416820e-06,2.433222e-06,2.467917e-06,2.500372e-06,2.518543e-06,2.566694e-06,2.568691e-06,2.618356e-06,2.632175e-06,2.667533e-06,2.696803e-06,2.716218e-06,2.760571e-06,2.764407e-06,2.812099e-06,2.823471e-06,2.859291e-06,2.885499e-06,2.905981e-06,2.946652e-06,2.952168e-06,2.997853e-06,3.006930e-06,3.043035e-06,3.066331e-06,3.087714e-06,3.124857e-06,3.131892e-06,3.175568e-06,3.182510e-06,3.218746e-06,3.239294e-06,3.261425e-06,3.295212e-06,3.303610e-06,3.345300e-06,3.350270e-06,3.386500e-06,3.404473e-06,3.427211e-06,3.457827e-06,3.467437e-06,3.507181e-06,3.510339e-06,3.546445e-06,3.562017e-06,3.585233e-06,3.612868e-06,3.623549e-06,3.661396e-06,3.662900e-06,3.698778e-06,3.712123e-06,3.735699e-06,3.760544e-06,3.772162e-06,3.808172e-06,3.855018e-06,3.901090e-06,3.946399e-06,3.990953e-06,4.034763e-06,4.077839e-06,4.120191e-06,4.161829e-06,4.202763e-06,4.243003e-06,4.282560e-06,4.321443e-06,4.359663e-06,4.397229e-06,4.434152e-06,4.470442e-06,4.506109e-06,4.541162e-06,4.575611e-06,4.609467e-06,4.642738e-06,4.675434e-06,4.707565e-06,4.739140e-06
0.000000e+00,2.376394e-12,7.533509e-12,4.126124e-11,1.267732e-10,2.119307e-10,6.438028e-10,6.701647e-10,1.632585e-09,2.029193e-09,3.382173e-09,4.955010e-09,6.275576e-09,1.031315e-08,1.073881e-08,1.723308e-08,1.914426e-08,2.620364e-08,3.246013e-08,3.805129e-08,5.114070e-08,5.313195e-08,7.176503e-08,7.594387e-08,9.423944e-08,1.075319e-07,1.208158e-07,1.464805e-07,1.517260e-07,1.871719e-07,1.932759e-07,2.273227e-07,2.483073e-07,2.723138e-07,3.118600e-07,3.222450e-07,3.771801e-07,3.841103e-07,4.371470e-07,4.651259e-07,5.021385e-07,5.548685e-07,5.721138e-07,6.470009e-07,6.532012e-07,7.266990e-07,7.598977e-07,8.110813e-07,8.746540e-07,8.999985e-07,9.932814e-07,9.971010e-07,1.090745e-06,1.126817e-06,1.192191e-06,1.263342e-06,1.297410e-06,1.406187e-06,1.518301e-06,1.554846e-06,1.633528e-06,1.708805e-06,1.751646e-06,1.867551e-06,1.872430e-06,1.995663e-06,2.030577e-06,2.121126e-06,2.197388e-06,2.248612e-06,2.367507e-06,2.377913e-06,2.508833e-06,2.540473e-06,2.641181e-06,2.715850e-06,2.774772e-06,2.893222e-06,2.909432e-06,3.044993e-06,3.072199e-06,3.181295e-06,3.252413e-06,3.318185e-06,3.433522e-06,3.455520e-06,3.593163e-06,3.615206e-06,3.730985e-06,3.797168e-06,3.868865e-06,3.979133e-06,4.006688e-06,4.144346e-06,4.160849e-06,4.281737e-06,4.342080e-06,4.418768e-06,4.522614e-06,4.555348e-06,4.691396e-06,4.702254e-06,4.826833e-06,4.880820e-06,4.961587e-06,5.058149e-06,5.095590e-06,5.228781e-06,5.234091e-06,5.361102e-06,5.408513e-06,5.492497e-06,5.581293e-06,5.622919e-06,5.752321e-06,5.880660e-06,5.921498e-06,6.007898e-06,6.088736e-06,6.134000e-06,6.253958e-06,6.258933e-06,6.382667e-06,6.417095e-06,6.505177e-06,6.578084e-06,6.626437e-06,6.736874e-06,6.746426e-06,6.865124e-06,6.893418e-06,6.982515e-06,7.047677e-06,7.098582e-06,7.199617e-06,7.213314e-06,7.326697e-06,7.349211e-06,7.438722e-06,7.496436e-06,7.549382e-06,7.641275e-06,7.658669e-06,7.766577e-06,7.783715e-06,7.873104e-06,7.923745e-06,7.978246e-06,8.061362e-06,8.082002e-06,8.184370e-06,8.196561e-06,8.285352e-06,8.329346e-06,8.384950e-06,8.459719e-06,8.483164e-06,8.579999e-06,8.587687e-06,8.675459e-06,8.713259e-06,8.769548e-06,8.836446e-06,8.862271e-06,8.953635e-06,8.957261e-06,9.043646e-06,9.075720e-06,9.132311e-06,9.191838e-06,9.219637e-06,9.305634e-06,9.417127e-06,9.526339e-06,9.633290e-06,9.738003e-06,9.840502e-06,9.940812e-06,1.003896e-05,1.013496e-05,1.022885e-05,1.032066e-05,1.041041e-05,1.049812e-05,1.058383e-05,1.066757e-05,1.074935e-05,1.082921e-05,1.090718e-05,1.098329e-05,1.105756e-05,1.113002e-05,1.120070e-05,1.126962e-05,1.133683e-05,1.140233e-05
0.000000e+00,6.493089e-17,7.604695e-16,2.952619e-14,3.332587e-13,1.009789e-12,1.099781e-11,1.198399e-11,7.971219e-11,1.261429e-10,3.679513e-10,8.124048e-10,1.321083e-09,3.638428e-09,3.949399e-09,1.027230e-08,1.270098e-08,2.395050e-08,3.698135e-08,5.112511e-08,9.376788e-08,1.014552e-07,1.893100e-07,2.130552e-07,3.350395e-07,4.425257e-07,5.662239e-07,8.524853e-07,9.188036e-07,1.437997e-06,1.540071e-06,2.178932e-06,2.632135e-06,3.206937e-06,4.286416e-06,4.597482e-06,6.435734e-06,6.690791e-06,8.815769e-06,1.006062e-05,1.183945e-05,1.463431e-05,1.561500e-05,2.025540e-05,2.066745e-05,2.587650e-05,2.842571e-05,3.259508e-05,3.817707e-05,4.052682e-05,4.978424e-05,5.018365e-05,6.047474e-05,6.469371e-05,7.269864e-05,8.193390e-05,8.654748e-05,1.021024e-04,1.194326e-04,1.253628e-04,1.385946e-04,1.518398e-04,1.596308e-04,1.816149e-04,1.825692e-04,2.074229e-04,2.147252e-04,2.341898e-04,2.511618e-04,2.628528e-04,2.908705e-04,2.933803e-04,3.257262e-04,3.337534e-04,3.598310e-04,3.796717e-04,3.956228e-04,4.284487e-04,4.330176e-04,4.719213e-04,4.798741e-04,5.122299e-04,5.337088e-04,5.538317e-04,5.896898e-04,5.966078e-04,6.404339e-04,6.475349e-04,6.851810e-04,7.069483e-04,7.307176e-04,7.676253e-04,7.769098e-04,8.236232e-04,8.292575e-04,8.707239e-04,8.915366e-04,9.180792e-04,9.541591e-04,9.655586e-04,1.013035e-03,1.016829e-03,1.060385e-03,1.079263e-03,1.107491e-03,1.141191e-03,1.154238e-03,1.200519e-03,1.202359e-03,1.246232e-03,1.262530e-03,1.291281e-03,1.321490e-03,1.335578e-03,1.379041e-03,1.421594e-03,1.435007e-03,1.463169e-03,1.489235e-03,1.503705e-03,1.541591e-03,1.543147e-03,1.581447e-03,1.591961e-03,1.618564e-03,1.640251e-03,1.654462e-03,1.686388e-03,1.689113e-03,1.722493e-03,1.730313e-03,1.754584e-03,1.771987e-03,1.785374e-03,1.811387e-03,1.814855e-03,1.843025e-03,1.848501e-03,1.869884e-03,1.883334e-03,1.895438e-03,1.915901e-03,1.919696e-03,1.942671e-03,1.946229e-03,1.964378e-03,1.974352e-03,1.984835e-03,2.000316e-03,2.004064e-03,2.022088e-03,2.024171e-03,2.038931e-03,2.045975e-03,2.054620e-03,2.065790e-03,2.069185e-03,2.082653e-03,2.083684e-03,2.095056e-03,2.099726e-03,2.106425e-03,2.113989e-03,2.116793e-03,2.126191e-03,2.126547e-03,2.134653e-03,2.137476e-03,2.142212e-03,2.146852e-03,2.148900e-03,2.154751e-03,2.161249e-03,2.166420e-03,2.170338e-03,2.173075e-03,2.174701e-03,2.175285e-03,2.174893e-03,2.173590e-03,2.171436e-03,2.168491e-03,2.164813e-03,2.160455e-03,2.155469e-03,2.149905e-03,2.143808e-03,2.137225e-03,2.130196e-03,2.122762e-03,2.114961e-03,2.106827e-03,2.098395e-03,2.089696e-03,2.080759e-03,2.071612e-03
0.000000e+00,3.242139e-14,2.442680e-13,4.057263e-12,2.272467e-11,4.817652e-11,2.261494e-10,2.386775e-10,7.644746e-10,1.006880e-09,1.898862e-09,3.018430e-09,4.004198e-09,7.190692e-09,7.538449e-09,1.305041e-08,1.473423e-08,2.114237e-08,2.702280e-08,3.240345e-08,4.535123e-08,4.735568e-08,6.643899e-08,7.078475e-08,9.001932e-08,1.041611e-07,1.183995e-07,1.461295e-07,1.518253e-07,1.904880e-07,1.971700e-07,2.345252e-07,2.575988e-07,2.840214e-07,3.275728e-07,3.390098e-07,3.994751e-07,4.070966e-07,4.653570e-07,4.960364e-07,5.365547e-07,5.941376e-07,6.129322e-07,6.943234e-07,7.010457e-07,7.805377e-07,8.163273e-07,8.713647e-07,9.394903e-07,9.665792e-07,1.065946e-06,1.070003e-06,1.169222e-06,1.207312e-06,1.276163e-06,1.350850e-06,1.386522e-06,1.500055e-06,1.616522e-06,1.654372e-06,1.735687e-06,1.813263e-06,1.857322e-06,1.976209e-06,1.981205e-06,2.107124e-06,2.142718e-06,2.234873e-06,2.312320e-06,2.364257e-06,2.484573e-06,2.495089e-06,2.627189e-06,2.659063e-06,2.760389e-06,2.835402e-06,2.894529e-06,3.013227e-06,3.029455e-06,3.165025e-06,3.192203e-06,3.301101e-06,3.372019e-06,3.437557e-06,3.552384e-06,3.574271e-06,3.711130e-06,3.733034e-06,3.848028e-06,3.913722e-06,3.984863e-06,4.094224e-06,4.121544e-06,4.257981e-06,4.274333e-06,4.394093e-06,4.453859e-06,4.529802e-06,4.632628e-06,4.665038e-06,4.799734e-06,4.810484e-06,4.933827e-06,4.987283e-06,5.067261e-06,5.162894e-06,5.199981e-06,5.331937e-06,5.337199e-06,5.463085e-06,5.510092e-06,5.593382e-06,5.681477e-06,5.722788e-06,5.851269e-06,5.978791e-06,6.019390e-06,6.105324e-06,6.185773e-06,6.230841e-06,6.350358e-06,6.355317e-06,6.478729e-06,6.513091e-06,6.601058e-06,6.673927e-06,6.722285e-06,6.832826e-06,6.842393e-06,6.961370e-06,6.989754e-06,7.079201e-06,7.144682e-06,7.195876e-06,7.297587e-06,7.311386e-06,7.425723e-06,7.448449e-06,7.538880e-06,7.597254e-06,7.650852e-06,7.743990e-06,7.761635e-06,7.871226e-06,7.888649e-06,7.979623e-06,8.031229e-06,8.086825e-06,8.171726e-06,8.192832e-06,8.297646e-06,8.310143e-06,8.401267e-06,8.446484e-06,8.503699e-06,8.580754e-06,8.604944e-06,8.705007e-06,8.712961e-06,8.803892e-06,8.843117e-06,8.901603e-06,8.971232e-06,8.998147e-06,9.093529e-06,9.097320e-06,9.187756e-06,9.221397e-06,9.280836e-06,9.343477e-06,9.372774e-06,9.463579e-06,9.581721e-06,9.697922e-06,9.812201e-06,9.924581e-06,1.003508e-05,1.014373e-05,1.025053e-05,1.035553e-05,1.045874e-05,1.056019e-05,1.065989e-05,1.075788e-05,1.085417e-05,1.094879e-05,1.104178e-05,1.113314e-05,1.122290e-05,1.131109e-05,1.139774e-05,1.148286e-05,1.156648e-05,1.164863e-05,1.172932e-05,1.180859e-05
0.000000e+00,4.526417e-18,5.296484e-17,2.054993e-15,2.316888e-14,7.014933e-14,7.619963e-13,8.302151e-13,5.500491e-12,8.692745e-12,2.525570e-11,5.554446e-11,9.005826e-11,2.461088e-10,2.669440e-10,6.872181e-10,8.473881e-10,1.583259e-09,2.426801e-09,3.334768e-09,6.039742e-09,6.523439e-09,1.199422e-08,1.345895e-08,2.092041e-08,2.743037e-08,3.486909e-08,5.193225e-08,5.586251e-08,8.643055e-08,9.240760e-08,1.296495e-07,1.559362e-07,1.891628e-07,2.513160e-07,2.691806e-07,3.744567e-07,3.890318e-07,5.102422e-07,5.811029e-07,6.822154e-07,8.408106e-07,8.963944e-07,1.159031e-06,1.182326e-06,1.476494e-06,1.620257e-06,1.855140e-06,2.169151e-06,2.301189e-06,2.820591e-06,2.842973e-06,3.418904e-06,3.654605e-06,4.101179e-06,4.615376e-06,4.871852e-06,5.734663e-06,6.692575e-06,7.019563e-06,7.747718e-06,8.474657e-06,8.901356e-06,1.010187e-05,1.015386e-05,1.150472e-05,1.190041e-05,1.295251e-05,1.386682e-05,1.449500e-05,1.599510e-05,1.612912e-05,1.785103e-05,1.827686e-05,1.965622e-05,2.070161e-05,2.153955e-05,2.325699e-05,2.349531e-05,2.551733e-05,2.592912e-05,2.759907e-05,2.870291e-05,2.973366e-05,3.156238e-05,3.191401e-05,3.413288e-05,3.449099e-05,3.638298e-05,3.747196e-05,3.865698e-05,4.048853e-05,4.094765e-05,4.324789e-05,4.352422e-05,4.555074e-05,4.656309e-05,4.784951e-05,4.958986e-05,5.013775e-05,5.240932e-05,5.259015e-05,5.465843e-05,5.555055e-05,5.687962e-05,5.845873e-05,5.906783e-05,6.121836e-05,6.130353e-05,6.332692e-05,6.407496e-05,6.538960e-05,6.676422e-05,6.740291e-05,6.936373e-05,7.126932e-05,7.186705e-05,7.311732e-05,7.426888e-05,7.490573e-05,7.656501e-05,7.663290e-05,7.829749e-05,7.875222e-05,7.989848e-05,8.082823e-05,8.143515e-05,8.279168e-05,8.290704e-05,8.431396e-05,8.464195e-05,8.565594e-05,8.637918e-05,8.693325e-05,8.800415e-05,8.814635e-05,8.929586e-05,8.951820e-05,9.038258e-05,9.092317e-05,9.140746e-05,9.222135e-05,9.237157e-05,9.327608e-05,9.341536e-05,9.412229e-05,9.450816e-05,9.491157e-05,9.550296e-05,9.564535e-05,9.632514e-05,9.640316e-05,9.695249e-05,9.721231e-05,9.752898e-05,9.793410e-05,9.805624e-05,9.853591e-05,9.857227e-05,9.896962e-05,9.913061e-05,9.935904e-05,9.961291e-05,9.970580e-05,1.000116e-04,1.000230e-04,1.002780e-04,1.003645e-04,1.005066e-04,1.006413e-04,1.006991e-04,1.008569e-04,1.010149e-04,1.011188e-04,1.011718e-04,1.011773e-04,1.011383e-04,1.010578e-04,1.009388e-04,1.007840e-04,1.005960e-04,1.003774e-04,1.001305e-04,9.985758e-05,9.956087e-05,9.924241e-05,9.890412e-05,9.854784e-05,9.817530e-05,9.778815e-05,9.738790e-05,9.697601e-05,9.655382e-05,9.612262e-05,9.568359e-05,9.523785e-05
0.000000e+00,1.933610e-12,6.485081e-12,3.770782e-11,1.191980e-10,2.014391e-10,6.241815e-10,6.501539e-10,1.604485e-09,1.999953e-09,3.354358e-09,4.935736e-09,6.267765e-09,1.036266e-08,1.079638e-08,1.746426e-08,1.944461e-08,2.682444e-08,3.343773e-08,3.939303e-08,5.345146e-08,5.560036e-08,7.578040e-08,8.031644e-08,1.001833e-07,1.146047e-07,1.289918e-07,1.566899e-07,1.623329e-07,2.002866e-07,2.067903e-07,2.428904e-07,2.649931e-07,2.901437e-07,3.312712e-07,3.420111e-07,3.984259e-07,4.054970e-07,4.592937e-07,4.874566e-07,5.244962e-07,5.768645e-07,5.938947e-07,6.673339e-07,6.733786e-07,7.446451e-07,7.766141e-07,8.256499e-07,8.861564e-07,9.101626e-07,9.979932e-07,1.001573e-06,1.088949e-06,1.122421e-06,1.182838e-06,1.248260e-06,1.279469e-06,1.378652e-06,1.480203e-06,1.513170e-06,1.583942e-06,1.651401e-06,1.689693e-06,1.792949e-06,1.797286e-06,1.906560e-06,1.937436e-06,2.017356e-06,2.084501e-06,2.129523e-06,2.233805e-06,2.242919e-06,2.357404e-06,2.385028e-06,2.472848e-06,2.537868e-06,2.589126e-06,2.692045e-06,2.706118e-06,2.823713e-06,2.847294e-06,2.941802e-06,3.003371e-06,3.060286e-06,3.160047e-06,3.179068e-06,3.298058e-06,3.317110e-06,3.417170e-06,3.474363e-06,3.536323e-06,3.631625e-06,3.655443e-06,3.774457e-06,3.788728e-06,3.893298e-06,3.945517e-06,4.011904e-06,4.101850e-06,4.130215e-06,4.248175e-06,4.257596e-06,4.365734e-06,4.412634e-06,4.482842e-06,4.566856e-06,4.599454e-06,4.715529e-06,4.720160e-06,4.831026e-06,4.872457e-06,4.945909e-06,5.023662e-06,5.060145e-06,5.173702e-06,5.286551e-06,5.322509e-06,5.398665e-06,5.470021e-06,5.510020e-06,5.616185e-06,5.620593e-06,5.730363e-06,5.760953e-06,5.839312e-06,5.904280e-06,5.947423e-06,6.046130e-06,6.054679e-06,6.161067e-06,6.186469e-06,6.266574e-06,6.325269e-06,6.371190e-06,6.462506e-06,6.474903e-06,6.577707e-06,6.598158e-06,6.679593e-06,6.732208e-06,6.780554e-06,6.864644e-06,6.880586e-06,6.979684e-06,6.995453e-06,7.077845e-06,7.124628e-06,7.175066e-06,7.252164e-06,7.271344e-06,7.366680e-06,7.378057e-06,7.461072e-06,7.502306e-06,7.554522e-06,7.624913e-06,7.647029e-06,7.738596e-06,7.745881e-06,7.829225e-06,7.865214e-06,7.918917e-06,7.982918e-06,8.007677e-06,8.095508e-06,8.099002e-06,8.182413e-06,8.213473e-06,8.268397e-06,8.326343e-06,8.353465e-06,8.437622e-06,8.547323e-06,8.655458e-06,8.762041e-06,8.867088e-06,8.970612e-06,9.072630e-06,9.173158e-06,9.272213e-06,9.369811e-06,9.465970e-06,9.560707e-06,9.654041e-06,9.745990e-06,9.836571e-06,9.925804e-06,1.001371e-05,1.010030e-05,1.018559e-05,1.026961e-05,1.035238e-05,1.043391e-05,1.051421e-05,1.059332e-05,1.067124e-05
0.000000e+00,1.055218e-12,3.590908e-12,2.116839e-11,6.723318e-11,1.137400e-10,3.522846e-10,3.669091e-10,9.020829e-10,1.122772e-09,1.874760e-09,2.746681e-09,3.477054e-09,5.704938e-09,5.939679e-09,9.527849e-09,1.058786e-08,1.452361e-08,1.803776e-08,2.119607e-08,2.863928e-08,2.977614e-08,4.044851e-08,4.284728e-08,5.335590e-08,6.098801e-08,6.860606e-08,8.328481e-08,8.627738e-08,1.064224e-07,1.098774e-07,1.290700e-07,1.408325e-07,1.542269e-07,1.761504e-07,1.818792e-07,2.119940e-07,2.157710e-07,2.445208e-07,2.595803e-07,2.793939e-07,3.074181e-07,3.165338e-07,3.558501e-07,3.590865e-07,3.972432e-07,4.143583e-07,4.406066e-07,4.729857e-07,4.858286e-07,5.327942e-07,5.347074e-07,5.813868e-07,5.992559e-07,6.314896e-07,6.663629e-07,6.829866e-07,7.357638e-07,7.897099e-07,8.072018e-07,8.447169e-07,8.804300e-07,9.006808e-07,9.552137e-07,9.575017e-07,1.015084e-06,1.031331e-06,1.073338e-06,1.108576e-06,1.132176e-06,1.186754e-06,1.191518e-06,1.251286e-06,1.265686e-06,1.311409e-06,1.345208e-06,1.371819e-06,1.425166e-06,1.432452e-06,1.493249e-06,1.505423e-06,1.554154e-06,1.585850e-06,1.615116e-06,1.666332e-06,1.676086e-06,1.737020e-06,1.746763e-06,1.797875e-06,1.827047e-06,1.858614e-06,1.907097e-06,1.919201e-06,1.979601e-06,1.986836e-06,2.039786e-06,2.066191e-06,2.099726e-06,2.145100e-06,2.159395e-06,2.218769e-06,2.223506e-06,2.277827e-06,2.301356e-06,2.336547e-06,2.378606e-06,2.394911e-06,2.452903e-06,2.455214e-06,2.510506e-06,2.531145e-06,2.567706e-06,2.606366e-06,2.624491e-06,2.680849e-06,2.736769e-06,2.754569e-06,2.792242e-06,2.827506e-06,2.847259e-06,2.899640e-06,2.901813e-06,2.955896e-06,2.970955e-06,3.009504e-06,3.041438e-06,3.062630e-06,3.111077e-06,3.115270e-06,3.167421e-06,3.179864e-06,3.219079e-06,3.247791e-06,3.270241e-06,3.314852e-06,3.320906e-06,3.371071e-06,3.381044e-06,3.420735e-06,3.446363e-06,3.469898e-06,3.510807e-06,3.518559e-06,3.566718e-06,3.574377e-06,3.614376e-06,3.637073e-06,3.661532e-06,3.698898e-06,3.708189e-06,3.754347e-06,3.759852e-06,3.800007e-06,3.819941e-06,3.845172e-06,3.879167e-06,3.889844e-06,3.934023e-06,3.937537e-06,3.977714e-06,3.995054e-06,4.020918e-06,4.051725e-06,4.063638e-06,4.105877e-06,4.107556e-06,4.147637e-06,4.162554e-06,4.188922e-06,4.216727e-06,4.229736e-06,4.270081e-06,4.322624e-06,4.374365e-06,4.425312e-06,4.475474e-06,4.524858e-06,4.573475e-06,4.621332e-06,4.668440e-06,4.714807e-06,4.760443e-06,4.805357e-06,4.849559e-06,4.893058e-06,4.935863e-06,4.977985e-06,5.019432e-06,5.060214e-06,5.100340e-06,5.139820e-06,5.178664e-06,5.216880e-06,5.254479e-06,5.291468e-06,5.327858e-06
0.000000e+00,7.743752e-13,2.656315e-12,1.582608e-11,5.059680e-11,8.583941e-11,2.672647e-10,2.784014e-10,6.858532e-10,8.536144e-10,1.423512e-09,2.080681e-09,2.628236e-09,4.283866e-09,4.457187e-09,7.086351e-09,7.857484e-09,1.070780e-08,1.324456e-08,1.552410e-08,2.091319e-08,2.173954e-08,2.955106e-08,3.132133e-08,3.914242e-08,4.488983e-08,5.068194e-08,6.199260e-08,6.432196e-08,8.019845e-08,8.295444e-08,9.843061e-08,1.080494e-07,1.191203e-07,1.374985e-07,1.423515e-07,1.681904e-07,1.714687e-07,1.966848e-07,2.100721e-07,2.278652e-07,2.533675e-07,2.617450e-07,2.983214e-07,3.013636e-07,3.375767e-07,3.540224e-07,3.794796e-07,4.112649e-07,4.239862e-07,4.710418e-07,4.729762e-07,5.205822e-07,5.390113e-07,5.725349e-07,6.092005e-07,6.268207e-07,6.833548e-07,7.420479e-07,7.612707e-07,8.028076e-07,8.427346e-07,8.655389e-07,9.275262e-07,9.301452e-07,9.965293e-07,1.015422e-06,1.064594e-06,1.106198e-06,1.134241e-06,1.199633e-06,1.205376e-06,1.277903e-06,1.295506e-06,1.351728e-06,1.393604e-06,1.426762e-06,1.493719e-06,1.502913e-06,1.580095e-06,1.595648e-06,1.658225e-06,1.699199e-06,1.737219e-06,1.804184e-06,1.816998e-06,1.897486e-06,1.910425e-06,1.978608e-06,2.017751e-06,2.060294e-06,2.126001e-06,2.142474e-06,2.225082e-06,2.235020e-06,2.308055e-06,2.344663e-06,2.391332e-06,2.454790e-06,2.474855e-06,2.558568e-06,2.565272e-06,2.642417e-06,2.675984e-06,2.726353e-06,2.786812e-06,2.810325e-06,2.894287e-06,2.897645e-06,2.978196e-06,3.008382e-06,3.062009e-06,3.118927e-06,3.145686e-06,3.229189e-06,3.312482e-06,3.339086e-06,3.395531e-06,3.448538e-06,3.478302e-06,3.557473e-06,3.560765e-06,3.642892e-06,3.665823e-06,3.724654e-06,3.773526e-06,3.806026e-06,3.880523e-06,3.886983e-06,3.967503e-06,3.986760e-06,4.047563e-06,4.092188e-06,4.127143e-06,4.196761e-06,4.206224e-06,4.284789e-06,4.300439e-06,4.362821e-06,4.403181e-06,4.440303e-06,4.504954e-06,4.517223e-06,4.593566e-06,4.605727e-06,4.669320e-06,4.705470e-06,4.744474e-06,4.804158e-06,4.819017e-06,4.892939e-06,4.901768e-06,4.966232e-06,4.998279e-06,5.038887e-06,5.093675e-06,5.110898e-06,5.182258e-06,5.187938e-06,5.252960e-06,5.281056e-06,5.323000e-06,5.373016e-06,5.392373e-06,5.461076e-06,5.463810e-06,5.529104e-06,5.553428e-06,5.596455e-06,5.641866e-06,5.663127e-06,5.729118e-06,5.815181e-06,5.900053e-06,5.983733e-06,6.066223e-06,6.147523e-06,6.227637e-06,6.306567e-06,6.384320e-06,6.460899e-06,6.536312e-06,6.610565e-06,6.683665e-06,6.755622e-06,6.826442e-06,6.896136e-06,6.964714e-06,7.032185e-06,7.098559e-06,7.163848e-06,7.228063e-06,7.291214e-06,7.353314e-06,7.414375e-06,7.474408e-06
0.000000e+00,6.473681e-13,3.242919e-12,2.941450e-11,1.145559e-10,2.090294e-10,7.393274e-10,7.731945e-10,2.062561e-09,2.612501e-09,4.532507e-09,6.818766e-09,8.767729e-09,1.483283e-08,1.547906e-08,2.543496e-08,2.838724e-08,3.932491e-08,4.901975e-08,5.765913e-08,7.773451e-08,8.076686e-08,1.088397e-07,1.150596e-07,1.419692e-07,1.612023e-07,1.801695e-07,2.161418e-07,2.233909e-07,2.715285e-07,2.796771e-07,3.244301e-07,3.514601e-07,3.819042e-07,4.310263e-07,4.437273e-07,5.096517e-07,5.178258e-07,5.794131e-07,6.112531e-07,6.527369e-07,7.106743e-07,7.293447e-07,8.089587e-07,8.154495e-07,8.913061e-07,9.249508e-07,9.761223e-07,1.038575e-06,1.063153e-06,1.152156e-06,1.155754e-06,1.242903e-06,1.275957e-06,1.335178e-06,1.398694e-06,1.428779e-06,1.523519e-06,1.619223e-06,1.650026e-06,1.715730e-06,1.777847e-06,1.812891e-06,1.906652e-06,1.910567e-06,2.008632e-06,2.036144e-06,2.106970e-06,2.166058e-06,2.205473e-06,2.296156e-06,2.304042e-06,2.402587e-06,2.426226e-06,2.501027e-06,2.556078e-06,2.599284e-06,2.685543e-06,2.697289e-06,2.794978e-06,2.814473e-06,2.892294e-06,2.942732e-06,2.989182e-06,3.070203e-06,3.085595e-06,3.181488e-06,3.196779e-06,3.276819e-06,3.322368e-06,3.371552e-06,3.446885e-06,3.465653e-06,3.559092e-06,3.570258e-06,3.651839e-06,3.692422e-06,3.743870e-06,3.813321e-06,3.835162e-06,3.925694e-06,3.932903e-06,4.015446e-06,4.051125e-06,4.104403e-06,4.167950e-06,4.192548e-06,4.279869e-06,4.283344e-06,4.366352e-06,4.397280e-06,4.451989e-06,4.509732e-06,4.536768e-06,4.620682e-06,4.703724e-06,4.730112e-06,4.785887e-06,4.838009e-06,4.867168e-06,4.944362e-06,4.947561e-06,5.027063e-06,5.049163e-06,5.105672e-06,5.152407e-06,5.183385e-06,5.254091e-06,5.260203e-06,5.336124e-06,5.354212e-06,5.411148e-06,5.452771e-06,5.485277e-06,5.549770e-06,5.558511e-06,5.630852e-06,5.645213e-06,5.702302e-06,5.739105e-06,5.772864e-06,5.831452e-06,5.842541e-06,5.911336e-06,5.922261e-06,5.979252e-06,6.011541e-06,6.046294e-06,6.099302e-06,6.112467e-06,6.177774e-06,6.185553e-06,6.242220e-06,6.270305e-06,6.305811e-06,6.353571e-06,6.368552e-06,6.430448e-06,6.435364e-06,6.491506e-06,6.515695e-06,6.551730e-06,6.594579e-06,6.611128e-06,6.669704e-06,6.672031e-06,6.727467e-06,6.748063e-06,6.784421e-06,6.822692e-06,6.840575e-06,6.895934e-06,6.967802e-06,7.038314e-06,7.107486e-06,7.175333e-06,7.241873e-06,7.307122e-06,7.371097e-06,7.433815e-06,7.495293e-06,7.555548e-06,7.614598e-06,7.672458e-06,7.729147e-06,7.784682e-06,7.839079e-06,7.892355e-06,7.944529e-06,7.995616e-06,8.045634e-06,8.094599e-06,8.142529e-06,8.189439e-06,8.235346e-06,8.280266e-06
0.000000e+00,1.221402e-17,1.373958e-16,4.902667e-15,5.117493e-14,1.484766e-13,1.443300e-12,1.565387e-12,9.278936e-12,1.422537e-11,3.828700e-11,7.914747e-11,1.232509e-10,3.078282e-10,3.313481e-10,7.773399e-10,9.380415e-10,1.639752e-09,2.397201e-09,3.177022e-09,5.365925e-09,5.742174e-09,9.793950e-09,1.083087e-08,1.590180e-08,2.011107e-08,2.474227e-08,3.484142e-08,3.708585e-08,5.377505e-08,5.690747e-08,7.569614e-08,8.834087e-08,1.037478e-07,1.311955e-07,1.388095e-07,1.817131e-07,1.874255e-07,2.332182e-07,2.587813e-07,2.939930e-07,3.467318e-07,3.646002e-07,4.454886e-07,4.524146e-07,5.369887e-07,5.766115e-07,6.393125e-07,7.197462e-07,7.525565e-07,8.767068e-07,8.818984e-07,1.011647e-06,1.062829e-06,1.157168e-06,1.262018e-06,1.312974e-06,1.478699e-06,1.653912e-06,1.711906e-06,1.838130e-06,1.960515e-06,2.030829e-06,2.223283e-06,2.231453e-06,2.439421e-06,2.498887e-06,2.654138e-06,2.785958e-06,2.875004e-06,3.083114e-06,3.101417e-06,3.332782e-06,3.388981e-06,3.568512e-06,3.702215e-06,3.808039e-06,4.021524e-06,4.050810e-06,4.296294e-06,4.345671e-06,4.543984e-06,4.673493e-06,4.793397e-06,5.003901e-06,5.044077e-06,5.295592e-06,5.335885e-06,5.547538e-06,5.668514e-06,5.799538e-06,6.000938e-06,6.051238e-06,6.302314e-06,6.332387e-06,6.552463e-06,6.662162e-06,6.801406e-06,6.989638e-06,7.048888e-06,7.294675e-06,7.314258e-06,7.538553e-06,7.635526e-06,7.780330e-06,7.953009e-06,8.019830e-06,8.256894e-06,8.266324e-06,8.491382e-06,8.575142e-06,8.723167e-06,8.879179e-06,8.952136e-06,9.178191e-06,9.401245e-06,9.471976e-06,9.621224e-06,9.760366e-06,9.838062e-06,1.004322e-05,1.005171e-05,1.026211e-05,1.032043e-05,1.046923e-05,1.059192e-05,1.067305e-05,1.085763e-05,1.087354e-05,1.107069e-05,1.111751e-05,1.126448e-05,1.137154e-05,1.145492e-05,1.161972e-05,1.164200e-05,1.182572e-05,1.186207e-05,1.200611e-05,1.209860e-05,1.218317e-05,1.232934e-05,1.235692e-05,1.252738e-05,1.255435e-05,1.269458e-05,1.277368e-05,1.285854e-05,1.298739e-05,1.301928e-05,1.317685e-05,1.319554e-05,1.333126e-05,1.339822e-05,1.348256e-05,1.359549e-05,1.363078e-05,1.377596e-05,1.378745e-05,1.391814e-05,1.397418e-05,1.405735e-05,1.415576e-05,1.419363e-05,1.432703e-05,1.433231e-05,1.445758e-05,1.450389e-05,1.458533e-05,1.467062e-05,1.471032e-05,1.483259e-05,1.498990e-05,1.514264e-05,1.529091e-05,1.543481e-05,1.557444e-05,1.570990e-05,1.584127e-05,1.596867e-05,1.609218e-05,1.621189e-05,1.632790e-05,1.644030e-05,1.654917e-05,1.665462e-05,1.675672e-05,1.685556e-05,1.695122e-05,1.704379e-05,1.713334e-05,1.721996e-05,1.730373e-05,1.738471e-05,1.746299e-05,1.753863e-05
0.000000e+00,3.507019e-12,1.127054e-11,6.258062e-11,1.934630e-10,3.241917e-10,9.898896e-10,1.030631e-09,2.524101e-09,3.142434e-09,5.261931e-09,7.742566e-09,9.837521e-09,1.630593e-08,1.699322e-08,2.759694e-08,3.075632e-08,4.255052e-08,5.312830e-08,6.264681e-08,8.505007e-08,8.846362e-08,1.203506e-07,1.274736e-07,1.584744e-07,1.807796e-07,2.028712e-07,2.449730e-07,2.534844e-07,3.101907e-07,3.198180e-07,3.728153e-07,4.049157e-07,4.411441e-07,4.997503e-07,5.149320e-07,5.939107e-07,6.037235e-07,6.777947e-07,7.161815e-07,7.662875e-07,8.364382e-07,8.590863e-07,9.558866e-07,9.637944e-07,1.056386e-06,1.097554e-06,1.160286e-06,1.237036e-06,1.267296e-06,1.377136e-06,1.381585e-06,1.489534e-06,1.530573e-06,1.604231e-06,1.683411e-06,1.720980e-06,1.839545e-06,1.959705e-06,1.998459e-06,2.081250e-06,2.159674e-06,2.203982e-06,2.322750e-06,2.327716e-06,2.452277e-06,2.487280e-06,2.577503e-06,2.652893e-06,2.703241e-06,2.819250e-06,2.829349e-06,2.955696e-06,2.986041e-06,3.082158e-06,3.152984e-06,3.208622e-06,3.319826e-06,3.334980e-06,3.461136e-06,3.486334e-06,3.586997e-06,3.652301e-06,3.712481e-06,3.817539e-06,3.837509e-06,3.962011e-06,3.981878e-06,4.085920e-06,4.145168e-06,4.209176e-06,4.307273e-06,4.331724e-06,4.453513e-06,4.468074e-06,4.574496e-06,4.627463e-06,4.694633e-06,4.785346e-06,4.813884e-06,4.932215e-06,4.941641e-06,5.049594e-06,5.096273e-06,5.165994e-06,5.249182e-06,5.281390e-06,5.395758e-06,5.400311e-06,5.509079e-06,5.549614e-06,5.621335e-06,5.697053e-06,5.732511e-06,5.842594e-06,5.951573e-06,5.986212e-06,6.059438e-06,6.127883e-06,6.166181e-06,6.267593e-06,6.271796e-06,6.376278e-06,6.405330e-06,6.479624e-06,6.541085e-06,6.581831e-06,6.674855e-06,6.682899e-06,6.782827e-06,6.806640e-06,6.881616e-06,6.936441e-06,6.979268e-06,7.064263e-06,7.075786e-06,7.171173e-06,7.190116e-06,7.265435e-06,7.314007e-06,7.358574e-06,7.435949e-06,7.450598e-06,7.541512e-06,7.555955e-06,7.631322e-06,7.674041e-06,7.720036e-06,7.790223e-06,7.807661e-06,7.894206e-06,7.904519e-06,7.979677e-06,8.016947e-06,8.064085e-06,8.127528e-06,8.147437e-06,8.229743e-06,8.236283e-06,8.311013e-06,8.343232e-06,8.391255e-06,8.448399e-06,8.470480e-06,8.548697e-06,8.551805e-06,8.625917e-06,8.653474e-06,8.702149e-06,8.753429e-06,8.777405e-06,8.851694e-06,8.948294e-06,9.043251e-06,9.136592e-06,9.228340e-06,9.318519e-06,9.407155e-06,9.494271e-06,9.579892e-06,9.664043e-06,9.746747e-06,9.828029e-06,9.907912e-06,9.986421e-06,1.006358e-05,1.013941e-05,1.021393e-05,1.028717e-05,1.035915e-05,1.042989e-05,1.049942e-05,1.056775e-05,1.063491e-05,1.070092e-05,1.076580e-05
0.000000e+00,1.639409e-15,1.584128e-14,4.160133e-13,3.316750e-12,8.335250e-12,5.672216e-11,6.066193e-11,2.581394e-10,3.630428e-10,7.923952e-10,1.393208e-09,1.959324e-09,3.936974e-09,4.162755e-09,7.913848e-09,9.110662e-09,1.382802e-08,1.834618e-08,2.261552e-08,3.334543e-08,3.505852e-08,5.197285e-08,5.596381e-08,7.416448e-08,8.804482e-08,1.023944e-07,1.312845e-07,1.373576e-07,1.796743e-07,1.871647e-07,2.298867e-07,2.569324e-07,2.884585e-07,3.415953e-07,3.557736e-07,4.321360e-07,4.419189e-07,5.177694e-07,5.584252e-07,6.128183e-07,6.913965e-07,7.173497e-07,8.313569e-07,8.408850e-07,9.547642e-07,1.006730e-06,1.087432e-06,1.188580e-06,1.229165e-06,1.379717e-06,1.385918e-06,1.538797e-06,1.598093e-06,1.706082e-06,1.824341e-06,1.881215e-06,2.063820e-06,2.253502e-06,2.315629e-06,2.449855e-06,2.578830e-06,2.652464e-06,2.852469e-06,2.860914e-06,3.074789e-06,3.135589e-06,3.293676e-06,3.427245e-06,3.517170e-06,3.726511e-06,3.744873e-06,3.976398e-06,4.032490e-06,4.211367e-06,4.344318e-06,4.449417e-06,4.661171e-06,4.690197e-06,4.933369e-06,4.982262e-06,5.178609e-06,5.306848e-06,5.425608e-06,5.634229e-06,5.674070e-06,5.923712e-06,5.963747e-06,6.174268e-06,6.294784e-06,6.425483e-06,6.626766e-06,6.677115e-06,6.928937e-06,6.959158e-06,7.180732e-06,7.291461e-06,7.432298e-06,7.623215e-06,7.683442e-06,7.933983e-06,7.953995e-06,8.183753e-06,8.283409e-06,8.432592e-06,8.611095e-06,8.680350e-06,8.926889e-06,8.936724e-06,9.172079e-06,9.259993e-06,9.415796e-06,9.580626e-06,9.657930e-06,9.898374e-06,1.013703e-05,1.021301e-05,1.037381e-05,1.052433e-05,1.060863e-05,1.083214e-05,1.084141e-05,1.107209e-05,1.113629e-05,1.130059e-05,1.143663e-05,1.152686e-05,1.173302e-05,1.175085e-05,1.197251e-05,1.202536e-05,1.219179e-05,1.231354e-05,1.240866e-05,1.259748e-05,1.262308e-05,1.283502e-05,1.287711e-05,1.304445e-05,1.315236e-05,1.325136e-05,1.342319e-05,1.345571e-05,1.365751e-05,1.368955e-05,1.385672e-05,1.395142e-05,1.405335e-05,1.420878e-05,1.424738e-05,1.443881e-05,1.446160e-05,1.462763e-05,1.470989e-05,1.481386e-05,1.495365e-05,1.499748e-05,1.517850e-05,1.519287e-05,1.535694e-05,1.542758e-05,1.553278e-05,1.565780e-05,1.570606e-05,1.587676e-05,1.588354e-05,1.604492e-05,1.610483e-05,1.621053e-05,1.632170e-05,1.637362e-05,1.653420e-05,1.674235e-05,1.694620e-05,1.714579e-05,1.734117e-05,1.753238e-05,1.771948e-05,1.790252e-05,1.808155e-05,1.825663e-05,1.842781e-05,1.859515e-05,1.875871e-05,1.891854e-05,1.907471e-05,1.922727e-05,1.937628e-05,1.952180e-05,1.966389e-05,1.980261e-05,1.993802e-05,2.007019e-05,2.019915e-05,2.032499e-05,2.044775e-05
0.000000e+00,6.551819e-15,5.964520e-14,1.394943e-12,1.010636e-11,2.419507e-11,1.471366e-10,1.566981e-10,6.073204e-10,8.350467e-10,1.730516e-09,2.931811e-09,4.033303e-09,7.758934e-09,8.176313e-09,1.497490e-08,1.710610e-08,2.539576e-08,3.321820e-08,4.053466e-08,5.868591e-08,6.155803e-08,8.960984e-08,9.615678e-08,1.257155e-07,1.479620e-07,1.707207e-07,2.158830e-07,2.252745e-07,2.898418e-07,3.011241e-07,3.647264e-07,4.043889e-07,4.500929e-07,5.259655e-07,5.459840e-07,6.523363e-07,6.657950e-07,7.689922e-07,8.235262e-07,8.957130e-07,9.985647e-07,1.032190e-06,1.178058e-06,1.190121e-06,1.332903e-06,1.397255e-06,1.496276e-06,1.618921e-06,1.667705e-06,1.846697e-06,1.854007e-06,2.032752e-06,2.101363e-06,2.225366e-06,2.359834e-06,2.424039e-06,2.628277e-06,2.837598e-06,2.905578e-06,3.051535e-06,3.190666e-06,3.269633e-06,3.482518e-06,3.491458e-06,3.716592e-06,3.780168e-06,3.944638e-06,4.082705e-06,4.175217e-06,4.389277e-06,4.407969e-06,4.642554e-06,4.699091e-06,4.878651e-06,5.011412e-06,5.115956e-06,5.325557e-06,5.354184e-06,5.593066e-06,5.640899e-06,5.832351e-06,5.956858e-06,6.071800e-06,6.272903e-06,6.311194e-06,6.550325e-06,6.588548e-06,6.788999e-06,6.903346e-06,7.027035e-06,7.216892e-06,7.264266e-06,7.500534e-06,7.528815e-06,7.735694e-06,7.838778e-06,7.969611e-06,8.146478e-06,8.202159e-06,8.433221e-06,8.451639e-06,8.662691e-06,8.754011e-06,8.890470e-06,9.053372e-06,9.116467e-06,9.340597e-06,9.349522e-06,9.562784e-06,9.642283e-06,9.782959e-06,9.931494e-06,1.000106e-05,1.021702e-05,1.043079e-05,1.049873e-05,1.064233e-05,1.077652e-05,1.085159e-05,1.105030e-05,1.105853e-05,1.126312e-05,1.131999e-05,1.146534e-05,1.158551e-05,1.166514e-05,1.184682e-05,1.186252e-05,1.205745e-05,1.210387e-05,1.224992e-05,1.235662e-05,1.243991e-05,1.260505e-05,1.262741e-05,1.281242e-05,1.284912e-05,1.299493e-05,1.308885e-05,1.317494e-05,1.332421e-05,1.335244e-05,1.352744e-05,1.355521e-05,1.369994e-05,1.378186e-05,1.386995e-05,1.400416e-05,1.403746e-05,1.420250e-05,1.422214e-05,1.436507e-05,1.443581e-05,1.452517e-05,1.464521e-05,1.468283e-05,1.483804e-05,1.485036e-05,1.499084e-05,1.505128e-05,1.514123e-05,1.524803e-05,1.528923e-05,1.543485e-05,1.544062e-05,1.557811e-05,1.562912e-05,1.571904e-05,1.581354e-05,1.585764e-05,1.599395e-05,1.617038e-05,1.634288e-05,1.651151e-05,1.667630e-05,1.683732e-05,1.699461e-05,1.714823e-05,1.729822e-05,1.744464e-05,1.758755e-05,1.772700e-05,1.786305e-05,1.799574e-05,1.812514e-05,1.825129e-05,1.837425e-05,1.849408e-05,1.861084e-05,1.872456e-05,1.883532e-05,1.894316e-05,1.904813e-05,1.915029e-05,1.924968e-05
0.000000e+00,3.646287e-19,4.186869e-18,1.559692e-16,1.694097e-15,5.024757e-15,5.173633e-14,5.624506e-14,3.532616e-13,5.502262e-13,1.541330e-12,3.291516e-12,5.235737e-12,1.371423e-11,1.482208e-11,3.653997e-11,4.460811e-11,8.083088e-11,1.212502e-10,1.639061e-10,2.876984e-10,3.094577e-10,5.503829e-10,6.136502e-10,9.303365e-10,1.200810e-09,1.504896e-09,2.187357e-09,2.342141e-09,3.522544e-09,3.749251e-09,5.138103e-09,6.097753e-09,7.290792e-09,9.473296e-09,1.009046e-08,1.365232e-08,1.413655e-08,1.809417e-08,2.035773e-08,2.353355e-08,2.840530e-08,3.008501e-08,3.785743e-08,3.853505e-08,4.695171e-08,5.098029e-08,5.745876e-08,6.594360e-08,6.945781e-08,8.301508e-08,8.359058e-08,9.818293e-08,1.040454e-07,1.149992e-07,1.273883e-07,1.334872e-07,1.536554e-07,1.754983e-07,1.828389e-07,1.989967e-07,2.148902e-07,2.241186e-07,2.497227e-07,2.508205e-07,2.790480e-07,2.872166e-07,3.087373e-07,3.272230e-07,3.398167e-07,3.695697e-07,3.722073e-07,4.058249e-07,4.140659e-07,4.405809e-07,4.605074e-07,4.763836e-07,5.086814e-07,5.131393e-07,5.507535e-07,5.583711e-07,5.891317e-07,6.093592e-07,6.281803e-07,6.614319e-07,6.678074e-07,7.079232e-07,7.143813e-07,7.484412e-07,7.680081e-07,7.892779e-07,8.221231e-07,8.303536e-07,8.715926e-07,8.765489e-07,9.129234e-07,9.311205e-07,9.542786e-07,9.856860e-07,9.955953e-07,1.036815e-06,1.040107e-06,1.077884e-06,1.094257e-06,1.118751e-06,1.148025e-06,1.159371e-06,1.199703e-06,1.201310e-06,1.239708e-06,1.254023e-06,1.279351e-06,1.306087e-06,1.318603e-06,1.357435e-06,1.395822e-06,1.408009e-06,1.433744e-06,1.457760e-06,1.471181e-06,1.506648e-06,1.508116e-06,1.544535e-06,1.554639e-06,1.580427e-06,1.601705e-06,1.615782e-06,1.647825e-06,1.650589e-06,1.684844e-06,1.692983e-06,1.718541e-06,1.737166e-06,1.751676e-06,1.780368e-06,1.784247e-06,1.816251e-06,1.822584e-06,1.847689e-06,1.863813e-06,1.878561e-06,1.904057e-06,1.908869e-06,1.938613e-06,1.943320e-06,1.967798e-06,1.981608e-06,1.996425e-06,2.018929e-06,2.024500e-06,2.052026e-06,2.055292e-06,2.079007e-06,2.090708e-06,2.105450e-06,2.125189e-06,2.131358e-06,2.156739e-06,2.158747e-06,2.181597e-06,2.191396e-06,2.205940e-06,2.223150e-06,2.229772e-06,2.253101e-06,2.254024e-06,2.275934e-06,2.284033e-06,2.298276e-06,2.313192e-06,2.320135e-06,2.341518e-06,2.369025e-06,2.395731e-06,2.421651e-06,2.446800e-06,2.471197e-06,2.494855e-06,2.517793e-06,2.540024e-06,2.561566e-06,2.582433e-06,2.602642e-06,2.622207e-06,2.641144e-06,2.659468e-06,2.677192e-06,2.694333e-06,2.710903e-06,2.726918e-06,2.742390e-06,2.757333e-06,2.771761e-06,2.785687e-06,2.799123e-06,2.812082e-06
0.000000e+00,3.155090e-13,1.958591e-12,2.388149e-11,1.096560e-10,2.135984e-10,8.512126e-10,8.935504e-10,2.564610e-09,3.297184e-09,5.896000e-09,9.032520e-09,1.172361e-08,2.015031e-08,2.105193e-08,3.504795e-08,3.924346e-08,5.500379e-08,6.928020e-08,8.225069e-08,1.132645e-07,1.180506e-07,1.635215e-07,1.738628e-07,2.196141e-07,2.532485e-07,2.871190e-07,3.531160e-07,3.666778e-07,4.587928e-07,4.747229e-07,5.638324e-07,6.189171e-07,6.820354e-07,7.861567e-07,8.135167e-07,9.582738e-07,9.765325e-07,1.116194e-06,1.189798e-06,1.287067e-06,1.425410e-06,1.470591e-06,1.666389e-06,1.682571e-06,1.874020e-06,1.960276e-06,2.092987e-06,2.257362e-06,2.322752e-06,2.562746e-06,2.572550e-06,2.812375e-06,2.904484e-06,3.071033e-06,3.251765e-06,3.338107e-06,3.612981e-06,3.895044e-06,3.986724e-06,4.183696e-06,4.371618e-06,4.478347e-06,4.766321e-06,4.778421e-06,5.083363e-06,5.169545e-06,5.392633e-06,5.580056e-06,5.705713e-06,5.996682e-06,6.022103e-06,6.341329e-06,6.418313e-06,6.662932e-06,6.843906e-06,6.986480e-06,7.272480e-06,7.311557e-06,7.637773e-06,7.703119e-06,7.964753e-06,8.134967e-06,8.292146e-06,8.567230e-06,8.619617e-06,8.946852e-06,8.999168e-06,9.273555e-06,9.430100e-06,9.599445e-06,9.859394e-06,9.924259e-06,1.024775e-05,1.028647e-05,1.056969e-05,1.071079e-05,1.088986e-05,1.113188e-05,1.120805e-05,1.152408e-05,1.154927e-05,1.183778e-05,1.196256e-05,1.214897e-05,1.237139e-05,1.245750e-05,1.276324e-05,1.277541e-05,1.306605e-05,1.317432e-05,1.336581e-05,1.356785e-05,1.366242e-05,1.395576e-05,1.424575e-05,1.433782e-05,1.453230e-05,1.471385e-05,1.481533e-05,1.508367e-05,1.509478e-05,1.537058e-05,1.544714e-05,1.564267e-05,1.580413e-05,1.591101e-05,1.615453e-05,1.617555e-05,1.643626e-05,1.649825e-05,1.669309e-05,1.683522e-05,1.694603e-05,1.716537e-05,1.719505e-05,1.744013e-05,1.748867e-05,1.768126e-05,1.780507e-05,1.791842e-05,1.811457e-05,1.815161e-05,1.838083e-05,1.841714e-05,1.860608e-05,1.871279e-05,1.882736e-05,1.900153e-05,1.904468e-05,1.925804e-05,1.928338e-05,1.946747e-05,1.955837e-05,1.967297e-05,1.982653e-05,1.987455e-05,2.007225e-05,2.008790e-05,2.026607e-05,2.034253e-05,2.045605e-05,2.059047e-05,2.064221e-05,2.082456e-05,2.083178e-05,2.100315e-05,2.106652e-05,2.117799e-05,2.129477e-05,2.134913e-05,2.151658e-05,2.173205e-05,2.194123e-05,2.214422e-05,2.234109e-05,2.253193e-05,2.271683e-05,2.289587e-05,2.306915e-05,2.323675e-05,2.339877e-05,2.355530e-05,2.370643e-05,2.385226e-05,2.399288e-05,2.412838e-05,2.425886e-05,2.438442e-05,2.450513e-05,2.462111e-05,2.473244e-05,2.483922e-05,2.494153e-05,2.503948e-05,2.513314e-05
0.000000e+00,1.552694e-12,5.106018e-12,2.898736e-11,9.029238e-11,1.515106e-10,4.611789e-10,4.800118e-10,1.161909e-09,1.439955e-09,2.377441e-09,3.449311e-09,4.337226e-09,7.002759e-09,7.280514e-09,1.147265e-08,1.269599e-08,1.719848e-08,2.118326e-08,2.474765e-08,3.311620e-08,3.439243e-08,4.636852e-08,4.906112e-08,6.086745e-08,6.945503e-08,7.803852e-08,9.461014e-08,9.799368e-08,1.208118e-07,1.247320e-07,1.465416e-07,1.599334e-07,1.752041e-07,2.002429e-07,2.067940e-07,2.412822e-07,2.456133e-07,2.786171e-07,2.959287e-07,3.187278e-07,3.510145e-07,3.615258e-07,4.069079e-07,4.106468e-07,4.547590e-07,4.745631e-07,5.049543e-07,5.424726e-07,5.573619e-07,6.118452e-07,6.140658e-07,6.682648e-07,6.890228e-07,7.264803e-07,7.670213e-07,7.863520e-07,8.477423e-07,9.105164e-07,9.308750e-07,9.745438e-07,1.016121e-06,1.039698e-06,1.103195e-06,1.105860e-06,1.172912e-06,1.191831e-06,1.240746e-06,1.281778e-06,1.309258e-06,1.372803e-06,1.378350e-06,1.447930e-06,1.464693e-06,1.517913e-06,1.557249e-06,1.588218e-06,1.650292e-06,1.658769e-06,1.729497e-06,1.743658e-06,1.800336e-06,1.837197e-06,1.871227e-06,1.930774e-06,1.942113e-06,2.012942e-06,2.024267e-06,2.083668e-06,2.117566e-06,2.154246e-06,2.210574e-06,2.224634e-06,2.294797e-06,2.303200e-06,2.364700e-06,2.395367e-06,2.434311e-06,2.487003e-06,2.503602e-06,2.572546e-06,2.578046e-06,2.641119e-06,2.668440e-06,2.709300e-06,2.758136e-06,2.777068e-06,2.844406e-06,2.847090e-06,2.911296e-06,2.935264e-06,2.977724e-06,3.022625e-06,3.043677e-06,3.109143e-06,3.174111e-06,3.194794e-06,3.238572e-06,3.279556e-06,3.302516e-06,3.363411e-06,3.365937e-06,3.428828e-06,3.446342e-06,3.491184e-06,3.528338e-06,3.552998e-06,3.609387e-06,3.614268e-06,3.674990e-06,3.689482e-06,3.735161e-06,3.768616e-06,3.794779e-06,3.846784e-06,3.853842e-06,3.912350e-06,3.923984e-06,3.970300e-06,4.000215e-06,4.027694e-06,4.075475e-06,4.084532e-06,4.140813e-06,4.149766e-06,4.196539e-06,4.223091e-06,4.251711e-06,4.295451e-06,4.306331e-06,4.360401e-06,4.366852e-06,4.413921e-06,4.437297e-06,4.466896e-06,4.506793e-06,4.519327e-06,4.571217e-06,4.575345e-06,4.622569e-06,4.642960e-06,4.673386e-06,4.709644e-06,4.723671e-06,4.773428e-06,4.775407e-06,4.822660e-06,4.840255e-06,4.871370e-06,4.904198e-06,4.919563e-06,4.967243e-06,5.029400e-06,5.090678e-06,5.151087e-06,5.210636e-06,5.269335e-06,5.327194e-06,5.384223e-06,5.440433e-06,5.495833e-06,5.550434e-06,5.604247e-06,5.657281e-06,5.709547e-06,5.761056e-06,5.811817e-06,5.861841e-06,5.911139e-06,5.959721e-06,6.007597e-06,6.054777e-06,6.101271e-06,6.147089e-06,6.192242e-06,6.236739e-06
0.000000e+00,1.361012e-15,1.304236e-14,3.367360e-13,2.646241e-12,6.600629e-12,4.411820e-11,4.714991e-11,1.974482e-10,2.765475e-10,5.976099e-10,1.042570e-09,1.458891e-09,2.899010e-09,3.062354e-09,5.753706e-09,6.605232e-09,9.936572e-09,1.309782e-08,1.606476e-08,2.345880e-08,2.463294e-08,3.616436e-08,3.887334e-08,5.119415e-08,6.056778e-08,7.024809e-08,8.972527e-08,9.381900e-08,1.223454e-07,1.273952e-07,1.561960e-07,1.744241e-07,1.956626e-07,2.314257e-07,2.409591e-07,2.922257e-07,2.987829e-07,3.495344e-07,3.766692e-07,4.128963e-07,4.650754e-07,4.822688e-07,5.575618e-07,5.638374e-07,6.386449e-07,6.726634e-07,7.253530e-07,7.911583e-07,8.174929e-07,9.148480e-07,9.188474e-07,1.017184e-06,1.055197e-06,1.124253e-06,1.199633e-06,1.235799e-06,1.351557e-06,1.471264e-06,1.510360e-06,1.594652e-06,1.675431e-06,1.721458e-06,1.846167e-06,1.851423e-06,1.984293e-06,2.021983e-06,2.119819e-06,2.202309e-06,2.257761e-06,2.386602e-06,2.397887e-06,2.539973e-06,2.574341e-06,2.683804e-06,2.765034e-06,2.829174e-06,2.958216e-06,2.975885e-06,3.123751e-06,3.153447e-06,3.272593e-06,3.350319e-06,3.422239e-06,3.548447e-06,3.572530e-06,3.723312e-06,3.747473e-06,3.874441e-06,3.947065e-06,4.025779e-06,4.146915e-06,4.177199e-06,4.328578e-06,4.346735e-06,4.479802e-06,4.546263e-06,4.630763e-06,4.745255e-06,4.781360e-06,4.931499e-06,4.943487e-06,5.081090e-06,5.140755e-06,5.230051e-06,5.336869e-06,5.378304e-06,5.525777e-06,5.531659e-06,5.672403e-06,5.724968e-06,5.818118e-06,5.916655e-06,5.962866e-06,6.106591e-06,6.249246e-06,6.294661e-06,6.390783e-06,6.480760e-06,6.531160e-06,6.664796e-06,6.670340e-06,6.808287e-06,6.846687e-06,6.944968e-06,7.026358e-06,7.080356e-06,7.203746e-06,7.214422e-06,7.347144e-06,7.378795e-06,7.478501e-06,7.551457e-06,7.608473e-06,7.721690e-06,7.737045e-06,7.864201e-06,7.889461e-06,7.989930e-06,8.054742e-06,8.114221e-06,8.217508e-06,8.237066e-06,8.358457e-06,8.377744e-06,8.478389e-06,8.535437e-06,8.596858e-06,8.690578e-06,8.713862e-06,8.829399e-06,8.843165e-06,8.943469e-06,8.993196e-06,9.056074e-06,9.140675e-06,9.167216e-06,9.276898e-06,9.285610e-06,9.385124e-06,9.428008e-06,9.491900e-06,9.567883e-06,9.597231e-06,9.701124e-06,9.705250e-06,9.803586e-06,9.840124e-06,9.904626e-06,9.972526e-06,1.000425e-05,1.010247e-05,1.022999e-05,1.035511e-05,1.047784e-05,1.059821e-05,1.071626e-05,1.083201e-05,1.094549e-05,1.105673e-05,1.116576e-05,1.127261e-05,1.137731e-05,1.147990e-05,1.158041e-05,1.167886e-05,1.177529e-05,1.186974e-05,1.196223e-05,1.205280e-05,1.214149e-05,1.222831e-05,1.231331e-05,1.239652e-05,1.247797e-05,1.255769e-05
0.000000e+00,1.072078e-17,1.255504e-16,4.873993e-15,5.498849e-14,1.665654e-13,1.812091e-12,1.974474e-12,1.311257e-11,2.073961e-11,6.040595e-11,1.331829e-10,2.163518e-10,5.943058e-10,6.449428e-10,1.672014e-09,2.065587e-09,3.884169e-09,5.984204e-09,8.257929e-09,1.508848e-08,1.631681e-08,3.030950e-08,3.408017e-08,5.339826e-08,7.036516e-08,8.984470e-08,1.347886e-07,1.451801e-07,2.263482e-07,2.422758e-07,3.418116e-07,4.123041e-07,5.016154e-07,6.691549e-07,7.174033e-07,1.002386e-06,1.041917e-06,1.371262e-06,1.564239e-06,1.840095e-06,2.273839e-06,2.426143e-06,3.147661e-06,3.211800e-06,4.023665e-06,4.421685e-06,5.073676e-06,5.948514e-06,6.317441e-06,7.774645e-06,7.837648e-06,9.464620e-06,1.013362e-05,1.140605e-05,1.287895e-05,1.361668e-05,1.611306e-05,1.891026e-05,1.987114e-05,2.202169e-05,2.418329e-05,2.545882e-05,2.907366e-05,2.923109e-05,3.334568e-05,3.455984e-05,3.780749e-05,4.065238e-05,4.261901e-05,4.735453e-05,4.778026e-05,5.328887e-05,5.466214e-05,5.914003e-05,6.256373e-05,6.532657e-05,7.104072e-05,7.183907e-05,7.866595e-05,8.006789e-05,8.579361e-05,8.961381e-05,9.320660e-05,9.964151e-05,1.008878e-04,1.088184e-04,1.101092e-04,1.169787e-04,1.209710e-04,1.253473e-04,1.321776e-04,1.339025e-04,1.426213e-04,1.436775e-04,1.514807e-04,1.554172e-04,1.604569e-04,1.673425e-04,1.695264e-04,1.786654e-04,1.793988e-04,1.878504e-04,1.915321e-04,1.970583e-04,2.036894e-04,2.062664e-04,2.154528e-04,2.158195e-04,2.245960e-04,2.278731e-04,2.336757e-04,2.398035e-04,2.426721e-04,2.515668e-04,2.603422e-04,2.631224e-04,2.689817e-04,2.744326e-04,2.774700e-04,2.854634e-04,2.857930e-04,2.939375e-04,2.961843e-04,3.018916e-04,3.065681e-04,3.096445e-04,3.165913e-04,3.171867e-04,3.245097e-04,3.262337e-04,3.316059e-04,3.354784e-04,3.384691e-04,3.443118e-04,3.450940e-04,3.514762e-04,3.527231e-04,3.576122e-04,3.607048e-04,3.634996e-04,3.682516e-04,3.691367e-04,3.745226e-04,3.753610e-04,3.796572e-04,3.820328e-04,3.845412e-04,3.882687e-04,3.891757e-04,3.935626e-04,3.940725e-04,3.977042e-04,3.994496e-04,4.016036e-04,4.044071e-04,4.052640e-04,4.086893e-04,4.089533e-04,4.118836e-04,4.130976e-04,4.148514e-04,4.168506e-04,4.175974e-04,4.201268e-04,4.202236e-04,4.224449e-04,4.232286e-04,4.245569e-04,4.258784e-04,4.264687e-04,4.281860e-04,4.301648e-04,4.318284e-04,4.331908e-04,4.342656e-04,4.350668e-04,4.356081e-04,4.359030e-04,4.359649e-04,4.358070e-04,4.354422e-04,4.348830e-04,4.341415e-04,4.332297e-04,4.321589e-04,4.309403e-04,4.295844e-04,4.281014e-04,4.265013e-04,4.247934e-04,4.229866e-04,4.210897e-04,4.191108e-04,4.170576e-04,4.149377e-04
0.000000e+00,1.380418e-15,1.356101e-14,3.677708e-13,3.014288e-12,7.685863e-12,5.419422e-11,5.803905e-11,2.552260e-10,3.620593e-10,8.073208e-10,1.443977e-09,2.053595e-09,4.232762e-09,4.485399e-09,8.767267e-09,1.016139e-08,1.575967e-08,2.125032e-08,2.653465e-08,4.015206e-08,4.236453e-08,6.466499e-08,7.003055e-08,9.489658e-08,1.142205e-07,1.344571e-07,1.758198e-07,1.846001e-07,2.463939e-07,2.574233e-07,3.207166e-07,3.610541e-07,4.082702e-07,4.882105e-07,5.096000e-07,6.251147e-07,6.399444e-07,7.551005e-07,8.169278e-07,8.997335e-07,1.019500e-06,1.059089e-06,1.233146e-06,1.247703e-06,1.421801e-06,1.501311e-06,1.624866e-06,1.779855e-06,1.842086e-06,2.073137e-06,2.082661e-06,2.317641e-06,2.408875e-06,2.575171e-06,2.757493e-06,2.845257e-06,3.127399e-06,3.421067e-06,3.517385e-06,3.725711e-06,3.926184e-06,4.040768e-06,4.352487e-06,4.365665e-06,4.699824e-06,4.794969e-06,5.042667e-06,5.252302e-06,5.393619e-06,5.723168e-06,5.752112e-06,6.117583e-06,6.206273e-06,6.489482e-06,6.700353e-06,6.867272e-06,7.204183e-06,7.250428e-06,7.638439e-06,7.716581e-06,8.030812e-06,8.236409e-06,8.427066e-06,8.762581e-06,8.826740e-06,9.229388e-06,9.294059e-06,9.634580e-06,9.829854e-06,1.004190e-05,1.036903e-05,1.045096e-05,1.086138e-05,1.091070e-05,1.127279e-05,1.145403e-05,1.168485e-05,1.199823e-05,1.209721e-05,1.250958e-05,1.254256e-05,1.292164e-05,1.308632e-05,1.333311e-05,1.362885e-05,1.374372e-05,1.415320e-05,1.416956e-05,1.456132e-05,1.470786e-05,1.496783e-05,1.524323e-05,1.537252e-05,1.577517e-05,1.617560e-05,1.630323e-05,1.657361e-05,1.682699e-05,1.696903e-05,1.734605e-05,1.736170e-05,1.775146e-05,1.786005e-05,1.813816e-05,1.836866e-05,1.852167e-05,1.887158e-05,1.890187e-05,1.927864e-05,1.936854e-05,1.965186e-05,1.985927e-05,2.002143e-05,2.034357e-05,2.038727e-05,2.074928e-05,2.082121e-05,2.110738e-05,2.129202e-05,2.146150e-05,2.175584e-05,2.181158e-05,2.215755e-05,2.221252e-05,2.249935e-05,2.266193e-05,2.283695e-05,2.310396e-05,2.317029e-05,2.349934e-05,2.353853e-05,2.382406e-05,2.396556e-05,2.414442e-05,2.438497e-05,2.446040e-05,2.477198e-05,2.479672e-05,2.507915e-05,2.520077e-05,2.538188e-05,2.559710e-05,2.568017e-05,2.597402e-05,2.598568e-05,2.626342e-05,2.636652e-05,2.654837e-05,2.673961e-05,2.682889e-05,2.710497e-05,2.746261e-05,2.781258e-05,2.815490e-05,2.848961e-05,2.881677e-05,2.913643e-05,2.944865e-05,2.975349e-05,3.005102e-05,3.034131e-05,3.062445e-05,3.090050e-05,3.116956e-05,3.143170e-05,3.168702e-05,3.193560e-05,3.217755e-05,3.241294e-05,3.264188e-05,3.286446e-05,3.308079e-05,3.329095e-05,3.349506e-05,3.369320e-05
0.000000e+00,4.893931e-14,3.382610e-13,4.867322e-12,2.474272e-11,5.026594e-11,2.167400e-10,2.280956e-10,6.886086e-10,8.949690e-10,1.638433e-09,2.550509e-09,3.341499e-09,5.851645e-09,6.122532e-09,1.036876e-08,1.165397e-08,1.651992e-08,2.096883e-08,2.503661e-08,3.483526e-08,3.635437e-08,5.084859e-08,5.415661e-08,6.882374e-08,7.962814e-08,9.051872e-08,1.117522e-07,1.161160e-07,1.457492e-07,1.508716e-07,1.795078e-07,1.971929e-07,2.174402e-07,2.507994e-07,2.595567e-07,3.058317e-07,3.116616e-07,3.562062e-07,3.796477e-07,4.105911e-07,4.545356e-07,4.688709e-07,5.309065e-07,5.360270e-07,5.965397e-07,6.237618e-07,6.655967e-07,7.173336e-07,7.378913e-07,8.132289e-07,8.163029e-07,8.914092e-07,9.202109e-07,9.722290e-07,1.028590e-06,1.055485e-06,1.140975e-06,1.228499e-06,1.256905e-06,1.317865e-06,1.375937e-06,1.408882e-06,1.497644e-06,1.501370e-06,1.595154e-06,1.621623e-06,1.690067e-06,1.747490e-06,1.785950e-06,1.874890e-06,1.882653e-06,1.980034e-06,2.003491e-06,2.077957e-06,2.132984e-06,2.176298e-06,2.263088e-06,2.274937e-06,2.373763e-06,2.393541e-06,2.472672e-06,2.524106e-06,2.571569e-06,2.654567e-06,2.670363e-06,2.768971e-06,2.784726e-06,2.867315e-06,2.914405e-06,2.965323e-06,3.043443e-06,3.062929e-06,3.160073e-06,3.171696e-06,3.256697e-06,3.299033e-06,3.352750e-06,3.425339e-06,3.448184e-06,3.542958e-06,3.550510e-06,3.637030e-06,3.674454e-06,3.730365e-06,3.797091e-06,3.822930e-06,3.914697e-06,3.918350e-06,4.005638e-06,4.038170e-06,4.095729e-06,4.156496e-06,4.184950e-06,4.273282e-06,4.360708e-06,4.388491e-06,4.447214e-06,4.502088e-06,4.532786e-06,4.614048e-06,4.617415e-06,4.701091e-06,4.724349e-06,4.783808e-06,4.832974e-06,4.865557e-06,4.939910e-06,4.946336e-06,5.026141e-06,5.045149e-06,5.104969e-06,5.148686e-06,5.182820e-06,5.250520e-06,5.259693e-06,5.335589e-06,5.350652e-06,5.410510e-06,5.449084e-06,5.484458e-06,5.545825e-06,5.557437e-06,5.629449e-06,5.640882e-06,5.700501e-06,5.734265e-06,5.770596e-06,5.825987e-06,5.839740e-06,5.907940e-06,5.916061e-06,5.975202e-06,6.004502e-06,6.041532e-06,6.091325e-06,6.106939e-06,6.171430e-06,6.176550e-06,6.235012e-06,6.260192e-06,6.297694e-06,6.342272e-06,6.359484e-06,6.420391e-06,6.422809e-06,6.480424e-06,6.501823e-06,6.539591e-06,6.579335e-06,6.597902e-06,6.655367e-06,6.729939e-06,6.803074e-06,6.874793e-06,6.945120e-06,7.014075e-06,7.081683e-06,7.147965e-06,7.212944e-06,7.276642e-06,7.339081e-06,7.400284e-06,7.460273e-06,7.519070e-06,7.576697e-06,7.633175e-06,7.688525e-06,7.742770e-06,7.795929e-06,7.848024e-06,7.899074e-06,7.949101e-06,7.998124e-06,8.046162e-06,8.093236e-06
0.000000e+00,2.672653e-12,8.262507e-12,4.412744e-11,1.341446e-10,2.234520e-10,6.751141e-10,7.026555e-10,1.707390e-09,2.121187e-09,3.532181e-09,5.171736e-09,6.548252e-09,1.076139e-08,1.120627e-08,1.801713e-08,2.003050e-08,2.750043e-08,3.415713e-08,4.012779e-08,5.415927e-08,5.629834e-08,7.634313e-08,8.084204e-08,1.005366e-07,1.148337e-07,1.291050e-07,1.566182e-07,1.622308e-07,2.000547e-07,2.065497e-07,2.426769e-07,2.648593e-07,2.901585e-07,3.316599e-07,3.425234e-07,3.997603e-07,4.069544e-07,4.618257e-07,4.906465e-07,5.286474e-07,5.825535e-07,6.001276e-07,6.761467e-07,6.824203e-07,7.565669e-07,7.899336e-07,8.412356e-07,9.047356e-07,9.299881e-07,1.022651e-06,1.026437e-06,1.119045e-06,1.154625e-06,1.218986e-06,1.288877e-06,1.322288e-06,1.428765e-06,1.538230e-06,1.573860e-06,1.650500e-06,1.723742e-06,1.765395e-06,1.877998e-06,1.882737e-06,2.002353e-06,2.036230e-06,2.124075e-06,2.198050e-06,2.247739e-06,2.363090e-06,2.373188e-06,2.500269e-06,2.530994e-06,2.628834e-06,2.701426e-06,2.758742e-06,2.874064e-06,2.889857e-06,3.022048e-06,3.048604e-06,3.155190e-06,3.224759e-06,3.289162e-06,3.402256e-06,3.423849e-06,3.559142e-06,3.580838e-06,3.694936e-06,3.760266e-06,3.831131e-06,3.940311e-06,3.967631e-06,4.104346e-06,4.120762e-06,4.241188e-06,4.301417e-06,4.378075e-06,4.482092e-06,4.514930e-06,4.651677e-06,4.662610e-06,4.788246e-06,4.842809e-06,4.924570e-06,5.022536e-06,5.060586e-06,5.196234e-06,5.201651e-06,5.331456e-06,5.380021e-06,5.466199e-06,5.557525e-06,5.600412e-06,5.734048e-06,5.867061e-06,5.909486e-06,5.999409e-06,6.083743e-06,6.131051e-06,6.256729e-06,6.261950e-06,6.392072e-06,6.428362e-06,6.521382e-06,6.598566e-06,6.649851e-06,6.767273e-06,6.777448e-06,6.904148e-06,6.934420e-06,7.029925e-06,7.099949e-06,7.154756e-06,7.263808e-06,7.278620e-06,7.401495e-06,7.425950e-06,7.523365e-06,7.586334e-06,7.644212e-06,7.744921e-06,7.764020e-06,7.882776e-06,7.901678e-06,8.000466e-06,8.056575e-06,8.117078e-06,8.209586e-06,8.232603e-06,8.347031e-06,8.360689e-06,8.460354e-06,8.509864e-06,8.572564e-06,8.657095e-06,8.683655e-06,8.793621e-06,8.802370e-06,8.902458e-06,8.945676e-06,9.010162e-06,9.087006e-06,9.116731e-06,9.222162e-06,9.226355e-06,9.326453e-06,9.363718e-06,9.429603e-06,9.499095e-06,9.531614e-06,9.632484e-06,9.763889e-06,9.893313e-06,1.002076e-05,1.014624e-05,1.026976e-05,1.039133e-05,1.051095e-05,1.062865e-05,1.074443e-05,1.085830e-05,1.097029e-05,1.108040e-05,1.118865e-05,1.129506e-05,1.139965e-05,1.150242e-05,1.160340e-05,1.170262e-05,1.180007e-05,1.189580e-05,1.198980e-05,1.208212e-05,1.217275e-05,1.226173e-05
0.000000e+00,7.432716e-18,8.593563e-17,3.246990e-15,3.572122e-14,1.066896e-13,1.118256e-12,1.216583e-12,7.774377e-12,1.216504e-11,3.446763e-11,7.426694e-11,1.188072e-10,3.150055e-10,3.407916e-10,8.499655e-10,1.040301e-09,1.899270e-09,2.863196e-09,3.884356e-09,6.861625e-09,7.386441e-09,1.321632e-08,1.475168e-08,2.245662e-08,2.905816e-08,3.649892e-08,5.325992e-08,5.707204e-08,8.625827e-08,9.188530e-08,1.264949e-07,1.505372e-07,1.805604e-07,2.358360e-07,2.515437e-07,3.427995e-07,3.552800e-07,4.578920e-07,5.170358e-07,6.005275e-07,7.296742e-07,7.744822e-07,9.835259e-07,1.001877e-06,1.231346e-06,1.342129e-06,1.521474e-06,1.758429e-06,1.857215e-06,2.241589e-06,2.258015e-06,2.677271e-06,2.847131e-06,3.166552e-06,3.530848e-06,3.711296e-06,4.312925e-06,4.972390e-06,5.195726e-06,5.690175e-06,6.180190e-06,6.466295e-06,7.265844e-06,7.300307e-06,8.191325e-06,8.450859e-06,9.138050e-06,9.732137e-06,1.013879e-05,1.110544e-05,1.119151e-05,1.229384e-05,1.256550e-05,1.344315e-05,1.410621e-05,1.463655e-05,1.572076e-05,1.587095e-05,1.714311e-05,1.740178e-05,1.844966e-05,1.914151e-05,1.978714e-05,2.093196e-05,2.115205e-05,2.254084e-05,2.276503e-05,2.395000e-05,2.463261e-05,2.537604e-05,2.652672e-05,2.681553e-05,2.826512e-05,2.843960e-05,2.972157e-05,3.036376e-05,3.118172e-05,3.229206e-05,3.264257e-05,3.410125e-05,3.421777e-05,3.555503e-05,3.613458e-05,3.700131e-05,3.803663e-05,3.843768e-05,3.986186e-05,3.991855e-05,4.127175e-05,4.177542e-05,4.266537e-05,4.360282e-05,4.404093e-05,4.539678e-05,4.673140e-05,4.715378e-05,4.804345e-05,4.887073e-05,4.933168e-05,5.054498e-05,5.059502e-05,5.183250e-05,5.217424e-05,5.304328e-05,5.375662e-05,5.422663e-05,5.529055e-05,5.538193e-05,5.650867e-05,5.677479e-05,5.760643e-05,5.820839e-05,5.867489e-05,5.959069e-05,5.971379e-05,6.072299e-05,6.092126e-05,6.170238e-05,6.219988e-05,6.265195e-05,6.342657e-05,6.357174e-05,6.446184e-05,6.460151e-05,6.532241e-05,6.572505e-05,6.615365e-05,6.679768e-05,6.695580e-05,6.772915e-05,6.782003e-05,6.847402e-05,6.879283e-05,6.919076e-05,6.971692e-05,6.987977e-05,7.054145e-05,7.059321e-05,7.117623e-05,7.142271e-05,7.178457e-05,7.220646e-05,7.236694e-05,7.292383e-05,7.294558e-05,7.345574e-05,7.364121e-05,7.396318e-05,7.429453e-05,7.444668e-05,7.490676e-05,7.547912e-05,7.601284e-05,7.650917e-05,7.696936e-05,7.739465e-05,7.778628e-05,7.814548e-05,7.847348e-05,7.877146e-05,7.904061e-05,7.928211e-05,7.949707e-05,7.968663e-05,7.985188e-05,7.999389e-05,8.011369e-05,8.021230e-05,8.029071e-05,8.034987e-05,8.039073e-05,8.041418e-05,8.042110e-05,8.041234e-05,8.038872e-05
0.000000e+00,2.934583e-13,1.608529e-12,1.646627e-11,6.861489e-11,1.287167e-10,4.805861e-10,5.035232e-10,1.396835e-09,1.785701e-09,3.165427e-09,4.839442e-09,6.285652e-09,1.086572e-08,1.135935e-08,1.906409e-08,2.137903e-08,3.005349e-08,3.785750e-08,4.489495e-08,6.152711e-08,6.407158e-08,8.800286e-08,9.339297e-08,1.170580e-07,1.343007e-07,1.515603e-07,1.849565e-07,1.917876e-07,2.379696e-07,2.459241e-07,2.902869e-07,3.176186e-07,3.488697e-07,4.003027e-07,4.137984e-07,4.851050e-07,4.940902e-07,5.627762e-07,5.989550e-07,6.467568e-07,7.147459e-07,7.369538e-07,8.332412e-07,8.412028e-07,9.354643e-07,9.779763e-07,1.043445e-06,1.124645e-06,1.156984e-06,1.275870e-06,1.280733e-06,1.399876e-06,1.445727e-06,1.528769e-06,1.619087e-06,1.662311e-06,1.800259e-06,1.942371e-06,1.988686e-06,2.088404e-06,2.183813e-06,2.238120e-06,2.385093e-06,2.391283e-06,2.547662e-06,2.591993e-06,2.707032e-06,2.803998e-06,2.869173e-06,3.020608e-06,3.033874e-06,3.200928e-06,3.241348e-06,3.370136e-06,3.465762e-06,3.541307e-06,3.693416e-06,3.714258e-06,3.888810e-06,3.923898e-06,4.064795e-06,4.156819e-06,4.242050e-06,4.391811e-06,4.420419e-06,4.599753e-06,4.628526e-06,4.779911e-06,4.866639e-06,4.960756e-06,5.105841e-06,5.142161e-06,5.324001e-06,5.345845e-06,5.506160e-06,5.586382e-06,5.688526e-06,5.827198e-06,5.870995e-06,6.053464e-06,6.068059e-06,6.235840e-06,6.308744e-06,6.418032e-06,6.549048e-06,6.599955e-06,6.781527e-06,6.788781e-06,6.962672e-06,7.027766e-06,7.143319e-06,7.265839e-06,7.323399e-06,7.502847e-06,7.681604e-06,7.738651e-06,7.859612e-06,7.973120e-06,8.036819e-06,8.206136e-06,8.213173e-06,8.388628e-06,8.437588e-06,8.563139e-06,8.667376e-06,8.736666e-06,8.895409e-06,8.909171e-06,9.080616e-06,9.121602e-06,9.250970e-06,9.345879e-06,9.420201e-06,9.568172e-06,9.588280e-06,9.755181e-06,9.788418e-06,9.920880e-06,1.000656e-05,1.008535e-05,1.022255e-05,1.024858e-05,1.041055e-05,1.043634e-05,1.057123e-05,1.064790e-05,1.073062e-05,1.085719e-05,1.088870e-05,1.104545e-05,1.106417e-05,1.120087e-05,1.126883e-05,1.135495e-05,1.147114e-05,1.150767e-05,1.165904e-05,1.167109e-05,1.180904e-05,1.186866e-05,1.195767e-05,1.206384e-05,1.210493e-05,1.225081e-05,1.225662e-05,1.239532e-05,1.244700e-05,1.253844e-05,1.263497e-05,1.268018e-05,1.282054e-05,1.300371e-05,1.318448e-05,1.336286e-05,1.353886e-05,1.371249e-05,1.388375e-05,1.405267e-05,1.421925e-05,1.438351e-05,1.454548e-05,1.470516e-05,1.486258e-05,1.501775e-05,1.517069e-05,1.532144e-05,1.547000e-05,1.561639e-05,1.576066e-05,1.590280e-05,1.604286e-05,1.618085e-05,1.631679e-05,1.645071e-05,1.658264e-05
0.000000e+00,2.698797e-16,2.789623e-15,8.371250e-14,7.483945e-13,1.996969e-12,1.571281e-11,1.689871e-11,8.187814e-11,1.190134e-10,2.810497e-10,5.244793e-10,7.653751e-10,1.662162e-09,1.768624e-09,3.619977e-09,4.236446e-09,6.753814e-09,9.267250e-09,1.171384e-08,1.809936e-08,1.914488e-08,2.976729e-08,3.234116e-08,4.433748e-08,5.372433e-08,6.360506e-08,8.393933e-08,8.827748e-08,1.189970e-07,1.245123e-07,1.563294e-07,1.767436e-07,2.007607e-07,2.416933e-07,2.526983e-07,3.124738e-07,3.201866e-07,3.803454e-07,4.128247e-07,4.565009e-07,5.199953e-07,5.410598e-07,6.340761e-07,6.418829e-07,7.355410e-07,7.784793e-07,8.453868e-07,9.295984e-07,9.634908e-07,1.089680e-06,1.094893e-06,1.223736e-06,1.273874e-06,1.365403e-06,1.465935e-06,1.514387e-06,1.670370e-06,1.833009e-06,1.886401e-06,2.001945e-06,2.113196e-06,2.176804e-06,2.349888e-06,2.357206e-06,2.542766e-06,2.595594e-06,2.733098e-06,2.849429e-06,2.927820e-06,3.110515e-06,3.126552e-06,3.328925e-06,3.377995e-06,3.534576e-06,3.651041e-06,3.743155e-06,3.928856e-06,3.954321e-06,4.167749e-06,4.210679e-06,4.383125e-06,4.495790e-06,4.600149e-06,4.783513e-06,4.818535e-06,5.038010e-06,5.073210e-06,5.258317e-06,5.364288e-06,5.479211e-06,5.656194e-06,5.700462e-06,5.921851e-06,5.948417e-06,6.143174e-06,6.240485e-06,6.364239e-06,6.531964e-06,6.584864e-06,6.804883e-06,6.822453e-06,7.024136e-06,7.111590e-06,7.242478e-06,7.399042e-06,7.459771e-06,7.675888e-06,7.684507e-06,7.890713e-06,7.967712e-06,8.104136e-06,8.248412e-06,8.316058e-06,8.526385e-06,8.735034e-06,8.801434e-06,8.941926e-06,9.073382e-06,9.146991e-06,9.342075e-06,9.350165e-06,9.551389e-06,9.607375e-06,9.750611e-06,9.869164e-06,9.947784e-06,1.012734e-05,1.014287e-05,1.033582e-05,1.038181e-05,1.052661e-05,1.063250e-05,1.071522e-05,1.087936e-05,1.090161e-05,1.108576e-05,1.112232e-05,1.126766e-05,1.136136e-05,1.144730e-05,1.159644e-05,1.162466e-05,1.179974e-05,1.182754e-05,1.197253e-05,1.205465e-05,1.214302e-05,1.227777e-05,1.231123e-05,1.247714e-05,1.249690e-05,1.264077e-05,1.271204e-05,1.280211e-05,1.292321e-05,1.296118e-05,1.311799e-05,1.313044e-05,1.327255e-05,1.333374e-05,1.342486e-05,1.353314e-05,1.357494e-05,1.372281e-05,1.372868e-05,1.386849e-05,1.392039e-05,1.401198e-05,1.410831e-05,1.415331e-05,1.429249e-05,1.447296e-05,1.464976e-05,1.482296e-05,1.499260e-05,1.515873e-05,1.532139e-05,1.548065e-05,1.563656e-05,1.578917e-05,1.593853e-05,1.608471e-05,1.622775e-05,1.636771e-05,1.650465e-05,1.663862e-05,1.676968e-05,1.689788e-05,1.702328e-05,1.714593e-05,1.726588e-05,1.738319e-05,1.749791e-05,1.761009e-05,1.771979e-05
0.000000e+00,4.301812e-13,2.561213e-12,2.943626e-11,1.310251e-10,2.525577e-10,9.957821e-10,1.045322e-09,3.030991e-09,3.920089e-09,7.154519e-09,1.119234e-08,1.474098e-08,2.612591e-08,2.735692e-08,4.650565e-08,5.222248e-08,7.349661e-08,9.247630e-08,1.094986e-07,1.495024e-07,1.556032e-07,2.128515e-07,2.257266e-07,2.822348e-07,3.234220e-07,3.646851e-07,4.446717e-07,4.610604e-07,5.721305e-07,5.913115e-07,6.985632e-07,7.648756e-07,8.409152e-07,9.665571e-07,9.996244e-07,1.175008e-06,1.197185e-06,1.367260e-06,1.457219e-06,1.576459e-06,1.746765e-06,1.802568e-06,2.045447e-06,2.065595e-06,2.304859e-06,2.413184e-06,2.580483e-06,2.788750e-06,2.871920e-06,3.178708e-06,3.191291e-06,3.500328e-06,3.619635e-06,3.836218e-06,4.072471e-06,4.185781e-06,4.548389e-06,4.923397e-06,5.045912e-06,5.310147e-06,5.563521e-06,5.707972e-06,6.099682e-06,6.116203e-06,6.534174e-06,6.652862e-06,6.961225e-06,7.221543e-06,7.396705e-06,7.804240e-06,7.839973e-06,8.290404e-06,8.399505e-06,8.747387e-06,9.005937e-06,9.210327e-06,9.622184e-06,9.678648e-06,1.015179e-05,1.024695e-05,1.062922e-05,1.087900e-05,1.111041e-05,1.151716e-05,1.159487e-05,1.208210e-05,1.216029e-05,1.257166e-05,1.280734e-05,1.306309e-05,1.345730e-05,1.355597e-05,1.404989e-05,1.410922e-05,1.454448e-05,1.476220e-05,1.503935e-05,1.541542e-05,1.553415e-05,1.602854e-05,1.606807e-05,1.652222e-05,1.671942e-05,1.701487e-05,1.736877e-05,1.750620e-05,1.799594e-05,1.801549e-05,1.848383e-05,1.865897e-05,1.896962e-05,1.929864e-05,1.945309e-05,1.993400e-05,2.041216e-05,2.056456e-05,2.088737e-05,2.118988e-05,2.135945e-05,2.180954e-05,2.182822e-05,2.229353e-05,2.242317e-05,2.275521e-05,2.303043e-05,2.321314e-05,2.363100e-05,2.366717e-05,2.411719e-05,2.422458e-05,2.456308e-05,2.481093e-05,2.500473e-05,2.538981e-05,2.544205e-05,2.587495e-05,2.596100e-05,2.630335e-05,2.652431e-05,2.672716e-05,2.707957e-05,2.714632e-05,2.756077e-05,2.762665e-05,2.797046e-05,2.816540e-05,2.837532e-05,2.869571e-05,2.877532e-05,2.917042e-05,2.921750e-05,2.956058e-05,2.973068e-05,2.994577e-05,3.023518e-05,3.032598e-05,3.070117e-05,3.073097e-05,3.107133e-05,3.121799e-05,3.143646e-05,3.169622e-05,3.179653e-05,3.215156e-05,3.216565e-05,3.250153e-05,3.262628e-05,3.284644e-05,3.307811e-05,3.318632e-05,3.352115e-05,3.395544e-05,3.438100e-05,3.479787e-05,3.520610e-05,3.560575e-05,3.599687e-05,3.637953e-05,3.675379e-05,3.711973e-05,3.747743e-05,3.782697e-05,3.816844e-05,3.850193e-05,3.882752e-05,3.914532e-05,3.945541e-05,3.975791e-05,4.005290e-05,4.034050e-05,4.062080e-05,4.089391e-05,4.115994e-05,4.141900e-05,4.167119e-05
0.000000e+00,5.237157e-12,1.760908e-11,1.026871e-10,3.256138e-10,5.516627e-10,1.727707e-09,1.800650e-09,4.527007e-09,5.679971e-09,9.713545e-09,1.456090e-08,1.873625e-08,3.194737e-08,3.337104e-08,5.557003e-08,6.222421e-08,8.705443e-08,1.092237e-07,1.290640e-07,1.753732e-07,1.823872e-07,2.474952e-07,2.619570e-07,3.246521e-07,3.695804e-07,4.139797e-07,4.984323e-07,5.154905e-07,6.291044e-07,6.483959e-07,7.546566e-07,8.190936e-07,8.919038e-07,1.009911e-06,1.040529e-06,1.200148e-06,1.220020e-06,1.370317e-06,1.448408e-06,1.550541e-06,1.693907e-06,1.740283e-06,1.938974e-06,1.955238e-06,2.146020e-06,2.231041e-06,2.360812e-06,2.519915e-06,2.582737e-06,2.811180e-06,2.820444e-06,3.045531e-06,3.131229e-06,3.285197e-06,3.450908e-06,3.529596e-06,3.778170e-06,4.030381e-06,4.111772e-06,4.285716e-06,4.450542e-06,4.543685e-06,4.793386e-06,4.803828e-06,5.065709e-06,5.139291e-06,5.328919e-06,5.487322e-06,5.593075e-06,5.836626e-06,5.857819e-06,6.122818e-06,6.186422e-06,6.387764e-06,6.536003e-06,6.652370e-06,6.884731e-06,6.916371e-06,7.179523e-06,7.232032e-06,7.441601e-06,7.577388e-06,7.702398e-06,7.920340e-06,7.961726e-06,8.219411e-06,8.260478e-06,8.475296e-06,8.597439e-06,8.729238e-06,8.930903e-06,8.981105e-06,9.230781e-06,9.260590e-06,9.478160e-06,9.586254e-06,9.723146e-06,9.907683e-06,9.965655e-06,1.020561e-05,1.022469e-05,1.044294e-05,1.053713e-05,1.067760e-05,1.084486e-05,1.090952e-05,1.113867e-05,1.114778e-05,1.136500e-05,1.144579e-05,1.158849e-05,1.173882e-05,1.180910e-05,1.202682e-05,1.224163e-05,1.230976e-05,1.245352e-05,1.258759e-05,1.266248e-05,1.286031e-05,1.286849e-05,1.307158e-05,1.312791e-05,1.327172e-05,1.339040e-05,1.346894e-05,1.364780e-05,1.366323e-05,1.385461e-05,1.390011e-05,1.404309e-05,1.414738e-05,1.422868e-05,1.438963e-05,1.441141e-05,1.459128e-05,1.462691e-05,1.476832e-05,1.485926e-05,1.494254e-05,1.508673e-05,1.511398e-05,1.528265e-05,1.530938e-05,1.544857e-05,1.552725e-05,1.561178e-05,1.574041e-05,1.577230e-05,1.593016e-05,1.594893e-05,1.608538e-05,1.615285e-05,1.623799e-05,1.635225e-05,1.638802e-05,1.653551e-05,1.654720e-05,1.668047e-05,1.673775e-05,1.682294e-05,1.692399e-05,1.696295e-05,1.710053e-05,1.710598e-05,1.723571e-05,1.728379e-05,1.736852e-05,1.745750e-05,1.749900e-05,1.762716e-05,1.779286e-05,1.795466e-05,1.811264e-05,1.826686e-05,1.841740e-05,1.856432e-05,1.870770e-05,1.884760e-05,1.898409e-05,1.911724e-05,1.924712e-05,1.937378e-05,1.949731e-05,1.961775e-05,1.973518e-05,1.984965e-05,1.996123e-05,2.006998e-05,2.017596e-05,2.027922e-05,2.037983e-05,2.047784e-05,2.057331e-05,2.066629e-05
0.000000e+00,2.612642e-17,3.067256e-16,1.197418e-14,1.358071e-13,4.125838e-13,4.523590e-12,4.930533e-12,3.300338e-11,5.231316e-11,1.532015e-10,3.392779e-10,5.527388e-10,1.528107e-09,1.659208e-09,4.330014e-09,5.357505e-09,1.012284e-08,1.565048e-08,2.165631e-08,3.979017e-08,4.306266e-08,8.052252e-08,9.066385e-08,1.428588e-07,1.889694e-07,2.421562e-07,3.656733e-07,3.943659e-07,6.198542e-07,6.643471e-07,9.438577e-07,1.143105e-06,1.396817e-06,1.875928e-06,2.014562e-06,2.838335e-06,2.953189e-06,3.914653e-06,4.481334e-06,5.294995e-06,6.581684e-06,7.035347e-06,9.195587e-06,9.388416e-06,1.183876e-05,1.304583e-05,1.503021e-05,1.770501e-05,1.883671e-05,2.332543e-05,2.352011e-05,2.856291e-05,3.064428e-05,3.461410e-05,3.922560e-05,4.154124e-05,4.940299e-05,5.825339e-05,6.130244e-05,6.814112e-05,7.503354e-05,7.910864e-05,9.068647e-05,9.119159e-05,1.044182e-04,1.083296e-04,1.188089e-04,1.280076e-04,1.343760e-04,1.497403e-04,1.511235e-04,1.690469e-04,1.735223e-04,1.881335e-04,1.993227e-04,2.083624e-04,2.270860e-04,2.297047e-04,2.521240e-04,2.567333e-04,2.755767e-04,2.881642e-04,3.000128e-04,3.212581e-04,3.253761e-04,3.516049e-04,3.558774e-04,3.786329e-04,3.918696e-04,4.063895e-04,4.290699e-04,4.348010e-04,4.637905e-04,4.673044e-04,4.932796e-04,5.063924e-04,5.231881e-04,5.461494e-04,5.534353e-04,5.839404e-04,5.863896e-04,6.146230e-04,6.269279e-04,6.454037e-04,6.675829e-04,6.762048e-04,7.069503e-04,7.081779e-04,7.375668e-04,7.485434e-04,7.679835e-04,7.885182e-04,7.981330e-04,8.279507e-04,8.573760e-04,8.666998e-04,8.863518e-04,9.046358e-04,9.148250e-04,9.416407e-04,9.427464e-04,9.700708e-04,9.776089e-04,9.967570e-04,1.012447e-03,1.022768e-03,1.046073e-03,1.048071e-03,1.072636e-03,1.078419e-03,1.096438e-03,1.109425e-03,1.119455e-03,1.139047e-03,1.141670e-03,1.163068e-03,1.167249e-03,1.183638e-03,1.194005e-03,1.203372e-03,1.219299e-03,1.222265e-03,1.240314e-03,1.243123e-03,1.257520e-03,1.265480e-03,1.273886e-03,1.286377e-03,1.289417e-03,1.304121e-03,1.305830e-03,1.318006e-03,1.323858e-03,1.331083e-03,1.340489e-03,1.343366e-03,1.354867e-03,1.355754e-03,1.365603e-03,1.369687e-03,1.375590e-03,1.382327e-03,1.384845e-03,1.393387e-03,1.393714e-03,1.401234e-03,1.403892e-03,1.408405e-03,1.412907e-03,1.414922e-03,1.420804e-03,1.427632e-03,1.433438e-03,1.438271e-03,1.442179e-03,1.445210e-03,1.447410e-03,1.448827e-03,1.449505e-03,1.449490e-03,1.448825e-03,1.447551e-03,1.445710e-03,1.443340e-03,1.440479e-03,1.437163e-03,1.433427e-03,1.429304e-03,1.424825e-03,1.420021e-03,1.414919e-03,1.409548e-03,1.403932e-03,1.398095e-03,1.392061e-03
0.000000e+00,4.888145e-12,1.554295e-11,8.572900e-11,2.654818e-10,4.460890e-10,1.377464e-09,1.434972e-09,3.571851e-09,4.469746e-09,7.590339e-09,1.130592e-08,1.448195e-08,2.442045e-08,2.548364e-08,4.194031e-08,4.684436e-08,6.509893e-08,8.139066e-08,9.599714e-08,1.302596e-07,1.354736e-07,1.842158e-07,1.951284e-07,2.427972e-07,2.773104e-07,3.116966e-07,3.778358e-07,3.913071e-07,4.819392e-07,4.974796e-07,5.838224e-07,6.367698e-07,6.971071e-07,7.959960e-07,8.218672e-07,9.581047e-07,9.752221e-07,1.105755e-06,1.174306e-06,1.264692e-06,1.392924e-06,1.434737e-06,1.615664e-06,1.630600e-06,1.807206e-06,1.886730e-06,2.009065e-06,2.160609e-06,2.220914e-06,2.442404e-06,2.451459e-06,2.673171e-06,2.758446e-06,2.912838e-06,3.080700e-06,3.161021e-06,3.417330e-06,3.681373e-06,3.767437e-06,3.952760e-06,4.130122e-06,4.231102e-06,4.504496e-06,4.516014e-06,4.807118e-06,4.889685e-06,5.104040e-06,5.284834e-06,5.406415e-06,5.689110e-06,5.713887e-06,6.026105e-06,6.101706e-06,6.342730e-06,6.521842e-06,6.663432e-06,6.948765e-06,6.987888e-06,7.315786e-06,7.381752e-06,7.646825e-06,7.820109e-06,7.980711e-06,8.263168e-06,8.317161e-06,8.655900e-06,8.710293e-06,8.996665e-06,9.160875e-06,9.339199e-06,9.614334e-06,9.683256e-06,1.002860e-05,1.007012e-05,1.037500e-05,1.052769e-05,1.072224e-05,1.098657e-05,1.107010e-05,1.141839e-05,1.144626e-05,1.176690e-05,1.190633e-05,1.211545e-05,1.236633e-05,1.246387e-05,1.281197e-05,1.282588e-05,1.315959e-05,1.328458e-05,1.350657e-05,1.374208e-05,1.385277e-05,1.419804e-05,1.454224e-05,1.465214e-05,1.488524e-05,1.510407e-05,1.522691e-05,1.555356e-05,1.556714e-05,1.590580e-05,1.600033e-05,1.624280e-05,1.644415e-05,1.657802e-05,1.688478e-05,1.691138e-05,1.724277e-05,1.732200e-05,1.757211e-05,1.775562e-05,1.789932e-05,1.818544e-05,1.822432e-05,1.854703e-05,1.861129e-05,1.886738e-05,1.903301e-05,1.918531e-05,1.945046e-05,1.950076e-05,1.981366e-05,1.986349e-05,2.012397e-05,2.027198e-05,2.043163e-05,2.067582e-05,2.073660e-05,2.103882e-05,2.107490e-05,2.133827e-05,2.146913e-05,2.163490e-05,2.185843e-05,2.192867e-05,2.221956e-05,2.224271e-05,2.250754e-05,2.262191e-05,2.279257e-05,2.299596e-05,2.307464e-05,2.335372e-05,2.336482e-05,2.362980e-05,2.372845e-05,2.390285e-05,2.408679e-05,2.417286e-05,2.443982e-05,2.478752e-05,2.512986e-05,2.546683e-05,2.579842e-05,2.612462e-05,2.644543e-05,2.676087e-05,2.707093e-05,2.737563e-05,2.767498e-05,2.796901e-05,2.825773e-05,2.854117e-05,2.881936e-05,2.909233e-05,2.936011e-05,2.962274e-05,2.988026e-05,3.013270e-05,3.038011e-05,3.062253e-05,3.086001e-05,3.109258e-05,3.132031e-05
0.000000e+00,8.580621e-17,1.002636e-15,3.877524e-14,4.361719e-13,1.319356e-12,1.431417e-11,1.559558e-11,1.034478e-10,1.636166e-10,4.768493e-10,1.052705e-09,1.712212e-09,4.722245e-09,5.126767e-09,1.337421e-08,1.655104e-08,3.131024e-08,4.847151e-08,6.715267e-08,1.236911e-07,1.339076e-07,2.509680e-07,2.826699e-07,4.457406e-07,5.895738e-07,7.551416e-07,1.138143e-06,1.226812e-06,1.919937e-06,2.055970e-06,2.905589e-06,3.506486e-06,4.266567e-06,5.688318e-06,6.096738e-06,8.499881e-06,8.832011e-06,1.158812e-05,1.319436e-05,1.548004e-05,1.905086e-05,2.029843e-05,2.616803e-05,2.668674e-05,3.321295e-05,3.638730e-05,4.155429e-05,4.842799e-05,5.130767e-05,6.258096e-05,6.306493e-05,7.547223e-05,8.052620e-05,9.006785e-05,1.010043e-04,1.064409e-04,1.246501e-04,1.447383e-04,1.515683e-04,1.667326e-04,1.818146e-04,1.906432e-04,2.153948e-04,2.164640e-04,2.441726e-04,2.522645e-04,2.737306e-04,2.923315e-04,3.050845e-04,3.354584e-04,3.381667e-04,3.728963e-04,3.814665e-04,4.091805e-04,4.301406e-04,4.469160e-04,4.812343e-04,4.859899e-04,5.262819e-04,5.344754e-04,5.676650e-04,5.895717e-04,6.100071e-04,6.462166e-04,6.531728e-04,6.970244e-04,7.040950e-04,7.414231e-04,7.628881e-04,7.862304e-04,8.222783e-04,8.313093e-04,8.765250e-04,8.819538e-04,9.217463e-04,9.416124e-04,9.668458e-04,1.000965e-03,1.011701e-03,1.056196e-03,1.059737e-03,1.100220e-03,1.117673e-03,1.143667e-03,1.174538e-03,1.186441e-03,1.228452e-03,1.230115e-03,1.269615e-03,1.284212e-03,1.309856e-03,1.336657e-03,1.349105e-03,1.387301e-03,1.424391e-03,1.436018e-03,1.460327e-03,1.482702e-03,1.495070e-03,1.527267e-03,1.528584e-03,1.560844e-03,1.569649e-03,1.591827e-03,1.609798e-03,1.621519e-03,1.647687e-03,1.649910e-03,1.676994e-03,1.683300e-03,1.702772e-03,1.716639e-03,1.727249e-03,1.747717e-03,1.750431e-03,1.772333e-03,1.776561e-03,1.792969e-03,1.803206e-03,1.812359e-03,1.827698e-03,1.830523e-03,1.847487e-03,1.850091e-03,1.863275e-03,1.870445e-03,1.877917e-03,1.888825e-03,1.891442e-03,1.903881e-03,1.905303e-03,1.915267e-03,1.919952e-03,1.925633e-03,1.932850e-03,1.935013e-03,1.943440e-03,1.944075e-03,1.950951e-03,1.953707e-03,1.957581e-03,1.961827e-03,1.963363e-03,1.968334e-03,1.968516e-03,1.972527e-03,1.973854e-03,1.975979e-03,1.977918e-03,1.978721e-03,1.980788e-03,1.982539e-03,1.983244e-03,1.982976e-03,1.981803e-03,1.979792e-03,1.977006e-03,1.973507e-03,1.969354e-03,1.964601e-03,1.959302e-03,1.953507e-03,1.947263e-03,1.940615e-03,1.933606e-03,1.926273e-03,1.918656e-03,1.910788e-03,1.902701e-03,1.894427e-03,1.885993e-03,1.877426e-03,1.868749e-03,1.859986e-03,1.851157e-03
0.000000e+00,1.715611e-17,1.887835e-16,6.437110e-15,6.449842e-14,1.830074e-13,1.680455e-12,1.818425e-12,1.019928e-11,1.540758e-11,3.998733e-11,8.033004e-11,1.228343e-10,2.949633e-10,3.164695e-10,7.143126e-10,8.544635e-10,1.454235e-09,2.086028e-09,2.724445e-09,4.470077e-09,4.764661e-09,7.862131e-09,8.636665e-09,1.234360e-08,1.533826e-08,1.856512e-08,2.540972e-08,2.690140e-08,3.773588e-08,3.972691e-08,5.145201e-08,5.917018e-08,6.842578e-08,8.459425e-08,8.901930e-08,1.135752e-07,1.168036e-07,1.424117e-07,1.565315e-07,1.758181e-07,2.044226e-07,2.140511e-07,2.573316e-07,2.610178e-07,3.058417e-07,3.267432e-07,3.597233e-07,4.019019e-07,4.190765e-07,4.839600e-07,4.866708e-07,5.543910e-07,5.811010e-07,6.303469e-07,6.851232e-07,7.117669e-07,7.985553e-07,8.905834e-07,9.211141e-07,9.876940e-07,1.052429e-06,1.089704e-06,1.192054e-06,1.196410e-06,1.307589e-06,1.339489e-06,1.423004e-06,1.494184e-06,1.542408e-06,1.655564e-06,1.665546e-06,1.792159e-06,1.823034e-06,1.921984e-06,1.995992e-06,2.054761e-06,2.173842e-06,2.190233e-06,2.328144e-06,2.355997e-06,2.468247e-06,2.541887e-06,2.610302e-06,2.730966e-06,2.754076e-06,2.899345e-06,2.922712e-06,3.045895e-06,3.116635e-06,3.193523e-06,3.312270e-06,3.342034e-06,3.491243e-06,3.509187e-06,3.640977e-06,3.706984e-06,3.791072e-06,3.905291e-06,3.941374e-06,4.091738e-06,4.103765e-06,4.242028e-06,4.302095e-06,4.392118e-06,4.499992e-06,4.541890e-06,4.691234e-06,4.697197e-06,4.840047e-06,4.893472e-06,4.988235e-06,5.088601e-06,5.135711e-06,5.282392e-06,5.428204e-06,5.474669e-06,5.573077e-06,5.665274e-06,5.716949e-06,5.854069e-06,5.859760e-06,6.001457e-06,6.040926e-06,6.141991e-06,6.225735e-06,6.281318e-06,6.408397e-06,6.419396e-06,6.556190e-06,6.588825e-06,6.691664e-06,6.766943e-06,6.825790e-06,6.942684e-06,6.958540e-06,7.089890e-06,7.115991e-06,7.219819e-06,7.286814e-06,7.348308e-06,7.455113e-06,7.475340e-06,7.600900e-06,7.620852e-06,7.724976e-06,7.784003e-06,7.847558e-06,7.944542e-06,7.968638e-06,8.088207e-06,8.102453e-06,8.206260e-06,8.257722e-06,8.322794e-06,8.410342e-06,8.437805e-06,8.551293e-06,8.560306e-06,8.663257e-06,8.707615e-06,8.773697e-06,8.852271e-06,8.882616e-06,8.990016e-06,8.994280e-06,9.095901e-06,9.133649e-06,9.200275e-06,9.270390e-06,9.303144e-06,9.404514e-06,9.536038e-06,9.664978e-06,9.791352e-06,9.915180e-06,1.003648e-05,1.015529e-05,1.027161e-05,1.038549e-05,1.049693e-05,1.060597e-05,1.071265e-05,1.081697e-05,1.091898e-05,1.101870e-05,1.111615e-05,1.121138e-05,1.130441e-05,1.139527e-05,1.148399e-05,1.157060e-05,1.165512e-05,1.173761e-05,1.181807e-05,1.189654e-05
0.000000e+00,1.626577e-16,1.774762e-15,5.948510e-14,5.868269e-13,1.651102e-12,1.484374e-11,1.604896e-11,8.824080e-11,1.326087e-10,3.398299e-10,6.760490e-10,1.027452e-09,2.435417e-09,2.610217e-09,5.818779e-09,6.941117e-09,1.171481e-08,1.670699e-08,2.172446e-08,3.534502e-08,3.763219e-08,6.153389e-08,6.747553e-08,9.576130e-08,1.184600e-07,1.427940e-07,1.940563e-07,2.051730e-07,2.854244e-07,3.000882e-07,3.859945e-07,4.421712e-07,5.091978e-07,6.255008e-07,6.571738e-07,8.318537e-07,8.546929e-07,1.034933e-06,1.133665e-06,1.267851e-06,1.465554e-06,1.531777e-06,1.827604e-06,1.852669e-06,2.155946e-06,2.296473e-06,2.517145e-06,2.797606e-06,2.911278e-06,3.338174e-06,3.355927e-06,3.797435e-06,3.970581e-06,4.288453e-06,4.640086e-06,4.810434e-06,5.362424e-06,5.943332e-06,6.135136e-06,6.551951e-06,6.955414e-06,7.186984e-06,7.820195e-06,7.847061e-06,8.530761e-06,8.726232e-06,9.236625e-06,9.670168e-06,9.963176e-06,1.064860e-05,1.070893e-05,1.147240e-05,1.165810e-05,1.225212e-05,1.269532e-05,1.304664e-05,1.375693e-05,1.385454e-05,1.467443e-05,1.483973e-05,1.550497e-05,1.594062e-05,1.634485e-05,1.705663e-05,1.719279e-05,1.804759e-05,1.818491e-05,1.890806e-05,1.932277e-05,1.977308e-05,2.046764e-05,2.064156e-05,2.151248e-05,2.161710e-05,2.238484e-05,2.276890e-05,2.325772e-05,2.392089e-05,2.413020e-05,2.500145e-05,2.507107e-05,2.587066e-05,2.621760e-05,2.673706e-05,2.735872e-05,2.759993e-05,2.845859e-05,2.849284e-05,2.931240e-05,2.961847e-05,3.016075e-05,3.073422e-05,3.100308e-05,3.183884e-05,3.266755e-05,3.293117e-05,3.348873e-05,3.401013e-05,3.430195e-05,3.507478e-05,3.510681e-05,3.590293e-05,3.612423e-05,3.668996e-05,3.715768e-05,3.746758e-05,3.817444e-05,3.823551e-05,3.899345e-05,3.917385e-05,3.974118e-05,4.015536e-05,4.047847e-05,4.111847e-05,4.120510e-05,4.192091e-05,4.206276e-05,4.262572e-05,4.298783e-05,4.331940e-05,4.389339e-05,4.400182e-05,4.467286e-05,4.477916e-05,4.533243e-05,4.564494e-05,4.598047e-05,4.649054e-05,4.661689e-05,4.724166e-05,4.731585e-05,4.785473e-05,4.812078e-05,4.845609e-05,4.890528e-05,4.904572e-05,4.962361e-05,4.966934e-05,5.018979e-05,5.041298e-05,5.074426e-05,5.113625e-05,5.128705e-05,5.181821e-05,5.183922e-05,5.233778e-05,5.252200e-05,5.284581e-05,5.318471e-05,5.334237e-05,5.382751e-05,5.445055e-05,5.505404e-05,5.563816e-05,5.620313e-05,5.674920e-05,5.727660e-05,5.778559e-05,5.827644e-05,5.874941e-05,5.920480e-05,5.964289e-05,6.006397e-05,6.046835e-05,6.085634e-05,6.122823e-05,6.158435e-05,6.192499e-05,6.225049e-05,6.256115e-05,6.285730e-05,6.313924e-05,6.340729e-05,6.366178e-05,6.390300e-05
0.000000e+00,3.443699e-17,4.020667e-16,1.550652e-14,1.738701e-13,5.248288e-13,5.656160e-12,6.160571e-12,4.050243e-11,6.387654e-11,1.846448e-10,4.044744e-10,6.541559e-10,1.778134e-09,1.927831e-09,4.938300e-09,6.082741e-09,1.133016e-08,1.733320e-08,2.378685e-08,4.299039e-08,4.642242e-08,8.522836e-08,9.561787e-08,1.485571e-07,1.947723e-07,2.476143e-07,3.689513e-07,3.969223e-07,6.147142e-07,6.573436e-07,9.232171e-07,1.111102e-06,1.348797e-06,1.793907e-06,1.921938e-06,2.677049e-06,2.781660e-06,3.652111e-06,4.161297e-06,4.888163e-06,6.028786e-06,6.428669e-06,8.318772e-06,8.486459e-06,1.060449e-05,1.163988e-05,1.333185e-05,1.559444e-05,1.654605e-05,2.029057e-05,2.045197e-05,2.460641e-05,2.630736e-05,2.953131e-05,3.324557e-05,3.509909e-05,4.133906e-05,4.827558e-05,5.064562e-05,5.592760e-05,6.120681e-05,6.430849e-05,7.304691e-05,7.342578e-05,8.328115e-05,8.617249e-05,9.387042e-05,1.005724e-04,1.051837e-04,1.162183e-04,1.172057e-04,1.299157e-04,1.330658e-04,1.432883e-04,1.510553e-04,1.572934e-04,1.701141e-04,1.718969e-04,1.870612e-04,1.901579e-04,2.027455e-04,2.110924e-04,2.189062e-04,2.328160e-04,2.354977e-04,2.524727e-04,2.552211e-04,2.697829e-04,2.781963e-04,2.873789e-04,3.016284e-04,3.052114e-04,3.232310e-04,3.254035e-04,3.413887e-04,3.494095e-04,3.596367e-04,3.735366e-04,3.779280e-04,3.962173e-04,3.976790e-04,4.144607e-04,4.217358e-04,4.326164e-04,4.456117e-04,4.506444e-04,4.685071e-04,4.692177e-04,4.861690e-04,4.924717e-04,5.035971e-04,5.152988e-04,5.207605e-04,5.376312e-04,5.541832e-04,5.594087e-04,5.703931e-04,5.805781e-04,5.862399e-04,6.010938e-04,6.017049e-04,6.167715e-04,6.209168e-04,6.314255e-04,6.400146e-04,6.456546e-04,6.583615e-04,6.594488e-04,6.727996e-04,6.759371e-04,6.857007e-04,6.927270e-04,6.981472e-04,7.087215e-04,7.101359e-04,7.216653e-04,7.239160e-04,7.327349e-04,7.383097e-04,7.433458e-04,7.519059e-04,7.535000e-04,7.632009e-04,7.647112e-04,7.724526e-04,7.767353e-04,7.812602e-04,7.879906e-04,7.896297e-04,7.975676e-04,7.984915e-04,8.050813e-04,8.082549e-04,8.121784e-04,8.172988e-04,8.188674e-04,8.251569e-04,8.256430e-04,8.310560e-04,8.333084e-04,8.365740e-04,8.403165e-04,8.417208e-04,8.465059e-04,8.466900e-04,8.509395e-04,8.524515e-04,8.550317e-04,8.576245e-04,8.587925e-04,8.622322e-04,8.662982e-04,8.698458e-04,8.728981e-04,8.754781e-04,8.776082e-04,8.793107e-04,8.806072e-04,8.815188e-04,8.820660e-04,8.822690e-04,8.821469e-04,8.817187e-04,8.810024e-04,8.800155e-04,8.787749e-04,8.772967e-04,8.755965e-04,8.736892e-04,8.715891e-04,8.693098e-04,8.668645e-04,8.642657e-04,8.615252e-04,8.586544e-04
0.000000e+00,2.910523e-17,3.186163e-16,1.075776e-14,1.068036e-13,3.015024e-13,2.731638e-12,2.954270e-12,1.634033e-11,2.458687e-11,6.314928e-11,1.257225e-10,1.910544e-10,4.519483e-10,4.842448e-10,1.074078e-09,1.279294e-09,2.147586e-09,3.049957e-09,3.953019e-09,6.393043e-09,6.801756e-09,1.106591e-08,1.212522e-08,1.717124e-08,2.122774e-08,2.558583e-08,3.480100e-08,3.680556e-08,5.133816e-08,5.400467e-08,6.968746e-08,7.999435e-08,9.233871e-08,1.138637e-07,1.197461e-07,1.523225e-07,1.565969e-07,1.904317e-07,2.090342e-07,2.343826e-07,2.718485e-07,2.844257e-07,3.407520e-07,3.455339e-07,4.034926e-07,4.304032e-07,4.727207e-07,5.265941e-07,5.484542e-07,6.306597e-07,6.340816e-07,7.192569e-07,7.526942e-07,8.141235e-07,8.821342e-07,9.151008e-07,1.021999e-06,1.134601e-06,1.171800e-06,1.252671e-06,1.330988e-06,1.375953e-06,1.498963e-06,1.504183e-06,1.637086e-06,1.675099e-06,1.774383e-06,1.858753e-06,1.915792e-06,2.049278e-06,2.061031e-06,2.209824e-06,2.246032e-06,2.361895e-06,2.448387e-06,2.516977e-06,2.655731e-06,2.674807e-06,2.835134e-06,2.867478e-06,2.997712e-06,3.083064e-06,3.162306e-06,3.301956e-06,3.328688e-06,3.496643e-06,3.523648e-06,3.665963e-06,3.747663e-06,3.836450e-06,3.973554e-06,4.007917e-06,4.180185e-06,4.200903e-06,4.353085e-06,4.429319e-06,4.526455e-06,4.658439e-06,4.700146e-06,4.874013e-06,4.887926e-06,5.047923e-06,5.117469e-06,5.221747e-06,5.346780e-06,5.395366e-06,5.568669e-06,5.575593e-06,5.741551e-06,5.803666e-06,5.913913e-06,6.030775e-06,6.085663e-06,6.256715e-06,6.426990e-06,6.481302e-06,6.596413e-06,6.704365e-06,6.764916e-06,6.925752e-06,6.932433e-06,7.098907e-06,7.145325e-06,7.264281e-06,7.362958e-06,7.428507e-06,7.578540e-06,7.591538e-06,7.753331e-06,7.791973e-06,7.913848e-06,8.003167e-06,8.073054e-06,8.212046e-06,8.230918e-06,8.387409e-06,8.418541e-06,8.542504e-06,8.622593e-06,8.696178e-06,8.824153e-06,8.848412e-06,8.999189e-06,9.023176e-06,9.148491e-06,9.219629e-06,9.296307e-06,9.413482e-06,9.442626e-06,9.587437e-06,9.604713e-06,9.730735e-06,9.793304e-06,9.872512e-06,9.979244e-06,1.001277e-05,1.015149e-05,1.016253e-05,1.028869e-05,1.034315e-05,1.042437e-05,1.052111e-05,1.055852e-05,1.069114e-05,1.069642e-05,1.082225e-05,1.086908e-05,1.095185e-05,1.103911e-05,1.107993e-05,1.120652e-05,1.137132e-05,1.153355e-05,1.169321e-05,1.185033e-05,1.200493e-05,1.215705e-05,1.230671e-05,1.245393e-05,1.259875e-05,1.274120e-05,1.288131e-05,1.301911e-05,1.315464e-05,1.328792e-05,1.341899e-05,1.354789e-05,1.367464e-05,1.379928e-05,1.392185e-05,1.404238e-05,1.416090e-05,1.427744e-05,1.439205e-05,1.450475e-05
0.000000e+00,9.270694e-18,1.089856e-16,4.267150e-15,4.853249e-14,1.476694e-13,1.625621e-12,1.772158e-12,1.191162e-11,1.890281e-11,5.552239e-11,1.232634e-10,2.011474e-10,5.582111e-10,6.063023e-10,1.588813e-09,1.967779e-09,3.729719e-09,5.779612e-09,8.011870e-09,1.477271e-08,1.599527e-08,3.002537e-08,3.383226e-08,5.346422e-08,7.084705e-08,9.092928e-08,1.376546e-07,1.485214e-07,2.340229e-07,2.509089e-07,3.570495e-07,4.327453e-07,5.291417e-07,7.111423e-07,7.637878e-07,1.076373e-06,1.119918e-06,1.484056e-06,1.698341e-06,2.005577e-06,2.490372e-06,2.661000e-06,3.471402e-06,3.543578e-06,4.458528e-06,4.907794e-06,5.644404e-06,6.633618e-06,7.050942e-06,8.699538e-06,8.770810e-06,1.061067e-05,1.136670e-05,1.280354e-05,1.446465e-05,1.529569e-05,1.810271e-05,2.123796e-05,2.231242e-05,2.471234e-05,2.711784e-05,2.853410e-05,3.253492e-05,3.270872e-05,3.723884e-05,3.857102e-05,4.212422e-05,4.522479e-05,4.736173e-05,5.248623e-05,5.294548e-05,5.886686e-05,6.033704e-05,6.511468e-05,6.875110e-05,7.167539e-05,7.769515e-05,7.853320e-05,8.567034e-05,8.712960e-05,9.306727e-05,9.700940e-05,1.007029e-04,1.072850e-04,1.085549e-04,1.165999e-04,1.179034e-04,1.248136e-04,1.288088e-04,1.331713e-04,1.399442e-04,1.416478e-04,1.502181e-04,1.512516e-04,1.588568e-04,1.626731e-04,1.675392e-04,1.741520e-04,1.762408e-04,1.849379e-04,1.856328e-04,1.936074e-04,1.970624e-04,2.022271e-04,2.083905e-04,2.107757e-04,2.192333e-04,2.195694e-04,2.275807e-04,2.305553e-04,2.358001e-04,2.413077e-04,2.438750e-04,2.517902e-04,2.595315e-04,2.619699e-04,2.670863e-04,2.718181e-04,2.744431e-04,2.813100e-04,2.815919e-04,2.885235e-04,2.904244e-04,2.952305e-04,2.991441e-04,3.017062e-04,3.074551e-04,3.079454e-04,3.139437e-04,3.153470e-04,3.196979e-04,3.228127e-04,3.252057e-04,3.298477e-04,3.304658e-04,3.354778e-04,3.364504e-04,3.402419e-04,3.426217e-04,3.447593e-04,3.483646e-04,3.490319e-04,3.530619e-04,3.536844e-04,3.568526e-04,3.585881e-04,3.604074e-04,3.630842e-04,3.637305e-04,3.668262e-04,3.671827e-04,3.696996e-04,3.708947e-04,3.723557e-04,3.742324e-04,3.748000e-04,3.770383e-04,3.772086e-04,3.790764e-04,3.798370e-04,3.809206e-04,3.821318e-04,3.825770e-04,3.840520e-04,3.841073e-04,3.853519e-04,3.857782e-04,3.864832e-04,3.871595e-04,3.874524e-04,3.882659e-04,3.891123e-04,3.897133e-04,3.900834e-04,3.902366e-04,3.901870e-04,3.899478e-04,3.895323e-04,3.889531e-04,3.882223e-04,3.873519e-04,3.863528e-04,3.852360e-04,3.840117e-04,3.826896e-04,3.812791e-04,3.797889e-04,3.782274e-04,3.766025e-04,3.749217e-04,3.731919e-04,3.714197e-04,3.696112e-04,3.677723e-04,3.659083e-04
0.000000e+00,1.496576e-14,1.287071e-13,2.704906e-12,1.800838e-11,4.136624e-11,2.296111e-10,2.437353e-10,8.810851e-10,1.192463e-09,2.387788e-09,3.955336e-09,5.374786e-09,1.012096e-08,1.064986e-08,1.923440e-08,2.191879e-08,3.234001e-08,4.213951e-08,5.126696e-08,7.372206e-08,7.724911e-08,1.113303e-07,1.191938e-07,1.543222e-07,1.804054e-07,2.068224e-07,2.585818e-07,2.692503e-07,3.418788e-07,3.544575e-07,4.248554e-07,4.683743e-07,5.182158e-07,6.003392e-07,6.218939e-07,7.357313e-07,7.500638e-07,8.594859e-07,9.170007e-07,9.928421e-07,1.100383e-06,1.135421e-06,1.286793e-06,1.299269e-06,1.446485e-06,1.512580e-06,1.613995e-06,1.739149e-06,1.788798e-06,1.970359e-06,1.977754e-06,2.158136e-06,2.227153e-06,2.351589e-06,2.486108e-06,2.550186e-06,2.753407e-06,2.960747e-06,3.027885e-06,3.171717e-06,3.308428e-06,3.385852e-06,3.593984e-06,3.602705e-06,3.821853e-06,3.883571e-06,4.042896e-06,4.176274e-06,4.265457e-06,4.471247e-06,4.489180e-06,4.713734e-06,4.767716e-06,4.938808e-06,5.064968e-06,5.164113e-06,5.362357e-06,5.389379e-06,5.614357e-06,5.659297e-06,5.838816e-06,5.955258e-06,6.062542e-06,6.249761e-06,6.285339e-06,6.507025e-06,6.542380e-06,6.727435e-06,6.832733e-06,6.946416e-06,7.120480e-06,7.163831e-06,7.379553e-06,7.405320e-06,7.593467e-06,7.686989e-06,7.805470e-06,7.965256e-06,8.015469e-06,8.223379e-06,8.239920e-06,8.429128e-06,8.510806e-06,8.632647e-06,8.777767e-06,8.833878e-06,9.032771e-06,9.040678e-06,9.229281e-06,9.299433e-06,9.423369e-06,9.553949e-06,9.615003e-06,9.804156e-06,9.990807e-06,1.005000e-05,1.017494e-05,1.029145e-05,1.035654e-05,1.052848e-05,1.053559e-05,1.071210e-05,1.076107e-05,1.088606e-05,1.098921e-05,1.105747e-05,1.121293e-05,1.122634e-05,1.139268e-05,1.143222e-05,1.155648e-05,1.164712e-05,1.171778e-05,1.185764e-05,1.187656e-05,1.203287e-05,1.206383e-05,1.218670e-05,1.226573e-05,1.233808e-05,1.246337e-05,1.248704e-05,1.263358e-05,1.265681e-05,1.277774e-05,1.284609e-05,1.291953e-05,1.303128e-05,1.305898e-05,1.319613e-05,1.321243e-05,1.333098e-05,1.338960e-05,1.346357e-05,1.356285e-05,1.359393e-05,1.372208e-05,1.373224e-05,1.384805e-05,1.389784e-05,1.397188e-05,1.405971e-05,1.409358e-05,1.421319e-05,1.421793e-05,1.433073e-05,1.437255e-05,1.444624e-05,1.452364e-05,1.455975e-05,1.467128e-05,1.481552e-05,1.495643e-05,1.509409e-05,1.522855e-05,1.535988e-05,1.548816e-05,1.561344e-05,1.573578e-05,1.585526e-05,1.597192e-05,1.608585e-05,1.619709e-05,1.630570e-05,1.641175e-05,1.651529e-05,1.661638e-05,1.671507e-05,1.681143e-05,1.690550e-05,1.699734e-05,1.708699e-05,1.717452e-05,1.725996e-05,1.734337e-05
0.000000e+00,1.759991e-12,8.388198e-12,7.182100e-11,2.725751e-10,4.929851e-10,1.718932e-09,1.796903e-09,4.750362e-09,6.003189e-09,1.035226e-08,1.548952e-08,1.984063e-08,3.326776e-08,3.469149e-08,5.656210e-08,6.304576e-08,8.715286e-08,1.086981e-07,1.280726e-07,1.737951e-07,1.807892e-07,2.466344e-07,2.614872e-07,3.268137e-07,3.745351e-07,4.224060e-07,5.153106e-07,5.343569e-07,6.634692e-07,6.857655e-07,8.103944e-07,8.873970e-07,9.756270e-07,1.121225e-06,1.159502e-06,1.362198e-06,1.387789e-06,1.583741e-06,1.687166e-06,1.824014e-06,2.018998e-06,2.082766e-06,2.359629e-06,2.382546e-06,2.654126e-06,2.776738e-06,2.965690e-06,3.200225e-06,3.293677e-06,3.637378e-06,3.651442e-06,3.996033e-06,4.128657e-06,4.368845e-06,4.630024e-06,4.754989e-06,5.153623e-06,5.563893e-06,5.697498e-06,5.984947e-06,6.259689e-06,6.415936e-06,6.838255e-06,6.856022e-06,7.304382e-06,7.431295e-06,7.760211e-06,8.036966e-06,8.222725e-06,8.653489e-06,8.691165e-06,9.164798e-06,9.279163e-06,9.642915e-06,9.912366e-06,1.012484e-05,1.055156e-05,1.060992e-05,1.109753e-05,1.119530e-05,1.158707e-05,1.184221e-05,1.207799e-05,1.249103e-05,1.256974e-05,1.306182e-05,1.314055e-05,1.355373e-05,1.378966e-05,1.404503e-05,1.443733e-05,1.453527e-05,1.502406e-05,1.508260e-05,1.551100e-05,1.572458e-05,1.599574e-05,1.636247e-05,1.647795e-05,1.695729e-05,1.699551e-05,1.743348e-05,1.762301e-05,1.790625e-05,1.824437e-05,1.837532e-05,1.884047e-05,1.885899e-05,1.930148e-05,1.946638e-05,1.975813e-05,2.006607e-05,2.021024e-05,2.065763e-05,2.110015e-05,2.124070e-05,2.153765e-05,2.181495e-05,2.196999e-05,2.238008e-05,2.239706e-05,2.281875e-05,2.293584e-05,2.323496e-05,2.348202e-05,2.364560e-05,2.401841e-05,2.405060e-05,2.444989e-05,2.454487e-05,2.484342e-05,2.506126e-05,2.523114e-05,2.556748e-05,2.561299e-05,2.598896e-05,2.606345e-05,2.635902e-05,2.654911e-05,2.672314e-05,2.702442e-05,2.708132e-05,2.743355e-05,2.748936e-05,2.777983e-05,2.794393e-05,2.812016e-05,2.838815e-05,2.845456e-05,2.878303e-05,2.882205e-05,2.910561e-05,2.924567e-05,2.942230e-05,2.965907e-05,2.973314e-05,3.003817e-05,3.006232e-05,3.033741e-05,3.045549e-05,3.063090e-05,3.083868e-05,3.091868e-05,3.120080e-05,3.121197e-05,3.147731e-05,3.157548e-05,3.174824e-05,3.192932e-05,3.201365e-05,3.227360e-05,3.260845e-05,3.293400e-05,3.325038e-05,3.355773e-05,3.385619e-05,3.414590e-05,3.442701e-05,3.469966e-05,3.496401e-05,3.522021e-05,3.546840e-05,3.570875e-05,3.594140e-05,3.616650e-05,3.638421e-05,3.659469e-05,3.679807e-05,3.699453e-05,3.718419e-05,3.736722e-05,3.754376e-05,3.771397e-05,3.787797e-05,3.803592e-05
0.000000e+00,4.709542e-12,1.443304e-11,7.621828e-11,2.299596e-10,3.815959e-10,1.141410e-09,1.187466e-09,2.853010e-09,3.532394e-09,5.827617e-09,8.461981e-09,1.065257e-08,1.727077e-08,1.796374e-08,2.848676e-08,3.157714e-08,4.300955e-08,5.318622e-08,6.232291e-08,8.385833e-08,8.715008e-08,1.181026e-07,1.250734e-07,1.556721e-07,1.779544e-07,2.002418e-07,2.433034e-07,2.520998e-07,3.114499e-07,3.216508e-07,3.784196e-07,4.132905e-07,4.530646e-07,5.183020e-07,5.353745e-07,6.252768e-07,6.365697e-07,7.226424e-07,7.678029e-07,8.272910e-07,9.115577e-07,9.389974e-07,1.057497e-06,1.067262e-06,1.182493e-06,1.234239e-06,1.313663e-06,1.411736e-06,1.450663e-06,1.593135e-06,1.598943e-06,1.740711e-06,1.795017e-06,1.893019e-06,1.999100e-06,2.049684e-06,2.210335e-06,2.374606e-06,2.427878e-06,2.542138e-06,2.650909e-06,2.712584e-06,2.878639e-06,2.885605e-06,3.060877e-06,3.110314e-06,3.238088e-06,3.345222e-06,3.416942e-06,3.582694e-06,3.597154e-06,3.778457e-06,3.822103e-06,3.960596e-06,4.062869e-06,4.143331e-06,4.304453e-06,4.326438e-06,4.509704e-06,4.546359e-06,4.692931e-06,4.788131e-06,4.875933e-06,5.029354e-06,5.058538e-06,5.240584e-06,5.269649e-06,5.421922e-06,5.508671e-06,5.602413e-06,5.746110e-06,5.781929e-06,5.960352e-06,5.981684e-06,6.137573e-06,6.215143e-06,6.313491e-06,6.446261e-06,6.488015e-06,6.661061e-06,6.674838e-06,6.832553e-06,6.900699e-06,7.002421e-06,7.123686e-06,7.170604e-06,7.337044e-06,7.343665e-06,7.501692e-06,7.560517e-06,7.664502e-06,7.774142e-06,7.825434e-06,7.984455e-06,8.141533e-06,8.191383e-06,8.296643e-06,8.394869e-06,8.449761e-06,8.594866e-06,8.600871e-06,8.749957e-06,8.791337e-06,8.897007e-06,8.984256e-06,9.042012e-06,9.173607e-06,9.184968e-06,9.325869e-06,9.359379e-06,9.464716e-06,9.541573e-06,9.601509e-06,9.720191e-06,9.736252e-06,9.868951e-06,9.895246e-06,9.999613e-06,1.006675e-05,1.012825e-05,1.023474e-05,1.025486e-05,1.037947e-05,1.039922e-05,1.050208e-05,1.056023e-05,1.062271e-05,1.071780e-05,1.074138e-05,1.085810e-05,1.087198e-05,1.097289e-05,1.102279e-05,1.108576e-05,1.117027e-05,1.119674e-05,1.130584e-05,1.131449e-05,1.141308e-05,1.145546e-05,1.151849e-05,1.159326e-05,1.162208e-05,1.172388e-05,1.172791e-05,1.182390e-05,1.185948e-05,1.192217e-05,1.198800e-05,1.201871e-05,1.211354e-05,1.223614e-05,1.235586e-05,1.247274e-05,1.258684e-05,1.269822e-05,1.280691e-05,1.291298e-05,1.301648e-05,1.311745e-05,1.321596e-05,1.331204e-05,1.340575e-05,1.349715e-05,1.358627e-05,1.367317e-05,1.375789e-05,1.384048e-05,1.392100e-05,1.399947e-05,1.407596e-05,1.415050e-05,1.422314e-05,1.429391e-05,1.436287e-05
0.000000e+00,8.039120e-16,7.976204e-15,2.205323e-13,1.836433e-12,4.719910e-12,3.387576e-11,3.630190e-11,1.617018e-10,2.299866e-10,5.152437e-10,9.231452e-10,1.312905e-09,2.697048e-09,2.856558e-09,5.531625e-09,6.391907e-09,9.801172e-09,1.308459e-08,1.619799e-08,2.405641e-08,2.531488e-08,3.779228e-08,4.074981e-08,5.430206e-08,6.470749e-08,7.552634e-08,9.748633e-08,1.021309e-07,1.347350e-07,1.405460e-07,1.738816e-07,1.951300e-07,2.200129e-07,2.621704e-07,2.734555e-07,3.344164e-07,3.422425e-07,4.029887e-07,4.355727e-07,4.791629e-07,5.420823e-07,5.628416e-07,6.538553e-07,6.614467e-07,7.519758e-07,7.931539e-07,8.569294e-07,9.365549e-07,9.684075e-07,1.086076e-06,1.090907e-06,1.209583e-06,1.255405e-06,1.338565e-06,1.429213e-06,1.472655e-06,1.611483e-06,1.754681e-06,1.801369e-06,1.901890e-06,1.998046e-06,2.052758e-06,2.200714e-06,2.206941e-06,2.364109e-06,2.408607e-06,2.523945e-06,2.620999e-06,2.686143e-06,2.837202e-06,2.850413e-06,3.016479e-06,3.056572e-06,3.184076e-06,3.278507e-06,3.352958e-06,3.502448e-06,3.522887e-06,3.693643e-06,3.727875e-06,3.865017e-06,3.954309e-06,4.036812e-06,4.181309e-06,4.208843e-06,4.380939e-06,4.408469e-06,4.552938e-06,4.635418e-06,4.724689e-06,4.861816e-06,4.896051e-06,5.066894e-06,5.087354e-06,5.237095e-06,5.311751e-06,5.406542e-06,5.534753e-06,5.575130e-06,5.742762e-06,5.756128e-06,5.909347e-06,5.975670e-06,6.074805e-06,6.193192e-06,6.239058e-06,6.402037e-06,6.408528e-06,6.563678e-06,6.621530e-06,6.723923e-06,6.832065e-06,6.882719e-06,7.040017e-06,7.195776e-06,7.245286e-06,7.349954e-06,7.447783e-06,7.502518e-06,7.647431e-06,7.653436e-06,7.802680e-06,7.844166e-06,7.950228e-06,8.037932e-06,8.096056e-06,8.228686e-06,8.240149e-06,8.382490e-06,8.416390e-06,8.523068e-06,8.601017e-06,8.661871e-06,8.782545e-06,8.798893e-06,8.934127e-06,8.960960e-06,9.067571e-06,9.136253e-06,9.199222e-06,9.308423e-06,9.329080e-06,9.457148e-06,9.477472e-06,9.583427e-06,9.643408e-06,9.707924e-06,9.806241e-06,9.830643e-06,9.951592e-06,9.965987e-06,1.007078e-05,1.012267e-05,1.018821e-05,1.027630e-05,1.030391e-05,1.041787e-05,1.042691e-05,1.053011e-05,1.057452e-05,1.064064e-05,1.071918e-05,1.074948e-05,1.085664e-05,1.086090e-05,1.096214e-05,1.099972e-05,1.106599e-05,1.113567e-05,1.116820e-05,1.126880e-05,1.139913e-05,1.152672e-05,1.165159e-05,1.177378e-05,1.189335e-05,1.201033e-05,1.212475e-05,1.223668e-05,1.234613e-05,1.245317e-05,1.255783e-05,1.266015e-05,1.276017e-05,1.285795e-05,1.295351e-05,1.304691e-05,1.313818e-05,1.322736e-05,1.331450e-05,1.339964e-05,1.348281e-05,1.356406e-05,1.364343e-05,1.372095e-05
0.000000e+00,1.244300e-18,1.453016e-17,5.609956e-16,6.297296e-15,1.902139e-14,2.054016e-13,2.237386e-13,1.474398e-12,2.326923e-12,6.739321e-12,1.478858e-11,2.394702e-11,6.529207e-11,7.080869e-11,1.820556e-10,2.244585e-10,4.194027e-10,6.431736e-10,8.843886e-10,1.604912e-09,1.734021e-09,3.198810e-09,3.592198e-09,5.602324e-09,7.362977e-09,9.380953e-09,1.402869e-08,1.510223e-08,2.348010e-08,2.512302e-08,3.538555e-08,4.265034e-08,5.185176e-08,6.910579e-08,7.407304e-08,1.033975e-07,1.074631e-07,1.413135e-07,1.611294e-07,1.894311e-07,2.338715e-07,2.494586e-07,3.231761e-07,3.297193e-07,4.124058e-07,4.528523e-07,5.189818e-07,6.074777e-07,6.447186e-07,7.913808e-07,7.977067e-07,9.606538e-07,1.027435e-06,1.154117e-06,1.300233e-06,1.373217e-06,1.619249e-06,1.893338e-06,1.987130e-06,2.196421e-06,2.405961e-06,2.529240e-06,2.877223e-06,2.892333e-06,3.286028e-06,3.401769e-06,3.710448e-06,3.979820e-06,4.165506e-06,4.610978e-06,4.650918e-06,5.166206e-06,5.294251e-06,5.710709e-06,6.028090e-06,6.283598e-06,6.810440e-06,6.883885e-06,7.510442e-06,7.638797e-06,8.162011e-06,8.510263e-06,8.837228e-06,9.421617e-06,9.534629e-06,1.025268e-05,1.036937e-05,1.098976e-05,1.134985e-05,1.174424e-05,1.235921e-05,1.251442e-05,1.329861e-05,1.339357e-05,1.409508e-05,1.444898e-05,1.490214e-05,1.552154e-05,1.571809e-05,1.654127e-05,1.660739e-05,1.737005e-05,1.770277e-05,1.820285e-05,1.880408e-05,1.903812e-05,1.987438e-05,1.990783e-05,2.071020e-05,2.101073e-05,2.154423e-05,2.210967e-05,2.237516e-05,2.320176e-05,2.402289e-05,2.428431e-05,2.483744e-05,2.535483e-05,2.564440e-05,2.641106e-05,2.644282e-05,2.723183e-05,2.745095e-05,2.801060e-05,2.847264e-05,2.877840e-05,2.947450e-05,2.953455e-05,3.027843e-05,3.045507e-05,3.100949e-05,3.141310e-05,3.172723e-05,3.234748e-05,3.243122e-05,3.312106e-05,3.325730e-05,3.379642e-05,3.414179e-05,3.445702e-05,3.500034e-05,3.510262e-05,3.573302e-05,3.583246e-05,3.634806e-05,3.663779e-05,3.694763e-05,3.741609e-05,3.753165e-05,3.810006e-05,3.816722e-05,3.865285e-05,3.889113e-05,3.919003e-05,3.958788e-05,3.971165e-05,4.021776e-05,4.025758e-05,4.070844e-05,4.090043e-05,4.118382e-05,4.151668e-05,4.164401e-05,4.208916e-05,4.210665e-05,4.251942e-05,4.267071e-05,4.293498e-05,4.320925e-05,4.333602e-05,4.372273e-05,4.421161e-05,4.467641e-05,4.511764e-05,4.553586e-05,4.593164e-05,4.630553e-05,4.665814e-05,4.699004e-05,4.730185e-05,4.759414e-05,4.786752e-05,4.812258e-05,4.835991e-05,4.858010e-05,4.878373e-05,4.897137e-05,4.914360e-05,4.930096e-05,4.944400e-05,4.957327e-05,4.968928e-05,4.979257e-05,4.988362e-05,4.996294e-05
0.000000e+00,3.727443e-17,4.338389e-16,1.668349e-14,1.866761e-13,5.629234e-13,6.053393e-12,6.592699e-12,4.326719e-11,6.820775e-11,1.969663e-10,4.311283e-10,6.969087e-10,1.892075e-09,2.051140e-09,5.246354e-09,6.459599e-09,1.201517e-08,1.835907e-08,2.516819e-08,4.537723e-08,4.898206e-08,8.962922e-08,1.004820e-07,1.556306e-07,2.036061e-07,2.583086e-07,3.834442e-07,4.122147e-07,6.355051e-07,6.790874e-07,9.502363e-07,1.141306e-06,1.382554e-06,1.833291e-06,1.962754e-06,2.725200e-06,2.830717e-06,3.708091e-06,4.221020e-06,4.953078e-06,6.101897e-06,6.504741e-06,8.409943e-06,8.579074e-06,1.071709e-05,1.176349e-05,1.347530e-05,1.576804e-05,1.673355e-05,2.053982e-05,2.070413e-05,2.494015e-05,2.667814e-05,2.997789e-05,3.378814e-05,3.569289e-05,4.212081e-05,4.929253e-05,5.174890e-05,5.723362e-05,6.272914e-05,6.596401e-05,7.510076e-05,7.549765e-05,8.584236e-05,8.888460e-05,9.699981e-05,1.040828e-04,1.089655e-04,1.206789e-04,1.217290e-04,1.352740e-04,1.386388e-04,1.495788e-04,1.579115e-04,1.646165e-04,1.784309e-04,1.803555e-04,1.967599e-04,2.001172e-04,2.137902e-04,2.228791e-04,2.314033e-04,2.466154e-04,2.495535e-04,2.681929e-04,2.712173e-04,2.872716e-04,2.965704e-04,3.067385e-04,3.225566e-04,3.265417e-04,3.466288e-04,3.490558e-04,3.669476e-04,3.759479e-04,3.874462e-04,4.031139e-04,4.080735e-04,4.287795e-04,4.304379e-04,4.495154e-04,4.578076e-04,4.702342e-04,4.851157e-04,4.908907e-04,5.114417e-04,5.122609e-04,5.318459e-04,5.391480e-04,5.520648e-04,5.656890e-04,5.720617e-04,5.918029e-04,6.112566e-04,6.174163e-04,6.303939e-04,6.424633e-04,6.491881e-04,6.668855e-04,6.676152e-04,6.856535e-04,6.906318e-04,7.032835e-04,7.136584e-04,7.204883e-04,7.359284e-04,7.372531e-04,7.535652e-04,7.574115e-04,7.694139e-04,7.780836e-04,7.847907e-04,7.979265e-04,7.996888e-04,8.141031e-04,8.169275e-04,8.280302e-04,8.350791e-04,8.414683e-04,8.523781e-04,8.544171e-04,8.668775e-04,8.688260e-04,8.788517e-04,8.844276e-04,8.903431e-04,8.991915e-04,9.013560e-04,9.118959e-04,9.131291e-04,9.219687e-04,9.262547e-04,9.315816e-04,9.385845e-04,9.407422e-04,9.494586e-04,9.501369e-04,9.577397e-04,9.609323e-04,9.655946e-04,9.709918e-04,9.730332e-04,9.800654e-04,9.803384e-04,9.867014e-04,9.889954e-04,9.929518e-04,9.969873e-04,9.988273e-04,1.004339e-03,1.011074e-03,1.017220e-03,1.022800e-03,1.027840e-03,1.032364e-03,1.036398e-03,1.039965e-03,1.043088e-03,1.045791e-03,1.048096e-03,1.050025e-03,1.051599e-03,1.052838e-03,1.053763e-03,1.054392e-03,1.054744e-03,1.054836e-03,1.054685e-03,1.054308e-03,1.053719e-03,1.052934e-03,1.051967e-03,1.050830e-03,1.049538e-03
0.000000e+00,2.745218e-13,1.481391e-12,1.481949e-11,6.083015e-11,1.132997e-10,4.156916e-10,4.352186e-10,1.185015e-09,1.506438e-09,2.629465e-09,3.964111e-09,5.098496e-09,8.614002e-09,8.987909e-09,1.476067e-08,1.648350e-08,2.294050e-08,2.878151e-08,3.408881e-08,4.679597e-08,4.875953e-08,6.744272e-08,7.169678e-08,9.052282e-08,1.043553e-07,1.182671e-07,1.452978e-07,1.508373e-07,1.883099e-07,1.947618e-07,2.306932e-07,2.527699e-07,2.779418e-07,3.191851e-07,3.299667e-07,3.866427e-07,3.937493e-07,4.478153e-07,4.761106e-07,5.133062e-07,5.658463e-07,5.829178e-07,6.564383e-07,6.624822e-07,7.336456e-07,7.655098e-07,8.143111e-07,8.744016e-07,8.982032e-07,9.850897e-07,9.886242e-07,1.074741e-06,1.107648e-06,1.166931e-06,1.230958e-06,1.261440e-06,1.358054e-06,1.456570e-06,1.488465e-06,1.556791e-06,1.621740e-06,1.658530e-06,1.757461e-06,1.761608e-06,1.865858e-06,1.895236e-06,1.971120e-06,2.034701e-06,2.077245e-06,2.175521e-06,2.184092e-06,2.291529e-06,2.317388e-06,2.399432e-06,2.460019e-06,2.507687e-06,2.603155e-06,2.616184e-06,2.724824e-06,2.746560e-06,2.833512e-06,2.890020e-06,2.942162e-06,3.033339e-06,3.050693e-06,3.159029e-06,3.176340e-06,3.267101e-06,3.318863e-06,3.374844e-06,3.460762e-06,3.482200e-06,3.589111e-06,3.601909e-06,3.695529e-06,3.742184e-06,3.801405e-06,3.881483e-06,3.906697e-06,4.011365e-06,4.019711e-06,4.115373e-06,4.156783e-06,4.218687e-06,4.292626e-06,4.321276e-06,4.423114e-06,4.427171e-06,4.524174e-06,4.560360e-06,4.624433e-06,4.692142e-06,4.723872e-06,4.822470e-06,4.920212e-06,4.951305e-06,5.017081e-06,5.078614e-06,5.113065e-06,5.204366e-06,5.208152e-06,5.302332e-06,5.328538e-06,5.395594e-06,5.451109e-06,5.487932e-06,5.572061e-06,5.579339e-06,5.669809e-06,5.691382e-06,5.759338e-06,5.809062e-06,5.847922e-06,5.925093e-06,5.935559e-06,6.022246e-06,6.039470e-06,6.107984e-06,6.152191e-06,6.192770e-06,6.263257e-06,6.276607e-06,6.359494e-06,6.372668e-06,6.441433e-06,6.480428e-06,6.522427e-06,6.586543e-06,6.602478e-06,6.681589e-06,6.691019e-06,6.759764e-06,6.793865e-06,6.837006e-06,6.895090e-06,6.913321e-06,6.988712e-06,6.994703e-06,7.063184e-06,7.092717e-06,7.136743e-06,7.189144e-06,7.209395e-06,7.281145e-06,7.283996e-06,7.351999e-06,7.377288e-06,7.421963e-06,7.469034e-06,7.491044e-06,7.559249e-06,7.647949e-06,7.735150e-06,7.820867e-06,7.905118e-06,7.987920e-06,8.069290e-06,8.149246e-06,8.227805e-06,8.304985e-06,8.380805e-06,8.455281e-06,8.528433e-06,8.600278e-06,8.670834e-06,8.740121e-06,8.808155e-06,8.874955e-06,8.940539e-06,9.004925e-06,9.068131e-06,9.130174e-06,9.191073e-06,9.250845e-06,9.309507e-06
0.000000e+00,1.068729e-16,1.164915e-15,3.898118e-14,3.839336e-13,1.079136e-12,9.670311e-12,1.045388e-11,5.722250e-11,8.586711e-11,2.190928e-10,4.339991e-10,6.574824e-10,1.545439e-09,1.655048e-09,3.650761e-09,4.343423e-09,7.269536e-09,1.030656e-08,1.334452e-08,2.155373e-08,2.292936e-08,3.729547e-08,4.086847e-08,5.790898e-08,7.162908e-08,8.638574e-08,1.176283e-07,1.244294e-07,1.737621e-07,1.828160e-07,2.360576e-07,2.710298e-07,3.128846e-07,3.857688e-07,4.056629e-07,5.156328e-07,5.300361e-07,6.438366e-07,7.062455e-07,7.911091e-07,9.161810e-07,9.580743e-07,1.145149e-06,1.160992e-06,1.352551e-06,1.441214e-06,1.580304e-06,1.756811e-06,1.828259e-06,2.096100e-06,2.107221e-06,2.383365e-06,2.491425e-06,2.689463e-06,2.908011e-06,3.013689e-06,3.355245e-06,3.713254e-06,3.831141e-06,4.086781e-06,4.333529e-06,4.474842e-06,4.860117e-06,4.876427e-06,5.290504e-06,5.408544e-06,5.716039e-06,5.976429e-06,6.151997e-06,6.561409e-06,6.597361e-06,7.051129e-06,7.161176e-06,7.512329e-06,7.773494e-06,7.980016e-06,8.396225e-06,8.453282e-06,8.931255e-06,9.027340e-06,9.413100e-06,9.664925e-06,9.898025e-06,1.030719e-05,1.038528e-05,1.087415e-05,1.095247e-05,1.136397e-05,1.159923e-05,1.185410e-05,1.224604e-05,1.234396e-05,1.283300e-05,1.289161e-05,1.332070e-05,1.353474e-05,1.380658e-05,1.417436e-05,1.429020e-05,1.477114e-05,1.480949e-05,1.524903e-05,1.543925e-05,1.572352e-05,1.606286e-05,1.619428e-05,1.666103e-05,1.667961e-05,1.712349e-05,1.728888e-05,1.758142e-05,1.789011e-05,1.803460e-05,1.848284e-05,1.892594e-05,1.906663e-05,1.936376e-05,1.964113e-05,1.979616e-05,2.020603e-05,2.022300e-05,2.064418e-05,2.076108e-05,2.105960e-05,2.130606e-05,2.146920e-05,2.184081e-05,2.187289e-05,2.227062e-05,2.236519e-05,2.266236e-05,2.287910e-05,2.304807e-05,2.338248e-05,2.342772e-05,2.380130e-05,2.387529e-05,2.416881e-05,2.435751e-05,2.453025e-05,2.482917e-05,2.488562e-05,2.523495e-05,2.529028e-05,2.557825e-05,2.574091e-05,2.591556e-05,2.618112e-05,2.624691e-05,2.657233e-05,2.661099e-05,2.689188e-05,2.703062e-05,2.720558e-05,2.744013e-05,2.751350e-05,2.781569e-05,2.783962e-05,2.811221e-05,2.822924e-05,2.840311e-05,2.860911e-05,2.868845e-05,2.896830e-05,2.897938e-05,2.924273e-05,2.934021e-05,2.951180e-05,2.969174e-05,2.977558e-05,3.003414e-05,3.036756e-05,3.069218e-05,3.100817e-05,3.131569e-05,3.161491e-05,3.190600e-05,3.218914e-05,3.246450e-05,3.273225e-05,3.299256e-05,3.324559e-05,3.349152e-05,3.373050e-05,3.396271e-05,3.418831e-05,3.440745e-05,3.462029e-05,3.482699e-05,3.502770e-05,3.522258e-05,3.541176e-05,3.559539e-05,3.577362e-05,3.594658e-05
0.000000e+00,9.834473e-16,9.681149e-15,2.633672e-13,2.161675e-12,5.513158e-12,3.882891e-11,4.157948e-11,1.821790e-10,2.580814e-10,5.731114e-10,1.021024e-09,1.447939e-09,2.963276e-09,3.138102e-09,6.081711e-09,7.033528e-09,1.082982e-08,1.451847e-08,1.804003e-08,2.700062e-08,2.844212e-08,4.277130e-08,4.616863e-08,6.168758e-08,7.351635e-08,8.571170e-08,1.101021e-07,1.151961e-07,1.503285e-07,1.564786e-07,1.911552e-07,2.127588e-07,2.376104e-07,2.787278e-07,2.895429e-07,3.467380e-07,3.539430e-07,4.089339e-07,4.378091e-07,4.758349e-07,5.296302e-07,5.471210e-07,6.224565e-07,6.286480e-07,7.014968e-07,7.340724e-07,7.838945e-07,8.451060e-07,8.693049e-07,9.573904e-07,9.609648e-07,1.047824e-06,1.080894e-06,1.140293e-06,1.204182e-06,1.234500e-06,1.330164e-06,1.427026e-06,1.458234e-06,1.524842e-06,1.587841e-06,1.623389e-06,1.718490e-06,1.722461e-06,1.821872e-06,1.849744e-06,1.921453e-06,1.981218e-06,2.021049e-06,2.112574e-06,2.120525e-06,2.219756e-06,2.243523e-06,2.318633e-06,2.373812e-06,2.417057e-06,2.503229e-06,2.514944e-06,2.612217e-06,2.631592e-06,2.708809e-06,2.758749e-06,2.804664e-06,2.884574e-06,2.899730e-06,2.993964e-06,3.008962e-06,3.087331e-06,3.131829e-06,3.179798e-06,3.253106e-06,3.271339e-06,3.361934e-06,3.372741e-06,3.451564e-06,3.490693e-06,3.540217e-06,3.606932e-06,3.627881e-06,3.714550e-06,3.721440e-06,3.800218e-06,3.834204e-06,3.884882e-06,3.945219e-06,3.968543e-06,4.051202e-06,4.054487e-06,4.132860e-06,4.162014e-06,4.213524e-06,4.267809e-06,4.293198e-06,4.371888e-06,4.449604e-06,4.474268e-06,4.526352e-06,4.574968e-06,4.602143e-06,4.674011e-06,4.676986e-06,4.750892e-06,4.771419e-06,4.823871e-06,4.867219e-06,4.895936e-06,4.961436e-06,4.967096e-06,5.037365e-06,5.054098e-06,5.106754e-06,5.145232e-06,5.175276e-06,5.234867e-06,5.242942e-06,5.309767e-06,5.323032e-06,5.375761e-06,5.409755e-06,5.440939e-06,5.495065e-06,5.505311e-06,5.568892e-06,5.578993e-06,5.631694e-06,5.661566e-06,5.693729e-06,5.742813e-06,5.755009e-06,5.815548e-06,5.822763e-06,5.875357e-06,5.901445e-06,5.934448e-06,5.978885e-06,5.992834e-06,6.050527e-06,6.055113e-06,6.107538e-06,6.130154e-06,6.163878e-06,6.204035e-06,6.219561e-06,6.274596e-06,6.276784e-06,6.328995e-06,6.348425e-06,6.382769e-06,6.418984e-06,6.435929e-06,6.488486e-06,6.556955e-06,6.624414e-06,6.690888e-06,6.756398e-06,6.820968e-06,6.884618e-06,6.947370e-06,7.009244e-06,7.070261e-06,7.130441e-06,7.189802e-06,7.248363e-06,7.306143e-06,7.363159e-06,7.419428e-06,7.474968e-06,7.529795e-06,7.583924e-06,7.637371e-06,7.690152e-06,7.742280e-06,7.793771e-06,7.844638e-06,7.894895e-06
0.000000e+00,5.014722e-18,5.908269e-17,2.322674e-15,2.651606e-14,8.084836e-14,8.947312e-13,9.755906e-13,6.590546e-12,1.047243e-11,3.085780e-11,6.866974e-11,1.122213e-10,3.123269e-10,3.393090e-10,8.912051e-10,1.104249e-09,2.095145e-09,3.248107e-09,4.503389e-09,8.302712e-09,8.989314e-09,1.686051e-08,1.899397e-08,2.998420e-08,3.970226e-08,5.091823e-08,7.698255e-08,8.303965e-08,1.306624e-07,1.400627e-07,1.991359e-07,2.412620e-07,2.949181e-07,3.962792e-07,4.256162e-07,5.999929e-07,6.243114e-07,8.279340e-07,9.479806e-07,1.120379e-06,1.393061e-06,1.489216e-06,1.947140e-06,1.988018e-06,2.507485e-06,2.763378e-06,3.184033e-06,3.750966e-06,3.990799e-06,4.941808e-06,4.983045e-06,6.050870e-06,6.491415e-06,7.331346e-06,8.306493e-06,8.795931e-06,1.045644e-05,1.232363e-05,1.296637e-05,1.440699e-05,1.585760e-05,1.671465e-05,1.914716e-05,1.925320e-05,2.202763e-05,2.284724e-05,2.504127e-05,2.696501e-05,2.829572e-05,3.150242e-05,3.179086e-05,3.552485e-05,3.645619e-05,3.949418e-05,4.181795e-05,4.369372e-05,4.757449e-05,4.811681e-05,5.275535e-05,5.370810e-05,5.759990e-05,6.019700e-05,6.263982e-05,6.701578e-05,6.786338e-05,7.325789e-05,7.413598e-05,7.880986e-05,8.152661e-05,8.450514e-05,8.915469e-05,9.032903e-05,9.626645e-05,9.698584e-05,1.023020e-04,1.049848e-04,1.084203e-04,1.131159e-04,1.146056e-04,1.208428e-04,1.213435e-04,1.271163e-04,1.296326e-04,1.334115e-04,1.379491e-04,1.397135e-04,1.460084e-04,1.462599e-04,1.522825e-04,1.545335e-04,1.585227e-04,1.627403e-04,1.647166e-04,1.708524e-04,1.769189e-04,1.788439e-04,1.829059e-04,1.866914e-04,1.888037e-04,1.943733e-04,1.946032e-04,2.002964e-04,2.018704e-04,2.058758e-04,2.091659e-04,2.113345e-04,2.162448e-04,2.166666e-04,2.218667e-04,2.230946e-04,2.269302e-04,2.297045e-04,2.318530e-04,2.360660e-04,2.366318e-04,2.412638e-04,2.421723e-04,2.457467e-04,2.480184e-04,2.500790e-04,2.536008e-04,2.542595e-04,2.582874e-04,2.589177e-04,2.621627e-04,2.639686e-04,2.658854e-04,2.687541e-04,2.694562e-04,2.728760e-04,2.732763e-04,2.761461e-04,2.775379e-04,2.792681e-04,2.815429e-04,2.822439e-04,2.850754e-04,2.852958e-04,2.877652e-04,2.888019e-04,2.903156e-04,2.920671e-04,2.927294e-04,2.950093e-04,2.950978e-04,2.971584e-04,2.979006e-04,2.991797e-04,3.004828e-04,3.010764e-04,3.028517e-04,3.050149e-04,3.069800e-04,3.087548e-04,3.103470e-04,3.117646e-04,3.130152e-04,3.141065e-04,3.150459e-04,3.158409e-04,3.164987e-04,3.170263e-04,3.174306e-04,3.177183e-04,3.178958e-04,3.179694e-04,3.179450e-04,3.178285e-04,3.176254e-04,3.173410e-04,3.169806e-04,3.165488e-04,3.160506e-04,3.154902e-04,3.148721e-04
0.000000e+00,4.587402e-12,1.442279e-11,7.851629e-11,2.415444e-10,4.049206e-10,1.247286e-09,1.299373e-09,3.244485e-09,4.067613e-09,6.952367e-09,1.042536e-08,1.341586e-08,2.282547e-08,2.383291e-08,3.937008e-08,4.397254e-08,6.099001e-08,7.604440e-08,8.945470e-08,1.206659e-07,1.253913e-07,1.693429e-07,1.791385e-07,2.217944e-07,2.525756e-07,2.831839e-07,3.419473e-07,3.539044e-07,4.343013e-07,4.480832e-07,5.246688e-07,5.716591e-07,6.252456e-07,7.131807e-07,7.362117e-07,8.576854e-07,8.729717e-07,9.897231e-07,1.051167e-06,1.132319e-06,1.247714e-06,1.285406e-06,1.448862e-06,1.462381e-06,1.622506e-06,1.694768e-06,1.806113e-06,1.944327e-06,1.999409e-06,2.202083e-06,2.210380e-06,2.413788e-06,2.492142e-06,2.634151e-06,2.788742e-06,2.862775e-06,3.099245e-06,3.343131e-06,3.422670e-06,3.593997e-06,3.758010e-06,3.851400e-06,4.104244e-06,4.114896e-06,4.384042e-06,4.460356e-06,4.658402e-06,4.825340e-06,4.937543e-06,5.198213e-06,5.221044e-06,5.508491e-06,5.578021e-06,5.799484e-06,5.963844e-06,6.093635e-06,6.354802e-06,6.390568e-06,6.689923e-06,6.750054e-06,6.991353e-06,7.148805e-06,7.294525e-06,7.550302e-06,7.599121e-06,7.904839e-06,7.953838e-06,8.211390e-06,8.358749e-06,8.518498e-06,8.764412e-06,8.825905e-06,9.133362e-06,9.170249e-06,9.440637e-06,9.575722e-06,9.747508e-06,9.980331e-06,1.005377e-05,1.035922e-05,1.038361e-05,1.066368e-05,1.078514e-05,1.096697e-05,1.118452e-05,1.126893e-05,1.156941e-05,1.158140e-05,1.186827e-05,1.197543e-05,1.216537e-05,1.236633e-05,1.246058e-05,1.275380e-05,1.304492e-05,1.313762e-05,1.333383e-05,1.351753e-05,1.362044e-05,1.389335e-05,1.390468e-05,1.418645e-05,1.426489e-05,1.446569e-05,1.463199e-05,1.474233e-05,1.499449e-05,1.501631e-05,1.528758e-05,1.535227e-05,1.555608e-05,1.570522e-05,1.582178e-05,1.605324e-05,1.608463e-05,1.634459e-05,1.639624e-05,1.660164e-05,1.673415e-05,1.685575e-05,1.706691e-05,1.710689e-05,1.735504e-05,1.739447e-05,1.760019e-05,1.771679e-05,1.784232e-05,1.803385e-05,1.808143e-05,1.831750e-05,1.834562e-05,1.855052e-05,1.865209e-05,1.878050e-05,1.895325e-05,1.900743e-05,1.923132e-05,1.924910e-05,1.945217e-05,1.953966e-05,1.966999e-05,1.982494e-05,1.988477e-05,2.009654e-05,2.010495e-05,2.030530e-05,2.037972e-05,2.051106e-05,2.064928e-05,2.071384e-05,2.091366e-05,2.117289e-05,2.142703e-05,2.167610e-05,2.192016e-05,2.215925e-05,2.239343e-05,2.262275e-05,2.284726e-05,2.306702e-05,2.328208e-05,2.349251e-05,2.369836e-05,2.389970e-05,2.409659e-05,2.428908e-05,2.447725e-05,2.466116e-05,2.484086e-05,2.501643e-05,2.518793e-05,2.535542e-05,2.551896e-05,2.567863e-05,2.583448e-05
0.000000e+00,6.358975e-18,7.180154e-17,2.583354e-15,2.717780e-14,7.920810e-14,7.795775e-13,8.459724e-13,5.084738e-12,7.827437e-12,2.130230e-11,4.447373e-11,6.973742e-11,1.771530e-10,1.909818e-10,4.570101e-10,5.541769e-10,9.837243e-10,1.454048e-09,1.943078e-09,3.331852e-09,3.572206e-09,6.177413e-09,6.847333e-09,1.013211e-08,1.286352e-08,1.586917e-08,2.241605e-08,2.386894e-08,3.464469e-08,3.666176e-08,4.872681e-08,5.681719e-08,6.664728e-08,8.409676e-08,8.892502e-08,1.160529e-07,1.196562e-07,1.484864e-07,1.645452e-07,1.866346e-07,2.196700e-07,2.308529e-07,2.814380e-07,2.857674e-07,3.386247e-07,3.633883e-07,4.025842e-07,4.528920e-07,4.734247e-07,5.511931e-07,5.544480e-07,6.358775e-07,6.680457e-07,7.274114e-07,7.935094e-07,8.256784e-07,9.305172e-07,1.041727e-06,1.078623e-06,1.159075e-06,1.237278e-06,1.282298e-06,1.405855e-06,1.411111e-06,1.545214e-06,1.583668e-06,1.684291e-06,1.769991e-06,1.828020e-06,1.964077e-06,1.976073e-06,2.128123e-06,2.165173e-06,2.283843e-06,2.372530e-06,2.442912e-06,2.585413e-06,2.605015e-06,2.769845e-06,2.803112e-06,2.937105e-06,3.024946e-06,3.106510e-06,3.250265e-06,3.277783e-06,3.450663e-06,3.478456e-06,3.624900e-06,3.708945e-06,3.800255e-06,3.941194e-06,3.976505e-06,4.153435e-06,4.174703e-06,4.330846e-06,4.409010e-06,4.508548e-06,4.643688e-06,4.686365e-06,4.864131e-06,4.878345e-06,5.041690e-06,5.112623e-06,5.218898e-06,5.346195e-06,5.395620e-06,5.571730e-06,5.578760e-06,5.747112e-06,5.810050e-06,5.921658e-06,6.039820e-06,6.095267e-06,6.267848e-06,6.439316e-06,6.493938e-06,6.609593e-06,6.717912e-06,6.778607e-06,6.939612e-06,6.946294e-06,7.112592e-06,7.158900e-06,7.277449e-06,7.375651e-06,7.440815e-06,7.589758e-06,7.602647e-06,7.762903e-06,7.801127e-06,7.921551e-06,8.009678e-06,8.078556e-06,8.215341e-06,8.233893e-06,8.387536e-06,8.418060e-06,8.539465e-06,8.617785e-06,8.689663e-06,8.814479e-06,8.838113e-06,8.984805e-06,9.008112e-06,9.129728e-06,9.198660e-06,9.272875e-06,9.386110e-06,9.414240e-06,9.553821e-06,9.570451e-06,9.691617e-06,9.751681e-06,9.827627e-06,9.929801e-06,9.961853e-06,1.009430e-05,1.010482e-05,1.022497e-05,1.027675e-05,1.035388e-05,1.044560e-05,1.048102e-05,1.060641e-05,1.061139e-05,1.073006e-05,1.077415e-05,1.085198e-05,1.093390e-05,1.097218e-05,1.109067e-05,1.124448e-05,1.139537e-05,1.154337e-05,1.168852e-05,1.183085e-05,1.197041e-05,1.210722e-05,1.224133e-05,1.237277e-05,1.250160e-05,1.262784e-05,1.275155e-05,1.287276e-05,1.299151e-05,1.310785e-05,1.322182e-05,1.333346e-05,1.344280e-05,1.354991e-05,1.365480e-05,1.375753e-05,1.385814e-05,1.395667e-05,1.405315e-05
0.000000e+00,3.557882e-16,3.617307e-15,1.050054e-13,9.120587e-13,2.396874e-12,1.816902e-11,1.951195e-11,9.140147e-11,1.317164e-10,3.047145e-10,5.598939e-10,8.092796e-10,1.722929e-09,1.830351e-09,3.677375e-09,4.285898e-09,6.747851e-09,9.177504e-09,1.152101e-08,1.755811e-08,1.853727e-08,2.836726e-08,3.072133e-08,4.158019e-08,4.996977e-08,5.871954e-08,7.652025e-08,8.028826e-08,1.067415e-07,1.114550e-07,1.384833e-07,1.557032e-07,1.758656e-07,2.100352e-07,2.191871e-07,2.686927e-07,2.750585e-07,3.245729e-07,3.512167e-07,3.869641e-07,4.387892e-07,4.559497e-07,5.315617e-07,5.378968e-07,6.137834e-07,6.485103e-07,7.025529e-07,7.704650e-07,7.977672e-07,8.992869e-07,9.034765e-07,1.006940e-06,1.047160e-06,1.120529e-06,1.201047e-06,1.239832e-06,1.364609e-06,1.494608e-06,1.537267e-06,1.629565e-06,1.718415e-06,1.769210e-06,1.907426e-06,1.913270e-06,2.061469e-06,2.103669e-06,2.213534e-06,2.306515e-06,2.369193e-06,2.515344e-06,2.528179e-06,2.690233e-06,2.729553e-06,2.855098e-06,2.948559e-06,3.022530e-06,3.171802e-06,3.192288e-06,3.364142e-06,3.398745e-06,3.537872e-06,3.628881e-06,3.713263e-06,3.861727e-06,3.890113e-06,4.068226e-06,4.096829e-06,4.247417e-06,4.333759e-06,4.427508e-06,4.572115e-06,4.608331e-06,4.789724e-06,4.811523e-06,4.971537e-06,5.051630e-06,5.153625e-06,5.292111e-06,5.335851e-06,5.518086e-06,5.532661e-06,5.700207e-06,5.772997e-06,5.882099e-06,6.012858e-06,6.063653e-06,6.244767e-06,6.252001e-06,6.425344e-06,6.490202e-06,6.605293e-06,6.727256e-06,6.784530e-06,6.962973e-06,7.140549e-06,7.197178e-06,7.317187e-06,7.429712e-06,7.492821e-06,7.660430e-06,7.667391e-06,7.840840e-06,7.889197e-06,8.013114e-06,8.115894e-06,8.184164e-06,8.340411e-06,8.353945e-06,8.522415e-06,8.562649e-06,8.689535e-06,8.782519e-06,8.855269e-06,8.999942e-06,9.019583e-06,9.182449e-06,9.214846e-06,9.343839e-06,9.427170e-06,9.503727e-06,9.636857e-06,9.662092e-06,9.818913e-06,9.843860e-06,9.974172e-06,1.004814e-05,1.012785e-05,1.024965e-05,1.027994e-05,1.043043e-05,1.044838e-05,1.057930e-05,1.064429e-05,1.072654e-05,1.083736e-05,1.087216e-05,1.101614e-05,1.102758e-05,1.115847e-05,1.121495e-05,1.129916e-05,1.139944e-05,1.143821e-05,1.157561e-05,1.158107e-05,1.171136e-05,1.175982e-05,1.184546e-05,1.193571e-05,1.197792e-05,1.210874e-05,1.227892e-05,1.244626e-05,1.261078e-05,1.277248e-05,1.293139e-05,1.308753e-05,1.324092e-05,1.339158e-05,1.353953e-05,1.368481e-05,1.382743e-05,1.396742e-05,1.410481e-05,1.423964e-05,1.437192e-05,1.450169e-05,1.462898e-05,1.475382e-05,1.487625e-05,1.499628e-05,1.511397e-05,1.522933e-05,1.534240e-05,1.545322e-05
0.000000e+00,3.402253e-12,1.209705e-11,7.476466e-11,2.430096e-10,4.148451e-10,1.307391e-09,1.362464e-09,3.392460e-09,4.235358e-09,7.123883e-09,1.049631e-08,1.333558e-08,2.205461e-08,2.297734e-08,3.714809e-08,4.135241e-08,5.700749e-08,7.102425e-08,8.363959e-08,1.134038e-07,1.179520e-07,1.606546e-07,1.702518e-07,2.122842e-07,2.427957e-07,2.732361e-07,3.318450e-07,3.437863e-07,4.241073e-07,4.378718e-07,5.142770e-07,5.610575e-07,6.142875e-07,7.013253e-07,7.240519e-07,8.434122e-07,8.583704e-07,9.721476e-07,1.031692e-06,1.109983e-06,1.220627e-06,1.256596e-06,1.411630e-06,1.424385e-06,1.574695e-06,1.642079e-06,1.745382e-06,1.872758e-06,1.923267e-06,2.107914e-06,2.115435e-06,2.298887e-06,2.369102e-06,2.495749e-06,2.632758e-06,2.698067e-06,2.905415e-06,3.117378e-06,3.186114e-06,3.333551e-06,3.473932e-06,3.553545e-06,3.767983e-06,3.776982e-06,4.003501e-06,4.067431e-06,4.232754e-06,4.371481e-06,4.464411e-06,4.679387e-06,4.698156e-06,4.933689e-06,4.990450e-06,5.170724e-06,5.304019e-06,5.408991e-06,5.619483e-06,5.648236e-06,5.888216e-06,5.936279e-06,6.128702e-06,6.253884e-06,6.369481e-06,6.571813e-06,6.610350e-06,6.851118e-06,6.889619e-06,7.091607e-06,7.206893e-06,7.331650e-06,7.523256e-06,7.571088e-06,7.809777e-06,7.838362e-06,8.047578e-06,8.151895e-06,8.284363e-06,8.463566e-06,8.520012e-06,8.754416e-06,8.773111e-06,8.987470e-06,9.080292e-06,9.219079e-06,9.384893e-06,9.449154e-06,9.677614e-06,9.686718e-06,9.904382e-06,9.985591e-06,1.012939e-05,1.028136e-05,1.035257e-05,1.057387e-05,1.079324e-05,1.086302e-05,1.101062e-05,1.114868e-05,1.122597e-05,1.143076e-05,1.143925e-05,1.165043e-05,1.170918e-05,1.185947e-05,1.198386e-05,1.206635e-05,1.225475e-05,1.227104e-05,1.247352e-05,1.252179e-05,1.267378e-05,1.278494e-05,1.287179e-05,1.304417e-05,1.306754e-05,1.326103e-05,1.329946e-05,1.345225e-05,1.355078e-05,1.364118e-05,1.379812e-05,1.382783e-05,1.401220e-05,1.404148e-05,1.419427e-05,1.428086e-05,1.437407e-05,1.451626e-05,1.455159e-05,1.472683e-05,1.474770e-05,1.489980e-05,1.497519e-05,1.507051e-05,1.519875e-05,1.523897e-05,1.540519e-05,1.541839e-05,1.556918e-05,1.563415e-05,1.573095e-05,1.584606e-05,1.589051e-05,1.604789e-05,1.605413e-05,1.620308e-05,1.625842e-05,1.635612e-05,1.645895e-05,1.650701e-05,1.665577e-05,1.684890e-05,1.703840e-05,1.722431e-05,1.740666e-05,1.758551e-05,1.776089e-05,1.793286e-05,1.810146e-05,1.826675e-05,1.842876e-05,1.858755e-05,1.874316e-05,1.889565e-05,1.904506e-05,1.919144e-05,1.933485e-05,1.947532e-05,1.961291e-05,1.974767e-05,1.987965e-05,2.000888e-05,2.013543e-05,2.025934e-05,2.038065e-05
0.000000e+00,1.220364e-13,8.384189e-13,1.194291e-11,6.030827e-11,1.221896e-10,5.248734e-10,5.523437e-10,1.669847e-09,2.173181e-09,3.999785e-09,6.266307e-09,8.251561e-09,1.464151e-08,1.533719e-08,2.631902e-08,2.965438e-08,4.225197e-08,5.367606e-08,6.402033e-08,8.853193e-08,9.228333e-08,1.275061e-07,1.354159e-07,1.700056e-07,1.950519e-07,2.199828e-07,2.678204e-07,2.775408e-07,3.426948e-07,3.538211e-07,4.153806e-07,4.529075e-07,4.954614e-07,5.647175e-07,5.827364e-07,6.769496e-07,6.887075e-07,7.777992e-07,8.241895e-07,8.849477e-07,9.703699e-07,9.980309e-07,1.116667e-06,1.126386e-06,1.240463e-06,1.291338e-06,1.369024e-06,1.464317e-06,1.501956e-06,1.638875e-06,1.644429e-06,1.779403e-06,1.830806e-06,1.923178e-06,2.022622e-06,2.069853e-06,2.219099e-06,2.370600e-06,2.419508e-06,2.524063e-06,2.623179e-06,2.679209e-06,2.829491e-06,2.835778e-06,2.993528e-06,3.037878e-06,3.152232e-06,3.247824e-06,3.311679e-06,3.458858e-06,3.471674e-06,3.632036e-06,3.670558e-06,3.792596e-06,3.882539e-06,3.953201e-06,4.094455e-06,4.113706e-06,4.273980e-06,4.305996e-06,4.433902e-06,4.516884e-06,4.593359e-06,4.726869e-06,4.752249e-06,4.910477e-06,4.935727e-06,5.067958e-06,5.143260e-06,5.224612e-06,5.349291e-06,5.380367e-06,5.535157e-06,5.553664e-06,5.688921e-06,5.756239e-06,5.841606e-06,5.956893e-06,5.993161e-06,6.143542e-06,6.155520e-06,6.292708e-06,6.352026e-06,6.440623e-06,6.546328e-06,6.587254e-06,6.732571e-06,6.738356e-06,6.876550e-06,6.928049e-06,7.019166e-06,7.115356e-06,7.160399e-06,7.300233e-06,7.438652e-06,7.482645e-06,7.575642e-06,7.662562e-06,7.711194e-06,7.839961e-06,7.845297e-06,7.977946e-06,8.014826e-06,8.109134e-06,8.187143e-06,8.238857e-06,8.356906e-06,8.367113e-06,8.493900e-06,8.524111e-06,8.619220e-06,8.688757e-06,8.743071e-06,8.850849e-06,8.865458e-06,8.986382e-06,9.010392e-06,9.105849e-06,9.167396e-06,9.223862e-06,9.321874e-06,9.340428e-06,9.455553e-06,9.473839e-06,9.569243e-06,9.623308e-06,9.681508e-06,9.770298e-06,9.792354e-06,9.901790e-06,9.914828e-06,1.000983e-05,1.005692e-05,1.011647e-05,1.019660e-05,1.022174e-05,1.032563e-05,1.033388e-05,1.042817e-05,1.046880e-05,1.052935e-05,1.060138e-05,1.062920e-05,1.072772e-05,1.073164e-05,1.082493e-05,1.085961e-05,1.092084e-05,1.098531e-05,1.101545e-05,1.110879e-05,1.123006e-05,1.134915e-05,1.146610e-05,1.158093e-05,1.169367e-05,1.180435e-05,1.191301e-05,1.201966e-05,1.212435e-05,1.222710e-05,1.232794e-05,1.242690e-05,1.252401e-05,1.261930e-05,1.271279e-05,1.280453e-05,1.289453e-05,1.298283e-05,1.306945e-05,1.315442e-05,1.323778e-05,1.331954e-05,1.339973e-05,1.347839e-05
0.000000e+00,7.746772e-18,9.017073e-17,3.457945e-15,3.861691e-14,1.163829e-13,1.252822e-12,1.364628e-12,9.014135e-12,1.425207e-11,4.157251e-11,9.201870e-11,1.500620e-10,4.171976e-10,4.532887e-10,1.194060e-09,1.480846e-09,2.816945e-09,4.371840e-09,6.061846e-09,1.114867e-08,1.206303e-08,2.244201e-08,2.522485e-08,3.938431e-08,5.169315e-08,6.569306e-08,9.753369e-08,1.048153e-07,1.608407e-07,1.716794e-07,2.384725e-07,2.849367e-07,3.429754e-07,4.497758e-07,4.801010e-07,6.559982e-07,6.800150e-07,8.771101e-07,9.904269e-07,1.150062e-06,1.396296e-06,1.481548e-06,1.878210e-06,1.912955e-06,2.346531e-06,2.555326e-06,2.892721e-06,3.337492e-06,3.522623e-06,4.241621e-06,4.272305e-06,5.054564e-06,5.371060e-06,5.965704e-06,6.643236e-06,6.978645e-06,8.096306e-06,9.320899e-06,9.735618e-06,1.065392e-05,1.156435e-05,1.209616e-05,1.358355e-05,1.364770e-05,1.530795e-05,1.579214e-05,1.707566e-05,1.818713e-05,1.894900e-05,2.076370e-05,2.092556e-05,2.300242e-05,2.351542e-05,2.517618e-05,2.643442e-05,2.744305e-05,2.951162e-05,2.979887e-05,3.223917e-05,3.273695e-05,3.475922e-05,3.609953e-05,3.735409e-05,3.958787e-05,4.001868e-05,4.274779e-05,4.319008e-05,4.553612e-05,4.689400e-05,4.837836e-05,5.068738e-05,5.126917e-05,5.420326e-05,5.455801e-05,5.717538e-05,5.849384e-05,6.018038e-05,6.248305e-05,6.321319e-05,6.626888e-05,6.651418e-05,6.934265e-05,7.057617e-05,7.242984e-05,7.465840e-05,7.552597e-05,7.862672e-05,7.875078e-05,8.172795e-05,8.284374e-05,8.482569e-05,8.692823e-05,8.791618e-05,9.099582e-05,9.406121e-05,9.503860e-05,9.710914e-05,9.904924e-05,1.001366e-04,1.030210e-04,1.031407e-04,1.061187e-04,1.069476e-04,1.090683e-04,1.108234e-04,1.119871e-04,1.146433e-04,1.148729e-04,1.177237e-04,1.184025e-04,1.205378e-04,1.220970e-04,1.233134e-04,1.257228e-04,1.260489e-04,1.287431e-04,1.292769e-04,1.313946e-04,1.327562e-04,1.340023e-04,1.361582e-04,1.365653e-04,1.390825e-04,1.394809e-04,1.415533e-04,1.427225e-04,1.439769e-04,1.458815e-04,1.463528e-04,1.486806e-04,1.489567e-04,1.509599e-04,1.519473e-04,1.531903e-04,1.548527e-04,1.553717e-04,1.575039e-04,1.576724e-04,1.595869e-04,1.604063e-04,1.616207e-04,1.630546e-04,1.636053e-04,1.655410e-04,1.656174e-04,1.674278e-04,1.680952e-04,1.692661e-04,1.704885e-04,1.710561e-04,1.727981e-04,1.750249e-04,1.771699e-04,1.792340e-04,1.812186e-04,1.831249e-04,1.849542e-04,1.867079e-04,1.883876e-04,1.899947e-04,1.915309e-04,1.929977e-04,1.943967e-04,1.957297e-04,1.969982e-04,1.982040e-04,1.993488e-04,2.004342e-04,2.014619e-04,2.024338e-04,2.033513e-04,2.042162e-04,2.050302e-04,2.057949e-04,2.065119e-04
0.000000e+00,4.433939e-12,1.521865e-11,9.072347e-11,2.903387e-10,4.930787e-10,1.542986e-09,1.607753e-09,3.999851e-09,4.996409e-09,8.426035e-09,1.245458e-08,1.586186e-08,2.637514e-08,2.748981e-08,4.458997e-08,4.964640e-08,6.837888e-08,8.502652e-08,9.992398e-08,1.348342e-07,1.401466e-07,1.898499e-07,2.009918e-07,2.497379e-07,2.851117e-07,3.204235e-07,3.885286e-07,4.024291e-07,4.961847e-07,5.122997e-07,6.020256e-07,6.571960e-07,7.201914e-07,8.236983e-07,8.508267e-07,9.939837e-07,1.012003e-06,1.149627e-06,1.222039e-06,1.317640e-06,1.453489e-06,1.497833e-06,1.689950e-06,1.705825e-06,1.893677e-06,1.978339e-06,2.108653e-06,2.270177e-06,2.334476e-06,2.570713e-06,2.580373e-06,2.816905e-06,2.907879e-06,3.072573e-06,3.251590e-06,3.337227e-06,3.610371e-06,3.891503e-06,3.983070e-06,4.180124e-06,4.368542e-06,4.475738e-06,4.765652e-06,4.777856e-06,5.085999e-06,5.173295e-06,5.399698e-06,5.590393e-06,5.718495e-06,6.015909e-06,6.041946e-06,6.369622e-06,6.448846e-06,6.701106e-06,6.888252e-06,7.035999e-06,7.333218e-06,7.373915e-06,7.714482e-06,7.782882e-06,8.057345e-06,8.236428e-06,8.402164e-06,8.693084e-06,8.748613e-06,9.096379e-06,9.152124e-06,9.445167e-06,9.612863e-06,9.794691e-06,1.007466e-05,1.014468e-05,1.049488e-05,1.053691e-05,1.084505e-05,1.099905e-05,1.119495e-05,1.146056e-05,1.154436e-05,1.189308e-05,1.192094e-05,1.224090e-05,1.237974e-05,1.258765e-05,1.283653e-05,1.293313e-05,1.327719e-05,1.329092e-05,1.361967e-05,1.374254e-05,1.396041e-05,1.419106e-05,1.429929e-05,1.463616e-05,1.497090e-05,1.507755e-05,1.530341e-05,1.551498e-05,1.563356e-05,1.594820e-05,1.596126e-05,1.628642e-05,1.637699e-05,1.660894e-05,1.680116e-05,1.692875e-05,1.722051e-05,1.724576e-05,1.755992e-05,1.763488e-05,1.787115e-05,1.804413e-05,1.817939e-05,1.844813e-05,1.848459e-05,1.878670e-05,1.884675e-05,1.908567e-05,1.923989e-05,1.938147e-05,1.962746e-05,1.967405e-05,1.996338e-05,2.000937e-05,2.024944e-05,2.038558e-05,2.053219e-05,2.075600e-05,2.081162e-05,2.108770e-05,2.112060e-05,2.136042e-05,2.147935e-05,2.162976e-05,2.183220e-05,2.189572e-05,2.215828e-05,2.217914e-05,2.241744e-05,2.252015e-05,2.267320e-05,2.285524e-05,2.292555e-05,2.317450e-05,2.318439e-05,2.342005e-05,2.350762e-05,2.366220e-05,2.382493e-05,2.390097e-05,2.413635e-05,2.444189e-05,2.474159e-05,2.503548e-05,2.532358e-05,2.560594e-05,2.588260e-05,2.615361e-05,2.641901e-05,2.667886e-05,2.693321e-05,2.718210e-05,2.742561e-05,2.766378e-05,2.789669e-05,2.812438e-05,2.834693e-05,2.856439e-05,2.877684e-05,2.898434e-05,2.918695e-05,2.938475e-05,2.957780e-05,2.976617e-05,2.994993e-05
0.000000e+00,5.424738e-18,6.394862e-17,2.517627e-15,2.877977e-14,8.782112e-14,9.743679e-13,1.062550e-12,7.202373e-12,1.145737e-11,3.386956e-11,7.561053e-11,1.238560e-10,3.468741e-10,3.770679e-10,9.986859e-10,1.240190e-09,2.371167e-09,3.698891e-09,5.155041e-09,9.610293e-09,1.042150e-08,1.981590e-08,2.238633e-08,3.574594e-08,4.768768e-08,6.158347e-08,9.422396e-08,1.018649e-07,1.624749e-07,1.745303e-07,2.507978e-07,3.056134e-07,3.758245e-07,5.093735e-07,5.482051e-07,7.802424e-07,8.127394e-07,1.085824e-06,1.247484e-06,1.480294e-06,1.849724e-06,1.980270e-06,2.603408e-06,2.659128e-06,3.368132e-06,3.717888e-06,4.293327e-06,5.069514e-06,5.398013e-06,6.701006e-06,6.757512e-06,8.220580e-06,8.824030e-06,9.974136e-06,1.130854e-05,1.197789e-05,1.424657e-05,1.679318e-05,1.766865e-05,1.962875e-05,2.159935e-05,2.276215e-05,2.605655e-05,2.619997e-05,2.994638e-05,3.105097e-05,3.400309e-05,3.658583e-05,3.836931e-05,4.265686e-05,4.304182e-05,4.801493e-05,4.925237e-05,5.328066e-05,5.635357e-05,5.882880e-05,6.393508e-05,6.464709e-05,7.072135e-05,7.196555e-05,7.703571e-05,8.040834e-05,8.357276e-05,8.922230e-05,9.031376e-05,9.723889e-05,9.836262e-05,1.043274e-04,1.077817e-04,1.115580e-04,1.174300e-04,1.189087e-04,1.263574e-04,1.272567e-04,1.338819e-04,1.372110e-04,1.414601e-04,1.472420e-04,1.490702e-04,1.566907e-04,1.573001e-04,1.643008e-04,1.673374e-04,1.718804e-04,1.773080e-04,1.794102e-04,1.868717e-04,1.871684e-04,1.942473e-04,1.968784e-04,2.015209e-04,2.064006e-04,2.086769e-04,2.157012e-04,2.225809e-04,2.247498e-04,2.293039e-04,2.335196e-04,2.358598e-04,2.419873e-04,2.422389e-04,2.484330e-04,2.501332e-04,2.544347e-04,2.579409e-04,2.602380e-04,2.653975e-04,2.658379e-04,2.712302e-04,2.724931e-04,2.764119e-04,2.792209e-04,2.813810e-04,2.855768e-04,2.861361e-04,2.906768e-04,2.915593e-04,2.950035e-04,2.971690e-04,2.991170e-04,3.024090e-04,3.030192e-04,3.067123e-04,3.072839e-04,3.101991e-04,3.118004e-04,3.134829e-04,3.159664e-04,3.165675e-04,3.194572e-04,3.197910e-04,3.221562e-04,3.232847e-04,3.246695e-04,3.264585e-04,3.270021e-04,3.291592e-04,3.293244e-04,3.311463e-04,3.318947e-04,3.329689e-04,3.341824e-04,3.346326e-04,3.361433e-04,3.362006e-04,3.375067e-04,3.379626e-04,3.387286e-04,3.394816e-04,3.398147e-04,3.407710e-04,3.418438e-04,3.427132e-04,3.433916e-04,3.438917e-04,3.442252e-04,3.444039e-04,3.444390e-04,3.443411e-04,3.441207e-04,3.437873e-04,3.433505e-04,3.428191e-04,3.422015e-04,3.415057e-04,3.407392e-04,3.399091e-04,3.390220e-04,3.380841e-04,3.371013e-04,3.360788e-04,3.350220e-04,3.339353e-04,3.328232e-04,3.316897e-04
0.000000e+00,7.070719e-16,7.282719e-15,2.169875e-13,1.928047e-12,5.128396e-12,4.005299e-11,4.306404e-11,2.074120e-10,3.010778e-10,7.090330e-10,1.321128e-09,1.926690e-09,4.182396e-09,4.450380e-09,9.116120e-09,1.067125e-08,1.702251e-08,2.335679e-08,2.950920e-08,4.548403e-08,4.808728e-08,7.433892e-08,8.064830e-08,1.098188e-07,1.324034e-07,1.559809e-07,2.039761e-07,2.141362e-07,2.854328e-07,2.981277e-07,3.708510e-07,4.171122e-07,4.712017e-07,5.626717e-07,5.871284e-07,7.191088e-07,7.360419e-07,8.674575e-07,9.379621e-07,1.032330e-06,1.168693e-06,1.213732e-06,1.411525e-06,1.428049e-06,1.625439e-06,1.715436e-06,1.855089e-06,2.029910e-06,2.099986e-06,2.359554e-06,2.370233e-06,2.633145e-06,2.734936e-06,2.920053e-06,3.122376e-06,3.219529e-06,3.530795e-06,3.853054e-06,3.958367e-06,4.185499e-06,4.403238e-06,4.527325e-06,4.863563e-06,4.877734e-06,5.235941e-06,5.337532e-06,5.601181e-06,5.823391e-06,5.972711e-06,6.319456e-06,6.349812e-06,6.731794e-06,6.824121e-06,7.117992e-06,7.335868e-06,7.507774e-06,7.853268e-06,7.900537e-06,8.295710e-06,8.374986e-06,8.692751e-06,8.899780e-06,9.091150e-06,9.426501e-06,9.490425e-06,9.890122e-06,9.954084e-06,1.028982e-05,1.048155e-05,1.068911e-05,1.100800e-05,1.108763e-05,1.148502e-05,1.153262e-05,1.188097e-05,1.205464e-05,1.227516e-05,1.257339e-05,1.266731e-05,1.305717e-05,1.308825e-05,1.344448e-05,1.359865e-05,1.382904e-05,1.410409e-05,1.421062e-05,1.458904e-05,1.460411e-05,1.496412e-05,1.509830e-05,1.533571e-05,1.558632e-05,1.570365e-05,1.606782e-05,1.642810e-05,1.654254e-05,1.678437e-05,1.701023e-05,1.713654e-05,1.747068e-05,1.748452e-05,1.782823e-05,1.792370e-05,1.816761e-05,1.836913e-05,1.850259e-05,1.880685e-05,1.883313e-05,1.915918e-05,1.923676e-05,1.948071e-05,1.965877e-05,1.979767e-05,2.007282e-05,2.011006e-05,2.041785e-05,2.047886e-05,2.072104e-05,2.087687e-05,2.101960e-05,2.126683e-05,2.131355e-05,2.160288e-05,2.164874e-05,2.188760e-05,2.202263e-05,2.216772e-05,2.238852e-05,2.244326e-05,2.271422e-05,2.274643e-05,2.298064e-05,2.309643e-05,2.324254e-05,2.343857e-05,2.349993e-05,2.375286e-05,2.377290e-05,2.400134e-05,2.409950e-05,2.424542e-05,2.441845e-05,2.448513e-05,2.472050e-05,2.472982e-05,2.495157e-05,2.503371e-05,2.517839e-05,2.533021e-05,2.540098e-05,2.561941e-05,2.590141e-05,2.617631e-05,2.644421e-05,2.670523e-05,2.695948e-05,2.720705e-05,2.744806e-05,2.768263e-05,2.791086e-05,2.813287e-05,2.834878e-05,2.855869e-05,2.876271e-05,2.896096e-05,2.915356e-05,2.934061e-05,2.952222e-05,2.969851e-05,2.986958e-05,3.003553e-05,3.019649e-05,3.035255e-05,3.050381e-05,3.065039e-05
0.000000e+00,1.325106e-13,8.991640e-13,1.257440e-11,6.283759e-11,1.268055e-10,5.408093e-10,5.689786e-10,1.710517e-09,2.222435e-09,4.070888e-09,6.347763e-09,8.329907e-09,1.465688e-08,1.534231e-08,2.612554e-08,2.939728e-08,4.178724e-08,5.309881e-08,6.341940e-08,8.819759e-08,9.203043e-08,1.285329e-07,1.368546e-07,1.737545e-07,2.009681e-07,2.284476e-07,2.822097e-07,2.932932e-07,3.688985e-07,3.820303e-07,4.557924e-07,5.016455e-07,5.544211e-07,6.420171e-07,6.651432e-07,7.882273e-07,8.038375e-07,9.238511e-07,9.875237e-07,1.072102e-06,1.193220e-06,1.232980e-06,1.406402e-06,1.420814e-06,1.592211e-06,1.669953e-06,1.790175e-06,1.940074e-06,2.000002e-06,2.221346e-06,2.230434e-06,2.453812e-06,2.540139e-06,2.696965e-06,2.868177e-06,2.950340e-06,3.213445e-06,3.485772e-06,3.574779e-06,3.766797e-06,3.950974e-06,4.055991e-06,4.340807e-06,4.352820e-06,4.656751e-06,4.743052e-06,4.967256e-06,5.156498e-06,5.283815e-06,5.579955e-06,5.605915e-06,5.933059e-06,6.012270e-06,6.264760e-06,6.452326e-06,6.600546e-06,6.899055e-06,6.939962e-06,7.282567e-06,7.351434e-06,7.627940e-06,7.808492e-06,7.975673e-06,8.269309e-06,8.325379e-06,8.676685e-06,8.733018e-06,9.029236e-06,9.198803e-06,9.382694e-06,9.665898e-06,9.736739e-06,1.009106e-05,1.013359e-05,1.044538e-05,1.060120e-05,1.079941e-05,1.106812e-05,1.115290e-05,1.150559e-05,1.153377e-05,1.185727e-05,1.199761e-05,1.220771e-05,1.245914e-05,1.255671e-05,1.290406e-05,1.291792e-05,1.324961e-05,1.337352e-05,1.359316e-05,1.382556e-05,1.393457e-05,1.427369e-05,1.461038e-05,1.471759e-05,1.494451e-05,1.515696e-05,1.527596e-05,1.559154e-05,1.560463e-05,1.593040e-05,1.602109e-05,1.625319e-05,1.644540e-05,1.657291e-05,1.686428e-05,1.688949e-05,1.720284e-05,1.727756e-05,1.751290e-05,1.768508e-05,1.781962e-05,1.808673e-05,1.812294e-05,1.842282e-05,1.848237e-05,1.871920e-05,1.887193e-05,1.901206e-05,1.925531e-05,1.930135e-05,1.958706e-05,1.963244e-05,1.986916e-05,2.000328e-05,2.014763e-05,2.036778e-05,2.042245e-05,2.069362e-05,2.072591e-05,2.096111e-05,2.107765e-05,2.122493e-05,2.142298e-05,2.148508e-05,2.174156e-05,2.176192e-05,2.199436e-05,2.209445e-05,2.224350e-05,2.242061e-05,2.248898e-05,2.273081e-05,2.274041e-05,2.296902e-05,2.305388e-05,2.320360e-05,2.336106e-05,2.343458e-05,2.366197e-05,2.395668e-05,2.424523e-05,2.452767e-05,2.480406e-05,2.507447e-05,2.533895e-05,2.559758e-05,2.585042e-05,2.609754e-05,2.633903e-05,2.657495e-05,2.680538e-05,2.703040e-05,2.725009e-05,2.746453e-05,2.767381e-05,2.787799e-05,2.807718e-05,2.827143e-05,2.846085e-05,2.864551e-05,2.882549e-05,2.900089e-05,2.917177e-05
0.000000e+00,4.097164e-12,1.295864e-11,7.079106e-11,2.174328e-10,3.637452e-10,1.110744e-09,1.156601e-09,2.848332e-09,3.554043e-09,5.989033e-09,8.853757e-09,1.127096e-08,1.864153e-08,1.941338e-08,3.101947e-08,3.437393e-08,4.654912e-08,5.709496e-08,6.635666e-08,8.754772e-08,9.071934e-08,1.198490e-07,1.262613e-07,1.538959e-07,1.735759e-07,1.929502e-07,2.296512e-07,2.370448e-07,2.861588e-07,2.944789e-07,3.402236e-07,3.679023e-07,3.991289e-07,4.496418e-07,4.627296e-07,5.308527e-07,5.393223e-07,6.033039e-07,6.365000e-07,6.798737e-07,7.406862e-07,7.603423e-07,8.444840e-07,8.513673e-07,9.320715e-07,9.680204e-07,1.022878e-06,1.090126e-06,1.116680e-06,1.213258e-06,1.217176e-06,1.312401e-06,1.348681e-06,1.413903e-06,1.484172e-06,1.517568e-06,1.623206e-06,1.730637e-06,1.765365e-06,1.839688e-06,1.910255e-06,1.950196e-06,2.057510e-06,2.062006e-06,2.174970e-06,2.206788e-06,2.288949e-06,2.357769e-06,2.403812e-06,2.510159e-06,2.519433e-06,2.635696e-06,2.663682e-06,2.752489e-06,2.818086e-06,2.869709e-06,2.973136e-06,2.987256e-06,3.105038e-06,3.128614e-06,3.222968e-06,3.284322e-06,3.340964e-06,3.440075e-06,3.458949e-06,3.576851e-06,3.595703e-06,3.694603e-06,3.751051e-06,3.812140e-06,3.905975e-06,3.929403e-06,4.046337e-06,4.060344e-06,4.162888e-06,4.214037e-06,4.279009e-06,4.366944e-06,4.394653e-06,4.509778e-06,4.518964e-06,4.624344e-06,4.670006e-06,4.738314e-06,4.819984e-06,4.851654e-06,4.964330e-06,4.968823e-06,5.076315e-06,5.116454e-06,5.187579e-06,5.262813e-06,5.298097e-06,5.407845e-06,5.516802e-06,5.551498e-06,5.624947e-06,5.693725e-06,5.732261e-06,5.834486e-06,5.838729e-06,5.944333e-06,5.973745e-06,6.049059e-06,6.111469e-06,6.152896e-06,6.247629e-06,6.255830e-06,6.357852e-06,6.382200e-06,6.458951e-06,6.515161e-06,6.559120e-06,6.646493e-06,6.658351e-06,6.756637e-06,6.776181e-06,6.853973e-06,6.904211e-06,6.950354e-06,7.030573e-06,7.045776e-06,7.140235e-06,7.155259e-06,7.233728e-06,7.278262e-06,7.326255e-06,7.399578e-06,7.417812e-06,7.508400e-06,7.519205e-06,7.598018e-06,7.637143e-06,7.686666e-06,7.753391e-06,7.774346e-06,7.861058e-06,7.867953e-06,7.946804e-06,7.980832e-06,8.031585e-06,8.092032e-06,8.115405e-06,8.198266e-06,8.201561e-06,8.280172e-06,8.309425e-06,8.361125e-06,8.415631e-06,8.441130e-06,8.520190e-06,8.623110e-06,8.724403e-06,8.824080e-06,8.922152e-06,9.018632e-06,9.113532e-06,9.206868e-06,9.298651e-06,9.388898e-06,9.477622e-06,9.564838e-06,9.650562e-06,9.734810e-06,9.817596e-06,9.898938e-06,9.978852e-06,1.005735e-05,1.013446e-05,1.021018e-05,1.028455e-05,1.035757e-05,1.042925e-05,1.049963e-05,1.056871e-05
0.000000e+00,3.416675e-12,1.038345e-11,5.444197e-11,1.639790e-10,2.721084e-10,8.153584e-10,8.483525e-10,2.045217e-09,2.535081e-09,4.195306e-09,6.108709e-09,7.704791e-09,1.254735e-08,1.305582e-08,2.080036e-08,2.308107e-08,3.153442e-08,3.907467e-08,4.585356e-08,6.186114e-08,6.431151e-08,8.740058e-08,9.261299e-08,1.155504e-07,1.323140e-07,1.491329e-07,1.817748e-07,1.884662e-07,2.338179e-07,2.416479e-07,2.854053e-07,3.124333e-07,3.433962e-07,3.944811e-07,4.079096e-07,4.790165e-07,4.879940e-07,5.567415e-07,5.930338e-07,6.410656e-07,7.095299e-07,7.319288e-07,8.292339e-07,8.372929e-07,9.328500e-07,9.760286e-07,1.042617e-06,1.125355e-06,1.158350e-06,1.279842e-06,1.284818e-06,1.406868e-06,1.453907e-06,1.539192e-06,1.632071e-06,1.676563e-06,1.818728e-06,1.965424e-06,2.013282e-06,2.116391e-06,2.215129e-06,2.271364e-06,2.423666e-06,2.430083e-06,2.592290e-06,2.638299e-06,2.757731e-06,2.858444e-06,2.926157e-06,3.083537e-06,3.097326e-06,3.271002e-06,3.313032e-06,3.446958e-06,3.546405e-06,3.624970e-06,3.783155e-06,3.804828e-06,3.986326e-06,4.022805e-06,4.169266e-06,4.264903e-06,4.353461e-06,4.509020e-06,4.538728e-06,4.724894e-06,4.754753e-06,4.911795e-06,5.001722e-06,5.099273e-06,5.249569e-06,5.287177e-06,5.475364e-06,5.497958e-06,5.663698e-06,5.746578e-06,5.852049e-06,5.995133e-06,6.040296e-06,6.228322e-06,6.243351e-06,6.416017e-06,6.490978e-06,6.603276e-06,6.737777e-06,6.790001e-06,6.976099e-06,6.983529e-06,7.161482e-06,7.228029e-06,7.346068e-06,7.471090e-06,7.529777e-06,7.712539e-06,7.894282e-06,7.952215e-06,8.074944e-06,8.189972e-06,8.254463e-06,8.425675e-06,8.432784e-06,8.609852e-06,8.659200e-06,8.785620e-06,8.890436e-06,8.960040e-06,9.119281e-06,9.133072e-06,9.304674e-06,9.345642e-06,9.474812e-06,9.569436e-06,9.643450e-06,9.790587e-06,9.810559e-06,9.976109e-06,1.000903e-05,1.014008e-05,1.022470e-05,1.030243e-05,1.043756e-05,1.046316e-05,1.062224e-05,1.064754e-05,1.077966e-05,1.085462e-05,1.093540e-05,1.105876e-05,1.108944e-05,1.124177e-05,1.125994e-05,1.139239e-05,1.145812e-05,1.154128e-05,1.165328e-05,1.168845e-05,1.183387e-05,1.184543e-05,1.197755e-05,1.203454e-05,1.211949e-05,1.222061e-05,1.225968e-05,1.239813e-05,1.240363e-05,1.253483e-05,1.258361e-05,1.266978e-05,1.276055e-05,1.280299e-05,1.293446e-05,1.310534e-05,1.327321e-05,1.343808e-05,1.359996e-05,1.375889e-05,1.391486e-05,1.406792e-05,1.421807e-05,1.436535e-05,1.450977e-05,1.465137e-05,1.479017e-05,1.492621e-05,1.505950e-05,1.519009e-05,1.531800e-05,1.544326e-05,1.556591e-05,1.568598e-05,1.580350e-05,1.591850e-05,1.603102e-05,1.614110e-05,1.624876e-05
0.000000e+00,9.864056e-16,9.804454e-15,2.719797e-13,2.270887e-12,5.844390e-12,4.208011e-11,4.509935e-11,2.014753e-10,2.867824e-10,6.438074e-10,1.155570e-09,1.645563e-09,3.391433e-09,3.593113e-09,6.987211e-09,8.082825e-09,1.244064e-08,1.665779e-08,2.067156e-08,3.085264e-08,3.248841e-08,4.876023e-08,5.262726e-08,7.036927e-08,8.399619e-08,9.815106e-08,1.267967e-07,1.328362e-07,1.750088e-07,1.824816e-07,2.250883e-07,2.520164e-07,2.833322e-07,3.358847e-07,3.498515e-07,4.246326e-07,4.341569e-07,5.075587e-07,5.465777e-07,5.984300e-07,6.726443e-07,6.969805e-07,8.028927e-07,8.116733e-07,9.158104e-07,9.628536e-07,1.035349e-06,1.125291e-06,1.161105e-06,1.292665e-06,1.298042e-06,1.429608e-06,1.480145e-06,1.571518e-06,1.670643e-06,1.717983e-06,1.868599e-06,2.022977e-06,2.073110e-06,2.180738e-06,2.283315e-06,2.341524e-06,2.498404e-06,2.504989e-06,2.670807e-06,2.717615e-06,2.838668e-06,2.940242e-06,3.008279e-06,3.165630e-06,3.179365e-06,3.351668e-06,3.393174e-06,3.524945e-06,3.622320e-06,3.698969e-06,3.852560e-06,3.873529e-06,4.048426e-06,4.083429e-06,4.223476e-06,4.314506e-06,4.398508e-06,4.545404e-06,4.573363e-06,4.747892e-06,4.775777e-06,4.921958e-06,5.005308e-06,5.095435e-06,5.233712e-06,5.268204e-06,5.440158e-06,5.460732e-06,5.611196e-06,5.686138e-06,5.781225e-06,5.909722e-06,5.950163e-06,6.117930e-06,6.131298e-06,6.284454e-06,6.350702e-06,6.449672e-06,6.567786e-06,6.613523e-06,6.775954e-06,6.782421e-06,6.936914e-06,6.994491e-06,7.096360e-06,7.203897e-06,7.254251e-06,7.410551e-06,7.565229e-06,7.614378e-06,7.718254e-06,7.815311e-06,7.869602e-06,8.013298e-06,8.019251e-06,8.167181e-06,8.208291e-06,8.313375e-06,8.400253e-06,8.457820e-06,8.589154e-06,8.600504e-06,8.741417e-06,8.774972e-06,8.880552e-06,8.957689e-06,9.017903e-06,9.137294e-06,9.153467e-06,9.287241e-06,9.313781e-06,9.419226e-06,9.487151e-06,9.549421e-06,9.657405e-06,9.677830e-06,9.804456e-06,9.824551e-06,9.929303e-06,9.988600e-06,1.005238e-05,1.014957e-05,1.017369e-05,1.029324e-05,1.030747e-05,1.041104e-05,1.046232e-05,1.052710e-05,1.061415e-05,1.064143e-05,1.075405e-05,1.076298e-05,1.086495e-05,1.090884e-05,1.097416e-05,1.105175e-05,1.108169e-05,1.118755e-05,1.119175e-05,1.129175e-05,1.132886e-05,1.139431e-05,1.146312e-05,1.149524e-05,1.159455e-05,1.172321e-05,1.184911e-05,1.197231e-05,1.209282e-05,1.221069e-05,1.232596e-05,1.243867e-05,1.254885e-05,1.265654e-05,1.276178e-05,1.286461e-05,1.296506e-05,1.306318e-05,1.315901e-05,1.325258e-05,1.334393e-05,1.343310e-05,1.352013e-05,1.360505e-05,1.368791e-05,1.376874e-05,1.384757e-05,1.392445e-05,1.399941e-05
0.000000e+00,7.279806e-17,7.856000e-16,2.574815e-14,2.488154e-13,6.920778e-13,6.035931e-12,6.517802e-12,3.472719e-11,5.173023e-11,1.295838e-10,2.529100e-10,3.794671e-10,8.730620e-10,9.332913e-10,2.013919e-09,2.383822e-09,3.927324e-09,5.505455e-09,7.066178e-09,1.121757e-08,1.190554e-08,1.898856e-08,2.072566e-08,2.890296e-08,3.537792e-08,4.225211e-08,5.655235e-08,5.962596e-08,8.157598e-08,8.554658e-08,1.085960e-07,1.234938e-07,1.411095e-07,1.713103e-07,1.794616e-07,2.239155e-07,2.296694e-07,2.746517e-07,2.989944e-07,3.317699e-07,3.794639e-07,3.952915e-07,4.651648e-07,4.710259e-07,5.412703e-07,5.734191e-07,6.234280e-07,6.861998e-07,7.114043e-07,8.049207e-07,8.087723e-07,9.036616e-07,9.404217e-07,1.007283e-06,1.080347e-06,1.115419e-06,1.227691e-06,1.343716e-06,1.381573e-06,1.463107e-06,1.541108e-06,1.585484e-06,1.705430e-06,1.710476e-06,1.837723e-06,1.873709e-06,1.966883e-06,2.045161e-06,2.097630e-06,2.219054e-06,2.229656e-06,2.362675e-06,2.394717e-06,2.496419e-06,2.571539e-06,2.630640e-06,2.748969e-06,2.765112e-06,2.899624e-06,2.926515e-06,3.033988e-06,3.103740e-06,3.168029e-06,3.280260e-06,3.301591e-06,3.434534e-06,3.455738e-06,3.566729e-06,3.629884e-06,3.698064e-06,3.802444e-06,3.828437e-06,3.957758e-06,3.973202e-06,4.085947e-06,4.141973e-06,4.212933e-06,4.308601e-06,4.338656e-06,4.463061e-06,4.472955e-06,4.586101e-06,4.634926e-06,4.707737e-06,4.794426e-06,4.827934e-06,4.946663e-06,4.951382e-06,5.063901e-06,5.105737e-06,5.179626e-06,5.257448e-06,5.293824e-06,5.406482e-06,5.517591e-06,5.552818e-06,5.627145e-06,5.696442e-06,5.735141e-06,5.837349e-06,5.841576e-06,5.946453e-06,5.975539e-06,6.049773e-06,6.111021e-06,6.151542e-06,6.243805e-06,6.251766e-06,6.350451e-06,6.373908e-06,6.447608e-06,6.501351e-06,6.543245e-06,6.626157e-06,6.637373e-06,6.730005e-06,6.748353e-06,6.821153e-06,6.867967e-06,6.910829e-06,6.985031e-06,6.999048e-06,7.085825e-06,7.099576e-06,7.171174e-06,7.211639e-06,7.255110e-06,7.321253e-06,7.337650e-06,7.418810e-06,7.428457e-06,7.498605e-06,7.533287e-06,7.577052e-06,7.635781e-06,7.654168e-06,7.729971e-06,7.735979e-06,7.804476e-06,7.833919e-06,7.877701e-06,7.929641e-06,7.949664e-06,8.020381e-06,8.023184e-06,8.089870e-06,8.114589e-06,8.158149e-06,8.203895e-06,8.225233e-06,8.291141e-06,8.376368e-06,8.459615e-06,8.540919e-06,8.620322e-06,8.697860e-06,8.773572e-06,8.847496e-06,8.919669e-06,8.990128e-06,9.058908e-06,9.126046e-06,9.191577e-06,9.255537e-06,9.317958e-06,9.378876e-06,9.438322e-06,9.496331e-06,9.552933e-06,9.608160e-06,9.662044e-06,9.714614e-06,9.765901e-06,9.815933e-06,9.864740e-06
0.000000e+00,6.562395e-17,6.966242e-16,2.206903e-14,2.068403e-13,5.658133e-13,4.729365e-12,5.098202e-12,2.606714e-11,3.840497e-11,9.361556e-11,1.788021e-10,2.645796e-10,5.905602e-10,6.297037e-10,1.318236e-09,1.549612e-09,2.500007e-09,3.453989e-09,4.385161e-09,6.821472e-09,7.220884e-09,1.128352e-08,1.226888e-08,1.686494e-08,2.046417e-08,2.425435e-08,3.205522e-08,3.371901e-08,4.548802e-08,4.759770e-08,5.974170e-08,6.750533e-08,7.660697e-08,9.203110e-08,9.615805e-08,1.184202e-07,1.212734e-07,1.433752e-07,1.551955e-07,1.709681e-07,1.936509e-07,2.011128e-07,2.336983e-07,2.364068e-07,2.685942e-07,2.831674e-07,3.056552e-07,3.335926e-07,3.447256e-07,3.856432e-07,3.873160e-07,4.282431e-07,4.439590e-07,4.723600e-07,5.031429e-07,5.178314e-07,5.644992e-07,6.122119e-07,6.276768e-07,6.608252e-07,6.923472e-07,7.102032e-07,7.582078e-07,7.602192e-07,8.107555e-07,8.249839e-07,8.617037e-07,8.924286e-07,9.129644e-07,9.603224e-07,9.644472e-07,1.016070e-06,1.028472e-06,1.067758e-06,1.096708e-06,1.119446e-06,1.164883e-06,1.171073e-06,1.222585e-06,1.232870e-06,1.273936e-06,1.300560e-06,1.325082e-06,1.367859e-06,1.375986e-06,1.426615e-06,1.434688e-06,1.476940e-06,1.500980e-06,1.526934e-06,1.566676e-06,1.576575e-06,1.625844e-06,1.631730e-06,1.674722e-06,1.696101e-06,1.723196e-06,1.759757e-06,1.771251e-06,1.818878e-06,1.822669e-06,1.866066e-06,1.884816e-06,1.912806e-06,1.946180e-06,1.959094e-06,2.004922e-06,2.006746e-06,2.050287e-06,2.066504e-06,2.095184e-06,2.125446e-06,2.139612e-06,2.183567e-06,2.227050e-06,2.240864e-06,2.270058e-06,2.297334e-06,2.312592e-06,2.352979e-06,2.354652e-06,2.396240e-06,2.407800e-06,2.437356e-06,2.461800e-06,2.478002e-06,2.514984e-06,2.518181e-06,2.557893e-06,2.567355e-06,2.597143e-06,2.618921e-06,2.635932e-06,2.669688e-06,2.674264e-06,2.712142e-06,2.719663e-06,2.749569e-06,2.768854e-06,2.786549e-06,2.817269e-06,2.823085e-06,2.859183e-06,2.864918e-06,2.894844e-06,2.911808e-06,2.930074e-06,2.957951e-06,2.964877e-06,2.999257e-06,3.003354e-06,3.033218e-06,3.048029e-06,3.066765e-06,3.091985e-06,3.099901e-06,3.132632e-06,3.135233e-06,3.164962e-06,3.177783e-06,3.196895e-06,3.219644e-06,3.228437e-06,3.259591e-06,3.260829e-06,3.290362e-06,3.301347e-06,3.320755e-06,3.341208e-06,3.350774e-06,3.380424e-06,3.419004e-06,3.456960e-06,3.494301e-06,3.531039e-06,3.567182e-06,3.602742e-06,3.637729e-06,3.672153e-06,3.706023e-06,3.739349e-06,3.772142e-06,3.804410e-06,3.836164e-06,3.867412e-06,3.898164e-06,3.928429e-06,3.958215e-06,3.987532e-06,4.016388e-06,4.044792e-06,4.072752e-06,4.100277e-06,4.127374e-06,4.154052e-06
0.000000e+00,1.283180e-11,3.899142e-11,2.047844e-10,6.186064e-10,1.028644e-09,3.103767e-09,3.230447e-09,7.863142e-09,9.776842e-09,1.632281e-08,2.396192e-08,3.039767e-08,5.019484e-08,5.229268e-08,8.455322e-08,9.413524e-08,1.298391e-07,1.618344e-07,1.906563e-07,2.587837e-07,2.692126e-07,3.674101e-07,3.895548e-07,4.868870e-07,5.579023e-07,6.290576e-07,7.669112e-07,7.951343e-07,9.861388e-07,1.019071e-06,1.202906e-06,1.316304e-06,1.446089e-06,1.659976e-06,1.716157e-06,2.013408e-06,2.050912e-06,2.337971e-06,2.489430e-06,2.689821e-06,2.975377e-06,3.068788e-06,3.474570e-06,3.508180e-06,3.906752e-06,4.086903e-06,4.364812e-06,4.710303e-06,4.848146e-06,5.356069e-06,5.376887e-06,5.887837e-06,6.084959e-06,6.442656e-06,6.832673e-06,7.019689e-06,7.618069e-06,8.236907e-06,8.439108e-06,8.875296e-06,9.293704e-06,9.532323e-06,1.017975e-05,1.020707e-05,1.089861e-05,1.109513e-05,1.160604e-05,1.203775e-05,1.232845e-05,1.300552e-05,1.306494e-05,1.381463e-05,1.399642e-05,1.457665e-05,1.500845e-05,1.535015e-05,1.603966e-05,1.613429e-05,1.692825e-05,1.708816e-05,1.773125e-05,1.815212e-05,1.854250e-05,1.922977e-05,1.936124e-05,2.018674e-05,2.031939e-05,2.101827e-05,2.141935e-05,2.185516e-05,2.252806e-05,2.269671e-05,2.354229e-05,2.364400e-05,2.439125e-05,2.476571e-05,2.524299e-05,2.589180e-05,2.609691e-05,2.695244e-05,2.702094e-05,2.780904e-05,2.815185e-05,2.866616e-05,2.928333e-05,2.952331e-05,3.037998e-05,3.041423e-05,3.123570e-05,3.154344e-05,3.209002e-05,3.266993e-05,3.294250e-05,3.379272e-05,3.464028e-05,3.491087e-05,3.548478e-05,3.602349e-05,3.632587e-05,3.712977e-05,3.716319e-05,3.799640e-05,3.822892e-05,3.882518e-05,3.932019e-05,3.964922e-05,4.040290e-05,4.046823e-05,4.128194e-05,4.147641e-05,4.209007e-05,4.254010e-05,4.289239e-05,4.359342e-05,4.368864e-05,4.447861e-05,4.463583e-05,4.526208e-05,4.566685e-05,4.603885e-05,4.668603e-05,4.680874e-05,4.757156e-05,4.769295e-05,4.832715e-05,4.868722e-05,4.907536e-05,4.966850e-05,4.981603e-05,5.054903e-05,5.063647e-05,5.127424e-05,5.159083e-05,5.199153e-05,5.253132e-05,5.270081e-05,5.340196e-05,5.345770e-05,5.409491e-05,5.436977e-05,5.477956e-05,5.526734e-05,5.545585e-05,5.612370e-05,5.615024e-05,5.678306e-05,5.701834e-05,5.743387e-05,5.787152e-05,5.807609e-05,5.870968e-05,5.953274e-05,6.034064e-05,6.113335e-05,6.191082e-05,6.267306e-05,6.342007e-05,6.415186e-05,6.486847e-05,6.556994e-05,6.625633e-05,6.692771e-05,6.758415e-05,6.822575e-05,6.885259e-05,6.946479e-05,7.006246e-05,7.064571e-05,7.121469e-05,7.176952e-05,7.231034e-05,7.283731e-05,7.335057e-05,7.385028e-05,7.433661e-05
0.000000e+00,2.772520e-12,1.085793e-11,7.438841e-11,2.538026e-10,4.413232e-10,1.439292e-09,1.501629e-09,3.832317e-09,4.813662e-09,8.218049e-09,1.225430e-08,1.569101e-08,2.638817e-08,2.752863e-08,4.511612e-08,5.033813e-08,6.971899e-08,8.695471e-08,1.023689e-07,1.384146e-07,1.438886e-07,1.949466e-07,2.063529e-07,2.560908e-07,2.920228e-07,3.277636e-07,3.963571e-07,4.103052e-07,5.039545e-07,5.199798e-07,6.088487e-07,6.632067e-07,7.250250e-07,8.260525e-07,8.524243e-07,9.908977e-07,1.008249e-06,1.140214e-06,1.209272e-06,1.300068e-06,1.428382e-06,1.470095e-06,1.649873e-06,1.664663e-06,1.838942e-06,1.917062e-06,2.036808e-06,2.184429e-06,2.242954e-06,2.456847e-06,2.465557e-06,2.677948e-06,2.759204e-06,2.905713e-06,3.064126e-06,3.139606e-06,3.379094e-06,3.623661e-06,3.702912e-06,3.872801e-06,4.034424e-06,4.126026e-06,4.372530e-06,4.382867e-06,4.642874e-06,4.716183e-06,4.905615e-06,5.064402e-06,5.170682e-06,5.416263e-06,5.437686e-06,5.706257e-06,5.770908e-06,5.976047e-06,6.127539e-06,6.246728e-06,6.485418e-06,6.517991e-06,6.789545e-06,6.843867e-06,7.061119e-06,7.202259e-06,7.332456e-06,7.560024e-06,7.603321e-06,7.873489e-06,7.916638e-06,8.142756e-06,8.271626e-06,8.410928e-06,8.624557e-06,8.677827e-06,8.943288e-06,8.975040e-06,9.207159e-06,9.322722e-06,9.469300e-06,9.667289e-06,9.729580e-06,9.987880e-06,1.000846e-05,1.024409e-05,1.034597e-05,1.049812e-05,1.067961e-05,1.074987e-05,1.099925e-05,1.100918e-05,1.124621e-05,1.133450e-05,1.149066e-05,1.165543e-05,1.173256e-05,1.197184e-05,1.220846e-05,1.228361e-05,1.244238e-05,1.259066e-05,1.267357e-05,1.289290e-05,1.290199e-05,1.312761e-05,1.319029e-05,1.335043e-05,1.348276e-05,1.357041e-05,1.377029e-05,1.378755e-05,1.400184e-05,1.405285e-05,1.421328e-05,1.433043e-05,1.442185e-05,1.460302e-05,1.462756e-05,1.483041e-05,1.487064e-05,1.503041e-05,1.513329e-05,1.522757e-05,1.539099e-05,1.542190e-05,1.561340e-05,1.564378e-05,1.580209e-05,1.589167e-05,1.598800e-05,1.613472e-05,1.617113e-05,1.635150e-05,1.637296e-05,1.652914e-05,1.660644e-05,1.670406e-05,1.683520e-05,1.687629e-05,1.704586e-05,1.705931e-05,1.721278e-05,1.727881e-05,1.737708e-05,1.749378e-05,1.753879e-05,1.769794e-05,1.770425e-05,1.785455e-05,1.791031e-05,1.800865e-05,1.811202e-05,1.816027e-05,1.830944e-05,1.850263e-05,1.869167e-05,1.887662e-05,1.905756e-05,1.923455e-05,1.940766e-05,1.957697e-05,1.974253e-05,1.990443e-05,2.006273e-05,2.021750e-05,2.036881e-05,2.051672e-05,2.066131e-05,2.080264e-05,2.094078e-05,2.107579e-05,2.120774e-05,2.133669e-05,2.146270e-05,2.158584e-05,2.170617e-05,2.182374e-05,2.193863e-05
0.000000e+00,3.711262e-12,1.220786e-11,6.963457e-11,2.183433e-10,3.679353e-10,1.134231e-09,1.181220e-09,2.903088e-09,3.614419e-09,6.042853e-09,8.865537e-09,1.123422e-08,1.847455e-08,1.923827e-08,3.091891e-08,3.436960e-08,4.717360e-08,5.859312e-08,6.884736e-08,9.299517e-08,9.668265e-08,1.313129e-07,1.391031e-07,1.732734e-07,1.981417e-07,2.230119e-07,2.710739e-07,2.808955e-07,3.472139e-07,3.586231e-07,4.221831e-07,4.612863e-07,5.059480e-07,5.793471e-07,5.985862e-07,7.001131e-07,7.128923e-07,8.104870e-07,8.618321e-07,9.296153e-07,1.025924e-06,1.057360e-06,1.193546e-06,1.204799e-06,1.337964e-06,1.397984e-06,1.490378e-06,1.604924e-06,1.650531e-06,1.818150e-06,1.825005e-06,1.992945e-06,2.057572e-06,2.174622e-06,2.301939e-06,2.362878e-06,2.557408e-06,2.757904e-06,2.823273e-06,2.964061e-06,3.098832e-06,3.175575e-06,3.383392e-06,3.392148e-06,3.613484e-06,3.676272e-06,3.839295e-06,3.976812e-06,4.069299e-06,4.284368e-06,4.303220e-06,4.540789e-06,4.598320e-06,4.781747e-06,4.918069e-06,5.025840e-06,5.243042e-06,5.272825e-06,5.522463e-06,5.572689e-06,5.774527e-06,5.906484e-06,6.028794e-06,6.243927e-06,6.285054e-06,6.543100e-06,6.584539e-06,6.802734e-06,6.927867e-06,7.063768e-06,7.273480e-06,7.326019e-06,7.589312e-06,7.620969e-06,7.853479e-06,7.969948e-06,8.118359e-06,8.320050e-06,8.383798e-06,8.649648e-06,8.670930e-06,8.915769e-06,9.022262e-06,9.182025e-06,9.373741e-06,9.448288e-06,9.714434e-06,9.725076e-06,9.980347e-06,1.007600e-05,1.024592e-05,1.042625e-05,1.051103e-05,1.077560e-05,1.103951e-05,1.112381e-05,1.130269e-05,1.147069e-05,1.156504e-05,1.181604e-05,1.182648e-05,1.208693e-05,1.215967e-05,1.234633e-05,1.250143e-05,1.260460e-05,1.284115e-05,1.286167e-05,1.311748e-05,1.317868e-05,1.337198e-05,1.351391e-05,1.362511e-05,1.384669e-05,1.387682e-05,1.412706e-05,1.417693e-05,1.437579e-05,1.450452e-05,1.462296e-05,1.482936e-05,1.486854e-05,1.511248e-05,1.515136e-05,1.535476e-05,1.547046e-05,1.559535e-05,1.578657e-05,1.583421e-05,1.607131e-05,1.609965e-05,1.630664e-05,1.640962e-05,1.654017e-05,1.671644e-05,1.677188e-05,1.700176e-05,1.702007e-05,1.722978e-05,1.732047e-05,1.745594e-05,1.761761e-05,1.768021e-05,1.790260e-05,1.791145e-05,1.812308e-05,1.820199e-05,1.834165e-05,1.848919e-05,1.855831e-05,1.877304e-05,1.905354e-05,1.933068e-05,1.960446e-05,1.987487e-05,2.014192e-05,2.040561e-05,2.066596e-05,2.092298e-05,2.117668e-05,2.142707e-05,2.167418e-05,2.191802e-05,2.215861e-05,2.239598e-05,2.263016e-05,2.286115e-05,2.308901e-05,2.331374e-05,2.353539e-05,2.375397e-05,2.396952e-05,2.418208e-05,2.439167e-05,2.459832e-05
0.000000e+00,4.255069e-12,1.295018e-11,6.810940e-11,2.058850e-10,3.425010e-10,1.035340e-09,1.077712e-09,2.632761e-09,3.278004e-09,5.495885e-09,8.101124e-09,1.030625e-08,1.711916e-08,1.784206e-08,2.893717e-08,3.221839e-08,4.437130e-08,5.516568e-08,6.481988e-08,8.742384e-08,9.086133e-08,1.229970e-07,1.301950e-07,1.616643e-07,1.844806e-07,2.072421e-07,2.511048e-07,2.600518e-07,3.203564e-07,3.307151e-07,3.883594e-07,4.237799e-07,4.642049e-07,5.305872e-07,5.479783e-07,6.397087e-07,6.512505e-07,7.393722e-07,7.857203e-07,8.468961e-07,9.338011e-07,9.621638e-07,1.085020e-06,1.095171e-06,1.215276e-06,1.269402e-06,1.352714e-06,1.455983e-06,1.497095e-06,1.648158e-06,1.654336e-06,1.805632e-06,1.863838e-06,1.969233e-06,2.083832e-06,2.138669e-06,2.313645e-06,2.493865e-06,2.552594e-06,2.679032e-06,2.799999e-06,2.868851e-06,3.055184e-06,3.063032e-06,3.261287e-06,3.317491e-06,3.463338e-06,3.586276e-06,3.668910e-06,3.860916e-06,3.877736e-06,4.089557e-06,4.140812e-06,4.304122e-06,4.425385e-06,4.521187e-06,4.714086e-06,4.740518e-06,4.961887e-06,5.006386e-06,5.185076e-06,5.301784e-06,5.409876e-06,5.599804e-06,5.636084e-06,5.863507e-06,5.899994e-06,6.091957e-06,6.201927e-06,6.321259e-06,6.505198e-06,6.551240e-06,6.781739e-06,6.809426e-06,7.012599e-06,7.114253e-06,7.243672e-06,7.419342e-06,7.474816e-06,7.705896e-06,7.724376e-06,7.936784e-06,8.029058e-06,8.167357e-06,8.333110e-06,8.397500e-06,8.627101e-06,8.636273e-06,8.856057e-06,8.938304e-06,9.084268e-06,9.238978e-06,9.311640e-06,9.538085e-06,9.763519e-06,9.835431e-06,9.987862e-06,1.013083e-05,1.021104e-05,1.042413e-05,1.043298e-05,1.065363e-05,1.071517e-05,1.087291e-05,1.100380e-05,1.109077e-05,1.128990e-05,1.130715e-05,1.152201e-05,1.157335e-05,1.173530e-05,1.185404e-05,1.194697e-05,1.213187e-05,1.215698e-05,1.236530e-05,1.240676e-05,1.257189e-05,1.267862e-05,1.277672e-05,1.294739e-05,1.297975e-05,1.318097e-05,1.321300e-05,1.338035e-05,1.347539e-05,1.357787e-05,1.373452e-05,1.377350e-05,1.396722e-05,1.399034e-05,1.415904e-05,1.424282e-05,1.434892e-05,1.449193e-05,1.453686e-05,1.472285e-05,1.473764e-05,1.490687e-05,1.497993e-05,1.508893e-05,1.521879e-05,1.526902e-05,1.544713e-05,1.545421e-05,1.562326e-05,1.568618e-05,1.579741e-05,1.591470e-05,1.596958e-05,1.613977e-05,1.636140e-05,1.657959e-05,1.679435e-05,1.700571e-05,1.721367e-05,1.741825e-05,1.761948e-05,1.781738e-05,1.801197e-05,1.820328e-05,1.839134e-05,1.857617e-05,1.875781e-05,1.893630e-05,1.911165e-05,1.928391e-05,1.945311e-05,1.961929e-05,1.978249e-05,1.994273e-05,2.010006e-05,2.025452e-05,2.040614e-05,2.055496e-05
0.000000e+00,3.303953e-16,3.355679e-15,9.721066e-14,8.428054e-13,2.212713e-12,1.673301e-11,1.796815e-11,8.399379e-11,1.209794e-10,2.795495e-10,5.132411e-10,7.415108e-10,1.577448e-09,1.675724e-09,3.366206e-09,3.923684e-09,6.183351e-09,8.421699e-09,1.058980e-08,1.621962e-08,1.713886e-08,2.645810e-08,2.871288e-08,3.921432e-08,4.742603e-08,5.606553e-08,7.382787e-08,7.761346e-08,1.043689e-07,1.091615e-07,1.367354e-07,1.543550e-07,1.750083e-07,2.100139e-07,2.193834e-07,2.699697e-07,2.764598e-07,3.268019e-07,3.537816e-07,3.898522e-07,4.418809e-07,4.590394e-07,5.342367e-07,5.405074e-07,6.152785e-07,6.492882e-07,7.019663e-07,7.677515e-07,7.940741e-07,8.913535e-07,8.953485e-07,9.935387e-07,1.031473e-06,1.100350e-06,1.175478e-06,1.211501e-06,1.326696e-06,1.445642e-06,1.484448e-06,1.568043e-06,1.648059e-06,1.693609e-06,1.816865e-06,1.822055e-06,1.953103e-06,1.990226e-06,2.086484e-06,2.167524e-06,2.221938e-06,2.348173e-06,2.359217e-06,2.498083e-06,2.531622e-06,2.638310e-06,2.717351e-06,2.779683e-06,2.904877e-06,2.921998e-06,3.065064e-06,3.093751e-06,3.208700e-06,3.283560e-06,3.352737e-06,3.473921e-06,3.497015e-06,3.641386e-06,3.664485e-06,3.785711e-06,3.854932e-06,3.929860e-06,4.044971e-06,4.073712e-06,4.217155e-06,4.234336e-06,4.360086e-06,4.422788e-06,4.502408e-06,4.610111e-06,4.644032e-06,4.784877e-06,4.796108e-06,4.924866e-06,4.980606e-06,5.063930e-06,5.163448e-06,5.202006e-06,5.339035e-06,5.344494e-06,5.474964e-06,5.523620e-06,5.609745e-06,5.700718e-06,5.743334e-06,5.875692e-06,6.006783e-06,6.048459e-06,6.136574e-06,6.218945e-06,6.265038e-06,6.387091e-06,6.392149e-06,6.517885e-06,6.552842e-06,6.642227e-06,6.716156e-06,6.765159e-06,6.876997e-06,6.886665e-06,7.006735e-06,7.035336e-06,7.125358e-06,7.191152e-06,7.242526e-06,7.344427e-06,7.358235e-06,7.472479e-06,7.495152e-06,7.585257e-06,7.643322e-06,7.696567e-06,7.788934e-06,7.806410e-06,7.914788e-06,7.931992e-06,8.021703e-06,8.072504e-06,8.127159e-06,8.210478e-06,8.231162e-06,8.333718e-06,8.345928e-06,8.434833e-06,8.478870e-06,8.534516e-06,8.609321e-06,8.632774e-06,8.729617e-06,8.737303e-06,8.825054e-06,8.862837e-06,8.919096e-06,8.985948e-06,9.011753e-06,9.103038e-06,9.106661e-06,9.192961e-06,9.225002e-06,9.281534e-06,9.341000e-06,9.368771e-06,9.454684e-06,9.566083e-06,9.675229e-06,9.782152e-06,9.886885e-06,9.989459e-06,1.008991e-05,1.018826e-05,1.028456e-05,1.037883e-05,1.047110e-05,1.056142e-05,1.064980e-05,1.073629e-05,1.082092e-05,1.090373e-05,1.098473e-05,1.106397e-05,1.114148e-05,1.121729e-05,1.129143e-05,1.136394e-05,1.143483e-05,1.150415e-05,1.157192e-05
0.000000e+00,3.836706e-19,4.449740e-18,1.690905e-16,1.871724e-15,5.610389e-15,5.936146e-14,6.460655e-14,4.169811e-13,6.543149e-13,1.867525e-12,4.049064e-12,6.504846e-12,1.742000e-11,1.886271e-11,4.758306e-11,5.840207e-11,1.075956e-10,1.633164e-10,2.227730e-10,3.978649e-10,4.289368e-10,7.769900e-10,8.693466e-10,1.335871e-09,1.738625e-09,2.195003e-09,3.229663e-09,3.465958e-09,5.283159e-09,5.634781e-09,7.803505e-09,9.314537e-09,1.120496e-08,1.469213e-08,1.568419e-08,2.145337e-08,2.224290e-08,2.873637e-08,3.247991e-08,3.776447e-08,4.593706e-08,4.877184e-08,6.199091e-08,6.315082e-08,7.764784e-08,8.464194e-08,9.595819e-08,1.108982e-07,1.171230e-07,1.413252e-07,1.423589e-07,1.687268e-07,1.794020e-07,1.994661e-07,2.223340e-07,2.336560e-07,2.713831e-07,3.127063e-07,3.266951e-07,3.576572e-07,3.883329e-07,4.062405e-07,4.562780e-07,4.584346e-07,5.141930e-07,5.304351e-07,5.734458e-07,6.106377e-07,6.361018e-07,6.966559e-07,7.020500e-07,7.711627e-07,7.882050e-07,8.432969e-07,8.849544e-07,9.182971e-07,9.865365e-07,9.959974e-07,1.076223e-06,1.092556e-06,1.158796e-06,1.202599e-06,1.243530e-06,1.316242e-06,1.330240e-06,1.418740e-06,1.433054e-06,1.508845e-06,1.552611e-06,1.600371e-06,1.674494e-06,1.693139e-06,1.786974e-06,1.798298e-06,1.881708e-06,1.923634e-06,1.977178e-06,2.050131e-06,2.073227e-06,2.169707e-06,2.177440e-06,2.266476e-06,2.305234e-06,2.363400e-06,2.433209e-06,2.460352e-06,2.557215e-06,2.561086e-06,2.653877e-06,2.688606e-06,2.750235e-06,2.815535e-06,2.846193e-06,2.941662e-06,3.036561e-06,3.066796e-06,3.130814e-06,3.190765e-06,3.224352e-06,3.313417e-06,3.317112e-06,3.409037e-06,3.434619e-06,3.500075e-06,3.554252e-06,3.590179e-06,3.672214e-06,3.679308e-06,3.767423e-06,3.788416e-06,3.854492e-06,3.902782e-06,3.940485e-06,4.015249e-06,4.025377e-06,4.109145e-06,4.125762e-06,4.191770e-06,4.234278e-06,4.273236e-06,4.340761e-06,4.353529e-06,4.432638e-06,4.445185e-06,4.510554e-06,4.547528e-06,4.587271e-06,4.647778e-06,4.662784e-06,4.737089e-06,4.745925e-06,4.810187e-06,4.841967e-06,4.882076e-06,4.935904e-06,4.952758e-06,5.022236e-06,5.027742e-06,5.090515e-06,5.117491e-06,5.157598e-06,5.205162e-06,5.223493e-06,5.288206e-06,5.290770e-06,5.351744e-06,5.374332e-06,5.414116e-06,5.455868e-06,5.475331e-06,5.535399e-06,5.612948e-06,5.688540e-06,5.762200e-06,5.833955e-06,5.903833e-06,5.971862e-06,6.038072e-06,6.102491e-06,6.165149e-06,6.226078e-06,6.285307e-06,6.342867e-06,6.398789e-06,6.453104e-06,6.505842e-06,6.557035e-06,6.606712e-06,6.654905e-06,6.701643e-06,6.746958e-06,6.790877e-06,6.833432e-06,6.874650e-06,6.914562e-06
0.000000e+00,2.387369e-12,7.342920e-12,3.899929e-11,1.181706e-10,1.965073e-10,5.905823e-10,6.145171e-10,1.481685e-09,1.835861e-09,3.032753e-09,4.405699e-09,5.545942e-09,8.979999e-09,9.338507e-09,1.475619e-08,1.633789e-08,2.215539e-08,2.729538e-08,3.188564e-08,4.264104e-08,4.427943e-08,5.964751e-08,6.310367e-08,7.827574e-08,8.933759e-08,1.004218e-07,1.219098e-07,1.263123e-07,1.561398e-07,1.612885e-07,1.900612e-07,2.078344e-07,2.281970e-07,2.617977e-07,2.706313e-07,3.174129e-07,3.233198e-07,3.685569e-07,3.924393e-07,4.240477e-07,4.691017e-07,4.838413e-07,5.478687e-07,5.531712e-07,6.160391e-07,6.444433e-07,6.882429e-07,7.426575e-07,7.643551e-07,8.442378e-07,8.475095e-07,9.277432e-07,9.586622e-07,1.014716e-06,1.075755e-06,1.104994e-06,1.198414e-06,1.294808e-06,1.326255e-06,1.394009e-06,1.458893e-06,1.495849e-06,1.595946e-06,1.600164e-06,1.706790e-06,1.737037e-06,1.815566e-06,1.881799e-06,1.926336e-06,2.029873e-06,2.038946e-06,2.153248e-06,2.180916e-06,2.269097e-06,2.334595e-06,2.386353e-06,2.490594e-06,2.504880e-06,2.624548e-06,2.648608e-06,2.745232e-06,2.808349e-06,2.866811e-06,2.969543e-06,2.989168e-06,3.112191e-06,3.131930e-06,3.235775e-06,3.295263e-06,3.359816e-06,3.459312e-06,3.484217e-06,3.608884e-06,3.623857e-06,3.733728e-06,3.788693e-06,3.858664e-06,3.953627e-06,3.983611e-06,4.108491e-06,4.118476e-06,4.233232e-06,4.283073e-06,4.357763e-06,4.447259e-06,4.482019e-06,4.605936e-06,4.610885e-06,4.729456e-06,4.773815e-06,4.852521e-06,4.935920e-06,4.975080e-06,5.097081e-06,5.218478e-06,5.257190e-06,5.339226e-06,5.416144e-06,5.459282e-06,5.573850e-06,5.578609e-06,5.697168e-06,5.730222e-06,5.814925e-06,5.885182e-06,5.931849e-06,6.038656e-06,6.047908e-06,6.163076e-06,6.190580e-06,6.277325e-06,6.340895e-06,6.390632e-06,6.489545e-06,6.502975e-06,6.614332e-06,6.636484e-06,6.724686e-06,6.781667e-06,6.834018e-06,6.925057e-06,6.942314e-06,7.049558e-06,7.066619e-06,7.155739e-06,7.206324e-06,7.260843e-06,7.344146e-06,7.364862e-06,7.467786e-06,7.480063e-06,7.569608e-06,7.614058e-06,7.670320e-06,7.746115e-06,7.769916e-06,7.868393e-06,7.876222e-06,7.965745e-06,8.004371e-06,8.061972e-06,8.130556e-06,8.157069e-06,8.251036e-06,8.254772e-06,8.343874e-06,8.377018e-06,8.435581e-06,8.497297e-06,8.526159e-06,8.615609e-06,8.731962e-06,8.846361e-06,8.958815e-06,9.069333e-06,9.177928e-06,9.284612e-06,9.389398e-06,9.492302e-06,9.593340e-06,9.692529e-06,9.789886e-06,9.885431e-06,9.979181e-06,1.007116e-05,1.016138e-05,1.024987e-05,1.033665e-05,1.042174e-05,1.050516e-05,1.058694e-05,1.066710e-05,1.074565e-05,1.082263e-05,1.089806e-05
0.000000e+00,3.346547e-17,3.543140e-16,1.117277e-14,1.043780e-13,2.851755e-13,2.380876e-12,2.566614e-12,1.315625e-11,1.941069e-11,4.755923e-11,9.137829e-11,1.358626e-10,3.072336e-10,3.280035e-10,6.977647e-10,8.233919e-10,1.343700e-09,1.870124e-09,2.385950e-09,3.738270e-09,3.959932e-09,6.209035e-09,6.752650e-09,9.278056e-09,1.124506e-08,1.330804e-08,1.753375e-08,1.843240e-08,2.477408e-08,2.590927e-08,3.244316e-08,3.662445e-08,4.153509e-08,4.988695e-08,5.212918e-08,6.428763e-08,6.585407e-08,7.805502e-08,8.462998e-08,9.345840e-08,1.062659e-07,1.105078e-07,1.291972e-07,1.307626e-07,1.495060e-07,1.580758e-07,1.714006e-07,1.881219e-07,1.948363e-07,2.197589e-07,2.207859e-07,2.461071e-07,2.559286e-07,2.738134e-07,2.933932e-07,3.028065e-07,3.330124e-07,3.643554e-07,3.746130e-07,3.967598e-07,4.180208e-07,4.301502e-07,4.630638e-07,4.644525e-07,4.995944e-07,5.095749e-07,5.355058e-07,5.573938e-07,5.721192e-07,6.063680e-07,6.093700e-07,6.471963e-07,6.563536e-07,6.855392e-07,7.072160e-07,7.243430e-07,7.588296e-07,7.635548e-07,8.031248e-07,8.110776e-07,8.430058e-07,8.638521e-07,8.831536e-07,9.170534e-07,9.235266e-07,9.640856e-07,9.705899e-07,1.004794e-06,1.024377e-06,1.045618e-06,1.078338e-06,1.086524e-06,1.127483e-06,1.132401e-06,1.168468e-06,1.186502e-06,1.209450e-06,1.240581e-06,1.250407e-06,1.291314e-06,1.294584e-06,1.332152e-06,1.348462e-06,1.372899e-06,1.402171e-06,1.413537e-06,1.454050e-06,1.455668e-06,1.494421e-06,1.508917e-06,1.534636e-06,1.561885e-06,1.574680e-06,1.614541e-06,1.654206e-06,1.666856e-06,1.693666e-06,1.718808e-06,1.732910e-06,1.770372e-06,1.771928e-06,1.810712e-06,1.821528e-06,1.849254e-06,1.872260e-06,1.887547e-06,1.922550e-06,1.925583e-06,1.963358e-06,1.972384e-06,2.000865e-06,2.021750e-06,2.038099e-06,2.070636e-06,2.075056e-06,2.111732e-06,2.119033e-06,2.148122e-06,2.166931e-06,2.184224e-06,2.214324e-06,2.220034e-06,2.255551e-06,2.261206e-06,2.290770e-06,2.307570e-06,2.325692e-06,2.353413e-06,2.360313e-06,2.394633e-06,2.398731e-06,2.428650e-06,2.443521e-06,2.462363e-06,2.487781e-06,2.495772e-06,2.528875e-06,2.531511e-06,2.561674e-06,2.574708e-06,2.594167e-06,2.617373e-06,2.626355e-06,2.658237e-06,2.659506e-06,2.689815e-06,2.701108e-06,2.721088e-06,2.742180e-06,2.752057e-06,2.782724e-06,2.822741e-06,2.862234e-06,2.901206e-06,2.939659e-06,2.977597e-06,3.015022e-06,3.051939e-06,3.088351e-06,3.124262e-06,3.159676e-06,3.194597e-06,3.229031e-06,3.262981e-06,3.296451e-06,3.329448e-06,3.361974e-06,3.394036e-06,3.425638e-06,3.456785e-06,3.487482e-06,3.517734e-06,3.547546e-06,3.576923e-06,3.605870e-06
0.000000e+00,4.383496e-14,3.424372e-13,6.059047e-12,3.550934e-11,7.684782e-11,3.761281e-10,3.975183e-10,1.309089e-09,1.733969e-09,3.306366e-09,5.286479e-09,7.029834e-09,1.264733e-08,1.325846e-08,2.290357e-08,2.583940e-08,3.700136e-08,4.726471e-08,5.669876e-08,7.963946e-08,8.322501e-08,1.178458e-07,1.258520e-07,1.618093e-07,1.887595e-07,2.163012e-07,2.710155e-07,2.824175e-07,3.611529e-07,3.749824e-07,4.533954e-07,5.027025e-07,5.599239e-07,6.558850e-07,6.814059e-07,8.183956e-07,8.358985e-07,9.713329e-07,1.043766e-06,1.140544e-06,1.280166e-06,1.326245e-06,1.528543e-06,1.545445e-06,1.747444e-06,1.839637e-06,1.982859e-06,2.162488e-06,2.234612e-06,2.502445e-06,2.513489e-06,2.786033e-06,2.891909e-06,3.084988e-06,3.296831e-06,3.398867e-06,3.727184e-06,4.069414e-06,4.181776e-06,4.425002e-06,4.659324e-06,4.793372e-06,5.158478e-06,5.173927e-06,5.566058e-06,5.677846e-06,5.969151e-06,6.216010e-06,6.382586e-06,6.771547e-06,6.805743e-06,7.238008e-06,7.343038e-06,7.678769e-06,7.929082e-06,8.127426e-06,8.528303e-06,8.583385e-06,9.046066e-06,9.139359e-06,9.514902e-06,9.760945e-06,9.989339e-06,1.039180e-05,1.046884e-05,1.095287e-05,1.103070e-05,1.144093e-05,1.167649e-05,1.193253e-05,1.232804e-05,1.242719e-05,1.292444e-05,1.298427e-05,1.342385e-05,1.364417e-05,1.392499e-05,1.430676e-05,1.442744e-05,1.493081e-05,1.497111e-05,1.543472e-05,1.563635e-05,1.593881e-05,1.630166e-05,1.644272e-05,1.694612e-05,1.696624e-05,1.744869e-05,1.762935e-05,1.795012e-05,1.829030e-05,1.845013e-05,1.894844e-05,1.944478e-05,1.960315e-05,1.993890e-05,2.025386e-05,2.043057e-05,2.090004e-05,2.091954e-05,2.140562e-05,2.154118e-05,2.188860e-05,2.217681e-05,2.236828e-05,2.280651e-05,2.284448e-05,2.331704e-05,2.342989e-05,2.378578e-05,2.404656e-05,2.425058e-05,2.465620e-05,2.471127e-05,2.516773e-05,2.525850e-05,2.561983e-05,2.585316e-05,2.606746e-05,2.643995e-05,2.651052e-05,2.694891e-05,2.701861e-05,2.738252e-05,2.758894e-05,2.781129e-05,2.815077e-05,2.823514e-05,2.865399e-05,2.870391e-05,2.906778e-05,2.924823e-05,2.947645e-05,2.978359e-05,2.987996e-05,3.027826e-05,3.030990e-05,3.067131e-05,3.082705e-05,3.105907e-05,3.133497e-05,3.144152e-05,3.181864e-05,3.183361e-05,3.219040e-05,3.232292e-05,3.255679e-05,3.280286e-05,3.291780e-05,3.327342e-05,3.373458e-05,3.418636e-05,3.462877e-05,3.506182e-05,3.548557e-05,3.590004e-05,3.630530e-05,3.670139e-05,3.708839e-05,3.746636e-05,3.783539e-05,3.819555e-05,3.854694e-05,3.888965e-05,3.922378e-05,3.954943e-05,3.986671e-05,4.017571e-05,4.047656e-05,4.076937e-05,4.105426e-05,4.133134e-05,4.160073e-05,4.186256e-05
0.000000e+00,2.440766e-12,8.829503e-12,5.562457e-11,1.825826e-10,3.129474e-10,9.943866e-10,1.036577e-09,2.598104e-09,3.249097e-09,5.487636e-09,8.112051e-09,1.032804e-08,1.715539e-08,1.787909e-08,2.899620e-08,3.229089e-08,4.452710e-08,5.543490e-08,6.521529e-08,8.817824e-08,9.167594e-08,1.244159e-07,1.317558e-07,1.638555e-07,1.871291e-07,2.103397e-07,2.550338e-07,2.641436e-07,3.254742e-07,3.359958e-07,3.944714e-07,4.303378e-07,4.712106e-07,5.381874e-07,5.557056e-07,6.479134e-07,6.594926e-07,7.477393e-07,7.940414e-07,8.550428e-07,9.414850e-07,9.696438e-07,1.091329e-06,1.101363e-06,1.219858e-06,1.273127e-06,1.354967e-06,1.456165e-06,1.496378e-06,1.643799e-06,1.649817e-06,1.796931e-06,1.853397e-06,1.955468e-06,2.066205e-06,2.119105e-06,2.287536e-06,2.460458e-06,2.516693e-06,2.637574e-06,2.752993e-06,2.818589e-06,2.995769e-06,3.003220e-06,3.191187e-06,3.244378e-06,3.382220e-06,3.498202e-06,3.576058e-06,3.756649e-06,3.772449e-06,3.971149e-06,4.019155e-06,4.171925e-06,4.285182e-06,4.374552e-06,4.554223e-06,4.578814e-06,4.784505e-06,4.825798e-06,4.991429e-06,5.099453e-06,5.199396e-06,5.374764e-06,5.408227e-06,5.617751e-06,5.651328e-06,5.827805e-06,5.928773e-06,6.038233e-06,6.206746e-06,6.248888e-06,6.459631e-06,6.484920e-06,6.670329e-06,6.762989e-06,6.880856e-06,7.040670e-06,7.091094e-06,7.300931e-06,7.317697e-06,7.510260e-06,7.593827e-06,7.718982e-06,7.868833e-06,7.927003e-06,8.134234e-06,8.142506e-06,8.340592e-06,8.414652e-06,8.545999e-06,8.685096e-06,8.750383e-06,8.953674e-06,9.155809e-06,9.220239e-06,9.356729e-06,9.484654e-06,9.556378e-06,9.746798e-06,9.754705e-06,9.951662e-06,1.000656e-05,1.014721e-05,1.026384e-05,1.034129e-05,1.051854e-05,1.053389e-05,1.072496e-05,1.077059e-05,1.091448e-05,1.101992e-05,1.110241e-05,1.126646e-05,1.128873e-05,1.147341e-05,1.151015e-05,1.165644e-05,1.175096e-05,1.183780e-05,1.198884e-05,1.201747e-05,1.219544e-05,1.222375e-05,1.237169e-05,1.245568e-05,1.254622e-05,1.268459e-05,1.271901e-05,1.289007e-05,1.291047e-05,1.305937e-05,1.313332e-05,1.322693e-05,1.335311e-05,1.339274e-05,1.355680e-05,1.356985e-05,1.371911e-05,1.378354e-05,1.387967e-05,1.399419e-05,1.403848e-05,1.419555e-05,1.420180e-05,1.435088e-05,1.440638e-05,1.450448e-05,1.460794e-05,1.465636e-05,1.480651e-05,1.500211e-05,1.519474e-05,1.538444e-05,1.557123e-05,1.575513e-05,1.593618e-05,1.611440e-05,1.628982e-05,1.646248e-05,1.663240e-05,1.679963e-05,1.696418e-05,1.712611e-05,1.728544e-05,1.744220e-05,1.759644e-05,1.774818e-05,1.789748e-05,1.804435e-05,1.818884e-05,1.833099e-05,1.847083e-05,1.860839e-05,1.874372e-05
0.000000e+00,2.439064e-12,7.683269e-12,4.173491e-11,1.275336e-10,2.126344e-10,6.416805e-10,6.677746e-10,1.615600e-09,2.004074e-09,3.322644e-09,4.845883e-09,6.119353e-09,9.998433e-09,1.040705e-08,1.666085e-08,1.851315e-08,2.541905e-08,3.162916e-08,3.724803e-08,5.062472e-08,5.268313e-08,7.216904e-08,7.658295e-08,9.602891e-08,1.102366e-07,1.244668e-07,1.519719e-07,1.575880e-07,1.954213e-07,2.019106e-07,2.379372e-07,2.599875e-07,2.850609e-07,3.260039e-07,3.366814e-07,3.926583e-07,3.996607e-07,4.528267e-07,4.805817e-07,5.170020e-07,5.683320e-07,5.849834e-07,6.565582e-07,6.624328e-07,7.315043e-07,7.623759e-07,8.095943e-07,8.676365e-07,8.905978e-07,9.742840e-07,9.776840e-07,1.060424e-06,1.091992e-06,1.148794e-06,1.210047e-06,1.239175e-06,1.331354e-06,1.425127e-06,1.455439e-06,1.520300e-06,1.581858e-06,1.616685e-06,1.710192e-06,1.714106e-06,1.812398e-06,1.840054e-06,1.911402e-06,1.971085e-06,2.010971e-06,2.102956e-06,2.110968e-06,2.211264e-06,2.235366e-06,2.311740e-06,2.368043e-06,2.412283e-06,2.500736e-06,2.512792e-06,2.613171e-06,2.633224e-06,2.713332e-06,2.765303e-06,2.813194e-06,2.896792e-06,2.912682e-06,3.011729e-06,3.027531e-06,3.110271e-06,3.157374e-06,3.208251e-06,3.286194e-06,3.305616e-06,3.402320e-06,3.413878e-06,3.498318e-06,3.540324e-06,3.593572e-06,3.665445e-06,3.688046e-06,3.781708e-06,3.789165e-06,3.874529e-06,3.911416e-06,3.966484e-06,4.032142e-06,4.057549e-06,4.147705e-06,4.151292e-06,4.236933e-06,4.268825e-06,4.325217e-06,4.384705e-06,4.412545e-06,4.498903e-06,4.584283e-06,4.611396e-06,4.668676e-06,4.722166e-06,4.752075e-06,4.831198e-06,4.834474e-06,4.915871e-06,4.938481e-06,4.996261e-06,5.044011e-06,5.075643e-06,5.147783e-06,5.154016e-06,5.231380e-06,5.249797e-06,5.307736e-06,5.350056e-06,5.383087e-06,5.448566e-06,5.457434e-06,5.530782e-06,5.545331e-06,5.603133e-06,5.640363e-06,5.674492e-06,5.733671e-06,5.744865e-06,5.814256e-06,5.825268e-06,5.882673e-06,5.915168e-06,5.950120e-06,6.003384e-06,6.016605e-06,6.082134e-06,6.089934e-06,6.146716e-06,6.174833e-06,6.210357e-06,6.258100e-06,6.273066e-06,6.334850e-06,6.339753e-06,6.395718e-06,6.419811e-06,6.455679e-06,6.498294e-06,6.514741e-06,6.572913e-06,6.575222e-06,6.630204e-06,6.650614e-06,6.686622e-06,6.724493e-06,6.742178e-06,6.796880e-06,6.867794e-06,6.937260e-06,7.005296e-06,7.071927e-06,7.137173e-06,7.201056e-06,7.263598e-06,7.324821e-06,7.384747e-06,7.443397e-06,7.500793e-06,7.556956e-06,7.611908e-06,7.665670e-06,7.718262e-06,7.769706e-06,7.820022e-06,7.869230e-06,7.917351e-06,7.964405e-06,8.010411e-06,8.055388e-06,8.099356e-06,8.142335e-06
0.000000e+00,2.700010e-13,1.257791e-12,1.041232e-11,3.860837e-11,6.903625e-11,2.341508e-10,2.445023e-10,6.290796e-10,7.889998e-10,1.334146e-09,1.963161e-09,2.486317e-09,4.060103e-09,4.224098e-09,6.694544e-09,7.413294e-09,1.004940e-08,1.237107e-08,1.444014e-08,1.927616e-08,2.001155e-08,2.689363e-08,2.843717e-08,3.519231e-08,4.009326e-08,4.498079e-08,5.438101e-08,5.629381e-08,6.912709e-08,7.131933e-08,8.344189e-08,9.082074e-08,9.917246e-08,1.127199e-07,1.162342e-07,1.345305e-07,1.368041e-07,1.539582e-07,1.628377e-07,1.744120e-07,1.905784e-07,1.957868e-07,2.179801e-07,2.197879e-07,2.408936e-07,2.502396e-07,2.644340e-07,2.817218e-07,2.885136e-07,3.130510e-07,3.140409e-07,3.379708e-07,3.470221e-07,3.632040e-07,3.805092e-07,3.886876e-07,4.143644e-07,4.401829e-07,4.484670e-07,4.660966e-07,4.827121e-07,4.920642e-07,5.170092e-07,5.180485e-07,5.440166e-07,5.512807e-07,5.699393e-07,5.854602e-07,5.957907e-07,6.194916e-07,6.215482e-07,6.471918e-07,6.533274e-07,6.727040e-07,6.869277e-07,6.980696e-07,7.202593e-07,7.232752e-07,7.483094e-07,7.532947e-07,7.731622e-07,7.860112e-07,7.978253e-07,8.183902e-07,8.222912e-07,8.465540e-07,8.504169e-07,8.706085e-07,8.820793e-07,8.944504e-07,9.133685e-07,9.180762e-07,9.414832e-07,9.442773e-07,9.646693e-07,9.748008e-07,9.876329e-07,1.004936e-06,1.010373e-06,1.032888e-06,1.034680e-06,1.055179e-06,1.064033e-06,1.077246e-06,1.092995e-06,1.099088e-06,1.120707e-06,1.121567e-06,1.142104e-06,1.149752e-06,1.163278e-06,1.177551e-06,1.184233e-06,1.204969e-06,1.225487e-06,1.232008e-06,1.245790e-06,1.258672e-06,1.265880e-06,1.284967e-06,1.285758e-06,1.305427e-06,1.310897e-06,1.324888e-06,1.336465e-06,1.344143e-06,1.361679e-06,1.363196e-06,1.382048e-06,1.386543e-06,1.400701e-06,1.411061e-06,1.419159e-06,1.435241e-06,1.437422e-06,1.455495e-06,1.459086e-06,1.473378e-06,1.482604e-06,1.491075e-06,1.505798e-06,1.508588e-06,1.525919e-06,1.528676e-06,1.543072e-06,1.551242e-06,1.560047e-06,1.573502e-06,1.576849e-06,1.593478e-06,1.595462e-06,1.609938e-06,1.617127e-06,1.626231e-06,1.638503e-06,1.642359e-06,1.658325e-06,1.659596e-06,1.674131e-06,1.680410e-06,1.689780e-06,1.700950e-06,1.705273e-06,1.720613e-06,1.721223e-06,1.735802e-06,1.741234e-06,1.750843e-06,1.760986e-06,1.765737e-06,1.780487e-06,1.799740e-06,1.818750e-06,1.837522e-06,1.856062e-06,1.874372e-06,1.892459e-06,1.910327e-06,1.927979e-06,1.945420e-06,1.962655e-06,1.979687e-06,1.996520e-06,2.013159e-06,2.029607e-06,2.045868e-06,2.061946e-06,2.077844e-06,2.093565e-06,2.109114e-06,2.124494e-06,2.139707e-06,2.154757e-06,2.169648e-06,2.184382e-06
0.000000e+00,4.720011e-12,1.460966e-11,7.832884e-11,2.392849e-10,3.999108e-10,1.221649e-09,1.272168e-09,3.139681e-09,3.920564e-09,6.623754e-09,9.826549e-09,1.255306e-08,2.102497e-08,2.192628e-08,3.578008e-08,3.988078e-08,5.507754e-08,6.858982e-08,8.069014e-08,1.090925e-07,1.134215e-07,1.540277e-07,1.631578e-07,2.032263e-07,2.324324e-07,2.616965e-07,3.184439e-07,3.300752e-07,4.089505e-07,4.225810e-07,4.988554e-07,5.460685e-07,6.002618e-07,6.899428e-07,7.135752e-07,8.391318e-07,8.550346e-07,9.771962e-07,1.041959e-06,1.127962e-06,1.251116e-06,1.291551e-06,1.468019e-06,1.482693e-06,1.657355e-06,1.736680e-06,1.859491e-06,2.012885e-06,2.074300e-06,2.301606e-06,2.310956e-06,2.541190e-06,2.630397e-06,2.792791e-06,2.970594e-06,3.056114e-06,3.330836e-06,3.616608e-06,3.710329e-06,3.913061e-06,4.108220e-06,4.219811e-06,4.523607e-06,4.536458e-06,4.862596e-06,4.955560e-06,5.197811e-06,5.403123e-06,5.541685e-06,5.865335e-06,5.893797e-06,6.253729e-06,6.341230e-06,6.621062e-06,6.829847e-06,6.995382e-06,7.330237e-06,7.376278e-06,7.763346e-06,7.841465e-06,8.156188e-06,8.362618e-06,8.554413e-06,8.892800e-06,8.957636e-06,9.365484e-06,9.431144e-06,9.777588e-06,9.976805e-06,1.019359e-05,1.052897e-05,1.061315e-05,1.103591e-05,1.108684e-05,1.146156e-05,1.164967e-05,1.188976e-05,1.221672e-05,1.232022e-05,1.275262e-05,1.278728e-05,1.318667e-05,1.336069e-05,1.362210e-05,1.393630e-05,1.405862e-05,1.449597e-05,1.451348e-05,1.493390e-05,1.509164e-05,1.537215e-05,1.567023e-05,1.581050e-05,1.624871e-05,1.668656e-05,1.682656e-05,1.712383e-05,1.740329e-05,1.756033e-05,1.797845e-05,1.799585e-05,1.843021e-05,1.855160e-05,1.886323e-05,1.912232e-05,1.929472e-05,1.969022e-05,1.972454e-05,2.015251e-05,2.025493e-05,2.057848e-05,2.081610e-05,2.100231e-05,2.137340e-05,2.142386e-05,2.184300e-05,2.192652e-05,2.225959e-05,2.247518e-05,2.267353e-05,2.301910e-05,2.308469e-05,2.349297e-05,2.355802e-05,2.389827e-05,2.409172e-05,2.430048e-05,2.461997e-05,2.469951e-05,2.509529e-05,2.514256e-05,2.548771e-05,2.565930e-05,2.587672e-05,2.617003e-05,2.626223e-05,2.664418e-05,2.667458e-05,2.702250e-05,2.717280e-05,2.739713e-05,2.766456e-05,2.776803e-05,2.813513e-05,2.814973e-05,2.849839e-05,2.862821e-05,2.885776e-05,2.909990e-05,2.921321e-05,2.956470e-05,3.002255e-05,3.047336e-05,3.091709e-05,3.135368e-05,3.178310e-05,3.220530e-05,3.262026e-05,3.302797e-05,3.342842e-05,3.382159e-05,3.420750e-05,3.458614e-05,3.495753e-05,3.532170e-05,3.567866e-05,3.602844e-05,3.637108e-05,3.670661e-05,3.703507e-05,3.735651e-05,3.767098e-05,3.797853e-05,3.827921e-05,3.857308e-05
0.000000e+00,1.760369e-15,1.653307e-14,4.107012e-13,3.127506e-12,7.679787e-12,4.957743e-11,5.291917e-11,2.161023e-10,3.011230e-10,6.445952e-10,1.120277e-09,1.566822e-09,3.128229e-09,3.307083e-09,6.303736e-09,7.270122e-09,1.112385e-08,1.487243e-08,1.845626e-08,2.759336e-08,2.906505e-08,4.371059e-08,4.718600e-08,6.307301e-08,7.519551e-08,8.770840e-08,1.127917e-07,1.180420e-07,1.543828e-07,1.607703e-07,1.969450e-07,2.196275e-07,2.458660e-07,2.896334e-07,3.012208e-07,3.630312e-07,3.708815e-07,4.312725e-07,4.633203e-07,5.058785e-07,5.667738e-07,5.867464e-07,6.737402e-07,6.809596e-07,7.666954e-07,8.055050e-07,8.654228e-07,9.399635e-07,9.697124e-07,1.079338e-06,1.083830e-06,1.194059e-06,1.236558e-06,1.313626e-06,1.397570e-06,1.437784e-06,1.566272e-06,1.698831e-06,1.742066e-06,1.835199e-06,1.924355e-06,1.975120e-06,2.112551e-06,2.118340e-06,2.264610e-06,2.306080e-06,2.413690e-06,2.504389e-06,2.565344e-06,2.706944e-06,2.719345e-06,2.875473e-06,2.913237e-06,3.033517e-06,3.122782e-06,3.193274e-06,3.335121e-06,3.354548e-06,3.517154e-06,3.549820e-06,3.680914e-06,3.766469e-06,3.845658e-06,3.984684e-06,4.011224e-06,4.177457e-06,4.204107e-06,4.344213e-06,4.424399e-06,4.511351e-06,4.645248e-06,4.678740e-06,4.846255e-06,4.866359e-06,5.013777e-06,5.087461e-06,5.181197e-06,5.308300e-06,5.348406e-06,5.515307e-06,5.528643e-06,5.681805e-06,5.748272e-06,5.847812e-06,5.966986e-06,6.013244e-06,6.178024e-06,6.184601e-06,6.342078e-06,6.400947e-06,6.505338e-06,6.615867e-06,6.667738e-06,6.829220e-06,6.989725e-06,7.040873e-06,7.149204e-06,7.250707e-06,7.307605e-06,7.458615e-06,7.464884e-06,7.621000e-06,7.664498e-06,7.775912e-06,7.868267e-06,7.929586e-06,8.069843e-06,8.081988e-06,8.233087e-06,8.269154e-06,8.382856e-06,8.466136e-06,8.531270e-06,8.660734e-06,8.678304e-06,8.823940e-06,8.852897e-06,8.968157e-06,9.042583e-06,9.110938e-06,9.229755e-06,9.252270e-06,9.392138e-06,9.414380e-06,9.530531e-06,9.596433e-06,9.667440e-06,9.775892e-06,9.802855e-06,9.936771e-06,9.952740e-06,1.006918e-05,1.012696e-05,1.020008e-05,1.029855e-05,1.032947e-05,1.045734e-05,1.046750e-05,1.058369e-05,1.063381e-05,1.070853e-05,1.079748e-05,1.083186e-05,1.095367e-05,1.095851e-05,1.107397e-05,1.111691e-05,1.119276e-05,1.127268e-05,1.131005e-05,1.142585e-05,1.157641e-05,1.172440e-05,1.186981e-05,1.201268e-05,1.215301e-05,1.229084e-05,1.242618e-05,1.255906e-05,1.268949e-05,1.281751e-05,1.294314e-05,1.306641e-05,1.318735e-05,1.330597e-05,1.342232e-05,1.353641e-05,1.364828e-05,1.375796e-05,1.386547e-05,1.397085e-05,1.407412e-05,1.417532e-05,1.427447e-05,1.437161e-05
0.000000e+00,1.127083e-11,3.419796e-11,1.792653e-10,5.412859e-10,9.004253e-10,2.726543e-09,2.838484e-09,6.964973e-09,8.686300e-09,1.463509e-08,2.167208e-08,2.765859e-08,4.626186e-08,4.824192e-08,7.869196e-08,8.770493e-08,1.210688e-07,1.506532e-07,1.770620e-07,2.386964e-07,2.480454e-07,3.351588e-07,3.546042e-07,4.393590e-07,5.005669e-07,5.614444e-07,6.782954e-07,7.020617e-07,8.617070e-07,8.890411e-07,1.040724e-06,1.133595e-06,1.239304e-06,1.412287e-06,1.457490e-06,1.695181e-06,1.725005e-06,1.952143e-06,2.071223e-06,2.228018e-06,2.450049e-06,2.522339e-06,2.834542e-06,2.860272e-06,3.163983e-06,3.300429e-06,3.509950e-06,3.768850e-06,3.871676e-06,4.248354e-06,4.263720e-06,4.639147e-06,4.783123e-06,5.043198e-06,5.325085e-06,5.459642e-06,5.887610e-06,6.326237e-06,6.468709e-06,6.774668e-06,7.066422e-06,7.232065e-06,7.678839e-06,7.697607e-06,8.170493e-06,8.304110e-06,8.649947e-06,8.940461e-06,9.135222e-06,9.586191e-06,9.625592e-06,1.012036e-05,1.023969e-05,1.061887e-05,1.089942e-05,1.112047e-05,1.156395e-05,1.162456e-05,1.213055e-05,1.223193e-05,1.263789e-05,1.290207e-05,1.314606e-05,1.357320e-05,1.365456e-05,1.416291e-05,1.424420e-05,1.467067e-05,1.491406e-05,1.517742e-05,1.558182e-05,1.568276e-05,1.618631e-05,1.624660e-05,1.668773e-05,1.690760e-05,1.718669e-05,1.756405e-05,1.768287e-05,1.817598e-05,1.821529e-05,1.866577e-05,1.886069e-05,1.915197e-05,1.949969e-05,1.963436e-05,2.011271e-05,2.013176e-05,2.058683e-05,2.075644e-05,2.105654e-05,2.137333e-05,2.152166e-05,2.198204e-05,2.243753e-05,2.258224e-05,2.288802e-05,2.317365e-05,2.333338e-05,2.375600e-05,2.377350e-05,2.420829e-05,2.432907e-05,2.463768e-05,2.489268e-05,2.506158e-05,2.544666e-05,2.547993e-05,2.589267e-05,2.599089e-05,2.629976e-05,2.652525e-05,2.670117e-05,2.704967e-05,2.709685e-05,2.748678e-05,2.756408e-05,2.787096e-05,2.806845e-05,2.824935e-05,2.856274e-05,2.862197e-05,2.898881e-05,2.904697e-05,2.934988e-05,2.952114e-05,2.970518e-05,2.998528e-05,3.005473e-05,3.039856e-05,3.043943e-05,3.073668e-05,3.088365e-05,3.106912e-05,3.131800e-05,3.139592e-05,3.171710e-05,3.174256e-05,3.203271e-05,3.215740e-05,3.234279e-05,3.256264e-05,3.264737e-05,3.294650e-05,3.295835e-05,3.324023e-05,3.334466e-05,3.352861e-05,3.372168e-05,3.381169e-05,3.408952e-05,3.444831e-05,3.479818e-05,3.513926e-05,3.547168e-05,3.579558e-05,3.611111e-05,3.641840e-05,3.671759e-05,3.700883e-05,3.729227e-05,3.756804e-05,3.783630e-05,3.809718e-05,3.835084e-05,3.859741e-05,3.883704e-05,3.906988e-05,3.929605e-05,3.951571e-05,3.972899e-05,3.993603e-05,4.013696e-05,4.033192e-05,4.052104e-05
0.000000e+00,1.676135e-17,1.838626e-16,6.227143e-15,6.198510e-14,1.752284e-13,1.593592e-12,1.723754e-12,9.576849e-12,1.443060e-11,3.721878e-11,7.440746e-11,1.134352e-10,2.707087e-10,2.903057e-10,6.518907e-10,7.790497e-10,1.322981e-09,1.896308e-09,2.476443e-09,4.067351e-09,4.336458e-09,7.174814e-09,7.886526e-09,1.129936e-08,1.406062e-08,1.703656e-08,2.334053e-08,2.471174e-08,3.463071e-08,3.644471e-08,4.706542e-08,5.399659e-08,6.224440e-08,7.648625e-08,8.034789e-08,1.015068e-07,1.042556e-07,1.258040e-07,1.375005e-07,1.532781e-07,1.762830e-07,1.839267e-07,2.177115e-07,2.205479e-07,2.545626e-07,2.701406e-07,2.943826e-07,3.248246e-07,3.370512e-07,3.824290e-07,3.842984e-07,4.303616e-07,4.482111e-07,4.806831e-07,5.161777e-07,5.332195e-07,5.877919e-07,6.442196e-07,6.626388e-07,7.023221e-07,7.403045e-07,7.619218e-07,8.203854e-07,8.228457e-07,8.849267e-07,9.024948e-07,9.480051e-07,9.862675e-07,1.011929e-06,1.071364e-06,1.076557e-06,1.141754e-06,1.157471e-06,1.207395e-06,1.244306e-06,1.273367e-06,1.331610e-06,1.339562e-06,1.405884e-06,1.419155e-06,1.472243e-06,1.506737e-06,1.538559e-06,1.594177e-06,1.604758e-06,1.670775e-06,1.681317e-06,1.736549e-06,1.768019e-06,1.802028e-06,1.854165e-06,1.867162e-06,1.931910e-06,1.939652e-06,1.996233e-06,2.024392e-06,2.060097e-06,2.108308e-06,2.123472e-06,2.186333e-06,2.191338e-06,2.248654e-06,2.273427e-06,2.310417e-06,2.354530e-06,2.371603e-06,2.432198e-06,2.434609e-06,2.492187e-06,2.513632e-06,2.551560e-06,2.591576e-06,2.610306e-06,2.668419e-06,2.725892e-06,2.744147e-06,2.782719e-06,2.818747e-06,2.838896e-06,2.892212e-06,2.894420e-06,2.949290e-06,2.964535e-06,3.003503e-06,3.035715e-06,3.057059e-06,3.105752e-06,3.109960e-06,3.162204e-06,3.174646e-06,3.213795e-06,3.242401e-06,3.264734e-06,3.309023e-06,3.315024e-06,3.364667e-06,3.374518e-06,3.413666e-06,3.438893e-06,3.462026e-06,3.502157e-06,3.509750e-06,3.556843e-06,3.564319e-06,3.603308e-06,3.625390e-06,3.649151e-06,3.685381e-06,3.694377e-06,3.738990e-06,3.744303e-06,3.782996e-06,3.802168e-06,3.826401e-06,3.858989e-06,3.869209e-06,3.911428e-06,3.914780e-06,3.953061e-06,3.969552e-06,3.994116e-06,4.023321e-06,4.034598e-06,4.074514e-06,4.076099e-06,4.113868e-06,4.127900e-06,4.152668e-06,4.178739e-06,4.190920e-06,4.228629e-06,4.277585e-06,4.325622e-06,4.372753e-06,4.418993e-06,4.464355e-06,4.508856e-06,4.552507e-06,4.595324e-06,4.637321e-06,4.678512e-06,4.718909e-06,4.758528e-06,4.797381e-06,4.835482e-06,4.872844e-06,4.909481e-06,4.945404e-06,4.980628e-06,5.015165e-06,5.049027e-06,5.082226e-06,5.114775e-06,5.146685e-06,5.177969e-06
0.000000e+00,3.148351e-14,2.911427e-13,7.021617e-12,5.223023e-11,1.268052e-10,7.991417e-10,8.523171e-10,3.427267e-09,4.762739e-09,1.015568e-08,1.764909e-08,2.471973e-08,4.971293e-08,5.260017e-08,1.015640e-07,1.175481e-07,1.819440e-07,2.452803e-07,3.062311e-07,4.625182e-07,4.877503e-07,7.389296e-07,7.984727e-07,1.070021e-06,1.276411e-06,1.488681e-06,1.911953e-06,2.000193e-06,2.607940e-06,2.714257e-06,3.313862e-06,3.687857e-06,4.118794e-06,4.834023e-06,5.022693e-06,6.024792e-06,6.151583e-06,7.123699e-06,7.637406e-06,8.317479e-06,9.286737e-06,9.603723e-06,1.097961e-05,1.109346e-05,1.244198e-05,1.305037e-05,1.398736e-05,1.514937e-05,1.561207e-05,1.731222e-05,1.738174e-05,1.908383e-05,1.973831e-05,2.092280e-05,2.220966e-05,2.282498e-05,2.478623e-05,2.680242e-05,2.745853e-05,2.886943e-05,3.021713e-05,3.098325e-05,3.305285e-05,3.313989e-05,3.533550e-05,3.595673e-05,3.756629e-05,3.892012e-05,3.982860e-05,4.193472e-05,4.211889e-05,4.443371e-05,4.499254e-05,4.676974e-05,4.808600e-05,4.912381e-05,5.120787e-05,5.149284e-05,5.387388e-05,5.435128e-05,5.626411e-05,5.750976e-05,5.866083e-05,6.067719e-05,6.106145e-05,6.346349e-05,6.384780e-05,6.586462e-05,6.701617e-05,6.826259e-05,7.017724e-05,7.065526e-05,7.304061e-05,7.332626e-05,7.541671e-05,7.645880e-05,7.778176e-05,7.957074e-05,8.013403e-05,8.247188e-05,8.265824e-05,8.479378e-05,8.571775e-05,8.709829e-05,8.874601e-05,8.938405e-05,9.164978e-05,9.173998e-05,9.389428e-05,9.469689e-05,9.611643e-05,9.761420e-05,9.831520e-05,1.004896e-04,1.026387e-04,1.033210e-04,1.047618e-04,1.061064e-04,1.068579e-04,1.088443e-04,1.089265e-04,1.109668e-04,1.115329e-04,1.129783e-04,1.141711e-04,1.149603e-04,1.167575e-04,1.169126e-04,1.188345e-04,1.192912e-04,1.207257e-04,1.217713e-04,1.225859e-04,1.241969e-04,1.244147e-04,1.262119e-04,1.265676e-04,1.279773e-04,1.288827e-04,1.297107e-04,1.311418e-04,1.314119e-04,1.330808e-04,1.333448e-04,1.347173e-04,1.354914e-04,1.363215e-04,1.375815e-04,1.378932e-04,1.394325e-04,1.396151e-04,1.409395e-04,1.415923e-04,1.424141e-04,1.435132e-04,1.438564e-04,1.452667e-04,1.453781e-04,1.466449e-04,1.471873e-04,1.479913e-04,1.489410e-04,1.493060e-04,1.505891e-04,1.506398e-04,1.518410e-04,1.522841e-04,1.530618e-04,1.538743e-04,1.542518e-04,1.554111e-04,1.568950e-04,1.583267e-04,1.597068e-04,1.610360e-04,1.623151e-04,1.635447e-04,1.647257e-04,1.658587e-04,1.669447e-04,1.679845e-04,1.689788e-04,1.699285e-04,1.708345e-04,1.716976e-04,1.725186e-04,1.732985e-04,1.740381e-04,1.747383e-04,1.753998e-04,1.760237e-04,1.766107e-04,1.771618e-04,1.776777e-04,1.781593e-04
0.000000e+00,6.658362e-18,7.611900e-17,2.808817e-15,3.023234e-14,8.920817e-14,9.058991e-13,9.842767e-13,6.092837e-12,9.451243e-12,2.619765e-11,5.545323e-11,8.768827e-11,2.265675e-10,2.445776e-10,5.939539e-10,7.224702e-10,1.294022e-09,1.924333e-09,2.583424e-09,4.471209e-09,4.800007e-09,8.396846e-09,9.330529e-09,1.395328e-08,1.784761e-08,2.217940e-08,3.176194e-08,3.391313e-08,5.011032e-08,5.318548e-08,7.182829e-08,8.454547e-08,1.002045e-07,1.284998e-07,1.364318e-07,1.817315e-07,1.878353e-07,2.373255e-07,2.653577e-07,3.044093e-07,3.637835e-07,3.841262e-07,4.775429e-07,4.856379e-07,5.856285e-07,6.331654e-07,7.092364e-07,8.082566e-07,8.490892e-07,1.005768e-06,1.012391e-06,1.179702e-06,1.246601e-06,1.371170e-06,1.511451e-06,1.580292e-06,1.807036e-06,2.051222e-06,2.132997e-06,2.312531e-06,2.488551e-06,2.590510e-06,2.872526e-06,2.884590e-06,3.194092e-06,3.283413e-06,3.518245e-06,3.719418e-06,3.856197e-06,4.178514e-06,4.207033e-06,4.569783e-06,4.658505e-06,4.943441e-06,5.157071e-06,5.326976e-06,5.671825e-06,5.719341e-06,6.119487e-06,6.200359e-06,6.526374e-06,6.740278e-06,6.938976e-06,7.289244e-06,7.356290e-06,7.777343e-06,7.844996e-06,8.201198e-06,8.405377e-06,8.626955e-06,8.968353e-06,9.053758e-06,9.480796e-06,9.532020e-06,9.907307e-06,1.009462e-05,1.033257e-05,1.065453e-05,1.075592e-05,1.117674e-05,1.121028e-05,1.159445e-05,1.176054e-05,1.200852e-05,1.230413e-05,1.241848e-05,1.282387e-05,1.283998e-05,1.322431e-05,1.336718e-05,1.361943e-05,1.388491e-05,1.400891e-05,1.439248e-05,1.476987e-05,1.488929e-05,1.514086e-05,1.537485e-05,1.550527e-05,1.584875e-05,1.586293e-05,1.621370e-05,1.631067e-05,1.655747e-05,1.676033e-05,1.689415e-05,1.719756e-05,1.722365e-05,1.754594e-05,1.762221e-05,1.786098e-05,1.803422e-05,1.816873e-05,1.843353e-05,1.846920e-05,1.876240e-05,1.882017e-05,1.904834e-05,1.919417e-05,1.932705e-05,1.955560e-05,1.959856e-05,1.986294e-05,1.990458e-05,2.012023e-05,2.024124e-05,2.037050e-05,2.056571e-05,2.061382e-05,2.085026e-05,2.087817e-05,2.107990e-05,2.117881e-05,2.130283e-05,2.146782e-05,2.151913e-05,2.172891e-05,2.174541e-05,2.193225e-05,2.201180e-05,2.212925e-05,2.226722e-05,2.232001e-05,2.250463e-05,2.251189e-05,2.268322e-05,2.274605e-05,2.285588e-05,2.296995e-05,2.302271e-05,2.318383e-05,2.338792e-05,2.358248e-05,2.376774e-05,2.394396e-05,2.411138e-05,2.427023e-05,2.442076e-05,2.456319e-05,2.469777e-05,2.482473e-05,2.494428e-05,2.505666e-05,2.516207e-05,2.526074e-05,2.535288e-05,2.543869e-05,2.551837e-05,2.559212e-05,2.566014e-05,2.572262e-05,2.577973e-05,2.583167e-05,2.587860e-05,2.592070e-05
0.000000e+00,2.508784e-12,8.016163e-12,4.427097e-11,1.365941e-10,2.287696e-10,6.980793e-10,7.268008e-10,1.779532e-09,2.215294e-09,3.708486e-09,5.455186e-09,6.929684e-09,1.148002e-08,1.196338e-08,1.942065e-08,2.164309e-08,2.994522e-08,3.740177e-08,4.412259e-08,5.998900e-08,6.241288e-08,8.513994e-08,9.023799e-08,1.125148e-07,1.286310e-07,1.446631e-07,1.754029e-07,1.816460e-07,2.234728e-07,2.306129e-07,2.701097e-07,2.941841e-07,3.214848e-07,3.659270e-07,3.774934e-07,4.380019e-07,4.455580e-07,5.028516e-07,5.327152e-07,5.718632e-07,6.269753e-07,6.448406e-07,7.215746e-07,7.278691e-07,8.018469e-07,8.348965e-07,8.854333e-07,9.475399e-07,9.721063e-07,1.061639e-06,1.065276e-06,1.153804e-06,1.187585e-06,1.248381e-06,1.313959e-06,1.345152e-06,1.443907e-06,1.544442e-06,1.576957e-06,1.646561e-06,1.712663e-06,1.750079e-06,1.850605e-06,1.854816e-06,1.960603e-06,1.990390e-06,2.067280e-06,2.131649e-06,2.174694e-06,2.274043e-06,2.282702e-06,2.391170e-06,2.417257e-06,2.499971e-06,2.561001e-06,2.608987e-06,2.705009e-06,2.718106e-06,2.827224e-06,2.849039e-06,2.936245e-06,2.992867e-06,3.045078e-06,3.136291e-06,3.153640e-06,3.261852e-06,3.279128e-06,3.369642e-06,3.421211e-06,3.476943e-06,3.562390e-06,3.583694e-06,3.689837e-06,3.702530e-06,3.795319e-06,3.841509e-06,3.900093e-06,3.979219e-06,4.004113e-06,4.107341e-06,4.115564e-06,4.209738e-06,4.250456e-06,4.311271e-06,4.383822e-06,4.411909e-06,4.511625e-06,4.515595e-06,4.610395e-06,4.645716e-06,4.708196e-06,4.774136e-06,4.805008e-06,4.900813e-06,4.995598e-06,5.025711e-06,5.089347e-06,5.148798e-06,5.182050e-06,5.270052e-06,5.273697e-06,5.364281e-06,5.389452e-06,5.453793e-06,5.506984e-06,5.542230e-06,5.622638e-06,5.629587e-06,5.715862e-06,5.736406e-06,5.801053e-06,5.848286e-06,5.885160e-06,5.958278e-06,5.968184e-06,6.050125e-06,6.066384e-06,6.130988e-06,6.172610e-06,6.210774e-06,6.276965e-06,6.289487e-06,6.367133e-06,6.379457e-06,6.443716e-06,6.480100e-06,6.519242e-06,6.578906e-06,6.593717e-06,6.667149e-06,6.675891e-06,6.739545e-06,6.771072e-06,6.810911e-06,6.864467e-06,6.881257e-06,6.950591e-06,6.956094e-06,7.018921e-06,7.045974e-06,7.086256e-06,7.134126e-06,7.152606e-06,7.217979e-06,7.220574e-06,7.282386e-06,7.305338e-06,7.345837e-06,7.388442e-06,7.408341e-06,7.469908e-06,7.549760e-06,7.628023e-06,7.704719e-06,7.779873e-06,7.853510e-06,7.925653e-06,7.996328e-06,8.065559e-06,8.133371e-06,8.199787e-06,8.264832e-06,8.328530e-06,8.390906e-06,8.451982e-06,8.511783e-06,8.570332e-06,8.627652e-06,8.683766e-06,8.738697e-06,8.792467e-06,8.845099e-06,8.896614e-06,8.947033e-06,8.996379e-06
0.000000e+00,7.353104e-18,8.690856e-17,3.440066e-15,3.952584e-14,1.209581e-13,1.352127e-12,1.474954e-12,1.007429e-11,1.605946e-11,4.772433e-11,1.069941e-10,1.757496e-10,4.952244e-10,5.386080e-10,1.435365e-09,1.784983e-09,3.427423e-09,5.362524e-09,7.490313e-09,1.402273e-08,1.521476e-08,2.905737e-08,3.285432e-08,5.263453e-08,7.036638e-08,9.104674e-08,1.397807e-07,1.512159e-07,2.422161e-07,2.603707e-07,3.755766e-07,4.587090e-07,5.655404e-07,7.696914e-07,8.292607e-07,1.186924e-06,1.237229e-06,1.661792e-06,1.914533e-06,2.280159e-06,2.863952e-06,3.071219e-06,4.066844e-06,4.156342e-06,5.301296e-06,5.870017e-06,6.810855e-06,8.089296e-06,8.633392e-06,1.080788e-05,1.090274e-05,1.337391e-05,1.440117e-05,1.637109e-05,1.867545e-05,1.983855e-05,2.381436e-05,2.833497e-05,2.990230e-05,3.343473e-05,3.701730e-05,3.914538e-05,4.522899e-05,4.549561e-05,5.251067e-05,5.459704e-05,6.021200e-05,6.516963e-05,6.861700e-05,7.698239e-05,7.773874e-05,8.758584e-05,9.005763e-05,9.816239e-05,1.044039e-04,1.094678e-04,1.200156e-04,1.214971e-04,1.342405e-04,1.368737e-04,1.476840e-04,1.549454e-04,1.618094e-04,1.741856e-04,1.765946e-04,1.920133e-04,1.945372e-04,2.080362e-04,2.159322e-04,2.246304e-04,2.382934e-04,2.417605e-04,2.593883e-04,2.615352e-04,2.774735e-04,2.855650e-04,2.959738e-04,3.102848e-04,3.148455e-04,3.340437e-04,3.355924e-04,3.535228e-04,3.613827e-04,3.732364e-04,3.875494e-04,3.931381e-04,4.131815e-04,4.139856e-04,4.333206e-04,4.405854e-04,4.535101e-04,4.672448e-04,4.737052e-04,4.938626e-04,5.139401e-04,5.203413e-04,5.338968e-04,5.465876e-04,5.536936e-04,5.725133e-04,5.732931e-04,5.926595e-04,5.980356e-04,6.117591e-04,6.230775e-04,6.305602e-04,6.475680e-04,6.490331e-04,6.671502e-04,6.714426e-04,6.848861e-04,6.946429e-04,7.022174e-04,7.171175e-04,7.191230e-04,7.355836e-04,7.388208e-04,7.515822e-04,7.597137e-04,7.671036e-04,7.797631e-04,7.821347e-04,7.966642e-04,7.989418e-04,8.106829e-04,8.172281e-04,8.241831e-04,8.346060e-04,8.371590e-04,8.496063e-04,8.510643e-04,8.615223e-04,8.665967e-04,8.729059e-04,8.812014e-04,8.837572e-04,8.940777e-04,8.948805e-04,9.038702e-04,9.076402e-04,9.131384e-04,9.194897e-04,9.218874e-04,9.301229e-04,9.304417e-04,9.378517e-04,9.405115e-04,9.450814e-04,9.497168e-04,9.518204e-04,9.580777e-04,9.656160e-04,9.723551e-04,9.783200e-04,9.835365e-04,9.880314e-04,9.918324e-04,9.949673e-04,9.974645e-04,9.993525e-04,1.000660e-03,1.001414e-03,1.001645e-03,1.001379e-03,1.000644e-03,9.994659e-04,9.978721e-04,9.958876e-04,9.935374e-04,9.908458e-04,9.878359e-04,9.845307e-04,9.809517e-04,9.771199e-04,9.730558e-04
0.000000e+00,2.189172e-12,6.716551e-12,3.555802e-11,1.076211e-10,1.789909e-10,5.397582e-10,5.617680e-10,1.366295e-09,1.698537e-09,2.834480e-09,4.157541e-09,5.268089e-09,8.646998e-09,9.001149e-09,1.434755e-08,1.590119e-08,2.157174e-08,2.652045e-08,3.089197e-08,4.097248e-08,4.248968e-08,5.651427e-08,5.962139e-08,7.308448e-08,8.273761e-08,9.228884e-08,1.105001e-07,1.141862e-07,1.388073e-07,1.430000e-07,1.661565e-07,1.802484e-07,1.962150e-07,2.221867e-07,2.289436e-07,2.642864e-07,2.687000e-07,3.021733e-07,3.196291e-07,3.425237e-07,3.747832e-07,3.852488e-07,4.302539e-07,4.339498e-07,4.774407e-07,4.969039e-07,5.267088e-07,5.634139e-07,5.779572e-07,6.310849e-07,6.332477e-07,6.859926e-07,7.061762e-07,7.425825e-07,7.819758e-07,8.007594e-07,8.604306e-07,9.215066e-07,9.413334e-07,9.839009e-07,1.024486e-06,1.047530e-06,1.109702e-06,1.112314e-06,1.178176e-06,1.196801e-06,1.245043e-06,1.285615e-06,1.312843e-06,1.375987e-06,1.381510e-06,1.450980e-06,1.467765e-06,1.521189e-06,1.560808e-06,1.592081e-06,1.654985e-06,1.663598e-06,1.735688e-06,1.750170e-06,1.808299e-06,1.846247e-06,1.881383e-06,1.943105e-06,1.954894e-06,2.028787e-06,2.040642e-06,2.103020e-06,2.138761e-06,2.177554e-06,2.237371e-06,2.252349e-06,2.327371e-06,2.336387e-06,2.402583e-06,2.435729e-06,2.477955e-06,2.535323e-06,2.553453e-06,2.629048e-06,2.635099e-06,2.704712e-06,2.734991e-06,2.780418e-06,2.834937e-06,2.856140e-06,2.931853e-06,2.934881e-06,3.007535e-06,3.034768e-06,3.083162e-06,3.134548e-06,3.158715e-06,3.234173e-06,3.309516e-06,3.333599e-06,3.384728e-06,3.432786e-06,3.459790e-06,3.531693e-06,3.534686e-06,3.609400e-06,3.630286e-06,3.683918e-06,3.728529e-06,3.758226e-06,3.826393e-06,3.832311e-06,3.906159e-06,3.923846e-06,3.979758e-06,4.020861e-06,4.053098e-06,4.117414e-06,4.126167e-06,4.198956e-06,4.213479e-06,4.271453e-06,4.309034e-06,4.343651e-06,4.404059e-06,4.415540e-06,4.487112e-06,4.498534e-06,4.558360e-06,4.592441e-06,4.629276e-06,4.685764e-06,4.699852e-06,4.770083e-06,4.778487e-06,4.839961e-06,4.870595e-06,4.909483e-06,4.962076e-06,4.978640e-06,5.047430e-06,5.052917e-06,5.115846e-06,5.143107e-06,5.183885e-06,5.232636e-06,5.251541e-06,5.318811e-06,5.321494e-06,5.385692e-06,5.409672e-06,5.452179e-06,5.497164e-06,5.518270e-06,5.583961e-06,5.670057e-06,5.755447e-06,5.840124e-06,5.924086e-06,6.007327e-06,6.089845e-06,6.171636e-06,6.252697e-06,6.333028e-06,6.412625e-06,6.491489e-06,6.569617e-06,6.647010e-06,6.723668e-06,6.799590e-06,6.874778e-06,6.949232e-06,7.022953e-06,7.095942e-06,7.168202e-06,7.239733e-06,7.310538e-06,7.380620e-06,7.449980e-06
0.000000e+00,1.397837e-12,5.714327e-12,4.101006e-11,1.429253e-10,2.504073e-10,8.262793e-10,8.623240e-10,2.209562e-09,2.775663e-09,4.732046e-09,7.036309e-09,8.986145e-09,1.499492e-08,1.563096e-08,2.535955e-08,2.822631e-08,3.881337e-08,4.818609e-08,5.655109e-08,7.609144e-08,7.905885e-08,1.067631e-07,1.129612e-07,1.400356e-07,1.596452e-07,1.791929e-07,2.168244e-07,2.244945e-07,2.761401e-07,2.850023e-07,3.342696e-07,3.645006e-07,3.989633e-07,4.554621e-07,4.702447e-07,5.480837e-07,5.578619e-07,6.324021e-07,6.715249e-07,7.230782e-07,7.961477e-07,8.199534e-07,9.228377e-07,9.313217e-07,1.031515e-06,1.076556e-06,1.145750e-06,1.231300e-06,1.265291e-06,1.389876e-06,1.394961e-06,1.519236e-06,1.566923e-06,1.653099e-06,1.746557e-06,1.791189e-06,1.933236e-06,2.078971e-06,2.126342e-06,2.228131e-06,2.325271e-06,2.380458e-06,2.529439e-06,2.535701e-06,2.693620e-06,2.738284e-06,2.853980e-06,2.951273e-06,3.016555e-06,3.167896e-06,3.181131e-06,3.347500e-06,3.387673e-06,3.515463e-06,3.610147e-06,3.684831e-06,3.834893e-06,3.855423e-06,4.027068e-06,4.061509e-06,4.199602e-06,4.289619e-06,4.372870e-06,4.518873e-06,4.546723e-06,4.721022e-06,4.748942e-06,4.895634e-06,4.979522e-06,5.070433e-06,5.210327e-06,5.245301e-06,5.420125e-06,5.441096e-06,5.594799e-06,5.671582e-06,5.769223e-06,5.901559e-06,5.943302e-06,6.116948e-06,6.130819e-06,6.290077e-06,6.359166e-06,6.462611e-06,6.586424e-06,6.634474e-06,6.805599e-06,6.812427e-06,6.975919e-06,7.037026e-06,7.145374e-06,7.260081e-06,7.313908e-06,7.481466e-06,7.647998e-06,7.701065e-06,7.813460e-06,7.918773e-06,7.977807e-06,8.134495e-06,8.141000e-06,8.303001e-06,8.348144e-06,8.463777e-06,8.559641e-06,8.623296e-06,8.768917e-06,8.781527e-06,8.938446e-06,8.975908e-06,9.094026e-06,9.180559e-06,9.248247e-06,9.382819e-06,9.401086e-06,9.552527e-06,9.582646e-06,9.702552e-06,9.780001e-06,9.851147e-06,9.974851e-06,9.998298e-06,1.014399e-05,1.016717e-05,1.028822e-05,1.035693e-05,1.043098e-05,1.054412e-05,1.057226e-05,1.071204e-05,1.072872e-05,1.085034e-05,1.091071e-05,1.098713e-05,1.109010e-05,1.112243e-05,1.125623e-05,1.126687e-05,1.138853e-05,1.144102e-05,1.151932e-05,1.161256e-05,1.164861e-05,1.177640e-05,1.178148e-05,1.190270e-05,1.194780e-05,1.202750e-05,1.211152e-05,1.215081e-05,1.227264e-05,1.243119e-05,1.258717e-05,1.274059e-05,1.289149e-05,1.303986e-05,1.318573e-05,1.332913e-05,1.347006e-05,1.360856e-05,1.374464e-05,1.387834e-05,1.400966e-05,1.413864e-05,1.426530e-05,1.438967e-05,1.451177e-05,1.463163e-05,1.474928e-05,1.486474e-05,1.497804e-05,1.508920e-05,1.519827e-05,1.530525e-05,1.541018e-05
0.000000e+00,3.168187e-17,3.559344e-16,1.266968e-14,1.319662e-13,3.824562e-13,3.708289e-12,4.021602e-12,2.379512e-11,3.646789e-11,9.810999e-11,2.028457e-10,3.159989e-10,7.906497e-10,8.512456e-10,2.004103e-09,2.420987e-09,4.248152e-09,6.229851e-09,8.277381e-09,1.405009e-08,1.504495e-08,2.578343e-08,2.853567e-08,4.199933e-08,5.316832e-08,6.544058e-08,9.212659e-08,9.804213e-08,1.418578e-07,1.500493e-07,1.989875e-07,2.317510e-07,2.715067e-07,3.419430e-07,3.614037e-07,4.705272e-07,4.849954e-07,6.005449e-07,6.647550e-07,7.529117e-07,8.844182e-07,9.288490e-07,1.129331e-06,1.146453e-06,1.355076e-06,1.452561e-06,1.606551e-06,1.803674e-06,1.883970e-06,2.187308e-06,2.199978e-06,2.516311e-06,2.640951e-06,2.870511e-06,3.125428e-06,3.249245e-06,3.651676e-06,4.076813e-06,4.217472e-06,4.523533e-06,4.820196e-06,4.990604e-06,5.456915e-06,5.476707e-06,5.980455e-06,6.124473e-06,6.500417e-06,6.819571e-06,7.035134e-06,7.538841e-06,7.583135e-06,8.142957e-06,8.278912e-06,8.713153e-06,9.036464e-06,9.292306e-06,9.808275e-06,9.879039e-06,1.047202e-05,1.059126e-05,1.106999e-05,1.138248e-05,1.167171e-05,1.217921e-05,1.227603e-05,1.288187e-05,1.297887e-05,1.348820e-05,1.377913e-05,1.409406e-05,1.457781e-05,1.469856e-05,1.530086e-05,1.537295e-05,1.590021e-05,1.616280e-05,1.649589e-05,1.694576e-05,1.708726e-05,1.767373e-05,1.772042e-05,1.825475e-05,1.848553e-05,1.882985e-05,1.923999e-05,1.939856e-05,1.996051e-05,1.998284e-05,2.051533e-05,2.071326e-05,2.106272e-05,2.143054e-05,2.160238e-05,2.213408e-05,2.265760e-05,2.282337e-05,2.317276e-05,2.349800e-05,2.367940e-05,2.415764e-05,2.417740e-05,2.466663e-05,2.480204e-05,2.514703e-05,2.543099e-05,2.561851e-05,2.604436e-05,2.608103e-05,2.653456e-05,2.664207e-05,2.697908e-05,2.722408e-05,2.741459e-05,2.779039e-05,2.784110e-05,2.825863e-05,2.834106e-05,2.866721e-05,2.887614e-05,2.906688e-05,2.939576e-05,2.945770e-05,2.983972e-05,2.990003e-05,3.021301e-05,3.038911e-05,3.057764e-05,3.086317e-05,3.093370e-05,3.128126e-05,3.132240e-05,3.162041e-05,3.176699e-05,3.195124e-05,3.219718e-05,3.227387e-05,3.258837e-05,3.261318e-05,3.289486e-05,3.301523e-05,3.319344e-05,3.340358e-05,3.348422e-05,3.376730e-05,3.377847e-05,3.404281e-05,3.414016e-05,3.431085e-05,3.448891e-05,3.457153e-05,3.482497e-05,3.514863e-05,3.546013e-05,3.575975e-05,3.604775e-05,3.632441e-05,3.658998e-05,3.684473e-05,3.708893e-05,3.732282e-05,3.754668e-05,3.776074e-05,3.796528e-05,3.816053e-05,3.834673e-05,3.852414e-05,3.869298e-05,3.885350e-05,3.900592e-05,3.915047e-05,3.928737e-05,3.941684e-05,3.953909e-05,3.965433e-05,3.976278e-05
0.000000e+00,1.660956e-16,1.802661e-15,5.973716e-14,5.831948e-13,1.631543e-12,1.445517e-11,1.561966e-11,8.467665e-11,1.267772e-10,3.219174e-10,6.358585e-10,9.620429e-10,2.258983e-09,2.419293e-09,5.348060e-09,6.368804e-09,1.070162e-08,1.522782e-08,1.977836e-08,3.215403e-08,3.423595e-08,5.605282e-08,6.149068e-08,8.743189e-08,1.082891e-07,1.306636e-07,1.777745e-07,1.879783e-07,2.614168e-07,2.747852e-07,3.527359e-07,4.033505e-07,4.633541e-07,5.664679e-07,5.943307e-07,7.463714e-07,7.660528e-07,9.198502e-07,1.003001e-06,1.114840e-06,1.277309e-06,1.331149e-06,1.568353e-06,1.588215e-06,1.825836e-06,1.934336e-06,2.102815e-06,2.313805e-06,2.398379e-06,2.711511e-06,2.724387e-06,3.041118e-06,3.163590e-06,3.386053e-06,3.628762e-06,3.745135e-06,4.117170e-06,4.500964e-06,4.626069e-06,4.895341e-06,5.152762e-06,5.299148e-06,5.694636e-06,5.711266e-06,6.130621e-06,6.249195e-06,6.556181e-06,6.814086e-06,6.986968e-06,7.387111e-06,7.422056e-06,7.860571e-06,7.966232e-06,8.301694e-06,8.549574e-06,8.744658e-06,9.135421e-06,9.188749e-06,9.633304e-06,9.722216e-06,1.007771e-05,1.030855e-05,1.052139e-05,1.089315e-05,1.096384e-05,1.140456e-05,1.147488e-05,1.184311e-05,1.205273e-05,1.227910e-05,1.262579e-05,1.271215e-05,1.314192e-05,1.319326e-05,1.356811e-05,1.375443e-05,1.399045e-05,1.430869e-05,1.440868e-05,1.482259e-05,1.485551e-05,1.523197e-05,1.539441e-05,1.563664e-05,1.592499e-05,1.603644e-05,1.643123e-05,1.644692e-05,1.682090e-05,1.695990e-05,1.720533e-05,1.746370e-05,1.758443e-05,1.795812e-05,1.832634e-05,1.844300e-05,1.868903e-05,1.891823e-05,1.904615e-05,1.938372e-05,1.939767e-05,1.974356e-05,1.983940e-05,2.008381e-05,2.028525e-05,2.041841e-05,2.072125e-05,2.074735e-05,2.107066e-05,2.114741e-05,2.138833e-05,2.156377e-05,2.170038e-05,2.197037e-05,2.200685e-05,2.230775e-05,2.236726e-05,2.260311e-05,2.275453e-05,2.289299e-05,2.313226e-05,2.317740e-05,2.345640e-05,2.350054e-05,2.373003e-05,2.385948e-05,2.399834e-05,2.420918e-05,2.426137e-05,2.451919e-05,2.454978e-05,2.477184e-05,2.488139e-05,2.501938e-05,2.520414e-05,2.526188e-05,2.549938e-05,2.551816e-05,2.573194e-05,2.582360e-05,2.595964e-05,2.612060e-05,2.618253e-05,2.640067e-05,2.640929e-05,2.661412e-05,2.668983e-05,2.682296e-05,2.696236e-05,2.702724e-05,2.722703e-05,2.748399e-05,2.773338e-05,2.797535e-05,2.821006e-05,2.843766e-05,2.865828e-05,2.887208e-05,2.907921e-05,2.927980e-05,2.947400e-05,2.966196e-05,2.984381e-05,3.001969e-05,3.018974e-05,3.035409e-05,3.051289e-05,3.066625e-05,3.081431e-05,3.095719e-05,3.109503e-05,3.122794e-05,3.135605e-05,3.147948e-05,3.159833e-05
0.000000e+00,5.219652e-12,1.613814e-11,8.616650e-11,2.617714e-10,4.358179e-10,1.314088e-09,1.367554e-09,3.312503e-09,4.110797e-09,6.822661e-09,9.955545e-09,1.257117e-08,2.049467e-08,2.132424e-08,3.387377e-08,3.753607e-08,5.098041e-08,6.281867e-08,7.335819e-08,9.794333e-08,1.016762e-07,1.365577e-07,1.443730e-07,1.785747e-07,2.034162e-07,2.282399e-07,2.761980e-07,2.859998e-07,3.522277e-07,3.636309e-07,4.272197e-07,4.663958e-07,5.111933e-07,5.849346e-07,6.042871e-07,7.065639e-07,7.194545e-07,8.180146e-07,8.699421e-07,9.385641e-07,1.036186e-06,1.068078e-06,1.206367e-06,1.217803e-06,1.353200e-06,1.414266e-06,1.508305e-06,1.624933e-06,1.671378e-06,1.842093e-06,1.849076e-06,2.020101e-06,2.085900e-06,2.205041e-06,2.334571e-06,2.396542e-06,2.594228e-06,2.797721e-06,2.864004e-06,3.006644e-06,3.143031e-06,3.220622e-06,3.430456e-06,3.439288e-06,3.662280e-06,3.725444e-06,3.889244e-06,4.027187e-06,4.119839e-06,4.334905e-06,4.353729e-06,4.590593e-06,4.647848e-06,4.830120e-06,4.965305e-06,5.072008e-06,5.286593e-06,5.315969e-06,5.561726e-06,5.611070e-06,5.809014e-06,5.938124e-06,6.057579e-06,6.267181e-06,6.307177e-06,6.557576e-06,6.597700e-06,6.808557e-06,6.929171e-06,7.059906e-06,7.261118e-06,7.311426e-06,7.562924e-06,7.593094e-06,7.814221e-06,7.924683e-06,8.065144e-06,8.255496e-06,8.315532e-06,8.565231e-06,8.585173e-06,8.814095e-06,8.913376e-06,9.061988e-06,9.239796e-06,9.308780e-06,9.554349e-06,9.564144e-06,9.798581e-06,9.886156e-06,1.004137e-05,1.020559e-05,1.028261e-05,1.052221e-05,1.076008e-05,1.083582e-05,1.099614e-05,1.114623e-05,1.123031e-05,1.145328e-05,1.146253e-05,1.169271e-05,1.175679e-05,1.192081e-05,1.205664e-05,1.214676e-05,1.235270e-05,1.237052e-05,1.259203e-05,1.264485e-05,1.281125e-05,1.293300e-05,1.302814e-05,1.321706e-05,1.324267e-05,1.345480e-05,1.349694e-05,1.366451e-05,1.377258e-05,1.387176e-05,1.404393e-05,1.407653e-05,1.427881e-05,1.431094e-05,1.447857e-05,1.457356e-05,1.467581e-05,1.483177e-05,1.487050e-05,1.506265e-05,1.508553e-05,1.525223e-05,1.533484e-05,1.543925e-05,1.557968e-05,1.562371e-05,1.580560e-05,1.582004e-05,1.598492e-05,1.605593e-05,1.616167e-05,1.628735e-05,1.633586e-05,1.650750e-05,1.651431e-05,1.667658e-05,1.673683e-05,1.684312e-05,1.695492e-05,1.700713e-05,1.716861e-05,1.737793e-05,1.758290e-05,1.778356e-05,1.797994e-05,1.817208e-05,1.836002e-05,1.854380e-05,1.872347e-05,1.889907e-05,1.907064e-05,1.923825e-05,1.940193e-05,1.956174e-05,1.971774e-05,1.986996e-05,2.001847e-05,2.016332e-05,2.030456e-05,2.044225e-05,2.057645e-05,2.070720e-05,2.083457e-05,2.095861e-05,2.107938e-05
0.000000e+00,1.934285e-11,5.883164e-11,3.123004e-10,9.665605e-10,1.640746e-09,5.363620e-09,5.605376e-09,1.533752e-08,1.977510e-08,3.626474e-08,5.721084e-08,7.564800e-08,1.338294e-07,1.400047e-07,2.331714e-07,2.600246e-07,3.567091e-07,4.392983e-07,5.109173e-07,6.717382e-07,6.954663e-07,9.096928e-07,9.560256e-07,1.152726e-06,1.290152e-06,1.423541e-06,1.671657e-06,1.720988e-06,2.043812e-06,2.097730e-06,2.390668e-06,2.565284e-06,2.760147e-06,3.071039e-06,3.150790e-06,3.561112e-06,3.611602e-06,3.989622e-06,4.183546e-06,4.434838e-06,4.783476e-06,4.895301e-06,5.369589e-06,5.408088e-06,5.856326e-06,6.054207e-06,6.354184e-06,6.718815e-06,6.861897e-06,7.378256e-06,7.399074e-06,7.902114e-06,8.092328e-06,8.432386e-06,8.796112e-06,8.968052e-06,9.508149e-06,1.005178e-05,1.022634e-05,1.059809e-05,1.094877e-05,1.114630e-05,1.167368e-05,1.169567e-05,1.224552e-05,1.239948e-05,1.279521e-05,1.312470e-05,1.334415e-05,1.384805e-05,1.389180e-05,1.443764e-05,1.456832e-05,1.498122e-05,1.528447e-05,1.552209e-05,1.599551e-05,1.605987e-05,1.659419e-05,1.670061e-05,1.712472e-05,1.739899e-05,1.765114e-05,1.808997e-05,1.817320e-05,1.869062e-05,1.877297e-05,1.920319e-05,1.944744e-05,1.971070e-05,2.011293e-05,2.021295e-05,2.070979e-05,2.076903e-05,2.120106e-05,2.141542e-05,2.168663e-05,2.205178e-05,2.216638e-05,2.264022e-05,2.267787e-05,2.310806e-05,2.329350e-05,2.356982e-05,2.389848e-05,2.402543e-05,2.447485e-05,2.449269e-05,2.491803e-05,2.507604e-05,2.535494e-05,2.564844e-05,2.578555e-05,2.620986e-05,2.662785e-05,2.676027e-05,2.703952e-05,2.729968e-05,2.744488e-05,2.782810e-05,2.784395e-05,2.823672e-05,2.834558e-05,2.862324e-05,2.885216e-05,2.900353e-05,2.934791e-05,2.937761e-05,2.974553e-05,2.983291e-05,3.010731e-05,3.030726e-05,3.046302e-05,3.077104e-05,3.081268e-05,3.115635e-05,3.122437e-05,3.149408e-05,3.166737e-05,3.182593e-05,3.210016e-05,3.215194e-05,3.247217e-05,3.252287e-05,3.278668e-05,3.293564e-05,3.309554e-05,3.333859e-05,3.339880e-05,3.369652e-05,3.373188e-05,3.398877e-05,3.411564e-05,3.427561e-05,3.449003e-05,3.455711e-05,3.483333e-05,3.485520e-05,3.510433e-05,3.521129e-05,3.537019e-05,3.555846e-05,3.563097e-05,3.588674e-05,3.589687e-05,3.613756e-05,3.622665e-05,3.638350e-05,3.654798e-05,3.662462e-05,3.686100e-05,3.716587e-05,3.746273e-05,3.775174e-05,3.803305e-05,3.830680e-05,3.857316e-05,3.883225e-05,3.908424e-05,3.932925e-05,3.956744e-05,3.979894e-05,4.002389e-05,4.024242e-05,4.045468e-05,4.066079e-05,4.086088e-05,4.105508e-05,4.124351e-05,4.142631e-05,4.160358e-05,4.177545e-05,4.194205e-05,4.210347e-05,4.225984e-05
0.000000e+00,6.226039e-12,1.895118e-11,9.956382e-11,3.004069e-10,4.990853e-10,1.502018e-09,1.563154e-09,3.795222e-09,4.715880e-09,7.861427e-09,1.152623e-08,1.460814e-08,2.404496e-08,2.504036e-08,4.022155e-08,4.468499e-08,6.114923e-08,7.571050e-08,8.870010e-08,1.190317e-07,1.236371e-07,1.666285e-07,1.762463e-07,2.182597e-07,2.486932e-07,2.790356e-07,3.374668e-07,3.493799e-07,4.296324e-07,4.434105e-07,5.200471e-07,5.671083e-07,6.207919e-07,7.088842e-07,7.319502e-07,8.535249e-07,8.688112e-07,9.854431e-07,1.046730e-06,1.127563e-06,1.242272e-06,1.279679e-06,1.441535e-06,1.454895e-06,1.612825e-06,1.683907e-06,1.793207e-06,1.928502e-06,1.982306e-06,2.179724e-06,2.187788e-06,2.385046e-06,2.460814e-06,2.597841e-06,2.746589e-06,2.817674e-06,3.044106e-06,3.276696e-06,3.352355e-06,3.515010e-06,3.670336e-06,3.758617e-06,3.997068e-06,4.007095e-06,4.260033e-06,4.331600e-06,4.517028e-06,4.673011e-06,4.777692e-06,5.020419e-06,5.041648e-06,5.308532e-06,5.372981e-06,5.577995e-06,5.729895e-06,5.849701e-06,6.090401e-06,6.123328e-06,6.398567e-06,6.453782e-06,6.675124e-06,6.819361e-06,6.952718e-06,7.186502e-06,7.231081e-06,7.509958e-06,7.554610e-06,7.789107e-06,7.923127e-06,8.068298e-06,8.291535e-06,8.347314e-06,8.625948e-06,8.659348e-06,8.904004e-06,9.026118e-06,9.181300e-06,9.391428e-06,9.457660e-06,9.732923e-06,9.754892e-06,1.000693e-05,1.011615e-05,1.027955e-05,1.047489e-05,1.055063e-05,1.082005e-05,1.083079e-05,1.108770e-05,1.118360e-05,1.135346e-05,1.153304e-05,1.161722e-05,1.187890e-05,1.213841e-05,1.222098e-05,1.239566e-05,1.255908e-05,1.265057e-05,1.289303e-05,1.290308e-05,1.315312e-05,1.322269e-05,1.340064e-05,1.354792e-05,1.364558e-05,1.386861e-05,1.388789e-05,1.412754e-05,1.418465e-05,1.436447e-05,1.449596e-05,1.459866e-05,1.480245e-05,1.483008e-05,1.505869e-05,1.510407e-05,1.528448e-05,1.540077e-05,1.550743e-05,1.569250e-05,1.572752e-05,1.594474e-05,1.597922e-05,1.615907e-05,1.626093e-05,1.637052e-05,1.653759e-05,1.657907e-05,1.678473e-05,1.680921e-05,1.698749e-05,1.707579e-05,1.718736e-05,1.733732e-05,1.738434e-05,1.757843e-05,1.759384e-05,1.776966e-05,1.784535e-05,1.795802e-05,1.809188e-05,1.814354e-05,1.832621e-05,1.833346e-05,1.850606e-05,1.857012e-05,1.868311e-05,1.880191e-05,1.885737e-05,1.902885e-05,1.925100e-05,1.946841e-05,1.968112e-05,1.988919e-05,2.009267e-05,2.029162e-05,2.048611e-05,2.067618e-05,2.086190e-05,2.104333e-05,2.122054e-05,2.139360e-05,2.156256e-05,2.172749e-05,2.188846e-05,2.204554e-05,2.219879e-05,2.234827e-05,2.249406e-05,2.263623e-05,2.277483e-05,2.290993e-05,2.304161e-05,2.316991e-05
0.000000e+00,3.063841e-12,9.290110e-12,4.859386e-11,1.463330e-10,2.429871e-10,7.314463e-10,7.612598e-10,1.852676e-09,2.304356e-09,3.853154e-09,5.667148e-09,7.199916e-09,1.193388e-08,1.243679e-08,2.018747e-08,2.249254e-08,3.107662e-08,3.874728e-08,4.562940e-08,6.176752e-08,6.422066e-08,8.708862e-08,9.218891e-08,1.143706e-07,1.303256e-07,1.461318e-07,1.762828e-07,1.823841e-07,2.230959e-07,2.300196e-07,2.682003e-07,2.913832e-07,3.176002e-07,3.601314e-07,3.711733e-07,4.287768e-07,4.359526e-07,4.902514e-07,5.184827e-07,5.554255e-07,6.073212e-07,6.241186e-07,6.961445e-07,7.020449e-07,7.713141e-07,8.022196e-07,8.494374e-07,9.074091e-07,9.303257e-07,1.013793e-06,1.017183e-06,1.099656e-06,1.131120e-06,1.187739e-06,1.248815e-06,1.277868e-06,1.369878e-06,1.463609e-06,1.493940e-06,1.558906e-06,1.620650e-06,1.655623e-06,1.749676e-06,1.753619e-06,1.852760e-06,1.880707e-06,1.952918e-06,2.013450e-06,2.053972e-06,2.147633e-06,2.155806e-06,2.258311e-06,2.283000e-06,2.361383e-06,2.419314e-06,2.464924e-06,2.556354e-06,2.568841e-06,2.673047e-06,2.693916e-06,2.777459e-06,2.831808e-06,2.881999e-06,2.969857e-06,2.986593e-06,3.091172e-06,3.107899e-06,3.195672e-06,3.245785e-06,3.300030e-06,3.383378e-06,3.404191e-06,3.508100e-06,3.520550e-06,3.611708e-06,3.657187e-06,3.714966e-06,3.793181e-06,3.817831e-06,3.920263e-06,3.928437e-06,4.022222e-06,4.062866e-06,4.123675e-06,4.196387e-06,4.224586e-06,4.324927e-06,4.328929e-06,4.424669e-06,4.460425e-06,4.523786e-06,4.590815e-06,4.622253e-06,4.720049e-06,4.817152e-06,4.848076e-06,4.913546e-06,4.974857e-06,5.009212e-06,5.100353e-06,5.104136e-06,5.198303e-06,5.224532e-06,5.291701e-06,5.347366e-06,5.384319e-06,5.468830e-06,5.476147e-06,5.567176e-06,5.588904e-06,5.657399e-06,5.707569e-06,5.746808e-06,5.824811e-06,5.835399e-06,5.923166e-06,5.940620e-06,6.010106e-06,6.054986e-06,6.096215e-06,6.167903e-06,6.181492e-06,6.265934e-06,6.279367e-06,6.349541e-06,6.389376e-06,6.432313e-06,6.497929e-06,6.514250e-06,6.595353e-06,6.605029e-06,6.675623e-06,6.710678e-06,6.755062e-06,6.814882e-06,6.833673e-06,6.911459e-06,6.917646e-06,6.988422e-06,7.018978e-06,7.064566e-06,7.118885e-06,7.139896e-06,7.214415e-06,7.217379e-06,7.288127e-06,7.314468e-06,7.361039e-06,7.410164e-06,7.433154e-06,7.504479e-06,7.597426e-06,7.689017e-06,7.779267e-06,7.868189e-06,7.955799e-06,8.042111e-06,8.127141e-06,8.210903e-06,8.293415e-06,8.374691e-06,8.454748e-06,8.533603e-06,8.611271e-06,8.687769e-06,8.763113e-06,8.837320e-06,8.910406e-06,8.982388e-06,9.053282e-06,9.123104e-06,9.191871e-06,9.259598e-06,9.326302e-06,9.391999e-06
0.000000e+00,5.371760e-12,1.628875e-11,8.507501e-11,2.555045e-10,4.234223e-10,1.265679e-09,1.316811e-09,3.172760e-09,3.933467e-09,6.517351e-09,9.505885e-09,1.200638e-08,1.962296e-08,2.042445e-08,3.264190e-08,3.623658e-08,4.951657e-08,6.128441e-08,7.179273e-08,9.633538e-08,1.000596e-07,1.347622e-07,1.425055e-07,1.762260e-07,2.005377e-07,2.246769e-07,2.708800e-07,2.802548e-07,3.430215e-07,3.537316e-07,4.129679e-07,4.490731e-07,4.900205e-07,5.566923e-07,5.740477e-07,6.648676e-07,6.762122e-07,7.622550e-07,8.071200e-07,8.659492e-07,9.487977e-07,9.756610e-07,1.091080e-06,1.100551e-06,1.211881e-06,1.261634e-06,1.337730e-06,1.431275e-06,1.468286e-06,1.603210e-06,1.608693e-06,1.742165e-06,1.793112e-06,1.884822e-06,1.983778e-06,2.030858e-06,2.179960e-06,2.331826e-06,2.380959e-06,2.486166e-06,2.586115e-06,2.642705e-06,2.794803e-06,2.801176e-06,2.961329e-06,3.006440e-06,3.122926e-06,3.220482e-06,3.285740e-06,3.436420e-06,3.449558e-06,3.614180e-06,3.653787e-06,3.779415e-06,3.872148e-06,3.945086e-06,4.091104e-06,4.111026e-06,4.277077e-06,4.310288e-06,4.443093e-06,4.529362e-06,4.608937e-06,4.748018e-06,4.774479e-06,4.939601e-06,4.965974e-06,5.104190e-06,5.182973e-06,5.268143e-06,5.398781e-06,5.431362e-06,5.593759e-06,5.613187e-06,5.755250e-06,5.825998e-06,5.915757e-06,6.037041e-06,6.075210e-06,6.233543e-06,6.246159e-06,6.390695e-06,6.453213e-06,6.546611e-06,6.658076e-06,6.701240e-06,6.854534e-06,6.860638e-06,7.006452e-06,7.060798e-06,7.156955e-06,7.258471e-06,7.306008e-06,7.453579e-06,7.599639e-06,7.646055e-06,7.744163e-06,7.835842e-06,7.887129e-06,8.022892e-06,8.028517e-06,8.168309e-06,8.207162e-06,8.306490e-06,8.388620e-06,8.443047e-06,8.567237e-06,8.577970e-06,8.711250e-06,8.742992e-06,8.842880e-06,8.915870e-06,8.972854e-06,9.085859e-06,9.101169e-06,9.227823e-06,9.252954e-06,9.352815e-06,9.417154e-06,9.476145e-06,9.578459e-06,9.597815e-06,9.717829e-06,9.736877e-06,9.836189e-06,9.892416e-06,9.952901e-06,1.004509e-05,1.006797e-05,1.018141e-05,1.019491e-05,1.029321e-05,1.034190e-05,1.040340e-05,1.048607e-05,1.051198e-05,1.061896e-05,1.062745e-05,1.072434e-05,1.076605e-05,1.082815e-05,1.090192e-05,1.093039e-05,1.103107e-05,1.103506e-05,1.113020e-05,1.116552e-05,1.122781e-05,1.129331e-05,1.132389e-05,1.141847e-05,1.154104e-05,1.166103e-05,1.177849e-05,1.189344e-05,1.200593e-05,1.211599e-05,1.222364e-05,1.232893e-05,1.243189e-05,1.253255e-05,1.263096e-05,1.272714e-05,1.282113e-05,1.291297e-05,1.300269e-05,1.309033e-05,1.317592e-05,1.325950e-05,1.334111e-05,1.342077e-05,1.349852e-05,1.357439e-05,1.364843e-05,1.372066e-05
0.000000e+00,9.212408e-13,3.406632e-12,2.184867e-11,7.192124e-11,1.231277e-10,3.878064e-10,4.040574e-10,9.974044e-10,1.240972e-09,2.065684e-09,3.012570e-09,3.798914e-09,6.165871e-09,6.412891e-09,1.014570e-08,1.123588e-08,1.524838e-08,1.879692e-08,2.196742e-08,2.939425e-08,3.052465e-08,4.110473e-08,4.347695e-08,5.385303e-08,6.137664e-08,6.887888e-08,8.331811e-08,8.625960e-08,1.060438e-07,1.094341e-07,1.282535e-07,1.397759e-07,1.528863e-07,1.743207e-07,1.799167e-07,2.092983e-07,2.129792e-07,2.409661e-07,2.556036e-07,2.748383e-07,3.019971e-07,3.108194e-07,3.488022e-07,3.519239e-07,3.886710e-07,4.051195e-07,4.303038e-07,4.613008e-07,4.735742e-07,5.183541e-07,5.201749e-07,5.645155e-07,5.814473e-07,6.119316e-07,6.448278e-07,6.604783e-07,7.100355e-07,7.604877e-07,7.768032e-07,8.117245e-07,8.448793e-07,8.636414e-07,9.140298e-07,9.161397e-07,9.691268e-07,9.840388e-07,1.022516e-06,1.054709e-06,1.076227e-06,1.125861e-06,1.130185e-06,1.184320e-06,1.197332e-06,1.238570e-06,1.268977e-06,1.292874e-06,1.340665e-06,1.347181e-06,1.401439e-06,1.412280e-06,1.455604e-06,1.483719e-06,1.509634e-06,1.554888e-06,1.563492e-06,1.617144e-06,1.625708e-06,1.670559e-06,1.696105e-06,1.723708e-06,1.766018e-06,1.776565e-06,1.829107e-06,1.835390e-06,1.881314e-06,1.904173e-06,1.933165e-06,1.972325e-06,1.984645e-06,2.035738e-06,2.039808e-06,2.086429e-06,2.106591e-06,2.136707e-06,2.172645e-06,2.186560e-06,2.235980e-06,2.237947e-06,2.284956e-06,2.302477e-06,2.333481e-06,2.366217e-06,2.381549e-06,2.429153e-06,2.476290e-06,2.491274e-06,2.522953e-06,2.552568e-06,2.569140e-06,2.613029e-06,2.614848e-06,2.660074e-06,2.672651e-06,2.704816e-06,2.731429e-06,2.749073e-06,2.789361e-06,2.792844e-06,2.836129e-06,2.846444e-06,2.878926e-06,2.902680e-06,2.921237e-06,2.958068e-06,2.963061e-06,3.004400e-06,3.012610e-06,3.045255e-06,3.066308e-06,3.085627e-06,3.119167e-06,3.125517e-06,3.164928e-06,3.171190e-06,3.203862e-06,3.222381e-06,3.242320e-06,3.272746e-06,3.280306e-06,3.317821e-06,3.322291e-06,3.354869e-06,3.371022e-06,3.391452e-06,3.418945e-06,3.427573e-06,3.463235e-06,3.466068e-06,3.498442e-06,3.512398e-06,3.533197e-06,3.557942e-06,3.567502e-06,3.601363e-06,3.602708e-06,3.634782e-06,3.646705e-06,3.667762e-06,3.689941e-06,3.700308e-06,3.732424e-06,3.774163e-06,3.815166e-06,3.855444e-06,3.895004e-06,3.933856e-06,3.972009e-06,4.009472e-06,4.046254e-06,4.082366e-06,4.117815e-06,4.152611e-06,4.186765e-06,4.220284e-06,4.253178e-06,4.285456e-06,4.317128e-06,4.348203e-06,4.378689e-06,4.408596e-06,4.437933e-06,4.466708e-06,4.494931e-06,4.522610e-06,4.549754e-06
0.000000e+00,4.917466e-12,1.515256e-11,8.072776e-11,2.456649e-10,4.099489e-10,1.249667e-09,1.301303e-09,3.212927e-09,4.013905e-09,6.792928e-09,1.009563e-08,1.291414e-08,2.170312e-08,2.264028e-08,3.706610e-08,4.133611e-08,5.712256e-08,7.108113e-08,8.350312e-08,1.123430e-07,1.166988e-07,1.570536e-07,1.660059e-07,2.048023e-07,2.326059e-07,2.600928e-07,3.124206e-07,3.229982e-07,3.935257e-07,4.055148e-07,4.716236e-07,5.117709e-07,5.571881e-07,6.309173e-07,6.500708e-07,7.500854e-07,7.625563e-07,8.570144e-07,9.061921e-07,9.706161e-07,1.061256e-06,1.090630e-06,1.216781e-06,1.227130e-06,1.348787e-06,1.403164e-06,1.486359e-06,1.588694e-06,1.629206e-06,1.777039e-06,1.783052e-06,1.929569e-06,1.985575e-06,2.086513e-06,2.195614e-06,2.247592e-06,2.412537e-06,2.581081e-06,2.635734e-06,2.752969e-06,2.864617e-06,2.927952e-06,3.098624e-06,3.105790e-06,3.286251e-06,3.337219e-06,3.469112e-06,3.579890e-06,3.654158e-06,3.826153e-06,3.841183e-06,4.029989e-06,4.075547e-06,4.220387e-06,4.327636e-06,4.412194e-06,4.582011e-06,4.605236e-06,4.799348e-06,4.838284e-06,4.994370e-06,5.096090e-06,5.190150e-06,5.355086e-06,5.386544e-06,5.583414e-06,5.614949e-06,5.780628e-06,5.875377e-06,5.978062e-06,6.136086e-06,6.175596e-06,6.373117e-06,6.396813e-06,6.570517e-06,6.657309e-06,6.767696e-06,6.917343e-06,6.964555e-06,7.161004e-06,7.176700e-06,7.356956e-06,7.435178e-06,7.552328e-06,7.692593e-06,7.747043e-06,7.941028e-06,7.948771e-06,8.134214e-06,8.203552e-06,8.326535e-06,8.456788e-06,8.517930e-06,8.708342e-06,8.897716e-06,8.958088e-06,9.086002e-06,9.205911e-06,9.273151e-06,9.451704e-06,9.459120e-06,9.643866e-06,9.695371e-06,9.827352e-06,9.936823e-06,1.000954e-05,1.017598e-05,1.019040e-05,1.036989e-05,1.041277e-05,1.054800e-05,1.064712e-05,1.072469e-05,1.087898e-05,1.089993e-05,1.107372e-05,1.110830e-05,1.124602e-05,1.133502e-05,1.141681e-05,1.155911e-05,1.158609e-05,1.175384e-05,1.178053e-05,1.192003e-05,1.199925e-05,1.208467e-05,1.221525e-05,1.224774e-05,1.240922e-05,1.242850e-05,1.256912e-05,1.263898e-05,1.272743e-05,1.284668e-05,1.288414e-05,1.303925e-05,1.305159e-05,1.319275e-05,1.325370e-05,1.334465e-05,1.345301e-05,1.349493e-05,1.364361e-05,1.364952e-05,1.379068e-05,1.384323e-05,1.393614e-05,1.403414e-05,1.408000e-05,1.422226e-05,1.440759e-05,1.459016e-05,1.476996e-05,1.494702e-05,1.512134e-05,1.529296e-05,1.546188e-05,1.562813e-05,1.579172e-05,1.595268e-05,1.611103e-05,1.626680e-05,1.642001e-05,1.657068e-05,1.671884e-05,1.686452e-05,1.700774e-05,1.714854e-05,1.728694e-05,1.742296e-05,1.755664e-05,1.768801e-05,1.781709e-05,1.794391e-05
0.000000e+00,4.803699e-13,2.806753e-12,3.140980e-11,1.377461e-10,2.639887e-10,1.030600e-09,1.081558e-09,3.119848e-09,4.031514e-09,7.350151e-09,1.150994e-08,1.519153e-08,2.720879e-08,2.852709e-08,4.942206e-08,5.577207e-08,7.968807e-08,1.012642e-07,1.207171e-07,1.665758e-07,1.735726e-07,2.391073e-07,2.538002e-07,3.180295e-07,3.645600e-07,4.109292e-07,5.001206e-07,5.182857e-07,6.404667e-07,6.614100e-07,7.777273e-07,8.490146e-07,9.302096e-07,1.063181e-06,1.097946e-06,1.280865e-06,1.303829e-06,1.478798e-06,1.570582e-06,1.691490e-06,1.862805e-06,1.918608e-06,2.159756e-06,2.179641e-06,2.414481e-06,2.520062e-06,2.682286e-06,2.882907e-06,2.962640e-06,3.254986e-06,3.266921e-06,3.558749e-06,3.670785e-06,3.873341e-06,4.093147e-06,4.198170e-06,4.532642e-06,4.876167e-06,4.987912e-06,5.228162e-06,5.457619e-06,5.588053e-06,5.940455e-06,5.955277e-06,6.329286e-06,6.435151e-06,6.709545e-06,6.940484e-06,7.095536e-06,7.455277e-06,7.486756e-06,7.882719e-06,7.978404e-06,8.282959e-06,8.508792e-06,8.687023e-06,9.045418e-06,9.094478e-06,9.504906e-06,9.587313e-06,9.917908e-06,1.013356e-05,1.033310e-05,1.068329e-05,1.075012e-05,1.116861e-05,1.123568e-05,1.158824e-05,1.178997e-05,1.200868e-05,1.234542e-05,1.242964e-05,1.285082e-05,1.290136e-05,1.327195e-05,1.345715e-05,1.369275e-05,1.401220e-05,1.411299e-05,1.453243e-05,1.456594e-05,1.495083e-05,1.511786e-05,1.536800e-05,1.566747e-05,1.578371e-05,1.619779e-05,1.621432e-05,1.661006e-05,1.675800e-05,1.702034e-05,1.729812e-05,1.742848e-05,1.783431e-05,1.823771e-05,1.836627e-05,1.863854e-05,1.889367e-05,1.903668e-05,1.941624e-05,1.943200e-05,1.982440e-05,1.993374e-05,2.021378e-05,2.044592e-05,2.060005e-05,2.095258e-05,2.098311e-05,2.136289e-05,2.145353e-05,2.173930e-05,2.194860e-05,2.211229e-05,2.243764e-05,2.248179e-05,2.284774e-05,2.292050e-05,2.321009e-05,2.339707e-05,2.356878e-05,2.386724e-05,2.392379e-05,2.427507e-05,2.433092e-05,2.462258e-05,2.478803e-05,2.496629e-05,2.523851e-05,2.530619e-05,2.564224e-05,2.568230e-05,2.597443e-05,2.611936e-05,2.630274e-05,2.654965e-05,2.662716e-05,2.694768e-05,2.697315e-05,2.726430e-05,2.738985e-05,2.757700e-05,2.779973e-05,2.788580e-05,2.819068e-05,2.820280e-05,2.849167e-05,2.859906e-05,2.878875e-05,2.898854e-05,2.908193e-05,2.937124e-05,2.974720e-05,3.011645e-05,3.047903e-05,3.083497e-05,3.118432e-05,3.152713e-05,3.186346e-05,3.219335e-05,3.251687e-05,3.283408e-05,3.314505e-05,3.344983e-05,3.374850e-05,3.404112e-05,3.432778e-05,3.460853e-05,3.488346e-05,3.515264e-05,3.541615e-05,3.567405e-05,3.592644e-05,3.617338e-05,3.641496e-05,3.665125e-05
0.000000e+00,1.556406e-15,1.526296e-14,4.125866e-13,3.373389e-12,8.592578e-12,6.050857e-11,6.480128e-11,2.854227e-10,4.053315e-10,9.075793e-10,1.631540e-09,2.330015e-09,4.858019e-09,5.153569e-09,1.021050e-08,1.186917e-08,1.854727e-08,2.508504e-08,3.134004e-08,4.722987e-08,4.977838e-08,7.497404e-08,8.091352e-08,1.079180e-07,1.284025e-07,1.494739e-07,1.915848e-07,2.003873e-07,2.612955e-07,2.720055e-07,3.327337e-07,3.708959e-07,4.151371e-07,4.891837e-07,5.088414e-07,6.140832e-07,6.274952e-07,7.310019e-07,7.861604e-07,8.596432e-07,9.652279e-07,9.999651e-07,1.151844e-06,1.164489e-06,1.315086e-06,1.383507e-06,1.489430e-06,1.621658e-06,1.674563e-06,1.870127e-06,1.878161e-06,2.075726e-06,2.152117e-06,2.290936e-06,2.442541e-06,2.515311e-06,2.748391e-06,2.989705e-06,3.068588e-06,3.238780e-06,3.402041e-06,3.495141e-06,3.747663e-06,3.758315e-06,4.027836e-06,4.104377e-06,4.303247e-06,4.471133e-06,4.584099e-06,4.846913e-06,4.869956e-06,5.160394e-06,5.230734e-06,5.455001e-06,5.621653e-06,5.753380e-06,6.018770e-06,6.055149e-06,6.359938e-06,6.421227e-06,6.667394e-06,6.828211e-06,6.977177e-06,7.238954e-06,7.288961e-06,7.602436e-06,7.652729e-06,7.917305e-06,8.068853e-06,8.233283e-06,8.486683e-06,8.550101e-06,8.867502e-06,8.905617e-06,9.185240e-06,9.325091e-06,9.503084e-06,9.744580e-06,9.820813e-06,1.013822e-05,1.016359e-05,1.045510e-05,1.058167e-05,1.077128e-05,1.099839e-05,1.108657e-05,1.140081e-05,1.141336e-05,1.171384e-05,1.182621e-05,1.202552e-05,1.223661e-05,1.233570e-05,1.264426e-05,1.295106e-05,1.304886e-05,1.325601e-05,1.345015e-05,1.355899e-05,1.384791e-05,1.385990e-05,1.415865e-05,1.424190e-05,1.445516e-05,1.463195e-05,1.474933e-05,1.501786e-05,1.504111e-05,1.533043e-05,1.539949e-05,1.561721e-05,1.577668e-05,1.590140e-05,1.614931e-05,1.618296e-05,1.646183e-05,1.651728e-05,1.673797e-05,1.688048e-05,1.701135e-05,1.723882e-05,1.728193e-05,1.754967e-05,1.759224e-05,1.781456e-05,1.794068e-05,1.807656e-05,1.828408e-05,1.833567e-05,1.859185e-05,1.862240e-05,1.884511e-05,1.895561e-05,1.909543e-05,1.928370e-05,1.934280e-05,1.958721e-05,1.960664e-05,1.982867e-05,1.992443e-05,2.006718e-05,2.023707e-05,2.030272e-05,2.053532e-05,2.054456e-05,2.076497e-05,2.084692e-05,2.099168e-05,2.114417e-05,2.121547e-05,2.143633e-05,2.172342e-05,2.200549e-05,2.228256e-05,2.255467e-05,2.282187e-05,2.308420e-05,2.334172e-05,2.359447e-05,2.384250e-05,2.408587e-05,2.432464e-05,2.455887e-05,2.478861e-05,2.501393e-05,2.523489e-05,2.545154e-05,2.566397e-05,2.587222e-05,2.607636e-05,2.627646e-05,2.647258e-05,2.666479e-05,2.685315e-05,2.703773e-05
0.000000e+00,1.279540e-12,3.946659e-12,2.100135e-11,6.364711e-11,1.058335e-10,3.181064e-10,3.310062e-10,7.991505e-10,9.908284e-10,1.640668e-09,2.389977e-09,3.015319e-09,4.914392e-09,5.113960e-09,8.157895e-09,9.055947e-09,1.239117e-08,1.537429e-08,1.806160e-08,2.442058e-08,2.539492e-08,3.457568e-08,3.664651e-08,4.574287e-08,5.236899e-08,5.899517e-08,7.178739e-08,7.439832e-08,9.199114e-08,9.501056e-08,1.117898e-07,1.220763e-07,1.337908e-07,1.529640e-07,1.579736e-07,1.843025e-07,1.876040e-07,2.127287e-07,2.258856e-07,2.431923e-07,2.676650e-07,2.756242e-07,3.099476e-07,3.127728e-07,3.460803e-07,3.610206e-07,3.839353e-07,4.122073e-07,4.234233e-07,4.644529e-07,4.661249e-07,5.069324e-07,5.225623e-07,5.507702e-07,5.813095e-07,5.958757e-07,6.421602e-07,6.895368e-07,7.049141e-07,7.379213e-07,7.693784e-07,7.872320e-07,8.353688e-07,8.373905e-07,8.883211e-07,9.027102e-07,9.399516e-07,9.712370e-07,9.922128e-07,1.040793e-06,1.045039e-06,1.098367e-06,1.111233e-06,1.152137e-06,1.182420e-06,1.206292e-06,1.254226e-06,1.260780e-06,1.315548e-06,1.326532e-06,1.370550e-06,1.399227e-06,1.425739e-06,1.472211e-06,1.481072e-06,1.536510e-06,1.545387e-06,1.592014e-06,1.618669e-06,1.647548e-06,1.691974e-06,1.703079e-06,1.758574e-06,1.765230e-06,1.814005e-06,1.838366e-06,1.869343e-06,1.911321e-06,1.924561e-06,1.979637e-06,1.984036e-06,2.034546e-06,2.056458e-06,2.089267e-06,2.128539e-06,2.143780e-06,2.198067e-06,2.200234e-06,2.252111e-06,2.271503e-06,2.305894e-06,2.342310e-06,2.359402e-06,2.412622e-06,2.465540e-06,2.482408e-06,2.518144e-06,2.551641e-06,2.570424e-06,2.620298e-06,2.622369e-06,2.673970e-06,2.688355e-06,2.725218e-06,2.755795e-06,2.776106e-06,2.822599e-06,2.826627e-06,2.876774e-06,2.888753e-06,2.926541e-06,2.954243e-06,2.975923e-06,3.019058e-06,3.024916e-06,3.073515e-06,3.083187e-06,3.121717e-06,3.146624e-06,3.169518e-06,3.209359e-06,3.216916e-06,3.263908e-06,3.271389e-06,3.310493e-06,3.332708e-06,3.356668e-06,3.393313e-06,3.402433e-06,3.447786e-06,3.453201e-06,3.492728e-06,3.512371e-06,3.537257e-06,3.570823e-06,3.581373e-06,3.625078e-06,3.628556e-06,3.668370e-06,3.685572e-06,3.711252e-06,3.741872e-06,3.753723e-06,3.795785e-06,3.797459e-06,3.837439e-06,3.852335e-06,3.878686e-06,3.906503e-06,3.919528e-06,3.959967e-06,4.012732e-06,4.064801e-06,4.116181e-06,4.166875e-06,4.216891e-06,4.266233e-06,4.314908e-06,4.362921e-06,4.410280e-06,4.456992e-06,4.503062e-06,4.548497e-06,4.593306e-06,4.637494e-06,4.681070e-06,4.724040e-06,4.766411e-06,4.808192e-06,4.849389e-06,4.890010e-06,4.930063e-06,4.969554e-06,5.008492e-06,5.046883e-06
0.000000e+00,2.938493e-12,1.555342e-11,1.527329e-10,6.280379e-10,1.178552e-09,4.504089e-09,4.726697e-09,1.385612e-08,1.806878e-08,3.389826e-08,5.442296e-08,7.287743e-08,1.331992e-07,1.397637e-07,2.418167e-07,2.721420e-07,3.841257e-07,4.828378e-07,5.704535e-07,7.732883e-07,8.038774e-07,1.087070e-06,1.149893e-06,1.422382e-06,1.618032e-06,1.811853e-06,2.182116e-06,2.257182e-06,2.759706e-06,2.845486e-06,3.320377e-06,3.610332e-06,3.939754e-06,4.477652e-06,4.618008e-06,5.354940e-06,5.447293e-06,6.150005e-06,6.518039e-06,7.002345e-06,7.687738e-06,7.910822e-06,8.874058e-06,8.953437e-06,9.890468e-06,1.031153e-05,1.095830e-05,1.175791e-05,1.207565e-05,1.324052e-05,1.328808e-05,1.445084e-05,1.489727e-05,1.570446e-05,1.658054e-05,1.699919e-05,1.833286e-05,1.970324e-05,2.014916e-05,2.110815e-05,2.202441e-05,2.254541e-05,2.395362e-05,2.401287e-05,2.550841e-05,2.593191e-05,2.702996e-05,2.795452e-05,2.857548e-05,3.001682e-05,3.014298e-05,3.173054e-05,3.211432e-05,3.333626e-05,3.424271e-05,3.495831e-05,3.639782e-05,3.659492e-05,3.824437e-05,3.857565e-05,3.990499e-05,4.077240e-05,4.157519e-05,4.298440e-05,4.325339e-05,4.493811e-05,4.520817e-05,4.662790e-05,4.744039e-05,4.832138e-05,4.967791e-05,5.001721e-05,5.171410e-05,5.191774e-05,5.341083e-05,5.415704e-05,5.510622e-05,5.639312e-05,5.679914e-05,5.848851e-05,5.862347e-05,6.017328e-05,6.084569e-05,6.185249e-05,6.305753e-05,6.352517e-05,6.519045e-05,6.525689e-05,6.684746e-05,6.744180e-05,6.849538e-05,6.961039e-05,7.013346e-05,7.176095e-05,7.337717e-05,7.389187e-05,7.498145e-05,7.600165e-05,7.657319e-05,7.808890e-05,7.815178e-05,7.971669e-05,8.015234e-05,8.126739e-05,8.219079e-05,8.280340e-05,8.420317e-05,8.432427e-05,8.582957e-05,8.618848e-05,8.731890e-05,8.814581e-05,8.879190e-05,9.007435e-05,9.024822e-05,9.168755e-05,9.197336e-05,9.310961e-05,9.384215e-05,9.451411e-05,9.568016e-05,9.590083e-05,9.726953e-05,9.748684e-05,9.862003e-05,9.926174e-05,9.995214e-05,1.010045e-04,1.012657e-04,1.025606e-04,1.027147e-04,1.038366e-04,1.043921e-04,1.050938e-04,1.060365e-04,1.063320e-04,1.075511e-04,1.076478e-04,1.087510e-04,1.092257e-04,1.099318e-04,1.107701e-04,1.110935e-04,1.122359e-04,1.122812e-04,1.133591e-04,1.137588e-04,1.144631e-04,1.152029e-04,1.155480e-04,1.166137e-04,1.179913e-04,1.193358e-04,1.206473e-04,1.219261e-04,1.231723e-04,1.243862e-04,1.255681e-04,1.267183e-04,1.278370e-04,1.289246e-04,1.299813e-04,1.310076e-04,1.320039e-04,1.329704e-04,1.339076e-04,1.348158e-04,1.356955e-04,1.365471e-04,1.373710e-04,1.381676e-04,1.389374e-04,1.396807e-04,1.403981e-04,1.410899e-04
0.000000e+00,7.682131e-17,8.996782e-16,3.492943e-14,3.940914e-13,1.193728e-12,1.298531e-11,1.414882e-11,9.393133e-11,1.485458e-10,4.324422e-10,9.529275e-10,1.547317e-09,4.244968e-09,4.606066e-09,1.191966e-08,1.471829e-08,2.763181e-08,4.251924e-08,5.861939e-08,1.069240e-07,1.156048e-07,2.144559e-07,2.410928e-07,3.776180e-07,4.976409e-07,6.355880e-07,9.544718e-07,1.028315e-06,1.606404e-06,1.720085e-06,2.432005e-06,2.937528e-06,3.579300e-06,4.786318e-06,5.134536e-06,7.195563e-06,7.481925e-06,9.870880e-06,1.127268e-05,1.327825e-05,1.643429e-05,1.754292e-05,2.279554e-05,2.326242e-05,2.916978e-05,3.206365e-05,3.679991e-05,4.314565e-05,4.581819e-05,5.635235e-05,5.680698e-05,6.852316e-05,7.332710e-05,8.244211e-05,9.295715e-05,9.820933e-05,1.159117e-04,1.356215e-04,1.423623e-04,1.573949e-04,1.724318e-04,1.812713e-04,2.061915e-04,2.072724e-04,2.354025e-04,2.436590e-04,2.656479e-04,2.847984e-04,2.979778e-04,3.295215e-04,3.323443e-04,3.686838e-04,3.776904e-04,4.069175e-04,4.291218e-04,4.469530e-04,4.835916e-04,4.886853e-04,5.319985e-04,5.408399e-04,5.767670e-04,6.005777e-04,6.228573e-04,6.624923e-04,6.701293e-04,7.184381e-04,7.262538e-04,7.676351e-04,7.915211e-04,8.175700e-04,8.579476e-04,8.680916e-04,9.190493e-04,9.251864e-04,9.702944e-04,9.928957e-04,1.021681e-03,1.060743e-03,1.073068e-03,1.124317e-03,1.128407e-03,1.175297e-03,1.195585e-03,1.225882e-03,1.261991e-03,1.275953e-03,1.325398e-03,1.327362e-03,1.374114e-03,1.391454e-03,1.422002e-03,1.454048e-03,1.468975e-03,1.514950e-03,1.559854e-03,1.573987e-03,1.603622e-03,1.631010e-03,1.646196e-03,1.685896e-03,1.687524e-03,1.727565e-03,1.738540e-03,1.766280e-03,1.788860e-03,1.803640e-03,1.836795e-03,1.839623e-03,1.874210e-03,1.882301e-03,1.907389e-03,1.925352e-03,1.939155e-03,1.965938e-03,1.969505e-03,1.998443e-03,2.004062e-03,2.025977e-03,2.039742e-03,2.052116e-03,2.073007e-03,2.076877e-03,2.100276e-03,2.103895e-03,2.122335e-03,2.132454e-03,2.143077e-03,2.158739e-03,2.162527e-03,2.180713e-03,2.182812e-03,2.197664e-03,2.204739e-03,2.213411e-03,2.224592e-03,2.227985e-03,2.241420e-03,2.242446e-03,2.253749e-03,2.258379e-03,2.265006e-03,2.272468e-03,2.275227e-03,2.284446e-03,2.284795e-03,2.292699e-03,2.295440e-03,2.300020e-03,2.304483e-03,2.306444e-03,2.312006e-03,2.318086e-03,2.322803e-03,2.326232e-03,2.328447e-03,2.329522e-03,2.329527e-03,2.328529e-03,2.326595e-03,2.323787e-03,2.320165e-03,2.315788e-03,2.310711e-03,2.304987e-03,2.298665e-03,2.291795e-03,2.284421e-03,2.276588e-03,2.268334e-03,2.259701e-03,2.250723e-03,2.241435e-03,2.231870e-03,2.222058e-03,2.212028e-03
0.000000e+00,1.155319e-16,1.236244e-15,3.983414e-14,3.792971e-13,1.046862e-12,8.961756e-12,9.670346e-12,5.070921e-11,7.524809e-11,1.868872e-10,3.626783e-10,5.425028e-10,1.242190e-09,1.327521e-09,2.860003e-09,3.385542e-09,5.584111e-09,7.840133e-09,1.007756e-08,1.604946e-08,1.704113e-08,2.726887e-08,2.978008e-08,4.160572e-08,5.096844e-08,6.090356e-08,8.154999e-08,8.598366e-08,1.176092e-07,1.233238e-07,1.564674e-07,1.778682e-07,2.031590e-07,2.464971e-07,2.581923e-07,3.219806e-07,3.302396e-07,3.948412e-07,4.298346e-07,4.769961e-07,5.457324e-07,5.685740e-07,6.696138e-07,6.781049e-07,7.800695e-07,8.268628e-07,8.998166e-07,9.916803e-07,1.028659e-06,1.166338e-06,1.172024e-06,1.312539e-06,1.367190e-06,1.466903e-06,1.576332e-06,1.629033e-06,1.798504e-06,1.974870e-06,2.032688e-06,2.157670e-06,2.277822e-06,2.346436e-06,2.532829e-06,2.540700e-06,2.739994e-06,2.796635e-06,2.943858e-06,3.068183e-06,3.151844e-06,3.346454e-06,3.363513e-06,3.578445e-06,3.630468e-06,3.796232e-06,3.919295e-06,4.016487e-06,4.212058e-06,4.238839e-06,4.462937e-06,4.507936e-06,4.688446e-06,4.806163e-06,4.915052e-06,5.106031e-06,5.142458e-06,5.370385e-06,5.406885e-06,5.598573e-06,5.708122e-06,5.826775e-06,6.009193e-06,6.054763e-06,6.282324e-06,6.309593e-06,6.509260e-06,6.608866e-06,6.735386e-06,6.906595e-06,6.960532e-06,7.184539e-06,7.202406e-06,7.407262e-06,7.495960e-06,7.628565e-06,7.786955e-06,7.848325e-06,8.066429e-06,8.075118e-06,8.282773e-06,8.360207e-06,8.497262e-06,8.642010e-06,8.709809e-06,8.920336e-06,9.128773e-06,9.195021e-06,9.335056e-06,9.465919e-06,9.539127e-06,9.732908e-06,9.740937e-06,9.940439e-06,9.995881e-06,1.013760e-05,1.025475e-05,1.033237e-05,1.050944e-05,1.052474e-05,1.071467e-05,1.075989e-05,1.090214e-05,1.100605e-05,1.108714e-05,1.124789e-05,1.126966e-05,1.144967e-05,1.148538e-05,1.162719e-05,1.171850e-05,1.180219e-05,1.194726e-05,1.197469e-05,1.214468e-05,1.217165e-05,1.231217e-05,1.239167e-05,1.247716e-05,1.260735e-05,1.263965e-05,1.279967e-05,1.281871e-05,1.295722e-05,1.302576e-05,1.311231e-05,1.322855e-05,1.326496e-05,1.341518e-05,1.342710e-05,1.356300e-05,1.362146e-05,1.370843e-05,1.381166e-05,1.385148e-05,1.399218e-05,1.399776e-05,1.413055e-05,1.417980e-05,1.426661e-05,1.435783e-05,1.440039e-05,1.453190e-05,1.470207e-05,1.486839e-05,1.503092e-05,1.518972e-05,1.534484e-05,1.549635e-05,1.564430e-05,1.578876e-05,1.592978e-05,1.606743e-05,1.620177e-05,1.633285e-05,1.646074e-05,1.658549e-05,1.670718e-05,1.682585e-05,1.694156e-05,1.705438e-05,1.716436e-05,1.727156e-05,1.737604e-05,1.747784e-05,1.757703e-05,1.767367e-05
0.000000e+00,3.682378e-17,4.099064e-16,1.431532e-14,1.465759e-13,4.208885e-13,3.987231e-12,4.320130e-12,2.501101e-11,3.811535e-11,1.011558e-10,2.069948e-10,3.204145e-10,7.912124e-10,8.509555e-10,1.979348e-09,2.384748e-09,4.151332e-09,6.053673e-09,8.008037e-09,1.347153e-08,1.440729e-08,2.442178e-08,2.696664e-08,3.931262e-08,4.944472e-08,6.048304e-08,8.420670e-08,8.942130e-08,1.276413e-07,1.347179e-07,1.766274e-07,2.043824e-07,2.377879e-07,2.963561e-07,3.124171e-07,4.016688e-07,4.134106e-07,5.065373e-07,5.578454e-07,6.278464e-07,7.314424e-07,7.662447e-07,9.222063e-07,9.354523e-07,1.096035e-06,1.170607e-06,1.287874e-06,1.437151e-06,1.497715e-06,1.725410e-06,1.734886e-06,1.970689e-06,2.063224e-06,2.233172e-06,2.421248e-06,2.512383e-06,2.807766e-06,3.118700e-06,3.221375e-06,3.444511e-06,3.660508e-06,3.784484e-06,4.123489e-06,4.137873e-06,4.503915e-06,4.608568e-06,4.881833e-06,5.113960e-06,5.270848e-06,5.637874e-06,5.670182e-06,6.079066e-06,6.178534e-06,6.496742e-06,6.734203e-06,6.922468e-06,7.303191e-06,7.355520e-06,7.795196e-06,7.883866e-06,8.240815e-06,8.474666e-06,8.691719e-06,9.074098e-06,9.147274e-06,9.606872e-06,9.680744e-06,1.006993e-05,1.029326e-05,1.053589e-05,1.091038e-05,1.100421e-05,1.147438e-05,1.153090e-05,1.194592e-05,1.215372e-05,1.241837e-05,1.277776e-05,1.289128e-05,1.336424e-05,1.340207e-05,1.383685e-05,1.402571e-05,1.430873e-05,1.464783e-05,1.477953e-05,1.524891e-05,1.526765e-05,1.571655e-05,1.588442e-05,1.618216e-05,1.649747e-05,1.664546e-05,1.710617e-05,1.756405e-05,1.770994e-05,1.801887e-05,1.830824e-05,1.847040e-05,1.890059e-05,1.891845e-05,1.936281e-05,1.948655e-05,1.980332e-05,2.006571e-05,2.023981e-05,2.063769e-05,2.067212e-05,2.110011e-05,2.120217e-05,2.152365e-05,2.175884e-05,2.194262e-05,2.230744e-05,2.235690e-05,2.276640e-05,2.284772e-05,2.317102e-05,2.337947e-05,2.357068e-05,2.390250e-05,2.396530e-05,2.435481e-05,2.441665e-05,2.473915e-05,2.492178e-05,2.511826e-05,2.541777e-05,2.549211e-05,2.586065e-05,2.590451e-05,2.622383e-05,2.638194e-05,2.658165e-05,2.684997e-05,2.693406e-05,2.728105e-05,2.730857e-05,2.762261e-05,2.775771e-05,2.795872e-05,2.819735e-05,2.828939e-05,2.861461e-05,2.862751e-05,2.893438e-05,2.904817e-05,2.924872e-05,2.945937e-05,2.955763e-05,2.986112e-05,3.025347e-05,3.063645e-05,3.101013e-05,3.137457e-05,3.172983e-05,3.207600e-05,3.241314e-05,3.274134e-05,3.306071e-05,3.337133e-05,3.367329e-05,3.396672e-05,3.425170e-05,3.452836e-05,3.479680e-05,3.505713e-05,3.530947e-05,3.555394e-05,3.579066e-05,3.601975e-05,3.624133e-05,3.645551e-05,3.666244e-05,3.686221e-05
0.000000e+00,4.236084e-17,4.656710e-16,1.583866e-14,1.582039e-13,4.479944e-13,4.089037e-12,4.423556e-12,2.462961e-11,3.712344e-11,9.575707e-11,1.913084e-10,2.914067e-10,6.932421e-10,7.431641e-10,1.659744e-09,1.980389e-09,3.344567e-09,4.772464e-09,6.209527e-09,1.012223e-08,1.078099e-08,1.769346e-08,1.941922e-08,2.766898e-08,3.432356e-08,4.148448e-08,5.663791e-08,5.993344e-08,8.378848e-08,8.815606e-08,1.137699e-07,1.305300e-07,1.505235e-07,1.851799e-07,1.946065e-07,2.464819e-07,2.532491e-07,3.065178e-07,3.355931e-07,3.749897e-07,4.327890e-07,4.520853e-07,5.379089e-07,5.451532e-07,6.324870e-07,6.727612e-07,7.357720e-07,8.154657e-07,8.476474e-07,9.679311e-07,9.729141e-07,1.096381e-06,1.144566e-06,1.232698e-06,1.329711e-06,1.376534e-06,1.527494e-06,1.685146e-06,1.736933e-06,1.849024e-06,1.956948e-06,2.018638e-06,2.186390e-06,2.193478e-06,2.373020e-06,2.424063e-06,2.556738e-06,2.668753e-06,2.744103e-06,2.919251e-06,2.934593e-06,3.127696e-06,3.174374e-06,3.322914e-06,3.432981e-06,3.519769e-06,3.693992e-06,3.717804e-06,3.916584e-06,3.956393e-06,4.115702e-06,4.219249e-06,4.314776e-06,4.481703e-06,4.513450e-06,4.711398e-06,4.742982e-06,4.908319e-06,5.002395e-06,5.103940e-06,5.259332e-06,5.298012e-06,5.490312e-06,5.513259e-06,5.680640e-06,5.763714e-06,5.868819e-06,6.010301e-06,6.054692e-06,6.238121e-06,6.252687e-06,6.418988e-06,6.490593e-06,6.597188e-06,6.723793e-06,6.772636e-06,6.945256e-06,6.952102e-06,7.114989e-06,7.175377e-06,7.281785e-06,7.393509e-06,7.445606e-06,7.606421e-06,7.764210e-06,7.814061e-06,7.918959e-06,8.016400e-06,8.070662e-06,8.213430e-06,8.219318e-06,8.364932e-06,8.405160e-06,8.507513e-06,8.591611e-06,8.647075e-06,8.772821e-06,8.783635e-06,8.917215e-06,8.948833e-06,9.047838e-06,9.119704e-06,9.175529e-06,9.285495e-06,9.300318e-06,9.422234e-06,9.446275e-06,9.541309e-06,9.602117e-06,9.657577e-06,9.753098e-06,9.771072e-06,9.881830e-06,9.899299e-06,9.989886e-06,1.004081e-05,1.009528e-05,1.017770e-05,1.019805e-05,1.029822e-05,1.031007e-05,1.039585e-05,1.043801e-05,1.049097e-05,1.056161e-05,1.058362e-05,1.067383e-05,1.068095e-05,1.076165e-05,1.079612e-05,1.084712e-05,1.090722e-05,1.093027e-05,1.101115e-05,1.101434e-05,1.108979e-05,1.111756e-05,1.116623e-05,1.121697e-05,1.124051e-05,1.131267e-05,1.140473e-05,1.149325e-05,1.157831e-05,1.166000e-05,1.173839e-05,1.181357e-05,1.188562e-05,1.195462e-05,1.202064e-05,1.208377e-05,1.214407e-05,1.220162e-05,1.225650e-05,1.230877e-05,1.235851e-05,1.240578e-05,1.245064e-05,1.249317e-05,1.253343e-05,1.257147e-05,1.260737e-05,1.264118e-05,1.267295e-05,1.270276e-05
0.000000e+00,7.316372e-13,2.310713e-12,1.260992e-11,3.866475e-11,6.456033e-11,1.952567e-10,2.032034e-10,4.911929e-10,6.087813e-10,1.005837e-09,1.460676e-09,1.837985e-09,2.972717e-09,3.091098e-09,4.880241e-09,5.403114e-09,7.330459e-09,9.040365e-09,1.057367e-08,1.418993e-08,1.474361e-08,1.996960e-08,2.115228e-08,2.637144e-08,3.020125e-08,3.405644e-08,4.157243e-08,4.311833e-08,5.363725e-08,5.546013e-08,6.567983e-08,7.201764e-08,7.929943e-08,9.135809e-08,9.453637e-08,1.114182e-07,1.135554e-07,1.299600e-07,1.386456e-07,1.501652e-07,1.666292e-07,1.720260e-07,1.955241e-07,1.974739e-07,2.206319e-07,2.311180e-07,2.473135e-07,2.674744e-07,2.755252e-07,3.052171e-07,3.064348e-07,3.363340e-07,3.478735e-07,3.688161e-07,3.916517e-07,4.026004e-07,4.376210e-07,4.738104e-07,4.856266e-07,5.111000e-07,5.355107e-07,5.494206e-07,5.871144e-07,5.887033e-07,6.288798e-07,6.402801e-07,6.698824e-07,6.948530e-07,7.116451e-07,7.506827e-07,7.541035e-07,7.971947e-07,8.076240e-07,8.408582e-07,8.655378e-07,8.850354e-07,9.242915e-07,9.296700e-07,9.747080e-07,9.837594e-07,1.020098e-06,1.043823e-06,1.065790e-06,1.104370e-06,1.111737e-06,1.157896e-06,1.165298e-06,1.204223e-06,1.226508e-06,1.250678e-06,1.287909e-06,1.297224e-06,1.343824e-06,1.349418e-06,1.390446e-06,1.410958e-06,1.437057e-06,1.472456e-06,1.483628e-06,1.530130e-06,1.533847e-06,1.576538e-06,1.595069e-06,1.622827e-06,1.656069e-06,1.668975e-06,1.714960e-06,1.716796e-06,1.760763e-06,1.777203e-06,1.806364e-06,1.837250e-06,1.851749e-06,1.896899e-06,1.941802e-06,1.956117e-06,1.986444e-06,2.014873e-06,2.030813e-06,2.073140e-06,2.074898e-06,2.118688e-06,2.130895e-06,2.162174e-06,2.188117e-06,2.205348e-06,2.244787e-06,2.248203e-06,2.290732e-06,2.300890e-06,2.332929e-06,2.356412e-06,2.374788e-06,2.411342e-06,2.416305e-06,2.457477e-06,2.465669e-06,2.498299e-06,2.519387e-06,2.538769e-06,2.572490e-06,2.578884e-06,2.618643e-06,2.624971e-06,2.658044e-06,2.676830e-06,2.697087e-06,2.728062e-06,2.735770e-06,2.774093e-06,2.778668e-06,2.812057e-06,2.828648e-06,2.849663e-06,2.878003e-06,2.886909e-06,2.923799e-06,2.926735e-06,2.960332e-06,2.974846e-06,2.996511e-06,3.022342e-06,3.032338e-06,3.067813e-06,3.069225e-06,3.102940e-06,3.115500e-06,3.137720e-06,3.161174e-06,3.172156e-06,3.206251e-06,3.250738e-06,3.294641e-06,3.337968e-06,3.380725e-06,3.422920e-06,3.464560e-06,3.505654e-06,3.546208e-06,3.586232e-06,3.625733e-06,3.664719e-06,3.703199e-06,3.741181e-06,3.778672e-06,3.815682e-06,3.852219e-06,3.888290e-06,3.923904e-06,3.959069e-06,3.993792e-06,4.028083e-06,4.061948e-06,4.095396e-06,4.128433e-06
0.000000e+00,1.058496e-14,8.405783e-14,1.529917e-12,9.143471e-12,1.995917e-11,9.932705e-11,1.050315e-10,3.494330e-10,4.637725e-10,8.877826e-10,1.422543e-09,1.893618e-09,3.411655e-09,3.576770e-09,6.181263e-09,6.973462e-09,9.983011e-09,1.274721e-08,1.528568e-08,2.144979e-08,2.241216e-08,3.169024e-08,3.383219e-08,4.343497e-08,5.061384e-08,5.793377e-08,7.242637e-08,7.543835e-08,9.616252e-08,9.978948e-08,1.202830e-07,1.331100e-07,1.479410e-07,1.726874e-07,1.792435e-07,2.142649e-07,2.187198e-07,2.530481e-07,2.713087e-07,2.956057e-07,3.304654e-07,3.419225e-07,3.919569e-07,3.961185e-07,4.456437e-07,4.681225e-07,5.028966e-07,5.462685e-07,5.636106e-07,6.276650e-07,6.302948e-07,6.949261e-07,7.198975e-07,7.652495e-07,8.147411e-07,8.384828e-07,9.144674e-07,9.930412e-07,1.018705e-06,1.074039e-06,1.127074e-06,1.157297e-06,1.239197e-06,1.242650e-06,1.329935e-06,1.354699e-06,1.418993e-06,1.473213e-06,1.509667e-06,1.594385e-06,1.601806e-06,1.695263e-06,1.717872e-06,1.789895e-06,1.843351e-06,1.885565e-06,1.970510e-06,1.982143e-06,2.079503e-06,2.099058e-06,2.177524e-06,2.228719e-06,2.276094e-06,2.359236e-06,2.375103e-06,2.474448e-06,2.490368e-06,2.574032e-06,2.621890e-06,2.673762e-06,2.753594e-06,2.773553e-06,2.873321e-06,2.885288e-06,2.972989e-06,3.016793e-06,3.072486e-06,3.147947e-06,3.171743e-06,3.270697e-06,3.278598e-06,3.369287e-06,3.408609e-06,3.467459e-06,3.537854e-06,3.565160e-06,3.662343e-06,3.666219e-06,3.758962e-06,3.793599e-06,3.854976e-06,3.919900e-06,3.950346e-06,4.045038e-06,4.139017e-06,4.168935e-06,4.232255e-06,4.291526e-06,4.324724e-06,4.412748e-06,4.416399e-06,4.507257e-06,4.532547e-06,4.597277e-06,4.650879e-06,4.686440e-06,4.767700e-06,4.774731e-06,4.862133e-06,4.882976e-06,4.948634e-06,4.996677e-06,5.034223e-06,5.108778e-06,5.118888e-06,5.202622e-06,5.219257e-06,5.285418e-06,5.328098e-06,5.367268e-06,5.435289e-06,5.448169e-06,5.528116e-06,5.540819e-06,5.607107e-06,5.644683e-06,5.685141e-06,5.746878e-06,5.762216e-06,5.838332e-06,5.847402e-06,5.913491e-06,5.946259e-06,5.987695e-06,6.043451e-06,6.060945e-06,6.133244e-06,6.138987e-06,6.204596e-06,6.232873e-06,6.275006e-06,6.325121e-06,6.344478e-06,6.413018e-06,6.415740e-06,6.480630e-06,6.504745e-06,6.547322e-06,6.592149e-06,6.613099e-06,6.677968e-06,6.762219e-06,6.844917e-06,6.926082e-06,7.005732e-06,7.083886e-06,7.160565e-06,7.235788e-06,7.309576e-06,7.381950e-06,7.452932e-06,7.522543e-06,7.590805e-06,7.657739e-06,7.723368e-06,7.787713e-06,7.850795e-06,7.912638e-06,7.973262e-06,8.032689e-06,8.090941e-06,8.148040e-06,8.204005e-06,8.258859e-06,8.312622e-06
0.000000e+00,1.626427e-17,1.821315e-16,6.438883e-15,6.664344e-14,1.924650e-13,1.848843e-12,2.004274e-12,1.174376e-11,1.794837e-11,4.793688e-11,9.849312e-11,1.527787e-10,3.783517e-10,4.069731e-10,9.468031e-10,1.140385e-09,1.982170e-09,2.886447e-09,3.814169e-09,6.406040e-09,6.850140e-09,1.161339e-08,1.282770e-08,1.874481e-08,2.363427e-08,2.899500e-08,4.063020e-08,4.320741e-08,6.229456e-08,6.586430e-08,8.721063e-08,1.015251e-07,1.189231e-07,1.498286e-07,1.583859e-07,2.065155e-07,2.129149e-07,2.641705e-07,2.927616e-07,3.321358e-07,3.911180e-07,4.111095e-07,5.016942e-07,5.094582e-07,6.043902e-07,6.489519e-07,7.195927e-07,8.104483e-07,8.475896e-07,9.885632e-07,9.944735e-07,1.142592e-06,1.201237e-06,1.309655e-06,1.430648e-06,1.489637e-06,1.682336e-06,1.887468e-06,1.955680e-06,2.104678e-06,2.249840e-06,2.333547e-06,2.563790e-06,2.573600e-06,2.824316e-06,2.896352e-06,3.085136e-06,3.246234e-06,3.355470e-06,3.612055e-06,3.634707e-06,3.922219e-06,3.992382e-06,4.217371e-06,4.385755e-06,4.519524e-06,4.790706e-06,4.828044e-06,5.142302e-06,5.205788e-06,5.461681e-06,5.629581e-06,5.785578e-06,6.060716e-06,6.113410e-06,6.444609e-06,6.497877e-06,6.778633e-06,6.939814e-06,7.114960e-06,7.385345e-06,7.453093e-06,7.792558e-06,7.833362e-06,8.132907e-06,8.282830e-06,8.473715e-06,8.732790e-06,8.814584e-06,9.155137e-06,9.182357e-06,9.495023e-06,9.630716e-06,9.833912e-06,1.007712e-05,1.017150e-05,1.050749e-05,1.052090e-05,1.084164e-05,1.096143e-05,1.117369e-05,1.139816e-05,1.150341e-05,1.183060e-05,1.215507e-05,1.225830e-05,1.247665e-05,1.268087e-05,1.279517e-05,1.309795e-05,1.311050e-05,1.342250e-05,1.350925e-05,1.373105e-05,1.391449e-05,1.403606e-05,1.431345e-05,1.433742e-05,1.463506e-05,1.470593e-05,1.492891e-05,1.509178e-05,1.521889e-05,1.547084e-05,1.550496e-05,1.578708e-05,1.584303e-05,1.606520e-05,1.620824e-05,1.633930e-05,1.656642e-05,1.660935e-05,1.687534e-05,1.691752e-05,1.713725e-05,1.726151e-05,1.739507e-05,1.759840e-05,1.764882e-05,1.789849e-05,1.792817e-05,1.814409e-05,1.825086e-05,1.838563e-05,1.856650e-05,1.862313e-05,1.885661e-05,1.887511e-05,1.908609e-05,1.917677e-05,1.931160e-05,1.947152e-05,1.953316e-05,1.975081e-05,1.975943e-05,1.996458e-05,2.004059e-05,2.017450e-05,2.031507e-05,2.038061e-05,2.058295e-05,2.084433e-05,2.109930e-05,2.134796e-05,2.159041e-05,2.182676e-05,2.205710e-05,2.228155e-05,2.250022e-05,2.271321e-05,2.292063e-05,2.312260e-05,2.331922e-05,2.351060e-05,2.369685e-05,2.387809e-05,2.405441e-05,2.422593e-05,2.439276e-05,2.455499e-05,2.471274e-05,2.486610e-05,2.501518e-05,2.516008e-05,2.530090e-05
0.000000e+00,2.666957e-12,8.620873e-12,4.823126e-11,1.497632e-10,2.514070e-10,7.696908e-10,8.014094e-10,1.962169e-09,2.441412e-09,4.077988e-09,5.982059e-09,7.581343e-09,1.247387e-08,1.298996e-08,2.087210e-08,2.319479e-08,3.178500e-08,3.940977e-08,4.623041e-08,6.221364e-08,6.464630e-08,8.741491e-08,9.252116e-08,1.148703e-07,1.310972e-07,1.473018e-07,1.785702e-07,1.849542e-07,2.280269e-07,2.354324e-07,2.766727e-07,3.020350e-07,3.309972e-07,3.785868e-07,3.910597e-07,4.568738e-07,4.651571e-07,5.284108e-07,5.616838e-07,6.056021e-07,6.679859e-07,6.883430e-07,7.764971e-07,7.837785e-07,8.699006e-07,9.086907e-07,9.683668e-07,1.042283e-06,1.071690e-06,1.179650e-06,1.184062e-06,1.292017e-06,1.333501e-06,1.408549e-06,1.490048e-06,1.529006e-06,1.653139e-06,1.780705e-06,1.822211e-06,1.911459e-06,1.996704e-06,2.045161e-06,2.176071e-06,2.181577e-06,2.320477e-06,2.359784e-06,2.461639e-06,2.547331e-06,2.604847e-06,2.738226e-06,2.749893e-06,2.896579e-06,2.932006e-06,3.044712e-06,3.128230e-06,3.194110e-06,3.326487e-06,3.344597e-06,3.496007e-06,3.526386e-06,3.648182e-06,3.727564e-06,3.800969e-06,3.929680e-06,3.954227e-06,4.107819e-06,4.132416e-06,4.261617e-06,4.335478e-06,4.415501e-06,4.538591e-06,4.569354e-06,4.723070e-06,4.741501e-06,4.876546e-06,4.943974e-06,5.029686e-06,5.145793e-06,5.182401e-06,5.334605e-06,5.346757e-06,5.486220e-06,5.546684e-06,5.637171e-06,5.745406e-06,5.787389e-06,5.936808e-06,5.942767e-06,6.085368e-06,6.138628e-06,6.233012e-06,6.332860e-06,6.379688e-06,6.525347e-06,6.669943e-06,6.715983e-06,6.813435e-06,6.904673e-06,6.955785e-06,7.091332e-06,7.096956e-06,7.236915e-06,7.275883e-06,7.375634e-06,7.458257e-06,7.513083e-06,7.638395e-06,7.649240e-06,7.784080e-06,7.816243e-06,7.917584e-06,7.991755e-06,8.049733e-06,8.164891e-06,8.180512e-06,8.309905e-06,8.335616e-06,8.437900e-06,8.503902e-06,8.564487e-06,8.669725e-06,8.689656e-06,8.813399e-06,8.833066e-06,8.935711e-06,8.993910e-06,9.056585e-06,9.152246e-06,9.176018e-06,9.294007e-06,9.308069e-06,9.410552e-06,9.461373e-06,9.525651e-06,9.612160e-06,9.639305e-06,9.751516e-06,9.760431e-06,9.862287e-06,9.906192e-06,9.971620e-06,1.004945e-05,1.007952e-05,1.018599e-05,1.019022e-05,1.029104e-05,1.032851e-05,1.039467e-05,1.046433e-05,1.049689e-05,1.059770e-05,1.072864e-05,1.085717e-05,1.098331e-05,1.110707e-05,1.122849e-05,1.134758e-05,1.146438e-05,1.157890e-05,1.169117e-05,1.180122e-05,1.190908e-05,1.201477e-05,1.211833e-05,1.221978e-05,1.231914e-05,1.241646e-05,1.251175e-05,1.260505e-05,1.269639e-05,1.278580e-05,1.287330e-05,1.295893e-05,1.304272e-05,1.312469e-05
0.000000e+00,7.439929e-13,3.730807e-12,3.401036e-11,1.333517e-10,2.443905e-10,8.759241e-10,9.165971e-10,2.484810e-09,3.162747e-09,5.560208e-09,8.462538e-09,1.096777e-08,1.889300e-08,1.974623e-08,3.303036e-08,3.700745e-08,5.184548e-08,6.510625e-08,7.699492e-08,1.048482e-07,1.090810e-07,1.485598e-07,1.573749e-07,1.957778e-07,2.234774e-07,2.509889e-07,3.036694e-07,3.143621e-07,3.859855e-07,3.982126e-07,4.658698e-07,5.071330e-07,5.539535e-07,6.302403e-07,6.501090e-07,7.541504e-07,7.671545e-07,8.658411e-07,9.173379e-07,9.849029e-07,1.080129e-06,1.111024e-06,1.243867e-06,1.254774e-06,1.383075e-06,1.440459e-06,1.528281e-06,1.636332e-06,1.679109e-06,1.835182e-06,1.841528e-06,1.996125e-06,2.055186e-06,2.161569e-06,2.276456e-06,2.331151e-06,2.504520e-06,2.681333e-06,2.738586e-06,2.861261e-06,2.977904e-06,3.043989e-06,3.221760e-06,3.229214e-06,3.416646e-06,3.469485e-06,3.606011e-06,3.720448e-06,3.797047e-06,3.974061e-06,3.989505e-06,4.183151e-06,4.229777e-06,4.377762e-06,4.487087e-06,4.573128e-06,4.745518e-06,4.769052e-06,4.965348e-06,5.004636e-06,5.161839e-06,5.264037e-06,5.358362e-06,5.523353e-06,5.554763e-06,5.750896e-06,5.782244e-06,5.946627e-06,6.040398e-06,6.141829e-06,6.297530e-06,6.336384e-06,6.530183e-06,6.553383e-06,6.723122e-06,6.807718e-06,6.915107e-06,7.060323e-06,7.106049e-06,7.295868e-06,7.311002e-06,7.484486e-06,7.559582e-06,7.671836e-06,7.805905e-06,7.857852e-06,8.042475e-06,8.049831e-06,8.225653e-06,8.291233e-06,8.407334e-06,8.530001e-06,8.587476e-06,8.766036e-06,8.942978e-06,8.999252e-06,9.118269e-06,9.229575e-06,9.291880e-06,9.456941e-06,9.463784e-06,9.633958e-06,9.681294e-06,9.802382e-06,9.902588e-06,9.969038e-06,1.012079e-05,1.013391e-05,1.029699e-05,1.033586e-05,1.045826e-05,1.054778e-05,1.061772e-05,1.075654e-05,1.077536e-05,1.093118e-05,1.096213e-05,1.108517e-05,1.116453e-05,1.123734e-05,1.136374e-05,1.138768e-05,1.153619e-05,1.155978e-05,1.168288e-05,1.175265e-05,1.182776e-05,1.194236e-05,1.197083e-05,1.211210e-05,1.212893e-05,1.225157e-05,1.231237e-05,1.238926e-05,1.249271e-05,1.252517e-05,1.265932e-05,1.266997e-05,1.279171e-05,1.284418e-05,1.292236e-05,1.301536e-05,1.305128e-05,1.317849e-05,1.318354e-05,1.330399e-05,1.334876e-05,1.342781e-05,1.351105e-05,1.354996e-05,1.367044e-05,1.382697e-05,1.398068e-05,1.413159e-05,1.427976e-05,1.442521e-05,1.456799e-05,1.470814e-05,1.484570e-05,1.498070e-05,1.511319e-05,1.524321e-05,1.537079e-05,1.549598e-05,1.561882e-05,1.573934e-05,1.585759e-05,1.597361e-05,1.608744e-05,1.619911e-05,1.630866e-05,1.641614e-05,1.652158e-05,1.662501e-05,1.672648e-05
0.000000e+00,1.041467e-17,1.225561e-16,4.813593e-15,5.489654e-14,1.672875e-13,1.848642e-12,2.015586e-12,1.359532e-11,2.159374e-11,6.355617e-11,1.413026e-10,2.307743e-10,6.413506e-10,6.966701e-10,1.827010e-09,2.262944e-09,4.288903e-09,6.644174e-09,9.207079e-09,1.696037e-08,1.836128e-08,3.442360e-08,3.877884e-08,6.122999e-08,8.110643e-08,1.040751e-07,1.575627e-07,1.700136e-07,2.681479e-07,2.875648e-07,4.098799e-07,4.973785e-07,6.091057e-07,8.208882e-07,8.823364e-07,1.248731e-06,1.299965e-06,1.730035e-06,1.984361e-06,2.350428e-06,2.931092e-06,3.136262e-06,4.115731e-06,4.203333e-06,5.318461e-06,5.868896e-06,6.775032e-06,7.998355e-06,8.516464e-06,1.057367e-05,1.066296e-05,1.297690e-05,1.393240e-05,1.575517e-05,1.787263e-05,1.893577e-05,2.254369e-05,2.660124e-05,2.799784e-05,3.112759e-05,3.427789e-05,3.613845e-05,4.141583e-05,4.164577e-05,4.765758e-05,4.943192e-05,5.417777e-05,5.833400e-05,6.120613e-05,6.811732e-05,6.873826e-05,7.676568e-05,7.876466e-05,8.527596e-05,9.024673e-05,9.425287e-05,1.025229e-04,1.036766e-04,1.135242e-04,1.155423e-04,1.237694e-04,1.292446e-04,1.343836e-04,1.435620e-04,1.453357e-04,1.565927e-04,1.584198e-04,1.681199e-04,1.737384e-04,1.798814e-04,1.894347e-04,1.918405e-04,2.039600e-04,2.054233e-04,2.162023e-04,2.216181e-04,2.285300e-04,2.379334e-04,2.409062e-04,2.532945e-04,2.542850e-04,2.656596e-04,2.705915e-04,2.779674e-04,2.867749e-04,2.901848e-04,3.022806e-04,3.027614e-04,3.142250e-04,3.184825e-04,3.259902e-04,3.338747e-04,3.375500e-04,3.488805e-04,3.599594e-04,3.634481e-04,3.707666e-04,3.775323e-04,3.812842e-04,3.910935e-04,3.914959e-04,4.013878e-04,4.040986e-04,4.109477e-04,4.165200e-04,4.201654e-04,4.283361e-04,4.290324e-04,4.375423e-04,4.395309e-04,4.456899e-04,4.500931e-04,4.534721e-04,4.600166e-04,4.608870e-04,4.679342e-04,4.692996e-04,4.746146e-04,4.779441e-04,4.809303e-04,4.859560e-04,4.868845e-04,4.924816e-04,4.933443e-04,4.977268e-04,5.001212e-04,5.026260e-04,5.063010e-04,5.071863e-04,5.114150e-04,5.119006e-04,5.153203e-04,5.169383e-04,5.189107e-04,5.214343e-04,5.221952e-04,5.251833e-04,5.254098e-04,5.278845e-04,5.288869e-04,5.303087e-04,5.318883e-04,5.324660e-04,5.343666e-04,5.344374e-04,5.360206e-04,5.365576e-04,5.374382e-04,5.382724e-04,5.386297e-04,5.396053e-04,5.405793e-04,5.412172e-04,5.415412e-04,5.415730e-04,5.413335e-04,5.408431e-04,5.401212e-04,5.391865e-04,5.380570e-04,5.367497e-04,5.352805e-04,5.336651e-04,5.319178e-04,5.300521e-04,5.280811e-04,5.260167e-04,5.238702e-04,5.216524e-04,5.193729e-04,5.170410e-04,5.146653e-04,5.122535e-04,5.098131e-04,5.073506e-04
0.000000e+00,5.377079e-17,6.298839e-16,2.449427e-14,2.768266e-13,8.394250e-13,9.161063e-12,9.983404e-12,6.655383e-11,1.053890e-10,3.079534e-10,6.809900e-10,1.108577e-09,3.060967e-09,3.323323e-09,8.666969e-09,1.072227e-08,2.024996e-08,3.129004e-08,4.326882e-08,7.933010e-08,8.582103e-08,1.597894e-07,1.797180e-07,2.817280e-07,3.711720e-07,4.736781e-07,7.094663e-07,7.638493e-07,1.187111e-06,1.269879e-06,1.785256e-06,2.148530e-06,2.607004e-06,3.462411e-06,3.707751e-06,5.149048e-06,5.348017e-06,6.997829e-06,7.958637e-06,9.325442e-06,1.146048e-05,1.220647e-05,1.571744e-05,1.602784e-05,1.993541e-05,2.183768e-05,2.493652e-05,2.906380e-05,3.079456e-05,3.757952e-05,3.787114e-05,4.535632e-05,4.841027e-05,5.418355e-05,6.081252e-05,6.411241e-05,7.518583e-05,8.743775e-05,9.161152e-05,1.008926e-04,1.101420e-04,1.155647e-04,1.307996e-04,1.314588e-04,1.485691e-04,1.535761e-04,1.668803e-04,1.784335e-04,1.863676e-04,2.053056e-04,2.069970e-04,2.287263e-04,2.340996e-04,2.515054e-04,2.646992e-04,2.752771e-04,2.969673e-04,2.999783e-04,3.255403e-04,3.307497e-04,3.518901e-04,3.658779e-04,3.789509e-04,4.021734e-04,4.066433e-04,4.348858e-04,4.394501e-04,4.635959e-04,4.775184e-04,4.926906e-04,5.161878e-04,5.220874e-04,5.517045e-04,5.552695e-04,5.814619e-04,5.945793e-04,6.112814e-04,6.339393e-04,6.410876e-04,6.708079e-04,6.731797e-04,7.003729e-04,7.121406e-04,7.297169e-04,7.506728e-04,7.587779e-04,7.874979e-04,7.886388e-04,8.158228e-04,8.259134e-04,8.437029e-04,8.623838e-04,8.710925e-04,8.979500e-04,9.242383e-04,9.325248e-04,9.499239e-04,9.660329e-04,9.749779e-04,9.984116e-04,9.993745e-04,1.023092e-03,1.029609e-03,1.046113e-03,1.059584e-03,1.068421e-03,1.088306e-03,1.090006e-03,1.110859e-03,1.115754e-03,1.130974e-03,1.141915e-03,1.150348e-03,1.166784e-03,1.168980e-03,1.186873e-03,1.190363e-03,1.204030e-03,1.212662e-03,1.220456e-03,1.233696e-03,1.236160e-03,1.251151e-03,1.253484e-03,1.265438e-03,1.272049e-03,1.279034e-03,1.289421e-03,1.291951e-03,1.304204e-03,1.305630e-03,1.315806e-03,1.320709e-03,1.326774e-03,1.334695e-03,1.337123e-03,1.346870e-03,1.347624e-03,1.356031e-03,1.359536e-03,1.364625e-03,1.370469e-03,1.372667e-03,1.380175e-03,1.380465e-03,1.387168e-03,1.389562e-03,1.393662e-03,1.397802e-03,1.399675e-03,1.405224e-03,1.411868e-03,1.417772e-03,1.422976e-03,1.427515e-03,1.431425e-03,1.434743e-03,1.437502e-03,1.439734e-03,1.441472e-03,1.442746e-03,1.443584e-03,1.444015e-03,1.444066e-03,1.443761e-03,1.443125e-03,1.442181e-03,1.440952e-03,1.439457e-03,1.437716e-03,1.435749e-03,1.433572e-03,1.431203e-03,1.428656e-03,1.425948e-03
0.000000e+00,3.550537e-13,1.795632e-12,1.653688e-11,6.509356e-11,1.193629e-10,4.264419e-10,4.461213e-10,1.196893e-09,1.517196e-09,2.633208e-09,3.956104e-09,5.078706e-09,8.549148e-09,8.917470e-09,1.457995e-08,1.625973e-08,2.250682e-08,2.808823e-08,3.310255e-08,4.490607e-08,4.670707e-08,6.359218e-08,6.738241e-08,8.396854e-08,9.599791e-08,1.079925e-07,1.310711e-07,1.357711e-07,1.673656e-07,1.727767e-07,2.027955e-07,2.211600e-07,2.420421e-07,2.761532e-07,2.850529e-07,3.317467e-07,3.375927e-07,3.820176e-07,4.052383e-07,4.357402e-07,4.787917e-07,4.927737e-07,5.529656e-07,5.579127e-07,6.161556e-07,6.422342e-07,6.821783e-07,7.313743e-07,7.508657e-07,8.220493e-07,8.249462e-07,8.955622e-07,9.225652e-07,9.712396e-07,1.023854e-06,1.048921e-06,1.128449e-06,1.209673e-06,1.235999e-06,1.292447e-06,1.346170e-06,1.376630e-06,1.458646e-06,1.462088e-06,1.548692e-06,1.573129e-06,1.636319e-06,1.689339e-06,1.724854e-06,1.807011e-06,1.814185e-06,1.904206e-06,1.925903e-06,1.994819e-06,2.045785e-06,2.085928e-06,2.166445e-06,2.177446e-06,2.269286e-06,2.287686e-06,2.361371e-06,2.409327e-06,2.453626e-06,2.531199e-06,2.545979e-06,2.638366e-06,2.653147e-06,2.730724e-06,2.775029e-06,2.822996e-06,2.896713e-06,2.915125e-06,3.007063e-06,3.018080e-06,3.098761e-06,3.139021e-06,3.190175e-06,3.259434e-06,3.281263e-06,3.371988e-06,3.379229e-06,3.462313e-06,3.498324e-06,3.552205e-06,3.616642e-06,3.641634e-06,3.730571e-06,3.734118e-06,3.818991e-06,3.850691e-06,3.906869e-06,3.966305e-06,3.994183e-06,4.080913e-06,4.167041e-06,4.194472e-06,4.252550e-06,4.306943e-06,4.337424e-06,4.418294e-06,4.421651e-06,4.505217e-06,4.528496e-06,4.588113e-06,4.637524e-06,4.670328e-06,4.745357e-06,4.751854e-06,4.832683e-06,4.851978e-06,4.912809e-06,4.957371e-06,4.992228e-06,5.061526e-06,5.070933e-06,5.148922e-06,5.164434e-06,5.226192e-06,5.266087e-06,5.302741e-06,5.366484e-06,5.378567e-06,5.453670e-06,5.465620e-06,5.528051e-06,5.563496e-06,5.601708e-06,5.660114e-06,5.674644e-06,5.746860e-06,5.755478e-06,5.818358e-06,5.849590e-06,5.889141e-06,5.942459e-06,5.959211e-06,6.028572e-06,6.034090e-06,6.097227e-06,6.124493e-06,6.165181e-06,6.213675e-06,6.232437e-06,6.299000e-06,6.301648e-06,6.364875e-06,6.388422e-06,6.430066e-06,6.474009e-06,6.494579e-06,6.558420e-06,6.641669e-06,6.723769e-06,6.804733e-06,6.884575e-06,6.963309e-06,7.040951e-06,7.117514e-06,7.193015e-06,7.267466e-06,7.340885e-06,7.413285e-06,7.484683e-06,7.555093e-06,7.624531e-06,7.693012e-06,7.760550e-06,7.827162e-06,7.892862e-06,7.957665e-06,8.021585e-06,8.084638e-06,8.146837e-06,8.208198e-06,8.268734e-06
0.000000e+00,1.383648e-17,1.559887e-16,5.606815e-15,5.911470e-14,1.728012e-13,1.728017e-12,1.876971e-12,1.165206e-11,1.815641e-11,5.130033e-11,1.111896e-10,1.791934e-10,4.865292e-10,5.275658e-10,1.352760e-09,1.665197e-09,3.082441e-09,4.670361e-09,6.339454e-09,1.110638e-08,1.193102e-08,2.080542e-08,2.306391e-08,3.398790e-08,4.288943e-08,5.250999e-08,7.290968e-08,7.734455e-08,1.093540e-07,1.151915e-07,1.492550e-07,1.713790e-07,1.975990e-07,2.426145e-07,2.547665e-07,3.209715e-07,3.295278e-07,3.962732e-07,4.322716e-07,4.805913e-07,5.505833e-07,5.737245e-07,6.753686e-07,6.838566e-07,7.851344e-07,8.312144e-07,9.025652e-07,9.915778e-07,1.027153e-06,1.158351e-06,1.163729e-06,1.295591e-06,1.346364e-06,1.438290e-06,1.538147e-06,1.585866e-06,1.737740e-06,1.893349e-06,1.943844e-06,2.052153e-06,2.155222e-06,2.213632e-06,2.370715e-06,2.377298e-06,2.542694e-06,2.589256e-06,2.709394e-06,2.809876e-06,2.877007e-06,3.031708e-06,3.045174e-06,3.213569e-06,3.253984e-06,3.381896e-06,3.476029e-06,3.549890e-06,3.697260e-06,3.717314e-06,3.883956e-06,3.917173e-06,4.049628e-06,4.135339e-06,4.214166e-06,4.351393e-06,4.377423e-06,4.539272e-06,4.565029e-06,4.699601e-06,4.775991e-06,4.858315e-06,4.984066e-06,5.015329e-06,5.170571e-06,5.189078e-06,5.323980e-06,5.390885e-06,5.475502e-06,5.589370e-06,5.625094e-06,5.772717e-06,5.784441e-06,5.918341e-06,5.976025e-06,6.061940e-06,6.164067e-06,6.203495e-06,6.342988e-06,6.348525e-06,6.480408e-06,6.529370e-06,6.615747e-06,6.706586e-06,6.748999e-06,6.880162e-06,7.009235e-06,7.050098e-06,7.136222e-06,7.216400e-06,7.261126e-06,7.379080e-06,7.383953e-06,7.504711e-06,7.538154e-06,7.623410e-06,7.693645e-06,7.740060e-06,7.845578e-06,7.854673e-06,7.967261e-06,7.993982e-06,8.077838e-06,8.138889e-06,8.186421e-06,8.280335e-06,8.293023e-06,8.397662e-06,8.418356e-06,8.500355e-06,8.552992e-06,8.601120e-06,8.684285e-06,8.699974e-06,8.796936e-06,8.812275e-06,8.892025e-06,8.937009e-06,8.985261e-06,9.058530e-06,9.076664e-06,9.166254e-06,9.176884e-06,9.254051e-06,9.292120e-06,9.340077e-06,9.404283e-06,9.424351e-06,9.506894e-06,9.513424e-06,9.587729e-06,9.619589e-06,9.666876e-06,9.722829e-06,9.744356e-06,9.820192e-06,9.823191e-06,9.894404e-06,9.920727e-06,9.967013e-06,1.001548e-05,1.003804e-05,1.010751e-05,1.019686e-05,1.028358e-05,1.036772e-05,1.044933e-05,1.052845e-05,1.060514e-05,1.067944e-05,1.075140e-05,1.082106e-05,1.088848e-05,1.095370e-05,1.101677e-05,1.107772e-05,1.113661e-05,1.119348e-05,1.124837e-05,1.130133e-05,1.135239e-05,1.140161e-05,1.144901e-05,1.149465e-05,1.153855e-05,1.158077e-05,1.162133e-05
0.000000e+00,2.325844e-17,2.737555e-16,1.075242e-14,1.227144e-13,3.741775e-13,4.145823e-12,4.520880e-12,3.063953e-11,4.875054e-11,1.442651e-10,3.225347e-10,5.290174e-10,1.487179e-09,1.617234e-09,4.304788e-09,5.352340e-09,1.027101e-08,1.605889e-08,2.241247e-08,4.184638e-08,4.538130e-08,8.620217e-08,9.733268e-08,1.549314e-07,2.060986e-07,2.653155e-07,4.032992e-07,4.354096e-07,6.881148e-07,7.380195e-07,1.051605e-06,1.275120e-06,1.559615e-06,2.096384e-06,2.251576e-06,3.172582e-06,3.300840e-06,4.373188e-06,5.004200e-06,5.909045e-06,7.337415e-06,7.840374e-06,1.023130e-05,1.044442e-05,1.314907e-05,1.447920e-05,1.666316e-05,1.960224e-05,2.084432e-05,2.576354e-05,2.597666e-05,3.149105e-05,3.376407e-05,3.809526e-05,4.312051e-05,4.564177e-05,5.419242e-05,6.380438e-05,6.711297e-05,7.452936e-05,8.199878e-05,8.641293e-05,9.894720e-05,9.949385e-05,1.138037e-04,1.180341e-04,1.293663e-04,1.393123e-04,1.461979e-04,1.628106e-04,1.643063e-04,1.836917e-04,1.885335e-04,2.043461e-04,2.164614e-04,2.262538e-04,2.465511e-04,2.493916e-04,2.737290e-04,2.787373e-04,2.992290e-04,3.129342e-04,3.258479e-04,3.490368e-04,3.535367e-04,3.822409e-04,3.869239e-04,4.119011e-04,4.264593e-04,4.424543e-04,4.674951e-04,4.738337e-04,5.059697e-04,5.098735e-04,5.387904e-04,5.534294e-04,5.722220e-04,5.979927e-04,6.061899e-04,6.406184e-04,6.433903e-04,6.754320e-04,6.894484e-04,7.105554e-04,7.359942e-04,7.459141e-04,7.814346e-04,7.828578e-04,8.170452e-04,8.298735e-04,8.526759e-04,8.768815e-04,8.882588e-04,9.237284e-04,9.590221e-04,9.702690e-04,9.940797e-04,1.016366e-03,1.028844e-03,1.061892e-03,1.063262e-03,1.097281e-03,1.106729e-03,1.130855e-03,1.150767e-03,1.163940e-03,1.193910e-03,1.196493e-03,1.228479e-03,1.236067e-03,1.259861e-03,1.277160e-03,1.290609e-03,1.317120e-03,1.320694e-03,1.350092e-03,1.355887e-03,1.378781e-03,1.393412e-03,1.406740e-03,1.429652e-03,1.433955e-03,1.460412e-03,1.464574e-03,1.486099e-03,1.498152e-03,1.511007e-03,1.530369e-03,1.535131e-03,1.558465e-03,1.561212e-03,1.581008e-03,1.590677e-03,1.602760e-03,1.618764e-03,1.623723e-03,1.643898e-03,1.645478e-03,1.663292e-03,1.670833e-03,1.681911e-03,1.694841e-03,1.699762e-03,1.716855e-03,1.717523e-03,1.733198e-03,1.738901e-03,1.748804e-03,1.759000e-03,1.763684e-03,1.777850e-03,1.795480e-03,1.811923e-03,1.827213e-03,1.841384e-03,1.854474e-03,1.866519e-03,1.877556e-03,1.887623e-03,1.896758e-03,1.904999e-03,1.912382e-03,1.918946e-03,1.924726e-03,1.929758e-03,1.934078e-03,1.937721e-03,1.940719e-03,1.943106e-03,1.944914e-03,1.946173e-03,1.946914e-03,1.947165e-03,1.946955e-03,1.946310e-03
0.000000e+00,3.530052e-18,4.142814e-17,1.616079e-15,1.833289e-14,5.572785e-14,6.131869e-13,6.684977e-13,4.509684e-12,7.169854e-12,2.120019e-11,4.742830e-11,7.787720e-11,2.198988e-10,2.392473e-10,6.414802e-10,7.991451e-10,1.543368e-09,2.424276e-09,3.395068e-09,6.377098e-09,6.920696e-09,1.320798e-08,1.492344e-08,2.379675e-08,3.166739e-08,4.075842e-08,6.186385e-08,6.676001e-08,1.051073e-07,1.126442e-07,1.597652e-07,1.931263e-07,2.353523e-07,3.143954e-07,3.371129e-07,4.708639e-07,4.893591e-07,6.429223e-07,7.324847e-07,8.600145e-07,1.059441e-06,1.129172e-06,1.457613e-06,1.486667e-06,1.852622e-06,2.030887e-06,2.321422e-06,2.708608e-06,2.871045e-06,3.508216e-06,3.535614e-06,4.239224e-06,4.526485e-06,5.069825e-06,5.694161e-06,6.005136e-06,7.049557e-06,8.206694e-06,8.601258e-06,9.479306e-06,1.035528e-05,1.086927e-05,1.231493e-05,1.237754e-05,1.400415e-05,1.448072e-05,1.574824e-05,1.685037e-05,1.760802e-05,1.941893e-05,1.958083e-05,2.166322e-05,2.217884e-05,2.385092e-05,2.512021e-05,2.613897e-05,2.823100e-05,2.852173e-05,3.099300e-05,3.149729e-05,3.354606e-05,3.490362e-05,3.617377e-05,3.843327e-05,3.886864e-05,4.162288e-05,4.206853e-05,4.442850e-05,4.579106e-05,4.727738e-05,4.958214e-05,5.016135e-05,5.307223e-05,5.342296e-05,5.600192e-05,5.729486e-05,5.894240e-05,6.117958e-05,6.188588e-05,6.482474e-05,6.505942e-05,6.775163e-05,6.891745e-05,7.065951e-05,7.273762e-05,7.354165e-05,7.639166e-05,7.650490e-05,7.920353e-05,8.020537e-05,8.197162e-05,8.382624e-05,8.469072e-05,8.735598e-05,8.996297e-05,9.078424e-05,9.250768e-05,9.410191e-05,9.498648e-05,9.730113e-05,9.739615e-05,9.973387e-05,1.003752e-04,1.019972e-04,1.033185e-04,1.041839e-04,1.061267e-04,1.062925e-04,1.083214e-04,1.087963e-04,1.102695e-04,1.113249e-04,1.121362e-04,1.137111e-04,1.139209e-04,1.156233e-04,1.159540e-04,1.172437e-04,1.180538e-04,1.187821e-04,1.200114e-04,1.202391e-04,1.216154e-04,1.218282e-04,1.229119e-04,1.235062e-04,1.241297e-04,1.250479e-04,1.252698e-04,1.263337e-04,1.264563e-04,1.273228e-04,1.277347e-04,1.282386e-04,1.288867e-04,1.290828e-04,1.298572e-04,1.299162e-04,1.305635e-04,1.308274e-04,1.312037e-04,1.316246e-04,1.317795e-04,1.322930e-04,1.323123e-04,1.327461e-04,1.328948e-04,1.331409e-04,1.333770e-04,1.334793e-04,1.337633e-04,1.340584e-04,1.342669e-04,1.343934e-04,1.344423e-04,1.344180e-04,1.343249e-04,1.341671e-04,1.339489e-04,1.336740e-04,1.333464e-04,1.329698e-04,1.325478e-04,1.320837e-04,1.315809e-04,1.310425e-04,1.304716e-04,1.298709e-04,1.292433e-04,1.285913e-04,1.279173e-04,1.272238e-04,1.265129e-04,1.257868e-04,1.250473e-04
0.000000e+00,6.945430e-13,2.122119e-12,1.116225e-11,3.359469e-11,5.568567e-11,1.661913e-10,1.728842e-10,4.147923e-10,5.134432e-10,8.467833e-10,1.229599e-09,1.548134e-09,2.511428e-09,2.612347e-09,4.144995e-09,4.594836e-09,6.256272e-09,7.730419e-09,9.049459e-09,1.214146e-08,1.261206e-08,1.701346e-08,1.799933e-08,2.230672e-08,2.542516e-08,2.853097e-08,3.449895e-08,3.571330e-08,4.386997e-08,4.526601e-08,5.300731e-08,5.774104e-08,6.312238e-08,7.191101e-08,7.420378e-08,8.623235e-08,8.773826e-08,9.918215e-08,1.051639e-07,1.130213e-07,1.241114e-07,1.277130e-07,1.432166e-07,1.444907e-07,1.594883e-07,1.662018e-07,1.764821e-07,1.891383e-07,1.941508e-07,2.124465e-07,2.131907e-07,2.313212e-07,2.382487e-07,2.507275e-07,2.642037e-07,2.706189e-07,2.909501e-07,3.116775e-07,3.183870e-07,3.327590e-07,3.464184e-07,3.541545e-07,3.749542e-07,3.758259e-07,3.977372e-07,4.039106e-07,4.198543e-07,4.332099e-07,4.421451e-07,4.627804e-07,4.645798e-07,4.871302e-07,4.925566e-07,5.097703e-07,5.224787e-07,5.324757e-07,5.524925e-07,5.552239e-07,5.779939e-07,5.825489e-07,6.007666e-07,6.126034e-07,6.235240e-07,6.426164e-07,6.462497e-07,6.689288e-07,6.725521e-07,6.915472e-07,7.023788e-07,7.140925e-07,7.320681e-07,7.365529e-07,7.589180e-07,7.615949e-07,7.811781e-07,7.909370e-07,8.033245e-07,8.200749e-07,8.253494e-07,8.472456e-07,8.489916e-07,8.690068e-07,8.776722e-07,8.906272e-07,9.061039e-07,9.121018e-07,9.334260e-07,9.342758e-07,9.545958e-07,9.621784e-07,9.756077e-07,9.898041e-07,9.964587e-07,1.017146e-06,1.037668e-06,1.044200e-06,1.058022e-06,1.070960e-06,1.078207e-06,1.097424e-06,1.098222e-06,1.118065e-06,1.123590e-06,1.137736e-06,1.149456e-06,1.157235e-06,1.175022e-06,1.176562e-06,1.195715e-06,1.200286e-06,1.214696e-06,1.225251e-06,1.233506e-06,1.249916e-06,1.252143e-06,1.270610e-06,1.274283e-06,1.288906e-06,1.298353e-06,1.307033e-06,1.322130e-06,1.324992e-06,1.342783e-06,1.345615e-06,1.360409e-06,1.368811e-06,1.377870e-06,1.391721e-06,1.395167e-06,1.412303e-06,1.414348e-06,1.429278e-06,1.436696e-06,1.446093e-06,1.458768e-06,1.462752e-06,1.479254e-06,1.480568e-06,1.495602e-06,1.502099e-06,1.511798e-06,1.523365e-06,1.527842e-06,1.543738e-06,1.544370e-06,1.559486e-06,1.565119e-06,1.575088e-06,1.585615e-06,1.590546e-06,1.605861e-06,1.625863e-06,1.645624e-06,1.665148e-06,1.684439e-06,1.703501e-06,1.722339e-06,1.740956e-06,1.759355e-06,1.777542e-06,1.795520e-06,1.813292e-06,1.830862e-06,1.848235e-06,1.865413e-06,1.882401e-06,1.899202e-06,1.915818e-06,1.932255e-06,1.948515e-06,1.964601e-06,1.980516e-06,1.996265e-06,2.011850e-06,2.027274e-06
0.000000e+00,1.364174e-12,6.847235e-12,6.255212e-11,2.457230e-10,4.507603e-10,1.618897e-09,1.694185e-09,4.598622e-09,5.854516e-09,1.029575e-08,1.567232e-08,2.031510e-08,3.503546e-08,3.662469e-08,6.152082e-08,6.903493e-08,9.731185e-08,1.228761e-07,1.459963e-07,2.007663e-07,2.091520e-07,2.879882e-07,3.057226e-07,3.834272e-07,4.398554e-07,4.961636e-07,6.046015e-07,6.266987e-07,7.753598e-07,8.008410e-07,9.423137e-07,1.028960e-06,1.127578e-06,1.288896e-06,1.331032e-06,1.552433e-06,1.580191e-06,1.791426e-06,1.902043e-06,2.047563e-06,2.253370e-06,2.320314e-06,2.609086e-06,2.632861e-06,2.913232e-06,3.039043e-06,3.232066e-06,3.470321e-06,3.564873e-06,3.910919e-06,3.925026e-06,4.269461e-06,4.401451e-06,4.639751e-06,4.897879e-06,5.021045e-06,5.412605e-06,5.813705e-06,5.943955e-06,6.223633e-06,6.490298e-06,6.641695e-06,7.050059e-06,7.067214e-06,7.499536e-06,7.621718e-06,7.938026e-06,8.203824e-06,8.382071e-06,8.794992e-06,8.831082e-06,9.284491e-06,9.393903e-06,9.741754e-06,9.999309e-06,1.020235e-05,1.061003e-05,1.066577e-05,1.113155e-05,1.122495e-05,1.159923e-05,1.184302e-05,1.206836e-05,1.246327e-05,1.253855e-05,1.300938e-05,1.308475e-05,1.348050e-05,1.370662e-05,1.395153e-05,1.432807e-05,1.442215e-05,1.489202e-05,1.494834e-05,1.536086e-05,1.556675e-05,1.582837e-05,1.618263e-05,1.629429e-05,1.675835e-05,1.679539e-05,1.722033e-05,1.740448e-05,1.767998e-05,1.800938e-05,1.813711e-05,1.859151e-05,1.860963e-05,1.904300e-05,1.920479e-05,1.949141e-05,1.979448e-05,1.993656e-05,2.037832e-05,2.081655e-05,2.095601e-05,2.125110e-05,2.152724e-05,2.168187e-05,2.209174e-05,2.210874e-05,2.253162e-05,2.264929e-05,2.295040e-05,2.319968e-05,2.336501e-05,2.374270e-05,2.377538e-05,2.418142e-05,2.427822e-05,2.458308e-05,2.480607e-05,2.498030e-05,2.532615e-05,2.537304e-05,2.576125e-05,2.583834e-05,2.614490e-05,2.634258e-05,2.652395e-05,2.683878e-05,2.689838e-05,2.726816e-05,2.732690e-05,2.763329e-05,2.780690e-05,2.799375e-05,2.827875e-05,2.834953e-05,2.870064e-05,2.874245e-05,2.904706e-05,2.919800e-05,2.938880e-05,2.964540e-05,2.972588e-05,3.005829e-05,3.008468e-05,3.038606e-05,3.051587e-05,3.070920e-05,3.093901e-05,3.102773e-05,3.134167e-05,3.135414e-05,3.165105e-05,3.176131e-05,3.195588e-05,3.216059e-05,3.225621e-05,3.255205e-05,3.293575e-05,3.331178e-05,3.368020e-05,3.404112e-05,3.439461e-05,3.474077e-05,3.507969e-05,3.541147e-05,3.573622e-05,3.605403e-05,3.636500e-05,3.666924e-05,3.696686e-05,3.725795e-05,3.754264e-05,3.782102e-05,3.809320e-05,3.835930e-05,3.861941e-05,3.887365e-05,3.912212e-05,3.936494e-05,3.960220e-05,3.983402e-05
0.000000e+00,7.421255e-12,2.781721e-11,1.817790e-10,6.063375e-10,1.045137e-09,3.351356e-09,3.494461e-09,8.800543e-09,1.101574e-08,1.864051e-08,2.759117e-08,3.515843e-08,5.854213e-08,6.102828e-08,9.945324e-08,1.109361e-07,1.539929e-07,1.929021e-07,2.281683e-07,3.121123e-07,3.250143e-07,4.468390e-07,4.743529e-07,5.952366e-07,6.832589e-07,7.712145e-07,9.407637e-07,9.753232e-07,1.207754e-06,1.247568e-06,1.468403e-06,1.603444e-06,1.756921e-06,2.007426e-06,2.072740e-06,2.415112e-06,2.457940e-06,2.783129e-06,2.952916e-06,3.175748e-06,3.489888e-06,3.591819e-06,4.030108e-06,4.066092e-06,4.489314e-06,4.678554e-06,4.968096e-06,5.324171e-06,5.465084e-06,5.978901e-06,5.999785e-06,6.508176e-06,6.702236e-06,7.051550e-06,7.428418e-06,7.607693e-06,8.175309e-06,8.753140e-06,8.940003e-06,9.339972e-06,9.719729e-06,9.934642e-06,1.051186e-05,1.053603e-05,1.114308e-05,1.131393e-05,1.175478e-05,1.212363e-05,1.237017e-05,1.293880e-05,1.298834e-05,1.360843e-05,1.375745e-05,1.422965e-05,1.457774e-05,1.485123e-05,1.539796e-05,1.547246e-05,1.609268e-05,1.621655e-05,1.671127e-05,1.703209e-05,1.732764e-05,1.784329e-05,1.794126e-05,1.855163e-05,1.864895e-05,1.915828e-05,1.944802e-05,1.976078e-05,2.023952e-05,2.035873e-05,2.095177e-05,2.102259e-05,2.153956e-05,2.179645e-05,2.212180e-05,2.256042e-05,2.269821e-05,2.326851e-05,2.331387e-05,2.383250e-05,2.405627e-05,2.438995e-05,2.478716e-05,2.494068e-05,2.548451e-05,2.550612e-05,2.602130e-05,2.621280e-05,2.655092e-05,2.690690e-05,2.707325e-05,2.758819e-05,2.809565e-05,2.825645e-05,2.859557e-05,2.891153e-05,2.908788e-05,2.955330e-05,2.957254e-05,3.004951e-05,3.018168e-05,3.051877e-05,3.079662e-05,3.098031e-05,3.139809e-05,3.143411e-05,3.188018e-05,3.198609e-05,3.231853e-05,3.256064e-05,3.274918e-05,3.312181e-05,3.317216e-05,3.358749e-05,3.366965e-05,3.399522e-05,3.420425e-05,3.439539e-05,3.472571e-05,3.478804e-05,3.517322e-05,3.523416e-05,3.555100e-05,3.572973e-05,3.592144e-05,3.621254e-05,3.628460e-05,3.664054e-05,3.668277e-05,3.698934e-05,3.714057e-05,3.733108e-05,3.758611e-05,3.766582e-05,3.799364e-05,3.801957e-05,3.831464e-05,3.844114e-05,3.862888e-05,3.885099e-05,3.893645e-05,3.923743e-05,3.924934e-05,3.953192e-05,3.963636e-05,3.982000e-05,4.001227e-05,4.010175e-05,4.037726e-05,4.073155e-05,4.107533e-05,4.140881e-05,4.173220e-05,4.204571e-05,4.234954e-05,4.264390e-05,4.292899e-05,4.320502e-05,4.347219e-05,4.373070e-05,4.398075e-05,4.422253e-05,4.445624e-05,4.468208e-05,4.490022e-05,4.511086e-05,4.531419e-05,4.551037e-05,4.569960e-05,4.588204e-05,4.605787e-05,4.622726e-05,4.639038e-05
0.000000e+00,8.077711e-13,3.811235e-12,3.229018e-11,1.221409e-10,2.208248e-10,7.717594e-10,8.069120e-10,2.146553e-09,2.718908e-09,4.721064e-09,7.111710e-09,9.154947e-09,1.555027e-08,1.623562e-08,2.691853e-08,3.013742e-08,4.228907e-08,5.336320e-08,6.346531e-08,8.772618e-08,9.147942e-08,1.272045e-07,1.353396e-07,1.713447e-07,1.978135e-07,2.244578e-07,2.763303e-07,2.869815e-07,3.592534e-07,3.717394e-07,4.415243e-07,4.846195e-07,5.339669e-07,6.153147e-07,6.366821e-07,7.497047e-07,7.639594e-07,8.730087e-07,9.305005e-07,1.006513e-06,1.114719e-06,1.150086e-06,1.303554e-06,1.316253e-06,1.466703e-06,1.534620e-06,1.639290e-06,1.769244e-06,1.821042e-06,2.011665e-06,2.019470e-06,2.210849e-06,2.284589e-06,2.418269e-06,2.563849e-06,2.633591e-06,2.856474e-06,3.086575e-06,3.161675e-06,3.323547e-06,3.478657e-06,3.567048e-06,3.806632e-06,3.816733e-06,4.072266e-06,4.144818e-06,4.333313e-06,4.492452e-06,4.599547e-06,4.848786e-06,4.870646e-06,5.146297e-06,5.213096e-06,5.426194e-06,5.584679e-06,5.710039e-06,5.962859e-06,5.997543e-06,6.288424e-06,6.346981e-06,6.582410e-06,6.736421e-06,6.879236e-06,7.130578e-06,7.178647e-06,7.480396e-06,7.528877e-06,7.784244e-06,7.930769e-06,8.089961e-06,8.335731e-06,8.397325e-06,8.706122e-06,8.743264e-06,9.016146e-06,9.152894e-06,9.327199e-06,9.564170e-06,9.639090e-06,9.951636e-06,9.976663e-06,1.026466e-05,1.038997e-05,1.057800e-05,1.080370e-05,1.089149e-05,1.120497e-05,1.121750e-05,1.151829e-05,1.163102e-05,1.183132e-05,1.204394e-05,1.214392e-05,1.245596e-05,1.276731e-05,1.286678e-05,1.307786e-05,1.327613e-05,1.338749e-05,1.368377e-05,1.369609e-05,1.400357e-05,1.408945e-05,1.430983e-05,1.449296e-05,1.461477e-05,1.489408e-05,1.491831e-05,1.522036e-05,1.529262e-05,1.552085e-05,1.568841e-05,1.581969e-05,1.608126e-05,1.611682e-05,1.641218e-05,1.647103e-05,1.670569e-05,1.685757e-05,1.699731e-05,1.724075e-05,1.728697e-05,1.757462e-05,1.762045e-05,1.786021e-05,1.799655e-05,1.814370e-05,1.836895e-05,1.842505e-05,1.870421e-05,1.873756e-05,1.898115e-05,1.910229e-05,1.925583e-05,1.946306e-05,1.952822e-05,1.979830e-05,1.981980e-05,2.006603e-05,2.017246e-05,2.033139e-05,2.052097e-05,2.059436e-05,2.085492e-05,2.086529e-05,2.111305e-05,2.120538e-05,2.136873e-05,2.154119e-05,2.162196e-05,2.187271e-05,2.219990e-05,2.252274e-05,2.284123e-05,2.315534e-05,2.346507e-05,2.377042e-05,2.407139e-05,2.436798e-05,2.466021e-05,2.494808e-05,2.523161e-05,2.551081e-05,2.578571e-05,2.605632e-05,2.632268e-05,2.658480e-05,2.684271e-05,2.709645e-05,2.734605e-05,2.759153e-05,2.783294e-05,2.807031e-05,2.830367e-05,2.853307e-05
0.000000e+00,7.435380e-13,2.547537e-12,1.513782e-11,4.827359e-11,8.178113e-11,2.536706e-10,2.641997e-10,6.483746e-10,8.061183e-10,1.340728e-09,1.955435e-09,2.466531e-09,4.007521e-09,4.168525e-09,6.605119e-09,7.317972e-09,9.946746e-09,1.227889e-08,1.436905e-08,1.929152e-08,2.004415e-08,2.713380e-08,2.873477e-08,3.578621e-08,4.094808e-08,4.613519e-08,5.622694e-08,5.829973e-08,7.238364e-08,7.482129e-08,8.847494e-08,9.693350e-08,1.066454e-07,1.227164e-07,1.269502e-07,1.494278e-07,1.522723e-07,1.741002e-07,1.856536e-07,2.009738e-07,2.228647e-07,2.300394e-07,2.612743e-07,2.638658e-07,2.946427e-07,3.085772e-07,3.300974e-07,3.568849e-07,3.675813e-07,4.070284e-07,4.086462e-07,4.483659e-07,4.636951e-07,4.915148e-07,5.218485e-07,5.363919e-07,5.829105e-07,6.309816e-07,6.466775e-07,6.805150e-07,7.129420e-07,7.314201e-07,7.814955e-07,7.836065e-07,8.369847e-07,8.521322e-07,8.914669e-07,9.246501e-07,9.469669e-07,9.988538e-07,1.003401e-06,1.060688e-06,1.074555e-06,1.118749e-06,1.151574e-06,1.177509e-06,1.229739e-06,1.236896e-06,1.296840e-06,1.308889e-06,1.357274e-06,1.388872e-06,1.418136e-06,1.469546e-06,1.479365e-06,1.540905e-06,1.550777e-06,1.602702e-06,1.632441e-06,1.664705e-06,1.714423e-06,1.726865e-06,1.789138e-06,1.796616e-06,1.851480e-06,1.878922e-06,1.913851e-06,1.961249e-06,1.976213e-06,2.038532e-06,2.043514e-06,2.100773e-06,2.125641e-06,2.162907e-06,2.207559e-06,2.224902e-06,2.286734e-06,2.289204e-06,2.348376e-06,2.370516e-06,2.409805e-06,2.451444e-06,2.471000e-06,2.531939e-06,2.592604e-06,2.611956e-06,2.652978e-06,2.691457e-06,2.713045e-06,2.770406e-06,2.772790e-06,2.832199e-06,2.848771e-06,2.891260e-06,2.926525e-06,2.949961e-06,3.003640e-06,3.008293e-06,3.066246e-06,3.080097e-06,3.123810e-06,3.155874e-06,3.180979e-06,3.230955e-06,3.237746e-06,3.294104e-06,3.305326e-06,3.350047e-06,3.378972e-06,3.405571e-06,3.451885e-06,3.460673e-06,3.515347e-06,3.524055e-06,3.569591e-06,3.595475e-06,3.623402e-06,3.666138e-06,3.676779e-06,3.729719e-06,3.736042e-06,3.782221e-06,3.805183e-06,3.834285e-06,3.873560e-06,3.885909e-06,3.937095e-06,3.941170e-06,3.987841e-06,4.008016e-06,4.038148e-06,4.074098e-06,4.088017e-06,4.137449e-06,4.139418e-06,4.186446e-06,4.203978e-06,4.235008e-06,4.267783e-06,4.283138e-06,4.330837e-06,4.393143e-06,4.454707e-06,4.515535e-06,4.575633e-06,4.635006e-06,4.693663e-06,4.751608e-06,4.808851e-06,4.865398e-06,4.921256e-06,4.976434e-06,5.030940e-06,5.084781e-06,5.137966e-06,5.190503e-06,5.242400e-06,5.293665e-06,5.344307e-06,5.394334e-06,5.443755e-06,5.492577e-06,5.540810e-06,5.588462e-06,5.635540e-06
0.000000e+00,6.623434e-16,6.836070e-15,2.045407e-13,1.823860e-12,4.859799e-12,3.810001e-11,4.096951e-11,1.977917e-10,2.872143e-10,6.765488e-10,1.259909e-09,1.836041e-09,3.974577e-09,4.227968e-09,8.623420e-09,1.008346e-08,1.603257e-08,2.195672e-08,2.771225e-08,4.269738e-08,4.514705e-08,6.999245e-08,7.600340e-08,1.039863e-07,1.258538e-07,1.488522e-07,1.961369e-07,2.062185e-07,2.775655e-07,2.903681e-07,3.641977e-07,4.115466e-07,4.672362e-07,5.621164e-07,5.876198e-07,7.261101e-07,7.439755e-07,8.832970e-07,9.584973e-07,1.059604e-06,1.206552e-06,1.255294e-06,1.470472e-06,1.488528e-06,1.705096e-06,1.804353e-06,1.958981e-06,2.153531e-06,2.231810e-06,2.523146e-06,2.535177e-06,2.832440e-06,2.948062e-06,3.159051e-06,3.390671e-06,3.502253e-06,3.861250e-06,4.235194e-06,4.357867e-06,4.623189e-06,4.878454e-06,5.024311e-06,5.420862e-06,5.437616e-06,5.862149e-06,5.982900e-06,6.296953e-06,6.562370e-06,6.741078e-06,7.157100e-06,7.193588e-06,7.653564e-06,7.764969e-06,8.120112e-06,8.383924e-06,8.592364e-06,9.011999e-06,9.069483e-06,9.550664e-06,9.647320e-06,1.003514e-05,1.028812e-05,1.052217e-05,1.093273e-05,1.101105e-05,1.150113e-05,1.157961e-05,1.199177e-05,1.222730e-05,1.248239e-05,1.287448e-05,1.297242e-05,1.346134e-05,1.351991e-05,1.394866e-05,1.416246e-05,1.443393e-05,1.480110e-05,1.491672e-05,1.539662e-05,1.543488e-05,1.587328e-05,1.606296e-05,1.634635e-05,1.668456e-05,1.681552e-05,1.728049e-05,1.729900e-05,1.774101e-05,1.790565e-05,1.819682e-05,1.850398e-05,1.864771e-05,1.909348e-05,1.953394e-05,1.967374e-05,1.996893e-05,2.024439e-05,2.039830e-05,2.080510e-05,2.082193e-05,2.123970e-05,2.135561e-05,2.165150e-05,2.189568e-05,2.205725e-05,2.242514e-05,2.245688e-05,2.285033e-05,2.294383e-05,2.323753e-05,2.345163e-05,2.361846e-05,2.394846e-05,2.399308e-05,2.436136e-05,2.443426e-05,2.472330e-05,2.490900e-05,2.507889e-05,2.537268e-05,2.542813e-05,2.577103e-05,2.582531e-05,2.610761e-05,2.626693e-05,2.643789e-05,2.669759e-05,2.676189e-05,2.707964e-05,2.711735e-05,2.739119e-05,2.752632e-05,2.769657e-05,2.792457e-05,2.799583e-05,2.828902e-05,2.831222e-05,2.857619e-05,2.868938e-05,2.885739e-05,2.905620e-05,2.913269e-05,2.940213e-05,2.941279e-05,2.966580e-05,2.975931e-05,2.992374e-05,3.009591e-05,3.017603e-05,3.042273e-05,3.073995e-05,3.104772e-05,3.134620e-05,3.163558e-05,3.191601e-05,3.218768e-05,3.245075e-05,3.270541e-05,3.295181e-05,3.319015e-05,3.342060e-05,3.364332e-05,3.385849e-05,3.406628e-05,3.426686e-05,3.446040e-05,3.464707e-05,3.482702e-05,3.500044e-05,3.516746e-05,3.532826e-05,3.548298e-05,3.563178e-05,3.577482e-05
0.000000e+00,2.616974e-12,1.034602e-11,7.167430e-11,2.458564e-10,4.282258e-10,1.397510e-09,1.457911e-09,3.701490e-09,4.637742e-09,7.850738e-09,1.159925e-08,1.474810e-08,2.436667e-08,2.537996e-08,4.083868e-08,4.539194e-08,6.224302e-08,7.722895e-08,9.066465e-08,1.222737e-07,1.271003e-07,1.724696e-07,1.826910e-07,2.276142e-07,2.604077e-07,2.932920e-07,3.570917e-07,3.701693e-07,4.588138e-07,4.741213e-07,5.596880e-07,6.125600e-07,6.731470e-07,7.731448e-07,7.994379e-07,9.387032e-07,9.562899e-07,1.090985e-06,1.162104e-06,1.256234e-06,1.390416e-06,1.434316e-06,1.625020e-06,1.640814e-06,1.828071e-06,1.912676e-06,2.043138e-06,2.205215e-06,2.269842e-06,2.507767e-06,2.517511e-06,2.756465e-06,2.848543e-06,3.015466e-06,3.197224e-06,3.284283e-06,3.562419e-06,3.849370e-06,3.942973e-06,4.144629e-06,4.337723e-06,4.447693e-06,4.745514e-06,4.758062e-06,5.075244e-06,5.165210e-06,5.398756e-06,5.595704e-06,5.728125e-06,6.035921e-06,6.062890e-06,6.402604e-06,6.484823e-06,6.746834e-06,6.941418e-06,7.095159e-06,7.404752e-06,7.447175e-06,7.802492e-06,7.873918e-06,8.160734e-06,8.348056e-06,8.521541e-06,8.826347e-06,8.884566e-06,9.249478e-06,9.308018e-06,9.615961e-06,9.792341e-06,9.983712e-06,1.027863e-05,1.035244e-05,1.072187e-05,1.076624e-05,1.109174e-05,1.125456e-05,1.146180e-05,1.174302e-05,1.183181e-05,1.220155e-05,1.223111e-05,1.257079e-05,1.271831e-05,1.293935e-05,1.320417e-05,1.330702e-05,1.367363e-05,1.368827e-05,1.403900e-05,1.417019e-05,1.440297e-05,1.464959e-05,1.476538e-05,1.512610e-05,1.548499e-05,1.559943e-05,1.584192e-05,1.606928e-05,1.619678e-05,1.653538e-05,1.654945e-05,1.689982e-05,1.699750e-05,1.724781e-05,1.745542e-05,1.759332e-05,1.790892e-05,1.793626e-05,1.827657e-05,1.835784e-05,1.861417e-05,1.880201e-05,1.894898e-05,1.924128e-05,1.928096e-05,1.961005e-05,1.967552e-05,1.993620e-05,2.010461e-05,2.025935e-05,2.052846e-05,2.057948e-05,2.089654e-05,2.094698e-05,2.121049e-05,2.136008e-05,2.152132e-05,2.176772e-05,2.182900e-05,2.213349e-05,2.216982e-05,2.243480e-05,2.256635e-05,2.273289e-05,2.295729e-05,2.302776e-05,2.331940e-05,2.334259e-05,2.360780e-05,2.372225e-05,2.389296e-05,2.409626e-05,2.417487e-05,2.445353e-05,2.446461e-05,2.472896e-05,2.482732e-05,2.500115e-05,2.518439e-05,2.527011e-05,2.553584e-05,2.588170e-05,2.622199e-05,2.655674e-05,2.688599e-05,2.720978e-05,2.752816e-05,2.784116e-05,2.814885e-05,2.845127e-05,2.874847e-05,2.904052e-05,2.932747e-05,2.960938e-05,2.988632e-05,3.015834e-05,3.042552e-05,3.068791e-05,3.094558e-05,3.119861e-05,3.144705e-05,3.169097e-05,3.193045e-05,3.216555e-05,3.239634e-05
0.000000e+00,6.685105e-17,7.213396e-16,2.362220e-14,2.282004e-13,6.347890e-13,5.543608e-12,5.986730e-12,3.200619e-11,4.774123e-11,1.201101e-10,2.355047e-10,3.546330e-10,8.241553e-10,8.818816e-10,1.929607e-09,2.292596e-09,3.825729e-09,5.418219e-09,7.012969e-09,1.132920e-08,1.205312e-08,1.961538e-08,2.149541e-08,3.044887e-08,3.763730e-08,4.534526e-08,6.158088e-08,6.510034e-08,9.048106e-08,9.511264e-08,1.222015e-07,1.398716e-07,1.609074e-07,1.972869e-07,2.071682e-07,2.614737e-07,2.685513e-07,3.242340e-07,3.546150e-07,3.957797e-07,4.561892e-07,4.763648e-07,5.661682e-07,5.737544e-07,6.652963e-07,7.075691e-07,7.737863e-07,8.576822e-07,8.916093e-07,1.018674e-06,1.023947e-06,1.154833e-06,1.206040e-06,1.299885e-06,1.403476e-06,1.453583e-06,1.615637e-06,1.785722e-06,1.841789e-06,1.963486e-06,2.081110e-06,2.148550e-06,2.332711e-06,2.340517e-06,2.538977e-06,2.595653e-06,2.743512e-06,2.868973e-06,2.953698e-06,3.151695e-06,3.169110e-06,3.389327e-06,3.442847e-06,3.613932e-06,3.741474e-06,3.842515e-06,4.046643e-06,4.074678e-06,4.310033e-06,4.357454e-06,4.548205e-06,4.673046e-06,4.788831e-06,4.992599e-06,5.031564e-06,5.276072e-06,5.315337e-06,5.522039e-06,5.640531e-06,5.769161e-06,5.967498e-06,6.017153e-06,6.265743e-06,6.295602e-06,6.514675e-06,6.624251e-06,6.763708e-06,6.952900e-06,7.012615e-06,7.261182e-06,7.281046e-06,7.509209e-06,7.608226e-06,7.756510e-06,7.934018e-06,8.002910e-06,8.248248e-06,8.258037e-06,8.492372e-06,8.579933e-06,8.735144e-06,8.899389e-06,8.976433e-06,9.216122e-06,9.454100e-06,9.529876e-06,9.690268e-06,9.840422e-06,9.924532e-06,1.014756e-05,1.015681e-05,1.038703e-05,1.045111e-05,1.061511e-05,1.075091e-05,1.084100e-05,1.104684e-05,1.106464e-05,1.128599e-05,1.133876e-05,1.150499e-05,1.162660e-05,1.172162e-05,1.191025e-05,1.193583e-05,1.214760e-05,1.218966e-05,1.235691e-05,1.246477e-05,1.256374e-05,1.273554e-05,1.276806e-05,1.296988e-05,1.300194e-05,1.316918e-05,1.326394e-05,1.336595e-05,1.352155e-05,1.356020e-05,1.375192e-05,1.377476e-05,1.394112e-05,1.402357e-05,1.412781e-05,1.426801e-05,1.431198e-05,1.449366e-05,1.450809e-05,1.467285e-05,1.474383e-05,1.484957e-05,1.497528e-05,1.502383e-05,1.519565e-05,1.520247e-05,1.536504e-05,1.542543e-05,1.553203e-05,1.564422e-05,1.569664e-05,1.585888e-05,1.606947e-05,1.627603e-05,1.647863e-05,1.667731e-05,1.687215e-05,1.706319e-05,1.725051e-05,1.743416e-05,1.761421e-05,1.779072e-05,1.796375e-05,1.813337e-05,1.829965e-05,1.846264e-05,1.862241e-05,1.877903e-05,1.893255e-05,1.908303e-05,1.923055e-05,1.937516e-05,1.951692e-05,1.965588e-05,1.979212e-05,1.992568e-05
0.000000e+00,8.772877e-12,2.653860e-11,1.380324e-10,4.131684e-10,6.835452e-10,2.035285e-09,2.117207e-09,5.085774e-09,6.300949e-09,1.042609e-08,1.519659e-08,1.918968e-08,3.137188e-08,3.265597e-08,5.229121e-08,5.809131e-08,7.960348e-08,9.875933e-08,1.159187e-07,1.561056e-07,1.622102e-07,2.190704e-07,2.317396e-07,2.867760e-07,3.262903e-07,3.653688e-07,4.397093e-07,4.547188e-07,5.545664e-07,5.714933e-07,6.645512e-07,7.208182e-07,7.842336e-07,8.866259e-07,9.131112e-07,1.050634e-06,1.067690e-06,1.196217e-06,1.262672e-06,1.349254e-06,1.470167e-06,1.509127e-06,1.675216e-06,1.688753e-06,1.846907e-06,1.917017e-06,2.023601e-06,2.153590e-06,2.204715e-06,2.389692e-06,2.397164e-06,2.577998e-06,2.646505e-06,2.769130e-06,2.900471e-06,2.962614e-06,3.158005e-06,3.354889e-06,3.418144e-06,3.552884e-06,3.680019e-06,3.751635e-06,3.942843e-06,3.950814e-06,4.150124e-06,4.205916e-06,4.349290e-06,4.468615e-06,4.548062e-06,4.730390e-06,4.746214e-06,4.943542e-06,4.990757e-06,5.139859e-06,5.249293e-06,5.335000e-06,5.505631e-06,5.528815e-06,5.721171e-06,5.759456e-06,5.911950e-06,6.010496e-06,6.101047e-06,6.258522e-06,6.288371e-06,6.473841e-06,6.503339e-06,6.657387e-06,6.744788e-06,6.838950e-06,6.982738e-06,7.018479e-06,7.195931e-06,7.217084e-06,7.371270e-06,7.447743e-06,7.544470e-06,7.674655e-06,7.715506e-06,7.884363e-06,7.897777e-06,8.051030e-06,8.117082e-06,8.215500e-06,8.332556e-06,8.377770e-06,8.537842e-06,8.544199e-06,8.695721e-06,8.752022e-06,8.851414e-06,8.956043e-06,9.004933e-06,9.156291e-06,9.305503e-06,9.352800e-06,9.452586e-06,9.545612e-06,9.597561e-06,9.734771e-06,9.740447e-06,9.881267e-06,9.920329e-06,1.002004e-05,1.010234e-05,1.015680e-05,1.028086e-05,1.029157e-05,1.042437e-05,1.045595e-05,1.055522e-05,1.062767e-05,1.068417e-05,1.079608e-05,1.081123e-05,1.093643e-05,1.096125e-05,1.105980e-05,1.112324e-05,1.118137e-05,1.128212e-05,1.130117e-05,1.141923e-05,1.143795e-05,1.153557e-05,1.159081e-05,1.165022e-05,1.174075e-05,1.176321e-05,1.187458e-05,1.188783e-05,1.198434e-05,1.203214e-05,1.209253e-05,1.217372e-05,1.219918e-05,1.230430e-05,1.231265e-05,1.240794e-05,1.244898e-05,1.251010e-05,1.258277e-05,1.261083e-05,1.271015e-05,1.271410e-05,1.280809e-05,1.284301e-05,1.290466e-05,1.296956e-05,1.299989e-05,1.309382e-05,1.321584e-05,1.333566e-05,1.345336e-05,1.356898e-05,1.368256e-05,1.379417e-05,1.390384e-05,1.401164e-05,1.411760e-05,1.422176e-05,1.432418e-05,1.442490e-05,1.452395e-05,1.462138e-05,1.471723e-05,1.481154e-05,1.490434e-05,1.499567e-05,1.508556e-05,1.517406e-05,1.526118e-05,1.534698e-05,1.543147e-05,1.551469e-05
0.000000e+00,5.474208e-14,4.666673e-13,9.659139e-12,6.364749e-11,1.455861e-10,8.030948e-10,8.524020e-10,3.083798e-09,4.179379e-09,8.416412e-09,1.403739e-08,1.917910e-08,3.662972e-08,3.859293e-08,7.075013e-08,8.087228e-08,1.202533e-07,1.572718e-07,1.916811e-07,2.760237e-07,2.892383e-07,4.166807e-07,4.460577e-07,5.773761e-07,6.751027e-07,7.743730e-07,9.699358e-07,1.010437e-06,1.288057e-06,1.336483e-06,1.609429e-06,1.779796e-06,1.976443e-06,2.303979e-06,2.390663e-06,2.853317e-06,2.912136e-06,3.365293e-06,3.606342e-06,3.927143e-06,4.387654e-06,4.539092e-06,5.201057e-06,5.256166e-06,5.912669e-06,6.211081e-06,6.673295e-06,7.250817e-06,7.482068e-06,8.337913e-06,8.373109e-06,9.239576e-06,9.575124e-06,1.018565e-05,1.085357e-05,1.117460e-05,1.220478e-05,1.327448e-05,1.362484e-05,1.438191e-05,1.510963e-05,1.552525e-05,1.665490e-05,1.670262e-05,1.791216e-05,1.825634e-05,1.915198e-05,1.990962e-05,2.042019e-05,2.161043e-05,2.171494e-05,2.303437e-05,2.335450e-05,2.437665e-05,2.513764e-05,2.573999e-05,2.695575e-05,2.712263e-05,2.852285e-05,2.880486e-05,2.993896e-05,3.068108e-05,3.136933e-05,3.258068e-05,3.281235e-05,3.426646e-05,3.450005e-05,3.573017e-05,3.643573e-05,3.720202e-05,3.838439e-05,3.868058e-05,4.016448e-05,4.034285e-05,4.165242e-05,4.230806e-05,4.314312e-05,4.427713e-05,4.463534e-05,4.612791e-05,4.624729e-05,4.761968e-05,4.821592e-05,4.910958e-05,5.018054e-05,5.059654e-05,5.207957e-05,5.213880e-05,5.355770e-05,5.408846e-05,5.503002e-05,5.602743e-05,5.649565e-05,5.795374e-05,5.940350e-05,5.986554e-05,6.084417e-05,6.176109e-05,6.227502e-05,6.363876e-05,6.369537e-05,6.510455e-05,6.549704e-05,6.650197e-05,6.733453e-05,6.788703e-05,6.914990e-05,6.925918e-05,7.061791e-05,7.094195e-05,7.196272e-05,7.270956e-05,7.329316e-05,7.445171e-05,7.460879e-05,7.590923e-05,7.616746e-05,7.719409e-05,7.785594e-05,7.846303e-05,7.951639e-05,7.971572e-05,8.095188e-05,8.114811e-05,8.217122e-05,8.275046e-05,8.337350e-05,8.432289e-05,8.455849e-05,8.572599e-05,8.586490e-05,8.687581e-05,8.737608e-05,8.800778e-05,8.885606e-05,8.912177e-05,9.021764e-05,9.030452e-05,9.129528e-05,9.172121e-05,9.235461e-05,9.310594e-05,9.339554e-05,9.441802e-05,9.445854e-05,9.542201e-05,9.577891e-05,9.640747e-05,9.706699e-05,9.737439e-05,9.832276e-05,9.954624e-05,1.007375e-04,1.018966e-04,1.030237e-04,1.041189e-04,1.051824e-04,1.062145e-04,1.072153e-04,1.081852e-04,1.091244e-04,1.100332e-04,1.109120e-04,1.117610e-04,1.125806e-04,1.133713e-04,1.141333e-04,1.148671e-04,1.155731e-04,1.162518e-04,1.169034e-04,1.175285e-04,1.181275e-04,1.187009e-04,1.192490e-04
0.000000e+00,9.199620e-18,1.078171e-16,4.201402e-15,4.759481e-14,1.445445e-13,1.585461e-12,1.728201e-12,1.160360e-11,1.841857e-11,5.420053e-11,1.206814e-10,1.974540e-10,5.523071e-10,6.003619e-10,1.590018e-09,1.974456e-09,3.772567e-09,5.876948e-09,8.175835e-09,1.515265e-08,1.641441e-08,3.086359e-08,3.477134e-08,5.482720e-08,7.245599e-08,9.268514e-08,1.392627e-07,1.500090e-07,2.336371e-07,2.499839e-07,3.517024e-07,4.233213e-07,5.136130e-07,6.818035e-07,7.299806e-07,1.012505e-06,1.051444e-06,1.373811e-06,1.561165e-06,1.827256e-06,2.242013e-06,2.386699e-06,3.066251e-06,3.126227e-06,3.880011e-06,4.246204e-06,4.841796e-06,5.633417e-06,5.964875e-06,7.261705e-06,7.317357e-06,8.743695e-06,9.324535e-06,1.042099e-05,1.167760e-05,1.230226e-05,1.439459e-05,1.670328e-05,1.748838e-05,1.923184e-05,2.096631e-05,2.198185e-05,2.482996e-05,2.495303e-05,2.814318e-05,2.907515e-05,3.154826e-05,3.369214e-05,3.516248e-05,3.866588e-05,3.897837e-05,4.298690e-05,4.397648e-05,4.717764e-05,4.959973e-05,5.153888e-05,5.550769e-05,5.605785e-05,6.072081e-05,6.166942e-05,6.551327e-05,6.805155e-05,7.042017e-05,7.461904e-05,7.542597e-05,8.051491e-05,8.133579e-05,8.567108e-05,8.816527e-05,9.087863e-05,9.507110e-05,9.612185e-05,1.013853e-04,1.020176e-04,1.066540e-04,1.089701e-04,1.119133e-04,1.158955e-04,1.171493e-04,1.223487e-04,1.227627e-04,1.274988e-04,1.295424e-04,1.325878e-04,1.362077e-04,1.376045e-04,1.425386e-04,1.427341e-04,1.473808e-04,1.490997e-04,1.521223e-04,1.552850e-04,1.567554e-04,1.612731e-04,1.656693e-04,1.670495e-04,1.699386e-04,1.726022e-04,1.740764e-04,1.779213e-04,1.780788e-04,1.819427e-04,1.829994e-04,1.856656e-04,1.878308e-04,1.892456e-04,1.924120e-04,1.926815e-04,1.959726e-04,1.967409e-04,1.991187e-04,2.008173e-04,2.021201e-04,2.046423e-04,2.049776e-04,2.076923e-04,2.082182e-04,2.102658e-04,2.115487e-04,2.126998e-04,2.146382e-04,2.149966e-04,2.171586e-04,2.174921e-04,2.191883e-04,2.201165e-04,2.210888e-04,2.225180e-04,2.228629e-04,2.245139e-04,2.247039e-04,2.260450e-04,2.266816e-04,2.274597e-04,2.284591e-04,2.287614e-04,2.299537e-04,2.300444e-04,2.310401e-04,2.314458e-04,2.320242e-04,2.326714e-04,2.329096e-04,2.337000e-04,2.337297e-04,2.343989e-04,2.346288e-04,2.350099e-04,2.353770e-04,2.355366e-04,2.359823e-04,2.364525e-04,2.367953e-04,2.370183e-04,2.371288e-04,2.371337e-04,2.370398e-04,2.368536e-04,2.365815e-04,2.362294e-04,2.358030e-04,2.353078e-04,2.347490e-04,2.341315e-04,2.334602e-04,2.327393e-04,2.319731e-04,2.311657e-04,2.303208e-04,2.294418e-04,2.285323e-04,2.275952e-04,2.266336e-04,2.256503e-04,2.246477e-04
0.000000e+00,1.710420e-18,1.997911e-17,7.751227e-16,8.742416e-15,2.647896e-14,2.879845e-13,3.137855e-13,2.082400e-12,3.292642e-12,9.580004e-12,2.109615e-11,3.423533e-11,9.376027e-11,1.017177e-10,2.625194e-10,3.239059e-10,6.063988e-10,9.308810e-10,1.280694e-09,2.325136e-09,2.512179e-09,4.631788e-09,5.200303e-09,8.101182e-09,1.063733e-08,1.353989e-08,2.021220e-08,2.175143e-08,3.374695e-08,3.609680e-08,5.076474e-08,6.114217e-08,7.428430e-08,9.893411e-08,1.060337e-07,1.479900e-07,1.538135e-07,2.023709e-07,2.308566e-07,2.716199e-07,3.358139e-07,3.583822e-07,4.654744e-07,4.750076e-07,5.958471e-07,6.551943e-07,7.525428e-07,8.833958e-07,9.386487e-07,1.157247e-06,1.166710e-06,1.411364e-06,1.512107e-06,1.703916e-06,1.926223e-06,2.037664e-06,2.415158e-06,2.838700e-06,2.984295e-06,3.310295e-06,3.638125e-06,3.831624e-06,4.380122e-06,4.404010e-06,5.028395e-06,5.212626e-06,5.705325e-06,6.136780e-06,6.434939e-06,7.152488e-06,7.216966e-06,8.050727e-06,8.258416e-06,8.935146e-06,9.452018e-06,9.868761e-06,1.072960e-05,1.084975e-05,1.187594e-05,1.208639e-05,1.294485e-05,1.351666e-05,1.405371e-05,1.501384e-05,1.519952e-05,1.637902e-05,1.657064e-05,1.758881e-05,1.817922e-05,1.882531e-05,1.983127e-05,2.008484e-05,2.136365e-05,2.151822e-05,2.265794e-05,2.323135e-05,2.396389e-05,2.496188e-05,2.527772e-05,2.659566e-05,2.670116e-05,2.791405e-05,2.844072e-05,2.922930e-05,3.017239e-05,3.053795e-05,3.183668e-05,3.188838e-05,3.312232e-05,3.358135e-05,3.439184e-05,3.524447e-05,3.564243e-05,3.687144e-05,3.807642e-05,3.845656e-05,3.925511e-05,3.999472e-05,4.040546e-05,4.148140e-05,4.152561e-05,4.261391e-05,4.291272e-05,4.366890e-05,4.428537e-05,4.468931e-05,4.559664e-05,4.567408e-05,4.662232e-05,4.684437e-05,4.753330e-05,4.802697e-05,4.840648e-05,4.914331e-05,4.924148e-05,5.003806e-05,5.019275e-05,5.079612e-05,5.117510e-05,5.151571e-05,5.209055e-05,5.219699e-05,5.284024e-05,5.293966e-05,5.344586e-05,5.372333e-05,5.401432e-05,5.444273e-05,5.454621e-05,5.504216e-05,5.509929e-05,5.550290e-05,5.569467e-05,5.592921e-05,5.623070e-05,5.632194e-05,5.668197e-05,5.670939e-05,5.701022e-05,5.713284e-05,5.730766e-05,5.750328e-05,5.757526e-05,5.781404e-05,5.782301e-05,5.802502e-05,5.809436e-05,5.820922e-05,5.831972e-05,5.836770e-05,5.850148e-05,5.864201e-05,5.874369e-05,5.880884e-05,5.883977e-05,5.883870e-05,5.880783e-05,5.874925e-05,5.866501e-05,5.855707e-05,5.842732e-05,5.827757e-05,5.810954e-05,5.792485e-05,5.772509e-05,5.751170e-05,5.728609e-05,5.704956e-05,5.680334e-05,5.654861e-05,5.628643e-05,5.601782e-05,5.574374e-05,5.546507e-05,5.518262e-05
0.000000e+00,5.027784e-19,5.780892e-18,2.158944e-16,2.349370e-15,6.974349e-15,7.193766e-14,7.821136e-14,4.917055e-13,7.659538e-13,2.145670e-12,4.580640e-12,7.283573e-12,1.905215e-11,2.058808e-11,5.063609e-11,6.177465e-11,1.116634e-10,1.671535e-10,2.255575e-10,3.943820e-10,4.239743e-10,7.504414e-10,8.358829e-10,1.262268e-09,1.625126e-09,2.032021e-09,2.942288e-09,3.148302e-09,4.715586e-09,5.015975e-09,6.852970e-09,8.119607e-09,9.691849e-09,1.256218e-08,1.337263e-08,1.804073e-08,1.867420e-08,2.384214e-08,2.679067e-08,3.091901e-08,3.723329e-08,3.940529e-08,4.942297e-08,5.029385e-08,6.107882e-08,6.622044e-08,7.446192e-08,8.520718e-08,8.964195e-08,1.066682e-07,1.073881e-07,1.255693e-07,1.328348e-07,1.463535e-07,1.615575e-07,1.690098e-07,1.935090e-07,2.198056e-07,2.285906e-07,2.478394e-07,2.666597e-07,2.775379e-07,3.075375e-07,3.088179e-07,3.415879e-07,3.510173e-07,3.757499e-07,3.968728e-07,4.112014e-07,4.448653e-07,4.478372e-07,4.855507e-07,4.947505e-07,5.242356e-07,5.462842e-07,5.637869e-07,5.992271e-07,6.041019e-07,6.450813e-07,6.533484e-07,6.866297e-07,7.084294e-07,7.286561e-07,7.642646e-07,7.710745e-07,8.138037e-07,8.206641e-07,8.567679e-07,8.774533e-07,8.998965e-07,9.344737e-07,9.431242e-07,9.863908e-07,9.915827e-07,1.029641e-06,1.048653e-06,1.072825e-06,1.105571e-06,1.115896e-06,1.158813e-06,1.162239e-06,1.201539e-06,1.218568e-06,1.244040e-06,1.274485e-06,1.286287e-06,1.328251e-06,1.329924e-06,1.369911e-06,1.384829e-06,1.411244e-06,1.439154e-06,1.452232e-06,1.492860e-06,1.533114e-06,1.545914e-06,1.572981e-06,1.598288e-06,1.612451e-06,1.649962e-06,1.651516e-06,1.690169e-06,1.700917e-06,1.728403e-06,1.751140e-06,1.766213e-06,1.800622e-06,1.803596e-06,1.840550e-06,1.849354e-06,1.877071e-06,1.897334e-06,1.913159e-06,1.944557e-06,1.948813e-06,1.984033e-06,1.991025e-06,2.018820e-06,2.036739e-06,2.053175e-06,2.081700e-06,2.087099e-06,2.120594e-06,2.125913e-06,2.153662e-06,2.169384e-06,2.186306e-06,2.212117e-06,2.218528e-06,2.250331e-06,2.254120e-06,2.281720e-06,2.295400e-06,2.312696e-06,2.335965e-06,2.343264e-06,2.373427e-06,2.375823e-06,2.403189e-06,2.414983e-06,2.432555e-06,2.453454e-06,2.461527e-06,2.490111e-06,2.491246e-06,2.518310e-06,2.528369e-06,2.546129e-06,2.564831e-06,2.573572e-06,2.600644e-06,2.635816e-06,2.670359e-06,2.704283e-06,2.737597e-06,2.770312e-06,2.802439e-06,2.833987e-06,2.864968e-06,2.895390e-06,2.925264e-06,2.954600e-06,2.983408e-06,3.011697e-06,3.039478e-06,3.066760e-06,3.093552e-06,3.119864e-06,3.145705e-06,3.171084e-06,3.196010e-06,3.220492e-06,3.244539e-06,3.268159e-06,3.291360e-06
0.000000e+00,8.571614e-16,8.262239e-15,2.157618e-13,1.712006e-12,4.292143e-12,2.906324e-11,3.107703e-11,1.319405e-10,1.855545e-10,4.055573e-10,7.151038e-10,1.008534e-09,2.045716e-09,2.165228e-09,4.178983e-09,4.831424e-09,7.441424e-09,9.988488e-09,1.242871e-08,1.866576e-08,1.967200e-08,2.970332e-08,3.208747e-08,4.299768e-08,5.133065e-08,5.993487e-08,7.718027e-08,8.078828e-08,1.057335e-07,1.101117e-07,1.348650e-07,1.503462e-07,1.682136e-07,1.979168e-07,2.057594e-07,2.474426e-07,2.527185e-07,2.931699e-07,3.145409e-07,3.428207e-07,3.830914e-07,3.962510e-07,4.532977e-07,4.580124e-07,5.137824e-07,5.388965e-07,5.775146e-07,6.253014e-07,6.442956e-07,7.139211e-07,7.167623e-07,7.861842e-07,8.128048e-07,8.608785e-07,9.129548e-07,9.377995e-07,1.016747e-06,1.097527e-06,1.123732e-06,1.179951e-06,1.233482e-06,1.263839e-06,1.345590e-06,1.349020e-06,1.435332e-06,1.459680e-06,1.522619e-06,1.575399e-06,1.610737e-06,1.692423e-06,1.699551e-06,1.788932e-06,1.810455e-06,1.878763e-06,1.929222e-06,1.968932e-06,2.048479e-06,2.059337e-06,2.149883e-06,2.168001e-06,2.240482e-06,2.287588e-06,2.331053e-06,2.407056e-06,2.421522e-06,2.511818e-06,2.526245e-06,2.601879e-06,2.645008e-06,2.691647e-06,2.763214e-06,2.781069e-06,2.870095e-06,2.880750e-06,2.958683e-06,2.997512e-06,3.046791e-06,3.113409e-06,3.134382e-06,3.221424e-06,3.228362e-06,3.307886e-06,3.342302e-06,3.393740e-06,3.455166e-06,3.478964e-06,3.563533e-06,3.566902e-06,3.647430e-06,3.677465e-06,3.730636e-06,3.786814e-06,3.813136e-06,3.894917e-06,3.975966e-06,4.001745e-06,4.056273e-06,4.107276e-06,4.135830e-06,4.211491e-06,4.214628e-06,4.292663e-06,4.314375e-06,4.369928e-06,4.415916e-06,4.446420e-06,4.516107e-06,4.522135e-06,4.597073e-06,4.614942e-06,4.671231e-06,4.712419e-06,4.744609e-06,4.808537e-06,4.817207e-06,4.889027e-06,4.903298e-06,4.960069e-06,4.996705e-06,5.030337e-06,5.088764e-06,5.099832e-06,5.168557e-06,5.179482e-06,5.236517e-06,5.268866e-06,5.303714e-06,5.356926e-06,5.370154e-06,5.435840e-06,5.443672e-06,5.500779e-06,5.529116e-06,5.564974e-06,5.613268e-06,5.628431e-06,5.691156e-06,5.696142e-06,5.753154e-06,5.777752e-06,5.814432e-06,5.858110e-06,5.874997e-06,5.934853e-06,5.937232e-06,5.994008e-06,6.015133e-06,6.052468e-06,6.091827e-06,6.110240e-06,6.167330e-06,6.241657e-06,6.314825e-06,6.386850e-06,6.457747e-06,6.527532e-06,6.596223e-06,6.663835e-06,6.730385e-06,6.795888e-06,6.860362e-06,6.923821e-06,6.986283e-06,7.047763e-06,7.108277e-06,7.167841e-06,7.226471e-06,7.284181e-06,7.340987e-06,7.396904e-06,7.451948e-06,7.506132e-06,7.559472e-06,7.611982e-06,7.663677e-06
0.000000e+00,1.406998e-17,1.528437e-16,5.073756e-15,4.958270e-14,1.387445e-13,1.228493e-12,1.327370e-12,7.175531e-12,1.073019e-11,2.713849e-11,5.337517e-11,8.048505e-11,1.872571e-10,2.003667e-10,4.375191e-10,5.193519e-10,8.634299e-10,1.218725e-09,1.572954e-09,2.526674e-09,2.686162e-09,4.348726e-09,4.761675e-09,6.729625e-09,8.312993e-09,1.001519e-08,1.361621e-08,1.439949e-08,2.007237e-08,2.111154e-08,2.720751e-08,3.119629e-08,3.595246e-08,4.418587e-08,4.642210e-08,5.869571e-08,6.029221e-08,7.281716e-08,7.961996e-08,8.879764e-08,1.021763e-07,1.066197e-07,1.262417e-07,1.278875e-07,1.476025e-07,1.566170e-07,1.706257e-07,1.881827e-07,1.952233e-07,2.212990e-07,2.223713e-07,2.487507e-07,2.589500e-07,2.774732e-07,2.976758e-07,3.073595e-07,3.383026e-07,3.701972e-07,3.805874e-07,4.029399e-07,4.242942e-07,4.364311e-07,4.691977e-07,4.705748e-07,5.052799e-07,5.150860e-07,5.404600e-07,5.617622e-07,5.760342e-07,6.090453e-07,6.119268e-07,6.480675e-07,6.567709e-07,6.843915e-07,7.047907e-07,7.208394e-07,7.529726e-07,7.573567e-07,7.938938e-07,8.011996e-07,8.304059e-07,8.493687e-07,8.668524e-07,8.973900e-07,9.031969e-07,9.394066e-07,9.451857e-07,9.754525e-07,9.926885e-07,1.011308e-06,1.039841e-06,1.046951e-06,1.082361e-06,1.086593e-06,1.117519e-06,1.132905e-06,1.152410e-06,1.178740e-06,1.187020e-06,1.221336e-06,1.224069e-06,1.255350e-06,1.268868e-06,1.289050e-06,1.313116e-06,1.322430e-06,1.355483e-06,1.356798e-06,1.388203e-06,1.399900e-06,1.420586e-06,1.442412e-06,1.452628e-06,1.484326e-06,1.515677e-06,1.525635e-06,1.546679e-06,1.566337e-06,1.577331e-06,1.606428e-06,1.607633e-06,1.637583e-06,1.645906e-06,1.667182e-06,1.684773e-06,1.696431e-06,1.723030e-06,1.725329e-06,1.753878e-06,1.760678e-06,1.782078e-06,1.797719e-06,1.809932e-06,1.834158e-06,1.837441e-06,1.864607e-06,1.869999e-06,1.891431e-06,1.905246e-06,1.917917e-06,1.939904e-06,1.944065e-06,1.969879e-06,1.973978e-06,1.995361e-06,2.007475e-06,2.020514e-06,2.040400e-06,2.045340e-06,2.069842e-06,2.072761e-06,2.094023e-06,2.104562e-06,2.117886e-06,2.135812e-06,2.141434e-06,2.164671e-06,2.166516e-06,2.187598e-06,2.196683e-06,2.210219e-06,2.226319e-06,2.232538e-06,2.254557e-06,2.255431e-06,2.276279e-06,2.284028e-06,2.297709e-06,2.312115e-06,2.318849e-06,2.339702e-06,2.366794e-06,2.393400e-06,2.419527e-06,2.445183e-06,2.470375e-06,2.495110e-06,2.519396e-06,2.543240e-06,2.566649e-06,2.589632e-06,2.612193e-06,2.634342e-06,2.656085e-06,2.677429e-06,2.698380e-06,2.718947e-06,2.739134e-06,2.758950e-06,2.778400e-06,2.797491e-06,2.816230e-06,2.834622e-06,2.852675e-06,2.870394e-06
0.000000e+00,2.181553e-12,6.646971e-12,3.490197e-11,1.050981e-10,1.743441e-10,5.220203e-10,5.431340e-10,1.309456e-09,1.623438e-09,2.689241e-09,3.920685e-09,4.950223e-09,8.084411e-09,8.414260e-09,1.344995e-08,1.493568e-08,2.044565e-08,2.535743e-08,2.976578e-08,4.013337e-08,4.171430e-08,5.652371e-08,5.984472e-08,7.436259e-08,8.487653e-08,9.534751e-08,1.154614e-07,1.195526e-07,1.470162e-07,1.517136e-07,1.777452e-07,1.936497e-07,2.117185e-07,2.412032e-07,2.488905e-07,2.891938e-07,2.942367e-07,3.325423e-07,3.525546e-07,3.788344e-07,4.159153e-07,4.279561e-07,4.797833e-07,4.840425e-07,5.341850e-07,5.566362e-07,5.910253e-07,6.333826e-07,6.501657e-07,7.114665e-07,7.139616e-07,7.747890e-07,7.980535e-07,8.399958e-07,8.853442e-07,9.069527e-07,9.755288e-07,1.045597e-06,1.068314e-06,1.117036e-06,1.163421e-06,1.189728e-06,1.260586e-06,1.263560e-06,1.338425e-06,1.359558e-06,1.414221e-06,1.460105e-06,1.490851e-06,1.562008e-06,1.568223e-06,1.646249e-06,1.665063e-06,1.724846e-06,1.769082e-06,1.803938e-06,1.873887e-06,1.883448e-06,1.963309e-06,1.979317e-06,2.043454e-06,2.085221e-06,2.123821e-06,2.191459e-06,2.204353e-06,2.284994e-06,2.297904e-06,2.365693e-06,2.404435e-06,2.446402e-06,2.510945e-06,2.527074e-06,2.607668e-06,2.617332e-06,2.688143e-06,2.723504e-06,2.768461e-06,2.829376e-06,2.848587e-06,2.928489e-06,2.934870e-06,3.008135e-06,3.039915e-06,3.087496e-06,3.144444e-06,3.166545e-06,3.245257e-06,3.248398e-06,3.323608e-06,3.351722e-06,3.401577e-06,3.454366e-06,3.479142e-06,3.556285e-06,3.632988e-06,3.657437e-06,3.709234e-06,3.757785e-06,3.785008e-06,3.857294e-06,3.860296e-06,3.935084e-06,3.955934e-06,4.009361e-06,4.053677e-06,4.083115e-06,4.150498e-06,4.156336e-06,4.229014e-06,4.246375e-06,4.301141e-06,4.341289e-06,4.372709e-06,4.435221e-06,4.443711e-06,4.514140e-06,4.528157e-06,4.583991e-06,4.620083e-06,4.653258e-06,4.710987e-06,4.721936e-06,4.790021e-06,4.800859e-06,4.857510e-06,4.889692e-06,4.924399e-06,4.977477e-06,4.990686e-06,5.056369e-06,5.064210e-06,5.121445e-06,5.149886e-06,5.185913e-06,5.234502e-06,5.249773e-06,5.313022e-06,5.318056e-06,5.375661e-06,5.400546e-06,5.437690e-06,5.481973e-06,5.499109e-06,5.559917e-06,5.562337e-06,5.620117e-06,5.641639e-06,5.679708e-06,5.719883e-06,5.738692e-06,5.797070e-06,5.873204e-06,5.948290e-06,6.022331e-06,6.095334e-06,6.167303e-06,6.238245e-06,6.308166e-06,6.377073e-06,6.444973e-06,6.511873e-06,6.577781e-06,6.642706e-06,6.706655e-06,6.769636e-06,6.831658e-06,6.892731e-06,6.952862e-06,7.012061e-06,7.070338e-06,7.127700e-06,7.184159e-06,7.239722e-06,7.294400e-06,7.348203e-06
0.000000e+00,1.725956e-12,5.251422e-12,2.751448e-11,8.270159e-11,1.370448e-10,4.090113e-10,4.254900e-10,1.021441e-09,1.264606e-09,2.086538e-09,3.030648e-09,3.816186e-09,6.190986e-09,6.439713e-09,1.021638e-08,1.132496e-08,1.542188e-08,1.906193e-08,2.232371e-08,2.998724e-08,3.115561e-08,4.210462e-08,4.456163e-08,5.531179e-08,6.310701e-08,7.087856e-08,8.582876e-08,8.887293e-08,1.093339e-07,1.128378e-07,1.322748e-07,1.441652e-07,1.576855e-07,1.797717e-07,1.855344e-07,2.157715e-07,2.195574e-07,2.483295e-07,2.633699e-07,2.831274e-07,3.110149e-07,3.200721e-07,3.590610e-07,3.622651e-07,3.999844e-07,4.168699e-07,4.427277e-07,4.745637e-07,4.871730e-07,5.332010e-07,5.350733e-07,5.806922e-07,5.981245e-07,6.295288e-07,6.634469e-07,6.795948e-07,7.307775e-07,7.829680e-07,7.998645e-07,8.360612e-07,8.704681e-07,8.899568e-07,9.423627e-07,9.445592e-07,9.997775e-07,1.015337e-06,1.055526e-06,1.089195e-06,1.111723e-06,1.163755e-06,1.168293e-06,1.225163e-06,1.238850e-06,1.282268e-06,1.314325e-06,1.339544e-06,1.390041e-06,1.396932e-06,1.454378e-06,1.465870e-06,1.511833e-06,1.541696e-06,1.569247e-06,1.617413e-06,1.626578e-06,1.683786e-06,1.692925e-06,1.740833e-06,1.768149e-06,1.797685e-06,1.843005e-06,1.854311e-06,1.910680e-06,1.917426e-06,1.966767e-06,1.991349e-06,2.022547e-06,2.064720e-06,2.077997e-06,2.133099e-06,2.137491e-06,2.187832e-06,2.209618e-06,2.242180e-06,2.281063e-06,2.296128e-06,2.349662e-06,2.351795e-06,2.402771e-06,2.421784e-06,2.455443e-06,2.491005e-06,2.507668e-06,2.559438e-06,2.610746e-06,2.627066e-06,2.661585e-06,2.693873e-06,2.711949e-06,2.759848e-06,2.761834e-06,2.811235e-06,2.824981e-06,2.860151e-06,2.889265e-06,2.908577e-06,2.952696e-06,2.956512e-06,3.003956e-06,3.015269e-06,3.050907e-06,3.076984e-06,3.097364e-06,3.137839e-06,3.143329e-06,3.188802e-06,3.197838e-06,3.233784e-06,3.256981e-06,3.278276e-06,3.315273e-06,3.322281e-06,3.365799e-06,3.372717e-06,3.408834e-06,3.429321e-06,3.451389e-06,3.485088e-06,3.493466e-06,3.535068e-06,3.540028e-06,3.576198e-06,3.594147e-06,3.616860e-06,3.647453e-06,3.657058e-06,3.696796e-06,3.699955e-06,3.736076e-06,3.751662e-06,3.774904e-06,3.802582e-06,3.813284e-06,3.851219e-06,3.852727e-06,3.888714e-06,3.902105e-06,3.925773e-06,3.950727e-06,3.962402e-06,3.998603e-06,4.045744e-06,4.092160e-06,4.137861e-06,4.182860e-06,4.227165e-06,4.270788e-06,4.313741e-06,4.356033e-06,4.397675e-06,4.438678e-06,4.479053e-06,4.518810e-06,4.557960e-06,4.596513e-06,4.634479e-06,4.671868e-06,4.708691e-06,4.744958e-06,4.780678e-06,4.815860e-06,4.850516e-06,4.884653e-06,4.918282e-06,4.951411e-06
0.000000e+00,1.055608e-12,3.223349e-12,1.695237e-11,5.102668e-11,8.457663e-11,2.521862e-10,2.623244e-10,6.276768e-10,7.760793e-10,1.275163e-09,1.844185e-09,2.314629e-09,3.723134e-09,3.869628e-09,6.075587e-09,6.717803e-09,9.077093e-09,1.116105e-08,1.302339e-08,1.739467e-08,1.806156e-08,2.432841e-08,2.574010e-08,3.194364e-08,3.647019e-08,4.100635e-08,4.979520e-08,5.159440e-08,6.376541e-08,6.586251e-08,7.755818e-08,8.476166e-08,9.299410e-08,1.065301e-07,1.100786e-07,1.288024e-07,1.311585e-07,1.491432e-07,1.585970e-07,1.710668e-07,1.887605e-07,1.945290e-07,2.194768e-07,2.215350e-07,2.458501e-07,2.567841e-07,2.735834e-07,2.943542e-07,3.026066e-07,3.328468e-07,3.340806e-07,3.642292e-07,3.757919e-07,3.966781e-07,4.193138e-07,4.301177e-07,4.644731e-07,4.996705e-07,5.110997e-07,5.356380e-07,5.590290e-07,5.723059e-07,6.081036e-07,6.096069e-07,6.474766e-07,6.581735e-07,6.858530e-07,7.090976e-07,7.246775e-07,7.607436e-07,7.638941e-07,8.034500e-07,8.129883e-07,8.432951e-07,8.657171e-07,8.833825e-07,9.188244e-07,9.236677e-07,9.641092e-07,9.722128e-07,1.004668e-06,1.025793e-06,1.045308e-06,1.079482e-06,1.085994e-06,1.126695e-06,1.133207e-06,1.167382e-06,1.186898e-06,1.208026e-06,1.240494e-06,1.248603e-06,1.289087e-06,1.293938e-06,1.329458e-06,1.347180e-06,1.369695e-06,1.400173e-06,1.409779e-06,1.449692e-06,1.452877e-06,1.489419e-06,1.505254e-06,1.528944e-06,1.557271e-06,1.568255e-06,1.607339e-06,1.608897e-06,1.646183e-06,1.660107e-06,1.684779e-06,1.710877e-06,1.723116e-06,1.761187e-06,1.798982e-06,1.811017e-06,1.836495e-06,1.860353e-06,1.873721e-06,1.909180e-06,1.910652e-06,1.947285e-06,1.957488e-06,1.983614e-06,2.005264e-06,2.019636e-06,2.052502e-06,2.055348e-06,2.090746e-06,2.099195e-06,2.125828e-06,2.145336e-06,2.160593e-06,2.190921e-06,2.195038e-06,2.229161e-06,2.235948e-06,2.262963e-06,2.280413e-06,2.296443e-06,2.324316e-06,2.329600e-06,2.362433e-06,2.367656e-06,2.394944e-06,2.410434e-06,2.427132e-06,2.452651e-06,2.458998e-06,2.490544e-06,2.494307e-06,2.521769e-06,2.535407e-06,2.552675e-06,2.575951e-06,2.583264e-06,2.613536e-06,2.615944e-06,2.643494e-06,2.655389e-06,2.673139e-06,2.694290e-06,2.702473e-06,2.731497e-06,2.732652e-06,2.760215e-06,2.770479e-06,2.788628e-06,2.807775e-06,2.816738e-06,2.844547e-06,2.880800e-06,2.916539e-06,2.951769e-06,2.986498e-06,3.020729e-06,3.054471e-06,3.087729e-06,3.120508e-06,3.152816e-06,3.184659e-06,3.216042e-06,3.246973e-06,3.277458e-06,3.307503e-06,3.337114e-06,3.366298e-06,3.395061e-06,3.423410e-06,3.451350e-06,3.478888e-06,3.506030e-06,3.532783e-06,3.559151e-06,3.585142e-06
0.000000e+00,1.906362e-11,6.000676e-11,3.264408e-10,1.000131e-09,1.670100e-09,5.059513e-09,5.266018e-09,1.277824e-08,1.585986e-08,2.631788e-08,3.838404e-08,4.845348e-08,7.900570e-08,8.221304e-08,1.310383e-07,1.454074e-07,1.986313e-07,2.460611e-07,2.886624e-07,3.890802e-07,4.044257e-07,5.486160e-07,5.810567e-07,7.232882e-07,8.266772e-07,9.299269e-07,1.128953e-06,1.169534e-06,1.442703e-06,1.489545e-06,1.749672e-06,1.909014e-06,2.090371e-06,2.386991e-06,2.464454e-06,2.871339e-06,2.922335e-06,3.310242e-06,3.513260e-06,3.780202e-06,4.157471e-06,4.280120e-06,4.808783e-06,4.852280e-06,5.364891e-06,5.594714e-06,5.947078e-06,6.381610e-06,6.553934e-06,7.184024e-06,7.209691e-06,7.835900e-06,8.075629e-06,8.508113e-06,8.976101e-06,9.199227e-06,9.907823e-06,1.063251e-05,1.086758e-05,1.137192e-05,1.185226e-05,1.212474e-05,1.285885e-05,1.288966e-05,1.366545e-05,1.388446e-05,1.445090e-05,1.492632e-05,1.524485e-05,1.598181e-05,1.604616e-05,1.685378e-05,1.704843e-05,1.766667e-05,1.812382e-05,1.848383e-05,1.920573e-05,1.930434e-05,2.012728e-05,2.029208e-05,2.095179e-05,2.138089e-05,2.177706e-05,2.247030e-05,2.260231e-05,2.342679e-05,2.355859e-05,2.424980e-05,2.464413e-05,2.507069e-05,2.572543e-05,2.588881e-05,2.670357e-05,2.680109e-05,2.751441e-05,2.786981e-05,2.832081e-05,2.893039e-05,2.912226e-05,2.991829e-05,2.998172e-05,3.070847e-05,3.102280e-05,3.149238e-05,3.205270e-05,3.226964e-05,3.303990e-05,3.307056e-05,3.380281e-05,3.407560e-05,3.455808e-05,3.506714e-05,3.530540e-05,3.604453e-05,3.677522e-05,3.700722e-05,3.749724e-05,3.795468e-05,3.821038e-05,3.888649e-05,3.891448e-05,3.960935e-05,3.980224e-05,4.029484e-05,4.070159e-05,4.097083e-05,4.158425e-05,4.163720e-05,4.229383e-05,4.244996e-05,4.294064e-05,4.329853e-05,4.357755e-05,4.412979e-05,4.420450e-05,4.482143e-05,4.494361e-05,4.542830e-05,4.573989e-05,4.602508e-05,4.651857e-05,4.661176e-05,4.718832e-05,4.727963e-05,4.775475e-05,4.802305e-05,4.831107e-05,4.874886e-05,4.885729e-05,4.939344e-05,4.945710e-05,4.991955e-05,5.014786e-05,5.043564e-05,5.082121e-05,5.094177e-05,5.143799e-05,5.147726e-05,5.192435e-05,5.211615e-05,5.240092e-05,5.273801e-05,5.286775e-05,5.332492e-05,5.334300e-05,5.377250e-05,5.393130e-05,5.421057e-05,5.450308e-05,5.463922e-05,5.505853e-05,5.559788e-05,5.612131e-05,5.662907e-05,5.712136e-05,5.759844e-05,5.806053e-05,5.850789e-05,5.894076e-05,5.935939e-05,5.976403e-05,6.015495e-05,6.053240e-05,6.089664e-05,6.124794e-05,6.158654e-05,6.191272e-05,6.222673e-05,6.252882e-05,6.281927e-05,6.309832e-05,6.336623e-05,6.362326e-05,6.386965e-05,6.410565e-05
0.000000e+00,1.642495e-18,1.906971e-17,7.268608e-16,8.062370e-15,2.419136e-14,2.567008e-13,2.794164e-13,1.808979e-12,2.841127e-12,8.128230e-12,1.765957e-11,2.841083e-11,7.634956e-11,8.269894e-11,2.094843e-10,2.573862e-10,4.758481e-10,7.242480e-10,9.901229e-10,1.776642e-09,1.916660e-09,3.491735e-09,3.911362e-09,6.039082e-09,7.884575e-09,9.983287e-09,1.476394e-08,1.585933e-08,2.431703e-08,2.595930e-08,3.611974e-08,4.322478e-08,5.213711e-08,6.863034e-08,7.333270e-08,1.007468e-07,1.045060e-07,1.354756e-07,1.533639e-07,1.786481e-07,2.178069e-07,2.314022e-07,2.948592e-07,3.004309e-07,3.701009e-07,4.037281e-07,4.581462e-07,5.299962e-07,5.599314e-07,6.762921e-07,6.812603e-07,8.079484e-07,8.592074e-07,9.554934e-07,1.065139e-06,1.119384e-06,1.299937e-06,1.497323e-06,1.564051e-06,1.711572e-06,1.857496e-06,1.942574e-06,2.179870e-06,2.190083e-06,2.453728e-06,2.530376e-06,2.733018e-06,2.907858e-06,3.027357e-06,3.310844e-06,3.336050e-06,3.658321e-06,3.737594e-06,3.993322e-06,4.186145e-06,4.340143e-06,4.654367e-06,4.697831e-06,5.065398e-06,5.140008e-06,5.441831e-06,5.640740e-06,5.826105e-06,6.154204e-06,6.217194e-06,6.614076e-06,6.678047e-06,7.015746e-06,7.209958e-06,7.421218e-06,7.747690e-06,7.829537e-06,8.239778e-06,8.289093e-06,8.651054e-06,8.832125e-06,9.062522e-06,9.374869e-06,9.473377e-06,9.882865e-06,9.915544e-06,1.029028e-05,1.045251e-05,1.069495e-05,1.098426e-05,1.109626e-05,1.149365e-05,1.150946e-05,1.188660e-05,1.202689e-05,1.227464e-05,1.253546e-05,1.265732e-05,1.303426e-05,1.340511e-05,1.352245e-05,1.376957e-05,1.399934e-05,1.412736e-05,1.446434e-05,1.447824e-05,1.482201e-05,1.491696e-05,1.515849e-05,1.535682e-05,1.548755e-05,1.578361e-05,1.580905e-05,1.612292e-05,1.619710e-05,1.642908e-05,1.659714e-05,1.672748e-05,1.698362e-05,1.701808e-05,1.730089e-05,1.735652e-05,1.757591e-05,1.771584e-05,1.784315e-05,1.806165e-05,1.810265e-05,1.835445e-05,1.839403e-05,1.859862e-05,1.871312e-05,1.883521e-05,1.901908e-05,1.906430e-05,1.928599e-05,1.931209e-05,1.950034e-05,1.959236e-05,1.970747e-05,1.986012e-05,1.990748e-05,2.010046e-05,2.011560e-05,2.028654e-05,2.035906e-05,2.046582e-05,2.059076e-05,2.063843e-05,2.080448e-05,2.081098e-05,2.096409e-05,2.101999e-05,2.111738e-05,2.121808e-05,2.126449e-05,2.140553e-05,2.158263e-05,2.174967e-05,2.190694e-05,2.205473e-05,2.219332e-05,2.232299e-05,2.244403e-05,2.255672e-05,2.266133e-05,2.275812e-05,2.284736e-05,2.292931e-05,2.300422e-05,2.307235e-05,2.313394e-05,2.318922e-05,2.323844e-05,2.328181e-05,2.331956e-05,2.335190e-05,2.337905e-05,2.340121e-05,2.341859e-05,2.343137e-05
0.000000e+00,1.905203e-19,2.225217e-18,8.673237e-17,9.849985e-16,2.994994e-15,3.290448e-14,3.586747e-14,2.405323e-13,3.814307e-13,1.118043e-12,2.477153e-12,4.036275e-12,1.115629e-11,1.211272e-11,3.156962e-11,3.904255e-11,7.362943e-11,1.136314e-10,1.569821e-10,2.873535e-10,3.108144e-10,5.783529e-10,6.505296e-10,1.020834e-09,1.346778e-09,1.721786e-09,2.590121e-09,2.791479e-09,4.371375e-09,4.682794e-09,6.638412e-09,8.032588e-09,9.808927e-09,1.316847e-08,1.414205e-08,1.994241e-08,2.075327e-08,2.756200e-08,3.159234e-08,3.740108e-08,4.663734e-08,4.990807e-08,6.557834e-08,6.698450e-08,8.495193e-08,9.386720e-08,1.086101e-07,1.286425e-07,1.371707e-07,1.712829e-07,1.727723e-07,2.116209e-07,2.277995e-07,2.588765e-07,2.953197e-07,3.137516e-07,3.769498e-07,4.491678e-07,4.742944e-07,5.310868e-07,5.889107e-07,6.233636e-07,7.222735e-07,7.266222e-07,8.414451e-07,8.757419e-07,9.683662e-07,1.050527e-06,1.107863e-06,1.247664e-06,1.260349e-06,1.426173e-06,1.467986e-06,1.605605e-06,1.712108e-06,1.798842e-06,1.980403e-06,2.005999e-06,2.227109e-06,2.273003e-06,2.462122e-06,2.589783e-06,2.710906e-06,2.930370e-06,2.973244e-06,3.248842e-06,3.294144e-06,3.537326e-06,3.680247e-06,3.838249e-06,4.087597e-06,4.151093e-06,4.475275e-06,4.514909e-06,4.810152e-06,4.960709e-06,5.155028e-06,5.423361e-06,5.509154e-06,5.871743e-06,5.901091e-06,6.241970e-06,6.392009e-06,6.618982e-06,6.894139e-06,7.001900e-06,7.389831e-06,7.405440e-06,7.781871e-06,7.923836e-06,8.177111e-06,8.447238e-06,8.574642e-06,8.973565e-06,9.372990e-06,9.500769e-06,9.772046e-06,1.002685e-05,1.016988e-05,1.054989e-05,1.056567e-05,1.095862e-05,1.106803e-05,1.134795e-05,1.157952e-05,1.173295e-05,1.208273e-05,1.211292e-05,1.248721e-05,1.257612e-05,1.285520e-05,1.305830e-05,1.321631e-05,1.352799e-05,1.357003e-05,1.391586e-05,1.398404e-05,1.425337e-05,1.442544e-05,1.458214e-05,1.485131e-05,1.490184e-05,1.521214e-05,1.526089e-05,1.551276e-05,1.565356e-05,1.580349e-05,1.602881e-05,1.608412e-05,1.635449e-05,1.638624e-05,1.661450e-05,1.672560e-05,1.686405e-05,1.704669e-05,1.710310e-05,1.733162e-05,1.734945e-05,1.754963e-05,1.763389e-05,1.775715e-05,1.790012e-05,1.795426e-05,1.814105e-05,1.814831e-05,1.831762e-05,1.837870e-05,1.848409e-05,1.859161e-05,1.864064e-05,1.878741e-05,1.896649e-05,1.912932e-05,1.927637e-05,1.940818e-05,1.952528e-05,1.962823e-05,1.971760e-05,1.979398e-05,1.985795e-05,1.991010e-05,1.995102e-05,1.998129e-05,2.000149e-05,2.001219e-05,2.001394e-05,2.000728e-05,1.999274e-05,1.997083e-05,1.994204e-05,1.990686e-05,1.986574e-05,1.981913e-05,1.976744e-05,1.971109e-05
0.000000e+00,5.800285e-13,3.279878e-12,3.503501e-11,1.493682e-10,2.826134e-10,1.069278e-09,1.120668e-09,3.118607e-09,3.984368e-09,7.033489e-09,1.068864e-08,1.381298e-08,2.356029e-08,2.460115e-08,4.072969e-08,4.555644e-08,6.366316e-08,8.003676e-08,9.489444e-08,1.303763e-07,1.358488e-07,1.878430e-07,1.996745e-07,2.520821e-07,2.906945e-07,3.296646e-07,4.058749e-07,4.215829e-07,5.287192e-07,5.473261e-07,6.518400e-07,7.168099e-07,7.915907e-07,9.157192e-07,9.484923e-07,1.122940e-06,1.145067e-06,1.315206e-06,1.405491e-06,1.525441e-06,1.697265e-06,1.753683e-06,1.999863e-06,2.020328e-06,2.263814e-06,2.374317e-06,2.545284e-06,2.758606e-06,2.843941e-06,3.159386e-06,3.172346e-06,3.491162e-06,3.614503e-06,3.838764e-06,4.083896e-06,4.201646e-06,4.579232e-06,4.970917e-06,5.099133e-06,5.376081e-06,5.642167e-06,5.794089e-06,6.206865e-06,6.224299e-06,6.666066e-06,6.791743e-06,7.118743e-06,7.395318e-06,7.581687e-06,8.016116e-06,8.054262e-06,8.535839e-06,8.652688e-06,9.025800e-06,9.303614e-06,9.523538e-06,9.967509e-06,1.002846e-05,1.053998e-05,1.064303e-05,1.105754e-05,1.132888e-05,1.158059e-05,1.202380e-05,1.210859e-05,1.264102e-05,1.272658e-05,1.317738e-05,1.343608e-05,1.371718e-05,1.415119e-05,1.425996e-05,1.480526e-05,1.487084e-05,1.535264e-05,1.559403e-05,1.590168e-05,1.631981e-05,1.645197e-05,1.700313e-05,1.704725e-05,1.755477e-05,1.777549e-05,1.810655e-05,1.850371e-05,1.865811e-05,1.920912e-05,1.923114e-05,1.975926e-05,1.995705e-05,2.030825e-05,2.068074e-05,2.085577e-05,2.140156e-05,2.194536e-05,2.211892e-05,2.248692e-05,2.283222e-05,2.302599e-05,2.354094e-05,2.356234e-05,2.409577e-05,2.424458e-05,2.462607e-05,2.494267e-05,2.515305e-05,2.563477e-05,2.567652e-05,2.619631e-05,2.632049e-05,2.671225e-05,2.699944e-05,2.722420e-05,2.767129e-05,2.773201e-05,2.823554e-05,2.833572e-05,2.873466e-05,2.899243e-05,2.922927e-05,2.964116e-05,2.971924e-05,3.020448e-05,3.028167e-05,3.068488e-05,3.091373e-05,3.116037e-05,3.153716e-05,3.163085e-05,3.209626e-05,3.215177e-05,3.255653e-05,3.275740e-05,3.301159e-05,3.335392e-05,3.346139e-05,3.390588e-05,3.394121e-05,3.434501e-05,3.451916e-05,3.477875e-05,3.508768e-05,3.520705e-05,3.562990e-05,3.564670e-05,3.604726e-05,3.619616e-05,3.645911e-05,3.673602e-05,3.686544e-05,3.726623e-05,3.778680e-05,3.829769e-05,3.879892e-05,3.929049e-05,3.977244e-05,4.024478e-05,4.070755e-05,4.116081e-05,4.160460e-05,4.203898e-05,4.246403e-05,4.287981e-05,4.328640e-05,4.368388e-05,4.407235e-05,4.445188e-05,4.482259e-05,4.518456e-05,4.553790e-05,4.588272e-05,4.621912e-05,4.654721e-05,4.686711e-05,4.717892e-05
0.000000e+00,5.698958e-14,4.530813e-13,8.265846e-12,4.951362e-11,1.082275e-10,5.406582e-10,5.718051e-10,1.911024e-09,2.539883e-09,4.880907e-09,7.848994e-09,1.047509e-08,1.899517e-08,1.992640e-08,3.470736e-08,3.923196e-08,5.651100e-08,7.247429e-08,8.718611e-08,1.230259e-07,1.286295e-07,1.826807e-07,1.951577e-07,2.510601e-07,2.928102e-07,3.353479e-07,4.194988e-07,4.369806e-07,5.572501e-07,5.783012e-07,6.972990e-07,7.718441e-07,8.581144e-07,1.002279e-06,1.040521e-06,1.245177e-06,1.271256e-06,1.472569e-06,1.579913e-06,1.723017e-06,1.928877e-06,1.996674e-06,2.293535e-06,2.318283e-06,2.613449e-06,2.747808e-06,2.956123e-06,3.216714e-06,3.321144e-06,3.707986e-06,3.723905e-06,4.116026e-06,4.267976e-06,4.544559e-06,4.847274e-06,4.992810e-06,5.459945e-06,5.945088e-06,6.103989e-06,6.447327e-06,6.777300e-06,6.965725e-06,7.477705e-06,7.499329e-06,8.047179e-06,8.202999e-06,8.608313e-06,8.950971e-06,9.181773e-06,9.719427e-06,9.766611e-06,1.036189e-05,1.050621e-05,1.096670e-05,1.130921e-05,1.158013e-05,1.212639e-05,1.220131e-05,1.282940e-05,1.295577e-05,1.346355e-05,1.379545e-05,1.410298e-05,1.464360e-05,1.474690e-05,1.539458e-05,1.549851e-05,1.604529e-05,1.635851e-05,1.669835e-05,1.722204e-05,1.735309e-05,1.800888e-05,1.808762e-05,1.866512e-05,1.895385e-05,1.932121e-05,1.981941e-05,1.997662e-05,2.063080e-05,2.068307e-05,2.128327e-05,2.154367e-05,2.193354e-05,2.240012e-05,2.258116e-05,2.322571e-05,2.325142e-05,2.386676e-05,2.409662e-05,2.450395e-05,2.493485e-05,2.513691e-05,2.576530e-05,2.638880e-05,2.658724e-05,2.700710e-05,2.739996e-05,2.761993e-05,2.820284e-05,2.822701e-05,2.882811e-05,2.899531e-05,2.942299e-05,2.977684e-05,3.001144e-05,3.054696e-05,3.059326e-05,3.116826e-05,3.130523e-05,3.173629e-05,3.205128e-05,3.229718e-05,3.278476e-05,3.285080e-05,3.339702e-05,3.350536e-05,3.393572e-05,3.421283e-05,3.446679e-05,3.490694e-05,3.499015e-05,3.550571e-05,3.558747e-05,3.601340e-05,3.625428e-05,3.651317e-05,3.690723e-05,3.700495e-05,3.748870e-05,3.754621e-05,3.796439e-05,3.817113e-05,3.843199e-05,3.878195e-05,3.889149e-05,3.934286e-05,3.937862e-05,3.978612e-05,3.996114e-05,4.022125e-05,4.052952e-05,4.064827e-05,4.106719e-05,4.108378e-05,4.147803e-05,4.162396e-05,4.188082e-05,4.215013e-05,4.227559e-05,4.266237e-05,4.316076e-05,4.364540e-05,4.411641e-05,4.457392e-05,4.501807e-05,4.544899e-05,4.586684e-05,4.627178e-05,4.666398e-05,4.704361e-05,4.741086e-05,4.776590e-05,4.810894e-05,4.844015e-05,4.875973e-05,4.906789e-05,4.936483e-05,4.965074e-05,4.992584e-05,5.019033e-05,5.044441e-05,5.068830e-05,5.092219e-05,5.114631e-05
0.000000e+00,1.496157e-15,1.445378e-14,3.789906e-13,3.015992e-12,7.570743e-12,5.135580e-11,5.491560e-11,2.329691e-10,3.274005e-10,7.134937e-10,1.253476e-09,1.762384e-09,3.542795e-09,3.746373e-09,7.138890e-09,8.225392e-09,1.252657e-08,1.667273e-08,2.061312e-08,3.060603e-08,3.221258e-08,4.822106e-08,5.203334e-08,6.955994e-08,8.305506e-08,9.709615e-08,1.255568e-07,1.315618e-07,1.734978e-07,1.809258e-07,2.232347e-07,2.499249e-07,2.809048e-07,3.327347e-07,3.464743e-07,4.197794e-07,4.290843e-07,5.005607e-07,5.383904e-07,5.884903e-07,6.598676e-07,6.831924e-07,7.842591e-07,7.926066e-07,8.912623e-07,9.356276e-07,1.003763e-06,1.087918e-06,1.121317e-06,1.243484e-06,1.248460e-06,1.369828e-06,1.416253e-06,1.499926e-06,1.590327e-06,1.633367e-06,1.769757e-06,1.908720e-06,1.953672e-06,2.049898e-06,2.141260e-06,2.192957e-06,2.331768e-06,2.337579e-06,2.483469e-06,2.524508e-06,2.630352e-06,2.718852e-06,2.777973e-06,2.914232e-06,2.926095e-06,3.074500e-06,3.110137e-06,3.222988e-06,3.306108e-06,3.371375e-06,3.501738e-06,3.519492e-06,3.667186e-06,3.696661e-06,3.814315e-06,3.890557e-06,3.960753e-06,4.083140e-06,4.106382e-06,4.251099e-06,4.274162e-06,4.394806e-06,4.463402e-06,4.537420e-06,4.650670e-06,4.678861e-06,4.819061e-06,4.835799e-06,4.957957e-06,5.018644e-06,5.095494e-06,5.199081e-06,5.231621e-06,5.366295e-06,5.377005e-06,5.499477e-06,5.552325e-06,5.631133e-06,5.724964e-06,5.761234e-06,5.889752e-06,5.894859e-06,6.016666e-06,6.061959e-06,6.141958e-06,6.226221e-06,6.265611e-06,6.387613e-06,6.507953e-06,6.546109e-06,6.626623e-06,6.701694e-06,6.743618e-06,6.854354e-06,6.858934e-06,6.972570e-06,7.004086e-06,7.084523e-06,7.150889e-06,7.194797e-06,7.294768e-06,7.303394e-06,7.410319e-06,7.435732e-06,7.515575e-06,7.573793e-06,7.619171e-06,7.708966e-06,7.721112e-06,7.821408e-06,7.841271e-06,7.920068e-06,7.970728e-06,8.017102e-06,8.097361e-06,8.112520e-06,8.206334e-06,8.221196e-06,8.298555e-06,8.342260e-06,8.389197e-06,8.460581e-06,8.478272e-06,8.565793e-06,8.576191e-06,8.651774e-06,8.689122e-06,8.736230e-06,8.799404e-06,8.819174e-06,8.900622e-06,8.907074e-06,8.980589e-06,9.012164e-06,9.059090e-06,9.114711e-06,9.136140e-06,9.211754e-06,9.214749e-06,9.285950e-06,9.312316e-06,9.358742e-06,9.407448e-06,9.430147e-06,9.500181e-06,9.590553e-06,9.678602e-06,9.764365e-06,9.847880e-06,9.929184e-06,1.000831e-05,1.008531e-05,1.016021e-05,1.023304e-05,1.030385e-05,1.037268e-05,1.043955e-05,1.050451e-05,1.056759e-05,1.062883e-05,1.068826e-05,1.074592e-05,1.080184e-05,1.085606e-05,1.090861e-05,1.095952e-05,1.100883e-05,1.105657e-05,1.110277e-05
0.000000e+00,1.129498e-18,1.303650e-17,4.914377e-16,5.395018e-15,1.609495e-14,1.681841e-13,1.829492e-13,1.165399e-12,1.821942e-12,5.150276e-12,1.107580e-11,1.769543e-11,4.677777e-11,5.059377e-11,1.257731e-10,1.538163e-10,2.801165e-10,4.214951e-10,5.709777e-10,1.005608e-09,1.082076e-09,1.929374e-09,2.151976e-09,3.266446e-09,4.218427e-09,5.288810e-09,7.691580e-09,8.236663e-09,1.239561e-08,1.319486e-08,1.809512e-08,2.148522e-08,2.570472e-08,3.343792e-08,3.562800e-08,4.829489e-08,5.002040e-08,6.415252e-08,7.225774e-08,8.365510e-08,1.011926e-07,1.072535e-07,1.353847e-07,1.378436e-07,1.684620e-07,1.831643e-07,2.068656e-07,2.380063e-07,2.509344e-07,3.009593e-07,3.030877e-07,3.571775e-07,3.789687e-07,4.197687e-07,4.660344e-07,4.888522e-07,5.644863e-07,6.466679e-07,6.743404e-07,7.353349e-07,7.954325e-07,8.303681e-07,9.274297e-07,9.315950e-07,1.038794e-06,1.069845e-06,1.151701e-06,1.222059e-06,1.270011e-06,1.383339e-06,1.393387e-06,1.521467e-06,1.552864e-06,1.653865e-06,1.729744e-06,1.790179e-06,1.913049e-06,1.929999e-06,2.072908e-06,2.101823e-06,2.218488e-06,2.295107e-06,2.366325e-06,2.491955e-06,2.516012e-06,2.667153e-06,2.691444e-06,2.819363e-06,2.892695e-06,2.972275e-06,3.094874e-06,3.125538e-06,3.278821e-06,3.297202e-06,3.431812e-06,3.498959e-06,3.584218e-06,3.699488e-06,3.735769e-06,3.886215e-06,3.898196e-06,4.035327e-06,4.094551e-06,4.182896e-06,4.288084e-06,4.328734e-06,4.472672e-06,4.478388e-06,4.614557e-06,4.665108e-06,4.754258e-06,4.847945e-06,4.891656e-06,5.026650e-06,5.159155e-06,5.201018e-06,5.289096e-06,5.370885e-06,5.416414e-06,5.536126e-06,5.541060e-06,5.662997e-06,5.696650e-06,5.782196e-06,5.852393e-06,5.898638e-06,6.003321e-06,6.012313e-06,6.123217e-06,6.149421e-06,6.231353e-06,6.290703e-06,6.336730e-06,6.427192e-06,6.439364e-06,6.539272e-06,6.558928e-06,6.636478e-06,6.685967e-06,6.731010e-06,6.808372e-06,6.822898e-06,6.912174e-06,6.926218e-06,6.998874e-06,7.039586e-06,7.083036e-06,7.148564e-06,7.164698e-06,7.243903e-06,7.253244e-06,7.320692e-06,7.353724e-06,7.395107e-06,7.450103e-06,7.467194e-06,7.536995e-06,7.542482e-06,7.604556e-06,7.630964e-06,7.669923e-06,7.715653e-06,7.733140e-06,7.794252e-06,7.796653e-06,7.853305e-06,7.874069e-06,7.910344e-06,7.948002e-06,7.965413e-06,8.018556e-06,8.085833e-06,8.149932e-06,8.210951e-06,8.268988e-06,8.324138e-06,8.376493e-06,8.426145e-06,8.473184e-06,8.517695e-06,8.559763e-06,8.599472e-06,8.636902e-06,8.672131e-06,8.705237e-06,8.736292e-06,8.765369e-06,8.792540e-06,8.817870e-06,8.841428e-06,8.863276e-06,8.883478e-06,8.902092e-06,8.919179e-06,8.934794e-06
0.000000e+00,6.523255e-17,7.157491e-16,2.427626e-14,2.420168e-13,6.847951e-13,6.243156e-12,6.753758e-12,3.760750e-11,5.669738e-11,1.463808e-10,2.927637e-10,4.463265e-10,1.064182e-09,1.141057e-09,2.555400e-09,3.051159e-09,5.164235e-09,7.381089e-09,9.616210e-09,1.571800e-08,1.674734e-08,2.757843e-08,3.029031e-08,4.329283e-08,5.382426e-08,6.519652e-08,8.938555e-08,9.466694e-08,1.330990e-07,1.401717e-07,1.818549e-07,2.093063e-07,2.422213e-07,2.996705e-07,3.153771e-07,4.023691e-07,4.137823e-07,5.040969e-07,5.537227e-07,6.213038e-07,7.210982e-07,7.545730e-07,9.043289e-07,9.170307e-07,1.070841e-06,1.142170e-06,1.254233e-06,1.396722e-06,1.454487e-06,1.671462e-06,1.680485e-06,1.904899e-06,1.992901e-06,2.154441e-06,2.333103e-06,2.419639e-06,2.699971e-06,2.994852e-06,3.092183e-06,3.303645e-06,3.508264e-06,3.625677e-06,3.946630e-06,3.960244e-06,4.306623e-06,4.405625e-06,4.664078e-06,4.883561e-06,5.031871e-06,5.378736e-06,5.409264e-06,5.795525e-06,5.889467e-06,6.189935e-06,6.414099e-06,6.591786e-06,6.951025e-06,7.000392e-06,7.415081e-06,7.498692e-06,7.835206e-06,8.055611e-06,8.260141e-06,8.620361e-06,8.689282e-06,9.122049e-06,9.191591e-06,9.557888e-06,9.768024e-06,9.996266e-06,1.034845e-05,1.043667e-05,1.087863e-05,1.093175e-05,1.132167e-05,1.151684e-05,1.176536e-05,1.210273e-05,1.220927e-05,1.265302e-05,1.268850e-05,1.309623e-05,1.327329e-05,1.353855e-05,1.385628e-05,1.397965e-05,1.441920e-05,1.443674e-05,1.485691e-05,1.501398e-05,1.529250e-05,1.558736e-05,1.572571e-05,1.615630e-05,1.658404e-05,1.672027e-05,1.700870e-05,1.727877e-05,1.743009e-05,1.783137e-05,1.784802e-05,1.826232e-05,1.837765e-05,1.867282e-05,1.891724e-05,1.907938e-05,1.944982e-05,1.948186e-05,1.988014e-05,1.997508e-05,2.027409e-05,2.049277e-05,2.066361e-05,2.100265e-05,2.104860e-05,2.142898e-05,2.150450e-05,2.180467e-05,2.199815e-05,2.217560e-05,2.248345e-05,2.254170e-05,2.290292e-05,2.296026e-05,2.325921e-05,2.342847e-05,2.361053e-05,2.388798e-05,2.395684e-05,2.429812e-05,2.433874e-05,2.463434e-05,2.478067e-05,2.496548e-05,2.521374e-05,2.529153e-05,2.561248e-05,2.563794e-05,2.592833e-05,2.605324e-05,2.623908e-05,2.645966e-05,2.654473e-05,2.684529e-05,2.685721e-05,2.714078e-05,2.724591e-05,2.743120e-05,2.762581e-05,2.771659e-05,2.799695e-05,2.835938e-05,2.871317e-05,2.905839e-05,2.939512e-05,2.972344e-05,3.004344e-05,3.035521e-05,3.065886e-05,3.095447e-05,3.124217e-05,3.152206e-05,3.179425e-05,3.205885e-05,3.231599e-05,3.256578e-05,3.280833e-05,3.304379e-05,3.327225e-05,3.349386e-05,3.370873e-05,3.391698e-05,3.411874e-05,3.431414e-05,3.450329e-05
0.000000e+00,5.367325e-16,5.116499e-15,1.307054e-13,1.017717e-12,2.526373e-12,1.669933e-11,1.783969e-11,7.409563e-11,1.036134e-10,2.233387e-10,3.895070e-10,5.454182e-10,1.088022e-09,1.149847e-09,2.173856e-09,2.499144e-09,3.772913e-09,4.978900e-09,6.105310e-09,8.881764e-09,9.318258e-09,1.354043e-08,1.451584e-08,1.888003e-08,2.212832e-08,2.542541e-08,3.190666e-08,3.324597e-08,4.239280e-08,4.398184e-08,5.289907e-08,5.843022e-08,6.478053e-08,7.527584e-08,7.803641e-08,9.265064e-08,9.449435e-08,1.085936e-07,1.160191e-07,1.258238e-07,1.397487e-07,1.442904e-07,1.639349e-07,1.655555e-07,1.846935e-07,1.932939e-07,2.064987e-07,2.228075e-07,2.292810e-07,2.529705e-07,2.539360e-07,2.774979e-07,2.865197e-07,3.027952e-07,3.204036e-07,3.287969e-07,3.554402e-07,3.826652e-07,3.914908e-07,4.104155e-07,4.284266e-07,4.386379e-07,4.661292e-07,4.672825e-07,4.963031e-07,5.044902e-07,5.256563e-07,5.434112e-07,5.553021e-07,5.828026e-07,5.852033e-07,6.153254e-07,6.225840e-07,6.456366e-07,6.626823e-07,6.761073e-07,7.030319e-07,7.067104e-07,7.374208e-07,7.435737e-07,7.682152e-07,7.842542e-07,7.990720e-07,8.250255e-07,8.299715e-07,8.608953e-07,8.658442e-07,8.918264e-07,9.066712e-07,9.227490e-07,9.474712e-07,9.536486e-07,9.845118e-07,9.882123e-07,1.015326e-06,1.028866e-06,1.046079e-06,1.069405e-06,1.076762e-06,1.107363e-06,1.109807e-06,1.137873e-06,1.150050e-06,1.168284e-06,1.190114e-06,1.198588e-06,1.228778e-06,1.229983e-06,1.258845e-06,1.269639e-06,1.288786e-06,1.309069e-06,1.318592e-06,1.348259e-06,1.377781e-06,1.387197e-06,1.407155e-06,1.425873e-06,1.436374e-06,1.464277e-06,1.465436e-06,1.494337e-06,1.502400e-06,1.523073e-06,1.540233e-06,1.551640e-06,1.577771e-06,1.580036e-06,1.608259e-06,1.615006e-06,1.636305e-06,1.651933e-06,1.664172e-06,1.688546e-06,1.691858e-06,1.719362e-06,1.724841e-06,1.746681e-06,1.760814e-06,1.773814e-06,1.796461e-06,1.800760e-06,1.827516e-06,1.831780e-06,1.854083e-06,1.866767e-06,1.880459e-06,1.901421e-06,1.906642e-06,1.932634e-06,1.935740e-06,1.958432e-06,1.969721e-06,1.984036e-06,2.003365e-06,2.009445e-06,2.034660e-06,2.036669e-06,2.059680e-06,2.069634e-06,2.084506e-06,2.102259e-06,2.109135e-06,2.133570e-06,2.134543e-06,2.157810e-06,2.166488e-06,2.181854e-06,2.198093e-06,2.205704e-06,2.229359e-06,2.260286e-06,2.290876e-06,2.321129e-06,2.351047e-06,2.380631e-06,2.409883e-06,2.438803e-06,2.467394e-06,2.495658e-06,2.523596e-06,2.551210e-06,2.578503e-06,2.605477e-06,2.632133e-06,2.658474e-06,2.684503e-06,2.710222e-06,2.735633e-06,2.760739e-06,2.785542e-06,2.810045e-06,2.834250e-06,2.858161e-06,2.881779e-06
0.000000e+00,1.187634e-13,5.736467e-13,4.984628e-12,1.903744e-11,3.450774e-11,1.208411e-10,1.263435e-10,3.355326e-10,4.246578e-10,7.355267e-10,1.105212e-09,1.420072e-09,2.399951e-09,2.504499e-09,4.124144e-09,4.608850e-09,6.426974e-09,8.069865e-09,9.558389e-09,1.309778e-08,1.364113e-08,1.875984e-08,1.991240e-08,2.495808e-08,2.861204e-08,3.224544e-08,3.919848e-08,4.060754e-08,5.001419e-08,5.161359e-08,6.042494e-08,6.576515e-08,7.179284e-08,8.154210e-08,8.406685e-08,9.719366e-08,9.882361e-08,1.111189e-07,1.174850e-07,1.257885e-07,1.374021e-07,1.411487e-07,1.571478e-07,1.584538e-07,1.737354e-07,1.805244e-07,1.908635e-07,2.035047e-07,2.084864e-07,2.265610e-07,2.272928e-07,2.450464e-07,2.517943e-07,2.639045e-07,2.769225e-07,2.830994e-07,3.025976e-07,3.223680e-07,3.287472e-07,3.423815e-07,3.553051e-07,3.626110e-07,3.822114e-07,3.830316e-07,4.036198e-07,4.094116e-07,4.243541e-07,4.368563e-07,4.452143e-07,4.645009e-07,4.661819e-07,4.872396e-07,4.923050e-07,5.083714e-07,5.202320e-07,5.295625e-07,5.482488e-07,5.507992e-07,5.720687e-07,5.763255e-07,5.933593e-07,6.044351e-07,6.146601e-07,6.325531e-07,6.359609e-07,6.572523e-07,6.606575e-07,6.785258e-07,6.887282e-07,6.997732e-07,7.167473e-07,7.209871e-07,7.421606e-07,7.446984e-07,7.632874e-07,7.725668e-07,7.843615e-07,8.003393e-07,8.053775e-07,8.263304e-07,8.280037e-07,8.472154e-07,8.555495e-07,8.680283e-07,8.829667e-07,8.887651e-07,9.094221e-07,9.102467e-07,9.299959e-07,9.373815e-07,9.504834e-07,9.643641e-07,9.708817e-07,9.911882e-07,1.011401e-06,1.017848e-06,1.031516e-06,1.044339e-06,1.051534e-06,1.070656e-06,1.071451e-06,1.091266e-06,1.096795e-06,1.110977e-06,1.122753e-06,1.130583e-06,1.148527e-06,1.150083e-06,1.169476e-06,1.174114e-06,1.188760e-06,1.199512e-06,1.207935e-06,1.224718e-06,1.227000e-06,1.245954e-06,1.249732e-06,1.264797e-06,1.274551e-06,1.283528e-06,1.299175e-06,1.302146e-06,1.320652e-06,1.323602e-06,1.339044e-06,1.347832e-06,1.357324e-06,1.371865e-06,1.375489e-06,1.393542e-06,1.395700e-06,1.411480e-06,1.419337e-06,1.429305e-06,1.442777e-06,1.447017e-06,1.464615e-06,1.466018e-06,1.482100e-06,1.489062e-06,1.499471e-06,1.511909e-06,1.516730e-06,1.533876e-06,1.534559e-06,1.550909e-06,1.557014e-06,1.567831e-06,1.579273e-06,1.584640e-06,1.601339e-06,1.623210e-06,1.644890e-06,1.666378e-06,1.687676e-06,1.708785e-06,1.729706e-06,1.750440e-06,1.770990e-06,1.791355e-06,1.811538e-06,1.831539e-06,1.851361e-06,1.871005e-06,1.890473e-06,1.909765e-06,1.928883e-06,1.947829e-06,1.966605e-06,1.985212e-06,2.003652e-06,2.021925e-06,2.040035e-06,2.057982e-06,2.075768e-06
0.000000e+00,1.568932e-15,1.459706e-14,3.558099e-13,2.665651e-12,6.489761e-12,4.102630e-11,4.375589e-11,1.752911e-10,2.430442e-10,5.139988e-10,8.848563e-10,1.230025e-09,2.422361e-09,2.557809e-09,4.800899e-09,5.514986e-09,8.323873e-09,1.100309e-08,1.352182e-08,1.978589e-08,2.077670e-08,3.042301e-08,3.266441e-08,4.273454e-08,5.026356e-08,5.792718e-08,7.303874e-08,7.616766e-08,9.758166e-08,1.013089e-07,1.222591e-07,1.352814e-07,1.502571e-07,1.750649e-07,1.816018e-07,2.162896e-07,2.206756e-07,2.542885e-07,2.720428e-07,2.955402e-07,3.290173e-07,3.399626e-07,3.874522e-07,3.913804e-07,4.378877e-07,4.588566e-07,4.911328e-07,5.311264e-07,5.470398e-07,6.054528e-07,6.078391e-07,6.662101e-07,6.886250e-07,7.291475e-07,7.731062e-07,7.941005e-07,8.609060e-07,9.294045e-07,9.516561e-07,9.994409e-07,1.045002e-06,1.070866e-06,1.140607e-06,1.143536e-06,1.217316e-06,1.238156e-06,1.292077e-06,1.337353e-06,1.367696e-06,1.437926e-06,1.444060e-06,1.521060e-06,1.539624e-06,1.598599e-06,1.642220e-06,1.676581e-06,1.745504e-06,1.754921e-06,1.833539e-06,1.849289e-06,1.912359e-06,1.953402e-06,1.991312e-06,2.057690e-06,2.070336e-06,2.149371e-06,2.162013e-06,2.228362e-06,2.266248e-06,2.307260e-06,2.370280e-06,2.386019e-06,2.464595e-06,2.474010e-06,2.542950e-06,2.577347e-06,2.621048e-06,2.680210e-06,2.698856e-06,2.776342e-06,2.782527e-06,2.853480e-06,2.884232e-06,2.930244e-06,2.985268e-06,3.006609e-06,3.082555e-06,3.085583e-06,3.158061e-06,3.185132e-06,3.233110e-06,3.283873e-06,3.307684e-06,3.381770e-06,3.455352e-06,3.478790e-06,3.528419e-06,3.574906e-06,3.600959e-06,3.670092e-06,3.672962e-06,3.744418e-06,3.764327e-06,3.815320e-06,3.857591e-06,3.885659e-06,3.949868e-06,3.955428e-06,4.024623e-06,4.041143e-06,4.093237e-06,4.131405e-06,4.161266e-06,4.220644e-06,4.228705e-06,4.295552e-06,4.308850e-06,4.361804e-06,4.396018e-06,4.427457e-06,4.482142e-06,4.492511e-06,4.556962e-06,4.567219e-06,4.620812e-06,4.651245e-06,4.684057e-06,4.734219e-06,4.746699e-06,4.808737e-06,4.816141e-06,4.870172e-06,4.897012e-06,4.931003e-06,4.976832e-06,4.991232e-06,5.050859e-06,5.055604e-06,5.109887e-06,5.133330e-06,5.168316e-06,5.210016e-06,5.226149e-06,5.283387e-06,5.285664e-06,5.340032e-06,5.360280e-06,5.396087e-06,5.433869e-06,5.451555e-06,5.506437e-06,5.577991e-06,5.648537e-06,5.718082e-06,5.786634e-06,5.854200e-06,5.920789e-06,5.986409e-06,6.051069e-06,6.114777e-06,6.177542e-06,6.239373e-06,6.300280e-06,6.360273e-06,6.419360e-06,6.477551e-06,6.534856e-06,6.591285e-06,6.646848e-06,6.701554e-06,6.755414e-06,6.808438e-06,6.860635e-06,6.912016e-06,6.962590e-06
0.000000e+00,1.475012e-14,1.244877e-13,2.528305e-12,1.640187e-11,3.721229e-11,2.010071e-10,2.131604e-10,7.534541e-10,1.013879e-09,2.001123e-09,3.275012e-09,4.413587e-09,8.145466e-09,8.555521e-09,1.509244e-08,1.710019e-08,2.478379e-08,3.189980e-08,3.847157e-08,5.453879e-08,5.705863e-08,8.147387e-08,8.713741e-08,1.126309e-07,1.317859e-07,1.513921e-07,1.904077e-07,1.985466e-07,2.547999e-07,2.646873e-07,3.207697e-07,3.560452e-07,3.969847e-07,4.656311e-07,4.838836e-07,5.818154e-07,5.943219e-07,6.910394e-07,7.427227e-07,8.117272e-07,9.111732e-07,9.439654e-07,1.087760e-06,1.099761e-06,1.243042e-06,1.308341e-06,1.409671e-06,1.536560e-06,1.587446e-06,1.776110e-06,1.783879e-06,1.975357e-06,2.049611e-06,2.184840e-06,2.332941e-06,2.404176e-06,2.632956e-06,2.870749e-06,2.948673e-06,3.117106e-06,3.279056e-06,3.371567e-06,3.623040e-06,3.633665e-06,3.902930e-06,3.979544e-06,4.178892e-06,4.347489e-06,4.461084e-06,4.725806e-06,4.749044e-06,5.042318e-06,5.113445e-06,5.340462e-06,5.509387e-06,5.643040e-06,5.912642e-06,5.949631e-06,6.259825e-06,6.322261e-06,6.573224e-06,6.737330e-06,6.889445e-06,7.156982e-06,7.208120e-06,7.528892e-06,7.580387e-06,7.851422e-06,8.006764e-06,8.175382e-06,8.435370e-06,8.500461e-06,8.826359e-06,8.865509e-06,9.152793e-06,9.296522e-06,9.479489e-06,9.727796e-06,9.806192e-06,1.013265e-05,1.015875e-05,1.045864e-05,1.058886e-05,1.078394e-05,1.101761e-05,1.110834e-05,1.143164e-05,1.144454e-05,1.175365e-05,1.186923e-05,1.207420e-05,1.229126e-05,1.239313e-05,1.271028e-05,1.302551e-05,1.312595e-05,1.333867e-05,1.353796e-05,1.364965e-05,1.394602e-05,1.395832e-05,1.426457e-05,1.434988e-05,1.456831e-05,1.474930e-05,1.486943e-05,1.514408e-05,1.516785e-05,1.546348e-05,1.553401e-05,1.575626e-05,1.591895e-05,1.604612e-05,1.629872e-05,1.633299e-05,1.661681e-05,1.667321e-05,1.689755e-05,1.704229e-05,1.717514e-05,1.740587e-05,1.744956e-05,1.772077e-05,1.776386e-05,1.798873e-05,1.811619e-05,1.825342e-05,1.846280e-05,1.851482e-05,1.877290e-05,1.880365e-05,1.902766e-05,1.913870e-05,1.927908e-05,1.946793e-05,1.952716e-05,1.977188e-05,1.979131e-05,2.001325e-05,2.010886e-05,2.025127e-05,2.042057e-05,2.048594e-05,2.071727e-05,2.072645e-05,2.094526e-05,2.102652e-05,2.116993e-05,2.132081e-05,2.139129e-05,2.160935e-05,2.189217e-05,2.216931e-05,2.244083e-05,2.270678e-05,2.296721e-05,2.322217e-05,2.347173e-05,2.371597e-05,2.395493e-05,2.418870e-05,2.441734e-05,2.464093e-05,2.485954e-05,2.507325e-05,2.528214e-05,2.548628e-05,2.568576e-05,2.588065e-05,2.607104e-05,2.625700e-05,2.643861e-05,2.661596e-05,2.678912e-05,2.695818e-05
0.000000e+00,2.893110e-16,2.995016e-15,9.015663e-14,8.083946e-13,2.160599e-12,1.707258e-11,1.836430e-11,8.935940e-11,1.300394e-10,3.079906e-10,5.761121e-10,8.419969e-10,1.834507e-09,1.952523e-09,4.008374e-09,4.693951e-09,7.496523e-09,1.029797e-08,1.302721e-08,2.015929e-08,2.132820e-08,3.322079e-08,3.610663e-08,4.957470e-08,6.012916e-08,7.124905e-08,9.414894e-08,9.903495e-08,1.336130e-07,1.398144e-07,1.755311e-07,1.983845e-07,2.251997e-07,2.707077e-07,2.828997e-07,3.487951e-07,3.572572e-07,4.229474e-07,4.581862e-07,5.053300e-07,5.733845e-07,5.958403e-07,6.943120e-07,7.025274e-07,8.005244e-07,8.451188e-07,9.142128e-07,1.000530e-06,1.035076e-06,1.162786e-06,1.168032e-06,1.296992e-06,1.346827e-06,1.437330e-06,1.536073e-06,1.583428e-06,1.734907e-06,1.891391e-06,1.942462e-06,2.052506e-06,2.157880e-06,2.217885e-06,2.380326e-06,2.387168e-06,2.560007e-06,2.608993e-06,2.736065e-06,2.843109e-06,2.915016e-06,3.081939e-06,3.096550e-06,3.280366e-06,3.324790e-06,3.466182e-06,3.571009e-06,3.653724e-06,3.819985e-06,3.842736e-06,4.032973e-06,4.071146e-06,4.224203e-06,4.323961e-06,4.416206e-06,4.577936e-06,4.608778e-06,4.801721e-06,4.832614e-06,4.994853e-06,5.087572e-06,5.188001e-06,5.342421e-06,5.381002e-06,5.573704e-06,5.596801e-06,5.765964e-06,5.850384e-06,5.957649e-06,6.102868e-06,6.148635e-06,6.338803e-06,6.353978e-06,6.528046e-06,6.603461e-06,6.716262e-06,6.851089e-06,6.903358e-06,7.089245e-06,7.096654e-06,7.273844e-06,7.339969e-06,7.457078e-06,7.580864e-06,7.638881e-06,7.819186e-06,7.997938e-06,8.054801e-06,8.175081e-06,8.287586e-06,8.350567e-06,8.517434e-06,8.524352e-06,8.696395e-06,8.744250e-06,8.866660e-06,8.967952e-06,9.035115e-06,9.188469e-06,9.201730e-06,9.366479e-06,9.405738e-06,9.529339e-06,9.619708e-06,9.690291e-06,9.830336e-06,9.849317e-06,1.000640e-05,1.003759e-05,1.016154e-05,1.024143e-05,1.031471e-05,1.044185e-05,1.046591e-05,1.061514e-05,1.063883e-05,1.076239e-05,1.083236e-05,1.090766e-05,1.102244e-05,1.105094e-05,1.119225e-05,1.120907e-05,1.133158e-05,1.139226e-05,1.146894e-05,1.157201e-05,1.160433e-05,1.173775e-05,1.174834e-05,1.186923e-05,1.192128e-05,1.199876e-05,1.209083e-05,1.212636e-05,1.225203e-05,1.225702e-05,1.237579e-05,1.241988e-05,1.249765e-05,1.257944e-05,1.261763e-05,1.273573e-05,1.288878e-05,1.303862e-05,1.318530e-05,1.332884e-05,1.346929e-05,1.360668e-05,1.374107e-05,1.387247e-05,1.400095e-05,1.412654e-05,1.424928e-05,1.436922e-05,1.448639e-05,1.460086e-05,1.471265e-05,1.482181e-05,1.492838e-05,1.503242e-05,1.513395e-05,1.523304e-05,1.532971e-05,1.542401e-05,1.551599e-05,1.560568e-05
0.000000e+00,5.690227e-17,6.415978e-16,2.300925e-14,2.413080e-13,7.019972e-13,6.873855e-12,7.457621e-12,4.456009e-11,6.847350e-11,1.854417e-10,3.854456e-10,6.025110e-10,1.518797e-09,1.636214e-09,3.880727e-09,4.695812e-09,8.281453e-09,1.218707e-08,1.623511e-08,2.769610e-08,2.967694e-08,5.113606e-08,5.665526e-08,8.374423e-08,1.063121e-07,1.311934e-07,1.855542e-07,1.976466e-07,2.876162e-07,3.045075e-07,4.058243e-07,4.740016e-07,5.570587e-07,7.050002e-07,7.460359e-07,9.772776e-07,1.008071e-06,1.255005e-06,1.392936e-06,1.583055e-06,1.868127e-06,1.964808e-06,2.403143e-06,2.440728e-06,2.900403e-06,3.116225e-06,3.458377e-06,3.898424e-06,4.078294e-06,4.760833e-06,4.789441e-06,5.506137e-06,5.789755e-06,6.313839e-06,6.898307e-06,7.183097e-06,8.112630e-06,9.100761e-06,9.429016e-06,1.014546e-05,1.084269e-05,1.124440e-05,1.234800e-05,1.239498e-05,1.359440e-05,1.393859e-05,1.483969e-05,1.560759e-05,1.612774e-05,1.734778e-05,1.745537e-05,1.881932e-05,1.915172e-05,2.021635e-05,2.101191e-05,2.164318e-05,2.292089e-05,2.309660e-05,2.457342e-05,2.487132e-05,2.607054e-05,2.685606e-05,2.758495e-05,2.886827e-05,2.911372e-05,3.065403e-05,3.090137e-05,3.220320e-05,3.294919e-05,3.375864e-05,3.500586e-05,3.531791e-05,3.687866e-05,3.706595e-05,3.843871e-05,3.912436e-05,3.999596e-05,4.117640e-05,4.154846e-05,4.309440e-05,4.321774e-05,4.463205e-05,4.524442e-05,4.615981e-05,4.725285e-05,4.767622e-05,4.917989e-05,4.923975e-05,5.066955e-05,5.120218e-05,5.214405e-05,5.313749e-05,5.360230e-05,5.504332e-05,5.646623e-05,5.691760e-05,5.787021e-05,5.875849e-05,5.925455e-05,6.056441e-05,6.061857e-05,6.196170e-05,6.233397e-05,6.328343e-05,6.406600e-05,6.458330e-05,6.575954e-05,6.586093e-05,6.711596e-05,6.741378e-05,6.834813e-05,6.902807e-05,6.955721e-05,7.060193e-05,7.074299e-05,7.190535e-05,7.213500e-05,7.304417e-05,7.362704e-05,7.415941e-05,7.507795e-05,7.525102e-05,7.631902e-05,7.648772e-05,7.736345e-05,7.785642e-05,7.838437e-05,7.918424e-05,7.938187e-05,8.035607e-05,8.047141e-05,8.130711e-05,8.171827e-05,8.223515e-05,8.292520e-05,8.314038e-05,8.402298e-05,8.409262e-05,8.488318e-05,8.522104e-05,8.572121e-05,8.631099e-05,8.653730e-05,8.733171e-05,8.736304e-05,8.810471e-05,8.837780e-05,8.885657e-05,8.935591e-05,8.958759e-05,9.029804e-05,9.120486e-05,9.207710e-05,9.291545e-05,9.372066e-05,9.449347e-05,9.523463e-05,9.594489e-05,9.662499e-05,9.727571e-05,9.789779e-05,9.849198e-05,9.905903e-05,9.959968e-05,1.001147e-04,1.006047e-04,1.010706e-04,1.015129e-04,1.019325e-04,1.023299e-04,1.027059e-04,1.030612e-04,1.033963e-04,1.037120e-04,1.040088e-04
0.000000e+00,3.553683e-12,1.332782e-11,8.732558e-11,2.925202e-10,5.058383e-10,1.641412e-09,1.712538e-09,4.391704e-09,5.530582e-09,9.522020e-09,1.431741e-08,1.843904e-08,3.139995e-08,3.278892e-08,5.427708e-08,6.066769e-08,8.438500e-08,1.054601e-07,1.242894e-07,1.682537e-07,1.749227e-07,2.370439e-07,2.509039e-07,3.112798e-07,3.548449e-07,3.981435e-07,4.811676e-07,4.980405e-07,6.112699e-07,6.306383e-07,7.380250e-07,8.037020e-07,8.783956e-07,1.000492e-06,1.032372e-06,1.199849e-06,1.220846e-06,1.380638e-06,1.464336e-06,1.574470e-06,1.730302e-06,1.781011e-06,1.999866e-06,2.017893e-06,2.230594e-06,2.326103e-06,2.472715e-06,2.653809e-06,2.725716e-06,2.989066e-06,2.999807e-06,3.262216e-06,3.362842e-06,3.544611e-06,3.741634e-06,3.835690e-06,4.134897e-06,4.441677e-06,4.541357e-06,4.755486e-06,4.959764e-06,5.075788e-06,5.388903e-06,5.402062e-06,5.733800e-06,5.827599e-06,6.070510e-06,6.274722e-06,6.411712e-06,6.729190e-06,6.756946e-06,7.105767e-06,7.189971e-06,7.457750e-06,7.656089e-06,7.812486e-06,8.126619e-06,8.169583e-06,8.528667e-06,8.600690e-06,8.889379e-06,9.077479e-06,9.251378e-06,9.556212e-06,9.614337e-06,9.977946e-06,1.003616e-05,1.034191e-05,1.051665e-05,1.070595e-05,1.099705e-05,1.106979e-05,1.143319e-05,1.147675e-05,1.179590e-05,1.195522e-05,1.215770e-05,1.243193e-05,1.251838e-05,1.287773e-05,1.290641e-05,1.323556e-05,1.337822e-05,1.359169e-05,1.384695e-05,1.394595e-05,1.429819e-05,1.431223e-05,1.464825e-05,1.477371e-05,1.499599e-05,1.523107e-05,1.534129e-05,1.568402e-05,1.602407e-05,1.613230e-05,1.636133e-05,1.657567e-05,1.669571e-05,1.701391e-05,1.702710e-05,1.735544e-05,1.744681e-05,1.768063e-05,1.787421e-05,1.800261e-05,1.829594e-05,1.832132e-05,1.863669e-05,1.871187e-05,1.894867e-05,1.912187e-05,1.925720e-05,1.952583e-05,1.956225e-05,1.986378e-05,1.992366e-05,2.016175e-05,2.031528e-05,2.045613e-05,2.070062e-05,2.074690e-05,2.103402e-05,2.107962e-05,2.131749e-05,2.145225e-05,2.159728e-05,2.181846e-05,2.187338e-05,2.214579e-05,2.217823e-05,2.241450e-05,2.253156e-05,2.267950e-05,2.287843e-05,2.294080e-05,2.319839e-05,2.321884e-05,2.345228e-05,2.355280e-05,2.370248e-05,2.388033e-05,2.394898e-05,2.419182e-05,2.420145e-05,2.443099e-05,2.451619e-05,2.466651e-05,2.482458e-05,2.489839e-05,2.512666e-05,2.542247e-05,2.571206e-05,2.599547e-05,2.627277e-05,2.654400e-05,2.680924e-05,2.706853e-05,2.732195e-05,2.756957e-05,2.781145e-05,2.804766e-05,2.827827e-05,2.850336e-05,2.872301e-05,2.893728e-05,2.914626e-05,2.935002e-05,2.954865e-05,2.974220e-05,2.993078e-05,3.011445e-05,3.029329e-05,3.046738e-05,3.063681e-05
0.000000e+00,1.094440e-18,1.286607e-17,5.074063e-16,5.811902e-15,1.775481e-14,1.974987e-13,2.153925e-13,1.462521e-12,2.327153e-12,6.880502e-12,1.535277e-11,2.513261e-11,7.020378e-11,7.629161e-11,2.010871e-10,2.493512e-10,4.742025e-10,7.363199e-10,1.022093e-09,1.888715e-09,2.045540e-09,3.846846e-09,4.336028e-09,6.861234e-09,9.100568e-09,1.169162e-08,1.773647e-08,1.914551e-08,3.027251e-08,3.247822e-08,4.640075e-08,5.638762e-08,6.917035e-08,9.348692e-08,1.005622e-07,1.429207e-07,1.488659e-07,1.989682e-07,2.287527e-07,2.718122e-07,3.405400e-07,3.649415e-07,4.822134e-07,4.927617e-07,6.278314e-07,6.950178e-07,8.063131e-07,9.578489e-07,1.022448e-06,1.281249e-06,1.292561e-06,1.587893e-06,1.711013e-06,1.947662e-06,2.225363e-06,2.365872e-06,2.847802e-06,3.398627e-06,3.590264e-06,4.023340e-06,4.464133e-06,4.726680e-06,5.479966e-06,5.513068e-06,6.386540e-06,6.647219e-06,7.350687e-06,7.974008e-06,8.408602e-06,9.466900e-06,9.562833e-06,1.081534e-05,1.113073e-05,1.216749e-05,1.296850e-05,1.361998e-05,1.498124e-05,1.517287e-05,1.682559e-05,1.716801e-05,1.857687e-05,1.952589e-05,2.042483e-05,2.205001e-05,2.236695e-05,2.440011e-05,2.473363e-05,2.652063e-05,2.756828e-05,2.872426e-05,3.054387e-05,3.100630e-05,3.336158e-05,3.364888e-05,3.578452e-05,3.687054e-05,3.826920e-05,4.019503e-05,4.080940e-05,4.339863e-05,4.360769e-05,4.603023e-05,4.709322e-05,4.869739e-05,5.063589e-05,5.139320e-05,5.411072e-05,5.421977e-05,5.684299e-05,5.782890e-05,5.958313e-05,6.144745e-05,6.232434e-05,6.505995e-05,6.778346e-05,6.865139e-05,7.048857e-05,7.220738e-05,7.316923e-05,7.571427e-05,7.581964e-05,7.843425e-05,7.915922e-05,8.100787e-05,8.253030e-05,8.353557e-05,8.581656e-05,8.601278e-05,8.843525e-05,8.900806e-05,9.079910e-05,9.209591e-05,9.310077e-05,9.507227e-05,9.533708e-05,9.750517e-05,9.793037e-05,9.960254e-05,1.006645e-04,1.016270e-04,1.032699e-04,1.035768e-04,1.054504e-04,1.057430e-04,1.072465e-04,1.080809e-04,1.089643e-04,1.102818e-04,1.106033e-04,1.121629e-04,1.123448e-04,1.136433e-04,1.142696e-04,1.150445e-04,1.160568e-04,1.163670e-04,1.176114e-04,1.177076e-04,1.187785e-04,1.192239e-04,1.198693e-04,1.206081e-04,1.208850e-04,1.218269e-04,1.218630e-04,1.226965e-04,1.229921e-04,1.234953e-04,1.239991e-04,1.242252e-04,1.248879e-04,1.256629e-04,1.263285e-04,1.268896e-04,1.273508e-04,1.277171e-04,1.279935e-04,1.281849e-04,1.282962e-04,1.283323e-04,1.282982e-04,1.281985e-04,1.280379e-04,1.278208e-04,1.275517e-04,1.272349e-04,1.268743e-04,1.264739e-04,1.260374e-04,1.255685e-04,1.250705e-04,1.245467e-04,1.240000e-04,1.234334e-04,1.228497e-04
0.000000e+00,2.734901e-12,1.009569e-11,6.537933e-11,2.198571e-10,3.828638e-10,1.285553e-09,1.343786e-09,3.646728e-09,4.676073e-09,8.427617e-09,1.308253e-08,1.711663e-08,2.966250e-08,3.098631e-08,5.095367e-08,5.673051e-08,7.768315e-08,9.580492e-08,1.117000e-07,1.480146e-07,1.534450e-07,2.032932e-07,2.142638e-07,2.615561e-07,2.952626e-07,3.284792e-07,3.915176e-07,4.042379e-07,4.889362e-07,5.033207e-07,5.826068e-07,6.307476e-07,6.852140e-07,7.736697e-07,7.966589e-07,9.167853e-07,9.317746e-07,1.045387e-06,1.104594e-06,1.182216e-06,1.291534e-06,1.326988e-06,1.479392e-06,1.491905e-06,1.639097e-06,1.704945e-06,1.805754e-06,1.929852e-06,1.979007e-06,2.158494e-06,2.165798e-06,2.343851e-06,2.411946e-06,2.534715e-06,2.667467e-06,2.730731e-06,2.931544e-06,3.136813e-06,3.203385e-06,3.346202e-06,3.482222e-06,3.559386e-06,3.767322e-06,3.776051e-06,3.995894e-06,4.057979e-06,4.218622e-06,4.353526e-06,4.443954e-06,4.653328e-06,4.671621e-06,4.901364e-06,4.956784e-06,5.132937e-06,5.263328e-06,5.366103e-06,5.572428e-06,5.600637e-06,5.836323e-06,5.883581e-06,6.072959e-06,6.196319e-06,6.310347e-06,6.510201e-06,6.548305e-06,6.786654e-06,6.824816e-06,7.025230e-06,7.139780e-06,7.263873e-06,7.454735e-06,7.502434e-06,7.740770e-06,7.769349e-06,7.978747e-06,8.083311e-06,8.216239e-06,8.396334e-06,8.453126e-06,8.689294e-06,8.708154e-06,8.924638e-06,9.018522e-06,9.159057e-06,9.327214e-06,9.392458e-06,9.624751e-06,9.634018e-06,9.855854e-06,9.938744e-06,1.008569e-05,1.024122e-05,1.031418e-05,1.054127e-05,1.076688e-05,1.083876e-05,1.099097e-05,1.113355e-05,1.121346e-05,1.142552e-05,1.143433e-05,1.165350e-05,1.171457e-05,1.187095e-05,1.200058e-05,1.208664e-05,1.228348e-05,1.230052e-05,1.251256e-05,1.256318e-05,1.272274e-05,1.283961e-05,1.293102e-05,1.311271e-05,1.313738e-05,1.334179e-05,1.338244e-05,1.354424e-05,1.364873e-05,1.374471e-05,1.391156e-05,1.394318e-05,1.413965e-05,1.417089e-05,1.433409e-05,1.442670e-05,1.452649e-05,1.467895e-05,1.471686e-05,1.490518e-05,1.492764e-05,1.509145e-05,1.517275e-05,1.527566e-05,1.541429e-05,1.545782e-05,1.563791e-05,1.565223e-05,1.581596e-05,1.588660e-05,1.599194e-05,1.611739e-05,1.616588e-05,1.633777e-05,1.634460e-05,1.650762e-05,1.656826e-05,1.667543e-05,1.678838e-05,1.684121e-05,1.700496e-05,1.721805e-05,1.742764e-05,1.763377e-05,1.783647e-05,1.803576e-05,1.823166e-05,1.842422e-05,1.861346e-05,1.879941e-05,1.898211e-05,1.916159e-05,1.933789e-05,1.951104e-05,1.968109e-05,1.984806e-05,2.001200e-05,2.017294e-05,2.033093e-05,2.048599e-05,2.063818e-05,2.078753e-05,2.093408e-05,2.107786e-05,2.121893e-05
0.000000e+00,1.048929e-12,3.523785e-12,2.053809e-11,6.501165e-11,1.099154e-10,3.405929e-10,3.547522e-10,8.738297e-10,1.088276e-09,1.820152e-09,2.670377e-09,3.383544e-09,5.562562e-09,5.792382e-09,9.308343e-09,1.034778e-08,1.420967e-08,1.766246e-08,2.077096e-08,2.812465e-08,2.925192e-08,3.989584e-08,4.230454e-08,5.293138e-08,6.072710e-08,6.857412e-08,8.387765e-08,8.702690e-08,1.084792e-07,1.122018e-07,1.331059e-07,1.461016e-07,1.610659e-07,1.859295e-07,1.925006e-07,2.275325e-07,2.319832e-07,2.662647e-07,2.845009e-07,3.087791e-07,3.436581e-07,3.551370e-07,4.053785e-07,4.095663e-07,4.595231e-07,4.822743e-07,5.175701e-07,5.617697e-07,5.794994e-07,6.452731e-07,6.479833e-07,7.148363e-07,7.407936e-07,7.881187e-07,8.400329e-07,8.650365e-07,9.454933e-07,1.029382e-06,1.056933e-06,1.116587e-06,1.174082e-06,1.206985e-06,1.296650e-06,1.300446e-06,1.396835e-06,1.424330e-06,1.496014e-06,1.556803e-06,1.597844e-06,1.693745e-06,1.702181e-06,1.808883e-06,1.834827e-06,1.917808e-06,1.979724e-06,2.028815e-06,2.128113e-06,2.141765e-06,2.256520e-06,2.279675e-06,2.372945e-06,2.434103e-06,2.490911e-06,2.591097e-06,2.610287e-06,2.730951e-06,2.750368e-06,2.852781e-06,2.911639e-06,2.975660e-06,3.074644e-06,3.099477e-06,3.224122e-06,3.239130e-06,3.349492e-06,3.404858e-06,3.475486e-06,3.571601e-06,3.602009e-06,3.728969e-06,3.739141e-06,3.856275e-06,3.907277e-06,3.983846e-06,4.075814e-06,4.111599e-06,4.239457e-06,4.244573e-06,4.367348e-06,4.413382e-06,4.495200e-06,4.582083e-06,4.622947e-06,4.750526e-06,4.877876e-06,4.918570e-06,5.004940e-06,5.086085e-06,5.131662e-06,5.252948e-06,5.257993e-06,5.383881e-06,5.419045e-06,5.509282e-06,5.584270e-06,5.634151e-06,5.748525e-06,5.758446e-06,5.882129e-06,5.911717e-06,6.005161e-06,6.073762e-06,6.127508e-06,6.234581e-06,6.249138e-06,6.370018e-06,6.394102e-06,6.490121e-06,6.552257e-06,6.609418e-06,6.708985e-06,6.727883e-06,6.845493e-06,6.864230e-06,6.962225e-06,7.017939e-06,7.078059e-06,7.170065e-06,7.192973e-06,7.306951e-06,7.320565e-06,7.419975e-06,7.469400e-06,7.532030e-06,7.616534e-06,7.643100e-06,7.753173e-06,7.761936e-06,7.862236e-06,7.905576e-06,7.970278e-06,8.047430e-06,8.077289e-06,8.183259e-06,8.187476e-06,8.288179e-06,8.325692e-06,8.392043e-06,8.462063e-06,8.494843e-06,8.596574e-06,8.729212e-06,8.859967e-06,8.988831e-06,9.115798e-06,9.240863e-06,9.364024e-06,9.485279e-06,9.604630e-06,9.722076e-06,9.837623e-06,9.951273e-06,1.006303e-05,1.017291e-05,1.028090e-05,1.038703e-05,1.049130e-05,1.059372e-05,1.069431e-05,1.079306e-05,1.089000e-05,1.098514e-05,1.107849e-05,1.117006e-05,1.125987e-05
0.000000e+00,9.648223e-15,8.994365e-14,2.454625e-12,2.180698e-11,5.916609e-11,5.073580e-10,5.481099e-10,3.014071e-09,4.554687e-09,1.192968e-08,2.432011e-08,3.765452e-08,9.359396e-08,1.007501e-07,2.376840e-07,2.875422e-07,5.078453e-07,7.495154e-07,1.001697e-06,1.723869e-06,1.849795e-06,3.232295e-06,3.592833e-06,5.388434e-06,6.914410e-06,8.625388e-06,1.245730e-05,1.332584e-05,1.995370e-05,2.122846e-05,2.905742e-05,3.448952e-05,4.127081e-05,5.375966e-05,5.731094e-05,7.797340e-05,8.080399e-05,1.041248e-04,1.176074e-04,1.366929e-04,1.663359e-04,1.766548e-04,2.250230e-04,2.292865e-04,2.828309e-04,3.088298e-04,3.511162e-04,4.073464e-04,4.309052e-04,5.231960e-04,5.271613e-04,6.289422e-04,6.704791e-04,7.490380e-04,8.393215e-04,8.843035e-04,1.035472e-03,1.203176e-03,1.260424e-03,1.387944e-03,1.515343e-03,1.590183e-03,1.801037e-03,1.810180e-03,2.048096e-03,2.117931e-03,2.303961e-03,2.466059e-03,2.577676e-03,2.845069e-03,2.869017e-03,3.177633e-03,3.254222e-03,3.503053e-03,3.692416e-03,3.844694e-03,4.158208e-03,4.201863e-03,4.573771e-03,4.649845e-03,4.959538e-03,5.165298e-03,5.358204e-03,5.702301e-03,5.768740e-03,6.190055e-03,6.258390e-03,6.621009e-03,6.830947e-03,7.060425e-03,7.417239e-03,7.507094e-03,7.959790e-03,8.014460e-03,8.417277e-03,8.619770e-03,8.878319e-03,9.230332e-03,9.341688e-03,9.806172e-03,9.843344e-03,1.027058e-02,1.045607e-02,1.073377e-02,1.106587e-02,1.119460e-02,1.165200e-02,1.167021e-02,1.210493e-02,1.226671e-02,1.255242e-02,1.285313e-02,1.299353e-02,1.342740e-02,1.385319e-02,1.398762e-02,1.427017e-02,1.453209e-02,1.467764e-02,1.505926e-02,1.507495e-02,1.546155e-02,1.556781e-02,1.583692e-02,1.605656e-02,1.620061e-02,1.652455e-02,1.655223e-02,1.689144e-02,1.697097e-02,1.721796e-02,1.739518e-02,1.753157e-02,1.779673e-02,1.783210e-02,1.811941e-02,1.817528e-02,1.839344e-02,1.853067e-02,1.865415e-02,1.886286e-02,1.890156e-02,1.913570e-02,1.917193e-02,1.935666e-02,1.945807e-02,1.956456e-02,1.972159e-02,1.975956e-02,1.994183e-02,1.996285e-02,2.011157e-02,2.018234e-02,2.026901e-02,2.038059e-02,2.041440e-02,2.054802e-02,2.055821e-02,2.067014e-02,2.071584e-02,2.078107e-02,2.085419e-02,2.088112e-02,2.097061e-02,2.097398e-02,2.104987e-02,2.107597e-02,2.111925e-02,2.116095e-02,2.117907e-02,2.122971e-02,2.128305e-02,2.132178e-02,2.134670e-02,2.135861e-02,2.135831e-02,2.134656e-02,2.132412e-02,2.129174e-02,2.125012e-02,2.119998e-02,2.114198e-02,2.107677e-02,2.100496e-02,2.092717e-02,2.084394e-02,2.075583e-02,2.066334e-02,2.056697e-02,2.046718e-02,2.036439e-02,2.025903e-02,2.015146e-02,2.004206e-02,1.993115e-02
0.000000e+00,1.291286e-16,1.372202e-15,4.355459e-14,4.091640e-13,1.121065e-12,9.419346e-12,1.015644e-11,5.228490e-11,7.719590e-11,1.892795e-10,3.634324e-10,5.397774e-10,1.215681e-09,1.297306e-09,2.744186e-09,3.234143e-09,5.261152e-09,7.314431e-09,9.333006e-09,1.466848e-08,1.554968e-08,2.460029e-08,2.681725e-08,3.725706e-08,4.553728e-08,5.434773e-08,7.275048e-08,7.671945e-08,1.052001e-07,1.103766e-07,1.405635e-07,1.601901e-07,1.835037e-07,2.237159e-07,2.346178e-07,2.943981e-07,3.021735e-07,3.632301e-07,3.964600e-07,4.413955e-07,5.071591e-07,5.290768e-07,6.263648e-07,6.345636e-07,7.332652e-07,7.787034e-07,8.497071e-07,9.393772e-07,9.755505e-07,1.110595e-06,1.116185e-06,1.254588e-06,1.308560e-06,1.407231e-06,1.515800e-06,1.568189e-06,1.737099e-06,1.913571e-06,1.971573e-06,2.097201e-06,2.218288e-06,2.287572e-06,2.476277e-06,2.484261e-06,2.686842e-06,2.744563e-06,2.894891e-06,3.022170e-06,3.107988e-06,3.308139e-06,3.325719e-06,3.547681e-06,3.601537e-06,3.773479e-06,3.901460e-06,4.002734e-06,4.207043e-06,4.235076e-06,4.470150e-06,4.517463e-06,4.707617e-06,4.831936e-06,4.947149e-06,5.149726e-06,5.188437e-06,5.431182e-06,5.470138e-06,5.675103e-06,5.792523e-06,5.919931e-06,6.116275e-06,6.165411e-06,6.411303e-06,6.440827e-06,6.657380e-06,6.765656e-06,6.903426e-06,7.090275e-06,7.149239e-06,7.394628e-06,7.414236e-06,7.639415e-06,7.737124e-06,7.883432e-06,8.058558e-06,8.126520e-06,8.368533e-06,8.378189e-06,8.609333e-06,8.695699e-06,8.848791e-06,9.010795e-06,9.086788e-06,9.323213e-06,9.557962e-06,9.632713e-06,9.790941e-06,9.939076e-06,1.002206e-05,1.024211e-05,1.025124e-05,1.047840e-05,1.054164e-05,1.070348e-05,1.083750e-05,1.092641e-05,1.112956e-05,1.114714e-05,1.136561e-05,1.141770e-05,1.158178e-05,1.170182e-05,1.179561e-05,1.198181e-05,1.200705e-05,1.221609e-05,1.225760e-05,1.242267e-05,1.252913e-05,1.262679e-05,1.279633e-05,1.282842e-05,1.302754e-05,1.305917e-05,1.322414e-05,1.331761e-05,1.341820e-05,1.357162e-05,1.360972e-05,1.379868e-05,1.382119e-05,1.398509e-05,1.406630e-05,1.416895e-05,1.430697e-05,1.435024e-05,1.452899e-05,1.454318e-05,1.470519e-05,1.477495e-05,1.487884e-05,1.500230e-05,1.504996e-05,1.521856e-05,1.522525e-05,1.538464e-05,1.544382e-05,1.554822e-05,1.565804e-05,1.570932e-05,1.586795e-05,1.607358e-05,1.627497e-05,1.647217e-05,1.666523e-05,1.685418e-05,1.703908e-05,1.721999e-05,1.739695e-05,1.757001e-05,1.773925e-05,1.790470e-05,1.806644e-05,1.822451e-05,1.837897e-05,1.852990e-05,1.867733e-05,1.882135e-05,1.896199e-05,1.909934e-05,1.923343e-05,1.936435e-05,1.949213e-05,1.961685e-05,1.973856e-05
0.000000e+00,3.246633e-18,3.811789e-17,1.488656e-15,1.688984e-14,5.131997e-14,5.627579e-13,6.133807e-13,4.103957e-12,6.503526e-12,1.902866e-11,4.209520e-11,6.851864e-11,1.889306e-10,2.050846e-10,5.331245e-10,6.589137e-10,1.240223e-09,1.911335e-09,2.637633e-09,4.817727e-09,5.209537e-09,9.669797e-09,1.087108e-08,1.702385e-08,2.242740e-08,2.863249e-08,4.295903e-08,4.627384e-08,7.219913e-08,7.729342e-08,1.091788e-07,1.318095e-07,1.605353e-07,2.145673e-07,2.301595e-07,3.225109e-07,3.353526e-07,4.425971e-07,5.056261e-07,5.959361e-07,7.383728e-07,7.884997e-07,1.026641e-06,1.047859e-06,1.317009e-06,1.449308e-06,1.666446e-06,1.958508e-06,2.081884e-06,2.570228e-06,2.591374e-06,3.138242e-06,3.363493e-06,3.792432e-06,4.289656e-06,4.538937e-06,5.383417e-06,6.330962e-06,6.656688e-06,7.386006e-06,8.119390e-06,8.552247e-06,9.779161e-06,9.832595e-06,1.122912e-05,1.164115e-05,1.274302e-05,1.370787e-05,1.437461e-05,1.597914e-05,1.612332e-05,1.798769e-05,1.845211e-05,1.996542e-05,2.112134e-05,2.205340e-05,2.397893e-05,2.424772e-05,2.654377e-05,2.701473e-05,2.893626e-05,3.021656e-05,3.141935e-05,3.357048e-05,3.398663e-05,3.663126e-05,3.706110e-05,3.934604e-05,4.067184e-05,4.212344e-05,4.438525e-05,4.495572e-05,4.783499e-05,4.818328e-05,5.075327e-05,5.204761e-05,5.370256e-05,5.595986e-05,5.667490e-05,5.966244e-05,5.990187e-05,6.265746e-05,6.385587e-05,6.565245e-05,6.780473e-05,6.864014e-05,7.161354e-05,7.173208e-05,7.456595e-05,7.562244e-05,7.749102e-05,7.946137e-05,8.038274e-05,8.323549e-05,8.604402e-05,8.693261e-05,8.880348e-05,9.054170e-05,9.150940e-05,9.405295e-05,9.415773e-05,9.674479e-05,9.745773e-05,9.926730e-05,1.007486e-04,1.017224e-04,1.039193e-04,1.041075e-04,1.064205e-04,1.069646e-04,1.086595e-04,1.098805e-04,1.108231e-04,1.126637e-04,1.129101e-04,1.149196e-04,1.153122e-04,1.168511e-04,1.178245e-04,1.187042e-04,1.202003e-04,1.204790e-04,1.221755e-04,1.224396e-04,1.237941e-04,1.245435e-04,1.253354e-04,1.265133e-04,1.268002e-04,1.281894e-04,1.283511e-04,1.295041e-04,1.300593e-04,1.307455e-04,1.316407e-04,1.319149e-04,1.330138e-04,1.330987e-04,1.340437e-04,1.344367e-04,1.350062e-04,1.356584e-04,1.359030e-04,1.367358e-04,1.367678e-04,1.375064e-04,1.377689e-04,1.382166e-04,1.386661e-04,1.388684e-04,1.394634e-04,1.401653e-04,1.407762e-04,1.413002e-04,1.417418e-04,1.421051e-04,1.423944e-04,1.426137e-04,1.427669e-04,1.428581e-04,1.428909e-04,1.428691e-04,1.427961e-04,1.426754e-04,1.425102e-04,1.423038e-04,1.420590e-04,1.417788e-04,1.414660e-04,1.411231e-04,1.407526e-04,1.403569e-04,1.399383e-04,1.394988e-04,1.390405e-04
0.000000e+00,1.248324e-12,4.383848e-12,2.676790e-11,8.663894e-11,1.477854e-10,4.664689e-10,4.861968e-10,1.218083e-09,1.524402e-09,2.583225e-09,3.834671e-09,4.899090e-09,8.218233e-09,8.573343e-09,1.410028e-08,1.576252e-08,2.202105e-08,2.769722e-08,3.284979e-08,4.512335e-08,4.700979e-08,6.481494e-08,6.883412e-08,8.648499e-08,9.933239e-08,1.121684e-07,1.369148e-07,1.419602e-07,1.759138e-07,1.817343e-07,2.140478e-07,2.338345e-07,2.563501e-07,2.931676e-07,3.027814e-07,3.532773e-07,3.596060e-07,4.077507e-07,4.329522e-07,4.660946e-07,5.129486e-07,5.281847e-07,5.938816e-07,5.992887e-07,6.630340e-07,6.916267e-07,7.354809e-07,7.895884e-07,8.110541e-07,8.895809e-07,8.927810e-07,9.708856e-07,1.000801e-06,1.054791e-06,1.113243e-06,1.141123e-06,1.229705e-06,1.320368e-06,1.349792e-06,1.412944e-06,1.473123e-06,1.507273e-06,1.599332e-06,1.603198e-06,1.700568e-06,1.728071e-06,1.799240e-06,1.859009e-06,1.899074e-06,1.991835e-06,1.999939e-06,2.101711e-06,2.126257e-06,2.204269e-06,2.262004e-06,2.307502e-06,2.398820e-06,2.411303e-06,2.515570e-06,2.536471e-06,2.620210e-06,2.674740e-06,2.725132e-06,2.813424e-06,2.830254e-06,2.935495e-06,2.952339e-06,3.040781e-06,3.091315e-06,3.146044e-06,3.230194e-06,3.251219e-06,3.356245e-06,3.368835e-06,3.461065e-06,3.507106e-06,3.565626e-06,3.644889e-06,3.669879e-06,3.773780e-06,3.782075e-06,3.877284e-06,3.918566e-06,3.980353e-06,4.054272e-06,4.082950e-06,4.185041e-06,4.189114e-06,4.286596e-06,4.323019e-06,4.387585e-06,4.455921e-06,4.487982e-06,4.587763e-06,4.686905e-06,4.718493e-06,4.785389e-06,4.848064e-06,4.883195e-06,4.976437e-06,4.980308e-06,5.076711e-06,5.103575e-06,5.172391e-06,5.229447e-06,5.267337e-06,5.354028e-06,5.361536e-06,5.454980e-06,5.477293e-06,5.547660e-06,5.599224e-06,5.639568e-06,5.719804e-06,5.730699e-06,5.821046e-06,5.839021e-06,5.910606e-06,5.956864e-06,5.999374e-06,6.073327e-06,6.087349e-06,6.174528e-06,6.188403e-06,6.260909e-06,6.302089e-06,6.346492e-06,6.414384e-06,6.431278e-06,6.515265e-06,6.525290e-06,6.598456e-06,6.634808e-06,6.680851e-06,6.742941e-06,6.762454e-06,6.843265e-06,6.849696e-06,6.923289e-06,6.955079e-06,7.002528e-06,7.059096e-06,7.080985e-06,7.158665e-06,7.161756e-06,7.235572e-06,7.263070e-06,7.311710e-06,7.363046e-06,7.387083e-06,7.461697e-06,7.559033e-06,7.655067e-06,7.749812e-06,7.843280e-06,7.935486e-06,8.026443e-06,8.116165e-06,8.204667e-06,8.291965e-06,8.378072e-06,8.463004e-06,8.546776e-06,8.629403e-06,8.710901e-06,8.791285e-06,8.870571e-06,8.948773e-06,9.025908e-06,9.101990e-06,9.177035e-06,9.251057e-06,9.324074e-06,9.396098e-06,9.467145e-06
0.000000e+00,3.719463e-12,1.132825e-11,5.929772e-11,1.778140e-10,2.941799e-10,8.737188e-10,9.087246e-10,2.169342e-09,2.681430e-09,4.405553e-09,6.376254e-09,8.010025e-09,1.292597e-08,1.343929e-08,2.121050e-08,2.348600e-08,3.188586e-08,3.934626e-08,4.603506e-08,6.177476e-08,6.417763e-08,8.672925e-08,9.179629e-08,1.139787e-07,1.300656e-07,1.460959e-07,1.768911e-07,1.831528e-07,2.251447e-07,2.323177e-07,2.720058e-07,2.961966e-07,3.236212e-07,3.682333e-07,3.798354e-07,4.404591e-07,4.480203e-07,5.052762e-07,5.350635e-07,5.740487e-07,6.288052e-07,6.465225e-07,7.224323e-07,7.286454e-07,8.015062e-07,8.339603e-07,8.834697e-07,9.441191e-07,9.680495e-07,1.054976e-06,1.058499e-06,1.143988e-06,1.176494e-06,1.234831e-06,1.297526e-06,1.327263e-06,1.421052e-06,1.515980e-06,1.546563e-06,1.611840e-06,1.673591e-06,1.708441e-06,1.801708e-06,1.805603e-06,1.903159e-06,1.930524e-06,2.000956e-06,2.059690e-06,2.098852e-06,2.188891e-06,2.196717e-06,2.294432e-06,2.317850e-06,2.391890e-06,2.446317e-06,2.488993e-06,2.574077e-06,2.585650e-06,2.681781e-06,2.700938e-06,2.777316e-06,2.826736e-06,2.872188e-06,2.951326e-06,2.966339e-06,3.059719e-06,3.074585e-06,3.152282e-06,3.196410e-06,3.243987e-06,3.316710e-06,3.334800e-06,3.424690e-06,3.435413e-06,3.513629e-06,3.552456e-06,3.601597e-06,3.667791e-06,3.688574e-06,3.774544e-06,3.781378e-06,3.859494e-06,3.893186e-06,3.943414e-06,4.003194e-06,4.026296e-06,4.108135e-06,4.111387e-06,4.188927e-06,4.217755e-06,4.268669e-06,4.322295e-06,4.347363e-06,4.425010e-06,4.501611e-06,4.525903e-06,4.577171e-06,4.624986e-06,4.651695e-06,4.722269e-06,4.725189e-06,4.797660e-06,4.817770e-06,4.869116e-06,4.911505e-06,4.939564e-06,5.003494e-06,5.009014e-06,5.077475e-06,5.093759e-06,5.144957e-06,5.182323e-06,5.211470e-06,5.269210e-06,5.277026e-06,5.341635e-06,5.354445e-06,5.405309e-06,5.438054e-06,5.468060e-06,5.520065e-06,5.529898e-06,5.590837e-06,5.600504e-06,5.650887e-06,5.679400e-06,5.710062e-06,5.756780e-06,5.768373e-06,5.825834e-06,5.832672e-06,5.882455e-06,5.907105e-06,5.938249e-06,5.980108e-06,5.993229e-06,6.047407e-06,6.051707e-06,6.100795e-06,6.121932e-06,6.153406e-06,6.190810e-06,6.205251e-06,6.256342e-06,6.258370e-06,6.306691e-06,6.324638e-06,6.356311e-06,6.389641e-06,6.405212e-06,6.453407e-06,6.515962e-06,6.577331e-06,6.637542e-06,6.696618e-06,6.754585e-06,6.811467e-06,6.867288e-06,6.922072e-06,6.975842e-06,7.028620e-06,7.080429e-06,7.131290e-06,7.181224e-06,7.230253e-06,7.278397e-06,7.325675e-06,7.372107e-06,7.417712e-06,7.462509e-06,7.506516e-06,7.549751e-06,7.592230e-06,7.633972e-06,7.674992e-06
0.000000e+00,4.405616e-12,1.337218e-11,6.993389e-11,2.101383e-10,3.482317e-10,1.039572e-09,1.081466e-09,2.596483e-09,3.214501e-09,5.302526e-09,7.698960e-09,9.691279e-09,1.570599e-08,1.633526e-08,2.587561e-08,2.867125e-08,3.898671e-08,4.813342e-08,5.631770e-08,7.551388e-08,7.843745e-08,1.058103e-07,1.119487e-07,1.387985e-07,1.582652e-07,1.776743e-07,2.150237e-07,2.226314e-07,2.737927e-07,2.825591e-07,3.312178e-07,3.610092e-07,3.949081e-07,4.503391e-07,4.648132e-07,5.408363e-07,5.503641e-07,6.228405e-07,6.607743e-07,7.106550e-07,7.811585e-07,8.040809e-07,9.028970e-07,9.110281e-07,1.006865e-06,1.049839e-06,1.115734e-06,1.197009e-06,1.229245e-06,1.347135e-06,1.351938e-06,1.469139e-06,1.514016e-06,1.594991e-06,1.682636e-06,1.724432e-06,1.857203e-06,1.993055e-06,2.037138e-06,2.131744e-06,2.221885e-06,2.273034e-06,2.410908e-06,2.416697e-06,2.562515e-06,2.603702e-06,2.710278e-06,2.799784e-06,2.859783e-06,2.998703e-06,3.010840e-06,3.163265e-06,3.200031e-06,3.316883e-06,3.403368e-06,3.471528e-06,3.608340e-06,3.627042e-06,3.783276e-06,3.814597e-06,3.940088e-06,4.021814e-06,4.097344e-06,4.229688e-06,4.254916e-06,4.412684e-06,4.437937e-06,4.570535e-06,4.646301e-06,4.728362e-06,4.854538e-06,4.886064e-06,5.043546e-06,5.062425e-06,5.200719e-06,5.269756e-06,5.357500e-06,5.476341e-06,5.513808e-06,5.669570e-06,5.682006e-06,5.824718e-06,5.886590e-06,5.979185e-06,6.089947e-06,6.132912e-06,6.285842e-06,6.291942e-06,6.437922e-06,6.492453e-06,6.589103e-06,6.691369e-06,6.739340e-06,6.888589e-06,7.036812e-06,7.084020e-06,7.183972e-06,7.277581e-06,7.330036e-06,7.469197e-06,7.474973e-06,7.618754e-06,7.658803e-06,7.761355e-06,7.846338e-06,7.902750e-06,8.031751e-06,8.042919e-06,8.181842e-06,8.214996e-06,8.319501e-06,8.396033e-06,8.455882e-06,8.574827e-06,8.590969e-06,8.724751e-06,8.751350e-06,8.857217e-06,8.925575e-06,8.988357e-06,9.097484e-06,9.118163e-06,9.246629e-06,9.267059e-06,9.373750e-06,9.434289e-06,9.499521e-06,9.599164e-06,9.623939e-06,9.747002e-06,9.761678e-06,9.868708e-06,9.921830e-06,9.989059e-06,1.007962e-05,1.010805e-05,1.022569e-05,1.023505e-05,1.034198e-05,1.038812e-05,1.045692e-05,1.053884e-05,1.057052e-05,1.068277e-05,1.068723e-05,1.079368e-05,1.083329e-05,1.090327e-05,1.097703e-05,1.101153e-05,1.111847e-05,1.125763e-05,1.139452e-05,1.152916e-05,1.166157e-05,1.179176e-05,1.191977e-05,1.204561e-05,1.216930e-05,1.229087e-05,1.241035e-05,1.252775e-05,1.264309e-05,1.275642e-05,1.286774e-05,1.297710e-05,1.308450e-05,1.318998e-05,1.329357e-05,1.339529e-05,1.349516e-05,1.359322e-05,1.368948e-05,1.378398e-05,1.387675e-05
0.000000e+00,3.629979e-15,3.492126e-14,9.898526e-13,8.971871e-12,2.453981e-11,2.137423e-10,2.310313e-10,1.284582e-09,1.946188e-09,5.127707e-09,1.049894e-08,1.629886e-08,4.074151e-08,4.387690e-08,1.040838e-07,1.260756e-07,2.235297e-07,3.308071e-07,4.430437e-07,7.656158e-07,8.220020e-07,1.443031e-06,1.605484e-06,2.416932e-06,3.109135e-06,3.887617e-06,5.638654e-06,6.036816e-06,9.088252e-06,9.677529e-06,1.331100e-05,1.584511e-05,1.902173e-05,2.490545e-05,2.658563e-05,3.641588e-05,3.776915e-05,4.897162e-05,5.548742e-05,6.475450e-05,7.923835e-05,8.430374e-05,1.081902e-04,1.103061e-04,1.370090e-04,1.500544e-04,1.713723e-04,1.998948e-04,2.118997e-04,2.592105e-04,2.612527e-04,3.139141e-04,3.355317e-04,3.766014e-04,4.240780e-04,4.478361e-04,5.281464e-04,6.180177e-04,6.488684e-04,7.178856e-04,7.872252e-04,8.281301e-04,9.440236e-04,9.490699e-04,1.080959e-03,1.119877e-03,1.223983e-03,1.315193e-03,1.378257e-03,1.530164e-03,1.543824e-03,1.720656e-03,1.764762e-03,1.908652e-03,2.018745e-03,2.107641e-03,2.291657e-03,2.317385e-03,2.537580e-03,2.582842e-03,2.767861e-03,2.891455e-03,3.007804e-03,3.216476e-03,3.256933e-03,3.514721e-03,3.556733e-03,3.780600e-03,3.910918e-03,4.053962e-03,4.277609e-03,4.334166e-03,4.620543e-03,4.655290e-03,4.912402e-03,5.042375e-03,5.209035e-03,5.437226e-03,5.509722e-03,5.813734e-03,5.838176e-03,6.120341e-03,6.243548e-03,6.428817e-03,6.651670e-03,6.738438e-03,7.048494e-03,7.060896e-03,7.358289e-03,7.469619e-03,7.667141e-03,7.876284e-03,7.974391e-03,8.279402e-03,8.581562e-03,8.677556e-03,8.880289e-03,9.069413e-03,9.175025e-03,9.453732e-03,9.465248e-03,9.750464e-03,9.829364e-03,1.003021e-02,1.019526e-02,1.030407e-02,1.055047e-02,1.057163e-02,1.083255e-02,1.089414e-02,1.108649e-02,1.122554e-02,1.133316e-02,1.154400e-02,1.157230e-02,1.180367e-02,1.184900e-02,1.202709e-02,1.214007e-02,1.224239e-02,1.241686e-02,1.244943e-02,1.264809e-02,1.267909e-02,1.283830e-02,1.292659e-02,1.302001e-02,1.315923e-02,1.319318e-02,1.335781e-02,1.337699e-02,1.351391e-02,1.357991e-02,1.366153e-02,1.376807e-02,1.380071e-02,1.393153e-02,1.394164e-02,1.405410e-02,1.410083e-02,1.416850e-02,1.424589e-02,1.427488e-02,1.437336e-02,1.437713e-02,1.446408e-02,1.449488e-02,1.454722e-02,1.459951e-02,1.462294e-02,1.469141e-02,1.477102e-02,1.483876e-02,1.489509e-02,1.494049e-02,1.497543e-02,1.500039e-02,1.501585e-02,1.502231e-02,1.502025e-02,1.501013e-02,1.499245e-02,1.496766e-02,1.493621e-02,1.489855e-02,1.485512e-02,1.480634e-02,1.475260e-02,1.469431e-02,1.463184e-02,1.456556e-02,1.449582e-02,1.442294e-02,1.434726e-02,1.426906e-02
0.000000e+00,1.064290e-14,8.200340e-14,1.415272e-12,8.138849e-12,1.745467e-11,8.374784e-11,8.844726e-11,2.867845e-10,3.784866e-10,7.158669e-10,1.138238e-09,1.508844e-09,2.699140e-09,2.828431e-09,4.866918e-09,5.486992e-09,7.843231e-09,1.000712e-08,1.199266e-08,1.680121e-08,1.754984e-08,2.473349e-08,2.638306e-08,3.373953e-08,3.920107e-08,4.474063e-08,5.563452e-08,5.788794e-08,7.331228e-08,7.599916e-08,9.112440e-08,1.005497e-07,1.114148e-07,1.294792e-07,1.342534e-07,1.596892e-07,1.629176e-07,1.877504e-07,2.009318e-07,2.184449e-07,2.435274e-07,2.517611e-07,2.876693e-07,2.906526e-07,3.261229e-07,3.422036e-07,3.670601e-07,3.980313e-07,4.104062e-07,4.560750e-07,4.579487e-07,5.039708e-07,5.217387e-07,5.539904e-07,5.891614e-07,6.060249e-07,6.599611e-07,7.156833e-07,7.338724e-07,7.730742e-07,8.106258e-07,8.320164e-07,8.899522e-07,8.923934e-07,9.540901e-07,9.715863e-07,1.016994e-06,1.055270e-06,1.080995e-06,1.140755e-06,1.145988e-06,1.211869e-06,1.227802e-06,1.278540e-06,1.316185e-06,1.345906e-06,1.405692e-06,1.413878e-06,1.482368e-06,1.496121e-06,1.551296e-06,1.587286e-06,1.620584e-06,1.679010e-06,1.690159e-06,1.759951e-06,1.771133e-06,1.829895e-06,1.863504e-06,1.899931e-06,1.955986e-06,1.969999e-06,2.040047e-06,2.048449e-06,2.110024e-06,2.140778e-06,2.179881e-06,2.232866e-06,2.249576e-06,2.319065e-06,2.324615e-06,2.388312e-06,2.415934e-06,2.457280e-06,2.506745e-06,2.525935e-06,2.594246e-06,2.596971e-06,2.662186e-06,2.686548e-06,2.729727e-06,2.775415e-06,2.796845e-06,2.863517e-06,2.929722e-06,2.950806e-06,2.995441e-06,3.037239e-06,3.060657e-06,3.122776e-06,3.125354e-06,3.189516e-06,3.207384e-06,3.253131e-06,3.291032e-06,3.316187e-06,3.373694e-06,3.378672e-06,3.440577e-06,3.455347e-06,3.501893e-06,3.535970e-06,3.562613e-06,3.615547e-06,3.622729e-06,3.682236e-06,3.694063e-06,3.741128e-06,3.771507e-06,3.799401e-06,3.847870e-06,3.857052e-06,3.914077e-06,3.923143e-06,3.970474e-06,3.997321e-06,4.026241e-06,4.070400e-06,4.081377e-06,4.135881e-06,4.142379e-06,4.189753e-06,4.213256e-06,4.242993e-06,4.283033e-06,4.295601e-06,4.347580e-06,4.351711e-06,4.398929e-06,4.419293e-06,4.449651e-06,4.485784e-06,4.499748e-06,4.549222e-06,4.551188e-06,4.598076e-06,4.615512e-06,4.646312e-06,4.678762e-06,4.693934e-06,4.740945e-06,4.802070e-06,4.862145e-06,4.921180e-06,4.979183e-06,5.036166e-06,5.092138e-06,5.147110e-06,5.201093e-06,5.254098e-06,5.306138e-06,5.357223e-06,5.407365e-06,5.456578e-06,5.504871e-06,5.552259e-06,5.598753e-06,5.644366e-06,5.689109e-06,5.732996e-06,5.776038e-06,5.818248e-06,5.859639e-06,5.900223e-06,5.940012e-06
0.000000e+00,2.564850e-17,2.855506e-16,9.975454e-15,1.021714e-13,2.934220e-13,2.779929e-12,3.012012e-12,1.743077e-11,2.655796e-11,7.043123e-11,1.440022e-10,2.227561e-10,5.490261e-10,5.903725e-10,1.369643e-09,1.649000e-09,2.863566e-09,4.167569e-09,5.504031e-09,9.227743e-09,9.864092e-09,1.665656e-08,1.837871e-08,2.671909e-08,3.355206e-08,4.098933e-08,5.696362e-08,6.047455e-08,8.622018e-08,9.099097e-08,1.192798e-07,1.380517e-07,1.606887e-07,2.004968e-07,2.114404e-07,2.724680e-07,2.805234e-07,3.446278e-07,3.801060e-07,4.286869e-07,5.009447e-07,5.253129e-07,6.350666e-07,6.444282e-07,7.583975e-07,8.116105e-07,8.956414e-07,1.003201e-06,1.047020e-06,1.212645e-06,1.219566e-06,1.392518e-06,1.460744e-06,1.586542e-06,1.726467e-06,1.794525e-06,2.016189e-06,2.251181e-06,2.329125e-06,2.499078e-06,2.664287e-06,2.759403e-06,3.020518e-06,3.031629e-06,3.315192e-06,3.396540e-06,3.609496e-06,3.790978e-06,3.913925e-06,4.202400e-06,4.227848e-06,4.550626e-06,4.629339e-06,4.881617e-06,5.070322e-06,5.220183e-06,5.523887e-06,5.565694e-06,5.917528e-06,5.988600e-06,6.275080e-06,6.463069e-06,6.637758e-06,6.945950e-06,7.004991e-06,7.376225e-06,7.435958e-06,7.750930e-06,7.931871e-06,8.128596e-06,8.432531e-06,8.508733e-06,8.890876e-06,8.936847e-06,9.274580e-06,9.443794e-06,9.659422e-06,9.952416e-06,1.004500e-05,1.043094e-05,1.046182e-05,1.081688e-05,1.097117e-05,1.120247e-05,1.147971e-05,1.158741e-05,1.197139e-05,1.198672e-05,1.235412e-05,1.249155e-05,1.273535e-05,1.299360e-05,1.311482e-05,1.349230e-05,1.386758e-05,1.398717e-05,1.424045e-05,1.447774e-05,1.461073e-05,1.496358e-05,1.497823e-05,1.534280e-05,1.544434e-05,1.570429e-05,1.591965e-05,1.606256e-05,1.638921e-05,1.641748e-05,1.676894e-05,1.685276e-05,1.711682e-05,1.731004e-05,1.746104e-05,1.776084e-05,1.780149e-05,1.813811e-05,1.820497e-05,1.847082e-05,1.864226e-05,1.879955e-05,1.907257e-05,1.912425e-05,1.944487e-05,1.949578e-05,1.976136e-05,1.991179e-05,2.007368e-05,2.032051e-05,2.038180e-05,2.068570e-05,2.072188e-05,2.098535e-05,2.111584e-05,2.128073e-05,2.150236e-05,2.157184e-05,2.185866e-05,2.188142e-05,2.214119e-05,2.225300e-05,2.241943e-05,2.261710e-05,2.269337e-05,2.296304e-05,2.297374e-05,2.322843e-05,2.332293e-05,2.348956e-05,2.366471e-05,2.374645e-05,2.399910e-05,2.432616e-05,2.464594e-05,2.495849e-05,2.526388e-05,2.556217e-05,2.585345e-05,2.613777e-05,2.641523e-05,2.668591e-05,2.694990e-05,2.720728e-05,2.745814e-05,2.770259e-05,2.794071e-05,2.817260e-05,2.839837e-05,2.861810e-05,2.883190e-05,2.903987e-05,2.924211e-05,2.943872e-05,2.962980e-05,2.981545e-05,2.999578e-05
0.000000e+00,3.381460e-17,3.855973e-16,1.415501e-14,1.516421e-13,4.463178e-13,4.502878e-12,4.891181e-12,3.008661e-11,4.659185e-11,1.286080e-10,2.713278e-10,4.281416e-10,1.101121e-09,1.188192e-09,2.872289e-09,3.490149e-09,6.231739e-09,9.247441e-09,1.239524e-08,2.139167e-08,2.295651e-08,4.004997e-08,4.448177e-08,6.640334e-08,8.485169e-08,1.053583e-07,1.506848e-07,1.608547e-07,2.373784e-07,2.518985e-07,3.398769e-07,3.998487e-07,4.736510e-07,6.068999e-07,6.442296e-07,8.572363e-07,8.859147e-07,1.118255e-06,1.249718e-06,1.432701e-06,1.710580e-06,1.805700e-06,2.241981e-06,2.279748e-06,2.745785e-06,2.967056e-06,3.320787e-06,3.780616e-06,3.970043e-06,4.695945e-06,4.726602e-06,5.500200e-06,5.809129e-06,6.383821e-06,7.030211e-06,7.347134e-06,8.389800e-06,9.510845e-06,9.885892e-06,1.070870e-05,1.151468e-05,1.198124e-05,1.327074e-05,1.332588e-05,1.473955e-05,1.514729e-05,1.621885e-05,1.713638e-05,1.776003e-05,1.922914e-05,1.935910e-05,2.101186e-05,2.141603e-05,2.271396e-05,2.368703e-05,2.446096e-05,2.603188e-05,2.624835e-05,2.807164e-05,2.844020e-05,2.992632e-05,3.090170e-05,3.180799e-05,3.340626e-05,3.371230e-05,3.563501e-05,3.594408e-05,3.757204e-05,3.850574e-05,3.951944e-05,4.108226e-05,4.147341e-05,4.343033e-05,4.366519e-05,4.538676e-05,4.624659e-05,4.733943e-05,4.881906e-05,4.928528e-05,5.122140e-05,5.137578e-05,5.314508e-05,5.391050e-05,5.505380e-05,5.641748e-05,5.694520e-05,5.881712e-05,5.889156e-05,6.066754e-05,6.132807e-05,6.249462e-05,6.372285e-05,6.429669e-05,6.607220e-05,6.781976e-05,6.837288e-05,6.953814e-05,7.062207e-05,7.122622e-05,7.281734e-05,7.288300e-05,7.450761e-05,7.495663e-05,7.609929e-05,7.703823e-05,7.765740e-05,7.906073e-05,7.918139e-05,8.067078e-05,8.102305e-05,8.212523e-05,8.292434e-05,8.354444e-05,8.476402e-05,8.492820e-05,8.627638e-05,8.654174e-05,8.758892e-05,8.825734e-05,8.886580e-05,8.991087e-05,9.010709e-05,9.131289e-05,9.150254e-05,9.248337e-05,9.303270e-05,9.361872e-05,9.450187e-05,9.471919e-05,9.578507e-05,9.591067e-05,9.681669e-05,9.725983e-05,9.781439e-05,9.855020e-05,9.877857e-05,9.970963e-05,9.978270e-05,1.006080e-04,1.009583e-04,1.014742e-04,1.020781e-04,1.023086e-04,1.031118e-04,1.031433e-04,1.038842e-04,1.041549e-04,1.046265e-04,1.051142e-04,1.053390e-04,1.060224e-04,1.068809e-04,1.076908e-04,1.084536e-04,1.091704e-04,1.098428e-04,1.104718e-04,1.110590e-04,1.116056e-04,1.121129e-04,1.125822e-04,1.130148e-04,1.134119e-04,1.137749e-04,1.141049e-04,1.144032e-04,1.146709e-04,1.149092e-04,1.151193e-04,1.153022e-04,1.154592e-04,1.155911e-04,1.156991e-04,1.157842e-04,1.158474e-04
0.000000e+00,2.369452e-16,2.627987e-15,9.112984e-14,9.279423e-13,2.657930e-12,2.508006e-11,2.717218e-11,1.575122e-10,2.403948e-10,6.420159e-10,1.324400e-09,2.064052e-09,5.196553e-09,5.599499e-09,1.335637e-08,1.619218e-08,2.873153e-08,4.244373e-08,5.666312e-08,9.677500e-08,1.036746e-07,1.776869e-07,1.965043e-07,2.876564e-07,3.622102e-07,4.431333e-07,6.160071e-07,6.538237e-07,9.292139e-07,9.798894e-07,1.278280e-06,1.474459e-06,1.709284e-06,2.118094e-06,2.229639e-06,2.845834e-06,2.926491e-06,3.563399e-06,3.912449e-06,4.386887e-06,5.085823e-06,5.319888e-06,6.365050e-06,6.453566e-06,7.524106e-06,8.019840e-06,8.797919e-06,9.786177e-06,1.018653e-05,1.168922e-05,1.175168e-05,1.330455e-05,1.391326e-05,1.503046e-05,1.626591e-05,1.686431e-05,1.880296e-05,2.084287e-05,2.151638e-05,2.298009e-05,2.439705e-05,2.521041e-05,2.743499e-05,2.752939e-05,2.993238e-05,3.061962e-05,3.241462e-05,3.394000e-05,3.497128e-05,3.738492e-05,3.759746e-05,4.028827e-05,4.094314e-05,4.303886e-05,4.460349e-05,4.584439e-05,4.835494e-05,4.870013e-05,5.160141e-05,5.218673e-05,5.454369e-05,5.608840e-05,5.752253e-05,6.004984e-05,6.053361e-05,6.357275e-05,6.406135e-05,6.663592e-05,6.811363e-05,6.971922e-05,7.219781e-05,7.281888e-05,7.593130e-05,7.630548e-05,7.905301e-05,8.042864e-05,8.218068e-05,8.455974e-05,8.531114e-05,8.844136e-05,8.869168e-05,9.156843e-05,9.281776e-05,9.468960e-05,9.693171e-05,9.780224e-05,1.009039e-04,1.010277e-04,1.039921e-04,1.051001e-04,1.070647e-04,1.091441e-04,1.101196e-04,1.131547e-04,1.161681e-04,1.171276e-04,1.191582e-04,1.210588e-04,1.221232e-04,1.249446e-04,1.250616e-04,1.279718e-04,1.287815e-04,1.308526e-04,1.325665e-04,1.337027e-04,1.362966e-04,1.365209e-04,1.393060e-04,1.399694e-04,1.420571e-04,1.435826e-04,1.447733e-04,1.471340e-04,1.474537e-04,1.500975e-04,1.506218e-04,1.527041e-04,1.540445e-04,1.552727e-04,1.574006e-04,1.578028e-04,1.602939e-04,1.606888e-04,1.627456e-04,1.639083e-04,1.651574e-04,1.670580e-04,1.675291e-04,1.698603e-04,1.701374e-04,1.721509e-04,1.731458e-04,1.744005e-04,1.760828e-04,1.766092e-04,1.787767e-04,1.789483e-04,1.809031e-04,1.817421e-04,1.829883e-04,1.844642e-04,1.850323e-04,1.870353e-04,1.871145e-04,1.889972e-04,1.896935e-04,1.909183e-04,1.922013e-04,1.927986e-04,1.946383e-04,1.970050e-04,1.993020e-04,2.015298e-04,2.036892e-04,2.057808e-04,2.078054e-04,2.097640e-04,2.116573e-04,2.134863e-04,2.152520e-04,2.169553e-04,2.185973e-04,2.201790e-04,2.217015e-04,2.231659e-04,2.245733e-04,2.259248e-04,2.272215e-04,2.284646e-04,2.296552e-04,2.307944e-04,2.318835e-04,2.329235e-04,2.339157e-04
0.000000e+00,6.573366e-13,2.868753e-12,2.214457e-11,7.985510e-11,1.416465e-10,4.768665e-10,4.979430e-10,1.287153e-09,1.618631e-09,2.761037e-09,4.099761e-09,5.227620e-09,8.686886e-09,9.052441e-09,1.465614e-08,1.631650e-08,2.250001e-08,2.804651e-08,3.305164e-08,4.491779e-08,4.673813e-08,6.391226e-08,6.779080e-08,8.484490e-08,9.728353e-08,1.097341e-07,1.338003e-07,1.387167e-07,1.718781e-07,1.775750e-07,2.092588e-07,2.287018e-07,2.508595e-07,2.871562e-07,2.966455e-07,3.465510e-07,3.528123e-07,4.004827e-07,4.254590e-07,4.583245e-07,5.048164e-07,5.199407e-07,5.851804e-07,5.905513e-07,6.538807e-07,6.822916e-07,7.258700e-07,7.796394e-07,8.009708e-07,8.790024e-07,8.821820e-07,9.597825e-07,9.895012e-07,1.043130e-06,1.101181e-06,1.128865e-06,1.216813e-06,1.306801e-06,1.336000e-06,1.398662e-06,1.458362e-06,1.492235e-06,1.583533e-06,1.587366e-06,1.683904e-06,1.711167e-06,1.781707e-06,1.840939e-06,1.880639e-06,1.972542e-06,1.980570e-06,2.081376e-06,2.105687e-06,2.182941e-06,2.240106e-06,2.285152e-06,2.375550e-06,2.387906e-06,2.491102e-06,2.511786e-06,2.594648e-06,2.648600e-06,2.698454e-06,2.785792e-06,2.802438e-06,2.906522e-06,2.923180e-06,3.010632e-06,3.060594e-06,3.114700e-06,3.197880e-06,3.218661e-06,3.322456e-06,3.334897e-06,3.426027e-06,3.471514e-06,3.529323e-06,3.607613e-06,3.632294e-06,3.734896e-06,3.743087e-06,3.837086e-06,3.877838e-06,3.938825e-06,4.011777e-06,4.040077e-06,4.140808e-06,4.144826e-06,4.240988e-06,4.276912e-06,4.340588e-06,4.407972e-06,4.439582e-06,4.537948e-06,4.635662e-06,4.666789e-06,4.732705e-06,4.794452e-06,4.829060e-06,4.920897e-06,4.924710e-06,5.019641e-06,5.046091e-06,5.113840e-06,5.170003e-06,5.207295e-06,5.292610e-06,5.299998e-06,5.391938e-06,5.413889e-06,5.483109e-06,5.533826e-06,5.573504e-06,5.652405e-06,5.663117e-06,5.751945e-06,5.769616e-06,5.839985e-06,5.885452e-06,5.927233e-06,5.999908e-06,6.013688e-06,6.099349e-06,6.112981e-06,6.184217e-06,6.224671e-06,6.268291e-06,6.334980e-06,6.351573e-06,6.434064e-06,6.443910e-06,6.515768e-06,6.551468e-06,6.596686e-06,6.657660e-06,6.676821e-06,6.756179e-06,6.762494e-06,6.834761e-06,6.865979e-06,6.912574e-06,6.968125e-06,6.989622e-06,7.065909e-06,7.068945e-06,7.141442e-06,7.168450e-06,7.216225e-06,7.266653e-06,7.290266e-06,7.363569e-06,7.459210e-06,7.553593e-06,7.646732e-06,7.738644e-06,7.829344e-06,7.918848e-06,8.007174e-06,8.094337e-06,8.180355e-06,8.265245e-06,8.349024e-06,8.431708e-06,8.513315e-06,8.593862e-06,8.673366e-06,8.751843e-06,8.829311e-06,8.905786e-06,8.981284e-06,9.055822e-06,9.129417e-06,9.202083e-06,9.273837e-06,9.344696e-06
0.000000e+00,2.695168e-18,3.081820e-17,1.138548e-15,1.226584e-14,3.621009e-14,3.680526e-13,3.999076e-13,2.476588e-12,3.841801e-12,1.064755e-11,2.253027e-11,3.561485e-11,9.191445e-11,9.920843e-11,2.404760e-10,2.923535e-10,5.226624e-10,7.760693e-10,1.040570e-09,1.796294e-09,1.927705e-09,3.362508e-09,3.734339e-09,5.572868e-09,7.119463e-09,8.838193e-09,1.263633e-08,1.348843e-08,1.989993e-08,2.111652e-08,2.848829e-08,3.351382e-08,3.969877e-08,5.086633e-08,5.399498e-08,7.184646e-08,7.424968e-08,9.371624e-08,1.047274e-07,1.200487e-07,1.433026e-07,1.512586e-07,1.877208e-07,1.908748e-07,2.297625e-07,2.482045e-07,2.776564e-07,3.158860e-07,3.316160e-07,3.917923e-07,3.943301e-07,4.582729e-07,4.837558e-07,5.310818e-07,5.841894e-07,6.101806e-07,6.954722e-07,7.868039e-07,8.172738e-07,8.839724e-07,9.491103e-07,9.867291e-07,1.090366e-06,1.094786e-06,1.207821e-06,1.240316e-06,1.325485e-06,1.398153e-06,1.447409e-06,1.563009e-06,1.573206e-06,1.702482e-06,1.733981e-06,1.834837e-06,1.910152e-06,1.969872e-06,2.090606e-06,2.107192e-06,2.246412e-06,2.274451e-06,2.387156e-06,2.460826e-06,2.529065e-06,2.648916e-06,2.671794e-06,2.815016e-06,2.837957e-06,2.958426e-06,3.027244e-06,3.101735e-06,3.216130e-06,3.244677e-06,3.387006e-06,3.404033e-06,3.528495e-06,3.590431e-06,3.668940e-06,3.774862e-06,3.808152e-06,3.945963e-06,3.956922e-06,4.082222e-06,4.136261e-06,4.216796e-06,4.312578e-06,4.349566e-06,4.480428e-06,4.485621e-06,4.609293e-06,4.655180e-06,4.736083e-06,4.821082e-06,4.860734e-06,4.983190e-06,5.103406e-06,5.141396e-06,5.221347e-06,5.295621e-06,5.336984e-06,5.445810e-06,5.450298e-06,5.561274e-06,5.591927e-06,5.669904e-06,5.733955e-06,5.776186e-06,5.871894e-06,5.880123e-06,5.981721e-06,6.005757e-06,6.080989e-06,6.135567e-06,6.177942e-06,6.261359e-06,6.272597e-06,6.364973e-06,6.383176e-06,6.455090e-06,6.501067e-06,6.542974e-06,6.615087e-06,6.628648e-06,6.712141e-06,6.725299e-06,6.793479e-06,6.831766e-06,6.872694e-06,6.934556e-06,6.949814e-06,7.024872e-06,7.033742e-06,7.097898e-06,7.129394e-06,7.168926e-06,7.221590e-06,7.237987e-06,7.305115e-06,7.310403e-06,7.370344e-06,7.395911e-06,7.433707e-06,7.478191e-06,7.495237e-06,7.554969e-06,7.557321e-06,7.612935e-06,7.633377e-06,7.669170e-06,7.706438e-06,7.723708e-06,7.776581e-06,7.843881e-06,7.908414e-06,7.970255e-06,8.029478e-06,8.086157e-06,8.140362e-06,8.192167e-06,8.241639e-06,8.288848e-06,8.333861e-06,8.376745e-06,8.417565e-06,8.456384e-06,8.493264e-06,8.528266e-06,8.561451e-06,8.592876e-06,8.622599e-06,8.650676e-06,8.677159e-06,8.702104e-06,8.725562e-06,8.747583e-06,8.768217e-06
0.000000e+00,5.982613e-17,6.340925e-16,2.003505e-14,1.874903e-13,5.126774e-13,4.288242e-12,4.623087e-12,2.373046e-11,3.502213e-11,8.585966e-11,1.650250e-10,2.454169e-10,5.554694e-10,5.930967e-10,1.265318e-09,1.494818e-09,2.451534e-09,3.429161e-09,4.395603e-09,6.962781e-09,7.387538e-09,1.174627e-08,1.281088e-08,1.779847e-08,2.172039e-08,2.585930e-08,3.439565e-08,3.621860e-08,4.913290e-08,5.145150e-08,6.482209e-08,7.339364e-08,8.346903e-08,1.006158e-07,1.052202e-07,1.301870e-07,1.334031e-07,1.584471e-07,1.719376e-07,1.900457e-07,2.163034e-07,2.249971e-07,2.632863e-07,2.664925e-07,3.048708e-07,3.224130e-07,3.496834e-07,3.838979e-07,3.976347e-07,4.486157e-07,4.507163e-07,5.025014e-07,5.225850e-07,5.591534e-07,5.991814e-07,6.184232e-07,6.801549e-07,7.441881e-07,7.651382e-07,8.103598e-07,8.537566e-07,8.785069e-07,9.456367e-07,9.484679e-07,1.020084e-06,1.040412e-06,1.093201e-06,1.137730e-06,1.167670e-06,1.237252e-06,1.243347e-06,1.320095e-06,1.338660e-06,1.397785e-06,1.441655e-06,1.476291e-06,1.545960e-06,1.555498e-06,1.635297e-06,1.651318e-06,1.715583e-06,1.757492e-06,1.796261e-06,1.864267e-06,1.877240e-06,1.958437e-06,1.971443e-06,2.039773e-06,2.078842e-06,2.121175e-06,2.186299e-06,2.202576e-06,2.283912e-06,2.293665e-06,2.365126e-06,2.400808e-06,2.446164e-06,2.507604e-06,2.526976e-06,2.607516e-06,2.613946e-06,2.687740e-06,2.719733e-06,2.767611e-06,2.824878e-06,2.847092e-06,2.926149e-06,2.929302e-06,3.004751e-06,3.032931e-06,3.082871e-06,3.135703e-06,3.160482e-06,3.237561e-06,3.314086e-06,3.338453e-06,3.390036e-06,3.438334e-06,3.465394e-06,3.537165e-06,3.540143e-06,3.614268e-06,3.634909e-06,3.687755e-06,3.731535e-06,3.760591e-06,3.827017e-06,3.832766e-06,3.904270e-06,3.921330e-06,3.975093e-06,4.014453e-06,4.045227e-06,4.106370e-06,4.114666e-06,4.183403e-06,4.197066e-06,4.251433e-06,4.286527e-06,4.318751e-06,4.374744e-06,4.385352e-06,4.451235e-06,4.461710e-06,4.516396e-06,4.547417e-06,4.580833e-06,4.631861e-06,4.644545e-06,4.707530e-06,4.715040e-06,4.769789e-06,4.796952e-06,4.831320e-06,4.877597e-06,4.892124e-06,4.952202e-06,4.956977e-06,5.011555e-06,5.035093e-06,5.070184e-06,5.111950e-06,5.128091e-06,5.185279e-06,5.187552e-06,5.241749e-06,5.261903e-06,5.297504e-06,5.335010e-06,5.352547e-06,5.406881e-06,5.477521e-06,5.546940e-06,5.615146e-06,5.682149e-06,5.747957e-06,5.812581e-06,5.876032e-06,5.938320e-06,5.999456e-06,6.059452e-06,6.118320e-06,6.176071e-06,6.232718e-06,6.288273e-06,6.342748e-06,6.396156e-06,6.448510e-06,6.499822e-06,6.550106e-06,6.599375e-06,6.647641e-06,6.694917e-06,6.741217e-06,6.786554e-06
0.000000e+00,5.011287e-13,1.527471e-12,7.994371e-12,2.396904e-11,3.966749e-11,1.181674e-10,1.229270e-10,2.956452e-10,3.664994e-10,6.076905e-10,8.877981e-10,1.123123e-09,1.844972e-09,1.921343e-09,3.093653e-09,3.441081e-09,4.731761e-09,5.881914e-09,6.911697e-09,9.318966e-09,9.683966e-09,1.307436e-08,1.382751e-08,1.709014e-08,1.942413e-08,2.172606e-08,2.608972e-08,2.696854e-08,3.279829e-08,3.378403e-08,3.919184e-08,4.245330e-08,4.612261e-08,5.203459e-08,5.356159e-08,6.147808e-08,6.245863e-08,6.984015e-08,7.365225e-08,7.861528e-08,8.554052e-08,8.777078e-08,9.727422e-08,9.804857e-08,1.070938e-07,1.111032e-07,1.171987e-07,1.246342e-07,1.275593e-07,1.381474e-07,1.385753e-07,1.489363e-07,1.528646e-07,1.599009e-07,1.674452e-07,1.710179e-07,1.822653e-07,1.936231e-07,1.972779e-07,2.050727e-07,2.124407e-07,2.165971e-07,2.277164e-07,2.281806e-07,2.398091e-07,2.430714e-07,2.514696e-07,2.584763e-07,2.631503e-07,2.739051e-07,2.748405e-07,2.865305e-07,2.893351e-07,2.982117e-07,3.047463e-07,3.098760e-07,3.201211e-07,3.215165e-07,3.331266e-07,3.354444e-07,3.447005e-07,3.507030e-07,3.562332e-07,3.658853e-07,3.677199e-07,3.791564e-07,3.809814e-07,3.905391e-07,3.959826e-07,4.018645e-07,4.108816e-07,4.131297e-07,4.243321e-07,4.256720e-07,4.354692e-07,4.403484e-07,4.465391e-07,4.549061e-07,4.575398e-07,4.684699e-07,4.693412e-07,4.793277e-07,4.836504e-07,4.901123e-07,4.978311e-07,5.008224e-07,5.114572e-07,5.118810e-07,5.220160e-07,5.257984e-07,5.324981e-07,5.395818e-07,5.429030e-07,5.532303e-07,5.634797e-07,5.667430e-07,5.736509e-07,5.801195e-07,5.837440e-07,5.933597e-07,5.937587e-07,6.036952e-07,6.064634e-07,6.135534e-07,6.194309e-07,6.233336e-07,6.322625e-07,6.330358e-07,6.426604e-07,6.449588e-07,6.522076e-07,6.575203e-07,6.616777e-07,6.699479e-07,6.710711e-07,6.803881e-07,6.822424e-07,6.896293e-07,6.944048e-07,6.987949e-07,7.064361e-07,7.078856e-07,7.169017e-07,7.183374e-07,7.258439e-07,7.301100e-07,7.347126e-07,7.417550e-07,7.435084e-07,7.522318e-07,7.532738e-07,7.608835e-07,7.646677e-07,7.694640e-07,7.759380e-07,7.779740e-07,7.864140e-07,7.870862e-07,7.947846e-07,7.981136e-07,8.030866e-07,8.090218e-07,8.113205e-07,8.194870e-07,8.198123e-07,8.275867e-07,8.304864e-07,8.356203e-07,8.410457e-07,8.435884e-07,8.514917e-07,8.618258e-07,8.720497e-07,8.821649e-07,8.921727e-07,9.020748e-07,9.118727e-07,9.215677e-07,9.311616e-07,9.406556e-07,9.500513e-07,9.593502e-07,9.685536e-07,9.776631e-07,9.866800e-07,9.956058e-07,1.004442e-06,1.013189e-06,1.021850e-06,1.030425e-06,1.038915e-06,1.047323e-06,1.055648e-06,1.063893e-06,1.072059e-06
0.000000e+00,3.005507e-13,1.439965e-12,1.241123e-11,4.726254e-11,8.558172e-11,2.988097e-10,3.123655e-10,8.248472e-10,1.041602e-09,1.791145e-09,2.671147e-09,3.412430e-09,5.681107e-09,5.920308e-09,9.574217e-09,1.065278e-08,1.465809e-08,1.824209e-08,2.147501e-08,2.915622e-08,3.033822e-08,4.155816e-08,4.411121e-08,5.542807e-08,6.377690e-08,7.221263e-08,8.873357e-08,9.214204e-08,1.154105e-07,1.194544e-07,1.421770e-07,1.563053e-07,1.725665e-07,1.995500e-07,2.066717e-07,2.445545e-07,2.493562e-07,2.862477e-07,3.058020e-07,3.317564e-07,3.688835e-07,3.810607e-07,4.341175e-07,4.385223e-07,4.908626e-07,5.145755e-07,5.512137e-07,5.968447e-07,6.150724e-07,6.823268e-07,6.850859e-07,7.528536e-07,7.790191e-07,8.265206e-07,8.783368e-07,9.031882e-07,9.827119e-07,1.064943e-06,1.091804e-06,1.149732e-06,1.205268e-06,1.236926e-06,1.322755e-06,1.326375e-06,1.417928e-06,1.443920e-06,1.511438e-06,1.568422e-06,1.606759e-06,1.695931e-06,1.703748e-06,1.802267e-06,1.826124e-06,1.902181e-06,1.958694e-06,2.003360e-06,2.093342e-06,2.105676e-06,2.209008e-06,2.229786e-06,2.313239e-06,2.367757e-06,2.418257e-06,2.507000e-06,2.523953e-06,2.630223e-06,2.647273e-06,2.736970e-06,2.788350e-06,2.844099e-06,2.930017e-06,2.951520e-06,3.059148e-06,3.072073e-06,3.166901e-06,3.214332e-06,3.274703e-06,3.356619e-06,3.382479e-06,3.490161e-06,3.498770e-06,3.597683e-06,3.640634e-06,3.704984e-06,3.782069e-06,3.812003e-06,3.918688e-06,3.922947e-06,4.024984e-06,4.063147e-06,4.130844e-06,4.202557e-06,4.236222e-06,4.341075e-06,4.445362e-06,4.478609e-06,4.549046e-06,4.615071e-06,4.652092e-06,4.750386e-06,4.754467e-06,4.856141e-06,4.884480e-06,4.957086e-06,5.017291e-06,5.057275e-06,5.148761e-06,5.156684e-06,5.255292e-06,5.278837e-06,5.353078e-06,5.407473e-06,5.450024e-06,5.534627e-06,5.546112e-06,5.641328e-06,5.660265e-06,5.735657e-06,5.784354e-06,5.829088e-06,5.906867e-06,5.921609e-06,6.013210e-06,6.027781e-06,6.103884e-06,6.147075e-06,6.193622e-06,6.264735e-06,6.282419e-06,6.370269e-06,6.380747e-06,6.457168e-06,6.495102e-06,6.543114e-06,6.607792e-06,6.628102e-06,6.712133e-06,6.718814e-06,6.795205e-06,6.828166e-06,6.877319e-06,6.935847e-06,6.958475e-06,7.038674e-06,7.041862e-06,7.117918e-06,7.146213e-06,7.196210e-06,7.248907e-06,7.273554e-06,7.349952e-06,7.449358e-06,7.547134e-06,7.643293e-06,7.737848e-06,7.830813e-06,7.922202e-06,8.012033e-06,8.100320e-06,8.187083e-06,8.272337e-06,8.356103e-06,8.438398e-06,8.519243e-06,8.598656e-06,8.676658e-06,8.753268e-06,8.828508e-06,8.902397e-06,8.974957e-06,9.046208e-06,9.116170e-06,9.184865e-06,9.252314e-06,9.318536e-06
0.000000e+00,6.240517e-18,7.137091e-17,2.637793e-15,2.843945e-14,8.400675e-14,8.558749e-13,9.300666e-13,5.782256e-12,8.982097e-12,2.499875e-11,5.312421e-11,8.425139e-11,2.193687e-10,2.369806e-10,5.813347e-10,7.090029e-10,1.281348e-09,1.919018e-09,2.591200e-09,4.538226e-09,4.879915e-09,8.652443e-09,9.639873e-09,1.456287e-08,1.874276e-08,2.341669e-08,3.381770e-08,3.616097e-08,5.386351e-08,5.723249e-08,7.768319e-08,9.164501e-08,1.088348e-07,1.398638e-07,1.485511e-07,1.980450e-07,2.046971e-07,2.584745e-07,2.888079e-07,3.309116e-07,3.945895e-07,4.163156e-07,5.155126e-07,5.240656e-07,6.291805e-07,6.788214e-07,7.578392e-07,8.599630e-07,9.018463e-07,1.061397e-06,1.068104e-06,1.236529e-06,1.303374e-06,1.427129e-06,1.565449e-06,1.632944e-06,1.853591e-06,2.088576e-06,2.166705e-06,2.337304e-06,2.503391e-06,2.599095e-06,2.862011e-06,2.873202e-06,3.158821e-06,3.240743e-06,3.455109e-06,3.637641e-06,3.761195e-06,4.050687e-06,4.076194e-06,4.399213e-06,4.477833e-06,4.729367e-06,4.917043e-06,5.065782e-06,5.366328e-06,5.407605e-06,5.754007e-06,5.823767e-06,6.104193e-06,6.287530e-06,6.457399e-06,6.755894e-06,6.812899e-06,7.170005e-06,7.227247e-06,7.528070e-06,7.700101e-06,7.886486e-06,8.173089e-06,8.244686e-06,8.602144e-06,8.644966e-06,8.958372e-06,9.114606e-06,9.312920e-06,9.580998e-06,9.665375e-06,1.001536e-05,1.004324e-05,1.036253e-05,1.050054e-05,1.070657e-05,1.095218e-05,1.104720e-05,1.138417e-05,1.139757e-05,1.171725e-05,1.183616e-05,1.204623e-05,1.226751e-05,1.237095e-05,1.269123e-05,1.300695e-05,1.310699e-05,1.331798e-05,1.351454e-05,1.362423e-05,1.391365e-05,1.392561e-05,1.422204e-05,1.430415e-05,1.451348e-05,1.468593e-05,1.479988e-05,1.505888e-05,1.508120e-05,1.535742e-05,1.542295e-05,1.562852e-05,1.577811e-05,1.589452e-05,1.612436e-05,1.615540e-05,1.641117e-05,1.646172e-05,1.666187e-05,1.679023e-05,1.690750e-05,1.710994e-05,1.714810e-05,1.738371e-05,1.742094e-05,1.761435e-05,1.772331e-05,1.784008e-05,1.801715e-05,1.806093e-05,1.827696e-05,1.830256e-05,1.848822e-05,1.857968e-05,1.869476e-05,1.884861e-05,1.889664e-05,1.909392e-05,1.910951e-05,1.928666e-05,1.936249e-05,1.947491e-05,1.960771e-05,1.965875e-05,1.983823e-05,1.984532e-05,2.001342e-05,2.007545e-05,2.018439e-05,2.029827e-05,2.035120e-05,2.051391e-05,2.072254e-05,2.092431e-05,2.111938e-05,2.130789e-05,2.149000e-05,2.166586e-05,2.183562e-05,2.199944e-05,2.215746e-05,2.230983e-05,2.245669e-05,2.259819e-05,2.273446e-05,2.286565e-05,2.299189e-05,2.311332e-05,2.323006e-05,2.334225e-05,2.345002e-05,2.355348e-05,2.365277e-05,2.374799e-05,2.383927e-05,2.392672e-05
0.000000e+00,8.535501e-16,8.430901e-15,2.310728e-13,1.909644e-12,4.888446e-12,3.474904e-11,3.722414e-11,1.644847e-10,2.335150e-10,5.211583e-10,9.317920e-10,1.324132e-09,2.720158e-09,2.881403e-09,5.598228e-09,6.476980e-09,9.981772e-09,1.338719e-08,1.663923e-08,2.492376e-08,2.625835e-08,3.956162e-08,4.272658e-08,5.724141e-08,6.836895e-08,7.989882e-08,1.031273e-07,1.080061e-07,1.418973e-07,1.478720e-07,1.817785e-07,2.030811e-07,2.277462e-07,2.689091e-07,2.798062e-07,3.378899e-07,3.452592e-07,4.018673e-07,4.318392e-07,4.715564e-07,5.282036e-07,5.467331e-07,6.271378e-07,6.337876e-07,7.124835e-07,7.479368e-07,8.024620e-07,8.699345e-07,8.967508e-07,9.950181e-07,9.990269e-07,1.096929e-06,1.134445e-06,1.202150e-06,1.275423e-06,1.310352e-06,1.421213e-06,1.534425e-06,1.571100e-06,1.649690e-06,1.724405e-06,1.766725e-06,1.880494e-06,1.885261e-06,2.005047e-06,2.038778e-06,2.125846e-06,2.198719e-06,2.247437e-06,2.359824e-06,2.369615e-06,2.492190e-06,2.521647e-06,2.614985e-06,2.683786e-06,2.737839e-06,2.845881e-06,2.860603e-06,2.983141e-06,3.007610e-06,3.105327e-06,3.168687e-06,3.227048e-06,3.328859e-06,3.348201e-06,3.468690e-06,3.487901e-06,3.588432e-06,3.645619e-06,3.707348e-06,3.801840e-06,3.825370e-06,3.942434e-06,3.956415e-06,4.058485e-06,4.109213e-06,4.173472e-06,4.260124e-06,4.287351e-06,4.400082e-06,4.409050e-06,4.511630e-06,4.555912e-06,4.621965e-06,4.700640e-06,4.731060e-06,4.838892e-06,4.843179e-06,4.945442e-06,4.983483e-06,5.050693e-06,5.121514e-06,5.154630e-06,5.257245e-06,5.358526e-06,5.390654e-06,5.458468e-06,5.521726e-06,5.557066e-06,5.650454e-06,5.654318e-06,5.750221e-06,5.776833e-06,5.844777e-06,5.900865e-06,5.937987e-06,6.022555e-06,6.029855e-06,6.120384e-06,6.141912e-06,6.209580e-06,6.258949e-06,6.297448e-06,6.373681e-06,6.383997e-06,6.469234e-06,6.486125e-06,6.553168e-06,6.596301e-06,6.635808e-06,6.704232e-06,6.717163e-06,6.797246e-06,6.809941e-06,6.876066e-06,6.913454e-06,6.953634e-06,7.014796e-06,7.029964e-06,7.105066e-06,7.113996e-06,7.178953e-06,7.211082e-06,7.251639e-06,7.306084e-06,7.323135e-06,7.393456e-06,7.399031e-06,7.462614e-06,7.489955e-06,7.530624e-06,7.578887e-06,7.597498e-06,7.663250e-06,7.665857e-06,7.727895e-06,7.750899e-06,7.791447e-06,7.834044e-06,7.853918e-06,7.915324e-06,7.994772e-06,8.072419e-06,8.148298e-06,8.222441e-06,8.294880e-06,8.365646e-06,8.434773e-06,8.502289e-06,8.568228e-06,8.632619e-06,8.695493e-06,8.756881e-06,8.816812e-06,8.875315e-06,8.932420e-06,8.988156e-06,9.042550e-06,9.095631e-06,9.147426e-06,9.197963e-06,9.247267e-06,9.295366e-06,9.342285e-06,9.388050e-06
0.000000e+00,1.778957e-12,6.545656e-12,4.197830e-11,1.389939e-10,2.391105e-10,7.663643e-10,7.991689e-10,2.022909e-09,2.537715e-09,4.324324e-09,6.444315e-09,8.250002e-09,1.386448e-08,1.446207e-08,2.364821e-08,2.636557e-08,3.641847e-08,4.532607e-08,5.327376e-08,7.181350e-08,7.462491e-08,1.008151e-07,1.066600e-07,1.321320e-07,1.505237e-07,1.688128e-07,2.039081e-07,2.110444e-07,2.589630e-07,2.671641e-07,3.126541e-07,3.404886e-07,3.721533e-07,4.239277e-07,4.374482e-07,5.084812e-07,5.173865e-07,5.851542e-07,6.206436e-07,6.673326e-07,7.333693e-07,7.548508e-07,8.475169e-07,8.551463e-07,9.451181e-07,9.854895e-07,1.047425e-06,1.123866e-06,1.154198e-06,1.265186e-06,1.269709e-06,1.380137e-06,1.422440e-06,1.498795e-06,1.581470e-06,1.620907e-06,1.746220e-06,1.874490e-06,1.916121e-06,2.005476e-06,2.090623e-06,2.138943e-06,2.269198e-06,2.274667e-06,2.412431e-06,2.451342e-06,2.552026e-06,2.636578e-06,2.693252e-06,2.824457e-06,2.835919e-06,2.979846e-06,3.014556e-06,3.124858e-06,3.206479e-06,3.270794e-06,3.399856e-06,3.417496e-06,3.564817e-06,3.594343e-06,3.712619e-06,3.789622e-06,3.860770e-06,3.985395e-06,4.009145e-06,4.157629e-06,4.181389e-06,4.306110e-06,4.377349e-06,4.454485e-06,4.573043e-06,4.602657e-06,4.750535e-06,4.768256e-06,4.898032e-06,4.962790e-06,5.045069e-06,5.156463e-06,5.191571e-06,5.337467e-06,5.349110e-06,5.482691e-06,5.540579e-06,5.627184e-06,5.730733e-06,5.770887e-06,5.913748e-06,5.919444e-06,6.055717e-06,6.106599e-06,6.196750e-06,6.292095e-06,6.336803e-06,6.475838e-06,6.613819e-06,6.657744e-06,6.750712e-06,6.837739e-06,6.886488e-06,7.015755e-06,7.021118e-06,7.154577e-06,7.191733e-06,7.286842e-06,7.365620e-06,7.417893e-06,7.537370e-06,7.547709e-06,7.676275e-06,7.706943e-06,7.803575e-06,7.874305e-06,7.929596e-06,8.039427e-06,8.054326e-06,8.177755e-06,8.202284e-06,8.299874e-06,8.362856e-06,8.420676e-06,8.521127e-06,8.540154e-06,8.658305e-06,8.677085e-06,8.775123e-06,8.830722e-06,8.890607e-06,8.982032e-06,9.004755e-06,9.117566e-06,9.131013e-06,9.229040e-06,9.277665e-06,9.339178e-06,9.421991e-06,9.447982e-06,9.555456e-06,9.563996e-06,9.661601e-06,9.703688e-06,9.766422e-06,9.841076e-06,9.869923e-06,9.972110e-06,9.976170e-06,1.007299e-05,1.010898e-05,1.017256e-05,1.023953e-05,1.027084e-05,1.036783e-05,1.049389e-05,1.061774e-05,1.073939e-05,1.085887e-05,1.097619e-05,1.109137e-05,1.120444e-05,1.131543e-05,1.142434e-05,1.153122e-05,1.163607e-05,1.173894e-05,1.183983e-05,1.193878e-05,1.203581e-05,1.213095e-05,1.222421e-05,1.231564e-05,1.240525e-05,1.249307e-05,1.257913e-05,1.266344e-05,1.274604e-05,1.282695e-05
0.000000e+00,4.707247e-15,4.073912e-14,8.663407e-13,5.820761e-12,1.342824e-11,7.517674e-11,7.982228e-11,2.897756e-10,3.923216e-10,7.849680e-10,1.297024e-09,1.757918e-09,3.282052e-09,3.450474e-09,6.153410e-09,6.989180e-09,1.020644e-08,1.320816e-08,1.599594e-08,2.286307e-08,2.394567e-08,3.449656e-08,3.695726e-08,4.807896e-08,5.647273e-08,6.508738e-08,8.227580e-08,8.586649e-08,1.107081e-07,1.150766e-07,1.398544e-07,1.554331e-07,1.735024e-07,2.037680e-07,2.118079e-07,2.548883e-07,2.603830e-07,3.028244e-07,3.254677e-07,3.556621e-07,3.991056e-07,4.134136e-07,4.760597e-07,4.812816e-07,5.435514e-07,5.718886e-07,6.158124e-07,6.707377e-07,6.927418e-07,7.742168e-07,7.775684e-07,8.600955e-07,8.920600e-07,9.502202e-07,1.013843e-06,1.044420e-06,1.142512e-06,1.244308e-06,1.277633e-06,1.349612e-06,1.418756e-06,1.458226e-06,1.565423e-06,1.569949e-06,1.684581e-06,1.717173e-06,1.801924e-06,1.873550e-06,1.921782e-06,2.034108e-06,2.043963e-06,2.168280e-06,2.198413e-06,2.294550e-06,2.366049e-06,2.422598e-06,2.536616e-06,2.552254e-06,2.683354e-06,2.709733e-06,2.815742e-06,2.885042e-06,2.949268e-06,3.062203e-06,3.083788e-06,3.219166e-06,3.240898e-06,3.355273e-06,3.420827e-06,3.491986e-06,3.601713e-06,3.629186e-06,3.766765e-06,3.783294e-06,3.904616e-06,3.965331e-06,4.042641e-06,4.147599e-06,4.180747e-06,4.318846e-06,4.329891e-06,4.456855e-06,4.512016e-06,4.594696e-06,4.693796e-06,4.732295e-06,4.869584e-06,4.875069e-06,5.006499e-06,5.055685e-06,5.142978e-06,5.235507e-06,5.278966e-06,5.414408e-06,5.549256e-06,5.592274e-06,5.683463e-06,5.768999e-06,5.816986e-06,5.944487e-06,5.949785e-06,6.081822e-06,6.118651e-06,6.213062e-06,6.291411e-06,6.343474e-06,6.462695e-06,6.473027e-06,6.601694e-06,6.632439e-06,6.729449e-06,6.800584e-06,6.856268e-06,6.967078e-06,6.982130e-06,7.107015e-06,7.131873e-06,7.230905e-06,7.294929e-06,7.353783e-06,7.456208e-06,7.475635e-06,7.596446e-06,7.615679e-06,7.716205e-06,7.773312e-06,7.834901e-06,7.929085e-06,7.952523e-06,8.069063e-06,8.082975e-06,8.184514e-06,8.234966e-06,8.298869e-06,8.385042e-06,8.412123e-06,8.524270e-06,8.533194e-06,8.635308e-06,8.679412e-06,8.745233e-06,8.823689e-06,8.854043e-06,8.961736e-06,8.966021e-06,9.068312e-06,9.106406e-06,9.173771e-06,9.244845e-06,9.278112e-06,9.381338e-06,9.515890e-06,9.648504e-06,9.779188e-06,9.907949e-06,1.003480e-05,1.015974e-05,1.028279e-05,1.040396e-05,1.052326e-05,1.064070e-05,1.075631e-05,1.087009e-05,1.098206e-05,1.109223e-05,1.120063e-05,1.130727e-05,1.141216e-05,1.151533e-05,1.161679e-05,1.171657e-05,1.181467e-05,1.191112e-05,1.200594e-05,1.209915e-05
0.000000e+00,2.270595e-12,7.049511e-12,3.779639e-11,1.149807e-10,1.914509e-10,5.763861e-10,5.997667e-10,1.446472e-09,1.792038e-09,2.958766e-09,4.295326e-09,5.404180e-09,8.739665e-09,9.087694e-09,1.434861e-08,1.588645e-08,2.155655e-08,2.658961e-08,3.110571e-08,4.177129e-08,4.340640e-08,5.887298e-08,6.238202e-08,7.790767e-08,8.934082e-08,1.008817e-07,1.234615e-07,1.281170e-07,1.598734e-07,1.653878e-07,1.963437e-07,2.155635e-07,2.376553e-07,2.742388e-07,2.838776e-07,3.350287e-07,3.414973e-07,3.910838e-07,4.172868e-07,4.519810e-07,5.014455e-07,5.176280e-07,5.879062e-07,5.937245e-07,6.626757e-07,6.938063e-07,7.417789e-07,8.013206e-07,8.250440e-07,9.122882e-07,9.158580e-07,1.003321e-06,1.036982e-06,1.097945e-06,1.164239e-06,1.195961e-06,1.297166e-06,1.401361e-06,1.435302e-06,1.508344e-06,1.578185e-06,1.617918e-06,1.725366e-06,1.729889e-06,1.844068e-06,1.876408e-06,1.960270e-06,2.030888e-06,2.078316e-06,2.188399e-06,2.198034e-06,2.319255e-06,2.348554e-06,2.441820e-06,2.510984e-06,2.565572e-06,2.675340e-06,2.690365e-06,2.816056e-06,2.841290e-06,2.942510e-06,3.008525e-06,3.069598e-06,3.176751e-06,3.197196e-06,3.325188e-06,3.345696e-06,3.453461e-06,3.515102e-06,3.581911e-06,3.684731e-06,3.710437e-06,3.838945e-06,3.854360e-06,3.967344e-06,4.023784e-06,4.095551e-06,4.192810e-06,4.223485e-06,4.351072e-06,4.361261e-06,4.478240e-06,4.528974e-06,4.604922e-06,4.695799e-06,4.731058e-06,4.856588e-06,4.861596e-06,4.981457e-06,5.026239e-06,5.105615e-06,5.189612e-06,5.229014e-06,5.351609e-06,5.473360e-06,5.512135e-06,5.594228e-06,5.671104e-06,5.714178e-06,5.828436e-06,5.833177e-06,5.951196e-06,5.984062e-06,6.068207e-06,6.137919e-06,6.184185e-06,6.289952e-06,6.299107e-06,6.412952e-06,6.440112e-06,6.525701e-06,6.588356e-06,6.637339e-06,6.734648e-06,6.747849e-06,6.857220e-06,6.878956e-06,6.965438e-06,7.021253e-06,7.072494e-06,7.161518e-06,7.178380e-06,7.283089e-06,7.299733e-06,7.386614e-06,7.435885e-06,7.488952e-06,7.569964e-06,7.590098e-06,7.690050e-06,7.701964e-06,7.788807e-06,7.831882e-06,7.886370e-06,7.959718e-06,7.982738e-06,8.077913e-06,8.085475e-06,8.171897e-06,8.209158e-06,8.264694e-06,8.330775e-06,8.356308e-06,8.446742e-06,8.450335e-06,8.536002e-06,8.567849e-06,8.624094e-06,8.683332e-06,8.711023e-06,8.796798e-06,8.908263e-06,9.017746e-06,9.125265e-06,9.230840e-06,9.334493e-06,9.436245e-06,9.536120e-06,9.634140e-06,9.730329e-06,9.824712e-06,9.917313e-06,1.000816e-05,1.009727e-05,1.018468e-05,1.027041e-05,1.035449e-05,1.043694e-05,1.051779e-05,1.059706e-05,1.067478e-05,1.075099e-05,1.082569e-05,1.089893e-05,1.097072e-05
0.000000e+00,2.490031e-18,2.863073e-17,1.071770e-15,1.169562e-14,3.478535e-14,3.610442e-13,3.926494e-13,2.490375e-12,3.890791e-12,1.099354e-11,2.366748e-11,3.786900e-11,1.006793e-10,1.089620e-10,2.734703e-10,3.353271e-10,6.160706e-10,9.331602e-10,1.270506e-09,2.258285e-09,2.432743e-09,4.371758e-09,4.882032e-09,7.436527e-09,9.615082e-09,1.205853e-08,1.751673e-08,1.874970e-08,2.809636e-08,2.988095e-08,4.074960e-08,4.820265e-08,5.741318e-08,7.412949e-08,7.882953e-08,1.057647e-07,1.094045e-07,1.389925e-07,1.558044e-07,1.792794e-07,2.150774e-07,2.273691e-07,2.839684e-07,2.888841e-07,3.497344e-07,3.787432e-07,4.252628e-07,4.859859e-07,5.110786e-07,6.076278e-07,6.117184e-07,7.152717e-07,7.567948e-07,8.342829e-07,9.218002e-07,9.648435e-07,1.107044e-06,1.260888e-06,1.312565e-06,1.426290e-06,1.538139e-06,1.603084e-06,1.783302e-06,1.791031e-06,1.989817e-06,2.047371e-06,2.199072e-06,2.329473e-06,2.418366e-06,2.628577e-06,2.647226e-06,2.885138e-06,2.943523e-06,3.131556e-06,3.273055e-06,3.385912e-06,3.615847e-06,3.647620e-06,3.916084e-06,3.970534e-06,4.190701e-06,4.335735e-06,4.470873e-06,4.710074e-06,4.756004e-06,5.045509e-06,5.092198e-06,5.338817e-06,5.480792e-06,5.635373e-06,5.874594e-06,5.934640e-06,6.236101e-06,6.272400e-06,6.539263e-06,6.673071e-06,6.843656e-06,7.075542e-06,7.148833e-06,7.454372e-06,7.478819e-06,7.759876e-06,7.881982e-06,8.064970e-06,8.284187e-06,8.369305e-06,8.672555e-06,8.684658e-06,8.974418e-06,9.082694e-06,9.274612e-06,9.477658e-06,9.572878e-06,9.868976e-06,1.016269e-05,1.025614e-05,1.045381e-05,1.063868e-05,1.074216e-05,1.101621e-05,1.102756e-05,1.130988e-05,1.138836e-05,1.158897e-05,1.175482e-05,1.186471e-05,1.211533e-05,1.213699e-05,1.240571e-05,1.246966e-05,1.267078e-05,1.281760e-05,1.293214e-05,1.315900e-05,1.318971e-05,1.344344e-05,1.349372e-05,1.369328e-05,1.382164e-05,1.393919e-05,1.414269e-05,1.418114e-05,1.441910e-05,1.445680e-05,1.465306e-05,1.476393e-05,1.488299e-05,1.506404e-05,1.510890e-05,1.533078e-05,1.535714e-05,1.554864e-05,1.564322e-05,1.576247e-05,1.592230e-05,1.597229e-05,1.617811e-05,1.619440e-05,1.637995e-05,1.645958e-05,1.657783e-05,1.671787e-05,1.677178e-05,1.696181e-05,1.696933e-05,1.714796e-05,1.721403e-05,1.733025e-05,1.745203e-05,1.750873e-05,1.768341e-05,1.790826e-05,1.812665e-05,1.833868e-05,1.854443e-05,1.874401e-05,1.893751e-05,1.912504e-05,1.930668e-05,1.948255e-05,1.965274e-05,1.981737e-05,1.997654e-05,2.013036e-05,2.027892e-05,2.042233e-05,2.056071e-05,2.069415e-05,2.082276e-05,2.094665e-05,2.106591e-05,2.118065e-05,2.129096e-05,2.139696e-05,2.149875e-05
0.000000e+00,3.806074e-12,1.537390e-11,1.090409e-10,3.786624e-10,6.632445e-10,2.196190e-09,2.292584e-09,5.926657e-09,7.469251e-09,1.285725e-08,1.929798e-08,2.481635e-08,4.216712e-08,4.403223e-08,7.317958e-08,8.197272e-08,1.151233e-07,1.452024e-07,1.724914e-07,2.373755e-07,2.473304e-07,3.410310e-07,3.621169e-07,4.544397e-07,5.213614e-07,5.880020e-07,7.158877e-07,7.418707e-07,9.159764e-07,9.456970e-07,1.110071e-06,1.210224e-06,1.323756e-06,1.508462e-06,1.556509e-06,1.807701e-06,1.839050e-06,2.076613e-06,2.200348e-06,2.362459e-06,2.590510e-06,2.664396e-06,2.981544e-06,3.007545e-06,3.312993e-06,3.449372e-06,3.657824e-06,3.913868e-06,4.015110e-06,4.383931e-06,4.398911e-06,4.763380e-06,4.902411e-06,5.152566e-06,5.422329e-06,5.550619e-06,5.956698e-06,6.369987e-06,6.503633e-06,6.789701e-06,7.061340e-06,7.215086e-06,7.628120e-06,7.645420e-06,8.080014e-06,8.202374e-06,8.518211e-06,8.782596e-06,8.959383e-06,9.367379e-06,9.402937e-06,9.848308e-06,9.955407e-06,1.029496e-05,1.054546e-05,1.074239e-05,1.113639e-05,1.119012e-05,1.163770e-05,1.172716e-05,1.208470e-05,1.231678e-05,1.253073e-05,1.290437e-05,1.297541e-05,1.341838e-05,1.348908e-05,1.385932e-05,1.407016e-05,1.429792e-05,1.464692e-05,1.473389e-05,1.516696e-05,1.521872e-05,1.559688e-05,1.578499e-05,1.602341e-05,1.634518e-05,1.644635e-05,1.686548e-05,1.689884e-05,1.728062e-05,1.744552e-05,1.769161e-05,1.798485e-05,1.809828e-05,1.850049e-05,1.851648e-05,1.889811e-05,1.904011e-05,1.929102e-05,1.955545e-05,1.967911e-05,2.006228e-05,2.044045e-05,2.056039e-05,2.081353e-05,2.104960e-05,2.118146e-05,2.152977e-05,2.154418e-05,2.190162e-05,2.200076e-05,2.225376e-05,2.246247e-05,2.260054e-05,2.291482e-05,2.294194e-05,2.327793e-05,2.335776e-05,2.360849e-05,2.379123e-05,2.393362e-05,2.421522e-05,2.425330e-05,2.456752e-05,2.462972e-05,2.487630e-05,2.503472e-05,2.517964e-05,2.543025e-05,2.547755e-05,2.577003e-05,2.581633e-05,2.605712e-05,2.619301e-05,2.633884e-05,2.656035e-05,2.661519e-05,2.688623e-05,2.691839e-05,2.715197e-05,2.726722e-05,2.741244e-05,2.760691e-05,2.766770e-05,2.791776e-05,2.793754e-05,2.816267e-05,2.825921e-05,2.840248e-05,2.857201e-05,2.863723e-05,2.886695e-05,2.887604e-05,2.909171e-05,2.917141e-05,2.931154e-05,2.945824e-05,2.952650e-05,2.973663e-05,3.000671e-05,3.026860e-05,3.052241e-05,3.076827e-05,3.100632e-05,3.123668e-05,3.145947e-05,3.167483e-05,3.188290e-05,3.208379e-05,3.227765e-05,3.246460e-05,3.264478e-05,3.281832e-05,3.298535e-05,3.314599e-05,3.330038e-05,3.344865e-05,3.359093e-05,3.372734e-05,3.385800e-05,3.398304e-05,3.410259e-05,3.421677e-05
0.000000e+00,1.321114e-18,1.534355e-17,5.861715e-16,6.514796e-15,1.956958e-14,2.082361e-13,2.266875e-13,1.471238e-12,2.312081e-12,6.623643e-12,1.440347e-11,2.318307e-11,6.233998e-11,6.752594e-11,1.710264e-10,2.101006e-10,3.880965e-10,5.901105e-10,8.059503e-10,1.442518e-09,1.555579e-09,2.823108e-09,3.159665e-09,4.860483e-09,6.329453e-09,7.994462e-09,1.177046e-08,1.263301e-08,1.926845e-08,2.055278e-08,2.847704e-08,3.400095e-08,4.091497e-08,5.367788e-08,5.731085e-08,7.845520e-08,8.135106e-08,1.051872e-07,1.189435e-07,1.383795e-07,1.684732e-07,1.789211e-07,2.277006e-07,2.319850e-07,2.855873e-07,3.114804e-07,3.534149e-07,4.088469e-07,4.319639e-07,5.219472e-07,5.257936e-07,6.239958e-07,6.637936e-07,7.386478e-07,8.240369e-07,8.663388e-07,1.007395e-06,1.162030e-06,1.214400e-06,1.330339e-06,1.445230e-06,1.512305e-06,1.699719e-06,1.707795e-06,1.916569e-06,1.977362e-06,2.138283e-06,2.277343e-06,2.372497e-06,2.598565e-06,2.618687e-06,2.876248e-06,2.939682e-06,3.144512e-06,3.299145e-06,3.422750e-06,3.675239e-06,3.710191e-06,4.006024e-06,4.066125e-06,4.309415e-06,4.469884e-06,4.619514e-06,4.884551e-06,4.935460e-06,5.256399e-06,5.308155e-06,5.581480e-06,5.738745e-06,5.909871e-06,6.174421e-06,6.240760e-06,6.573363e-06,6.613354e-06,6.906923e-06,7.053806e-06,7.240721e-06,7.494143e-06,7.574071e-06,7.906329e-06,7.932844e-06,8.236889e-06,8.368509e-06,8.565187e-06,8.799865e-06,8.890699e-06,9.212946e-06,9.225761e-06,9.531484e-06,9.645172e-06,9.845913e-06,1.005719e-05,1.015587e-05,1.046103e-05,1.076110e-05,1.085601e-05,1.105583e-05,1.124155e-05,1.134500e-05,1.161718e-05,1.162840e-05,1.190588e-05,1.198250e-05,1.217730e-05,1.233720e-05,1.244255e-05,1.268106e-05,1.270154e-05,1.295420e-05,1.301389e-05,1.320049e-05,1.333561e-05,1.344036e-05,1.364615e-05,1.367382e-05,1.390086e-05,1.394550e-05,1.412150e-05,1.423371e-05,1.433576e-05,1.451084e-05,1.454369e-05,1.474533e-05,1.477701e-05,1.494074e-05,1.503234e-05,1.512999e-05,1.527699e-05,1.531314e-05,1.549029e-05,1.551115e-05,1.566151e-05,1.573499e-05,1.582689e-05,1.594873e-05,1.598653e-05,1.614052e-05,1.615260e-05,1.628896e-05,1.634681e-05,1.643196e-05,1.653160e-05,1.656961e-05,1.670203e-05,1.670722e-05,1.682932e-05,1.687391e-05,1.695159e-05,1.703192e-05,1.706894e-05,1.718149e-05,1.732287e-05,1.745633e-05,1.758209e-05,1.770041e-05,1.781153e-05,1.791570e-05,1.801314e-05,1.810409e-05,1.818878e-05,1.826744e-05,1.834028e-05,1.840751e-05,1.846936e-05,1.852602e-05,1.857770e-05,1.862459e-05,1.866688e-05,1.870476e-05,1.873841e-05,1.876801e-05,1.879372e-05,1.881572e-05,1.883416e-05,1.884919e-05
0.000000e+00,2.633548e-14,2.339591e-13,5.225160e-12,3.649169e-11,8.580074e-11,5.013226e-10,5.331359e-10,2.003985e-09,2.736330e-09,5.585687e-09,9.370002e-09,1.282068e-08,2.443222e-08,2.573002e-08,4.684232e-08,5.345778e-08,7.920354e-08,1.035297e-07,1.263123e-07,1.829418e-07,1.919142e-07,2.796551e-07,3.001514e-07,3.927187e-07,4.623787e-07,5.336061e-07,6.747808e-07,7.041049e-07,9.053726e-07,9.404800e-07,1.138052e-06,1.260975e-06,1.402369e-06,1.636533e-06,1.698207e-06,2.025159e-06,2.066455e-06,2.382568e-06,2.549260e-06,2.769565e-06,3.082832e-06,3.185102e-06,3.627981e-06,3.664554e-06,4.096885e-06,4.291422e-06,4.590409e-06,4.960165e-06,5.107079e-06,5.645382e-06,5.667343e-06,6.203782e-06,6.409429e-06,6.780739e-06,7.182887e-06,7.374721e-06,7.984221e-06,8.607764e-06,8.810028e-06,9.243913e-06,9.657020e-06,9.891278e-06,1.052206e-05,1.054852e-05,1.121435e-05,1.140215e-05,1.188753e-05,1.229449e-05,1.256691e-05,1.319643e-05,1.325134e-05,1.393978e-05,1.410549e-05,1.463123e-05,1.501939e-05,1.532472e-05,1.593598e-05,1.601937e-05,1.671433e-05,1.685329e-05,1.740881e-05,1.776950e-05,1.810207e-05,1.868294e-05,1.879340e-05,1.948216e-05,1.959208e-05,2.016774e-05,2.049552e-05,2.084957e-05,2.139198e-05,2.152713e-05,2.219992e-05,2.228031e-05,2.286750e-05,2.315947e-05,2.352944e-05,2.402851e-05,2.418536e-05,2.483491e-05,2.488658e-05,2.547775e-05,2.573295e-05,2.611360e-05,2.656693e-05,2.674218e-05,2.736325e-05,2.738794e-05,2.797659e-05,2.819546e-05,2.858200e-05,2.898905e-05,2.917929e-05,2.976832e-05,3.034894e-05,3.053294e-05,3.092103e-05,3.128265e-05,3.148450e-05,3.201722e-05,3.203924e-05,3.258519e-05,3.273648e-05,3.312229e-05,3.344029e-05,3.365050e-05,3.412855e-05,3.416977e-05,3.468008e-05,3.480122e-05,3.518143e-05,3.545827e-05,3.567381e-05,3.609970e-05,3.615724e-05,3.663171e-05,3.672554e-05,3.709727e-05,3.733585e-05,3.755394e-05,3.793071e-05,3.800177e-05,3.844079e-05,3.851022e-05,3.887106e-05,3.907450e-05,3.929264e-05,3.962369e-05,3.970559e-05,4.010998e-05,4.015793e-05,4.050587e-05,4.067740e-05,4.089335e-05,4.118226e-05,4.127250e-05,4.164338e-05,4.167270e-05,4.200611e-05,4.214893e-05,4.236075e-05,4.261114e-05,4.270740e-05,4.304616e-05,4.305954e-05,4.337711e-05,4.349436e-05,4.370036e-05,4.391582e-05,4.401600e-05,4.432414e-05,4.471956e-05,4.510230e-05,4.547261e-05,4.583072e-05,4.617686e-05,4.651129e-05,4.683423e-05,4.714593e-05,4.744663e-05,4.773655e-05,4.801594e-05,4.828503e-05,4.854404e-05,4.879322e-05,4.903278e-05,4.926296e-05,4.948396e-05,4.969602e-05,4.989935e-05,5.009415e-05,5.028064e-05,5.045903e-05,5.062952e-05,5.079230e-05
0.000000e+00,1.758466e-12,6.579363e-12,4.291712e-11,1.429913e-10,2.462912e-10,7.874410e-10,8.209315e-10,2.056409e-09,2.568934e-09,4.320487e-09,6.355103e-09,8.059743e-09,1.325423e-08,1.380097e-08,2.214739e-08,2.461082e-08,3.375901e-08,4.193998e-08,4.930976e-08,6.675900e-08,6.943489e-08,9.469536e-08,1.004071e-07,1.255680e-07,1.439746e-07,1.624502e-07,1.983155e-07,2.056674e-07,2.554791e-07,2.640749e-07,3.120819e-07,3.417058e-07,3.756126e-07,4.314803e-07,4.461503e-07,5.237186e-07,5.334985e-07,6.082893e-07,6.477006e-07,6.997855e-07,7.738815e-07,7.980864e-07,9.030317e-07,9.117088e-07,1.014427e-06,1.060741e-06,1.132047e-06,1.220451e-06,1.255645e-06,1.384953e-06,1.390240e-06,1.519686e-06,1.569462e-06,1.659552e-06,1.757438e-06,1.804248e-06,1.953471e-06,2.106914e-06,2.156857e-06,2.264272e-06,2.366897e-06,2.425244e-06,2.582903e-06,2.589535e-06,2.756855e-06,2.804209e-06,2.926924e-06,3.030171e-06,3.099468e-06,3.260169e-06,3.274225e-06,3.450942e-06,3.493619e-06,3.629375e-06,3.729961e-06,3.809293e-06,3.968671e-06,3.990472e-06,4.172700e-06,4.209254e-06,4.355777e-06,4.451248e-06,4.539510e-06,4.694220e-06,4.723718e-06,4.908229e-06,4.937768e-06,5.092880e-06,5.181517e-06,5.277518e-06,5.425122e-06,5.461999e-06,5.646185e-06,5.668262e-06,5.829950e-06,5.910641e-06,6.013172e-06,6.151989e-06,6.195740e-06,6.377547e-06,6.392055e-06,6.558495e-06,6.630613e-06,6.738492e-06,6.867452e-06,6.917452e-06,7.095296e-06,7.102385e-06,7.271948e-06,7.335239e-06,7.447342e-06,7.565858e-06,7.621413e-06,7.794103e-06,7.965357e-06,8.019847e-06,8.135127e-06,8.242980e-06,8.303367e-06,8.463400e-06,8.470036e-06,8.635096e-06,8.681020e-06,8.798514e-06,8.895763e-06,8.960259e-06,9.107563e-06,9.120303e-06,9.278623e-06,9.316361e-06,9.435197e-06,9.522108e-06,9.590006e-06,9.724765e-06,9.743034e-06,9.894267e-06,9.924298e-06,1.004369e-05,1.012068e-05,1.019131e-05,1.031389e-05,1.033710e-05,1.048106e-05,1.050392e-05,1.062318e-05,1.069075e-05,1.076348e-05,1.087439e-05,1.090194e-05,1.103856e-05,1.105484e-05,1.117336e-05,1.123209e-05,1.130633e-05,1.140616e-05,1.143747e-05,1.156680e-05,1.157707e-05,1.169432e-05,1.174482e-05,1.182004e-05,1.190945e-05,1.194397e-05,1.206611e-05,1.207096e-05,1.218648e-05,1.222938e-05,1.230509e-05,1.238474e-05,1.242195e-05,1.253707e-05,1.268640e-05,1.283276e-05,1.297618e-05,1.311669e-05,1.325434e-05,1.338915e-05,1.352117e-05,1.365044e-05,1.377698e-05,1.390085e-05,1.402207e-05,1.414069e-05,1.425676e-05,1.437030e-05,1.448136e-05,1.458998e-05,1.469620e-05,1.480006e-05,1.490159e-05,1.500085e-05,1.509787e-05,1.519268e-05,1.528533e-05,1.537586e-05
0.000000e+00,3.332418e-12,1.105081e-11,6.352444e-11,1.997262e-10,3.367639e-10,1.037746e-09,1.080668e-09,2.648960e-09,3.294525e-09,5.489867e-09,8.027622e-09,1.014772e-08,1.658870e-08,1.726548e-08,2.758238e-08,3.062413e-08,4.191597e-08,5.201530e-08,6.111842e-08,8.270045e-08,8.601405e-08,1.173458e-07,1.244425e-07,1.557510e-07,1.786976e-07,2.017614e-07,2.466082e-07,2.558119e-07,3.182508e-07,3.290384e-07,3.893467e-07,4.266076e-07,4.692942e-07,5.397115e-07,5.582182e-07,6.561781e-07,6.685410e-07,7.631722e-07,8.130987e-07,8.791427e-07,9.732183e-07,1.003980e-06,1.137531e-06,1.148586e-06,1.279599e-06,1.338760e-06,1.429955e-06,1.543199e-06,1.588340e-06,1.754471e-06,1.761274e-06,1.928047e-06,1.992296e-06,2.108749e-06,2.235531e-06,2.296250e-06,2.490213e-06,2.690298e-06,2.755562e-06,2.896163e-06,3.030791e-06,3.107465e-06,3.315116e-06,3.323866e-06,3.545030e-06,3.607764e-06,3.770627e-06,3.907978e-06,4.000334e-06,4.215022e-06,4.233834e-06,4.470819e-06,4.528181e-06,4.710990e-06,4.846769e-06,4.954056e-06,5.170125e-06,5.199736e-06,5.447757e-06,5.497619e-06,5.697858e-06,5.828647e-06,5.949785e-06,6.162637e-06,6.203295e-06,6.458154e-06,6.499042e-06,6.714138e-06,6.837347e-06,6.971032e-06,7.177063e-06,7.228630e-06,7.486734e-06,7.517731e-06,7.745156e-06,7.858916e-06,8.003717e-06,8.200209e-06,8.262244e-06,8.520575e-06,8.541228e-06,8.778553e-06,8.881613e-06,9.036032e-06,9.221028e-06,9.292870e-06,9.548934e-06,9.559159e-06,9.804098e-06,9.895713e-06,1.005824e-05,1.023042e-05,1.031125e-05,1.056302e-05,1.081345e-05,1.089329e-05,1.106245e-05,1.122101e-05,1.130992e-05,1.154598e-05,1.155578e-05,1.179995e-05,1.186801e-05,1.204236e-05,1.218694e-05,1.228295e-05,1.250261e-05,1.252163e-05,1.275837e-05,1.281489e-05,1.299309e-05,1.312364e-05,1.322575e-05,1.342875e-05,1.345631e-05,1.368471e-05,1.373013e-05,1.391092e-05,1.402767e-05,1.413490e-05,1.432130e-05,1.435662e-05,1.457605e-05,1.461094e-05,1.479315e-05,1.489653e-05,1.500791e-05,1.517802e-05,1.522031e-05,1.543032e-05,1.545536e-05,1.563793e-05,1.572852e-05,1.584313e-05,1.599746e-05,1.604590e-05,1.624623e-05,1.626215e-05,1.644412e-05,1.652259e-05,1.663956e-05,1.677876e-05,1.683255e-05,1.702308e-05,1.703065e-05,1.721115e-05,1.727826e-05,1.739677e-05,1.752159e-05,1.757994e-05,1.776066e-05,1.799548e-05,1.822605e-05,1.845241e-05,1.867457e-05,1.889256e-05,1.910641e-05,1.931614e-05,1.952181e-05,1.972343e-05,1.992105e-05,2.011471e-05,2.030444e-05,2.049030e-05,2.067232e-05,2.085055e-05,2.102504e-05,2.119584e-05,2.136298e-05,2.152653e-05,2.168652e-05,2.184301e-05,2.199606e-05,2.214570e-05,2.229199e-05
0.000000e+00,4.629806e-15,4.020744e-14,8.594037e-13,5.789137e-12,1.336625e-11,7.492088e-11,7.955434e-11,2.893809e-10,3.921888e-10,7.878544e-10,1.308457e-09,1.781177e-09,3.368581e-09,3.546006e-09,6.436120e-09,7.342815e-09,1.086979e-08,1.419008e-08,1.728082e-08,2.485953e-08,2.604548e-08,3.742835e-08,4.003366e-08,5.157293e-08,6.003769e-08,6.852478e-08,8.491901e-08,8.826177e-08,1.107180e-07,1.145573e-07,1.357987e-07,1.487366e-07,1.633891e-07,1.871811e-07,1.933587e-07,2.255651e-07,2.295731e-07,2.598568e-07,2.755651e-07,2.960754e-07,3.247905e-07,3.340587e-07,3.736431e-07,3.768741e-07,4.146660e-07,4.314421e-07,4.569681e-07,4.881310e-07,5.003954e-07,5.448001e-07,5.465946e-07,5.900424e-07,6.065092e-07,6.359911e-07,6.675768e-07,6.825237e-07,7.295271e-07,7.768972e-07,7.921173e-07,8.245387e-07,8.551314e-07,8.723650e-07,9.183790e-07,9.202974e-07,9.682649e-07,9.816933e-07,1.016204e-06,1.044929e-06,1.064056e-06,1.107959e-06,1.111770e-06,1.159300e-06,1.170675e-06,1.206605e-06,1.232983e-06,1.253647e-06,1.294801e-06,1.300394e-06,1.346817e-06,1.356060e-06,1.392889e-06,1.416700e-06,1.438587e-06,1.476669e-06,1.483891e-06,1.528783e-06,1.535926e-06,1.573246e-06,1.594432e-06,1.617266e-06,1.652156e-06,1.660832e-06,1.703931e-06,1.709071e-06,1.746555e-06,1.765156e-06,1.788694e-06,1.820392e-06,1.830343e-06,1.871494e-06,1.874764e-06,1.912143e-06,1.928260e-06,1.952284e-06,1.980870e-06,1.991915e-06,2.031033e-06,2.032587e-06,2.069636e-06,2.083406e-06,2.107720e-06,2.133322e-06,2.145287e-06,2.182334e-06,2.218862e-06,2.230442e-06,2.254872e-06,2.277645e-06,2.290362e-06,2.323947e-06,2.325336e-06,2.359793e-06,2.369349e-06,2.393736e-06,2.413856e-06,2.427167e-06,2.457472e-06,2.460087e-06,2.492499e-06,2.500202e-06,2.524405e-06,2.542053e-06,2.555809e-06,2.583031e-06,2.586714e-06,2.617122e-06,2.623144e-06,2.647036e-06,2.662398e-06,2.676461e-06,2.700802e-06,2.705400e-06,2.733857e-06,2.738365e-06,2.761834e-06,2.775095e-06,2.789338e-06,2.811001e-06,2.816370e-06,2.842936e-06,2.846093e-06,2.869040e-06,2.880380e-06,2.894685e-06,2.913872e-06,2.919877e-06,2.944619e-06,2.946579e-06,2.968916e-06,2.978511e-06,2.992772e-06,3.009679e-06,3.016193e-06,3.039181e-06,3.040092e-06,3.061743e-06,3.069761e-06,3.083882e-06,3.098697e-06,3.105603e-06,3.126911e-06,3.154412e-06,3.181212e-06,3.207320e-06,3.232749e-06,3.257508e-06,3.281608e-06,3.305060e-06,3.327874e-06,3.350060e-06,3.371630e-06,3.392593e-06,3.412960e-06,3.432741e-06,3.451946e-06,3.470585e-06,3.488668e-06,3.506206e-06,3.523207e-06,3.539682e-06,3.555640e-06,3.571090e-06,3.586043e-06,3.600507e-06,3.614491e-06
0.000000e+00,1.916711e-14,1.607984e-13,3.227144e-12,2.071800e-11,4.674200e-11,2.489259e-10,2.638255e-10,9.196519e-10,1.232833e-09,2.409955e-09,3.912904e-09,5.245490e-09,9.563727e-09,1.003451e-08,1.746577e-08,1.972490e-08,2.829104e-08,3.613058e-08,4.330402e-08,6.062045e-08,6.331131e-08,8.909210e-08,9.500494e-08,1.213517e-07,1.408890e-07,1.606824e-07,1.995243e-07,2.075429e-07,2.622559e-07,2.717535e-07,3.250165e-07,3.580271e-07,3.959030e-07,4.584487e-07,4.748896e-07,5.618578e-07,5.728217e-07,6.566079e-07,7.006961e-07,7.588707e-07,8.414155e-07,8.683191e-07,9.845796e-07,9.941627e-07,1.107243e-06,1.158004e-06,1.235874e-06,1.331931e-06,1.370022e-06,1.509227e-06,1.514894e-06,1.653028e-06,1.705833e-06,1.800967e-06,1.903702e-06,1.952599e-06,2.107486e-06,2.265212e-06,2.316218e-06,2.425374e-06,2.528980e-06,2.587592e-06,2.744919e-06,2.751504e-06,2.916769e-06,2.963242e-06,3.083068e-06,3.183220e-06,3.250104e-06,3.404186e-06,3.417597e-06,3.585288e-06,3.625537e-06,3.752940e-06,3.846724e-06,3.920330e-06,4.067254e-06,4.087255e-06,4.253527e-06,4.286688e-06,4.418977e-06,4.504632e-06,4.583446e-06,4.720738e-06,4.746792e-06,4.908886e-06,4.934697e-06,5.069611e-06,5.146241e-06,5.228860e-06,5.355133e-06,5.386539e-06,5.542562e-06,5.561170e-06,5.696853e-06,5.764175e-06,5.849346e-06,5.964000e-06,5.999980e-06,6.148704e-06,6.160518e-06,6.295474e-06,6.353625e-06,6.440249e-06,6.543234e-06,6.582998e-06,6.723694e-06,6.729278e-06,6.862313e-06,6.911704e-06,6.998839e-06,7.090474e-06,7.133258e-06,7.265560e-06,7.395740e-06,7.436949e-06,7.523796e-06,7.604636e-06,7.649727e-06,7.768626e-06,7.773538e-06,7.895233e-06,7.928930e-06,8.014822e-06,8.085568e-06,8.132314e-06,8.238565e-06,8.247722e-06,8.361059e-06,8.387954e-06,8.472342e-06,8.533769e-06,8.581586e-06,8.676050e-06,8.688811e-06,8.794036e-06,8.814843e-06,8.897282e-06,8.950194e-06,8.998569e-06,9.082152e-06,9.097919e-06,9.195357e-06,9.210771e-06,9.290904e-06,9.336103e-06,9.384586e-06,9.458204e-06,9.476426e-06,9.566450e-06,9.577132e-06,9.654683e-06,9.692945e-06,9.741151e-06,9.805701e-06,9.825878e-06,9.908892e-06,9.915460e-06,9.990217e-06,1.002228e-05,1.006988e-05,1.012622e-05,1.014791e-05,1.022433e-05,1.022735e-05,1.029916e-05,1.032572e-05,1.037244e-05,1.042139e-05,1.044418e-05,1.051442e-05,1.060487e-05,1.069280e-05,1.077827e-05,1.086133e-05,1.094204e-05,1.102045e-05,1.109663e-05,1.117062e-05,1.124249e-05,1.131227e-05,1.138002e-05,1.144580e-05,1.150965e-05,1.157161e-05,1.163175e-05,1.169011e-05,1.174672e-05,1.180164e-05,1.185491e-05,1.190657e-05,1.195667e-05,1.200524e-05,1.205233e-05,1.209797e-05
0.000000e+00,1.409847e-11,4.284651e-11,2.252186e-10,6.814327e-10,1.134644e-09,3.442406e-09,3.583960e-09,8.804291e-09,1.098252e-08,1.851275e-08,2.742969e-08,3.502913e-08,5.876788e-08,6.130754e-08,1.007002e-07,1.124758e-07,1.564568e-07,1.958778e-07,2.313274e-07,3.147646e-07,3.274882e-07,4.466462e-07,4.733617e-07,5.901519e-07,6.747612e-07,7.590723e-07,9.212163e-07,9.542328e-07,1.176238e-06,1.214280e-06,1.425489e-06,1.554873e-06,1.702189e-06,1.943335e-06,2.006363e-06,2.337869e-06,2.379474e-06,2.696414e-06,2.862634e-06,3.081570e-06,3.391756e-06,3.492795e-06,3.929444e-06,3.965453e-06,4.390793e-06,4.582073e-06,4.876050e-06,5.239765e-06,5.384367e-06,5.914859e-06,5.936527e-06,6.466606e-06,6.670258e-06,7.038671e-06,7.438796e-06,7.630102e-06,8.239944e-06,8.867238e-06,9.071503e-06,9.511034e-06,9.931287e-06,1.017039e-05,1.081714e-05,1.084437e-05,1.153206e-05,1.172695e-05,1.223257e-05,1.265866e-05,1.294501e-05,1.361026e-05,1.366853e-05,1.440229e-05,1.457982e-05,1.514547e-05,1.556547e-05,1.589727e-05,1.656539e-05,1.665694e-05,1.742371e-05,1.757786e-05,1.819687e-05,1.860120e-05,1.897572e-05,1.963384e-05,1.975957e-05,2.054777e-05,2.067424e-05,2.133969e-05,2.172095e-05,2.213472e-05,2.277259e-05,2.293228e-05,2.373179e-05,2.382784e-05,2.453271e-05,2.488543e-05,2.533453e-05,2.594419e-05,2.613673e-05,2.693884e-05,2.700299e-05,2.774039e-05,2.806075e-05,2.854094e-05,2.911648e-05,2.934007e-05,3.013737e-05,3.016921e-05,3.093245e-05,3.121807e-05,3.172495e-05,3.226219e-05,3.251451e-05,3.330079e-05,3.408348e-05,3.433313e-05,3.486228e-05,3.535852e-05,3.563688e-05,3.637631e-05,3.640702e-05,3.717245e-05,3.738588e-05,3.793290e-05,3.838669e-05,3.868816e-05,3.937821e-05,3.943799e-05,4.018220e-05,4.035996e-05,4.092060e-05,4.133148e-05,4.165299e-05,4.229239e-05,4.237920e-05,4.309909e-05,4.324229e-05,4.381249e-05,4.418085e-05,4.451927e-05,4.510776e-05,4.521930e-05,4.591246e-05,4.602273e-05,4.659865e-05,4.692551e-05,4.727775e-05,4.781587e-05,4.794968e-05,4.861435e-05,4.869362e-05,4.927169e-05,4.955858e-05,4.992163e-05,5.041059e-05,5.056410e-05,5.119906e-05,5.124953e-05,5.182645e-05,5.207528e-05,5.244624e-05,5.288775e-05,5.305838e-05,5.366286e-05,5.368688e-05,5.425965e-05,5.447260e-05,5.484872e-05,5.524488e-05,5.543008e-05,5.600371e-05,5.674906e-05,5.748095e-05,5.819940e-05,5.890445e-05,5.959613e-05,6.027450e-05,6.093963e-05,6.159159e-05,6.223047e-05,6.285636e-05,6.346935e-05,6.406956e-05,6.465710e-05,6.523209e-05,6.579465e-05,6.634491e-05,6.688301e-05,6.740909e-05,6.792329e-05,6.842576e-05,6.891664e-05,6.939609e-05,6.986427e-05,7.032133e-05
0.000000e+00,3.085936e-12,9.754855e-12,5.336495e-11,1.640939e-10,2.744941e-10,8.349511e-10,8.691664e-10,2.117036e-09,2.630283e-09,4.376250e-09,6.396955e-09,8.087236e-09,1.323053e-08,1.377131e-08,2.200854e-08,2.443172e-08,3.339310e-08,4.135762e-08,4.849651e-08,6.529157e-08,6.785654e-08,9.197874e-08,9.741696e-08,1.213378e-07,1.388224e-07,1.563762e-07,1.904961e-07,1.975006e-07,2.450777e-07,2.533110e-07,2.994304e-07,3.280094e-07,3.608348e-07,4.151894e-07,4.295174e-07,5.056548e-07,5.152988e-07,5.893736e-07,6.286333e-07,6.807513e-07,7.553415e-07,7.798190e-07,8.865637e-07,8.954336e-07,1.000932e-06,1.048794e-06,1.122833e-06,1.215197e-06,1.252143e-06,1.388710e-06,1.394321e-06,1.532356e-06,1.585764e-06,1.682882e-06,1.789060e-06,1.840072e-06,2.003694e-06,2.173504e-06,2.229109e-06,2.349251e-06,2.464726e-06,2.530677e-06,2.709945e-06,2.717520e-06,2.909514e-06,2.964159e-06,3.106393e-06,3.226756e-06,3.307894e-06,3.497131e-06,3.513753e-06,3.723711e-06,3.774681e-06,3.937509e-06,4.058820e-06,4.154898e-06,4.348973e-06,4.375629e-06,4.599461e-06,4.644579e-06,4.826159e-06,4.945099e-06,5.055494e-06,5.250009e-06,5.287241e-06,5.521185e-06,5.558806e-06,5.757116e-06,5.871008e-06,5.994829e-06,6.186151e-06,6.234129e-06,6.474824e-06,6.503793e-06,6.716733e-06,6.823511e-06,6.959677e-06,7.144902e-06,7.203487e-06,7.447998e-06,7.467584e-06,7.693052e-06,7.791192e-06,7.938499e-06,8.115382e-06,8.184192e-06,8.429993e-06,8.439825e-06,8.675766e-06,8.764214e-06,8.921385e-06,9.088255e-06,9.166726e-06,9.411673e-06,9.656112e-06,9.734208e-06,9.899938e-06,1.005562e-05,1.014305e-05,1.037567e-05,1.038535e-05,1.062674e-05,1.069415e-05,1.086714e-05,1.101086e-05,1.110646e-05,1.132561e-05,1.134462e-05,1.158155e-05,1.163823e-05,1.181718e-05,1.194854e-05,1.205144e-05,1.225641e-05,1.228427e-05,1.251560e-05,1.256168e-05,1.274538e-05,1.286423e-05,1.297355e-05,1.316394e-05,1.320007e-05,1.342489e-05,1.346070e-05,1.364796e-05,1.375440e-05,1.386925e-05,1.404496e-05,1.408871e-05,1.430630e-05,1.433229e-05,1.452201e-05,1.461631e-05,1.473579e-05,1.489696e-05,1.494762e-05,1.515747e-05,1.517417e-05,1.536532e-05,1.544789e-05,1.557114e-05,1.571808e-05,1.577493e-05,1.597665e-05,1.598468e-05,1.617630e-05,1.624766e-05,1.637385e-05,1.650699e-05,1.656931e-05,1.676265e-05,1.701461e-05,1.726287e-05,1.750740e-05,1.774819e-05,1.798526e-05,1.821858e-05,1.844818e-05,1.867405e-05,1.889620e-05,1.911465e-05,1.932941e-05,1.954050e-05,1.974794e-05,1.995174e-05,2.015194e-05,2.034856e-05,2.054162e-05,2.073117e-05,2.091721e-05,2.109980e-05,2.127895e-05,2.145471e-05,2.162711e-05,2.179618e-05
0.000000e+00,8.162882e-13,4.905448e-12,5.705828e-11,2.549895e-10,4.913621e-10,1.919939e-09,2.014177e-09,5.709083e-09,7.319864e-09,1.301026e-08,1.984550e-08,2.569045e-08,4.391208e-08,4.585601e-08,7.593231e-08,8.491957e-08,1.186017e-07,1.490410e-07,1.766629e-07,2.426687e-07,2.528560e-07,3.497450e-07,3.718169e-07,4.696789e-07,5.418680e-07,6.147887e-07,7.575429e-07,7.869873e-07,9.879630e-07,1.022890e-06,1.219168e-06,1.341248e-06,1.481809e-06,1.715201e-06,1.776834e-06,2.104934e-06,2.146552e-06,2.466537e-06,2.636311e-06,2.861819e-06,3.184723e-06,3.290710e-06,3.752911e-06,3.791313e-06,4.247912e-06,4.454945e-06,4.775011e-06,5.173911e-06,5.333332e-06,5.921855e-06,5.946008e-06,6.539428e-06,6.768628e-06,7.184798e-06,7.638845e-06,7.856622e-06,8.553493e-06,9.273952e-06,9.509239e-06,1.001651e-05,1.050265e-05,1.077965e-05,1.153023e-05,1.156186e-05,1.236162e-05,1.258850e-05,1.317743e-05,1.367400e-05,1.400780e-05,1.478335e-05,1.485127e-05,1.570643e-05,1.591325e-05,1.657188e-05,1.706052e-05,1.744626e-05,1.822209e-05,1.832829e-05,1.921669e-05,1.939503e-05,2.011025e-05,2.057656e-05,2.100781e-05,2.176402e-05,2.190824e-05,2.281047e-05,2.295492e-05,2.371347e-05,2.414691e-05,2.461628e-05,2.533776e-05,2.551797e-05,2.641764e-05,2.652543e-05,2.731447e-05,2.770796e-05,2.820766e-05,2.888358e-05,2.909645e-05,2.998016e-05,3.005061e-05,3.085810e-05,3.120752e-05,3.172965e-05,3.235288e-05,3.259423e-05,3.345128e-05,3.348540e-05,3.430030e-05,3.460388e-05,3.514079e-05,3.570723e-05,3.597232e-05,3.679447e-05,3.760686e-05,3.786470e-05,3.840913e-05,3.891713e-05,3.920097e-05,3.995104e-05,3.998207e-05,4.075217e-05,4.096579e-05,4.151101e-05,4.196083e-05,4.225839e-05,4.293567e-05,4.299409e-05,4.371795e-05,4.388989e-05,4.442980e-05,4.482315e-05,4.512952e-05,4.573515e-05,4.581699e-05,4.649211e-05,4.662564e-05,4.715479e-05,4.749445e-05,4.780498e-05,4.834145e-05,4.844263e-05,4.906769e-05,4.916654e-05,4.968016e-05,4.996967e-05,5.028003e-05,5.075085e-05,5.086729e-05,5.144198e-05,5.151010e-05,5.200411e-05,5.224748e-05,5.255373e-05,5.296310e-05,5.309088e-05,5.361564e-05,5.365708e-05,5.412805e-05,5.432958e-05,5.462820e-05,5.498077e-05,5.511618e-05,5.559207e-05,5.561085e-05,5.605597e-05,5.622006e-05,5.650798e-05,5.680862e-05,5.694822e-05,5.737679e-05,5.792486e-05,5.845311e-05,5.896184e-05,5.945136e-05,5.992199e-05,6.037406e-05,6.080792e-05,6.122390e-05,6.162235e-05,6.200364e-05,6.236811e-05,6.271612e-05,6.304804e-05,6.336424e-05,6.366506e-05,6.395089e-05,6.422207e-05,6.447898e-05,6.472197e-05,6.495141e-05,6.516764e-05,6.537102e-05,6.556191e-05,6.574064e-05
0.000000e+00,3.259201e-12,1.188562e-11,7.540477e-11,2.481954e-10,4.259539e-10,1.359572e-09,1.417605e-09,3.581941e-09,4.492730e-09,7.656490e-09,1.141829e-08,1.463105e-08,2.469123e-08,2.576941e-08,4.253625e-08,4.756224e-08,6.636782e-08,8.323682e-08,9.839016e-08,1.339100e-07,1.393029e-07,1.894478e-07,2.005966e-07,2.489238e-07,2.835242e-07,3.176721e-07,3.824667e-07,3.955259e-07,4.822388e-07,4.969152e-07,5.775027e-07,6.261633e-07,6.809604e-07,7.693617e-07,7.922169e-07,9.108490e-07,9.255597e-07,1.036415e-06,1.093743e-06,1.168460e-06,1.272868e-06,1.306530e-06,1.450168e-06,1.461886e-06,1.598929e-06,1.659770e-06,1.752378e-06,1.865526e-06,1.910093e-06,2.071673e-06,2.078212e-06,2.236733e-06,2.296935e-06,2.404907e-06,2.520867e-06,2.575850e-06,2.749237e-06,2.924762e-06,2.981335e-06,3.102140e-06,3.216510e-06,3.281103e-06,3.454166e-06,3.461401e-06,3.642801e-06,3.693760e-06,3.825087e-06,3.934799e-06,4.008057e-06,4.176834e-06,4.191526e-06,4.375319e-06,4.419460e-06,4.559277e-06,4.662309e-06,4.743250e-06,4.905049e-06,4.927101e-06,5.110703e-06,5.147383e-06,5.293938e-06,5.389039e-06,5.476698e-06,5.629777e-06,5.658884e-06,5.840404e-06,5.869379e-06,6.021171e-06,6.107650e-06,6.201110e-06,6.344415e-06,6.380147e-06,6.558218e-06,6.579519e-06,6.735262e-06,6.812822e-06,6.911224e-06,7.044201e-06,7.086055e-06,7.259707e-06,7.273547e-06,7.432139e-06,7.500762e-06,7.603313e-06,7.725761e-06,7.773196e-06,7.941755e-06,7.948470e-06,8.108963e-06,8.168823e-06,8.274796e-06,8.386764e-06,8.439229e-06,8.602245e-06,8.763824e-06,8.815224e-06,8.923952e-06,9.025666e-06,9.082616e-06,9.233544e-06,9.239803e-06,9.395505e-06,9.438834e-06,9.549713e-06,9.641518e-06,9.702420e-06,9.841582e-06,9.853623e-06,1.000332e-05,1.003902e-05,1.015150e-05,1.023382e-05,1.029817e-05,1.042598e-05,1.044332e-05,1.058696e-05,1.061551e-05,1.072909e-05,1.080241e-05,1.086972e-05,1.098668e-05,1.100883e-05,1.114645e-05,1.116833e-05,1.128257e-05,1.134738e-05,1.141720e-05,1.152383e-05,1.155034e-05,1.168201e-05,1.169771e-05,1.181220e-05,1.186902e-05,1.194093e-05,1.203779e-05,1.206820e-05,1.219403e-05,1.220403e-05,1.231842e-05,1.236777e-05,1.244138e-05,1.252903e-05,1.256291e-05,1.268304e-05,1.268782e-05,1.280177e-05,1.284417e-05,1.291911e-05,1.299811e-05,1.303506e-05,1.314965e-05,1.329883e-05,1.344567e-05,1.359020e-05,1.373244e-05,1.387241e-05,1.401016e-05,1.414569e-05,1.427905e-05,1.441026e-05,1.453934e-05,1.466632e-05,1.479124e-05,1.491412e-05,1.503498e-05,1.515386e-05,1.527079e-05,1.538578e-05,1.549887e-05,1.561009e-05,1.571946e-05,1.582702e-05,1.593278e-05,1.603677e-05,1.613903e-05
0.000000e+00,6.406941e-18,7.428803e-17,2.824129e-15,3.124447e-14,9.361174e-14,9.893024e-13,1.076658e-12,6.938884e-12,1.088344e-11,3.102457e-11,6.718826e-11,1.078483e-10,2.881958e-10,3.120002e-10,7.848479e-10,9.625837e-10,1.768907e-09,2.679541e-09,3.648952e-09,6.494362e-09,6.998203e-09,1.262720e-08,1.411749e-08,2.163226e-08,2.810845e-08,3.543998e-08,5.205044e-08,5.584347e-08,8.502634e-08,9.067729e-08,1.255703e-07,1.499244e-07,1.804435e-07,2.368803e-07,2.529670e-07,3.467607e-07,3.596260e-07,4.656673e-07,5.269638e-07,6.136611e-07,7.480537e-07,7.947428e-07,1.012828e-06,1.031986e-06,1.271634e-06,1.387335e-06,1.574574e-06,1.821728e-06,1.924660e-06,2.324418e-06,2.341471e-06,2.775826e-06,2.951263e-06,3.280270e-06,3.654001e-06,3.838513e-06,4.450694e-06,5.116339e-06,5.340479e-06,5.834386e-06,6.320714e-06,6.603225e-06,7.387144e-06,7.420749e-06,8.284416e-06,8.534122e-06,9.191307e-06,9.754856e-06,1.013819e-05,1.104166e-05,1.112160e-05,1.213786e-05,1.238624e-05,1.318321e-05,1.377988e-05,1.425380e-05,1.521374e-05,1.534578e-05,1.645532e-05,1.667901e-05,1.757868e-05,1.816706e-05,1.871220e-05,1.966964e-05,1.985238e-05,2.099587e-05,2.117892e-05,2.213950e-05,2.268760e-05,2.328028e-05,2.418898e-05,2.441543e-05,2.554237e-05,2.567694e-05,2.665874e-05,2.714602e-05,2.776236e-05,2.859137e-05,2.885127e-05,2.992370e-05,3.000873e-05,3.097807e-05,3.139445e-05,3.201300e-05,3.274542e-05,3.302727e-05,3.401981e-05,3.405905e-05,3.498974e-05,3.533323e-05,3.593630e-05,3.656629e-05,3.685888e-05,3.775697e-05,3.863020e-05,3.890434e-05,3.947830e-05,4.000782e-05,4.030110e-05,4.106710e-05,4.109850e-05,4.187050e-05,4.208212e-05,4.261716e-05,4.305305e-05,4.333861e-05,4.398023e-05,4.403503e-05,4.470665e-05,4.486418e-05,4.535376e-05,4.570555e-05,4.597668e-05,4.650511e-05,4.657575e-05,4.715137e-05,4.726371e-05,4.770394e-05,4.798231e-05,4.823390e-05,4.866191e-05,4.874169e-05,4.922778e-05,4.930357e-05,4.969264e-05,4.990838e-05,5.013676e-05,5.047746e-05,5.056064e-05,5.096476e-05,5.101196e-05,5.134964e-05,5.151302e-05,5.171577e-05,5.198180e-05,5.206366e-05,5.239380e-05,5.241946e-05,5.270669e-05,5.282713e-05,5.300283e-05,5.320595e-05,5.328271e-05,5.354681e-05,5.355705e-05,5.379560e-05,5.388151e-05,5.402957e-05,5.418043e-05,5.424916e-05,5.445485e-05,5.470581e-05,5.493432e-05,5.514136e-05,5.532789e-05,5.549483e-05,5.564308e-05,5.577352e-05,5.588698e-05,5.598429e-05,5.606623e-05,5.613356e-05,5.618702e-05,5.622731e-05,5.625512e-05,5.627110e-05,5.627589e-05,5.627009e-05,5.625429e-05,5.622905e-05,5.619490e-05,5.615237e-05,5.610195e-05,5.604411e-05,5.597932e-05
0.000000e+00,1.983992e-12,8.672037e-12,6.727397e-11,2.446971e-10,4.371618e-10,1.515049e-09,1.584460e-09,4.296478e-09,5.492713e-09,9.827765e-09,1.525355e-08,2.005482e-08,3.569421e-08,3.740486e-08,6.434943e-08,7.247432e-08,1.028290e-07,1.299133e-07,1.541160e-07,2.104647e-07,2.189831e-07,2.978863e-07,3.153763e-07,3.910782e-07,4.452255e-07,4.986664e-07,6.001626e-07,6.206422e-07,7.568962e-07,7.800097e-07,9.072280e-07,9.843073e-07,1.071354e-06,1.212348e-06,1.248916e-06,1.439490e-06,1.463211e-06,1.642598e-06,1.735803e-06,1.857715e-06,2.028892e-06,2.084280e-06,2.321707e-06,2.341152e-06,2.569393e-06,2.671203e-06,2.826726e-06,3.017635e-06,3.093093e-06,3.367881e-06,3.379040e-06,3.650489e-06,3.754027e-06,3.940323e-06,4.141243e-06,4.236806e-06,4.539377e-06,4.847492e-06,4.947174e-06,5.160630e-06,5.363440e-06,5.478287e-06,5.787043e-06,5.799982e-06,6.125254e-06,6.216910e-06,6.453662e-06,6.652037e-06,6.784787e-06,7.091477e-06,7.118228e-06,7.453607e-06,7.534346e-06,7.790562e-06,7.979817e-06,8.128751e-06,8.427120e-06,8.467850e-06,8.807552e-06,8.875539e-06,9.147567e-06,9.324407e-06,9.487621e-06,9.773106e-06,9.827455e-06,1.016683e-05,1.022107e-05,1.050550e-05,1.066776e-05,1.084327e-05,1.111269e-05,1.117992e-05,1.151527e-05,1.155542e-05,1.184914e-05,1.199552e-05,1.218135e-05,1.243263e-05,1.251176e-05,1.284021e-05,1.286639e-05,1.316656e-05,1.329649e-05,1.349069e-05,1.372263e-05,1.381249e-05,1.413183e-05,1.414455e-05,1.444861e-05,1.456201e-05,1.476274e-05,1.497479e-05,1.507413e-05,1.538271e-05,1.568838e-05,1.578557e-05,1.599109e-05,1.618324e-05,1.629077e-05,1.657556e-05,1.658737e-05,1.688082e-05,1.696242e-05,1.717109e-05,1.734371e-05,1.745814e-05,1.771933e-05,1.774191e-05,1.802239e-05,1.808920e-05,1.829953e-05,1.845326e-05,1.857331e-05,1.881145e-05,1.884372e-05,1.911073e-05,1.916372e-05,1.937432e-05,1.951004e-05,1.963449e-05,1.985037e-05,1.989121e-05,2.014450e-05,2.018470e-05,2.039433e-05,2.051302e-05,2.064071e-05,2.083532e-05,2.088363e-05,2.112311e-05,2.115162e-05,2.135914e-05,2.146190e-05,2.159173e-05,2.176620e-05,2.182089e-05,2.204662e-05,2.206453e-05,2.226894e-05,2.235692e-05,2.248786e-05,2.264339e-05,2.270340e-05,2.291557e-05,2.292398e-05,2.312438e-05,2.319874e-05,2.332986e-05,2.346769e-05,2.353202e-05,2.373088e-05,2.398836e-05,2.424019e-05,2.448640e-05,2.472707e-05,2.496223e-05,2.519196e-05,2.541632e-05,2.563535e-05,2.584913e-05,2.605772e-05,2.626119e-05,2.645960e-05,2.665301e-05,2.684150e-05,2.702512e-05,2.720396e-05,2.737807e-05,2.754753e-05,2.771240e-05,2.787276e-05,2.802866e-05,2.818019e-05,2.832740e-05,2.847037e-05
0.000000e+00,4.246491e-15,3.868420e-14,9.061967e-13,6.580569e-12,1.578315e-11,9.672279e-11,1.030524e-10,4.051430e-10,5.600553e-10,1.180417e-09,2.035475e-09,2.838500e-09,5.661909e-09,5.986999e-09,1.147307e-08,1.325315e-08,2.036916e-08,2.728132e-08,3.385531e-08,5.040070e-08,5.303439e-08,7.878615e-08,8.478350e-08,1.117213e-07,1.318179e-07,1.522123e-07,1.922079e-07,2.004504e-07,2.564971e-07,2.661881e-07,3.203198e-07,3.536887e-07,3.918152e-07,4.544303e-07,4.708239e-07,5.571409e-07,5.679789e-07,6.505237e-07,6.937811e-07,7.506993e-07,8.311938e-07,8.573708e-07,9.702232e-07,9.795087e-07,1.088929e-06,1.137976e-06,1.213154e-06,1.305824e-06,1.342560e-06,1.476808e-06,1.482274e-06,1.615566e-06,1.666559e-06,1.758504e-06,1.857926e-06,1.905303e-06,2.055653e-06,2.209253e-06,2.259044e-06,2.365815e-06,2.467441e-06,2.525062e-06,2.680221e-06,2.686731e-06,2.850567e-06,2.896797e-06,3.016332e-06,3.116621e-06,3.183796e-06,3.339179e-06,3.352744e-06,3.522970e-06,3.563992e-06,3.694279e-06,3.790617e-06,3.866489e-06,4.018640e-06,4.039426e-06,4.212926e-06,4.247680e-06,4.386836e-06,4.477382e-06,4.561010e-06,4.707421e-06,4.735313e-06,4.909615e-06,4.937495e-06,5.083796e-06,5.167327e-06,5.257744e-06,5.396663e-06,5.431353e-06,5.604522e-06,5.625268e-06,5.777159e-06,5.852929e-06,5.949178e-06,6.079448e-06,6.120496e-06,6.291039e-06,6.304647e-06,6.460735e-06,6.528362e-06,6.629519e-06,6.750444e-06,6.797330e-06,6.964110e-06,6.970759e-06,7.129807e-06,7.189184e-06,7.294373e-06,7.405607e-06,7.457761e-06,7.619931e-06,7.780843e-06,7.832064e-06,7.940464e-06,8.041928e-06,8.098760e-06,8.249450e-06,8.255702e-06,8.411263e-06,8.454569e-06,8.565418e-06,8.657227e-06,8.718146e-06,8.857378e-06,8.869427e-06,9.019242e-06,9.054978e-06,9.167576e-06,9.249991e-06,9.314415e-06,9.442387e-06,9.459747e-06,9.603561e-06,9.632141e-06,9.745849e-06,9.819232e-06,9.886601e-06,1.000364e-05,1.002581e-05,1.016348e-05,1.018536e-05,1.029960e-05,1.036438e-05,1.043416e-05,1.054069e-05,1.056717e-05,1.069863e-05,1.071430e-05,1.082854e-05,1.088520e-05,1.095689e-05,1.105340e-05,1.108369e-05,1.120895e-05,1.121890e-05,1.133266e-05,1.138171e-05,1.145484e-05,1.154185e-05,1.157548e-05,1.169459e-05,1.169932e-05,1.181218e-05,1.185415e-05,1.192826e-05,1.200633e-05,1.204283e-05,1.215590e-05,1.230287e-05,1.244727e-05,1.258911e-05,1.272841e-05,1.286520e-05,1.299950e-05,1.313134e-05,1.326074e-05,1.338772e-05,1.351232e-05,1.363456e-05,1.375447e-05,1.387207e-05,1.398739e-05,1.410047e-05,1.421132e-05,1.431997e-05,1.442647e-05,1.453082e-05,1.463307e-05,1.473324e-05,1.483136e-05,1.492745e-05,1.502155e-05
0.000000e+00,1.770005e-15,1.762530e-14,4.908397e-13,4.114283e-12,1.061430e-11,7.702558e-11,8.258382e-11,3.732293e-10,5.334123e-10,1.212332e-09,2.203630e-09,3.168472e-09,6.701458e-09,7.117584e-09,1.430776e-08,1.669002e-08,2.637456e-08,3.597307e-08,4.524147e-08,6.905646e-08,7.290326e-08,1.111828e-07,1.202503e-07,1.615627e-07,1.929176e-07,2.251262e-07,2.892331e-07,3.025780e-07,3.943033e-07,4.103156e-07,5.004311e-07,5.564730e-07,6.208872e-07,7.274140e-07,7.554350e-07,9.037073e-07,9.224007e-07,1.065231e-06,1.140358e-06,1.239447e-06,1.379957e-06,1.425731e-06,1.623409e-06,1.639694e-06,1.831772e-06,1.917946e-06,2.050091e-06,2.213032e-06,2.277630e-06,2.513651e-06,2.523258e-06,2.757429e-06,2.846951e-06,3.008255e-06,3.182490e-06,3.265440e-06,3.528325e-06,3.796277e-06,3.882993e-06,4.068694e-06,4.245120e-06,4.345007e-06,4.613431e-06,4.624675e-06,4.907193e-06,4.986743e-06,5.192084e-06,5.363970e-06,5.478900e-06,5.744114e-06,5.767226e-06,6.056670e-06,6.126263e-06,6.346871e-06,6.509585e-06,6.637488e-06,6.893326e-06,6.928208e-06,7.218738e-06,7.276797e-06,7.508809e-06,7.659379e-06,7.798168e-06,8.040510e-06,8.086584e-06,8.373842e-06,8.419682e-06,8.659744e-06,8.796442e-06,8.944108e-06,9.170378e-06,9.226766e-06,9.507562e-06,9.541126e-06,9.786356e-06,9.908357e-06,1.006302e-05,1.027178e-05,1.033743e-05,1.060948e-05,1.063113e-05,1.087907e-05,1.098619e-05,1.114611e-05,1.133675e-05,1.141052e-05,1.167223e-05,1.168264e-05,1.193117e-05,1.202370e-05,1.218728e-05,1.235979e-05,1.244051e-05,1.269081e-05,1.293814e-05,1.301666e-05,1.318247e-05,1.333725e-05,1.342377e-05,1.365253e-05,1.366200e-05,1.389715e-05,1.396243e-05,1.412919e-05,1.426692e-05,1.435812e-05,1.456597e-05,1.458392e-05,1.480659e-05,1.485956e-05,1.502611e-05,1.514768e-05,1.524250e-05,1.543032e-05,1.545574e-05,1.566584e-05,1.570749e-05,1.587281e-05,1.597920e-05,1.607665e-05,1.624547e-05,1.627738e-05,1.647500e-05,1.650633e-05,1.666953e-05,1.676181e-05,1.686098e-05,1.701193e-05,1.704936e-05,1.723470e-05,1.725674e-05,1.741701e-05,1.749628e-05,1.759632e-05,1.773059e-05,1.777263e-05,1.794598e-05,1.795972e-05,1.811639e-05,1.818373e-05,1.828387e-05,1.840266e-05,1.844846e-05,1.861017e-05,1.861658e-05,1.876904e-05,1.882554e-05,1.892509e-05,1.902960e-05,1.907834e-05,1.922882e-05,1.942327e-05,1.961300e-05,1.979809e-05,1.997859e-05,2.015458e-05,2.032612e-05,2.049327e-05,2.065611e-05,2.081470e-05,2.096911e-05,2.111941e-05,2.126566e-05,2.140793e-05,2.154629e-05,2.168081e-05,2.181155e-05,2.193859e-05,2.206198e-05,2.218179e-05,2.229808e-05,2.241093e-05,2.252040e-05,2.262654e-05,2.272943e-05
0.000000e+00,1.310734e-12,5.725376e-12,4.432289e-11,1.603611e-10,2.850206e-10,9.651353e-10,1.008050e-09,2.623400e-09,3.305687e-09,5.669863e-09,8.460224e-09,1.082429e-08,1.813074e-08,1.890665e-08,3.085641e-08,3.441005e-08,4.766527e-08,5.956398e-08,7.030150e-08,9.576304e-08,9.967131e-08,1.366134e-07,1.449798e-07,1.819031e-07,2.089923e-07,2.362547e-07,2.893912e-07,3.003192e-07,3.746803e-07,3.875688e-07,4.598493e-07,5.046999e-07,5.562604e-07,6.417241e-07,6.642674e-07,7.841415e-07,7.993336e-07,9.160711e-07,9.779697e-07,1.060163e-06,1.177828e-06,1.216447e-06,1.384878e-06,1.398874e-06,1.565341e-06,1.640859e-06,1.757662e-06,1.903346e-06,1.961607e-06,2.176896e-06,2.185739e-06,2.403203e-06,2.487303e-06,2.640170e-06,2.807198e-06,2.887406e-06,3.144496e-06,3.411009e-06,3.498210e-06,3.686498e-06,3.867311e-06,3.970507e-06,4.250743e-06,4.262575e-06,4.562238e-06,4.647441e-06,4.869033e-06,5.056342e-06,5.182500e-06,5.476393e-06,5.502186e-06,5.827642e-06,5.906561e-06,6.158429e-06,6.345838e-06,6.494118e-06,6.793246e-06,6.834290e-06,7.178538e-06,7.247842e-06,7.526466e-06,7.708716e-06,7.877692e-06,8.174997e-06,8.231843e-06,8.588564e-06,8.645854e-06,8.947508e-06,9.120493e-06,9.308344e-06,9.598160e-06,9.670753e-06,1.003443e-05,1.007814e-05,1.039907e-05,1.055975e-05,1.076441e-05,1.104236e-05,1.113016e-05,1.149608e-05,1.152535e-05,1.186191e-05,1.200817e-05,1.222743e-05,1.249027e-05,1.259240e-05,1.295661e-05,1.297116e-05,1.331986e-05,1.345036e-05,1.368196e-05,1.392743e-05,1.404272e-05,1.440197e-05,1.475955e-05,1.487359e-05,1.511529e-05,1.534194e-05,1.546906e-05,1.580668e-05,1.582071e-05,1.617011e-05,1.626752e-05,1.651714e-05,1.672417e-05,1.686168e-05,1.717636e-05,1.720362e-05,1.754286e-05,1.762387e-05,1.787931e-05,1.806647e-05,1.821287e-05,1.850396e-05,1.854347e-05,1.887102e-05,1.893616e-05,1.919546e-05,1.936291e-05,1.951672e-05,1.978407e-05,1.983473e-05,2.014944e-05,2.019949e-05,2.046080e-05,2.060905e-05,2.076877e-05,2.101267e-05,2.107329e-05,2.137434e-05,2.141023e-05,2.167188e-05,2.180168e-05,2.196588e-05,2.218693e-05,2.225630e-05,2.254314e-05,2.256593e-05,2.282636e-05,2.293863e-05,2.310595e-05,2.330501e-05,2.338191e-05,2.365421e-05,2.366503e-05,2.392285e-05,2.401866e-05,2.418783e-05,2.436591e-05,2.444913e-05,2.470677e-05,2.504124e-05,2.536933e-05,2.569106e-05,2.600645e-05,2.631553e-05,2.661832e-05,2.691487e-05,2.720522e-05,2.748940e-05,2.776748e-05,2.803950e-05,2.830552e-05,2.856559e-05,2.881977e-05,2.906814e-05,2.931074e-05,2.954765e-05,2.977894e-05,3.000468e-05,3.022494e-05,3.043979e-05,3.064930e-05,3.085355e-05,3.105262e-05
0.000000e+00,7.342739e-15,7.165987e-14,1.919190e-12,1.556388e-11,3.946835e-11,2.747177e-10,2.940636e-10,1.278962e-09,1.809443e-09,4.009866e-09,7.140531e-09,1.012855e-08,2.076402e-08,2.199339e-08,4.272710e-08,4.943523e-08,7.615139e-08,1.020044e-07,1.265676e-07,1.885578e-07,1.984690e-07,2.963133e-07,3.193771e-07,4.243983e-07,5.043195e-07,5.868113e-07,7.525932e-07,7.874055e-07,1.029774e-06,1.072654e-06,1.317214e-06,1.472079e-06,1.652690e-06,1.957407e-06,2.038787e-06,2.477685e-06,2.533988e-06,2.971127e-06,3.205871e-06,3.520409e-06,3.975748e-06,4.126381e-06,4.789450e-06,4.844965e-06,5.509608e-06,5.813578e-06,6.286450e-06,6.880459e-06,7.119211e-06,8.006804e-06,8.043429e-06,8.947852e-06,9.299410e-06,9.940734e-06,1.064457e-05,1.098362e-05,1.207451e-05,1.321125e-05,1.358433e-05,1.439161e-05,1.516886e-05,1.561326e-05,1.682267e-05,1.687381e-05,1.817087e-05,1.854026e-05,1.950201e-05,2.031605e-05,2.086482e-05,2.214452e-05,2.225690e-05,2.367591e-05,2.402021e-05,2.511950e-05,2.593781e-05,2.658543e-05,2.789215e-05,2.807146e-05,2.957546e-05,2.987823e-05,3.109534e-05,3.189127e-05,3.262906e-05,3.392667e-05,3.417470e-05,3.573036e-05,3.598007e-05,3.729424e-05,3.804731e-05,3.886460e-05,4.012445e-05,4.043979e-05,4.201822e-05,4.220777e-05,4.359835e-05,4.429377e-05,4.517874e-05,4.637915e-05,4.675800e-05,4.833482e-05,4.846082e-05,4.990794e-05,5.053588e-05,5.147617e-05,5.260164e-05,5.303839e-05,5.459352e-05,5.465557e-05,5.614057e-05,5.669533e-05,5.767856e-05,5.871877e-05,5.920661e-05,6.072387e-05,6.222954e-05,6.270878e-05,6.372287e-05,6.467181e-05,6.520317e-05,6.661139e-05,6.666978e-05,6.812210e-05,6.852611e-05,6.955956e-05,7.041468e-05,7.098163e-05,7.227592e-05,7.238782e-05,7.377768e-05,7.410878e-05,7.515081e-05,7.591231e-05,7.650682e-05,7.768568e-05,7.784537e-05,7.916615e-05,7.942814e-05,8.046886e-05,8.113905e-05,8.175326e-05,8.281784e-05,8.301912e-05,8.426625e-05,8.446403e-05,8.549445e-05,8.607723e-05,8.670360e-05,8.765710e-05,8.789355e-05,8.906421e-05,8.920339e-05,9.021549e-05,9.071589e-05,9.134732e-05,9.219448e-05,9.245967e-05,9.355249e-05,9.363908e-05,9.462580e-05,9.504965e-05,9.567958e-05,9.642623e-05,9.671387e-05,9.772869e-05,9.776888e-05,9.872411e-05,9.907772e-05,9.970017e-05,1.003529e-04,1.006570e-04,1.015946e-04,1.028030e-04,1.039784e-04,1.051211e-04,1.062314e-04,1.073096e-04,1.083561e-04,1.093713e-04,1.103554e-04,1.113090e-04,1.122325e-04,1.131263e-04,1.139909e-04,1.148267e-04,1.156341e-04,1.164137e-04,1.171660e-04,1.178914e-04,1.185904e-04,1.192636e-04,1.199114e-04,1.205343e-04,1.211328e-04,1.217075e-04,1.222588e-04
0.000000e+00,2.354139e-15,2.115338e-14,4.827258e-13,3.430130e-12,8.134183e-12,4.842948e-11,5.153702e-11,1.964003e-10,2.689505e-10,5.521117e-10,9.287695e-10,1.272036e-09,2.423341e-09,2.551596e-09,4.626066e-09,5.271789e-09,7.768500e-09,1.010840e-08,1.228750e-08,1.767306e-08,1.852412e-08,2.684691e-08,2.879573e-08,3.764389e-08,4.436750e-08,5.131045e-08,6.529168e-08,6.823349e-08,8.877371e-08,9.241782e-08,1.132498e-07,1.264767e-07,1.419279e-07,1.680383e-07,1.750171e-07,2.126704e-07,2.175008e-07,2.549888e-07,2.751022e-07,3.020263e-07,3.409402e-07,3.537957e-07,4.102737e-07,4.149939e-07,4.714049e-07,4.971425e-07,5.371063e-07,5.871820e-07,6.072709e-07,6.817714e-07,6.848396e-07,7.604630e-07,7.897877e-07,8.431866e-07,9.016551e-07,9.297717e-07,1.020039e-06,1.113803e-06,1.144515e-06,1.210872e-06,1.274643e-06,1.311055e-06,1.409978e-06,1.414156e-06,1.519983e-06,1.550077e-06,1.628344e-06,1.694498e-06,1.739050e-06,1.842811e-06,1.851916e-06,1.966760e-06,1.994597e-06,2.083406e-06,2.149451e-06,2.201683e-06,2.306985e-06,2.321426e-06,2.442474e-06,2.466827e-06,2.564676e-06,2.628626e-06,2.687881e-06,2.792047e-06,2.811950e-06,2.936747e-06,2.956774e-06,3.062143e-06,3.122509e-06,3.188013e-06,3.288973e-06,3.314241e-06,3.440715e-06,3.455904e-06,3.567329e-06,3.623058e-06,3.693982e-06,3.790206e-06,3.820579e-06,3.947029e-06,3.957136e-06,4.073247e-06,4.123651e-06,4.199152e-06,4.289568e-06,4.324670e-06,4.449727e-06,4.454719e-06,4.574257e-06,4.618947e-06,4.698197e-06,4.782109e-06,4.821488e-06,4.944075e-06,5.065905e-06,5.104723e-06,5.186930e-06,5.263944e-06,5.307106e-06,5.421637e-06,5.426391e-06,5.544745e-06,5.577713e-06,5.662134e-06,5.732090e-06,5.778523e-06,5.884693e-06,5.893883e-06,6.008186e-06,6.035458e-06,6.121405e-06,6.184326e-06,6.233518e-06,6.331245e-06,6.344504e-06,6.454342e-06,6.476171e-06,6.563018e-06,6.619064e-06,6.670514e-06,6.759890e-06,6.776817e-06,6.881917e-06,6.898620e-06,6.985801e-06,7.035232e-06,7.088463e-06,7.169706e-06,7.189894e-06,7.290088e-06,7.302028e-06,7.389040e-06,7.432185e-06,7.486748e-06,7.560172e-06,7.583209e-06,7.678421e-06,7.685984e-06,7.772385e-06,7.809621e-06,7.865100e-06,7.931084e-06,7.956569e-06,8.046794e-06,8.050377e-06,8.135778e-06,8.167510e-06,8.223525e-06,8.282489e-06,8.310040e-06,8.395328e-06,8.506040e-06,8.614639e-06,8.721142e-06,8.825568e-06,8.927936e-06,9.028267e-06,9.126581e-06,9.222903e-06,9.317254e-06,9.409661e-06,9.500146e-06,9.588737e-06,9.675459e-06,9.760338e-06,9.843401e-06,9.924675e-06,1.000419e-05,1.008197e-05,1.015804e-05,1.023243e-05,1.030517e-05,1.037629e-05,1.044581e-05,1.051377e-05
0.000000e+00,2.322381e-15,2.271112e-14,6.107294e-13,4.966837e-12,1.260988e-11,8.791543e-11,9.410907e-11,4.091865e-10,5.786825e-10,1.280446e-09,2.276088e-09,3.224063e-09,6.586449e-09,6.974300e-09,1.350592e-08,1.561873e-08,2.404982e-08,3.224701e-08,4.007609e-08,6.000399e-08,6.321021e-08,9.508281e-08,1.026399e-07,1.371668e-07,1.634977e-07,1.906654e-07,2.450894e-07,2.564741e-07,3.351967e-07,3.490174e-07,4.271860e-07,4.761029e-07,5.325876e-07,6.265529e-07,6.513749e-07,7.833768e-07,8.000923e-07,9.282993e-07,9.960588e-07,1.085743e-06,1.213475e-06,1.255218e-06,1.436161e-06,1.451114e-06,1.627950e-06,1.707554e-06,1.829916e-06,1.981241e-06,2.041359e-06,2.261560e-06,2.270540e-06,2.489791e-06,2.573780e-06,2.725327e-06,2.889297e-06,2.967450e-06,3.215462e-06,3.468685e-06,3.550710e-06,3.726467e-06,3.893551e-06,3.988186e-06,4.242590e-06,4.253250e-06,4.521100e-06,4.596525e-06,4.791212e-06,4.954158e-06,5.063092e-06,5.314388e-06,5.336281e-06,5.610350e-06,5.676213e-06,5.884902e-06,6.038724e-06,6.159570e-06,6.401104e-06,6.434015e-06,6.707923e-06,6.762615e-06,6.981009e-06,7.122600e-06,7.253008e-06,7.480472e-06,7.523681e-06,7.792808e-06,7.835711e-06,8.060188e-06,8.187856e-06,8.325640e-06,8.536503e-06,8.589000e-06,8.850120e-06,8.881297e-06,9.108864e-06,9.221928e-06,9.365114e-06,9.558129e-06,9.618761e-06,9.869711e-06,9.889668e-06,1.011788e-05,1.021635e-05,1.036319e-05,1.053800e-05,1.060557e-05,1.084498e-05,1.085450e-05,1.108136e-05,1.116571e-05,1.131467e-05,1.147156e-05,1.154488e-05,1.177196e-05,1.199588e-05,1.206686e-05,1.221663e-05,1.235624e-05,1.243419e-05,1.264005e-05,1.264857e-05,1.285974e-05,1.291830e-05,1.306773e-05,1.319099e-05,1.327252e-05,1.345811e-05,1.347413e-05,1.367256e-05,1.371971e-05,1.386783e-05,1.397581e-05,1.405995e-05,1.422643e-05,1.424895e-05,1.443483e-05,1.447163e-05,1.461762e-05,1.471146e-05,1.479735e-05,1.494597e-05,1.497404e-05,1.514771e-05,1.517522e-05,1.531839e-05,1.539926e-05,1.548611e-05,1.561817e-05,1.565090e-05,1.581278e-05,1.583201e-05,1.597180e-05,1.604086e-05,1.612798e-05,1.624479e-05,1.628135e-05,1.643194e-05,1.644387e-05,1.657980e-05,1.663819e-05,1.672495e-05,1.682781e-05,1.686743e-05,1.700727e-05,1.701281e-05,1.714451e-05,1.719329e-05,1.727918e-05,1.736931e-05,1.741132e-05,1.754096e-05,1.770831e-05,1.787146e-05,1.803047e-05,1.818543e-05,1.833643e-05,1.848353e-05,1.862682e-05,1.876637e-05,1.890227e-05,1.903459e-05,1.916341e-05,1.928880e-05,1.941083e-05,1.952959e-05,1.964514e-05,1.975755e-05,1.986690e-05,1.997325e-05,2.007667e-05,2.017724e-05,2.027501e-05,2.037005e-05,2.046242e-05,2.055219e-05
0.000000e+00,1.276391e-17,1.427046e-16,5.036819e-15,5.207139e-14,1.503088e-13,1.442968e-12,1.564269e-12,9.170256e-12,1.402045e-11,3.750133e-11,7.719216e-11,1.199203e-10,2.983129e-10,3.210253e-10,7.517579e-10,9.071003e-10,1.586664e-09,2.322538e-09,3.082496e-09,5.226458e-09,5.596373e-09,9.600103e-09,1.062966e-08,1.568595e-08,1.990376e-08,2.455988e-08,3.475128e-08,3.702115e-08,5.393081e-08,5.710831e-08,7.617399e-08,8.900238e-08,1.046215e-07,1.324012e-07,1.400951e-07,1.833399e-07,1.890834e-07,2.350044e-07,2.605472e-07,2.956279e-07,3.479589e-07,3.656348e-07,4.453346e-07,4.521360e-07,5.349256e-07,5.735558e-07,6.345011e-07,7.123796e-07,7.440578e-07,8.635047e-07,8.684861e-07,9.926731e-07,1.041510e-06,1.131326e-06,1.230879e-06,1.279169e-06,1.435857e-06,1.601005e-06,1.655572e-06,1.774197e-06,1.889058e-06,1.954991e-06,2.135279e-06,2.142927e-06,2.337537e-06,2.393158e-06,2.538342e-06,2.661601e-06,2.744867e-06,2.939513e-06,2.956637e-06,3.173186e-06,3.225817e-06,3.394056e-06,3.519465e-06,3.618804e-06,3.819447e-06,3.846999e-06,4.078227e-06,4.124801e-06,4.312091e-06,4.434615e-06,4.548211e-06,4.748032e-06,4.786227e-06,5.025796e-06,5.064249e-06,5.266593e-06,5.382522e-06,5.508313e-06,5.702159e-06,5.750668e-06,5.993387e-06,6.022525e-06,6.236217e-06,6.343036e-06,6.478922e-06,6.663157e-06,6.721280e-06,6.963086e-06,6.982401e-06,7.204148e-06,7.300325e-06,7.444290e-06,7.616529e-06,7.683346e-06,7.921166e-06,7.930651e-06,8.157608e-06,8.242365e-06,8.392545e-06,8.551381e-06,8.625858e-06,8.857439e-06,9.087189e-06,9.160307e-06,9.315017e-06,9.459781e-06,9.540843e-06,9.755683e-06,9.764592e-06,9.986197e-06,1.004785e-05,1.020560e-05,1.033616e-05,1.042274e-05,1.062048e-05,1.063758e-05,1.085008e-05,1.090072e-05,1.106019e-05,1.117679e-05,1.126788e-05,1.144863e-05,1.147313e-05,1.167592e-05,1.171618e-05,1.187622e-05,1.197940e-05,1.207403e-05,1.223824e-05,1.226932e-05,1.246210e-05,1.249271e-05,1.265235e-05,1.274277e-05,1.284007e-05,1.298843e-05,1.302526e-05,1.320793e-05,1.322968e-05,1.338808e-05,1.346655e-05,1.356571e-05,1.369904e-05,1.374084e-05,1.391347e-05,1.392717e-05,1.408362e-05,1.415098e-05,1.425129e-05,1.437050e-05,1.441651e-05,1.457929e-05,1.458575e-05,1.473965e-05,1.479679e-05,1.489760e-05,1.500364e-05,1.505317e-05,1.520636e-05,1.540500e-05,1.559960e-05,1.579021e-05,1.597689e-05,1.615969e-05,1.633867e-05,1.651388e-05,1.668539e-05,1.685325e-05,1.701751e-05,1.717825e-05,1.733551e-05,1.748935e-05,1.763984e-05,1.778704e-05,1.793100e-05,1.807179e-05,1.820945e-05,1.834406e-05,1.847566e-05,1.860432e-05,1.873008e-05,1.885302e-05,1.897318e-05
0.000000e+00,3.940607e-12,1.193570e-11,6.224703e-11,1.867441e-10,3.092869e-10,9.228588e-10,9.600616e-10,2.307741e-09,2.858865e-09,4.726651e-09,6.880676e-09,8.679287e-09,1.414806e-08,1.472335e-08,2.351027e-08,2.610656e-08,3.576091e-08,4.440858e-08,5.220582e-08,7.067126e-08,7.350141e-08,1.001635e-07,1.061739e-07,1.325483e-07,1.517259e-07,1.708701e-07,2.077258e-07,2.152309e-07,2.656464e-07,2.742721e-07,3.220648e-07,3.512486e-07,3.843804e-07,4.383792e-07,4.524431e-07,5.260667e-07,5.352652e-07,6.050353e-07,6.414138e-07,6.891094e-07,7.562623e-07,7.780314e-07,8.715305e-07,8.791998e-07,9.693276e-07,1.009586e-06,1.071139e-06,1.146769e-06,1.176680e-06,1.285668e-06,1.290096e-06,1.397826e-06,1.438926e-06,1.512882e-06,1.592641e-06,1.630573e-06,1.750646e-06,1.872857e-06,1.912377e-06,1.996973e-06,2.077305e-06,2.122773e-06,2.244931e-06,2.250048e-06,2.378599e-06,2.414796e-06,2.508238e-06,2.586471e-06,2.638791e-06,2.759563e-06,2.770090e-06,2.901982e-06,2.933708e-06,3.034322e-06,3.108577e-06,3.166975e-06,3.283867e-06,3.299813e-06,3.432720e-06,3.459300e-06,3.565587e-06,3.634628e-06,3.698312e-06,3.809623e-06,3.830801e-06,3.962967e-06,3.984079e-06,4.094730e-06,4.157810e-06,4.226014e-06,4.330650e-06,4.356751e-06,4.486877e-06,4.502449e-06,4.616336e-06,4.673072e-06,4.745072e-06,4.842398e-06,4.873037e-06,5.000187e-06,5.010322e-06,5.126479e-06,5.176748e-06,5.251878e-06,5.341592e-06,5.376349e-06,5.499861e-06,5.504781e-06,5.622387e-06,5.666250e-06,5.743902e-06,5.825943e-06,5.864383e-06,5.983812e-06,6.102169e-06,6.139815e-06,6.219440e-06,6.293918e-06,6.335612e-06,6.446091e-06,6.450672e-06,6.564611e-06,6.596312e-06,6.677421e-06,6.744561e-06,6.789094e-06,6.890825e-06,6.899625e-06,7.009010e-06,7.035092e-06,7.117247e-06,7.177357e-06,7.224333e-06,7.317616e-06,7.330267e-06,7.435050e-06,7.455869e-06,7.538683e-06,7.592118e-06,7.641168e-06,7.726369e-06,7.742507e-06,7.842704e-06,7.858629e-06,7.941762e-06,7.988908e-06,8.039688e-06,8.117215e-06,8.136485e-06,8.232159e-06,8.243565e-06,8.326717e-06,8.367971e-06,8.420165e-06,8.490448e-06,8.512511e-06,8.603762e-06,8.611015e-06,8.693926e-06,8.729688e-06,8.783010e-06,8.846487e-06,8.871023e-06,8.957974e-06,8.961430e-06,9.043872e-06,9.074539e-06,9.128726e-06,9.185834e-06,9.212544e-06,9.295337e-06,9.403069e-06,9.509053e-06,9.613312e-06,9.715868e-06,9.816745e-06,9.915966e-06,1.001356e-05,1.010954e-05,1.020393e-05,1.029676e-05,1.038806e-05,1.047784e-05,1.056613e-05,1.065295e-05,1.073833e-05,1.082229e-05,1.090485e-05,1.098603e-05,1.106586e-05,1.114436e-05,1.122155e-05,1.129746e-05,1.137210e-05,1.144550e-05
0.000000e+00,3.468083e-12,1.053221e-11,5.522559e-11,1.668117e-10,2.776636e-10,8.441234e-10,8.789994e-10,2.175807e-09,2.722627e-09,4.635265e-09,6.937371e-09,8.924738e-09,1.523823e-08,1.592060e-08,2.659929e-08,2.981186e-08,4.183480e-08,5.260634e-08,6.226917e-08,8.488726e-08,8.831940e-08,1.202398e-07,1.273426e-07,1.581768e-07,1.803082e-07,2.022032e-07,2.439060e-07,2.523373e-07,3.085532e-07,3.181083e-07,3.707856e-07,4.027659e-07,4.389338e-07,4.976229e-07,5.128641e-07,5.924128e-07,6.023274e-07,6.773890e-07,7.164435e-07,7.675783e-07,8.394649e-07,8.627460e-07,9.626416e-07,9.708297e-07,1.067002e-06,1.109936e-06,1.175555e-06,1.256155e-06,1.288024e-06,1.404130e-06,1.408846e-06,1.523593e-06,1.567369e-06,1.646139e-06,1.731091e-06,1.771495e-06,1.899398e-06,2.029592e-06,2.071697e-06,2.161828e-06,2.247421e-06,2.295870e-06,2.426037e-06,2.431489e-06,2.568470e-06,2.607040e-06,2.706605e-06,2.789960e-06,2.845702e-06,2.974360e-06,2.985574e-06,3.126048e-06,3.159833e-06,3.266962e-06,3.346008e-06,3.408162e-06,3.532540e-06,3.549504e-06,3.690854e-06,3.719114e-06,3.832088e-06,3.905445e-06,3.973089e-06,4.091270e-06,4.113749e-06,4.253967e-06,4.276354e-06,4.393650e-06,4.460482e-06,4.532712e-06,4.643461e-06,4.671074e-06,4.808662e-06,4.825118e-06,4.945411e-06,5.005298e-06,5.081257e-06,5.183862e-06,5.216145e-06,5.350023e-06,5.360688e-06,5.482844e-06,5.535667e-06,5.614567e-06,5.708705e-06,5.745153e-06,5.874567e-06,5.879719e-06,6.002779e-06,6.048636e-06,6.129762e-06,6.215395e-06,6.255491e-06,6.379945e-06,6.503105e-06,6.542240e-06,6.624956e-06,6.702247e-06,6.745484e-06,6.859935e-06,6.864677e-06,6.982527e-06,7.015283e-06,7.099026e-06,7.168275e-06,7.214170e-06,7.318901e-06,7.327953e-06,7.440375e-06,7.467153e-06,7.551433e-06,7.613031e-06,7.661130e-06,7.756538e-06,7.769467e-06,7.876446e-06,7.897680e-06,7.982073e-06,8.036466e-06,8.086352e-06,8.172909e-06,8.189289e-06,8.290891e-06,8.307024e-06,8.391165e-06,8.438828e-06,8.490121e-06,8.568341e-06,8.587766e-06,8.684110e-06,8.695584e-06,8.779164e-06,8.820581e-06,8.872937e-06,8.943355e-06,8.965441e-06,9.056688e-06,9.063934e-06,9.146688e-06,9.182342e-06,9.235455e-06,9.298609e-06,9.323000e-06,9.409335e-06,9.412764e-06,9.494475e-06,9.524834e-06,9.578430e-06,9.634851e-06,9.661216e-06,9.742845e-06,9.848846e-06,9.952885e-06,1.005499e-05,1.015520e-05,1.025355e-05,1.035005e-05,1.044475e-05,1.053768e-05,1.062886e-05,1.071834e-05,1.080613e-05,1.089227e-05,1.097679e-05,1.105972e-05,1.114109e-05,1.122092e-05,1.129926e-05,1.137612e-05,1.145153e-05,1.152553e-05,1.159813e-05,1.166937e-05,1.173927e-05,1.180785e-05
0.000000e+00,4.577512e-12,1.390726e-11,7.295261e-11,2.206403e-10,3.677568e-10,1.124638e-09,1.171471e-09,2.926257e-09,3.672003e-09,6.297062e-09,9.477665e-09,1.223395e-08,2.102283e-08,2.197456e-08,3.688797e-08,4.137612e-08,5.814968e-08,7.312020e-08,8.648788e-08,1.175161e-07,1.221911e-07,1.652541e-07,1.747368e-07,2.155059e-07,2.443934e-07,2.726852e-07,3.258418e-07,3.364795e-07,4.065452e-07,4.183137e-07,4.825193e-07,5.209756e-07,5.640267e-07,6.329609e-07,6.506868e-07,7.421185e-07,7.533930e-07,8.379446e-07,8.814047e-07,9.377957e-07,1.016153e-06,1.041313e-06,1.148153e-06,1.156833e-06,1.257984e-06,1.302683e-06,1.370493e-06,1.452990e-06,1.485383e-06,1.602377e-06,1.607097e-06,1.721212e-06,1.764395e-06,1.841643e-06,1.924332e-06,1.963444e-06,2.086401e-06,2.210318e-06,2.250144e-06,2.335012e-06,2.415146e-06,2.460315e-06,2.581034e-06,2.586071e-06,2.712135e-06,2.747470e-06,2.838374e-06,2.914151e-06,2.964667e-06,3.080806e-06,3.090899e-06,3.216968e-06,3.247190e-06,3.342778e-06,3.413085e-06,3.468240e-06,3.578296e-06,3.593275e-06,3.717809e-06,3.742649e-06,3.841773e-06,3.905988e-06,3.965106e-06,4.068176e-06,4.087751e-06,4.209656e-06,4.229089e-06,4.330775e-06,4.388619e-06,4.451063e-06,4.546669e-06,4.570482e-06,4.688996e-06,4.703156e-06,4.806573e-06,4.858003e-06,4.923184e-06,5.011146e-06,5.038803e-06,5.153405e-06,5.162528e-06,5.266970e-06,5.312101e-06,5.379478e-06,5.459821e-06,5.490914e-06,5.601261e-06,5.605652e-06,5.710508e-06,5.749565e-06,5.818643e-06,5.891534e-06,5.925655e-06,6.031538e-06,6.136283e-06,6.169560e-06,6.239885e-06,6.305588e-06,6.342340e-06,6.439613e-06,6.443643e-06,6.543793e-06,6.571628e-06,6.642788e-06,6.701631e-06,6.740628e-06,6.829620e-06,6.837312e-06,6.932841e-06,6.955596e-06,7.027217e-06,7.079565e-06,7.120442e-06,7.201530e-06,7.212519e-06,7.303451e-06,7.321500e-06,7.393242e-06,7.439483e-06,7.481896e-06,7.555490e-06,7.569418e-06,7.655813e-06,7.669533e-06,7.741088e-06,7.781623e-06,7.825246e-06,7.891774e-06,7.908296e-06,7.990243e-06,8.000002e-06,8.071093e-06,8.106322e-06,8.150855e-06,8.210751e-06,8.229536e-06,8.307142e-06,8.313304e-06,8.383682e-06,8.414001e-06,8.459163e-06,8.512858e-06,8.533594e-06,8.606982e-06,8.609896e-06,8.679335e-06,8.705131e-06,8.750664e-06,8.798585e-06,8.820974e-06,8.890276e-06,8.980226e-06,9.068453e-06,9.154979e-06,9.239823e-06,9.323007e-06,9.404552e-06,9.484479e-06,9.562807e-06,9.639559e-06,9.714756e-06,9.788418e-06,9.860566e-06,9.931221e-06,1.000040e-05,1.006814e-05,1.013444e-05,1.019933e-05,1.026283e-05,1.032497e-05,1.038575e-05,1.044521e-05,1.050335e-05,1.056021e-05,1.061580e-05
0.000000e+00,6.272241e-14,4.493509e-13,6.862636e-12,3.633143e-11,7.516418e-11,3.366015e-10,3.547088e-10,1.102600e-09,1.443291e-09,2.687617e-09,4.239078e-09,5.600530e-09,9.990927e-09,1.046986e-08,1.807677e-08,2.041062e-08,2.935547e-08,3.766492e-08,4.535822e-08,6.421151e-08,6.717025e-08,9.579656e-08,1.024167e-07,1.320749e-07,1.541848e-07,1.766488e-07,2.208480e-07,2.299856e-07,2.924090e-07,3.032554e-07,3.641289e-07,4.018938e-07,4.452614e-07,5.169713e-07,5.358428e-07,6.358399e-07,6.484683e-07,7.451567e-07,7.961715e-07,8.636420e-07,9.597007e-07,9.910949e-07,1.127272e-06,1.138535e-06,1.271893e-06,1.332037e-06,1.424647e-06,1.539478e-06,1.585198e-06,1.753191e-06,1.760060e-06,1.928257e-06,1.992940e-06,2.110018e-06,2.237242e-06,2.298088e-06,2.492081e-06,2.691612e-06,2.756569e-06,2.896298e-06,3.029828e-06,3.105762e-06,3.311000e-06,3.319635e-06,3.537555e-06,3.599250e-06,3.759171e-06,3.893773e-06,3.984143e-06,4.193797e-06,4.212141e-06,4.442847e-06,4.498585e-06,4.675955e-06,4.807435e-06,4.911172e-06,5.119684e-06,5.148216e-06,5.386818e-06,5.434703e-06,5.626721e-06,5.751901e-06,5.867677e-06,6.070724e-06,6.109455e-06,6.351830e-06,6.390651e-06,6.594591e-06,6.711195e-06,6.837538e-06,7.031901e-06,7.080480e-06,7.323237e-06,7.352347e-06,7.565638e-06,7.672140e-06,7.807522e-06,7.990914e-06,8.048737e-06,8.289141e-06,8.308334e-06,8.528598e-06,8.624088e-06,8.766983e-06,8.937888e-06,9.004176e-06,9.240066e-06,9.249473e-06,9.474550e-06,9.558601e-06,9.707530e-06,9.865051e-06,9.938916e-06,1.016862e-05,1.039658e-05,1.046914e-05,1.062270e-05,1.076643e-05,1.084693e-05,1.106034e-05,1.106920e-05,1.128945e-05,1.135076e-05,1.150765e-05,1.163755e-05,1.172373e-05,1.192062e-05,1.193765e-05,1.214939e-05,1.219987e-05,1.235889e-05,1.247523e-05,1.256614e-05,1.274662e-05,1.277110e-05,1.297375e-05,1.301400e-05,1.317406e-05,1.327730e-05,1.337203e-05,1.353650e-05,1.356764e-05,1.376086e-05,1.379156e-05,1.395171e-05,1.404246e-05,1.414016e-05,1.428919e-05,1.432621e-05,1.450986e-05,1.453173e-05,1.469110e-05,1.477009e-05,1.486995e-05,1.500427e-05,1.504640e-05,1.522046e-05,1.523428e-05,1.539213e-05,1.546013e-05,1.556142e-05,1.568185e-05,1.572835e-05,1.589291e-05,1.589944e-05,1.605513e-05,1.611295e-05,1.621501e-05,1.632240e-05,1.637257e-05,1.652783e-05,1.672926e-05,1.692675e-05,1.712032e-05,1.731003e-05,1.749592e-05,1.767803e-05,1.785641e-05,1.803112e-05,1.820219e-05,1.836970e-05,1.853367e-05,1.869418e-05,1.885127e-05,1.900500e-05,1.915542e-05,1.930258e-05,1.944654e-05,1.958735e-05,1.972508e-05,1.985976e-05,1.999146e-05,2.012024e-05,2.024613e-05,2.036920e-05
0.000000e+00,7.523856e-12,2.303284e-11,1.218089e-10,3.686895e-10,6.131388e-10,1.846163e-09,1.921223e-09,4.652097e-09,5.773210e-09,9.582952e-09,1.398773e-08,1.766980e-08,2.886173e-08,3.003738e-08,4.791845e-08,5.316915e-08,7.255262e-08,8.973817e-08,1.051125e-07,1.411846e-07,1.466826e-07,1.982611e-07,2.098598e-07,2.607616e-07,2.978556e-07,3.350085e-07,4.069902e-07,4.217314e-07,5.215567e-07,5.387809e-07,6.350028e-07,6.944185e-07,7.624757e-07,8.747541e-07,9.042686e-07,1.060564e-06,1.080299e-06,1.231438e-06,1.311237e-06,1.416865e-06,1.567455e-06,1.616730e-06,1.830833e-06,1.848569e-06,2.058901e-06,2.153964e-06,2.300596e-06,2.482836e-06,2.555526e-06,2.823254e-06,2.834222e-06,3.103305e-06,3.207044e-06,3.395176e-06,3.600132e-06,3.698341e-06,4.012257e-06,4.336373e-06,4.442153e-06,4.670129e-06,4.888533e-06,5.012965e-06,5.350111e-06,5.364322e-06,5.723646e-06,5.825610e-06,6.090390e-06,6.313774e-06,6.464016e-06,6.813376e-06,6.843996e-06,7.229813e-06,7.323222e-06,7.620966e-06,7.842159e-06,8.016965e-06,8.369076e-06,8.417336e-06,8.821617e-06,8.902904e-06,9.229365e-06,9.442621e-06,9.640149e-06,9.987251e-06,1.005356e-05,1.046918e-05,1.053586e-05,1.088665e-05,1.108758e-05,1.130559e-05,1.164155e-05,1.172563e-05,1.214646e-05,1.219699e-05,1.256773e-05,1.275315e-05,1.298914e-05,1.330932e-05,1.341039e-05,1.383120e-05,1.386483e-05,1.425128e-05,1.441906e-05,1.467040e-05,1.497142e-05,1.508829e-05,1.550473e-05,1.552135e-05,1.591949e-05,1.606835e-05,1.633236e-05,1.661194e-05,1.674315e-05,1.715166e-05,1.755771e-05,1.768710e-05,1.796114e-05,1.821788e-05,1.836178e-05,1.874364e-05,1.875949e-05,1.915412e-05,1.926405e-05,1.954555e-05,1.977882e-05,1.993365e-05,2.028766e-05,2.031830e-05,2.069940e-05,2.079033e-05,2.107685e-05,2.128659e-05,2.145055e-05,2.177624e-05,2.182042e-05,2.218638e-05,2.225909e-05,2.254835e-05,2.273498e-05,2.290627e-05,2.320375e-05,2.326008e-05,2.360972e-05,2.366527e-05,2.395514e-05,2.411944e-05,2.429631e-05,2.456615e-05,2.463317e-05,2.496570e-05,2.500531e-05,2.529387e-05,2.543687e-05,2.561764e-05,2.586076e-05,2.593700e-05,2.625193e-05,2.627693e-05,2.656242e-05,2.668537e-05,2.686845e-05,2.708604e-05,2.717003e-05,2.746714e-05,2.747893e-05,2.775979e-05,2.786405e-05,2.804797e-05,2.824140e-05,2.833171e-05,2.861100e-05,2.897286e-05,2.932704e-05,2.967355e-05,3.001246e-05,3.034380e-05,3.066764e-05,3.098403e-05,3.129305e-05,3.159476e-05,3.188923e-05,3.217655e-05,3.245680e-05,3.273005e-05,3.299641e-05,3.325595e-05,3.350876e-05,3.375495e-05,3.399460e-05,3.422781e-05,3.445468e-05,3.467531e-05,3.488980e-05,3.509825e-05,3.530075e-05
0.000000e+00,2.169666e-16,2.081717e-15,5.385552e-14,4.235843e-13,1.056643e-12,7.055989e-12,7.540357e-12,3.150952e-11,4.410236e-11,9.513828e-11,1.657652e-10,2.318029e-10,4.602400e-10,4.861625e-10,9.138236e-10,1.049339e-09,1.580150e-09,2.084253e-09,2.557160e-09,3.732489e-09,3.918526e-09,5.734524e-09,6.158011e-09,8.068707e-09,9.506036e-09,1.097664e-08,1.389772e-08,1.450589e-08,1.869640e-08,1.943052e-08,2.358079e-08,2.617951e-08,2.918450e-08,3.419784e-08,3.552571e-08,4.261537e-08,4.351668e-08,5.045722e-08,5.414532e-08,5.904796e-08,6.607188e-08,6.837761e-08,7.842996e-08,7.926475e-08,8.918317e-08,9.367486e-08,1.006105e-07,1.092384e-07,1.126810e-07,1.253605e-07,1.258799e-07,1.386121e-07,1.435153e-07,1.523971e-07,1.620554e-07,1.666758e-07,1.814079e-07,1.965534e-07,2.014807e-07,2.120725e-07,2.221831e-07,2.279268e-07,2.434277e-07,2.440791e-07,2.604934e-07,2.651317e-07,2.771359e-07,2.872175e-07,2.939744e-07,3.096130e-07,3.109788e-07,3.281206e-07,3.322522e-07,3.453737e-07,3.550749e-07,3.627136e-07,3.780266e-07,3.801178e-07,3.975655e-07,4.010586e-07,4.150376e-07,4.241269e-07,4.325167e-07,4.471927e-07,4.499867e-07,4.674330e-07,4.702214e-07,4.848425e-07,4.931824e-07,5.022031e-07,5.160489e-07,5.195037e-07,5.367345e-07,5.387970e-07,5.538864e-07,5.614062e-07,5.709514e-07,5.838581e-07,5.879221e-07,6.047919e-07,6.061370e-07,6.215549e-07,6.282289e-07,6.382056e-07,6.501220e-07,6.547394e-07,6.711518e-07,6.718058e-07,6.874392e-07,6.932713e-07,7.035979e-07,7.145108e-07,7.196250e-07,7.355179e-07,7.512740e-07,7.562868e-07,7.668914e-07,7.768128e-07,7.823682e-07,7.970922e-07,7.977028e-07,8.128940e-07,8.171216e-07,8.279405e-07,8.368985e-07,8.428414e-07,8.564209e-07,8.575959e-07,8.722034e-07,8.756872e-07,8.866634e-07,8.946964e-07,9.009755e-07,9.134478e-07,9.151397e-07,9.291556e-07,9.319411e-07,9.430235e-07,9.501763e-07,9.567433e-07,9.681538e-07,9.703154e-07,9.837398e-07,9.858741e-07,9.970171e-07,1.003338e-06,1.010148e-06,1.020547e-06,1.023132e-06,1.035971e-06,1.037501e-06,1.048664e-06,1.054204e-06,1.061213e-06,1.070654e-06,1.073619e-06,1.085881e-06,1.086856e-06,1.098002e-06,1.102810e-06,1.109981e-06,1.118519e-06,1.121820e-06,1.133519e-06,1.133984e-06,1.145080e-06,1.149208e-06,1.156503e-06,1.164193e-06,1.167790e-06,1.178941e-06,1.193455e-06,1.207737e-06,1.221790e-06,1.235616e-06,1.249217e-06,1.262597e-06,1.275758e-06,1.288703e-06,1.301434e-06,1.313954e-06,1.326265e-06,1.338371e-06,1.350275e-06,1.361978e-06,1.373484e-06,1.384795e-06,1.395915e-06,1.406845e-06,1.417589e-06,1.428148e-06,1.438527e-06,1.448727e-06,1.458751e-06,1.468602e-06
0.000000e+00,8.581545e-13,2.739280e-12,1.514548e-11,4.683208e-11,7.853334e-11,2.403036e-10,2.502130e-10,6.135125e-10,7.638372e-10,1.278381e-09,1.879045e-09,2.385060e-09,3.940836e-09,4.105597e-09,6.636063e-09,7.386366e-09,1.017672e-08,1.267056e-08,1.491239e-08,2.019749e-08,2.100510e-08,2.859562e-08,3.030456e-08,3.780679e-08,4.327323e-08,4.874572e-08,5.933756e-08,6.150467e-08,7.616120e-08,7.868674e-08,9.277809e-08,1.014651e-07,1.114033e-07,1.277721e-07,1.320699e-07,1.547969e-07,1.576629e-07,1.795894e-07,1.911510e-07,2.064400e-07,2.282115e-07,2.353295e-07,2.662282e-07,2.687858e-07,2.990972e-07,3.127863e-07,3.338898e-07,3.601017e-07,3.705525e-07,4.090262e-07,4.106020e-07,4.492477e-07,4.641425e-07,4.911500e-07,5.205685e-07,5.346640e-07,5.797185e-07,6.262416e-07,6.414273e-07,6.741609e-07,7.055284e-07,7.234039e-07,7.718559e-07,7.738989e-07,8.255748e-07,8.402462e-07,8.783620e-07,9.105392e-07,9.321920e-07,9.825791e-07,9.869980e-07,1.042715e-06,1.056215e-06,1.099279e-06,1.131303e-06,1.156630e-06,1.207702e-06,1.214707e-06,1.273454e-06,1.285279e-06,1.332815e-06,1.363908e-06,1.392736e-06,1.443466e-06,1.453167e-06,1.514058e-06,1.523840e-06,1.575360e-06,1.604919e-06,1.637030e-06,1.686600e-06,1.699023e-06,1.761297e-06,1.768787e-06,1.823812e-06,1.851386e-06,1.886531e-06,1.934310e-06,1.949415e-06,2.012432e-06,2.017478e-06,2.075546e-06,2.100812e-06,2.138727e-06,2.184241e-06,2.201943e-06,2.265167e-06,2.267696e-06,2.328370e-06,2.351114e-06,2.391527e-06,2.434435e-06,2.454613e-06,2.517604e-06,2.580477e-06,2.600569e-06,2.643212e-06,2.683281e-06,2.705789e-06,2.765695e-06,2.768188e-06,2.830391e-06,2.847771e-06,2.892382e-06,2.929468e-06,2.954144e-06,3.010751e-06,3.015663e-06,3.076923e-06,3.091586e-06,3.137913e-06,3.171943e-06,3.198618e-06,3.251794e-06,3.259028e-06,3.319130e-06,3.331113e-06,3.378916e-06,3.409876e-06,3.438375e-06,3.488061e-06,3.497498e-06,3.556276e-06,3.565649e-06,3.614703e-06,3.642621e-06,3.672770e-06,3.718961e-06,3.730472e-06,3.787801e-06,3.794655e-06,3.844753e-06,3.869690e-06,3.901321e-06,3.944055e-06,3.957503e-06,4.013292e-06,4.017738e-06,4.068685e-06,4.090731e-06,4.123679e-06,4.163026e-06,4.178271e-06,4.232458e-06,4.234617e-06,4.286237e-06,4.305498e-06,4.339607e-06,4.375664e-06,4.392566e-06,4.445112e-06,4.513839e-06,4.581842e-06,4.649122e-06,4.715677e-06,4.781507e-06,4.846613e-06,4.910997e-06,4.974660e-06,5.037605e-06,5.099835e-06,5.161353e-06,5.222162e-06,5.282266e-06,5.341671e-06,5.400380e-06,5.458398e-06,5.515732e-06,5.572385e-06,5.628364e-06,5.683675e-06,5.738323e-06,5.792316e-06,5.845658e-06,5.898357e-06
0.000000e+00,8.914350e-13,4.734155e-12,4.652502e-11,1.899917e-10,3.539075e-10,1.308435e-09,1.370607e-09,3.797645e-09,4.858626e-09,8.645200e-09,1.328159e-08,1.732040e-08,3.029386e-08,3.170772e-08,5.413479e-08,6.099403e-08,8.711031e-08,1.110598e-07,1.329380e-07,1.853924e-07,1.934864e-07,2.701867e-07,2.875657e-07,3.641261e-07,4.200714e-07,4.761344e-07,5.846504e-07,6.068407e-07,7.567058e-07,7.824848e-07,9.260403e-07,1.014292e-06,1.115018e-06,1.280376e-06,1.323682e-06,1.551961e-06,1.580665e-06,1.799671e-06,1.914751e-06,2.066534e-06,2.281935e-06,2.352182e-06,2.656176e-06,2.681273e-06,2.978011e-06,3.111618e-06,3.317134e-06,3.571672e-06,3.672946e-06,4.044818e-06,4.060017e-06,4.432093e-06,4.575155e-06,4.834102e-06,5.115534e-06,5.250159e-06,5.679579e-06,6.121672e-06,6.265706e-06,6.575753e-06,6.872343e-06,7.041144e-06,7.497937e-06,7.517175e-06,8.003187e-06,8.140971e-06,8.498536e-06,8.799964e-06,9.002590e-06,9.473479e-06,9.514734e-06,1.003437e-05,1.016013e-05,1.056091e-05,1.085857e-05,1.109378e-05,1.156753e-05,1.163245e-05,1.217638e-05,1.228575e-05,1.272506e-05,1.301208e-05,1.327798e-05,1.374537e-05,1.383467e-05,1.439467e-05,1.448455e-05,1.495753e-05,1.522859e-05,1.552282e-05,1.597652e-05,1.609013e-05,1.665906e-05,1.672742e-05,1.722923e-05,1.748040e-05,1.780028e-05,1.823464e-05,1.837185e-05,1.894361e-05,1.898934e-05,1.951523e-05,1.974377e-05,2.008641e-05,2.049722e-05,2.065685e-05,2.122627e-05,2.124902e-05,2.179441e-05,2.199857e-05,2.236100e-05,2.274527e-05,2.292579e-05,2.348857e-05,2.404910e-05,2.422797e-05,2.460718e-05,2.496297e-05,2.516260e-05,2.569314e-05,2.571518e-05,2.626474e-05,2.641804e-05,2.681109e-05,2.713731e-05,2.735409e-05,2.785056e-05,2.789359e-05,2.842943e-05,2.855747e-05,2.896148e-05,2.925773e-05,2.948962e-05,2.995105e-05,3.001373e-05,3.053369e-05,3.063717e-05,3.104940e-05,3.131585e-05,3.156076e-05,3.198688e-05,3.206768e-05,3.257008e-05,3.265004e-05,3.306788e-05,3.330517e-05,3.356100e-05,3.395209e-05,3.404939e-05,3.453297e-05,3.459067e-05,3.501169e-05,3.522078e-05,3.548551e-05,3.584230e-05,3.595437e-05,3.641824e-05,3.645513e-05,3.687708e-05,3.705919e-05,3.733085e-05,3.765441e-05,3.777953e-05,3.822309e-05,3.824073e-05,3.866152e-05,3.881809e-05,3.909479e-05,3.938646e-05,3.952289e-05,3.994582e-05,4.049615e-05,4.103744e-05,4.156970e-05,4.209292e-05,4.260713e-05,4.311236e-05,4.360863e-05,4.409598e-05,4.457445e-05,4.504410e-05,4.550497e-05,4.595713e-05,4.640063e-05,4.683555e-05,4.726196e-05,4.767992e-05,4.808952e-05,4.849084e-05,4.888397e-05,4.926897e-05,4.964596e-05,5.001500e-05,5.037621e-05,5.072966e-05
0.000000e+00,3.329371e-12,1.039834e-11,5.594108e-11,1.700356e-10,2.828105e-10,8.484356e-10,8.827215e-10,2.121954e-09,2.627047e-09,4.332002e-09,6.286699e-09,7.910730e-09,1.281139e-08,1.332408e-08,2.110036e-08,2.338089e-08,3.180488e-08,3.928746e-08,4.599335e-08,6.176075e-08,6.416677e-08,8.675070e-08,9.182887e-08,1.140964e-07,1.302953e-07,1.464896e-07,1.777692e-07,1.841586e-07,2.272793e-07,2.346937e-07,2.759782e-07,3.013599e-07,3.303339e-07,3.779145e-07,3.903786e-07,4.560990e-07,4.643646e-07,5.274387e-07,5.605846e-07,6.043001e-07,6.663257e-07,6.865479e-07,7.740126e-07,7.812294e-07,8.664944e-07,9.048421e-07,9.637675e-07,1.036633e-06,1.065585e-06,1.171682e-06,1.176011e-06,1.281782e-06,1.322343e-06,1.395599e-06,1.474969e-06,1.512842e-06,1.633218e-06,1.756436e-06,1.796419e-06,1.882209e-06,1.963914e-06,2.010256e-06,2.135065e-06,2.140302e-06,2.272085e-06,2.309261e-06,2.405351e-06,2.485922e-06,2.539859e-06,2.664505e-06,2.675378e-06,2.811692e-06,2.844502e-06,2.948595e-06,3.025446e-06,3.085895e-06,3.206905e-06,3.223413e-06,3.360980e-06,3.388485e-06,3.498440e-06,3.569829e-06,3.635650e-06,3.750614e-06,3.772475e-06,3.908793e-06,3.930549e-06,4.044489e-06,4.109372e-06,4.179461e-06,4.286852e-06,4.313613e-06,4.446859e-06,4.462784e-06,4.579120e-06,4.636984e-06,4.710324e-06,4.809294e-06,4.840408e-06,4.969314e-06,4.979574e-06,5.096989e-06,5.147704e-06,5.223387e-06,5.313580e-06,5.348467e-06,5.472193e-06,5.477113e-06,5.594532e-06,5.638229e-06,5.715456e-06,5.796865e-06,5.834943e-06,5.952971e-06,6.069523e-06,6.106505e-06,6.184585e-06,6.257437e-06,6.298145e-06,6.405742e-06,6.410195e-06,6.520728e-06,6.551405e-06,6.629740e-06,6.694416e-06,6.737229e-06,6.834772e-06,6.843193e-06,6.947634e-06,6.972474e-06,7.050555e-06,7.107528e-06,7.151960e-06,7.239946e-06,7.251853e-06,7.350243e-06,7.369740e-06,7.447135e-06,7.496930e-06,7.542539e-06,7.621535e-06,7.636464e-06,7.728920e-06,7.743578e-06,7.819919e-06,7.863084e-06,7.909472e-06,7.980081e-06,7.997590e-06,8.084288e-06,8.094597e-06,8.169578e-06,8.206662e-06,8.253473e-06,8.316309e-06,8.335987e-06,8.417136e-06,8.423569e-06,8.496933e-06,8.528477e-06,8.575394e-06,8.631066e-06,8.652532e-06,8.728365e-06,8.731371e-06,8.802907e-06,8.829429e-06,8.876173e-06,8.925273e-06,8.948179e-06,9.018942e-06,9.110471e-06,9.199895e-06,9.287253e-06,9.372580e-06,9.455912e-06,9.537285e-06,9.616736e-06,9.694300e-06,9.770013e-06,9.843910e-06,9.916026e-06,9.986394e-06,1.005505e-05,1.012203e-05,1.018736e-05,1.025108e-05,1.031322e-05,1.037381e-05,1.043288e-05,1.049047e-05,1.054660e-05,1.060131e-05,1.065462e-05,1.070656e-05
0.000000e+00,1.851686e-11,5.622226e-11,2.945929e-10,8.879991e-10,1.475119e-09,4.443746e-09,4.624987e-09,1.126291e-08,1.401180e-08,2.344643e-08,3.451394e-08,4.387889e-08,7.285614e-08,7.593752e-08,1.234370e-07,1.375572e-07,1.900913e-07,2.369818e-07,2.790323e-07,3.776748e-07,3.926825e-07,5.328624e-07,5.642083e-07,7.009300e-07,7.996891e-07,8.978797e-07,1.086151e-06,1.124402e-06,1.380920e-06,1.424761e-06,1.667613e-06,1.815940e-06,1.984440e-06,2.259440e-06,2.331157e-06,2.707339e-06,2.754434e-06,3.112401e-06,3.299596e-06,3.545622e-06,3.893190e-06,4.006163e-06,4.493089e-06,4.533154e-06,5.005391e-06,5.217178e-06,5.541997e-06,5.942778e-06,6.101792e-06,6.683634e-06,6.707350e-06,7.286360e-06,7.508228e-06,7.908798e-06,8.342719e-06,8.549780e-06,9.208142e-06,9.882735e-06,1.010185e-05,1.057243e-05,1.102125e-05,1.127612e-05,1.196381e-05,1.199271e-05,1.272115e-05,1.292710e-05,1.346042e-05,1.390877e-05,1.420952e-05,1.490654e-05,1.496748e-05,1.573337e-05,1.591826e-05,1.650629e-05,1.694186e-05,1.728536e-05,1.797538e-05,1.806976e-05,1.885868e-05,1.901694e-05,1.965136e-05,2.006478e-05,2.044704e-05,2.111721e-05,2.124502e-05,2.204462e-05,2.217266e-05,2.284518e-05,2.322962e-05,2.364610e-05,2.428669e-05,2.444678e-05,2.524665e-05,2.534256e-05,2.604518e-05,2.639597e-05,2.684185e-05,2.744578e-05,2.763618e-05,2.842770e-05,2.849089e-05,2.921598e-05,2.953029e-05,3.000061e-05,3.056305e-05,3.078118e-05,3.155734e-05,3.158829e-05,3.232872e-05,3.260519e-05,3.309501e-05,3.361301e-05,3.385589e-05,3.461106e-05,3.536026e-05,3.559870e-05,3.610323e-05,3.657535e-05,3.683973e-05,3.754048e-05,3.756954e-05,3.829245e-05,3.849360e-05,3.900826e-05,3.943428e-05,3.971681e-05,4.036211e-05,4.041792e-05,4.111145e-05,4.127675e-05,4.179725e-05,4.217787e-05,4.247520e-05,4.306521e-05,4.314518e-05,4.380710e-05,4.393851e-05,4.446085e-05,4.479755e-05,4.510637e-05,4.564217e-05,4.574356e-05,4.637238e-05,4.647221e-05,4.699276e-05,4.728753e-05,4.760466e-05,4.808805e-05,4.820805e-05,4.880288e-05,4.887369e-05,4.938915e-05,4.964439e-05,4.996683e-05,5.040012e-05,5.053592e-05,5.109640e-05,5.114087e-05,5.164830e-05,5.186665e-05,5.219160e-05,5.257748e-05,5.272634e-05,5.325253e-05,5.327340e-05,5.377019e-05,5.395447e-05,5.427936e-05,5.462075e-05,5.478006e-05,5.527234e-05,5.590931e-05,5.653179e-05,5.713988e-05,5.773372e-05,5.831343e-05,5.887915e-05,5.943105e-05,5.996926e-05,6.049397e-05,6.100532e-05,6.150350e-05,6.198869e-05,6.246105e-05,6.292079e-05,6.336808e-05,6.380311e-05,6.422608e-05,6.463717e-05,6.503659e-05,6.542454e-05,6.580120e-05,6.616677e-05,6.652146e-05,6.686546e-05
0.000000e+00,2.869921e-14,1.863373e-13,2.429771e-12,1.160712e-11,2.297077e-11,9.418919e-11,9.896074e-11,2.888130e-10,3.725301e-10,6.704623e-10,1.030880e-09,1.340336e-09,2.309055e-09,2.412632e-09,4.018347e-09,4.499025e-09,6.303326e-09,7.937816e-09,9.424488e-09,1.299123e-08,1.354349e-08,1.881754e-08,2.002381e-08,2.538820e-08,2.935697e-08,3.337096e-08,4.122934e-08,4.284863e-08,5.387021e-08,5.577856e-08,6.645438e-08,7.304881e-08,8.059501e-08,9.301160e-08,9.626667e-08,1.134294e-07,1.155868e-07,1.320323e-07,1.406590e-07,1.520168e-07,1.680895e-07,1.733184e-07,1.958690e-07,1.977249e-07,2.195981e-07,2.294037e-07,2.444342e-07,2.629614e-07,2.703056e-07,2.971414e-07,2.982339e-07,3.248720e-07,3.350609e-07,3.534296e-07,3.732875e-07,3.827486e-07,4.127659e-07,4.434212e-07,4.533561e-07,4.746567e-07,4.949264e-07,5.064175e-07,5.373537e-07,5.386516e-07,5.713097e-07,5.805235e-07,6.043453e-07,6.243295e-07,6.377145e-07,6.686733e-07,6.713760e-07,7.052911e-07,7.134643e-07,7.394232e-07,7.586191e-07,7.737381e-07,8.040609e-07,8.082037e-07,8.427901e-07,8.497194e-07,8.774692e-07,8.955302e-07,9.122147e-07,9.414344e-07,9.470022e-07,9.818087e-07,9.873780e-07,1.016613e-06,1.033312e-06,1.051395e-06,1.079192e-06,1.086136e-06,1.120819e-06,1.124977e-06,1.155429e-06,1.170629e-06,1.189949e-06,1.216116e-06,1.224366e-06,1.258668e-06,1.261407e-06,1.292843e-06,1.306474e-06,1.326879e-06,1.351293e-06,1.360766e-06,1.394495e-06,1.395840e-06,1.428057e-06,1.440097e-06,1.461444e-06,1.484044e-06,1.494650e-06,1.527666e-06,1.560487e-06,1.570948e-06,1.593108e-06,1.613877e-06,1.625522e-06,1.656442e-06,1.657726e-06,1.689716e-06,1.698634e-06,1.721486e-06,1.740442e-06,1.753035e-06,1.781861e-06,1.784358e-06,1.815454e-06,1.822882e-06,1.846319e-06,1.863502e-06,1.876951e-06,1.903714e-06,1.907349e-06,1.937511e-06,1.943515e-06,1.967436e-06,1.982903e-06,1.997123e-06,2.021874e-06,2.026570e-06,2.055777e-06,2.060428e-06,2.084743e-06,2.098562e-06,2.113469e-06,2.136276e-06,2.141954e-06,2.170197e-06,2.173570e-06,2.198199e-06,2.210444e-06,2.225961e-06,2.246900e-06,2.253483e-06,2.280764e-06,2.282937e-06,2.307807e-06,2.318557e-06,2.334611e-06,2.353762e-06,2.361177e-06,2.387507e-06,2.388555e-06,2.413600e-06,2.422936e-06,2.439459e-06,2.456910e-06,2.465084e-06,2.490477e-06,2.523642e-06,2.556407e-06,2.588775e-06,2.620750e-06,2.652335e-06,2.683534e-06,2.714350e-06,2.744788e-06,2.774850e-06,2.804541e-06,2.833865e-06,2.862825e-06,2.891426e-06,2.919672e-06,2.947567e-06,2.975115e-06,3.002320e-06,3.029186e-06,3.055717e-06,3.081918e-06,3.107793e-06,3.133345e-06,3.158579e-06,3.183499e-06
0.000000e+00,2.915263e-13,1.321836e-12,1.066006e-11,3.925163e-11,7.016165e-11,2.393222e-10,2.499969e-10,6.508866e-10,8.196025e-10,1.401544e-09,2.083710e-09,2.658327e-09,4.419655e-09,4.605691e-09,7.456343e-09,8.300935e-09,1.144855e-08,1.427744e-08,1.683664e-08,2.293372e-08,2.387303e-08,3.278827e-08,3.481472e-08,4.377878e-08,5.036857e-08,5.700490e-08,6.993677e-08,7.259428e-08,9.064601e-08,9.376805e-08,1.112338e-07,1.220324e-07,1.344082e-07,1.548300e-07,1.601978e-07,1.886109e-07,1.921965e-07,2.196363e-07,2.341081e-07,2.532447e-07,2.804870e-07,2.893903e-07,3.280123e-07,3.312069e-07,3.690367e-07,3.861003e-07,4.123781e-07,4.449657e-07,4.579417e-07,5.056248e-07,5.075747e-07,5.553188e-07,5.736792e-07,6.069107e-07,6.430182e-07,6.602847e-07,7.153234e-07,7.719091e-07,7.903241e-07,8.299248e-07,8.677520e-07,8.892551e-07,9.473439e-07,9.497868e-07,1.011410e-06,1.028845e-06,1.074017e-06,1.112011e-06,1.137505e-06,1.196608e-06,1.201776e-06,1.266734e-06,1.282416e-06,1.332289e-06,1.369228e-06,1.398355e-06,1.456850e-06,1.464850e-06,1.531697e-06,1.545102e-06,1.598822e-06,1.633815e-06,1.666158e-06,1.722836e-06,1.733640e-06,1.801207e-06,1.812021e-06,1.868801e-06,1.901241e-06,1.936371e-06,1.990376e-06,2.003866e-06,2.071241e-06,2.079316e-06,2.138452e-06,2.167962e-06,2.205459e-06,2.256225e-06,2.272225e-06,2.338717e-06,2.344024e-06,2.404902e-06,2.431284e-06,2.470752e-06,2.517940e-06,2.536238e-06,2.601338e-06,2.603933e-06,2.666027e-06,2.689211e-06,2.730287e-06,2.773727e-06,2.794096e-06,2.857440e-06,2.920301e-06,2.940312e-06,2.982666e-06,3.022314e-06,3.044523e-06,3.103417e-06,3.105861e-06,3.166668e-06,3.183598e-06,3.226937e-06,3.262837e-06,3.286660e-06,3.341117e-06,3.345831e-06,3.404442e-06,3.418425e-06,3.462490e-06,3.494750e-06,3.519971e-06,3.570082e-06,3.576881e-06,3.633218e-06,3.644417e-06,3.688980e-06,3.717749e-06,3.744166e-06,3.790077e-06,3.798775e-06,3.852808e-06,3.861399e-06,3.906263e-06,3.931718e-06,3.959144e-06,4.001034e-06,4.011450e-06,4.063183e-06,4.069353e-06,4.114346e-06,4.136678e-06,4.164942e-06,4.203016e-06,4.214972e-06,4.264439e-06,4.268373e-06,4.313348e-06,4.332756e-06,4.361702e-06,4.396175e-06,4.409504e-06,4.456758e-06,4.458637e-06,4.503469e-06,4.520153e-06,4.549641e-06,4.580732e-06,4.595278e-06,4.640386e-06,4.699124e-06,4.756958e-06,4.813899e-06,4.869960e-06,4.925152e-06,4.979487e-06,5.032977e-06,5.085635e-06,5.137473e-06,5.188504e-06,5.238740e-06,5.288194e-06,5.336877e-06,5.384802e-06,5.431983e-06,5.478430e-06,5.524157e-06,5.569174e-06,5.613495e-06,5.657132e-06,5.700095e-06,5.742397e-06,5.784049e-06,5.825063e-06
0.000000e+00,2.130557e-12,7.100764e-12,4.089266e-11,1.283727e-10,2.162230e-10,6.652004e-10,6.927089e-10,1.701384e-09,2.118955e-09,3.549819e-09,5.223697e-09,6.636688e-09,1.099380e-08,1.145605e-08,1.856213e-08,2.066855e-08,2.848514e-08,3.543698e-08,4.165243e-08,5.616691e-08,5.836746e-08,7.883050e-08,8.338490e-08,1.031659e-07,1.173752e-07,1.314419e-07,1.582574e-07,1.636821e-07,1.998727e-07,2.060271e-07,2.399662e-07,2.605758e-07,2.838851e-07,3.217050e-07,3.315246e-07,3.827561e-07,3.891384e-07,4.374305e-07,4.625357e-07,4.953820e-07,5.415073e-07,5.564318e-07,6.203919e-07,6.256286e-07,6.870682e-07,7.144553e-07,7.562644e-07,8.075357e-07,8.277842e-07,9.014339e-07,9.044215e-07,9.770242e-07,1.004676e-06,1.054372e-06,1.107883e-06,1.133302e-06,1.213646e-06,1.295246e-06,1.321597e-06,1.377949e-06,1.431394e-06,1.461617e-06,1.542722e-06,1.546116e-06,1.631324e-06,1.655293e-06,1.717126e-06,1.768848e-06,1.803417e-06,1.883151e-06,1.890097e-06,1.977077e-06,1.997988e-06,2.064273e-06,2.113168e-06,2.151607e-06,2.228520e-06,2.239009e-06,2.326414e-06,2.343890e-06,2.413761e-06,2.459140e-06,2.500995e-06,2.574148e-06,2.588067e-06,2.674930e-06,2.688805e-06,2.761541e-06,2.803013e-06,2.847862e-06,2.916685e-06,2.933857e-06,3.019493e-06,3.029744e-06,3.104742e-06,3.142122e-06,3.189576e-06,3.253756e-06,3.273970e-06,3.357901e-06,3.364595e-06,3.441349e-06,3.474588e-06,3.524295e-06,3.583695e-06,3.606722e-06,3.688614e-06,3.691879e-06,3.769958e-06,3.799105e-06,3.850741e-06,3.905346e-06,3.930950e-06,4.010577e-06,4.089611e-06,4.114776e-06,4.168045e-06,4.217924e-06,4.245870e-06,4.320005e-06,4.323081e-06,4.399672e-06,4.421005e-06,4.475637e-06,4.520914e-06,4.550973e-06,4.619722e-06,4.625675e-06,4.699741e-06,4.717421e-06,4.773167e-06,4.814006e-06,4.845953e-06,4.909473e-06,4.918096e-06,4.989595e-06,5.003817e-06,5.060449e-06,5.097039e-06,5.130659e-06,5.189137e-06,5.200224e-06,5.269144e-06,5.280112e-06,5.337421e-06,5.369965e-06,5.405055e-06,5.458700e-06,5.472047e-06,5.538399e-06,5.546319e-06,5.604114e-06,5.632826e-06,5.669192e-06,5.718227e-06,5.733636e-06,5.797448e-06,5.802526e-06,5.860631e-06,5.885729e-06,5.923189e-06,5.967844e-06,5.985123e-06,6.046436e-06,6.048876e-06,6.107133e-06,6.128833e-06,6.167216e-06,6.207723e-06,6.226689e-06,6.285555e-06,6.362335e-06,6.438074e-06,6.512780e-06,6.586463e-06,6.659131e-06,6.730795e-06,6.801464e-06,6.871149e-06,6.939858e-06,7.007604e-06,7.074396e-06,7.140244e-06,7.205158e-06,7.269151e-06,7.332231e-06,7.394410e-06,7.455698e-06,7.516106e-06,7.575645e-06,7.634325e-06,7.692156e-06,7.749151e-06,7.805318e-06,7.860669e-06
0.000000e+00,3.367555e-16,3.772474e-15,1.341748e-13,1.404266e-12,4.088996e-12,4.037900e-11,4.383083e-11,2.662092e-10,4.113660e-10,1.132011e-09,2.387811e-09,3.771398e-09,9.747785e-09,1.052488e-08,2.568278e-08,3.129297e-08,5.641988e-08,8.440026e-08,1.139005e-07,1.994610e-07,2.144984e-07,3.810399e-07,4.247939e-07,6.439544e-07,8.313339e-07,1.042216e-06,1.516308e-06,1.623984e-06,2.446865e-06,2.605246e-06,3.577790e-06,4.251974e-06,5.092489e-06,6.636528e-06,7.074590e-06,9.614394e-06,9.961139e-06,1.280738e-05,1.444463e-05,1.675248e-05,2.031562e-05,2.155022e-05,2.730077e-05,2.780493e-05,3.410200e-05,3.713784e-05,4.204753e-05,4.852630e-05,5.122490e-05,6.171393e-05,6.216180e-05,7.358515e-05,7.820906e-05,8.689858e-05,9.680068e-05,1.017026e-04,1.180332e-04,1.359133e-04,1.419642e-04,1.553528e-04,1.686112e-04,1.763479e-04,1.979513e-04,1.988819e-04,2.229253e-04,2.299225e-04,2.484362e-04,2.644255e-04,2.753615e-04,3.013270e-04,3.036371e-04,3.331897e-04,3.404634e-04,3.639372e-04,3.816446e-04,3.957900e-04,4.246590e-04,4.286525e-04,4.624239e-04,4.692780e-04,4.969993e-04,5.152608e-04,5.322714e-04,5.623584e-04,5.681309e-04,6.044679e-04,6.103188e-04,6.411730e-04,6.588903e-04,6.781379e-04,7.078255e-04,7.152564e-04,7.524252e-04,7.568840e-04,7.895442e-04,8.058360e-04,8.265178e-04,8.544638e-04,8.632543e-04,8.996674e-04,9.025640e-04,9.356758e-04,9.499486e-04,9.712035e-04,9.964462e-04,1.006180e-03,1.040542e-03,1.041903e-03,1.074229e-03,1.086181e-03,1.107189e-03,1.129163e-03,1.139375e-03,1.170745e-03,1.201262e-03,1.210842e-03,1.230895e-03,1.249385e-03,1.259620e-03,1.286320e-03,1.287413e-03,1.314260e-03,1.321605e-03,1.340147e-03,1.355216e-03,1.365067e-03,1.387136e-03,1.389016e-03,1.411993e-03,1.417363e-03,1.434000e-03,1.445902e-03,1.455043e-03,1.472770e-03,1.475130e-03,1.494273e-03,1.497990e-03,1.512485e-03,1.521592e-03,1.529780e-03,1.543612e-03,1.546176e-03,1.561690e-03,1.564092e-03,1.576343e-03,1.583077e-03,1.590156e-03,1.600616e-03,1.603150e-03,1.615349e-03,1.616760e-03,1.626775e-03,1.631564e-03,1.637453e-03,1.645082e-03,1.647406e-03,1.656658e-03,1.657369e-03,1.665236e-03,1.668483e-03,1.673162e-03,1.678479e-03,1.680461e-03,1.687158e-03,1.687414e-03,1.693277e-03,1.695343e-03,1.698841e-03,1.702319e-03,1.703873e-03,1.708397e-03,1.713627e-03,1.718061e-03,1.721746e-03,1.724731e-03,1.727058e-03,1.728773e-03,1.729916e-03,1.730527e-03,1.730643e-03,1.730299e-03,1.729531e-03,1.728369e-03,1.726845e-03,1.724987e-03,1.722822e-03,1.720376e-03,1.717673e-03,1.714735e-03,1.711584e-03,1.708240e-03,1.704720e-03,1.701043e-03,1.697225e-03,1.693281e-03
0.000000e+00,4.679928e-18,5.506324e-17,2.158823e-15,2.458634e-14,7.487259e-14,8.264220e-13,9.010279e-13,6.077093e-12,9.654416e-12,2.844552e-11,6.333519e-11,1.035723e-10,2.889834e-10,3.140388e-10,8.285647e-10,1.028015e-09,1.960123e-09,3.051763e-09,4.246920e-09,7.895503e-09,8.558923e-09,1.622987e-08,1.832609e-08,2.921062e-08,3.893081e-08,5.023557e-08,7.677797e-08,8.299030e-08,1.322676e-07,1.420699e-07,2.040987e-07,2.486992e-07,3.058506e-07,4.146322e-07,4.462795e-07,6.355365e-07,6.620613e-07,8.851245e-07,1.017302e-06,1.207807e-06,1.510438e-06,1.617470e-06,2.128948e-06,2.174727e-06,2.757816e-06,3.045821e-06,3.520147e-06,4.160829e-06,4.432268e-06,5.510491e-06,5.557303e-06,6.770847e-06,7.272166e-06,8.228823e-06,9.340664e-06,9.899110e-06,1.179537e-05,1.393001e-05,1.466527e-05,1.631400e-05,1.797502e-05,1.895672e-05,2.174423e-05,2.186579e-05,2.504700e-05,2.598708e-05,2.850422e-05,3.071192e-05,3.223936e-05,3.592112e-05,3.625235e-05,4.054116e-05,4.161111e-05,4.510182e-05,4.777245e-05,4.992852e-05,5.439009e-05,5.501365e-05,6.034793e-05,6.144375e-05,6.592050e-05,6.890839e-05,7.171908e-05,7.675465e-05,7.773009e-05,8.393879e-05,8.494948e-05,9.032944e-05,9.345675e-05,9.688548e-05,1.022378e-04,1.035896e-04,1.104241e-04,1.112521e-04,1.173706e-04,1.204579e-04,1.244108e-04,1.298126e-04,1.315261e-04,1.386980e-04,1.392737e-04,1.459081e-04,1.487987e-04,1.531382e-04,1.583463e-04,1.603706e-04,1.675881e-04,1.678762e-04,1.747738e-04,1.773497e-04,1.819116e-04,1.867300e-04,1.889860e-04,1.959824e-04,2.028868e-04,2.050747e-04,2.096862e-04,2.139769e-04,2.163681e-04,2.226618e-04,2.229213e-04,2.293353e-04,2.311049e-04,2.356004e-04,2.392844e-04,2.417079e-04,2.471809e-04,2.476501e-04,2.534198e-04,2.547782e-04,2.590111e-04,2.620623e-04,2.644187e-04,2.690218e-04,2.696381e-04,2.746657e-04,2.756479e-04,2.794985e-04,2.819338e-04,2.841343e-04,2.878751e-04,2.885717e-04,2.928097e-04,2.934693e-04,2.968482e-04,2.987159e-04,3.006874e-04,3.036160e-04,3.043283e-04,3.077723e-04,3.081724e-04,3.110212e-04,3.123895e-04,3.140773e-04,3.162726e-04,3.169433e-04,3.196222e-04,3.198285e-04,3.221174e-04,3.230649e-04,3.244326e-04,3.259903e-04,3.265717e-04,3.285388e-04,3.286140e-04,3.303384e-04,3.309460e-04,3.319748e-04,3.329968e-04,3.334528e-04,3.347772e-04,3.362985e-04,3.375720e-04,3.386093e-04,3.394220e-04,3.400217e-04,3.404199e-04,3.406282e-04,3.406577e-04,3.405196e-04,3.402245e-04,3.397831e-04,3.392054e-04,3.385014e-04,3.376807e-04,3.367524e-04,3.357254e-04,3.346081e-04,3.334085e-04,3.321346e-04,3.307935e-04,3.293923e-04,3.279376e-04,3.264356e-04,3.248922e-04
0.000000e+00,8.230055e-13,3.643447e-12,2.849303e-11,1.030917e-10,1.829207e-10,6.150539e-10,6.421879e-10,1.657029e-09,2.083042e-09,3.551922e-09,5.275966e-09,6.731301e-09,1.121162e-08,1.168648e-08,1.899451e-08,2.116889e-08,2.929432e-08,3.661024e-08,4.322647e-08,5.893606e-08,6.134648e-08,8.405573e-08,8.917136e-08,1.115845e-07,1.278370e-07,1.440173e-07,1.750354e-07,1.813300e-07,2.234222e-07,2.305908e-07,2.701401e-07,2.941524e-07,3.212913e-07,3.652572e-07,3.766558e-07,4.359937e-07,4.433693e-07,4.990510e-07,5.279072e-07,5.655653e-07,6.182641e-07,6.352698e-07,7.078974e-07,7.138260e-07,7.831840e-07,8.139850e-07,8.608711e-07,9.181513e-07,9.407084e-07,1.022455e-06,1.025762e-06,1.105882e-06,1.136285e-06,1.190771e-06,1.249226e-06,1.276917e-06,1.364128e-06,1.452224e-06,1.480575e-06,1.541040e-06,1.598187e-06,1.630419e-06,1.716623e-06,1.720221e-06,1.810315e-06,1.835577e-06,1.900580e-06,1.954775e-06,1.990907e-06,2.073975e-06,2.081195e-06,2.171353e-06,2.192962e-06,2.261298e-06,2.311546e-06,2.350956e-06,2.429562e-06,2.440257e-06,2.529141e-06,2.546863e-06,2.617552e-06,2.663323e-06,2.705441e-06,2.778831e-06,2.792763e-06,2.879478e-06,2.893293e-06,2.965550e-06,3.006627e-06,3.050948e-06,3.118763e-06,3.135645e-06,3.219615e-06,3.229641e-06,3.302837e-06,3.339213e-06,3.385292e-06,3.447436e-06,3.466965e-06,3.547841e-06,3.554276e-06,3.627908e-06,3.659706e-06,3.707157e-06,3.763706e-06,3.785580e-06,3.863171e-06,3.866257e-06,3.939924e-06,3.967349e-06,4.015836e-06,4.066974e-06,4.090904e-06,4.165128e-06,4.238507e-06,4.261810e-06,4.311042e-06,4.357022e-06,4.382735e-06,4.450769e-06,4.453587e-06,4.523603e-06,4.543057e-06,4.592785e-06,4.633895e-06,4.661137e-06,4.723293e-06,4.728665e-06,4.795374e-06,4.811263e-06,4.861270e-06,4.897818e-06,4.926357e-06,4.982971e-06,4.990644e-06,5.054135e-06,5.066739e-06,5.116839e-06,5.149136e-06,5.178762e-06,5.230180e-06,5.239912e-06,5.300297e-06,5.309888e-06,5.359923e-06,5.388277e-06,5.418799e-06,5.465365e-06,5.476933e-06,5.534333e-06,5.541172e-06,5.591007e-06,5.615716e-06,5.646964e-06,5.689015e-06,5.702210e-06,5.756756e-06,5.761090e-06,5.810609e-06,5.831958e-06,5.863778e-06,5.901640e-06,5.916270e-06,5.968095e-06,5.970155e-06,6.019261e-06,6.037521e-06,6.069776e-06,6.103759e-06,6.119648e-06,6.168886e-06,6.232923e-06,6.295888e-06,6.357800e-06,6.418678e-06,6.478539e-06,6.537403e-06,6.595286e-06,6.652207e-06,6.708184e-06,6.763234e-06,6.817373e-06,6.870619e-06,6.922988e-06,6.974497e-06,7.025161e-06,7.074997e-06,7.124020e-06,7.172246e-06,7.219689e-06,7.266364e-06,7.312285e-06,7.357468e-06,7.401926e-06,7.445673e-06
0.000000e+00,8.762022e-13,2.840086e-12,1.592937e-11,4.947319e-11,8.300360e-11,2.531476e-10,2.635179e-10,6.401066e-10,7.941049e-10,1.314484e-09,1.910829e-09,2.405491e-09,3.892237e-09,4.047239e-09,6.387116e-09,7.069948e-09,9.583143e-09,1.180812e-08,1.379990e-08,1.848642e-08,1.920276e-08,2.595170e-08,2.747643e-08,3.419676e-08,3.912169e-08,4.407559e-08,5.372750e-08,5.571216e-08,6.921590e-08,7.155628e-08,8.468093e-08,9.282437e-08,1.021854e-07,1.176995e-07,1.217912e-07,1.435434e-07,1.462995e-07,1.674711e-07,1.786923e-07,1.935872e-07,2.148982e-07,2.218895e-07,2.523616e-07,2.548923e-07,2.849743e-07,2.986098e-07,3.196863e-07,3.459505e-07,3.564464e-07,3.951941e-07,3.967844e-07,4.358616e-07,4.509578e-07,4.783748e-07,5.082978e-07,5.226546e-07,5.686182e-07,6.161803e-07,6.317235e-07,6.652536e-07,6.974130e-07,7.157502e-07,7.654840e-07,7.675818e-07,8.206609e-07,8.357348e-07,8.749011e-07,9.079670e-07,9.302172e-07,9.819870e-07,9.865263e-07,1.043748e-06,1.057608e-06,1.101802e-06,1.134649e-06,1.160615e-06,1.212939e-06,1.220113e-06,1.280225e-06,1.292316e-06,1.340885e-06,1.372623e-06,1.402028e-06,1.453716e-06,1.463592e-06,1.525519e-06,1.535458e-06,1.587754e-06,1.617720e-06,1.650242e-06,1.700382e-06,1.712935e-06,1.775784e-06,1.783334e-06,1.838744e-06,1.866470e-06,1.901772e-06,1.949695e-06,1.964829e-06,2.027877e-06,2.032919e-06,2.090879e-06,2.116060e-06,2.153802e-06,2.199040e-06,2.216615e-06,2.279288e-06,2.281791e-06,2.341792e-06,2.364248e-06,2.404103e-06,2.446351e-06,2.466195e-06,2.528046e-06,2.589634e-06,2.609283e-06,2.650940e-06,2.690018e-06,2.711944e-06,2.770210e-06,2.772631e-06,2.832984e-06,2.849821e-06,2.892988e-06,2.928818e-06,2.952630e-06,3.007170e-06,3.011897e-06,3.070778e-06,3.084850e-06,3.129261e-06,3.161834e-06,3.187337e-06,3.238101e-06,3.244998e-06,3.302234e-06,3.313630e-06,3.359040e-06,3.388406e-06,3.415408e-06,3.462414e-06,3.471332e-06,3.526807e-06,3.535641e-06,3.581828e-06,3.608076e-06,3.636392e-06,3.679711e-06,3.690494e-06,3.744132e-06,3.750537e-06,3.797303e-06,3.820549e-06,3.850004e-06,3.889743e-06,3.902235e-06,3.953994e-06,3.958114e-06,4.005280e-06,4.025661e-06,4.056092e-06,4.092383e-06,4.106430e-06,4.156294e-06,4.158279e-06,4.205685e-06,4.223350e-06,4.254603e-06,4.287597e-06,4.303049e-06,4.351024e-06,4.413633e-06,4.475428e-06,4.536413e-06,4.596593e-06,4.655973e-06,4.714559e-06,4.772358e-06,4.829375e-06,4.885618e-06,4.941094e-06,4.995809e-06,5.049773e-06,5.102992e-06,5.155475e-06,5.207230e-06,5.258265e-06,5.308588e-06,5.358208e-06,5.407135e-06,5.455375e-06,5.502939e-06,5.549835e-06,5.596071e-06,5.641657e-06
0.000000e+00,1.589043e-12,4.900898e-12,2.605741e-11,7.887246e-11,1.310390e-10,3.927591e-10,4.086308e-10,9.827160e-10,1.216865e-09,2.007532e-09,2.914092e-09,3.667068e-09,5.936799e-09,6.173994e-09,9.765092e-09,1.081589e-08,1.468864e-08,1.811789e-08,2.118346e-08,2.836605e-08,2.945923e-08,3.968811e-08,4.198080e-08,5.200578e-08,5.927193e-08,6.651553e-08,8.045304e-08,8.329186e-08,1.023831e-07,1.056545e-07,1.238136e-07,1.349325e-07,1.475853e-07,1.682769e-07,1.736803e-07,2.020624e-07,2.056196e-07,2.326798e-07,2.468432e-07,2.654674e-07,2.917908e-07,3.003489e-07,3.372393e-07,3.402746e-07,3.760468e-07,3.920852e-07,4.166749e-07,4.469985e-07,4.590237e-07,5.029917e-07,5.047827e-07,5.484768e-07,5.652033e-07,5.953775e-07,6.280273e-07,6.435935e-07,6.930267e-07,7.435813e-07,7.599804e-07,7.951646e-07,8.286762e-07,8.476870e-07,8.989120e-07,9.010624e-07,9.552080e-07,9.704960e-07,1.010045e-06,1.043247e-06,1.065498e-06,1.116996e-06,1.121494e-06,1.177966e-06,1.191583e-06,1.234849e-06,1.266860e-06,1.292081e-06,1.342687e-06,1.349603e-06,1.407362e-06,1.418937e-06,1.465304e-06,1.495489e-06,1.523380e-06,1.572234e-06,1.581544e-06,1.639753e-06,1.649068e-06,1.697965e-06,1.725897e-06,1.756142e-06,1.802633e-06,1.814247e-06,1.872246e-06,1.879197e-06,1.930107e-06,1.955515e-06,1.987801e-06,2.031518e-06,2.045298e-06,2.102574e-06,2.107145e-06,2.159602e-06,2.182339e-06,2.216361e-06,2.257048e-06,2.272829e-06,2.328986e-06,2.331225e-06,2.384813e-06,2.404827e-06,2.440293e-06,2.477814e-06,2.495411e-06,2.550152e-06,2.604502e-06,2.621809e-06,2.658448e-06,2.692756e-06,2.711979e-06,2.762968e-06,2.765084e-06,2.817754e-06,2.832422e-06,2.869979e-06,2.901098e-06,2.921752e-06,2.968978e-06,2.973065e-06,3.023912e-06,3.036046e-06,3.074287e-06,3.102289e-06,3.124184e-06,3.167695e-06,3.173599e-06,3.222528e-06,3.232255e-06,3.270967e-06,3.295960e-06,3.318913e-06,3.358804e-06,3.366363e-06,3.413316e-06,3.420782e-06,3.459769e-06,3.481889e-06,3.505722e-06,3.542123e-06,3.551173e-06,3.596122e-06,3.601482e-06,3.640569e-06,3.659966e-06,3.684513e-06,3.717575e-06,3.727955e-06,3.770896e-06,3.774310e-06,3.813337e-06,3.830173e-06,3.855278e-06,3.885167e-06,3.896721e-06,3.937668e-06,3.939296e-06,3.978121e-06,3.992563e-06,4.018081e-06,4.044974e-06,4.057551e-06,4.096533e-06,4.147246e-06,4.197119e-06,4.246158e-06,4.294372e-06,4.341765e-06,4.388347e-06,4.434125e-06,4.479107e-06,4.523301e-06,4.566716e-06,4.609359e-06,4.651240e-06,4.692367e-06,4.732750e-06,4.772397e-06,4.811317e-06,4.849520e-06,4.887015e-06,4.923811e-06,4.959917e-06,4.995342e-06,5.030097e-06,5.064190e-06,5.097630e-06
0.000000e+00,7.419262e-17,7.914234e-16,2.531534e-14,2.394527e-13,6.585114e-13,5.585582e-12,6.024982e-12,3.130824e-11,4.634359e-11,1.143748e-10,2.207971e-10,3.291144e-10,7.474291e-10,7.981963e-10,1.704040e-09,2.012769e-09,3.297526e-09,4.608242e-09,5.903517e-09,9.349403e-09,9.920829e-09,1.581339e-08,1.726128e-08,2.409102e-08,2.951349e-08,3.528212e-08,4.731340e-08,4.990375e-08,6.843521e-08,7.179220e-08,9.129850e-08,1.039181e-07,1.188470e-07,1.444498e-07,1.513608e-07,1.890476e-07,1.939249e-07,2.320464e-07,2.526705e-07,2.804336e-07,3.208255e-07,3.342286e-07,3.934016e-07,3.983658e-07,4.578793e-07,4.851321e-07,5.275517e-07,5.808545e-07,6.022782e-07,6.818932e-07,6.851769e-07,7.662110e-07,7.976785e-07,8.550311e-07,9.178928e-07,9.481418e-07,1.045324e-06,1.146356e-06,1.179462e-06,1.251012e-06,1.319792e-06,1.359070e-06,1.465802e-06,1.470310e-06,1.584514e-06,1.616993e-06,1.701472e-06,1.772884e-06,1.820980e-06,1.933008e-06,1.942839e-06,2.066859e-06,2.096925e-06,2.192858e-06,2.264216e-06,2.320660e-06,2.434483e-06,2.450097e-06,2.581010e-06,2.607356e-06,2.713246e-06,2.782484e-06,2.846661e-06,2.959539e-06,2.981117e-06,3.116483e-06,3.138218e-06,3.252635e-06,3.318233e-06,3.389456e-06,3.499320e-06,3.526835e-06,3.664666e-06,3.681231e-06,3.802849e-06,3.863736e-06,3.941290e-06,4.046623e-06,4.079900e-06,4.218596e-06,4.229693e-06,4.357298e-06,4.412763e-06,4.495930e-06,4.595663e-06,4.634423e-06,4.772709e-06,4.778235e-06,4.910727e-06,4.960336e-06,5.048416e-06,5.141830e-06,5.185723e-06,5.322593e-06,5.458979e-06,5.502512e-06,5.594834e-06,5.681482e-06,5.730115e-06,5.859407e-06,5.864781e-06,5.998794e-06,6.036196e-06,6.132119e-06,6.211769e-06,6.264722e-06,6.386053e-06,6.396572e-06,6.527640e-06,6.558977e-06,6.657899e-06,6.730482e-06,6.787324e-06,6.900509e-06,6.915891e-06,7.043578e-06,7.069008e-06,7.170365e-06,7.235933e-06,7.296234e-06,7.401241e-06,7.421167e-06,7.545148e-06,7.564896e-06,7.668163e-06,7.726862e-06,7.790197e-06,7.887111e-06,7.911240e-06,8.031280e-06,8.045616e-06,8.150306e-06,8.202354e-06,8.268310e-06,8.357304e-06,8.385283e-06,8.501219e-06,8.510448e-06,8.616110e-06,8.661773e-06,8.729951e-06,8.811265e-06,8.842738e-06,8.954466e-06,8.958914e-06,9.065133e-06,9.104712e-06,9.174734e-06,9.248653e-06,9.283268e-06,9.390733e-06,9.530950e-06,9.669302e-06,9.805790e-06,9.940416e-06,1.007318e-05,1.020410e-05,1.033316e-05,1.046039e-05,1.058578e-05,1.070934e-05,1.083109e-05,1.095103e-05,1.106918e-05,1.118554e-05,1.130014e-05,1.141297e-05,1.152406e-05,1.163342e-05,1.174106e-05,1.184700e-05,1.195125e-05,1.205384e-05,1.215476e-05,1.225405e-05
0.000000e+00,1.123594e-15,1.067733e-14,2.712792e-13,2.104168e-12,5.214428e-12,3.434685e-11,3.668775e-11,1.519243e-10,2.122567e-10,4.562933e-10,7.935608e-10,1.108795e-09,2.199448e-09,2.323262e-09,4.368095e-09,5.017080e-09,7.565174e-09,9.995502e-09,1.228595e-08,1.802625e-08,1.894126e-08,2.796378e-08,3.009071e-08,3.978714e-08,4.718156e-08,5.482806e-08,7.023399e-08,7.347480e-08,9.608137e-08,1.000876e-07,1.229651e-07,1.374722e-07,1.544057e-07,1.830025e-07,1.906443e-07,2.318829e-07,2.371757e-07,2.782841e-07,3.003692e-07,3.299707e-07,3.728403e-07,3.870265e-07,4.494973e-07,4.547294e-07,5.173928e-07,5.460655e-07,5.906884e-07,6.467749e-07,6.693284e-07,7.532287e-07,7.566927e-07,8.422800e-07,8.755748e-07,9.363510e-07,1.003111e-06,1.035292e-06,1.138936e-06,1.247106e-06,1.282646e-06,1.359614e-06,1.433804e-06,1.476262e-06,1.591953e-06,1.596850e-06,1.721173e-06,1.756625e-06,1.849026e-06,1.927345e-06,1.980201e-06,2.103642e-06,2.114495e-06,2.251705e-06,2.285047e-06,2.391632e-06,2.471105e-06,2.534081e-06,2.661371e-06,2.678861e-06,2.825788e-06,2.855415e-06,2.974682e-06,3.052827e-06,3.125369e-06,3.253209e-06,3.277681e-06,3.431457e-06,3.456186e-06,3.586540e-06,3.661401e-06,3.742782e-06,3.868512e-06,3.900038e-06,4.058173e-06,4.077201e-06,4.217054e-06,4.287165e-06,4.376556e-06,4.498119e-06,4.536560e-06,4.696951e-06,4.709796e-06,4.857622e-06,4.921945e-06,5.018469e-06,5.134332e-06,5.179393e-06,5.340303e-06,5.346738e-06,5.501110e-06,5.558958e-06,5.661729e-06,5.770803e-06,5.822083e-06,5.982096e-06,6.141697e-06,6.192672e-06,6.300821e-06,6.402380e-06,6.459403e-06,6.611079e-06,6.617386e-06,6.774713e-06,6.818640e-06,6.931332e-06,7.024943e-06,7.087194e-06,7.229878e-06,7.242253e-06,7.396466e-06,7.433346e-06,7.549793e-06,7.635255e-06,7.702196e-06,7.835520e-06,7.853642e-06,8.004096e-06,8.034066e-06,8.153530e-06,8.230823e-06,8.301916e-06,8.425730e-06,8.449227e-06,8.595441e-06,8.618732e-06,8.740536e-06,8.809778e-06,8.884491e-06,8.998824e-06,9.027290e-06,9.168916e-06,9.185831e-06,9.309353e-06,9.370766e-06,9.448590e-06,9.553599e-06,9.586614e-06,9.723415e-06,9.734306e-06,9.858983e-06,9.912864e-06,9.993312e-06,1.008926e-05,1.012639e-05,1.025822e-05,1.026347e-05,1.038880e-05,1.043550e-05,1.051811e-05,1.060533e-05,1.064616e-05,1.077295e-05,1.093838e-05,1.110160e-05,1.126262e-05,1.142144e-05,1.157808e-05,1.173254e-05,1.188482e-05,1.203495e-05,1.218294e-05,1.232879e-05,1.247253e-05,1.261417e-05,1.275373e-05,1.289122e-05,1.302668e-05,1.316011e-05,1.329154e-05,1.342099e-05,1.354848e-05,1.367403e-05,1.379767e-05,1.391941e-05,1.403929e-05,1.415732e-05
0.000000e+00,1.915747e-12,8.784031e-12,7.192308e-11,2.673212e-10,4.798453e-10,1.651521e-09,1.725738e-09,4.524173e-09,5.705913e-09,9.790893e-09,1.458837e-08,1.863246e-08,3.102784e-08,3.233632e-08,5.235233e-08,5.826814e-08,8.024924e-08,9.991599e-08,1.176412e-07,1.596616e-07,1.661144e-07,2.271853e-07,2.410386e-07,3.022822e-07,3.473212e-07,3.927346e-07,4.814768e-07,4.997617e-07,6.244595e-07,6.461172e-07,7.677894e-07,8.434515e-07,9.305687e-07,1.075249e-06,1.113465e-06,1.316992e-06,1.342821e-06,1.541514e-06,1.647016e-06,1.787248e-06,1.988242e-06,2.054268e-06,2.342521e-06,2.366494e-06,2.651831e-06,2.781392e-06,2.981917e-06,3.232232e-06,3.332397e-06,3.702808e-06,3.718032e-06,4.092615e-06,4.237580e-06,4.501220e-06,4.789481e-06,4.927977e-06,5.372200e-06,5.833171e-06,5.984098e-06,6.310148e-06,6.623464e-06,6.802374e-06,7.288545e-06,7.309082e-06,7.829498e-06,7.977566e-06,8.362850e-06,8.688751e-06,8.908369e-06,9.420338e-06,9.465294e-06,1.003287e-05,1.017059e-05,1.061037e-05,1.093782e-05,1.119705e-05,1.172037e-05,1.179222e-05,1.239518e-05,1.251665e-05,1.300527e-05,1.332511e-05,1.362182e-05,1.414427e-05,1.424423e-05,1.487186e-05,1.497272e-05,1.550413e-05,1.580910e-05,1.614047e-05,1.665210e-05,1.678033e-05,1.742318e-05,1.750049e-05,1.806850e-05,1.835310e-05,1.871582e-05,1.920882e-05,1.936465e-05,2.001455e-05,2.006658e-05,2.066509e-05,2.092539e-05,2.131584e-05,2.178430e-05,2.196642e-05,2.261645e-05,2.264244e-05,2.326557e-05,2.349896e-05,2.391342e-05,2.435307e-05,2.455969e-05,2.520406e-05,2.584623e-05,2.605121e-05,2.648593e-05,2.689391e-05,2.712288e-05,2.773154e-05,2.775683e-05,2.838755e-05,2.856354e-05,2.901481e-05,2.938941e-05,2.963839e-05,3.020866e-05,3.025809e-05,3.087372e-05,3.102085e-05,3.148512e-05,3.182558e-05,3.209209e-05,3.262246e-05,3.269451e-05,3.329220e-05,3.341117e-05,3.388505e-05,3.419138e-05,3.447293e-05,3.496281e-05,3.505571e-05,3.563329e-05,3.572521e-05,3.620557e-05,3.647835e-05,3.677246e-05,3.722203e-05,3.733387e-05,3.788973e-05,3.795606e-05,3.843997e-05,3.868028e-05,3.898453e-05,3.939456e-05,3.952335e-05,4.005638e-05,4.009878e-05,4.058359e-05,4.079283e-05,4.110492e-05,4.147663e-05,4.162036e-05,4.212987e-05,4.215013e-05,4.263344e-05,4.281326e-05,4.313104e-05,4.346600e-05,4.362267e-05,4.410832e-05,4.474021e-05,4.536167e-05,4.597273e-05,4.657341e-05,4.716373e-05,4.774376e-05,4.831353e-05,4.887311e-05,4.942257e-05,4.996199e-05,5.049144e-05,5.101101e-05,5.152080e-05,5.202090e-05,5.251141e-05,5.299245e-05,5.346411e-05,5.392652e-05,5.437979e-05,5.482404e-05,5.525938e-05,5.568594e-05,5.610384e-05,5.651322e-05
0.000000e+00,1.477338e-13,8.800160e-13,1.010356e-11,4.479835e-11,8.603970e-11,3.339604e-10,3.502718e-10,9.878364e-10,1.264982e-09,2.241669e-09,3.411349e-09,4.409313e-09,7.510698e-09,7.840856e-09,1.293668e-08,1.445597e-08,2.014167e-08,2.527418e-08,2.993064e-08,4.106373e-08,4.278325e-08,5.915616e-08,6.289050e-08,7.946379e-08,9.170195e-08,1.040712e-07,1.282963e-07,1.332936e-07,1.673979e-07,1.733230e-07,2.066044e-07,2.272885e-07,2.510869e-07,2.905596e-07,3.009741e-07,3.563505e-07,3.633669e-07,4.172573e-07,4.458099e-07,4.836949e-07,5.378645e-07,5.556253e-07,6.329751e-07,6.393943e-07,7.156390e-07,7.501633e-07,8.034831e-07,8.698507e-07,8.963495e-07,9.940590e-07,9.980654e-07,1.096416e-06,1.134362e-06,1.203210e-06,1.278252e-06,1.314221e-06,1.429221e-06,1.547979e-06,1.586737e-06,1.670259e-06,1.750258e-06,1.795826e-06,1.919245e-06,1.924445e-06,2.055886e-06,2.093164e-06,2.189921e-06,2.271495e-06,2.326328e-06,2.453732e-06,2.464892e-06,2.605402e-06,2.639392e-06,2.747657e-06,2.828009e-06,2.891461e-06,3.019143e-06,3.036629e-06,3.182980e-06,3.212377e-06,3.330345e-06,3.407320e-06,3.478559e-06,3.603603e-06,3.627469e-06,3.776926e-06,3.800880e-06,3.926791e-06,3.998832e-06,4.076933e-06,4.197160e-06,4.227225e-06,4.377551e-06,4.395587e-06,4.527799e-06,4.593856e-06,4.677865e-06,4.791733e-06,4.827652e-06,4.977066e-06,4.989001e-06,5.126023e-06,5.185459e-06,5.274442e-06,5.380928e-06,5.422247e-06,5.569370e-06,5.575239e-06,5.715744e-06,5.768244e-06,5.861310e-06,5.959805e-06,6.006013e-06,6.149799e-06,6.292622e-06,6.338115e-06,6.434439e-06,6.524654e-06,6.575208e-06,6.709327e-06,6.714894e-06,6.853462e-06,6.892057e-06,6.990883e-06,7.072773e-06,7.127129e-06,7.251417e-06,7.262176e-06,7.396002e-06,7.427936e-06,7.528587e-06,7.602286e-06,7.659914e-06,7.774429e-06,7.789968e-06,7.918736e-06,7.944334e-06,8.046208e-06,8.111977e-06,8.172373e-06,8.277338e-06,8.297225e-06,8.420759e-06,8.440401e-06,8.542969e-06,8.601159e-06,8.663853e-06,8.759604e-06,8.783409e-06,8.901638e-06,8.915736e-06,9.018540e-06,9.069557e-06,9.134117e-06,9.221072e-06,9.248373e-06,9.361310e-06,9.370289e-06,9.472935e-06,9.517219e-06,9.583253e-06,9.661877e-06,9.692271e-06,9.799995e-06,9.804277e-06,9.906433e-06,9.944437e-06,1.001159e-05,1.008238e-05,1.011549e-05,1.021812e-05,1.035169e-05,1.048310e-05,1.061239e-05,1.073957e-05,1.086468e-05,1.098775e-05,1.110880e-05,1.122786e-05,1.134496e-05,1.146013e-05,1.157340e-05,1.168479e-05,1.179435e-05,1.190210e-05,1.200807e-05,1.211230e-05,1.221480e-05,1.231561e-05,1.241477e-05,1.251230e-05,1.260823e-05,1.270258e-05,1.279540e-05,1.288670e-05
0.000000e+00,1.570128e-12,4.899239e-12,2.639977e-11,8.049020e-11,1.341359e-10,4.045637e-10,4.210047e-10,1.017339e-09,1.261192e-09,2.086281e-09,3.034526e-09,3.823466e-09,6.207496e-09,6.457106e-09,1.024709e-08,1.136020e-08,1.548060e-08,1.915471e-08,2.246059e-08,3.028526e-08,3.148555e-08,4.282587e-08,4.539250e-08,5.670703e-08,6.498969e-08,7.330500e-08,8.944321e-08,9.274986e-08,1.151320e-07,1.189899e-07,1.405079e-07,1.537608e-07,1.689049e-07,1.937994e-07,2.003245e-07,2.347457e-07,2.390762e-07,2.721278e-07,2.894996e-07,3.124128e-07,3.449266e-07,3.555279e-07,4.013880e-07,4.051726e-07,4.498979e-07,4.700208e-07,5.009541e-07,5.392301e-07,5.544474e-07,6.102637e-07,6.125430e-07,6.682864e-07,6.896919e-07,7.283969e-07,7.704041e-07,7.904765e-07,8.544068e-07,9.200704e-07,9.414300e-07,9.873523e-07,1.031210e-06,1.056140e-06,1.123489e-06,1.126322e-06,1.197793e-06,1.218022e-06,1.270449e-06,1.314570e-06,1.344190e-06,1.412907e-06,1.418920e-06,1.494545e-06,1.512819e-06,1.570978e-06,1.614101e-06,1.648132e-06,1.716560e-06,1.725927e-06,1.804284e-06,1.820016e-06,1.883129e-06,1.924297e-06,1.962391e-06,2.029244e-06,2.042002e-06,2.121899e-06,2.134705e-06,2.202020e-06,2.240541e-06,2.282308e-06,2.346621e-06,2.362707e-06,2.443165e-06,2.452821e-06,2.523633e-06,2.559030e-06,2.604064e-06,2.665140e-06,2.684415e-06,2.764643e-06,2.771055e-06,2.844710e-06,2.876683e-06,2.924577e-06,2.981940e-06,3.004212e-06,3.083579e-06,3.086748e-06,3.162650e-06,3.191037e-06,3.241395e-06,3.294741e-06,3.319786e-06,3.397799e-06,3.475410e-06,3.500156e-06,3.552596e-06,3.601763e-06,3.629337e-06,3.702572e-06,3.705614e-06,3.781410e-06,3.802544e-06,3.856706e-06,3.901639e-06,3.931489e-06,3.999824e-06,4.005744e-06,4.079458e-06,4.097068e-06,4.152620e-06,4.193345e-06,4.225218e-06,4.288630e-06,4.297242e-06,4.368684e-06,4.382901e-06,4.439535e-06,4.476141e-06,4.509788e-06,4.568334e-06,4.579437e-06,4.648475e-06,4.659464e-06,4.716898e-06,4.749521e-06,4.784702e-06,4.838496e-06,4.851882e-06,4.918435e-06,4.926379e-06,4.984360e-06,5.013166e-06,5.049653e-06,5.098852e-06,5.114313e-06,5.178340e-06,5.183435e-06,5.241732e-06,5.266911e-06,5.304490e-06,5.349283e-06,5.366613e-06,5.428103e-06,5.430549e-06,5.488960e-06,5.510713e-06,5.549185e-06,5.589778e-06,5.608780e-06,5.667748e-06,5.744627e-06,5.820422e-06,5.895139e-06,5.968784e-06,6.041367e-06,6.112894e-06,6.183376e-06,6.252820e-06,6.321238e-06,6.388638e-06,6.455031e-06,6.520428e-06,6.584840e-06,6.648277e-06,6.710752e-06,6.772275e-06,6.832859e-06,6.892515e-06,6.951256e-06,7.009092e-06,7.066036e-06,7.122100e-06,7.177296e-06,7.231637e-06
0.000000e+00,5.016280e-16,5.604476e-15,1.985339e-13,2.073650e-12,6.034861e-12,5.961035e-11,6.470986e-11,3.939558e-10,6.093533e-10,1.681793e-09,3.557878e-09,5.631559e-09,1.463592e-08,1.581077e-08,3.884394e-08,4.741099e-08,8.596937e-08,1.291733e-07,1.749483e-07,3.086491e-07,3.322623e-07,5.954731e-07,6.650484e-07,1.015569e-06,1.317444e-06,1.659115e-06,2.433231e-06,2.610032e-06,3.970904e-06,4.234561e-06,5.863686e-06,7.001955e-06,8.429825e-06,1.107475e-05,1.182974e-05,1.624174e-05,1.684827e-05,2.186029e-05,2.476797e-05,2.889392e-05,3.532088e-05,3.756258e-05,4.809467e-05,4.902471e-05,6.072374e-05,6.641526e-05,7.568511e-05,8.803267e-05,9.321219e-05,1.135329e-04,1.144070e-04,1.368662e-04,1.460438e-04,1.634182e-04,1.834101e-04,1.933795e-04,2.269214e-04,2.641938e-04,2.769301e-04,3.053224e-04,3.337154e-04,3.504066e-04,3.974757e-04,3.995181e-04,4.526998e-04,4.683226e-04,5.099646e-04,5.462775e-04,5.712953e-04,6.312705e-04,6.366447e-04,7.059358e-04,7.231411e-04,7.790631e-04,8.216415e-04,8.558935e-04,9.264416e-04,9.362677e-04,1.020002e-03,1.037135e-03,1.106892e-03,1.153247e-03,1.196710e-03,1.274243e-03,1.289213e-03,1.384143e-03,1.399539e-03,1.481227e-03,1.528511e-03,1.580184e-03,1.660504e-03,1.680724e-03,1.782552e-03,1.794844e-03,1.885370e-03,1.930847e-03,1.988880e-03,2.067828e-03,2.092786e-03,2.196793e-03,2.205110e-03,2.300616e-03,2.342031e-03,2.403974e-03,2.477952e-03,2.506597e-03,2.608224e-03,2.612265e-03,2.708607e-03,2.744395e-03,2.807510e-03,2.873805e-03,2.904711e-03,3.000001e-03,3.093188e-03,3.122534e-03,3.184093e-03,3.241000e-03,3.272555e-03,3.355043e-03,3.358427e-03,3.441577e-03,3.464356e-03,3.521892e-03,3.568677e-03,3.599270e-03,3.667791e-03,3.673626e-03,3.744891e-03,3.761527e-03,3.813007e-03,3.849760e-03,3.877931e-03,3.932401e-03,3.939635e-03,3.998100e-03,4.009403e-03,4.053320e-03,4.080754e-03,4.105301e-03,4.146474e-03,4.154059e-03,4.199618e-03,4.206613e-03,4.242013e-03,4.261250e-03,4.281284e-03,4.310487e-03,4.317483e-03,4.350665e-03,4.354447e-03,4.380893e-03,4.393274e-03,4.408233e-03,4.427126e-03,4.432759e-03,4.454548e-03,4.456175e-03,4.473679e-03,4.480605e-03,4.490235e-03,4.500609e-03,4.504302e-03,4.515967e-03,4.516385e-03,4.525320e-03,4.528138e-03,4.532451e-03,4.536076e-03,4.537450e-03,4.540407e-03,4.541339e-03,4.539080e-03,4.533835e-03,4.525804e-03,4.515187e-03,4.502173e-03,4.486951e-03,4.469701e-03,4.450596e-03,4.429803e-03,4.407482e-03,4.383785e-03,4.358858e-03,4.332836e-03,4.305851e-03,4.278025e-03,4.249473e-03,4.220304e-03,4.190619e-03,4.160513e-03,4.130074e-03,4.099384e-03,4.068518e-03,4.037547e-03
0.000000e+00,8.166599e-17,9.377419e-16,3.498077e-14,3.809743e-13,1.132335e-12,1.174589e-11,1.277419e-11,8.107018e-11,1.266914e-10,3.581990e-10,7.714252e-10,1.234423e-09,3.280871e-09,3.550585e-09,8.903968e-09,1.091630e-08,2.005500e-08,3.039866e-08,4.143663e-08,7.397795e-08,7.976005e-08,1.446973e-07,1.619806e-07,2.496024e-07,3.256444e-07,4.122148e-07,6.098843e-07,6.552748e-07,1.006982e-06,1.075523e-06,1.501245e-06,1.800547e-06,2.177681e-06,2.880107e-06,3.081356e-06,4.262293e-06,4.425175e-06,5.774731e-06,6.559955e-06,7.676210e-06,9.418260e-06,1.002652e-05,1.288653e-05,1.313918e-05,1.631701e-05,1.786232e-05,2.037739e-05,2.372299e-05,2.512459e-05,3.061190e-05,3.084750e-05,3.688796e-05,3.934892e-05,4.399586e-05,4.932342e-05,5.197236e-05,6.084727e-05,7.064297e-05,7.397468e-05,8.137409e-05,8.873632e-05,9.304729e-05,1.051388e-04,1.056613e-04,1.192070e-04,1.231647e-04,1.336676e-04,1.427734e-04,1.490189e-04,1.639024e-04,1.652300e-04,1.822635e-04,1.864691e-04,2.000759e-04,2.103733e-04,2.186190e-04,2.354991e-04,2.378395e-04,2.576806e-04,2.617180e-04,2.780819e-04,2.888912e-04,2.989806e-04,3.168727e-04,3.203121e-04,3.420103e-04,3.455116e-04,3.640086e-04,3.746548e-04,3.862403e-04,4.041492e-04,4.086392e-04,4.311400e-04,4.338438e-04,4.536786e-04,4.635916e-04,4.761931e-04,4.932510e-04,4.986235e-04,5.209124e-04,5.226877e-04,5.430049e-04,5.517753e-04,5.648494e-04,5.803964e-04,5.863971e-04,6.076027e-04,6.084432e-04,6.284240e-04,6.358180e-04,6.488224e-04,6.624336e-04,6.687626e-04,6.882130e-04,7.071450e-04,7.130895e-04,7.255335e-04,7.370068e-04,7.433568e-04,7.599181e-04,7.605962e-04,7.772362e-04,7.817862e-04,7.932641e-04,8.025828e-04,8.086700e-04,8.222881e-04,8.234470e-04,8.375902e-04,8.408900e-04,8.510974e-04,8.583835e-04,8.639684e-04,8.747702e-04,8.762053e-04,8.878117e-04,8.900578e-04,8.987934e-04,9.042593e-04,9.091575e-04,9.173923e-04,9.189126e-04,9.280686e-04,9.294787e-04,9.366366e-04,9.405440e-04,9.446288e-04,9.506167e-04,9.520582e-04,9.589385e-04,9.597279e-04,9.652843e-04,9.679109e-04,9.711105e-04,9.752004e-04,9.764326e-04,9.812664e-04,9.816325e-04,9.856282e-04,9.872444e-04,9.895342e-04,9.920735e-04,9.930008e-04,9.960446e-04,9.961578e-04,9.986819e-04,9.995351e-04,1.000929e-03,1.002243e-03,1.002803e-03,1.004319e-03,1.005799e-03,1.006720e-03,1.007117e-03,1.007022e-03,1.006471e-03,1.005493e-03,1.004121e-03,1.002383e-03,1.000307e-03,9.979204e-04,9.952490e-04,9.923170e-04,9.891476e-04,9.857626e-04,9.821827e-04,9.784276e-04,9.745153e-04,9.704635e-04,9.662882e-04,9.620045e-04,9.576268e-04,9.531682e-04,9.486412e-04,9.440574e-04
0.000000e+00,7.406518e-17,8.220421e-16,2.853647e-14,2.906030e-13,8.319857e-13,7.821881e-12,8.472326e-12,4.868441e-11,7.404298e-11,1.955209e-10,3.984906e-10,6.152433e-10,1.510655e-09,1.623953e-09,3.756163e-09,4.519757e-09,7.838326e-09,1.140131e-08,1.505439e-08,2.524254e-08,2.698503e-08,4.560599e-08,5.033232e-08,7.324286e-08,9.203092e-08,1.124920e-07,1.564591e-07,1.661236e-07,2.369814e-07,2.501070e-07,3.278908e-07,3.794567e-07,4.415818e-07,5.506721e-07,5.806261e-07,7.473898e-07,7.693678e-07,9.439985e-07,1.040451e-06,1.172313e-06,1.368018e-06,1.433911e-06,1.730082e-06,1.755301e-06,2.061818e-06,2.204637e-06,2.429819e-06,2.717478e-06,2.834499e-06,3.275996e-06,3.294421e-06,3.754188e-06,3.935256e-06,4.268707e-06,4.639038e-06,4.818964e-06,5.404166e-06,6.023342e-06,6.228474e-06,6.675366e-06,7.109323e-06,7.358978e-06,8.043695e-06,8.072811e-06,8.815407e-06,9.028281e-06,9.585240e-06,1.005956e-05,1.038074e-05,1.113387e-05,1.120028e-05,1.204226e-05,1.224749e-05,1.290503e-05,1.339666e-05,1.378697e-05,1.457766e-05,1.468648e-05,1.560195e-05,1.578683e-05,1.653185e-05,1.702059e-05,1.747465e-05,1.827550e-05,1.842888e-05,1.939311e-05,1.954822e-05,2.036595e-05,2.083558e-05,2.134608e-05,2.213456e-05,2.233220e-05,2.332310e-05,2.344227e-05,2.431758e-05,2.475600e-05,2.531453e-05,2.607319e-05,2.631287e-05,2.731157e-05,2.739145e-05,2.830967e-05,2.870853e-05,2.930624e-05,3.002233e-05,3.030040e-05,3.129133e-05,3.133089e-05,3.227824e-05,3.263240e-05,3.326040e-05,3.392519e-05,3.423711e-05,3.520771e-05,3.617160e-05,3.647853e-05,3.712819e-05,3.773634e-05,3.807696e-05,3.897994e-05,3.901739e-05,3.994903e-05,4.020825e-05,4.087144e-05,4.142028e-05,4.178421e-05,4.261514e-05,4.268698e-05,4.357940e-05,4.379201e-05,4.446116e-05,4.495019e-05,4.533198e-05,4.608903e-05,4.619158e-05,4.703973e-05,4.720797e-05,4.787622e-05,4.830652e-05,4.870086e-05,4.938426e-05,4.951347e-05,5.031390e-05,5.044083e-05,5.110203e-05,5.147592e-05,5.187773e-05,5.248929e-05,5.264092e-05,5.339151e-05,5.348073e-05,5.412944e-05,5.445011e-05,5.485467e-05,5.539732e-05,5.556715e-05,5.626686e-05,5.632229e-05,5.695380e-05,5.722500e-05,5.762797e-05,5.810546e-05,5.828937e-05,5.893805e-05,5.896373e-05,5.957403e-05,5.979988e-05,6.019735e-05,6.061401e-05,6.080807e-05,6.140625e-05,6.217676e-05,6.292572e-05,6.365332e-05,6.435978e-05,6.504533e-05,6.571023e-05,6.635472e-05,6.697910e-05,6.758363e-05,6.816862e-05,6.873437e-05,6.928118e-05,6.980939e-05,7.031931e-05,7.081126e-05,7.128558e-05,7.174261e-05,7.218268e-05,7.260613e-05,7.301330e-05,7.340453e-05,7.378016e-05,7.414053e-05,7.448599e-05
0.000000e+00,2.564103e-12,1.322600e-11,1.249734e-10,4.991526e-10,9.212729e-10,3.343807e-09,3.500451e-09,9.564182e-09,1.219454e-08,2.152251e-08,3.285623e-08,4.267092e-08,7.390703e-08,7.728702e-08,1.303334e-07,1.463604e-07,2.066611e-07,2.611129e-07,3.102850e-07,4.264681e-07,4.442198e-07,6.106633e-07,6.480019e-07,8.112066e-07,9.293540e-07,1.046971e-06,1.272776e-06,1.318686e-06,1.626728e-06,1.679394e-06,1.971150e-06,2.149332e-06,2.351704e-06,2.681820e-06,2.767867e-06,3.218866e-06,3.275282e-06,3.703711e-06,3.927466e-06,4.221221e-06,4.635559e-06,4.770062e-06,5.348776e-06,5.396318e-06,5.955806e-06,6.206185e-06,6.589529e-06,7.061401e-06,7.248275e-06,7.930352e-06,7.958096e-06,8.634061e-06,8.892365e-06,9.357712e-06,9.860332e-06,1.009964e-05,1.085820e-05,1.163180e-05,1.188227e-05,1.241889e-05,1.292901e-05,1.321797e-05,1.399503e-05,1.402760e-05,1.484640e-05,1.507713e-05,1.567304e-05,1.617226e-05,1.650625e-05,1.727758e-05,1.734483e-05,1.818763e-05,1.839041e-05,1.903357e-05,1.950827e-05,1.988160e-05,2.062884e-05,2.073077e-05,2.158015e-05,2.174998e-05,2.242888e-05,2.286969e-05,2.327614e-05,2.398614e-05,2.412117e-05,2.496325e-05,2.509767e-05,2.580172e-05,2.620272e-05,2.663595e-05,2.729990e-05,2.746536e-05,2.828941e-05,2.838791e-05,2.910760e-05,2.946562e-05,2.991945e-05,3.053196e-05,3.072454e-05,3.152248e-05,3.158600e-05,3.231290e-05,3.262689e-05,3.309547e-05,3.365389e-05,3.386989e-05,3.463587e-05,3.466633e-05,3.539318e-05,3.566364e-05,3.614158e-05,3.664530e-05,3.688088e-05,3.761089e-05,3.833146e-05,3.856003e-05,3.904246e-05,3.949241e-05,3.974376e-05,4.040779e-05,4.043526e-05,4.111688e-05,4.130595e-05,4.178855e-05,4.218676e-05,4.245022e-05,4.305009e-05,4.310185e-05,4.374342e-05,4.389589e-05,4.437490e-05,4.472412e-05,4.499630e-05,4.553480e-05,4.560762e-05,4.620890e-05,4.632795e-05,4.680014e-05,4.710364e-05,4.738139e-05,4.786196e-05,4.795270e-05,4.851412e-05,4.860303e-05,4.906570e-05,4.932699e-05,4.960752e-05,5.003399e-05,5.013965e-05,5.066216e-05,5.072421e-05,5.117513e-05,5.139784e-05,5.167866e-05,5.205508e-05,5.217284e-05,5.265775e-05,5.269615e-05,5.313351e-05,5.332127e-05,5.360021e-05,5.393069e-05,5.405797e-05,5.450687e-05,5.452465e-05,5.494705e-05,5.510340e-05,5.537860e-05,5.566719e-05,5.580165e-05,5.621631e-05,5.675100e-05,5.727155e-05,5.777823e-05,5.827131e-05,5.875107e-05,5.921779e-05,5.967174e-05,6.011320e-05,6.054245e-05,6.095976e-05,6.136540e-05,6.175965e-05,6.214277e-05,6.251502e-05,6.287667e-05,6.322797e-05,6.356919e-05,6.390057e-05,6.422236e-05,6.453480e-05,6.483814e-05,6.513260e-05,6.541843e-05,6.569584e-05
0.000000e+00,4.710174e-17,5.450072e-16,2.064881e-14,2.280019e-13,6.826810e-13,7.213423e-12,7.850673e-12,5.069966e-11,7.959489e-11,2.275905e-10,4.944846e-10,7.957143e-10,2.140632e-09,2.318936e-09,5.885027e-09,7.234526e-09,1.339943e-08,2.042462e-08,2.795782e-08,5.030587e-08,5.429261e-08,9.927836e-08,1.113011e-07,1.724691e-07,2.257709e-07,2.866318e-07,4.261227e-07,4.582363e-07,7.078631e-07,7.566498e-07,1.060499e-06,1.274857e-06,1.545705e-06,2.052113e-06,2.197625e-06,3.054858e-06,3.173513e-06,4.160176e-06,4.736975e-06,5.560107e-06,6.851595e-06,7.304391e-06,9.445338e-06,9.635362e-06,1.203709e-05,1.321237e-05,1.513484e-05,1.770964e-05,1.879396e-05,2.306917e-05,2.325375e-05,2.801367e-05,2.996741e-05,3.367829e-05,3.796604e-05,4.011070e-05,4.735465e-05,5.544933e-05,5.822501e-05,6.442871e-05,7.065313e-05,7.432109e-05,8.469738e-05,8.514865e-05,9.692718e-05,1.003970e-04,1.096658e-04,1.177711e-04,1.233669e-04,1.368185e-04,1.380262e-04,1.536326e-04,1.575173e-04,1.701686e-04,1.798261e-04,1.876102e-04,2.036845e-04,2.059278e-04,2.250857e-04,2.290146e-04,2.450433e-04,2.557224e-04,2.657553e-04,2.837002e-04,2.871720e-04,3.092401e-04,3.128277e-04,3.319029e-04,3.429750e-04,3.551012e-04,3.740041e-04,3.787735e-04,4.028570e-04,4.057716e-04,4.272875e-04,4.381301e-04,4.520002e-04,4.709308e-04,4.769304e-04,5.020137e-04,5.040250e-04,5.271861e-04,5.372659e-04,5.523850e-04,5.705102e-04,5.775493e-04,6.026194e-04,6.036195e-04,6.275382e-04,6.364612e-04,6.522505e-04,6.689099e-04,6.767037e-04,7.008481e-04,7.246367e-04,7.321666e-04,7.480254e-04,7.627652e-04,7.709732e-04,7.925531e-04,7.934423e-04,8.153978e-04,8.214489e-04,8.368081e-04,8.493807e-04,8.576448e-04,8.762860e-04,8.778824e-04,8.974985e-04,9.021117e-04,9.164737e-04,9.268135e-04,9.347914e-04,9.503562e-04,9.524380e-04,9.694023e-04,9.727125e-04,9.856761e-04,9.938635e-04,1.001253e-03,1.013797e-03,1.016130e-03,1.030305e-03,1.032508e-03,1.043780e-03,1.049999e-03,1.056555e-03,1.066276e-03,1.068637e-03,1.080030e-03,1.081351e-03,1.090743e-03,1.095243e-03,1.100784e-03,1.107973e-03,1.110165e-03,1.118896e-03,1.119566e-03,1.126990e-03,1.130052e-03,1.134460e-03,1.139461e-03,1.141321e-03,1.147589e-03,1.147827e-03,1.153277e-03,1.155187e-03,1.158404e-03,1.161578e-03,1.162985e-03,1.167038e-03,1.171607e-03,1.175326e-03,1.178235e-03,1.180375e-03,1.181786e-03,1.182508e-03,1.182581e-03,1.182043e-03,1.180934e-03,1.179290e-03,1.177146e-03,1.174539e-03,1.171502e-03,1.168068e-03,1.164268e-03,1.160133e-03,1.155690e-03,1.150968e-03,1.145994e-03,1.140790e-03,1.135383e-03,1.129793e-03,1.124042e-03,1.118150e-03
0.000000e+00,5.542826e-18,6.502754e-17,2.534415e-15,2.870153e-14,8.712568e-14,9.533770e-13,1.039064e-12,6.943292e-12,1.100124e-11,3.218919e-11,7.124621e-11,1.160402e-10,3.207071e-10,3.482197e-10,9.089448e-10,1.124782e-09,2.126569e-09,3.289960e-09,4.555355e-09,8.382805e-09,9.074419e-09,1.700615e-08,1.915737e-08,3.024881e-08,4.006869e-08,5.141417e-08,7.781703e-08,8.395863e-08,1.322955e-07,1.418442e-07,2.018779e-07,2.447016e-07,2.992429e-07,4.022246e-07,4.320121e-07,6.088456e-07,6.334739e-07,8.393523e-07,9.604396e-07,1.133957e-06,1.407521e-06,1.503735e-06,1.960210e-06,2.000825e-06,2.515142e-06,2.767323e-06,3.180293e-06,3.733940e-06,3.967195e-06,4.886910e-06,4.926611e-06,5.949813e-06,6.369367e-06,7.165383e-06,8.083507e-06,8.542015e-06,1.008686e-05,1.180569e-05,1.239320e-05,1.370279e-05,1.501183e-05,1.578091e-05,1.794725e-05,1.804116e-05,2.048307e-05,2.119911e-05,2.310454e-05,2.476217e-05,2.590195e-05,2.862655e-05,2.887015e-05,3.200258e-05,3.277795e-05,3.529137e-05,3.719806e-05,3.872746e-05,4.186504e-05,4.230072e-05,4.600007e-05,4.675404e-05,4.981366e-05,5.183775e-05,5.372899e-05,5.708697e-05,5.773303e-05,6.181240e-05,6.247119e-05,6.595350e-05,6.795913e-05,7.014263e-05,7.351930e-05,7.436609e-05,7.861036e-05,7.912044e-05,8.286214e-05,8.473196e-05,8.710850e-05,9.032437e-05,9.133690e-05,9.553535e-05,9.586958e-05,9.969239e-05,1.013412e-04,1.037972e-04,1.067146e-04,1.078396e-04,1.118102e-04,1.119674e-04,1.157002e-04,1.170794e-04,1.195017e-04,1.220324e-04,1.232074e-04,1.268108e-04,1.303062e-04,1.314011e-04,1.336886e-04,1.357920e-04,1.369537e-04,1.399746e-04,1.400980e-04,1.431184e-04,1.439416e-04,1.460128e-04,1.476881e-04,1.487794e-04,1.512109e-04,1.514172e-04,1.539257e-04,1.545084e-04,1.563047e-04,1.575807e-04,1.585549e-04,1.604291e-04,1.606770e-04,1.626723e-04,1.630563e-04,1.645426e-04,1.654663e-04,1.662896e-04,1.676637e-04,1.679159e-04,1.694237e-04,1.696542e-04,1.708161e-04,1.714442e-04,1.720958e-04,1.730406e-04,1.732661e-04,1.743301e-04,1.744509e-04,1.752914e-04,1.756827e-04,1.761534e-04,1.767443e-04,1.769197e-04,1.775938e-04,1.776439e-04,1.781795e-04,1.783898e-04,1.786803e-04,1.789903e-04,1.790999e-04,1.794419e-04,1.794540e-04,1.797100e-04,1.797891e-04,1.799077e-04,1.800036e-04,1.800384e-04,1.801057e-04,1.801030e-04,1.800032e-04,1.798134e-04,1.795408e-04,1.791921e-04,1.787737e-04,1.782917e-04,1.777520e-04,1.771601e-04,1.765211e-04,1.758401e-04,1.751216e-04,1.743701e-04,1.735894e-04,1.727835e-04,1.719559e-04,1.711099e-04,1.702485e-04,1.693745e-04,1.684907e-04,1.675993e-04,1.667025e-04,1.658025e-04,1.649011e-04
0.000000e+00,4.081812e-14,2.935310e-13,4.504639e-12,2.387900e-11,4.938250e-11,2.201978e-10,2.319805e-10,7.147206e-10,9.325832e-10,1.720142e-09,2.687877e-09,3.526672e-09,6.180112e-09,6.465562e-09,1.091743e-08,1.225733e-08,1.730624e-08,2.189925e-08,2.608832e-08,3.617037e-08,3.773465e-08,5.270552e-08,5.613654e-08,7.141895e-08,8.274675e-08,9.421832e-08,1.167090e-07,1.213474e-07,1.529409e-07,1.584136e-07,1.890307e-07,2.079382e-07,2.295641e-07,2.651131e-07,2.744238e-07,3.234472e-07,3.296008e-07,3.764404e-07,4.009604e-07,4.331896e-07,4.786923e-07,4.934689e-07,5.570463e-07,5.622680e-07,6.236882e-07,6.511509e-07,6.931625e-07,7.448099e-07,7.652417e-07,8.397042e-07,8.427292e-07,9.163361e-07,9.444149e-07,9.949321e-07,1.049399e-06,1.075296e-06,1.157241e-06,1.240592e-06,1.267533e-06,1.325180e-06,1.379893e-06,1.410849e-06,1.493971e-06,1.497451e-06,1.584848e-06,1.609444e-06,1.672910e-06,1.726015e-06,1.761515e-06,1.843416e-06,1.850552e-06,1.939914e-06,1.961398e-06,2.029503e-06,2.079738e-06,2.119229e-06,2.198233e-06,2.209007e-06,2.298759e-06,2.316699e-06,2.388412e-06,2.434970e-06,2.477899e-06,2.552896e-06,2.567160e-06,2.656136e-06,2.670342e-06,2.744775e-06,2.787188e-06,2.833029e-06,2.903325e-06,2.920854e-06,3.008209e-06,3.018658e-06,3.095058e-06,3.133102e-06,3.181366e-06,3.246579e-06,3.267103e-06,3.352240e-06,3.359025e-06,3.436754e-06,3.470379e-06,3.520620e-06,3.580592e-06,3.603819e-06,3.686333e-06,3.689619e-06,3.768144e-06,3.797421e-06,3.849239e-06,3.903968e-06,3.929605e-06,4.009230e-06,4.088107e-06,4.113187e-06,4.166225e-06,4.215820e-06,4.243579e-06,4.317114e-06,4.320163e-06,4.395972e-06,4.417059e-06,4.471003e-06,4.515647e-06,4.545254e-06,4.612874e-06,4.618723e-06,4.691409e-06,4.708737e-06,4.763312e-06,4.803237e-06,4.834434e-06,4.896375e-06,4.904775e-06,4.974337e-06,4.988157e-06,5.043124e-06,5.078587e-06,5.111138e-06,5.167675e-06,5.178382e-06,5.244862e-06,5.255428e-06,5.310580e-06,5.341856e-06,5.375543e-06,5.426972e-06,5.439754e-06,5.503220e-06,5.510786e-06,5.565946e-06,5.593312e-06,5.627937e-06,5.674564e-06,5.689201e-06,5.749743e-06,5.754556e-06,5.809570e-06,5.833302e-06,5.868689e-06,5.910820e-06,5.927106e-06,5.984829e-06,5.987123e-06,6.041864e-06,6.062229e-06,6.098218e-06,6.136154e-06,6.153900e-06,6.208915e-06,6.280529e-06,6.351012e-06,6.420382e-06,6.488657e-06,6.555852e-06,6.621987e-06,6.687077e-06,6.751140e-06,6.814193e-06,6.876253e-06,6.937337e-06,6.997462e-06,7.056644e-06,7.114900e-06,7.172245e-06,7.228697e-06,7.284271e-06,7.338983e-06,7.392847e-06,7.445881e-06,7.498097e-06,7.549513e-06,7.600141e-06,7.649997e-06
0.000000e+00,5.804700e-18,6.774703e-17,2.612260e-15,2.929667e-14,8.846138e-14,9.548373e-13,1.040078e-12,6.856730e-12,1.082431e-11,3.138054e-11,6.893927e-11,1.117360e-10,3.054480e-10,3.313413e-10,8.550066e-10,1.055178e-09,1.978201e-09,3.041781e-09,4.191803e-09,7.642147e-09,8.262257e-09,1.532481e-08,1.722821e-08,2.698483e-08,3.556228e-08,4.541976e-08,6.819965e-08,7.347309e-08,1.147324e-07,1.228409e-07,1.735837e-07,2.095794e-07,2.552375e-07,3.410041e-07,3.657243e-07,5.118575e-07,5.321395e-07,7.011663e-07,8.002206e-07,9.418009e-07,1.164319e-06,1.242413e-06,1.612018e-06,1.644843e-06,2.059843e-06,2.262954e-06,2.595162e-06,3.039920e-06,3.227134e-06,3.964635e-06,3.996451e-06,4.816101e-06,5.152059e-06,5.789375e-06,6.524444e-06,6.891574e-06,8.128963e-06,9.506851e-06,9.978177e-06,1.102951e-05,1.208150e-05,1.270011e-05,1.444494e-05,1.452065e-05,1.649199e-05,1.707097e-05,1.861378e-05,1.995848e-05,2.088450e-05,2.310284e-05,2.330150e-05,2.586103e-05,2.649601e-05,2.855830e-05,3.012682e-05,3.138754e-05,3.398117e-05,3.434209e-05,3.741449e-05,3.804241e-05,4.059655e-05,4.229165e-05,4.387945e-05,4.670820e-05,4.725386e-05,5.071001e-05,5.126991e-05,5.423782e-05,5.595358e-05,5.782693e-05,6.073532e-05,6.146686e-05,6.514708e-05,6.559091e-05,6.885705e-05,7.049617e-05,7.258635e-05,7.542722e-05,7.632472e-05,8.006213e-05,8.036079e-05,8.378886e-05,8.527445e-05,8.749551e-05,9.014679e-05,9.117307e-05,9.481295e-05,9.495764e-05,9.840703e-05,9.968819e-05,1.019476e-04,1.043211e-04,1.054277e-04,1.088404e-04,1.121799e-04,1.132321e-04,1.154404e-04,1.174834e-04,1.186170e-04,1.215833e-04,1.217051e-04,1.247007e-04,1.255224e-04,1.276003e-04,1.292928e-04,1.304010e-04,1.328880e-04,1.331002e-04,1.356958e-04,1.363031e-04,1.381863e-04,1.395345e-04,1.405704e-04,1.425798e-04,1.428473e-04,1.450168e-04,1.454378e-04,1.470786e-04,1.481084e-04,1.490332e-04,1.505925e-04,1.508810e-04,1.526230e-04,1.528920e-04,1.542603e-04,1.550095e-04,1.557944e-04,1.569483e-04,1.572267e-04,1.585592e-04,1.587124e-04,1.597937e-04,1.603065e-04,1.609325e-04,1.617354e-04,1.619778e-04,1.629321e-04,1.630046e-04,1.637977e-04,1.641197e-04,1.645773e-04,1.650869e-04,1.652736e-04,1.658892e-04,1.659122e-04,1.664269e-04,1.666020e-04,1.668895e-04,1.671626e-04,1.672798e-04,1.676005e-04,1.679222e-04,1.681340e-04,1.682423e-04,1.682533e-04,1.681732e-04,1.680078e-04,1.677631e-04,1.674446e-04,1.670578e-04,1.666078e-04,1.660999e-04,1.655387e-04,1.649289e-04,1.642748e-04,1.635808e-04,1.628507e-04,1.620883e-04,1.612971e-04,1.604806e-04,1.596418e-04,1.587837e-04,1.579092e-04,1.570208e-04,1.561209e-04
0.000000e+00,7.099230e-15,5.336655e-14,8.828611e-13,4.927534e-12,1.042547e-11,4.864573e-11,5.132609e-11,1.630487e-10,2.141553e-10,4.005706e-10,6.316122e-10,8.328506e-10,1.472575e-09,1.541575e-09,2.620152e-09,2.945404e-09,4.172706e-09,5.291080e-09,6.312473e-09,8.775806e-09,9.158637e-09,1.283105e-08,1.367490e-08,1.744399e-08,2.024935e-08,2.310119e-08,2.872718e-08,2.989362e-08,3.789898e-08,3.929692e-08,4.718222e-08,5.210798e-08,5.779593e-08,6.727254e-08,6.978074e-08,8.316558e-08,8.486679e-08,9.796802e-08,1.049323e-07,1.141947e-07,1.274774e-07,1.318417e-07,1.508956e-07,1.524801e-07,1.713338e-07,1.798901e-07,1.931259e-07,2.096336e-07,2.162342e-07,2.406150e-07,2.416161e-07,2.662197e-07,2.757270e-07,2.929954e-07,3.118432e-07,3.208860e-07,3.498333e-07,3.797772e-07,3.895599e-07,4.106573e-07,4.308835e-07,4.424124e-07,4.736644e-07,4.749821e-07,5.083065e-07,5.177646e-07,5.423271e-07,5.630498e-07,5.769867e-07,6.093903e-07,6.122300e-07,6.480034e-07,6.566621e-07,6.842555e-07,7.047474e-07,7.209372e-07,7.535349e-07,7.580013e-07,7.954032e-07,8.029203e-07,8.331002e-07,8.528059e-07,8.710522e-07,9.031009e-07,9.092210e-07,9.475708e-07,9.537212e-07,9.860676e-07,1.004589e-06,1.024680e-06,1.055632e-06,1.063377e-06,1.102132e-06,1.106785e-06,1.140918e-06,1.157987e-06,1.179711e-06,1.209183e-06,1.218487e-06,1.257226e-06,1.260323e-06,1.295907e-06,1.311359e-06,1.334512e-06,1.362251e-06,1.373024e-06,1.411427e-06,1.412960e-06,1.449705e-06,1.463452e-06,1.487846e-06,1.513696e-06,1.525835e-06,1.563663e-06,1.601318e-06,1.613329e-06,1.638789e-06,1.662670e-06,1.676068e-06,1.711667e-06,1.713146e-06,1.750016e-06,1.760301e-06,1.786670e-06,1.808557e-06,1.823102e-06,1.856419e-06,1.859307e-06,1.895278e-06,1.903876e-06,1.931012e-06,1.950917e-06,1.966503e-06,1.997531e-06,2.001748e-06,2.036743e-06,2.043712e-06,2.071486e-06,2.089452e-06,2.105974e-06,2.134744e-06,2.140203e-06,2.174174e-06,2.179585e-06,2.207883e-06,2.223970e-06,2.241329e-06,2.267895e-06,2.274511e-06,2.307428e-06,2.311360e-06,2.340079e-06,2.354361e-06,2.372464e-06,2.396899e-06,2.404583e-06,2.436436e-06,2.438973e-06,2.468022e-06,2.480582e-06,2.499342e-06,2.521727e-06,2.530396e-06,2.561184e-06,2.562410e-06,2.591709e-06,2.602633e-06,2.621969e-06,2.642396e-06,2.651966e-06,2.681702e-06,2.720553e-06,2.758953e-06,2.796904e-06,2.834410e-06,2.871474e-06,2.908099e-06,2.944290e-06,2.980050e-06,3.015383e-06,3.050294e-06,3.084787e-06,3.118866e-06,3.152535e-06,3.185800e-06,3.218664e-06,3.251132e-06,3.283209e-06,3.314899e-06,3.346207e-06,3.377138e-06,3.407697e-06,3.437887e-06,3.467714e-06,3.497183e-06
0.000000e+00,1.322395e-12,6.082797e-12,4.984527e-11,1.848713e-10,3.313421e-10,1.136249e-09,1.187169e-09,3.107271e-09,3.919283e-09,6.735273e-09,1.006259e-08,1.288464e-08,2.162670e-08,2.255705e-08,3.693959e-08,4.123679e-08,5.734053e-08,7.187908e-08,8.504545e-08,1.163498e-07,1.211574e-07,1.665165e-07,1.767534e-07,2.217085e-07,2.544271e-07,2.871123e-07,3.501053e-07,3.629440e-07,4.492892e-07,4.640799e-07,5.461243e-07,5.962999e-07,6.533315e-07,7.464326e-07,7.707097e-07,8.979851e-07,9.139078e-07,1.034821e-06,1.097958e-06,1.180825e-06,1.297655e-06,1.335565e-06,1.498569e-06,1.511952e-06,1.669343e-06,1.739713e-06,1.847372e-06,1.979754e-06,2.032136e-06,2.223106e-06,2.230866e-06,2.419758e-06,2.491844e-06,2.621577e-06,2.761506e-06,2.828056e-06,3.038704e-06,3.253048e-06,3.322343e-06,3.470631e-06,3.611384e-06,3.691021e-06,3.904849e-06,3.913801e-06,4.138582e-06,4.201827e-06,4.364991e-06,4.501472e-06,4.592679e-06,4.803000e-06,4.821319e-06,5.050602e-06,5.105693e-06,5.280241e-06,5.408893e-06,5.509967e-06,5.711999e-06,5.739530e-06,5.968697e-06,6.014463e-06,6.197251e-06,6.315791e-06,6.424994e-06,6.615534e-06,6.651739e-06,6.877316e-06,6.913289e-06,7.101567e-06,7.208693e-06,7.324347e-06,7.501423e-06,7.545524e-06,7.764975e-06,7.791188e-06,7.982590e-06,8.077732e-06,8.198267e-06,8.360828e-06,8.411913e-06,8.623446e-06,8.640275e-06,8.832789e-06,8.915898e-06,9.039876e-06,9.187546e-06,9.244644e-06,9.447041e-06,9.455087e-06,9.647018e-06,9.718410e-06,9.844534e-06,9.977419e-06,1.003955e-05,1.023204e-05,1.042197e-05,1.048220e-05,1.060932e-05,1.072786e-05,1.079407e-05,1.096897e-05,1.097621e-05,1.115572e-05,1.120551e-05,1.133260e-05,1.143746e-05,1.150684e-05,1.166482e-05,1.167845e-05,1.184742e-05,1.188757e-05,1.201375e-05,1.210574e-05,1.217745e-05,1.231933e-05,1.233852e-05,1.249698e-05,1.252836e-05,1.265284e-05,1.273286e-05,1.280611e-05,1.293287e-05,1.295680e-05,1.310494e-05,1.312840e-05,1.325052e-05,1.331951e-05,1.339359e-05,1.350623e-05,1.353414e-05,1.367221e-05,1.368861e-05,1.380781e-05,1.386670e-05,1.394097e-05,1.404055e-05,1.407171e-05,1.420005e-05,1.421021e-05,1.432601e-05,1.437574e-05,1.444963e-05,1.453719e-05,1.457092e-05,1.468991e-05,1.469462e-05,1.480662e-05,1.484809e-05,1.492109e-05,1.499765e-05,1.503333e-05,1.514337e-05,1.528532e-05,1.542354e-05,1.555811e-05,1.568908e-05,1.581652e-05,1.594049e-05,1.606105e-05,1.617827e-05,1.629220e-05,1.640291e-05,1.651046e-05,1.661491e-05,1.671632e-05,1.681475e-05,1.691025e-05,1.700290e-05,1.709274e-05,1.717983e-05,1.726424e-05,1.734600e-05,1.742519e-05,1.750186e-05,1.757606e-05,1.764783e-05
0.000000e+00,4.376199e-17,5.074680e-16,1.931200e-14,2.140948e-13,6.424449e-13,6.827046e-12,7.431906e-12,4.827616e-11,7.591436e-11,2.179914e-10,4.753443e-10,7.667989e-10,2.074948e-09,2.248955e-09,5.745992e-09,7.075423e-09,1.317594e-08,2.016627e-08,2.769404e-08,5.015672e-08,5.417939e-08,9.978583e-08,1.120256e-07,1.745198e-07,2.291965e-07,2.917985e-07,4.357379e-07,4.689405e-07,7.275477e-07,7.781659e-07,1.093748e-06,1.316591e-06,1.598279e-06,2.125058e-06,2.276413e-06,3.167704e-06,3.291008e-06,4.315592e-06,4.913904e-06,5.766869e-06,7.103116e-06,7.571022e-06,9.779482e-06,9.975196e-06,1.244481e-05,1.365071e-05,1.561983e-05,1.825081e-05,1.935675e-05,2.370627e-05,2.389369e-05,2.871675e-05,3.069114e-05,3.443337e-05,3.874527e-05,4.089742e-05,4.814562e-05,5.620955e-05,5.896669e-05,6.511514e-05,7.126588e-05,7.488233e-05,8.508217e-05,8.552478e-05,9.704971e-05,1.004351e-04,1.094578e-04,1.173244e-04,1.227433e-04,1.357305e-04,1.368940e-04,1.518917e-04,1.556146e-04,1.677121e-04,1.769201e-04,1.843256e-04,1.995740e-04,2.016974e-04,2.197878e-04,2.234884e-04,2.385532e-04,2.485624e-04,2.579461e-04,2.746841e-04,2.779159e-04,2.984091e-04,3.017330e-04,3.193704e-04,3.295814e-04,3.407427e-04,3.580973e-04,3.624677e-04,3.844865e-04,3.871457e-04,4.067402e-04,4.165910e-04,4.291699e-04,4.462983e-04,4.517174e-04,4.743256e-04,4.761352e-04,4.969388e-04,5.059732e-04,5.195027e-04,5.356888e-04,5.419651e-04,5.642760e-04,5.651646e-04,5.863876e-04,5.942901e-04,6.082545e-04,6.229625e-04,6.298343e-04,6.510870e-04,6.719755e-04,6.785773e-04,6.924656e-04,7.053556e-04,7.125259e-04,7.313530e-04,7.321279e-04,7.512459e-04,7.565090e-04,7.698570e-04,7.807719e-04,7.879411e-04,8.040981e-04,8.054809e-04,8.224614e-04,8.264520e-04,8.388703e-04,8.478059e-04,8.546978e-04,8.681389e-04,8.699361e-04,8.845798e-04,8.874369e-04,8.986255e-04,9.056922e-04,9.120715e-04,9.229030e-04,9.249183e-04,9.371678e-04,9.390725e-04,9.488236e-04,9.542090e-04,9.598908e-04,9.683250e-04,9.703757e-04,9.802859e-04,9.814369e-04,9.896300e-04,9.935646e-04,9.984177e-04,1.004731e-03,1.006660e-03,1.014367e-03,1.014961e-03,1.021551e-03,1.024282e-03,1.028226e-03,1.032723e-03,1.034404e-03,1.040098e-03,1.040316e-03,1.045323e-03,1.047092e-03,1.050092e-03,1.053083e-03,1.054421e-03,1.058322e-03,1.062844e-03,1.066681e-03,1.069867e-03,1.072436e-03,1.074419e-03,1.075850e-03,1.076759e-03,1.077178e-03,1.077137e-03,1.076664e-03,1.075787e-03,1.074535e-03,1.072932e-03,1.071004e-03,1.068776e-03,1.066269e-03,1.063506e-03,1.060507e-03,1.057294e-03,1.053883e-03,1.050294e-03,1.046543e-03,1.042646e-03,1.038618e-03
0.000000e+00,8.793387e-18,1.032000e-16,4.024382e-15,4.559624e-14,1.384413e-13,1.515304e-12,1.651497e-12,1.103227e-11,1.747624e-11,5.109093e-11,1.129611e-10,1.838140e-10,5.066204e-10,5.499254e-10,1.429449e-09,1.766797e-09,3.326451e-09,5.128301e-09,7.079658e-09,1.294397e-08,1.399890e-08,2.602537e-08,2.926928e-08,4.591076e-08,6.055748e-08,7.740763e-08,1.164163e-07,1.254598e-07,1.963801e-07,2.103504e-07,2.980004e-07,3.603968e-07,4.397821e-07,5.895596e-07,6.328756e-07,8.901210e-07,9.259722e-07,1.225988e-06,1.402742e-06,1.656450e-06,2.057467e-06,2.198805e-06,2.871443e-06,2.931453e-06,3.693562e-06,4.068666e-06,4.684856e-06,5.514492e-06,5.865180e-06,7.254202e-06,7.314377e-06,8.871046e-06,9.512428e-06,1.073395e-05,1.215003e-05,1.285996e-05,1.526458e-05,1.796156e-05,1.888831e-05,2.096262e-05,2.304739e-05,2.427730e-05,2.776112e-05,2.791276e-05,3.187372e-05,3.304148e-05,3.616237e-05,3.889282e-05,4.077837e-05,4.531176e-05,4.571883e-05,5.097843e-05,5.228741e-05,5.654946e-05,5.980163e-05,6.242194e-05,6.782955e-05,6.858380e-05,7.502102e-05,7.634015e-05,8.171784e-05,8.529707e-05,8.865689e-05,9.465926e-05,9.581949e-05,1.031858e-04,1.043819e-04,1.107350e-04,1.144173e-04,1.184456e-04,1.247155e-04,1.262956e-04,1.342625e-04,1.352253e-04,1.423240e-04,1.458951e-04,1.504574e-04,1.566734e-04,1.586407e-04,1.668519e-04,1.675093e-04,1.750696e-04,1.783538e-04,1.832730e-04,1.891594e-04,1.914422e-04,1.995579e-04,1.998811e-04,2.076018e-04,2.104767e-04,2.155568e-04,2.209069e-04,2.234064e-04,2.311357e-04,2.387304e-04,2.411301e-04,2.461776e-04,2.508610e-04,2.534656e-04,2.603023e-04,2.605837e-04,2.675223e-04,2.694317e-04,2.742730e-04,2.782301e-04,2.808284e-04,2.866816e-04,2.871823e-04,2.933294e-04,2.947735e-04,2.992655e-04,3.024962e-04,3.049871e-04,3.098427e-04,3.104918e-04,3.157780e-04,3.168089e-04,3.208449e-04,3.233930e-04,3.256925e-04,3.295954e-04,3.303214e-04,3.347329e-04,3.354186e-04,3.389288e-04,3.408671e-04,3.429117e-04,3.459466e-04,3.466845e-04,3.502505e-04,3.506647e-04,3.536135e-04,3.550299e-04,3.567776e-04,3.590521e-04,3.597473e-04,3.625274e-04,3.627417e-04,3.651227e-04,3.661102e-04,3.675384e-04,3.691696e-04,3.697800e-04,3.718529e-04,3.719323e-04,3.737625e-04,3.744112e-04,3.755147e-04,3.766191e-04,3.771151e-04,3.785693e-04,3.802749e-04,3.817490e-04,3.830046e-04,3.840545e-04,3.849111e-04,3.855867e-04,3.860933e-04,3.864423e-04,3.866450e-04,3.867121e-04,3.866538e-04,3.864800e-04,3.862003e-04,3.858235e-04,3.853582e-04,3.848124e-04,3.841940e-04,3.835101e-04,3.827674e-04,3.819725e-04,3.811314e-04,3.802494e-04,3.793322e-04,3.783844e-04
0.000000e+00,3.394943e-12,1.040379e-11,5.497700e-11,1.660497e-10,2.757438e-10,8.266935e-10,8.601423e-10,2.072677e-09,2.568584e-09,4.248151e-09,6.182078e-09,7.793966e-09,1.267644e-08,1.318830e-08,2.096131e-08,2.324122e-08,3.165241e-08,3.910374e-08,4.576419e-08,6.136557e-08,6.373985e-08,8.596201e-08,9.094575e-08,1.127581e-07,1.285934e-07,1.444044e-07,1.749027e-07,1.811275e-07,2.231050e-07,2.303183e-07,2.704652e-07,2.951353e-07,3.232880e-07,3.695028e-07,3.816061e-07,4.454075e-07,4.534300e-07,5.146384e-07,5.467976e-07,5.892068e-07,6.493724e-07,6.689872e-07,7.538246e-07,7.608248e-07,8.435395e-07,8.807469e-07,9.379319e-07,1.008670e-06,1.036786e-06,1.139873e-06,1.144082e-06,1.246958e-06,1.286440e-06,1.357797e-06,1.435188e-06,1.472148e-06,1.589765e-06,1.710406e-06,1.749611e-06,1.833834e-06,1.914181e-06,1.959813e-06,2.082944e-06,2.088118e-06,2.218528e-06,2.255391e-06,2.350830e-06,2.431034e-06,2.484820e-06,2.609412e-06,2.620301e-06,2.757087e-06,2.790090e-06,2.894999e-06,2.972657e-06,3.033865e-06,3.156730e-06,3.173526e-06,3.313827e-06,3.341951e-06,3.454623e-06,3.527988e-06,3.595779e-06,3.714531e-06,3.737163e-06,3.878656e-06,3.901297e-06,4.020142e-06,4.088021e-06,4.161514e-06,4.274462e-06,4.302671e-06,4.443520e-06,4.460396e-06,4.583970e-06,4.645621e-06,4.723941e-06,4.829951e-06,4.863356e-06,5.002142e-06,5.013216e-06,5.140233e-06,5.195262e-06,5.277569e-06,5.375949e-06,5.414090e-06,5.549745e-06,5.555153e-06,5.684485e-06,5.732759e-06,5.818265e-06,5.908666e-06,5.951044e-06,6.082784e-06,6.213451e-06,6.255032e-06,6.343013e-06,6.425339e-06,6.471442e-06,6.593644e-06,6.598712e-06,6.724802e-06,6.759892e-06,6.849689e-06,6.924036e-06,6.973355e-06,7.086038e-06,7.095786e-06,7.216967e-06,7.245863e-06,7.336885e-06,7.403484e-06,7.455531e-06,7.558880e-06,7.572896e-06,7.688974e-06,7.712034e-06,7.803758e-06,7.862934e-06,7.917246e-06,8.011571e-06,8.029434e-06,8.140320e-06,8.157942e-06,8.249906e-06,8.302045e-06,8.358191e-06,8.443884e-06,8.465178e-06,8.570869e-06,8.583465e-06,8.675267e-06,8.720794e-06,8.778378e-06,8.855885e-06,8.880207e-06,8.980759e-06,8.988748e-06,9.080042e-06,9.119400e-06,9.178061e-06,9.247858e-06,9.274826e-06,9.370344e-06,9.374139e-06,9.464624e-06,9.498264e-06,9.557676e-06,9.620254e-06,9.649508e-06,9.740131e-06,9.857919e-06,9.973642e-06,1.008733e-05,1.019899e-05,1.030868e-05,1.041640e-05,1.052219e-05,1.062607e-05,1.072807e-05,1.082823e-05,1.092656e-05,1.102310e-05,1.111788e-05,1.121092e-05,1.130226e-05,1.139191e-05,1.147991e-05,1.156629e-05,1.165108e-05,1.173429e-05,1.181597e-05,1.189613e-05,1.197481e-05,1.205202e-05
0.000000e+00,3.589350e-16,3.637215e-15,1.049376e-13,9.073613e-13,2.379805e-12,1.798446e-11,1.931277e-11,9.055296e-11,1.306326e-10,3.035544e-10,5.609102e-10,8.145850e-10,1.758110e-09,1.870276e-09,3.830041e-09,4.486484e-09,7.183725e-09,9.896630e-09,1.254955e-08,1.949888e-08,2.063772e-08,3.218457e-08,3.497137e-08,4.788301e-08,5.789076e-08,6.833386e-08,8.954614e-08,9.402593e-08,1.253378e-07,1.308892e-07,1.625503e-07,1.825691e-07,2.058614e-07,2.449895e-07,2.553993e-07,3.112322e-07,3.183565e-07,3.733766e-07,4.027133e-07,4.418024e-07,4.979651e-07,5.164393e-07,5.971812e-07,6.039004e-07,6.838911e-07,7.202103e-07,7.764057e-07,8.465075e-07,8.745403e-07,9.780925e-07,9.823443e-07,1.086847e-06,1.127228e-06,1.200577e-06,1.280637e-06,1.319051e-06,1.442032e-06,1.569282e-06,1.610864e-06,1.700562e-06,1.786587e-06,1.835637e-06,1.968661e-06,1.974272e-06,2.116239e-06,2.156556e-06,2.261313e-06,2.349758e-06,2.409277e-06,2.547772e-06,2.559916e-06,2.713026e-06,2.750118e-06,2.868407e-06,2.956339e-06,3.025865e-06,3.166000e-06,3.185216e-06,3.346279e-06,3.378683e-06,3.508885e-06,3.593993e-06,3.672866e-06,3.811557e-06,3.838064e-06,4.004328e-06,4.031019e-06,4.171512e-06,4.252046e-06,4.339476e-06,4.474320e-06,4.508088e-06,4.677221e-06,4.697546e-06,4.846752e-06,4.921442e-06,5.016567e-06,5.145747e-06,5.186554e-06,5.356610e-06,5.370214e-06,5.526633e-06,5.594612e-06,5.696530e-06,5.818726e-06,5.866210e-06,6.035586e-06,6.042354e-06,6.204579e-06,6.265307e-06,6.373110e-06,6.487411e-06,6.541108e-06,6.708502e-06,6.875229e-06,6.928430e-06,7.041226e-06,7.147054e-06,7.206436e-06,7.364245e-06,7.370803e-06,7.534277e-06,7.579883e-06,7.696810e-06,7.793858e-06,7.858355e-06,8.006068e-06,8.018870e-06,8.178317e-06,8.216421e-06,8.336657e-06,8.424831e-06,8.493855e-06,8.631221e-06,8.649881e-06,8.804703e-06,8.835521e-06,8.958295e-06,9.037667e-06,9.110629e-06,9.237602e-06,9.261684e-06,9.411437e-06,9.435275e-06,9.559868e-06,9.630641e-06,9.706960e-06,9.823658e-06,9.852695e-06,9.997060e-06,1.001429e-05,1.014004e-05,1.020251e-05,1.028162e-05,1.038829e-05,1.042180e-05,1.056056e-05,1.057160e-05,1.069790e-05,1.075244e-05,1.083381e-05,1.093077e-05,1.096828e-05,1.110131e-05,1.110660e-05,1.123290e-05,1.127992e-05,1.136304e-05,1.145071e-05,1.149173e-05,1.161898e-05,1.178472e-05,1.194795e-05,1.210865e-05,1.226685e-05,1.242255e-05,1.257576e-05,1.272649e-05,1.287475e-05,1.302057e-05,1.316396e-05,1.330493e-05,1.344350e-05,1.357970e-05,1.371354e-05,1.384505e-05,1.397425e-05,1.410116e-05,1.422581e-05,1.434821e-05,1.446840e-05,1.458641e-05,1.470224e-05,1.481594e-05,1.492753e-05
0.000000e+00,4.456240e-18,5.252570e-17,2.067819e-15,2.363455e-14,7.211263e-14,7.996729e-13,8.720199e-13,5.905264e-12,9.390624e-12,2.772906e-11,6.183012e-11,1.011904e-10,2.826829e-10,3.072128e-10,8.108238e-10,1.005940e-09,1.916973e-09,2.982361e-09,4.147101e-09,7.694132e-09,8.337895e-09,1.576101e-08,1.778400e-08,2.825927e-08,3.758094e-08,4.839163e-08,7.367541e-08,7.957696e-08,1.262265e-07,1.354776e-07,1.938542e-07,2.356869e-07,2.891574e-07,3.906091e-07,4.200591e-07,5.957108e-07,6.202752e-07,8.264502e-07,9.483380e-07,1.123717e-06,1.401741e-06,1.499928e-06,1.968313e-06,2.010177e-06,2.542723e-06,2.805358e-06,3.237410e-06,3.820155e-06,4.066791e-06,5.045193e-06,5.087628e-06,6.186606e-06,6.640023e-06,7.504428e-06,8.507767e-06,9.011229e-06,1.071852e-05,1.263654e-05,1.329630e-05,1.477411e-05,1.626076e-05,1.713841e-05,1.962657e-05,1.973494e-05,2.256736e-05,2.340299e-05,2.563745e-05,2.759361e-05,2.894509e-05,3.219623e-05,3.248827e-05,3.626308e-05,3.720291e-05,4.026381e-05,4.260019e-05,4.448300e-05,4.836941e-05,4.891155e-05,5.353885e-05,5.448713e-05,5.835291e-05,6.092568e-05,6.334050e-05,6.765376e-05,6.848734e-05,7.377818e-05,7.463703e-05,7.919708e-05,8.183879e-05,8.472748e-05,8.922067e-05,9.035239e-05,9.605457e-05,9.674321e-05,1.018167e-04,1.043665e-04,1.076214e-04,1.120509e-04,1.134515e-04,1.192902e-04,1.197572e-04,1.251211e-04,1.274476e-04,1.309281e-04,1.350858e-04,1.366959e-04,1.424099e-04,1.426372e-04,1.480562e-04,1.500697e-04,1.536216e-04,1.573535e-04,1.590938e-04,1.644616e-04,1.697144e-04,1.713694e-04,1.748426e-04,1.780554e-04,1.798378e-04,1.845008e-04,1.846922e-04,1.893990e-04,1.906896e-04,1.939523e-04,1.966086e-04,1.983473e-04,2.022471e-04,2.025796e-04,2.066461e-04,2.075970e-04,2.105441e-04,2.126528e-04,2.142720e-04,2.174109e-04,2.178286e-04,2.212136e-04,2.218700e-04,2.244271e-04,2.260306e-04,2.274700e-04,2.298952e-04,2.303437e-04,2.330499e-04,2.334675e-04,2.355909e-04,2.367528e-04,2.379696e-04,2.397576e-04,2.401888e-04,2.422521e-04,2.424894e-04,2.441631e-04,2.449567e-04,2.459257e-04,2.471686e-04,2.475441e-04,2.490225e-04,2.491348e-04,2.503655e-04,2.508657e-04,2.515776e-04,2.523718e-04,2.526635e-04,2.536279e-04,2.536640e-04,2.544757e-04,2.547532e-04,2.552116e-04,2.556505e-04,2.558404e-04,2.563669e-04,2.569134e-04,2.573006e-04,2.575392e-04,2.576394e-04,2.576113e-04,2.574645e-04,2.572084e-04,2.568519e-04,2.564036e-04,2.558717e-04,2.552640e-04,2.545879e-04,2.538504e-04,2.530581e-04,2.522172e-04,2.513336e-04,2.504127e-04,2.494597e-04,2.484793e-04,2.474759e-04,2.464538e-04,2.454166e-04,2.443680e-04,2.433111e-04
0.000000e+00,3.785990e-18,4.344039e-17,1.615641e-15,1.751836e-14,5.190769e-14,5.330088e-13,5.793944e-13,3.629042e-12,5.648274e-12,1.579376e-11,3.368115e-11,5.353058e-11,1.399794e-10,1.512677e-10,3.724152e-10,4.545356e-10,8.231671e-10,1.234536e-09,1.668786e-09,2.929929e-09,3.151749e-09,5.610579e-09,6.257060e-09,9.497319e-09,1.226964e-08,1.539094e-08,2.240979e-08,2.400385e-08,3.617942e-08,3.852091e-08,5.287967e-08,6.281098e-08,7.516377e-08,9.776773e-08,1.041593e-07,1.410290e-07,1.460379e-07,1.869349e-07,2.102887e-07,2.430040e-07,2.930687e-07,3.102955e-07,3.897733e-07,3.966842e-07,4.822828e-07,5.230993e-07,5.885335e-07,6.738642e-07,7.090876e-07,8.443528e-07,8.500735e-07,9.945811e-07,1.052350e-06,1.159871e-06,1.280851e-06,1.340171e-06,1.535295e-06,1.744923e-06,1.814999e-06,1.968622e-06,2.118929e-06,2.205855e-06,2.445751e-06,2.455996e-06,2.718344e-06,2.793886e-06,2.992136e-06,3.161570e-06,3.276563e-06,3.546903e-06,3.570780e-06,3.873918e-06,3.947901e-06,4.185096e-06,4.362539e-06,4.503432e-06,4.788792e-06,4.828049e-06,5.158083e-06,5.224665e-06,5.492693e-06,5.668227e-06,5.831063e-06,6.117624e-06,6.172407e-06,6.515974e-06,6.571103e-06,6.861051e-06,7.027025e-06,7.206963e-06,7.483867e-06,7.553077e-06,7.898799e-06,7.940233e-06,8.243577e-06,8.394847e-06,8.586900e-06,8.846561e-06,8.928297e-06,9.267335e-06,9.294344e-06,9.603621e-06,9.737284e-06,9.936798e-06,1.017458e-05,1.026654e-05,1.059256e-05,1.060552e-05,1.091460e-05,1.102952e-05,1.123243e-05,1.144605e-05,1.154585e-05,1.185468e-05,1.215877e-05,1.225506e-05,1.245799e-05,1.264689e-05,1.275223e-05,1.302994e-05,1.304141e-05,1.332544e-05,1.340404e-05,1.360428e-05,1.376907e-05,1.387788e-05,1.412494e-05,1.414621e-05,1.440926e-05,1.447160e-05,1.466702e-05,1.480905e-05,1.491949e-05,1.513731e-05,1.516669e-05,1.540865e-05,1.545641e-05,1.564539e-05,1.576644e-05,1.587694e-05,1.606747e-05,1.610335e-05,1.632466e-05,1.635960e-05,1.654093e-05,1.664296e-05,1.675221e-05,1.691768e-05,1.695856e-05,1.716004e-05,1.718390e-05,1.735672e-05,1.744176e-05,1.754867e-05,1.769142e-05,1.773594e-05,1.791863e-05,1.793304e-05,1.809678e-05,1.816679e-05,1.827049e-05,1.839284e-05,1.843982e-05,1.860484e-05,1.861136e-05,1.876564e-05,1.882251e-05,1.892229e-05,1.902648e-05,1.907486e-05,1.922344e-05,1.941356e-05,1.959701e-05,1.977397e-05,1.994461e-05,2.010909e-05,2.026758e-05,2.042025e-05,2.056726e-05,2.070877e-05,2.084493e-05,2.097590e-05,2.110183e-05,2.122287e-05,2.133916e-05,2.145084e-05,2.155805e-05,2.166093e-05,2.175961e-05,2.185422e-05,2.194488e-05,2.203173e-05,2.211487e-05,2.219443e-05,2.227052e-05
0.000000e+00,1.697309e-13,8.516427e-13,7.761675e-12,3.036716e-11,5.553465e-11,1.971709e-10,2.062184e-10,5.497380e-10,6.955361e-10,1.200932e-09,1.795914e-09,2.298092e-09,3.839259e-09,4.002072e-09,6.495076e-09,7.232735e-09,9.977024e-09,1.243685e-08,1.465719e-08,1.993124e-08,2.074217e-08,2.842553e-08,3.016978e-08,3.788267e-08,4.355397e-08,4.926974e-08,6.042723e-08,6.272391e-08,7.836370e-08,8.107582e-08,9.628888e-08,1.057292e-07,1.165803e-07,1.345593e-07,1.392997e-07,1.644896e-07,1.676798e-07,1.921737e-07,2.051469e-07,2.223572e-07,2.469612e-07,2.550277e-07,2.901564e-07,2.930717e-07,3.276995e-07,3.433802e-07,3.675993e-07,3.977478e-07,4.097863e-07,4.541805e-07,4.560010e-07,5.006935e-07,5.179385e-07,5.492295e-07,5.833382e-07,5.996876e-07,6.519626e-07,7.059469e-07,7.235650e-07,7.615310e-07,7.978939e-07,8.186054e-07,8.746976e-07,8.770610e-07,9.367899e-07,9.537277e-07,9.976864e-07,1.034742e-06,1.059647e-06,1.117505e-06,1.122572e-06,1.186365e-06,1.201794e-06,1.250932e-06,1.287394e-06,1.316183e-06,1.374103e-06,1.382034e-06,1.448403e-06,1.461732e-06,1.515213e-06,1.550104e-06,1.582390e-06,1.639052e-06,1.649865e-06,1.717573e-06,1.728424e-06,1.785452e-06,1.818077e-06,1.853444e-06,1.907882e-06,1.921494e-06,1.989552e-06,1.997717e-06,2.057571e-06,2.087474e-06,2.125504e-06,2.177052e-06,2.193313e-06,2.260956e-06,2.266360e-06,2.328400e-06,2.355314e-06,2.395610e-06,2.443839e-06,2.462556e-06,2.529209e-06,2.531869e-06,2.595543e-06,2.619340e-06,2.661534e-06,2.706200e-06,2.727159e-06,2.792398e-06,2.857233e-06,2.877891e-06,2.921645e-06,2.962641e-06,2.985621e-06,3.046613e-06,3.049145e-06,3.112206e-06,3.129778e-06,3.174790e-06,3.212109e-06,3.236889e-06,3.293583e-06,3.298493e-06,3.359594e-06,3.374183e-06,3.420185e-06,3.453890e-06,3.480259e-06,3.532693e-06,3.539811e-06,3.598837e-06,3.610579e-06,3.657332e-06,3.687539e-06,3.715294e-06,3.763568e-06,3.772720e-06,3.829609e-06,3.838661e-06,3.885958e-06,3.912813e-06,3.941767e-06,3.986025e-06,3.997035e-06,4.051764e-06,4.058295e-06,4.105953e-06,4.129625e-06,4.159603e-06,4.200018e-06,4.212716e-06,4.265293e-06,4.269476e-06,4.317336e-06,4.338005e-06,4.368848e-06,4.405609e-06,4.419831e-06,4.470287e-06,4.472294e-06,4.520220e-06,4.538068e-06,4.569633e-06,4.602938e-06,4.618529e-06,4.666911e-06,4.729997e-06,4.792203e-06,4.853539e-06,4.914016e-06,4.973642e-06,5.032427e-06,5.090383e-06,5.147520e-06,5.203847e-06,5.259377e-06,5.314119e-06,5.368086e-06,5.421287e-06,5.473734e-06,5.525438e-06,5.576409e-06,5.626660e-06,5.676200e-06,5.725041e-06,5.773193e-06,5.820668e-06,5.867475e-06,5.913626e-06,5.959131e-06
0.000000e+00,8.058703e-12,2.450827e-11,1.293307e-10,3.944396e-10,6.611921e-10,2.059947e-09,2.147620e-09,5.495533e-09,6.944892e-09,1.210677e-08,1.838215e-08,2.377224e-08,4.045610e-08,4.221539e-08,6.879970e-08,7.651363e-08,1.045848e-07,1.289753e-07,1.504473e-07,1.997489e-07,2.071482e-07,2.753587e-07,2.904350e-07,3.556637e-07,4.023701e-07,4.485583e-07,5.366143e-07,5.544422e-07,6.736159e-07,6.939316e-07,8.062784e-07,8.747806e-07,9.525295e-07,1.079320e-06,1.112374e-06,1.285727e-06,1.307430e-06,1.472423e-06,1.558738e-06,1.672226e-06,1.832659e-06,1.884836e-06,2.109904e-06,2.128436e-06,2.347037e-06,2.445175e-06,2.595810e-06,2.781880e-06,2.855769e-06,3.126442e-06,3.137485e-06,3.407343e-06,3.510877e-06,3.697979e-06,3.900918e-06,3.997852e-06,4.306462e-06,4.623312e-06,4.726364e-06,4.947912e-06,5.159500e-06,5.279780e-06,5.604770e-06,5.618441e-06,5.963434e-06,6.061105e-06,6.314306e-06,6.527467e-06,6.670616e-06,7.002857e-06,7.031938e-06,7.397856e-06,7.486315e-06,7.767969e-06,7.976920e-06,8.141890e-06,8.473792e-06,8.519243e-06,8.899669e-06,8.976091e-06,9.282817e-06,9.483019e-06,9.668355e-06,9.993816e-06,1.005596e-05,1.044532e-05,1.050776e-05,1.083615e-05,1.102418e-05,1.122815e-05,1.154241e-05,1.162105e-05,1.201460e-05,1.206186e-05,1.240855e-05,1.258195e-05,1.280265e-05,1.310213e-05,1.319668e-05,1.359043e-05,1.362191e-05,1.398368e-05,1.414080e-05,1.437624e-05,1.465836e-05,1.476793e-05,1.515856e-05,1.517416e-05,1.554796e-05,1.568782e-05,1.593598e-05,1.619897e-05,1.632247e-05,1.670727e-05,1.709026e-05,1.721241e-05,1.747131e-05,1.771410e-05,1.785029e-05,1.821206e-05,1.822709e-05,1.860160e-05,1.870604e-05,1.897372e-05,1.919581e-05,1.934336e-05,1.968117e-05,1.971043e-05,2.007485e-05,2.016191e-05,2.043653e-05,2.063786e-05,2.079541e-05,2.110886e-05,2.115142e-05,2.150450e-05,2.157476e-05,2.185459e-05,2.203544e-05,2.220164e-05,2.249077e-05,2.254559e-05,2.288641e-05,2.294065e-05,2.322406e-05,2.338499e-05,2.355849e-05,2.382370e-05,2.388968e-05,2.421760e-05,2.425672e-05,2.454221e-05,2.468399e-05,2.486351e-05,2.510546e-05,2.518146e-05,2.549605e-05,2.552107e-05,2.580727e-05,2.593081e-05,2.611511e-05,2.633465e-05,2.641955e-05,2.672059e-05,2.673257e-05,2.701823e-05,2.712455e-05,2.731247e-05,2.751060e-05,2.760329e-05,2.789072e-05,2.826491e-05,2.863320e-05,2.899559e-05,2.935211e-05,2.970279e-05,3.004766e-05,3.038676e-05,3.072012e-05,3.104779e-05,3.136981e-05,3.168622e-05,3.199709e-05,3.230246e-05,3.260238e-05,3.289691e-05,3.318611e-05,3.347003e-05,3.374875e-05,3.402231e-05,3.429079e-05,3.455424e-05,3.481274e-05,3.506634e-05,3.531511e-05
0.000000e+00,3.854330e-12,1.175055e-11,6.204121e-11,1.887486e-10,3.156734e-10,9.750300e-10,1.016094e-09,2.569752e-09,3.236517e-09,5.598109e-09,8.460230e-09,1.091975e-08,1.855674e-08,1.936417e-08,3.160127e-08,3.516160e-08,4.813972e-08,5.943409e-08,6.938484e-08,9.224569e-08,9.567741e-08,1.273106e-07,1.343008e-07,1.645344e-07,1.861708e-07,2.075560e-07,2.482941e-07,2.565368e-07,3.115921e-07,3.209698e-07,3.727897e-07,4.043545e-07,4.401515e-07,4.984655e-07,5.136551e-07,5.932373e-07,6.031912e-07,6.787982e-07,7.183060e-07,7.702055e-07,8.434876e-07,8.672992e-07,9.698964e-07,9.783361e-07,1.077796e-06,1.122392e-06,1.190781e-06,1.275153e-06,1.308627e-06,1.431098e-06,1.436090e-06,1.557958e-06,1.604656e-06,1.688968e-06,1.780302e-06,1.823887e-06,1.962479e-06,2.104509e-06,2.150647e-06,2.249747e-06,2.344279e-06,2.397969e-06,2.542866e-06,2.548956e-06,2.702497e-06,2.745918e-06,2.858387e-06,2.952966e-06,3.016428e-06,3.163562e-06,3.176430e-06,3.338212e-06,3.377285e-06,3.501598e-06,3.593734e-06,3.666423e-06,3.812532e-06,3.832526e-06,3.999755e-06,4.033323e-06,4.167964e-06,4.255774e-06,4.337014e-06,4.479569e-06,4.506773e-06,4.677114e-06,4.704414e-06,4.847917e-06,4.930033e-06,5.019068e-06,5.156167e-06,5.190460e-06,5.361988e-06,5.382576e-06,5.533556e-06,5.609035e-06,5.705071e-06,5.835333e-06,5.876446e-06,6.047597e-06,6.061277e-06,6.218446e-06,6.286685e-06,6.388920e-06,6.511390e-06,6.558949e-06,6.728466e-06,6.735235e-06,6.897409e-06,6.958077e-06,7.065721e-06,7.179784e-06,7.233346e-06,7.400233e-06,7.566333e-06,7.619312e-06,7.731601e-06,7.836916e-06,7.895994e-06,8.052952e-06,8.059473e-06,8.222000e-06,8.267332e-06,8.383541e-06,8.479979e-06,8.544064e-06,8.690820e-06,8.703539e-06,8.861938e-06,8.899791e-06,9.019235e-06,9.106832e-06,9.175408e-06,9.311892e-06,9.330434e-06,9.484293e-06,9.514924e-06,9.636968e-06,9.715885e-06,9.788441e-06,9.914738e-06,9.938697e-06,1.008772e-05,1.011145e-05,1.023551e-05,1.030600e-05,1.038204e-05,1.049835e-05,1.052731e-05,1.067130e-05,1.068850e-05,1.081402e-05,1.087641e-05,1.095545e-05,1.106208e-05,1.109560e-05,1.123445e-05,1.124550e-05,1.137200e-05,1.142666e-05,1.150825e-05,1.160555e-05,1.164320e-05,1.177685e-05,1.178217e-05,1.190920e-05,1.195653e-05,1.204024e-05,1.212861e-05,1.216999e-05,1.229844e-05,1.246600e-05,1.263132e-05,1.279439e-05,1.295524e-05,1.311386e-05,1.327027e-05,1.342450e-05,1.357654e-05,1.372642e-05,1.387416e-05,1.401976e-05,1.416326e-05,1.430467e-05,1.444400e-05,1.458128e-05,1.471654e-05,1.484978e-05,1.498103e-05,1.511032e-05,1.523765e-05,1.536307e-05,1.548659e-05,1.560822e-05,1.572800e-05
0.000000e+00,7.134027e-12,2.272223e-11,1.250024e-10,3.845403e-10,6.428358e-10,1.948903e-09,2.028418e-09,4.916634e-09,6.099241e-09,1.010492e-08,1.471426e-08,1.855250e-08,3.016170e-08,3.137776e-08,4.984530e-08,5.526848e-08,7.533262e-08,9.320404e-08,1.092660e-07,1.472105e-07,1.530221e-07,2.078107e-07,2.201807e-07,2.745750e-07,3.142474e-07,3.539470e-07,4.306149e-07,4.462609e-07,5.516010e-07,5.696592e-07,6.698565e-07,7.311351e-07,8.007680e-07,9.143634e-07,9.439647e-07,1.098992e-06,1.118366e-06,1.265332e-06,1.341962e-06,1.442422e-06,1.583837e-06,1.629670e-06,1.826461e-06,1.842598e-06,2.032173e-06,2.116816e-06,2.246181e-06,2.405055e-06,2.467865e-06,2.696613e-06,2.705901e-06,2.931829e-06,3.017978e-06,3.172934e-06,3.339961e-06,3.419366e-06,3.670586e-06,3.926077e-06,4.008655e-06,4.185344e-06,4.353037e-06,4.447915e-06,4.702674e-06,4.713340e-06,4.981194e-06,5.056573e-06,5.251072e-06,5.413811e-06,5.522593e-06,5.773532e-06,5.795395e-06,6.069138e-06,6.134940e-06,6.343501e-06,6.497301e-06,6.618181e-06,6.859938e-06,6.892897e-06,7.167380e-06,7.222227e-06,7.441382e-06,7.583596e-06,7.714670e-06,7.943520e-06,7.987026e-06,8.258245e-06,8.301522e-06,8.528138e-06,8.657163e-06,8.796528e-06,9.010047e-06,9.063250e-06,9.328153e-06,9.359813e-06,9.591096e-06,9.706135e-06,9.851946e-06,1.004872e-05,1.011059e-05,1.036690e-05,1.038730e-05,1.062079e-05,1.072165e-05,1.087217e-05,1.105155e-05,1.112094e-05,1.136702e-05,1.137681e-05,1.161036e-05,1.169728e-05,1.185089e-05,1.201281e-05,1.208854e-05,1.232327e-05,1.255503e-05,1.262856e-05,1.278378e-05,1.292859e-05,1.300949e-05,1.322328e-05,1.323213e-05,1.345167e-05,1.351258e-05,1.366808e-05,1.379643e-05,1.388137e-05,1.407480e-05,1.409150e-05,1.429847e-05,1.434767e-05,1.450227e-05,1.461501e-05,1.470290e-05,1.487683e-05,1.490036e-05,1.509464e-05,1.513312e-05,1.528577e-05,1.538390e-05,1.547373e-05,1.562918e-05,1.565854e-05,1.584021e-05,1.586899e-05,1.601876e-05,1.610335e-05,1.619419e-05,1.633231e-05,1.636653e-05,1.653579e-05,1.655590e-05,1.670199e-05,1.677416e-05,1.686516e-05,1.698715e-05,1.702531e-05,1.718246e-05,1.719491e-05,1.733665e-05,1.739750e-05,1.748789e-05,1.759498e-05,1.763622e-05,1.778165e-05,1.778741e-05,1.792422e-05,1.797485e-05,1.806395e-05,1.815736e-05,1.820087e-05,1.833502e-05,1.850789e-05,1.867603e-05,1.883953e-05,1.899844e-05,1.915285e-05,1.930282e-05,1.944842e-05,1.958974e-05,1.972684e-05,1.985980e-05,1.998869e-05,2.011358e-05,2.023454e-05,2.035166e-05,2.046499e-05,2.057462e-05,2.068061e-05,2.078304e-05,2.088197e-05,2.097748e-05,2.106962e-05,2.115848e-05,2.124412e-05,2.132661e-05
0.000000e+00,4.948732e-17,5.823354e-16,2.286658e-14,2.611461e-13,7.970337e-13,8.875848e-12,9.681735e-12,6.629377e-11,1.058902e-10,3.171840e-10,7.180825e-10,1.189108e-09,3.428477e-09,3.737220e-09,1.026799e-08,1.286836e-08,2.532678e-08,4.033081e-08,5.707562e-08,1.093618e-07,1.189915e-07,2.317386e-07,2.628234e-07,4.250280e-07,5.703215e-07,7.392836e-07,1.134742e-06,1.226959e-06,1.953389e-06,2.096838e-06,2.997115e-06,3.637201e-06,4.449654e-06,5.975349e-06,6.414725e-06,9.006984e-06,9.366001e-06,1.235031e-05,1.409288e-05,1.657577e-05,2.046059e-05,2.181924e-05,2.821894e-05,2.878501e-05,3.591278e-05,3.938309e-05,4.503581e-05,5.256238e-05,5.571761e-05,6.807991e-05,6.861098e-05,8.223439e-05,8.778832e-05,9.828066e-05,1.103171e-04,1.163046e-04,1.363769e-04,1.585520e-04,1.660988e-04,1.828674e-04,1.995625e-04,2.093431e-04,2.367944e-04,2.379814e-04,2.687671e-04,2.777679e-04,3.016679e-04,3.224041e-04,3.366352e-04,3.705750e-04,3.736045e-04,4.124969e-04,4.221072e-04,4.532200e-04,4.767860e-04,4.956692e-04,5.343610e-04,5.397293e-04,5.852755e-04,5.945515e-04,6.321753e-04,6.570522e-04,6.802897e-04,7.215393e-04,7.294748e-04,7.795831e-04,7.876761e-04,8.304648e-04,8.551185e-04,8.819693e-04,9.235203e-04,9.339463e-04,9.862470e-04,9.925378e-04,1.038725e-03,1.061834e-03,1.091237e-03,1.131084e-03,1.143645e-03,1.195814e-03,1.199973e-03,1.247617e-03,1.268208e-03,1.298932e-03,1.335511e-03,1.349643e-03,1.399641e-03,1.401625e-03,1.448826e-03,1.466315e-03,1.497104e-03,1.529370e-03,1.544388e-03,1.590599e-03,1.635665e-03,1.649835e-03,1.679524e-03,1.706934e-03,1.722119e-03,1.761774e-03,1.763399e-03,1.803323e-03,1.814253e-03,1.841854e-03,1.864292e-03,1.878963e-03,1.911829e-03,1.914628e-03,1.948832e-03,1.956821e-03,1.981561e-03,1.999243e-03,2.012810e-03,2.039083e-03,2.042577e-03,2.070866e-03,2.076346e-03,2.097682e-03,2.111048e-03,2.123037e-03,2.143217e-03,2.146946e-03,2.169427e-03,2.172892e-03,2.190500e-03,2.200122e-03,2.210189e-03,2.224961e-03,2.228520e-03,2.245521e-03,2.247474e-03,2.261223e-03,2.267728e-03,2.275656e-03,2.285798e-03,2.288854e-03,2.300851e-03,2.301760e-03,2.311682e-03,2.315696e-03,2.321383e-03,2.327688e-03,2.329990e-03,2.337540e-03,2.337820e-03,2.344070e-03,2.346179e-03,2.349619e-03,2.352850e-03,2.354222e-03,2.357918e-03,2.361468e-03,2.363586e-03,2.364352e-03,2.363850e-03,2.362158e-03,2.359353e-03,2.355510e-03,2.350703e-03,2.345000e-03,2.338470e-03,2.331178e-03,2.323185e-03,2.314551e-03,2.305334e-03,2.295586e-03,2.285360e-03,2.274705e-03,2.263667e-03,2.252289e-03,2.240614e-03,2.228680e-03,2.216524e-03,2.204180e-03,2.191681e-03
0.000000e+00,5.917147e-17,6.944724e-16,2.711974e-14,3.080442e-13,9.372929e-13,1.035120e-11,1.128706e-11,7.659739e-11,1.220364e-10,3.631356e-10,8.175609e-10,1.348848e-09,3.856657e-09,4.200966e-09,1.144354e-08,1.431367e-08,2.800669e-08,4.442020e-08,6.267696e-08,1.194369e-07,1.298616e-07,2.514916e-07,2.849207e-07,4.588522e-07,6.140980e-07,7.941377e-07,1.213940e-06,1.311572e-06,2.077987e-06,2.228853e-06,3.172813e-06,3.841398e-06,4.687488e-06,6.269943e-06,6.724317e-06,9.394844e-06,9.763472e-06,1.281786e-05,1.459415e-05,1.711712e-05,2.104823e-05,2.241884e-05,2.884914e-05,2.941605e-05,3.653150e-05,3.998175e-05,4.558422e-05,5.301329e-05,5.611814e-05,6.823445e-05,6.875333e-05,8.202287e-05,8.741121e-05,9.755997e-05,1.091564e-04,1.149080e-04,1.341138e-04,1.552083e-04,1.623603e-04,1.782060e-04,1.939232e-04,2.031051e-04,2.287804e-04,2.298875e-04,2.585196e-04,2.668617e-04,2.889527e-04,3.080515e-04,3.211242e-04,3.521924e-04,3.549583e-04,3.903676e-04,3.990895e-04,4.272539e-04,4.485158e-04,4.655101e-04,5.002175e-04,5.050211e-04,5.456656e-04,5.539195e-04,5.873172e-04,6.093309e-04,6.298458e-04,6.661508e-04,6.731191e-04,7.170037e-04,7.240731e-04,7.613664e-04,7.827914e-04,8.060750e-04,8.420035e-04,8.509995e-04,8.960133e-04,9.014151e-04,9.409934e-04,9.607433e-04,9.858213e-04,1.019719e-03,1.030384e-03,1.074574e-03,1.078090e-03,1.118289e-03,1.135621e-03,1.161434e-03,1.192097e-03,1.203922e-03,1.245670e-03,1.247323e-03,1.286603e-03,1.301126e-03,1.326654e-03,1.353352e-03,1.365760e-03,1.403867e-03,1.440927e-03,1.452558e-03,1.476898e-03,1.499331e-03,1.511744e-03,1.544111e-03,1.545436e-03,1.577950e-03,1.586839e-03,1.609265e-03,1.627474e-03,1.639370e-03,1.665988e-03,1.668254e-03,1.695913e-03,1.702369e-03,1.722347e-03,1.736616e-03,1.747558e-03,1.768739e-03,1.771554e-03,1.794345e-03,1.798759e-03,1.815943e-03,1.826708e-03,1.836364e-03,1.852621e-03,1.855626e-03,1.873750e-03,1.876545e-03,1.890756e-03,1.898530e-03,1.906670e-03,1.918630e-03,1.921514e-03,1.935317e-03,1.936904e-03,1.948104e-03,1.953416e-03,1.959905e-03,1.968231e-03,1.970747e-03,1.980660e-03,1.981414e-03,1.989673e-03,1.993034e-03,1.997817e-03,2.003159e-03,2.005122e-03,2.011617e-03,2.011860e-03,2.017332e-03,2.019204e-03,2.022297e-03,2.025260e-03,2.026541e-03,2.030095e-03,2.033775e-03,2.036365e-03,2.037930e-03,2.038529e-03,2.038224e-03,2.037072e-03,2.035129e-03,2.032449e-03,2.029084e-03,2.025084e-03,2.020495e-03,2.015365e-03,2.009735e-03,2.003648e-03,1.997143e-03,1.990257e-03,1.983025e-03,1.975482e-03,1.967660e-03,1.959587e-03,1.951293e-03,1.942804e-03,1.934146e-03,1.925342e-03
0.000000e+00,1.091505e-18,1.261171e-17,4.759891e-16,5.232022e-15,1.562065e-14,1.636222e-13,1.780071e-13,1.137617e-12,1.780398e-12,5.048286e-12,1.088858e-11,1.743437e-11,4.635261e-11,5.016138e-11,1.256409e-10,1.539625e-10,2.823037e-10,4.271254e-10,5.812547e-10,1.033703e-09,1.113839e-09,2.009576e-09,2.246839e-09,3.443665e-09,4.475338e-09,5.643202e-09,8.287759e-09,8.891259e-09,1.352832e-08,1.442489e-08,1.995084e-08,2.379761e-08,2.860691e-08,3.746998e-08,3.998960e-08,5.462797e-08,5.662950e-08,7.307667e-08,8.254761e-08,9.590471e-08,1.165348e-07,1.236836e-07,1.569753e-07,1.598933e-07,1.963215e-07,2.138708e-07,2.422323e-07,2.796180e-07,2.951766e-07,3.555743e-07,3.581506e-07,4.237882e-07,4.503185e-07,5.001188e-07,5.567821e-07,5.848001e-07,6.779960e-07,7.797995e-07,8.142001e-07,8.902323e-07,9.654182e-07,1.009246e-06,1.131463e-06,1.136722e-06,1.272480e-06,1.311945e-06,1.416278e-06,1.506292e-06,1.567815e-06,1.713765e-06,1.726743e-06,1.892666e-06,1.933481e-06,2.065152e-06,2.164438e-06,2.243734e-06,2.405538e-06,2.427920e-06,2.617195e-06,2.655615e-06,2.811033e-06,2.913454e-06,3.008896e-06,3.177818e-06,3.210245e-06,3.414541e-06,3.447466e-06,3.621251e-06,3.721175e-06,3.829852e-06,3.997752e-06,4.039835e-06,4.250705e-06,4.276047e-06,4.461990e-06,4.554969e-06,4.673237e-06,4.833493e-06,4.884015e-06,5.093919e-06,5.110662e-06,5.302568e-06,5.385596e-06,5.509607e-06,5.657492e-06,5.714706e-06,5.917562e-06,5.925625e-06,6.117897e-06,6.189351e-06,6.315458e-06,6.448097e-06,6.510016e-06,6.701367e-06,6.889329e-06,6.948734e-06,7.073741e-06,7.189836e-06,7.254463e-06,7.424373e-06,7.431375e-06,7.604375e-06,7.652103e-06,7.773379e-06,7.872834e-06,7.938318e-06,8.086424e-06,8.099137e-06,8.255798e-06,8.292775e-06,8.408273e-06,8.491824e-06,8.556546e-06,8.683548e-06,8.700614e-06,8.840480e-06,8.867950e-06,8.976159e-06,9.045065e-06,9.107673e-06,9.214947e-06,9.235051e-06,9.358327e-06,9.377673e-06,9.477544e-06,9.533339e-06,9.592747e-06,9.682054e-06,9.703987e-06,9.811320e-06,9.823940e-06,9.914803e-06,9.959131e-06,1.001450e-05,1.008777e-05,1.011047e-05,1.020278e-05,1.021001e-05,1.029150e-05,1.032599e-05,1.037669e-05,1.043589e-05,1.045844e-05,1.053680e-05,1.053987e-05,1.061186e-05,1.063808e-05,1.068367e-05,1.073070e-05,1.075233e-05,1.081788e-05,1.089981e-05,1.097664e-05,1.104854e-05,1.111566e-05,1.117818e-05,1.123625e-05,1.129002e-05,1.133964e-05,1.138528e-05,1.142707e-05,1.146515e-05,1.149967e-05,1.153077e-05,1.155857e-05,1.158321e-05,1.160481e-05,1.162350e-05,1.163940e-05,1.165261e-05,1.166327e-05,1.167146e-05,1.167731e-05,1.168091e-05,1.168236e-05
0.000000e+00,6.528372e-18,7.670228e-17,3.002100e-15,3.413139e-14,1.038371e-13,1.142842e-12,1.245854e-12,8.374286e-12,1.329013e-11,3.904727e-11,8.671989e-11,1.415602e-10,3.932385e-10,4.271604e-10,1.120990e-09,1.388901e-09,2.635774e-09,4.087988e-09,5.670385e-09,1.046503e-08,1.133206e-08,2.127722e-08,2.397361e-08,3.786257e-08,5.013824e-08,6.429651e-08,9.715382e-08,1.047805e-07,1.646305e-07,1.764220e-07,2.503709e-07,3.029611e-07,3.697931e-07,4.956407e-07,5.319773e-07,7.472718e-07,7.772128e-07,1.027229e-06,1.174120e-06,1.384506e-06,1.716094e-06,1.832717e-06,2.386268e-06,2.435548e-06,3.060142e-06,3.366812e-06,3.869680e-06,4.545229e-06,4.830335e-06,5.957413e-06,6.006170e-06,7.265822e-06,7.784009e-06,8.769815e-06,9.911107e-06,1.048275e-05,1.241685e-05,1.458301e-05,1.532676e-05,1.699060e-05,1.866179e-05,1.964732e-05,2.243764e-05,2.255906e-05,2.572983e-05,2.666439e-05,2.916167e-05,3.134620e-05,3.285464e-05,3.648118e-05,3.680681e-05,4.101431e-05,4.206149e-05,4.547134e-05,4.807352e-05,5.017033e-05,5.449823e-05,5.510196e-05,6.025536e-05,6.131159e-05,6.561819e-05,6.848514e-05,7.117680e-05,7.598657e-05,7.691643e-05,8.282131e-05,8.378033e-05,8.887488e-05,9.182838e-05,9.505993e-05,1.000908e-04,1.013588e-04,1.077534e-04,1.085263e-04,1.142257e-04,1.170934e-04,1.207574e-04,1.257502e-04,1.273305e-04,1.339272e-04,1.344554e-04,1.405300e-04,1.431690e-04,1.471219e-04,1.518522e-04,1.536866e-04,1.602081e-04,1.604679e-04,1.666715e-04,1.689814e-04,1.730625e-04,1.773600e-04,1.793675e-04,1.855738e-04,1.916699e-04,1.935955e-04,1.976447e-04,2.014003e-04,2.034883e-04,2.089664e-04,2.091917e-04,2.147468e-04,2.162746e-04,2.201462e-04,2.233085e-04,2.253837e-04,2.300543e-04,2.304536e-04,2.353513e-04,2.365007e-04,2.400729e-04,2.426389e-04,2.446153e-04,2.484623e-04,2.489760e-04,2.531533e-04,2.539666e-04,2.571461e-04,2.591493e-04,2.609540e-04,2.640098e-04,2.645771e-04,2.680160e-04,2.685492e-04,2.712718e-04,2.727700e-04,2.743461e-04,2.766763e-04,2.772410e-04,2.799588e-04,2.802732e-04,2.825023e-04,2.835669e-04,2.848744e-04,2.865646e-04,2.870784e-04,2.891180e-04,2.892742e-04,2.909968e-04,2.917042e-04,2.927189e-04,2.938639e-04,2.942882e-04,2.957090e-04,2.957628e-04,2.969856e-04,2.974107e-04,2.981225e-04,2.988179e-04,2.991240e-04,2.999947e-04,3.009514e-04,3.016985e-04,3.022463e-04,3.026053e-04,3.027855e-04,3.027970e-04,3.026494e-04,3.023523e-04,3.019151e-04,3.013467e-04,3.006558e-04,2.998508e-04,2.989400e-04,2.979309e-04,2.968312e-04,2.956479e-04,2.943879e-04,2.930576e-04,2.916632e-04,2.902107e-04,2.887055e-04,2.871529e-04,2.855580e-04,2.839254e-04
0.000000e+00,1.170028e-12,3.567558e-12,1.879579e-11,5.682607e-11,9.449490e-11,2.848491e-10,2.964555e-10,7.200189e-10,8.945626e-10,1.490169e-09,2.183078e-09,2.765518e-09,4.552709e-09,4.741868e-09,7.650529e-09,8.515332e-09,1.174477e-08,1.464962e-08,1.727506e-08,2.350932e-08,2.446669e-08,3.351102e-08,3.555674e-08,4.456747e-08,5.115693e-08,5.776853e-08,7.059575e-08,7.322408e-08,9.102415e-08,9.409478e-08,1.112406e-07,1.218195e-07,1.339283e-07,1.538841e-07,1.591258e-07,1.868565e-07,1.903550e-07,2.171295e-07,2.312543e-07,2.499405e-07,2.765647e-07,2.852733e-07,3.231008e-07,3.262338e-07,3.633865e-07,3.801792e-07,4.060853e-07,4.382937e-07,4.511453e-07,4.985086e-07,5.004502e-07,5.481124e-07,5.665054e-07,5.998899e-07,6.363048e-07,6.537714e-07,7.096849e-07,7.675565e-07,7.864768e-07,8.273116e-07,8.665085e-07,8.888747e-07,9.496065e-07,9.521706e-07,1.017124e-06,1.035598e-06,1.083660e-06,1.124311e-06,1.151706e-06,1.215577e-06,1.221187e-06,1.292033e-06,1.309231e-06,1.364173e-06,1.405111e-06,1.437539e-06,1.503060e-06,1.512062e-06,1.587678e-06,1.602926e-06,1.664321e-06,1.704561e-06,1.741929e-06,1.807822e-06,1.820442e-06,1.899800e-06,1.912572e-06,1.979946e-06,2.018680e-06,2.060824e-06,2.126017e-06,2.142380e-06,2.224561e-06,2.234462e-06,2.307316e-06,2.343898e-06,2.390597e-06,2.454212e-06,2.474355e-06,2.558545e-06,2.565298e-06,2.643123e-06,2.677052e-06,2.728045e-06,2.789378e-06,2.813269e-06,2.898757e-06,2.902181e-06,2.984469e-06,3.015373e-06,3.070368e-06,3.128868e-06,3.156418e-06,3.242585e-06,3.328837e-06,3.356449e-06,3.415139e-06,3.470386e-06,3.501463e-06,3.584327e-06,3.587779e-06,3.674058e-06,3.698206e-06,3.760273e-06,3.811960e-06,3.846398e-06,3.925532e-06,3.932408e-06,4.018279e-06,4.038865e-06,4.103988e-06,4.151906e-06,4.189513e-06,4.264606e-06,4.274833e-06,4.359928e-06,4.376918e-06,4.444778e-06,4.488798e-06,4.529366e-06,4.600204e-06,4.613673e-06,4.697684e-06,4.711097e-06,4.781381e-06,4.821440e-06,4.864751e-06,4.931200e-06,4.947777e-06,5.030448e-06,5.040344e-06,5.112749e-06,5.148841e-06,5.194668e-06,5.256664e-06,5.276194e-06,5.357315e-06,5.363787e-06,5.438022e-06,5.470186e-06,5.518303e-06,5.575837e-06,5.598150e-06,5.677554e-06,5.680721e-06,5.756506e-06,5.784817e-06,5.834999e-06,5.888108e-06,5.913026e-06,5.990579e-06,6.092213e-06,6.192998e-06,6.292921e-06,6.391972e-06,6.490140e-06,6.587416e-06,6.683792e-06,6.779263e-06,6.873822e-06,6.967463e-06,7.060184e-06,7.151979e-06,7.242848e-06,7.332788e-06,7.421797e-06,7.509876e-06,7.597024e-06,7.683242e-06,7.768530e-06,7.852892e-06,7.936328e-06,8.018842e-06,8.100437e-06,8.181115e-06
0.000000e+00,4.653833e-19,5.430480e-18,2.094281e-16,2.348161e-15,7.087744e-15,7.637168e-14,8.318133e-14,5.466130e-13,8.619001e-13,2.489870e-12,5.450360e-12,8.809873e-12,2.390809e-11,2.591658e-11,6.622839e-11,8.152179e-11,1.514855e-10,2.312776e-10,3.168334e-10,5.703769e-10,6.155560e-10,1.124277e-09,1.259928e-09,1.948392e-09,2.546397e-09,3.227454e-09,4.782959e-09,5.140195e-09,7.908856e-09,8.448571e-09,1.180251e-08,1.416253e-08,1.713912e-08,2.269266e-08,2.428619e-08,3.365965e-08,3.495556e-08,4.572135e-08,5.200849e-08,6.097479e-08,7.503291e-08,7.995957e-08,1.032444e-07,1.053105e-07,1.314192e-07,1.441931e-07,1.650864e-07,1.930677e-07,2.048514e-07,2.513133e-07,2.533194e-07,3.050552e-07,3.262928e-07,3.666349e-07,4.132550e-07,4.365761e-07,5.153602e-07,6.034187e-07,6.336192e-07,7.011275e-07,7.688735e-07,8.088011e-07,9.217745e-07,9.266886e-07,1.054971e-06,1.092770e-06,1.193759e-06,1.282094e-06,1.343093e-06,1.489770e-06,1.502943e-06,1.673210e-06,1.715607e-06,1.853729e-06,1.959215e-06,2.044272e-06,2.220016e-06,2.244552e-06,2.454228e-06,2.497257e-06,2.672907e-06,2.790035e-06,2.900153e-06,3.097315e-06,3.135493e-06,3.378418e-06,3.417954e-06,3.628392e-06,3.750721e-06,3.884859e-06,4.094322e-06,4.147244e-06,4.414963e-06,4.447419e-06,4.687423e-06,4.808654e-06,4.964031e-06,5.176664e-06,5.244197e-06,5.527336e-06,5.550098e-06,5.812873e-06,5.927634e-06,6.100248e-06,6.307989e-06,6.388915e-06,6.678346e-06,6.689932e-06,6.968035e-06,7.072291e-06,7.257494e-06,7.453958e-06,7.546261e-06,7.833897e-06,8.119988e-06,8.211147e-06,8.404144e-06,8.584819e-06,8.686001e-06,8.954105e-06,8.965219e-06,9.241483e-06,9.318268e-06,9.514504e-06,9.676648e-06,9.784015e-06,1.002866e-05,1.004977e-05,1.031156e-05,1.037377e-05,1.056917e-05,1.071154e-05,1.082243e-05,1.104157e-05,1.107118e-05,1.131528e-05,1.136353e-05,1.155461e-05,1.167714e-05,1.178906e-05,1.198217e-05,1.201855e-05,1.224300e-05,1.227844e-05,1.246236e-05,1.256582e-05,1.267657e-05,1.284421e-05,1.288560e-05,1.308942e-05,1.311353e-05,1.328803e-05,1.337377e-05,1.348143e-05,1.362492e-05,1.366961e-05,1.385259e-05,1.386700e-05,1.403039e-05,1.410007e-05,1.420304e-05,1.432419e-05,1.437058e-05,1.453305e-05,1.453944e-05,1.469049e-05,1.474594e-05,1.484294e-05,1.494380e-05,1.499048e-05,1.513314e-05,1.531411e-05,1.548686e-05,1.565153e-05,1.580830e-05,1.595733e-05,1.609879e-05,1.623285e-05,1.635969e-05,1.647950e-05,1.659244e-05,1.669870e-05,1.679846e-05,1.689190e-05,1.697918e-05,1.706050e-05,1.713603e-05,1.720593e-05,1.727038e-05,1.732955e-05,1.738361e-05,1.743272e-05,1.747703e-05,1.751671e-05,1.755192e-05
0.000000e+00,1.074374e-11,3.301563e-11,1.752768e-10,5.317456e-10,8.855027e-10,2.679223e-09,2.788863e-09,6.807265e-09,8.471750e-09,1.418263e-08,2.087685e-08,2.653790e-08,4.405264e-08,4.591629e-08,7.471871e-08,8.331558e-08,1.154611e-07,1.443614e-07,1.704275e-07,2.320237e-07,2.414410e-07,3.298416e-07,3.496969e-07,4.365703e-07,4.995331e-07,5.622609e-07,6.827875e-07,7.073053e-07,8.718952e-07,9.000469e-07,1.056049e-06,1.151357e-06,1.259629e-06,1.436300e-06,1.482361e-06,1.723846e-06,1.754062e-06,1.983578e-06,2.103488e-06,2.260956e-06,2.483151e-06,2.555303e-06,2.865880e-06,2.891404e-06,3.191897e-06,3.326444e-06,3.532531e-06,3.786363e-06,3.886935e-06,4.254248e-06,4.269197e-06,4.633606e-06,4.772957e-06,5.024147e-06,5.295669e-06,5.425021e-06,5.835391e-06,6.254439e-06,6.390238e-06,6.681374e-06,6.958394e-06,7.115426e-06,7.538124e-06,7.555854e-06,8.001946e-06,8.127773e-06,8.453018e-06,8.725779e-06,8.908417e-06,9.330669e-06,9.367520e-06,9.829732e-06,9.941062e-06,1.029449e-05,1.055566e-05,1.076126e-05,1.117327e-05,1.122952e-05,1.169882e-05,1.179276e-05,1.216868e-05,1.241309e-05,1.263869e-05,1.303331e-05,1.310843e-05,1.357755e-05,1.365252e-05,1.404567e-05,1.426991e-05,1.451246e-05,1.488474e-05,1.497763e-05,1.544087e-05,1.549632e-05,1.590191e-05,1.610401e-05,1.636051e-05,1.670727e-05,1.681643e-05,1.726945e-05,1.730556e-05,1.771937e-05,1.789843e-05,1.816601e-05,1.848546e-05,1.860919e-05,1.904876e-05,1.906626e-05,1.948457e-05,1.964052e-05,1.991650e-05,2.020793e-05,2.034443e-05,2.076824e-05,2.118784e-05,2.132121e-05,2.160314e-05,2.186665e-05,2.201408e-05,2.240439e-05,2.242057e-05,2.282256e-05,2.293430e-05,2.322000e-05,2.345626e-05,2.361284e-05,2.397017e-05,2.400105e-05,2.438460e-05,2.447595e-05,2.476346e-05,2.497357e-05,2.513762e-05,2.546298e-05,2.550706e-05,2.587178e-05,2.594416e-05,2.623178e-05,2.641711e-05,2.658706e-05,2.688184e-05,2.693762e-05,2.728347e-05,2.733837e-05,2.762464e-05,2.778674e-05,2.796114e-05,2.822699e-05,2.829299e-05,2.862021e-05,2.865917e-05,2.894284e-05,2.908334e-05,2.926089e-05,2.949958e-05,2.957442e-05,2.988344e-05,2.990796e-05,3.018799e-05,3.030857e-05,3.048812e-05,3.070149e-05,3.078386e-05,3.107525e-05,3.108682e-05,3.136234e-05,3.146465e-05,3.164517e-05,3.183508e-05,3.192378e-05,3.219823e-05,3.255419e-05,3.290307e-05,3.324500e-05,3.358008e-05,3.390842e-05,3.423014e-05,3.454536e-05,3.485420e-05,3.515676e-05,3.545317e-05,3.574354e-05,3.602799e-05,3.630663e-05,3.657958e-05,3.684695e-05,3.710885e-05,3.736539e-05,3.761669e-05,3.786285e-05,3.810398e-05,3.834019e-05,3.857158e-05,3.879825e-05,3.902030e-05
0.000000e+00,1.399604e-12,4.278653e-12,2.254846e-11,6.798882e-11,1.127976e-10,3.371649e-10,3.507551e-10,8.414340e-10,1.041138e-09,1.713977e-09,2.482952e-09,3.119935e-09,5.032575e-09,5.231926e-09,8.242112e-09,9.121119e-09,1.235926e-08,1.522996e-08,1.780270e-08,2.386540e-08,2.479307e-08,3.354290e-08,3.552173e-08,4.425031e-08,5.065264e-08,5.709646e-08,6.966019e-08,7.224487e-08,8.984121e-08,9.289258e-08,1.100131e-07,1.206432e-07,1.328697e-07,1.531491e-07,1.585011e-07,1.869783e-07,1.905895e-07,2.183531e-07,2.330850e-07,2.526578e-07,2.806981e-07,2.899062e-07,3.300938e-07,3.334353e-07,3.731993e-07,3.912506e-07,4.191852e-07,4.540499e-07,4.679995e-07,5.195770e-07,5.216965e-07,5.738408e-07,5.940170e-07,6.307042e-07,6.708078e-07,6.900717e-07,7.518408e-07,8.159034e-07,8.368696e-07,8.821471e-07,9.256345e-07,9.504565e-07,1.017868e-06,1.020714e-06,1.092802e-06,1.113298e-06,1.166601e-06,1.211654e-06,1.241995e-06,1.312665e-06,1.318867e-06,1.397103e-06,1.416070e-06,1.476591e-06,1.521611e-06,1.557224e-06,1.629043e-06,1.638895e-06,1.721502e-06,1.738127e-06,1.804948e-06,1.848639e-06,1.889137e-06,1.960363e-06,1.973978e-06,2.059386e-06,2.073098e-06,2.145276e-06,2.186651e-06,2.231569e-06,2.300843e-06,2.318190e-06,2.405068e-06,2.415507e-06,2.492134e-06,2.530486e-06,2.579324e-06,2.645633e-06,2.666576e-06,2.753834e-06,2.760813e-06,2.841042e-06,2.875900e-06,2.928150e-06,2.990778e-06,3.015108e-06,3.101872e-06,3.105338e-06,3.188398e-06,3.219482e-06,3.274647e-06,3.333118e-06,3.360580e-06,3.446162e-06,3.531361e-06,3.558538e-06,3.616144e-06,3.670175e-06,3.700485e-06,3.781009e-06,3.784355e-06,3.867729e-06,3.890982e-06,3.950585e-06,4.000040e-06,4.032900e-06,4.108136e-06,4.114656e-06,4.195832e-06,4.215226e-06,4.276413e-06,4.321272e-06,4.356382e-06,4.426238e-06,4.435725e-06,4.514430e-06,4.530093e-06,4.592483e-06,4.632809e-06,4.669874e-06,4.734363e-06,4.746593e-06,4.822631e-06,4.834733e-06,4.897979e-06,4.933900e-06,4.972632e-06,5.031849e-06,5.046582e-06,5.119824e-06,5.128565e-06,5.192353e-06,5.224039e-06,5.264165e-06,5.318260e-06,5.335256e-06,5.405624e-06,5.411222e-06,5.475266e-06,5.502919e-06,5.544180e-06,5.593348e-06,5.612366e-06,5.679823e-06,5.682506e-06,5.746550e-06,5.770393e-06,5.812547e-06,5.857009e-06,5.877815e-06,5.942356e-06,6.026436e-06,6.109255e-06,6.190817e-06,6.271127e-06,6.350192e-06,6.428019e-06,6.504616e-06,6.579993e-06,6.654157e-06,6.727119e-06,6.798888e-06,6.869476e-06,6.938892e-06,7.007150e-06,7.074258e-06,7.140231e-06,7.205079e-06,7.268816e-06,7.331453e-06,7.393003e-06,7.453479e-06,7.512893e-06,7.571260e-06,7.628591e-06
0.000000e+00,1.972415e-18,2.334573e-17,9.268747e-16,1.067883e-14,3.272938e-14,3.673567e-13,4.007954e-13,2.749196e-12,4.387756e-12,1.307981e-11,2.940107e-11,4.838030e-11,1.368935e-10,1.489407e-10,3.987834e-10,4.964869e-10,9.568573e-10,1.501256e-09,2.101569e-09,3.951961e-09,4.290524e-09,8.235923e-09,9.321572e-09,1.499405e-08,2.009732e-08,2.606537e-08,4.018017e-08,4.350043e-08,7.000570e-08,7.530816e-08,1.090433e-07,1.334630e-07,1.649192e-07,2.252201e-07,2.428549e-07,3.490381e-07,3.640089e-07,4.906496e-07,5.662533e-07,6.758644e-07,8.513811e-07,9.138262e-07,1.214595e-06,1.241691e-06,1.589068e-06,1.762079e-06,2.048881e-06,2.439643e-06,2.606279e-06,3.273980e-06,3.303166e-06,4.065013e-06,4.382512e-06,4.992550e-06,5.707959e-06,6.069733e-06,7.309488e-06,8.724347e-06,9.216057e-06,1.032627e-05,1.145490e-05,1.212649e-05,1.405083e-05,1.413531e-05,1.636201e-05,1.702566e-05,1.881468e-05,2.039764e-05,2.150013e-05,2.418102e-05,2.442377e-05,2.758955e-05,2.838567e-05,3.099988e-05,3.301688e-05,3.465564e-05,3.807519e-05,3.855611e-05,4.269900e-05,4.355636e-05,4.708049e-05,4.945143e-05,5.169522e-05,5.574690e-05,5.653638e-05,6.159578e-05,6.242492e-05,6.686389e-05,6.946362e-05,7.232999e-05,7.683750e-05,7.798224e-05,8.380777e-05,8.451784e-05,8.979287e-05,9.247315e-05,9.592301e-05,1.006696e-04,1.021830e-04,1.085572e-04,1.090716e-04,1.150295e-04,1.176422e-04,1.215834e-04,1.263436e-04,1.282025e-04,1.348700e-04,1.351375e-04,1.415695e-04,1.439859e-04,1.482843e-04,1.528510e-04,1.549985e-04,1.616961e-04,1.683615e-04,1.704853e-04,1.749800e-04,1.791845e-04,1.815370e-04,1.877611e-04,1.880188e-04,1.944121e-04,1.961847e-04,2.007046e-04,2.044267e-04,2.068844e-04,2.124610e-04,2.129407e-04,2.188633e-04,2.202638e-04,2.246427e-04,2.278135e-04,2.302705e-04,2.350913e-04,2.357389e-04,2.410409e-04,2.420808e-04,2.461704e-04,2.487678e-04,2.511221e-04,2.551406e-04,2.558913e-04,2.604742e-04,2.611900e-04,2.648678e-04,2.669087e-04,2.690696e-04,2.722918e-04,2.730779e-04,2.768917e-04,2.773362e-04,2.805104e-04,2.820409e-04,2.839343e-04,2.864065e-04,2.871640e-04,2.902007e-04,2.904353e-04,2.930461e-04,2.941311e-04,2.957023e-04,2.974991e-04,2.981720e-04,3.004580e-04,3.005457e-04,3.025636e-04,3.032781e-04,3.044924e-04,3.057050e-04,3.062483e-04,3.078354e-04,3.096793e-04,3.112473e-04,3.125503e-04,3.135996e-04,3.144069e-04,3.149840e-04,3.153428e-04,3.154954e-04,3.154535e-04,3.152291e-04,3.148338e-04,3.142791e-04,3.135762e-04,3.127360e-04,3.117691e-04,3.106859e-04,3.094962e-04,3.082096e-04,3.068354e-04,3.053822e-04,3.038585e-04,3.022722e-04,3.006309e-04,2.989419e-04
0.000000e+00,2.362135e-17,2.776683e-16,1.086446e-14,1.234794e-13,3.755676e-13,4.130321e-12,4.502454e-12,3.023192e-11,4.796133e-11,1.407630e-10,3.122853e-10,5.093529e-10,1.411795e-09,1.533252e-09,4.011829e-09,4.966807e-09,9.401873e-09,1.455455e-08,2.015953e-08,3.711014e-08,4.017237e-08,7.527534e-08,8.479132e-08,1.338316e-07,1.772270e-07,2.273478e-07,3.439577e-07,3.710810e-07,5.845949e-07,6.267882e-07,8.922194e-07,1.081747e-06,1.323379e-06,1.780387e-06,1.912765e-06,2.700326e-06,2.810237e-06,3.731072e-06,4.274292e-06,5.054710e-06,6.289565e-06,6.725099e-06,8.799558e-06,8.984752e-06,1.133805e-05,1.249716e-05,1.440227e-05,1.696908e-05,1.805464e-05,2.235732e-05,2.254382e-05,2.737112e-05,2.936152e-05,3.315453e-05,3.755516e-05,3.976272e-05,4.724665e-05,5.565223e-05,5.854339e-05,6.501959e-05,7.153531e-05,7.538250e-05,8.629254e-05,8.676786e-05,9.919534e-05,1.028636e-04,1.126771e-04,1.212745e-04,1.272178e-04,1.415281e-04,1.428144e-04,1.594564e-04,1.636043e-04,1.771261e-04,1.874609e-04,1.957985e-04,2.130350e-04,2.154424e-04,2.360200e-04,2.402439e-04,2.574882e-04,2.689877e-04,2.797985e-04,2.991514e-04,3.028980e-04,3.267298e-04,3.306068e-04,3.512335e-04,3.632155e-04,3.763461e-04,3.968309e-04,4.020024e-04,4.281357e-04,4.313005e-04,4.546781e-04,4.664688e-04,4.815614e-04,5.021787e-04,5.087173e-04,5.360783e-04,5.382740e-04,5.635774e-04,5.746010e-04,5.911493e-04,6.110103e-04,6.187303e-04,6.462585e-04,6.473577e-04,6.736747e-04,6.835060e-04,7.009218e-04,7.193255e-04,7.279457e-04,7.546950e-04,7.811213e-04,7.895021e-04,8.071795e-04,8.236440e-04,8.328275e-04,8.570276e-04,8.580265e-04,8.827409e-04,8.895696e-04,9.069382e-04,9.211961e-04,9.305891e-04,9.518428e-04,9.536674e-04,9.761499e-04,9.814547e-04,9.980162e-04,1.009986e-03,1.019249e-03,1.037398e-03,1.039834e-03,1.059758e-03,1.063663e-03,1.079013e-03,1.088758e-03,1.097591e-03,1.112670e-03,1.115487e-03,1.132699e-03,1.135389e-03,1.149225e-03,1.156914e-03,1.165066e-03,1.177249e-03,1.180226e-03,1.194709e-03,1.196402e-03,1.208520e-03,1.214386e-03,1.221667e-03,1.231219e-03,1.234158e-03,1.246002e-03,1.246922e-03,1.257210e-03,1.261518e-03,1.267793e-03,1.275033e-03,1.277764e-03,1.287135e-03,1.287497e-03,1.295919e-03,1.298940e-03,1.304130e-03,1.309395e-03,1.311784e-03,1.318894e-03,1.327472e-03,1.335164e-03,1.342005e-03,1.348032e-03,1.353279e-03,1.357782e-03,1.361577e-03,1.364697e-03,1.367177e-03,1.369050e-03,1.370350e-03,1.371107e-03,1.371353e-03,1.371118e-03,1.370430e-03,1.369319e-03,1.367810e-03,1.365931e-03,1.363706e-03,1.361159e-03,1.358313e-03,1.355191e-03,1.351813e-03,1.348199e-03
0.000000e+00,2.963470e-18,3.458388e-17,1.332724e-15,1.493438e-14,4.506847e-14,4.855869e-13,5.288927e-13,3.479030e-12,5.488526e-12,1.588434e-11,3.484592e-11,5.642462e-11,1.539235e-10,1.669427e-10,4.298826e-10,5.302676e-10,9.925906e-10,1.524432e-09,2.098638e-09,3.816920e-09,4.125100e-09,7.623264e-09,8.562704e-09,1.335924e-08,1.755323e-08,2.235058e-08,3.336002e-08,3.589536e-08,5.559104e-08,5.943607e-08,8.334130e-08,1.001586e-07,1.213505e-07,1.608066e-07,1.721054e-07,2.383454e-07,2.474731e-07,3.230226e-07,3.669198e-07,4.292535e-07,5.263872e-07,5.602651e-07,7.193351e-07,7.333711e-07,9.097320e-07,9.953822e-07,1.134653e-06,1.319702e-06,1.397165e-06,1.700149e-06,1.713148e-06,2.046246e-06,2.181859e-06,2.437816e-06,2.731110e-06,2.876893e-06,3.365158e-06,3.903912e-06,4.087136e-06,4.494062e-06,4.898981e-06,5.136112e-06,5.801402e-06,5.830159e-06,6.575904e-06,6.793891e-06,7.372656e-06,7.874765e-06,8.219357e-06,9.041234e-06,9.114601e-06,1.005666e-05,1.028950e-05,1.104350e-05,1.161486e-05,1.207286e-05,1.301186e-05,1.314221e-05,1.424884e-05,1.447439e-05,1.538989e-05,1.599585e-05,1.656236e-05,1.756925e-05,1.776316e-05,1.898912e-05,1.918740e-05,2.023706e-05,2.084294e-05,2.150378e-05,2.252853e-05,2.278609e-05,2.408085e-05,2.423691e-05,2.538497e-05,2.596098e-05,2.669546e-05,2.769389e-05,2.800940e-05,2.932398e-05,2.942910e-05,3.063653e-05,3.116041e-05,3.194449e-05,3.288200e-05,3.324542e-05,3.453705e-05,3.458849e-05,3.581723e-05,3.627491e-05,3.708397e-05,3.793673e-05,3.833542e-05,3.956985e-05,4.078572e-05,4.117064e-05,4.198159e-05,4.273584e-05,4.315616e-05,4.426264e-05,4.430828e-05,4.543693e-05,4.574861e-05,4.654118e-05,4.719169e-05,4.762025e-05,4.859017e-05,4.867346e-05,4.970023e-05,4.994266e-05,5.070009e-05,5.124810e-05,5.167265e-05,5.250569e-05,5.261763e-05,5.353481e-05,5.371490e-05,5.442406e-05,5.487541e-05,5.528532e-05,5.598715e-05,5.611860e-05,5.692395e-05,5.705023e-05,5.770151e-05,5.806490e-05,5.845143e-05,5.903162e-05,5.917394e-05,5.986930e-05,5.995093e-05,6.053780e-05,6.082352e-05,6.117979e-05,6.165019e-05,6.179563e-05,6.238570e-05,6.243181e-05,6.295043e-05,6.316932e-05,6.349025e-05,6.386376e-05,6.400563e-05,6.449702e-05,6.451618e-05,6.496492e-05,6.512771e-05,6.540982e-05,6.569948e-05,6.583224e-05,6.623267e-05,6.672848e-05,6.718810e-05,6.761275e-05,6.800363e-05,6.836196e-05,6.868894e-05,6.898575e-05,6.925356e-05,6.949354e-05,6.970683e-05,6.989454e-05,7.005777e-05,7.019760e-05,7.031505e-05,7.041117e-05,7.048693e-05,7.054331e-05,7.058125e-05,7.060165e-05,7.060541e-05,7.059337e-05,7.056636e-05,7.052518e-05,7.047061e-05
0.000000e+00,1.837121e-12,6.605014e-12,4.128305e-11,1.347749e-10,2.303394e-10,7.259175e-10,7.564355e-10,1.876310e-09,2.338622e-09,3.912519e-09,5.732511e-09,7.252390e-09,1.186419e-08,1.234824e-08,1.971563e-08,2.188412e-08,2.992275e-08,3.710052e-08,4.356312e-08,5.886572e-08,6.121337e-08,8.339437e-08,8.841487e-08,1.105519e-07,1.267661e-07,1.430554e-07,1.747104e-07,1.812039e-07,2.252331e-07,2.328360e-07,2.753197e-07,3.015507e-07,3.315856e-07,3.810958e-07,3.941003e-07,4.628837e-07,4.715581e-07,5.379086e-07,5.728801e-07,6.191044e-07,6.848738e-07,7.063607e-07,7.995312e-07,8.072352e-07,8.984378e-07,9.395616e-07,1.002876e-06,1.081369e-06,1.112618e-06,1.227417e-06,1.232111e-06,1.347015e-06,1.391192e-06,1.471139e-06,1.557988e-06,1.599514e-06,1.731857e-06,1.867886e-06,1.912148e-06,2.007320e-06,2.098217e-06,2.149883e-06,2.289432e-06,2.295300e-06,2.443306e-06,2.485176e-06,2.593643e-06,2.684859e-06,2.746060e-06,2.887914e-06,2.900317e-06,3.056183e-06,3.093805e-06,3.213436e-06,3.302025e-06,3.371865e-06,3.512097e-06,3.531271e-06,3.691461e-06,3.723578e-06,3.852257e-06,3.936052e-06,4.013486e-06,4.149137e-06,4.174989e-06,4.336614e-06,4.362475e-06,4.498217e-06,4.575740e-06,4.659667e-06,4.788631e-06,4.820837e-06,4.981610e-06,5.000871e-06,5.141878e-06,5.212209e-06,5.301538e-06,5.422416e-06,5.460497e-06,5.618665e-06,5.631282e-06,5.775962e-06,5.838620e-06,5.932313e-06,6.044260e-06,6.087647e-06,6.241902e-06,6.248048e-06,6.395017e-06,6.449850e-06,6.546940e-06,6.649542e-06,6.697622e-06,6.847017e-06,6.995086e-06,7.042181e-06,7.141791e-06,7.234951e-06,7.287100e-06,7.425255e-06,7.430983e-06,7.573415e-06,7.613032e-06,7.714371e-06,7.798229e-06,7.853834e-06,7.980804e-06,7.991783e-06,8.128206e-06,8.160719e-06,8.263090e-06,8.337948e-06,8.396424e-06,8.512469e-06,8.528200e-06,8.658412e-06,8.684267e-06,8.787057e-06,8.853331e-06,8.914131e-06,9.019658e-06,9.039633e-06,9.163565e-06,9.183248e-06,9.285927e-06,9.344105e-06,9.406724e-06,9.502237e-06,9.525959e-06,9.643639e-06,9.657656e-06,9.759769e-06,9.810378e-06,9.874358e-06,9.960420e-06,9.987414e-06,1.009895e-05,1.010780e-05,1.020896e-05,1.025255e-05,1.031748e-05,1.039468e-05,1.042450e-05,1.053004e-05,1.053423e-05,1.063411e-05,1.067122e-05,1.073673e-05,1.080569e-05,1.083791e-05,1.093766e-05,1.106717e-05,1.119424e-05,1.131892e-05,1.144124e-05,1.156123e-05,1.167892e-05,1.179436e-05,1.190759e-05,1.201862e-05,1.212752e-05,1.223430e-05,1.233900e-05,1.244167e-05,1.254234e-05,1.264104e-05,1.273782e-05,1.283269e-05,1.292571e-05,1.301691e-05,1.310631e-05,1.319396e-05,1.327989e-05,1.336413e-05,1.344672e-05
0.000000e+00,3.128897e-13,1.805622e-12,1.983310e-11,8.587598e-11,1.635109e-10,6.267180e-10,6.571521e-10,1.850360e-09,2.372141e-09,4.227236e-09,6.480578e-09,8.427835e-09,1.460041e-08,1.526666e-08,2.570804e-08,2.886332e-08,4.076351e-08,5.156389e-08,6.136830e-08,8.473346e-08,8.832780e-08,1.223284e-07,1.300270e-07,1.639621e-07,1.888018e-07,2.137429e-07,2.621806e-07,2.721133e-07,3.394447e-07,3.510703e-07,4.160365e-07,4.561590e-07,5.021144e-07,5.779107e-07,5.978294e-07,7.032589e-07,7.165642e-07,8.184087e-07,8.721405e-07,9.432173e-07,1.044457e-06,1.077561e-06,1.221258e-06,1.233151e-06,1.374079e-06,1.437702e-06,1.535750e-06,1.657460e-06,1.705961e-06,1.884372e-06,1.891674e-06,2.070620e-06,2.139514e-06,2.264323e-06,2.400099e-06,2.465088e-06,2.672512e-06,2.886191e-06,2.955822e-06,3.105716e-06,3.249095e-06,3.330686e-06,3.551407e-06,3.560700e-06,3.795366e-06,3.861854e-06,4.034302e-06,4.179557e-06,4.277134e-06,4.503668e-06,4.523499e-06,4.773047e-06,4.833374e-06,5.025438e-06,5.167897e-06,5.280347e-06,5.506499e-06,5.537459e-06,5.796476e-06,5.848482e-06,6.057108e-06,6.193183e-06,6.319080e-06,6.539980e-06,6.582130e-06,6.846007e-06,6.888288e-06,7.110473e-06,7.237558e-06,7.375301e-06,7.587278e-06,7.640275e-06,7.905191e-06,7.936967e-06,8.169854e-06,8.286179e-06,8.434083e-06,8.634498e-06,8.697702e-06,8.960547e-06,8.981537e-06,9.222465e-06,9.326938e-06,9.483307e-06,9.670371e-06,9.742938e-06,1.000123e-05,1.001153e-05,1.025805e-05,1.035013e-05,1.051330e-05,1.068591e-05,1.076687e-05,1.101865e-05,1.126855e-05,1.134810e-05,1.151648e-05,1.167409e-05,1.176237e-05,1.199643e-05,1.200614e-05,1.224771e-05,1.231495e-05,1.248703e-05,1.262951e-05,1.272403e-05,1.293998e-05,1.295866e-05,1.319087e-05,1.324623e-05,1.342060e-05,1.354816e-05,1.364783e-05,1.384568e-05,1.387250e-05,1.409460e-05,1.413870e-05,1.431407e-05,1.442716e-05,1.453091e-05,1.471099e-05,1.474507e-05,1.495655e-05,1.499014e-05,1.516532e-05,1.526457e-05,1.537137e-05,1.553424e-05,1.557469e-05,1.577525e-05,1.579914e-05,1.597306e-05,1.605923e-05,1.616812e-05,1.631451e-05,1.636040e-05,1.654993e-05,1.656497e-05,1.673668e-05,1.681061e-05,1.692067e-05,1.705144e-05,1.710190e-05,1.728038e-05,1.728746e-05,1.745610e-05,1.751869e-05,1.762909e-05,1.774516e-05,1.779934e-05,1.796687e-05,1.818387e-05,1.839617e-05,1.860382e-05,1.880684e-05,1.900528e-05,1.919919e-05,1.938859e-05,1.957354e-05,1.975409e-05,1.993028e-05,2.010217e-05,2.026980e-05,2.043324e-05,2.059252e-05,2.074771e-05,2.089887e-05,2.104604e-05,2.118930e-05,2.132868e-05,2.146426e-05,2.159609e-05,2.172423e-05,2.184873e-05,2.196966e-05
0.000000e+00,2.603204e-13,1.523875e-12,1.709425e-11,7.497464e-11,1.435460e-10,5.564967e-10,5.837561e-10,1.658564e-09,2.131064e-09,3.818306e-09,5.877378e-09,7.660950e-09,1.331334e-08,1.392201e-08,2.340108e-08,2.624271e-08,3.688060e-08,4.645462e-08,5.510294e-08,7.562773e-08,7.877999e-08,1.086010e-07,1.153616e-07,1.452323e-07,1.671848e-07,1.893109e-07,2.325324e-07,2.414367e-07,3.021634e-07,3.127120e-07,3.719905e-07,4.088712e-07,4.513564e-07,5.219695e-07,5.406333e-07,6.401237e-07,6.527607e-07,7.500590e-07,8.017833e-07,8.705995e-07,9.693617e-07,1.001837e-06,1.143797e-06,1.155616e-06,1.296444e-06,1.360476e-06,1.459687e-06,1.583703e-06,1.633381e-06,1.817340e-06,1.824909e-06,2.011333e-06,2.083577e-06,2.215098e-06,2.359092e-06,2.428342e-06,2.650749e-06,2.881983e-06,2.957785e-06,3.121692e-06,3.279386e-06,3.369513e-06,3.614706e-06,3.625073e-06,3.887995e-06,3.962881e-06,4.157899e-06,4.323034e-06,4.434404e-06,4.694291e-06,4.717130e-06,5.005699e-06,5.075783e-06,5.299738e-06,5.466653e-06,5.598880e-06,5.866059e-06,5.902764e-06,6.211033e-06,6.273183e-06,6.523342e-06,6.687226e-06,6.839352e-06,7.107417e-06,7.158731e-06,7.481159e-06,7.533009e-06,7.806322e-06,7.963283e-06,8.133918e-06,8.397547e-06,8.463651e-06,8.795238e-06,8.835140e-06,9.128403e-06,9.275426e-06,9.462878e-06,9.717798e-06,9.798408e-06,1.013474e-05,1.016168e-05,1.047165e-05,1.060652e-05,1.080889e-05,1.105179e-05,1.114624e-05,1.148350e-05,1.149699e-05,1.182046e-05,1.194165e-05,1.215692e-05,1.238533e-05,1.249270e-05,1.282760e-05,1.316148e-05,1.326807e-05,1.349415e-05,1.370635e-05,1.382545e-05,1.414209e-05,1.415525e-05,1.448340e-05,1.457497e-05,1.480976e-05,1.500466e-05,1.513419e-05,1.543087e-05,1.545659e-05,1.577682e-05,1.585334e-05,1.609479e-05,1.627181e-05,1.641037e-05,1.668605e-05,1.672348e-05,1.703403e-05,1.709582e-05,1.734191e-05,1.750093e-05,1.764706e-05,1.790120e-05,1.794938e-05,1.824881e-05,1.829645e-05,1.854528e-05,1.868652e-05,1.883873e-05,1.907126e-05,1.912909e-05,1.941631e-05,1.945056e-05,1.970033e-05,1.982428e-05,1.998112e-05,2.019232e-05,2.025862e-05,2.053280e-05,2.055459e-05,2.080362e-05,2.091100e-05,2.107105e-05,2.126148e-05,2.133505e-05,2.159561e-05,2.160596e-05,2.185269e-05,2.194439e-05,2.210628e-05,2.227672e-05,2.235636e-05,2.260291e-05,2.292294e-05,2.323679e-05,2.354444e-05,2.384587e-05,2.414110e-05,2.443012e-05,2.471295e-05,2.498960e-05,2.526008e-05,2.552444e-05,2.578269e-05,2.603487e-05,2.628103e-05,2.652119e-05,2.675541e-05,2.698372e-05,2.720620e-05,2.742288e-05,2.763383e-05,2.783910e-05,2.803876e-05,2.823287e-05,2.842149e-05,2.860469e-05
0.000000e+00,5.239317e-18,6.129200e-17,2.374217e-15,2.673058e-14,8.087165e-14,8.768742e-13,9.553126e-13,6.319996e-12,9.984609e-12,2.899042e-11,6.373841e-11,1.033349e-10,2.824465e-10,3.063715e-10,7.894590e-10,9.737813e-10,1.821827e-09,2.795946e-09,3.846357e-09,6.984556e-09,7.546867e-09,1.392466e-08,1.563678e-08,2.438028e-08,3.203195e-08,4.079497e-08,6.095331e-08,6.560528e-08,1.018645e-07,1.089670e-07,1.532858e-07,1.846176e-07,2.242625e-07,2.985075e-07,3.198628e-07,4.457998e-07,4.632445e-07,6.083753e-07,6.932547e-07,8.144010e-07,1.004472e-06,1.071100e-06,1.385991e-06,1.413926e-06,1.766761e-06,1.939246e-06,2.221128e-06,2.598127e-06,2.756706e-06,3.380860e-06,3.407768e-06,4.100575e-06,4.384331e-06,4.922329e-06,5.542423e-06,5.851978e-06,6.894649e-06,8.054660e-06,8.451231e-06,9.335441e-06,1.021971e-05,1.073949e-05,1.220477e-05,1.226833e-05,1.392249e-05,1.440807e-05,1.570151e-05,1.682830e-05,1.760396e-05,1.946120e-05,1.962746e-05,2.176872e-05,2.229970e-05,2.402359e-05,2.533414e-05,2.638715e-05,2.855253e-05,2.885376e-05,3.141712e-05,3.194081e-05,3.407040e-05,3.548323e-05,3.680628e-05,3.916262e-05,3.961705e-05,4.249469e-05,4.296077e-05,4.543095e-05,4.685872e-05,4.841745e-05,5.083713e-05,5.144572e-05,5.450731e-05,5.487654e-05,5.759383e-05,5.895765e-05,6.069700e-05,6.306156e-05,6.380874e-05,6.692118e-05,6.716998e-05,7.002675e-05,7.126541e-05,7.311816e-05,7.533129e-05,7.618847e-05,7.923108e-05,7.935212e-05,8.223981e-05,8.331353e-05,8.520885e-05,8.720235e-05,8.813280e-05,9.100668e-05,9.382591e-05,9.471584e-05,9.658635e-05,9.832042e-05,9.928423e-05,1.018122e-04,1.019162e-04,1.044793e-04,1.051843e-04,1.069710e-04,1.084307e-04,1.093890e-04,1.115469e-04,1.117314e-04,1.139969e-04,1.145289e-04,1.161840e-04,1.173742e-04,1.182919e-04,1.200808e-04,1.203200e-04,1.222679e-04,1.226478e-04,1.241355e-04,1.250749e-04,1.259228e-04,1.273625e-04,1.276303e-04,1.292584e-04,1.295116e-04,1.308079e-04,1.315239e-04,1.322795e-04,1.334015e-04,1.336743e-04,1.349935e-04,1.351467e-04,1.362382e-04,1.367626e-04,1.374098e-04,1.382523e-04,1.385099e-04,1.395398e-04,1.396193e-04,1.405013e-04,1.408671e-04,1.413960e-04,1.419998e-04,1.422256e-04,1.429918e-04,1.430212e-04,1.436965e-04,1.439355e-04,1.443414e-04,1.447467e-04,1.449284e-04,1.454592e-04,1.460772e-04,1.466048e-04,1.470462e-04,1.474056e-04,1.476870e-04,1.478946e-04,1.480322e-04,1.481036e-04,1.481126e-04,1.480629e-04,1.479580e-04,1.478013e-04,1.475960e-04,1.473455e-04,1.470527e-04,1.467205e-04,1.463519e-04,1.459495e-04,1.455159e-04,1.450536e-04,1.445649e-04,1.440521e-04,1.435173e-04,1.429627e-04
0.000000e+00,3.339045e-17,3.604533e-16,1.180826e-14,1.140429e-13,3.170845e-13,2.761828e-12,2.982131e-12,1.586094e-11,2.361323e-11,5.905384e-11,1.150749e-10,1.724590e-10,3.955924e-10,4.227621e-10,9.087258e-10,1.074545e-09,1.764341e-09,2.466920e-09,3.159791e-09,4.996386e-09,5.300098e-09,8.420894e-09,9.185174e-09,1.278070e-08,1.562708e-08,1.864982e-08,2.494334e-08,2.629714e-08,3.597694e-08,3.773003e-08,4.791759e-08,5.451060e-08,6.231319e-08,7.570275e-08,7.931871e-08,9.904794e-08,1.016024e-07,1.215736e-07,1.323808e-07,1.469291e-07,1.680913e-07,1.751115e-07,2.060844e-07,2.086810e-07,2.397823e-07,2.540047e-07,2.761139e-07,3.038408e-07,3.149663e-07,3.562091e-07,3.579065e-07,3.996977e-07,4.158739e-07,4.452777e-07,4.773845e-07,4.927875e-07,5.420621e-07,5.929352e-07,6.095253e-07,6.452423e-07,6.793969e-07,6.988224e-07,7.513120e-07,7.535195e-07,8.091842e-07,8.249242e-07,8.656747e-07,8.999094e-07,9.228572e-07,9.759686e-07,9.806066e-07,1.038806e-06,1.052829e-06,1.097349e-06,1.130246e-06,1.156136e-06,1.207997e-06,1.215076e-06,1.274086e-06,1.285890e-06,1.333092e-06,1.363751e-06,1.392026e-06,1.441431e-06,1.450827e-06,1.509440e-06,1.518797e-06,1.567816e-06,1.595739e-06,1.625910e-06,1.672156e-06,1.683683e-06,1.741102e-06,1.747967e-06,1.798134e-06,1.823099e-06,1.854753e-06,1.897492e-06,1.910935e-06,1.966659e-06,1.971096e-06,2.021906e-06,2.043868e-06,2.076661e-06,2.115772e-06,2.130910e-06,2.184641e-06,2.186779e-06,2.237844e-06,2.256867e-06,2.290511e-06,2.326015e-06,2.342635e-06,2.394210e-06,2.445232e-06,2.461441e-06,2.495697e-06,2.527700e-06,2.545602e-06,2.592983e-06,2.594945e-06,2.643727e-06,2.657285e-06,2.691946e-06,2.720608e-06,2.739603e-06,2.782952e-06,2.786699e-06,2.833235e-06,2.844320e-06,2.879213e-06,2.904717e-06,2.924635e-06,2.964149e-06,2.969504e-06,3.013823e-06,3.022622e-06,3.057596e-06,3.080143e-06,3.100826e-06,3.136722e-06,3.143516e-06,3.185671e-06,3.192367e-06,3.227296e-06,3.247088e-06,3.268393e-06,3.300895e-06,3.308969e-06,3.349028e-06,3.353800e-06,3.388574e-06,3.405813e-06,3.427613e-06,3.456946e-06,3.466149e-06,3.504188e-06,3.507210e-06,3.541735e-06,3.556618e-06,3.578796e-06,3.605181e-06,3.615375e-06,3.651478e-06,3.652912e-06,3.687110e-06,3.699823e-06,3.722277e-06,3.745927e-06,3.756984e-06,3.791237e-06,3.835764e-06,3.879522e-06,3.922523e-06,3.964779e-06,4.006304e-06,4.047108e-06,4.087206e-06,4.126609e-06,4.165328e-06,4.203377e-06,4.240767e-06,4.277510e-06,4.313617e-06,4.349100e-06,4.383971e-06,4.418240e-06,4.451919e-06,4.485019e-06,4.517550e-06,4.549523e-06,4.580948e-06,4.611836e-06,4.642197e-06,4.672041e-06
0.000000e+00,6.504285e-13,3.588801e-12,3.709892e-11,1.556546e-10,2.930617e-10,1.105934e-09,1.159296e-09,3.262696e-09,4.190656e-09,7.525493e-09,1.162776e-08,1.519404e-08,2.647510e-08,2.768428e-08,4.633422e-08,5.186163e-08,7.233603e-08,9.051997e-08,1.067874e-07,1.449226e-07,1.507303e-07,2.051596e-07,2.173876e-07,2.710150e-07,3.100675e-07,3.491669e-07,4.248947e-07,4.404009e-07,5.454037e-07,5.635220e-07,6.647523e-07,7.272749e-07,7.989068e-07,9.171231e-07,9.482070e-07,1.112873e-06,1.133671e-06,1.293007e-06,1.377168e-06,1.488602e-06,1.647532e-06,1.699550e-06,1.925647e-06,1.944382e-06,2.166610e-06,2.267080e-06,2.422081e-06,2.614772e-06,2.691644e-06,2.974830e-06,2.986433e-06,3.271128e-06,3.380902e-06,3.579998e-06,3.796921e-06,3.900871e-06,4.233163e-06,4.576278e-06,4.688263e-06,4.929615e-06,5.160835e-06,5.292569e-06,5.649495e-06,5.664539e-06,6.044932e-06,6.152870e-06,6.433159e-06,6.669615e-06,6.828644e-06,7.198416e-06,7.230824e-06,7.639148e-06,7.738000e-06,8.053081e-06,8.287139e-06,8.472104e-06,8.844653e-06,8.895711e-06,9.323418e-06,9.409409e-06,9.754752e-06,9.980329e-06,1.018926e-05,1.055638e-05,1.062651e-05,1.106608e-05,1.113659e-05,1.150756e-05,1.172003e-05,1.195057e-05,1.230583e-05,1.239474e-05,1.283971e-05,1.289315e-05,1.328515e-05,1.348121e-05,1.373073e-05,1.406928e-05,1.417615e-05,1.462110e-05,1.465666e-05,1.506530e-05,1.524272e-05,1.550850e-05,1.582683e-05,1.595043e-05,1.639085e-05,1.640844e-05,1.682954e-05,1.698701e-05,1.726628e-05,1.756204e-05,1.770086e-05,1.813309e-05,1.856279e-05,1.869973e-05,1.898978e-05,1.926156e-05,1.941390e-05,1.981821e-05,1.983499e-05,2.025292e-05,2.036935e-05,2.066754e-05,2.091468e-05,2.107874e-05,2.145391e-05,2.148639e-05,2.189038e-05,2.198678e-05,2.229061e-05,2.251306e-05,2.268699e-05,2.303254e-05,2.307942e-05,2.346783e-05,2.354503e-05,2.385214e-05,2.405034e-05,2.423229e-05,2.454834e-05,2.460820e-05,2.497983e-05,2.503889e-05,2.534712e-05,2.552187e-05,2.571003e-05,2.599717e-05,2.606851e-05,2.642253e-05,2.646471e-05,2.677205e-05,2.692441e-05,2.711705e-05,2.737622e-05,2.745751e-05,2.779340e-05,2.782008e-05,2.812472e-05,2.825596e-05,2.845144e-05,2.868383e-05,2.877356e-05,2.909108e-05,2.910368e-05,2.940398e-05,2.951550e-05,2.971228e-05,2.991930e-05,3.001598e-05,3.031508e-05,3.070287e-05,3.108269e-05,3.145457e-05,3.181856e-05,3.217469e-05,3.252303e-05,3.286362e-05,3.319652e-05,3.352181e-05,3.383955e-05,3.414980e-05,3.445266e-05,3.474818e-05,3.503647e-05,3.531759e-05,3.559164e-05,3.585870e-05,3.611886e-05,3.637222e-05,3.661886e-05,3.685888e-05,3.709237e-05,3.731943e-05,3.754015e-05
0.000000e+00,9.725019e-13,3.144950e-12,1.758249e-11,5.449502e-11,9.134802e-11,2.781728e-10,2.895574e-10,7.031926e-10,8.725254e-10,1.445695e-09,2.104444e-09,2.652376e-09,4.306849e-09,4.479949e-09,7.105190e-09,7.875136e-09,1.072113e-08,1.325377e-08,1.552881e-08,2.090114e-08,2.172384e-08,2.948064e-08,3.123250e-08,3.894037e-08,4.456825e-08,5.020649e-08,6.111654e-08,6.334680e-08,7.839850e-08,8.098525e-08,9.537348e-08,1.042027e-07,1.142629e-07,1.307360e-07,1.350410e-07,1.576678e-07,1.605049e-07,1.820922e-07,1.933931e-07,2.082537e-07,2.292570e-07,2.360849e-07,2.655127e-07,2.679336e-07,2.964603e-07,3.092471e-07,3.288482e-07,3.530142e-07,3.625959e-07,3.976222e-07,3.990487e-07,4.338466e-07,4.471653e-07,4.711896e-07,4.971820e-07,5.095735e-07,5.489227e-07,5.891640e-07,6.022180e-07,6.302269e-07,6.569070e-07,6.720438e-07,7.128372e-07,7.145499e-07,7.576836e-07,7.698654e-07,8.013860e-07,8.278572e-07,8.456015e-07,8.866873e-07,8.902771e-07,9.353629e-07,9.462393e-07,9.808117e-07,1.006405e-06,1.026579e-06,1.067084e-06,1.072623e-06,1.118903e-06,1.128184e-06,1.165384e-06,1.189621e-06,1.212029e-06,1.251315e-06,1.258807e-06,1.305686e-06,1.313194e-06,1.352638e-06,1.375193e-06,1.399636e-06,1.437251e-06,1.446655e-06,1.493671e-06,1.499312e-06,1.540663e-06,1.561327e-06,1.587610e-06,1.623248e-06,1.634493e-06,1.681294e-06,1.685034e-06,1.727996e-06,1.746646e-06,1.774585e-06,1.808050e-06,1.821046e-06,1.867365e-06,1.869215e-06,1.913531e-06,1.930112e-06,1.959533e-06,1.990714e-06,2.005359e-06,2.051001e-06,2.096448e-06,2.110949e-06,2.141694e-06,2.170541e-06,2.186730e-06,2.229761e-06,2.231549e-06,2.276146e-06,2.288593e-06,2.320515e-06,2.347025e-06,2.364650e-06,2.405044e-06,2.408547e-06,2.452201e-06,2.462642e-06,2.495609e-06,2.519808e-06,2.538767e-06,2.576537e-06,2.581672e-06,2.624321e-06,2.632820e-06,2.666713e-06,2.688654e-06,2.708844e-06,2.744032e-06,2.750714e-06,2.792320e-06,2.798953e-06,2.833662e-06,2.853412e-06,2.874739e-06,2.907408e-06,2.915549e-06,2.956093e-06,2.960940e-06,2.996369e-06,3.014006e-06,3.036378e-06,3.066606e-06,3.076119e-06,3.115593e-06,3.118740e-06,3.154801e-06,3.170409e-06,3.193741e-06,3.221613e-06,3.232416e-06,3.270825e-06,3.272355e-06,3.308969e-06,3.322636e-06,3.346850e-06,3.372458e-06,3.384467e-06,3.421823e-06,3.470734e-06,3.519193e-06,3.567204e-06,3.614770e-06,3.661893e-06,3.708577e-06,3.754827e-06,3.800645e-06,3.846035e-06,3.891001e-06,3.935547e-06,3.979677e-06,4.023395e-06,4.066705e-06,4.109610e-06,4.152116e-06,4.194225e-06,4.235943e-06,4.277273e-06,4.318219e-06,4.358786e-06,4.398977e-06,4.438797e-06,4.478249e-06
0.000000e+00,7.336442e-17,8.025259e-16,2.704462e-14,2.680444e-13,7.559956e-13,6.834375e-12,7.390772e-12,4.080553e-11,6.137496e-11,1.575202e-10,3.135187e-10,4.764475e-10,1.127869e-09,1.208601e-09,2.686371e-09,3.201908e-09,5.390179e-09,7.674887e-09,9.970667e-09,1.621262e-08,1.726299e-08,2.828759e-08,3.104233e-08,4.423235e-08,5.490191e-08,6.641564e-08,9.089234e-08,9.623533e-08,1.351127e-07,1.422675e-07,1.844396e-07,2.122188e-07,2.455333e-07,3.036970e-07,3.196027e-07,4.077248e-07,4.192895e-07,5.108296e-07,5.611476e-07,6.296918e-07,7.309502e-07,7.649269e-07,9.169917e-07,9.298939e-07,1.086186e-06,1.158698e-06,1.272658e-06,1.417624e-06,1.476411e-06,1.697310e-06,1.706500e-06,1.935094e-06,2.024759e-06,2.189381e-06,2.371481e-06,2.459690e-06,2.745441e-06,3.045979e-06,3.145158e-06,3.360580e-06,3.568948e-06,3.688467e-06,4.014978e-06,4.028821e-06,4.380793e-06,4.481309e-06,4.743515e-06,4.965943e-06,5.116109e-06,5.466860e-06,5.497697e-06,5.887407e-06,5.982050e-06,6.284381e-06,6.509545e-06,6.687779e-06,7.047435e-06,7.096786e-06,7.510612e-06,7.593889e-06,7.928500e-06,8.147164e-06,8.349723e-06,8.705618e-06,8.773586e-06,9.199432e-06,9.267709e-06,9.626637e-06,9.832003e-06,1.005461e-05,1.039717e-05,1.048280e-05,1.091068e-05,1.096198e-05,1.133777e-05,1.152532e-05,1.176361e-05,1.208616e-05,1.218778e-05,1.260988e-05,1.264355e-05,1.302955e-05,1.319666e-05,1.344645e-05,1.374473e-05,1.386027e-05,1.427072e-05,1.428706e-05,1.467753e-05,1.482304e-05,1.508046e-05,1.535213e-05,1.547930e-05,1.587384e-05,1.626390e-05,1.638775e-05,1.664932e-05,1.689348e-05,1.702994e-05,1.739071e-05,1.740564e-05,1.777629e-05,1.787916e-05,1.814180e-05,1.835859e-05,1.850206e-05,1.882880e-05,1.885700e-05,1.920656e-05,1.928964e-05,1.955066e-05,1.974096e-05,1.988927e-05,2.018266e-05,2.022234e-05,2.054984e-05,2.061467e-05,2.087175e-05,2.103693e-05,2.118806e-05,2.144942e-05,2.149875e-05,2.180382e-05,2.185211e-05,2.210327e-05,2.224502e-05,2.239712e-05,2.262817e-05,2.268537e-05,2.296805e-05,2.300160e-05,2.324518e-05,2.336537e-05,2.351678e-05,2.371953e-05,2.378289e-05,2.404354e-05,2.406416e-05,2.429876e-05,2.439934e-05,2.454860e-05,2.472518e-05,2.479310e-05,2.503231e-05,2.504177e-05,2.526627e-05,2.534922e-05,2.549503e-05,2.564764e-05,2.571864e-05,2.593715e-05,2.621789e-05,2.648997e-05,2.675354e-05,2.700872e-05,2.725565e-05,2.749448e-05,2.772534e-05,2.794839e-05,2.816376e-05,2.837159e-05,2.857204e-05,2.876525e-05,2.895137e-05,2.913054e-05,2.930291e-05,2.946861e-05,2.962780e-05,2.978062e-05,2.992721e-05,3.006770e-05,3.020224e-05,3.033097e-05,3.045402e-05,3.057153e-05
0.000000e+00,5.184756e-18,5.892610e-17,2.149805e-15,2.290443e-14,6.720628e-14,6.725690e-13,7.303224e-13,4.454867e-12,6.882572e-12,1.888300e-11,3.963483e-11,6.232670e-11,1.590082e-10,1.714597e-10,4.107445e-10,4.979950e-10,8.828704e-10,1.303151e-09,1.739393e-09,2.976681e-09,3.190795e-09,5.515254e-09,6.114577e-09,9.065398e-09,1.153582e-08,1.427237e-08,2.029777e-08,2.164658e-08,3.177458e-08,3.369355e-08,4.531219e-08,5.322924e-08,6.297395e-08,8.058230e-08,8.551982e-08,1.137398e-07,1.175456e-07,1.484372e-07,1.659629e-07,1.904125e-07,2.276626e-07,2.404462e-07,2.992845e-07,3.043932e-07,3.676249e-07,3.977667e-07,4.461047e-07,5.092096e-07,5.352906e-07,6.356709e-07,6.399249e-07,7.476491e-07,7.908638e-07,8.715401e-07,9.627085e-07,1.007568e-06,1.155864e-06,1.316471e-06,1.370460e-06,1.489342e-06,1.606360e-06,1.674348e-06,1.863175e-06,1.871277e-06,2.079848e-06,2.140287e-06,2.299709e-06,2.436876e-06,2.530450e-06,2.751943e-06,2.771607e-06,3.022671e-06,3.084341e-06,3.283096e-06,3.432808e-06,3.552302e-06,3.795990e-06,3.829687e-06,4.114632e-06,4.172473e-06,4.406505e-06,4.560806e-06,4.704670e-06,4.959525e-06,5.008490e-06,5.317332e-06,5.367171e-06,5.630572e-06,5.782310e-06,5.947599e-06,6.203546e-06,6.267816e-06,6.590643e-06,6.629531e-06,6.915522e-06,7.058980e-06,7.241916e-06,7.490670e-06,7.569309e-06,7.897212e-06,7.923453e-06,8.225160e-06,8.356251e-06,8.552710e-06,8.788065e-06,8.879447e-06,9.204980e-06,9.217971e-06,9.528942e-06,9.645117e-06,9.850991e-06,1.006873e-05,1.017081e-05,1.048810e-05,1.080260e-05,1.090260e-05,1.111404e-05,1.131165e-05,1.142220e-05,1.171475e-05,1.172687e-05,1.202785e-05,1.211144e-05,1.232497e-05,1.250133e-05,1.261808e-05,1.288407e-05,1.290703e-05,1.319170e-05,1.325937e-05,1.347198e-05,1.362698e-05,1.374776e-05,1.398667e-05,1.401897e-05,1.428554e-05,1.433829e-05,1.454739e-05,1.468168e-05,1.480449e-05,1.501674e-05,1.505679e-05,1.530425e-05,1.534340e-05,1.554687e-05,1.566160e-05,1.578462e-05,1.597130e-05,1.601749e-05,1.624548e-05,1.627252e-05,1.646861e-05,1.656525e-05,1.668688e-05,1.684953e-05,1.690031e-05,1.710892e-05,1.712541e-05,1.731275e-05,1.739294e-05,1.751181e-05,1.765221e-05,1.770615e-05,1.789581e-05,1.790330e-05,1.808083e-05,1.814631e-05,1.826125e-05,1.838133e-05,1.843712e-05,1.860849e-05,1.882790e-05,1.903969e-05,1.924399e-05,1.944094e-05,1.963067e-05,1.981332e-05,1.998904e-05,2.015797e-05,2.032026e-05,2.047607e-05,2.062552e-05,2.076879e-05,2.090600e-05,2.103732e-05,2.116288e-05,2.128284e-05,2.139733e-05,2.150650e-05,2.161050e-05,2.170945e-05,2.180351e-05,2.189280e-05,2.197746e-05,2.205762e-05
0.000000e+00,7.429385e-16,7.639496e-15,2.268729e-13,2.008998e-12,5.332530e-12,4.138740e-11,4.448618e-11,2.126267e-10,3.079223e-10,7.204755e-10,1.334613e-09,1.938330e-09,4.165103e-09,4.427879e-09,8.961098e-09,1.045802e-08,1.651807e-08,2.249417e-08,2.824768e-08,4.300452e-08,4.538843e-08,6.917208e-08,7.482875e-08,1.007407e-07,1.205711e-07,1.410930e-07,1.823889e-07,1.910584e-07,2.512905e-07,2.619148e-07,3.222687e-07,3.602529e-07,4.043044e-07,4.780007e-07,4.975482e-07,6.019992e-07,6.152811e-07,7.175152e-07,7.717821e-07,8.438255e-07,9.468081e-07,9.805462e-07,1.127196e-06,1.139341e-06,1.283215e-06,1.348108e-06,1.447980e-06,1.571653e-06,1.620824e-06,1.801051e-06,1.808404e-06,1.987951e-06,2.056731e-06,2.180811e-06,2.315001e-06,2.378929e-06,2.581618e-06,2.788220e-06,2.855055e-06,2.998103e-06,3.133872e-06,3.210669e-06,3.416737e-06,3.425359e-06,3.641647e-06,3.702427e-06,3.859047e-06,3.989833e-06,4.077110e-06,4.277959e-06,4.295425e-06,4.513612e-06,4.565919e-06,4.731329e-06,4.852927e-06,4.948263e-06,5.138294e-06,5.164134e-06,5.378686e-06,5.421417e-06,5.591692e-06,5.701776e-06,5.802950e-06,5.978922e-06,6.012278e-06,6.219516e-06,6.252470e-06,6.424524e-06,6.522098e-06,6.627177e-06,6.787532e-06,6.827369e-06,7.025006e-06,7.048547e-06,7.220009e-06,7.304958e-06,7.412310e-06,7.556618e-06,7.601854e-06,7.788593e-06,7.803410e-06,7.972491e-06,8.045248e-06,8.153519e-06,8.282070e-06,8.331656e-06,8.506886e-06,8.513835e-06,8.679202e-06,8.740522e-06,8.848601e-06,8.962126e-06,9.015084e-06,9.178658e-06,9.339333e-06,9.390140e-06,9.497125e-06,9.596605e-06,9.652049e-06,9.798099e-06,9.804127e-06,9.953382e-06,9.994670e-06,1.009984e-05,1.018638e-05,1.024352e-05,1.037329e-05,1.038446e-05,1.052269e-05,1.055547e-05,1.065824e-05,1.073299e-05,1.079114e-05,1.090593e-05,1.092143e-05,1.104914e-05,1.107438e-05,1.117431e-05,1.123840e-05,1.129697e-05,1.139810e-05,1.141716e-05,1.153492e-05,1.155354e-05,1.165028e-05,1.170482e-05,1.176329e-05,1.185202e-05,1.187397e-05,1.198238e-05,1.199523e-05,1.208853e-05,1.213454e-05,1.219249e-05,1.227004e-05,1.229427e-05,1.239392e-05,1.240180e-05,1.249147e-05,1.252992e-05,1.258697e-05,1.265448e-05,1.268045e-05,1.277195e-05,1.277557e-05,1.286149e-05,1.289326e-05,1.294913e-05,1.300764e-05,1.303489e-05,1.311880e-05,1.322681e-05,1.333175e-05,1.343369e-05,1.353272e-05,1.362891e-05,1.372232e-05,1.381304e-05,1.390113e-05,1.398667e-05,1.406971e-05,1.415032e-05,1.422857e-05,1.430453e-05,1.437825e-05,1.444978e-05,1.451921e-05,1.458657e-05,1.465192e-05,1.471532e-05,1.477683e-05,1.483649e-05,1.489435e-05,1.495047e-05,1.500489e-05
0.000000e+00,5.558023e-18,6.344682e-17,2.336035e-15,2.509801e-14,7.398896e-14,7.496700e-13,8.144622e-13,5.032414e-12,7.803103e-12,2.161148e-11,4.572736e-11,7.230081e-11,1.868570e-10,2.017219e-10,4.904678e-10,5.968470e-10,1.070852e-09,1.595035e-09,2.144506e-09,3.724447e-09,4.000413e-09,7.031010e-09,7.820623e-09,1.174327e-08,1.506101e-08,1.876178e-08,2.697484e-08,2.882214e-08,4.275432e-08,4.540218e-08,6.145805e-08,7.240578e-08,8.587232e-08,1.101512e-07,1.169425e-07,1.555873e-07,1.607754e-07,2.026686e-07,2.262613e-07,2.589652e-07,3.083332e-07,3.251517e-07,4.017832e-07,4.083786e-07,4.892849e-07,5.273989e-07,5.879476e-07,6.659884e-07,6.979273e-07,8.192490e-07,8.243368e-07,9.518140e-07,1.002252e-06,1.095409e-06,1.199196e-06,1.249717e-06,1.414331e-06,1.588767e-06,1.646573e-06,1.772477e-06,1.894644e-06,1.964862e-06,2.157124e-06,2.165287e-06,2.373088e-06,2.432502e-06,2.587589e-06,2.719221e-06,2.808106e-06,3.015712e-06,3.033961e-06,3.264485e-06,3.320433e-06,3.499028e-06,3.631892e-06,3.736960e-06,3.948664e-06,3.977678e-06,4.220609e-06,4.269413e-06,4.465212e-06,4.592896e-06,4.710977e-06,4.917970e-06,4.957429e-06,5.204126e-06,5.243592e-06,5.450658e-06,5.568824e-06,5.696651e-06,5.892823e-06,5.941758e-06,6.185665e-06,6.214840e-06,6.428088e-06,6.534216e-06,6.668767e-06,6.850373e-06,6.907470e-06,7.143988e-06,7.162809e-06,7.378133e-06,7.471090e-06,7.609741e-06,7.774845e-06,7.838665e-06,8.064774e-06,8.073758e-06,8.287955e-06,8.367565e-06,8.508111e-06,8.656045e-06,8.725157e-06,8.939019e-06,9.149639e-06,9.216344e-06,9.356965e-06,9.487905e-06,9.560955e-06,9.753615e-06,9.761575e-06,9.958799e-06,1.001341e-05,1.015261e-05,1.026725e-05,1.034299e-05,1.051511e-05,1.052994e-05,1.071345e-05,1.075699e-05,1.089353e-05,1.099288e-05,1.107019e-05,1.122282e-05,1.124343e-05,1.141327e-05,1.144683e-05,1.157973e-05,1.166496e-05,1.174283e-05,1.187724e-05,1.190258e-05,1.205902e-05,1.208375e-05,1.221217e-05,1.228452e-05,1.236206e-05,1.247965e-05,1.250872e-05,1.265218e-05,1.266918e-05,1.279247e-05,1.285321e-05,1.292964e-05,1.303181e-05,1.306370e-05,1.319471e-05,1.320506e-05,1.332269e-05,1.337304e-05,1.344768e-05,1.353585e-05,1.356973e-05,1.368887e-05,1.369357e-05,1.380513e-05,1.384629e-05,1.391857e-05,1.399410e-05,1.402921e-05,1.413710e-05,1.427537e-05,1.440900e-05,1.453809e-05,1.466273e-05,1.478302e-05,1.489904e-05,1.501088e-05,1.511864e-05,1.522241e-05,1.532227e-05,1.541832e-05,1.551065e-05,1.559933e-05,1.568445e-05,1.576611e-05,1.584438e-05,1.591935e-05,1.599109e-05,1.605970e-05,1.612524e-05,1.618779e-05,1.624744e-05,1.630426e-05,1.635832e-05
0.000000e+00,2.590637e-14,2.032315e-13,3.609403e-12,2.111463e-11,4.556899e-11,2.204529e-10,2.328538e-10,7.545636e-10,9.946369e-10,1.872725e-09,2.962983e-09,3.913173e-09,6.934470e-09,7.260328e-09,1.235111e-08,1.388440e-08,1.965579e-08,2.488682e-08,2.963355e-08,4.093726e-08,4.267431e-08,5.906160e-08,6.275784e-08,7.897140e-08,9.074842e-08,1.024907e-07,1.250509e-07,1.296371e-07,1.603737e-07,1.656198e-07,1.946182e-07,2.122676e-07,2.322505e-07,2.646945e-07,2.731189e-07,3.170464e-07,3.225141e-07,3.638366e-07,3.852776e-07,4.132801e-07,4.524980e-07,4.651595e-07,5.192551e-07,5.236720e-07,5.753490e-07,5.982981e-07,6.332284e-07,6.758921e-07,6.926891e-07,7.535370e-07,7.559971e-07,8.155898e-07,8.381906e-07,8.786777e-07,9.220881e-07,9.426438e-07,1.007344e-06,1.072648e-06,1.093653e-06,1.138435e-06,1.180742e-06,1.204598e-06,1.268377e-06,1.271039e-06,1.337670e-06,1.356350e-06,1.404414e-06,1.444484e-06,1.471198e-06,1.532622e-06,1.537961e-06,1.604646e-06,1.620633e-06,1.671202e-06,1.708400e-06,1.737584e-06,1.795824e-06,1.803752e-06,1.869670e-06,1.882820e-06,1.935305e-06,1.969315e-06,2.000630e-06,2.055243e-06,2.065618e-06,2.130246e-06,2.140552e-06,2.194494e-06,2.225193e-06,2.258344e-06,2.309127e-06,2.321780e-06,2.384787e-06,2.392318e-06,2.447352e-06,2.474738e-06,2.509464e-06,2.556360e-06,2.571113e-06,2.632290e-06,2.637163e-06,2.692986e-06,2.717129e-06,2.753196e-06,2.796243e-06,2.812914e-06,2.872134e-06,2.874492e-06,2.930852e-06,2.951867e-06,2.989064e-06,3.028358e-06,3.046768e-06,3.103960e-06,3.160640e-06,3.178669e-06,3.216806e-06,3.252482e-06,3.272456e-06,3.325396e-06,3.327591e-06,3.382211e-06,3.397412e-06,3.436314e-06,3.468530e-06,3.489904e-06,3.538752e-06,3.542979e-06,3.595541e-06,3.608080e-06,3.647593e-06,3.676519e-06,3.699135e-06,3.744072e-06,3.750170e-06,3.800699e-06,3.810745e-06,3.850726e-06,3.876542e-06,3.900252e-06,3.941469e-06,3.949280e-06,3.997814e-06,4.005534e-06,4.045856e-06,4.068743e-06,4.093410e-06,4.131103e-06,4.140478e-06,4.187064e-06,4.192622e-06,4.233171e-06,4.253308e-06,4.278804e-06,4.313170e-06,4.323966e-06,4.368660e-06,4.372215e-06,4.412890e-06,4.430453e-06,4.456660e-06,4.487892e-06,4.499974e-06,4.542836e-06,4.544542e-06,4.585251e-06,4.600411e-06,4.627221e-06,4.655509e-06,4.668751e-06,4.709846e-06,4.763430e-06,4.816272e-06,4.868381e-06,4.919767e-06,4.970439e-06,5.020406e-06,5.069680e-06,5.118268e-06,5.166182e-06,5.213429e-06,5.260021e-06,5.305966e-06,5.351274e-06,5.395954e-06,5.440015e-06,5.483467e-06,5.526318e-06,5.568579e-06,5.610257e-06,5.651362e-06,5.691903e-06,5.731888e-06,5.771325e-06,5.810224e-06
0.000000e+00,1.795916e-14,1.553038e-13,3.299321e-12,2.218038e-11,5.123461e-11,2.891377e-10,3.071603e-10,1.135409e-09,1.548161e-09,3.168668e-09,5.361548e-09,7.399555e-09,1.447897e-08,1.528776e-08,2.877595e-08,3.309119e-08,5.006816e-08,6.618646e-08,8.122907e-08,1.181158e-07,1.238825e-07,1.791512e-07,1.917875e-07,2.477494e-07,2.888370e-07,3.300983e-07,4.100598e-07,4.264126e-07,5.367503e-07,5.557027e-07,6.610417e-07,7.256087e-07,7.991061e-07,9.192902e-07,9.506653e-07,1.115355e-06,1.135980e-06,1.292736e-06,1.374677e-06,1.482308e-06,1.634199e-06,1.683521e-06,1.895785e-06,1.913225e-06,2.118483e-06,2.210343e-06,2.350983e-06,2.524092e-06,2.592642e-06,2.842818e-06,2.852993e-06,3.100872e-06,3.195579e-06,3.366178e-06,3.550415e-06,3.638123e-06,3.916114e-06,4.199574e-06,4.291347e-06,4.487954e-06,4.674852e-06,4.780722e-06,5.065438e-06,5.077372e-06,5.377423e-06,5.461983e-06,5.680416e-06,5.863441e-06,5.985915e-06,6.268834e-06,6.293509e-06,6.602809e-06,6.677253e-06,6.913445e-06,7.087856e-06,7.225072e-06,7.499863e-06,7.537363e-06,7.850010e-06,7.912557e-06,8.162726e-06,8.325274e-06,8.475239e-06,8.737407e-06,8.787296e-06,9.098659e-06,9.148398e-06,9.409106e-06,9.557735e-06,9.718431e-06,9.964952e-06,1.002644e-05,1.033295e-05,1.036962e-05,1.063780e-05,1.077136e-05,1.094083e-05,1.116982e-05,1.124189e-05,1.154085e-05,1.156468e-05,1.183760e-05,1.195564e-05,1.213200e-05,1.234247e-05,1.242397e-05,1.271340e-05,1.272492e-05,1.300020e-05,1.310279e-05,1.328430e-05,1.347590e-05,1.356561e-05,1.384408e-05,1.411964e-05,1.420720e-05,1.439224e-05,1.456513e-05,1.466183e-05,1.491776e-05,1.492836e-05,1.519180e-05,1.526501e-05,1.545212e-05,1.560680e-05,1.570928e-05,1.594306e-05,1.596327e-05,1.621405e-05,1.627376e-05,1.646161e-05,1.659884e-05,1.670595e-05,1.691828e-05,1.694704e-05,1.718489e-05,1.723207e-05,1.741948e-05,1.754018e-05,1.765082e-05,1.784263e-05,1.787890e-05,1.810374e-05,1.813941e-05,1.832533e-05,1.843054e-05,1.854368e-05,1.871604e-05,1.875881e-05,1.897072e-05,1.899594e-05,1.917943e-05,1.927025e-05,1.938495e-05,1.953903e-05,1.958730e-05,1.978650e-05,1.980230e-05,1.998256e-05,2.006011e-05,2.017551e-05,2.031251e-05,2.036536e-05,2.055214e-05,2.055955e-05,2.073587e-05,2.080127e-05,2.091658e-05,2.103775e-05,2.109429e-05,2.126902e-05,2.149516e-05,2.171622e-05,2.193227e-05,2.214337e-05,2.234959e-05,2.255099e-05,2.274765e-05,2.293962e-05,2.312699e-05,2.330982e-05,2.348818e-05,2.366214e-05,2.383177e-05,2.399714e-05,2.415832e-05,2.431539e-05,2.446841e-05,2.461745e-05,2.476258e-05,2.490387e-05,2.504139e-05,2.517521e-05,2.530539e-05,2.543201e-05
0.000000e+00,7.816055e-13,2.741724e-12,1.672087e-11,5.417827e-11,9.258199e-11,2.951004e-10,3.077581e-10,7.857518e-10,9.900428e-10,1.711524e-09,2.588243e-09,3.348844e-09,5.771242e-09,6.032913e-09,1.011027e-08,1.132913e-08,1.585838e-08,1.987714e-08,2.345531e-08,3.174872e-08,3.299850e-08,4.453239e-08,4.707943e-08,5.806744e-08,6.589299e-08,7.359075e-08,8.814498e-08,9.107181e-08,1.104657e-07,1.137426e-07,1.317155e-07,1.425552e-07,1.547539e-07,1.744221e-07,1.795056e-07,2.058884e-07,2.091598e-07,2.338153e-07,2.465691e-07,2.631961e-07,2.864415e-07,2.939391e-07,3.259521e-07,3.285653e-07,3.591435e-07,3.727299e-07,3.934235e-07,4.187299e-07,4.287046e-07,4.649021e-07,4.663679e-07,5.019349e-07,5.154562e-07,5.397254e-07,5.658180e-07,5.781999e-07,6.172885e-07,6.569251e-07,6.697142e-07,6.970475e-07,7.229536e-07,7.375973e-07,7.768762e-07,7.785196e-07,8.197633e-07,8.313624e-07,8.612802e-07,8.863028e-07,9.030257e-07,9.415975e-07,9.449581e-07,9.870384e-07,9.971556e-07,1.029230e-06,1.052894e-06,1.071501e-06,1.108738e-06,1.113818e-06,1.156153e-06,1.164619e-06,1.198479e-06,1.220476e-06,1.240771e-06,1.276253e-06,1.283006e-06,1.325162e-06,1.331899e-06,1.367221e-06,1.387369e-06,1.409163e-06,1.442622e-06,1.450972e-06,1.492633e-06,1.497621e-06,1.534130e-06,1.552334e-06,1.575452e-06,1.606731e-06,1.616585e-06,1.657519e-06,1.660785e-06,1.698244e-06,1.714473e-06,1.738750e-06,1.767774e-06,1.779029e-06,1.819073e-06,1.820670e-06,1.858875e-06,1.873144e-06,1.898430e-06,1.925182e-06,1.937731e-06,1.976772e-06,2.015551e-06,2.027903e-06,2.054061e-06,2.078566e-06,2.092300e-06,2.128752e-06,2.130265e-06,2.167953e-06,2.178455e-06,2.205360e-06,2.227670e-06,2.242486e-06,2.276392e-06,2.279329e-06,2.315886e-06,2.324617e-06,2.352157e-06,2.372344e-06,2.388141e-06,2.419569e-06,2.423838e-06,2.459246e-06,2.466293e-06,2.494366e-06,2.512514e-06,2.529197e-06,2.558233e-06,2.563741e-06,2.597996e-06,2.603450e-06,2.631964e-06,2.648167e-06,2.665646e-06,2.692385e-06,2.699042e-06,2.732153e-06,2.736107e-06,2.764980e-06,2.779334e-06,2.797524e-06,2.822069e-06,2.829787e-06,2.861770e-06,2.864316e-06,2.893474e-06,2.906078e-06,2.924901e-06,2.947357e-06,2.956052e-06,2.986930e-06,2.988159e-06,3.017535e-06,3.028487e-06,3.047870e-06,3.068344e-06,3.077937e-06,3.107736e-06,3.146667e-06,3.185141e-06,3.223163e-06,3.260738e-06,3.297870e-06,3.334564e-06,3.370826e-06,3.406659e-06,3.442070e-06,3.477064e-06,3.511644e-06,3.545817e-06,3.579588e-06,3.612960e-06,3.645941e-06,3.678534e-06,3.710745e-06,3.742579e-06,3.774040e-06,3.805135e-06,3.835866e-06,3.866241e-06,3.896263e-06,3.925937e-06
0.000000e+00,3.068638e-12,9.961742e-12,5.586876e-11,1.732956e-10,2.905211e-10,8.846584e-10,9.208617e-10,2.236540e-09,2.775415e-09,4.600860e-09,6.701667e-09,8.451311e-09,1.374585e-08,1.430073e-08,2.273617e-08,2.521692e-08,3.441172e-08,4.262642e-08,5.003121e-08,6.761275e-08,7.031694e-08,9.596328e-08,1.017917e-07,1.275808e-07,1.465461e-07,1.656451e-07,2.028334e-07,2.104668e-07,2.621903e-07,2.711083e-07,3.208147e-07,3.513751e-07,3.862237e-07,4.433021e-07,4.582149e-07,5.365241e-07,5.463315e-07,6.208437e-07,6.597625e-07,7.108369e-07,7.828075e-07,8.061474e-07,9.064083e-07,9.146319e-07,1.011248e-06,1.054382e-06,1.120294e-06,1.201206e-06,1.233180e-06,1.349546e-06,1.354268e-06,1.469041e-06,1.512761e-06,1.591329e-06,1.675914e-06,1.716085e-06,1.842998e-06,1.971774e-06,2.013330e-06,2.102133e-06,2.186272e-06,2.233813e-06,2.361236e-06,2.366564e-06,2.500154e-06,2.537679e-06,2.634365e-06,2.715105e-06,2.768995e-06,2.893061e-06,2.903854e-06,3.038768e-06,3.071136e-06,3.173572e-06,3.248959e-06,3.308118e-06,3.426194e-06,3.442266e-06,3.575890e-06,3.602541e-06,3.708871e-06,3.777732e-06,3.841104e-06,3.951529e-06,3.972490e-06,4.102940e-06,4.123720e-06,4.232374e-06,4.294119e-06,4.360717e-06,4.462562e-06,4.487904e-06,4.613875e-06,4.628908e-06,4.738578e-06,4.793033e-06,4.861965e-06,4.954833e-06,4.983994e-06,5.104629e-06,5.114219e-06,5.223837e-06,5.271115e-06,5.341591e-06,5.425461e-06,5.457868e-06,5.572647e-06,5.577207e-06,5.685912e-06,5.726314e-06,5.797651e-06,5.872755e-06,5.907852e-06,6.016510e-06,6.123618e-06,6.157565e-06,6.229175e-06,6.295918e-06,6.333181e-06,6.431569e-06,6.435637e-06,6.536547e-06,6.564526e-06,6.635916e-06,6.694801e-06,6.733751e-06,6.822411e-06,6.830060e-06,6.924852e-06,6.947378e-06,7.018139e-06,7.069726e-06,7.109931e-06,7.189482e-06,7.200242e-06,7.289084e-06,7.306678e-06,7.376472e-06,7.421345e-06,7.462422e-06,7.533518e-06,7.546947e-06,7.630065e-06,7.643235e-06,7.711792e-06,7.750532e-06,7.792145e-06,7.855450e-06,7.871141e-06,7.948798e-06,7.958027e-06,8.025133e-06,8.058307e-06,8.100165e-06,8.156329e-06,8.173912e-06,8.246391e-06,8.252136e-06,8.317623e-06,8.345770e-06,8.387624e-06,8.437274e-06,8.456415e-06,8.524012e-06,8.526691e-06,8.590435e-06,8.614064e-06,8.655703e-06,8.699434e-06,8.719833e-06,8.782845e-06,8.864337e-06,8.943954e-06,9.021736e-06,9.097723e-06,9.171958e-06,9.244478e-06,9.315324e-06,9.384534e-06,9.452146e-06,9.518198e-06,9.582727e-06,9.645767e-06,9.707356e-06,9.767528e-06,9.826316e-06,9.883754e-06,9.939875e-06,9.994710e-06,1.004829e-05,1.010065e-05,1.015181e-05,1.020181e-05,1.025068e-05,1.029844e-05
0.000000e+00,2.512251e-18,2.951557e-17,1.153604e-15,1.309934e-14,3.982253e-14,4.373093e-13,4.766788e-13,3.195181e-12,5.066369e-12,1.484857e-11,3.290050e-11,5.361517e-11,1.482879e-10,1.610136e-10,4.202266e-10,5.199247e-10,9.821333e-10,1.517973e-09,2.099869e-09,3.855480e-09,4.172137e-09,7.794562e-09,8.774710e-09,1.381714e-08,1.826985e-08,2.340461e-08,3.532648e-08,3.809558e-08,5.985591e-08,6.414949e-08,9.112214e-08,1.103493e-07,1.348314e-07,1.810598e-07,1.944349e-07,2.738934e-07,2.849691e-07,3.776551e-07,4.322560e-07,5.106148e-07,6.344309e-07,6.780571e-07,8.855849e-07,9.040924e-07,1.139036e-06,1.254611e-06,1.444389e-06,1.699764e-06,1.807668e-06,2.234835e-06,2.253334e-06,2.731694e-06,2.928701e-06,3.303785e-06,3.738442e-06,3.956292e-06,4.693959e-06,5.521004e-06,5.805147e-06,6.441061e-06,7.080117e-06,7.457116e-06,8.524982e-06,8.571465e-06,9.785687e-06,1.014370e-05,1.110062e-05,1.193799e-05,1.251635e-05,1.390731e-05,1.403224e-05,1.564690e-05,1.604891e-05,1.735827e-05,1.835788e-05,1.916361e-05,2.082737e-05,2.105954e-05,2.304212e-05,2.344865e-05,2.510688e-05,2.621141e-05,2.724888e-05,2.910395e-05,2.946278e-05,3.174286e-05,3.211342e-05,3.408315e-05,3.522606e-05,3.647742e-05,3.842742e-05,3.891928e-05,4.140223e-05,4.170264e-05,4.391970e-05,4.503663e-05,4.646512e-05,4.841430e-05,4.903195e-05,5.161374e-05,5.182074e-05,5.420417e-05,5.524137e-05,5.679706e-05,5.866210e-05,5.938643e-05,6.196654e-05,6.206947e-05,6.453185e-05,6.545072e-05,6.707712e-05,6.879390e-05,6.959737e-05,7.208791e-05,7.454436e-05,7.532255e-05,7.696264e-05,7.848855e-05,7.933898e-05,8.157761e-05,8.166994e-05,8.395235e-05,8.458234e-05,8.618340e-05,8.749629e-05,8.836053e-05,9.031393e-05,9.048149e-05,9.254433e-05,9.303057e-05,9.454735e-05,9.564238e-05,9.648914e-05,9.814631e-05,9.836851e-05,1.001845e-04,1.005401e-04,1.019365e-04,1.028221e-04,1.036240e-04,1.049914e-04,1.052467e-04,1.068044e-04,1.070476e-04,1.082974e-04,1.089910e-04,1.097257e-04,1.108222e-04,1.110900e-04,1.123906e-04,1.125424e-04,1.136282e-04,1.141531e-04,1.148037e-04,1.156561e-04,1.159180e-04,1.169719e-04,1.170537e-04,1.179667e-04,1.183482e-04,1.189033e-04,1.195425e-04,1.197831e-04,1.206074e-04,1.206392e-04,1.213773e-04,1.216415e-04,1.220943e-04,1.225524e-04,1.227598e-04,1.233752e-04,1.241131e-04,1.247696e-04,1.253480e-04,1.258517e-04,1.262840e-04,1.266482e-04,1.269478e-04,1.271858e-04,1.273655e-04,1.274901e-04,1.275625e-04,1.275857e-04,1.275626e-04,1.274960e-04,1.273886e-04,1.272430e-04,1.270616e-04,1.268470e-04,1.266013e-04,1.263269e-04,1.260259e-04,1.257002e-04,1.253519e-04,1.249827e-04
0.000000e+00,1.575096e-14,1.203022e-13,2.044546e-12,1.162717e-11,2.480661e-11,1.176943e-10,1.242481e-10,3.991746e-10,5.255710e-10,9.881961e-10,1.563516e-09,2.065637e-09,3.665353e-09,3.838111e-09,6.541787e-09,7.357941e-09,1.043982e-08,1.325042e-08,1.581875e-08,2.201788e-08,2.298192e-08,3.223875e-08,3.436822e-08,4.389151e-08,5.099296e-08,5.822385e-08,7.252342e-08,7.549385e-08,9.593132e-08,9.950910e-08,1.197373e-07,1.324125e-07,1.470844e-07,1.716093e-07,1.781165e-07,2.129491e-07,2.173888e-07,2.516692e-07,2.699537e-07,2.943354e-07,3.294207e-07,3.409783e-07,3.916015e-07,3.958228e-07,4.461821e-07,4.691126e-07,5.046728e-07,5.491688e-07,5.670036e-07,6.330835e-07,6.358032e-07,7.028028e-07,7.287690e-07,7.760357e-07,8.277702e-07,8.526423e-07,9.324708e-07,1.015361e-06,1.042505e-06,1.101144e-06,1.157483e-06,1.189646e-06,1.277004e-06,1.280693e-06,1.374105e-06,1.400660e-06,1.469704e-06,1.528041e-06,1.567315e-06,1.658744e-06,1.666763e-06,1.767877e-06,1.792374e-06,1.870491e-06,1.928550e-06,1.974445e-06,2.066907e-06,2.079581e-06,2.185750e-06,2.207095e-06,2.292808e-06,2.348785e-06,2.400619e-06,2.491666e-06,2.509052e-06,2.617981e-06,2.635448e-06,2.727291e-06,2.779861e-06,2.836869e-06,2.924654e-06,2.946611e-06,3.056418e-06,3.069595e-06,3.166198e-06,3.214470e-06,3.275864e-06,3.359084e-06,3.385335e-06,3.494535e-06,3.503258e-06,3.603394e-06,3.646827e-06,3.711846e-06,3.789644e-06,3.819829e-06,3.927288e-06,3.931575e-06,4.034170e-06,4.072497e-06,4.140427e-06,4.212302e-06,4.246014e-06,4.350891e-06,4.455019e-06,4.488176e-06,4.558365e-06,4.624080e-06,4.660896e-06,4.758534e-06,4.762585e-06,4.863405e-06,4.891476e-06,4.963333e-06,5.022853e-06,5.062348e-06,5.152619e-06,5.160431e-06,5.257564e-06,5.280733e-06,5.353733e-06,5.407162e-06,5.448925e-06,5.531876e-06,5.543128e-06,5.636332e-06,5.654852e-06,5.728528e-06,5.776069e-06,5.819709e-06,5.895513e-06,5.909870e-06,5.999006e-06,6.013172e-06,6.087112e-06,6.129037e-06,6.174188e-06,6.243104e-06,6.260230e-06,6.345239e-06,6.355371e-06,6.429215e-06,6.465837e-06,6.512157e-06,6.574505e-06,6.594070e-06,6.674953e-06,6.681380e-06,6.754811e-06,6.786468e-06,6.833648e-06,6.889779e-06,6.911466e-06,6.988271e-06,6.991322e-06,7.064068e-06,7.091109e-06,7.138863e-06,7.189153e-06,7.212660e-06,7.285467e-06,7.380067e-06,7.472968e-06,7.564187e-06,7.653742e-06,7.741651e-06,7.827932e-06,7.912605e-06,7.995689e-06,8.077205e-06,8.157173e-06,8.235613e-06,8.312546e-06,8.387994e-06,8.461977e-06,8.534517e-06,8.605634e-06,8.675351e-06,8.743689e-06,8.810669e-06,8.876312e-06,8.940640e-06,9.003673e-06,9.065433e-06,9.125941e-06
0.000000e+00,2.167727e-16,2.235605e-15,6.677563e-14,5.945024e-13,1.582735e-12,1.238078e-11,1.331203e-11,6.412708e-11,9.306471e-11,2.189006e-10,4.071778e-10,5.929272e-10,1.281370e-09,1.362861e-09,2.774516e-09,3.242766e-09,5.148104e-09,7.042051e-09,8.879454e-09,1.365348e-08,1.443272e-08,2.231962e-08,2.422346e-08,3.306529e-08,3.995053e-08,4.716865e-08,6.193344e-08,6.506824e-08,8.712057e-08,9.105338e-08,1.135919e-07,1.279232e-07,1.446604e-07,1.728933e-07,1.804239e-07,2.209101e-07,2.260848e-07,2.660866e-07,2.874303e-07,3.158705e-07,3.567122e-07,3.701369e-07,4.287267e-07,4.335952e-07,4.914530e-07,5.176557e-07,5.581078e-07,6.084066e-07,6.284673e-07,7.022973e-07,7.053193e-07,7.793571e-07,8.078425e-07,8.594037e-07,9.154177e-07,9.421949e-07,1.027492e-06,1.115062e-06,1.143527e-06,1.204679e-06,1.263007e-06,1.296126e-06,1.385443e-06,1.389194e-06,1.483687e-06,1.510375e-06,1.579417e-06,1.637374e-06,1.676206e-06,1.766046e-06,1.773889e-06,1.872310e-06,1.896024e-06,1.971322e-06,2.026975e-06,2.070788e-06,2.158594e-06,2.170583e-06,2.270588e-06,2.290604e-06,2.370693e-06,2.422753e-06,2.470797e-06,2.554815e-06,2.570806e-06,2.670634e-06,2.686584e-06,2.770200e-06,2.817877e-06,2.869431e-06,2.948529e-06,2.968260e-06,3.066624e-06,3.078393e-06,3.164467e-06,3.207339e-06,3.261737e-06,3.335249e-06,3.358386e-06,3.454373e-06,3.462022e-06,3.549658e-06,3.587567e-06,3.644205e-06,3.711804e-06,3.737983e-06,3.830963e-06,3.834666e-06,3.923121e-06,3.956091e-06,4.014432e-06,4.076030e-06,4.104877e-06,4.194438e-06,4.283100e-06,4.311280e-06,4.370849e-06,4.426524e-06,4.457674e-06,4.540147e-06,4.543565e-06,4.628514e-06,4.652130e-06,4.712514e-06,4.762457e-06,4.795561e-06,4.871119e-06,4.877651e-06,4.958780e-06,4.978108e-06,5.038948e-06,5.083423e-06,5.118155e-06,5.187062e-06,5.196401e-06,5.273687e-06,5.289029e-06,5.350016e-06,5.389330e-06,5.425391e-06,5.487971e-06,5.499815e-06,5.573293e-06,5.584962e-06,5.645830e-06,5.680315e-06,5.717431e-06,5.774043e-06,5.788103e-06,5.857851e-06,5.866159e-06,5.926682e-06,5.956680e-06,5.994604e-06,6.045622e-06,6.061625e-06,6.127750e-06,6.133002e-06,6.192990e-06,6.218840e-06,6.257352e-06,6.303154e-06,6.320845e-06,6.383476e-06,6.385964e-06,6.445256e-06,6.467290e-06,6.506193e-06,6.547154e-06,6.566297e-06,6.625575e-06,6.702576e-06,6.778178e-06,6.852403e-06,6.925273e-06,6.996809e-06,7.067034e-06,7.135969e-06,7.203637e-06,7.270058e-06,7.335256e-06,7.399251e-06,7.462065e-06,7.523719e-06,7.584234e-06,7.643632e-06,7.701932e-06,7.759155e-06,7.815321e-06,7.870450e-06,7.924562e-06,7.977676e-06,8.029811e-06,8.080985e-06,8.131219e-06
0.000000e+00,1.554223e-15,1.660187e-14,5.326493e-13,5.053735e-12,1.392469e-11,1.188269e-10,1.282116e-10,6.718978e-10,9.974132e-10,2.482622e-09,4.833541e-09,7.251254e-09,1.675326e-08,1.792068e-08,3.912404e-08,4.647980e-08,7.759407e-08,1.099568e-07,1.423715e-07,2.299591e-07,2.446160e-07,3.969776e-07,4.346294e-07,6.126960e-07,7.542315e-07,9.046895e-07,1.217639e-06,1.284834e-06,1.763507e-06,1.849842e-06,2.349376e-06,2.670768e-06,3.049368e-06,3.695111e-06,3.868732e-06,4.811147e-06,4.932626e-06,5.878841e-06,6.388590e-06,7.072703e-06,8.064250e-06,8.392389e-06,9.836422e-06,9.957248e-06,1.140229e-05,1.206201e-05,1.308655e-05,1.437015e-05,1.488492e-05,1.679242e-05,1.687091e-05,1.880343e-05,1.955157e-05,2.091186e-05,2.239793e-05,2.311121e-05,2.539468e-05,2.775531e-05,2.852585e-05,3.018600e-05,3.177512e-05,3.267963e-05,3.512616e-05,3.522912e-05,3.782749e-05,3.856285e-05,4.046789e-05,4.206954e-05,4.314369e-05,4.563114e-05,4.584843e-05,4.857595e-05,4.923327e-05,5.132030e-05,5.286237e-05,5.407584e-05,5.650570e-05,5.683720e-05,5.959931e-05,6.015139e-05,6.235738e-05,6.378847e-05,6.510690e-05,6.740682e-05,6.784368e-05,7.056377e-05,7.099718e-05,7.326350e-05,7.455113e-05,7.593947e-05,7.806103e-05,7.858855e-05,8.120781e-05,8.151999e-05,8.379460e-05,8.492187e-05,8.634648e-05,8.826118e-05,8.886122e-05,9.133679e-05,9.153308e-05,9.377137e-05,9.473335e-05,9.616331e-05,9.785829e-05,9.851116e-05,1.008136e-04,1.009047e-04,1.030695e-04,1.038700e-04,1.052779e-04,1.067520e-04,1.074378e-04,1.095487e-04,1.116098e-04,1.122588e-04,1.136208e-04,1.148813e-04,1.155812e-04,1.174153e-04,1.174907e-04,1.193492e-04,1.198604e-04,1.211565e-04,1.222164e-04,1.229128e-04,1.244835e-04,1.246180e-04,1.262723e-04,1.266618e-04,1.278759e-04,1.287519e-04,1.294291e-04,1.307545e-04,1.309322e-04,1.323856e-04,1.326704e-04,1.337898e-04,1.345006e-04,1.351451e-04,1.362462e-04,1.364521e-04,1.377114e-04,1.379084e-04,1.389235e-04,1.394887e-04,1.400891e-04,1.409885e-04,1.412088e-04,1.422832e-04,1.424092e-04,1.433132e-04,1.437524e-04,1.442993e-04,1.450199e-04,1.452423e-04,1.461430e-04,1.462132e-04,1.470021e-04,1.473342e-04,1.478203e-04,1.483846e-04,1.485985e-04,1.493373e-04,1.493661e-04,1.500377e-04,1.502806e-04,1.507004e-04,1.511299e-04,1.513262e-04,1.519159e-04,1.526404e-04,1.533051e-04,1.539120e-04,1.544629e-04,1.549594e-04,1.554035e-04,1.557969e-04,1.561413e-04,1.564385e-04,1.566901e-04,1.568978e-04,1.570632e-04,1.571880e-04,1.572736e-04,1.573218e-04,1.573339e-04,1.573114e-04,1.572558e-04,1.571685e-04,1.570508e-04,1.569041e-04,1.567297e-04,1.565288e-04,1.563028e-04
0.000000e+00,4.173060e-12,1.444909e-11,8.680922e-11,2.783241e-10,4.725772e-10,1.473468e-09,1.534952e-09,3.788140e-09,4.717944e-09,7.885207e-09,1.155267e-08,1.461946e-08,2.394373e-08,2.492372e-08,3.986056e-08,4.426268e-08,6.059631e-08,7.519648e-08,8.835311e-08,1.195469e-07,1.243373e-07,1.696504e-07,1.799167e-07,2.252001e-07,2.583584e-07,2.916368e-07,3.561392e-07,3.693356e-07,4.584190e-07,4.737257e-07,5.588051e-07,6.109407e-07,6.702584e-07,7.671598e-07,7.924330e-07,9.249058e-07,9.414725e-07,1.067201e-06,1.132793e-06,1.218810e-06,1.339934e-06,1.379200e-06,1.547830e-06,1.561660e-06,1.724155e-06,1.796718e-06,1.907633e-06,2.043867e-06,2.097732e-06,2.293929e-06,2.301896e-06,2.495716e-06,2.569633e-06,2.702603e-06,2.845957e-06,2.914117e-06,3.129802e-06,3.349226e-06,3.420162e-06,3.571971e-06,3.716089e-06,3.797644e-06,4.016694e-06,4.025867e-06,4.256285e-06,4.321149e-06,4.488560e-06,4.628682e-06,4.722371e-06,4.938576e-06,4.957419e-06,5.193417e-06,5.250168e-06,5.430098e-06,5.562843e-06,5.667210e-06,5.876037e-06,5.904516e-06,6.141795e-06,6.189229e-06,6.378838e-06,6.501941e-06,6.615450e-06,6.813737e-06,6.851449e-06,7.086666e-06,7.124217e-06,7.320943e-06,7.433018e-06,7.554132e-06,7.739808e-06,7.786096e-06,8.016710e-06,8.044287e-06,8.245856e-06,8.346186e-06,8.473425e-06,8.645261e-06,8.699318e-06,8.923443e-06,8.941294e-06,9.145716e-06,9.234089e-06,9.366060e-06,9.523475e-06,9.584406e-06,9.800690e-06,9.809297e-06,1.001485e-05,1.009142e-05,1.022685e-05,1.036974e-05,1.043662e-05,1.064414e-05,1.084936e-05,1.091454e-05,1.105225e-05,1.118087e-05,1.125279e-05,1.144308e-05,1.145096e-05,1.164672e-05,1.170110e-05,1.184007e-05,1.195492e-05,1.203100e-05,1.220450e-05,1.221949e-05,1.240553e-05,1.244982e-05,1.258913e-05,1.269088e-05,1.277028e-05,1.292767e-05,1.294899e-05,1.312525e-05,1.316021e-05,1.329907e-05,1.338849e-05,1.347045e-05,1.361255e-05,1.363942e-05,1.380597e-05,1.383240e-05,1.397012e-05,1.404807e-05,1.413189e-05,1.425959e-05,1.429128e-05,1.444831e-05,1.446700e-05,1.460301e-05,1.467034e-05,1.475539e-05,1.486965e-05,1.490546e-05,1.505326e-05,1.506498e-05,1.519879e-05,1.525638e-05,1.534208e-05,1.544388e-05,1.548316e-05,1.562204e-05,1.562755e-05,1.575876e-05,1.580744e-05,1.589332e-05,1.598361e-05,1.602576e-05,1.615610e-05,1.632499e-05,1.649031e-05,1.665214e-05,1.681053e-05,1.696554e-05,1.711723e-05,1.726566e-05,1.741089e-05,1.755298e-05,1.769199e-05,1.782797e-05,1.796098e-05,1.809109e-05,1.821835e-05,1.834282e-05,1.846455e-05,1.858361e-05,1.870004e-05,1.881389e-05,1.892524e-05,1.903412e-05,1.914059e-05,1.924470e-05,1.934650e-05
0.000000e+00,4.504156e-17,5.043331e-16,1.785215e-14,1.850032e-13,5.346538e-13,5.144726e-12,5.577602e-12,3.272722e-11,5.003350e-11,1.337083e-10,2.747833e-10,4.262308e-10,1.054983e-09,1.134695e-09,2.635630e-09,3.172816e-09,5.503421e-09,7.999009e-09,1.055231e-08,1.765722e-08,1.887120e-08,3.184740e-08,3.514526e-08,5.117500e-08,6.438482e-08,7.884319e-08,1.101698e-07,1.171022e-07,1.684075e-07,1.779989e-07,2.353478e-07,2.738081e-07,3.205630e-07,4.036489e-07,4.266612e-07,5.561405e-07,5.733616e-07,7.113197e-07,7.882869e-07,8.942830e-07,1.053040e-06,1.106837e-06,1.350483e-06,1.371355e-06,1.626396e-06,1.745997e-06,1.935425e-06,2.178735e-06,2.278090e-06,2.654596e-06,2.670360e-06,3.064852e-06,3.220743e-06,3.508488e-06,3.828920e-06,3.984884e-06,4.493192e-06,5.032372e-06,5.211236e-06,5.601212e-06,5.980216e-06,6.198361e-06,6.796898e-06,6.822354e-06,7.471638e-06,7.657750e-06,8.144593e-06,8.559038e-06,8.839557e-06,9.496910e-06,9.554841e-06,1.028875e-05,1.046747e-05,1.103959e-05,1.146683e-05,1.180569e-05,1.249118e-05,1.258541e-05,1.337715e-05,1.353680e-05,1.417934e-05,1.460011e-05,1.499048e-05,1.567770e-05,1.580912e-05,1.663387e-05,1.676630e-05,1.746338e-05,1.786287e-05,1.829640e-05,1.896453e-05,1.913172e-05,1.996818e-05,2.006858e-05,2.080471e-05,2.117254e-05,2.164029e-05,2.227410e-05,2.247396e-05,2.330482e-05,2.337114e-05,2.413202e-05,2.446170e-05,2.495478e-05,2.554401e-05,2.577237e-05,2.658410e-05,2.661644e-05,2.738934e-05,2.767752e-05,2.818750e-05,2.872594e-05,2.897806e-05,2.976051e-05,3.053439e-05,3.078016e-05,3.129931e-05,3.178397e-05,3.205487e-05,3.277110e-05,3.280074e-05,3.353662e-05,3.374084e-05,3.426223e-05,3.469256e-05,3.497732e-05,3.562574e-05,3.568169e-05,3.637514e-05,3.653993e-05,3.705751e-05,3.743475e-05,3.772867e-05,3.830992e-05,3.838850e-05,3.903690e-05,3.916521e-05,3.967381e-05,4.000044e-05,4.029917e-05,4.081551e-05,4.091294e-05,4.151510e-05,4.161037e-05,4.210565e-05,4.238500e-05,4.268461e-05,4.313943e-05,4.325198e-05,4.380781e-05,4.387374e-05,4.435215e-05,4.458804e-05,4.488506e-05,4.528246e-05,4.540660e-05,4.591686e-05,4.595719e-05,4.641591e-05,4.661242e-05,4.690386e-05,4.724836e-05,4.738081e-05,4.784686e-05,4.786527e-05,4.830213e-05,4.846341e-05,4.874674e-05,4.904305e-05,4.918082e-05,4.960449e-05,5.014804e-05,5.067401e-05,5.118273e-05,5.167454e-05,5.214977e-05,5.260877e-05,5.305190e-05,5.347950e-05,5.389194e-05,5.428956e-05,5.467273e-05,5.504180e-05,5.539713e-05,5.573907e-05,5.606797e-05,5.638418e-05,5.668805e-05,5.697991e-05,5.726011e-05,5.752897e-05,5.778682e-05,5.803398e-05,5.827078e-05,5.849753e-05
0.000000e+00,1.129645e-12,4.502000e-12,3.137621e-11,1.077082e-10,1.875608e-10,6.116380e-10,6.380655e-10,1.621183e-09,2.032510e-09,3.449321e-09,5.112220e-09,6.516827e-09,1.084681e-08,1.130618e-08,1.838314e-08,2.049043e-08,2.836700e-08,3.545743e-08,4.186624e-08,5.706536e-08,5.939507e-08,8.131393e-08,8.624456e-08,1.078213e-07,1.234443e-07,1.389819e-07,1.687305e-07,1.747623e-07,2.150602e-07,2.219176e-07,2.597249e-07,2.826617e-07,3.085710e-07,3.505175e-07,3.613877e-07,4.179474e-07,4.249748e-07,4.780107e-07,5.054853e-07,5.413321e-07,5.914831e-07,6.076642e-07,6.767613e-07,6.824013e-07,7.483823e-07,7.776846e-07,8.222928e-07,8.767991e-07,8.982674e-07,9.760903e-07,9.792387e-07,1.055557e-06,1.084529e-06,1.136472e-06,1.192230e-06,1.218656e-06,1.301936e-06,1.386153e-06,1.413276e-06,1.471159e-06,1.525913e-06,1.556816e-06,1.639540e-06,1.642995e-06,1.729580e-06,1.753881e-06,1.816460e-06,1.868687e-06,1.903534e-06,1.983735e-06,1.990711e-06,2.077904e-06,2.098824e-06,2.165035e-06,2.213774e-06,2.252032e-06,2.328426e-06,2.338829e-06,2.425365e-06,2.442635e-06,2.511584e-06,2.556276e-06,2.597437e-06,2.669235e-06,2.682876e-06,2.767859e-06,2.781412e-06,2.852348e-06,2.892717e-06,2.936308e-06,3.003073e-06,3.019706e-06,3.102514e-06,3.112410e-06,3.184706e-06,3.220669e-06,3.266257e-06,3.327795e-06,3.347147e-06,3.427357e-06,3.433743e-06,3.506868e-06,3.538474e-06,3.585666e-06,3.641952e-06,3.663738e-06,3.741070e-06,3.744148e-06,3.817654e-06,3.845038e-06,3.893478e-06,3.944602e-06,3.968537e-06,4.042821e-06,4.116327e-06,4.139684e-06,4.189049e-06,4.235178e-06,4.260984e-06,4.329297e-06,4.332128e-06,4.402480e-06,4.422036e-06,4.472037e-06,4.513390e-06,4.540800e-06,4.603360e-06,4.608768e-06,4.675942e-06,4.691946e-06,4.742322e-06,4.779150e-06,4.807911e-06,4.864976e-06,4.872710e-06,4.936722e-06,4.949430e-06,4.999950e-06,5.032519e-06,5.062396e-06,5.114250e-06,5.124065e-06,5.184960e-06,5.194631e-06,5.245085e-06,5.273673e-06,5.304445e-06,5.351385e-06,5.363045e-06,5.420888e-06,5.427779e-06,5.477982e-06,5.502867e-06,5.534330e-06,5.576660e-06,5.589939e-06,5.644813e-06,5.649171e-06,5.698959e-06,5.720415e-06,5.752382e-06,5.790403e-06,5.805090e-06,5.857086e-06,5.859152e-06,5.908379e-06,5.926674e-06,5.958975e-06,5.992984e-06,6.008879e-06,6.058098e-06,6.122030e-06,6.184795e-06,6.246409e-06,6.306888e-06,6.366246e-06,6.424499e-06,6.481663e-06,6.537754e-06,6.592786e-06,6.646777e-06,6.699741e-06,6.751694e-06,6.802651e-06,6.852628e-06,6.901640e-06,6.949703e-06,6.996831e-06,7.043040e-06,7.088345e-06,7.132760e-06,7.176300e-06,7.218980e-06,7.260814e-06,7.301816e-06
0.000000e+00,2.418457e-11,7.682511e-11,4.224768e-10,1.302852e-09,2.182556e-09,6.667524e-09,6.942185e-09,1.701367e-08,2.118296e-08,3.546410e-08,5.215375e-08,6.622645e-08,1.095501e-07,1.141421e-07,1.847330e-07,2.056797e-07,2.836029e-07,3.532359e-07,4.157937e-07,5.630357e-07,5.855001e-07,7.961097e-07,8.433892e-07,1.050335e-06,1.200502e-06,1.350321e-06,1.638891e-06,1.697714e-06,2.093696e-06,2.161618e-06,2.539016e-06,2.770410e-06,3.034016e-06,3.465769e-06,3.578653e-06,4.172534e-06,4.247078e-06,4.814949e-06,5.112741e-06,5.504908e-06,6.060325e-06,6.241180e-06,7.022328e-06,7.086712e-06,7.846749e-06,8.188247e-06,8.712701e-06,9.360871e-06,9.618340e-06,1.056174e-05,1.060024e-05,1.154094e-05,1.190182e-05,1.255391e-05,1.326100e-05,1.359864e-05,1.467312e-05,1.577532e-05,1.613356e-05,1.690328e-05,1.763779e-05,1.805504e-05,1.918134e-05,1.922869e-05,2.042236e-05,2.075993e-05,2.163424e-05,2.236937e-05,2.286257e-05,2.400568e-05,2.410563e-05,2.536178e-05,2.566502e-05,2.662941e-05,2.734373e-05,2.790699e-05,2.903832e-05,2.919305e-05,3.048615e-05,3.074549e-05,3.178493e-05,3.246210e-05,3.308808e-05,3.418519e-05,3.439436e-05,3.570255e-05,3.591196e-05,3.701152e-05,3.763977e-05,3.832017e-05,3.936616e-05,3.962746e-05,4.093240e-05,4.108879e-05,4.223405e-05,4.280550e-05,4.353151e-05,4.451425e-05,4.482393e-05,4.611051e-05,4.621316e-05,4.739049e-05,4.790047e-05,4.866314e-05,4.957454e-05,4.992780e-05,5.118380e-05,5.123386e-05,5.243057e-05,5.287703e-05,5.366752e-05,5.450278e-05,5.489414e-05,5.610991e-05,5.731439e-05,5.769736e-05,5.850713e-05,5.926414e-05,5.968774e-05,6.080936e-05,6.085584e-05,6.201109e-05,6.233222e-05,6.315318e-05,6.383198e-05,6.428180e-05,6.530801e-05,6.539669e-05,6.649762e-05,6.675973e-05,6.758435e-05,6.818665e-05,6.865669e-05,6.958831e-05,6.971447e-05,7.075752e-05,7.096436e-05,7.178571e-05,7.231446e-05,7.279892e-05,7.363836e-05,7.379705e-05,7.478000e-05,7.493586e-05,7.574771e-05,7.620678e-05,7.670012e-05,7.745101e-05,7.763720e-05,7.855891e-05,7.866848e-05,7.946524e-05,7.985916e-05,8.035620e-05,8.102305e-05,8.123179e-05,8.209203e-05,8.216018e-05,8.293695e-05,8.327064e-05,8.376660e-05,8.435452e-05,8.458103e-05,8.538030e-05,8.541196e-05,8.616448e-05,8.644310e-05,8.693364e-05,8.744814e-05,8.768787e-05,8.842726e-05,8.938071e-05,9.030871e-05,9.121153e-05,9.208945e-05,9.294275e-05,9.377174e-05,9.457672e-05,9.535804e-05,9.611601e-05,9.685099e-05,9.756332e-05,9.825337e-05,9.892150e-05,9.956806e-05,1.001934e-04,1.007980e-04,1.013822e-04,1.019463e-04,1.024907e-04,1.030158e-04,1.035220e-04,1.040097e-04,1.044793e-04,1.049311e-04
0.000000e+00,8.049997e-16,7.779374e-15,2.042120e-13,1.627409e-12,4.088823e-12,2.781052e-11,2.974171e-11,1.265432e-10,1.779784e-10,3.886197e-10,6.837235e-10,9.621321e-10,1.937017e-09,2.048518e-09,3.905710e-09,4.499773e-09,6.845962e-09,9.097162e-09,1.122570e-08,1.657249e-08,1.742519e-08,2.582332e-08,2.779870e-08,3.677621e-08,4.358937e-08,5.060440e-08,6.464793e-08,6.758754e-08,8.796333e-08,9.155198e-08,1.119280e-07,1.247529e-07,1.396369e-07,1.645789e-07,1.712056e-07,2.067107e-07,2.112380e-07,2.461911e-07,2.648240e-07,2.896505e-07,3.253240e-07,3.370598e-07,3.883601e-07,3.926298e-07,4.434666e-07,4.665515e-07,5.022719e-07,5.468319e-07,5.646501e-07,6.304603e-07,6.331619e-07,6.995499e-07,7.251943e-07,7.717582e-07,8.225564e-07,8.469187e-07,9.248618e-07,1.005417e-06,1.031719e-06,1.088415e-06,1.142738e-06,1.173687e-06,1.257537e-06,1.261071e-06,1.350406e-06,1.375748e-06,1.441538e-06,1.497017e-06,1.534317e-06,1.621006e-06,1.628601e-06,1.724253e-06,1.747398e-06,1.821141e-06,1.875892e-06,1.919142e-06,2.006207e-06,2.018135e-06,2.118010e-06,2.138082e-06,2.218660e-06,2.271270e-06,2.319984e-06,2.405546e-06,2.421886e-06,2.524276e-06,2.540698e-06,2.627071e-06,2.676532e-06,2.730189e-06,2.812865e-06,2.833555e-06,2.937098e-06,2.949532e-06,3.040752e-06,3.086378e-06,3.144454e-06,3.223262e-06,3.248144e-06,3.351767e-06,3.360053e-06,3.455272e-06,3.496630e-06,3.558609e-06,3.632882e-06,3.661732e-06,3.764599e-06,3.768708e-06,3.867169e-06,3.904015e-06,3.969405e-06,4.038716e-06,4.071271e-06,4.172734e-06,4.273763e-06,4.305996e-06,4.374330e-06,4.438438e-06,4.474408e-06,4.569999e-06,4.573971e-06,4.672997e-06,4.700624e-06,4.771462e-06,4.830265e-06,4.869349e-06,4.958876e-06,4.966636e-06,5.063308e-06,5.086416e-06,5.159348e-06,5.212849e-06,5.254741e-06,5.338140e-06,5.349473e-06,5.443532e-06,5.462262e-06,5.536906e-06,5.585186e-06,5.629585e-06,5.706890e-06,5.721558e-06,5.812817e-06,5.827352e-06,5.903355e-06,5.946554e-06,5.993162e-06,6.064479e-06,6.082234e-06,6.170565e-06,6.181114e-06,6.258148e-06,6.296447e-06,6.344980e-06,6.410467e-06,6.431057e-06,6.516375e-06,6.523167e-06,6.600931e-06,6.634540e-06,6.684724e-06,6.744581e-06,6.767751e-06,6.850011e-06,6.853285e-06,6.931502e-06,6.960651e-06,7.012225e-06,7.066677e-06,7.092178e-06,7.171363e-06,7.274710e-06,7.376721e-06,7.477397e-06,7.576743e-06,7.674762e-06,7.771461e-06,7.866844e-06,7.960919e-06,8.053693e-06,8.145172e-06,8.235365e-06,8.324281e-06,8.411928e-06,8.498315e-06,8.583453e-06,8.667352e-06,8.750021e-06,8.831471e-06,8.911713e-06,8.990757e-06,9.068616e-06,9.145300e-06,9.220821e-06,9.295191e-06
0.000000e+00,4.957973e-16,4.740649e-15,1.215748e-13,9.470944e-13,2.348695e-12,1.541688e-11,1.646272e-11,6.744426e-11,9.385155e-11,1.993751e-10,3.428524e-10,4.752041e-10,9.243077e-10,9.746251e-10,1.792045e-09,2.047248e-09,3.035168e-09,3.961305e-09,4.823131e-09,6.947275e-09,7.281932e-09,1.053546e-08,1.129159e-08,1.469361e-08,1.724290e-08,1.984191e-08,2.497379e-08,2.603678e-08,3.330668e-08,3.457026e-08,4.165707e-08,4.604611e-08,5.107620e-08,5.936518e-08,6.154007e-08,7.301594e-08,7.445924e-08,8.546444e-08,9.123859e-08,9.884098e-08,1.095978e-07,1.130965e-07,1.281783e-07,1.294189e-07,1.440304e-07,1.505740e-07,1.605946e-07,1.729282e-07,1.778111e-07,1.956192e-07,1.963429e-07,2.139582e-07,2.206787e-07,2.327684e-07,2.457985e-07,2.519913e-07,2.715708e-07,2.914530e-07,2.978709e-07,3.115873e-07,3.245834e-07,3.319261e-07,3.516028e-07,3.524253e-07,3.730441e-07,3.788336e-07,3.937451e-07,4.061908e-07,4.144942e-07,4.335992e-07,4.352605e-07,4.560161e-07,4.609931e-07,4.767362e-07,4.883154e-07,4.973983e-07,5.155171e-07,5.179825e-07,5.384714e-07,5.425563e-07,5.588492e-07,5.693972e-07,5.791024e-07,5.960098e-07,5.992188e-07,6.191878e-07,6.223686e-07,6.390004e-07,6.484524e-07,6.586483e-07,6.742435e-07,6.781248e-07,6.974237e-07,6.997274e-07,7.165399e-07,7.248920e-07,7.354691e-07,7.497277e-07,7.542073e-07,7.727515e-07,7.742266e-07,7.910990e-07,7.983825e-07,8.092477e-07,8.221906e-07,8.271958e-07,8.449419e-07,8.456475e-07,8.624849e-07,8.687506e-07,8.798242e-07,8.914983e-07,8.969593e-07,9.138899e-07,9.306160e-07,9.359252e-07,9.471377e-07,9.576046e-07,9.634555e-07,9.789292e-07,9.795699e-07,9.954814e-07,9.999004e-07,1.011191e-06,1.020520e-06,1.026699e-06,1.040790e-06,1.042008e-06,1.057117e-06,1.060714e-06,1.072029e-06,1.080293e-06,1.086744e-06,1.099532e-06,1.101264e-06,1.115590e-06,1.118432e-06,1.129724e-06,1.136998e-06,1.143667e-06,1.155233e-06,1.157422e-06,1.170988e-06,1.173141e-06,1.184369e-06,1.190726e-06,1.197565e-06,1.207991e-06,1.210580e-06,1.223413e-06,1.224941e-06,1.236067e-06,1.241579e-06,1.248545e-06,1.257910e-06,1.260847e-06,1.272975e-06,1.273938e-06,1.284932e-06,1.289667e-06,1.296719e-06,1.305102e-06,1.308338e-06,1.319791e-06,1.320246e-06,1.331080e-06,1.335104e-06,1.342206e-06,1.349680e-06,1.353172e-06,1.363979e-06,1.378005e-06,1.391761e-06,1.405253e-06,1.418485e-06,1.431460e-06,1.444183e-06,1.456659e-06,1.468890e-06,1.480882e-06,1.492638e-06,1.504162e-06,1.515459e-06,1.526531e-06,1.537384e-06,1.548021e-06,1.558445e-06,1.568661e-06,1.578671e-06,1.588480e-06,1.598092e-06,1.607509e-06,1.616735e-06,1.625774e-06,1.634628e-06
0.000000e+00,6.872913e-15,5.872700e-14,1.219538e-12,8.043995e-12,1.839317e-11,1.010240e-10,1.071953e-10,3.838060e-10,5.180782e-10,1.030213e-09,1.696008e-09,2.294534e-09,4.273169e-09,4.491889e-09,8.005755e-09,9.093664e-09,1.328596e-08,1.720075e-08,2.083639e-08,2.977835e-08,3.118520e-08,4.483880e-08,4.800621e-08,6.223452e-08,7.287588e-08,8.371117e-08,1.050798e-07,1.095034e-07,1.397523e-07,1.450109e-07,1.745212e-07,1.928180e-07,2.138105e-07,2.484638e-07,2.575693e-07,3.057049e-07,3.117695e-07,3.580903e-07,3.824472e-07,4.145706e-07,4.601262e-07,4.749690e-07,5.390914e-07,5.443760e-07,6.067318e-07,6.347253e-07,6.776761e-07,7.306791e-07,7.517057e-07,8.286007e-07,8.317329e-07,9.081423e-07,9.373836e-07,9.901154e-07,1.047138e-06,1.074310e-06,1.160521e-06,1.248553e-06,1.277076e-06,1.338216e-06,1.396373e-06,1.429331e-06,1.518007e-06,1.521725e-06,1.615237e-06,1.641599e-06,1.709710e-06,1.766795e-06,1.805000e-06,1.893271e-06,1.900971e-06,1.997491e-06,2.020725e-06,2.094442e-06,2.148879e-06,2.191709e-06,2.277481e-06,2.289186e-06,2.386775e-06,2.406297e-06,2.484382e-06,2.535116e-06,2.581922e-06,2.663745e-06,2.679315e-06,2.776486e-06,2.792008e-06,2.873367e-06,2.919748e-06,2.969894e-06,3.046821e-06,3.066008e-06,3.161654e-06,3.173098e-06,3.256782e-06,3.298463e-06,3.351347e-06,3.422813e-06,3.445306e-06,3.538620e-06,3.546057e-06,3.631255e-06,3.668111e-06,3.723177e-06,3.788904e-06,3.814358e-06,3.904771e-06,3.908372e-06,3.994393e-06,4.026459e-06,4.083202e-06,4.143118e-06,4.171180e-06,4.258308e-06,4.344573e-06,4.371993e-06,4.429961e-06,4.484144e-06,4.514461e-06,4.594737e-06,4.598064e-06,4.680761e-06,4.703753e-06,4.762545e-06,4.811175e-06,4.843412e-06,4.916995e-06,4.923356e-06,5.002376e-06,5.021203e-06,5.080469e-06,5.123796e-06,5.157634e-06,5.224772e-06,5.233872e-06,5.309182e-06,5.324133e-06,5.383568e-06,5.421883e-06,5.457030e-06,5.518027e-06,5.529573e-06,5.601199e-06,5.612574e-06,5.671913e-06,5.705534e-06,5.741721e-06,5.796917e-06,5.810626e-06,5.878635e-06,5.886737e-06,5.945755e-06,5.975007e-06,6.011990e-06,6.061743e-06,6.077349e-06,6.141839e-06,6.146961e-06,6.205466e-06,6.230677e-06,6.268239e-06,6.312911e-06,6.330165e-06,6.391253e-06,6.393679e-06,6.451510e-06,6.473002e-06,6.510946e-06,6.550897e-06,6.569569e-06,6.627387e-06,6.702489e-06,6.776226e-06,6.848617e-06,6.919684e-06,6.989447e-06,7.057927e-06,7.125146e-06,7.191124e-06,7.255882e-06,7.319441e-06,7.381822e-06,7.443046e-06,7.503133e-06,7.562102e-06,7.619976e-06,7.676772e-06,7.732512e-06,7.787214e-06,7.840897e-06,7.893581e-06,7.945285e-06,7.996026e-06,8.045824e-06,8.094696e-06
0.000000e+00,8.903721e-13,3.308229e-12,2.134877e-11,7.056474e-11,1.210585e-10,3.834348e-10,3.996005e-10,9.929897e-10,1.238059e-09,2.073014e-09,3.040016e-09,3.848874e-09,6.309881e-09,6.568676e-09,1.051394e-08,1.167593e-08,1.597742e-08,1.980209e-08,2.322752e-08,3.126029e-08,3.248270e-08,4.390807e-08,4.646483e-08,5.762396e-08,6.569072e-08,7.371482e-08,8.910718e-08,9.223514e-08,1.132130e-07,1.167981e-07,1.366521e-07,1.487725e-07,1.625338e-07,1.849719e-07,1.908185e-07,2.214477e-07,2.252773e-07,2.543463e-07,2.695182e-07,2.894252e-07,3.174814e-07,3.265832e-07,3.657103e-07,3.689221e-07,4.066896e-07,4.235729e-07,4.494000e-07,4.811540e-07,4.937179e-07,5.395197e-07,5.413809e-07,5.866825e-07,6.039711e-07,6.350862e-07,6.686497e-07,6.846139e-07,7.351533e-07,7.865969e-07,8.032330e-07,8.388425e-07,8.726558e-07,8.917936e-07,9.432061e-07,9.453594e-07,9.994549e-07,1.014686e-06,1.054001e-06,1.086913e-06,1.108923e-06,1.159725e-06,1.164153e-06,1.219628e-06,1.232971e-06,1.275288e-06,1.306519e-06,1.331081e-06,1.380248e-06,1.386956e-06,1.442868e-06,1.454051e-06,1.498775e-06,1.527832e-06,1.554640e-06,1.601507e-06,1.610426e-06,1.666102e-06,1.674998e-06,1.721638e-06,1.748239e-06,1.777009e-06,1.821170e-06,1.832190e-06,1.887159e-06,1.893740e-06,1.941895e-06,1.965901e-06,1.996381e-06,2.037613e-06,2.050600e-06,2.104537e-06,2.108839e-06,2.158179e-06,2.179550e-06,2.211513e-06,2.249717e-06,2.264529e-06,2.317216e-06,2.319317e-06,2.369567e-06,2.388329e-06,2.421572e-06,2.456735e-06,2.473226e-06,2.524521e-06,2.575453e-06,2.591673e-06,2.626016e-06,2.658182e-06,2.676207e-06,2.724037e-06,2.726022e-06,2.775458e-06,2.789231e-06,2.824512e-06,2.853760e-06,2.873182e-06,2.917619e-06,2.921468e-06,2.969366e-06,2.980804e-06,3.016877e-06,3.043314e-06,3.064000e-06,3.105147e-06,3.110735e-06,3.157081e-06,3.166303e-06,3.203039e-06,3.226784e-06,3.248609e-06,3.286590e-06,3.293793e-06,3.338591e-06,3.345723e-06,3.383004e-06,3.404186e-06,3.427033e-06,3.461982e-06,3.470681e-06,3.513948e-06,3.519115e-06,3.556837e-06,3.575588e-06,3.599348e-06,3.631407e-06,3.641485e-06,3.683250e-06,3.686575e-06,3.724644e-06,3.741098e-06,3.765670e-06,3.794982e-06,3.806330e-06,3.846627e-06,3.848231e-06,3.886563e-06,3.900852e-06,3.926141e-06,3.952851e-06,3.965364e-06,4.004233e-06,4.055006e-06,4.105175e-06,4.154747e-06,4.203728e-06,4.252126e-06,4.299948e-06,4.347199e-06,4.393886e-06,4.440018e-06,4.485600e-06,4.530640e-06,4.575144e-06,4.619119e-06,4.662572e-06,4.705511e-06,4.747941e-06,4.789870e-06,4.831305e-06,4.872252e-06,4.912718e-06,4.952709e-06,4.992233e-06,5.031295e-06,5.069902e-06
0.000000e+00,6.888033e-18,8.075718e-17,3.142652e-15,3.553714e-14,1.077854e-13,1.176829e-12,1.282482e-12,8.550502e-12,1.353938e-11,3.955377e-11,8.743602e-11,1.422909e-10,3.925099e-10,4.261104e-10,1.109769e-09,1.372470e-09,2.589222e-09,3.997863e-09,5.525479e-09,1.012231e-08,1.094963e-08,2.037902e-08,2.292037e-08,3.593658e-08,4.736029e-08,6.046446e-08,9.065260e-08,9.762359e-08,1.519716e-07,1.626167e-07,2.290139e-07,2.759192e-07,3.352238e-07,4.461518e-07,4.780275e-07,6.657577e-07,6.917313e-07,9.075721e-07,1.033626e-06,1.213343e-06,1.494915e-06,1.593519e-06,2.058967e-06,2.100218e-06,2.620791e-06,2.875008e-06,3.290150e-06,3.844868e-06,4.078057e-06,4.995191e-06,5.034711e-06,6.051707e-06,6.468018e-06,7.257055e-06,8.166125e-06,8.619821e-06,1.014758e-05,1.184677e-05,1.242760e-05,1.372259e-05,1.501767e-05,1.577894e-05,1.792523e-05,1.801834e-05,2.044192e-05,2.115353e-05,2.304942e-05,2.470158e-05,2.583921e-05,2.856427e-05,2.880830e-05,3.195243e-05,3.273249e-05,3.526615e-05,3.719348e-05,3.874285e-05,4.193114e-05,4.237491e-05,4.615381e-05,4.692640e-05,5.007018e-05,5.215771e-05,5.411398e-05,5.760151e-05,5.827461e-05,6.254096e-05,6.323263e-05,6.690161e-05,6.902480e-05,7.134488e-05,7.495105e-05,7.585895e-05,8.043197e-05,8.098413e-05,8.505213e-05,8.709692e-05,8.970775e-05,9.326269e-05,9.438740e-05,9.907987e-05,9.945550e-05,1.037743e-04,1.056503e-04,1.084604e-04,1.118234e-04,1.131279e-04,1.177674e-04,1.179523e-04,1.223699e-04,1.240161e-04,1.269269e-04,1.299955e-04,1.314303e-04,1.358727e-04,1.402473e-04,1.416318e-04,1.445478e-04,1.472585e-04,1.487684e-04,1.527402e-04,1.529039e-04,1.569496e-04,1.580658e-04,1.609015e-04,1.632260e-04,1.647558e-04,1.682129e-04,1.685095e-04,1.721597e-04,1.730201e-04,1.757043e-04,1.776425e-04,1.791415e-04,1.820762e-04,1.824698e-04,1.856882e-04,1.863186e-04,1.887960e-04,1.903682e-04,1.917929e-04,1.942246e-04,1.946789e-04,1.974541e-04,1.978879e-04,2.001192e-04,2.013595e-04,2.026748e-04,2.046412e-04,2.051220e-04,2.074620e-04,2.077356e-04,2.096960e-04,2.106458e-04,2.118257e-04,2.133754e-04,2.138527e-04,2.157788e-04,2.159286e-04,2.176059e-04,2.183095e-04,2.193361e-04,2.205231e-04,2.209715e-04,2.225143e-04,2.225741e-04,2.239666e-04,2.244678e-04,2.253309e-04,2.262094e-04,2.266093e-04,2.278043e-04,2.292580e-04,2.305759e-04,2.317636e-04,2.328265e-04,2.337700e-04,2.345995e-04,2.353204e-04,2.359377e-04,2.364565e-04,2.368819e-04,2.372185e-04,2.374712e-04,2.376444e-04,2.377426e-04,2.377700e-04,2.377308e-04,2.376288e-04,2.374678e-04,2.372517e-04,2.369837e-04,2.366674e-04,2.363059e-04,2.359022e-04,2.354594e-04
0.000000e+00,5.939484e-14,4.201534e-13,6.280020e-12,3.273805e-11,6.723520e-11,2.960044e-10,3.117193e-10,9.529709e-10,1.241452e-09,2.281935e-09,3.557282e-09,4.660796e-09,8.143726e-09,8.517853e-09,1.434316e-08,1.609376e-08,2.268365e-08,2.867349e-08,3.413548e-08,4.728789e-08,4.933024e-08,6.891149e-08,7.340968e-08,9.350151e-08,1.084583e-07,1.236646e-07,1.536609e-07,1.598785e-07,2.025204e-07,2.099595e-07,2.518671e-07,2.779923e-07,3.081023e-07,3.581205e-07,3.713268e-07,4.415684e-07,4.504678e-07,5.187903e-07,5.549571e-07,6.028991e-07,6.713415e-07,6.937521e-07,7.911640e-07,7.992339e-07,8.949137e-07,9.381327e-07,1.004750e-06,1.087447e-06,1.120397e-06,1.241563e-06,1.246520e-06,1.367938e-06,1.414648e-06,1.499208e-06,1.591103e-06,1.635050e-06,1.775142e-06,1.919162e-06,1.966026e-06,2.066792e-06,2.163026e-06,2.217721e-06,2.365432e-06,2.371643e-06,2.528264e-06,2.572562e-06,2.687298e-06,2.783762e-06,2.848470e-06,2.998410e-06,3.011517e-06,3.176187e-06,3.215922e-06,3.342239e-06,3.435746e-06,3.509444e-06,3.657366e-06,3.677586e-06,3.846459e-06,3.880304e-06,4.015868e-06,4.104111e-06,4.185630e-06,4.328377e-06,4.355573e-06,4.525533e-06,4.552718e-06,4.695359e-06,4.776785e-06,4.864906e-06,5.000254e-06,5.034042e-06,5.202641e-06,5.222831e-06,5.370586e-06,5.444246e-06,5.537768e-06,5.664254e-06,5.704086e-06,5.869446e-06,5.882631e-06,6.033761e-06,6.099176e-06,6.196951e-06,6.313708e-06,6.358940e-06,6.519660e-06,6.526061e-06,6.679048e-06,6.736091e-06,6.837047e-06,6.943665e-06,6.993604e-06,7.148670e-06,7.302202e-06,7.351002e-06,7.454160e-06,7.550572e-06,7.604510e-06,7.747303e-06,7.753219e-06,7.900259e-06,7.941128e-06,8.045606e-06,8.131991e-06,8.189237e-06,8.319845e-06,8.331133e-06,8.471279e-06,8.504652e-06,8.609660e-06,8.686379e-06,8.746267e-06,8.865005e-06,8.881089e-06,9.014121e-06,9.040512e-06,9.145358e-06,9.212891e-06,9.274797e-06,9.382135e-06,9.402436e-06,9.528277e-06,9.548245e-06,9.652322e-06,9.711227e-06,9.774574e-06,9.871088e-06,9.895038e-06,1.001372e-05,1.002784e-05,1.013063e-05,1.018151e-05,1.024577e-05,1.033210e-05,1.035916e-05,1.047080e-05,1.047965e-05,1.058070e-05,1.062418e-05,1.068888e-05,1.076571e-05,1.079535e-05,1.090013e-05,1.090428e-05,1.100322e-05,1.103992e-05,1.110464e-05,1.117266e-05,1.120440e-05,1.130253e-05,1.142958e-05,1.155384e-05,1.167535e-05,1.179414e-05,1.191027e-05,1.202376e-05,1.213466e-05,1.224302e-05,1.234886e-05,1.245225e-05,1.255321e-05,1.265179e-05,1.274803e-05,1.284198e-05,1.293367e-05,1.302315e-05,1.311046e-05,1.319564e-05,1.327873e-05,1.335978e-05,1.343882e-05,1.351589e-05,1.359104e-05,1.366429e-05
0.000000e+00,3.082594e-12,9.555660e-12,5.117252e-11,1.557609e-10,2.596023e-10,7.854314e-10,8.175240e-10,1.990051e-09,2.473827e-09,4.126704e-09,6.053043e-09,7.674782e-09,1.266360e-08,1.319266e-08,2.135067e-08,2.378404e-08,3.289967e-08,4.113330e-08,4.859805e-08,6.638921e-08,6.912748e-08,9.504491e-08,1.009148e-07,1.267803e-07,1.456930e-07,1.646573e-07,2.013970e-07,2.089147e-07,2.597231e-07,2.684686e-07,3.171953e-07,3.471690e-07,3.813931e-07,4.376053e-07,4.523315e-07,5.299819e-07,5.397481e-07,6.142757e-07,6.534436e-07,7.051072e-07,7.784270e-07,8.023371e-07,9.057961e-07,9.143362e-07,1.015289e-06,1.060727e-06,1.130597e-06,1.217088e-06,1.251485e-06,1.377701e-06,1.382857e-06,1.508983e-06,1.557433e-06,1.645061e-06,1.740193e-06,1.785660e-06,1.930500e-06,2.079305e-06,2.127715e-06,2.231798e-06,2.331202e-06,2.387705e-06,2.540341e-06,2.546760e-06,2.708699e-06,2.754524e-06,2.873269e-06,2.973170e-06,3.040221e-06,3.195715e-06,3.209316e-06,3.380324e-06,3.421626e-06,3.553024e-06,3.650394e-06,3.727201e-06,3.881538e-06,3.902653e-06,4.079185e-06,4.114604e-06,4.256611e-06,4.349166e-06,4.434753e-06,4.584824e-06,4.613444e-06,4.792523e-06,4.821202e-06,4.971839e-06,5.057952e-06,5.151247e-06,5.294749e-06,5.330612e-06,5.509804e-06,5.531289e-06,5.688702e-06,5.767293e-06,5.867190e-06,6.002501e-06,6.045162e-06,6.222514e-06,6.236673e-06,6.399152e-06,6.469586e-06,6.574984e-06,6.701038e-06,6.749928e-06,6.923903e-06,6.930841e-06,7.096836e-06,7.158823e-06,7.268657e-06,7.384828e-06,7.439302e-06,7.608712e-06,7.776829e-06,7.830345e-06,7.943602e-06,8.049609e-06,8.108983e-06,8.266398e-06,8.272928e-06,8.435395e-06,8.480616e-06,8.596347e-06,8.692176e-06,8.755749e-06,8.901003e-06,8.913570e-06,9.069780e-06,9.107028e-06,9.224354e-06,9.310192e-06,9.377268e-06,9.510442e-06,9.528501e-06,9.678033e-06,9.707734e-06,9.825849e-06,9.902030e-06,9.971933e-06,1.009330e-05,1.011627e-05,1.025886e-05,1.028151e-05,1.039968e-05,1.046664e-05,1.053873e-05,1.064869e-05,1.067600e-05,1.081149e-05,1.082763e-05,1.094519e-05,1.100346e-05,1.107711e-05,1.117617e-05,1.120724e-05,1.133558e-05,1.134577e-05,1.146214e-05,1.151226e-05,1.158691e-05,1.167565e-05,1.170991e-05,1.183114e-05,1.183595e-05,1.195059e-05,1.199316e-05,1.206829e-05,1.214731e-05,1.218422e-05,1.229842e-05,1.244649e-05,1.259156e-05,1.273365e-05,1.287278e-05,1.300897e-05,1.314226e-05,1.327267e-05,1.340024e-05,1.352499e-05,1.364696e-05,1.376617e-05,1.388267e-05,1.399648e-05,1.410765e-05,1.421619e-05,1.432216e-05,1.442558e-05,1.452649e-05,1.462493e-05,1.472093e-05,1.481452e-05,1.490576e-05,1.499466e-05,1.508127e-05
0.000000e+00,1.271281e-15,1.203082e-14,3.032325e-13,2.336625e-12,5.771645e-12,3.774967e-11,4.031281e-11,1.661873e-10,2.320183e-10,4.984442e-10,8.675527e-10,1.213672e-09,2.419586e-09,2.557274e-09,4.852104e-09,5.587921e-09,8.506582e-09,1.132781e-08,1.401402e-08,2.083537e-08,2.193206e-08,3.284041e-08,3.543050e-08,4.729168e-08,5.637200e-08,6.577505e-08,8.471950e-08,8.870069e-08,1.164007e-07,1.212942e-07,1.491379e-07,1.667026e-07,1.871153e-07,2.213733e-07,2.304840e-07,2.793488e-07,2.855852e-07,3.337712e-07,3.594847e-07,3.937729e-07,4.430969e-07,4.593375e-07,5.304129e-07,5.363347e-07,6.069141e-07,6.390089e-07,6.887258e-07,7.508397e-07,7.757059e-07,8.676888e-07,8.714696e-07,9.644885e-07,1.000477e-06,1.065902e-06,1.137390e-06,1.171715e-06,1.281700e-06,1.395625e-06,1.432874e-06,1.513252e-06,1.590366e-06,1.634342e-06,1.753623e-06,1.758655e-06,1.885954e-06,1.922101e-06,2.016005e-06,2.095261e-06,2.148579e-06,2.272584e-06,2.283453e-06,2.420410e-06,2.453567e-06,2.559242e-06,2.637731e-06,2.699746e-06,2.824620e-06,2.841730e-06,2.985009e-06,3.013804e-06,3.129406e-06,3.204878e-06,3.274753e-06,3.397462e-06,3.420891e-06,3.567667e-06,3.591201e-06,3.714940e-06,3.785766e-06,3.862572e-06,3.980851e-06,4.010437e-06,4.158413e-06,4.176172e-06,4.306386e-06,4.371466e-06,4.454251e-06,4.566494e-06,4.601907e-06,4.749260e-06,4.761033e-06,4.896222e-06,4.954878e-06,5.042710e-06,5.147846e-06,5.188649e-06,5.333965e-06,5.339764e-06,5.478593e-06,5.530478e-06,5.622469e-06,5.719847e-06,5.765537e-06,5.907743e-06,6.049037e-06,6.094051e-06,6.189373e-06,6.278667e-06,6.328710e-06,6.461496e-06,6.467008e-06,6.604231e-06,6.642457e-06,6.740347e-06,6.821473e-06,6.875327e-06,6.998480e-06,7.009142e-06,7.141768e-06,7.173418e-06,7.273183e-06,7.346238e-06,7.403367e-06,7.516896e-06,7.532301e-06,7.659971e-06,7.685352e-06,7.786363e-06,7.851576e-06,7.911463e-06,8.015541e-06,8.035261e-06,8.157749e-06,8.177225e-06,8.278918e-06,8.336610e-06,8.398764e-06,8.493683e-06,8.517280e-06,8.634464e-06,8.648436e-06,8.750312e-06,8.800862e-06,8.864824e-06,8.950959e-06,8.977999e-06,9.089838e-06,9.098728e-06,9.200343e-06,9.244171e-06,9.309514e-06,9.387295e-06,9.417357e-06,9.523874e-06,9.528107e-06,9.629070e-06,9.666619e-06,9.732951e-06,9.802841e-06,9.835521e-06,9.936787e-06,1.006847e-05,1.019792e-05,1.032514e-05,1.045015e-05,1.057298e-05,1.069364e-05,1.081216e-05,1.092857e-05,1.104287e-05,1.115511e-05,1.126530e-05,1.137347e-05,1.147964e-05,1.158384e-05,1.168610e-05,1.178644e-05,1.188489e-05,1.198148e-05,1.207622e-05,1.216916e-05,1.226031e-05,1.234970e-05,1.243736e-05,1.252331e-05
0.000000e+00,3.920344e-12,1.321194e-11,7.726117e-11,2.449574e-10,4.144219e-10,1.286003e-09,1.339540e-09,3.304209e-09,4.116771e-09,6.892820e-09,1.012219e-08,1.283400e-08,2.113549e-08,2.201248e-08,3.546818e-08,3.946121e-08,5.435916e-08,6.775619e-08,7.986937e-08,1.086597e-07,1.130838e-07,1.548970e-07,1.643550e-07,2.059908e-07,2.363975e-07,2.668585e-07,3.257926e-07,3.378394e-07,4.191476e-07,4.331239e-07,5.108929e-07,5.586468e-07,6.130952e-07,7.023496e-07,7.256966e-07,8.485708e-07,8.639978e-07,9.815321e-07,1.043171e-06,1.124344e-06,1.239299e-06,1.276728e-06,1.438368e-06,1.451689e-06,1.608923e-06,1.679561e-06,1.788029e-06,1.922067e-06,1.975305e-06,2.170361e-06,2.178320e-06,2.372800e-06,2.447408e-06,2.582220e-06,2.728410e-06,2.798223e-06,3.020413e-06,3.248398e-06,3.322514e-06,3.481793e-06,3.633832e-06,3.720224e-06,3.953515e-06,3.963324e-06,4.210738e-06,4.280739e-06,4.462119e-06,4.614713e-06,4.717134e-06,4.954681e-06,4.975462e-06,5.236791e-06,5.299923e-06,5.500824e-06,5.649755e-06,5.767273e-06,6.003528e-06,6.035863e-06,6.306331e-06,6.360627e-06,6.578425e-06,6.720475e-06,6.851903e-06,7.082527e-06,7.126537e-06,7.402105e-06,7.446269e-06,7.678400e-06,7.811221e-06,7.955222e-06,8.176931e-06,8.232381e-06,8.509698e-06,8.542979e-06,8.787002e-06,8.908969e-06,9.064130e-06,9.274536e-06,9.340930e-06,9.617255e-06,9.639336e-06,9.892969e-06,1.000305e-05,1.016794e-05,1.036539e-05,1.044205e-05,1.071518e-05,1.072608e-05,1.098722e-05,1.108487e-05,1.125807e-05,1.144152e-05,1.152764e-05,1.179583e-05,1.206256e-05,1.214759e-05,1.232776e-05,1.249664e-05,1.259134e-05,1.284280e-05,1.285324e-05,1.311340e-05,1.318592e-05,1.337176e-05,1.352589e-05,1.362826e-05,1.386256e-05,1.388286e-05,1.413550e-05,1.419584e-05,1.438615e-05,1.452563e-05,1.463477e-05,1.485185e-05,1.488132e-05,1.512577e-05,1.517441e-05,1.536810e-05,1.549325e-05,1.560827e-05,1.580833e-05,1.584626e-05,1.608206e-05,1.611958e-05,1.631564e-05,1.642697e-05,1.654700e-05,1.673047e-05,1.677612e-05,1.700298e-05,1.703005e-05,1.722759e-05,1.732570e-05,1.744993e-05,1.761740e-05,1.767001e-05,1.788781e-05,1.790514e-05,1.810334e-05,1.818892e-05,1.831660e-05,1.846874e-05,1.852759e-05,1.873632e-05,1.874462e-05,1.894278e-05,1.901656e-05,1.914699e-05,1.928457e-05,1.934896e-05,1.954868e-05,1.980891e-05,2.006529e-05,2.031783e-05,2.056657e-05,2.081155e-05,2.105280e-05,2.129034e-05,2.152423e-05,2.175450e-05,2.198119e-05,2.220434e-05,2.242400e-05,2.264021e-05,2.285301e-05,2.306245e-05,2.326858e-05,2.347143e-05,2.367107e-05,2.386752e-05,2.406085e-05,2.425110e-05,2.443831e-05,2.462254e-05,2.480382e-05
0.000000e+00,3.355915e-12,1.057443e-11,5.757672e-11,1.764526e-10,2.946858e-10,8.930332e-10,9.295001e-10,2.257073e-09,2.802230e-09,4.654770e-09,6.796804e-09,8.588051e-09,1.404247e-08,1.461670e-08,2.339419e-08,2.598960e-08,3.564757e-08,4.430845e-08,5.212681e-08,7.068226e-08,7.353158e-08,1.004488e-07,1.065356e-07,1.333267e-07,1.528886e-07,1.724818e-07,2.103754e-07,2.181185e-07,2.703490e-07,2.793211e-07,3.292092e-07,3.598108e-07,3.946707e-07,4.517384e-07,4.666500e-07,5.450165e-07,5.548419e-07,6.295991e-07,6.687330e-07,7.201930e-07,7.929223e-07,8.165654e-07,9.184614e-07,9.268436e-07,1.025609e-06,1.069875e-06,1.137724e-06,1.221359e-06,1.254514e-06,1.375684e-06,1.380617e-06,1.500934e-06,1.546967e-06,1.629971e-06,1.719730e-06,1.762502e-06,1.898241e-06,2.036911e-06,2.081859e-06,2.178239e-06,2.269965e-06,2.321967e-06,2.461969e-06,2.467842e-06,2.615624e-06,2.657313e-06,2.765083e-06,2.855472e-06,2.915999e-06,3.055950e-06,3.068164e-06,3.221378e-06,3.258285e-06,3.375454e-06,3.462046e-06,3.530213e-06,3.666833e-06,3.685488e-06,3.841119e-06,3.872275e-06,3.996957e-06,4.078028e-06,4.152862e-06,4.283777e-06,4.308702e-06,4.464352e-06,4.489231e-06,4.619698e-06,4.694123e-06,4.774630e-06,4.898209e-06,4.929047e-06,5.082855e-06,5.101267e-06,5.235966e-06,5.303093e-06,5.388299e-06,5.503504e-06,5.539777e-06,5.690331e-06,5.702333e-06,5.839895e-06,5.899430e-06,5.988411e-06,6.094662e-06,6.135823e-06,6.282080e-06,6.287906e-06,6.427138e-06,6.479057e-06,6.570953e-06,6.668018e-06,6.713488e-06,6.854708e-06,6.994582e-06,7.039052e-06,7.133082e-06,7.220989e-06,7.270183e-06,7.400464e-06,7.405864e-06,7.540105e-06,7.577432e-06,7.672890e-06,7.751856e-06,7.804204e-06,7.923704e-06,7.934036e-06,8.062374e-06,8.092953e-06,8.189213e-06,8.259585e-06,8.314545e-06,8.423588e-06,8.438367e-06,8.560675e-06,8.584955e-06,8.681469e-06,8.743683e-06,8.800748e-06,8.899774e-06,8.918515e-06,9.034773e-06,9.053234e-06,9.149525e-06,9.204072e-06,9.262776e-06,9.352301e-06,9.374533e-06,9.484803e-06,9.497935e-06,9.593593e-06,9.640994e-06,9.700913e-06,9.781498e-06,9.806771e-06,9.911178e-06,9.919468e-06,1.001414e-05,1.005493e-05,1.011568e-05,1.018791e-05,1.021580e-05,1.031452e-05,1.031844e-05,1.041184e-05,1.044654e-05,1.050778e-05,1.057224e-05,1.060236e-05,1.069558e-05,1.081659e-05,1.093530e-05,1.105175e-05,1.116596e-05,1.127798e-05,1.138783e-05,1.149556e-05,1.160120e-05,1.170478e-05,1.180633e-05,1.190591e-05,1.200353e-05,1.209924e-05,1.219306e-05,1.228504e-05,1.237521e-05,1.246360e-05,1.255024e-05,1.263518e-05,1.271844e-05,1.280005e-05,1.288005e-05,1.295847e-05,1.303535e-05
0.000000e+00,8.202248e-12,2.484100e-11,1.290697e-10,3.851712e-10,6.357607e-10,1.877835e-09,1.952646e-09,4.636619e-09,5.722550e-09,9.364898e-09,1.350653e-08,1.692507e-08,2.714029e-08,2.820135e-08,4.415069e-08,4.878397e-08,6.576433e-08,8.070689e-08,9.401360e-08,1.250681e-07,1.297834e-07,1.738018e-07,1.836445e-07,2.265775e-07,2.575757e-07,2.883614e-07,3.472202e-07,3.591421e-07,4.386772e-07,4.521890e-07,5.265462e-07,5.715284e-07,6.222102e-07,7.039467e-07,7.250616e-07,8.344626e-07,8.480003e-07,9.497714e-07,1.002216e-06,1.070359e-06,1.165163e-06,1.195621e-06,1.324984e-06,1.335494e-06,1.457909e-06,1.511962e-06,1.593891e-06,1.693430e-06,1.732466e-06,1.873204e-06,1.878873e-06,2.015709e-06,2.067374e-06,2.159621e-06,2.258116e-06,2.304611e-06,2.450377e-06,2.596650e-06,2.643523e-06,2.743181e-06,2.836993e-06,2.889749e-06,3.030302e-06,3.036152e-06,3.182210e-06,3.223022e-06,3.327759e-06,3.414783e-06,3.472653e-06,3.605265e-06,3.616762e-06,3.759967e-06,3.794190e-06,3.902164e-06,3.981319e-06,4.043259e-06,4.166446e-06,4.183171e-06,4.321824e-06,4.349398e-06,4.459154e-06,4.530024e-06,4.595104e-06,4.708199e-06,4.729624e-06,4.862670e-06,4.883819e-06,4.994205e-06,5.056795e-06,5.124196e-06,5.227058e-06,5.252615e-06,5.379440e-06,5.394551e-06,5.504650e-06,5.559227e-06,5.628231e-06,5.721054e-06,5.750169e-06,5.870456e-06,5.880008e-06,5.989086e-06,6.036072e-06,6.106052e-06,6.189238e-06,6.221355e-06,6.334994e-06,6.339505e-06,6.446971e-06,6.486876e-06,6.557289e-06,6.631361e-06,6.665954e-06,6.772972e-06,6.878351e-06,6.911728e-06,6.982100e-06,7.047648e-06,7.084229e-06,7.180757e-06,7.184747e-06,7.283668e-06,7.311081e-06,7.381003e-06,7.438649e-06,7.476766e-06,7.563490e-06,7.570969e-06,7.663628e-06,7.685638e-06,7.754756e-06,7.805125e-06,7.844369e-06,7.921987e-06,7.932482e-06,8.019111e-06,8.036260e-06,8.104272e-06,8.147981e-06,8.187981e-06,8.257186e-06,8.270254e-06,8.351108e-06,8.363914e-06,8.430560e-06,8.468204e-06,8.508627e-06,8.570095e-06,8.585326e-06,8.660673e-06,8.669624e-06,8.734685e-06,8.766833e-06,8.807381e-06,8.861760e-06,8.878777e-06,8.948890e-06,8.954444e-06,9.017737e-06,9.044925e-06,9.085335e-06,9.133242e-06,9.151701e-06,9.216852e-06,9.219433e-06,9.280805e-06,9.303539e-06,9.343577e-06,9.385596e-06,9.405185e-06,9.465644e-06,9.543719e-06,9.619861e-06,9.694105e-06,9.766489e-06,9.837049e-06,9.905821e-06,9.972839e-06,1.003814e-05,1.010176e-05,1.016373e-05,1.022408e-05,1.028285e-05,1.034006e-05,1.039576e-05,1.044998e-05,1.050273e-05,1.055406e-05,1.060400e-05,1.065257e-05,1.069980e-05,1.074572e-05,1.079036e-05,1.083375e-05,1.087591e-05
0.000000e+00,1.979994e-13,1.157916e-12,1.295715e-11,5.669410e-11,1.084114e-10,4.191661e-10,4.396599e-10,1.247231e-09,1.602202e-09,2.870334e-09,4.420090e-09,5.765339e-09,1.005370e-08,1.051812e-08,1.781700e-08,2.002656e-08,2.835930e-08,3.590851e-08,4.274325e-08,5.894600e-08,6.142725e-08,8.474930e-08,8.999343e-08,1.129574e-07,1.296182e-07,1.462297e-07,1.781808e-07,1.846854e-07,2.283904e-07,2.358722e-07,2.773622e-07,3.027329e-07,3.315732e-07,3.786700e-07,3.909558e-07,4.554070e-07,4.634758e-07,5.247940e-07,5.568480e-07,5.989588e-07,6.584108e-07,6.777238e-07,7.608961e-07,7.677342e-07,8.482720e-07,8.843522e-07,9.396403e-07,1.007777e-06,1.034786e-06,1.133492e-06,1.137511e-06,1.235543e-06,1.273058e-06,1.340724e-06,1.413928e-06,1.448826e-06,1.559644e-06,1.672978e-06,1.709745e-06,1.788636e-06,1.863789e-06,1.906429e-06,2.021353e-06,2.026178e-06,2.147710e-06,2.182036e-06,2.270860e-06,2.345460e-06,2.395468e-06,2.511264e-06,2.521382e-06,2.648457e-06,2.679112e-06,2.776554e-06,2.848685e-06,2.905541e-06,3.019686e-06,3.035292e-06,3.165688e-06,3.191835e-06,3.296615e-06,3.364871e-06,3.427964e-06,3.538549e-06,3.559634e-06,3.691525e-06,3.712643e-06,3.823548e-06,3.886939e-06,3.955612e-06,4.061239e-06,4.087637e-06,4.219544e-06,4.235361e-06,4.351259e-06,4.409134e-06,4.482711e-06,4.582398e-06,4.613835e-06,4.744568e-06,4.755008e-06,4.874853e-06,4.926828e-06,5.004633e-06,5.097732e-06,5.133856e-06,5.262474e-06,5.267606e-06,5.390441e-06,5.436342e-06,5.517714e-06,5.603843e-06,5.644253e-06,5.770018e-06,5.894977e-06,5.934787e-06,6.019094e-06,6.098074e-06,6.142341e-06,6.259811e-06,6.264687e-06,6.386107e-06,6.419935e-06,6.506575e-06,6.578390e-06,6.626069e-06,6.735125e-06,6.744568e-06,6.862053e-06,6.890096e-06,6.978505e-06,7.043261e-06,7.093908e-06,7.194584e-06,7.208248e-06,7.321511e-06,7.344033e-06,7.433684e-06,7.491580e-06,7.544757e-06,7.637200e-06,7.654719e-06,7.763563e-06,7.780874e-06,7.871280e-06,7.922582e-06,7.977863e-06,8.062310e-06,8.083307e-06,8.187608e-06,8.200047e-06,8.290760e-06,8.335783e-06,8.392761e-06,8.469511e-06,8.493609e-06,8.593302e-06,8.601227e-06,8.691838e-06,8.730929e-06,8.789218e-06,8.858616e-06,8.885442e-06,8.980510e-06,8.984289e-06,9.074424e-06,9.107952e-06,9.167187e-06,9.229608e-06,9.258800e-06,9.349266e-06,9.466931e-06,9.582614e-06,9.696323e-06,9.808070e-06,9.917868e-06,1.002573e-05,1.013167e-05,1.023570e-05,1.033783e-05,1.043809e-05,1.053649e-05,1.063305e-05,1.072778e-05,1.082070e-05,1.091184e-05,1.100120e-05,1.108882e-05,1.117470e-05,1.125887e-05,1.134135e-05,1.142216e-05,1.150132e-05,1.157885e-05,1.165477e-05
0.000000e+00,8.064260e-13,3.013046e-12,1.952038e-11,6.451609e-11,1.105970e-10,3.491125e-10,3.637685e-10,8.995262e-10,1.119781e-09,1.866790e-09,2.726488e-09,3.441744e-09,5.599066e-09,5.824383e-09,9.225908e-09,1.021657e-08,1.384515e-08,1.702738e-08,1.984841e-08,2.637934e-08,2.736462e-08,3.648972e-08,3.851423e-08,4.729149e-08,5.358617e-08,5.981268e-08,7.167423e-08,7.407289e-08,9.007012e-08,9.278967e-08,1.077825e-07,1.168827e-07,1.271704e-07,1.438506e-07,1.481789e-07,1.707401e-07,1.735482e-07,1.947764e-07,2.057980e-07,2.202028e-07,2.404015e-07,2.469297e-07,2.748645e-07,2.771486e-07,3.039143e-07,3.158258e-07,3.339872e-07,3.562227e-07,3.649935e-07,3.968464e-07,3.981370e-07,4.294636e-07,4.413777e-07,4.627667e-07,4.857669e-07,4.966822e-07,5.311412e-07,5.660797e-07,5.773515e-07,6.014383e-07,6.242627e-07,6.371620e-07,6.717531e-07,6.732001e-07,7.095059e-07,7.197136e-07,7.460365e-07,7.680462e-07,7.827523e-07,8.166632e-07,8.196171e-07,8.565973e-07,8.654863e-07,8.936625e-07,9.144455e-07,9.307844e-07,9.634778e-07,9.679370e-07,1.005096e-06,1.012527e-06,1.042241e-06,1.061543e-06,1.079350e-06,1.110480e-06,1.116404e-06,1.153387e-06,1.159297e-06,1.190283e-06,1.207958e-06,1.227077e-06,1.256428e-06,1.263754e-06,1.300303e-06,1.304679e-06,1.336711e-06,1.352683e-06,1.372967e-06,1.400415e-06,1.409062e-06,1.444986e-06,1.447852e-06,1.480730e-06,1.494975e-06,1.516286e-06,1.541765e-06,1.551646e-06,1.586803e-06,1.588205e-06,1.621750e-06,1.634279e-06,1.656482e-06,1.679974e-06,1.690993e-06,1.725278e-06,1.759331e-06,1.770178e-06,1.793148e-06,1.814665e-06,1.826724e-06,1.858728e-06,1.860057e-06,1.893142e-06,1.902361e-06,1.925976e-06,1.945554e-06,1.958555e-06,1.988302e-06,1.990878e-06,2.022941e-06,2.030597e-06,2.054742e-06,2.072436e-06,2.086279e-06,2.113812e-06,2.117550e-06,2.148554e-06,2.154722e-06,2.179288e-06,2.195162e-06,2.209751e-06,2.235130e-06,2.239942e-06,2.269860e-06,2.274622e-06,2.299504e-06,2.313636e-06,2.328874e-06,2.352171e-06,2.357968e-06,2.386786e-06,2.390225e-06,2.415327e-06,2.427798e-06,2.443592e-06,2.464888e-06,2.471580e-06,2.499290e-06,2.501495e-06,2.526724e-06,2.537620e-06,2.553881e-06,2.573263e-06,2.580762e-06,2.607366e-06,2.608424e-06,2.633694e-06,2.643105e-06,2.659747e-06,2.677306e-06,2.685525e-06,2.711028e-06,2.744273e-06,2.777044e-06,2.809341e-06,2.841167e-06,2.872524e-06,2.903415e-06,2.933842e-06,2.963807e-06,2.993315e-06,3.022366e-06,3.050966e-06,3.079116e-06,3.106819e-06,3.134081e-06,3.160902e-06,3.187288e-06,3.213242e-06,3.238767e-06,3.263867e-06,3.288545e-06,3.312807e-06,3.336654e-06,3.360092e-06,3.383123e-06
0.000000e+00,7.730081e-17,8.349453e-16,2.742009e-14,2.654987e-13,7.393777e-13,6.471859e-12,6.989677e-12,3.740765e-11,5.579977e-11,1.403105e-10,2.747967e-10,4.133241e-10,9.568212e-10,1.023408e-09,2.225050e-09,2.638830e-09,4.375754e-09,6.165965e-09,7.948450e-09,1.273935e-08,1.353958e-08,2.186932e-08,2.393536e-08,3.376883e-08,4.166823e-08,5.015073e-08,6.807032e-08,7.196463e-08,1.001450e-07,1.053040e-07,1.355611e-07,1.553602e-07,1.789774e-07,2.199013e-07,2.310277e-07,2.922024e-07,3.001745e-07,3.628479e-07,3.969907e-07,4.431726e-07,5.107475e-07,5.332583e-07,6.330723e-07,6.414743e-07,7.424811e-07,7.888844e-07,8.612638e-07,9.524279e-07,9.891241e-07,1.125702e-06,1.131341e-06,1.270585e-06,1.324690e-06,1.423319e-06,1.531415e-06,1.583416e-06,1.750365e-06,1.923638e-06,1.980334e-06,2.102700e-06,2.220089e-06,2.287013e-06,2.468398e-06,2.476043e-06,2.669265e-06,2.724048e-06,2.866167e-06,2.985868e-06,3.066254e-06,3.252735e-06,3.269047e-06,3.474093e-06,3.523590e-06,3.680957e-06,3.797442e-06,3.889230e-06,4.073370e-06,4.098527e-06,4.308487e-06,4.350528e-06,4.518772e-06,4.628144e-06,4.729069e-06,4.905516e-06,4.939089e-06,5.148564e-06,5.182012e-06,5.357247e-06,5.457067e-06,5.564913e-06,5.730175e-06,5.771356e-06,5.976389e-06,6.000890e-06,6.179841e-06,6.268820e-06,6.381560e-06,6.533622e-06,6.581408e-06,6.779261e-06,6.794999e-06,6.975009e-06,7.052696e-06,7.168555e-06,7.306495e-06,7.359813e-06,7.548708e-06,7.556214e-06,7.735176e-06,7.801699e-06,7.919161e-06,8.042829e-06,8.100617e-06,8.279503e-06,8.455789e-06,8.511647e-06,8.629449e-06,8.739204e-06,8.800464e-06,8.962138e-06,8.968821e-06,9.134512e-06,9.180427e-06,9.297533e-06,9.394064e-06,9.457884e-06,9.603055e-06,9.615572e-06,9.770602e-06,9.807416e-06,9.922988e-06,1.000717e-05,1.007274e-05,1.020237e-05,1.021988e-05,1.036443e-05,1.039303e-05,1.050641e-05,1.057922e-05,1.064583e-05,1.076099e-05,1.078273e-05,1.091713e-05,1.093841e-05,1.104906e-05,1.111152e-05,1.117855e-05,1.128041e-05,1.130563e-05,1.143033e-05,1.144513e-05,1.155268e-05,1.160578e-05,1.167271e-05,1.176241e-05,1.179046e-05,1.190596e-05,1.191510e-05,1.201924e-05,1.206394e-05,1.213034e-05,1.220900e-05,1.223929e-05,1.234612e-05,1.235035e-05,1.245088e-05,1.248809e-05,1.255358e-05,1.262227e-05,1.265428e-05,1.275300e-05,1.288033e-05,1.300436e-05,1.312515e-05,1.324279e-05,1.335734e-05,1.346889e-05,1.357750e-05,1.368325e-05,1.378621e-05,1.388644e-05,1.398403e-05,1.407902e-05,1.417150e-05,1.426152e-05,1.434914e-05,1.443444e-05,1.451746e-05,1.459828e-05,1.467694e-05,1.475350e-05,1.482801e-05,1.490054e-05,1.497114e-05,1.503985e-05
0.000000e+00,1.911257e-15,1.892346e-14,5.208683e-13,4.319904e-12,1.107935e-11,7.913956e-11,8.479344e-11,3.765868e-10,5.354234e-10,1.199784e-09,2.153043e-09,3.067729e-09,6.344470e-09,6.724724e-09,1.317009e-08,1.526644e-08,2.365956e-08,3.183879e-08,3.965255e-08,5.950937e-08,6.269800e-08,9.429878e-08,1.017680e-07,1.358076e-07,1.616988e-07,1.883769e-07,2.417798e-07,2.529518e-07,3.302861e-07,3.438848e-07,4.209611e-07,4.693540e-07,5.254012e-07,6.190560e-07,6.438847e-07,7.765494e-07,7.934236e-07,9.233972e-07,9.924748e-07,1.084299e-06,1.215832e-06,1.259001e-06,1.447132e-06,1.462749e-06,1.648216e-06,1.732152e-06,1.861684e-06,2.022686e-06,2.086886e-06,2.323107e-06,2.332774e-06,2.569582e-06,2.660670e-06,2.825509e-06,3.004519e-06,3.090064e-06,3.362410e-06,3.641712e-06,3.732423e-06,3.927146e-06,4.112668e-06,4.217905e-06,4.501317e-06,4.513206e-06,4.812299e-06,4.896626e-06,5.114467e-06,5.296958e-06,5.419029e-06,5.700790e-06,5.725345e-06,6.032816e-06,6.106717e-06,6.340881e-06,6.513463e-06,6.649023e-06,6.919869e-06,6.956761e-06,7.263655e-06,7.324896e-06,7.569301e-06,7.727619e-06,7.873329e-06,8.127218e-06,8.175406e-06,8.475229e-06,8.522972e-06,8.772523e-06,8.914253e-06,9.067044e-06,9.300516e-06,9.358572e-06,9.646913e-06,9.681292e-06,9.931894e-06,1.005618e-05,1.021336e-05,1.042485e-05,1.049119e-05,1.076525e-05,1.078701e-05,1.103546e-05,1.114244e-05,1.130172e-05,1.149095e-05,1.156398e-05,1.182216e-05,1.183240e-05,1.207622e-05,1.216667e-05,1.232613e-05,1.249368e-05,1.257186e-05,1.281340e-05,1.305072e-05,1.312578e-05,1.328384e-05,1.343082e-05,1.351274e-05,1.372854e-05,1.373745e-05,1.395797e-05,1.401897e-05,1.417433e-05,1.430215e-05,1.438655e-05,1.457815e-05,1.459465e-05,1.479866e-05,1.484702e-05,1.499862e-05,1.510885e-05,1.519457e-05,1.536372e-05,1.538655e-05,1.557459e-05,1.561173e-05,1.575874e-05,1.585297e-05,1.593904e-05,1.608755e-05,1.611554e-05,1.628828e-05,1.631557e-05,1.645732e-05,1.653716e-05,1.662270e-05,1.675241e-05,1.678448e-05,1.694270e-05,1.696145e-05,1.709741e-05,1.716439e-05,1.724868e-05,1.736136e-05,1.739654e-05,1.754105e-05,1.755247e-05,1.768226e-05,1.773784e-05,1.782023e-05,1.791759e-05,1.795501e-05,1.808665e-05,1.809185e-05,1.821519e-05,1.826072e-05,1.834070e-05,1.842434e-05,1.846323e-05,1.858282e-05,1.873627e-05,1.888481e-05,1.902856e-05,1.916763e-05,1.930212e-05,1.943216e-05,1.955784e-05,1.967928e-05,1.979658e-05,1.990984e-05,2.001916e-05,2.012465e-05,2.022640e-05,2.032451e-05,2.041907e-05,2.051017e-05,2.059790e-05,2.068236e-05,2.076362e-05,2.084178e-05,2.091691e-05,2.098910e-05,2.105843e-05,2.112497e-05
0.000000e+00,2.885791e-13,1.569485e-12,1.587570e-11,6.559181e-11,1.224985e-10,4.517046e-10,4.729967e-10,1.291454e-09,1.642457e-09,2.868316e-09,4.323289e-09,5.558027e-09,9.372615e-09,9.777249e-09,1.599686e-08,1.784274e-08,2.471783e-08,3.088007e-08,3.643610e-08,4.959923e-08,5.161867e-08,7.069739e-08,7.501626e-08,9.406985e-08,1.080424e-07,1.220993e-07,1.494831e-07,1.551125e-07,1.933967e-07,2.000282e-07,2.371960e-07,2.602388e-07,2.867090e-07,3.305359e-07,3.420861e-07,4.034296e-07,4.111948e-07,4.707932e-07,5.023439e-07,5.441840e-07,6.039704e-07,6.235644e-07,7.088552e-07,7.159306e-07,7.999398e-07,8.379633e-07,8.966678e-07,9.697063e-07,9.988592e-07,1.106309e-06,1.110714e-06,1.218793e-06,1.260473e-06,1.336068e-06,1.418423e-06,1.457881e-06,1.583968e-06,1.714060e-06,1.756491e-06,1.847886e-06,1.935368e-06,1.985173e-06,2.119974e-06,2.125651e-06,2.269055e-06,2.309696e-06,2.415122e-06,2.503935e-06,2.563599e-06,2.702114e-06,2.714239e-06,2.866802e-06,2.903677e-06,3.021058e-06,3.108099e-06,3.176788e-06,3.314880e-06,3.333779e-06,3.491830e-06,3.523550e-06,3.650748e-06,3.733667e-06,3.810351e-06,3.944821e-06,3.970467e-06,4.130930e-06,4.156626e-06,4.291586e-06,4.368726e-06,4.452288e-06,4.580791e-06,4.612900e-06,4.773290e-06,4.792516e-06,4.933338e-06,5.003621e-06,5.092929e-06,5.213846e-06,5.251955e-06,5.410317e-06,5.422955e-06,5.567921e-06,5.630730e-06,5.724679e-06,5.836976e-06,5.880511e-06,6.035339e-06,6.041510e-06,6.189094e-06,6.244170e-06,6.341710e-06,6.444807e-06,6.493126e-06,6.643288e-06,6.792142e-06,6.839492e-06,6.939643e-06,7.033312e-06,7.085745e-06,7.224651e-06,7.230410e-06,7.373600e-06,7.413424e-06,7.515283e-06,7.599556e-06,7.655428e-06,7.782981e-06,7.794009e-06,7.931001e-06,7.963640e-06,8.066382e-06,8.141485e-06,8.200134e-06,8.316474e-06,8.332239e-06,8.462683e-06,8.488571e-06,8.591453e-06,8.657748e-06,8.718538e-06,8.823981e-06,8.843929e-06,8.967620e-06,8.987253e-06,9.089605e-06,9.147551e-06,9.209880e-06,9.304867e-06,9.328442e-06,9.445291e-06,9.459198e-06,9.560426e-06,9.610543e-06,9.673849e-06,9.758906e-06,9.785562e-06,9.895568e-06,9.904295e-06,1.000387e-05,1.004672e-05,1.011048e-05,1.018619e-05,1.021540e-05,1.031863e-05,1.032273e-05,1.042019e-05,1.045635e-05,1.052009e-05,1.058707e-05,1.061832e-05,1.071491e-05,1.083990e-05,1.096206e-05,1.108142e-05,1.119801e-05,1.131186e-05,1.142299e-05,1.153144e-05,1.163724e-05,1.174042e-05,1.184102e-05,1.193907e-05,1.203461e-05,1.212766e-05,1.221827e-05,1.230648e-05,1.239231e-05,1.247580e-05,1.255699e-05,1.263592e-05,1.271262e-05,1.278713e-05,1.285948e-05,1.292972e-05,1.299787e-05
0.000000e+00,1.771193e-17,1.937694e-16,6.527327e-15,6.466260e-14,1.823226e-13,1.646890e-12,1.780901e-12,9.822870e-12,1.476973e-11,3.787173e-11,7.530815e-11,1.143636e-10,2.702013e-10,2.894864e-10,6.416677e-10,7.642219e-10,1.283028e-09,1.822718e-09,2.363364e-09,3.826714e-09,4.072169e-09,6.638057e-09,7.276763e-09,1.032508e-08,1.278170e-08,1.542605e-08,2.103189e-08,2.225355e-08,3.112998e-08,3.276196e-08,4.237757e-08,4.871116e-08,5.630947e-08,6.958759e-08,7.322207e-08,9.338883e-08,9.603952e-08,1.170557e-07,1.286344e-07,1.444374e-07,1.678448e-07,1.757152e-07,2.110354e-07,2.140392e-07,2.505084e-07,2.674784e-07,2.942092e-07,3.283155e-07,3.421779e-07,3.944207e-07,3.965991e-07,4.509127e-07,4.722803e-07,5.115991e-07,5.552212e-07,5.763985e-07,6.452058e-07,7.178946e-07,7.419518e-07,7.943210e-07,8.451225e-07,8.743261e-07,9.543394e-07,9.577391e-07,1.044380e-06,1.069193e-06,1.134062e-06,1.189253e-06,1.226595e-06,1.314078e-06,1.321786e-06,1.419442e-06,1.443224e-06,1.519370e-06,1.576251e-06,1.621381e-06,1.712727e-06,1.725290e-06,1.830916e-06,1.852232e-06,1.938084e-06,1.994364e-06,2.046624e-06,2.138739e-06,2.156374e-06,2.267177e-06,2.284993e-06,2.378884e-06,2.432783e-06,2.491354e-06,2.581786e-06,2.604450e-06,2.718044e-06,2.731703e-06,2.832016e-06,2.882254e-06,2.946251e-06,3.033178e-06,3.060640e-06,3.175082e-06,3.184237e-06,3.289482e-06,3.335209e-06,3.403748e-06,3.485891e-06,3.517799e-06,3.631554e-06,3.636097e-06,3.744940e-06,3.785655e-06,3.857888e-06,3.934411e-06,3.970336e-06,4.082223e-06,4.193493e-06,4.228961e-06,4.304097e-06,4.374511e-06,4.413985e-06,4.518765e-06,4.523115e-06,4.631446e-06,4.661631e-06,4.738941e-06,4.803022e-06,4.845565e-06,4.942863e-06,4.951287e-06,5.056078e-06,5.081086e-06,5.159912e-06,5.217632e-06,5.262766e-06,5.352448e-06,5.364617e-06,5.465447e-06,5.485489e-06,5.565238e-06,5.616713e-06,5.663974e-06,5.746087e-06,5.761642e-06,5.858229e-06,5.873582e-06,5.953725e-06,5.999174e-06,6.048122e-06,6.122842e-06,6.141411e-06,6.233586e-06,6.244572e-06,6.324641e-06,6.364350e-06,6.414574e-06,6.482169e-06,6.503380e-06,6.591058e-06,6.598024e-06,6.677608e-06,6.711911e-06,6.763027e-06,6.823831e-06,6.847319e-06,6.930483e-06,6.933786e-06,7.012523e-06,7.041782e-06,7.093441e-06,7.147825e-06,7.173240e-06,7.251925e-06,7.354090e-06,7.454334e-06,7.552670e-06,7.649113e-06,7.743678e-06,7.836382e-06,7.927244e-06,8.016281e-06,8.103514e-06,8.188962e-06,8.272646e-06,8.354587e-06,8.434808e-06,8.513329e-06,8.590174e-06,8.665365e-06,8.738926e-06,8.810878e-06,8.881246e-06,8.950053e-06,9.017323e-06,9.083078e-06,9.147344e-06,9.210142e-06
0.000000e+00,9.662443e-13,3.138708e-12,1.761418e-11,5.466534e-11,9.168131e-11,2.796762e-10,2.911509e-10,7.094992e-10,8.815352e-10,1.466891e-09,2.144787e-09,2.712217e-09,4.440362e-09,4.622136e-09,7.389880e-09,8.202985e-09,1.120180e-08,1.385284e-08,1.621565e-08,2.172011e-08,2.255390e-08,3.030766e-08,3.203444e-08,3.954246e-08,4.494525e-08,5.030234e-08,6.053822e-08,6.261258e-08,7.648142e-08,7.884480e-08,9.190170e-08,9.984883e-08,1.088524e-07,1.234930e-07,1.273004e-07,1.472023e-07,1.496858e-07,1.685058e-07,1.783085e-07,1.911523e-07,2.092226e-07,2.150778e-07,2.402151e-07,2.422763e-07,2.664945e-07,2.773103e-07,2.938456e-07,3.141623e-07,3.221978e-07,3.514816e-07,3.526713e-07,3.816288e-07,3.926803e-07,4.125732e-07,4.340380e-07,4.442509e-07,4.766006e-07,5.095639e-07,5.202325e-07,5.430850e-07,5.648067e-07,5.771111e-07,6.102050e-07,6.115923e-07,6.464815e-07,6.563175e-07,6.817343e-07,7.030431e-07,7.173091e-07,7.502885e-07,7.531666e-07,7.892703e-07,7.979679e-07,8.255857e-07,8.460027e-07,8.620807e-07,8.943210e-07,8.987253e-07,9.354914e-07,9.428569e-07,9.723528e-07,9.915502e-07,1.009285e-06,1.040346e-06,1.046265e-06,1.083272e-06,1.089195e-06,1.120286e-06,1.138050e-06,1.157289e-06,1.186871e-06,1.194262e-06,1.231191e-06,1.235619e-06,1.268060e-06,1.284260e-06,1.304856e-06,1.332764e-06,1.341566e-06,1.378177e-06,1.381101e-06,1.414679e-06,1.429247e-06,1.451062e-06,1.477178e-06,1.487315e-06,1.523430e-06,1.524872e-06,1.559400e-06,1.572312e-06,1.595216e-06,1.619479e-06,1.630871e-06,1.666359e-06,1.701675e-06,1.712938e-06,1.736812e-06,1.759204e-06,1.771766e-06,1.805145e-06,1.806532e-06,1.841106e-06,1.850752e-06,1.875485e-06,1.896016e-06,1.909664e-06,1.940930e-06,1.943640e-06,1.977412e-06,1.985486e-06,2.010975e-06,2.029679e-06,2.044329e-06,2.073505e-06,2.077471e-06,2.110398e-06,2.116958e-06,2.143111e-06,2.160035e-06,2.175606e-06,2.202734e-06,2.207883e-06,2.239942e-06,2.245051e-06,2.271781e-06,2.286985e-06,2.303399e-06,2.328535e-06,2.334797e-06,2.365973e-06,2.369699e-06,2.396928e-06,2.410477e-06,2.427661e-06,2.450870e-06,2.458172e-06,2.488462e-06,2.490876e-06,2.518531e-06,2.530497e-06,2.548379e-06,2.569733e-06,2.578006e-06,2.607413e-06,2.608585e-06,2.636601e-06,2.647055e-06,2.665571e-06,2.685145e-06,2.694322e-06,2.722856e-06,2.760189e-06,2.797148e-06,2.833734e-06,2.869950e-06,2.905798e-06,2.941281e-06,2.976401e-06,3.011162e-06,3.045567e-06,3.079618e-06,3.113319e-06,3.146673e-06,3.179683e-06,3.212352e-06,3.244683e-06,3.276681e-06,3.308348e-06,3.339687e-06,3.370703e-06,3.401398e-06,3.431776e-06,3.461840e-06,3.491594e-06,3.521042e-06
0.000000e+00,5.600966e-16,6.003094e-15,1.984807e-13,1.976647e-12,5.630564e-12,5.324107e-11,5.771040e-11,3.408269e-10,5.236849e-10,1.424881e-09,2.986212e-09,4.701904e-09,1.210127e-08,1.306325e-08,3.184863e-08,3.881333e-08,7.008190e-08,1.050274e-07,1.419930e-07,2.497848e-07,2.688069e-07,4.807582e-07,5.367875e-07,8.192592e-07,1.062892e-06,1.339118e-06,1.966912e-06,2.110673e-06,3.221713e-06,3.437842e-06,4.779054e-06,5.721595e-06,6.909657e-06,9.125444e-06,9.761224e-06,1.350222e-05,1.401966e-05,1.832130e-05,2.083610e-05,2.442617e-05,3.006368e-05,3.204185e-05,4.140848e-05,4.224095e-05,5.277869e-05,5.794623e-05,6.641453e-05,7.778562e-05,8.258415e-05,1.015583e-04,1.023794e-04,1.236065e-04,1.323476e-04,1.489936e-04,1.682953e-04,1.779759e-04,2.107978e-04,2.476881e-04,2.603872e-04,2.888572e-04,3.175390e-04,3.344938e-04,3.826616e-04,3.847631e-04,4.398040e-04,4.560864e-04,4.997276e-04,5.380607e-04,5.646157e-04,6.287424e-04,6.345201e-04,7.094619e-04,7.281970e-04,7.894312e-04,8.363962e-04,8.743876e-04,9.532192e-04,9.642606e-04,1.058950e-03,1.078455e-03,1.158329e-03,1.211808e-03,1.262241e-03,1.352901e-03,1.370508e-03,1.482928e-03,1.501286e-03,1.599276e-03,1.656448e-03,1.719310e-03,1.817817e-03,1.842771e-03,1.969384e-03,1.984776e-03,2.098863e-03,2.156666e-03,2.230912e-03,2.332802e-03,2.365228e-03,2.501500e-03,2.512477e-03,2.639417e-03,2.694973e-03,2.778663e-03,2.879568e-03,2.918926e-03,3.059894e-03,3.065543e-03,3.201261e-03,3.252193e-03,3.342725e-03,3.438826e-03,3.483993e-03,3.624777e-03,3.764803e-03,3.809408e-03,3.903805e-03,3.992111e-03,4.041529e-03,4.172317e-03,4.177733e-03,4.312189e-03,4.349493e-03,4.444679e-03,4.523146e-03,4.575004e-03,4.692827e-03,4.702973e-03,4.828414e-03,4.858126e-03,4.951167e-03,5.018680e-03,5.071086e-03,5.174165e-03,5.188039e-03,5.301909e-03,5.324304e-03,5.412591e-03,5.468856e-03,5.519995e-03,5.607623e-03,5.624042e-03,5.724667e-03,5.740445e-03,5.821815e-03,5.867200e-03,5.915446e-03,5.987797e-03,6.005528e-03,6.092042e-03,6.102183e-03,6.174975e-03,6.210332e-03,6.254329e-03,6.312249e-03,6.330111e-03,6.402337e-03,6.407962e-03,6.471031e-03,6.497527e-03,6.536225e-03,6.581017e-03,6.597955e-03,6.656266e-03,6.658528e-03,6.711207e-03,6.730172e-03,6.762834e-03,6.796076e-03,6.811204e-03,6.856381e-03,6.911240e-03,6.960816e-03,7.005278e-03,7.044804e-03,7.079575e-03,7.109777e-03,7.135599e-03,7.157229e-03,7.174857e-03,7.188673e-03,7.198865e-03,7.205617e-03,7.209114e-03,7.209534e-03,7.207053e-03,7.201842e-03,7.194069e-03,7.183894e-03,7.171476e-03,7.156965e-03,7.140507e-03,7.122243e-03,7.102308e-03,7.080830e-03
0.000000e+00,3.298934e-12,1.005820e-11,5.290356e-11,1.595421e-10,2.648454e-10,7.939728e-10,8.261097e-10,1.991867e-09,2.469006e-09,4.086246e-09,5.950550e-09,7.506156e-09,1.222920e-08,1.272544e-08,2.029187e-08,2.252314e-08,3.080503e-08,3.820686e-08,4.487151e-08,6.063982e-08,6.305662e-08,8.585707e-08,9.100950e-08,1.136965e-07,1.302853e-07,1.469315e-07,1.792374e-07,1.858589e-07,2.307204e-07,2.384623e-07,2.817060e-07,3.083972e-07,3.389554e-07,3.893279e-07,4.025601e-07,4.725644e-07,4.813954e-07,5.489679e-07,5.846031e-07,6.317277e-07,6.988270e-07,7.207616e-07,8.159519e-07,8.238288e-07,9.171487e-07,9.592702e-07,1.024174e-06,1.104729e-06,1.136827e-06,1.254885e-06,1.259716e-06,1.378110e-06,1.423688e-06,1.506252e-06,1.596066e-06,1.639052e-06,1.776243e-06,1.917556e-06,1.963602e-06,2.062720e-06,2.157521e-06,2.211465e-06,2.357382e-06,2.363524e-06,2.518635e-06,2.562577e-06,2.676538e-06,2.772516e-06,2.836984e-06,2.986628e-06,2.999726e-06,3.164530e-06,3.204364e-06,3.331167e-06,3.425201e-06,3.499416e-06,3.648641e-06,3.669066e-06,3.839915e-06,3.874211e-06,4.011769e-06,4.101469e-06,4.184444e-06,4.329996e-06,4.357763e-06,4.531559e-06,4.559399e-06,4.705672e-06,4.789314e-06,4.879951e-06,5.019398e-06,5.054254e-06,5.228446e-06,5.249335e-06,5.402397e-06,5.478829e-06,5.575989e-06,5.707608e-06,5.749107e-06,5.921644e-06,5.935419e-06,6.093501e-06,6.162032e-06,6.264583e-06,6.387232e-06,6.434801e-06,6.604074e-06,6.610824e-06,6.772324e-06,6.832630e-06,6.939480e-06,7.052486e-06,7.105474e-06,7.270244e-06,7.433733e-06,7.485771e-06,7.595888e-06,7.698944e-06,7.756660e-06,7.909657e-06,7.916003e-06,8.073876e-06,8.117811e-06,8.230240e-06,8.323321e-06,8.385063e-06,8.526110e-06,8.538311e-06,8.689957e-06,8.726111e-06,8.839976e-06,8.923267e-06,8.988345e-06,9.117528e-06,9.135043e-06,9.280054e-06,9.308852e-06,9.423362e-06,9.497204e-06,9.564953e-06,9.682555e-06,9.704817e-06,9.842945e-06,9.864884e-06,9.979330e-06,1.004417e-05,1.011397e-05,1.022041e-05,1.024685e-05,1.037798e-05,1.039360e-05,1.050735e-05,1.056372e-05,1.063497e-05,1.073079e-05,1.076083e-05,1.088495e-05,1.089480e-05,1.100732e-05,1.105578e-05,1.112795e-05,1.121373e-05,1.124684e-05,1.136401e-05,1.136866e-05,1.147946e-05,1.152061e-05,1.159320e-05,1.166958e-05,1.170525e-05,1.181560e-05,1.195870e-05,1.209890e-05,1.223623e-05,1.237072e-05,1.250241e-05,1.263133e-05,1.275751e-05,1.288098e-05,1.300178e-05,1.311996e-05,1.323553e-05,1.334855e-05,1.345905e-05,1.356707e-05,1.367264e-05,1.377581e-05,1.387662e-05,1.397510e-05,1.407129e-05,1.416523e-05,1.425696e-05,1.434652e-05,1.443395e-05,1.451928e-05
0.000000e+00,1.223984e-16,1.424316e-15,5.455443e-14,6.077966e-13,1.828162e-12,1.952223e-11,2.125525e-11,1.384809e-10,2.178675e-10,6.259885e-10,1.364744e-09,2.200515e-09,5.942550e-09,6.439376e-09,1.639102e-08,2.016112e-08,3.739509e-08,5.704131e-08,7.810686e-08,1.405580e-07,1.516903e-07,2.771000e-07,3.105516e-07,4.803275e-07,6.277308e-07,7.954648e-07,1.177798e-06,1.265433e-06,1.942263e-06,2.073703e-06,2.886861e-06,3.455366e-06,4.168245e-06,5.486635e-06,5.862288e-06,8.050045e-06,8.349736e-06,1.081578e-05,1.223779e-05,1.424475e-05,1.734615e-05,1.842097e-05,2.342495e-05,2.386332e-05,2.933157e-05,3.196234e-05,3.620819e-05,4.179303e-05,4.411297e-05,5.309358e-05,5.347574e-05,6.318619e-05,6.709674e-05,7.441476e-05,8.270543e-05,8.679079e-05,1.003133e-04,1.149691e-04,1.198945e-04,1.307332e-04,1.413878e-04,1.475699e-04,1.646999e-04,1.654335e-04,1.842691e-04,1.897090e-04,2.040144e-04,2.162697e-04,2.246002e-04,2.442177e-04,2.459522e-04,2.679918e-04,2.733747e-04,2.906376e-04,3.035530e-04,3.138062e-04,3.345603e-04,3.374136e-04,3.613757e-04,3.662034e-04,3.856098e-04,3.982921e-04,4.100349e-04,4.306419e-04,4.345723e-04,4.591465e-04,4.630769e-04,4.836855e-04,4.954315e-04,5.081212e-04,5.275522e-04,5.323895e-04,5.564310e-04,5.592980e-04,5.801903e-04,5.905419e-04,6.036171e-04,6.211706e-04,6.266653e-04,6.492935e-04,6.510845e-04,6.714646e-04,6.801975e-04,6.931458e-04,7.084367e-04,7.143085e-04,7.349280e-04,7.357412e-04,7.549835e-04,7.620619e-04,7.744574e-04,7.873604e-04,7.933360e-04,8.116083e-04,8.292662e-04,8.347860e-04,8.463045e-04,8.568824e-04,8.627202e-04,8.778931e-04,8.785129e-04,8.936837e-04,8.978206e-04,9.082362e-04,9.166728e-04,9.221751e-04,9.344624e-04,9.355068e-04,9.482390e-04,9.512065e-04,9.603805e-04,9.669253e-04,9.719412e-04,9.816425e-04,9.829317e-04,9.933635e-04,9.953839e-04,1.003249e-03,1.008177e-03,1.012600e-03,1.020052e-03,1.021430e-03,1.029753e-03,1.031038e-03,1.037582e-03,1.041168e-03,1.044930e-03,1.050473e-03,1.051813e-03,1.058243e-03,1.058985e-03,1.064235e-03,1.066737e-03,1.069804e-03,1.073760e-03,1.074962e-03,1.079723e-03,1.080088e-03,1.084102e-03,1.085750e-03,1.088112e-03,1.090778e-03,1.091766e-03,1.095076e-03,1.095202e-03,1.098057e-03,1.099052e-03,1.100721e-03,1.102357e-03,1.103079e-03,1.105144e-03,1.107441e-03,1.109274e-03,1.110669e-03,1.111650e-03,1.112240e-03,1.112463e-03,1.112341e-03,1.111893e-03,1.111141e-03,1.110104e-03,1.108800e-03,1.107247e-03,1.105461e-03,1.103459e-03,1.101256e-03,1.098867e-03,1.096305e-03,1.093584e-03,1.090716e-03,1.087713e-03,1.084587e-03,1.081349e-03,1.078008e-03,1.074574e-03
0.000000e+00,1.190675e-11,3.972608e-11,2.307406e-10,7.341123e-10,1.248501e-09,3.972324e-09,4.143447e-09,1.067562e-08,1.350297e-08,2.361329e-08,3.607994e-08,4.699125e-08,8.197439e-08,8.575994e-08,1.446860e-07,1.622692e-07,2.275337e-07,2.854386e-07,3.370650e-07,4.571840e-07,4.753546e-07,6.440462e-07,6.815562e-07,8.444961e-07,9.616661e-07,1.077841e-06,1.299965e-06,1.345021e-06,1.646783e-06,1.698314e-06,1.983677e-06,2.157973e-06,2.356044e-06,2.679574e-06,2.764016e-06,3.207513e-06,3.263109e-06,3.686246e-06,3.907933e-06,4.199727e-06,4.612801e-06,4.747278e-06,5.328052e-06,5.375920e-06,5.941044e-06,6.195011e-06,6.585117e-06,7.067394e-06,7.259016e-06,7.961393e-06,7.990060e-06,8.690820e-06,8.959751e-06,9.445813e-06,9.973035e-06,1.022485e-05,1.102637e-05,1.184881e-05,1.211616e-05,1.269061e-05,1.323881e-05,1.355022e-05,1.439075e-05,1.442608e-05,1.531670e-05,1.556852e-05,1.622059e-05,1.676870e-05,1.713632e-05,1.798803e-05,1.806247e-05,1.899770e-05,1.922336e-05,1.994069e-05,2.047169e-05,2.089019e-05,2.173016e-05,2.184498e-05,2.280390e-05,2.299608e-05,2.376584e-05,2.426688e-05,2.472973e-05,2.554017e-05,2.569456e-05,2.665938e-05,2.681368e-05,2.762325e-05,2.808532e-05,2.858531e-05,2.935311e-05,2.954475e-05,3.050076e-05,3.061522e-05,3.145263e-05,3.186996e-05,3.239965e-05,3.311574e-05,3.334117e-05,3.427658e-05,3.435113e-05,3.520529e-05,3.557477e-05,3.612676e-05,3.678545e-05,3.704049e-05,3.794600e-05,3.798204e-05,3.884285e-05,3.916352e-05,3.973063e-05,4.032895e-05,4.060897e-05,4.147750e-05,4.233590e-05,4.260840e-05,4.318388e-05,4.372099e-05,4.402116e-05,4.481465e-05,4.484749e-05,4.566264e-05,4.588885e-05,4.646641e-05,4.694312e-05,4.725860e-05,4.797707e-05,4.803907e-05,4.880765e-05,4.899033e-05,4.956422e-05,4.998262e-05,5.030867e-05,5.095369e-05,5.104091e-05,5.176084e-05,5.190335e-05,5.246842e-05,5.283145e-05,5.316357e-05,5.373788e-05,5.384628e-05,5.451650e-05,5.462258e-05,5.517423e-05,5.548550e-05,5.581945e-05,5.632664e-05,5.645219e-05,5.707245e-05,5.714605e-05,5.768026e-05,5.794377e-05,5.827566e-05,5.871989e-05,5.885869e-05,5.942940e-05,5.947452e-05,5.998784e-05,6.020780e-05,6.053409e-05,6.091988e-05,6.106822e-05,6.159030e-05,6.161093e-05,6.210041e-05,6.228114e-05,6.259866e-05,6.293072e-05,6.308512e-05,6.355989e-05,6.416888e-05,6.475794e-05,6.532732e-05,6.587730e-05,6.640813e-05,6.692011e-05,6.741352e-05,6.788865e-05,6.834581e-05,6.878530e-05,6.920743e-05,6.961250e-05,7.000082e-05,7.037272e-05,7.072850e-05,7.106847e-05,7.139296e-05,7.170227e-05,7.199672e-05,7.227662e-05,7.254229e-05,7.279403e-05,7.303215e-05,7.325696e-05
0.000000e+00,1.129550e-17,1.278907e-16,4.626594e-15,4.891601e-14,1.429506e-13,1.416826e-12,1.537931e-12,9.307893e-12,1.435536e-11,3.925112e-11,8.225539e-11,1.292977e-10,3.302640e-10,3.562130e-10,8.574443e-10,1.041239e-09,1.856893e-09,2.754419e-09,3.691375e-09,6.367610e-09,6.832661e-09,1.189993e-08,1.320946e-08,1.965960e-08,2.505288e-08,3.101224e-08,4.406214e-08,4.696880e-08,6.861960e-08,7.268768e-08,9.709962e-08,1.135324e-07,1.335533e-07,1.692119e-07,1.791012e-07,2.348098e-07,2.422255e-07,3.016661e-07,3.348469e-07,3.805564e-07,4.490394e-07,4.722500e-07,5.773874e-07,5.863953e-07,6.964733e-07,7.480997e-07,8.298726e-07,9.349151e-07,9.778111e-07,1.140378e-06,1.147185e-06,1.317534e-06,1.384854e-06,1.509117e-06,1.647498e-06,1.714852e-06,1.934365e-06,2.167193e-06,2.244424e-06,2.412796e-06,2.576410e-06,2.670571e-06,2.928878e-06,2.939862e-06,3.219974e-06,3.300247e-06,3.510183e-06,3.688846e-06,3.809745e-06,4.092954e-06,4.117905e-06,4.433908e-06,4.510831e-06,4.757001e-06,4.940754e-06,5.086444e-06,5.381031e-06,5.421513e-06,5.761501e-06,5.830029e-06,6.105729e-06,6.286184e-06,6.453540e-06,6.748011e-06,6.804307e-06,7.157432e-06,7.214112e-06,7.512345e-06,7.683180e-06,7.868509e-06,8.153998e-06,8.225415e-06,8.582587e-06,8.625444e-06,8.939576e-06,9.096484e-06,9.295964e-06,9.566175e-06,9.651359e-06,1.000540e-05,1.003365e-05,1.035775e-05,1.049814e-05,1.070809e-05,1.095893e-05,1.105614e-05,1.140163e-05,1.141540e-05,1.174432e-05,1.186696e-05,1.208399e-05,1.231313e-05,1.242043e-05,1.275346e-05,1.308290e-05,1.318755e-05,1.340862e-05,1.361506e-05,1.373047e-05,1.403569e-05,1.404833e-05,1.436209e-05,1.444919e-05,1.467166e-05,1.485535e-05,1.497695e-05,1.525399e-05,1.527790e-05,1.557444e-05,1.564494e-05,1.586651e-05,1.602811e-05,1.615408e-05,1.640339e-05,1.643711e-05,1.671558e-05,1.677072e-05,1.698945e-05,1.713005e-05,1.725873e-05,1.748137e-05,1.752341e-05,1.778347e-05,1.782466e-05,1.803894e-05,1.815993e-05,1.828981e-05,1.848721e-05,1.853610e-05,1.877784e-05,1.880654e-05,1.901504e-05,1.911797e-05,1.924772e-05,1.942157e-05,1.947593e-05,1.969969e-05,1.971739e-05,1.991903e-05,2.000554e-05,2.013399e-05,2.028608e-05,2.034462e-05,2.055095e-05,2.055912e-05,2.075303e-05,2.082475e-05,2.095091e-05,2.108308e-05,2.114462e-05,2.133423e-05,2.157830e-05,2.181541e-05,2.204568e-05,2.226923e-05,2.248619e-05,2.269667e-05,2.290081e-05,2.309874e-05,2.329057e-05,2.347643e-05,2.365646e-05,2.383078e-05,2.399951e-05,2.416278e-05,2.432071e-05,2.447343e-05,2.462105e-05,2.476370e-05,2.490150e-05,2.503457e-05,2.516301e-05,2.528695e-05,2.540650e-05,2.552177e-05
0.000000e+00,4.937190e-12,1.555757e-11,8.501465e-11,2.625577e-10,4.413003e-10,1.371478e-09,1.429371e-09,3.613592e-09,4.548369e-09,7.860757e-09,1.190882e-08,1.543878e-08,2.677135e-08,2.800252e-08,4.732897e-08,5.315185e-08,7.494428e-08,9.446058e-08,1.119627e-07,1.529293e-07,1.591472e-07,2.170217e-07,2.299139e-07,2.859545e-07,3.262600e-07,3.662068e-07,4.424989e-07,4.579568e-07,5.613112e-07,5.789284e-07,6.763105e-07,7.356418e-07,8.029307e-07,9.125378e-07,9.410853e-07,1.090627e-06,1.109328e-06,1.251350e-06,1.325546e-06,1.422997e-06,1.560567e-06,1.605261e-06,1.797793e-06,1.813628e-06,2.000210e-06,2.083851e-06,2.212094e-06,2.370268e-06,2.433008e-06,2.662495e-06,2.671846e-06,2.900084e-06,2.987508e-06,3.145298e-06,3.316154e-06,3.397657e-06,3.656678e-06,3.921887e-06,4.007984e-06,4.192813e-06,4.368994e-06,4.468997e-06,4.738663e-06,4.749990e-06,5.035354e-06,5.115981e-06,5.324667e-06,5.499980e-06,5.617522e-06,5.889737e-06,5.913524e-06,6.212298e-06,6.284376e-06,6.513482e-06,6.683069e-06,6.816731e-06,7.085035e-06,7.121714e-06,7.428117e-06,7.489542e-06,7.735642e-06,7.895903e-06,8.044005e-06,8.303479e-06,8.352935e-06,8.662179e-06,8.711670e-06,8.971493e-06,9.119921e-06,9.280650e-06,9.527716e-06,9.589433e-06,9.897639e-06,9.934576e-06,1.020508e-05,1.034006e-05,1.051156e-05,1.074376e-05,1.081693e-05,1.112102e-05,1.114529e-05,1.142368e-05,1.154432e-05,1.172478e-05,1.194052e-05,1.202417e-05,1.232174e-05,1.233360e-05,1.261737e-05,1.272330e-05,1.291096e-05,1.310938e-05,1.320240e-05,1.349162e-05,1.377851e-05,1.386981e-05,1.406300e-05,1.424378e-05,1.434501e-05,1.461336e-05,1.462449e-05,1.490137e-05,1.497842e-05,1.517559e-05,1.533883e-05,1.544710e-05,1.569446e-05,1.571586e-05,1.598182e-05,1.604523e-05,1.624494e-05,1.639104e-05,1.650519e-05,1.673181e-05,1.676254e-05,1.701697e-05,1.706750e-05,1.726844e-05,1.739804e-05,1.751695e-05,1.772338e-05,1.776246e-05,1.800498e-05,1.804350e-05,1.824448e-05,1.835837e-05,1.848096e-05,1.866796e-05,1.871441e-05,1.894483e-05,1.897228e-05,1.917222e-05,1.927131e-05,1.939657e-05,1.956505e-05,1.961789e-05,1.983619e-05,1.985352e-05,2.005146e-05,2.013672e-05,2.026371e-05,2.041467e-05,2.047296e-05,2.067921e-05,2.068740e-05,2.088247e-05,2.095492e-05,2.108277e-05,2.121727e-05,2.128010e-05,2.147449e-05,2.172660e-05,2.197365e-05,2.221567e-05,2.245272e-05,2.268484e-05,2.291207e-05,2.313447e-05,2.335208e-05,2.356497e-05,2.377318e-05,2.397677e-05,2.417579e-05,2.437031e-05,2.456037e-05,2.474605e-05,2.492739e-05,2.510445e-05,2.527730e-05,2.544600e-05,2.561060e-05,2.577116e-05,2.592775e-05,2.608043e-05,2.622924e-05
0.000000e+00,2.011717e-15,1.891886e-14,4.710339e-13,3.592231e-12,8.825396e-12,5.697215e-11,6.080938e-11,2.476628e-10,3.446557e-10,7.344413e-10,1.269765e-09,1.768335e-09,3.487360e-09,3.682179e-09,6.894696e-09,7.912661e-09,1.190134e-08,1.569099e-08,1.924691e-08,2.808416e-08,2.948262e-08,4.312472e-08,4.630321e-08,6.062877e-08,7.138802e-08,8.238061e-08,1.041681e-07,1.086964e-07,1.398259e-07,1.452666e-07,1.759560e-07,1.951142e-07,2.172140e-07,2.539624e-07,2.636715e-07,3.153479e-07,3.218989e-07,3.722157e-07,3.988657e-07,4.342057e-07,4.846804e-07,5.012128e-07,5.731016e-07,5.790590e-07,6.497121e-07,6.816387e-07,7.308649e-07,7.919990e-07,8.163659e-07,9.060107e-07,9.096797e-07,9.995880e-07,1.034197e-06,1.096883e-06,1.165056e-06,1.197678e-06,1.301760e-06,1.408914e-06,1.443818e-06,1.518932e-06,1.590753e-06,1.631611e-06,1.742100e-06,1.746750e-06,1.864159e-06,1.897415e-06,1.983651e-06,2.056272e-06,2.105048e-06,2.218268e-06,2.228178e-06,2.352876e-06,2.383019e-06,2.478985e-06,2.550165e-06,2.606352e-06,2.719363e-06,2.734835e-06,2.864297e-06,2.890295e-06,2.994605e-06,3.062659e-06,3.125637e-06,3.236175e-06,3.257273e-06,3.389401e-06,3.410580e-06,3.521915e-06,3.585629e-06,3.654714e-06,3.761094e-06,3.787703e-06,3.920790e-06,3.936763e-06,4.053891e-06,4.112438e-06,4.186924e-06,4.287937e-06,4.319814e-06,4.452488e-06,4.463090e-06,4.584878e-06,4.637741e-06,4.716922e-06,4.811745e-06,4.848559e-06,4.979732e-06,4.984969e-06,5.110390e-06,5.157291e-06,5.240482e-06,5.328597e-06,5.369962e-06,5.498787e-06,5.626916e-06,5.667764e-06,5.754311e-06,5.835443e-06,5.880938e-06,6.001747e-06,6.006764e-06,6.131758e-06,6.166604e-06,6.255893e-06,6.329950e-06,6.379142e-06,6.491729e-06,6.501482e-06,6.622891e-06,6.651888e-06,6.743348e-06,6.810381e-06,6.862835e-06,6.967169e-06,6.981336e-06,7.098835e-06,7.122214e-06,7.215319e-06,7.275485e-06,7.330775e-06,7.426956e-06,7.445193e-06,7.558562e-06,7.576603e-06,7.670874e-06,7.724406e-06,7.782122e-06,7.870350e-06,7.892300e-06,8.001402e-06,8.014421e-06,8.109424e-06,8.156610e-06,8.216362e-06,8.296909e-06,8.322214e-06,8.426979e-06,8.435313e-06,8.530655e-06,8.571820e-06,8.633241e-06,8.706430e-06,8.734739e-06,8.835150e-06,8.839143e-06,8.934474e-06,8.969965e-06,9.032714e-06,9.098900e-06,9.129874e-06,9.225955e-06,9.351139e-06,9.474461e-06,9.595932e-06,9.715564e-06,9.833370e-06,9.949364e-06,1.006356e-05,1.017598e-05,1.028663e-05,1.039553e-05,1.050270e-05,1.060815e-05,1.071192e-05,1.081400e-05,1.091443e-05,1.101322e-05,1.111040e-05,1.120597e-05,1.129997e-05,1.139241e-05,1.148332e-05,1.157270e-05,1.166059e-05,1.174701e-05
0.000000e+00,9.115195e-15,9.117284e-14,2.720514e-12,2.539689e-11,7.033371e-11,6.280536e-10,6.794370e-10,3.848203e-09,5.855821e-09,1.558737e-08,3.216064e-08,5.016695e-08,1.267028e-07,1.365717e-07,3.273873e-07,3.975331e-07,7.102197e-07,1.056894e-06,1.421551e-06,2.477208e-06,2.662622e-06,4.716502e-06,5.256506e-06,7.965210e-06,1.028670e-05,1.290559e-05,1.881615e-05,2.016275e-05,3.050018e-05,3.249864e-05,4.482589e-05,5.342287e-05,6.419404e-05,8.411915e-05,8.980208e-05,1.229835e-04,1.275422e-04,1.651960e-04,1.870307e-04,2.180062e-04,2.662464e-04,2.830709e-04,3.621144e-04,3.690945e-04,4.569052e-04,4.996309e-04,5.692298e-04,6.619595e-04,7.008657e-04,8.535541e-04,8.601236e-04,1.028973e-03,1.097997e-03,1.228711e-03,1.379180e-03,1.454241e-03,1.706899e-03,1.987864e-03,2.083920e-03,2.298136e-03,2.512473e-03,2.638525e-03,2.994196e-03,3.009636e-03,3.411859e-03,3.530087e-03,3.845369e-03,4.120481e-03,4.310116e-03,4.765042e-03,4.805829e-03,5.332019e-03,5.462766e-03,5.887986e-03,6.212005e-03,6.472825e-03,7.010501e-03,7.085441e-03,7.724555e-03,7.855433e-03,8.388724e-03,8.743470e-03,9.076354e-03,9.670835e-03,9.785720e-03,1.051498e-02,1.063338e-02,1.126219e-02,1.162664e-02,1.202534e-02,1.264593e-02,1.280233e-02,1.359105e-02,1.368638e-02,1.438934e-02,1.474306e-02,1.519503e-02,1.581097e-02,1.600596e-02,1.682000e-02,1.688519e-02,1.763502e-02,1.796085e-02,1.844899e-02,1.903325e-02,1.925988e-02,2.006576e-02,2.009787e-02,2.086478e-02,2.115040e-02,2.165516e-02,2.218682e-02,2.243521e-02,2.320334e-02,2.395807e-02,2.419652e-02,2.469801e-02,2.516322e-02,2.542188e-02,2.610060e-02,2.612852e-02,2.681687e-02,2.700619e-02,2.748596e-02,2.787781e-02,2.813495e-02,2.871363e-02,2.876310e-02,2.936977e-02,2.951211e-02,2.995442e-02,3.027203e-02,3.051660e-02,3.099246e-02,3.105597e-02,3.157226e-02,3.167273e-02,3.206530e-02,3.231245e-02,3.253498e-02,3.291145e-02,3.298129e-02,3.340428e-02,3.346980e-02,3.380406e-02,3.398777e-02,3.418082e-02,3.446580e-02,3.453478e-02,3.486624e-02,3.490451e-02,3.517552e-02,3.530468e-02,3.546301e-02,3.566719e-02,3.572913e-02,3.597433e-02,3.599305e-02,3.619908e-02,3.628337e-02,3.640390e-02,3.653933e-02,3.658932e-02,3.675589e-02,3.676217e-02,3.690418e-02,3.695320e-02,3.703477e-02,3.711376e-02,3.714825e-02,3.724521e-02,3.734894e-02,3.742633e-02,3.747879e-02,3.750769e-02,3.751440e-02,3.750026e-02,3.746659e-02,3.741467e-02,3.734577e-02,3.726107e-02,3.716177e-02,3.704899e-02,3.692382e-02,3.678729e-02,3.664040e-02,3.648409e-02,3.631928e-02,3.614682e-02,3.596751e-02,3.578213e-02,3.559140e-02,3.539601e-02,3.519659e-02,3.499374e-02
0.000000e+00,3.620128e-14,2.581777e-13,3.906800e-12,2.051239e-11,4.224528e-11,1.869841e-10,1.969491e-10,6.051678e-10,7.896949e-10,1.459248e-09,2.287793e-09,3.011117e-09,5.328868e-09,5.580710e-09,9.563171e-09,1.077964e-08,1.542242e-08,1.970898e-08,2.365523e-08,3.323552e-08,3.472763e-08,4.901628e-08,5.228517e-08,6.678580e-08,7.745905e-08,8.819888e-08,1.090640e-07,1.133382e-07,1.422266e-07,1.471957e-07,1.748415e-07,1.918043e-07,2.111244e-07,2.427335e-07,2.509875e-07,2.943187e-07,2.997454e-07,3.409857e-07,3.625381e-07,3.908396e-07,4.307607e-07,4.437184e-07,4.994504e-07,5.040269e-07,5.578572e-07,5.819281e-07,6.187565e-07,6.640444e-07,6.819649e-07,7.472999e-07,7.499549e-07,8.145816e-07,8.392456e-07,8.836347e-07,9.315157e-07,9.542894e-07,1.026382e-06,1.099757e-06,1.123484e-06,1.174266e-06,1.222482e-06,1.249768e-06,1.323062e-06,1.326131e-06,1.403230e-06,1.424934e-06,1.480949e-06,1.527832e-06,1.559179e-06,1.631514e-06,1.637818e-06,1.716773e-06,1.735759e-06,1.795955e-06,1.840366e-06,1.875284e-06,1.945155e-06,1.954685e-06,2.034088e-06,2.049964e-06,2.113430e-06,2.154644e-06,2.192652e-06,2.259066e-06,2.271700e-06,2.350524e-06,2.363112e-06,2.429078e-06,2.466675e-06,2.507320e-06,2.569664e-06,2.585212e-06,2.662719e-06,2.671992e-06,2.739809e-06,2.773588e-06,2.816451e-06,2.874385e-06,2.892621e-06,2.968293e-06,2.974324e-06,3.043445e-06,3.073356e-06,3.118057e-06,3.171434e-06,3.192112e-06,3.265593e-06,3.268520e-06,3.338485e-06,3.364580e-06,3.410776e-06,3.459585e-06,3.482454e-06,3.553508e-06,3.623930e-06,3.646330e-06,3.693711e-06,3.738031e-06,3.762844e-06,3.828597e-06,3.831324e-06,3.899146e-06,3.918017e-06,3.966304e-06,4.006280e-06,4.032797e-06,4.093380e-06,4.098621e-06,4.163775e-06,4.179312e-06,4.228256e-06,4.264072e-06,4.292064e-06,4.347658e-06,4.355199e-06,4.417661e-06,4.430072e-06,4.479450e-06,4.511315e-06,4.540568e-06,4.591389e-06,4.601016e-06,4.660796e-06,4.670299e-06,4.719910e-06,4.748049e-06,4.778361e-06,4.824646e-06,4.836151e-06,4.893283e-06,4.900095e-06,4.949761e-06,4.974405e-06,5.005589e-06,5.047585e-06,5.060769e-06,5.115306e-06,5.119642e-06,5.169205e-06,5.190586e-06,5.222468e-06,5.260427e-06,5.275101e-06,5.327108e-06,5.329176e-06,5.378494e-06,5.396842e-06,5.429264e-06,5.463438e-06,5.479422e-06,5.528974e-06,5.593462e-06,5.656914e-06,5.719342e-06,5.780758e-06,5.841174e-06,5.900603e-06,5.959058e-06,6.016550e-06,6.073094e-06,6.128700e-06,6.183383e-06,6.237154e-06,6.290027e-06,6.342014e-06,6.393127e-06,6.443380e-06,6.492785e-06,6.541355e-06,6.589101e-06,6.636036e-06,6.682173e-06,6.727523e-06,6.772099e-06,6.815912e-06
0.000000e+00,2.081358e-16,2.165528e-15,6.583206e-14,5.952655e-13,1.598191e-12,1.278150e-11,1.375561e-11,6.785528e-11,9.916337e-11,2.376805e-10,4.496458e-10,6.626251e-10,1.474643e-09,1.572604e-09,3.312511e-09,3.903546e-09,6.356149e-09,8.845842e-09,1.129144e-08,1.771394e-08,1.876647e-08,2.940981e-08,3.196797e-08,4.375519e-08,5.281401e-08,6.219392e-08,8.102226e-08,8.496126e-08,1.121488e-07,1.169086e-07,1.437298e-07,1.604176e-07,1.795872e-07,2.112317e-07,2.195392e-07,2.633589e-07,2.688652e-07,3.107896e-07,3.327325e-07,3.615556e-07,4.021925e-07,4.153707e-07,4.719446e-07,4.765810e-07,5.309882e-07,5.552334e-07,5.922182e-07,6.375032e-07,6.553604e-07,7.201530e-07,7.227755e-07,7.863485e-07,8.104773e-07,8.537155e-07,9.000840e-07,9.220394e-07,9.911232e-07,1.060787e-06,1.083174e-06,1.130867e-06,1.175868e-06,1.201217e-06,1.268883e-06,1.271704e-06,1.342211e-06,1.361942e-06,1.412633e-06,1.454807e-06,1.482878e-06,1.547275e-06,1.552862e-06,1.622514e-06,1.639174e-06,1.691770e-06,1.730360e-06,1.760575e-06,1.820710e-06,1.828879e-06,1.896640e-06,1.910123e-06,1.963820e-06,1.998514e-06,2.030388e-06,2.085811e-06,2.096315e-06,2.161578e-06,2.171957e-06,2.226154e-06,2.256902e-06,2.290028e-06,2.340609e-06,2.353182e-06,2.415605e-06,2.423046e-06,2.477286e-06,2.504188e-06,2.538215e-06,2.584015e-06,2.598387e-06,2.657795e-06,2.662514e-06,2.716434e-06,2.739674e-06,2.774303e-06,2.815489e-06,2.831398e-06,2.887719e-06,2.889956e-06,2.943265e-06,2.963073e-06,2.998038e-06,3.034842e-06,3.052038e-06,3.105268e-06,3.157731e-06,3.174357e-06,3.209429e-06,3.242116e-06,3.260366e-06,3.308553e-06,3.310546e-06,3.359974e-06,3.373679e-06,3.408654e-06,3.437506e-06,3.456592e-06,3.500044e-06,3.503793e-06,3.550264e-06,3.561308e-06,3.596009e-06,3.621312e-06,3.641035e-06,3.680068e-06,3.685349e-06,3.728956e-06,3.737594e-06,3.771865e-06,3.793903e-06,3.814081e-06,3.849013e-06,3.855612e-06,3.896464e-06,3.902938e-06,3.936645e-06,3.955696e-06,3.976163e-06,4.007304e-06,4.015024e-06,4.053236e-06,4.057778e-06,4.090806e-06,4.107135e-06,4.127741e-06,4.155393e-06,4.164051e-06,4.199740e-06,4.202569e-06,4.234818e-06,4.248680e-06,4.269292e-06,4.293744e-06,4.303170e-06,4.336458e-06,4.337777e-06,4.369165e-06,4.380798e-06,4.401297e-06,4.422823e-06,4.432863e-06,4.463870e-06,4.503956e-06,4.543097e-06,4.581310e-06,4.618613e-06,4.655022e-06,4.690552e-06,4.725221e-06,4.759045e-06,4.792039e-06,4.824219e-06,4.855601e-06,4.886200e-06,4.916031e-06,4.945109e-06,4.973448e-06,5.001064e-06,5.027970e-06,5.054181e-06,5.079711e-06,5.104572e-06,5.128779e-06,5.152345e-06,5.175283e-06,5.197605e-06
0.000000e+00,1.272018e-12,4.940708e-12,3.362234e-11,1.146769e-10,1.996662e-10,6.560547e-10,6.847602e-10,1.771036e-09,2.234841e-09,3.867068e-09,5.840074e-09,7.545932e-09,1.297138e-08,1.355826e-08,2.275949e-08,2.553497e-08,3.595707e-08,4.534297e-08,5.380178e-08,7.374032e-08,7.678215e-08,1.052643e-07,1.116468e-07,1.395281e-07,1.597039e-07,1.797889e-07,2.183623e-07,2.262086e-07,2.789010e-07,2.879191e-07,3.379347e-07,3.685322e-07,4.033345e-07,4.602279e-07,4.750834e-07,5.531253e-07,5.629092e-07,6.373677e-07,6.763675e-07,7.276853e-07,8.002958e-07,8.239239e-07,9.259045e-07,9.343052e-07,1.033428e-06,1.077941e-06,1.146277e-06,1.230697e-06,1.264222e-06,1.387026e-06,1.392035e-06,1.514442e-06,1.561393e-06,1.646221e-06,1.738196e-06,1.782114e-06,1.921871e-06,2.065243e-06,2.111847e-06,2.211989e-06,2.307566e-06,2.361869e-06,2.508485e-06,2.514649e-06,2.670104e-06,2.714081e-06,2.828014e-06,2.923850e-06,2.988167e-06,3.137312e-06,3.150358e-06,3.314390e-06,3.354011e-06,3.480075e-06,3.573512e-06,3.647230e-06,3.795405e-06,3.815683e-06,3.985267e-06,4.019305e-06,4.155823e-06,4.244847e-06,4.327201e-06,4.471688e-06,4.499257e-06,4.671853e-06,4.699509e-06,4.844858e-06,4.928010e-06,5.018149e-06,5.156908e-06,5.191608e-06,5.365124e-06,5.385944e-06,5.538590e-06,5.614873e-06,5.711906e-06,5.843467e-06,5.884977e-06,6.057714e-06,6.071516e-06,6.230033e-06,6.298824e-06,6.401852e-06,6.525211e-06,6.573097e-06,6.743697e-06,6.750507e-06,6.913586e-06,6.974559e-06,7.082699e-06,7.197224e-06,7.250979e-06,7.418370e-06,7.584821e-06,7.637879e-06,7.750283e-06,7.855639e-06,7.914711e-06,8.071550e-06,8.078063e-06,8.240299e-06,8.285520e-06,8.401383e-06,8.497467e-06,8.561282e-06,8.707315e-06,8.719964e-06,8.877400e-06,8.914997e-06,9.033564e-06,9.120451e-06,9.188431e-06,9.323624e-06,9.341980e-06,9.494189e-06,9.524468e-06,9.645040e-06,9.722940e-06,9.794517e-06,9.919004e-06,9.942604e-06,1.008929e-05,1.011263e-05,1.023456e-05,1.030378e-05,1.037840e-05,1.049245e-05,1.052082e-05,1.066179e-05,1.067861e-05,1.080131e-05,1.086224e-05,1.093938e-05,1.104334e-05,1.107599e-05,1.121114e-05,1.122189e-05,1.134483e-05,1.139790e-05,1.147705e-05,1.157135e-05,1.160782e-05,1.173712e-05,1.174226e-05,1.186495e-05,1.191062e-05,1.199133e-05,1.207643e-05,1.211625e-05,1.223972e-05,1.240048e-05,1.255873e-05,1.271447e-05,1.286774e-05,1.301853e-05,1.316687e-05,1.331277e-05,1.345626e-05,1.359736e-05,1.373608e-05,1.387245e-05,1.400649e-05,1.413823e-05,1.426769e-05,1.439490e-05,1.451987e-05,1.464264e-05,1.476323e-05,1.488166e-05,1.499797e-05,1.511218e-05,1.522432e-05,1.533441e-05,1.544248e-05
0.000000e+00,4.698390e-12,1.745594e-11,1.132288e-10,3.773318e-10,6.509792e-10,2.099646e-09,2.190038e-09,5.573359e-09,7.001069e-09,1.196793e-08,1.788051e-08,2.293260e-08,3.876216e-08,4.045977e-08,6.690999e-08,7.486370e-08,1.047612e-07,1.317888e-07,1.562456e-07,2.142256e-07,2.231057e-07,3.065735e-07,3.253382e-07,4.074694e-07,4.670033e-07,5.263073e-07,6.402096e-07,6.633705e-07,8.187595e-07,8.453209e-07,9.924228e-07,1.082224e-06,1.184180e-06,1.350419e-06,1.393737e-06,1.620708e-06,1.649094e-06,1.864624e-06,1.977180e-06,2.124950e-06,2.333412e-06,2.401097e-06,2.692435e-06,2.716379e-06,2.998303e-06,3.124565e-06,3.318016e-06,3.556393e-06,3.650879e-06,3.996185e-06,4.010246e-06,4.353229e-06,4.484503e-06,4.721308e-06,4.977549e-06,5.099726e-06,5.487797e-06,5.884849e-06,6.013695e-06,6.290225e-06,6.553735e-06,6.703281e-06,7.106462e-06,7.123395e-06,7.549960e-06,7.670474e-06,7.982390e-06,8.244426e-06,8.420117e-06,8.827031e-06,8.862591e-06,9.309285e-06,9.417062e-06,9.759687e-06,1.001335e-05,1.021331e-05,1.061478e-05,1.066968e-05,1.112834e-05,1.122031e-05,1.158886e-05,1.182893e-05,1.205083e-05,1.243970e-05,1.251384e-05,1.297751e-05,1.305173e-05,1.344148e-05,1.366419e-05,1.390540e-05,1.427628e-05,1.436895e-05,1.483179e-05,1.488727e-05,1.529364e-05,1.549647e-05,1.575421e-05,1.610321e-05,1.621322e-05,1.667042e-05,1.670691e-05,1.712556e-05,1.730698e-05,1.757841e-05,1.790292e-05,1.802875e-05,1.847638e-05,1.849422e-05,1.892109e-05,1.908044e-05,1.936272e-05,1.966117e-05,1.980108e-05,2.023600e-05,2.066735e-05,2.080460e-05,2.109497e-05,2.136664e-05,2.151874e-05,2.192181e-05,2.193853e-05,2.235422e-05,2.246986e-05,2.276571e-05,2.301054e-05,2.317289e-05,2.354363e-05,2.357568e-05,2.397400e-05,2.406892e-05,2.436776e-05,2.458625e-05,2.475690e-05,2.509547e-05,2.514135e-05,2.552106e-05,2.559643e-05,2.589597e-05,2.608902e-05,2.626604e-05,2.657313e-05,2.663123e-05,2.699150e-05,2.704869e-05,2.734683e-05,2.751562e-05,2.769719e-05,2.797388e-05,2.804255e-05,2.838290e-05,2.842341e-05,2.871824e-05,2.886419e-05,2.904854e-05,2.929621e-05,2.937382e-05,2.969405e-05,2.971946e-05,3.000926e-05,3.013393e-05,3.031944e-05,3.053966e-05,3.062460e-05,3.092476e-05,3.093666e-05,3.121992e-05,3.132496e-05,3.151011e-05,3.170461e-05,3.179534e-05,3.207564e-05,3.243812e-05,3.279210e-05,3.313766e-05,3.347485e-05,3.380376e-05,3.412447e-05,3.443706e-05,3.474162e-05,3.503824e-05,3.532702e-05,3.560806e-05,3.588144e-05,3.614728e-05,3.640568e-05,3.665675e-05,3.690059e-05,3.713731e-05,3.736702e-05,3.758983e-05,3.780585e-05,3.801519e-05,3.821797e-05,3.841429e-05,3.860427e-05
0.000000e+00,6.875612e-19,8.008216e-18,3.074584e-16,3.435485e-15,1.035338e-14,1.112183e-13,1.211250e-13,7.953574e-13,1.254479e-12,3.630631e-12,7.969949e-12,1.291545e-11,3.532718e-11,3.832600e-11,9.907413e-11,1.223274e-10,2.296373e-10,3.532920e-10,4.868674e-10,8.863584e-10,9.579336e-10,1.768357e-09,1.985355e-09,3.089366e-09,4.049897e-09,5.143920e-09,7.638956e-09,8.210892e-09,1.262709e-08,1.348446e-08,1.878701e-08,2.249316e-08,2.714022e-08,3.573636e-08,3.818662e-08,5.246975e-08,5.442841e-08,7.056828e-08,7.989534e-08,9.308624e-08,1.135360e-07,1.206422e-07,1.538578e-07,1.567780e-07,1.933461e-07,2.110316e-07,2.397004e-07,2.776437e-07,2.934823e-07,3.552126e-07,3.578540e-07,4.253611e-07,4.527566e-07,5.043392e-07,5.632671e-07,5.924928e-07,6.900979e-07,7.973563e-07,8.337405e-07,9.143940e-07,9.944563e-07,1.041260e-06,1.172275e-06,1.177929e-06,1.324301e-06,1.367002e-06,1.480204e-06,1.578226e-06,1.645403e-06,1.805339e-06,1.819597e-06,2.002433e-06,2.047556e-06,2.193506e-06,2.303939e-06,2.392367e-06,2.573422e-06,2.598530e-06,2.811477e-06,2.854834e-06,3.030667e-06,3.146928e-06,3.255539e-06,3.448403e-06,3.485520e-06,3.720028e-06,3.757930e-06,3.958482e-06,4.074170e-06,4.200300e-06,4.395793e-06,4.444911e-06,4.691751e-06,4.721495e-06,4.940272e-06,5.050015e-06,5.189941e-06,5.380141e-06,5.440246e-06,5.690695e-06,5.710723e-06,5.940821e-06,6.040680e-06,6.190177e-06,6.369002e-06,6.438346e-06,6.684932e-06,6.694758e-06,6.929568e-06,7.017092e-06,7.171909e-06,7.335229e-06,7.411641e-06,7.648470e-06,7.882130e-06,7.956192e-06,8.112379e-06,8.257845e-06,8.338997e-06,8.552950e-06,8.561786e-06,8.780572e-06,8.841094e-06,8.995201e-06,9.121924e-06,9.205535e-06,9.395151e-06,9.411460e-06,9.612876e-06,9.660535e-06,9.809701e-06,9.917891e-06,1.000187e-05,1.016708e-05,1.018932e-05,1.037202e-05,1.040799e-05,1.054995e-05,1.064058e-05,1.072308e-05,1.086480e-05,1.089141e-05,1.105495e-05,1.108067e-05,1.121371e-05,1.128822e-05,1.136770e-05,1.148750e-05,1.151697e-05,1.166155e-05,1.167859e-05,1.180148e-05,1.186159e-05,1.193680e-05,1.203660e-05,1.206758e-05,1.219386e-05,1.220377e-05,1.231571e-05,1.236323e-05,1.243320e-05,1.251512e-05,1.254638e-05,1.265534e-05,1.265961e-05,1.276014e-05,1.279686e-05,1.286085e-05,1.292705e-05,1.295756e-05,1.305034e-05,1.316693e-05,1.327699e-05,1.338071e-05,1.347826e-05,1.356984e-05,1.365564e-05,1.373582e-05,1.381058e-05,1.388010e-05,1.394454e-05,1.400410e-05,1.405893e-05,1.410921e-05,1.415511e-05,1.419678e-05,1.423440e-05,1.426810e-05,1.429806e-05,1.432441e-05,1.434730e-05,1.436687e-05,1.438326e-05,1.439660e-05,1.440703e-05
0.000000e+00,2.298913e-16,2.297955e-15,6.453958e-14,5.449066e-13,1.410904e-12,1.031739e-11,1.106460e-11,5.019271e-11,7.174447e-11,1.627810e-10,2.947457e-10,4.221777e-10,8.818698e-10,9.354125e-10,1.846243e-09,2.143465e-09,3.337398e-09,4.507181e-09,5.630993e-09,8.516796e-09,8.984308e-09,1.367798e-08,1.480280e-08,1.999703e-08,2.401560e-08,2.821002e-08,3.674630e-08,3.855280e-08,5.122004e-08,5.347326e-08,6.636394e-08,7.454714e-08,8.409699e-08,1.002007e-07,1.044966e-07,1.276094e-07,1.305665e-07,1.534561e-07,1.656947e-07,1.820339e-07,2.055667e-07,2.133208e-07,2.472773e-07,2.501076e-07,2.838496e-07,2.991965e-07,3.229717e-07,3.526764e-07,3.645680e-07,4.085546e-07,4.103625e-07,4.548417e-07,4.720502e-07,5.033352e-07,5.375215e-07,5.539378e-07,6.065505e-07,6.610736e-07,6.789081e-07,7.174071e-07,7.543650e-07,7.754522e-07,8.326951e-07,8.351113e-07,8.962884e-07,9.136772e-07,9.588898e-07,9.970962e-07,1.022824e-06,1.082745e-06,1.088003e-06,1.154340e-06,1.170423e-06,1.221751e-06,1.259941e-06,1.290158e-06,1.351116e-06,1.359481e-06,1.429647e-06,1.443775e-06,1.500584e-06,1.537753e-06,1.572223e-06,1.632894e-06,1.644498e-06,1.717345e-06,1.729050e-06,1.790705e-06,1.826082e-06,1.864518e-06,1.923859e-06,1.938730e-06,2.013288e-06,2.022256e-06,2.088141e-06,2.121157e-06,2.163240e-06,2.220452e-06,2.238540e-06,2.313997e-06,2.320039e-06,2.389569e-06,2.419821e-06,2.465216e-06,2.519707e-06,2.540901e-06,2.616587e-06,2.619614e-06,2.692241e-06,2.719462e-06,2.767830e-06,2.819177e-06,2.843323e-06,2.918691e-06,2.993907e-06,3.017940e-06,3.068945e-06,3.116864e-06,3.143779e-06,3.215407e-06,3.218387e-06,3.292746e-06,3.313520e-06,3.366837e-06,3.411153e-06,3.440638e-06,3.508264e-06,3.514132e-06,3.587301e-06,3.604812e-06,3.660130e-06,3.700759e-06,3.732602e-06,3.796071e-06,3.804703e-06,3.876421e-06,3.890717e-06,3.947742e-06,3.984669e-06,4.018655e-06,4.077899e-06,4.089149e-06,4.159214e-06,4.170384e-06,4.228840e-06,4.262102e-06,4.298019e-06,4.353035e-06,4.366743e-06,4.435004e-06,4.443163e-06,4.502795e-06,4.532473e-06,4.570111e-06,4.620949e-06,4.636946e-06,4.703294e-06,4.708581e-06,4.769151e-06,4.795355e-06,4.834513e-06,4.881265e-06,4.899376e-06,4.963737e-06,4.966301e-06,5.027593e-06,5.050457e-06,5.090942e-06,5.133728e-06,5.153781e-06,5.216109e-06,5.297597e-06,5.378190e-06,5.457885e-06,5.536683e-06,5.614584e-06,5.691588e-06,5.767697e-06,5.842914e-06,5.917241e-06,5.990682e-06,6.063240e-06,6.134920e-06,6.205726e-06,6.275664e-06,6.344740e-06,6.412958e-06,6.480326e-06,6.546849e-06,6.612535e-06,6.677390e-06,6.741422e-06,6.804638e-06,6.867045e-06,6.928652e-06
0.000000e+00,4.459181e-12,1.368647e-11,7.251953e-11,2.194764e-10,3.648006e-10,1.095497e-09,1.139869e-09,2.747501e-09,3.404211e-09,5.624304e-09,8.172907e-09,1.029142e-08,1.668433e-08,1.735299e-08,2.749201e-08,3.046541e-08,4.145702e-08,5.124077e-08,6.003240e-08,8.080943e-08,8.399378e-08,1.140645e-07,1.208700e-07,1.508894e-07,1.728963e-07,1.950265e-07,2.381010e-07,2.469489e-07,3.070492e-07,3.174463e-07,3.756432e-07,4.116591e-07,4.529730e-07,5.212443e-07,5.392103e-07,6.344591e-07,6.464971e-07,7.387595e-07,7.875162e-07,8.520916e-07,9.442199e-07,9.743801e-07,1.105500e-06,1.116366e-06,1.245280e-06,1.303572e-06,1.393512e-06,1.505336e-06,1.549952e-06,1.714327e-06,1.721063e-06,1.886344e-06,1.950080e-06,2.065686e-06,2.191657e-06,2.252027e-06,2.445026e-06,2.644338e-06,2.709393e-06,2.849612e-06,2.983954e-06,3.060497e-06,3.267900e-06,3.276643e-06,3.497702e-06,3.560433e-06,3.723333e-06,3.860765e-06,3.953198e-06,4.168131e-06,4.186969e-06,4.424323e-06,4.481787e-06,4.664949e-06,4.801016e-06,4.908544e-06,5.125130e-06,5.154814e-06,5.403476e-06,5.453471e-06,5.654257e-06,5.785413e-06,5.906894e-06,6.120359e-06,6.161135e-06,6.416738e-06,6.457746e-06,6.673471e-06,6.797039e-06,6.931113e-06,7.137737e-06,7.189451e-06,7.448284e-06,7.479368e-06,7.707419e-06,7.821486e-06,7.966672e-06,8.163677e-06,8.225871e-06,8.484849e-06,8.505553e-06,8.743450e-06,8.846751e-06,9.001525e-06,9.186935e-06,9.258934e-06,9.515544e-06,9.525790e-06,9.771230e-06,9.863028e-06,1.002587e-05,1.019838e-05,1.027936e-05,1.053160e-05,1.078248e-05,1.086245e-05,1.103191e-05,1.119074e-05,1.127980e-05,1.151627e-05,1.152609e-05,1.177069e-05,1.183887e-05,1.201353e-05,1.215837e-05,1.225455e-05,1.247464e-05,1.249370e-05,1.273091e-05,1.278754e-05,1.296613e-05,1.309697e-05,1.319932e-05,1.340282e-05,1.343044e-05,1.365945e-05,1.370500e-05,1.388632e-05,1.400343e-05,1.411101e-05,1.429804e-05,1.433349e-05,1.455375e-05,1.458878e-05,1.477176e-05,1.487560e-05,1.498750e-05,1.515844e-05,1.520095e-05,1.541211e-05,1.543729e-05,1.562096e-05,1.571212e-05,1.582749e-05,1.598290e-05,1.603170e-05,1.623359e-05,1.624964e-05,1.643314e-05,1.651231e-05,1.663037e-05,1.677093e-05,1.682527e-05,1.701784e-05,1.702550e-05,1.720810e-05,1.727602e-05,1.739604e-05,1.752252e-05,1.758167e-05,1.776501e-05,1.800352e-05,1.823807e-05,1.846869e-05,1.869542e-05,1.891828e-05,1.913732e-05,1.935257e-05,1.956409e-05,1.977190e-05,1.997606e-05,2.017661e-05,2.037360e-05,2.056708e-05,2.075709e-05,2.094370e-05,2.112693e-05,2.130686e-05,2.148353e-05,2.165699e-05,2.182729e-05,2.199449e-05,2.215864e-05,2.231979e-05,2.247799e-05
0.000000e+00,8.959673e-12,3.010931e-11,1.755902e-10,5.559454e-10,9.398965e-10,2.909850e-09,3.030625e-09,7.446928e-09,9.265351e-09,1.544709e-08,2.258621e-08,2.854394e-08,4.660878e-08,4.850411e-08,7.734356e-08,8.583119e-08,1.173034e-07,1.454296e-07,1.707838e-07,2.309703e-07,2.402249e-07,3.279622e-07,3.478960e-07,4.361118e-07,5.010396e-07,5.665162e-07,6.944041e-07,7.207361e-07,9.000645e-07,9.311602e-07,1.105545e-06,1.213711e-06,1.337986e-06,1.543755e-06,1.597978e-06,1.885900e-06,1.922338e-06,2.201934e-06,2.349902e-06,2.546081e-06,2.826334e-06,2.918169e-06,3.317869e-06,3.351025e-06,3.744715e-06,3.922925e-06,4.198113e-06,4.540613e-06,4.677365e-06,5.181674e-06,5.202356e-06,5.710170e-06,5.906171e-06,6.261917e-06,6.649883e-06,6.835926e-06,7.431174e-06,8.046604e-06,8.247629e-06,8.681144e-06,9.096779e-06,9.333712e-06,9.976129e-06,1.000322e-05,1.068859e-05,1.088319e-05,1.138874e-05,1.181549e-05,1.210263e-05,1.277063e-05,1.282919e-05,1.356743e-05,1.374623e-05,1.431633e-05,1.474001e-05,1.507493e-05,1.574976e-05,1.584228e-05,1.661746e-05,1.677336e-05,1.739960e-05,1.780877e-05,1.818782e-05,1.885404e-05,1.898132e-05,1.977928e-05,1.990732e-05,2.058095e-05,2.096685e-05,2.138559e-05,2.203096e-05,2.219249e-05,2.300099e-05,2.309808e-05,2.381043e-05,2.416672e-05,2.462019e-05,2.523547e-05,2.542970e-05,2.623838e-05,2.630302e-05,2.704570e-05,2.736814e-05,2.785116e-05,2.842967e-05,2.865428e-05,2.945458e-05,2.948653e-05,3.025164e-05,3.053771e-05,3.104506e-05,3.158230e-05,3.183443e-05,3.261940e-05,3.339962e-05,3.364824e-05,3.417477e-05,3.466806e-05,3.494454e-05,3.567819e-05,3.570864e-05,3.646681e-05,3.667800e-05,3.721880e-05,3.766693e-05,3.796438e-05,3.864446e-05,3.870332e-05,3.943544e-05,3.961011e-05,4.016054e-05,4.056346e-05,4.087845e-05,4.150414e-05,4.158902e-05,4.229210e-05,4.243181e-05,4.298757e-05,4.334616e-05,4.367530e-05,4.424694e-05,4.435519e-05,4.502714e-05,4.513391e-05,4.569107e-05,4.600689e-05,4.634691e-05,4.686571e-05,4.699459e-05,4.763405e-05,4.771023e-05,4.826525e-05,4.854035e-05,4.888816e-05,4.935600e-05,4.950273e-05,5.010897e-05,5.015710e-05,5.070683e-05,5.094364e-05,5.129633e-05,5.171559e-05,5.187746e-05,5.245023e-05,5.247297e-05,5.301464e-05,5.321579e-05,5.357072e-05,5.394411e-05,5.411849e-05,5.465798e-05,5.535747e-05,5.604267e-05,5.671369e-05,5.737062e-05,5.801360e-05,5.864276e-05,5.925823e-05,5.986017e-05,6.044873e-05,6.102408e-05,6.158638e-05,6.213581e-05,6.267255e-05,6.319678e-05,6.370869e-05,6.420846e-05,6.469630e-05,6.517239e-05,6.563693e-05,6.609013e-05,6.653217e-05,6.696327e-05,6.738362e-05,6.779342e-05
0.000000e+00,6.183394e-15,4.791363e-14,8.351987e-13,4.837911e-12,1.041009e-11,5.029033e-11,5.312450e-11,1.730392e-10,2.285780e-10,4.330617e-10,6.890839e-10,9.136065e-10,1.633505e-09,1.711579e-09,2.939556e-09,3.312088e-09,4.724499e-09,6.018599e-09,7.204746e-09,1.007670e-08,1.052406e-08,1.482344e-08,1.581267e-08,2.023357e-08,2.352495e-08,2.687041e-08,3.346686e-08,3.483379e-08,4.420758e-08,4.584306e-08,5.506026e-08,6.081116e-08,6.744548e-08,7.848390e-08,8.140244e-08,9.695644e-08,9.893094e-08,1.141194e-07,1.221811e-07,1.328906e-07,1.482252e-07,1.532578e-07,1.751978e-07,1.770200e-07,1.986780e-07,2.084925e-07,2.236578e-07,2.425450e-07,2.500891e-07,2.779182e-07,2.790597e-07,3.070869e-07,3.179036e-07,3.375330e-07,3.589332e-07,3.691920e-07,4.019977e-07,4.358829e-07,4.469432e-07,4.707802e-07,4.936146e-07,5.066225e-07,5.418588e-07,5.433437e-07,5.808786e-07,5.915255e-07,6.191638e-07,6.424694e-07,6.581377e-07,6.945507e-07,6.977407e-07,7.379152e-07,7.476360e-07,7.786060e-07,8.015984e-07,8.197598e-07,8.563181e-07,8.613262e-07,9.032566e-07,9.116822e-07,9.455049e-07,9.675850e-07,9.880272e-07,1.023927e-06,1.030782e-06,1.073730e-06,1.080617e-06,1.116833e-06,1.137567e-06,1.160056e-06,1.194699e-06,1.203367e-06,1.246732e-06,1.251938e-06,1.290123e-06,1.309215e-06,1.333511e-06,1.366468e-06,1.376870e-06,1.420175e-06,1.423637e-06,1.463403e-06,1.480668e-06,1.506532e-06,1.537512e-06,1.549542e-06,1.592412e-06,1.594123e-06,1.635125e-06,1.650460e-06,1.677664e-06,1.706484e-06,1.720014e-06,1.762159e-06,1.804086e-06,1.817455e-06,1.845783e-06,1.872341e-06,1.887236e-06,1.926792e-06,1.928435e-06,1.969370e-06,1.980783e-06,2.010031e-06,2.034293e-06,2.050410e-06,2.087302e-06,2.090498e-06,2.130288e-06,2.139793e-06,2.169773e-06,2.191749e-06,2.208947e-06,2.243158e-06,2.247804e-06,2.286339e-06,2.294007e-06,2.324547e-06,2.344284e-06,2.362423e-06,2.393981e-06,2.399965e-06,2.437169e-06,2.443090e-06,2.474031e-06,2.491602e-06,2.510549e-06,2.539514e-06,2.546720e-06,2.582544e-06,2.586819e-06,2.618017e-06,2.633514e-06,2.653139e-06,2.679596e-06,2.687908e-06,2.722324e-06,2.725062e-06,2.756386e-06,2.769912e-06,2.790094e-06,2.814144e-06,2.823447e-06,2.856446e-06,2.857759e-06,2.889091e-06,2.900757e-06,2.921382e-06,2.943139e-06,2.953321e-06,2.984907e-06,3.026062e-06,3.066608e-06,3.106547e-06,3.145883e-06,3.184619e-06,3.222759e-06,3.260308e-06,3.297269e-06,3.333647e-06,3.369448e-06,3.404677e-06,3.439338e-06,3.473437e-06,3.506980e-06,3.539973e-06,3.572421e-06,3.604330e-06,3.635706e-06,3.666556e-06,3.696886e-06,3.726701e-06,3.756008e-06,3.784813e-06,3.813123e-06
0.000000e+00,1.691282e-18,1.954417e-17,7.403877e-16,8.169546e-15,2.444231e-14,2.574087e-13,2.800990e-13,1.799184e-12,2.819478e-12,8.019881e-12,1.733899e-11,2.780249e-11,7.412961e-11,8.023820e-11,2.014281e-10,2.469335e-10,4.531865e-10,6.858652e-10,9.333404e-10,1.658673e-09,1.786963e-09,3.217595e-09,3.595606e-09,5.497410e-09,7.131119e-09,8.975355e-09,1.313567e-08,1.408255e-08,2.133445e-08,2.273265e-08,3.132969e-08,3.729790e-08,4.474557e-08,5.844191e-08,6.233046e-08,8.489344e-08,8.797581e-08,1.132917e-07,1.278643e-07,1.484163e-07,1.801688e-07,1.911765e-07,2.424833e-07,2.469841e-07,3.032335e-07,3.303731e-07,3.742930e-07,4.323021e-07,4.564820e-07,5.505606e-07,5.545810e-07,6.572159e-07,6.988097e-07,7.770517e-07,8.663334e-07,9.105790e-07,1.058210e-06,1.220252e-06,1.275185e-06,1.396906e-06,1.517682e-06,1.588268e-06,1.785800e-06,1.794323e-06,2.014958e-06,2.079322e-06,2.249959e-06,2.397731e-06,2.499020e-06,2.740237e-06,2.761747e-06,3.037671e-06,3.105798e-06,3.326250e-06,3.493160e-06,3.626882e-06,3.900887e-06,3.938909e-06,4.261633e-06,4.327397e-06,4.594316e-06,4.770994e-06,4.936194e-06,5.229906e-06,5.286485e-06,5.644391e-06,5.702309e-06,6.009111e-06,6.186361e-06,6.379843e-06,6.680223e-06,6.755793e-06,7.136176e-06,7.182083e-06,7.520224e-06,7.690173e-06,7.907189e-06,8.202785e-06,8.296343e-06,8.686986e-06,8.718282e-06,9.078444e-06,9.235110e-06,9.470073e-06,9.751804e-06,9.861257e-06,1.025141e-05,1.026699e-05,1.063999e-05,1.077940e-05,1.102648e-05,1.128784e-05,1.141038e-05,1.179124e-05,1.216863e-05,1.228861e-05,1.254218e-05,1.277905e-05,1.291150e-05,1.326177e-05,1.327627e-05,1.363618e-05,1.373604e-05,1.399095e-05,1.420124e-05,1.434033e-05,1.465680e-05,1.468408e-05,1.502202e-05,1.510223e-05,1.535394e-05,1.553714e-05,1.567970e-05,1.596116e-05,1.599916e-05,1.631218e-05,1.637400e-05,1.661867e-05,1.677543e-05,1.691854e-05,1.716526e-05,1.721172e-05,1.749816e-05,1.754336e-05,1.777781e-05,1.790963e-05,1.805065e-05,1.826401e-05,1.831666e-05,1.857584e-05,1.860648e-05,1.882819e-05,1.893706e-05,1.907372e-05,1.925578e-05,1.931246e-05,1.954445e-05,1.956272e-05,1.976973e-05,1.985797e-05,1.998834e-05,2.014163e-05,2.020033e-05,2.040577e-05,2.041385e-05,2.060472e-05,2.067477e-05,2.079726e-05,2.092455e-05,2.098345e-05,2.116338e-05,2.139143e-05,2.160891e-05,2.181603e-05,2.201298e-05,2.220000e-05,2.237731e-05,2.254513e-05,2.270369e-05,2.285323e-05,2.299398e-05,2.312618e-05,2.325005e-05,2.336584e-05,2.347376e-05,2.357407e-05,2.366697e-05,2.375271e-05,2.383150e-05,2.390356e-05,2.396912e-05,2.402839e-05,2.408158e-05,2.412889e-05,2.417054e-05
0.000000e+00,9.676115e-14,6.709761e-13,9.696420e-12,4.938031e-11,1.003629e-10,4.328945e-10,4.555780e-10,1.376086e-09,1.789116e-09,3.280509e-09,5.117431e-09,6.716623e-09,1.182272e-08,1.237605e-08,2.108308e-08,2.372460e-08,3.371809e-08,4.281807e-08,5.109327e-08,7.083080e-08,7.386626e-08,1.025293e-07,1.090021e-07,1.374376e-07,1.581438e-07,1.788385e-07,2.187517e-07,2.268914e-07,2.816790e-07,2.910717e-07,3.432130e-07,3.751323e-07,4.114398e-07,4.707651e-07,4.862450e-07,5.674582e-07,5.776245e-07,6.548601e-07,6.952113e-07,7.481884e-07,8.228997e-07,8.471459e-07,9.514077e-07,9.599675e-07,1.060628e-06,1.105625e-06,1.174449e-06,1.259044e-06,1.292505e-06,1.414427e-06,1.419379e-06,1.539851e-06,1.585792e-06,1.668419e-06,1.757464e-06,1.799785e-06,1.933613e-06,2.069584e-06,2.113497e-06,2.207393e-06,2.296422e-06,2.346753e-06,2.481746e-06,2.487393e-06,2.629060e-06,2.668879e-06,2.771518e-06,2.857281e-06,2.914547e-06,3.046463e-06,3.057944e-06,3.201520e-06,3.235986e-06,3.345103e-06,3.425452e-06,3.488532e-06,3.614507e-06,3.631662e-06,3.774359e-06,3.802836e-06,3.916501e-06,3.990158e-06,4.057976e-06,4.176226e-06,4.198684e-06,4.338532e-06,4.360822e-06,4.477437e-06,4.543755e-06,4.615325e-06,4.724857e-06,4.752128e-06,4.887785e-06,4.903984e-06,5.022242e-06,5.081011e-06,5.155451e-06,5.255829e-06,5.287369e-06,5.417958e-06,5.428347e-06,5.547185e-06,5.598488e-06,5.675021e-06,5.766187e-06,5.801440e-06,5.926421e-06,5.931391e-06,6.049947e-06,6.094057e-06,6.172002e-06,6.254152e-06,6.292573e-06,6.411650e-06,6.529228e-06,6.566534e-06,6.645299e-06,6.718793e-06,6.759861e-06,6.868420e-06,6.872913e-06,6.984454e-06,7.015415e-06,7.094487e-06,7.159783e-06,7.203014e-06,7.301533e-06,7.310040e-06,7.415571e-06,7.440676e-06,7.519612e-06,7.577228e-06,7.622173e-06,7.711208e-06,7.723261e-06,7.822885e-06,7.842636e-06,7.921056e-06,7.971535e-06,8.017785e-06,8.097930e-06,8.113081e-06,8.206959e-06,8.221848e-06,8.299428e-06,8.343318e-06,8.390503e-06,8.462368e-06,8.480197e-06,8.568522e-06,8.579030e-06,8.655493e-06,8.693335e-06,8.741124e-06,8.805316e-06,8.825428e-06,8.908421e-06,8.915004e-06,8.990117e-06,9.022435e-06,9.070530e-06,9.127642e-06,9.149676e-06,9.227569e-06,9.230659e-06,9.304225e-06,9.331521e-06,9.379658e-06,9.430262e-06,9.453884e-06,9.526918e-06,9.621523e-06,9.714111e-06,9.804718e-06,9.893378e-06,9.980126e-06,1.006499e-05,1.014802e-05,1.022923e-05,1.030867e-05,1.038636e-05,1.046234e-05,1.053664e-05,1.060929e-05,1.068033e-05,1.074978e-05,1.081767e-05,1.088404e-05,1.094892e-05,1.101233e-05,1.107430e-05,1.113487e-05,1.119406e-05,1.125189e-05,1.130840e-05
0.000000e+00,3.789828e-11,1.154287e-10,6.121001e-10,1.881176e-09,3.171665e-09,1.008452e-08,1.052412e-08,2.768437e-08,3.529137e-08,6.306857e-08,9.811254e-08,1.292108e-07,2.301964e-07,2.411836e-07,4.124571e-07,4.634863e-07,6.520571e-07,8.180526e-07,9.649563e-07,1.302889e-06,1.353559e-06,1.818788e-06,1.921043e-06,2.360660e-06,2.672542e-06,2.978567e-06,3.555572e-06,3.671403e-06,4.437644e-06,4.566933e-06,5.275396e-06,5.702277e-06,6.182441e-06,6.956301e-06,7.156287e-06,8.194218e-06,8.322940e-06,9.293338e-06,9.795559e-06,1.045062e-05,1.136713e-05,1.166294e-05,1.292713e-05,1.303041e-05,1.423999e-05,1.477804e-05,1.559833e-05,1.660272e-05,1.699898e-05,1.843884e-05,1.849721e-05,1.991485e-05,2.045448e-05,2.142402e-05,2.246772e-05,2.296346e-05,2.453035e-05,2.612199e-05,2.663611e-05,2.773574e-05,2.877898e-05,2.936909e-05,3.095328e-05,3.101960e-05,3.268495e-05,3.315360e-05,3.436291e-05,3.537485e-05,3.605135e-05,3.761220e-05,3.774822e-05,3.945158e-05,3.986114e-05,4.115957e-05,4.211741e-05,4.287043e-05,4.437702e-05,4.458248e-05,4.629412e-05,4.663627e-05,4.800384e-05,4.889165e-05,4.971020e-05,5.113995e-05,5.141184e-05,5.310748e-05,5.337814e-05,5.479590e-05,5.560344e-05,5.647596e-05,5.781326e-05,5.814658e-05,5.980675e-05,6.000522e-05,6.145550e-05,6.217710e-05,6.309195e-05,6.432691e-05,6.471526e-05,6.632465e-05,6.645278e-05,6.791939e-05,6.855303e-05,6.949880e-05,7.062612e-05,7.106225e-05,7.260915e-05,7.267067e-05,7.413896e-05,7.468542e-05,7.565120e-05,7.666924e-05,7.714539e-05,7.862113e-05,8.007802e-05,8.054020e-05,8.151574e-05,8.242567e-05,8.293396e-05,8.427686e-05,8.433242e-05,8.571085e-05,8.609319e-05,8.706904e-05,8.787416e-05,8.840680e-05,8.961936e-05,8.972398e-05,9.102042e-05,9.132847e-05,9.229602e-05,9.300122e-05,9.355069e-05,9.463742e-05,9.478435e-05,9.599696e-05,9.623695e-05,9.718849e-05,9.779975e-05,9.835893e-05,9.932580e-05,9.950828e-05,1.006366e-04,1.008152e-04,1.017439e-04,1.022679e-04,1.028302e-04,1.036842e-04,1.038956e-04,1.049402e-04,1.050641e-04,1.059641e-04,1.064080e-04,1.069673e-04,1.077161e-04,1.079501e-04,1.089125e-04,1.089886e-04,1.098546e-04,1.102258e-04,1.107767e-04,1.114282e-04,1.116788e-04,1.125612e-04,1.125960e-04,1.134239e-04,1.137297e-04,1.142672e-04,1.148297e-04,1.150913e-04,1.158963e-04,1.169301e-04,1.179314e-04,1.189008e-04,1.198387e-04,1.207457e-04,1.216221e-04,1.224686e-04,1.232857e-04,1.240738e-04,1.248335e-04,1.255653e-04,1.262697e-04,1.269474e-04,1.275987e-04,1.282242e-04,1.288245e-04,1.294001e-04,1.299515e-04,1.304793e-04,1.309838e-04,1.314658e-04,1.319256e-04,1.323639e-04,1.327810e-04
0.000000e+00,9.500219e-12,3.013962e-11,1.655531e-10,5.107486e-10,8.563572e-10,2.628749e-09,2.737820e-09,6.773766e-09,8.462982e-09,1.431571e-08,2.125778e-08,2.717179e-08,4.555622e-08,4.751180e-08,7.753006e-08,8.639490e-08,1.191433e-07,1.481145e-07,1.739387e-07,2.341243e-07,2.432468e-07,3.282096e-07,3.471703e-07,4.298162e-07,4.895163e-07,5.489145e-07,6.629964e-07,6.862119e-07,8.422698e-07,8.690096e-07,1.017499e-06,1.108501e-06,1.212158e-06,1.381951e-06,1.426353e-06,1.660041e-06,1.689386e-06,1.913039e-06,2.030400e-06,2.185035e-06,2.404196e-06,2.475598e-06,2.784192e-06,2.809640e-06,3.110193e-06,3.245313e-06,3.452902e-06,3.709573e-06,3.811558e-06,4.185353e-06,4.200607e-06,4.573443e-06,4.716488e-06,4.974961e-06,5.255215e-06,5.389028e-06,5.814755e-06,6.251262e-06,6.393077e-06,6.697673e-06,6.988176e-06,7.153129e-06,7.598094e-06,7.616788e-06,8.087830e-06,8.220935e-06,8.565457e-06,8.854873e-06,9.048900e-06,9.498165e-06,9.537416e-06,1.003029e-05,1.014915e-05,1.052684e-05,1.080628e-05,1.102642e-05,1.146806e-05,1.152840e-05,1.203219e-05,1.213311e-05,1.253723e-05,1.280017e-05,1.304299e-05,1.346803e-05,1.354898e-05,1.405473e-05,1.413560e-05,1.455979e-05,1.480185e-05,1.506375e-05,1.546585e-05,1.556621e-05,1.606681e-05,1.612674e-05,1.656520e-05,1.678371e-05,1.706106e-05,1.743603e-05,1.755409e-05,1.804401e-05,1.808306e-05,1.853055e-05,1.872417e-05,1.901349e-05,1.935884e-05,1.949259e-05,1.996764e-05,1.998655e-05,2.043846e-05,2.060688e-05,2.090486e-05,2.121942e-05,2.136670e-05,2.182383e-05,2.227610e-05,2.241979e-05,2.272341e-05,2.300703e-05,2.316564e-05,2.358532e-05,2.360270e-05,2.403450e-05,2.415445e-05,2.446096e-05,2.471425e-05,2.488202e-05,2.526458e-05,2.529763e-05,2.570773e-05,2.580533e-05,2.611228e-05,2.633640e-05,2.651126e-05,2.685772e-05,2.690463e-05,2.729238e-05,2.736926e-05,2.767450e-05,2.787097e-05,2.805097e-05,2.836285e-05,2.842180e-05,2.878699e-05,2.884490e-05,2.914656e-05,2.931716e-05,2.950051e-05,2.977965e-05,2.984887e-05,3.019165e-05,3.023241e-05,3.052889e-05,3.067553e-05,3.086061e-05,3.110905e-05,3.118685e-05,3.150763e-05,3.153306e-05,3.182301e-05,3.194765e-05,3.213301e-05,3.235292e-05,3.243769e-05,3.273709e-05,3.274896e-05,3.303125e-05,3.313588e-05,3.332023e-05,3.351380e-05,3.360408e-05,3.388284e-05,3.424312e-05,3.459477e-05,3.493791e-05,3.527267e-05,3.559920e-05,3.591763e-05,3.622809e-05,3.653072e-05,3.682566e-05,3.711306e-05,3.739305e-05,3.766576e-05,3.793135e-05,3.818994e-05,3.844168e-05,3.868671e-05,3.892515e-05,3.915715e-05,3.938284e-05,3.960235e-05,3.981581e-05,4.002335e-05,4.022510e-05,4.042119e-05
0.000000e+00,8.889035e-13,2.700419e-12,1.410460e-11,4.226569e-11,6.991055e-11,2.075244e-10,2.158328e-10,5.147196e-10,6.359603e-10,1.043460e-09,1.508013e-09,1.892241e-09,3.044051e-09,3.163985e-09,4.973095e-09,5.500751e-09,7.441911e-09,9.158692e-09,1.069334e-08,1.429244e-08,1.484080e-08,1.997986e-08,2.113360e-08,2.618509e-08,2.985197e-08,3.351092e-08,4.055795e-08,4.199407e-08,5.165588e-08,5.331185e-08,6.250420e-08,6.813207e-08,7.453494e-08,8.500129e-08,8.773335e-08,1.020753e-07,1.038717e-07,1.175285e-07,1.246700e-07,1.340537e-07,1.473024e-07,1.516061e-07,1.701364e-07,1.716595e-07,1.895917e-07,1.976207e-07,2.099173e-07,2.250589e-07,2.310566e-07,2.529531e-07,2.538439e-07,2.755500e-07,2.838456e-07,2.987916e-07,3.149363e-07,3.226235e-07,3.469929e-07,3.718490e-07,3.798977e-07,3.971432e-07,4.135399e-07,4.228293e-07,4.478158e-07,4.488633e-07,4.752041e-07,4.826291e-07,5.018126e-07,5.178909e-07,5.286523e-07,5.535197e-07,5.556891e-07,5.828912e-07,5.894410e-07,6.102289e-07,6.255870e-07,6.376747e-07,6.618961e-07,6.652031e-07,6.927902e-07,6.983127e-07,7.204143e-07,7.347866e-07,7.480550e-07,7.712724e-07,7.756938e-07,8.033133e-07,8.077296e-07,8.308977e-07,8.441214e-07,8.584324e-07,8.804153e-07,8.859040e-07,9.133001e-07,9.165821e-07,9.406095e-07,9.525954e-07,9.678218e-07,9.884323e-07,9.949274e-07,1.021918e-06,1.024072e-06,1.048785e-06,1.059496e-06,1.075522e-06,1.094688e-06,1.102122e-06,1.128579e-06,1.129634e-06,1.154887e-06,1.164321e-06,1.181043e-06,1.198739e-06,1.207041e-06,1.232877e-06,1.258548e-06,1.266727e-06,1.284051e-06,1.300283e-06,1.309382e-06,1.333537e-06,1.334540e-06,1.359522e-06,1.366486e-06,1.384327e-06,1.399123e-06,1.408952e-06,1.431447e-06,1.433396e-06,1.457658e-06,1.463454e-06,1.481738e-06,1.495142e-06,1.505633e-06,1.526509e-06,1.529344e-06,1.552871e-06,1.557554e-06,1.576212e-06,1.588277e-06,1.599369e-06,1.618677e-06,1.622340e-06,1.645126e-06,1.648755e-06,1.667727e-06,1.678510e-06,1.690144e-06,1.707945e-06,1.712377e-06,1.734426e-06,1.737059e-06,1.756292e-06,1.765855e-06,1.777976e-06,1.794335e-06,1.799479e-06,1.820801e-06,1.822499e-06,1.841943e-06,1.850350e-06,1.862906e-06,1.877890e-06,1.883692e-06,1.904301e-06,1.905122e-06,1.924734e-06,1.932047e-06,1.944993e-06,1.958669e-06,1.965078e-06,1.984991e-06,2.011014e-06,2.036743e-06,2.062179e-06,2.087327e-06,2.112188e-06,2.136767e-06,2.161066e-06,2.185088e-06,2.208838e-06,2.232317e-06,2.255530e-06,2.278479e-06,2.301167e-06,2.323599e-06,2.345777e-06,2.367705e-06,2.389386e-06,2.410822e-06,2.432018e-06,2.452977e-06,2.473701e-06,2.494194e-06,2.514459e-06,2.534499e-06
0.000000e+00,7.813570e-19,9.025331e-18,3.403966e-16,3.738285e-15,1.115433e-14,1.166107e-13,1.268507e-13,8.085110e-13,1.264240e-12,3.575840e-12,7.694514e-12,1.229894e-11,3.255414e-11,3.521434e-11,8.770148e-11,1.073102e-10,1.957675e-10,2.949972e-10,4.000961e-10,7.064217e-10,7.604043e-10,1.359722e-09,1.517442e-09,2.308111e-09,2.984390e-09,3.745317e-09,5.454246e-09,5.841952e-09,8.798985e-09,9.366898e-09,1.284547e-08,1.524831e-08,1.823459e-08,2.369494e-08,2.523841e-08,3.414153e-08,3.535130e-08,4.523408e-08,5.088298e-08,5.880451e-08,7.094775e-08,7.513235e-08,9.448144e-08,9.616731e-08,1.170938e-07,1.271015e-07,1.431841e-07,1.642270e-07,1.729358e-07,2.064969e-07,2.079203e-07,2.439788e-07,2.584473e-07,2.854542e-07,3.159578e-07,3.309576e-07,3.804854e-07,4.339979e-07,4.519523e-07,4.914212e-07,5.301773e-07,5.526503e-07,6.148872e-07,6.175518e-07,6.859679e-07,7.057302e-07,7.577194e-07,8.022903e-07,8.326101e-07,9.041017e-07,9.104300e-07,9.909587e-07,1.010664e-06,1.073969e-06,1.121453e-06,1.159231e-06,1.235939e-06,1.246511e-06,1.335581e-06,1.353589e-06,1.426212e-06,1.473884e-06,1.518185e-06,1.596323e-06,1.611286e-06,1.705309e-06,1.720425e-06,1.800059e-06,1.845743e-06,1.895351e-06,1.971856e-06,1.991009e-06,2.086870e-06,2.098379e-06,2.182780e-06,2.224959e-06,2.278598e-06,2.351278e-06,2.374195e-06,2.469448e-06,2.477050e-06,2.564249e-06,2.602020e-06,2.658498e-06,2.725964e-06,2.752104e-06,2.844986e-06,2.848685e-06,2.937070e-06,2.970012e-06,3.028291e-06,3.089799e-06,3.118592e-06,3.207921e-06,3.296233e-06,3.324272e-06,3.383489e-06,3.438763e-06,3.469656e-06,3.551324e-06,3.554704e-06,3.638610e-06,3.661896e-06,3.721353e-06,3.770434e-06,3.802917e-06,3.876902e-06,3.883288e-06,3.962456e-06,3.981276e-06,4.040414e-06,4.083540e-06,4.117157e-06,4.183684e-06,4.192683e-06,4.266990e-06,4.281706e-06,4.340081e-06,4.377608e-06,4.411958e-06,4.471400e-06,4.482625e-06,4.552088e-06,4.563091e-06,4.620354e-06,4.652699e-06,4.687431e-06,4.740242e-06,4.753327e-06,4.818053e-06,4.825741e-06,4.881617e-06,4.909221e-06,4.944032e-06,4.990706e-06,5.005309e-06,5.065460e-06,5.070223e-06,5.124497e-06,5.147803e-06,5.182433e-06,5.223473e-06,5.239281e-06,5.295055e-06,5.297264e-06,5.349769e-06,5.369209e-06,5.403436e-06,5.439338e-06,5.456069e-06,5.507684e-06,5.574280e-06,5.639158e-06,5.702352e-06,5.763893e-06,5.823817e-06,5.882154e-06,5.938938e-06,5.994202e-06,6.047978e-06,6.100297e-06,6.151192e-06,6.200693e-06,6.248832e-06,6.295640e-06,6.341145e-06,6.385378e-06,6.428369e-06,6.470146e-06,6.510737e-06,6.550170e-06,6.588473e-06,6.625673e-06,6.661795e-06,6.696867e-06
0.000000e+00,4.690719e-11,1.472976e-10,8.031046e-10,2.482830e-09,4.179340e-09,1.307606e-08,1.363286e-08,3.481924e-08,4.396129e-08,7.651923e-08,1.163301e-07,1.508389e-07,2.594707e-07,2.710625e-07,4.483817e-07,5.003815e-07,6.907858e-07,8.570920e-07,1.003794e-06,1.340778e-06,1.391317e-06,1.856153e-06,1.958581e-06,2.400232e-06,2.714887e-06,3.024726e-06,3.611815e-06,3.730114e-06,4.516236e-06,4.649466e-06,5.382353e-06,5.826152e-06,6.327209e-06,7.138652e-06,7.349097e-06,8.445938e-06,8.582484e-06,9.615335e-06,1.015218e-05,1.085465e-05,1.184154e-05,1.216104e-05,1.353153e-05,1.364385e-05,1.496305e-05,1.555205e-05,1.645248e-05,1.755894e-05,1.799664e-05,1.959238e-05,1.965724e-05,2.123655e-05,2.183970e-05,2.292602e-05,2.409919e-05,2.465775e-05,2.642872e-05,2.823599e-05,2.882152e-05,3.007670e-05,3.127101e-05,3.194805e-05,3.377086e-05,3.384733e-05,3.577192e-05,3.631499e-05,3.771926e-05,3.889756e-05,3.968690e-05,4.151302e-05,4.167248e-05,4.367368e-05,4.415605e-05,4.568833e-05,4.682160e-05,4.771429e-05,4.950487e-05,4.974952e-05,5.179209e-05,5.220131e-05,5.384010e-05,5.490662e-05,5.589177e-05,5.761673e-05,5.794537e-05,5.999928e-05,6.032782e-05,6.205191e-05,6.303628e-05,6.410177e-05,6.573871e-05,6.614745e-05,6.818757e-05,6.843196e-05,7.022086e-05,7.111303e-05,7.224609e-05,7.377916e-05,7.426210e-05,7.626777e-05,7.642775e-05,7.826209e-05,7.905641e-05,8.024405e-05,8.166289e-05,8.221273e-05,8.416725e-05,8.424513e-05,8.610680e-05,8.680121e-05,8.803059e-05,8.932940e-05,8.993790e-05,9.182806e-05,9.370043e-05,9.429573e-05,9.555442e-05,9.673107e-05,9.738947e-05,9.913285e-05,9.920510e-05,1.010008e-04,1.015000e-04,1.027762e-04,1.038315e-04,1.045308e-04,1.061265e-04,1.062644e-04,1.079765e-04,1.083842e-04,1.096669e-04,1.106039e-04,1.113353e-04,1.127851e-04,1.129814e-04,1.146052e-04,1.149272e-04,1.162063e-04,1.170298e-04,1.177846e-04,1.190926e-04,1.193400e-04,1.208723e-04,1.211154e-04,1.223816e-04,1.230978e-04,1.238676e-04,1.250397e-04,1.253304e-04,1.267699e-04,1.269411e-04,1.281862e-04,1.288020e-04,1.295792e-04,1.306223e-04,1.309490e-04,1.322955e-04,1.324022e-04,1.336189e-04,1.341418e-04,1.349192e-04,1.358411e-04,1.361965e-04,1.374509e-04,1.375006e-04,1.386824e-04,1.391202e-04,1.398913e-04,1.407005e-04,1.410777e-04,1.422416e-04,1.437438e-04,1.452077e-04,1.466334e-04,1.480216e-04,1.493724e-04,1.506866e-04,1.519644e-04,1.532063e-04,1.544130e-04,1.555848e-04,1.567223e-04,1.578260e-04,1.588964e-04,1.599342e-04,1.609398e-04,1.619137e-04,1.628566e-04,1.637690e-04,1.646515e-04,1.655046e-04,1.663289e-04,1.671249e-04,1.678932e-04,1.686344e-04
0.000000e+00,1.234443e-16,1.366906e-15,4.767957e-14,4.924568e-13,1.425713e-12,1.392832e-11,1.511405e-11,9.127198e-11,1.409153e-10,3.873306e-10,8.170755e-10,1.291126e-09,3.344147e-09,3.611609e-09,8.844945e-09,1.078799e-08,1.951886e-08,2.928244e-08,3.961198e-08,6.972484e-08,7.503658e-08,1.341614e-07,1.497712e-07,2.283408e-07,2.959419e-07,3.724122e-07,5.455814e-07,5.851224e-07,8.894517e-07,9.484151e-07,1.312812e-06,1.567503e-06,1.887106e-06,2.479465e-06,2.648635e-06,3.637870e-06,3.773946e-06,4.899075e-06,5.552314e-06,6.479805e-06,7.925693e-06,8.430303e-06,1.080280e-05,1.101242e-05,1.365074e-05,1.493510e-05,1.702796e-05,1.981732e-05,2.098787e-05,2.558259e-05,2.578030e-05,3.086212e-05,3.293957e-05,3.687356e-05,4.140175e-05,4.366037e-05,5.126170e-05,5.971180e-05,6.259997e-05,6.903955e-05,7.548080e-05,7.926801e-05,8.995053e-05,9.041415e-05,1.024886e-04,1.060366e-04,1.154957e-04,1.237469e-04,1.294332e-04,1.430702e-04,1.442926e-04,1.600592e-04,1.639761e-04,1.767125e-04,1.864160e-04,1.942261e-04,2.103248e-04,2.125685e-04,2.317032e-04,2.356218e-04,2.515895e-04,2.622127e-04,2.721826e-04,2.899916e-04,2.934340e-04,3.152927e-04,3.188429e-04,3.377050e-04,3.486433e-04,3.606153e-04,3.792636e-04,3.839663e-04,4.077002e-04,4.105713e-04,4.317584e-04,4.424316e-04,4.560822e-04,4.747100e-04,4.806133e-04,5.052940e-04,5.072732e-04,5.300678e-04,5.399910e-04,5.548794e-04,5.727371e-04,5.796753e-04,6.044037e-04,6.053907e-04,6.290150e-04,6.378371e-04,6.534617e-04,6.699685e-04,6.776990e-04,7.016844e-04,7.253780e-04,7.328923e-04,7.487429e-04,7.635078e-04,7.717445e-04,7.934549e-04,7.943513e-04,8.165342e-04,8.226658e-04,8.382671e-04,8.510809e-04,8.595264e-04,8.786487e-04,8.802912e-04,9.005432e-04,9.053255e-04,9.202663e-04,9.310752e-04,9.394471e-04,9.558687e-04,9.580744e-04,9.761391e-04,9.796839e-04,9.936342e-04,1.002505e-03,1.010555e-03,1.024322e-03,1.026898e-03,1.042661e-03,1.045129e-03,1.057846e-03,1.064929e-03,1.072453e-03,1.083725e-03,1.086485e-03,1.099948e-03,1.101526e-03,1.112846e-03,1.118345e-03,1.125187e-03,1.134197e-03,1.136977e-03,1.148226e-03,1.149103e-03,1.158942e-03,1.163081e-03,1.169135e-03,1.176156e-03,1.178816e-03,1.187996e-03,1.188353e-03,1.196686e-03,1.199697e-03,1.204898e-03,1.210216e-03,1.212645e-03,1.219938e-03,1.228892e-03,1.237107e-03,1.244613e-03,1.251439e-03,1.257615e-03,1.263169e-03,1.268130e-03,1.272525e-03,1.276384e-03,1.279733e-03,1.282597e-03,1.285003e-03,1.286975e-03,1.288537e-03,1.289712e-03,1.290522e-03,1.290989e-03,1.291133e-03,1.290974e-03,1.290530e-03,1.289819e-03,1.288858e-03,1.287664e-03,1.286252e-03
0.000000e+00,2.782652e-15,3.013837e-14,1.010422e-12,1.012437e-11,2.888011e-11,2.727812e-10,2.956314e-10,1.735109e-09,2.659807e-09,7.187651e-09,1.496724e-08,2.345956e-08,5.971425e-08,6.439737e-08,1.550278e-07,1.883459e-07,3.367362e-07,5.009605e-07,6.733810e-07,1.170962e-06,1.258152e-06,2.220851e-06,2.473173e-06,3.735101e-06,4.812663e-06,6.024833e-06,8.750153e-06,9.369377e-06,1.410652e-05,1.501940e-05,2.063310e-05,2.453265e-05,2.940292e-05,3.837241e-05,4.092206e-05,5.574173e-05,5.776946e-05,7.444906e-05,8.406902e-05,9.765625e-05,1.186879e-04,1.259887e-04,1.600720e-04,1.630656e-04,2.005196e-04,2.186135e-04,2.479197e-04,2.866643e-04,3.028240e-04,3.657359e-04,3.684255e-04,4.371017e-04,4.649383e-04,5.173016e-04,5.770437e-04,6.066433e-04,7.053570e-04,8.135920e-04,8.502513e-04,9.314147e-04,1.011849e-03,1.058808e-03,1.190020e-03,1.195675e-03,1.341836e-03,1.384394e-03,1.497039e-03,1.594369e-03,1.660960e-03,1.819133e-03,1.833209e-03,2.013339e-03,2.057687e-03,2.200847e-03,2.308872e-03,2.395187e-03,2.571394e-03,2.595775e-03,2.801995e-03,2.843859e-03,3.013207e-03,3.124793e-03,3.228756e-03,3.412679e-03,3.447973e-03,3.670190e-03,3.705978e-03,3.894736e-03,4.003151e-03,4.120951e-03,4.302688e-03,4.348186e-03,4.575810e-03,4.603122e-03,4.803211e-03,4.903044e-03,5.029802e-03,5.201123e-03,5.255023e-03,5.478343e-03,5.496112e-03,5.699264e-03,5.786854e-03,5.917317e-03,6.072296e-03,6.132071e-03,6.343127e-03,6.351487e-03,6.550121e-03,6.623580e-03,6.752724e-03,6.887833e-03,6.950640e-03,7.143606e-03,7.331395e-03,7.390360e-03,7.513807e-03,7.627652e-03,7.690677e-03,7.855130e-03,7.861867e-03,8.027268e-03,8.072530e-03,8.186794e-03,8.279666e-03,8.340389e-03,8.476426e-03,8.488016e-03,8.629663e-03,8.662768e-03,8.765334e-03,8.838709e-03,8.895055e-03,9.004322e-03,9.018869e-03,9.136832e-03,9.159729e-03,9.249016e-03,9.305095e-03,9.355504e-03,9.440623e-03,9.456393e-03,9.551785e-03,9.566546e-03,9.641796e-03,9.683125e-03,9.726545e-03,9.790642e-03,9.806161e-03,9.880776e-03,9.889400e-03,9.950527e-03,9.979713e-03,1.001555e-02,1.006191e-02,1.007600e-02,1.013202e-02,1.013631e-02,1.018375e-02,1.020327e-02,1.023133e-02,1.026312e-02,1.027493e-02,1.031468e-02,1.031619e-02,1.035073e-02,1.036283e-02,1.038322e-02,1.040336e-02,1.041231e-02,1.043812e-02,1.046741e-02,1.049156e-02,1.051086e-02,1.052560e-02,1.053608e-02,1.054256e-02,1.054530e-02,1.054456e-02,1.054058e-02,1.053359e-02,1.052380e-02,1.051143e-02,1.049668e-02,1.047972e-02,1.046075e-02,1.043993e-02,1.041742e-02,1.039337e-02,1.036792e-02,1.034120e-02,1.031335e-02,1.028447e-02,1.025469e-02,1.022410e-02
0.000000e+00,1.720343e-12,7.297067e-12,5.471298e-11,1.952275e-10,3.454296e-10,1.163089e-09,1.214694e-09,3.162096e-09,3.987768e-09,6.862384e-09,1.027958e-08,1.319316e-08,2.229327e-08,2.326762e-08,3.845544e-08,4.303553e-08,6.035830e-08,7.620079e-08,9.070397e-08,1.257316e-07,1.311741e-07,1.832538e-07,1.951755e-07,2.481722e-07,2.873404e-07,3.269184e-07,4.043347e-07,4.202830e-07,5.288961e-07,5.477241e-07,6.532533e-07,7.186522e-07,7.937325e-07,9.179094e-07,9.506051e-07,1.124043e-06,1.145973e-06,1.314125e-06,1.403035e-06,1.520843e-06,1.689022e-06,1.744107e-06,1.983756e-06,2.003629e-06,2.239559e-06,2.346340e-06,2.511226e-06,2.716460e-06,2.798416e-06,3.100741e-06,3.113143e-06,3.417775e-06,3.535420e-06,3.749060e-06,3.982229e-06,4.094113e-06,4.452430e-06,4.823491e-06,4.944835e-06,5.206765e-06,5.458222e-06,5.601714e-06,5.991347e-06,6.007797e-06,6.424469e-06,6.542961e-06,6.851188e-06,7.111817e-06,7.287414e-06,7.696678e-06,7.732612e-06,8.186255e-06,8.296329e-06,8.647825e-06,8.909575e-06,9.116810e-06,9.535253e-06,9.592710e-06,1.007504e-05,1.017223e-05,1.056331e-05,1.081942e-05,1.105708e-05,1.147575e-05,1.155588e-05,1.205928e-05,1.214022e-05,1.256684e-05,1.281183e-05,1.307816e-05,1.348966e-05,1.359284e-05,1.411048e-05,1.417278e-05,1.463071e-05,1.486034e-05,1.515316e-05,1.555149e-05,1.567748e-05,1.620334e-05,1.624546e-05,1.673039e-05,1.694147e-05,1.725832e-05,1.763881e-05,1.778684e-05,1.831564e-05,1.833679e-05,1.884444e-05,1.903475e-05,1.937297e-05,1.973208e-05,1.990096e-05,2.042818e-05,2.095437e-05,2.112249e-05,2.147930e-05,2.181449e-05,2.200275e-05,2.250369e-05,2.252452e-05,2.304440e-05,2.318960e-05,2.356219e-05,2.387179e-05,2.407771e-05,2.454984e-05,2.459079e-05,2.510125e-05,2.522336e-05,2.560894e-05,2.589198e-05,2.611371e-05,2.655537e-05,2.661540e-05,2.711389e-05,2.721320e-05,2.760905e-05,2.786517e-05,2.810075e-05,2.851101e-05,2.858887e-05,2.907331e-05,2.915047e-05,2.955396e-05,2.978331e-05,3.003074e-05,3.040930e-05,3.050354e-05,3.097228e-05,3.102825e-05,3.143688e-05,3.163998e-05,3.189728e-05,3.224432e-05,3.235339e-05,3.280516e-05,3.284111e-05,3.325253e-05,3.343023e-05,3.369544e-05,3.401156e-05,3.413385e-05,3.456771e-05,3.458497e-05,3.499698e-05,3.515038e-05,3.542162e-05,3.570771e-05,3.584160e-05,3.625689e-05,3.679785e-05,3.733054e-05,3.785494e-05,3.837100e-05,3.887871e-05,3.937806e-05,3.986904e-05,4.035166e-05,4.082592e-05,4.129186e-05,4.174949e-05,4.219884e-05,4.263995e-05,4.307286e-05,4.349762e-05,4.391429e-05,4.432291e-05,4.472355e-05,4.511627e-05,4.550113e-05,4.587822e-05,4.624761e-05,4.660936e-05,4.696357e-05
0.000000e+00,7.421712e-12,2.466939e-11,1.418454e-10,4.459077e-10,7.523805e-10,2.333163e-09,2.430701e-09,6.050039e-09,7.568811e-09,1.284101e-08,1.910530e-08,2.444469e-08,4.102168e-08,4.278118e-08,6.964760e-08,7.752377e-08,1.063753e-07,1.315838e-07,1.538174e-07,2.048435e-07,2.124880e-07,2.826756e-07,2.981086e-07,3.645043e-07,4.116572e-07,4.579635e-07,5.453656e-07,5.629235e-07,6.791463e-07,6.987660e-07,8.062975e-07,8.710916e-07,9.439580e-07,1.061326e-06,1.091638e-06,1.248791e-06,1.268258e-06,1.414828e-06,1.490541e-06,1.589133e-06,1.726745e-06,1.771073e-06,1.960009e-06,1.975407e-06,2.155307e-06,2.235069e-06,2.356348e-06,2.504313e-06,2.562527e-06,2.773264e-06,2.781781e-06,2.988005e-06,3.066189e-06,3.206222e-06,3.356340e-06,3.427418e-06,3.651128e-06,3.876913e-06,3.949536e-06,4.104369e-06,4.250641e-06,4.333116e-06,4.553603e-06,4.562804e-06,4.793110e-06,4.857666e-06,5.023735e-06,5.162148e-06,5.254404e-06,5.466441e-06,5.484865e-06,5.714885e-06,5.770000e-06,5.944252e-06,6.072340e-06,6.172774e-06,6.373032e-06,6.400272e-06,6.626586e-06,6.671694e-06,6.851569e-06,6.967990e-06,7.075089e-06,7.261625e-06,7.297024e-06,7.517266e-06,7.552341e-06,7.735718e-06,7.839912e-06,7.952291e-06,8.124143e-06,8.166906e-06,8.379494e-06,8.404866e-06,8.589992e-06,8.681935e-06,8.798345e-06,8.955228e-06,9.004504e-06,9.208427e-06,9.224643e-06,9.410078e-06,9.490095e-06,9.609425e-06,9.751513e-06,9.806442e-06,1.000111e-05,1.000884e-05,1.019340e-05,1.026204e-05,1.038331e-05,1.051108e-05,1.057083e-05,1.075594e-05,1.093865e-05,1.099660e-05,1.111894e-05,1.123307e-05,1.129683e-05,1.146534e-05,1.147232e-05,1.164540e-05,1.169344e-05,1.181610e-05,1.191737e-05,1.198440e-05,1.213715e-05,1.215034e-05,1.231391e-05,1.235282e-05,1.247513e-05,1.256440e-05,1.263402e-05,1.277193e-05,1.279060e-05,1.294486e-05,1.297544e-05,1.309685e-05,1.317498e-05,1.324657e-05,1.337059e-05,1.339404e-05,1.353928e-05,1.356231e-05,1.368231e-05,1.375019e-05,1.382316e-05,1.393428e-05,1.396184e-05,1.409838e-05,1.411462e-05,1.423279e-05,1.429127e-05,1.436511e-05,1.446428e-05,1.449535e-05,1.462354e-05,1.463370e-05,1.474969e-05,1.479959e-05,1.487384e-05,1.496199e-05,1.499600e-05,1.511620e-05,1.512097e-05,1.523446e-05,1.527657e-05,1.535081e-05,1.542885e-05,1.546527e-05,1.557787e-05,1.572367e-05,1.586631e-05,1.600585e-05,1.614234e-05,1.627584e-05,1.640638e-05,1.653404e-05,1.665885e-05,1.678088e-05,1.690016e-05,1.701676e-05,1.713072e-05,1.724209e-05,1.735092e-05,1.745725e-05,1.756114e-05,1.766264e-05,1.776177e-05,1.785860e-05,1.795317e-05,1.804551e-05,1.813568e-05,1.822372e-05,1.830966e-05
0.000000e+00,3.857166e-14,2.734591e-13,4.105782e-12,2.149937e-11,4.427951e-11,1.968098e-10,2.073569e-10,6.430513e-10,8.418429e-10,1.570173e-09,2.483107e-09,3.288177e-09,5.904459e-09,6.191381e-09,1.077482e-08,1.218758e-08,1.761104e-08,2.264388e-08,2.728718e-08,3.857394e-08,4.033258e-08,5.718201e-08,6.104000e-08,7.817880e-08,9.082831e-08,1.035933e-07,1.285135e-07,1.336397e-07,1.684858e-07,1.745156e-07,2.082588e-07,2.291275e-07,2.530477e-07,2.925262e-07,3.029043e-07,3.578449e-07,3.647789e-07,4.178516e-07,4.458477e-07,4.828743e-07,5.355981e-07,5.528331e-07,6.276210e-07,6.338089e-07,7.071076e-07,7.401845e-07,7.911416e-07,8.543679e-07,8.795547e-07,9.721647e-07,9.759537e-07,1.068778e-06,1.104501e-06,1.169194e-06,1.239544e-06,1.273206e-06,1.380603e-06,1.491174e-06,1.527192e-06,1.604708e-06,1.678828e-06,1.720996e-06,1.835033e-06,1.839833e-06,1.961018e-06,1.995343e-06,2.084353e-06,2.159306e-06,2.209648e-06,2.326491e-06,2.336718e-06,2.465385e-06,2.496484e-06,2.595478e-06,2.668891e-06,2.726832e-06,2.843341e-06,2.859289e-06,2.992698e-06,3.019481e-06,3.126915e-06,3.196982e-06,3.261804e-06,3.375533e-06,3.397233e-06,3.533078e-06,3.554844e-06,3.669222e-06,3.734645e-06,3.805553e-06,3.914682e-06,3.941966e-06,4.078360e-06,4.094721e-06,4.214641e-06,4.274546e-06,4.350721e-06,4.453954e-06,4.486514e-06,4.621944e-06,4.632760e-06,4.756934e-06,4.810792e-06,4.891417e-06,4.987892e-06,5.025325e-06,5.158599e-06,5.163916e-06,5.291181e-06,5.338731e-06,5.423018e-06,5.512216e-06,5.554060e-06,5.684260e-06,5.813576e-06,5.854764e-06,5.941968e-06,6.023637e-06,6.069399e-06,6.190796e-06,6.195834e-06,6.321243e-06,6.356170e-06,6.445597e-06,6.519691e-06,6.568869e-06,6.681303e-06,6.691035e-06,6.812073e-06,6.840952e-06,6.931964e-06,6.998596e-06,7.050690e-06,7.154193e-06,7.168235e-06,7.284585e-06,7.307710e-06,7.399727e-06,7.459120e-06,7.513650e-06,7.608397e-06,7.626346e-06,7.737805e-06,7.755524e-06,7.848023e-06,7.900484e-06,7.956992e-06,8.043267e-06,8.064710e-06,8.171173e-06,8.183864e-06,8.276379e-06,8.322271e-06,8.380327e-06,8.458487e-06,8.483018e-06,8.584452e-06,8.592512e-06,8.684630e-06,8.724351e-06,8.783557e-06,8.854010e-06,8.881234e-06,8.977666e-06,8.981497e-06,9.072857e-06,9.106823e-06,9.166813e-06,9.230000e-06,9.259539e-06,9.351042e-06,9.469964e-06,9.586783e-06,9.701518e-06,9.814187e-06,9.924810e-06,1.003341e-05,1.014001e-05,1.024463e-05,1.034729e-05,1.044802e-05,1.054684e-05,1.064378e-05,1.073886e-05,1.083211e-05,1.092356e-05,1.101322e-05,1.110113e-05,1.118731e-05,1.127179e-05,1.135460e-05,1.143575e-05,1.151529e-05,1.159323e-05,1.166960e-05
0.000000e+00,1.243603e-13,6.352480e-13,5.932622e-12,2.355617e-11,4.336727e-11,1.563514e-10,1.636243e-10,4.427492e-10,5.625613e-10,9.823973e-10,1.483816e-09,1.911929e-09,3.248176e-09,3.391032e-09,5.610407e-09,6.276817e-09,8.785467e-09,1.106441e-08,1.313919e-08,1.811224e-08,1.888085e-08,2.619376e-08,2.785910e-08,3.523462e-08,4.066408e-08,4.613762e-08,5.682007e-08,5.901808e-08,7.397458e-08,7.656601e-08,9.108973e-08,1.000920e-07,1.104305e-07,1.275404e-07,1.320480e-07,1.559780e-07,1.590062e-07,1.822409e-07,1.945376e-07,2.108423e-07,2.341387e-07,2.417739e-07,2.750143e-07,2.777724e-07,3.105306e-07,3.253649e-07,3.482790e-07,3.768107e-07,3.882067e-07,4.302528e-07,4.319778e-07,4.743497e-07,4.907128e-07,5.204245e-07,5.528458e-07,5.683999e-07,6.181952e-07,6.697276e-07,6.865710e-07,7.229126e-07,7.577790e-07,7.776650e-07,8.316228e-07,8.338995e-07,8.915312e-07,9.079069e-07,9.504758e-07,9.864383e-07,1.010651e-06,1.067028e-06,1.071974e-06,1.134367e-06,1.149492e-06,1.197752e-06,1.233653e-06,1.262053e-06,1.319338e-06,1.327198e-06,1.393115e-06,1.406385e-06,1.459736e-06,1.494636e-06,1.526996e-06,1.583940e-06,1.594830e-06,1.663177e-06,1.674157e-06,1.731980e-06,1.765150e-06,1.801181e-06,1.856792e-06,1.870727e-06,1.940565e-06,1.948963e-06,2.010647e-06,2.041548e-06,2.080925e-06,2.134439e-06,2.151354e-06,2.221891e-06,2.227537e-06,2.292494e-06,2.320745e-06,2.363125e-06,2.413976e-06,2.433747e-06,2.504323e-06,2.507145e-06,2.574821e-06,2.600174e-06,2.645207e-06,2.692991e-06,2.715452e-06,2.785527e-06,2.855405e-06,2.877720e-06,2.925059e-06,2.969509e-06,2.994466e-06,3.060841e-06,3.063601e-06,3.132443e-06,3.151664e-06,3.200972e-06,3.241931e-06,3.269169e-06,3.331599e-06,3.337013e-06,3.404490e-06,3.420628e-06,3.471582e-06,3.508980e-06,3.538274e-06,3.596621e-06,3.604552e-06,3.670403e-06,3.683521e-06,3.735815e-06,3.769651e-06,3.800775e-06,3.854986e-06,3.865274e-06,3.929301e-06,3.939501e-06,3.992846e-06,4.023175e-06,4.055903e-06,4.105990e-06,4.118461e-06,4.180516e-06,4.187928e-06,4.242059e-06,4.268974e-06,4.303085e-06,4.349115e-06,4.363588e-06,4.423564e-06,4.428339e-06,4.483008e-06,4.506636e-06,4.541916e-06,4.583996e-06,4.600285e-06,4.658112e-06,4.660414e-06,4.715394e-06,4.735882e-06,4.772129e-06,4.810396e-06,4.828316e-06,4.883952e-06,4.956547e-06,5.028181e-06,5.098852e-06,5.168560e-06,5.237307e-06,5.305094e-06,5.371924e-06,5.437799e-06,5.502724e-06,5.566703e-06,5.629740e-06,5.691842e-06,5.753013e-06,5.813260e-06,5.872589e-06,5.931008e-06,5.988523e-06,6.045142e-06,6.100873e-06,6.155724e-06,6.209704e-06,6.262819e-06,6.315080e-06,6.366495e-06
0.000000e+00,2.238468e-18,2.613699e-17,1.010099e-15,1.134729e-14,3.428901e-14,3.705681e-13,4.036596e-13,2.660783e-12,4.199121e-12,1.215704e-11,2.665992e-11,4.314404e-11,1.174010e-10,1.272933e-10,3.262271e-10,4.018320e-10,7.482792e-10,1.144176e-09,1.569301e-09,2.831709e-09,3.056963e-09,5.597676e-09,6.276224e-09,9.724998e-09,1.272590e-08,1.614817e-08,2.397864e-08,2.577928e-08,3.975737e-08,4.248625e-08,5.946808e-08,7.143853e-08,8.655713e-08,1.148169e-07,1.229368e-07,1.707847e-07,1.774101e-07,2.325337e-07,2.647872e-07,3.108540e-07,3.832265e-07,4.086273e-07,5.289135e-07,5.396040e-07,6.749114e-07,7.412454e-07,8.499143e-07,9.957510e-07,1.057262e-06,1.300290e-06,1.310800e-06,1.582277e-06,1.693945e-06,1.906396e-06,2.152408e-06,2.275660e-06,2.692880e-06,3.160618e-06,3.321343e-06,3.681148e-06,4.042908e-06,4.256423e-06,4.861684e-06,4.888048e-06,5.577257e-06,5.780679e-06,6.324896e-06,6.801732e-06,7.131418e-06,7.925475e-06,7.996874e-06,8.920919e-06,9.151335e-06,9.902819e-06,1.047756e-05,1.094146e-05,1.190125e-05,1.203539e-05,1.318278e-05,1.341849e-05,1.438153e-05,1.502438e-05,1.562923e-05,1.671319e-05,1.692322e-05,1.826062e-05,1.847843e-05,1.963835e-05,2.031304e-05,2.105318e-05,2.220949e-05,2.250173e-05,2.398054e-05,2.415986e-05,2.548607e-05,2.615605e-05,2.701475e-05,2.818982e-05,2.856299e-05,3.012722e-05,3.025295e-05,3.170391e-05,3.233729e-05,3.328958e-05,3.443490e-05,3.488082e-05,3.647435e-05,3.653810e-05,3.806697e-05,3.863950e-05,3.965562e-05,4.073212e-05,4.123735e-05,4.280939e-05,4.436910e-05,4.486519e-05,4.591399e-05,4.689387e-05,4.744176e-05,4.889029e-05,4.895023e-05,5.043742e-05,5.084976e-05,5.190149e-05,5.276813e-05,5.334077e-05,5.464172e-05,5.475375e-05,5.613908e-05,5.646730e-05,5.749554e-05,5.824215e-05,5.882207e-05,5.996393e-05,6.011776e-05,6.138182e-05,6.163077e-05,6.261359e-05,6.324117e-05,6.381254e-05,6.479398e-05,6.497824e-05,6.611041e-05,6.628842e-05,6.720881e-05,6.772403e-05,6.827336e-05,6.910061e-05,6.930403e-05,7.030089e-05,7.041825e-05,7.126407e-05,7.167726e-05,7.219379e-05,7.287817e-05,7.309033e-05,7.395402e-05,7.402171e-05,7.478525e-05,7.510875e-05,7.558446e-05,7.614033e-05,7.635213e-05,7.708878e-05,7.711761e-05,7.779497e-05,7.804185e-05,7.847128e-05,7.891442e-05,7.911833e-05,7.973674e-05,8.051030e-05,8.123665e-05,8.191735e-05,8.255402e-05,8.314825e-05,8.370166e-05,8.421587e-05,8.469247e-05,8.513306e-05,8.553919e-05,8.591240e-05,8.625422e-05,8.656610e-05,8.684950e-05,8.710583e-05,8.733644e-05,8.754268e-05,8.772582e-05,8.788710e-05,8.802772e-05,8.814884e-05,8.825156e-05,8.833696e-05,8.840606e-05
0.000000e+00,5.004982e-16,4.643307e-15,1.125379e-13,8.379068e-13,2.031967e-12,1.268723e-11,1.352342e-11,5.327617e-11,7.346377e-11,1.529096e-10,2.592192e-10,3.562686e-10,6.813243e-10,7.174457e-10,1.298519e-09,1.478146e-09,2.167378e-09,2.806249e-09,3.395650e-09,4.832005e-09,5.056581e-09,7.222618e-09,7.722588e-09,9.962454e-09,1.163472e-08,1.333750e-08,1.670077e-08,1.739827e-08,2.218149e-08,2.301550e-08,2.770882e-08,3.062882e-08,3.398722e-08,3.954694e-08,4.101051e-08,4.876149e-08,4.973935e-08,5.721416e-08,6.114737e-08,6.633570e-08,7.369225e-08,7.608824e-08,8.643037e-08,8.728191e-08,9.731839e-08,1.018164e-07,1.087075e-07,1.171925e-07,1.205525e-07,1.328089e-07,1.333071e-07,1.454334e-07,1.500602e-07,1.583842e-07,1.673569e-07,1.716217e-07,1.851083e-07,1.988091e-07,2.032332e-07,2.126916e-07,2.216577e-07,2.267256e-07,2.403152e-07,2.408836e-07,2.551404e-07,2.591468e-07,2.694730e-07,2.781001e-07,2.838605e-07,2.971292e-07,2.982840e-07,3.127266e-07,3.161939e-07,3.271728e-07,3.352590e-07,3.416088e-07,3.542942e-07,3.560223e-07,3.704020e-07,3.732730e-07,3.847380e-07,3.921725e-07,3.990214e-07,4.109729e-07,4.132441e-07,4.273991e-07,4.296571e-07,4.414798e-07,4.482105e-07,4.554807e-07,4.666205e-07,4.693967e-07,4.832232e-07,4.848762e-07,4.969563e-07,5.029683e-07,5.105923e-07,5.208889e-07,5.241282e-07,5.375612e-07,5.386313e-07,5.508888e-07,5.561899e-07,5.641089e-07,5.735598e-07,5.772197e-07,5.902195e-07,5.907372e-07,6.031070e-07,6.077187e-07,6.158809e-07,6.245019e-07,6.285404e-07,6.410845e-07,6.535126e-07,6.574651e-07,6.658243e-07,6.736425e-07,6.780191e-07,6.896159e-07,6.900968e-07,7.020572e-07,7.053851e-07,7.139002e-07,7.209498e-07,7.256260e-07,7.363103e-07,7.372347e-07,7.487264e-07,7.514670e-07,7.601014e-07,7.664206e-07,7.713601e-07,7.811720e-07,7.825030e-07,7.935304e-07,7.957221e-07,8.044430e-07,8.100723e-07,8.152412e-07,8.242237e-07,8.259256e-07,8.364970e-07,8.381780e-07,8.469561e-07,8.519367e-07,8.573034e-07,8.655015e-07,8.675399e-07,8.776663e-07,8.788741e-07,8.876834e-07,8.920565e-07,8.975920e-07,9.050505e-07,9.073929e-07,9.170871e-07,9.178581e-07,9.266755e-07,9.304814e-07,9.361589e-07,9.429225e-07,9.455383e-07,9.548146e-07,9.551835e-07,9.639887e-07,9.672665e-07,9.730616e-07,9.791738e-07,9.820342e-07,9.909075e-07,1.002470e-06,1.013863e-06,1.025090e-06,1.036152e-06,1.047051e-06,1.057791e-06,1.068373e-06,1.078799e-06,1.089072e-06,1.099194e-06,1.109167e-06,1.118994e-06,1.128676e-06,1.138216e-06,1.147615e-06,1.156877e-06,1.166003e-06,1.174995e-06,1.183856e-06,1.192587e-06,1.201190e-06,1.209668e-06,1.218023e-06,1.226256e-06
0.000000e+00,5.949093e-16,5.861827e-15,1.598281e-13,1.314855e-12,3.357751e-12,2.372280e-11,2.540617e-11,1.115523e-10,1.580723e-10,3.509771e-10,6.245302e-10,8.843964e-10,1.800233e-09,1.905274e-09,3.657176e-09,4.217651e-09,6.429373e-09,8.548915e-09,1.055171e-08,1.558492e-08,1.638862e-08,2.433135e-08,2.620829e-08,3.478685e-08,4.135252e-08,4.816264e-08,6.194123e-08,6.484854e-08,8.519836e-08,8.881541e-08,1.095153e-07,1.226706e-07,1.380433e-07,1.640215e-07,1.709635e-07,2.083961e-07,2.131948e-07,2.504039e-07,2.703412e-07,2.969974e-07,3.354550e-07,3.481408e-07,4.037570e-07,4.083963e-07,4.637329e-07,4.889128e-07,5.279253e-07,5.766606e-07,5.961651e-07,6.682625e-07,6.712237e-07,7.440113e-07,7.721330e-07,8.231932e-07,8.788825e-07,9.055816e-07,9.909448e-07,1.079049e-06,1.107784e-06,1.169662e-06,1.228865e-06,1.262554e-06,1.353665e-06,1.357499e-06,1.454279e-06,1.481677e-06,1.552682e-06,1.612418e-06,1.652505e-06,1.745429e-06,1.753554e-06,1.855644e-06,1.880281e-06,1.958601e-06,2.016572e-06,2.062258e-06,2.153932e-06,2.166460e-06,2.271061e-06,2.292017e-06,2.375925e-06,2.430514e-06,2.480923e-06,2.569138e-06,2.585936e-06,2.690855e-06,2.707626e-06,2.795577e-06,2.845745e-06,2.900007e-06,2.983282e-06,3.004058e-06,3.107649e-06,3.120046e-06,3.210707e-06,3.255866e-06,3.313164e-06,3.390590e-06,3.414957e-06,3.516031e-06,3.524084e-06,3.616334e-06,3.656229e-06,3.715819e-06,3.786919e-06,3.814445e-06,3.912174e-06,3.916064e-06,4.008971e-06,4.043584e-06,4.104806e-06,4.169411e-06,4.199653e-06,4.293487e-06,4.386289e-06,4.415764e-06,4.478040e-06,4.536201e-06,4.568724e-06,4.654765e-06,4.658328e-06,4.746842e-06,4.771430e-06,4.834257e-06,4.886176e-06,4.920566e-06,4.998988e-06,5.005763e-06,5.089845e-06,5.109859e-06,5.172810e-06,5.218783e-06,5.254658e-06,5.325759e-06,5.335388e-06,5.415002e-06,5.430791e-06,5.493504e-06,5.533886e-06,5.570896e-06,5.635052e-06,5.647184e-06,5.722373e-06,5.734302e-06,5.796470e-06,5.831650e-06,5.869481e-06,5.927113e-06,5.941413e-06,6.012276e-06,6.020708e-06,6.082078e-06,6.112456e-06,6.150827e-06,6.202378e-06,6.218533e-06,6.285207e-06,6.290496e-06,6.350858e-06,6.376835e-06,6.415497e-06,6.461417e-06,6.479135e-06,6.541783e-06,6.544269e-06,6.603452e-06,6.625416e-06,6.664154e-06,6.704884e-06,6.723900e-06,6.782701e-06,6.858894e-06,6.933489e-06,7.006514e-06,7.077996e-06,7.147965e-06,7.216446e-06,7.283467e-06,7.349057e-06,7.413242e-06,7.476049e-06,7.537505e-06,7.597636e-06,7.656470e-06,7.714032e-06,7.770348e-06,7.825443e-06,7.879343e-06,7.932071e-06,7.983654e-06,8.034113e-06,8.083474e-06,8.131759e-06,8.178991e-06,8.225193e-06
0.000000e+00,6.761473e-18,7.858844e-17,3.003186e-15,3.339088e-14,1.003212e-13,1.067945e-12,1.162591e-12,7.547446e-12,1.186141e-11,3.398064e-11,7.388381e-11,1.189016e-10,3.195427e-10,3.461016e-10,8.756585e-10,1.075382e-09,1.984222e-09,3.014315e-09,4.113797e-09,7.352427e-09,7.927236e-09,1.436770e-08,1.607732e-08,2.471830e-08,3.218589e-08,4.065722e-08,5.990108e-08,6.430343e-08,9.824861e-08,1.048344e-07,1.455715e-07,1.740659e-07,2.098328e-07,2.761228e-07,2.950498e-07,4.056521e-07,4.208541e-07,5.464197e-07,6.192082e-07,7.224062e-07,8.829299e-07,9.388509e-07,1.201083e-06,1.224199e-06,1.514420e-06,1.655237e-06,1.884069e-06,2.187901e-06,2.315027e-06,2.811986e-06,2.833299e-06,3.379248e-06,3.601428e-06,4.020652e-06,4.500868e-06,4.739506e-06,5.538534e-06,6.419841e-06,6.719493e-06,7.384882e-06,8.046846e-06,8.434451e-06,9.521686e-06,9.568676e-06,1.078703e-05,1.114311e-05,1.208836e-05,1.290828e-05,1.347091e-05,1.481257e-05,1.493233e-05,1.646977e-05,1.684970e-05,1.807989e-05,1.901193e-05,1.975895e-05,2.129025e-05,2.150279e-05,2.330698e-05,2.367465e-05,2.516680e-05,2.615427e-05,2.707734e-05,2.871767e-05,2.903351e-05,3.103014e-05,3.135301e-05,3.306200e-05,3.404827e-05,3.512384e-05,3.679139e-05,3.721044e-05,3.931664e-05,3.957046e-05,4.143738e-05,4.237384e-05,4.356773e-05,4.519028e-05,4.570292e-05,4.783832e-05,4.800903e-05,4.996954e-05,5.081990e-05,5.209234e-05,5.361331e-05,5.420275e-05,5.629699e-05,5.638038e-05,5.837153e-05,5.911290e-05,6.042306e-05,6.180337e-05,6.244850e-05,6.444504e-05,6.641006e-05,6.703181e-05,6.834119e-05,6.955833e-05,7.023629e-05,7.201989e-05,7.209342e-05,7.391086e-05,7.441242e-05,7.568709e-05,7.673249e-05,7.742079e-05,7.897723e-05,7.911080e-05,8.075617e-05,8.114432e-05,8.235610e-05,8.323196e-05,8.390994e-05,8.523882e-05,8.541722e-05,8.687757e-05,8.716398e-05,8.829077e-05,8.900697e-05,8.965673e-05,9.076764e-05,9.097546e-05,9.224708e-05,9.244619e-05,9.347182e-05,9.404312e-05,9.464996e-05,9.555919e-05,9.578190e-05,9.686811e-05,9.699540e-05,9.790910e-05,9.835297e-05,9.890548e-05,9.963328e-05,9.985789e-05,1.007670e-04,1.008379e-04,1.016336e-04,1.019685e-04,1.024584e-04,1.030269e-04,1.032423e-04,1.039860e-04,1.040149e-04,1.046905e-04,1.049347e-04,1.053566e-04,1.057882e-04,1.059853e-04,1.065775e-04,1.073047e-04,1.079721e-04,1.085817e-04,1.091359e-04,1.096366e-04,1.100861e-04,1.104865e-04,1.108400e-04,1.111486e-04,1.114143e-04,1.116392e-04,1.118252e-04,1.119743e-04,1.120882e-04,1.121690e-04,1.122182e-04,1.122376e-04,1.122289e-04,1.121938e-04,1.121337e-04,1.120501e-04,1.119446e-04,1.118184e-04,1.116730e-04
0.000000e+00,5.606261e-18,6.594393e-17,2.583785e-15,2.939920e-14,8.947121e-14,9.852221e-13,1.074036e-12,7.217866e-12,1.145248e-11,3.361856e-11,7.457809e-11,1.216205e-10,3.368463e-10,3.657918e-10,9.556946e-10,1.182656e-09,2.234989e-09,3.454901e-09,4.779418e-09,8.773729e-09,9.493897e-09,1.772726e-08,1.995368e-08,3.140086e-08,4.150215e-08,5.314487e-08,8.016125e-08,8.643424e-08,1.357147e-07,1.454367e-07,2.065095e-07,2.500487e-07,3.054982e-07,4.102433e-07,4.405606e-07,6.207814e-07,6.459176e-07,8.564125e-07,9.805293e-07,1.158793e-06,1.440787e-06,1.540232e-06,2.013850e-06,2.056130e-06,2.593390e-06,2.858027e-06,3.293010e-06,3.879138e-06,4.127046e-06,5.109778e-06,5.152380e-06,6.255179e-06,6.709951e-06,7.576672e-06,8.582363e-06,9.086904e-06,1.079752e-05,1.271897e-05,1.337988e-05,1.486033e-05,1.634977e-05,1.722917e-05,1.972278e-05,1.983141e-05,2.267124e-05,2.350935e-05,2.575110e-05,2.771455e-05,2.907158e-05,3.233793e-05,3.263147e-05,3.642780e-05,3.737360e-05,4.045581e-05,4.281040e-05,4.470914e-05,4.863217e-05,4.917983e-05,5.385848e-05,5.481824e-05,5.873433e-05,6.134379e-05,6.379545e-05,6.818048e-05,6.902884e-05,7.442058e-05,7.529698e-05,7.995601e-05,8.265957e-05,8.561982e-05,9.023274e-05,9.139628e-05,9.726929e-05,9.797977e-05,1.032226e-04,1.058633e-04,1.092399e-04,1.138458e-04,1.153049e-04,1.214015e-04,1.218902e-04,1.275140e-04,1.299600e-04,1.336270e-04,1.380202e-04,1.397255e-04,1.457951e-04,1.460370e-04,1.518220e-04,1.539787e-04,1.577931e-04,1.618152e-04,1.636959e-04,1.695188e-04,1.752508e-04,1.770642e-04,1.808818e-04,1.844283e-04,1.864025e-04,1.915905e-04,1.918042e-04,1.970792e-04,1.985326e-04,2.022207e-04,2.052388e-04,2.072223e-04,2.116957e-04,2.120787e-04,2.167853e-04,2.178921e-04,2.213381e-04,2.238192e-04,2.257337e-04,2.294699e-04,2.299697e-04,2.340441e-04,2.348394e-04,2.379554e-04,2.399247e-04,2.417030e-04,2.447242e-04,2.452866e-04,2.487063e-04,2.492382e-04,2.519628e-04,2.534683e-04,2.550573e-04,2.574173e-04,2.579913e-04,2.607667e-04,2.610892e-04,2.633856e-04,2.644889e-04,2.658505e-04,2.676226e-04,2.681643e-04,2.703299e-04,2.704968e-04,2.723505e-04,2.731189e-04,2.742296e-04,2.754968e-04,2.759707e-04,2.775774e-04,2.776390e-04,2.790537e-04,2.795540e-04,2.804035e-04,2.812510e-04,2.816306e-04,2.827391e-04,2.840276e-04,2.851260e-04,2.860437e-04,2.867900e-04,2.873742e-04,2.878054e-04,2.880926e-04,2.882447e-04,2.882701e-04,2.881772e-04,2.879741e-04,2.876687e-04,2.872683e-04,2.867803e-04,2.862116e-04,2.855688e-04,2.848583e-04,2.840861e-04,2.832580e-04,2.823795e-04,2.814558e-04,2.804917e-04,2.794920e-04,2.784610e-04
0.000000e+00,8.526475e-14,4.698490e-13,4.827746e-12,2.007367e-11,3.755240e-11,1.386059e-10,1.451348e-10,3.955581e-10,5.026928e-10,8.759839e-10,1.317752e-09,1.691853e-09,2.844602e-09,2.966700e-09,4.841958e-09,5.398593e-09,7.475351e-09,9.343922e-09,1.103562e-08,1.506991e-08,1.569187e-08,2.159947e-08,2.294311e-08,2.888824e-08,3.325843e-08,3.765757e-08,4.622012e-08,4.797768e-08,5.989352e-08,6.194999e-08,7.342884e-08,8.050337e-08,8.858951e-08,1.018823e-07,1.053659e-07,1.237349e-07,1.260447e-07,1.436613e-07,1.529108e-07,1.650993e-07,1.823695e-07,1.879938e-07,2.122820e-07,2.142833e-07,2.378947e-07,2.484941e-07,2.647574e-07,2.848288e-07,2.927920e-07,3.219178e-07,3.231044e-07,3.520530e-07,3.631328e-07,3.831151e-07,4.047252e-07,4.150226e-07,4.476953e-07,4.810550e-07,4.918628e-07,5.150261e-07,5.370548e-07,5.495360e-07,5.831081e-07,5.845154e-07,6.198986e-07,6.298697e-07,6.556234e-07,6.771978e-07,6.916315e-07,7.249619e-07,7.278680e-07,7.642821e-07,7.730425e-07,8.008261e-07,8.213310e-07,8.374561e-07,8.697292e-07,8.741314e-07,9.108144e-07,9.181488e-07,9.474707e-07,9.665108e-07,9.840686e-07,1.014744e-06,1.020579e-06,1.056976e-06,1.062787e-06,1.093234e-06,1.110582e-06,1.129332e-06,1.158081e-06,1.165249e-06,1.200968e-06,1.205240e-06,1.236471e-06,1.252020e-06,1.271744e-06,1.298389e-06,1.306774e-06,1.341547e-06,1.344318e-06,1.376054e-06,1.389780e-06,1.410284e-06,1.434754e-06,1.444229e-06,1.477881e-06,1.479221e-06,1.511233e-06,1.523165e-06,1.544279e-06,1.566573e-06,1.577014e-06,1.609433e-06,1.641533e-06,1.651736e-06,1.673309e-06,1.693475e-06,1.704759e-06,1.734642e-06,1.735881e-06,1.766673e-06,1.775235e-06,1.797133e-06,1.815249e-06,1.827260e-06,1.854683e-06,1.857054e-06,1.886514e-06,1.893534e-06,1.915640e-06,1.931804e-06,1.944432e-06,1.969493e-06,1.972890e-06,2.001016e-06,2.006602e-06,2.028810e-06,2.043133e-06,2.056274e-06,2.079088e-06,2.083407e-06,2.110213e-06,2.114472e-06,2.136692e-06,2.149287e-06,2.162846e-06,2.183537e-06,2.188677e-06,2.214187e-06,2.217227e-06,2.239378e-06,2.250362e-06,2.264253e-06,2.282946e-06,2.288812e-06,2.313059e-06,2.314986e-06,2.336996e-06,2.346485e-06,2.360626e-06,2.377450e-06,2.383951e-06,2.406973e-06,2.407888e-06,2.429696e-06,2.437803e-06,2.452121e-06,2.467202e-06,2.474252e-06,2.496092e-06,2.524478e-06,2.552367e-06,2.579765e-06,2.606679e-06,2.633116e-06,2.659083e-06,2.684585e-06,2.709629e-06,2.734222e-06,2.758371e-06,2.782082e-06,2.805362e-06,2.828217e-06,2.850654e-06,2.872679e-06,2.894299e-06,2.915520e-06,2.936348e-06,2.956790e-06,2.976851e-06,2.996539e-06,3.015859e-06,3.034816e-06,3.053418e-06
0.000000e+00,5.632218e-12,1.753783e-11,9.449416e-11,2.887132e-10,4.819556e-10,1.462089e-09,1.521930e-09,3.706507e-09,4.606329e-09,7.672784e-09,1.123127e-08,1.421500e-08,2.333162e-08,2.429338e-08,3.901752e-08,4.337453e-08,5.957644e-08,7.407381e-08,8.712789e-08,1.179881e-07,1.227137e-07,1.672358e-07,1.772827e-07,2.214677e-07,2.537291e-07,2.860701e-07,3.487619e-07,3.616015e-07,4.485238e-07,4.635143e-07,5.472051e-07,5.988336e-07,6.579225e-07,7.552925e-07,7.808653e-07,9.161396e-07,9.332032e-07,1.063773e-06,1.132639e-06,1.223723e-06,1.353457e-06,1.395880e-06,1.580080e-06,1.595330e-06,1.776108e-06,1.857774e-06,1.983706e-06,2.140178e-06,2.202582e-06,2.432412e-06,2.441828e-06,2.672850e-06,2.761934e-06,2.923530e-06,3.099649e-06,3.184072e-06,3.454086e-06,3.733174e-06,3.824334e-06,4.020936e-06,4.209468e-06,4.316967e-06,4.608562e-06,4.620864e-06,4.932227e-06,5.020693e-06,5.250659e-06,5.444947e-06,5.575766e-06,5.880429e-06,5.907163e-06,6.244468e-06,6.326259e-06,6.587309e-06,6.781581e-06,6.935320e-06,7.245563e-06,7.288144e-06,7.645432e-06,7.717395e-06,8.006844e-06,8.196297e-06,8.372048e-06,8.681515e-06,8.740723e-06,9.112554e-06,9.172319e-06,9.487238e-06,9.668012e-06,9.864479e-06,1.016792e-05,1.024399e-05,1.062550e-05,1.067140e-05,1.100873e-05,1.117783e-05,1.139343e-05,1.168663e-05,1.177934e-05,1.216623e-05,1.219722e-05,1.255386e-05,1.270907e-05,1.294200e-05,1.322166e-05,1.333044e-05,1.371897e-05,1.373451e-05,1.410739e-05,1.424715e-05,1.449550e-05,1.475914e-05,1.488312e-05,1.527006e-05,1.565617e-05,1.577952e-05,1.604127e-05,1.628713e-05,1.642521e-05,1.679255e-05,1.680783e-05,1.718899e-05,1.729544e-05,1.756856e-05,1.779548e-05,1.794641e-05,1.829239e-05,1.832240e-05,1.869641e-05,1.878587e-05,1.906835e-05,1.927568e-05,1.943808e-05,1.976156e-05,1.980553e-05,2.017057e-05,2.024329e-05,2.053313e-05,2.072065e-05,2.089312e-05,2.119346e-05,2.125045e-05,2.160504e-05,2.166152e-05,2.195683e-05,2.212467e-05,2.230574e-05,2.258275e-05,2.265170e-05,2.299466e-05,2.303561e-05,2.333456e-05,2.348314e-05,2.367135e-05,2.392520e-05,2.400497e-05,2.433539e-05,2.436168e-05,2.466255e-05,2.479250e-05,2.498643e-05,2.521756e-05,2.530697e-05,2.562416e-05,2.563678e-05,2.593796e-05,2.605009e-05,2.624834e-05,2.645744e-05,2.655529e-05,2.685877e-05,2.725404e-05,2.764321e-05,2.802625e-05,2.840314e-05,2.877386e-05,2.913841e-05,2.949677e-05,2.984896e-05,3.019497e-05,3.053482e-05,3.086852e-05,3.119609e-05,3.151757e-05,3.183297e-05,3.214233e-05,3.244568e-05,3.274307e-05,3.303452e-05,3.332010e-05,3.359984e-05,3.387380e-05,3.414202e-05,3.440456e-05,3.466147e-05
0.000000e+00,3.877501e-15,3.583070e-14,8.625494e-13,6.399520e-12,1.550659e-11,9.699387e-11,1.034067e-10,4.105746e-10,5.679496e-10,1.194051e-09,2.045176e-09,2.832892e-09,5.530218e-09,5.834785e-09,1.084226e-08,1.242633e-08,1.863579e-08,2.455173e-08,3.012544e-08,4.409267e-08,4.631880e-08,6.825568e-08,7.342068e-08,9.691650e-08,1.147615e-07,1.331339e-07,1.698650e-07,1.775402e-07,2.305604e-07,2.398614e-07,2.924361e-07,3.253140e-07,3.632604e-07,4.263507e-07,4.430104e-07,5.315734e-07,5.427851e-07,6.287655e-07,6.742037e-07,7.343471e-07,8.200267e-07,8.480343e-07,9.695085e-07,9.795527e-07,1.098425e-06,1.151995e-06,1.234421e-06,1.336510e-06,1.377120e-06,1.526137e-06,1.532224e-06,1.681088e-06,1.738249e-06,1.841587e-06,1.953700e-06,2.007252e-06,2.177709e-06,2.352590e-06,2.409427e-06,2.531538e-06,2.648039e-06,2.714208e-06,2.892760e-06,2.900263e-06,3.089383e-06,3.142843e-06,3.281256e-06,3.397577e-06,3.475584e-06,3.656290e-06,3.672083e-06,3.870479e-06,3.918347e-06,4.070511e-06,4.183151e-06,4.271931e-06,4.450141e-06,4.474503e-06,4.678001e-06,4.718793e-06,4.882212e-06,4.988615e-06,5.086932e-06,5.259150e-06,5.291969e-06,5.497142e-06,5.529971e-06,5.702278e-06,5.800682e-06,5.907214e-06,6.070916e-06,6.111797e-06,6.315883e-06,6.340333e-06,6.519334e-06,6.608619e-06,6.722024e-06,6.875484e-06,6.923831e-06,7.124642e-06,7.140661e-06,7.324353e-06,7.403906e-06,7.522863e-06,7.664995e-06,7.720081e-06,7.915920e-06,7.923723e-06,8.110299e-06,8.179904e-06,8.303145e-06,8.433369e-06,8.494388e-06,8.683964e-06,8.871813e-06,8.931551e-06,9.057882e-06,9.176008e-06,9.242120e-06,9.417224e-06,9.424482e-06,9.604926e-06,9.655102e-06,9.783414e-06,9.889554e-06,9.959912e-06,1.012051e-05,1.013439e-05,1.030682e-05,1.034789e-05,1.047717e-05,1.057166e-05,1.064543e-05,1.079176e-05,1.081158e-05,1.097560e-05,1.100815e-05,1.113748e-05,1.122080e-05,1.129720e-05,1.142970e-05,1.145476e-05,1.161015e-05,1.163481e-05,1.176337e-05,1.183614e-05,1.191441e-05,1.203367e-05,1.206327e-05,1.220995e-05,1.222741e-05,1.235446e-05,1.241735e-05,1.249679e-05,1.260352e-05,1.263696e-05,1.277497e-05,1.278592e-05,1.291082e-05,1.296456e-05,1.304453e-05,1.313948e-05,1.317610e-05,1.330555e-05,1.331069e-05,1.343289e-05,1.347822e-05,1.355812e-05,1.364209e-05,1.368127e-05,1.380235e-05,1.395902e-05,1.411213e-05,1.426174e-05,1.440787e-05,1.455056e-05,1.468986e-05,1.482581e-05,1.495845e-05,1.508783e-05,1.521400e-05,1.533699e-05,1.545685e-05,1.557364e-05,1.568739e-05,1.579816e-05,1.590599e-05,1.601092e-05,1.611302e-05,1.621232e-05,1.630887e-05,1.640272e-05,1.649391e-05,1.658250e-05,1.666852e-05
0.000000e+00,1.053325e-17,1.227338e-16,4.715131e-15,5.269636e-14,1.588055e-13,1.705582e-12,1.857476e-12,1.218923e-11,1.922038e-11,5.557764e-11,1.218885e-10,1.973780e-10,5.388740e-10,5.845216e-10,1.508338e-09,1.861836e-09,3.494307e-09,5.379528e-09,7.421925e-09,1.356735e-08,1.467399e-08,2.730781e-08,3.071951e-08,4.823327e-08,6.365055e-08,8.137750e-08,1.223380e-07,1.318148e-07,2.058442e-07,2.203648e-07,3.110042e-07,3.750579e-07,4.560198e-07,6.072795e-07,6.506872e-07,9.057027e-07,9.408948e-07,1.232446e-06,1.401972e-06,1.642736e-06,2.017816e-06,2.148571e-06,2.761862e-06,2.815917e-06,3.494178e-06,3.822916e-06,4.356505e-06,5.063643e-06,5.359037e-06,6.510984e-06,6.560288e-06,7.820428e-06,8.331739e-06,9.294201e-06,1.039310e-05,1.093781e-05,1.275536e-05,1.474960e-05,1.542532e-05,1.692184e-05,1.840553e-05,1.927206e-05,2.169449e-05,2.179893e-05,2.449989e-05,2.528688e-05,2.737123e-05,2.917389e-05,3.040820e-05,3.334361e-05,3.360509e-05,3.695535e-05,3.778144e-05,4.045170e-05,4.247055e-05,4.408624e-05,4.739226e-05,4.785054e-05,5.173576e-05,5.252651e-05,5.573274e-05,5.785223e-05,5.983210e-05,6.334771e-05,6.402430e-05,6.829976e-05,6.899091e-05,7.264887e-05,7.475981e-05,7.706214e-05,8.063261e-05,8.153015e-05,8.604371e-05,8.658797e-05,9.059380e-05,9.260516e-05,9.517169e-05,9.866426e-05,9.976892e-05,1.043773e-04,1.047463e-04,1.089891e-04,1.108331e-04,1.135968e-04,1.169078e-04,1.181933e-04,1.227719e-04,1.229546e-04,1.273261e-04,1.289585e-04,1.318500e-04,1.349060e-04,1.363379e-04,1.407845e-04,1.451850e-04,1.465827e-04,1.495348e-04,1.522902e-04,1.538297e-04,1.578976e-04,1.580659e-04,1.622397e-04,1.633967e-04,1.663479e-04,1.687801e-04,1.703876e-04,1.740414e-04,1.743562e-04,1.782513e-04,1.791749e-04,1.820707e-04,1.841759e-04,1.858128e-04,1.890404e-04,1.894758e-04,1.930584e-04,1.937652e-04,1.965594e-04,1.983474e-04,1.999780e-04,2.027853e-04,2.033133e-04,2.065648e-04,2.070772e-04,2.097320e-04,2.112223e-04,2.128148e-04,2.152202e-04,2.158131e-04,2.187269e-04,2.190709e-04,2.215564e-04,2.227747e-04,2.243018e-04,2.263325e-04,2.269638e-04,2.295427e-04,2.297454e-04,2.320391e-04,2.330148e-04,2.344539e-04,2.361424e-04,2.367878e-04,2.390417e-04,2.391302e-04,2.412165e-04,2.419802e-04,2.433131e-04,2.446948e-04,2.453328e-04,2.472766e-04,2.497281e-04,2.520521e-04,2.542516e-04,2.563294e-04,2.582886e-04,2.601323e-04,2.618637e-04,2.634859e-04,2.650021e-04,2.664154e-04,2.677292e-04,2.689466e-04,2.700707e-04,2.711047e-04,2.720518e-04,2.729150e-04,2.736974e-04,2.744020e-04,2.750317e-04,2.755895e-04,2.760782e-04,2.765007e-04,2.768596e-04,2.771577e-04
0.000000e+00,1.944982e-16,2.258762e-15,8.617012e-14,9.570889e-13,2.874487e-12,3.059355e-11,3.330543e-11,2.164415e-10,3.403280e-10,9.766713e-10,2.127652e-09,3.429238e-09,9.254638e-09,1.002795e-08,2.551687e-08,3.138489e-08,5.821296e-08,8.880587e-08,1.216211e-07,2.189797e-07,2.363459e-07,4.322122e-07,4.845260e-07,7.504500e-07,9.818628e-07,1.245750e-06,1.849281e-06,1.987989e-06,3.063446e-06,3.273102e-06,4.575373e-06,5.490765e-06,6.643841e-06,8.790224e-06,9.404858e-06,1.300878e-05,1.350551e-05,1.761812e-05,2.000878e-05,2.340479e-05,2.869956e-05,3.054698e-05,3.922577e-05,3.999188e-05,4.962158e-05,5.430036e-05,6.191061e-05,7.202601e-05,7.626139e-05,9.283154e-05,9.354260e-05,1.117648e-04,1.191843e-04,1.331884e-04,1.492351e-04,1.572109e-04,1.839203e-04,2.133830e-04,2.234004e-04,2.456427e-04,2.677673e-04,2.807201e-04,3.170431e-04,3.186126e-04,3.592953e-04,3.711806e-04,4.027213e-04,4.300664e-04,4.488229e-04,4.935246e-04,4.975127e-04,5.486856e-04,5.613233e-04,6.022199e-04,6.331806e-04,6.579799e-04,7.087719e-04,7.158168e-04,7.755715e-04,7.877380e-04,8.370762e-04,8.696924e-04,9.001560e-04,9.542292e-04,9.646315e-04,1.030320e-03,1.040930e-03,1.097037e-03,1.129373e-03,1.164599e-03,1.219134e-03,1.232823e-03,1.301529e-03,1.309797e-03,1.370540e-03,1.400959e-03,1.439688e-03,1.492228e-03,1.508805e-03,1.577735e-03,1.583237e-03,1.646325e-03,1.673634e-03,1.714434e-03,1.763097e-03,1.781925e-03,1.848671e-03,1.851324e-03,1.914556e-03,1.938043e-03,1.979470e-03,2.023005e-03,2.043313e-03,2.105992e-03,2.167425e-03,2.186808e-03,2.227538e-03,2.265286e-03,2.286263e-03,2.341281e-03,2.343544e-03,2.399328e-03,2.414673e-03,2.453573e-03,2.485366e-03,2.506242e-03,2.553280e-03,2.557306e-03,2.606741e-03,2.618360e-03,2.654529e-03,2.680567e-03,2.700659e-03,2.739877e-03,2.745125e-03,2.787923e-03,2.796283e-03,2.829058e-03,2.849792e-03,2.868535e-03,2.900422e-03,2.906365e-03,2.942562e-03,2.948203e-03,2.977143e-03,2.993173e-03,3.010127e-03,3.035381e-03,3.041538e-03,3.071401e-03,3.074881e-03,3.099740e-03,3.111735e-03,3.126586e-03,3.146008e-03,3.151968e-03,3.175917e-03,3.177772e-03,3.198465e-03,3.207100e-03,3.219647e-03,3.234070e-03,3.239495e-03,3.258044e-03,3.258760e-03,3.275331e-03,3.281251e-03,3.291389e-03,3.301625e-03,3.306254e-03,3.319963e-03,3.336348e-03,3.350861e-03,3.363583e-03,3.374594e-03,3.383972e-03,3.391796e-03,3.398140e-03,3.403078e-03,3.406682e-03,3.409023e-03,3.410168e-03,3.410183e-03,3.409131e-03,3.407074e-03,3.404072e-03,3.400181e-03,3.395457e-03,3.389952e-03,3.383716e-03,3.376799e-03,3.369248e-03,3.361105e-03,3.352415e-03,3.343217e-03
0.000000e+00,3.117536e-16,3.429428e-15,1.180492e-13,1.205375e-12,3.468560e-12,3.337968e-11,3.619986e-11,2.155596e-10,3.315854e-10,9.033215e-10,1.892454e-09,2.977474e-09,7.641458e-09,8.246453e-09,2.002189e-08,2.437419e-08,4.385821e-08,6.555930e-08,8.845687e-08,1.549978e-07,1.667131e-07,2.968511e-07,3.311513e-07,5.035624e-07,6.516782e-07,8.190445e-07,1.197511e-06,1.283842e-06,1.947416e-06,2.075822e-06,2.868390e-06,3.421428e-06,4.114468e-06,5.396451e-06,5.762018e-06,7.895335e-06,8.188244e-06,1.060565e-05,1.200579e-05,1.398990e-05,1.707482e-05,1.814930e-05,2.318783e-05,2.363204e-05,2.921057e-05,3.191871e-05,3.632202e-05,4.217396e-05,4.462448e-05,5.421635e-05,5.462819e-05,6.519066e-05,6.949666e-05,7.763356e-05,8.697375e-05,9.162303e-05,1.072278e-04,1.245062e-04,1.303968e-04,1.435055e-04,1.565853e-04,1.642615e-04,1.858617e-04,1.867975e-04,2.111247e-04,2.182574e-04,2.372418e-04,2.537660e-04,2.651351e-04,2.923438e-04,2.947789e-04,3.261359e-04,3.339113e-04,3.591575e-04,3.783552e-04,3.937848e-04,4.255306e-04,4.299490e-04,4.675724e-04,4.752647e-04,5.065691e-04,5.273595e-04,5.468462e-04,5.815960e-04,5.883045e-04,6.308394e-04,6.377376e-04,6.743420e-04,6.955341e-04,7.187001e-04,7.547254e-04,7.637988e-04,8.095220e-04,8.150452e-04,8.557525e-04,8.762244e-04,9.023732e-04,9.379945e-04,9.492681e-04,9.963225e-04,1.000090e-03,1.043424e-03,1.062253e-03,1.090463e-03,1.124232e-03,1.137332e-03,1.183930e-03,1.185787e-03,1.230158e-03,1.246691e-03,1.275921e-03,1.306730e-03,1.321131e-03,1.365704e-03,1.409560e-03,1.423431e-03,1.452626e-03,1.479742e-03,1.494834e-03,1.534488e-03,1.536121e-03,1.576429e-03,1.587533e-03,1.615708e-03,1.638761e-03,1.653911e-03,1.688071e-03,1.690996e-03,1.726928e-03,1.735377e-03,1.761677e-03,1.780609e-03,1.795215e-03,1.823712e-03,1.827523e-03,1.858583e-03,1.864644e-03,1.888383e-03,1.903378e-03,1.916915e-03,1.939898e-03,1.944174e-03,1.970161e-03,1.974201e-03,1.994877e-03,2.006291e-03,2.018329e-03,2.036187e-03,2.040527e-03,2.061481e-03,2.063912e-03,2.081206e-03,2.089500e-03,2.099719e-03,2.112990e-03,2.117039e-03,2.133188e-03,2.134429e-03,2.148186e-03,2.153869e-03,2.162059e-03,2.171365e-03,2.174832e-03,2.186533e-03,2.186979e-03,2.197188e-03,2.200773e-03,2.206826e-03,2.212814e-03,2.215477e-03,2.223171e-03,2.231913e-03,2.239110e-03,2.244835e-03,2.249159e-03,2.252153e-03,2.253888e-03,2.254434e-03,2.253859e-03,2.252231e-03,2.249616e-03,2.246077e-03,2.241678e-03,2.236478e-03,2.230536e-03,2.223908e-03,2.216647e-03,2.208806e-03,2.200433e-03,2.191577e-03,2.182282e-03,2.172591e-03,2.162545e-03,2.152183e-03,2.141541e-03
0.000000e+00,5.025505e-16,5.042281e-15,1.425346e-13,1.209797e-12,3.140809e-12,2.310995e-11,2.478944e-11,1.130667e-10,1.618465e-10,3.685525e-10,6.694193e-10,9.609361e-10,2.018233e-09,2.141845e-09,4.254786e-09,4.947310e-09,7.737037e-09,1.047501e-08,1.310392e-08,1.982944e-08,2.091453e-08,3.173175e-08,3.430385e-08,4.609154e-08,5.512422e-08,6.448695e-08,8.338528e-08,8.736371e-08,1.151215e-07,1.200401e-07,1.481163e-07,1.659078e-07,1.866619e-07,2.216784e-07,2.310291e-07,2.814446e-07,2.879099e-07,3.380887e-07,3.650212e-07,4.010937e-07,4.532846e-07,4.705425e-07,5.464682e-07,5.528219e-07,6.288546e-07,6.636054e-07,7.176378e-07,7.854633e-07,8.127092e-07,9.139179e-07,9.180914e-07,1.021076e-06,1.061067e-06,1.133960e-06,1.213866e-06,1.252322e-06,1.375885e-06,1.504356e-06,1.546454e-06,1.637428e-06,1.724862e-06,1.774782e-06,1.910370e-06,1.916095e-06,2.061038e-06,2.102229e-06,2.209288e-06,2.299690e-06,2.360522e-06,2.502021e-06,2.514424e-06,2.670687e-06,2.708508e-06,2.829014e-06,2.918471e-06,2.989117e-06,3.131261e-06,3.150724e-06,3.313572e-06,3.346269e-06,3.477413e-06,3.562925e-06,3.642014e-06,3.780702e-06,3.807151e-06,3.972620e-06,3.999112e-06,4.138224e-06,4.217709e-06,4.303783e-06,4.436084e-06,4.469128e-06,4.634102e-06,4.653867e-06,4.798561e-06,4.870724e-06,4.962369e-06,5.086353e-06,5.125405e-06,5.287553e-06,5.300484e-06,5.448711e-06,5.512875e-06,5.608782e-06,5.723312e-06,5.767681e-06,5.925327e-06,5.931606e-06,6.081650e-06,6.137590e-06,6.236584e-06,6.341116e-06,6.390071e-06,6.542059e-06,6.692500e-06,6.740307e-06,6.841353e-06,6.935767e-06,6.988580e-06,7.128359e-06,7.134150e-06,7.278033e-06,7.318015e-06,7.420206e-06,7.504679e-06,7.560647e-06,7.688308e-06,7.699338e-06,7.836266e-06,7.868864e-06,7.971417e-06,8.046323e-06,8.104783e-06,8.220664e-06,8.236358e-06,8.366135e-06,8.391875e-06,8.494114e-06,8.559951e-06,8.620292e-06,8.724892e-06,8.744672e-06,8.867255e-06,8.886702e-06,8.988047e-06,9.045392e-06,9.107052e-06,9.200974e-06,9.224277e-06,9.339729e-06,9.353465e-06,9.453419e-06,9.502887e-06,9.565356e-06,9.649262e-06,9.675551e-06,9.784014e-06,9.792617e-06,9.890759e-06,9.932979e-06,9.995799e-06,1.007038e-05,1.009915e-05,1.020082e-05,1.020485e-05,1.030082e-05,1.033642e-05,1.039918e-05,1.046513e-05,1.049590e-05,1.059101e-05,1.071411e-05,1.083445e-05,1.095208e-05,1.106703e-05,1.117935e-05,1.128908e-05,1.139625e-05,1.150090e-05,1.160309e-05,1.170284e-05,1.180020e-05,1.189521e-05,1.198791e-05,1.207833e-05,1.216653e-05,1.225253e-05,1.233639e-05,1.241813e-05,1.249780e-05,1.257544e-05,1.265108e-05,1.272476e-05,1.279652e-05,1.286640e-05
0.000000e+00,1.484154e-12,4.779845e-12,2.665664e-11,8.269019e-11,1.387775e-10,4.247162e-10,4.422117e-10,1.082084e-09,1.346035e-09,2.246463e-09,3.292649e-09,4.170744e-09,6.858738e-09,7.142791e-09,1.150544e-08,1.280208e-08,1.764992e-08,2.202448e-08,2.599299e-08,3.547599e-08,3.693939e-08,5.084549e-08,5.400859e-08,6.800102e-08,7.828260e-08,8.862923e-08,1.087634e-07,1.128959e-07,1.409193e-07,1.457574e-07,1.727781e-07,1.894471e-07,2.085172e-07,2.399132e-07,2.481515e-07,2.916697e-07,2.971514e-07,3.390363e-07,3.610830e-07,3.901950e-07,4.315659e-07,4.450703e-07,5.035706e-07,5.084041e-07,5.655901e-07,5.913573e-07,6.310113e-07,6.801500e-07,6.997074e-07,7.715437e-07,7.744805e-07,8.463803e-07,8.740282e-07,9.240728e-07,9.784605e-07,1.004475e-06,1.087439e-06,1.172817e-06,1.200624e-06,1.260462e-06,1.317678e-06,1.350230e-06,1.438272e-06,1.441978e-06,1.535566e-06,1.562082e-06,1.630859e-06,1.688797e-06,1.727723e-06,1.818117e-06,1.826031e-06,1.925659e-06,1.949753e-06,2.026487e-06,2.083432e-06,2.128400e-06,2.218892e-06,2.231286e-06,2.335040e-06,2.355885e-06,2.439558e-06,2.494177e-06,2.544744e-06,2.633547e-06,2.650503e-06,2.756747e-06,2.773785e-06,2.863390e-06,2.914697e-06,2.970351e-06,3.056096e-06,3.077552e-06,3.184920e-06,3.197812e-06,3.292385e-06,3.339682e-06,3.399879e-06,3.481557e-06,3.507341e-06,3.614710e-06,3.623294e-06,3.721929e-06,3.764763e-06,3.828946e-06,3.905843e-06,3.935708e-06,4.042168e-06,4.046420e-06,4.148282e-06,4.186389e-06,4.254006e-06,4.325655e-06,4.359300e-06,4.464127e-06,4.568451e-06,4.601723e-06,4.672239e-06,4.738367e-06,4.775459e-06,4.873990e-06,4.878084e-06,4.980085e-06,5.008530e-06,5.081437e-06,5.141926e-06,5.182116e-06,5.274129e-06,5.282101e-06,5.381372e-06,5.405088e-06,5.479909e-06,5.534763e-06,5.577696e-06,5.663114e-06,5.674715e-06,5.770954e-06,5.790107e-06,5.866398e-06,5.915711e-06,5.961035e-06,6.039899e-06,6.054855e-06,6.147847e-06,6.162648e-06,6.240003e-06,6.283938e-06,6.331314e-06,6.403751e-06,6.421774e-06,6.511378e-06,6.522072e-06,6.600119e-06,6.638891e-06,6.687993e-06,6.754196e-06,6.774997e-06,6.861128e-06,6.867981e-06,6.946384e-06,6.980241e-06,7.030763e-06,7.090973e-06,7.114265e-06,7.196888e-06,7.200175e-06,7.278634e-06,7.307847e-06,7.359502e-06,7.413992e-06,7.439495e-06,7.518613e-06,7.621714e-06,7.723302e-06,7.823384e-06,7.921968e-06,8.019063e-06,8.114679e-06,8.208826e-06,8.301518e-06,8.392766e-06,8.482582e-06,8.570981e-06,8.657976e-06,8.743582e-06,8.827813e-06,8.910686e-06,8.992214e-06,9.072414e-06,9.151303e-06,9.228896e-06,9.305209e-06,9.380260e-06,9.454065e-06,9.526640e-06,9.598003e-06
0.000000e+00,1.185272e-17,1.389791e-16,5.416781e-15,6.133334e-14,1.861518e-13,2.035268e-12,2.218083e-12,1.479696e-11,2.343000e-11,6.841741e-11,1.511120e-10,2.457136e-10,6.759975e-10,7.336589e-10,1.902883e-09,2.350660e-09,4.417631e-09,6.800855e-09,9.377718e-09,1.710380e-08,1.849138e-08,3.427529e-08,3.852379e-08,6.027453e-08,7.936913e-08,1.012919e-07,1.519024e-07,1.636123e-07,2.552039e-07,2.732037e-07,3.858799e-07,4.658650e-07,5.674020e-07,7.583989e-07,8.135141e-07,1.139897e-06,1.185270e-06,1.564046e-06,1.786513e-06,2.105060e-06,2.606920e-06,2.783369e-06,3.620392e-06,3.694868e-06,4.638156e-06,5.100846e-06,5.858866e-06,6.875791e-06,7.304479e-06,8.996251e-06,9.069332e-06,1.095432e-05,1.172805e-05,1.319729e-05,1.489385e-05,1.574186e-05,1.860251e-05,2.179122e-05,2.288248e-05,2.531725e-05,2.775400e-05,2.918697e-05,3.322842e-05,3.340377e-05,3.796802e-05,3.930798e-05,4.287704e-05,4.598573e-05,4.812522e-05,5.324585e-05,5.370409e-05,5.960245e-05,6.106413e-05,6.580662e-05,6.940865e-05,7.230059e-05,7.824067e-05,7.906625e-05,8.608371e-05,8.751555e-05,9.333149e-05,9.718384e-05,1.007868e-04,1.071923e-04,1.084259e-04,1.162241e-04,1.174850e-04,1.241565e-04,1.280042e-04,1.321977e-04,1.386919e-04,1.403223e-04,1.485051e-04,1.494898e-04,1.567215e-04,1.603410e-04,1.649471e-04,1.711902e-04,1.731584e-04,1.813329e-04,1.819847e-04,1.894489e-04,1.926743e-04,1.974858e-04,2.032125e-04,2.054243e-04,2.132462e-04,2.135564e-04,2.209345e-04,2.236666e-04,2.284739e-04,2.335082e-04,2.358500e-04,2.430500e-04,2.500624e-04,2.522650e-04,2.568769e-04,2.611302e-04,2.634846e-04,2.696263e-04,2.698778e-04,2.760501e-04,2.777380e-04,2.819961e-04,2.854534e-04,2.877118e-04,2.927640e-04,2.931940e-04,2.984405e-04,2.996645e-04,3.034502e-04,3.061521e-04,3.082228e-04,3.122270e-04,3.127588e-04,3.170594e-04,3.178914e-04,3.211266e-04,3.231501e-04,3.249629e-04,3.280093e-04,3.285715e-04,3.319561e-04,3.324771e-04,3.351208e-04,3.365630e-04,3.380701e-04,3.402778e-04,3.408090e-04,3.433425e-04,3.436330e-04,3.456763e-04,3.466413e-04,3.478159e-04,3.493157e-04,3.497672e-04,3.515363e-04,3.516701e-04,3.531291e-04,3.537184e-04,3.545521e-04,3.554748e-04,3.558112e-04,3.569130e-04,3.569538e-04,3.578635e-04,3.581698e-04,3.586690e-04,3.591371e-04,3.593357e-04,3.598697e-04,3.603817e-04,3.606867e-04,3.607980e-04,3.607285e-04,3.604907e-04,3.600967e-04,3.595583e-04,3.588863e-04,3.580916e-04,3.571844e-04,3.561744e-04,3.550709e-04,3.538827e-04,3.526180e-04,3.512848e-04,3.498904e-04,3.484418e-04,3.469455e-04,3.454078e-04,3.438343e-04,3.422304e-04,3.406011e-04,3.389511e-04,3.372847e-04
0.000000e+00,1.110581e-15,1.159004e-14,3.649677e-13,3.495895e-12,9.762753e-12,8.803080e-11,9.524515e-11,5.387775e-10,8.186400e-10,2.167682e-09,4.448121e-09,6.910972e-09,1.728512e-08,1.861525e-08,4.413874e-08,5.345598e-08,9.472563e-08,1.401357e-07,1.876323e-07,3.240808e-07,3.479229e-07,6.102900e-07,6.788440e-07,1.020718e-06,1.311583e-06,1.637826e-06,2.368288e-06,2.533752e-06,3.794517e-06,4.036573e-06,5.519849e-06,6.545656e-06,7.822478e-06,1.016357e-05,1.082695e-05,1.466804e-05,1.519191e-05,1.948880e-05,2.195856e-05,2.543835e-05,3.080887e-05,3.266945e-05,4.133604e-05,4.209597e-05,5.159063e-05,5.617059e-05,6.358183e-05,7.337095e-05,7.745184e-05,9.333424e-05,9.401317e-05,1.113518e-04,1.183825e-04,1.316147e-04,1.467255e-04,1.542188e-04,1.792443e-04,2.067549e-04,2.160912e-04,2.367967e-04,2.573655e-04,2.693978e-04,3.031122e-04,3.045683e-04,3.423002e-04,3.533210e-04,3.825677e-04,4.079281e-04,4.253277e-04,4.668174e-04,4.705207e-04,5.180714e-04,5.298247e-04,5.678900e-04,5.967410e-04,6.198732e-04,6.673178e-04,6.739058e-04,7.298614e-04,7.412715e-04,7.876043e-04,8.182895e-04,8.469906e-04,8.980353e-04,9.078699e-04,9.700862e-04,9.801543e-04,1.033480e-03,1.064279e-03,1.097888e-03,1.150035e-03,1.163146e-03,1.229091e-03,1.237043e-03,1.295559e-03,1.324929e-03,1.362388e-03,1.413322e-03,1.429419e-03,1.496498e-03,1.501861e-03,1.563472e-03,1.590200e-03,1.630197e-03,1.678005e-03,1.696531e-03,1.762342e-03,1.764961e-03,1.827500e-03,1.850775e-03,1.891887e-03,1.935171e-03,1.955388e-03,2.017897e-03,2.079315e-03,2.098723e-03,2.139551e-03,2.177444e-03,2.198523e-03,2.253875e-03,2.256153e-03,2.312374e-03,2.327855e-03,2.367124e-03,2.399245e-03,2.420349e-03,2.467929e-03,2.472003e-03,2.522045e-03,2.533811e-03,2.570441e-03,2.596814e-03,2.617165e-03,2.656881e-03,2.662195e-03,2.705516e-03,2.713974e-03,2.747117e-03,2.768068e-03,2.786993e-03,2.819157e-03,2.825146e-03,2.861578e-03,2.867248e-03,2.896298e-03,2.912359e-03,2.929319e-03,2.954524e-03,2.960658e-03,2.990333e-03,2.993783e-03,3.018367e-03,3.030189e-03,3.044785e-03,3.063800e-03,3.069616e-03,3.092889e-03,3.094685e-03,3.114637e-03,3.122916e-03,3.134892e-03,3.148572e-03,3.153691e-03,3.171070e-03,3.171736e-03,3.187066e-03,3.192494e-03,3.201719e-03,3.210935e-03,3.215067e-03,3.227151e-03,3.241234e-03,3.253277e-03,3.263374e-03,3.271619e-03,3.278105e-03,3.282922e-03,3.286161e-03,3.287912e-03,3.288259e-03,3.287289e-03,3.285082e-03,3.281718e-03,3.277275e-03,3.271827e-03,3.265444e-03,3.258197e-03,3.250151e-03,3.241369e-03,3.231913e-03,3.221838e-03,3.211200e-03,3.200052e-03,3.188442e-03,3.176418e-03
0.000000e+00,7.129509e-16,7.069277e-15,1.952393e-13,1.624667e-12,4.174669e-12,2.996040e-11,3.210657e-11,1.431246e-10,2.036367e-10,4.567509e-10,8.193832e-10,1.166478e-09,2.402616e-09,2.545364e-09,4.946355e-09,5.720900e-09,8.799548e-09,1.177597e-08,1.460661e-08,2.177889e-08,2.293042e-08,3.437745e-08,3.709664e-08,4.957277e-08,5.916112e-08,6.913187e-08,8.936010e-08,9.363538e-08,1.236107e-07,1.289465e-07,1.595215e-07,1.789854e-07,2.017622e-07,2.403327e-07,2.506573e-07,3.064619e-07,3.136324e-07,3.693639e-07,3.993234e-07,4.394871e-07,4.976513e-07,5.168947e-07,6.015939e-07,6.086838e-07,6.935406e-07,7.323300e-07,7.926454e-07,8.683616e-07,8.987784e-07,1.011775e-06,1.016435e-06,1.131442e-06,1.176114e-06,1.257561e-06,1.346888e-06,1.389897e-06,1.528196e-06,1.672197e-06,1.719437e-06,1.821629e-06,1.919989e-06,1.976218e-06,2.129218e-06,2.135687e-06,2.299760e-06,2.346488e-06,2.468163e-06,2.571170e-06,2.640625e-06,2.802647e-06,2.816881e-06,2.996670e-06,3.040316e-06,3.179738e-06,3.283597e-06,3.365841e-06,3.531930e-06,3.554737e-06,3.746197e-06,3.784777e-06,3.939998e-06,4.041627e-06,4.135923e-06,4.301992e-06,4.333767e-06,4.533331e-06,4.565408e-06,4.734424e-06,4.831438e-06,4.936864e-06,5.099668e-06,5.140476e-06,5.345092e-06,5.369706e-06,5.550553e-06,5.641184e-06,5.756706e-06,5.913757e-06,5.963407e-06,6.170517e-06,6.187099e-06,6.377904e-06,6.460908e-06,6.585443e-06,6.734898e-06,6.793015e-06,7.000506e-06,7.008803e-06,7.207811e-06,7.282375e-06,7.414826e-06,7.555383e-06,7.621457e-06,7.827612e-06,8.033205e-06,8.098862e-06,8.238155e-06,8.368949e-06,8.442385e-06,8.637702e-06,8.645823e-06,8.848402e-06,8.904961e-06,9.050057e-06,9.170582e-06,9.250729e-06,9.434430e-06,9.450361e-06,9.648901e-06,9.696382e-06,9.846299e-06,9.956326e-06,1.004251e-05,1.021416e-05,1.023749e-05,1.043120e-05,1.046979e-05,1.062361e-05,1.072313e-05,1.081467e-05,1.097411e-05,1.100436e-05,1.119265e-05,1.122265e-05,1.137951e-05,1.146869e-05,1.156492e-05,1.171219e-05,1.174886e-05,1.193130e-05,1.195309e-05,1.211223e-05,1.219135e-05,1.229162e-05,1.242693e-05,1.246948e-05,1.264577e-05,1.265981e-05,1.282050e-05,1.288995e-05,1.299365e-05,1.311734e-05,1.316522e-05,1.333519e-05,1.334195e-05,1.350356e-05,1.356378e-05,1.367033e-05,1.378282e-05,1.383549e-05,1.399905e-05,1.421248e-05,1.442311e-05,1.463093e-05,1.483596e-05,1.503821e-05,1.523768e-05,1.543439e-05,1.562835e-05,1.581958e-05,1.600809e-05,1.619391e-05,1.637706e-05,1.655755e-05,1.673542e-05,1.691067e-05,1.708335e-05,1.725347e-05,1.742107e-05,1.758616e-05,1.774878e-05,1.790896e-05,1.806672e-05,1.822209e-05,1.837510e-05
0.000000e+00,5.000833e-16,5.173632e-15,1.555891e-13,1.392873e-12,3.718393e-12,2.926271e-11,3.147045e-11,1.522537e-10,2.211509e-10,5.210034e-10,9.697387e-10,1.412253e-09,3.049765e-09,3.243320e-09,6.587849e-09,7.694108e-09,1.218251e-08,1.662739e-08,2.092753e-08,3.206298e-08,3.387700e-08,5.220950e-08,5.663124e-08,7.716972e-08,9.317817e-08,1.099812e-07,1.444227e-07,1.517467e-07,2.033609e-07,2.125793e-07,2.654569e-07,2.991012e-07,3.383916e-07,4.046166e-07,4.222625e-07,5.169434e-07,5.290186e-07,6.221278e-07,6.716259e-07,7.373708e-07,8.313496e-07,8.621264e-07,9.957777e-07,1.006835e-06,1.137663e-06,1.196568e-06,1.287093e-06,1.398963e-06,1.443371e-06,1.605802e-06,1.612417e-06,1.773703e-06,1.835358e-06,1.946413e-06,2.066277e-06,2.123297e-06,2.303750e-06,2.487203e-06,2.546453e-06,2.673121e-06,2.793171e-06,2.861006e-06,3.042800e-06,3.050399e-06,3.240873e-06,3.294346e-06,3.432040e-06,3.546922e-06,3.623542e-06,3.799743e-06,3.815058e-06,4.006291e-06,4.052115e-06,4.196977e-06,4.303432e-06,4.386877e-06,4.553167e-06,4.575775e-06,4.763479e-06,4.800862e-06,4.949818e-06,5.046123e-06,5.134638e-06,5.288613e-06,5.317804e-06,5.499196e-06,5.528047e-06,5.678710e-06,5.764182e-06,5.856253e-06,5.996815e-06,6.031746e-06,6.205120e-06,6.225779e-06,6.376314e-06,6.450936e-06,6.545279e-06,6.672176e-06,6.711973e-06,6.876360e-06,6.889411e-06,7.038413e-06,7.102575e-06,7.198108e-06,7.311620e-06,7.355430e-06,7.510365e-06,7.516513e-06,7.662907e-06,7.717236e-06,7.813052e-06,7.913781e-06,7.960799e-06,8.106153e-06,8.249118e-06,8.294364e-06,8.389704e-06,8.478436e-06,8.527922e-06,8.658396e-06,8.663785e-06,8.797308e-06,8.834278e-06,8.928508e-06,9.006121e-06,9.057404e-06,9.173969e-06,9.184014e-06,9.308360e-06,9.337868e-06,9.430463e-06,9.497870e-06,9.550347e-06,9.654028e-06,9.668036e-06,9.783553e-06,9.806398e-06,9.896924e-06,9.955037e-06,1.000817e-05,1.010000e-05,1.011733e-05,1.022442e-05,1.024136e-05,1.032946e-05,1.037917e-05,1.043250e-05,1.051349e-05,1.053354e-05,1.063263e-05,1.064439e-05,1.072978e-05,1.077192e-05,1.082503e-05,1.089616e-05,1.091840e-05,1.100992e-05,1.101716e-05,1.109962e-05,1.113500e-05,1.118753e-05,1.124973e-05,1.127367e-05,1.135807e-05,1.136141e-05,1.144076e-05,1.147011e-05,1.152176e-05,1.157589e-05,1.160110e-05,1.167881e-05,1.177894e-05,1.187633e-05,1.197104e-05,1.206314e-05,1.215267e-05,1.223970e-05,1.232428e-05,1.240647e-05,1.248632e-05,1.256389e-05,1.263923e-05,1.271239e-05,1.278342e-05,1.285238e-05,1.291930e-05,1.298425e-05,1.304726e-05,1.310838e-05,1.316767e-05,1.322515e-05,1.328089e-05,1.333491e-05,1.338726e-05,1.343799e-05
0.000000e+00,2.632327e-18,3.002802e-17,1.103368e-15,1.183484e-14,3.486404e-14,3.529632e-13,3.834719e-13,2.372909e-12,3.682685e-12,1.023470e-11,2.174624e-11,3.450396e-11,9.008996e-11,9.735722e-11,2.402127e-10,2.934720e-10,5.336199e-10,8.030984e-10,1.088672e-09,1.921327e-09,2.068028e-09,3.693892e-09,4.120595e-09,6.250589e-09,8.059573e-09,1.008064e-08,1.456653e-08,1.557454e-08,2.315579e-08,2.459176e-08,3.326319e-08,3.914056e-08,4.633243e-08,5.920047e-08,6.277874e-08,8.298182e-08,8.567499e-08,1.072740e-07,1.193313e-07,1.359314e-07,1.607649e-07,1.691688e-07,2.071370e-07,2.103819e-07,2.499232e-07,2.683943e-07,2.975527e-07,3.348291e-07,3.499934e-07,4.071600e-07,4.095433e-07,4.689203e-07,4.922464e-07,5.351012e-07,5.825244e-07,6.054949e-07,6.798658e-07,7.579563e-07,7.836864e-07,8.394926e-07,8.933532e-07,9.241904e-07,1.008205e-06,1.011760e-06,1.101909e-06,1.127574e-06,1.194350e-06,1.250796e-06,1.288798e-06,1.377228e-06,1.384981e-06,1.482632e-06,1.506258e-06,1.581501e-06,1.637309e-06,1.681348e-06,1.769846e-06,1.781951e-06,1.883099e-06,1.903377e-06,1.984599e-06,2.037457e-06,2.086271e-06,2.171687e-06,2.187949e-06,2.289484e-06,2.305707e-06,2.390738e-06,2.439203e-06,2.491587e-06,2.571898e-06,2.591917e-06,2.691629e-06,2.703549e-06,2.790632e-06,2.833947e-06,2.888844e-06,2.962913e-06,2.986195e-06,3.082620e-06,3.090292e-06,3.178063e-06,3.215954e-06,3.272475e-06,3.339789e-06,3.365813e-06,3.458040e-06,3.461705e-06,3.549122e-06,3.581625e-06,3.639031e-06,3.699488e-06,3.727745e-06,3.815243e-06,3.901509e-06,3.928851e-06,3.986527e-06,4.040280e-06,4.070289e-06,4.149508e-06,4.152784e-06,4.234006e-06,4.256519e-06,4.313951e-06,4.361304e-06,4.392616e-06,4.463857e-06,4.470000e-06,4.546104e-06,4.564179e-06,4.620929e-06,4.662274e-06,4.694479e-06,4.758150e-06,4.766756e-06,4.837766e-06,4.851817e-06,4.907516e-06,4.943289e-06,4.976011e-06,5.032582e-06,5.043258e-06,5.109267e-06,5.119713e-06,5.174044e-06,5.204703e-06,5.237600e-06,5.287572e-06,5.299944e-06,5.361086e-06,5.368343e-06,5.421037e-06,5.447040e-06,5.479807e-06,5.523689e-06,5.537407e-06,5.593849e-06,5.598314e-06,5.649144e-06,5.670944e-06,5.703305e-06,5.741605e-06,5.756343e-06,5.808271e-06,5.810325e-06,5.859100e-06,5.877133e-06,5.908845e-06,5.942058e-06,5.957517e-06,6.005129e-06,6.066376e-06,6.125829e-06,6.183517e-06,6.239471e-06,6.293721e-06,6.346297e-06,6.397229e-06,6.446548e-06,6.494282e-06,6.540463e-06,6.585120e-06,6.628281e-06,6.669977e-06,6.710237e-06,6.749090e-06,6.786563e-06,6.822686e-06,6.857486e-06,6.890991e-06,6.923229e-06,6.954226e-06,6.984010e-06,7.012606e-06,7.040042e-06
0.000000e+00,1.533091e-13,9.538821e-13,1.167602e-11,5.376917e-11,1.048930e-10,4.196298e-10,4.405737e-10,1.270026e-09,1.634989e-09,2.934612e-09,4.511409e-09,5.870242e-09,1.015394e-08,1.061450e-08,1.780733e-08,1.997683e-08,2.816761e-08,3.562997e-08,4.243519e-08,5.877401e-08,6.130161e-08,8.536811e-08,9.085139e-08,1.151386e-07,1.330146e-07,1.510287e-07,1.861548e-07,1.933761e-07,2.424485e-07,2.509385e-07,2.984471e-07,3.278296e-07,3.615105e-07,4.171025e-07,4.317171e-07,5.090889e-07,5.188540e-07,5.935947e-07,6.330185e-07,6.851552e-07,7.593856e-07,7.836480e-07,8.889126e-07,8.976208e-07,1.000756e-06,1.047287e-06,1.118959e-06,1.207867e-06,1.243279e-06,1.373456e-06,1.378781e-06,1.509220e-06,1.559409e-06,1.650289e-06,1.749101e-06,1.796377e-06,1.947196e-06,2.102456e-06,2.153031e-06,2.261872e-06,2.365947e-06,2.425159e-06,2.585299e-06,2.592040e-06,2.762242e-06,2.810458e-06,2.935503e-06,3.040819e-06,3.111563e-06,3.275798e-06,3.290175e-06,3.471099e-06,3.514839e-06,3.654105e-06,3.757414e-06,3.838970e-06,4.003021e-06,4.025483e-06,4.213442e-06,4.251190e-06,4.402651e-06,4.501473e-06,4.592927e-06,4.753453e-06,4.784092e-06,4.975978e-06,5.006736e-06,5.168425e-06,5.260954e-06,5.361282e-06,5.515763e-06,5.554402e-06,5.747650e-06,5.770842e-06,5.940896e-06,6.025891e-06,6.134016e-06,6.280632e-06,6.326895e-06,6.519422e-06,6.534806e-06,6.711495e-06,6.788174e-06,6.903015e-06,7.040515e-06,7.093890e-06,7.284034e-06,7.291623e-06,7.473365e-06,7.541310e-06,7.661807e-06,7.789403e-06,7.849288e-06,8.035742e-06,8.221106e-06,8.280182e-06,8.405320e-06,8.522590e-06,8.588332e-06,8.762844e-06,8.770090e-06,8.950547e-06,9.000835e-06,9.129659e-06,9.236465e-06,9.307387e-06,9.469642e-06,9.483693e-06,9.658544e-06,9.700288e-06,9.831907e-06,9.928330e-06,1.000375e-05,1.015371e-05,1.017406e-05,1.034280e-05,1.037636e-05,1.050996e-05,1.059625e-05,1.067551e-05,1.081332e-05,1.083944e-05,1.100173e-05,1.102754e-05,1.116237e-05,1.123889e-05,1.132135e-05,1.144734e-05,1.147866e-05,1.163430e-05,1.165286e-05,1.178825e-05,1.185545e-05,1.194051e-05,1.205509e-05,1.209108e-05,1.223995e-05,1.225179e-05,1.238713e-05,1.244552e-05,1.253261e-05,1.263631e-05,1.267640e-05,1.281850e-05,1.282415e-05,1.295891e-05,1.300904e-05,1.309763e-05,1.319101e-05,1.323468e-05,1.337005e-05,1.354619e-05,1.371945e-05,1.388984e-05,1.405738e-05,1.422210e-05,1.438402e-05,1.454316e-05,1.469956e-05,1.485323e-05,1.500422e-05,1.515254e-05,1.529823e-05,1.544132e-05,1.558185e-05,1.571983e-05,1.585532e-05,1.598833e-05,1.611891e-05,1.624708e-05,1.637289e-05,1.649636e-05,1.661753e-05,1.673643e-05,1.685310e-05
0.000000e+00,6.157683e-13,2.405459e-12,1.646718e-11,5.622639e-11,9.780188e-11,3.187237e-10,3.324941e-10,8.444129e-10,1.058254e-09,1.792879e-09,2.651197e-09,3.373129e-09,5.583776e-09,5.817189e-09,9.393496e-09,1.045309e-08,1.440201e-08,1.795092e-08,2.116135e-08,2.881055e-08,2.998925e-08,4.118461e-08,4.373210e-08,5.501776e-08,6.333425e-08,7.172849e-08,8.814400e-08,9.152714e-08,1.145963e-07,1.186017e-07,1.410919e-07,1.550659e-07,1.711437e-07,1.978165e-07,2.048560e-07,2.423082e-07,2.470567e-07,2.835554e-07,3.029155e-07,3.286295e-07,3.654523e-07,3.775406e-07,4.302786e-07,4.346622e-07,4.868147e-07,5.104830e-07,5.471037e-07,5.928023e-07,6.110853e-07,6.786865e-07,6.814647e-07,7.498230e-07,7.762799e-07,8.244013e-07,8.770290e-07,9.023199e-07,9.834712e-07,1.067742e-06,1.095349e-06,1.155017e-06,1.212395e-06,1.245177e-06,1.334332e-06,1.338100e-06,1.433666e-06,1.460881e-06,1.531751e-06,1.591761e-06,1.632235e-06,1.726695e-06,1.734996e-06,1.839916e-06,1.865405e-06,1.946876e-06,2.007621e-06,2.055760e-06,2.153079e-06,2.166454e-06,2.278848e-06,2.301521e-06,2.392833e-06,2.452698e-06,2.508301e-06,2.606366e-06,2.625151e-06,2.743280e-06,2.762293e-06,2.862591e-06,2.920253e-06,2.982990e-06,3.080029e-06,3.104383e-06,3.226682e-06,3.241415e-06,3.349801e-06,3.404210e-06,3.473654e-06,3.568225e-06,3.598162e-06,3.723247e-06,3.733277e-06,3.848833e-06,3.899191e-06,3.974847e-06,4.065804e-06,4.101220e-06,4.227884e-06,4.232955e-06,4.354773e-06,4.400497e-06,4.481826e-06,4.568284e-06,4.608982e-06,4.736183e-06,4.863375e-06,4.904066e-06,4.990503e-06,5.071809e-06,5.117518e-06,5.239299e-06,5.244369e-06,5.371010e-06,5.406426e-06,5.497396e-06,5.573088e-06,5.623485e-06,5.739189e-06,5.749235e-06,5.874608e-06,5.904637e-06,5.999565e-06,6.069347e-06,6.124072e-06,6.233238e-06,6.248094e-06,6.371599e-06,6.396235e-06,6.494557e-06,6.558268e-06,6.616937e-06,6.719271e-06,6.738714e-06,6.859859e-06,6.879182e-06,6.980349e-06,7.037944e-06,7.100160e-06,7.195505e-06,7.219269e-06,7.337656e-06,7.351813e-06,7.455301e-06,7.506825e-06,7.572185e-06,7.660497e-06,7.688291e-06,7.803602e-06,7.812792e-06,7.918103e-06,7.963674e-06,8.031780e-06,8.113110e-06,8.144620e-06,8.256609e-06,8.261071e-06,8.367737e-06,8.407530e-06,8.477993e-06,8.552464e-06,8.587367e-06,8.695850e-06,8.837671e-06,8.977908e-06,9.116547e-06,9.253576e-06,9.388984e-06,9.522762e-06,9.654904e-06,9.785403e-06,9.914256e-06,1.004146e-05,1.016702e-05,1.029092e-05,1.041318e-05,1.053380e-05,1.065277e-05,1.077011e-05,1.088582e-05,1.099990e-05,1.111237e-05,1.122323e-05,1.133250e-05,1.144017e-05,1.154627e-05,1.165080e-05
0.000000e+00,3.209786e-13,1.695513e-12,1.649611e-11,6.673074e-11,1.235849e-10,4.485760e-10,4.694766e-10,1.267930e-09,1.608444e-09,2.792319e-09,4.189882e-09,5.371192e-09,9.001397e-09,9.385149e-09,1.526418e-08,1.700465e-08,2.348418e-08,2.930077e-08,3.456083e-08,4.710332e-08,4.903863e-08,6.747275e-08,7.168244e-08,9.040257e-08,1.042687e-07,1.183193e-07,1.459273e-07,1.516347e-07,1.906599e-07,1.974489e-07,2.355986e-07,2.593032e-07,2.865533e-07,3.316609e-07,3.435386e-07,4.064958e-07,4.144470e-07,4.753074e-07,5.073980e-07,5.498081e-07,6.101101e-07,6.297954e-07,7.150369e-07,7.220757e-07,8.052775e-07,8.427129e-07,9.002449e-07,9.713889e-07,9.996547e-07,1.103215e-06,1.107440e-06,1.210629e-06,1.250185e-06,1.321601e-06,1.398944e-06,1.435836e-06,1.553043e-06,1.672938e-06,1.711827e-06,1.795245e-06,1.874664e-06,1.919698e-06,2.040952e-06,2.046038e-06,2.174022e-06,2.210119e-06,2.303413e-06,2.381630e-06,2.433988e-06,2.554982e-06,2.565537e-06,2.697860e-06,2.729711e-06,2.830768e-06,2.905386e-06,2.964085e-06,3.081611e-06,3.097646e-06,3.231295e-06,3.258023e-06,3.364888e-06,3.434290e-06,3.498291e-06,3.610111e-06,3.631380e-06,3.764037e-06,3.785215e-06,3.896157e-06,3.959355e-06,4.027641e-06,4.132310e-06,4.158399e-06,4.288347e-06,4.303882e-06,4.417408e-06,4.473897e-06,4.545515e-06,4.642197e-06,4.672602e-06,4.798614e-06,4.808647e-06,4.923498e-06,4.973125e-06,5.047207e-06,5.135528e-06,5.169701e-06,5.290942e-06,5.295765e-06,5.410897e-06,5.453761e-06,5.529538e-06,5.609450e-06,5.646839e-06,5.762780e-06,5.877341e-06,5.913706e-06,5.990507e-06,6.062196e-06,6.102267e-06,6.208223e-06,6.212609e-06,6.321528e-06,6.351769e-06,6.429018e-06,6.492824e-06,6.535075e-06,6.631382e-06,6.639699e-06,6.742890e-06,6.767443e-06,6.844651e-06,6.901014e-06,6.944985e-06,7.032104e-06,7.043898e-06,7.141397e-06,7.160727e-06,7.237488e-06,7.286902e-06,7.332181e-06,7.410649e-06,7.425485e-06,7.517411e-06,7.531992e-06,7.607970e-06,7.650957e-06,7.697175e-06,7.767572e-06,7.785038e-06,7.871572e-06,7.881868e-06,7.956792e-06,7.993876e-06,8.040711e-06,8.103629e-06,8.123345e-06,8.204708e-06,8.211163e-06,8.284816e-06,8.316512e-06,8.363685e-06,8.419712e-06,8.441330e-06,8.517767e-06,8.520800e-06,8.593014e-06,8.619814e-06,8.667085e-06,8.716791e-06,8.739998e-06,8.811768e-06,8.904785e-06,8.995878e-06,9.085086e-06,9.172446e-06,9.257997e-06,9.341775e-06,9.423818e-06,9.504162e-06,9.582843e-06,9.659898e-06,9.735361e-06,9.809267e-06,9.881651e-06,9.952546e-06,1.002199e-05,1.009000e-05,1.015663e-05,1.022190e-05,1.028583e-05,1.034847e-05,1.040984e-05,1.046997e-05,1.052889e-05,1.058663e-05
0.000000e+00,2.848424e-15,2.966230e-14,9.035958e-13,8.185533e-12,2.199540e-11,1.760663e-10,1.894810e-10,9.322895e-10,1.360331e-09,3.241106e-09,6.086646e-09,8.914591e-09,1.948734e-08,2.074488e-08,4.263253e-08,4.991981e-08,7.963959e-08,1.092399e-07,1.379848e-07,2.127512e-07,2.249648e-07,3.487671e-07,3.787117e-07,5.181520e-07,6.272097e-07,7.420235e-07,9.784813e-07,1.028965e-06,1.386829e-06,1.451141e-06,1.822439e-06,2.060847e-06,2.341423e-06,2.819626e-06,2.948163e-06,3.645814e-06,3.735748e-06,4.436382e-06,4.813948e-06,5.320816e-06,6.055800e-06,6.299123e-06,7.370469e-06,7.460154e-06,8.533294e-06,9.023568e-06,9.785415e-06,1.074073e-05,1.112412e-05,1.254627e-05,1.260485e-05,1.404838e-05,1.460799e-05,1.562668e-05,1.674142e-05,1.727720e-05,1.899585e-05,2.077841e-05,2.136164e-05,2.262065e-05,2.382904e-05,2.451831e-05,2.638829e-05,2.646717e-05,2.846305e-05,2.902975e-05,3.050183e-05,3.174402e-05,3.257950e-05,3.452193e-05,3.469213e-05,3.683593e-05,3.735466e-05,3.900719e-05,4.023376e-05,4.120236e-05,4.315114e-05,4.341799e-05,4.565078e-05,4.609912e-05,4.789757e-05,4.907041e-05,5.015530e-05,5.205812e-05,5.242107e-05,5.469210e-05,5.505578e-05,5.696575e-05,5.805728e-05,5.923949e-05,6.105693e-05,6.151092e-05,6.377777e-05,6.404938e-05,6.603789e-05,6.702968e-05,6.828924e-05,6.999320e-05,7.052988e-05,7.275802e-05,7.293567e-05,7.497192e-05,7.585314e-05,7.717000e-05,7.874196e-05,7.935074e-05,8.151273e-05,8.159880e-05,8.365465e-05,8.442059e-05,8.577528e-05,8.720457e-05,8.787349e-05,8.994820e-05,9.199845e-05,9.264921e-05,9.402333e-05,9.530556e-05,9.602202e-05,9.791542e-05,9.799376e-05,9.993787e-05,1.004772e-04,1.018537e-04,1.029894e-04,1.037408e-04,1.054510e-04,1.055985e-04,1.074265e-04,1.078607e-04,1.092243e-04,1.102178e-04,1.109917e-04,1.125215e-04,1.127282e-04,1.144338e-04,1.147712e-04,1.161082e-04,1.169665e-04,1.177512e-04,1.191070e-04,1.193627e-04,1.209428e-04,1.211926e-04,1.224912e-04,1.232232e-04,1.240080e-04,1.251988e-04,1.254933e-04,1.269471e-04,1.271195e-04,1.283695e-04,1.289855e-04,1.297606e-04,1.307970e-04,1.311206e-04,1.324496e-04,1.325546e-04,1.337478e-04,1.342585e-04,1.350154e-04,1.359093e-04,1.362527e-04,1.374599e-04,1.375076e-04,1.386372e-04,1.390538e-04,1.397850e-04,1.405488e-04,1.409036e-04,1.419932e-04,1.433877e-04,1.447331e-04,1.460302e-04,1.472799e-04,1.484830e-04,1.496403e-04,1.507528e-04,1.518215e-04,1.528471e-04,1.538307e-04,1.547732e-04,1.556755e-04,1.565386e-04,1.573635e-04,1.581511e-04,1.589023e-04,1.596181e-04,1.602995e-04,1.609473e-04,1.615626e-04,1.621462e-04,1.626990e-04,1.632220e-04,1.637160e-04
0.000000e+00,5.599315e-12,1.706730e-11,8.971269e-11,2.703632e-10,4.486199e-10,1.343102e-09,1.397377e-09,3.363164e-09,4.166290e-09,6.883179e-09,1.000629e-08,1.260587e-08,2.046806e-08,2.129176e-08,3.380580e-08,3.748234e-08,5.108768e-08,6.320516e-08,7.409041e-08,9.977210e-08,1.037007e-07,1.406776e-07,1.490133e-07,1.856309e-07,2.123191e-07,2.390277e-07,2.906597e-07,3.012101e-07,3.724107e-07,3.846500e-07,4.527655e-07,4.946050e-07,5.423242e-07,6.205814e-07,6.410585e-07,7.488708e-07,7.624114e-07,8.656019e-07,9.197361e-07,9.910392e-07,1.092037e-06,1.124925e-06,1.266962e-06,1.278668e-06,1.416826e-06,1.478885e-06,1.574166e-06,1.691875e-06,1.738616e-06,1.909796e-06,1.916778e-06,2.087320e-06,2.152707e-06,2.270799e-06,2.398768e-06,2.459844e-06,2.654071e-06,2.853100e-06,2.917742e-06,3.056560e-06,3.188932e-06,3.264088e-06,3.466818e-06,3.475335e-06,3.689958e-06,3.750613e-06,3.907632e-06,4.039568e-06,4.128039e-06,4.332968e-06,4.350878e-06,4.575858e-06,4.630140e-06,4.802701e-06,4.930448e-06,5.031143e-06,5.233294e-06,5.260931e-06,5.491826e-06,5.538117e-06,5.723598e-06,5.844393e-06,5.956030e-06,6.151633e-06,6.188918e-06,6.422065e-06,6.459381e-06,6.655289e-06,6.767212e-06,6.888414e-06,7.074732e-06,7.121276e-06,7.353720e-06,7.381578e-06,7.585600e-06,7.687413e-06,7.816779e-06,7.991925e-06,8.047126e-06,8.276522e-06,8.294829e-06,8.504851e-06,8.595861e-06,8.732009e-06,8.894780e-06,8.957895e-06,9.182416e-06,9.191367e-06,9.405486e-06,9.485420e-06,9.627024e-06,9.776756e-06,9.846955e-06,1.006521e-05,1.028173e-05,1.035063e-05,1.049644e-05,1.063289e-05,1.070930e-05,1.091186e-05,1.092026e-05,1.112927e-05,1.118744e-05,1.133629e-05,1.145953e-05,1.154128e-05,1.172805e-05,1.174421e-05,1.194504e-05,1.199293e-05,1.214375e-05,1.225410e-05,1.234032e-05,1.251151e-05,1.253472e-05,1.272694e-05,1.276511e-05,1.291695e-05,1.301488e-05,1.310475e-05,1.326078e-05,1.329032e-05,1.347366e-05,1.350279e-05,1.365476e-05,1.374089e-05,1.383361e-05,1.397508e-05,1.401022e-05,1.418457e-05,1.420534e-05,1.435668e-05,1.443169e-05,1.452654e-05,1.465413e-05,1.469415e-05,1.485953e-05,1.487266e-05,1.502267e-05,1.508731e-05,1.518359e-05,1.529808e-05,1.534230e-05,1.549880e-05,1.550501e-05,1.565310e-05,1.570811e-05,1.580522e-05,1.590742e-05,1.595517e-05,1.610296e-05,1.629476e-05,1.648286e-05,1.666730e-05,1.684811e-05,1.702533e-05,1.719901e-05,1.736918e-05,1.753589e-05,1.769918e-05,1.785909e-05,1.801568e-05,1.816899e-05,1.831906e-05,1.846594e-05,1.860969e-05,1.875033e-05,1.888794e-05,1.902254e-05,1.915420e-05,1.928295e-05,1.940885e-05,1.953194e-05,1.965227e-05,1.976988e-05
0.000000e+00,4.960991e-17,5.376832e-16,1.776368e-14,1.729441e-13,4.830969e-13,4.264023e-12,4.606856e-12,2.489452e-11,3.724520e-11,9.444412e-11,1.864434e-10,2.820740e-10,6.629992e-10,7.101620e-10,1.574405e-09,1.876592e-09,3.163316e-09,4.512202e-09,5.871166e-09,9.572306e-09,1.019500e-08,1.671027e-08,1.833005e-08,2.602884e-08,3.218328e-08,3.875065e-08,5.246803e-08,5.542066e-08,7.649834e-08,8.030519e-08,1.023416e-07,1.165173e-07,1.332034e-07,1.616121e-07,1.692367e-07,2.105042e-07,2.158080e-07,2.569900e-07,2.790778e-07,3.086114e-07,3.511948e-07,3.652296e-07,4.266591e-07,4.317749e-07,4.926766e-07,5.203122e-07,5.630282e-07,6.162099e-07,6.374362e-07,7.156058e-07,7.188065e-07,7.972298e-07,8.273999e-07,8.819952e-07,9.412690e-07,9.695866e-07,1.059692e-06,1.152004e-06,1.181962e-06,1.246227e-06,1.307401e-06,1.342076e-06,1.435369e-06,1.439280e-06,1.537584e-06,1.565273e-06,1.636748e-06,1.696566e-06,1.736550e-06,1.828754e-06,1.836785e-06,1.937264e-06,1.961396e-06,2.037815e-06,2.094097e-06,2.138283e-06,2.226512e-06,2.238525e-06,2.338414e-06,2.358339e-06,2.437837e-06,2.489318e-06,2.536691e-06,2.619223e-06,2.634886e-06,2.732344e-06,2.747864e-06,2.828993e-06,2.875078e-06,2.924771e-06,3.000731e-06,3.019626e-06,3.113510e-06,3.124709e-06,3.206383e-06,3.246918e-06,3.298211e-06,3.367283e-06,3.388965e-06,3.478619e-06,3.485744e-06,3.567155e-06,3.602252e-06,3.654555e-06,3.716773e-06,3.740807e-06,3.825899e-06,3.829278e-06,3.909825e-06,3.939751e-06,3.992579e-06,4.048182e-06,4.074159e-06,4.154565e-06,4.233796e-06,4.258902e-06,4.311855e-06,4.361199e-06,4.388746e-06,4.461466e-06,4.464473e-06,4.539043e-06,4.559716e-06,4.612463e-06,4.655966e-06,4.684740e-06,4.750234e-06,4.755884e-06,4.825903e-06,4.842541e-06,4.894807e-06,4.932910e-06,4.962606e-06,5.021365e-06,5.029313e-06,5.094936e-06,5.107932e-06,5.159489e-06,5.192638e-06,5.222984e-06,5.275509e-06,5.285431e-06,5.346844e-06,5.356575e-06,5.407235e-06,5.435864e-06,5.466617e-06,5.513405e-06,5.525003e-06,5.582406e-06,5.589228e-06,5.638838e-06,5.663364e-06,5.694313e-06,5.735842e-06,5.748844e-06,5.802443e-06,5.806691e-06,5.855125e-06,5.875944e-06,5.906902e-06,5.943628e-06,5.957787e-06,6.007793e-06,6.009775e-06,6.056933e-06,6.074414e-06,6.105221e-06,6.137575e-06,6.152667e-06,6.199287e-06,6.259579e-06,6.318480e-06,6.376018e-06,6.432222e-06,6.487120e-06,6.540738e-06,6.593103e-06,6.644243e-06,6.694184e-06,6.742950e-06,6.790569e-06,6.837063e-06,6.882459e-06,6.926780e-06,6.970050e-06,7.012291e-06,7.053527e-06,7.093780e-06,7.133072e-06,7.171424e-06,7.208857e-06,7.245393e-06,7.281050e-06,7.315850e-06
0.000000e+00,6.469102e-16,6.123216e-15,1.542187e-13,1.186074e-12,2.925059e-12,1.902084e-11,2.030649e-11,8.302815e-11,1.156149e-10,2.465777e-10,4.263678e-10,5.937419e-10,1.170645e-09,1.236033e-09,2.315537e-09,2.658347e-09,4.006282e-09,5.294814e-09,6.511140e-09,9.562779e-09,1.004911e-08,1.483264e-08,1.595554e-08,2.104312e-08,2.488317e-08,2.881499e-08,3.661275e-08,3.823214e-08,4.933334e-08,5.126642e-08,6.212133e-08,6.885231e-08,7.657141e-08,8.929836e-08,9.263839e-08,1.102616e-07,1.124777e-07,1.293687e-07,1.382252e-07,1.498781e-07,1.663492e-07,1.717018e-07,1.947469e-07,1.966404e-07,2.189176e-07,2.288793e-07,2.441170e-07,2.628432e-07,2.702485e-07,2.972169e-07,2.983117e-07,3.249298e-07,3.350714e-07,3.532982e-07,3.729198e-07,3.822375e-07,4.116675e-07,4.415133e-07,4.511402e-07,4.717050e-07,4.911792e-07,5.021780e-07,5.316413e-07,5.328726e-07,5.637345e-07,5.723989e-07,5.947139e-07,6.133389e-07,6.257656e-07,6.543619e-07,6.568489e-07,6.879268e-07,6.953809e-07,7.189662e-07,7.363202e-07,7.499374e-07,7.771144e-07,7.808138e-07,8.115717e-07,8.177071e-07,8.421899e-07,8.580499e-07,8.726497e-07,8.981014e-07,9.029346e-07,9.330299e-07,9.378267e-07,9.629227e-07,9.771960e-07,9.926018e-07,1.016184e-06,1.022057e-06,1.051280e-06,1.054771e-06,1.080264e-06,1.092939e-06,1.109002e-06,1.130674e-06,1.137488e-06,1.165718e-06,1.167965e-06,1.193688e-06,1.204803e-06,1.221396e-06,1.241181e-06,1.248837e-06,1.276012e-06,1.277093e-06,1.302917e-06,1.312537e-06,1.329552e-06,1.347509e-06,1.355917e-06,1.382010e-06,1.407833e-06,1.416039e-06,1.433385e-06,1.449597e-06,1.458667e-06,1.482685e-06,1.483681e-06,1.508426e-06,1.515307e-06,1.532904e-06,1.547464e-06,1.557118e-06,1.579161e-06,1.581067e-06,1.604755e-06,1.610401e-06,1.628183e-06,1.641189e-06,1.651352e-06,1.671529e-06,1.674266e-06,1.696925e-06,1.701427e-06,1.719333e-06,1.730887e-06,1.741492e-06,1.759914e-06,1.763404e-06,1.785071e-06,1.788515e-06,1.806496e-06,1.816695e-06,1.827682e-06,1.844459e-06,1.848630e-06,1.869344e-06,1.871814e-06,1.889827e-06,1.898766e-06,1.910080e-06,1.925320e-06,1.930106e-06,1.949909e-06,1.951483e-06,1.969490e-06,1.977261e-06,1.988853e-06,2.002660e-06,2.007999e-06,2.026932e-06,2.027685e-06,2.045655e-06,2.052343e-06,2.064169e-06,2.076641e-06,2.082478e-06,2.100583e-06,2.124177e-06,2.147428e-06,2.170341e-06,2.192923e-06,2.215180e-06,2.237117e-06,2.258740e-06,2.280054e-06,2.301065e-06,2.321779e-06,2.342200e-06,2.362334e-06,2.382187e-06,2.401763e-06,2.421068e-06,2.440105e-06,2.458881e-06,2.477400e-06,2.495667e-06,2.513686e-06,2.531462e-06,2.549000e-06,2.566303e-06,2.583376e-06
0.000000e+00,8.968131e-18,9.873354e-17,3.369775e-15,3.377046e-14,9.580540e-14,8.785785e-13,9.506317e-13,5.315922e-12,8.021067e-12,2.073868e-11,4.149414e-11,6.324934e-11,1.505590e-10,1.613982e-10,3.600121e-10,4.293132e-10,7.232114e-10,1.029435e-09,1.336449e-09,2.167958e-09,2.307467e-09,3.766087e-09,4.129221e-09,5.862640e-09,7.260056e-09,8.764797e-09,1.195668e-08,1.265260e-08,1.771191e-08,1.864251e-08,2.412680e-08,2.773926e-08,3.207183e-08,3.963647e-08,4.170504e-08,5.316220e-08,5.466512e-08,6.655287e-08,7.307929e-08,8.195831e-08,9.504717e-08,9.943083e-08,1.189945e-07,1.206501e-07,1.406470e-07,1.498877e-07,1.643618e-07,1.826874e-07,1.900911e-07,2.177691e-07,2.189156e-07,2.473144e-07,2.583902e-07,2.786337e-07,3.008921e-07,3.116244e-07,3.461768e-07,3.821774e-07,3.939845e-07,4.195101e-07,4.440484e-07,4.580587e-07,4.961024e-07,4.977081e-07,5.383457e-07,5.498864e-07,5.798626e-07,6.051511e-07,6.221542e-07,6.616612e-07,6.651211e-07,7.086691e-07,7.191972e-07,7.527098e-07,7.775568e-07,7.971605e-07,8.365552e-07,8.419444e-07,8.869904e-07,8.960251e-07,9.322328e-07,9.558162e-07,9.776113e-07,1.015794e-06,1.023071e-06,1.068561e-06,1.075839e-06,1.114036e-06,1.135846e-06,1.159453e-06,1.195721e-06,1.204776e-06,1.249969e-06,1.255382e-06,1.295003e-06,1.314759e-06,1.339848e-06,1.373788e-06,1.384479e-06,1.428875e-06,1.432416e-06,1.473015e-06,1.490594e-06,1.516880e-06,1.548283e-06,1.560454e-06,1.603723e-06,1.605447e-06,1.646673e-06,1.662055e-06,1.689294e-06,1.718082e-06,1.731574e-06,1.773505e-06,1.815079e-06,1.828306e-06,1.856289e-06,1.882469e-06,1.897128e-06,1.935980e-06,1.937591e-06,1.977674e-06,1.988828e-06,2.017373e-06,2.041006e-06,2.056684e-06,2.092505e-06,2.095604e-06,2.134132e-06,2.143321e-06,2.172266e-06,2.193449e-06,2.210005e-06,2.242886e-06,2.247346e-06,2.284291e-06,2.291632e-06,2.320838e-06,2.339686e-06,2.356988e-06,2.387047e-06,2.392741e-06,2.428098e-06,2.433719e-06,2.463060e-06,2.479702e-06,2.497628e-06,2.524999e-06,2.531802e-06,2.565585e-06,2.569613e-06,2.598979e-06,2.613549e-06,2.631985e-06,2.656811e-06,2.664604e-06,2.696840e-06,2.699403e-06,2.728695e-06,2.741330e-06,2.760170e-06,2.782599e-06,2.791269e-06,2.821993e-06,2.823214e-06,2.852346e-06,2.863183e-06,2.882330e-06,2.902510e-06,2.911948e-06,2.941204e-06,2.979270e-06,3.016715e-06,3.053547e-06,3.089772e-06,3.125399e-06,3.160434e-06,3.194885e-06,3.228759e-06,3.262064e-06,3.294807e-06,3.326997e-06,3.358641e-06,3.389746e-06,3.420321e-06,3.450372e-06,3.479908e-06,3.508936e-06,3.537464e-06,3.565499e-06,3.593049e-06,3.620121e-06,3.646723e-06,3.672862e-06,3.698545e-06
0.000000e+00,8.808101e-19,1.021262e-17,3.884796e-16,4.302031e-15,1.289657e-14,1.365275e-13,1.485947e-13,9.597802e-13,1.506448e-12,4.302987e-12,9.336761e-12,1.500845e-11,4.025681e-11,4.359757e-11,1.102114e-10,1.353448e-10,2.498025e-10,3.796874e-10,5.184655e-10,9.278104e-10,1.000521e-09,1.815704e-09,2.032140e-09,3.125659e-09,4.069642e-09,5.138965e-09,7.561310e-09,8.114107e-09,1.236006e-08,1.318058e-08,1.823429e-08,2.174868e-08,2.613842e-08,3.421740e-08,3.651175e-08,4.982302e-08,5.164087e-08,6.656090e-08,7.513940e-08,8.722357e-08,1.058582e-07,1.123080e-07,1.422992e-07,1.449245e-07,1.776597e-07,1.934051e-07,2.188203e-07,2.522680e-07,2.661709e-07,3.200535e-07,3.223489e-07,3.807560e-07,4.043244e-07,4.485075e-07,4.986928e-07,5.234751e-07,6.057623e-07,6.954085e-07,7.256474e-07,7.923901e-07,8.582715e-07,8.966229e-07,1.003377e-06,1.007964e-06,1.126219e-06,1.160537e-06,1.251142e-06,1.329178e-06,1.382445e-06,1.508598e-06,1.519800e-06,1.662850e-06,1.697986e-06,1.811206e-06,1.896453e-06,1.964464e-06,2.103049e-06,2.122199e-06,2.283980e-06,2.316783e-06,2.449369e-06,2.536651e-06,2.617926e-06,2.761645e-06,2.789217e-06,2.962813e-06,2.990775e-06,3.138296e-06,3.223078e-06,3.315259e-06,3.457633e-06,3.493313e-06,3.672082e-06,3.693565e-06,3.851210e-06,3.930053e-06,4.030362e-06,4.166337e-06,4.209220e-06,4.387488e-06,4.401715e-06,4.564889e-06,4.635549e-06,4.741168e-06,4.867262e-06,4.916090e-06,5.089439e-06,5.096337e-06,5.261017e-06,5.322316e-06,5.430645e-06,5.544797e-06,5.598165e-06,5.763431e-06,5.926314e-06,5.977915e-06,6.086703e-06,6.187995e-06,6.244496e-06,6.393457e-06,6.399609e-06,6.551967e-06,6.594125e-06,6.701509e-06,6.789860e-06,6.848182e-06,6.980551e-06,6.991944e-06,7.132763e-06,7.166118e-06,7.270613e-06,7.346505e-06,7.405477e-06,7.521679e-06,7.537345e-06,7.666213e-06,7.691627e-06,7.792082e-06,7.856351e-06,7.914960e-06,8.015873e-06,8.034857e-06,8.151789e-06,8.170225e-06,8.265777e-06,8.319451e-06,8.376841e-06,8.463604e-06,8.485007e-06,8.590305e-06,8.602749e-06,8.692764e-06,8.736956e-06,8.792419e-06,8.866301e-06,8.889303e-06,8.983453e-06,8.990868e-06,9.074907e-06,9.110743e-06,9.163704e-06,9.226015e-06,9.249884e-06,9.333489e-06,9.336780e-06,9.414559e-06,9.443131e-06,9.493137e-06,9.545168e-06,9.569265e-06,9.642988e-06,9.736691e-06,9.826376e-06,9.912146e-06,9.994099e-06,1.007234e-05,1.014696e-05,1.021806e-05,1.028574e-05,1.035010e-05,1.041124e-05,1.046924e-05,1.052420e-05,1.057621e-05,1.062537e-05,1.067175e-05,1.071546e-05,1.075657e-05,1.079516e-05,1.083133e-05,1.086514e-05,1.089668e-05,1.092603e-05,1.095326e-05,1.097845e-05
0.000000e+00,6.638106e-16,6.620749e-15,1.849639e-13,1.554098e-12,4.013236e-12,2.914260e-11,3.124413e-11,1.406994e-10,2.006913e-10,4.528206e-10,8.159225e-10,1.164705e-09,2.412581e-09,2.557094e-09,4.995842e-09,5.785004e-09,8.929481e-09,1.197773e-08,1.488143e-08,2.224948e-08,2.343309e-08,3.519622e-08,3.798819e-08,5.077917e-08,6.058435e-08,7.075534e-08,9.130961e-08,9.564030e-08,1.258789e-07,1.312396e-07,1.618398e-07,1.812222e-07,2.038149e-07,2.418735e-07,2.520212e-07,3.066037e-07,3.135864e-07,3.676397e-07,3.965459e-07,4.351436e-07,4.907478e-07,5.090723e-07,5.893317e-07,5.960220e-07,6.757826e-07,7.120581e-07,7.682481e-07,8.384314e-07,8.665196e-07,9.703631e-07,9.746292e-07,1.079525e-06,1.120075e-06,1.193738e-06,1.274147e-06,1.312725e-06,1.436203e-06,1.563886e-06,1.605586e-06,1.695490e-06,1.781644e-06,1.830733e-06,1.963735e-06,1.969341e-06,2.111042e-06,2.151237e-06,2.255574e-06,2.343547e-06,2.402684e-06,2.540092e-06,2.552128e-06,2.703669e-06,2.740326e-06,2.857083e-06,2.943732e-06,3.012154e-06,3.149824e-06,3.168677e-06,3.326455e-06,3.358145e-06,3.485303e-06,3.568267e-06,3.645043e-06,3.779792e-06,3.805509e-06,3.966540e-06,3.992348e-06,4.127988e-06,4.205589e-06,4.289710e-06,4.419195e-06,4.451572e-06,4.613449e-06,4.632869e-06,4.775220e-06,4.846338e-06,4.936776e-06,5.059348e-06,5.098009e-06,5.258823e-06,5.271667e-06,5.419125e-06,5.483082e-06,5.578827e-06,5.693397e-06,5.737850e-06,5.896118e-06,5.902432e-06,6.053560e-06,6.110025e-06,6.210111e-06,6.316026e-06,6.365710e-06,6.520300e-06,6.673828e-06,6.722725e-06,6.826247e-06,6.923191e-06,6.977511e-06,7.121599e-06,7.127579e-06,7.276413e-06,7.317861e-06,7.423979e-06,7.511896e-06,7.570244e-06,7.703636e-06,7.715181e-06,7.858763e-06,7.893018e-06,8.000966e-06,8.079990e-06,8.141770e-06,8.264504e-06,8.281155e-06,8.419105e-06,8.446521e-06,8.555605e-06,8.626008e-06,8.690643e-06,8.802937e-06,8.824208e-06,8.956290e-06,8.977285e-06,9.086883e-06,9.149036e-06,9.215979e-06,9.318176e-06,9.343575e-06,9.469668e-06,9.484698e-06,9.594254e-06,9.648595e-06,9.717335e-06,9.809868e-06,9.838909e-06,9.958979e-06,9.968519e-06,1.007755e-05,1.012455e-05,1.019462e-05,1.027798e-05,1.031019e-05,1.042427e-05,1.042881e-05,1.053687e-05,1.057705e-05,1.064800e-05,1.072272e-05,1.075765e-05,1.086584e-05,1.100643e-05,1.114450e-05,1.128008e-05,1.141320e-05,1.154387e-05,1.167212e-05,1.179798e-05,1.192148e-05,1.204264e-05,1.216149e-05,1.227807e-05,1.239239e-05,1.250450e-05,1.261443e-05,1.272219e-05,1.282783e-05,1.293137e-05,1.303285e-05,1.313230e-05,1.322975e-05,1.332522e-05,1.341876e-05,1.351040e-05,1.360015e-05
0.000000e+00,1.430301e-13,6.943474e-13,6.047614e-12,2.301981e-11,4.158644e-11,1.437651e-10,1.502137e-10,3.914250e-10,4.923207e-10,8.377254e-10,1.238120e-09,1.572158e-09,2.580842e-09,2.686210e-09,4.277842e-09,4.742200e-09,6.449272e-09,7.957167e-09,9.303994e-09,1.246130e-08,1.294244e-08,1.745610e-08,1.847088e-08,2.292090e-08,2.615772e-08,2.939206e-08,3.563002e-08,3.690214e-08,4.546221e-08,4.692899e-08,5.506487e-08,6.003837e-08,6.568767e-08,7.489766e-08,7.729627e-08,8.984703e-08,9.141410e-08,1.032893e-07,1.094722e-07,1.175674e-07,1.289414e-07,1.326221e-07,1.483920e-07,1.496826e-07,1.648152e-07,1.715534e-07,1.818297e-07,1.944122e-07,1.993749e-07,2.173919e-07,2.181216e-07,2.358242e-07,2.425511e-07,2.546181e-07,2.675784e-07,2.737228e-07,2.930911e-07,3.126788e-07,3.189865e-07,3.324453e-07,3.451721e-07,3.523529e-07,3.715654e-07,3.723676e-07,3.924581e-07,3.980931e-07,4.125962e-07,4.246911e-07,4.327562e-07,4.513032e-07,4.529154e-07,4.730529e-07,4.778806e-07,4.931505e-07,5.043815e-07,5.131917e-07,5.307697e-07,5.331620e-07,5.530485e-07,5.570148e-07,5.728400e-07,5.830906e-07,5.925264e-07,6.089755e-07,6.120992e-07,6.315506e-07,6.346511e-07,6.508743e-07,6.601025e-07,6.700645e-07,6.853174e-07,6.891165e-07,7.080263e-07,7.102858e-07,7.267905e-07,7.349999e-07,7.454063e-07,7.594536e-07,7.638714e-07,7.821840e-07,7.836424e-07,8.003429e-07,8.075631e-07,8.183470e-07,8.312137e-07,8.361957e-07,8.538886e-07,8.545931e-07,8.714258e-07,8.777010e-07,8.888073e-07,9.005380e-07,9.060336e-07,9.231052e-07,9.400228e-07,9.454041e-07,9.567874e-07,9.674369e-07,9.734000e-07,9.892061e-07,9.898617e-07,1.006174e-06,1.010714e-06,1.022337e-06,1.031965e-06,1.038354e-06,1.052961e-06,1.054225e-06,1.069952e-06,1.073705e-06,1.085537e-06,1.094203e-06,1.100981e-06,1.114456e-06,1.116285e-06,1.131453e-06,1.134470e-06,1.146484e-06,1.154247e-06,1.161381e-06,1.173792e-06,1.176146e-06,1.190780e-06,1.193109e-06,1.205285e-06,1.212202e-06,1.219663e-06,1.231075e-06,1.233915e-06,1.248044e-06,1.249731e-06,1.262051e-06,1.268175e-06,1.275937e-06,1.286411e-06,1.289705e-06,1.303356e-06,1.304443e-06,1.316892e-06,1.322274e-06,1.330314e-06,1.339908e-06,1.343624e-06,1.356824e-06,1.357350e-06,1.369916e-06,1.374602e-06,1.382900e-06,1.391669e-06,1.395779e-06,1.408555e-06,1.425262e-06,1.441794e-06,1.458155e-06,1.474348e-06,1.490376e-06,1.506243e-06,1.521952e-06,1.537506e-06,1.552908e-06,1.568160e-06,1.583267e-06,1.598230e-06,1.613053e-06,1.627738e-06,1.642287e-06,1.656705e-06,1.670992e-06,1.685151e-06,1.699185e-06,1.713097e-06,1.726887e-06,1.740560e-06,1.754116e-06,1.767558e-06
0.000000e+00,2.199750e-13,1.256304e-12,1.356891e-11,5.804497e-11,1.098610e-10,4.149805e-10,4.348768e-10,1.206681e-09,1.540527e-09,2.715345e-09,4.123589e-09,5.328203e-09,9.094615e-09,9.497632e-09,1.576282e-08,1.764476e-08,2.472806e-08,3.115678e-08,3.700061e-08,5.095608e-08,5.310511e-08,7.342801e-08,7.802267e-08,9.821574e-08,1.129179e-07,1.276020e-07,1.558785e-07,1.616365e-07,2.003049e-07,2.069182e-07,2.435431e-07,2.658909e-07,2.912453e-07,3.325283e-07,3.432718e-07,3.994545e-07,4.064669e-07,4.596026e-07,4.872708e-07,5.235076e-07,5.744522e-07,5.909483e-07,6.616953e-07,6.674909e-07,7.355150e-07,7.658506e-07,8.121729e-07,8.689934e-07,8.914368e-07,9.730791e-07,9.763911e-07,1.056879e-06,1.087534e-06,1.142623e-06,1.201935e-06,1.230108e-06,1.319140e-06,1.409535e-06,1.438720e-06,1.501120e-06,1.560283e-06,1.593732e-06,1.683466e-06,1.687221e-06,1.781442e-06,1.807938e-06,1.876266e-06,1.933397e-06,1.971568e-06,2.059571e-06,2.067236e-06,2.163163e-06,2.186214e-06,2.259253e-06,2.313101e-06,2.355417e-06,2.440035e-06,2.451570e-06,2.547638e-06,2.566835e-06,2.643551e-06,2.693342e-06,2.739243e-06,2.819412e-06,2.834658e-06,2.929740e-06,2.944919e-06,3.024440e-06,3.069748e-06,3.118715e-06,3.193800e-06,3.212522e-06,3.305824e-06,3.316985e-06,3.398588e-06,3.439226e-06,3.490783e-06,3.560454e-06,3.582381e-06,3.673357e-06,3.680608e-06,3.763689e-06,3.799637e-06,3.853356e-06,3.917494e-06,3.942340e-06,4.030625e-06,4.034142e-06,4.118197e-06,4.149546e-06,4.205043e-06,4.263678e-06,4.291153e-06,4.376516e-06,4.461124e-06,4.488038e-06,4.544971e-06,4.598231e-06,4.628051e-06,4.707082e-06,4.710359e-06,4.791892e-06,4.814581e-06,4.872645e-06,4.920723e-06,4.952618e-06,5.025503e-06,5.031810e-06,5.110218e-06,5.128920e-06,5.187845e-06,5.230975e-06,5.264691e-06,5.331670e-06,5.340756e-06,5.416044e-06,5.431008e-06,5.490555e-06,5.528995e-06,5.564293e-06,5.625638e-06,5.637262e-06,5.709464e-06,5.720945e-06,5.780904e-06,5.814925e-06,5.851585e-06,5.907587e-06,5.921513e-06,5.990691e-06,5.998943e-06,6.059126e-06,6.089003e-06,6.126822e-06,6.177780e-06,6.193784e-06,6.260019e-06,6.265287e-06,6.325532e-06,6.351536e-06,6.390329e-06,6.436542e-06,6.454415e-06,6.517798e-06,6.520318e-06,6.580483e-06,6.602880e-06,6.642476e-06,6.684240e-06,6.703785e-06,6.764415e-06,6.843420e-06,6.921269e-06,6.997978e-06,7.073562e-06,7.148037e-06,7.221419e-06,7.293723e-06,7.364965e-06,7.435160e-06,7.504323e-06,7.572471e-06,7.639617e-06,7.705779e-06,7.770970e-06,7.835207e-06,7.898503e-06,7.960873e-06,8.022333e-06,8.082897e-06,8.142579e-06,8.201393e-06,8.259354e-06,8.316475e-06,8.372771e-06
0.000000e+00,3.712226e-17,3.913372e-16,1.221737e-14,1.130524e-13,3.072037e-13,2.527113e-12,2.722540e-12,1.372875e-11,2.015760e-11,4.874784e-11,9.257689e-11,1.365276e-10,3.027432e-10,3.226489e-10,6.718486e-10,7.889423e-10,1.269254e-09,1.750826e-09,2.220696e-09,3.450354e-09,3.652075e-09,5.707434e-09,6.207129e-09,8.545139e-09,1.038508e-08,1.233160e-08,1.636696e-08,1.723260e-08,2.340320e-08,2.451767e-08,3.097799e-08,3.514517e-08,4.006357e-08,4.847084e-08,5.073422e-08,6.303109e-08,6.461677e-08,7.696415e-08,8.360946e-08,9.251610e-08,1.053944e-07,1.096469e-07,1.282988e-07,1.298546e-07,1.484003e-07,1.568290e-07,1.698709e-07,1.861286e-07,1.926234e-07,2.165674e-07,2.175487e-07,2.416111e-07,2.508784e-07,2.676631e-07,2.859084e-07,2.946334e-07,3.224350e-07,3.509841e-07,3.602645e-07,3.802008e-07,3.992147e-07,4.100095e-07,4.391169e-07,4.403392e-07,4.711232e-07,4.798156e-07,5.022995e-07,5.211694e-07,5.338104e-07,5.630500e-07,5.656026e-07,5.976269e-07,6.053422e-07,6.298381e-07,6.479423e-07,6.621946e-07,6.907582e-07,6.946583e-07,7.271946e-07,7.337078e-07,7.597717e-07,7.767182e-07,7.923606e-07,8.197252e-07,8.249351e-07,8.574712e-07,8.626720e-07,8.899473e-07,9.055087e-07,9.223438e-07,9.481916e-07,9.546428e-07,9.868284e-07,9.906824e-07,1.018886e-06,1.032948e-06,1.050803e-06,1.074958e-06,1.082567e-06,1.114168e-06,1.116689e-06,1.145597e-06,1.158118e-06,1.176844e-06,1.199226e-06,1.207904e-06,1.238768e-06,1.239999e-06,1.269432e-06,1.280421e-06,1.299890e-06,1.320482e-06,1.330138e-06,1.360171e-06,1.389987e-06,1.399482e-06,1.419583e-06,1.438408e-06,1.448956e-06,1.476943e-06,1.478104e-06,1.507027e-06,1.515084e-06,1.535721e-06,1.552828e-06,1.564187e-06,1.590173e-06,1.592424e-06,1.620431e-06,1.627119e-06,1.648209e-06,1.663664e-06,1.675757e-06,1.699810e-06,1.703076e-06,1.730166e-06,1.735557e-06,1.757028e-06,1.770906e-06,1.783662e-06,1.805860e-06,1.810070e-06,1.836253e-06,1.840421e-06,1.862211e-06,1.874592e-06,1.887946e-06,1.908375e-06,1.913460e-06,1.938753e-06,1.941773e-06,1.963828e-06,1.974792e-06,1.988685e-06,2.007433e-06,2.013327e-06,2.037756e-06,2.039701e-06,2.061972e-06,2.071599e-06,2.085978e-06,2.103133e-06,2.109776e-06,2.133367e-06,2.134307e-06,2.156754e-06,2.165123e-06,2.179938e-06,2.195589e-06,2.202922e-06,2.225706e-06,2.255481e-06,2.284918e-06,2.314021e-06,2.342796e-06,2.371246e-06,2.399376e-06,2.427191e-06,2.454696e-06,2.481895e-06,2.508793e-06,2.535394e-06,2.561704e-06,2.587725e-06,2.613463e-06,2.638923e-06,2.664107e-06,2.689022e-06,2.713671e-06,2.738057e-06,2.762187e-06,2.786062e-06,2.809688e-06,2.833068e-06,2.856207e-06
0.000000e+00,1.109723e-12,3.599745e-12,2.018910e-11,6.267748e-11,1.051474e-10,3.209376e-10,3.341097e-10,8.141688e-10,1.011448e-09,1.682068e-09,2.457621e-09,3.106047e-09,5.077682e-09,5.284843e-09,8.435732e-09,9.360660e-09,1.277203e-08,1.579117e-08,1.848713e-08,2.479353e-08,2.575242e-08,3.472048e-08,3.673069e-08,4.552745e-08,5.191437e-08,5.829357e-08,7.060760e-08,7.312266e-08,9.010133e-08,9.302223e-08,1.092981e-07,1.193158e-07,1.307629e-07,1.495894e-07,1.545270e-07,1.806037e-07,1.838882e-07,2.089883e-07,2.222040e-07,2.396604e-07,2.644795e-07,2.725842e-07,3.077109e-07,3.106145e-07,3.449802e-07,3.604724e-07,3.843218e-07,4.138873e-07,4.256576e-07,4.689028e-07,4.706710e-07,5.139680e-07,5.306192e-07,5.607604e-07,5.935174e-07,6.091850e-07,6.591458e-07,7.105466e-07,7.272834e-07,7.632921e-07,7.977115e-07,8.172884e-07,8.702164e-07,8.724437e-07,9.286683e-07,9.445910e-07,9.858757e-07,1.020637e-06,1.043982e-06,1.098164e-06,1.102907e-06,1.162573e-06,1.176994e-06,1.222906e-06,1.256958e-06,1.283836e-06,1.337895e-06,1.345296e-06,1.407223e-06,1.419659e-06,1.469555e-06,1.502108e-06,1.532235e-06,1.585116e-06,1.595209e-06,1.658427e-06,1.668561e-06,1.721838e-06,1.752331e-06,1.785399e-06,1.836325e-06,1.849065e-06,1.912796e-06,1.920446e-06,1.976554e-06,2.004607e-06,2.040303e-06,2.088726e-06,2.104010e-06,2.167642e-06,2.172728e-06,2.231170e-06,2.256546e-06,2.294566e-06,2.340115e-06,2.357804e-06,2.420859e-06,2.423377e-06,2.483708e-06,2.506279e-06,2.546330e-06,2.588773e-06,2.608705e-06,2.670814e-06,2.732640e-06,2.752361e-06,2.794165e-06,2.833377e-06,2.855375e-06,2.913827e-06,2.916256e-06,2.976794e-06,2.993682e-06,3.036978e-06,3.072913e-06,3.096795e-06,3.151495e-06,3.156236e-06,3.215291e-06,3.229405e-06,3.273950e-06,3.306623e-06,3.332205e-06,3.383130e-06,3.390049e-06,3.447475e-06,3.458909e-06,3.504476e-06,3.533947e-06,3.561047e-06,3.608230e-06,3.617182e-06,3.672876e-06,3.681746e-06,3.728126e-06,3.754487e-06,3.782927e-06,3.826442e-06,3.837276e-06,3.891170e-06,3.897606e-06,3.944606e-06,3.967972e-06,3.997582e-06,4.037535e-06,4.050096e-06,4.102146e-06,4.106290e-06,4.153732e-06,4.174236e-06,4.204851e-06,4.241369e-06,4.255504e-06,4.305690e-06,4.307688e-06,4.355408e-06,4.373192e-06,4.404659e-06,4.437882e-06,4.453442e-06,4.501759e-06,4.564822e-06,4.627075e-06,4.688520e-06,4.749159e-06,4.808996e-06,4.868034e-06,4.926278e-06,4.983731e-06,5.040399e-06,5.096286e-06,5.151398e-06,5.205741e-06,5.259319e-06,5.312140e-06,5.364208e-06,5.415532e-06,5.466116e-06,5.515968e-06,5.565094e-06,5.613501e-06,5.661197e-06,5.708188e-06,5.754482e-06,5.800085e-06
0.000000e+00,1.701417e-18,1.949123e-17,7.221616e-16,7.804498e-15,2.308065e-14,2.357046e-13,2.561548e-13,1.594042e-12,2.476077e-12,6.886011e-12,1.461204e-11,2.314118e-11,5.997519e-11,6.475802e-11,1.576675e-10,1.918794e-10,3.441308e-10,5.121222e-10,6.878166e-10,1.191037e-09,1.278672e-09,2.236980e-09,2.485624e-09,3.715926e-09,4.751376e-09,5.902074e-09,8.443578e-09,9.013363e-09,1.329461e-08,1.410567e-08,1.901082e-08,2.234540e-08,2.643891e-08,3.380194e-08,3.585843e-08,4.754216e-08,4.910878e-08,6.174705e-08,6.885701e-08,7.870620e-08,9.356308e-08,9.862211e-08,1.216616e-07,1.236438e-07,1.479522e-07,1.593996e-07,1.775806e-07,2.010069e-07,2.105922e-07,2.469922e-07,2.485183e-07,2.867478e-07,3.018693e-07,3.297917e-07,3.608907e-07,3.760253e-07,4.253235e-07,4.775386e-07,4.948369e-07,5.325053e-07,5.690457e-07,5.900445e-07,6.475275e-07,6.499677e-07,7.120810e-07,7.298384e-07,7.761877e-07,8.155269e-07,8.420918e-07,9.041451e-07,9.096004e-07,9.785256e-07,9.952581e-07,1.048686e-06,1.088451e-06,1.119909e-06,1.183333e-06,1.192030e-06,1.264894e-06,1.279543e-06,1.338355e-06,1.376747e-06,1.412280e-06,1.474642e-06,1.486542e-06,1.561026e-06,1.572957e-06,1.635626e-06,1.671446e-06,1.710244e-06,1.769892e-06,1.784791e-06,1.859187e-06,1.868101e-06,1.933358e-06,1.965905e-06,2.007238e-06,2.063154e-06,2.080766e-06,2.153888e-06,2.159718e-06,2.226555e-06,2.255484e-06,2.298723e-06,2.350353e-06,2.370353e-06,2.441410e-06,2.444240e-06,2.511862e-06,2.537071e-06,2.581681e-06,2.628783e-06,2.650842e-06,2.719323e-06,2.787105e-06,2.808644e-06,2.854169e-06,2.896707e-06,2.920501e-06,2.983479e-06,2.986088e-06,3.050918e-06,3.068934e-06,3.114982e-06,3.153048e-06,3.178269e-06,3.235803e-06,3.240774e-06,3.302491e-06,3.317185e-06,3.363415e-06,3.397184e-06,3.423541e-06,3.475791e-06,3.482868e-06,3.541393e-06,3.553001e-06,3.599115e-06,3.628812e-06,3.656033e-06,3.703223e-06,3.712147e-06,3.767460e-06,3.776235e-06,3.821971e-06,3.847852e-06,3.875682e-06,3.918078e-06,3.928597e-06,3.980718e-06,3.986919e-06,4.032048e-06,4.054383e-06,4.082591e-06,4.120479e-06,4.132350e-06,4.181331e-06,4.185216e-06,4.229538e-06,4.248606e-06,4.276976e-06,4.310658e-06,4.323650e-06,4.369566e-06,4.371387e-06,4.414728e-06,4.430804e-06,4.459144e-06,4.488923e-06,4.502819e-06,4.545759e-06,4.601325e-06,4.655638e-06,4.708713e-06,4.760565e-06,4.811211e-06,4.860667e-06,4.908949e-06,4.956076e-06,5.002062e-06,5.046926e-06,5.090685e-06,5.133356e-06,5.174956e-06,5.215502e-06,5.255013e-06,5.293504e-06,5.330995e-06,5.367501e-06,5.403040e-06,5.437629e-06,5.471285e-06,5.504025e-06,5.535866e-06,5.566825e-06
0.000000e+00,1.557468e-15,1.388814e-14,3.120972e-13,2.187762e-12,5.150288e-12,3.010367e-11,3.201166e-11,1.198375e-10,1.633215e-10,3.312818e-10,5.519344e-10,7.511870e-10,1.411081e-09,1.483981e-09,2.651205e-09,3.010860e-09,4.389356e-09,5.667265e-09,6.847594e-09,9.732209e-09,1.018439e-08,1.456223e-08,1.557691e-08,2.014076e-08,2.356646e-08,2.707003e-08,3.403424e-08,3.548576e-08,4.550698e-08,4.726641e-08,5.723545e-08,6.349701e-08,7.075576e-08,8.290820e-08,8.613562e-08,1.034261e-07,1.056312e-07,1.226620e-07,1.317474e-07,1.438617e-07,1.612892e-07,1.670281e-07,1.921486e-07,1.942420e-07,2.191964e-07,2.305466e-07,2.481312e-07,2.701034e-07,2.789001e-07,3.114397e-07,3.127771e-07,3.456767e-07,3.584021e-07,3.815298e-07,4.067883e-07,4.189109e-07,4.577271e-07,4.978815e-07,5.109973e-07,5.392748e-07,5.663704e-07,5.818067e-07,6.236153e-07,6.253768e-07,6.698855e-07,6.825027e-07,7.152350e-07,7.428085e-07,7.613300e-07,8.043166e-07,8.080784e-07,8.553913e-07,8.668208e-07,9.031839e-07,9.301271e-07,9.513756e-07,9.940535e-07,9.998899e-07,1.048655e-06,1.058432e-06,1.097603e-06,1.123107e-06,1.146671e-06,1.187938e-06,1.195800e-06,1.244936e-06,1.252795e-06,1.294029e-06,1.317563e-06,1.343030e-06,1.382138e-06,1.391899e-06,1.440595e-06,1.446426e-06,1.489083e-06,1.510344e-06,1.537330e-06,1.573819e-06,1.585307e-06,1.632985e-06,1.636786e-06,1.680342e-06,1.699190e-06,1.727355e-06,1.760980e-06,1.774004e-06,1.820272e-06,1.822115e-06,1.866143e-06,1.882557e-06,1.911603e-06,1.942275e-06,1.956641e-06,2.001244e-06,2.045404e-06,2.059440e-06,2.089112e-06,2.116846e-06,2.132362e-06,2.173446e-06,2.175148e-06,2.217465e-06,2.229229e-06,2.259309e-06,2.284186e-06,2.300676e-06,2.338311e-06,2.341564e-06,2.381972e-06,2.391599e-06,2.421899e-06,2.444047e-06,2.461343e-06,2.495655e-06,2.500305e-06,2.538785e-06,2.546424e-06,2.576785e-06,2.596355e-06,2.614305e-06,2.645452e-06,2.651347e-06,2.687913e-06,2.693719e-06,2.724005e-06,2.741162e-06,2.759626e-06,2.787786e-06,2.794779e-06,2.829467e-06,2.833598e-06,2.863692e-06,2.878606e-06,2.897459e-06,2.922817e-06,2.930770e-06,2.963630e-06,2.966240e-06,2.996042e-06,3.008883e-06,3.028011e-06,3.050755e-06,3.059539e-06,3.090632e-06,3.091867e-06,3.121294e-06,3.132227e-06,3.151529e-06,3.171846e-06,3.181340e-06,3.210733e-06,3.248899e-06,3.286354e-06,3.323108e-06,3.359171e-06,3.394555e-06,3.429269e-06,3.463324e-06,3.496730e-06,3.529499e-06,3.561640e-06,3.593163e-06,3.624079e-06,3.654398e-06,3.684130e-06,3.713286e-06,3.741874e-06,3.769906e-06,3.797390e-06,3.824336e-06,3.850754e-06,3.876653e-06,3.902042e-06,3.926931e-06,3.951328e-06
0.000000e+00,5.737033e-18,6.596291e-17,2.468257e-15,2.691447e-14,8.000037e-14,8.283150e-13,9.007073e-13,5.689432e-12,8.875840e-12,2.496787e-11,5.351136e-11,8.533048e-11,2.248535e-10,2.431492e-10,6.036773e-10,7.382814e-10,1.345542e-09,2.027190e-09,2.749761e-09,4.858864e-09,5.230927e-09,9.366530e-09,1.045589e-08,1.591965e-08,2.059362e-08,2.585084e-08,3.764447e-08,4.031695e-08,6.065651e-08,6.455381e-08,8.836299e-08,1.047488e-07,1.250488e-07,1.619961e-07,1.724029e-07,2.321452e-07,2.402282e-07,3.059808e-07,3.433605e-07,3.955555e-07,4.751143e-07,5.024150e-07,6.279699e-07,6.388604e-07,7.734644e-07,8.374883e-07,9.399528e-07,1.073307e-06,1.128281e-06,1.339073e-06,1.347979e-06,1.572728e-06,1.662480e-06,1.829414e-06,2.017097e-06,2.109076e-06,2.411441e-06,2.736033e-06,2.844492e-06,3.082184e-06,3.314653e-06,3.449053e-06,3.819819e-06,3.835648e-06,4.240841e-06,4.357462e-06,4.663395e-06,4.924711e-06,5.101981e-06,5.518438e-06,5.555200e-06,6.021606e-06,6.135341e-06,6.499720e-06,6.772023e-06,6.988053e-06,7.425060e-06,7.485121e-06,7.989457e-06,8.091069e-06,8.499626e-06,8.766755e-06,9.014237e-06,9.448962e-06,9.531951e-06,1.005149e-05,1.013470e-05,1.057163e-05,1.082118e-05,1.109124e-05,1.150582e-05,1.160924e-05,1.212464e-05,1.218627e-05,1.263652e-05,1.286042e-05,1.314404e-05,1.352635e-05,1.364642e-05,1.414296e-05,1.418241e-05,1.463303e-05,1.482713e-05,1.511608e-05,1.545925e-05,1.559161e-05,1.605918e-05,1.607771e-05,1.651841e-05,1.668162e-05,1.696897e-05,1.727026e-05,1.741059e-05,1.784304e-05,1.826613e-05,1.839951e-05,1.867971e-05,1.893936e-05,1.908367e-05,1.946235e-05,1.947793e-05,1.986245e-05,1.996836e-05,2.023719e-05,2.045734e-05,2.060216e-05,2.092932e-05,2.095738e-05,2.130290e-05,2.138439e-05,2.163878e-05,2.182269e-05,2.196509e-05,2.224440e-05,2.228193e-05,2.258939e-05,2.264976e-05,2.288758e-05,2.303902e-05,2.317663e-05,2.341246e-05,2.345666e-05,2.372782e-05,2.377039e-05,2.399024e-05,2.411314e-05,2.424407e-05,2.444105e-05,2.448946e-05,2.472656e-05,2.475446e-05,2.495554e-05,2.505375e-05,2.517654e-05,2.533927e-05,2.538973e-05,2.559527e-05,2.561139e-05,2.579333e-05,2.587049e-05,2.598405e-05,2.611692e-05,2.616760e-05,2.634415e-05,2.635107e-05,2.651385e-05,2.657330e-05,2.667687e-05,2.678398e-05,2.683335e-05,2.698345e-05,2.717209e-05,2.735024e-05,2.751825e-05,2.767645e-05,2.782517e-05,2.796475e-05,2.809549e-05,2.821771e-05,2.833172e-05,2.843781e-05,2.853626e-05,2.862737e-05,2.871140e-05,2.878862e-05,2.885929e-05,2.892367e-05,2.898200e-05,2.903451e-05,2.908144e-05,2.912302e-05,2.915946e-05,2.919097e-05,2.921776e-05,2.924003e-05
0.000000e+00,5.033850e-13,1.594808e-12,8.721945e-12,2.675349e-11,4.467645e-11,1.352406e-10,1.407544e-10,3.412007e-10,4.233957e-10,7.023644e-10,1.024376e-09,1.293202e-09,2.108568e-09,2.194066e-09,3.490589e-09,3.869870e-09,5.264221e-09,6.493007e-09,7.586669e-09,1.013369e-08,1.051974e-08,1.411671e-08,1.491992e-08,1.842317e-08,2.095587e-08,2.347723e-08,2.832292e-08,2.930939e-08,3.594247e-08,3.707921e-08,4.339160e-08,4.725954e-08,5.166435e-08,5.887611e-08,6.076121e-08,7.067601e-08,7.192024e-08,8.139669e-08,8.636481e-08,9.290598e-08,1.021673e-07,1.051822e-07,1.182001e-07,1.192728e-07,1.319315e-07,1.376171e-07,1.463461e-07,1.571299e-07,1.614121e-07,1.770967e-07,1.777365e-07,1.933666e-07,1.993606e-07,2.101885e-07,2.219258e-07,2.275293e-07,2.453566e-07,2.636385e-07,2.695797e-07,2.823443e-07,2.945246e-07,3.014441e-07,3.201240e-07,3.209093e-07,3.407125e-07,3.463143e-07,3.608273e-07,3.730354e-07,3.812288e-07,4.002309e-07,4.018932e-07,4.227976e-07,4.278480e-07,4.439208e-07,4.558377e-07,4.652424e-07,4.841541e-07,4.867430e-07,5.084045e-07,5.127546e-07,5.302097e-07,5.415997e-07,5.521423e-07,5.706528e-07,5.741869e-07,5.963290e-07,5.998799e-07,6.185551e-07,6.292496e-07,6.408521e-07,6.587326e-07,6.632079e-07,6.856110e-07,6.883021e-07,7.080507e-07,7.179330e-07,7.305166e-07,7.476023e-07,7.529992e-07,7.754893e-07,7.772886e-07,7.979785e-07,8.069721e-07,8.204586e-07,8.366344e-07,8.429221e-07,8.653618e-07,8.662587e-07,8.877708e-07,8.958294e-07,9.101429e-07,9.253318e-07,9.324721e-07,9.547526e-07,9.769792e-07,9.840795e-07,9.991468e-07,1.013301e-06,1.021251e-06,1.042406e-06,1.043286e-06,1.065250e-06,1.071386e-06,1.087137e-06,1.100231e-06,1.108944e-06,1.128933e-06,1.130667e-06,1.152304e-06,1.157483e-06,1.173851e-06,1.185877e-06,1.195305e-06,1.214105e-06,1.216663e-06,1.237923e-06,1.242163e-06,1.259083e-06,1.270046e-06,1.280140e-06,1.297747e-06,1.301093e-06,1.321938e-06,1.325263e-06,1.342675e-06,1.352590e-06,1.363302e-06,1.379722e-06,1.383816e-06,1.404218e-06,1.406658e-06,1.424504e-06,1.433393e-06,1.444674e-06,1.459926e-06,1.464728e-06,1.484662e-06,1.486252e-06,1.504478e-06,1.512371e-06,1.524173e-06,1.538279e-06,1.543748e-06,1.563200e-06,1.563976e-06,1.582530e-06,1.589459e-06,1.601737e-06,1.614727e-06,1.620820e-06,1.639779e-06,1.664614e-06,1.689231e-06,1.713629e-06,1.737808e-06,1.761767e-06,1.785507e-06,1.809027e-06,1.832326e-06,1.855406e-06,1.878266e-06,1.900906e-06,1.923328e-06,1.945531e-06,1.967516e-06,1.989284e-06,2.010835e-06,2.032171e-06,2.053291e-06,2.074197e-06,2.094891e-06,2.115372e-06,2.135642e-06,2.155702e-06,2.175554e-06
0.000000e+00,2.017992e-16,2.360351e-15,9.139479e-14,1.028728e-12,3.112188e-12,3.375324e-11,3.677345e-11,2.435338e-10,3.849203e-10,1.119337e-09,2.465201e-09,4.002184e-09,1.098232e-08,1.191728e-08,3.088156e-08,3.815045e-08,7.175635e-08,1.106016e-07,1.527023e-07,2.793999e-07,3.022139e-07,5.625951e-07,6.328872e-07,9.936112e-07,1.311045e-06,1.675969e-06,2.519151e-06,2.714256e-06,4.239010e-06,4.538256e-06,6.407701e-06,7.730483e-06,9.404464e-06,1.253792e-05,1.343854e-05,1.874157e-05,1.947492e-05,2.556373e-05,2.911440e-05,3.416905e-05,4.206919e-05,4.483004e-05,5.782188e-05,5.897011e-05,7.341638e-05,8.044217e-05,9.187600e-05,1.070806e-04,1.134481e-04,1.383594e-04,1.394282e-04,1.668114e-04,1.779550e-04,1.989761e-04,2.230410e-04,2.349923e-04,2.749634e-04,3.189551e-04,3.338872e-04,3.669949e-04,3.998611e-04,4.190712e-04,4.728162e-04,4.751343e-04,5.350972e-04,5.525699e-04,5.988377e-04,6.388317e-04,6.662000e-04,7.312130e-04,7.369984e-04,8.110193e-04,8.292379e-04,8.880251e-04,9.323566e-04,9.677574e-04,1.039959e-03,1.049941e-03,1.134286e-03,1.151388e-03,1.220493e-03,1.265956e-03,1.308257e-03,1.382956e-03,1.397269e-03,1.487218e-03,1.501676e-03,1.577798e-03,1.621412e-03,1.668707e-03,1.741474e-03,1.759652e-03,1.850346e-03,1.861200e-03,1.940518e-03,1.979961e-03,2.029908e-03,2.097169e-03,2.118270e-03,2.205373e-03,2.212280e-03,2.291005e-03,2.324800e-03,2.374967e-03,2.434284e-03,2.457080e-03,2.537181e-03,2.540341e-03,2.615124e-03,2.642630e-03,2.690781e-03,2.740864e-03,2.764040e-03,2.834805e-03,2.902998e-03,2.924265e-03,2.968552e-03,3.009099e-03,3.031419e-03,3.089209e-03,3.091562e-03,3.148957e-03,3.164533e-03,3.203592e-03,3.235047e-03,3.255467e-03,3.300762e-03,3.304591e-03,3.350986e-03,3.361717e-03,3.394678e-03,3.417978e-03,3.435703e-03,3.469635e-03,3.474106e-03,3.509935e-03,3.516797e-03,3.543246e-03,3.559592e-03,3.574099e-03,3.598161e-03,3.602557e-03,3.628688e-03,3.632658e-03,3.652563e-03,3.663243e-03,3.674255e-03,3.690088e-03,3.693840e-03,3.711391e-03,3.713365e-03,3.726988e-03,3.733252e-03,3.740708e-03,3.749928e-03,3.752629e-03,3.762828e-03,3.763572e-03,3.771384e-03,3.774363e-03,3.778372e-03,3.782476e-03,3.783870e-03,3.787950e-03,3.788085e-03,3.790687e-03,3.791358e-03,3.792153e-03,3.792459e-03,3.792417e-03,3.791548e-03,3.788778e-03,3.784297e-03,3.778247e-03,3.770762e-03,3.761972e-03,3.751999e-03,3.740959e-03,3.728962e-03,3.716112e-03,3.702505e-03,3.688234e-03,3.673384e-03,3.658035e-03,3.642262e-03,3.626134e-03,3.609715e-03,3.593066e-03,3.576241e-03,3.559293e-03,3.542266e-03,3.525205e-03,3.508149e-03,3.491134e-03,3.474193e-03
0.000000e+00,7.151587e-12,2.775499e-11,1.889108e-10,6.455518e-10,1.125953e-09,3.725616e-09,3.890040e-09,1.016901e-08,1.287658e-08,2.249419e-08,3.425218e-08,4.449748e-08,7.735751e-08,8.092666e-08,1.369836e-07,1.538879e-07,2.172126e-07,2.739913e-07,3.249568e-07,4.444001e-07,4.625464e-07,6.316453e-07,6.693605e-07,8.334827e-07,9.516893e-07,1.068968e-06,1.293255e-06,1.338743e-06,1.643201e-06,1.695147e-06,1.982501e-06,2.157729e-06,2.356574e-06,2.680685e-06,2.765136e-06,3.207704e-06,3.263067e-06,3.683610e-06,3.903362e-06,4.192026e-06,4.599575e-06,4.731985e-06,5.302402e-06,5.349316e-06,5.902094e-06,6.149889e-06,6.529806e-06,6.998372e-06,7.184222e-06,7.863987e-06,7.891686e-06,8.567721e-06,8.826664e-06,9.294029e-06,9.800101e-06,1.004152e-05,1.080880e-05,1.159449e-05,1.184959e-05,1.239726e-05,1.291937e-05,1.321577e-05,1.401514e-05,1.404872e-05,1.489486e-05,1.513398e-05,1.575297e-05,1.627308e-05,1.662185e-05,1.742975e-05,1.750036e-05,1.838739e-05,1.860142e-05,1.928187e-05,1.978565e-05,2.018277e-05,2.098010e-05,2.108912e-05,2.199995e-05,2.218258e-05,2.291437e-05,2.339100e-05,2.383151e-05,2.460340e-05,2.475054e-05,2.567066e-05,2.581793e-05,2.659112e-05,2.703285e-05,2.751120e-05,2.824653e-05,2.843021e-05,2.934751e-05,2.945744e-05,3.026248e-05,3.066417e-05,3.117453e-05,3.186539e-05,3.208310e-05,3.298767e-05,3.305985e-05,3.388775e-05,3.424642e-05,3.478287e-05,3.542403e-05,3.567258e-05,3.655648e-05,3.659171e-05,3.743417e-05,3.774855e-05,3.830529e-05,3.889373e-05,3.916950e-05,4.002648e-05,4.087593e-05,4.114612e-05,4.171758e-05,4.225202e-05,4.255116e-05,4.334360e-05,4.337645e-05,4.419322e-05,4.442036e-05,4.500127e-05,4.548183e-05,4.580041e-05,4.652762e-05,4.659049e-05,4.737134e-05,4.755736e-05,4.814283e-05,4.857073e-05,4.890484e-05,4.956747e-05,4.965724e-05,5.039996e-05,5.054733e-05,5.113290e-05,5.151013e-05,5.185598e-05,5.245571e-05,5.256915e-05,5.327235e-05,5.338394e-05,5.396555e-05,5.429471e-05,5.464870e-05,5.518798e-05,5.532179e-05,5.598481e-05,5.606369e-05,5.663774e-05,5.692184e-05,5.728059e-05,5.776242e-05,5.791337e-05,5.853610e-05,5.858548e-05,5.914879e-05,5.939106e-05,5.975147e-05,6.017923e-05,6.034419e-05,6.092698e-05,6.095008e-05,6.149988e-05,6.170372e-05,6.206296e-05,6.244026e-05,6.261625e-05,6.315982e-05,6.386257e-05,6.454865e-05,6.521822e-05,6.587147e-05,6.650858e-05,6.712974e-05,6.773514e-05,6.832500e-05,6.889952e-05,6.945892e-05,7.000342e-05,7.053324e-05,7.104860e-05,7.154974e-05,7.203689e-05,7.251027e-05,7.297012e-05,7.341668e-05,7.385018e-05,7.427085e-05,7.467894e-05,7.507466e-05,7.545827e-05,7.582998e-05
0.000000e+00,7.490472e-16,7.965478e-15,2.532912e-13,2.385081e-12,6.546301e-12,5.537533e-11,5.973011e-11,3.110611e-10,4.612128e-10,1.145901e-09,2.230817e-09,3.348950e-09,7.766811e-09,8.311934e-09,1.828337e-08,2.176842e-08,3.661681e-08,5.219683e-08,6.789966e-08,1.106468e-07,1.178319e-07,1.928347e-07,2.114276e-07,2.995078e-07,3.695966e-07,4.441083e-07,5.989578e-07,6.321697e-07,8.682937e-07,9.107890e-07,1.156096e-06,1.313416e-06,1.498249e-06,1.812348e-06,1.896565e-06,2.352107e-06,2.410643e-06,2.865284e-06,3.109318e-06,3.435938e-06,3.907694e-06,4.063422e-06,4.746661e-06,4.803688e-06,5.484216e-06,5.794062e-06,6.274330e-06,6.874630e-06,7.114981e-06,8.003930e-06,8.040459e-06,8.938765e-06,9.286052e-06,9.916940e-06,1.060551e-05,1.093582e-05,1.199269e-05,1.308484e-05,1.344132e-05,1.420952e-05,1.494513e-05,1.536402e-05,1.649791e-05,1.654566e-05,1.775182e-05,1.809359e-05,1.897995e-05,1.972634e-05,2.022756e-05,2.139051e-05,2.149226e-05,2.277174e-05,2.308077e-05,2.406379e-05,2.479203e-05,2.536628e-05,2.651951e-05,2.667720e-05,2.799463e-05,2.825873e-05,2.931672e-05,3.000548e-05,3.064175e-05,3.175585e-05,3.196808e-05,3.329416e-05,3.350621e-05,3.461852e-05,3.525320e-05,3.593980e-05,3.699372e-05,3.725669e-05,3.856799e-05,3.872492e-05,3.987257e-05,4.044417e-05,4.116936e-05,4.214910e-05,4.245737e-05,4.373569e-05,4.383751e-05,4.500346e-05,4.550743e-05,4.625989e-05,4.715709e-05,4.750425e-05,4.873586e-05,4.878485e-05,4.995411e-05,5.038930e-05,5.115843e-05,5.196914e-05,5.234829e-05,5.352324e-05,5.468283e-05,5.505060e-05,5.582670e-05,5.655035e-05,5.695449e-05,5.802176e-05,5.806589e-05,5.916065e-05,5.946417e-05,6.023852e-05,6.087705e-05,6.129931e-05,6.225999e-05,6.234283e-05,6.336895e-05,6.361262e-05,6.437755e-05,6.493468e-05,6.536854e-05,6.622600e-05,6.634186e-05,6.729746e-05,6.748645e-05,6.823531e-05,6.871598e-05,6.915542e-05,6.991462e-05,7.005781e-05,7.094250e-05,7.108241e-05,7.180955e-05,7.221948e-05,7.265902e-05,7.332599e-05,7.349099e-05,7.430557e-05,7.440215e-05,7.510284e-05,7.544819e-05,7.588294e-05,7.646440e-05,7.664599e-05,7.739212e-05,7.745109e-05,7.812150e-05,7.840858e-05,7.883426e-05,7.933725e-05,7.953057e-05,8.021061e-05,8.023748e-05,8.087456e-05,8.110967e-05,8.152258e-05,8.195425e-05,8.215488e-05,8.277165e-05,8.356232e-05,8.432673e-05,8.506535e-05,8.577867e-05,8.646716e-05,8.713132e-05,8.777165e-05,8.838864e-05,8.898280e-05,8.955463e-05,9.010463e-05,9.063330e-05,9.114113e-05,9.162863e-05,9.209628e-05,9.254457e-05,9.297399e-05,9.338501e-05,9.377811e-05,9.415375e-05,9.451240e-05,9.485451e-05,9.518053e-05,9.549090e-05
0.000000e+00,1.039674e-18,1.190923e-17,4.416043e-16,4.777228e-15,1.413663e-14,1.446882e-13,1.572597e-13,9.820928e-13,1.527429e-12,4.264122e-12,9.084155e-12,1.443047e-11,3.771372e-11,4.075474e-11,1.003809e-10,1.225453e-10,2.221561e-10,3.334692e-10,4.510701e-10,7.927203e-10,8.527924e-10,1.517516e-09,1.691837e-09,2.562277e-09,3.302548e-09,4.131191e-09,5.977238e-09,6.393400e-09,9.538978e-09,1.013781e-08,1.377325e-08,1.625508e-08,1.931015e-08,2.482252e-08,2.636520e-08,3.514862e-08,3.632836e-08,4.585899e-08,5.122952e-08,5.867782e-08,6.992953e-08,7.376498e-08,9.125529e-08,9.276175e-08,1.112562e-07,1.199780e-07,1.338462e-07,1.517430e-07,1.590747e-07,1.869621e-07,1.881329e-07,2.175011e-07,2.291385e-07,2.506581e-07,2.746719e-07,2.863757e-07,3.245747e-07,3.651571e-07,3.786285e-07,4.080086e-07,4.365661e-07,4.530020e-07,4.980830e-07,4.999995e-07,5.488558e-07,5.628482e-07,5.994202e-07,6.305150e-07,6.515394e-07,7.007300e-07,7.050596e-07,7.598278e-07,7.731412e-07,8.156943e-07,8.474047e-07,8.725133e-07,9.231904e-07,9.301445e-07,9.884536e-07,1.000185e-06,1.047313e-06,1.078098e-06,1.106604e-06,1.156659e-06,1.166213e-06,1.226036e-06,1.235620e-06,1.285975e-06,1.314760e-06,1.345941e-06,1.393879e-06,1.405853e-06,1.465635e-06,1.472797e-06,1.525220e-06,1.551358e-06,1.584545e-06,1.629424e-06,1.643555e-06,1.702202e-06,1.706876e-06,1.760438e-06,1.783610e-06,1.818226e-06,1.859536e-06,1.875531e-06,1.932319e-06,1.934580e-06,1.988566e-06,2.008677e-06,2.044246e-06,2.081775e-06,2.099340e-06,2.153828e-06,2.207696e-06,2.224801e-06,2.260931e-06,2.294664e-06,2.313522e-06,2.363395e-06,2.365460e-06,2.416737e-06,2.430975e-06,2.467348e-06,2.497392e-06,2.517287e-06,2.562636e-06,2.566553e-06,2.615142e-06,2.626703e-06,2.663054e-06,2.689589e-06,2.710289e-06,2.751295e-06,2.756846e-06,2.802728e-06,2.811824e-06,2.847937e-06,2.871180e-06,2.892474e-06,2.929369e-06,2.936343e-06,2.979548e-06,2.986399e-06,3.022092e-06,3.042279e-06,3.063979e-06,3.097020e-06,3.105216e-06,3.145805e-06,3.150633e-06,3.185754e-06,3.203129e-06,3.225066e-06,3.254522e-06,3.263748e-06,3.301806e-06,3.304824e-06,3.339246e-06,3.354051e-06,3.376074e-06,3.402215e-06,3.412297e-06,3.447920e-06,3.449333e-06,3.482951e-06,3.495418e-06,3.517396e-06,3.540487e-06,3.551262e-06,3.584555e-06,3.627637e-06,3.669749e-06,3.710908e-06,3.751129e-06,3.790429e-06,3.828822e-06,3.866326e-06,3.902955e-06,3.938727e-06,3.973656e-06,4.007758e-06,4.041049e-06,4.073544e-06,4.105258e-06,4.136207e-06,4.166405e-06,4.195867e-06,4.224608e-06,4.252641e-06,4.279983e-06,4.306645e-06,4.332643e-06,4.357989e-06,4.382698e-06
0.000000e+00,5.648253e-12,1.754878e-11,9.415893e-11,2.870346e-10,4.790020e-10,1.457838e-09,1.517920e-09,3.736018e-09,4.662498e-09,7.865984e-09,1.165143e-08,1.486224e-08,2.475344e-08,2.579764e-08,4.165585e-08,4.628480e-08,6.321068e-08,7.799232e-08,9.104253e-08,1.210780e-07,1.255901e-07,1.671849e-07,1.763722e-07,2.160675e-07,2.444220e-07,2.723950e-07,3.255221e-07,3.362444e-07,4.076172e-07,4.197313e-07,4.864438e-07,5.268913e-07,5.725909e-07,6.466536e-07,6.658689e-07,7.660405e-07,7.785116e-07,8.728300e-07,9.218358e-07,9.859310e-07,1.075907e-06,1.105015e-06,1.229738e-06,1.239949e-06,1.359748e-06,1.413153e-06,1.494690e-06,1.594701e-06,1.634207e-06,1.777950e-06,1.783782e-06,1.925576e-06,1.979608e-06,2.076752e-06,2.181416e-06,2.231157e-06,2.388482e-06,2.548430e-06,2.600121e-06,2.710719e-06,2.815688e-06,2.875081e-06,3.034583e-06,3.041262e-06,3.209020e-06,3.256244e-06,3.378129e-06,3.480153e-06,3.548374e-06,3.705829e-06,3.719553e-06,3.891477e-06,3.932829e-06,4.063967e-06,4.160747e-06,4.236858e-06,4.389207e-06,4.409991e-06,4.583222e-06,4.617868e-06,4.756414e-06,4.846415e-06,4.929438e-06,5.074563e-06,5.102177e-06,5.274518e-06,5.302049e-06,5.446360e-06,5.528638e-06,5.617606e-06,5.754113e-06,5.788166e-06,5.957959e-06,5.978279e-06,6.126908e-06,6.200960e-06,6.294942e-06,6.421996e-06,6.461996e-06,6.628010e-06,6.641244e-06,6.792928e-06,6.858576e-06,6.956699e-06,7.073877e-06,7.119276e-06,7.280618e-06,7.287045e-06,7.440684e-06,7.497989e-06,7.599441e-06,7.706630e-06,7.756854e-06,7.912897e-06,8.067542e-06,8.116729e-06,8.220766e-06,8.318074e-06,8.372549e-06,8.516887e-06,8.522872e-06,8.671719e-06,8.713130e-06,8.819077e-06,8.906772e-06,8.964933e-06,9.097786e-06,9.109278e-06,9.252103e-06,9.286154e-06,9.393401e-06,9.471860e-06,9.533168e-06,9.654893e-06,9.671400e-06,9.808095e-06,9.835249e-06,9.943251e-06,1.001292e-05,1.007687e-05,1.018792e-05,1.020895e-05,1.033949e-05,1.036024e-05,1.046851e-05,1.052989e-05,1.059600e-05,1.069689e-05,1.072196e-05,1.084641e-05,1.086124e-05,1.096935e-05,1.102296e-05,1.109078e-05,1.118207e-05,1.121072e-05,1.132917e-05,1.133858e-05,1.144614e-05,1.149252e-05,1.156165e-05,1.164390e-05,1.167569e-05,1.178828e-05,1.179276e-05,1.189944e-05,1.193911e-05,1.200917e-05,1.208298e-05,1.211748e-05,1.222439e-05,1.236338e-05,1.249997e-05,1.263419e-05,1.276606e-05,1.289562e-05,1.302290e-05,1.314793e-05,1.327074e-05,1.339136e-05,1.350981e-05,1.362614e-05,1.374037e-05,1.385253e-05,1.396265e-05,1.407077e-05,1.417692e-05,1.428112e-05,1.438342e-05,1.448383e-05,1.458238e-05,1.467912e-05,1.477407e-05,1.486725e-05,1.495870e-05
0.000000e+00,6.451490e-12,2.011231e-11,1.083189e-10,3.303906e-10,5.508842e-10,1.665532e-09,1.733447e-09,4.206364e-09,5.222269e-09,8.676240e-09,1.267203e-08,1.601366e-08,2.617712e-08,2.724520e-08,4.349644e-08,4.826896e-08,6.587583e-08,8.145693e-08,9.536189e-08,1.278305e-07,1.327583e-07,1.787030e-07,1.889636e-07,2.336905e-07,2.659845e-07,2.980888e-07,3.596449e-07,3.721518e-07,4.560276e-07,4.703631e-07,5.497680e-07,5.982598e-07,6.533369e-07,7.431941e-07,7.666201e-07,8.894363e-07,9.048041e-07,1.021547e-06,1.082548e-06,1.162667e-06,1.275745e-06,1.312472e-06,1.470612e-06,1.483612e-06,1.636712e-06,1.705295e-06,1.810387e-06,1.939900e-06,1.991239e-06,2.178868e-06,2.186508e-06,2.372874e-06,2.444201e-06,2.572862e-06,2.712069e-06,2.778438e-06,2.989221e-06,3.204836e-06,3.274794e-06,3.424921e-06,3.567957e-06,3.649122e-06,3.867913e-06,3.877100e-06,4.108527e-06,4.173902e-06,4.343088e-06,4.485203e-06,4.580481e-06,4.801132e-06,4.820414e-06,5.062611e-06,5.121045e-06,5.306806e-06,5.444333e-06,5.552745e-06,5.770424e-06,5.800189e-06,6.048905e-06,6.098782e-06,6.298676e-06,6.428904e-06,6.549293e-06,6.760321e-06,6.800559e-06,7.052286e-06,7.092593e-06,7.304297e-06,7.425314e-06,7.556424e-06,7.758101e-06,7.808507e-06,8.060396e-06,8.090603e-06,8.311949e-06,8.422491e-06,8.563032e-06,8.753462e-06,8.813518e-06,9.063290e-06,9.083238e-06,9.312236e-06,9.411559e-06,9.560250e-06,9.738188e-06,9.807234e-06,1.005310e-05,1.006291e-05,1.029775e-05,1.038552e-05,1.054112e-05,1.070583e-05,1.078312e-05,1.102369e-05,1.126276e-05,1.133894e-05,1.150027e-05,1.165144e-05,1.173617e-05,1.196107e-05,1.197041e-05,1.220293e-05,1.226772e-05,1.243370e-05,1.257130e-05,1.266267e-05,1.287170e-05,1.288981e-05,1.311508e-05,1.316887e-05,1.333846e-05,1.346272e-05,1.355992e-05,1.375320e-05,1.377943e-05,1.399698e-05,1.404026e-05,1.421255e-05,1.432385e-05,1.442611e-05,1.460395e-05,1.463766e-05,1.484719e-05,1.488052e-05,1.505467e-05,1.515354e-05,1.526012e-05,1.542300e-05,1.546352e-05,1.566486e-05,1.568888e-05,1.586415e-05,1.595118e-05,1.606138e-05,1.620990e-05,1.625656e-05,1.644968e-05,1.646504e-05,1.664075e-05,1.671661e-05,1.682978e-05,1.696462e-05,1.701677e-05,1.720172e-05,1.720908e-05,1.738465e-05,1.745001e-05,1.756556e-05,1.768744e-05,1.774447e-05,1.792137e-05,1.815185e-05,1.837889e-05,1.860253e-05,1.882280e-05,1.903972e-05,1.925334e-05,1.946369e-05,1.967080e-05,1.987471e-05,2.007546e-05,2.027309e-05,2.046764e-05,2.065915e-05,2.084766e-05,2.103321e-05,2.121584e-05,2.139559e-05,2.157251e-05,2.174663e-05,2.191800e-05,2.208666e-05,2.225266e-05,2.241602e-05,2.257680e-05
0.000000e+00,5.604751e-12,1.701324e-11,8.914210e-11,2.686458e-10,4.461103e-10,1.341082e-09,1.395599e-09,3.383523e-09,4.202280e-09,6.995822e-09,1.024628e-08,1.297960e-08,2.137558e-08,2.226517e-08,3.597362e-08,4.006155e-08,5.538339e-08,6.924366e-08,8.183240e-08,1.119286e-07,1.165719e-07,1.606406e-07,1.706467e-07,2.148150e-07,2.471644e-07,2.796265e-07,3.425356e-07,3.554062e-07,4.423275e-07,4.572737e-07,5.404397e-07,5.914969e-07,6.496917e-07,7.450263e-07,7.699493e-07,9.010083e-07,9.174492e-07,1.042605e-06,1.108166e-06,1.194425e-06,1.316428e-06,1.356113e-06,1.527282e-06,1.541372e-06,1.707515e-06,1.782049e-06,1.896378e-06,2.037453e-06,2.093424e-06,2.298196e-06,2.306541e-06,2.510235e-06,2.588259e-06,2.729080e-06,2.881551e-06,2.954277e-06,3.185377e-06,3.421939e-06,3.498722e-06,3.663535e-06,3.820605e-06,3.909747e-06,4.150079e-06,4.160172e-06,4.414419e-06,4.486242e-06,4.672114e-06,4.828234e-06,4.932895e-06,5.175242e-06,5.196416e-06,5.462348e-06,5.526495e-06,5.730373e-06,5.881269e-06,6.000192e-06,6.238886e-06,6.271515e-06,6.544072e-06,6.598708e-06,6.817602e-06,6.960140e-06,7.091859e-06,7.322626e-06,7.366610e-06,7.641635e-06,7.685650e-06,7.916723e-06,8.048730e-06,8.191679e-06,8.411422e-06,8.466315e-06,8.740456e-06,8.773312e-06,9.013937e-06,9.134019e-06,9.286602e-06,9.493191e-06,9.558304e-06,9.828907e-06,9.850504e-06,1.009828e-05,1.020566e-05,1.036631e-05,1.055839e-05,1.063287e-05,1.089787e-05,1.090843e-05,1.116120e-05,1.125557e-05,1.142278e-05,1.159960e-05,1.168251e-05,1.194033e-05,1.219615e-05,1.227758e-05,1.244991e-05,1.261121e-05,1.270156e-05,1.294108e-05,1.295102e-05,1.319825e-05,1.326707e-05,1.344321e-05,1.358907e-05,1.368585e-05,1.390699e-05,1.392612e-05,1.416400e-05,1.422073e-05,1.439946e-05,1.453024e-05,1.463246e-05,1.483545e-05,1.486298e-05,1.509101e-05,1.513631e-05,1.531651e-05,1.543278e-05,1.553949e-05,1.572482e-05,1.575991e-05,1.597778e-05,1.601241e-05,1.619309e-05,1.629552e-05,1.640583e-05,1.657416e-05,1.661599e-05,1.682358e-05,1.684832e-05,1.702859e-05,1.711798e-05,1.723103e-05,1.738317e-05,1.743091e-05,1.762822e-05,1.764389e-05,1.782297e-05,1.790016e-05,1.801518e-05,1.815199e-05,1.820485e-05,1.839199e-05,1.839942e-05,1.857661e-05,1.864247e-05,1.875874e-05,1.888116e-05,1.893837e-05,1.911554e-05,1.934563e-05,1.957148e-05,1.979313e-05,2.001062e-05,2.022399e-05,2.043330e-05,2.063858e-05,2.083989e-05,2.103728e-05,2.123080e-05,2.142050e-05,2.160643e-05,2.178865e-05,2.196721e-05,2.214216e-05,2.231355e-05,2.248145e-05,2.264591e-05,2.280698e-05,2.296471e-05,2.311917e-05,2.327040e-05,2.341846e-05,2.356340e-05
0.000000e+00,7.822684e-17,8.283028e-16,2.608718e-14,2.432425e-13,6.636280e-13,5.512103e-12,5.940561e-12,3.020847e-11,4.444552e-11,1.079879e-10,2.057435e-10,3.039725e-10,6.761911e-10,7.208037e-10,1.503609e-09,1.766023e-09,2.841449e-09,3.917864e-09,4.966318e-09,7.702379e-09,8.150241e-09,1.270050e-08,1.380364e-08,1.895244e-08,2.299278e-08,2.725897e-08,3.608523e-08,3.797646e-08,5.144797e-08,5.388043e-08,6.798597e-08,7.709385e-08,8.785733e-08,1.062980e-07,1.112726e-07,1.383804e-07,1.418862e-07,1.692669e-07,1.840628e-07,2.039583e-07,2.328530e-07,2.424265e-07,2.845960e-07,2.881262e-07,3.303504e-07,3.496233e-07,3.795400e-07,4.169853e-07,4.319882e-07,4.874979e-07,4.897790e-07,5.458569e-07,5.675211e-07,6.068428e-07,6.496974e-07,6.702274e-07,7.357808e-07,8.032741e-07,8.252448e-07,8.724828e-07,9.175754e-07,9.431884e-07,1.012279e-06,1.015181e-06,1.088259e-06,1.108889e-06,1.162232e-06,1.206971e-06,1.236921e-06,1.306124e-06,1.312159e-06,1.387788e-06,1.405981e-06,1.463665e-06,1.506213e-06,1.539655e-06,1.606523e-06,1.615637e-06,1.691498e-06,1.706647e-06,1.767137e-06,1.806351e-06,1.842463e-06,1.905433e-06,1.917391e-06,1.991848e-06,2.003713e-06,2.065766e-06,2.101038e-06,2.139086e-06,2.197275e-06,2.211755e-06,2.283726e-06,2.292314e-06,2.354958e-06,2.386057e-06,2.425416e-06,2.478427e-06,2.495069e-06,2.563889e-06,2.569358e-06,2.631855e-06,2.658798e-06,2.698947e-06,2.746703e-06,2.765149e-06,2.830448e-06,2.833042e-06,2.894835e-06,2.917790e-06,2.958302e-06,3.000930e-06,3.020842e-06,3.082453e-06,3.143133e-06,3.162354e-06,3.202882e-06,3.240633e-06,3.261700e-06,3.317294e-06,3.319591e-06,3.376559e-06,3.392345e-06,3.432608e-06,3.465798e-06,3.487744e-06,3.537668e-06,3.541973e-06,3.595303e-06,3.607969e-06,3.647742e-06,3.676721e-06,3.699298e-06,3.743944e-06,3.749980e-06,3.799797e-06,3.809658e-06,3.848760e-06,3.873887e-06,3.896879e-06,3.936654e-06,3.944164e-06,3.990626e-06,3.997984e-06,4.036274e-06,4.057901e-06,4.081122e-06,4.116430e-06,4.125179e-06,4.168457e-06,4.173599e-06,4.210967e-06,4.229432e-06,4.252721e-06,4.283955e-06,4.293730e-06,4.334005e-06,4.337196e-06,4.373558e-06,4.389179e-06,4.412400e-06,4.439932e-06,4.450542e-06,4.487996e-06,4.489480e-06,4.524773e-06,4.537849e-06,4.560884e-06,4.585064e-06,4.596340e-06,4.631152e-06,4.676136e-06,4.720041e-06,4.762893e-06,4.804714e-06,4.845529e-06,4.885360e-06,4.924231e-06,4.962163e-06,4.999179e-06,5.035301e-06,5.070549e-06,5.104944e-06,5.138507e-06,5.171257e-06,5.203213e-06,5.234396e-06,5.264823e-06,5.294513e-06,5.323483e-06,5.351750e-06,5.379333e-06,5.406247e-06,5.432508e-06,5.458132e-06
0.000000e+00,3.695676e-15,3.403551e-14,8.145079e-13,6.021746e-12,1.457642e-11,9.128586e-11,9.733930e-11,3.898024e-10,5.412870e-10,1.152858e-09,2.003141e-09,2.806290e-09,5.650638e-09,5.979591e-09,1.155935e-08,1.337854e-08,2.068055e-08,2.780947e-08,3.461725e-08,5.185759e-08,5.461530e-08,8.176547e-08,8.813582e-08,1.169621e-07,1.386884e-07,1.609226e-07,2.050491e-07,2.142261e-07,2.773466e-07,2.883840e-07,3.506736e-07,3.895913e-07,4.345228e-07,5.093461e-07,5.291407e-07,6.347048e-07,6.481140e-07,7.513244e-07,8.061524e-07,8.790406e-07,9.835133e-07,1.017828e-06,1.167598e-06,1.180050e-06,1.328202e-06,1.395433e-06,1.499435e-06,1.629163e-06,1.681043e-06,1.872729e-06,1.880601e-06,2.074155e-06,2.148984e-06,2.284956e-06,2.433456e-06,2.504738e-06,2.733086e-06,2.969573e-06,3.046895e-06,3.213758e-06,3.373871e-06,3.465195e-06,3.712983e-06,3.723438e-06,3.988038e-06,4.063204e-06,4.258550e-06,4.423512e-06,4.534535e-06,4.792906e-06,4.815564e-06,5.101213e-06,5.170411e-06,5.391072e-06,5.555081e-06,5.684739e-06,5.946008e-06,5.981827e-06,6.281960e-06,6.342320e-06,6.584777e-06,6.743185e-06,6.889928e-06,7.147813e-06,7.197078e-06,7.505905e-06,7.555453e-06,7.816102e-06,7.965395e-06,8.127372e-06,8.376971e-06,8.439434e-06,8.752019e-06,8.789552e-06,9.064870e-06,9.202545e-06,9.377743e-06,9.615398e-06,9.690406e-06,1.000264e-05,1.002759e-05,1.031423e-05,1.043864e-05,1.062499e-05,1.084811e-05,1.093472e-05,1.124325e-05,1.125556e-05,1.155040e-05,1.166062e-05,1.185604e-05,1.206292e-05,1.215999e-05,1.246213e-05,1.276233e-05,1.285796e-05,1.306045e-05,1.325011e-05,1.335640e-05,1.363835e-05,1.365005e-05,1.394131e-05,1.402242e-05,1.423008e-05,1.440212e-05,1.451629e-05,1.477726e-05,1.479985e-05,1.508068e-05,1.514767e-05,1.535872e-05,1.551318e-05,1.563391e-05,1.587367e-05,1.590619e-05,1.617550e-05,1.622901e-05,1.644181e-05,1.657908e-05,1.670506e-05,1.692381e-05,1.696522e-05,1.722227e-05,1.726310e-05,1.747615e-05,1.759689e-05,1.772687e-05,1.792513e-05,1.797438e-05,1.821867e-05,1.824777e-05,1.845973e-05,1.856476e-05,1.869754e-05,1.887610e-05,1.893210e-05,1.916339e-05,1.918175e-05,1.939142e-05,1.948172e-05,1.961619e-05,1.977600e-05,1.983769e-05,2.005593e-05,2.006459e-05,2.027091e-05,2.034751e-05,2.048265e-05,2.062478e-05,2.069115e-05,2.089642e-05,2.116246e-05,2.142293e-05,2.167788e-05,2.192735e-05,2.217138e-05,2.241002e-05,2.264333e-05,2.287137e-05,2.309418e-05,2.331184e-05,2.352440e-05,2.373192e-05,2.393449e-05,2.413215e-05,2.432499e-05,2.451306e-05,2.469645e-05,2.487522e-05,2.504944e-05,2.521920e-05,2.538455e-05,2.554558e-05,2.570235e-05,2.585494e-05
0.000000e+00,1.525480e-16,1.617826e-15,5.120601e-14,4.798408e-13,1.312993e-12,1.099706e-11,1.185617e-11,6.086762e-11,8.980845e-11,2.198830e-10,4.217977e-10,6.261656e-10,1.409391e-09,1.503993e-09,3.182030e-09,3.750788e-09,6.106442e-09,8.496266e-09,1.084838e-08,1.707307e-08,1.810168e-08,2.866578e-08,3.125186e-08,4.341326e-08,5.303530e-08,6.324818e-08,8.449599e-08,8.906418e-08,1.217097e-07,1.276199e-07,1.619630e-07,1.841940e-07,2.105172e-07,2.557431e-07,2.679715e-07,3.348276e-07,3.435024e-07,4.114895e-07,4.484096e-07,4.982637e-07,5.711092e-07,5.953624e-07,7.029064e-07,7.119627e-07,8.209295e-07,8.710649e-07,9.493845e-07,1.048266e-06,1.088150e-06,1.237035e-06,1.243197e-06,1.395791e-06,1.455303e-06,1.564117e-06,1.683870e-06,1.741667e-06,1.928059e-06,2.122884e-06,2.186939e-06,2.325709e-06,2.459509e-06,2.536086e-06,2.744728e-06,2.753557e-06,2.977661e-06,3.041535e-06,3.207933e-06,3.348866e-06,3.443914e-06,3.665667e-06,3.685149e-06,3.931193e-06,3.990911e-06,4.181611e-06,4.323598e-06,4.435981e-06,4.662771e-06,4.693894e-06,4.954955e-06,5.007512e-06,5.218785e-06,5.356950e-06,5.485020e-06,5.710261e-06,5.753312e-06,6.023327e-06,6.066668e-06,6.294750e-06,6.425444e-06,6.567278e-06,6.785904e-06,6.840626e-06,7.114521e-06,7.147413e-06,7.388707e-06,7.509378e-06,7.662940e-06,7.871248e-06,7.936992e-06,8.210645e-06,8.232513e-06,8.483695e-06,8.592703e-06,8.755952e-06,8.951383e-06,9.027234e-06,9.297374e-06,9.308154e-06,9.566213e-06,9.662647e-06,9.833602e-06,1.001453e-05,1.009940e-05,1.036349e-05,1.062574e-05,1.070925e-05,1.088604e-05,1.105157e-05,1.114429e-05,1.139020e-05,1.140040e-05,1.165427e-05,1.172494e-05,1.190582e-05,1.205561e-05,1.215498e-05,1.238204e-05,1.240169e-05,1.264587e-05,1.270409e-05,1.288747e-05,1.302162e-05,1.312644e-05,1.333452e-05,1.336273e-05,1.359631e-05,1.364269e-05,1.382713e-05,1.394605e-05,1.405516e-05,1.424453e-05,1.428037e-05,1.450274e-05,1.453806e-05,1.472225e-05,1.482660e-05,1.493888e-05,1.511010e-05,1.515262e-05,1.536345e-05,1.538855e-05,1.557136e-05,1.566192e-05,1.577636e-05,1.593020e-05,1.597843e-05,1.617757e-05,1.619338e-05,1.637380e-05,1.645147e-05,1.656711e-05,1.670448e-05,1.675750e-05,1.694499e-05,1.695243e-05,1.712958e-05,1.719533e-05,1.731129e-05,1.743321e-05,1.749013e-05,1.766611e-05,1.789405e-05,1.811708e-05,1.833524e-05,1.854858e-05,1.875713e-05,1.896096e-05,1.916012e-05,1.935465e-05,1.954463e-05,1.973010e-05,1.991113e-05,2.008777e-05,2.026010e-05,2.042817e-05,2.059205e-05,2.075180e-05,2.090749e-05,2.105918e-05,2.120694e-05,2.135083e-05,2.149093e-05,2.162729e-05,2.175999e-05,2.188908e-05
0.000000e+00,2.444156e-12,8.242819e-12,4.815448e-11,1.525487e-10,2.581253e-10,8.040058e-10,8.377091e-10,2.087879e-09,2.611967e-09,4.428650e-09,6.582584e-09,8.415393e-09,1.409485e-08,1.469720e-08,2.389924e-08,2.660140e-08,3.652797e-08,4.524289e-08,5.296381e-08,7.080531e-08,7.349261e-08,9.833207e-08,1.038325e-07,1.276459e-07,1.446978e-07,1.615503e-07,1.936304e-07,2.001157e-07,2.433690e-07,2.507240e-07,2.912941e-07,3.159426e-07,3.438350e-07,3.891293e-07,4.008981e-07,4.623569e-07,4.700202e-07,5.280558e-07,5.582611e-07,5.978154e-07,6.534270e-07,6.714373e-07,7.487088e-07,7.550416e-07,8.294078e-07,8.625961e-07,9.133061e-07,9.755647e-07,1.000173e-06,1.089780e-06,1.093418e-06,1.181900e-06,1.215636e-06,1.276312e-06,1.341712e-06,1.372802e-06,1.471162e-06,1.571196e-06,1.603529e-06,1.672714e-06,1.738381e-06,1.775537e-06,1.875318e-06,1.879496e-06,1.984430e-06,2.013966e-06,2.090189e-06,2.153982e-06,2.196633e-06,2.295051e-06,2.303628e-06,2.411051e-06,2.436883e-06,2.518787e-06,2.579215e-06,2.626727e-06,2.721804e-06,2.734772e-06,2.842828e-06,2.864433e-06,2.950808e-06,3.006901e-06,3.058632e-06,3.149029e-06,3.166225e-06,3.273518e-06,3.290652e-06,3.380446e-06,3.431624e-06,3.486950e-06,3.571812e-06,3.592976e-06,3.698473e-06,3.711094e-06,3.803393e-06,3.849364e-06,3.907694e-06,3.986525e-06,4.011337e-06,4.114285e-06,4.122490e-06,4.216504e-06,4.257181e-06,4.317964e-06,4.390529e-06,4.418637e-06,4.518497e-06,4.522474e-06,4.617521e-06,4.652961e-06,4.715688e-06,4.781943e-06,4.812979e-06,4.909377e-06,5.004865e-06,5.035227e-06,5.099431e-06,5.159462e-06,5.193060e-06,5.282055e-06,5.285744e-06,5.377472e-06,5.402983e-06,5.468235e-06,5.522226e-06,5.558026e-06,5.639771e-06,5.646840e-06,5.734670e-06,5.755603e-06,5.821513e-06,5.869713e-06,5.907366e-06,5.982096e-06,5.992226e-06,6.076092e-06,6.092745e-06,6.158961e-06,6.201660e-06,6.240835e-06,6.308839e-06,6.321713e-06,6.401596e-06,6.414285e-06,6.480487e-06,6.518002e-06,6.558386e-06,6.619993e-06,6.635296e-06,6.711221e-06,6.720266e-06,6.786163e-06,6.818828e-06,6.860127e-06,6.915688e-06,6.933116e-06,7.005136e-06,7.010856e-06,7.076190e-06,7.104342e-06,7.146284e-06,7.196160e-06,7.215423e-06,7.283613e-06,7.286321e-06,7.350860e-06,7.374839e-06,7.417169e-06,7.461727e-06,7.482547e-06,7.547001e-06,7.630676e-06,7.712767e-06,7.793290e-06,7.872262e-06,7.949700e-06,8.025621e-06,8.100042e-06,8.172980e-06,8.244454e-06,8.314482e-06,8.383082e-06,8.450271e-06,8.516068e-06,8.580492e-06,8.643561e-06,8.705293e-06,8.765706e-06,8.824820e-06,8.882652e-06,8.939221e-06,8.994545e-06,9.048642e-06,9.101531e-06,9.153229e-06
0.000000e+00,2.378107e-15,2.369414e-14,6.610608e-13,5.555524e-12,1.435967e-11,1.049187e-10,1.125286e-10,5.139009e-10,7.370901e-10,1.693068e-09,3.109397e-09,4.504911e-09,9.712673e-09,1.033384e-08,2.123731e-08,2.490255e-08,3.997250e-08,5.508987e-08,6.979903e-08,1.079193e-07,1.141097e-07,1.760710e-07,1.908299e-07,2.584080e-07,3.100343e-07,3.633481e-07,4.702703e-07,4.926587e-07,6.477192e-07,6.749931e-07,8.295872e-07,9.266455e-07,1.039046e-06,1.226850e-06,1.276636e-06,1.542672e-06,1.576516e-06,1.837260e-06,1.975906e-06,2.160306e-06,2.424688e-06,2.511531e-06,2.890490e-06,2.921988e-06,3.296581e-06,3.466455e-06,3.729072e-06,4.056340e-06,4.187114e-06,4.669764e-06,4.689567e-06,5.175998e-06,5.363810e-06,5.704736e-06,6.076559e-06,6.254851e-06,6.825183e-06,7.414558e-06,7.606986e-06,8.021790e-06,8.419244e-06,8.645698e-06,9.259249e-06,9.285108e-06,9.938864e-06,1.012433e-05,1.060583e-05,1.101188e-05,1.128489e-05,1.191938e-05,1.197496e-05,1.267500e-05,1.284438e-05,1.338397e-05,1.378454e-05,1.410090e-05,1.473762e-05,1.482483e-05,1.555484e-05,1.570150e-05,1.629005e-05,1.667414e-05,1.702962e-05,1.765362e-05,1.777273e-05,1.851860e-05,1.863814e-05,1.926649e-05,1.962598e-05,2.001569e-05,2.061553e-05,2.076552e-05,2.151533e-05,2.160528e-05,2.226452e-05,2.259381e-05,2.301249e-05,2.357979e-05,2.375869e-05,2.450260e-05,2.456199e-05,2.524370e-05,2.553926e-05,2.598154e-05,2.651051e-05,2.671566e-05,2.744564e-05,2.747475e-05,2.817109e-05,2.843106e-05,2.889162e-05,2.937860e-05,2.960689e-05,3.031656e-05,3.102033e-05,3.124425e-05,3.171791e-05,3.216098e-05,3.240902e-05,3.306616e-05,3.309340e-05,3.377084e-05,3.395924e-05,3.444110e-05,3.483973e-05,3.510399e-05,3.570718e-05,3.575932e-05,3.640692e-05,3.656117e-05,3.704663e-05,3.740137e-05,3.767831e-05,3.822744e-05,3.830183e-05,3.891707e-05,3.903912e-05,3.952393e-05,3.983615e-05,4.012231e-05,4.061834e-05,4.071213e-05,4.129332e-05,4.138550e-05,4.186581e-05,4.213750e-05,4.242955e-05,4.287421e-05,4.298449e-05,4.353061e-05,4.359555e-05,4.406787e-05,4.430145e-05,4.459626e-05,4.499188e-05,4.511575e-05,4.562635e-05,4.566682e-05,4.612806e-05,4.632625e-05,4.662088e-05,4.697022e-05,4.710483e-05,4.757993e-05,4.759875e-05,4.804620e-05,4.821190e-05,4.850368e-05,4.880975e-05,4.895238e-05,4.939237e-05,4.995986e-05,5.051234e-05,5.104991e-05,5.157273e-05,5.208092e-05,5.257464e-05,5.305403e-05,5.351928e-05,5.397054e-05,5.440799e-05,5.483182e-05,5.524222e-05,5.563936e-05,5.602345e-05,5.639469e-05,5.675327e-05,5.709939e-05,5.743327e-05,5.775510e-05,5.806509e-05,5.836346e-05,5.865040e-05,5.892614e-05,5.919087e-05
0.000000e+00,3.719378e-13,1.526717e-12,1.101543e-11,3.851615e-11,6.758083e-11,2.237058e-10,2.334906e-10,5.996860e-10,7.537150e-10,1.286361e-09,1.914298e-09,2.446349e-09,4.093553e-09,4.268843e-09,6.980423e-09,7.791619e-09,1.083792e-08,1.359847e-08,1.610783e-08,2.211001e-08,2.303611e-08,3.182400e-08,3.381873e-08,4.262070e-08,4.906461e-08,5.552911e-08,6.805307e-08,7.061494e-08,8.791464e-08,9.088919e-08,1.074410e-07,1.176031e-07,1.291867e-07,1.481654e-07,1.531275e-07,1.792241e-07,1.824982e-07,2.074244e-07,2.204830e-07,2.376651e-07,2.619685e-07,2.698739e-07,3.039712e-07,3.067781e-07,3.398715e-07,3.547165e-07,3.774851e-07,4.055760e-07,4.167196e-07,4.574807e-07,4.591415e-07,4.996738e-07,5.151957e-07,5.432047e-07,5.735224e-07,5.879804e-07,6.339094e-07,6.809026e-07,6.961509e-07,7.288733e-07,7.600488e-07,7.777378e-07,8.254136e-07,8.274153e-07,8.778282e-07,8.920654e-07,9.289023e-07,9.598343e-07,9.805663e-07,1.028560e-06,1.032753e-06,1.085397e-06,1.098093e-06,1.138438e-06,1.168292e-06,1.191817e-06,1.239028e-06,1.245481e-06,1.299377e-06,1.310180e-06,1.353457e-06,1.381635e-06,1.407673e-06,1.453289e-06,1.461984e-06,1.516346e-06,1.525047e-06,1.570723e-06,1.596818e-06,1.625078e-06,1.668522e-06,1.679375e-06,1.733585e-06,1.740083e-06,1.787676e-06,1.811432e-06,1.841621e-06,1.882505e-06,1.895393e-06,1.948968e-06,1.953245e-06,2.002322e-06,2.023598e-06,2.055436e-06,2.093517e-06,2.108288e-06,2.160860e-06,2.162957e-06,2.213135e-06,2.231879e-06,2.265098e-06,2.300246e-06,2.316733e-06,2.368027e-06,2.418968e-06,2.435193e-06,2.469544e-06,2.501716e-06,2.519744e-06,2.567575e-06,2.569560e-06,2.618981e-06,2.632748e-06,2.668001e-06,2.697217e-06,2.716612e-06,2.760967e-06,2.764807e-06,2.812581e-06,2.823984e-06,2.859929e-06,2.886256e-06,2.906846e-06,2.947773e-06,2.953327e-06,2.999371e-06,3.008527e-06,3.044973e-06,3.068510e-06,3.090131e-06,3.127719e-06,3.134843e-06,3.179108e-06,3.186149e-06,3.222924e-06,3.243796e-06,3.266290e-06,3.300660e-06,3.309207e-06,3.351673e-06,3.356739e-06,3.393689e-06,3.412034e-06,3.435256e-06,3.466546e-06,3.476373e-06,3.517042e-06,3.520277e-06,3.557265e-06,3.573229e-06,3.597042e-06,3.625407e-06,3.636375e-06,3.675266e-06,3.676813e-06,3.713717e-06,3.727452e-06,3.751730e-06,3.777330e-06,3.789307e-06,3.826451e-06,3.874822e-06,3.922449e-06,3.969338e-06,4.015496e-06,4.060930e-06,4.105648e-06,4.149657e-06,4.192965e-06,4.235580e-06,4.277510e-06,4.318762e-06,4.359346e-06,4.399269e-06,4.438541e-06,4.477169e-06,4.515161e-06,4.552528e-06,4.589276e-06,4.625415e-06,4.660952e-06,4.695898e-06,4.730259e-06,4.764045e-06,4.797263e-06
0.000000e+00,2.943305e-15,2.862686e-14,8.219299e-13,7.495753e-12,2.054727e-11,1.795878e-10,1.941324e-10,1.081164e-09,1.638455e-09,4.319185e-09,8.846487e-09,1.373653e-08,3.435662e-08,3.700289e-08,8.785995e-08,1.064539e-07,1.889383e-07,2.798690e-07,3.751166e-07,6.493160e-07,6.972985e-07,1.226395e-06,1.364926e-06,2.057235e-06,2.647936e-06,3.312113e-06,4.804678e-06,5.143729e-06,7.737338e-06,8.237184e-06,1.131197e-05,1.344926e-05,1.612063e-05,2.104737e-05,2.244960e-05,3.061664e-05,3.173638e-05,4.096835e-05,4.631023e-05,5.387670e-05,6.563814e-05,6.973479e-05,8.895206e-05,9.064710e-05,1.119489e-04,1.223012e-04,1.391510e-04,1.615791e-04,1.709832e-04,2.078636e-04,2.094496e-04,2.501977e-04,2.668481e-04,2.983719e-04,3.346524e-04,3.527487e-04,4.136606e-04,4.814058e-04,5.045710e-04,5.562438e-04,6.079644e-04,6.383915e-04,7.242900e-04,7.280205e-04,8.252545e-04,8.538542e-04,9.301679e-04,9.968141e-04,1.042785e-03,1.153173e-03,1.163077e-03,1.290969e-03,1.322781e-03,1.426333e-03,1.505338e-03,1.568996e-03,1.700402e-03,1.718736e-03,1.875291e-03,1.907394e-03,2.038357e-03,2.125613e-03,2.207594e-03,2.354250e-03,2.382628e-03,2.563056e-03,2.592397e-03,2.748449e-03,2.839069e-03,2.938354e-03,3.093215e-03,3.132305e-03,3.329819e-03,3.353737e-03,3.530403e-03,3.619504e-03,3.733558e-03,3.889367e-03,3.938783e-03,4.145579e-03,4.162176e-03,4.353450e-03,4.436789e-03,4.561906e-03,4.712087e-03,4.770468e-03,4.978671e-03,4.986985e-03,5.186061e-03,5.260438e-03,5.392204e-03,5.531455e-03,5.596683e-03,5.799101e-03,5.999082e-03,6.062503e-03,6.196273e-03,6.320857e-03,6.390343e-03,6.573427e-03,6.580983e-03,6.767911e-03,6.819549e-03,6.950865e-03,7.058631e-03,7.129609e-03,7.290152e-03,7.303930e-03,7.473640e-03,7.513665e-03,7.638570e-03,7.728789e-03,7.798578e-03,7.935214e-03,7.953539e-03,8.103353e-03,8.132690e-03,8.247936e-03,8.321031e-03,8.387227e-03,8.500108e-03,8.521181e-03,8.649770e-03,8.669846e-03,8.772984e-03,8.830218e-03,8.890826e-03,8.981245e-03,9.003317e-03,9.110486e-03,9.122991e-03,9.212380e-03,9.255556e-03,9.309053e-03,9.379073e-03,9.400571e-03,9.487011e-03,9.493709e-03,9.568454e-03,9.599654e-03,9.644995e-03,9.697123e-03,9.716730e-03,9.783764e-03,9.786349e-03,9.846207e-03,9.867584e-03,9.904172e-03,9.941090e-03,9.957777e-03,1.000714e-02,1.006603e-02,1.011803e-02,1.016344e-02,1.020255e-02,1.023566e-02,1.026307e-02,1.028506e-02,1.030191e-02,1.031391e-02,1.032134e-02,1.032446e-02,1.032353e-02,1.031880e-02,1.031053e-02,1.029894e-02,1.028427e-02,1.026672e-02,1.024652e-02,1.022385e-02,1.019892e-02,1.017190e-02,1.014296e-02,1.011228e-02,1.008000e-02
0.000000e+00,3.505739e-12,1.071422e-11,5.643853e-11,1.701638e-10,2.823590e-10,8.451245e-10,8.792652e-10,2.115753e-09,2.620998e-09,4.330898e-09,6.298034e-09,7.936707e-09,1.289843e-08,1.341861e-08,2.132326e-08,2.364458e-08,3.222213e-08,3.983865e-08,4.665948e-08,6.267425e-08,6.511520e-08,8.799517e-08,9.313289e-08,1.156370e-07,1.319867e-07,1.483175e-07,1.798265e-07,1.862581e-07,2.296275e-07,2.370789e-07,2.785432e-07,3.040147e-07,3.330735e-07,3.807554e-07,3.932387e-07,4.590141e-07,4.672814e-07,5.303331e-07,5.634441e-07,6.070912e-07,6.689811e-07,6.891501e-07,7.763421e-07,7.835336e-07,8.684753e-07,9.066651e-07,9.653375e-07,1.037879e-06,1.066701e-06,1.172326e-06,1.176636e-06,1.281966e-06,1.322371e-06,1.395369e-06,1.474503e-06,1.512281e-06,1.632448e-06,1.755622e-06,1.795632e-06,1.881555e-06,1.963489e-06,2.010008e-06,2.135477e-06,2.140748e-06,2.273549e-06,2.311073e-06,2.408195e-06,2.489782e-06,2.544478e-06,2.671133e-06,2.682199e-06,2.821167e-06,2.854685e-06,2.961203e-06,3.040025e-06,3.102134e-06,3.226766e-06,3.243799e-06,3.386044e-06,3.414550e-06,3.528724e-06,3.603044e-06,3.671702e-06,3.791940e-06,3.814850e-06,3.958047e-06,3.980955e-06,4.101179e-06,4.169828e-06,4.244140e-06,4.358319e-06,4.386831e-06,4.529158e-06,4.546209e-06,4.671035e-06,4.733297e-06,4.812380e-06,4.919401e-06,4.953119e-06,5.093180e-06,5.104354e-06,5.232499e-06,5.288006e-06,5.371016e-06,5.470220e-06,5.508675e-06,5.645423e-06,5.650874e-06,5.781215e-06,5.829857e-06,5.916005e-06,6.007069e-06,6.049753e-06,6.182424e-06,6.313983e-06,6.355842e-06,6.444400e-06,6.527255e-06,6.573647e-06,6.696601e-06,6.701700e-06,6.828536e-06,6.863829e-06,6.954134e-06,7.028892e-06,7.078477e-06,7.191751e-06,7.201550e-06,7.323338e-06,7.352375e-06,7.443830e-06,7.510736e-06,7.563016e-06,7.666812e-06,7.680886e-06,7.797435e-06,7.820586e-06,7.912657e-06,7.972046e-06,8.026547e-06,8.121184e-06,8.139103e-06,8.250323e-06,8.267994e-06,8.360206e-06,8.412475e-06,8.468753e-06,8.554630e-06,8.575966e-06,8.681846e-06,8.694462e-06,8.786397e-06,8.831979e-06,8.889623e-06,8.967191e-06,8.991529e-06,9.092119e-06,9.100110e-06,9.191400e-06,9.230748e-06,9.289379e-06,9.359122e-06,9.386063e-06,9.481459e-06,9.485248e-06,9.575575e-06,9.609146e-06,9.668421e-06,9.730834e-06,9.760004e-06,9.850335e-06,9.967669e-06,1.008286e-05,1.019593e-05,1.030691e-05,1.041582e-05,1.052268e-05,1.062752e-05,1.073037e-05,1.083126e-05,1.093021e-05,1.102725e-05,1.112240e-05,1.121570e-05,1.130717e-05,1.139684e-05,1.148474e-05,1.157089e-05,1.165532e-05,1.173807e-05,1.181914e-05,1.189859e-05,1.197642e-05,1.205267e-05,1.212736e-05
0.000000e+00,7.477210e-14,4.466547e-13,5.151414e-12,2.291373e-11,4.407539e-11,1.716946e-10,1.801061e-10,5.096952e-10,6.533238e-10,1.160668e-09,1.770110e-09,2.291315e-09,3.916449e-09,4.089835e-09,6.772064e-09,7.573250e-09,1.057381e-08,1.328207e-08,1.573669e-08,2.159129e-08,2.249361e-08,3.106038e-08,3.300853e-08,4.163307e-08,4.798280e-08,5.438753e-08,6.690153e-08,6.947899e-08,8.704144e-08,9.008854e-08,1.071869e-07,1.178013e-07,1.300049e-07,1.502293e-07,1.555625e-07,1.839044e-07,1.874939e-07,2.150543e-07,2.296514e-07,2.490155e-07,2.766974e-07,2.857727e-07,3.252940e-07,3.285738e-07,3.675327e-07,3.851760e-07,4.124290e-07,4.463607e-07,4.599124e-07,5.099028e-07,5.119533e-07,5.623131e-07,5.817555e-07,6.170503e-07,6.555511e-07,6.740170e-07,7.331127e-07,7.942353e-07,8.142058e-07,8.572815e-07,8.985928e-07,9.221479e-07,9.860369e-07,9.887320e-07,1.056932e-06,1.076304e-06,1.126649e-06,1.169167e-06,1.197785e-06,1.264402e-06,1.270245e-06,1.343937e-06,1.361796e-06,1.418770e-06,1.461144e-06,1.494659e-06,1.562248e-06,1.571520e-06,1.649273e-06,1.664923e-06,1.727839e-06,1.768991e-06,1.807146e-06,1.874284e-06,1.887122e-06,1.967700e-06,1.980644e-06,2.048814e-06,2.087920e-06,2.130402e-06,2.195974e-06,2.212405e-06,2.294768e-06,2.304673e-06,2.377436e-06,2.413894e-06,2.460359e-06,2.523521e-06,2.543489e-06,2.626779e-06,2.633448e-06,2.710186e-06,2.743572e-06,2.793669e-06,2.853801e-06,2.877188e-06,2.960708e-06,2.964048e-06,3.044193e-06,3.074233e-06,3.127610e-06,3.184279e-06,3.210928e-06,3.294118e-06,3.377153e-06,3.403687e-06,3.460006e-06,3.512926e-06,3.542653e-06,3.621780e-06,3.625072e-06,3.707241e-06,3.730200e-06,3.789139e-06,3.838141e-06,3.870749e-06,3.945560e-06,3.952053e-06,4.033033e-06,4.052419e-06,4.113677e-06,4.158684e-06,4.193968e-06,4.264323e-06,4.273894e-06,4.353443e-06,4.369307e-06,4.432604e-06,4.473611e-06,4.511367e-06,4.577212e-06,4.589721e-06,4.667659e-06,4.680090e-06,4.745172e-06,4.782225e-06,4.822253e-06,4.883603e-06,4.898896e-06,4.975095e-06,4.984209e-06,5.050844e-06,5.084030e-06,5.126139e-06,5.183057e-06,5.200976e-06,5.275350e-06,5.281280e-06,5.349260e-06,5.378693e-06,5.422701e-06,5.475288e-06,5.495673e-06,5.568173e-06,5.571063e-06,5.640199e-06,5.666012e-06,5.711751e-06,5.760135e-06,5.782828e-06,5.853429e-06,5.945894e-06,6.037531e-06,6.128341e-06,6.218326e-06,6.307488e-06,6.395832e-06,6.483361e-06,6.570080e-06,6.655993e-06,6.741105e-06,6.825423e-06,6.908952e-06,6.991699e-06,7.073671e-06,7.154873e-06,7.235314e-06,7.315001e-06,7.393940e-06,7.472140e-06,7.549608e-06,7.626353e-06,7.702381e-06,7.777701e-06,7.852321e-06
0.000000e+00,5.012479e-13,1.519482e-12,7.935519e-12,2.385297e-11,3.956791e-11,1.188392e-10,1.236740e-10,3.006547e-10,3.739330e-10,6.253204e-10,9.194280e-10,1.167027e-09,1.922558e-09,2.001868e-09,3.200884e-09,3.549840e-09,4.825366e-09,5.940960e-09,6.928361e-09,9.212230e-09,9.556822e-09,1.275269e-08,1.346330e-08,1.655308e-08,1.877906e-08,2.099008e-08,2.522878e-08,2.609032e-08,3.187458e-08,3.286461e-08,3.835759e-08,4.172035e-08,4.554782e-08,5.181096e-08,5.344759e-08,6.205334e-08,6.313309e-08,7.135591e-08,7.566631e-08,8.134113e-08,8.937510e-08,9.199030e-08,1.032809e-07,1.042111e-07,1.151871e-07,1.201157e-07,1.276806e-07,1.370226e-07,1.407311e-07,1.543067e-07,1.548602e-07,1.683749e-07,1.735537e-07,1.829026e-07,1.930269e-07,1.978566e-07,2.132042e-07,2.289131e-07,2.340111e-07,2.449519e-07,2.553758e-07,2.612902e-07,2.772296e-07,2.778988e-07,2.947495e-07,2.995074e-07,3.118156e-07,3.221480e-07,3.290716e-07,3.450942e-07,3.464935e-07,3.640585e-07,3.682929e-07,3.817451e-07,3.916953e-07,3.995334e-07,4.152560e-07,4.174043e-07,4.353403e-07,4.389338e-07,4.533248e-07,4.626909e-07,4.713426e-07,4.864928e-07,4.893793e-07,5.074217e-07,5.103081e-07,5.254573e-07,5.341087e-07,5.434748e-07,5.578686e-07,5.614636e-07,5.794139e-07,5.815649e-07,5.973166e-07,6.051765e-07,6.151634e-07,6.286849e-07,6.329467e-07,6.506593e-07,6.520731e-07,6.682949e-07,6.753262e-07,6.858475e-07,6.984308e-07,7.033115e-07,7.206822e-07,7.213750e-07,7.379549e-07,7.441483e-07,7.551256e-07,7.667414e-07,7.721904e-07,7.891461e-07,8.059896e-07,8.113553e-07,8.227181e-07,8.333629e-07,8.393293e-07,8.551636e-07,8.558209e-07,8.721910e-07,8.767527e-07,8.884380e-07,8.981265e-07,9.045603e-07,9.192817e-07,9.205568e-07,9.364262e-07,9.402158e-07,9.521677e-07,9.609268e-07,9.677806e-07,9.814130e-07,9.832642e-07,9.986180e-07,1.001673e-06,1.013842e-06,1.021707e-06,1.028935e-06,1.041513e-06,1.043899e-06,1.058732e-06,1.061093e-06,1.073434e-06,1.080445e-06,1.088007e-06,1.099571e-06,1.102450e-06,1.116763e-06,1.118472e-06,1.130947e-06,1.137148e-06,1.145003e-06,1.155600e-06,1.158931e-06,1.172732e-06,1.173830e-06,1.186405e-06,1.191840e-06,1.199953e-06,1.209630e-06,1.213376e-06,1.226673e-06,1.227203e-06,1.239848e-06,1.244560e-06,1.252899e-06,1.261704e-06,1.265828e-06,1.278637e-06,1.295360e-06,1.311876e-06,1.328187e-06,1.344295e-06,1.360203e-06,1.375913e-06,1.391427e-06,1.406749e-06,1.421880e-06,1.436822e-06,1.451579e-06,1.466152e-06,1.480544e-06,1.494758e-06,1.508797e-06,1.522661e-06,1.536355e-06,1.549880e-06,1.563238e-06,1.576433e-06,1.589467e-06,1.602341e-06,1.615058e-06,1.627621e-06
0.000000e+00,2.555616e-18,2.853209e-17,1.003270e-15,1.033060e-14,2.974648e-14,2.834353e-13,3.071569e-13,1.783714e-12,2.719038e-12,7.212302e-12,1.473065e-11,2.275623e-11,5.580525e-11,5.997407e-11,1.379548e-10,1.656942e-10,2.853883e-10,4.127286e-10,5.423948e-10,9.009366e-10,9.619398e-10,1.610609e-09,1.774657e-09,2.568477e-09,3.218982e-09,3.927862e-09,5.454573e-09,5.790944e-09,8.266474e-09,8.726840e-09,1.146595e-08,1.329139e-08,1.549970e-08,1.939849e-08,2.047318e-08,2.648386e-08,2.727910e-08,3.361872e-08,3.713391e-08,4.195242e-08,4.912599e-08,5.154616e-08,6.244703e-08,6.337664e-08,7.468783e-08,7.996401e-08,8.828738e-08,9.892387e-08,1.032510e-07,1.195711e-07,1.202519e-07,1.372286e-07,1.439072e-07,1.561934e-07,1.698163e-07,1.764259e-07,1.978784e-07,2.204960e-07,2.279699e-07,2.442180e-07,2.599497e-07,2.689792e-07,2.936642e-07,2.947113e-07,3.213434e-07,3.289519e-07,3.488038e-07,3.656475e-07,3.770203e-07,4.035860e-07,4.059216e-07,4.354375e-07,4.426051e-07,4.654997e-07,4.825485e-07,4.960424e-07,5.232673e-07,5.270025e-07,5.583202e-07,5.646216e-07,5.899386e-07,6.064812e-07,6.218045e-07,6.487266e-07,6.538681e-07,6.860829e-07,6.912484e-07,7.184059e-07,7.339476e-07,7.507975e-07,7.767354e-07,7.832210e-07,8.156431e-07,8.195322e-07,8.480331e-07,8.622673e-07,8.803632e-07,9.048783e-07,9.126080e-07,9.447445e-07,9.473102e-07,9.767521e-07,9.895147e-07,1.008612e-06,1.031450e-06,1.040307e-06,1.071822e-06,1.073079e-06,1.103144e-06,1.114370e-06,1.134260e-06,1.155296e-06,1.165160e-06,1.195833e-06,1.226272e-06,1.235962e-06,1.256468e-06,1.275663e-06,1.286415e-06,1.314924e-06,1.316107e-06,1.345538e-06,1.353732e-06,1.374705e-06,1.392076e-06,1.403602e-06,1.429947e-06,1.432227e-06,1.460577e-06,1.467340e-06,1.488650e-06,1.504248e-06,1.516443e-06,1.540668e-06,1.543954e-06,1.571183e-06,1.576595e-06,1.598129e-06,1.612028e-06,1.624790e-06,1.646965e-06,1.651166e-06,1.677258e-06,1.681406e-06,1.703065e-06,1.715351e-06,1.728587e-06,1.748800e-06,1.753825e-06,1.778779e-06,1.781755e-06,1.803451e-06,1.814217e-06,1.827840e-06,1.846188e-06,1.851949e-06,1.875777e-06,1.877672e-06,1.899328e-06,1.908670e-06,1.922601e-06,1.939187e-06,1.945598e-06,1.968322e-06,1.969225e-06,1.990773e-06,1.998789e-06,2.012953e-06,2.027881e-06,2.034864e-06,2.056508e-06,2.084673e-06,2.112380e-06,2.139634e-06,2.166440e-06,2.192803e-06,2.218728e-06,2.244220e-06,2.269284e-06,2.293925e-06,2.318149e-06,2.341962e-06,2.365367e-06,2.388372e-06,2.410981e-06,2.433199e-06,2.455033e-06,2.476487e-06,2.497567e-06,2.518278e-06,2.538626e-06,2.558617e-06,2.578254e-06,2.597545e-06,2.616494e-06
0.000000e+00,5.924387e-18,6.801851e-17,2.532716e-15,2.749311e-14,8.151262e-14,8.383212e-13,9.113343e-13,5.716780e-12,8.901209e-12,2.491412e-11,5.317176e-11,8.454890e-11,2.213235e-10,2.391925e-10,5.894915e-10,7.196445e-10,1.304152e-09,1.956692e-09,2.645638e-09,4.646225e-09,4.998000e-09,8.894089e-09,9.917338e-09,1.503862e-08,1.941078e-08,2.432353e-08,3.533746e-08,3.783312e-08,5.683796e-08,6.048275e-08,8.277827e-08,9.815360e-08,1.172382e-07,1.520767e-07,1.619131e-07,2.185730e-07,2.262632e-07,2.890237e-07,3.248567e-07,3.750686e-07,4.519796e-07,4.784711e-07,6.009203e-07,6.115874e-07,7.440005e-07,8.073393e-07,9.091629e-07,1.042487e-06,1.097704e-06,1.310744e-06,1.319789e-06,1.549217e-06,1.641440e-06,1.813854e-06,2.009028e-06,2.105180e-06,2.423511e-06,2.768950e-06,2.885205e-06,3.141397e-06,3.393804e-06,3.540547e-06,3.948399e-06,3.965909e-06,4.416807e-06,4.547524e-06,4.892402e-06,5.189206e-06,5.391701e-06,5.871024e-06,5.913576e-06,6.456780e-06,6.590175e-06,7.019964e-06,7.343543e-06,7.601694e-06,8.127769e-06,8.200471e-06,8.814746e-06,8.939321e-06,9.442934e-06,9.774558e-06,1.008343e-05,1.062979e-05,1.073464e-05,1.139495e-05,1.150134e-05,1.206279e-05,1.238558e-05,1.273662e-05,1.327898e-05,1.341493e-05,1.409627e-05,1.417817e-05,1.477923e-05,1.507990e-05,1.546248e-05,1.598116e-05,1.614474e-05,1.682481e-05,1.687909e-05,1.750155e-05,1.777108e-05,1.817390e-05,1.865472e-05,1.884087e-05,1.950155e-05,1.952783e-05,2.015508e-05,2.038845e-05,2.080069e-05,2.123482e-05,2.143768e-05,2.206541e-05,2.268330e-05,2.287886e-05,2.329084e-05,2.367403e-05,2.388758e-05,2.444992e-05,2.447312e-05,2.504711e-05,2.520572e-05,2.560927e-05,2.594078e-05,2.615934e-05,2.665455e-05,2.669712e-05,2.722245e-05,2.734666e-05,2.773520e-05,2.801682e-05,2.823530e-05,2.866486e-05,2.872267e-05,2.919731e-05,2.929070e-05,2.965920e-05,2.989436e-05,3.010838e-05,3.047590e-05,3.054490e-05,3.096883e-05,3.103549e-05,3.138026e-05,3.157334e-05,3.177930e-05,3.208970e-05,3.216608e-05,3.254073e-05,3.258488e-05,3.290341e-05,3.305923e-05,3.325426e-05,3.351312e-05,3.359347e-05,3.392122e-05,3.394695e-05,3.423768e-05,3.436115e-05,3.454305e-05,3.475616e-05,3.483753e-05,3.512133e-05,3.513246e-05,3.539463e-05,3.549050e-05,3.565767e-05,3.583077e-05,3.591064e-05,3.615376e-05,3.645995e-05,3.674983e-05,3.702391e-05,3.728265e-05,3.752656e-05,3.775611e-05,3.797178e-05,3.817403e-05,3.836333e-05,3.854013e-05,3.870487e-05,3.885799e-05,3.899992e-05,3.913107e-05,3.925184e-05,3.936265e-05,3.946386e-05,3.955587e-05,3.963903e-05,3.971370e-05,3.978022e-05,3.983894e-05,3.989018e-05,3.993424e-05
0.000000e+00,7.367540e-18,8.220461e-17,2.888754e-15,2.976574e-14,8.579949e-14,8.221924e-13,8.913072e-13,5.236694e-12,8.018303e-12,2.157145e-11,4.472067e-11,6.989237e-11,1.769318e-10,1.907370e-10,4.577478e-10,5.559097e-10,9.930861e-10,1.476321e-09,1.982314e-09,3.431347e-09,3.683321e-09,6.424994e-09,7.131496e-09,1.059498e-08,1.346844e-08,1.661946e-08,2.343593e-08,2.493947e-08,3.598793e-08,3.803651e-08,5.017041e-08,5.819995e-08,6.785089e-08,8.472620e-08,8.934264e-08,1.149036e-07,1.182545e-07,1.447350e-07,1.592533e-07,1.789831e-07,2.080250e-07,2.177416e-07,2.610562e-07,2.647185e-07,3.089281e-07,3.293457e-07,3.613195e-07,4.018001e-07,4.181575e-07,4.793391e-07,4.818750e-07,5.447354e-07,5.692814e-07,6.141958e-07,6.636649e-07,6.875518e-07,7.646211e-07,8.452107e-07,8.717103e-07,9.291202e-07,9.844699e-07,1.016144e-06,1.102426e-06,1.106076e-06,1.198709e-06,1.225102e-06,1.293836e-06,1.352027e-06,1.391258e-06,1.482743e-06,1.490777e-06,1.592203e-06,1.616808e-06,1.695351e-06,1.753800e-06,1.800045e-06,1.893319e-06,1.906115e-06,2.013401e-06,2.034991e-06,2.121750e-06,2.178463e-06,2.231016e-06,2.323409e-06,2.341064e-06,2.451763e-06,2.469528e-06,2.562994e-06,2.616539e-06,2.674641e-06,2.764187e-06,2.786599e-06,2.898767e-06,2.912237e-06,3.011052e-06,3.060473e-06,3.123368e-06,3.208698e-06,3.235633e-06,3.347771e-06,3.356734e-06,3.459712e-06,3.504418e-06,3.571391e-06,3.651603e-06,3.682747e-06,3.793724e-06,3.798155e-06,3.904271e-06,3.943952e-06,4.014338e-06,4.088887e-06,4.123881e-06,4.232859e-06,4.341235e-06,4.375782e-06,4.448973e-06,4.517576e-06,4.556041e-06,4.658170e-06,4.662411e-06,4.768054e-06,4.797500e-06,4.872946e-06,4.935512e-06,4.977065e-06,5.072154e-06,5.080390e-06,5.182903e-06,5.207384e-06,5.284587e-06,5.341162e-06,5.385426e-06,5.473455e-06,5.485407e-06,5.584518e-06,5.604235e-06,5.682748e-06,5.733477e-06,5.780088e-06,5.861159e-06,5.876529e-06,5.972064e-06,5.987265e-06,6.066686e-06,6.111779e-06,6.160391e-06,6.234691e-06,6.253174e-06,6.345031e-06,6.355992e-06,6.435961e-06,6.475675e-06,6.525961e-06,6.593738e-06,6.615029e-06,6.703166e-06,6.710176e-06,6.790371e-06,6.824992e-06,6.876644e-06,6.938186e-06,6.961988e-06,7.046403e-06,7.049761e-06,7.129892e-06,7.159722e-06,7.212457e-06,7.268075e-06,7.294102e-06,7.374828e-06,7.479988e-06,7.583564e-06,7.685567e-06,7.786008e-06,7.884897e-06,7.982248e-06,8.078073e-06,8.172387e-06,8.265202e-06,8.356533e-06,8.446395e-06,8.534803e-06,8.621772e-06,8.707319e-06,8.791458e-06,8.874207e-06,8.955581e-06,9.035597e-06,9.114271e-06,9.191620e-06,9.267660e-06,9.342409e-06,9.415883e-06,9.488099e-06
0.000000e+00,6.463278e-17,6.761530e-16,2.078161e-14,1.896546e-13,5.115436e-13,4.130600e-12,4.446755e-12,2.203638e-11,3.220884e-11,7.703686e-11,1.450616e-10,2.127924e-10,4.665784e-10,4.968026e-10,1.023616e-09,1.199249e-09,1.916394e-09,2.631772e-09,3.327386e-09,5.140356e-09,5.436979e-09,8.450187e-09,9.180635e-09,1.258926e-08,1.526236e-08,1.808215e-08,2.390357e-08,2.514838e-08,3.398530e-08,3.557505e-08,4.475752e-08,5.065409e-08,5.759085e-08,6.940030e-08,7.257079e-08,8.974422e-08,9.195335e-08,1.091233e-07,1.183451e-07,1.306900e-07,1.485180e-07,1.544011e-07,1.801928e-07,1.823437e-07,2.079846e-07,2.196409e-07,2.376833e-07,2.601895e-07,2.691858e-07,3.023825e-07,3.037439e-07,3.371590e-07,3.500429e-07,3.733991e-07,3.988187e-07,4.109860e-07,4.498041e-07,4.897403e-07,5.027380e-07,5.306849e-07,5.573697e-07,5.725324e-07,6.134619e-07,6.151821e-07,6.585385e-07,6.707926e-07,7.025117e-07,7.291562e-07,7.470170e-07,7.883640e-07,7.919756e-07,8.373139e-07,8.482439e-07,8.829638e-07,9.086401e-07,9.288622e-07,9.694120e-07,9.749509e-07,1.021176e-06,1.030433e-06,1.067489e-06,1.091591e-06,1.113845e-06,1.152785e-06,1.160201e-06,1.206520e-06,1.213926e-06,1.252769e-06,1.274933e-06,1.298914e-06,1.335737e-06,1.344928e-06,1.390785e-06,1.396276e-06,1.436460e-06,1.456494e-06,1.481933e-06,1.516344e-06,1.527183e-06,1.572193e-06,1.575783e-06,1.616946e-06,1.634773e-06,1.661430e-06,1.693283e-06,1.705630e-06,1.749534e-06,1.751284e-06,1.793133e-06,1.808751e-06,1.836416e-06,1.865664e-06,1.879375e-06,1.922003e-06,1.964293e-06,1.977754e-06,2.006240e-06,2.032902e-06,2.047837e-06,2.087438e-06,2.089081e-06,2.129967e-06,2.141351e-06,2.170493e-06,2.194634e-06,2.210655e-06,2.247281e-06,2.250451e-06,2.289879e-06,2.299287e-06,2.328938e-06,2.350649e-06,2.367626e-06,2.401365e-06,2.405944e-06,2.443889e-06,2.451433e-06,2.481463e-06,2.500854e-06,2.518664e-06,2.549627e-06,2.555495e-06,2.591954e-06,2.597753e-06,2.628044e-06,2.645236e-06,2.663764e-06,2.692076e-06,2.699117e-06,2.734103e-06,2.738277e-06,2.768725e-06,2.783843e-06,2.802983e-06,2.828777e-06,2.836879e-06,2.870416e-06,2.873083e-06,2.903595e-06,2.916767e-06,2.936419e-06,2.959833e-06,2.968889e-06,3.001008e-06,3.002286e-06,3.032779e-06,3.044132e-06,3.064204e-06,3.085377e-06,3.095286e-06,3.126026e-06,3.166085e-06,3.205562e-06,3.244461e-06,3.282790e-06,3.320555e-06,3.357763e-06,3.394420e-06,3.430534e-06,3.466110e-06,3.501157e-06,3.535680e-06,3.569687e-06,3.603185e-06,3.636180e-06,3.668680e-06,3.700691e-06,3.732220e-06,3.763274e-06,3.793860e-06,3.823985e-06,3.853655e-06,3.882877e-06,3.911657e-06,3.940003e-06
0.000000e+00,1.710088e-15,1.633767e-14,4.194013e-13,3.281341e-12,8.168267e-12,5.440226e-11,5.813567e-11,2.433673e-10,3.410546e-10,7.391507e-10,1.294811e-09,1.818457e-09,3.653974e-09,3.864295e-09,7.382221e-09,8.513465e-09,1.300742e-08,1.735432e-08,2.149093e-08,3.197144e-08,3.365249e-08,5.030977e-08,5.424845e-08,7.221294e-08,8.589437e-08,1.000066e-07,1.282956e-07,1.342196e-07,1.752726e-07,1.824987e-07,2.234900e-07,2.492527e-07,2.791121e-07,3.290542e-07,3.423036e-07,4.131607e-07,4.221808e-07,4.917159e-07,5.287143e-07,5.779435e-07,6.485607e-07,6.717640e-07,7.730498e-07,7.814703e-07,8.816304e-07,9.270599e-07,9.972987e-07,1.084836e-06,1.119816e-06,1.248919e-06,1.254217e-06,1.384324e-06,1.434555e-06,1.525731e-06,1.625158e-06,1.672830e-06,1.825306e-06,1.982838e-06,2.034264e-06,2.145108e-06,2.251299e-06,2.311797e-06,2.475686e-06,2.482592e-06,2.657188e-06,2.706715e-06,2.835284e-06,2.943701e-06,3.016590e-06,3.185984e-06,3.200824e-06,3.387714e-06,3.432934e-06,3.576999e-06,3.683951e-06,3.768428e-06,3.938467e-06,3.961760e-06,4.156765e-06,4.195947e-06,4.353223e-06,4.455886e-06,4.550926e-06,4.717811e-06,4.749673e-06,4.949275e-06,4.981278e-06,5.149552e-06,5.245875e-06,5.350334e-06,5.511214e-06,5.551459e-06,5.752774e-06,5.776938e-06,5.954135e-06,6.042712e-06,6.155404e-06,6.308227e-06,6.356452e-06,6.557159e-06,6.573197e-06,6.757409e-06,6.837356e-06,6.957094e-06,7.100462e-06,7.156115e-06,7.354374e-06,7.362287e-06,7.551784e-06,7.622627e-06,7.748261e-06,7.881292e-06,7.943726e-06,8.138107e-06,8.331335e-06,8.392914e-06,8.523347e-06,8.645569e-06,8.714084e-06,8.895940e-06,8.903490e-06,9.091516e-06,9.143910e-06,9.278115e-06,9.389370e-06,9.463242e-06,9.632225e-06,9.646857e-06,9.828925e-06,9.872387e-06,1.000941e-05,1.010978e-05,1.018829e-05,1.034434e-05,1.036552e-05,1.054109e-05,1.057600e-05,1.071497e-05,1.080472e-05,1.088715e-05,1.103044e-05,1.105759e-05,1.122630e-05,1.125313e-05,1.139325e-05,1.147276e-05,1.155843e-05,1.168929e-05,1.172183e-05,1.188345e-05,1.190272e-05,1.204327e-05,1.211303e-05,1.220130e-05,1.232019e-05,1.235752e-05,1.251194e-05,1.252422e-05,1.266455e-05,1.272509e-05,1.281536e-05,1.292282e-05,1.296436e-05,1.311156e-05,1.311741e-05,1.325696e-05,1.330886e-05,1.340056e-05,1.349719e-05,1.354237e-05,1.368240e-05,1.386452e-05,1.404356e-05,1.421954e-05,1.439248e-05,1.456240e-05,1.472933e-05,1.489330e-05,1.505432e-05,1.521244e-05,1.536768e-05,1.552007e-05,1.566963e-05,1.581642e-05,1.596044e-05,1.610175e-05,1.624037e-05,1.637633e-05,1.650968e-05,1.664044e-05,1.676865e-05,1.689435e-05,1.701757e-05,1.713835e-05,1.725672e-05
0.000000e+00,8.512246e-12,2.588837e-11,1.359878e-10,4.103929e-10,6.818115e-10,2.050100e-09,2.133392e-09,5.165113e-09,6.410718e-09,1.064833e-08,1.555761e-08,1.966997e-08,3.222239e-08,3.354584e-08,5.379380e-08,5.978125e-08,8.203313e-08,1.019311e-07,1.198417e-07,1.621738e-07,1.686562e-07,2.297441e-07,2.435346e-07,3.042137e-07,3.485520e-07,3.930297e-07,4.793335e-07,4.970227e-07,6.168943e-07,6.375873e-07,7.532175e-07,8.246320e-07,9.064382e-07,1.041400e-06,1.076876e-06,1.264727e-06,1.288444e-06,1.470069e-06,1.565955e-06,1.692867e-06,1.873786e-06,1.932982e-06,2.190181e-06,2.211486e-06,2.464144e-06,2.578338e-06,2.754479e-06,2.973403e-06,3.060728e-06,3.382377e-06,3.395556e-06,3.718870e-06,3.843528e-06,4.069613e-06,4.315941e-06,4.433984e-06,4.811342e-06,5.201030e-06,5.328226e-06,5.602384e-06,5.865066e-06,6.014738e-06,6.420326e-06,6.437424e-06,6.869780e-06,6.992483e-06,7.311153e-06,7.580036e-06,7.760899e-06,8.181518e-06,8.218387e-06,8.683000e-06,8.795501e-06,9.154138e-06,9.420606e-06,9.631215e-06,1.005551e-05,1.011366e-05,1.060094e-05,1.069892e-05,1.109250e-05,1.134964e-05,1.158785e-05,1.200650e-05,1.208649e-05,1.258793e-05,1.266840e-05,1.309174e-05,1.333427e-05,1.359747e-05,1.400315e-05,1.410469e-05,1.461302e-05,1.467407e-05,1.512206e-05,1.534617e-05,1.563146e-05,1.601862e-05,1.614085e-05,1.664992e-05,1.669062e-05,1.715833e-05,1.736145e-05,1.766579e-05,1.803042e-05,1.817202e-05,1.867674e-05,1.869689e-05,1.917969e-05,1.936028e-05,1.968063e-05,2.002001e-05,2.017934e-05,2.067558e-05,2.116917e-05,2.132652e-05,2.165989e-05,2.197238e-05,2.214758e-05,2.261275e-05,2.263207e-05,2.311318e-05,2.324727e-05,2.359078e-05,2.387560e-05,2.406473e-05,2.449741e-05,2.453488e-05,2.500114e-05,2.511244e-05,2.546337e-05,2.572043e-05,2.592149e-05,2.632114e-05,2.637538e-05,2.682498e-05,2.691437e-05,2.727019e-05,2.749994e-05,2.771094e-05,2.807768e-05,2.814718e-05,2.857883e-05,2.864746e-05,2.900584e-05,2.920915e-05,2.942818e-05,2.976265e-05,2.984579e-05,3.025864e-05,3.030786e-05,3.066670e-05,3.084473e-05,3.106995e-05,3.137318e-05,3.146836e-05,3.186191e-05,3.189319e-05,3.225060e-05,3.240471e-05,3.263442e-05,3.290774e-05,3.301335e-05,3.338741e-05,3.340227e-05,3.375659e-05,3.388830e-05,3.412090e-05,3.436585e-05,3.448034e-05,3.483494e-05,3.529560e-05,3.574788e-05,3.619182e-05,3.662748e-05,3.705492e-05,3.747421e-05,3.788541e-05,3.828861e-05,3.868389e-05,3.907133e-05,3.945103e-05,3.982306e-05,4.018754e-05,4.054455e-05,4.089420e-05,4.123659e-05,4.157182e-05,4.190000e-05,4.222123e-05,4.253563e-05,4.284329e-05,4.314433e-05,4.343886e-05,4.372698e-05
0.000000e+00,3.584846e-14,2.982496e-13,5.899762e-12,3.751126e-11,8.429966e-11,4.464718e-10,4.731558e-10,1.651645e-09,2.217545e-09,4.361845e-09,7.134855e-09,9.621720e-09,1.782187e-08,1.872642e-08,3.318871e-08,3.763451e-08,5.460551e-08,7.022001e-08,8.453150e-08,1.190631e-07,1.244215e-07,1.756209e-07,1.873287e-07,2.393657e-07,2.778477e-07,3.167757e-07,3.930893e-07,4.088414e-07,5.164094e-07,5.351073e-07,6.401698e-07,7.054867e-07,7.806469e-07,9.053090e-07,9.381959e-07,1.113004e-06,1.135143e-06,1.305096e-06,1.395064e-06,1.514345e-06,1.684690e-06,1.740485e-06,1.983128e-06,2.003238e-06,2.241776e-06,2.349588e-06,2.515842e-06,2.722350e-06,2.804668e-06,3.107533e-06,3.119929e-06,3.423676e-06,3.540586e-06,3.752304e-06,3.982489e-06,4.092605e-06,4.443759e-06,4.804945e-06,4.922509e-06,5.175347e-06,5.416870e-06,5.554164e-06,5.925017e-06,5.940612e-06,6.333927e-06,6.445185e-06,6.733370e-06,6.975679e-06,7.138227e-06,7.514888e-06,7.547814e-06,7.961472e-06,8.061285e-06,8.378574e-06,8.613431e-06,8.798521e-06,9.169975e-06,9.220743e-06,9.644701e-06,9.729656e-06,1.006988e-05,1.029130e-05,1.049580e-05,1.085381e-05,1.092200e-05,1.134806e-05,1.141618e-05,1.177355e-05,1.197748e-05,1.219811e-05,1.253684e-05,1.262138e-05,1.304301e-05,1.309348e-05,1.346270e-05,1.364667e-05,1.388016e-05,1.419576e-05,1.429510e-05,1.470728e-05,1.474013e-05,1.511647e-05,1.527925e-05,1.552243e-05,1.581261e-05,1.592497e-05,1.632390e-05,1.633978e-05,1.671905e-05,1.686034e-05,1.711026e-05,1.737395e-05,1.749738e-05,1.788029e-05,1.825886e-05,1.837906e-05,1.863298e-05,1.887004e-05,1.900255e-05,1.935299e-05,1.936749e-05,1.972772e-05,1.982773e-05,2.008317e-05,2.029411e-05,2.043377e-05,2.075200e-05,2.077948e-05,2.112024e-05,2.120128e-05,2.145602e-05,2.164187e-05,2.178679e-05,2.207370e-05,2.211252e-05,2.243320e-05,2.249673e-05,2.274881e-05,2.291092e-05,2.305934e-05,2.331625e-05,2.336478e-05,2.366515e-05,2.371274e-05,2.396044e-05,2.410038e-05,2.425067e-05,2.447921e-05,2.453585e-05,2.481599e-05,2.484927e-05,2.509112e-05,2.521059e-05,2.536125e-05,2.556324e-05,2.562643e-05,2.588667e-05,2.590727e-05,2.614200e-05,2.624277e-05,2.639247e-05,2.656981e-05,2.663810e-05,2.687894e-05,2.688847e-05,2.711502e-05,2.719885e-05,2.734639e-05,2.750105e-05,2.757308e-05,2.779515e-05,2.808127e-05,2.835952e-05,2.863000e-05,2.889283e-05,2.914813e-05,2.939601e-05,2.963659e-05,2.986999e-05,3.009634e-05,3.031575e-05,3.052835e-05,3.073426e-05,3.093361e-05,3.112652e-05,3.131311e-05,3.149350e-05,3.166782e-05,3.183618e-05,3.199872e-05,3.215554e-05,3.230677e-05,3.245252e-05,3.259291e-05,3.272806e-05
0.000000e+00,1.009637e-12,3.946693e-12,2.685959e-11,9.110089e-11,1.580218e-10,5.142954e-10,5.366100e-10,1.378113e-09,1.736577e-09,2.995867e-09,4.510822e-09,5.810231e-09,9.854401e-09,1.028318e-08,1.680179e-08,1.870255e-08,2.563308e-08,3.165728e-08,3.695423e-08,4.907711e-08,5.089105e-08,6.754075e-08,7.120344e-08,8.698198e-08,9.821616e-08,1.092777e-07,1.302468e-07,1.344748e-07,1.626022e-07,1.673754e-07,1.936692e-07,2.096228e-07,2.276639e-07,2.569458e-07,2.645527e-07,3.042796e-07,3.092341e-07,3.467677e-07,3.663130e-07,3.919204e-07,4.279490e-07,4.396237e-07,4.897485e-07,4.938589e-07,5.421532e-07,5.637199e-07,5.966868e-07,6.371809e-07,6.531917e-07,7.115059e-07,7.138738e-07,7.714661e-07,7.934233e-07,8.329094e-07,8.754561e-07,8.956757e-07,9.596088e-07,1.024559e-06,1.045534e-06,1.090381e-06,1.132901e-06,1.156939e-06,1.221406e-06,1.224103e-06,1.291752e-06,1.310766e-06,1.359774e-06,1.400722e-06,1.428064e-06,1.491044e-06,1.496525e-06,1.565067e-06,1.581520e-06,1.633610e-06,1.671967e-06,1.702080e-06,1.762217e-06,1.770407e-06,1.838531e-06,1.852127e-06,1.906396e-06,1.941566e-06,1.973951e-06,2.030425e-06,2.041151e-06,2.107955e-06,2.118604e-06,2.174326e-06,2.206021e-06,2.240232e-06,2.292601e-06,2.305642e-06,2.370530e-06,2.378281e-06,2.434874e-06,2.463007e-06,2.498652e-06,2.546734e-06,2.561846e-06,2.624440e-06,2.629421e-06,2.686419e-06,2.711036e-06,2.747772e-06,2.791551e-06,2.808486e-06,2.868553e-06,2.870942e-06,2.927965e-06,2.949192e-06,2.986715e-06,3.026284e-06,3.044797e-06,3.102206e-06,3.158939e-06,3.176950e-06,3.214993e-06,3.250509e-06,3.270365e-06,3.322879e-06,3.325053e-06,3.379058e-06,3.394057e-06,3.432379e-06,3.464043e-06,3.485016e-06,3.532838e-06,3.536969e-06,3.588241e-06,3.600445e-06,3.638832e-06,3.666867e-06,3.688745e-06,3.732109e-06,3.737982e-06,3.786545e-06,3.796178e-06,3.834439e-06,3.859079e-06,3.881665e-06,3.920822e-06,3.928228e-06,3.974130e-06,3.981414e-06,4.019377e-06,4.040864e-06,4.063973e-06,4.099183e-06,4.107921e-06,4.151226e-06,4.156380e-06,4.193893e-06,4.212465e-06,4.235926e-06,4.267451e-06,4.277331e-06,4.318113e-06,4.321348e-06,4.358276e-06,4.374169e-06,4.397825e-06,4.425925e-06,4.436767e-06,4.475107e-06,4.476628e-06,4.512849e-06,4.526291e-06,4.550000e-06,4.574928e-06,4.586565e-06,4.622550e-06,4.669170e-06,4.714802e-06,4.759458e-06,4.803153e-06,4.845899e-06,4.887709e-06,4.928597e-06,4.968576e-06,5.007659e-06,5.045859e-06,5.083190e-06,5.119665e-06,5.155297e-06,5.190098e-06,5.224082e-06,5.257262e-06,5.289649e-06,5.321258e-06,5.352100e-06,5.382188e-06,5.411533e-06,5.440150e-06,5.468048e-06,5.495241e-06
0.000000e+00,9.076205e-15,7.209849e-14,1.312733e-12,7.846790e-12,1.712911e-11,8.522972e-11,9.012328e-11,2.996779e-10,3.976534e-10,7.607028e-10,1.218054e-09,1.620524e-09,2.915275e-09,3.055923e-09,5.270601e-09,5.942962e-09,8.492924e-09,1.083019e-08,1.297365e-08,1.817193e-08,1.898312e-08,2.680718e-08,2.861563e-08,3.674077e-08,4.283815e-08,4.907881e-08,6.150886e-08,6.410470e-08,8.207865e-08,8.524380e-08,1.032285e-07,1.145658e-07,1.277443e-07,1.498834e-07,1.557774e-07,1.874414e-07,1.914892e-07,2.228147e-07,2.395670e-07,2.619433e-07,2.942038e-07,3.048437e-07,3.515054e-07,3.553999e-07,4.018933e-07,4.230797e-07,4.559504e-07,4.971011e-07,5.135999e-07,5.747475e-07,5.772647e-07,6.392837e-07,6.633230e-07,7.070861e-07,7.549898e-07,7.780215e-07,8.519480e-07,9.287169e-07,9.538582e-07,1.008174e-06,1.060366e-06,1.090163e-06,1.171107e-06,1.174525e-06,1.261099e-06,1.285715e-06,1.349728e-06,1.403825e-06,1.440253e-06,1.525078e-06,1.532520e-06,1.626378e-06,1.649123e-06,1.721677e-06,1.775621e-06,1.818276e-06,1.904246e-06,1.916034e-06,2.014819e-06,2.034687e-06,2.114500e-06,2.166648e-06,2.214955e-06,2.299849e-06,2.316066e-06,2.417719e-06,2.434026e-06,2.519807e-06,2.568934e-06,2.622229e-06,2.704341e-06,2.724887e-06,2.827690e-06,2.840032e-06,2.930550e-06,2.975806e-06,3.033387e-06,3.111480e-06,3.136124e-06,3.238687e-06,3.246882e-06,3.341008e-06,3.381855e-06,3.443025e-06,3.516254e-06,3.544677e-06,3.645907e-06,3.649947e-06,3.746665e-06,3.782813e-06,3.846902e-06,3.914742e-06,3.946572e-06,4.045633e-06,4.144047e-06,4.175397e-06,4.241778e-06,4.303952e-06,4.338792e-06,4.431224e-06,4.435060e-06,4.530553e-06,4.557149e-06,4.625247e-06,4.681669e-06,4.719116e-06,4.804731e-06,4.812142e-06,4.904304e-06,4.926292e-06,4.995585e-06,5.046312e-06,5.085970e-06,5.164758e-06,5.175446e-06,5.264000e-06,5.281600e-06,5.351622e-06,5.396814e-06,5.438303e-06,5.510382e-06,5.524035e-06,5.608812e-06,5.622287e-06,5.692628e-06,5.732517e-06,5.775479e-06,5.841064e-06,5.857363e-06,5.938277e-06,5.947921e-06,6.018220e-06,6.053087e-06,6.097192e-06,6.156561e-06,6.175193e-06,6.252224e-06,6.258345e-06,6.328289e-06,6.358444e-06,6.403388e-06,6.456864e-06,6.477526e-06,6.550706e-06,6.553614e-06,6.622933e-06,6.648703e-06,6.694212e-06,6.742143e-06,6.764548e-06,6.833946e-06,6.924127e-06,7.012700e-06,7.099683e-06,7.185090e-06,7.268942e-06,7.351255e-06,7.432048e-06,7.511342e-06,7.589156e-06,7.665510e-06,7.740425e-06,7.813922e-06,7.886022e-06,7.956746e-06,8.026115e-06,8.094152e-06,8.160877e-06,8.226312e-06,8.290477e-06,8.353396e-06,8.415088e-06,8.475575e-06,8.534878e-06,8.593018e-06
0.000000e+00,1.935023e-12,5.871079e-12,3.073168e-11,9.250768e-11,1.534928e-10,4.601107e-10,4.787463e-10,1.155741e-09,1.433345e-09,2.376187e-09,3.466238e-09,4.378023e-09,7.156600e-09,7.449321e-09,1.192743e-08,1.325255e-08,1.818521e-08,2.260869e-08,2.660065e-08,3.606871e-08,3.752193e-08,5.124661e-08,5.435032e-08,6.801883e-08,7.801177e-08,8.803536e-08,1.074720e-07,1.114527e-07,1.383924e-07,1.430360e-07,1.689444e-07,1.849113e-07,2.031694e-07,2.332172e-07,2.411007e-07,2.827455e-07,2.879919e-07,3.280869e-07,3.491987e-07,3.770854e-07,4.167341e-07,4.296813e-07,4.857968e-07,4.904354e-07,5.453384e-07,5.700907e-07,6.081988e-07,6.554473e-07,6.742598e-07,7.433941e-07,7.462215e-07,8.154675e-07,8.421066e-07,8.903405e-07,9.427805e-07,9.678703e-07,1.047912e-06,1.130321e-06,1.157168e-06,1.214952e-06,1.270215e-06,1.301661e-06,1.386727e-06,1.390308e-06,1.480755e-06,1.506383e-06,1.572865e-06,1.628876e-06,1.666509e-06,1.753907e-06,1.761560e-06,1.857894e-06,1.881192e-06,1.955394e-06,2.010461e-06,2.053947e-06,2.141456e-06,2.153442e-06,2.253776e-06,2.273934e-06,2.354849e-06,2.407667e-06,2.456565e-06,2.542438e-06,2.558834e-06,2.661569e-06,2.678045e-06,2.764688e-06,2.814298e-06,2.868113e-06,2.951022e-06,2.971768e-06,3.075585e-06,3.088050e-06,3.179495e-06,3.225229e-06,3.283436e-06,3.362415e-06,3.387349e-06,3.491176e-06,3.499476e-06,3.594864e-06,3.636289e-06,3.698363e-06,3.772739e-06,3.801627e-06,3.904609e-06,3.908722e-06,4.007268e-06,4.044139e-06,4.109566e-06,4.178902e-06,4.211464e-06,4.312929e-06,4.413928e-06,4.446144e-06,4.514430e-06,4.578478e-06,4.614408e-06,4.709868e-06,4.713834e-06,4.812685e-06,4.840257e-06,4.910938e-06,4.969593e-06,5.008571e-06,5.097829e-06,5.105564e-06,5.201901e-06,5.224922e-06,5.297563e-06,5.350834e-06,5.392537e-06,5.475532e-06,5.486806e-06,5.580360e-06,5.598984e-06,5.673186e-06,5.721164e-06,5.765274e-06,5.842050e-06,5.856613e-06,5.947197e-06,5.961619e-06,6.037016e-06,6.079856e-06,6.126064e-06,6.196744e-06,6.214336e-06,6.301826e-06,6.312272e-06,6.388530e-06,6.426430e-06,6.474445e-06,6.539210e-06,6.559567e-06,6.643894e-06,6.650606e-06,6.727424e-06,6.760613e-06,6.810157e-06,6.869230e-06,6.892092e-06,6.973228e-06,6.976456e-06,7.053566e-06,7.082292e-06,7.133106e-06,7.186740e-06,7.211851e-06,7.289802e-06,7.391484e-06,7.491791e-06,7.590730e-06,7.688309e-06,7.784534e-06,7.879416e-06,7.972964e-06,8.065189e-06,8.156101e-06,8.245712e-06,8.334034e-06,8.421078e-06,8.506859e-06,8.591387e-06,8.674678e-06,8.756744e-06,8.837600e-06,8.917258e-06,8.995734e-06,9.073041e-06,9.149194e-06,9.224208e-06,9.298096e-06,9.370873e-06
0.000000e+00,7.975663e-18,8.900717e-17,3.123202e-15,3.209499e-14,9.230926e-14,8.768405e-13,9.501060e-13,5.501008e-12,8.379226e-12,2.218778e-11,4.526548e-11,6.988653e-11,1.712626e-10,1.840535e-10,4.235655e-10,5.088882e-10,8.777694e-10,1.271375e-09,1.673237e-09,2.788973e-09,2.979365e-09,5.011331e-09,5.526935e-09,8.028528e-09,1.008403e-08,1.232717e-08,1.716206e-08,1.822718e-08,2.605513e-08,2.750786e-08,3.612571e-08,4.184156e-08,4.872463e-08,6.078916e-08,6.409488e-08,8.242739e-08,8.483333e-08,1.038563e-07,1.142878e-07,1.284585e-07,1.492939e-07,1.562560e-07,1.872212e-07,1.898334e-07,2.212825e-07,2.357508e-07,2.583319e-07,2.867813e-07,2.982315e-07,3.408199e-07,3.425769e-07,3.859189e-07,4.027327e-07,4.333380e-07,4.668078e-07,4.828801e-07,5.343448e-07,5.875322e-07,6.048838e-07,6.422460e-07,6.779753e-07,6.982951e-07,7.531881e-07,7.554961e-07,8.136744e-07,8.301168e-07,8.726653e-07,9.083852e-07,9.323144e-07,9.876495e-07,9.924783e-07,1.053025e-06,1.067599e-06,1.113832e-06,1.147956e-06,1.174789e-06,1.228475e-06,1.235795e-06,1.296759e-06,1.308939e-06,1.357599e-06,1.389162e-06,1.418242e-06,1.468982e-06,1.478622e-06,1.538681e-06,1.548257e-06,1.598367e-06,1.626871e-06,1.657635e-06,1.704721e-06,1.716444e-06,1.774759e-06,1.781722e-06,1.832549e-06,1.857803e-06,1.889787e-06,1.932904e-06,1.946449e-06,2.002516e-06,2.006975e-06,2.057969e-06,2.079974e-06,2.112793e-06,2.151869e-06,2.166975e-06,2.220505e-06,2.222633e-06,2.273373e-06,2.292242e-06,2.325572e-06,2.360682e-06,2.377095e-06,2.427938e-06,2.478096e-06,2.494002e-06,2.527568e-06,2.558867e-06,2.576349e-06,2.622531e-06,2.624441e-06,2.671842e-06,2.684991e-06,2.718553e-06,2.746249e-06,2.764575e-06,2.806307e-06,2.809908e-06,2.854556e-06,2.865170e-06,2.898521e-06,2.922844e-06,2.941805e-06,2.979335e-06,2.984413e-06,3.026346e-06,3.034652e-06,3.067610e-06,3.088804e-06,3.108209e-06,3.141800e-06,3.148146e-06,3.187428e-06,3.193652e-06,3.226058e-06,3.244371e-06,3.264043e-06,3.293969e-06,3.301386e-06,3.338095e-06,3.342458e-06,3.374174e-06,3.389851e-06,3.409630e-06,3.436163e-06,3.444468e-06,3.478694e-06,3.481406e-06,3.512314e-06,3.525594e-06,3.545335e-06,3.568743e-06,3.577764e-06,3.609605e-06,3.610867e-06,3.640866e-06,3.651980e-06,3.671554e-06,3.692097e-06,3.701674e-06,3.731234e-06,3.769405e-06,3.806627e-06,3.842913e-06,3.878280e-06,3.912742e-06,3.946316e-06,3.979015e-06,4.010856e-06,4.041853e-06,4.072021e-06,4.101376e-06,4.129932e-06,4.157704e-06,4.184707e-06,4.210954e-06,4.236461e-06,4.261242e-06,4.285311e-06,4.308681e-06,4.331366e-06,4.353380e-06,4.374737e-06,4.395449e-06,4.415531e-06
0.000000e+00,8.999215e-17,1.006112e-15,3.569519e-14,3.733854e-13,1.087581e-12,1.076722e-11,1.168942e-11,7.132910e-11,1.103964e-10,3.051478e-10,6.462913e-10,1.023699e-09,2.664236e-09,2.878403e-09,7.079187e-09,8.642034e-09,1.567567e-08,2.355377e-08,3.189620e-08,5.623621e-08,6.053110e-08,1.083403e-07,1.209609e-07,1.844624e-07,2.390671e-07,3.008030e-07,4.405007e-07,4.723825e-07,7.176254e-07,7.651212e-07,1.058580e-06,1.263667e-06,1.521053e-06,1.998302e-06,2.134664e-06,2.932800e-06,3.042698e-06,3.952478e-06,4.481620e-06,5.234117e-06,6.410026e-06,6.821220e-06,8.759979e-06,8.931708e-06,1.109879e-05,1.215751e-05,1.388774e-05,1.620320e-05,1.717798e-05,2.102111e-05,2.118707e-05,2.546854e-05,2.722731e-05,3.057077e-05,3.443939e-05,3.637678e-05,4.293330e-05,5.028424e-05,5.281103e-05,5.847005e-05,6.416414e-05,6.752720e-05,7.707156e-05,7.748768e-05,8.837858e-05,9.159786e-05,1.002217e-04,1.077917e-04,1.130334e-04,1.256847e-04,1.268241e-04,1.415987e-04,1.452909e-04,1.573557e-04,1.666064e-04,1.740882e-04,1.896094e-04,1.917830e-04,2.104217e-04,2.142607e-04,2.299802e-04,2.405047e-04,2.504293e-04,2.682700e-04,2.717349e-04,2.938584e-04,2.974713e-04,3.167572e-04,3.280105e-04,3.403849e-04,3.597786e-04,3.646918e-04,3.896254e-04,3.926570e-04,4.151309e-04,4.265198e-04,4.411514e-04,4.612356e-04,4.676286e-04,4.945033e-04,4.966687e-04,5.217155e-04,5.326813e-04,5.492049e-04,5.691352e-04,5.769115e-04,6.047757e-04,6.058927e-04,6.327389e-04,6.428187e-04,6.607435e-04,6.797816e-04,6.887334e-04,7.166541e-04,7.444531e-04,7.533148e-04,7.720801e-04,7.896486e-04,7.994867e-04,8.255473e-04,8.266273e-04,8.534585e-04,8.609102e-04,8.799397e-04,8.956445e-04,9.060328e-04,9.296654e-04,9.317026e-04,9.569163e-04,9.628964e-04,9.816443e-04,9.952694e-04,1.005859e-03,1.026724e-03,1.029537e-03,1.052655e-03,1.057209e-03,1.075194e-03,1.086680e-03,1.097138e-03,1.115100e-03,1.118472e-03,1.139184e-03,1.142439e-03,1.159264e-03,1.168676e-03,1.178705e-03,1.193794e-03,1.197502e-03,1.215649e-03,1.217783e-03,1.233146e-03,1.240639e-03,1.249992e-03,1.262361e-03,1.266190e-03,1.281741e-03,1.282957e-03,1.296650e-03,1.302435e-03,1.310923e-03,1.320809e-03,1.324566e-03,1.337588e-03,1.338096e-03,1.349997e-03,1.354316e-03,1.361803e-03,1.369492e-03,1.373017e-03,1.383649e-03,1.396813e-03,1.409014e-03,1.420281e-03,1.430645e-03,1.440138e-03,1.448793e-03,1.456641e-03,1.463715e-03,1.470049e-03,1.475675e-03,1.480625e-03,1.484930e-03,1.488623e-03,1.491734e-03,1.494292e-03,1.496327e-03,1.497868e-03,1.498940e-03,1.499573e-03,1.499789e-03,1.499615e-03,1.499074e-03,1.498190e-03,1.496983e-03
0.000000e+00,1.591223e-12,4.846032e-12,2.544971e-11,7.668535e-11,1.272680e-10,3.815569e-10,3.970113e-10,9.584825e-10,1.188766e-09,1.971179e-09,2.876312e-09,3.633839e-09,5.944200e-09,6.187725e-09,9.915261e-09,1.101877e-08,1.512726e-08,1.881154e-08,2.213537e-08,3.001133e-08,3.121896e-08,4.260376e-08,4.517264e-08,5.645823e-08,6.467953e-08,7.290052e-08,8.876928e-08,9.200765e-08,1.138233e-07,1.175665e-07,1.383633e-07,1.511088e-07,1.656200e-07,1.893632e-07,1.955654e-07,2.281539e-07,2.322394e-07,2.633248e-07,2.795996e-07,3.010048e-07,3.312685e-07,3.411101e-07,3.835486e-07,3.870416e-07,4.282219e-07,4.466939e-07,4.750268e-07,5.099870e-07,5.238575e-07,5.746063e-07,5.766746e-07,6.271650e-07,6.465085e-07,6.814261e-07,7.192419e-07,7.372835e-07,7.946331e-07,8.533734e-07,8.724478e-07,9.134059e-07,9.524606e-07,9.746352e-07,1.034456e-06,1.036970e-06,1.100321e-06,1.118230e-06,1.164605e-06,1.203589e-06,1.229741e-06,1.290352e-06,1.295652e-06,1.362264e-06,1.378347e-06,1.429507e-06,1.467414e-06,1.497316e-06,1.557404e-06,1.565626e-06,1.634378e-06,1.648177e-06,1.703516e-06,1.739602e-06,1.772986e-06,1.831559e-06,1.842736e-06,1.912719e-06,1.923935e-06,1.982889e-06,2.016625e-06,2.053203e-06,2.109531e-06,2.123621e-06,2.194104e-06,2.202564e-06,2.264616e-06,2.295641e-06,2.335122e-06,2.388684e-06,2.405591e-06,2.475993e-06,2.481621e-06,2.546298e-06,2.574387e-06,2.616479e-06,2.666920e-06,2.686513e-06,2.756373e-06,2.759164e-06,2.826040e-06,2.851068e-06,2.895490e-06,2.942583e-06,2.964705e-06,3.033665e-06,3.102354e-06,3.124275e-06,3.170756e-06,3.214374e-06,3.238854e-06,3.303930e-06,3.306635e-06,3.374085e-06,3.392911e-06,3.441193e-06,3.481287e-06,3.507945e-06,3.569035e-06,3.574332e-06,3.640344e-06,3.656130e-06,3.705970e-06,3.742550e-06,3.771203e-06,3.828276e-06,3.836034e-06,3.900457e-06,3.913291e-06,3.964463e-06,3.997580e-06,4.028047e-06,4.081127e-06,4.091203e-06,4.153926e-06,4.163921e-06,4.216211e-06,4.245950e-06,4.278053e-06,4.327206e-06,4.339449e-06,4.400395e-06,4.407678e-06,4.460888e-06,4.487360e-06,4.520924e-06,4.566246e-06,4.580503e-06,4.639620e-06,4.644330e-06,4.698275e-06,4.721608e-06,4.756467e-06,4.798076e-06,4.814192e-06,4.871452e-06,4.873733e-06,4.928244e-06,4.948575e-06,4.984569e-06,5.022602e-06,5.040425e-06,5.095814e-06,5.168210e-06,5.239791e-06,5.310559e-06,5.380514e-06,5.449660e-06,5.517999e-06,5.585533e-06,5.652267e-06,5.718204e-06,5.783347e-06,5.847702e-06,5.911273e-06,5.974064e-06,6.036081e-06,6.097330e-06,6.157814e-06,6.217541e-06,6.276516e-06,6.334744e-06,6.392233e-06,6.448988e-06,6.505016e-06,6.560322e-06,6.614915e-06
0.000000e+00,2.811867e-16,2.853127e-15,8.249538e-14,7.138752e-13,1.872081e-12,1.410796e-11,1.514689e-11,7.047880e-11,1.013586e-10,2.331663e-10,4.262034e-10,6.137284e-10,1.294136e-09,1.373593e-09,2.727006e-09,3.168689e-09,4.940652e-09,6.672254e-09,8.331543e-09,1.257630e-08,1.326220e-08,2.013087e-08,2.177381e-08,2.935528e-08,3.522179e-08,4.135153e-08,5.385892e-08,5.651241e-08,7.518991e-08,7.852549e-08,9.768419e-08,1.099108e-07,1.242387e-07,1.485326e-07,1.550396e-07,1.902180e-07,1.947379e-07,2.298532e-07,2.487142e-07,2.739762e-07,3.105046e-07,3.225740e-07,3.755938e-07,3.800240e-07,4.329468e-07,4.570753e-07,4.945129e-07,5.413675e-07,5.601449e-07,6.296731e-07,6.325326e-07,7.029094e-07,7.301436e-07,7.796515e-07,8.337305e-07,8.596868e-07,9.427957e-07,1.028755e-06,1.056827e-06,1.117340e-06,1.175310e-06,1.208329e-06,1.297735e-06,1.301501e-06,1.396642e-06,1.423606e-06,1.493544e-06,1.552446e-06,1.592005e-06,1.683802e-06,1.691834e-06,1.792845e-06,1.817244e-06,1.894864e-06,1.952372e-06,1.997723e-06,2.088811e-06,2.101268e-06,2.205348e-06,2.226216e-06,2.309827e-06,2.364269e-06,2.414573e-06,2.502678e-06,2.519466e-06,2.624391e-06,2.641176e-06,2.729245e-06,2.779521e-06,2.833929e-06,2.917493e-06,2.938353e-06,3.042433e-06,3.054896e-06,3.146092e-06,3.191550e-06,3.249259e-06,3.327297e-06,3.351869e-06,3.453862e-06,3.461993e-06,3.555184e-06,3.595513e-06,3.655784e-06,3.727744e-06,3.755618e-06,3.854644e-06,3.858588e-06,3.952826e-06,3.987958e-06,4.050130e-06,4.115780e-06,4.146527e-06,4.241989e-06,4.336494e-06,4.366530e-06,4.430021e-06,4.489356e-06,4.522551e-06,4.610429e-06,4.614070e-06,4.704563e-06,4.729716e-06,4.794019e-06,4.847192e-06,4.882430e-06,4.962838e-06,4.969787e-06,5.056086e-06,5.076639e-06,5.141321e-06,5.188587e-06,5.225490e-06,5.298677e-06,5.308592e-06,5.390627e-06,5.406906e-06,5.471595e-06,5.513278e-06,5.551499e-06,5.617797e-06,5.630341e-06,5.708126e-06,5.720473e-06,5.784858e-06,5.821317e-06,5.860542e-06,5.920340e-06,5.935186e-06,6.008795e-06,6.017559e-06,6.081376e-06,6.112989e-06,6.152939e-06,6.206650e-06,6.223491e-06,6.293040e-06,6.298561e-06,6.361597e-06,6.388744e-06,6.429170e-06,6.477219e-06,6.495769e-06,6.561405e-06,6.564010e-06,6.626087e-06,6.649141e-06,6.689826e-06,6.732636e-06,6.752634e-06,6.814519e-06,6.894816e-06,6.973553e-06,7.050755e-06,7.126447e-06,7.200657e-06,7.273410e-06,7.344733e-06,7.414652e-06,7.483192e-06,7.550380e-06,7.616241e-06,7.680801e-06,7.744085e-06,7.806118e-06,7.866926e-06,7.926532e-06,7.984961e-06,8.042237e-06,8.098383e-06,8.153423e-06,8.207379e-06,8.260274e-06,8.312130e-06,8.362969e-06
0.000000e+00,7.875966e-15,6.392892e-14,1.208151e-12,7.409704e-12,1.635910e-11,8.323995e-11,8.808521e-11,2.976136e-10,3.964526e-10,7.658314e-10,1.236649e-09,1.655195e-09,3.024120e-09,3.174655e-09,5.583288e-09,6.326459e-09,9.180460e-09,1.182878e-08,1.427065e-08,2.019435e-08,2.111532e-08,2.990391e-08,3.190640e-08,4.075479e-08,4.723503e-08,5.373139e-08,6.629320e-08,6.885808e-08,8.613066e-08,8.909190e-08,1.055224e-07,1.155703e-07,1.269874e-07,1.456105e-07,1.504629e-07,1.758714e-07,1.790461e-07,2.031224e-07,2.156708e-07,2.321149e-07,2.552471e-07,2.627399e-07,2.948822e-07,2.975156e-07,3.284231e-07,3.422041e-07,3.632424e-07,3.890366e-07,3.992203e-07,4.362391e-07,4.377399e-07,4.741845e-07,4.880503e-07,5.129465e-07,5.397175e-07,5.524205e-07,5.925075e-07,6.331150e-07,6.462049e-07,6.741563e-07,7.006131e-07,7.155513e-07,7.555546e-07,7.572261e-07,7.991129e-07,8.108706e-07,8.411495e-07,8.664195e-07,8.832792e-07,9.220765e-07,9.254506e-07,9.676172e-07,9.777316e-07,1.009737e-06,1.033289e-06,1.051771e-06,1.088663e-06,1.093686e-06,1.135451e-06,1.143783e-06,1.177038e-06,1.198585e-06,1.218424e-06,1.253015e-06,1.259585e-06,1.300502e-06,1.307025e-06,1.341159e-06,1.360577e-06,1.381539e-06,1.413635e-06,1.421629e-06,1.461418e-06,1.466171e-06,1.500893e-06,1.518161e-06,1.540048e-06,1.569585e-06,1.578872e-06,1.617360e-06,1.620425e-06,1.655506e-06,1.670668e-06,1.693305e-06,1.720302e-06,1.730752e-06,1.767844e-06,1.769320e-06,1.804579e-06,1.817715e-06,1.840953e-06,1.865482e-06,1.876967e-06,1.912617e-06,1.947905e-06,1.959120e-06,1.982829e-06,2.004989e-06,2.017389e-06,2.050226e-06,2.051587e-06,2.085422e-06,2.094831e-06,2.118896e-06,2.138808e-06,2.152011e-06,2.182159e-06,2.184767e-06,2.217166e-06,2.224889e-06,2.249211e-06,2.267002e-06,2.280903e-06,2.308502e-06,2.312245e-06,2.343239e-06,2.349396e-06,2.373888e-06,2.389689e-06,2.404193e-06,2.429387e-06,2.434159e-06,2.463788e-06,2.468497e-06,2.493082e-06,2.507025e-06,2.522045e-06,2.544979e-06,2.550680e-06,2.578989e-06,2.582365e-06,2.606977e-06,2.619190e-06,2.634646e-06,2.655463e-06,2.661999e-06,2.689040e-06,2.691190e-06,2.715772e-06,2.726379e-06,2.742198e-06,2.761037e-06,2.768322e-06,2.794146e-06,2.795173e-06,2.819675e-06,2.828794e-06,2.844912e-06,2.861908e-06,2.869860e-06,2.894522e-06,2.926644e-06,2.958282e-06,2.989444e-06,3.020137e-06,3.050368e-06,3.080146e-06,3.109477e-06,3.138370e-06,3.166831e-06,3.194867e-06,3.222487e-06,3.249696e-06,3.276503e-06,3.302913e-06,3.328934e-06,3.354573e-06,3.379836e-06,3.404729e-06,3.429260e-06,3.453434e-06,3.477258e-06,3.500738e-06,3.523881e-06,3.546691e-06
0.000000e+00,4.261933e-16,4.398018e-15,1.315479e-13,1.172647e-12,3.124066e-12,2.447813e-11,2.632091e-11,1.269435e-10,1.842625e-10,4.334688e-10,8.060253e-10,1.173160e-09,2.530372e-09,2.690684e-09,5.457991e-09,6.372320e-09,1.007789e-08,1.374214e-08,1.728301e-08,2.643886e-08,2.792906e-08,4.297897e-08,4.660815e-08,6.347517e-08,7.664511e-08,9.050235e-08,1.190483e-07,1.251474e-07,1.684635e-07,1.762661e-07,2.214427e-07,2.505764e-07,2.849974e-07,3.440105e-07,3.599485e-07,4.470180e-07,4.583112e-07,5.468244e-07,5.949102e-07,6.598799e-07,7.549154e-07,7.865881e-07,9.272432e-07,9.391045e-07,1.082031e-06,1.147925e-06,1.251031e-06,1.381502e-06,1.434219e-06,1.631472e-06,1.639652e-06,1.842576e-06,1.921908e-06,2.067230e-06,2.227546e-06,2.305059e-06,2.555616e-06,2.818399e-06,2.904982e-06,3.092853e-06,3.274353e-06,3.378380e-06,3.662321e-06,3.674353e-06,3.980117e-06,4.067394e-06,4.295001e-06,4.488025e-06,4.618323e-06,4.922642e-06,4.949397e-06,5.287537e-06,5.369667e-06,5.632065e-06,5.827541e-06,5.982311e-06,6.294736e-06,6.337619e-06,6.697350e-06,6.769772e-06,7.060883e-06,7.251224e-06,7.427620e-06,7.737731e-06,7.796982e-06,8.168416e-06,8.228001e-06,8.541391e-06,8.720818e-06,8.915404e-06,9.215036e-06,9.289972e-06,9.664642e-06,9.709588e-06,1.003898e-05,1.020348e-05,1.041258e-05,1.069579e-05,1.078507e-05,1.115608e-05,1.118568e-05,1.152527e-05,1.167236e-05,1.189233e-05,1.215513e-05,1.225697e-05,1.261891e-05,1.263333e-05,1.297791e-05,1.310638e-05,1.333373e-05,1.357376e-05,1.368615e-05,1.403497e-05,1.438002e-05,1.448961e-05,1.472113e-05,1.493729e-05,1.505814e-05,1.537769e-05,1.539092e-05,1.571935e-05,1.581051e-05,1.604331e-05,1.623551e-05,1.636272e-05,1.665247e-05,1.667748e-05,1.698752e-05,1.706122e-05,1.729277e-05,1.746160e-05,1.759318e-05,1.785350e-05,1.788871e-05,1.817931e-05,1.823683e-05,1.846495e-05,1.861152e-05,1.874561e-05,1.897752e-05,1.902129e-05,1.929197e-05,1.933481e-05,1.955764e-05,1.968339e-05,1.981832e-05,2.002327e-05,2.007401e-05,2.032473e-05,2.035448e-05,2.057049e-05,2.067706e-05,2.081132e-05,2.099107e-05,2.104725e-05,2.127831e-05,2.129659e-05,2.150453e-05,2.159368e-05,2.172596e-05,2.188244e-05,2.194263e-05,2.215458e-05,2.216296e-05,2.236187e-05,2.243536e-05,2.256454e-05,2.269974e-05,2.276263e-05,2.295622e-05,2.320492e-05,2.344598e-05,2.367952e-05,2.390568e-05,2.412459e-05,2.433640e-05,2.454125e-05,2.473929e-05,2.493064e-05,2.511547e-05,2.529391e-05,2.546610e-05,2.563220e-05,2.579235e-05,2.594668e-05,2.609535e-05,2.623848e-05,2.637623e-05,2.650872e-05,2.663609e-05,2.675849e-05,2.687603e-05,2.698885e-05,2.709708e-05
0.000000e+00,3.210640e-14,2.175143e-13,3.030620e-12,1.508582e-11,3.037024e-11,1.285949e-10,1.352485e-10,4.028993e-10,5.219655e-10,9.483081e-10,1.467435e-09,1.915091e-09,3.324191e-09,3.475399e-09,5.829036e-09,6.536282e-09,9.197610e-09,1.161298e-08,1.381022e-08,1.907232e-08,1.988525e-08,2.761823e-08,2.937915e-08,3.717874e-08,4.292151e-08,4.871182e-08,6.001423e-08,6.233993e-08,7.816401e-08,8.090527e-08,9.626385e-08,1.057782e-07,1.166982e-07,1.347528e-07,1.395051e-07,1.647020e-07,1.678863e-07,1.922867e-07,2.051758e-07,2.222388e-07,2.465632e-07,2.545207e-07,2.890798e-07,2.919410e-07,3.258499e-07,3.411601e-07,3.647539e-07,3.940377e-07,4.057051e-07,4.486095e-07,4.503649e-07,4.933677e-07,5.099147e-07,5.398765e-07,5.724485e-07,5.880302e-07,6.377225e-07,6.888471e-07,7.054922e-07,7.412988e-07,7.755168e-07,7.949748e-07,8.475623e-07,8.497746e-07,9.056012e-07,9.214037e-07,9.623608e-07,9.968270e-07,1.019964e-06,1.073630e-06,1.078325e-06,1.137362e-06,1.151622e-06,1.196997e-06,1.230627e-06,1.257158e-06,1.310480e-06,1.317776e-06,1.378785e-06,1.391029e-06,1.440125e-06,1.472133e-06,1.501737e-06,1.553662e-06,1.563568e-06,1.625568e-06,1.635500e-06,1.687689e-06,1.717537e-06,1.749887e-06,1.799674e-06,1.812122e-06,1.874356e-06,1.881822e-06,1.936552e-06,1.963898e-06,1.998678e-06,2.045827e-06,2.060702e-06,2.122597e-06,2.127542e-06,2.184335e-06,2.208981e-06,2.245893e-06,2.290089e-06,2.307247e-06,2.368376e-06,2.370816e-06,2.429261e-06,2.451116e-06,2.489883e-06,2.530948e-06,2.550227e-06,2.610277e-06,2.670018e-06,2.689068e-06,2.729438e-06,2.767293e-06,2.788525e-06,2.844925e-06,2.847267e-06,2.905656e-06,2.921940e-06,2.963681e-06,2.998318e-06,3.021335e-06,3.074041e-06,3.078609e-06,3.135498e-06,3.149093e-06,3.191994e-06,3.223459e-06,3.248093e-06,3.297127e-06,3.303789e-06,3.359078e-06,3.370086e-06,3.413956e-06,3.442329e-06,3.468419e-06,3.513846e-06,3.522465e-06,3.576091e-06,3.584632e-06,3.629295e-06,3.654683e-06,3.682075e-06,3.723993e-06,3.734430e-06,3.786358e-06,3.792561e-06,3.837859e-06,3.860384e-06,3.888932e-06,3.927461e-06,3.939577e-06,3.989793e-06,3.993792e-06,4.039582e-06,4.059377e-06,4.088943e-06,4.124218e-06,4.137876e-06,4.186384e-06,4.188316e-06,4.234467e-06,4.251673e-06,4.282125e-06,4.314291e-06,4.329361e-06,4.376176e-06,4.437328e-06,4.497754e-06,4.557457e-06,4.616442e-06,4.674713e-06,4.732276e-06,4.789137e-06,4.845301e-06,4.900774e-06,4.955562e-06,5.009671e-06,5.063108e-06,5.115879e-06,5.167990e-06,5.219449e-06,5.270261e-06,5.320434e-06,5.369975e-06,5.418891e-06,5.467187e-06,5.514873e-06,5.561954e-06,5.608437e-06,5.654330e-06
0.000000e+00,2.130038e-17,2.423950e-16,8.861075e-15,9.456439e-14,2.777369e-13,2.786778e-12,3.026422e-12,1.851610e-11,2.863231e-11,7.875007e-11,1.656684e-10,2.609409e-10,6.684677e-10,7.210923e-10,1.736496e-09,2.108248e-09,3.754913e-09,5.562752e-09,7.447364e-09,1.282557e-08,1.376023e-08,2.396062e-08,2.660331e-08,3.966809e-08,5.065660e-08,6.286650e-08,8.984194e-08,9.589244e-08,1.414005e-07,1.500320e-07,2.023086e-07,2.379230e-07,2.817288e-07,3.607610e-07,3.828891e-07,5.090520e-07,5.260255e-07,6.634347e-07,7.411071e-07,8.491342e-07,1.013009e-06,1.069060e-06,1.325876e-06,1.348088e-06,1.621950e-06,1.751840e-06,1.959317e-06,2.228744e-06,2.339650e-06,2.764238e-06,2.782156e-06,3.233978e-06,3.414246e-06,3.749371e-06,4.125988e-06,4.310529e-06,4.917187e-06,5.568719e-06,5.786538e-06,6.264161e-06,6.731713e-06,7.002242e-06,7.749473e-06,7.781406e-06,8.599853e-06,8.835788e-06,9.455566e-06,9.985974e-06,1.034635e-05,1.119483e-05,1.126985e-05,1.222362e-05,1.245675e-05,1.320511e-05,1.376588e-05,1.421171e-05,1.511622e-05,1.524081e-05,1.628977e-05,1.650171e-05,1.735597e-05,1.791635e-05,1.843685e-05,1.935428e-05,1.952988e-05,2.063261e-05,2.080979e-05,2.174268e-05,2.227745e-05,2.285781e-05,2.375210e-05,2.397583e-05,2.509465e-05,2.522887e-05,2.621233e-05,2.670326e-05,2.732699e-05,2.817105e-05,2.843691e-05,2.954045e-05,2.962842e-05,3.063610e-05,3.107183e-05,3.172245e-05,3.249812e-05,3.279819e-05,3.386213e-05,3.390443e-05,3.491318e-05,3.528821e-05,3.595033e-05,3.664719e-05,3.697268e-05,3.797941e-05,3.896978e-05,3.928314e-05,3.994314e-05,4.055690e-05,4.089892e-05,4.179944e-05,4.183660e-05,4.275574e-05,4.300973e-05,4.365597e-05,4.418690e-05,4.453697e-05,4.533028e-05,4.539848e-05,4.624029e-05,4.643937e-05,4.706222e-05,4.751379e-05,4.786418e-05,4.855330e-05,4.864607e-05,4.940786e-05,4.955780e-05,5.014954e-05,5.052728e-05,5.087115e-05,5.146184e-05,5.157275e-05,5.225442e-05,5.236165e-05,5.291628e-05,5.322697e-05,5.355845e-05,5.405813e-05,5.418111e-05,5.478443e-05,5.485553e-05,5.536859e-05,5.561961e-05,5.593382e-05,5.635087e-05,5.648034e-05,5.700838e-05,5.704983e-05,5.751819e-05,5.771707e-05,5.801003e-05,5.835318e-05,5.848417e-05,5.894089e-05,5.895880e-05,5.938047e-05,5.953458e-05,5.980320e-05,6.008118e-05,6.020937e-05,6.059927e-05,6.108956e-05,6.155274e-05,6.198952e-05,6.240061e-05,6.278671e-05,6.314854e-05,6.348679e-05,6.380219e-05,6.409541e-05,6.436716e-05,6.461811e-05,6.484893e-05,6.506030e-05,6.525287e-05,6.542728e-05,6.558417e-05,6.572415e-05,6.584783e-05,6.595581e-05,6.604868e-05,6.612700e-05,6.619134e-05,6.624223e-05,6.628021e-05
0.000000e+00,1.182480e-13,4.390519e-13,2.832803e-12,9.364984e-12,1.606665e-11,5.085813e-11,5.299954e-11,1.314128e-10,1.636895e-10,2.732079e-10,3.992416e-10,5.040620e-10,8.201045e-10,8.531196e-10,1.352513e-09,1.498507e-09,2.036340e-09,2.512625e-09,2.938672e-09,3.938375e-09,4.090717e-09,5.518218e-09,5.838571e-09,7.240261e-09,8.256559e-09,9.269493e-09,1.121675e-08,1.161297e-08,1.427305e-08,1.472798e-08,1.724816e-08,1.878679e-08,2.053341e-08,2.337984e-08,2.412114e-08,2.800135e-08,2.848608e-08,3.216221e-08,3.407852e-08,3.659045e-08,4.012594e-08,4.127172e-08,4.619098e-08,4.659434e-08,5.133277e-08,5.344831e-08,5.668151e-08,6.065203e-08,6.222169e-08,6.793808e-08,6.817018e-08,7.381583e-08,7.596856e-08,7.984066e-08,8.401454e-08,8.599886e-08,9.227740e-08,9.866393e-08,1.007285e-07,1.051468e-07,1.093414e-07,1.117152e-07,1.180917e-07,1.183587e-07,1.250680e-07,1.269572e-07,1.318342e-07,1.359177e-07,1.386490e-07,1.449550e-07,1.455049e-07,1.523948e-07,1.540527e-07,1.593122e-07,1.631958e-07,1.662513e-07,1.723712e-07,1.732065e-07,1.801727e-07,1.815669e-07,1.871455e-07,1.907724e-07,1.941205e-07,1.999784e-07,2.010938e-07,2.080621e-07,2.091763e-07,2.150220e-07,2.183589e-07,2.219706e-07,2.275196e-07,2.289053e-07,2.358236e-07,2.366526e-07,2.427234e-07,2.457529e-07,2.496026e-07,2.548160e-07,2.564596e-07,2.632927e-07,2.638382e-07,2.701004e-07,2.728161e-07,2.768815e-07,2.817467e-07,2.836347e-07,2.903592e-07,2.906276e-07,2.970540e-07,2.994567e-07,3.037183e-07,3.082322e-07,3.103513e-07,3.169526e-07,3.235215e-07,3.256167e-07,3.300577e-07,3.342235e-07,3.365608e-07,3.427722e-07,3.430304e-07,3.494663e-07,3.512623e-07,3.558683e-07,3.596932e-07,3.622364e-07,3.680649e-07,3.685703e-07,3.748701e-07,3.763770e-07,3.811358e-07,3.846296e-07,3.873673e-07,3.928228e-07,3.935647e-07,3.997282e-07,4.009568e-07,4.058578e-07,4.090319e-07,4.119537e-07,4.170483e-07,4.180160e-07,4.240450e-07,4.250065e-07,4.300407e-07,4.329070e-07,4.360035e-07,4.407502e-07,4.419336e-07,4.478312e-07,4.485367e-07,4.536965e-07,4.562671e-07,4.595299e-07,4.639421e-07,4.653316e-07,4.711020e-07,4.715623e-07,4.768412e-07,4.791283e-07,4.825497e-07,4.866408e-07,4.882276e-07,4.938754e-07,4.941007e-07,4.994933e-07,5.015085e-07,5.050816e-07,5.088650e-07,5.106408e-07,5.161710e-07,5.234272e-07,5.306343e-07,5.377931e-07,5.449044e-07,5.519689e-07,5.589873e-07,5.659605e-07,5.728890e-07,5.797737e-07,5.866152e-07,5.934143e-07,6.001717e-07,6.068881e-07,6.135642e-07,6.202006e-07,6.267981e-07,6.333572e-07,6.398786e-07,6.463630e-07,6.528110e-07,6.592231e-07,6.656001e-07,6.719424e-07,6.782507e-07
0.000000e+00,2.057940e-15,1.987915e-14,5.211397e-13,4.146099e-12,1.040558e-11,7.053956e-11,7.542665e-11,3.196743e-10,4.491050e-10,9.777977e-10,1.716256e-09,2.411458e-09,4.839352e-09,5.116612e-09,9.728068e-09,1.120159e-08,1.701879e-08,2.260059e-08,2.788016e-08,4.115176e-08,4.326934e-08,6.413086e-08,6.903743e-08,9.132158e-08,1.082079e-07,1.255644e-07,1.602028e-07,1.674340e-07,2.173648e-07,2.261240e-07,2.756651e-07,3.066840e-07,3.425324e-07,4.022631e-07,4.180643e-07,5.022676e-07,5.129519e-07,5.950653e-07,6.385819e-07,6.963033e-07,7.787535e-07,8.057574e-07,9.231413e-07,9.328647e-07,1.048115e-06,1.100145e-06,1.180294e-06,1.279689e-06,1.319257e-06,1.464558e-06,1.470495e-06,1.615731e-06,1.671499e-06,1.772300e-06,1.881605e-06,1.933786e-06,2.099714e-06,2.269615e-06,2.324748e-06,2.443034e-06,2.555665e-06,2.619532e-06,2.791475e-06,2.798687e-06,2.980100e-06,3.031248e-06,3.163391e-06,3.274118e-06,3.348204e-06,3.519289e-06,3.534205e-06,3.721082e-06,3.766030e-06,3.908545e-06,4.013680e-06,4.096327e-06,4.261641e-06,4.284180e-06,4.471875e-06,4.509377e-06,4.659204e-06,4.756407e-06,4.845975e-06,5.002303e-06,5.032013e-06,5.217157e-06,5.246687e-06,5.401263e-06,5.489225e-06,5.584198e-06,5.729622e-06,5.765842e-06,5.946088e-06,5.967619e-06,6.124838e-06,6.202991e-06,6.302004e-06,6.435542e-06,6.477507e-06,6.651277e-06,6.665102e-06,6.823251e-06,6.891525e-06,6.993374e-06,7.114688e-06,7.161596e-06,7.327874e-06,7.334484e-06,7.492169e-06,7.550824e-06,7.654451e-06,7.763636e-06,7.814689e-06,7.972860e-06,8.128945e-06,8.178449e-06,8.282927e-06,8.380365e-06,8.434792e-06,8.578582e-06,8.584530e-06,8.732135e-06,8.773082e-06,8.877602e-06,8.963854e-06,9.020928e-06,9.150896e-06,9.162112e-06,9.301158e-06,9.334210e-06,9.438067e-06,9.513806e-06,9.572846e-06,9.689695e-06,9.705502e-06,9.836042e-06,9.861897e-06,9.964477e-06,1.003043e-05,1.009082e-05,1.019533e-05,1.021507e-05,1.033726e-05,1.035662e-05,1.045739e-05,1.051432e-05,1.057547e-05,1.066848e-05,1.069153e-05,1.080558e-05,1.081913e-05,1.091764e-05,1.096631e-05,1.102771e-05,1.111006e-05,1.113583e-05,1.124201e-05,1.125042e-05,1.134627e-05,1.138743e-05,1.144862e-05,1.152114e-05,1.154909e-05,1.164769e-05,1.165160e-05,1.174445e-05,1.177884e-05,1.183939e-05,1.190291e-05,1.193252e-05,1.202387e-05,1.214175e-05,1.225662e-05,1.236850e-05,1.247747e-05,1.258355e-05,1.268680e-05,1.278727e-05,1.288501e-05,1.298007e-05,1.307248e-05,1.316231e-05,1.324960e-05,1.333439e-05,1.341674e-05,1.349669e-05,1.357428e-05,1.364957e-05,1.372259e-05,1.379339e-05,1.386202e-05,1.392852e-05,1.399293e-05,1.405529e-05,1.411566e-05
0.000000e+00,4.352284e-17,5.025799e-16,1.896004e-14,2.085172e-13,6.229251e-13,6.540587e-12,7.116468e-12,4.563908e-11,7.150542e-11,2.033692e-10,4.398186e-10,7.055041e-10,1.883617e-09,2.039130e-09,5.129936e-09,6.292628e-09,1.157303e-08,1.754614e-08,2.391406e-08,4.264820e-08,4.597105e-08,8.318013e-08,9.305313e-08,1.429418e-07,1.860467e-07,2.349407e-07,3.460040e-07,3.714114e-07,5.673282e-07,6.053415e-07,8.405005e-07,1.005019e-06,1.211567e-06,1.594511e-06,1.703881e-06,2.343292e-06,2.431216e-06,3.157828e-06,3.579331e-06,4.177299e-06,5.108268e-06,5.432820e-06,6.956285e-06,7.090700e-06,8.779800e-06,9.600353e-06,1.093509e-05,1.270967e-05,1.345293e-05,1.636252e-05,1.648745e-05,1.969101e-05,2.099662e-05,2.346291e-05,2.629218e-05,2.769971e-05,3.241944e-05,3.763639e-05,3.941263e-05,4.336085e-05,4.729384e-05,4.959892e-05,5.607245e-05,5.635248e-05,6.361909e-05,6.574488e-05,7.139213e-05,7.629474e-05,7.966086e-05,8.769336e-05,8.841063e-05,9.762310e-05,9.990059e-05,1.072765e-04,1.128659e-04,1.173460e-04,1.265294e-04,1.278039e-04,1.386203e-04,1.408238e-04,1.497630e-04,1.556751e-04,1.611984e-04,1.710046e-04,1.728914e-04,1.848061e-04,1.867306e-04,1.969060e-04,2.027690e-04,2.091545e-04,2.190356e-04,2.215149e-04,2.339510e-04,2.354467e-04,2.464273e-04,2.519206e-04,2.589092e-04,2.683784e-04,2.713631e-04,2.837569e-04,2.847449e-04,2.960599e-04,3.009491e-04,3.082430e-04,3.169251e-04,3.202788e-04,3.321418e-04,3.326124e-04,3.438083e-04,3.479558e-04,3.552565e-04,3.629064e-04,3.664666e-04,3.774207e-04,3.881027e-04,3.914611e-04,3.984986e-04,4.049960e-04,4.085960e-04,4.179990e-04,4.183845e-04,4.278552e-04,4.304491e-04,4.370011e-04,4.423304e-04,4.458166e-04,4.536315e-04,4.542976e-04,4.624414e-04,4.643455e-04,4.702466e-04,4.744696e-04,4.777132e-04,4.840043e-04,4.848420e-04,4.916352e-04,4.929538e-04,4.980956e-04,5.013248e-04,5.042272e-04,5.091269e-04,5.100345e-04,5.155229e-04,5.163718e-04,5.206982e-04,5.230731e-04,5.255671e-04,5.292460e-04,5.301363e-04,5.344132e-04,5.349071e-04,5.384056e-04,5.400741e-04,5.421213e-04,5.447654e-04,5.455687e-04,5.487560e-04,5.490000e-04,5.516918e-04,5.527976e-04,5.543846e-04,5.561778e-04,5.568430e-04,5.590757e-04,5.591605e-04,5.610913e-04,5.617654e-04,5.628983e-04,5.640122e-04,5.645051e-04,5.659201e-04,5.675083e-04,5.687951e-04,5.697985e-04,5.705359e-04,5.710241e-04,5.712795e-04,5.713175e-04,5.711532e-04,5.708008e-04,5.702739e-04,5.695856e-04,5.687480e-04,5.677730e-04,5.666716e-04,5.654541e-04,5.641304e-04,5.627098e-04,5.612011e-04,5.596123e-04,5.579513e-04,5.562253e-04,5.544409e-04,5.526046e-04,5.507221e-04
0.000000e+00,6.379883e-17,7.351185e-16,2.768930e-14,3.042862e-13,9.087302e-13,9.538311e-12,1.037814e-11,6.658055e-11,1.043374e-10,2.969638e-10,6.427513e-10,1.031676e-09,2.759179e-09,2.987472e-09,7.532738e-09,9.245519e-09,1.703801e-08,2.587308e-08,3.530978e-08,6.314939e-08,6.809697e-08,1.236491e-07,1.384275e-07,2.132931e-07,2.781877e-07,3.519867e-07,5.202199e-07,5.588044e-07,8.573163e-07,9.154110e-07,1.275826e-06,1.528876e-06,1.847450e-06,2.440263e-06,2.610022e-06,3.605829e-06,3.743160e-06,4.881184e-06,5.543614e-06,6.485846e-06,7.957855e-06,8.472317e-06,1.089503e-05,1.110935e-05,1.380944e-05,1.512536e-05,1.727114e-05,2.013320e-05,2.133480e-05,2.605329e-05,2.625637e-05,3.147670e-05,3.361077e-05,3.765147e-05,4.230110e-05,4.461956e-05,5.241775e-05,6.107703e-05,6.403407e-05,7.062203e-05,7.720424e-05,8.107071e-05,9.196184e-05,9.243401e-05,1.047158e-04,1.083190e-04,1.179126e-04,1.262660e-04,1.320142e-04,1.457719e-04,1.470032e-04,1.628556e-04,1.667855e-04,1.795413e-04,1.892361e-04,1.970243e-04,2.130360e-04,2.152631e-04,2.342117e-04,2.380822e-04,2.538196e-04,2.642585e-04,2.740328e-04,2.914381e-04,2.947944e-04,3.160448e-04,3.194862e-04,3.377229e-04,3.482619e-04,3.597661e-04,3.776212e-04,3.821114e-04,4.046954e-04,4.074186e-04,4.274554e-04,4.375095e-04,4.503293e-04,4.677523e-04,4.732564e-04,4.961776e-04,4.980093e-04,5.190357e-04,5.281490e-04,5.417760e-04,5.580466e-04,5.643462e-04,5.866967e-04,5.875855e-04,6.087810e-04,6.166577e-04,6.305554e-04,6.451643e-04,6.519796e-04,6.730164e-04,6.936317e-04,7.001345e-04,7.137950e-04,7.264493e-04,7.334786e-04,7.519009e-04,7.526581e-04,7.713124e-04,7.764389e-04,7.894230e-04,8.000219e-04,8.069746e-04,8.226175e-04,8.239546e-04,8.403530e-04,8.442011e-04,8.561623e-04,8.647563e-04,8.713776e-04,8.842733e-04,8.859959e-04,9.000166e-04,9.027491e-04,9.134409e-04,9.201867e-04,9.262717e-04,9.365943e-04,9.385137e-04,9.501731e-04,9.519850e-04,9.612573e-04,9.663759e-04,9.717751e-04,9.797881e-04,9.817363e-04,9.911518e-04,9.922455e-04,1.000033e-03,1.003775e-03,1.008393e-03,1.014405e-03,1.016243e-03,1.023599e-03,1.024166e-03,1.030473e-03,1.033091e-03,1.036880e-03,1.041212e-03,1.042835e-03,1.048351e-03,1.048563e-03,1.053445e-03,1.055179e-03,1.058131e-03,1.061092e-03,1.062424e-03,1.066338e-03,1.070951e-03,1.074964e-03,1.078409e-03,1.081318e-03,1.083724e-03,1.085656e-03,1.087143e-03,1.088214e-03,1.088895e-03,1.089214e-03,1.089194e-03,1.088861e-03,1.088235e-03,1.087340e-03,1.086195e-03,1.084819e-03,1.083232e-03,1.081451e-03,1.079492e-03,1.077369e-03,1.075099e-03,1.072694e-03,1.070168e-03,1.067531e-03
0.000000e+00,2.367186e-12,7.864650e-12,4.533969e-11,1.428994e-10,2.412917e-10,7.468069e-10,7.778551e-10,1.917929e-09,2.389940e-09,4.004790e-09,5.887493e-09,7.471567e-09,1.233502e-08,1.284982e-08,2.076262e-08,2.311355e-08,3.188427e-08,3.976256e-08,4.687556e-08,6.374590e-08,6.633489e-08,9.078443e-08,9.631410e-08,1.206768e-07,1.385044e-07,1.564047e-07,1.911757e-07,1.983076e-07,2.466751e-07,2.550305e-07,3.017477e-07,3.306226e-07,3.637178e-07,4.183586e-07,4.327295e-07,5.088796e-07,5.185002e-07,5.922187e-07,6.311686e-07,6.827535e-07,7.563527e-07,7.804495e-07,8.852341e-07,8.939202e-07,9.970003e-07,1.043632e-06,1.115610e-06,1.205156e-06,1.240900e-06,1.372681e-06,1.378085e-06,1.510748e-06,1.561948e-06,1.654878e-06,1.756230e-06,1.804836e-06,1.960377e-06,2.121251e-06,2.173815e-06,2.287201e-06,2.395953e-06,2.457969e-06,2.626199e-06,2.633297e-06,2.812926e-06,2.863958e-06,2.996602e-06,3.108644e-06,3.184071e-06,3.359680e-06,3.375086e-06,3.569405e-06,3.616506e-06,3.766789e-06,3.878577e-06,3.967007e-06,4.145366e-06,4.169836e-06,4.375056e-06,4.416368e-06,4.582456e-06,4.691098e-06,4.791833e-06,4.969093e-06,5.002990e-06,5.215735e-06,5.249910e-06,5.429887e-06,5.533127e-06,5.645269e-06,5.818346e-06,5.861712e-06,6.079053e-06,6.105187e-06,6.297137e-06,6.393291e-06,6.515815e-06,6.682318e-06,6.734943e-06,6.954384e-06,6.971949e-06,7.174009e-06,7.261882e-06,7.393692e-06,7.551833e-06,7.613315e-06,7.832762e-06,7.841535e-06,8.051928e-06,8.130738e-06,8.270707e-06,8.419207e-06,8.489003e-06,8.706722e-06,8.923775e-06,8.993078e-06,9.140079e-06,9.278083e-06,9.355554e-06,9.561559e-06,9.570124e-06,9.783719e-06,9.843341e-06,9.996270e-06,1.012327e-05,1.020771e-05,1.040121e-05,1.041799e-05,1.062705e-05,1.067703e-05,1.083482e-05,1.095060e-05,1.104128e-05,1.122182e-05,1.124635e-05,1.145001e-05,1.149057e-05,1.165222e-05,1.175677e-05,1.185292e-05,1.202033e-05,1.205209e-05,1.224970e-05,1.228117e-05,1.244571e-05,1.253922e-05,1.264010e-05,1.279442e-05,1.283284e-05,1.302390e-05,1.304671e-05,1.321327e-05,1.329604e-05,1.340091e-05,1.354237e-05,1.358683e-05,1.377099e-05,1.378565e-05,1.395339e-05,1.402585e-05,1.413401e-05,1.426295e-05,1.431284e-05,1.448987e-05,1.449691e-05,1.466509e-05,1.472772e-05,1.483849e-05,1.495537e-05,1.501007e-05,1.517983e-05,1.540111e-05,1.561920e-05,1.583409e-05,1.604579e-05,1.625430e-05,1.645963e-05,1.666179e-05,1.686078e-05,1.705663e-05,1.724935e-05,1.743895e-05,1.762546e-05,1.780890e-05,1.798928e-05,1.816664e-05,1.834099e-05,1.851237e-05,1.868080e-05,1.884630e-05,1.900891e-05,1.916866e-05,1.932557e-05,1.947968e-05,1.963102e-05
0.000000e+00,1.868534e-12,5.740465e-12,3.040097e-11,9.188893e-11,1.526272e-10,4.578446e-10,4.763834e-10,1.149139e-09,1.424691e-09,2.359638e-09,3.439240e-09,4.341374e-09,7.085108e-09,7.373605e-09,1.176990e-08,1.306366e-08,1.784715e-08,2.209288e-08,2.589054e-08,3.478502e-08,3.613781e-08,4.878167e-08,5.161227e-08,6.397716e-08,7.292920e-08,8.184717e-08,9.899429e-08,1.024855e-07,1.259585e-07,1.299803e-07,1.523060e-07,1.659789e-07,1.815423e-07,2.070056e-07,2.136578e-07,2.486204e-07,2.530050e-07,2.863777e-07,3.038586e-07,3.268591e-07,3.593944e-07,3.699786e-07,4.156373e-07,4.193965e-07,4.637257e-07,4.836152e-07,5.141261e-07,5.517767e-07,5.667149e-07,6.213648e-07,6.235918e-07,6.779461e-07,6.987632e-07,7.363288e-07,7.769918e-07,7.963832e-07,8.579818e-07,9.209993e-07,9.414446e-07,9.853141e-07,1.027102e-06,1.050808e-06,1.114687e-06,1.117369e-06,1.184886e-06,1.203948e-06,1.253256e-06,1.294646e-06,1.322380e-06,1.386557e-06,1.392162e-06,1.462514e-06,1.479474e-06,1.533351e-06,1.573201e-06,1.604591e-06,1.667558e-06,1.676161e-06,1.747989e-06,1.762380e-06,1.820008e-06,1.857512e-06,1.892155e-06,1.952814e-06,1.964371e-06,2.036602e-06,2.048156e-06,2.108795e-06,2.143420e-06,2.180903e-06,2.238497e-06,2.252880e-06,2.324685e-06,2.333289e-06,2.396280e-06,2.427705e-06,2.467627e-06,2.521664e-06,2.538693e-06,2.609447e-06,2.615093e-06,2.679861e-06,2.707925e-06,2.749907e-06,2.800099e-06,2.819561e-06,2.888801e-06,2.891561e-06,2.957605e-06,2.982264e-06,3.025955e-06,3.072164e-06,3.093833e-06,3.161223e-06,3.228111e-06,3.249406e-06,3.294483e-06,3.336685e-06,3.360328e-06,3.423033e-06,3.425635e-06,3.490394e-06,3.508428e-06,3.554598e-06,3.592850e-06,3.618238e-06,3.676283e-06,3.681307e-06,3.743801e-06,3.758713e-06,3.805713e-06,3.840129e-06,3.867041e-06,3.920522e-06,3.927780e-06,3.987927e-06,3.999885e-06,4.047481e-06,4.078214e-06,4.106440e-06,4.155504e-06,4.164802e-06,4.222568e-06,4.231755e-06,4.279737e-06,4.306966e-06,4.336309e-06,4.381138e-06,4.392286e-06,4.447668e-06,4.454274e-06,4.502457e-06,4.526377e-06,4.556655e-06,4.597452e-06,4.610264e-06,4.663286e-06,4.667503e-06,4.715725e-06,4.736537e-06,4.767582e-06,4.804561e-06,4.818861e-06,4.869567e-06,4.871583e-06,4.919701e-06,4.937610e-06,4.969268e-06,5.002652e-06,5.018272e-06,5.066718e-06,5.129816e-06,5.191958e-06,5.253154e-06,5.313413e-06,5.372748e-06,5.431169e-06,5.488687e-06,5.545314e-06,5.601061e-06,5.655940e-06,5.709964e-06,5.763142e-06,5.815488e-06,5.867014e-06,5.917730e-06,5.967649e-06,6.016783e-06,6.065143e-06,6.112742e-06,6.159591e-06,6.205700e-06,6.251083e-06,6.295751e-06,6.339713e-06
0.000000e+00,7.738305e-12,2.346104e-11,1.226333e-10,3.687184e-10,6.114271e-10,1.830267e-09,1.904301e-09,4.592266e-09,5.694019e-09,9.435166e-09,1.375908e-08,1.737385e-08,2.836398e-08,2.951847e-08,4.706566e-08,5.221107e-08,7.116485e-08,8.790911e-08,1.028389e-07,1.376903e-07,1.429814e-07,1.923757e-07,2.034267e-07,2.517063e-07,2.866839e-07,3.215604e-07,3.887298e-07,4.024251e-07,4.946834e-07,5.105220e-07,5.986115e-07,6.526958e-07,7.143786e-07,8.155632e-07,8.420492e-07,9.815880e-07,9.991250e-07,1.132866e-06,1.203096e-06,1.295672e-06,1.426939e-06,1.469717e-06,1.654650e-06,1.669903e-06,1.850064e-06,1.931064e-06,2.055508e-06,2.209367e-06,2.270496e-06,2.494517e-06,2.503658e-06,2.727038e-06,2.812723e-06,2.967519e-06,3.135313e-06,3.215411e-06,3.470166e-06,3.731241e-06,3.816032e-06,3.998099e-06,4.171680e-06,4.270215e-06,4.535917e-06,4.547076e-06,4.828184e-06,4.907589e-06,5.113058e-06,5.285597e-06,5.401234e-06,5.668888e-06,5.692266e-06,5.985725e-06,6.056470e-06,6.281202e-06,6.447405e-06,6.578308e-06,6.840811e-06,6.876669e-06,7.175931e-06,7.235862e-06,7.475760e-06,7.631788e-06,7.775837e-06,8.027871e-06,8.075859e-06,8.375544e-06,8.423444e-06,8.674622e-06,8.817890e-06,8.972841e-06,9.210637e-06,9.269962e-06,9.565763e-06,9.601160e-06,9.860033e-06,9.988976e-06,1.015258e-05,1.037364e-05,1.044321e-05,1.073176e-05,1.075475e-05,1.101807e-05,1.113194e-05,1.130200e-05,1.150487e-05,1.158339e-05,1.186214e-05,1.187323e-05,1.213811e-05,1.223676e-05,1.241121e-05,1.259522e-05,1.268132e-05,1.294837e-05,1.321227e-05,1.329603e-05,1.347293e-05,1.363804e-05,1.373031e-05,1.397423e-05,1.398432e-05,1.423493e-05,1.430448e-05,1.448208e-05,1.462868e-05,1.472572e-05,1.494675e-05,1.496583e-05,1.520236e-05,1.525859e-05,1.543530e-05,1.556416e-05,1.566462e-05,1.586341e-05,1.589030e-05,1.611233e-05,1.615630e-05,1.633070e-05,1.644281e-05,1.654541e-05,1.672292e-05,1.675644e-05,1.696382e-05,1.699666e-05,1.716752e-05,1.726401e-05,1.736758e-05,1.752500e-05,1.756399e-05,1.775676e-05,1.777965e-05,1.794592e-05,1.802800e-05,1.813147e-05,1.827010e-05,1.831345e-05,1.849186e-05,1.850598e-05,1.866673e-05,1.873570e-05,1.883809e-05,1.895931e-05,1.900597e-05,1.917038e-05,1.917689e-05,1.933137e-05,1.938849e-05,1.948895e-05,1.959419e-05,1.964317e-05,1.979405e-05,1.998816e-05,2.017660e-05,2.035945e-05,2.053679e-05,2.070870e-05,2.087528e-05,2.103661e-05,2.119278e-05,2.134389e-05,2.149002e-05,2.163126e-05,2.176772e-05,2.189947e-05,2.202662e-05,2.214925e-05,2.226745e-05,2.238132e-05,2.249096e-05,2.259644e-05,2.269786e-05,2.279531e-05,2.288887e-05,2.297864e-05,2.306470e-05
0.000000e+00,5.526317e-12,1.789067e-11,1.003313e-10,3.121140e-10,5.244490e-10,1.609532e-09,1.676026e-09,4.113582e-09,5.121748e-09,8.570039e-09,1.259062e-08,1.597402e-08,2.636017e-08,2.745894e-08,4.431419e-08,4.930576e-08,6.784655e-08,8.438588e-08,9.922733e-08,1.341133e-07,1.394315e-07,1.892558e-07,2.004346e-07,2.493517e-07,2.848412e-07,3.202486e-07,3.884584e-07,4.023651e-07,4.960143e-07,5.120839e-07,6.014076e-07,6.562050e-07,7.186589e-07,8.210151e-07,8.477897e-07,9.887355e-07,1.006437e-06,1.141354e-06,1.212152e-06,1.305435e-06,1.437636e-06,1.480705e-06,1.666844e-06,1.682194e-06,1.863487e-06,1.944998e-06,2.070237e-06,2.225117e-06,2.286669e-06,2.512340e-06,2.521553e-06,2.746795e-06,2.833259e-06,2.989567e-06,3.159164e-06,3.240189e-06,3.498192e-06,3.763111e-06,3.849271e-06,4.034488e-06,4.211349e-06,4.311870e-06,4.583397e-06,4.594817e-06,4.882896e-06,4.964421e-06,5.175690e-06,5.353459e-06,5.472791e-06,5.749591e-06,5.773808e-06,6.078360e-06,6.151937e-06,6.386081e-06,6.559658e-06,6.696621e-06,6.971958e-06,7.009640e-06,7.324815e-06,7.388081e-06,7.641835e-06,7.807314e-06,7.960401e-06,8.228984e-06,8.280231e-06,8.601052e-06,8.652458e-06,8.922606e-06,9.077139e-06,9.244646e-06,9.502469e-06,9.566937e-06,9.889256e-06,9.927926e-06,1.021139e-05,1.035302e-05,1.053314e-05,1.077730e-05,1.085432e-05,1.117473e-05,1.120033e-05,1.149423e-05,1.162173e-05,1.181263e-05,1.204112e-05,1.212979e-05,1.244557e-05,1.245817e-05,1.275984e-05,1.287257e-05,1.307245e-05,1.328403e-05,1.338331e-05,1.369228e-05,1.399928e-05,1.409709e-05,1.430420e-05,1.449822e-05,1.460696e-05,1.489548e-05,1.490746e-05,1.520563e-05,1.528869e-05,1.550139e-05,1.567767e-05,1.579469e-05,1.606229e-05,1.608546e-05,1.637364e-05,1.644241e-05,1.665918e-05,1.681791e-05,1.694203e-05,1.718869e-05,1.722216e-05,1.749951e-05,1.755465e-05,1.777407e-05,1.791572e-05,1.804579e-05,1.827183e-05,1.831466e-05,1.858064e-05,1.862292e-05,1.884372e-05,1.896896e-05,1.910388e-05,1.930989e-05,1.936110e-05,1.961538e-05,1.964570e-05,1.986671e-05,1.997636e-05,2.011508e-05,2.030186e-05,2.036049e-05,2.060293e-05,2.062220e-05,2.084241e-05,2.093737e-05,2.107893e-05,2.124739e-05,2.131249e-05,2.154310e-05,2.155227e-05,2.177078e-05,2.185202e-05,2.199552e-05,2.214668e-05,2.221735e-05,2.243626e-05,2.272081e-05,2.300035e-05,2.327493e-05,2.354458e-05,2.380936e-05,2.406931e-05,2.432448e-05,2.457493e-05,2.482070e-05,2.506186e-05,2.529846e-05,2.553055e-05,2.575821e-05,2.598149e-05,2.620045e-05,2.641516e-05,2.662567e-05,2.683205e-05,2.703437e-05,2.723268e-05,2.742706e-05,2.761756e-05,2.780426e-05,2.798721e-05
0.000000e+00,8.412100e-13,2.563068e-12,1.348539e-11,4.074753e-11,6.776399e-11,2.046724e-10,2.130421e-10,5.201286e-10,6.475358e-10,1.085595e-09,1.600814e-09,2.037898e-09,3.397904e-09,3.543295e-09,5.807024e-09,6.488811e-09,9.062544e-09,1.140742e-08,1.354499e-08,1.866804e-08,1.945890e-08,2.695889e-08,2.865918e-08,3.614913e-08,4.161837e-08,4.709291e-08,5.766570e-08,5.982330e-08,7.435134e-08,7.684247e-08,9.067148e-08,9.913669e-08,1.087652e-07,1.244979e-07,1.286034e-07,1.501481e-07,1.528460e-07,1.733540e-07,1.840779e-07,1.981698e-07,2.180718e-07,2.245389e-07,2.524009e-07,2.546925e-07,2.816924e-07,2.937946e-07,3.123478e-07,3.352265e-07,3.442999e-07,3.774813e-07,3.788332e-07,4.118242e-07,4.244590e-07,4.472614e-07,4.719498e-07,4.837264e-07,5.211544e-07,5.594816e-07,5.719261e-07,5.986464e-07,6.241238e-07,6.385890e-07,6.776121e-07,6.792517e-07,7.205788e-07,7.322621e-07,7.625170e-07,7.879519e-07,8.050151e-07,8.445657e-07,8.480241e-07,8.914973e-07,9.019949e-07,9.353900e-07,9.601372e-07,9.796597e-07,1.018897e-06,1.024266e-06,1.069170e-06,1.078184e-06,1.114336e-06,1.137915e-06,1.159729e-06,1.198011e-06,1.205317e-06,1.251067e-06,1.258400e-06,1.296950e-06,1.319014e-06,1.342940e-06,1.379789e-06,1.389008e-06,1.435131e-06,1.440669e-06,1.481286e-06,1.501597e-06,1.527449e-06,1.562525e-06,1.573600e-06,1.619719e-06,1.623406e-06,1.665788e-06,1.684198e-06,1.711789e-06,1.744859e-06,1.757707e-06,1.803525e-06,1.805356e-06,1.849230e-06,1.865653e-06,1.894807e-06,1.925720e-06,1.940244e-06,1.985529e-06,2.030652e-06,2.045055e-06,2.075602e-06,2.104274e-06,2.120368e-06,2.163164e-06,2.164943e-06,2.209318e-06,2.221706e-06,2.253485e-06,2.279883e-06,2.297438e-06,2.337678e-06,2.341168e-06,2.384671e-06,2.395077e-06,2.427940e-06,2.452067e-06,2.470971e-06,2.508637e-06,2.513758e-06,2.556298e-06,2.564776e-06,2.598586e-06,2.620475e-06,2.640619e-06,2.675727e-06,2.682393e-06,2.723906e-06,2.730524e-06,2.765155e-06,2.784860e-06,2.806138e-06,2.838731e-06,2.846853e-06,2.887297e-06,2.892132e-06,2.927470e-06,2.945060e-06,2.967370e-06,2.997511e-06,3.006996e-06,3.046348e-06,3.049484e-06,3.085424e-06,3.100977e-06,3.124225e-06,3.151990e-06,3.162749e-06,3.200997e-06,3.202521e-06,3.238969e-06,3.252571e-06,3.276664e-06,3.302140e-06,3.314085e-06,3.351229e-06,3.399840e-06,3.447974e-06,3.495633e-06,3.542819e-06,3.589535e-06,3.635783e-06,3.681566e-06,3.726888e-06,3.771752e-06,3.816161e-06,3.860120e-06,3.903631e-06,3.946699e-06,3.989328e-06,4.031521e-06,4.073284e-06,4.114620e-06,4.155534e-06,4.196030e-06,4.236113e-06,4.275786e-06,4.315056e-06,4.353925e-06,4.392399e-06
0.000000e+00,2.035600e-16,2.130915e-15,6.567819e-14,6.016031e-13,1.626877e-12,1.325591e-11,1.427696e-11,7.171575e-11,1.053088e-10,2.553839e-10,4.875308e-10,7.225331e-10,1.626952e-09,1.736638e-09,3.694919e-09,4.362705e-09,7.139782e-09,9.964270e-09,1.274262e-08,2.006112e-08,2.126426e-08,3.350878e-08,3.647585e-08,5.028499e-08,6.106253e-08,7.238125e-08,9.560603e-08,1.005513e-07,1.355065e-07,1.417741e-07,1.779112e-07,2.010935e-07,2.283780e-07,2.749317e-07,2.874628e-07,3.556599e-07,3.644769e-07,4.333972e-07,4.707189e-07,5.210330e-07,5.944352e-07,6.188536e-07,7.270726e-07,7.361841e-07,8.458324e-07,8.963065e-07,9.752066e-07,1.074936e-06,1.115204e-06,1.265772e-06,1.272013e-06,1.426805e-06,1.487310e-06,1.598148e-06,1.720451e-06,1.779603e-06,1.970935e-06,2.171878e-06,2.238162e-06,2.382139e-06,2.521454e-06,2.601407e-06,2.820070e-06,2.829350e-06,3.065628e-06,3.133232e-06,3.309889e-06,3.460130e-06,3.561777e-06,3.799939e-06,3.820931e-06,4.086990e-06,4.151831e-06,4.359594e-06,4.514978e-06,4.638386e-06,4.888561e-06,4.923013e-06,5.213126e-06,5.271777e-06,5.508383e-06,5.663837e-06,5.808448e-06,6.063978e-06,6.112993e-06,6.421698e-06,6.471456e-06,6.734251e-06,6.885553e-06,7.050347e-06,7.305578e-06,7.369693e-06,7.692001e-06,7.730864e-06,8.016994e-06,8.160772e-06,8.344403e-06,8.594689e-06,8.673968e-06,9.005438e-06,9.032030e-06,9.338570e-06,9.472235e-06,9.673131e-06,9.914772e-06,1.000889e-05,1.034564e-05,1.035913e-05,1.068317e-05,1.080483e-05,1.102127e-05,1.125141e-05,1.135976e-05,1.169844e-05,1.203714e-05,1.214550e-05,1.237569e-05,1.259221e-05,1.271393e-05,1.303819e-05,1.305169e-05,1.338884e-05,1.348311e-05,1.372522e-05,1.392663e-05,1.406071e-05,1.436844e-05,1.439516e-05,1.472846e-05,1.480827e-05,1.506049e-05,1.524583e-05,1.539113e-05,1.568087e-05,1.572029e-05,1.604785e-05,1.611316e-05,1.637372e-05,1.654248e-05,1.669781e-05,1.696861e-05,1.702004e-05,1.734032e-05,1.739138e-05,1.765857e-05,1.781059e-05,1.797473e-05,1.822610e-05,1.828872e-05,1.860048e-05,1.863774e-05,1.890996e-05,1.904538e-05,1.921708e-05,1.944890e-05,1.952181e-05,1.982409e-05,1.984817e-05,2.012388e-05,2.024309e-05,2.042113e-05,2.063357e-05,2.071581e-05,2.100788e-05,2.101951e-05,2.129731e-05,2.140085e-05,2.158406e-05,2.177751e-05,2.186812e-05,2.214944e-05,2.251659e-05,2.287890e-05,2.323634e-05,2.358889e-05,2.393650e-05,2.427918e-05,2.461690e-05,2.494965e-05,2.527744e-05,2.560026e-05,2.591812e-05,2.623103e-05,2.653900e-05,2.684206e-05,2.714022e-05,2.743350e-05,2.772194e-05,2.800556e-05,2.828440e-05,2.855849e-05,2.882787e-05,2.909257e-05,2.935264e-05,2.960812e-05
0.000000e+00,3.785708e-18,4.437306e-17,1.725694e-15,1.950137e-14,5.912337e-14,6.446257e-13,7.024513e-13,4.674170e-12,7.396479e-12,2.156591e-11,4.758115e-11,7.732071e-11,2.124793e-10,2.305849e-10,5.976136e-10,7.381550e-10,1.386921e-09,2.135059e-09,2.944125e-09,5.370568e-09,5.806422e-09,1.076478e-08,1.209937e-08,1.893027e-08,2.492347e-08,3.179927e-08,4.764917e-08,5.131158e-08,7.989478e-08,8.549908e-08,1.204896e-07,1.452373e-07,1.765525e-07,2.351784e-07,2.520329e-07,3.513272e-07,3.650660e-07,4.792081e-07,5.458281e-07,6.407368e-07,7.892264e-07,8.411593e-07,1.085793e-06,1.107433e-06,1.379909e-06,1.512562e-06,1.728612e-06,2.016203e-06,2.136730e-06,2.608709e-06,2.628975e-06,3.148519e-06,3.360132e-06,3.759574e-06,4.217241e-06,4.444671e-06,5.205938e-06,6.044811e-06,6.329777e-06,6.962008e-06,7.590153e-06,7.957538e-06,8.986306e-06,9.030708e-06,1.018015e-05,1.051541e-05,1.140387e-05,1.217270e-05,1.269928e-05,1.395168e-05,1.406324e-05,1.549214e-05,1.584429e-05,1.698194e-05,1.784121e-05,1.852825e-05,1.993203e-05,2.012639e-05,2.177142e-05,2.210561e-05,2.345825e-05,2.435020e-05,2.518168e-05,2.665378e-05,2.693642e-05,2.871721e-05,2.900420e-05,3.051878e-05,3.138940e-05,3.233598e-05,3.379760e-05,3.416376e-05,3.599722e-05,3.621738e-05,3.783162e-05,3.863789e-05,3.966246e-05,4.104886e-05,4.148543e-05,4.329646e-05,4.344071e-05,4.509172e-05,4.580460e-05,4.686765e-05,4.813248e-05,4.862093e-05,5.034853e-05,5.041706e-05,5.204764e-05,5.265186e-05,5.371575e-05,5.483118e-05,5.535057e-05,5.695007e-05,5.851247e-05,5.900434e-05,6.003619e-05,6.099045e-05,6.151990e-05,6.290557e-05,6.296247e-05,6.436297e-05,6.474746e-05,6.572065e-05,6.651447e-05,6.703495e-05,6.820545e-05,6.830547e-05,6.953196e-05,6.981975e-05,7.071431e-05,7.135715e-05,7.185254e-05,7.281780e-05,7.294680e-05,7.399733e-05,7.420222e-05,7.500449e-05,7.551122e-05,7.596873e-05,7.674590e-05,7.689057e-05,7.777060e-05,7.790757e-05,7.860950e-05,7.899776e-05,7.940797e-05,8.001816e-05,8.016679e-05,8.088676e-05,8.097058e-05,8.156873e-05,8.185698e-05,8.221358e-05,8.267939e-05,8.282221e-05,8.339554e-05,8.343991e-05,8.393451e-05,8.414068e-05,8.444006e-05,8.478391e-05,8.491316e-05,8.535476e-05,8.537178e-05,8.576582e-05,8.590652e-05,8.614731e-05,8.639032e-05,8.650018e-05,8.682537e-05,8.721384e-05,8.755785e-05,8.785951e-05,8.812084e-05,8.834386e-05,8.853051e-05,8.868268e-05,8.880222e-05,8.889089e-05,8.895043e-05,8.898249e-05,8.898866e-05,8.897049e-05,8.892947e-05,8.886700e-05,8.878445e-05,8.868314e-05,8.856430e-05,8.842914e-05,8.827879e-05,8.811435e-05,8.793685e-05,8.774729e-05,8.754660e-05
0.000000e+00,6.975125e-19,8.000528e-18,2.971507e-16,3.218142e-15,9.528103e-15,9.758312e-14,1.060620e-13,6.618681e-13,1.028870e-12,2.866598e-12,6.091775e-12,9.656587e-12,2.507795e-11,2.708244e-11,6.607291e-11,8.044786e-11,1.444927e-10,2.152578e-10,2.893501e-10,5.019151e-10,5.389776e-10,9.449686e-10,1.050495e-09,1.573629e-09,2.015054e-09,2.506714e-09,3.596337e-09,3.841273e-09,5.688545e-09,6.039786e-09,8.171946e-09,9.628662e-09,1.142431e-08,1.467308e-08,1.558453e-08,2.079387e-08,2.149617e-08,2.719219e-08,3.041910e-08,3.491420e-08,4.174624e-08,4.408606e-08,5.482222e-08,5.575180e-08,6.722293e-08,7.266866e-08,8.137209e-08,9.267999e-08,9.733585e-08,1.151616e-07,1.159139e-07,1.348778e-07,1.424407e-07,1.564936e-07,1.722737e-07,1.800003e-07,2.053711e-07,2.325637e-07,2.416411e-07,2.615209e-07,2.809476e-07,2.921726e-07,3.231172e-07,3.244377e-07,3.582260e-07,3.679466e-07,3.934400e-07,4.152099e-07,4.299765e-07,4.646664e-07,4.677287e-07,5.065878e-07,5.160664e-07,5.464439e-07,5.691583e-07,5.871882e-07,6.236926e-07,6.287133e-07,6.709147e-07,6.794272e-07,7.136913e-07,7.361301e-07,7.569463e-07,7.935825e-07,8.005873e-07,8.445274e-07,8.515800e-07,8.886844e-07,9.099342e-07,9.329820e-07,9.684732e-07,9.773488e-07,1.021719e-06,1.027041e-06,1.066033e-06,1.085498e-06,1.110234e-06,1.143720e-06,1.154272e-06,1.198101e-06,1.201597e-06,1.241680e-06,1.259033e-06,1.284972e-06,1.315944e-06,1.327942e-06,1.370562e-06,1.372259e-06,1.412805e-06,1.427915e-06,1.454647e-06,1.482860e-06,1.496068e-06,1.537050e-06,1.577578e-06,1.590448e-06,1.617637e-06,1.643025e-06,1.657218e-06,1.694755e-06,1.696309e-06,1.734903e-06,1.745620e-06,1.772994e-06,1.795604e-06,1.810576e-06,1.844698e-06,1.847644e-06,1.884197e-06,1.892893e-06,1.920232e-06,1.940185e-06,1.955748e-06,1.986571e-06,1.990743e-06,2.025220e-06,2.032053e-06,2.059178e-06,2.076632e-06,2.092619e-06,2.120312e-06,2.125545e-06,2.157959e-06,2.163098e-06,2.189863e-06,2.204997e-06,2.221261e-06,2.246016e-06,2.252155e-06,2.282551e-06,2.286165e-06,2.312451e-06,2.325451e-06,2.341860e-06,2.363886e-06,2.370784e-06,2.399226e-06,2.401480e-06,2.427191e-06,2.438244e-06,2.454684e-06,2.474190e-06,2.481711e-06,2.508276e-06,2.509329e-06,2.534385e-06,2.543673e-06,2.560043e-06,2.577236e-06,2.585256e-06,2.610029e-06,2.642065e-06,2.673358e-06,2.703919e-06,2.733762e-06,2.762900e-06,2.791346e-06,2.819113e-06,2.846213e-06,2.872659e-06,2.898465e-06,2.923642e-06,2.948204e-06,2.972162e-06,2.995529e-06,3.018317e-06,3.040538e-06,3.062204e-06,3.083326e-06,3.103917e-06,3.123987e-06,3.143547e-06,3.162610e-06,3.181184e-06,3.199282e-06
0.000000e+00,9.946501e-12,3.194755e-11,1.771939e-10,5.469482e-10,9.154573e-10,2.782475e-09,2.896297e-09,7.040755e-09,8.743047e-09,1.452973e-08,2.122405e-08,2.682345e-08,4.386263e-08,4.565405e-08,7.292350e-08,8.093458e-08,1.104924e-07,1.366486e-07,1.599883e-07,2.144761e-07,2.227445e-07,2.998266e-07,3.170397e-07,3.920749e-07,4.462587e-07,5.001329e-07,6.034634e-07,6.244640e-07,7.653606e-07,7.894522e-07,9.229516e-07,1.004523e-06,1.097210e-06,1.248507e-06,1.287965e-06,1.494910e-06,1.520813e-06,1.717623e-06,1.820480e-06,1.955577e-06,2.146241e-06,2.208160e-06,2.474687e-06,2.496590e-06,2.754422e-06,2.869841e-06,3.046587e-06,3.264192e-06,3.350379e-06,3.664980e-06,3.677777e-06,3.989569e-06,4.108709e-06,4.323330e-06,4.555116e-06,4.665460e-06,5.015174e-06,5.371709e-06,5.487120e-06,5.734329e-06,5.969273e-06,6.102329e-06,6.460040e-06,6.475030e-06,6.851791e-06,6.957927e-06,7.231999e-06,7.461537e-06,7.615077e-06,7.969573e-06,8.000478e-06,8.387689e-06,8.480835e-06,8.776226e-06,8.994216e-06,9.165636e-06,9.508703e-06,9.555496e-06,9.945409e-06,1.002337e-05,1.033501e-05,1.053736e-05,1.072394e-05,1.104990e-05,1.111190e-05,1.149858e-05,1.156031e-05,1.188370e-05,1.206793e-05,1.226702e-05,1.257221e-05,1.264829e-05,1.302731e-05,1.307263e-05,1.340387e-05,1.356872e-05,1.377778e-05,1.406008e-05,1.414888e-05,1.451701e-05,1.454633e-05,1.488204e-05,1.502716e-05,1.524384e-05,1.550226e-05,1.560228e-05,1.595727e-05,1.597140e-05,1.630871e-05,1.643435e-05,1.665652e-05,1.689091e-05,1.700062e-05,1.734094e-05,1.767742e-05,1.778428e-05,1.801002e-05,1.822082e-05,1.833869e-05,1.865047e-05,1.866338e-05,1.898408e-05,1.907315e-05,1.930075e-05,1.948881e-05,1.961337e-05,1.989739e-05,1.992193e-05,2.022641e-05,2.029888e-05,2.052681e-05,2.069325e-05,2.082312e-05,2.108050e-05,2.111536e-05,2.140351e-05,2.146065e-05,2.168759e-05,2.183370e-05,2.196760e-05,2.219969e-05,2.224357e-05,2.251551e-05,2.255865e-05,2.278343e-05,2.291062e-05,2.304736e-05,2.325565e-05,2.330732e-05,2.356333e-05,2.359379e-05,2.381542e-05,2.392511e-05,2.406362e-05,2.424966e-05,2.430795e-05,2.454845e-05,2.456753e-05,2.478515e-05,2.487877e-05,2.501808e-05,2.518347e-05,2.524727e-05,2.547276e-05,2.548170e-05,2.569459e-05,2.577356e-05,2.591279e-05,2.605911e-05,2.612739e-05,2.633844e-05,2.661165e-05,2.687882e-05,2.714004e-05,2.739540e-05,2.764500e-05,2.788891e-05,2.812725e-05,2.836009e-05,2.858754e-05,2.880967e-05,2.902660e-05,2.923840e-05,2.944517e-05,2.964700e-05,2.984397e-05,3.003619e-05,3.022374e-05,3.040671e-05,3.058518e-05,3.075924e-05,3.092897e-05,3.109447e-05,3.125582e-05,3.141309e-05
0.000000e+00,1.152447e-11,3.561517e-11,1.902548e-10,5.795848e-10,9.675690e-10,2.952601e-09,3.074753e-09,7.602986e-09,9.503390e-09,1.610879e-08,2.398051e-08,3.071560e-08,5.181570e-08,5.407393e-08,8.900853e-08,9.940197e-08,1.379768e-07,1.722234e-07,2.027688e-07,2.738173e-07,2.845564e-07,3.840604e-07,4.061274e-07,5.016870e-07,5.700801e-07,6.376095e-07,7.659200e-07,7.918167e-07,9.641426e-07,9.933778e-07,1.154287e-06,1.251768e-06,1.361837e-06,1.540067e-06,1.586279e-06,1.827025e-06,1.856979e-06,2.083417e-06,2.201007e-06,2.354754e-06,2.570512e-06,2.640297e-06,2.939286e-06,2.963763e-06,3.250947e-06,3.378986e-06,3.574504e-06,3.814396e-06,3.909182e-06,4.254219e-06,4.268225e-06,4.608864e-06,4.738747e-06,4.972386e-06,5.224286e-06,5.344072e-06,5.723232e-06,6.109203e-06,6.234046e-06,6.501342e-06,6.755264e-06,6.899036e-06,7.285498e-06,7.301692e-06,7.708748e-06,7.823438e-06,8.119663e-06,8.367849e-06,8.533922e-06,8.917572e-06,8.951035e-06,9.370534e-06,9.471519e-06,9.791975e-06,1.002867e-05,1.021494e-05,1.058808e-05,1.063902e-05,1.106384e-05,1.114886e-05,1.148904e-05,1.171019e-05,1.191429e-05,1.227129e-05,1.233925e-05,1.276363e-05,1.283146e-05,1.318715e-05,1.339004e-05,1.360952e-05,1.394642e-05,1.403050e-05,1.444984e-05,1.450004e-05,1.486733e-05,1.505038e-05,1.528275e-05,1.559696e-05,1.569590e-05,1.610661e-05,1.613936e-05,1.651469e-05,1.667716e-05,1.691999e-05,1.721000e-05,1.732236e-05,1.772166e-05,1.773756e-05,1.811775e-05,1.825953e-05,1.851052e-05,1.877565e-05,1.889985e-05,1.928565e-05,1.966782e-05,1.978934e-05,2.004628e-05,2.028650e-05,2.042094e-05,2.077698e-05,2.079173e-05,2.115859e-05,2.126060e-05,2.152146e-05,2.173725e-05,2.188029e-05,2.220680e-05,2.223503e-05,2.258563e-05,2.266916e-05,2.293207e-05,2.312425e-05,2.327431e-05,2.357199e-05,2.361232e-05,2.394609e-05,2.401233e-05,2.427559e-05,2.444524e-05,2.460081e-05,2.487067e-05,2.492173e-05,2.523836e-05,2.528862e-05,2.555069e-05,2.569907e-05,2.585871e-05,2.610203e-05,2.616243e-05,2.646186e-05,2.649751e-05,2.675700e-05,2.688551e-05,2.704787e-05,2.726607e-05,2.733447e-05,2.761682e-05,2.763922e-05,2.789494e-05,2.800500e-05,2.816884e-05,2.836345e-05,2.843855e-05,2.870409e-05,2.871462e-05,2.896548e-05,2.905857e-05,2.922274e-05,2.939535e-05,2.947592e-05,2.972502e-05,3.004766e-05,3.036333e-05,3.067211e-05,3.097406e-05,3.126928e-05,3.155784e-05,3.183982e-05,3.211530e-05,3.238438e-05,3.264713e-05,3.290365e-05,3.315402e-05,3.339833e-05,3.363668e-05,3.386915e-05,3.409584e-05,3.431683e-05,3.453221e-05,3.474209e-05,3.494654e-05,3.514566e-05,3.533954e-05,3.552827e-05,3.571194e-05
0.000000e+00,2.795189e-17,3.141079e-16,1.118371e-14,1.164927e-13,3.375912e-13,3.271518e-12,3.547801e-12,2.096440e-11,3.211278e-11,8.624530e-11,1.779804e-10,2.768476e-10,6.897503e-10,7.422982e-10,1.737121e-09,2.095052e-09,3.655926e-09,5.338112e-09,7.067875e-09,1.191465e-08,1.274669e-08,2.169074e-08,2.397546e-08,3.512720e-08,4.436000e-08,5.449605e-08,7.652891e-08,8.141364e-08,1.176194e-07,1.243942e-07,1.649126e-07,1.920800e-07,2.250861e-07,2.836604e-07,2.998630e-07,3.908409e-07,4.029168e-07,4.994469e-07,5.531411e-07,6.269033e-07,7.369977e-07,7.742040e-07,9.421016e-07,9.564401e-07,1.131102e-06,1.212678e-06,1.341467e-06,1.506184e-06,1.573224e-06,1.826177e-06,1.836731e-06,2.099925e-06,2.203456e-06,2.393879e-06,2.604932e-06,2.707288e-06,3.039256e-06,3.388769e-06,3.504139e-06,3.754714e-06,3.996995e-06,4.135902e-06,4.515029e-06,4.531090e-06,4.938999e-06,5.055317e-06,5.358333e-06,5.614877e-06,5.787793e-06,6.190732e-06,6.226091e-06,6.671966e-06,6.779965e-06,7.124188e-06,7.379761e-06,7.581571e-06,7.987435e-06,8.042980e-06,8.507332e-06,8.600464e-06,8.973603e-06,9.216500e-06,9.440830e-06,9.833378e-06,9.908111e-06,1.037461e-05,1.044912e-05,1.083954e-05,1.106194e-05,1.130220e-05,1.167024e-05,1.176192e-05,1.221810e-05,1.227258e-05,1.267020e-05,1.286770e-05,1.311772e-05,1.345451e-05,1.356023e-05,1.399731e-05,1.403204e-05,1.442863e-05,1.459947e-05,1.485386e-05,1.515610e-05,1.527273e-05,1.568501e-05,1.570136e-05,1.609049e-05,1.623476e-05,1.648899e-05,1.675591e-05,1.688036e-05,1.726450e-05,1.764129e-05,1.776030e-05,1.801067e-05,1.824316e-05,1.837258e-05,1.871295e-05,1.872698e-05,1.907386e-05,1.916964e-05,1.941321e-05,1.961320e-05,1.974503e-05,2.004368e-05,2.006935e-05,2.038621e-05,2.046114e-05,2.069563e-05,2.086569e-05,2.099769e-05,2.125744e-05,2.129243e-05,2.157992e-05,2.163655e-05,2.186023e-05,2.200319e-05,2.213345e-05,2.235753e-05,2.239966e-05,2.265894e-05,2.269979e-05,2.291140e-05,2.303018e-05,2.315712e-05,2.334891e-05,2.339620e-05,2.362874e-05,2.365621e-05,2.385486e-05,2.395233e-05,2.407464e-05,2.423751e-05,2.428820e-05,2.449565e-05,2.451199e-05,2.469709e-05,2.477601e-05,2.489263e-05,2.502983e-05,2.508238e-05,2.526645e-05,2.527369e-05,2.544494e-05,2.550786e-05,2.561797e-05,2.573256e-05,2.578564e-05,2.594806e-05,2.615459e-05,2.635240e-05,2.654173e-05,2.672281e-05,2.689588e-05,2.706117e-05,2.721890e-05,2.736929e-05,2.751256e-05,2.764893e-05,2.777860e-05,2.790178e-05,2.801866e-05,2.812945e-05,2.823432e-05,2.833348e-05,2.842709e-05,2.851534e-05,2.859840e-05,2.867643e-05,2.874961e-05,2.881808e-05,2.888202e-05,2.894155e-05
0.000000e+00,5.828156e-12,1.954395e-11,1.140070e-10,3.627938e-10,6.163863e-10,1.949281e-09,2.032530e-09,5.177488e-09,6.522665e-09,1.127638e-08,1.705204e-08,2.205524e-08,3.791045e-08,3.961529e-08,6.601724e-08,7.386527e-08,1.029399e-07,1.286990e-07,1.516537e-07,2.050554e-07,2.131345e-07,2.881605e-07,3.048491e-07,3.773656e-07,4.295306e-07,4.812626e-07,5.801858e-07,6.002514e-07,7.346198e-07,7.575594e-07,8.845440e-07,9.620561e-07,1.050088e-06,1.193744e-06,1.231209e-06,1.427758e-06,1.452371e-06,1.639496e-06,1.737390e-06,1.866093e-06,2.047999e-06,2.107146e-06,2.362187e-06,2.383179e-06,2.630691e-06,2.741737e-06,2.912093e-06,3.122352e-06,3.205792e-06,3.511162e-06,3.523611e-06,3.827561e-06,3.944040e-06,4.154339e-06,4.382140e-06,4.490838e-06,4.836408e-06,5.190400e-06,5.305352e-06,5.552178e-06,5.787513e-06,5.921118e-06,6.281473e-06,6.296611e-06,6.678067e-06,6.785864e-06,7.064910e-06,7.299372e-06,7.456589e-06,7.820744e-06,7.852568e-06,8.252335e-06,8.348788e-06,8.655398e-06,8.882375e-06,9.061283e-06,9.420438e-06,9.469540e-06,9.879737e-06,9.961973e-06,1.029146e-05,1.050603e-05,1.070433e-05,1.105174e-05,1.111795e-05,1.153199e-05,1.159825e-05,1.194610e-05,1.214481e-05,1.235997e-05,1.269069e-05,1.277329e-05,1.318578e-05,1.323521e-05,1.359717e-05,1.377776e-05,1.400719e-05,1.431776e-05,1.441562e-05,1.482223e-05,1.485467e-05,1.522680e-05,1.538801e-05,1.562914e-05,1.591733e-05,1.602905e-05,1.642636e-05,1.644219e-05,1.682091e-05,1.696224e-05,1.721254e-05,1.747711e-05,1.760111e-05,1.798649e-05,1.836856e-05,1.849010e-05,1.874719e-05,1.898767e-05,1.912229e-05,1.947897e-05,1.949376e-05,1.986151e-05,1.996380e-05,2.022545e-05,2.044196e-05,2.058551e-05,2.091329e-05,2.094163e-05,2.129375e-05,2.137765e-05,2.164180e-05,2.183492e-05,2.198574e-05,2.228497e-05,2.232553e-05,2.266112e-05,2.272774e-05,2.299249e-05,2.316313e-05,2.331961e-05,2.359109e-05,2.364245e-05,2.396100e-05,2.401157e-05,2.427523e-05,2.442453e-05,2.458515e-05,2.482996e-05,2.489073e-05,2.519198e-05,2.522784e-05,2.548889e-05,2.561816e-05,2.578147e-05,2.600094e-05,2.606973e-05,2.635366e-05,2.637619e-05,2.663329e-05,2.674394e-05,2.690862e-05,2.710421e-05,2.717967e-05,2.744646e-05,2.745704e-05,2.770900e-05,2.780249e-05,2.796733e-05,2.814059e-05,2.822146e-05,2.847141e-05,2.879500e-05,2.911144e-05,2.942078e-05,2.972311e-05,3.001849e-05,3.030701e-05,3.058875e-05,3.086379e-05,3.113222e-05,3.139413e-05,3.164961e-05,3.189874e-05,3.214163e-05,3.237835e-05,3.260902e-05,3.283372e-05,3.305254e-05,3.326559e-05,3.347296e-05,3.367475e-05,3.387105e-05,3.406195e-05,3.424756e-05,3.442797e-05
0.000000e+00,1.094187e-13,7.911818e-13,1.226366e-11,6.552345e-11,1.360477e-10,6.126646e-10,6.457061e-10,2.009499e-09,2.629670e-09,4.888481e-09,7.692287e-09,1.014267e-08,1.799018e-08,1.884166e-08,3.225534e-08,3.633073e-08,5.178451e-08,6.591793e-08,7.882901e-08,1.098625e-07,1.146651e-07,1.603925e-07,1.708091e-07,2.169351e-07,2.508712e-07,2.850576e-07,3.516860e-07,3.653784e-07,4.583762e-07,4.744571e-07,5.643947e-07,6.199756e-07,6.836458e-07,7.886364e-07,8.162161e-07,9.620737e-07,9.804640e-07,1.121078e-06,1.195148e-06,1.292993e-06,1.432086e-06,1.477495e-06,1.674190e-06,1.690439e-06,1.882624e-06,1.969173e-06,2.102295e-06,2.267115e-06,2.332665e-06,2.573171e-06,2.582994e-06,2.823229e-06,2.915475e-06,3.082249e-06,3.263198e-06,3.349635e-06,3.624795e-06,3.907143e-06,3.998918e-06,4.196103e-06,4.384248e-06,4.491114e-06,4.779510e-06,4.791629e-06,5.097120e-06,5.183479e-06,5.407076e-06,5.594987e-06,5.721006e-06,6.012926e-06,6.038439e-06,6.358926e-06,6.436248e-06,6.682034e-06,6.863967e-06,7.007355e-06,7.295157e-06,7.334498e-06,7.663092e-06,7.728954e-06,7.992785e-06,8.164548e-06,8.323243e-06,8.601189e-06,8.654152e-06,8.985212e-06,9.038177e-06,9.316144e-06,9.474866e-06,9.646680e-06,9.910657e-06,9.976573e-06,1.030559e-05,1.034500e-05,1.063350e-05,1.077738e-05,1.096011e-05,1.120734e-05,1.128521e-05,1.160864e-05,1.163444e-05,1.193022e-05,1.205830e-05,1.224979e-05,1.247855e-05,1.256720e-05,1.288233e-05,1.289488e-05,1.319504e-05,1.330700e-05,1.350521e-05,1.371463e-05,1.381274e-05,1.411754e-05,1.441950e-05,1.451551e-05,1.471854e-05,1.490837e-05,1.501460e-05,1.529593e-05,1.530759e-05,1.559746e-05,1.567806e-05,1.588415e-05,1.605462e-05,1.616762e-05,1.642551e-05,1.644780e-05,1.672468e-05,1.679063e-05,1.699820e-05,1.714990e-05,1.726835e-05,1.750326e-05,1.753509e-05,1.779841e-05,1.785066e-05,1.805829e-05,1.819206e-05,1.831471e-05,1.852743e-05,1.856767e-05,1.881716e-05,1.885675e-05,1.906317e-05,1.918002e-05,1.930571e-05,1.949724e-05,1.954478e-05,1.978038e-05,1.980842e-05,2.001253e-05,2.011358e-05,2.024122e-05,2.041273e-05,2.046648e-05,2.068832e-05,2.070592e-05,2.090675e-05,2.099317e-05,2.112178e-05,2.127453e-05,2.133345e-05,2.154177e-05,2.155004e-05,2.174677e-05,2.181976e-05,2.194846e-05,2.208373e-05,2.214687e-05,2.234203e-05,2.259470e-05,2.284182e-05,2.308344e-05,2.331965e-05,2.355050e-05,2.377608e-05,2.399645e-05,2.421169e-05,2.442189e-05,2.462711e-05,2.482743e-05,2.502294e-05,2.521371e-05,2.539982e-05,2.558135e-05,2.575839e-05,2.593100e-05,2.609928e-05,2.626329e-05,2.642312e-05,2.657885e-05,2.673055e-05,2.687830e-05,2.702218e-05
0.000000e+00,7.919748e-15,6.378366e-14,1.189212e-12,7.227051e-12,1.589246e-11,8.022953e-11,8.487652e-11,2.850022e-10,3.790080e-10,7.286838e-10,1.171279e-09,1.562246e-09,2.827534e-09,2.965591e-09,5.152618e-09,5.820860e-09,8.369412e-09,1.072050e-08,1.288513e-08,1.815059e-08,1.897278e-08,2.688575e-08,2.870722e-08,3.684103e-08,4.288460e-08,4.901350e-08,6.105160e-08,6.353809e-08,8.051423e-08,8.346289e-08,1.000102e-07,1.102761e-07,1.220661e-07,1.415647e-07,1.466967e-07,1.738928e-07,1.773275e-07,2.036237e-07,2.174960e-07,2.358391e-07,2.619433e-07,2.704712e-07,3.074370e-07,3.104923e-07,3.466409e-07,3.629257e-07,3.879769e-07,4.189952e-07,4.313309e-07,4.765832e-07,4.784310e-07,5.236102e-07,5.409503e-07,5.722866e-07,6.062645e-07,6.224866e-07,6.740856e-07,7.269613e-07,7.441315e-07,7.809943e-07,8.161295e-07,8.360696e-07,8.898193e-07,8.920761e-07,9.489082e-07,9.649552e-07,1.006465e-06,1.041307e-06,1.064651e-06,1.118660e-06,1.123376e-06,1.182555e-06,1.196817e-06,1.242109e-06,1.275595e-06,1.301964e-06,1.354829e-06,1.362049e-06,1.422300e-06,1.434365e-06,1.482658e-06,1.514067e-06,1.543066e-06,1.593809e-06,1.603472e-06,1.663829e-06,1.673478e-06,1.724092e-06,1.752973e-06,1.784221e-06,1.832203e-06,1.844179e-06,1.903929e-06,1.911084e-06,1.963442e-06,1.989544e-06,2.022687e-06,2.067518e-06,2.081638e-06,2.140271e-06,2.144947e-06,2.198563e-06,2.221779e-06,2.256493e-06,2.297969e-06,2.314044e-06,2.371199e-06,2.373477e-06,2.427942e-06,2.448267e-06,2.484260e-06,2.522307e-06,2.540140e-06,2.595571e-06,2.650544e-06,2.668036e-06,2.705048e-06,2.739682e-06,2.759077e-06,2.810491e-06,2.812624e-06,2.865682e-06,2.880450e-06,2.918246e-06,2.949546e-06,2.970312e-06,3.017770e-06,3.021877e-06,3.072936e-06,3.085115e-06,3.123487e-06,3.151574e-06,3.173529e-06,3.217144e-06,3.223060e-06,3.272079e-06,3.281821e-06,3.320585e-06,3.345606e-06,3.368579e-06,3.408498e-06,3.416060e-06,3.463030e-06,3.470498e-06,3.509488e-06,3.531608e-06,3.555437e-06,3.591831e-06,3.600878e-06,3.645813e-06,3.651171e-06,3.690244e-06,3.709634e-06,3.734172e-06,3.767224e-06,3.777601e-06,3.820533e-06,3.823946e-06,3.862971e-06,3.879809e-06,3.904918e-06,3.934818e-06,3.946377e-06,3.987352e-06,3.988981e-06,4.027845e-06,4.042305e-06,4.067860e-06,4.094800e-06,4.107401e-06,4.146472e-06,4.197331e-06,4.247386e-06,4.296646e-06,4.345120e-06,4.392818e-06,4.439748e-06,4.485921e-06,4.531347e-06,4.576035e-06,4.619995e-06,4.663238e-06,4.705772e-06,4.747608e-06,4.788756e-06,4.829225e-06,4.869027e-06,4.908169e-06,4.946663e-06,4.984518e-06,5.021743e-06,5.058349e-06,5.094345e-06,5.129740e-06,5.164544e-06
0.000000e+00,1.208788e-17,1.372355e-16,4.992286e-15,5.303935e-14,1.553933e-13,1.549211e-12,1.681989e-12,1.022368e-11,1.578076e-11,4.320234e-11,9.053475e-11,1.422303e-10,3.621705e-10,3.904751e-10,9.340242e-10,1.132121e-09,2.005770e-09,2.959755e-09,3.950112e-09,6.760153e-09,7.246609e-09,1.253038e-08,1.389337e-08,2.060666e-08,2.622874e-08,3.245679e-08,4.616582e-08,4.923331e-08,7.224345e-08,7.659792e-08,1.029218e-07,1.208168e-07,1.427942e-07,1.823703e-07,1.934365e-07,2.564304e-07,2.648937e-07,3.333207e-07,3.719369e-07,4.255761e-07,5.068065e-07,5.345540e-07,6.614731e-07,6.724345e-07,8.073908e-07,8.712811e-07,9.731888e-07,1.105272e-06,1.159564e-06,1.367024e-06,1.375767e-06,1.595893e-06,1.683559e-06,1.846312e-06,2.028897e-06,2.118250e-06,2.411520e-06,2.725785e-06,2.830711e-06,3.060579e-06,3.285356e-06,3.415319e-06,3.774001e-06,3.789321e-06,4.181818e-06,4.294918e-06,4.591969e-06,4.846164e-06,5.018880e-06,5.425633e-06,5.461610e-06,5.919190e-06,6.031108e-06,6.390625e-06,6.660308e-06,6.874914e-06,7.310920e-06,7.371049e-06,7.878028e-06,7.980637e-06,8.394859e-06,8.667180e-06,8.920568e-06,9.368326e-06,9.454201e-06,9.994827e-06,1.008192e-05,1.054154e-05,1.080587e-05,1.109348e-05,1.153822e-05,1.164979e-05,1.220967e-05,1.227706e-05,1.277234e-05,1.302061e-05,1.333706e-05,1.376719e-05,1.390313e-05,1.446988e-05,1.451523e-05,1.503665e-05,1.526324e-05,1.560286e-05,1.600986e-05,1.616793e-05,1.673132e-05,1.675381e-05,1.729252e-05,1.749392e-05,1.785105e-05,1.822911e-05,1.840648e-05,1.895837e-05,1.950634e-05,1.968080e-05,2.005002e-05,2.039557e-05,2.058908e-05,2.110194e-05,2.112321e-05,2.165210e-05,2.179921e-05,2.217550e-05,2.248679e-05,2.269315e-05,2.316413e-05,2.320484e-05,2.371036e-05,2.383074e-05,2.420952e-05,2.448621e-05,2.470216e-05,2.513016e-05,2.518811e-05,2.566726e-05,2.576226e-05,2.613948e-05,2.638226e-05,2.660466e-05,2.698991e-05,2.706271e-05,2.751357e-05,2.758503e-05,2.795715e-05,2.816748e-05,2.839342e-05,2.873714e-05,2.882233e-05,2.924384e-05,2.929392e-05,2.965794e-05,2.983779e-05,3.006461e-05,3.036871e-05,3.046385e-05,3.085567e-05,3.088670e-05,3.124008e-05,3.139178e-05,3.161710e-05,3.188400e-05,3.198676e-05,3.234909e-05,3.236343e-05,3.270413e-05,3.283017e-05,3.305193e-05,3.328431e-05,3.339253e-05,3.372599e-05,3.415533e-05,3.457248e-05,3.497760e-05,3.537087e-05,3.575245e-05,3.612253e-05,3.648131e-05,3.682898e-05,3.716575e-05,3.749182e-05,3.780741e-05,3.811273e-05,3.840799e-05,3.869341e-05,3.896922e-05,3.923562e-05,3.949285e-05,3.974112e-05,3.998065e-05,4.021166e-05,4.043436e-05,4.064896e-05,4.085569e-05,4.105475e-05
0.000000e+00,6.504347e-15,6.020535e-14,1.454055e-12,1.081587e-11,2.624192e-11,1.646772e-10,1.755887e-10,6.997298e-10,9.690857e-10,2.044631e-09,3.514857e-09,4.882526e-09,9.607422e-09,1.014447e-08,1.905627e-08,2.190219e-08,3.314580e-08,4.394554e-08,5.416258e-08,7.980865e-08,8.389208e-08,1.239478e-07,1.333197e-07,1.756466e-07,2.074753e-07,2.399900e-07,3.043493e-07,3.177057e-07,4.093015e-07,4.252692e-07,5.151065e-07,5.709972e-07,6.352976e-07,7.418404e-07,7.699159e-07,9.188769e-07,9.377076e-07,1.081979e-06,1.158148e-06,1.258914e-06,1.402390e-06,1.449276e-06,1.652576e-06,1.669382e-06,1.868250e-06,1.957847e-06,2.095676e-06,2.266327e-06,2.334186e-06,2.583077e-06,2.593238e-06,2.841623e-06,2.936920e-06,3.109085e-06,3.295673e-06,3.384722e-06,3.667797e-06,3.957586e-06,4.051619e-06,4.253378e-06,4.445517e-06,4.554487e-06,4.847938e-06,4.860250e-06,5.170032e-06,5.257408e-06,5.483228e-06,5.672544e-06,5.799263e-06,6.092052e-06,6.117590e-06,6.437696e-06,6.514732e-06,6.759097e-06,6.939477e-06,7.081340e-06,7.365273e-06,7.404001e-06,7.726684e-06,7.791191e-06,8.049022e-06,8.216387e-06,8.370673e-06,8.640097e-06,8.691321e-06,9.010673e-06,9.061630e-06,9.328459e-06,9.480366e-06,9.644431e-06,9.895748e-06,9.958361e-06,1.027004e-05,1.030728e-05,1.057928e-05,1.071453e-05,1.088590e-05,1.111709e-05,1.118976e-05,1.149070e-05,1.151464e-05,1.178859e-05,1.190687e-05,1.208333e-05,1.229353e-05,1.237481e-05,1.266294e-05,1.267439e-05,1.294763e-05,1.304927e-05,1.322882e-05,1.341800e-05,1.350645e-05,1.378046e-05,1.405082e-05,1.413655e-05,1.431748e-05,1.448618e-05,1.458041e-05,1.482929e-05,1.483959e-05,1.509500e-05,1.516584e-05,1.534664e-05,1.549580e-05,1.559449e-05,1.581917e-05,1.583856e-05,1.607884e-05,1.613595e-05,1.631535e-05,1.644615e-05,1.654809e-05,1.674980e-05,1.677708e-05,1.700234e-05,1.704694e-05,1.722388e-05,1.733762e-05,1.744173e-05,1.762189e-05,1.765591e-05,1.786646e-05,1.789981e-05,1.807339e-05,1.817145e-05,1.827675e-05,1.843688e-05,1.847656e-05,1.867286e-05,1.869619e-05,1.886569e-05,1.894944e-05,1.905508e-05,1.919674e-05,1.924106e-05,1.942369e-05,1.943815e-05,1.960299e-05,1.967379e-05,1.977901e-05,1.990373e-05,1.995179e-05,2.012137e-05,2.012808e-05,2.028779e-05,2.034693e-05,2.045109e-05,2.056038e-05,2.061132e-05,2.076852e-05,2.097146e-05,2.116929e-05,2.136211e-05,2.155002e-05,2.173311e-05,2.191150e-05,2.208526e-05,2.225450e-05,2.241932e-05,2.257980e-05,2.273604e-05,2.288814e-05,2.303618e-05,2.318026e-05,2.332046e-05,2.345687e-05,2.358958e-05,2.371866e-05,2.384422e-05,2.396631e-05,2.408503e-05,2.420046e-05,2.431267e-05,2.442173e-05
0.000000e+00,2.872118e-18,3.293438e-17,1.223393e-15,1.325403e-14,3.925999e-14,4.031269e-13,4.382216e-13,2.749178e-12,4.282232e-12,1.200791e-11,2.569228e-11,4.094440e-11,1.079090e-10,1.167028e-10,2.905373e-10,3.556686e-10,6.506689e-10,9.834997e-10,1.337702e-09,2.376843e-09,2.560728e-09,4.611151e-09,5.152520e-09,7.871189e-09,1.019832e-08,1.281496e-08,1.867568e-08,2.000146e-08,3.006030e-08,3.198121e-08,4.367188e-08,5.167486e-08,6.154423e-08,7.938840e-08,8.438871e-08,1.128962e-07,1.167291e-07,1.477160e-07,1.651907e-07,1.894369e-07,2.260799e-07,2.385734e-07,2.955542e-07,3.004623e-07,3.607158e-07,3.891282e-07,4.342990e-07,4.925786e-07,5.164486e-07,6.072161e-07,6.110258e-07,7.065642e-07,7.444095e-07,8.143734e-07,8.924203e-07,9.304494e-07,1.054532e-06,1.186304e-06,1.230036e-06,1.325400e-06,1.418079e-06,1.471415e-06,1.617698e-06,1.623917e-06,1.782447e-06,1.827852e-06,1.946536e-06,2.047459e-06,2.115706e-06,2.275415e-06,2.289475e-06,2.467369e-06,2.510625e-06,2.648919e-06,2.752013e-06,2.833669e-06,2.998547e-06,3.021179e-06,3.211027e-06,3.249241e-06,3.402807e-06,3.503169e-06,3.596138e-06,3.759470e-06,3.790658e-06,3.986028e-06,4.017345e-06,4.181930e-06,4.276065e-06,4.378069e-06,4.534966e-06,4.574171e-06,4.769984e-06,4.793451e-06,4.965273e-06,5.050980e-06,5.159827e-06,5.307074e-06,5.353448e-06,5.545961e-06,5.561309e-06,5.737202e-06,5.813309e-06,5.927026e-06,6.062747e-06,6.115301e-06,6.301908e-06,6.309336e-06,6.486742e-06,6.552830e-06,6.669709e-06,6.793016e-06,6.850724e-06,7.029714e-06,7.206613e-06,7.262770e-06,7.381367e-06,7.492060e-06,7.553925e-06,7.717477e-06,7.724247e-06,7.892296e-06,7.938939e-06,8.058044e-06,8.156378e-06,8.221466e-06,8.369745e-06,8.382544e-06,8.541263e-06,8.579004e-06,8.697613e-06,8.784132e-06,8.851587e-06,8.985117e-06,9.003182e-06,9.152398e-06,9.181956e-06,9.299238e-06,9.374657e-06,9.443707e-06,9.563234e-06,9.585812e-06,9.725564e-06,9.747707e-06,9.862974e-06,9.928103e-06,9.998056e-06,1.010445e-05,1.013082e-05,1.026130e-05,1.027680e-05,1.038949e-05,1.044517e-05,1.051542e-05,1.060963e-05,1.063911e-05,1.076058e-05,1.077020e-05,1.087985e-05,1.092695e-05,1.099695e-05,1.107993e-05,1.111190e-05,1.122471e-05,1.122918e-05,1.133542e-05,1.137477e-05,1.144405e-05,1.151674e-05,1.155062e-05,1.165517e-05,1.179010e-05,1.192159e-05,1.204971e-05,1.217452e-05,1.229607e-05,1.241442e-05,1.252964e-05,1.264179e-05,1.275092e-05,1.285709e-05,1.296037e-05,1.306082e-05,1.315848e-05,1.325342e-05,1.334570e-05,1.343537e-05,1.352250e-05,1.360712e-05,1.368931e-05,1.376911e-05,1.384657e-05,1.392175e-05,1.399470e-05,1.406548e-05
0.000000e+00,8.687192e-14,6.090244e-13,8.969824e-12,4.632480e-11,9.479333e-11,4.153791e-10,4.374121e-10,1.340827e-09,1.750325e-09,3.242901e-09,5.103184e-09,6.737391e-09,1.202095e-08,1.259828e-08,2.177041e-08,2.457869e-08,3.527848e-08,4.509834e-08,5.407324e-08,7.559785e-08,7.891913e-08,1.103764e-07,1.174981e-07,1.488357e-07,1.716926e-07,1.945576e-07,2.386944e-07,2.476996e-07,3.083330e-07,3.187303e-07,3.764537e-07,4.117926e-07,4.519907e-07,5.176743e-07,5.348138e-07,6.247412e-07,6.359996e-07,7.215474e-07,7.662549e-07,8.249705e-07,9.078199e-07,9.347205e-07,1.050486e-06,1.059997e-06,1.171940e-06,1.222039e-06,1.298747e-06,1.393172e-06,1.430567e-06,1.567059e-06,1.572611e-06,1.707887e-06,1.759582e-06,1.852719e-06,1.953327e-06,2.001233e-06,2.153114e-06,2.308060e-06,2.358242e-06,2.465779e-06,2.568045e-06,2.625993e-06,2.781897e-06,2.788434e-06,2.952849e-06,2.999206e-06,3.118997e-06,3.219421e-06,3.286647e-06,3.442026e-06,3.455583e-06,3.625600e-06,3.666543e-06,3.796504e-06,3.892529e-06,3.968111e-06,4.119571e-06,4.140250e-06,4.312758e-06,4.347290e-06,4.485483e-06,4.575337e-06,4.658281e-06,4.803389e-06,4.831018e-06,5.003568e-06,5.031151e-06,5.175814e-06,5.258351e-06,5.347645e-06,5.484741e-06,5.518958e-06,5.689657e-06,5.710095e-06,5.859653e-06,5.934206e-06,6.028861e-06,6.156886e-06,6.197206e-06,6.364614e-06,6.377964e-06,6.531019e-06,6.597286e-06,6.696360e-06,6.814713e-06,6.860578e-06,7.023622e-06,7.030119e-06,7.185444e-06,7.243392e-06,7.345998e-06,7.454430e-06,7.505245e-06,7.663146e-06,7.819668e-06,7.869459e-06,7.974781e-06,8.073300e-06,8.128456e-06,8.274609e-06,8.280669e-06,8.431397e-06,8.473332e-06,8.580620e-06,8.669424e-06,8.728321e-06,8.862848e-06,8.874485e-06,9.019097e-06,9.053572e-06,9.162148e-06,9.241570e-06,9.303626e-06,9.426821e-06,9.443525e-06,9.581839e-06,9.609311e-06,9.718561e-06,9.789027e-06,9.853690e-06,9.965965e-06,9.987223e-06,1.011916e-05,1.014012e-05,1.024950e-05,1.031150e-05,1.037825e-05,1.048010e-05,1.050540e-05,1.063097e-05,1.064593e-05,1.075495e-05,1.080900e-05,1.087735e-05,1.096932e-05,1.099818e-05,1.111744e-05,1.112692e-05,1.123515e-05,1.128180e-05,1.135130e-05,1.143398e-05,1.146592e-05,1.157899e-05,1.158349e-05,1.169055e-05,1.173034e-05,1.180059e-05,1.187456e-05,1.190913e-05,1.201618e-05,1.215522e-05,1.229170e-05,1.242566e-05,1.255713e-05,1.268612e-05,1.281268e-05,1.293683e-05,1.305860e-05,1.317803e-05,1.329514e-05,1.340997e-05,1.352255e-05,1.363291e-05,1.374108e-05,1.384710e-05,1.395099e-05,1.405279e-05,1.415254e-05,1.425026e-05,1.434598e-05,1.443973e-05,1.453156e-05,1.462148e-05,1.470954e-05
0.000000e+00,1.257246e-12,5.411812e-12,4.122898e-11,1.481933e-10,2.629385e-10,8.903629e-10,9.300669e-10,2.434628e-09,3.075542e-09,5.317254e-09,7.996613e-09,1.028766e-08,1.743856e-08,1.820136e-08,2.995742e-08,3.344534e-08,4.638887e-08,5.790938e-08,6.822769e-08,9.243166e-08,9.611743e-08,1.306287e-07,1.383710e-07,1.722657e-07,1.968813e-07,2.214668e-07,2.689140e-07,2.786020e-07,3.439708e-07,3.552102e-07,4.178016e-07,4.562951e-07,5.002522e-07,5.724815e-07,5.914125e-07,6.913084e-07,7.038820e-07,7.999077e-07,8.504285e-07,9.171254e-07,1.011896e-06,1.042831e-06,1.176853e-06,1.187928e-06,1.318988e-06,1.378062e-06,1.469004e-06,1.581754e-06,1.626648e-06,1.791650e-06,1.798399e-06,1.963724e-06,2.027345e-06,2.142577e-06,2.267917e-06,2.327911e-06,2.519422e-06,2.716806e-06,2.781160e-06,2.919759e-06,3.052433e-06,3.127981e-06,3.332551e-06,3.341170e-06,3.559035e-06,3.620835e-06,3.781285e-06,3.916623e-06,4.007638e-06,4.219269e-06,4.237817e-06,4.471553e-06,4.528150e-06,4.708583e-06,4.842664e-06,4.948654e-06,5.162237e-06,5.191520e-06,5.436944e-06,5.486315e-06,5.684694e-06,5.814369e-06,5.934547e-06,6.145893e-06,6.186290e-06,6.439713e-06,6.480403e-06,6.694616e-06,6.817438e-06,6.950807e-06,7.156561e-06,7.208098e-06,7.466313e-06,7.497352e-06,7.725278e-06,7.839417e-06,7.984828e-06,8.182380e-06,8.244805e-06,8.505056e-06,8.525884e-06,8.765437e-06,8.869593e-06,9.025806e-06,9.213190e-06,9.286031e-06,9.545983e-06,9.556373e-06,9.805540e-06,9.898862e-06,1.006459e-05,1.024039e-05,1.032301e-05,1.058070e-05,1.083757e-05,1.091957e-05,1.109351e-05,1.125678e-05,1.134842e-05,1.159211e-05,1.160224e-05,1.185487e-05,1.192538e-05,1.210623e-05,1.225640e-05,1.235625e-05,1.258502e-05,1.260486e-05,1.285199e-05,1.291108e-05,1.309759e-05,1.323442e-05,1.334158e-05,1.355493e-05,1.358392e-05,1.382456e-05,1.387248e-05,1.406344e-05,1.418695e-05,1.430052e-05,1.449825e-05,1.453576e-05,1.476911e-05,1.480627e-05,1.500054e-05,1.511094e-05,1.523002e-05,1.541217e-05,1.545751e-05,1.568298e-05,1.570990e-05,1.590641e-05,1.600406e-05,1.612777e-05,1.629460e-05,1.634703e-05,1.656419e-05,1.658147e-05,1.677921e-05,1.686462e-05,1.699209e-05,1.714402e-05,1.720281e-05,1.741135e-05,1.741964e-05,1.761770e-05,1.769145e-05,1.782186e-05,1.795943e-05,1.802381e-05,1.822356e-05,1.848383e-05,1.874023e-05,1.899275e-05,1.924141e-05,1.948619e-05,1.972711e-05,1.996418e-05,2.019740e-05,2.042680e-05,2.065238e-05,2.087417e-05,2.109219e-05,2.130647e-05,2.151703e-05,2.172389e-05,2.192709e-05,2.212666e-05,2.232262e-05,2.251502e-05,2.270388e-05,2.288924e-05,2.307115e-05,2.324962e-05,2.342471e-05
0.000000e+00,6.066127e-18,7.019968e-17,2.657875e-15,2.930166e-14,8.762620e-14,9.218583e-13,1.003086e-12,6.439893e-12,1.009168e-11,2.871229e-11,6.211009e-11,9.964644e-11,2.661839e-10,2.881770e-10,7.256650e-10,8.903914e-10,1.639257e-09,2.487420e-09,3.392431e-09,6.057262e-09,6.530077e-09,1.182350e-08,1.322710e-08,2.030980e-08,2.641419e-08,3.332010e-08,4.893459e-08,5.249287e-08,7.977018e-08,8.503163e-08,1.173769e-07,1.398146e-07,1.677845e-07,2.191158e-07,2.336622e-07,3.178173e-07,3.292806e-07,4.231309e-07,4.769173e-07,5.524899e-07,6.686267e-07,7.087194e-07,8.945181e-07,9.107362e-07,1.112399e-06,1.209053e-06,1.364638e-06,1.568655e-06,1.653226e-06,1.979841e-06,1.993716e-06,2.345812e-06,2.487395e-06,2.752112e-06,3.051755e-06,3.199344e-06,3.687745e-06,4.217192e-06,4.395217e-06,4.787218e-06,5.172977e-06,5.397031e-06,6.018874e-06,6.045541e-06,6.731386e-06,6.929900e-06,7.452964e-06,7.902318e-06,8.208465e-06,8.931781e-06,8.995902e-06,9.813144e-06,1.001347e-05,1.065795e-05,1.114222e-05,1.152799e-05,1.231262e-05,1.242089e-05,1.333424e-05,1.351916e-05,1.426564e-05,1.475629e-05,1.521267e-05,1.601855e-05,1.617300e-05,1.714431e-05,1.730059e-05,1.812436e-05,1.859724e-05,1.911098e-05,1.990361e-05,2.010210e-05,2.109574e-05,2.121506e-05,2.209001e-05,2.252722e-05,2.308313e-05,2.383609e-05,2.407342e-05,2.505931e-05,2.513795e-05,2.603934e-05,2.642940e-05,2.701215e-05,2.770739e-05,2.797648e-05,2.893117e-05,2.896914e-05,2.987517e-05,3.021220e-05,3.080751e-05,3.143439e-05,3.172732e-05,3.263380e-05,3.352625e-05,3.380876e-05,3.440404e-05,3.495787e-05,3.526661e-05,3.607991e-05,3.611347e-05,3.694421e-05,3.717388e-05,3.775846e-05,3.823896e-05,3.855591e-05,3.927451e-05,3.933631e-05,4.009945e-05,4.028002e-05,4.084518e-05,4.125514e-05,4.157338e-05,4.219964e-05,4.228398e-05,4.297692e-05,4.311339e-05,4.365221e-05,4.399638e-05,4.430986e-05,4.484869e-05,4.494992e-05,4.557247e-05,4.567046e-05,4.617760e-05,4.646192e-05,4.676544e-05,4.722335e-05,4.733612e-05,4.788980e-05,4.795510e-05,4.842664e-05,4.865756e-05,4.894683e-05,4.933116e-05,4.945057e-05,4.993807e-05,4.997637e-05,5.040954e-05,5.059369e-05,5.086521e-05,5.118363e-05,5.130531e-05,5.173008e-05,5.174676e-05,5.213978e-05,5.228363e-05,5.253465e-05,5.279482e-05,5.291495e-05,5.328093e-05,5.374255e-05,5.418029e-05,5.459476e-05,5.498656e-05,5.535633e-05,5.570465e-05,5.603215e-05,5.633943e-05,5.662707e-05,5.689569e-05,5.714586e-05,5.737815e-05,5.759315e-05,5.779141e-05,5.797348e-05,5.813991e-05,5.829122e-05,5.842795e-05,5.855059e-05,5.865965e-05,5.875562e-05,5.883897e-05,5.891019e-05,5.896971e-05
0.000000e+00,1.847597e-18,2.133529e-17,8.057635e-16,8.862625e-15,2.647025e-14,2.775521e-13,3.019660e-13,1.931903e-12,3.024428e-12,8.583025e-12,1.852672e-11,2.968018e-11,7.901464e-11,8.551746e-11,2.145272e-10,2.629829e-10,4.827569e-10,7.309856e-10,9.953146e-10,1.771573e-09,1.909068e-09,3.445270e-09,3.851871e-09,5.900362e-09,7.662528e-09,9.653163e-09,1.414502e-08,1.516713e-08,2.298711e-08,2.449266e-08,3.373066e-08,4.012292e-08,4.807459e-08,6.262428e-08,6.673795e-08,9.046262e-08,9.368515e-08,1.199928e-07,1.350136e-07,1.560549e-07,1.882565e-07,1.993380e-07,2.504766e-07,2.549246e-07,3.100362e-07,3.363293e-07,3.785009e-07,4.335345e-07,4.562648e-07,5.436262e-07,5.473235e-07,6.407850e-07,6.781829e-07,7.478419e-07,8.263006e-07,8.648015e-07,9.915762e-07,1.127992e-06,1.173643e-06,1.273798e-06,1.371895e-06,1.428671e-06,1.585525e-06,1.592228e-06,1.764034e-06,1.813554e-06,1.943611e-06,2.054876e-06,2.130448e-06,2.308290e-06,2.324009e-06,2.523743e-06,2.572535e-06,2.729086e-06,2.846320e-06,2.939478e-06,3.128352e-06,3.154356e-06,3.373170e-06,3.417358e-06,3.595383e-06,3.712103e-06,3.820473e-06,4.011406e-06,4.047941e-06,4.277307e-06,4.314151e-06,4.508116e-06,4.619290e-06,4.739940e-06,4.925857e-06,4.972374e-06,5.205040e-06,5.232959e-06,5.437587e-06,5.539785e-06,5.669689e-06,5.845602e-06,5.901044e-06,6.131375e-06,6.149750e-06,6.360430e-06,6.451642e-06,6.587977e-06,6.750758e-06,6.813805e-06,7.037725e-06,7.046640e-06,7.259565e-06,7.338889e-06,7.479172e-06,7.627158e-06,7.696408e-06,7.911151e-06,8.123294e-06,8.190615e-06,8.332742e-06,8.465336e-06,8.539413e-06,8.735138e-06,8.743235e-06,8.944148e-06,8.999874e-06,9.142099e-06,9.259431e-06,9.337047e-06,9.513715e-06,9.528955e-06,9.717797e-06,9.762660e-06,9.903550e-06,1.000622e-05,1.008620e-05,1.024436e-05,1.026574e-05,1.044215e-05,1.047706e-05,1.061545e-05,1.070434e-05,1.078564e-05,1.092619e-05,1.095271e-05,1.111669e-05,1.114264e-05,1.127758e-05,1.135372e-05,1.143541e-05,1.155948e-05,1.159019e-05,1.174194e-05,1.175995e-05,1.189069e-05,1.195519e-05,1.203646e-05,1.214527e-05,1.217927e-05,1.231917e-05,1.233023e-05,1.245616e-05,1.251016e-05,1.259029e-05,1.268511e-05,1.272159e-05,1.285008e-05,1.285516e-05,1.297581e-05,1.302040e-05,1.309880e-05,1.318089e-05,1.321909e-05,1.333671e-05,1.348795e-05,1.363468e-05,1.377699e-05,1.391497e-05,1.404869e-05,1.417824e-05,1.430370e-05,1.442515e-05,1.454269e-05,1.465639e-05,1.476633e-05,1.487259e-05,1.497526e-05,1.507442e-05,1.517015e-05,1.526251e-05,1.535160e-05,1.543749e-05,1.552025e-05,1.559997e-05,1.567670e-05,1.575053e-05,1.582152e-05,1.588975e-05
0.000000e+00,9.644656e-13,5.588268e-12,6.181856e-11,2.696474e-10,5.161331e-10,2.018776e-09,2.119080e-09,6.168218e-09,7.998873e-09,1.473829e-08,2.331074e-08,3.098457e-08,5.645696e-08,5.928465e-08,1.047899e-07,1.188288e-07,1.723069e-07,2.211052e-07,2.653597e-07,3.700949e-07,3.860881e-07,5.356221e-07,5.690367e-07,7.144491e-07,8.190527e-07,9.226425e-07,1.120068e-06,1.159986e-06,1.426042e-06,1.471237e-06,1.720196e-06,1.871151e-06,2.041684e-06,2.317964e-06,2.389621e-06,2.763026e-06,2.809497e-06,3.160841e-06,3.343326e-06,3.581950e-06,3.916862e-06,4.025198e-06,4.489409e-06,4.527416e-06,4.973392e-06,5.172254e-06,5.475956e-06,5.848644e-06,5.995920e-06,6.532117e-06,6.553886e-06,7.083401e-06,7.285340e-06,7.648652e-06,8.040442e-06,8.226777e-06,8.816716e-06,9.417440e-06,9.611786e-06,1.002795e-05,1.042338e-05,1.064730e-05,1.124932e-05,1.127455e-05,1.190882e-05,1.208756e-05,1.254926e-05,1.293613e-05,1.319503e-05,1.379319e-05,1.384537e-05,1.449951e-05,1.465699e-05,1.515675e-05,1.552589e-05,1.581638e-05,1.639833e-05,1.647777e-05,1.714028e-05,1.727286e-05,1.780332e-05,1.814813e-05,1.846633e-05,1.902285e-05,1.912878e-05,1.979015e-05,1.989584e-05,2.044996e-05,2.076599e-05,2.110776e-05,2.163227e-05,2.176312e-05,2.241563e-05,2.249372e-05,2.306490e-05,2.334946e-05,2.371057e-05,2.419867e-05,2.435231e-05,2.498980e-05,2.504060e-05,2.562273e-05,2.587456e-05,2.625082e-05,2.669990e-05,2.687382e-05,2.749147e-05,2.751606e-05,2.810356e-05,2.832251e-05,2.870987e-05,2.911876e-05,2.931020e-05,2.990439e-05,3.049225e-05,3.067901e-05,3.107364e-05,3.144227e-05,3.164842e-05,3.219387e-05,3.221646e-05,3.277766e-05,3.293355e-05,3.333189e-05,3.366106e-05,3.387909e-05,3.437621e-05,3.441915e-05,3.495201e-05,3.507882e-05,3.547761e-05,3.576876e-05,3.599590e-05,3.644591e-05,3.650683e-05,3.701036e-05,3.711018e-05,3.750647e-05,3.776150e-05,3.799513e-05,3.839983e-05,3.847632e-05,3.895005e-05,3.902516e-05,3.941632e-05,3.963747e-05,3.987511e-05,4.023678e-05,4.032645e-05,4.077035e-05,4.082312e-05,4.120683e-05,4.139653e-05,4.163591e-05,4.195709e-05,4.205763e-05,4.247202e-05,4.250485e-05,4.287911e-05,4.303991e-05,4.327895e-05,4.356236e-05,4.367158e-05,4.405704e-05,4.407232e-05,4.443540e-05,4.456988e-05,4.480671e-05,4.505519e-05,4.517101e-05,4.552837e-05,4.598956e-05,4.643891e-05,4.687657e-05,4.730270e-05,4.771745e-05,4.812100e-05,4.851350e-05,4.889514e-05,4.926608e-05,4.962651e-05,4.997659e-05,5.031651e-05,5.064646e-05,5.096660e-05,5.127712e-05,5.157821e-05,5.187004e-05,5.215280e-05,5.242667e-05,5.269182e-05,5.294843e-05,5.319669e-05,5.343677e-05,5.366885e-05
0.000000e+00,8.239692e-15,6.994278e-14,1.432956e-12,9.337066e-12,2.120783e-11,1.144928e-10,1.214015e-10,4.272475e-10,5.740030e-10,1.127864e-09,1.838711e-09,2.471651e-09,4.536410e-09,4.762616e-09,8.356337e-09,9.456084e-09,1.364823e-08,1.750569e-08,2.104450e-08,2.959096e-08,3.091707e-08,4.356219e-08,4.644341e-08,5.918273e-08,6.852241e-08,7.789318e-08,9.602987e-08,9.973489e-08,1.246915e-07,1.289700e-07,1.527009e-07,1.672020e-07,1.836648e-07,2.104785e-07,2.174561e-07,2.539256e-07,2.584741e-07,2.929076e-07,3.108105e-07,3.342257e-07,3.670777e-07,3.776974e-07,4.231384e-07,4.268532e-07,4.703659e-07,4.897171e-07,5.192019e-07,5.552632e-07,5.694748e-07,6.210214e-07,6.231075e-07,6.736878e-07,6.928938e-07,7.273302e-07,7.642959e-07,7.818149e-07,8.370188e-07,8.928284e-07,9.107983e-07,9.491403e-07,9.853995e-07,1.005860e-06,1.060615e-06,1.062902e-06,1.120187e-06,1.136261e-06,1.177647e-06,1.212179e-06,1.235216e-06,1.288227e-06,1.292837e-06,1.350459e-06,1.364283e-06,1.408035e-06,1.440242e-06,1.465523e-06,1.516010e-06,1.522886e-06,1.580089e-06,1.591508e-06,1.637104e-06,1.666667e-06,1.693901e-06,1.741426e-06,1.750458e-06,1.806753e-06,1.815734e-06,1.862766e-06,1.889547e-06,1.918480e-06,1.962826e-06,1.973880e-06,2.028952e-06,2.035538e-06,2.083684e-06,2.107656e-06,2.138066e-06,2.179155e-06,2.192087e-06,2.245741e-06,2.250017e-06,2.299020e-06,2.320224e-06,2.351917e-06,2.389763e-06,2.404427e-06,2.456546e-06,2.458623e-06,2.508271e-06,2.526794e-06,2.559597e-06,2.594270e-06,2.610523e-06,2.661046e-06,2.711165e-06,2.727117e-06,2.760879e-06,2.792483e-06,2.810187e-06,2.857142e-06,2.859090e-06,2.907588e-06,2.921094e-06,2.955680e-06,2.984341e-06,3.003368e-06,3.046884e-06,3.050652e-06,3.097535e-06,3.108727e-06,3.144017e-06,3.169873e-06,3.190101e-06,3.230326e-06,3.235787e-06,3.281080e-06,3.290091e-06,3.325979e-06,3.349173e-06,3.370489e-06,3.407577e-06,3.414611e-06,3.458348e-06,3.465311e-06,3.501704e-06,3.522379e-06,3.544679e-06,3.578789e-06,3.587279e-06,3.629505e-06,3.634547e-06,3.671361e-06,3.689661e-06,3.712850e-06,3.744137e-06,3.753974e-06,3.794738e-06,3.797984e-06,3.835145e-06,3.851208e-06,3.875197e-06,3.903817e-06,3.914898e-06,3.954252e-06,3.955819e-06,3.993262e-06,4.007222e-06,4.031931e-06,4.058033e-06,4.070263e-06,4.108261e-06,4.157913e-06,4.206997e-06,4.255521e-06,4.303493e-06,4.350920e-06,4.397811e-06,4.444173e-06,4.490013e-06,4.535340e-06,4.580161e-06,4.624484e-06,4.668315e-06,4.711662e-06,4.754533e-06,4.796935e-06,4.838874e-06,4.880358e-06,4.921393e-06,4.961986e-06,5.002145e-06,5.041875e-06,5.081184e-06,5.120077e-06,5.158561e-06
0.000000e+00,8.361544e-17,9.335516e-16,3.287168e-14,3.391430e-13,9.777368e-13,9.351369e-12,1.013578e-11,5.914990e-11,9.030817e-11,2.406215e-10,4.935540e-10,7.648422e-10,1.890912e-09,2.033731e-09,4.727295e-09,5.693460e-09,9.897550e-09,1.441893e-08,1.906262e-08,3.205793e-08,3.428717e-08,5.822780e-08,6.433722e-08,9.412281e-08,1.187389e-07,1.457168e-07,2.041938e-07,2.171283e-07,3.126802e-07,3.305004e-07,4.367182e-07,5.076167e-07,5.934386e-07,7.449793e-07,7.867401e-07,1.020108e-06,1.050952e-06,1.296532e-06,1.432448e-06,1.618451e-06,1.894705e-06,1.987730e-06,2.405651e-06,2.441211e-06,2.872929e-06,3.073716e-06,3.389732e-06,3.792320e-06,3.955713e-06,4.570052e-06,4.595615e-06,5.231502e-06,5.480854e-06,5.938433e-06,6.444135e-06,6.688882e-06,7.480606e-06,8.311127e-06,8.584658e-06,9.177786e-06,9.750123e-06,1.007778e-05,1.097046e-05,1.100822e-05,1.196615e-05,1.223890e-05,1.294861e-05,1.354862e-05,1.395263e-05,1.489287e-05,1.497530e-05,1.601376e-05,1.626503e-05,1.706524e-05,1.765877e-05,1.812708e-05,1.906803e-05,1.919672e-05,2.027172e-05,2.048716e-05,2.134978e-05,2.191085e-05,2.242872e-05,2.333423e-05,2.350652e-05,2.458126e-05,2.475282e-05,2.565120e-05,2.616257e-05,2.671469e-05,2.755983e-05,2.777023e-05,2.881646e-05,2.894132e-05,2.985210e-05,3.030414e-05,3.087603e-05,3.164573e-05,3.188720e-05,3.288469e-05,3.296388e-05,3.386768e-05,3.425664e-05,3.483541e-05,3.552237e-05,3.578725e-05,3.672262e-05,3.675968e-05,3.764102e-05,3.796741e-05,3.854204e-05,3.914462e-05,3.942531e-05,4.029055e-05,4.113750e-05,4.140463e-05,4.196598e-05,4.248645e-05,4.277585e-05,4.353572e-05,4.356701e-05,4.433940e-05,4.455230e-05,4.509301e-05,4.553617e-05,4.582785e-05,4.648737e-05,4.654398e-05,4.724145e-05,4.740608e-05,4.792038e-05,4.829253e-05,4.858090e-05,4.914702e-05,4.922313e-05,4.984726e-05,4.996993e-05,5.045346e-05,5.076167e-05,5.104194e-05,5.152271e-05,5.161290e-05,5.216656e-05,5.225356e-05,5.270318e-05,5.295476e-05,5.322298e-05,5.362688e-05,5.372622e-05,5.421317e-05,5.427052e-05,5.468409e-05,5.488628e-05,5.513924e-05,5.547480e-05,5.557892e-05,5.600340e-05,5.603671e-05,5.641296e-05,5.657267e-05,5.680789e-05,5.708334e-05,5.718847e-05,5.755500e-05,5.756937e-05,5.790776e-05,5.803143e-05,5.824703e-05,5.847019e-05,5.857311e-05,5.888629e-05,5.928041e-05,5.965320e-05,6.000529e-05,6.033734e-05,6.064997e-05,6.094380e-05,6.121945e-05,6.147753e-05,6.171861e-05,6.194329e-05,6.215214e-05,6.234570e-05,6.252454e-05,6.268918e-05,6.284014e-05,6.297793e-05,6.310305e-05,6.321599e-05,6.331721e-05,6.340718e-05,6.348635e-05,6.355514e-05,6.361399e-05,6.366330e-05
0.000000e+00,1.031526e-12,3.150636e-12,1.658736e-11,4.998505e-11,8.290280e-11,2.475789e-10,2.575469e-10,6.170202e-10,7.631125e-10,1.254526e-09,1.814782e-09,2.277858e-09,3.663326e-09,3.807331e-09,5.973649e-09,6.603611e-09,8.915595e-09,1.095550e-08,1.277738e-08,1.705299e-08,1.770550e-08,2.384490e-08,2.523053e-08,3.133453e-08,3.580577e-08,4.030226e-08,4.906003e-08,5.086023e-08,6.310108e-08,6.522085e-08,7.709600e-08,8.445197e-08,9.289459e-08,1.068523e-07,1.105260e-07,1.300005e-07,1.324612e-07,1.513120e-07,1.612661e-07,1.744396e-07,1.932108e-07,1.993495e-07,2.259974e-07,2.282028e-07,2.543296e-07,2.661205e-07,2.842847e-07,3.068198e-07,3.157955e-07,3.487898e-07,3.501394e-07,3.831919e-07,3.959063e-07,4.189236e-07,4.439402e-07,4.559055e-07,4.940573e-07,5.332990e-07,5.460735e-07,5.735512e-07,5.998068e-07,6.147358e-07,6.550794e-07,6.567765e-07,6.995989e-07,7.117194e-07,7.431309e-07,7.695616e-07,7.873029e-07,8.284488e-07,8.320480e-07,8.773020e-07,8.882318e-07,9.230036e-07,9.487700e-07,9.690941e-07,1.009931e-06,1.015518e-06,1.062222e-06,1.071592e-06,1.109156e-06,1.133637e-06,1.156273e-06,1.195960e-06,1.203528e-06,1.250879e-06,1.258461e-06,1.298285e-06,1.321049e-06,1.345710e-06,1.383640e-06,1.393119e-06,1.440478e-06,1.446156e-06,1.487757e-06,1.508527e-06,1.534928e-06,1.570688e-06,1.581963e-06,1.628837e-06,1.632580e-06,1.675529e-06,1.694149e-06,1.722015e-06,1.755347e-06,1.768277e-06,1.814295e-06,1.816130e-06,1.860053e-06,1.876460e-06,1.905536e-06,1.936300e-06,1.950729e-06,1.995619e-06,2.040195e-06,2.054390e-06,2.084444e-06,2.112589e-06,2.128359e-06,2.170194e-06,2.171930e-06,2.215148e-06,2.227185e-06,2.258008e-06,2.283549e-06,2.300503e-06,2.339270e-06,2.342627e-06,2.384375e-06,2.394339e-06,2.425744e-06,2.448744e-06,2.466731e-06,2.502480e-06,2.507332e-06,2.547545e-06,2.555541e-06,2.587368e-06,2.607922e-06,2.626801e-06,2.659621e-06,2.665841e-06,2.704490e-06,2.710637e-06,2.742746e-06,2.760970e-06,2.780611e-06,2.810621e-06,2.818085e-06,2.855168e-06,2.859592e-06,2.891863e-06,2.907886e-06,2.928170e-06,2.955506e-06,2.964093e-06,2.999631e-06,3.002458e-06,3.034789e-06,3.048746e-06,3.069569e-06,3.094377e-06,3.103972e-06,3.138002e-06,3.139356e-06,3.171662e-06,3.183690e-06,3.204955e-06,3.227387e-06,3.237885e-06,3.270453e-06,3.312897e-06,3.354728e-06,3.395952e-06,3.436579e-06,3.476617e-06,3.516075e-06,3.554962e-06,3.593288e-06,3.631060e-06,3.668288e-06,3.704981e-06,3.741149e-06,3.776800e-06,3.811943e-06,3.846587e-06,3.880740e-06,3.914413e-06,3.947613e-06,3.980349e-06,4.012630e-06,4.044464e-06,4.075859e-06,4.106824e-06,4.137367e-06
0.000000e+00,2.256026e-16,2.332932e-15,7.009630e-14,6.276893e-13,1.676793e-12,1.324541e-11,1.424786e-11,6.943626e-11,1.011285e-10,2.402227e-10,4.509129e-10,6.609119e-10,1.452075e-09,1.546795e-09,3.213848e-09,3.775740e-09,6.095946e-09,8.443706e-09,1.075068e-08,1.683957e-08,1.784333e-08,2.810817e-08,3.060836e-08,4.229948e-08,5.147504e-08,6.114754e-08,8.107541e-08,8.532869e-08,1.154504e-07,1.208579e-07,1.520469e-07,1.720513e-07,1.955800e-07,2.356672e-07,2.464427e-07,3.049621e-07,3.125122e-07,3.714026e-07,4.032004e-07,4.459679e-07,5.081627e-07,5.288031e-07,6.199976e-07,6.276557e-07,7.195874e-07,7.617727e-07,8.275592e-07,9.104573e-07,9.438535e-07,1.068370e-06,1.073519e-06,1.200970e-06,1.250653e-06,1.341483e-06,1.441453e-06,1.489713e-06,1.645436e-06,1.808413e-06,1.862055e-06,1.978385e-06,2.090716e-06,2.155086e-06,2.330790e-06,2.338237e-06,2.527553e-06,2.581628e-06,2.722747e-06,2.842564e-06,2.923529e-06,3.112933e-06,3.129607e-06,3.340694e-06,3.392068e-06,3.556503e-06,3.679313e-06,3.776751e-06,3.974020e-06,4.001159e-06,4.229456e-06,4.275558e-06,4.461372e-06,4.583312e-06,4.696648e-06,4.896688e-06,4.935027e-06,5.176264e-06,5.215110e-06,5.420115e-06,5.538024e-06,5.666348e-06,5.864896e-06,5.914735e-06,6.165057e-06,6.195215e-06,6.417101e-06,6.528493e-06,6.670662e-06,6.864260e-06,6.925541e-06,7.181548e-06,7.202072e-06,7.438499e-06,7.541503e-06,7.696214e-06,7.882147e-06,7.954525e-06,8.213266e-06,8.223622e-06,8.472280e-06,8.565562e-06,8.731415e-06,8.907621e-06,8.990526e-06,9.249474e-06,9.508125e-06,9.590809e-06,9.766352e-06,9.931338e-06,1.002403e-05,1.027078e-05,1.028105e-05,1.053729e-05,1.060889e-05,1.079266e-05,1.094541e-05,1.104704e-05,1.128012e-05,1.130034e-05,1.155247e-05,1.161280e-05,1.180335e-05,1.194326e-05,1.205289e-05,1.227131e-05,1.230101e-05,1.254764e-05,1.259678e-05,1.279270e-05,1.291950e-05,1.303614e-05,1.323932e-05,1.327788e-05,1.351788e-05,1.355611e-05,1.375607e-05,1.386975e-05,1.399241e-05,1.418010e-05,1.422683e-05,1.445931e-05,1.448707e-05,1.468979e-05,1.479056e-05,1.491824e-05,1.509048e-05,1.514462e-05,1.536889e-05,1.538674e-05,1.559103e-05,1.567928e-05,1.581100e-05,1.596802e-05,1.602878e-05,1.624434e-05,1.625292e-05,1.645767e-05,1.653392e-05,1.666875e-05,1.681098e-05,1.687754e-05,1.708405e-05,1.735311e-05,1.761813e-05,1.787909e-05,1.813598e-05,1.838877e-05,1.863747e-05,1.888207e-05,1.912257e-05,1.935897e-05,1.959130e-05,1.981955e-05,2.004374e-05,2.026389e-05,2.048003e-05,2.069216e-05,2.090032e-05,2.110454e-05,2.130484e-05,2.150126e-05,2.169383e-05,2.188258e-05,2.206755e-05,2.224878e-05,2.242631e-05
0.000000e+00,3.005340e-12,9.087914e-12,4.719985e-11,1.410600e-10,2.331622e-10,6.926929e-10,7.205108e-10,1.727254e-09,2.138892e-09,3.535190e-09,5.148757e-09,6.498922e-09,1.061765e-08,1.105186e-08,1.769491e-08,1.965877e-08,2.694897e-08,3.344795e-08,3.927383e-08,5.292628e-08,5.500057e-08,7.431797e-08,7.862038e-08,9.729887e-08,1.106962e-07,1.239341e-07,1.490850e-07,1.541581e-07,1.878665e-07,1.935746e-07,2.249260e-07,2.438603e-07,2.651826e-07,2.995760e-07,3.084665e-07,3.545969e-07,3.603150e-07,4.033861e-07,4.256463e-07,4.546424e-07,4.951290e-07,5.081738e-07,5.637902e-07,5.683239e-07,6.213055e-07,6.448029e-07,6.805399e-07,7.241555e-07,7.413202e-07,8.034820e-07,8.059949e-07,8.668695e-07,8.899606e-07,9.313366e-07,9.757207e-07,9.967465e-07,1.062971e-06,1.129893e-06,1.151437e-06,1.197402e-06,1.240868e-06,1.265396e-06,1.331041e-06,1.333783e-06,1.402478e-06,1.421756e-06,1.471401e-06,1.512835e-06,1.540482e-06,1.604120e-06,1.609655e-06,1.678861e-06,1.695469e-06,1.748044e-06,1.786758e-06,1.817155e-06,1.877878e-06,1.886150e-06,1.954987e-06,1.968732e-06,2.023628e-06,2.059234e-06,2.092041e-06,2.149309e-06,2.160195e-06,2.228061e-06,2.238892e-06,2.295616e-06,2.327924e-06,2.362836e-06,2.416357e-06,2.429701e-06,2.496192e-06,2.504145e-06,2.562294e-06,2.591252e-06,2.627991e-06,2.677643e-06,2.693271e-06,2.758122e-06,2.763291e-06,2.822532e-06,2.848171e-06,2.886494e-06,2.932264e-06,2.949999e-06,3.013039e-06,3.015551e-06,3.075609e-06,3.098018e-06,3.137704e-06,3.179654e-06,3.199318e-06,3.260448e-06,3.321091e-06,3.340394e-06,3.381245e-06,3.419486e-06,3.440907e-06,3.497719e-06,3.500077e-06,3.558752e-06,3.575092e-06,3.616933e-06,3.651604e-06,3.674619e-06,3.727254e-06,3.731811e-06,3.788509e-06,3.802044e-06,3.844715e-06,3.875975e-06,3.900429e-06,3.949052e-06,3.955653e-06,4.010388e-06,4.021277e-06,4.064637e-06,4.092655e-06,4.118402e-06,4.163192e-06,4.171685e-06,4.224489e-06,4.232893e-06,4.276815e-06,4.301763e-06,4.328668e-06,4.369811e-06,4.380049e-06,4.430963e-06,4.437042e-06,4.481412e-06,4.503463e-06,4.531400e-06,4.569084e-06,4.580929e-06,4.630004e-06,4.633911e-06,4.678628e-06,4.697952e-06,4.726804e-06,4.761216e-06,4.774537e-06,4.821829e-06,4.823711e-06,4.868685e-06,4.885447e-06,4.915108e-06,4.946431e-06,4.961103e-06,5.006673e-06,5.066181e-06,5.124964e-06,5.183032e-06,5.240394e-06,5.297058e-06,5.353034e-06,5.408331e-06,5.462958e-06,5.516924e-06,5.570238e-06,5.622909e-06,5.674946e-06,5.726357e-06,5.777152e-06,5.827340e-06,5.876928e-06,5.925926e-06,5.974343e-06,6.022185e-06,6.069463e-06,6.116183e-06,6.162355e-06,6.207987e-06,6.253085e-06
0.000000e+00,1.771733e-13,1.317671e-12,2.141702e-11,1.181995e-10,2.489442e-10,1.152721e-09,1.215984e-09,3.851097e-09,5.056914e-09,9.461175e-09,1.493344e-08,1.971133e-08,3.496107e-08,3.661080e-08,6.249941e-08,7.033811e-08,1.000185e-07,1.271728e-07,1.520363e-07,2.121504e-07,2.215040e-07,3.112682e-07,3.318901e-07,4.239180e-07,4.923042e-07,5.617136e-07,6.983106e-07,7.265775e-07,9.201087e-07,9.538244e-07,1.143597e-06,1.261813e-06,1.398032e-06,1.624343e-06,1.684116e-06,2.002269e-06,2.042613e-06,2.352648e-06,2.517007e-06,2.735157e-06,3.047161e-06,3.149473e-06,3.595066e-06,3.632044e-06,4.071222e-06,4.270053e-06,4.577072e-06,4.959111e-06,5.111611e-06,5.673724e-06,5.696765e-06,6.262209e-06,6.480277e-06,6.875795e-06,7.306700e-06,7.513163e-06,8.172957e-06,8.853804e-06,9.075897e-06,9.554325e-06,1.001235e-05,1.027314e-05,1.097915e-05,1.100888e-05,1.176021e-05,1.197319e-05,1.252580e-05,1.299146e-05,1.330436e-05,1.403100e-05,1.409463e-05,1.489539e-05,1.508900e-05,1.570545e-05,1.616273e-05,1.652369e-05,1.724961e-05,1.734899e-05,1.818029e-05,1.834718e-05,1.901659e-05,1.945312e-05,1.985691e-05,2.056520e-05,2.070032e-05,2.154592e-05,2.168136e-05,2.239288e-05,2.279966e-05,2.324037e-05,2.391825e-05,2.408765e-05,2.493397e-05,2.503543e-05,2.577864e-05,2.614960e-05,2.662100e-05,2.725928e-05,2.746045e-05,2.829639e-05,2.836309e-05,2.912827e-05,2.945976e-05,2.995556e-05,3.054810e-05,3.077779e-05,3.159449e-05,3.162704e-05,3.240523e-05,3.269556e-05,3.320961e-05,3.375277e-05,3.400726e-05,3.479782e-05,3.558098e-05,3.582997e-05,3.635642e-05,3.684853e-05,3.712388e-05,3.785288e-05,3.788308e-05,3.863381e-05,3.884247e-05,3.937585e-05,3.981681e-05,4.010899e-05,4.077548e-05,4.083306e-05,4.154791e-05,4.171808e-05,4.225338e-05,4.264430e-05,4.294934e-05,4.355384e-05,4.363570e-05,4.431234e-05,4.444649e-05,4.497918e-05,4.532204e-05,4.563615e-05,4.618034e-05,4.628320e-05,4.692028e-05,4.702128e-05,4.754734e-05,4.784477e-05,4.816437e-05,4.865075e-05,4.877134e-05,4.936827e-05,4.943922e-05,4.995513e-05,5.021017e-05,5.053196e-05,5.096364e-05,5.109877e-05,5.165558e-05,5.169969e-05,5.220243e-05,5.241839e-05,5.273937e-05,5.311984e-05,5.326643e-05,5.378368e-05,5.380417e-05,5.429117e-05,5.447149e-05,5.478897e-05,5.512197e-05,5.527714e-05,5.575576e-05,5.637306e-05,5.697403e-05,5.755889e-05,5.812785e-05,5.868111e-05,5.921892e-05,5.974149e-05,6.024907e-05,6.074191e-05,6.122024e-05,6.168433e-05,6.213443e-05,6.257079e-05,6.299368e-05,6.340335e-05,6.380007e-05,6.418410e-05,6.455570e-05,6.491514e-05,6.526267e-05,6.559855e-05,6.592305e-05,6.623642e-05,6.653891e-05
0.000000e+00,3.101916e-16,3.222168e-15,9.764431e-14,8.802633e-13,2.359015e-12,1.875202e-11,2.017504e-11,9.858852e-11,1.435910e-10,3.405912e-10,6.374116e-10,9.315666e-10,2.027540e-09,2.157648e-09,4.418104e-09,5.169748e-09,8.233927e-09,1.128674e-08,1.425427e-08,2.199272e-08,2.325998e-08,3.615990e-08,3.929527e-08,5.397287e-08,6.553792e-08,7.778935e-08,1.032435e-07,1.087133e-07,1.477935e-07,1.548676e-07,1.959608e-07,2.225408e-07,2.539810e-07,3.078859e-07,3.224317e-07,4.016985e-07,4.119488e-07,4.919871e-07,5.352229e-07,5.933440e-07,6.777264e-07,7.056786e-07,8.287861e-07,8.390917e-07,9.623680e-07,1.018652e-06,1.106050e-06,1.215512e-06,1.259396e-06,1.421924e-06,1.428609e-06,1.593116e-06,1.656762e-06,1.772427e-06,1.898709e-06,1.959294e-06,2.153146e-06,2.353410e-06,2.418755e-06,2.559513e-06,2.694222e-06,2.770892e-06,2.978267e-06,2.986995e-06,3.207289e-06,3.269651e-06,3.431254e-06,3.567189e-06,3.658396e-06,3.869763e-06,3.888239e-06,4.120333e-06,4.176322e-06,4.354249e-06,4.485887e-06,4.589585e-06,4.797554e-06,4.825962e-06,5.063024e-06,5.110489e-06,5.300439e-06,5.423931e-06,5.537898e-06,5.737187e-06,5.775114e-06,6.011819e-06,6.049628e-06,6.247769e-06,6.360689e-06,6.482736e-06,6.669860e-06,6.716511e-06,6.948902e-06,6.976688e-06,7.179736e-06,7.280767e-06,7.408851e-06,7.581739e-06,7.636103e-06,7.861359e-06,7.879290e-06,8.084501e-06,8.173142e-06,8.305422e-06,8.463054e-06,8.524024e-06,8.740223e-06,8.748820e-06,8.953942e-06,9.030261e-06,9.165115e-06,9.307226e-06,9.373681e-06,9.579590e-06,9.782797e-06,9.847247e-06,9.983267e-06,1.011012e-05,1.018097e-05,1.036813e-05,1.037587e-05,1.056796e-05,1.062124e-05,1.075722e-05,1.086941e-05,1.094364e-05,1.111263e-05,1.112721e-05,1.130793e-05,1.135088e-05,1.148580e-05,1.158417e-05,1.166083e-05,1.181250e-05,1.183302e-05,1.200237e-05,1.203591e-05,1.216892e-05,1.225441e-05,1.233266e-05,1.246804e-05,1.249361e-05,1.265180e-05,1.267685e-05,1.280724e-05,1.288088e-05,1.295996e-05,1.308019e-05,1.310997e-05,1.325731e-05,1.327481e-05,1.340200e-05,1.346483e-05,1.354406e-05,1.365029e-05,1.368353e-05,1.382043e-05,1.383127e-05,1.395479e-05,1.400783e-05,1.408664e-05,1.418003e-05,1.421601e-05,1.434293e-05,1.434796e-05,1.446744e-05,1.451168e-05,1.458956e-05,1.467126e-05,1.470933e-05,1.482678e-05,1.497831e-05,1.512592e-05,1.526970e-05,1.540971e-05,1.554604e-05,1.567875e-05,1.580791e-05,1.593361e-05,1.605592e-05,1.617490e-05,1.629063e-05,1.640318e-05,1.651262e-05,1.661902e-05,1.672245e-05,1.682297e-05,1.692066e-05,1.701557e-05,1.710777e-05,1.719733e-05,1.728430e-05,1.736876e-05,1.745075e-05,1.753034e-05
0.000000e+00,9.769117e-18,1.129400e-16,4.274602e-15,4.710534e-14,1.408259e-13,1.479823e-12,1.610114e-12,1.031684e-11,1.615570e-11,4.586607e-11,9.899721e-11,1.585567e-10,4.216024e-10,4.562327e-10,1.141758e-09,1.398641e-09,2.560791e-09,3.869061e-09,5.258518e-09,9.324323e-09,1.004282e-08,1.804983e-08,2.016479e-08,3.080612e-08,3.995122e-08,5.028077e-08,7.360716e-08,7.892071e-08,1.196644e-07,1.275286e-07,1.759313e-07,2.095727e-07,2.515868e-07,3.289185e-07,3.508849e-07,4.783919e-07,4.958141e-07,6.388949e-07,7.212320e-07,8.373010e-07,1.016470e-06,1.078532e-06,1.367417e-06,1.392727e-06,1.708588e-06,1.860682e-06,2.106388e-06,2.430106e-06,2.564773e-06,3.087246e-06,3.109522e-06,3.676784e-06,3.905917e-06,4.335794e-06,4.824544e-06,5.066069e-06,5.868769e-06,6.744410e-06,7.040017e-06,7.692865e-06,8.337767e-06,8.713382e-06,9.759621e-06,9.804605e-06,1.096461e-05,1.130142e-05,1.219095e-05,1.295740e-05,1.348070e-05,1.472039e-05,1.483050e-05,1.623662e-05,1.658202e-05,1.769502e-05,1.853297e-05,1.920140e-05,2.056314e-05,2.075127e-05,2.233999e-05,2.266198e-05,2.396282e-05,2.481858e-05,2.561499e-05,2.702199e-05,2.729172e-05,2.898831e-05,2.926130e-05,3.070011e-05,3.152584e-05,3.242260e-05,3.380534e-05,3.415140e-05,3.588231e-05,3.608997e-05,3.761132e-05,3.837049e-05,3.933461e-05,4.063828e-05,4.104860e-05,4.274991e-05,4.288538e-05,4.443542e-05,4.510455e-05,4.610224e-05,4.728926e-05,4.774769e-05,4.936935e-05,4.943369e-05,5.096501e-05,5.153270e-05,5.253269e-05,5.358182e-05,5.407063e-05,5.557725e-05,5.705121e-05,5.751578e-05,5.849132e-05,5.939476e-05,5.989659e-05,6.121210e-05,6.126619e-05,6.259945e-05,6.296617e-05,6.389584e-05,6.465581e-05,6.515497e-05,6.628024e-05,6.637658e-05,6.756053e-05,6.783907e-05,6.870677e-05,6.933222e-05,6.981537e-05,7.075991e-05,7.088647e-05,7.192029e-05,7.212260e-05,7.291714e-05,7.342101e-05,7.387738e-05,7.465600e-05,7.480144e-05,7.568979e-05,7.582865e-05,7.654296e-05,7.694015e-05,7.736150e-05,7.799181e-05,7.814602e-05,7.889712e-05,7.898504e-05,7.961547e-05,7.992134e-05,8.030174e-05,8.080228e-05,8.095662e-05,8.158081e-05,8.162944e-05,8.217503e-05,8.240449e-05,8.274001e-05,8.312909e-05,8.327646e-05,8.378513e-05,8.380491e-05,8.426675e-05,8.443365e-05,8.472205e-05,8.501699e-05,8.515175e-05,8.555660e-05,8.605414e-05,8.651125e-05,8.692955e-05,8.731062e-05,8.765601e-05,8.796726e-05,8.824584e-05,8.849321e-05,8.871077e-05,8.889991e-05,8.906195e-05,8.919818e-05,8.930986e-05,8.939821e-05,8.946439e-05,8.950953e-05,8.953474e-05,8.954106e-05,8.952952e-05,8.950109e-05,8.945671e-05,8.939729e-05,8.932370e-05,8.923678e-05
0.000000e+00,1.529479e-11,4.998035e-11,2.832733e-10,8.865174e-10,1.493823e-09,4.617624e-09,4.809877e-09,1.190514e-08,1.486224e-08,2.505478e-08,3.706156e-08,4.724431e-08,7.879891e-08,8.215480e-08,1.338260e-07,1.491603e-07,2.061297e-07,2.569235e-07,3.024778e-07,4.095124e-07,4.258293e-07,5.787874e-07,6.131403e-07,7.636708e-07,8.731229e-07,9.825462e-07,1.194009e-06,1.237233e-06,1.529297e-06,1.579586e-06,1.860037e-06,2.032841e-06,2.230475e-06,2.555916e-06,2.641353e-06,3.093128e-06,3.150101e-06,3.585983e-06,3.815840e-06,4.119831e-06,4.552775e-06,4.694338e-06,5.308936e-06,5.359814e-06,5.962847e-06,6.235209e-06,6.655107e-06,7.176653e-06,7.384589e-06,8.150027e-06,8.181373e-06,8.950036e-06,9.246221e-06,9.783141e-06,1.036777e-05,1.064779e-05,1.154237e-05,1.246525e-05,1.276627e-05,1.341474e-05,1.403561e-05,1.438918e-05,1.534653e-05,1.538686e-05,1.640613e-05,1.669517e-05,1.744533e-05,1.807774e-05,1.850283e-05,1.949052e-05,1.957703e-05,2.066637e-05,2.092989e-05,2.176932e-05,2.239237e-05,2.288441e-05,2.387459e-05,2.401020e-05,2.514530e-05,2.537331e-05,2.628836e-05,2.688547e-05,2.743810e-05,2.840812e-05,2.859326e-05,2.975265e-05,2.993846e-05,3.091512e-05,3.147387e-05,3.207957e-05,3.301184e-05,3.324494e-05,3.441024e-05,3.455002e-05,3.557450e-05,3.608620e-05,3.673680e-05,3.761831e-05,3.789628e-05,3.905210e-05,3.914438e-05,4.020348e-05,4.066263e-05,4.134968e-05,4.217134e-05,4.248999e-05,4.362374e-05,4.366895e-05,4.475030e-05,4.515399e-05,4.586908e-05,4.662512e-05,4.697953e-05,4.808110e-05,4.917332e-05,4.952078e-05,5.025572e-05,5.094310e-05,5.132787e-05,5.234712e-05,5.238937e-05,5.343985e-05,5.373196e-05,5.447896e-05,5.509683e-05,5.550638e-05,5.644103e-05,5.652182e-05,5.752500e-05,5.776391e-05,5.851568e-05,5.906492e-05,5.949364e-05,6.034355e-05,6.045867e-05,6.141058e-05,6.159937e-05,6.234921e-05,6.283201e-05,6.327442e-05,6.404113e-05,6.418608e-05,6.508408e-05,6.522649e-05,6.596832e-05,6.638785e-05,6.683873e-05,6.752505e-05,6.769524e-05,6.853780e-05,6.863797e-05,6.936638e-05,6.972652e-05,7.018095e-05,7.079065e-05,7.098150e-05,7.176803e-05,7.183035e-05,7.254055e-05,7.284564e-05,7.329908e-05,7.383659e-05,7.404366e-05,7.477433e-05,7.480327e-05,7.549113e-05,7.574580e-05,7.619412e-05,7.666431e-05,7.688338e-05,7.755896e-05,7.842994e-05,7.927745e-05,8.010171e-05,8.090295e-05,8.168142e-05,8.243740e-05,8.317116e-05,8.388299e-05,8.457319e-05,8.524208e-05,8.588996e-05,8.651717e-05,8.712404e-05,8.771090e-05,8.827810e-05,8.882598e-05,8.935489e-05,8.986517e-05,9.035720e-05,9.083131e-05,9.128786e-05,9.172722e-05,9.214972e-05,9.255574e-05
0.000000e+00,2.779432e-12,9.147439e-12,5.226603e-11,1.643269e-10,2.774997e-10,8.624812e-10,8.985966e-10,2.237583e-09,2.798390e-09,4.740188e-09,7.040406e-09,8.998683e-09,1.509190e-08,1.574120e-08,2.574538e-08,2.871299e-08,3.971987e-08,4.950354e-08,5.825210e-08,7.871347e-08,8.182157e-08,1.108256e-07,1.173089e-07,1.455962e-07,1.660491e-07,1.864075e-07,2.255193e-07,2.334788e-07,2.869765e-07,2.961409e-07,3.470151e-07,3.781778e-07,4.136595e-07,4.717452e-07,4.869283e-07,5.667977e-07,5.768230e-07,6.532057e-07,6.932731e-07,7.460568e-07,8.208573e-07,8.452268e-07,9.505674e-07,9.592563e-07,1.061910e-06,1.108087e-06,1.179071e-06,1.266920e-06,1.301853e-06,1.430051e-06,1.435289e-06,1.563452e-06,1.612708e-06,1.701838e-06,1.798676e-06,1.844990e-06,1.992688e-06,2.144711e-06,2.194237e-06,2.300843e-06,2.402823e-06,2.460866e-06,2.617952e-06,2.624569e-06,2.791742e-06,2.839144e-06,2.962181e-06,3.065929e-06,3.135686e-06,3.297851e-06,3.312062e-06,3.491118e-06,3.534470e-06,3.672669e-06,3.775361e-06,3.856536e-06,4.020115e-06,4.042543e-06,4.230522e-06,4.268340e-06,4.420308e-06,4.519658e-06,4.611742e-06,4.773709e-06,4.804672e-06,4.998948e-06,5.030147e-06,5.194427e-06,5.288644e-06,5.390972e-06,5.548885e-06,5.588448e-06,5.786728e-06,5.810570e-06,5.985688e-06,6.073415e-06,6.185209e-06,6.337149e-06,6.385176e-06,6.585480e-06,6.601516e-06,6.786014e-06,6.866270e-06,6.986678e-06,7.131182e-06,7.187374e-06,7.388009e-06,7.396032e-06,7.588493e-06,7.660614e-06,7.788741e-06,7.924733e-06,7.988671e-06,8.188205e-06,8.387267e-06,8.450856e-06,8.585787e-06,8.712523e-06,8.783696e-06,8.973053e-06,8.980928e-06,9.177423e-06,9.232301e-06,9.373121e-06,9.490134e-06,9.567966e-06,9.746424e-06,9.761904e-06,9.954886e-06,1.000105e-05,1.014686e-05,1.025391e-05,1.033779e-05,1.050490e-05,1.052762e-05,1.071632e-05,1.075392e-05,1.090384e-05,1.100088e-05,1.109015e-05,1.124570e-05,1.127522e-05,1.145902e-05,1.148831e-05,1.164151e-05,1.172863e-05,1.182266e-05,1.196661e-05,1.200246e-05,1.218086e-05,1.220218e-05,1.235786e-05,1.243529e-05,1.253343e-05,1.266590e-05,1.270755e-05,1.288020e-05,1.289395e-05,1.305137e-05,1.311941e-05,1.322103e-05,1.334225e-05,1.338918e-05,1.355580e-05,1.356243e-05,1.372088e-05,1.377993e-05,1.388441e-05,1.399472e-05,1.404638e-05,1.420679e-05,1.441611e-05,1.462267e-05,1.482646e-05,1.502748e-05,1.522572e-05,1.542116e-05,1.561383e-05,1.580370e-05,1.599079e-05,1.617511e-05,1.635666e-05,1.653544e-05,1.671147e-05,1.688477e-05,1.705533e-05,1.722319e-05,1.738835e-05,1.755083e-05,1.771064e-05,1.786782e-05,1.802237e-05,1.817432e-05,1.832369e-05,1.847050e-05
0.000000e+00,1.350633e-12,5.545991e-12,4.013338e-11,1.409280e-10,2.479845e-10,8.285325e-10,8.651528e-10,2.249934e-09,2.839194e-09,4.900441e-09,7.366299e-09,9.477015e-09,1.607567e-08,1.678030e-08,2.765308e-08,3.088326e-08,4.288761e-08,5.359619e-08,6.320743e-08,8.582948e-08,8.928383e-08,1.217485e-07,1.290611e-07,1.611966e-07,1.846556e-07,2.081836e-07,2.538534e-07,2.632196e-07,3.267639e-07,3.377483e-07,3.992194e-07,4.372663e-07,4.809291e-07,5.531509e-07,5.721741e-07,6.731736e-07,6.859571e-07,7.840853e-07,8.360543e-07,9.050087e-07,1.003636e-06,1.035988e-06,1.177017e-06,1.188733e-06,1.328044e-06,1.391234e-06,1.488973e-06,1.610902e-06,1.659675e-06,1.839988e-06,1.847398e-06,2.029722e-06,2.100292e-06,2.228665e-06,2.369088e-06,2.436585e-06,2.653235e-06,2.878356e-06,2.952139e-06,3.111677e-06,3.265178e-06,3.352921e-06,3.591707e-06,3.601805e-06,3.858044e-06,3.931069e-06,4.121348e-06,4.282602e-06,4.391429e-06,4.645640e-06,4.667998e-06,4.950766e-06,5.019522e-06,5.239450e-06,5.403592e-06,5.533767e-06,5.797203e-06,5.833437e-06,6.138185e-06,6.199720e-06,6.447741e-06,6.610521e-06,6.761837e-06,7.028996e-06,7.080213e-06,7.402613e-06,7.454553e-06,7.728784e-06,7.886614e-06,8.058481e-06,8.324617e-06,8.391465e-06,8.727500e-06,8.768018e-06,9.066357e-06,9.216290e-06,9.407812e-06,9.668923e-06,9.751649e-06,1.009765e-05,1.012542e-05,1.044562e-05,1.058531e-05,1.079535e-05,1.104814e-05,1.114665e-05,1.149932e-05,1.151346e-05,1.185319e-05,1.198084e-05,1.220807e-05,1.244988e-05,1.256379e-05,1.292018e-05,1.327709e-05,1.339138e-05,1.363434e-05,1.386310e-05,1.399179e-05,1.433500e-05,1.434930e-05,1.470671e-05,1.480675e-05,1.506390e-05,1.527805e-05,1.542072e-05,1.574857e-05,1.577706e-05,1.613277e-05,1.621804e-05,1.648776e-05,1.668618e-05,1.684189e-05,1.715274e-05,1.719507e-05,1.754717e-05,1.761746e-05,1.789811e-05,1.808010e-05,1.824778e-05,1.854045e-05,1.859608e-05,1.894293e-05,1.899828e-05,1.928824e-05,1.945341e-05,1.963192e-05,1.990564e-05,1.997390e-05,2.031409e-05,2.035479e-05,2.065243e-05,2.080069e-05,2.098884e-05,2.124319e-05,2.132326e-05,2.165563e-05,2.168213e-05,2.198587e-05,2.211737e-05,2.231395e-05,2.254878e-05,2.263979e-05,2.296335e-05,2.297625e-05,2.328458e-05,2.339964e-05,2.360343e-05,2.381887e-05,2.391986e-05,2.423383e-05,2.464443e-05,2.505058e-05,2.545221e-05,2.584924e-05,2.624162e-05,2.662929e-05,2.701218e-05,2.739026e-05,2.776348e-05,2.813181e-05,2.849521e-05,2.885367e-05,2.920715e-05,2.955563e-05,2.989911e-05,3.023758e-05,3.057102e-05,3.089944e-05,3.122283e-05,3.154121e-05,3.185457e-05,3.216293e-05,3.246630e-05,3.276469e-05
0.000000e+00,4.690255e-12,1.607395e-11,9.579895e-11,3.070313e-10,5.220968e-10,1.641577e-09,1.710888e-09,4.285266e-09,5.364017e-09,9.091612e-09,1.347803e-08,1.717905e-08,2.848941e-08,2.967787e-08,4.768506e-08,5.294320e-08,7.224303e-08,8.923157e-08,1.043532e-07,1.396254e-07,1.449816e-07,1.950529e-07,2.062781e-07,2.554382e-07,2.911844e-07,3.269406e-07,3.961244e-07,4.102816e-07,5.060886e-07,5.226112e-07,6.148866e-07,6.718504e-07,7.370915e-07,8.447171e-07,8.730083e-07,1.022831e-06,1.041750e-06,1.186649e-06,1.263161e-06,1.364446e-06,1.508859e-06,1.556116e-06,1.761465e-06,1.778476e-06,1.980226e-06,2.071414e-06,2.212068e-06,2.386877e-06,2.456602e-06,2.713395e-06,2.723915e-06,2.981976e-06,3.081455e-06,3.261844e-06,3.458337e-06,3.552479e-06,3.853343e-06,4.163889e-06,4.265218e-06,4.483565e-06,4.692694e-06,4.811819e-06,5.134503e-06,5.148102e-06,5.491869e-06,5.589392e-06,5.842586e-06,6.056134e-06,6.199728e-06,6.533531e-06,6.562781e-06,6.931246e-06,7.020428e-06,7.304635e-06,7.515708e-06,7.682478e-06,8.018301e-06,8.064319e-06,8.449716e-06,8.527184e-06,8.838245e-06,9.041381e-06,9.229496e-06,9.559963e-06,9.623076e-06,1.001861e-05,1.008205e-05,1.041573e-05,1.060681e-05,1.081409e-05,1.113345e-05,1.121336e-05,1.161322e-05,1.166122e-05,1.201336e-05,1.218944e-05,1.241351e-05,1.271744e-05,1.281337e-05,1.321269e-05,1.324461e-05,1.361122e-05,1.377036e-05,1.400872e-05,1.429415e-05,1.440496e-05,1.479973e-05,1.481549e-05,1.519283e-05,1.533390e-05,1.558406e-05,1.584894e-05,1.597325e-05,1.636021e-05,1.674479e-05,1.686733e-05,1.712684e-05,1.736996e-05,1.750621e-05,1.786777e-05,1.788277e-05,1.825639e-05,1.836046e-05,1.862695e-05,1.884778e-05,1.899435e-05,1.932947e-05,1.935847e-05,1.971923e-05,1.980530e-05,2.007653e-05,2.027507e-05,2.043029e-05,2.073861e-05,2.078043e-05,2.112689e-05,2.119573e-05,2.146960e-05,2.164630e-05,2.180849e-05,2.209018e-05,2.214353e-05,2.247465e-05,2.252726e-05,2.280182e-05,2.295744e-05,2.312499e-05,2.338062e-05,2.344413e-05,2.375920e-05,2.379674e-05,2.407020e-05,2.420573e-05,2.437708e-05,2.460755e-05,2.467983e-05,2.497843e-05,2.500214e-05,2.527288e-05,2.538950e-05,2.556317e-05,2.576959e-05,2.584928e-05,2.613121e-05,2.614240e-05,2.640897e-05,2.650794e-05,2.668256e-05,2.686621e-05,2.695197e-05,2.721723e-05,2.756100e-05,2.789757e-05,2.822696e-05,2.854921e-05,2.886436e-05,2.917246e-05,2.947356e-05,2.976772e-05,3.005500e-05,3.033546e-05,3.060916e-05,3.087618e-05,3.113659e-05,3.139045e-05,3.163786e-05,3.187887e-05,3.211358e-05,3.234206e-05,3.256440e-05,3.278068e-05,3.299098e-05,3.319539e-05,3.339399e-05,3.358688e-05
0.000000e+00,3.429746e-18,4.027416e-17,1.572169e-15,1.782812e-14,5.415353e-14,5.933510e-13,6.467055e-13,4.323845e-12,6.850822e-12,2.003744e-11,4.431656e-11,7.212607e-11,1.988501e-10,2.158516e-10,5.611563e-10,6.935935e-10,1.305795e-09,2.012851e-09,2.778307e-09,5.077077e-09,5.490353e-09,1.019691e-08,1.146499e-08,1.796186e-08,2.366962e-08,3.022567e-08,4.536729e-08,4.887145e-08,7.628583e-08,8.167426e-08,1.154111e-07,1.393662e-07,1.697851e-07,2.270372e-07,2.435671e-07,3.415475e-07,3.551820e-07,4.691395e-07,5.361892e-07,6.323539e-07,7.842415e-07,8.377554e-07,1.092402e-06,1.115123e-06,1.403771e-06,1.545940e-06,1.779667e-06,2.094771e-06,2.228122e-06,2.757290e-06,2.780251e-06,3.375323e-06,3.621124e-06,4.090262e-06,4.635766e-06,4.909906e-06,5.841707e-06,6.892650e-06,7.255180e-06,8.069151e-06,8.890691e-06,9.376961e-06,1.076065e-05,1.082108e-05,1.240570e-05,1.287504e-05,1.413411e-05,1.524121e-05,1.600869e-05,1.786366e-05,1.803088e-05,2.020112e-05,2.074397e-05,2.251890e-05,2.388078e-05,2.498273e-05,2.726984e-05,2.759022e-05,3.033804e-05,3.090409e-05,3.322203e-05,3.477389e-05,3.623719e-05,3.886715e-05,3.937782e-05,4.263752e-05,4.316967e-05,4.600929e-05,4.766535e-05,4.948559e-05,5.233653e-05,5.305843e-05,5.671944e-05,5.716428e-05,6.045996e-05,6.212869e-05,6.427109e-05,6.720920e-05,6.814377e-05,7.206886e-05,7.238486e-05,7.603723e-05,7.763465e-05,8.003976e-05,8.293767e-05,8.406744e-05,8.811143e-05,8.827340e-05,9.216307e-05,9.362190e-05,9.621396e-05,9.896398e-05,1.002560e-04,1.042813e-04,1.082826e-04,1.095567e-04,1.122526e-04,1.147739e-04,1.161847e-04,1.199179e-04,1.200725e-04,1.239102e-04,1.249750e-04,1.276923e-04,1.299328e-04,1.314138e-04,1.347799e-04,1.350699e-04,1.386565e-04,1.395065e-04,1.421697e-04,1.441037e-04,1.456061e-04,1.485643e-04,1.489628e-04,1.522370e-04,1.528817e-04,1.554265e-04,1.570509e-04,1.585293e-04,1.610676e-04,1.615439e-04,1.644691e-04,1.649287e-04,1.673038e-04,1.686321e-04,1.700474e-04,1.721764e-04,1.726995e-04,1.752600e-04,1.755611e-04,1.777290e-04,1.787864e-04,1.801067e-04,1.818531e-04,1.823938e-04,1.845909e-04,1.847628e-04,1.866989e-04,1.875174e-04,1.887188e-04,1.901193e-04,1.906519e-04,1.924995e-04,1.925716e-04,1.942629e-04,1.948775e-04,1.959438e-04,1.970405e-04,1.975437e-04,1.990644e-04,2.009534e-04,2.027116e-04,2.043435e-04,2.058534e-04,2.072459e-04,2.085255e-04,2.096969e-04,2.107647e-04,2.117334e-04,2.126074e-04,2.133914e-04,2.140895e-04,2.147062e-04,2.152455e-04,2.157115e-04,2.161083e-04,2.164396e-04,2.167092e-04,2.169206e-04,2.170775e-04,2.171830e-04,2.172406e-04,2.172531e-04,2.172237e-04
0.000000e+00,5.311468e-12,1.608048e-11,8.392236e-11,2.528570e-10,4.206244e-10,1.279841e-09,1.332861e-09,3.311727e-09,4.148945e-09,7.079167e-09,1.059003e-08,1.359214e-08,2.289216e-08,2.387473e-08,3.873976e-08,4.304968e-08,5.867596e-08,7.215078e-08,8.391985e-08,1.105908e-07,1.145510e-07,1.505502e-07,1.583873e-07,1.918281e-07,2.153329e-07,2.382408e-07,2.810587e-07,2.895995e-07,3.456786e-07,3.550727e-07,4.062239e-07,4.367918e-07,4.709600e-07,5.255723e-07,5.395978e-07,6.118410e-07,6.207383e-07,6.873917e-07,7.216058e-07,7.659557e-07,8.275030e-07,8.472466e-07,9.309886e-07,9.377859e-07,1.016918e-06,1.051847e-06,1.104787e-06,1.169121e-06,1.194360e-06,1.285417e-06,1.289087e-06,1.377755e-06,1.411273e-06,1.471183e-06,1.535246e-06,1.565525e-06,1.660620e-06,1.756317e-06,1.787045e-06,1.852480e-06,1.914209e-06,1.948981e-06,2.041834e-06,2.045706e-06,2.142547e-06,2.169671e-06,2.239409e-06,2.297498e-06,2.336201e-06,2.425119e-06,2.432843e-06,2.529261e-06,2.552360e-06,2.625388e-06,2.679068e-06,2.721161e-06,2.805106e-06,2.816526e-06,2.911432e-06,2.930353e-06,3.005832e-06,3.054706e-06,3.099684e-06,3.178070e-06,3.192953e-06,3.285602e-06,3.300366e-06,3.377601e-06,3.421522e-06,3.468924e-06,3.541478e-06,3.559545e-06,3.649441e-06,3.660179e-06,3.738595e-06,3.777582e-06,3.826987e-06,3.893647e-06,3.914603e-06,4.001429e-06,4.008341e-06,4.087454e-06,4.121637e-06,4.172667e-06,4.233513e-06,4.257059e-06,4.340625e-06,4.343950e-06,4.423356e-06,4.452934e-06,4.505249e-06,4.560455e-06,4.586299e-06,4.666504e-06,4.745863e-06,4.771078e-06,4.824373e-06,4.874174e-06,4.902034e-06,4.975791e-06,4.978848e-06,5.054814e-06,5.075933e-06,5.129935e-06,5.174603e-06,5.204213e-06,5.271806e-06,5.277650e-06,5.350250e-06,5.367550e-06,5.422016e-06,5.461843e-06,5.492953e-06,5.554694e-06,5.563064e-06,5.632355e-06,5.646115e-06,5.700830e-06,5.736116e-06,5.768495e-06,5.824711e-06,5.835355e-06,5.901415e-06,5.911911e-06,5.966683e-06,5.997732e-06,6.031164e-06,6.082187e-06,6.094865e-06,6.157791e-06,6.165291e-06,6.219950e-06,6.247059e-06,6.281349e-06,6.327507e-06,6.341993e-06,6.401891e-06,6.406651e-06,6.461049e-06,6.484507e-06,6.519475e-06,6.561091e-06,6.577174e-06,6.634156e-06,6.636420e-06,6.690427e-06,6.710511e-06,6.745994e-06,6.783381e-06,6.800865e-06,6.855046e-06,6.925524e-06,6.994832e-06,7.062986e-06,7.130004e-06,7.195902e-06,7.260698e-06,7.324408e-06,7.387049e-06,7.448638e-06,7.509191e-06,7.568725e-06,7.627255e-06,7.684799e-06,7.741372e-06,7.796990e-06,7.851669e-06,7.905424e-06,7.958270e-06,8.010223e-06,8.061297e-06,8.111508e-06,8.160870e-06,8.209397e-06,8.257104e-06
0.000000e+00,3.695518e-15,3.286141e-14,7.342769e-13,5.122116e-12,1.202829e-11,6.992860e-11,7.434741e-11,2.774788e-10,3.780482e-10,7.671768e-10,1.280491e-09,1.746210e-09,3.302837e-09,3.476065e-09,6.279745e-09,7.153843e-09,1.054040e-08,1.372129e-08,1.668555e-08,2.399661e-08,2.514784e-08,3.630904e-08,3.889209e-08,5.045170e-08,5.904328e-08,6.774012e-08,8.473673e-08,8.822984e-08,1.118911e-07,1.159659e-07,1.386333e-07,1.525262e-07,1.683238e-07,1.940916e-07,2.008017e-07,2.358868e-07,2.402632e-07,2.733870e-07,2.906009e-07,3.131028e-07,3.446442e-07,3.548320e-07,3.983734e-07,4.019291e-07,4.435294e-07,4.620008e-07,4.901087e-07,5.244239e-07,5.379282e-07,5.868145e-07,5.887898e-07,6.366047e-07,6.547210e-07,6.871474e-07,7.218742e-07,7.383024e-07,7.899412e-07,8.419466e-07,8.586480e-07,8.942119e-07,9.277532e-07,9.466409e-07,9.970462e-07,9.991469e-07,1.051652e-06,1.066344e-06,1.104088e-06,1.135490e-06,1.156392e-06,1.204348e-06,1.208509e-06,1.260392e-06,1.272804e-06,1.311997e-06,1.340761e-06,1.363287e-06,1.408135e-06,1.414229e-06,1.464794e-06,1.474860e-06,1.514958e-06,1.540877e-06,1.564699e-06,1.606140e-06,1.613997e-06,1.662839e-06,1.670610e-06,1.711209e-06,1.734256e-06,1.759097e-06,1.797054e-06,1.806493e-06,1.853391e-06,1.858984e-06,1.899782e-06,1.920033e-06,1.945664e-06,1.980191e-06,1.991032e-06,2.035884e-06,2.039450e-06,2.080219e-06,2.097808e-06,2.124035e-06,2.155263e-06,2.167334e-06,2.210116e-06,2.211816e-06,2.252382e-06,2.267472e-06,2.294135e-06,2.322235e-06,2.335377e-06,2.376111e-06,2.416341e-06,2.429108e-06,2.456069e-06,2.481235e-06,2.495301e-06,2.532500e-06,2.534040e-06,2.572291e-06,2.582915e-06,2.610059e-06,2.632490e-06,2.647348e-06,2.681236e-06,2.684164e-06,2.720511e-06,2.729165e-06,2.756395e-06,2.776290e-06,2.791822e-06,2.822622e-06,2.826796e-06,2.861323e-06,2.868175e-06,2.895409e-06,2.912962e-06,2.929060e-06,2.956994e-06,2.962280e-06,2.995077e-06,3.000285e-06,3.027454e-06,3.042849e-06,3.059419e-06,3.084697e-06,3.090976e-06,3.122132e-06,3.125844e-06,3.152892e-06,3.166302e-06,3.183261e-06,3.206084e-06,3.213245e-06,3.242850e-06,3.245202e-06,3.272081e-06,3.283670e-06,3.300944e-06,3.321500e-06,3.329444e-06,3.357586e-06,3.358704e-06,3.385376e-06,3.395295e-06,3.412819e-06,3.431285e-06,3.439920e-06,3.466685e-06,3.501508e-06,3.535765e-06,3.569467e-06,3.602626e-06,3.635253e-06,3.667358e-06,3.698953e-06,3.730047e-06,3.760651e-06,3.790775e-06,3.820429e-06,3.849623e-06,3.878366e-06,3.906667e-06,3.934536e-06,3.961981e-06,3.989011e-06,4.015635e-06,4.041860e-06,4.067697e-06,4.093151e-06,4.118231e-06,4.142945e-06,4.167300e-06
0.000000e+00,6.908639e-17,7.837937e-16,2.847055e-14,3.021083e-13,8.845815e-13,8.808450e-12,9.563058e-12,5.810306e-11,8.969022e-11,2.456765e-10,5.153263e-10,8.103060e-10,2.069373e-09,2.231794e-09,5.363252e-09,6.509182e-09,1.158411e-08,1.715471e-08,2.296043e-08,3.951592e-08,4.239069e-08,7.371191e-08,8.181014e-08,1.217471e-07,1.552159e-07,1.922853e-07,2.737862e-07,2.919990e-07,4.283073e-07,4.540403e-07,6.092035e-07,7.143210e-07,8.430613e-07,1.074026e-06,1.138432e-06,1.503849e-06,1.552804e-06,1.947634e-06,2.169793e-06,2.477736e-06,2.942929e-06,3.101571e-06,3.825902e-06,3.888375e-06,4.656727e-06,5.020061e-06,5.599206e-06,6.349355e-06,6.657598e-06,7.835228e-06,7.884850e-06,9.134471e-06,9.632275e-06,1.055676e-05,1.159450e-05,1.210261e-05,1.377166e-05,1.556268e-05,1.616127e-05,1.747372e-05,1.875855e-05,1.950207e-05,2.155660e-05,2.164443e-05,2.389691e-05,2.454675e-05,2.625512e-05,2.771884e-05,2.871431e-05,3.106152e-05,3.126933e-05,3.391479e-05,3.456254e-05,3.664508e-05,3.820896e-05,3.945446e-05,4.198747e-05,4.233706e-05,4.528699e-05,4.588454e-05,4.829836e-05,4.988660e-05,5.136529e-05,5.398022e-05,5.448200e-05,5.764278e-05,5.815221e-05,6.084204e-05,6.238976e-05,6.407437e-05,6.668047e-05,6.733447e-05,7.061723e-05,7.101245e-05,7.391773e-05,7.537435e-05,7.723124e-05,7.975539e-05,8.055319e-05,8.387926e-05,8.414540e-05,8.720528e-05,8.853479e-05,9.052731e-05,9.291460e-05,9.384161e-05,9.714461e-05,9.727645e-05,1.004330e-04,1.016126e-04,1.037035e-04,1.059157e-04,1.069532e-04,1.101793e-04,1.133792e-04,1.143973e-04,1.165505e-04,1.185639e-04,1.196907e-04,1.226743e-04,1.227979e-04,1.258700e-04,1.267237e-04,1.289053e-04,1.307080e-04,1.319020e-04,1.346236e-04,1.348586e-04,1.377738e-04,1.384671e-04,1.406462e-04,1.422356e-04,1.434746e-04,1.459265e-04,1.462581e-04,1.489958e-04,1.495377e-04,1.516867e-04,1.530673e-04,1.543302e-04,1.565137e-04,1.569257e-04,1.594726e-04,1.598756e-04,1.619705e-04,1.631520e-04,1.644191e-04,1.663421e-04,1.668179e-04,1.691669e-04,1.694454e-04,1.714658e-04,1.724615e-04,1.737147e-04,1.753904e-04,1.759135e-04,1.780622e-04,1.782320e-04,1.801610e-04,1.809866e-04,1.822100e-04,1.836546e-04,1.842095e-04,1.861595e-04,1.862365e-04,1.880606e-04,1.887330e-04,1.899129e-04,1.911448e-04,1.917169e-04,1.934729e-04,1.957182e-04,1.978818e-04,1.999649e-04,2.019687e-04,2.038944e-04,2.057436e-04,2.075175e-04,2.092176e-04,2.108455e-04,2.124025e-04,2.138903e-04,2.153105e-04,2.166646e-04,2.179541e-04,2.191808e-04,2.203461e-04,2.214518e-04,2.224994e-04,2.234904e-04,2.244266e-04,2.253095e-04,2.261405e-04,2.269214e-04,2.276536e-04
0.000000e+00,3.866828e-13,1.207927e-12,6.496421e-12,1.972833e-11,3.278805e-11,9.806836e-11,1.020151e-10,2.440109e-10,3.015606e-10,4.946267e-10,7.139759e-10,8.947942e-10,1.433792e-09,1.489673e-09,2.327822e-09,2.570811e-09,3.460306e-09,4.242602e-09,4.939594e-09,6.569882e-09,6.818074e-09,9.146070e-09,9.669759e-09,1.196954e-08,1.364694e-08,1.532791e-08,1.858563e-08,1.925272e-08,2.376715e-08,2.454529e-08,2.888628e-08,3.156072e-08,3.461762e-08,3.964418e-08,4.096188e-08,4.791365e-08,4.878822e-08,5.546204e-08,5.896847e-08,6.359141e-08,7.014627e-08,7.228200e-08,8.151056e-08,8.227133e-08,9.125104e-08,9.528429e-08,1.014751e-07,1.091192e-07,1.121529e-07,1.232534e-07,1.237057e-07,1.347448e-07,1.389712e-07,1.465953e-07,1.548425e-07,1.587732e-07,1.712473e-07,1.839873e-07,1.881154e-07,1.969637e-07,2.053795e-07,2.101481e-07,2.229759e-07,2.235137e-07,2.370347e-07,2.408452e-07,2.506870e-07,2.589318e-07,2.644477e-07,2.771849e-07,2.782954e-07,2.922104e-07,2.955579e-07,3.061740e-07,3.140084e-07,3.201691e-07,3.324983e-07,3.341800e-07,3.481919e-07,3.509933e-07,3.621917e-07,3.694626e-07,3.761669e-07,3.878790e-07,3.901065e-07,4.040002e-07,4.062184e-07,4.178390e-07,4.244595e-07,4.316143e-07,4.425838e-07,4.453186e-07,4.589453e-07,4.605750e-07,4.724882e-07,4.784192e-07,4.859420e-07,4.961042e-07,4.993017e-07,5.125633e-07,5.136199e-07,5.257229e-07,5.309574e-07,5.387773e-07,5.481097e-07,5.517236e-07,5.645595e-07,5.650706e-07,5.772829e-07,5.818354e-07,5.898920e-07,5.984003e-07,6.023855e-07,6.147622e-07,6.270212e-07,6.309191e-07,6.391619e-07,6.468696e-07,6.511838e-07,6.626129e-07,6.630867e-07,6.748706e-07,6.781488e-07,6.865356e-07,6.934775e-07,6.980818e-07,7.085998e-07,7.095097e-07,7.208197e-07,7.235167e-07,7.320125e-07,7.382295e-07,7.430888e-07,7.527401e-07,7.540492e-07,7.648948e-07,7.670502e-07,7.756263e-07,7.811620e-07,7.862449e-07,7.950779e-07,7.967515e-07,8.071472e-07,8.088003e-07,8.174332e-07,8.223318e-07,8.276106e-07,8.356752e-07,8.376806e-07,8.476445e-07,8.488331e-07,8.575035e-07,8.618085e-07,8.672588e-07,8.746043e-07,8.769118e-07,8.864637e-07,8.872235e-07,8.959158e-07,8.996690e-07,9.052694e-07,9.119438e-07,9.145260e-07,9.236866e-07,9.240511e-07,9.327528e-07,9.359937e-07,9.417257e-07,9.477747e-07,9.506067e-07,9.593972e-07,9.708640e-07,9.821782e-07,9.933427e-07,1.004360e-06,1.015234e-06,1.025967e-06,1.036561e-06,1.047020e-06,1.057345e-06,1.067541e-06,1.077609e-06,1.087552e-06,1.097372e-06,1.107073e-06,1.116655e-06,1.126123e-06,1.135477e-06,1.144721e-06,1.153857e-06,1.162886e-06,1.171811e-06,1.180634e-06,1.189357e-06,1.197982e-06
0.000000e+00,6.881935e-18,8.022402e-17,3.084028e-15,3.448046e-14,1.039157e-13,1.115323e-12,1.214583e-12,7.952498e-12,1.252789e-11,3.611160e-11,7.892291e-11,1.274504e-10,3.452724e-10,3.742324e-10,9.552495e-10,1.175651e-09,2.184201e-09,3.335215e-09,4.570379e-09,8.236513e-09,8.890608e-09,1.627014e-08,1.824179e-08,2.826850e-08,3.700014e-08,4.696443e-08,6.978318e-08,7.503325e-08,1.158088e-07,1.237716e-07,1.733242e-07,2.082442e-07,2.523258e-07,3.346341e-07,3.582593e-07,4.972259e-07,5.164337e-07,6.759124e-07,7.689523e-07,9.014966e-07,1.108943e-06,1.181532e-06,1.523818e-06,1.554127e-06,1.936263e-06,2.122653e-06,2.426739e-06,2.832530e-06,3.002941e-06,3.672246e-06,3.701054e-06,4.441582e-06,4.744276e-06,5.317314e-06,5.976519e-06,6.305134e-06,7.409974e-06,8.635937e-06,9.054376e-06,9.986234e-06,1.091677e-05,1.146316e-05,1.300139e-05,1.306805e-05,1.480130e-05,1.530956e-05,1.666238e-05,1.783981e-05,1.864982e-05,2.058789e-05,2.076130e-05,2.299365e-05,2.354698e-05,2.534294e-05,2.670792e-05,2.780454e-05,3.005945e-05,3.037315e-05,3.304293e-05,3.358847e-05,3.580754e-05,3.728038e-05,3.866021e-05,4.111933e-05,4.159385e-05,4.460108e-05,4.508856e-05,4.767433e-05,4.917068e-05,5.080589e-05,5.334791e-05,5.398801e-05,5.721289e-05,5.760239e-05,6.047283e-05,6.191633e-05,6.376018e-05,6.627228e-05,6.706745e-05,7.038734e-05,7.065327e-05,7.371277e-05,7.504294e-05,7.703687e-05,7.942570e-05,8.035308e-05,8.365511e-05,8.378681e-05,8.693699e-05,8.811243e-05,9.019306e-05,9.238972e-05,9.341801e-05,9.660683e-05,9.975488e-05,1.007529e-04,1.028578e-04,1.048182e-04,1.059117e-04,1.087939e-04,1.089129e-04,1.118581e-04,1.126722e-04,1.147442e-04,1.164464e-04,1.175685e-04,1.201103e-04,1.203287e-04,1.230227e-04,1.236592e-04,1.256486e-04,1.270887e-04,1.282048e-04,1.303956e-04,1.306900e-04,1.331031e-04,1.335770e-04,1.354433e-04,1.366312e-04,1.377099e-04,1.395567e-04,1.399025e-04,1.420208e-04,1.423528e-04,1.440647e-04,1.450194e-04,1.460343e-04,1.475566e-04,1.479298e-04,1.497516e-04,1.499653e-04,1.515003e-04,1.522466e-04,1.531763e-04,1.544020e-04,1.547804e-04,1.563135e-04,1.564332e-04,1.577765e-04,1.583423e-04,1.591704e-04,1.601318e-04,1.604962e-04,1.617550e-04,1.618040e-04,1.629482e-04,1.633618e-04,1.640768e-04,1.648081e-04,1.651422e-04,1.661458e-04,1.673780e-04,1.685080e-04,1.695389e-04,1.704742e-04,1.713171e-04,1.720709e-04,1.727391e-04,1.733249e-04,1.738316e-04,1.742626e-04,1.746210e-04,1.749101e-04,1.751329e-04,1.752926e-04,1.753921e-04,1.754344e-04,1.754223e-04,1.753587e-04,1.752463e-04,1.750877e-04,1.748855e-04,1.746421e-04,1.743601e-04,1.740416e-04
0.000000e+00,1.276648e-12,5.834048e-12,4.753698e-11,1.761674e-10,3.158711e-10,1.085870e-09,1.134676e-09,2.979966e-09,3.762345e-09,6.481022e-09,9.699959e-09,1.243292e-08,2.089967e-08,2.179991e-08,3.567008e-08,3.979229e-08,5.513673e-08,6.885349e-08,8.117751e-08,1.101873e-07,1.146138e-07,1.561264e-07,1.654495e-07,2.062778e-07,2.359260e-07,2.655238e-07,3.225806e-07,3.342184e-07,4.126164e-07,4.260724e-07,5.008752e-07,5.467645e-07,5.990597e-07,6.847413e-07,7.071472e-07,8.250362e-07,8.398340e-07,9.525544e-07,1.011655e-06,1.089469e-06,1.199634e-06,1.235494e-06,1.390305e-06,1.403059e-06,1.553540e-06,1.621108e-06,1.724816e-06,1.852887e-06,1.903728e-06,2.089863e-06,2.097452e-06,2.282798e-06,2.353838e-06,2.482111e-06,2.621071e-06,2.687379e-06,2.898187e-06,3.114123e-06,3.184241e-06,3.334789e-06,3.478316e-06,3.559794e-06,3.779529e-06,3.788759e-06,4.021318e-06,4.087030e-06,4.257118e-06,4.400012e-06,4.495820e-06,4.717707e-06,4.737097e-06,4.980636e-06,5.039388e-06,5.226138e-06,5.364369e-06,5.473317e-06,5.692004e-06,5.721900e-06,5.971627e-06,6.021687e-06,6.222250e-06,6.352849e-06,6.473533e-06,6.684958e-06,6.725254e-06,6.977200e-06,7.017519e-06,7.229170e-06,7.350067e-06,7.480973e-06,7.682175e-06,7.732430e-06,7.983370e-06,8.013441e-06,8.233634e-06,8.343496e-06,8.483069e-06,8.671998e-06,8.731534e-06,8.978895e-06,8.998632e-06,9.225025e-06,9.323106e-06,9.469807e-06,9.645153e-06,9.713130e-06,9.954892e-06,9.964529e-06,1.019500e-05,1.028101e-05,1.043335e-05,1.059439e-05,1.066987e-05,1.090449e-05,1.113712e-05,1.121113e-05,1.136770e-05,1.151417e-05,1.159618e-05,1.181347e-05,1.182249e-05,1.204658e-05,1.210892e-05,1.226840e-05,1.240039e-05,1.248792e-05,1.268780e-05,1.270509e-05,1.291988e-05,1.297107e-05,1.313226e-05,1.325012e-05,1.334219e-05,1.352490e-05,1.354966e-05,1.375464e-05,1.379534e-05,1.395712e-05,1.406141e-05,1.415708e-05,1.432308e-05,1.435450e-05,1.454937e-05,1.458032e-05,1.474170e-05,1.483310e-05,1.493146e-05,1.508143e-05,1.511866e-05,1.530330e-05,1.532529e-05,1.548538e-05,1.556468e-05,1.566489e-05,1.579961e-05,1.584184e-05,1.601625e-05,1.603009e-05,1.618810e-05,1.625614e-05,1.635742e-05,1.647777e-05,1.652422e-05,1.668849e-05,1.669501e-05,1.685026e-05,1.690789e-05,1.700954e-05,1.711643e-05,1.716634e-05,1.732068e-05,1.752066e-05,1.771642e-05,1.790800e-05,1.809544e-05,1.827878e-05,1.845807e-05,1.863337e-05,1.880471e-05,1.897216e-05,1.913576e-05,1.929556e-05,1.945162e-05,1.960399e-05,1.975274e-05,1.989790e-05,2.003954e-05,2.017771e-05,2.031247e-05,2.044388e-05,2.057198e-05,2.069685e-05,2.081852e-05,2.093706e-05,2.105252e-05
0.000000e+00,1.551913e-12,5.620161e-12,3.543179e-11,1.162201e-10,1.990097e-10,6.293254e-10,6.558459e-10,1.629002e-09,2.030422e-09,3.394670e-09,4.967134e-09,6.275993e-09,1.022437e-08,1.063688e-08,1.687548e-08,1.869893e-08,2.541692e-08,3.137075e-08,3.670432e-08,4.926578e-08,5.118721e-08,6.930657e-08,7.340402e-08,9.147796e-08,1.047349e-07,1.180764e-07,1.440793e-07,1.494263e-07,1.857981e-07,1.920987e-07,2.274069e-07,2.492891e-07,2.744154e-07,3.159865e-07,3.269351e-07,3.850297e-07,3.923770e-07,4.487181e-07,4.785088e-07,5.179779e-07,5.743059e-07,5.927491e-07,6.729382e-07,6.795839e-07,7.584222e-07,7.940659e-07,8.490528e-07,9.173992e-07,9.446604e-07,1.045058e-06,1.049171e-06,1.150044e-06,1.188922e-06,1.259407e-06,1.336162e-06,1.372927e-06,1.490379e-06,1.611535e-06,1.651050e-06,1.736167e-06,1.817649e-06,1.864045e-06,1.989654e-06,1.994945e-06,2.128642e-06,2.166549e-06,2.264920e-06,2.347835e-06,2.403563e-06,2.533026e-06,2.544364e-06,2.687122e-06,2.721654e-06,2.831642e-06,2.913271e-06,2.977734e-06,3.107452e-06,3.125217e-06,3.273917e-06,3.303789e-06,3.423667e-06,3.501897e-06,3.574305e-06,3.701415e-06,3.725678e-06,3.877640e-06,3.901999e-06,4.030050e-06,4.103327e-06,4.182776e-06,4.305098e-06,4.335690e-06,4.488672e-06,4.507029e-06,4.641608e-06,4.708857e-06,4.794390e-06,4.910337e-06,4.946914e-06,5.099083e-06,5.111238e-06,5.250806e-06,5.311351e-06,5.401997e-06,5.510479e-06,5.552574e-06,5.702459e-06,5.708439e-06,5.851582e-06,5.905066e-06,5.999874e-06,6.100206e-06,6.147272e-06,6.293717e-06,6.439153e-06,6.485472e-06,6.583530e-06,6.675352e-06,6.726798e-06,6.863252e-06,6.868914e-06,7.009836e-06,7.049075e-06,7.149526e-06,7.232735e-06,7.287950e-06,7.414153e-06,7.425074e-06,7.560871e-06,7.593261e-06,7.695312e-06,7.769997e-06,7.828373e-06,7.944309e-06,7.960033e-06,8.090272e-06,8.116148e-06,8.219073e-06,8.285475e-06,8.346419e-06,8.452256e-06,8.472298e-06,8.596697e-06,8.616463e-06,8.719607e-06,8.778072e-06,8.841020e-06,8.937067e-06,8.960928e-06,9.079327e-06,9.093434e-06,9.196213e-06,9.247163e-06,9.311584e-06,9.398251e-06,9.425438e-06,9.537775e-06,9.546696e-06,9.648597e-06,9.692502e-06,9.757905e-06,9.835672e-06,9.865704e-06,9.971996e-06,9.976217e-06,1.007679e-05,1.011415e-05,1.018008e-05,1.024948e-05,1.028189e-05,1.038222e-05,1.051240e-05,1.064003e-05,1.076514e-05,1.088776e-05,1.100789e-05,1.112558e-05,1.124085e-05,1.135372e-05,1.146424e-05,1.157242e-05,1.167830e-05,1.178192e-05,1.188330e-05,1.198247e-05,1.207948e-05,1.217436e-05,1.226713e-05,1.235783e-05,1.244650e-05,1.253318e-05,1.261789e-05,1.270067e-05,1.278155e-05,1.286057e-05
0.000000e+00,1.149032e-18,1.331690e-17,5.057629e-16,5.590980e-15,1.674363e-14,1.767467e-13,1.923446e-13,1.238260e-12,1.941611e-12,5.530960e-12,1.197198e-11,1.921119e-11,5.130872e-11,5.554470e-11,1.396858e-10,1.713167e-10,3.148607e-10,4.770743e-10,6.498745e-10,1.157712e-09,1.247726e-09,2.254945e-09,2.522034e-09,3.871021e-09,5.036018e-09,6.357067e-09,9.356668e-09,1.004267e-08,1.532994e-08,1.635528e-08,2.269404e-08,2.712398e-08,3.267978e-08,4.296216e-08,4.589437e-08,6.299683e-08,6.534320e-08,8.468435e-08,9.586449e-08,1.116769e-07,1.361863e-07,1.447007e-07,1.844716e-07,1.879656e-07,2.316785e-07,2.527901e-07,2.869686e-07,3.321173e-07,3.509335e-07,4.240979e-07,4.272224e-07,5.069097e-07,5.391566e-07,5.997336e-07,6.687172e-07,7.028454e-07,8.164295e-07,9.405784e-07,9.825401e-07,1.075294e-06,1.167021e-06,1.220491e-06,1.369584e-06,1.375999e-06,1.541571e-06,1.589694e-06,1.716889e-06,1.826601e-06,1.901570e-06,2.079367e-06,2.095173e-06,2.297210e-06,2.346896e-06,2.507153e-06,2.627965e-06,2.724439e-06,2.921260e-06,2.948482e-06,3.178679e-06,3.225403e-06,3.414415e-06,3.538981e-06,3.655070e-06,3.860572e-06,3.900029e-06,4.148682e-06,4.188769e-06,4.400430e-06,4.522197e-06,4.654691e-06,4.859530e-06,4.910902e-06,5.168520e-06,5.199504e-06,5.427030e-06,5.540929e-06,5.685940e-06,5.882693e-06,5.944786e-06,6.203133e-06,6.223767e-06,6.460573e-06,6.563209e-06,6.716727e-06,6.900163e-06,6.971243e-06,7.223800e-06,7.233857e-06,7.474100e-06,7.563604e-06,7.721876e-06,7.888796e-06,7.966883e-06,8.208901e-06,8.447733e-06,8.523458e-06,8.683206e-06,8.832072e-06,8.915163e-06,9.134411e-06,9.143472e-06,9.368013e-06,9.430196e-06,9.588689e-06,9.719203e-06,9.805414e-06,1.000125e-05,1.001812e-05,1.022675e-05,1.027620e-05,1.043125e-05,1.054396e-05,1.063160e-05,1.080445e-05,1.082777e-05,1.101976e-05,1.105765e-05,1.120754e-05,1.130354e-05,1.139114e-05,1.154212e-05,1.157055e-05,1.174579e-05,1.177345e-05,1.191689e-05,1.199755e-05,1.208387e-05,1.221451e-05,1.224676e-05,1.240560e-05,1.242439e-05,1.256043e-05,1.262730e-05,1.271129e-05,1.282331e-05,1.285822e-05,1.300127e-05,1.301255e-05,1.314050e-05,1.319513e-05,1.327595e-05,1.337116e-05,1.340767e-05,1.353573e-05,1.354078e-05,1.366017e-05,1.370410e-05,1.378106e-05,1.386126e-05,1.389845e-05,1.401239e-05,1.415763e-05,1.429711e-05,1.443097e-05,1.455934e-05,1.468236e-05,1.480016e-05,1.491288e-05,1.502066e-05,1.512361e-05,1.522189e-05,1.531561e-05,1.540489e-05,1.548988e-05,1.557069e-05,1.564744e-05,1.572026e-05,1.578926e-05,1.585455e-05,1.591626e-05,1.597448e-05,1.602933e-05,1.608093e-05,1.612936e-05,1.617473e-05
0.000000e+00,2.880930e-13,1.037771e-12,6.498394e-12,2.122875e-11,3.628609e-11,1.143354e-10,1.191395e-10,2.952682e-10,3.678929e-10,6.148025e-10,8.997313e-10,1.137230e-09,1.855539e-09,1.930732e-09,3.070549e-09,3.404369e-09,4.635278e-09,5.725953e-09,6.701679e-09,8.991509e-09,9.340566e-09,1.261510e-08,1.335129e-08,1.658051e-08,1.893156e-08,2.128407e-08,2.583449e-08,2.676508e-08,3.305474e-08,3.413779e-08,4.017611e-08,4.389448e-08,4.814414e-08,5.513322e-08,5.696599e-08,6.664135e-08,6.785948e-08,7.716307e-08,8.205750e-08,8.851775e-08,9.769297e-08,1.006865e-07,1.136458e-07,1.147159e-07,1.273682e-07,1.330640e-07,1.418228e-07,1.526651e-07,1.569767e-07,1.727947e-07,1.734408e-07,1.892409e-07,1.953081e-07,2.062782e-07,2.181824e-07,2.238696e-07,2.419782e-07,2.605672e-07,2.666114e-07,2.796011e-07,2.919999e-07,2.990447e-07,3.180648e-07,3.188644e-07,3.390274e-07,3.447302e-07,3.595023e-07,3.719245e-07,3.802593e-07,3.995800e-07,4.012695e-07,4.225058e-07,4.276332e-07,4.439422e-07,4.560248e-07,4.655542e-07,4.846996e-07,4.873186e-07,5.092136e-07,5.136064e-07,5.312185e-07,5.426980e-07,5.533139e-07,5.719307e-07,5.754816e-07,5.977046e-07,6.012644e-07,6.199669e-07,6.306623e-07,6.422534e-07,6.600907e-07,6.645502e-07,6.868443e-07,6.895188e-07,7.091234e-07,7.189186e-07,7.313763e-07,7.482645e-07,7.535924e-07,7.757620e-07,7.775332e-07,7.978759e-07,8.067039e-07,8.199257e-07,8.357576e-07,8.419038e-07,8.638029e-07,8.646771e-07,8.856164e-07,8.934471e-07,9.073383e-07,9.220539e-07,9.289629e-07,9.504852e-07,9.719006e-07,9.787302e-07,9.932046e-07,1.006779e-06,1.014394e-06,1.034623e-06,1.035464e-06,1.056412e-06,1.062256e-06,1.077236e-06,1.089670e-06,1.097933e-06,1.116860e-06,1.118501e-06,1.138937e-06,1.143822e-06,1.159240e-06,1.170551e-06,1.179408e-06,1.197044e-06,1.199440e-06,1.219336e-06,1.223298e-06,1.239093e-06,1.249312e-06,1.258712e-06,1.275084e-06,1.278191e-06,1.297531e-06,1.300613e-06,1.316731e-06,1.325898e-06,1.335791e-06,1.350938e-06,1.354711e-06,1.373491e-06,1.375736e-06,1.392132e-06,1.400289e-06,1.410632e-06,1.424600e-06,1.428994e-06,1.447218e-06,1.448670e-06,1.465303e-06,1.472499e-06,1.483251e-06,1.496089e-06,1.501062e-06,1.518738e-06,1.519442e-06,1.536278e-06,1.542560e-06,1.553684e-06,1.565444e-06,1.570957e-06,1.588097e-06,1.610522e-06,1.632719e-06,1.654693e-06,1.676445e-06,1.697978e-06,1.719295e-06,1.740399e-06,1.761291e-06,1.781976e-06,1.802455e-06,1.822732e-06,1.842810e-06,1.862690e-06,1.882377e-06,1.901873e-06,1.921181e-06,1.940303e-06,1.959242e-06,1.978002e-06,1.996585e-06,2.014993e-06,2.033230e-06,2.051298e-06,2.069200e-06
0.000000e+00,1.772406e-12,5.541082e-12,2.987898e-11,9.105949e-11,1.517210e-10,4.578481e-10,4.764865e-10,1.155012e-09,1.433887e-09,2.383218e-09,3.484016e-09,4.406547e-09,7.220107e-09,7.516220e-09,1.202374e-08,1.334679e-08,1.822014e-08,2.252106e-08,2.635005e-08,3.526094e-08,3.661012e-08,4.915676e-08,5.195182e-08,6.411281e-08,7.287418e-08,8.157136e-08,9.821896e-08,1.015976e-07,1.242299e-07,1.280942e-07,1.494811e-07,1.625294e-07,1.773396e-07,2.014816e-07,2.077715e-07,2.407226e-07,2.448428e-07,2.761214e-07,2.924504e-07,3.138812e-07,3.440974e-07,3.539034e-07,3.960799e-07,3.995437e-07,4.402955e-07,4.585260e-07,4.864305e-07,5.207677e-07,5.343627e-07,5.839687e-07,5.859860e-07,6.351261e-07,6.538991e-07,6.877140e-07,7.242306e-07,7.416145e-07,7.967133e-07,8.529001e-07,8.710922e-07,9.100691e-07,9.471261e-07,9.681196e-07,1.024588e-06,1.026956e-06,1.086486e-06,1.103267e-06,1.146625e-06,1.182967e-06,1.207292e-06,1.263507e-06,1.268411e-06,1.329910e-06,1.344719e-06,1.391723e-06,1.426451e-06,1.453786e-06,1.508563e-06,1.516042e-06,1.578435e-06,1.590926e-06,1.640916e-06,1.673425e-06,1.703437e-06,1.755953e-06,1.765954e-06,1.828425e-06,1.838414e-06,1.890815e-06,1.920722e-06,1.953086e-06,2.002797e-06,2.015207e-06,2.077149e-06,2.084568e-06,2.138882e-06,2.165972e-06,2.200381e-06,2.246950e-06,2.261624e-06,2.322588e-06,2.327452e-06,2.383253e-06,2.407431e-06,2.443601e-06,2.486845e-06,2.503615e-06,2.563280e-06,2.565659e-06,2.622582e-06,2.643839e-06,2.681508e-06,2.721357e-06,2.740047e-06,2.798188e-06,2.855922e-06,2.874309e-06,2.913240e-06,2.949702e-06,2.970135e-06,3.024349e-06,3.026600e-06,3.082628e-06,3.098238e-06,3.138216e-06,3.171355e-06,3.193358e-06,3.243691e-06,3.248050e-06,3.302289e-06,3.315239e-06,3.356072e-06,3.385991e-06,3.409397e-06,3.455943e-06,3.462262e-06,3.514666e-06,3.525091e-06,3.566607e-06,3.593434e-06,3.618086e-06,3.660970e-06,3.669101e-06,3.719654e-06,3.727699e-06,3.769744e-06,3.793623e-06,3.819372e-06,3.858743e-06,3.868540e-06,3.917248e-06,3.923062e-06,3.965498e-06,3.986583e-06,4.013291e-06,4.049311e-06,4.060631e-06,4.107517e-06,4.111249e-06,4.153954e-06,4.172403e-06,4.199943e-06,4.232779e-06,4.245486e-06,4.290587e-06,4.292382e-06,4.335248e-06,4.351219e-06,4.379473e-06,4.409297e-06,4.423263e-06,4.466623e-06,4.523203e-06,4.579046e-06,4.634160e-06,4.688551e-06,4.742229e-06,4.795201e-06,4.847475e-06,4.899061e-06,4.949967e-06,5.000200e-06,5.049770e-06,5.098685e-06,5.146954e-06,5.194585e-06,5.241588e-06,5.287970e-06,5.333740e-06,5.378907e-06,5.423479e-06,5.467465e-06,5.510873e-06,5.553711e-06,5.595989e-06,5.637713e-06
0.000000e+00,9.628693e-13,2.920049e-12,1.528412e-11,4.608905e-11,7.662386e-11,2.318636e-10,2.413844e-10,5.930271e-10,7.401395e-10,1.250411e-09,1.857103e-09,2.375053e-09,3.988965e-09,4.160806e-09,6.797925e-09,7.575810e-09,1.044405e-08,1.297397e-08,1.522339e-08,2.044725e-08,2.123701e-08,2.857071e-08,3.020258e-08,3.729885e-08,4.241032e-08,4.748576e-08,5.721011e-08,5.918572e-08,7.244260e-08,7.471054e-08,8.728934e-08,9.498730e-08,1.037476e-07,1.180819e-07,1.218278e-07,1.415291e-07,1.440018e-07,1.628402e-07,1.727218e-07,1.857395e-07,2.041869e-07,2.101967e-07,2.361735e-07,2.383160e-07,2.636246e-07,2.750065e-07,2.924988e-07,3.141383e-07,3.227404e-07,3.542900e-07,3.555783e-07,3.870854e-07,3.991846e-07,4.210630e-07,4.448099e-07,4.561579e-07,4.923049e-07,5.294393e-07,5.415204e-07,5.674971e-07,5.923097e-07,6.064156e-07,6.445300e-07,6.461334e-07,6.865910e-07,6.980439e-07,7.277310e-07,7.527195e-07,7.694981e-07,8.084317e-07,8.118389e-07,8.547026e-07,8.650623e-07,8.980406e-07,9.224997e-07,9.418065e-07,9.806393e-07,9.859561e-07,1.030448e-06,1.039383e-06,1.075241e-06,1.098641e-06,1.120300e-06,1.158327e-06,1.165587e-06,1.211069e-06,1.218362e-06,1.256714e-06,1.278673e-06,1.302492e-06,1.339192e-06,1.348376e-06,1.394337e-06,1.399856e-06,1.440351e-06,1.460607e-06,1.486394e-06,1.521392e-06,1.532443e-06,1.578478e-06,1.582159e-06,1.624478e-06,1.642865e-06,1.670426e-06,1.703465e-06,1.716303e-06,1.762092e-06,1.763922e-06,1.807780e-06,1.824199e-06,1.853350e-06,1.884264e-06,1.898789e-06,1.944085e-06,1.989225e-06,2.003635e-06,2.034199e-06,2.062889e-06,2.078995e-06,2.121823e-06,2.123604e-06,2.168016e-06,2.180415e-06,2.212223e-06,2.238646e-06,2.256218e-06,2.296497e-06,2.299991e-06,2.343537e-06,2.353953e-06,2.386849e-06,2.410999e-06,2.429920e-06,2.467620e-06,2.472746e-06,2.515320e-06,2.523804e-06,2.557638e-06,2.579541e-06,2.599696e-06,2.634821e-06,2.641490e-06,2.683014e-06,2.689633e-06,2.724267e-06,2.743971e-06,2.765245e-06,2.797827e-06,2.805945e-06,2.846364e-06,2.851195e-06,2.886500e-06,2.904070e-06,2.926351e-06,2.956445e-06,2.965914e-06,3.005188e-06,3.008318e-06,3.044172e-06,3.059684e-06,3.082864e-06,3.110540e-06,3.121263e-06,3.159367e-06,3.160885e-06,3.197177e-06,3.210716e-06,3.234691e-06,3.260032e-06,3.271909e-06,3.308831e-06,3.357112e-06,3.404877e-06,3.452124e-06,3.498854e-06,3.545068e-06,3.590766e-06,3.635951e-06,3.680623e-06,3.724784e-06,3.768436e-06,3.811582e-06,3.854223e-06,3.896362e-06,3.938002e-06,3.979146e-06,4.019796e-06,4.059956e-06,4.099628e-06,4.138817e-06,4.177525e-06,4.215756e-06,4.253514e-06,4.290801e-06,4.327623e-06
0.000000e+00,1.787030e-15,1.863650e-14,5.699102e-13,5.180755e-12,1.394753e-11,1.121832e-10,1.207540e-10,5.969789e-10,8.722201e-10,2.085243e-09,3.927376e-09,5.763540e-09,1.265973e-08,1.348254e-08,2.786586e-08,3.267583e-08,5.237326e-08,7.209102e-08,9.130921e-08,1.415155e-07,1.497386e-07,2.332852e-07,2.535259e-07,3.478405e-07,4.216156e-07,4.992549e-07,6.589987e-07,6.930748e-07,9.343597e-07,9.776772e-07,1.227574e-06,1.387907e-06,1.576533e-06,1.897976e-06,1.984387e-06,2.453624e-06,2.514151e-06,2.986077e-06,3.240717e-06,3.582954e-06,4.080063e-06,4.244863e-06,4.971845e-06,5.032804e-06,5.763422e-06,6.097941e-06,6.618641e-06,7.273049e-06,7.536127e-06,8.514134e-06,8.554485e-06,9.550602e-06,9.937601e-06,1.064321e-05,1.141695e-05,1.178941e-05,1.298650e-05,1.423166e-05,1.463978e-05,1.552196e-05,1.637007e-05,1.685443e-05,1.817049e-05,1.822607e-05,1.963389e-05,2.003415e-05,2.107491e-05,2.195423e-05,2.254619e-05,2.392401e-05,2.404485e-05,2.556806e-05,2.593698e-05,2.711308e-05,2.798683e-05,2.867725e-05,3.006749e-05,3.025797e-05,3.185277e-05,3.217320e-05,3.345923e-05,3.429843e-05,3.507506e-05,3.643797e-05,3.669805e-05,3.832607e-05,3.858689e-05,3.995713e-05,4.074054e-05,4.158928e-05,4.289455e-05,4.322069e-05,4.484963e-05,4.504486e-05,4.647443e-05,4.718763e-05,4.809354e-05,4.931933e-05,4.970547e-05,5.130881e-05,5.143667e-05,5.290226e-05,5.353658e-05,5.448456e-05,5.561626e-05,5.605456e-05,5.761115e-05,5.767312e-05,5.915332e-05,5.970479e-05,6.068011e-05,6.170909e-05,6.219063e-05,6.368405e-05,6.515961e-05,6.562789e-05,6.661659e-05,6.753901e-05,6.805434e-05,6.941594e-05,6.947227e-05,7.086983e-05,7.125742e-05,7.224651e-05,7.306231e-05,7.360186e-05,7.482961e-05,7.493549e-05,7.624702e-05,7.655846e-05,7.753613e-05,7.824814e-05,7.880255e-05,7.989802e-05,8.004601e-05,8.126632e-05,8.150759e-05,8.246330e-05,8.307645e-05,8.363679e-05,8.460430e-05,8.478670e-05,8.591292e-05,8.609092e-05,8.701542e-05,8.753617e-05,8.809414e-05,8.894001e-05,8.914910e-05,9.018030e-05,9.030245e-05,9.118779e-05,9.162358e-05,9.217162e-05,9.290355e-05,9.313187e-05,9.406864e-05,9.414257e-05,9.498205e-05,9.534090e-05,9.587223e-05,9.649886e-05,9.673932e-05,9.758349e-05,9.761678e-05,9.840491e-05,9.869509e-05,9.920376e-05,9.973420e-05,9.998025e-05,1.007346e-04,1.016968e-04,1.026212e-04,1.035086e-04,1.043593e-04,1.051741e-04,1.059536e-04,1.066983e-04,1.074090e-04,1.080862e-04,1.087306e-04,1.093430e-04,1.099239e-04,1.104741e-04,1.109942e-04,1.114849e-04,1.119470e-04,1.123811e-04,1.127878e-04,1.131679e-04,1.135221e-04,1.138509e-04,1.141552e-04,1.144355e-04,1.146925e-04
0.000000e+00,4.242640e-13,1.878369e-12,1.474729e-11,5.365374e-11,9.552339e-11,3.241576e-10,3.385868e-10,8.817495e-10,1.111187e-09,1.906386e-09,2.845469e-09,3.641674e-09,6.106751e-09,6.368962e-09,1.041897e-08,1.162762e-08,1.615129e-08,2.022871e-08,2.391770e-08,3.268457e-08,3.403134e-08,4.675679e-08,4.963539e-08,6.231442e-08,7.158578e-08,8.088737e-08,9.893031e-08,1.026268e-07,1.276544e-07,1.319706e-07,1.560639e-07,1.709222e-07,1.879215e-07,2.159176e-07,2.232666e-07,2.621118e-07,2.670081e-07,3.044447e-07,3.241675e-07,3.502289e-07,3.872978e-07,3.994058e-07,4.518968e-07,4.562365e-07,5.076058e-07,5.307659e-07,5.664213e-07,6.106227e-07,6.282191e-07,6.928647e-07,6.955078e-07,7.602157e-07,7.850958e-07,8.301235e-07,8.790437e-07,9.024359e-07,9.769983e-07,1.053656e-06,1.078603e-06,1.132254e-06,1.183504e-06,1.212639e-06,1.291353e-06,1.294663e-06,1.378179e-06,1.401812e-06,1.463046e-06,1.514556e-06,1.549124e-06,1.629274e-06,1.636283e-06,1.724396e-06,1.745671e-06,1.813339e-06,1.863468e-06,1.902999e-06,1.982403e-06,1.993263e-06,2.084028e-06,2.102232e-06,2.175192e-06,2.222725e-06,2.266663e-06,2.343670e-06,2.358351e-06,2.450172e-06,2.464870e-06,2.542046e-06,2.586144e-06,2.633901e-06,2.707323e-06,2.725665e-06,2.817274e-06,2.828254e-06,2.908667e-06,2.948796e-06,2.999785e-06,3.068819e-06,3.090576e-06,3.180990e-06,3.188206e-06,3.270981e-06,3.306849e-06,3.360505e-06,3.424652e-06,3.449523e-06,3.537998e-06,3.541525e-06,3.625896e-06,3.657391e-06,3.713184e-06,3.772178e-06,3.799835e-06,3.885821e-06,3.971119e-06,3.998265e-06,4.055706e-06,4.109459e-06,4.139561e-06,4.219357e-06,4.222667e-06,4.305007e-06,4.327923e-06,4.386566e-06,4.435121e-06,4.467331e-06,4.540923e-06,4.547290e-06,4.626432e-06,4.645304e-06,4.704750e-06,4.748244e-06,4.782233e-06,4.849725e-06,4.858877e-06,4.934676e-06,4.949734e-06,5.009624e-06,5.048260e-06,5.083719e-06,5.145297e-06,5.156957e-06,5.229338e-06,5.240839e-06,5.300859e-06,5.334883e-06,5.371520e-06,5.427431e-06,5.441323e-06,5.510267e-06,5.518483e-06,5.578355e-06,5.608042e-06,5.645588e-06,5.696116e-06,5.711970e-06,5.777504e-06,5.782710e-06,5.842192e-06,5.867832e-06,5.906041e-06,5.951493e-06,5.969053e-06,6.031233e-06,6.033703e-06,6.092588e-06,6.114474e-06,6.153121e-06,6.193818e-06,6.212840e-06,6.271750e-06,6.348282e-06,6.423431e-06,6.497211e-06,6.569639e-06,6.640731e-06,6.710504e-06,6.778975e-06,6.846162e-06,6.912082e-06,6.976754e-06,7.040195e-06,7.102423e-06,7.163456e-06,7.223314e-06,7.282013e-06,7.339573e-06,7.396012e-06,7.451348e-06,7.505598e-06,7.558782e-06,7.610917e-06,7.662021e-06,7.712111e-06,7.761206e-06
0.000000e+00,3.186994e-13,9.669592e-13,5.051079e-12,1.515795e-11,2.509952e-11,7.476017e-11,7.776517e-11,1.862009e-10,2.303287e-10,3.790657e-10,5.492198e-10,6.903113e-10,1.114689e-09,1.158978e-09,1.828833e-09,2.024773e-09,2.747647e-09,3.389679e-09,3.965871e-09,5.326110e-09,5.534493e-09,7.502056e-09,7.947335e-09,9.911201e-09,1.135009e-08,1.279569e-08,1.560338e-08,1.617885e-08,2.007374e-08,2.074480e-08,2.448449e-08,2.678420e-08,2.940798e-08,3.371023e-08,3.483547e-08,4.075390e-08,4.149636e-08,4.714694e-08,5.010545e-08,5.399574e-08,5.949298e-08,6.127964e-08,6.897667e-08,6.960960e-08,7.706402e-08,8.040304e-08,8.551841e-08,9.181969e-08,9.431641e-08,1.034347e-07,1.038058e-07,1.128504e-07,1.163085e-07,1.225410e-07,1.292765e-07,1.324847e-07,1.426605e-07,1.530483e-07,1.564139e-07,1.636286e-07,1.704925e-07,1.743831e-07,1.848551e-07,1.852944e-07,1.963458e-07,1.994632e-07,2.075219e-07,2.142811e-07,2.188078e-07,2.292759e-07,2.301897e-07,2.416546e-07,2.444171e-07,2.531903e-07,2.596769e-07,2.647853e-07,2.750295e-07,2.764290e-07,2.881113e-07,2.904516e-07,2.998229e-07,3.059216e-07,3.115552e-07,3.214202e-07,3.232999e-07,3.350495e-07,3.369295e-07,3.467971e-07,3.524332e-07,3.585359e-07,3.679167e-07,3.702601e-07,3.819638e-07,3.833667e-07,3.936420e-07,3.987710e-07,4.052897e-07,4.141188e-07,4.169024e-07,4.284761e-07,4.294002e-07,4.400068e-07,4.446063e-07,4.514911e-07,4.597292e-07,4.629257e-07,4.743075e-07,4.747616e-07,4.856339e-07,4.896973e-07,4.969023e-07,5.045304e-07,5.081103e-07,5.192560e-07,5.303373e-07,5.338695e-07,5.413525e-07,5.483668e-07,5.523001e-07,5.627447e-07,5.631785e-07,5.739865e-07,5.770000e-07,5.847230e-07,5.911301e-07,5.953868e-07,6.051327e-07,6.059772e-07,6.164932e-07,6.190059e-07,6.269342e-07,6.327482e-07,6.372996e-07,6.463582e-07,6.475889e-07,6.578016e-07,6.598349e-07,6.679373e-07,6.731774e-07,6.779958e-07,6.863852e-07,6.879769e-07,6.978804e-07,6.994578e-07,7.077062e-07,7.123950e-07,7.174543e-07,7.251969e-07,7.271247e-07,7.367175e-07,7.378634e-07,7.462327e-07,7.503948e-07,7.556705e-07,7.627915e-07,7.650310e-07,7.743146e-07,7.750540e-07,7.835215e-07,7.871828e-07,7.926519e-07,7.991786e-07,8.017061e-07,8.106846e-07,8.110421e-07,8.195876e-07,8.227743e-07,8.284155e-07,8.343759e-07,8.371688e-07,8.458479e-07,8.571914e-07,8.684074e-07,8.794971e-07,8.904615e-07,9.013018e-07,9.120193e-07,9.226152e-07,9.330907e-07,9.434472e-07,9.536859e-07,9.638082e-07,9.738153e-07,9.837085e-07,9.934893e-07,1.003159e-06,1.012719e-06,1.022170e-06,1.031514e-06,1.040753e-06,1.049887e-06,1.058918e-06,1.067847e-06,1.076676e-06,1.085405e-06
0.000000e+00,1.368559e-11,4.188808e-11,2.208750e-10,6.659238e-10,1.104781e-09,3.304170e-09,3.437526e-09,8.264093e-09,1.023506e-08,1.690237e-08,2.456940e-08,3.095494e-08,5.028831e-08,5.231531e-08,8.312394e-08,9.217345e-08,1.256158e-07,1.553063e-07,1.818828e-07,2.442072e-07,2.536952e-07,3.424611e-07,3.623493e-07,4.492670e-07,5.122157e-07,5.749279e-07,6.954838e-07,7.200224e-07,8.849154e-07,9.131494e-07,1.069773e-06,1.165597e-06,1.274575e-06,1.452654e-06,1.499130e-06,1.743090e-06,1.773647e-06,2.005963e-06,2.127466e-06,2.287140e-06,2.512638e-06,2.585904e-06,2.901456e-06,2.927400e-06,3.232929e-06,3.369771e-06,3.579405e-06,3.837626e-06,3.939935e-06,4.313547e-06,4.328749e-06,4.699259e-06,4.840890e-06,5.096095e-06,5.371804e-06,5.503088e-06,5.919288e-06,6.343770e-06,6.481206e-06,6.775637e-06,7.055507e-06,7.214024e-06,7.640238e-06,7.658100e-06,8.107070e-06,8.233555e-06,8.560177e-06,8.833727e-06,9.016702e-06,9.439137e-06,9.475963e-06,9.937316e-06,1.004828e-05,1.040015e-05,1.065978e-05,1.086390e-05,1.127233e-05,1.132803e-05,1.179203e-05,1.188477e-05,1.225543e-05,1.249601e-05,1.271779e-05,1.310508e-05,1.317871e-05,1.363781e-05,1.371107e-05,1.409472e-05,1.431317e-05,1.454913e-05,1.491064e-05,1.500073e-05,1.544923e-05,1.550283e-05,1.589439e-05,1.608914e-05,1.633597e-05,1.666904e-05,1.677375e-05,1.720753e-05,1.724206e-05,1.763713e-05,1.780777e-05,1.806240e-05,1.836581e-05,1.848317e-05,1.889932e-05,1.891587e-05,1.931073e-05,1.945765e-05,1.971728e-05,1.999093e-05,2.011890e-05,2.051549e-05,2.090699e-05,2.103118e-05,2.129333e-05,2.153786e-05,2.167446e-05,2.203540e-05,2.205033e-05,2.242092e-05,2.252373e-05,2.278619e-05,2.300280e-05,2.314613e-05,2.347255e-05,2.350072e-05,2.384995e-05,2.393297e-05,2.419383e-05,2.438406e-05,2.453235e-05,2.482583e-05,2.486553e-05,2.519339e-05,2.525832e-05,2.551593e-05,2.568156e-05,2.583319e-05,2.609562e-05,2.614519e-05,2.645195e-05,2.650055e-05,2.675352e-05,2.689644e-05,2.704993e-05,2.728336e-05,2.734121e-05,2.762742e-05,2.766142e-05,2.790858e-05,2.803071e-05,2.818475e-05,2.839133e-05,2.845598e-05,2.872231e-05,2.874340e-05,2.898379e-05,2.908704e-05,2.924048e-05,2.942235e-05,2.949242e-05,2.973968e-05,2.974948e-05,2.998231e-05,3.006854e-05,3.022037e-05,3.037966e-05,3.045390e-05,3.068297e-05,3.097861e-05,3.126672e-05,3.154742e-05,3.182085e-05,3.208715e-05,3.234646e-05,3.259891e-05,3.284463e-05,3.308377e-05,3.331646e-05,3.354283e-05,3.376302e-05,3.397715e-05,3.418536e-05,3.438778e-05,3.458453e-05,3.477575e-05,3.496154e-05,3.514205e-05,3.531739e-05,3.548767e-05,3.565303e-05,3.581356e-05,3.596940e-05
0.000000e+00,4.166333e-15,3.556819e-14,7.376768e-13,4.860225e-12,1.110602e-11,6.087851e-11,6.459131e-11,2.306221e-10,3.110078e-10,6.166873e-10,1.012344e-09,1.366667e-09,2.530840e-09,2.658957e-09,4.705195e-09,5.334887e-09,7.748766e-09,9.988935e-09,1.206071e-08,1.713348e-08,1.792962e-08,2.564467e-08,2.743356e-08,3.547693e-08,4.150753e-08,4.766645e-08,5.987781e-08,6.241748e-08,7.989908e-08,8.295908e-08,1.002476e-07,1.110655e-07,1.235689e-07,1.444190e-07,1.499399e-07,1.794095e-07,1.831555e-07,2.120004e-07,2.273293e-07,2.477096e-07,2.769186e-07,2.865105e-07,3.283547e-07,3.318318e-07,3.731742e-07,3.919164e-07,4.208833e-07,4.569674e-07,4.713819e-07,5.245574e-07,5.267384e-07,5.802870e-07,6.009500e-07,6.384405e-07,6.793003e-07,6.988822e-07,7.614726e-07,8.260707e-07,8.471430e-07,8.925349e-07,9.359863e-07,9.607247e-07,1.027682e-06,1.030502e-06,1.101730e-06,1.121916e-06,1.174279e-06,1.218388e-06,1.248020e-06,1.316809e-06,1.322830e-06,1.398592e-06,1.416904e-06,1.475194e-06,1.518416e-06,1.552526e-06,1.621103e-06,1.630489e-06,1.708984e-06,1.724739e-06,1.787920e-06,1.829113e-06,1.867212e-06,1.934031e-06,1.946777e-06,2.026540e-06,2.039315e-06,2.106427e-06,2.144798e-06,2.186373e-06,2.250330e-06,2.266315e-06,2.346192e-06,2.355771e-06,2.425951e-06,2.460994e-06,2.505540e-06,2.565885e-06,2.584912e-06,2.664022e-06,2.670338e-06,2.742829e-06,2.774259e-06,2.821295e-06,2.877560e-06,2.899385e-06,2.977066e-06,2.980164e-06,3.054307e-06,3.082001e-06,3.131082e-06,3.183009e-06,3.207364e-06,3.283130e-06,3.358359e-06,3.382316e-06,3.433031e-06,3.480521e-06,3.507129e-06,3.577706e-06,3.580635e-06,3.653535e-06,3.673837e-06,3.725817e-06,3.768884e-06,3.797468e-06,3.862820e-06,3.868477e-06,3.938835e-06,3.955623e-06,4.008534e-06,4.047274e-06,4.077566e-06,4.137758e-06,4.145925e-06,4.213606e-06,4.227061e-06,4.280604e-06,4.315172e-06,4.346916e-06,4.402085e-06,4.412538e-06,4.477468e-06,4.487793e-06,4.541705e-06,4.572292e-06,4.605247e-06,4.655580e-06,4.668094e-06,4.730246e-06,4.737658e-06,4.791704e-06,4.818525e-06,4.852468e-06,4.898186e-06,4.912541e-06,4.971923e-06,4.976644e-06,5.030618e-06,5.053904e-06,5.088628e-06,5.129972e-06,5.145955e-06,5.202604e-06,5.204856e-06,5.258577e-06,5.278562e-06,5.313878e-06,5.351101e-06,5.368511e-06,5.422480e-06,5.492711e-06,5.561804e-06,5.629769e-06,5.696620e-06,5.762366e-06,5.827021e-06,5.890597e-06,5.953108e-06,6.014565e-06,6.074982e-06,6.134374e-06,6.192752e-06,6.250131e-06,6.306524e-06,6.361946e-06,6.416409e-06,6.469928e-06,6.522517e-06,6.574190e-06,6.624959e-06,6.674839e-06,6.723844e-06,6.771987e-06,6.819281e-06
0.000000e+00,2.254428e-17,2.632017e-16,1.015053e-14,1.138126e-13,3.435524e-13,3.703041e-12,4.033309e-12,2.652519e-11,4.183809e-11,1.209844e-10,2.651214e-10,4.288994e-10,1.166660e-09,1.264960e-09,3.242915e-09,3.995208e-09,7.445902e-09,1.139484e-08,1.564072e-08,2.827360e-08,3.053082e-08,5.603737e-08,6.286075e-08,9.759117e-08,1.278595e-07,1.624123e-07,2.415457e-07,2.597495e-07,4.010502e-07,4.286231e-07,6.000365e-07,7.206438e-07,8.726670e-07,1.155853e-06,1.236980e-06,1.712817e-06,1.778410e-06,2.321449e-06,2.637024e-06,3.085114e-06,3.783143e-06,4.026499e-06,5.168198e-06,5.268851e-06,6.532157e-06,7.144678e-06,8.139153e-06,9.457489e-06,1.000830e-05,1.215664e-05,1.224860e-05,1.459876e-05,1.555222e-05,1.734654e-05,1.939431e-05,2.040893e-05,2.379186e-05,2.749816e-05,2.875253e-05,3.152764e-05,3.427475e-05,3.587711e-05,4.034808e-05,4.054055e-05,4.550931e-05,4.695383e-05,5.077233e-05,5.406596e-05,5.631637e-05,6.165209e-05,6.212628e-05,6.818525e-05,6.967448e-05,7.447514e-05,7.809119e-05,8.097667e-05,8.685716e-05,8.766976e-05,9.453375e-05,9.592521e-05,1.015476e-04,1.052470e-04,1.086902e-04,1.147741e-04,1.159405e-04,1.232776e-04,1.244582e-04,1.306812e-04,1.342526e-04,1.381313e-04,1.441120e-04,1.456088e-04,1.530951e-04,1.539933e-04,1.605728e-04,1.638559e-04,1.680251e-04,1.736621e-04,1.754362e-04,1.827914e-04,1.833770e-04,1.900770e-04,1.929688e-04,1.972801e-04,2.024087e-04,2.043891e-04,2.113932e-04,2.116710e-04,2.182826e-04,2.207330e-04,2.250485e-04,2.295749e-04,2.316832e-04,2.381796e-04,2.445317e-04,2.465330e-04,2.507342e-04,2.546232e-04,2.567826e-04,2.624405e-04,2.626731e-04,2.684027e-04,2.699778e-04,2.739690e-04,2.772296e-04,2.793702e-04,2.841925e-04,2.846052e-04,2.896732e-04,2.908646e-04,2.945740e-04,2.972455e-04,2.993079e-04,3.033362e-04,3.038756e-04,3.082780e-04,3.091388e-04,3.125166e-04,3.146565e-04,3.165930e-04,3.198933e-04,3.205092e-04,3.242674e-04,3.248542e-04,3.278700e-04,3.295447e-04,3.313196e-04,3.339710e-04,3.346190e-04,3.377712e-04,3.381397e-04,3.407793e-04,3.420579e-04,3.436463e-04,3.457329e-04,3.463755e-04,3.489703e-04,3.491722e-04,3.514341e-04,3.523836e-04,3.537702e-04,3.553751e-04,3.559821e-04,3.580733e-04,3.581545e-04,3.600472e-04,3.607298e-04,3.619074e-04,3.631091e-04,3.636572e-04,3.653002e-04,3.673109e-04,3.691491e-04,3.708223e-04,3.723381e-04,3.737036e-04,3.749261e-04,3.760125e-04,3.769696e-04,3.778038e-04,3.785216e-04,3.791292e-04,3.796324e-04,3.800369e-04,3.803483e-04,3.805720e-04,3.807129e-04,3.807760e-04,3.807660e-04,3.806874e-04,3.805445e-04,3.803414e-04,3.800820e-04,3.797702e-04,3.794095e-04
0.000000e+00,1.532053e-12,4.617969e-12,2.385833e-11,7.097590e-11,1.170035e-10,3.448286e-10,3.585450e-10,8.508171e-10,1.050199e-09,1.720214e-09,2.484705e-09,3.117899e-09,5.021140e-09,5.219709e-09,8.220272e-09,9.096253e-09,1.231587e-08,1.515396e-08,1.768013e-08,2.355786e-08,2.444747e-08,3.271135e-08,3.454942e-08,4.253073e-08,4.826296e-08,5.393723e-08,6.475280e-08,6.694045e-08,8.153151e-08,8.401197e-08,9.768544e-08,1.059835e-07,1.153632e-07,1.305683e-07,1.345133e-07,1.550738e-07,1.576326e-07,1.769742e-07,1.870151e-07,2.001370e-07,2.185344e-07,2.244797e-07,2.499167e-07,2.519963e-07,2.763605e-07,2.872004e-07,3.037238e-07,3.239460e-07,3.319199e-07,3.608644e-07,3.620366e-07,3.904756e-07,4.012837e-07,4.206754e-07,4.415094e-07,4.513895e-07,4.825482e-07,5.140859e-07,5.242479e-07,5.459415e-07,5.664697e-07,5.780585e-07,6.090883e-07,6.103848e-07,6.428723e-07,6.519916e-07,6.754771e-07,6.950794e-07,7.081590e-07,7.382630e-07,7.408815e-07,7.736113e-07,7.814641e-07,8.063184e-07,8.246142e-07,8.389755e-07,8.676528e-07,8.715580e-07,9.040436e-07,9.105274e-07,9.364126e-07,9.531922e-07,9.686468e-07,9.956077e-07,1.000730e-06,1.032649e-06,1.037739e-06,1.064389e-06,1.079558e-06,1.095940e-06,1.121037e-06,1.127291e-06,1.158433e-06,1.162156e-06,1.189359e-06,1.202895e-06,1.220060e-06,1.243240e-06,1.250532e-06,1.280768e-06,1.283177e-06,1.310764e-06,1.322695e-06,1.340516e-06,1.361785e-06,1.370021e-06,1.399275e-06,1.400439e-06,1.428275e-06,1.438653e-06,1.457021e-06,1.476422e-06,1.485511e-06,1.513742e-06,1.541715e-06,1.550612e-06,1.569429e-06,1.587029e-06,1.596883e-06,1.622995e-06,1.624078e-06,1.651013e-06,1.658508e-06,1.677689e-06,1.693571e-06,1.704107e-06,1.728184e-06,1.730267e-06,1.756171e-06,1.762350e-06,1.781819e-06,1.796071e-06,1.807213e-06,1.829350e-06,1.832354e-06,1.857243e-06,1.862191e-06,1.881882e-06,1.894596e-06,1.906273e-06,1.926571e-06,1.930417e-06,1.954317e-06,1.958118e-06,1.977973e-06,1.989242e-06,2.001388e-06,2.019948e-06,2.024564e-06,2.047503e-06,2.050240e-06,2.070207e-06,2.080123e-06,2.092678e-06,2.109602e-06,2.114919e-06,2.136931e-06,2.138682e-06,2.158716e-06,2.167367e-06,2.180277e-06,2.195664e-06,2.201616e-06,2.222736e-06,2.223576e-06,2.243638e-06,2.251110e-06,2.264325e-06,2.278270e-06,2.284799e-06,2.305062e-06,2.331491e-06,2.357562e-06,2.383281e-06,2.408652e-06,2.433681e-06,2.458373e-06,2.482733e-06,2.506767e-06,2.530479e-06,2.553874e-06,2.576957e-06,2.599734e-06,2.622209e-06,2.644387e-06,2.666273e-06,2.687871e-06,2.709187e-06,2.730224e-06,2.750987e-06,2.771481e-06,2.791711e-06,2.811679e-06,2.831392e-06,2.850852e-06
0.000000e+00,7.001665e-14,4.437151e-13,5.575871e-12,2.604310e-11,5.106335e-11,2.057579e-10,2.160603e-10,6.235625e-10,8.024214e-10,1.437081e-09,2.202871e-09,2.859608e-09,4.914401e-09,5.134136e-09,8.543582e-09,9.565417e-09,1.340501e-08,1.688610e-08,2.005204e-08,2.763547e-08,2.880735e-08,3.995894e-08,4.249901e-08,5.374989e-08,6.203190e-08,7.037904e-08,8.665829e-08,9.000540e-08,1.127521e-07,1.166876e-07,1.387092e-07,1.523273e-07,1.679355e-07,1.936909e-07,2.004601e-07,2.362841e-07,2.408038e-07,2.753823e-07,2.936109e-07,3.177052e-07,3.519841e-07,3.631814e-07,4.117203e-07,4.157326e-07,4.632149e-07,4.846136e-07,5.175442e-07,5.583429e-07,5.745763e-07,6.341709e-07,6.366060e-07,6.961816e-07,7.190680e-07,7.604580e-07,8.053826e-07,8.268482e-07,8.951996e-07,9.653614e-07,9.881711e-07,1.037185e-06,1.083957e-06,1.110525e-06,1.182228e-06,1.185241e-06,1.261198e-06,1.282670e-06,1.338264e-06,1.384984e-06,1.416315e-06,1.488890e-06,1.495232e-06,1.574902e-06,1.594123e-06,1.655217e-06,1.700438e-06,1.736077e-06,1.807607e-06,1.817385e-06,1.899052e-06,1.915421e-06,1.980993e-06,2.023685e-06,2.063131e-06,2.132225e-06,2.145392e-06,2.227706e-06,2.240877e-06,2.310011e-06,2.349497e-06,2.392247e-06,2.457950e-06,2.474361e-06,2.556301e-06,2.566120e-06,2.638021e-06,2.673897e-06,2.719478e-06,2.781186e-06,2.800633e-06,2.881449e-06,2.887899e-06,2.961893e-06,2.993958e-06,3.041932e-06,3.099295e-06,3.121540e-06,3.200690e-06,3.203846e-06,3.279358e-06,3.307556e-06,3.357523e-06,3.410378e-06,3.435166e-06,3.512269e-06,3.588815e-06,3.613190e-06,3.664791e-06,3.713110e-06,3.740184e-06,3.812001e-06,3.814982e-06,3.889175e-06,3.909839e-06,3.962754e-06,4.006604e-06,4.035713e-06,4.102280e-06,4.108043e-06,4.179740e-06,4.196852e-06,4.250798e-06,4.290310e-06,4.321214e-06,4.382646e-06,4.390984e-06,4.460107e-06,4.473854e-06,4.528581e-06,4.563930e-06,4.596404e-06,4.652872e-06,4.663576e-06,4.730098e-06,4.740681e-06,4.795970e-06,4.827358e-06,4.861193e-06,4.912906e-06,4.925769e-06,4.989700e-06,4.997328e-06,5.052987e-06,5.080631e-06,5.115634e-06,5.162820e-06,5.177644e-06,5.239020e-06,5.243903e-06,5.299766e-06,5.323888e-06,5.359885e-06,5.402785e-06,5.419381e-06,5.478259e-06,5.480601e-06,5.536523e-06,5.557349e-06,5.594178e-06,5.633037e-06,5.651228e-06,5.707678e-06,5.781283e-06,5.853863e-06,5.925431e-06,5.995999e-06,6.065580e-06,6.134187e-06,6.201831e-06,6.268527e-06,6.334287e-06,6.399125e-06,6.463053e-06,6.526085e-06,6.588234e-06,6.649513e-06,6.709935e-06,6.769513e-06,6.828260e-06,6.886189e-06,6.943313e-06,6.999644e-06,7.055194e-06,7.109978e-06,7.164006e-06,7.217290e-06
0.000000e+00,7.961160e-13,3.797751e-12,3.260992e-11,1.241522e-10,2.249550e-10,7.881291e-10,8.240375e-10,2.188337e-09,2.768657e-09,4.787283e-09,7.176865e-09,9.203654e-09,1.547214e-08,1.613815e-08,2.641159e-08,2.947552e-08,4.095507e-08,5.133843e-08,6.077546e-08,8.339476e-08,8.689451e-08,1.202835e-07,1.279130e-07,1.618218e-07,1.869033e-07,2.122832e-07,2.620613e-07,2.723402e-07,3.425702e-07,3.547850e-07,4.234625e-07,4.661999e-07,5.154215e-07,5.971764e-07,6.187701e-07,7.337524e-07,7.483408e-07,8.605362e-07,9.200868e-07,9.992167e-07,1.112589e-06,1.149821e-06,1.312311e-06,1.325822e-06,1.486593e-06,1.559577e-06,1.672519e-06,1.813489e-06,1.869895e-06,2.078484e-06,2.087058e-06,2.298017e-06,2.379671e-06,2.528193e-06,2.690627e-06,2.768686e-06,3.019151e-06,3.279225e-06,3.364417e-06,3.548534e-06,3.725562e-06,3.826696e-06,4.101697e-06,4.113320e-06,4.408013e-06,4.491920e-06,4.710382e-06,4.895324e-06,5.020033e-06,5.311007e-06,5.336574e-06,5.659618e-06,5.738073e-06,5.988781e-06,6.175644e-06,6.323685e-06,6.622855e-06,6.663960e-06,7.009241e-06,7.078866e-06,7.359172e-06,7.542858e-06,7.713405e-06,8.014036e-06,8.071599e-06,8.433424e-06,8.491631e-06,8.798556e-06,8.974902e-06,9.166682e-06,9.463133e-06,9.537497e-06,9.910706e-06,9.955638e-06,1.028602e-05,1.045176e-05,1.066317e-05,1.095085e-05,1.104187e-05,1.142188e-05,1.145232e-05,1.180293e-05,1.195559e-05,1.218479e-05,1.246010e-05,1.256723e-05,1.295001e-05,1.296533e-05,1.333293e-05,1.347077e-05,1.371576e-05,1.397594e-05,1.409832e-05,1.448040e-05,1.486183e-05,1.498372e-05,1.524242e-05,1.548548e-05,1.562200e-05,1.598530e-05,1.600042e-05,1.637750e-05,1.648283e-05,1.675311e-05,1.697771e-05,1.712710e-05,1.746963e-05,1.749934e-05,1.786968e-05,1.795827e-05,1.823802e-05,1.844337e-05,1.860423e-05,1.892464e-05,1.896819e-05,1.932981e-05,1.940185e-05,1.968898e-05,1.987475e-05,2.004561e-05,2.034314e-05,2.039959e-05,2.075086e-05,2.080680e-05,2.109932e-05,2.126557e-05,2.144490e-05,2.171925e-05,2.178754e-05,2.212715e-05,2.216770e-05,2.246369e-05,2.261077e-05,2.279708e-05,2.304833e-05,2.312728e-05,2.345424e-05,2.348026e-05,2.377790e-05,2.390644e-05,2.409823e-05,2.432678e-05,2.441518e-05,2.472872e-05,2.474119e-05,2.503881e-05,2.514960e-05,2.534543e-05,2.555193e-05,2.564854e-05,2.594813e-05,2.633814e-05,2.672193e-05,2.709945e-05,2.747069e-05,2.783561e-05,2.819422e-05,2.854649e-05,2.889243e-05,2.923205e-05,2.956535e-05,2.989235e-05,3.021306e-05,3.052752e-05,3.083575e-05,3.113778e-05,3.143364e-05,3.172339e-05,3.200705e-05,3.228468e-05,3.255632e-05,3.282202e-05,3.308185e-05,3.333585e-05,3.358408e-05
0.000000e+00,2.520308e-15,2.498735e-14,6.897693e-13,5.735537e-12,1.472980e-11,1.055210e-10,1.130703e-10,5.028654e-10,7.149613e-10,1.600548e-09,2.866496e-09,4.076154e-09,8.373984e-09,8.869532e-09,1.718924e-08,1.986845e-08,3.050277e-08,4.076766e-08,5.051957e-08,7.520008e-08,7.915983e-08,1.184967e-07,1.278357e-07,1.706643e-07,2.035573e-07,2.377394e-07,3.070011e-07,3.216230e-07,4.239480e-07,4.421238e-07,5.460274e-07,6.119422e-07,6.888395e-07,8.184666e-07,8.530385e-07,1.038979e-06,1.062759e-06,1.246744e-06,1.345043e-06,1.476179e-06,1.664822e-06,1.726915e-06,1.998400e-06,2.020995e-06,2.289928e-06,2.411966e-06,2.600658e-06,2.835747e-06,2.929645e-06,3.275861e-06,3.290052e-06,3.638212e-06,3.772391e-06,4.015565e-06,4.280143e-06,4.406761e-06,4.810628e-06,5.226001e-06,5.361161e-06,5.651727e-06,5.929102e-06,6.086677e-06,6.511888e-06,6.529753e-06,6.979895e-06,7.107061e-06,7.436081e-06,7.712287e-06,7.897337e-06,8.325370e-06,8.362733e-06,8.831388e-06,8.944256e-06,9.302468e-06,9.567038e-06,9.775189e-06,1.019195e-05,1.024881e-05,1.072265e-05,1.081738e-05,1.119605e-05,1.144185e-05,1.166842e-05,1.206400e-05,1.213920e-05,1.260787e-05,1.268262e-05,1.307394e-05,1.329661e-05,1.353699e-05,1.390497e-05,1.399660e-05,1.445240e-05,1.450683e-05,1.490406e-05,1.510139e-05,1.535125e-05,1.568795e-05,1.579370e-05,1.623115e-05,1.626592e-05,1.666337e-05,1.683475e-05,1.709016e-05,1.739397e-05,1.751133e-05,1.792671e-05,1.794321e-05,1.833618e-05,1.848211e-05,1.873959e-05,1.901040e-05,1.913684e-05,1.952784e-05,1.991252e-05,2.003427e-05,2.029080e-05,2.052952e-05,2.066264e-05,2.101351e-05,2.102800e-05,2.138686e-05,2.148617e-05,2.173919e-05,2.194746e-05,2.208499e-05,2.239737e-05,2.242427e-05,2.275703e-05,2.283592e-05,2.308329e-05,2.326316e-05,2.340307e-05,2.367916e-05,2.371642e-05,2.402336e-05,2.408398e-05,2.432394e-05,2.447774e-05,2.461820e-05,2.486055e-05,2.490621e-05,2.518801e-05,2.523253e-05,2.546367e-05,2.559382e-05,2.573325e-05,2.594458e-05,2.599682e-05,2.625445e-05,2.628497e-05,2.650620e-05,2.661514e-05,2.675217e-05,2.693527e-05,2.699241e-05,2.722702e-05,2.724555e-05,2.745607e-05,2.754615e-05,2.767963e-05,2.783726e-05,2.789781e-05,2.811067e-05,2.811907e-05,2.831829e-05,2.839178e-05,2.852078e-05,2.865557e-05,2.871820e-05,2.891065e-05,2.915721e-05,2.939545e-05,2.962556e-05,2.984773e-05,3.006217e-05,3.026906e-05,3.046861e-05,3.066098e-05,3.084638e-05,3.102499e-05,3.119699e-05,3.136257e-05,3.152189e-05,3.167513e-05,3.182247e-05,3.196408e-05,3.210011e-05,3.223074e-05,3.235612e-05,3.247641e-05,3.259175e-05,3.270231e-05,3.280823e-05,3.290965e-05
0.000000e+00,2.554748e-13,1.409968e-12,1.457090e-11,6.100621e-11,1.146013e-10,4.277656e-10,4.481219e-10,1.234979e-09,1.574066e-09,2.762398e-09,4.177733e-09,5.381260e-09,9.107207e-09,9.502929e-09,1.559584e-08,1.740830e-08,2.418062e-08,3.028558e-08,3.582203e-08,4.906761e-08,5.111581e-08,7.066856e-08,7.514279e-08,9.507099e-08,1.098604e-07,1.248680e-07,1.544148e-07,1.605324e-07,2.024488e-07,2.097565e-07,2.509099e-07,2.765590e-07,3.061203e-07,3.552355e-07,3.682065e-07,4.372266e-07,4.459755e-07,5.131799e-07,5.487844e-07,5.960158e-07,6.635178e-07,6.856405e-07,7.819245e-07,7.899103e-07,8.847079e-07,9.276004e-07,9.938058e-07,1.076151e-06,1.109013e-06,1.230107e-06,1.235070e-06,1.356856e-06,1.403823e-06,1.489016e-06,1.581849e-06,1.626339e-06,1.768571e-06,1.915459e-06,1.963405e-06,2.066750e-06,2.165769e-06,2.222189e-06,2.375085e-06,2.381530e-06,2.544526e-06,2.590788e-06,2.710939e-06,2.812328e-06,2.880532e-06,3.039171e-06,3.053078e-06,3.228355e-06,3.270803e-06,3.406147e-06,3.506731e-06,3.586246e-06,3.746481e-06,3.768451e-06,3.952567e-06,3.989603e-06,4.138407e-06,4.235666e-06,4.325792e-06,4.484262e-06,4.514548e-06,4.704509e-06,4.735004e-06,4.895517e-06,4.987527e-06,5.087418e-06,5.241484e-06,5.280067e-06,5.473324e-06,5.496549e-06,5.667056e-06,5.752415e-06,5.861135e-06,6.008793e-06,6.055441e-06,6.249857e-06,6.265412e-06,6.444273e-06,6.522017e-06,6.638586e-06,6.778371e-06,6.832695e-06,7.026506e-06,7.034251e-06,7.219929e-06,7.289450e-06,7.412880e-06,7.543775e-06,7.605277e-06,7.797046e-06,7.988114e-06,8.049096e-06,8.178413e-06,8.299772e-06,8.367880e-06,8.548929e-06,8.556454e-06,8.744079e-06,8.796437e-06,8.930702e-06,9.042174e-06,9.116273e-06,9.286029e-06,9.300745e-06,9.484076e-06,9.527900e-06,9.666223e-06,9.767695e-06,9.847151e-06,1.000533e-05,1.002682e-05,1.020521e-05,1.024073e-05,1.038227e-05,1.047382e-05,1.055799e-05,1.070454e-05,1.073234e-05,1.090530e-05,1.093284e-05,1.107684e-05,1.115867e-05,1.124694e-05,1.138198e-05,1.141560e-05,1.158278e-05,1.160275e-05,1.174849e-05,1.182093e-05,1.191270e-05,1.203649e-05,1.207541e-05,1.223660e-05,1.224943e-05,1.239628e-05,1.245972e-05,1.255442e-05,1.266734e-05,1.271104e-05,1.286612e-05,1.287229e-05,1.301966e-05,1.307456e-05,1.317166e-05,1.327414e-05,1.332212e-05,1.347104e-05,1.366526e-05,1.385680e-05,1.404567e-05,1.423188e-05,1.441545e-05,1.459639e-05,1.477470e-05,1.495042e-05,1.512357e-05,1.529415e-05,1.546219e-05,1.562772e-05,1.579076e-05,1.595134e-05,1.610948e-05,1.626520e-05,1.641854e-05,1.656952e-05,1.671817e-05,1.686452e-05,1.700859e-05,1.715043e-05,1.729005e-05,1.742749e-05
0.000000e+00,7.387001e-15,7.090502e-14,1.836701e-12,1.447529e-11,3.616228e-11,2.426967e-10,2.594194e-10,1.091398e-09,1.530818e-09,3.321679e-09,5.818095e-09,8.165882e-09,1.635811e-08,1.729329e-08,3.284344e-08,3.781110e-08,5.741681e-08,7.621814e-08,9.398958e-08,1.386092e-07,1.457218e-07,2.157126e-07,2.321576e-07,3.068007e-07,3.633416e-07,4.214622e-07,5.375353e-07,5.617869e-07,7.294919e-07,7.589617e-07,9.259442e-07,1.030768e-06,1.152178e-06,1.355100e-06,1.408910e-06,1.696551e-06,1.733154e-06,2.015219e-06,2.165232e-06,2.364760e-06,2.650819e-06,2.744769e-06,3.154614e-06,3.188667e-06,3.593465e-06,3.776908e-06,4.060321e-06,4.413163e-06,4.554042e-06,5.073372e-06,5.094659e-06,5.616969e-06,5.818335e-06,6.183426e-06,6.580937e-06,6.771295e-06,7.379103e-06,8.005371e-06,8.209434e-06,8.648623e-06,9.068544e-06,9.307403e-06,9.953113e-06,9.980281e-06,1.066586e-05,1.085992e-05,1.136279e-05,1.178585e-05,1.206976e-05,1.272794e-05,1.278550e-05,1.350880e-05,1.368339e-05,1.423851e-05,1.464953e-05,1.497351e-05,1.562386e-05,1.571276e-05,1.645524e-05,1.660405e-05,1.720002e-05,1.758791e-05,1.794619e-05,1.857343e-05,1.869291e-05,1.943937e-05,1.955873e-05,2.018482e-05,2.054207e-05,2.092856e-05,2.152187e-05,2.166992e-05,2.240828e-05,2.249666e-05,2.314307e-05,2.346511e-05,2.387375e-05,2.442599e-05,2.459980e-05,2.532077e-05,2.537821e-05,2.603622e-05,2.632076e-05,2.674575e-05,2.725275e-05,2.744900e-05,2.814563e-05,2.817335e-05,2.883532e-05,2.908185e-05,2.951779e-05,2.997761e-05,3.019278e-05,3.086007e-05,3.151943e-05,3.172873e-05,3.217069e-05,3.258315e-05,3.281366e-05,3.342299e-05,3.344820e-05,3.407419e-05,3.424791e-05,3.469150e-05,3.505768e-05,3.530004e-05,3.585208e-05,3.589973e-05,3.649049e-05,3.663094e-05,3.707228e-05,3.739415e-05,3.764505e-05,3.814161e-05,3.820878e-05,3.876345e-05,3.887329e-05,3.930904e-05,3.958916e-05,3.984556e-05,4.028924e-05,4.037303e-05,4.089146e-05,4.097357e-05,4.140088e-05,4.164222e-05,4.190133e-05,4.229526e-05,4.239285e-05,4.287548e-05,4.293281e-05,4.334929e-05,4.355498e-05,4.381433e-05,4.416194e-05,4.427067e-05,4.471838e-05,4.475382e-05,4.515753e-05,4.533081e-05,4.558820e-05,4.589307e-05,4.601047e-05,4.642443e-05,4.644082e-05,4.683017e-05,4.697424e-05,4.722777e-05,4.749354e-05,4.761733e-05,4.799895e-05,4.849069e-05,4.896898e-05,4.943405e-05,4.988615e-05,5.032550e-05,5.075235e-05,5.116694e-05,5.156952e-05,5.196032e-05,5.233959e-05,5.270756e-05,5.306449e-05,5.341061e-05,5.374616e-05,5.407137e-05,5.438649e-05,5.469173e-05,5.498734e-05,5.527353e-05,5.555054e-05,5.581858e-05,5.607787e-05,5.632862e-05,5.657105e-05
0.000000e+00,1.418403e-12,5.377885e-12,3.552848e-11,1.189401e-10,2.051632e-10,6.573811e-10,6.853865e-10,1.719899e-09,2.149867e-09,3.622956e-09,5.341099e-09,6.786033e-09,1.121539e-08,1.168355e-08,1.886203e-08,2.098836e-08,2.889533e-08,3.596416e-08,4.232054e-08,5.730720e-08,5.959686e-08,8.110057e-08,8.593654e-08,1.071365e-07,1.225500e-07,1.379503e-07,1.676693e-07,1.737356e-07,2.146391e-07,2.216660e-07,2.607619e-07,2.847731e-07,3.121609e-07,3.570900e-07,3.688504e-07,4.308032e-07,4.385885e-07,4.979529e-07,5.291200e-07,5.701968e-07,6.284265e-07,6.473988e-07,7.293935e-07,7.361545e-07,8.159901e-07,8.518703e-07,9.069764e-07,9.750765e-07,1.002123e-06,1.101188e-06,1.105228e-06,1.203918e-06,1.241749e-06,1.310057e-06,1.384045e-06,1.419344e-06,1.531517e-06,1.646319e-06,1.683569e-06,1.763496e-06,1.839621e-06,1.882801e-06,1.999111e-06,2.003992e-06,2.126840e-06,2.161503e-06,2.251121e-06,2.326290e-06,2.376625e-06,2.492994e-06,2.503149e-06,2.630501e-06,2.661169e-06,2.758501e-06,2.830400e-06,2.886979e-06,3.000306e-06,3.015773e-06,3.144735e-06,3.170535e-06,3.273724e-06,3.340766e-06,3.402611e-06,3.510708e-06,3.531274e-06,3.659602e-06,3.680097e-06,3.787491e-06,3.848694e-06,3.914847e-06,4.016290e-06,4.041584e-06,4.167622e-06,4.182697e-06,4.292891e-06,4.347749e-06,4.417325e-06,4.511299e-06,4.540864e-06,4.663455e-06,4.673219e-06,4.785048e-06,4.833395e-06,4.905599e-06,4.991729e-06,5.025070e-06,5.143424e-06,5.148135e-06,5.260632e-06,5.302540e-06,5.376664e-06,5.454883e-06,5.491499e-06,5.605114e-06,5.717491e-06,5.753188e-06,5.828617e-06,5.899074e-06,5.938478e-06,6.042745e-06,6.047064e-06,6.154368e-06,6.184182e-06,6.260383e-06,6.323372e-06,6.365106e-06,6.460308e-06,6.468535e-06,6.570668e-06,6.594988e-06,6.671508e-06,6.727413e-06,6.771055e-06,6.857591e-06,6.869314e-06,6.966289e-06,6.985530e-06,7.061986e-06,7.111245e-06,7.156411e-06,7.234750e-06,7.249571e-06,7.341477e-06,7.356065e-06,7.432135e-06,7.475211e-06,7.521556e-06,7.592209e-06,7.609750e-06,7.696727e-06,7.707083e-06,7.782500e-06,7.819861e-06,7.867079e-06,7.930568e-06,7.950476e-06,8.032705e-06,8.039233e-06,8.113776e-06,8.145884e-06,8.193704e-06,8.250551e-06,8.272501e-06,8.350181e-06,8.353266e-06,8.426757e-06,8.454057e-06,8.502243e-06,8.552957e-06,8.576651e-06,8.649997e-06,8.745208e-06,8.838623e-06,8.930272e-06,9.020188e-06,9.108402e-06,9.194945e-06,9.279849e-06,9.363145e-06,9.444863e-06,9.525033e-06,9.603686e-06,9.680851e-06,9.756557e-06,9.830834e-06,9.903709e-06,9.975210e-06,1.004537e-05,1.011420e-05,1.018175e-05,1.024803e-05,1.031307e-05,1.037689e-05,1.043952e-05,1.050099e-05
0.000000e+00,1.508045e-13,1.043173e-12,1.504463e-11,7.668093e-11,1.560350e-10,6.759336e-10,7.114896e-10,2.158841e-09,2.809802e-09,5.162808e-09,8.061178e-09,1.058238e-08,1.861724e-08,1.948691e-08,3.317328e-08,3.733433e-08,5.316310e-08,6.773719e-08,8.114683e-08,1.137638e-07,1.188582e-07,1.679201e-07,1.792226e-07,2.297371e-07,2.673157e-07,3.054638e-07,3.805038e-07,3.960216e-07,5.021303e-07,5.205896e-07,6.243358e-07,6.888325e-07,7.630298e-07,8.860302e-07,9.184639e-07,1.090761e-06,1.112571e-06,1.279923e-06,1.368473e-06,1.485843e-06,1.653425e-06,1.708312e-06,1.947032e-06,1.966821e-06,2.201623e-06,2.307805e-06,2.471636e-06,2.675312e-06,2.756564e-06,3.055850e-06,3.068112e-06,3.368898e-06,3.484845e-06,3.695082e-06,3.924061e-06,4.033754e-06,4.384251e-06,4.745900e-06,4.863872e-06,5.118027e-06,5.361376e-06,5.499959e-06,5.875221e-06,5.891031e-06,6.290584e-06,6.403891e-06,6.697976e-06,6.945910e-06,7.112576e-06,7.499847e-06,7.533771e-06,7.960966e-06,8.064322e-06,8.393586e-06,8.638014e-06,8.831074e-06,9.219663e-06,9.272893e-06,9.718528e-06,9.808069e-06,1.016748e-05,1.040209e-05,1.061929e-05,1.100067e-05,1.107348e-05,1.152963e-05,1.160277e-05,1.198733e-05,1.220745e-05,1.244617e-05,1.281382e-05,1.290579e-05,1.336582e-05,1.342104e-05,1.382593e-05,1.402832e-05,1.428580e-05,1.463494e-05,1.474511e-05,1.520358e-05,1.524022e-05,1.566094e-05,1.584352e-05,1.611693e-05,1.644426e-05,1.657131e-05,1.702385e-05,1.704191e-05,1.747433e-05,1.763596e-05,1.792255e-05,1.822595e-05,1.836832e-05,1.881146e-05,1.925182e-05,1.939211e-05,1.968922e-05,1.996755e-05,2.012354e-05,2.053744e-05,2.055462e-05,2.098236e-05,2.110151e-05,2.140663e-05,2.165949e-05,2.182733e-05,2.221114e-05,2.224437e-05,2.265764e-05,2.275626e-05,2.306707e-05,2.329465e-05,2.347259e-05,2.382615e-05,2.387412e-05,2.427161e-05,2.435062e-05,2.466500e-05,2.486793e-05,2.505424e-05,2.537797e-05,2.543929e-05,2.582012e-05,2.588066e-05,2.619669e-05,2.637592e-05,2.656897e-05,2.686369e-05,2.693693e-05,2.730058e-05,2.734392e-05,2.765988e-05,2.781659e-05,2.801483e-05,2.828167e-05,2.836542e-05,2.871165e-05,2.873916e-05,2.905352e-05,2.918904e-05,2.939103e-05,2.963135e-05,2.972419e-05,3.005302e-05,3.006608e-05,3.037751e-05,3.049327e-05,3.069769e-05,3.091296e-05,3.101358e-05,3.132519e-05,3.172999e-05,3.212744e-05,3.251758e-05,3.290048e-05,3.327621e-05,3.364484e-05,3.400645e-05,3.436111e-05,3.470890e-05,3.504992e-05,3.538424e-05,3.571196e-05,3.603316e-05,3.634794e-05,3.665639e-05,3.695860e-05,3.725467e-05,3.754469e-05,3.782875e-05,3.810697e-05,3.837942e-05,3.864621e-05,3.890743e-05,3.916317e-05
0.000000e+00,5.267109e-12,1.614125e-11,8.525467e-11,2.573693e-10,4.273026e-10,1.280979e-09,1.332828e-09,3.214599e-09,3.985512e-09,6.602017e-09,9.624928e-09,1.215241e-08,1.985076e-08,2.066148e-08,3.305673e-08,3.672161e-08,5.034876e-08,6.254566e-08,7.353096e-08,9.949606e-08,1.034698e-07,1.408460e-07,1.492603e-07,1.861555e-07,2.129700e-07,2.397387e-07,2.913024e-07,3.018099e-07,3.724803e-07,3.845882e-07,4.517731e-07,4.928832e-07,5.396344e-07,6.160128e-07,6.359421e-07,7.405128e-07,7.536059e-07,8.531097e-07,9.051234e-07,9.734492e-07,1.069888e-06,1.101209e-06,1.236034e-06,1.247114e-06,1.377544e-06,1.435931e-06,1.525342e-06,1.635418e-06,1.679015e-06,1.838147e-06,1.844620e-06,2.002318e-06,2.062571e-06,2.171108e-06,2.288314e-06,2.344106e-06,2.520909e-06,2.701123e-06,2.759449e-06,2.884367e-06,3.003064e-06,3.070276e-06,3.250929e-06,3.258498e-06,3.448698e-06,3.502265e-06,3.640558e-06,3.756344e-06,3.833775e-06,4.012488e-06,4.028064e-06,4.223155e-06,4.270068e-06,4.418795e-06,4.528503e-06,4.614745e-06,4.787261e-06,4.810783e-06,5.006701e-06,5.045853e-06,5.202305e-06,5.303835e-06,5.397415e-06,5.560801e-06,5.591862e-06,5.785492e-06,5.816387e-06,5.978161e-06,6.070261e-06,6.169736e-06,6.322128e-06,6.360097e-06,6.549130e-06,6.571720e-06,6.736734e-06,6.818802e-06,6.922814e-06,7.063163e-06,7.107286e-06,7.290072e-06,7.304620e-06,7.471103e-06,7.543009e-06,7.650315e-06,7.778190e-06,7.827653e-06,8.003066e-06,8.010042e-06,8.176510e-06,8.238460e-06,8.347946e-06,8.463358e-06,8.517340e-06,8.684664e-06,8.849892e-06,8.902319e-06,9.013004e-06,9.116277e-06,9.173983e-06,9.326504e-06,9.332816e-06,9.489493e-06,9.532976e-06,9.644008e-06,9.735677e-06,9.796357e-06,9.934603e-06,9.946538e-06,1.009455e-05,1.012975e-05,1.024040e-05,1.032114e-05,1.038410e-05,1.050877e-05,1.052565e-05,1.066505e-05,1.069268e-05,1.080233e-05,1.087288e-05,1.093749e-05,1.104940e-05,1.107055e-05,1.120152e-05,1.122228e-05,1.133042e-05,1.139156e-05,1.145727e-05,1.155728e-05,1.158208e-05,1.170488e-05,1.171948e-05,1.182568e-05,1.187821e-05,1.194451e-05,1.203351e-05,1.206139e-05,1.217633e-05,1.218544e-05,1.228936e-05,1.233404e-05,1.240051e-05,1.247938e-05,1.250979e-05,1.261723e-05,1.262149e-05,1.272286e-05,1.276045e-05,1.282669e-05,1.289629e-05,1.292876e-05,1.302908e-05,1.315887e-05,1.328573e-05,1.340969e-05,1.353083e-05,1.364919e-05,1.376483e-05,1.387781e-05,1.398818e-05,1.409600e-05,1.420131e-05,1.430418e-05,1.440465e-05,1.450277e-05,1.459860e-05,1.469219e-05,1.478358e-05,1.487283e-05,1.495997e-05,1.504507e-05,1.512816e-05,1.520929e-05,1.528851e-05,1.536586e-05,1.544137e-05
0.000000e+00,4.630380e-12,1.408170e-11,7.393293e-11,2.229799e-10,3.703100e-10,1.112284e-09,1.157421e-09,2.798854e-09,3.472548e-09,5.761925e-09,8.409457e-09,1.062326e-08,1.735641e-08,1.806405e-08,2.883381e-08,3.199809e-08,4.368118e-08,5.403617e-08,6.329279e-08,8.497217e-08,8.827081e-08,1.191354e-07,1.260552e-07,1.563319e-07,1.783036e-07,2.002352e-07,2.425231e-07,2.511518e-07,3.093212e-07,3.193139e-07,3.749174e-07,4.090766e-07,4.480517e-07,5.120233e-07,5.287759e-07,6.170874e-07,6.281927e-07,7.129341e-07,7.574706e-07,8.162204e-07,8.996128e-07,9.268129e-07,1.044546e-06,1.054267e-06,1.169226e-06,1.220996e-06,1.300640e-06,1.399298e-06,1.438555e-06,1.582727e-06,1.588621e-06,1.732900e-06,1.788381e-06,1.888813e-06,1.997977e-06,2.050200e-06,2.216793e-06,2.388326e-06,2.444216e-06,2.564531e-06,2.679633e-06,2.745146e-06,2.922445e-06,2.929912e-06,3.118574e-06,3.172063e-06,3.310882e-06,3.427916e-06,3.506593e-06,3.689449e-06,3.705470e-06,3.907281e-06,3.956128e-06,4.111803e-06,4.227439e-06,4.318819e-06,4.502888e-06,4.528118e-06,4.739497e-06,4.782005e-06,4.952759e-06,5.064337e-06,5.167716e-06,5.349455e-06,5.384184e-06,5.601989e-06,5.636950e-06,5.820961e-06,5.926434e-06,6.040938e-06,6.217538e-06,6.261764e-06,6.483290e-06,6.509913e-06,6.705372e-06,6.803229e-06,6.927874e-06,7.097175e-06,7.150665e-06,7.373618e-06,7.391457e-06,7.596614e-06,7.685798e-06,7.819538e-06,7.979938e-06,8.042282e-06,8.264742e-06,8.273633e-06,8.486819e-06,8.566655e-06,8.708418e-06,8.858788e-06,8.929451e-06,9.149832e-06,9.369482e-06,9.439602e-06,9.588323e-06,9.727924e-06,9.806284e-06,1.001464e-05,1.002330e-05,1.023930e-05,1.029959e-05,1.045422e-05,1.058264e-05,1.066802e-05,1.086367e-05,1.088063e-05,1.109201e-05,1.114255e-05,1.130211e-05,1.141919e-05,1.151088e-05,1.169347e-05,1.171829e-05,1.192429e-05,1.196531e-05,1.212885e-05,1.223464e-05,1.233193e-05,1.250136e-05,1.253351e-05,1.273356e-05,1.276542e-05,1.293205e-05,1.302676e-05,1.312896e-05,1.328533e-05,1.332426e-05,1.351794e-05,1.354107e-05,1.370998e-05,1.379395e-05,1.390036e-05,1.404394e-05,1.408908e-05,1.427611e-05,1.429100e-05,1.446144e-05,1.453510e-05,1.464508e-05,1.477623e-05,1.482700e-05,1.500721e-05,1.501438e-05,1.518569e-05,1.524952e-05,1.536245e-05,1.548166e-05,1.553748e-05,1.571078e-05,1.593690e-05,1.616000e-05,1.638009e-05,1.659718e-05,1.681129e-05,1.702242e-05,1.723060e-05,1.743583e-05,1.763813e-05,1.783753e-05,1.803405e-05,1.822771e-05,1.841853e-05,1.860655e-05,1.879179e-05,1.897427e-05,1.915404e-05,1.933111e-05,1.950551e-05,1.967728e-05,1.984646e-05,2.001306e-05,2.017714e-05,2.033870e-05
0.000000e+00,1.359219e-11,5.428280e-11,3.799372e-10,1.309484e-09,2.285574e-09,7.502170e-09,7.828584e-09,2.004617e-08,2.519238e-08,4.303128e-08,6.412582e-08,8.202036e-08,1.372546e-07,1.431017e-07,2.324266e-07,2.587025e-07,3.555794e-07,4.411772e-07,5.174748e-07,6.954589e-07,7.224655e-07,9.744192e-07,1.030753e-06,1.276734e-06,1.454827e-06,1.632319e-06,1.973940e-06,2.043562e-06,2.512297e-06,2.592723e-06,3.039793e-06,3.314089e-06,3.626746e-06,4.139228e-06,4.273294e-06,4.979042e-06,5.067673e-06,5.743102e-06,6.097432e-06,6.564138e-06,7.225180e-06,7.440420e-06,8.369878e-06,8.446463e-06,9.350157e-06,9.755927e-06,1.037868e-05,1.114753e-05,1.145267e-05,1.256925e-05,1.261476e-05,1.372543e-05,1.415077e-05,1.491818e-05,1.574858e-05,1.614445e-05,1.740119e-05,1.868541e-05,1.910167e-05,1.999414e-05,2.084326e-05,2.132450e-05,2.261939e-05,2.267369e-05,2.403898e-05,2.442378e-05,2.541775e-05,2.625043e-05,2.680748e-05,2.809364e-05,2.820576e-05,2.961030e-05,2.994807e-05,3.101888e-05,3.180869e-05,3.242945e-05,3.367082e-05,3.384003e-05,3.524878e-05,3.553015e-05,3.665395e-05,3.738267e-05,3.805389e-05,3.922468e-05,3.944707e-05,4.083204e-05,4.105278e-05,4.220745e-05,4.286388e-05,4.357204e-05,4.465513e-05,4.492464e-05,4.626416e-05,4.642398e-05,4.758960e-05,4.816809e-05,4.890002e-05,4.988538e-05,5.019458e-05,5.147249e-05,5.157398e-05,5.273303e-05,5.323224e-05,5.397556e-05,5.485868e-05,5.519948e-05,5.640426e-05,5.645205e-05,5.758943e-05,5.801121e-05,5.875458e-05,5.953524e-05,5.989931e-05,6.102333e-05,6.212633e-05,6.247482e-05,6.320810e-05,6.388919e-05,6.426842e-05,6.526602e-05,6.530716e-05,6.632417e-05,6.660503e-05,6.731938e-05,6.790602e-05,6.829273e-05,6.916889e-05,6.924420e-05,7.017378e-05,7.039363e-05,7.108150e-05,7.158030e-05,7.196742e-05,7.272906e-05,7.283162e-05,7.367418e-05,7.384010e-05,7.449522e-05,7.491371e-05,7.529489e-05,7.595020e-05,7.607333e-05,7.683072e-05,7.694996e-05,7.756723e-05,7.791341e-05,7.828307e-05,7.884100e-05,7.897845e-05,7.965358e-05,7.973325e-05,8.030870e-05,8.059068e-05,8.094405e-05,8.141385e-05,8.155989e-05,8.215646e-05,8.220336e-05,8.273403e-05,8.295980e-05,8.329288e-05,8.368382e-05,8.383329e-05,8.435552e-05,8.437604e-05,8.485989e-05,8.503713e-05,8.534666e-05,8.566777e-05,8.581613e-05,8.626861e-05,8.684036e-05,8.738369e-05,8.789931e-05,8.838789e-05,8.885015e-05,8.928677e-05,8.969844e-05,9.008585e-05,9.044968e-05,9.079060e-05,9.110928e-05,9.140638e-05,9.168257e-05,9.193847e-05,9.217473e-05,9.239198e-05,9.259083e-05,9.277189e-05,9.293574e-05,9.308299e-05,9.321419e-05,9.332991e-05,9.343070e-05,9.351710e-05
0.000000e+00,2.421410e-12,7.421545e-12,3.925011e-11,1.187627e-10,1.975301e-10,5.961301e-10,6.204720e-10,1.512095e-09,1.881347e-09,3.148644e-09,4.635150e-09,5.892773e-09,9.781288e-09,1.019440e-08,1.654869e-08,1.843201e-08,2.541609e-08,3.162263e-08,3.717048e-08,5.013413e-08,5.210160e-08,7.043703e-08,7.452937e-08,9.235930e-08,1.052263e-07,1.180148e-07,1.425348e-07,1.475175e-07,1.809502e-07,1.866680e-07,2.183648e-07,2.377456e-07,2.597826e-07,2.957948e-07,3.051956e-07,3.545669e-07,3.607548e-07,4.078336e-07,4.324834e-07,4.649086e-07,5.107665e-07,5.256833e-07,5.900309e-07,5.953288e-07,6.578089e-07,6.858463e-07,7.288624e-07,7.819571e-07,8.030269e-07,8.801307e-07,8.832735e-07,9.599973e-07,9.893912e-07,1.042448e-06,1.099898e-06,1.127303e-06,1.214383e-06,1.303513e-06,1.332438e-06,1.394518e-06,1.453668e-06,1.487231e-06,1.577690e-06,1.581488e-06,1.677130e-06,1.704138e-06,1.774006e-06,1.832662e-06,1.871969e-06,1.962935e-06,1.970879e-06,2.070604e-06,2.094646e-06,2.171018e-06,2.227505e-06,2.272000e-06,2.361243e-06,2.373436e-06,2.475219e-06,2.495608e-06,2.577248e-06,2.630368e-06,2.679427e-06,2.765309e-06,2.781668e-06,2.883885e-06,2.900232e-06,2.985999e-06,3.034956e-06,3.087938e-06,3.169316e-06,3.189632e-06,3.291017e-06,3.303160e-06,3.392034e-06,3.436350e-06,3.492627e-06,3.568763e-06,3.592745e-06,3.692340e-06,3.700284e-06,3.791369e-06,3.830812e-06,3.889790e-06,3.960257e-06,3.987568e-06,4.084666e-06,4.088536e-06,4.181055e-06,4.215576e-06,4.276706e-06,4.341314e-06,4.371594e-06,4.465693e-06,4.558985e-06,4.588664e-06,4.651449e-06,4.710183e-06,4.743068e-06,4.830215e-06,4.833829e-06,4.923718e-06,4.948729e-06,5.012723e-06,5.065697e-06,5.100834e-06,5.181101e-06,5.188044e-06,5.274345e-06,5.294922e-06,5.359732e-06,5.407148e-06,5.444201e-06,5.517770e-06,5.527747e-06,5.610370e-06,5.626783e-06,5.692067e-06,5.734184e-06,5.772839e-06,5.839974e-06,5.852687e-06,5.931611e-06,5.944154e-06,6.009615e-06,6.046730e-06,6.086700e-06,6.147709e-06,6.162870e-06,6.238130e-06,6.247100e-06,6.312484e-06,6.344914e-06,6.385937e-06,6.441163e-06,6.458495e-06,6.530165e-06,6.535860e-06,6.600951e-06,6.629020e-06,6.670862e-06,6.720659e-06,6.739904e-06,6.808085e-06,6.810794e-06,6.875412e-06,6.899442e-06,6.941893e-06,6.986621e-06,7.007537e-06,7.072351e-06,7.156650e-06,7.239539e-06,7.321038e-06,7.401166e-06,7.479946e-06,7.557397e-06,7.633542e-06,7.708400e-06,7.781993e-06,7.854343e-06,7.925470e-06,7.995394e-06,8.064139e-06,8.131722e-06,8.198167e-06,8.263492e-06,8.327718e-06,8.390865e-06,8.452953e-06,8.514000e-06,8.574028e-06,8.633053e-06,8.691096e-06,8.748175e-06
0.000000e+00,2.555343e-12,1.077456e-11,7.994378e-11,2.826638e-10,4.975573e-10,1.651125e-09,1.723283e-09,4.410478e-09,5.533602e-09,9.389858e-09,1.388968e-08,1.766970e-08,2.922044e-08,3.043807e-08,4.904879e-08,5.454600e-08,7.496009e-08,9.320171e-08,1.096146e-07,1.483806e-07,1.543129e-07,2.101464e-07,2.227301e-07,2.779930e-07,3.182549e-07,3.585367e-07,4.363847e-07,4.522891e-07,5.596037e-07,5.780484e-07,6.806869e-07,7.437224e-07,8.156064e-07,9.334665e-07,9.643001e-07,1.126586e-06,1.146960e-06,1.302171e-06,1.383546e-06,1.490670e-06,1.642276e-06,1.691608e-06,1.904444e-06,1.921968e-06,2.128580e-06,2.221255e-06,2.363371e-06,2.538641e-06,2.608144e-06,2.862202e-06,2.872548e-06,3.124839e-06,3.221352e-06,3.395346e-06,3.583425e-06,3.673017e-06,3.957160e-06,4.247098e-06,4.340994e-06,4.542173e-06,4.733424e-06,4.841753e-06,5.133022e-06,5.145229e-06,5.452021e-06,5.538440e-06,5.761576e-06,5.948417e-06,6.073371e-06,6.361777e-06,6.386913e-06,6.701735e-06,6.777434e-06,7.017401e-06,7.194390e-06,7.333503e-06,7.611728e-06,7.649658e-06,7.965510e-06,8.028614e-06,8.280729e-06,8.444289e-06,8.595007e-06,8.858066e-06,8.908062e-06,9.219630e-06,9.269327e-06,9.529472e-06,9.677516e-06,9.837364e-06,1.008214e-05,1.014310e-05,1.044650e-05,1.048275e-05,1.074740e-05,1.087896e-05,1.104563e-05,1.127043e-05,1.134107e-05,1.163358e-05,1.165685e-05,1.192305e-05,1.203796e-05,1.220938e-05,1.241355e-05,1.249249e-05,1.277229e-05,1.278341e-05,1.304872e-05,1.314739e-05,1.332171e-05,1.350536e-05,1.359122e-05,1.385719e-05,1.411961e-05,1.420283e-05,1.437843e-05,1.454218e-05,1.463364e-05,1.487522e-05,1.488522e-05,1.513315e-05,1.520192e-05,1.537744e-05,1.552226e-05,1.561808e-05,1.583624e-05,1.585507e-05,1.608842e-05,1.614388e-05,1.631814e-05,1.644521e-05,1.654425e-05,1.674026e-05,1.676677e-05,1.698571e-05,1.702907e-05,1.720109e-05,1.731170e-05,1.741295e-05,1.758820e-05,1.762131e-05,1.782619e-05,1.785865e-05,1.802764e-05,1.812312e-05,1.822568e-05,1.838168e-05,1.842034e-05,1.861167e-05,1.863440e-05,1.879969e-05,1.888139e-05,1.898445e-05,1.912271e-05,1.916599e-05,1.934434e-05,1.935847e-05,1.951954e-05,1.958875e-05,1.969163e-05,1.981364e-05,1.986066e-05,2.002667e-05,2.003325e-05,2.018969e-05,2.024766e-05,2.034978e-05,2.045697e-05,2.050696e-05,2.066129e-05,2.086070e-05,2.105530e-05,2.124519e-05,2.143046e-05,2.161122e-05,2.178754e-05,2.195954e-05,2.212730e-05,2.229092e-05,2.245048e-05,2.260607e-05,2.275779e-05,2.290572e-05,2.304995e-05,2.319055e-05,2.332762e-05,2.346124e-05,2.359148e-05,2.371842e-05,2.384215e-05,2.396274e-05,2.408025e-05,2.419477e-05,2.430637e-05
0.000000e+00,6.573758e-14,3.215150e-13,2.825615e-12,1.080231e-11,1.954577e-11,6.774753e-11,7.079173e-11,1.847170e-10,2.323845e-10,3.955733e-10,5.847100e-10,7.424558e-10,1.218488e-09,1.268186e-09,2.018224e-09,2.236810e-09,3.039487e-09,3.747427e-09,4.378976e-09,5.857104e-09,6.082109e-09,8.190736e-09,8.664420e-09,1.074089e-08,1.225112e-08,1.376054e-08,1.667345e-08,1.726781e-08,2.127014e-08,2.195640e-08,2.576469e-08,2.809374e-08,3.073968e-08,3.505313e-08,3.617630e-08,4.205058e-08,4.278362e-08,4.833504e-08,5.122257e-08,5.500007e-08,6.030114e-08,6.201497e-08,6.934875e-08,6.994830e-08,7.697079e-08,8.009360e-08,8.485129e-08,9.066916e-08,9.296162e-08,1.012746e-07,1.016110e-07,1.097646e-07,1.128597e-07,1.184077e-07,1.243611e-07,1.271817e-07,1.360661e-07,1.450423e-07,1.479311e-07,1.540929e-07,1.599172e-07,1.632025e-07,1.719901e-07,1.723570e-07,1.815436e-07,1.841200e-07,1.907508e-07,1.962808e-07,1.999684e-07,2.084498e-07,2.091872e-07,2.183988e-07,2.206077e-07,2.275960e-07,2.327377e-07,2.367722e-07,2.448253e-07,2.459216e-07,2.550390e-07,2.568583e-07,2.641199e-07,2.688262e-07,2.731603e-07,2.807202e-07,2.821565e-07,2.911055e-07,2.925328e-07,3.000045e-07,3.042576e-07,3.088511e-07,3.158893e-07,3.176433e-07,3.263792e-07,3.274237e-07,3.350573e-07,3.388570e-07,3.436762e-07,3.501863e-07,3.522348e-07,3.607322e-07,3.614093e-07,3.691676e-07,3.725242e-07,3.775402e-07,3.835294e-07,3.858497e-07,3.940955e-07,3.944240e-07,4.022775e-07,4.052073e-07,4.103954e-07,4.158789e-07,4.184491e-07,4.264386e-07,4.343639e-07,4.368864e-07,4.422251e-07,4.472228e-07,4.500225e-07,4.574480e-07,4.577561e-07,4.654264e-07,4.675627e-07,4.730335e-07,4.775676e-07,4.805778e-07,4.874634e-07,4.880597e-07,4.954796e-07,4.972512e-07,5.028379e-07,5.069319e-07,5.101351e-07,5.165065e-07,5.173717e-07,5.245482e-07,5.259763e-07,5.316650e-07,5.353423e-07,5.387227e-07,5.446059e-07,5.457219e-07,5.526631e-07,5.537683e-07,5.595468e-07,5.628308e-07,5.663737e-07,5.717947e-07,5.731444e-07,5.798594e-07,5.806614e-07,5.865193e-07,5.894323e-07,5.931247e-07,5.981087e-07,5.996762e-07,6.061745e-07,6.066920e-07,6.126200e-07,6.151837e-07,6.190135e-07,6.235850e-07,6.253556e-07,6.316468e-07,6.318974e-07,6.378878e-07,6.401223e-07,6.440791e-07,6.482611e-07,6.502213e-07,6.563152e-07,6.642858e-07,6.721745e-07,6.799825e-07,6.877111e-07,6.953618e-07,7.029357e-07,7.104343e-07,7.178587e-07,7.252103e-07,7.324902e-07,7.396997e-07,7.468400e-07,7.539124e-07,7.609178e-07,7.678576e-07,7.747329e-07,7.815447e-07,7.882941e-07,7.949823e-07,8.016102e-07,8.081790e-07,8.146896e-07,8.211430e-07,8.275402e-07
0.000000e+00,2.079871e-12,6.489250e-12,3.493530e-11,1.063960e-10,1.771984e-10,5.336767e-10,5.553364e-10,1.340615e-09,1.661665e-09,2.748083e-09,3.997183e-09,5.036920e-09,8.181010e-09,8.510333e-09,1.351099e-08,1.497898e-08,2.040533e-08,2.522866e-08,2.955268e-08,3.971853e-08,4.126909e-08,5.580536e-08,5.906829e-08,7.334577e-08,8.369810e-08,9.401708e-08,1.138597e-07,1.178985e-07,1.450293e-07,1.496726e-07,1.754149e-07,1.911499e-07,2.090308e-07,2.382164e-07,2.458268e-07,2.857306e-07,2.907238e-07,3.286514e-07,3.484654e-07,3.744830e-07,4.111893e-07,4.231071e-07,4.743964e-07,4.786107e-07,5.282168e-07,5.504229e-07,5.844303e-07,6.263070e-07,6.428964e-07,7.034741e-07,7.059391e-07,7.660230e-07,7.889965e-07,8.304051e-07,8.751628e-07,8.964849e-07,9.641305e-07,1.033214e-06,1.055604e-06,1.103612e-06,1.149302e-06,1.175207e-06,1.244957e-06,1.247883e-06,1.321533e-06,1.342315e-06,1.396053e-06,1.441141e-06,1.471344e-06,1.541212e-06,1.547313e-06,1.623869e-06,1.642321e-06,1.700930e-06,1.744275e-06,1.778416e-06,1.846894e-06,1.856250e-06,1.934362e-06,1.950012e-06,2.012685e-06,2.053475e-06,2.091156e-06,2.157142e-06,2.169715e-06,2.248307e-06,2.260881e-06,2.326878e-06,2.364571e-06,2.405381e-06,2.468103e-06,2.483769e-06,2.561999e-06,2.571374e-06,2.640031e-06,2.674292e-06,2.717827e-06,2.776772e-06,2.795352e-06,2.872574e-06,2.878737e-06,2.949462e-06,2.980117e-06,3.025988e-06,3.080848e-06,3.102127e-06,3.177853e-06,3.180873e-06,3.253146e-06,3.280141e-06,3.327983e-06,3.378604e-06,3.402347e-06,3.476221e-06,3.549587e-06,3.572955e-06,3.622433e-06,3.668774e-06,3.694744e-06,3.763649e-06,3.766508e-06,3.837717e-06,3.857554e-06,3.908358e-06,3.950468e-06,3.978425e-06,4.042371e-06,4.047909e-06,4.116803e-06,4.133249e-06,4.185103e-06,4.223088e-06,4.252802e-06,4.311878e-06,4.319897e-06,4.386384e-06,4.399609e-06,4.452261e-06,4.486275e-06,4.517525e-06,4.571872e-06,4.582174e-06,4.646208e-06,4.656396e-06,4.709626e-06,4.739848e-06,4.772428e-06,4.822226e-06,4.834614e-06,4.896186e-06,4.903533e-06,4.957144e-06,4.983772e-06,5.017490e-06,5.062945e-06,5.077227e-06,5.136355e-06,5.141059e-06,5.194879e-06,5.218119e-06,5.252800e-06,5.294132e-06,5.310122e-06,5.366849e-06,5.369106e-06,5.422983e-06,5.443047e-06,5.478529e-06,5.515966e-06,5.533490e-06,5.587871e-06,5.658773e-06,5.728681e-06,5.797607e-06,5.865560e-06,5.932553e-06,5.998596e-06,6.063702e-06,6.127882e-06,6.191148e-06,6.253513e-06,6.314989e-06,6.375588e-06,6.435322e-06,6.494204e-06,6.552246e-06,6.609461e-06,6.665860e-06,6.721457e-06,6.776263e-06,6.830290e-06,6.883552e-06,6.936059e-06,6.987824e-06,7.038858e-06
0.000000e+00,4.569001e-17,4.942294e-16,1.628226e-14,1.581304e-13,4.410858e-13,3.877023e-12,4.187939e-12,2.250698e-11,3.361156e-11,8.476647e-11,1.664222e-10,2.507297e-10,5.826554e-10,6.234129e-10,1.361075e-09,1.615763e-09,2.687041e-09,3.793166e-09,4.895100e-09,7.853983e-09,8.347382e-09,1.346298e-08,1.472549e-08,2.069878e-08,2.545601e-08,3.052675e-08,4.112628e-08,4.341186e-08,5.979365e-08,6.276662e-08,8.007255e-08,9.129607e-08,1.046006e-07,1.274847e-07,1.336760e-07,1.675398e-07,1.719345e-07,2.063754e-07,2.250727e-07,2.503089e-07,2.871533e-07,2.994109e-07,3.536990e-07,3.582654e-07,4.131414e-07,4.383458e-07,4.776614e-07,5.271958e-07,5.471423e-07,6.214322e-07,6.245013e-07,7.003496e-07,7.298538e-07,7.836892e-07,8.427721e-07,8.712264e-07,9.627230e-07,1.057931e-06,1.089141e-06,1.156599e-06,1.221443e-06,1.258470e-06,1.359046e-06,1.363292e-06,1.470816e-06,1.501373e-06,1.580798e-06,1.647868e-06,1.693002e-06,1.797998e-06,1.807202e-06,1.923181e-06,1.951258e-06,2.040733e-06,2.107174e-06,2.159660e-06,2.265307e-06,2.279778e-06,2.400913e-06,2.425248e-06,2.522901e-06,2.586621e-06,2.645589e-06,2.749083e-06,2.768834e-06,2.892501e-06,2.912318e-06,3.016466e-06,3.076041e-06,3.140613e-06,3.239990e-06,3.264836e-06,3.389033e-06,3.403931e-06,3.513113e-06,3.567649e-06,3.636991e-06,3.730953e-06,3.760586e-06,3.883825e-06,3.893667e-06,4.006643e-06,4.055637e-06,4.128975e-06,4.216722e-06,4.250766e-06,4.371961e-06,4.376796e-06,4.492514e-06,4.535747e-06,4.612379e-06,4.693474e-06,4.731516e-06,4.849887e-06,4.967459e-06,5.004908e-06,5.084200e-06,5.158465e-06,5.200081e-06,5.310496e-06,5.315078e-06,5.429167e-06,5.460947e-06,5.542327e-06,5.609769e-06,5.654539e-06,5.756922e-06,5.765786e-06,5.876053e-06,5.902369e-06,5.985326e-06,6.046080e-06,6.093593e-06,6.188029e-06,6.200845e-06,6.307071e-06,6.328193e-06,6.412265e-06,6.466555e-06,6.516419e-06,6.603102e-06,6.619529e-06,6.721589e-06,6.737821e-06,6.822596e-06,6.870705e-06,6.922549e-06,7.001749e-06,7.021444e-06,7.119281e-06,7.130951e-06,7.216060e-06,7.258308e-06,7.311782e-06,7.383824e-06,7.406447e-06,7.500058e-06,7.507501e-06,7.592616e-06,7.629345e-06,7.684124e-06,7.749362e-06,7.774586e-06,7.864006e-06,7.867561e-06,7.952387e-06,7.983950e-06,8.039734e-06,8.098542e-06,8.126052e-06,8.211346e-06,8.322376e-06,8.431646e-06,8.539170e-06,8.644962e-06,8.749038e-06,8.851416e-06,8.952110e-06,9.051140e-06,9.148521e-06,9.244273e-06,9.338413e-06,9.430961e-06,9.521934e-06,9.611352e-06,9.699235e-06,9.785600e-06,9.870469e-06,9.953859e-06,1.003579e-05,1.011628e-05,1.019536e-05,1.027303e-05,1.034933e-05,1.042426e-05
0.000000e+00,6.521785e-12,2.342132e-11,1.464280e-10,4.790127e-10,8.200945e-10,2.602030e-09,2.712369e-09,6.799973e-09,8.506519e-09,1.438565e-08,2.129797e-08,2.714920e-08,4.524633e-08,4.716998e-08,7.682360e-08,8.564402e-08,1.185048e-07,1.479082e-07,1.743403e-07,2.365800e-07,2.460772e-07,3.351163e-07,3.551030e-07,4.425752e-07,5.060350e-07,5.693369e-07,6.912332e-07,7.160760e-07,8.832740e-07,9.119467e-07,1.071229e-06,1.168863e-06,1.280065e-06,1.462147e-06,1.509742e-06,1.760068e-06,1.791480e-06,2.030713e-06,2.156121e-06,2.321224e-06,2.554960e-06,2.631045e-06,2.959527e-06,2.986591e-06,3.305951e-06,3.449371e-06,3.669537e-06,3.941486e-06,4.049463e-06,4.444873e-06,4.461000e-06,4.854893e-06,5.005905e-06,5.278634e-06,5.574162e-06,5.715208e-06,6.163729e-06,6.623323e-06,6.772590e-06,7.093126e-06,7.398768e-06,7.572296e-06,8.040346e-06,8.060009e-06,8.555466e-06,8.695475e-06,9.057892e-06,9.362380e-06,9.566539e-06,1.003937e-05,1.008069e-05,1.059964e-05,1.072483e-05,1.112274e-05,1.141724e-05,1.164934e-05,1.211515e-05,1.217883e-05,1.271063e-05,1.281722e-05,1.324418e-05,1.352214e-05,1.377896e-05,1.422875e-05,1.431445e-05,1.485019e-05,1.493590e-05,1.538571e-05,1.564256e-05,1.592059e-05,1.634775e-05,1.645441e-05,1.698679e-05,1.705056e-05,1.751737e-05,1.775017e-05,1.804580e-05,1.844577e-05,1.857176e-05,1.909495e-05,1.913667e-05,1.961507e-05,1.982220e-05,2.013186e-05,2.050175e-05,2.064507e-05,2.115447e-05,2.117476e-05,2.165983e-05,2.184073e-05,2.216095e-05,2.249920e-05,2.265764e-05,2.314973e-05,2.363706e-05,2.379197e-05,2.411947e-05,2.442557e-05,2.459682e-05,2.505021e-05,2.506900e-05,2.553588e-05,2.566564e-05,2.599736e-05,2.627162e-05,2.645335e-05,2.686793e-05,2.690376e-05,2.734851e-05,2.745440e-05,2.778754e-05,2.803088e-05,2.822079e-05,2.859723e-05,2.864821e-05,2.906975e-05,2.915335e-05,2.948538e-05,2.969916e-05,2.989507e-05,3.023459e-05,3.029878e-05,3.069652e-05,3.075960e-05,3.108825e-05,3.127415e-05,3.147398e-05,3.177825e-05,3.185371e-05,3.222743e-05,3.227188e-05,3.259516e-05,3.275507e-05,3.295691e-05,3.322785e-05,3.331269e-05,3.366252e-05,3.369025e-05,3.400643e-05,3.414234e-05,3.434444e-05,3.458417e-05,3.467658e-05,3.500289e-05,3.501582e-05,3.532340e-05,3.543737e-05,3.563814e-05,3.584890e-05,3.594717e-05,3.625051e-05,3.664231e-05,3.702440e-05,3.739689e-05,3.775990e-05,3.811356e-05,3.845798e-05,3.879330e-05,3.911965e-05,3.943716e-05,3.974597e-05,4.004622e-05,4.033804e-05,4.062158e-05,4.089698e-05,4.116439e-05,4.142393e-05,4.167576e-05,4.192003e-05,4.215686e-05,4.238641e-05,4.260882e-05,4.282423e-05,4.303277e-05,4.323459e-05
0.000000e+00,1.897464e-12,5.827186e-12,3.086417e-11,9.331859e-11,1.550179e-10,4.648830e-10,4.836903e-10,1.164952e-09,1.443292e-09,2.384865e-09,3.467219e-09,4.368205e-09,7.094072e-09,7.379768e-09,1.172429e-08,1.300246e-08,1.774133e-08,2.197537e-08,2.579061e-08,3.483729e-08,3.622671e-08,4.937033e-08,5.234850e-08,6.548837e-08,7.511624e-08,8.478772e-08,1.035694e-07,1.074191e-07,1.334843e-07,1.379780e-07,1.630438e-07,1.784820e-07,1.961223e-07,2.251156e-07,2.327137e-07,2.727852e-07,2.778252e-07,3.162802e-07,3.364834e-07,3.631219e-07,4.009022e-07,4.132157e-07,4.664527e-07,4.708438e-07,5.227114e-07,5.460319e-07,5.818609e-07,6.261611e-07,6.437630e-07,7.082742e-07,7.109068e-07,7.752477e-07,7.999323e-07,8.445349e-07,8.928959e-07,9.159872e-07,9.894568e-07,1.064798e-06,1.089279e-06,1.141868e-06,1.192035e-06,1.220527e-06,1.297410e-06,1.300641e-06,1.382078e-06,1.405101e-06,1.464713e-06,1.514819e-06,1.548426e-06,1.626292e-06,1.633099e-06,1.718623e-06,1.739264e-06,1.804893e-06,1.853492e-06,1.891808e-06,1.968751e-06,1.979273e-06,2.067199e-06,2.084831e-06,2.155499e-06,2.201537e-06,2.244094e-06,2.318686e-06,2.332908e-06,2.421869e-06,2.436112e-06,2.510910e-06,2.553659e-06,2.599967e-06,2.671185e-06,2.688982e-06,2.777898e-06,2.788559e-06,2.866664e-06,2.905661e-06,2.955231e-06,3.022381e-06,3.043554e-06,3.131589e-06,3.138618e-06,3.219298e-06,3.254282e-06,3.306644e-06,3.369289e-06,3.393593e-06,3.480113e-06,3.483565e-06,3.566175e-06,3.597040e-06,3.651753e-06,3.709656e-06,3.736821e-06,3.821356e-06,3.905338e-06,3.932092e-06,3.988747e-06,4.041820e-06,4.071566e-06,4.150502e-06,4.153779e-06,4.235372e-06,4.258105e-06,4.316331e-06,4.364598e-06,4.396646e-06,4.469957e-06,4.476305e-06,4.555300e-06,4.574159e-06,4.633623e-06,4.677187e-06,4.711266e-06,4.779025e-06,4.788223e-06,4.864490e-06,4.879661e-06,4.940063e-06,4.979085e-06,5.014937e-06,5.077290e-06,5.089110e-06,5.162581e-06,5.174271e-06,5.235347e-06,5.270025e-06,5.307409e-06,5.364552e-06,5.378767e-06,5.449420e-06,5.457851e-06,5.519370e-06,5.549926e-06,5.588619e-06,5.640780e-06,5.657168e-06,5.725019e-06,5.730418e-06,5.792176e-06,5.818845e-06,5.858642e-06,5.906071e-06,5.924420e-06,5.989513e-06,5.992102e-06,6.053925e-06,6.076948e-06,6.117662e-06,6.160619e-06,6.180728e-06,6.243126e-06,6.324479e-06,6.404691e-06,6.483773e-06,6.561739e-06,6.638602e-06,6.714374e-06,6.789071e-06,6.862704e-06,6.935290e-06,7.006841e-06,7.077373e-06,7.146899e-06,7.215435e-06,7.282995e-06,7.349594e-06,7.415245e-06,7.479964e-06,7.543766e-06,7.606663e-06,7.668672e-06,7.729806e-06,7.790079e-06,7.849505e-06,7.908099e-06
0.000000e+00,4.753308e-13,1.901984e-12,1.334223e-11,4.600613e-11,8.026515e-11,2.624633e-10,2.738145e-10,6.949656e-10,8.704167e-10,1.471286e-09,2.170183e-09,2.755809e-09,4.538863e-09,4.726356e-09,7.584540e-09,8.426935e-09,1.155277e-08,1.434754e-08,1.686687e-08,2.284489e-08,2.376368e-08,3.246780e-08,3.444384e-08,4.318281e-08,4.960989e-08,5.608825e-08,6.873610e-08,7.133972e-08,8.906989e-08,9.214443e-08,1.093893e-07,1.200891e-07,1.323867e-07,1.527590e-07,1.581299e-07,1.866657e-07,1.902791e-07,2.180209e-07,2.327131e-07,2.522033e-07,2.800668e-07,2.892022e-07,3.289905e-07,3.322928e-07,3.715255e-07,3.892965e-07,4.167514e-07,4.509422e-07,4.645998e-07,5.149924e-07,5.170598e-07,5.678421e-07,5.874516e-07,6.230549e-07,6.618987e-07,6.805310e-07,7.401664e-07,8.018541e-07,8.220099e-07,8.654852e-07,9.071784e-07,9.309500e-07,9.954191e-07,9.981384e-07,1.066941e-06,1.086481e-06,1.137250e-06,1.180115e-06,1.208960e-06,1.276079e-06,1.281965e-06,1.356165e-06,1.374140e-06,1.431461e-06,1.474070e-06,1.507757e-06,1.575652e-06,1.584961e-06,1.662984e-06,1.678679e-06,1.741739e-06,1.782954e-06,1.821145e-06,1.888290e-06,1.901121e-06,1.981594e-06,1.994510e-06,2.062489e-06,2.101449e-06,2.143739e-06,2.208950e-06,2.225277e-06,2.307041e-06,2.316865e-06,2.388971e-06,2.425059e-06,2.471011e-06,2.533402e-06,2.553107e-06,2.635208e-06,2.641775e-06,2.717265e-06,2.750066e-06,2.799235e-06,2.858173e-06,2.881072e-06,2.962737e-06,2.966000e-06,3.044192e-06,3.073457e-06,3.125399e-06,3.180462e-06,3.206326e-06,3.286941e-06,3.367213e-06,3.392823e-06,3.447114e-06,3.498044e-06,3.526619e-06,3.602547e-06,3.605702e-06,3.684341e-06,3.706278e-06,3.762515e-06,3.809187e-06,3.840203e-06,3.911232e-06,3.917387e-06,3.994051e-06,4.012371e-06,4.070178e-06,4.112569e-06,4.145754e-06,4.211794e-06,4.220765e-06,4.295199e-06,4.310016e-06,4.369046e-06,4.407210e-06,4.442294e-06,4.503354e-06,4.514936e-06,4.586961e-06,4.598428e-06,4.658364e-06,4.692414e-06,4.729137e-06,4.785298e-06,4.799275e-06,4.868772e-06,4.877068e-06,4.937624e-06,4.967713e-06,5.005827e-06,5.057226e-06,5.073378e-06,5.140275e-06,5.145599e-06,5.206516e-06,5.232829e-06,5.272099e-06,5.318912e-06,5.337024e-06,5.401289e-06,5.403846e-06,5.464896e-06,5.487633e-06,5.527843e-06,5.570272e-06,5.590133e-06,5.651766e-06,5.732119e-06,5.811334e-06,5.889418e-06,5.966376e-06,6.042215e-06,6.116942e-06,6.190567e-06,6.263098e-06,6.334544e-06,6.404914e-06,6.474221e-06,6.542473e-06,6.609682e-06,6.675860e-06,6.741017e-06,6.805166e-06,6.868319e-06,6.930488e-06,6.991685e-06,7.051923e-06,7.111214e-06,7.169572e-06,7.227008e-06,7.283535e-06
0.000000e+00,2.107582e-11,6.501374e-11,3.469440e-10,1.056417e-09,1.762608e-09,5.360412e-09,5.580993e-09,1.370041e-08,1.707900e-08,2.871855e-08,4.242765e-08,5.405427e-08,9.007951e-08,9.390997e-08,1.528448e-07,1.703144e-07,2.351176e-07,2.927551e-07,3.443324e-07,4.651072e-07,4.834703e-07,6.550323e-07,6.934283e-07,8.611404e-07,9.825761e-07,1.103585e-06,1.336404e-06,1.383837e-06,1.703054e-06,1.757805e-06,2.062075e-06,2.248708e-06,2.461423e-06,2.810095e-06,2.901318e-06,3.381688e-06,3.442038e-06,3.902187e-06,4.143777e-06,4.462228e-06,4.913813e-06,5.061000e-06,5.697503e-06,5.750019e-06,6.370574e-06,6.649755e-06,7.078917e-06,7.609976e-06,7.821122e-06,8.595697e-06,8.627332e-06,9.401086e-06,9.698261e-06,1.023569e-05,1.081907e-05,1.109786e-05,1.198598e-05,1.289838e-05,1.319521e-05,1.383343e-05,1.444300e-05,1.478951e-05,1.572564e-05,1.576501e-05,1.675838e-05,1.703951e-05,1.776807e-05,1.838109e-05,1.879258e-05,1.974698e-05,1.983047e-05,2.088031e-05,2.113389e-05,2.194073e-05,2.253870e-05,2.301042e-05,2.395839e-05,2.408809e-05,2.517251e-05,2.539009e-05,2.626248e-05,2.683109e-05,2.735689e-05,2.827880e-05,2.845461e-05,2.955461e-05,2.973076e-05,3.065589e-05,3.118467e-05,3.175747e-05,3.263834e-05,3.285844e-05,3.395792e-05,3.408972e-05,3.505507e-05,3.553688e-05,3.614911e-05,3.697802e-05,3.723926e-05,3.832482e-05,3.841144e-05,3.940509e-05,3.983558e-05,4.047944e-05,4.124895e-05,4.154724e-05,4.260792e-05,4.265019e-05,4.366094e-05,4.403805e-05,4.470577e-05,4.541134e-05,4.574195e-05,4.676900e-05,4.778651e-05,4.811003e-05,4.879408e-05,4.943353e-05,4.979133e-05,5.073867e-05,5.077792e-05,5.175353e-05,5.202470e-05,5.271787e-05,5.329094e-05,5.367064e-05,5.453678e-05,5.461161e-05,5.554055e-05,5.576167e-05,5.645723e-05,5.696514e-05,5.736146e-05,5.814676e-05,5.825309e-05,5.913194e-05,5.930616e-05,5.999788e-05,6.044303e-05,6.085079e-05,6.155709e-05,6.169057e-05,6.251711e-05,6.264813e-05,6.333035e-05,6.371596e-05,6.413023e-05,6.476047e-05,6.491668e-05,6.568968e-05,6.578154e-05,6.644920e-05,6.677911e-05,6.719523e-05,6.775318e-05,6.792775e-05,6.864679e-05,6.870373e-05,6.935235e-05,6.963081e-05,7.004447e-05,7.053448e-05,7.072317e-05,7.138850e-05,7.141484e-05,7.204052e-05,7.227200e-05,7.267927e-05,7.310609e-05,7.330484e-05,7.391728e-05,7.470574e-05,7.547167e-05,7.621529e-05,7.693681e-05,7.763649e-05,7.831458e-05,7.897134e-05,7.960705e-05,8.022199e-05,8.081647e-05,8.139078e-05,8.194524e-05,8.248015e-05,8.299583e-05,8.349262e-05,8.397084e-05,8.443081e-05,8.487288e-05,8.529737e-05,8.570463e-05,8.609499e-05,8.646879e-05,8.682636e-05,8.716805e-05
0.000000e+00,4.145325e-16,4.304420e-15,1.302835e-13,1.172619e-12,3.139094e-12,2.486775e-11,2.675068e-11,1.301749e-10,1.893602e-10,4.476912e-10,8.355653e-10,1.218979e-09,2.642638e-09,2.811292e-09,5.734208e-09,6.703871e-09,1.064848e-08,1.456696e-08,1.836551e-08,2.822044e-08,2.982696e-08,4.605482e-08,4.996356e-08,6.807527e-08,8.213477e-08,9.683537e-08,1.267929e-07,1.331352e-07,1.775884e-07,1.854881e-07,2.306114e-07,2.591804e-07,2.924335e-07,3.482738e-07,3.631177e-07,4.425865e-07,4.527049e-07,5.306450e-07,5.720398e-07,6.270018e-07,7.055581e-07,7.312877e-07,8.430712e-07,8.523236e-07,9.618719e-07,1.011242e-06,1.087173e-06,1.181113e-06,1.218435e-06,1.355101e-06,1.360672e-06,1.496613e-06,1.548635e-06,1.642413e-06,1.743729e-06,1.791958e-06,1.944720e-06,2.100195e-06,2.150440e-06,2.257903e-06,2.359799e-06,2.417394e-06,2.571794e-06,2.578249e-06,2.740081e-06,2.785520e-06,2.902534e-06,3.000167e-06,3.065283e-06,3.215020e-06,3.228034e-06,3.390522e-06,3.429454e-06,3.552511e-06,3.642926e-06,3.713788e-06,3.854974e-06,3.874167e-06,4.033482e-06,4.065205e-06,4.191590e-06,4.273287e-06,4.348365e-06,4.478946e-06,4.503699e-06,4.657498e-06,4.681958e-06,4.809683e-06,4.882138e-06,4.960187e-06,5.079343e-06,5.108955e-06,5.255941e-06,5.273458e-06,5.401108e-06,5.464398e-06,5.544427e-06,5.652101e-06,5.685877e-06,5.825442e-06,5.836525e-06,5.963111e-06,6.017647e-06,6.098879e-06,6.195454e-06,6.232745e-06,6.364712e-06,6.369951e-06,6.494785e-06,6.541149e-06,6.622972e-06,6.709069e-06,6.749286e-06,6.873740e-06,6.996348e-06,7.035196e-06,7.117128e-06,7.193476e-06,7.236098e-06,7.348625e-06,7.353278e-06,7.468687e-06,7.500688e-06,7.582348e-06,7.649714e-06,7.694282e-06,7.795757e-06,7.804513e-06,7.913063e-06,7.938867e-06,8.019955e-06,8.079101e-06,8.125215e-06,8.216512e-06,8.228866e-06,8.330933e-06,8.351158e-06,8.431439e-06,8.483094e-06,8.530410e-06,8.612376e-06,8.627869e-06,8.723842e-06,8.739061e-06,8.818352e-06,8.863205e-06,8.911425e-06,8.984863e-06,9.003083e-06,9.093351e-06,9.104091e-06,9.182253e-06,9.220943e-06,9.269811e-06,9.335472e-06,9.356050e-06,9.440993e-06,9.447733e-06,9.524661e-06,9.557777e-06,9.607078e-06,9.665656e-06,9.688266e-06,9.768247e-06,9.771421e-06,9.847041e-06,9.875121e-06,9.924672e-06,9.976806e-06,1.000116e-05,1.007652e-05,1.017432e-05,1.027024e-05,1.036433e-05,1.045664e-05,1.054720e-05,1.063606e-05,1.072326e-05,1.080884e-05,1.089284e-05,1.097530e-05,1.105625e-05,1.113573e-05,1.121378e-05,1.129043e-05,1.136572e-05,1.143967e-05,1.151232e-05,1.158370e-05,1.165384e-05,1.172278e-05,1.179053e-05,1.185713e-05,1.192260e-05,1.198697e-05
0.000000e+00,7.363441e-12,2.307280e-11,1.247726e-10,3.809776e-10,6.353852e-10,1.922332e-09,2.000811e-09,4.864592e-09,6.044730e-09,1.007261e-08,1.475970e-08,1.869883e-08,3.075896e-08,3.203137e-08,5.144411e-08,5.715156e-08,7.818546e-08,9.674566e-08,1.132581e-07,1.516298e-07,1.574322e-07,2.112967e-07,2.232739e-07,2.752961e-07,3.126914e-07,3.497485e-07,4.205163e-07,4.348540e-07,5.307001e-07,5.470323e-07,6.372665e-07,6.921944e-07,7.544323e-07,8.556563e-07,8.819846e-07,1.019629e-06,1.036808e-06,1.167001e-06,1.234819e-06,1.323678e-06,1.448690e-06,1.489193e-06,1.663040e-06,1.677292e-06,1.844693e-06,1.919418e-06,2.033608e-06,2.173816e-06,2.229237e-06,2.431030e-06,2.439222e-06,2.638444e-06,2.714385e-06,2.850945e-06,2.998087e-06,3.068015e-06,3.289155e-06,3.513883e-06,3.586477e-06,3.741737e-06,3.889002e-06,3.972281e-06,4.195745e-06,4.205097e-06,4.439792e-06,4.505793e-06,4.675997e-06,4.818297e-06,4.913361e-06,5.132478e-06,5.151557e-06,5.390281e-06,5.447621e-06,5.629245e-06,5.763071e-06,5.868185e-06,6.078234e-06,6.106852e-06,6.345017e-06,6.392571e-06,6.582468e-06,6.705594e-06,6.819008e-06,7.016865e-06,7.054456e-06,7.288647e-06,7.325990e-06,7.521426e-06,7.632617e-06,7.752654e-06,7.936434e-06,7.982204e-06,8.209960e-06,8.237164e-06,8.435814e-06,8.534564e-06,8.659674e-06,8.828419e-06,8.881451e-06,9.101071e-06,9.118545e-06,9.318463e-06,9.404782e-06,9.533567e-06,9.686994e-06,9.746329e-06,9.956702e-06,9.965067e-06,1.016465e-05,1.023891e-05,1.037013e-05,1.050843e-05,1.057312e-05,1.077359e-05,1.097152e-05,1.103432e-05,1.116691e-05,1.129061e-05,1.135973e-05,1.154242e-05,1.154998e-05,1.173767e-05,1.178976e-05,1.192278e-05,1.203261e-05,1.210532e-05,1.227099e-05,1.228529e-05,1.246271e-05,1.250491e-05,1.263759e-05,1.273441e-05,1.280993e-05,1.295951e-05,1.297975e-05,1.314707e-05,1.318024e-05,1.331191e-05,1.339665e-05,1.347428e-05,1.360878e-05,1.363421e-05,1.379171e-05,1.381669e-05,1.394681e-05,1.402042e-05,1.409954e-05,1.422003e-05,1.424992e-05,1.439797e-05,1.441558e-05,1.454372e-05,1.460713e-05,1.468720e-05,1.479474e-05,1.482843e-05,1.496744e-05,1.497847e-05,1.510427e-05,1.515839e-05,1.523893e-05,1.533457e-05,1.537146e-05,1.550189e-05,1.550707e-05,1.563024e-05,1.567595e-05,1.575655e-05,1.584128e-05,1.588084e-05,1.600314e-05,1.616158e-05,1.631668e-05,1.646850e-05,1.661710e-05,1.676255e-05,1.690492e-05,1.704427e-05,1.718067e-05,1.731417e-05,1.744483e-05,1.757273e-05,1.769792e-05,1.782045e-05,1.794039e-05,1.805779e-05,1.817271e-05,1.828520e-05,1.839533e-05,1.850313e-05,1.860866e-05,1.871198e-05,1.881313e-05,1.891216e-05,1.900912e-05
0.000000e+00,9.326781e-18,1.043924e-16,3.689027e-15,3.816958e-14,1.102107e-13,1.057995e-12,1.146903e-12,6.714041e-12,1.025836e-11,2.737650e-11,5.620825e-11,8.714326e-11,2.155304e-10,2.318072e-10,5.384251e-10,6.482405e-10,1.125165e-09,1.636658e-09,2.160732e-09,3.622258e-09,3.872375e-09,6.551010e-09,7.232925e-09,1.055151e-08,1.328915e-08,1.628641e-08,2.277737e-08,2.421249e-08,3.481127e-08,3.678757e-08,4.856591e-08,5.642598e-08,6.593774e-08,8.272260e-08,8.734509e-08,1.131463e-07,1.165522e-07,1.436283e-07,1.585799e-07,1.789997e-07,2.092345e-07,2.193899e-07,2.648506e-07,2.687064e-07,3.153622e-07,3.369642e-07,3.708403e-07,4.137828e-07,4.311443e-07,4.960872e-07,4.987783e-07,5.654436e-07,5.914441e-07,6.389591e-07,6.911853e-07,7.163580e-07,7.973507e-07,8.816401e-07,9.092600e-07,9.689267e-07,1.026226e-06,1.058914e-06,1.147572e-06,1.151310e-06,1.245835e-06,1.272646e-06,1.342217e-06,1.400831e-06,1.440201e-06,1.531551e-06,1.539543e-06,1.640016e-06,1.664273e-06,1.741406e-06,1.798511e-06,1.843516e-06,1.933823e-06,1.946163e-06,2.049180e-06,2.069814e-06,2.152411e-06,2.206129e-06,2.255716e-06,2.342454e-06,2.358966e-06,2.462043e-06,2.478512e-06,2.564842e-06,2.614058e-06,2.667266e-06,2.748878e-06,2.769230e-06,2.870653e-06,2.882785e-06,2.971468e-06,3.015616e-06,3.071609e-06,3.147232e-06,3.171022e-06,3.269656e-06,3.277512e-06,3.367466e-06,3.406351e-06,3.464413e-06,3.533660e-06,3.560462e-06,3.655581e-06,3.659366e-06,3.749743e-06,3.783403e-06,3.842926e-06,3.905720e-06,3.935108e-06,4.026272e-06,4.116404e-06,4.145025e-06,4.205489e-06,4.261951e-06,4.293519e-06,4.377026e-06,4.380484e-06,4.466378e-06,4.490236e-06,4.551196e-06,4.601569e-06,4.634934e-06,4.711018e-06,4.717590e-06,4.799164e-06,4.818580e-06,4.879654e-06,4.924256e-06,4.959063e-06,5.028049e-06,5.037392e-06,5.114644e-06,5.129966e-06,5.190823e-06,5.230014e-06,5.265935e-06,5.328206e-06,5.339983e-06,5.412973e-06,5.424554e-06,5.484912e-06,5.519071e-06,5.555807e-06,5.611775e-06,5.625664e-06,5.694491e-06,5.702681e-06,5.762296e-06,5.791809e-06,5.829088e-06,5.879177e-06,5.894874e-06,5.959664e-06,5.964805e-06,6.023467e-06,6.048714e-06,6.086292e-06,6.130926e-06,6.148149e-06,6.209046e-06,6.211462e-06,6.268994e-06,6.290345e-06,6.328003e-06,6.367598e-06,6.386083e-06,6.443244e-06,6.517306e-06,6.589809e-06,6.660774e-06,6.730228e-06,6.798193e-06,6.864693e-06,6.929752e-06,6.993395e-06,7.055645e-06,7.116526e-06,7.176061e-06,7.234273e-06,7.291187e-06,7.346825e-06,7.401210e-06,7.454365e-06,7.506313e-06,7.557075e-06,7.606673e-06,7.655130e-06,7.702467e-06,7.748705e-06,7.793866e-06,7.837969e-06
0.000000e+00,1.440701e-13,7.596544e-13,7.371124e-12,2.976691e-11,5.508598e-11,1.996307e-10,2.089209e-10,5.636455e-10,7.148774e-10,1.240685e-09,1.861645e-09,2.386832e-09,4.002799e-09,4.173804e-09,6.797152e-09,7.574756e-09,1.047112e-08,1.306996e-08,1.541656e-08,2.098934e-08,2.184581e-08,2.995269e-08,3.179095e-08,3.990991e-08,4.587029e-08,5.186992e-08,6.356226e-08,6.596618e-08,8.231366e-08,8.514487e-08,1.010087e-07,1.108397e-07,1.221288e-07,1.408105e-07,1.457319e-07,1.718562e-07,1.751617e-07,2.005206e-07,2.139382e-07,2.317245e-07,2.571270e-07,2.654490e-07,3.016576e-07,3.046602e-07,3.402977e-07,3.564200e-07,3.813022e-07,4.122449e-07,4.245909e-07,4.700727e-07,4.719362e-07,5.176469e-07,5.352653e-07,5.672056e-07,6.019811e-07,6.186349e-07,6.718167e-07,7.266304e-07,7.444955e-07,7.829540e-07,8.197371e-07,8.406655e-07,8.972620e-07,8.996440e-07,9.597704e-07,9.767955e-07,1.020928e-06,1.058071e-06,1.083005e-06,1.140833e-06,1.145891e-06,1.209482e-06,1.224837e-06,1.273677e-06,1.309854e-06,1.338381e-06,1.395669e-06,1.403503e-06,1.468957e-06,1.482081e-06,1.534664e-06,1.568905e-06,1.600546e-06,1.655970e-06,1.666533e-06,1.732557e-06,1.743121e-06,1.798559e-06,1.830214e-06,1.864479e-06,1.917120e-06,1.930264e-06,1.995865e-06,2.003723e-06,2.061237e-06,2.089917e-06,2.126337e-06,2.175608e-06,2.191127e-06,2.255572e-06,2.260712e-06,2.319639e-06,2.345154e-06,2.383299e-06,2.428868e-06,2.446526e-06,2.509295e-06,2.511796e-06,2.571584e-06,2.593887e-06,2.633374e-06,2.675098e-06,2.694648e-06,2.755389e-06,2.815584e-06,2.834729e-06,2.875220e-06,2.913090e-06,2.934288e-06,2.990448e-06,2.992777e-06,3.050680e-06,3.066787e-06,3.107990e-06,3.142089e-06,3.164701e-06,3.216344e-06,3.220810e-06,3.276312e-06,3.289542e-06,3.331206e-06,3.361679e-06,3.385488e-06,3.432750e-06,3.439159e-06,3.492217e-06,3.502755e-06,3.544663e-06,3.571694e-06,3.596499e-06,3.639569e-06,3.647725e-06,3.698343e-06,3.706386e-06,3.748356e-06,3.772148e-06,3.797767e-06,3.836864e-06,3.846578e-06,3.894794e-06,3.900540e-06,3.942418e-06,3.963187e-06,3.989455e-06,4.024812e-06,4.035908e-06,4.081783e-06,4.085428e-06,4.127084e-06,4.145045e-06,4.171816e-06,4.203674e-06,4.215985e-06,4.259595e-06,4.261328e-06,4.302653e-06,4.318020e-06,4.345164e-06,4.373762e-06,4.387134e-06,4.428568e-06,4.482450e-06,4.535424e-06,4.587501e-06,4.638697e-06,4.689025e-06,4.738500e-06,4.787134e-06,4.834943e-06,4.881940e-06,4.928139e-06,4.973554e-06,5.018199e-06,5.062086e-06,5.105231e-06,5.147645e-06,5.189343e-06,5.230337e-06,5.270640e-06,5.310266e-06,5.349226e-06,5.387532e-06,5.425198e-06,5.462236e-06,5.498656e-06
0.000000e+00,4.359287e-13,2.369743e-12,2.395265e-11,9.891979e-11,1.847197e-10,6.812792e-10,7.134119e-10,1.950241e-09,2.481641e-09,4.341800e-09,6.557558e-09,8.444079e-09,1.430399e-08,1.492816e-08,2.457686e-08,2.745825e-08,3.824947e-08,4.798591e-08,5.680243e-08,7.777781e-08,8.100214e-08,1.114813e-07,1.183768e-07,1.487407e-07,1.709276e-07,1.931673e-07,2.362386e-07,2.450502e-07,3.045909e-07,3.148372e-07,3.719097e-07,4.070014e-07,4.470511e-07,5.127806e-07,5.299881e-07,6.206276e-07,6.320152e-07,7.188165e-07,7.643598e-07,8.243484e-07,9.093099e-07,9.369711e-07,1.056394e-06,1.066232e-06,1.182294e-06,1.234391e-06,1.314326e-06,1.412981e-06,1.452125e-06,1.595318e-06,1.601153e-06,1.743523e-06,1.798031e-06,1.896359e-06,2.002737e-06,2.053445e-06,2.214408e-06,2.378884e-06,2.432200e-06,2.546519e-06,2.655304e-06,2.716970e-06,2.882949e-06,2.889911e-06,3.065026e-06,3.114407e-06,3.242018e-06,3.348995e-06,3.420602e-06,3.586076e-06,3.600512e-06,3.781493e-06,3.825061e-06,3.963308e-06,4.065405e-06,4.145734e-06,4.306607e-06,4.328560e-06,4.511593e-06,4.548208e-06,4.694649e-06,4.789790e-06,4.877558e-06,5.030973e-06,5.060164e-06,5.242319e-06,5.271413e-06,5.423888e-06,5.510796e-06,5.604747e-06,5.748844e-06,5.784779e-06,5.963879e-06,5.985303e-06,6.141949e-06,6.219951e-06,6.318901e-06,6.452585e-06,6.494652e-06,6.669129e-06,6.683030e-06,6.842264e-06,6.911128e-06,7.013996e-06,7.136743e-06,7.184270e-06,7.353037e-06,7.359756e-06,7.520252e-06,7.580063e-06,7.685877e-06,7.797576e-06,7.849877e-06,8.012221e-06,8.172883e-06,8.223936e-06,8.331841e-06,8.432670e-06,8.489075e-06,8.638383e-06,8.644569e-06,8.798311e-06,8.841043e-06,8.950291e-06,9.040629e-06,9.100500e-06,9.237125e-06,9.248935e-06,9.395591e-06,9.430524e-06,9.540469e-06,9.620824e-06,9.683569e-06,9.808029e-06,9.824894e-06,9.964450e-06,9.992149e-06,1.010224e-05,1.017320e-05,1.023827e-05,1.035119e-05,1.037256e-05,1.050511e-05,1.052615e-05,1.063593e-05,1.069811e-05,1.076503e-05,1.086709e-05,1.089243e-05,1.101814e-05,1.103312e-05,1.114218e-05,1.119623e-05,1.126456e-05,1.135646e-05,1.138529e-05,1.150439e-05,1.151385e-05,1.162188e-05,1.166843e-05,1.173777e-05,1.182024e-05,1.185209e-05,1.196484e-05,1.196932e-05,1.207606e-05,1.211572e-05,1.218574e-05,1.225947e-05,1.229392e-05,1.240062e-05,1.253920e-05,1.267527e-05,1.280886e-05,1.294002e-05,1.306879e-05,1.319522e-05,1.331934e-05,1.344121e-05,1.356085e-05,1.367832e-05,1.379366e-05,1.390690e-05,1.401809e-05,1.412727e-05,1.423448e-05,1.433975e-05,1.444313e-05,1.454466e-05,1.464437e-05,1.474229e-05,1.483847e-05,1.493295e-05,1.502574e-05,1.511690e-05
0.000000e+00,2.697908e-11,8.309745e-11,4.423241e-10,1.343850e-09,2.239305e-09,6.785369e-09,7.063465e-09,1.726895e-08,2.150267e-08,3.605338e-08,5.315278e-08,6.764494e-08,1.126321e-07,1.174300e-07,1.917706e-07,2.140108e-07,2.972964e-07,3.722812e-07,4.399658e-07,6.000379e-07,6.245234e-07,8.544974e-07,9.061804e-07,1.132428e-06,1.296521e-06,1.460094e-06,1.774639e-06,1.838664e-06,2.268795e-06,2.342421e-06,2.750695e-06,3.000352e-06,3.284166e-06,3.747703e-06,3.868639e-06,4.503212e-06,4.582673e-06,5.186684e-06,5.502535e-06,5.917594e-06,6.503785e-06,6.694261e-06,7.514817e-06,7.582298e-06,8.377244e-06,8.733464e-06,9.279411e-06,9.952336e-06,1.021910e-05,1.119404e-05,1.123374e-05,1.220193e-05,1.257239e-05,1.324045e-05,1.396296e-05,1.430729e-05,1.540018e-05,1.651686e-05,1.687887e-05,1.765514e-05,1.839399e-05,1.881288e-05,1.994068e-05,1.998799e-05,2.117847e-05,2.151429e-05,2.238237e-05,2.311038e-05,2.359783e-05,2.472472e-05,2.482305e-05,2.605633e-05,2.635333e-05,2.729601e-05,2.799245e-05,2.854055e-05,2.963857e-05,2.978845e-05,3.103830e-05,3.128838e-05,3.228875e-05,3.293879e-05,3.353853e-05,3.458695e-05,3.478644e-05,3.603135e-05,3.623019e-05,3.727218e-05,3.786603e-05,3.850793e-05,3.949222e-05,3.973764e-05,4.096043e-05,4.110666e-05,4.217546e-05,4.270742e-05,4.338196e-05,4.429275e-05,4.457921e-05,4.576651e-05,4.586105e-05,4.694325e-05,4.741086e-05,4.810885e-05,4.894087e-05,4.926276e-05,5.040450e-05,5.044991e-05,5.153360e-05,5.193690e-05,5.264965e-05,5.340092e-05,5.375227e-05,5.484112e-05,5.591589e-05,5.625679e-05,5.697629e-05,5.764729e-05,5.802208e-05,5.901209e-05,5.905304e-05,6.006897e-05,6.035072e-05,6.106972e-05,6.166282e-05,6.205513e-05,6.294807e-05,6.302510e-05,6.397952e-05,6.420626e-05,6.491832e-05,6.543721e-05,6.584145e-05,6.664080e-05,6.674886e-05,6.764055e-05,6.781700e-05,6.851650e-05,6.896579e-05,6.937674e-05,7.008721e-05,7.022129e-05,7.105019e-05,7.118137e-05,7.186350e-05,7.224837e-05,7.266129e-05,7.328840e-05,7.344364e-05,7.421063e-05,7.430164e-05,7.496236e-05,7.528832e-05,7.569895e-05,7.624870e-05,7.642052e-05,7.712718e-05,7.718307e-05,7.781907e-05,7.809172e-05,7.849633e-05,7.897498e-05,7.915911e-05,7.980755e-05,7.983319e-05,8.044182e-05,8.066672e-05,8.106208e-05,8.147594e-05,8.166849e-05,8.226123e-05,8.302299e-05,8.376164e-05,8.447758e-05,8.517124e-05,8.584305e-05,8.649344e-05,8.712284e-05,8.773169e-05,8.832044e-05,8.888952e-05,8.943937e-05,8.997043e-05,9.048315e-05,9.097795e-05,9.145526e-05,9.191553e-05,9.235916e-05,9.278658e-05,9.319822e-05,9.359447e-05,9.397575e-05,9.434246e-05,9.469499e-05,9.503374e-05
0.000000e+00,6.970544e-12,2.121200e-11,1.116147e-10,3.378620e-10,5.627342e-10,1.709454e-09,1.779876e-09,4.382771e-09,5.471793e-09,9.247552e-09,1.373716e-08,1.757680e-08,2.963575e-08,3.093093e-08,5.112094e-08,5.718760e-08,7.994393e-08,1.004457e-07,1.189481e-07,1.626858e-07,1.693748e-07,2.322150e-07,2.463465e-07,3.082789e-07,3.532878e-07,3.982451e-07,4.849830e-07,5.026875e-07,6.220881e-07,6.426079e-07,7.568409e-07,8.270689e-07,9.072530e-07,1.039008e-06,1.073544e-06,1.255846e-06,1.278801e-06,1.454202e-06,1.546557e-06,1.668572e-06,1.842130e-06,1.898832e-06,2.144783e-06,2.165130e-06,2.406153e-06,2.514944e-06,2.682604e-06,2.890767e-06,2.973741e-06,3.279119e-06,3.291624e-06,3.598249e-06,3.716402e-06,3.930604e-06,4.163879e-06,4.275631e-06,4.632752e-06,5.001371e-06,5.121659e-06,5.380882e-06,5.629203e-06,5.770673e-06,6.153971e-06,6.170127e-06,6.578631e-06,6.694551e-06,6.995576e-06,7.249543e-06,7.420359e-06,7.817573e-06,7.852388e-06,8.291084e-06,8.397299e-06,8.735879e-06,8.987422e-06,9.186221e-06,9.586683e-06,9.641573e-06,1.010141e-05,1.019388e-05,1.056524e-05,1.080785e-05,1.103257e-05,1.142749e-05,1.150294e-05,1.197588e-05,1.205176e-05,1.245097e-05,1.267966e-05,1.292780e-05,1.331024e-05,1.340596e-05,1.388508e-05,1.394262e-05,1.436478e-05,1.457595e-05,1.484473e-05,1.520945e-05,1.532459e-05,1.580405e-05,1.584238e-05,1.628280e-05,1.647404e-05,1.676056e-05,1.710378e-05,1.723706e-05,1.771203e-05,1.773100e-05,1.818525e-05,1.835513e-05,1.865647e-05,1.897565e-05,1.912548e-05,1.959207e-05,2.005604e-05,2.020393e-05,2.051723e-05,2.081084e-05,2.097544e-05,2.141239e-05,2.143053e-05,2.188234e-05,2.200824e-05,2.233073e-05,2.259806e-05,2.277556e-05,2.318157e-05,2.321672e-05,2.365409e-05,2.375849e-05,2.408757e-05,2.432857e-05,2.451705e-05,2.489161e-05,2.494244e-05,2.536366e-05,2.544740e-05,2.578064e-05,2.599577e-05,2.619330e-05,2.653655e-05,2.660158e-05,2.700543e-05,2.706963e-05,2.740479e-05,2.759487e-05,2.779961e-05,2.811218e-05,2.818986e-05,2.857550e-05,2.862146e-05,2.895649e-05,2.912265e-05,2.933282e-05,2.961569e-05,2.970445e-05,3.007138e-05,3.010053e-05,3.043358e-05,3.057714e-05,3.079106e-05,3.104550e-05,3.114379e-05,3.149178e-05,3.150560e-05,3.183503e-05,3.195744e-05,3.217354e-05,3.240102e-05,3.250731e-05,3.283636e-05,3.326349e-05,3.368244e-05,3.409325e-05,3.449596e-05,3.489062e-05,3.527730e-05,3.565605e-05,3.602694e-05,3.639003e-05,3.674542e-05,3.709316e-05,3.743334e-05,3.776606e-05,3.809138e-05,3.840940e-05,3.872021e-05,3.902391e-05,3.932058e-05,3.961032e-05,3.989323e-05,4.016941e-05,4.043894e-05,4.070194e-05,4.095850e-05
0.000000e+00,1.805361e-12,5.492106e-12,2.887304e-11,8.724669e-11,1.450927e-10,4.379334e-10,4.558161e-10,1.110300e-09,1.380959e-09,2.308099e-09,3.392557e-09,4.308102e-09,7.133716e-09,7.433835e-09,1.206128e-08,1.343913e-08,1.858202e-08,2.319901e-08,2.736264e-08,3.721656e-08,3.872622e-08,5.295397e-08,5.616547e-08,7.029269e-08,8.061180e-08,9.096077e-08,1.110370e-07,1.151515e-07,1.430340e-07,1.478479e-07,1.747537e-07,1.913786e-07,2.104314e-07,2.418885e-07,2.501628e-07,2.940187e-07,2.995611e-07,3.420449e-07,3.645039e-07,3.942627e-07,4.367511e-07,4.506700e-07,5.112426e-07,5.162672e-07,5.759361e-07,6.029538e-07,6.446873e-07,6.966565e-07,7.174165e-07,7.940297e-07,7.971736e-07,8.744205e-07,9.042637e-07,9.584719e-07,1.017654e-06,1.046058e-06,1.137046e-06,1.231299e-06,1.262126e-06,1.328673e-06,1.392565e-06,1.429026e-06,1.528031e-06,1.532211e-06,1.638082e-06,1.668188e-06,1.746494e-06,1.812700e-06,1.857301e-06,1.961237e-06,1.970362e-06,2.085535e-06,2.113476e-06,2.202683e-06,2.269099e-06,2.321672e-06,2.427800e-06,2.442370e-06,2.564650e-06,2.589284e-06,2.688386e-06,2.753266e-06,2.813461e-06,2.919471e-06,2.939756e-06,3.067160e-06,3.087640e-06,3.195564e-06,3.257522e-06,3.324864e-06,3.428881e-06,3.454959e-06,3.585752e-06,3.601490e-06,3.717151e-06,3.775135e-06,3.849066e-06,3.949613e-06,3.981411e-06,4.114105e-06,4.124733e-06,4.247069e-06,4.300313e-06,4.380227e-06,4.476181e-06,4.513508e-06,4.646843e-06,4.652177e-06,4.780166e-06,4.828148e-06,4.913415e-06,5.003952e-06,5.046530e-06,5.179454e-06,5.312133e-06,5.354530e-06,5.444515e-06,5.529061e-06,5.576551e-06,5.702937e-06,5.708195e-06,5.839402e-06,5.876056e-06,5.970130e-06,6.048320e-06,6.100339e-06,6.219642e-06,6.229993e-06,6.359054e-06,6.389937e-06,6.487490e-06,6.559128e-06,6.615268e-06,6.727145e-06,6.742359e-06,6.868734e-06,6.893920e-06,6.994366e-06,7.059393e-06,7.119231e-06,7.223507e-06,7.243305e-06,7.366566e-06,7.386211e-06,7.488994e-06,7.547458e-06,7.610569e-06,7.707203e-06,7.731274e-06,7.851091e-06,7.865409e-06,7.970005e-06,8.022038e-06,8.088003e-06,8.177059e-06,8.205070e-06,8.321195e-06,8.330444e-06,8.436366e-06,8.482165e-06,8.550574e-06,8.632201e-06,8.663809e-06,8.776062e-06,8.780532e-06,8.887327e-06,8.927139e-06,8.997597e-06,9.072009e-06,9.106866e-06,9.215128e-06,9.356486e-06,9.496074e-06,9.633886e-06,9.769918e-06,9.904166e-06,1.003663e-05,1.016731e-05,1.029620e-05,1.042332e-05,1.054866e-05,1.067222e-05,1.079403e-05,1.091407e-05,1.103237e-05,1.114893e-05,1.126376e-05,1.137687e-05,1.148827e-05,1.159798e-05,1.170601e-05,1.181236e-05,1.191707e-05,1.202013e-05,1.212156e-05
0.000000e+00,2.187760e-16,2.139043e-15,5.745336e-14,4.663759e-13,1.182378e-12,8.200719e-12,8.776116e-12,3.784827e-11,5.337407e-11,1.170940e-10,2.063602e-10,2.904064e-10,5.829764e-10,6.162645e-10,1.165974e-09,1.340124e-09,2.021482e-09,2.667524e-09,3.273091e-09,4.778515e-09,5.017069e-09,7.352941e-09,7.899941e-09,1.038017e-08,1.225946e-08,1.419398e-08,1.806896e-08,1.888068e-08,2.451311e-08,2.550606e-08,3.114729e-08,3.469926e-08,3.882082e-08,4.572157e-08,4.755306e-08,5.734643e-08,5.859250e-08,6.818855e-08,7.328528e-08,8.005441e-08,8.973573e-08,9.290868e-08,1.067077e-07,1.078509e-07,1.214013e-07,1.275171e-07,1.369347e-07,1.486061e-07,1.532497e-07,1.702862e-07,1.709818e-07,1.879833e-07,1.945043e-07,2.062804e-07,2.190346e-07,2.251178e-07,2.444376e-07,2.641840e-07,2.705842e-07,2.843039e-07,2.973534e-07,3.047472e-07,3.246331e-07,3.254666e-07,3.464181e-07,3.523205e-07,3.675610e-07,3.803226e-07,3.888573e-07,4.085556e-07,4.102724e-07,4.317744e-07,4.369445e-07,4.533342e-07,4.654230e-07,4.749254e-07,4.939323e-07,4.965238e-07,5.181076e-07,5.224208e-07,5.396571e-07,5.508432e-07,5.611544e-07,5.791600e-07,5.825835e-07,6.039299e-07,6.073367e-07,6.251806e-07,6.353435e-07,6.463240e-07,6.631544e-07,6.673497e-07,6.882483e-07,6.907472e-07,7.090115e-07,7.181025e-07,7.296320e-07,7.452041e-07,7.501032e-07,7.704193e-07,7.720377e-07,7.905751e-07,7.985915e-07,8.105662e-07,8.248554e-07,8.303885e-07,8.500386e-07,8.508210e-07,8.695136e-07,8.764812e-07,8.888108e-07,9.018303e-07,9.079282e-07,9.268638e-07,9.456161e-07,9.515780e-07,9.641840e-07,9.759701e-07,9.825664e-07,1.000038e-06,1.000763e-06,1.018772e-06,1.023781e-06,1.036594e-06,1.047198e-06,1.054230e-06,1.070289e-06,1.071678e-06,1.088939e-06,1.093054e-06,1.106013e-06,1.115494e-06,1.122902e-06,1.137610e-06,1.139604e-06,1.156122e-06,1.159404e-06,1.172456e-06,1.180877e-06,1.188606e-06,1.202032e-06,1.204574e-06,1.220361e-06,1.222870e-06,1.235968e-06,1.243395e-06,1.251395e-06,1.263609e-06,1.266645e-06,1.281718e-06,1.283515e-06,1.296616e-06,1.303116e-06,1.311340e-06,1.322414e-06,1.325891e-06,1.340271e-06,1.341414e-06,1.354482e-06,1.360119e-06,1.368525e-06,1.378532e-06,1.382400e-06,1.396111e-06,1.396656e-06,1.409659e-06,1.414496e-06,1.423044e-06,1.432054e-06,1.436269e-06,1.449335e-06,1.466342e-06,1.483079e-06,1.499550e-06,1.515758e-06,1.531707e-06,1.547401e-06,1.562844e-06,1.578039e-06,1.592991e-06,1.607702e-06,1.622178e-06,1.636420e-06,1.650434e-06,1.664222e-06,1.677789e-06,1.691138e-06,1.704272e-06,1.717195e-06,1.729911e-06,1.742422e-06,1.754733e-06,1.766847e-06,1.778766e-06,1.790495e-06
0.000000e+00,2.295765e-17,2.555992e-16,8.927642e-15,9.138187e-14,2.623154e-13,2.481941e-12,2.689000e-12,1.554324e-11,2.367664e-11,6.277149e-11,1.283603e-10,1.986255e-10,4.903151e-10,5.273414e-10,1.227369e-09,1.479201e-09,2.578465e-09,3.765110e-09,4.986695e-09,8.410924e-09,8.998367e-09,1.529348e-08,1.689412e-08,2.465479e-08,3.101105e-08,3.791664e-08,5.267617e-08,5.590409e-08,7.937378e-08,8.368241e-08,1.089656e-07,1.254945e-07,1.451702e-07,1.791200e-07,1.883139e-07,2.385570e-07,2.450650e-07,2.959046e-07,3.233585e-07,3.602240e-07,4.136200e-07,4.312663e-07,5.086898e-07,5.151474e-07,5.920815e-07,6.270068e-07,6.809783e-07,7.481155e-07,7.748849e-07,8.732890e-07,8.773115e-07,9.756750e-07,1.013410e-06,1.081533e-06,1.155248e-06,1.190370e-06,1.301712e-06,1.415113e-06,1.451766e-06,1.530153e-06,1.604460e-06,1.646447e-06,1.758939e-06,1.763640e-06,1.881407e-06,1.914445e-06,1.999458e-06,2.070314e-06,2.117529e-06,2.225973e-06,2.235389e-06,2.352831e-06,2.380934e-06,2.469673e-06,2.534782e-06,2.585756e-06,2.687171e-06,2.700941e-06,2.815110e-06,2.837812e-06,2.928159e-06,2.986472e-06,3.040000e-06,3.132959e-06,3.150559e-06,3.259773e-06,3.277119e-06,3.367589e-06,3.418831e-06,3.473963e-06,3.558001e-06,3.578861e-06,3.682252e-06,3.694557e-06,3.784116e-06,3.828447e-06,3.884434e-06,3.959633e-06,3.983193e-06,4.080385e-06,4.088093e-06,4.176006e-06,4.213813e-06,4.270052e-06,4.336791e-06,4.362524e-06,4.453427e-06,4.457030e-06,4.542763e-06,4.574542e-06,4.630541e-06,4.689344e-06,4.716768e-06,4.801456e-06,4.884614e-06,4.910903e-06,4.966255e-06,5.017715e-06,5.046392e-06,5.121922e-06,5.125040e-06,5.202212e-06,5.223558e-06,5.277925e-06,5.322658e-06,5.352194e-06,5.419260e-06,5.425035e-06,5.496466e-06,5.513401e-06,5.566503e-06,5.605122e-06,5.635164e-06,5.694462e-06,5.702467e-06,5.768430e-06,5.781464e-06,5.833071e-06,5.866168e-06,5.896408e-06,5.948617e-06,5.958460e-06,6.019244e-06,6.028853e-06,6.078780e-06,6.106919e-06,6.137086e-06,6.182857e-06,6.194180e-06,6.250081e-06,6.256710e-06,6.304808e-06,6.328520e-06,6.358379e-06,6.398330e-06,6.410811e-06,6.462124e-06,6.466181e-06,6.512335e-06,6.532115e-06,6.561463e-06,6.596174e-06,6.609525e-06,6.656538e-06,6.658397e-06,6.702522e-06,6.718827e-06,6.747492e-06,6.777502e-06,6.791467e-06,6.834463e-06,6.889748e-06,6.943395e-06,6.995443e-06,7.045929e-06,7.094890e-06,7.142361e-06,7.188379e-06,7.232977e-06,7.276191e-06,7.318054e-06,7.358599e-06,7.397858e-06,7.435863e-06,7.472646e-06,7.508236e-06,7.542664e-06,7.575959e-06,7.608150e-06,7.639264e-06,7.669329e-06,7.698372e-06,7.726420e-06,7.753497e-06,7.779630e-06
0.000000e+00,4.665255e-15,4.346271e-14,1.062284e-12,7.975171e-12,1.943385e-11,1.229820e-10,1.311630e-10,5.244199e-10,7.262283e-10,1.528647e-09,2.616452e-09,3.619604e-09,7.029609e-09,7.412407e-09,1.365133e-08,1.560618e-08,2.319941e-08,3.034944e-08,3.702686e-08,5.357554e-08,5.619439e-08,8.182545e-08,8.782812e-08,1.150627e-07,1.357215e-07,1.570091e-07,1.997110e-07,2.086655e-07,2.708791e-07,2.818601e-07,3.443144e-07,3.836959e-07,4.294470e-07,5.061799e-07,5.265733e-07,6.358281e-07,6.497547e-07,7.572040e-07,8.144197e-07,8.905704e-07,9.998056e-07,1.035690e-06,1.192236e-06,1.205241e-06,1.359803e-06,1.429813e-06,1.537924e-06,1.672418e-06,1.726082e-06,1.923719e-06,1.931814e-06,2.130251e-06,2.206663e-06,2.345072e-06,2.495572e-06,2.567569e-06,2.797125e-06,3.033127e-06,3.109911e-06,3.274972e-06,3.432546e-06,3.522070e-06,3.763695e-06,3.773849e-06,4.029756e-06,4.102078e-06,4.289262e-06,4.446481e-06,4.551860e-06,4.795765e-06,4.817067e-06,5.084426e-06,5.148864e-06,5.353506e-06,5.504789e-06,5.623898e-06,5.862624e-06,5.895220e-06,6.167112e-06,6.221529e-06,6.439239e-06,6.580732e-06,6.711285e-06,6.939528e-06,6.982959e-06,7.253988e-06,7.297276e-06,7.524120e-06,7.653394e-06,7.793119e-06,8.007356e-06,8.060768e-06,8.326867e-06,8.358686e-06,8.591231e-06,8.706957e-06,8.853689e-06,9.051785e-06,9.114084e-06,9.372273e-06,9.392828e-06,9.628123e-06,9.729781e-06,9.881515e-06,1.006237e-05,1.013234e-05,1.038050e-05,1.039037e-05,1.062590e-05,1.071355e-05,1.086846e-05,1.103174e-05,1.110811e-05,1.134478e-05,1.157841e-05,1.165253e-05,1.180897e-05,1.195488e-05,1.203639e-05,1.225173e-05,1.226064e-05,1.248168e-05,1.254300e-05,1.269950e-05,1.282863e-05,1.291406e-05,1.310856e-05,1.312534e-05,1.333334e-05,1.338277e-05,1.353803e-05,1.365122e-05,1.373942e-05,1.391390e-05,1.393750e-05,1.413226e-05,1.417081e-05,1.432371e-05,1.442196e-05,1.451186e-05,1.466735e-05,1.469670e-05,1.487826e-05,1.490701e-05,1.505655e-05,1.514096e-05,1.523157e-05,1.536924e-05,1.540334e-05,1.557188e-05,1.559189e-05,1.573722e-05,1.580895e-05,1.589936e-05,1.602047e-05,1.605834e-05,1.621418e-05,1.622651e-05,1.636689e-05,1.642711e-05,1.651651e-05,1.662234e-05,1.666307e-05,1.680658e-05,1.681226e-05,1.694708e-05,1.699693e-05,1.708461e-05,1.717643e-05,1.721917e-05,1.735082e-05,1.752017e-05,1.768455e-05,1.784405e-05,1.799872e-05,1.814865e-05,1.829391e-05,1.843459e-05,1.857075e-05,1.870247e-05,1.882984e-05,1.895293e-05,1.907181e-05,1.918657e-05,1.929728e-05,1.940402e-05,1.950687e-05,1.960590e-05,1.970118e-05,1.979280e-05,1.988082e-05,1.996533e-05,2.004639e-05,2.012408e-05,2.019846e-05
0.000000e+00,3.249460e-17,3.583343e-16,1.226544e-14,1.232093e-13,3.499700e-13,3.219184e-12,3.483621e-12,1.954012e-11,2.950961e-11,7.648060e-11,1.533603e-10,2.341428e-10,5.597244e-10,6.002667e-10,1.346647e-09,1.608369e-09,2.723999e-09,3.894304e-09,5.073996e-09,8.292972e-09,8.835763e-09,1.454286e-08,1.597049e-08,2.280752e-08,2.833481e-08,3.429219e-08,4.692242e-08,4.967234e-08,6.959701e-08,7.324705e-08,9.465323e-08,1.086531e-07,1.253388e-07,1.542066e-07,1.620442e-07,2.050457e-07,2.106378e-07,2.545047e-07,2.783296e-07,3.104736e-07,3.573384e-07,3.729056e-07,4.416659e-07,4.474342e-07,5.165435e-07,5.481478e-07,5.972639e-07,6.588189e-07,6.835006e-07,7.748858e-07,7.786428e-07,8.710208e-07,9.067116e-07,9.714850e-07,1.042053e-06,1.075845e-06,1.183662e-06,1.294499e-06,1.330533e-06,1.407924e-06,1.481681e-06,1.523520e-06,1.636161e-06,1.640885e-06,1.759637e-06,1.793086e-06,1.879416e-06,1.951637e-06,1.999888e-06,2.111065e-06,2.120741e-06,2.241690e-06,2.270703e-06,2.362476e-06,2.429956e-06,2.482864e-06,2.588309e-06,2.602644e-06,2.721627e-06,2.745313e-06,2.839647e-06,2.900589e-06,2.956560e-06,3.053816e-06,3.072237e-06,3.186568e-06,3.204730e-06,3.299459e-06,3.353112e-06,3.410831e-06,3.498787e-06,3.520614e-06,3.628755e-06,3.641619e-06,3.735206e-06,3.781500e-06,3.839932e-06,3.918352e-06,3.942904e-06,4.044100e-06,4.052119e-06,4.143506e-06,4.182765e-06,4.241113e-06,4.310272e-06,4.336914e-06,4.430911e-06,4.434634e-06,4.523107e-06,4.555857e-06,4.613507e-06,4.673958e-06,4.702121e-06,4.788961e-06,4.874041e-06,4.900897e-06,4.957376e-06,5.009802e-06,5.038983e-06,5.115718e-06,5.118881e-06,5.197089e-06,5.218688e-06,5.273629e-06,5.318760e-06,5.348521e-06,5.415985e-06,5.421787e-06,5.493451e-06,5.510414e-06,5.563534e-06,5.602100e-06,5.632062e-06,5.691097e-06,5.699057e-06,5.764543e-06,5.777461e-06,5.828545e-06,5.861248e-06,5.891087e-06,5.942512e-06,5.952193e-06,6.011887e-06,6.021309e-06,6.070195e-06,6.097696e-06,6.127139e-06,6.171729e-06,6.182744e-06,6.237034e-06,6.243461e-06,6.290033e-06,6.312949e-06,6.341764e-06,6.380246e-06,6.392251e-06,6.441518e-06,6.445407e-06,6.489586e-06,6.508483e-06,6.536480e-06,6.569528e-06,6.582221e-06,6.626831e-06,6.628592e-06,6.670333e-06,6.685727e-06,6.712749e-06,6.740982e-06,6.754099e-06,6.794406e-06,6.846047e-06,6.895952e-06,6.944167e-06,6.990738e-06,7.035709e-06,7.079123e-06,7.121023e-06,7.161450e-06,7.200444e-06,7.238046e-06,7.274294e-06,7.309226e-06,7.342879e-06,7.375289e-06,7.406491e-06,7.436518e-06,7.465406e-06,7.493186e-06,7.519890e-06,7.545549e-06,7.570193e-06,7.593852e-06,7.616554e-06,7.638327e-06
0.000000e+00,3.060145e-18,3.546230e-17,1.347111e-15,1.490518e-14,4.467685e-14,4.735117e-13,5.154162e-13,3.343024e-12,5.256445e-12,1.510311e-11,3.298285e-11,5.328828e-11,1.449404e-10,1.571805e-10,4.046956e-10,4.993311e-10,9.357739e-10,1.438385e-09,1.981046e-09,3.602218e-09,3.892369e-09,7.170631e-09,8.046185e-09,1.248645e-08,1.633117e-08,2.069075e-08,3.056321e-08,3.281367e-08,5.005209e-08,5.337279e-08,7.374702e-08,8.783764e-08,1.053530e-07,1.373614e-07,1.464016e-07,1.984622e-07,2.055241e-07,2.631006e-07,2.959210e-07,3.418396e-07,4.120032e-07,4.361217e-07,5.472751e-07,5.569328e-07,6.764847e-07,7.334583e-07,8.247683e-07,9.438182e-07,9.929584e-07,1.181689e-06,1.189672e-06,1.391388e-06,1.472062e-06,1.622277e-06,1.791401e-06,1.874372e-06,2.147489e-06,2.441260e-06,2.539545e-06,2.755141e-06,2.966259e-06,3.088428e-06,3.425860e-06,3.440279e-06,3.809728e-06,3.916185e-06,4.195709e-06,4.434757e-06,4.597070e-06,4.978860e-06,5.012594e-06,5.441019e-06,5.545618e-06,5.881054e-06,6.132057e-06,6.331391e-06,6.735174e-06,6.790727e-06,7.257768e-06,7.351989e-06,7.731249e-06,7.979593e-06,8.209937e-06,8.615186e-06,8.692640e-06,9.178219e-06,9.256105e-06,9.665585e-06,9.899851e-06,1.015371e-05,1.054410e-05,1.064163e-05,1.112843e-05,1.118673e-05,1.161328e-05,1.182579e-05,1.209539e-05,1.245952e-05,1.257405e-05,1.304861e-05,1.308638e-05,1.351846e-05,1.370496e-05,1.398308e-05,1.431408e-05,1.444197e-05,1.489470e-05,1.491268e-05,1.534090e-05,1.549987e-05,1.578023e-05,1.607489e-05,1.621239e-05,1.663714e-05,1.705425e-05,1.718609e-05,1.746356e-05,1.772134e-05,1.786491e-05,1.824261e-05,1.825818e-05,1.864330e-05,1.874966e-05,1.902019e-05,1.924236e-05,1.938881e-05,1.972061e-05,1.974914e-05,2.010117e-05,2.018442e-05,2.044492e-05,2.063381e-05,2.078041e-05,2.106885e-05,2.110770e-05,2.142682e-05,2.148967e-05,2.173785e-05,2.189642e-05,2.204087e-05,2.228926e-05,2.233595e-05,2.262318e-05,2.266841e-05,2.290266e-05,2.303409e-05,2.317449e-05,2.338652e-05,2.343878e-05,2.369565e-05,2.372598e-05,2.394519e-05,2.405271e-05,2.418754e-05,2.436699e-05,2.442281e-05,2.465113e-05,2.466910e-05,2.487261e-05,2.495932e-05,2.508738e-05,2.523794e-05,2.529557e-05,2.549731e-05,2.550524e-05,2.569271e-05,2.576153e-05,2.588190e-05,2.600708e-05,2.606502e-05,2.624218e-05,2.646712e-05,2.668219e-05,2.688767e-05,2.708383e-05,2.727094e-05,2.744928e-05,2.761912e-05,2.778070e-05,2.793430e-05,2.808015e-05,2.821851e-05,2.834961e-05,2.847368e-05,2.859097e-05,2.870169e-05,2.880605e-05,2.890429e-05,2.899659e-05,2.908317e-05,2.916422e-05,2.923994e-05,2.931051e-05,2.937611e-05,2.943692e-05
0.000000e+00,3.522373e-15,3.315587e-14,8.266421e-13,6.308250e-12,1.549961e-11,9.999643e-11,1.067260e-10,4.338408e-10,6.033015e-10,1.282691e-09,2.212635e-09,3.076310e-09,6.041612e-09,6.376719e-09,1.188419e-08,1.362424e-08,2.042982e-08,2.688782e-08,3.294750e-08,4.802654e-08,5.041631e-08,7.378703e-08,7.924723e-08,1.039210e-07,1.225141e-07,1.415575e-07,1.794200e-07,1.873064e-07,2.416531e-07,2.511727e-07,3.049669e-07,3.386230e-07,3.775079e-07,4.422932e-07,4.594332e-07,5.508019e-07,5.624001e-07,6.515811e-07,6.988775e-07,7.616521e-07,8.514026e-07,8.808191e-07,1.008817e-06,1.019429e-06,1.145324e-06,1.202227e-06,1.289966e-06,1.398917e-06,1.442334e-06,1.601985e-06,1.608517e-06,1.768461e-06,1.829971e-06,1.941286e-06,2.062189e-06,2.119981e-06,2.304069e-06,2.493077e-06,2.554523e-06,2.686542e-06,2.812490e-06,2.884014e-06,3.076954e-06,3.085059e-06,3.289263e-06,3.346952e-06,3.496228e-06,3.621574e-06,3.705577e-06,3.899976e-06,3.916953e-06,4.130019e-06,4.181371e-06,4.344460e-06,4.465035e-06,4.559977e-06,4.750303e-06,4.776295e-06,4.993152e-06,5.036567e-06,5.210308e-06,5.323272e-06,5.427537e-06,5.609914e-06,5.644631e-06,5.861396e-06,5.896036e-06,6.077653e-06,6.181226e-06,6.293234e-06,6.465110e-06,6.507988e-06,6.721771e-06,6.747354e-06,6.934455e-06,7.027656e-06,7.145918e-06,7.305745e-06,7.356050e-06,7.564750e-06,7.581381e-06,7.771925e-06,7.854349e-06,7.977491e-06,8.124457e-06,8.181369e-06,8.383489e-06,8.391537e-06,8.583788e-06,8.655437e-06,8.782205e-06,8.916028e-06,8.978690e-06,9.173195e-06,9.365676e-06,9.426837e-06,9.556097e-06,9.676869e-06,9.744423e-06,9.923218e-06,9.930625e-06,1.011468e-05,1.016582e-05,1.029655e-05,1.040463e-05,1.047624e-05,1.063960e-05,1.065371e-05,1.082896e-05,1.087069e-05,1.100198e-05,1.109789e-05,1.117275e-05,1.132117e-05,1.134128e-05,1.150755e-05,1.154053e-05,1.167156e-05,1.175595e-05,1.183331e-05,1.196745e-05,1.199281e-05,1.215006e-05,1.217501e-05,1.230505e-05,1.237865e-05,1.245781e-05,1.257840e-05,1.260832e-05,1.275660e-05,1.277425e-05,1.290267e-05,1.296624e-05,1.304652e-05,1.315438e-05,1.318818e-05,1.332765e-05,1.333871e-05,1.346494e-05,1.351925e-05,1.360007e-05,1.369604e-05,1.373306e-05,1.386392e-05,1.386911e-05,1.399266e-05,1.403849e-05,1.411930e-05,1.420422e-05,1.424385e-05,1.436634e-05,1.452490e-05,1.467992e-05,1.483146e-05,1.497956e-05,1.512426e-05,1.526561e-05,1.540365e-05,1.553842e-05,1.566998e-05,1.579838e-05,1.592365e-05,1.604584e-05,1.616502e-05,1.628121e-05,1.639447e-05,1.650484e-05,1.661238e-05,1.671713e-05,1.681913e-05,1.691844e-05,1.701510e-05,1.710916e-05,1.720067e-05,1.728966e-05
0.000000e+00,2.803915e-13,1.218236e-12,9.343271e-12,3.354211e-11,5.936535e-11,1.987804e-10,2.075209e-10,5.335300e-10,6.698961e-10,1.138037e-09,1.683752e-09,2.141542e-09,3.536542e-09,3.683262e-09,5.919052e-09,6.577452e-09,9.017379e-09,1.119412e-08,1.315223e-08,1.778252e-08,1.849213e-08,2.518588e-08,2.669794e-08,3.334873e-08,3.820018e-08,4.305447e-08,5.242492e-08,5.433622e-08,6.719315e-08,6.939496e-08,8.159870e-08,8.905068e-08,9.750752e-08,1.112778e-07,1.148608e-07,1.335902e-07,1.359267e-07,1.536206e-07,1.628258e-07,1.748727e-07,1.917910e-07,1.972646e-07,2.207136e-07,2.226328e-07,2.451373e-07,2.551614e-07,2.704545e-07,2.891917e-07,2.965862e-07,3.234561e-07,3.245452e-07,3.509911e-07,3.610529e-07,3.791213e-07,3.985560e-07,4.077807e-07,4.369068e-07,4.664408e-07,4.759688e-07,4.963278e-07,5.156168e-07,5.265163e-07,5.557364e-07,5.569584e-07,5.876095e-07,5.962235e-07,6.184281e-07,6.369836e-07,6.493759e-07,6.779315e-07,6.804175e-07,7.115200e-07,7.189902e-07,7.426531e-07,7.600906e-07,7.737891e-07,8.011707e-07,8.049023e-07,8.359693e-07,8.421752e-07,8.669684e-07,8.830545e-07,8.978799e-07,9.237646e-07,9.286858e-07,9.593697e-07,9.642667e-07,9.899165e-07,1.004526e-06,1.020313e-06,1.044513e-06,1.050546e-06,1.080605e-06,1.084200e-06,1.110480e-06,1.123564e-06,1.140161e-06,1.162585e-06,1.169642e-06,1.198914e-06,1.201246e-06,1.227970e-06,1.239532e-06,1.256807e-06,1.277429e-06,1.285417e-06,1.313798e-06,1.314928e-06,1.341944e-06,1.352019e-06,1.369854e-06,1.388696e-06,1.397524e-06,1.424952e-06,1.452135e-06,1.460782e-06,1.479074e-06,1.496185e-06,1.505766e-06,1.531158e-06,1.532211e-06,1.558408e-06,1.565698e-06,1.584357e-06,1.599808e-06,1.610058e-06,1.633485e-06,1.635512e-06,1.660720e-06,1.666733e-06,1.685681e-06,1.699552e-06,1.710397e-06,1.731945e-06,1.734868e-06,1.759097e-06,1.763914e-06,1.783085e-06,1.795463e-06,1.806832e-06,1.826596e-06,1.830341e-06,1.853614e-06,1.857315e-06,1.876651e-06,1.887626e-06,1.899456e-06,1.917534e-06,1.922030e-06,1.944375e-06,1.947041e-06,1.966493e-06,1.976154e-06,1.988387e-06,2.004877e-06,2.010058e-06,2.031510e-06,2.033216e-06,2.052743e-06,2.061176e-06,2.073761e-06,2.088761e-06,2.094565e-06,2.115159e-06,2.115978e-06,2.135544e-06,2.142832e-06,2.155723e-06,2.169329e-06,2.175699e-06,2.195473e-06,2.221270e-06,2.246727e-06,2.271848e-06,2.296638e-06,2.321104e-06,2.345251e-06,2.369085e-06,2.392609e-06,2.415831e-06,2.438754e-06,2.461385e-06,2.483729e-06,2.505789e-06,2.527572e-06,2.549083e-06,2.570326e-06,2.591305e-06,2.612027e-06,2.632494e-06,2.652713e-06,2.672687e-06,2.692420e-06,2.711918e-06,2.731184e-06
0.000000e+00,2.416643e-14,1.989622e-13,3.864106e-12,2.424743e-11,5.417138e-11,2.836444e-10,3.004885e-10,1.041987e-09,1.397395e-09,2.743730e-09,4.486657e-09,6.052973e-09,1.124828e-08,1.182474e-08,2.114854e-08,2.405750e-08,3.534796e-08,4.598091e-08,5.590986e-08,8.046012e-08,8.433251e-08,1.219628e-07,1.306958e-07,1.699088e-07,1.992137e-07,2.290369e-07,2.878364e-07,3.000105e-07,3.833288e-07,3.978313e-07,4.793559e-07,5.300396e-07,5.883381e-07,6.849491e-07,7.104156e-07,8.456308e-07,8.627381e-07,9.939364e-07,1.063307e-06,1.155203e-06,1.286312e-06,1.329229e-06,1.515746e-06,1.531198e-06,1.714432e-06,1.797232e-06,1.924917e-06,2.083544e-06,2.146792e-06,2.379618e-06,2.389153e-06,2.622932e-06,2.713001e-06,2.876254e-06,3.053978e-06,3.139091e-06,3.410945e-06,3.691314e-06,3.782748e-06,3.979697e-06,4.168238e-06,4.275597e-06,4.566279e-06,4.578525e-06,4.887996e-06,4.975756e-06,5.203538e-06,5.395585e-06,5.524690e-06,5.824717e-06,5.851001e-06,6.182036e-06,6.262139e-06,6.517368e-06,6.706879e-06,6.856590e-06,7.158006e-06,7.199303e-06,7.545125e-06,7.614630e-06,7.893687e-06,8.075904e-06,8.244634e-06,8.541023e-06,8.597626e-06,8.952335e-06,9.009227e-06,9.308448e-06,9.479792e-06,9.665663e-06,9.952035e-06,1.002369e-05,1.038226e-05,1.042531e-05,1.074111e-05,1.089902e-05,1.109998e-05,1.137259e-05,1.145864e-05,1.181685e-05,1.184548e-05,1.217441e-05,1.231720e-05,1.253110e-05,1.278727e-05,1.288672e-05,1.324110e-05,1.325525e-05,1.359406e-05,1.372074e-05,1.394542e-05,1.418336e-05,1.429503e-05,1.464275e-05,1.498842e-05,1.509859e-05,1.533193e-05,1.555057e-05,1.567313e-05,1.599842e-05,1.601192e-05,1.634819e-05,1.644188e-05,1.668183e-05,1.688071e-05,1.701274e-05,1.731470e-05,1.734084e-05,1.766605e-05,1.774366e-05,1.798828e-05,1.816740e-05,1.830746e-05,1.858577e-05,1.862353e-05,1.893643e-05,1.899862e-05,1.924609e-05,1.940583e-05,1.955248e-05,1.980727e-05,1.985554e-05,2.015523e-05,2.020286e-05,2.045151e-05,2.059250e-05,2.074435e-05,2.097612e-05,2.103371e-05,2.131958e-05,2.135365e-05,2.160194e-05,2.172505e-05,2.188075e-05,2.209027e-05,2.215601e-05,2.242770e-05,2.244928e-05,2.269581e-05,2.280205e-05,2.296034e-05,2.314857e-05,2.322127e-05,2.347862e-05,2.348884e-05,2.373238e-05,2.382285e-05,2.398255e-05,2.415062e-05,2.422913e-05,2.447214e-05,2.478746e-05,2.509658e-05,2.539954e-05,2.569638e-05,2.598714e-05,2.627186e-05,2.655058e-05,2.682337e-05,2.709026e-05,2.735133e-05,2.760664e-05,2.785623e-05,2.810019e-05,2.833857e-05,2.857144e-05,2.879888e-05,2.902096e-05,2.923775e-05,2.944932e-05,2.965574e-05,2.985711e-05,3.005348e-05,3.024494e-05,3.043156e-05
0.000000e+00,8.848211e-16,8.715330e-15,2.382516e-13,1.975329e-12,5.082075e-12,3.714314e-11,3.985530e-11,1.863651e-10,2.701897e-10,6.422646e-10,1.218820e-09,1.804378e-09,4.050818e-09,4.320988e-09,9.023715e-09,1.057401e-08,1.676312e-08,2.270281e-08,2.826954e-08,4.195969e-08,4.410278e-08,6.466806e-08,6.937600e-08,9.025407e-08,1.056137e-07,1.210657e-07,1.510908e-07,1.572442e-07,1.988767e-07,2.060472e-07,2.460007e-07,2.705695e-07,2.986059e-07,3.446004e-07,3.566364e-07,4.199943e-07,4.279492e-07,4.885437e-07,5.203078e-07,5.621163e-07,6.212715e-07,6.405166e-07,7.235284e-07,7.303616e-07,8.109197e-07,8.470485e-07,9.024483e-07,9.707716e-07,9.978661e-07,1.096923e-06,1.100957e-06,1.199369e-06,1.237032e-06,1.304960e-06,1.378435e-06,1.413455e-06,1.524622e-06,1.638236e-06,1.675074e-06,1.754082e-06,1.829299e-06,1.871954e-06,1.986834e-06,1.991655e-06,2.112998e-06,2.147245e-06,2.235808e-06,2.310127e-06,2.359915e-06,2.475104e-06,2.485162e-06,2.611399e-06,2.641827e-06,2.738484e-06,2.809973e-06,2.866287e-06,2.979246e-06,2.994680e-06,3.123548e-06,3.149369e-06,3.252780e-06,3.320090e-06,3.382273e-06,3.491176e-06,3.511929e-06,3.641657e-06,3.662415e-06,3.771373e-06,3.833609e-06,3.900997e-06,4.004579e-06,4.030453e-06,4.159673e-06,4.175161e-06,4.288592e-06,4.345204e-06,4.417147e-06,4.514571e-06,4.545283e-06,4.672946e-06,4.683137e-06,4.800088e-06,4.850788e-06,4.926662e-06,5.017420e-06,5.052626e-06,5.177940e-06,5.182938e-06,5.302567e-06,5.347257e-06,5.426473e-06,5.510301e-06,5.549626e-06,5.671998e-06,5.793562e-06,5.832287e-06,5.914291e-06,5.991110e-06,6.034165e-06,6.148419e-06,6.153161e-06,6.271261e-06,6.304166e-06,6.388447e-06,6.458314e-06,6.504703e-06,6.610825e-06,6.620015e-06,6.734370e-06,6.761671e-06,6.847755e-06,6.910823e-06,6.960160e-06,7.058259e-06,7.071576e-06,7.181995e-06,7.203959e-06,7.291409e-06,7.347906e-06,7.399813e-06,7.490086e-06,7.507200e-06,7.613566e-06,7.630489e-06,7.718907e-06,7.769106e-06,7.823221e-06,7.905931e-06,7.926505e-06,8.028758e-06,8.040959e-06,8.129979e-06,8.174189e-06,8.230168e-06,8.305620e-06,8.329324e-06,8.427448e-06,8.435254e-06,8.524543e-06,8.563092e-06,8.620609e-06,8.689141e-06,8.715648e-06,8.809664e-06,8.813404e-06,8.902659e-06,8.935888e-06,8.994637e-06,9.056603e-06,9.085601e-06,9.175555e-06,9.292756e-06,9.408215e-06,9.521945e-06,9.633956e-06,9.744263e-06,9.852877e-06,9.959813e-06,1.006509e-05,1.016871e-05,1.027070e-05,1.037107e-05,1.046984e-05,1.056702e-05,1.066264e-05,1.075670e-05,1.084922e-05,1.094022e-05,1.102972e-05,1.111774e-05,1.120428e-05,1.128938e-05,1.137304e-05,1.145528e-05,1.153613e-05
0.000000e+00,1.488644e-11,4.640325e-11,2.498977e-10,7.627117e-10,1.272719e-09,3.863132e-09,4.021582e-09,9.832676e-09,1.224085e-08,2.050218e-08,3.016905e-08,3.831455e-08,6.324227e-08,6.586588e-08,1.056699e-07,1.172952e-07,1.598981e-07,1.972597e-07,2.303787e-07,3.070876e-07,3.186687e-07,4.260981e-07,4.499827e-07,5.537822e-07,6.284896e-07,7.026192e-07,8.444905e-07,8.732852e-07,1.066231e-06,1.099188e-06,1.281686e-06,1.393112e-06,1.519666e-06,1.726153e-06,1.779991e-06,2.062299e-06,2.097630e-06,2.366072e-06,2.506368e-06,2.690657e-06,2.950793e-06,3.035288e-06,3.399111e-06,3.429019e-06,3.781200e-06,3.938933e-06,4.180581e-06,4.478276e-06,4.596244e-06,5.027163e-06,5.044702e-06,5.472302e-06,5.635835e-06,5.930631e-06,6.249308e-06,6.401131e-06,6.882801e-06,7.374665e-06,7.534058e-06,7.875772e-06,8.200906e-06,8.385204e-06,8.881269e-06,8.902076e-06,9.425535e-06,9.573173e-06,9.954768e-06,1.027475e-05,1.048899e-05,1.098425e-05,1.102747e-05,1.156948e-05,1.170002e-05,1.211437e-05,1.242051e-05,1.266148e-05,1.314430e-05,1.321021e-05,1.375999e-05,1.387002e-05,1.431028e-05,1.459646e-05,1.486056e-05,1.532245e-05,1.541036e-05,1.595922e-05,1.604692e-05,1.650672e-05,1.676891e-05,1.705244e-05,1.748750e-05,1.759603e-05,1.813713e-05,1.820187e-05,1.867540e-05,1.891127e-05,1.921055e-05,1.961499e-05,1.974228e-05,2.027034e-05,2.031241e-05,2.079446e-05,2.100297e-05,2.131444e-05,2.168613e-05,2.183005e-05,2.234110e-05,2.236144e-05,2.284740e-05,2.302848e-05,2.334880e-05,2.368688e-05,2.384515e-05,2.433630e-05,2.482213e-05,2.497645e-05,2.530253e-05,2.560708e-05,2.577739e-05,2.622797e-05,2.624663e-05,2.671016e-05,2.683892e-05,2.716792e-05,2.743977e-05,2.761984e-05,2.803039e-05,2.806586e-05,2.850594e-05,2.861067e-05,2.894005e-05,2.918053e-05,2.936815e-05,2.973989e-05,2.979022e-05,3.020624e-05,3.028872e-05,3.061620e-05,3.082698e-05,3.102009e-05,3.135468e-05,3.141792e-05,3.180969e-05,3.187181e-05,3.219540e-05,3.237840e-05,3.257507e-05,3.287448e-05,3.294873e-05,3.331638e-05,3.336009e-05,3.367806e-05,3.383531e-05,3.403379e-05,3.430018e-05,3.438360e-05,3.472754e-05,3.475480e-05,3.506563e-05,3.519924e-05,3.539792e-05,3.563359e-05,3.572444e-05,3.604525e-05,3.605797e-05,3.636039e-05,3.647246e-05,3.666990e-05,3.687719e-05,3.697384e-05,3.727226e-05,3.765781e-05,3.803395e-05,3.840081e-05,3.875852e-05,3.910722e-05,3.944704e-05,3.977812e-05,4.010059e-05,4.041460e-05,4.072029e-05,4.101780e-05,4.130727e-05,4.158884e-05,4.186266e-05,4.212886e-05,4.238760e-05,4.263900e-05,4.288321e-05,4.312037e-05,4.335062e-05,4.357409e-05,4.379092e-05,4.400125e-05,4.420521e-05
0.000000e+00,5.978503e-17,6.613058e-16,2.280077e-14,2.307103e-13,6.580981e-13,6.124261e-12,6.630599e-12,3.765904e-11,5.707417e-11,1.492736e-10,3.016009e-10,4.627823e-10,1.118891e-09,1.201096e-09,2.726369e-09,3.265048e-09,5.575214e-09,8.015201e-09,1.048622e-08,1.726618e-08,1.841335e-08,3.052031e-08,3.355908e-08,4.815507e-08,6.000047e-08,7.280893e-08,1.001000e-07,1.060661e-07,1.495506e-07,1.575656e-07,2.048755e-07,2.360973e-07,2.735965e-07,3.392027e-07,3.571721e-07,4.569310e-07,4.700471e-07,5.740456e-07,6.313377e-07,7.095119e-07,8.252433e-07,8.641362e-07,1.038527e-06,1.053345e-06,1.233091e-06,1.316619e-06,1.448039e-06,1.615442e-06,1.683390e-06,1.938983e-06,1.949623e-06,2.214488e-06,2.318456e-06,2.509427e-06,2.720778e-06,2.823187e-06,3.155043e-06,3.504169e-06,3.619392e-06,3.869666e-06,4.111732e-06,4.250569e-06,4.629796e-06,4.645872e-06,5.054537e-06,5.171214e-06,5.475510e-06,5.733561e-06,5.907732e-06,6.314405e-06,6.350149e-06,6.801721e-06,6.911347e-06,7.261428e-06,7.522047e-06,7.728279e-06,8.144252e-06,8.201312e-06,8.679601e-06,8.775811e-06,9.162260e-06,9.414687e-06,9.648441e-06,1.005896e-05,1.013734e-05,1.062818e-05,1.070685e-05,1.112025e-05,1.135668e-05,1.161287e-05,1.200692e-05,1.210539e-05,1.259720e-05,1.265615e-05,1.308776e-05,1.330307e-05,1.357653e-05,1.394650e-05,1.406302e-05,1.454679e-05,1.458536e-05,1.502741e-05,1.521869e-05,1.550449e-05,1.584560e-05,1.597768e-05,1.644665e-05,1.646532e-05,1.691110e-05,1.707714e-05,1.737076e-05,1.768045e-05,1.782537e-05,1.827471e-05,1.871858e-05,1.885943e-05,1.915680e-05,1.943422e-05,1.958920e-05,1.999871e-05,2.001565e-05,2.043601e-05,2.055260e-05,2.085018e-05,2.109566e-05,2.125805e-05,2.162768e-05,2.165957e-05,2.205464e-05,2.214850e-05,2.244324e-05,2.265800e-05,2.282530e-05,2.315610e-05,2.320081e-05,2.356974e-05,2.364274e-05,2.393208e-05,2.411790e-05,2.428784e-05,2.458158e-05,2.463701e-05,2.497962e-05,2.503383e-05,2.531568e-05,2.547467e-05,2.564522e-05,2.590419e-05,2.596829e-05,2.628491e-05,2.632247e-05,2.659514e-05,2.672962e-05,2.689902e-05,2.712575e-05,2.719660e-05,2.748796e-05,2.751100e-05,2.777314e-05,2.788550e-05,2.805222e-05,2.824941e-05,2.832526e-05,2.859233e-05,2.860289e-05,2.885350e-05,2.894610e-05,2.910886e-05,2.927922e-05,2.935848e-05,2.960243e-05,2.991591e-05,3.021985e-05,3.051444e-05,3.079988e-05,3.107634e-05,3.134404e-05,3.160317e-05,3.185391e-05,3.209648e-05,3.233106e-05,3.255785e-05,3.277704e-05,3.298882e-05,3.319339e-05,3.339091e-05,3.358159e-05,3.376561e-05,3.394314e-05,3.411436e-05,3.427944e-05,3.443856e-05,3.459188e-05,3.473957e-05,3.488179e-05
0.000000e+00,2.962388e-12,9.084576e-12,4.806132e-11,1.453229e-10,2.414967e-10,7.257514e-10,7.552049e-10,1.826161e-09,2.265740e-09,3.760087e-09,5.489676e-09,6.937278e-09,1.134735e-08,1.181140e-08,1.888237e-08,2.096159e-08,2.863785e-08,3.543476e-08,4.150185e-08,5.567136e-08,5.782215e-08,7.788050e-08,8.236158e-08,1.019039e-07,1.160242e-07,1.300712e-07,1.570334e-07,1.625163e-07,1.993304e-07,2.056299e-07,2.405631e-07,2.619291e-07,2.862257e-07,3.259296e-07,3.362932e-07,3.907086e-07,3.975268e-07,4.493863e-07,4.765273e-07,5.122166e-07,5.626656e-07,5.790696e-07,6.497992e-07,6.556203e-07,7.242467e-07,7.550293e-07,8.022443e-07,8.605032e-07,8.836179e-07,9.681899e-07,9.716368e-07,1.055781e-06,1.088018e-06,1.146212e-06,1.209237e-06,1.239306e-06,1.334888e-06,1.432788e-06,1.464579e-06,1.532840e-06,1.597929e-06,1.634884e-06,1.734574e-06,1.738762e-06,1.844327e-06,1.874168e-06,1.951435e-06,2.016382e-06,2.059946e-06,2.160904e-06,2.169731e-06,2.280662e-06,2.307443e-06,2.392620e-06,2.455722e-06,2.505491e-06,2.605485e-06,2.619165e-06,2.733539e-06,2.756489e-06,2.848516e-06,2.908510e-06,2.964001e-06,3.061337e-06,3.079907e-06,3.196150e-06,3.214775e-06,3.312651e-06,3.368641e-06,3.429335e-06,3.522766e-06,3.546131e-06,3.662973e-06,3.676994e-06,3.779797e-06,3.831179e-06,3.896544e-06,3.985186e-06,4.013159e-06,4.129587e-06,4.138892e-06,4.245781e-06,4.292182e-06,4.361692e-06,4.444949e-06,4.477278e-06,4.592497e-06,4.597097e-06,4.707310e-06,4.748536e-06,4.821682e-06,4.899185e-06,4.935578e-06,5.048968e-06,5.161821e-06,5.197816e-06,5.274109e-06,5.345666e-06,5.385809e-06,5.492463e-06,5.496895e-06,5.607345e-06,5.638154e-06,5.717139e-06,5.782693e-06,5.826258e-06,5.926036e-06,5.934684e-06,6.042402e-06,6.068147e-06,6.149396e-06,6.208992e-06,6.255653e-06,6.348540e-06,6.361161e-06,6.465907e-06,6.486765e-06,6.569883e-06,6.623642e-06,6.673078e-06,6.759153e-06,6.775485e-06,6.877096e-06,6.893279e-06,6.977904e-06,7.026006e-06,7.077905e-06,7.157320e-06,7.177092e-06,7.275462e-06,7.287211e-06,7.373010e-06,7.415671e-06,7.469735e-06,7.542694e-06,7.565634e-06,7.660705e-06,7.668275e-06,7.754947e-06,7.792412e-06,7.848359e-06,7.915102e-06,7.940941e-06,8.032694e-06,8.036346e-06,8.123617e-06,8.156147e-06,8.213712e-06,8.274505e-06,8.302981e-06,8.391426e-06,8.506913e-06,8.620974e-06,8.733614e-06,8.844841e-06,8.954663e-06,9.063090e-06,9.170131e-06,9.275795e-06,9.380094e-06,9.483039e-06,9.584641e-06,9.684912e-06,9.783864e-06,9.881511e-06,9.977865e-06,1.007294e-05,1.016675e-05,1.025930e-05,1.035061e-05,1.044070e-05,1.052958e-05,1.061726e-05,1.070375e-05,1.078908e-05
0.000000e+00,2.510367e-12,1.149194e-11,9.382908e-11,3.480293e-10,6.241723e-10,2.145611e-09,2.242000e-09,5.881694e-09,7.422250e-09,1.276435e-08,1.906951e-08,2.440828e-08,4.088574e-08,4.263375e-08,6.952733e-08,7.751888e-08,1.073165e-07,1.340494e-07,1.581528e-07,2.151764e-07,2.239080e-07,3.060890e-07,3.246038e-07,4.058539e-07,4.649764e-07,5.240610e-07,6.380535e-07,6.613112e-07,8.179784e-07,8.448611e-07,9.942327e-07,1.085795e-06,1.190060e-06,1.360700e-06,1.405283e-06,1.639578e-06,1.668955e-06,1.892499e-06,2.009546e-06,2.163494e-06,2.381149e-06,2.451927e-06,2.757093e-06,2.782207e-06,3.078239e-06,3.210995e-06,3.414572e-06,3.665678e-06,3.765275e-06,4.129519e-06,4.144358e-06,4.506467e-06,4.645118e-06,4.895287e-06,5.166045e-06,5.295155e-06,5.705258e-06,6.124802e-06,6.260923e-06,6.553012e-06,6.831265e-06,6.989135e-06,7.414581e-06,7.432442e-06,7.882230e-06,8.009238e-06,8.337819e-06,8.613685e-06,8.798558e-06,9.226447e-06,9.263820e-06,9.733005e-06,9.846130e-06,1.020554e-05,1.047142e-05,1.068088e-05,1.110108e-05,1.115849e-05,1.163789e-05,1.173394e-05,1.211859e-05,1.236892e-05,1.260015e-05,1.300501e-05,1.308214e-05,1.356415e-05,1.364124e-05,1.404579e-05,1.427675e-05,1.452672e-05,1.491071e-05,1.500658e-05,1.548504e-05,1.554235e-05,1.596181e-05,1.617098e-05,1.643660e-05,1.679595e-05,1.690914e-05,1.737917e-05,1.741666e-05,1.784646e-05,1.803256e-05,1.831079e-05,1.864315e-05,1.877195e-05,1.922974e-05,1.924798e-05,1.968399e-05,1.984662e-05,2.013454e-05,2.043871e-05,2.058122e-05,2.102389e-05,2.146244e-05,2.160188e-05,2.189672e-05,2.217238e-05,2.232664e-05,2.273516e-05,2.275209e-05,2.317299e-05,2.329002e-05,2.358925e-05,2.383675e-05,2.400080e-05,2.437520e-05,2.440757e-05,2.480950e-05,2.490524e-05,2.520655e-05,2.542674e-05,2.559866e-05,2.593962e-05,2.598581e-05,2.636796e-05,2.644379e-05,2.674509e-05,2.693920e-05,2.711717e-05,2.742581e-05,2.748419e-05,2.784615e-05,2.790359e-05,2.820303e-05,2.837253e-05,2.855483e-05,2.883262e-05,2.890157e-05,2.924324e-05,2.928390e-05,2.957986e-05,2.972637e-05,2.991144e-05,3.016008e-05,3.023799e-05,3.055955e-05,3.058506e-05,3.087613e-05,3.100138e-05,3.118777e-05,3.140909e-05,3.149447e-05,3.179629e-05,3.180826e-05,3.209325e-05,3.219897e-05,3.238538e-05,3.258130e-05,3.267273e-05,3.295533e-05,3.332116e-05,3.367888e-05,3.402858e-05,3.437039e-05,3.470439e-05,3.503070e-05,3.534943e-05,3.566069e-05,3.596460e-05,3.626128e-05,3.655083e-05,3.683338e-05,3.710904e-05,3.737794e-05,3.764019e-05,3.789591e-05,3.814522e-05,3.838824e-05,3.862509e-05,3.885588e-05,3.908073e-05,3.929975e-05,3.951307e-05,3.972079e-05
0.000000e+00,1.052032e-12,3.318670e-12,1.811489e-11,5.569208e-11,9.322443e-11,2.849412e-10,2.967076e-10,7.302618e-10,9.108682e-10,1.533876e-09,2.269172e-09,2.893938e-09,4.835139e-09,5.041920e-09,8.229545e-09,9.176095e-09,1.269174e-08,1.582311e-08,1.862802e-08,2.520423e-08,2.620498e-08,3.556447e-08,3.766139e-08,4.682954e-08,5.347663e-08,6.010736e-08,7.288421e-08,7.549033e-08,9.305600e-08,9.607345e-08,1.128668e-07,1.231879e-07,1.349698e-07,1.543241e-07,1.593963e-07,1.861621e-07,1.895313e-07,2.152680e-07,2.288129e-07,2.467004e-07,2.721290e-07,2.804324e-07,3.164248e-07,3.194004e-07,3.546273e-07,3.705140e-07,3.949803e-07,4.253282e-07,4.374160e-07,4.818597e-07,4.836782e-07,5.282315e-07,5.453811e-07,5.764468e-07,6.102417e-07,6.264181e-07,6.780558e-07,7.312688e-07,7.486147e-07,7.859657e-07,8.217084e-07,8.420554e-07,8.971280e-07,8.994476e-07,9.580531e-07,9.746681e-07,1.017784e-06,1.054128e-06,1.078556e-06,1.135313e-06,1.140285e-06,1.202890e-06,1.218037e-06,1.266293e-06,1.302119e-06,1.330419e-06,1.387390e-06,1.395195e-06,1.460552e-06,1.473687e-06,1.526421e-06,1.560855e-06,1.592740e-06,1.648750e-06,1.659447e-06,1.726483e-06,1.737235e-06,1.793792e-06,1.826181e-06,1.861321e-06,1.915469e-06,1.929020e-06,1.996840e-06,2.004985e-06,2.064736e-06,2.094623e-06,2.132665e-06,2.184287e-06,2.200585e-06,2.268458e-06,2.273885e-06,2.336247e-06,2.363331e-06,2.403917e-06,2.452548e-06,2.471437e-06,2.538774e-06,2.541464e-06,2.605901e-06,2.630010e-06,2.672790e-06,2.718125e-06,2.739415e-06,2.805752e-06,2.871780e-06,2.892840e-06,2.937477e-06,2.979340e-06,3.002823e-06,3.065209e-06,3.067801e-06,3.132393e-06,3.150407e-06,3.196583e-06,3.234899e-06,3.260358e-06,3.318651e-06,3.323703e-06,3.386606e-06,3.401636e-06,3.449056e-06,3.483826e-06,3.511042e-06,3.565198e-06,3.572554e-06,3.633584e-06,3.645731e-06,3.694123e-06,3.725408e-06,3.754166e-06,3.804212e-06,3.813704e-06,3.872733e-06,3.882130e-06,3.931247e-06,3.959150e-06,3.989242e-06,4.035262e-06,4.046715e-06,4.103660e-06,4.110458e-06,4.160077e-06,4.184733e-06,4.215963e-06,4.258080e-06,4.271316e-06,4.326134e-06,4.330496e-06,4.380417e-06,4.401980e-06,4.434164e-06,4.472530e-06,4.487375e-06,4.540050e-06,4.542146e-06,4.592191e-06,4.610830e-06,4.643796e-06,4.678584e-06,4.694869e-06,4.745410e-06,4.811312e-06,4.876296e-06,4.940366e-06,5.003528e-06,5.065788e-06,5.127153e-06,5.187631e-06,5.247230e-06,5.305957e-06,5.363821e-06,5.420831e-06,5.476996e-06,5.532325e-06,5.586828e-06,5.640515e-06,5.693395e-06,5.745478e-06,5.796774e-06,5.847294e-06,5.897048e-06,5.946046e-06,5.994298e-06,6.041815e-06,6.088607e-06
0.000000e+00,1.691053e-18,1.949403e-17,7.342311e-16,8.062064e-15,2.405904e-14,2.518884e-13,2.740347e-13,1.752933e-12,2.744918e-12,7.799729e-12,1.686669e-11,2.706475e-11,7.241584e-11,7.841675e-11,1.982373e-10,2.435370e-10,4.504176e-10,6.861532e-10,9.389270e-10,1.688384e-09,1.821970e-09,3.325811e-09,3.726470e-09,5.755910e-09,7.511967e-09,9.503302e-09,1.401564e-08,1.504494e-08,2.293775e-08,2.445974e-08,3.380692e-08,4.027870e-08,4.832970e-08,6.305494e-08,6.721588e-08,9.118676e-08,9.443898e-08,1.209539e-07,1.360648e-07,1.571986e-07,1.894683e-07,2.005536e-07,2.515871e-07,2.560168e-07,3.107896e-07,3.368514e-07,3.785644e-07,4.328474e-07,4.552203e-07,5.409690e-07,5.445900e-07,6.359234e-07,6.723666e-07,7.400998e-07,8.161721e-07,8.534220e-07,9.757267e-07,1.106771e-06,1.150501e-06,1.246240e-06,1.339749e-06,1.393756e-06,1.542543e-06,1.548889e-06,1.711163e-06,1.757811e-06,1.880070e-06,1.984376e-06,2.055073e-06,2.220985e-06,2.235620e-06,2.421145e-06,2.466350e-06,2.611084e-06,2.719168e-06,2.804873e-06,2.978153e-06,3.001959e-06,3.201799e-06,3.242052e-06,3.403871e-06,3.509663e-06,3.607672e-06,3.779849e-06,3.812722e-06,4.018565e-06,4.051545e-06,4.224773e-06,4.323764e-06,4.430945e-06,4.595603e-06,4.636705e-06,4.841707e-06,4.866241e-06,5.045632e-06,5.134941e-06,5.248185e-06,5.401044e-06,5.449101e-06,5.648135e-06,5.663970e-06,5.845070e-06,5.923211e-06,6.039709e-06,6.178327e-06,6.231876e-06,6.421416e-06,6.428941e-06,6.608194e-06,6.674734e-06,6.792089e-06,6.915439e-06,6.973000e-06,7.150839e-06,7.325531e-06,7.380757e-06,7.497015e-06,7.605058e-06,7.665242e-06,7.823638e-06,7.830171e-06,7.991775e-06,8.036425e-06,8.150033e-06,8.243375e-06,8.304931e-06,8.444466e-06,8.456464e-06,8.604635e-06,8.639696e-06,8.749449e-06,8.829083e-06,8.890919e-06,9.012659e-06,9.029061e-06,9.163898e-06,9.190471e-06,9.295455e-06,9.362577e-06,9.423758e-06,9.529043e-06,9.548841e-06,9.670737e-06,9.689947e-06,9.789482e-06,9.845372e-06,9.905114e-06,9.995406e-06,1.001767e-05,1.012720e-05,1.014014e-05,1.023374e-05,1.027968e-05,1.033734e-05,1.041413e-05,1.043803e-05,1.053587e-05,1.054358e-05,1.063090e-05,1.066814e-05,1.072317e-05,1.078792e-05,1.081273e-05,1.089961e-05,1.090304e-05,1.098388e-05,1.101359e-05,1.106558e-05,1.111969e-05,1.114475e-05,1.122145e-05,1.131897e-05,1.141238e-05,1.150176e-05,1.158724e-05,1.166891e-05,1.174688e-05,1.182126e-05,1.189214e-05,1.195963e-05,1.202383e-05,1.208483e-05,1.214272e-05,1.219761e-05,1.224958e-05,1.229872e-05,1.234512e-05,1.238888e-05,1.243006e-05,1.246877e-05,1.250506e-05,1.253904e-05,1.257077e-05,1.260033e-05,1.262778e-05
0.000000e+00,2.593785e-13,1.241622e-12,1.065640e-11,4.036721e-11,7.286556e-11,2.522518e-10,2.636029e-10,6.901801e-10,8.695727e-10,1.487053e-09,2.208186e-09,2.813469e-09,4.657878e-09,4.851817e-09,7.805885e-09,8.675470e-09,1.189760e-08,1.477258e-08,1.735985e-08,2.348370e-08,2.442303e-08,3.329621e-08,3.530385e-08,4.414976e-08,5.061909e-08,5.710708e-08,6.967522e-08,7.224609e-08,8.960561e-08,9.259004e-08,1.091923e-07,1.193802e-07,1.309867e-07,1.499844e-07,1.549472e-07,1.810146e-07,1.842809e-07,2.091145e-07,2.221004e-07,2.391604e-07,2.632379e-07,2.710562e-07,3.046989e-07,3.074626e-07,3.399804e-07,3.545271e-07,3.767899e-07,4.041758e-07,4.150151e-07,4.545444e-07,4.561512e-07,4.952677e-07,5.101995e-07,5.370774e-07,5.660754e-07,5.798697e-07,6.235446e-07,6.680069e-07,6.823862e-07,7.131661e-07,7.423941e-07,7.589368e-07,8.033774e-07,8.052387e-07,8.519964e-07,8.651606e-07,8.991397e-07,9.275834e-07,9.466031e-07,9.904998e-07,9.943258e-07,1.042251e-06,1.053778e-06,1.090328e-06,1.117298e-06,1.138507e-06,1.180954e-06,1.186744e-06,1.234999e-06,1.244649e-06,1.283234e-06,1.308296e-06,1.331414e-06,1.371820e-06,1.379508e-06,1.427488e-06,1.435152e-06,1.475325e-06,1.498230e-06,1.522998e-06,1.561001e-06,1.570482e-06,1.617759e-06,1.623418e-06,1.664811e-06,1.685437e-06,1.711619e-06,1.747022e-06,1.758170e-06,1.804450e-06,1.808141e-06,1.850447e-06,1.868764e-06,1.896149e-06,1.928867e-06,1.941547e-06,1.986632e-06,1.988429e-06,2.031395e-06,2.047430e-06,2.075831e-06,2.105856e-06,2.119931e-06,2.163692e-06,2.207108e-06,2.220927e-06,2.250174e-06,2.277552e-06,2.292889e-06,2.333560e-06,2.335247e-06,2.377248e-06,2.388944e-06,2.418888e-06,2.443699e-06,2.460167e-06,2.497823e-06,2.501083e-06,2.541635e-06,2.551313e-06,2.581822e-06,2.604168e-06,2.621645e-06,2.656388e-06,2.661104e-06,2.700198e-06,2.707974e-06,2.738930e-06,2.758926e-06,2.777298e-06,2.809248e-06,2.815305e-06,2.852951e-06,2.858941e-06,2.890238e-06,2.908009e-06,2.927168e-06,2.956456e-06,2.963743e-06,2.999963e-06,3.004286e-06,3.035832e-06,3.051503e-06,3.071351e-06,3.098112e-06,3.106522e-06,3.141348e-06,3.144119e-06,3.175831e-06,3.189529e-06,3.209974e-06,3.234348e-06,3.243779e-06,3.277249e-06,3.278581e-06,3.310386e-06,3.322234e-06,3.343193e-06,3.365315e-06,3.375674e-06,3.407829e-06,3.449784e-06,3.491184e-06,3.532038e-06,3.572352e-06,3.612133e-06,3.651387e-06,3.690123e-06,3.728345e-06,3.766062e-06,3.803281e-06,3.840008e-06,3.876250e-06,3.912014e-06,3.947306e-06,3.982135e-06,4.016506e-06,4.050426e-06,4.083902e-06,4.116940e-06,4.149547e-06,4.181730e-06,4.213494e-06,4.244847e-06,4.275794e-06
0.000000e+00,3.451901e-15,3.277806e-14,8.316394e-13,6.444735e-12,1.596674e-11,1.052250e-10,1.124043e-10,4.669850e-10,6.534269e-10,1.412203e-09,2.471187e-09,3.470146e-09,6.980991e-09,7.384082e-09,1.413987e-08,1.631439e-08,2.494258e-08,3.325574e-08,4.112768e-08,6.089574e-08,6.404436e-08,9.496942e-08,1.022203e-07,1.350725e-07,1.599099e-07,1.854160e-07,2.363280e-07,2.469665e-07,3.206034e-07,3.335613e-07,4.071223e-07,4.534384e-07,5.072311e-07,5.975194e-07,6.215447e-07,7.505783e-07,7.670721e-07,8.947409e-07,9.630462e-07,1.054331e-06,1.186055e-06,1.229534e-06,1.420422e-06,1.436371e-06,1.626960e-06,1.713928e-06,1.849003e-06,2.018343e-06,2.086310e-06,2.338549e-06,2.348943e-06,2.605303e-06,2.704796e-06,2.886086e-06,3.084752e-06,3.180346e-06,3.487481e-06,3.806845e-06,3.911514e-06,4.137758e-06,4.355279e-06,4.479516e-06,4.817136e-06,4.831396e-06,5.192669e-06,5.295409e-06,5.562600e-06,5.788409e-06,5.940456e-06,6.294460e-06,6.325513e-06,6.717058e-06,6.811916e-06,7.114393e-06,7.339176e-06,7.516839e-06,7.874694e-06,7.923735e-06,8.334443e-06,8.416988e-06,8.748350e-06,8.964649e-06,9.164866e-06,9.516341e-06,9.583426e-06,1.000349e-05,1.007081e-05,1.042455e-05,1.062686e-05,1.084610e-05,1.118340e-05,1.126770e-05,1.168890e-05,1.173940e-05,1.210929e-05,1.229391e-05,1.252848e-05,1.284603e-05,1.294610e-05,1.336181e-05,1.339497e-05,1.377528e-05,1.393997e-05,1.418621e-05,1.448036e-05,1.459433e-05,1.499937e-05,1.501550e-05,1.540108e-05,1.554483e-05,1.579924e-05,1.606785e-05,1.619363e-05,1.658408e-05,1.697039e-05,1.709311e-05,1.735241e-05,1.759458e-05,1.772999e-05,1.808816e-05,1.810299e-05,1.847128e-05,1.857355e-05,1.883476e-05,1.905050e-05,1.919333e-05,1.951880e-05,1.954690e-05,1.989539e-05,1.997826e-05,2.023872e-05,2.042872e-05,2.057685e-05,2.087005e-05,2.090972e-05,2.123728e-05,2.130215e-05,2.155950e-05,2.172493e-05,2.187635e-05,2.213834e-05,2.218781e-05,2.249387e-05,2.254234e-05,2.279452e-05,2.293690e-05,2.308974e-05,2.332202e-05,2.337955e-05,2.366396e-05,2.369772e-05,2.394296e-05,2.406402e-05,2.421659e-05,2.442095e-05,2.448485e-05,2.474777e-05,2.476858e-05,2.500539e-05,2.510695e-05,2.525772e-05,2.543615e-05,2.550481e-05,2.574669e-05,2.575626e-05,2.598340e-05,2.606736e-05,2.621498e-05,2.636955e-05,2.644147e-05,2.666293e-05,2.694762e-05,2.722372e-05,2.749137e-05,2.775067e-05,2.800176e-05,2.824477e-05,2.847983e-05,2.870708e-05,2.892665e-05,2.913868e-05,2.934330e-05,2.954067e-05,2.973092e-05,2.991419e-05,3.009063e-05,3.026037e-05,3.042356e-05,3.058033e-05,3.073083e-05,3.087519e-05,3.101355e-05,3.114605e-05,3.127283e-05,3.139401e-05
0.000000e+00,1.689877e-17,1.895635e-16,6.728601e-15,6.993128e-14,2.024692e-13,1.959664e-12,2.125143e-12,1.257115e-11,1.927091e-11,5.190966e-11,1.075077e-10,1.677152e-10,4.211954e-10,4.536252e-10,1.071864e-09,1.295653e-09,2.275969e-09,3.336750e-09,4.429382e-09,7.491441e-09,8.016605e-09,1.364578e-08,1.507861e-08,2.204342e-08,2.777714e-08,3.404301e-08,4.758042e-08,5.056917e-08,7.261936e-08,7.672964e-08,1.012439e-07,1.176362e-07,1.375256e-07,1.727997e-07,1.825589e-07,2.374300e-07,2.447263e-07,3.031975e-07,3.358502e-07,3.808743e-07,4.484615e-07,4.714115e-07,5.756841e-07,5.846435e-07,6.944789e-07,7.462209e-07,8.284854e-07,9.347219e-07,9.782887e-07,1.144366e-06,1.151353e-06,1.327084e-06,1.396989e-06,1.526701e-06,1.672175e-06,1.743369e-06,1.977137e-06,2.227960e-06,2.311805e-06,2.495702e-06,2.675839e-06,2.780147e-06,3.068660e-06,3.081006e-06,3.397923e-06,3.489483e-06,3.730489e-06,3.937350e-06,4.078243e-06,4.411161e-06,4.440684e-06,4.817279e-06,4.909706e-06,5.207466e-06,5.431690e-06,5.610661e-06,5.975758e-06,6.026265e-06,6.453671e-06,6.540514e-06,6.892261e-06,7.124543e-06,7.341417e-06,7.726422e-06,7.800522e-06,8.268960e-06,8.344735e-06,8.746123e-06,8.978084e-06,9.231410e-06,9.625092e-06,9.724231e-06,1.022400e-05,1.028442e-05,1.073016e-05,1.095475e-05,1.124215e-05,1.163483e-05,1.175943e-05,1.228147e-05,1.232343e-05,1.280777e-05,1.301937e-05,1.333782e-05,1.372151e-05,1.387114e-05,1.440728e-05,1.442878e-05,1.494577e-05,1.514013e-05,1.548620e-05,1.585457e-05,1.602812e-05,1.657115e-05,1.711490e-05,1.728899e-05,1.765899e-05,1.800721e-05,1.820305e-05,1.872502e-05,1.874676e-05,1.928978e-05,1.944165e-05,1.983178e-05,2.015638e-05,2.037248e-05,2.086851e-05,2.091158e-05,2.144879e-05,2.157742e-05,2.198387e-05,2.228249e-05,2.251656e-05,2.298315e-05,2.304661e-05,2.357381e-05,2.367888e-05,2.409792e-05,2.436918e-05,2.461876e-05,2.505359e-05,2.513612e-05,2.564982e-05,2.573167e-05,2.615969e-05,2.640302e-05,2.666556e-05,2.706728e-05,2.716728e-05,2.766470e-05,2.772409e-05,2.815768e-05,2.837315e-05,2.864610e-05,2.901417e-05,2.912984e-05,2.960878e-05,2.964688e-05,3.008282e-05,3.027105e-05,3.055187e-05,3.088644e-05,3.101583e-05,3.147463e-05,3.149287e-05,3.192819e-05,3.209017e-05,3.237643e-05,3.267817e-05,3.281930e-05,3.325675e-05,3.382577e-05,3.438514e-05,3.493477e-05,3.547460e-05,3.600455e-05,3.652460e-05,3.703471e-05,3.753487e-05,3.802506e-05,3.850529e-05,3.897557e-05,3.943594e-05,3.988642e-05,4.032706e-05,4.075789e-05,4.117900e-05,4.159042e-05,4.199224e-05,4.238454e-05,4.276739e-05,4.314088e-05,4.350510e-05,4.386015e-05,4.420613e-05
0.000000e+00,1.303431e-11,3.976912e-11,2.096244e-10,6.335994e-10,1.053160e-09,3.167999e-09,3.296683e-09,7.975133e-09,9.894099e-09,1.640897e-08,2.393222e-08,3.021628e-08,4.931349e-08,5.132073e-08,8.192341e-08,9.094363e-08,1.243962e-07,1.542532e-07,1.811052e-07,2.445417e-07,2.542555e-07,3.458240e-07,3.665055e-07,4.575577e-07,5.241456e-07,5.909896e-07,7.208199e-07,7.474502e-07,9.280723e-07,9.592793e-07,1.133792e-06,1.241677e-06,1.365349e-06,1.569569e-06,1.623286e-06,1.907960e-06,1.943927e-06,2.219541e-06,2.365167e-06,2.558029e-06,2.833183e-06,2.923266e-06,3.314946e-06,3.347411e-06,3.732637e-06,3.906878e-06,4.175792e-06,4.510273e-06,4.643766e-06,5.135833e-06,5.156005e-06,5.651194e-06,5.842264e-06,6.188999e-06,6.567070e-06,6.748352e-06,7.328324e-06,7.927966e-06,8.123848e-06,8.546311e-06,8.951417e-06,9.182383e-06,9.808785e-06,9.835207e-06,1.050381e-05,1.069371e-05,1.118722e-05,1.160398e-05,1.188449e-05,1.253741e-05,1.259468e-05,1.331687e-05,1.349188e-05,1.405015e-05,1.446530e-05,1.479364e-05,1.545567e-05,1.554647e-05,1.630782e-05,1.646104e-05,1.707686e-05,1.747954e-05,1.785281e-05,1.850938e-05,1.863489e-05,1.942237e-05,1.954882e-05,2.021453e-05,2.059622e-05,2.101068e-05,2.165001e-05,2.181014e-05,2.261228e-05,2.270869e-05,2.341647e-05,2.377081e-05,2.422212e-05,2.483503e-05,2.502865e-05,2.583552e-05,2.590007e-05,2.664219e-05,2.696469e-05,2.744816e-05,2.802775e-05,2.825294e-05,2.905607e-05,2.908815e-05,2.985710e-05,3.014488e-05,3.065562e-05,3.119697e-05,3.145122e-05,3.224350e-05,3.303211e-05,3.328363e-05,3.381670e-05,3.431657e-05,3.459693e-05,3.534156e-05,3.537249e-05,3.614308e-05,3.635792e-05,3.690842e-05,3.736499e-05,3.766824e-05,3.836219e-05,3.842229e-05,3.917033e-05,3.934895e-05,3.991214e-05,4.032476e-05,4.064751e-05,4.128914e-05,4.137624e-05,4.209814e-05,4.224168e-05,4.281304e-05,4.318197e-05,4.352079e-05,4.410965e-05,4.422122e-05,4.491422e-05,4.502440e-05,4.559964e-05,4.592591e-05,4.627736e-05,4.681394e-05,4.694729e-05,4.760933e-05,4.768823e-05,4.826337e-05,4.854860e-05,4.890935e-05,4.939485e-05,4.954719e-05,5.017682e-05,5.022683e-05,5.079819e-05,5.104442e-05,5.141126e-05,5.184749e-05,5.201597e-05,5.261229e-05,5.263597e-05,5.320020e-05,5.340978e-05,5.377967e-05,5.416888e-05,5.435068e-05,5.491323e-05,5.564283e-05,5.635767e-05,5.705777e-05,5.774316e-05,5.841389e-05,5.907001e-05,5.971158e-05,6.033870e-05,6.095144e-05,6.154991e-05,6.213421e-05,6.270445e-05,6.326077e-05,6.380328e-05,6.433213e-05,6.484745e-05,6.534940e-05,6.583812e-05,6.631377e-05,6.677651e-05,6.722651e-05,6.766393e-05,6.808894e-05,6.850172e-05
0.000000e+00,4.753036e-12,1.467265e-11,7.829297e-11,2.381417e-10,3.969865e-10,1.203561e-09,1.252898e-09,3.062584e-09,3.812743e-09,6.387811e-09,9.406376e-09,1.195654e-08,1.980979e-08,2.064091e-08,3.335060e-08,3.709466e-08,5.091712e-08,6.314949e-08,7.406450e-08,9.956022e-08,1.034324e-07,1.395984e-07,1.476944e-07,1.830868e-07,2.087535e-07,2.343695e-07,2.837759e-07,2.938616e-07,3.619167e-07,3.736204e-07,4.388224e-07,4.789476e-07,5.247968e-07,6.002075e-07,6.199877e-07,7.244722e-07,7.376361e-07,8.382599e-07,8.912618e-07,9.612957e-07,1.060919e-06,1.093465e-06,1.234598e-06,1.246270e-06,1.384481e-06,1.446826e-06,1.542853e-06,1.661976e-06,1.709424e-06,1.883870e-06,1.891007e-06,2.065849e-06,2.133135e-06,2.254997e-06,2.387522e-06,2.450940e-06,2.653296e-06,2.861677e-06,2.929569e-06,3.075697e-06,3.215449e-06,3.294967e-06,3.510054e-06,3.519108e-06,3.747744e-06,3.812518e-06,3.980508e-06,4.121997e-06,4.217040e-06,4.437680e-06,4.456995e-06,4.700034e-06,4.758786e-06,4.945833e-06,5.084568e-06,5.194078e-06,5.414319e-06,5.444470e-06,5.696718e-06,5.747366e-06,5.950548e-06,6.083076e-06,6.205695e-06,6.420851e-06,6.461906e-06,6.718943e-06,6.760130e-06,6.976576e-06,7.100388e-06,7.234589e-06,7.441135e-06,7.492776e-06,7.750942e-06,7.781911e-06,8.008901e-06,8.122292e-06,8.266479e-06,8.461882e-06,8.523512e-06,8.779842e-06,8.800314e-06,9.035324e-06,9.137249e-06,9.289820e-06,9.472374e-06,9.543200e-06,9.795342e-06,9.805401e-06,1.004613e-05,1.013607e-05,1.029546e-05,1.046413e-05,1.054324e-05,1.078936e-05,1.103374e-05,1.111157e-05,1.127631e-05,1.143056e-05,1.151698e-05,1.174618e-05,1.175569e-05,1.199238e-05,1.205828e-05,1.222698e-05,1.236672e-05,1.245944e-05,1.267138e-05,1.268972e-05,1.291776e-05,1.297215e-05,1.314353e-05,1.326896e-05,1.336699e-05,1.356170e-05,1.358811e-05,1.380686e-05,1.385032e-05,1.402321e-05,1.413475e-05,1.423714e-05,1.441495e-05,1.444862e-05,1.465765e-05,1.469087e-05,1.486421e-05,1.496248e-05,1.506829e-05,1.522976e-05,1.526988e-05,1.546896e-05,1.549269e-05,1.566555e-05,1.575125e-05,1.585963e-05,1.600545e-05,1.605120e-05,1.624026e-05,1.625528e-05,1.642683e-05,1.650075e-05,1.661089e-05,1.674188e-05,1.679247e-05,1.697156e-05,1.697867e-05,1.714818e-05,1.721115e-05,1.732233e-05,1.743935e-05,1.749402e-05,1.766328e-05,1.788298e-05,1.809849e-05,1.830983e-05,1.851706e-05,1.872020e-05,1.891930e-05,1.911440e-05,1.930556e-05,1.949281e-05,1.967621e-05,1.985581e-05,2.003165e-05,2.020378e-05,2.037227e-05,2.053715e-05,2.069849e-05,2.085634e-05,2.101074e-05,2.116176e-05,2.130945e-05,2.145385e-05,2.159503e-05,2.173304e-05,2.186792e-05
0.000000e+00,2.372005e-13,1.544337e-12,2.026290e-11,9.740526e-11,1.934859e-10,8.019103e-10,8.429339e-10,2.491471e-09,3.226106e-09,5.868266e-09,9.110544e-09,1.192708e-08,2.090089e-08,2.187256e-08,3.717841e-08,4.183619e-08,5.956197e-08,7.587882e-08,9.087777e-08,1.272753e-07,1.329482e-07,1.874206e-07,1.999320e-07,2.557106e-07,2.970863e-07,3.390117e-07,4.213226e-07,4.383250e-07,5.544845e-07,5.746811e-07,6.881735e-07,7.587349e-07,8.399332e-07,9.746287e-07,1.010169e-06,1.199155e-06,1.223101e-06,1.407039e-06,1.504507e-06,1.633851e-06,1.818841e-06,1.879510e-06,2.143830e-06,2.165774e-06,2.426536e-06,2.544689e-06,2.727271e-06,2.954725e-06,3.045606e-06,3.381050e-06,3.394817e-06,3.733064e-06,3.863734e-06,4.101063e-06,4.360121e-06,4.484432e-06,4.882529e-06,5.294692e-06,5.429446e-06,5.720248e-06,5.999318e-06,6.158515e-06,6.590575e-06,6.608809e-06,7.070446e-06,7.201645e-06,7.542747e-06,7.830966e-06,8.025040e-06,8.477002e-06,8.516660e-06,9.016955e-06,9.138246e-06,9.525287e-06,9.813229e-06,1.004103e-05,1.050053e-05,1.056357e-05,1.109231e-05,1.119876e-05,1.162668e-05,1.190659e-05,1.216612e-05,1.262275e-05,1.271006e-05,1.325800e-05,1.334600e-05,1.380941e-05,1.407518e-05,1.436380e-05,1.480914e-05,1.492070e-05,1.547964e-05,1.554683e-05,1.604018e-05,1.628721e-05,1.660189e-05,1.702932e-05,1.716436e-05,1.772720e-05,1.777223e-05,1.829003e-05,1.851507e-05,1.885248e-05,1.925701e-05,1.941420e-05,1.997487e-05,1.999727e-05,2.053416e-05,2.073510e-05,2.109176e-05,2.146982e-05,2.164739e-05,2.220077e-05,2.275163e-05,2.292733e-05,2.329972e-05,2.364893e-05,2.384480e-05,2.436503e-05,2.438664e-05,2.492503e-05,2.507514e-05,2.545977e-05,2.577877e-05,2.599065e-05,2.647551e-05,2.651750e-05,2.704014e-05,2.716493e-05,2.755842e-05,2.784668e-05,2.807217e-05,2.852041e-05,2.858125e-05,2.908554e-05,2.918581e-05,2.958490e-05,2.984258e-05,3.007921e-05,3.049046e-05,3.056838e-05,3.105229e-05,3.112922e-05,3.153086e-05,3.175864e-05,3.200399e-05,3.237853e-05,3.247161e-05,3.293365e-05,3.298872e-05,3.339004e-05,3.358905e-05,3.384072e-05,3.417939e-05,3.428564e-05,3.472475e-05,3.475963e-05,3.515801e-05,3.532967e-05,3.558539e-05,3.588943e-05,3.600684e-05,3.642235e-05,3.643885e-05,3.683190e-05,3.697787e-05,3.723546e-05,3.750646e-05,3.763302e-05,3.802459e-05,3.853225e-05,3.902945e-05,3.951619e-05,3.999250e-05,4.045840e-05,4.091394e-05,4.135917e-05,4.179414e-05,4.221891e-05,4.263357e-05,4.303818e-05,4.343283e-05,4.381761e-05,4.419262e-05,4.455795e-05,4.491370e-05,4.525999e-05,4.559693e-05,4.592462e-05,4.624320e-05,4.655277e-05,4.685345e-05,4.714539e-05,4.742869e-05
0.000000e+00,7.297414e-16,7.503408e-15,2.229416e-13,1.975967e-12,5.248210e-12,4.082097e-11,4.388186e-11,2.103417e-10,3.048865e-10,7.151312e-10,1.327643e-09,1.931198e-09,4.165796e-09,4.430209e-09,9.011159e-09,1.053136e-08,1.672151e-08,2.288052e-08,2.885928e-08,4.439907e-08,4.693536e-08,7.258868e-08,7.877529e-08,1.074753e-07,1.297926e-07,1.531665e-07,2.009388e-07,2.110791e-07,2.824407e-07,2.951782e-07,3.682818e-07,4.148818e-07,4.694404e-07,5.618419e-07,5.865714e-07,7.201562e-07,7.373088e-07,8.705106e-07,9.420251e-07,1.037792e-06,1.176255e-06,1.222006e-06,1.423018e-06,1.439817e-06,1.640558e-06,1.732118e-06,1.874236e-06,2.052202e-06,2.123555e-06,2.387922e-06,2.398801e-06,2.666667e-06,2.770395e-06,2.959054e-06,3.165270e-06,3.264297e-06,3.581572e-06,3.910033e-06,4.017362e-06,4.248819e-06,4.470661e-06,4.597066e-06,4.939488e-06,4.953917e-06,5.318527e-06,5.421895e-06,5.690071e-06,5.915991e-06,6.067746e-06,6.419958e-06,6.450780e-06,6.838430e-06,6.932073e-06,7.229984e-06,7.450707e-06,7.624768e-06,7.974339e-06,8.022140e-06,8.421496e-06,8.501554e-06,8.822263e-06,9.031041e-06,9.223907e-06,9.561597e-06,9.625926e-06,1.002785e-05,1.009212e-05,1.042924e-05,1.062160e-05,1.082969e-05,1.114912e-05,1.122883e-05,1.162629e-05,1.167386e-05,1.202177e-05,1.219507e-05,1.241496e-05,1.271208e-05,1.280558e-05,1.319339e-05,1.322429e-05,1.357816e-05,1.373117e-05,1.395967e-05,1.423223e-05,1.433773e-05,1.471217e-05,1.472707e-05,1.508283e-05,1.521532e-05,1.544957e-05,1.569665e-05,1.581227e-05,1.617080e-05,1.652506e-05,1.663751e-05,1.687498e-05,1.709660e-05,1.722046e-05,1.754789e-05,1.756144e-05,1.789787e-05,1.799125e-05,1.822970e-05,1.842656e-05,1.855687e-05,1.885375e-05,1.887937e-05,1.919717e-05,1.927274e-05,1.951024e-05,1.968350e-05,1.981858e-05,2.008600e-05,2.012218e-05,2.042103e-05,2.048023e-05,2.071514e-05,2.086621e-05,2.100452e-05,2.124396e-05,2.128919e-05,2.156915e-05,2.161351e-05,2.184443e-05,2.197490e-05,2.211505e-05,2.232820e-05,2.238103e-05,2.264242e-05,2.267347e-05,2.289923e-05,2.301078e-05,2.315150e-05,2.334022e-05,2.339927e-05,2.364258e-05,2.366186e-05,2.388147e-05,2.397580e-05,2.411598e-05,2.428213e-05,2.434614e-05,2.457202e-05,2.458096e-05,2.479364e-05,2.487240e-05,2.501107e-05,2.515654e-05,2.522434e-05,2.543350e-05,2.570339e-05,2.596633e-05,2.622243e-05,2.647181e-05,2.671459e-05,2.695088e-05,2.718080e-05,2.740447e-05,2.762202e-05,2.783355e-05,2.803919e-05,2.823905e-05,2.843326e-05,2.862192e-05,2.880515e-05,2.898306e-05,2.915578e-05,2.932340e-05,2.948603e-05,2.964380e-05,2.979680e-05,2.994514e-05,3.008892e-05,3.022825e-05
0.000000e+00,1.742764e-12,5.294869e-12,2.769770e-11,8.316685e-11,1.377349e-10,4.102726e-10,4.267607e-10,1.021474e-09,1.263364e-09,2.078223e-09,3.009716e-09,3.781636e-09,6.101151e-09,6.343026e-09,9.996038e-09,1.106240e-08,1.498545e-08,1.845253e-08,2.154829e-08,2.879350e-08,2.989556e-08,4.020403e-08,4.251421e-08,5.261668e-08,5.994129e-08,6.724597e-08,8.131030e-08,8.417656e-08,1.034673e-07,1.067755e-07,1.251529e-07,1.364169e-07,1.492451e-07,1.702461e-07,1.757348e-07,2.045938e-07,2.082142e-07,2.357773e-07,2.502196e-07,2.692258e-07,2.961178e-07,3.048678e-07,3.426219e-07,3.457309e-07,3.823994e-07,3.988558e-07,4.241055e-07,4.552732e-07,4.676422e-07,5.129087e-07,5.147539e-07,5.598038e-07,5.770651e-07,6.082262e-07,6.419748e-07,6.580761e-07,7.092554e-07,7.616687e-07,7.786863e-07,8.152234e-07,8.500560e-07,8.698302e-07,9.231631e-07,9.254035e-07,9.818612e-07,9.978170e-07,1.039125e-06,1.073838e-06,1.097119e-06,1.151059e-06,1.155774e-06,1.215022e-06,1.229322e-06,1.274798e-06,1.308481e-06,1.335043e-06,1.388400e-06,1.395698e-06,1.456711e-06,1.468952e-06,1.518031e-06,1.550022e-06,1.579608e-06,1.631499e-06,1.641398e-06,1.703359e-06,1.713285e-06,1.765449e-06,1.795288e-06,1.827632e-06,1.877421e-06,1.889871e-06,1.952134e-06,1.959606e-06,2.014389e-06,2.041770e-06,2.076605e-06,2.123848e-06,2.138757e-06,2.200816e-06,2.205777e-06,2.262760e-06,2.287500e-06,2.324565e-06,2.368967e-06,2.386210e-06,2.447674e-06,2.450129e-06,2.508939e-06,2.530942e-06,2.569987e-06,2.611367e-06,2.630801e-06,2.691366e-06,2.751667e-06,2.770906e-06,2.811692e-06,2.849956e-06,2.871426e-06,2.928488e-06,2.930859e-06,2.989980e-06,3.006477e-06,3.048778e-06,3.083898e-06,3.107244e-06,3.160732e-06,3.165370e-06,3.223146e-06,3.236959e-06,3.280565e-06,3.312562e-06,3.337621e-06,3.387525e-06,3.394307e-06,3.450617e-06,3.461834e-06,3.506546e-06,3.535477e-06,3.562088e-06,3.608442e-06,3.617240e-06,3.671996e-06,3.680721e-06,3.726354e-06,3.752303e-06,3.780310e-06,3.823183e-06,3.833861e-06,3.887003e-06,3.893353e-06,3.939736e-06,3.962808e-06,3.992056e-06,4.031543e-06,4.043963e-06,4.095454e-06,4.099555e-06,4.146527e-06,4.166840e-06,4.197183e-06,4.233397e-06,4.247421e-06,4.297239e-06,4.299223e-06,4.346637e-06,4.364318e-06,4.395616e-06,4.428681e-06,4.444174e-06,4.492313e-06,4.555215e-06,4.617386e-06,4.678830e-06,4.739547e-06,4.799541e-06,4.858814e-06,4.917369e-06,4.975210e-06,5.032339e-06,5.088762e-06,5.144482e-06,5.199504e-06,5.253832e-06,5.307471e-06,5.360425e-06,5.412701e-06,5.464303e-06,5.515237e-06,5.565507e-06,5.615121e-06,5.664083e-06,5.712399e-06,5.760076e-06,5.807119e-06
0.000000e+00,1.951808e-13,9.440711e-13,8.191787e-12,3.114815e-11,5.626870e-11,1.947457e-10,2.034973e-10,5.316792e-10,6.693688e-10,1.142260e-09,1.692980e-09,2.154237e-09,3.555579e-09,3.702625e-09,5.936785e-09,6.592713e-09,9.017525e-09,1.117464e-08,1.311146e-08,1.768170e-08,1.838119e-08,2.497168e-08,2.645895e-08,3.299661e-08,3.776275e-08,4.253028e-08,5.173102e-08,5.360749e-08,6.622905e-08,6.839039e-08,8.036897e-08,8.768256e-08,9.598122e-08,1.094906e-07,1.130049e-07,1.313685e-07,1.336585e-07,1.509930e-07,1.600057e-07,1.717943e-07,1.883370e-07,1.936856e-07,2.165790e-07,2.184511e-07,2.403869e-07,2.501468e-07,2.650234e-07,2.832278e-07,2.904052e-07,3.164522e-07,3.175068e-07,3.430883e-07,3.528076e-07,3.702416e-07,3.889666e-07,3.978445e-07,4.258342e-07,4.541523e-07,4.632746e-07,4.827450e-07,5.011653e-07,5.115627e-07,5.393972e-07,5.405601e-07,5.696957e-07,5.778732e-07,5.989318e-07,6.165073e-07,6.282341e-07,6.552241e-07,6.575717e-07,6.869163e-07,6.939571e-07,7.162425e-07,7.326486e-07,7.455276e-07,7.712480e-07,7.747509e-07,8.038938e-07,8.097112e-07,8.329397e-07,8.480003e-07,8.618738e-07,8.860821e-07,8.906826e-07,9.193542e-07,9.239282e-07,9.478780e-07,9.615140e-07,9.762444e-07,9.988186e-07,1.004445e-06,1.032472e-06,1.035824e-06,1.060320e-06,1.072514e-06,1.087982e-06,1.108877e-06,1.115453e-06,1.142728e-06,1.144902e-06,1.169805e-06,1.180579e-06,1.196679e-06,1.215901e-06,1.223347e-06,1.249808e-06,1.250862e-06,1.276058e-06,1.285457e-06,1.302097e-06,1.319682e-06,1.327923e-06,1.353535e-06,1.378931e-06,1.387013e-06,1.404113e-06,1.420116e-06,1.429079e-06,1.452843e-06,1.453829e-06,1.478364e-06,1.485195e-06,1.502683e-06,1.517171e-06,1.526787e-06,1.548774e-06,1.550677e-06,1.574353e-06,1.580004e-06,1.597816e-06,1.610863e-06,1.621068e-06,1.641355e-06,1.644108e-06,1.666939e-06,1.671480e-06,1.689562e-06,1.701243e-06,1.711977e-06,1.730647e-06,1.734186e-06,1.756191e-06,1.759693e-06,1.777993e-06,1.788386e-06,1.799594e-06,1.816730e-06,1.820994e-06,1.842197e-06,1.844728e-06,1.863202e-06,1.872383e-06,1.884013e-06,1.899700e-06,1.904631e-06,1.925057e-06,1.926683e-06,1.945294e-06,1.953336e-06,1.965342e-06,1.979662e-06,1.985205e-06,2.004883e-06,2.005666e-06,2.024379e-06,2.031353e-06,2.043694e-06,2.056726e-06,2.062830e-06,2.081789e-06,2.106547e-06,2.131004e-06,2.155165e-06,2.179033e-06,2.202613e-06,2.225909e-06,2.248925e-06,2.271665e-06,2.294133e-06,2.316334e-06,2.338272e-06,2.359950e-06,2.381373e-06,2.402545e-06,2.423468e-06,2.444148e-06,2.464589e-06,2.484793e-06,2.504764e-06,2.524507e-06,2.544025e-06,2.563321e-06,2.582399e-06,2.601262e-06
0.000000e+00,5.162676e-13,2.661012e-12,2.507390e-11,9.976947e-11,1.836684e-10,6.609434e-10,6.916189e-10,1.867120e-09,2.371246e-09,4.138119e-09,6.251113e-09,8.058260e-09,1.371441e-08,1.432010e-08,2.373339e-08,2.655583e-08,3.713731e-08,4.667365e-08,5.528671e-08,7.567447e-08,7.879550e-08,1.081450e-07,1.147506e-07,1.437130e-07,1.647673e-07,1.857966e-07,2.263517e-07,2.346251e-07,2.903665e-07,2.999346e-07,3.531290e-07,3.857658e-07,4.229629e-07,4.839187e-07,4.998614e-07,5.837622e-07,5.942960e-07,6.745510e-07,7.166398e-07,7.720646e-07,8.505465e-07,8.760959e-07,9.863996e-07,9.954867e-07,1.102697e-06,1.150827e-06,1.224684e-06,1.315855e-06,1.352034e-06,1.484406e-06,1.489800e-06,1.621448e-06,1.671858e-06,1.762803e-06,1.861207e-06,1.908115e-06,2.057028e-06,2.209193e-06,2.258517e-06,2.364270e-06,2.464894e-06,2.521927e-06,2.675412e-06,2.681848e-06,2.843727e-06,2.889364e-06,3.007273e-06,3.106086e-06,3.172211e-06,3.324958e-06,3.338279e-06,3.505232e-06,3.545406e-06,3.672838e-06,3.766902e-06,3.840882e-06,3.988961e-06,4.009161e-06,4.177486e-06,4.211141e-06,4.345683e-06,4.433040e-06,4.513588e-06,4.654294e-06,4.681053e-06,4.847937e-06,4.874575e-06,5.014112e-06,5.093590e-06,5.179462e-06,5.311074e-06,5.343877e-06,5.507259e-06,5.526791e-06,5.669517e-06,5.740533e-06,5.830569e-06,5.952114e-06,5.990338e-06,6.148757e-06,6.161371e-06,6.305765e-06,6.368160e-06,6.461304e-06,6.572356e-06,6.615326e-06,6.767785e-06,6.773850e-06,6.918641e-06,6.972550e-06,7.067859e-06,7.168375e-06,7.215407e-06,7.361259e-06,7.505390e-06,7.551145e-06,7.647780e-06,7.737989e-06,7.788413e-06,7.921752e-06,7.927273e-06,8.064349e-06,8.102409e-06,8.199632e-06,8.279938e-06,8.333116e-06,8.454327e-06,8.464795e-06,8.594667e-06,8.625567e-06,8.722731e-06,8.793658e-06,8.848988e-06,8.958602e-06,8.973441e-06,9.096093e-06,9.120407e-06,9.216949e-06,9.279086e-06,9.336015e-06,9.434654e-06,9.453301e-06,9.568813e-06,9.587131e-06,9.682561e-06,9.736537e-06,9.794556e-06,9.882897e-06,9.904809e-06,1.001333e-05,1.002624e-05,1.012014e-05,1.016659e-05,1.022524e-05,1.030398e-05,1.032865e-05,1.043038e-05,1.043845e-05,1.053045e-05,1.057002e-05,1.062888e-05,1.069873e-05,1.072567e-05,1.082085e-05,1.082462e-05,1.091442e-05,1.094772e-05,1.100642e-05,1.106808e-05,1.109684e-05,1.118572e-05,1.130069e-05,1.141303e-05,1.152278e-05,1.162997e-05,1.173466e-05,1.183686e-05,1.193664e-05,1.203402e-05,1.212904e-05,1.222176e-05,1.231219e-05,1.240040e-05,1.248641e-05,1.257026e-05,1.265199e-05,1.273164e-05,1.280925e-05,1.288486e-05,1.295850e-05,1.303021e-05,1.310002e-05,1.316798e-05,1.323411e-05,1.329846e-05
0.000000e+00,6.642662e-19,7.756148e-18,2.996620e-16,3.368273e-15,1.018283e-14,1.102749e-13,1.201363e-13,7.949186e-13,1.256269e-12,3.653037e-12,8.047489e-12,1.306915e-11,3.590518e-11,3.896688e-11,1.011598e-10,1.250294e-10,2.355003e-10,3.633046e-10,5.018481e-10,9.185396e-10,9.935075e-10,1.847448e-09,2.077443e-09,3.254448e-09,4.286167e-09,5.468275e-09,8.186408e-09,8.813143e-09,1.368884e-08,1.464183e-08,2.057318e-08,2.475133e-08,3.002157e-08,3.984709e-08,4.266355e-08,5.919669e-08,6.147754e-08,8.037790e-08,9.137619e-08,1.070125e-07,1.314186e-07,1.399416e-07,1.800281e-07,1.835703e-07,2.281420e-07,2.498288e-07,2.851447e-07,3.321627e-07,3.518747e-07,4.291322e-07,4.324523e-07,5.176660e-07,5.524326e-07,6.181606e-07,6.936432e-07,7.312252e-07,8.573848e-07,9.970720e-07,1.044687e-06,1.150622e-06,1.256282e-06,1.318269e-06,1.492593e-06,1.500142e-06,1.696269e-06,1.753731e-06,1.906574e-06,2.039494e-06,2.130884e-06,2.349388e-06,2.368929e-06,2.620351e-06,2.682636e-06,2.884710e-06,3.038213e-06,3.161490e-06,3.414866e-06,3.450104e-06,3.749908e-06,3.811152e-06,4.060207e-06,4.225465e-06,4.380259e-06,4.656074e-06,4.709290e-06,5.046497e-06,5.101155e-06,5.391060e-06,5.558818e-06,5.742143e-06,6.027141e-06,6.098909e-06,6.460519e-06,6.504198e-06,6.826142e-06,6.988076e-06,7.194960e-06,7.476905e-06,7.566172e-06,7.938998e-06,7.968871e-06,8.312682e-06,8.462233e-06,8.686498e-06,8.955335e-06,9.059750e-06,9.431772e-06,9.446618e-06,9.801936e-06,9.934624e-06,1.016965e-05,1.041800e-05,1.053435e-05,1.089551e-05,1.125266e-05,1.136603e-05,1.160535e-05,1.182853e-05,1.195315e-05,1.228211e-05,1.229571e-05,1.263267e-05,1.272597e-05,1.296372e-05,1.315941e-05,1.328860e-05,1.358183e-05,1.360706e-05,1.391888e-05,1.399271e-05,1.422388e-05,1.439164e-05,1.452190e-05,1.477828e-05,1.481281e-05,1.509651e-05,1.515237e-05,1.537290e-05,1.551371e-05,1.564192e-05,1.586218e-05,1.590354e-05,1.615772e-05,1.619770e-05,1.640446e-05,1.652026e-05,1.664378e-05,1.682990e-05,1.687569e-05,1.710023e-05,1.712668e-05,1.731746e-05,1.741074e-05,1.752743e-05,1.768220e-05,1.773022e-05,1.792591e-05,1.794126e-05,1.811459e-05,1.818812e-05,1.829635e-05,1.842300e-05,1.847131e-05,1.863956e-05,1.864616e-05,1.880123e-05,1.885784e-05,1.895644e-05,1.905834e-05,1.910530e-05,1.924794e-05,1.942693e-05,1.959562e-05,1.975431e-05,1.990332e-05,2.004296e-05,2.017354e-05,2.029537e-05,2.040876e-05,2.051402e-05,2.061145e-05,2.070136e-05,2.078403e-05,2.085975e-05,2.092881e-05,2.099149e-05,2.104806e-05,2.109878e-05,2.114391e-05,2.118369e-05,2.121839e-05,2.124822e-05,2.127342e-05,2.129422e-05,2.131082e-05
0.000000e+00,6.881438e-12,2.307456e-11,1.343236e-10,4.251987e-10,7.190143e-10,2.229316e-09,2.322046e-09,5.721716e-09,7.125943e-09,1.191579e-08,1.747448e-08,2.213263e-08,3.634793e-08,3.784640e-08,6.078217e-08,6.757379e-08,9.288374e-08,1.156331e-07,1.362155e-07,1.852554e-07,1.928110e-07,2.645346e-07,2.808423e-07,3.530126e-07,4.061098e-07,4.596249e-07,5.640436e-07,5.855253e-07,7.316641e-07,7.569780e-07,8.988059e-07,9.866742e-07,1.087542e-06,1.254371e-06,1.298299e-06,1.531349e-06,1.560820e-06,1.786815e-06,1.906322e-06,2.064681e-06,2.290756e-06,2.364803e-06,2.686918e-06,2.713627e-06,3.030657e-06,3.174107e-06,3.395558e-06,3.671085e-06,3.781073e-06,4.186588e-06,4.203215e-06,4.611427e-06,4.768961e-06,5.054866e-06,5.366641e-06,5.516143e-06,5.994468e-06,6.489028e-06,6.650581e-06,6.998996e-06,7.333077e-06,7.523538e-06,8.040035e-06,8.061819e-06,8.613005e-06,8.769537e-06,9.176269e-06,9.519684e-06,9.750794e-06,1.028861e-05,1.033578e-05,1.093043e-05,1.107450e-05,1.153398e-05,1.187558e-05,1.214568e-05,1.269013e-05,1.276479e-05,1.339060e-05,1.351651e-05,1.402243e-05,1.435313e-05,1.465960e-05,1.519848e-05,1.530147e-05,1.594742e-05,1.605111e-05,1.659684e-05,1.690962e-05,1.724915e-05,1.777272e-05,1.790381e-05,1.856027e-05,1.863914e-05,1.921803e-05,1.950772e-05,1.987658e-05,2.037733e-05,2.053547e-05,2.119424e-05,2.124692e-05,2.185246e-05,2.211550e-05,2.250972e-05,2.298213e-05,2.316562e-05,2.381980e-05,2.384593e-05,2.447191e-05,2.470609e-05,2.512159e-05,2.556183e-05,2.576854e-05,2.641245e-05,2.705303e-05,2.725726e-05,2.769001e-05,2.809566e-05,2.832313e-05,2.892707e-05,2.895214e-05,2.957683e-05,2.975094e-05,3.019698e-05,3.056680e-05,3.081238e-05,3.137419e-05,3.142284e-05,3.202819e-05,3.217270e-05,3.262827e-05,3.296195e-05,3.322291e-05,3.374159e-05,3.381198e-05,3.439534e-05,3.451132e-05,3.497288e-05,3.527086e-05,3.554447e-05,3.601994e-05,3.611002e-05,3.666943e-05,3.675836e-05,3.722261e-05,3.748591e-05,3.776949e-05,3.820242e-05,3.831000e-05,3.884408e-05,3.890774e-05,3.937167e-05,3.960174e-05,3.989272e-05,4.028433e-05,4.040720e-05,4.091506e-05,4.095541e-05,4.141629e-05,4.161491e-05,4.191085e-05,4.226279e-05,4.239873e-05,4.287991e-05,4.289902e-05,4.335440e-05,4.352357e-05,4.382218e-05,4.413645e-05,4.428326e-05,4.473765e-05,4.532722e-05,4.590517e-05,4.647156e-05,4.702645e-05,4.756989e-05,4.810197e-05,4.862276e-05,4.913236e-05,4.963086e-05,5.011837e-05,5.059500e-05,5.106086e-05,5.151606e-05,5.196075e-05,5.239504e-05,5.281906e-05,5.323295e-05,5.363684e-05,5.403089e-05,5.441522e-05,5.478998e-05,5.515533e-05,5.551140e-05,5.585834e-05
0.000000e+00,8.199842e-18,9.282070e-17,3.355755e-15,3.544804e-14,1.035228e-13,1.023425e-12,1.110754e-12,6.693748e-12,1.030763e-11,2.804866e-11,5.848724e-11,9.158269e-11,2.314741e-10,2.494047e-10,5.918820e-10,7.160734e-10,1.261266e-09,1.853302e-09,2.465372e-09,4.192502e-09,4.490400e-09,7.712025e-09,8.539827e-09,1.260385e-08,1.599483e-08,1.974208e-08,2.796760e-08,2.980503e-08,4.356628e-08,4.616743e-08,6.188078e-08,7.255627e-08,8.566421e-08,1.092668e-07,1.158670e-07,1.534450e-07,1.584947e-07,1.993296e-07,2.223791e-07,2.543986e-07,3.028889e-07,3.194514e-07,3.951883e-07,4.017272e-07,4.821950e-07,5.202608e-07,5.809325e-07,6.594785e-07,6.917324e-07,8.147958e-07,8.199749e-07,9.501970e-07,1.001956e-06,1.097890e-06,1.205266e-06,1.257717e-06,1.429417e-06,1.612641e-06,1.673638e-06,1.806959e-06,1.936919e-06,2.011877e-06,2.218059e-06,2.226843e-06,2.451264e-06,2.515712e-06,2.684513e-06,2.828429e-06,2.925938e-06,3.154700e-06,3.174875e-06,3.430652e-06,3.492982e-06,3.692598e-06,3.841734e-06,3.960047e-06,4.199437e-06,4.232348e-06,4.508864e-06,4.564618e-06,4.788976e-06,4.935858e-06,5.072091e-06,5.311811e-06,5.357639e-06,5.645077e-06,5.691207e-06,5.933888e-06,6.072861e-06,6.223584e-06,6.455670e-06,6.513708e-06,6.803826e-06,6.838621e-06,7.093537e-06,7.220783e-06,7.382465e-06,7.601312e-06,7.670262e-06,7.956606e-06,7.979442e-06,8.241200e-06,8.354486e-06,8.523771e-06,8.725828e-06,8.804069e-06,9.081867e-06,9.092924e-06,9.356958e-06,9.455291e-06,9.629154e-06,9.812508e-06,9.898289e-06,1.016421e-05,1.042678e-05,1.051008e-05,1.068589e-05,1.084986e-05,1.094143e-05,1.118331e-05,1.119331e-05,1.144145e-05,1.151025e-05,1.168579e-05,1.183054e-05,1.192627e-05,1.214406e-05,1.216284e-05,1.239548e-05,1.245072e-05,1.262415e-05,1.275046e-05,1.284883e-05,1.304325e-05,1.306952e-05,1.328621e-05,1.332907e-05,1.349891e-05,1.360793e-05,1.370761e-05,1.387985e-05,1.391233e-05,1.411310e-05,1.414486e-05,1.430993e-05,1.440302e-05,1.450285e-05,1.465439e-05,1.469189e-05,1.487708e-05,1.489905e-05,1.505847e-05,1.513708e-05,1.523608e-05,1.536857e-05,1.540996e-05,1.558015e-05,1.559361e-05,1.574671e-05,1.581232e-05,1.590967e-05,1.602480e-05,1.606908e-05,1.622500e-05,1.623116e-05,1.637747e-05,1.643153e-05,1.652655e-05,1.662601e-05,1.667229e-05,1.681474e-05,1.699783e-05,1.717541e-05,1.734761e-05,1.751454e-05,1.767634e-05,1.783313e-05,1.798503e-05,1.813217e-05,1.827466e-05,1.841264e-05,1.854621e-05,1.867550e-05,1.880061e-05,1.892168e-05,1.903880e-05,1.915209e-05,1.926165e-05,1.936760e-05,1.947003e-05,1.956904e-05,1.966474e-05,1.975722e-05,1.984658e-05,1.993291e-05
0.000000e+00,2.665723e-12,8.114268e-12,4.266325e-11,1.289324e-10,2.144862e-10,6.488450e-10,6.754376e-10,1.653604e-09,2.060664e-09,3.464642e-09,5.122798e-09,6.533686e-09,1.093532e-08,1.140607e-08,1.871088e-08,2.089613e-08,2.906349e-08,3.638857e-08,4.297684e-08,5.848047e-08,6.084386e-08,8.296335e-08,8.791893e-08,1.095677e-07,1.252369e-07,1.408401e-07,1.708218e-07,1.769232e-07,2.179231e-07,2.249446e-07,2.639108e-07,2.877686e-07,3.149230e-07,3.593540e-07,3.709635e-07,4.320039e-07,4.396623e-07,4.979861e-07,5.285627e-07,5.688244e-07,6.258421e-07,6.444083e-07,7.246054e-07,7.312161e-07,8.092648e-07,8.443410e-07,8.982197e-07,9.648270e-07,9.912912e-07,1.088290e-06,1.092249e-06,1.189021e-06,1.226160e-06,1.293284e-06,1.366096e-06,1.400874e-06,1.511589e-06,1.625225e-06,1.662172e-06,1.741580e-06,1.817384e-06,1.860459e-06,1.976775e-06,1.981666e-06,2.105014e-06,2.139909e-06,2.230318e-06,2.306366e-06,2.357403e-06,2.475745e-06,2.486096e-06,2.616233e-06,2.647662e-06,2.747655e-06,2.821756e-06,2.880211e-06,2.997684e-06,3.013757e-06,3.148153e-06,3.175122e-06,3.283267e-06,3.353768e-06,3.418973e-06,3.533337e-06,3.555153e-06,3.691692e-06,3.713564e-06,3.828483e-06,3.894202e-06,3.965425e-06,4.075021e-06,4.102420e-06,4.239377e-06,4.255806e-06,4.376212e-06,4.436359e-06,4.512842e-06,4.616498e-06,4.649192e-06,4.785190e-06,4.796053e-06,4.920769e-06,4.974869e-06,5.055865e-06,5.152802e-06,5.190420e-06,5.324378e-06,5.329723e-06,5.457688e-06,5.505512e-06,5.590302e-06,5.680058e-06,5.722174e-06,5.853264e-06,5.983533e-06,6.025040e-06,6.112946e-06,6.195305e-06,6.241468e-06,6.363985e-06,6.369071e-06,6.495727e-06,6.531017e-06,6.621409e-06,6.696342e-06,6.746096e-06,6.859909e-06,6.869765e-06,6.992398e-06,7.021674e-06,7.113979e-06,7.181598e-06,7.234491e-06,7.339647e-06,7.353921e-06,7.472257e-06,7.495792e-06,7.589489e-06,7.650010e-06,7.705608e-06,7.802282e-06,7.820607e-06,7.934478e-06,7.952593e-06,8.047218e-06,8.100930e-06,8.158822e-06,8.247286e-06,8.269288e-06,8.378613e-06,8.391656e-06,8.486798e-06,8.534038e-06,8.593842e-06,8.674432e-06,8.699745e-06,8.804511e-06,8.812843e-06,8.908141e-06,8.949276e-06,9.010638e-06,9.083737e-06,9.112007e-06,9.212252e-06,9.216238e-06,9.311378e-06,9.346790e-06,9.409390e-06,9.475405e-06,9.506294e-06,9.602098e-06,9.726884e-06,9.849782e-06,9.970808e-06,1.008998e-05,1.020732e-05,1.032285e-05,1.043659e-05,1.054856e-05,1.065878e-05,1.076728e-05,1.087408e-05,1.097920e-05,1.108266e-05,1.118450e-05,1.128473e-05,1.138337e-05,1.148046e-05,1.157602e-05,1.167006e-05,1.176262e-05,1.185372e-05,1.194338e-05,1.203163e-05,1.211848e-05
0.000000e+00,2.702296e-18,3.094323e-17,1.146225e-15,1.239045e-14,3.666228e-14,3.756092e-13,4.082794e-13,2.558535e-12,3.985046e-12,1.117890e-11,2.394055e-11,3.818692e-11,1.009120e-10,1.091636e-10,2.725950e-10,3.338990e-10,6.115201e-10,9.242076e-10,1.256099e-09,2.224385e-09,2.394940e-09,4.283157e-09,4.778105e-09,7.245906e-09,9.339354e-09,1.167711e-08,1.686682e-08,1.803376e-08,2.682657e-08,2.849595e-08,3.860827e-08,4.549512e-08,5.396023e-08,6.921285e-08,7.347858e-08,9.776026e-08,1.010221e-07,1.273899e-07,1.422666e-07,1.629274e-07,1.942115e-07,2.048975e-07,2.537797e-07,2.580021e-07,3.100014e-07,3.346298e-07,3.739313e-07,4.249079e-07,4.458751e-07,5.260734e-07,5.294557e-07,6.147000e-07,6.486915e-07,7.118624e-07,7.828332e-07,8.176039e-07,9.319057e-07,1.054691e-06,1.095754e-06,1.185829e-06,1.274060e-06,1.325140e-06,1.466362e-06,1.472402e-06,1.627352e-06,1.672077e-06,1.789698e-06,1.890522e-06,1.959117e-06,2.120935e-06,2.135266e-06,2.317784e-06,2.362495e-06,2.506298e-06,2.614343e-06,2.700427e-06,2.875597e-06,2.899783e-06,3.103978e-06,3.145364e-06,3.312627e-06,3.422757e-06,3.525347e-06,3.706903e-06,3.741762e-06,3.961506e-06,3.996950e-06,4.184221e-06,4.292077e-06,4.409559e-06,4.591494e-06,4.637187e-06,4.866781e-06,4.894450e-06,5.098034e-06,5.200234e-06,5.330649e-06,5.508173e-06,5.564344e-06,5.798851e-06,5.817639e-06,6.033915e-06,6.128042e-06,6.269294e-06,6.438834e-06,6.504761e-06,6.740099e-06,6.749507e-06,6.975106e-06,7.059591e-06,7.209591e-06,7.368650e-06,7.443374e-06,7.676287e-06,7.908174e-06,7.982136e-06,8.138886e-06,8.285863e-06,8.368289e-06,8.587164e-06,8.596253e-06,8.822662e-06,8.885762e-06,9.047404e-06,9.181408e-06,9.270380e-06,9.473875e-06,9.491494e-06,9.710661e-06,9.762963e-06,9.927802e-06,1.004849e-05,1.014284e-05,1.033029e-05,1.035572e-05,1.056637e-05,1.060823e-05,1.077475e-05,1.088218e-05,1.098079e-05,1.115203e-05,1.118446e-05,1.138572e-05,1.141769e-05,1.158453e-05,1.167908e-05,1.178086e-05,1.193612e-05,1.197468e-05,1.216598e-05,1.218877e-05,1.235474e-05,1.243697e-05,1.254092e-05,1.268071e-05,1.272454e-05,1.290556e-05,1.291994e-05,1.308400e-05,1.315465e-05,1.325984e-05,1.338483e-05,1.343307e-05,1.360371e-05,1.361048e-05,1.377175e-05,1.383161e-05,1.393720e-05,1.404823e-05,1.410006e-05,1.426035e-05,1.446799e-05,1.467118e-05,1.486995e-05,1.506434e-05,1.525438e-05,1.544011e-05,1.562157e-05,1.579882e-05,1.597190e-05,1.614086e-05,1.630574e-05,1.646662e-05,1.662353e-05,1.677654e-05,1.692571e-05,1.707108e-05,1.721273e-05,1.735071e-05,1.748507e-05,1.761588e-05,1.774321e-05,1.786710e-05,1.798762e-05,1.810483e-05
0.000000e+00,5.033776e-19,5.789214e-18,2.163323e-16,2.355538e-15,6.994774e-15,7.219750e-14,7.849567e-14,4.937008e-13,7.691052e-13,2.154497e-12,4.598675e-12,7.310674e-12,1.910730e-11,2.064572e-11,5.070119e-11,6.182586e-11,1.115667e-10,1.667597e-10,2.247297e-10,3.917552e-10,4.209624e-10,7.421164e-10,8.258958e-10,1.242689e-09,1.596006e-09,1.991022e-09,2.871283e-09,3.069979e-09,4.577002e-09,4.865106e-09,6.623444e-09,7.833285e-09,9.333186e-09,1.206857e-08,1.284061e-08,1.728796e-08,1.789176e-08,2.282233e-08,2.564016e-08,2.959240e-08,3.565463e-08,3.774507e-08,4.742218e-08,4.826628e-08,5.875742e-08,6.378372e-08,7.187356e-08,8.248190e-08,8.687997e-08,1.038707e-07,1.045928e-07,1.229230e-07,1.302985e-07,1.440961e-07,1.597267e-07,1.674306e-07,1.929485e-07,2.206532e-07,2.299786e-07,2.505301e-07,2.707774e-07,2.825476e-07,3.152542e-07,3.166581e-07,3.527995e-07,3.632731e-07,3.908966e-07,4.146580e-07,4.308627e-07,4.691994e-07,4.726013e-07,5.160080e-07,5.266615e-07,5.609717e-07,5.867886e-07,6.073768e-07,6.493113e-07,6.551045e-07,7.040338e-07,7.139533e-07,7.540438e-07,7.804360e-07,8.050139e-07,8.484839e-07,8.568255e-07,9.093627e-07,9.178284e-07,9.625129e-07,9.882108e-07,1.016168e-06,1.059385e-06,1.070224e-06,1.124582e-06,1.131121e-06,1.179150e-06,1.203203e-06,1.233838e-06,1.275432e-06,1.288566e-06,1.343255e-06,1.347627e-06,1.397836e-06,1.419623e-06,1.452243e-06,1.491273e-06,1.506414e-06,1.560296e-06,1.562445e-06,1.613838e-06,1.633021e-06,1.666994e-06,1.702898e-06,1.719723e-06,1.771987e-06,1.823755e-06,1.840211e-06,1.874996e-06,1.907502e-06,1.925685e-06,1.973804e-06,1.975798e-06,2.025315e-06,2.039070e-06,2.074219e-06,2.103261e-06,2.122495e-06,2.166343e-06,2.170130e-06,2.217115e-06,2.228293e-06,2.263439e-06,2.289089e-06,2.309095e-06,2.348717e-06,2.354079e-06,2.398387e-06,2.407167e-06,2.442014e-06,2.464431e-06,2.484960e-06,2.520507e-06,2.527224e-06,2.568805e-06,2.575395e-06,2.609706e-06,2.629098e-06,2.649928e-06,2.681619e-06,2.689474e-06,2.728346e-06,2.732966e-06,2.766548e-06,2.783146e-06,2.804085e-06,2.832171e-06,2.840961e-06,2.877181e-06,2.880050e-06,2.912750e-06,2.926797e-06,2.947675e-06,2.972424e-06,2.981960e-06,3.015613e-06,3.016946e-06,3.048639e-06,3.060376e-06,3.081045e-06,3.102731e-06,3.112839e-06,3.144026e-06,3.184277e-06,3.223501e-06,3.261714e-06,3.298933e-06,3.335176e-06,3.370459e-06,3.404800e-06,3.438216e-06,3.470724e-06,3.502341e-06,3.533086e-06,3.562974e-06,3.592023e-06,3.620250e-06,3.647672e-06,3.674305e-06,3.700166e-06,3.725271e-06,3.749636e-06,3.773277e-06,3.796210e-06,3.818451e-06,3.840015e-06,3.860917e-06
0.000000e+00,4.163257e-18,4.810367e-17,1.815369e-15,1.995077e-14,5.955625e-14,6.235039e-13,6.783011e-13,4.331284e-12,6.776595e-12,1.919819e-11,4.137209e-11,6.619919e-11,1.756850e-10,1.900874e-10,4.749382e-10,5.816060e-10,1.063956e-09,1.606751e-09,2.183153e-09,3.869903e-09,4.168027e-09,7.491832e-09,8.370266e-09,1.279324e-08,1.659838e-08,2.090054e-08,3.063025e-08,3.284912e-08,4.988948e-08,5.318329e-08,7.348382e-08,8.761721e-08,1.052907e-07,1.378734e-07,1.471390e-07,2.009913e-07,2.083572e-07,2.689017e-07,3.037760e-07,3.529678e-07,4.289524e-07,4.552827e-07,5.778859e-07,5.886296e-07,7.227190e-07,7.872858e-07,8.915841e-07,1.028969e-06,1.086109e-06,1.307717e-06,1.317163e-06,1.557608e-06,1.654684e-06,1.836737e-06,2.043617e-06,2.145811e-06,2.485283e-06,2.855353e-06,2.980237e-06,3.255977e-06,3.528292e-06,3.686877e-06,4.128567e-06,4.147558e-06,4.637321e-06,4.779550e-06,5.155284e-06,5.479169e-06,5.700402e-06,6.224875e-06,6.271488e-06,6.867232e-06,7.013725e-06,7.486226e-06,7.842465e-06,8.126978e-06,8.707607e-06,8.787936e-06,9.467504e-06,9.605508e-06,1.016406e-05,1.053244e-05,1.087596e-05,1.148463e-05,1.160158e-05,1.233930e-05,1.245835e-05,1.308752e-05,1.344993e-05,1.384467e-05,1.445581e-05,1.460924e-05,1.537976e-05,1.547255e-05,1.615479e-05,1.649688e-05,1.693298e-05,1.752572e-05,1.771303e-05,1.849370e-05,1.855614e-05,1.927380e-05,1.958544e-05,2.005224e-05,2.061110e-05,2.082797e-05,2.160000e-05,2.163079e-05,2.236743e-05,2.264241e-05,2.312939e-05,2.364400e-05,2.388511e-05,2.463384e-05,2.537492e-05,2.561034e-05,2.610772e-05,2.657211e-05,2.683169e-05,2.751791e-05,2.754631e-05,2.825111e-05,2.844664e-05,2.894569e-05,2.935736e-05,2.962966e-05,3.024927e-05,3.030270e-05,3.096451e-05,3.112165e-05,3.161485e-05,3.197394e-05,3.225349e-05,3.280567e-05,3.288025e-05,3.349497e-05,3.361646e-05,3.409753e-05,3.440602e-05,3.468783e-05,3.517415e-05,3.526579e-05,3.583138e-05,3.592072e-05,3.638455e-05,3.664567e-05,3.692532e-05,3.734899e-05,3.745368e-05,3.796966e-05,3.803075e-05,3.847333e-05,3.869105e-05,3.896473e-05,3.933003e-05,3.944394e-05,3.991104e-05,3.994789e-05,4.036615e-05,4.054485e-05,4.080936e-05,4.112117e-05,4.124079e-05,4.166058e-05,4.167713e-05,4.206886e-05,4.221305e-05,4.246577e-05,4.272924e-05,4.285145e-05,4.322607e-05,4.370389e-05,4.416308e-05,4.460404e-05,4.502715e-05,4.543282e-05,4.582146e-05,4.619348e-05,4.654930e-05,4.688933e-05,4.721399e-05,4.752370e-05,4.781886e-05,4.809990e-05,4.836720e-05,4.862119e-05,4.886225e-05,4.909078e-05,4.930716e-05,4.951177e-05,4.970500e-05,4.988719e-05,5.005873e-05,5.021995e-05,5.037121e-05
0.000000e+00,4.263705e-13,2.423832e-12,2.606895e-11,1.117976e-10,2.124996e-10,8.207365e-10,8.611960e-10,2.491619e-09,3.228637e-09,5.944193e-09,9.397530e-09,1.247899e-08,2.257110e-08,2.367581e-08,4.102115e-08,4.622450e-08,6.554818e-08,8.264813e-08,9.782973e-08,1.328685e-07,1.381323e-07,1.865403e-07,1.971933e-07,2.430214e-07,2.755462e-07,3.074586e-07,3.675989e-07,3.796643e-07,4.593901e-07,4.728246e-07,5.463339e-07,5.905302e-07,6.401482e-07,7.198897e-07,7.404496e-07,8.468272e-07,8.599806e-07,9.588525e-07,1.009820e-06,1.076087e-06,1.168399e-06,1.198092e-06,1.324431e-06,1.334712e-06,1.454678e-06,1.507778e-06,1.588422e-06,1.686660e-06,1.725267e-06,1.864839e-06,1.870474e-06,2.006782e-06,2.058396e-06,2.150761e-06,2.249669e-06,2.296463e-06,2.443597e-06,2.591892e-06,2.639549e-06,2.741095e-06,2.836954e-06,2.890975e-06,3.035297e-06,3.041317e-06,3.191923e-06,3.234115e-06,3.342612e-06,3.432996e-06,3.493218e-06,3.631570e-06,3.643588e-06,3.793582e-06,3.829511e-06,3.943074e-06,4.026526e-06,4.091946e-06,4.222357e-06,4.240094e-06,4.387420e-06,4.416779e-06,4.533839e-06,4.609591e-06,4.679270e-06,4.800617e-06,4.823643e-06,4.966893e-06,4.989705e-06,5.108963e-06,5.176722e-06,5.249800e-06,5.361552e-06,5.389359e-06,5.527598e-06,5.544096e-06,5.664480e-06,5.724271e-06,5.799975e-06,5.902004e-06,5.934052e-06,6.066688e-06,6.077236e-06,6.197863e-06,6.249919e-06,6.327556e-06,6.420011e-06,6.455755e-06,6.582446e-06,6.587482e-06,6.707619e-06,6.752308e-06,6.831266e-06,6.914472e-06,6.953383e-06,7.073964e-06,7.193007e-06,7.230777e-06,7.310513e-06,7.384911e-06,7.426483e-06,7.536370e-06,7.540918e-06,7.653822e-06,7.685161e-06,7.765200e-06,7.831297e-06,7.875058e-06,7.974790e-06,7.983402e-06,8.090240e-06,8.115657e-06,8.195580e-06,8.253919e-06,8.299431e-06,8.389596e-06,8.401803e-06,8.502706e-06,8.522712e-06,8.602152e-06,8.653291e-06,8.700150e-06,8.781360e-06,8.796714e-06,8.891856e-06,8.906947e-06,8.985587e-06,9.030080e-06,9.077920e-06,9.150790e-06,9.168869e-06,9.258448e-06,9.269106e-06,9.346669e-06,9.385059e-06,9.433546e-06,9.498682e-06,9.519093e-06,9.603325e-06,9.610007e-06,9.686255e-06,9.719066e-06,9.767898e-06,9.825892e-06,9.848268e-06,9.927379e-06,9.930518e-06,1.000525e-05,1.003298e-05,1.008188e-05,1.013330e-05,1.015731e-05,1.023153e-05,1.032768e-05,1.042181e-05,1.051393e-05,1.060409e-05,1.069230e-05,1.077862e-05,1.086307e-05,1.094567e-05,1.102647e-05,1.110549e-05,1.118277e-05,1.125834e-05,1.133222e-05,1.140444e-05,1.147504e-05,1.154405e-05,1.161149e-05,1.167739e-05,1.174178e-05,1.180469e-05,1.186615e-05,1.192617e-05,1.198480e-05,1.204205e-05
0.000000e+00,5.425043e-12,1.655470e-11,8.709714e-11,2.624983e-10,4.355029e-10,1.302642e-09,1.355211e-09,3.256223e-09,4.031425e-09,6.648620e-09,9.648555e-09,1.213962e-08,1.964615e-08,2.043050e-08,3.230774e-08,3.578534e-08,4.861838e-08,6.001012e-08,7.022031e-08,9.424640e-08,9.791566e-08,1.323960e-07,1.401578e-07,1.742203e-07,1.990190e-07,2.238191e-07,2.717235e-07,2.815070e-07,3.474966e-07,3.588346e-07,4.219081e-07,4.606309e-07,5.047784e-07,5.771415e-07,5.960691e-07,6.956739e-07,7.081779e-07,8.034268e-07,8.533650e-07,9.191101e-07,1.012174e-06,1.042462e-06,1.173186e-06,1.183953e-06,1.310955e-06,1.367958e-06,1.455422e-06,1.563382e-06,1.606223e-06,1.762987e-06,1.769376e-06,1.925334e-06,1.985072e-06,2.092885e-06,2.209601e-06,2.265265e-06,2.442102e-06,2.623033e-06,2.681738e-06,2.807705e-06,2.927699e-06,2.995774e-06,3.179209e-06,3.186909e-06,3.380793e-06,3.435532e-06,3.577121e-06,3.695970e-06,3.775602e-06,3.959867e-06,3.975959e-06,4.177927e-06,4.226611e-06,4.381256e-06,4.495626e-06,4.585710e-06,4.766382e-06,4.791065e-06,4.997109e-06,5.038383e-06,5.203644e-06,5.311173e-06,5.410481e-06,5.584331e-06,5.617447e-06,5.824376e-06,5.857470e-06,6.031113e-06,6.130235e-06,6.237513e-06,6.402301e-06,6.443443e-06,6.648777e-06,6.673371e-06,6.853396e-06,6.943175e-06,7.057194e-06,7.211467e-06,7.260067e-06,7.461924e-06,7.478026e-06,7.662678e-06,7.742652e-06,7.862248e-06,8.005165e-06,8.060562e-06,8.257552e-06,8.265403e-06,8.453156e-06,8.523223e-06,8.647318e-06,8.778498e-06,8.839987e-06,9.031115e-06,9.220661e-06,9.280976e-06,9.408587e-06,9.527994e-06,9.594860e-06,9.772098e-06,9.779448e-06,9.962327e-06,1.001322e-05,1.014347e-05,1.025132e-05,1.032286e-05,1.048634e-05,1.050048e-05,1.067632e-05,1.071825e-05,1.085035e-05,1.094702e-05,1.102258e-05,1.117265e-05,1.119300e-05,1.136160e-05,1.139510e-05,1.152837e-05,1.161438e-05,1.169332e-05,1.183048e-05,1.185645e-05,1.201776e-05,1.204340e-05,1.217725e-05,1.225317e-05,1.233493e-05,1.245978e-05,1.249081e-05,1.264488e-05,1.266325e-05,1.279716e-05,1.286360e-05,1.294767e-05,1.306087e-05,1.309640e-05,1.324337e-05,1.325506e-05,1.338860e-05,1.344621e-05,1.353209e-05,1.363434e-05,1.367387e-05,1.381393e-05,1.381950e-05,1.395230e-05,1.400171e-05,1.408900e-05,1.418100e-05,1.422403e-05,1.435742e-05,1.453100e-05,1.470178e-05,1.486980e-05,1.503510e-05,1.519771e-05,1.535769e-05,1.551506e-05,1.566988e-05,1.582217e-05,1.597200e-05,1.611938e-05,1.626438e-05,1.640702e-05,1.654735e-05,1.668540e-05,1.682123e-05,1.695487e-05,1.708635e-05,1.721572e-05,1.734302e-05,1.746828e-05,1.759155e-05,1.771285e-05,1.783223e-05
0.000000e+00,5.565150e-16,5.413213e-15,1.439827e-13,1.160522e-12,2.933101e-12,2.023422e-11,2.165095e-11,9.323913e-11,1.315196e-10,2.890538e-10,5.107758e-10,7.204689e-10,1.456117e-09,1.540302e-09,2.942038e-09,3.390082e-09,5.158247e-09,6.854166e-09,8.458662e-09,1.250082e-08,1.314765e-08,1.955998e-08,2.108045e-08,2.805356e-08,3.341536e-08,3.899801e-08,5.035409e-08,5.276003e-08,6.968823e-08,7.271233e-08,9.010064e-08,1.012199e-07,1.142768e-07,1.364888e-07,1.424545e-07,1.748292e-07,1.790040e-07,2.115562e-07,2.291264e-07,2.527527e-07,2.871026e-07,2.985002e-07,3.488472e-07,3.530744e-07,4.038116e-07,4.270889e-07,4.633833e-07,5.091086e-07,5.275264e-07,5.961821e-07,5.990212e-07,6.692709e-07,6.966498e-07,7.466953e-07,8.017633e-07,8.283423e-07,9.140856e-07,1.003788e-06,1.033306e-06,1.097305e-06,1.159086e-06,1.194481e-06,1.291069e-06,1.295161e-06,1.399183e-06,1.428885e-06,1.506382e-06,1.572159e-06,1.616596e-06,1.720513e-06,1.729659e-06,1.845408e-06,1.873570e-06,1.963683e-06,2.030960e-06,2.084323e-06,2.192320e-06,2.207173e-06,2.332081e-06,2.357297e-06,2.458898e-06,2.525548e-06,2.587478e-06,2.696746e-06,2.717682e-06,2.849372e-06,2.870572e-06,2.982418e-06,3.046724e-06,3.116692e-06,3.224913e-06,3.252071e-06,3.388437e-06,3.404862e-06,3.525677e-06,3.586311e-06,3.663681e-06,3.769011e-06,3.802345e-06,3.941568e-06,3.952727e-06,4.081255e-06,4.137238e-06,4.221312e-06,4.322334e-06,4.361653e-06,4.502192e-06,4.507817e-06,4.642851e-06,4.693503e-06,4.783552e-06,4.879216e-06,4.924223e-06,5.064795e-06,5.205200e-06,5.250085e-06,5.345377e-06,5.434943e-06,5.485267e-06,5.619237e-06,5.624812e-06,5.763959e-06,5.802842e-06,5.902657e-06,5.985641e-06,6.040859e-06,6.167527e-06,6.178519e-06,6.315594e-06,6.348400e-06,6.452044e-06,6.528168e-06,6.587830e-06,6.706746e-06,6.722918e-06,6.857274e-06,6.884054e-06,6.990865e-06,7.060020e-06,7.123662e-06,7.234578e-06,7.255638e-06,7.386768e-06,7.407668e-06,7.517026e-06,7.579233e-06,7.646390e-06,7.749225e-06,7.774841e-06,7.902358e-06,7.917596e-06,8.028923e-06,8.084307e-06,8.154522e-06,8.249320e-06,8.279138e-06,8.402758e-06,8.412604e-06,8.525369e-06,8.574129e-06,8.646961e-06,8.733870e-06,8.767523e-06,8.887047e-06,8.891806e-06,9.005523e-06,9.047917e-06,9.122945e-06,9.202188e-06,9.239308e-06,9.354605e-06,9.505159e-06,9.653842e-06,9.800648e-06,9.945574e-06,1.008862e-05,1.022978e-05,1.036906e-05,1.050647e-05,1.064201e-05,1.077568e-05,1.090750e-05,1.103747e-05,1.116561e-05,1.129192e-05,1.141642e-05,1.153912e-05,1.166003e-05,1.177918e-05,1.189657e-05,1.201222e-05,1.212615e-05,1.223837e-05,1.234891e-05,1.245778e-05
0.000000e+00,2.177666e-17,2.553319e-16,9.943561e-15,1.125846e-13,3.418202e-13,3.747041e-12,4.084311e-12,2.741472e-11,4.351484e-11,1.280631e-10,2.852184e-10,4.668065e-10,1.307357e-09,1.421326e-09,3.774582e-09,4.691452e-09,8.995799e-09,1.405972e-08,1.961686e-08,3.659903e-08,3.968513e-08,7.525489e-08,8.493201e-08,1.348707e-07,1.790528e-07,2.299955e-07,3.480071e-07,3.753451e-07,5.890977e-07,6.310472e-07,8.929630e-07,1.078088e-06,1.312105e-06,1.749398e-06,1.874916e-06,2.612657e-06,2.714518e-06,3.558974e-06,4.050517e-06,4.749321e-06,5.839691e-06,6.220301e-06,8.008949e-06,8.166869e-06,1.015199e-05,1.111648e-05,1.268510e-05,1.476959e-05,1.564216e-05,1.905457e-05,1.920094e-05,2.295057e-05,2.447637e-05,2.735474e-05,3.065042e-05,3.228744e-05,3.776444e-05,4.379660e-05,4.584522e-05,5.038967e-05,5.490408e-05,5.754420e-05,6.493646e-05,6.525549e-05,7.351369e-05,7.592209e-05,8.230398e-05,8.782559e-05,9.160675e-05,1.005974e-04,1.013980e-04,1.116496e-04,1.141750e-04,1.223298e-04,1.284849e-04,1.334034e-04,1.434438e-04,1.448328e-04,1.565778e-04,1.589609e-04,1.685964e-04,1.749399e-04,1.808454e-04,1.912805e-04,1.932809e-04,2.058581e-04,2.078806e-04,2.185327e-04,2.246381e-04,2.312606e-04,2.414522e-04,2.439986e-04,2.567045e-04,2.582251e-04,2.693376e-04,2.748630e-04,2.818590e-04,2.912776e-04,2.942315e-04,3.064203e-04,3.073864e-04,3.183925e-04,3.231138e-04,3.301178e-04,3.383915e-04,3.415685e-04,3.527191e-04,3.531586e-04,3.635469e-04,3.673619e-04,3.740316e-04,3.809561e-04,3.841555e-04,3.939032e-04,4.032621e-04,4.061731e-04,4.122216e-04,4.177422e-04,4.207735e-04,4.285942e-04,4.289117e-04,4.366321e-04,4.387187e-04,4.439327e-04,4.481112e-04,4.508129e-04,4.567725e-04,4.572740e-04,4.633190e-04,4.647083e-04,4.689520e-04,4.719285e-04,4.741785e-04,4.784469e-04,4.790053e-04,4.834400e-04,4.842806e-04,4.874911e-04,4.894493e-04,4.911682e-04,4.939753e-04,4.944814e-04,4.974412e-04,4.978827e-04,5.000589e-04,5.011973e-04,5.023461e-04,5.039458e-04,5.043146e-04,5.059765e-04,5.061559e-04,5.073442e-04,5.078559e-04,5.084299e-04,5.090741e-04,5.092461e-04,5.098050e-04,5.098390e-04,5.101191e-04,5.101789e-04,5.102004e-04,5.101215e-04,5.100609e-04,5.097124e-04,5.096943e-04,5.091664e-04,5.089237e-04,5.084343e-04,5.078358e-04,5.075270e-04,5.064553e-04,5.048064e-04,5.029120e-04,5.007941e-04,4.984736e-04,4.959703e-04,4.933031e-04,4.904896e-04,4.875464e-04,4.844892e-04,4.813325e-04,4.780901e-04,4.747746e-04,4.713977e-04,4.679704e-04,4.645029e-04,4.610044e-04,4.574834e-04,4.539479e-04,4.504051e-04,4.468615e-04,4.433231e-04,4.397953e-04,4.362831e-04,4.327909e-04
0.000000e+00,6.717367e-17,7.032933e-16,2.166306e-14,1.981351e-13,5.350493e-13,4.332810e-12,4.664950e-12,2.317278e-11,3.388793e-11,8.113927e-11,1.528641e-10,2.242665e-10,4.915338e-10,5.233301e-10,1.076376e-09,1.260280e-09,2.008966e-09,2.752596e-09,3.472991e-09,5.340133e-09,5.644385e-09,8.719712e-09,9.461720e-09,1.291118e-08,1.560504e-08,1.843959e-08,2.427812e-08,2.552534e-08,3.437835e-08,3.597189e-08,4.518873e-08,5.112199e-08,5.811940e-08,7.007985e-08,7.330158e-08,9.083299e-08,9.309803e-08,1.107782e-07,1.203283e-07,1.331702e-07,1.518283e-07,1.580134e-07,1.852862e-07,1.875718e-07,2.149442e-07,2.274615e-07,2.469234e-07,2.713412e-07,2.811435e-07,3.175101e-07,3.190080e-07,3.559184e-07,3.702236e-07,3.962550e-07,4.247247e-07,4.384007e-07,4.822324e-07,5.276252e-07,5.424602e-07,5.744542e-07,6.051210e-07,6.225953e-07,6.699325e-07,6.719271e-07,7.223314e-07,7.366212e-07,7.736941e-07,8.049260e-07,8.259057e-07,8.746002e-07,8.788618e-07,9.324632e-07,9.454130e-07,9.866162e-07,1.017150e-06,1.041233e-06,1.089613e-06,1.096230e-06,1.151531e-06,1.162621e-06,1.207063e-06,1.236009e-06,1.262760e-06,1.309627e-06,1.318559e-06,1.374403e-06,1.383339e-06,1.430240e-06,1.457024e-06,1.486019e-06,1.530571e-06,1.541696e-06,1.597231e-06,1.603884e-06,1.652585e-06,1.676875e-06,1.707724e-06,1.749467e-06,1.762617e-06,1.817235e-06,1.821591e-06,1.871551e-06,1.893188e-06,1.925543e-06,1.964204e-06,1.979188e-06,2.032469e-06,2.034592e-06,2.085367e-06,2.104314e-06,2.137867e-06,2.173333e-06,2.189956e-06,2.241620e-06,2.292849e-06,2.309150e-06,2.343635e-06,2.375900e-06,2.393967e-06,2.441854e-06,2.443840e-06,2.493246e-06,2.506996e-06,2.542181e-06,2.571314e-06,2.590641e-06,2.634801e-06,2.638621e-06,2.686120e-06,2.697448e-06,2.733135e-06,2.759251e-06,2.779664e-06,2.820207e-06,2.825706e-06,2.871262e-06,2.880315e-06,2.916331e-06,2.939575e-06,2.960915e-06,2.997990e-06,3.005013e-06,3.048628e-06,3.055561e-06,3.091760e-06,3.112293e-06,3.134413e-06,3.168192e-06,3.176589e-06,3.218289e-06,3.223261e-06,3.259518e-06,3.277509e-06,3.300277e-06,3.330942e-06,3.340570e-06,3.380402e-06,3.383568e-06,3.419774e-06,3.435395e-06,3.458691e-06,3.486432e-06,3.497158e-06,3.535177e-06,3.536688e-06,3.572753e-06,3.586172e-06,3.609890e-06,3.634894e-06,3.646592e-06,3.682864e-06,3.730092e-06,3.776587e-06,3.822361e-06,3.867424e-06,3.911787e-06,3.955459e-06,3.998452e-06,4.040776e-06,4.082442e-06,4.123461e-06,4.163842e-06,4.203597e-06,4.242735e-06,4.281267e-06,4.319204e-06,4.356555e-06,4.393331e-06,4.429541e-06,4.465196e-06,4.500304e-06,4.534877e-06,4.568922e-06,4.602450e-06,4.635470e-06
0.000000e+00,7.548728e-19,8.637856e-18,3.214083e-16,3.490386e-15,1.035080e-14,1.064733e-13,1.157459e-13,7.256562e-13,1.129497e-12,3.157471e-12,6.728384e-12,1.068505e-11,2.786190e-11,3.009931e-11,7.374148e-11,8.987158e-11,1.618949e-10,2.416796e-10,3.253705e-10,5.660617e-10,6.080968e-10,1.069519e-09,1.189694e-09,1.786614e-09,2.291619e-09,2.855341e-09,4.108843e-09,4.391348e-09,6.529779e-09,6.937844e-09,9.424055e-09,1.113100e-08,1.324360e-08,1.708749e-08,1.817053e-08,2.439551e-08,2.523896e-08,3.211294e-08,3.603134e-08,4.151588e-08,4.990453e-08,5.279086e-08,6.611307e-08,6.727219e-08,8.164198e-08,8.850352e-08,9.951767e-08,1.139084e-07,1.198580e-07,1.427565e-07,1.437267e-07,1.682814e-07,1.781222e-07,1.964750e-07,2.171806e-07,2.273542e-07,2.609114e-07,2.971162e-07,3.092529e-07,3.359167e-07,3.620794e-07,3.772423e-07,4.192097e-07,4.210058e-07,4.671055e-07,4.804169e-07,5.154281e-07,5.454379e-07,5.658509e-07,6.139831e-07,6.182438e-07,6.724720e-07,6.857446e-07,7.283973e-07,7.604048e-07,7.858802e-07,8.376429e-07,8.447813e-07,9.049629e-07,9.171410e-07,9.662898e-07,9.985885e-07,1.028630e-06,1.081686e-06,1.091857e-06,1.155848e-06,1.166150e-06,1.220486e-06,1.251710e-06,1.285660e-06,1.338115e-06,1.351266e-06,1.417202e-06,1.425133e-06,1.483378e-06,1.512548e-06,1.549706e-06,1.600166e-06,1.616104e-06,1.682498e-06,1.687807e-06,1.748818e-06,1.775311e-06,1.815000e-06,1.862532e-06,1.880984e-06,1.946717e-06,1.949340e-06,2.012149e-06,2.035622e-06,2.077235e-06,2.121274e-06,2.141933e-06,2.206208e-06,2.270024e-06,2.290344e-06,2.333353e-06,2.373614e-06,2.396166e-06,2.455960e-06,2.458441e-06,2.520155e-06,2.537332e-06,2.581290e-06,2.617686e-06,2.641830e-06,2.696988e-06,2.701759e-06,2.761066e-06,2.775206e-06,2.819740e-06,2.852317e-06,2.877772e-06,2.928303e-06,2.935154e-06,2.991882e-06,3.003148e-06,3.047949e-06,3.076842e-06,3.103353e-06,3.149378e-06,3.158091e-06,3.212162e-06,3.220751e-06,3.265565e-06,3.290962e-06,3.318301e-06,3.360010e-06,3.370371e-06,3.421776e-06,3.427900e-06,3.472519e-06,3.494637e-06,3.522603e-06,3.560228e-06,3.572031e-06,3.620808e-06,3.624682e-06,3.668937e-06,3.688008e-06,3.716423e-06,3.750218e-06,3.763272e-06,3.809489e-06,3.811324e-06,3.855079e-06,3.871339e-06,3.900048e-06,3.930276e-06,3.944403e-06,3.988149e-06,4.044973e-06,4.100764e-06,4.155537e-06,4.209307e-06,4.262091e-06,4.313905e-06,4.364765e-06,4.414688e-06,4.463690e-06,4.511787e-06,4.558996e-06,4.605332e-06,4.650813e-06,4.695455e-06,4.739272e-06,4.782282e-06,4.824499e-06,4.865940e-06,4.906620e-06,4.946553e-06,4.985755e-06,5.024240e-06,5.062022e-06,5.099117e-06
0.000000e+00,1.807777e-16,1.883847e-15,5.740524e-14,5.194445e-13,1.394175e-12,1.110709e-11,1.195045e-11,5.839008e-11,8.501124e-11,2.013427e-10,3.761817e-10,5.490951e-10,1.191428e-09,1.267539e-09,2.586934e-09,3.024749e-09,4.806246e-09,6.576483e-09,8.292839e-09,1.274579e-08,1.347157e-08,2.079825e-08,2.256135e-08,3.072034e-08,3.704064e-08,4.363597e-08,5.703376e-08,5.986296e-08,7.962452e-08,8.312426e-08,1.030500e-07,1.156120e-07,1.301857e-07,1.545530e-07,1.610101e-07,1.954489e-07,1.998194e-07,2.333880e-07,2.511537e-07,2.746827e-07,3.082083e-07,3.191651e-07,3.666491e-07,3.705716e-07,4.169343e-07,4.377857e-07,4.698094e-07,5.093600e-07,5.250547e-07,5.824458e-07,5.847828e-07,6.417559e-07,6.635338e-07,7.027592e-07,7.450948e-07,7.652330e-07,8.289606e-07,8.937336e-07,9.146490e-07,9.593533e-07,1.001707e-06,1.025632e-06,1.089718e-06,1.092396e-06,1.159481e-06,1.178302e-06,1.226739e-06,1.267120e-06,1.294035e-06,1.355873e-06,1.361244e-06,1.428256e-06,1.444299e-06,1.494974e-06,1.532173e-06,1.561308e-06,1.619305e-06,1.627183e-06,1.692531e-06,1.705532e-06,1.757293e-06,1.790721e-06,1.821419e-06,1.874761e-06,1.884865e-06,1.947595e-06,1.957563e-06,2.009577e-06,2.039055e-06,2.070786e-06,2.119182e-06,2.131201e-06,2.190804e-06,2.197901e-06,2.249582e-06,2.275180e-06,2.307524e-06,2.350996e-06,2.364623e-06,2.420873e-06,2.425336e-06,2.476272e-06,2.498193e-06,2.530818e-06,2.569564e-06,2.584512e-06,2.637356e-06,2.639452e-06,2.689352e-06,2.707864e-06,2.740505e-06,2.774810e-06,2.790820e-06,2.840303e-06,2.888960e-06,2.904357e-06,2.936799e-06,2.966990e-06,2.983827e-06,3.028220e-06,3.030053e-06,3.075486e-06,3.088065e-06,3.120133e-06,3.146548e-06,3.164005e-06,3.203690e-06,3.207110e-06,3.249459e-06,3.259512e-06,3.291062e-06,3.314036e-06,3.331927e-06,3.367287e-06,3.372066e-06,3.411488e-06,3.419288e-06,3.450204e-06,3.470061e-06,3.488224e-06,3.519630e-06,3.525557e-06,3.562215e-06,3.568019e-06,3.598208e-06,3.615251e-06,3.633545e-06,3.661350e-06,3.668237e-06,3.702294e-06,3.706339e-06,3.735727e-06,3.750241e-06,3.768544e-06,3.793079e-06,3.800756e-06,3.832372e-06,3.834876e-06,3.863404e-06,3.875655e-06,3.893859e-06,3.915436e-06,3.923748e-06,3.953081e-06,3.954243e-06,3.981866e-06,3.992096e-06,4.010112e-06,4.029017e-06,4.037830e-06,4.065027e-06,4.100147e-06,4.134396e-06,4.167794e-06,4.200361e-06,4.232115e-06,4.263077e-06,4.293263e-06,4.322691e-06,4.351381e-06,4.379348e-06,4.406609e-06,4.433182e-06,4.459082e-06,4.484325e-06,4.508926e-06,4.532901e-06,4.556264e-06,4.579030e-06,4.601213e-06,4.622827e-06,4.643884e-06,4.664399e-06,4.684385e-06,4.703852e-06
0.000000e+00,2.003331e-12,6.097234e-12,3.197192e-11,9.618088e-11,1.594616e-10,4.766100e-10,4.958446e-10,1.192477e-09,1.477197e-09,2.441236e-09,3.551271e-09,4.476767e-09,7.283666e-09,7.578350e-09,1.206678e-08,1.338875e-08,1.828908e-08,2.265976e-08,2.658738e-08,3.584776e-08,3.726283e-08,5.055353e-08,5.354179e-08,6.663248e-08,7.613615e-08,8.561645e-08,1.038610e-07,1.075764e-07,1.325458e-07,1.368208e-07,1.605271e-07,1.750216e-07,1.914957e-07,2.183906e-07,2.254046e-07,2.621867e-07,2.667899e-07,3.017588e-07,3.200297e-07,3.440236e-07,3.778798e-07,3.888733e-07,4.361915e-07,4.400800e-07,4.858558e-07,5.063501e-07,5.377395e-07,5.763979e-07,5.917140e-07,6.476499e-07,6.499263e-07,7.054183e-07,7.266389e-07,7.648920e-07,8.062445e-07,8.259464e-07,8.884600e-07,9.523153e-07,9.730136e-07,1.017399e-06,1.059646e-06,1.083601e-06,1.148110e-06,1.150817e-06,1.218947e-06,1.238175e-06,1.287897e-06,1.329621e-06,1.357574e-06,1.422246e-06,1.427893e-06,1.498773e-06,1.515859e-06,1.570136e-06,1.610282e-06,1.641908e-06,1.705353e-06,1.714022e-06,1.786412e-06,1.800918e-06,1.859017e-06,1.896837e-06,1.931779e-06,1.992981e-06,2.004645e-06,2.077563e-06,2.089231e-06,2.150486e-06,2.185477e-06,2.223369e-06,2.281619e-06,2.296171e-06,2.368853e-06,2.377564e-06,2.441377e-06,2.473229e-06,2.513711e-06,2.568537e-06,2.585822e-06,2.657681e-06,2.663418e-06,2.729261e-06,2.757809e-06,2.800536e-06,2.851652e-06,2.871483e-06,2.942079e-06,2.944896e-06,3.012306e-06,3.037493e-06,3.082143e-06,3.129402e-06,3.151575e-06,3.220585e-06,3.289160e-06,3.311009e-06,3.357285e-06,3.400645e-06,3.424950e-06,3.489464e-06,3.492143e-06,3.558855e-06,3.577446e-06,3.625076e-06,3.664570e-06,3.690799e-06,3.750819e-06,3.756017e-06,3.820724e-06,3.836177e-06,3.884914e-06,3.920633e-06,3.948583e-06,4.004177e-06,4.011727e-06,4.074341e-06,4.086801e-06,4.136424e-06,4.168497e-06,4.197974e-06,4.249261e-06,4.258987e-06,4.319465e-06,4.329091e-06,4.379404e-06,4.407984e-06,4.438806e-06,4.485940e-06,4.497670e-06,4.555997e-06,4.562960e-06,4.613787e-06,4.639045e-06,4.671042e-06,4.714199e-06,4.727763e-06,4.783952e-06,4.788425e-06,4.839611e-06,4.861726e-06,4.894742e-06,4.934110e-06,4.949346e-06,5.003428e-06,5.005581e-06,5.056990e-06,5.076146e-06,5.110035e-06,5.145812e-06,5.162566e-06,5.214586e-06,5.282477e-06,5.349492e-06,5.415641e-06,5.480933e-06,5.545375e-06,5.608979e-06,5.671754e-06,5.733708e-06,5.794854e-06,5.855200e-06,5.914756e-06,5.973534e-06,6.031542e-06,6.088792e-06,6.145294e-06,6.201058e-06,6.256095e-06,6.310415e-06,6.364027e-06,6.416943e-06,6.469173e-06,6.520726e-06,6.571613e-06,6.621844e-06
0.000000e+00,5.688709e-15,5.510218e-14,1.580855e-12,1.447095e-11,3.978752e-11,3.511183e-10,3.797191e-10,2.138497e-09,3.251172e-09,8.641331e-09,1.781968e-08,2.779367e-08,7.021434e-08,7.568680e-08,1.815755e-07,2.205288e-07,3.942867e-07,5.870915e-07,7.900304e-07,1.378105e-06,1.481470e-06,2.627763e-06,2.929505e-06,4.445091e-06,5.746482e-06,7.217067e-06,1.054467e-05,1.130433e-05,1.715270e-05,1.828643e-05,2.529924e-05,3.020782e-05,3.637601e-05,4.783318e-05,5.111096e-05,7.032610e-05,7.297538e-05,9.493283e-05,1.077211e-04,1.259245e-04,1.544016e-04,1.643666e-04,2.113845e-04,2.155513e-04,2.681501e-04,2.938543e-04,3.358655e-04,3.920837e-04,4.157474e-04,5.090096e-04,5.130354e-04,6.168460e-04,6.594592e-04,7.404135e-04,8.339906e-04,8.808153e-04,1.039085e-03,1.216175e-03,1.276960e-03,1.412937e-03,1.549539e-03,1.630119e-03,1.858408e-03,1.868348e-03,2.128130e-03,2.204785e-03,2.409836e-03,2.589488e-03,2.713704e-03,3.012926e-03,3.039836e-03,3.388195e-03,3.475092e-03,3.758610e-03,3.975569e-03,4.150778e-03,4.513540e-03,4.564268e-03,4.998525e-03,5.087811e-03,5.452881e-03,5.696837e-03,5.926562e-03,6.338752e-03,6.418695e-03,6.928316e-03,7.011410e-03,7.454385e-03,7.712416e-03,7.995790e-03,8.439173e-03,8.551363e-03,9.119886e-03,9.188920e-03,9.700103e-03,9.958772e-03,1.029073e-02,1.074576e-02,1.089045e-02,1.149797e-02,1.154687e-02,1.211196e-02,1.235908e-02,1.273112e-02,1.317938e-02,1.335415e-02,1.397977e-02,1.400483e-02,1.460675e-02,1.483256e-02,1.523387e-02,1.565980e-02,1.585997e-02,1.648390e-02,1.710459e-02,1.730236e-02,1.772101e-02,1.811282e-02,1.833218e-02,1.891310e-02,1.893717e-02,1.953511e-02,1.970117e-02,2.012521e-02,2.047518e-02,2.070670e-02,2.123347e-02,2.127889e-02,2.184115e-02,2.197455e-02,2.239290e-02,2.269709e-02,2.293362e-02,2.339995e-02,2.346284e-02,2.398016e-02,2.408217e-02,2.448522e-02,2.474290e-02,2.497772e-02,2.538151e-02,2.545738e-02,2.592402e-02,2.599746e-02,2.637745e-02,2.659037e-02,2.681756e-02,2.716001e-02,2.724428e-02,2.765754e-02,2.770623e-02,2.805735e-02,2.822901e-02,2.844372e-02,2.872842e-02,2.881673e-02,2.917643e-02,2.920464e-02,2.952296e-02,2.965791e-02,2.985644e-02,3.008855e-02,3.017703e-02,3.048491e-02,3.049696e-02,3.078026e-02,3.088357e-02,3.106332e-02,3.124888e-02,3.133429e-02,3.159342e-02,3.191776e-02,3.222251e-02,3.250827e-02,3.277569e-02,3.302542e-02,3.325812e-02,3.347444e-02,3.367505e-02,3.386061e-02,3.403177e-02,3.418919e-02,3.433349e-02,3.446529e-02,3.458521e-02,3.469384e-02,3.479174e-02,3.487950e-02,3.495763e-02,3.502666e-02,3.508711e-02,3.513945e-02,3.518416e-02,3.522167e-02,3.525242e-02
0.000000e+00,2.981551e-18,3.462227e-17,1.320510e-15,1.465467e-14,4.398363e-14,4.670081e-13,5.083445e-13,3.292314e-12,5.171043e-12,1.479353e-11,3.213405e-11,5.168473e-11,1.387644e-10,1.502881e-10,3.800330e-10,4.666867e-10,8.611070e-10,1.308377e-09,1.786034e-09,3.194351e-09,3.444488e-09,6.250132e-09,6.995667e-09,1.076767e-08,1.403154e-08,1.773757e-08,2.616602e-08,2.809556e-08,4.298399e-08,4.587391e-08,6.375280e-08,7.625779e-08,9.194902e-08,1.210057e-07,1.292944e-07,1.776526e-07,1.842882e-07,2.389884e-07,2.706067e-07,3.153198e-07,3.846061e-07,4.086686e-07,5.210091e-07,5.308739e-07,6.542192e-07,7.137416e-07,8.100361e-07,9.371046e-07,9.900169e-07,1.195506e-06,1.204273e-06,1.427610e-06,1.517856e-06,1.687182e-06,1.879691e-06,1.974808e-06,2.290806e-06,2.635230e-06,2.751423e-06,3.007878e-06,3.260989e-06,3.408305e-06,3.818230e-06,3.835841e-06,4.289613e-06,4.421230e-06,4.768563e-06,5.067520e-06,5.271478e-06,5.754168e-06,5.797009e-06,6.343696e-06,6.477878e-06,6.909994e-06,7.235088e-06,7.494293e-06,8.022055e-06,8.094941e-06,8.710263e-06,8.834940e-06,9.338578e-06,9.669881e-06,9.978215e-06,1.052305e-05,1.062753e-05,1.128491e-05,1.139073e-05,1.194879e-05,1.226931e-05,1.261766e-05,1.315539e-05,1.329009e-05,1.396468e-05,1.404572e-05,1.464015e-05,1.493730e-05,1.531524e-05,1.582735e-05,1.598881e-05,1.665977e-05,1.671330e-05,1.732712e-05,1.759283e-05,1.798992e-05,1.846385e-05,1.864734e-05,1.929856e-05,1.932447e-05,1.994290e-05,2.017304e-05,2.057968e-05,2.100808e-05,2.120833e-05,2.182833e-05,2.243919e-05,2.263267e-05,2.304052e-05,2.342019e-05,2.363194e-05,2.419009e-05,2.421314e-05,2.478385e-05,2.494173e-05,2.534383e-05,2.567459e-05,2.589289e-05,2.638825e-05,2.643088e-05,2.695767e-05,2.708242e-05,2.747317e-05,2.775689e-05,2.797731e-05,2.841152e-05,2.847005e-05,2.895137e-05,2.904627e-05,2.942128e-05,2.966113e-05,2.987980e-05,3.025618e-05,3.032697e-05,3.076284e-05,3.083154e-05,3.118749e-05,3.138736e-05,3.160100e-05,3.192385e-05,3.200347e-05,3.239499e-05,3.244125e-05,3.277569e-05,3.293980e-05,3.314568e-05,3.341980e-05,3.350510e-05,3.385408e-05,3.388156e-05,3.419277e-05,3.432539e-05,3.452130e-05,3.475165e-05,3.483984e-05,3.514853e-05,3.516067e-05,3.544753e-05,3.555283e-05,3.573700e-05,3.592848e-05,3.601711e-05,3.628801e-05,3.663178e-05,3.696017e-05,3.727357e-05,3.757235e-05,3.785690e-05,3.812757e-05,3.838476e-05,3.862883e-05,3.886014e-05,3.907906e-05,3.928594e-05,3.948113e-05,3.966498e-05,3.983782e-05,3.999999e-05,4.015182e-05,4.029363e-05,4.042572e-05,4.054842e-05,4.066201e-05,4.076679e-05,4.086306e-05,4.095108e-05,4.103114e-05
0.000000e+00,4.175320e-19,4.838620e-18,1.837426e-16,2.031094e-15,6.083025e-15,6.424441e-14,6.991625e-14,4.506251e-13,7.069099e-13,2.016680e-12,4.371967e-12,7.024144e-12,1.882303e-11,2.038376e-11,5.149967e-11,6.324028e-11,1.167265e-10,1.774725e-10,2.424440e-10,4.344928e-10,4.686678e-10,8.529891e-10,9.553639e-10,1.474468e-09,1.924782e-09,2.436974e-09,3.604005e-09,3.871450e-09,5.936646e-09,6.337648e-09,8.818072e-09,1.055177e-08,1.272517e-08,1.674265e-08,1.788686e-08,2.454582e-08,2.545735e-08,3.295194e-08,3.726874e-08,4.335531e-08,5.274782e-08,5.599932e-08,7.111404e-08,7.243642e-08,8.891044e-08,9.682264e-08,1.095754e-07,1.263208e-07,1.332678e-07,1.601156e-07,1.612566e-07,1.902142e-07,2.018584e-07,2.236256e-07,2.482537e-07,2.603788e-07,3.004703e-07,3.438664e-07,3.584417e-07,3.905050e-07,4.220160e-07,4.402986e-07,4.909662e-07,4.931366e-07,5.488891e-07,5.650024e-07,6.074094e-07,6.437842e-07,6.685378e-07,7.269331e-07,7.321039e-07,7.979299e-07,8.140442e-07,8.658331e-07,9.046972e-07,9.356283e-07,9.984659e-07,1.007130e-06,1.080154e-06,1.094926e-06,1.154521e-06,1.193663e-06,1.230053e-06,1.294277e-06,1.306581e-06,1.383942e-06,1.396386e-06,1.461978e-06,1.499632e-06,1.540543e-06,1.603680e-06,1.619495e-06,1.698705e-06,1.708221e-06,1.778048e-06,1.812971e-06,1.857411e-06,1.917674e-06,1.936687e-06,2.015780e-06,2.022097e-06,2.094599e-06,2.126032e-06,2.173062e-06,2.229293e-06,2.251095e-06,2.328629e-06,2.331719e-06,2.405603e-06,2.433166e-06,2.481962e-06,2.533509e-06,2.557656e-06,2.632641e-06,2.706878e-06,2.730470e-06,2.780333e-06,2.826919e-06,2.852975e-06,2.921922e-06,2.924777e-06,2.995718e-06,3.015425e-06,3.065778e-06,3.107384e-06,3.134940e-06,3.197765e-06,3.203192e-06,3.270521e-06,3.286542e-06,3.336919e-06,3.373693e-06,3.402380e-06,3.459207e-06,3.466899e-06,3.530473e-06,3.543074e-06,3.593101e-06,3.625293e-06,3.654781e-06,3.705863e-06,3.715517e-06,3.775310e-06,3.784789e-06,3.834163e-06,3.862080e-06,3.892081e-06,3.937746e-06,3.949070e-06,4.005134e-06,4.011800e-06,4.060281e-06,4.084257e-06,4.114518e-06,4.155133e-06,4.167852e-06,4.220291e-06,4.224448e-06,4.271845e-06,4.292220e-06,4.322522e-06,4.358471e-06,4.372331e-06,4.421282e-06,4.423222e-06,4.469385e-06,4.486496e-06,4.516649e-06,4.548315e-06,4.563085e-06,4.608703e-06,4.667684e-06,4.725282e-06,4.781522e-06,4.836427e-06,4.890024e-06,4.942336e-06,4.993388e-06,5.043205e-06,5.091811e-06,5.139231e-06,5.185488e-06,5.230607e-06,5.274611e-06,5.317525e-06,5.359370e-06,5.400171e-06,5.439950e-06,5.478729e-06,5.516531e-06,5.553376e-06,5.589288e-06,5.624285e-06,5.658391e-06,5.691624e-06
0.000000e+00,4.469865e-15,4.284848e-14,1.108569e-12,8.732901e-12,2.181641e-11,1.465112e-10,1.566132e-10,6.597854e-10,9.258364e-10,2.011227e-09,3.525804e-09,4.951001e-09,9.925642e-09,1.049353e-08,1.993373e-08,2.294866e-08,3.484818e-08,4.626886e-08,5.708075e-08,8.433255e-08,8.869308e-08,1.318713e-07,1.420890e-07,1.888101e-07,2.245606e-07,2.616133e-07,3.364591e-07,3.522298e-07,4.624252e-07,4.819812e-07,5.937721e-07,6.647435e-07,7.476478e-07,8.877692e-07,9.252331e-07,1.127511e-06,1.153484e-06,1.355269e-06,1.463714e-06,1.609098e-06,1.819697e-06,1.889398e-06,2.196388e-06,2.222103e-06,2.530116e-06,2.671073e-06,2.890469e-06,3.166272e-06,3.277193e-06,3.689901e-06,3.706943e-06,4.128095e-06,4.291972e-06,4.591178e-06,4.919946e-06,5.078469e-06,5.589217e-06,6.122614e-06,6.297946e-06,6.677806e-06,7.044159e-06,7.253906e-06,7.825781e-06,7.849997e-06,8.465147e-06,8.640676e-06,9.098412e-06,9.486672e-06,9.748844e-06,1.036159e-05,1.041549e-05,1.109742e-05,1.126325e-05,1.179368e-05,1.218950e-05,1.250336e-05,1.313824e-05,1.322554e-05,1.395933e-05,1.410740e-05,1.470385e-05,1.509496e-05,1.545825e-05,1.609896e-05,1.622169e-05,1.699335e-05,1.711752e-05,1.777244e-05,1.814881e-05,1.855818e-05,1.919107e-05,1.934983e-05,2.014667e-05,2.024260e-05,2.094798e-05,2.130179e-05,2.175308e-05,2.236709e-05,2.256132e-05,2.337206e-05,2.343701e-05,2.418468e-05,2.451013e-05,2.499860e-05,2.558511e-05,2.581325e-05,2.662807e-05,2.666066e-05,2.744254e-05,2.773557e-05,2.825615e-05,2.880868e-05,2.906843e-05,2.987889e-05,3.068711e-05,3.094519e-05,3.149264e-05,3.200659e-05,3.229509e-05,3.306217e-05,3.309405e-05,3.388917e-05,3.411107e-05,3.468009e-05,3.515248e-05,3.546647e-05,3.618565e-05,3.624799e-05,3.702434e-05,3.720986e-05,3.779524e-05,3.822446e-05,3.856042e-05,3.922883e-05,3.931961e-05,4.007258e-05,4.022240e-05,4.081909e-05,4.120465e-05,4.155892e-05,4.217508e-05,4.229188e-05,4.301777e-05,4.313325e-05,4.373642e-05,4.407875e-05,4.444766e-05,4.501121e-05,4.515134e-05,4.584730e-05,4.593030e-05,4.653543e-05,4.683569e-05,4.721560e-05,4.772713e-05,4.788770e-05,4.855162e-05,4.860437e-05,4.920727e-05,4.946720e-05,4.985457e-05,5.031542e-05,5.049345e-05,5.112384e-05,5.114888e-05,5.174568e-05,5.196744e-05,5.235893e-05,5.277100e-05,5.296353e-05,5.355945e-05,5.433274e-05,5.509081e-05,5.583364e-05,5.656121e-05,5.727354e-05,5.797064e-05,5.865255e-05,5.931932e-05,5.997103e-05,6.060774e-05,6.122956e-05,6.183657e-05,6.242888e-05,6.300663e-05,6.356994e-05,6.411895e-05,6.465380e-05,6.517465e-05,6.568166e-05,6.617498e-05,6.665480e-05,6.712128e-05,6.757462e-05,6.801498e-05
0.000000e+00,6.912727e-19,8.073207e-18,3.115955e-16,3.496048e-15,1.055650e-14,1.138591e-13,1.240165e-13,8.158353e-13,1.286819e-12,3.720548e-12,8.150482e-12,1.318131e-11,3.581853e-11,3.883232e-11,9.939508e-11,1.223986e-10,2.277652e-10,3.481281e-10,4.773579e-10,8.611005e-10,9.295786e-10,1.702200e-09,1.908624e-09,2.958327e-09,3.872402e-09,4.915537e-09,7.304821e-09,7.854680e-09,1.212773e-08,1.296277e-08,1.816407e-08,2.183467e-08,2.647457e-08,3.515667e-08,3.765309e-08,5.237496e-08,5.441467e-08,7.139252e-08,8.133060e-08,9.552760e-08,1.178333e-07,1.256616e-07,1.627225e-07,1.660152e-07,2.076711e-07,2.280778e-07,2.614848e-07,3.062695e-07,3.251416e-07,3.996030e-07,4.028195e-07,4.857976e-07,5.198712e-07,5.846053e-07,6.594186e-07,6.968423e-07,8.232480e-07,9.644727e-07,1.012887e-06,1.121068e-06,1.229566e-06,1.293479e-06,1.474182e-06,1.482038e-06,1.686958e-06,1.747284e-06,1.908337e-06,2.049059e-06,2.146150e-06,2.379336e-06,2.400259e-06,2.670408e-06,2.737593e-06,2.956235e-06,3.122976e-06,3.257274e-06,3.534326e-06,3.572962e-06,3.902651e-06,3.970206e-06,4.245612e-06,4.428935e-06,4.601049e-06,4.908632e-06,4.968105e-06,5.345872e-06,5.407247e-06,5.733405e-06,5.922603e-06,6.129726e-06,6.452439e-06,6.533836e-06,6.944724e-06,6.994438e-06,7.361377e-06,7.546269e-06,7.782782e-06,8.105613e-06,8.207940e-06,8.635870e-06,8.670195e-06,9.065613e-06,9.237809e-06,9.496240e-06,9.806334e-06,9.926854e-06,1.035660e-05,1.037375e-05,1.078464e-05,1.093818e-05,1.121022e-05,1.149783e-05,1.163260e-05,1.205109e-05,1.246504e-05,1.259646e-05,1.287388e-05,1.313259e-05,1.327704e-05,1.365828e-05,1.367403e-05,1.406440e-05,1.417245e-05,1.444773e-05,1.467419e-05,1.482365e-05,1.516269e-05,1.519186e-05,1.555205e-05,1.563727e-05,1.590398e-05,1.609737e-05,1.624744e-05,1.654255e-05,1.658227e-05,1.690831e-05,1.697246e-05,1.722547e-05,1.738684e-05,1.753364e-05,1.778554e-05,1.783279e-05,1.812288e-05,1.816845e-05,1.840390e-05,1.853557e-05,1.867587e-05,1.888695e-05,1.893882e-05,1.919281e-05,1.922269e-05,1.943789e-05,1.954293e-05,1.967416e-05,1.984789e-05,1.990171e-05,2.012064e-05,2.013779e-05,2.033108e-05,2.041290e-05,2.053315e-05,2.067353e-05,2.072698e-05,2.091272e-05,2.091998e-05,2.109052e-05,2.115261e-05,2.126052e-05,2.137176e-05,2.142290e-05,2.157780e-05,2.177111e-05,2.195207e-05,2.212107e-05,2.227850e-05,2.242476e-05,2.256022e-05,2.268528e-05,2.280032e-05,2.290572e-05,2.300185e-05,2.308908e-05,2.316777e-05,2.323827e-05,2.330093e-05,2.335607e-05,2.340404e-05,2.344514e-05,2.347969e-05,2.350799e-05,2.353033e-05,2.354700e-05,2.355826e-05,2.356440e-05,2.356565e-05
0.000000e+00,1.518405e-16,1.610573e-15,5.093804e-14,4.771198e-13,1.305413e-12,1.093805e-11,1.179304e-11,6.064954e-11,8.955454e-11,2.198201e-10,4.228692e-10,6.291751e-10,1.425226e-09,1.521854e-09,3.248791e-09,3.838775e-09,6.301715e-09,8.826119e-09,1.133073e-08,1.803199e-08,1.914766e-08,3.070600e-08,3.355799e-08,4.705570e-08,5.781198e-08,6.928292e-08,9.327459e-08,9.844944e-08,1.355437e-07,1.422752e-07,1.814486e-07,2.068408e-07,2.369252e-07,2.886290e-07,3.026084e-07,3.790093e-07,3.889175e-07,4.665219e-07,5.086246e-07,5.654307e-07,6.483397e-07,6.759195e-07,7.980792e-07,8.083569e-07,9.319164e-07,9.887077e-07,1.077361e-06,1.189193e-06,1.234275e-06,1.402459e-06,1.409417e-06,1.581662e-06,1.648817e-06,1.771589e-06,1.906696e-06,1.971906e-06,2.182249e-06,2.402230e-06,2.474593e-06,2.631442e-06,2.782790e-06,2.869467e-06,3.105864e-06,3.115876e-06,3.370235e-06,3.442821e-06,3.632111e-06,3.792664e-06,3.901071e-06,4.154401e-06,4.176686e-06,4.458533e-06,4.527058e-06,4.746198e-06,4.909679e-06,5.039274e-06,5.301341e-06,5.337364e-06,5.640083e-06,5.701149e-06,5.947056e-06,6.108243e-06,6.257920e-06,6.521796e-06,6.572325e-06,6.889929e-06,6.941021e-06,7.210408e-06,7.365165e-06,7.533445e-06,7.793513e-06,7.858738e-06,8.185996e-06,8.225386e-06,8.514939e-06,8.660138e-06,8.845299e-06,9.097162e-06,9.176820e-06,9.509255e-06,9.535882e-06,9.842369e-06,9.975755e-06,1.017594e-05,1.041627e-05,1.050975e-05,1.084359e-05,1.085695e-05,1.117728e-05,1.129733e-05,1.151062e-05,1.173701e-05,1.184344e-05,1.217557e-05,1.250685e-05,1.261266e-05,1.283713e-05,1.304792e-05,1.316627e-05,1.348103e-05,1.349412e-05,1.382057e-05,1.391170e-05,1.414548e-05,1.433964e-05,1.446874e-05,1.476460e-05,1.479026e-05,1.510991e-05,1.518634e-05,1.542761e-05,1.560464e-05,1.574327e-05,1.601929e-05,1.605680e-05,1.636812e-05,1.643011e-05,1.667716e-05,1.683693e-05,1.698384e-05,1.723960e-05,1.728812e-05,1.758991e-05,1.763797e-05,1.788918e-05,1.803191e-05,1.818586e-05,1.842132e-05,1.847992e-05,1.877130e-05,1.880608e-05,1.905997e-05,1.918611e-05,1.934589e-05,1.956133e-05,1.962903e-05,1.990935e-05,1.993166e-05,2.018684e-05,2.029704e-05,2.046147e-05,2.065741e-05,2.073321e-05,2.100205e-05,2.101275e-05,2.126798e-05,2.136300e-05,2.153098e-05,2.170814e-05,2.179104e-05,2.204815e-05,2.238301e-05,2.271271e-05,2.303726e-05,2.335664e-05,2.367087e-05,2.397996e-05,2.428393e-05,2.458279e-05,2.487657e-05,2.516529e-05,2.544900e-05,2.572771e-05,2.600147e-05,2.627031e-05,2.653428e-05,2.679342e-05,2.704778e-05,2.729740e-05,2.754233e-05,2.778262e-05,2.801832e-05,2.824949e-05,2.847617e-05,2.869844e-05
0.000000e+00,2.219051e-17,2.601317e-16,1.015665e-14,1.152594e-13,3.502502e-13,3.842009e-12,4.187688e-12,2.803311e-11,4.443191e-11,1.300726e-10,2.878978e-10,4.687977e-10,1.293993e-09,1.404774e-09,3.656817e-09,4.521299e-09,8.520853e-09,1.314513e-08,1.815587e-08,3.322464e-08,3.593646e-08,6.686532e-08,7.521060e-08,1.180315e-07,1.557255e-07,1.990911e-07,2.994720e-07,3.227400e-07,5.051434e-07,5.410597e-07,7.662876e-07,9.265080e-07,1.130221e-06,1.514199e-06,1.625162e-06,2.283459e-06,2.375116e-06,3.141391e-06,3.592280e-06,4.238825e-06,5.259386e-06,5.618716e-06,7.326500e-06,7.478693e-06,9.409370e-06,1.035832e-05,1.191548e-05,1.400908e-05,1.489311e-05,1.838976e-05,1.854108e-05,2.245131e-05,2.406021e-05,2.712119e-05,3.066482e-05,3.243954e-05,3.844254e-05,4.516173e-05,4.746759e-05,5.262349e-05,5.779856e-05,6.084860e-05,6.947669e-05,6.985189e-05,7.964205e-05,8.252479e-05,9.022150e-05,9.694667e-05,1.015864e-04,1.127272e-04,1.137266e-04,1.266262e-04,1.298328e-04,1.402634e-04,1.482125e-04,1.546111e-04,1.677992e-04,1.696370e-04,1.853044e-04,1.885113e-04,2.015725e-04,2.102547e-04,2.183969e-04,2.329246e-04,2.357301e-04,2.535222e-04,2.564081e-04,2.717212e-04,2.805857e-04,2.902738e-04,3.053338e-04,3.091254e-04,3.282213e-04,3.305266e-04,3.475065e-04,3.560379e-04,3.669265e-04,3.817427e-04,3.864275e-04,4.059572e-04,4.075192e-04,4.254642e-04,4.332496e-04,4.448993e-04,4.588215e-04,4.642152e-04,4.833667e-04,4.841288e-04,5.023111e-04,5.090726e-04,5.210082e-04,5.335616e-04,5.394203e-04,5.575125e-04,5.752528e-04,5.808506e-04,5.926119e-04,6.035093e-04,6.095632e-04,6.254307e-04,6.260829e-04,6.421500e-04,6.465651e-04,6.577460e-04,6.668708e-04,6.728550e-04,6.863137e-04,6.874637e-04,7.015611e-04,7.048674e-04,7.151386e-04,7.225123e-04,7.281895e-04,7.392352e-04,7.407094e-04,7.526960e-04,7.550292e-04,7.641484e-04,7.698928e-04,7.750676e-04,7.838296e-04,7.854562e-04,7.953183e-04,7.968476e-04,8.046590e-04,8.089593e-04,8.134850e-04,8.201802e-04,8.218038e-04,8.296241e-04,8.305295e-04,8.369553e-04,8.400286e-04,8.438075e-04,8.487017e-04,8.501919e-04,8.561196e-04,8.565745e-04,8.616027e-04,8.636743e-04,8.666537e-04,8.700298e-04,8.712850e-04,8.755097e-04,8.756704e-04,8.793409e-04,8.806264e-04,8.827919e-04,8.849282e-04,8.858760e-04,8.886066e-04,8.916922e-04,8.942157e-04,8.962071e-04,8.976960e-04,8.987116e-04,8.992822e-04,8.994353e-04,8.991977e-04,8.985953e-04,8.976530e-04,8.963947e-04,8.948435e-04,8.930213e-04,8.909493e-04,8.886474e-04,8.861348e-04,8.834295e-04,8.805488e-04,8.775089e-04,8.743252e-04,8.710122e-04,8.675835e-04,8.640520e-04,8.604298e-04
0.000000e+00,2.202004e-12,7.683293e-12,4.653790e-11,1.497700e-10,2.546476e-10,7.957542e-10,8.290109e-10,2.048114e-09,2.551261e-09,4.265218e-09,6.249979e-09,7.909884e-09,1.295848e-08,1.348926e-08,2.158169e-08,2.396668e-08,3.280943e-08,4.069692e-08,4.778467e-08,6.449699e-08,6.705128e-08,9.105588e-08,9.645781e-08,1.201498e-07,1.373822e-07,1.546021e-07,1.878306e-07,1.946119e-07,2.403158e-07,2.481629e-07,2.917936e-07,3.185638e-07,3.490726e-07,3.990600e-07,4.121316e-07,4.809053e-07,4.895376e-07,5.552890e-07,5.897605e-07,6.351440e-07,6.993906e-07,7.203023e-07,8.105718e-07,8.180079e-07,9.057414e-07,9.451311e-07,1.005585e-06,1.080235e-06,1.109867e-06,1.218345e-06,1.222768e-06,1.330771e-06,1.372164e-06,1.446899e-06,1.527854e-06,1.566482e-06,1.689279e-06,1.815052e-06,1.855890e-06,1.943569e-06,2.027156e-06,2.074606e-06,2.202572e-06,2.207947e-06,2.343382e-06,2.381652e-06,2.480712e-06,2.563940e-06,2.619746e-06,2.749004e-06,2.760300e-06,2.902200e-06,2.936438e-06,3.045281e-06,3.125863e-06,3.189385e-06,3.316926e-06,3.334365e-06,3.480077e-06,3.509296e-06,3.626389e-06,3.702666e-06,3.773175e-06,3.896754e-06,3.920315e-06,4.067698e-06,4.091295e-06,4.215217e-06,4.286045e-06,4.362773e-06,4.480781e-06,4.510271e-06,4.657625e-06,4.675294e-06,4.804751e-06,4.869395e-06,4.951572e-06,5.062907e-06,5.098016e-06,5.244013e-06,5.255671e-06,5.389500e-06,5.447539e-06,5.534419e-06,5.638376e-06,5.678713e-06,5.822330e-06,5.828060e-06,5.965222e-06,6.016477e-06,6.107345e-06,6.203528e-06,6.248657e-06,6.389118e-06,6.528693e-06,6.573165e-06,6.667350e-06,6.755593e-06,6.805057e-06,6.936335e-06,6.941786e-06,7.077511e-06,7.115331e-06,7.212209e-06,7.292526e-06,7.345858e-06,7.467872e-06,7.478438e-06,7.609932e-06,7.641327e-06,7.740323e-06,7.812855e-06,7.869596e-06,7.982423e-06,7.997740e-06,8.124741e-06,8.150004e-06,8.250591e-06,8.315574e-06,8.375280e-06,8.479115e-06,8.498800e-06,8.621145e-06,8.640611e-06,8.742310e-06,8.800048e-06,8.862290e-06,8.957419e-06,8.981082e-06,9.098684e-06,9.112716e-06,9.215093e-06,9.265935e-06,9.330309e-06,9.417075e-06,9.444332e-06,9.557162e-06,9.566137e-06,9.668801e-06,9.713124e-06,9.779251e-06,9.858040e-06,9.888514e-06,9.996594e-06,1.000089e-05,1.010349e-05,1.014169e-05,1.020922e-05,1.028044e-05,1.031377e-05,1.041715e-05,1.055185e-05,1.068453e-05,1.081522e-05,1.094393e-05,1.107067e-05,1.119547e-05,1.131834e-05,1.143929e-05,1.155836e-05,1.167555e-05,1.179089e-05,1.190440e-05,1.201610e-05,1.212601e-05,1.223414e-05,1.234053e-05,1.244519e-05,1.254815e-05,1.264942e-05,1.274903e-05,1.284700e-05,1.294335e-05,1.303811e-05,1.313129e-05
0.000000e+00,5.571119e-17,6.501461e-16,2.510279e-14,2.819586e-13,8.520675e-13,9.216017e-12,1.003956e-11,6.630506e-11,1.047159e-10,3.038517e-10,6.678641e-10,1.082688e-09,2.959768e-09,3.210581e-09,8.278103e-09,1.021293e-08,1.912169e-08,2.936555e-08,4.042156e-08,7.349845e-08,7.943130e-08,1.468233e-07,1.649420e-07,2.576181e-07,3.388950e-07,4.321456e-07,6.472340e-07,6.969703e-07,1.085706e-06,1.162050e-06,1.639645e-06,1.978393e-06,2.408132e-06,3.215760e-06,3.448657e-06,4.826624e-06,5.018040e-06,6.614813e-06,7.551800e-06,8.892537e-06,1.100299e-05,1.174454e-05,1.525968e-05,1.557227e-05,1.952944e-05,2.146935e-05,2.464630e-05,2.890659e-05,3.070208e-05,3.778631e-05,3.809229e-05,4.598453e-05,4.922421e-05,5.537681e-05,6.248327e-05,6.603633e-05,7.802806e-05,9.140776e-05,9.599015e-05,1.062210e-04,1.164704e-04,1.225026e-04,1.395363e-04,1.402760e-04,1.595530e-04,1.652204e-04,1.803338e-04,1.935198e-04,2.026069e-04,2.243968e-04,2.263496e-04,2.515280e-04,2.577798e-04,2.780982e-04,2.935656e-04,3.060061e-04,3.316220e-04,3.351890e-04,3.655760e-04,3.717912e-04,3.970889e-04,4.138927e-04,4.296432e-04,4.577278e-04,4.631488e-04,4.975116e-04,5.030826e-04,5.326336e-04,5.497324e-04,5.684145e-04,5.974451e-04,6.047522e-04,6.415440e-04,6.459846e-04,6.786868e-04,6.951145e-04,7.160787e-04,7.446010e-04,7.536189e-04,7.912089e-04,7.942153e-04,8.287527e-04,8.437364e-04,8.661575e-04,8.929528e-04,9.033343e-04,9.401978e-04,9.416647e-04,9.766673e-04,9.896851e-04,1.012667e-03,1.036841e-03,1.048124e-03,1.082973e-03,1.117152e-03,1.127939e-03,1.150606e-03,1.171610e-03,1.183281e-03,1.213875e-03,1.215133e-03,1.246119e-03,1.254636e-03,1.276205e-03,1.293810e-03,1.305357e-03,1.331331e-03,1.333551e-03,1.360762e-03,1.367145e-03,1.386974e-03,1.401210e-03,1.412172e-03,1.433500e-03,1.436347e-03,1.459492e-03,1.463997e-03,1.481605e-03,1.492696e-03,1.502687e-03,1.519601e-03,1.522741e-03,1.541774e-03,1.544726e-03,1.559796e-03,1.568090e-03,1.576817e-03,1.589723e-03,1.592852e-03,1.607917e-03,1.609660e-03,1.622028e-03,1.627940e-03,1.635205e-03,1.644608e-03,1.647470e-03,1.658842e-03,1.659714e-03,1.669346e-03,1.673309e-03,1.679004e-03,1.685449e-03,1.687843e-03,1.695885e-03,1.696191e-03,1.703158e-03,1.705593e-03,1.709687e-03,1.713715e-03,1.715499e-03,1.720618e-03,1.726361e-03,1.731005e-03,1.734610e-03,1.737235e-03,1.738936e-03,1.739772e-03,1.739796e-03,1.739064e-03,1.737626e-03,1.735532e-03,1.732831e-03,1.729570e-03,1.725792e-03,1.721539e-03,1.716853e-03,1.711771e-03,1.706331e-03,1.700566e-03,1.694509e-03,1.688191e-03,1.681641e-03,1.674887e-03,1.667953e-03,1.660865e-03
0.000000e+00,3.840616e-17,4.515188e-16,1.770424e-14,2.017011e-13,6.143574e-13,6.784423e-12,7.397037e-12,4.991215e-11,7.930156e-11,2.337041e-10,5.204211e-10,8.510995e-10,2.374855e-09,2.580760e-09,6.808723e-09,8.447453e-09,1.610487e-08,2.507135e-08,3.488687e-08,6.484720e-08,7.029440e-08,1.332744e-07,1.504842e-07,2.398469e-07,3.196561e-07,4.124854e-07,6.304869e-07,6.815212e-07,1.086473e-06,1.167055e-06,1.677199e-06,2.044229e-06,2.514799e-06,3.411220e-06,3.672185e-06,5.234302e-06,5.453430e-06,7.297958e-06,8.392331e-06,9.971296e-06,1.248339e-05,1.337288e-05,1.763047e-05,1.801207e-05,2.287948e-05,2.528819e-05,2.926126e-05,3.463903e-05,3.692111e-05,4.600624e-05,4.640138e-05,5.666361e-05,6.091310e-05,6.903775e-05,7.850446e-05,8.326864e-05,9.948961e-05,1.178255e-04,1.241586e-04,1.383905e-04,1.527699e-04,1.612873e-04,1.855445e-04,1.866047e-04,2.144171e-04,2.226601e-04,2.447834e-04,2.642474e-04,2.777461e-04,3.103874e-04,3.133310e-04,3.515468e-04,3.611095e-04,3.923851e-04,4.163915e-04,4.358209e-04,4.761603e-04,4.818125e-04,5.303023e-04,5.402939e-04,5.812175e-04,6.086236e-04,6.344710e-04,6.809380e-04,6.899626e-04,7.475793e-04,7.569871e-04,8.071976e-04,8.364864e-04,8.686837e-04,9.191219e-04,9.318951e-04,9.966825e-04,1.004556e-03,1.062890e-03,1.092430e-03,1.130357e-03,1.182374e-03,1.198921e-03,1.268413e-03,1.274008e-03,1.338668e-03,1.366946e-03,1.409518e-03,1.460804e-03,1.480795e-03,1.552336e-03,1.555201e-03,1.623979e-03,1.649765e-03,1.695565e-03,1.744133e-03,1.766941e-03,1.837958e-03,1.908473e-03,1.930909e-03,1.978348e-03,2.022673e-03,2.047455e-03,2.112958e-03,2.115668e-03,2.182872e-03,2.201493e-03,2.248958e-03,2.288030e-03,2.313823e-03,2.372342e-03,2.377375e-03,2.439527e-03,2.454226e-03,2.500200e-03,2.533505e-03,2.559324e-03,2.610020e-03,2.616834e-03,2.672676e-03,2.683639e-03,2.726799e-03,2.754250e-03,2.779162e-03,2.821761e-03,2.829730e-03,2.878474e-03,2.886102e-03,2.925371e-03,2.947221e-03,2.970405e-03,3.005083e-03,3.013564e-03,3.054844e-03,3.059671e-03,3.094242e-03,3.110983e-03,3.131765e-03,3.159032e-03,3.167420e-03,3.201220e-03,3.203844e-03,3.233182e-03,3.245456e-03,3.263326e-03,3.283918e-03,3.291676e-03,3.318259e-03,3.319286e-03,3.343103e-03,3.351628e-03,3.366241e-03,3.381017e-03,3.387706e-03,3.407535e-03,3.431265e-03,3.452300e-03,3.470732e-03,3.486659e-03,3.500180e-03,3.511395e-03,3.520405e-03,3.527312e-03,3.532218e-03,3.535224e-03,3.536429e-03,3.535931e-03,3.533828e-03,3.530214e-03,3.525181e-03,3.518821e-03,3.511219e-03,3.502462e-03,3.492632e-03,3.481806e-03,3.470063e-03,3.457474e-03,3.444111e-03,3.430040e-03
0.000000e+00,1.140300e-16,1.330248e-15,5.130180e-14,5.756593e-13,1.738820e-12,1.879300e-11,2.047205e-11,1.352338e-10,2.136339e-10,6.206381e-10,1.366331e-09,2.218062e-09,6.089379e-09,6.608313e-09,1.715012e-08,2.119746e-08,3.994576e-08,6.167484e-08,8.527827e-08,1.565539e-07,1.694191e-07,3.167315e-07,3.566210e-07,5.619157e-07,7.432103e-07,9.521892e-07,1.436780e-06,1.549190e-06,2.430408e-06,2.603833e-06,3.690016e-06,4.460993e-06,5.439011e-06,7.275559e-06,7.804641e-06,1.092916e-05,1.136235e-05,1.496793e-05,1.707710e-05,2.008703e-05,2.480691e-05,2.646042e-05,3.426677e-05,3.495858e-05,4.368610e-05,4.794550e-05,5.489645e-05,6.417409e-05,6.807040e-05,8.337191e-05,8.403043e-05,1.009533e-04,1.078677e-04,1.209522e-04,1.359950e-04,1.434899e-04,1.686683e-04,1.965691e-04,2.060827e-04,2.272522e-04,2.483678e-04,2.607551e-04,2.955844e-04,2.970923e-04,3.362554e-04,3.477239e-04,3.782136e-04,4.047090e-04,4.229140e-04,4.663973e-04,4.702830e-04,5.202271e-04,5.325848e-04,5.726347e-04,6.030118e-04,6.273775e-04,6.773694e-04,6.843122e-04,7.432825e-04,7.553063e-04,8.041207e-04,8.364363e-04,8.666498e-04,9.203462e-04,9.306854e-04,9.960374e-04,1.006603e-03,1.062512e-03,1.094761e-03,1.129913e-03,1.184369e-03,1.198044e-03,1.266710e-03,1.274977e-03,1.335719e-03,1.366142e-03,1.404880e-03,1.457431e-03,1.474010e-03,1.542931e-03,1.548430e-03,1.611471e-03,1.638744e-03,1.679468e-03,1.728001e-03,1.746765e-03,1.813217e-03,1.815855e-03,1.878685e-03,1.901988e-03,1.943043e-03,1.986112e-03,2.006173e-03,2.067965e-03,2.128323e-03,2.147320e-03,2.187158e-03,2.223976e-03,2.244391e-03,2.297763e-03,2.299953e-03,2.353784e-03,2.368539e-03,2.405834e-03,2.436190e-03,2.456059e-03,2.500627e-03,2.504427e-03,2.550912e-03,2.561786e-03,2.595494e-03,2.619626e-03,2.638164e-03,2.674127e-03,2.678916e-03,2.717753e-03,2.725291e-03,2.754680e-03,2.773133e-03,2.789712e-03,2.817687e-03,2.822866e-03,2.854164e-03,2.859002e-03,2.883633e-03,2.897136e-03,2.911301e-03,2.932163e-03,2.937204e-03,2.961376e-03,2.964162e-03,2.983856e-03,2.993223e-03,3.004687e-03,3.019440e-03,3.023910e-03,3.041570e-03,3.042916e-03,3.057712e-03,3.063755e-03,3.072385e-03,3.082065e-03,3.085635e-03,3.097510e-03,3.097957e-03,3.108060e-03,3.111542e-03,3.117332e-03,3.122933e-03,3.125376e-03,3.132240e-03,3.139575e-03,3.145048e-03,3.148766e-03,3.150834e-03,3.151355e-03,3.150429e-03,3.148151e-03,3.144616e-03,3.139913e-03,3.134129e-03,3.127345e-03,3.119641e-03,3.111091e-03,3.101768e-03,3.091740e-03,3.081070e-03,3.069820e-03,3.058047e-03,3.045807e-03,3.033149e-03,3.020122e-03,3.006770e-03,2.993137e-03,2.979261e-03
0.000000e+00,9.514338e-19,1.092823e-17,4.072814e-16,4.423917e-15,1.311883e-14,1.349126e-13,1.466593e-13,9.188876e-13,1.429925e-12,3.994395e-12,8.505556e-12,1.349983e-11,3.515013e-11,3.796751e-11,9.284153e-11,1.130932e-10,2.033842e-10,3.032112e-10,4.077614e-10,7.077549e-10,7.600623e-10,1.333018e-09,1.481935e-09,2.220203e-09,2.843295e-09,3.537555e-09,5.077549e-09,5.424029e-09,8.041308e-09,8.539841e-09,1.157247e-08,1.365073e-08,1.621959e-08,2.088667e-08,2.220040e-08,2.974407e-08,3.076549e-08,3.908630e-08,4.382781e-08,5.046403e-08,6.061590e-08,6.410990e-08,8.024691e-08,8.165185e-08,9.908321e-08,1.074165e-07,1.208075e-07,1.383309e-07,1.455849e-07,1.735538e-07,1.747406e-07,2.048232e-07,2.169042e-07,2.394712e-07,2.649865e-07,2.775438e-07,3.190552e-07,3.639879e-07,3.790820e-07,4.122944e-07,4.449471e-07,4.638987e-07,5.164467e-07,5.186985e-07,5.765678e-07,5.933018e-07,6.373599e-07,6.751703e-07,7.009102e-07,7.616584e-07,7.670392e-07,8.355557e-07,8.523328e-07,9.062597e-07,9.467328e-07,9.789452e-07,1.044382e-06,1.053403e-06,1.129423e-06,1.144796e-06,1.206797e-06,1.247498e-06,1.285318e-06,1.352017e-06,1.364788e-06,1.445011e-06,1.457904e-06,1.525802e-06,1.564731e-06,1.606984e-06,1.672096e-06,1.688387e-06,1.769853e-06,1.779626e-06,1.851234e-06,1.886979e-06,1.932393e-06,1.993846e-06,2.013201e-06,2.093541e-06,2.099945e-06,2.173306e-06,2.205029e-06,2.252398e-06,2.308877e-06,2.330728e-06,2.408218e-06,2.411299e-06,2.484795e-06,2.512127e-06,2.560397e-06,2.611221e-06,2.634968e-06,2.708460e-06,2.780830e-06,2.803746e-06,2.852043e-06,2.896997e-06,2.922067e-06,2.988148e-06,2.990877e-06,3.058452e-06,3.077149e-06,3.124776e-06,3.163964e-06,3.189835e-06,3.248565e-06,3.253621e-06,3.316127e-06,3.330937e-06,3.377349e-06,3.411073e-06,3.437288e-06,3.488974e-06,3.495945e-06,3.553323e-06,3.564646e-06,3.609428e-06,3.638102e-06,3.664267e-06,3.709360e-06,3.717849e-06,3.770183e-06,3.778441e-06,3.821280e-06,3.845371e-06,3.871153e-06,3.910179e-06,3.919815e-06,3.967278e-06,3.972894e-06,4.013558e-06,4.033549e-06,4.058669e-06,4.092181e-06,4.102626e-06,4.145446e-06,4.148823e-06,4.187146e-06,4.203515e-06,4.227740e-06,4.256294e-06,4.267247e-06,4.305683e-06,4.307198e-06,4.343065e-06,4.356268e-06,4.379411e-06,4.403543e-06,4.414738e-06,4.449063e-06,4.492867e-06,4.534997e-06,4.575492e-06,4.614392e-06,4.651736e-06,4.687563e-06,4.721913e-06,4.754823e-06,4.786333e-06,4.816478e-06,4.845297e-06,4.872825e-06,4.899099e-06,4.924153e-06,4.948023e-06,4.970742e-06,4.992344e-06,5.012862e-06,5.032328e-06,5.050774e-06,5.068230e-06,5.084727e-06,5.100295e-06,5.114962e-06
0.000000e+00,1.890909e-12,5.721285e-12,2.959271e-11,8.786003e-11,1.446016e-10,4.240452e-10,4.408177e-10,1.040515e-09,1.282530e-09,2.093543e-09,3.016031e-09,3.778480e-09,6.063794e-09,6.301733e-09,9.886216e-09,1.092867e-08,1.474407e-08,1.808667e-08,2.104642e-08,2.788201e-08,2.891092e-08,3.840747e-08,4.050609e-08,4.956944e-08,5.603475e-08,6.240287e-08,7.446394e-08,7.689238e-08,9.300484e-08,9.573040e-08,1.106917e-07,1.197230e-07,1.298913e-07,1.462911e-07,1.505302e-07,1.725257e-07,1.752521e-07,1.957876e-07,2.063995e-07,2.202202e-07,2.395112e-07,2.457246e-07,2.722002e-07,2.743572e-07,2.995468e-07,3.107071e-07,3.276659e-07,3.483362e-07,3.564620e-07,3.858438e-07,3.870300e-07,4.157245e-07,4.265879e-07,4.460229e-07,4.668255e-07,4.766632e-07,5.075755e-07,5.386957e-07,5.486883e-07,5.699652e-07,5.900314e-07,6.013310e-07,6.314882e-07,6.327451e-07,6.641645e-07,6.729576e-07,6.955508e-07,7.143522e-07,7.268697e-07,7.555974e-07,7.580908e-07,7.891875e-07,7.966295e-07,8.201360e-07,8.373947e-07,8.509158e-07,8.778481e-07,8.815089e-07,9.118994e-07,9.179519e-07,9.420738e-07,9.576751e-07,9.720204e-07,9.969921e-07,1.001729e-06,1.031192e-06,1.035882e-06,1.060401e-06,1.074329e-06,1.089350e-06,1.112320e-06,1.118035e-06,1.146452e-06,1.149843e-06,1.174596e-06,1.186893e-06,1.202467e-06,1.223464e-06,1.230062e-06,1.257379e-06,1.259552e-06,1.284418e-06,1.295156e-06,1.311180e-06,1.330276e-06,1.337663e-06,1.363869e-06,1.364911e-06,1.389798e-06,1.399065e-06,1.415451e-06,1.432739e-06,1.440830e-06,1.465937e-06,1.490773e-06,1.498663e-06,1.515340e-06,1.530922e-06,1.539640e-06,1.562719e-06,1.563675e-06,1.587449e-06,1.594059e-06,1.610962e-06,1.624947e-06,1.634219e-06,1.655390e-06,1.657221e-06,1.679971e-06,1.685394e-06,1.702472e-06,1.714965e-06,1.724727e-06,1.744110e-06,1.746738e-06,1.768509e-06,1.772835e-06,1.790042e-06,1.801147e-06,1.811341e-06,1.829052e-06,1.832408e-06,1.853246e-06,1.856559e-06,1.873858e-06,1.883672e-06,1.894247e-06,1.910400e-06,1.914416e-06,1.934368e-06,1.936748e-06,1.954107e-06,1.962724e-06,1.973634e-06,1.988335e-06,1.992953e-06,2.012066e-06,2.013586e-06,2.030977e-06,2.038485e-06,2.049688e-06,2.063039e-06,2.068203e-06,2.086524e-06,2.087253e-06,2.104653e-06,2.111134e-06,2.122594e-06,2.134688e-06,2.140350e-06,2.157922e-06,2.180842e-06,2.203453e-06,2.225763e-06,2.247776e-06,2.269498e-06,2.290936e-06,2.312094e-06,2.332978e-06,2.353594e-06,2.373946e-06,2.394040e-06,2.413882e-06,2.433475e-06,2.452825e-06,2.471936e-06,2.490813e-06,2.509462e-06,2.527885e-06,2.546088e-06,2.564075e-06,2.581850e-06,2.599417e-06,2.616780e-06,2.633943e-06
0.000000e+00,8.106476e-15,7.270727e-14,1.654225e-12,1.173169e-11,2.780001e-11,1.653953e-10,1.760094e-10,6.715372e-10,9.202181e-10,1.893612e-09,3.194296e-09,4.384683e-09,8.406316e-09,8.856792e-09,1.620096e-08,1.850689e-08,2.749790e-08,3.601782e-08,4.402084e-08,6.402737e-08,6.721346e-08,9.862663e-08,1.060340e-07,1.398183e-07,1.655937e-07,1.922495e-07,2.459290e-07,2.572129e-07,3.358064e-07,3.497094e-07,4.289376e-07,4.790263e-07,5.373418e-07,6.354573e-07,6.616007e-07,8.021575e-07,8.201358e-07,9.593281e-07,1.033801e-06,1.133310e-06,1.276836e-06,1.324189e-06,1.531949e-06,1.549296e-06,1.756477e-06,1.850942e-06,1.997575e-06,2.181272e-06,2.254965e-06,2.528299e-06,2.539558e-06,2.817171e-06,2.924882e-06,3.121122e-06,3.336167e-06,3.439650e-06,3.772216e-06,4.118257e-06,4.231740e-06,4.477184e-06,4.713383e-06,4.848396e-06,5.215746e-06,5.231278e-06,5.625213e-06,5.737410e-06,6.029579e-06,6.276948e-06,6.443758e-06,6.832940e-06,6.867134e-06,7.299101e-06,7.403984e-06,7.739059e-06,7.988706e-06,8.186419e-06,8.585763e-06,8.640607e-06,9.101058e-06,9.193852e-06,9.567224e-06,9.811711e-06,1.003857e-05,1.043812e-05,1.051458e-05,1.099474e-05,1.107192e-05,1.147857e-05,1.171198e-05,1.196560e-05,1.235722e-05,1.245537e-05,1.294744e-05,1.300663e-05,1.344139e-05,1.365922e-05,1.393680e-05,1.431406e-05,1.443329e-05,1.493047e-05,1.497027e-05,1.542799e-05,1.562701e-05,1.592549e-05,1.628349e-05,1.642263e-05,1.691911e-05,1.693895e-05,1.741461e-05,1.759270e-05,1.790884e-05,1.824405e-05,1.840153e-05,1.889240e-05,1.938120e-05,1.953714e-05,1.986770e-05,2.017774e-05,2.035165e-05,2.081366e-05,2.083285e-05,2.131109e-05,2.144443e-05,2.178616e-05,2.206961e-05,2.225789e-05,2.268877e-05,2.272610e-05,2.319062e-05,2.330154e-05,2.365130e-05,2.390755e-05,2.410800e-05,2.450648e-05,2.456057e-05,2.500888e-05,2.509802e-05,2.545282e-05,2.568191e-05,2.589228e-05,2.625788e-05,2.632714e-05,2.675732e-05,2.682571e-05,2.718272e-05,2.738519e-05,2.760326e-05,2.793614e-05,2.801886e-05,2.842946e-05,2.847839e-05,2.883499e-05,2.901180e-05,2.923540e-05,2.953624e-05,2.963062e-05,3.002063e-05,3.005160e-05,3.040537e-05,3.055779e-05,3.078481e-05,3.105472e-05,3.115893e-05,3.152769e-05,3.154233e-05,3.189107e-05,3.202057e-05,3.224906e-05,3.248941e-05,3.260165e-05,3.294882e-05,3.339878e-05,3.383930e-05,3.427037e-05,3.469203e-05,3.510429e-05,3.550720e-05,3.590079e-05,3.628511e-05,3.666022e-05,3.702619e-05,3.738308e-05,3.773097e-05,3.806994e-05,3.840008e-05,3.872146e-05,3.903420e-05,3.933837e-05,3.963409e-05,3.992146e-05,4.020058e-05,4.047156e-05,4.073451e-05,4.098954e-05,4.123677e-05
0.000000e+00,1.131716e-16,1.264997e-15,4.458503e-14,4.603220e-13,1.327794e-12,1.272295e-11,1.379144e-11,8.069946e-11,1.233191e-10,3.294258e-10,6.773793e-10,1.051615e-09,2.612060e-09,2.810576e-09,6.571538e-09,7.926623e-09,1.384903e-08,2.025381e-08,2.686022e-08,4.545788e-08,4.866099e-08,8.323085e-08,9.209326e-08,1.354762e-07,1.715071e-07,2.111416e-07,2.974764e-07,3.166401e-07,4.588335e-07,4.854614e-07,6.447942e-07,7.516789e-07,8.815755e-07,1.112194e-06,1.176009e-06,1.534538e-06,1.582156e-06,1.963090e-06,2.175229e-06,2.466980e-06,2.903206e-06,3.050852e-06,3.718632e-06,3.775780e-06,4.473517e-06,4.800436e-06,5.317968e-06,5.982437e-06,6.253725e-06,7.281826e-06,7.324878e-06,8.402641e-06,8.828799e-06,9.615910e-06,1.049333e-05,1.092079e-05,1.231589e-05,1.379936e-05,1.429236e-05,1.536889e-05,1.641733e-05,1.702181e-05,1.868430e-05,1.875514e-05,2.056559e-05,2.108587e-05,2.244968e-05,2.361396e-05,2.440374e-05,2.626001e-05,2.642397e-05,2.850646e-05,2.901509e-05,3.064726e-05,3.187009e-05,3.284237e-05,3.481582e-05,3.508779e-05,3.737956e-05,3.784313e-05,3.971374e-05,4.094298e-05,4.208645e-05,4.410652e-05,4.449389e-05,4.693235e-05,4.732514e-05,4.939821e-05,5.059051e-05,5.188793e-05,5.389461e-05,5.439812e-05,5.692547e-05,5.722975e-05,5.946680e-05,6.058863e-05,6.201906e-05,6.396425e-05,6.457928e-05,6.714466e-05,6.735003e-05,6.971249e-05,7.073972e-05,7.228018e-05,7.412744e-05,7.484527e-05,7.740540e-05,7.750767e-05,7.995835e-05,8.087523e-05,8.250197e-05,8.422528e-05,8.503427e-05,8.755332e-05,9.005733e-05,9.085515e-05,9.254458e-05,9.412689e-05,9.501348e-05,9.736494e-05,9.746250e-05,9.989024e-05,1.005660e-04,1.022954e-04,1.037270e-04,1.046766e-04,1.068453e-04,1.070328e-04,1.093630e-04,1.099182e-04,1.116660e-04,1.129435e-04,1.139410e-04,1.159191e-04,1.161871e-04,1.184035e-04,1.188431e-04,1.205895e-04,1.217140e-04,1.227444e-04,1.245302e-04,1.248678e-04,1.269589e-04,1.272904e-04,1.290173e-04,1.299937e-04,1.310427e-04,1.326389e-04,1.330346e-04,1.349926e-04,1.352253e-04,1.369167e-04,1.377524e-04,1.388063e-04,1.402194e-04,1.406615e-04,1.424821e-04,1.426262e-04,1.442678e-04,1.449724e-04,1.460187e-04,1.472578e-04,1.477348e-04,1.494159e-04,1.494824e-04,1.510622e-04,1.516463e-04,1.526737e-04,1.537496e-04,1.542504e-04,1.557925e-04,1.577753e-04,1.596984e-04,1.615623e-04,1.633674e-04,1.651143e-04,1.668036e-04,1.684360e-04,1.700122e-04,1.715328e-04,1.729988e-04,1.744109e-04,1.757700e-04,1.770769e-04,1.783325e-04,1.795377e-04,1.806935e-04,1.818008e-04,1.828605e-04,1.838736e-04,1.848410e-04,1.857638e-04,1.866430e-04,1.874794e-04,1.882741e-04
0.000000e+00,1.836830e-17,2.031203e-16,6.996876e-15,7.074130e-14,2.017360e-13,1.878475e-12,2.033943e-12,1.159661e-11,1.760754e-11,4.635301e-11,9.437201e-11,1.457185e-10,3.587668e-10,3.858272e-10,8.986429e-10,1.083672e-09,1.894077e-09,2.772674e-09,3.679947e-09,6.231808e-09,6.670342e-09,1.137325e-08,1.256871e-08,1.835526e-08,2.307837e-08,2.819015e-08,3.904339e-08,4.140378e-08,5.842724e-08,6.152688e-08,7.956580e-08,9.122812e-08,1.049857e-07,1.284290e-07,1.347176e-07,1.686714e-07,1.730215e-07,2.066586e-07,2.245850e-07,2.484162e-07,2.824823e-07,2.936314e-07,3.419626e-07,3.459532e-07,3.930574e-07,4.141905e-07,4.465661e-07,4.863972e-07,5.021518e-07,5.594972e-07,5.618234e-07,6.183091e-07,6.397880e-07,6.783199e-07,7.196881e-07,7.392888e-07,8.010009e-07,8.632660e-07,8.832798e-07,9.259172e-07,9.661483e-07,9.888084e-07,1.049292e-06,1.051813e-06,1.114820e-06,1.132450e-06,1.177736e-06,1.215407e-06,1.240478e-06,1.297987e-06,1.302976e-06,1.365171e-06,1.380046e-06,1.427009e-06,1.461466e-06,1.488447e-06,1.542151e-06,1.549447e-06,1.609976e-06,1.622022e-06,1.670006e-06,1.701017e-06,1.729514e-06,1.779082e-06,1.788480e-06,1.846885e-06,1.856177e-06,1.904715e-06,1.932265e-06,1.961957e-06,2.007321e-06,2.018601e-06,2.074638e-06,2.081321e-06,2.130060e-06,2.154249e-06,2.184860e-06,2.226090e-06,2.239035e-06,2.292579e-06,2.296836e-06,2.345490e-06,2.366477e-06,2.397765e-06,2.435009e-06,2.449403e-06,2.500403e-06,2.502430e-06,2.550764e-06,2.568738e-06,2.600488e-06,2.633935e-06,2.649574e-06,2.698024e-06,2.745839e-06,2.761006e-06,2.793022e-06,2.822889e-06,2.839575e-06,2.883676e-06,2.885501e-06,2.930803e-06,2.943376e-06,2.975484e-06,3.001996e-06,3.019548e-06,3.059544e-06,3.062998e-06,3.105839e-06,3.116030e-06,3.148074e-06,3.171463e-06,3.189708e-06,3.225853e-06,3.230746e-06,3.271192e-06,3.279210e-06,3.311051e-06,3.331547e-06,3.350328e-06,3.382875e-06,3.389028e-06,3.427157e-06,3.433204e-06,3.464718e-06,3.482548e-06,3.501719e-06,3.530919e-06,3.538164e-06,3.574058e-06,3.578329e-06,3.609407e-06,3.624790e-06,3.644218e-06,3.670316e-06,3.678494e-06,3.712242e-06,3.714920e-06,3.745468e-06,3.758614e-06,3.778178e-06,3.801412e-06,3.810376e-06,3.842069e-06,3.843327e-06,3.873263e-06,3.884371e-06,3.903963e-06,3.924560e-06,3.934175e-06,3.963904e-06,4.002419e-06,4.040116e-06,4.077010e-06,4.113112e-06,4.148437e-06,4.182997e-06,4.216805e-06,4.249874e-06,4.282216e-06,4.313844e-06,4.344771e-06,4.375008e-06,4.404569e-06,4.433465e-06,4.461709e-06,4.489311e-06,4.516284e-06,4.542640e-06,4.568390e-06,4.593545e-06,4.618116e-06,4.642115e-06,4.665552e-06,4.688438e-06
0.000000e+00,1.491241e-12,6.825293e-12,5.565677e-11,2.060668e-10,3.691174e-10,1.263853e-09,1.320384e-09,3.445840e-09,4.341151e-09,7.430788e-09,1.105338e-08,1.410418e-08,2.344312e-08,2.442790e-08,3.946019e-08,4.388934e-08,6.028127e-08,7.485454e-08,8.791325e-08,1.185972e-07,1.232768e-07,1.671813e-07,1.770504e-07,2.203245e-07,2.518090e-07,2.832919e-07,3.441244e-07,3.565542e-07,4.404653e-07,4.548967e-07,5.352616e-07,5.846704e-07,6.410653e-07,7.336457e-07,7.578893e-07,8.856450e-07,9.017026e-07,1.024152e-06,1.088437e-06,1.173151e-06,1.293206e-06,1.332311e-06,1.501247e-06,1.515172e-06,1.679526e-06,1.753349e-06,1.866680e-06,2.006651e-06,2.062217e-06,2.265628e-06,2.273921e-06,2.476392e-06,2.553967e-06,2.693989e-06,2.845592e-06,2.917899e-06,3.147608e-06,3.382616e-06,3.458858e-06,3.622434e-06,3.778221e-06,3.866587e-06,4.104628e-06,4.114619e-06,4.366091e-06,4.437062e-06,4.620583e-06,4.774561e-06,4.877694e-06,5.116221e-06,5.137042e-06,5.398264e-06,5.461197e-06,5.661015e-06,5.808701e-06,5.924969e-06,6.157999e-06,6.189818e-06,6.455272e-06,6.508411e-06,6.721056e-06,6.859309e-06,6.986914e-06,7.210112e-06,7.252601e-06,7.517893e-06,7.560288e-06,7.782574e-06,7.909345e-06,8.046445e-06,8.256834e-06,8.309321e-06,8.571026e-06,8.602345e-06,8.831399e-06,8.945502e-06,9.090288e-06,9.285964e-06,9.347553e-06,9.603062e-06,9.623423e-06,9.856695e-06,9.957597e-06,1.010834e-05,1.028823e-05,1.035789e-05,1.060526e-05,1.061511e-05,1.085035e-05,1.093801e-05,1.109309e-05,1.125677e-05,1.133340e-05,1.157121e-05,1.180647e-05,1.188120e-05,1.203912e-05,1.218662e-05,1.226911e-05,1.248735e-05,1.249639e-05,1.272093e-05,1.278330e-05,1.294269e-05,1.307440e-05,1.316164e-05,1.336057e-05,1.337776e-05,1.359101e-05,1.364177e-05,1.380139e-05,1.391795e-05,1.400888e-05,1.418907e-05,1.421347e-05,1.441514e-05,1.445512e-05,1.461389e-05,1.471608e-05,1.480971e-05,1.497194e-05,1.500261e-05,1.519259e-05,1.522271e-05,1.537964e-05,1.546839e-05,1.556378e-05,1.570899e-05,1.574501e-05,1.592334e-05,1.594454e-05,1.609878e-05,1.617506e-05,1.627135e-05,1.640058e-05,1.644105e-05,1.660791e-05,1.662113e-05,1.677193e-05,1.683675e-05,1.693314e-05,1.704749e-05,1.709156e-05,1.724721e-05,1.725337e-05,1.740009e-05,1.745446e-05,1.755025e-05,1.765081e-05,1.769770e-05,1.784246e-05,1.802947e-05,1.821190e-05,1.838980e-05,1.856323e-05,1.873226e-05,1.889695e-05,1.905736e-05,1.921355e-05,1.936558e-05,1.951353e-05,1.965746e-05,1.979743e-05,1.993352e-05,2.006577e-05,2.019427e-05,2.031908e-05,2.044026e-05,2.055787e-05,2.067200e-05,2.078269e-05,2.089001e-05,2.099404e-05,2.109482e-05,2.119244e-05
0.000000e+00,6.157465e-13,2.263144e-12,1.444560e-11,4.754732e-11,8.148426e-11,2.581201e-10,2.690244e-10,6.710140e-10,8.379543e-10,1.410259e-09,2.078996e-09,2.642475e-09,4.374402e-09,4.557725e-09,7.369620e-09,8.201730e-09,1.128812e-08,1.403446e-08,1.649300e-08,2.225056e-08,2.312574e-08,3.129500e-08,3.312097e-08,4.108438e-08,4.683702e-08,5.255776e-08,6.353171e-08,6.576224e-08,8.072958e-08,8.328929e-08,9.747679e-08,1.061490e-07,1.160066e-07,1.321070e-07,1.363080e-07,1.583570e-07,1.611187e-07,1.821172e-07,1.931021e-07,2.075418e-07,2.279430e-07,2.345740e-07,2.631491e-07,2.654997e-07,2.931960e-07,3.056099e-07,3.246384e-07,3.480962e-07,3.573963e-07,3.913878e-07,3.927720e-07,4.265297e-07,4.394463e-07,4.627387e-07,4.879285e-07,4.999327e-07,5.380311e-07,5.769554e-07,5.895731e-07,6.166300e-07,6.423819e-07,6.569825e-07,6.962943e-07,6.979435e-07,7.394476e-07,7.511574e-07,7.814324e-07,8.068295e-07,8.238394e-07,8.631795e-07,8.666137e-07,9.097037e-07,9.200868e-07,9.530611e-07,9.774413e-07,9.966411e-07,1.035142e-06,1.040402e-06,1.084304e-06,1.093098e-06,1.128312e-06,1.151227e-06,1.172392e-06,1.209452e-06,1.216513e-06,1.260646e-06,1.267706e-06,1.304764e-06,1.325928e-06,1.348842e-06,1.384061e-06,1.392858e-06,1.436791e-06,1.442056e-06,1.480620e-06,1.499868e-06,1.524328e-06,1.557455e-06,1.567898e-06,1.611314e-06,1.614780e-06,1.654562e-06,1.671811e-06,1.697629e-06,1.728518e-06,1.740502e-06,1.783171e-06,1.784873e-06,1.825624e-06,1.840853e-06,1.867852e-06,1.896435e-06,1.909847e-06,1.951599e-06,1.993102e-06,2.006329e-06,2.034348e-06,2.060607e-06,2.075331e-06,2.114421e-06,2.116045e-06,2.156484e-06,2.167758e-06,2.196645e-06,2.220605e-06,2.236521e-06,2.272953e-06,2.276110e-06,2.315407e-06,2.324794e-06,2.354408e-06,2.376119e-06,2.393112e-06,2.426922e-06,2.431514e-06,2.469613e-06,2.477196e-06,2.507407e-06,2.526938e-06,2.544892e-06,2.576141e-06,2.582069e-06,2.618934e-06,2.624803e-06,2.655487e-06,2.672921e-06,2.691727e-06,2.720493e-06,2.727653e-06,2.763264e-06,2.767516e-06,2.798559e-06,2.813989e-06,2.833539e-06,2.859912e-06,2.868202e-06,2.902550e-06,2.905284e-06,2.936581e-06,2.950105e-06,2.970296e-06,2.994376e-06,3.003696e-06,3.036780e-06,3.038097e-06,3.069549e-06,3.081269e-06,3.102004e-06,3.123894e-06,3.134146e-06,3.165974e-06,3.207511e-06,3.248506e-06,3.288963e-06,3.328883e-06,3.368270e-06,3.407127e-06,3.445457e-06,3.483263e-06,3.520549e-06,3.557318e-06,3.593575e-06,3.629323e-06,3.664566e-06,3.699308e-06,3.733553e-06,3.767306e-06,3.800571e-06,3.833352e-06,3.865653e-06,3.897480e-06,3.928837e-06,3.959728e-06,3.990158e-06,4.020131e-06
0.000000e+00,7.503502e-19,8.569632e-18,3.155412e-16,3.389012e-15,9.987547e-15,1.010610e-13,1.097876e-13,6.768249e-13,1.048614e-12,2.897052e-12,6.114286e-12,9.648662e-12,2.480454e-11,2.676396e-11,6.460514e-11,7.846457e-11,1.398408e-10,2.071701e-10,2.772884e-10,4.770237e-10,5.116862e-10,8.892593e-10,9.869074e-10,1.468943e-09,1.873733e-09,2.323101e-09,3.315127e-09,3.537575e-09,5.210911e-09,5.528413e-09,7.452661e-09,8.765006e-09,1.038080e-08,1.330014e-08,1.411839e-08,1.878972e-08,1.941884e-08,2.451615e-08,2.739988e-08,3.141216e-08,3.749975e-08,3.958164e-08,4.911473e-08,4.993862e-08,6.008539e-08,6.488937e-08,7.254971e-08,8.247055e-08,8.654493e-08,1.020893e-07,1.027433e-07,1.191823e-07,1.257119e-07,1.378058e-07,1.513269e-07,1.579252e-07,1.794914e-07,2.024425e-07,2.100677e-07,2.267057e-07,2.428854e-07,2.521995e-07,2.777496e-07,2.788358e-07,3.065215e-07,3.144485e-07,3.351605e-07,3.527610e-07,3.646554e-07,3.924627e-07,3.949085e-07,4.258237e-07,4.333314e-07,4.573071e-07,4.751520e-07,4.892679e-07,5.177193e-07,5.216193e-07,5.542790e-07,5.608410e-07,5.871693e-07,6.043391e-07,6.202177e-07,6.480513e-07,6.533570e-07,6.865252e-07,6.918309e-07,7.196654e-07,7.355475e-07,7.527260e-07,7.790854e-07,7.856600e-07,8.184253e-07,8.223439e-07,8.509842e-07,8.652359e-07,8.833031e-07,9.076868e-07,9.153527e-07,9.471068e-07,9.496337e-07,9.785429e-07,9.910239e-07,1.009642e-06,1.031814e-06,1.040386e-06,1.070762e-06,1.071970e-06,1.100759e-06,1.111462e-06,1.130365e-06,1.150271e-06,1.159574e-06,1.188380e-06,1.216777e-06,1.225777e-06,1.244762e-06,1.262456e-06,1.272334e-06,1.298413e-06,1.299491e-06,1.326234e-06,1.333647e-06,1.352562e-06,1.368161e-06,1.378478e-06,1.401958e-06,1.403984e-06,1.429081e-06,1.435045e-06,1.453774e-06,1.467427e-06,1.478066e-06,1.499113e-06,1.501960e-06,1.525461e-06,1.530114e-06,1.548573e-06,1.560439e-06,1.571301e-06,1.590099e-06,1.593649e-06,1.615624e-06,1.619105e-06,1.637229e-06,1.647470e-06,1.658470e-06,1.675205e-06,1.679353e-06,1.699882e-06,1.702322e-06,1.720063e-06,1.728834e-06,1.739902e-06,1.754754e-06,1.759404e-06,1.778574e-06,1.780094e-06,1.797419e-06,1.804867e-06,1.815943e-06,1.829084e-06,1.834151e-06,1.852050e-06,1.852759e-06,1.869644e-06,1.875905e-06,1.886939e-06,1.898532e-06,1.903941e-06,1.920653e-06,1.942281e-06,1.963426e-06,1.984100e-06,2.004315e-06,2.024082e-06,2.043411e-06,2.062314e-06,2.080801e-06,2.098882e-06,2.116567e-06,2.133866e-06,2.150789e-06,2.167346e-06,2.183544e-06,2.199395e-06,2.214905e-06,2.230084e-06,2.244940e-06,2.259482e-06,2.273717e-06,2.287652e-06,2.301297e-06,2.314657e-06,2.327740e-06
0.000000e+00,8.064951e-18,8.981301e-17,3.138344e-15,3.213241e-14,9.223927e-14,8.721214e-13,9.448226e-13,5.447455e-12,8.288596e-12,2.188901e-11,4.456061e-11,6.870213e-11,1.678206e-10,1.803036e-10,4.134349e-10,4.962675e-10,8.534544e-10,1.233305e-09,1.620089e-09,2.689938e-09,2.872030e-09,4.809422e-09,5.299669e-09,7.673041e-09,9.618720e-09,1.173921e-08,1.630492e-08,1.731040e-08,2.470244e-08,2.607532e-08,3.423014e-08,3.965091e-08,4.619307e-08,5.770077e-08,6.086325e-08,7.847553e-08,8.079627e-08,9.922104e-08,1.093805e-07,1.232438e-07,1.437537e-07,1.506397e-07,1.814579e-07,1.840716e-07,2.157034e-07,2.303546e-07,2.533408e-07,2.825014e-07,2.942990e-07,3.384757e-07,3.403079e-07,3.857421e-07,4.034861e-07,4.359483e-07,4.716830e-07,4.889271e-07,5.444987e-07,6.024745e-07,6.215029e-07,6.626607e-07,7.022495e-07,7.248616e-07,7.862886e-07,7.888819e-07,8.545292e-07,8.731764e-07,9.216162e-07,9.624839e-07,9.899619e-07,1.053803e-06,1.059393e-06,1.129745e-06,1.146749e-06,1.200862e-06,1.240966e-06,1.272597e-06,1.336127e-06,1.344814e-06,1.417386e-06,1.431932e-06,1.490195e-06,1.528114e-06,1.563134e-06,1.624429e-06,1.636102e-06,1.709009e-06,1.720663e-06,1.781771e-06,1.816623e-06,1.854313e-06,1.912140e-06,1.926564e-06,1.998464e-06,2.007066e-06,2.069956e-06,2.101270e-06,2.140989e-06,2.194638e-06,2.211517e-06,2.281499e-06,2.287073e-06,2.350899e-06,2.378489e-06,2.419684e-06,2.468812e-06,2.487825e-06,2.555295e-06,2.557979e-06,2.622071e-06,2.645937e-06,2.688134e-06,2.732640e-06,2.753466e-06,2.818050e-06,2.881873e-06,2.902134e-06,2.944925e-06,2.984867e-06,3.007194e-06,3.066228e-06,3.068672e-06,3.129352e-06,3.146199e-06,3.189229e-06,3.224768e-06,3.248298e-06,3.301926e-06,3.306556e-06,3.364000e-06,3.377666e-06,3.420629e-06,3.451984e-06,3.476441e-06,3.524882e-06,3.531438e-06,3.585619e-06,3.596358e-06,3.638986e-06,3.666416e-06,3.691542e-06,3.735062e-06,3.743287e-06,3.794226e-06,3.802302e-06,3.844362e-06,3.868144e-06,3.893699e-06,3.932596e-06,3.942241e-06,3.989993e-06,3.995670e-06,4.036959e-06,4.057376e-06,4.083144e-06,4.117727e-06,4.128555e-06,4.173197e-06,4.176735e-06,4.217076e-06,4.234415e-06,4.260198e-06,4.290780e-06,4.302569e-06,4.344196e-06,4.345846e-06,4.385086e-06,4.399627e-06,4.425244e-06,4.452138e-06,4.464679e-06,4.503398e-06,4.553420e-06,4.602223e-06,4.649823e-06,4.696237e-06,4.741482e-06,4.785576e-06,4.828535e-06,4.870378e-06,4.911122e-06,4.950783e-06,4.989381e-06,5.026931e-06,5.063453e-06,5.098962e-06,5.133476e-06,5.167012e-06,5.199588e-06,5.231221e-06,5.261926e-06,5.291721e-06,5.320623e-06,5.348648e-06,5.375811e-06,5.402130e-06
0.000000e+00,2.904748e-17,3.256132e-16,1.155001e-14,1.199467e-13,3.471054e-13,3.354325e-12,3.637303e-12,2.147085e-11,3.289128e-11,8.842821e-11,1.828203e-10,2.848689e-10,7.136754e-10,7.684923e-10,1.813658e-09,2.192395e-09,3.855398e-09,5.662324e-09,7.530892e-09,1.279991e-08,1.370754e-08,2.348786e-08,2.598886e-08,3.818778e-08,4.826366e-08,5.929179e-08,8.313222e-08,8.839326e-08,1.271286e-07,1.343291e-07,1.771138e-07,2.055587e-07,2.398874e-07,3.002695e-07,3.168637e-07,4.092973e-07,4.214809e-07,5.182571e-07,5.716660e-07,6.446108e-07,7.526861e-07,7.890177e-07,9.519285e-07,9.657695e-07,1.133591e-06,1.211524e-06,1.334059e-06,1.489978e-06,1.553210e-06,1.790756e-06,1.800635e-06,2.046268e-06,2.142546e-06,2.319189e-06,2.514386e-06,2.608858e-06,2.914526e-06,3.235377e-06,3.341114e-06,3.570539e-06,3.792137e-06,3.919108e-06,4.265485e-06,4.280154e-06,4.652738e-06,4.759000e-06,5.035919e-06,5.270526e-06,5.428766e-06,5.797936e-06,5.830365e-06,6.239822e-06,6.339164e-06,6.656272e-06,6.892225e-06,7.078878e-06,7.455226e-06,7.506838e-06,7.939384e-06,8.026379e-06,8.375786e-06,8.604006e-06,8.815347e-06,9.186539e-06,9.257411e-06,9.701355e-06,9.772521e-06,1.014659e-05,1.036061e-05,1.059258e-05,1.094955e-05,1.103879e-05,1.148474e-05,1.153822e-05,1.192999e-05,1.212556e-05,1.237410e-05,1.271063e-05,1.281669e-05,1.325739e-05,1.329256e-05,1.369587e-05,1.387056e-05,1.413180e-05,1.444393e-05,1.456489e-05,1.499489e-05,1.501202e-05,1.542154e-05,1.557426e-05,1.584461e-05,1.613015e-05,1.626390e-05,1.667921e-05,1.709038e-05,1.722105e-05,1.749724e-05,1.775531e-05,1.789966e-05,1.828168e-05,1.829751e-05,1.869066e-05,1.879989e-05,1.907902e-05,1.930970e-05,1.946250e-05,1.981091e-05,1.984101e-05,2.021448e-05,2.030336e-05,2.058286e-05,2.078691e-05,2.094609e-05,2.126144e-05,2.130413e-05,2.165694e-05,2.172688e-05,2.200450e-05,2.218315e-05,2.234679e-05,2.263022e-05,2.268378e-05,2.301547e-05,2.306805e-05,2.334187e-05,2.349665e-05,2.366296e-05,2.391602e-05,2.397876e-05,2.428928e-05,2.432619e-05,2.459453e-05,2.472718e-05,2.489454e-05,2.511905e-05,2.518932e-05,2.547891e-05,2.550185e-05,2.576333e-05,2.587565e-05,2.604261e-05,2.624054e-05,2.631680e-05,2.658592e-05,2.659658e-05,2.685002e-05,2.694388e-05,2.710915e-05,2.728253e-05,2.736333e-05,2.761263e-05,2.793429e-05,2.824762e-05,2.855274e-05,2.884977e-05,2.913883e-05,2.942004e-05,2.969354e-05,2.995943e-05,3.021787e-05,3.046897e-05,3.071287e-05,3.094969e-05,3.117958e-05,3.140266e-05,3.161907e-05,3.182893e-05,3.203237e-05,3.222953e-05,3.242054e-05,3.260553e-05,3.278461e-05,3.295792e-05,3.312559e-05,3.328774e-05
0.000000e+00,5.875595e-16,5.901868e-15,1.672666e-13,1.423920e-12,3.704245e-12,2.745513e-11,2.946143e-11,1.359440e-10,1.953942e-10,4.505261e-10,8.286391e-10,1.200754e-09,2.584397e-09,2.748941e-09,5.624564e-09,6.587128e-09,1.053129e-08,1.447353e-08,1.830054e-08,2.819206e-08,2.979548e-08,4.580722e-08,4.961163e-08,6.698501e-08,8.020601e-08,9.381210e-08,1.209553e-07,1.266147e-07,1.655861e-07,1.724010e-07,2.108126e-07,2.347461e-07,2.622949e-07,3.079412e-07,3.199649e-07,3.836980e-07,3.917458e-07,4.533232e-07,4.857722e-07,5.286313e-07,5.895197e-07,6.093827e-07,6.953143e-07,7.024043e-07,7.861456e-07,8.237850e-07,8.815852e-07,9.529880e-07,9.813351e-07,1.085096e-06,1.089326e-06,1.192570e-06,1.232113e-06,1.303465e-06,1.380682e-06,1.417496e-06,1.534387e-06,1.653872e-06,1.692613e-06,1.775698e-06,1.854782e-06,1.899622e-06,2.020350e-06,2.025415e-06,2.152859e-06,2.188812e-06,2.281750e-06,2.359697e-06,2.411893e-06,2.532574e-06,2.543106e-06,2.675220e-06,2.707043e-06,2.808073e-06,2.882738e-06,2.941517e-06,3.059324e-06,3.075410e-06,3.209622e-06,3.236492e-06,3.344032e-06,3.413964e-06,3.478524e-06,3.591483e-06,3.612993e-06,3.747339e-06,3.768817e-06,3.881473e-06,3.945755e-06,4.015307e-06,4.122105e-06,4.148763e-06,4.281767e-06,4.297693e-06,4.414251e-06,4.472363e-06,4.546152e-06,4.645971e-06,4.677412e-06,4.807977e-06,4.818391e-06,4.937798e-06,4.989508e-06,5.066829e-06,5.159218e-06,5.195027e-06,5.322355e-06,5.327429e-06,5.448776e-06,5.494059e-06,5.574259e-06,5.659036e-06,5.698774e-06,5.822293e-06,5.944794e-06,5.983775e-06,6.066254e-06,6.143432e-06,6.186652e-06,6.301219e-06,6.305971e-06,6.424196e-06,6.457101e-06,6.541311e-06,6.611043e-06,6.657306e-06,6.763020e-06,6.772168e-06,6.885888e-06,6.913010e-06,6.998458e-06,7.060992e-06,7.109872e-06,7.206955e-06,7.220123e-06,7.329208e-06,7.350885e-06,7.437123e-06,7.492776e-06,7.543866e-06,7.632623e-06,7.649435e-06,7.753830e-06,7.770424e-06,7.857050e-06,7.906179e-06,7.959097e-06,8.039891e-06,8.059973e-06,8.159679e-06,8.171565e-06,8.258218e-06,8.301207e-06,8.355595e-06,8.428825e-06,8.451812e-06,8.546875e-06,8.554430e-06,8.640788e-06,8.678032e-06,8.733556e-06,8.799644e-06,8.825186e-06,8.915684e-06,8.919280e-06,9.005055e-06,9.036955e-06,9.093308e-06,9.152683e-06,9.180448e-06,9.266483e-06,9.378370e-06,9.488363e-06,9.596481e-06,9.702743e-06,9.807168e-06,9.909776e-06,1.001059e-05,1.010963e-05,1.020691e-05,1.030246e-05,1.039630e-05,1.048844e-05,1.057892e-05,1.066776e-05,1.075496e-05,1.084057e-05,1.092459e-05,1.100706e-05,1.108799e-05,1.116740e-05,1.124532e-05,1.132177e-05,1.139677e-05,1.147033e-05
0.000000e+00,2.288613e-17,2.527852e-16,8.681065e-15,8.746570e-14,2.488371e-13,2.297769e-12,2.486884e-12,1.399539e-11,2.115238e-11,5.491289e-11,1.102231e-10,1.683600e-10,4.026121e-10,4.317671e-10,9.677828e-10,1.155417e-09,1.953552e-09,2.788285e-09,3.627588e-09,5.909644e-09,6.293540e-09,1.031971e-08,1.132481e-08,1.613266e-08,2.001664e-08,2.420330e-08,3.308856e-08,3.502543e-08,4.908859e-08,5.167067e-08,6.684905e-08,7.680667e-08,8.870336e-08,1.093499e-07,1.149677e-07,1.458652e-07,1.498912e-07,1.815208e-07,1.987275e-07,2.219636e-07,2.558682e-07,2.671341e-07,3.168955e-07,3.210691e-07,3.710465e-07,3.938808e-07,4.293343e-07,4.737008e-07,4.914680e-07,5.571301e-07,5.598253e-07,6.259873e-07,6.514926e-07,6.976995e-07,7.479211e-07,7.719272e-07,8.483376e-07,9.266096e-07,9.519993e-07,1.006437e-06,1.058209e-06,1.087531e-06,1.166324e-06,1.169623e-06,1.252465e-06,1.275763e-06,1.335827e-06,1.386007e-06,1.419502e-06,1.496599e-06,1.503303e-06,1.587061e-06,1.607139e-06,1.670624e-06,1.717284e-06,1.753860e-06,1.826741e-06,1.836648e-06,1.918886e-06,1.935259e-06,2.000482e-06,2.042631e-06,2.081355e-06,2.148681e-06,2.161438e-06,2.240671e-06,2.253265e-06,2.319001e-06,2.356267e-06,2.396386e-06,2.457589e-06,2.472789e-06,2.548177e-06,2.557155e-06,2.622526e-06,2.654904e-06,2.695813e-06,2.750790e-06,2.768020e-06,2.839135e-06,2.844776e-06,2.909145e-06,2.936838e-06,2.978043e-06,3.026957e-06,3.045823e-06,3.112481e-06,3.115124e-06,3.178017e-06,3.201335e-06,3.242430e-06,3.285590e-06,3.305721e-06,3.367894e-06,3.428952e-06,3.448256e-06,3.488901e-06,3.526689e-06,3.547747e-06,3.603207e-06,3.605496e-06,3.662157e-06,3.677828e-06,3.717737e-06,3.750571e-06,3.772246e-06,3.821456e-06,3.825693e-06,3.878088e-06,3.890507e-06,3.929440e-06,3.957747e-06,3.979762e-06,4.023200e-06,4.029063e-06,4.077354e-06,4.086893e-06,4.124649e-06,4.148851e-06,4.170957e-06,4.209103e-06,4.216291e-06,4.260663e-06,4.267675e-06,4.304086e-06,4.324595e-06,4.346571e-06,4.379892e-06,4.388130e-06,4.428777e-06,4.433594e-06,4.468524e-06,4.485730e-06,4.507382e-06,4.536329e-06,4.545366e-06,4.582486e-06,4.585419e-06,4.618756e-06,4.633029e-06,4.654188e-06,4.679188e-06,4.688795e-06,4.722589e-06,4.723924e-06,4.755582e-06,4.767266e-06,4.787786e-06,4.809241e-06,4.819215e-06,4.849879e-06,4.889206e-06,4.927250e-06,4.964038e-06,4.999598e-06,5.033955e-06,5.067135e-06,5.099165e-06,5.130071e-06,5.159876e-06,5.188606e-06,5.216285e-06,5.242938e-06,5.268587e-06,5.293256e-06,5.316967e-06,5.339743e-06,5.361606e-06,5.382578e-06,5.402679e-06,5.421930e-06,5.440352e-06,5.457964e-06,5.474786e-06,5.490838e-06
0.000000e+00,2.354204e-18,2.645270e-17,9.414995e-16,9.800301e-15,2.838609e-14,2.745509e-13,2.977079e-13,1.754081e-12,2.684237e-12,7.188578e-12,1.479408e-11,2.296563e-11,5.691849e-11,6.122447e-11,1.423192e-10,1.713436e-10,2.972466e-10,4.320129e-10,5.698416e-10,9.530978e-10,1.018546e-09,1.717537e-09,1.895026e-09,2.756932e-09,3.466276e-09,4.241758e-09,5.918866e-09,6.289436e-09,9.025764e-09,9.536105e-09,1.257967e-08,1.461327e-08,1.707734e-08,2.143439e-08,2.263630e-08,2.936023e-08,3.024967e-08,3.733480e-08,4.125733e-08,4.662491e-08,5.459237e-08,5.727332e-08,6.930055e-08,7.032241e-08,8.270586e-08,8.844995e-08,9.746918e-08,1.089194e-07,1.135534e-07,1.309070e-07,1.316267e-07,1.494671e-07,1.564304e-07,1.691617e-07,1.831624e-07,1.899128e-07,2.116383e-07,2.342543e-07,2.416658e-07,2.576769e-07,2.730524e-07,2.818234e-07,3.056103e-07,3.066133e-07,3.319698e-07,3.391612e-07,3.578200e-07,3.735382e-07,3.840951e-07,4.085885e-07,4.107313e-07,4.376694e-07,4.441733e-07,4.648549e-07,4.801682e-07,4.922381e-07,5.164628e-07,5.197737e-07,5.474205e-07,5.529598e-07,5.751414e-07,5.895743e-07,6.029029e-07,6.262319e-07,6.306750e-07,6.584309e-07,6.628687e-07,6.861464e-07,6.994291e-07,7.138000e-07,7.358653e-07,7.413724e-07,7.688467e-07,7.721362e-07,7.962073e-07,8.082065e-07,8.234409e-07,8.440458e-07,8.505352e-07,8.774793e-07,8.796281e-07,9.042638e-07,9.149309e-07,9.308799e-07,9.499349e-07,9.573200e-07,9.835773e-07,9.846237e-07,1.009646e-06,1.018983e-06,1.035520e-06,1.053001e-06,1.061195e-06,1.086667e-06,1.111931e-06,1.119972e-06,1.136985e-06,1.152908e-06,1.161826e-06,1.185470e-06,1.186451e-06,1.210858e-06,1.217652e-06,1.235044e-06,1.249450e-06,1.259009e-06,1.280860e-06,1.282751e-06,1.306269e-06,1.311879e-06,1.329561e-06,1.342506e-06,1.352627e-06,1.372738e-06,1.375467e-06,1.398080e-06,1.402576e-06,1.420466e-06,1.432017e-06,1.442625e-06,1.461063e-06,1.464557e-06,1.486262e-06,1.489714e-06,1.507740e-06,1.517970e-06,1.528993e-06,1.545832e-06,1.550020e-06,1.570822e-06,1.573303e-06,1.591400e-06,1.600384e-06,1.611755e-06,1.627076e-06,1.631887e-06,1.651798e-06,1.653382e-06,1.671489e-06,1.679304e-06,1.690960e-06,1.704845e-06,1.710214e-06,1.729250e-06,1.730007e-06,1.748071e-06,1.754795e-06,1.766678e-06,1.779209e-06,1.785072e-06,1.803255e-06,1.826935e-06,1.850253e-06,1.873212e-06,1.895815e-06,1.918068e-06,1.939972e-06,1.961533e-06,1.982754e-06,2.003639e-06,2.024191e-06,2.044416e-06,2.064317e-06,2.083897e-06,2.103162e-06,2.122115e-06,2.140761e-06,2.159102e-06,2.177144e-06,2.194891e-06,2.212346e-06,2.229514e-06,2.246398e-06,2.263003e-06,2.279333e-06
0.000000e+00,5.398584e-18,6.373293e-17,2.516893e-15,2.884986e-14,8.816226e-14,9.815192e-13,1.070486e-12,7.275996e-12,1.158126e-11,3.427342e-11,7.654467e-11,1.253882e-10,3.508737e-10,3.813654e-10,1.007577e-09,1.250205e-09,2.382774e-09,3.706435e-09,5.152597e-09,9.551857e-09,1.034967e-08,1.953994e-08,2.204241e-08,3.499239e-08,4.651025e-08,5.986608e-08,9.111020e-08,9.840618e-08,1.561392e-07,1.676027e-07,2.400569e-07,2.921031e-07,3.587780e-07,4.857250e-07,5.226794e-07,7.439880e-07,7.750536e-07,1.036827e-06,1.192398e-06,1.417216e-06,1.775787e-06,1.903012e-06,2.513809e-06,2.568697e-06,3.270780e-06,3.619508e-06,4.196478e-06,4.980715e-06,5.314584e-06,6.649628e-06,6.707896e-06,8.226679e-06,8.858528e-06,1.007101e-05,1.149066e-05,1.220774e-05,1.466149e-05,1.745603e-05,1.842597e-05,2.061389e-05,2.283538e-05,2.415611e-05,2.793603e-05,2.810182e-05,3.246807e-05,3.376803e-05,3.726948e-05,4.036432e-05,4.251808e-05,4.774975e-05,4.822312e-05,5.439093e-05,5.594050e-05,6.102483e-05,6.494360e-05,6.812503e-05,7.475677e-05,7.568871e-05,8.370995e-05,8.536837e-05,9.217983e-05,9.675767e-05,1.010865e-04,1.088951e-04,1.104155e-04,1.201494e-04,1.217431e-04,1.302686e-04,1.352564e-04,1.407513e-04,1.493831e-04,1.515735e-04,1.627093e-04,1.640654e-04,1.741316e-04,1.792409e-04,1.858117e-04,1.948428e-04,1.977199e-04,2.098257e-04,2.108017e-04,2.220978e-04,2.270463e-04,2.345050e-04,2.435039e-04,2.470154e-04,2.595977e-04,2.601021e-04,2.722206e-04,2.767689e-04,2.848533e-04,2.934338e-04,2.974658e-04,3.100286e-04,3.225135e-04,3.264877e-04,3.348932e-04,3.427489e-04,3.471416e-04,3.587537e-04,3.592341e-04,3.711470e-04,3.744475e-04,3.828586e-04,3.897802e-04,3.943482e-04,4.047063e-04,4.055969e-04,4.165873e-04,4.191847e-04,4.273034e-04,4.331792e-04,4.377309e-04,4.466582e-04,4.478571e-04,4.576705e-04,4.595948e-04,4.671616e-04,4.719666e-04,4.763218e-04,4.837556e-04,4.851443e-04,4.936235e-04,4.949480e-04,5.017551e-04,5.055339e-04,5.095361e-04,5.155073e-04,5.169648e-04,5.240403e-04,5.248657e-04,5.307632e-04,5.336098e-04,5.371347e-04,5.417435e-04,5.431573e-04,5.488340e-04,5.492733e-04,5.541688e-04,5.562080e-04,5.591663e-04,5.625587e-04,5.638319e-04,5.681716e-04,5.683385e-04,5.721917e-04,5.735621e-04,5.758993e-04,5.782457e-04,5.793017e-04,5.824067e-04,5.860635e-04,5.892353e-04,5.919421e-04,5.942040e-04,5.960418e-04,5.974760e-04,5.985275e-04,5.992169e-04,5.995646e-04,5.995908e-04,5.993153e-04,5.987573e-04,5.979356e-04,5.968687e-04,5.955741e-04,5.940688e-04,5.923694e-04,5.904916e-04,5.884504e-04,5.862603e-04,5.839350e-04,5.814876e-04,5.789303e-04,5.762751e-04
0.000000e+00,1.435804e-18,1.670634e-17,6.408883e-16,7.152315e-15,2.153526e-14,2.306462e-13,2.511534e-13,1.641805e-12,2.585566e-12,7.448862e-12,1.627795e-11,2.628984e-11,7.128348e-11,7.727158e-11,1.976481e-10,2.434111e-10,4.533544e-10,6.937931e-10,9.525778e-10,1.724095e-09,1.862169e-09,3.426097e-09,3.845434e-09,5.984477e-09,7.853552e-09,9.991183e-09,1.489776e-08,1.602803e-08,2.481384e-08,2.653010e-08,3.720725e-08,4.472459e-08,5.420284e-08,7.186177e-08,7.692074e-08,1.065905e-07,1.106798e-07,1.445300e-07,1.641975e-07,1.921208e-07,2.356169e-07,2.507815e-07,3.219389e-07,3.282137e-07,4.070005e-07,4.452254e-07,5.073273e-07,5.897417e-07,6.242078e-07,7.588362e-07,7.646062e-07,9.122916e-07,9.723313e-07,1.085522e-06,1.215031e-06,1.279331e-06,1.494369e-06,1.731125e-06,1.811532e-06,1.989927e-06,2.167212e-06,2.270938e-06,2.561610e-06,2.574164e-06,2.899455e-06,2.994454e-06,3.246516e-06,3.465027e-06,3.614913e-06,3.972205e-06,4.004088e-06,4.413367e-06,4.514500e-06,4.841971e-06,5.090111e-06,5.289034e-06,5.696972e-06,5.753614e-06,6.234701e-06,6.332807e-06,6.731237e-06,6.995177e-06,7.242122e-06,7.681530e-06,7.766228e-06,8.302410e-06,8.389243e-06,8.849514e-06,9.115664e-06,9.406386e-06,9.858147e-06,9.971881e-06,1.054487e-05,1.061408e-05,1.112425e-05,1.138092e-05,1.170894e-05,1.215621e-05,1.229790e-05,1.289010e-05,1.293759e-05,1.348459e-05,1.372282e-05,1.408043e-05,1.450977e-05,1.467674e-05,1.527266e-05,1.529648e-05,1.586741e-05,1.608109e-05,1.646024e-05,1.686190e-05,1.705044e-05,1.763735e-05,1.822035e-05,1.840599e-05,1.879887e-05,1.916653e-05,1.937239e-05,1.991780e-05,1.994041e-05,2.050249e-05,2.065875e-05,2.105821e-05,2.138844e-05,2.160721e-05,2.210605e-05,2.214914e-05,2.268370e-05,2.281087e-05,2.321062e-05,2.350226e-05,2.372965e-05,2.417971e-05,2.424058e-05,2.474323e-05,2.484275e-05,2.523743e-05,2.549102e-05,2.572303e-05,2.612422e-05,2.619994e-05,2.666804e-05,2.674212e-05,2.712727e-05,2.734453e-05,2.757756e-05,2.793134e-05,2.801888e-05,2.845120e-05,2.850247e-05,2.887451e-05,2.905791e-05,2.928880e-05,2.959765e-05,2.969410e-05,3.009044e-05,3.012176e-05,3.047784e-05,3.063031e-05,3.085635e-05,3.112341e-05,3.122604e-05,3.158695e-05,3.160121e-05,3.193917e-05,3.206386e-05,3.228277e-05,3.251154e-05,3.261783e-05,3.294444e-05,3.336280e-05,3.376682e-05,3.415675e-05,3.453283e-05,3.489532e-05,3.524449e-05,3.558060e-05,3.590393e-05,3.621474e-05,3.651332e-05,3.679995e-05,3.707492e-05,3.733849e-05,3.759094e-05,3.783257e-05,3.806364e-05,3.828443e-05,3.849522e-05,3.869626e-05,3.888783e-05,3.907019e-05,3.924360e-05,3.940831e-05,3.956458e-05
0.000000e+00,1.734216e-17,2.038194e-16,7.971971e-15,9.058304e-14,2.754920e-13,3.030092e-12,3.303150e-12,2.219651e-11,3.522627e-11,1.035158e-10,2.299795e-10,3.755435e-10,1.044384e-09,1.134612e-09,2.982999e-09,3.697918e-09,7.031782e-09,1.092572e-08,1.517970e-08,2.812444e-08,3.047278e-08,5.753705e-08,6.490912e-08,1.030611e-07,1.369832e-07,1.762913e-07,2.680921e-07,2.894935e-07,4.583358e-07,4.917529e-07,7.021521e-07,8.524577e-07,1.044058e-06,1.406131e-06,1.510905e-06,2.133066e-06,2.219724e-06,2.944053e-06,3.369942e-06,3.980011e-06,4.941207e-06,5.279070e-06,6.880623e-06,7.023010e-06,8.824535e-06,9.706843e-06,1.115032e-05,1.308294e-05,1.389633e-05,1.709894e-05,1.723703e-05,2.079183e-05,2.224724e-05,2.500529e-05,2.818138e-05,2.976561e-05,3.509463e-05,4.100932e-05,4.302779e-05,4.752148e-05,5.200603e-05,5.463759e-05,6.203829e-05,6.235871e-05,7.068054e-05,7.311712e-05,7.959349e-05,8.521911e-05,8.908291e-05,9.830566e-05,9.912934e-05,1.097088e-04,1.123242e-04,1.207934e-04,1.272097e-04,1.323513e-04,1.428862e-04,1.443476e-04,1.567447e-04,1.592687e-04,1.695025e-04,1.762652e-04,1.825791e-04,1.937785e-04,1.959316e-04,2.095158e-04,2.117078e-04,2.232872e-04,2.299509e-04,2.372012e-04,2.484054e-04,2.512136e-04,2.652808e-04,2.669706e-04,2.793603e-04,2.855484e-04,2.934106e-04,3.040448e-04,3.073920e-04,3.212664e-04,3.223706e-04,3.349977e-04,3.404424e-04,3.485517e-04,3.581829e-04,3.618966e-04,3.750027e-04,3.755216e-04,3.878427e-04,3.923951e-04,4.003916e-04,4.087469e-04,4.126268e-04,4.245280e-04,4.360775e-04,4.396964e-04,4.472595e-04,4.542170e-04,4.580609e-04,4.680615e-04,4.684703e-04,4.784786e-04,4.812080e-04,4.880786e-04,4.936404e-04,4.972650e-04,5.053483e-04,5.060344e-04,5.143849e-04,5.163266e-04,5.223162e-04,5.265751e-04,5.298296e-04,5.360977e-04,5.369276e-04,5.436140e-04,5.449023e-04,5.498938e-04,5.530005e-04,5.557728e-04,5.604066e-04,5.612580e-04,5.663571e-04,5.671377e-04,5.710784e-04,5.732132e-04,5.754311e-04,5.786543e-04,5.794248e-04,5.830695e-04,5.834839e-04,5.863757e-04,5.877260e-04,5.893543e-04,5.914057e-04,5.920163e-04,5.943730e-04,5.945486e-04,5.964356e-04,5.971809e-04,5.982158e-04,5.993290e-04,5.997249e-04,6.009746e-04,6.010193e-04,6.019761e-04,6.022780e-04,6.027408e-04,6.031313e-04,6.032800e-04,6.036046e-04,6.037229e-04,6.035107e-04,6.029915e-04,6.021885e-04,6.011235e-04,5.998181e-04,5.982926e-04,5.965666e-04,5.946585e-04,5.925862e-04,5.903664e-04,5.880149e-04,5.855468e-04,5.829760e-04,5.803160e-04,5.775790e-04,5.747767e-04,5.719200e-04,5.690191e-04,5.660831e-04,5.631210e-04,5.601408e-04,5.571498e-04,5.541550e-04
0.000000e+00,3.204800e-18,3.712431e-17,1.412251e-15,1.564512e-14,4.692339e-14,4.978654e-13,5.419389e-13,3.515103e-12,5.525772e-12,1.585989e-11,3.458521e-11,5.580759e-11,1.512484e-10,1.639635e-10,4.201792e-10,5.178339e-10,9.670066e-10,1.482897e-09,2.039060e-09,3.698641e-09,3.995575e-09,7.351932e-09,8.249134e-09,1.280563e-08,1.675984e-08,2.125308e-08,3.146194e-08,3.379507e-08,5.173035e-08,5.519702e-08,7.653816e-08,9.136135e-08,1.098508e-07,1.437978e-07,1.534189e-07,2.090719e-07,2.166508e-07,2.786749e-07,3.141996e-07,3.640856e-07,4.406853e-07,4.671119e-07,5.894726e-07,6.001454e-07,7.327615e-07,7.962650e-07,8.984172e-07,1.032253e-06,1.087697e-06,1.301659e-06,1.310744e-06,1.541146e-06,1.633736e-06,1.806779e-06,2.002555e-06,2.098954e-06,2.417843e-06,2.763402e-06,2.879578e-06,3.135380e-06,3.387112e-06,3.533330e-06,3.939218e-06,3.956627e-06,4.404484e-06,4.534161e-06,4.875968e-06,5.169765e-06,5.370023e-06,5.843488e-06,5.885483e-06,6.421097e-06,6.552498e-06,6.975542e-06,7.293746e-06,7.547443e-06,8.064034e-06,8.135387e-06,8.737940e-06,8.860076e-06,9.353658e-06,9.678556e-06,9.981102e-06,1.051617e-05,1.061885e-05,1.126549e-05,1.136969e-05,1.191967e-05,1.223595e-05,1.258004e-05,1.311194e-05,1.324533e-05,1.391429e-05,1.399476e-05,1.458575e-05,1.488168e-05,1.525857e-05,1.577016e-05,1.593167e-05,1.660406e-05,1.665779e-05,1.727476e-05,1.754237e-05,1.794289e-05,1.842187e-05,1.860760e-05,1.926812e-05,1.929444e-05,1.992371e-05,2.015839e-05,2.057371e-05,2.101219e-05,2.121750e-05,2.185450e-05,2.248421e-05,2.268410e-05,2.310614e-05,2.349991e-05,2.371988e-05,2.430099e-05,2.432503e-05,2.492125e-05,2.508655e-05,2.550823e-05,2.585588e-05,2.608571e-05,2.660839e-05,2.665344e-05,2.721122e-05,2.734359e-05,2.775888e-05,2.806108e-05,2.829626e-05,2.876056e-05,2.882325e-05,2.933975e-05,2.944178e-05,2.984569e-05,3.010458e-05,3.034101e-05,3.074885e-05,3.082568e-05,3.129968e-05,3.137453e-05,3.176303e-05,3.198165e-05,3.221573e-05,3.257025e-05,3.265782e-05,3.308934e-05,3.314042e-05,3.351036e-05,3.369229e-05,3.392093e-05,3.422604e-05,3.432115e-05,3.471109e-05,3.474185e-05,3.509086e-05,3.523994e-05,3.546056e-05,3.572057e-05,3.582030e-05,3.617019e-05,3.618398e-05,3.651037e-05,3.663047e-05,3.684095e-05,3.706034e-05,3.716207e-05,3.747388e-05,3.787141e-05,3.825328e-05,3.861981e-05,3.897135e-05,3.930824e-05,3.963082e-05,3.993946e-05,4.023450e-05,4.051630e-05,4.078520e-05,4.104155e-05,4.128571e-05,4.151801e-05,4.173880e-05,4.194841e-05,4.214718e-05,4.233543e-05,4.251350e-05,4.268169e-05,4.284032e-05,4.298969e-05,4.313012e-05,4.326188e-05,4.338528e-05
0.000000e+00,4.506918e-18,5.148828e-17,1.897685e-15,2.041135e-14,6.021826e-14,6.117755e-13,6.647395e-13,4.124088e-12,6.403673e-12,1.781030e-11,3.784298e-11,6.002451e-11,1.564475e-10,1.690306e-10,4.155977e-10,5.072259e-10,9.190546e-10,1.379438e-09,1.866057e-09,3.280981e-09,3.529930e-09,6.287257e-09,7.011024e-09,1.062827e-08,1.370809e-08,1.715865e-08,2.485530e-08,2.659195e-08,3.973373e-08,4.223829e-08,5.745927e-08,6.786456e-08,8.068742e-08,1.038601e-07,1.103529e-07,1.473792e-07,1.523597e-07,1.926537e-07,2.154038e-07,2.470057e-07,2.948509e-07,3.111883e-07,3.858647e-07,3.923097e-07,4.715973e-07,5.090917e-07,5.688414e-07,6.461833e-07,6.779423e-07,7.991345e-07,8.042358e-07,9.325443e-07,9.835700e-07,1.078194e-06,1.184192e-06,1.236008e-06,1.405820e-06,1.587383e-06,1.647914e-06,1.780374e-06,1.909710e-06,1.984407e-06,2.190261e-06,2.199044e-06,2.423797e-06,2.488470e-06,2.658144e-06,2.803129e-06,2.901534e-06,3.132948e-06,3.153394e-06,3.413140e-06,3.476586e-06,3.680178e-06,3.832682e-06,3.953913e-06,4.199872e-06,4.233756e-06,4.519123e-06,4.576809e-06,4.809444e-06,4.962182e-06,5.104160e-06,5.354725e-06,5.402734e-06,5.704643e-06,5.753224e-06,6.009387e-06,6.156530e-06,6.316487e-06,6.563556e-06,6.625487e-06,6.935952e-06,6.973286e-06,7.247471e-06,7.384772e-06,7.559655e-06,7.797133e-06,7.872138e-06,8.184576e-06,8.209559e-06,8.496645e-06,8.621302e-06,8.808044e-06,9.031678e-06,9.118491e-06,9.427723e-06,9.440064e-06,9.735496e-06,9.845893e-06,1.004158e-05,1.024865e-05,1.034578e-05,1.064788e-05,1.094772e-05,1.104316e-05,1.124513e-05,1.143412e-05,1.153995e-05,1.182044e-05,1.183207e-05,1.212134e-05,1.220181e-05,1.240765e-05,1.257798e-05,1.269091e-05,1.294873e-05,1.297102e-05,1.324790e-05,1.331386e-05,1.352147e-05,1.367320e-05,1.379167e-05,1.402661e-05,1.405845e-05,1.432174e-05,1.437398e-05,1.458152e-05,1.471520e-05,1.483774e-05,1.505019e-05,1.509037e-05,1.533939e-05,1.537889e-05,1.558478e-05,1.570127e-05,1.582652e-05,1.601728e-05,1.606461e-05,1.629903e-05,1.632692e-05,1.652979e-05,1.663017e-05,1.675689e-05,1.692705e-05,1.698034e-05,1.720014e-05,1.721757e-05,1.741630e-05,1.750175e-05,1.762884e-05,1.777964e-05,1.783778e-05,1.804313e-05,1.805127e-05,1.824492e-05,1.831670e-05,1.844317e-05,1.857597e-05,1.863790e-05,1.882915e-05,1.907630e-05,1.931748e-05,1.955278e-05,1.978226e-05,2.000601e-05,2.022411e-05,2.043663e-05,2.064367e-05,2.084531e-05,2.104164e-05,2.123275e-05,2.141872e-05,2.159965e-05,2.177563e-05,2.194674e-05,2.211308e-05,2.227474e-05,2.243181e-05,2.258438e-05,2.273254e-05,2.287638e-05,2.301598e-05,2.315144e-05,2.328284e-05
0.000000e+00,1.163472e-13,6.418341e-13,6.595897e-12,2.740679e-11,5.126056e-11,1.894842e-10,1.984388e-10,5.443381e-10,6.937463e-10,1.220542e-09,1.855200e-09,2.400897e-09,4.119092e-09,4.303592e-09,7.170116e-09,8.026783e-09,1.121761e-08,1.406135e-08,1.660359e-08,2.253034e-08,2.342733e-08,3.174724e-08,3.359391e-08,4.159481e-08,4.732393e-08,5.298207e-08,6.373482e-08,6.590513e-08,8.034576e-08,8.279517e-08,9.627255e-08,1.044329e-07,1.136419e-07,1.285398e-07,1.323994e-07,1.524816e-07,1.549772e-07,1.738176e-07,1.835831e-07,1.963310e-07,2.141795e-07,2.199418e-07,2.445683e-07,2.465798e-07,2.701282e-07,2.805953e-07,2.965403e-07,3.160402e-07,3.237255e-07,3.516077e-07,3.527364e-07,3.801141e-07,3.905158e-07,4.091760e-07,4.292223e-07,4.387289e-07,4.687127e-07,4.990716e-07,5.088571e-07,5.297539e-07,5.495383e-07,5.607122e-07,5.906513e-07,5.919029e-07,6.232859e-07,6.321026e-07,6.548248e-07,6.738089e-07,6.864861e-07,7.156965e-07,7.182395e-07,7.500572e-07,7.577001e-07,7.819138e-07,7.997618e-07,8.137862e-07,8.418303e-07,8.456535e-07,8.774963e-07,8.838603e-07,9.092971e-07,9.258116e-07,9.410399e-07,9.676483e-07,9.727100e-07,1.004294e-06,1.009339e-06,1.035780e-06,1.050855e-06,1.067156e-06,1.092171e-06,1.098412e-06,1.129539e-06,1.133265e-06,1.160528e-06,1.174117e-06,1.191370e-06,1.214709e-06,1.222060e-06,1.252589e-06,1.255024e-06,1.282952e-06,1.295050e-06,1.313143e-06,1.334772e-06,1.343157e-06,1.372990e-06,1.374179e-06,1.402635e-06,1.413262e-06,1.432091e-06,1.452010e-06,1.461353e-06,1.490417e-06,1.519281e-06,1.528474e-06,1.547941e-06,1.566176e-06,1.576396e-06,1.603517e-06,1.604643e-06,1.632680e-06,1.640492e-06,1.660505e-06,1.677097e-06,1.688116e-06,1.713328e-06,1.715512e-06,1.742692e-06,1.749183e-06,1.769654e-06,1.784658e-06,1.796398e-06,1.819752e-06,1.822923e-06,1.849228e-06,1.854462e-06,1.875312e-06,1.888788e-06,1.901175e-06,1.922729e-06,1.926817e-06,1.952237e-06,1.956284e-06,1.977436e-06,1.989452e-06,2.002413e-06,2.022235e-06,2.027168e-06,2.051702e-06,2.054631e-06,2.076015e-06,2.086643e-06,2.100107e-06,2.118270e-06,2.123979e-06,2.147630e-06,2.149513e-06,2.171063e-06,2.180374e-06,2.194276e-06,2.210854e-06,2.217271e-06,2.240049e-06,2.240956e-06,2.262610e-06,2.270679e-06,2.284955e-06,2.300027e-06,2.307086e-06,2.329002e-06,2.357605e-06,2.385838e-06,2.413706e-06,2.441209e-06,2.468350e-06,2.495132e-06,2.521558e-06,2.547631e-06,2.573353e-06,2.598727e-06,2.623757e-06,2.648446e-06,2.672796e-06,2.696810e-06,2.720493e-06,2.743846e-06,2.766874e-06,2.789580e-06,2.811966e-06,2.834036e-06,2.855794e-06,2.877243e-06,2.898385e-06,2.919225e-06
0.000000e+00,9.220698e-16,9.597938e-15,2.921682e-13,2.645935e-12,7.110299e-12,5.698261e-11,6.132954e-11,3.027925e-10,4.424531e-10,1.059327e-09,2.000239e-09,2.942476e-09,6.512891e-09,6.941731e-09,1.451213e-08,1.706895e-08,2.763122e-08,3.830862e-08,4.878031e-08,7.630456e-08,8.082606e-08,1.268337e-07,1.379827e-07,1.898745e-07,2.303679e-07,2.728769e-07,3.600045e-07,3.785355e-07,5.092669e-07,5.326567e-07,6.671948e-07,7.532088e-07,8.541486e-07,1.025652e-06,1.071664e-06,1.320986e-06,1.353090e-06,1.603067e-06,1.737743e-06,1.918575e-06,2.180964e-06,2.267895e-06,2.651141e-06,2.683264e-06,3.068169e-06,3.244361e-06,3.518595e-06,3.863251e-06,4.001815e-06,4.517030e-06,4.538291e-06,5.063268e-06,5.267298e-06,5.639415e-06,6.047650e-06,6.244231e-06,6.876381e-06,7.534454e-06,7.750275e-06,8.216986e-06,8.665949e-06,8.922473e-06,9.619925e-06,9.649394e-06,1.039622e-05,1.060869e-05,1.116143e-05,1.162876e-05,1.194352e-05,1.267667e-05,1.274101e-05,1.355243e-05,1.374909e-05,1.437639e-05,1.484277e-05,1.521150e-05,1.595457e-05,1.605644e-05,1.690991e-05,1.708152e-05,1.777069e-05,1.822079e-05,1.863760e-05,1.936970e-05,1.950949e-05,2.038530e-05,2.052573e-05,2.126400e-05,2.168651e-05,2.214461e-05,2.284984e-05,2.302619e-05,2.390788e-05,2.401364e-05,2.478882e-05,2.517600e-05,2.566824e-05,2.633512e-05,2.654539e-05,2.741957e-05,2.748935e-05,2.829010e-05,2.863716e-05,2.915639e-05,2.977715e-05,3.001783e-05,3.087389e-05,3.090801e-05,3.172404e-05,3.202856e-05,3.256783e-05,3.313773e-05,3.340479e-05,3.423453e-05,3.505665e-05,3.531807e-05,3.587081e-05,3.638754e-05,3.667667e-05,3.744222e-05,3.747394e-05,3.826234e-05,3.848147e-05,3.904162e-05,3.950471e-05,3.981155e-05,4.051145e-05,4.057193e-05,4.132256e-05,4.150125e-05,4.206329e-05,4.247371e-05,4.279396e-05,4.342853e-05,4.351445e-05,4.422464e-05,4.436543e-05,4.492443e-05,4.528418e-05,4.561374e-05,4.618461e-05,4.629250e-05,4.696067e-05,4.706659e-05,4.761819e-05,4.793001e-05,4.826504e-05,4.877482e-05,4.890119e-05,4.952665e-05,4.960099e-05,5.014141e-05,5.040852e-05,5.074549e-05,5.119745e-05,5.133890e-05,5.192168e-05,5.196784e-05,5.249386e-05,5.271977e-05,5.305549e-05,5.345336e-05,5.360662e-05,5.414730e-05,5.416871e-05,5.467760e-05,5.486599e-05,5.519760e-05,5.554534e-05,5.570735e-05,5.620695e-05,5.685102e-05,5.747773e-05,5.808732e-05,5.867999e-05,5.925599e-05,5.981556e-05,6.035895e-05,6.088640e-05,6.139818e-05,6.189455e-05,6.237578e-05,6.284214e-05,6.329389e-05,6.373132e-05,6.415469e-05,6.456429e-05,6.496038e-05,6.534324e-05,6.571315e-05,6.607038e-05,6.641520e-05,6.674788e-05,6.706869e-05,6.737790e-05
0.000000e+00,9.512258e-19,1.120539e-17,4.403704e-16,5.025363e-15,1.531915e-14,1.694592e-13,1.847712e-13,1.247932e-12,1.982946e-12,5.843360e-12,1.300634e-11,2.125982e-11,5.921434e-11,6.433539e-11,1.692056e-10,2.097385e-10,3.985372e-10,6.186569e-10,8.587303e-10,1.587351e-09,1.719287e-09,3.236090e-09,3.648343e-09,5.777809e-09,7.667351e-09,9.854224e-09,1.495598e-08,1.614488e-08,2.552642e-08,2.738437e-08,3.909695e-08,4.748243e-08,5.819607e-08,7.851927e-08,8.441924e-08,1.196255e-07,1.245521e-07,1.659385e-07,1.904393e-07,2.257393e-07,2.818152e-07,3.016527e-07,3.965261e-07,4.050249e-07,5.134010e-07,5.670242e-07,6.554796e-07,7.752446e-07,8.260853e-07,1.028620e-06,1.037434e-06,1.266515e-06,1.361474e-06,1.543188e-06,1.755189e-06,1.861987e-06,2.226144e-06,2.638726e-06,2.781453e-06,3.102589e-06,3.427586e-06,3.620333e-06,4.170204e-06,4.194267e-06,4.826367e-06,5.014008e-06,5.518254e-06,5.962614e-06,6.271163e-06,7.018458e-06,7.085928e-06,7.962969e-06,8.182734e-06,8.902283e-06,9.455358e-06,9.903443e-06,1.083496e-05,1.096561e-05,1.208752e-05,1.231893e-05,1.326753e-05,1.390343e-05,1.450361e-05,1.558352e-05,1.579338e-05,1.713414e-05,1.735320e-05,1.852288e-05,1.920556e-05,1.995632e-05,2.113290e-05,2.143095e-05,2.294305e-05,2.312684e-05,2.448875e-05,2.517846e-05,2.606401e-05,2.727847e-05,2.766474e-05,2.928673e-05,2.941729e-05,3.092578e-05,3.158523e-05,3.257766e-05,3.377260e-05,3.423817e-05,3.590317e-05,3.596981e-05,3.756860e-05,3.816749e-05,3.923048e-05,4.035657e-05,4.088498e-05,4.252838e-05,4.415715e-05,4.467471e-05,4.576791e-05,4.678786e-05,4.735746e-05,4.886068e-05,4.892279e-05,5.046110e-05,5.088662e-05,5.196978e-05,5.285976e-05,5.344644e-05,5.477479e-05,5.488888e-05,5.629512e-05,5.662703e-05,5.766340e-05,5.841245e-05,5.899213e-05,6.012760e-05,6.027994e-05,6.152566e-05,6.176967e-05,6.272831e-05,6.333638e-05,6.388706e-05,6.482603e-05,6.500130e-05,6.607055e-05,6.623743e-05,6.709450e-05,6.756986e-05,6.807301e-05,6.882307e-05,6.900605e-05,6.989373e-05,6.999722e-05,7.073630e-05,7.109282e-05,7.153410e-05,7.211077e-05,7.228760e-05,7.299733e-05,7.305224e-05,7.366395e-05,7.391867e-05,7.428815e-05,7.471176e-05,7.487074e-05,7.541255e-05,7.543338e-05,7.591449e-05,7.608561e-05,7.637751e-05,7.667064e-05,7.680260e-05,7.719080e-05,7.764852e-05,7.804627e-05,7.838660e-05,7.867208e-05,7.890527e-05,7.908876e-05,7.922510e-05,7.931681e-05,7.936639e-05,7.937628e-05,7.934885e-05,7.928643e-05,7.919127e-05,7.906554e-05,7.891135e-05,7.873072e-05,7.852560e-05,7.829785e-05,7.804926e-05,7.778149e-05,7.749621e-05,7.719492e-05,7.687908e-05,7.655009e-05
0.000000e+00,2.086452e-12,7.862332e-12,5.166672e-11,1.727839e-10,2.981157e-10,9.577106e-10,9.986693e-10,2.518852e-09,3.154174e-09,5.343011e-09,7.914425e-09,1.008774e-08,1.677887e-08,1.748681e-08,2.831079e-08,3.149910e-08,4.327010e-08,5.368719e-08,6.298194e-08,8.468776e-08,8.798342e-08,1.187475e-07,1.256294e-07,1.556897e-07,1.774626e-07,1.991686e-07,2.409625e-07,2.494826e-07,3.068672e-07,3.167172e-07,3.714926e-07,4.051178e-07,4.434628e-07,5.063557e-07,5.228170e-07,6.095319e-07,6.204291e-07,7.035264e-07,7.471573e-07,8.046662e-07,8.862016e-07,9.127706e-07,1.027618e-06,1.037090e-06,1.148955e-06,1.199244e-06,1.276498e-06,1.372002e-06,1.409944e-06,1.548974e-06,1.554647e-06,1.693259e-06,1.746424e-06,1.842465e-06,1.946563e-06,1.996253e-06,2.154289e-06,2.316241e-06,2.368840e-06,2.481784e-06,2.589470e-06,2.650602e-06,2.815463e-06,2.822388e-06,2.996845e-06,3.046132e-06,3.173688e-06,3.280826e-06,3.352646e-06,3.518929e-06,3.533457e-06,3.715873e-06,3.759865e-06,3.899659e-06,4.003094e-06,4.084592e-06,4.248113e-06,4.270459e-06,4.457062e-06,4.494454e-06,4.644212e-06,4.741686e-06,4.831731e-06,4.989410e-06,5.019452e-06,5.207220e-06,5.237257e-06,5.394886e-06,5.484889e-06,5.582314e-06,5.731996e-06,5.769373e-06,5.955944e-06,5.978294e-06,6.141914e-06,6.223523e-06,6.327178e-06,6.467446e-06,6.511638e-06,6.695203e-06,6.709847e-06,6.877789e-06,6.950532e-06,7.059318e-06,7.189323e-06,7.239716e-06,7.418917e-06,7.426060e-06,7.596859e-06,7.660599e-06,7.773484e-06,7.892811e-06,7.948741e-06,8.122580e-06,8.294957e-06,8.349803e-06,8.465834e-06,8.574389e-06,8.635172e-06,8.796259e-06,8.802939e-06,8.969104e-06,9.015340e-06,9.133642e-06,9.231573e-06,9.296527e-06,9.444904e-06,9.457739e-06,9.617259e-06,9.655290e-06,9.775069e-06,9.862692e-06,9.931157e-06,1.006708e-05,1.008551e-05,1.023812e-05,1.026843e-05,1.038897e-05,1.046672e-05,1.053806e-05,1.066194e-05,1.068539e-05,1.083095e-05,1.085408e-05,1.097474e-05,1.104314e-05,1.111676e-05,1.122911e-05,1.125701e-05,1.139549e-05,1.141199e-05,1.153221e-05,1.159181e-05,1.166717e-05,1.176856e-05,1.180036e-05,1.193181e-05,1.194225e-05,1.206152e-05,1.211291e-05,1.218948e-05,1.228055e-05,1.231573e-05,1.244025e-05,1.244519e-05,1.256306e-05,1.260685e-05,1.268417e-05,1.276556e-05,1.280359e-05,1.292134e-05,1.307422e-05,1.322422e-05,1.337137e-05,1.351572e-05,1.365727e-05,1.379607e-05,1.393216e-05,1.406555e-05,1.419630e-05,1.432442e-05,1.444996e-05,1.457295e-05,1.469342e-05,1.481142e-05,1.492697e-05,1.504011e-05,1.515088e-05,1.525932e-05,1.536545e-05,1.546931e-05,1.557095e-05,1.567038e-05,1.576766e-05,1.586281e-05
0.000000e+00,1.822519e-12,5.965103e-12,3.375752e-11,1.052019e-10,1.767139e-10,5.404120e-10,5.626188e-10,1.371888e-09,1.704345e-09,2.833805e-09,4.138712e-09,5.228884e-09,8.542408e-09,8.890717e-09,1.420231e-08,1.576846e-08,2.157908e-08,2.676724e-08,3.143313e-08,4.244425e-08,4.412775e-08,5.994504e-08,6.350176e-08,7.907925e-08,9.038155e-08,1.016480e-07,1.233028e-07,1.277078e-07,1.572673e-07,1.623200e-07,1.902969e-07,2.073671e-07,2.267365e-07,2.582866e-07,2.665005e-07,3.094831e-07,3.148517e-07,3.555621e-07,3.767834e-07,4.046026e-07,4.437656e-07,4.564604e-07,5.109852e-07,5.154578e-07,5.680228e-07,5.915065e-07,6.274175e-07,6.715539e-07,6.890140e-07,7.526591e-07,7.552454e-07,8.182024e-07,8.422343e-07,8.854975e-07,9.321865e-07,9.544031e-07,1.024783e-06,1.096507e-06,1.119722e-06,1.169450e-06,1.216718e-06,1.243494e-06,1.315507e-06,1.318526e-06,1.394440e-06,1.415840e-06,1.471135e-06,1.517487e-06,1.548516e-06,1.620235e-06,1.626493e-06,1.704982e-06,1.723887e-06,1.783904e-06,1.828262e-06,1.863185e-06,1.933193e-06,1.942754e-06,2.022547e-06,2.038527e-06,2.102502e-06,2.144124e-06,2.182562e-06,2.249854e-06,2.262674e-06,2.342787e-06,2.355602e-06,2.422855e-06,2.461259e-06,2.502835e-06,2.566728e-06,2.582686e-06,2.662371e-06,2.671920e-06,2.741854e-06,2.776754e-06,2.821102e-06,2.881156e-06,2.900087e-06,2.978779e-06,2.985061e-06,3.057153e-06,3.088408e-06,3.135184e-06,3.191142e-06,3.212851e-06,3.290133e-06,3.293216e-06,3.367011e-06,3.394585e-06,3.443468e-06,3.495210e-06,3.519488e-06,3.595057e-06,3.670160e-06,3.694093e-06,3.744786e-06,3.792292e-06,3.818924e-06,3.889628e-06,3.892564e-06,3.965697e-06,3.986082e-06,4.038314e-06,4.081634e-06,4.110409e-06,4.176269e-06,4.181975e-06,4.253006e-06,4.269973e-06,4.323497e-06,4.362735e-06,4.393445e-06,4.454545e-06,4.462844e-06,4.531693e-06,4.545396e-06,4.599988e-06,4.635282e-06,4.667728e-06,4.724199e-06,4.734911e-06,4.801535e-06,4.812143e-06,4.867601e-06,4.899113e-06,4.933107e-06,4.985109e-06,4.998054e-06,5.062442e-06,5.070131e-06,5.126272e-06,5.154180e-06,5.189544e-06,5.237260e-06,5.252261e-06,5.314424e-06,5.319373e-06,5.376033e-06,5.400523e-06,5.437092e-06,5.480715e-06,5.497603e-06,5.557568e-06,5.559955e-06,5.616989e-06,5.638248e-06,5.675870e-06,5.715601e-06,5.734212e-06,5.792021e-06,5.867514e-06,5.942088e-06,6.015752e-06,6.088514e-06,6.160382e-06,6.231365e-06,6.301472e-06,6.370711e-06,6.439093e-06,6.506627e-06,6.573321e-06,6.639187e-06,6.704233e-06,6.768469e-06,6.831905e-06,6.894550e-06,6.956416e-06,7.017510e-06,7.077844e-06,7.137427e-06,7.196268e-06,7.254378e-06,7.311766e-06,7.368442e-06
0.000000e+00,6.728963e-18,7.556986e-17,2.699886e-15,2.823123e-14,8.197993e-14,7.985243e-13,8.661373e-13,5.143346e-12,7.888940e-12,2.125893e-11,4.399424e-11,6.856208e-11,1.715812e-10,1.847263e-10,4.345019e-10,5.246865e-10,9.192377e-10,1.346044e-09,1.786026e-09,3.022115e-09,3.234587e-09,5.519665e-09,6.103189e-09,8.947411e-09,1.129562e-08,1.386569e-08,1.942292e-08,2.064958e-08,2.968433e-08,3.136427e-08,4.134790e-08,4.798560e-08,5.599505e-08,7.007630e-08,7.394401e-08,9.546639e-08,9.830016e-08,1.207805e-07,1.331637e-07,1.500478e-07,1.750006e-07,1.833716e-07,2.207982e-07,2.239697e-07,2.623199e-07,2.800638e-07,3.078787e-07,3.431247e-07,3.573717e-07,4.106562e-07,4.128641e-07,4.675559e-07,4.888862e-07,5.278667e-07,5.707121e-07,5.913630e-07,6.578029e-07,7.269341e-07,7.495824e-07,7.984985e-07,8.454569e-07,8.722369e-07,9.448327e-07,9.478925e-07,1.025215e-06,1.047130e-06,1.103961e-06,1.151796e-06,1.183901e-06,1.258311e-06,1.264815e-06,1.346496e-06,1.366193e-06,1.428755e-06,1.475005e-06,1.511413e-06,1.584353e-06,1.594308e-06,1.677292e-06,1.693887e-06,1.760228e-06,1.803296e-06,1.842997e-06,1.912313e-06,1.925488e-06,2.007604e-06,2.020702e-06,2.089257e-06,2.128264e-06,2.170371e-06,2.234826e-06,2.250876e-06,2.330712e-06,2.340245e-06,2.409828e-06,2.444399e-06,2.488177e-06,2.547185e-06,2.565720e-06,2.642421e-06,2.648520e-06,2.718252e-06,2.748334e-06,2.793186e-06,2.846572e-06,2.867204e-06,2.940286e-06,2.943189e-06,3.012418e-06,3.038150e-06,3.083587e-06,3.131427e-06,3.153784e-06,3.223002e-06,3.291235e-06,3.312860e-06,3.358478e-06,3.400994e-06,3.424730e-06,3.487398e-06,3.489990e-06,3.554257e-06,3.572075e-06,3.617534e-06,3.655026e-06,3.679823e-06,3.736259e-06,3.741127e-06,3.801450e-06,3.815782e-06,3.860796e-06,3.893606e-06,3.919173e-06,3.969746e-06,3.976585e-06,4.033039e-06,4.044215e-06,4.088542e-06,4.117031e-06,4.143102e-06,4.188210e-06,4.196728e-06,4.249426e-06,4.257773e-06,4.301207e-06,4.325737e-06,4.352077e-06,4.392126e-06,4.402048e-06,4.451128e-06,4.456958e-06,4.499327e-06,4.520257e-06,4.546654e-06,4.582045e-06,4.593119e-06,4.638733e-06,4.642345e-06,4.683505e-06,4.701180e-06,4.727446e-06,4.758574e-06,4.770565e-06,4.812875e-06,4.814550e-06,4.854383e-06,4.869133e-06,4.895103e-06,4.922346e-06,4.935043e-06,4.974214e-06,5.024760e-06,5.074009e-06,5.121986e-06,5.168713e-06,5.214215e-06,5.258515e-06,5.301638e-06,5.343607e-06,5.384444e-06,5.424173e-06,5.462816e-06,5.500397e-06,5.536937e-06,5.572459e-06,5.606983e-06,5.640533e-06,5.673128e-06,5.704789e-06,5.735538e-06,5.765394e-06,5.794378e-06,5.822509e-06,5.849805e-06,5.876288e-06
0.000000e+00,5.978303e-13,1.825519e-12,9.564070e-12,2.866147e-11,4.740440e-11,1.408688e-10,1.465243e-10,3.510987e-10,4.347113e-10,7.182539e-10,1.045762e-09,1.319603e-09,2.152790e-09,2.240361e-09,3.571314e-09,3.961194e-09,5.393425e-09,6.651314e-09,7.765628e-09,1.033705e-08,1.072368e-08,1.428541e-08,1.507083e-08,1.845608e-08,2.086455e-08,2.323199e-08,2.770390e-08,2.860254e-08,3.455162e-08,3.555583e-08,4.105857e-08,4.437304e-08,4.809907e-08,5.409740e-08,5.564588e-08,6.366969e-08,6.466315e-08,7.213982e-08,7.600001e-08,8.102494e-08,8.803583e-08,9.029363e-08,9.991495e-08,1.006990e-07,1.098588e-07,1.139201e-07,1.200962e-07,1.276334e-07,1.305996e-07,1.413431e-07,1.417775e-07,1.523022e-07,1.562959e-07,1.634543e-07,1.711371e-07,1.747783e-07,1.862547e-07,1.978656e-07,2.016068e-07,2.095946e-07,2.171561e-07,2.214266e-07,2.328695e-07,2.333479e-07,2.453458e-07,2.487173e-07,2.574087e-07,2.646733e-07,2.695263e-07,2.807143e-07,2.816888e-07,2.938874e-07,2.968195e-07,3.061141e-07,3.129706e-07,3.183616e-07,3.291511e-07,3.306230e-07,3.428921e-07,3.453464e-07,3.551633e-07,3.615434e-07,3.674313e-07,3.777304e-07,3.796912e-07,3.919387e-07,3.938969e-07,4.041696e-07,4.100334e-07,4.163801e-07,4.261314e-07,4.285666e-07,4.407261e-07,4.421832e-07,4.528553e-07,4.581820e-07,4.649517e-07,4.741213e-07,4.770125e-07,4.890354e-07,4.899955e-07,5.010181e-07,5.057995e-07,5.129586e-07,5.215285e-07,5.248549e-07,5.367052e-07,5.371783e-07,5.485080e-07,5.527450e-07,5.602616e-07,5.682252e-07,5.719645e-07,5.836156e-07,5.952134e-07,5.989133e-07,6.067570e-07,6.141158e-07,6.182451e-07,6.292207e-07,6.296769e-07,6.410514e-07,6.442259e-07,6.523677e-07,6.591293e-07,6.636252e-07,6.739294e-07,6.748230e-07,6.859605e-07,6.886245e-07,6.970372e-07,7.032133e-07,7.080524e-07,7.176946e-07,7.190057e-07,7.298967e-07,7.320673e-07,7.407248e-07,7.463305e-07,7.514898e-07,7.604833e-07,7.621913e-07,7.728290e-07,7.745251e-07,7.834027e-07,7.884553e-07,7.939122e-07,8.022734e-07,8.043572e-07,8.147377e-07,8.159790e-07,8.250534e-07,8.295718e-07,8.353044e-07,8.430517e-07,8.454904e-07,8.556116e-07,8.564185e-07,8.656678e-07,8.696721e-07,8.756591e-07,8.828126e-07,8.855854e-07,8.954469e-07,8.958400e-07,9.052435e-07,9.087544e-07,9.149754e-07,9.215562e-07,9.246427e-07,9.342454e-07,9.468224e-07,9.592876e-07,9.716413e-07,9.838840e-07,9.960161e-07,1.008038e-06,1.019950e-06,1.031754e-06,1.043449e-06,1.055036e-06,1.066516e-06,1.077890e-06,1.089157e-06,1.100320e-06,1.111378e-06,1.122333e-06,1.133184e-06,1.143934e-06,1.154582e-06,1.165129e-06,1.175577e-06,1.185925e-06,1.196176e-06,1.206329e-06
0.000000e+00,4.268313e-13,2.185114e-12,2.044273e-11,8.114626e-11,1.492973e-10,5.367986e-10,5.616902e-10,1.513761e-09,1.920892e-09,3.342082e-09,5.030516e-09,6.465815e-09,1.091587e-08,1.138932e-08,1.870024e-08,2.088200e-08,2.905544e-08,3.644198e-08,4.314648e-08,5.917034e-08,6.164293e-08,8.512844e-08,9.046664e-08,1.140562e-07,1.313584e-07,1.487385e-07,1.824575e-07,1.893608e-07,2.360058e-07,2.440290e-07,2.886755e-07,3.160809e-07,3.473084e-07,3.984348e-07,4.117931e-07,4.819785e-07,4.907755e-07,5.576825e-07,5.926882e-07,6.386989e-07,7.036865e-07,7.248030e-07,8.157577e-07,8.232363e-07,9.113169e-07,9.507737e-07,1.011230e-06,1.085721e-06,1.115243e-06,1.223106e-06,1.227497e-06,1.334569e-06,1.375529e-06,1.449386e-06,1.529256e-06,1.567319e-06,1.688136e-06,1.811611e-06,1.851648e-06,1.937526e-06,2.019295e-06,2.065672e-06,2.190606e-06,2.195849e-06,2.327864e-06,2.365132e-06,2.461531e-06,2.542451e-06,2.596676e-06,2.722168e-06,2.733129e-06,2.870732e-06,2.903910e-06,3.009331e-06,3.087328e-06,3.148783e-06,3.272096e-06,3.288950e-06,3.429701e-06,3.457910e-06,3.570913e-06,3.644487e-06,3.712470e-06,3.831562e-06,3.854260e-06,3.996179e-06,4.018891e-06,4.138129e-06,4.206248e-06,4.280016e-06,4.393422e-06,4.421753e-06,4.563257e-06,4.580219e-06,4.704451e-06,4.766459e-06,4.845261e-06,4.951978e-06,4.985619e-06,5.125461e-06,5.136624e-06,5.264726e-06,5.320258e-06,5.403358e-06,5.502752e-06,5.541305e-06,5.678517e-06,5.683989e-06,5.814948e-06,5.863864e-06,5.950557e-06,6.042281e-06,6.085303e-06,6.219150e-06,6.352065e-06,6.394395e-06,6.484015e-06,6.567943e-06,6.614971e-06,6.739731e-06,6.744909e-06,6.873803e-06,6.909703e-06,7.001631e-06,7.077807e-06,7.128373e-06,7.244001e-06,7.254011e-06,7.378529e-06,7.408245e-06,7.501911e-06,7.570505e-06,7.624146e-06,7.730754e-06,7.745221e-06,7.865127e-06,7.888967e-06,7.983854e-06,8.045124e-06,8.101396e-06,8.199210e-06,8.217745e-06,8.332898e-06,8.351211e-06,8.446851e-06,8.501120e-06,8.559599e-06,8.648930e-06,8.671142e-06,8.781479e-06,8.794639e-06,8.890609e-06,8.938244e-06,8.998533e-06,9.079750e-06,9.105253e-06,9.210770e-06,9.219160e-06,9.315088e-06,9.356480e-06,9.418210e-06,9.491719e-06,9.520140e-06,9.620882e-06,9.624887e-06,9.720442e-06,9.755996e-06,9.818826e-06,9.885057e-06,9.916039e-06,1.001209e-05,1.013710e-05,1.026011e-05,1.038115e-05,1.050021e-05,1.061734e-05,1.073254e-05,1.084584e-05,1.095725e-05,1.106681e-05,1.117453e-05,1.128044e-05,1.138455e-05,1.148689e-05,1.158749e-05,1.168637e-05,1.178356e-05,1.187907e-05,1.197293e-05,1.206516e-05,1.215579e-05,1.224485e-05,1.233235e-05,1.241833e-05,1.250280e-05
0.000000e+00,2.910641e-17,3.138749e-16,1.026411e-14,9.900080e-14,2.751347e-13,2.396515e-12,2.587795e-12,1.379795e-11,2.056682e-11,5.165624e-11,1.011624e-10,1.522302e-10,3.533663e-10,3.780897e-10,8.268638e-10,9.823978e-10,1.639714e-09,2.323127e-09,3.008060e-09,4.863727e-09,5.175133e-09,8.428821e-09,9.237515e-09,1.308522e-08,1.616821e-08,1.946629e-08,2.638326e-08,2.787699e-08,3.858672e-08,4.052919e-08,5.181746e-08,5.911542e-08,6.773849e-08,8.249248e-08,8.646659e-08,1.080695e-07,1.108566e-07,1.325716e-07,1.442687e-07,1.599595e-07,1.826777e-07,1.901883e-07,2.231862e-07,2.259430e-07,2.588600e-07,2.738544e-07,2.970985e-07,3.261485e-07,3.377765e-07,3.807583e-07,3.825234e-07,4.258997e-07,4.426508e-07,4.730520e-07,5.061867e-07,5.220633e-07,5.727815e-07,6.250554e-07,6.420873e-07,6.787368e-07,7.137649e-07,7.336818e-07,7.874887e-07,7.897514e-07,8.468131e-07,8.629508e-07,9.047408e-07,9.398634e-07,9.634156e-07,1.017960e-06,1.022726e-06,1.082567e-06,1.096998e-06,1.142843e-06,1.176754e-06,1.203464e-06,1.257029e-06,1.264346e-06,1.325414e-06,1.337643e-06,1.386598e-06,1.418437e-06,1.447833e-06,1.499268e-06,1.509062e-06,1.570232e-06,1.580011e-06,1.631294e-06,1.660553e-06,1.692205e-06,1.740798e-06,1.752925e-06,1.813418e-06,1.820660e-06,1.873652e-06,1.900065e-06,1.933597e-06,1.978946e-06,1.993228e-06,2.052521e-06,2.057249e-06,2.111454e-06,2.134923e-06,2.170010e-06,2.211927e-06,2.228171e-06,2.285922e-06,2.288223e-06,2.343249e-06,2.363781e-06,2.400142e-06,2.438575e-06,2.456589e-06,2.512582e-06,2.568112e-06,2.585783e-06,2.623173e-06,2.658163e-06,2.677759e-06,2.729709e-06,2.731864e-06,2.785485e-06,2.800411e-06,2.838617e-06,2.870261e-06,2.891259e-06,2.939254e-06,2.943407e-06,2.995061e-06,3.007385e-06,3.046220e-06,3.074651e-06,3.096881e-06,3.141053e-06,3.147047e-06,3.196715e-06,3.206590e-06,3.245888e-06,3.271263e-06,3.294567e-06,3.335075e-06,3.342751e-06,3.390444e-06,3.398029e-06,3.437646e-06,3.460129e-06,3.484359e-06,3.521380e-06,3.530587e-06,3.576331e-06,3.581788e-06,3.621594e-06,3.641358e-06,3.666379e-06,3.700097e-06,3.710689e-06,3.754526e-06,3.758013e-06,3.797894e-06,3.815111e-06,3.840797e-06,3.871401e-06,3.883237e-06,3.925219e-06,3.926889e-06,3.966746e-06,3.981585e-06,4.007821e-06,4.035497e-06,4.048449e-06,4.088633e-06,4.141003e-06,4.192616e-06,4.243480e-06,4.293606e-06,4.343002e-06,4.391678e-06,4.439643e-06,4.486908e-06,4.533481e-06,4.579371e-06,4.624590e-06,4.669146e-06,4.713048e-06,4.756306e-06,4.798930e-06,4.840929e-06,4.882311e-06,4.923088e-06,4.963267e-06,5.002857e-06,5.041869e-06,5.080310e-06,5.118189e-06,5.155516e-06
0.000000e+00,3.119649e-14,2.472404e-13,4.484055e-12,2.673085e-11,5.828525e-11,2.894811e-10,3.060899e-10,1.017749e-09,1.350889e-09,2.587801e-09,4.151218e-09,5.531424e-09,9.995926e-09,1.048292e-08,1.819533e-08,2.055125e-08,2.953617e-08,3.782869e-08,4.547063e-08,6.410380e-08,6.702011e-08,9.519048e-08,1.017013e-07,1.308864e-07,1.526753e-07,1.748471e-07,2.185709e-07,2.276256e-07,2.896017e-07,3.003889e-07,3.610095e-07,3.986725e-07,4.419617e-07,5.136064e-07,5.324701e-07,6.324605e-07,6.450901e-07,7.417844e-07,7.927914e-07,8.602305e-07,9.561889e-07,9.875335e-07,1.123384e-06,1.134611e-06,1.267437e-06,1.327272e-06,1.419319e-06,1.533302e-06,1.578637e-06,1.744985e-06,1.751779e-06,1.917946e-06,1.981751e-06,2.097103e-06,2.222256e-06,2.282039e-06,2.472339e-06,2.667598e-06,2.731064e-06,2.867420e-06,2.997522e-06,3.071419e-06,3.270842e-06,3.279222e-06,3.490470e-06,3.550189e-06,3.704815e-06,3.834771e-06,3.921927e-06,4.123841e-06,4.141489e-06,4.363197e-06,4.416694e-06,4.586764e-06,4.712670e-06,4.811915e-06,5.011150e-06,5.038389e-06,5.265940e-06,5.311559e-06,5.494335e-06,5.613359e-06,5.723351e-06,5.916051e-06,5.952779e-06,6.182424e-06,6.219174e-06,6.412098e-06,6.522301e-06,6.641627e-06,6.825035e-06,6.870846e-06,7.099601e-06,7.127013e-06,7.327746e-06,7.427901e-06,7.555145e-06,7.727390e-06,7.781670e-06,8.007203e-06,8.025200e-06,8.231633e-06,8.321072e-06,8.454854e-06,8.614771e-06,8.676771e-06,8.897293e-06,8.906084e-06,9.116337e-06,9.194816e-06,9.333825e-06,9.480791e-06,9.549685e-06,9.763851e-06,9.976262e-06,1.004385e-05,1.018686e-05,1.032067e-05,1.039560e-05,1.059419e-05,1.060243e-05,1.080730e-05,1.086431e-05,1.101019e-05,1.113095e-05,1.121105e-05,1.139402e-05,1.140985e-05,1.160656e-05,1.165346e-05,1.180116e-05,1.190921e-05,1.199363e-05,1.216123e-05,1.218395e-05,1.237210e-05,1.240947e-05,1.255807e-05,1.265391e-05,1.274184e-05,1.289451e-05,1.292342e-05,1.310278e-05,1.313127e-05,1.327992e-05,1.336416e-05,1.345485e-05,1.359319e-05,1.362756e-05,1.379805e-05,1.381836e-05,1.396632e-05,1.403965e-05,1.413237e-05,1.425710e-05,1.429622e-05,1.445786e-05,1.447070e-05,1.461730e-05,1.468047e-05,1.477456e-05,1.488644e-05,1.492964e-05,1.508255e-05,1.508862e-05,1.523330e-05,1.528704e-05,1.538190e-05,1.548174e-05,1.552838e-05,1.567273e-05,1.586006e-05,1.604376e-05,1.622386e-05,1.640040e-05,1.657343e-05,1.674298e-05,1.690910e-05,1.707182e-05,1.723120e-05,1.738727e-05,1.754008e-05,1.768969e-05,1.783612e-05,1.797944e-05,1.811968e-05,1.825690e-05,1.839113e-05,1.852244e-05,1.865086e-05,1.877644e-05,1.889924e-05,1.901929e-05,1.913664e-05,1.925134e-05
0.000000e+00,8.645569e-12,2.671934e-11,1.428539e-10,4.354501e-10,7.270052e-10,2.216359e-09,2.307871e-09,5.690708e-09,7.105870e-09,1.201030e-08,1.783528e-08,2.280829e-08,3.835059e-08,4.001185e-08,6.569549e-08,7.333911e-08,1.017601e-07,1.270948e-07,1.497936e-07,2.030098e-07,2.111067e-07,2.868068e-07,3.037597e-07,3.778499e-07,4.315364e-07,4.850669e-07,5.881552e-07,6.091733e-07,7.507704e-07,7.750831e-07,9.103431e-07,9.934351e-07,1.088257e-06,1.243964e-06,1.284758e-06,1.499971e-06,1.527056e-06,1.733904e-06,1.842742e-06,1.986453e-06,2.190717e-06,2.257411e-06,2.546473e-06,2.570369e-06,2.853248e-06,2.980815e-06,3.177268e-06,3.420943e-06,3.517999e-06,3.874852e-06,3.889453e-06,4.247190e-06,4.384894e-06,4.634340e-06,4.905705e-06,5.035599e-06,5.450246e-06,5.877544e-06,6.016830e-06,6.316750e-06,6.603746e-06,6.767117e-06,7.209280e-06,7.227902e-06,7.698368e-06,7.831734e-06,8.177788e-06,8.469440e-06,8.665447e-06,9.120768e-06,9.160645e-06,9.662699e-06,9.784137e-06,1.017094e-05,1.045802e-05,1.068473e-05,1.114096e-05,1.120344e-05,1.172647e-05,1.183154e-05,1.225322e-05,1.252842e-05,1.278314e-05,1.323033e-05,1.331569e-05,1.385034e-05,1.393605e-05,1.438660e-05,1.464444e-05,1.492399e-05,1.535441e-05,1.546205e-05,1.600035e-05,1.606494e-05,1.653847e-05,1.677508e-05,1.707600e-05,1.748390e-05,1.761257e-05,1.814783e-05,1.819058e-05,1.868142e-05,1.889432e-05,1.921303e-05,1.959438e-05,1.974233e-05,2.026906e-05,2.029007e-05,2.079291e-05,2.098075e-05,2.131365e-05,2.166583e-05,2.183101e-05,2.234477e-05,2.285472e-05,2.301706e-05,2.336064e-05,2.368223e-05,2.386235e-05,2.433985e-05,2.435966e-05,2.485241e-05,2.498955e-05,2.534045e-05,2.563095e-05,2.582363e-05,2.626375e-05,2.630182e-05,2.677489e-05,2.688765e-05,2.724272e-05,2.750239e-05,2.770522e-05,2.810774e-05,2.816229e-05,2.861384e-05,2.870348e-05,2.905980e-05,2.928946e-05,2.950008e-05,2.986549e-05,2.993463e-05,3.036339e-05,3.043146e-05,3.078632e-05,3.098724e-05,3.120336e-05,3.153274e-05,3.161449e-05,3.201967e-05,3.206789e-05,3.241887e-05,3.259262e-05,3.281208e-05,3.310691e-05,3.319929e-05,3.358047e-05,3.361071e-05,3.395564e-05,3.410402e-05,3.432478e-05,3.458683e-05,3.468790e-05,3.504501e-05,3.505917e-05,3.539612e-05,3.552106e-05,3.574125e-05,3.597252e-05,3.608041e-05,3.641362e-05,3.684440e-05,3.726492e-05,3.767527e-05,3.807551e-05,3.846573e-05,3.884603e-05,3.921650e-05,3.957725e-05,3.992837e-05,4.026999e-05,4.060221e-05,4.092516e-05,4.123896e-05,4.154373e-05,4.183960e-05,4.212669e-05,4.240514e-05,4.267508e-05,4.293663e-05,4.318994e-05,4.343515e-05,4.367237e-05,4.390176e-05,4.412344e-05
0.000000e+00,9.318368e-16,9.618378e-15,2.878897e-13,2.569092e-12,6.850366e-12,5.387094e-11,5.793815e-11,2.812888e-10,4.093124e-10,9.704503e-10,1.819509e-09,2.665420e-09,5.852070e-09,6.233626e-09,1.295058e-08,1.521486e-08,2.456207e-08,3.401094e-08,4.328249e-08,6.767856e-08,7.168932e-08,1.125295e-07,1.224302e-07,1.685044e-07,2.044299e-07,2.421006e-07,3.191405e-07,3.354932e-07,4.505127e-07,4.710271e-07,5.886529e-07,6.635305e-07,7.510945e-07,8.991553e-07,9.387327e-07,1.152201e-06,1.179574e-06,1.391890e-06,1.505711e-06,1.657965e-06,1.877808e-06,1.950380e-06,2.268893e-06,2.295490e-06,2.613086e-06,2.757828e-06,2.982378e-06,3.263410e-06,3.376049e-06,3.793257e-06,3.810421e-06,4.233056e-06,4.396718e-06,4.694420e-06,5.019909e-06,5.176256e-06,5.677423e-06,6.196750e-06,6.366575e-06,6.733042e-06,7.084618e-06,7.285100e-06,7.828795e-06,7.851725e-06,8.431732e-06,8.596372e-06,9.023952e-06,9.384669e-06,9.627240e-06,1.019108e-05,1.024048e-05,1.086259e-05,1.101310e-05,1.149252e-05,1.184831e-05,1.212925e-05,1.269442e-05,1.277181e-05,1.341926e-05,1.354925e-05,1.407070e-05,1.441074e-05,1.472528e-05,1.527696e-05,1.538219e-05,1.604063e-05,1.614608e-05,1.669989e-05,1.701641e-05,1.735926e-05,1.788639e-05,1.801808e-05,1.867574e-05,1.875455e-05,1.933164e-05,1.961954e-05,1.998524e-05,2.048011e-05,2.063601e-05,2.128347e-05,2.133511e-05,2.192715e-05,2.218347e-05,2.256663e-05,2.302422e-05,2.320150e-05,2.383140e-05,2.385648e-05,2.445596e-05,2.467944e-05,2.507487e-05,2.549234e-05,2.568782e-05,2.629453e-05,2.689475e-05,2.708541e-05,2.748824e-05,2.786443e-05,2.807477e-05,2.863112e-05,2.865415e-05,2.922621e-05,2.938504e-05,2.979076e-05,3.012583e-05,3.034767e-05,3.085316e-05,3.089681e-05,3.143804e-05,3.156675e-05,3.197127e-05,3.226636e-05,3.249642e-05,3.295178e-05,3.301338e-05,3.352211e-05,3.362286e-05,3.402255e-05,3.427948e-05,3.451464e-05,3.492152e-05,3.499835e-05,3.547367e-05,3.554893e-05,3.594056e-05,3.616167e-05,3.639902e-05,3.675973e-05,3.684906e-05,3.729068e-05,3.734311e-05,3.772389e-05,3.791184e-05,3.814871e-05,3.846598e-05,3.856517e-05,3.897330e-05,3.900560e-05,3.937315e-05,3.953078e-05,3.976475e-05,4.004163e-05,4.014816e-05,4.052342e-05,4.053826e-05,4.089059e-05,4.102080e-05,4.124974e-05,4.148941e-05,4.160092e-05,4.194422e-05,4.238540e-05,4.281311e-05,4.322755e-05,4.362890e-05,4.401733e-05,4.439306e-05,4.475629e-05,4.510721e-05,4.544604e-05,4.577299e-05,4.608827e-05,4.639210e-05,4.668470e-05,4.696629e-05,4.723708e-05,4.749729e-05,4.774715e-05,4.798687e-05,4.821667e-05,4.843676e-05,4.864738e-05,4.884872e-05,4.904100e-05,4.922443e-05
0.000000e+00,1.075278e-14,8.609249e-14,1.589681e-12,9.601198e-12,2.106141e-11,1.059202e-10,1.120454e-10,3.759132e-10,4.999734e-10,9.620928e-10,1.548241e-09,2.066926e-09,3.749898e-09,3.933858e-09,6.854684e-09,7.749335e-09,1.116995e-08,1.433766e-08,1.726489e-08,2.443085e-08,2.555578e-08,3.646435e-08,3.899575e-08,5.038525e-08,5.893016e-08,6.765863e-08,8.496042e-08,8.855695e-08,1.132849e-07,1.176072e-07,1.419864e-07,1.572034e-07,1.747535e-07,2.039274e-07,2.116334e-07,2.526355e-07,2.578319e-07,2.977355e-07,3.188649e-07,3.468801e-07,3.868873e-07,3.999905e-07,4.569660e-07,4.616876e-07,5.176875e-07,5.429952e-07,5.820201e-07,6.304934e-07,6.498168e-07,7.209208e-07,7.238315e-07,7.951683e-07,8.226346e-07,8.723907e-07,9.265137e-07,9.524164e-07,1.035073e-06,1.120189e-06,1.147917e-06,1.207593e-06,1.264655e-06,1.297118e-06,1.384905e-06,1.388600e-06,1.481879e-06,1.508298e-06,1.576801e-06,1.634480e-06,1.673215e-06,1.763109e-06,1.770976e-06,1.869947e-06,1.893864e-06,1.969992e-06,2.026439e-06,2.070985e-06,2.160546e-06,2.172804e-06,2.275331e-06,2.295912e-06,2.378457e-06,2.432283e-06,2.482075e-06,2.569422e-06,2.586086e-06,2.690393e-06,2.707104e-06,2.794907e-06,2.845122e-06,2.899543e-06,2.983284e-06,3.004219e-06,3.108859e-06,3.121409e-06,3.213390e-06,3.259332e-06,3.317745e-06,3.396896e-06,3.421859e-06,3.525671e-06,3.533961e-06,3.629125e-06,3.670395e-06,3.732168e-06,3.806075e-06,3.834748e-06,3.936820e-06,3.940891e-06,4.038338e-06,4.074741e-06,4.139261e-06,4.207530e-06,4.239551e-06,4.339172e-06,4.438091e-06,4.469591e-06,4.536275e-06,4.598714e-06,4.633696e-06,4.726478e-06,4.730327e-06,4.826144e-06,4.852824e-06,4.921123e-06,4.977700e-06,5.015244e-06,5.101059e-06,5.108486e-06,5.200832e-06,5.222860e-06,5.292266e-06,5.343065e-06,5.382773e-06,5.461642e-06,5.472340e-06,5.560955e-06,5.578563e-06,5.648608e-06,5.693803e-06,5.735287e-06,5.807341e-06,5.820987e-06,5.905698e-06,5.919159e-06,5.989414e-06,6.029244e-06,6.072132e-06,6.137583e-06,6.153845e-06,6.234550e-06,6.244167e-06,6.314245e-06,6.348991e-06,6.392928e-06,6.452050e-06,6.470598e-06,6.547253e-06,6.553342e-06,6.622895e-06,6.652867e-06,6.697523e-06,6.750628e-06,6.771139e-06,6.843745e-06,6.846628e-06,6.915344e-06,6.940873e-06,6.985937e-06,7.033368e-06,7.055529e-06,7.124123e-06,7.213146e-06,7.300448e-06,7.386040e-06,7.469936e-06,7.552147e-06,7.632689e-06,7.711576e-06,7.788823e-06,7.864448e-06,7.938466e-06,8.010894e-06,8.081751e-06,8.151053e-06,8.218821e-06,8.285071e-06,8.349823e-06,8.413097e-06,8.474910e-06,8.535283e-06,8.594236e-06,8.651787e-06,8.707958e-06,8.762766e-06,8.816233e-06
0.000000e+00,2.487694e-16,2.660167e-15,8.554758e-14,8.136105e-13,2.244884e-12,1.923433e-11,2.075724e-11,1.093458e-10,1.625980e-10,4.067486e-10,7.958267e-10,1.198279e-09,2.794668e-09,2.991993e-09,6.603145e-09,7.863986e-09,1.321939e-08,1.880537e-08,2.440076e-08,3.947548e-08,4.198925e-08,6.795163e-08,7.432055e-08,1.042088e-07,1.277177e-07,1.524976e-07,2.034410e-07,2.142860e-07,2.907375e-07,3.043921e-07,3.827125e-07,4.325540e-07,4.907882e-07,5.890664e-07,6.152880e-07,7.563107e-07,7.743411e-07,9.137586e-07,9.881753e-07,1.087362e-06,1.229852e-06,1.276701e-06,1.481228e-06,1.498227e-06,1.700288e-06,1.791816e-06,1.933135e-06,2.108867e-06,2.178955e-06,2.436883e-06,2.447439e-06,2.706017e-06,2.805472e-06,2.985437e-06,3.180846e-06,3.274217e-06,3.571438e-06,3.876197e-06,3.975167e-06,4.187615e-06,4.390025e-06,4.504846e-06,4.814103e-06,4.827079e-06,5.153543e-06,5.245611e-06,5.483509e-06,5.682883e-06,5.816292e-06,6.124386e-06,6.151248e-06,6.487780e-06,6.568719e-06,6.825329e-06,7.014608e-06,7.163381e-06,7.460903e-06,7.501458e-06,7.839123e-06,7.906570e-06,8.175971e-06,8.350686e-06,8.511634e-06,8.792427e-06,8.845774e-06,9.178083e-06,9.231064e-06,9.508282e-06,9.665952e-06,9.836115e-06,1.009652e-05,1.016135e-05,1.048379e-05,1.052228e-05,1.080323e-05,1.094280e-05,1.111952e-05,1.135770e-05,1.143250e-05,1.174204e-05,1.176665e-05,1.204802e-05,1.216939e-05,1.235034e-05,1.256569e-05,1.264890e-05,1.294363e-05,1.295534e-05,1.323445e-05,1.333818e-05,1.352132e-05,1.371410e-05,1.380417e-05,1.408298e-05,1.435770e-05,1.444474e-05,1.462831e-05,1.479934e-05,1.489479e-05,1.514672e-05,1.515714e-05,1.541534e-05,1.548689e-05,1.566939e-05,1.581983e-05,1.591930e-05,1.614555e-05,1.616506e-05,1.640671e-05,1.646409e-05,1.664424e-05,1.677547e-05,1.687768e-05,1.707973e-05,1.710704e-05,1.733236e-05,1.737694e-05,1.755366e-05,1.766716e-05,1.777097e-05,1.795044e-05,1.798431e-05,1.819373e-05,1.822687e-05,1.839925e-05,1.849653e-05,1.860092e-05,1.875950e-05,1.879877e-05,1.899284e-05,1.901587e-05,1.918316e-05,1.926573e-05,1.936979e-05,1.950917e-05,1.955275e-05,1.973210e-05,1.974630e-05,1.990788e-05,1.997720e-05,2.008013e-05,2.020198e-05,2.024889e-05,2.041421e-05,2.042075e-05,2.057613e-05,2.063360e-05,2.073470e-05,2.084064e-05,2.088997e-05,2.104197e-05,2.123770e-05,2.142794e-05,2.161278e-05,2.179233e-05,2.196670e-05,2.213599e-05,2.230031e-05,2.245974e-05,2.261441e-05,2.276440e-05,2.290981e-05,2.305075e-05,2.318732e-05,2.331960e-05,2.344769e-05,2.357169e-05,2.369169e-05,2.380778e-05,2.392006e-05,2.402859e-05,2.413349e-05,2.423482e-05,2.433269e-05,2.442715e-05
0.000000e+00,3.688056e-16,3.917196e-15,1.242164e-13,1.165965e-12,3.193346e-12,2.680798e-11,2.890494e-11,1.487109e-10,2.195353e-10,5.381418e-10,1.033103e-09,1.534244e-09,3.454799e-09,3.686713e-09,7.797044e-09,9.188688e-09,1.494479e-08,2.077328e-08,2.650099e-08,4.162915e-08,4.412609e-08,6.974640e-08,7.601539e-08,1.055049e-07,1.288619e-07,1.536891e-07,2.054845e-07,2.166473e-07,2.967050e-07,3.112520e-07,3.960937e-07,4.512848e-07,5.168952e-07,6.302321e-07,6.610015e-07,8.300880e-07,8.521281e-07,1.025598e-06,1.120312e-06,1.248735e-06,1.437395e-06,1.500458e-06,1.781489e-06,1.805253e-06,2.092311e-06,2.225048e-06,2.433188e-06,2.697265e-06,2.804169e-06,3.205110e-06,3.221767e-06,3.635685e-06,3.797858e-06,4.095409e-06,4.424356e-06,4.583653e-06,5.099666e-06,5.642587e-06,5.821853e-06,6.211472e-06,6.588716e-06,6.805302e-06,7.397849e-06,7.423001e-06,8.063450e-06,8.246697e-06,8.725500e-06,9.132611e-06,9.407979e-06,1.005289e-05,1.010971e-05,1.082950e-05,1.100481e-05,1.156619e-05,1.198567e-05,1.231859e-05,1.299280e-05,1.308557e-05,1.386598e-05,1.402357e-05,1.465871e-05,1.507545e-05,1.546270e-05,1.614596e-05,1.627687e-05,1.710022e-05,1.723274e-05,1.793174e-05,1.833349e-05,1.877047e-05,1.944603e-05,1.961549e-05,2.046591e-05,2.056828e-05,2.132085e-05,2.169825e-05,2.217950e-05,2.283406e-05,2.304106e-05,2.390476e-05,2.397393e-05,2.476989e-05,2.511617e-05,2.563572e-05,2.625920e-05,2.650162e-05,2.736692e-05,2.740151e-05,2.823103e-05,2.854171e-05,2.909338e-05,2.967848e-05,2.995340e-05,3.081059e-05,3.166443e-05,3.193688e-05,3.251448e-05,3.305630e-05,3.336028e-05,3.416786e-05,3.420141e-05,3.503748e-05,3.527062e-05,3.586811e-05,3.636374e-05,3.669296e-05,3.744644e-05,3.751170e-05,3.832402e-05,3.851799e-05,3.912963e-05,3.957774e-05,3.992826e-05,4.062509e-05,4.071967e-05,4.150361e-05,4.165949e-05,4.227988e-05,4.268044e-05,4.304828e-05,4.368751e-05,4.380861e-05,4.456073e-05,4.468029e-05,4.530446e-05,4.565844e-05,4.603968e-05,4.662163e-05,4.676625e-05,4.748407e-05,4.756961e-05,4.819303e-05,4.850214e-05,4.889305e-05,4.941903e-05,4.958404e-05,5.026594e-05,5.032010e-05,5.093870e-05,5.120523e-05,5.160226e-05,5.207432e-05,5.225660e-05,5.290167e-05,5.292728e-05,5.353747e-05,5.376409e-05,5.416398e-05,5.458470e-05,5.478119e-05,5.538912e-05,5.617737e-05,5.694949e-05,5.770555e-05,5.844561e-05,5.916977e-05,5.987813e-05,6.057082e-05,6.124798e-05,6.190973e-05,6.255626e-05,6.318770e-05,6.380425e-05,6.440608e-05,6.499339e-05,6.556636e-05,6.612521e-05,6.667013e-05,6.720135e-05,6.771907e-05,6.822351e-05,6.871490e-05,6.919346e-05,6.965942e-05,7.011300e-05
0.000000e+00,1.876862e-16,2.041136e-15,6.798557e-14,6.669946e-13,1.871265e-12,1.670966e-11,1.806190e-11,9.879671e-11,1.483167e-10,3.794066e-10,7.544800e-10,1.147022e-09,2.726096e-09,2.922823e-09,6.557703e-09,7.838800e-09,1.333480e-08,1.915153e-08,2.505650e-08,4.131719e-08,4.407470e-08,7.322543e-08,8.054596e-08,1.156634e-07,1.440626e-07,1.746332e-07,2.392186e-07,2.532323e-07,3.542144e-07,3.726084e-07,4.798577e-07,5.494573e-07,6.318989e-07,7.733535e-07,8.115244e-07,1.019398e-06,1.046255e-06,1.255714e-06,1.368661e-06,1.520255e-06,1.739849e-06,1.812460e-06,2.131478e-06,2.158126e-06,2.476227e-06,2.621053e-06,2.845443e-06,3.125645e-06,3.237722e-06,3.651557e-06,3.668537e-06,4.085374e-06,4.246130e-06,4.537561e-06,4.854709e-06,5.006489e-06,5.490537e-06,5.988109e-06,6.149932e-06,6.497645e-06,6.829329e-06,7.017639e-06,7.525324e-06,7.546639e-06,8.083263e-06,8.234702e-06,8.626194e-06,8.954461e-06,9.174191e-06,9.681815e-06,9.726084e-06,1.028078e-05,1.041421e-05,1.083725e-05,1.114929e-05,1.139455e-05,1.188496e-05,1.195179e-05,1.250817e-05,1.261927e-05,1.306292e-05,1.335052e-05,1.361536e-05,1.407715e-05,1.416485e-05,1.471081e-05,1.479780e-05,1.525271e-05,1.551124e-05,1.579008e-05,1.621642e-05,1.632248e-05,1.684951e-05,1.691238e-05,1.737082e-05,1.759831e-05,1.788610e-05,1.827350e-05,1.839506e-05,1.889745e-05,1.893735e-05,1.939305e-05,1.958934e-05,1.988166e-05,2.022904e-05,2.036312e-05,2.083728e-05,2.085609e-05,2.130402e-05,2.147020e-05,2.176323e-05,2.207114e-05,2.221482e-05,2.265874e-05,2.309493e-05,2.323287e-05,2.352335e-05,2.379345e-05,2.394398e-05,2.434044e-05,2.435681e-05,2.476183e-05,2.487384e-05,2.515906e-05,2.539366e-05,2.554851e-05,2.589996e-05,2.593022e-05,2.630421e-05,2.639283e-05,2.667054e-05,2.687236e-05,2.702926e-05,2.733867e-05,2.738041e-05,2.772406e-05,2.779189e-05,2.806027e-05,2.823219e-05,2.838913e-05,2.865973e-05,2.871069e-05,2.902504e-05,2.907468e-05,2.933227e-05,2.947723e-05,2.963245e-05,2.986757e-05,2.992566e-05,3.021201e-05,3.024591e-05,3.049157e-05,3.061246e-05,3.076445e-05,3.096742e-05,3.103073e-05,3.129050e-05,3.131101e-05,3.154387e-05,3.164345e-05,3.179093e-05,3.196496e-05,3.203178e-05,3.226651e-05,3.227577e-05,3.249521e-05,3.257610e-05,3.271800e-05,3.286616e-05,3.293496e-05,3.314619e-05,3.341641e-05,3.367704e-05,3.392830e-05,3.417041e-05,3.440359e-05,3.462804e-05,3.484399e-05,3.505164e-05,3.525121e-05,3.544288e-05,3.562686e-05,3.580336e-05,3.597257e-05,3.613467e-05,3.628985e-05,3.643830e-05,3.658021e-05,3.671574e-05,3.684507e-05,3.696838e-05,3.708582e-05,3.719757e-05,3.730378e-05,3.740461e-05
0.000000e+00,3.692756e-16,3.700719e-15,1.043748e-13,8.841497e-13,2.292926e-12,1.682212e-11,1.804233e-11,8.199149e-11,1.172202e-10,2.659311e-10,4.811387e-10,6.885501e-10,1.433845e-09,1.520387e-09,2.985609e-09,3.461269e-09,5.362245e-09,7.212550e-09,8.981341e-09,1.349534e-08,1.422381e-08,2.151235e-08,2.325487e-08,3.129611e-08,3.752096e-08,4.402904e-08,5.732304e-08,6.014607e-08,8.004297e-08,8.360101e-08,1.040632e-07,1.171436e-07,1.324920e-07,1.585631e-07,1.655555e-07,2.034230e-07,2.082960e-07,2.462113e-07,2.666161e-07,2.939879e-07,3.336499e-07,3.467756e-07,4.045559e-07,4.093925e-07,4.672730e-07,4.937233e-07,5.348378e-07,5.864205e-07,6.071315e-07,6.840096e-07,6.871778e-07,7.653061e-07,7.956194e-07,8.508366e-07,9.113152e-07,9.404030e-07,1.033796e-06,1.130798e-06,1.162565e-06,1.231188e-06,1.297111e-06,1.334741e-06,1.436920e-06,1.441233e-06,1.550442e-06,1.581477e-06,1.662148e-06,1.730281e-06,1.776136e-06,1.882842e-06,1.892199e-06,2.010133e-06,2.038694e-06,2.129743e-06,2.197387e-06,2.250842e-06,2.358497e-06,2.373250e-06,2.496795e-06,2.521626e-06,2.621314e-06,2.686396e-06,2.746651e-06,2.852459e-06,2.872659e-06,2.999199e-06,3.019486e-06,3.126139e-06,3.187175e-06,3.253354e-06,3.355245e-06,3.380727e-06,3.508149e-06,3.523438e-06,3.635516e-06,3.691514e-06,3.762730e-06,3.859256e-06,3.889702e-06,4.016347e-06,4.026462e-06,4.142584e-06,4.192948e-06,4.268340e-06,4.358548e-06,4.393546e-06,4.518139e-06,4.523109e-06,4.642057e-06,4.686492e-06,4.765247e-06,4.848574e-06,4.887657e-06,5.009239e-06,5.129951e-06,5.168388e-06,5.249751e-06,5.325928e-06,5.368604e-06,5.481779e-06,5.486474e-06,5.603332e-06,5.635867e-06,5.719149e-06,5.788129e-06,5.833900e-06,5.938509e-06,5.947561e-06,6.060112e-06,6.086956e-06,6.171533e-06,6.233430e-06,6.281809e-06,6.377893e-06,6.390925e-06,6.498867e-06,6.520314e-06,6.605625e-06,6.660667e-06,6.711188e-06,6.798933e-06,6.815550e-06,6.918702e-06,6.935094e-06,7.020640e-06,7.069138e-06,7.121360e-06,7.201056e-06,7.220858e-06,7.319133e-06,7.330843e-06,7.416183e-06,7.458497e-06,7.512009e-06,7.584019e-06,7.606612e-06,7.699994e-06,7.707412e-06,7.792157e-06,7.828681e-06,7.883104e-06,7.947836e-06,7.972840e-06,8.061369e-06,8.064885e-06,8.148696e-06,8.179840e-06,8.234827e-06,8.292716e-06,8.319768e-06,8.403527e-06,8.512289e-06,8.619020e-06,8.723739e-06,8.826466e-06,8.927220e-06,9.026024e-06,9.122899e-06,9.217868e-06,9.310955e-06,9.402183e-06,9.491576e-06,9.579158e-06,9.664956e-06,9.748992e-06,9.831293e-06,9.911884e-06,9.990790e-06,1.006804e-05,1.014365e-05,1.021766e-05,1.029008e-05,1.036094e-05,1.043028e-05,1.049810e-05
0.000000e+00,1.674145e-18,1.928724e-17,7.233213e-16,7.902468e-15,2.351123e-14,2.439283e-13,2.652653e-13,1.677670e-12,2.617702e-12,7.363818e-12,1.577478e-11,2.514018e-11,6.610002e-11,7.146035e-11,1.767145e-10,2.158634e-10,3.917522e-10,5.881089e-10,7.953350e-10,1.396457e-09,1.502062e-09,2.670112e-09,2.976480e-09,4.507968e-09,5.813584e-09,7.279199e-09,1.056131e-08,1.130452e-08,1.696067e-08,1.804495e-08,2.467595e-08,2.924798e-08,3.492280e-08,4.528254e-08,4.820773e-08,6.505944e-08,6.734688e-08,8.601593e-08,9.667523e-08,1.116111e-07,1.344849e-07,1.423620e-07,1.787563e-07,1.819254e-07,2.212417e-07,2.400325e-07,2.702166e-07,3.096910e-07,3.260225e-07,3.889385e-07,3.916062e-07,4.591774e-07,4.862861e-07,5.368840e-07,5.940317e-07,6.221345e-07,7.149382e-07,8.152403e-07,8.489034e-07,9.229253e-07,9.956412e-07,1.037822e-06,1.154702e-06,1.159708e-06,1.288318e-06,1.325493e-06,1.423347e-06,1.507307e-06,1.564459e-06,1.699343e-06,1.711292e-06,1.863463e-06,1.900734e-06,2.020576e-06,2.110568e-06,2.182228e-06,2.327911e-06,2.348009e-06,2.517512e-06,2.551823e-06,2.690333e-06,2.781380e-06,2.866078e-06,3.015681e-06,3.044361e-06,3.224811e-06,3.253860e-06,3.407070e-06,3.495097e-06,3.590800e-06,3.738624e-06,3.775676e-06,3.961393e-06,3.983722e-06,4.147666e-06,4.229732e-06,4.334225e-06,4.476047e-06,4.520820e-06,4.707221e-06,4.722118e-06,4.893211e-06,4.967448e-06,5.078594e-06,5.211592e-06,5.263189e-06,5.446829e-06,5.454152e-06,5.629363e-06,5.694778e-06,5.810654e-06,5.933157e-06,5.990577e-06,6.169020e-06,6.345881e-06,6.402127e-06,6.521069e-06,6.632275e-06,6.694505e-06,6.859287e-06,6.866115e-06,7.035837e-06,7.083012e-06,7.203613e-06,7.303324e-06,7.369394e-06,7.520115e-06,7.533138e-06,7.694808e-06,7.733297e-06,7.854373e-06,7.942799e-06,8.011805e-06,8.148565e-06,8.167084e-06,8.320190e-06,8.350549e-06,8.471109e-06,8.548719e-06,8.619831e-06,8.743054e-06,8.766348e-06,8.910655e-06,8.933539e-06,9.052750e-06,9.120170e-06,9.192634e-06,9.302949e-06,9.330307e-06,9.465776e-06,9.481885e-06,9.599047e-06,9.656991e-06,9.730126e-06,9.828287e-06,9.859024e-06,9.985751e-06,9.995796e-06,1.011032e-05,1.015955e-05,1.023274e-05,1.031957e-05,1.035303e-05,1.047121e-05,1.047589e-05,1.058729e-05,1.062856e-05,1.070128e-05,1.077761e-05,1.081321e-05,1.092309e-05,1.106502e-05,1.120347e-05,1.133848e-05,1.147009e-05,1.159835e-05,1.172331e-05,1.184502e-05,1.196354e-05,1.207891e-05,1.219119e-05,1.230042e-05,1.240666e-05,1.250997e-05,1.261038e-05,1.270797e-05,1.280277e-05,1.289484e-05,1.298424e-05,1.307101e-05,1.315521e-05,1.323688e-05,1.331608e-05,1.339286e-05,1.346727e-05
0.000000e+00,3.659362e-12,1.113859e-11,5.840744e-11,1.757078e-10,2.913256e-10,8.710257e-10,9.061969e-10,2.180860e-09,2.702232e-09,4.468876e-09,6.504985e-09,8.203769e-09,1.336073e-08,1.390250e-08,2.216336e-08,2.460011e-08,3.365214e-08,4.175711e-08,4.906987e-08,6.643083e-08,6.909859e-08,9.433302e-08,1.000470e-07,1.252213e-07,1.436159e-07,1.620395e-07,1.976385e-07,2.049039e-07,2.538027e-07,2.621805e-07,3.086305e-07,3.370054e-07,3.692158e-07,4.216842e-07,4.353408e-07,5.067555e-07,5.156680e-07,5.831881e-07,6.183348e-07,6.643525e-07,7.290209e-07,7.499541e-07,8.396947e-07,8.470439e-07,9.332766e-07,9.717188e-07,1.030405e-06,1.102372e-06,1.130792e-06,1.234155e-06,1.238348e-06,1.340224e-06,1.379021e-06,1.448737e-06,1.523793e-06,1.559443e-06,1.672103e-06,1.786490e-06,1.823423e-06,1.902389e-06,1.977263e-06,2.019596e-06,2.133165e-06,2.137917e-06,2.257173e-06,2.290709e-06,2.377193e-06,2.449504e-06,2.497817e-06,2.609195e-06,2.618894e-06,2.740286e-06,2.769452e-06,2.861861e-06,2.929977e-06,2.983497e-06,3.090496e-06,3.105079e-06,3.226502e-06,3.250759e-06,3.347668e-06,3.410542e-06,3.468484e-06,3.569638e-06,3.588867e-06,3.708737e-06,3.727864e-06,3.828022e-06,3.885052e-06,3.946656e-06,4.041052e-06,4.064576e-06,4.181726e-06,4.195730e-06,4.298055e-06,4.348966e-06,4.413513e-06,4.500654e-06,4.528059e-06,4.641653e-06,4.650698e-06,4.754258e-06,4.799017e-06,4.865843e-06,4.945536e-06,4.976378e-06,5.085837e-06,5.090193e-06,5.194196e-06,5.232932e-06,5.301435e-06,5.373708e-06,5.407536e-06,5.512482e-06,5.616259e-06,5.649219e-06,5.718856e-06,5.783894e-06,5.820263e-06,5.916487e-06,5.920472e-06,6.019476e-06,6.046980e-06,6.117269e-06,6.175364e-06,6.213850e-06,6.301630e-06,6.309215e-06,6.403363e-06,6.425777e-06,6.496294e-06,6.547805e-06,6.588011e-06,6.667717e-06,6.678513e-06,6.767806e-06,6.785520e-06,6.855893e-06,6.901223e-06,6.942778e-06,7.014837e-06,7.028468e-06,7.112967e-06,7.126377e-06,7.196284e-06,7.235858e-06,7.278425e-06,7.343296e-06,7.359398e-06,7.439212e-06,7.448712e-06,7.517874e-06,7.552124e-06,7.595396e-06,7.653554e-06,7.671785e-06,7.747052e-06,7.753025e-06,7.821207e-06,7.850560e-06,7.894260e-06,7.946182e-06,7.966222e-06,8.037105e-06,8.039918e-06,8.106918e-06,8.131791e-06,8.175673e-06,8.221828e-06,8.243381e-06,8.310055e-06,8.396499e-06,8.481186e-06,8.564144e-06,8.645401e-06,8.724982e-06,8.802916e-06,8.879230e-06,8.953952e-06,9.027108e-06,9.098725e-06,9.168832e-06,9.237454e-06,9.304618e-06,9.370351e-06,9.434678e-06,9.497626e-06,9.559221e-06,9.619487e-06,9.678449e-06,9.736134e-06,9.792564e-06,9.847764e-06,9.901758e-06,9.954570e-06
0.000000e+00,2.652643e-17,2.983850e-16,1.064984e-14,1.111847e-13,3.226187e-13,3.136947e-12,3.402340e-12,2.017492e-11,3.093369e-11,8.328930e-11,1.722487e-10,2.683198e-10,6.707773e-10,7.220964e-10,1.696303e-09,2.047734e-09,3.584089e-09,5.245030e-09,6.957124e-09,1.177105e-08,1.259946e-08,2.153260e-08,2.382142e-08,3.502423e-08,4.433086e-08,5.457361e-08,7.690819e-08,8.187001e-08,1.187271e-07,1.256356e-07,1.670008e-07,1.947629e-07,2.285013e-07,2.883611e-07,3.049099e-07,3.977075e-07,4.100058e-07,5.081215e-07,5.625375e-07,6.370914e-07,7.479215e-07,7.852535e-07,9.529408e-07,9.672025e-07,1.140197e-06,1.220537e-06,1.346799e-06,1.507282e-06,1.572288e-06,1.816001e-06,1.826118e-06,2.077106e-06,2.175179e-06,2.354638e-06,2.552199e-06,2.647526e-06,2.954629e-06,3.274762e-06,3.379759e-06,3.606714e-06,3.824805e-06,3.949273e-06,4.286998e-06,4.301243e-06,4.661454e-06,4.763635e-06,5.028776e-06,5.252129e-06,5.402124e-06,5.750041e-06,5.780469e-06,6.162835e-06,6.255099e-06,6.548310e-06,6.765212e-06,6.936037e-06,7.278469e-06,7.325223e-06,7.715134e-06,7.793143e-06,8.105093e-06,8.307681e-06,8.494477e-06,8.820700e-06,8.882720e-06,9.269304e-06,9.330971e-06,9.653758e-06,9.837413e-06,1.003566e-05,1.033908e-05,1.041462e-05,1.079030e-05,1.083514e-05,1.116238e-05,1.132489e-05,1.153060e-05,1.180771e-05,1.189471e-05,1.225448e-05,1.228307e-05,1.260975e-05,1.275055e-05,1.296032e-05,1.320976e-05,1.330607e-05,1.364687e-05,1.366039e-05,1.398261e-05,1.410222e-05,1.431320e-05,1.453503e-05,1.463858e-05,1.495867e-05,1.527344e-05,1.537304e-05,1.558286e-05,1.577806e-05,1.588688e-05,1.617367e-05,1.618551e-05,1.647874e-05,1.655987e-05,1.676656e-05,1.693667e-05,1.704899e-05,1.730408e-05,1.732605e-05,1.759775e-05,1.766216e-05,1.786412e-05,1.801098e-05,1.812520e-05,1.835060e-05,1.838102e-05,1.863163e-05,1.868112e-05,1.887705e-05,1.900265e-05,1.911736e-05,1.931529e-05,1.935258e-05,1.958278e-05,1.961915e-05,1.980802e-05,1.991438e-05,2.002834e-05,2.020109e-05,2.024380e-05,2.045447e-05,2.047944e-05,2.066041e-05,2.074954e-05,2.086168e-05,2.101156e-05,2.105834e-05,2.125046e-05,2.126564e-05,2.143810e-05,2.151192e-05,2.162133e-05,2.175056e-05,2.180022e-05,2.197482e-05,2.198171e-05,2.214521e-05,2.220553e-05,2.231145e-05,2.242216e-05,2.247361e-05,2.263175e-05,2.283447e-05,2.303046e-05,2.321988e-05,2.340287e-05,2.357958e-05,2.375017e-05,2.391477e-05,2.407353e-05,2.422660e-05,2.437411e-05,2.451621e-05,2.465303e-05,2.478471e-05,2.491137e-05,2.503316e-05,2.515019e-05,2.526260e-05,2.537050e-05,2.547403e-05,2.557329e-05,2.566841e-05,2.575950e-05,2.584668e-05,2.593005e-05
0.000000e+00,1.728340e-17,1.913492e-16,6.604526e-15,6.687456e-14,1.908173e-13,1.777366e-12,1.924408e-12,1.094921e-11,1.660659e-11,4.354874e-11,8.826719e-11,1.358016e-10,3.309978e-10,3.556136e-10,8.171895e-10,9.820175e-10,1.696973e-09,2.463192e-09,3.247927e-09,5.433191e-09,5.806478e-09,9.786444e-09,1.079375e-08,1.565832e-08,1.962387e-08,2.391753e-08,3.305569e-08,3.504849e-08,4.949150e-08,5.213566e-08,6.761749e-08,7.771365e-08,8.971267e-08,1.103811e-07,1.159726e-07,1.465042e-07,1.504571e-07,1.813329e-07,1.980094e-07,2.204130e-07,2.528943e-07,2.636392e-07,3.108583e-07,3.148028e-07,3.618795e-07,3.833044e-07,4.164844e-07,4.578857e-07,4.744346e-07,5.354791e-07,5.379816e-07,5.993599e-07,6.230012e-07,6.658171e-07,7.123479e-07,7.345929e-07,8.054349e-07,8.780989e-07,9.016976e-07,9.523507e-07,1.000602e-06,1.027968e-06,1.101652e-06,1.104743e-06,1.182478e-06,1.204392e-06,1.260994e-06,1.308408e-06,1.340123e-06,1.413331e-06,1.419711e-06,1.499620e-06,1.518832e-06,1.579723e-06,1.624622e-06,1.659905e-06,1.730448e-06,1.740063e-06,1.820105e-06,1.836092e-06,1.899948e-06,1.941364e-06,1.979519e-06,2.046100e-06,2.058753e-06,2.137589e-06,2.150163e-06,2.215978e-06,2.253432e-06,2.293873e-06,2.355807e-06,2.371234e-06,2.448025e-06,2.457200e-06,2.524214e-06,2.557539e-06,2.599773e-06,2.656762e-06,2.674678e-06,2.748908e-06,2.754816e-06,2.822442e-06,2.851658e-06,2.895265e-06,2.947249e-06,2.967362e-06,3.038721e-06,3.041560e-06,3.109330e-06,3.134564e-06,3.179181e-06,3.226242e-06,3.248264e-06,3.316575e-06,3.384106e-06,3.405551e-06,3.450854e-06,3.493159e-06,3.516814e-06,3.579393e-06,3.581985e-06,3.646363e-06,3.664247e-06,3.709949e-06,3.747719e-06,3.772741e-06,3.829809e-06,3.834739e-06,3.895945e-06,3.910516e-06,3.956358e-06,3.989845e-06,4.015982e-06,4.067799e-06,4.074817e-06,4.132867e-06,4.144383e-06,4.190135e-06,4.219606e-06,4.246623e-06,4.293473e-06,4.302335e-06,4.357276e-06,4.365995e-06,4.411449e-06,4.437180e-06,4.464858e-06,4.507040e-06,4.517510e-06,4.569407e-06,4.575585e-06,4.620557e-06,4.642827e-06,4.670963e-06,4.708778e-06,4.720631e-06,4.769568e-06,4.773452e-06,4.817779e-06,4.836861e-06,4.865269e-06,4.899020e-06,4.912046e-06,4.958114e-06,4.959943e-06,5.003482e-06,5.019643e-06,5.048154e-06,5.078137e-06,5.092137e-06,5.135438e-06,5.191562e-06,5.246525e-06,5.300342e-06,5.353028e-06,5.404600e-06,5.455073e-06,5.504463e-06,5.552787e-06,5.600059e-06,5.646296e-06,5.691515e-06,5.735730e-06,5.778958e-06,5.821214e-06,5.862515e-06,5.902876e-06,5.942313e-06,5.980840e-06,6.018474e-06,6.055229e-06,6.091121e-06,6.126165e-06,6.160376e-06,6.193768e-06
0.000000e+00,1.558130e-12,5.095525e-12,2.885983e-11,9.017973e-11,1.518159e-10,4.682552e-10,4.877139e-10,1.205507e-09,1.504603e-09,2.535046e-09,3.745980e-09,4.768435e-09,7.900812e-09,8.230564e-09,1.323503e-08,1.469787e-08,2.006731e-08,2.479034e-08,2.898991e-08,3.876689e-08,4.024922e-08,5.407835e-08,5.717214e-08,7.069690e-08,8.050936e-08,9.030894e-08,1.092331e-07,1.131004e-07,1.392365e-07,1.437384e-07,1.688587e-07,1.843509e-07,2.020836e-07,2.313187e-07,2.390010e-07,2.796732e-07,2.848082e-07,3.241354e-07,3.449025e-07,3.723959e-07,4.116044e-07,4.244373e-07,4.802186e-07,4.848409e-07,5.396765e-07,5.644711e-07,6.027280e-07,6.502944e-07,6.692726e-07,7.391951e-07,7.420605e-07,8.123675e-07,8.394789e-07,8.886518e-07,9.422284e-07,9.679020e-07,1.049966e-06,1.134689e-06,1.162336e-06,1.221912e-06,1.278973e-06,1.311476e-06,1.399513e-06,1.403223e-06,1.496996e-06,1.523595e-06,1.592641e-06,1.650864e-06,1.690007e-06,1.780977e-06,1.788947e-06,1.889317e-06,1.913604e-06,1.990981e-06,2.048427e-06,2.093805e-06,2.185148e-06,2.197661e-06,2.302428e-06,2.323481e-06,2.407990e-06,2.463158e-06,2.514234e-06,2.603929e-06,2.621055e-06,2.728353e-06,2.745558e-06,2.836032e-06,2.887828e-06,2.944004e-06,3.030534e-06,3.052182e-06,3.160487e-06,3.173488e-06,3.268842e-06,3.316516e-06,3.377176e-06,3.459453e-06,3.485421e-06,3.593513e-06,3.602152e-06,3.701394e-06,3.744474e-06,3.809007e-06,3.886292e-06,3.916299e-06,4.023221e-06,4.027489e-06,4.129726e-06,4.167958e-06,4.235772e-06,4.307600e-06,4.341318e-06,4.446326e-06,4.550760e-06,4.584053e-06,4.654588e-06,4.720706e-06,4.757780e-06,4.856218e-06,4.860306e-06,4.962141e-06,4.990527e-06,5.063259e-06,5.123577e-06,5.163638e-06,5.255317e-06,5.263258e-06,5.362098e-06,5.385702e-06,5.460141e-06,5.514691e-06,5.557371e-06,5.642249e-06,5.653772e-06,5.749332e-06,5.768342e-06,5.844038e-06,5.892943e-06,5.937877e-06,6.016027e-06,6.030842e-06,6.122921e-06,6.137572e-06,6.214108e-06,6.257559e-06,6.304395e-06,6.375973e-06,6.393776e-06,6.482246e-06,6.492800e-06,6.569799e-06,6.608031e-06,6.656432e-06,6.721656e-06,6.742142e-06,6.826926e-06,6.833668e-06,6.910782e-06,6.944065e-06,6.993710e-06,7.052842e-06,7.075707e-06,7.156775e-06,7.159998e-06,7.236913e-06,7.265535e-06,7.316122e-06,7.369455e-06,7.394404e-06,7.471760e-06,7.572454e-06,7.671545e-06,7.769038e-06,7.864941e-06,7.959262e-06,8.052011e-06,8.143197e-06,8.232833e-06,8.320928e-06,8.407496e-06,8.492548e-06,8.576097e-06,8.658157e-06,8.738743e-06,8.817867e-06,8.895544e-06,8.971790e-06,9.046619e-06,9.120047e-06,9.192089e-06,9.262761e-06,9.332078e-06,9.400058e-06,9.466715e-06
0.000000e+00,2.719696e-18,3.117673e-17,1.156867e-15,1.251444e-14,3.702798e-14,3.786429e-13,4.115183e-13,2.564715e-12,3.985668e-12,1.109816e-11,2.357755e-11,3.737138e-11,9.706715e-11,1.048297e-10,2.559640e-10,3.117453e-10,5.606087e-10,8.361385e-10,1.125149e-09,1.956749e-09,2.102069e-09,3.699050e-09,4.115482e-09,6.186523e-09,7.941348e-09,9.902320e-09,1.426773e-08,1.525214e-08,2.270490e-08,2.412676e-08,3.278296e-08,3.871670e-08,4.604751e-08,5.934429e-08,6.308050e-08,8.446474e-08,8.735034e-08,1.107635e-07,1.240289e-07,1.425013e-07,1.705504e-07,1.801467e-07,2.240985e-07,2.278972e-07,2.746753e-07,2.968157e-07,3.321080e-07,3.777874e-07,3.965373e-07,4.680130e-07,4.710183e-07,5.464968e-07,5.764457e-07,6.318678e-07,6.937562e-07,7.239287e-07,8.224143e-07,9.270011e-07,9.616976e-07,1.037316e-06,1.110734e-06,1.152946e-06,1.268541e-06,1.273449e-06,1.398362e-06,1.434063e-06,1.527207e-06,1.606203e-06,1.659505e-06,1.783856e-06,1.794776e-06,1.932548e-06,1.965934e-06,2.072363e-06,2.151386e-06,2.213779e-06,2.339215e-06,2.356375e-06,2.499753e-06,2.528489e-06,2.643538e-06,2.718351e-06,2.787383e-06,2.908022e-06,2.930965e-06,3.073991e-06,3.096805e-06,3.216189e-06,3.284079e-06,3.357318e-06,3.469303e-06,3.497159e-06,3.635516e-06,3.652011e-06,3.772217e-06,3.831801e-06,3.907111e-06,4.008339e-06,4.040065e-06,4.170966e-06,4.181347e-06,4.299718e-06,4.350598e-06,4.426239e-06,4.515914e-06,4.550461e-06,4.672331e-06,4.677156e-06,4.791805e-06,4.834223e-06,4.908851e-06,4.987044e-06,5.023446e-06,5.135575e-06,5.245230e-06,5.279798e-06,5.352412e-06,5.419711e-06,5.457124e-06,5.555333e-06,5.559376e-06,5.659184e-06,5.686695e-06,5.756566e-06,5.813840e-06,5.851544e-06,5.936822e-06,5.944143e-06,6.034389e-06,6.055702e-06,6.122314e-06,6.170549e-06,6.207947e-06,6.281435e-06,6.291322e-06,6.372474e-06,6.388440e-06,6.451437e-06,6.491645e-06,6.528248e-06,6.591132e-06,6.602943e-06,6.675560e-06,6.686988e-06,6.746137e-06,6.779300e-06,6.814711e-06,6.868154e-06,6.881321e-06,6.946005e-06,6.953640e-06,7.008801e-06,7.035844e-06,7.069748e-06,7.114853e-06,7.128882e-06,7.186243e-06,7.190756e-06,7.241867e-06,7.263638e-06,7.295791e-06,7.333584e-06,7.348052e-06,7.398686e-06,7.400678e-06,7.447730e-06,7.465003e-06,7.495219e-06,7.526641e-06,7.541187e-06,7.585671e-06,7.642171e-06,7.696220e-06,7.747891e-06,7.797260e-06,7.844398e-06,7.889375e-06,7.932261e-06,7.973123e-06,8.012026e-06,8.049033e-06,8.084208e-06,8.117611e-06,8.149301e-06,8.179335e-06,8.207770e-06,8.234659e-06,8.260056e-06,8.284012e-06,8.306577e-06,8.327799e-06,8.347726e-06,8.366402e-06,8.383874e-06,8.400183e-06
0.000000e+00,6.136010e-17,6.538556e-16,2.087262e-14,1.971170e-13,5.417105e-13,4.590930e-12,4.952096e-12,2.576709e-11,3.817450e-11,9.453664e-11,1.832891e-10,2.742140e-10,6.296678e-10,6.731972e-10,1.460722e-09,1.732987e-09,2.881558e-09,4.072842e-09,5.263929e-09,8.476005e-09,9.012875e-09,1.458645e-08,1.596212e-08,2.246075e-08,2.761837e-08,3.309412e-08,4.446178e-08,4.689888e-08,6.422430e-08,6.734275e-08,8.534989e-08,9.690431e-08,1.104861e-07,1.335829e-07,1.397791e-07,1.733176e-07,1.776298e-07,2.111394e-07,2.291378e-07,2.532381e-07,2.880667e-07,2.995681e-07,3.500501e-07,3.542650e-07,4.045759e-07,4.274892e-07,4.630119e-07,5.074212e-07,5.252041e-07,5.909816e-07,5.936847e-07,6.601604e-07,6.858605e-07,7.325473e-07,7.835010e-07,8.079425e-07,8.861430e-07,9.669455e-07,9.933187e-07,1.050148e-06,1.104565e-06,1.135552e-06,1.219431e-06,1.222963e-06,1.312196e-06,1.337483e-06,1.403070e-06,1.458310e-06,1.495413e-06,1.581526e-06,1.589062e-06,1.683863e-06,1.706770e-06,1.779668e-06,1.833706e-06,1.876341e-06,1.962029e-06,1.973753e-06,2.071784e-06,2.091454e-06,2.170321e-06,2.221725e-06,2.269259e-06,2.352607e-06,2.368503e-06,2.467960e-06,2.483887e-06,2.567548e-06,2.615373e-06,2.667189e-06,2.746892e-06,2.766812e-06,2.866350e-06,2.878286e-06,2.965742e-06,3.009414e-06,3.064933e-06,3.140151e-06,3.163870e-06,3.262507e-06,3.270383e-06,3.360798e-06,3.400009e-06,3.458705e-06,3.528939e-06,3.556190e-06,3.653220e-06,3.657091e-06,3.749764e-06,3.784395e-06,3.845793e-06,3.910786e-06,3.941282e-06,4.036208e-06,4.130550e-06,4.160612e-06,4.224287e-06,4.283955e-06,4.317404e-06,4.406197e-06,4.409884e-06,4.501712e-06,4.527306e-06,4.592878e-06,4.647253e-06,4.683368e-06,4.766014e-06,4.773173e-06,4.862285e-06,4.883568e-06,4.950695e-06,4.999896e-06,5.038397e-06,5.114984e-06,5.125385e-06,5.211654e-06,5.228821e-06,5.297200e-06,5.341397e-06,5.382020e-06,5.452705e-06,5.466111e-06,5.549471e-06,5.562741e-06,5.632099e-06,5.671500e-06,5.713993e-06,5.778981e-06,5.795155e-06,5.875583e-06,5.885185e-06,5.955278e-06,5.990113e-06,6.034243e-06,6.093767e-06,6.112477e-06,6.189983e-06,6.196152e-06,6.266764e-06,6.297273e-06,6.342821e-06,6.397135e-06,6.418157e-06,6.492775e-06,6.495745e-06,6.566680e-06,6.593111e-06,6.639873e-06,6.689240e-06,6.712359e-06,6.784142e-06,6.877826e-06,6.970302e-06,7.061580e-06,7.151670e-06,7.240585e-06,7.328335e-06,7.414931e-06,7.500387e-06,7.584713e-06,7.667923e-06,7.750029e-06,7.831043e-06,7.910979e-06,7.989848e-06,8.067664e-06,8.144439e-06,8.220187e-06,8.294921e-06,8.368653e-06,8.441396e-06,8.513164e-06,8.583968e-06,8.653823e-06,8.722741e-06
0.000000e+00,1.481887e-13,9.205147e-13,1.123841e-11,5.166328e-11,1.007012e-10,4.020492e-10,4.220807e-10,1.214058e-09,1.561881e-09,2.798005e-09,4.293444e-09,5.578893e-09,9.613912e-09,1.004627e-08,1.676449e-08,1.877877e-08,2.633716e-08,3.316594e-08,3.935241e-08,5.407758e-08,5.634219e-08,7.777060e-08,8.262513e-08,1.040369e-07,1.197220e-07,1.354796e-07,1.660984e-07,1.723788e-07,2.149561e-07,2.223072e-07,2.633758e-07,2.887261e-07,3.177454e-07,3.655628e-07,3.781186e-07,4.444985e-07,4.528661e-07,5.168418e-07,5.505417e-07,5.950642e-07,6.583723e-07,6.790453e-07,7.686342e-07,7.760384e-07,8.636547e-07,9.031403e-07,9.639103e-07,1.039217e-06,1.069189e-06,1.179266e-06,1.183766e-06,1.293910e-06,1.336254e-06,1.412884e-06,1.496137e-06,1.535948e-06,1.662862e-06,1.793390e-06,1.835883e-06,1.927295e-06,2.014661e-06,2.064348e-06,2.198672e-06,2.204324e-06,2.347004e-06,2.387409e-06,2.492175e-06,2.580388e-06,2.639633e-06,2.777143e-06,2.789179e-06,2.940623e-06,2.977231e-06,3.093781e-06,3.180233e-06,3.248479e-06,3.385752e-06,3.404547e-06,3.561826e-06,3.593414e-06,3.720162e-06,3.802865e-06,3.879408e-06,4.013776e-06,4.039425e-06,4.200080e-06,4.225835e-06,4.361247e-06,4.438754e-06,4.522806e-06,4.652260e-06,4.684644e-06,4.846653e-06,4.866101e-06,5.008731e-06,5.080042e-06,5.170781e-06,5.293863e-06,5.332711e-06,5.494437e-06,5.507364e-06,5.655876e-06,5.720354e-06,5.816952e-06,5.932661e-06,5.977593e-06,6.137731e-06,6.144125e-06,6.297302e-06,6.354597e-06,6.456247e-06,6.563943e-06,6.614510e-06,6.772038e-06,6.928782e-06,6.978767e-06,7.084697e-06,7.184028e-06,7.239741e-06,7.387726e-06,7.393873e-06,7.547058e-06,7.589775e-06,7.699260e-06,7.790098e-06,7.850450e-06,7.988625e-06,8.000598e-06,8.149677e-06,8.185294e-06,8.297663e-06,8.380050e-06,8.444534e-06,8.572842e-06,8.590270e-06,8.734853e-06,8.763629e-06,8.878266e-06,8.952373e-06,9.020494e-06,9.139040e-06,9.161524e-06,9.301345e-06,9.323603e-06,9.439947e-06,9.506040e-06,9.577320e-06,9.686330e-06,9.713459e-06,9.848356e-06,9.864460e-06,9.982006e-06,1.004042e-05,1.011441e-05,1.021419e-05,1.024555e-05,1.037545e-05,1.038578e-05,1.050408e-05,1.055519e-05,1.063146e-05,1.072240e-05,1.075759e-05,1.088246e-05,1.088743e-05,1.100609e-05,1.105029e-05,1.112846e-05,1.121097e-05,1.124959e-05,1.136948e-05,1.152585e-05,1.168007e-05,1.183218e-05,1.198217e-05,1.213007e-05,1.227589e-05,1.241966e-05,1.256138e-05,1.270110e-05,1.283881e-05,1.297455e-05,1.310834e-05,1.324020e-05,1.337016e-05,1.349823e-05,1.362444e-05,1.374882e-05,1.387139e-05,1.399217e-05,1.411119e-05,1.422847e-05,1.434404e-05,1.445792e-05,1.457013e-05
0.000000e+00,1.665092e-16,1.817789e-15,6.099236e-14,6.021097e-13,1.694428e-12,1.522859e-11,1.646437e-11,9.034822e-11,1.356553e-10,3.465745e-10,6.870731e-10,1.041272e-09,2.448529e-09,2.622195e-09,5.781647e-09,6.877025e-09,1.149799e-08,1.628429e-08,2.106347e-08,3.394349e-08,3.609779e-08,5.854700e-08,6.411992e-08,9.066497e-08,1.120156e-07,1.349738e-07,1.836053e-07,1.942006e-07,2.711916e-07,2.853507e-07,3.688119e-07,4.238198e-07,4.898432e-07,6.052816e-07,6.368888e-07,8.122960e-07,8.353508e-07,1.018098e-06,1.118726e-06,1.255975e-06,1.459035e-06,1.527240e-06,1.832828e-06,1.858777e-06,2.173307e-06,2.319327e-06,2.548891e-06,2.840995e-06,2.959463e-06,3.404599e-06,3.423114e-06,3.883595e-06,4.064147e-06,4.395502e-06,4.761807e-06,4.939149e-06,5.513182e-06,6.116092e-06,6.314857e-06,6.746240e-06,7.163033e-06,7.401894e-06,8.053641e-06,8.081247e-06,8.782447e-06,8.982443e-06,9.503617e-06,9.945120e-06,1.024287e-05,1.093735e-05,1.099834e-05,1.176818e-05,1.195488e-05,1.255058e-05,1.299355e-05,1.334378e-05,1.404938e-05,1.414609e-05,1.495586e-05,1.511857e-05,1.577153e-05,1.619751e-05,1.659160e-05,1.728282e-05,1.741466e-05,1.823935e-05,1.837137e-05,1.906442e-05,1.946024e-05,1.988867e-05,2.054673e-05,2.071099e-05,2.153034e-05,2.162841e-05,2.234574e-05,2.270303e-05,2.315630e-05,2.376857e-05,2.396118e-05,2.475962e-05,2.482320e-05,2.555091e-05,2.586528e-05,2.633441e-05,2.689338e-05,2.710953e-05,2.787574e-05,2.790619e-05,2.863254e-05,2.890261e-05,2.937952e-05,2.988164e-05,3.011626e-05,3.084244e-05,3.155775e-05,3.178430e-05,3.226191e-05,3.270662e-05,3.295470e-05,3.360889e-05,3.363592e-05,3.430540e-05,3.449073e-05,3.496300e-05,3.535182e-05,3.560863e-05,3.619195e-05,3.624218e-05,3.686362e-05,3.701095e-05,3.747288e-05,3.780875e-05,3.806997e-05,3.858533e-05,3.865488e-05,3.922762e-05,3.934072e-05,3.978825e-05,4.007499e-05,4.033680e-05,4.078829e-05,4.087334e-05,4.139794e-05,4.148078e-05,4.191071e-05,4.215266e-05,4.241173e-05,4.280416e-05,4.290111e-05,4.337898e-05,4.343556e-05,4.384546e-05,4.404713e-05,4.430067e-05,4.463919e-05,4.474477e-05,4.517788e-05,4.521206e-05,4.560017e-05,4.576609e-05,4.601179e-05,4.630163e-05,4.641289e-05,4.680363e-05,4.681905e-05,4.718418e-05,4.731872e-05,4.755471e-05,4.780103e-05,4.791538e-05,4.826636e-05,4.871511e-05,4.914768e-05,4.956445e-05,4.996583e-05,5.035221e-05,5.072399e-05,5.108155e-05,5.142529e-05,5.175559e-05,5.207282e-05,5.237737e-05,5.266961e-05,5.294988e-05,5.321857e-05,5.347601e-05,5.372255e-05,5.395852e-05,5.418427e-05,5.440011e-05,5.460635e-05,5.480332e-05,5.499130e-05,5.517060e-05,5.534151e-05
0.000000e+00,1.995101e-14,1.655188e-13,3.260137e-12,2.068806e-11,4.648362e-11,2.468583e-10,2.616690e-10,9.209821e-10,1.240634e-09,2.466219e-09,4.079124e-09,5.548142e-09,1.051517e-08,1.107311e-08,2.020697e-08,2.308211e-08,3.427186e-08,4.479298e-08,5.457094e-08,7.851585e-08,8.226352e-08,1.183385e-07,1.266360e-07,1.636419e-07,1.910946e-07,2.189092e-07,2.735088e-07,2.847863e-07,3.618374e-07,3.752359e-07,4.505461e-07,4.973880e-07,5.513134e-07,6.408245e-07,6.644550e-07,7.901997e-07,8.061436e-07,9.286888e-07,9.936787e-07,1.079978e-06,1.203506e-06,1.244042e-06,1.420777e-06,1.435459e-06,1.610011e-06,1.689153e-06,1.811508e-06,1.964016e-06,2.024975e-06,2.250071e-06,2.259312e-06,2.486417e-06,2.574176e-06,2.733597e-06,2.907643e-06,2.991170e-06,3.258674e-06,3.535633e-06,3.626177e-06,3.821560e-06,4.009033e-06,4.115964e-06,4.406107e-06,4.418349e-06,4.728225e-06,4.816266e-06,5.045102e-06,5.238388e-06,5.368499e-06,5.671375e-06,5.697942e-06,6.032968e-06,6.114154e-06,6.373124e-06,6.565687e-06,6.717969e-06,7.024972e-06,7.067076e-06,7.420030e-06,7.491047e-06,7.776430e-06,7.962991e-06,8.135889e-06,8.439926e-06,8.498035e-06,8.862507e-06,8.921015e-06,9.228960e-06,9.405464e-06,9.597065e-06,9.892522e-06,9.966502e-06,1.033697e-05,1.038148e-05,1.070817e-05,1.087166e-05,1.107983e-05,1.136244e-05,1.145169e-05,1.182348e-05,1.185322e-05,1.219498e-05,1.234344e-05,1.256594e-05,1.283258e-05,1.293616e-05,1.330542e-05,1.332016e-05,1.367352e-05,1.380572e-05,1.404029e-05,1.428883e-05,1.440553e-05,1.476910e-05,1.513082e-05,1.524616e-05,1.549055e-05,1.571967e-05,1.584816e-05,1.618933e-05,1.620350e-05,1.655645e-05,1.665483e-05,1.690690e-05,1.711592e-05,1.725474e-05,1.757236e-05,1.759987e-05,1.794218e-05,1.802391e-05,1.828160e-05,1.847038e-05,1.861805e-05,1.891159e-05,1.895144e-05,1.928170e-05,1.934737e-05,1.960878e-05,1.977757e-05,1.993260e-05,2.020207e-05,2.025313e-05,2.057030e-05,2.062073e-05,2.088407e-05,2.103347e-05,2.119441e-05,2.144018e-05,2.150127e-05,2.180463e-05,2.184080e-05,2.210446e-05,2.223526e-05,2.240073e-05,2.262350e-05,2.269342e-05,2.298251e-05,2.300549e-05,2.326800e-05,2.338118e-05,2.354986e-05,2.375056e-05,2.382810e-05,2.410270e-05,2.411361e-05,2.437366e-05,2.447032e-05,2.464098e-05,2.482069e-05,2.490467e-05,2.516473e-05,2.550245e-05,2.583388e-05,2.615903e-05,2.647794e-05,2.679065e-05,2.709719e-05,2.739760e-05,2.769195e-05,2.798027e-05,2.826262e-05,2.853907e-05,2.880966e-05,2.907447e-05,2.933355e-05,2.958698e-05,2.983482e-05,3.007714e-05,3.031402e-05,3.054552e-05,3.077172e-05,3.099270e-05,3.120852e-05,3.141927e-05,3.162503e-05
0.000000e+00,2.481550e-18,2.854593e-17,1.070366e-15,1.169855e-14,3.481439e-14,3.615028e-13,3.931391e-13,2.488836e-12,3.884443e-12,1.093469e-11,2.343647e-11,3.736220e-11,9.829141e-11,1.062664e-10,2.628696e-10,3.211131e-10,5.827262e-10,8.746494e-10,1.182590e-09,2.075194e-09,2.231922e-09,3.964322e-09,4.418476e-09,6.688033e-09,8.622601e-09,1.079459e-08,1.566171e-08,1.676462e-08,2.516993e-08,2.678372e-08,3.667135e-08,4.350714e-08,5.201216e-08,6.759470e-08,7.200722e-08,9.752864e-08,1.010056e-07,1.294886e-07,1.458309e-07,1.688204e-07,2.042184e-07,2.164586e-07,2.733195e-07,2.782934e-07,3.402815e-07,3.700815e-07,4.181688e-07,4.814386e-07,5.077346e-07,6.096490e-07,6.139910e-07,7.244882e-07,7.690888e-07,8.527262e-07,9.477734e-07,9.947303e-07,1.150758e-06,1.320956e-06,1.378422e-06,1.505364e-06,1.630816e-06,1.703916e-06,1.907682e-06,1.916448e-06,2.142703e-06,2.208468e-06,2.382337e-06,2.532369e-06,2.634932e-06,2.878350e-06,2.900002e-06,3.177000e-06,3.245190e-06,3.465332e-06,3.631512e-06,3.764360e-06,4.035822e-06,4.073416e-06,4.391807e-06,4.456543e-06,4.718823e-06,4.892042e-06,5.053746e-06,5.340662e-06,5.395852e-06,5.744421e-06,5.800744e-06,6.098742e-06,6.270652e-06,6.458113e-06,6.748786e-06,6.821850e-06,7.189288e-06,7.233598e-06,7.559781e-06,7.723606e-06,7.932711e-06,8.217399e-06,8.307482e-06,8.683526e-06,8.713648e-06,9.060303e-06,9.211103e-06,9.437301e-06,9.708603e-06,9.814035e-06,1.019005e-05,1.020507e-05,1.056492e-05,1.069951e-05,1.093824e-05,1.119103e-05,1.130965e-05,1.167879e-05,1.204534e-05,1.216204e-05,1.240901e-05,1.264012e-05,1.276953e-05,1.311242e-05,1.312664e-05,1.348012e-05,1.357842e-05,1.382977e-05,1.403764e-05,1.417539e-05,1.448967e-05,1.451682e-05,1.485391e-05,1.493415e-05,1.518652e-05,1.537078e-05,1.551453e-05,1.579931e-05,1.583785e-05,1.615639e-05,1.621951e-05,1.647006e-05,1.663123e-05,1.677881e-05,1.703431e-05,1.708258e-05,1.738134e-05,1.742867e-05,1.767504e-05,1.781422e-05,1.796368e-05,1.819093e-05,1.824724e-05,1.852570e-05,1.855878e-05,1.879908e-05,1.891776e-05,1.906738e-05,1.926791e-05,1.933062e-05,1.958883e-05,1.960926e-05,1.984201e-05,1.994189e-05,2.009022e-05,2.026586e-05,2.033348e-05,2.057183e-05,2.058127e-05,2.080533e-05,2.088820e-05,2.103401e-05,2.118678e-05,2.125792e-05,2.147712e-05,2.175935e-05,2.203360e-05,2.230001e-05,2.255873e-05,2.280989e-05,2.305366e-05,2.329018e-05,2.351962e-05,2.374212e-05,2.395784e-05,2.416695e-05,2.436959e-05,2.456593e-05,2.475612e-05,2.494032e-05,2.511868e-05,2.529135e-05,2.545848e-05,2.562023e-05,2.577673e-05,2.592813e-05,2.607457e-05,2.621620e-05,2.635314e-05
0.000000e+00,1.249860e-13,9.152949e-13,1.448692e-11,7.847192e-11,1.638871e-10,7.461543e-10,7.866649e-10,2.464252e-09,3.228887e-09,6.017426e-09,9.482414e-09,1.251238e-08,2.222532e-08,2.328021e-08,3.993684e-08,4.501535e-08,6.436646e-08,8.220428e-08,9.861688e-08,1.384872e-07,1.447050e-07,2.044285e-07,2.181462e-07,2.792781e-07,3.245830e-07,3.704418e-07,4.603129e-07,4.788482e-07,6.052056e-07,6.271256e-07,7.500297e-07,8.262108e-07,9.136603e-07,1.058228e-06,1.096272e-06,1.297884e-06,1.323349e-06,1.518365e-06,1.621290e-06,1.757447e-06,1.951351e-06,2.014735e-06,2.289718e-06,2.312464e-06,2.581787e-06,2.703244e-06,2.890243e-06,3.122049e-06,3.214318e-06,3.553186e-06,3.567036e-06,3.905976e-06,4.036216e-06,4.271787e-06,4.527508e-06,4.649700e-06,5.038784e-06,5.438112e-06,5.567910e-06,5.846763e-06,6.112773e-06,6.263831e-06,6.671314e-06,6.688431e-06,7.119706e-06,7.241545e-06,7.556823e-06,7.821565e-06,7.998985e-06,8.409569e-06,8.445424e-06,8.895411e-06,9.003858e-06,9.348251e-06,9.602841e-06,9.803285e-06,1.020503e-05,1.025989e-05,1.071748e-05,1.080907e-05,1.117550e-05,1.141367e-05,1.163344e-05,1.201769e-05,1.209081e-05,1.254716e-05,1.262005e-05,1.300207e-05,1.321980e-05,1.345515e-05,1.381606e-05,1.390604e-05,1.435441e-05,1.440803e-05,1.479994e-05,1.499501e-05,1.524236e-05,1.557635e-05,1.568140e-05,1.611684e-05,1.615151e-05,1.654845e-05,1.671997e-05,1.697603e-05,1.728131e-05,1.739942e-05,1.781846e-05,1.783512e-05,1.823299e-05,1.838110e-05,1.864291e-05,1.891895e-05,1.904808e-05,1.944843e-05,1.984387e-05,1.996935e-05,2.023431e-05,2.048155e-05,2.061971e-05,2.098490e-05,2.100001e-05,2.137518e-05,2.147930e-05,2.174517e-05,2.196468e-05,2.210998e-05,2.244101e-05,2.246958e-05,2.282398e-05,2.290826e-05,2.317316e-05,2.336643e-05,2.351714e-05,2.381555e-05,2.385593e-05,2.418955e-05,2.425565e-05,2.451802e-05,2.468679e-05,2.484136e-05,2.510904e-05,2.515962e-05,2.547282e-05,2.552246e-05,2.578100e-05,2.592716e-05,2.608421e-05,2.632323e-05,2.638249e-05,2.667589e-05,2.671077e-05,2.696446e-05,2.708991e-05,2.724825e-05,2.746076e-05,2.752731e-05,2.780170e-05,2.782345e-05,2.807148e-05,2.817812e-05,2.833671e-05,2.852488e-05,2.859744e-05,2.885373e-05,2.886390e-05,2.910566e-05,2.919529e-05,2.935326e-05,2.951921e-05,2.959662e-05,2.983579e-05,3.014519e-05,3.044755e-05,3.074300e-05,3.103171e-05,3.131380e-05,3.158943e-05,3.185873e-05,3.212185e-05,3.237893e-05,3.263009e-05,3.287549e-05,3.311525e-05,3.334951e-05,3.357839e-05,3.380202e-05,3.402053e-05,3.423404e-05,3.444268e-05,3.464655e-05,3.484578e-05,3.504048e-05,3.523077e-05,3.541674e-05,3.559850e-05
0.000000e+00,5.163576e-12,1.729598e-11,1.004707e-10,3.174288e-10,5.362123e-10,1.658078e-09,1.726860e-09,4.244060e-09,5.281969e-09,8.817160e-09,1.291255e-08,1.633986e-08,2.677746e-08,2.787593e-08,4.464578e-08,4.959499e-08,6.796611e-08,8.437622e-08,9.913891e-08,1.340052e-07,1.393409e-07,1.895686e-07,2.008919e-07,2.506362e-07,2.868969e-07,3.231933e-07,3.933923e-07,4.077428e-07,5.046538e-07,5.213247e-07,6.141711e-07,6.712590e-07,7.364229e-07,8.434099e-07,8.714289e-07,1.019109e-06,1.037674e-06,1.179290e-06,1.253669e-06,1.351723e-06,1.490768e-06,1.536083e-06,1.731990e-06,1.748149e-06,1.939013e-06,2.024830e-06,2.156680e-06,2.319711e-06,2.384491e-06,2.621922e-06,2.631611e-06,2.868434e-06,2.959297e-06,3.123481e-06,3.301508e-06,3.386513e-06,3.656980e-06,3.934339e-06,4.024462e-06,4.218056e-06,4.402729e-06,4.507606e-06,4.790589e-06,4.802480e-06,5.102181e-06,5.186896e-06,5.406228e-06,5.590550e-06,5.714160e-06,6.000504e-06,6.025530e-06,6.339910e-06,6.415763e-06,6.656890e-06,6.835387e-06,6.976077e-06,7.258490e-06,7.297097e-06,7.619591e-06,7.684237e-06,7.943220e-06,8.111847e-06,8.267660e-06,8.540592e-06,8.592604e-06,8.917761e-06,8.969787e-06,9.242855e-06,9.398801e-06,9.567625e-06,9.827042e-06,9.891825e-06,1.021522e-05,1.025397e-05,1.053760e-05,1.067907e-05,1.085875e-05,1.110188e-05,1.117848e-05,1.149660e-05,1.152198e-05,1.181295e-05,1.193896e-05,1.212737e-05,1.235248e-05,1.243971e-05,1.274984e-05,1.276219e-05,1.305761e-05,1.316781e-05,1.336292e-05,1.356906e-05,1.366564e-05,1.396569e-05,1.426296e-05,1.435749e-05,1.455737e-05,1.474426e-05,1.484884e-05,1.512582e-05,1.513730e-05,1.542267e-05,1.550202e-05,1.570491e-05,1.587272e-05,1.598395e-05,1.623781e-05,1.625976e-05,1.653228e-05,1.659719e-05,1.680147e-05,1.695076e-05,1.706732e-05,1.729847e-05,1.732978e-05,1.758884e-05,1.764024e-05,1.784448e-05,1.797605e-05,1.809667e-05,1.830585e-05,1.834541e-05,1.859070e-05,1.862962e-05,1.883251e-05,1.894735e-05,1.907086e-05,1.925905e-05,1.930575e-05,1.953717e-05,1.956471e-05,1.976513e-05,1.986434e-05,1.998965e-05,2.015798e-05,2.021073e-05,2.042838e-05,2.044565e-05,2.064263e-05,2.072738e-05,2.085349e-05,2.100321e-05,2.106097e-05,2.126510e-05,2.127320e-05,2.146590e-05,2.153738e-05,2.166340e-05,2.179582e-05,2.185761e-05,2.204857e-05,2.229569e-05,2.253725e-05,2.277332e-05,2.300397e-05,2.322926e-05,2.344928e-05,2.366410e-05,2.387380e-05,2.407846e-05,2.427815e-05,2.447296e-05,2.466297e-05,2.484826e-05,2.502891e-05,2.520501e-05,2.537664e-05,2.554389e-05,2.570682e-05,2.586554e-05,2.602011e-05,2.617063e-05,2.631716e-05,2.645980e-05,2.659862e-05
0.000000e+00,2.282732e-18,2.676116e-17,1.041329e-15,1.177424e-14,3.570981e-14,3.897927e-13,4.247819e-13,2.830979e-12,4.482134e-12,1.308869e-11,2.892170e-11,4.705251e-11,1.297020e-10,1.407963e-10,3.664470e-10,4.531416e-10,8.547798e-10,1.320129e-09,1.825344e-09,3.349307e-09,3.624157e-09,6.767800e-09,7.618198e-09,1.199130e-08,1.585000e-08,2.029594e-08,3.060208e-08,3.299261e-08,5.173638e-08,5.542638e-08,7.854879e-08,9.497397e-08,1.158254e-07,1.550247e-07,1.663274e-07,2.331575e-07,2.424332e-07,3.197206e-07,3.649940e-07,4.296715e-07,5.312349e-07,5.668522e-07,7.352207e-07,7.501572e-07,9.387744e-07,1.030938e-06,1.181472e-06,1.382617e-06,1.467157e-06,1.799479e-06,1.813791e-06,2.181829e-06,2.332323e-06,2.617271e-06,2.945085e-06,3.108491e-06,3.657750e-06,4.266848e-06,4.474626e-06,4.937099e-06,5.398548e-06,5.669313e-06,6.430820e-06,6.463794e-06,7.320338e-06,7.571209e-06,8.238249e-06,8.817982e-06,9.216353e-06,1.016798e-05,1.025303e-05,1.134623e-05,1.161675e-05,1.249354e-05,1.315864e-05,1.369217e-05,1.478700e-05,1.493907e-05,1.623088e-05,1.649432e-05,1.756405e-05,1.827241e-05,1.893485e-05,2.011257e-05,2.033941e-05,2.177376e-05,2.200575e-05,2.323388e-05,2.394272e-05,2.471575e-05,2.591420e-05,2.621534e-05,2.772867e-05,2.791101e-05,2.925183e-05,2.992415e-05,3.078102e-05,3.194496e-05,3.231254e-05,3.384285e-05,3.396512e-05,3.536853e-05,3.597679e-05,3.688637e-05,3.797263e-05,3.839330e-05,3.988644e-05,3.994584e-05,4.136311e-05,4.189019e-05,4.282081e-05,4.380003e-05,4.425724e-05,4.567030e-05,4.705807e-05,4.749652e-05,4.841881e-05,4.927478e-05,4.975097e-05,5.100170e-05,5.105320e-05,5.232428e-05,5.267445e-05,5.356318e-05,5.429070e-05,5.476902e-05,5.584858e-05,5.594108e-05,5.707878e-05,5.734665e-05,5.818164e-05,5.878391e-05,5.924936e-05,6.015971e-05,6.028172e-05,6.127861e-05,6.147372e-05,6.224002e-05,6.272596e-05,6.316604e-05,6.391668e-05,6.405686e-05,6.491271e-05,6.504642e-05,6.573392e-05,6.611590e-05,6.652087e-05,6.712606e-05,6.727401e-05,6.799383e-05,6.807799e-05,6.868087e-05,6.897293e-05,6.933571e-05,6.981223e-05,6.995897e-05,7.055129e-05,7.059736e-05,7.111333e-05,7.132983e-05,7.164580e-05,7.201126e-05,7.214939e-05,7.262485e-05,7.264329e-05,7.307289e-05,7.322762e-05,7.349426e-05,7.376595e-05,7.388972e-05,7.426001e-05,7.471153e-05,7.512223e-05,7.549382e-05,7.582800e-05,7.612644e-05,7.639077e-05,7.662261e-05,7.682353e-05,7.699507e-05,7.713871e-05,7.725592e-05,7.734810e-05,7.741662e-05,7.746279e-05,7.748789e-05,7.749316e-05,7.747977e-05,7.744886e-05,7.740153e-05,7.733882e-05,7.726176e-05,7.717129e-05,7.706834e-05,7.695381e-05
0.000000e+00,1.063898e-18,1.223271e-17,4.567617e-16,4.970313e-15,1.475490e-14,1.521837e-13,1.654551e-13,1.040081e-12,1.620109e-12,4.537667e-12,9.685244e-12,1.539775e-11,4.025671e-11,4.349977e-11,1.069006e-10,1.303848e-10,2.354749e-10,3.522161e-10,4.749483e-10,8.290717e-10,8.910582e-10,1.573533e-09,1.751786e-09,2.639521e-09,3.392978e-09,4.236056e-09,6.116442e-09,6.541089e-09,9.762698e-09,1.037859e-08,1.413620e-08,1.671957e-08,1.991909e-08,2.574314e-08,2.738411e-08,3.681089e-08,3.808719e-08,4.847677e-08,5.438822e-08,6.264752e-08,7.524455e-08,7.956859e-08,9.945737e-08,1.011824e-07,1.224970e-07,1.326287e-07,1.488315e-07,1.698917e-07,1.785633e-07,2.117518e-07,2.131516e-07,2.484139e-07,2.624592e-07,2.885258e-07,3.177422e-07,3.320254e-07,3.788168e-07,4.287735e-07,4.454040e-07,4.817438e-07,5.171474e-07,5.375551e-07,5.936316e-07,5.960186e-07,6.569336e-07,6.744009e-07,7.200918e-07,7.589753e-07,7.852810e-07,8.468659e-07,8.522884e-07,9.209035e-07,9.375873e-07,9.909203e-07,1.030667e-06,1.062139e-06,1.125655e-06,1.134370e-06,1.207430e-06,1.222126e-06,1.281148e-06,1.319687e-06,1.355363e-06,1.417978e-06,1.429925e-06,1.504696e-06,1.516670e-06,1.579547e-06,1.615470e-06,1.654362e-06,1.714116e-06,1.729034e-06,1.803465e-06,1.812376e-06,1.877568e-06,1.910048e-06,1.951263e-06,2.006956e-06,2.024481e-06,2.097159e-06,2.102948e-06,2.169239e-06,2.197892e-06,2.240672e-06,2.291679e-06,2.311415e-06,2.381429e-06,2.384214e-06,2.450681e-06,2.475420e-06,2.519142e-06,2.565231e-06,2.586787e-06,2.653595e-06,2.719548e-06,2.740470e-06,2.784631e-06,2.825822e-06,2.848832e-06,2.909626e-06,2.912141e-06,2.974550e-06,2.991863e-06,3.036054e-06,3.072521e-06,3.096649e-06,3.151591e-06,3.156332e-06,3.215103e-06,3.229072e-06,3.272961e-06,3.304963e-06,3.329908e-06,3.379270e-06,3.385947e-06,3.441080e-06,3.451998e-06,3.495312e-06,3.523158e-06,3.548647e-06,3.592760e-06,3.601092e-06,3.652651e-06,3.660819e-06,3.703332e-06,3.727349e-06,3.753142e-06,3.792368e-06,3.802088e-06,3.850178e-06,3.855892e-06,3.897421e-06,3.917941e-06,3.943823e-06,3.978534e-06,3.989396e-06,4.034146e-06,4.037691e-06,4.078083e-06,4.095433e-06,4.121217e-06,4.151782e-06,4.163557e-06,4.205113e-06,4.206759e-06,4.245894e-06,4.260387e-06,4.285909e-06,4.312688e-06,4.325169e-06,4.363684e-06,4.413399e-06,4.461856e-06,4.509076e-06,4.555084e-06,4.599901e-06,4.643552e-06,4.686057e-06,4.727441e-06,4.767726e-06,4.806933e-06,4.845085e-06,4.882204e-06,4.918311e-06,4.953428e-06,4.987576e-06,5.020776e-06,5.053048e-06,5.084413e-06,5.114891e-06,5.144502e-06,5.173265e-06,5.201199e-06,5.228324e-06,5.254657e-06
0.000000e+00,5.879763e-16,5.799321e-15,1.584719e-13,1.306541e-12,3.340825e-12,2.369201e-11,2.537747e-11,1.119416e-10,1.588542e-10,3.541647e-10,6.326566e-10,8.984594e-10,1.842394e-09,1.951253e-09,3.780712e-09,4.370650e-09,6.715420e-09,8.982040e-09,1.113670e-08,1.658753e-08,1.746111e-08,2.611513e-08,2.816217e-08,3.750966e-08,4.464455e-08,5.202113e-08,6.686344e-08,6.998098e-08,9.167171e-08,9.550469e-08,1.173260e-07,1.311036e-07,1.471272e-07,1.740466e-07,1.812108e-07,2.196651e-07,2.245759e-07,2.625340e-07,2.827965e-07,3.098186e-07,3.486862e-07,3.614811e-07,4.174483e-07,4.221086e-07,4.776155e-07,5.028298e-07,5.418516e-07,5.905356e-07,6.100030e-07,6.818983e-07,6.848495e-07,7.573523e-07,7.853495e-07,8.361696e-07,8.915838e-07,9.181485e-07,1.003084e-06,1.090769e-06,1.119375e-06,1.180999e-06,1.239988e-06,1.273572e-06,1.364462e-06,1.368290e-06,1.464961e-06,1.492353e-06,1.563399e-06,1.623236e-06,1.663426e-06,1.756707e-06,1.764870e-06,1.867568e-06,1.892384e-06,1.971362e-06,2.029911e-06,2.076106e-06,2.168954e-06,2.181659e-06,2.287887e-06,2.309203e-06,2.394666e-06,2.450369e-06,2.501877e-06,2.592187e-06,2.609409e-06,2.717157e-06,2.734410e-06,2.825023e-06,2.876814e-06,2.932916e-06,3.019191e-06,3.040748e-06,3.148440e-06,3.161350e-06,3.255916e-06,3.303119e-06,3.363106e-06,3.444339e-06,3.469945e-06,3.576371e-06,3.584866e-06,3.682329e-06,3.724569e-06,3.787765e-06,3.863330e-06,3.892632e-06,3.996884e-06,4.001041e-06,4.100480e-06,4.137606e-06,4.203381e-06,4.272938e-06,4.305551e-06,4.406960e-06,4.507577e-06,4.539602e-06,4.607374e-06,4.670803e-06,4.706328e-06,4.800509e-06,4.804415e-06,4.901616e-06,4.928671e-06,4.997912e-06,5.055248e-06,5.093287e-06,5.180205e-06,5.187725e-06,5.281215e-06,5.303510e-06,5.373744e-06,5.425137e-06,5.465303e-06,5.545065e-06,5.555883e-06,5.645476e-06,5.663276e-06,5.734078e-06,5.779757e-06,5.821682e-06,5.894496e-06,5.908285e-06,5.993883e-06,6.007486e-06,6.078476e-06,6.118723e-06,6.162062e-06,6.228205e-06,6.244640e-06,6.326211e-06,6.335932e-06,6.406777e-06,6.441908e-06,6.486339e-06,6.546136e-06,6.564899e-06,6.642461e-06,6.648623e-06,6.719029e-06,6.749378e-06,6.794605e-06,6.848410e-06,6.869196e-06,6.942805e-06,6.945730e-06,7.015439e-06,7.041350e-06,7.087103e-06,7.135283e-06,7.157803e-06,7.227545e-06,7.318150e-06,7.407114e-06,7.494454e-06,7.580188e-06,7.664333e-06,7.746908e-06,7.827932e-06,7.907424e-06,7.985404e-06,8.061891e-06,8.136905e-06,8.210467e-06,8.282598e-06,8.353317e-06,8.422645e-06,8.490602e-06,8.557210e-06,8.622489e-06,8.686459e-06,8.749141e-06,8.810555e-06,8.870722e-06,8.929661e-06,8.987393e-06
0.000000e+00,5.234145e-12,1.596871e-11,8.426262e-11,2.555108e-10,4.259716e-10,1.297646e-09,1.351279e-09,3.339217e-09,4.173312e-09,7.071339e-09,1.052275e-08,1.347413e-08,2.271333e-08,2.370174e-08,3.899111e-08,4.354165e-08,6.044914e-08,7.549246e-08,8.894099e-08,1.203454e-07,1.251076e-07,1.694232e-07,1.792970e-07,2.222401e-07,2.531529e-07,2.838143e-07,3.424338e-07,3.543199e-07,4.338565e-07,4.474235e-07,5.224558e-07,5.681955e-07,6.200862e-07,7.046354e-07,7.266595e-07,8.420366e-07,8.564651e-07,9.660343e-07,1.023269e-06,1.098432e-06,1.204518e-06,1.238978e-06,1.387395e-06,1.399600e-06,1.543387e-06,1.607836e-06,1.706643e-06,1.828505e-06,1.876842e-06,2.053655e-06,2.060860e-06,2.236751e-06,2.304140e-06,2.425798e-06,2.557581e-06,2.620466e-06,2.820426e-06,3.025357e-06,3.091932e-06,3.234940e-06,3.371371e-06,3.448865e-06,3.658037e-06,3.666830e-06,3.888539e-06,3.951249e-06,4.113704e-06,4.250347e-06,4.342049e-06,4.554702e-06,4.573303e-06,4.807206e-06,4.863708e-06,5.043504e-06,5.176787e-06,5.281957e-06,5.493389e-06,5.522328e-06,5.764392e-06,5.812989e-06,6.007933e-06,6.135088e-06,6.252741e-06,6.459213e-06,6.498617e-06,6.745368e-06,6.784917e-06,6.992810e-06,7.111776e-06,7.240767e-06,7.439388e-06,7.489069e-06,7.737554e-06,7.767378e-06,7.986070e-06,8.095388e-06,8.234468e-06,8.423084e-06,8.482607e-06,8.730354e-06,8.750153e-06,8.977581e-06,9.076298e-06,9.224166e-06,9.401245e-06,9.469994e-06,9.714955e-06,9.724733e-06,9.958944e-06,1.004652e-05,1.020186e-05,1.036639e-05,1.044362e-05,1.068413e-05,1.092330e-05,1.099954e-05,1.116105e-05,1.131244e-05,1.139732e-05,1.162267e-05,1.163203e-05,1.186511e-05,1.193007e-05,1.209651e-05,1.223451e-05,1.232616e-05,1.253585e-05,1.255401e-05,1.278002e-05,1.283398e-05,1.300413e-05,1.312878e-05,1.322630e-05,1.342017e-05,1.344649e-05,1.366466e-05,1.370805e-05,1.388078e-05,1.399234e-05,1.409481e-05,1.427297e-05,1.430673e-05,1.451651e-05,1.454988e-05,1.472413e-05,1.482301e-05,1.492956e-05,1.509232e-05,1.513279e-05,1.533380e-05,1.535777e-05,1.553257e-05,1.561932e-05,1.572909e-05,1.587694e-05,1.592335e-05,1.611534e-05,1.613060e-05,1.630506e-05,1.638030e-05,1.649248e-05,1.662602e-05,1.667763e-05,1.686048e-05,1.686774e-05,1.704104e-05,1.710548e-05,1.721930e-05,1.733921e-05,1.739528e-05,1.756897e-05,1.779473e-05,1.801654e-05,1.823438e-05,1.844829e-05,1.865828e-05,1.886438e-05,1.906661e-05,1.926500e-05,1.945957e-05,1.965037e-05,1.983742e-05,2.002075e-05,2.020041e-05,2.037642e-05,2.054884e-05,2.071769e-05,2.088302e-05,2.104488e-05,2.120329e-05,2.135831e-05,2.150998e-05,2.165834e-05,2.180344e-05,2.194532e-05
0.000000e+00,7.560590e-13,3.307628e-12,2.559407e-11,9.235017e-11,1.637950e-10,5.506260e-10,5.749065e-10,1.481075e-09,1.860105e-09,3.160276e-09,4.673327e-09,5.940348e-09,9.789436e-09,1.019332e-08,1.632915e-08,1.813029e-08,2.478769e-08,3.070951e-08,3.602712e-08,4.858357e-08,5.050711e-08,6.866609e-08,7.277492e-08,9.089579e-08,1.041746e-07,1.175200e-07,1.434620e-07,1.487837e-07,1.848525e-07,1.910767e-07,2.258200e-07,2.472354e-07,2.717163e-07,3.119671e-07,3.225168e-07,3.781510e-07,3.851471e-07,4.385091e-07,4.665275e-07,5.034486e-07,5.557636e-07,5.728006e-07,6.463751e-07,6.524374e-07,7.239657e-07,7.560780e-07,8.053546e-07,8.661799e-07,8.903160e-07,9.786200e-07,9.822184e-07,1.070035e-06,1.103662e-06,1.164332e-06,1.229983e-06,1.261282e-06,1.360664e-06,1.462261e-06,1.495206e-06,1.565865e-06,1.633130e-06,1.671273e-06,1.773983e-06,1.778293e-06,1.886739e-06,1.917336e-06,1.996436e-06,2.062785e-06,2.107217e-06,2.209957e-06,2.218924e-06,2.331405e-06,2.358500e-06,2.444521e-06,2.508092e-06,2.558136e-06,2.658433e-06,2.672127e-06,2.786376e-06,2.809246e-06,2.900771e-06,2.960279e-06,3.015208e-06,3.111298e-06,3.129592e-06,3.243832e-06,3.262091e-06,3.357842e-06,3.412463e-06,3.471545e-06,3.562236e-06,3.584867e-06,3.697739e-06,3.711250e-06,3.810099e-06,3.859359e-06,3.921887e-06,4.006431e-06,4.033051e-06,4.143538e-06,4.152347e-06,4.253304e-06,4.296999e-06,4.362306e-06,4.440292e-06,4.470504e-06,4.577864e-06,4.582140e-06,4.684351e-06,4.722467e-06,4.789937e-06,4.861206e-06,4.894594e-06,4.998298e-06,5.101026e-06,5.133690e-06,5.202760e-06,5.267339e-06,5.303481e-06,5.399206e-06,5.403173e-06,5.501824e-06,5.529257e-06,5.599420e-06,5.657467e-06,5.695951e-06,5.783812e-06,5.791409e-06,5.885787e-06,5.908276e-06,5.979077e-06,6.030844e-06,6.071277e-06,6.151506e-06,6.162381e-06,6.252388e-06,6.270257e-06,6.341296e-06,6.387094e-06,6.429105e-06,6.502016e-06,6.515816e-06,6.601429e-06,6.615025e-06,6.685947e-06,6.726128e-06,6.769373e-06,6.835330e-06,6.851711e-06,6.932963e-06,6.942641e-06,7.013137e-06,7.048072e-06,7.092236e-06,7.151636e-06,7.170266e-06,7.247234e-06,7.253346e-06,7.323147e-06,7.353218e-06,7.398011e-06,7.451268e-06,7.471834e-06,7.544625e-06,7.547515e-06,7.616390e-06,7.641976e-06,7.687139e-06,7.734672e-06,7.756880e-06,7.825623e-06,7.914848e-06,8.002371e-06,8.088212e-06,8.172395e-06,8.254941e-06,8.335874e-06,8.415217e-06,8.492993e-06,8.569227e-06,8.643941e-06,8.717160e-06,8.788907e-06,8.859206e-06,8.928080e-06,8.995554e-06,9.061651e-06,9.126394e-06,9.189806e-06,9.251911e-06,9.312731e-06,9.372290e-06,9.430610e-06,9.487713e-06,9.543621e-06
0.000000e+00,5.269531e-12,1.799135e-11,1.065273e-10,3.395036e-10,5.755150e-10,1.794212e-09,1.869289e-09,4.639106e-09,5.792240e-09,9.760710e-09,1.442566e-08,1.837641e-08,3.060967e-08,3.191108e-08,5.198433e-08,5.795565e-08,8.018511e-08,1.000380e-07,1.178455e-07,1.596140e-07,1.659668e-07,2.252633e-07,2.385105e-07,2.962306e-07,3.378598e-07,3.791943e-07,4.582941e-07,4.743400e-07,5.817305e-07,6.000476e-07,7.013177e-07,7.630113e-07,8.329515e-07,9.467724e-07,9.763901e-07,1.131310e-06,1.150653e-06,1.297315e-06,1.373754e-06,1.473952e-06,1.614998e-06,1.660717e-06,1.857069e-06,1.873175e-06,2.062441e-06,2.146985e-06,2.276247e-06,2.435075e-06,2.497891e-06,2.726776e-06,2.736073e-06,2.962308e-06,3.048614e-06,3.203903e-06,3.371358e-06,3.450990e-06,3.703015e-06,3.959445e-06,4.042348e-06,4.219766e-06,4.388186e-06,4.483488e-06,4.739428e-06,4.750145e-06,5.019292e-06,5.095042e-06,5.290511e-06,5.454071e-06,5.563405e-06,5.815626e-06,5.837602e-06,6.112751e-06,6.178891e-06,6.388524e-06,6.543114e-06,6.664614e-06,6.907606e-06,6.940733e-06,7.216614e-06,7.271740e-06,7.492009e-06,7.634945e-06,7.766686e-06,7.996702e-06,8.040430e-06,8.313043e-06,8.356543e-06,8.584341e-06,8.714047e-06,8.854156e-06,9.068834e-06,9.122331e-06,9.388724e-06,9.420566e-06,9.653205e-06,9.768938e-06,9.915652e-06,1.011368e-05,1.017596e-05,1.043402e-05,1.045457e-05,1.068976e-05,1.079138e-05,1.094308e-05,1.112394e-05,1.119392e-05,1.144221e-05,1.145209e-05,1.168790e-05,1.177570e-05,1.193093e-05,1.209465e-05,1.217125e-05,1.240884e-05,1.264366e-05,1.271821e-05,1.287568e-05,1.302269e-05,1.310487e-05,1.332222e-05,1.333122e-05,1.355472e-05,1.361678e-05,1.377535e-05,1.390635e-05,1.399311e-05,1.419091e-05,1.420799e-05,1.442000e-05,1.447045e-05,1.462913e-05,1.474499e-05,1.483540e-05,1.501454e-05,1.503880e-05,1.523936e-05,1.527913e-05,1.543708e-05,1.553878e-05,1.563197e-05,1.579352e-05,1.582406e-05,1.601336e-05,1.604339e-05,1.619989e-05,1.628845e-05,1.638367e-05,1.652873e-05,1.656472e-05,1.674307e-05,1.676429e-05,1.691873e-05,1.699518e-05,1.709174e-05,1.722147e-05,1.726212e-05,1.742990e-05,1.744321e-05,1.759510e-05,1.766046e-05,1.775775e-05,1.787329e-05,1.791788e-05,1.807552e-05,1.808177e-05,1.823069e-05,1.828596e-05,1.838344e-05,1.848593e-05,1.853378e-05,1.868174e-05,1.887348e-05,1.906120e-05,1.924498e-05,1.942489e-05,1.960099e-05,1.977336e-05,1.994207e-05,2.010719e-05,2.026879e-05,2.042693e-05,2.058168e-05,2.073311e-05,2.088129e-05,2.102629e-05,2.116816e-05,2.130698e-05,2.144280e-05,2.157569e-05,2.170571e-05,2.183292e-05,2.195738e-05,2.207915e-05,2.219829e-05,2.231485e-05
0.000000e+00,3.154083e-12,1.337855e-11,1.002123e-10,3.569654e-10,6.308161e-10,2.114844e-09,2.208206e-09,5.712885e-09,7.189858e-09,1.229949e-08,1.831852e-08,2.340944e-08,3.909097e-08,4.075120e-08,6.618863e-08,7.370617e-08,1.015761e-07,1.263972e-07,1.486662e-07,2.010903e-07,2.090983e-07,2.844036e-07,3.013763e-07,3.760003e-07,4.305032e-07,4.851800e-07,5.913241e-07,6.130915e-07,7.607254e-07,7.862344e-07,9.289033e-07,1.017122e-06,1.118271e-06,1.285343e-06,1.329298e-06,1.562280e-06,1.591722e-06,1.817349e-06,1.936575e-06,2.094479e-06,2.319756e-06,2.393506e-06,2.714137e-06,2.740710e-06,3.055969e-06,3.198529e-06,3.418501e-06,3.692018e-06,3.801151e-06,4.203268e-06,4.219748e-06,4.624148e-06,4.780114e-06,5.063041e-06,5.371380e-06,5.519166e-06,5.991717e-06,6.479872e-06,6.639242e-06,6.982801e-06,7.312043e-06,7.499668e-06,8.008203e-06,8.029643e-06,8.571898e-06,8.725819e-06,9.125616e-06,9.463014e-06,9.689993e-06,1.021795e-05,1.026424e-05,1.084757e-05,1.098884e-05,1.143925e-05,1.177395e-05,1.203852e-05,1.257160e-05,1.264468e-05,1.325702e-05,1.338018e-05,1.387488e-05,1.419812e-05,1.449759e-05,1.502395e-05,1.512452e-05,1.575506e-05,1.585625e-05,1.638863e-05,1.669365e-05,1.702465e-05,1.753486e-05,1.766258e-05,1.830188e-05,1.837867e-05,1.894206e-05,1.922390e-05,1.958264e-05,2.006944e-05,2.022313e-05,2.086311e-05,2.091427e-05,2.150214e-05,2.175739e-05,2.213981e-05,2.259787e-05,2.277574e-05,2.340955e-05,2.343485e-05,2.404090e-05,2.426751e-05,2.466943e-05,2.509507e-05,2.529484e-05,2.591682e-05,2.653508e-05,2.673210e-05,2.714935e-05,2.754027e-05,2.775937e-05,2.834076e-05,2.836489e-05,2.896568e-05,2.913302e-05,2.956153e-05,2.991658e-05,3.015223e-05,3.069096e-05,3.073759e-05,3.131743e-05,3.145575e-05,3.189158e-05,3.221056e-05,3.245989e-05,3.295505e-05,3.302221e-05,3.357840e-05,3.368889e-05,3.412834e-05,3.441181e-05,3.467192e-05,3.512353e-05,3.520903e-05,3.573957e-05,3.582385e-05,3.626346e-05,3.651254e-05,3.678061e-05,3.718944e-05,3.729096e-05,3.779443e-05,3.785439e-05,3.829098e-05,3.850726e-05,3.878056e-05,3.914794e-05,3.926312e-05,3.973862e-05,3.977636e-05,4.020705e-05,4.039243e-05,4.066836e-05,4.099610e-05,4.112256e-05,4.156962e-05,4.158736e-05,4.200954e-05,4.216616e-05,4.244232e-05,4.273253e-05,4.286795e-05,4.328646e-05,4.382798e-05,4.435714e-05,4.487398e-05,4.537857e-05,4.587097e-05,4.635127e-05,4.681956e-05,4.727594e-05,4.772051e-05,4.815339e-05,4.857469e-05,4.898455e-05,4.938309e-05,4.977046e-05,5.014678e-05,5.051221e-05,5.086690e-05,5.121099e-05,5.154465e-05,5.186803e-05,5.218129e-05,5.248460e-05,5.277811e-05,5.306199e-05
0.000000e+00,7.770104e-15,6.842026e-14,1.499279e-12,1.028289e-11,2.393199e-11,1.360973e-10,1.445722e-10,5.287124e-10,7.165517e-10,1.435653e-09,2.372807e-09,3.215916e-09,6.003414e-09,6.311475e-09,1.125633e-08,1.278492e-08,1.865882e-08,2.411168e-08,2.914049e-08,4.134099e-08,4.323754e-08,6.131986e-08,6.543379e-08,8.357187e-08,9.680569e-08,1.100240e-07,1.354354e-07,1.405990e-07,1.751495e-07,1.810340e-07,2.134821e-07,2.331602e-07,2.553724e-07,2.912807e-07,3.005733e-07,3.488220e-07,3.548037e-07,3.998457e-07,4.231038e-07,4.533671e-07,4.955432e-07,5.091092e-07,5.668001e-07,5.714916e-07,6.261770e-07,6.503432e-07,6.869891e-07,7.315295e-07,7.490006e-07,8.119918e-07,8.145289e-07,8.757601e-07,8.988709e-07,9.401209e-07,9.841384e-07,1.004907e-06,1.069967e-06,1.135167e-06,1.156041e-06,1.200388e-06,1.242090e-06,1.265523e-06,1.327887e-06,1.330481e-06,1.395180e-06,1.413240e-06,1.459549e-06,1.497986e-06,1.523527e-06,1.581994e-06,1.587060e-06,1.650101e-06,1.665154e-06,1.712613e-06,1.747374e-06,1.774559e-06,1.828583e-06,1.835913e-06,1.896650e-06,1.908721e-06,1.956748e-06,1.987741e-06,2.016191e-06,2.065606e-06,2.074965e-06,2.133058e-06,2.142289e-06,2.190461e-06,2.217768e-06,2.247168e-06,2.292027e-06,2.303172e-06,2.358470e-06,2.365059e-06,2.413060e-06,2.436855e-06,2.466941e-06,2.507416e-06,2.520112e-06,2.572576e-06,2.576742e-06,2.624332e-06,2.644837e-06,2.675385e-06,2.711709e-06,2.725737e-06,2.775392e-06,2.777364e-06,2.824355e-06,2.841814e-06,2.872631e-06,2.905069e-06,2.920225e-06,2.967143e-06,3.013390e-06,3.028049e-06,3.058973e-06,3.087802e-06,3.103900e-06,3.146417e-06,3.148175e-06,3.191807e-06,3.203910e-06,3.234803e-06,3.260298e-06,3.277170e-06,3.315599e-06,3.318916e-06,3.360047e-06,3.369828e-06,3.400572e-06,3.423004e-06,3.440498e-06,3.475144e-06,3.479834e-06,3.518586e-06,3.526267e-06,3.556763e-06,3.576390e-06,3.594372e-06,3.625531e-06,3.631422e-06,3.667920e-06,3.673709e-06,3.703874e-06,3.720941e-06,3.739292e-06,3.767245e-06,3.774181e-06,3.808549e-06,3.812639e-06,3.842405e-06,3.857141e-06,3.875755e-06,3.900768e-06,3.908607e-06,3.940969e-06,3.943537e-06,3.972848e-06,3.985466e-06,4.004251e-06,4.026571e-06,4.035186e-06,4.065661e-06,4.066870e-06,4.095681e-06,4.106379e-06,4.125255e-06,4.145114e-06,4.154390e-06,4.183092e-06,4.220327e-06,4.256836e-06,4.292635e-06,4.327737e-06,4.362158e-06,4.395912e-06,4.429014e-06,4.461477e-06,4.493315e-06,4.524543e-06,4.555172e-06,4.585216e-06,4.614687e-06,4.643599e-06,4.671962e-06,4.699789e-06,4.727092e-06,4.753882e-06,4.780170e-06,4.805966e-06,4.831283e-06,4.856129e-06,4.880516e-06,4.904453e-06
0.000000e+00,3.657370e-13,1.572308e-12,1.191778e-11,4.255351e-11,7.516848e-11,2.508972e-10,2.619056e-10,6.722872e-10,8.439004e-10,1.433087e-09,2.120174e-09,2.696865e-09,4.456189e-09,4.641412e-09,7.468367e-09,8.302431e-09,1.139933e-08,1.416965e-08,1.666723e-08,2.259148e-08,2.350143e-08,3.210822e-08,3.405774e-08,4.265365e-08,4.894440e-08,5.525535e-08,6.748292e-08,6.998417e-08,8.687118e-08,8.977370e-08,1.059154e-07,1.158159e-07,1.270904e-07,1.455339e-07,1.503496e-07,1.756301e-07,1.787962e-07,2.028563e-07,2.154304e-07,2.319424e-07,2.552345e-07,2.627950e-07,2.953155e-07,2.979861e-07,3.294017e-07,3.434513e-07,3.649496e-07,3.913908e-07,4.018552e-07,4.400149e-07,4.415660e-07,4.793275e-07,4.937431e-07,5.196941e-07,5.476966e-07,5.610193e-07,6.032114e-07,6.461826e-07,6.600843e-07,6.898498e-07,7.181252e-07,7.341337e-07,7.771571e-07,7.789597e-07,8.242575e-07,8.370164e-07,8.699611e-07,8.975521e-07,9.160085e-07,9.586260e-07,9.623419e-07,1.008907e-06,1.020112e-06,1.055654e-06,1.081893e-06,1.102535e-06,1.143867e-06,1.149507e-06,1.196529e-06,1.205936e-06,1.243564e-06,1.268016e-06,1.290578e-06,1.330028e-06,1.337536e-06,1.384411e-06,1.391901e-06,1.431174e-06,1.453573e-06,1.477800e-06,1.514987e-06,1.524266e-06,1.570550e-06,1.576091e-06,1.616632e-06,1.636840e-06,1.662495e-06,1.697193e-06,1.708121e-06,1.753495e-06,1.757114e-06,1.798604e-06,1.816570e-06,1.843434e-06,1.875533e-06,1.887974e-06,1.932215e-06,1.933978e-06,1.976145e-06,1.991882e-06,2.019757e-06,2.049227e-06,2.063043e-06,2.105996e-06,2.148611e-06,2.162175e-06,2.190880e-06,2.217750e-06,2.232801e-06,2.272712e-06,2.274368e-06,2.315578e-06,2.327053e-06,2.356428e-06,2.380764e-06,2.396916e-06,2.433842e-06,2.437038e-06,2.476794e-06,2.486281e-06,2.516182e-06,2.538078e-06,2.555201e-06,2.589232e-06,2.593851e-06,2.632130e-06,2.639742e-06,2.670040e-06,2.689607e-06,2.707580e-06,2.738829e-06,2.744751e-06,2.781553e-06,2.787408e-06,2.817988e-06,2.835347e-06,2.854057e-06,2.882649e-06,2.889760e-06,2.925100e-06,2.929316e-06,2.960077e-06,2.975353e-06,2.994695e-06,3.020765e-06,3.028954e-06,3.062857e-06,3.065554e-06,3.096406e-06,3.109727e-06,3.129603e-06,3.153289e-06,3.162451e-06,3.194951e-06,3.196244e-06,3.227107e-06,3.238600e-06,3.258921e-06,3.280361e-06,3.290396e-06,3.321534e-06,3.362126e-06,3.402142e-06,3.441590e-06,3.480476e-06,3.518807e-06,3.556589e-06,3.593831e-06,3.630537e-06,3.666717e-06,3.702376e-06,3.737521e-06,3.772160e-06,3.806300e-06,3.839947e-06,3.873109e-06,3.905792e-06,3.938004e-06,3.969751e-06,4.001040e-06,4.031878e-06,4.062272e-06,4.092228e-06,4.121752e-06,4.150852e-06
0.000000e+00,1.034494e-14,9.500408e-14,2.257932e-12,1.655765e-11,3.986406e-11,2.452528e-10,2.612919e-10,1.020597e-09,1.405561e-09,2.922623e-09,4.962187e-09,6.834985e-09,1.318248e-08,1.389464e-08,2.551852e-08,2.917009e-08,4.339750e-08,5.684336e-08,6.942370e-08,1.005971e-07,1.055210e-07,1.534362e-07,1.645693e-07,2.145956e-07,2.520010e-07,2.900687e-07,3.650846e-07,3.806058e-07,4.866965e-07,5.051355e-07,6.086183e-07,6.727992e-07,7.464698e-07,8.681842e-07,9.001897e-07,1.069569e-06,1.090932e-06,1.254263e-06,1.340263e-06,1.453800e-06,1.615018e-06,1.667593e-06,1.894955e-06,1.913708e-06,2.135114e-06,2.234575e-06,2.387229e-06,2.575654e-06,2.650406e-06,2.923714e-06,2.934844e-06,3.206203e-06,3.309962e-06,3.496915e-06,3.698811e-06,3.794900e-06,4.099222e-06,4.408973e-06,4.509096e-06,4.723278e-06,4.926436e-06,5.041301e-06,5.349365e-06,5.362250e-06,5.685377e-06,5.776146e-06,6.009984e-06,6.205186e-06,6.335422e-06,6.635040e-06,6.661089e-06,6.986431e-06,7.064408e-06,7.310943e-06,7.492131e-06,7.634160e-06,7.917186e-06,7.955663e-06,8.275072e-06,8.338672e-06,8.592045e-06,8.755806e-06,8.906278e-06,9.167913e-06,9.217495e-06,9.525457e-06,9.574414e-06,9.829948e-06,9.974815e-06,1.013078e-05,1.036870e-05,1.042779e-05,1.072084e-05,1.075574e-05,1.100981e-05,1.113563e-05,1.129459e-05,1.150817e-05,1.157509e-05,1.185126e-05,1.187316e-05,1.212302e-05,1.223048e-05,1.239033e-05,1.258003e-05,1.265317e-05,1.291151e-05,1.292175e-05,1.316533e-05,1.325560e-05,1.341463e-05,1.358157e-05,1.365941e-05,1.389968e-05,1.413546e-05,1.420996e-05,1.436677e-05,1.451246e-05,1.459362e-05,1.480724e-05,1.481606e-05,1.503411e-05,1.509438e-05,1.524781e-05,1.537396e-05,1.545720e-05,1.564608e-05,1.566233e-05,1.586324e-05,1.591083e-05,1.605997e-05,1.616834e-05,1.625258e-05,1.641871e-05,1.644112e-05,1.662564e-05,1.666206e-05,1.680618e-05,1.689851e-05,1.698281e-05,1.712820e-05,1.715559e-05,1.732455e-05,1.735124e-05,1.748978e-05,1.756777e-05,1.765130e-05,1.777791e-05,1.780920e-05,1.796352e-05,1.798180e-05,1.811432e-05,1.817957e-05,1.826165e-05,1.837134e-05,1.840558e-05,1.854616e-05,1.855726e-05,1.868344e-05,1.873745e-05,1.881749e-05,1.891204e-05,1.894836e-05,1.907611e-05,1.908115e-05,1.920079e-05,1.924493e-05,1.932245e-05,1.940348e-05,1.944115e-05,1.955695e-05,1.970544e-05,1.984909e-05,1.998800e-05,2.012230e-05,2.025211e-05,2.037754e-05,2.049870e-05,2.061569e-05,2.072864e-05,2.083764e-05,2.094280e-05,2.104422e-05,2.114200e-05,2.123624e-05,2.132702e-05,2.141446e-05,2.149863e-05,2.157964e-05,2.165755e-05,2.173247e-05,2.180447e-05,2.187364e-05,2.194006e-05,2.200380e-05
0.000000e+00,3.128775e-14,2.481094e-13,4.504833e-12,2.689302e-11,5.870550e-11,2.930087e-10,3.099069e-10,1.040282e-09,1.385796e-09,2.685051e-09,4.358016e-09,5.858218e-09,1.082016e-08,1.136906e-08,2.017328e-08,2.288582e-08,3.324068e-08,4.274685e-08,5.142956e-08,7.223517e-08,7.544445e-08,1.058518e-07,1.127421e-07,1.431057e-07,1.653058e-07,1.875639e-07,2.306758e-07,2.394957e-07,2.990855e-07,3.093385e-07,3.664361e-07,4.015314e-07,4.415731e-07,5.072600e-07,5.244502e-07,6.149572e-07,6.263234e-07,7.129277e-07,7.583456e-07,8.181481e-07,9.028102e-07,9.303659e-07,1.049298e-06,1.059094e-06,1.174640e-06,1.226500e-06,1.306071e-06,1.404285e-06,1.443259e-06,1.585869e-06,1.591682e-06,1.733566e-06,1.787917e-06,1.886014e-06,1.992226e-06,2.042887e-06,2.203864e-06,2.368633e-06,2.422111e-06,2.536893e-06,2.646277e-06,2.708353e-06,2.875706e-06,2.882734e-06,3.059768e-06,3.109778e-06,3.239200e-06,3.347908e-06,3.420785e-06,3.589546e-06,3.604292e-06,3.789499e-06,3.834178e-06,3.976197e-06,4.081324e-06,4.164187e-06,4.330536e-06,4.353279e-06,4.543297e-06,4.581396e-06,4.734070e-06,4.833518e-06,4.925440e-06,5.086541e-06,5.117255e-06,5.309375e-06,5.340133e-06,5.501663e-06,5.593985e-06,5.693996e-06,5.847813e-06,5.886253e-06,6.078324e-06,6.101354e-06,6.270102e-06,6.354366e-06,6.461490e-06,6.606626e-06,6.652394e-06,6.842729e-06,6.857929e-06,7.032412e-06,7.108086e-06,7.221368e-06,7.356926e-06,7.409526e-06,7.596818e-06,7.604291e-06,7.783183e-06,7.850037e-06,7.968564e-06,8.094033e-06,8.152906e-06,8.336159e-06,8.518277e-06,8.576308e-06,8.699217e-06,8.814382e-06,8.878940e-06,9.050293e-06,9.057407e-06,9.234587e-06,9.283962e-06,9.410446e-06,9.515317e-06,9.584958e-06,9.744296e-06,9.758096e-06,9.929836e-06,9.970843e-06,1.010016e-05,1.019491e-05,1.026904e-05,1.041645e-05,1.043646e-05,1.060242e-05,1.063543e-05,1.076689e-05,1.085182e-05,1.092986e-05,1.106559e-05,1.109132e-05,1.125127e-05,1.127671e-05,1.140968e-05,1.148518e-05,1.156657e-05,1.169098e-05,1.172192e-05,1.187573e-05,1.189409e-05,1.202800e-05,1.209451e-05,1.217872e-05,1.229224e-05,1.232790e-05,1.247553e-05,1.248727e-05,1.262161e-05,1.267961e-05,1.276615e-05,1.286927e-05,1.290915e-05,1.305061e-05,1.305624e-05,1.319054e-05,1.324054e-05,1.332894e-05,1.342218e-05,1.346582e-05,1.360117e-05,1.377753e-05,1.395128e-05,1.412242e-05,1.429098e-05,1.445698e-05,1.462044e-05,1.478137e-05,1.493982e-05,1.509578e-05,1.524930e-05,1.540040e-05,1.554909e-05,1.569541e-05,1.583939e-05,1.598104e-05,1.612040e-05,1.625750e-05,1.639235e-05,1.652500e-05,1.665546e-05,1.678376e-05,1.690994e-05,1.703402e-05,1.715603e-05
0.000000e+00,3.439258e-15,3.470578e-14,9.925344e-13,8.510351e-12,2.221366e-11,1.656293e-10,1.777579e-10,8.204915e-10,1.177990e-09,2.701230e-09,4.930878e-09,7.098736e-09,1.499080e-08,1.591531e-08,3.175010e-08,3.695019e-08,5.794338e-08,7.862039e-08,9.854510e-08,1.498364e-07,1.581531e-07,2.416293e-07,2.616160e-07,3.537810e-07,4.249419e-07,4.991023e-07,6.497657e-07,6.816182e-07,9.048199e-07,9.445124e-07,1.171657e-06,1.315969e-06,1.484551e-06,1.769329e-06,1.845414e-06,2.255666e-06,2.308265e-06,2.716252e-06,2.934996e-06,3.227655e-06,3.650348e-06,3.789916e-06,4.402660e-06,4.453840e-06,5.065124e-06,5.343791e-06,5.776187e-06,6.317452e-06,6.534417e-06,7.338102e-06,7.371168e-06,8.185299e-06,8.500535e-06,9.073871e-06,9.700571e-06,1.000153e-05,1.096587e-05,1.196441e-05,1.229075e-05,1.299462e-05,1.366938e-05,1.405393e-05,1.509588e-05,1.513980e-05,1.624968e-05,1.656442e-05,1.738110e-05,1.806927e-05,1.853162e-05,1.960491e-05,1.969885e-05,2.088050e-05,2.116599e-05,2.207436e-05,2.274745e-05,2.327829e-05,2.434446e-05,2.449026e-05,2.570831e-05,2.595249e-05,2.693061e-05,2.756728e-05,2.815537e-05,2.918487e-05,2.938095e-05,3.060576e-05,3.080156e-05,3.182832e-05,3.241394e-05,3.304724e-05,3.401885e-05,3.426119e-05,3.546896e-05,3.561342e-05,3.666939e-05,3.719497e-05,3.786141e-05,3.876111e-05,3.904404e-05,4.021633e-05,4.030965e-05,4.137745e-05,4.183858e-05,4.252659e-05,4.334615e-05,4.366303e-05,4.478610e-05,4.483073e-05,4.589518e-05,4.629092e-05,4.698973e-05,4.772546e-05,4.806923e-05,4.913323e-05,5.018132e-05,5.051328e-05,5.121312e-05,5.186479e-05,5.222833e-05,5.318704e-05,5.322664e-05,5.420782e-05,5.447944e-05,5.517164e-05,5.574153e-05,5.611793e-05,5.697291e-05,5.704655e-05,5.795736e-05,5.817330e-05,5.885029e-05,5.934249e-05,5.972526e-05,6.048035e-05,6.058224e-05,6.142120e-05,6.158683e-05,6.224216e-05,6.266194e-05,6.304513e-05,6.370575e-05,6.383016e-05,6.459730e-05,6.471839e-05,6.534665e-05,6.570004e-05,6.607828e-05,6.665091e-05,6.679231e-05,6.748885e-05,6.757126e-05,6.816804e-05,6.846142e-05,6.883001e-05,6.932169e-05,6.947493e-05,7.010295e-05,7.015247e-05,7.071424e-05,7.095412e-05,7.130900e-05,7.172708e-05,7.188739e-05,7.244962e-05,7.247177e-05,7.299588e-05,7.318866e-05,7.352638e-05,7.387822e-05,7.404133e-05,7.454094e-05,7.517731e-05,7.578785e-05,7.637307e-05,7.693349e-05,7.746965e-05,7.798208e-05,7.847131e-05,7.893788e-05,7.938232e-05,7.980518e-05,8.020698e-05,8.058826e-05,8.094954e-05,8.129135e-05,8.161420e-05,8.191862e-05,8.220511e-05,8.247417e-05,8.272630e-05,8.296199e-05,8.318171e-05,8.338595e-05,8.357517e-05,8.374983e-05
0.000000e+00,1.087164e-12,3.393619e-12,1.826671e-11,5.564681e-11,9.274091e-11,2.805287e-10,2.919929e-10,7.114331e-10,8.848668e-10,1.479083e-09,2.174583e-09,2.762293e-09,4.580604e-09,4.774232e-09,7.775641e-09,8.675829e-09,1.206410e-08,1.514220e-08,1.794380e-08,2.464813e-08,2.568213e-08,3.547603e-08,3.769324e-08,4.744490e-08,5.454846e-08,6.164338e-08,7.529991e-08,7.807934e-08,9.672890e-08,9.991545e-08,1.175465e-07,1.282917e-07,1.404715e-07,1.602807e-07,1.654318e-07,1.923467e-07,1.957037e-07,2.211284e-07,2.343598e-07,2.516836e-07,2.760317e-07,2.839147e-07,3.177210e-07,3.204905e-07,3.529996e-07,3.675001e-07,3.896468e-07,4.168219e-07,4.275587e-07,4.666325e-07,4.682182e-07,5.067669e-07,5.214558e-07,5.478630e-07,5.763088e-07,5.898252e-07,6.325611e-07,6.759822e-07,6.900078e-07,7.200041e-07,7.484562e-07,7.645466e-07,8.077269e-07,8.095341e-07,8.548951e-07,8.676539e-07,9.005628e-07,9.280843e-07,9.464745e-07,9.888785e-07,9.925718e-07,1.038801e-06,1.049909e-06,1.085110e-06,1.111062e-06,1.131454e-06,1.172231e-06,1.177790e-06,1.224077e-06,1.233325e-06,1.270279e-06,1.294260e-06,1.316364e-06,1.354961e-06,1.362299e-06,1.408058e-06,1.415362e-06,1.453615e-06,1.475404e-06,1.498946e-06,1.535035e-06,1.544031e-06,1.588851e-06,1.594210e-06,1.633387e-06,1.652889e-06,1.677625e-06,1.711038e-06,1.721551e-06,1.765151e-06,1.768625e-06,1.808415e-06,1.825625e-06,1.851334e-06,1.882015e-06,1.893897e-06,1.936097e-06,1.937777e-06,1.977927e-06,1.992895e-06,2.019382e-06,2.047355e-06,2.060457e-06,2.101146e-06,2.141447e-06,2.154261e-06,2.181357e-06,2.206693e-06,2.220873e-06,2.258436e-06,2.259994e-06,2.298717e-06,2.309489e-06,2.337043e-06,2.359848e-06,2.374972e-06,2.409514e-06,2.412502e-06,2.449634e-06,2.458487e-06,2.486370e-06,2.506769e-06,2.522709e-06,2.554361e-06,2.558654e-06,2.594205e-06,2.601268e-06,2.629365e-06,2.647494e-06,2.664135e-06,2.693042e-06,2.698517e-06,2.732514e-06,2.737918e-06,2.766129e-06,2.782128e-06,2.799363e-06,2.825678e-06,2.832220e-06,2.864702e-06,2.868575e-06,2.896812e-06,2.910824e-06,2.928554e-06,2.952433e-06,2.959930e-06,2.990944e-06,2.993410e-06,3.021599e-06,3.033761e-06,3.051898e-06,3.073495e-06,3.081845e-06,3.111443e-06,3.112619e-06,3.140695e-06,3.151142e-06,3.169605e-06,3.189071e-06,3.198178e-06,3.226415e-06,3.263181e-06,3.299379e-06,3.335016e-06,3.370100e-06,3.404640e-06,3.438645e-06,3.472121e-06,3.505078e-06,3.537524e-06,3.569467e-06,3.600915e-06,3.631875e-06,3.662356e-06,3.692366e-06,3.721913e-06,3.751004e-06,3.779646e-06,3.807848e-06,3.835617e-06,3.862960e-06,3.889884e-06,3.916397e-06,3.942505e-06,3.968216e-06
0.000000e+00,6.359331e-17,6.831046e-16,2.215932e-14,2.121718e-13,5.872699e-13,5.061404e-12,5.462993e-12,2.881114e-11,4.281250e-11,1.066641e-10,2.074431e-10,3.106757e-10,7.128824e-10,7.619620e-10,1.643669e-09,1.946067e-09,3.211113e-09,4.509298e-09,5.797059e-09,9.236378e-09,9.807838e-09,1.570671e-08,1.715620e-08,2.398524e-08,2.939281e-08,3.512862e-08,4.703092e-08,4.958266e-08,6.772858e-08,7.099587e-08,8.986780e-08,1.019797e-07,1.162162e-07,1.404166e-07,1.469053e-07,1.819888e-07,1.864940e-07,2.214503e-07,2.401826e-07,2.652136e-07,3.012742e-07,3.131516e-07,3.650961e-07,3.694189e-07,4.208457e-07,4.441610e-07,4.801745e-07,5.249712e-07,5.428389e-07,6.085841e-07,6.112743e-07,6.771498e-07,7.024736e-07,7.482752e-07,7.979709e-07,8.217028e-07,8.971818e-07,9.744710e-07,9.995479e-07,1.053340e-06,1.104544e-06,1.133571e-06,1.211685e-06,1.214961e-06,1.297318e-06,1.320527e-06,1.380466e-06,1.430666e-06,1.464242e-06,1.541741e-06,1.548496e-06,1.633091e-06,1.653431e-06,1.717903e-06,1.765449e-06,1.802816e-06,1.877542e-06,1.887729e-06,1.972546e-06,1.989490e-06,2.057183e-06,2.101098e-06,2.141564e-06,2.212195e-06,2.225619e-06,2.309287e-06,2.322634e-06,2.392511e-06,2.432286e-06,2.475241e-06,2.541040e-06,2.557433e-06,2.639045e-06,2.648798e-06,2.720043e-06,2.755478e-06,2.800393e-06,2.861008e-06,2.880067e-06,2.959039e-06,2.965326e-06,3.037288e-06,3.068380e-06,3.114793e-06,3.170126e-06,3.191536e-06,3.267503e-06,3.270526e-06,3.342681e-06,3.369549e-06,3.417057e-06,3.467169e-06,3.490621e-06,3.563367e-06,3.635286e-06,3.658125e-06,3.706374e-06,3.751431e-06,3.776625e-06,3.843276e-06,3.846036e-06,3.914605e-06,3.933653e-06,3.982330e-06,4.022560e-06,4.049211e-06,4.109995e-06,4.115247e-06,4.180440e-06,4.195960e-06,4.244790e-06,4.280459e-06,4.308299e-06,4.363495e-06,4.370971e-06,4.432808e-06,4.445075e-06,4.493813e-06,4.525208e-06,4.553990e-06,4.603902e-06,4.613344e-06,4.671878e-06,4.681168e-06,4.729599e-06,4.757017e-06,4.786510e-06,4.831460e-06,4.842618e-06,4.897928e-06,4.904512e-06,4.952446e-06,4.976184e-06,5.006178e-06,5.046492e-06,5.059130e-06,5.111309e-06,5.115450e-06,5.162722e-06,5.183074e-06,5.213374e-06,5.249378e-06,5.263274e-06,5.312428e-06,5.314379e-06,5.360843e-06,5.378093e-06,5.408526e-06,5.440536e-06,5.455484e-06,5.501725e-06,5.561678e-06,5.620410e-06,5.677940e-06,5.734284e-06,5.789459e-06,5.843483e-06,5.896374e-06,5.948148e-06,5.998822e-06,6.048415e-06,6.096942e-06,6.144421e-06,6.190869e-06,6.236303e-06,6.280740e-06,6.324195e-06,6.366686e-06,6.408229e-06,6.448840e-06,6.488535e-06,6.527330e-06,6.565240e-06,6.602281e-06,6.638469e-06
0.000000e+00,1.393197e-17,1.642187e-16,6.461895e-15,7.382543e-14,2.251875e-13,2.494968e-12,2.720577e-12,1.840179e-11,2.925130e-11,8.627517e-11,1.921575e-10,3.142132e-10,8.757587e-10,9.515404e-10,2.503551e-09,3.103381e-09,5.896696e-09,9.151932e-09,1.270049e-08,2.346053e-08,2.540754e-08,4.776720e-08,5.383786e-08,8.516174e-08,1.129186e-07,1.450090e-07,2.197666e-07,2.371711e-07,3.743488e-07,4.014891e-07,5.724391e-07,6.947135e-07,8.508373e-07,1.146786e-06,1.232666e-06,1.744916e-06,1.816578e-06,2.418494e-06,2.774798e-06,3.288159e-06,4.103775e-06,4.392359e-06,5.772959e-06,5.896673e-06,7.474863e-06,8.256150e-06,9.545549e-06,1.129252e-05,1.203452e-05,1.499268e-05,1.512149e-05,1.847162e-05,1.986148e-05,2.252295e-05,2.563080e-05,2.719751e-05,3.254460e-05,3.861126e-05,4.071186e-05,4.544156e-05,5.023251e-05,5.307584e-05,6.119463e-05,6.155014e-05,7.089561e-05,7.367209e-05,8.113798e-05,8.772246e-05,9.229719e-05,1.033854e-04,1.043870e-04,1.174149e-04,1.206814e-04,1.313816e-04,1.396111e-04,1.462814e-04,1.601554e-04,1.621019e-04,1.788244e-04,1.822750e-04,1.964237e-04,2.059118e-04,2.148687e-04,2.309894e-04,2.341227e-04,2.541435e-04,2.574149e-04,2.748842e-04,2.850804e-04,2.962932e-04,3.138647e-04,3.183154e-04,3.408921e-04,3.436357e-04,3.639617e-04,3.742521e-04,3.874604e-04,4.055661e-04,4.113226e-04,4.354816e-04,4.374252e-04,4.598700e-04,4.696745e-04,4.844202e-04,5.021587e-04,5.090648e-04,5.337373e-04,5.347238e-04,5.583723e-04,5.672193e-04,5.829059e-04,5.994993e-04,6.072764e-04,6.314240e-04,6.552917e-04,6.628612e-04,6.788250e-04,6.936871e-04,7.019727e-04,7.237867e-04,7.246864e-04,7.469212e-04,7.530554e-04,7.686355e-04,7.813982e-04,7.897912e-04,8.087312e-04,8.103536e-04,8.302915e-04,8.349806e-04,8.495774e-04,8.600836e-04,8.681871e-04,8.839875e-04,8.860995e-04,9.032974e-04,9.066499e-04,9.197662e-04,9.280382e-04,9.354950e-04,9.481290e-04,9.504753e-04,9.647021e-04,9.669082e-04,9.781724e-04,9.843695e-04,9.908866e-04,1.000515e-03,1.002847e-03,1.014057e-03,1.015353e-03,1.024525e-03,1.028898e-03,1.034259e-03,1.041172e-03,1.043269e-03,1.051568e-03,1.052201e-03,1.059168e-03,1.062015e-03,1.066084e-03,1.070650e-03,1.072333e-03,1.077932e-03,1.078143e-03,1.082898e-03,1.084534e-03,1.087250e-03,1.089869e-03,1.091008e-03,1.094191e-03,1.097547e-03,1.099984e-03,1.101551e-03,1.102295e-03,1.102265e-03,1.101508e-03,1.100071e-03,1.098001e-03,1.095343e-03,1.092140e-03,1.088436e-03,1.084271e-03,1.079686e-03,1.074718e-03,1.069403e-03,1.063777e-03,1.057872e-03,1.051720e-03,1.045351e-03,1.038792e-03,1.032069e-03,1.025208e-03,1.018232e-03,1.011161e-03
0.000000e+00,7.511424e-12,2.845004e-11,1.879224e-10,6.300410e-10,1.088342e-09,3.508469e-09,3.659125e-09,9.274890e-09,1.163364e-08,1.980089e-08,2.945605e-08,3.765065e-08,6.297013e-08,6.565147e-08,1.065719e-07,1.185800e-07,1.626829e-07,2.014027e-07,2.357126e-07,3.150290e-07,3.269800e-07,4.374943e-07,4.619766e-07,5.679977e-07,6.439318e-07,7.189806e-07,8.618197e-07,8.906889e-07,1.083134e-06,1.115838e-06,1.296106e-06,1.405511e-06,1.529197e-06,1.729769e-06,1.781824e-06,2.053256e-06,2.087052e-06,2.342642e-06,2.475421e-06,2.649042e-06,2.892664e-06,2.971444e-06,3.308796e-06,3.336397e-06,3.660018e-06,3.804148e-06,4.024025e-06,4.293420e-06,4.399738e-06,4.786093e-06,4.801753e-06,5.182053e-06,5.326756e-06,5.586616e-06,5.866138e-06,5.998815e-06,6.417724e-06,6.842463e-06,6.979472e-06,7.272192e-06,7.549469e-06,7.706119e-06,8.125943e-06,8.143495e-06,8.583615e-06,8.707250e-06,9.025819e-06,9.291880e-06,9.469484e-06,9.878447e-06,9.914031e-06,1.035892e-05,1.046568e-05,1.080364e-05,1.105243e-05,1.124773e-05,1.163765e-05,1.169074e-05,1.213228e-05,1.222038e-05,1.257197e-05,1.279976e-05,1.300946e-05,1.337502e-05,1.344444e-05,1.387660e-05,1.394547e-05,1.430569e-05,1.451048e-05,1.473145e-05,1.506952e-05,1.515366e-05,1.557212e-05,1.562207e-05,1.598663e-05,1.616773e-05,1.639704e-05,1.670610e-05,1.680318e-05,1.720492e-05,1.723687e-05,1.760215e-05,1.775975e-05,1.799475e-05,1.827450e-05,1.838262e-05,1.876569e-05,1.878091e-05,1.914388e-05,1.927883e-05,1.951714e-05,1.976810e-05,1.988540e-05,2.024863e-05,2.060680e-05,2.072034e-05,2.095987e-05,2.118316e-05,2.130784e-05,2.163706e-05,2.165068e-05,2.198839e-05,2.208203e-05,2.232097e-05,2.251806e-05,2.264843e-05,2.294518e-05,2.297078e-05,2.328803e-05,2.336341e-05,2.360020e-05,2.377280e-05,2.390731e-05,2.417342e-05,2.420940e-05,2.450649e-05,2.456532e-05,2.479862e-05,2.494858e-05,2.508582e-05,2.532329e-05,2.536813e-05,2.564560e-05,2.568955e-05,2.591826e-05,2.604744e-05,2.618616e-05,2.639708e-05,2.644934e-05,2.670787e-05,2.673858e-05,2.696177e-05,2.707205e-05,2.721112e-05,2.739760e-05,2.745595e-05,2.769633e-05,2.771537e-05,2.793230e-05,2.802547e-05,2.816392e-05,2.832802e-05,2.839125e-05,2.861433e-05,2.862317e-05,2.883324e-05,2.891103e-05,2.904802e-05,2.919174e-05,2.925872e-05,2.946542e-05,2.973221e-05,2.999224e-05,3.024564e-05,3.049253e-05,3.073306e-05,3.096735e-05,3.119552e-05,3.141771e-05,3.163403e-05,3.184463e-05,3.204961e-05,3.224910e-05,3.244323e-05,3.263211e-05,3.281585e-05,3.299458e-05,3.316840e-05,3.333743e-05,3.350179e-05,3.366156e-05,3.381688e-05,3.396783e-05,3.411452e-05,3.425706e-05
0.000000e+00,8.641040e-15,7.260042e-14,1.461914e-12,9.422038e-12,2.131450e-11,1.146209e-10,1.215427e-10,4.304136e-10,5.802589e-10,1.154174e-09,1.907623e-09,2.592288e-09,4.900800e-09,5.159805e-09,9.403004e-09,1.074200e-08,1.597541e-08,2.092824e-08,2.555509e-08,3.695409e-08,3.874424e-08,5.601339e-08,5.998868e-08,7.770134e-08,9.080625e-08,1.040415e-07,1.298778e-07,1.351891e-07,1.712397e-07,1.774666e-07,2.122407e-07,2.336826e-07,2.581972e-07,2.985091e-07,3.090758e-07,3.648072e-07,3.718166e-07,4.252895e-07,4.533738e-07,4.903907e-07,5.428602e-07,5.599525e-07,6.337941e-07,6.398805e-07,7.117160e-07,7.439796e-07,7.935039e-07,8.546590e-07,8.789328e-07,9.677704e-07,9.713915e-07,1.059781e-06,1.093635e-06,1.154726e-06,1.220845e-06,1.252371e-06,1.352484e-06,1.454838e-06,1.488028e-06,1.559213e-06,1.626976e-06,1.665398e-06,1.768850e-06,1.773190e-06,1.882394e-06,1.913199e-06,1.992827e-06,2.059603e-06,2.104314e-06,2.207671e-06,2.216690e-06,2.329801e-06,2.357041e-06,2.443501e-06,2.507379e-06,2.557654e-06,2.658381e-06,2.672132e-06,2.786817e-06,2.809769e-06,2.901598e-06,2.961288e-06,3.016372e-06,3.112708e-06,3.131045e-06,3.245528e-06,3.263822e-06,3.359740e-06,3.414442e-06,3.473604e-06,3.564399e-06,3.587052e-06,3.700021e-06,3.713542e-06,3.812450e-06,3.861735e-06,3.924287e-06,4.008857e-06,4.035483e-06,4.145992e-06,4.154801e-06,4.255773e-06,4.299473e-06,4.364790e-06,4.442789e-06,4.473008e-06,4.580398e-06,4.584676e-06,4.686932e-06,4.725070e-06,4.792585e-06,4.863915e-06,4.897336e-06,5.001164e-06,5.104054e-06,5.136777e-06,5.205989e-06,5.270721e-06,5.306957e-06,5.402966e-06,5.406946e-06,5.505948e-06,5.533490e-06,5.603953e-06,5.662275e-06,5.700956e-06,5.789309e-06,5.796951e-06,5.891935e-06,5.914580e-06,5.985905e-06,6.038085e-06,6.078859e-06,6.159818e-06,6.170797e-06,6.261719e-06,6.279782e-06,6.351627e-06,6.397978e-06,6.440522e-06,6.514412e-06,6.528406e-06,6.615285e-06,6.629092e-06,6.701160e-06,6.742026e-06,6.786038e-06,6.853225e-06,6.869923e-06,6.952821e-06,6.962702e-06,7.034737e-06,7.070471e-06,7.115679e-06,7.176546e-06,7.195652e-06,7.274665e-06,7.280945e-06,7.352724e-06,7.383682e-06,7.429837e-06,7.484778e-06,7.506013e-06,7.581258e-06,7.584249e-06,7.655582e-06,7.682115e-06,7.728994e-06,7.778396e-06,7.801501e-06,7.873112e-06,7.966283e-06,8.057930e-06,8.148075e-06,8.236737e-06,8.323939e-06,8.409703e-06,8.494048e-06,8.576998e-06,8.658573e-06,8.738795e-06,8.817686e-06,8.895266e-06,8.971556e-06,9.046579e-06,9.120354e-06,9.192902e-06,9.264244e-06,9.334400e-06,9.403390e-06,9.471234e-06,9.537951e-06,9.603561e-06,9.668083e-06,9.731536e-06
0.000000e+00,1.966625e-15,1.774715e-14,4.081989e-13,2.918622e-12,6.942869e-12,4.165778e-11,4.434496e-11,1.704320e-10,2.340147e-10,4.841735e-10,8.209021e-10,1.131091e-09,2.190678e-09,2.310349e-09,4.284260e-09,4.911708e-09,7.385377e-09,9.760220e-09,1.201016e-08,1.768253e-08,1.858948e-08,2.754253e-08,2.965150e-08,3.923631e-08,4.650130e-08,5.396658e-08,6.885369e-08,7.195927e-08,9.338186e-08,9.713644e-08,1.183558e-07,1.316310e-07,1.469664e-07,1.725115e-07,1.792693e-07,2.152939e-07,2.198675e-07,2.550462e-07,2.737147e-07,2.985097e-07,3.340015e-07,3.456466e-07,3.963987e-07,4.006128e-07,4.506889e-07,4.733749e-07,5.084224e-07,5.520609e-07,5.694882e-07,6.337614e-07,6.363971e-07,7.011043e-07,7.260711e-07,7.713695e-07,8.207396e-07,8.444009e-07,9.200365e-07,9.981101e-07,1.023581e-06,1.078453e-06,1.130984e-06,1.160894e-06,1.241857e-06,1.245266e-06,1.331402e-06,1.355813e-06,1.419136e-06,1.472478e-06,1.508309e-06,1.591486e-06,1.598766e-06,1.690355e-06,1.712489e-06,1.782933e-06,1.835155e-06,1.876359e-06,1.959170e-06,1.970500e-06,2.065233e-06,2.084239e-06,2.160435e-06,2.210089e-06,2.255996e-06,2.336466e-06,2.351809e-06,2.447774e-06,2.463136e-06,2.543798e-06,2.589886e-06,2.639797e-06,2.716524e-06,2.735691e-06,2.831406e-06,2.842877e-06,2.926875e-06,2.968787e-06,3.022034e-06,3.094113e-06,3.116826e-06,3.211197e-06,3.218727e-06,3.305097e-06,3.342515e-06,3.398481e-06,3.465375e-06,3.491308e-06,3.583539e-06,3.587216e-06,3.675140e-06,3.707956e-06,3.766080e-06,3.827526e-06,3.856329e-06,3.945863e-06,4.034658e-06,4.062913e-06,4.122693e-06,4.178629e-06,4.209951e-06,4.292972e-06,4.296415e-06,4.382071e-06,4.405908e-06,4.466906e-06,4.517408e-06,4.550909e-06,4.627450e-06,4.634072e-06,4.716387e-06,4.736015e-06,4.797847e-06,4.843090e-06,4.878448e-06,4.948662e-06,4.958185e-06,5.037056e-06,5.052726e-06,5.115060e-06,5.155278e-06,5.192195e-06,5.256317e-06,5.268461e-06,5.343860e-06,5.355843e-06,5.418393e-06,5.453862e-06,5.492062e-06,5.550377e-06,5.564870e-06,5.636822e-06,5.645398e-06,5.707920e-06,5.738933e-06,5.778169e-06,5.830994e-06,5.847574e-06,5.916141e-06,5.921590e-06,5.983875e-06,6.010737e-06,6.050783e-06,6.098448e-06,6.116870e-06,6.182144e-06,6.184738e-06,6.246611e-06,6.269623e-06,6.310278e-06,6.353118e-06,6.373152e-06,6.435242e-06,6.516011e-06,6.595444e-06,6.673558e-06,6.750373e-06,6.825906e-06,6.900177e-06,6.973205e-06,7.045009e-06,7.115608e-06,7.185021e-06,7.253268e-06,7.320366e-06,7.386337e-06,7.451198e-06,7.514967e-06,7.577665e-06,7.639309e-06,7.699917e-06,7.759509e-06,7.818100e-06,7.875710e-06,7.932356e-06,7.988055e-06,8.042825e-06
0.000000e+00,2.440692e-18,2.867626e-17,1.122711e-15,1.276741e-14,3.884340e-14,4.273991e-13,4.659124e-13,3.128598e-12,4.962996e-12,1.456050e-11,3.228536e-11,5.263418e-11,1.456786e-10,1.581878e-10,4.130052e-10,5.110055e-10,9.652321e-10,1.491572e-09,2.062866e-09,3.784942e-09,4.095333e-09,7.642333e-09,8.601070e-09,1.352816e-08,1.787325e-08,2.287878e-08,3.448510e-08,3.717852e-08,5.832263e-08,6.249123e-08,8.866270e-08,1.073077e-07,1.310416e-07,1.758508e-07,1.888159e-07,2.658639e-07,2.766082e-07,3.665784e-07,4.196322e-07,4.958443e-07,6.164504e-07,6.589991e-07,8.617807e-07,8.798949e-07,1.110261e-06,1.223860e-06,1.410769e-06,1.662993e-06,1.769801e-06,2.193929e-06,2.212341e-06,2.689700e-06,2.886957e-06,3.263531e-06,3.701493e-06,3.921609e-06,4.669792e-06,5.513509e-06,5.804494e-06,6.457673e-06,7.116671e-06,7.506596e-06,8.615508e-06,8.663922e-06,9.932560e-06,1.030804e-05,1.131464e-05,1.219892e-05,1.281148e-05,1.429033e-05,1.442353e-05,1.615043e-05,1.658186e-05,1.799094e-05,1.907050e-05,1.994297e-05,2.175073e-05,2.200364e-05,2.416927e-05,2.461462e-05,2.643547e-05,2.765197e-05,2.879713e-05,3.085055e-05,3.124855e-05,3.378345e-05,3.419633e-05,3.639505e-05,3.767377e-05,3.907617e-05,4.126607e-05,4.181927e-05,4.461655e-05,4.495548e-05,4.745999e-05,4.872363e-05,5.034146e-05,5.255176e-05,5.325276e-05,5.618571e-05,5.642104e-05,5.913219e-05,6.031278e-05,6.208422e-05,6.420873e-05,6.503400e-05,6.797395e-05,6.809124e-05,7.089678e-05,7.194345e-05,7.379550e-05,7.574946e-05,7.666348e-05,7.949446e-05,8.228255e-05,8.316478e-05,8.502231e-05,8.674804e-05,8.770869e-05,9.023311e-05,9.033708e-05,9.290333e-05,9.361022e-05,9.540368e-05,9.687089e-05,9.783486e-05,1.000080e-04,1.001940e-04,1.024785e-04,1.030155e-04,1.046865e-04,1.058889e-04,1.068162e-04,1.086245e-04,1.088663e-04,1.108358e-04,1.112200e-04,1.127241e-04,1.136739e-04,1.145310e-04,1.159857e-04,1.162563e-04,1.179004e-04,1.181559e-04,1.194637e-04,1.201857e-04,1.209470e-04,1.220767e-04,1.223513e-04,1.236776e-04,1.238316e-04,1.249273e-04,1.254533e-04,1.261018e-04,1.269452e-04,1.272028e-04,1.282320e-04,1.283113e-04,1.291911e-04,1.295556e-04,1.300821e-04,1.306826e-04,1.309070e-04,1.316677e-04,1.316968e-04,1.323663e-04,1.326030e-04,1.330050e-04,1.334061e-04,1.335858e-04,1.341108e-04,1.347221e-04,1.352449e-04,1.356839e-04,1.360440e-04,1.363297e-04,1.365455e-04,1.366960e-04,1.367852e-04,1.368174e-04,1.367964e-04,1.367259e-04,1.366097e-04,1.364511e-04,1.362533e-04,1.360196e-04,1.357528e-04,1.354556e-04,1.351307e-04,1.347806e-04,1.344076e-04,1.340138e-04,1.336012e-04,1.331719e-04,1.327275e-04
0.000000e+00,1.029467e-16,1.197355e-15,4.587293e-14,5.115812e-13,1.540094e-12,1.649997e-11,1.796765e-11,1.176199e-10,1.853333e-10,5.348301e-10,1.170690e-09,1.893012e-09,5.148296e-09,5.582309e-09,1.432957e-08,1.766295e-08,3.299039e-08,5.059347e-08,6.958074e-08,1.263619e-07,1.365452e-07,2.522245e-07,2.833288e-07,4.424435e-07,5.819985e-07,7.421077e-07,1.111325e-06,1.196677e-06,1.863396e-06,1.994245e-06,2.812163e-06,3.391629e-06,4.126001e-06,5.504087e-06,5.901034e-06,8.246003e-06,8.571304e-06,1.128132e-05,1.286892e-05,1.513771e-05,1.870314e-05,1.995445e-05,2.587735e-05,2.640344e-05,3.305644e-05,3.631382e-05,4.164356e-05,4.878310e-05,5.178985e-05,6.364317e-05,6.415485e-05,7.734565e-05,8.275733e-05,9.303131e-05,1.048939e-04,1.108238e-04,1.308346e-04,1.531611e-04,1.608084e-04,1.778850e-04,1.949974e-04,2.050716e-04,2.335319e-04,2.347684e-04,2.670047e-04,2.764879e-04,3.017916e-04,3.238856e-04,3.391214e-04,3.756889e-04,3.789684e-04,4.212891e-04,4.318077e-04,4.660228e-04,4.920998e-04,5.130930e-04,5.563749e-04,5.624078e-04,6.138617e-04,6.243989e-04,6.673362e-04,6.958990e-04,7.227020e-04,7.705693e-04,7.798199e-04,8.385424e-04,8.480767e-04,8.987151e-04,9.280665e-04,9.601785e-04,1.010169e-03,1.022769e-03,1.086320e-03,1.094003e-03,1.150664e-03,1.179184e-03,1.215635e-03,1.265328e-03,1.281064e-03,1.346790e-03,1.352056e-03,1.412650e-03,1.438996e-03,1.478488e-03,1.525792e-03,1.544152e-03,1.609496e-03,1.612101e-03,1.674380e-03,1.697600e-03,1.738671e-03,1.781985e-03,1.802243e-03,1.864976e-03,1.926760e-03,1.946314e-03,1.987493e-03,2.025765e-03,2.047077e-03,2.103119e-03,2.105428e-03,2.162465e-03,2.178191e-03,2.218119e-03,2.250819e-03,2.272324e-03,2.320867e-03,2.325027e-03,2.376178e-03,2.388219e-03,2.425737e-03,2.452782e-03,2.473670e-03,2.514483e-03,2.519948e-03,2.564552e-03,2.573270e-03,2.607465e-03,2.629109e-03,2.648680e-03,2.681984e-03,2.688191e-03,2.726001e-03,2.731893e-03,2.762114e-03,2.778849e-03,2.796541e-03,2.822878e-03,2.829296e-03,2.860398e-03,2.864020e-03,2.889866e-03,2.902321e-03,2.917726e-03,2.937841e-03,2.944005e-03,2.968732e-03,2.970644e-03,2.991939e-03,3.000804e-03,3.013660e-03,3.028398e-03,3.033930e-03,3.052785e-03,3.053510e-03,3.070264e-03,3.076227e-03,3.086406e-03,3.096639e-03,3.101250e-03,3.114837e-03,3.130915e-03,3.144968e-03,3.157091e-03,3.167377e-03,3.175921e-03,3.182814e-03,3.188149e-03,3.192014e-03,3.194496e-03,3.195680e-03,3.195648e-03,3.194480e-03,3.192252e-03,3.189038e-03,3.184911e-03,3.179937e-03,3.174183e-03,3.167710e-03,3.160579e-03,3.152845e-03,3.144562e-03,3.135782e-03,3.126553e-03,3.116920e-03
0.000000e+00,5.668904e-12,1.826805e-11,1.021777e-10,3.184772e-10,5.364457e-10,1.664104e-09,1.733853e-09,4.331744e-09,5.426281e-09,9.241710e-09,1.380669e-08,1.772807e-08,3.012127e-08,3.145843e-08,5.243473e-08,5.878145e-08,8.273629e-08,1.044775e-07,1.241937e-07,1.710355e-07,1.782188e-07,2.458240e-07,2.610412e-07,3.277162e-07,3.761144e-07,4.243800e-07,5.172295e-07,5.361330e-07,6.631599e-07,6.849079e-07,8.055323e-07,8.793170e-07,9.632219e-07,1.100326e-06,1.136111e-06,1.324003e-06,1.347546e-06,1.526628e-06,1.620367e-06,1.743655e-06,1.917994e-06,1.974702e-06,2.219339e-06,2.239483e-06,2.477102e-06,2.583773e-06,2.747498e-06,2.949718e-06,3.030013e-06,3.324117e-06,3.336115e-06,3.629270e-06,3.741725e-06,3.944926e-06,4.165294e-06,4.270541e-06,4.605568e-06,4.949470e-06,5.061306e-06,5.301715e-06,5.531287e-06,5.661778e-06,6.014320e-06,6.029149e-06,6.403325e-06,6.509247e-06,6.783819e-06,7.014949e-06,7.170155e-06,7.530348e-06,7.561872e-06,7.958523e-06,8.054405e-06,8.359675e-06,8.586129e-06,8.764908e-06,9.124568e-06,9.173818e-06,9.586014e-06,9.668815e-06,1.000112e-05,1.021801e-05,1.041878e-05,1.077132e-05,1.083863e-05,1.126035e-05,1.132798e-05,1.168361e-05,1.188723e-05,1.210811e-05,1.244839e-05,1.253354e-05,1.295963e-05,1.301079e-05,1.338610e-05,1.357380e-05,1.381269e-05,1.413683e-05,1.423916e-05,1.466526e-05,1.469933e-05,1.509078e-05,1.526077e-05,1.551549e-05,1.582067e-05,1.593919e-05,1.636168e-05,1.637856e-05,1.678279e-05,1.693401e-05,1.720232e-05,1.748662e-05,1.762012e-05,1.803602e-05,1.844988e-05,1.858185e-05,1.886154e-05,1.912380e-05,1.927089e-05,1.966155e-05,1.967778e-05,2.008210e-05,2.019483e-05,2.048373e-05,2.072338e-05,2.088258e-05,2.124697e-05,2.127854e-05,2.167151e-05,2.176537e-05,2.206142e-05,2.227839e-05,2.244817e-05,2.278585e-05,2.283170e-05,2.321193e-05,2.328757e-05,2.358880e-05,2.378342e-05,2.396224e-05,2.427325e-05,2.433221e-05,2.469865e-05,2.475695e-05,2.506152e-05,2.523441e-05,2.542076e-05,2.570553e-05,2.577636e-05,2.612826e-05,2.617024e-05,2.647645e-05,2.662846e-05,2.682089e-05,2.708014e-05,2.716156e-05,2.749844e-05,2.752522e-05,2.783151e-05,2.796367e-05,2.816076e-05,2.839545e-05,2.848618e-05,2.880776e-05,2.882054e-05,2.912549e-05,2.923894e-05,2.943938e-05,2.965062e-05,2.974941e-05,3.005559e-05,3.045387e-05,3.084545e-05,3.123037e-05,3.160864e-05,3.198029e-05,3.234536e-05,3.270389e-05,3.305592e-05,3.340149e-05,3.374065e-05,3.407346e-05,3.439997e-05,3.472025e-05,3.503434e-05,3.534232e-05,3.564425e-05,3.594020e-05,3.623023e-05,3.651442e-05,3.679283e-05,3.706554e-05,3.733263e-05,3.759416e-05,3.785022e-05
0.000000e+00,1.247840e-18,1.455685e-17,5.609481e-16,6.285923e-15,1.896770e-14,2.042419e-13,2.224481e-13,1.461237e-12,2.303995e-12,6.656223e-12,1.457408e-11,2.356363e-11,6.400916e-11,6.939414e-11,1.776417e-10,2.187768e-10,4.073233e-10,6.229350e-10,8.546640e-10,1.543926e-09,1.667078e-09,3.059067e-09,3.431620e-09,5.329315e-09,6.985242e-09,8.877894e-09,1.322137e-08,1.422220e-08,2.201007e-08,2.353349e-08,3.302874e-08,3.973299e-08,4.820845e-08,6.406340e-08,6.862030e-08,9.546784e-08,9.918369e-08,1.300731e-07,1.481203e-07,1.738576e-07,2.141920e-07,2.283185e-07,2.950023e-07,3.009120e-07,3.754760e-07,4.118765e-07,4.712970e-07,5.506462e-07,5.839841e-07,7.149878e-07,7.206285e-07,8.656641e-07,9.249657e-07,1.037249e-06,1.166436e-06,1.230839e-06,1.447369e-06,1.687600e-06,1.769579e-06,1.952110e-06,2.134323e-06,2.241283e-06,2.542268e-06,2.555307e-06,2.894174e-06,2.993486e-06,3.257683e-06,3.487462e-06,3.645446e-06,4.023125e-06,4.056896e-06,4.491301e-06,4.598879e-06,4.947772e-06,5.212656e-06,5.425280e-06,5.861975e-06,5.922671e-06,6.438682e-06,6.544001e-06,6.971957e-06,7.255611e-06,7.521065e-06,7.993462e-06,8.084514e-06,8.660770e-06,8.754055e-06,9.248268e-06,9.533797e-06,9.845431e-06,1.032906e-05,1.045068e-05,1.106245e-05,1.113623e-05,1.167920e-05,1.195176e-05,1.229943e-05,1.277221e-05,1.292165e-05,1.354447e-05,1.359428e-05,1.416652e-05,1.441483e-05,1.478650e-05,1.523091e-05,1.540319e-05,1.601541e-05,1.603979e-05,1.662210e-05,1.683895e-05,1.722222e-05,1.762607e-05,1.781484e-05,1.839911e-05,1.897421e-05,1.915619e-05,1.953945e-05,1.989571e-05,2.009416e-05,2.061625e-05,2.063777e-05,2.116978e-05,2.131660e-05,2.168972e-05,2.199574e-05,2.219723e-05,2.265285e-05,2.269196e-05,2.317364e-05,2.328728e-05,2.364206e-05,2.389851e-05,2.409704e-05,2.448621e-05,2.453846e-05,2.496622e-05,2.505014e-05,2.538030e-05,2.559020e-05,2.578067e-05,2.610640e-05,2.616736e-05,2.654042e-05,2.659886e-05,2.689995e-05,2.706774e-05,2.724604e-05,2.751334e-05,2.757884e-05,2.789848e-05,2.793596e-05,2.820514e-05,2.833601e-05,2.849900e-05,2.871391e-05,2.878027e-05,2.904916e-05,2.907014e-05,2.930589e-05,2.940523e-05,2.955069e-05,2.971969e-05,2.978380e-05,3.000548e-05,3.001411e-05,3.021597e-05,3.028906e-05,3.041553e-05,3.054512e-05,3.060442e-05,3.078290e-05,3.100301e-05,3.120606e-05,3.139264e-05,3.156337e-05,3.171884e-05,3.185964e-05,3.198637e-05,3.209959e-05,3.219986e-05,3.228775e-05,3.236378e-05,3.242847e-05,3.248236e-05,3.252592e-05,3.255965e-05,3.258401e-05,3.259946e-05,3.260644e-05,3.260538e-05,3.259670e-05,3.258079e-05,3.255804e-05,3.252882e-05,3.249349e-05
0.000000e+00,1.836657e-15,1.829834e-14,5.101515e-13,4.279476e-12,1.104252e-11,8.005837e-11,8.582717e-11,3.861812e-10,5.508048e-10,1.243003e-09,2.240975e-09,3.200810e-09,6.643659e-09,7.043165e-09,1.380564e-08,1.600104e-08,2.477489e-08,3.331050e-08,4.146096e-08,6.219777e-08,6.553409e-08,9.873926e-08,1.066300e-07,1.428151e-07,1.705898e-07,1.994351e-07,2.578448e-07,2.701731e-07,3.564835e-07,3.718285e-07,4.596889e-07,5.155809e-07,5.809697e-07,6.917043e-07,7.213531e-07,8.817037e-07,9.023224e-07,1.062715e-06,1.149045e-06,1.264904e-06,1.432947e-06,1.488610e-06,1.733994e-06,1.754562e-06,2.001047e-06,2.113902e-06,2.289597e-06,2.510488e-06,2.599321e-06,2.929759e-06,2.943400e-06,3.280327e-06,3.411329e-06,3.650334e-06,3.912646e-06,4.038998e-06,4.445461e-06,4.868807e-06,5.007687e-06,5.308070e-06,5.597093e-06,5.762254e-06,6.211362e-06,6.230340e-06,6.711296e-06,6.848130e-06,7.204093e-06,7.505027e-06,7.707705e-06,8.179709e-06,8.221119e-06,8.743343e-06,8.869879e-06,9.273405e-06,9.573311e-06,9.810363e-06,1.028786e-05,1.035330e-05,1.090134e-05,1.101148e-05,1.145362e-05,1.174222e-05,1.200934e-05,1.247823e-05,1.256772e-05,1.312800e-05,1.321778e-05,1.368949e-05,1.395923e-05,1.425151e-05,1.470107e-05,1.481342e-05,1.537462e-05,1.544189e-05,1.593455e-05,1.618037e-05,1.649267e-05,1.691533e-05,1.704848e-05,1.760152e-05,1.764563e-05,1.815134e-05,1.837027e-05,1.869753e-05,1.908832e-05,1.923970e-05,1.977750e-05,1.979892e-05,2.031059e-05,2.050129e-05,2.083867e-05,2.119476e-05,2.136145e-05,2.187867e-05,2.239008e-05,2.255247e-05,2.289546e-05,2.321564e-05,2.339461e-05,2.386775e-05,2.388734e-05,2.437348e-05,2.450840e-05,2.485289e-05,2.513724e-05,2.532543e-05,2.575399e-05,2.579097e-05,2.624941e-05,2.635837e-05,2.670066e-05,2.695019e-05,2.714464e-05,2.752926e-05,2.758126e-05,2.801049e-05,2.809545e-05,2.843227e-05,2.864864e-05,2.884656e-05,2.918876e-05,2.925334e-05,2.965259e-05,2.971577e-05,3.004429e-05,3.022963e-05,3.042844e-05,3.073034e-05,3.080506e-05,3.117414e-05,3.121793e-05,3.153572e-05,3.169244e-05,3.188980e-05,3.215392e-05,3.223643e-05,3.257564e-05,3.260246e-05,3.290747e-05,3.303814e-05,3.323196e-05,3.346108e-05,3.354916e-05,3.385913e-05,3.387138e-05,3.416192e-05,3.426918e-05,3.445760e-05,3.465463e-05,3.474622e-05,3.502786e-05,3.538903e-05,3.573832e-05,3.607590e-05,3.640193e-05,3.671660e-05,3.702011e-05,3.731264e-05,3.759438e-05,3.786552e-05,3.812628e-05,3.837684e-05,3.861742e-05,3.884820e-05,3.906939e-05,3.928119e-05,3.948381e-05,3.967745e-05,3.986230e-05,4.003856e-05,4.020644e-05,4.036613e-05,4.051781e-05,4.066170e-05,4.079797e-05
0.000000e+00,2.550373e-17,2.974253e-16,1.144673e-14,1.281243e-13,3.863930e-13,4.155457e-12,4.525688e-12,2.970671e-11,4.683540e-11,1.353083e-10,2.963529e-10,4.793212e-10,1.303763e-09,1.413653e-09,3.626908e-09,4.469605e-09,8.339922e-09,1.277654e-08,1.755311e-08,3.178914e-08,3.433538e-08,6.313415e-08,7.084247e-08,1.100790e-07,1.442600e-07,1.832504e-07,2.724060e-07,2.928867e-07,4.515103e-07,4.823955e-07,6.739609e-07,8.083446e-07,9.773292e-07,1.291110e-06,1.380796e-06,1.905382e-06,1.977529e-06,2.573619e-06,2.919215e-06,3.409154e-06,4.171006e-06,4.436314e-06,5.679635e-06,5.789169e-06,7.163376e-06,7.829492e-06,8.911046e-06,1.034537e-05,1.094493e-05,1.328568e-05,1.338597e-05,1.595190e-05,1.699462e-05,1.895983e-05,2.120745e-05,2.232304e-05,2.605226e-05,3.015518e-05,3.154787e-05,3.463635e-05,3.770361e-05,3.949722e-05,4.451932e-05,4.473608e-05,5.034820e-05,5.198550e-05,5.632590e-05,6.008378e-05,6.265877e-05,6.878760e-05,6.933385e-05,7.633582e-05,7.806304e-05,8.364729e-05,8.786980e-05,9.124903e-05,9.816219e-05,9.912025e-05,1.072388e-04,1.088902e-04,1.155817e-04,1.200006e-04,1.241248e-04,1.314380e-04,1.328438e-04,1.417139e-04,1.431455e-04,1.507103e-04,1.550661e-04,1.598081e-04,1.671431e-04,1.689831e-04,1.782111e-04,1.793209e-04,1.874688e-04,1.915458e-04,1.967337e-04,2.037662e-04,2.059837e-04,2.151982e-04,2.159332e-04,2.243572e-04,2.280010e-04,2.334418e-04,2.399268e-04,2.424344e-04,2.513184e-04,2.516713e-04,2.600784e-04,2.631988e-04,2.687000e-04,2.744770e-04,2.771702e-04,2.854769e-04,2.936094e-04,2.961734e-04,3.015579e-04,3.065443e-04,3.093137e-04,3.165709e-04,3.168692e-04,3.242177e-04,3.262374e-04,3.313536e-04,3.355310e-04,3.382720e-04,3.444416e-04,3.449692e-04,3.514420e-04,3.529618e-04,3.576881e-04,3.610864e-04,3.637061e-04,3.688123e-04,3.694949e-04,3.750543e-04,3.761387e-04,3.803848e-04,3.830664e-04,3.854871e-04,3.895978e-04,3.903628e-04,3.950136e-04,3.957370e-04,3.994418e-04,4.014891e-04,4.036502e-04,4.068607e-04,4.076418e-04,4.114199e-04,4.118591e-04,4.149882e-04,4.164927e-04,4.183505e-04,4.207707e-04,4.215110e-04,4.244740e-04,4.247026e-04,4.272439e-04,4.282988e-04,4.298254e-04,4.315700e-04,4.322231e-04,4.344420e-04,4.345271e-04,4.364870e-04,4.371815e-04,4.383629e-04,4.395446e-04,4.400749e-04,4.416280e-04,4.434432e-04,4.450020e-04,4.463158e-04,4.473962e-04,4.482544e-04,4.489016e-04,4.493488e-04,4.496067e-04,4.496856e-04,4.495959e-04,4.493475e-04,4.489501e-04,4.484129e-04,4.477451e-04,4.469553e-04,4.460521e-04,4.450434e-04,4.439372e-04,4.427408e-04,4.414614e-04,4.401059e-04,4.386807e-04,4.371922e-04,4.356463e-04
0.000000e+00,3.277635e-12,9.985617e-12,5.255269e-11,1.587291e-10,2.637668e-10,7.930328e-10,8.252310e-10,1.995454e-09,2.475253e-09,4.103419e-09,5.982309e-09,7.550843e-09,1.231462e-08,1.281522e-08,2.045146e-08,2.270553e-08,3.108842e-08,3.861082e-08,4.541474e-08,6.164437e-08,6.414888e-08,8.799460e-08,9.343521e-08,1.175949e-07,1.354482e-07,1.535009e-07,1.888670e-07,1.961626e-07,2.459344e-07,2.545768e-07,3.030862e-07,3.332007e-07,3.678145e-07,4.251428e-07,4.402511e-07,5.204701e-07,5.306209e-07,6.084932e-07,6.496907e-07,7.042947e-07,7.822650e-07,8.078055e-07,9.189175e-07,9.281308e-07,1.037488e-06,1.086966e-06,1.163343e-06,1.258358e-06,1.296282e-06,1.436084e-06,1.441815e-06,1.582505e-06,1.636789e-06,1.735291e-06,1.842682e-06,1.894170e-06,2.058866e-06,2.229095e-06,2.284690e-06,2.404568e-06,2.519489e-06,2.584995e-06,2.762596e-06,2.770086e-06,2.959553e-06,3.013349e-06,3.153110e-06,3.271089e-06,3.350475e-06,3.535176e-06,3.551371e-06,3.755528e-06,3.804981e-06,3.962679e-06,4.079896e-06,4.172568e-06,4.359335e-06,4.384944e-06,4.599561e-06,4.642733e-06,4.816185e-06,4.929547e-06,5.034588e-06,5.219258e-06,5.254547e-06,5.475852e-06,5.511372e-06,5.698297e-06,5.805417e-06,5.921685e-06,6.100946e-06,6.145826e-06,6.370538e-06,6.397534e-06,6.595648e-06,6.694779e-06,6.820988e-06,6.992302e-06,7.046398e-06,7.271726e-06,7.289744e-06,7.496825e-06,7.586769e-06,7.721555e-06,7.883058e-06,7.945785e-06,8.169387e-06,8.178316e-06,8.392241e-06,8.472264e-06,8.614233e-06,8.764640e-06,8.835255e-06,9.055202e-06,9.273978e-06,9.343724e-06,9.491491e-06,9.629995e-06,9.707652e-06,9.913820e-06,9.922381e-06,1.013560e-05,1.019502e-05,1.034723e-05,1.047343e-05,1.055722e-05,1.074889e-05,1.076548e-05,1.097197e-05,1.102126e-05,1.117663e-05,1.129042e-05,1.137941e-05,1.155625e-05,1.158025e-05,1.177911e-05,1.181864e-05,1.197595e-05,1.207750e-05,1.217073e-05,1.233274e-05,1.236342e-05,1.255399e-05,1.258428e-05,1.274240e-05,1.283206e-05,1.292863e-05,1.307602e-05,1.311265e-05,1.329444e-05,1.331611e-05,1.347399e-05,1.355228e-05,1.365128e-05,1.378450e-05,1.382629e-05,1.399902e-05,1.401273e-05,1.416944e-05,1.423696e-05,1.433756e-05,1.445717e-05,1.450336e-05,1.466685e-05,1.467334e-05,1.482801e-05,1.488546e-05,1.498685e-05,1.509354e-05,1.514337e-05,1.529758e-05,1.549758e-05,1.569355e-05,1.588552e-05,1.607349e-05,1.625749e-05,1.643755e-05,1.661368e-05,1.678593e-05,1.695432e-05,1.711888e-05,1.727967e-05,1.743670e-05,1.759002e-05,1.773968e-05,1.788572e-05,1.802817e-05,1.816709e-05,1.830253e-05,1.843452e-05,1.856313e-05,1.868839e-05,1.881036e-05,1.892908e-05,1.904461e-05
0.000000e+00,1.029879e-16,1.122401e-15,3.756898e-14,3.701123e-13,1.040503e-12,9.330372e-12,1.008670e-11,5.525761e-11,8.293828e-11,2.117485e-10,4.196559e-10,6.359490e-10,1.495760e-09,1.601922e-09,3.535305e-09,4.206417e-09,7.041459e-09,9.983549e-09,1.292594e-08,2.087375e-08,2.220517e-08,3.610429e-08,3.956011e-08,5.603997e-08,6.931029e-08,8.358875e-08,1.138504e-07,1.204451e-07,1.683746e-07,1.771906e-07,2.291679e-07,2.634402e-07,3.045981e-07,3.766384e-07,3.963838e-07,5.061574e-07,5.206126e-07,6.354394e-07,6.988663e-07,7.856164e-07,9.144913e-07,9.579234e-07,1.153430e-06,1.170101e-06,1.373032e-06,1.467786e-06,1.617443e-06,1.809085e-06,1.887192e-06,2.182626e-06,2.194980e-06,2.503910e-06,2.625905e-06,2.851040e-06,3.101771e-06,3.223845e-06,3.622005e-06,4.045058e-06,4.185600e-06,4.492417e-06,4.791165e-06,4.963384e-06,5.436985e-06,5.457163e-06,5.972877e-06,6.121080e-06,6.509579e-06,6.841259e-06,7.066266e-06,7.595171e-06,7.641893e-06,8.235382e-06,8.380355e-06,8.845632e-06,9.194280e-06,9.471533e-06,1.003438e-05,1.011197e-05,1.076582e-05,1.089810e-05,1.143198e-05,1.178289e-05,1.210937e-05,1.268627e-05,1.279691e-05,1.349356e-05,1.360580e-05,1.419828e-05,1.453913e-05,1.491009e-05,1.548399e-05,1.562802e-05,1.635113e-05,1.643821e-05,1.707853e-05,1.739972e-05,1.780935e-05,1.836655e-05,1.854276e-05,1.927796e-05,1.933683e-05,2.001418e-05,2.030879e-05,2.075070e-05,2.128078e-05,2.148682e-05,2.222187e-05,2.225124e-05,2.295523e-05,2.321871e-05,2.368631e-05,2.418184e-05,2.441452e-05,2.513934e-05,2.586026e-05,2.609005e-05,2.657680e-05,2.703288e-05,2.728851e-05,2.796682e-05,2.799498e-05,2.869579e-05,2.889096e-05,2.939059e-05,2.980444e-05,3.007903e-05,3.070649e-05,3.076078e-05,3.143554e-05,3.159641e-05,3.210303e-05,3.247356e-05,3.276301e-05,3.333738e-05,3.341522e-05,3.405946e-05,3.418733e-05,3.469552e-05,3.502298e-05,3.532322e-05,3.584391e-05,3.594240e-05,3.655291e-05,3.664978e-05,3.715462e-05,3.744028e-05,3.774741e-05,3.821515e-05,3.833117e-05,3.890582e-05,3.897416e-05,3.947128e-05,3.971715e-05,4.002749e-05,4.044398e-05,4.057438e-05,4.111193e-05,4.115453e-05,4.164010e-05,4.184873e-05,4.215886e-05,4.252655e-05,4.266822e-05,4.316815e-05,4.318796e-05,4.365868e-05,4.383297e-05,4.413982e-05,4.446164e-05,4.461158e-05,4.507400e-05,4.567015e-05,4.625018e-05,4.681422e-05,4.736239e-05,4.789484e-05,4.841174e-05,4.891327e-05,4.939961e-05,4.987096e-05,5.032752e-05,5.076952e-05,5.119717e-05,5.161070e-05,5.201036e-05,5.239637e-05,5.276899e-05,5.312846e-05,5.347504e-05,5.380898e-05,5.413053e-05,5.443995e-05,5.473751e-05,5.502345e-05,5.529804e-05
0.000000e+00,2.421237e-17,2.625304e-16,8.679253e-15,8.449528e-14,2.359446e-13,2.077763e-12,2.244490e-12,1.206592e-11,1.801518e-11,4.538090e-11,8.895173e-11,1.338237e-10,3.096663e-10,3.311849e-10,7.186433e-10,8.517146e-10,1.408653e-09,1.980257e-09,2.547298e-09,4.062606e-09,4.314603e-09,6.921758e-09,7.564378e-09,1.060425e-08,1.302658e-08,1.561098e-08,2.102234e-08,2.219075e-08,3.057865e-08,3.210296e-08,4.098435e-08,4.674889e-08,5.358372e-08,6.533632e-08,6.851413e-08,8.587274e-08,8.812209e-08,1.057175e-07,1.152436e-07,1.280697e-07,1.467279e-07,1.529170e-07,1.802173e-07,1.825054e-07,2.099024e-07,2.224247e-07,2.418822e-07,2.662681e-07,2.760479e-07,3.122754e-07,3.137655e-07,3.504290e-07,3.646083e-07,3.903645e-07,4.184619e-07,4.319315e-07,4.749769e-07,5.193467e-07,5.337997e-07,5.648883e-07,5.945809e-07,6.114526e-07,6.569824e-07,6.588952e-07,7.070778e-07,7.206835e-07,7.558691e-07,7.853843e-07,8.051456e-07,8.508092e-07,8.547919e-07,9.047013e-07,9.167075e-07,9.547752e-07,9.828546e-07,1.004924e-06,1.049051e-06,1.055065e-06,1.105125e-06,1.115121e-06,1.155037e-06,1.180913e-06,1.204741e-06,1.246293e-06,1.254185e-06,1.303321e-06,1.311151e-06,1.352107e-06,1.375390e-06,1.400509e-06,1.438931e-06,1.448493e-06,1.496033e-06,1.501707e-06,1.543106e-06,1.563665e-06,1.589693e-06,1.624763e-06,1.635776e-06,1.681343e-06,1.684966e-06,1.726383e-06,1.744250e-06,1.770887e-06,1.802595e-06,1.814849e-06,1.858264e-06,1.859990e-06,1.901129e-06,1.916425e-06,1.943441e-06,1.971897e-06,1.985200e-06,2.026406e-06,2.067060e-06,2.079953e-06,2.107164e-06,2.132543e-06,2.146720e-06,2.184181e-06,2.185732e-06,2.224202e-06,2.234878e-06,2.262136e-06,2.284641e-06,2.299538e-06,2.333482e-06,2.336413e-06,2.372765e-06,2.381413e-06,2.408601e-06,2.428446e-06,2.443926e-06,2.474594e-06,2.478746e-06,2.513066e-06,2.519871e-06,2.546893e-06,2.564291e-06,2.580234e-06,2.607869e-06,2.613094e-06,2.645481e-06,2.650619e-06,2.677399e-06,2.692556e-06,2.708857e-06,2.733696e-06,2.739861e-06,2.770416e-06,2.774053e-06,2.800530e-06,2.813642e-06,2.830210e-06,2.852479e-06,2.859461e-06,2.888290e-06,2.890578e-06,2.916704e-06,2.927954e-06,2.944709e-06,2.964623e-06,2.972311e-06,2.999518e-06,3.000598e-06,3.026334e-06,3.035894e-06,3.052767e-06,3.070526e-06,3.078823e-06,3.104507e-06,3.137852e-06,3.170574e-06,3.202687e-06,3.234203e-06,3.265137e-06,3.295500e-06,3.325306e-06,3.354566e-06,3.383293e-06,3.411499e-06,3.439195e-06,3.466392e-06,3.493103e-06,3.519337e-06,3.545105e-06,3.570417e-06,3.595285e-06,3.619717e-06,3.643724e-06,3.667315e-06,3.690499e-06,3.713286e-06,3.735684e-06,3.757702e-06
0.000000e+00,9.503123e-12,2.928335e-11,1.559450e-10,4.737831e-10,7.893325e-10,2.388699e-09,2.486395e-09,6.061037e-09,7.538263e-09,1.259223e-08,1.849057e-08,2.345934e-08,3.874117e-08,4.036044e-08,6.526800e-08,7.267010e-08,1.002698e-07,1.250182e-07,1.473105e-07,1.999293e-07,2.079691e-07,2.833931e-07,3.003233e-07,3.743538e-07,4.279627e-07,4.813328e-07,5.837711e-07,6.045922e-07,7.442221e-07,7.680804e-07,9.001726e-07,9.807810e-07,1.072277e-06,1.221419e-06,1.260274e-06,1.463816e-06,1.489267e-06,1.682495e-06,1.783391e-06,1.915846e-06,2.102695e-06,2.163363e-06,2.424510e-06,2.445974e-06,2.698727e-06,2.811945e-06,2.985439e-06,3.199282e-06,3.284064e-06,3.594014e-06,3.606639e-06,3.914702e-06,4.032667e-06,4.245548e-06,4.476030e-06,4.585974e-06,4.935416e-06,5.293317e-06,5.409543e-06,5.659135e-06,5.897167e-06,6.032338e-06,6.397082e-06,6.412411e-06,6.798851e-06,6.908129e-06,7.191171e-06,7.429189e-06,7.588899e-06,7.959192e-06,7.991578e-06,8.398764e-06,8.497112e-06,8.810033e-06,9.041971e-06,9.224970e-06,9.592834e-06,9.643179e-06,1.006428e-05,1.014881e-05,1.048790e-05,1.070906e-05,1.091369e-05,1.127277e-05,1.134130e-05,1.177042e-05,1.183919e-05,1.220072e-05,1.240760e-05,1.263191e-05,1.297731e-05,1.306370e-05,1.349582e-05,1.354768e-05,1.392799e-05,1.411811e-05,1.435998e-05,1.468802e-05,1.479154e-05,1.522243e-05,1.525687e-05,1.565245e-05,1.582417e-05,1.608138e-05,1.638943e-05,1.650903e-05,1.693520e-05,1.695222e-05,1.735973e-05,1.751212e-05,1.778242e-05,1.806874e-05,1.820314e-05,1.862172e-05,1.903802e-05,1.917073e-05,1.945191e-05,1.971546e-05,1.986325e-05,2.025562e-05,2.027192e-05,2.067781e-05,2.079095e-05,2.108081e-05,2.132119e-05,2.148083e-05,2.184612e-05,2.187776e-05,2.227152e-05,2.236555e-05,2.266203e-05,2.287927e-05,2.304921e-05,2.338712e-05,2.343299e-05,2.381330e-05,2.388894e-05,2.419008e-05,2.438460e-05,2.456328e-05,2.487397e-05,2.493285e-05,2.529874e-05,2.535693e-05,2.566090e-05,2.583340e-05,2.601930e-05,2.630328e-05,2.637390e-05,2.672468e-05,2.676651e-05,2.707160e-05,2.722302e-05,2.741464e-05,2.767275e-05,2.775379e-05,2.808902e-05,2.811567e-05,2.842033e-05,2.855175e-05,2.874769e-05,2.898095e-05,2.907111e-05,2.939057e-05,2.940327e-05,2.970608e-05,2.981869e-05,3.001763e-05,3.022722e-05,3.032522e-05,3.062886e-05,3.102362e-05,3.141153e-05,3.179260e-05,3.216687e-05,3.253437e-05,3.289513e-05,3.324921e-05,3.359665e-05,3.393750e-05,3.427180e-05,3.459963e-05,3.492104e-05,3.523609e-05,3.554485e-05,3.584738e-05,3.614375e-05,3.643404e-05,3.671831e-05,3.699664e-05,3.726911e-05,3.753578e-05,3.779675e-05,3.805208e-05,3.830185e-05
0.000000e+00,2.166383e-16,2.104824e-15,5.592304e-14,4.502832e-13,1.137348e-12,7.831935e-12,8.379617e-12,3.600711e-11,5.075570e-11,1.113401e-10,1.964024e-10,2.766866e-10,5.574318e-10,5.894847e-10,1.121457e-09,1.290901e-09,1.957312e-09,2.593549e-09,3.193199e-09,4.695428e-09,4.934802e-09,7.294851e-09,7.851308e-09,1.038996e-08,1.232882e-08,1.433709e-08,1.839471e-08,1.925029e-08,2.523796e-08,2.630256e-08,3.240087e-08,3.628379e-08,4.083065e-08,4.854171e-08,5.060873e-08,6.180540e-08,6.324723e-08,7.447922e-08,8.053607e-08,8.867660e-08,1.005070e-07,1.044316e-07,1.217659e-07,1.232212e-07,1.406892e-07,1.487035e-07,1.611998e-07,1.769436e-07,1.832851e-07,2.069226e-07,2.078999e-07,2.320806e-07,2.415024e-07,2.587197e-07,2.776568e-07,2.867934e-07,3.162494e-07,3.470305e-07,3.571504e-07,3.790756e-07,4.002184e-07,4.123208e-07,4.453039e-07,4.467000e-07,4.821458e-07,4.922525e-07,5.185901e-07,5.409076e-07,5.559647e-07,5.911129e-07,5.942021e-07,6.332353e-07,6.427143e-07,6.729988e-07,6.955614e-07,7.134285e-07,7.495084e-07,7.544624e-07,7.960401e-07,8.044157e-07,8.381035e-07,8.601498e-07,8.805967e-07,9.165840e-07,9.234662e-07,9.666607e-07,9.735987e-07,1.010131e-06,1.031082e-06,1.053832e-06,1.088927e-06,1.097717e-06,1.141746e-06,1.147037e-06,1.185879e-06,1.205320e-06,1.230077e-06,1.263691e-06,1.274307e-06,1.318534e-06,1.322071e-06,1.362726e-06,1.380387e-06,1.406856e-06,1.438574e-06,1.450894e-06,1.494815e-06,1.496569e-06,1.538594e-06,1.554316e-06,1.582210e-06,1.611764e-06,1.625641e-06,1.668867e-06,1.711870e-06,1.725581e-06,1.754632e-06,1.781867e-06,1.797139e-06,1.837692e-06,1.839376e-06,1.881330e-06,1.893024e-06,1.922987e-06,1.947834e-06,1.964337e-06,2.002098e-06,2.005369e-06,2.046074e-06,2.055794e-06,2.086443e-06,2.108900e-06,2.126469e-06,2.161402e-06,2.166144e-06,2.205462e-06,2.213282e-06,2.244417e-06,2.264529e-06,2.283005e-06,2.315131e-06,2.321221e-06,2.359061e-06,2.365080e-06,2.396521e-06,2.414367e-06,2.433600e-06,2.462986e-06,2.470294e-06,2.506602e-06,2.510933e-06,2.542522e-06,2.558203e-06,2.578053e-06,2.604796e-06,2.613195e-06,2.647946e-06,2.650710e-06,2.682308e-06,2.695944e-06,2.716280e-06,2.740499e-06,2.749863e-06,2.783057e-06,2.784377e-06,2.815864e-06,2.827580e-06,2.848285e-06,2.870111e-06,2.880321e-06,2.911974e-06,2.953172e-06,2.993711e-06,3.033596e-06,3.072833e-06,3.111426e-06,3.149383e-06,3.186711e-06,3.223416e-06,3.259504e-06,3.294985e-06,3.329864e-06,3.364151e-06,3.397852e-06,3.430975e-06,3.463528e-06,3.495520e-06,3.526959e-06,3.557853e-06,3.588209e-06,3.618036e-06,3.647343e-06,3.676137e-06,3.704427e-06,3.732221e-06
0.000000e+00,1.825932e-15,1.702680e-14,4.169292e-13,3.136573e-12,7.654386e-12,4.871891e-11,5.197628e-11,2.100344e-10,2.920447e-10,6.228086e-10,1.081063e-09,1.512105e-09,3.026497e-09,3.200578e-09,6.127266e-09,7.072546e-09,1.083326e-08,1.446393e-08,1.790201e-08,2.651388e-08,2.788120e-08,4.122958e-08,4.433666e-08,5.830392e-08,6.874682e-08,7.937156e-08,1.003007e-07,1.046303e-07,1.342251e-07,1.393701e-07,1.682587e-07,1.861923e-07,2.067973e-07,2.408946e-07,2.498732e-07,2.974859e-07,3.035031e-07,3.496029e-07,3.739461e-07,4.061607e-07,4.520580e-07,4.670656e-07,5.321964e-07,5.375852e-07,6.014062e-07,6.301950e-07,6.745258e-07,7.294879e-07,7.513671e-07,8.317263e-07,8.350108e-07,9.153878e-07,9.462714e-07,1.002127e-06,1.062751e-06,1.091715e-06,1.183920e-06,1.278510e-06,1.309245e-06,1.375255e-06,1.438200e-06,1.473933e-06,1.570278e-06,1.574324e-06,1.676218e-06,1.704990e-06,1.779413e-06,1.841873e-06,1.883715e-06,1.980494e-06,1.988942e-06,2.094922e-06,2.120451e-06,2.201491e-06,2.261370e-06,2.308497e-06,2.402910e-06,2.415798e-06,2.523261e-06,2.544762e-06,2.630763e-06,2.686642e-06,2.738192e-06,2.828297e-06,2.845441e-06,2.952414e-06,2.969498e-06,3.059023e-06,3.110042e-06,3.165187e-06,3.249748e-06,3.270832e-06,3.375889e-06,3.388453e-06,3.480297e-06,3.526017e-06,3.584002e-06,3.662315e-06,3.686952e-06,3.789103e-06,3.797239e-06,3.890413e-06,3.930693e-06,3.990846e-06,4.062597e-06,4.090370e-06,4.188956e-06,4.192880e-06,4.286579e-06,4.321483e-06,4.383217e-06,4.448357e-06,4.478849e-06,4.573460e-06,4.667035e-06,4.696758e-06,4.759562e-06,4.818225e-06,4.851032e-06,4.937840e-06,4.941436e-06,5.030767e-06,5.055587e-06,5.119023e-06,5.171458e-06,5.206198e-06,5.285444e-06,5.292292e-06,5.377304e-06,5.397546e-06,5.461235e-06,5.507764e-06,5.544085e-06,5.616102e-06,5.625858e-06,5.706558e-06,5.722569e-06,5.786188e-06,5.827174e-06,5.864753e-06,5.929929e-06,5.942260e-06,6.018713e-06,6.030848e-06,6.094121e-06,6.129947e-06,6.168490e-06,6.227242e-06,6.241827e-06,6.314142e-06,6.322751e-06,6.385442e-06,6.416495e-06,6.455737e-06,6.508493e-06,6.525034e-06,6.593345e-06,6.598767e-06,6.660677e-06,6.687338e-06,6.727041e-06,6.774229e-06,6.792447e-06,6.856904e-06,6.859463e-06,6.920424e-06,6.943063e-06,6.983015e-06,7.025052e-06,7.044689e-06,7.105456e-06,7.184297e-06,7.261599e-06,7.337388e-06,7.411687e-06,7.484521e-06,7.555914e-06,7.625889e-06,7.694471e-06,7.761684e-06,7.827551e-06,7.892095e-06,7.955341e-06,8.017310e-06,8.078026e-06,8.137511e-06,8.195787e-06,8.252877e-06,8.308801e-06,8.363581e-06,8.417238e-06,8.469794e-06,8.521267e-06,8.571679e-06,8.621049e-06
0.000000e+00,3.533040e-13,1.426647e-12,1.008028e-11,3.479332e-11,6.067736e-11,1.979391e-10,2.064760e-10,5.226262e-10,6.541487e-10,1.104341e-09,1.628074e-09,2.067272e-09,3.407215e-09,3.548366e-09,5.705547e-09,6.343022e-09,8.713081e-09,1.083561e-08,1.274949e-08,1.728446e-08,1.798002e-08,2.454211e-08,2.602407e-08,3.254018e-08,3.729223e-08,4.204790e-08,5.123654e-08,5.311290e-08,6.576130e-08,6.793275e-08,8.000105e-08,8.739963e-08,9.582435e-08,1.096091e-07,1.132096e-07,1.321230e-07,1.344933e-07,1.525201e-07,1.619513e-07,1.743472e-07,1.918547e-07,1.975431e-07,2.220401e-07,2.240540e-07,2.477662e-07,2.583838e-07,2.746455e-07,2.946692e-07,3.026005e-07,3.315522e-07,3.327299e-07,3.614220e-07,3.723848e-07,3.921318e-07,4.134553e-07,4.236054e-07,4.557684e-07,4.885491e-07,4.991581e-07,5.218789e-07,5.434678e-07,5.556923e-07,5.885504e-07,5.899271e-07,6.245245e-07,6.342691e-07,6.594292e-07,6.804979e-07,6.945895e-07,7.271208e-07,7.299567e-07,7.654857e-07,7.740320e-07,8.011345e-07,8.211354e-07,8.368640e-07,8.683439e-07,8.726380e-07,9.084233e-07,9.155790e-07,9.441890e-07,9.627699e-07,9.799067e-07,1.009853e-06,1.015550e-06,1.051096e-06,1.056773e-06,1.086522e-06,1.103478e-06,1.121808e-06,1.149924e-06,1.156936e-06,1.191889e-06,1.196071e-06,1.226652e-06,1.241883e-06,1.261211e-06,1.287332e-06,1.295554e-06,1.329669e-06,1.332388e-06,1.363547e-06,1.377029e-06,1.397178e-06,1.421235e-06,1.430554e-06,1.463668e-06,1.464987e-06,1.496513e-06,1.508271e-06,1.529084e-06,1.551074e-06,1.561376e-06,1.593385e-06,1.625106e-06,1.635196e-06,1.656537e-06,1.676499e-06,1.687674e-06,1.717289e-06,1.718517e-06,1.749062e-06,1.757561e-06,1.779308e-06,1.797313e-06,1.809256e-06,1.836542e-06,1.838903e-06,1.868249e-06,1.875248e-06,1.897295e-06,1.913430e-06,1.926041e-06,1.951089e-06,1.954487e-06,1.982634e-06,1.988227e-06,2.010482e-06,2.024846e-06,2.038034e-06,2.060948e-06,2.065289e-06,2.092249e-06,2.096536e-06,2.118917e-06,2.131614e-06,2.145293e-06,2.166186e-06,2.171380e-06,2.197179e-06,2.200255e-06,2.222692e-06,2.233828e-06,2.247922e-06,2.266908e-06,2.272870e-06,2.297539e-06,2.299500e-06,2.321931e-06,2.331611e-06,2.346049e-06,2.363245e-06,2.369894e-06,2.393470e-06,2.394408e-06,2.416779e-06,2.425105e-06,2.439823e-06,2.455344e-06,2.462606e-06,2.485129e-06,2.514466e-06,2.543362e-06,2.571823e-06,2.599855e-06,2.627464e-06,2.654656e-06,2.681438e-06,2.707815e-06,2.733793e-06,2.759380e-06,2.784580e-06,2.809400e-06,2.833845e-06,2.857923e-06,2.881638e-06,2.904996e-06,2.928003e-06,2.950666e-06,2.972988e-06,2.994977e-06,3.016637e-06,3.037975e-06,3.058994e-06,3.079701e-06
0.000000e+00,5.537063e-14,4.446776e-13,8.258295e-12,5.011707e-11,1.102139e-10,5.578057e-10,5.902163e-10,1.993324e-09,2.656302e-09,5.138444e-09,8.308614e-09,1.113015e-08,2.036852e-08,2.138501e-08,3.766656e-08,4.269988e-08,6.210249e-08,8.024976e-08,9.713550e-08,1.388000e-07,1.453715e-07,2.093619e-07,2.242594e-07,2.914174e-07,3.418970e-07,3.935193e-07,4.959907e-07,5.173145e-07,6.641483e-07,6.898554e-07,8.351031e-07,9.259869e-07,1.031029e-06,1.206184e-06,1.252564e-06,1.500151e-06,1.531627e-06,1.774049e-06,1.902926e-06,2.074340e-06,2.320168e-06,2.400942e-06,2.753622e-06,2.782952e-06,3.132003e-06,3.290444e-06,3.535583e-06,3.841421e-06,3.963744e-06,4.415769e-06,4.434336e-06,4.890855e-06,5.067365e-06,5.388128e-06,5.738471e-06,5.906652e-06,6.445448e-06,7.003500e-06,7.185974e-06,7.579768e-06,7.957651e-06,8.173194e-06,8.758038e-06,8.782715e-06,9.407266e-06,9.584690e-06,1.004579e-05,1.043517e-05,1.069724e-05,1.130709e-05,1.136057e-05,1.203479e-05,1.219811e-05,1.271890e-05,1.310595e-05,1.341192e-05,1.402842e-05,1.411293e-05,1.482101e-05,1.496340e-05,1.553528e-05,1.590886e-05,1.625488e-05,1.686287e-05,1.697900e-05,1.770684e-05,1.782358e-05,1.843763e-05,1.878925e-05,1.917066e-05,1.975822e-05,1.990522e-05,2.064064e-05,2.072892e-05,2.137628e-05,2.169988e-05,2.211153e-05,2.266970e-05,2.284581e-05,2.357856e-05,2.363710e-05,2.430926e-05,2.460084e-05,2.503739e-05,2.555980e-05,2.576249e-05,2.648411e-05,2.651290e-05,2.720182e-05,2.745915e-05,2.791521e-05,2.839765e-05,2.862390e-05,2.932755e-05,3.002580e-05,3.024805e-05,3.071834e-05,3.115844e-05,3.140488e-05,3.205805e-05,3.208514e-05,3.275885e-05,3.294628e-05,3.342578e-05,3.382258e-05,3.408570e-05,3.468645e-05,3.473840e-05,3.538369e-05,3.553743e-05,3.602139e-05,3.637512e-05,3.665134e-05,3.719916e-05,3.727338e-05,3.788739e-05,3.800922e-05,3.849324e-05,3.880502e-05,3.909081e-05,3.958631e-05,3.968002e-05,4.026076e-05,4.035289e-05,4.083296e-05,4.110457e-05,4.139656e-05,4.184121e-05,4.195150e-05,4.249772e-05,4.256268e-05,4.303520e-05,4.326891e-05,4.356389e-05,4.395981e-05,4.408378e-05,4.459484e-05,4.463535e-05,4.509708e-05,4.529550e-05,4.559049e-05,4.594028e-05,4.607507e-05,4.655084e-05,4.656969e-05,4.701781e-05,4.718378e-05,4.747602e-05,4.778260e-05,4.792547e-05,4.836622e-05,4.893474e-05,4.948824e-05,5.002684e-05,5.055066e-05,5.105984e-05,5.155452e-05,5.203486e-05,5.250100e-05,5.295313e-05,5.339141e-05,5.381602e-05,5.422716e-05,5.462500e-05,5.500975e-05,5.538160e-05,5.574076e-05,5.608742e-05,5.642180e-05,5.674410e-05,5.705454e-05,5.735332e-05,5.764066e-05,5.791676e-05,5.818185e-05
0.000000e+00,7.416960e-15,7.140167e-14,2.024435e-12,1.834112e-11,5.014555e-11,4.361144e-10,4.713565e-10,2.615621e-09,3.960319e-09,1.041690e-08,2.129658e-08,3.302695e-08,8.234775e-08,8.866494e-08,2.097103e-07,2.538331e-07,4.489608e-07,6.632006e-07,8.868765e-07,1.527749e-06,1.639526e-06,2.866828e-06,3.186886e-06,4.780556e-06,6.134337e-06,7.651486e-06,1.104622e-05,1.181507e-05,1.767513e-05,1.880084e-05,2.570519e-05,3.048701e-05,3.644719e-05,4.739894e-05,5.050763e-05,6.855127e-05,7.101765e-05,9.129248e-05,1.029798e-04,1.194848e-04,1.450362e-04,1.539087e-04,1.953588e-04,1.990022e-04,2.446298e-04,2.667037e-04,3.025023e-04,3.499210e-04,3.697296e-04,4.470234e-04,4.503340e-04,5.350424e-04,5.694713e-04,6.343805e-04,7.086643e-04,7.455573e-04,8.690095e-04,1.005085e-03,1.051339e-03,1.154036e-03,1.256198e-03,1.316019e-03,1.483836e-03,1.491090e-03,1.679209e-03,1.734203e-03,1.880235e-03,2.006952e-03,2.093934e-03,2.301454e-03,2.319984e-03,2.557974e-03,2.616816e-03,2.807418e-03,2.951904e-03,3.067756e-03,3.305368e-03,3.338361e-03,3.618553e-03,3.675679e-03,3.907601e-03,4.061150e-03,4.204731e-03,4.459978e-03,4.509138e-03,4.819992e-03,4.870270e-03,5.136445e-03,5.290079e-03,5.457637e-03,5.717426e-03,5.782709e-03,6.110801e-03,6.150334e-03,6.441064e-03,6.586853e-03,6.772665e-03,7.025075e-03,7.104790e-03,7.436647e-03,7.463161e-03,7.767477e-03,7.899356e-03,8.096549e-03,8.332000e-03,8.423167e-03,8.746673e-03,8.759540e-03,9.066448e-03,9.180540e-03,9.381910e-03,9.593685e-03,9.692522e-03,9.997788e-03,1.029725e-02,1.039178e-02,1.059050e-02,1.077474e-02,1.087716e-02,1.114585e-02,1.115690e-02,1.142943e-02,1.150441e-02,1.169450e-02,1.184988e-02,1.195190e-02,1.218178e-02,1.220145e-02,1.244299e-02,1.249976e-02,1.267643e-02,1.280358e-02,1.290168e-02,1.309308e-02,1.311869e-02,1.332744e-02,1.336819e-02,1.352792e-02,1.362892e-02,1.372018e-02,1.387535e-02,1.390425e-02,1.408022e-02,1.410762e-02,1.424816e-02,1.432595e-02,1.440818e-02,1.453057e-02,1.456040e-02,1.470496e-02,1.472180e-02,1.484201e-02,1.489997e-02,1.497170e-02,1.506545e-02,1.509420e-02,1.520969e-02,1.521863e-02,1.531835e-02,1.535994e-02,1.542036e-02,1.548981e-02,1.551593e-02,1.560524e-02,1.560869e-02,1.568850e-02,1.571703e-02,1.576591e-02,1.581530e-02,1.583766e-02,1.590397e-02,1.598348e-02,1.605431e-02,1.611691e-02,1.617173e-02,1.621920e-02,1.625976e-02,1.629382e-02,1.632178e-02,1.634403e-02,1.636096e-02,1.637291e-02,1.638024e-02,1.638329e-02,1.638236e-02,1.637776e-02,1.636979e-02,1.635870e-02,1.634477e-02,1.632823e-02,1.630932e-02,1.628826e-02,1.626526e-02,1.624050e-02,1.621417e-02
0.000000e+00,1.843713e-16,2.022800e-15,6.854418e-14,6.828418e-13,1.931446e-12,1.759753e-11,1.903650e-11,1.060143e-10,1.598616e-10,4.131321e-10,8.273902e-10,1.262903e-09,3.022506e-09,3.242120e-09,7.302480e-09,8.732933e-09,1.485984e-08,2.132561e-08,2.787165e-08,4.582674e-08,4.886370e-08,8.088630e-08,8.891368e-08,1.274032e-07,1.585507e-07,1.921381e-07,2.633880e-07,2.789087e-07,3.914750e-07,4.121220e-07,5.334148e-07,6.129615e-07,7.080305e-07,8.732526e-07,9.182838e-07,1.166754e-06,1.199246e-06,1.455610e-06,1.595967e-06,1.786599e-06,2.067157e-06,2.161041e-06,2.579827e-06,2.615263e-06,3.043433e-06,3.241453e-06,3.551928e-06,3.945679e-06,4.104999e-06,4.701970e-06,4.726749e-06,5.341833e-06,5.582441e-06,6.023282e-06,6.509628e-06,6.744743e-06,7.504416e-06,8.300307e-06,8.562295e-06,9.130270e-06,9.678283e-06,9.992035e-06,1.084707e-05,1.088325e-05,1.180150e-05,1.206313e-05,1.274436e-05,1.332086e-05,1.370937e-05,1.461468e-05,1.469413e-05,1.569625e-05,1.593908e-05,1.671339e-05,1.728872e-05,1.774331e-05,1.865846e-05,1.878381e-05,1.983280e-05,2.004344e-05,2.088828e-05,2.143904e-05,2.194832e-05,2.284095e-05,2.301112e-05,2.407496e-05,2.424516e-05,2.513823e-05,2.564796e-05,2.619943e-05,2.704592e-05,2.725712e-05,2.830998e-05,2.843594e-05,2.935680e-05,2.981518e-05,3.039642e-05,3.118106e-05,3.142779e-05,3.244993e-05,3.253128e-05,3.346196e-05,3.386375e-05,3.446305e-05,3.517665e-05,3.545246e-05,3.642951e-05,3.646833e-05,3.739358e-05,3.773736e-05,3.834412e-05,3.898250e-05,3.928063e-05,4.020266e-05,4.110983e-05,4.139693e-05,4.200179e-05,4.256452e-05,4.287824e-05,4.370480e-05,4.373893e-05,4.458363e-05,4.481725e-05,4.541216e-05,4.590146e-05,4.622439e-05,4.695713e-05,4.702018e-05,4.779947e-05,4.798404e-05,4.856219e-05,4.898207e-05,4.930832e-05,4.995117e-05,5.003784e-05,5.075078e-05,5.089138e-05,5.144716e-05,5.180276e-05,5.212705e-05,5.268547e-05,5.279052e-05,5.343766e-05,5.353970e-05,5.406858e-05,5.436569e-05,5.468338e-05,5.516372e-05,5.528222e-05,5.586522e-05,5.593412e-05,5.643254e-05,5.667724e-05,5.698435e-05,5.739345e-05,5.752081e-05,5.804212e-05,5.808317e-05,5.854844e-05,5.874682e-05,5.903999e-05,5.938486e-05,5.951695e-05,5.997953e-05,5.999774e-05,6.042794e-05,6.058594e-05,6.086239e-05,6.114995e-05,6.128310e-05,6.169028e-05,6.220742e-05,6.270189e-05,6.317421e-05,6.362489e-05,6.405445e-05,6.446342e-05,6.485231e-05,6.522164e-05,6.557193e-05,6.590368e-05,6.621741e-05,6.651361e-05,6.679278e-05,6.705542e-05,6.730200e-05,6.753300e-05,6.774889e-05,6.795014e-05,6.813719e-05,6.831050e-05,6.847050e-05,6.861763e-05,6.875230e-05,6.887493e-05
0.000000e+00,1.047667e-14,9.989099e-14,2.806471e-12,2.536864e-11,6.936144e-11,6.047836e-10,6.537606e-10,3.645594e-09,5.528664e-09,1.460718e-08,2.998371e-08,4.662987e-08,1.170569e-07,1.261137e-07,3.006360e-07,3.645958e-07,6.489096e-07,9.630503e-07,1.292611e-06,2.243075e-06,2.409577e-06,4.247594e-06,4.729260e-06,7.137899e-06,9.194336e-06,1.150744e-05,1.670757e-05,1.788910e-05,2.692926e-05,2.867179e-05,3.939209e-05,4.684473e-05,5.616043e-05,7.334242e-05,7.823293e-05,1.067175e-04,1.106229e-04,1.428212e-04,1.614510e-04,1.878370e-04,2.288458e-04,2.431275e-04,3.101059e-04,3.160123e-04,3.902159e-04,4.262622e-04,4.849091e-04,5.629261e-04,5.956224e-04,7.237550e-04,7.292618e-04,8.706453e-04,9.283627e-04,1.037550e-03,1.163070e-03,1.225622e-03,1.435894e-03,1.669260e-03,1.748941e-03,1.926463e-03,2.103857e-03,2.208082e-03,2.501786e-03,2.514524e-03,2.846018e-03,2.943337e-03,3.202613e-03,3.428570e-03,3.584175e-03,3.956999e-03,3.990393e-03,4.420779e-03,4.527598e-03,4.874676e-03,5.138832e-03,5.351271e-03,5.788687e-03,5.849599e-03,6.368556e-03,6.474717e-03,6.906917e-03,7.194092e-03,7.463342e-03,7.943651e-03,8.036395e-03,8.624560e-03,8.719964e-03,9.226251e-03,9.519387e-03,9.839828e-03,1.033812e-02,1.046361e-02,1.109591e-02,1.117227e-02,1.173500e-02,1.201791e-02,1.237917e-02,1.287110e-02,1.302674e-02,1.367601e-02,1.372798e-02,1.432537e-02,1.458477e-02,1.497321e-02,1.543785e-02,1.561799e-02,1.625823e-02,1.628373e-02,1.689253e-02,1.711915e-02,1.751952e-02,1.794106e-02,1.813795e-02,1.874663e-02,1.934444e-02,1.953328e-02,1.993037e-02,2.029868e-02,2.050347e-02,2.104078e-02,2.106288e-02,2.160785e-02,2.175775e-02,2.213768e-02,2.244805e-02,2.265176e-02,2.311037e-02,2.314958e-02,2.363069e-02,2.374363e-02,2.409472e-02,2.434700e-02,2.454137e-02,2.491986e-02,2.497041e-02,2.538169e-02,2.546180e-02,2.577511e-02,2.597261e-02,2.615062e-02,2.645224e-02,2.650826e-02,2.684808e-02,2.690081e-02,2.717021e-02,2.731860e-02,2.747481e-02,2.770601e-02,2.776209e-02,2.803228e-02,2.806356e-02,2.828565e-02,2.839189e-02,2.852253e-02,2.869172e-02,2.874323e-02,2.894812e-02,2.896384e-02,2.913758e-02,2.920913e-02,2.931200e-02,2.942850e-02,2.947180e-02,2.961740e-02,2.962293e-02,2.974923e-02,2.979341e-02,2.986776e-02,2.994097e-02,2.997341e-02,3.006665e-02,3.017150e-02,3.025657e-02,3.032292e-02,3.037157e-02,3.040355e-02,3.041987e-02,3.042151e-02,3.040943e-02,3.038456e-02,3.034779e-02,3.029999e-02,3.024201e-02,3.017463e-02,3.009863e-02,3.001474e-02,2.992366e-02,2.982605e-02,2.972254e-02,2.961373e-02,2.950018e-02,2.938242e-02,2.926095e-02,2.913625e-02,2.900874e-02
0.000000e+00,1.702455e-12,5.178026e-12,2.718582e-11,8.197899e-11,1.361276e-10,4.086814e-10,4.252553e-10,1.027570e-09,1.274585e-09,2.113371e-09,3.082557e-09,3.892685e-09,6.358368e-09,6.617880e-09,1.058388e-08,1.175654e-08,1.612150e-08,2.003898e-08,2.357902e-08,3.199764e-08,3.329265e-08,4.555710e-08,4.833802e-08,6.060963e-08,6.960036e-08,7.862928e-08,9.615389e-08,9.974430e-08,1.240406e-07,1.282271e-07,1.515691e-07,1.659379e-07,1.823505e-07,2.093154e-07,2.163802e-07,2.536306e-07,2.583151e-07,2.940548e-07,3.128308e-07,3.375885e-07,3.727058e-07,3.841530e-07,4.336577e-07,4.377421e-07,4.860017e-07,5.077103e-07,5.410766e-07,5.823572e-07,5.987676e-07,6.589559e-07,6.614137e-07,7.215199e-07,7.446008e-07,7.863364e-07,8.316351e-07,8.532817e-07,9.222327e-07,9.930676e-07,1.016113e-06,1.065666e-06,1.113001e-06,1.139911e-06,1.212628e-06,1.215688e-06,1.292884e-06,1.314738e-06,1.371391e-06,1.419081e-06,1.451105e-06,1.525420e-06,1.531924e-06,1.613751e-06,1.633528e-06,1.696491e-06,1.743191e-06,1.780054e-06,1.854203e-06,1.864355e-06,1.949309e-06,1.966371e-06,2.034837e-06,2.079514e-06,2.120864e-06,2.193459e-06,2.207317e-06,2.294127e-06,2.308045e-06,2.381228e-06,2.423121e-06,2.468556e-06,2.538544e-06,2.556054e-06,2.643663e-06,2.654181e-06,2.731330e-06,2.769908e-06,2.819003e-06,2.885609e-06,2.906635e-06,2.994178e-06,3.001177e-06,3.081591e-06,3.116509e-06,3.168830e-06,3.231515e-06,3.255859e-06,3.342640e-06,3.346105e-06,3.429138e-06,3.460202e-06,3.515321e-06,3.573730e-06,3.601159e-06,3.686623e-06,3.771685e-06,3.798816e-06,3.856321e-06,3.910253e-06,3.940507e-06,4.020881e-06,4.024221e-06,4.107442e-06,4.130653e-06,4.190151e-06,4.239524e-06,4.272331e-06,4.347454e-06,4.353965e-06,4.435037e-06,4.454409e-06,4.515534e-06,4.560356e-06,4.595443e-06,4.665267e-06,4.674752e-06,4.753449e-06,4.769115e-06,4.831526e-06,4.871878e-06,4.908974e-06,4.973537e-06,4.985783e-06,5.061948e-06,5.074074e-06,5.137461e-06,5.173475e-06,5.212318e-06,5.271727e-06,5.286513e-06,5.360041e-06,5.368820e-06,5.432900e-06,5.464745e-06,5.505087e-06,5.559497e-06,5.576598e-06,5.647433e-06,5.653070e-06,5.717590e-06,5.745462e-06,5.787067e-06,5.836671e-06,5.855866e-06,5.923985e-06,5.926696e-06,5.991426e-06,6.015539e-06,6.058190e-06,6.103202e-06,6.124276e-06,6.189689e-06,6.275003e-06,6.359150e-06,6.442137e-06,6.523970e-06,6.604657e-06,6.684207e-06,6.762627e-06,6.839929e-06,6.916122e-06,6.991216e-06,7.065222e-06,7.138151e-06,7.210016e-06,7.280827e-06,7.350597e-06,7.419338e-06,7.487063e-06,7.553784e-06,7.619514e-06,7.684266e-06,7.748053e-06,7.810888e-06,7.872784e-06,7.933754e-06
0.000000e+00,1.722095e-12,5.275356e-12,2.782847e-11,8.390647e-11,1.392198e-10,4.168066e-10,4.336593e-10,1.045239e-09,1.295837e-09,2.146785e-09,3.130627e-09,3.953593e-09,6.459594e-09,6.723251e-09,1.074105e-08,1.192272e-08,1.628573e-08,2.014817e-08,2.359386e-08,3.162857e-08,3.284625e-08,4.417348e-08,4.669647e-08,5.766596e-08,6.555817e-08,7.338177e-08,8.832448e-08,9.135170e-08,1.115826e-07,1.150287e-07,1.340599e-07,1.456378e-07,1.587501e-07,1.800623e-07,1.856030e-07,2.145540e-07,2.181656e-07,2.455267e-07,2.597734e-07,2.784355e-07,3.046838e-07,3.131871e-07,3.496836e-07,3.526756e-07,3.878233e-07,4.035162e-07,4.275032e-07,4.569683e-07,4.686198e-07,5.110706e-07,5.127950e-07,5.547548e-07,5.707639e-07,5.995739e-07,6.306504e-07,6.454327e-07,6.922392e-07,7.399054e-07,7.553262e-07,7.883469e-07,8.197191e-07,8.374834e-07,8.852374e-07,8.872386e-07,9.375401e-07,9.517130e-07,9.883196e-07,1.018990e-06,1.039512e-06,1.086922e-06,1.091058e-06,1.142898e-06,1.155378e-06,1.194980e-06,1.224232e-06,1.247252e-06,1.293371e-06,1.299667e-06,1.352180e-06,1.362691e-06,1.404750e-06,1.432096e-06,1.457338e-06,1.501499e-06,1.509907e-06,1.562423e-06,1.570819e-06,1.614855e-06,1.639983e-06,1.667171e-06,1.708923e-06,1.719346e-06,1.771352e-06,1.777580e-06,1.823166e-06,1.845898e-06,1.874766e-06,1.913826e-06,1.926131e-06,1.977241e-06,1.981318e-06,2.028079e-06,2.048334e-06,2.078629e-06,2.114837e-06,2.128874e-06,2.178802e-06,2.180792e-06,2.228399e-06,2.246170e-06,2.277653e-06,2.310944e-06,2.326553e-06,2.375089e-06,2.423252e-06,2.438584e-06,2.471034e-06,2.501411e-06,2.518427e-06,2.563552e-06,2.565424e-06,2.612019e-06,2.624993e-06,2.658207e-06,2.685722e-06,2.703982e-06,2.745727e-06,2.749341e-06,2.794278e-06,2.805000e-06,2.838792e-06,2.863533e-06,2.882878e-06,2.921319e-06,2.926535e-06,2.969761e-06,2.978354e-06,3.012553e-06,3.034633e-06,3.054910e-06,3.090154e-06,3.096832e-06,3.138318e-06,3.144915e-06,3.179367e-06,3.198916e-06,3.219980e-06,3.252156e-06,3.260156e-06,3.299897e-06,3.304636e-06,3.339202e-06,3.356358e-06,3.378072e-06,3.407324e-06,3.416509e-06,3.454514e-06,3.457536e-06,3.492088e-06,3.506997e-06,3.529233e-06,3.555713e-06,3.565951e-06,3.602244e-06,3.603686e-06,3.638113e-06,3.650922e-06,3.673561e-06,3.697426e-06,3.708590e-06,3.743203e-06,3.788258e-06,3.832598e-06,3.876229e-06,3.919157e-06,3.961390e-06,4.002933e-06,4.043794e-06,4.083981e-06,4.123499e-06,4.162358e-06,4.200564e-06,4.238124e-06,4.275048e-06,4.311341e-06,4.347013e-06,4.382070e-06,4.416521e-06,4.450374e-06,4.483636e-06,4.516315e-06,4.548419e-06,4.579956e-06,4.610933e-06,4.641359e-06
0.000000e+00,3.336292e-12,1.020811e-11,5.396429e-11,1.634893e-10,2.722162e-10,8.246785e-10,8.585117e-10,2.103104e-09,2.620963e-09,4.406347e-09,6.513135e-09,8.304135e-09,1.388362e-08,1.447979e-08,2.372594e-08,2.649203e-08,3.683811e-08,4.613068e-08,5.449905e-08,7.422165e-08,7.723083e-08,1.054103e-07,1.117248e-07,1.393025e-07,1.592470e-07,1.790885e-07,2.171493e-07,2.248832e-07,2.767457e-07,2.856081e-07,3.346863e-07,3.646487e-07,3.986723e-07,4.541665e-07,4.686315e-07,5.444575e-07,5.539446e-07,6.260134e-07,6.636723e-07,7.131369e-07,7.829618e-07,8.056440e-07,9.033337e-07,9.113664e-07,1.005992e-06,1.048396e-06,1.113394e-06,1.193531e-06,1.225309e-06,1.341503e-06,1.346237e-06,1.461740e-06,1.505970e-06,1.585785e-06,1.672191e-06,1.713403e-06,1.844367e-06,1.978451e-06,2.021981e-06,2.115436e-06,2.204530e-06,2.255109e-06,2.391533e-06,2.397264e-06,2.541702e-06,2.582527e-06,2.688231e-06,2.777075e-06,2.836666e-06,2.974758e-06,2.986831e-06,3.138555e-06,3.175183e-06,3.291676e-06,3.377975e-06,3.446038e-06,3.582784e-06,3.601492e-06,3.757897e-06,3.789280e-06,3.915117e-06,3.997151e-06,4.073025e-06,4.206108e-06,4.231496e-06,4.390415e-06,4.415877e-06,4.549672e-06,4.626204e-06,4.709160e-06,4.836850e-06,4.868780e-06,5.028438e-06,5.047595e-06,5.188044e-06,5.258232e-06,5.347512e-06,5.468567e-06,5.506763e-06,5.665721e-06,5.678422e-06,5.824313e-06,5.887632e-06,5.982472e-06,6.096043e-06,6.140135e-06,6.297240e-06,6.303512e-06,6.453732e-06,6.509908e-06,6.609556e-06,6.715109e-06,6.764663e-06,6.919005e-06,7.072538e-06,7.121491e-06,7.225222e-06,7.322475e-06,7.377016e-06,7.521869e-06,7.527886e-06,7.677797e-06,7.719596e-06,7.826718e-06,7.915583e-06,7.974619e-06,8.109764e-06,8.121474e-06,8.267257e-06,8.302083e-06,8.411945e-06,8.492484e-06,8.555517e-06,8.680921e-06,8.697953e-06,8.839235e-06,8.867351e-06,8.979347e-06,9.051737e-06,9.118273e-06,9.234045e-06,9.256001e-06,9.392517e-06,9.414247e-06,9.527812e-06,9.592317e-06,9.661875e-06,9.768234e-06,9.794699e-06,9.926274e-06,9.941979e-06,1.005660e-05,1.011354e-05,1.018566e-05,1.028290e-05,1.031346e-05,1.043999e-05,1.045006e-05,1.056525e-05,1.061500e-05,1.068924e-05,1.077773e-05,1.081196e-05,1.093341e-05,1.093824e-05,1.105358e-05,1.109653e-05,1.117248e-05,1.125261e-05,1.129011e-05,1.140648e-05,1.155814e-05,1.170760e-05,1.185488e-05,1.199998e-05,1.214291e-05,1.228369e-05,1.242234e-05,1.255885e-05,1.269326e-05,1.282558e-05,1.295582e-05,1.308401e-05,1.321016e-05,1.333429e-05,1.345642e-05,1.357657e-05,1.369477e-05,1.381102e-05,1.392537e-05,1.403781e-05,1.414839e-05,1.425711e-05,1.436401e-05,1.446910e-05
0.000000e+00,9.242751e-13,3.334987e-12,2.098605e-11,6.901846e-11,1.185451e-10,3.800101e-10,3.963184e-10,1.007485e-09,1.265940e-09,2.167577e-09,3.245342e-09,4.169516e-09,7.080759e-09,7.394150e-09,1.229911e-08,1.378047e-08,1.936641e-08,2.443238e-08,2.902478e-08,3.993068e-08,4.160259e-08,5.733122e-08,6.087005e-08,7.636981e-08,8.761557e-08,9.882683e-08,1.203855e-07,1.247734e-07,1.542507e-07,1.592960e-07,1.872734e-07,2.043819e-07,2.238328e-07,2.556070e-07,2.638985e-07,3.074203e-07,3.128721e-07,3.543301e-07,3.760227e-07,4.045445e-07,4.448585e-07,4.579668e-07,5.144892e-07,5.191414e-07,5.739950e-07,5.986053e-07,6.363610e-07,6.829635e-07,7.014586e-07,7.691563e-07,7.719164e-07,8.393204e-07,8.651575e-07,9.118169e-07,9.623785e-07,9.865120e-07,1.063273e-06,1.141971e-06,1.167542e-06,1.222477e-06,1.274893e-06,1.304667e-06,1.385042e-06,1.388421e-06,1.473620e-06,1.497719e-06,1.560151e-06,1.612664e-06,1.647905e-06,1.729629e-06,1.736777e-06,1.826666e-06,1.848379e-06,1.917473e-06,1.968692e-06,2.009107e-06,2.090356e-06,2.101476e-06,2.194497e-06,2.213172e-06,2.288087e-06,2.336953e-06,2.382169e-06,2.461522e-06,2.476667e-06,2.571511e-06,2.586714e-06,2.666634e-06,2.712372e-06,2.761970e-06,2.838351e-06,2.857458e-06,2.953040e-06,2.964514e-06,3.048661e-06,3.090733e-06,3.144268e-06,3.216889e-06,3.239811e-06,3.335243e-06,3.342871e-06,3.430518e-06,3.468575e-06,3.525595e-06,3.593904e-06,3.620432e-06,3.714992e-06,3.718768e-06,3.809239e-06,3.843084e-06,3.903138e-06,3.966775e-06,3.996658e-06,4.089768e-06,4.182440e-06,4.211997e-06,4.274646e-06,4.333402e-06,4.366362e-06,4.453926e-06,4.457564e-06,4.548230e-06,4.573517e-06,4.638338e-06,4.692127e-06,4.727869e-06,4.809713e-06,4.816806e-06,4.905130e-06,4.926235e-06,4.992826e-06,5.041656e-06,5.079880e-06,5.155944e-06,5.166277e-06,5.252005e-06,5.269069e-06,5.337052e-06,5.381004e-06,5.421408e-06,5.491725e-06,5.505062e-06,5.588006e-06,5.601211e-06,5.670231e-06,5.709441e-06,5.751730e-06,5.816401e-06,5.832495e-06,5.912522e-06,5.922075e-06,5.991803e-06,6.026450e-06,6.070336e-06,6.129516e-06,6.148114e-06,6.225136e-06,6.231264e-06,6.301397e-06,6.331687e-06,6.376895e-06,6.430779e-06,6.451627e-06,6.525594e-06,6.528536e-06,6.598792e-06,6.624955e-06,6.671222e-06,6.720035e-06,6.742882e-06,6.813774e-06,6.906174e-06,6.997236e-06,7.086964e-06,7.175360e-06,7.262429e-06,7.348176e-06,7.432608e-06,7.515731e-06,7.597551e-06,7.678078e-06,7.757318e-06,7.835281e-06,7.911977e-06,7.987414e-06,8.061604e-06,8.134555e-06,8.206280e-06,8.276788e-06,8.346092e-06,8.414202e-06,8.481131e-06,8.546891e-06,8.611492e-06,8.674949e-06
0.000000e+00,2.239513e-13,8.187264e-13,5.209064e-12,1.715404e-11,2.942075e-11,9.341742e-11,9.737253e-11,2.432547e-10,3.038224e-10,5.112007e-10,7.529196e-10,9.561210e-10,1.578956e-09,1.644812e-09,2.656586e-09,2.957351e-09,4.081815e-09,5.096288e-09,6.016269e-09,8.212740e-09,8.551414e-09,1.176540e-08,1.249535e-08,1.571953e-08,1.808391e-08,2.045957e-08,2.507318e-08,2.601876e-08,3.242040e-08,3.352396e-08,3.967967e-08,4.347140e-08,4.780473e-08,5.492958e-08,5.679742e-08,6.665380e-08,6.789421e-08,7.736459e-08,8.234454e-08,8.891565e-08,9.824516e-08,1.012884e-07,1.144604e-07,1.155480e-07,1.284059e-07,1.341942e-07,1.430960e-07,1.541167e-07,1.584998e-07,1.745845e-07,1.752416e-07,1.913161e-07,1.974910e-07,2.086594e-07,2.207842e-07,2.265791e-07,2.450395e-07,2.640054e-07,2.701755e-07,2.834417e-07,2.961119e-07,3.033141e-07,3.227710e-07,3.235893e-07,3.442348e-07,3.500776e-07,3.652192e-07,3.779599e-07,3.865123e-07,4.063498e-07,4.080853e-07,4.299104e-07,4.351830e-07,4.519612e-07,4.643989e-07,4.742126e-07,4.939408e-07,4.966408e-07,5.192230e-07,5.237560e-07,5.419380e-07,5.537955e-07,5.647655e-07,5.840136e-07,5.876865e-07,6.106830e-07,6.143683e-07,6.337381e-07,6.448207e-07,6.568360e-07,6.753351e-07,6.799618e-07,7.031013e-07,7.058784e-07,7.262416e-07,7.364203e-07,7.493703e-07,7.669332e-07,7.724759e-07,7.955476e-07,7.973916e-07,8.185755e-07,8.277723e-07,8.415501e-07,8.580540e-07,8.644628e-07,8.873053e-07,8.882174e-07,9.100700e-07,9.182450e-07,9.327501e-07,9.481207e-07,9.553388e-07,9.778301e-07,1.000218e-06,1.007360e-06,1.022498e-06,1.036699e-06,1.044665e-06,1.065835e-06,1.066715e-06,1.088643e-06,1.094760e-06,1.110446e-06,1.123465e-06,1.132119e-06,1.151943e-06,1.153661e-06,1.175068e-06,1.180186e-06,1.196338e-06,1.208188e-06,1.217468e-06,1.235945e-06,1.238456e-06,1.259299e-06,1.263451e-06,1.279998e-06,1.290703e-06,1.300549e-06,1.317697e-06,1.320951e-06,1.341204e-06,1.344431e-06,1.361306e-06,1.370901e-06,1.381256e-06,1.397107e-06,1.401054e-06,1.420699e-06,1.423046e-06,1.440190e-06,1.448718e-06,1.459528e-06,1.474121e-06,1.478711e-06,1.497739e-06,1.499255e-06,1.516614e-06,1.524120e-06,1.535334e-06,1.548716e-06,1.553899e-06,1.572310e-06,1.573044e-06,1.590568e-06,1.597103e-06,1.608672e-06,1.620895e-06,1.626622e-06,1.644420e-06,1.667680e-06,1.690676e-06,1.713409e-06,1.735881e-06,1.758094e-06,1.780049e-06,1.801749e-06,1.823194e-06,1.844388e-06,1.865333e-06,1.886030e-06,1.906482e-06,1.926691e-06,1.946660e-06,1.966390e-06,1.985885e-06,2.005147e-06,2.024177e-06,2.042980e-06,2.061557e-06,2.079910e-06,2.098043e-06,2.115958e-06,2.133657e-06
0.000000e+00,6.370964e-12,1.947605e-11,1.029173e-10,3.115187e-10,5.180833e-10,1.559441e-09,1.622789e-09,3.923376e-09,4.865483e-09,8.057305e-09,1.173128e-08,1.479130e-08,2.404961e-08,2.501965e-08,3.975602e-08,4.408523e-08,6.010881e-08,7.439145e-08,8.723852e-08,1.176463e-07,1.223129e-07,1.664769e-07,1.764987e-07,2.208378e-07,2.534897e-07,2.864571e-07,3.510177e-07,3.643439e-07,4.554474e-07,4.713105e-07,5.606495e-07,6.163942e-07,6.807565e-07,7.880629e-07,8.164921e-07,9.684921e-07,9.878518e-07,1.137299e-06,1.217017e-06,1.323360e-06,1.476526e-06,1.527027e-06,1.748555e-06,1.767054e-06,1.988104e-06,2.088989e-06,2.245746e-06,2.442447e-06,2.521467e-06,2.815171e-06,2.827291e-06,3.126689e-06,3.243152e-06,3.455782e-06,3.689455e-06,3.802152e-06,4.165445e-06,4.545257e-06,4.670215e-06,4.941145e-06,5.202729e-06,5.352627e-06,5.761849e-06,5.779194e-06,6.220309e-06,6.346353e-06,6.675417e-06,6.954960e-06,7.143944e-06,7.586342e-06,7.625309e-06,8.118920e-06,8.239143e-06,8.624181e-06,8.911992e-06,9.140492e-06,9.603513e-06,9.667257e-06,1.020388e-05,1.031234e-05,1.074977e-05,1.103710e-05,1.130435e-05,1.177648e-05,1.186703e-05,1.243725e-05,1.252915e-05,1.301445e-05,1.329383e-05,1.359809e-05,1.406927e-05,1.418763e-05,1.478254e-05,1.485427e-05,1.538232e-05,1.564764e-05,1.598647e-05,1.644825e-05,1.659450e-05,1.720594e-05,1.725499e-05,1.782034e-05,1.806682e-05,1.843724e-05,1.888272e-05,1.905622e-05,1.967686e-05,1.970171e-05,2.029876e-05,2.052287e-05,2.092152e-05,2.134529e-05,2.154477e-05,2.216814e-05,2.279128e-05,2.299058e-05,2.341386e-05,2.381186e-05,2.403554e-05,2.463123e-05,2.465602e-05,2.527499e-05,2.544800e-05,2.589217e-05,2.626149e-05,2.650726e-05,2.707109e-05,2.712002e-05,2.773018e-05,2.787620e-05,2.833749e-05,2.867626e-05,2.894173e-05,2.947074e-05,2.954267e-05,3.014010e-05,3.025915e-05,3.073381e-05,3.104101e-05,3.132362e-05,3.181590e-05,3.190933e-05,3.249077e-05,3.258340e-05,3.306779e-05,3.334313e-05,3.364021e-05,3.409474e-05,3.420789e-05,3.477070e-05,3.483790e-05,3.532849e-05,3.557230e-05,3.588115e-05,3.629766e-05,3.642855e-05,3.697059e-05,3.701372e-05,3.750717e-05,3.772025e-05,3.803819e-05,3.841703e-05,3.856356e-05,3.908320e-05,3.910386e-05,3.959703e-05,3.978057e-05,4.010498e-05,4.044700e-05,4.060699e-05,4.110300e-05,4.174845e-05,4.238325e-05,4.300730e-05,4.362052e-05,4.422286e-05,4.481425e-05,4.539466e-05,4.596407e-05,4.652246e-05,4.706982e-05,4.760617e-05,4.813152e-05,4.864589e-05,4.914932e-05,4.964185e-05,5.012353e-05,5.059442e-05,5.105459e-05,5.150410e-05,5.194304e-05,5.237147e-05,5.278951e-05,5.319722e-05,5.359472e-05
0.000000e+00,9.441390e-15,9.738885e-14,3.035735e-12,2.910348e-11,8.152724e-11,7.451382e-10,8.067495e-10,4.649008e-09,7.103362e-09,1.908719e-08,3.965507e-08,6.212037e-08,1.582905e-07,1.707429e-07,4.127888e-07,5.021891e-07,9.023893e-07,1.348307e-06,1.819108e-06,3.189069e-06,3.430535e-06,6.117696e-06,6.827325e-06,1.040203e-05,1.348231e-05,1.697213e-05,2.489526e-05,2.670812e-05,4.070147e-05,4.342021e-05,6.026857e-05,7.208610e-05,8.695674e-05,1.146206e-04,1.225422e-04,1.690194e-04,1.754309e-04,2.285824e-04,2.595404e-04,3.035993e-04,3.724878e-04,3.965800e-04,5.101389e-04,5.201926e-04,6.469543e-04,7.087970e-04,8.097243e-04,9.444931e-04,1.001123e-03,1.223753e-03,1.233344e-03,1.480108e-03,1.581107e-03,1.772525e-03,1.993070e-03,2.103148e-03,2.473897e-03,2.886434e-03,3.027505e-03,3.342140e-03,3.656957e-03,3.842092e-03,4.364385e-03,4.387054e-03,4.977462e-03,5.150942e-03,5.613418e-03,6.016776e-03,6.294699e-03,6.961036e-03,7.020749e-03,7.790701e-03,7.981897e-03,8.603377e-03,9.076604e-03,9.457315e-03,1.024154e-02,1.035078e-02,1.128179e-02,1.147231e-02,1.224814e-02,1.276381e-02,1.324741e-02,1.411035e-02,1.427702e-02,1.533422e-02,1.550575e-02,1.641617e-02,1.694342e-02,1.751989e-02,1.841652e-02,1.864236e-02,1.978050e-02,1.991799e-02,2.093121e-02,2.144070e-02,2.209138e-02,2.297753e-02,2.325792e-02,2.442780e-02,2.452144e-02,2.559802e-02,2.606555e-02,2.676567e-02,2.760320e-02,2.792793e-02,2.908209e-02,2.912805e-02,3.022553e-02,3.063406e-02,3.135577e-02,3.211559e-02,3.247046e-02,3.356739e-02,3.464450e-02,3.498467e-02,3.569986e-02,3.636306e-02,3.673171e-02,3.769866e-02,3.773842e-02,3.871854e-02,3.898802e-02,3.967074e-02,4.022817e-02,4.059387e-02,4.141657e-02,4.148689e-02,4.234894e-02,4.255114e-02,4.317928e-02,4.363019e-02,4.397731e-02,4.465247e-02,4.474255e-02,4.547465e-02,4.561708e-02,4.617338e-02,4.652349e-02,4.683861e-02,4.737151e-02,4.747033e-02,4.806862e-02,4.816125e-02,4.863365e-02,4.889313e-02,4.916569e-02,4.956780e-02,4.966509e-02,5.013224e-02,5.018616e-02,5.056765e-02,5.074930e-02,5.097184e-02,5.125852e-02,5.134542e-02,5.168904e-02,5.171526e-02,5.200339e-02,5.212110e-02,5.228920e-02,5.247774e-02,5.254723e-02,5.277828e-02,5.278697e-02,5.298316e-02,5.305067e-02,5.316270e-02,5.327075e-02,5.331776e-02,5.344921e-02,5.358802e-02,5.368921e-02,5.375479e-02,5.378677e-02,5.378712e-02,5.375781e-02,5.370076e-02,5.361785e-02,5.351090e-02,5.338170e-02,5.323197e-02,5.306336e-02,5.287748e-02,5.267586e-02,5.245997e-02,5.223121e-02,5.199092e-02,5.174036e-02,5.148074e-02,5.121320e-02,5.093878e-02,5.065853e-02,5.037337e-02,5.008421e-02
0.000000e+00,1.039733e-15,1.004704e-14,2.631997e-13,2.088754e-12,5.231043e-12,3.517980e-11,3.760216e-11,1.575615e-10,2.205534e-10,4.753878e-10,8.269075e-10,1.154580e-09,2.282381e-09,2.409909e-09,4.504276e-09,5.164956e-09,7.743131e-09,1.018063e-08,1.245968e-08,1.809654e-08,1.898536e-08,2.761172e-08,2.960996e-08,3.855962e-08,4.521910e-08,5.196723e-08,6.517692e-08,6.789536e-08,8.634203e-08,8.952447e-08,1.072581e-07,1.181515e-07,1.305602e-07,1.508478e-07,1.561401e-07,1.838713e-07,1.873371e-07,2.136137e-07,2.272992e-07,2.452177e-07,2.703865e-07,2.785282e-07,3.133870e-07,3.162379e-07,3.496366e-07,3.644911e-07,3.871225e-07,4.147938e-07,4.256954e-07,4.652131e-07,4.668116e-07,5.055418e-07,5.202344e-07,5.465569e-07,5.747802e-07,5.881436e-07,6.301967e-07,6.726208e-07,6.862605e-07,7.153298e-07,7.427770e-07,7.582463e-07,7.995770e-07,8.013011e-07,8.444324e-07,8.565153e-07,8.875854e-07,9.134670e-07,9.307112e-07,9.703256e-07,9.737665e-07,1.016713e-06,1.027000e-06,1.059517e-06,1.083413e-06,1.102147e-06,1.139498e-06,1.144578e-06,1.186785e-06,1.195198e-06,1.228748e-06,1.250465e-06,1.270447e-06,1.305258e-06,1.311865e-06,1.352989e-06,1.359540e-06,1.393804e-06,1.413282e-06,1.434298e-06,1.466456e-06,1.474462e-06,1.514286e-06,1.519042e-06,1.553761e-06,1.571018e-06,1.592880e-06,1.622368e-06,1.631637e-06,1.670025e-06,1.673080e-06,1.708039e-06,1.723140e-06,1.745676e-06,1.772538e-06,1.782931e-06,1.819800e-06,1.821267e-06,1.856282e-06,1.869320e-06,1.892373e-06,1.916691e-06,1.928072e-06,1.963377e-06,1.998287e-06,2.009374e-06,2.032801e-06,2.054682e-06,2.066918e-06,2.099298e-06,2.100639e-06,2.133964e-06,2.143223e-06,2.166892e-06,2.186458e-06,2.199424e-06,2.229005e-06,2.231561e-06,2.263305e-06,2.270865e-06,2.294655e-06,2.312041e-06,2.325614e-06,2.352536e-06,2.356184e-06,2.386365e-06,2.392354e-06,2.416159e-06,2.431500e-06,2.445569e-06,2.469978e-06,2.474597e-06,2.503244e-06,2.507793e-06,2.531514e-06,2.544950e-06,2.559408e-06,2.581455e-06,2.586929e-06,2.614080e-06,2.617314e-06,2.640864e-06,2.652532e-06,2.667282e-06,2.687118e-06,2.693338e-06,2.719036e-06,2.721076e-06,2.744377e-06,2.754414e-06,2.769364e-06,2.787139e-06,2.794002e-06,2.818293e-06,2.819257e-06,2.842239e-06,2.850776e-06,2.865845e-06,2.881704e-06,2.889113e-06,2.912047e-06,2.941813e-06,2.971010e-06,2.999644e-06,3.027725e-06,3.055259e-06,3.082254e-06,3.108718e-06,3.134658e-06,3.160082e-06,3.184998e-06,3.209414e-06,3.233336e-06,3.256773e-06,3.279733e-06,3.302222e-06,3.324249e-06,3.345820e-06,3.366943e-06,3.387626e-06,3.407875e-06,3.427698e-06,3.447102e-06,3.466095e-06,3.484682e-06
0.000000e+00,1.511095e-15,1.639943e-14,5.533285e-13,5.588574e-12,1.602217e-11,1.536012e-10,1.665771e-10,9.944494e-10,1.531991e-09,4.194164e-09,8.831185e-09,1.394613e-08,3.612522e-08,3.901822e-08,9.576593e-08,1.168933e-07,2.121241e-07,3.190757e-07,4.326395e-07,7.655584e-07,8.245220e-07,1.484580e-06,1.659819e-06,2.546755e-06,3.315351e-06,4.189811e-06,6.186124e-06,6.644638e-06,1.020062e-05,1.089442e-05,1.521062e-05,1.825248e-05,2.209413e-05,2.927505e-05,3.133843e-05,4.349762e-05,4.518131e-05,5.918955e-05,6.738552e-05,7.909070e-05,9.747708e-05,1.039293e-04,1.344767e-04,1.371911e-04,1.715379e-04,1.883711e-04,2.159403e-04,2.529264e-04,2.685225e-04,3.301226e-04,3.327859e-04,4.015658e-04,4.298502e-04,4.836531e-04,5.459445e-04,5.771496e-04,6.827744e-04,8.011906e-04,8.418850e-04,9.329964e-04,1.024625e-03,1.078718e-03,1.232118e-03,1.238802e-03,1.413613e-03,1.465239e-03,1.603426e-03,1.724595e-03,1.808426e-03,2.010521e-03,2.028707e-03,2.264271e-03,2.323072e-03,2.515029e-03,2.662027e-03,2.780802e-03,3.026896e-03,3.061327e-03,3.356256e-03,3.416935e-03,3.665165e-03,3.831159e-03,3.987554e-03,4.268368e-03,4.322859e-03,4.670452e-03,4.727163e-03,5.029651e-03,5.205975e-03,5.399723e-03,5.703090e-03,5.779893e-03,6.169352e-03,6.216671e-03,6.567257e-03,6.744790e-03,6.972747e-03,7.285450e-03,7.384940e-03,7.802943e-03,7.836608e-03,8.225861e-03,8.396202e-03,8.652794e-03,8.962172e-03,9.082851e-03,9.515149e-03,9.532475e-03,9.948819e-03,1.010511e-02,1.038301e-02,1.067813e-02,1.081689e-02,1.124966e-02,1.168054e-02,1.181790e-02,1.210878e-02,1.238114e-02,1.253367e-02,1.293779e-02,1.295453e-02,1.337072e-02,1.348633e-02,1.378161e-02,1.402538e-02,1.418665e-02,1.455366e-02,1.458530e-02,1.497706e-02,1.507000e-02,1.536147e-02,1.557337e-02,1.573812e-02,1.606284e-02,1.610661e-02,1.646662e-02,1.653757e-02,1.681782e-02,1.699687e-02,1.715994e-02,1.744014e-02,1.749275e-02,1.781604e-02,1.786687e-02,1.812963e-02,1.827667e-02,1.843339e-02,1.866924e-02,1.872720e-02,1.901097e-02,1.904435e-02,1.928466e-02,1.940188e-02,1.954823e-02,1.974177e-02,1.980167e-02,2.004500e-02,2.006403e-02,2.027826e-02,2.036875e-02,2.050150e-02,2.065607e-02,2.071480e-02,2.091826e-02,2.092619e-02,2.111198e-02,2.117936e-02,2.129609e-02,2.141586e-02,2.147072e-02,2.163603e-02,2.184022e-02,2.202885e-02,2.220233e-02,2.236110e-02,2.250563e-02,2.263639e-02,2.275387e-02,2.285856e-02,2.295096e-02,2.303158e-02,2.310092e-02,2.315949e-02,2.320777e-02,2.324627e-02,2.327547e-02,2.329585e-02,2.330787e-02,2.331201e-02,2.330869e-02,2.329837e-02,2.328147e-02,2.325839e-02,2.322954e-02,2.319529e-02
0.000000e+00,1.450075e-12,4.396308e-12,2.290757e-11,6.856210e-11,1.133604e-10,3.363866e-10,3.498568e-10,8.349749e-10,1.032074e-09,1.695871e-09,2.455002e-09,3.084687e-09,4.981253e-09,5.179449e-09,8.183098e-09,9.063558e-09,1.231645e-08,1.520816e-08,1.780236e-08,2.391268e-08,2.484634e-08,3.362387e-08,3.560053e-08,4.427804e-08,5.059874e-08,5.692288e-08,6.914892e-08,7.164771e-08,8.852059e-08,9.142311e-08,1.075905e-07,1.175342e-07,1.288885e-07,1.475412e-07,1.524288e-07,1.782092e-07,1.814527e-07,2.062122e-07,2.192297e-07,2.364051e-07,2.607884e-07,2.687418e-07,3.031635e-07,3.060053e-07,3.396002e-07,3.547216e-07,3.779724e-07,4.067497e-07,4.181921e-07,4.601648e-07,4.618787e-07,5.037908e-07,5.198812e-07,5.489670e-07,5.805183e-07,5.955875e-07,6.435459e-07,6.927354e-07,7.087188e-07,7.430506e-07,7.757952e-07,7.943879e-07,8.445394e-07,8.466461e-07,8.997275e-07,9.147249e-07,9.535378e-07,9.861360e-07,1.007987e-06,1.058569e-06,1.062988e-06,1.118459e-06,1.131834e-06,1.174323e-06,1.205752e-06,1.230508e-06,1.280160e-06,1.286943e-06,1.343565e-06,1.354907e-06,1.400315e-06,1.429856e-06,1.457135e-06,1.504880e-06,1.513974e-06,1.570782e-06,1.579866e-06,1.627516e-06,1.654709e-06,1.684133e-06,1.729316e-06,1.740595e-06,1.796866e-06,1.803604e-06,1.852913e-06,1.877495e-06,1.908707e-06,1.950923e-06,1.964218e-06,2.019423e-06,2.023826e-06,2.074298e-06,2.096150e-06,2.128820e-06,2.167847e-06,2.182971e-06,2.236732e-06,2.238874e-06,2.290088e-06,2.309194e-06,2.343023e-06,2.378772e-06,2.395524e-06,2.447579e-06,2.499176e-06,2.515589e-06,2.550306e-06,2.582780e-06,2.600960e-06,2.649133e-06,2.651130e-06,2.700808e-06,2.714629e-06,2.749989e-06,2.779256e-06,2.798667e-06,2.843001e-06,2.846836e-06,2.894493e-06,2.905855e-06,2.941635e-06,2.967808e-06,2.988258e-06,3.028854e-06,3.034359e-06,3.079937e-06,3.088989e-06,3.124989e-06,3.148209e-06,3.169516e-06,3.206511e-06,3.213516e-06,3.256988e-06,3.263895e-06,3.299933e-06,3.320360e-06,3.342351e-06,3.375907e-06,3.384243e-06,3.425609e-06,3.430537e-06,3.466450e-06,3.484255e-06,3.506768e-06,3.537061e-06,3.546565e-06,3.585841e-06,3.588961e-06,3.624600e-06,3.639959e-06,3.662843e-06,3.690060e-06,3.700572e-06,3.737790e-06,3.739269e-06,3.774500e-06,3.787592e-06,3.810704e-06,3.835036e-06,3.846406e-06,3.881608e-06,3.927314e-06,3.972162e-06,4.016160e-06,4.059316e-06,4.101638e-06,4.143134e-06,4.183813e-06,4.223683e-06,4.262754e-06,4.301033e-06,4.338531e-06,4.375257e-06,4.411219e-06,4.446427e-06,4.480890e-06,4.514619e-06,4.547621e-06,4.579906e-06,4.611485e-06,4.642366e-06,4.672559e-06,4.702073e-06,4.730918e-06,4.759103e-06
0.000000e+00,1.851959e-12,7.095834e-12,4.745045e-11,1.598375e-10,2.763509e-10,8.885740e-10,9.264951e-10,2.325078e-09,2.904689e-09,4.882162e-09,7.172730e-09,9.086774e-09,1.489414e-08,1.550336e-08,2.476204e-08,2.748114e-08,3.753253e-08,4.646836e-08,5.448339e-08,7.336184e-08,7.624742e-08,1.034067e-07,1.095335e-07,1.364900e-07,1.561944e-07,1.759725e-07,2.143920e-07,2.222742e-07,2.757573e-07,2.850021e-07,3.367234e-07,3.687174e-07,4.054106e-07,4.660385e-07,4.819926e-07,5.665779e-07,5.772687e-07,6.592111e-07,7.025171e-07,7.598755e-07,8.417075e-07,8.684960e-07,9.849441e-07,9.945931e-07,1.109042e-06,1.160776e-06,1.240570e-06,1.339728e-06,1.379270e-06,1.524853e-06,1.530815e-06,1.677002e-06,1.733319e-06,1.835381e-06,1.946459e-06,1.999640e-06,2.169415e-06,2.344338e-06,2.401340e-06,2.524037e-06,2.641379e-06,2.708141e-06,2.888682e-06,2.896280e-06,3.088094e-06,3.142411e-06,3.283226e-06,3.401754e-06,3.481331e-06,3.665925e-06,3.682074e-06,3.885131e-06,3.934174e-06,4.090192e-06,4.205789e-06,4.296957e-06,4.480095e-06,4.505143e-06,4.714477e-06,4.756458e-06,4.924700e-06,5.034286e-06,5.135568e-06,5.313026e-06,5.346850e-06,5.558325e-06,5.592165e-06,5.769789e-06,5.871229e-06,5.981046e-06,6.149781e-06,6.191916e-06,6.402227e-06,6.427419e-06,6.611820e-06,6.703774e-06,6.820546e-06,6.978512e-06,7.028266e-06,7.234852e-06,7.251326e-06,7.440184e-06,7.521940e-06,7.644150e-06,7.790103e-06,7.846649e-06,8.047586e-06,8.055590e-06,8.246875e-06,8.318200e-06,8.444435e-06,8.577752e-06,8.640195e-06,8.834087e-06,9.026052e-06,9.087065e-06,9.216035e-06,9.336562e-06,9.403988e-06,9.582472e-06,9.589866e-06,9.773631e-06,9.824702e-06,9.955249e-06,1.006318e-05,1.013469e-05,1.029783e-05,1.031192e-05,1.048693e-05,1.052860e-05,1.065970e-05,1.075546e-05,1.083021e-05,1.097837e-05,1.099844e-05,1.116439e-05,1.119731e-05,1.132806e-05,1.141226e-05,1.148943e-05,1.162321e-05,1.164851e-05,1.180530e-05,1.183017e-05,1.195979e-05,1.203314e-05,1.211201e-05,1.223214e-05,1.226194e-05,1.240961e-05,1.242718e-05,1.255501e-05,1.261828e-05,1.269817e-05,1.280547e-05,1.283909e-05,1.297779e-05,1.298879e-05,1.311428e-05,1.316827e-05,1.324858e-05,1.334393e-05,1.338071e-05,1.351068e-05,1.351584e-05,1.363852e-05,1.368402e-05,1.376423e-05,1.384852e-05,1.388785e-05,1.400939e-05,1.416668e-05,1.432044e-05,1.447072e-05,1.461757e-05,1.476105e-05,1.490120e-05,1.503810e-05,1.517178e-05,1.530230e-05,1.542973e-05,1.555412e-05,1.567552e-05,1.579399e-05,1.590958e-05,1.602235e-05,1.613236e-05,1.623965e-05,1.634429e-05,1.644633e-05,1.654581e-05,1.664280e-05,1.673735e-05,1.682950e-05,1.691931e-05
0.000000e+00,7.594148e-18,8.477101e-17,2.977067e-15,3.063884e-14,8.821987e-14,8.414623e-13,9.119630e-13,5.313535e-12,8.111024e-12,2.161356e-11,4.436667e-11,6.881295e-11,1.706560e-10,1.836087e-10,4.290395e-10,5.175078e-10,9.044426e-10,1.323351e-09,1.755833e-09,2.974628e-09,3.184661e-09,5.451931e-09,6.033042e-09,8.875139e-09,1.123119e-08,1.381735e-08,1.942877e-08,2.067014e-08,2.983347e-08,3.154029e-08,4.169570e-08,4.845525e-08,5.661628e-08,7.096965e-08,7.491252e-08,9.685086e-08,9.973882e-08,1.226422e-07,1.352527e-07,1.524406e-07,1.778300e-07,1.863447e-07,2.244007e-07,2.276248e-07,2.666063e-07,2.846415e-07,3.129158e-07,3.487537e-07,3.632447e-07,4.174753e-07,4.197237e-07,4.754610e-07,4.972231e-07,5.370318e-07,5.808518e-07,6.019983e-07,6.701563e-07,7.412905e-07,7.646459e-07,8.151788e-07,8.638083e-07,8.915950e-07,9.671220e-07,9.703121e-07,1.051105e-06,1.074068e-06,1.133751e-06,1.184139e-06,1.218036e-06,1.296847e-06,1.303752e-06,1.390698e-06,1.411727e-06,1.478684e-06,1.528344e-06,1.567532e-06,1.646295e-06,1.657071e-06,1.747142e-06,1.765207e-06,1.837599e-06,1.884742e-06,1.928302e-06,2.004592e-06,2.019127e-06,2.109955e-06,2.124481e-06,2.200680e-06,2.244163e-06,2.291204e-06,2.363418e-06,2.381437e-06,2.471298e-06,2.482053e-06,2.560714e-06,2.599898e-06,2.649618e-06,2.716805e-06,2.737950e-06,2.825657e-06,2.832645e-06,2.912690e-06,2.947305e-06,2.999007e-06,3.060691e-06,3.084570e-06,3.169345e-06,3.172719e-06,3.253302e-06,3.283322e-06,3.336416e-06,3.392439e-06,3.418663e-06,3.500024e-06,3.580482e-06,3.606035e-06,3.660023e-06,3.710442e-06,3.738635e-06,3.813219e-06,3.816308e-06,3.893035e-06,3.914347e-06,3.968808e-06,4.013813e-06,4.043624e-06,4.111606e-06,4.117479e-06,4.190371e-06,4.207722e-06,4.262301e-06,4.302161e-06,4.333267e-06,4.394922e-06,4.403272e-06,4.472319e-06,4.486013e-06,4.540409e-06,4.575439e-06,4.607547e-06,4.663210e-06,4.673737e-06,4.738986e-06,4.749338e-06,4.803297e-06,4.833835e-06,4.866677e-06,4.916716e-06,4.929134e-06,4.990673e-06,4.997997e-06,5.051303e-06,5.077693e-06,5.111030e-06,5.155824e-06,5.169863e-06,5.227810e-06,5.232408e-06,5.284880e-06,5.307464e-06,5.341080e-06,5.381012e-06,5.396421e-06,5.450911e-06,5.453073e-06,5.504558e-06,5.523667e-06,5.557373e-06,5.592816e-06,5.609364e-06,5.660541e-06,5.726864e-06,5.791806e-06,5.855391e-06,5.917639e-06,5.978573e-06,6.038215e-06,6.096588e-06,6.153712e-06,6.209609e-06,6.264303e-06,6.317813e-06,6.370162e-06,6.421370e-06,6.471459e-06,6.520450e-06,6.568363e-06,6.615218e-06,6.661036e-06,6.705837e-06,6.749640e-06,6.792465e-06,6.834330e-06,6.875255e-06,6.915258e-06
0.000000e+00,6.280636e-12,2.191779e-11,1.328264e-10,4.276415e-10,7.271933e-10,2.272049e-09,2.366945e-09,5.840944e-09,7.272142e-09,1.213700e-08,1.775225e-08,2.243513e-08,3.661552e-08,3.810157e-08,6.066822e-08,6.729200e-08,9.177284e-08,1.135358e-07,1.330577e-07,1.790454e-07,1.860752e-07,2.522432e-07,2.671695e-07,3.328361e-07,3.808271e-07,4.289875e-07,5.225080e-07,5.416891e-07,6.717878e-07,6.942668e-07,8.199804e-07,8.977050e-07,9.868096e-07,1.133957e-06,1.172662e-06,1.377771e-06,1.403684e-06,1.602217e-06,1.707088e-06,1.845937e-06,2.043937e-06,2.108733e-06,2.390282e-06,2.413603e-06,2.690149e-06,2.815109e-06,3.007803e-06,3.247183e-06,3.342625e-06,3.693924e-06,3.708308e-06,4.060952e-06,4.196780e-06,4.442913e-06,4.710754e-06,4.838977e-06,5.248288e-06,5.669976e-06,5.807386e-06,6.103161e-06,6.386028e-06,6.546967e-06,6.982202e-06,7.000520e-06,7.462961e-06,7.593922e-06,7.933446e-06,8.219253e-06,8.411148e-06,8.856319e-06,8.895267e-06,9.385023e-06,9.503320e-06,9.879667e-06,1.015853e-05,1.037848e-05,1.082032e-05,1.088075e-05,1.138584e-05,1.148713e-05,1.189309e-05,1.215752e-05,1.240191e-05,1.283011e-05,1.291172e-05,1.342197e-05,1.350361e-05,1.393214e-05,1.417685e-05,1.444175e-05,1.484871e-05,1.495032e-05,1.545743e-05,1.551817e-05,1.596267e-05,1.618428e-05,1.646564e-05,1.684617e-05,1.696599e-05,1.746338e-05,1.750304e-05,1.795750e-05,1.815416e-05,1.844804e-05,1.879887e-05,1.893474e-05,1.941735e-05,1.943656e-05,1.989562e-05,2.006670e-05,2.036934e-05,2.068878e-05,2.083832e-05,2.130237e-05,2.176131e-05,2.190707e-05,2.221501e-05,2.250256e-05,2.266332e-05,2.308851e-05,2.310612e-05,2.354329e-05,2.366468e-05,2.397474e-05,2.423083e-05,2.440038e-05,2.478677e-05,2.482014e-05,2.523393e-05,2.533235e-05,2.564172e-05,2.586744e-05,2.604346e-05,2.639194e-05,2.643909e-05,2.682860e-05,2.690577e-05,2.721196e-05,2.740888e-05,2.758916e-05,2.790124e-05,2.796019e-05,2.832504e-05,2.838284e-05,2.868372e-05,2.885370e-05,2.903625e-05,2.931384e-05,2.938263e-05,2.972289e-05,2.976331e-05,3.005705e-05,3.020216e-05,3.038515e-05,3.063046e-05,3.070721e-05,3.102328e-05,3.104830e-05,3.133339e-05,3.145577e-05,3.163759e-05,3.185298e-05,3.193592e-05,3.222845e-05,3.224003e-05,3.251521e-05,3.261705e-05,3.279627e-05,3.298416e-05,3.307168e-05,3.334150e-05,3.368920e-05,3.402742e-05,3.435630e-05,3.467599e-05,3.498665e-05,3.528843e-05,3.558150e-05,3.586602e-05,3.614214e-05,3.641005e-05,3.666989e-05,3.692183e-05,3.716604e-05,3.740269e-05,3.763193e-05,3.785393e-05,3.806885e-05,3.827686e-05,3.847810e-05,3.867275e-05,3.886095e-05,3.904286e-05,3.921863e-05,3.938842e-05
0.000000e+00,4.611535e-14,2.977772e-13,3.854112e-12,1.834835e-11,3.627782e-11,1.487002e-10,1.562386e-10,4.567525e-10,5.895714e-10,1.063450e-09,1.638814e-09,2.134385e-09,3.693606e-09,3.860951e-09,6.468203e-09,7.252780e-09,1.021062e-08,1.290321e-08,1.535961e-08,2.126962e-08,2.218604e-08,3.094710e-08,3.295280e-08,4.188130e-08,4.849955e-08,5.520830e-08,6.840028e-08,7.112990e-08,8.983042e-08,9.309177e-08,1.114763e-07,1.229566e-07,1.362151e-07,1.583197e-07,1.641747e-07,1.954621e-07,1.994445e-07,2.301626e-07,2.465292e-07,2.683396e-07,2.997055e-07,3.100345e-07,3.552669e-07,3.590384e-07,4.040352e-07,4.245284e-07,4.563180e-07,4.961159e-07,5.120750e-07,5.712487e-07,5.736857e-07,6.337659e-07,6.570743e-07,6.995399e-07,7.460763e-07,7.684715e-07,8.404515e-07,9.153620e-07,9.399321e-07,9.930783e-07,1.044229e-06,1.073470e-06,1.153039e-06,1.156404e-06,1.241742e-06,1.266049e-06,1.329348e-06,1.382941e-06,1.419081e-06,1.503397e-06,1.510805e-06,1.604383e-06,1.627102e-06,1.699679e-06,1.753747e-06,1.796563e-06,1.883030e-06,1.894904e-06,1.994577e-06,2.014660e-06,2.095459e-06,2.148357e-06,2.197433e-06,2.283852e-06,2.300385e-06,2.404204e-06,2.420889e-06,2.508786e-06,2.559225e-06,2.614028e-06,2.698631e-06,2.719833e-06,2.826109e-06,2.838890e-06,2.932768e-06,2.979797e-06,3.039724e-06,3.121160e-06,3.146898e-06,3.254212e-06,3.262801e-06,3.361593e-06,3.404550e-06,3.468974e-06,3.546251e-06,3.576288e-06,3.683474e-06,3.687758e-06,3.790472e-06,3.828934e-06,3.897227e-06,3.969655e-06,4.003687e-06,4.109802e-06,4.215526e-06,4.249268e-06,4.320814e-06,4.387951e-06,4.425626e-06,4.525761e-06,4.529922e-06,4.633666e-06,4.662611e-06,4.736824e-06,4.798423e-06,4.839363e-06,4.933127e-06,4.941254e-06,5.042468e-06,5.066655e-06,5.142979e-06,5.198949e-06,5.242763e-06,5.329953e-06,5.341797e-06,5.440060e-06,5.459619e-06,5.537533e-06,5.587900e-06,5.634197e-06,5.714757e-06,5.730035e-06,5.825033e-06,5.840154e-06,5.919176e-06,5.964057e-06,6.012451e-06,6.086438e-06,6.104846e-06,6.196352e-06,6.207272e-06,6.286957e-06,6.326536e-06,6.376654e-06,6.444211e-06,6.465435e-06,6.553292e-06,6.560281e-06,6.640221e-06,6.674731e-06,6.726215e-06,6.787550e-06,6.811271e-06,6.895384e-06,6.898729e-06,6.978552e-06,7.008260e-06,7.060772e-06,7.116139e-06,7.142042e-06,7.222361e-06,7.326926e-06,7.429833e-06,7.531083e-06,7.630680e-06,7.728627e-06,7.824930e-06,7.919595e-06,8.012629e-06,8.104042e-06,8.193841e-06,8.282037e-06,8.368641e-06,8.453664e-06,8.537119e-06,8.619018e-06,8.699374e-06,8.778201e-06,8.855513e-06,8.931326e-06,9.005653e-06,9.078510e-06,9.149913e-06,9.219878e-06,9.288420e-06
0.000000e+00,2.355207e-12,7.154914e-12,3.746882e-11,1.126830e-10,1.867946e-10,5.578054e-10,5.802809e-10,1.392185e-09,1.722858e-09,2.837797e-09,4.113330e-09,5.170720e-09,8.348591e-09,8.679988e-09,1.368585e-08,1.514783e-08,2.053249e-08,2.530325e-08,2.957550e-08,3.962734e-08,4.116315e-08,5.561441e-08,5.887314e-08,7.320058e-08,8.365795e-08,9.413664e-08,1.144297e-07,1.185817e-07,1.466443e-07,1.514749e-07,1.783890e-07,1.949435e-07,2.138424e-07,2.448720e-07,2.529979e-07,2.958209e-07,3.012035e-07,3.422522e-07,3.638052e-07,3.922122e-07,4.324828e-07,4.456042e-07,5.023179e-07,5.069949e-07,5.622320e-07,5.870650e-07,6.252170e-07,6.723921e-07,6.911379e-07,7.598555e-07,7.626604e-07,8.312287e-07,8.575458e-07,9.051157e-07,9.567227e-07,9.813754e-07,1.059868e-06,1.140457e-06,1.166666e-06,1.223007e-06,1.276807e-06,1.307387e-06,1.389996e-06,1.393470e-06,1.481134e-06,1.505947e-06,1.570259e-06,1.624388e-06,1.660731e-06,1.745059e-06,1.752438e-06,1.845276e-06,1.867714e-06,1.939142e-06,1.992120e-06,2.033940e-06,2.118057e-06,2.129574e-06,2.225958e-06,2.245317e-06,2.323004e-06,2.373704e-06,2.420633e-06,2.503033e-06,2.518765e-06,2.617327e-06,2.633133e-06,2.716249e-06,2.763839e-06,2.815463e-06,2.895001e-06,2.914905e-06,3.014514e-06,3.026475e-06,3.114232e-06,3.158129e-06,3.214005e-06,3.289836e-06,3.313779e-06,3.413506e-06,3.421481e-06,3.513138e-06,3.552954e-06,3.612630e-06,3.684155e-06,3.711941e-06,3.811029e-06,3.814988e-06,3.909858e-06,3.945366e-06,4.008391e-06,4.075206e-06,4.106593e-06,4.204434e-06,4.301882e-06,4.332978e-06,4.398909e-06,4.460773e-06,4.495488e-06,4.587758e-06,4.591593e-06,4.687201e-06,4.713879e-06,4.782289e-06,4.839083e-06,4.876835e-06,4.963323e-06,4.970820e-06,5.064226e-06,5.086555e-06,5.157034e-06,5.208739e-06,5.249228e-06,5.329840e-06,5.340794e-06,5.431717e-06,5.449823e-06,5.521983e-06,5.568658e-06,5.611580e-06,5.686317e-06,5.700497e-06,5.788724e-06,5.802775e-06,5.876250e-06,5.918011e-06,5.963066e-06,6.032003e-06,6.049165e-06,6.134539e-06,6.144735e-06,6.219181e-06,6.256189e-06,6.303084e-06,6.366353e-06,6.386243e-06,6.468654e-06,6.475214e-06,6.550311e-06,6.582762e-06,6.631211e-06,6.688988e-06,6.711351e-06,6.790726e-06,6.793885e-06,6.869336e-06,6.897447e-06,6.947177e-06,6.999670e-06,7.024249e-06,7.100549e-06,7.200084e-06,7.298273e-06,7.395116e-06,7.490615e-06,7.584770e-06,7.677585e-06,7.769063e-06,7.859209e-06,7.948026e-06,8.035522e-06,8.121702e-06,8.206573e-06,8.290141e-06,8.372415e-06,8.453403e-06,8.533113e-06,8.611554e-06,8.688735e-06,8.764667e-06,8.839359e-06,8.912820e-06,8.985063e-06,9.056096e-06,9.125931e-06
0.000000e+00,1.250322e-15,1.218934e-14,3.254021e-13,2.629381e-12,6.652896e-12,4.600062e-11,4.922547e-11,2.124287e-10,2.998440e-10,6.604045e-10,1.169819e-09,1.653457e-09,3.362596e-09,3.559296e-09,6.862378e-09,7.927654e-09,1.216531e-08,1.626644e-08,2.016711e-08,3.003157e-08,3.161096e-08,4.721728e-08,5.089640e-08,6.762918e-08,8.032558e-08,9.338476e-08,1.194657e-07,1.249128e-07,1.625408e-07,1.691444e-07,2.065068e-07,2.299110e-07,2.569689e-07,3.020758e-07,3.140130e-07,3.776579e-07,3.857374e-07,4.478600e-07,4.808020e-07,5.245178e-07,5.870019e-07,6.074765e-07,6.965340e-07,7.039150e-07,7.914460e-07,8.309886e-07,8.919335e-07,9.675650e-07,9.976887e-07,1.108382e-06,1.112908e-06,1.223669e-06,1.266228e-06,1.343194e-06,1.426710e-06,1.466600e-06,1.593528e-06,1.723625e-06,1.765868e-06,1.856546e-06,1.942942e-06,1.991956e-06,2.123995e-06,2.129536e-06,2.268977e-06,2.308314e-06,2.409989e-06,2.495235e-06,2.552296e-06,2.684142e-06,2.695642e-06,2.839785e-06,2.874473e-06,2.984501e-06,3.065714e-06,3.129582e-06,3.257402e-06,3.274836e-06,3.420085e-06,3.449120e-06,3.565167e-06,3.640494e-06,3.709933e-06,3.831193e-06,3.854247e-06,3.997986e-06,4.020923e-06,4.141037e-06,4.209426e-06,4.283298e-06,4.396477e-06,4.424678e-06,4.565094e-06,4.581876e-06,4.704473e-06,4.765453e-06,4.842747e-06,4.947061e-06,4.979859e-06,5.115756e-06,5.126574e-06,5.250393e-06,5.303885e-06,5.383728e-06,5.478905e-06,5.515728e-06,5.646363e-06,5.651559e-06,5.775605e-06,5.821788e-06,5.903435e-06,5.989543e-06,6.029833e-06,6.154786e-06,6.278282e-06,6.317491e-06,6.400311e-06,6.477638e-06,6.520868e-06,6.635215e-06,6.639950e-06,6.757554e-06,6.790218e-06,6.873681e-06,6.942649e-06,6.988333e-06,7.092513e-06,7.101513e-06,7.213228e-06,7.239821e-06,7.323482e-06,7.384590e-06,7.432284e-06,7.526836e-06,7.539643e-06,7.645568e-06,7.666581e-06,7.750069e-06,7.803851e-06,7.853159e-06,7.938671e-06,7.954848e-06,8.055150e-06,8.071070e-06,8.154078e-06,8.201079e-06,8.251645e-06,8.328728e-06,8.347865e-06,8.442753e-06,8.454051e-06,8.536324e-06,8.577081e-06,8.628592e-06,8.697854e-06,8.719572e-06,8.809281e-06,8.816404e-06,8.897734e-06,8.932766e-06,8.984946e-06,9.046979e-06,9.070932e-06,9.155710e-06,9.159076e-06,9.239295e-06,9.269096e-06,9.321702e-06,9.377075e-06,9.402948e-06,9.483049e-06,9.587054e-06,9.689128e-06,9.789306e-06,9.887623e-06,9.984116e-06,1.007882e-05,1.017177e-05,1.026300e-05,1.035254e-05,1.044043e-05,1.052669e-05,1.061137e-05,1.069450e-05,1.077610e-05,1.085620e-05,1.093485e-05,1.101206e-05,1.108787e-05,1.116230e-05,1.123538e-05,1.130715e-05,1.137762e-05,1.144683e-05,1.151480e-05
0.000000e+00,3.599588e-17,4.016424e-16,1.409614e-14,1.450071e-13,4.174984e-13,3.984477e-12,4.318528e-12,2.521356e-11,3.852173e-11,1.029492e-10,2.120076e-10,3.296688e-10,8.234447e-10,8.865640e-10,2.091611e-09,2.529155e-09,4.455571e-09,6.556792e-09,8.736699e-09,1.491137e-08,1.597820e-08,2.751368e-08,3.047224e-08,4.493533e-08,5.690874e-08,7.003103e-08,9.843235e-08,1.047033e-07,1.508837e-07,1.594676e-07,2.104549e-07,2.443305e-07,2.851854e-07,3.569701e-07,3.766811e-07,4.863517e-07,5.007925e-07,6.153902e-07,6.785604e-07,7.647641e-07,8.923524e-07,9.352137e-07,1.127256e-06,1.143563e-06,1.341196e-06,1.432933e-06,1.577135e-06,1.760593e-06,1.834989e-06,2.114499e-06,2.126125e-06,2.415254e-06,2.528625e-06,2.736704e-06,2.966775e-06,3.078181e-06,3.438913e-06,3.818044e-06,3.943103e-06,4.214651e-06,4.477202e-06,4.627758e-06,5.038921e-06,5.056349e-06,5.499384e-06,5.625880e-06,5.955812e-06,6.235658e-06,6.424576e-06,6.865832e-06,6.904627e-06,7.394928e-06,7.514012e-06,7.894464e-06,8.177868e-06,8.402245e-06,8.855148e-06,8.917310e-06,9.438731e-06,9.543699e-06,9.965617e-06,1.024147e-05,1.049711e-05,1.094653e-05,1.103240e-05,1.157071e-05,1.165706e-05,1.211129e-05,1.237137e-05,1.265344e-05,1.308786e-05,1.319652e-05,1.373988e-05,1.380507e-05,1.428295e-05,1.452166e-05,1.482517e-05,1.523638e-05,1.536603e-05,1.590505e-05,1.594807e-05,1.644176e-05,1.665571e-05,1.697577e-05,1.735834e-05,1.750666e-05,1.803408e-05,1.805510e-05,1.855770e-05,1.874521e-05,1.907720e-05,1.942797e-05,1.959231e-05,2.010275e-05,2.060828e-05,2.076898e-05,2.110870e-05,2.142618e-05,2.160379e-05,2.207390e-05,2.209337e-05,2.257729e-05,2.271175e-05,2.305540e-05,2.333941e-05,2.352756e-05,2.395659e-05,2.399366e-05,2.445359e-05,2.456305e-05,2.490727e-05,2.515857e-05,2.535462e-05,2.574300e-05,2.579558e-05,2.623009e-05,2.631621e-05,2.665810e-05,2.687809e-05,2.707958e-05,2.742857e-05,2.749452e-05,2.790288e-05,2.796760e-05,2.830465e-05,2.849517e-05,2.869985e-05,2.901127e-05,2.908847e-05,2.947052e-05,2.951593e-05,2.984603e-05,3.000918e-05,3.021501e-05,3.049108e-05,3.057749e-05,3.093350e-05,3.096171e-05,3.128309e-05,3.142113e-05,3.162629e-05,3.186946e-05,3.196314e-05,3.229370e-05,3.230679e-05,3.261801e-05,3.273325e-05,3.293614e-05,3.314896e-05,3.324813e-05,3.355405e-05,3.394867e-05,3.433295e-05,3.470706e-05,3.507115e-05,3.542537e-05,3.576990e-05,3.610488e-05,3.643051e-05,3.674693e-05,3.705433e-05,3.735287e-05,3.764272e-05,3.792406e-05,3.819706e-05,3.846189e-05,3.871871e-05,3.896771e-05,3.920904e-05,3.944287e-05,3.966937e-05,3.988870e-05,4.010102e-05,4.030650e-05,4.050529e-05
0.000000e+00,1.200639e-17,1.354171e-16,4.864716e-15,5.110849e-14,1.488194e-13,1.460499e-12,1.584667e-12,9.486130e-12,1.458298e-11,3.952697e-11,8.219180e-11,1.284943e-10,3.238441e-10,3.488637e-10,8.266297e-10,9.999342e-10,1.761500e-09,2.590093e-09,3.448439e-09,5.878781e-09,6.299059e-09,1.086026e-08,1.203621e-08,1.782639e-08,2.267356e-08,2.804122e-08,3.984765e-08,4.248753e-08,6.226481e-08,6.600214e-08,8.855728e-08,1.038527e-07,1.225966e-07,1.562398e-07,1.656229e-07,2.188478e-07,2.259756e-07,2.834214e-07,3.157064e-07,3.604052e-07,4.278027e-07,4.507505e-07,5.552824e-07,5.642795e-07,6.746905e-07,7.267466e-07,8.095225e-07,9.163845e-07,9.601826e-07,1.126933e-06,1.133940e-06,1.309897e-06,1.379736e-06,1.509068e-06,1.653699e-06,1.724313e-06,1.955387e-06,2.201937e-06,2.284031e-06,2.463518e-06,2.638578e-06,2.739603e-06,3.017733e-06,3.029591e-06,3.332824e-06,3.420008e-06,3.648593e-06,3.843761e-06,3.976149e-06,4.287244e-06,4.314716e-06,4.663498e-06,4.748636e-06,5.021687e-06,5.226079e-06,5.388472e-06,5.717711e-06,5.763044e-06,6.144604e-06,6.221686e-06,6.532368e-06,6.736202e-06,6.925569e-06,7.259513e-06,7.323461e-06,7.725326e-06,7.789947e-06,8.130471e-06,8.325909e-06,8.538231e-06,8.865896e-06,8.947974e-06,9.359097e-06,9.408496e-06,9.771027e-06,9.952391e-06,1.018322e-05,1.049636e-05,1.059518e-05,1.100641e-05,1.103927e-05,1.141647e-05,1.158008e-05,1.182494e-05,1.211784e-05,1.223143e-05,1.263557e-05,1.265168e-05,1.303702e-05,1.318083e-05,1.343547e-05,1.370456e-05,1.383063e-05,1.422223e-05,1.461003e-05,1.473328e-05,1.499379e-05,1.523719e-05,1.537332e-05,1.573351e-05,1.574843e-05,1.611895e-05,1.622185e-05,1.648472e-05,1.670184e-05,1.684560e-05,1.717320e-05,1.720148e-05,1.755224e-05,1.763565e-05,1.789779e-05,1.808899e-05,1.823804e-05,1.853302e-05,1.857292e-05,1.890236e-05,1.896759e-05,1.922631e-05,1.939258e-05,1.954473e-05,1.980791e-05,1.985759e-05,2.016486e-05,2.021350e-05,2.046651e-05,2.060930e-05,2.076254e-05,2.099530e-05,2.105293e-05,2.133770e-05,2.137149e-05,2.161684e-05,2.173789e-05,2.189038e-05,2.209452e-05,2.215831e-05,2.242068e-05,2.244143e-05,2.267749e-05,2.277867e-05,2.292879e-05,2.310632e-05,2.317459e-05,2.341495e-05,2.342445e-05,2.364990e-05,2.373316e-05,2.387947e-05,2.403254e-05,2.410372e-05,2.432270e-05,2.460374e-05,2.487580e-05,2.513898e-05,2.539342e-05,2.563925e-05,2.587661e-05,2.610563e-05,2.632646e-05,2.653923e-05,2.674410e-05,2.694120e-05,2.713069e-05,2.731271e-05,2.748741e-05,2.765493e-05,2.781543e-05,2.796904e-05,2.811593e-05,2.825623e-05,2.839008e-05,2.851763e-05,2.863903e-05,2.875442e-05,2.886393e-05
0.000000e+00,3.048468e-18,3.464394e-17,1.263172e-15,1.345011e-14,3.945396e-14,3.946214e-13,4.285016e-13,2.613691e-12,4.038470e-12,1.108618e-11,2.328871e-11,3.664944e-11,9.372316e-11,1.010879e-10,2.430909e-10,2.950536e-10,5.251694e-10,7.778058e-10,1.041233e-09,1.793543e-09,1.924380e-09,3.354223e-09,3.725240e-09,5.562710e-09,7.112001e-09,8.837109e-09,1.265970e-08,1.351893e-08,1.999802e-08,2.122962e-08,2.870198e-08,3.380213e-08,4.008183e-08,5.142023e-08,5.459541e-08,7.269027e-08,7.512268e-08,9.478737e-08,1.058778e-07,1.212670e-07,1.445267e-07,1.524574e-07,1.886269e-07,1.917421e-07,2.299788e-07,2.480035e-07,2.766496e-07,3.135878e-07,3.287092e-07,3.861642e-07,3.885740e-07,4.489615e-07,4.728573e-07,5.169942e-07,5.661697e-07,5.901076e-07,6.681059e-07,7.507584e-07,7.781487e-07,8.378069e-07,8.956962e-07,9.289711e-07,1.020086e-06,1.023955e-06,1.122453e-06,1.150619e-06,1.224152e-06,1.286577e-06,1.328739e-06,1.427242e-06,1.435903e-06,1.545339e-06,1.571908e-06,1.656748e-06,1.719892e-06,1.769844e-06,1.870544e-06,1.884351e-06,2.000006e-06,2.023252e-06,2.116560e-06,2.177445e-06,2.233779e-06,2.332597e-06,2.351445e-06,2.469351e-06,2.488225e-06,2.587308e-06,2.643894e-06,2.705141e-06,2.799209e-06,2.822688e-06,2.939801e-06,2.953819e-06,3.056345e-06,3.107412e-06,3.172197e-06,3.259712e-06,3.287245e-06,3.401391e-06,3.410480e-06,3.514543e-06,3.559507e-06,3.626622e-06,3.706613e-06,3.737556e-06,3.847282e-06,3.851645e-06,3.955745e-06,3.994473e-06,4.062897e-06,4.134990e-06,4.168697e-06,4.273108e-06,4.376101e-06,4.408755e-06,4.477650e-06,4.541875e-06,4.577737e-06,4.672428e-06,4.676344e-06,4.773459e-06,4.800383e-06,4.869075e-06,4.925721e-06,4.963184e-06,5.048433e-06,5.055786e-06,5.146879e-06,5.168517e-06,5.236467e-06,5.285980e-06,5.324553e-06,5.400833e-06,5.411145e-06,5.496250e-06,5.513093e-06,5.579878e-06,5.622784e-06,5.662040e-06,5.729932e-06,5.742749e-06,5.822017e-06,5.834568e-06,5.899860e-06,5.936723e-06,5.976292e-06,6.036433e-06,6.051330e-06,6.124990e-06,6.133737e-06,6.197289e-06,6.228674e-06,6.268244e-06,6.321283e-06,6.337875e-06,6.406198e-06,6.411608e-06,6.473233e-06,6.499690e-06,6.538998e-06,6.585574e-06,6.603513e-06,6.666797e-06,6.669303e-06,6.728868e-06,6.750920e-06,6.789746e-06,6.830471e-06,6.849450e-06,6.908000e-06,6.983551e-06,7.057167e-06,7.128892e-06,7.198770e-06,7.266842e-06,7.333152e-06,7.397742e-06,7.460651e-06,7.521921e-06,7.581591e-06,7.639701e-06,7.696288e-06,7.751392e-06,7.805047e-06,7.857292e-06,7.908161e-06,7.957688e-06,8.005909e-06,8.052856e-06,8.098562e-06,8.143059e-06,8.186377e-06,8.228547e-06,8.269599e-06
0.000000e+00,7.758516e-17,8.209623e-16,2.583130e-14,2.407078e-13,6.565679e-13,5.452468e-12,5.876319e-12,2.989453e-11,4.399328e-11,1.069694e-10,2.039697e-10,3.015431e-10,6.719302e-10,7.163785e-10,1.497690e-09,1.760085e-09,2.837353e-09,3.918117e-09,4.972766e-09,7.732353e-09,8.184948e-09,1.279509e-08,1.391567e-08,1.915932e-08,2.328842e-08,2.766109e-08,3.674690e-08,3.870037e-08,5.267951e-08,5.521528e-08,6.998659e-08,7.958236e-08,9.097799e-08,1.106335e-07,1.159630e-07,1.451921e-07,1.489943e-07,1.788508e-07,1.950968e-07,2.170577e-07,2.491724e-07,2.598670e-07,3.072739e-07,3.112637e-07,3.592208e-07,3.812492e-07,4.156052e-07,4.588721e-07,4.762867e-07,5.410940e-07,5.437694e-07,6.098312e-07,6.354977e-07,6.822836e-07,7.335572e-07,7.582228e-07,8.374108e-07,9.196045e-07,9.465011e-07,1.004558e-06,1.060264e-06,1.092028e-06,1.178140e-06,1.181771e-06,1.273552e-06,1.299584e-06,1.367140e-06,1.424069e-06,1.462315e-06,1.551094e-06,1.558864e-06,1.656582e-06,1.680188e-06,1.755279e-06,1.810908e-06,1.854771e-06,1.942845e-06,1.954886e-06,2.055463e-06,2.075620e-06,2.156351e-06,2.208889e-06,2.257410e-06,2.342334e-06,2.358507e-06,2.459522e-06,2.475669e-06,2.560342e-06,2.608636e-06,2.660864e-06,2.741003e-06,2.760993e-06,2.860639e-06,2.872561e-06,2.959725e-06,3.003126e-06,3.058176e-06,3.132533e-06,3.155926e-06,3.252915e-06,3.260639e-06,3.349088e-06,3.387317e-06,3.444395e-06,3.512456e-06,3.538794e-06,3.632244e-06,3.635962e-06,3.724711e-06,3.757752e-06,3.816163e-06,3.877757e-06,3.906574e-06,3.995919e-06,4.084178e-06,4.112189e-06,4.171335e-06,4.226530e-06,4.257374e-06,4.338909e-06,4.342284e-06,4.426054e-06,4.449304e-06,4.508678e-06,4.557699e-06,4.590150e-06,4.664083e-06,4.670466e-06,4.749625e-06,4.768451e-06,4.827626e-06,4.870802e-06,4.904472e-06,4.971141e-06,4.980163e-06,5.054704e-06,5.069475e-06,5.128100e-06,5.165815e-06,5.200357e-06,5.260177e-06,5.271481e-06,5.341480e-06,5.352576e-06,5.410362e-06,5.443032e-06,5.478137e-06,5.531566e-06,5.544814e-06,5.610402e-06,5.618200e-06,5.674914e-06,5.702961e-06,5.738359e-06,5.785872e-06,5.800750e-06,5.862098e-06,5.866961e-06,5.922415e-06,5.946256e-06,5.981714e-06,6.023786e-06,6.040007e-06,6.097308e-06,6.099579e-06,6.153628e-06,6.173666e-06,6.208982e-06,6.246077e-06,6.263382e-06,6.316842e-06,6.385992e-06,6.453557e-06,6.519569e-06,6.584058e-06,6.647054e-06,6.708588e-06,6.768691e-06,6.827392e-06,6.884722e-06,6.940708e-06,6.995382e-06,7.048771e-06,7.100903e-06,7.151808e-06,7.201511e-06,7.250041e-06,7.297423e-06,7.343685e-06,7.388852e-06,7.432948e-06,7.476000e-06,7.518031e-06,7.559065e-06,7.599126e-06
0.000000e+00,7.392461e-13,2.657764e-12,1.658400e-11,5.407849e-11,9.242284e-11,2.922046e-10,3.045649e-10,7.627282e-10,9.543383e-10,1.616313e-09,2.398191e-09,3.062716e-09,5.130299e-09,5.350967e-09,8.767223e-09,9.787037e-09,1.359208e-08,1.699595e-08,2.004926e-08,2.719766e-08,2.828236e-08,3.836410e-08,4.060489e-08,5.031620e-08,5.726724e-08,6.412580e-08,7.713490e-08,7.975601e-08,9.715233e-08,1.000953e-07,1.162467e-07,1.259924e-07,1.369605e-07,1.546394e-07,1.592069e-07,1.828929e-07,1.858273e-07,2.079213e-07,2.193336e-07,2.341929e-07,2.549291e-07,2.616075e-07,2.900657e-07,2.923845e-07,3.194701e-07,3.314754e-07,3.497259e-07,3.719861e-07,3.807422e-07,4.124319e-07,4.137123e-07,4.447127e-07,4.564635e-07,4.775072e-07,5.000637e-07,5.107428e-07,5.443518e-07,5.782714e-07,5.891816e-07,6.124435e-07,6.344212e-07,6.468144e-07,6.799519e-07,6.813351e-07,7.159601e-07,7.256681e-07,7.506483e-07,7.714756e-07,7.853618e-07,8.172910e-07,8.200663e-07,8.547304e-07,8.630406e-07,8.893258e-07,9.086595e-07,9.238267e-07,9.540909e-07,9.582099e-07,9.924544e-07,9.992849e-07,1.026541e-06,1.044198e-06,1.060453e-06,1.088794e-06,1.094176e-06,1.127695e-06,1.133038e-06,1.160998e-06,1.176904e-06,1.194075e-06,1.220367e-06,1.226916e-06,1.259513e-06,1.263408e-06,1.291859e-06,1.306009e-06,1.323946e-06,1.348157e-06,1.355770e-06,1.387326e-06,1.389838e-06,1.418609e-06,1.431045e-06,1.449617e-06,1.471770e-06,1.480347e-06,1.510796e-06,1.512008e-06,1.540963e-06,1.551754e-06,1.570846e-06,1.591005e-06,1.600446e-06,1.629761e-06,1.658791e-06,1.668021e-06,1.687537e-06,1.705786e-06,1.716000e-06,1.743057e-06,1.744179e-06,1.772076e-06,1.779837e-06,1.799693e-06,1.816129e-06,1.827030e-06,1.851935e-06,1.854090e-06,1.880874e-06,1.887261e-06,1.907384e-06,1.922110e-06,1.933622e-06,1.956488e-06,1.959590e-06,1.985291e-06,1.990399e-06,2.010727e-06,2.023849e-06,2.035900e-06,2.056844e-06,2.060813e-06,2.085468e-06,2.089389e-06,2.109868e-06,2.121491e-06,2.134016e-06,2.153155e-06,2.157915e-06,2.181566e-06,2.184388e-06,2.204974e-06,2.215196e-06,2.228140e-06,2.245586e-06,2.251067e-06,2.273759e-06,2.275564e-06,2.296218e-06,2.305137e-06,2.318447e-06,2.334311e-06,2.340449e-06,2.362226e-06,2.363092e-06,2.383781e-06,2.391488e-06,2.405118e-06,2.419504e-06,2.426239e-06,2.447147e-06,2.474423e-06,2.501339e-06,2.527901e-06,2.554115e-06,2.579988e-06,2.605525e-06,2.630732e-06,2.655616e-06,2.680183e-06,2.704437e-06,2.728385e-06,2.752032e-06,2.775384e-06,2.798446e-06,2.821224e-06,2.843723e-06,2.865947e-06,2.887903e-06,2.909594e-06,2.931027e-06,2.952205e-06,2.973133e-06,2.993816e-06,3.014259e-06
0.000000e+00,5.019862e-17,5.647958e-16,2.017406e-14,2.108090e-13,6.120573e-13,5.962582e-12,6.467605e-12,3.844686e-11,5.899634e-11,1.592027e-10,3.299223e-10,5.146925e-10,1.291413e-09,1.390682e-09,3.281257e-09,3.965395e-09,6.965141e-09,1.021988e-08,1.358390e-08,2.307562e-08,2.471267e-08,4.240973e-08,4.695358e-08,6.922897e-08,8.776426e-08,1.081840e-07,1.527549e-07,1.626625e-07,2.362995e-07,2.501088e-07,3.328278e-07,3.883774e-07,4.559215e-07,5.758663e-07,6.090518e-07,7.953646e-07,8.200864e-07,1.017587e-06,1.127338e-06,1.277963e-06,1.502449e-06,1.578221e-06,1.919562e-06,1.948668e-06,2.302672e-06,2.467670e-06,2.727746e-06,3.059659e-06,3.194533e-06,3.702373e-06,3.723528e-06,4.250253e-06,4.457045e-06,4.836852e-06,5.257063e-06,5.460599e-06,6.119712e-06,6.812251e-06,7.040589e-06,7.536155e-06,8.014926e-06,8.289279e-06,9.037730e-06,9.069427e-06,9.874381e-06,1.010391e-05,1.070192e-05,1.120838e-05,1.154986e-05,1.234612e-05,1.241604e-05,1.329834e-05,1.351227e-05,1.419474e-05,1.470214e-05,1.510326e-05,1.591128e-05,1.602201e-05,1.694918e-05,1.713547e-05,1.788303e-05,1.837073e-05,1.882193e-05,1.961336e-05,1.976432e-05,2.070873e-05,2.085993e-05,2.165377e-05,2.210724e-05,2.259816e-05,2.335236e-05,2.354065e-05,2.448013e-05,2.459261e-05,2.541551e-05,2.582552e-05,2.634581e-05,2.704886e-05,2.727010e-05,2.818754e-05,2.826062e-05,2.909733e-05,2.945895e-05,2.999876e-05,3.064222e-05,3.089114e-05,3.177387e-05,3.180897e-05,3.264639e-05,3.295790e-05,3.350820e-05,3.408786e-05,3.435882e-05,3.519786e-05,3.602493e-05,3.628701e-05,3.683970e-05,3.735457e-05,3.764189e-05,3.839990e-05,3.843122e-05,3.920749e-05,3.942248e-05,3.997050e-05,4.042187e-05,4.072009e-05,4.139774e-05,4.145612e-05,4.217849e-05,4.234981e-05,4.288711e-05,4.327792e-05,4.358194e-05,4.418193e-05,4.426292e-05,4.493005e-05,4.506181e-05,4.558331e-05,4.591755e-05,4.622275e-05,4.674921e-05,4.684838e-05,4.746026e-05,4.755689e-05,4.805846e-05,4.834076e-05,4.864305e-05,4.910099e-05,4.921413e-05,4.977178e-05,4.983780e-05,5.031613e-05,5.055146e-05,5.084730e-05,5.124225e-05,5.136541e-05,5.187061e-05,5.191047e-05,5.236303e-05,5.255646e-05,5.284283e-05,5.318056e-05,5.331016e-05,5.376519e-05,5.378314e-05,5.420808e-05,5.436459e-05,5.463901e-05,5.492529e-05,5.505814e-05,5.546565e-05,5.598609e-05,5.648702e-05,5.696888e-05,5.743209e-05,5.787708e-05,5.830430e-05,5.871418e-05,5.910715e-05,5.948365e-05,5.984411e-05,6.018896e-05,6.051864e-05,6.083356e-05,6.113414e-05,6.142079e-05,6.169394e-05,6.195397e-05,6.220129e-05,6.243628e-05,6.265934e-05,6.287084e-05,6.307114e-05,6.326062e-05,6.343962e-05
0.000000e+00,4.187374e-15,4.484912e-14,1.478759e-12,1.467944e-11,4.173819e-11,3.929779e-10,4.259035e-10,2.508941e-09,3.854088e-09,1.049161e-08,2.202633e-08,3.474679e-08,9.001866e-08,9.724452e-08,2.396541e-07,2.929471e-07,5.344849e-07,8.075907e-07,1.099001e-06,1.958175e-06,2.110819e-06,3.823539e-06,4.278705e-06,6.580719e-06,8.570519e-06,1.082681e-05,1.594501e-05,1.711416e-05,2.610566e-05,2.784531e-05,3.857277e-05,4.604449e-05,5.538950e-05,7.262130e-05,7.752233e-05,1.060169e-04,1.099159e-04,1.419822e-04,1.604697e-04,1.865718e-04,2.269533e-04,2.409653e-04,3.063474e-04,3.120879e-04,3.838875e-04,4.185635e-04,4.747198e-04,5.489584e-04,5.799239e-04,7.005075e-04,7.056641e-04,8.373894e-04,8.908174e-04,9.913860e-04,1.106243e-03,1.163199e-03,1.353405e-03,1.562449e-03,1.633377e-03,1.790641e-03,1.946816e-03,2.038149e-03,2.293957e-03,2.305002e-03,2.591091e-03,2.674613e-03,2.896173e-03,3.088189e-03,3.219875e-03,3.533701e-03,3.561701e-03,3.921039e-03,4.009809e-03,4.297174e-03,4.514847e-03,4.689293e-03,5.046871e-03,5.096501e-03,5.517823e-03,5.603692e-03,5.952226e-03,6.182925e-03,6.398620e-03,6.782033e-03,6.855876e-03,7.322832e-03,7.398366e-03,7.798306e-03,8.029208e-03,8.281103e-03,8.671811e-03,8.770029e-03,9.263894e-03,9.323433e-03,9.761521e-03,9.981371e-03,1.026176e-02,1.064299e-02,1.076347e-02,1.126558e-02,1.130573e-02,1.176701e-02,1.196717e-02,1.226676e-02,1.262500e-02,1.276386e-02,1.325739e-02,1.327705e-02,1.374649e-02,1.392131e-02,1.423032e-02,1.455594e-02,1.470814e-02,1.517924e-02,1.564296e-02,1.578969e-02,1.609870e-02,1.638594e-02,1.654593e-02,1.696679e-02,1.698414e-02,1.741290e-02,1.753120e-02,1.783182e-02,1.807830e-02,1.824055e-02,1.860735e-02,1.863882e-02,1.902635e-02,1.911774e-02,1.940296e-02,1.960903e-02,1.976848e-02,2.008085e-02,2.012278e-02,2.046577e-02,2.053300e-02,2.079740e-02,2.096534e-02,2.111764e-02,2.137785e-02,2.142651e-02,2.172403e-02,2.177058e-02,2.201027e-02,2.214368e-02,2.228531e-02,2.249735e-02,2.254926e-02,2.280223e-02,2.283186e-02,2.304439e-02,2.314754e-02,2.327587e-02,2.344477e-02,2.349686e-02,2.370754e-02,2.372396e-02,2.390812e-02,2.398556e-02,2.409878e-02,2.423005e-02,2.427976e-02,2.445126e-02,2.445793e-02,2.461353e-02,2.466973e-02,2.476678e-02,2.486597e-02,2.491126e-02,2.504721e-02,2.521400e-02,2.536689e-02,2.550643e-02,2.563319e-02,2.574771e-02,2.585053e-02,2.594219e-02,2.602321e-02,2.609410e-02,2.615536e-02,2.620747e-02,2.625093e-02,2.628617e-02,2.631366e-02,2.633381e-02,2.634704e-02,2.635376e-02,2.635435e-02,2.634917e-02,2.633859e-02,2.632294e-02,2.630255e-02,2.627774e-02,2.624879e-02
0.000000e+00,1.366372e-15,1.507135e-14,5.222418e-13,5.371453e-12,1.552643e-11,1.514205e-10,1.643115e-10,9.941980e-10,1.536788e-09,4.242753e-09,8.996090e-09,1.427459e-08,3.740896e-08,4.044771e-08,1.006674e-07,1.233064e-07,2.262957e-07,3.432198e-07,4.683308e-07,8.385128e-07,9.044301e-07,1.646108e-06,1.843713e-06,2.845409e-06,3.713704e-06,4.700440e-06,6.945434e-06,7.459349e-06,1.142248e-05,1.219117e-05,1.694258e-05,2.026189e-05,2.442316e-05,3.212064e-05,3.431502e-05,4.711103e-05,4.886649e-05,6.333970e-05,7.171035e-05,8.355741e-05,1.019445e-04,1.083398e-04,1.382725e-04,1.409072e-04,1.739416e-04,1.899451e-04,2.159238e-04,2.503743e-04,2.647771e-04,3.210312e-04,3.234424e-04,3.851794e-04,4.102931e-04,4.576703e-04,5.119344e-04,5.389011e-04,6.292117e-04,7.288794e-04,7.627857e-04,8.381156e-04,9.131172e-04,9.570631e-04,1.080457e-03,1.085794e-03,1.224311e-03,1.264841e-03,1.372544e-03,1.466095e-03,1.530359e-03,1.683836e-03,1.697550e-03,1.873854e-03,1.917488e-03,2.058944e-03,2.166293e-03,2.252442e-03,2.429334e-03,2.453917e-03,2.662897e-03,2.705548e-03,2.878866e-03,2.993752e-03,3.101278e-03,3.292663e-03,3.329558e-03,3.563108e-03,3.600924e-03,3.801313e-03,3.917121e-03,4.043547e-03,4.239809e-03,4.289176e-03,4.537565e-03,4.567528e-03,4.788083e-03,4.898824e-03,5.040104e-03,5.232266e-03,5.293013e-03,5.546211e-03,5.566461e-03,5.799114e-03,5.900066e-03,6.051160e-03,6.231799e-03,6.301810e-03,6.550548e-03,6.560451e-03,6.796885e-03,6.884889e-03,7.040361e-03,7.204068e-03,7.280542e-03,7.517026e-03,7.749439e-03,7.822895e-03,7.977440e-03,8.120898e-03,8.200714e-03,8.410350e-03,8.418981e-03,8.631987e-03,8.690654e-03,8.839508e-03,8.961304e-03,9.041347e-03,9.221875e-03,9.237336e-03,9.427331e-03,9.472025e-03,9.611218e-03,9.711489e-03,9.788901e-03,9.940075e-03,9.960311e-03,1.012540e-02,1.015766e-02,1.028414e-02,1.036418e-02,1.043653e-02,1.055963e-02,1.058257e-02,1.072229e-02,1.074406e-02,1.085573e-02,1.091756e-02,1.098295e-02,1.108029e-02,1.110401e-02,1.121901e-02,1.123240e-02,1.132803e-02,1.137413e-02,1.143117e-02,1.150569e-02,1.152854e-02,1.162027e-02,1.162737e-02,1.170647e-02,1.173943e-02,1.178728e-02,1.184220e-02,1.186283e-02,1.193326e-02,1.193597e-02,1.199871e-02,1.202108e-02,1.205933e-02,1.209787e-02,1.211526e-02,1.216666e-02,1.222782e-02,1.228167e-02,1.232857e-02,1.236885e-02,1.240285e-02,1.243090e-02,1.245332e-02,1.247043e-02,1.248255e-02,1.248996e-02,1.249296e-02,1.249183e-02,1.248683e-02,1.247824e-02,1.246630e-02,1.245125e-02,1.243331e-02,1.241271e-02,1.238966e-02,1.236435e-02,1.233697e-02,1.230771e-02,1.227672e-02,1.224418e-02
0.000000e+00,2.484731e-12,9.331640e-12,6.117576e-11,2.045317e-10,3.529224e-10,1.133864e-09,1.182340e-09,2.978972e-09,3.728218e-09,6.302526e-09,9.314998e-09,1.185383e-08,1.965186e-08,2.047667e-08,3.312012e-08,3.686159e-08,5.075771e-08,6.316557e-08,7.431970e-08,1.006445e-07,1.046727e-07,1.426249e-07,1.511946e-07,1.889327e-07,2.165517e-07,2.443031e-07,2.982978e-07,3.093900e-07,3.847896e-07,3.978470e-07,4.710339e-07,5.164217e-07,5.685848e-07,6.550287e-07,6.778289e-07,7.990737e-07,8.144411e-07,9.325457e-07,9.951873e-07,1.078390e-06,1.197548e-06,1.236670e-06,1.407373e-06,1.421564e-06,1.590411e-06,1.667046e-06,1.785625e-06,1.933598e-06,1.992795e-06,2.211642e-06,2.220634e-06,2.441836e-06,2.527412e-06,2.683001e-06,2.853050e-06,2.934724e-06,3.196562e-06,3.468044e-06,3.556876e-06,3.748681e-06,3.932859e-06,4.037966e-06,4.323341e-06,4.335387e-06,4.640423e-06,4.727127e-06,4.952554e-06,5.143020e-06,5.271258e-06,5.569829e-06,5.596021e-06,5.926335e-06,6.006381e-06,6.261702e-06,6.451532e-06,6.601633e-06,6.904171e-06,6.945654e-06,7.293304e-06,7.363229e-06,7.644134e-06,7.827679e-06,7.997714e-06,8.296541e-06,8.353628e-06,8.711474e-06,8.768883e-06,9.070871e-06,9.243823e-06,9.431449e-06,9.720526e-06,9.792858e-06,1.015476e-05,1.019821e-05,1.051684e-05,1.067613e-05,1.087879e-05,1.115361e-05,1.124032e-05,1.160117e-05,1.163000e-05,1.196106e-05,1.210469e-05,1.231975e-05,1.257714e-05,1.267701e-05,1.303263e-05,1.304682e-05,1.338639e-05,1.351325e-05,1.373810e-05,1.397601e-05,1.408759e-05,1.443467e-05,1.477920e-05,1.488888e-05,1.512101e-05,1.533829e-05,1.545998e-05,1.578259e-05,1.579597e-05,1.612886e-05,1.622150e-05,1.645854e-05,1.665477e-05,1.678491e-05,1.708217e-05,1.710788e-05,1.742735e-05,1.750349e-05,1.774324e-05,1.791856e-05,1.805550e-05,1.832721e-05,1.836404e-05,1.866881e-05,1.872930e-05,1.896975e-05,1.912472e-05,1.926683e-05,1.951335e-05,1.955999e-05,1.984920e-05,1.989511e-05,2.013444e-05,2.026993e-05,2.041566e-05,2.063774e-05,2.069285e-05,2.096600e-05,2.099850e-05,2.123508e-05,2.135219e-05,2.150009e-05,2.169877e-05,2.176102e-05,2.201787e-05,2.203824e-05,2.227063e-05,2.237060e-05,2.251932e-05,2.269585e-05,2.276393e-05,2.300448e-05,2.301402e-05,2.324098e-05,2.332513e-05,2.347343e-05,2.362921e-05,2.370187e-05,2.392630e-05,2.421645e-05,2.449971e-05,2.477613e-05,2.504579e-05,2.530873e-05,2.556504e-05,2.581479e-05,2.605805e-05,2.629491e-05,2.652544e-05,2.674973e-05,2.696786e-05,2.717994e-05,2.738603e-05,2.758625e-05,2.778067e-05,2.796940e-05,2.815252e-05,2.833013e-05,2.850233e-05,2.866921e-05,2.883087e-05,2.898740e-05,2.913890e-05
0.000000e+00,1.575016e-13,8.989336e-13,9.698802e-12,4.146102e-11,7.845231e-11,2.962703e-10,3.104767e-10,8.619778e-10,1.100793e-09,1.942410e-09,2.953567e-09,3.820339e-09,6.539876e-09,6.831631e-09,1.138252e-08,1.275434e-08,1.793312e-08,2.265069e-08,2.695090e-08,3.725942e-08,3.885140e-08,5.396179e-08,5.739132e-08,7.251873e-08,8.358656e-08,9.468391e-08,1.161686e-07,1.205614e-07,1.502101e-07,1.553059e-07,1.836523e-07,2.010501e-07,2.208777e-07,2.533568e-07,2.618476e-07,3.064962e-07,3.120972e-07,3.547336e-07,3.770667e-07,4.064473e-07,4.479940e-07,4.615051e-07,5.197577e-07,5.245511e-07,5.810412e-07,6.063644e-07,6.451805e-07,6.930259e-07,7.119914e-07,7.812839e-07,7.841045e-07,8.528648e-07,8.791566e-07,9.265397e-07,9.777361e-07,1.002115e-06,1.079402e-06,1.158214e-06,1.183726e-06,1.238370e-06,1.290296e-06,1.319699e-06,1.398725e-06,1.402035e-06,1.485221e-06,1.508645e-06,1.569108e-06,1.619717e-06,1.653555e-06,1.731629e-06,1.738432e-06,1.823616e-06,1.844092e-06,1.908992e-06,1.956847e-06,1.994454e-06,2.069655e-06,2.079906e-06,2.165254e-06,2.182305e-06,2.250418e-06,2.294604e-06,2.335320e-06,2.406384e-06,2.419890e-06,2.504065e-06,2.517492e-06,2.587786e-06,2.627795e-06,2.671001e-06,2.737176e-06,2.753661e-06,2.835725e-06,2.845530e-06,2.917152e-06,2.952769e-06,2.997908e-06,3.058815e-06,3.077962e-06,3.157286e-06,3.163600e-06,3.235855e-06,3.267066e-06,3.313648e-06,3.369167e-06,3.390645e-06,3.466830e-06,3.469860e-06,3.542189e-06,3.569113e-06,3.616709e-06,3.666898e-06,3.690380e-06,3.763193e-06,3.835143e-06,3.857983e-06,3.906222e-06,3.951254e-06,3.976427e-06,4.042998e-06,4.045755e-06,4.114204e-06,4.133212e-06,4.181774e-06,4.221894e-06,4.248465e-06,4.309045e-06,4.314278e-06,4.379215e-06,4.394670e-06,4.443279e-06,4.478775e-06,4.506473e-06,4.561367e-06,4.568801e-06,4.630267e-06,4.642458e-06,4.690877e-06,4.722058e-06,4.750636e-06,4.800180e-06,4.809550e-06,4.867624e-06,4.876839e-06,4.924866e-06,4.952049e-06,4.981282e-06,5.025826e-06,5.036880e-06,5.091667e-06,5.098187e-06,5.145650e-06,5.169149e-06,5.198837e-06,5.238731e-06,5.251235e-06,5.302854e-06,5.306951e-06,5.353702e-06,5.373826e-06,5.403785e-06,5.439378e-06,5.453114e-06,5.501696e-06,5.503624e-06,5.549540e-06,5.566584e-06,5.596654e-06,5.628279e-06,5.643047e-06,5.688727e-06,5.747949e-06,5.805965e-06,5.862794e-06,5.918457e-06,5.972972e-06,6.026360e-06,6.078639e-06,6.129831e-06,6.179953e-06,6.229024e-06,6.277064e-06,6.324092e-06,6.370124e-06,6.415181e-06,6.459280e-06,6.502438e-06,6.544673e-06,6.586003e-06,6.626444e-06,6.666014e-06,6.704728e-06,6.742604e-06,6.779657e-06,6.815903e-06
0.000000e+00,9.810688e-12,3.147143e-11,1.748595e-10,5.416423e-10,9.085966e-10,2.778281e-09,2.892636e-09,7.072026e-09,8.794481e-09,1.466399e-08,2.147214e-08,2.717758e-08,4.459664e-08,4.643352e-08,7.455677e-08,8.288415e-08,1.138960e-07,1.417217e-07,1.668435e-07,2.264634e-07,2.356184e-07,3.221259e-07,3.416986e-07,4.279293e-07,4.910000e-07,5.542818e-07,6.770261e-07,7.021687e-07,8.723419e-07,9.016768e-07,1.065344e-06,1.166203e-06,1.281525e-06,1.471281e-06,1.521058e-06,1.783955e-06,1.817068e-06,2.070078e-06,2.203265e-06,2.379156e-06,2.629172e-06,2.710800e-06,3.064518e-06,3.093752e-06,3.439731e-06,3.595691e-06,3.835787e-06,4.133455e-06,4.251973e-06,4.687530e-06,4.705344e-06,5.141660e-06,5.309535e-06,5.613539e-06,5.944126e-06,6.102326e-06,6.607166e-06,7.127201e-06,7.296682e-06,7.661574e-06,8.010704e-06,8.209433e-06,8.747282e-06,8.769934e-06,9.342246e-06,9.504499e-06,9.925553e-06,1.028048e-05,1.051906e-05,1.107341e-05,1.112197e-05,1.173354e-05,1.188152e-05,1.235302e-05,1.270312e-05,1.297969e-05,1.353656e-05,1.361286e-05,1.425183e-05,1.438027e-05,1.489597e-05,1.523276e-05,1.554464e-05,1.609258e-05,1.619723e-05,1.685315e-05,1.695837e-05,1.751183e-05,1.782882e-05,1.817273e-05,1.870269e-05,1.883532e-05,1.949911e-05,1.957882e-05,2.016360e-05,2.045608e-05,2.082834e-05,2.133343e-05,2.149288e-05,2.215680e-05,2.220987e-05,2.281969e-05,2.308447e-05,2.348116e-05,2.395634e-05,2.414085e-05,2.479841e-05,2.482466e-05,2.545349e-05,2.568865e-05,2.610578e-05,2.654759e-05,2.675498e-05,2.740080e-05,2.804296e-05,2.824764e-05,2.868121e-05,2.908752e-05,2.931530e-05,2.991990e-05,2.994500e-05,3.057010e-05,3.074428e-05,3.119039e-05,3.156018e-05,3.180568e-05,3.236717e-05,3.241578e-05,3.302053e-05,3.316486e-05,3.361977e-05,3.395289e-05,3.421336e-05,3.473092e-05,3.480114e-05,3.538301e-05,3.549866e-05,3.595883e-05,3.625584e-05,3.652851e-05,3.700222e-05,3.709194e-05,3.764903e-05,3.773757e-05,3.819970e-05,3.846172e-05,3.874387e-05,3.917448e-05,3.928148e-05,3.981246e-05,3.987573e-05,4.033676e-05,4.056533e-05,4.085435e-05,4.124318e-05,4.136516e-05,4.186918e-05,4.190921e-05,4.236637e-05,4.256333e-05,4.285671e-05,4.320551e-05,4.334019e-05,4.381679e-05,4.383571e-05,4.428650e-05,4.445392e-05,4.474933e-05,4.506012e-05,4.520527e-05,4.565434e-05,4.623659e-05,4.680690e-05,4.736533e-05,4.791193e-05,4.844676e-05,4.896990e-05,4.948143e-05,4.998144e-05,5.047003e-05,5.094730e-05,5.141336e-05,5.186833e-05,5.231232e-05,5.274547e-05,5.316791e-05,5.357976e-05,5.398116e-05,5.437225e-05,5.475319e-05,5.512410e-05,5.548515e-05,5.583647e-05,5.617822e-05,5.651056e-05
0.000000e+00,2.028369e-14,1.536706e-13,2.576790e-12,1.452505e-11,3.087434e-11,1.455036e-10,1.535752e-10,4.916401e-10,6.469240e-10,1.215143e-09,1.921840e-09,2.538792e-09,4.505448e-09,4.717924e-09,8.044978e-09,9.049852e-09,1.284604e-08,1.630998e-08,1.947674e-08,2.712591e-08,2.831621e-08,3.975749e-08,4.239273e-08,5.419342e-08,6.300934e-08,7.199923e-08,8.981133e-08,9.351623e-08,1.190406e-07,1.235135e-07,1.488186e-07,1.646824e-07,1.830466e-07,2.137344e-07,2.218732e-07,2.654024e-07,2.709453e-07,3.136964e-07,3.364625e-07,3.667782e-07,4.103158e-07,4.246350e-07,4.872206e-07,4.924296e-07,5.544587e-07,5.826344e-07,6.262462e-07,6.806797e-07,7.024560e-07,7.829408e-07,7.862468e-07,8.675357e-07,8.989621e-07,9.560622e-07,1.018409e-06,1.048330e-06,1.144141e-06,1.243291e-06,1.275690e-06,1.345572e-06,1.412579e-06,1.450775e-06,1.554324e-06,1.558690e-06,1.669110e-06,1.700448e-06,1.781830e-06,1.850482e-06,1.896649e-06,2.003969e-06,2.013372e-06,2.131809e-06,2.160468e-06,2.251776e-06,2.319559e-06,2.373095e-06,2.480838e-06,2.495595e-06,2.619114e-06,2.643927e-06,2.743496e-06,2.808465e-06,2.868590e-06,2.974117e-06,2.994256e-06,3.120358e-06,3.140567e-06,3.246770e-06,3.307521e-06,3.373369e-06,3.474708e-06,3.500043e-06,3.626683e-06,3.641873e-06,3.753189e-06,3.808784e-06,3.879465e-06,3.975226e-06,4.005422e-06,4.130976e-06,4.141001e-06,4.256049e-06,4.305927e-06,4.380568e-06,4.469840e-06,4.504465e-06,4.627676e-06,4.632589e-06,4.750142e-06,4.794037e-06,4.871809e-06,4.954060e-06,4.992626e-06,5.112548e-06,5.231529e-06,5.269399e-06,5.349532e-06,5.424524e-06,5.466521e-06,5.577844e-06,5.582461e-06,5.697324e-06,5.729289e-06,5.811083e-06,5.878797e-06,5.923712e-06,6.026315e-06,6.035190e-06,6.145498e-06,6.171795e-06,6.254617e-06,6.315200e-06,6.362534e-06,6.456496e-06,6.469235e-06,6.574709e-06,6.595655e-06,6.678946e-06,6.732658e-06,6.781938e-06,6.867486e-06,6.883680e-06,6.984167e-06,7.000128e-06,7.083395e-06,7.130576e-06,7.181362e-06,7.258827e-06,7.278067e-06,7.373512e-06,7.384880e-06,7.467696e-06,7.508739e-06,7.560623e-06,7.630409e-06,7.652297e-06,7.742720e-06,7.749900e-06,7.831898e-06,7.867222e-06,7.919837e-06,7.982390e-06,8.006544e-06,8.092024e-06,8.095418e-06,8.176287e-06,8.206325e-06,8.259340e-06,8.315129e-06,8.341192e-06,8.421852e-06,8.526515e-06,8.629141e-06,8.729755e-06,8.828381e-06,8.925046e-06,9.019776e-06,9.112599e-06,9.203542e-06,9.292634e-06,9.379903e-06,9.465377e-06,9.549086e-06,9.631058e-06,9.711324e-06,9.789911e-06,9.866851e-06,9.942170e-06,1.001590e-05,1.008807e-05,1.015870e-05,1.022783e-05,1.029549e-05,1.036170e-05,1.042649e-05
0.000000e+00,3.210896e-18,3.650055e-17,1.332971e-15,1.421570e-14,4.173701e-14,4.183654e-13,4.543218e-13,2.776344e-12,4.291707e-12,1.179314e-11,2.479040e-11,3.902683e-11,9.986152e-11,1.077124e-10,2.590724e-10,3.144443e-10,5.595249e-10,8.283102e-10,1.108241e-09,1.905735e-09,2.044134e-09,3.551084e-09,3.940510e-09,5.860210e-09,7.468212e-09,9.248476e-09,1.315998e-08,1.403357e-08,2.056558e-08,2.179745e-08,2.921632e-08,3.423328e-08,4.036750e-08,5.134406e-08,5.439846e-08,7.167459e-08,7.398230e-08,9.253673e-08,1.029327e-07,1.172922e-07,1.388760e-07,1.462077e-07,1.795033e-07,1.823616e-07,2.173495e-07,2.337906e-07,2.598652e-07,2.934073e-07,3.071170e-07,3.591207e-07,3.612994e-07,4.158436e-07,4.374053e-07,4.772073e-07,5.215262e-07,5.430926e-07,6.133434e-07,6.877719e-07,7.124371e-07,7.661641e-07,8.183072e-07,8.482845e-07,9.303940e-07,9.338814e-07,1.022692e-06,1.048097e-06,1.114445e-06,1.170796e-06,1.208868e-06,1.297861e-06,1.305688e-06,1.404637e-06,1.428672e-06,1.505451e-06,1.562627e-06,1.607877e-06,1.699151e-06,1.711671e-06,1.816600e-06,1.837703e-06,1.922445e-06,1.977777e-06,2.028999e-06,2.118911e-06,2.136069e-06,2.243475e-06,2.260680e-06,2.351051e-06,2.402703e-06,2.458644e-06,2.544635e-06,2.566113e-06,2.673329e-06,2.686172e-06,2.780177e-06,2.827045e-06,2.886550e-06,2.967017e-06,2.992353e-06,3.097500e-06,3.105881e-06,3.201914e-06,3.243459e-06,3.305527e-06,3.379598e-06,3.408278e-06,3.510112e-06,3.514166e-06,3.610983e-06,3.647052e-06,3.710849e-06,3.778164e-06,3.809673e-06,3.907424e-06,4.004075e-06,4.034767e-06,4.099604e-06,4.160144e-06,4.193990e-06,4.283512e-06,4.287219e-06,4.379277e-06,4.404842e-06,4.470154e-06,4.524110e-06,4.559842e-06,4.641300e-06,4.648335e-06,4.735631e-06,4.756403e-06,4.821727e-06,4.869416e-06,4.906622e-06,4.980339e-06,4.990319e-06,5.072821e-06,5.089178e-06,5.154129e-06,5.195941e-06,5.234251e-06,5.300640e-06,5.313191e-06,5.390957e-06,5.403290e-06,5.467555e-06,5.503909e-06,5.542993e-06,5.602516e-06,5.617282e-06,5.690430e-06,5.699131e-06,5.762446e-06,5.793778e-06,5.833342e-06,5.886480e-06,5.903128e-06,5.971815e-06,5.977262e-06,6.039414e-06,6.066151e-06,6.105937e-06,6.153174e-06,6.171395e-06,6.235802e-06,6.238357e-06,6.299169e-06,6.321729e-06,6.361508e-06,6.403318e-06,6.422832e-06,6.483154e-06,6.561265e-06,6.637681e-06,6.712432e-06,6.785547e-06,6.857055e-06,6.926987e-06,6.995371e-06,7.062237e-06,7.127613e-06,7.191530e-06,7.254015e-06,7.315097e-06,7.374805e-06,7.433165e-06,7.490206e-06,7.545954e-06,7.600438e-06,7.653682e-06,7.705714e-06,7.756559e-06,7.806242e-06,7.854790e-06,7.902225e-06,7.948573e-06
0.000000e+00,1.291802e-13,7.726471e-13,8.920683e-12,3.967014e-11,7.627398e-11,2.966235e-10,3.111304e-10,8.786571e-10,1.125595e-09,1.996763e-09,3.041782e-09,3.934704e-09,6.716225e-09,7.012836e-09,1.159950e-08,1.296911e-08,1.809720e-08,2.272376e-08,2.691494e-08,3.690188e-08,3.843974e-08,5.302197e-08,5.633339e-08,7.097315e-08,8.173164e-08,9.256747e-08,1.136972e-07,1.180428e-07,1.476006e-07,1.527201e-07,1.814048e-07,1.991776e-07,2.195815e-07,2.533312e-07,2.622183e-07,3.093653e-07,3.153270e-07,3.610357e-07,3.851993e-07,4.172080e-07,4.628781e-07,4.778289e-07,5.428156e-07,5.482001e-07,6.120597e-07,6.409208e-07,6.854304e-07,7.407290e-07,7.627778e-07,8.439370e-07,8.472602e-07,9.287304e-07,9.601099e-07,1.016971e-06,1.078846e-06,1.108466e-06,1.203019e-06,1.300429e-06,1.332171e-06,1.400497e-06,1.465845e-06,1.503027e-06,1.603590e-06,1.607823e-06,1.714695e-06,1.744966e-06,1.823457e-06,1.889546e-06,1.933928e-06,2.036922e-06,2.045935e-06,2.159309e-06,2.186705e-06,2.273891e-06,2.338526e-06,2.389526e-06,2.492039e-06,2.506067e-06,2.623374e-06,2.646916e-06,2.741316e-06,2.802853e-06,2.859764e-06,2.959566e-06,2.978602e-06,3.097715e-06,3.116791e-06,3.216997e-06,3.274283e-06,3.336349e-06,3.431817e-06,3.455676e-06,3.574889e-06,3.589183e-06,3.693907e-06,3.746192e-06,3.812650e-06,3.902667e-06,3.931047e-06,4.049029e-06,4.058448e-06,4.166534e-06,4.213389e-06,4.283502e-06,4.367356e-06,4.399879e-06,4.515615e-06,4.520230e-06,4.630662e-06,4.671901e-06,4.744976e-06,4.822271e-06,4.858518e-06,4.971252e-06,5.083143e-06,5.118765e-06,5.194161e-06,5.264740e-06,5.304276e-06,5.409116e-06,5.413465e-06,5.521704e-06,5.551838e-06,5.628971e-06,5.692858e-06,5.735249e-06,5.832136e-06,5.840520e-06,5.944770e-06,5.969637e-06,6.047986e-06,6.105331e-06,6.150157e-06,6.239195e-06,6.251273e-06,6.351325e-06,6.371208e-06,6.450308e-06,6.501355e-06,6.548216e-06,6.629625e-06,6.645045e-06,6.740791e-06,6.756010e-06,6.835453e-06,6.880506e-06,6.929031e-06,7.003111e-06,7.021523e-06,7.112931e-06,7.123828e-06,7.203258e-06,7.242659e-06,7.292504e-06,7.359612e-06,7.380675e-06,7.467773e-06,7.474695e-06,7.553803e-06,7.587918e-06,7.638771e-06,7.699293e-06,7.722682e-06,7.805542e-06,7.808835e-06,7.887359e-06,7.916558e-06,7.968138e-06,8.022479e-06,8.047887e-06,8.126615e-06,8.228986e-06,8.329609e-06,8.428507e-06,8.525698e-06,8.621206e-06,8.715052e-06,8.807259e-06,8.897849e-06,8.986845e-06,9.074272e-06,9.160152e-06,9.244509e-06,9.327368e-06,9.408751e-06,9.488683e-06,9.567188e-06,9.644289e-06,9.720010e-06,9.794374e-06,9.867405e-06,9.939126e-06,1.000956e-05,1.007873e-05,1.014666e-05
0.000000e+00,1.015190e-17,1.189340e-16,4.620779e-15,5.217760e-14,1.581286e-13,1.722374e-12,1.876804e-12,1.247689e-11,1.973911e-11,5.752370e-11,1.268731e-10,2.061382e-10,5.663681e-10,6.146275e-10,1.593187e-09,1.968017e-09,3.698946e-09,5.695848e-09,7.855915e-09,1.433478e-08,1.549846e-08,2.873066e-08,3.228993e-08,5.049102e-08,6.643803e-08,8.471040e-08,1.267510e-07,1.364514e-07,2.120188e-07,2.268110e-07,3.190335e-07,3.841525e-07,4.664630e-07,6.203823e-07,6.646054e-07,9.250272e-07,9.610561e-07,1.260454e-06,1.435310e-06,1.684619e-06,2.075261e-06,2.212073e-06,2.857960e-06,2.915210e-06,3.637773e-06,3.990688e-06,4.567080e-06,5.337394e-06,5.661254e-06,6.935193e-06,6.990092e-06,8.403039e-06,8.981498e-06,1.007792e-05,1.134123e-05,1.197173e-05,1.409484e-05,1.645602e-05,1.726306e-05,1.906219e-05,2.086109e-05,2.191833e-05,2.489817e-05,2.502741e-05,2.839033e-05,2.937733e-05,3.200592e-05,3.429530e-05,3.587095e-05,3.964264e-05,3.998021e-05,4.432655e-05,4.540400e-05,4.890106e-05,5.155857e-05,5.369315e-05,5.808060e-05,5.869072e-05,6.388034e-05,6.494004e-05,6.924739e-05,7.210323e-05,7.477628e-05,7.953366e-05,8.045064e-05,8.625345e-05,8.719267e-05,9.216731e-05,9.504022e-05,9.817454e-05,1.030356e-04,1.042574e-04,1.103981e-04,1.111381e-04,1.165793e-04,1.193074e-04,1.227839e-04,1.275046e-04,1.289951e-04,1.351968e-04,1.356921e-04,1.413738e-04,1.438344e-04,1.475113e-04,1.518981e-04,1.535955e-04,1.596134e-04,1.598525e-04,1.655527e-04,1.676695e-04,1.714025e-04,1.753239e-04,1.771524e-04,1.827931e-04,1.883163e-04,1.900577e-04,1.937145e-04,1.971007e-04,1.989812e-04,2.039082e-04,2.041107e-04,2.090982e-04,2.104687e-04,2.139398e-04,2.167733e-04,2.186322e-04,2.228154e-04,2.231731e-04,2.275606e-04,2.285906e-04,2.317936e-04,2.340963e-04,2.358716e-04,2.393320e-04,2.397946e-04,2.435632e-04,2.442985e-04,2.471786e-04,2.489984e-04,2.506420e-04,2.534352e-04,2.539554e-04,2.571210e-04,2.576139e-04,2.601413e-04,2.615402e-04,2.630190e-04,2.652206e-04,2.657572e-04,2.683591e-04,2.686624e-04,2.708281e-04,2.718733e-04,2.731677e-04,2.748615e-04,2.753815e-04,2.774733e-04,2.776355e-04,2.794469e-04,2.802040e-04,2.813059e-04,2.825758e-04,2.830545e-04,2.846963e-04,2.847598e-04,2.862352e-04,2.867648e-04,2.876751e-04,2.885996e-04,2.890197e-04,2.902728e-04,2.917931e-04,2.931687e-04,2.944077e-04,2.955181e-04,2.965073e-04,2.973827e-04,2.981513e-04,2.988199e-04,2.993949e-04,2.998824e-04,3.002884e-04,3.006183e-04,3.008775e-04,3.010709e-04,3.012033e-04,3.012793e-04,3.013029e-04,3.012782e-04,3.012090e-04,3.010987e-04,3.009507e-04,3.007682e-04,3.005539e-04,3.003107e-04
0.000000e+00,6.910948e-12,2.094967e-11,1.095350e-10,3.295709e-10,5.468296e-10,1.640593e-09,1.707155e-09,4.131789e-09,5.129532e-09,8.531798e-09,1.248773e-08,1.581156e-08,2.599396e-08,2.706943e-08,4.352495e-08,4.838338e-08,6.637994e-08,8.238254e-08,9.671423e-08,1.303426e-07,1.354651e-07,1.834472e-07,1.942159e-07,2.413745e-07,2.756375e-07,3.098709e-07,3.759718e-07,3.894744e-07,4.806360e-07,4.963199e-07,5.837172e-07,6.375125e-07,6.989870e-07,8.001000e-07,8.266214e-07,9.667032e-07,9.843501e-07,1.119225e-06,1.190254e-06,1.284091e-06,1.417542e-06,1.461128e-06,1.650085e-06,1.665707e-06,1.850646e-06,1.934037e-06,2.062436e-06,2.221643e-06,2.285033e-06,2.517969e-06,2.527494e-06,2.760746e-06,2.850454e-06,3.012839e-06,3.189308e-06,3.273706e-06,3.542791e-06,3.819532e-06,3.909614e-06,4.103367e-06,4.288485e-06,4.393736e-06,4.678125e-06,4.690088e-06,4.991878e-06,5.077281e-06,5.298577e-06,5.484737e-06,5.609669e-06,5.899324e-06,5.924654e-06,6.243051e-06,6.319921e-06,6.564394e-06,6.745467e-06,6.888239e-06,7.174954e-06,7.214160e-06,7.541751e-06,7.607435e-06,7.870623e-06,8.042020e-06,8.200408e-06,8.477878e-06,8.530758e-06,8.861342e-06,8.914236e-06,9.191846e-06,9.350372e-06,9.521975e-06,9.785621e-06,9.851452e-06,1.018001e-05,1.021937e-05,1.050741e-05,1.065104e-05,1.083342e-05,1.108013e-05,1.115783e-05,1.148042e-05,1.150614e-05,1.180101e-05,1.192865e-05,1.211943e-05,1.234726e-05,1.243552e-05,1.274911e-05,1.276160e-05,1.306008e-05,1.317135e-05,1.336828e-05,1.357623e-05,1.367361e-05,1.397595e-05,1.427520e-05,1.437029e-05,1.457127e-05,1.475904e-05,1.486407e-05,1.514202e-05,1.515353e-05,1.543958e-05,1.551905e-05,1.572216e-05,1.589001e-05,1.600121e-05,1.625478e-05,1.627668e-05,1.654854e-05,1.661324e-05,1.681674e-05,1.696533e-05,1.708126e-05,1.731096e-05,1.734206e-05,1.759912e-05,1.765009e-05,1.785243e-05,1.798267e-05,1.810198e-05,1.830868e-05,1.834774e-05,1.858973e-05,1.862810e-05,1.882793e-05,1.894092e-05,1.906235e-05,1.924716e-05,1.929298e-05,1.951985e-05,1.954682e-05,1.974295e-05,1.983992e-05,1.996230e-05,2.012651e-05,2.017791e-05,2.038981e-05,2.040660e-05,2.059800e-05,2.068025e-05,2.080252e-05,2.094750e-05,2.100338e-05,2.120060e-05,2.120841e-05,2.139422e-05,2.146304e-05,2.158425e-05,2.171144e-05,2.177073e-05,2.195369e-05,2.218986e-05,2.242002e-05,2.264424e-05,2.286260e-05,2.307518e-05,2.328208e-05,2.348336e-05,2.367912e-05,2.386944e-05,2.405440e-05,2.423411e-05,2.440863e-05,2.457808e-05,2.474252e-05,2.490206e-05,2.505678e-05,2.520676e-05,2.535211e-05,2.549290e-05,2.562923e-05,2.576118e-05,2.588884e-05,2.601229e-05,2.613162e-05
0.000000e+00,1.114322e-17,1.264417e-16,4.593859e-15,4.874172e-14,1.426875e-13,1.419188e-12,1.540661e-12,9.338563e-12,1.440244e-11,3.933923e-11,8.227227e-11,1.290671e-10,3.275213e-10,3.530078e-10,8.409769e-10,1.018302e-09,1.798120e-09,2.646593e-09,3.524928e-09,6.007145e-09,6.435656e-09,1.107347e-08,1.226580e-08,1.812040e-08,2.300478e-08,2.840008e-08,4.023119e-08,4.287146e-08,6.261278e-08,6.633772e-08,8.879631e-08,1.040135e-07,1.226557e-07,1.561151e-07,1.654485e-07,2.184171e-07,2.255144e-07,2.827504e-07,3.149447e-07,3.595484e-07,4.268605e-07,4.497929e-07,5.543228e-07,5.633238e-07,6.738162e-07,7.259226e-07,8.087789e-07,9.157216e-07,9.595386e-07,1.126245e-06,1.133245e-06,1.308873e-06,1.378485e-06,1.507233e-06,1.650935e-06,1.720981e-06,1.949634e-06,2.192582e-06,2.273230e-06,2.449110e-06,2.620045e-06,2.718411e-06,2.988143e-06,2.999608e-06,3.291764e-06,3.375400e-06,3.593905e-06,3.779567e-06,3.905030e-06,4.198330e-06,4.224128e-06,4.550186e-06,4.629365e-06,4.882207e-06,5.070377e-06,5.219212e-06,5.519145e-06,5.560252e-06,5.904413e-06,5.973542e-06,6.250822e-06,6.431565e-06,6.598649e-06,6.891348e-06,6.947114e-06,7.295485e-06,7.351169e-06,7.643079e-06,7.809461e-06,7.989264e-06,8.264806e-06,8.333459e-06,8.675130e-06,8.715938e-06,9.013791e-06,9.161733e-06,9.349001e-06,9.601207e-06,9.680364e-06,1.000753e-05,1.003351e-05,1.033017e-05,1.045790e-05,1.064802e-05,1.087377e-05,1.096083e-05,1.126839e-05,1.128059e-05,1.157053e-05,1.167793e-05,1.186708e-05,1.206547e-05,1.215791e-05,1.244294e-05,1.272207e-05,1.281013e-05,1.299524e-05,1.316692e-05,1.326241e-05,1.351322e-05,1.352355e-05,1.377865e-05,1.384900e-05,1.402772e-05,1.417426e-05,1.427075e-05,1.448904e-05,1.450778e-05,1.473885e-05,1.479342e-05,1.496399e-05,1.508750e-05,1.518325e-05,1.537139e-05,1.539670e-05,1.560440e-05,1.564526e-05,1.580641e-05,1.590924e-05,1.600282e-05,1.616352e-05,1.619369e-05,1.637911e-05,1.640827e-05,1.655916e-05,1.664371e-05,1.673394e-05,1.687002e-05,1.690353e-05,1.706802e-05,1.708742e-05,1.722750e-05,1.729611e-05,1.738208e-05,1.749632e-05,1.753183e-05,1.767686e-05,1.768826e-05,1.781727e-05,1.787215e-05,1.795314e-05,1.804821e-05,1.808457e-05,1.821166e-05,1.821666e-05,1.833450e-05,1.837770e-05,1.845319e-05,1.853157e-05,1.856782e-05,1.867847e-05,1.881861e-05,1.895221e-05,1.907946e-05,1.920056e-05,1.931572e-05,1.942512e-05,1.952896e-05,1.962741e-05,1.972067e-05,1.980891e-05,1.989230e-05,1.997101e-05,2.004520e-05,2.011504e-05,2.018067e-05,2.024226e-05,2.029994e-05,2.035386e-05,2.040416e-05,2.045097e-05,2.049443e-05,2.053466e-05,2.057179e-05,2.060593e-05
0.000000e+00,4.167994e-14,3.973900e-13,1.116438e-11,1.009207e-10,2.759494e-10,2.407093e-09,2.602094e-09,1.452369e-08,2.203375e-08,5.828389e-08,1.197897e-07,1.864810e-07,4.694502e-07,5.059129e-07,1.210803e-06,1.469985e-06,2.626074e-06,3.909227e-06,5.260306e-06,9.177513e-06,9.866239e-06,1.750486e-05,1.951531e-05,2.960784e-05,3.826413e-05,4.803302e-05,7.008482e-05,7.510871e-05,1.136630e-04,1.211130e-04,1.670367e-04,1.990310e-04,2.390780e-04,3.130486e-04,3.341206e-04,4.569439e-04,4.737915e-04,6.127189e-04,6.931050e-04,8.069405e-04,9.837874e-04,1.045349e-03,1.333842e-03,1.359264e-03,1.678381e-03,1.833222e-03,2.084897e-03,2.419228e-03,2.559188e-03,3.106830e-03,3.130337e-03,3.733078e-03,3.978719e-03,4.442785e-03,4.975308e-03,5.240320e-03,6.129501e-03,7.113535e-03,7.448893e-03,8.194966e-03,8.939080e-03,9.375644e-03,1.060352e-02,1.065669e-02,1.203850e-02,1.244344e-02,1.352072e-02,1.445783e-02,1.510226e-02,1.664346e-02,1.678132e-02,1.855541e-02,1.899500e-02,2.042139e-02,2.150510e-02,2.237550e-02,2.416459e-02,2.441340e-02,2.653027e-02,2.696266e-02,2.872079e-02,2.988709e-02,3.097926e-02,3.292448e-02,3.329964e-02,3.567559e-02,3.606047e-02,3.810056e-02,3.927999e-02,4.056783e-02,4.256752e-02,4.307057e-02,4.560191e-02,4.590727e-02,4.815497e-02,4.928343e-02,5.072292e-02,5.268036e-02,5.329901e-02,5.587664e-02,5.608272e-02,5.844938e-02,5.947571e-02,6.101101e-02,6.284513e-02,6.355554e-02,6.607724e-02,6.617755e-02,6.857065e-02,6.946036e-02,7.103065e-02,7.268187e-02,7.345239e-02,7.583137e-02,7.816342e-02,7.889913e-02,8.044472e-02,8.187648e-02,8.267176e-02,8.475574e-02,8.484139e-02,8.695078e-02,8.753027e-02,8.899746e-02,9.019445e-02,9.097925e-02,9.274359e-02,9.289430e-02,9.474107e-02,9.517398e-02,9.651830e-02,9.748280e-02,9.822502e-02,9.966804e-02,9.986052e-02,1.014243e-01,1.017285e-01,1.029163e-01,1.036637e-01,1.043363e-01,1.054738e-01,1.056847e-01,1.069619e-01,1.071596e-01,1.081683e-01,1.087226e-01,1.093049e-01,1.101645e-01,1.103725e-01,1.113722e-01,1.114876e-01,1.123051e-01,1.126948e-01,1.131726e-01,1.137889e-01,1.139759e-01,1.147167e-01,1.147733e-01,1.153964e-01,1.156516e-01,1.160167e-01,1.164275e-01,1.165792e-01,1.170857e-01,1.171048e-01,1.175379e-01,1.176877e-01,1.179375e-01,1.181802e-01,1.182864e-01,1.185864e-01,1.189105e-01,1.191568e-01,1.193292e-01,1.194320e-01,1.194692e-01,1.194446e-01,1.193622e-01,1.192257e-01,1.190388e-01,1.188051e-01,1.185278e-01,1.182103e-01,1.178557e-01,1.174671e-01,1.170473e-01,1.165991e-01,1.161251e-01,1.156278e-01,1.151094e-01,1.145723e-01,1.140186e-01,1.134501e-01,1.128689e-01,1.122765e-01
0.000000e+00,3.547936e-13,1.523857e-12,1.154373e-11,4.122742e-11,7.284933e-11,2.434881e-10,2.541898e-10,6.539230e-10,8.214765e-10,1.398198e-09,2.073256e-09,2.641672e-09,4.384403e-09,4.568543e-09,7.391148e-09,8.227406e-09,1.134089e-08,1.413159e-08,1.664762e-08,2.260234e-08,2.351450e-08,3.210328e-08,3.403889e-08,4.253396e-08,4.871514e-08,5.489117e-08,6.680158e-08,6.923068e-08,8.558398e-08,8.838836e-08,1.039615e-07,1.135001e-07,1.243552e-07,1.421057e-07,1.467404e-07,1.710779e-07,1.741273e-07,1.973161e-07,2.094474e-07,2.253930e-07,2.479180e-07,2.552380e-07,2.867741e-07,2.893676e-07,3.199192e-07,3.336088e-07,3.545882e-07,3.804446e-07,3.906940e-07,4.281490e-07,4.296740e-07,4.668656e-07,4.810958e-07,5.067576e-07,5.345125e-07,5.477408e-07,5.897329e-07,6.326546e-07,6.465734e-07,6.764297e-07,7.048597e-07,7.209850e-07,7.644273e-07,7.662507e-07,8.121603e-07,8.251217e-07,8.586507e-07,8.867987e-07,9.056621e-07,9.493240e-07,9.531379e-07,1.001025e-06,1.012573e-06,1.049273e-06,1.076431e-06,1.097834e-06,1.140791e-06,1.146663e-06,1.195720e-06,1.205555e-06,1.244965e-06,1.270634e-06,1.294360e-06,1.335944e-06,1.343872e-06,1.393467e-06,1.401408e-06,1.443117e-06,1.466959e-06,1.492791e-06,1.532531e-06,1.542465e-06,1.592112e-06,1.598067e-06,1.641710e-06,1.663513e-06,1.691238e-06,1.728820e-06,1.740675e-06,1.790002e-06,1.793943e-06,1.839203e-06,1.858844e-06,1.888260e-06,1.923484e-06,1.937158e-06,1.985884e-06,1.987830e-06,2.034425e-06,2.051851e-06,2.082767e-06,2.115522e-06,2.130901e-06,2.178816e-06,2.226501e-06,2.241710e-06,2.273948e-06,2.304186e-06,2.321150e-06,2.366225e-06,2.368098e-06,2.414785e-06,2.427810e-06,2.461206e-06,2.488927e-06,2.507353e-06,2.549564e-06,2.553223e-06,2.598810e-06,2.609709e-06,2.644110e-06,2.669351e-06,2.689119e-06,2.728483e-06,2.733833e-06,2.778249e-06,2.787096e-06,2.822365e-06,2.845185e-06,2.866177e-06,2.902744e-06,2.909684e-06,2.952884e-06,2.959767e-06,2.995775e-06,3.016252e-06,3.038355e-06,3.072196e-06,3.080625e-06,3.122582e-06,3.127596e-06,3.164226e-06,3.182450e-06,3.205557e-06,3.236759e-06,3.246574e-06,3.287278e-06,3.290521e-06,3.327668e-06,3.343736e-06,3.367744e-06,3.396405e-06,3.407507e-06,3.446958e-06,3.448529e-06,3.486096e-06,3.500110e-06,3.524924e-06,3.551149e-06,3.563440e-06,3.601648e-06,3.651610e-06,3.701037e-06,3.749933e-06,3.798300e-06,3.846143e-06,3.893464e-06,3.940268e-06,3.986558e-06,4.032338e-06,4.077613e-06,4.122387e-06,4.166665e-06,4.210450e-06,4.253749e-06,4.296564e-06,4.338902e-06,4.380766e-06,4.422162e-06,4.463095e-06,4.503569e-06,4.543590e-06,4.583162e-06,4.622290e-06,4.660980e-06
0.000000e+00,3.153873e-12,1.060140e-11,6.176460e-11,1.952759e-10,3.298707e-10,1.019391e-09,1.061637e-09,2.606095e-09,3.242206e-09,5.406599e-09,7.910563e-09,1.000378e-08,1.636785e-08,1.703677e-08,2.722986e-08,3.023153e-08,4.134861e-08,5.124801e-08,6.013118e-08,8.103971e-08,8.423172e-08,1.141999e-07,1.209389e-07,1.504852e-07,1.719727e-07,1.934472e-07,2.349013e-07,2.433648e-07,3.004423e-07,3.102491e-07,3.648140e-07,3.983258e-07,4.365484e-07,4.992440e-07,5.156530e-07,6.020791e-07,6.129380e-07,6.957276e-07,7.391855e-07,7.964551e-07,8.776317e-07,9.040796e-07,1.018387e-06,1.027814e-06,1.139138e-06,1.189184e-06,1.266071e-06,1.361136e-06,1.398910e-06,1.537367e-06,1.543018e-06,1.681147e-06,1.734153e-06,1.829951e-06,1.933856e-06,1.983481e-06,2.141438e-06,2.303527e-06,2.356222e-06,2.469461e-06,2.577544e-06,2.638955e-06,2.804764e-06,2.811735e-06,2.987535e-06,3.037265e-06,3.166096e-06,3.274455e-06,3.347171e-06,3.515772e-06,3.530518e-06,3.715909e-06,3.760683e-06,3.903124e-06,4.008681e-06,4.091951e-06,4.259292e-06,4.282189e-06,4.473646e-06,4.512067e-06,4.666138e-06,4.766585e-06,4.859491e-06,5.022451e-06,5.053539e-06,5.248124e-06,5.279297e-06,5.443095e-06,5.536777e-06,5.638312e-06,5.794571e-06,5.833639e-06,6.028947e-06,6.052378e-06,6.224118e-06,6.309920e-06,6.419036e-06,6.566938e-06,6.613593e-06,6.807688e-06,6.823193e-06,7.001225e-06,7.078463e-06,7.194113e-06,7.332542e-06,7.386267e-06,7.577606e-06,7.585242e-06,7.768057e-06,7.836387e-06,7.957547e-06,8.085818e-06,8.146011e-06,8.333388e-06,8.519618e-06,8.578961e-06,8.704649e-06,8.822415e-06,8.888429e-06,9.063639e-06,9.070913e-06,9.252055e-06,9.302530e-06,9.431817e-06,9.538996e-06,9.610161e-06,9.772954e-06,9.787051e-06,9.962457e-06,1.000433e-05,1.013635e-05,1.023306e-05,1.030870e-05,1.045908e-05,1.047949e-05,1.064869e-05,1.068234e-05,1.081629e-05,1.090280e-05,1.098226e-05,1.112041e-05,1.114659e-05,1.130927e-05,1.133514e-05,1.147028e-05,1.154697e-05,1.162961e-05,1.175586e-05,1.178726e-05,1.194321e-05,1.196181e-05,1.209746e-05,1.216479e-05,1.225001e-05,1.236480e-05,1.240084e-05,1.254997e-05,1.256182e-05,1.269738e-05,1.275586e-05,1.284308e-05,1.294692e-05,1.298706e-05,1.312934e-05,1.313499e-05,1.326990e-05,1.332009e-05,1.340876e-05,1.350222e-05,1.354592e-05,1.368139e-05,1.385761e-05,1.403090e-05,1.420128e-05,1.436876e-05,1.453337e-05,1.469512e-05,1.485404e-05,1.501015e-05,1.516348e-05,1.531405e-05,1.546189e-05,1.560702e-05,1.574949e-05,1.588931e-05,1.602651e-05,1.616113e-05,1.629319e-05,1.642273e-05,1.654978e-05,1.667437e-05,1.679653e-05,1.691630e-05,1.703370e-05,1.714877e-05
0.000000e+00,6.777046e-14,3.665949e-13,3.677033e-12,1.510447e-11,2.813281e-11,1.031230e-10,1.079607e-10,2.933917e-10,3.727250e-10,6.493555e-10,9.772342e-10,1.255324e-09,2.114502e-09,2.205687e-09,3.609657e-09,4.027404e-09,5.588373e-09,6.994175e-09,8.266431e-09,1.129364e-08,1.175918e-08,1.616294e-08,1.715997e-08,2.155270e-08,2.476431e-08,2.798451e-08,3.422249e-08,3.549879e-08,4.412273e-08,4.560673e-08,5.387194e-08,5.895312e-08,6.475146e-08,7.426607e-08,7.675662e-08,8.987382e-08,9.152166e-08,1.040814e-07,1.106710e-07,1.193506e-07,1.316439e-07,1.356465e-07,1.529289e-07,1.543528e-07,1.711538e-07,1.786971e-07,1.902737e-07,2.045664e-07,2.102390e-07,2.309989e-07,2.318451e-07,2.525016e-07,2.604145e-07,2.746956e-07,2.901562e-07,2.975297e-07,3.209538e-07,3.449191e-07,3.526946e-07,3.693786e-07,3.852709e-07,3.942868e-07,4.185807e-07,4.196005e-07,4.452784e-07,4.525281e-07,4.712814e-07,4.870237e-07,4.975724e-07,5.219845e-07,5.241166e-07,5.508811e-07,5.573339e-07,5.778352e-07,5.930015e-07,6.049500e-07,6.289226e-07,6.321986e-07,6.595557e-07,6.650381e-07,6.869979e-07,7.012942e-07,7.145033e-07,7.376417e-07,7.420515e-07,7.696235e-07,7.740361e-07,7.972018e-07,8.104368e-07,8.247700e-07,8.468071e-07,8.523130e-07,8.798165e-07,8.831137e-07,9.072678e-07,9.193266e-07,9.346545e-07,9.554185e-07,9.619657e-07,9.891909e-07,9.913649e-07,1.016321e-06,1.027144e-06,1.043346e-06,1.062735e-06,1.070259e-06,1.097052e-06,1.098121e-06,1.123718e-06,1.133285e-06,1.150250e-06,1.168214e-06,1.176644e-06,1.202893e-06,1.228993e-06,1.237312e-06,1.254938e-06,1.271461e-06,1.280726e-06,1.305330e-06,1.306352e-06,1.331812e-06,1.338911e-06,1.357105e-06,1.372198e-06,1.382226e-06,1.405184e-06,1.407173e-06,1.431945e-06,1.437863e-06,1.456538e-06,1.470232e-06,1.480952e-06,1.502286e-06,1.505184e-06,1.529234e-06,1.534022e-06,1.553099e-06,1.565436e-06,1.576780e-06,1.596528e-06,1.600275e-06,1.623583e-06,1.627295e-06,1.646704e-06,1.657735e-06,1.669637e-06,1.687848e-06,1.692382e-06,1.714940e-06,1.717634e-06,1.737309e-06,1.747091e-06,1.759489e-06,1.776221e-06,1.781482e-06,1.803287e-06,1.805023e-06,1.824904e-06,1.833499e-06,1.846334e-06,1.861648e-06,1.867578e-06,1.888635e-06,1.889473e-06,1.909506e-06,1.916974e-06,1.930192e-06,1.944153e-06,1.950694e-06,1.971012e-06,1.997552e-06,2.023775e-06,2.049684e-06,2.075280e-06,2.100566e-06,2.125545e-06,2.150218e-06,2.174588e-06,2.198659e-06,2.222432e-06,2.245911e-06,2.269098e-06,2.291995e-06,2.314607e-06,2.336936e-06,2.358984e-06,2.380755e-06,2.402252e-06,2.423477e-06,2.444434e-06,2.465126e-06,2.485556e-06,2.505727e-06,2.525641e-06
0.000000e+00,5.130945e-15,4.899564e-14,1.256693e-12,9.824944e-12,2.444775e-11,1.626758e-10,1.738337e-10,7.271931e-10,1.018952e-09,2.207912e-09,3.867899e-09,5.432959e-09,1.092532e-08,1.155533e-08,2.211475e-08,2.551924e-08,3.908875e-08,5.228417e-08,6.490519e-08,9.714917e-08,1.023546e-07,1.543714e-07,1.667738e-07,2.237404e-07,2.674815e-07,3.128444e-07,4.043129e-07,4.235338e-07,5.571165e-07,5.806755e-07,7.144201e-07,7.984911e-07,8.958759e-07,1.058516e-06,1.101598e-06,1.331443e-06,1.360631e-06,1.585061e-06,1.704053e-06,1.861925e-06,2.087480e-06,2.161364e-06,2.482585e-06,2.509198e-06,2.824696e-06,2.967173e-06,3.186720e-06,3.459128e-06,3.567622e-06,3.966317e-06,3.982619e-06,4.381690e-06,4.535090e-06,4.812609e-06,5.113933e-06,5.257936e-06,5.716536e-06,6.187288e-06,6.340315e-06,6.669091e-06,6.982747e-06,7.160870e-06,7.641393e-06,7.661580e-06,8.170211e-06,8.313914e-06,8.685790e-06,8.998081e-06,9.207381e-06,9.691785e-06,9.734090e-06,1.026506e-05,1.039304e-05,1.079948e-05,1.109998e-05,1.133658e-05,1.181086e-05,1.187562e-05,1.241592e-05,1.252407e-05,1.295681e-05,1.323810e-05,1.349768e-05,1.395156e-05,1.403794e-05,1.457706e-05,1.466318e-05,1.511453e-05,1.537178e-05,1.564985e-05,1.607627e-05,1.618259e-05,1.671233e-05,1.677568e-05,1.723868e-05,1.746911e-05,1.776128e-05,1.815574e-05,1.827979e-05,1.879391e-05,1.883484e-05,1.930334e-05,1.950575e-05,1.980783e-05,2.016786e-05,2.030713e-05,2.080102e-05,2.082066e-05,2.128931e-05,2.146368e-05,2.177180e-05,2.209649e-05,2.224833e-05,2.271875e-05,2.318293e-05,2.333013e-05,2.364075e-05,2.393036e-05,2.409210e-05,2.451923e-05,2.453690e-05,2.497506e-05,2.509654e-05,2.540651e-05,2.566215e-05,2.583121e-05,2.621593e-05,2.624911e-05,2.666016e-05,2.675779e-05,2.706435e-05,2.728769e-05,2.746165e-05,2.780557e-05,2.785206e-05,2.823557e-05,2.831144e-05,2.861219e-05,2.880531e-05,2.898193e-05,2.928721e-05,2.934481e-05,2.970085e-05,2.975718e-05,3.005008e-05,3.021530e-05,3.039254e-05,3.066165e-05,3.072826e-05,3.105729e-05,3.109633e-05,3.137968e-05,3.151944e-05,3.169548e-05,3.193111e-05,3.200473e-05,3.230751e-05,3.233146e-05,3.260387e-05,3.272063e-05,3.289387e-05,3.309877e-05,3.317758e-05,3.345507e-05,3.346604e-05,3.372640e-05,3.382259e-05,3.399165e-05,3.416859e-05,3.425090e-05,3.450422e-05,3.482964e-05,3.514503e-05,3.545058e-05,3.574647e-05,3.603289e-05,3.631002e-05,3.657804e-05,3.683715e-05,3.708754e-05,3.732939e-05,3.756289e-05,3.778822e-05,3.800558e-05,3.821515e-05,3.841711e-05,3.861165e-05,3.879893e-05,3.897915e-05,3.915248e-05,3.931909e-05,3.947915e-05,3.963283e-05,3.978030e-05,3.992172e-05
0.000000e+00,2.677953e-16,2.708762e-15,7.793984e-14,6.714474e-13,1.756287e-12,1.314274e-11,1.410641e-11,6.515243e-11,9.350509e-11,2.139753e-10,3.894673e-10,5.592912e-10,1.172308e-09,1.243667e-09,2.454655e-09,2.848494e-09,4.423929e-09,5.957903e-09,7.423507e-09,1.115549e-08,1.175629e-08,1.773953e-08,1.916195e-08,2.568451e-08,3.068784e-08,3.587833e-08,4.636381e-08,4.857191e-08,6.397480e-08,6.670245e-08,8.225451e-08,9.208948e-08,1.035384e-07,1.227898e-07,1.279159e-07,1.554409e-07,1.589567e-07,1.861340e-07,2.006408e-07,2.199840e-07,2.477977e-07,2.569508e-07,2.969671e-07,3.002976e-07,3.399416e-07,3.579352e-07,3.857618e-07,4.204420e-07,4.342975e-07,4.854039e-07,4.874995e-07,5.389252e-07,5.587526e-07,5.946975e-07,6.338225e-07,6.525522e-07,7.123186e-07,7.738261e-07,7.938487e-07,8.369065e-07,8.780274e-07,9.013956e-07,9.644830e-07,9.671347e-07,1.033971e-06,1.052862e-06,1.101760e-06,1.142834e-06,1.170365e-06,1.234089e-06,1.239655e-06,1.309509e-06,1.326346e-06,1.379816e-06,1.419346e-06,1.450469e-06,1.512854e-06,1.521372e-06,1.592435e-06,1.606660e-06,1.663575e-06,1.700573e-06,1.734717e-06,1.794426e-06,1.805790e-06,1.876732e-06,1.888066e-06,1.947483e-06,1.981361e-06,2.017992e-06,2.074190e-06,2.088208e-06,2.158090e-06,2.166451e-06,2.227595e-06,2.258049e-06,2.296689e-06,2.348905e-06,2.365339e-06,2.433513e-06,2.438946e-06,2.501186e-06,2.528110e-06,2.568333e-06,2.616341e-06,2.634933e-06,2.700964e-06,2.703594e-06,2.766411e-06,2.789825e-06,2.831256e-06,2.875000e-06,2.895485e-06,2.959087e-06,3.022049e-06,3.042060e-06,3.084361e-06,3.123897e-06,3.146016e-06,3.204579e-06,3.207005e-06,3.267323e-06,3.284090e-06,3.326962e-06,3.362418e-06,3.385919e-06,3.439553e-06,3.444190e-06,3.501771e-06,3.515488e-06,3.558660e-06,3.590215e-06,3.614856e-06,3.663733e-06,3.670356e-06,3.725161e-06,3.736039e-06,3.779270e-06,3.807132e-06,3.832684e-06,3.877014e-06,3.885402e-06,3.937427e-06,3.945687e-06,3.988761e-06,4.013155e-06,4.039403e-06,4.079422e-06,4.089358e-06,4.138628e-06,4.144494e-06,4.187215e-06,4.208378e-06,4.235123e-06,4.271080e-06,4.282354e-06,4.328913e-06,4.332609e-06,4.374803e-06,4.392973e-06,4.420028e-06,4.452181e-06,4.464593e-06,4.508502e-06,4.510244e-06,4.551758e-06,4.567172e-06,4.594367e-06,4.622974e-06,4.636334e-06,4.677664e-06,4.731250e-06,4.783747e-06,4.835165e-06,4.885517e-06,4.934815e-06,4.983072e-06,5.030301e-06,5.076515e-06,5.121728e-06,5.165951e-06,5.209199e-06,5.251484e-06,5.292821e-06,5.333223e-06,5.372702e-06,5.411273e-06,5.448949e-06,5.485743e-06,5.521668e-06,5.556739e-06,5.590968e-06,5.624368e-06,5.656953e-06,5.688735e-06
0.000000e+00,5.531704e-12,1.911825e-11,1.148668e-10,3.693586e-10,6.288363e-10,1.982372e-09,2.066304e-09,5.193346e-09,6.509287e-09,1.108414e-08,1.652745e-08,2.117211e-08,3.562873e-08,3.716722e-08,6.078537e-08,6.775962e-08,9.351914e-08,1.163017e-07,1.366057e-07,1.839148e-07,1.910845e-07,2.578467e-07,2.727427e-07,3.376593e-07,3.845397e-07,4.311720e-07,5.207018e-07,5.389154e-07,6.612976e-07,6.822579e-07,7.986007e-07,8.698565e-07,9.509801e-07,1.083764e-06,1.118467e-06,1.300974e-06,1.323876e-06,1.498303e-06,1.589749e-06,1.710154e-06,1.880637e-06,1.936139e-06,2.175790e-06,2.195537e-06,2.428579e-06,2.533244e-06,2.693922e-06,2.892394e-06,2.971197e-06,3.259750e-06,3.271517e-06,3.558909e-06,3.669070e-06,3.867988e-06,4.083477e-06,4.186300e-06,4.513156e-06,4.847880e-06,4.956544e-06,5.189803e-06,5.412111e-06,5.538274e-06,5.878378e-06,5.892659e-06,6.252343e-06,6.353924e-06,6.616736e-06,6.837394e-06,6.985268e-06,7.327505e-06,7.357395e-06,7.732596e-06,7.823046e-06,8.110374e-06,8.322878e-06,8.490257e-06,8.825939e-06,8.871797e-06,9.254568e-06,9.331235e-06,9.638169e-06,9.837842e-06,1.002222e-05,1.034491e-05,1.040636e-05,1.079025e-05,1.085163e-05,1.117358e-05,1.135729e-05,1.155605e-05,1.186122e-05,1.193738e-05,1.231731e-05,1.236279e-05,1.269559e-05,1.286145e-05,1.307199e-05,1.335667e-05,1.344631e-05,1.381834e-05,1.384799e-05,1.418790e-05,1.433499e-05,1.455482e-05,1.481729e-05,1.491895e-05,1.528014e-05,1.529452e-05,1.563825e-05,1.576640e-05,1.599317e-05,1.623263e-05,1.634478e-05,1.669298e-05,1.703767e-05,1.714722e-05,1.737878e-05,1.759517e-05,1.771623e-05,1.803667e-05,1.804994e-05,1.837987e-05,1.847156e-05,1.870595e-05,1.889973e-05,1.902814e-05,1.932109e-05,1.934640e-05,1.966070e-05,1.973554e-05,1.997101e-05,2.014303e-05,2.027730e-05,2.054350e-05,2.057956e-05,2.087777e-05,2.093692e-05,2.117192e-05,2.132327e-05,2.146201e-05,2.170255e-05,2.174804e-05,2.203000e-05,2.207474e-05,2.230791e-05,2.243987e-05,2.258177e-05,2.279795e-05,2.285160e-05,2.311740e-05,2.314903e-05,2.337920e-05,2.349313e-05,2.363701e-05,2.383030e-05,2.389086e-05,2.414077e-05,2.416060e-05,2.438677e-05,2.448408e-05,2.462887e-05,2.480080e-05,2.486712e-05,2.510154e-05,2.511084e-05,2.533216e-05,2.541426e-05,2.555902e-05,2.571115e-05,2.578215e-05,2.600158e-05,2.628563e-05,2.656339e-05,2.683495e-05,2.710040e-05,2.735982e-05,2.761331e-05,2.786096e-05,2.810286e-05,2.833912e-05,2.856983e-05,2.879507e-05,2.901496e-05,2.922958e-05,2.943902e-05,2.964339e-05,2.984279e-05,3.003729e-05,3.022700e-05,3.041202e-05,3.059242e-05,3.076831e-05,3.093978e-05,3.110691e-05,3.126980e-05
0.000000e+00,1.887995e-17,2.087144e-16,7.184366e-15,7.258536e-14,2.068838e-13,1.921795e-12,2.080553e-12,1.180241e-11,1.788359e-11,4.676436e-11,9.450660e-11,1.450651e-10,3.512612e-10,3.771352e-10,8.584903e-10,1.028981e-09,1.762394e-09,2.540194e-09,3.330475e-09,5.508805e-09,5.878533e-09,9.795191e-09,1.078160e-08,1.553279e-08,1.940077e-08,2.359201e-08,3.254340e-08,3.450309e-08,4.880619e-08,5.144527e-08,6.703324e-08,7.732644e-08,8.969226e-08,1.113289e-07,1.172548e-07,1.501464e-07,1.544698e-07,1.887391e-07,2.076092e-07,2.333473e-07,2.714307e-07,2.842241e-07,3.415609e-07,3.464312e-07,4.054874e-07,4.329205e-07,4.760727e-07,5.310262e-07,5.533289e-07,6.372138e-07,6.407059e-07,7.276355e-07,7.617626e-07,8.244578e-07,8.938645e-07,9.275045e-07,1.036566e-06,1.151403e-06,1.189328e-06,1.271754e-06,1.351543e-06,1.397338e-06,1.522551e-06,1.527863e-06,1.663025e-06,1.701660e-06,1.802517e-06,1.888161e-06,1.946028e-06,2.081343e-06,2.093250e-06,2.243879e-06,2.280503e-06,2.397615e-06,2.484955e-06,2.554166e-06,2.694035e-06,2.713250e-06,2.874593e-06,2.907109e-06,3.037932e-06,3.123575e-06,3.203018e-06,3.342863e-06,3.369609e-06,3.537478e-06,3.564441e-06,3.706408e-06,3.787810e-06,3.876192e-06,4.012505e-06,4.046638e-06,4.217563e-06,4.238098e-06,4.388793e-06,4.464190e-06,4.560169e-06,4.690416e-06,4.731536e-06,4.902754e-06,4.916441e-06,5.073689e-06,5.141956e-06,5.244217e-06,5.366680e-06,5.414222e-06,5.583596e-06,5.590356e-06,5.752238e-06,5.812752e-06,5.920055e-06,6.033655e-06,6.086961e-06,6.252874e-06,6.417723e-06,6.470238e-06,6.581437e-06,6.685589e-06,6.743953e-06,6.898790e-06,6.905215e-06,7.065169e-06,7.109715e-06,7.223766e-06,7.318255e-06,7.380963e-06,7.524312e-06,7.536718e-06,7.690996e-06,7.727799e-06,7.843764e-06,7.928643e-06,7.994991e-06,8.126777e-06,8.144653e-06,8.292724e-06,8.322146e-06,8.439185e-06,8.514702e-06,8.584017e-06,8.704406e-06,8.727205e-06,8.868736e-06,8.891227e-06,9.008598e-06,9.075137e-06,9.146783e-06,9.256117e-06,9.283282e-06,9.418091e-06,9.434154e-06,9.551205e-06,9.609239e-06,9.682623e-06,9.781366e-06,9.812344e-06,9.940368e-06,9.950536e-06,1.006670e-05,1.011675e-05,1.019133e-05,1.028003e-05,1.031428e-05,1.043555e-05,1.044036e-05,1.055514e-05,1.059778e-05,1.067305e-05,1.075229e-05,1.078931e-05,1.090392e-05,1.105268e-05,1.119860e-05,1.134170e-05,1.148201e-05,1.161957e-05,1.175439e-05,1.188651e-05,1.201595e-05,1.214277e-05,1.226697e-05,1.238861e-05,1.250771e-05,1.262431e-05,1.273844e-05,1.285015e-05,1.295946e-05,1.306642e-05,1.317106e-05,1.327341e-05,1.337352e-05,1.347141e-05,1.356714e-05,1.366072e-05,1.375220e-05
0.000000e+00,2.571084e-15,2.113280e-14,4.087573e-13,2.551663e-12,5.680810e-12,2.941243e-11,3.114261e-11,1.064101e-10,1.420414e-10,2.752740e-10,4.447486e-10,5.948735e-10,1.082079e-09,1.135316e-09,1.979750e-09,2.238069e-09,3.224415e-09,4.136253e-09,4.977809e-09,7.035010e-09,7.357682e-09,1.048446e-08,1.120963e-08,1.447080e-08,1.691538e-08,1.940988e-08,2.434361e-08,2.536695e-08,3.237735e-08,3.359767e-08,4.044990e-08,4.469915e-08,4.957275e-08,5.760963e-08,5.971912e-08,7.085176e-08,7.225190e-08,8.292621e-08,8.852477e-08,9.589321e-08,1.063129e-07,1.097003e-07,1.242932e-07,1.254930e-07,1.396169e-07,1.459386e-07,1.556161e-07,1.675234e-07,1.722367e-07,1.894254e-07,1.901241e-07,2.071311e-07,2.136221e-07,2.253043e-07,2.379052e-07,2.438982e-07,2.628683e-07,2.821727e-07,2.884142e-07,3.017720e-07,3.144533e-07,3.216296e-07,3.409041e-07,3.417113e-07,3.619853e-07,3.676925e-07,3.824224e-07,3.947515e-07,4.029954e-07,4.220210e-07,4.236792e-07,4.444509e-07,4.494468e-07,4.652892e-07,4.769805e-07,4.861747e-07,5.045787e-07,5.070895e-07,5.280172e-07,5.322029e-07,5.489427e-07,5.598186e-07,5.698523e-07,5.873948e-07,5.907334e-07,6.115742e-07,6.149043e-07,6.323643e-07,6.423227e-07,6.530939e-07,6.696281e-07,6.737542e-07,6.943369e-07,6.968012e-07,7.148346e-07,7.238249e-07,7.352406e-07,7.506838e-07,7.555485e-07,7.757527e-07,7.773644e-07,7.958479e-07,8.038544e-07,8.158295e-07,8.301433e-07,8.356930e-07,8.554345e-07,8.562216e-07,8.750505e-07,8.820808e-07,8.945376e-07,9.077137e-07,9.138928e-07,9.331136e-07,9.521974e-07,9.582749e-07,9.711421e-07,9.831927e-07,9.899456e-07,1.007863e-06,1.008606e-06,1.027123e-06,1.032281e-06,1.045493e-06,1.056445e-06,1.063716e-06,1.080351e-06,1.081791e-06,1.099718e-06,1.103998e-06,1.117494e-06,1.127383e-06,1.135120e-06,1.150505e-06,1.152594e-06,1.169917e-06,1.173364e-06,1.187089e-06,1.195958e-06,1.204108e-06,1.218286e-06,1.220975e-06,1.237689e-06,1.240349e-06,1.254251e-06,1.262147e-06,1.270662e-06,1.283680e-06,1.286920e-06,1.303026e-06,1.304948e-06,1.318980e-06,1.325952e-06,1.334783e-06,1.346693e-06,1.350436e-06,1.365938e-06,1.367172e-06,1.381290e-06,1.387389e-06,1.396493e-06,1.407346e-06,1.411546e-06,1.426452e-06,1.427045e-06,1.441210e-06,1.446487e-06,1.455821e-06,1.465673e-06,1.470286e-06,1.484605e-06,1.503286e-06,1.521716e-06,1.539897e-06,1.557832e-06,1.575523e-06,1.592972e-06,1.610180e-06,1.627151e-06,1.643885e-06,1.660386e-06,1.676656e-06,1.692697e-06,1.708512e-06,1.724102e-06,1.739470e-06,1.754618e-06,1.769550e-06,1.784267e-06,1.798771e-06,1.813066e-06,1.827153e-06,1.841035e-06,1.854714e-06,1.868193e-06
0.000000e+00,2.449693e-16,2.470642e-15,7.059472e-14,6.046056e-13,1.576842e-12,1.172319e-11,1.257983e-11,5.781519e-11,8.288435e-11,1.892393e-10,3.439722e-10,4.936247e-10,1.033713e-09,1.096589e-09,2.164134e-09,2.511564e-09,3.902561e-09,5.258726e-09,6.555972e-09,9.865414e-09,1.039896e-08,1.572301e-08,1.699134e-08,2.281891e-08,2.730092e-08,3.196033e-08,4.140005e-08,4.339216e-08,5.732472e-08,5.979814e-08,7.393205e-08,8.289558e-08,9.335244e-08,1.109851e-07,1.156899e-07,1.410155e-07,1.442576e-07,1.693694e-07,1.828081e-07,2.007619e-07,2.266426e-07,2.351755e-07,2.725674e-07,2.756855e-07,3.128711e-07,3.297892e-07,3.560000e-07,3.887442e-07,4.018497e-07,4.503009e-07,4.522912e-07,5.012226e-07,5.201324e-07,5.544748e-07,5.919431e-07,6.099113e-07,6.673817e-07,7.267340e-07,7.460993e-07,7.878162e-07,8.277471e-07,8.504780e-07,9.119827e-07,9.145722e-07,9.799555e-07,9.984750e-07,1.046490e-06,1.086908e-06,1.114043e-06,1.176982e-06,1.182487e-06,1.251703e-06,1.268417e-06,1.321576e-06,1.360953e-06,1.392000e-06,1.454348e-06,1.462873e-06,1.534102e-06,1.548382e-06,1.605597e-06,1.642853e-06,1.677277e-06,1.737576e-06,1.749066e-06,1.820893e-06,1.832384e-06,1.892692e-06,1.927128e-06,1.964403e-06,2.021671e-06,2.035971e-06,2.107343e-06,2.115892e-06,2.178473e-06,2.209683e-06,2.249319e-06,2.302946e-06,2.319839e-06,2.390000e-06,2.395596e-06,2.459767e-06,2.487557e-06,2.529111e-06,2.578761e-06,2.598005e-06,2.666425e-06,2.669152e-06,2.734349e-06,2.758676e-06,2.801757e-06,2.847290e-06,2.868631e-06,2.934957e-06,3.000719e-06,3.021642e-06,3.065907e-06,3.107320e-06,3.130508e-06,3.191966e-06,3.194514e-06,3.257918e-06,3.275562e-06,3.320712e-06,3.358093e-06,3.382890e-06,3.439547e-06,3.444449e-06,3.505384e-06,3.519916e-06,3.565694e-06,3.599193e-06,3.625375e-06,3.677374e-06,3.684428e-06,3.742850e-06,3.754459e-06,3.800644e-06,3.830448e-06,3.857809e-06,3.905343e-06,3.914347e-06,3.970260e-06,3.979148e-06,4.025550e-06,4.051868e-06,4.080219e-06,4.123510e-06,4.134271e-06,4.187710e-06,4.194081e-06,4.240538e-06,4.263590e-06,4.292760e-06,4.332046e-06,4.344380e-06,4.395403e-06,4.399459e-06,4.445833e-06,4.465840e-06,4.495676e-06,4.531201e-06,4.544936e-06,4.593618e-06,4.595554e-06,4.641729e-06,4.658909e-06,4.689273e-06,4.721282e-06,4.736255e-06,4.782683e-06,4.843127e-06,4.902626e-06,4.961196e-06,5.018848e-06,5.075596e-06,5.131456e-06,5.186439e-06,5.240561e-06,5.293835e-06,5.346275e-06,5.397895e-06,5.448707e-06,5.498726e-06,5.547965e-06,5.596438e-06,5.644157e-06,5.691136e-06,5.737387e-06,5.782923e-06,5.827757e-06,5.871901e-06,5.915368e-06,5.958169e-06,6.000316e-06
0.000000e+00,1.300369e-16,1.365134e-15,4.237862e-14,3.905824e-13,1.059447e-12,8.690115e-12,9.361643e-12,4.724144e-11,6.943115e-11,1.686222e-10,3.220122e-10,4.771315e-10,1.072431e-09,1.144452e-09,2.424699e-09,2.859158e-09,4.656725e-09,6.472695e-09,8.249490e-09,1.289559e-08,1.365553e-08,2.134283e-08,2.319492e-08,3.177247e-08,3.842677e-08,4.538428e-08,5.957857e-08,6.258861e-08,8.376149e-08,8.754059e-08,1.092413e-07,1.230904e-07,1.393255e-07,1.668799e-07,1.742675e-07,2.142739e-07,2.194230e-07,2.595018e-07,2.810856e-07,3.100577e-07,3.520796e-07,3.659972e-07,4.273262e-07,4.324644e-07,4.940031e-07,5.221536e-07,5.659425e-07,6.209286e-07,6.430192e-07,7.250728e-07,7.284559e-07,8.119134e-07,8.443073e-07,9.033267e-07,9.679810e-07,9.990789e-07,1.098922e-06,1.202598e-06,1.236541e-06,1.309844e-06,1.380232e-06,1.420394e-06,1.529385e-06,1.533984e-06,1.650352e-06,1.683399e-06,1.769245e-06,1.841688e-06,1.890414e-06,2.003694e-06,2.013620e-06,2.138636e-06,2.168884e-06,2.265242e-06,2.336758e-06,2.393230e-06,2.506847e-06,2.522405e-06,2.652579e-06,2.678719e-06,2.783580e-06,2.851971e-06,2.915242e-06,3.026236e-06,3.047411e-06,3.179945e-06,3.201175e-06,3.312708e-06,3.376479e-06,3.445576e-06,3.551867e-06,3.578432e-06,3.711168e-06,3.727083e-06,3.843683e-06,3.901896e-06,3.975886e-06,4.076096e-06,4.107688e-06,4.239011e-06,4.249494e-06,4.369781e-06,4.421918e-06,4.499929e-06,4.593215e-06,4.629393e-06,4.758115e-06,4.763247e-06,4.886041e-06,4.931891e-06,5.013124e-06,5.099035e-06,5.139318e-06,5.264581e-06,5.388878e-06,5.428442e-06,5.512172e-06,5.590540e-06,5.634434e-06,5.750806e-06,5.755634e-06,5.875747e-06,5.909181e-06,5.994750e-06,6.065610e-06,6.112622e-06,6.220049e-06,6.229344e-06,6.344900e-06,6.372458e-06,6.459275e-06,6.522804e-06,6.572456e-06,6.671058e-06,6.684431e-06,6.795191e-06,6.817196e-06,6.904727e-06,6.961200e-06,7.013033e-06,7.103055e-06,7.120103e-06,7.225931e-06,7.242748e-06,7.330515e-06,7.380273e-06,7.433853e-06,7.515624e-06,7.535942e-06,7.636782e-06,7.648798e-06,7.736373e-06,7.779798e-06,7.834716e-06,7.908624e-06,7.931814e-06,8.027668e-06,8.035283e-06,8.122282e-06,8.159781e-06,8.215659e-06,8.282127e-06,8.307804e-06,8.398720e-06,8.402331e-06,8.488415e-06,8.520406e-06,8.576892e-06,8.636364e-06,8.664158e-06,8.750220e-06,8.861990e-06,8.971690e-06,9.079337e-06,9.184951e-06,9.288550e-06,9.390154e-06,9.489784e-06,9.587460e-06,9.683204e-06,9.777039e-06,9.868985e-06,9.959067e-06,1.004731e-05,1.013373e-05,1.021835e-05,1.030120e-05,1.038231e-05,1.046168e-05,1.053936e-05,1.061536e-05,1.068971e-05,1.076243e-05,1.083354e-05,1.090307e-05
0.000000e+00,1.225036e-11,3.745321e-11,1.977436e-10,5.986012e-10,9.964147e-10,3.018435e-09,3.142334e-09,7.706674e-09,9.609429e-09,1.618187e-08,2.395153e-08,3.055713e-08,5.105285e-08,5.323106e-08,8.663778e-08,9.649271e-08,1.328469e-07,1.649289e-07,1.934570e-07,2.596802e-07,2.696854e-07,3.624699e-07,3.830801e-07,4.725284e-07,5.367680e-07,6.003889e-07,7.218102e-07,7.464015e-07,9.107470e-07,9.387469e-07,1.093444e-06,1.187622e-06,1.294357e-06,1.468023e-06,1.513212e-06,1.749609e-06,1.779132e-06,2.003037e-06,2.119789e-06,2.272894e-06,2.488559e-06,2.558502e-06,2.859123e-06,2.883798e-06,3.173974e-06,3.303718e-06,3.502243e-06,3.746439e-06,3.843099e-06,4.195700e-06,4.210036e-06,4.559207e-06,4.692579e-06,4.932789e-06,5.192161e-06,5.315626e-06,5.706919e-06,6.105887e-06,6.235055e-06,6.511778e-06,6.774845e-06,6.923865e-06,7.324648e-06,7.341449e-06,7.763861e-06,7.882913e-06,8.190460e-06,8.448175e-06,8.620638e-06,9.019063e-06,9.053814e-06,9.489436e-06,9.594291e-06,9.926982e-06,1.017266e-05,1.036596e-05,1.075307e-05,1.080589e-05,1.124635e-05,1.133447e-05,1.168691e-05,1.191591e-05,1.212719e-05,1.249652e-05,1.256681e-05,1.300543e-05,1.307549e-05,1.344272e-05,1.365206e-05,1.387839e-05,1.422557e-05,1.431215e-05,1.474374e-05,1.479538e-05,1.517292e-05,1.536093e-05,1.559944e-05,1.592170e-05,1.602311e-05,1.644372e-05,1.647723e-05,1.686110e-05,1.702710e-05,1.727507e-05,1.757093e-05,1.768548e-05,1.809220e-05,1.810839e-05,1.849509e-05,1.863917e-05,1.889404e-05,1.916301e-05,1.928893e-05,1.967968e-05,2.006619e-05,2.018897e-05,2.044840e-05,2.069071e-05,2.082622e-05,2.118475e-05,2.119960e-05,2.156848e-05,2.167096e-05,2.193283e-05,2.214924e-05,2.229260e-05,2.261952e-05,2.264776e-05,2.299828e-05,2.308171e-05,2.334414e-05,2.353579e-05,2.368534e-05,2.398171e-05,2.402185e-05,2.435367e-05,2.441947e-05,2.468080e-05,2.484906e-05,2.500325e-05,2.527049e-05,2.532102e-05,2.563412e-05,2.568378e-05,2.594256e-05,2.608897e-05,2.624637e-05,2.648609e-05,2.654557e-05,2.684016e-05,2.687521e-05,2.713019e-05,2.725637e-05,2.741568e-05,2.762964e-05,2.769666e-05,2.797316e-05,2.799509e-05,2.824522e-05,2.835280e-05,2.851286e-05,2.870285e-05,2.877613e-05,2.903506e-05,2.904533e-05,2.928970e-05,2.938033e-05,2.954009e-05,2.970794e-05,2.978626e-05,3.002826e-05,3.034139e-05,3.064743e-05,3.094648e-05,3.123866e-05,3.152407e-05,3.180281e-05,3.207500e-05,3.234074e-05,3.260015e-05,3.285333e-05,3.310040e-05,3.334147e-05,3.357664e-05,3.380602e-05,3.402972e-05,3.424785e-05,3.446052e-05,3.466783e-05,3.486989e-05,3.506680e-05,3.525866e-05,3.544557e-05,3.562764e-05,3.580497e-05
0.000000e+00,1.631572e-17,1.787510e-16,6.041532e-15,6.004462e-14,1.696095e-13,1.539353e-12,1.664938e-12,9.227482e-12,1.389288e-11,3.574342e-11,7.127301e-11,1.084340e-10,2.572596e-10,2.757198e-10,6.138503e-10,7.318436e-10,1.232527e-09,1.754739e-09,2.278776e-09,3.699778e-09,3.938368e-09,6.434461e-09,7.056119e-09,1.002377e-08,1.241582e-08,1.499097e-08,2.045182e-08,2.164231e-08,3.029893e-08,3.189204e-08,4.129051e-08,4.749345e-08,5.494928e-08,6.801812e-08,7.160444e-08,9.157704e-08,9.421148e-08,1.151752e-07,1.267826e-07,1.426897e-07,1.663865e-07,1.743898e-07,2.105201e-07,2.136086e-07,2.512972e-07,2.689518e-07,2.969069e-07,3.328260e-07,3.475032e-07,4.032062e-07,4.055419e-07,4.641022e-07,4.873070e-07,5.302432e-07,5.782261e-07,6.016482e-07,6.783038e-07,7.601660e-07,7.874504e-07,8.471624e-07,9.054900e-07,9.391943e-07,1.032169e-06,1.036140e-06,1.137855e-06,1.167168e-06,1.244178e-06,1.310110e-06,1.354931e-06,1.460574e-06,1.469925e-06,1.588959e-06,1.618105e-06,1.711822e-06,1.782219e-06,1.838302e-06,1.952421e-06,1.968179e-06,2.101232e-06,2.128205e-06,2.237242e-06,2.309062e-06,2.375988e-06,2.494490e-06,2.517253e-06,2.660823e-06,2.683994e-06,2.806490e-06,2.877095e-06,2.954050e-06,3.073326e-06,3.103303e-06,3.254060e-06,3.272243e-06,3.406133e-06,3.473417e-06,3.559346e-06,3.676444e-06,3.713527e-06,3.868512e-06,3.880941e-06,4.024145e-06,4.086546e-06,4.180277e-06,4.292920e-06,4.336764e-06,4.493473e-06,4.499744e-06,4.650275e-06,4.706723e-06,4.807049e-06,4.913580e-06,4.963679e-06,5.120059e-06,5.276085e-06,5.325923e-06,5.431662e-06,5.530953e-06,5.586699e-06,5.734948e-06,5.741111e-06,5.894819e-06,5.937721e-06,6.047748e-06,6.139103e-06,6.199829e-06,6.338938e-06,6.350996e-06,6.501189e-06,6.537084e-06,6.650352e-06,6.733414e-06,6.798432e-06,6.927809e-06,6.945381e-06,7.091154e-06,7.120164e-06,7.235710e-06,7.310385e-06,7.379010e-06,7.498387e-06,7.521020e-06,7.661708e-06,7.684093e-06,7.801044e-06,7.867437e-06,7.939001e-06,8.048359e-06,8.075557e-06,8.210689e-06,8.226808e-06,8.344378e-06,8.402739e-06,8.476606e-06,8.576114e-06,8.607360e-06,8.736624e-06,8.746900e-06,8.864388e-06,8.915071e-06,8.990642e-06,9.080605e-06,9.115378e-06,9.238589e-06,9.243485e-06,9.360270e-06,9.403699e-06,9.480417e-06,9.561239e-06,9.599027e-06,9.716100e-06,9.868280e-06,1.001778e-05,1.016461e-05,1.030878e-05,1.045029e-05,1.058916e-05,1.072540e-05,1.085903e-05,1.099007e-05,1.111853e-05,1.124445e-05,1.136784e-05,1.148872e-05,1.160713e-05,1.172308e-05,1.183661e-05,1.194774e-05,1.205650e-05,1.216292e-05,1.226703e-05,1.236885e-05,1.246843e-05,1.256578e-05,1.266095e-05
0.000000e+00,5.894833e-13,3.021171e-12,2.832264e-11,1.126644e-10,2.075869e-10,7.503267e-10,7.853342e-10,2.134572e-09,2.716830e-09,4.769875e-09,7.243757e-09,9.370809e-09,1.606446e-08,1.678287e-08,2.794506e-08,3.128486e-08,4.376425e-08,5.495950e-08,6.503863e-08,8.882030e-08,9.245505e-08,1.266102e-07,1.342970e-07,1.680257e-07,1.925841e-07,2.171543e-07,2.646657e-07,2.743796e-07,3.400142e-07,3.513131e-07,4.142977e-07,4.530772e-07,4.973955e-07,5.702846e-07,5.894001e-07,6.903331e-07,7.030435e-07,8.001492e-07,8.512571e-07,9.187420e-07,1.014645e-06,1.045950e-06,1.181563e-06,1.192768e-06,1.325330e-06,1.385057e-06,1.476966e-06,1.590840e-06,1.636156e-06,1.802567e-06,1.809369e-06,1.975848e-06,2.039841e-06,2.155636e-06,2.281421e-06,2.341563e-06,2.533260e-06,2.730355e-06,2.794505e-06,2.932482e-06,3.064317e-06,3.139279e-06,3.341871e-06,3.350394e-06,3.565481e-06,3.626372e-06,3.784205e-06,3.917049e-06,4.006239e-06,4.213165e-06,4.231270e-06,4.458995e-06,4.514018e-06,4.689123e-06,4.818940e-06,4.921374e-06,5.127300e-06,5.155483e-06,5.391192e-06,5.438505e-06,5.628260e-06,5.751995e-06,5.866455e-06,6.067249e-06,6.105558e-06,6.345362e-06,6.383783e-06,6.585671e-06,6.701143e-06,6.826297e-06,7.018907e-06,7.067064e-06,7.307803e-06,7.336683e-06,7.548358e-06,7.654104e-06,7.788578e-06,7.970833e-06,8.028321e-06,8.267456e-06,8.286556e-06,8.505856e-06,8.600983e-06,8.743403e-06,8.913846e-06,8.979986e-06,9.215502e-06,9.224899e-06,9.449853e-06,9.533916e-06,9.682946e-06,9.840688e-06,9.914697e-06,1.014503e-05,1.037386e-05,1.044676e-05,1.060112e-05,1.074572e-05,1.082676e-05,1.104177e-05,1.105070e-05,1.127289e-05,1.133479e-05,1.149329e-05,1.162465e-05,1.171185e-05,1.191125e-05,1.192851e-05,1.214325e-05,1.219449e-05,1.235602e-05,1.247430e-05,1.256680e-05,1.275060e-05,1.277554e-05,1.298224e-05,1.302333e-05,1.318685e-05,1.329242e-05,1.338937e-05,1.355784e-05,1.358976e-05,1.378802e-05,1.381954e-05,1.398413e-05,1.407750e-05,1.417808e-05,1.433167e-05,1.436986e-05,1.455945e-05,1.458206e-05,1.474686e-05,1.482863e-05,1.493208e-05,1.507137e-05,1.511510e-05,1.529593e-05,1.531030e-05,1.547456e-05,1.554539e-05,1.565099e-05,1.577667e-05,1.582524e-05,1.599729e-05,1.600413e-05,1.616717e-05,1.622779e-05,1.633486e-05,1.644766e-05,1.650039e-05,1.666375e-05,1.687610e-05,1.708472e-05,1.728964e-05,1.749088e-05,1.768847e-05,1.788245e-05,1.807284e-05,1.825969e-05,1.844302e-05,1.862288e-05,1.879930e-05,1.897231e-05,1.914197e-05,1.930831e-05,1.947136e-05,1.963118e-05,1.978781e-05,1.994127e-05,2.009163e-05,2.023892e-05,2.038318e-05,2.052447e-05,2.066281e-05,2.079826e-05
0.000000e+00,1.066755e-12,3.671988e-12,2.168758e-11,6.830428e-11,1.147976e-10,3.483708e-10,3.625035e-10,8.705970e-10,1.076316e-09,1.766113e-09,2.550080e-09,3.197106e-09,5.132027e-09,5.333227e-09,8.364452e-09,9.247594e-09,1.249344e-08,1.535951e-08,1.791684e-08,2.389125e-08,2.479815e-08,3.324612e-08,3.512906e-08,4.331075e-08,4.918534e-08,5.499377e-08,6.603545e-08,6.826313e-08,8.306499e-08,8.557113e-08,9.933181e-08,1.076380e-07,1.169872e-07,1.320562e-07,1.359490e-07,1.561312e-07,1.586309e-07,1.774455e-07,1.871595e-07,1.998028e-07,2.174368e-07,2.231137e-07,2.472902e-07,2.492591e-07,2.722462e-07,2.824282e-07,2.978988e-07,3.167552e-07,3.241685e-07,3.509799e-07,3.520626e-07,3.782620e-07,3.881860e-07,4.059488e-07,4.249755e-07,4.339790e-07,4.622958e-07,4.908476e-07,5.000259e-07,5.195869e-07,5.380584e-07,5.484706e-07,5.762986e-07,5.774598e-07,6.065191e-07,6.146638e-07,6.356166e-07,6.530814e-07,6.647236e-07,6.914881e-07,6.938142e-07,7.228652e-07,7.298292e-07,7.518556e-07,7.680567e-07,7.807666e-07,8.061291e-07,8.095813e-07,8.382842e-07,8.440102e-07,8.668617e-07,8.816683e-07,8.953014e-07,9.190759e-07,9.235919e-07,9.517232e-07,9.562089e-07,9.796862e-07,9.930462e-07,1.007473e-06,1.029569e-06,1.035075e-06,1.062486e-06,1.065762e-06,1.089700e-06,1.101610e-06,1.116711e-06,1.137101e-06,1.143515e-06,1.170106e-06,1.172225e-06,1.196482e-06,1.206970e-06,1.222636e-06,1.241330e-06,1.248568e-06,1.274273e-06,1.275296e-06,1.299749e-06,1.308863e-06,1.324993e-06,1.342026e-06,1.350004e-06,1.374779e-06,1.399317e-06,1.407118e-06,1.423616e-06,1.439042e-06,1.447675e-06,1.470546e-06,1.471494e-06,1.495071e-06,1.501629e-06,1.518405e-06,1.532290e-06,1.541497e-06,1.562527e-06,1.564346e-06,1.586951e-06,1.592340e-06,1.609312e-06,1.621728e-06,1.631430e-06,1.650693e-06,1.653305e-06,1.674937e-06,1.679234e-06,1.696325e-06,1.707352e-06,1.717472e-06,1.735048e-06,1.738377e-06,1.759041e-06,1.762324e-06,1.779464e-06,1.789182e-06,1.799648e-06,1.815623e-06,1.819593e-06,1.839300e-06,1.841649e-06,1.858771e-06,1.867263e-06,1.878005e-06,1.892467e-06,1.897006e-06,1.915772e-06,1.917264e-06,1.934307e-06,1.941656e-06,1.952610e-06,1.965647e-06,1.970684e-06,1.988530e-06,1.989239e-06,2.006149e-06,2.012436e-06,2.023542e-06,2.035241e-06,2.040711e-06,2.057657e-06,2.079689e-06,2.101338e-06,2.122610e-06,2.143507e-06,2.164034e-06,2.184194e-06,2.203991e-06,2.223429e-06,2.242512e-06,2.261244e-06,2.279629e-06,2.297671e-06,2.315373e-06,2.332741e-06,2.349777e-06,2.366487e-06,2.382873e-06,2.398941e-06,2.414693e-06,2.430135e-06,2.445270e-06,2.460103e-06,2.474636e-06,2.488875e-06
0.000000e+00,2.554575e-12,7.757051e-12,4.045120e-11,1.210936e-10,2.002788e-10,5.957145e-10,6.196669e-10,1.487420e-09,1.842663e-09,3.048990e-09,4.444114e-09,5.610774e-09,9.152086e-09,9.523078e-09,1.512436e-08,1.675177e-08,2.268485e-08,2.784873e-08,3.239634e-08,4.282662e-08,4.438946e-08,5.874976e-08,6.191081e-08,7.552664e-08,8.521271e-08,9.473783e-08,1.127492e-07,1.163723e-07,1.403929e-07,1.444539e-07,1.667393e-07,1.801888e-07,1.953311e-07,2.197569e-07,2.260718e-07,2.588524e-07,2.629176e-07,2.935546e-07,3.094006e-07,3.300548e-07,3.589196e-07,3.682264e-07,4.079426e-07,4.111829e-07,4.490784e-07,4.659027e-07,4.915119e-07,5.228016e-07,5.351259e-07,5.798086e-07,5.816166e-07,6.254538e-07,6.421024e-07,6.719619e-07,7.040323e-07,7.192393e-07,7.671988e-07,8.157592e-07,8.314131e-07,8.648455e-07,8.965042e-07,9.143878e-07,9.623179e-07,9.643220e-07,1.014589e-06,1.028715e-06,1.065133e-06,1.095572e-06,1.115905e-06,1.162777e-06,1.166858e-06,1.217950e-06,1.230228e-06,1.269140e-06,1.297837e-06,1.320393e-06,1.365522e-06,1.371676e-06,1.422958e-06,1.433211e-06,1.474209e-06,1.500840e-06,1.525406e-06,1.568350e-06,1.576522e-06,1.627537e-06,1.635688e-06,1.678429e-06,1.702809e-06,1.729181e-06,1.769668e-06,1.779773e-06,1.830192e-06,1.836229e-06,1.880421e-06,1.902458e-06,1.930446e-06,1.968322e-06,1.980256e-06,2.029839e-06,2.033796e-06,2.079184e-06,2.098853e-06,2.128281e-06,2.163471e-06,2.177120e-06,2.225694e-06,2.227632e-06,2.273995e-06,2.291315e-06,2.322016e-06,2.354506e-06,2.369749e-06,2.417190e-06,2.464332e-06,2.479354e-06,2.511172e-06,2.540987e-06,2.557703e-06,2.602080e-06,2.603922e-06,2.649826e-06,2.662622e-06,2.695410e-06,2.722606e-06,2.740673e-06,2.782027e-06,2.785610e-06,2.830220e-06,2.840877e-06,2.874501e-06,2.899153e-06,2.918450e-06,2.956850e-06,2.962066e-06,3.005348e-06,3.013965e-06,3.048295e-06,3.070495e-06,3.090905e-06,3.126438e-06,3.133179e-06,3.175114e-06,3.181792e-06,3.216711e-06,3.236558e-06,3.257970e-06,3.290734e-06,3.298891e-06,3.339474e-06,3.344321e-06,3.379718e-06,3.397319e-06,3.419625e-06,3.449728e-06,3.459194e-06,3.498428e-06,3.501552e-06,3.537325e-06,3.552790e-06,3.575887e-06,3.603445e-06,3.614115e-06,3.652010e-06,3.653519e-06,3.689573e-06,3.703015e-06,3.726806e-06,3.751935e-06,3.763708e-06,3.800283e-06,3.848061e-06,3.895274e-06,3.941924e-06,3.988016e-06,4.033553e-06,4.078539e-06,4.122979e-06,4.166877e-06,4.210238e-06,4.253065e-06,4.295364e-06,4.337139e-06,4.378395e-06,4.419137e-06,4.459369e-06,4.499097e-06,4.538326e-06,4.577060e-06,4.615304e-06,4.653065e-06,4.690346e-06,4.727153e-06,4.763491e-06,4.799365e-06
0.000000e+00,1.143202e-16,1.205686e-15,3.767603e-14,3.489378e-13,9.486185e-13,7.811472e-12,8.415845e-12,4.246576e-11,6.235737e-11,1.508062e-10,2.863309e-10,4.221432e-10,9.350279e-10,9.963783e-10,2.070503e-09,2.429879e-09,3.900500e-09,5.370132e-09,6.800122e-09,1.052754e-08,1.113726e-08,1.732796e-08,1.882802e-08,2.582733e-08,3.131852e-08,3.711641e-08,4.911307e-08,5.168414e-08,7.000576e-08,7.331560e-08,9.252006e-08,1.049310e-07,1.196091e-07,1.447856e-07,1.515836e-07,1.886742e-07,1.934767e-07,2.310298e-07,2.513551e-07,2.787210e-07,3.185364e-07,3.317465e-07,3.900410e-07,3.949289e-07,4.534848e-07,4.802685e-07,5.219128e-07,5.741547e-07,5.951225e-07,6.728823e-07,6.760838e-07,7.549385e-07,7.854789e-07,8.410215e-07,9.017155e-07,9.308515e-07,1.024143e-06,1.120610e-06,1.152103e-06,1.219968e-06,1.284944e-06,1.321936e-06,1.422031e-06,1.426245e-06,1.532630e-06,1.562755e-06,1.640839e-06,1.706540e-06,1.750633e-06,1.852846e-06,1.861783e-06,1.974073e-06,2.001170e-06,2.087301e-06,2.151047e-06,2.201276e-06,2.302051e-06,2.315821e-06,2.430771e-06,2.453796e-06,2.545972e-06,2.605928e-06,2.661282e-06,2.758130e-06,2.776569e-06,2.891712e-06,2.910114e-06,3.006600e-06,3.061626e-06,3.121131e-06,3.212434e-06,3.235210e-06,3.348751e-06,3.362336e-06,3.461677e-06,3.511150e-06,3.573915e-06,3.658717e-06,3.685402e-06,3.796078e-06,3.804895e-06,3.905890e-06,3.949562e-06,4.014791e-06,4.092610e-06,4.122736e-06,4.229688e-06,4.233945e-06,4.335613e-06,4.373488e-06,4.440479e-06,4.511169e-06,4.544259e-06,4.646930e-06,4.748471e-06,4.780722e-06,4.848864e-06,4.912506e-06,4.948094e-06,5.042248e-06,5.046147e-06,5.143014e-06,5.169922e-06,5.238684e-06,5.295510e-06,5.333152e-06,5.418997e-06,5.426413e-06,5.518462e-06,5.540374e-06,5.609298e-06,5.659636e-06,5.698921e-06,5.776784e-06,5.787329e-06,5.874526e-06,5.891821e-06,5.960514e-06,6.004751e-06,6.045297e-06,6.115586e-06,6.128879e-06,6.211266e-06,6.224337e-06,6.292463e-06,6.331018e-06,6.372478e-06,6.435644e-06,6.451318e-06,6.528992e-06,6.538234e-06,6.605506e-06,6.638808e-06,6.680872e-06,6.737386e-06,6.755097e-06,6.828192e-06,6.833991e-06,6.900167e-06,6.928645e-06,6.971032e-06,7.021374e-06,7.040798e-06,7.109476e-06,7.112201e-06,7.177077e-06,7.201152e-06,7.243613e-06,7.288254e-06,7.309094e-06,7.373534e-06,7.457018e-06,7.538734e-06,7.618710e-06,7.696974e-06,7.773553e-06,7.848476e-06,7.921770e-06,7.993465e-06,8.063587e-06,8.132165e-06,8.199227e-06,8.264801e-06,8.328913e-06,8.391591e-06,8.452863e-06,8.512755e-06,8.571293e-06,8.628504e-06,8.684414e-06,8.739048e-06,8.792432e-06,8.844592e-06,8.895550e-06,8.945333e-06
0.000000e+00,1.485559e-14,1.160135e-13,2.049477e-12,1.198547e-11,2.590530e-11,1.264180e-10,1.335947e-10,4.394452e-10,5.821788e-10,1.111980e-09,1.782996e-09,2.377318e-09,4.313401e-09,4.525838e-09,7.920113e-09,8.967333e-09,1.299972e-08,1.676861e-08,2.027588e-08,2.893900e-08,3.030697e-08,4.365041e-08,4.676186e-08,6.080055e-08,7.135451e-08,8.213718e-08,1.034776e-07,1.079042e-07,1.382194e-07,1.434941e-07,1.730986e-07,1.914465e-07,2.124824e-07,2.471580e-07,2.562576e-07,3.042726e-07,3.103110e-07,3.563485e-07,3.804978e-07,4.122869e-07,4.572528e-07,4.718751e-07,5.348915e-07,5.400741e-07,6.011087e-07,6.284403e-07,6.702968e-07,7.218229e-07,7.422263e-07,8.166705e-07,8.196974e-07,8.934068e-07,9.215512e-07,9.722191e-07,1.026890e-06,1.052899e-06,1.135245e-06,1.219067e-06,1.246171e-06,1.304182e-06,1.359255e-06,1.390418e-06,1.474110e-06,1.477614e-06,1.565616e-06,1.590382e-06,1.654282e-06,1.707744e-06,1.743478e-06,1.825900e-06,1.833081e-06,1.922973e-06,1.944579e-06,2.013049e-06,2.063534e-06,2.103209e-06,2.182546e-06,2.193360e-06,2.283419e-06,2.301413e-06,2.373307e-06,2.419957e-06,2.462953e-06,2.538019e-06,2.552289e-06,2.641257e-06,2.655454e-06,2.729801e-06,2.772136e-06,2.817870e-06,2.887952e-06,2.905418e-06,2.992403e-06,3.002802e-06,3.078788e-06,3.116598e-06,3.164538e-06,3.229264e-06,3.249622e-06,3.334011e-06,3.340732e-06,3.417682e-06,3.450944e-06,3.500611e-06,3.559849e-06,3.582778e-06,3.664167e-06,3.667406e-06,3.744761e-06,3.773577e-06,3.824546e-06,3.878332e-06,3.903512e-06,3.981647e-06,4.058944e-06,4.083501e-06,4.135396e-06,4.183878e-06,4.210996e-06,4.282767e-06,4.285741e-06,4.359626e-06,4.380160e-06,4.432650e-06,4.476051e-06,4.504812e-06,4.570438e-06,4.576110e-06,4.646545e-06,4.663322e-06,4.716119e-06,4.754705e-06,4.784833e-06,4.844592e-06,4.852689e-06,4.919692e-06,4.932990e-06,4.985843e-06,5.019907e-06,5.051148e-06,5.105353e-06,5.115611e-06,5.179236e-06,5.189339e-06,5.242030e-06,5.271877e-06,5.303997e-06,5.352981e-06,5.365145e-06,5.425478e-06,5.432664e-06,5.485004e-06,5.510941e-06,5.543729e-06,5.587829e-06,5.601661e-06,5.658805e-06,5.663343e-06,5.715171e-06,5.737501e-06,5.770765e-06,5.810318e-06,5.825594e-06,5.879666e-06,5.881814e-06,5.932990e-06,5.952005e-06,5.985573e-06,6.020910e-06,6.037423e-06,6.088547e-06,6.154935e-06,6.220092e-06,6.284036e-06,6.346788e-06,6.408364e-06,6.468784e-06,6.528067e-06,6.586231e-06,6.643294e-06,6.699276e-06,6.754193e-06,6.808065e-06,6.860908e-06,6.912742e-06,6.963584e-06,7.013450e-06,7.062359e-06,7.110327e-06,7.157371e-06,7.203508e-06,7.248754e-06,7.293126e-06,7.336639e-06,7.379309e-06
0.000000e+00,5.075517e-12,1.567307e-11,8.351489e-11,2.533271e-10,4.214389e-10,1.268576e-09,1.320111e-09,3.193793e-09,3.962657e-09,6.575491e-09,9.598123e-09,1.212691e-08,1.982583e-08,2.063558e-08,3.296965e-08,3.659641e-08,4.999593e-08,6.188381e-08,7.252085e-08,9.747645e-08,1.012794e-07,1.369452e-07,1.449628e-07,1.801396e-07,2.057678e-07,2.314346e-07,2.811656e-07,2.913517e-07,3.603575e-07,3.722699e-07,4.388590e-07,4.800157e-07,5.271985e-07,6.051397e-07,6.256496e-07,7.344149e-07,7.481667e-07,8.536238e-07,9.094016e-07,9.833336e-07,1.088930e-06,1.123530e-06,1.274132e-06,1.286626e-06,1.434992e-06,1.502165e-06,1.605906e-06,1.735046e-06,1.786615e-06,1.976811e-06,1.984611e-06,2.176147e-06,2.250073e-06,2.384240e-06,2.530537e-06,2.600679e-06,2.825028e-06,3.056836e-06,3.132514e-06,3.295639e-06,3.451927e-06,3.540966e-06,3.782178e-06,3.792343e-06,4.049297e-06,4.122179e-06,4.311358e-06,4.470855e-06,4.578066e-06,4.827151e-06,4.848967e-06,5.123620e-06,5.190048e-06,5.401598e-06,5.558562e-06,5.682485e-06,5.931756e-06,5.965883e-06,6.251410e-06,6.308738e-06,6.538697e-06,6.688666e-06,6.827396e-06,7.070750e-06,7.117173e-06,7.407711e-06,7.454247e-06,7.698709e-06,7.838468e-06,7.989884e-06,8.222770e-06,8.280967e-06,8.571705e-06,8.606559e-06,8.861861e-06,8.989286e-06,9.151210e-06,9.370446e-06,9.439543e-06,9.726664e-06,9.749576e-06,1.001239e-05,1.012625e-05,1.029655e-05,1.050008e-05,1.057898e-05,1.085954e-05,1.087072e-05,1.113808e-05,1.123784e-05,1.141449e-05,1.160117e-05,1.168864e-05,1.196043e-05,1.222974e-05,1.231539e-05,1.249651e-05,1.266585e-05,1.276063e-05,1.301163e-05,1.302203e-05,1.328064e-05,1.335255e-05,1.353641e-05,1.368848e-05,1.378927e-05,1.401929e-05,1.403917e-05,1.428607e-05,1.434487e-05,1.452992e-05,1.466513e-05,1.477069e-05,1.498001e-05,1.500836e-05,1.524289e-05,1.528942e-05,1.547426e-05,1.559332e-05,1.570246e-05,1.589168e-05,1.592747e-05,1.614927e-05,1.618446e-05,1.636787e-05,1.647165e-05,1.658325e-05,1.675323e-05,1.679541e-05,1.700435e-05,1.702921e-05,1.721008e-05,1.729959e-05,1.741261e-05,1.756438e-05,1.761193e-05,1.780806e-05,1.782361e-05,1.800101e-05,1.807730e-05,1.819079e-05,1.832548e-05,1.837742e-05,1.856091e-05,1.856818e-05,1.874128e-05,1.880545e-05,1.891855e-05,1.903733e-05,1.909274e-05,1.926387e-05,1.948512e-05,1.970113e-05,1.991196e-05,2.011767e-05,2.031831e-05,2.051396e-05,2.070467e-05,2.089052e-05,2.107156e-05,2.124787e-05,2.141952e-05,2.158657e-05,2.174909e-05,2.190717e-05,2.206086e-05,2.221023e-05,2.235537e-05,2.249634e-05,2.263321e-05,2.276606e-05,2.289495e-05,2.301996e-05,2.314115e-05,2.325860e-05
0.000000e+00,1.989383e-18,2.323899e-17,8.985828e-16,1.010353e-14,3.054408e-14,3.304947e-13,3.600265e-13,2.376405e-12,3.751856e-12,1.087416e-11,2.387032e-11,3.865673e-11,1.053747e-10,1.142722e-10,2.934900e-10,3.617092e-10,6.748183e-10,1.033358e-09,1.419006e-09,2.566905e-09,2.772057e-09,5.090819e-09,5.711245e-09,8.869711e-09,1.162304e-08,1.476682e-08,2.196979e-08,2.362740e-08,3.650298e-08,3.901744e-08,5.466460e-08,6.569058e-08,7.960874e-08,1.055962e-07,1.130556e-07,1.569396e-07,1.630063e-07,2.133913e-07,2.427993e-07,2.847130e-07,3.503612e-07,3.733472e-07,4.818399e-07,4.914550e-07,6.127999e-07,6.720638e-07,7.688553e-07,8.982173e-07,9.526079e-07,1.166589e-06,1.175811e-06,1.413213e-06,1.510430e-06,1.694740e-06,1.907177e-06,2.013234e-06,2.370530e-06,2.768205e-06,2.904209e-06,3.207554e-06,3.511081e-06,3.689573e-06,4.193092e-06,4.214945e-06,4.784034e-06,4.951227e-06,5.396883e-06,5.785498e-06,6.053222e-06,6.694971e-06,6.752471e-06,7.493757e-06,7.677799e-06,8.275930e-06,8.731290e-06,9.097580e-06,9.851988e-06,9.957064e-06,1.085252e-05,1.103576e-05,1.178192e-05,1.227789e-05,1.274305e-05,1.357321e-05,1.373357e-05,1.475105e-05,1.491618e-05,1.579295e-05,1.630099e-05,1.685670e-05,1.772167e-05,1.793967e-05,1.903924e-05,1.917217e-05,2.015277e-05,2.064648e-05,2.127768e-05,2.213864e-05,2.241141e-05,2.355146e-05,2.364287e-05,2.469541e-05,2.515356e-05,2.584092e-05,2.666539e-05,2.698574e-05,2.812771e-05,2.817330e-05,2.926479e-05,2.967257e-05,3.039505e-05,3.115879e-05,3.151666e-05,3.262792e-05,3.372725e-05,3.407627e-05,3.481316e-05,3.550049e-05,3.588432e-05,3.689759e-05,3.693948e-05,3.797750e-05,3.826494e-05,3.899738e-05,3.960021e-05,3.999819e-05,4.090141e-05,4.097913e-05,4.193948e-05,4.216683e-05,4.287862e-05,4.339507e-05,4.379602e-05,4.458499e-05,4.469123e-05,4.556388e-05,4.573568e-05,4.641368e-05,4.684647e-05,4.724041e-05,4.791691e-05,4.804390e-05,4.882406e-05,4.894672e-05,4.958086e-05,4.993582e-05,5.031430e-05,5.088427e-05,5.102444e-05,5.171140e-05,5.179228e-05,5.237531e-05,5.266017e-05,5.301636e-05,5.348839e-05,5.363476e-05,5.423076e-05,5.427748e-05,5.480464e-05,5.502806e-05,5.535670e-05,5.574084e-05,5.588724e-05,5.639662e-05,5.641656e-05,5.688519e-05,5.705605e-05,5.735331e-05,5.766016e-05,5.780139e-05,5.822980e-05,5.876587e-05,5.926934e-05,5.974116e-05,6.018230e-05,6.059374e-05,6.097647e-05,6.133145e-05,6.165967e-05,6.196209e-05,6.223967e-05,6.249333e-05,6.272403e-05,6.293265e-05,6.312010e-05,6.328725e-05,6.343495e-05,6.356405e-05,6.367534e-05,6.376963e-05,6.384769e-05,6.391026e-05,6.395807e-05,6.399183e-05,6.401221e-05
0.000000e+00,3.848966e-13,2.022425e-12,1.955278e-11,7.889238e-11,1.460160e-10,5.300702e-10,5.547967e-10,1.501768e-09,1.906891e-09,3.320451e-09,4.997948e-09,6.422302e-09,1.082989e-08,1.129814e-08,1.851344e-08,2.066114e-08,2.868305e-08,3.589798e-08,4.241714e-08,5.788788e-08,6.026228e-08,8.267304e-08,8.773662e-08,1.100143e-07,1.262783e-07,1.425729e-07,1.741160e-07,1.805676e-07,2.241543e-07,2.316544e-07,2.734302e-07,2.991176e-07,3.284366e-07,3.765617e-07,3.891622e-07,4.555477e-07,4.638898e-07,5.274898e-07,5.608695e-07,6.048471e-07,6.671539e-07,6.874449e-07,7.750815e-07,7.823035e-07,8.675331e-07,9.058085e-07,9.645591e-07,1.037109e-06,1.065907e-06,1.171315e-06,1.175612e-06,1.280519e-06,1.320711e-06,1.393253e-06,1.471793e-06,1.509252e-06,1.628254e-06,1.750003e-06,1.789503e-06,1.874252e-06,1.954971e-06,2.000758e-06,2.124113e-06,2.129290e-06,2.259624e-06,2.296411e-06,2.391547e-06,2.471378e-06,2.524855e-06,2.648554e-06,2.659354e-06,2.794859e-06,2.827511e-06,2.931198e-06,3.007849e-06,3.068204e-06,3.189197e-06,3.205722e-06,3.343605e-06,3.371214e-06,3.481716e-06,3.553581e-06,3.619926e-06,3.736008e-06,3.758112e-06,3.896161e-06,3.918229e-06,4.033967e-06,4.099998e-06,4.171431e-06,4.281093e-06,4.308460e-06,4.444968e-06,4.461310e-06,4.580876e-06,4.640465e-06,4.716108e-06,4.818391e-06,4.850597e-06,4.984279e-06,4.994937e-06,5.117096e-06,5.169968e-06,5.248993e-06,5.343362e-06,5.379922e-06,5.509837e-06,5.515012e-06,5.638696e-06,5.684820e-06,5.766463e-06,5.852703e-06,5.893103e-06,6.018585e-06,6.142882e-06,6.182403e-06,6.265969e-06,6.344099e-06,6.387824e-06,6.503627e-06,6.508427e-06,6.627762e-06,6.660946e-06,6.745814e-06,6.816023e-06,6.862570e-06,6.968832e-06,6.978020e-06,7.092155e-06,7.119351e-06,7.204969e-06,7.267565e-06,7.316456e-06,7.413463e-06,7.426612e-06,7.535435e-06,7.557040e-06,7.642925e-06,7.698292e-06,7.749081e-06,7.837222e-06,7.853905e-06,7.957399e-06,7.973835e-06,8.059568e-06,8.108140e-06,8.160416e-06,8.240147e-06,8.259948e-06,8.358170e-06,8.369869e-06,8.455090e-06,8.497324e-06,8.550714e-06,8.622528e-06,8.645052e-06,8.738112e-06,8.745502e-06,8.829903e-06,8.866266e-06,8.920435e-06,8.984845e-06,9.009719e-06,9.097765e-06,9.101261e-06,9.184584e-06,9.215541e-06,9.270188e-06,9.327711e-06,9.354589e-06,9.437797e-06,9.545828e-06,9.651833e-06,9.755840e-06,9.857879e-06,9.957980e-06,1.005617e-05,1.015249e-05,1.024696e-05,1.033961e-05,1.043048e-05,1.051959e-05,1.060697e-05,1.069266e-05,1.077669e-05,1.085908e-05,1.093987e-05,1.101908e-05,1.109675e-05,1.117290e-05,1.124757e-05,1.132077e-05,1.139254e-05,1.146291e-05,1.153190e-05
0.000000e+00,6.553281e-18,7.399101e-17,2.660544e-15,2.796524e-14,8.144421e-14,7.992121e-13,8.671415e-13,5.185902e-12,7.968874e-12,2.156900e-11,4.478116e-11,6.992345e-11,1.756334e-10,1.891395e-10,4.460665e-10,5.388989e-10,9.451667e-10,1.384791e-09,1.838170e-09,3.113503e-09,3.333027e-09,5.701241e-09,6.308344e-09,9.282230e-09,1.175621e-08,1.448307e-08,2.044469e-08,2.177209e-08,3.166585e-08,3.352683e-08,4.471024e-08,5.225324e-08,6.145765e-08,7.788229e-08,8.244280e-08,1.081596e-07,1.115849e-07,1.390415e-07,1.543611e-07,1.754462e-07,2.069780e-07,2.176455e-07,2.658199e-07,2.699353e-07,3.200586e-07,3.434552e-07,3.803625e-07,4.274940e-07,4.466499e-07,5.187657e-07,5.217687e-07,5.964900e-07,6.257924e-07,6.795490e-07,7.389156e-07,7.676250e-07,8.603668e-07,9.573987e-07,9.892914e-07,1.058330e-06,1.124788e-06,1.162761e-06,1.265936e-06,1.270292e-06,1.380528e-06,1.411825e-06,1.493083e-06,1.561573e-06,1.607585e-06,1.714340e-06,1.723678e-06,1.841026e-06,1.869341e-06,1.959313e-06,2.025852e-06,2.078242e-06,2.183215e-06,2.197542e-06,2.316960e-06,2.340838e-06,2.436268e-06,2.498194e-06,2.555256e-06,2.654821e-06,2.673736e-06,2.791538e-06,2.810313e-06,2.908512e-06,2.964324e-06,3.024522e-06,3.116556e-06,3.139450e-06,3.253193e-06,3.266758e-06,3.365659e-06,3.414719e-06,3.476771e-06,3.560268e-06,3.586461e-06,3.694673e-06,3.703265e-06,3.801359e-06,3.843597e-06,3.906479e-06,3.981179e-06,4.010003e-06,4.111904e-06,4.115946e-06,4.212163e-06,4.247851e-06,4.310766e-06,4.376866e-06,4.407705e-06,4.502974e-06,4.596573e-06,4.626172e-06,4.688503e-06,4.746464e-06,4.778768e-06,4.863866e-06,4.867378e-06,4.954342e-06,4.978398e-06,5.039671e-06,5.090089e-06,5.123378e-06,5.198971e-06,5.205480e-06,5.285993e-06,5.305081e-06,5.364933e-06,5.408459e-06,5.442319e-06,5.509149e-06,5.518171e-06,5.592508e-06,5.607196e-06,5.665351e-06,5.702646e-06,5.736721e-06,5.795549e-06,5.806640e-06,5.875128e-06,5.885955e-06,5.942208e-06,5.973913e-06,6.007903e-06,6.059476e-06,6.072234e-06,6.135224e-06,6.142693e-06,6.196894e-06,6.223617e-06,6.257268e-06,6.302299e-06,6.316368e-06,6.374216e-06,6.378791e-06,6.430834e-06,6.453142e-06,6.486245e-06,6.525404e-06,6.540469e-06,6.593529e-06,6.595627e-06,6.645446e-06,6.663860e-06,6.696241e-06,6.730152e-06,6.745936e-06,6.794551e-06,6.857105e-06,6.917860e-06,6.976862e-06,7.034156e-06,7.089787e-06,7.143798e-06,7.196231e-06,7.247129e-06,7.296531e-06,7.344479e-06,7.391010e-06,7.436164e-06,7.479978e-06,7.522487e-06,7.563728e-06,7.603736e-06,7.642544e-06,7.680185e-06,7.716693e-06,7.752098e-06,7.786431e-06,7.819722e-06,7.852000e-06,7.883294e-06
0.000000e+00,6.337614e-16,6.597860e-15,2.008902e-13,1.819135e-12,4.887346e-12,3.910914e-11,4.208857e-11,2.070733e-10,3.021582e-10,7.200787e-10,1.352728e-09,1.981836e-09,4.336625e-09,4.616968e-09,9.503908e-09,1.113383e-08,1.779390e-08,2.444520e-08,3.091930e-08,4.781739e-08,5.058494e-08,7.873182e-08,8.556250e-08,1.174676e-07,1.425185e-07,1.689720e-07,2.236799e-07,2.353962e-07,3.187767e-07,3.338182e-07,4.209719e-07,4.771995e-07,5.436235e-07,6.574265e-07,6.881377e-07,8.556792e-07,8.773780e-07,1.047173e-06,1.139204e-06,1.263309e-06,1.444346e-06,1.504551e-06,1.771151e-06,1.793577e-06,2.063154e-06,2.187043e-06,2.380419e-06,2.624323e-06,2.722633e-06,3.089326e-06,3.104495e-06,3.479890e-06,3.626200e-06,3.893598e-06,4.187721e-06,4.329622e-06,4.787049e-06,5.264897e-06,5.421954e-06,5.762134e-06,6.090047e-06,6.277689e-06,6.788836e-06,6.810463e-06,7.359347e-06,7.515769e-06,7.923224e-06,8.268283e-06,8.500980e-06,9.043828e-06,9.091515e-06,9.693743e-06,9.839900e-06,1.030660e-05,1.065406e-05,1.092905e-05,1.148394e-05,1.156008e-05,1.219872e-05,1.232728e-05,1.284402e-05,1.318190e-05,1.349507e-05,1.404575e-05,1.415099e-05,1.481095e-05,1.491686e-05,1.547413e-05,1.579338e-05,1.613978e-05,1.667358e-05,1.680716e-05,1.747557e-05,1.755582e-05,1.814435e-05,1.843856e-05,1.881286e-05,1.932039e-05,1.948052e-05,2.014675e-05,2.019997e-05,2.081102e-05,2.107607e-05,2.147284e-05,2.194755e-05,2.213172e-05,2.278721e-05,2.281336e-05,2.343891e-05,2.367251e-05,2.408641e-05,2.452413e-05,2.472935e-05,2.536739e-05,2.600021e-05,2.620155e-05,2.662750e-05,2.702594e-05,2.724900e-05,2.783995e-05,2.786445e-05,2.847361e-05,2.864302e-05,2.907627e-05,2.943466e-05,2.967223e-05,3.021444e-05,3.026131e-05,3.084334e-05,3.098196e-05,3.141817e-05,3.173689e-05,3.198568e-05,3.247892e-05,3.254573e-05,3.309823e-05,3.320781e-05,3.364308e-05,3.392335e-05,3.418020e-05,3.462535e-05,3.470952e-05,3.523098e-05,3.531368e-05,3.574453e-05,3.598821e-05,3.625013e-05,3.664888e-05,3.674777e-05,3.723741e-05,3.729562e-05,3.771904e-05,3.792842e-05,3.819266e-05,3.854726e-05,3.865828e-05,3.911590e-05,3.915216e-05,3.956554e-05,3.974316e-05,4.000722e-05,4.032033e-05,4.044098e-05,4.086685e-05,4.088372e-05,4.128487e-05,4.143344e-05,4.169507e-05,4.196958e-05,4.209752e-05,4.249227e-05,4.300163e-05,4.349780e-05,4.398093e-05,4.445119e-05,4.490873e-05,4.535373e-05,4.578637e-05,4.620684e-05,4.661533e-05,4.701202e-05,4.739711e-05,4.777082e-05,4.813333e-05,4.848485e-05,4.882559e-05,4.915576e-05,4.947555e-05,4.978519e-05,5.008487e-05,5.037480e-05,5.065519e-05,5.092625e-05,5.118817e-05,5.144116e-05
0.000000e+00,2.856645e-18,3.260850e-17,1.199891e-15,1.288465e-14,3.797370e-14,3.845872e-13,4.178229e-13,2.581991e-12,4.004202e-12,1.109792e-11,2.350424e-11,3.719429e-11,9.637551e-11,1.040706e-10,2.540592e-10,3.095154e-10,5.575556e-10,8.332075e-10,1.123287e-09,1.961868e-09,2.108862e-09,3.729875e-09,4.153761e-09,6.265663e-09,8.057524e-09,1.006032e-08,1.451510e-08,1.551844e-08,2.309598e-08,2.453770e-08,3.328747e-08,3.925947e-08,4.661084e-08,5.987772e-08,6.359149e-08,8.474650e-08,8.758942e-08,1.105702e-07,1.235316e-07,1.415218e-07,1.687308e-07,1.780146e-07,2.204084e-07,2.240643e-07,2.690032e-07,2.902326e-07,3.240357e-07,3.677442e-07,3.856775e-07,4.540346e-07,4.569093e-07,5.291491e-07,5.578426e-07,6.110016e-07,6.704729e-07,6.995148e-07,7.945575e-07,8.959502e-07,9.297017e-07,1.003470e-06,1.075379e-06,1.116856e-06,1.230954e-06,1.235816e-06,1.360032e-06,1.395708e-06,1.489164e-06,1.568857e-06,1.622860e-06,1.749577e-06,1.760755e-06,1.902479e-06,1.937021e-06,2.047662e-06,2.130339e-06,2.195937e-06,2.328689e-06,2.346942e-06,2.500323e-06,2.531254e-06,2.655737e-06,2.737247e-06,2.812857e-06,2.945925e-06,2.971368e-06,3.130970e-06,3.156588e-06,3.291380e-06,3.368586e-06,3.452333e-06,3.581320e-06,3.613581e-06,3.774892e-06,3.794243e-06,3.936051e-06,4.006861e-06,4.096859e-06,4.218726e-06,4.257134e-06,4.416708e-06,4.429439e-06,4.575430e-06,4.638648e-06,4.733160e-06,4.846040e-06,4.889772e-06,5.045155e-06,5.051343e-06,5.199205e-06,5.254320e-06,5.351833e-06,5.454766e-06,5.502957e-06,5.652507e-06,5.800419e-06,5.847395e-06,5.946638e-06,6.039307e-06,6.091117e-06,6.228141e-06,6.233814e-06,6.374696e-06,6.413814e-06,6.513733e-06,6.596260e-06,6.650901e-06,6.775429e-06,6.786181e-06,6.919558e-06,6.951284e-06,7.051020e-06,7.123799e-06,7.180559e-06,7.292960e-06,7.308172e-06,7.433856e-06,7.458762e-06,7.557613e-06,7.621206e-06,7.679446e-06,7.780302e-06,7.799360e-06,7.917363e-06,7.936066e-06,8.033464e-06,8.088520e-06,8.147673e-06,8.237688e-06,8.260004e-06,8.370469e-06,8.383600e-06,8.479083e-06,8.526290e-06,8.585861e-06,8.665795e-06,8.690820e-06,8.793977e-06,8.802152e-06,8.895350e-06,8.935404e-06,8.994958e-06,9.065592e-06,9.092819e-06,9.188953e-06,9.192763e-06,9.283380e-06,9.316960e-06,9.376121e-06,9.438232e-06,9.467196e-06,9.556626e-06,9.672191e-06,9.784975e-06,9.895028e-06,1.000240e-05,1.010714e-05,1.020930e-05,1.030892e-05,1.040606e-05,1.050077e-05,1.059309e-05,1.068307e-05,1.077077e-05,1.085623e-05,1.093949e-05,1.102060e-05,1.109962e-05,1.117658e-05,1.125153e-05,1.132451e-05,1.139557e-05,1.146475e-05,1.153210e-05,1.159765e-05,1.166144e-05
0.000000e+00,7.028963e-14,4.688223e-13,6.379837e-12,3.132607e-11,6.273383e-11,2.633421e-10,2.769012e-10,8.215408e-10,1.063635e-09,1.930314e-09,2.985549e-09,3.895518e-09,6.759926e-09,7.067309e-09,1.185300e-08,1.329185e-08,1.871250e-08,2.364440e-08,2.814366e-08,3.897438e-08,4.065479e-08,5.673224e-08,6.041545e-08,7.681691e-08,8.897484e-08,1.012944e-07,1.254933e-07,1.304947e-07,1.646944e-07,1.706461e-07,2.041189e-07,2.249521e-07,2.489444e-07,2.887810e-07,2.992988e-07,3.552637e-07,3.623587e-07,4.168758e-07,4.457742e-07,4.841295e-07,5.389888e-07,5.569794e-07,6.353442e-07,6.418485e-07,7.191101e-07,7.540978e-07,8.081348e-07,8.753959e-07,9.022513e-07,1.001272e-06,1.005332e-06,1.104994e-06,1.143443e-06,1.213199e-06,1.289225e-06,1.325661e-06,1.442146e-06,1.562417e-06,1.601664e-06,1.686233e-06,1.767226e-06,1.813357e-06,1.938286e-06,1.943550e-06,2.076580e-06,2.114305e-06,2.212217e-06,2.294758e-06,2.350239e-06,2.479138e-06,2.490428e-06,2.632574e-06,2.666958e-06,2.776476e-06,2.857754e-06,2.921937e-06,3.051086e-06,3.068772e-06,3.216802e-06,3.246536e-06,3.365855e-06,3.443712e-06,3.515768e-06,3.642247e-06,3.666387e-06,3.817563e-06,3.841794e-06,3.969158e-06,4.042033e-06,4.121039e-06,4.242665e-06,4.273080e-06,4.425164e-06,4.443411e-06,4.577178e-06,4.644015e-06,4.729018e-06,4.844238e-06,4.880584e-06,5.031784e-06,5.043862e-06,5.182532e-06,5.242685e-06,5.332744e-06,5.440523e-06,5.482345e-06,5.631265e-06,5.637206e-06,5.779435e-06,5.832581e-06,5.926795e-06,6.026507e-06,6.073286e-06,6.218857e-06,6.363457e-06,6.409516e-06,6.507041e-06,6.598382e-06,6.649567e-06,6.785361e-06,6.790997e-06,6.931296e-06,6.970372e-06,7.070430e-06,7.153341e-06,7.208372e-06,7.334203e-06,7.345095e-06,7.480575e-06,7.512903e-06,7.614791e-06,7.689392e-06,7.747723e-06,7.863628e-06,7.879355e-06,8.009673e-06,8.035577e-06,8.138663e-06,8.205209e-06,8.266314e-06,8.372501e-06,8.392619e-06,8.517569e-06,8.537435e-06,8.641158e-06,8.699997e-06,8.763383e-06,8.860178e-06,8.884239e-06,9.003726e-06,9.017973e-06,9.121843e-06,9.173381e-06,9.238591e-06,9.326404e-06,9.353970e-06,9.467985e-06,9.477047e-06,9.580638e-06,9.625319e-06,9.691935e-06,9.771231e-06,9.801879e-06,9.910479e-06,9.914795e-06,1.001774e-05,1.005603e-05,1.012367e-05,1.019494e-05,1.022827e-05,1.033156e-05,1.046591e-05,1.059800e-05,1.072787e-05,1.085552e-05,1.098100e-05,1.110433e-05,1.122553e-05,1.134463e-05,1.146166e-05,1.157664e-05,1.168962e-05,1.180062e-05,1.190966e-05,1.201678e-05,1.212200e-05,1.222536e-05,1.232690e-05,1.242662e-05,1.252458e-05,1.262079e-05,1.271529e-05,1.280811e-05,1.289927e-05,1.298881e-05
0.000000e+00,3.043160e-12,1.079915e-11,6.667305e-11,2.166929e-10,3.698687e-10,1.163831e-09,1.212718e-09,3.006111e-09,3.746055e-09,6.262682e-09,9.167488e-09,1.158867e-08,1.890957e-08,1.967578e-08,3.129053e-08,3.469361e-08,4.725607e-08,5.841365e-08,6.842099e-08,9.200963e-08,9.561829e-08,1.296296e-07,1.373135e-07,1.711656e-07,1.959511e-07,2.208584e-07,2.693096e-07,2.792593e-07,3.468366e-07,3.585275e-07,4.239749e-07,4.644885e-07,5.109738e-07,5.878207e-07,6.080496e-07,7.153372e-07,7.289015e-07,8.328941e-07,8.878710e-07,9.607054e-07,1.064653e-06,1.098690e-06,1.246708e-06,1.258977e-06,1.404566e-06,1.470412e-06,1.572026e-06,1.698388e-06,1.748811e-06,1.934612e-06,1.942227e-06,2.129096e-06,2.201168e-06,2.331909e-06,2.474390e-06,2.542679e-06,2.761028e-06,2.986568e-06,3.060196e-06,3.218910e-06,3.370997e-06,3.457661e-06,3.692532e-06,3.702434e-06,3.952842e-06,4.023915e-06,4.208508e-06,4.364275e-06,4.469057e-06,4.712762e-06,4.734126e-06,5.003358e-06,5.068555e-06,5.276409e-06,5.430860e-06,5.552942e-06,5.798913e-06,5.832632e-06,6.115165e-06,6.171985e-06,6.400236e-06,6.549378e-06,6.687552e-06,6.930427e-06,6.976832e-06,7.267805e-06,7.314500e-06,7.560210e-06,7.701000e-06,7.853798e-06,8.089359e-06,8.148329e-06,8.443575e-06,8.479042e-06,8.739315e-06,8.869544e-06,9.035342e-06,9.260390e-06,9.331455e-06,9.627464e-06,9.651135e-06,9.923187e-06,1.004136e-05,1.021845e-05,1.043067e-05,1.051310e-05,1.080696e-05,1.081870e-05,1.109990e-05,1.120510e-05,1.139177e-05,1.158957e-05,1.168244e-05,1.197179e-05,1.225970e-05,1.235151e-05,1.254605e-05,1.272845e-05,1.283074e-05,1.310239e-05,1.311367e-05,1.339475e-05,1.347311e-05,1.367389e-05,1.384041e-05,1.395101e-05,1.420411e-05,1.422603e-05,1.449888e-05,1.456404e-05,1.476950e-05,1.492005e-05,1.503782e-05,1.527199e-05,1.530378e-05,1.556734e-05,1.561976e-05,1.582844e-05,1.596323e-05,1.608704e-05,1.630230e-05,1.634310e-05,1.659658e-05,1.663690e-05,1.684745e-05,1.696693e-05,1.709568e-05,1.729234e-05,1.734124e-05,1.758410e-05,1.761306e-05,1.782425e-05,1.792906e-05,1.806167e-05,1.824027e-05,1.829634e-05,1.852825e-05,1.854669e-05,1.875739e-05,1.884827e-05,1.898375e-05,1.914500e-05,1.920732e-05,1.942810e-05,1.943688e-05,1.964609e-05,1.972388e-05,1.986129e-05,2.000603e-05,2.007369e-05,2.028331e-05,2.055574e-05,2.082334e-05,2.108613e-05,2.134412e-05,2.159736e-05,2.184585e-05,2.208965e-05,2.232879e-05,2.256330e-05,2.279323e-05,2.301862e-05,2.323951e-05,2.345597e-05,2.366803e-05,2.387574e-05,2.407916e-05,2.427835e-05,2.447334e-05,2.466421e-05,2.485101e-05,2.503379e-05,2.521262e-05,2.538754e-05,2.555862e-05
0.000000e+00,1.587498e-12,4.816077e-12,2.521475e-11,7.593679e-11,1.260413e-10,3.782711e-10,3.936148e-10,9.518244e-10,1.181096e-09,1.960992e-09,2.864235e-09,3.620347e-09,5.922123e-09,6.164055e-09,9.842020e-09,1.092060e-08,1.489384e-08,1.840455e-08,2.153577e-08,2.884973e-08,2.996076e-08,4.034111e-08,4.266562e-08,5.282968e-08,6.020191e-08,6.755962e-08,8.174791e-08,8.464355e-08,1.041728e-07,1.075294e-07,1.262173e-07,1.377070e-07,1.508251e-07,1.723764e-07,1.780241e-07,2.078223e-07,2.115725e-07,2.402099e-07,2.552745e-07,2.751608e-07,3.034138e-07,3.126351e-07,3.525803e-07,3.558809e-07,3.949339e-07,4.125340e-07,4.396247e-07,4.732060e-07,4.865752e-07,5.357022e-07,5.377113e-07,5.869191e-07,6.058517e-07,6.401365e-07,6.774207e-07,6.952635e-07,7.522084e-07,8.108795e-07,8.300039e-07,8.711858e-07,9.105983e-07,9.330373e-07,9.937865e-07,9.963457e-07,1.061024e-06,1.079368e-06,1.126989e-06,1.167150e-06,1.194157e-06,1.256945e-06,1.262448e-06,1.331786e-06,1.348574e-06,1.402095e-06,1.441866e-06,1.473304e-06,1.536656e-06,1.545342e-06,1.618142e-06,1.632788e-06,1.691641e-06,1.730115e-06,1.765775e-06,1.828496e-06,1.840486e-06,1.915716e-06,1.927798e-06,1.991411e-06,2.027894e-06,2.067519e-06,2.128667e-06,2.143988e-06,2.220772e-06,2.230005e-06,2.297824e-06,2.331800e-06,2.375101e-06,2.433955e-06,2.452560e-06,2.530163e-06,2.536376e-06,2.607870e-06,2.638974e-06,2.685646e-06,2.741668e-06,2.763456e-06,2.841268e-06,2.844380e-06,2.919050e-06,2.947038e-06,2.996771e-06,3.049574e-06,3.074405e-06,3.151924e-06,3.229303e-06,3.254031e-06,3.306518e-06,3.355838e-06,3.383545e-06,3.457295e-06,3.460364e-06,3.536952e-06,3.558353e-06,3.613292e-06,3.658969e-06,3.689365e-06,3.759101e-06,3.765153e-06,3.840641e-06,3.858711e-06,3.915812e-06,3.957764e-06,3.990652e-06,4.056227e-06,4.065148e-06,4.139287e-06,4.154071e-06,4.213056e-06,4.251267e-06,4.286446e-06,4.347791e-06,4.359444e-06,4.432041e-06,4.443619e-06,4.504229e-06,4.538731e-06,4.575998e-06,4.633107e-06,4.647341e-06,4.718250e-06,4.726729e-06,4.788718e-06,4.819583e-06,4.858739e-06,4.911653e-06,4.928308e-06,4.997420e-06,5.002929e-06,5.066068e-06,5.093397e-06,5.134250e-06,5.183049e-06,5.201960e-06,5.269196e-06,5.271876e-06,5.335954e-06,5.359870e-06,5.402232e-06,5.447026e-06,5.468027e-06,5.533337e-06,5.618800e-06,5.703412e-06,5.787169e-06,5.870070e-06,5.952115e-06,6.033302e-06,6.113633e-06,6.193108e-06,6.271728e-06,6.349497e-06,6.426415e-06,6.502488e-06,6.577718e-06,6.652108e-06,6.725664e-06,6.798389e-06,6.870289e-06,6.941370e-06,7.011635e-06,7.081092e-06,7.149746e-06,7.217602e-06,7.284669e-06,7.350952e-06
0.000000e+00,5.072613e-12,1.542080e-11,8.082110e-11,2.431801e-10,4.032200e-10,1.204940e-09,1.253531e-09,3.010270e-09,3.726477e-09,6.144049e-09,8.914563e-09,1.121480e-08,1.814569e-08,1.886992e-08,2.984036e-08,3.305459e-08,4.492941e-08,5.549422e-08,6.498653e-08,8.742234e-08,9.086158e-08,1.233464e-07,1.306989e-07,1.631242e-07,1.868787e-07,2.107444e-07,2.571127e-07,2.666212e-07,3.310457e-07,3.421605e-07,4.042010e-07,4.424459e-07,4.861753e-07,5.581103e-07,5.769735e-07,6.765271e-07,6.890561e-07,7.847023e-07,8.349837e-07,9.013091e-07,9.954236e-07,1.026108e-06,1.158819e-06,1.169768e-06,1.299126e-06,1.357300e-06,1.446687e-06,1.557219e-06,1.601139e-06,1.762102e-06,1.768671e-06,1.929188e-06,1.990761e-06,2.102000e-06,2.222582e-06,2.280143e-06,2.463221e-06,2.650843e-06,2.711779e-06,2.842626e-06,2.967376e-06,3.038193e-06,3.229159e-06,3.237180e-06,3.439232e-06,3.496310e-06,3.644009e-06,3.768045e-06,3.851181e-06,4.043624e-06,4.060433e-06,4.271463e-06,4.322342e-06,4.483982e-06,4.603541e-06,4.697716e-06,4.886598e-06,4.912402e-06,5.127793e-06,5.170934e-06,5.343652e-06,5.456009e-06,5.559757e-06,5.741321e-06,5.775897e-06,5.991873e-06,6.026402e-06,6.207499e-06,6.310822e-06,6.422597e-06,6.594183e-06,6.637001e-06,6.850558e-06,6.876120e-06,7.063120e-06,7.156297e-06,7.274551e-06,7.434405e-06,7.484725e-06,7.693523e-06,7.710164e-06,7.900835e-06,7.983320e-06,8.106557e-06,8.253640e-06,8.310596e-06,8.512863e-06,8.520915e-06,8.713277e-06,8.784958e-06,8.911764e-06,9.045599e-06,9.108255e-06,9.302687e-06,9.495005e-06,9.556091e-06,9.685155e-06,9.805693e-06,9.873092e-06,1.005139e-05,1.005877e-05,1.024216e-05,1.029310e-05,1.042322e-05,1.053073e-05,1.060193e-05,1.076424e-05,1.077826e-05,1.095218e-05,1.099356e-05,1.112368e-05,1.121866e-05,1.129275e-05,1.143950e-05,1.145936e-05,1.162352e-05,1.165606e-05,1.178522e-05,1.186833e-05,1.194445e-05,1.207629e-05,1.210121e-05,1.225549e-05,1.227995e-05,1.240731e-05,1.247931e-05,1.255667e-05,1.267439e-05,1.270358e-05,1.284803e-05,1.286520e-05,1.299005e-05,1.305177e-05,1.312964e-05,1.323412e-05,1.326682e-05,1.340160e-05,1.341228e-05,1.353399e-05,1.358628e-05,1.366402e-05,1.375618e-05,1.379169e-05,1.391703e-05,1.392200e-05,1.404006e-05,1.408379e-05,1.416079e-05,1.424159e-05,1.427926e-05,1.439547e-05,1.454546e-05,1.469161e-05,1.483400e-05,1.497265e-05,1.510765e-05,1.523903e-05,1.536687e-05,1.549121e-05,1.561212e-05,1.572966e-05,1.584389e-05,1.595487e-05,1.606265e-05,1.616731e-05,1.626889e-05,1.636746e-05,1.646308e-05,1.655581e-05,1.664570e-05,1.673282e-05,1.681723e-05,1.689898e-05,1.697812e-05,1.705472e-05
0.000000e+00,5.268806e-12,1.598020e-11,8.359667e-11,2.514565e-10,4.169926e-10,1.247190e-09,1.297549e-09,3.120598e-09,3.864940e-09,6.381119e-09,9.270284e-09,1.167281e-08,1.892870e-08,1.968815e-08,3.121617e-08,3.460130e-08,4.713255e-08,5.831054e-08,6.837437e-08,9.222877e-08,9.589307e-08,1.305892e-07,1.384614e-07,1.732484e-07,1.987943e-07,2.245020e-07,2.745445e-07,2.848192e-07,3.545202e-07,3.665576e-07,4.337968e-07,4.752789e-07,5.227323e-07,6.008321e-07,6.213182e-07,7.294675e-07,7.430813e-07,8.470261e-07,9.016802e-07,9.737828e-07,1.076111e-06,1.109478e-06,1.253811e-06,1.265721e-06,1.406449e-06,1.469750e-06,1.567034e-06,1.687363e-06,1.735185e-06,1.910511e-06,1.917668e-06,2.092607e-06,2.159741e-06,2.281067e-06,2.412645e-06,2.475480e-06,2.675440e-06,2.880541e-06,2.947195e-06,3.090388e-06,3.227001e-06,3.304592e-06,3.513975e-06,3.522774e-06,3.744564e-06,3.807263e-06,3.969606e-06,4.106048e-06,4.197555e-06,4.409549e-06,4.428078e-06,4.660857e-06,4.717025e-06,4.895584e-06,5.027772e-06,5.131966e-06,5.341127e-06,5.369721e-06,5.608582e-06,5.656464e-06,5.848292e-06,5.973196e-06,6.088608e-06,6.290773e-06,6.329300e-06,6.570146e-06,6.608682e-06,6.810939e-06,6.926442e-06,7.051481e-06,7.243608e-06,7.291586e-06,7.531076e-06,7.559766e-06,7.769787e-06,7.874532e-06,8.007560e-06,8.187551e-06,8.244250e-06,8.479716e-06,8.498496e-06,8.713829e-06,8.807067e-06,8.946467e-06,9.112989e-06,9.177516e-06,9.406871e-06,9.416009e-06,9.634432e-06,9.715897e-06,9.860107e-06,1.001244e-05,1.008381e-05,1.030546e-05,1.052500e-05,1.059479e-05,1.074234e-05,1.088026e-05,1.095742e-05,1.116174e-05,1.117021e-05,1.138063e-05,1.143912e-05,1.158865e-05,1.171228e-05,1.179422e-05,1.198115e-05,1.199730e-05,1.219787e-05,1.224563e-05,1.239589e-05,1.250566e-05,1.259134e-05,1.276119e-05,1.278420e-05,1.297444e-05,1.301218e-05,1.316206e-05,1.325857e-05,1.334703e-05,1.350036e-05,1.352936e-05,1.370903e-05,1.373753e-05,1.388603e-05,1.397005e-05,1.406038e-05,1.419794e-05,1.423206e-05,1.440109e-05,1.442119e-05,1.456746e-05,1.463982e-05,1.473118e-05,1.485384e-05,1.489226e-05,1.505072e-05,1.506328e-05,1.520656e-05,1.526816e-05,1.535979e-05,1.546852e-05,1.551044e-05,1.565851e-05,1.566438e-05,1.580402e-05,1.585579e-05,1.594700e-05,1.604279e-05,1.608746e-05,1.622542e-05,1.640374e-05,1.657780e-05,1.674764e-05,1.691333e-05,1.707492e-05,1.723246e-05,1.738603e-05,1.753568e-05,1.768147e-05,1.782346e-05,1.796172e-05,1.809632e-05,1.822732e-05,1.835478e-05,1.847877e-05,1.859935e-05,1.871659e-05,1.883056e-05,1.894131e-05,1.904892e-05,1.915345e-05,1.925496e-05,1.935351e-05,1.944918e-05
0.000000e+00,7.461310e-18,8.290969e-17,2.888828e-15,2.950836e-14,8.460912e-14,7.979242e-13,8.643611e-13,4.974182e-12,7.565583e-12,1.996586e-11,4.063588e-11,6.265206e-11,1.531282e-10,1.645320e-10,3.778148e-10,4.537099e-10,7.814554e-10,1.130553e-09,1.486343e-09,2.470942e-09,2.638502e-09,4.419339e-09,4.869251e-09,7.042688e-09,8.818806e-09,1.074920e-08,1.488970e-08,1.579907e-08,2.246422e-08,2.369899e-08,3.102058e-08,3.587984e-08,4.174118e-08,5.205381e-08,5.489009e-08,7.071722e-08,7.280767e-08,8.945407e-08,9.867493e-08,1.113101e-07,1.301214e-07,1.364699e-07,1.650908e-07,1.675341e-07,1.973011e-07,2.112133e-07,2.331990e-07,2.613679e-07,2.728519e-07,3.162967e-07,3.181136e-07,3.635399e-07,3.814739e-07,4.145591e-07,4.513846e-07,4.693043e-07,5.277000e-07,5.896472e-07,6.102014e-07,6.550265e-07,6.986074e-07,7.237001e-07,7.925841e-07,7.955150e-07,8.703057e-07,8.917567e-07,9.478969e-07,9.957200e-07,1.028106e-06,1.104049e-06,1.110745e-06,1.195625e-06,1.216308e-06,1.282554e-06,1.332059e-06,1.371343e-06,1.450868e-06,1.461805e-06,1.553758e-06,1.572311e-06,1.647023e-06,1.695982e-06,1.741428e-06,1.821489e-06,1.836809e-06,1.933006e-06,1.948464e-06,2.029871e-06,2.076561e-06,2.127259e-06,2.205456e-06,2.225036e-06,2.323075e-06,2.334852e-06,2.421257e-06,2.464472e-06,2.519469e-06,2.594066e-06,2.617607e-06,2.715575e-06,2.723402e-06,2.813282e-06,2.852273e-06,2.910645e-06,2.980490e-06,3.007587e-06,3.104036e-06,3.107883e-06,3.199927e-06,3.234299e-06,3.295200e-06,3.359604e-06,3.389800e-06,3.483676e-06,3.576784e-06,3.606409e-06,3.669081e-06,3.727708e-06,3.760530e-06,3.847491e-06,3.851096e-06,3.940750e-06,3.965686e-06,4.029464e-06,4.082230e-06,4.117213e-06,4.197071e-06,4.203975e-06,4.289732e-06,4.310162e-06,4.374467e-06,4.421467e-06,4.458165e-06,4.530952e-06,4.540814e-06,4.622403e-06,4.638593e-06,4.702924e-06,4.744370e-06,4.782368e-06,4.848266e-06,4.860731e-06,4.938009e-06,4.950272e-06,5.014197e-06,5.050380e-06,5.089295e-06,5.148587e-06,5.163301e-06,5.236217e-06,5.244893e-06,5.308042e-06,5.339301e-06,5.378780e-06,5.431816e-06,5.448434e-06,5.517006e-06,5.522446e-06,5.584502e-06,5.611200e-06,5.650927e-06,5.698092e-06,5.716285e-06,5.780584e-06,5.783134e-06,5.843829e-06,5.866341e-06,5.906029e-06,5.947730e-06,5.967189e-06,6.027319e-06,6.105125e-06,6.181170e-06,6.255472e-06,6.328053e-06,6.398935e-06,6.468141e-06,6.535693e-06,6.601614e-06,6.665927e-06,6.728657e-06,6.789827e-06,6.849462e-06,6.907585e-06,6.964222e-06,7.019395e-06,7.073130e-06,7.125451e-06,7.176383e-06,7.225948e-06,7.274172e-06,7.321077e-06,7.366689e-06,7.411030e-06,7.454124e-06
0.000000e+00,2.143736e-12,8.126774e-12,5.381821e-11,1.808203e-10,3.126182e-10,1.008329e-09,1.051586e-09,2.658136e-09,3.329531e-09,5.640728e-09,8.352020e-09,1.064176e-08,1.770054e-08,1.844951e-08,2.999010e-08,3.342686e-08,4.627086e-08,5.782895e-08,6.827396e-08,9.305709e-08,9.685964e-08,1.327313e-07,1.408315e-07,1.764486e-07,2.024324e-07,2.284516e-07,2.787888e-07,2.890804e-07,3.585876e-07,3.705453e-07,4.371460e-07,4.781007e-07,5.248543e-07,6.016314e-07,6.217428e-07,7.277783e-07,7.411135e-07,8.428704e-07,8.963453e-07,9.668776e-07,1.066972e-06,1.099614e-06,1.240855e-06,1.252514e-06,1.390345e-06,1.452388e-06,1.547801e-06,1.665935e-06,1.712924e-06,1.885394e-06,1.892441e-06,2.064885e-06,2.131156e-06,2.251061e-06,2.381308e-06,2.443585e-06,2.642117e-06,2.846319e-06,2.912806e-06,3.055857e-06,3.192609e-06,3.270402e-06,3.480776e-06,3.489631e-06,3.713229e-06,3.776577e-06,3.940888e-06,4.079308e-06,4.172310e-06,4.388292e-06,4.407205e-06,4.645293e-06,4.702879e-06,4.886304e-06,5.022449e-06,5.129976e-06,5.346409e-06,5.376058e-06,5.624307e-06,5.674197e-06,5.874492e-06,6.005278e-06,6.126389e-06,6.339148e-06,6.379783e-06,6.634469e-06,6.675326e-06,6.890251e-06,7.013360e-06,7.146940e-06,7.352824e-06,7.404357e-06,7.662328e-06,7.693314e-06,7.920690e-06,8.034453e-06,8.179286e-06,8.375883e-06,8.437966e-06,8.696587e-06,8.717270e-06,8.955015e-06,9.058302e-06,9.213118e-06,9.398683e-06,9.470776e-06,9.727869e-06,9.738140e-06,9.984289e-06,1.007641e-05,1.023993e-05,1.041327e-05,1.049469e-05,1.074847e-05,1.100120e-05,1.108183e-05,1.125277e-05,1.141314e-05,1.150311e-05,1.174222e-05,1.175215e-05,1.199982e-05,1.206891e-05,1.224604e-05,1.239305e-05,1.249075e-05,1.271451e-05,1.273390e-05,1.297543e-05,1.303315e-05,1.321528e-05,1.334885e-05,1.345341e-05,1.366150e-05,1.368977e-05,1.392432e-05,1.397100e-05,1.415701e-05,1.427727e-05,1.438782e-05,1.458021e-05,1.461670e-05,1.484364e-05,1.487976e-05,1.506858e-05,1.517584e-05,1.529152e-05,1.546840e-05,1.551242e-05,1.573126e-05,1.575739e-05,1.594803e-05,1.604275e-05,1.616270e-05,1.632444e-05,1.637526e-05,1.658569e-05,1.660243e-05,1.679398e-05,1.687670e-05,1.700012e-05,1.714721e-05,1.720410e-05,1.740592e-05,1.741394e-05,1.760555e-05,1.767689e-05,1.780301e-05,1.793603e-05,1.799828e-05,1.819136e-05,1.844288e-05,1.869058e-05,1.893447e-05,1.917455e-05,1.941083e-05,1.964333e-05,1.987205e-05,2.009701e-05,2.031824e-05,2.053574e-05,2.074954e-05,2.095967e-05,2.116614e-05,2.136900e-05,2.156825e-05,2.176394e-05,2.195609e-05,2.214473e-05,2.232990e-05,2.251163e-05,2.268996e-05,2.286491e-05,2.303652e-05,2.320484e-05
0.000000e+00,2.512887e-12,8.083765e-12,4.501696e-11,1.394931e-10,2.339579e-10,7.145051e-10,7.438612e-10,1.814616e-09,2.254886e-09,3.751610e-09,5.481940e-09,6.927984e-09,1.132356e-08,1.178553e-08,1.882512e-08,2.089815e-08,2.857648e-08,3.541581e-08,4.155613e-08,5.602725e-08,5.823937e-08,7.905392e-08,8.374705e-08,1.043831e-07,1.194535e-07,1.345687e-07,1.638996e-07,1.699124e-07,2.106741e-07,2.177139e-07,2.570712e-07,2.813961e-07,3.092771e-07,3.553123e-07,3.674207e-07,4.315868e-07,4.396938e-07,5.018170e-07,5.346411e-07,5.781122e-07,6.401310e-07,6.604348e-07,7.487120e-07,7.560285e-07,8.428394e-07,8.820998e-07,9.426851e-07,1.018028e-06,1.048093e-06,1.158886e-06,1.163427e-06,1.274871e-06,1.317857e-06,1.395841e-06,1.480838e-06,1.521579e-06,1.651861e-06,1.786456e-06,1.830400e-06,1.925132e-06,2.015918e-06,2.067655e-06,2.207879e-06,2.213791e-06,2.363309e-06,2.405749e-06,2.515980e-06,2.609003e-06,2.671580e-06,2.817129e-06,2.829889e-06,2.990692e-06,3.029632e-06,3.153780e-06,3.246032e-06,3.318952e-06,3.465870e-06,3.486010e-06,3.654766e-06,3.688705e-06,3.825037e-06,3.914117e-06,3.996646e-06,4.141707e-06,4.169423e-06,4.343207e-06,4.371095e-06,4.517841e-06,4.601924e-06,4.693176e-06,4.833852e-06,4.869069e-06,5.045383e-06,5.066562e-06,5.221986e-06,5.299752e-06,5.398756e-06,5.533138e-06,5.575572e-06,5.752322e-06,5.766456e-06,5.928897e-06,5.999456e-06,6.105196e-06,6.231906e-06,6.281121e-06,6.456580e-06,6.463588e-06,6.631485e-06,6.694299e-06,6.805754e-06,6.923852e-06,6.979307e-06,7.152071e-06,7.323976e-06,7.378793e-06,7.494956e-06,7.603868e-06,7.664948e-06,7.827157e-06,7.833894e-06,8.001739e-06,8.048531e-06,8.168431e-06,8.267873e-06,8.333922e-06,8.485075e-06,8.498167e-06,8.661124e-06,8.700037e-06,8.822753e-06,8.912671e-06,8.983017e-06,9.122894e-06,9.141883e-06,9.299319e-06,9.330632e-06,9.455296e-06,9.535818e-06,9.609787e-06,9.738393e-06,9.762768e-06,9.914216e-06,9.938304e-06,1.006411e-05,1.013550e-05,1.021243e-05,1.032995e-05,1.035917e-05,1.050430e-05,1.052161e-05,1.064782e-05,1.071045e-05,1.078970e-05,1.089644e-05,1.092995e-05,1.106855e-05,1.107957e-05,1.120550e-05,1.125982e-05,1.134079e-05,1.143716e-05,1.147441e-05,1.160636e-05,1.161161e-05,1.173665e-05,1.178314e-05,1.186526e-05,1.195176e-05,1.199219e-05,1.211746e-05,1.228025e-05,1.244014e-05,1.259713e-05,1.275124e-05,1.290247e-05,1.305084e-05,1.319637e-05,1.333908e-05,1.347898e-05,1.361610e-05,1.375045e-05,1.388207e-05,1.401098e-05,1.413719e-05,1.426075e-05,1.438167e-05,1.449999e-05,1.461573e-05,1.472893e-05,1.483960e-05,1.494779e-05,1.505353e-05,1.515683e-05,1.525775e-05
0.000000e+00,2.250734e-14,1.765831e-13,3.148282e-12,1.856127e-11,4.029981e-11,1.991708e-10,2.105964e-10,7.036398e-10,9.368648e-10,1.815403e-09,2.951184e-09,3.974312e-09,7.388633e-09,7.769028e-09,1.393274e-08,1.585196e-08,2.324434e-08,3.010162e-08,3.640870e-08,5.164507e-08,5.400759e-08,7.651461e-08,8.164083e-08,1.043240e-07,1.209933e-07,1.377696e-07,1.704268e-07,1.771327e-07,2.226448e-07,2.305101e-07,2.744865e-07,3.016589e-07,3.327878e-07,3.841345e-07,3.976277e-07,4.690361e-07,4.780462e-07,5.469965e-07,5.833607e-07,6.314488e-07,6.999150e-07,7.222944e-07,8.194003e-07,8.274345e-07,9.226040e-07,9.655517e-07,1.031719e-06,1.113825e-06,1.146537e-06,1.266837e-06,1.271759e-06,1.392383e-06,1.438818e-06,1.522934e-06,1.614440e-06,1.658240e-06,1.798051e-06,1.942117e-06,1.989076e-06,2.090187e-06,2.186939e-06,2.242014e-06,2.391078e-06,2.397356e-06,2.555976e-06,2.600945e-06,2.717642e-06,2.816009e-06,2.882129e-06,3.035761e-06,3.049219e-06,3.218701e-06,3.259711e-06,3.390374e-06,3.487393e-06,3.564040e-06,3.718366e-06,3.739512e-06,3.916610e-06,3.952209e-06,4.095160e-06,4.188525e-06,4.274998e-06,4.426941e-06,4.455965e-06,4.637911e-06,4.667103e-06,4.820690e-06,4.908680e-06,5.004166e-06,5.151361e-06,5.188208e-06,5.372691e-06,5.394853e-06,5.557498e-06,5.638885e-06,5.742514e-06,5.883202e-06,5.927634e-06,6.112757e-06,6.127564e-06,6.297786e-06,6.371751e-06,6.482631e-06,6.615556e-06,6.667205e-06,6.851427e-06,6.858787e-06,7.035220e-06,7.101267e-06,7.218513e-06,7.342831e-06,7.401236e-06,7.583325e-06,7.764720e-06,7.822610e-06,7.945364e-06,8.060557e-06,8.125203e-06,8.297044e-06,8.304187e-06,8.482269e-06,8.531965e-06,8.659406e-06,8.765217e-06,8.835556e-06,8.996710e-06,9.010682e-06,9.184747e-06,9.226361e-06,9.357719e-06,9.454094e-06,9.529567e-06,9.679841e-06,9.700263e-06,9.869780e-06,9.903540e-06,1.003810e-05,1.012514e-05,1.020519e-05,1.034458e-05,1.037103e-05,1.053562e-05,1.056183e-05,1.069892e-05,1.077685e-05,1.086093e-05,1.098960e-05,1.102163e-05,1.118102e-05,1.120005e-05,1.133907e-05,1.140819e-05,1.149578e-05,1.161398e-05,1.165115e-05,1.180516e-05,1.181742e-05,1.195781e-05,1.201849e-05,1.210909e-05,1.221717e-05,1.225901e-05,1.240756e-05,1.241347e-05,1.255474e-05,1.260738e-05,1.270054e-05,1.279890e-05,1.284497e-05,1.298803e-05,1.317477e-05,1.335913e-05,1.354111e-05,1.372072e-05,1.389798e-05,1.407290e-05,1.424549e-05,1.441576e-05,1.458374e-05,1.474943e-05,1.491286e-05,1.507405e-05,1.523302e-05,1.538978e-05,1.554436e-05,1.569678e-05,1.584706e-05,1.599523e-05,1.614130e-05,1.628531e-05,1.642728e-05,1.656722e-05,1.670517e-05,1.684114e-05
0.000000e+00,1.770102e-17,1.951417e-16,6.681915e-15,6.717557e-14,1.909297e-13,1.760251e-12,1.905058e-12,1.072040e-11,1.620704e-11,4.212936e-11,8.471287e-11,1.295923e-10,3.113329e-10,3.340357e-10,7.538871e-10,9.017722e-10,1.534897e-09,2.202716e-09,2.878800e-09,4.734775e-09,5.049056e-09,8.371181e-09,9.206490e-09,1.322573e-08,1.649445e-08,2.003394e-08,2.758613e-08,2.923819e-08,4.128067e-08,4.349950e-08,5.658342e-08,6.520168e-08,7.553174e-08,9.354319e-08,9.846214e-08,1.256548e-07,1.292155e-07,1.573298e-07,1.727300e-07,1.936462e-07,2.244142e-07,2.347035e-07,2.805446e-07,2.844186e-07,3.311595e-07,3.527306e-07,3.864902e-07,4.291929e-07,4.464353e-07,5.108554e-07,5.135230e-07,5.795786e-07,6.053346e-07,6.524051e-07,7.041586e-07,7.291133e-07,8.094641e-07,8.932060e-07,9.206773e-07,9.800793e-07,1.037200e-06,1.069820e-06,1.158424e-06,1.162164e-06,1.256850e-06,1.283746e-06,1.353620e-06,1.412579e-06,1.452226e-06,1.544358e-06,1.552427e-06,1.653994e-06,1.678549e-06,1.756709e-06,1.814653e-06,1.860365e-06,1.952208e-06,1.964770e-06,2.069741e-06,2.090788e-06,2.175112e-06,2.230010e-06,2.280725e-06,2.369522e-06,2.386437e-06,2.492116e-06,2.509013e-06,2.597640e-06,2.648203e-06,2.702898e-06,2.786844e-06,2.807789e-06,2.912221e-06,2.924718e-06,3.016112e-06,3.061632e-06,3.119386e-06,3.197419e-06,3.221975e-06,3.323820e-06,3.331933e-06,3.424865e-06,3.465049e-06,3.525063e-06,3.596657e-06,3.624371e-06,3.722750e-06,3.726665e-06,3.820167e-06,3.854996e-06,3.916594e-06,3.981584e-06,4.012003e-06,4.106375e-06,4.199690e-06,4.229325e-06,4.291932e-06,4.350397e-06,4.383088e-06,4.469566e-06,4.473147e-06,4.562101e-06,4.586809e-06,4.649943e-06,4.702112e-06,4.736668e-06,4.815467e-06,4.822274e-06,4.906759e-06,4.926869e-06,4.990123e-06,5.036318e-06,5.072367e-06,5.143817e-06,5.153493e-06,5.233504e-06,5.249373e-06,5.312405e-06,5.352997e-06,5.390201e-06,5.454699e-06,5.466897e-06,5.542500e-06,5.554495e-06,5.617017e-06,5.652401e-06,5.690455e-06,5.748435e-06,5.762824e-06,5.834131e-06,5.842617e-06,5.904386e-06,5.934967e-06,5.973597e-06,6.025507e-06,6.041776e-06,6.108931e-06,6.114260e-06,6.175074e-06,6.201250e-06,6.240214e-06,6.286500e-06,6.304362e-06,6.367530e-06,6.370036e-06,6.429727e-06,6.451883e-06,6.490965e-06,6.532066e-06,6.551256e-06,6.610611e-06,6.687544e-06,6.762892e-06,6.836681e-06,6.908936e-06,6.979685e-06,7.048953e-06,7.116767e-06,7.183152e-06,7.248135e-06,7.311740e-06,7.373994e-06,7.434922e-06,7.494549e-06,7.552898e-06,7.609995e-06,7.665864e-06,7.720528e-06,7.774012e-06,7.826337e-06,7.877527e-06,7.927605e-06,7.976592e-06,8.024511e-06,8.071383e-06
0.000000e+00,4.179316e-12,1.353663e-11,7.599309e-11,2.366396e-10,3.978599e-10,1.223034e-09,1.273651e-09,3.131917e-09,3.901684e-09,6.538207e-09,9.616963e-09,1.220969e-08,2.016610e-08,2.100690e-08,3.386847e-08,3.766337e-08,5.170995e-08,6.418928e-08,7.535985e-08,1.015600e-07,1.055503e-07,1.429274e-07,1.513166e-07,1.880604e-07,2.147621e-07,2.414448e-07,2.929752e-07,3.035024e-07,3.745798e-07,3.868084e-07,4.549481e-07,4.968853e-07,5.448031e-07,6.236026e-07,6.442679e-07,7.533959e-07,7.671407e-07,8.721762e-07,9.274814e-07,1.000539e-06,1.104430e-06,1.138362e-06,1.285478e-06,1.297643e-06,1.441678e-06,1.506649e-06,1.606721e-06,1.730879e-06,1.780340e-06,1.962245e-06,1.969689e-06,2.152127e-06,2.222376e-06,2.349667e-06,2.488201e-06,2.554536e-06,2.766399e-06,2.984920e-06,3.056197e-06,3.209759e-06,3.356816e-06,3.440580e-06,3.667487e-06,3.677050e-06,3.918839e-06,3.987448e-06,4.165623e-06,4.315959e-06,4.417085e-06,4.652296e-06,4.672916e-06,4.932812e-06,4.995759e-06,5.196478e-06,5.345672e-06,5.463629e-06,5.701384e-06,5.733987e-06,6.007282e-06,6.062270e-06,6.283253e-06,6.427733e-06,6.561650e-06,6.797199e-06,6.842228e-06,7.124754e-06,7.170123e-06,7.409000e-06,7.545986e-06,7.694750e-06,7.924292e-06,7.981794e-06,8.269931e-06,8.304572e-06,8.558968e-06,8.686381e-06,8.848718e-06,9.069297e-06,9.139005e-06,9.429658e-06,9.452921e-06,9.720513e-06,9.836876e-06,1.001141e-05,1.022081e-05,1.030221e-05,1.059277e-05,1.060438e-05,1.088294e-05,1.098728e-05,1.117260e-05,1.136921e-05,1.146162e-05,1.174989e-05,1.203730e-05,1.212907e-05,1.232373e-05,1.250649e-05,1.260909e-05,1.288194e-05,1.289329e-05,1.317622e-05,1.325520e-05,1.345780e-05,1.362608e-05,1.373796e-05,1.399438e-05,1.401662e-05,1.429369e-05,1.435995e-05,1.456912e-05,1.472262e-05,1.484284e-05,1.508225e-05,1.511479e-05,1.538491e-05,1.543871e-05,1.565315e-05,1.579188e-05,1.591946e-05,1.614164e-05,1.618379e-05,1.644611e-05,1.648789e-05,1.670636e-05,1.683054e-05,1.696452e-05,1.716951e-05,1.722054e-05,1.747441e-05,1.750472e-05,1.772608e-05,1.783611e-05,1.797553e-05,1.816362e-05,1.822275e-05,1.846769e-05,1.848719e-05,1.871036e-05,1.880679e-05,1.895073e-05,1.912236e-05,1.918878e-05,1.942451e-05,1.943389e-05,1.965789e-05,1.974133e-05,1.988893e-05,2.004468e-05,2.011761e-05,2.034392e-05,2.063903e-05,2.093001e-05,2.121685e-05,2.149956e-05,2.177814e-05,2.205260e-05,2.232295e-05,2.258920e-05,2.285138e-05,2.310950e-05,2.336359e-05,2.361367e-05,2.385976e-05,2.410191e-05,2.434013e-05,2.457446e-05,2.480493e-05,2.503159e-05,2.525446e-05,2.547358e-05,2.568900e-05,2.590075e-05,2.610887e-05,2.631341e-05
0.000000e+00,1.714501e-17,1.912823e-16,6.711822e-15,6.900261e-14,1.985418e-13,1.889022e-12,2.047028e-12,1.187872e-11,1.810604e-11,4.802671e-11,9.811219e-11,1.516011e-10,3.720542e-10,3.998789e-10,9.208158e-10,1.106281e-09,1.907177e-09,2.760009e-09,3.628978e-09,6.033681e-09,6.443028e-09,1.079827e-08,1.190029e-08,1.723562e-08,2.161078e-08,2.638158e-08,3.666735e-08,3.893560e-08,5.565244e-08,5.876590e-08,7.732140e-08,8.971698e-08,1.047441e-07,1.313581e-07,1.387127e-07,1.799898e-07,1.854687e-07,2.292907e-07,2.536961e-07,2.872691e-07,3.374961e-07,3.545050e-07,4.314964e-07,4.380900e-07,5.186534e-07,5.564372e-07,6.162956e-07,6.932221e-07,7.246512e-07,8.438588e-07,8.488538e-07,9.739704e-07,1.023477e-06,1.114957e-06,1.216988e-06,1.266712e-06,1.429064e-06,1.601775e-06,1.659185e-06,1.784558e-06,1.906671e-06,1.977076e-06,2.170706e-06,2.178956e-06,2.389791e-06,2.450371e-06,2.609150e-06,2.744671e-06,2.836585e-06,3.052560e-06,3.071633e-06,3.313825e-06,3.372961e-06,3.562685e-06,3.704784e-06,3.817742e-06,4.046945e-06,4.078526e-06,4.344574e-06,4.398375e-06,4.615432e-06,4.758032e-06,4.890658e-06,5.124906e-06,5.169820e-06,5.452501e-06,5.498029e-06,5.738299e-06,5.876475e-06,6.026827e-06,6.259363e-06,6.317711e-06,6.610596e-06,6.645861e-06,6.905142e-06,7.035183e-06,7.201022e-06,7.426593e-06,7.497928e-06,7.795567e-06,7.819401e-06,8.093658e-06,8.212962e-06,8.391939e-06,8.606677e-06,8.690158e-06,8.988081e-06,8.999989e-06,9.285485e-06,9.392382e-06,9.582159e-06,9.783381e-06,9.877908e-06,1.017255e-05,1.046590e-05,1.055947e-05,1.075780e-05,1.094379e-05,1.104811e-05,1.132517e-05,1.133668e-05,1.162337e-05,1.170329e-05,1.190807e-05,1.207788e-05,1.219066e-05,1.244868e-05,1.247103e-05,1.274909e-05,1.281547e-05,1.302475e-05,1.317804e-05,1.329792e-05,1.353620e-05,1.356854e-05,1.383652e-05,1.388980e-05,1.410182e-05,1.423869e-05,1.436436e-05,1.458274e-05,1.462411e-05,1.488101e-05,1.492184e-05,1.513502e-05,1.525591e-05,1.538611e-05,1.558486e-05,1.563425e-05,1.587941e-05,1.590862e-05,1.612156e-05,1.622715e-05,1.636069e-05,1.654040e-05,1.659678e-05,1.682982e-05,1.684833e-05,1.705980e-05,1.715094e-05,1.728672e-05,1.744820e-05,1.751057e-05,1.773134e-05,1.774011e-05,1.794905e-05,1.802668e-05,1.816370e-05,1.830792e-05,1.837530e-05,1.858384e-05,1.885448e-05,1.911985e-05,1.938000e-05,1.963496e-05,1.988478e-05,2.012951e-05,2.036918e-05,2.060387e-05,2.083362e-05,2.105850e-05,2.127856e-05,2.149387e-05,2.170449e-05,2.191050e-05,2.211194e-05,2.230891e-05,2.250146e-05,2.268967e-05,2.287360e-05,2.305333e-05,2.322892e-05,2.340046e-05,2.356801e-05,2.373164e-05
0.000000e+00,1.796441e-12,6.169673e-12,3.679701e-11,1.176979e-10,1.997311e-10,6.225058e-10,6.484821e-10,1.600632e-09,1.993583e-09,3.331991e-09,4.881292e-09,6.176366e-09,1.011096e-08,1.052421e-08,1.681465e-08,1.866502e-08,2.551249e-08,3.160472e-08,3.706871e-08,4.992165e-08,5.188303e-08,7.028778e-08,7.442415e-08,9.255005e-08,1.057225e-07,1.188791e-07,1.442551e-07,1.494326e-07,1.843211e-07,1.903106e-07,2.236114e-07,2.440435e-07,2.673301e-07,3.054879e-07,3.154672e-07,3.679801e-07,3.745725e-07,4.247974e-07,4.511368e-07,4.858236e-07,5.349477e-07,5.509427e-07,6.200222e-07,6.257154e-07,6.929167e-07,7.231083e-07,7.694711e-07,8.267656e-07,8.495231e-07,9.329058e-07,9.363080e-07,1.019450e-06,1.051347e-06,1.108985e-06,1.171490e-06,1.201341e-06,1.296349e-06,1.393844e-06,1.425541e-06,1.493663e-06,1.558693e-06,1.595646e-06,1.695444e-06,1.699640e-06,1.805494e-06,1.835447e-06,1.913062e-06,1.978367e-06,2.022204e-06,2.123888e-06,2.132784e-06,2.244671e-06,2.271705e-06,2.357740e-06,2.421530e-06,2.471870e-06,2.573090e-06,2.586946e-06,2.702856e-06,2.726128e-06,2.819494e-06,2.880400e-06,2.936759e-06,3.035675e-06,3.054554e-06,3.172787e-06,3.191739e-06,3.291369e-06,3.348387e-06,3.410216e-06,3.505431e-06,3.529248e-06,3.648390e-06,3.662691e-06,3.767569e-06,3.820001e-06,3.886716e-06,3.977207e-06,4.005767e-06,4.124659e-06,4.134162e-06,4.243336e-06,4.290733e-06,4.361740e-06,4.446794e-06,4.479821e-06,4.597529e-06,4.602229e-06,4.714818e-06,4.756930e-06,4.831643e-06,4.910800e-06,4.947965e-06,5.063745e-06,5.178946e-06,5.215682e-06,5.293534e-06,5.366534e-06,5.407478e-06,5.516231e-06,5.520748e-06,5.633317e-06,5.664708e-06,5.745160e-06,5.811906e-06,5.856251e-06,5.957773e-06,5.966569e-06,6.076095e-06,6.102261e-06,6.184808e-06,6.245327e-06,6.292693e-06,6.386932e-06,6.399732e-06,6.505912e-06,6.527044e-06,6.611220e-06,6.665631e-06,6.715643e-06,6.802668e-06,6.819172e-06,6.921796e-06,6.938132e-06,7.023508e-06,7.072003e-06,7.124300e-06,7.204267e-06,7.224165e-06,7.323099e-06,7.334908e-06,7.421097e-06,7.463918e-06,7.518154e-06,7.591287e-06,7.614269e-06,7.709438e-06,7.717011e-06,7.803662e-06,7.841086e-06,7.896938e-06,7.963510e-06,7.989266e-06,8.080648e-06,8.084284e-06,8.171084e-06,8.203410e-06,8.260576e-06,8.320892e-06,8.349125e-06,8.436736e-06,8.550947e-06,8.663536e-06,8.774509e-06,8.883879e-06,8.991655e-06,9.097851e-06,9.202479e-06,9.305553e-06,9.407088e-06,9.507098e-06,9.605600e-06,9.702608e-06,9.798141e-06,9.892214e-06,9.984845e-06,1.007605e-05,1.016585e-05,1.025426e-05,1.034130e-05,1.042699e-05,1.051134e-05,1.059438e-05,1.067612e-05,1.075658e-05
0.000000e+00,5.987423e-14,5.492587e-13,1.478652e-11,1.310199e-10,3.556729e-10,3.065774e-09,3.313003e-09,1.837834e-08,2.785074e-08,7.352006e-08,1.509418e-07,2.348606e-07,5.908446e-07,6.367134e-07,1.523472e-06,1.849552e-06,3.304223e-06,4.919104e-06,6.619826e-06,1.155266e-05,1.242024e-05,2.204746e-05,2.458272e-05,3.731779e-05,4.825006e-05,6.059665e-05,8.849798e-05,9.485980e-05,1.437368e-04,1.531914e-04,2.115330e-04,2.522324e-04,3.032288e-04,3.975566e-04,4.244556e-04,5.814499e-04,6.030094e-04,7.809858e-04,8.841069e-04,1.030290e-03,1.257699e-03,1.336940e-03,1.708752e-03,1.741549e-03,2.153658e-03,2.353865e-03,2.679579e-03,3.112783e-03,3.294294e-03,4.005313e-03,4.035860e-03,4.819757e-03,5.139566e-03,5.744236e-03,6.438821e-03,6.784746e-03,7.946577e-03,9.234226e-03,9.673466e-03,1.065133e-02,1.162752e-02,1.220063e-02,1.381399e-02,1.388390e-02,1.570197e-02,1.623518e-02,1.765466e-02,1.889047e-02,1.974085e-02,2.177628e-02,2.195846e-02,2.430450e-02,2.488624e-02,2.677508e-02,2.821129e-02,2.936551e-02,3.173990e-02,3.207032e-02,3.488335e-02,3.545836e-02,3.779781e-02,3.935098e-02,4.080633e-02,4.340048e-02,4.390111e-02,4.707391e-02,4.758823e-02,5.031617e-02,5.189455e-02,5.361910e-02,5.629911e-02,5.697374e-02,6.037102e-02,6.078113e-02,6.380184e-02,6.531969e-02,6.725714e-02,6.989402e-02,7.072796e-02,7.420548e-02,7.448371e-02,7.768110e-02,7.906893e-02,8.114644e-02,8.363059e-02,8.459345e-02,8.801438e-02,8.815057e-02,9.140183e-02,9.261176e-02,9.474881e-02,9.699825e-02,9.804872e-02,1.012954e-01,1.044830e-01,1.054898e-01,1.076064e-01,1.095694e-01,1.106606e-01,1.135235e-01,1.136412e-01,1.165443e-01,1.173428e-01,1.193663e-01,1.210193e-01,1.221042e-01,1.245463e-01,1.247551e-01,1.273170e-01,1.279183e-01,1.297878e-01,1.311312e-01,1.321662e-01,1.341817e-01,1.344509e-01,1.366413e-01,1.370680e-01,1.387367e-01,1.397888e-01,1.407372e-01,1.423443e-01,1.426428e-01,1.444540e-01,1.447351e-01,1.461714e-01,1.469627e-01,1.477959e-01,1.490294e-01,1.493287e-01,1.507711e-01,1.509381e-01,1.521245e-01,1.526922e-01,1.533906e-01,1.542955e-01,1.545712e-01,1.556682e-01,1.557524e-01,1.566837e-01,1.570675e-01,1.576197e-01,1.582457e-01,1.584786e-01,1.592624e-01,1.592923e-01,1.599737e-01,1.602124e-01,1.606146e-01,1.610116e-01,1.611878e-01,1.616955e-01,1.622696e-01,1.627396e-01,1.631111e-01,1.633895e-01,1.635803e-01,1.636890e-01,1.637207e-01,1.636805e-01,1.635733e-01,1.634041e-01,1.631773e-01,1.628975e-01,1.625689e-01,1.621956e-01,1.617815e-01,1.613303e-01,1.608455e-01,1.603305e-01,1.597885e-01,1.592225e-01,1.586352e-01,1.580293e-01,1.574074e-01,1.567717e-01
0.000000e+00,1.635689e-13,1.119011e-12,1.584688e-11,7.977878e-11,1.614421e-10,6.912739e-10,7.273362e-10,2.186697e-09,2.839519e-09,5.188292e-09,8.064964e-09,1.055645e-08,1.844689e-08,1.929712e-08,3.259656e-08,3.661235e-08,5.178097e-08,6.560543e-08,7.821435e-08,1.084935e-07,1.131787e-07,1.578089e-07,1.679837e-07,2.130870e-07,2.463253e-07,2.798582e-07,3.453578e-07,3.588421e-07,4.506378e-07,4.665477e-07,5.557239e-07,6.109954e-07,6.744573e-07,7.794324e-07,8.070736e-07,9.536884e-07,9.722241e-07,1.114303e-06,1.189384e-06,1.288808e-06,1.430599e-06,1.476998e-06,1.678572e-06,1.695266e-06,1.893156e-06,1.982534e-06,2.120303e-06,2.291348e-06,2.359511e-06,2.610232e-06,2.620492e-06,2.871883e-06,2.968636e-06,3.143853e-06,3.334366e-06,3.425513e-06,3.716226e-06,4.015348e-06,4.112739e-06,4.322240e-06,4.522435e-06,4.636266e-06,4.943865e-06,4.956804e-06,5.283243e-06,5.375622e-06,5.614990e-06,5.816345e-06,5.951468e-06,6.264729e-06,6.292123e-06,6.636418e-06,6.719533e-06,6.983841e-06,7.179580e-06,7.333900e-06,7.643760e-06,7.686127e-06,8.040073e-06,8.111031e-06,8.395314e-06,8.580417e-06,8.751447e-06,9.051008e-06,9.108089e-06,9.464880e-06,9.521957e-06,9.821477e-06,9.992480e-06,1.017756e-05,1.046185e-05,1.053283e-05,1.088699e-05,1.092940e-05,1.123979e-05,1.139452e-05,1.159097e-05,1.185664e-05,1.194029e-05,1.228755e-05,1.231524e-05,1.263254e-05,1.276985e-05,1.297506e-05,1.322006e-05,1.331495e-05,1.365204e-05,1.366546e-05,1.398618e-05,1.410572e-05,1.431723e-05,1.454052e-05,1.464507e-05,1.496958e-05,1.529064e-05,1.539264e-05,1.560818e-05,1.580951e-05,1.592209e-05,1.621997e-05,1.623231e-05,1.653875e-05,1.662387e-05,1.684136e-05,1.702106e-05,1.714007e-05,1.741141e-05,1.743485e-05,1.772565e-05,1.779484e-05,1.801243e-05,1.817126e-05,1.829516e-05,1.854059e-05,1.857381e-05,1.884838e-05,1.890280e-05,1.911884e-05,1.925785e-05,1.938518e-05,1.960572e-05,1.964740e-05,1.990550e-05,1.994641e-05,2.015947e-05,2.027991e-05,2.040932e-05,2.060625e-05,2.065507e-05,2.089672e-05,2.092545e-05,2.113429e-05,2.123754e-05,2.136780e-05,2.154256e-05,2.159726e-05,2.182271e-05,2.184057e-05,2.204415e-05,2.213162e-05,2.226163e-05,2.241577e-05,2.247517e-05,2.268479e-05,2.269310e-05,2.289054e-05,2.296367e-05,2.309245e-05,2.322756e-05,2.329054e-05,2.348486e-05,2.373565e-05,2.398001e-05,2.421804e-05,2.444984e-05,2.467549e-05,2.489509e-05,2.510875e-05,2.531655e-05,2.551861e-05,2.571503e-05,2.590589e-05,2.609132e-05,2.627140e-05,2.644625e-05,2.661595e-05,2.678063e-05,2.694036e-05,2.709527e-05,2.724544e-05,2.739097e-05,2.753197e-05,2.766853e-05,2.780075e-05,2.792871e-05
0.000000e+00,9.619444e-16,9.923572e-15,2.969018e-13,2.647688e-12,7.055925e-12,5.536871e-11,5.954254e-11,2.881602e-10,4.188740e-10,9.901714e-10,1.851253e-09,2.706231e-09,5.906733e-09,6.288004e-09,1.293782e-08,1.515436e-08,2.418391e-08,3.313703e-08,4.177697e-08,6.396122e-08,6.754467e-08,1.032586e-07,1.117411e-07,1.505434e-07,1.801873e-07,2.108282e-07,2.724075e-07,2.853256e-07,3.750249e-07,3.908418e-07,4.806912e-07,5.372502e-07,6.028669e-07,7.127194e-07,7.418765e-07,8.978352e-07,9.176872e-07,1.070661e-06,1.151987e-06,1.260093e-06,1.414914e-06,1.465710e-06,1.686955e-06,1.705310e-06,1.923157e-06,2.021658e-06,2.173557e-06,2.362174e-06,2.437329e-06,2.713601e-06,2.724899e-06,3.001475e-06,3.107774e-06,3.300040e-06,3.508707e-06,3.608388e-06,3.925625e-06,4.250876e-06,4.356511e-06,4.583299e-06,4.799435e-06,4.922079e-06,5.252571e-06,5.266444e-06,5.615656e-06,5.714208e-06,5.969018e-06,6.182753e-06,6.325875e-06,6.656738e-06,6.685608e-06,7.047641e-06,7.134811e-06,7.411434e-06,7.615736e-06,7.776481e-06,8.098387e-06,8.142314e-06,8.508497e-06,8.581740e-06,8.874626e-06,9.064866e-06,9.240326e-06,9.546928e-06,9.605250e-06,9.969078e-06,1.002717e-05,1.033151e-05,1.050491e-05,1.069229e-05,1.097954e-05,1.105114e-05,1.140785e-05,1.145050e-05,1.176221e-05,1.191733e-05,1.211401e-05,1.237957e-05,1.246309e-05,1.280929e-05,1.283685e-05,1.315244e-05,1.328882e-05,1.349243e-05,1.373519e-05,1.382913e-05,1.416243e-05,1.417569e-05,1.449224e-05,1.461009e-05,1.481846e-05,1.503820e-05,1.514102e-05,1.545985e-05,1.577488e-05,1.587488e-05,1.608607e-05,1.628319e-05,1.639336e-05,1.668467e-05,1.669673e-05,1.699613e-05,1.707924e-05,1.729153e-05,1.746685e-05,1.758292e-05,1.784743e-05,1.787027e-05,1.815358e-05,1.822098e-05,1.843284e-05,1.858745e-05,1.870804e-05,1.894686e-05,1.897918e-05,1.924627e-05,1.929920e-05,1.950930e-05,1.964449e-05,1.976830e-05,1.998275e-05,2.002328e-05,2.027424e-05,2.031402e-05,2.052120e-05,2.063833e-05,2.076419e-05,2.095574e-05,2.100323e-05,2.123834e-05,2.126629e-05,2.146954e-05,2.157004e-05,2.169687e-05,2.186706e-05,2.192034e-05,2.214000e-05,2.215741e-05,2.235587e-05,2.244116e-05,2.256798e-05,2.271839e-05,2.277637e-05,2.298107e-05,2.298918e-05,2.318212e-05,2.325361e-05,2.337955e-05,2.351176e-05,2.357340e-05,2.376371e-05,2.400955e-05,2.424938e-05,2.448327e-05,2.471133e-05,2.493364e-05,2.515030e-05,2.536139e-05,2.556703e-05,2.576728e-05,2.596226e-05,2.615205e-05,2.633675e-05,2.651646e-05,2.669126e-05,2.686124e-05,2.702651e-05,2.718715e-05,2.734325e-05,2.749490e-05,2.764220e-05,2.778523e-05,2.792408e-05,2.805884e-05,2.818959e-05
0.000000e+00,2.348927e-18,2.702109e-17,1.010194e-15,1.100457e-14,3.268746e-14,3.376737e-13,3.671446e-13,2.311535e-12,3.602118e-12,1.009926e-11,2.157296e-11,3.431381e-11,8.980191e-11,9.704395e-11,2.386916e-10,2.911784e-10,5.261092e-10,7.871330e-10,1.061564e-09,1.853314e-09,1.991883e-09,3.517007e-09,3.915180e-09,5.897092e-09,7.577883e-09,9.457241e-09,1.364435e-08,1.458914e-08,2.174910e-08,2.311657e-08,3.145243e-08,3.717782e-08,4.426444e-08,5.715673e-08,6.078835e-08,8.165127e-08,8.447660e-08,1.074887e-07,1.205956e-07,1.389288e-07,1.669436e-07,1.765762e-07,2.209980e-07,2.248603e-07,2.727100e-07,2.955399e-07,3.321655e-07,3.799855e-07,3.997462e-07,4.757555e-07,4.789745e-07,5.604138e-07,5.930367e-07,6.538563e-07,7.224438e-07,7.561333e-07,8.672120e-07,9.869803e-07,1.027113e-06,1.115252e-06,1.201694e-06,1.251773e-06,1.390301e-06,1.396227e-06,1.548248e-06,1.592114e-06,1.707421e-06,1.806172e-06,1.873296e-06,2.031410e-06,2.045395e-06,2.223216e-06,2.266687e-06,2.406244e-06,2.510821e-06,2.593959e-06,2.762609e-06,2.785836e-06,2.981357e-06,3.020853e-06,3.180011e-06,3.284384e-06,3.381301e-06,3.552070e-06,3.584747e-06,3.789885e-06,3.822835e-06,3.996276e-06,4.095666e-06,4.203503e-06,4.369621e-06,4.411172e-06,4.618915e-06,4.643833e-06,4.826388e-06,4.917508e-06,5.033273e-06,5.189930e-06,5.239275e-06,5.444125e-06,5.460456e-06,5.647576e-06,5.728514e-06,5.849405e-06,5.993603e-06,6.049410e-06,6.247408e-06,6.255284e-06,6.443238e-06,6.513177e-06,6.636755e-06,6.766960e-06,6.827832e-06,7.016359e-06,7.202239e-06,7.261148e-06,7.385389e-06,7.501140e-06,7.565740e-06,7.736188e-06,7.743232e-06,7.917820e-06,7.966178e-06,8.089464e-06,8.191025e-06,8.258135e-06,8.410670e-06,8.423814e-06,8.586486e-06,8.625079e-06,8.746146e-06,8.834238e-06,8.902791e-06,9.038150e-06,9.056427e-06,9.207064e-06,9.236832e-06,9.354715e-06,9.430319e-06,9.499398e-06,9.618653e-06,9.641134e-06,9.779948e-06,9.801889e-06,9.915868e-06,9.980090e-06,1.004892e-05,1.015332e-05,1.017914e-05,1.030657e-05,1.032167e-05,1.043122e-05,1.048521e-05,1.055315e-05,1.064402e-05,1.067239e-05,1.078898e-05,1.079820e-05,1.090296e-05,1.094783e-05,1.101437e-05,1.109302e-05,1.112325e-05,1.122964e-05,1.123384e-05,1.133358e-05,1.137041e-05,1.143512e-05,1.150282e-05,1.153430e-05,1.163116e-05,1.175552e-05,1.187602e-05,1.199274e-05,1.210577e-05,1.221522e-05,1.232118e-05,1.242373e-05,1.252297e-05,1.261899e-05,1.271188e-05,1.280172e-05,1.288859e-05,1.297259e-05,1.305380e-05,1.313228e-05,1.320813e-05,1.328141e-05,1.335221e-05,1.342060e-05,1.348664e-05,1.355041e-05,1.361198e-05,1.367141e-05,1.372877e-05
0.000000e+00,3.682699e-18,4.206016e-17,1.553823e-15,1.674603e-14,4.945227e-14,5.032564e-13,5.468466e-13,3.392567e-12,5.265781e-12,1.461866e-11,3.098274e-11,4.903353e-11,1.269271e-10,1.370384e-10,3.334457e-10,4.057826e-10,7.278715e-10,1.083616e-09,1.456070e-09,2.524915e-09,2.711341e-09,4.754836e-09,5.286369e-09,7.923348e-09,1.015062e-08,1.263326e-08,1.814087e-08,1.937977e-08,2.873117e-08,3.051053e-08,4.131849e-08,4.870795e-08,5.782142e-08,7.432064e-08,7.895165e-08,1.054348e-07,1.090069e-07,1.379921e-07,1.544229e-07,1.773223e-07,2.121510e-07,2.240856e-07,2.788888e-07,2.836371e-07,3.422732e-07,3.701369e-07,4.147050e-07,4.726765e-07,4.965674e-07,5.881567e-07,5.920258e-07,6.896791e-07,7.286841e-07,8.012515e-07,8.828795e-07,9.229028e-07,1.054577e-06,1.196140e-06,1.243497e-06,1.347384e-06,1.449137e-06,1.508035e-06,1.670801e-06,1.677760e-06,1.856176e-06,1.907633e-06,2.042857e-06,2.158644e-06,2.237344e-06,2.422747e-06,2.439149e-06,2.647765e-06,2.698789e-06,2.862672e-06,2.985572e-06,3.083343e-06,3.281882e-06,3.309250e-06,3.539869e-06,3.586512e-06,3.774682e-06,3.898275e-06,4.013185e-06,4.216020e-06,4.254888e-06,4.499317e-06,4.538647e-06,4.746016e-06,4.865110e-06,4.994552e-06,5.194425e-06,5.244511e-06,5.495503e-06,5.525674e-06,5.747159e-06,5.858008e-06,5.999132e-06,6.190643e-06,6.251097e-06,6.502753e-06,6.522863e-06,6.753817e-06,6.854018e-06,7.004030e-06,7.183519e-06,7.253148e-06,7.500952e-06,7.510833e-06,7.747235e-06,7.835489e-06,7.991812e-06,8.157061e-06,8.234511e-06,8.475176e-06,8.713667e-06,8.789504e-06,8.949856e-06,9.099756e-06,9.183628e-06,9.405680e-06,9.414881e-06,9.643520e-06,9.707060e-06,9.869466e-06,1.000371e-05,1.009265e-05,1.029547e-05,1.031300e-05,1.053046e-05,1.058222e-05,1.074499e-05,1.086384e-05,1.095655e-05,1.114024e-05,1.116511e-05,1.137063e-05,1.141137e-05,1.157309e-05,1.167716e-05,1.177248e-05,1.193759e-05,1.196879e-05,1.216200e-05,1.219263e-05,1.235212e-05,1.244227e-05,1.253913e-05,1.268652e-05,1.272306e-05,1.290389e-05,1.292539e-05,1.308165e-05,1.315889e-05,1.325634e-05,1.338706e-05,1.342798e-05,1.359658e-05,1.360994e-05,1.376217e-05,1.382757e-05,1.392476e-05,1.403998e-05,1.408438e-05,1.424104e-05,1.424725e-05,1.439478e-05,1.444941e-05,1.454562e-05,1.464655e-05,1.469359e-05,1.483871e-05,1.502596e-05,1.520839e-05,1.538604e-05,1.555901e-05,1.572736e-05,1.589117e-05,1.605052e-05,1.620548e-05,1.635614e-05,1.650256e-05,1.664484e-05,1.678305e-05,1.691726e-05,1.704756e-05,1.717403e-05,1.729673e-05,1.741576e-05,1.753119e-05,1.764309e-05,1.775153e-05,1.785660e-05,1.795837e-05,1.805692e-05,1.815230e-05
0.000000e+00,3.900240e-15,3.512295e-14,8.049218e-13,5.739028e-12,1.363270e-11,8.150326e-11,8.674751e-11,3.320109e-10,4.552536e-10,9.380864e-10,1.583889e-09,2.175349e-09,4.175681e-09,4.399910e-09,8.058635e-09,9.208130e-09,1.368985e-08,1.793165e-08,2.190728e-08,3.179170e-08,3.335752e-08,4.866227e-08,5.223574e-08,6.837166e-08,8.051726e-08,9.294449e-08,1.176162e-07,1.227494e-07,1.580744e-07,1.642541e-07,1.991370e-07,2.209325e-07,2.460910e-07,2.879619e-07,2.990317e-07,3.579995e-07,3.654807e-07,4.229841e-07,4.534703e-07,4.939283e-07,5.517716e-07,5.707323e-07,6.532590e-07,6.601035e-07,7.413391e-07,7.780829e-07,8.347760e-07,9.052457e-07,9.333514e-07,1.036829e-06,1.041067e-06,1.144962e-06,1.184980e-06,1.257492e-06,1.336390e-06,1.374157e-06,1.494693e-06,1.618836e-06,1.659281e-06,1.746325e-06,1.829556e-06,1.876904e-06,2.004934e-06,2.010322e-06,2.146334e-06,2.184850e-06,2.284704e-06,2.368764e-06,2.425205e-06,2.556160e-06,2.567618e-06,2.711733e-06,2.746551e-06,2.857348e-06,2.939477e-06,3.004273e-06,3.134505e-06,3.152325e-06,3.301331e-06,3.331231e-06,3.451125e-06,3.529279e-06,3.601554e-06,3.728295e-06,3.752468e-06,3.903729e-06,3.927954e-06,4.055205e-06,4.127953e-06,4.206772e-06,4.328013e-06,4.358314e-06,4.509721e-06,4.527875e-06,4.660889e-06,4.727302e-06,4.811722e-06,4.926075e-06,4.962129e-06,5.112025e-06,5.123993e-06,5.261332e-06,5.320873e-06,5.409975e-06,5.516548e-06,5.557885e-06,5.704997e-06,5.710864e-06,5.851253e-06,5.903685e-06,5.996597e-06,6.094883e-06,6.140977e-06,6.284346e-06,6.426661e-06,6.471973e-06,6.567881e-06,6.657670e-06,6.707970e-06,6.841358e-06,6.846893e-06,6.984619e-06,7.022965e-06,7.121122e-06,7.202425e-06,7.256375e-06,7.379685e-06,7.390356e-06,7.523044e-06,7.554694e-06,7.654420e-06,7.727413e-06,7.784470e-06,7.897805e-06,7.913178e-06,8.040533e-06,8.065841e-06,8.166524e-06,8.231497e-06,8.291142e-06,8.394755e-06,8.414380e-06,8.536232e-06,8.555600e-06,8.656694e-06,8.714021e-06,8.775763e-06,8.870014e-06,8.893437e-06,9.009714e-06,9.023574e-06,9.124597e-06,9.174703e-06,9.238085e-06,9.323405e-06,9.350181e-06,9.460889e-06,9.469686e-06,9.570212e-06,9.613555e-06,9.678156e-06,9.755024e-06,9.784725e-06,9.889926e-06,9.894106e-06,9.993766e-06,1.003082e-05,1.009625e-05,1.016517e-05,1.019739e-05,1.029719e-05,1.042690e-05,1.055431e-05,1.067945e-05,1.080235e-05,1.092302e-05,1.104149e-05,1.115779e-05,1.127195e-05,1.138399e-05,1.149394e-05,1.160183e-05,1.170769e-05,1.181154e-05,1.191341e-05,1.201334e-05,1.211135e-05,1.220747e-05,1.230173e-05,1.239417e-05,1.248480e-05,1.257365e-05,1.266077e-05,1.274617e-05,1.282988e-05
0.000000e+00,7.992715e-18,9.167328e-17,3.406327e-15,3.690570e-14,1.093042e-13,1.121059e-12,1.218561e-12,7.623160e-12,1.186071e-11,3.313604e-11,7.061293e-11,1.121718e-10,2.929650e-10,3.165538e-10,7.780078e-10,9.490721e-10,1.715222e-09,2.567063e-09,3.462975e-09,6.047576e-09,6.499741e-09,1.146996e-08,1.276531e-08,1.919791e-08,2.463374e-08,3.069165e-08,4.411872e-08,4.713624e-08,6.987731e-08,7.419753e-08,1.003961e-07,1.182701e-07,1.402776e-07,1.800334e-07,1.911746e-07,2.547675e-07,2.633315e-07,3.327248e-07,3.719958e-07,4.266623e-07,5.096854e-07,5.381057e-07,6.684560e-07,6.797393e-07,8.189588e-07,8.850478e-07,9.906794e-07,1.127950e-06,1.184483e-06,1.401020e-06,1.410162e-06,1.640721e-06,1.732729e-06,1.903788e-06,2.096021e-06,2.190205e-06,2.499740e-06,2.831960e-06,2.942966e-06,3.186245e-06,3.424208e-06,3.561804e-06,3.941485e-06,3.957698e-06,4.372858e-06,4.492397e-06,4.806108e-06,5.074218e-06,5.256184e-06,5.683975e-06,5.721759e-06,6.201459e-06,6.318533e-06,6.693880e-06,6.974666e-06,7.197610e-06,7.649128e-06,7.711240e-06,8.233379e-06,8.338707e-06,8.762664e-06,9.040275e-06,9.297772e-06,9.750828e-06,9.837427e-06,1.038040e-05,1.046751e-05,1.092554e-05,1.118765e-05,1.147173e-05,1.190875e-05,1.201794e-05,1.256320e-05,1.262852e-05,1.310659e-05,1.334488e-05,1.364728e-05,1.405592e-05,1.418450e-05,1.471753e-05,1.475997e-05,1.524571e-05,1.545550e-05,1.576846e-05,1.614118e-05,1.628525e-05,1.679559e-05,1.681586e-05,1.729904e-05,1.747853e-05,1.779523e-05,1.812832e-05,1.828383e-05,1.876453e-05,1.923707e-05,1.938653e-05,1.970125e-05,1.999385e-05,2.015687e-05,2.058608e-05,2.060379e-05,2.104188e-05,2.116294e-05,2.147103e-05,2.172421e-05,2.189119e-05,2.226974e-05,2.230229e-05,2.270432e-05,2.279945e-05,2.309725e-05,2.331332e-05,2.348110e-05,2.381139e-05,2.385588e-05,2.422164e-05,2.429372e-05,2.457843e-05,2.476043e-05,2.492629e-05,2.521166e-05,2.526531e-05,2.559557e-05,2.564760e-05,2.591715e-05,2.606845e-05,2.623015e-05,2.647444e-05,2.653467e-05,2.683082e-05,2.686580e-05,2.711871e-05,2.724280e-05,2.739847e-05,2.760571e-05,2.767021e-05,2.793405e-05,2.795482e-05,2.819013e-05,2.829042e-05,2.843857e-05,2.861280e-05,2.867951e-05,2.891308e-05,2.892227e-05,2.913941e-05,2.921914e-05,2.935864e-05,2.950373e-05,2.957090e-05,2.977633e-05,3.003727e-05,3.028685e-05,3.052539e-05,3.075319e-05,3.097055e-05,3.117779e-05,3.137519e-05,3.156305e-05,3.174166e-05,3.191131e-05,3.207227e-05,3.222482e-05,3.236923e-05,3.250576e-05,3.263467e-05,3.275621e-05,3.287064e-05,3.297818e-05,3.307908e-05,3.317357e-05,3.326187e-05,3.334420e-05,3.342077e-05,3.349179e-05
0.000000e+00,2.259054e-12,8.014554e-12,4.966131e-11,1.628841e-10,2.802587e-10,9.115332e-10,9.515083e-10,2.490999e-09,3.162056e-09,5.566004e-09,8.512765e-09,1.106165e-08,1.903062e-08,1.987654e-08,3.275031e-08,3.651118e-08,5.026531e-08,6.228320e-08,7.290255e-08,9.739231e-08,1.010784e-07,1.351601e-07,1.427143e-07,1.754693e-07,1.989844e-07,2.222808e-07,2.667935e-07,2.758196e-07,3.362587e-07,3.465781e-07,4.037181e-07,4.386138e-07,4.782647e-07,5.430171e-07,5.599144e-07,6.486354e-07,6.597540e-07,7.443521e-07,7.886553e-07,8.469495e-07,9.294347e-07,9.562785e-07,1.072161e-06,1.081709e-06,1.194395e-06,1.245017e-06,1.322757e-06,1.418841e-06,1.457012e-06,1.596910e-06,1.602619e-06,1.742194e-06,1.795765e-06,1.892603e-06,1.997673e-06,2.047872e-06,2.207736e-06,2.371932e-06,2.425347e-06,2.540199e-06,2.649907e-06,2.712279e-06,2.880830e-06,2.887921e-06,3.066879e-06,3.117548e-06,3.248912e-06,3.359510e-06,3.433786e-06,3.606187e-06,3.621277e-06,3.811163e-06,3.857069e-06,4.003234e-06,4.111671e-06,4.197284e-06,4.369529e-06,4.393116e-06,4.590542e-06,4.630201e-06,4.789377e-06,4.893270e-06,4.989447e-06,5.158337e-06,5.190584e-06,5.392627e-06,5.425027e-06,5.595421e-06,5.692985e-06,5.798818e-06,5.961876e-06,6.002678e-06,6.206866e-06,6.231385e-06,6.411253e-06,6.501215e-06,6.615717e-06,6.771088e-06,6.820139e-06,7.024410e-06,7.040742e-06,7.228424e-06,7.309934e-06,7.432079e-06,7.578435e-06,7.635281e-06,7.837938e-06,7.846032e-06,8.039965e-06,8.112525e-06,8.241281e-06,8.377730e-06,8.441809e-06,8.641475e-06,8.840213e-06,8.903602e-06,9.037956e-06,9.163962e-06,9.234645e-06,9.422420e-06,9.430221e-06,9.624632e-06,9.678851e-06,9.817826e-06,9.933139e-06,1.000976e-05,1.018518e-05,1.020038e-05,1.038966e-05,1.043488e-05,1.057754e-05,1.068214e-05,1.076401e-05,1.092690e-05,1.094902e-05,1.113255e-05,1.116907e-05,1.131456e-05,1.140860e-05,1.149503e-05,1.164542e-05,1.167394e-05,1.185127e-05,1.187949e-05,1.202699e-05,1.211076e-05,1.220109e-05,1.233919e-05,1.237356e-05,1.254437e-05,1.256475e-05,1.271352e-05,1.278741e-05,1.288099e-05,1.300715e-05,1.304678e-05,1.321088e-05,1.322394e-05,1.337329e-05,1.343777e-05,1.353399e-05,1.364864e-05,1.369298e-05,1.385027e-05,1.385652e-05,1.400584e-05,1.406143e-05,1.415970e-05,1.426335e-05,1.431185e-05,1.446230e-05,1.465826e-05,1.485127e-05,1.504131e-05,1.522841e-05,1.541258e-05,1.559384e-05,1.577220e-05,1.594769e-05,1.612032e-05,1.629011e-05,1.645710e-05,1.662131e-05,1.678276e-05,1.694148e-05,1.709749e-05,1.725083e-05,1.740153e-05,1.754961e-05,1.769511e-05,1.783806e-05,1.797849e-05,1.811642e-05,1.825190e-05,1.838495e-05
0.000000e+00,2.381362e-12,7.487156e-12,4.087961e-11,1.265978e-10,2.134204e-10,6.721634e-10,7.010422e-10,1.810856e-09,2.294665e-09,4.029605e-09,6.156768e-09,7.994320e-09,1.371531e-08,1.432028e-08,2.347515e-08,2.613259e-08,3.579472e-08,4.417321e-08,5.153370e-08,6.837646e-08,7.089740e-08,9.405562e-08,9.915535e-08,1.211472e-07,1.368264e-07,1.522804e-07,1.816129e-07,1.875322e-07,2.269478e-07,2.336420e-07,2.705403e-07,2.929442e-07,3.182917e-07,3.594567e-07,3.701552e-07,4.260568e-07,4.330320e-07,4.858993e-07,5.134486e-07,5.495645e-07,6.004243e-07,6.169176e-07,6.878097e-07,6.936292e-07,7.620817e-07,7.926997e-07,8.395667e-07,8.972491e-07,9.200929e-07,1.003486e-06,1.006878e-06,1.089569e-06,1.121185e-06,1.178170e-06,1.239767e-06,1.269113e-06,1.362231e-06,1.457357e-06,1.488196e-06,1.554331e-06,1.617292e-06,1.652997e-06,1.749168e-06,1.753204e-06,1.854809e-06,1.883490e-06,1.957673e-06,2.019940e-06,2.061663e-06,2.158220e-06,2.166654e-06,2.272523e-06,2.298050e-06,2.379157e-06,2.439166e-06,2.486447e-06,2.581322e-06,2.594289e-06,2.702585e-06,2.724291e-06,2.811243e-06,2.867858e-06,2.920174e-06,3.011827e-06,3.029296e-06,3.138531e-06,3.156014e-06,3.247804e-06,3.300249e-06,3.357047e-06,3.444376e-06,3.466195e-06,3.575186e-06,3.588251e-06,3.683963e-06,3.731742e-06,3.792471e-06,3.874727e-06,3.900661e-06,4.008486e-06,4.017095e-06,4.115901e-06,4.158743e-06,4.222866e-06,4.299580e-06,4.329341e-06,4.435293e-06,4.439519e-06,4.540687e-06,4.578487e-06,4.645493e-06,4.716412e-06,4.749684e-06,4.853232e-06,4.956114e-06,4.988892e-06,5.058309e-06,5.123343e-06,5.159795e-06,5.256538e-06,5.260554e-06,5.360570e-06,5.388439e-06,5.459828e-06,5.519012e-06,5.558313e-06,5.648227e-06,5.656014e-06,5.752919e-06,5.776057e-06,5.849019e-06,5.902480e-06,5.944306e-06,6.027479e-06,6.038771e-06,6.132409e-06,6.151037e-06,6.225215e-06,6.273143e-06,6.317183e-06,6.393787e-06,6.408311e-06,6.498595e-06,6.512962e-06,6.588034e-06,6.630664e-06,6.676627e-06,6.746891e-06,6.764372e-06,6.851270e-06,6.861641e-06,6.937322e-06,6.974917e-06,7.022529e-06,7.086722e-06,7.106893e-06,7.190415e-06,7.197061e-06,7.273100e-06,7.305940e-06,7.354949e-06,7.413366e-06,7.435967e-06,7.516158e-06,7.519348e-06,7.595525e-06,7.623896e-06,7.674073e-06,7.727021e-06,7.751808e-06,7.828734e-06,7.929047e-06,8.027974e-06,8.125528e-06,8.221723e-06,8.316574e-06,8.410097e-06,8.502306e-06,8.593218e-06,8.682848e-06,8.771214e-06,8.858331e-06,8.944216e-06,9.028886e-06,9.112358e-06,9.194648e-06,9.275775e-06,9.355754e-06,9.434603e-06,9.512338e-06,9.588977e-06,9.664536e-06,9.739033e-06,9.812482e-06,9.884901e-06
0.000000e+00,1.807510e-15,1.795686e-14,4.978889e-13,4.157330e-12,1.070201e-11,7.716419e-11,8.270755e-11,3.704782e-10,5.278532e-10,1.188462e-09,2.139412e-09,3.053283e-09,6.329452e-09,6.709592e-09,1.314799e-08,1.524050e-08,2.361895e-08,3.179794e-08,3.963605e-08,5.970481e-08,6.295021e-08,9.547740e-08,1.032621e-07,1.391850e-07,1.669665e-07,1.959684e-07,2.550405e-07,2.675537e-07,3.554439e-07,3.711072e-07,4.609018e-07,5.180720e-07,5.849555e-07,6.981383e-07,7.284144e-07,8.918851e-07,9.128681e-07,1.075786e-06,1.163242e-06,1.280358e-06,1.449713e-06,1.505681e-06,1.751680e-06,1.772248e-06,2.018139e-06,2.130379e-06,2.304715e-06,2.523253e-06,2.610949e-06,2.936283e-06,2.949685e-06,3.280072e-06,3.408218e-06,3.641599e-06,3.897175e-06,4.020087e-06,4.414715e-06,4.824625e-06,4.958881e-06,5.248938e-06,5.527643e-06,5.686757e-06,6.118935e-06,6.137183e-06,6.599315e-06,6.730687e-06,7.072259e-06,7.360849e-06,7.555136e-06,8.007412e-06,8.047081e-06,8.547251e-06,8.668423e-06,9.054823e-06,9.341999e-06,9.569002e-06,1.002633e-05,1.008902e-05,1.061413e-05,1.071970e-05,1.114362e-05,1.142046e-05,1.167681e-05,1.212707e-05,1.221304e-05,1.275169e-05,1.283806e-05,1.329216e-05,1.355206e-05,1.383388e-05,1.426779e-05,1.437631e-05,1.491894e-05,1.498405e-05,1.546128e-05,1.569970e-05,1.600288e-05,1.641372e-05,1.654329e-05,1.708211e-05,1.712513e-05,1.761895e-05,1.783305e-05,1.815344e-05,1.853664e-05,1.868526e-05,1.921406e-05,1.923515e-05,1.973957e-05,1.992788e-05,2.026148e-05,2.061421e-05,2.077955e-05,2.129354e-05,2.180320e-05,2.196535e-05,2.230834e-05,2.262916e-05,2.280876e-05,2.328455e-05,2.330428e-05,2.379474e-05,2.393114e-05,2.427998e-05,2.456857e-05,2.475988e-05,2.519655e-05,2.523430e-05,2.570313e-05,2.581480e-05,2.616627e-05,2.642311e-05,2.662363e-05,2.702126e-05,2.707513e-05,2.752070e-05,2.760909e-05,2.796027e-05,2.818646e-05,2.839380e-05,2.875325e-05,2.882123e-05,2.924254e-05,2.930938e-05,2.965769e-05,2.985477e-05,3.006666e-05,3.038938e-05,3.046944e-05,3.086601e-05,3.091318e-05,3.125637e-05,3.142616e-05,3.164053e-05,3.192834e-05,3.201849e-05,3.239026e-05,3.241973e-05,3.275586e-05,3.290038e-05,3.311532e-05,3.337033e-05,3.346865e-05,3.381589e-05,3.382965e-05,3.415706e-05,3.427841e-05,3.449221e-05,3.471669e-05,3.482138e-05,3.514460e-05,3.556222e-05,3.596967e-05,3.636707e-05,3.675453e-05,3.713219e-05,3.750017e-05,3.785861e-05,3.820766e-05,3.854745e-05,3.887812e-05,3.919984e-05,3.951275e-05,3.981699e-05,4.011273e-05,4.040012e-05,4.067930e-05,4.095044e-05,4.121370e-05,4.146921e-05,4.171715e-05,4.195766e-05,4.219089e-05,4.241700e-05,4.263614e-05
0.000000e+00,4.090154e-16,4.101567e-15,1.160012e-13,9.845993e-13,2.555461e-12,1.876764e-11,2.012918e-11,9.143371e-11,1.306732e-10,2.960679e-10,5.348937e-10,7.646281e-10,1.587623e-09,1.682985e-09,3.292844e-09,3.813889e-09,5.890248e-09,7.903417e-09,9.821563e-09,1.469119e-08,1.547377e-08,2.325546e-08,2.510321e-08,3.356930e-08,4.005737e-08,4.678304e-08,6.035295e-08,6.320747e-08,8.308549e-08,8.659901e-08,1.065908e-07,1.191960e-07,1.338325e-07,1.583526e-07,1.648623e-07,1.996817e-07,2.041131e-07,2.382483e-07,2.563853e-07,2.804819e-07,3.149637e-07,3.262698e-07,3.754722e-07,3.795511e-07,4.279266e-07,4.497792e-07,4.834533e-07,5.252270e-07,5.418595e-07,6.029436e-07,6.054398e-07,6.664995e-07,6.899446e-07,7.323194e-07,7.782651e-07,8.001976e-07,8.699322e-07,9.413274e-07,9.644937e-07,1.014195e-06,1.061520e-06,1.088357e-06,1.160611e-06,1.163642e-06,1.239891e-06,1.261393e-06,1.316955e-06,1.363526e-06,1.394694e-06,1.466700e-06,1.472980e-06,1.551693e-06,1.570635e-06,1.630723e-06,1.675080e-06,1.709968e-06,1.779809e-06,1.789337e-06,1.868744e-06,1.884623e-06,1.948111e-06,1.989343e-06,2.027369e-06,2.093813e-06,2.106452e-06,2.185303e-06,2.197894e-06,2.263868e-06,2.301464e-06,2.342100e-06,2.404415e-06,2.419954e-06,2.497391e-06,2.506654e-06,2.574376e-06,2.608098e-06,2.650877e-06,2.708676e-06,2.726865e-06,2.802315e-06,2.808327e-06,2.877202e-06,2.906994e-06,2.951506e-06,3.004634e-06,3.025209e-06,3.098294e-06,3.101204e-06,3.170747e-06,3.196672e-06,3.242554e-06,3.291009e-06,3.313705e-06,3.384190e-06,3.453999e-06,3.476195e-06,3.523127e-06,3.567007e-06,3.591566e-06,3.656615e-06,3.659311e-06,3.726359e-06,3.745007e-06,3.792706e-06,3.832176e-06,3.858349e-06,3.918118e-06,3.923287e-06,3.987518e-06,4.002828e-06,4.051042e-06,4.086307e-06,4.113859e-06,4.168554e-06,4.175970e-06,4.237375e-06,4.249572e-06,4.298077e-06,4.329365e-06,4.358077e-06,4.407937e-06,4.417378e-06,4.475982e-06,4.485294e-06,4.533892e-06,4.561444e-06,4.591112e-06,4.636394e-06,4.647646e-06,4.703496e-06,4.710152e-06,4.758668e-06,4.782729e-06,4.813165e-06,4.854135e-06,4.866992e-06,4.920154e-06,4.924379e-06,4.972656e-06,4.993473e-06,5.024502e-06,5.061429e-06,5.075699e-06,5.126250e-06,5.128259e-06,5.176162e-06,5.193974e-06,5.225439e-06,5.258589e-06,5.274089e-06,5.322115e-06,5.384567e-06,5.445956e-06,5.506298e-06,5.565605e-06,5.623891e-06,5.681171e-06,5.737457e-06,5.792765e-06,5.847109e-06,5.900501e-06,5.952957e-06,6.004490e-06,6.055115e-06,6.104844e-06,6.153693e-06,6.201675e-06,6.248803e-06,6.295091e-06,6.340552e-06,6.385201e-06,6.429050e-06,6.472113e-06,6.514402e-06,6.555931e-06
0.000000e+00,6.906966e-13,2.748226e-12,1.909263e-11,6.533656e-11,1.135589e-10,3.681620e-10,3.839656e-10,9.682184e-10,1.210952e-09,2.041122e-09,3.005997e-09,3.814487e-09,6.277143e-09,6.536177e-09,1.048431e-08,1.164689e-08,1.595110e-08,1.978056e-08,2.321276e-08,3.126758e-08,3.249358e-08,4.394427e-08,4.650285e-08,5.764387e-08,6.566572e-08,7.361495e-08,8.877352e-08,9.183911e-08,1.122685e-07,1.157375e-07,1.348337e-07,1.463991e-07,1.594493e-07,1.805531e-07,1.860182e-07,2.144350e-07,2.179640e-07,2.445892e-07,2.583784e-07,2.763678e-07,3.015360e-07,3.096572e-07,3.443448e-07,3.471769e-07,3.803208e-07,3.950480e-07,4.174790e-07,4.449074e-07,4.557174e-07,4.949389e-07,4.965269e-07,5.350516e-07,5.496935e-07,5.759688e-07,6.042103e-07,6.176091e-07,6.598961e-07,7.027589e-07,7.165855e-07,7.461309e-07,7.741276e-07,7.899505e-07,8.323850e-07,8.341602e-07,8.787068e-07,8.912334e-07,9.235407e-07,9.505598e-07,9.686162e-07,1.010262e-06,1.013891e-06,1.059325e-06,1.070248e-06,1.104882e-06,1.130434e-06,1.150528e-06,1.190745e-06,1.196232e-06,1.241965e-06,1.251112e-06,1.287700e-06,1.311474e-06,1.333412e-06,1.371775e-06,1.379078e-06,1.424677e-06,1.431965e-06,1.470188e-06,1.491997e-06,1.515593e-06,1.551830e-06,1.560876e-06,1.606020e-06,1.611427e-06,1.651011e-06,1.670755e-06,1.695835e-06,1.729781e-06,1.740479e-06,1.784932e-06,1.788480e-06,1.829183e-06,1.846825e-06,1.873222e-06,1.904794e-06,1.917040e-06,1.960628e-06,1.962366e-06,2.003978e-06,2.019524e-06,2.047082e-06,2.076250e-06,2.089935e-06,2.132530e-06,2.174861e-06,2.188350e-06,2.216923e-06,2.243699e-06,2.258711e-06,2.298565e-06,2.300220e-06,2.341447e-06,2.352939e-06,2.382388e-06,2.406814e-06,2.423040e-06,2.460181e-06,2.463399e-06,2.503463e-06,2.513034e-06,2.543229e-06,2.565368e-06,2.582696e-06,2.617177e-06,2.621861e-06,2.660722e-06,2.668458e-06,2.699279e-06,2.719208e-06,2.737530e-06,2.769423e-06,2.775474e-06,2.813109e-06,2.819102e-06,2.850436e-06,2.868243e-06,2.887454e-06,2.916845e-06,2.924162e-06,2.960560e-06,2.964907e-06,2.996648e-06,3.012429e-06,3.032427e-06,3.059411e-06,3.067895e-06,3.103055e-06,3.105854e-06,3.137905e-06,3.151759e-06,3.172447e-06,3.197126e-06,3.206681e-06,3.240608e-06,3.241959e-06,3.274229e-06,3.286257e-06,3.307544e-06,3.330024e-06,3.340554e-06,3.373262e-06,3.415972e-06,3.458159e-06,3.499825e-06,3.540972e-06,3.581605e-06,3.621727e-06,3.661340e-06,3.700450e-06,3.739059e-06,3.777172e-06,3.814792e-06,3.851924e-06,3.888572e-06,3.924740e-06,3.960433e-06,3.995654e-06,4.030408e-06,4.064700e-06,4.098534e-06,4.131915e-06,4.164848e-06,4.197336e-06,4.229384e-06,4.260998e-06
0.000000e+00,4.776694e-19,5.510696e-18,2.074996e-16,2.275645e-15,6.784881e-15,7.078799e-14,7.699769e-14,4.897461e-13,7.653553e-13,2.161544e-12,4.645445e-12,7.419131e-12,1.960011e-11,2.119821e-11,5.268426e-11,6.443165e-11,1.173624e-10,1.766589e-10,2.394054e-10,4.221137e-10,4.542970e-10,8.115520e-10,9.055891e-10,1.377340e-09,1.781404e-09,2.236751e-09,3.262219e-09,3.495407e-09,5.280105e-09,5.624047e-09,7.738275e-09,9.205584e-09,1.103616e-08,1.440097e-08,1.535580e-08,2.089090e-08,2.164628e-08,2.784205e-08,3.140134e-08,3.641143e-08,4.412877e-08,4.679740e-08,5.918927e-08,6.027265e-08,7.376259e-08,8.023869e-08,9.067490e-08,1.043775e-07,1.100624e-07,1.320372e-07,1.329713e-07,1.566857e-07,1.662260e-07,1.840674e-07,2.042659e-07,2.142149e-07,2.471339e-07,2.828048e-07,2.947942e-07,3.211838e-07,3.471378e-07,3.622046e-07,4.039903e-07,4.057812e-07,4.518098e-07,4.651213e-07,5.001713e-07,5.302537e-07,5.507341e-07,5.990742e-07,6.033563e-07,6.578882e-07,6.712429e-07,7.141748e-07,7.464029e-07,7.720579e-07,8.241888e-07,8.313777e-07,8.919751e-07,9.042340e-07,9.536927e-07,9.861774e-07,1.016377e-06,1.069669e-06,1.079878e-06,1.144051e-06,1.154372e-06,1.208760e-06,1.239972e-06,1.273873e-06,1.326170e-06,1.339266e-06,1.404822e-06,1.412695e-06,1.470433e-06,1.499293e-06,1.535998e-06,1.585738e-06,1.601422e-06,1.666619e-06,1.671823e-06,1.731511e-06,1.757365e-06,1.796024e-06,1.842202e-06,1.860093e-06,1.923659e-06,1.926190e-06,1.986669e-06,2.009207e-06,2.049074e-06,2.091143e-06,2.110834e-06,2.171909e-06,2.232268e-06,2.251426e-06,2.291881e-06,2.329630e-06,2.350723e-06,2.406468e-06,2.408774e-06,2.466016e-06,2.481896e-06,2.522433e-06,2.555882e-06,2.578013e-06,2.628398e-06,2.632746e-06,2.686624e-06,2.699427e-06,2.739643e-06,2.768956e-06,2.791798e-06,2.836978e-06,2.843087e-06,2.893510e-06,2.903491e-06,2.943068e-06,2.968496e-06,2.991761e-06,3.031998e-06,3.039594e-06,3.086569e-06,3.094006e-06,3.132693e-06,3.154531e-06,3.177970e-06,3.213586e-06,3.222407e-06,3.266010e-06,3.271187e-06,3.308788e-06,3.327350e-06,3.350747e-06,3.382094e-06,3.391896e-06,3.432244e-06,3.435437e-06,3.471799e-06,3.487401e-06,3.510570e-06,3.538006e-06,3.548568e-06,3.585801e-06,3.587275e-06,3.622280e-06,3.635229e-06,3.658013e-06,3.681892e-06,3.693012e-06,3.727286e-06,3.771436e-06,3.814364e-06,3.856094e-06,3.896649e-06,3.936054e-06,3.974331e-06,4.011504e-06,4.047597e-06,4.082631e-06,4.116631e-06,4.149619e-06,4.181617e-06,4.212647e-06,4.242732e-06,4.271892e-06,4.300149e-06,4.327524e-06,4.354038e-06,4.379711e-06,4.404562e-06,4.428612e-06,4.451879e-06,4.474384e-06,4.496143e-06
0.000000e+00,6.673628e-12,2.068559e-11,1.107210e-10,3.366891e-10,5.606939e-10,1.690820e-09,1.759598e-09,4.259703e-09,5.284879e-09,8.764026e-09,1.277926e-08,1.613119e-08,2.630742e-08,2.737616e-08,4.365306e-08,4.844529e-08,6.619960e-08,8.202180e-08,9.623027e-08,1.296970e-07,1.348071e-07,1.827543e-07,1.935230e-07,2.406488e-07,2.748133e-07,3.088552e-07,3.742645e-07,3.875686e-07,4.768493e-07,4.921129e-07,5.766467e-07,6.282464e-07,6.868188e-07,7.822818e-07,8.071474e-07,9.373512e-07,9.536240e-07,1.077099e-06,1.141516e-06,1.226018e-06,1.345084e-06,1.383707e-06,1.549744e-06,1.563375e-06,1.723692e-06,1.795386e-06,1.905105e-06,2.040095e-06,2.093538e-06,2.288546e-06,2.296477e-06,2.489690e-06,2.563521e-06,2.696540e-06,2.840242e-06,2.908676e-06,3.125688e-06,3.347183e-06,3.418945e-06,3.572779e-06,3.719143e-06,3.802110e-06,4.025456e-06,4.034826e-06,4.270589e-06,4.337104e-06,4.509079e-06,4.653353e-06,4.749989e-06,4.973513e-06,4.993028e-06,5.237918e-06,5.296937e-06,5.484395e-06,5.623022e-06,5.732210e-06,5.951204e-06,5.981124e-06,6.230913e-06,6.280957e-06,6.481365e-06,6.611795e-06,6.732278e-06,6.943263e-06,6.983464e-06,7.234742e-06,7.274943e-06,7.485944e-06,7.606448e-06,7.736912e-06,7.937418e-06,7.987497e-06,8.237558e-06,8.267524e-06,8.486964e-06,8.596463e-06,8.735592e-06,8.923957e-06,8.983326e-06,9.230059e-06,9.249751e-06,9.475690e-06,9.573613e-06,9.720125e-06,9.895329e-06,9.963278e-06,1.020507e-05,1.021471e-05,1.044542e-05,1.053158e-05,1.068426e-05,1.084577e-05,1.092152e-05,1.115716e-05,1.139111e-05,1.146561e-05,1.162332e-05,1.177100e-05,1.185375e-05,1.207325e-05,1.208236e-05,1.230910e-05,1.237225e-05,1.253395e-05,1.266794e-05,1.275688e-05,1.296025e-05,1.297785e-05,1.319685e-05,1.324911e-05,1.341385e-05,1.353449e-05,1.362883e-05,1.381634e-05,1.384178e-05,1.405269e-05,1.409462e-05,1.426154e-05,1.436932e-05,1.446832e-05,1.464042e-05,1.467304e-05,1.487567e-05,1.490790e-05,1.507623e-05,1.517176e-05,1.527471e-05,1.543199e-05,1.547111e-05,1.566542e-05,1.568860e-05,1.585767e-05,1.594160e-05,1.604784e-05,1.619100e-05,1.623595e-05,1.642201e-05,1.643680e-05,1.660601e-05,1.667904e-05,1.678797e-05,1.691773e-05,1.696791e-05,1.714582e-05,1.715290e-05,1.732173e-05,1.738457e-05,1.749564e-05,1.761277e-05,1.766757e-05,1.783754e-05,1.805890e-05,1.827690e-05,1.849156e-05,1.870292e-05,1.891103e-05,1.911592e-05,1.931763e-05,1.951621e-05,1.971168e-05,1.990411e-05,2.009353e-05,2.027997e-05,2.046350e-05,2.064414e-05,2.082194e-05,2.099695e-05,2.116920e-05,2.133875e-05,2.150563e-05,2.166989e-05,2.183157e-05,2.199071e-05,2.214735e-05,2.230154e-05
0.000000e+00,4.498237e-17,5.270141e-16,2.050462e-14,2.318148e-13,7.029631e-13,7.667996e-12,8.355962e-12,5.561108e-11,8.799895e-11,2.565390e-10,5.658502e-10,9.192871e-10,2.524209e-09,2.739074e-09,7.090506e-09,8.755155e-09,1.643203e-08,2.527411e-08,3.482752e-08,6.344371e-08,6.857994e-08,1.269591e-07,1.426611e-07,2.229898e-07,2.934386e-07,3.742527e-07,5.605748e-07,6.036415e-07,9.400189e-07,1.006034e-06,1.418717e-06,1.711145e-06,2.081841e-06,2.777803e-06,2.978353e-06,4.163902e-06,4.328471e-06,5.700428e-06,6.504922e-06,7.655526e-06,9.465732e-06,1.010158e-05,1.311475e-05,1.338265e-05,1.677375e-05,1.843610e-05,2.115859e-05,2.481000e-05,2.634914e-05,3.242378e-05,3.268624e-05,3.945797e-05,4.223903e-05,4.752285e-05,5.362943e-05,5.668401e-05,6.700027e-05,7.852265e-05,8.247171e-05,9.129346e-05,1.001375e-04,1.053455e-04,1.200623e-04,1.207018e-04,1.373747e-04,1.422796e-04,1.553662e-04,1.667908e-04,1.746675e-04,1.935654e-04,1.952597e-04,2.171133e-04,2.225418e-04,2.401895e-04,2.536285e-04,2.644401e-04,2.867073e-04,2.898085e-04,3.162306e-04,3.216352e-04,3.436350e-04,3.582482e-04,3.719448e-04,3.963645e-04,4.010776e-04,4.309470e-04,4.357885e-04,4.614634e-04,4.763141e-04,4.925348e-04,5.177288e-04,5.240678e-04,5.559684e-04,5.598167e-04,5.881426e-04,6.023620e-04,6.204976e-04,6.451521e-04,6.529422e-04,6.853872e-04,6.879802e-04,7.177463e-04,7.306472e-04,7.499366e-04,7.729644e-04,7.818787e-04,8.134973e-04,8.147543e-04,8.447213e-04,8.558524e-04,8.754843e-04,8.961080e-04,9.057244e-04,9.353846e-04,9.644128e-04,9.735605e-04,9.927617e-04,1.010529e-03,1.020389e-03,1.046197e-03,1.047256e-03,1.073332e-03,1.080487e-03,1.098586e-03,1.113334e-03,1.122995e-03,1.144687e-03,1.146539e-03,1.169202e-03,1.174509e-03,1.190972e-03,1.202770e-03,1.211841e-03,1.229456e-03,1.231804e-03,1.250858e-03,1.254560e-03,1.269005e-03,1.278084e-03,1.286248e-03,1.300039e-03,1.302595e-03,1.318053e-03,1.320444e-03,1.332633e-03,1.339324e-03,1.346348e-03,1.356707e-03,1.359212e-03,1.371241e-03,1.372630e-03,1.382452e-03,1.387130e-03,1.392863e-03,1.400252e-03,1.402493e-03,1.411363e-03,1.412040e-03,1.419492e-03,1.422542e-03,1.426903e-03,1.431806e-03,1.433617e-03,1.439656e-03,1.439884e-03,1.445043e-03,1.446827e-03,1.449800e-03,1.452687e-03,1.453950e-03,1.457514e-03,1.461362e-03,1.464280e-03,1.466319e-03,1.467529e-03,1.467957e-03,1.467651e-03,1.466657e-03,1.465018e-03,1.462778e-03,1.459978e-03,1.456658e-03,1.452855e-03,1.448607e-03,1.443948e-03,1.438911e-03,1.433529e-03,1.427832e-03,1.421848e-03,1.415605e-03,1.409129e-03,1.402443e-03,1.395571e-03,1.388535e-03,1.381355e-03
0.000000e+00,1.501297e-11,4.654022e-11,2.495104e-10,7.608697e-10,1.269793e-09,3.858887e-09,4.017417e-09,9.838070e-09,1.225269e-08,2.054491e-08,3.027290e-08,3.850342e-08,6.399157e-08,6.670644e-08,1.087750e-07,1.213826e-07,1.687835e-07,2.117729e-07,2.508496e-07,3.442344e-07,3.586285e-07,4.949958e-07,5.258948e-07,6.620211e-07,7.614777e-07,8.611065e-07,1.053778e-06,1.093143e-06,1.358626e-06,1.404224e-06,1.657739e-06,1.813242e-06,1.990394e-06,2.280460e-06,2.356271e-06,2.754840e-06,2.804833e-06,3.185387e-06,3.384736e-06,3.647031e-06,4.018052e-06,4.138748e-06,4.659394e-06,4.702258e-06,5.207722e-06,5.434510e-06,5.782407e-06,6.211722e-06,6.382059e-06,7.005248e-06,7.030644e-06,7.650513e-06,7.887929e-06,8.316382e-06,8.780188e-06,9.001378e-06,9.704036e-06,1.042291e-05,1.065614e-05,1.115657e-05,1.163323e-05,1.190363e-05,1.263215e-05,1.266272e-05,1.343255e-05,1.364984e-05,1.421182e-05,1.468341e-05,1.499932e-05,1.573005e-05,1.579385e-05,1.659428e-05,1.678714e-05,1.739953e-05,1.785218e-05,1.820855e-05,1.892281e-05,1.902034e-05,1.983397e-05,1.999683e-05,2.064853e-05,2.107218e-05,2.146315e-05,2.214690e-05,2.227704e-05,2.308942e-05,2.321921e-05,2.389955e-05,2.428742e-05,2.470676e-05,2.534998e-05,2.551039e-05,2.630982e-05,2.640545e-05,2.710449e-05,2.745250e-05,2.789386e-05,2.848991e-05,2.867740e-05,2.945466e-05,2.951656e-05,3.022519e-05,3.053142e-05,3.098857e-05,3.153356e-05,3.174441e-05,3.249238e-05,3.252213e-05,3.323212e-05,3.349636e-05,3.396334e-05,3.445556e-05,3.468576e-05,3.539911e-05,3.610317e-05,3.632647e-05,3.679772e-05,3.723715e-05,3.748256e-05,3.813071e-05,3.815752e-05,3.882244e-05,3.900680e-05,3.947719e-05,3.986510e-05,4.012164e-05,4.070534e-05,4.075568e-05,4.137922e-05,4.152730e-05,4.199219e-05,4.233081e-05,4.259452e-05,4.311572e-05,4.318616e-05,4.376706e-05,4.388195e-05,4.433721e-05,4.462944e-05,4.489659e-05,4.535814e-05,4.544519e-05,4.598301e-05,4.606806e-05,4.651006e-05,4.675923e-05,4.702638e-05,4.743171e-05,4.753198e-05,4.802690e-05,4.808557e-05,4.851119e-05,4.872092e-05,4.898489e-05,4.933787e-05,4.944808e-05,4.990080e-05,4.993657e-05,5.034313e-05,5.051717e-05,5.077514e-05,5.107984e-05,5.119691e-05,5.160853e-05,5.162478e-05,5.201007e-05,5.215218e-05,5.240164e-05,5.266226e-05,5.278333e-05,5.315522e-05,5.363132e-05,5.409078e-05,5.453385e-05,5.496079e-05,5.537185e-05,5.576730e-05,5.614741e-05,5.651245e-05,5.686268e-05,5.719840e-05,5.751987e-05,5.782737e-05,5.812119e-05,5.840160e-05,5.866889e-05,5.892333e-05,5.916520e-05,5.939478e-05,5.961233e-05,5.981815e-05,6.001249e-05,6.019562e-05,6.036782e-05,6.052934e-05
0.000000e+00,9.919641e-13,3.824192e-12,2.578350e-11,8.732785e-11,1.513924e-10,4.900427e-10,5.110946e-10,1.291378e-09,1.616435e-09,2.730786e-09,4.029684e-09,5.120423e-09,8.453708e-09,8.805210e-09,1.418390e-08,1.577569e-08,2.170413e-08,2.702962e-08,3.184701e-08,4.332776e-08,4.509726e-08,6.190471e-08,6.572822e-08,8.265354e-08,9.510549e-08,1.076507e-07,1.321042e-07,1.371298e-07,1.712613e-07,1.771626e-07,2.101621e-07,2.305509e-07,2.539030e-07,2.924025e-07,3.025148e-07,3.559925e-07,3.627354e-07,4.142998e-07,4.414693e-07,4.773724e-07,5.284412e-07,5.451222e-07,6.174400e-07,6.234191e-07,6.941995e-07,7.261158e-07,7.752599e-07,8.362015e-07,8.604691e-07,9.496662e-07,9.533147e-07,1.042684e-06,1.077073e-06,1.139350e-06,1.207079e-06,1.239491e-06,1.342931e-06,1.449495e-06,1.484226e-06,1.559007e-06,1.630564e-06,1.671298e-06,1.781552e-06,1.786196e-06,1.903537e-06,1.936809e-06,2.023159e-06,2.095962e-06,2.144905e-06,2.258654e-06,2.268620e-06,2.394158e-06,2.424542e-06,2.521373e-06,2.593295e-06,2.650128e-06,2.764599e-06,2.780288e-06,2.911725e-06,2.938155e-06,3.044314e-06,3.113676e-06,3.177936e-06,3.290893e-06,3.312476e-06,3.447825e-06,3.469548e-06,3.583875e-06,3.649399e-06,3.720527e-06,3.830217e-06,3.857684e-06,3.995252e-06,4.011784e-06,4.133144e-06,4.193896e-06,4.271273e-06,4.376361e-06,4.409561e-06,4.547928e-06,4.558999e-06,4.686302e-06,4.741638e-06,4.824613e-06,4.924120e-06,4.962794e-06,5.100780e-06,5.106295e-06,5.238512e-06,5.288022e-06,5.375932e-06,5.469172e-06,5.512986e-06,5.649621e-06,5.785789e-06,5.829256e-06,5.921442e-06,6.007970e-06,6.056537e-06,6.185664e-06,6.191032e-06,6.324887e-06,6.362247e-06,6.458065e-06,6.537633e-06,6.590532e-06,6.711744e-06,6.722253e-06,6.853199e-06,6.884507e-06,6.983339e-06,7.055855e-06,7.112645e-06,7.225726e-06,7.241094e-06,7.368659e-06,7.394064e-06,7.495319e-06,7.560817e-06,7.621053e-06,7.725939e-06,7.745840e-06,7.869664e-06,7.889385e-06,7.992507e-06,8.051118e-06,8.114353e-06,8.211103e-06,8.235189e-06,8.355000e-06,8.369308e-06,8.473776e-06,8.525706e-06,8.591505e-06,8.680273e-06,8.708177e-06,8.823783e-06,8.832985e-06,8.938316e-06,8.983827e-06,9.051767e-06,9.132780e-06,9.164132e-06,9.275404e-06,9.279832e-06,9.385579e-06,9.424973e-06,9.494653e-06,9.568192e-06,9.602622e-06,9.709485e-06,9.848846e-06,9.986272e-06,1.012176e-05,1.025532e-05,1.038694e-05,1.051664e-05,1.064441e-05,1.077027e-05,1.089421e-05,1.101626e-05,1.113641e-05,1.125468e-05,1.137109e-05,1.148563e-05,1.159833e-05,1.170920e-05,1.181826e-05,1.192551e-05,1.203098e-05,1.213467e-05,1.223662e-05,1.233682e-05,1.243531e-05,1.253210e-05
0.000000e+00,5.797820e-13,3.124760e-12,3.126651e-11,1.286236e-10,2.399791e-10,8.854002e-10,9.272303e-10,2.542319e-09,3.238770e-09,5.686146e-09,8.617155e-09,1.112383e-08,1.896264e-08,1.980160e-08,3.284691e-08,3.676582e-08,5.151404e-08,6.489782e-08,7.706751e-08,1.061791e-07,1.106718e-07,1.533494e-07,1.630540e-07,2.059889e-07,2.375600e-07,2.693661e-07,3.313989e-07,3.441577e-07,4.309474e-07,4.459813e-07,5.302269e-07,5.824381e-07,6.423948e-07,7.416161e-07,7.677548e-07,9.065146e-07,9.240725e-07,1.058787e-06,1.130076e-06,1.224591e-06,1.359613e-06,1.403858e-06,1.596434e-06,1.612409e-06,1.802089e-06,1.887948e-06,2.020523e-06,2.185507e-06,2.251374e-06,2.494225e-06,2.504182e-06,2.748617e-06,2.842927e-06,3.014049e-06,3.200582e-06,3.289995e-06,3.575903e-06,3.871207e-06,3.967594e-06,4.175329e-06,4.374325e-06,4.487686e-06,4.794757e-06,4.807697e-06,5.134782e-06,5.227555e-06,5.468370e-06,5.671409e-06,5.807897e-06,6.125037e-06,6.152816e-06,6.502589e-06,6.587199e-06,6.856698e-06,7.056704e-06,7.214639e-06,7.532412e-06,7.575928e-06,7.940098e-06,8.013238e-06,8.306701e-06,8.498153e-06,8.675308e-06,8.986188e-06,9.045512e-06,9.416920e-06,9.476432e-06,9.789161e-06,9.968029e-06,1.016188e-05,1.046018e-05,1.053475e-05,1.090745e-05,1.095214e-05,1.127967e-05,1.144323e-05,1.165114e-05,1.193279e-05,1.202159e-05,1.239076e-05,1.242024e-05,1.275843e-05,1.290503e-05,1.312437e-05,1.338666e-05,1.348837e-05,1.385024e-05,1.386467e-05,1.420980e-05,1.433864e-05,1.456687e-05,1.480819e-05,1.492131e-05,1.527297e-05,1.562171e-05,1.573267e-05,1.596741e-05,1.618701e-05,1.630996e-05,1.663574e-05,1.664924e-05,1.698518e-05,1.707862e-05,1.731766e-05,1.751547e-05,1.764663e-05,1.794611e-05,1.797200e-05,1.829372e-05,1.837038e-05,1.861172e-05,1.878815e-05,1.892595e-05,1.919933e-05,1.923638e-05,1.954295e-05,1.960380e-05,1.984565e-05,2.000151e-05,2.014443e-05,2.039238e-05,2.043929e-05,2.073020e-05,2.077637e-05,2.101714e-05,2.115346e-05,2.130011e-05,2.152363e-05,2.157911e-05,2.185412e-05,2.188686e-05,2.212516e-05,2.224316e-05,2.239223e-05,2.259255e-05,2.265533e-05,2.291448e-05,2.293504e-05,2.316969e-05,2.327068e-05,2.342098e-05,2.359949e-05,2.366837e-05,2.391187e-05,2.392153e-05,2.415151e-05,2.423685e-05,2.438732e-05,2.454549e-05,2.461932e-05,2.484754e-05,2.514305e-05,2.543209e-05,2.571475e-05,2.599109e-05,2.626121e-05,2.652518e-05,2.678310e-05,2.703505e-05,2.728113e-05,2.752141e-05,2.775600e-05,2.798500e-05,2.820848e-05,2.842656e-05,2.863932e-05,2.884686e-05,2.904927e-05,2.924665e-05,2.943910e-05,2.962671e-05,2.980957e-05,2.998777e-05,3.016142e-05,3.033059e-05
0.000000e+00,8.650683e-14,5.603334e-13,7.290177e-12,3.485950e-11,6.911148e-11,2.860203e-10,3.006702e-10,8.929375e-10,1.159105e-09,2.126820e-09,3.334036e-09,4.397954e-09,7.864390e-09,8.245692e-09,1.436854e-08,1.626694e-08,2.359500e-08,3.044098e-08,3.678557e-08,5.227760e-08,5.469669e-08,7.788695e-08,8.319259e-08,1.067063e-07,1.239826e-07,1.413364e-07,1.749643e-07,1.818394e-07,2.281952e-07,2.361507e-07,2.803260e-07,3.073663e-07,3.381123e-07,3.883125e-07,4.014028e-07,4.700227e-07,4.786061e-07,5.437783e-07,5.778048e-07,6.224628e-07,6.854264e-07,7.058595e-07,7.937459e-07,8.009640e-07,8.858960e-07,9.238992e-07,9.820833e-07,1.053711e-06,1.082082e-06,1.185671e-06,1.189886e-06,1.292630e-06,1.331920e-06,1.402748e-06,1.479326e-06,1.515817e-06,1.631637e-06,1.750015e-06,1.788405e-06,1.870763e-06,1.949203e-06,1.993703e-06,2.113628e-06,2.118663e-06,2.245478e-06,2.281297e-06,2.373990e-06,2.451850e-06,2.504049e-06,2.624946e-06,2.635511e-06,2.768239e-06,2.800267e-06,2.902101e-06,2.977512e-06,3.036973e-06,3.156401e-06,3.172736e-06,3.309277e-06,3.336669e-06,3.446490e-06,3.518071e-06,3.584271e-06,3.700375e-06,3.722523e-06,3.861155e-06,3.883366e-06,4.000079e-06,4.066842e-06,4.139212e-06,4.250616e-06,4.278475e-06,4.417794e-06,4.434512e-06,4.557097e-06,4.618368e-06,4.696318e-06,4.802032e-06,4.835394e-06,4.974263e-06,4.985362e-06,5.112871e-06,5.168228e-06,5.251162e-06,5.350507e-06,5.389086e-06,5.526595e-06,5.532086e-06,5.663645e-06,5.712862e-06,5.800191e-06,5.892736e-06,5.936196e-06,6.071619e-06,6.206426e-06,6.249429e-06,6.340583e-06,6.426089e-06,6.474060e-06,6.601528e-06,6.606825e-06,6.738852e-06,6.775683e-06,6.870114e-06,6.948494e-06,7.000588e-06,7.119907e-06,7.130250e-06,7.259079e-06,7.289872e-06,7.387056e-06,7.458344e-06,7.514163e-06,7.625282e-06,7.640381e-06,7.765696e-06,7.790649e-06,7.890092e-06,7.954410e-06,8.013556e-06,8.116537e-06,8.136076e-06,8.257641e-06,8.277002e-06,8.378239e-06,8.435780e-06,8.497862e-06,8.592851e-06,8.616500e-06,8.734146e-06,8.748197e-06,8.850793e-06,8.901800e-06,8.966435e-06,9.053647e-06,9.081066e-06,9.194682e-06,9.203727e-06,9.307278e-06,9.352030e-06,9.418851e-06,9.498548e-06,9.529398e-06,9.638916e-06,9.643275e-06,9.747404e-06,9.786207e-06,9.854860e-06,9.927341e-06,9.961284e-06,1.006668e-05,1.020421e-05,1.033995e-05,1.047389e-05,1.060604e-05,1.073640e-05,1.086499e-05,1.099179e-05,1.111683e-05,1.124011e-05,1.136164e-05,1.148143e-05,1.159948e-05,1.171582e-05,1.183044e-05,1.194337e-05,1.205462e-05,1.216419e-05,1.227211e-05,1.237838e-05,1.248301e-05,1.258603e-05,1.268744e-05,1.278727e-05,1.288552e-05
0.000000e+00,4.636189e-12,1.411913e-11,7.378514e-11,2.207001e-10,3.644973e-10,1.076355e-09,1.119171e-09,2.650637e-09,3.267874e-09,5.329327e-09,7.658935e-09,9.571888e-09,1.524436e-08,1.583032e-08,2.458021e-08,2.710480e-08,3.630598e-08,4.434975e-08,5.148049e-08,6.803334e-08,7.053821e-08,9.384653e-08,9.904452e-08,1.216846e-07,1.380153e-07,1.542360e-07,1.852917e-07,1.915931e-07,2.337670e-07,2.409588e-07,2.806992e-07,3.048843e-07,3.322720e-07,3.767607e-07,3.883184e-07,4.486316e-07,4.561449e-07,5.129732e-07,5.424930e-07,5.810817e-07,6.351929e-07,6.526793e-07,7.274786e-07,7.335921e-07,8.051885e-07,8.370223e-07,8.855190e-07,9.448194e-07,9.681852e-07,1.052911e-06,1.056339e-06,1.139429e-06,1.170966e-06,1.227488e-06,1.288125e-06,1.316847e-06,1.407283e-06,1.498586e-06,1.527953e-06,1.590560e-06,1.649692e-06,1.683026e-06,1.772102e-06,1.775818e-06,1.868784e-06,1.894826e-06,1.961785e-06,2.017550e-06,2.054695e-06,2.139993e-06,2.147399e-06,2.239793e-06,2.261910e-06,2.331782e-06,2.383087e-06,2.423282e-06,2.503337e-06,2.514217e-06,2.604519e-06,2.622498e-06,2.694126e-06,2.740429e-06,2.782985e-06,2.857012e-06,2.871047e-06,2.958270e-06,2.972145e-06,3.044616e-06,3.085741e-06,3.130053e-06,3.197729e-06,3.214553e-06,3.298090e-06,3.308048e-06,3.380643e-06,3.416651e-06,3.462196e-06,3.523497e-06,3.542732e-06,3.622240e-06,3.628556e-06,3.700710e-06,3.731805e-06,3.778134e-06,3.833228e-06,3.854507e-06,3.929824e-06,3.932815e-06,4.004084e-06,4.030559e-06,4.077286e-06,4.126460e-06,4.149431e-06,4.220521e-06,4.290559e-06,4.312749e-06,4.359548e-06,4.403153e-06,4.427494e-06,4.491747e-06,4.494403e-06,4.560282e-06,4.578544e-06,4.625137e-06,4.663561e-06,4.688976e-06,4.746818e-06,4.751808e-06,4.813641e-06,4.828333e-06,4.874485e-06,4.908129e-06,4.934350e-06,4.986228e-06,4.993245e-06,5.051180e-06,5.062653e-06,5.108167e-06,5.137428e-06,5.164215e-06,5.210579e-06,5.219337e-06,5.273542e-06,5.282131e-06,5.326843e-06,5.352109e-06,5.379250e-06,5.420541e-06,5.430776e-06,5.481431e-06,5.487451e-06,5.531227e-06,5.552868e-06,5.580175e-06,5.616817e-06,5.628289e-06,5.675578e-06,5.679326e-06,5.722055e-06,5.740421e-06,5.767731e-06,5.800128e-06,5.812618e-06,5.856727e-06,5.858475e-06,5.900070e-06,5.915488e-06,5.942658e-06,5.971193e-06,5.984503e-06,6.025616e-06,6.078784e-06,6.130720e-06,6.181452e-06,6.231003e-06,6.279398e-06,6.326663e-06,6.372820e-06,6.417893e-06,6.461907e-06,6.504882e-06,6.546843e-06,6.587812e-06,6.627809e-06,6.666858e-06,6.704977e-06,6.742190e-06,6.778515e-06,6.813972e-06,6.848582e-06,6.882363e-06,6.915334e-06,6.947513e-06,6.978919e-06,7.009570e-06
0.000000e+00,1.110602e-15,1.004943e-14,2.323365e-13,1.667739e-12,3.974195e-12,2.391063e-11,2.545415e-11,9.773354e-11,1.340524e-10,2.761046e-10,4.653887e-10,6.380177e-10,1.217143e-09,1.281646e-09,2.324178e-09,2.648345e-09,3.900119e-09,5.070974e-09,6.159463e-09,8.842308e-09,9.265372e-09,1.339083e-08,1.435390e-08,1.871367e-08,2.201343e-08,2.540972e-08,3.221725e-08,3.364458e-08,4.356562e-08,4.531808e-08,5.529608e-08,6.159869e-08,6.893211e-08,8.126023e-08,8.454278e-08,1.021717e-07,1.044241e-07,1.218400e-07,1.311409e-07,1.435484e-07,1.614019e-07,1.672807e-07,1.930055e-07,1.951483e-07,2.206784e-07,2.322810e-07,2.502443e-07,2.726683e-07,2.816392e-07,3.147916e-07,3.161531e-07,3.496242e-07,3.625596e-07,3.860554e-07,4.116988e-07,4.240008e-07,4.633736e-07,5.040865e-07,5.173834e-07,5.460520e-07,5.735271e-07,5.891832e-07,6.316064e-07,6.333945e-07,6.786022e-07,6.914278e-07,7.247247e-07,7.528042e-07,7.716828e-07,8.155564e-07,8.194000e-07,8.678029e-07,8.795137e-07,9.168209e-07,9.445144e-07,9.663865e-07,1.010406e-06,1.016435e-06,1.066906e-06,1.077046e-06,1.117740e-06,1.144299e-06,1.168883e-06,1.212043e-06,1.220281e-06,1.271887e-06,1.280159e-06,1.323652e-06,1.348543e-06,1.375533e-06,1.417093e-06,1.427488e-06,1.479479e-06,1.485718e-06,1.531469e-06,1.554335e-06,1.583423e-06,1.622865e-06,1.635310e-06,1.687099e-06,1.691237e-06,1.738763e-06,1.759387e-06,1.790275e-06,1.827256e-06,1.841611e-06,1.892748e-06,1.894789e-06,1.943665e-06,1.961937e-06,1.994343e-06,2.028658e-06,2.044763e-06,2.094910e-06,2.144766e-06,2.160657e-06,2.194320e-06,2.225868e-06,2.243556e-06,2.290515e-06,2.292464e-06,2.341033e-06,2.354570e-06,2.389253e-06,2.418014e-06,2.437115e-06,2.480824e-06,2.484610e-06,2.531732e-06,2.542985e-06,2.578474e-06,2.604482e-06,2.624831e-06,2.665302e-06,2.670797e-06,2.716368e-06,2.725434e-06,2.761540e-06,2.784871e-06,2.806310e-06,2.843605e-06,2.850676e-06,2.894634e-06,2.901630e-06,2.938184e-06,2.958943e-06,2.981324e-06,3.015541e-06,3.024054e-06,3.066372e-06,3.071422e-06,3.108278e-06,3.126587e-06,3.149774e-06,3.181036e-06,3.190859e-06,3.231534e-06,3.234770e-06,3.271800e-06,3.287792e-06,3.311658e-06,3.340105e-06,3.351111e-06,3.390160e-06,3.391714e-06,3.428807e-06,3.442622e-06,3.467054e-06,3.492834e-06,3.504903e-06,3.542357e-06,3.591196e-06,3.639357e-06,3.686848e-06,3.733675e-06,3.779846e-06,3.825368e-06,3.870250e-06,3.914498e-06,3.958122e-06,4.001129e-06,4.043529e-06,4.085328e-06,4.126537e-06,4.167163e-06,4.207215e-06,4.246701e-06,4.285630e-06,4.324012e-06,4.361853e-06,4.399163e-06,4.435950e-06,4.472222e-06,4.507989e-06,4.543257e-06
0.000000e+00,1.202790e-14,1.070138e-13,2.395947e-12,1.676142e-11,3.943883e-11,2.307358e-10,2.453873e-10,9.229852e-10,1.260435e-09,2.573632e-09,4.318409e-09,5.910112e-09,1.127177e-08,1.187155e-08,2.164191e-08,2.470772e-08,3.665186e-08,4.794687e-08,5.852534e-08,8.478999e-08,8.894541e-08,1.294764e-07,1.389163e-07,1.814251e-07,2.132940e-07,2.457889e-07,3.099714e-07,3.232717e-07,4.143302e-07,4.301788e-07,5.192176e-07,5.745062e-07,6.380188e-07,7.430426e-07,7.706751e-07,9.170035e-07,9.354688e-07,1.076711e-06,1.151125e-06,1.249412e-06,1.389070e-06,1.434639e-06,1.631858e-06,1.648136e-06,1.840481e-06,1.926984e-06,2.059881e-06,2.224154e-06,2.289401e-06,2.528367e-06,2.538112e-06,2.776094e-06,2.867289e-06,3.031899e-06,3.210113e-06,3.295102e-06,3.565039e-06,3.841058e-06,3.930565e-06,4.122530e-06,4.305252e-06,4.408847e-06,4.687731e-06,4.699429e-06,4.993719e-06,5.076712e-06,5.291188e-06,5.470985e-06,5.591334e-06,5.869425e-06,5.893684e-06,6.197789e-06,6.270988e-06,6.503228e-06,6.674708e-06,6.809605e-06,7.079699e-06,7.116550e-06,7.423715e-06,7.485145e-06,7.730776e-06,7.890305e-06,8.037429e-06,8.294497e-06,8.343394e-06,8.648409e-06,8.697107e-06,8.952230e-06,9.097574e-06,9.254633e-06,9.495393e-06,9.555408e-06,9.854365e-06,9.890108e-06,1.015132e-05,1.028131e-05,1.044612e-05,1.066863e-05,1.073861e-05,1.102866e-05,1.105175e-05,1.131613e-05,1.143037e-05,1.160092e-05,1.180424e-05,1.188291e-05,1.216203e-05,1.217313e-05,1.243817e-05,1.253684e-05,1.271128e-05,1.289521e-05,1.298127e-05,1.324809e-05,1.351168e-05,1.359535e-05,1.377201e-05,1.393688e-05,1.402903e-05,1.427262e-05,1.428270e-05,1.453300e-05,1.460247e-05,1.477990e-05,1.492640e-05,1.502339e-05,1.524436e-05,1.526344e-05,1.550006e-05,1.555633e-05,1.573323e-05,1.586230e-05,1.596295e-05,1.616225e-05,1.618922e-05,1.641204e-05,1.645620e-05,1.663143e-05,1.674415e-05,1.684739e-05,1.702615e-05,1.705992e-05,1.726906e-05,1.730220e-05,1.747480e-05,1.757236e-05,1.767717e-05,1.783666e-05,1.787620e-05,1.807189e-05,1.809515e-05,1.826428e-05,1.834789e-05,1.845338e-05,1.859492e-05,1.863923e-05,1.882185e-05,1.883632e-05,1.900126e-05,1.907214e-05,1.917751e-05,1.930245e-05,1.935061e-05,1.952059e-05,1.952733e-05,1.968749e-05,1.974683e-05,1.985134e-05,1.996104e-05,2.001218e-05,2.017003e-05,2.037387e-05,2.057265e-05,2.076644e-05,2.095532e-05,2.113937e-05,2.131866e-05,2.149329e-05,2.166333e-05,2.182886e-05,2.198996e-05,2.214671e-05,2.229918e-05,2.244747e-05,2.259164e-05,2.273177e-05,2.286795e-05,2.300024e-05,2.312873e-05,2.325349e-05,2.337458e-05,2.349210e-05,2.360610e-05,2.371666e-05,2.382384e-05
0.000000e+00,1.376434e-12,4.173936e-12,2.172607e-11,6.494748e-11,1.073310e-10,3.184433e-10,3.312073e-10,7.922334e-10,9.803234e-10,1.617017e-09,2.350888e-09,2.963860e-09,4.830171e-09,5.026743e-09,8.033851e-09,8.923436e-09,1.223119e-08,1.518906e-08,1.784873e-08,2.411258e-08,2.506808e-08,3.401308e-08,3.601651e-08,4.475960e-08,5.107467e-08,5.734948e-08,6.936352e-08,7.180112e-08,8.811587e-08,9.089847e-08,1.062814e-07,1.156516e-07,1.262735e-07,1.435592e-07,1.480573e-07,1.715875e-07,1.745259e-07,1.968094e-07,2.084270e-07,2.236600e-07,2.451123e-07,2.520683e-07,2.819570e-07,2.844097e-07,3.132436e-07,3.261304e-07,3.458415e-07,3.700738e-07,3.796612e-07,4.146120e-07,4.160323e-07,4.506026e-07,4.637962e-07,4.875422e-07,5.131577e-07,5.253418e-07,5.639143e-07,6.031758e-07,6.158717e-07,6.430456e-07,6.688457e-07,6.834466e-07,7.226638e-07,7.243061e-07,7.655550e-07,7.771656e-07,8.071288e-07,8.322036e-07,8.489669e-07,8.876430e-07,8.910131e-07,9.332150e-07,9.433612e-07,9.755244e-07,9.992478e-07,1.017897e-06,1.055203e-06,1.060290e-06,1.102668e-06,1.111138e-06,1.144995e-06,1.166974e-06,1.187239e-06,1.222640e-06,1.229373e-06,1.271368e-06,1.278073e-06,1.313202e-06,1.333219e-06,1.354853e-06,1.388028e-06,1.396300e-06,1.437526e-06,1.442457e-06,1.478515e-06,1.496470e-06,1.519251e-06,1.550034e-06,1.559722e-06,1.599915e-06,1.603119e-06,1.639821e-06,1.655700e-06,1.679428e-06,1.707756e-06,1.718729e-06,1.757716e-06,1.759269e-06,1.796381e-06,1.810221e-06,1.834720e-06,1.860600e-06,1.872725e-06,1.910393e-06,1.947719e-06,1.959590e-06,1.984700e-06,2.008185e-06,2.021332e-06,2.056170e-06,2.057614e-06,2.093543e-06,2.103540e-06,2.129118e-06,2.150292e-06,2.164337e-06,2.196422e-06,2.199198e-06,2.233702e-06,2.241930e-06,2.267848e-06,2.286812e-06,2.301635e-06,2.331071e-06,2.335063e-06,2.368133e-06,2.374704e-06,2.400845e-06,2.417714e-06,2.433200e-06,2.460103e-06,2.465198e-06,2.496841e-06,2.501871e-06,2.528129e-06,2.543022e-06,2.559064e-06,2.583559e-06,2.589647e-06,2.619880e-06,2.623484e-06,2.649763e-06,2.662802e-06,2.679300e-06,2.701517e-06,2.708492e-06,2.737340e-06,2.739633e-06,2.765847e-06,2.777154e-06,2.794015e-06,2.814086e-06,2.821845e-06,2.849341e-06,2.850434e-06,2.876505e-06,2.886203e-06,2.903338e-06,2.921397e-06,2.929843e-06,2.956024e-06,2.990088e-06,3.023595e-06,3.056551e-06,3.088963e-06,3.120836e-06,3.152177e-06,3.182991e-06,3.213285e-06,3.243065e-06,3.272338e-06,3.301110e-06,3.329387e-06,3.357175e-06,3.384482e-06,3.411312e-06,3.437673e-06,3.463571e-06,3.489013e-06,3.514003e-06,3.538549e-06,3.562658e-06,3.586334e-06,3.609584e-06,3.632414e-06
0.000000e+00,4.176753e-12,1.289732e-11,6.873536e-11,2.084979e-10,3.468098e-10,1.042734e-09,1.085011e-09,2.617702e-09,3.244278e-09,5.364284e-09,7.800969e-09,9.828529e-09,1.595615e-08,1.659772e-08,2.633747e-08,2.919696e-08,3.977552e-08,4.919811e-08,5.766710e-08,7.767622e-08,8.074112e-08,1.096428e-07,1.161709e-07,1.448962e-07,1.658741e-07,1.868958e-07,2.275938e-07,2.359174e-07,2.921344e-07,3.018038e-07,3.556335e-07,3.887058e-07,4.264270e-07,4.882808e-07,5.044630e-07,5.896342e-07,6.003273e-07,6.817853e-07,7.244939e-07,7.807206e-07,8.603085e-07,8.862105e-07,9.979984e-07,1.007205e-06,1.115806e-06,1.164549e-06,1.239339e-06,1.331657e-06,1.368293e-06,1.502354e-06,1.507819e-06,1.641209e-06,1.692309e-06,1.784540e-06,1.884403e-06,1.932036e-06,2.083387e-06,2.238292e-06,2.288563e-06,2.396455e-06,2.499258e-06,2.557592e-06,2.714824e-06,2.721426e-06,2.887690e-06,2.934645e-06,3.056129e-06,3.158134e-06,3.226497e-06,3.384738e-06,3.398560e-06,3.572093e-06,3.613936e-06,3.746883e-06,3.845239e-06,3.922728e-06,4.078190e-06,4.099434e-06,4.276818e-06,4.312361e-06,4.454708e-06,4.547356e-06,4.632939e-06,4.782803e-06,4.811357e-06,4.989815e-06,5.018363e-06,5.168176e-06,5.253717e-06,5.346311e-06,5.488574e-06,5.524098e-06,5.701423e-06,5.722665e-06,5.878178e-06,5.955744e-06,6.054264e-06,6.187583e-06,6.229586e-06,6.404058e-06,6.417977e-06,6.577598e-06,6.646736e-06,6.750131e-06,6.873690e-06,6.921585e-06,7.091896e-06,7.098684e-06,7.261004e-06,7.321577e-06,7.428853e-06,7.542245e-06,7.595392e-06,7.760573e-06,7.924355e-06,7.976463e-06,8.086698e-06,8.189826e-06,8.247567e-06,8.400583e-06,8.406928e-06,8.564755e-06,8.608667e-06,8.721019e-06,8.814019e-06,8.875700e-06,9.016590e-06,9.028776e-06,9.180230e-06,9.216336e-06,9.330047e-06,9.413224e-06,9.478213e-06,9.607226e-06,9.624719e-06,9.769555e-06,9.798321e-06,9.912714e-06,9.986493e-06,1.005419e-05,1.017173e-05,1.019398e-05,1.033209e-05,1.035403e-05,1.046851e-05,1.053339e-05,1.060325e-05,1.070982e-05,1.073630e-05,1.086767e-05,1.088332e-05,1.099736e-05,1.105390e-05,1.112539e-05,1.122158e-05,1.125176e-05,1.137647e-05,1.138638e-05,1.149954e-05,1.154830e-05,1.162097e-05,1.170739e-05,1.174077e-05,1.185896e-05,1.186366e-05,1.197555e-05,1.201713e-05,1.209054e-05,1.216784e-05,1.220396e-05,1.231581e-05,1.246107e-05,1.260367e-05,1.274362e-05,1.288097e-05,1.301575e-05,1.314799e-05,1.327774e-05,1.340502e-05,1.352987e-05,1.365234e-05,1.377246e-05,1.389026e-05,1.400579e-05,1.411908e-05,1.423017e-05,1.433909e-05,1.444589e-05,1.455060e-05,1.465326e-05,1.475391e-05,1.485257e-05,1.494930e-05,1.504411e-05,1.513705e-05
0.000000e+00,9.785679e-18,1.113723e-16,4.072327e-15,4.347720e-14,1.277307e-13,1.283017e-12,1.393424e-12,8.539650e-12,1.321313e-11,3.640709e-11,7.673196e-11,1.210302e-10,3.112526e-10,3.358827e-10,8.131541e-10,9.886436e-10,1.769423e-09,2.631509e-09,3.534232e-09,6.126300e-09,6.578618e-09,1.153929e-08,1.283007e-08,1.923401e-08,2.464129e-08,3.066496e-08,4.401068e-08,4.700909e-08,6.959679e-08,7.388590e-08,9.988120e-08,1.176014e-07,1.394018e-07,1.787337e-07,1.897448e-07,2.525038e-07,2.609441e-07,3.292421e-07,3.678249e-07,4.214586e-07,5.027633e-07,5.305578e-07,6.578246e-07,6.688261e-07,8.044038e-07,8.686701e-07,9.712845e-07,1.104478e-06,1.159289e-06,1.369065e-06,1.377917e-06,1.601086e-06,1.690121e-06,1.855647e-06,2.041694e-06,2.132872e-06,2.432720e-06,2.754993e-06,2.862804e-06,3.099348e-06,3.331108e-06,3.465308e-06,3.836403e-06,3.852276e-06,4.259550e-06,4.377119e-06,4.686334e-06,4.951408e-06,5.131753e-06,5.557193e-06,5.594871e-06,6.074697e-06,6.192228e-06,6.570204e-06,6.854144e-06,7.080335e-06,7.540497e-06,7.604019e-06,8.140175e-06,8.248807e-06,8.687723e-06,8.976595e-06,9.245595e-06,9.721413e-06,9.812735e-06,1.038811e-05,1.048087e-05,1.097072e-05,1.125264e-05,1.155957e-05,1.203451e-05,1.215372e-05,1.275226e-05,1.282434e-05,1.335432e-05,1.362012e-05,1.395905e-05,1.441995e-05,1.456566e-05,1.517339e-05,1.522204e-05,1.578152e-05,1.602472e-05,1.638935e-05,1.682645e-05,1.699626e-05,1.760162e-05,1.762580e-05,1.820488e-05,1.842143e-05,1.880549e-05,1.921213e-05,1.940295e-05,1.999679e-05,2.058658e-05,2.077439e-05,2.117192e-05,2.154402e-05,2.175242e-05,2.230483e-05,2.232774e-05,2.289756e-05,2.305609e-05,2.346159e-05,2.379711e-05,2.401954e-05,2.452729e-05,2.457119e-05,2.511629e-05,2.524612e-05,2.565465e-05,2.595312e-05,2.618608e-05,2.664788e-05,2.671042e-05,2.722751e-05,2.733005e-05,2.773724e-05,2.799934e-05,2.823947e-05,2.865549e-05,2.873412e-05,2.922110e-05,2.929830e-05,2.970033e-05,2.992759e-05,3.017175e-05,3.054323e-05,3.063532e-05,3.109099e-05,3.114514e-05,3.153875e-05,3.173324e-05,3.197856e-05,3.230751e-05,3.241044e-05,3.283436e-05,3.286794e-05,3.325036e-05,3.341453e-05,3.365843e-05,3.394734e-05,3.405860e-05,3.445090e-05,3.446643e-05,3.483537e-05,3.497187e-05,3.521205e-05,3.546376e-05,3.558097e-05,3.594221e-05,3.640734e-05,3.685930e-05,3.729823e-05,3.772429e-05,3.813765e-05,3.853849e-05,3.892698e-05,3.930331e-05,3.966769e-05,4.002030e-05,4.036136e-05,4.069106e-05,4.100960e-05,4.131722e-05,4.161410e-05,4.190047e-05,4.217653e-05,4.244251e-05,4.269861e-05,4.294505e-05,4.318203e-05,4.340977e-05,4.362847e-05,4.383836e-05
0.000000e+00,1.458184e-12,5.364644e-12,3.444200e-11,1.142408e-10,1.967523e-10,6.327017e-10,6.598793e-10,1.676328e-09,2.105025e-09,3.596264e-09,5.372105e-09,6.890660e-09,1.165830e-08,1.217056e-08,2.017773e-08,2.259484e-08,3.171639e-08,4.000634e-08,4.753942e-08,6.550066e-08,6.826287e-08,9.435102e-08,1.002441e-07,1.261433e-07,1.450145e-07,1.638865e-07,2.003204e-07,2.077570e-07,2.578753e-07,2.664794e-07,3.143129e-07,3.436576e-07,3.770982e-07,4.318897e-07,4.462187e-07,5.216243e-07,5.310917e-07,6.032305e-07,6.410727e-07,6.909212e-07,7.615478e-07,7.845524e-07,8.839554e-07,8.921515e-07,9.889411e-07,1.032453e-06,1.099303e-06,1.181969e-06,1.214821e-06,1.335264e-06,1.340181e-06,1.460394e-06,1.506541e-06,1.589967e-06,1.680490e-06,1.723738e-06,1.861461e-06,2.002890e-06,2.048890e-06,2.147782e-06,2.242220e-06,2.295899e-06,2.440908e-06,2.447007e-06,2.600877e-06,2.644425e-06,2.757287e-06,2.852262e-06,2.916021e-06,3.063931e-06,3.076872e-06,3.239637e-06,3.278963e-06,3.404122e-06,3.496916e-06,3.570141e-06,3.717365e-06,3.737515e-06,3.906072e-06,3.939911e-06,4.075647e-06,4.164177e-06,4.246084e-06,4.389805e-06,4.417231e-06,4.588945e-06,4.616462e-06,4.761089e-06,4.843833e-06,4.933534e-06,5.071622e-06,5.106155e-06,5.278834e-06,5.299554e-06,5.451460e-06,5.527370e-06,5.623925e-06,5.754830e-06,5.796131e-06,5.967980e-06,5.981710e-06,6.139383e-06,6.207800e-06,6.310255e-06,6.432908e-06,6.480514e-06,6.650086e-06,6.656853e-06,6.818897e-06,6.879470e-06,6.986881e-06,7.100604e-06,7.153973e-06,7.320115e-06,7.485251e-06,7.537873e-06,7.649327e-06,7.753758e-06,7.812296e-06,7.967660e-06,7.974110e-06,8.134728e-06,8.179481e-06,8.294109e-06,8.389129e-06,8.452217e-06,8.596523e-06,8.609018e-06,8.764479e-06,8.801587e-06,8.918572e-06,9.004256e-06,9.071269e-06,9.204469e-06,9.222547e-06,9.372382e-06,9.402174e-06,9.520755e-06,9.597324e-06,9.667646e-06,9.789878e-06,9.813039e-06,9.956920e-06,9.979799e-06,1.009927e-05,1.016706e-05,1.024009e-05,1.035163e-05,1.037936e-05,1.051707e-05,1.053349e-05,1.065322e-05,1.071263e-05,1.078780e-05,1.088903e-05,1.092081e-05,1.105224e-05,1.106268e-05,1.118209e-05,1.123358e-05,1.131035e-05,1.140172e-05,1.143704e-05,1.156214e-05,1.156711e-05,1.168566e-05,1.172974e-05,1.180760e-05,1.188962e-05,1.192797e-05,1.204677e-05,1.220119e-05,1.235288e-05,1.250188e-05,1.264819e-05,1.279182e-05,1.293281e-05,1.307117e-05,1.320691e-05,1.334007e-05,1.347067e-05,1.359873e-05,1.372427e-05,1.384733e-05,1.396793e-05,1.408610e-05,1.420186e-05,1.431524e-05,1.442628e-05,1.453500e-05,1.464144e-05,1.474561e-05,1.484755e-05,1.494730e-05,1.504488e-05
0.000000e+00,2.645032e-15,2.452465e-14,5.938721e-13,4.425800e-12,1.074783e-11,6.760446e-11,7.209151e-11,2.882140e-10,3.996357e-10,8.464575e-10,1.461398e-09,2.037095e-09,4.047713e-09,4.278057e-09,8.140243e-09,9.386011e-09,1.434559e-08,1.914554e-08,2.370382e-08,3.517166e-08,3.699791e-08,5.487933e-08,5.905093e-08,7.782170e-08,9.185871e-08,1.061294e-07,1.341814e-07,1.399720e-07,1.794198e-07,1.862523e-07,2.244709e-07,2.480709e-07,2.750688e-07,3.194744e-07,3.311128e-07,3.924653e-07,4.001766e-07,4.589565e-07,4.897905e-07,5.303886e-07,5.878459e-07,6.065401e-07,6.871697e-07,6.938059e-07,7.720211e-07,8.070842e-07,8.608270e-07,9.270622e-07,9.533134e-07,1.049204e-06,1.053106e-06,1.148222e-06,1.184582e-06,1.250097e-06,1.320868e-06,1.354562e-06,1.461361e-06,1.570245e-06,1.605490e-06,1.680980e-06,1.752717e-06,1.793341e-06,1.902540e-06,1.907116e-06,2.022106e-06,2.054496e-06,2.138125e-06,2.208158e-06,2.254999e-06,2.363137e-06,2.372564e-06,2.490671e-06,2.519082e-06,2.609180e-06,2.675672e-06,2.727961e-06,2.832620e-06,2.846896e-06,2.965875e-06,2.989667e-06,3.084796e-06,3.146581e-06,3.203566e-06,3.303153e-06,3.322100e-06,3.440318e-06,3.459199e-06,3.558150e-06,3.614552e-06,3.675529e-06,3.769065e-06,3.792394e-06,3.908691e-06,3.922606e-06,4.024368e-06,4.075058e-06,4.139380e-06,4.226318e-06,4.253684e-06,4.367242e-06,4.376293e-06,4.480018e-06,4.524903e-06,4.591981e-06,4.672075e-06,4.703103e-06,4.813356e-06,4.817748e-06,4.922717e-06,4.961865e-06,5.031165e-06,5.104378e-06,5.138680e-06,5.245246e-06,5.350846e-06,5.384432e-06,5.455467e-06,5.521905e-06,5.559096e-06,5.657639e-06,5.661724e-06,5.763341e-06,5.791611e-06,5.863938e-06,5.923804e-06,5.963508e-06,6.054202e-06,6.062047e-06,6.159548e-06,6.182794e-06,6.256009e-06,6.309571e-06,6.351426e-06,6.434527e-06,6.445796e-06,6.539119e-06,6.557658e-06,6.631394e-06,6.678963e-06,6.722621e-06,6.798441e-06,6.812800e-06,6.901932e-06,6.916096e-06,6.990020e-06,7.031931e-06,7.077065e-06,7.145952e-06,7.163070e-06,7.248038e-06,7.258165e-06,7.331973e-06,7.368578e-06,7.414878e-06,7.477200e-06,7.496758e-06,7.577617e-06,7.584042e-06,7.657461e-06,7.689115e-06,7.736294e-06,7.792432e-06,7.814123e-06,7.890951e-06,7.894004e-06,7.966787e-06,7.993845e-06,8.041635e-06,8.091971e-06,8.115502e-06,8.188395e-06,8.283133e-06,8.376201e-06,8.467615e-06,8.557392e-06,8.645549e-06,8.732103e-06,8.817072e-06,8.900474e-06,8.982327e-06,9.062649e-06,9.141458e-06,9.218774e-06,9.294614e-06,9.368997e-06,9.441943e-06,9.513470e-06,9.583596e-06,9.652341e-06,9.719723e-06,9.785762e-06,9.850476e-06,9.913883e-06,9.976002e-06,1.003685e-05
0.000000e+00,1.093799e-17,1.240371e-16,4.500502e-15,4.770246e-14,1.395834e-13,1.387601e-12,1.506375e-12,9.139005e-12,1.410279e-11,3.860752e-11,8.097014e-11,1.273312e-10,3.254894e-10,3.510840e-10,8.458009e-10,1.027373e-09,1.834352e-09,2.724656e-09,3.656645e-09,6.332128e-09,6.798920e-09,1.191583e-08,1.324626e-08,1.983889e-08,2.539359e-08,3.156755e-08,4.519227e-08,4.824315e-08,7.110953e-08,7.542913e-08,1.014657e-07,1.190812e-07,1.406164e-07,1.791207e-07,1.898253e-07,2.502749e-07,2.583363e-07,3.230333e-07,3.591916e-07,4.090309e-07,4.837267e-07,5.090434e-07,6.236830e-07,6.335005e-07,7.533946e-07,8.095674e-07,8.984574e-07,1.012481e-06,1.058990e-06,1.234955e-06,1.242313e-06,1.426174e-06,1.498690e-06,1.632330e-06,1.780830e-06,1.852986e-06,2.087594e-06,2.335507e-06,2.417532e-06,2.595995e-06,2.768939e-06,2.868256e-06,3.139906e-06,3.151431e-06,3.444615e-06,3.528373e-06,3.746870e-06,3.932180e-06,4.057240e-06,4.349116e-06,4.374757e-06,4.698458e-06,4.776959e-06,5.027386e-06,5.213521e-06,5.360608e-06,5.656673e-06,5.697216e-06,6.036332e-06,6.104383e-06,6.377122e-06,6.554727e-06,6.718787e-06,7.005914e-06,7.060580e-06,7.401795e-06,7.456292e-06,7.741780e-06,7.904356e-06,8.079929e-06,8.348751e-06,8.415686e-06,8.748542e-06,8.788268e-06,9.078038e-06,9.221843e-06,9.403757e-06,9.648548e-06,9.725328e-06,1.004242e-05,1.006758e-05,1.035474e-05,1.047828e-05,1.066204e-05,1.088006e-05,1.096410e-05,1.126072e-05,1.127247e-05,1.155175e-05,1.165513e-05,1.183706e-05,1.202775e-05,1.211655e-05,1.239012e-05,1.265773e-05,1.274209e-05,1.291931e-05,1.308355e-05,1.317485e-05,1.341447e-05,1.342434e-05,1.366777e-05,1.373484e-05,1.390516e-05,1.404470e-05,1.413653e-05,1.434411e-05,1.436193e-05,1.458138e-05,1.463318e-05,1.479495e-05,1.491200e-05,1.500269e-05,1.518073e-05,1.520466e-05,1.540094e-05,1.543951e-05,1.559158e-05,1.568852e-05,1.577667e-05,1.592792e-05,1.595629e-05,1.613052e-05,1.615790e-05,1.629944e-05,1.637866e-05,1.646314e-05,1.659039e-05,1.662170e-05,1.677522e-05,1.679330e-05,1.692377e-05,1.698759e-05,1.706746e-05,1.717346e-05,1.720637e-05,1.734059e-05,1.735113e-05,1.747021e-05,1.752080e-05,1.759533e-05,1.768267e-05,1.771602e-05,1.783238e-05,1.783695e-05,1.794450e-05,1.798385e-05,1.805247e-05,1.812356e-05,1.815637e-05,1.825629e-05,1.838223e-05,1.850158e-05,1.861453e-05,1.872126e-05,1.882196e-05,1.891681e-05,1.900599e-05,1.908967e-05,1.916802e-05,1.924121e-05,1.930939e-05,1.937274e-05,1.943140e-05,1.948552e-05,1.953526e-05,1.958075e-05,1.962214e-05,1.965957e-05,1.969316e-05,1.972305e-05,1.974937e-05,1.977223e-05,1.979176e-05,1.980808e-05
0.000000e+00,2.191911e-17,2.567243e-16,9.974506e-15,1.126062e-13,3.411928e-13,3.713533e-12,4.046326e-12,2.686444e-11,4.248066e-11,1.236137e-10,2.722202e-10,4.417638e-10,1.209770e-09,1.312430e-09,3.386698e-09,4.178461e-09,7.821681e-09,1.200602e-08,1.651681e-08,2.998485e-08,3.239688e-08,5.973472e-08,6.706874e-08,1.045021e-07,1.372445e-07,1.747346e-07,2.609812e-07,2.808895e-07,4.361757e-07,4.666212e-07,6.568285e-07,7.915474e-07,9.623070e-07,1.282962e-06,1.375393e-06,1.922173e-06,1.998128e-06,2.631895e-06,3.003980e-06,3.536708e-06,4.376094e-06,4.671280e-06,6.072302e-06,6.197029e-06,7.777917e-06,8.554161e-06,9.827066e-06,1.153711e-05,1.225880e-05,1.511153e-05,1.523493e-05,1.842236e-05,1.973322e-05,2.222632e-05,2.511130e-05,2.655572e-05,3.143955e-05,3.690293e-05,3.877713e-05,4.296660e-05,4.717001e-05,4.964662e-05,5.664958e-05,5.695401e-05,6.489460e-05,6.723163e-05,7.346890e-05,7.891588e-05,8.267211e-05,9.168600e-05,9.249422e-05,1.029201e-04,1.055101e-04,1.139299e-04,1.203414e-04,1.254989e-04,1.361197e-04,1.375987e-04,1.501965e-04,1.527728e-04,1.632566e-04,1.702178e-04,1.767401e-04,1.883633e-04,1.906057e-04,2.048102e-04,2.071114e-04,2.193086e-04,2.263589e-04,2.340552e-04,2.459999e-04,2.490035e-04,2.641067e-04,2.659273e-04,2.793185e-04,2.860342e-04,2.945930e-04,3.062159e-04,3.098853e-04,3.251517e-04,3.263706e-04,3.403501e-04,3.464013e-04,3.554401e-04,3.662161e-04,3.703832e-04,3.851431e-04,3.857292e-04,3.996857e-04,4.048617e-04,4.139794e-04,4.235419e-04,4.279950e-04,4.417055e-04,4.550868e-04,4.592957e-04,4.681171e-04,4.762633e-04,4.807771e-04,4.925666e-04,4.930499e-04,5.049210e-04,5.081712e-04,5.163782e-04,5.230495e-04,5.274114e-04,5.371807e-04,5.380128e-04,5.481765e-04,5.505501e-04,5.578984e-04,5.631487e-04,5.671762e-04,5.749731e-04,5.760096e-04,5.843994e-04,5.860244e-04,5.923481e-04,5.963083e-04,5.998594e-04,6.058344e-04,6.069381e-04,6.135904e-04,6.146156e-04,6.198230e-04,6.226678e-04,6.256437e-04,6.300096e-04,6.310613e-04,6.360848e-04,6.366616e-04,6.407241e-04,6.426464e-04,6.449896e-04,6.479878e-04,6.488918e-04,6.524419e-04,6.527110e-04,6.556511e-04,6.568419e-04,6.585309e-04,6.604070e-04,6.610930e-04,6.633490e-04,6.634331e-04,6.653107e-04,6.659471e-04,6.669897e-04,6.679760e-04,6.683978e-04,6.695464e-04,6.706847e-04,6.714168e-04,6.717678e-04,6.717625e-04,6.714246e-04,6.707773e-04,6.698429e-04,6.686427e-04,6.671974e-04,6.655263e-04,6.636484e-04,6.615814e-04,6.593421e-04,6.569468e-04,6.544105e-04,6.517477e-04,6.489720e-04,6.460961e-04,6.431321e-04,6.400912e-04,6.369841e-04,6.338204e-04,6.306095e-04,6.273600e-04
0.000000e+00,9.202403e-12,3.045282e-11,1.750250e-10,5.515808e-10,9.319251e-10,2.893815e-09,3.014680e-09,7.476070e-09,9.334491e-09,1.573209e-08,2.325148e-08,2.961502e-08,4.926959e-08,5.135514e-08,8.339009e-08,9.287776e-08,1.280888e-07,1.594639e-07,1.876052e-07,2.537783e-07,2.638748e-07,3.586500e-07,3.799686e-07,4.735228e-07,5.416822e-07,6.099293e-07,7.420905e-07,7.691457e-07,9.522789e-07,9.838644e-07,1.160260e-06,1.269143e-06,1.393837e-06,1.599517e-06,1.653579e-06,1.939874e-06,1.976026e-06,2.252938e-06,2.399187e-06,2.592827e-06,2.869030e-06,2.959446e-06,3.352565e-06,3.385150e-06,3.771833e-06,3.946763e-06,4.216792e-06,4.552766e-06,4.686895e-06,5.181512e-06,5.201797e-06,5.699953e-06,5.892282e-06,6.241471e-06,6.622484e-06,6.805278e-06,7.390550e-06,7.996441e-06,8.194540e-06,8.622086e-06,9.032461e-06,9.266608e-06,9.902290e-06,9.929125e-06,1.060875e-05,1.080199e-05,1.130461e-05,1.172955e-05,1.201582e-05,1.268295e-05,1.274152e-05,1.348085e-05,1.366023e-05,1.423297e-05,1.465944e-05,1.499706e-05,1.567870e-05,1.577229e-05,1.655787e-05,1.671616e-05,1.735303e-05,1.777005e-05,1.815701e-05,1.883862e-05,1.896907e-05,1.978847e-05,1.992021e-05,2.061453e-05,2.101320e-05,2.144656e-05,2.211603e-05,2.228389e-05,2.312589e-05,2.322721e-05,2.397192e-05,2.434530e-05,2.482139e-05,2.546892e-05,2.567371e-05,2.652831e-05,2.659676e-05,2.738465e-05,2.772755e-05,2.824220e-05,2.886009e-05,2.910044e-05,2.995890e-05,2.999323e-05,3.081708e-05,3.112588e-05,3.167455e-05,3.225699e-05,3.253085e-05,3.338557e-05,3.423831e-05,3.451070e-05,3.508866e-05,3.563147e-05,3.593627e-05,3.674705e-05,3.678076e-05,3.762181e-05,3.785664e-05,3.845908e-05,3.895950e-05,3.929226e-05,4.005491e-05,4.012104e-05,4.094516e-05,4.114222e-05,4.176432e-05,4.222079e-05,4.257828e-05,4.329006e-05,4.338678e-05,4.418960e-05,4.434947e-05,4.498652e-05,4.539851e-05,4.577731e-05,4.643671e-05,4.656179e-05,4.733977e-05,4.746363e-05,4.811106e-05,4.847886e-05,4.887551e-05,4.948204e-05,4.963296e-05,5.038326e-05,5.047280e-05,5.112626e-05,5.145085e-05,5.186186e-05,5.241588e-05,5.258992e-05,5.331034e-05,5.336764e-05,5.402301e-05,5.430589e-05,5.472784e-05,5.523042e-05,5.542475e-05,5.611365e-05,5.614104e-05,5.679448e-05,5.703759e-05,5.746716e-05,5.791991e-05,5.813165e-05,5.878789e-05,5.964142e-05,6.048041e-05,6.130480e-05,6.211453e-05,6.290956e-05,6.368988e-05,6.445547e-05,6.520635e-05,6.594253e-05,6.666404e-05,6.737093e-05,6.806325e-05,6.874107e-05,6.940445e-05,7.005349e-05,7.068827e-05,7.130889e-05,7.191545e-05,7.250808e-05,7.308690e-05,7.365202e-05,7.420358e-05,7.474171e-05,7.526657e-05
0.000000e+00,9.762143e-12,2.985047e-11,1.577928e-10,4.781263e-10,7.960630e-10,2.409186e-09,2.507831e-09,6.125531e-09,7.624990e-09,1.277277e-08,1.881244e-08,2.392467e-08,3.977214e-08,4.146139e-08,6.765143e-08,7.550034e-08,1.049820e-07,1.316617e-07,1.558586e-07,2.134946e-07,2.223586e-07,3.061608e-07,3.251199e-07,4.085961e-07,4.695863e-07,5.307217e-07,6.491446e-07,6.733786e-07,8.372271e-07,8.654450e-07,1.022767e-06,1.119640e-06,1.230351e-06,1.412435e-06,1.460189e-06,1.712358e-06,1.744118e-06,1.986810e-06,2.114589e-06,2.283378e-06,2.523393e-06,2.601783e-06,2.941651e-06,2.969754e-06,3.302516e-06,3.452622e-06,3.683835e-06,3.970712e-06,4.085002e-06,4.505352e-06,4.522555e-06,4.944175e-06,5.106531e-06,5.400726e-06,5.720913e-06,5.874231e-06,6.363897e-06,6.868918e-06,7.033635e-06,7.388481e-06,7.728257e-06,7.921772e-06,8.445892e-06,8.467978e-06,9.026296e-06,9.184686e-06,9.595929e-06,9.942815e-06,1.017610e-05,1.071849e-05,1.076603e-05,1.136498e-05,1.150999e-05,1.197221e-05,1.231561e-05,1.258702e-05,1.313375e-05,1.320869e-05,1.383658e-05,1.396284e-05,1.447001e-05,1.480138e-05,1.510837e-05,1.564795e-05,1.575104e-05,1.639743e-05,1.650116e-05,1.704699e-05,1.735974e-05,1.769916e-05,1.822242e-05,1.835341e-05,1.900926e-05,1.908804e-05,1.966621e-05,1.995549e-05,2.032379e-05,2.082371e-05,2.098158e-05,2.163913e-05,2.169171e-05,2.229605e-05,2.255856e-05,2.295195e-05,2.342336e-05,2.360646e-05,2.425922e-05,2.428529e-05,2.490990e-05,2.514357e-05,2.555817e-05,2.599748e-05,2.620375e-05,2.684633e-05,2.748564e-05,2.768948e-05,2.812142e-05,2.852636e-05,2.875343e-05,2.935640e-05,2.938144e-05,3.000523e-05,3.017911e-05,3.062459e-05,3.099400e-05,3.123933e-05,3.180065e-05,3.184926e-05,3.245422e-05,3.259865e-05,3.305404e-05,3.338765e-05,3.364859e-05,3.416730e-05,3.423770e-05,3.482127e-05,3.493731e-05,3.539917e-05,3.569739e-05,3.597128e-05,3.644731e-05,3.653751e-05,3.709776e-05,3.718684e-05,3.765195e-05,3.791578e-05,3.820000e-05,3.863397e-05,3.874184e-05,3.927740e-05,3.934124e-05,3.980663e-05,4.003748e-05,4.032949e-05,4.072256e-05,4.084592e-05,4.135589e-05,4.139641e-05,4.185937e-05,4.205893e-05,4.235633e-05,4.271009e-05,4.284674e-05,4.333061e-05,4.334983e-05,4.380790e-05,4.397812e-05,4.427863e-05,4.459496e-05,4.474277e-05,4.520035e-05,4.579429e-05,4.637681e-05,4.694794e-05,4.750774e-05,4.805624e-05,4.859352e-05,4.911963e-05,4.963467e-05,5.013872e-05,5.063185e-05,5.111418e-05,5.158581e-05,5.204683e-05,5.249737e-05,5.293753e-05,5.336744e-05,5.378722e-05,5.419700e-05,5.459689e-05,5.498705e-05,5.536759e-05,5.573865e-05,5.610037e-05,5.645289e-05
0.000000e+00,4.768720e-13,2.756528e-12,3.038634e-11,1.320838e-10,2.521495e-10,9.752998e-10,1.023131e-09,2.921129e-09,3.762654e-09,6.798095e-09,1.055471e-08,1.384399e-08,2.440863e-08,2.555506e-08,4.352083e-08,4.892959e-08,6.920071e-08,8.743183e-08,1.038669e-07,1.427021e-07,1.486436e-07,2.045466e-07,2.171454e-07,2.725017e-07,3.128831e-07,3.533468e-07,4.317660e-07,4.478269e-07,5.565864e-07,5.753504e-07,6.801619e-07,7.448700e-07,8.189784e-07,9.412176e-07,9.733465e-07,1.143464e-06,1.164942e-06,1.329420e-06,1.416258e-06,1.531201e-06,1.695075e-06,1.748699e-06,1.981721e-06,2.001026e-06,2.229998e-06,2.333508e-06,2.493196e-06,2.691719e-06,2.770923e-06,3.062743e-06,3.074702e-06,3.368181e-06,3.481375e-06,3.686731e-06,3.910568e-06,4.017868e-06,4.361046e-06,4.715711e-06,4.831538e-06,5.081301e-06,5.320752e-06,5.457253e-06,5.827391e-06,5.843002e-06,6.237988e-06,6.350163e-06,6.641658e-06,6.887801e-06,7.053467e-06,7.439059e-06,7.472879e-06,7.899373e-06,8.002728e-06,8.332435e-06,8.577634e-06,8.771571e-06,9.162653e-06,9.216300e-06,9.666155e-06,9.756701e-06,1.012068e-05,1.035874e-05,1.057945e-05,1.096778e-05,1.104203e-05,1.150801e-05,1.158286e-05,1.197701e-05,1.220308e-05,1.244863e-05,1.282758e-05,1.292252e-05,1.339832e-05,1.345553e-05,1.387569e-05,1.408615e-05,1.435431e-05,1.471870e-05,1.483386e-05,1.531405e-05,1.535249e-05,1.579459e-05,1.598684e-05,1.627520e-05,1.662113e-05,1.675562e-05,1.723559e-05,1.725478e-05,1.771489e-05,1.788722e-05,1.819327e-05,1.851794e-05,1.867052e-05,1.914643e-05,1.962080e-05,1.977224e-05,2.009344e-05,2.039494e-05,2.056418e-05,2.101413e-05,2.103283e-05,2.149925e-05,2.162942e-05,2.196326e-05,2.224046e-05,2.242474e-05,2.284694e-05,2.288354e-05,2.333953e-05,2.344854e-05,2.379259e-05,2.404498e-05,2.424261e-05,2.463601e-05,2.468946e-05,2.513307e-05,2.522139e-05,2.557331e-05,2.580089e-05,2.601012e-05,2.637431e-05,2.644340e-05,2.687307e-05,2.694148e-05,2.729907e-05,2.750222e-05,2.772132e-05,2.805638e-05,2.813976e-05,2.855434e-05,2.860383e-05,2.896500e-05,2.914444e-05,2.937170e-05,2.967811e-05,2.977438e-05,3.017302e-05,3.020474e-05,3.056757e-05,3.072424e-05,3.095801e-05,3.123655e-05,3.134429e-05,3.172641e-05,3.174161e-05,3.210433e-05,3.223936e-05,3.247805e-05,3.272976e-05,3.284753e-05,3.321278e-05,3.368840e-05,3.415660e-05,3.461737e-05,3.507073e-05,3.551666e-05,3.595518e-05,3.638632e-05,3.681009e-05,3.722654e-05,3.763568e-05,3.803756e-05,3.843223e-05,3.881973e-05,3.920011e-05,3.957343e-05,3.993974e-05,4.029910e-05,4.065158e-05,4.099725e-05,4.133616e-05,4.166840e-05,4.199402e-05,4.231311e-05,4.262574e-05
0.000000e+00,2.287990e-14,2.119626e-13,5.776151e-12,5.154504e-11,1.403616e-10,1.217833e-09,1.316349e-09,7.339845e-09,1.113653e-08,2.948036e-08,6.064430e-08,9.446796e-08,2.381565e-07,2.566837e-07,6.150530e-07,7.468645e-07,1.334815e-06,1.987204e-06,2.673843e-06,4.663027e-06,5.012548e-06,8.885784e-06,9.904418e-06,1.501485e-05,1.939542e-05,2.433766e-05,3.549331e-05,3.803520e-05,5.755283e-05,6.132698e-05,8.461514e-05,1.008645e-04,1.212335e-04,1.589429e-04,1.697053e-04,2.326056e-04,2.412553e-04,3.127700e-04,3.542952e-04,4.132700e-04,5.052596e-04,5.373815e-04,6.885458e-04,7.019137e-04,8.703269e-04,9.524258e-04,1.086364e-03,1.265178e-03,1.340318e-03,1.635826e-03,1.648561e-03,1.976440e-03,2.110767e-03,2.365583e-03,2.659581e-03,2.806493e-03,3.302182e-03,3.855387e-03,4.044967e-03,4.468539e-03,4.893395e-03,5.143723e-03,5.851855e-03,5.882654e-03,6.686656e-03,6.923572e-03,7.556643e-03,8.110533e-03,8.493113e-03,9.413455e-03,9.496141e-03,1.056538e-02,1.083178e-02,1.170008e-02,1.236368e-02,1.289906e-02,1.400613e-02,1.416079e-02,1.548333e-02,1.575495e-02,1.686444e-02,1.760492e-02,1.830153e-02,1.954984e-02,1.979171e-02,2.133186e-02,2.158270e-02,2.291861e-02,2.369575e-02,2.454838e-02,2.588065e-02,2.621742e-02,2.792187e-02,2.812859e-02,2.965773e-02,3.043042e-02,3.142094e-02,3.277675e-02,3.320740e-02,3.501296e-02,3.515810e-02,3.683350e-02,3.756500e-02,3.866494e-02,3.998805e-02,4.050323e-02,4.234442e-02,4.241807e-02,4.418463e-02,4.484614e-02,4.602012e-02,4.726369e-02,4.784725e-02,4.966254e-02,5.146266e-02,5.203497e-02,5.324444e-02,5.437376e-02,5.500487e-02,5.667219e-02,5.674115e-02,5.845061e-02,5.892412e-02,6.013082e-02,6.112395e-02,6.177949e-02,6.326663e-02,6.339455e-02,6.497410e-02,6.534772e-02,6.651643e-02,6.736331e-02,6.802002e-02,6.931004e-02,6.948350e-02,7.090571e-02,7.118511e-02,7.228563e-02,7.298619e-02,7.362241e-02,7.471146e-02,7.491537e-02,7.616395e-02,7.635958e-02,7.736777e-02,7.792962e-02,7.852656e-02,7.942108e-02,7.964019e-02,8.070865e-02,8.083383e-02,8.173205e-02,8.216811e-02,8.271059e-02,8.342447e-02,8.364458e-02,8.453443e-02,8.460373e-02,8.538062e-02,8.570700e-02,8.618372e-02,8.673561e-02,8.694435e-02,8.766322e-02,8.769112e-02,8.834108e-02,8.857523e-02,8.897874e-02,8.938982e-02,8.957705e-02,9.013691e-02,9.081861e-02,9.143713e-02,9.199474e-02,9.249377e-02,9.293660e-02,9.332559e-02,9.366316e-02,9.395167e-02,9.419348e-02,9.439096e-02,9.454637e-02,9.466203e-02,9.474011e-02,9.478279e-02,9.479217e-02,9.477031e-02,9.471918e-02,9.464068e-02,9.453667e-02,9.440892e-02,9.425913e-02,9.408892e-02,9.389986e-02,9.369344e-02
0.000000e+00,5.829578e-15,5.360237e-14,1.278775e-12,9.427388e-12,2.278245e-11,1.419452e-10,1.513205e-10,6.014439e-10,8.329803e-10,1.759890e-09,3.032775e-09,4.222059e-09,8.359518e-09,8.832005e-09,1.671232e-08,1.923894e-08,2.923864e-08,3.884757e-08,4.793024e-08,7.068539e-08,7.430374e-08,1.097677e-07,1.180651e-07,1.555843e-07,1.838773e-07,2.128735e-07,2.705932e-07,2.826296e-07,3.657343e-07,3.803229e-07,4.629611e-07,5.148461e-07,5.749768e-07,6.756157e-07,7.023389e-07,8.454946e-07,8.637518e-07,1.004781e-06,1.080040e-06,1.180428e-06,1.324942e-06,1.372560e-06,1.581208e-06,1.598611e-06,1.806308e-06,1.900926e-06,2.047720e-06,2.231519e-06,2.305229e-06,2.578557e-06,2.589814e-06,2.867372e-06,2.975066e-06,3.171298e-06,3.386387e-06,3.489918e-06,3.822785e-06,4.169427e-06,4.283182e-06,4.529353e-06,4.766445e-06,4.902059e-06,5.271400e-06,5.287027e-06,5.683739e-06,5.796851e-06,6.091668e-06,6.341592e-06,6.510291e-06,6.904420e-06,6.939085e-06,7.377532e-06,7.484138e-06,7.825118e-06,8.079570e-06,8.281338e-06,8.689557e-06,8.745693e-06,9.217692e-06,9.312967e-06,9.696857e-06,9.948698e-06,1.018272e-05,1.059568e-05,1.067481e-05,1.117270e-05,1.125286e-05,1.167593e-05,1.191925e-05,1.218408e-05,1.259387e-05,1.269674e-05,1.321351e-05,1.327578e-05,1.373399e-05,1.396408e-05,1.425780e-05,1.465790e-05,1.478457e-05,1.531395e-05,1.535640e-05,1.584559e-05,1.605880e-05,1.637915e-05,1.676432e-05,1.691431e-05,1.745075e-05,1.747223e-05,1.798818e-05,1.818184e-05,1.852630e-05,1.889247e-05,1.906483e-05,1.960349e-05,2.014203e-05,2.031430e-05,2.068020e-05,2.102431e-05,2.121775e-05,2.173299e-05,2.175444e-05,2.229006e-05,2.243982e-05,2.282440e-05,2.314429e-05,2.335723e-05,2.384595e-05,2.388838e-05,2.441764e-05,2.454436e-05,2.494484e-05,2.523911e-05,2.546981e-05,2.592980e-05,2.599237e-05,2.651238e-05,2.661606e-05,2.702968e-05,2.729755e-05,2.754412e-05,2.797396e-05,2.805558e-05,2.856392e-05,2.864496e-05,2.906903e-05,2.931029e-05,2.957077e-05,2.996967e-05,3.006905e-05,3.056375e-05,3.062287e-05,3.105479e-05,3.126966e-05,3.154206e-05,3.190982e-05,3.202548e-05,3.250497e-05,3.254316e-05,3.298045e-05,3.316950e-05,3.345185e-05,3.378869e-05,3.391909e-05,3.438213e-05,3.440056e-05,3.484090e-05,3.500500e-05,3.529534e-05,3.560187e-05,3.574541e-05,3.619106e-05,3.677249e-05,3.734606e-05,3.791170e-05,3.846935e-05,3.901895e-05,3.956045e-05,4.009383e-05,4.061906e-05,4.113611e-05,4.164498e-05,4.214566e-05,4.263816e-05,4.312249e-05,4.359866e-05,4.406669e-05,4.452661e-05,4.497847e-05,4.542228e-05,4.585810e-05,4.628598e-05,4.670596e-05,4.711810e-05,4.752245e-05,4.791909e-05
0.000000e+00,1.361059e-17,1.565432e-16,5.852380e-15,6.375988e-14,1.894212e-13,1.958342e-12,2.129357e-12,1.342710e-11,2.093587e-11,5.880446e-11,1.258514e-10,2.004762e-10,5.268330e-10,5.695516e-10,1.409013e-09,1.721564e-09,3.127663e-09,4.700410e-09,6.362994e-09,1.119790e-08,1.204877e-08,2.148070e-08,2.395955e-08,3.637217e-08,4.697468e-08,5.889235e-08,8.562288e-08,9.168181e-08,1.378431e-07,1.467001e-07,2.009068e-07,2.383152e-07,2.847776e-07,3.696740e-07,3.936620e-07,5.319859e-07,5.507786e-07,7.043034e-07,7.920758e-07,9.152036e-07,1.104085e-06,1.169218e-06,1.470731e-06,1.497030e-06,1.823896e-06,1.980499e-06,2.232563e-06,2.563139e-06,2.700209e-06,3.229886e-06,3.252401e-06,3.824169e-06,4.054342e-06,4.485129e-06,4.973473e-06,5.214301e-06,6.012677e-06,6.880701e-06,7.173177e-06,7.818272e-06,8.454546e-06,8.824761e-06,9.854780e-06,9.899034e-06,1.103948e-05,1.137039e-05,1.224405e-05,1.299656e-05,1.351027e-05,1.472725e-05,1.483535e-05,1.621613e-05,1.655543e-05,1.764921e-05,1.847323e-05,1.913095e-05,2.047212e-05,2.065755e-05,2.222504e-05,2.254309e-05,2.382938e-05,2.467684e-05,2.546647e-05,2.686392e-05,2.713219e-05,2.882241e-05,2.909485e-05,3.053308e-05,3.136029e-05,3.226020e-05,3.365112e-05,3.399988e-05,3.574831e-05,3.595854e-05,3.750185e-05,3.827412e-05,3.925699e-05,4.058990e-05,4.101038e-05,4.275884e-05,4.289841e-05,4.449934e-05,4.519268e-05,4.622906e-05,4.746628e-05,4.794534e-05,4.964568e-05,4.971333e-05,5.132779e-05,5.192847e-05,5.298954e-05,5.410689e-05,5.462897e-05,5.624429e-05,5.783388e-05,5.833687e-05,5.939626e-05,6.038130e-05,6.093012e-05,6.237470e-05,6.243428e-05,6.390771e-05,6.431463e-05,6.534948e-05,6.619903e-05,6.675883e-05,6.802622e-05,6.813509e-05,6.947770e-05,6.979487e-05,7.078621e-05,7.150395e-05,7.206027e-05,7.315272e-05,7.329960e-05,7.450403e-05,7.474072e-05,7.567347e-05,7.626773e-05,7.680787e-05,7.773373e-05,7.790729e-05,7.897182e-05,7.913892e-05,8.000162e-05,8.048366e-05,8.099691e-05,8.176846e-05,8.195794e-05,8.288502e-05,8.299400e-05,8.377848e-05,8.416105e-05,8.463871e-05,8.527052e-05,8.546612e-05,8.626115e-05,8.632337e-05,8.702427e-05,8.732069e-05,8.775597e-05,8.826361e-05,8.845675e-05,8.912715e-05,8.915334e-05,8.976770e-05,8.999111e-05,9.037898e-05,9.077822e-05,9.096155e-05,9.151598e-05,9.220574e-05,9.284886e-05,9.344672e-05,9.400069e-05,9.451215e-05,9.498250e-05,9.541310e-05,9.580531e-05,9.616049e-05,9.647997e-05,9.676506e-05,9.701707e-05,9.723727e-05,9.742691e-05,9.758721e-05,9.771939e-05,9.782461e-05,9.790402e-05,9.795874e-05,9.798987e-05,9.799846e-05,9.798555e-05,9.795215e-05,9.789923e-05
0.000000e+00,8.198461e-15,8.053203e-14,2.352970e-12,2.176861e-11,6.012419e-11,5.355331e-10,5.793439e-10,3.285936e-09,5.004142e-09,1.335346e-08,2.761788e-08,4.315408e-08,1.094304e-07,1.179953e-07,2.840721e-07,3.452788e-07,6.187131e-07,9.226092e-07,1.242809e-06,2.171706e-06,2.335071e-06,4.147517e-06,4.624710e-06,7.021385e-06,9.078720e-06,1.140259e-05,1.665708e-05,1.785589e-05,2.707692e-05,2.886295e-05,3.990150e-05,4.761994e-05,5.731158e-05,7.529586e-05,8.043755e-05,1.105566e-04,1.147068e-04,1.490871e-04,1.691003e-04,1.975792e-04,2.421179e-04,2.577009e-04,3.312218e-04,3.377373e-04,4.199931e-04,4.601982e-04,5.259251e-04,6.139134e-04,6.509629e-04,7.970608e-04,8.033703e-04,9.661559e-04,1.033026e-03,1.160141e-03,1.307202e-03,1.380839e-03,1.629978e-03,1.909166e-03,2.005096e-03,2.219870e-03,2.435870e-03,2.563396e-03,2.925111e-03,2.940874e-03,3.353240e-03,3.475059e-03,3.801227e-03,4.087342e-03,4.285354e-03,4.762936e-03,4.805926e-03,5.363022e-03,5.502149e-03,5.956504e-03,6.304623e-03,6.586015e-03,7.169337e-03,7.250981e-03,7.950626e-03,8.094634e-03,8.683976e-03,9.078260e-03,9.449870e-03,1.011740e-02,1.024697e-02,1.107379e-02,1.120874e-02,1.192869e-02,1.234850e-02,1.280990e-02,1.353254e-02,1.371553e-02,1.464360e-02,1.475638e-02,1.559205e-02,1.601527e-02,1.655874e-02,1.730430e-02,1.754151e-02,1.853814e-02,1.861840e-02,1.954638e-02,1.995243e-02,2.056401e-02,2.130126e-02,2.158879e-02,2.261850e-02,2.265976e-02,2.365098e-02,2.402293e-02,2.468407e-02,2.538587e-02,2.571571e-02,2.674386e-02,2.776657e-02,2.809238e-02,2.878196e-02,2.942714e-02,2.978824e-02,3.074411e-02,3.078370e-02,3.176672e-02,3.203952e-02,3.273577e-02,3.330990e-02,3.368943e-02,3.455206e-02,3.462637e-02,3.554536e-02,3.576312e-02,3.644527e-02,3.694050e-02,3.732507e-02,3.808192e-02,3.818384e-02,3.902072e-02,3.918541e-02,3.983500e-02,4.024926e-02,4.062601e-02,4.127208e-02,4.139321e-02,4.213613e-02,4.225271e-02,4.285439e-02,4.319031e-02,4.354769e-02,4.408421e-02,4.421581e-02,4.485861e-02,4.493404e-02,4.547601e-02,4.573961e-02,4.606799e-02,4.650093e-02,4.663461e-02,4.717599e-02,4.721821e-02,4.769228e-02,4.789183e-02,4.818371e-02,4.852229e-02,4.865054e-02,4.909308e-02,4.911028e-02,4.951168e-02,4.965659e-02,4.990673e-02,5.016211e-02,5.027863e-02,5.062785e-02,5.105489e-02,5.144438e-02,5.179754e-02,5.211562e-02,5.239993e-02,5.265178e-02,5.287252e-02,5.306351e-02,5.322610e-02,5.336167e-02,5.347154e-02,5.355707e-02,5.361956e-02,5.366030e-02,5.368056e-02,5.368158e-02,5.366455e-02,5.363065e-02,5.358102e-02,5.351673e-02,5.343885e-02,5.334841e-02,5.324636e-02,5.313362e-02
0.000000e+00,5.749513e-18,6.639508e-17,2.502523e-15,2.746764e-14,8.193282e-14,8.558525e-13,9.309762e-13,5.928577e-12,9.267862e-12,2.619445e-11,5.632655e-11,8.998663e-11,2.378626e-10,2.572659e-10,6.395394e-10,7.821389e-10,1.424401e-09,2.143387e-09,2.903634e-09,5.114351e-09,5.503340e-09,9.814290e-09,1.094713e-08,1.662050e-08,2.146920e-08,2.692384e-08,3.917981e-08,4.196238e-08,6.322005e-08,6.731056e-08,9.242548e-08,1.098343e-07,1.315383e-07,1.714102e-07,1.827226e-07,2.483072e-07,2.572602e-07,3.307350e-07,3.729825e-07,4.325046e-07,5.243198e-07,5.561064e-07,7.039578e-07,7.169030e-07,8.783399e-07,9.559968e-07,1.081341e-06,1.246268e-06,1.314805e-06,1.580292e-06,1.591596e-06,1.879046e-06,1.994928e-06,2.211979e-06,2.458197e-06,2.579653e-06,2.982288e-06,3.419763e-06,3.567050e-06,3.891637e-06,4.211358e-06,4.397168e-06,4.913197e-06,4.935335e-06,5.504874e-06,5.669770e-06,6.104303e-06,6.477621e-06,6.731956e-06,7.332765e-06,7.386016e-06,8.064547e-06,8.230812e-06,8.765522e-06,9.167094e-06,9.486851e-06,1.013677e-05,1.022641e-05,1.098206e-05,1.113494e-05,1.175168e-05,1.215671e-05,1.253318e-05,1.319730e-05,1.332448e-05,1.412360e-05,1.425206e-05,1.492861e-05,1.531656e-05,1.573766e-05,1.638662e-05,1.654899e-05,1.736092e-05,1.745831e-05,1.817186e-05,1.852798e-05,1.898034e-05,1.959229e-05,1.978498e-05,2.058447e-05,2.064817e-05,2.137763e-05,2.169288e-05,2.216336e-05,2.272392e-05,2.294066e-05,2.370860e-05,2.373911e-05,2.446635e-05,2.473650e-05,2.521316e-05,2.571440e-05,2.594837e-05,2.667137e-05,2.738164e-05,2.760616e-05,2.807871e-05,2.851773e-05,2.876220e-05,2.940525e-05,2.943176e-05,3.008710e-05,3.026802e-05,3.072800e-05,3.110552e-05,3.135426e-05,3.191737e-05,3.196574e-05,3.256234e-05,3.270330e-05,3.314399e-05,3.346318e-05,3.371067e-05,3.419696e-05,3.426237e-05,3.479913e-05,3.490469e-05,3.532100e-05,3.558651e-05,3.582805e-05,3.624261e-05,3.632040e-05,3.679817e-05,3.687327e-05,3.726148e-05,3.747879e-05,3.771051e-05,3.805955e-05,3.814541e-05,3.856638e-05,3.861597e-05,3.897360e-05,3.914847e-05,3.936727e-05,3.965754e-05,3.974762e-05,4.011485e-05,4.014367e-05,4.046920e-05,4.060739e-05,4.081090e-05,4.104923e-05,4.114019e-05,4.145730e-05,4.146973e-05,4.176247e-05,4.186946e-05,4.205596e-05,4.224898e-05,4.233801e-05,4.260886e-05,4.294967e-05,4.327198e-05,4.357636e-05,4.386337e-05,4.413359e-05,4.438756e-05,4.462584e-05,4.484897e-05,4.505748e-05,4.525189e-05,4.543271e-05,4.560046e-05,4.575562e-05,4.589868e-05,4.603011e-05,4.615036e-05,4.625989e-05,4.635913e-05,4.644850e-05,4.652843e-05,4.659931e-05,4.666153e-05,4.671547e-05,4.676149e-05
0.000000e+00,1.067797e-11,3.237978e-11,1.696466e-10,5.127118e-10,8.539497e-10,2.601600e-09,2.709338e-09,6.719023e-09,8.409373e-09,1.430442e-08,2.133667e-08,2.733140e-08,4.584213e-08,4.779535e-08,7.737398e-08,8.597617e-08,1.173267e-07,1.446019e-07,1.686248e-07,2.237822e-07,2.320576e-07,3.082773e-07,3.251042e-07,3.978110e-07,4.497685e-07,5.010598e-07,5.985908e-07,6.182960e-07,7.496622e-07,7.719948e-07,8.951746e-07,9.700193e-07,1.054730e-06,1.192345e-06,1.228115e-06,1.415021e-06,1.438340e-06,1.615053e-06,1.707108e-06,1.827747e-06,1.997545e-06,2.052584e-06,2.289000e-06,2.308396e-06,2.536400e-06,2.638297e-06,2.794166e-06,2.985824e-06,3.061670e-06,3.338277e-06,3.349521e-06,3.623354e-06,3.727934e-06,3.916275e-06,4.119628e-06,4.216426e-06,4.523205e-06,4.836029e-06,4.937316e-06,5.154332e-06,5.360669e-06,5.477569e-06,5.792032e-06,5.805216e-06,6.136770e-06,6.230239e-06,6.471750e-06,6.674190e-06,6.809696e-06,7.122851e-06,7.150172e-06,7.492760e-06,7.575251e-06,7.837064e-06,8.030485e-06,8.182711e-06,8.487708e-06,8.529344e-06,8.876628e-06,8.946134e-06,9.224244e-06,9.405036e-06,9.571893e-06,9.863736e-06,9.919292e-06,1.026618e-05,1.032161e-05,1.061229e-05,1.077809e-05,1.095741e-05,1.123264e-05,1.130131e-05,1.164378e-05,1.168477e-05,1.198463e-05,1.213405e-05,1.232369e-05,1.258006e-05,1.266078e-05,1.299574e-05,1.302245e-05,1.332844e-05,1.346086e-05,1.365874e-05,1.389500e-05,1.398652e-05,1.431165e-05,1.432460e-05,1.463404e-05,1.474941e-05,1.495358e-05,1.516920e-05,1.527020e-05,1.558380e-05,1.589431e-05,1.599301e-05,1.620167e-05,1.639670e-05,1.650582e-05,1.679473e-05,1.680670e-05,1.710427e-05,1.718698e-05,1.739847e-05,1.757337e-05,1.768929e-05,1.795381e-05,1.797667e-05,1.826060e-05,1.832823e-05,1.854106e-05,1.869658e-05,1.881801e-05,1.905883e-05,1.909146e-05,1.936138e-05,1.941494e-05,1.962777e-05,1.976490e-05,1.989063e-05,2.010869e-05,2.014995e-05,2.040573e-05,2.044633e-05,2.065798e-05,2.077781e-05,2.090671e-05,2.110316e-05,2.115192e-05,2.139363e-05,2.142240e-05,2.163185e-05,2.173556e-05,2.186659e-05,2.204268e-05,2.209787e-05,2.232571e-05,2.234379e-05,2.255013e-05,2.263895e-05,2.277116e-05,2.292820e-05,2.298881e-05,2.320311e-05,2.321161e-05,2.341408e-05,2.348922e-05,2.362175e-05,2.376110e-05,2.382616e-05,2.402732e-05,2.428793e-05,2.454301e-05,2.479264e-05,2.503687e-05,2.527579e-05,2.550947e-05,2.573799e-05,2.596142e-05,2.617985e-05,2.639335e-05,2.660199e-05,2.680587e-05,2.700505e-05,2.719962e-05,2.738965e-05,2.757523e-05,2.775643e-05,2.793333e-05,2.810601e-05,2.827454e-05,2.843901e-05,2.859948e-05,2.875603e-05,2.890875e-05
0.000000e+00,3.759867e-19,4.347646e-18,1.643337e-16,1.810363e-15,5.412505e-15,5.693733e-14,6.195533e-14,3.981754e-13,6.242840e-13,1.779379e-12,3.857086e-12,6.198534e-12,1.663854e-11,1.802209e-11,4.570391e-11,5.618920e-11,1.041678e-10,1.589845e-10,2.179057e-10,3.933285e-10,4.246980e-10,7.796396e-10,8.747039e-10,1.358955e-09,1.781172e-09,2.263022e-09,3.365025e-09,3.618126e-09,5.576637e-09,5.957500e-09,8.315595e-09,9.965154e-09,1.203380e-08,1.585841e-08,1.694770e-08,2.328648e-08,2.415407e-08,3.128650e-08,3.539419e-08,4.118574e-08,5.012363e-08,5.321820e-08,6.760875e-08,6.886830e-08,8.456840e-08,9.211555e-08,1.042903e-07,1.202977e-07,1.269461e-07,1.526838e-07,1.537792e-07,1.816251e-07,1.928473e-07,2.138648e-07,2.377070e-07,2.494696e-07,2.884784e-07,3.309027e-07,3.451980e-07,3.767275e-07,4.078225e-07,4.259128e-07,4.762336e-07,4.783952e-07,5.340897e-07,5.502460e-07,5.928918e-07,6.296149e-07,6.546801e-07,7.140455e-07,7.193180e-07,7.866565e-07,8.032021e-07,8.565363e-07,8.967170e-07,9.287901e-07,9.941996e-07,1.003244e-06,1.079722e-06,1.095245e-06,1.158044e-06,1.199440e-06,1.238030e-06,1.306373e-06,1.319501e-06,1.402281e-06,1.415636e-06,1.486198e-06,1.526833e-06,1.571084e-06,1.639581e-06,1.656776e-06,1.743118e-06,1.753515e-06,1.829960e-06,1.868291e-06,1.917159e-06,1.983586e-06,2.004581e-06,2.092098e-06,2.099099e-06,2.179589e-06,2.214554e-06,2.266944e-06,2.329695e-06,2.354056e-06,2.440829e-06,2.444292e-06,2.527173e-06,2.558135e-06,2.613004e-06,2.671038e-06,2.698247e-06,2.782832e-06,2.866695e-06,2.893369e-06,2.949778e-06,3.002517e-06,3.032029e-06,3.110164e-06,3.113401e-06,3.193853e-06,3.216209e-06,3.273345e-06,3.320567e-06,3.351847e-06,3.423167e-06,3.429327e-06,3.505760e-06,3.523946e-06,3.581125e-06,3.622856e-06,3.655403e-06,3.719854e-06,3.728576e-06,3.800633e-06,3.814909e-06,3.871561e-06,3.907995e-06,3.941353e-06,3.999095e-06,4.010001e-06,4.077502e-06,4.088196e-06,4.143853e-06,4.175292e-06,4.209051e-06,4.260381e-06,4.273098e-06,4.335995e-06,4.343466e-06,4.397745e-06,4.424552e-06,4.458351e-06,4.503650e-06,4.517818e-06,4.576153e-06,4.580771e-06,4.633361e-06,4.655931e-06,4.689450e-06,4.729146e-06,4.744429e-06,4.798305e-06,4.800437e-06,4.851087e-06,4.869823e-06,4.902787e-06,4.937328e-06,4.953412e-06,5.002975e-06,5.066788e-06,5.128794e-06,5.189019e-06,5.247490e-06,5.304234e-06,5.359280e-06,5.412657e-06,5.464393e-06,5.514516e-06,5.563057e-06,5.610045e-06,5.655509e-06,5.699478e-06,5.741981e-06,5.783048e-06,5.822708e-06,5.860989e-06,5.897920e-06,5.933529e-06,5.967845e-06,6.000896e-06,6.032708e-06,6.063310e-06,6.092729e-06
0.000000e+00,1.187911e-11,3.601383e-11,1.884741e-10,5.690388e-10,9.473974e-10,2.886012e-09,3.005615e-09,7.465346e-09,9.349411e-09,1.592713e-08,2.376348e-08,3.041833e-08,5.078598e-08,5.292008e-08,8.496644e-08,9.420949e-08,1.276881e-07,1.566126e-07,1.819717e-07,2.398873e-07,2.485462e-07,3.280102e-07,3.454935e-07,4.208352e-07,4.745026e-07,5.273607e-07,6.275823e-07,6.477896e-07,7.821881e-07,8.049855e-07,9.304893e-07,1.006560e-06,1.092502e-06,1.231784e-06,1.267923e-06,1.456349e-06,1.479812e-06,1.657296e-06,1.749538e-06,1.870210e-06,2.039659e-06,2.094488e-06,2.329486e-06,2.348729e-06,2.574534e-06,2.675214e-06,2.828949e-06,3.017542e-06,3.092044e-06,3.363133e-06,3.374133e-06,3.641539e-06,3.743429e-06,3.926603e-06,4.123921e-06,4.217682e-06,4.514156e-06,4.815428e-06,4.912754e-06,5.120927e-06,5.318413e-06,5.430110e-06,5.729910e-06,5.742459e-06,6.057482e-06,6.146104e-06,6.374715e-06,6.565932e-06,6.693720e-06,6.988414e-06,7.014084e-06,7.335419e-06,7.412643e-06,7.657360e-06,7.837784e-06,7.979567e-06,8.263073e-06,8.301718e-06,8.623516e-06,8.687809e-06,8.944682e-06,9.111352e-06,9.264956e-06,9.533120e-06,9.584097e-06,9.901880e-06,9.952585e-06,1.021810e-05,1.036927e-05,1.053256e-05,1.078274e-05,1.084508e-05,1.115550e-05,1.119260e-05,1.146367e-05,1.159851e-05,1.176944e-05,1.200016e-05,1.207270e-05,1.237333e-05,1.239726e-05,1.267121e-05,1.278957e-05,1.296625e-05,1.317688e-05,1.325837e-05,1.354748e-05,1.355898e-05,1.383352e-05,1.393573e-05,1.411642e-05,1.430697e-05,1.439612e-05,1.467258e-05,1.494576e-05,1.503247e-05,1.521560e-05,1.538655e-05,1.548209e-05,1.573474e-05,1.574520e-05,1.600490e-05,1.607701e-05,1.626118e-05,1.641330e-05,1.651402e-05,1.674359e-05,1.676341e-05,1.700936e-05,1.706787e-05,1.725184e-05,1.738613e-05,1.749088e-05,1.769837e-05,1.772646e-05,1.795860e-05,1.800462e-05,1.818731e-05,1.830489e-05,1.841260e-05,1.859920e-05,1.863447e-05,1.885295e-05,1.888760e-05,1.906806e-05,1.917012e-05,1.927981e-05,1.944681e-05,1.948823e-05,1.969333e-05,1.971772e-05,1.989514e-05,1.998291e-05,2.009369e-05,2.024243e-05,2.028901e-05,2.048111e-05,2.049634e-05,2.067003e-05,2.074471e-05,2.085580e-05,2.098761e-05,2.103844e-05,2.121799e-05,2.122511e-05,2.139449e-05,2.145728e-05,2.156795e-05,2.168419e-05,2.173841e-05,2.190592e-05,2.212254e-05,2.233413e-05,2.254077e-05,2.274253e-05,2.293950e-05,2.313176e-05,2.331938e-05,2.350245e-05,2.368104e-05,2.385524e-05,2.402511e-05,2.419075e-05,2.435223e-05,2.450963e-05,2.466302e-05,2.481248e-05,2.495809e-05,2.509992e-05,2.523805e-05,2.537255e-05,2.550349e-05,2.563095e-05,2.575499e-05,2.587569e-05
0.000000e+00,6.455551e-15,5.408316e-14,1.083510e-12,6.953698e-12,1.569394e-11,8.381965e-11,8.885282e-11,3.116363e-10,4.187212e-10,8.243446e-10,1.348182e-09,1.817333e-09,3.362769e-09,3.533314e-09,6.270262e-09,7.117101e-09,1.037956e-08,1.342452e-08,1.625005e-08,2.318494e-08,2.427376e-08,3.480654e-08,3.724135e-08,4.814400e-08,5.626721e-08,6.451798e-08,8.074860e-08,8.410402e-08,1.070306e-07,1.110152e-07,1.333858e-07,1.472708e-07,1.632220e-07,1.896116e-07,1.965589e-07,2.333859e-07,2.380382e-07,2.736648e-07,2.924656e-07,3.173323e-07,3.527343e-07,3.643034e-07,4.144737e-07,4.186220e-07,4.677234e-07,4.898561e-07,5.239198e-07,5.661260e-07,5.829203e-07,6.445755e-07,6.470948e-07,7.087312e-07,7.324092e-07,7.752306e-07,8.217086e-07,8.439164e-07,9.146323e-07,9.872240e-07,1.010825e-06,1.061541e-06,1.109940e-06,1.137435e-06,1.211647e-06,1.214766e-06,1.293396e-06,1.315627e-06,1.373193e-06,1.421579e-06,1.454032e-06,1.529221e-06,1.535793e-06,1.618363e-06,1.638288e-06,1.701633e-06,1.748532e-06,1.785501e-06,1.859723e-06,1.869871e-06,1.954651e-06,1.971648e-06,2.039755e-06,2.084110e-06,2.125103e-06,2.196928e-06,2.210619e-06,2.296233e-06,2.309935e-06,2.381877e-06,2.422978e-06,2.467489e-06,2.535917e-06,2.553012e-06,2.638391e-06,2.648625e-06,2.723576e-06,2.760983e-06,2.808519e-06,2.872888e-06,2.893178e-06,2.977511e-06,2.984243e-06,3.061481e-06,3.094960e-06,3.145054e-06,3.204962e-06,3.228197e-06,3.310881e-06,3.314178e-06,3.393078e-06,3.422545e-06,3.474764e-06,3.530006e-06,3.555915e-06,3.636512e-06,3.716534e-06,3.742017e-06,3.795965e-06,3.846484e-06,3.874789e-06,3.949876e-06,3.952992e-06,4.030561e-06,4.052165e-06,4.107485e-06,4.153326e-06,4.183754e-06,4.253336e-06,4.259360e-06,4.334293e-06,4.352177e-06,4.408549e-06,4.449834e-06,4.482121e-06,4.546295e-06,4.555005e-06,4.627196e-06,4.641551e-06,4.698693e-06,4.735595e-06,4.769491e-06,4.828422e-06,4.839591e-06,4.908991e-06,4.920030e-06,4.977690e-06,5.010417e-06,5.045690e-06,5.099586e-06,5.112990e-06,5.179592e-06,5.187538e-06,5.245499e-06,5.274277e-06,5.310711e-06,5.359810e-06,5.375232e-06,5.439064e-06,5.444141e-06,5.502212e-06,5.527280e-06,5.564678e-06,5.609234e-06,5.626466e-06,5.687581e-06,5.690012e-06,5.748027e-06,5.769625e-06,5.807809e-06,5.848083e-06,5.866931e-06,5.925398e-06,6.001582e-06,6.076647e-06,6.150605e-06,6.223470e-06,6.295255e-06,6.365974e-06,6.435641e-06,6.504269e-06,6.571874e-06,6.638468e-06,6.704067e-06,6.768685e-06,6.832337e-06,6.895036e-06,6.956798e-06,7.017637e-06,7.077567e-06,7.136602e-06,7.194756e-06,7.252045e-06,7.308481e-06,7.364079e-06,7.418852e-06,7.472814e-06
0.000000e+00,1.983767e-17,2.092340e-16,6.538268e-15,6.053836e-14,1.645406e-13,1.353751e-12,1.458429e-12,7.350439e-12,1.078961e-11,2.606904e-11,4.945771e-11,7.287995e-11,1.612593e-10,1.718265e-10,3.567744e-10,4.186437e-10,6.718521e-10,9.249974e-10,1.171454e-09,1.814603e-09,1.919911e-09,2.990778e-09,3.250691e-09,4.465516e-09,5.420774e-09,6.431245e-09,8.527285e-09,8.977300e-09,1.219067e-08,1.277220e-08,1.615088e-08,1.833738e-08,2.092517e-08,2.536583e-08,2.656487e-08,3.310348e-08,3.394945e-08,4.055658e-08,4.412591e-08,4.892304e-08,5.588330e-08,5.818731e-08,6.832196e-08,6.916929e-08,7.929043e-08,8.390176e-08,9.104941e-08,9.997859e-08,1.035510e-07,1.167445e-07,1.172859e-07,1.305778e-07,1.357043e-07,1.449986e-07,1.551138e-07,1.599550e-07,1.753967e-07,1.912748e-07,1.964403e-07,2.075428e-07,2.181385e-07,2.241566e-07,2.403924e-07,2.410745e-07,2.582574e-07,2.631111e-07,2.756691e-07,2.862118e-07,2.932759e-07,3.096195e-07,3.110465e-07,3.289522e-07,3.332667e-07,3.469668e-07,3.570934e-07,3.650661e-07,3.810460e-07,3.832281e-07,4.014327e-07,4.050771e-07,4.196617e-07,4.291449e-07,4.378986e-07,4.532125e-07,4.561282e-07,4.743370e-07,4.772477e-07,4.925127e-07,5.012219e-07,5.106440e-07,5.251104e-07,5.287210e-07,5.467345e-07,5.488915e-07,5.646764e-07,5.725462e-07,5.825392e-07,5.960580e-07,6.003163e-07,6.180017e-07,6.194124e-07,6.355899e-07,6.425970e-07,6.530763e-07,6.656008e-07,6.704562e-07,6.877260e-07,6.884145e-07,7.048821e-07,7.110299e-07,7.219214e-07,7.334399e-07,7.388411e-07,7.556387e-07,7.723121e-07,7.776210e-07,7.888593e-07,7.993825e-07,8.052787e-07,8.209196e-07,8.215687e-07,8.377282e-07,8.422293e-07,8.537559e-07,8.633090e-07,8.696511e-07,8.841568e-07,8.854128e-07,9.010406e-07,9.047713e-07,9.165339e-07,9.251512e-07,9.318923e-07,9.452959e-07,9.471156e-07,9.622035e-07,9.652049e-07,9.771561e-07,9.848780e-07,9.919734e-07,1.004315e-06,1.006655e-06,1.021202e-06,1.023517e-06,1.035615e-06,1.042485e-06,1.049892e-06,1.061218e-06,1.064036e-06,1.078046e-06,1.079718e-06,1.091923e-06,1.097987e-06,1.105667e-06,1.116024e-06,1.119279e-06,1.132760e-06,1.133833e-06,1.146110e-06,1.151413e-06,1.159329e-06,1.168767e-06,1.172420e-06,1.185381e-06,1.185897e-06,1.198215e-06,1.202804e-06,1.210922e-06,1.219491e-06,1.223503e-06,1.235958e-06,1.252209e-06,1.268245e-06,1.284068e-06,1.299680e-06,1.315084e-06,1.330283e-06,1.345277e-06,1.360069e-06,1.374663e-06,1.389059e-06,1.403261e-06,1.417270e-06,1.431089e-06,1.444721e-06,1.458168e-06,1.471431e-06,1.484514e-06,1.497419e-06,1.510147e-06,1.522703e-06,1.535086e-06,1.547301e-06,1.559350e-06,1.571233e-06
0.000000e+00,5.635013e-12,1.745647e-11,9.319285e-11,2.824840e-10,4.695009e-10,1.407846e-09,1.464753e-09,3.523525e-09,4.363548e-09,7.201900e-09,1.045997e-08,1.316913e-08,2.135123e-08,2.220754e-08,3.519498e-08,3.900186e-08,5.304891e-08,6.550091e-08,7.663755e-08,1.027350e-07,1.067066e-07,1.438551e-07,1.521773e-07,1.885459e-07,2.148843e-07,2.411229e-07,2.915598e-07,3.018252e-07,3.707973e-07,3.826052e-07,4.480957e-07,4.881521e-07,5.336956e-07,6.080879e-07,6.274973e-07,7.293336e-07,7.420837e-07,8.389778e-07,8.896248e-07,9.561520e-07,1.050045e-06,1.080536e-06,1.211776e-06,1.222560e-06,1.349490e-06,1.406301e-06,1.493282e-06,1.600346e-06,1.642742e-06,1.797453e-06,1.803744e-06,1.957000e-06,2.015541e-06,2.120972e-06,2.234793e-06,2.288964e-06,2.460584e-06,2.635450e-06,2.692033e-06,2.813197e-06,2.928304e-06,2.993474e-06,3.168610e-06,3.175947e-06,3.360299e-06,3.412212e-06,3.546229e-06,3.658426e-06,3.733454e-06,3.906617e-06,3.921709e-06,4.110742e-06,4.156200e-06,4.300321e-06,4.406640e-06,4.490225e-06,4.657448e-06,4.680251e-06,4.870209e-06,4.908177e-06,5.059923e-06,5.158422e-06,5.249228e-06,5.407817e-06,5.437973e-06,5.626018e-06,5.656031e-06,5.813233e-06,5.902766e-06,5.999499e-06,6.147754e-06,6.184706e-06,6.368755e-06,6.390758e-06,6.551552e-06,6.631564e-06,6.733014e-06,6.869984e-06,6.913064e-06,7.091632e-06,7.105851e-06,7.268655e-06,7.339019e-06,7.444076e-06,7.569359e-06,7.617844e-06,7.789913e-06,7.796760e-06,7.960242e-06,8.021127e-06,8.128793e-06,8.242377e-06,8.295536e-06,8.460443e-06,8.623488e-06,8.675267e-06,8.784652e-06,8.886802e-06,8.943918e-06,9.095012e-06,9.101269e-06,9.256697e-06,9.299870e-06,9.410190e-06,9.501355e-06,9.561743e-06,9.699455e-06,9.711353e-06,9.859015e-06,9.894165e-06,1.000473e-05,1.008548e-05,1.014850e-05,1.027342e-05,1.029034e-05,1.043023e-05,1.045798e-05,1.056820e-05,1.063918e-05,1.070424e-05,1.081704e-05,1.083837e-05,1.097059e-05,1.099157e-05,1.110093e-05,1.116282e-05,1.122938e-05,1.133080e-05,1.135597e-05,1.148071e-05,1.149555e-05,1.160360e-05,1.165710e-05,1.172467e-05,1.181548e-05,1.184394e-05,1.196141e-05,1.197073e-05,1.207711e-05,1.212289e-05,1.219104e-05,1.227200e-05,1.230324e-05,1.241372e-05,1.241810e-05,1.252249e-05,1.256123e-05,1.262958e-05,1.270144e-05,1.273500e-05,1.283877e-05,1.297325e-05,1.310494e-05,1.323389e-05,1.336012e-05,1.348370e-05,1.360466e-05,1.372305e-05,1.383892e-05,1.395231e-05,1.406326e-05,1.417182e-05,1.427804e-05,1.438195e-05,1.448360e-05,1.458303e-05,1.468029e-05,1.477542e-05,1.486846e-05,1.495944e-05,1.504842e-05,1.513543e-05,1.522051e-05,1.530370e-05,1.538504e-05
0.000000e+00,5.346066e-12,1.674139e-11,9.066580e-11,2.777602e-10,4.644287e-10,1.418091e-09,1.476661e-09,3.637982e-09,4.539462e-09,7.646828e-09,1.129400e-08,1.436441e-08,2.370458e-08,2.468202e-08,3.939725e-08,4.366161e-08,5.919725e-08,7.273308e-08,8.468228e-08,1.122320e-07,1.163795e-07,1.547442e-07,1.632521e-07,2.001564e-07,2.266585e-07,2.529154e-07,3.030715e-07,3.132379e-07,3.812576e-07,3.928597e-07,4.570285e-07,4.961484e-07,5.405302e-07,6.128411e-07,6.316753e-07,7.303175e-07,7.426495e-07,8.362601e-07,8.851276e-07,9.492652e-07,1.039707e-06,1.069062e-06,1.195355e-06,1.205730e-06,1.327830e-06,1.382478e-06,1.466161e-06,1.569198e-06,1.610015e-06,1.759055e-06,1.765120e-06,1.912946e-06,1.969471e-06,2.071357e-06,2.181492e-06,2.233962e-06,2.400441e-06,2.570484e-06,2.625602e-06,2.743793e-06,2.856289e-06,2.920076e-06,3.091847e-06,3.099054e-06,3.280461e-06,3.331655e-06,3.464039e-06,3.575125e-06,3.649542e-06,3.821704e-06,3.836736e-06,4.025398e-06,4.070871e-06,4.215314e-06,4.322139e-06,4.406282e-06,4.575051e-06,4.598110e-06,4.790614e-06,4.829181e-06,4.983623e-06,5.084132e-06,5.176972e-06,5.339534e-06,5.370506e-06,5.564079e-06,5.595045e-06,5.757552e-06,5.850345e-06,5.950794e-06,6.105139e-06,6.143683e-06,6.336103e-06,6.359157e-06,6.527945e-06,6.612146e-06,6.719106e-06,6.863874e-06,6.909491e-06,7.099009e-06,7.114131e-06,7.287577e-06,7.362720e-06,7.475114e-06,7.609463e-06,7.661549e-06,7.846812e-06,7.854197e-06,8.030839e-06,8.096774e-06,8.213571e-06,8.337060e-06,8.394953e-06,8.574933e-06,8.753466e-06,8.810284e-06,8.930507e-06,9.043013e-06,9.106017e-06,9.273032e-06,9.279960e-06,9.452300e-06,9.500265e-06,9.623010e-06,9.724641e-06,9.792060e-06,9.946100e-06,9.959427e-06,1.012509e-05,1.016459e-05,1.028902e-05,1.038007e-05,1.045121e-05,1.059249e-05,1.061165e-05,1.077031e-05,1.080183e-05,1.092719e-05,1.100805e-05,1.108227e-05,1.121115e-05,1.123556e-05,1.138704e-05,1.141110e-05,1.153670e-05,1.160790e-05,1.168456e-05,1.180154e-05,1.183060e-05,1.197482e-05,1.199201e-05,1.211723e-05,1.217932e-05,1.225783e-05,1.236347e-05,1.239662e-05,1.253360e-05,1.254448e-05,1.266878e-05,1.272235e-05,1.280217e-05,1.289710e-05,1.293377e-05,1.306359e-05,1.306875e-05,1.319164e-05,1.323731e-05,1.331793e-05,1.340280e-05,1.344247e-05,1.356526e-05,1.372470e-05,1.388116e-05,1.403465e-05,1.418521e-05,1.433287e-05,1.447766e-05,1.461961e-05,1.475876e-05,1.489514e-05,1.502879e-05,1.515973e-05,1.528801e-05,1.541367e-05,1.553673e-05,1.565724e-05,1.577523e-05,1.589074e-05,1.600381e-05,1.611447e-05,1.622276e-05,1.632872e-05,1.643239e-05,1.653380e-05,1.663299e-05
0.000000e+00,4.746193e-18,5.414889e-17,1.989867e-15,2.134020e-14,6.284838e-14,6.352024e-13,6.900328e-13,4.253346e-12,6.590818e-12,1.822394e-11,3.850736e-11,6.082979e-11,1.568783e-10,1.693267e-10,4.107266e-10,4.995215e-10,8.945884e-10,1.330721e-09,1.787348e-09,3.098642e-09,3.327545e-09,5.841066e-09,6.496245e-09,9.755157e-09,1.251842e-08,1.560936e-08,2.250378e-08,2.406119e-08,3.588446e-08,3.814649e-08,5.195888e-08,6.146572e-08,7.325084e-08,9.472967e-08,1.007869e-07,1.356219e-07,1.403427e-07,1.788048e-07,2.007122e-07,2.313451e-07,2.781156e-07,2.941827e-07,3.681614e-07,3.745837e-07,4.540093e-07,4.918104e-07,5.523245e-07,6.310950e-07,6.635671e-07,7.880566e-07,7.933147e-07,9.259741e-07,9.789247e-07,1.077368e-06,1.187979e-06,1.242162e-06,1.420167e-06,1.611094e-06,1.674861e-06,1.814566e-06,1.951164e-06,2.030129e-06,2.247967e-06,2.257268e-06,2.495418e-06,2.563992e-06,2.743976e-06,2.897844e-06,3.002309e-06,3.248050e-06,3.269767e-06,3.545688e-06,3.613094e-06,3.829408e-06,3.991451e-06,4.120266e-06,4.381607e-06,4.417610e-06,4.720801e-06,4.782086e-06,5.029217e-06,5.191458e-06,5.342256e-06,5.608354e-06,5.659335e-06,5.979900e-06,6.031477e-06,6.303417e-06,6.459604e-06,6.629380e-06,6.891588e-06,6.957308e-06,7.286749e-06,7.326363e-06,7.617272e-06,7.762941e-06,7.948476e-06,8.200412e-06,8.279981e-06,8.611436e-06,8.637940e-06,8.942509e-06,9.074762e-06,9.272893e-06,9.510182e-06,9.602303e-06,9.930473e-06,9.943570e-06,1.025716e-05,1.037436e-05,1.058213e-05,1.080203e-05,1.090519e-05,1.122613e-05,1.154479e-05,1.164625e-05,1.186100e-05,1.206202e-05,1.217461e-05,1.247312e-05,1.248551e-05,1.279355e-05,1.287928e-05,1.309864e-05,1.328024e-05,1.340068e-05,1.367579e-05,1.369958e-05,1.399527e-05,1.406575e-05,1.428767e-05,1.444996e-05,1.457674e-05,1.482830e-05,1.486240e-05,1.514463e-05,1.520066e-05,1.542339e-05,1.556696e-05,1.569864e-05,1.592712e-05,1.597036e-05,1.623853e-05,1.628111e-05,1.650314e-05,1.662888e-05,1.676417e-05,1.697042e-05,1.702163e-05,1.727551e-05,1.730574e-05,1.752582e-05,1.763482e-05,1.777256e-05,1.795770e-05,1.801574e-05,1.825538e-05,1.827440e-05,1.849149e-05,1.858496e-05,1.872410e-05,1.888941e-05,1.895321e-05,1.917886e-05,1.918781e-05,1.940106e-05,1.948022e-05,1.961985e-05,1.976669e-05,1.983526e-05,2.004730e-05,2.032212e-05,2.059122e-05,2.085467e-05,2.111257e-05,2.136498e-05,2.161200e-05,2.185371e-05,2.209020e-05,2.232156e-05,2.254788e-05,2.276924e-05,2.298573e-05,2.319746e-05,2.340450e-05,2.360695e-05,2.380489e-05,2.399842e-05,2.418762e-05,2.437258e-05,2.455339e-05,2.473013e-05,2.490289e-05,2.507175e-05,2.523680e-05
0.000000e+00,1.360769e-13,6.564697e-13,5.681324e-12,2.158660e-11,3.899358e-11,1.350199e-10,1.410920e-10,3.690027e-10,4.647186e-10,7.937747e-10,1.177499e-09,1.499244e-09,2.478401e-09,2.581274e-09,4.146715e-09,4.607021e-09,6.310445e-09,7.827000e-09,9.188666e-09,1.239874e-08,1.288950e-08,1.750562e-08,1.854558e-08,2.311190e-08,2.643840e-08,2.976653e-08,3.619881e-08,3.751303e-08,4.638178e-08,4.790632e-08,5.639118e-08,6.160334e-08,6.754831e-08,7.729838e-08,7.984968e-08,9.328180e-08,9.496866e-08,1.078220e-07,1.145631e-07,1.234395e-07,1.360059e-07,1.400960e-07,1.577471e-07,1.592008e-07,1.763435e-07,1.840349e-07,1.958318e-07,2.103841e-07,2.161556e-07,2.372569e-07,2.381163e-07,2.590767e-07,2.670962e-07,2.815556e-07,2.971879e-07,3.046352e-07,3.282581e-07,3.523685e-07,3.601779e-07,3.769128e-07,3.928251e-07,4.018397e-07,4.260843e-07,4.271005e-07,4.526493e-07,4.598486e-07,4.784427e-07,4.940193e-07,5.044405e-07,5.285064e-07,5.306048e-07,5.569009e-07,5.632279e-07,5.832964e-07,5.981101e-07,6.097616e-07,6.330867e-07,6.362690e-07,6.627937e-07,6.680987e-07,6.893128e-07,7.030934e-07,7.158053e-07,7.380245e-07,7.422522e-07,7.686362e-07,7.728507e-07,7.949417e-07,8.075362e-07,8.211545e-07,8.420494e-07,8.472619e-07,8.732523e-07,8.763628e-07,8.991155e-07,9.104525e-07,9.248421e-07,9.442978e-07,9.504238e-07,9.758534e-07,9.778809e-07,1.001124e-06,1.011187e-06,1.026230e-06,1.044202e-06,1.051167e-06,1.075929e-06,1.076916e-06,1.100513e-06,1.109319e-06,1.124916e-06,1.141404e-06,1.149134e-06,1.173165e-06,1.197007e-06,1.204597e-06,1.220659e-06,1.235695e-06,1.244118e-06,1.266456e-06,1.267383e-06,1.290455e-06,1.296880e-06,1.313331e-06,1.326964e-06,1.336013e-06,1.356707e-06,1.358499e-06,1.380789e-06,1.386110e-06,1.402885e-06,1.415173e-06,1.424785e-06,1.443897e-06,1.446492e-06,1.468004e-06,1.472284e-06,1.489324e-06,1.500334e-06,1.510452e-06,1.528051e-06,1.531388e-06,1.552134e-06,1.555436e-06,1.572691e-06,1.582491e-06,1.593060e-06,1.609221e-06,1.613242e-06,1.633239e-06,1.635627e-06,1.653052e-06,1.661712e-06,1.672683e-06,1.687481e-06,1.692132e-06,1.711402e-06,1.712936e-06,1.730493e-06,1.738080e-06,1.749408e-06,1.762918e-06,1.768148e-06,1.786714e-06,1.787453e-06,1.805109e-06,1.811689e-06,1.823333e-06,1.835630e-06,1.841389e-06,1.859278e-06,1.882639e-06,1.905716e-06,1.928512e-06,1.951033e-06,1.973281e-06,1.995260e-06,2.016975e-06,2.038429e-06,2.059627e-06,2.080571e-06,2.101265e-06,2.121715e-06,2.141922e-06,2.161891e-06,2.181626e-06,2.201130e-06,2.220406e-06,2.239459e-06,2.258291e-06,2.276907e-06,2.295309e-06,2.313501e-06,2.331487e-06,2.349269e-06
0.000000e+00,3.073683e-17,3.400658e-16,1.174086e-14,1.189397e-13,3.394975e-13,3.165053e-12,3.426998e-12,1.950422e-11,2.957841e-11,7.749847e-11,1.568465e-10,2.409674e-10,5.845064e-10,6.276472e-10,1.430984e-09,1.715782e-09,2.942263e-09,4.245345e-09,5.571942e-09,9.242746e-09,9.867879e-09,1.652626e-08,1.821315e-08,2.638935e-08,3.310187e-08,4.042470e-08,5.620749e-08,5.968489e-08,8.525232e-08,8.999962e-08,1.181779e-07,1.368829e-07,1.594234e-07,1.989708e-07,2.098151e-07,2.700123e-07,2.779195e-07,3.404919e-07,3.748422e-07,4.215461e-07,4.902972e-07,5.132912e-07,6.156837e-07,6.243304e-07,7.285401e-07,7.765485e-07,8.515594e-07,9.462068e-07,9.843451e-07,1.126425e-06,1.132295e-06,1.277272e-06,1.333615e-06,1.436319e-06,1.548854e-06,1.602974e-06,1.776633e-06,1.956690e-06,2.015560e-06,2.142543e-06,2.264259e-06,2.333605e-06,2.521395e-06,2.529305e-06,2.729096e-06,2.785699e-06,2.932453e-06,3.055971e-06,3.138879e-06,3.331096e-06,3.347903e-06,3.559082e-06,3.610040e-06,3.772003e-06,3.891854e-06,3.986279e-06,4.175676e-06,4.201550e-06,4.417481e-06,4.460720e-06,4.633766e-06,4.746278e-06,4.850119e-06,5.031716e-06,5.066278e-06,5.282004e-06,5.316464e-06,5.497075e-06,5.600016e-06,5.711290e-06,5.881922e-06,5.924466e-06,6.136437e-06,6.161785e-06,6.347050e-06,6.439254e-06,6.556169e-06,6.714023e-06,6.763670e-06,6.969441e-06,6.985825e-06,7.173384e-06,7.254428e-06,7.375408e-06,7.519632e-06,7.575434e-06,7.773393e-06,7.781267e-06,7.969222e-06,8.039188e-06,8.162867e-06,8.293274e-06,8.354282e-06,8.543425e-06,8.730263e-06,8.789560e-06,8.914768e-06,9.031614e-06,9.096914e-06,9.269539e-06,9.276684e-06,9.454063e-06,9.503299e-06,9.629041e-06,9.732872e-06,9.801610e-06,9.958244e-06,9.971768e-06,1.013951e-05,1.017941e-05,1.030485e-05,1.039639e-05,1.046778e-05,1.060917e-05,1.062831e-05,1.078646e-05,1.081780e-05,1.094222e-05,1.102229e-05,1.109563e-05,1.122267e-05,1.124668e-05,1.139540e-05,1.141899e-05,1.154181e-05,1.161127e-05,1.168592e-05,1.179957e-05,1.182776e-05,1.196734e-05,1.198394e-05,1.210469e-05,1.216442e-05,1.223982e-05,1.234106e-05,1.237277e-05,1.250355e-05,1.251392e-05,1.263219e-05,1.268306e-05,1.275872e-05,1.284853e-05,1.288316e-05,1.300553e-05,1.301039e-05,1.312587e-05,1.316870e-05,1.324419e-05,1.332351e-05,1.336053e-05,1.347490e-05,1.362292e-05,1.376763e-05,1.390910e-05,1.404738e-05,1.418253e-05,1.431462e-05,1.444370e-05,1.456984e-05,1.469310e-05,1.481353e-05,1.493119e-05,1.504615e-05,1.515844e-05,1.526815e-05,1.537531e-05,1.547999e-05,1.558223e-05,1.568210e-05,1.577964e-05,1.587490e-05,1.596794e-05,1.605880e-05,1.614754e-05,1.623421e-05
0.000000e+00,1.061010e-11,3.334221e-11,1.820778e-10,5.636278e-10,9.493163e-10,2.973250e-09,3.099936e-09,7.918637e-09,9.996042e-09,1.737896e-08,2.636433e-08,3.411316e-08,5.831309e-08,6.088264e-08,1.000361e-07,1.114918e-07,1.534467e-07,1.901706e-07,2.226624e-07,2.977138e-07,3.090227e-07,4.137112e-07,4.369427e-07,5.377722e-07,6.102455e-07,6.821090e-07,8.195792e-07,8.474784e-07,1.034484e-06,1.066445e-06,1.243575e-06,1.351876e-06,1.475047e-06,1.676442e-06,1.729047e-06,2.005581e-06,2.040275e-06,2.304530e-06,2.443112e-06,2.625659e-06,2.884346e-06,2.968630e-06,3.333019e-06,3.363081e-06,3.718327e-06,3.878184e-06,4.123994e-06,4.428338e-06,4.549407e-06,4.993917e-06,5.012085e-06,5.456840e-06,5.627865e-06,5.937473e-06,6.274051e-06,6.435094e-06,6.948970e-06,7.478366e-06,7.650929e-06,8.022540e-06,8.378226e-06,8.580755e-06,9.129174e-06,9.152281e-06,9.736393e-06,9.902102e-06,1.033238e-05,1.069537e-05,1.093953e-05,1.150738e-05,1.155716e-05,1.218460e-05,1.233657e-05,1.282119e-05,1.318144e-05,1.346628e-05,1.404051e-05,1.411926e-05,1.477951e-05,1.491238e-05,1.544643e-05,1.579568e-05,1.611946e-05,1.668911e-05,1.679803e-05,1.748159e-05,1.759139e-05,1.816962e-05,1.850131e-05,1.886161e-05,1.941772e-05,1.955706e-05,2.025550e-05,2.033949e-05,2.095646e-05,2.126556e-05,2.165949e-05,2.219492e-05,2.236417e-05,2.307008e-05,2.312659e-05,2.377681e-05,2.405965e-05,2.448398e-05,2.499321e-05,2.519123e-05,2.589818e-05,2.592645e-05,2.660451e-05,2.685857e-05,2.730987e-05,2.778881e-05,2.801396e-05,2.871646e-05,2.941709e-05,2.964086e-05,3.011558e-05,3.056135e-05,3.081164e-05,3.147735e-05,3.150503e-05,3.219550e-05,3.238828e-05,3.288283e-05,3.329362e-05,3.356679e-05,3.419287e-05,3.424717e-05,3.492376e-05,3.508556e-05,3.559639e-05,3.597126e-05,3.626486e-05,3.684955e-05,3.692901e-05,3.758868e-05,3.772006e-05,3.824370e-05,3.858244e-05,3.889395e-05,3.943635e-05,3.953927e-05,4.017954e-05,4.028150e-05,4.081463e-05,4.111761e-05,4.144445e-05,4.194442e-05,4.206887e-05,4.268781e-05,4.276171e-05,4.330116e-05,4.356925e-05,4.390885e-05,4.436685e-05,4.451078e-05,4.510690e-05,4.515434e-05,4.569714e-05,4.593157e-05,4.628142e-05,4.669839e-05,4.685970e-05,4.743192e-05,4.745468e-05,4.799804e-05,4.820034e-05,4.855802e-05,4.893528e-05,4.911182e-05,4.965942e-05,5.037269e-05,5.107504e-05,5.176644e-05,5.244686e-05,5.311628e-05,5.377470e-05,5.442212e-05,5.505855e-05,5.568402e-05,5.629855e-05,5.690219e-05,5.749497e-05,5.807696e-05,5.864821e-05,5.920878e-05,5.975874e-05,6.029818e-05,6.082717e-05,6.134579e-05,6.185413e-05,6.235229e-05,6.284037e-05,6.331846e-05,6.378666e-05
0.000000e+00,8.343419e-15,6.414226e-14,1.102500e-12,6.321949e-12,1.354229e-11,6.489044e-11,6.853216e-11,2.226502e-10,2.942013e-10,5.589712e-10,8.934809e-10,1.189392e-09,2.151353e-09,2.256661e-09,3.928782e-09,4.439694e-09,6.380593e-09,8.155100e-09,9.773048e-09,1.364656e-08,1.424405e-08,1.990955e-08,2.119489e-08,2.686729e-08,3.102378e-08,3.519910e-08,4.330901e-08,4.497178e-08,5.623714e-08,5.818078e-08,6.903178e-08,7.572327e-08,8.337713e-08,9.597485e-08,9.927981e-08,1.167324e-07,1.189300e-07,1.357144e-07,1.445431e-07,1.561938e-07,1.727339e-07,1.781283e-07,2.014675e-07,2.033936e-07,2.261536e-07,2.363914e-07,2.521241e-07,2.715808e-07,2.793123e-07,3.076491e-07,3.088055e-07,3.370642e-07,3.479040e-07,3.674868e-07,3.887139e-07,3.988468e-07,4.310750e-07,4.641042e-07,4.748320e-07,4.978691e-07,5.198356e-07,5.323068e-07,5.659443e-07,5.673574e-07,6.029633e-07,6.130250e-07,6.390701e-07,6.609529e-07,6.756260e-07,7.096121e-07,7.125823e-07,7.498928e-07,7.588952e-07,7.875143e-07,8.087028e-07,8.254060e-07,8.589438e-07,8.635297e-07,9.018495e-07,9.095341e-07,9.403321e-07,9.603968e-07,9.789460e-07,1.011462e-06,1.017662e-06,1.056452e-06,1.062664e-06,1.095292e-06,1.113945e-06,1.134156e-06,1.165251e-06,1.173024e-06,1.211873e-06,1.216533e-06,1.250686e-06,1.267747e-06,1.289443e-06,1.318851e-06,1.328128e-06,1.366726e-06,1.369809e-06,1.405221e-06,1.420587e-06,1.443601e-06,1.471155e-06,1.481852e-06,1.519963e-06,1.521485e-06,1.557924e-06,1.571551e-06,1.595723e-06,1.621331e-06,1.633353e-06,1.670804e-06,1.708067e-06,1.719951e-06,1.745137e-06,1.768756e-06,1.782005e-06,1.817204e-06,1.818666e-06,1.855114e-06,1.865280e-06,1.891343e-06,1.912973e-06,1.927348e-06,1.960272e-06,1.963126e-06,1.998671e-06,2.007167e-06,2.033981e-06,2.053650e-06,2.069051e-06,2.099713e-06,2.103879e-06,2.138462e-06,2.145348e-06,2.172796e-06,2.190552e-06,2.206881e-06,2.235318e-06,2.240714e-06,2.274293e-06,2.279642e-06,2.307616e-06,2.323521e-06,2.340683e-06,2.366951e-06,2.373493e-06,2.406043e-06,2.409932e-06,2.438334e-06,2.452459e-06,2.470364e-06,2.494533e-06,2.502134e-06,2.533643e-06,2.536153e-06,2.564891e-06,2.577317e-06,2.595877e-06,2.618026e-06,2.626603e-06,2.657067e-06,2.658280e-06,2.687271e-06,2.698080e-06,2.717214e-06,2.737427e-06,2.746897e-06,2.776322e-06,2.814766e-06,2.852761e-06,2.890309e-06,2.927412e-06,2.964073e-06,3.000294e-06,3.036078e-06,3.071427e-06,3.106345e-06,3.140834e-06,3.174898e-06,3.208541e-06,3.241764e-06,3.274573e-06,3.306970e-06,3.338959e-06,3.370544e-06,3.401729e-06,3.432517e-06,3.462912e-06,3.492918e-06,3.522538e-06,3.551778e-06,3.580640e-06
0.000000e+00,7.634082e-19,8.914748e-18,3.440463e-16,3.860062e-15,1.165594e-14,1.257371e-13,1.369554e-13,9.012236e-13,1.421651e-12,4.111628e-12,9.009771e-12,1.457395e-11,3.962241e-11,4.295817e-11,1.100171e-10,1.354970e-10,2.522433e-10,3.856520e-10,5.289218e-10,9.544603e-10,1.030406e-09,1.887329e-09,2.116272e-09,3.280327e-09,4.293686e-09,5.449733e-09,8.095970e-09,8.704632e-09,1.343057e-08,1.435330e-08,2.009534e-08,2.414228e-08,2.925227e-08,3.879894e-08,4.154067e-08,5.768333e-08,5.991672e-08,7.848097e-08,8.932861e-08,1.048038e-07,1.290742e-07,1.375807e-07,1.777864e-07,1.813537e-07,2.264263e-07,2.484724e-07,2.845214e-07,3.327775e-07,3.530915e-07,4.331391e-07,4.365935e-07,5.256334e-07,5.621574e-07,6.314952e-07,7.115577e-07,7.515829e-07,8.866804e-07,1.037486e-06,1.089162e-06,1.204603e-06,1.320355e-06,1.388535e-06,1.581298e-06,1.589678e-06,1.808321e-06,1.872703e-06,2.044639e-06,2.194946e-06,2.298700e-06,2.548074e-06,2.570464e-06,2.859787e-06,2.931812e-06,3.166423e-06,3.345580e-06,3.490036e-06,3.788522e-06,3.830199e-06,4.186408e-06,4.259526e-06,4.558085e-06,4.757258e-06,4.944587e-06,5.280195e-06,5.345215e-06,5.759222e-06,5.826652e-06,6.185819e-06,6.394818e-06,6.624186e-06,6.982786e-06,7.073477e-06,7.532825e-06,7.588581e-06,8.001354e-06,8.210188e-06,8.478181e-06,8.845576e-06,8.962423e-06,9.453202e-06,9.492720e-06,9.949648e-06,1.014962e-05,1.045091e-05,1.081432e-05,1.095614e-05,1.146454e-05,1.148493e-05,1.197530e-05,1.215960e-05,1.248765e-05,1.283659e-05,1.300087e-05,1.351423e-05,1.402705e-05,1.419094e-05,1.453869e-05,1.486523e-05,1.504852e-05,1.553572e-05,1.555596e-05,1.606046e-05,1.620112e-05,1.656149e-05,1.686023e-05,1.705855e-05,1.751196e-05,1.755120e-05,1.803900e-05,1.815531e-05,1.852156e-05,1.878936e-05,1.899850e-05,1.941329e-05,1.946949e-05,1.993420e-05,2.002637e-05,2.039237e-05,2.062794e-05,2.084372e-05,2.121741e-05,2.128802e-05,2.172506e-05,2.179430e-05,2.215465e-05,2.235815e-05,2.257662e-05,2.290861e-05,2.299083e-05,2.339715e-05,2.344537e-05,2.379547e-05,2.396817e-05,2.418570e-05,2.447682e-05,2.456776e-05,2.494161e-05,2.497116e-05,2.530719e-05,2.545110e-05,2.566448e-05,2.591658e-05,2.601345e-05,2.635411e-05,2.636757e-05,2.668647e-05,2.680409e-05,2.701054e-05,2.722619e-05,2.732635e-05,2.763394e-05,2.802746e-05,2.840687e-05,2.877231e-05,2.912397e-05,2.946203e-05,2.978669e-05,3.009817e-05,3.039671e-05,3.068254e-05,3.095592e-05,3.121710e-05,3.146635e-05,3.170393e-05,3.193012e-05,3.214519e-05,3.234943e-05,3.254312e-05,3.272653e-05,3.289995e-05,3.306366e-05,3.321793e-05,3.336305e-05,3.349929e-05,3.362692e-05
0.000000e+00,1.431378e-11,4.422841e-11,2.362129e-10,7.183291e-10,1.196787e-09,3.616614e-09,3.764142e-09,9.142267e-09,1.135494e-08,1.889026e-08,2.762982e-08,3.495610e-08,5.733627e-08,5.969684e-08,9.581738e-08,1.064970e-07,1.461663e-07,1.816023e-07,2.134651e-07,2.886437e-07,3.001402e-07,4.082946e-07,4.326672e-07,5.397413e-07,6.178249e-07,6.960367e-07,8.474999e-07,8.785001e-07,1.088222e-06,1.124367e-06,1.326065e-06,1.450414e-06,1.592669e-06,1.826949e-06,1.888453e-06,2.213622e-06,2.254619e-06,2.568179e-06,2.733453e-06,2.951938e-06,3.262910e-06,3.364539e-06,3.805467e-06,3.841947e-06,4.274070e-06,4.469091e-06,4.769577e-06,5.142515e-06,5.291116e-06,5.837734e-06,5.860106e-06,6.408409e-06,6.619536e-06,7.002068e-06,7.418319e-06,7.617600e-06,8.253864e-06,8.909707e-06,9.123521e-06,9.583964e-06,1.002462e-05,1.027548e-05,1.095449e-05,1.098309e-05,1.170565e-05,1.191050e-05,1.244205e-05,1.289008e-05,1.319119e-05,1.389070e-05,1.395197e-05,1.472335e-05,1.490994e-05,1.550431e-05,1.594546e-05,1.629385e-05,1.699499e-05,1.709102e-05,1.789488e-05,1.805638e-05,1.870455e-05,1.912758e-05,1.951915e-05,2.020661e-05,2.033785e-05,2.115986e-05,2.129164e-05,2.198441e-05,2.238088e-05,2.281077e-05,2.347268e-05,2.363823e-05,2.446613e-05,2.456547e-05,2.529381e-05,2.565777e-05,2.612068e-05,2.674819e-05,2.694615e-05,2.776966e-05,2.783544e-05,2.859069e-05,2.891829e-05,2.940873e-05,2.999561e-05,3.022332e-05,3.103400e-05,3.106634e-05,3.184035e-05,3.212949e-05,3.264196e-05,3.318417e-05,3.343847e-05,3.422952e-05,3.501476e-05,3.526476e-05,3.579389e-05,3.628919e-05,3.656661e-05,3.730214e-05,3.733265e-05,3.809175e-05,3.830303e-05,3.884368e-05,3.929130e-05,3.958821e-05,4.026647e-05,4.032514e-05,4.105427e-05,4.122809e-05,4.177545e-05,4.217577e-05,4.248850e-05,4.310915e-05,4.319328e-05,4.388966e-05,4.402792e-05,4.457753e-05,4.493181e-05,4.525677e-05,4.582060e-05,4.592729e-05,4.658901e-05,4.669406e-05,4.724186e-05,4.755206e-05,4.788577e-05,4.839443e-05,4.852070e-05,4.914659e-05,4.922109e-05,4.976342e-05,5.003195e-05,5.037117e-05,5.082696e-05,5.096981e-05,5.155933e-05,5.160610e-05,5.213974e-05,5.236935e-05,5.271103e-05,5.311673e-05,5.327323e-05,5.382635e-05,5.384828e-05,5.437041e-05,5.456406e-05,5.490544e-05,5.526412e-05,5.543148e-05,5.594856e-05,5.661748e-05,5.727100e-05,5.790924e-05,5.853234e-05,5.914045e-05,5.973373e-05,6.031235e-05,6.087648e-05,6.142631e-05,6.196203e-05,6.248383e-05,6.299191e-05,6.348648e-05,6.396774e-05,6.443592e-05,6.489122e-05,6.533387e-05,6.576408e-05,6.618208e-05,6.658808e-05,6.698232e-05,6.736502e-05,6.773640e-05,6.809669e-05
0.000000e+00,1.339043e-15,1.335541e-14,3.731820e-13,3.136761e-12,8.102668e-12,5.890058e-11,6.315124e-11,2.847921e-10,4.064044e-10,9.180942e-10,1.656077e-09,2.365769e-09,4.909241e-09,5.204135e-09,1.018859e-08,1.180427e-08,1.825348e-08,2.452166e-08,3.050712e-08,4.575854e-08,4.821704e-08,7.277846e-08,7.864184e-08,1.056641e-07,1.265499e-07,1.483635e-07,1.928774e-07,2.023257e-07,2.689165e-07,2.808286e-07,3.493910e-07,3.932868e-07,4.448785e-07,5.327524e-07,5.563759e-07,6.847441e-07,7.013178e-07,8.307060e-07,9.006585e-07,9.948461e-07,1.132030e-06,1.177611e-06,1.379312e-06,1.396272e-06,1.600127e-06,1.693822e-06,1.840111e-06,2.024735e-06,2.099197e-06,2.377207e-06,2.388717e-06,2.673864e-06,2.785157e-06,2.988800e-06,3.213170e-06,3.321565e-06,3.671640e-06,4.038447e-06,4.159258e-06,4.421358e-06,4.674566e-06,4.819706e-06,5.215992e-06,5.232789e-06,5.659886e-06,5.781883e-06,6.100255e-06,6.370535e-06,6.553146e-06,6.980216e-06,7.017804e-06,7.493473e-06,7.609189e-06,7.979403e-06,8.255728e-06,8.474849e-06,8.918132e-06,8.979079e-06,9.491374e-06,9.594739e-06,1.001103e-05,1.028393e-05,1.053736e-05,1.098414e-05,1.106969e-05,1.160737e-05,1.169386e-05,1.214978e-05,1.241164e-05,1.269631e-05,1.313610e-05,1.324636e-05,1.379937e-05,1.386591e-05,1.435480e-05,1.459982e-05,1.491212e-05,1.533663e-05,1.547082e-05,1.603043e-05,1.607522e-05,1.659048e-05,1.681452e-05,1.715053e-05,1.755353e-05,1.771016e-05,1.826897e-05,1.829130e-05,1.882657e-05,1.902694e-05,1.938259e-05,1.975962e-05,1.993670e-05,2.048856e-05,2.103786e-05,2.121305e-05,2.158431e-05,2.193240e-05,2.212762e-05,2.264600e-05,2.266753e-05,2.320379e-05,2.335326e-05,2.373617e-05,2.405365e-05,2.426445e-05,2.474667e-05,2.478842e-05,2.530789e-05,2.543187e-05,2.582268e-05,2.610885e-05,2.633261e-05,2.677721e-05,2.683754e-05,2.733731e-05,2.743663e-05,2.783179e-05,2.808679e-05,2.832086e-05,2.872741e-05,2.880440e-05,2.928231e-05,2.935825e-05,2.975449e-05,2.997908e-05,3.022086e-05,3.058972e-05,3.068134e-05,3.113586e-05,3.118999e-05,3.158435e-05,3.177976e-05,3.202676e-05,3.235891e-05,3.246305e-05,3.289318e-05,3.292732e-05,3.331710e-05,3.348493e-05,3.373480e-05,3.403167e-05,3.414624e-05,3.455142e-05,3.456750e-05,3.495032e-05,3.509239e-05,3.534294e-05,3.560633e-05,3.572928e-05,3.610933e-05,3.660140e-05,3.708257e-05,3.755289e-05,3.801240e-05,3.846117e-05,3.889927e-05,3.932678e-05,3.974379e-05,4.015039e-05,4.054669e-05,4.093281e-05,4.130884e-05,4.167492e-05,4.203117e-05,4.237772e-05,4.271469e-05,4.304224e-05,4.336049e-05,4.366958e-05,4.396967e-05,4.426090e-05,4.454342e-05,4.481737e-05,4.508291e-05
0.000000e+00,3.059205e-13,1.954279e-12,2.486709e-11,1.171618e-10,2.307500e-10,9.418204e-10,9.895768e-10,2.908053e-09,3.765636e-09,6.871964e-09,1.073298e-08,1.412817e-08,2.515305e-08,2.636206e-08,4.564414e-08,5.156412e-08,7.412969e-08,9.481152e-08,1.136702e-07,1.587077e-07,1.656334e-07,2.309503e-07,2.456744e-07,3.102324e-07,3.571131e-07,4.038646e-07,4.937670e-07,5.120620e-07,6.349011e-07,6.559126e-07,7.723359e-07,8.434467e-07,9.242087e-07,1.055930e-06,1.090258e-06,1.270129e-06,1.292622e-06,1.463377e-06,1.552513e-06,1.669485e-06,1.834374e-06,1.887874e-06,2.117911e-06,2.136797e-06,2.358924e-06,2.458247e-06,2.610213e-06,2.797102e-06,2.871061e-06,3.140741e-06,3.151702e-06,3.418530e-06,3.520381e-06,3.703710e-06,3.901496e-06,3.995580e-06,4.293456e-06,4.596677e-06,4.694732e-06,4.904607e-06,5.103873e-06,5.216641e-06,5.519516e-06,5.532199e-06,5.850736e-06,5.940388e-06,6.171733e-06,6.365310e-06,6.494706e-06,6.793193e-06,6.819198e-06,7.144782e-06,7.223039e-06,7.471059e-06,7.653938e-06,7.797660e-06,8.085061e-06,8.124239e-06,8.450476e-06,8.515656e-06,8.776077e-06,8.945046e-06,9.100768e-06,9.372621e-06,9.424298e-06,9.746434e-06,9.797832e-06,1.006696e-05,1.022019e-05,1.038569e-05,1.063926e-05,1.070245e-05,1.101706e-05,1.105466e-05,1.132938e-05,1.146604e-05,1.163928e-05,1.187311e-05,1.194664e-05,1.225135e-05,1.227561e-05,1.255330e-05,1.267329e-05,1.285242e-05,1.306598e-05,1.314862e-05,1.344183e-05,1.345350e-05,1.373200e-05,1.383571e-05,1.401907e-05,1.421248e-05,1.430300e-05,1.458374e-05,1.486126e-05,1.494938e-05,1.513554e-05,1.530936e-05,1.540655e-05,1.566363e-05,1.567428e-05,1.593872e-05,1.601217e-05,1.619985e-05,1.635494e-05,1.645767e-05,1.669195e-05,1.671219e-05,1.696339e-05,1.702319e-05,1.721130e-05,1.734870e-05,1.745592e-05,1.766847e-05,1.769726e-05,1.793533e-05,1.798256e-05,1.817015e-05,1.829098e-05,1.840174e-05,1.859379e-05,1.863012e-05,1.885530e-05,1.889103e-05,1.907731e-05,1.918275e-05,1.929617e-05,1.946902e-05,1.951192e-05,1.972457e-05,1.974988e-05,1.993415e-05,2.002540e-05,2.014070e-05,2.029566e-05,2.034423e-05,2.054479e-05,2.056071e-05,2.074240e-05,2.082062e-05,2.093709e-05,2.107548e-05,2.112889e-05,2.131784e-05,2.132534e-05,2.150397e-05,2.157029e-05,2.168731e-05,2.181041e-05,2.186790e-05,2.204576e-05,2.227642e-05,2.250248e-05,2.272400e-05,2.294107e-05,2.315376e-05,2.336214e-05,2.356631e-05,2.376632e-05,2.396226e-05,2.415421e-05,2.434222e-05,2.452639e-05,2.470678e-05,2.488347e-05,2.505652e-05,2.522601e-05,2.539200e-05,2.555457e-05,2.571378e-05,2.586970e-05,2.602240e-05,2.617193e-05,2.631837e-05,2.646177e-05
0.000000e+00,2.237585e-12,7.032272e-12,3.803326e-11,1.157781e-10,1.926274e-10,5.780667e-10,6.014342e-10,1.446670e-09,1.791603e-09,2.957935e-09,4.298832e-09,5.415719e-09,8.799434e-09,9.154441e-09,1.455684e-08,1.614609e-08,2.202766e-08,2.725853e-08,3.194566e-08,4.294461e-08,4.461901e-08,6.026942e-08,6.377061e-08,7.904092e-08,9.006501e-08,1.010161e-07,1.219779e-07,1.262300e-07,1.546793e-07,1.595295e-07,1.863290e-07,2.026401e-07,2.211163e-07,2.511479e-07,2.589547e-07,2.997367e-07,3.048225e-07,3.433368e-07,3.633781e-07,3.896153e-07,4.264853e-07,4.384205e-07,4.895924e-07,4.937835e-07,5.429653e-07,5.648929e-07,5.983702e-07,6.394249e-07,6.556378e-07,7.146000e-07,7.169914e-07,7.750918e-07,7.972124e-07,8.369532e-07,8.797221e-07,9.000296e-07,9.641732e-07,1.029243e-06,1.050239e-06,1.095107e-06,1.137618e-06,1.161639e-06,1.226030e-06,1.228723e-06,1.296248e-06,1.315221e-06,1.364115e-06,1.404959e-06,1.432228e-06,1.495035e-06,1.500500e-06,1.568853e-06,1.585262e-06,1.637213e-06,1.675472e-06,1.705512e-06,1.765517e-06,1.773690e-06,1.841689e-06,1.855264e-06,1.909461e-06,1.944596e-06,1.976958e-06,2.033412e-06,2.044138e-06,2.110964e-06,2.121621e-06,2.177401e-06,2.209144e-06,2.243420e-06,2.295914e-06,2.308992e-06,2.374092e-06,2.381872e-06,2.438699e-06,2.466965e-06,2.502794e-06,2.551152e-06,2.566358e-06,2.629377e-06,2.634394e-06,2.691837e-06,2.716662e-06,2.753726e-06,2.797928e-06,2.815036e-06,2.875756e-06,2.878172e-06,2.935880e-06,2.957377e-06,2.995402e-06,3.035530e-06,3.054316e-06,3.112620e-06,3.170309e-06,3.188640e-06,3.227383e-06,3.263586e-06,3.283839e-06,3.337456e-06,3.339677e-06,3.394897e-06,3.410248e-06,3.449500e-06,3.481966e-06,3.503487e-06,3.552612e-06,3.556859e-06,3.609619e-06,3.622190e-06,3.661769e-06,3.690708e-06,3.713312e-06,3.758171e-06,3.764252e-06,3.814592e-06,3.824588e-06,3.864335e-06,3.889968e-06,3.913487e-06,3.954320e-06,3.962051e-06,4.010031e-06,4.017655e-06,4.057434e-06,4.079983e-06,4.104262e-06,4.141316e-06,4.150523e-06,4.196220e-06,4.201666e-06,4.241358e-06,4.261044e-06,4.285945e-06,4.319464e-06,4.329984e-06,4.373481e-06,4.376938e-06,4.416442e-06,4.433478e-06,4.458873e-06,4.489099e-06,4.500780e-06,4.542167e-06,4.543812e-06,4.583042e-06,4.597632e-06,4.623409e-06,4.650572e-06,4.663275e-06,4.702646e-06,4.753865e-06,4.804245e-06,4.853799e-06,4.902539e-06,4.950479e-06,4.997632e-06,5.044012e-06,5.089631e-06,5.134503e-06,5.178639e-06,5.222054e-06,5.264758e-06,5.306765e-06,5.348087e-06,5.388736e-06,5.428724e-06,5.468062e-06,5.506763e-06,5.544837e-06,5.582296e-06,5.619151e-06,5.655413e-06,5.691092e-06,5.726200e-06
0.000000e+00,1.470366e-12,4.461284e-12,2.330903e-11,6.995807e-11,1.158413e-10,3.449239e-10,3.587789e-10,8.582285e-10,1.061214e-09,1.744397e-09,2.524300e-09,3.169826e-09,5.105983e-09,5.307617e-09,8.348286e-09,9.234666e-09,1.249305e-08,1.537156e-08,1.794246e-08,2.396629e-08,2.488371e-08,3.348220e-08,3.541358e-08,4.387856e-08,5.003468e-08,5.618891e-08,6.807714e-08,7.050584e-08,8.689937e-08,8.971856e-08,1.054178e-07,1.150703e-07,1.260887e-07,1.441811e-07,1.489199e-07,1.739010e-07,1.770421e-07,2.010049e-07,2.135927e-07,2.301894e-07,2.537277e-07,2.613995e-07,2.945690e-07,2.973050e-07,3.296227e-07,3.441534e-07,3.664779e-07,3.940799e-07,4.050466e-07,4.452368e-07,4.468768e-07,4.869537e-07,5.023271e-07,5.301014e-07,5.602101e-07,5.745839e-07,6.203055e-07,6.671721e-07,6.823961e-07,7.150916e-07,7.462711e-07,7.639744e-07,8.117274e-07,8.137335e-07,8.642855e-07,8.785711e-07,9.155499e-07,9.466184e-07,9.674499e-07,1.015696e-06,1.019912e-06,1.072867e-06,1.085642e-06,1.126248e-06,1.156304e-06,1.179992e-06,1.227540e-06,1.234040e-06,1.288337e-06,1.299221e-06,1.342829e-06,1.371225e-06,1.397466e-06,1.443440e-06,1.452203e-06,1.506994e-06,1.515764e-06,1.561801e-06,1.588101e-06,1.616583e-06,1.660367e-06,1.671305e-06,1.725934e-06,1.732482e-06,1.780439e-06,1.804374e-06,1.834790e-06,1.875977e-06,1.888961e-06,1.942926e-06,1.947233e-06,1.996662e-06,2.018088e-06,2.050148e-06,2.088492e-06,2.103364e-06,2.156292e-06,2.158403e-06,2.208914e-06,2.227781e-06,2.261216e-06,2.296591e-06,2.313183e-06,2.364802e-06,2.416061e-06,2.432387e-06,2.466950e-06,2.499320e-06,2.517459e-06,2.565582e-06,2.567580e-06,2.617303e-06,2.631154e-06,2.666623e-06,2.696019e-06,2.715533e-06,2.760163e-06,2.764028e-06,2.812102e-06,2.823577e-06,2.859752e-06,2.886250e-06,2.906975e-06,2.948175e-06,2.953767e-06,3.000126e-06,3.009345e-06,3.046049e-06,3.069757e-06,3.091537e-06,3.129408e-06,3.136587e-06,3.181198e-06,3.188296e-06,3.225372e-06,3.246420e-06,3.269108e-06,3.303781e-06,3.312406e-06,3.355267e-06,3.360381e-06,3.397692e-06,3.416222e-06,3.439684e-06,3.471307e-06,3.481242e-06,3.522369e-06,3.525641e-06,3.563068e-06,3.579227e-06,3.603339e-06,3.632072e-06,3.643187e-06,3.682612e-06,3.684181e-06,3.721619e-06,3.735559e-06,3.760209e-06,3.786215e-06,3.798387e-06,3.836154e-06,3.885384e-06,3.933913e-06,3.981748e-06,4.028898e-06,4.075371e-06,4.121175e-06,4.166319e-06,4.210812e-06,4.254662e-06,4.297879e-06,4.340471e-06,4.382447e-06,4.423816e-06,4.464587e-06,4.504769e-06,4.544371e-06,4.583401e-06,4.621870e-06,4.659785e-06,4.697155e-06,4.733989e-06,4.770296e-06,4.806084e-06,4.841361e-06
0.000000e+00,3.159734e-12,9.646237e-12,5.083426e-11,1.535525e-10,2.551553e-10,7.673574e-10,7.985394e-10,1.934015e-09,2.400840e-09,3.990183e-09,5.832771e-09,7.376183e-09,1.207698e-08,1.257113e-08,2.008349e-08,2.228650e-08,3.040276e-08,3.757653e-08,4.397747e-08,5.894059e-08,6.121509e-08,8.248601e-08,8.725428e-08,1.081250e-07,1.232839e-07,1.384299e-07,1.676824e-07,1.736595e-07,2.140310e-07,2.209798e-07,2.597181e-07,2.835757e-07,3.108505e-07,3.557362e-07,3.675141e-07,4.297522e-07,4.375960e-07,4.975678e-07,5.291659e-07,5.709262e-07,6.303448e-07,6.497591e-07,7.339678e-07,7.409331e-07,8.234272e-07,8.606488e-07,9.179900e-07,9.891426e-07,1.017490e-06,1.121746e-06,1.126012e-06,1.230564e-06,1.270817e-06,1.343743e-06,1.423089e-06,1.461074e-06,1.582345e-06,1.707342e-06,1.748094e-06,1.835852e-06,1.919843e-06,1.967661e-06,2.097107e-06,2.102559e-06,2.240340e-06,2.279408e-06,2.380802e-06,2.466282e-06,2.523746e-06,2.657282e-06,2.668980e-06,2.816320e-06,2.851974e-06,2.965584e-06,3.049947e-06,3.116598e-06,3.250805e-06,3.269195e-06,3.423214e-06,3.454174e-06,3.578499e-06,3.659698e-06,3.734903e-06,3.867042e-06,3.892282e-06,4.050502e-06,4.075886e-06,4.209432e-06,4.285934e-06,4.368948e-06,4.496903e-06,4.528932e-06,4.689271e-06,4.708530e-06,4.849858e-06,4.920568e-06,5.010591e-06,5.132786e-06,5.171373e-06,5.332113e-06,5.344968e-06,5.492724e-06,5.556914e-06,5.653123e-06,5.768435e-06,5.813232e-06,5.972978e-06,5.979359e-06,6.132291e-06,6.189524e-06,6.291104e-06,6.398781e-06,6.449358e-06,6.606993e-06,6.763954e-06,6.814031e-06,6.920191e-06,7.019779e-06,7.075654e-06,7.224131e-06,7.230300e-06,7.384086e-06,7.426987e-06,7.536973e-06,7.628258e-06,7.688924e-06,7.827863e-06,7.839905e-06,7.989884e-06,8.025727e-06,8.138833e-06,8.221784e-06,8.286724e-06,8.415974e-06,8.433533e-06,8.579236e-06,8.608242e-06,8.723813e-06,8.798541e-06,8.867245e-06,8.986830e-06,9.009514e-06,9.150605e-06,9.173069e-06,9.290504e-06,9.357229e-06,9.429199e-06,9.539280e-06,9.566678e-06,9.702932e-06,9.719200e-06,9.837952e-06,9.896968e-06,9.971732e-06,1.007257e-05,1.010426e-05,1.023555e-05,1.024599e-05,1.036557e-05,1.041723e-05,1.049434e-05,1.058627e-05,1.062185e-05,1.074810e-05,1.075312e-05,1.087308e-05,1.091777e-05,1.099681e-05,1.108022e-05,1.111928e-05,1.124049e-05,1.139857e-05,1.155447e-05,1.170820e-05,1.185978e-05,1.200922e-05,1.215653e-05,1.230172e-05,1.244482e-05,1.258584e-05,1.272480e-05,1.286172e-05,1.299662e-05,1.312953e-05,1.326045e-05,1.338942e-05,1.351645e-05,1.364158e-05,1.376482e-05,1.388619e-05,1.400573e-05,1.412345e-05,1.423938e-05,1.435354e-05,1.446596e-05
0.000000e+00,3.126849e-12,9.507907e-12,4.986415e-11,1.501615e-10,2.491325e-10,7.460421e-10,7.762093e-10,1.869961e-09,2.317398e-09,3.833230e-09,5.579374e-09,7.035332e-09,1.144881e-08,1.191181e-08,1.895050e-08,2.101786e-08,2.865622e-08,3.543737e-08,4.150963e-08,5.576976e-08,5.794408e-08,7.834211e-08,8.292762e-08,1.030388e-07,1.176781e-07,1.323248e-07,1.606541e-07,1.664478e-07,2.056123e-07,2.123579e-07,2.499799e-07,2.731607e-07,2.996686e-07,3.433033e-07,3.547545e-07,4.152726e-07,4.229000e-07,4.812192e-07,5.119465e-07,5.525549e-07,6.103310e-07,6.292076e-07,7.110762e-07,7.178474e-07,7.980342e-07,8.342099e-07,8.899335e-07,9.590679e-07,9.866079e-07,1.087877e-06,1.092020e-06,1.193548e-06,1.232628e-06,1.303420e-06,1.380428e-06,1.417287e-06,1.534938e-06,1.656161e-06,1.695672e-06,1.780744e-06,1.862142e-06,1.908475e-06,2.033867e-06,2.039148e-06,2.172556e-06,2.210373e-06,2.308500e-06,2.391203e-06,2.446786e-06,2.575914e-06,2.587223e-06,2.729629e-06,2.764080e-06,2.873826e-06,2.955295e-06,3.019643e-06,3.149172e-06,3.166917e-06,3.315488e-06,3.345345e-06,3.465207e-06,3.543466e-06,3.615929e-06,3.743209e-06,3.767515e-06,3.919834e-06,3.944265e-06,4.072760e-06,4.146345e-06,4.226174e-06,4.349179e-06,4.379961e-06,4.534014e-06,4.552513e-06,4.688230e-06,4.756112e-06,4.842513e-06,4.959755e-06,4.996770e-06,5.150915e-06,5.163239e-06,5.304865e-06,5.366373e-06,5.458543e-06,5.568981e-06,5.611876e-06,5.764795e-06,5.770903e-06,5.917237e-06,5.971987e-06,6.069140e-06,6.172097e-06,6.220447e-06,6.371105e-06,6.521065e-06,6.568897e-06,6.670279e-06,6.765366e-06,6.818706e-06,6.960416e-06,6.966303e-06,7.113035e-06,7.153960e-06,7.258866e-06,7.345919e-06,7.403764e-06,7.536221e-06,7.547700e-06,7.690646e-06,7.724803e-06,7.832577e-06,7.911608e-06,7.973472e-06,8.096585e-06,8.113309e-06,8.252069e-06,8.279690e-06,8.389735e-06,8.460884e-06,8.526292e-06,8.640134e-06,8.661728e-06,8.796028e-06,8.817410e-06,8.929184e-06,8.992690e-06,9.061187e-06,9.165952e-06,9.192027e-06,9.321700e-06,9.337182e-06,9.450200e-06,9.506367e-06,9.577522e-06,9.673497e-06,9.703664e-06,9.828623e-06,9.838569e-06,9.952399e-06,1.000158e-05,1.007499e-05,1.016253e-05,1.019640e-05,1.031663e-05,1.032141e-05,1.043568e-05,1.047824e-05,1.055355e-05,1.063303e-05,1.067025e-05,1.078577e-05,1.093649e-05,1.108519e-05,1.123189e-05,1.137660e-05,1.151934e-05,1.166012e-05,1.179897e-05,1.193590e-05,1.207093e-05,1.220409e-05,1.233539e-05,1.246486e-05,1.259252e-05,1.271839e-05,1.284249e-05,1.296486e-05,1.308550e-05,1.320445e-05,1.332173e-05,1.343736e-05,1.355137e-05,1.366378e-05,1.377462e-05,1.388390e-05
0.000000e+00,1.674997e-15,1.652746e-14,4.838234e-13,4.462299e-12,1.229036e-11,1.084424e-10,1.172627e-10,6.574424e-10,9.978135e-10,2.638904e-09,5.416433e-09,8.420146e-09,2.110012e-08,2.272806e-08,5.401570e-08,6.545163e-08,1.161496e-07,1.719760e-07,2.303891e-07,3.982565e-07,4.275946e-07,7.505654e-07,8.349974e-07,1.256378e-06,1.615362e-06,2.018577e-06,2.923621e-06,3.129064e-06,4.699566e-06,5.002092e-06,6.862575e-06,8.155582e-06,9.771713e-06,1.275281e-05,1.360147e-05,1.854630e-05,1.922455e-05,2.481917e-05,2.805852e-05,3.264945e-05,3.979133e-05,4.228044e-05,5.396630e-05,5.499774e-05,6.796875e-05,7.427783e-05,8.455344e-05,9.824268e-05,1.039862e-04,1.265291e-04,1.274991e-04,1.524365e-04,1.626341e-04,1.819517e-04,2.041999e-04,2.153027e-04,2.526993e-04,2.943298e-04,3.085733e-04,3.403584e-04,3.721896e-04,3.909228e-04,4.438340e-04,4.461327e-04,5.060676e-04,5.237036e-04,5.707766e-04,6.119022e-04,6.402774e-04,7.084390e-04,7.145563e-04,7.935685e-04,8.132280e-04,8.772388e-04,9.260911e-04,9.654628e-04,1.046762e-03,1.058108e-03,1.155016e-03,1.174893e-03,1.256003e-03,1.310060e-03,1.360863e-03,1.451775e-03,1.469372e-03,1.581285e-03,1.599490e-03,1.696344e-03,1.752611e-03,1.814278e-03,1.910504e-03,1.934803e-03,2.057630e-03,2.072510e-03,2.182463e-03,2.237947e-03,2.309002e-03,2.406127e-03,2.436946e-03,2.565997e-03,2.576360e-03,2.695857e-03,2.747961e-03,2.826233e-03,2.920262e-03,2.956839e-03,3.087396e-03,3.092613e-03,3.217634e-03,3.264391e-03,3.347293e-03,3.435004e-03,3.476125e-03,3.603892e-03,3.730370e-03,3.770536e-03,3.855347e-03,3.934453e-03,3.978625e-03,4.095203e-03,4.100021e-03,4.219363e-03,4.252390e-03,4.336496e-03,4.405656e-03,4.451278e-03,4.554689e-03,4.563579e-03,4.673285e-03,4.699216e-03,4.780294e-03,4.839007e-03,4.884517e-03,4.973869e-03,4.985879e-03,5.084315e-03,5.103646e-03,5.179773e-03,5.228220e-03,5.272211e-03,5.347503e-03,5.361599e-03,5.447915e-03,5.461440e-03,5.531149e-03,5.570005e-03,5.611297e-03,5.673197e-03,5.688365e-03,5.762368e-03,5.771043e-03,5.833324e-03,5.863587e-03,5.901261e-03,5.950894e-03,5.966212e-03,6.028215e-03,6.033049e-03,6.087313e-03,6.110150e-03,6.143554e-03,6.182308e-03,6.196990e-03,6.247675e-03,6.249646e-03,6.295668e-03,6.312298e-03,6.341030e-03,6.370405e-03,6.383823e-03,6.424113e-03,6.473574e-03,6.518945e-03,6.560384e-03,6.598050e-03,6.632104e-03,6.662705e-03,6.690012e-03,6.714181e-03,6.735366e-03,6.753718e-03,6.769387e-03,6.782513e-03,6.793239e-03,6.801698e-03,6.808022e-03,6.812337e-03,6.814766e-03,6.815425e-03,6.814426e-03,6.811878e-03,6.807884e-03,6.802542e-03,6.795945e-03,6.788183e-03
0.000000e+00,6.832896e-14,5.865139e-13,1.229229e-11,8.173796e-11,1.877106e-10,1.042247e-09,1.106394e-09,4.002634e-09,5.417878e-09,1.084788e-08,1.795717e-08,2.438152e-08,4.577300e-08,4.814904e-08,8.654777e-08,9.850694e-08,1.448266e-07,1.883462e-07,2.289407e-07,3.293419e-07,3.451984e-07,4.997955e-07,5.358290e-07,6.984383e-07,8.208405e-07,9.461671e-07,1.195396e-06,1.247333e-06,1.605644e-06,1.668492e-06,2.024208e-06,2.247289e-06,2.505573e-06,2.937252e-06,3.051751e-06,3.664231e-06,3.742236e-06,4.344004e-06,4.664572e-06,5.091588e-06,5.705162e-06,5.907053e-06,6.790061e-06,6.863600e-06,7.739900e-06,8.138325e-06,8.755528e-06,9.526778e-06,9.835611e-06,1.097856e-05,1.102557e-05,1.218259e-05,1.263062e-05,1.344572e-05,1.433733e-05,1.476583e-05,1.614069e-05,1.756799e-05,1.803541e-05,1.904534e-05,2.001600e-05,2.057034e-05,2.207688e-05,2.214052e-05,2.375344e-05,2.421238e-05,2.540664e-05,2.641689e-05,2.709770e-05,2.868482e-05,2.882419e-05,3.058373e-05,3.101068e-05,3.237399e-05,3.338909e-05,3.419267e-05,3.581481e-05,3.603750e-05,3.790629e-05,3.828274e-05,3.979690e-05,4.078793e-05,4.170722e-05,4.332564e-05,4.363522e-05,4.557893e-05,4.589125e-05,4.753643e-05,4.848037e-05,4.950584e-05,5.108875e-05,5.148539e-05,5.347331e-05,5.371235e-05,5.546794e-05,5.634728e-05,5.746764e-05,5.898985e-05,5.947086e-05,6.147609e-05,6.163655e-05,6.348187e-05,6.428403e-05,6.548682e-05,6.692910e-05,6.748958e-05,6.948889e-05,6.956877e-05,7.148350e-05,7.220019e-05,7.347224e-05,7.482066e-05,7.545398e-05,7.742765e-05,7.939220e-05,8.001877e-05,8.134667e-05,8.259179e-05,8.329011e-05,8.514461e-05,8.522164e-05,8.714041e-05,8.767527e-05,8.904562e-05,9.018193e-05,9.093652e-05,9.266288e-05,9.281238e-05,9.467252e-05,9.511655e-05,9.651631e-05,9.754147e-05,9.834315e-05,9.993628e-05,1.001525e-04,1.019437e-04,1.022998e-04,1.037164e-04,1.046307e-04,1.054701e-04,1.069282e-04,1.072044e-04,1.089188e-04,1.091912e-04,1.106130e-04,1.114189e-04,1.122866e-04,1.136105e-04,1.139394e-04,1.155710e-04,1.157654e-04,1.171812e-04,1.178829e-04,1.187698e-04,1.199625e-04,1.203365e-04,1.218812e-04,1.220038e-04,1.234037e-04,1.240064e-04,1.249038e-04,1.259700e-04,1.263815e-04,1.278366e-04,1.278943e-04,1.292690e-04,1.297792e-04,1.306788e-04,1.316244e-04,1.320658e-04,1.334300e-04,1.351959e-04,1.369221e-04,1.386086e-04,1.402557e-04,1.418633e-04,1.434317e-04,1.449612e-04,1.464519e-04,1.479042e-04,1.493183e-04,1.506946e-04,1.520335e-04,1.533353e-04,1.546004e-04,1.558292e-04,1.570223e-04,1.581801e-04,1.593029e-04,1.603914e-04,1.614460e-04,1.624673e-04,1.634556e-04,1.644117e-04,1.653360e-04
0.000000e+00,2.753526e-18,3.157115e-17,1.172641e-15,1.270414e-14,3.763266e-14,3.865090e-13,4.201630e-13,2.637144e-12,4.108429e-12,1.152655e-11,2.467535e-11,3.933966e-11,1.037958e-10,1.122670e-10,2.799692e-10,3.429061e-10,6.285617e-10,9.518884e-10,1.297050e-09,2.315189e-09,2.496124e-09,4.526727e-09,5.066391e-09,7.794788e-09,1.015082e-08,1.281871e-08,1.885293e-08,2.022755e-08,3.074945e-08,3.277491e-08,4.519187e-08,5.376832e-08,6.441578e-08,8.383266e-08,8.930682e-08,1.207458e-07,1.249993e-07,1.595810e-07,1.792181e-07,2.066036e-07,2.482589e-07,2.625272e-07,3.279731e-07,3.336364e-07,4.034586e-07,4.365589e-07,4.893912e-07,5.579016e-07,5.860660e-07,6.936673e-07,6.982000e-07,8.122715e-07,8.576608e-07,9.418541e-07,1.036185e-06,1.082297e-06,1.233398e-06,1.394878e-06,1.448689e-06,1.566394e-06,1.681249e-06,1.747547e-06,1.930108e-06,1.937893e-06,2.136949e-06,2.194177e-06,2.344207e-06,2.472278e-06,2.559135e-06,2.763178e-06,2.781191e-06,3.009826e-06,3.065616e-06,3.244489e-06,3.378328e-06,3.484632e-06,3.700065e-06,3.729719e-06,3.979221e-06,4.029607e-06,4.232629e-06,4.365778e-06,4.489445e-06,4.707457e-06,4.749195e-06,5.011422e-06,5.053578e-06,5.275691e-06,5.403143e-06,5.541588e-06,5.755216e-06,5.808723e-06,6.076727e-06,6.108929e-06,6.345250e-06,6.463480e-06,6.613968e-06,6.818135e-06,6.882574e-06,7.150785e-06,7.172217e-06,7.418334e-06,7.525113e-06,7.684975e-06,7.876265e-06,7.950479e-06,8.214636e-06,8.225171e-06,8.477249e-06,8.571378e-06,8.738141e-06,8.914479e-06,8.997146e-06,9.254115e-06,9.508908e-06,9.589962e-06,9.761402e-06,9.921738e-06,1.001148e-05,1.024919e-05,1.025905e-05,1.050400e-05,1.057211e-05,1.074626e-05,1.089029e-05,1.098576e-05,1.120359e-05,1.122242e-05,1.145619e-05,1.151186e-05,1.168702e-05,1.181499e-05,1.191487e-05,1.211287e-05,1.213969e-05,1.236146e-05,1.240544e-05,1.258015e-05,1.269264e-05,1.279573e-05,1.297441e-05,1.300820e-05,1.321753e-05,1.325073e-05,1.342372e-05,1.352158e-05,1.362677e-05,1.378695e-05,1.382668e-05,1.402344e-05,1.404684e-05,1.421706e-05,1.430127e-05,1.440756e-05,1.455024e-05,1.459493e-05,1.477920e-05,1.479380e-05,1.496037e-05,1.503198e-05,1.513847e-05,1.526481e-05,1.531351e-05,1.548552e-05,1.549234e-05,1.565451e-05,1.571462e-05,1.582051e-05,1.593170e-05,1.598355e-05,1.614364e-05,1.635051e-05,1.655236e-05,1.674927e-05,1.694130e-05,1.712852e-05,1.731100e-05,1.748882e-05,1.766206e-05,1.783078e-05,1.799506e-05,1.815498e-05,1.831062e-05,1.846206e-05,1.860936e-05,1.875261e-05,1.889189e-05,1.902727e-05,1.915882e-05,1.928663e-05,1.941077e-05,1.953131e-05,1.964833e-05,1.976191e-05,1.987210e-05
0.000000e+00,1.139321e-14,8.787934e-14,1.514483e-12,8.666174e-12,1.851270e-11,8.767209e-11,9.253618e-11,2.953652e-10,3.880529e-10,7.255092e-10,1.142730e-09,1.505549e-09,2.657286e-09,2.781449e-09,4.722884e-09,5.308843e-09,7.522917e-09,9.544824e-09,1.139475e-08,1.586676e-08,1.656276e-08,2.324546e-08,2.478118e-08,3.163147e-08,3.671270e-08,4.185541e-08,5.191435e-08,5.398349e-08,6.801456e-08,7.043302e-08,8.389289e-08,9.214428e-08,1.015253e-07,1.168171e-07,1.207965e-07,1.415808e-07,1.441705e-07,1.637490e-07,1.739083e-07,1.871732e-07,2.057393e-07,2.117296e-07,2.372997e-07,2.393857e-07,2.637711e-07,2.745882e-07,2.910383e-07,3.111078e-07,3.190027e-07,3.475725e-07,3.487267e-07,3.766633e-07,3.872482e-07,4.061971e-07,4.264965e-07,4.361027e-07,4.663155e-07,4.967765e-07,5.065676e-07,5.274325e-07,5.471323e-07,5.582355e-07,5.879045e-07,5.891423e-07,6.201140e-07,6.287930e-07,6.511161e-07,6.697187e-07,6.821172e-07,7.106134e-07,7.130896e-07,7.440083e-07,7.514183e-07,7.748511e-07,7.920825e-07,8.055982e-07,8.325621e-07,8.362316e-07,8.667355e-07,8.728194e-07,8.970956e-07,9.128217e-07,9.272991e-07,9.525407e-07,9.573346e-07,9.871920e-07,9.919520e-07,1.016862e-06,1.031034e-06,1.046336e-06,1.069769e-06,1.075607e-06,1.104668e-06,1.108141e-06,1.133513e-06,1.146135e-06,1.162136e-06,1.183739e-06,1.190534e-06,1.218700e-06,1.220943e-06,1.246632e-06,1.257738e-06,1.274326e-06,1.294116e-06,1.301779e-06,1.328987e-06,1.330071e-06,1.355949e-06,1.365595e-06,1.382663e-06,1.400685e-06,1.409126e-06,1.435337e-06,1.461294e-06,1.469547e-06,1.486997e-06,1.503312e-06,1.512444e-06,1.536632e-06,1.537634e-06,1.562568e-06,1.569503e-06,1.587244e-06,1.601925e-06,1.611662e-06,1.633899e-06,1.635822e-06,1.659725e-06,1.665423e-06,1.683369e-06,1.696498e-06,1.706757e-06,1.727125e-06,1.729887e-06,1.752760e-06,1.757304e-06,1.775378e-06,1.787038e-06,1.797740e-06,1.816327e-06,1.819847e-06,1.841701e-06,1.845174e-06,1.863302e-06,1.873581e-06,1.884651e-06,1.901550e-06,1.905750e-06,1.926599e-06,1.929084e-06,1.947199e-06,1.956185e-06,1.967552e-06,1.982856e-06,1.987659e-06,2.007522e-06,2.009100e-06,2.027141e-06,2.034921e-06,2.046519e-06,2.060322e-06,2.065657e-06,2.084555e-06,2.085306e-06,2.103217e-06,2.109877e-06,2.121643e-06,2.134039e-06,2.139835e-06,2.157795e-06,2.181149e-06,2.204105e-06,2.226666e-06,2.248838e-06,2.270624e-06,2.292028e-06,2.313054e-06,2.333707e-06,2.353991e-06,2.373909e-06,2.393467e-06,2.412668e-06,2.431517e-06,2.450018e-06,2.468175e-06,2.485993e-06,2.503476e-06,2.520628e-06,2.537453e-06,2.553957e-06,2.570142e-06,2.586013e-06,2.601575e-06,2.616832e-06
0.000000e+00,9.737083e-13,3.126046e-12,1.732246e-11,5.341304e-11,8.933379e-11,2.707979e-10,2.818369e-10,6.823090e-10,8.460795e-10,1.400247e-09,2.037261e-09,2.567356e-09,4.169028e-09,4.336637e-09,6.876188e-09,7.619323e-09,1.035556e-08,1.277374e-08,1.493157e-08,1.997538e-08,2.074188e-08,2.790503e-08,2.950920e-08,3.652227e-08,4.160676e-08,4.667865e-08,5.645062e-08,5.844347e-08,7.187021e-08,7.417545e-08,8.699654e-08,9.486789e-08,1.038444e-07,1.185671e-07,1.224203e-07,1.427163e-07,1.452665e-07,1.647107e-07,1.749179e-07,1.883695e-07,2.074361e-07,2.136478e-07,2.404911e-07,2.427044e-07,2.688374e-07,2.805815e-07,2.986181e-07,3.209073e-07,3.297599e-07,3.621860e-07,3.635087e-07,3.958177e-07,4.082048e-07,4.305748e-07,4.548116e-07,4.663772e-07,5.031456e-07,5.408018e-07,5.530268e-07,5.792697e-07,6.042810e-07,6.184757e-07,6.567416e-07,6.583485e-07,6.988201e-07,7.102505e-07,7.398253e-07,7.646588e-07,7.813024e-07,8.198274e-07,8.231925e-07,8.654403e-07,8.756271e-07,9.079935e-07,9.319382e-07,9.508028e-07,9.886503e-07,9.938222e-07,1.037008e-06,1.045662e-06,1.080321e-06,1.102881e-06,1.123722e-06,1.160222e-06,1.167176e-06,1.210651e-06,1.217607e-06,1.254116e-06,1.274968e-06,1.297543e-06,1.332239e-06,1.340905e-06,1.384178e-06,1.389364e-06,1.427339e-06,1.446289e-06,1.470368e-06,1.502968e-06,1.513244e-06,1.555951e-06,1.559359e-06,1.598471e-06,1.615423e-06,1.640790e-06,1.671126e-06,1.682893e-06,1.724768e-06,1.726438e-06,1.766403e-06,1.781330e-06,1.807787e-06,1.835779e-06,1.848910e-06,1.889764e-06,1.930340e-06,1.943264e-06,1.970630e-06,1.996263e-06,2.010629e-06,2.048747e-06,2.050329e-06,2.089726e-06,2.100703e-06,2.128815e-06,2.152119e-06,2.167591e-06,2.202986e-06,2.206051e-06,2.244191e-06,2.253297e-06,2.282008e-06,2.303044e-06,2.319500e-06,2.352222e-06,2.356664e-06,2.393499e-06,2.400827e-06,2.430004e-06,2.448855e-06,2.466176e-06,2.496304e-06,2.502016e-06,2.537523e-06,2.543173e-06,2.572696e-06,2.589460e-06,2.607535e-06,2.635166e-06,2.642041e-06,2.676213e-06,2.680291e-06,2.710053e-06,2.724837e-06,2.743560e-06,2.768804e-06,2.776736e-06,2.809582e-06,2.812195e-06,2.842099e-06,2.855013e-06,2.874287e-06,2.897261e-06,2.906150e-06,2.937687e-06,2.938942e-06,2.968901e-06,2.980059e-06,2.999793e-06,3.020617e-06,3.030366e-06,3.060620e-06,3.100073e-06,3.138979e-06,3.177344e-06,3.215174e-06,3.252472e-06,3.289245e-06,3.325499e-06,3.361237e-06,3.396467e-06,3.431194e-06,3.465424e-06,3.499163e-06,3.532416e-06,3.565189e-06,3.597489e-06,3.629321e-06,3.660692e-06,3.691607e-06,3.722072e-06,3.752094e-06,3.781678e-06,3.810830e-06,3.839556e-06,3.867862e-06
0.000000e+00,9.811350e-12,3.006893e-11,1.589340e-10,4.808001e-10,7.998343e-10,2.418639e-09,2.517743e-09,6.166150e-09,7.686640e-09,1.294043e-08,1.915765e-08,2.444981e-08,4.090583e-08,4.265755e-08,6.957608e-08,7.753233e-08,1.069252e-07,1.329059e-07,1.560328e-07,2.097847e-07,2.179127e-07,2.933612e-07,3.101379e-07,3.830196e-07,4.354338e-07,4.874047e-07,5.867681e-07,6.069209e-07,7.418625e-07,7.648984e-07,8.924119e-07,9.702442e-07,1.058638e-06,1.202880e-06,1.240496e-06,1.437828e-06,1.462536e-06,1.650367e-06,1.748610e-06,1.877744e-06,2.060192e-06,2.119496e-06,2.375075e-06,2.396100e-06,2.643860e-06,2.754921e-06,2.925170e-06,3.135060e-06,3.218275e-06,3.522411e-06,3.534794e-06,3.836783e-06,3.952309e-06,4.160587e-06,4.385745e-06,4.493008e-06,4.833237e-06,5.180473e-06,5.292940e-06,5.533932e-06,5.763058e-06,5.892850e-06,6.241863e-06,6.256490e-06,6.624143e-06,6.727711e-06,6.995128e-06,7.219049e-06,7.368800e-06,7.714422e-06,7.744543e-06,8.121780e-06,8.212478e-06,8.499965e-06,8.711970e-06,8.878585e-06,9.211751e-06,9.257163e-06,9.635251e-06,9.710774e-06,1.001244e-05,1.020809e-05,1.038833e-05,1.070283e-05,1.076259e-05,1.113487e-05,1.119423e-05,1.150488e-05,1.168160e-05,1.187235e-05,1.216431e-05,1.223701e-05,1.259863e-05,1.264182e-05,1.295702e-05,1.311364e-05,1.331198e-05,1.357935e-05,1.366333e-05,1.401093e-05,1.403858e-05,1.435464e-05,1.449101e-05,1.469433e-05,1.493636e-05,1.502990e-05,1.536125e-05,1.537442e-05,1.568830e-05,1.580497e-05,1.601098e-05,1.622787e-05,1.632922e-05,1.664298e-05,1.695221e-05,1.705021e-05,1.725689e-05,1.744947e-05,1.755698e-05,1.784073e-05,1.785247e-05,1.814334e-05,1.822396e-05,1.842959e-05,1.859913e-05,1.871123e-05,1.896625e-05,1.898825e-05,1.926066e-05,1.932536e-05,1.952849e-05,1.967647e-05,1.979174e-05,2.001965e-05,2.005045e-05,2.030464e-05,2.035493e-05,2.055433e-05,2.068240e-05,2.079955e-05,2.100212e-05,2.104035e-05,2.127676e-05,2.131418e-05,2.150881e-05,2.161866e-05,2.173655e-05,2.191566e-05,2.196001e-05,2.217925e-05,2.220528e-05,2.239431e-05,2.248762e-05,2.260522e-05,2.276278e-05,2.281205e-05,2.301483e-05,2.303088e-05,2.321362e-05,2.329203e-05,2.340847e-05,2.354634e-05,2.359941e-05,2.378652e-05,2.379392e-05,2.396982e-05,2.403489e-05,2.414939e-05,2.426938e-05,2.432526e-05,2.449749e-05,2.471934e-05,2.493505e-05,2.514474e-05,2.534853e-05,2.554653e-05,2.573886e-05,2.592563e-05,2.610696e-05,2.628296e-05,2.645373e-05,2.661940e-05,2.678007e-05,2.693584e-05,2.708682e-05,2.723312e-05,2.737484e-05,2.751208e-05,2.764493e-05,2.777350e-05,2.789789e-05,2.801818e-05,2.813447e-05,2.824685e-05,2.835540e-05
0.000000e+00,5.822430e-18,6.696547e-17,2.502918e-15,2.726910e-14,8.102324e-14,8.385400e-13,9.118290e-13,5.764079e-12,8.996499e-12,2.535225e-11,5.445210e-11,8.698637e-11,2.304249e-10,2.493067e-10,6.237369e-10,7.644315e-10,1.403511e-09,2.127322e-09,2.900214e-09,5.180372e-09,5.585595e-09,1.013336e-08,1.134203e-08,1.745328e-08,2.273152e-08,2.870984e-08,4.223734e-08,4.532009e-08,6.892914e-08,7.347620e-08,1.013657e-07,1.206410e-07,1.445817e-07,1.882636e-07,2.005829e-07,2.713570e-07,2.809342e-07,3.588040e-07,4.030203e-07,4.646737e-07,5.584163e-07,5.905131e-07,7.376267e-07,7.503477e-07,9.070470e-07,9.812379e-07,1.099519e-06,1.252637e-06,1.315494e-06,1.555134e-06,1.565211e-06,1.818325e-06,1.918775e-06,2.104694e-06,2.312364e-06,2.413634e-06,2.744327e-06,3.095778e-06,3.212442e-06,3.466838e-06,3.714026e-06,3.856239e-06,4.246054e-06,4.262617e-06,4.684543e-06,4.805268e-06,5.120543e-06,5.388279e-06,5.569126e-06,5.991652e-06,6.028798e-06,6.498084e-06,6.611981e-06,6.975538e-06,7.245957e-06,7.459761e-06,7.890405e-06,7.949405e-06,8.443186e-06,8.542330e-06,8.939886e-06,9.198941e-06,9.438361e-06,9.857665e-06,9.937539e-06,1.043642e-05,1.051615e-05,1.093409e-05,1.117229e-05,1.142969e-05,1.182417e-05,1.192246e-05,1.241168e-05,1.247012e-05,1.289672e-05,1.310866e-05,1.337700e-05,1.373852e-05,1.385201e-05,1.432130e-05,1.435858e-05,1.478445e-05,1.496791e-05,1.524112e-05,1.556572e-05,1.569098e-05,1.613379e-05,1.615135e-05,1.656931e-05,1.672427e-05,1.699735e-05,1.728405e-05,1.741774e-05,1.783037e-05,1.823512e-05,1.836296e-05,1.863192e-05,1.888167e-05,1.902072e-05,1.938639e-05,1.940147e-05,1.977416e-05,1.987707e-05,2.013880e-05,2.035371e-05,2.049538e-05,2.081635e-05,2.084394e-05,2.118452e-05,2.126507e-05,2.151716e-05,2.169999e-05,2.184192e-05,2.212125e-05,2.215887e-05,2.246808e-05,2.252900e-05,2.276962e-05,2.292342e-05,2.306359e-05,2.330473e-05,2.335007e-05,2.362915e-05,2.367312e-05,2.390093e-05,2.402882e-05,2.416551e-05,2.437207e-05,2.442300e-05,2.467350e-05,2.470310e-05,2.491711e-05,2.502215e-05,2.515395e-05,2.532949e-05,2.538412e-05,2.560774e-05,2.562535e-05,2.582491e-05,2.591000e-05,2.603575e-05,2.618369e-05,2.624037e-05,2.643887e-05,2.644669e-05,2.663138e-05,2.669924e-05,2.681800e-05,2.694160e-05,2.699885e-05,2.717403e-05,2.739678e-05,2.761010e-05,2.781424e-05,2.800944e-05,2.819594e-05,2.837399e-05,2.854382e-05,2.870566e-05,2.885974e-05,2.900628e-05,2.914551e-05,2.927763e-05,2.940286e-05,2.952141e-05,2.963348e-05,2.973927e-05,2.983897e-05,2.993278e-05,3.002088e-05,3.010345e-05,3.018068e-05,3.025273e-05,3.031977e-05,3.038198e-05
0.000000e+00,6.522282e-17,7.288622e-16,2.566232e-14,2.647271e-13,7.632739e-13,7.307236e-12,7.920690e-12,4.632824e-11,7.079468e-11,1.891527e-10,3.891034e-10,6.043106e-10,1.502810e-09,1.617212e-09,3.786701e-09,4.568863e-09,7.987019e-09,1.167966e-08,1.548185e-08,2.614250e-08,2.797207e-08,4.760309e-08,5.260440e-08,7.692788e-08,9.695544e-08,1.188334e-07,1.660369e-07,1.764431e-07,2.530104e-07,2.672400e-07,3.518125e-07,4.080814e-07,4.760542e-07,5.958201e-07,6.287845e-07,8.128276e-07,8.371411e-07,1.030729e-06,1.137918e-06,1.284716e-06,1.503050e-06,1.576669e-06,1.908109e-06,1.936367e-06,2.280188e-06,2.440589e-06,2.693701e-06,3.017347e-06,3.149090e-06,3.646466e-06,3.667232e-06,4.185633e-06,4.389881e-06,4.766116e-06,5.184080e-06,5.387184e-06,6.047888e-06,6.747086e-06,6.978751e-06,7.483475e-06,7.973622e-06,8.255616e-06,9.029075e-06,9.061965e-06,9.900893e-06,1.014140e-05,1.077071e-05,1.130670e-05,1.166968e-05,1.252097e-05,1.259604e-05,1.354803e-05,1.378012e-05,1.452387e-05,1.508011e-05,1.552181e-05,1.641690e-05,1.654012e-05,1.757708e-05,1.778656e-05,1.863102e-05,1.918523e-05,1.970030e-05,2.060919e-05,2.078334e-05,2.187859e-05,2.205486e-05,2.298454e-05,2.351878e-05,2.409976e-05,2.499766e-05,2.522284e-05,2.635243e-05,2.648836e-05,2.748724e-05,2.798789e-05,2.862603e-05,2.949342e-05,2.976759e-05,3.091078e-05,3.100228e-05,3.205452e-05,3.251192e-05,3.319774e-05,3.401999e-05,3.433946e-05,3.547873e-05,3.552423e-05,3.661463e-05,3.702256e-05,3.774631e-05,3.851302e-05,3.887295e-05,3.999378e-05,4.110806e-05,4.146313e-05,4.221510e-05,4.291950e-05,4.331425e-05,4.436143e-05,4.440488e-05,4.548642e-05,4.578755e-05,4.655832e-05,4.719662e-05,4.762007e-05,4.858751e-05,4.867119e-05,4.971124e-05,4.995915e-05,5.073979e-05,5.131061e-05,5.175646e-05,5.264102e-05,5.276089e-05,5.375275e-05,5.394959e-05,5.473174e-05,5.523562e-05,5.569756e-05,5.649850e-05,5.664998e-05,5.758874e-05,5.773766e-05,5.851365e-05,5.895263e-05,5.942452e-05,6.014298e-05,6.032116e-05,6.120345e-05,6.130835e-05,6.207123e-05,6.244844e-05,6.292441e-05,6.356300e-05,6.376289e-05,6.458658e-05,6.465184e-05,6.539543e-05,6.571480e-05,6.618938e-05,6.675178e-05,6.696839e-05,6.773246e-05,6.776271e-05,6.848157e-05,6.874758e-05,6.921572e-05,6.970640e-05,6.993492e-05,7.063922e-05,7.154611e-05,7.242719e-05,7.328260e-05,7.411250e-05,7.491707e-05,7.569654e-05,7.645113e-05,7.718109e-05,7.788669e-05,7.856821e-05,7.922594e-05,7.986021e-05,8.047132e-05,8.105961e-05,8.162543e-05,8.216912e-05,8.269104e-05,8.319155e-05,8.367103e-05,8.412985e-05,8.456838e-05,8.498701e-05,8.538612e-05,8.576609e-05
0.000000e+00,7.431123e-16,7.743214e-15,2.364294e-13,2.145990e-12,5.772280e-12,4.631207e-11,4.984492e-11,2.457257e-10,3.587208e-10,8.557048e-10,1.608534e-09,2.357435e-09,5.161736e-09,5.495661e-09,1.131730e-08,1.325891e-08,2.119007e-08,2.910392e-08,3.679776e-08,5.682599e-08,6.009803e-08,9.323670e-08,1.012404e-07,1.384338e-07,1.674298e-07,1.978690e-07,2.603005e-07,2.735889e-07,3.674441e-07,3.842555e-07,4.810530e-07,5.430132e-07,6.157834e-07,7.395296e-07,7.727450e-07,9.527880e-07,9.759751e-07,1.156506e-06,1.253740e-06,1.384243e-06,1.573457e-06,1.636100e-06,1.911952e-06,1.935049e-06,2.211465e-06,2.337783e-06,2.534111e-06,2.780356e-06,2.879195e-06,3.245874e-06,3.260977e-06,3.633186e-06,3.777466e-06,4.040067e-06,4.327345e-06,4.465379e-06,4.907927e-06,5.366482e-06,5.516396e-06,5.839793e-06,6.149877e-06,6.326607e-06,6.805494e-06,6.825677e-06,7.335776e-06,7.480417e-06,7.855706e-06,8.171897e-06,8.384302e-06,8.877296e-06,8.920438e-06,9.463035e-06,9.594104e-06,1.001106e-05,1.031995e-05,1.056352e-05,1.105262e-05,1.111950e-05,1.167809e-05,1.179005e-05,1.223847e-05,1.253031e-05,1.279985e-05,1.327164e-05,1.336149e-05,1.392271e-05,1.401242e-05,1.448284e-05,1.475115e-05,1.504130e-05,1.548648e-05,1.559752e-05,1.615098e-05,1.621719e-05,1.670120e-05,1.694216e-05,1.724773e-05,1.766038e-05,1.779017e-05,1.832812e-05,1.837096e-05,1.886126e-05,1.907309e-05,1.938925e-05,1.976605e-05,1.991180e-05,2.042866e-05,2.044921e-05,2.093958e-05,2.112202e-05,2.144435e-05,2.178397e-05,2.194277e-05,2.243466e-05,2.291988e-05,2.307372e-05,2.339829e-05,2.370084e-05,2.386977e-05,2.431576e-05,2.433420e-05,2.479151e-05,2.491827e-05,2.524163e-05,2.550821e-05,2.568447e-05,2.608544e-05,2.612001e-05,2.654820e-05,2.664986e-05,2.696900e-05,2.720143e-05,2.738242e-05,2.774009e-05,2.778842e-05,2.818702e-05,2.826586e-05,2.857823e-05,2.877874e-05,2.896205e-05,2.927878e-05,2.933852e-05,2.970765e-05,2.976604e-05,3.006949e-05,3.024059e-05,3.042407e-05,3.070254e-05,3.077144e-05,3.111165e-05,3.115199e-05,3.144475e-05,3.158907e-05,3.177080e-05,3.201392e-05,3.208986e-05,3.240200e-05,3.242667e-05,3.270728e-05,3.282749e-05,3.300577e-05,3.321653e-05,3.329756e-05,3.358270e-05,3.359397e-05,3.386128e-05,3.395998e-05,3.413339e-05,3.431475e-05,3.439909e-05,3.465847e-05,3.499131e-05,3.531348e-05,3.562518e-05,3.592660e-05,3.621793e-05,3.649940e-05,3.677118e-05,3.703349e-05,3.728653e-05,3.753050e-05,3.776560e-05,3.799203e-05,3.820998e-05,3.841966e-05,3.862126e-05,3.881497e-05,3.900098e-05,3.917949e-05,3.935069e-05,3.951474e-05,3.967185e-05,3.982219e-05,3.996593e-05,4.010325e-05
0.000000e+00,1.818425e-17,2.079502e-16,7.690973e-15,8.297507e-14,2.451910e-13,2.500340e-12,2.717175e-12,1.690463e-11,2.626308e-11,7.310981e-11,1.553625e-10,2.463681e-10,6.411050e-10,6.925242e-10,1.696646e-09,2.068401e-09,3.732217e-09,5.581507e-09,7.526789e-09,1.314318e-08,1.412653e-08,2.495037e-08,2.777543e-08,4.182567e-08,5.372206e-08,6.700047e-08,9.649347e-08,1.031314e-07,1.532493e-07,1.627862e-07,2.207057e-07,2.602944e-07,3.091061e-07,3.974444e-07,4.222336e-07,5.639681e-07,5.830840e-07,7.382033e-07,8.261532e-07,9.487656e-07,1.135362e-06,1.199338e-06,1.493389e-06,1.518889e-06,1.834108e-06,1.984115e-06,2.224354e-06,2.537407e-06,2.666608e-06,3.162938e-06,3.183941e-06,3.714976e-06,3.927589e-06,4.323902e-06,4.770853e-06,4.990437e-06,5.714854e-06,6.496980e-06,6.759363e-06,7.336224e-06,7.902875e-06,8.231598e-06,9.142711e-06,9.181749e-06,1.018499e-05,1.047515e-05,1.123934e-05,1.189556e-05,1.234255e-05,1.339856e-05,1.349217e-05,1.468556e-05,1.497818e-05,1.591992e-05,1.662799e-05,1.719236e-05,1.834125e-05,1.849991e-05,1.983953e-05,2.011103e-05,2.120818e-05,2.193035e-05,2.260284e-05,2.379224e-05,2.402048e-05,2.545815e-05,2.568984e-05,2.691295e-05,2.761650e-05,2.838205e-05,2.956579e-05,2.986272e-05,3.135233e-05,3.153156e-05,3.284834e-05,3.350799e-05,3.434835e-05,3.548960e-05,3.585003e-05,3.735122e-05,3.747123e-05,3.884982e-05,3.944810e-05,4.034390e-05,4.141580e-05,4.183161e-05,4.331124e-05,4.337024e-05,4.478119e-05,4.530770e-05,4.623994e-05,4.722479e-05,4.768612e-05,4.911844e-05,5.053570e-05,5.098587e-05,5.193683e-05,5.282462e-05,5.332082e-05,5.463248e-05,5.468677e-05,5.603383e-05,5.640753e-05,5.736128e-05,5.814805e-05,5.866843e-05,5.985257e-05,5.995469e-05,6.121952e-05,6.151984e-05,6.246246e-05,6.314879e-05,6.368310e-05,6.473853e-05,6.488109e-05,6.605612e-05,6.628836e-05,6.720797e-05,6.779769e-05,6.833642e-05,6.926612e-05,6.944132e-05,7.052256e-05,7.069336e-05,7.158006e-05,7.207922e-05,7.261379e-05,7.342365e-05,7.362374e-05,7.460993e-05,7.472668e-05,7.557243e-05,7.598844e-05,7.651131e-05,7.720914e-05,7.742669e-05,7.831869e-05,7.838904e-05,7.918746e-05,7.952851e-05,8.003319e-05,8.062794e-05,8.085605e-05,8.165626e-05,8.168780e-05,8.243404e-05,8.270860e-05,8.318962e-05,8.369087e-05,8.392326e-05,8.463520e-05,8.554222e-05,8.641256e-05,8.724691e-05,8.804593e-05,8.881036e-05,8.954089e-05,9.023828e-05,9.090326e-05,9.153657e-05,9.213897e-05,9.271122e-05,9.325405e-05,9.376825e-05,9.425454e-05,9.471368e-05,9.514641e-05,9.555347e-05,9.593559e-05,9.629349e-05,9.662788e-05,9.693946e-05,9.722894e-05,9.749699e-05,9.774428e-05
0.000000e+00,2.729840e-13,1.918498e-12,2.838970e-11,1.472413e-10,3.020400e-10,1.333363e-09,1.404571e-09,4.347209e-09,5.692224e-09,1.063511e-08,1.685756e-08,2.235974e-08,4.024325e-08,4.219904e-08,7.312067e-08,8.250501e-08,1.178486e-07,1.497491e-07,1.785207e-07,2.463465e-07,2.566908e-07,3.534603e-07,3.751178e-07,4.695838e-07,5.377824e-07,6.055294e-07,7.352082e-07,7.615148e-07,9.375346e-07,9.675460e-07,1.133387e-06,1.234338e-06,1.348703e-06,1.534632e-06,1.582974e-06,1.835579e-06,1.867091e-06,2.105812e-06,2.230102e-06,2.392901e-06,2.621864e-06,2.696035e-06,3.014373e-06,3.040471e-06,3.347060e-06,3.483961e-06,3.693241e-06,3.950368e-06,4.052065e-06,4.422694e-06,4.437753e-06,4.804307e-06,4.944222e-06,5.196105e-06,5.467948e-06,5.597312e-06,6.007178e-06,6.424979e-06,6.560237e-06,6.850021e-06,7.125537e-06,7.281634e-06,7.701571e-06,7.719179e-06,8.162044e-06,8.286920e-06,8.609644e-06,8.880243e-06,9.061420e-06,9.480285e-06,9.516841e-06,9.975399e-06,1.008587e-05,1.043661e-05,1.069588e-05,1.090002e-05,1.130929e-05,1.136519e-05,1.183172e-05,1.192515e-05,1.229920e-05,1.254254e-05,1.276726e-05,1.316064e-05,1.323557e-05,1.370378e-05,1.377866e-05,1.417158e-05,1.439589e-05,1.463868e-05,1.501166e-05,1.510480e-05,1.556967e-05,1.562536e-05,1.603305e-05,1.623641e-05,1.649471e-05,1.684428e-05,1.695443e-05,1.741200e-05,1.744851e-05,1.786723e-05,1.804863e-05,1.831995e-05,1.864425e-05,1.876998e-05,1.921718e-05,1.923500e-05,1.966138e-05,1.982054e-05,2.010247e-05,2.040056e-05,2.054031e-05,2.097478e-05,2.140579e-05,2.154296e-05,2.183322e-05,2.210486e-05,2.225699e-05,2.266029e-05,2.267702e-05,2.309322e-05,2.320906e-05,2.350553e-05,2.375102e-05,2.391389e-05,2.428603e-05,2.431823e-05,2.471851e-05,2.481397e-05,2.511468e-05,2.533473e-05,2.550671e-05,2.584822e-05,2.589454e-05,2.627817e-05,2.635438e-05,2.665755e-05,2.685314e-05,2.703266e-05,2.734445e-05,2.740350e-05,2.777004e-05,2.782829e-05,2.813227e-05,2.830461e-05,2.849019e-05,2.877342e-05,2.884380e-05,2.919309e-05,2.923471e-05,2.953806e-05,2.968848e-05,2.987872e-05,3.013474e-05,3.021507e-05,3.054713e-05,3.057351e-05,3.087491e-05,3.100483e-05,3.119842e-05,3.142872e-05,3.151768e-05,3.183271e-05,3.184522e-05,3.214351e-05,3.225438e-05,3.245013e-05,3.265624e-05,3.275257e-05,3.305087e-05,3.343832e-05,3.381864e-05,3.419192e-05,3.455820e-05,3.491758e-05,3.527011e-05,3.561589e-05,3.595497e-05,3.628745e-05,3.661341e-05,3.693292e-05,3.724608e-05,3.755297e-05,3.785367e-05,3.814827e-05,3.843686e-05,3.871953e-05,3.899636e-05,3.926744e-05,3.953286e-05,3.979271e-05,4.004707e-05,4.029604e-05,4.053970e-05
0.000000e+00,3.508958e-12,1.079522e-11,5.737646e-11,1.741978e-10,2.902327e-10,8.799198e-10,9.160310e-10,2.244268e-09,2.796902e-09,4.702332e-09,6.951098e-09,8.862667e-09,1.481119e-08,1.544582e-08,2.525350e-08,2.817394e-08,3.904513e-08,4.875019e-08,5.745331e-08,7.787033e-08,8.097713e-08,1.100098e-07,1.165062e-07,1.448650e-07,1.653762e-07,1.857932e-07,2.250107e-07,2.329900e-07,2.866006e-07,2.957806e-07,3.467212e-07,3.779077e-07,4.134010e-07,4.714714e-07,4.866436e-07,5.664093e-07,5.764161e-07,6.526180e-07,6.925621e-07,7.451529e-07,8.196194e-07,8.438643e-07,9.485737e-07,9.572036e-07,1.059078e-06,1.104853e-06,1.175155e-06,1.262048e-06,1.296566e-06,1.423060e-06,1.428222e-06,1.554378e-06,1.602783e-06,1.690256e-06,1.785121e-06,1.830427e-06,1.974623e-06,2.122579e-06,2.170677e-06,2.274034e-06,2.372683e-06,2.428732e-06,2.580058e-06,2.586420e-06,2.746856e-06,2.792238e-06,2.909804e-06,3.008683e-06,3.075036e-06,3.228877e-06,3.242331e-06,3.411481e-06,3.452330e-06,3.582283e-06,3.678581e-06,3.754543e-06,3.907192e-06,3.928078e-06,4.102711e-06,4.137755e-06,4.278277e-06,4.369886e-06,4.454615e-06,4.603226e-06,4.631575e-06,4.809015e-06,4.837441e-06,4.986799e-06,5.072219e-06,5.164799e-06,5.307273e-06,5.342894e-06,5.520970e-06,5.542333e-06,5.698920e-06,5.777152e-06,5.876643e-06,6.011501e-06,6.054043e-06,6.231030e-06,6.245169e-06,6.407522e-06,6.477962e-06,6.583439e-06,6.709701e-06,6.758707e-06,6.933257e-06,6.940223e-06,7.107025e-06,7.169379e-06,7.279951e-06,7.397032e-06,7.451980e-06,7.623058e-06,7.793138e-06,7.847345e-06,7.962175e-06,8.069792e-06,8.130127e-06,8.290306e-06,8.296957e-06,8.462629e-06,8.508806e-06,8.627112e-06,8.725218e-06,8.790375e-06,8.939476e-06,8.952391e-06,9.113137e-06,9.151525e-06,9.272590e-06,9.361312e-06,9.430730e-06,9.568793e-06,9.587540e-06,9.743003e-06,9.773932e-06,9.897105e-06,9.976696e-06,1.004983e-05,1.017706e-05,1.020118e-05,1.035113e-05,1.037500e-05,1.049969e-05,1.057049e-05,1.064684e-05,1.076354e-05,1.079257e-05,1.093689e-05,1.095412e-05,1.107980e-05,1.114223e-05,1.122128e-05,1.132786e-05,1.136135e-05,1.150000e-05,1.151103e-05,1.163723e-05,1.169173e-05,1.177305e-05,1.186997e-05,1.190746e-05,1.204046e-05,1.204575e-05,1.217206e-05,1.221909e-05,1.230226e-05,1.239000e-05,1.243107e-05,1.255850e-05,1.272459e-05,1.288830e-05,1.304965e-05,1.320866e-05,1.336534e-05,1.351972e-05,1.367182e-05,1.382167e-05,1.396929e-05,1.411470e-05,1.425794e-05,1.439902e-05,1.453798e-05,1.467483e-05,1.480962e-05,1.494236e-05,1.507308e-05,1.520181e-05,1.532858e-05,1.545341e-05,1.557634e-05,1.569738e-05,1.581658e-05,1.593395e-05
0.000000e+00,2.144924e-15,2.119434e-14,5.812730e-13,4.807677e-12,1.231398e-11,8.769368e-11,9.394792e-11,4.160831e-10,5.911027e-10,1.321552e-09,2.366277e-09,3.365778e-09,6.927831e-09,7.339601e-09,1.428041e-08,1.652494e-08,2.546542e-08,3.412658e-08,4.236886e-08,6.323281e-08,6.657659e-08,9.968191e-08,1.075059e-07,1.431974e-07,1.704029e-07,1.984999e-07,2.549576e-07,2.668055e-07,3.491601e-07,3.637015e-07,4.464383e-07,4.986453e-07,5.593421e-07,6.612779e-07,6.884022e-07,8.339792e-07,8.525693e-07,9.962684e-07,1.072985e-06,1.175307e-06,1.322515e-06,1.370984e-06,1.583055e-06,1.600719e-06,1.811155e-06,1.906780e-06,2.054813e-06,2.239573e-06,2.313475e-06,2.586512e-06,2.597723e-06,2.873242e-06,2.979679e-06,3.172941e-06,3.383760e-06,3.484855e-06,3.808215e-06,4.142246e-06,4.251263e-06,4.486173e-06,4.711124e-06,4.839229e-06,5.186053e-06,5.200662e-06,5.569738e-06,5.674352e-06,5.945748e-06,6.174394e-06,6.328003e-06,6.684627e-06,6.715845e-06,7.108640e-06,7.203580e-06,7.505785e-06,7.729871e-06,7.906706e-06,8.262205e-06,8.310856e-06,8.717718e-06,8.799372e-06,9.126801e-06,9.340247e-06,9.537642e-06,9.883788e-06,9.949806e-06,1.036288e-05,1.042903e-05,1.077648e-05,1.097509e-05,1.119024e-05,1.152113e-05,1.160382e-05,1.201690e-05,1.206642e-05,1.242918e-05,1.261026e-05,1.284038e-05,1.315202e-05,1.325025e-05,1.365853e-05,1.369111e-05,1.406499e-05,1.422703e-05,1.446944e-05,1.475928e-05,1.487167e-05,1.527149e-05,1.528743e-05,1.566875e-05,1.581110e-05,1.606328e-05,1.632993e-05,1.645494e-05,1.684359e-05,1.722912e-05,1.735181e-05,1.761141e-05,1.785433e-05,1.799036e-05,1.835092e-05,1.836587e-05,1.873786e-05,1.884138e-05,1.910626e-05,1.932553e-05,1.947098e-05,1.980323e-05,1.983197e-05,2.018917e-05,2.027433e-05,2.054253e-05,2.073872e-05,2.089201e-05,2.119631e-05,2.123757e-05,2.157918e-05,2.164702e-05,2.191680e-05,2.209078e-05,2.225041e-05,2.252753e-05,2.258000e-05,2.290554e-05,2.295725e-05,2.322703e-05,2.337991e-05,2.354446e-05,2.379548e-05,2.385783e-05,2.416712e-05,2.420397e-05,2.447236e-05,2.460537e-05,2.477353e-05,2.499971e-05,2.507064e-05,2.536372e-05,2.538699e-05,2.565276e-05,2.576725e-05,2.593778e-05,2.614052e-05,2.621880e-05,2.649584e-05,2.650684e-05,2.676891e-05,2.686625e-05,2.703804e-05,2.721880e-05,2.730324e-05,2.756455e-05,2.790356e-05,2.823589e-05,2.856159e-05,2.888075e-05,2.919343e-05,2.949970e-05,2.979964e-05,3.009334e-05,3.038085e-05,3.066228e-05,3.093769e-05,3.120718e-05,3.147082e-05,3.172870e-05,3.198090e-05,3.222751e-05,3.246862e-05,3.270431e-05,3.293467e-05,3.315978e-05,3.337973e-05,3.359461e-05,3.380449e-05,3.400947e-05
0.000000e+00,1.478642e-14,1.419941e-13,4.018612e-12,3.641831e-11,9.962618e-11,8.684426e-10,9.387272e-10,5.225474e-09,7.919512e-09,2.088518e-08,4.279674e-08,6.647591e-08,1.663899e-07,1.792167e-07,4.258032e-07,5.159737e-07,9.159777e-07,1.356867e-06,1.818566e-06,3.146988e-06,3.379344e-06,5.939676e-06,6.609539e-06,9.954557e-06,1.280566e-05,1.600862e-05,2.319738e-05,2.482884e-05,3.729287e-05,3.969204e-05,5.443246e-05,6.466220e-05,7.743150e-05,1.009379e-04,1.076187e-04,1.464553e-04,1.517707e-04,1.955178e-04,2.207725e-04,2.564766e-04,3.118299e-04,3.310711e-04,4.210822e-04,4.290029e-04,5.283033e-04,5.764094e-04,6.545093e-04,7.581049e-04,8.014263e-04,9.707017e-04,9.779600e-04,1.163876e-03,1.239544e-03,1.382354e-03,1.546018e-03,1.627386e-03,1.900041e-03,2.201191e-03,2.303691e-03,2.531499e-03,2.758411e-03,2.891406e-03,3.264967e-03,3.281129e-03,3.700652e-03,3.823430e-03,4.149730e-03,4.433177e-03,4.627895e-03,5.092909e-03,5.134459e-03,5.668530e-03,5.800682e-03,6.229015e-03,6.553958e-03,6.814645e-03,7.349662e-03,7.423984e-03,8.055449e-03,8.184249e-03,8.707330e-03,9.053775e-03,9.377804e-03,9.953974e-03,1.006496e-02,1.076681e-02,1.088034e-02,1.148133e-02,1.182818e-02,1.220643e-02,1.279274e-02,1.294004e-02,1.368007e-02,1.376921e-02,1.442445e-02,1.475282e-02,1.517113e-02,1.573893e-02,1.591813e-02,1.666350e-02,1.672301e-02,1.740538e-02,1.770074e-02,1.814196e-02,1.866805e-02,1.887153e-02,1.959247e-02,1.962111e-02,2.030326e-02,2.055638e-02,2.100247e-02,2.147063e-02,2.168877e-02,2.236096e-02,2.301792e-02,2.322476e-02,2.365864e-02,2.405978e-02,2.428225e-02,2.486406e-02,2.488794e-02,2.547502e-02,2.563599e-02,2.604291e-02,2.637422e-02,2.659111e-02,2.707773e-02,2.711924e-02,2.762697e-02,2.774576e-02,2.811409e-02,2.837781e-02,2.858044e-02,2.897361e-02,2.902598e-02,2.945069e-02,2.953314e-02,2.985466e-02,3.005656e-02,3.023801e-02,3.054423e-02,3.060093e-02,3.094367e-02,3.099666e-02,3.126652e-02,3.141451e-02,3.156980e-02,3.179858e-02,3.185389e-02,3.211918e-02,3.214977e-02,3.236612e-02,3.246908e-02,3.259516e-02,3.275756e-02,3.280679e-02,3.300151e-02,3.301638e-02,3.317984e-02,3.324670e-02,3.334230e-02,3.344975e-02,3.348944e-02,3.362180e-02,3.362679e-02,3.373993e-02,3.377908e-02,3.384438e-02,3.390788e-02,3.393571e-02,3.401446e-02,3.410008e-02,3.416599e-02,3.421339e-02,3.424348e-02,3.425741e-02,3.425632e-02,3.424129e-02,3.421336e-02,3.417355e-02,3.412282e-02,3.406208e-02,3.399223e-02,3.391408e-02,3.382844e-02,3.373604e-02,3.363759e-02,3.353376e-02,3.342518e-02,3.331242e-02,3.319604e-02,3.307656e-02,3.295445e-02,3.283015e-02,3.270408e-02
0.000000e+00,6.207438e-13,2.955508e-12,2.523699e-11,9.568317e-11,1.731802e-10,6.088080e-10,6.367846e-10,1.718627e-09,2.189524e-09,3.871925e-09,5.939528e-09,7.744827e-09,1.352530e-08,1.415080e-08,2.388973e-08,2.679471e-08,3.756030e-08,4.707977e-08,5.553646e-08,7.509324e-08,7.803695e-08,1.051861e-07,1.111802e-07,1.370470e-07,1.554840e-07,1.736366e-07,2.080106e-07,2.149321e-07,2.608741e-07,2.686503e-07,3.113688e-07,3.371875e-07,3.662903e-07,4.133123e-07,4.254847e-07,4.887733e-07,4.966339e-07,5.559574e-07,5.866977e-07,6.268227e-07,6.830040e-07,7.011439e-07,7.786891e-07,7.850250e-07,8.592234e-07,8.922214e-07,9.425124e-07,1.004056e-06,1.028325e-06,1.116436e-06,1.120005e-06,1.206627e-06,1.239565e-06,1.298690e-06,1.362259e-06,1.392424e-06,1.487641e-06,1.584163e-06,1.615298e-06,1.681823e-06,1.744849e-06,1.780463e-06,1.875944e-06,1.879937e-06,1.980109e-06,2.008265e-06,2.080853e-06,2.141525e-06,2.182051e-06,2.275461e-06,2.283595e-06,2.385383e-06,2.409838e-06,2.487324e-06,2.544445e-06,2.589332e-06,2.679091e-06,2.691327e-06,2.793238e-06,2.813605e-06,2.894998e-06,2.947833e-06,2.996546e-06,3.081639e-06,3.097824e-06,3.198781e-06,3.214901e-06,3.299370e-06,3.347509e-06,3.399547e-06,3.479365e-06,3.499272e-06,3.598509e-06,3.610383e-06,3.697224e-06,3.740485e-06,3.795386e-06,3.869603e-06,3.892969e-06,3.989945e-06,3.997677e-06,4.086294e-06,4.124652e-06,4.181992e-06,4.250482e-06,4.277022e-06,4.371366e-06,4.375125e-06,4.465008e-06,4.498545e-06,4.557936e-06,4.620711e-06,4.650135e-06,4.741595e-06,4.832307e-06,4.861175e-06,4.922260e-06,4.979430e-06,5.011449e-06,5.096344e-06,5.099865e-06,5.187504e-06,5.211903e-06,5.274360e-06,5.326096e-06,5.360429e-06,5.438915e-06,5.445709e-06,5.530195e-06,5.550354e-06,5.613887e-06,5.660407e-06,5.696783e-06,5.769073e-06,5.778883e-06,5.860185e-06,5.876350e-06,5.940690e-06,5.982239e-06,6.020400e-06,6.086741e-06,6.099314e-06,6.177435e-06,6.189861e-06,6.254764e-06,6.291601e-06,6.331304e-06,6.391969e-06,6.407057e-06,6.482025e-06,6.490969e-06,6.556213e-06,6.588609e-06,6.629624e-06,6.684898e-06,6.702260e-06,6.774126e-06,6.779842e-06,6.845226e-06,6.873453e-06,6.915564e-06,6.965739e-06,6.985145e-06,7.053973e-06,7.056711e-06,7.122053e-06,7.146380e-06,7.189390e-06,7.234757e-06,7.255988e-06,7.321853e-06,7.407682e-06,7.492254e-06,7.575583e-06,7.657681e-06,7.738561e-06,7.818237e-06,7.896722e-06,7.974029e-06,8.050172e-06,8.125164e-06,8.199019e-06,8.271752e-06,8.343375e-06,8.413903e-06,8.483349e-06,8.551727e-06,8.619052e-06,8.685337e-06,8.750595e-06,8.814841e-06,8.878087e-06,8.940349e-06,9.001638e-06,9.061969e-06
0.000000e+00,2.561181e-13,1.319068e-12,1.239643e-11,4.917570e-11,9.036500e-11,3.235850e-10,3.385335e-10,9.092960e-10,1.153201e-09,2.005377e-09,3.020459e-09,3.885861e-09,6.580508e-09,6.867880e-09,1.130582e-08,1.262643e-08,1.753936e-08,2.192030e-08,2.584369e-08,3.502339e-08,3.641691e-08,4.939314e-08,5.228503e-08,6.485838e-08,7.390133e-08,8.286100e-08,9.995723e-08,1.034178e-07,1.265178e-07,1.304478e-07,1.521252e-07,1.652910e-07,1.801817e-07,2.043390e-07,2.106102e-07,2.433173e-07,2.473903e-07,2.781969e-07,2.942025e-07,3.151331e-07,3.445049e-07,3.540035e-07,3.946817e-07,3.980102e-07,4.370399e-07,4.544249e-07,4.809506e-07,5.134573e-07,5.262887e-07,5.729326e-07,5.748239e-07,6.207652e-07,6.382542e-07,6.696744e-07,7.034932e-07,7.195540e-07,7.703035e-07,8.218286e-07,8.384658e-07,8.740408e-07,9.077789e-07,9.268576e-07,9.780593e-07,9.802023e-07,1.034003e-06,1.049140e-06,1.088194e-06,1.120870e-06,1.142714e-06,1.193114e-06,1.197506e-06,1.252517e-06,1.265746e-06,1.307698e-06,1.338658e-06,1.363006e-06,1.411748e-06,1.418398e-06,1.473836e-06,1.484926e-06,1.529285e-06,1.558112e-06,1.584713e-06,1.631232e-06,1.640088e-06,1.695383e-06,1.704221e-06,1.750572e-06,1.777019e-06,1.805632e-06,1.849572e-06,1.860540e-06,1.915277e-06,1.921832e-06,1.969822e-06,1.993757e-06,2.024159e-06,2.065306e-06,2.078272e-06,2.132145e-06,2.136444e-06,2.185766e-06,2.207140e-06,2.239120e-06,2.277365e-06,2.292198e-06,2.344987e-06,2.347092e-06,2.397477e-06,2.416299e-06,2.449660e-06,2.484965e-06,2.501527e-06,2.553070e-06,2.604283e-06,2.620599e-06,2.655157e-06,2.687537e-06,2.705688e-06,2.753869e-06,2.755869e-06,2.805697e-06,2.819584e-06,2.855165e-06,2.884672e-06,2.904270e-06,2.949124e-06,2.953009e-06,3.001378e-06,3.012931e-06,3.049373e-06,3.076087e-06,3.096993e-06,3.138585e-06,3.144234e-06,3.191095e-06,3.200422e-06,3.237575e-06,3.261592e-06,3.283670e-06,3.322093e-06,3.329381e-06,3.374705e-06,3.381921e-06,3.419643e-06,3.441076e-06,3.464194e-06,3.499555e-06,3.508357e-06,3.552131e-06,3.557358e-06,3.595518e-06,3.614485e-06,3.638516e-06,3.670936e-06,3.681127e-06,3.723350e-06,3.726711e-06,3.765187e-06,3.781813e-06,3.806637e-06,3.836243e-06,3.847702e-06,3.888383e-06,3.890002e-06,3.928681e-06,3.943094e-06,3.968596e-06,3.995521e-06,4.008130e-06,4.047285e-06,4.098391e-06,4.148841e-06,4.198640e-06,4.247791e-06,4.296298e-06,4.344167e-06,4.391401e-06,4.438005e-06,4.483985e-06,4.529344e-06,4.574089e-06,4.618224e-06,4.661755e-06,4.704686e-06,4.747025e-06,4.788775e-06,4.829944e-06,4.870536e-06,4.910557e-06,4.950013e-06,4.988910e-06,5.027253e-06,5.065050e-06,5.102304e-06
0.000000e+00,4.783281e-12,1.674863e-11,1.019940e-10,3.295931e-10,5.615995e-10,1.764651e-09,1.838817e-09,4.568714e-09,5.700177e-09,9.568992e-09,1.406980e-08,1.784618e-08,2.937308e-08,3.058704e-08,4.909994e-08,5.454929e-08,7.469580e-08,9.257728e-08,1.085757e-07,1.460774e-07,1.517863e-07,2.052226e-07,2.172058e-07,2.696407e-07,3.076907e-07,3.456655e-07,4.188638e-07,4.337947e-07,5.344018e-07,5.516755e-07,6.477407e-07,7.067110e-07,7.739516e-07,8.842149e-07,9.130695e-07,1.065034e-06,1.084127e-06,1.229700e-06,1.306123e-06,1.406849e-06,1.549660e-06,1.596200e-06,1.797422e-06,1.814021e-06,2.010138e-06,2.098353e-06,2.233943e-06,2.401706e-06,2.468403e-06,2.713067e-06,2.723059e-06,2.967470e-06,3.061349e-06,3.231141e-06,3.415489e-06,3.503605e-06,3.784385e-06,4.073009e-06,4.166948e-06,4.369009e-06,4.562106e-06,4.671924e-06,4.968808e-06,4.981301e-06,5.296699e-06,5.386029e-06,5.617683e-06,5.812780e-06,5.943834e-06,6.248104e-06,6.274742e-06,6.610010e-06,6.691080e-06,6.949253e-06,7.140826e-06,7.292099e-06,7.596497e-06,7.638188e-06,7.987173e-06,8.057288e-06,8.338720e-06,8.522429e-06,8.692507e-06,8.991191e-06,9.048223e-06,9.405572e-06,9.462880e-06,9.764268e-06,9.936840e-06,1.012404e-05,1.041245e-05,1.048462e-05,1.084575e-05,1.088912e-05,1.120721e-05,1.136629e-05,1.156876e-05,1.184346e-05,1.193017e-05,1.229125e-05,1.232012e-05,1.265179e-05,1.279581e-05,1.301160e-05,1.327012e-05,1.337051e-05,1.372833e-05,1.374262e-05,1.408492e-05,1.421296e-05,1.444011e-05,1.468077e-05,1.479376e-05,1.514573e-05,1.549589e-05,1.560753e-05,1.584411e-05,1.606591e-05,1.619029e-05,1.652060e-05,1.653432e-05,1.687609e-05,1.697136e-05,1.721550e-05,1.741798e-05,1.755247e-05,1.786025e-05,1.788691e-05,1.821875e-05,1.829799e-05,1.854791e-05,1.873104e-05,1.887432e-05,1.915925e-05,1.919793e-05,1.951868e-05,1.958248e-05,1.983651e-05,2.000061e-05,2.015137e-05,2.041354e-05,2.046323e-05,2.077204e-05,2.082117e-05,2.107777e-05,2.122342e-05,2.138038e-05,2.162021e-05,2.167986e-05,2.197616e-05,2.201150e-05,2.226927e-05,2.239722e-05,2.255918e-05,2.277735e-05,2.284586e-05,2.312930e-05,2.315184e-05,2.340950e-05,2.352067e-05,2.368645e-05,2.388384e-05,2.396014e-05,2.423057e-05,2.424132e-05,2.449774e-05,2.459312e-05,2.476165e-05,2.493925e-05,2.502231e-05,2.527971e-05,2.561453e-05,2.594372e-05,2.626732e-05,2.658535e-05,2.689784e-05,2.720485e-05,2.750641e-05,2.780256e-05,2.809336e-05,2.837886e-05,2.865911e-05,2.893417e-05,2.920410e-05,2.946895e-05,2.972879e-05,2.998369e-05,3.023369e-05,3.047889e-05,3.071933e-05,3.095508e-05,3.118622e-05,3.141281e-05,3.163493e-05,3.185263e-05
0.000000e+00,5.681935e-17,6.320875e-16,2.203649e-14,2.252322e-13,6.460206e-13,6.098407e-12,6.606498e-12,3.807907e-11,5.795198e-11,1.532378e-10,3.125563e-10,4.827372e-10,1.185695e-09,1.274616e-09,2.946431e-09,3.544309e-09,6.137215e-09,8.911283e-09,1.174543e-08,1.960075e-08,2.093764e-08,3.512050e-08,3.869327e-08,5.588063e-08,6.983357e-08,8.490465e-08,1.169173e-07,1.238940e-07,1.744861e-07,1.837606e-07,2.381883e-07,2.738197e-07,3.163278e-07,3.899896e-07,4.100171e-07,5.201331e-07,5.344835e-07,6.473074e-07,7.087764e-07,7.919258e-07,9.136009e-07,9.541346e-07,1.133853e-06,1.148980e-06,1.330792e-06,1.414287e-06,1.544470e-06,1.708327e-06,1.774243e-06,2.019321e-06,2.029430e-06,2.278802e-06,2.375552e-06,2.551691e-06,2.744375e-06,2.836927e-06,3.133407e-06,3.440008e-06,3.540073e-06,3.755601e-06,3.961786e-06,4.079075e-06,4.396017e-06,4.409345e-06,4.745365e-06,4.840344e-06,5.086138e-06,5.292488e-06,5.430719e-06,5.750336e-06,5.778224e-06,6.127828e-06,6.211959e-06,6.478768e-06,6.675614e-06,6.830343e-06,7.139743e-06,7.181911e-06,7.532889e-06,7.602966e-06,7.882748e-06,8.064072e-06,8.231011e-06,8.522006e-06,8.577252e-06,8.921086e-06,8.975853e-06,9.262173e-06,9.424829e-06,9.600210e-06,9.868263e-06,9.934930e-06,1.026610e-05,1.030559e-05,1.059350e-05,1.073632e-05,1.091697e-05,1.116007e-05,1.123633e-05,1.155147e-05,1.157649e-05,1.186225e-05,1.198533e-05,1.216859e-05,1.238635e-05,1.247040e-05,1.276761e-05,1.277940e-05,1.306016e-05,1.316433e-05,1.334802e-05,1.354105e-05,1.363114e-05,1.390950e-05,1.418308e-05,1.426962e-05,1.445188e-05,1.462140e-05,1.471589e-05,1.496484e-05,1.497512e-05,1.522957e-05,1.529996e-05,1.547926e-05,1.562680e-05,1.572421e-05,1.594539e-05,1.596444e-05,1.619998e-05,1.625581e-05,1.643085e-05,1.655811e-05,1.665709e-05,1.685238e-05,1.687873e-05,1.709582e-05,1.713870e-05,1.730839e-05,1.741716e-05,1.751649e-05,1.768786e-05,1.772015e-05,1.791943e-05,1.795091e-05,1.811437e-05,1.820641e-05,1.830502e-05,1.845448e-05,1.849142e-05,1.867364e-05,1.869522e-05,1.885171e-05,1.892876e-05,1.902569e-05,1.915522e-05,1.919564e-05,1.936161e-05,1.937472e-05,1.952365e-05,1.958737e-05,1.968181e-05,1.979331e-05,1.983615e-05,1.998672e-05,1.999266e-05,2.013358e-05,2.018555e-05,2.027678e-05,2.037209e-05,2.041638e-05,2.055243e-05,2.072667e-05,2.089495e-05,2.105740e-05,2.121413e-05,2.136528e-05,2.151096e-05,2.165129e-05,2.178640e-05,2.191641e-05,2.204143e-05,2.216158e-05,2.227698e-05,2.238773e-05,2.249396e-05,2.259578e-05,2.269329e-05,2.278659e-05,2.287581e-05,2.296104e-05,2.304238e-05,2.311994e-05,2.319381e-05,2.326409e-05,2.333088e-05
0.000000e+00,2.985271e-18,3.521100e-17,1.388158e-15,1.588635e-14,4.850401e-14,5.386924e-13,5.874607e-13,3.982680e-12,6.334641e-12,1.871086e-11,4.171994e-11,6.826598e-11,1.905284e-10,2.070374e-10,5.453606e-10,6.761843e-10,1.285652e-09,1.996214e-09,2.771062e-09,5.121872e-09,5.547436e-09,1.043851e-08,1.176763e-08,1.863320e-08,2.472675e-08,3.178217e-08,4.825712e-08,5.209972e-08,8.246527e-08,8.848795e-08,1.265183e-07,1.538075e-07,1.887403e-07,2.551873e-07,2.745171e-07,3.901776e-07,4.064010e-07,5.430046e-07,6.241073e-07,7.412148e-07,9.277756e-07,9.939083e-07,1.310989e-06,1.339450e-06,1.703055e-06,1.883362e-06,2.181265e-06,2.585397e-06,2.757182e-06,3.442603e-06,3.472465e-06,4.249373e-06,4.571779e-06,5.189198e-06,5.910102e-06,6.273449e-06,7.512977e-06,8.917929e-06,9.403993e-06,1.049758e-05,1.160409e-05,1.226017e-05,1.413096e-05,1.421279e-05,1.636125e-05,1.699855e-05,1.870997e-05,2.021662e-05,2.126193e-05,2.379055e-05,2.401863e-05,2.698004e-05,2.772110e-05,3.014462e-05,3.200445e-05,3.350931e-05,3.663222e-05,3.706960e-05,4.081956e-05,4.159169e-05,4.475193e-05,4.686608e-05,4.885821e-05,5.243486e-05,5.312875e-05,5.755286e-05,5.827421e-05,6.211893e-05,6.435744e-05,6.681453e-05,7.065550e-05,7.162658e-05,7.654144e-05,7.713747e-05,8.154505e-05,8.377105e-05,8.662303e-05,9.052310e-05,9.176085e-05,9.694390e-05,9.736006e-05,1.021576e-04,1.042485e-04,1.073876e-04,1.111553e-04,1.126197e-04,1.178400e-04,1.180484e-04,1.230352e-04,1.248967e-04,1.281922e-04,1.316709e-04,1.332988e-04,1.383431e-04,1.433139e-04,1.448874e-04,1.482009e-04,1.512800e-04,1.529942e-04,1.574993e-04,1.576849e-04,1.622646e-04,1.635260e-04,1.667258e-04,1.693428e-04,1.710618e-04,1.749351e-04,1.752665e-04,1.793347e-04,1.802902e-04,1.832617e-04,1.853978e-04,1.870438e-04,1.902497e-04,1.906778e-04,1.941612e-04,1.948397e-04,1.974922e-04,1.991635e-04,2.006693e-04,2.032189e-04,2.036921e-04,2.065603e-04,2.070049e-04,2.092744e-04,2.105225e-04,2.118350e-04,2.137740e-04,2.142436e-04,2.165019e-04,2.167628e-04,2.186118e-04,2.194937e-04,2.205757e-04,2.219724e-04,2.223965e-04,2.240769e-04,2.242054e-04,2.256203e-04,2.262000e-04,2.270300e-04,2.279643e-04,2.283097e-04,2.294631e-04,2.295067e-04,2.304942e-04,2.308361e-04,2.314068e-04,2.319619e-04,2.322052e-04,2.328934e-04,2.336403e-04,2.342124e-04,2.346193e-04,2.348706e-04,2.349759e-04,2.349447e-04,2.347860e-04,2.345089e-04,2.341220e-04,2.336339e-04,2.330525e-04,2.323857e-04,2.316411e-04,2.308256e-04,2.299462e-04,2.290092e-04,2.280209e-04,2.269870e-04,2.259128e-04,2.248037e-04,2.236644e-04,2.224993e-04,2.213127e-04,2.201085e-04
0.000000e+00,7.923993e-18,8.974422e-17,3.247827e-15,3.434301e-14,1.003519e-13,9.934689e-13,1.078301e-12,6.506649e-12,1.002284e-11,2.729502e-11,5.694784e-11,8.920153e-11,2.255911e-10,2.430761e-10,5.770691e-10,6.981805e-10,1.229754e-09,1.806777e-09,2.403066e-09,4.084295e-09,4.374083e-09,7.504785e-09,8.308360e-09,1.224906e-08,1.553230e-08,1.915620e-08,2.709806e-08,2.887009e-08,4.212328e-08,4.462538e-08,5.972530e-08,6.997247e-08,8.254529e-08,1.051666e-07,1.114895e-07,1.474749e-07,1.523094e-07,1.914015e-07,2.134676e-07,2.441245e-07,2.905630e-07,3.064285e-07,3.790063e-07,3.852747e-07,4.624418e-07,4.989640e-07,5.571978e-07,6.326254e-07,6.636101e-07,7.818849e-07,7.868641e-07,9.121014e-07,9.618982e-07,1.054218e-06,1.157579e-06,1.208078e-06,1.373425e-06,1.549910e-06,1.608669e-06,1.737103e-06,1.862301e-06,1.934510e-06,2.133120e-06,2.141581e-06,2.357722e-06,2.419782e-06,2.582308e-06,2.720844e-06,2.814691e-06,3.034803e-06,3.054211e-06,3.300202e-06,3.360128e-06,3.551998e-06,3.695295e-06,3.808943e-06,4.038803e-06,4.070394e-06,4.335725e-06,4.389202e-06,4.604327e-06,4.745100e-06,4.875620e-06,5.105176e-06,5.149045e-06,5.424070e-06,5.468189e-06,5.700194e-06,5.832982e-06,5.976939e-06,6.198482e-06,6.253859e-06,6.530535e-06,6.563701e-06,6.806577e-06,6.927739e-06,7.081619e-06,7.289775e-06,7.355325e-06,7.627383e-06,7.649068e-06,7.897505e-06,8.004952e-06,8.165428e-06,8.356834e-06,8.430910e-06,8.693733e-06,8.704187e-06,8.953695e-06,9.046546e-06,9.210617e-06,9.383504e-06,9.464336e-06,9.714709e-06,9.961604e-06,1.003986e-05,1.020491e-05,1.035869e-05,1.044452e-05,1.067100e-05,1.068036e-05,1.091235e-05,1.097661e-05,1.114042e-05,1.127536e-05,1.136452e-05,1.156716e-05,1.158462e-05,1.180067e-05,1.185192e-05,1.201266e-05,1.212958e-05,1.222056e-05,1.240012e-05,1.242436e-05,1.262407e-05,1.266352e-05,1.281968e-05,1.291978e-05,1.301121e-05,1.316894e-05,1.319866e-05,1.338206e-05,1.341103e-05,1.356143e-05,1.364611e-05,1.373680e-05,1.387424e-05,1.390820e-05,1.407566e-05,1.409549e-05,1.423921e-05,1.430995e-05,1.439891e-05,1.451772e-05,1.455479e-05,1.470689e-05,1.471889e-05,1.485526e-05,1.491358e-05,1.499995e-05,1.510188e-05,1.514101e-05,1.527849e-05,1.528392e-05,1.541244e-05,1.545981e-05,1.554292e-05,1.562968e-05,1.566997e-05,1.579366e-05,1.595186e-05,1.610441e-05,1.625145e-05,1.639311e-05,1.652950e-05,1.666077e-05,1.678703e-05,1.690842e-05,1.702507e-05,1.713709e-05,1.724462e-05,1.734778e-05,1.744669e-05,1.754146e-05,1.763222e-05,1.771908e-05,1.780215e-05,1.788156e-05,1.795740e-05,1.802978e-05,1.809882e-05,1.816461e-05,1.822725e-05,1.828685e-05
0.000000e+00,2.249101e-17,2.501737e-16,8.728618e-15,8.927982e-14,2.561701e-13,2.420192e-12,2.621893e-12,1.511523e-11,2.300098e-11,6.077492e-11,1.238165e-10,1.910238e-10,4.675710e-10,5.024559e-10,1.155661e-09,1.388375e-09,2.394620e-09,3.468420e-09,4.564675e-09,7.606970e-09,8.125836e-09,1.365736e-08,1.505915e-08,2.185061e-08,2.742050e-08,3.349019e-08,4.655140e-08,4.942607e-08,7.054093e-08,7.445917e-08,9.771733e-08,1.131672e-07,1.318077e-07,1.645963e-07,1.736094e-07,2.238446e-07,2.304706e-07,2.831464e-07,3.122528e-07,3.520489e-07,4.111043e-07,4.309821e-07,5.202693e-07,5.278668e-07,6.201276e-07,6.630598e-07,7.306710e-07,8.168904e-07,8.519142e-07,9.837794e-07,9.892729e-07,1.126103e-06,1.179856e-06,1.278644e-06,1.388053e-06,1.441094e-06,1.613082e-06,1.794189e-06,1.853995e-06,1.983955e-06,2.109724e-06,2.181888e-06,2.379107e-06,2.387471e-06,2.600170e-06,2.660928e-06,2.819445e-06,2.953940e-06,3.044752e-06,3.256895e-06,3.275548e-06,3.511300e-06,3.568560e-06,3.751487e-06,3.887738e-06,3.995599e-06,4.213277e-06,4.243149e-06,4.493663e-06,4.544082e-06,4.746694e-06,4.879121e-06,5.001812e-06,5.217428e-06,5.258613e-06,5.516711e-06,5.558103e-06,5.775748e-06,5.900319e-06,6.035384e-06,6.243311e-06,6.295302e-06,6.555206e-06,6.586381e-06,6.814821e-06,6.928893e-06,7.073889e-06,7.270269e-06,7.332174e-06,7.589454e-06,7.609987e-06,7.845527e-06,7.947576e-06,8.100205e-06,8.282612e-06,8.353315e-06,8.604699e-06,8.614716e-06,8.854211e-06,8.943551e-06,9.101718e-06,9.268815e-06,9.347098e-06,9.590241e-06,9.831047e-06,9.907596e-06,1.006942e-05,1.022067e-05,1.030529e-05,1.052929e-05,1.053857e-05,1.076921e-05,1.083330e-05,1.099713e-05,1.113256e-05,1.122229e-05,1.142695e-05,1.144464e-05,1.166414e-05,1.171639e-05,1.188076e-05,1.200080e-05,1.209447e-05,1.228010e-05,1.230523e-05,1.251304e-05,1.255425e-05,1.271787e-05,1.282320e-05,1.291972e-05,1.308694e-05,1.311856e-05,1.331440e-05,1.334545e-05,1.350722e-05,1.359871e-05,1.369704e-05,1.384673e-05,1.388385e-05,1.406766e-05,1.408952e-05,1.424848e-05,1.432709e-05,1.442630e-05,1.455946e-05,1.460115e-05,1.477303e-05,1.478666e-05,1.494197e-05,1.500872e-05,1.510797e-05,1.522568e-05,1.527105e-05,1.543124e-05,1.543758e-05,1.558854e-05,1.564447e-05,1.574299e-05,1.584639e-05,1.589459e-05,1.604339e-05,1.623553e-05,1.642286e-05,1.660544e-05,1.678333e-05,1.695660e-05,1.712530e-05,1.728949e-05,1.744926e-05,1.760465e-05,1.775574e-05,1.790259e-05,1.804528e-05,1.818387e-05,1.831842e-05,1.844901e-05,1.857571e-05,1.869857e-05,1.881768e-05,1.893310e-05,1.904490e-05,1.915314e-05,1.925790e-05,1.935923e-05,1.945721e-05
0.000000e+00,5.394661e-12,1.658714e-11,8.802929e-11,2.666145e-10,4.433321e-10,1.333443e-09,1.387577e-09,3.354742e-09,4.161420e-09,6.900611e-09,1.006598e-08,1.271217e-08,2.076472e-08,2.161181e-08,3.453139e-08,3.833822e-08,5.243697e-08,6.498506e-08,7.623780e-08,1.026991e-07,1.067365e-07,1.446244e-07,1.531424e-07,1.904933e-07,2.176696e-07,2.448461e-07,2.973679e-07,3.081020e-07,3.805990e-07,3.930744e-07,4.625948e-07,5.053823e-07,5.542681e-07,6.346449e-07,6.557198e-07,7.669769e-07,7.809853e-07,8.879960e-07,9.443114e-07,1.018669e-06,1.124337e-06,1.158829e-06,1.308258e-06,1.320605e-06,1.466692e-06,1.532520e-06,1.633828e-06,1.759367e-06,1.809332e-06,1.992845e-06,2.000347e-06,2.183989e-06,2.254594e-06,2.382371e-06,2.521199e-06,2.587588e-06,2.799232e-06,3.016894e-06,3.087751e-06,3.240168e-06,3.385822e-06,3.468650e-06,3.692525e-06,3.701944e-06,3.939660e-06,4.006962e-06,4.181420e-06,4.328263e-06,4.426855e-06,4.655592e-06,4.675606e-06,4.927327e-06,4.988145e-06,5.181686e-06,5.325159e-06,5.438362e-06,5.665909e-06,5.697048e-06,5.957450e-06,6.009711e-06,6.219287e-06,6.355920e-06,6.482292e-06,6.703934e-06,6.746213e-06,7.010810e-06,7.053193e-06,7.275857e-06,7.403175e-06,7.541137e-06,7.753393e-06,7.806448e-06,8.071595e-06,8.103393e-06,8.336398e-06,8.452758e-06,8.600685e-06,8.801097e-06,8.864293e-06,9.127072e-06,9.148054e-06,9.388879e-06,9.493299e-06,9.649579e-06,9.836528e-06,9.909048e-06,1.016717e-05,1.017746e-05,1.042383e-05,1.051585e-05,1.067894e-05,1.085147e-05,1.093239e-05,1.118410e-05,1.143398e-05,1.151355e-05,1.168197e-05,1.183966e-05,1.192800e-05,1.216227e-05,1.217199e-05,1.241390e-05,1.248125e-05,1.265366e-05,1.279648e-05,1.289124e-05,1.310784e-05,1.312659e-05,1.335967e-05,1.341526e-05,1.359044e-05,1.371865e-05,1.381888e-05,1.401795e-05,1.404495e-05,1.426864e-05,1.431309e-05,1.448992e-05,1.460403e-05,1.470878e-05,1.489074e-05,1.492520e-05,1.513918e-05,1.517318e-05,1.535069e-05,1.545135e-05,1.555975e-05,1.572521e-05,1.576633e-05,1.597045e-05,1.599478e-05,1.617211e-05,1.626005e-05,1.637130e-05,1.652103e-05,1.656803e-05,1.676230e-05,1.677774e-05,1.695413e-05,1.703018e-05,1.714353e-05,1.727839e-05,1.733049e-05,1.751505e-05,1.752238e-05,1.769721e-05,1.776220e-05,1.787698e-05,1.799786e-05,1.805438e-05,1.822942e-05,1.845691e-05,1.868037e-05,1.889984e-05,1.911538e-05,1.932703e-05,1.953484e-05,1.973886e-05,1.993915e-05,2.013575e-05,2.032873e-05,2.051813e-05,2.070402e-05,2.088644e-05,2.106545e-05,2.124112e-05,2.141349e-05,2.158263e-05,2.174858e-05,2.191141e-05,2.207117e-05,2.222792e-05,2.238171e-05,2.253260e-05,2.268063e-05
0.000000e+00,3.798392e-17,4.429740e-16,1.705083e-14,1.908965e-13,5.758236e-13,6.197347e-12,6.749741e-12,4.434759e-11,6.993709e-11,2.021840e-10,4.430391e-10,7.167645e-10,1.950401e-09,2.114836e-09,5.425998e-09,6.686364e-09,1.247288e-08,1.910342e-08,2.624065e-08,4.751466e-08,5.132098e-08,9.441700e-08,1.059685e-07,1.648851e-07,2.163714e-07,2.752788e-07,4.106367e-07,4.418516e-07,6.849706e-07,7.325645e-07,1.029400e-06,1.239137e-06,1.504420e-06,2.000983e-06,2.143760e-06,2.985344e-06,3.101868e-06,4.070850e-06,4.637202e-06,5.445110e-06,6.711668e-06,7.155365e-06,9.250410e-06,9.436117e-06,1.177968e-05,1.292401e-05,1.479230e-05,1.728761e-05,1.833610e-05,2.245671e-05,2.263415e-05,2.719666e-05,2.906223e-05,3.259459e-05,3.665859e-05,3.868453e-05,4.549534e-05,5.305016e-05,5.562780e-05,6.136611e-05,6.709304e-05,7.045404e-05,7.990890e-05,8.031837e-05,9.095710e-05,9.407373e-05,1.023619e-04,1.095667e-04,1.145183e-04,1.263487e-04,1.274060e-04,1.409992e-04,1.443632e-04,1.552669e-04,1.635383e-04,1.701734e-04,1.837880e-04,1.856789e-04,2.017400e-04,2.050148e-04,2.183099e-04,2.271111e-04,2.353394e-04,2.499620e-04,2.527773e-04,2.705705e-04,2.734468e-04,2.886652e-04,2.974417e-04,3.070067e-04,3.218210e-04,3.255405e-04,3.442121e-04,3.464594e-04,3.629680e-04,3.712336e-04,3.817555e-04,3.960235e-04,4.005233e-04,4.192220e-04,4.207135e-04,4.378039e-04,4.451937e-04,4.562234e-04,4.693605e-04,4.744373e-04,4.924048e-04,4.931178e-04,5.100877e-04,5.163769e-04,5.274504e-04,5.390573e-04,5.444601e-04,5.610866e-04,5.773027e-04,5.824010e-04,5.930836e-04,6.029447e-04,6.084074e-04,6.226703e-04,6.232549e-04,6.376093e-04,6.415382e-04,6.514566e-04,6.595166e-04,6.647850e-04,6.765809e-04,6.775853e-04,6.898501e-04,6.927134e-04,7.015746e-04,7.079031e-04,7.127557e-04,7.221446e-04,7.233922e-04,7.334846e-04,7.354380e-04,7.430353e-04,7.477887e-04,7.520480e-04,7.592066e-04,7.605278e-04,7.684813e-04,7.697055e-04,7.759161e-04,7.793031e-04,7.828409e-04,7.880200e-04,7.892654e-04,7.952001e-04,7.958799e-04,8.006563e-04,8.029085e-04,8.056459e-04,8.091335e-04,8.101813e-04,8.142755e-04,8.145844e-04,8.179419e-04,8.192917e-04,8.211940e-04,8.232869e-04,8.240459e-04,8.265115e-04,8.266023e-04,8.286052e-04,8.292706e-04,8.303411e-04,8.313245e-04,8.317335e-04,8.327967e-04,8.337199e-04,8.341262e-04,8.340473e-04,8.335141e-04,8.325568e-04,8.312049e-04,8.294869e-04,8.274303e-04,8.250615e-04,8.224061e-04,8.194884e-04,8.163317e-04,8.129582e-04,8.093890e-04,8.056441e-04,8.017426e-04,7.977023e-04,7.935400e-04,7.892718e-04,7.849123e-04,7.804757e-04,7.759749e-04,7.714223e-04,7.668290e-04
0.000000e+00,4.227071e-12,1.284746e-11,6.728132e-11,2.022763e-10,3.352501e-10,1.000824e-09,1.041147e-09,2.498592e-09,3.092738e-09,5.098688e-09,7.398641e-09,9.309199e-09,1.507021e-08,1.567242e-08,2.479274e-08,2.746226e-08,3.730313e-08,4.602025e-08,5.381637e-08,7.210148e-08,7.488731e-08,1.009997e-07,1.068648e-07,1.325680e-07,1.512582e-07,1.699417e-07,2.060341e-07,2.134083e-07,2.631947e-07,2.717590e-07,3.194681e-07,3.488174e-07,3.823366e-07,4.374163e-07,4.518516e-07,5.280097e-07,5.375930e-07,6.107570e-07,6.492289e-07,6.999930e-07,7.720661e-07,7.955757e-07,8.973267e-07,9.057271e-07,1.005036e-06,1.049737e-06,1.118469e-06,1.203542e-06,1.237370e-06,1.361465e-06,1.366533e-06,1.490472e-06,1.538061e-06,1.624098e-06,1.717452e-06,1.762049e-06,1.904025e-06,2.049731e-06,2.097097e-06,2.198874e-06,2.295995e-06,2.351165e-06,2.500065e-06,2.506323e-06,2.664073e-06,2.708671e-06,2.824150e-06,2.921206e-06,2.986298e-06,3.137090e-06,3.150269e-06,3.315827e-06,3.355772e-06,3.482746e-06,3.576733e-06,3.650808e-06,3.799484e-06,3.819807e-06,3.989546e-06,4.023567e-06,4.159841e-06,4.248554e-06,4.330513e-06,4.474046e-06,4.501395e-06,4.672330e-06,4.699675e-06,4.843169e-06,4.925095e-06,5.013770e-06,5.149991e-06,5.184001e-06,5.353740e-06,5.374069e-06,5.522868e-06,5.597062e-06,5.691276e-06,5.818722e-06,5.858863e-06,6.025533e-06,6.038824e-06,6.191197e-06,6.257162e-06,6.355772e-06,6.473548e-06,6.519181e-06,6.681352e-06,6.687812e-06,6.842220e-06,6.899802e-06,7.001724e-06,7.109379e-06,7.159807e-06,7.316418e-06,7.471509e-06,7.520810e-06,7.625037e-06,7.722457e-06,7.776963e-06,7.921272e-06,7.927252e-06,8.075870e-06,8.117180e-06,8.222790e-06,8.310116e-06,8.367986e-06,8.500024e-06,8.511435e-06,8.653118e-06,8.686857e-06,8.793016e-06,8.870575e-06,8.931117e-06,9.051147e-06,9.067406e-06,9.201875e-06,9.228549e-06,9.334515e-06,9.402763e-06,9.465320e-06,9.573776e-06,9.594287e-06,9.721412e-06,9.741581e-06,9.846695e-06,9.906177e-06,9.970138e-06,1.006757e-05,1.009174e-05,1.021151e-05,1.022576e-05,1.032945e-05,1.038076e-05,1.044556e-05,1.053259e-05,1.055986e-05,1.067235e-05,1.068127e-05,1.078304e-05,1.082681e-05,1.089194e-05,1.096924e-05,1.099906e-05,1.110441e-05,1.110859e-05,1.120801e-05,1.124488e-05,1.130987e-05,1.137815e-05,1.141000e-05,1.150842e-05,1.163573e-05,1.176012e-05,1.188163e-05,1.200028e-05,1.211612e-05,1.222919e-05,1.233953e-05,1.244718e-05,1.255218e-05,1.265458e-05,1.275441e-05,1.285172e-05,1.294655e-05,1.303894e-05,1.312894e-05,1.321658e-05,1.330192e-05,1.338499e-05,1.346584e-05,1.354451e-05,1.362103e-05,1.369546e-05,1.376783e-05,1.383819e-05
0.000000e+00,1.601039e-13,9.665413e-13,1.131790e-11,5.077949e-11,9.801165e-11,3.841865e-10,4.030869e-10,1.145137e-09,1.469026e-09,2.614375e-09,3.991827e-09,5.170792e-09,8.851170e-09,9.244196e-09,1.533401e-08,1.715704e-08,2.400356e-08,3.021100e-08,3.586052e-08,4.942061e-08,5.152033e-08,7.156504e-08,7.614728e-08,9.651631e-08,1.115831e-07,1.268270e-07,1.567140e-07,1.628831e-07,2.050081e-07,2.123298e-07,2.534663e-07,2.790387e-07,3.084647e-07,3.572761e-07,3.701550e-07,4.386350e-07,4.473116e-07,5.139505e-07,5.492557e-07,5.960982e-07,6.630713e-07,6.850291e-07,7.806518e-07,7.885871e-07,8.828376e-07,9.255142e-07,9.914241e-07,1.073463e-06,1.106220e-06,1.227011e-06,1.231964e-06,1.353561e-06,1.400481e-06,1.485620e-06,1.578432e-06,1.622923e-06,1.765201e-06,1.912176e-06,1.960154e-06,2.063567e-06,2.162645e-06,2.219094e-06,2.372032e-06,2.378478e-06,2.541443e-06,2.587678e-06,2.707717e-06,2.808960e-06,2.877036e-06,3.035274e-06,3.049139e-06,3.223775e-06,3.266038e-06,3.400700e-06,3.500690e-06,3.579679e-06,3.738698e-06,3.760483e-06,3.942895e-06,3.979552e-06,4.126706e-06,4.222773e-06,4.311714e-06,4.467905e-06,4.497727e-06,4.684562e-06,4.714520e-06,4.872044e-06,4.962217e-06,5.060008e-06,5.210618e-06,5.248294e-06,5.436752e-06,5.459372e-06,5.625240e-06,5.708149e-06,5.813623e-06,5.956645e-06,6.001773e-06,6.189569e-06,6.204574e-06,6.376897e-06,6.451673e-06,6.563650e-06,6.697698e-06,6.749725e-06,6.935029e-06,6.942424e-06,7.119471e-06,7.185643e-06,7.302967e-06,7.427164e-06,7.485439e-06,7.666812e-06,7.847019e-06,7.904428e-06,8.025995e-06,8.139865e-06,8.203680e-06,8.372992e-06,8.380019e-06,8.554960e-06,8.603687e-06,8.728457e-06,8.831842e-06,8.900464e-06,9.057362e-06,9.070943e-06,9.239855e-06,9.280157e-06,9.407168e-06,9.500152e-06,9.572850e-06,9.717279e-06,9.736873e-06,9.899213e-06,9.931477e-06,1.005985e-05,1.014270e-05,1.021876e-05,1.035089e-05,1.037592e-05,1.053133e-05,1.055603e-05,1.068496e-05,1.075807e-05,1.083681e-05,1.095700e-05,1.098687e-05,1.113512e-05,1.115279e-05,1.128157e-05,1.134544e-05,1.142621e-05,1.153493e-05,1.156904e-05,1.171005e-05,1.172125e-05,1.184925e-05,1.190442e-05,1.198663e-05,1.208443e-05,1.212221e-05,1.225597e-05,1.226129e-05,1.238794e-05,1.243500e-05,1.251811e-05,1.260560e-05,1.264649e-05,1.277308e-05,1.293748e-05,1.309880e-05,1.325708e-05,1.341234e-05,1.356461e-05,1.371392e-05,1.386029e-05,1.400377e-05,1.414437e-05,1.428215e-05,1.441712e-05,1.454933e-05,1.467881e-05,1.480561e-05,1.492975e-05,1.505127e-05,1.517023e-05,1.528664e-05,1.540056e-05,1.551202e-05,1.562106e-05,1.572772e-05,1.583204e-05,1.593406e-05
0.000000e+00,1.125549e-17,1.320641e-16,5.156310e-15,5.848605e-14,1.776761e-13,1.947236e-12,2.122348e-12,1.419094e-11,2.248414e-11,6.575378e-11,1.453981e-10,2.365961e-10,6.519209e-10,7.076172e-10,1.837976e-09,2.271181e-09,4.272049e-09,6.580430e-09,9.077299e-09,1.656647e-08,1.791178e-08,3.321723e-08,3.733731e-08,5.843090e-08,7.694787e-08,9.820607e-08,1.472760e-07,1.586284e-07,2.474121e-07,2.648581e-07,3.740604e-07,4.515747e-07,5.499742e-07,7.350771e-07,7.884951e-07,1.104878e-06,1.148869e-06,1.516185e-06,1.731993e-06,2.041098e-06,2.528307e-06,2.699668e-06,3.512997e-06,3.585398e-06,4.502866e-06,4.953187e-06,5.691335e-06,6.682324e-06,7.100312e-06,8.751117e-06,8.822470e-06,1.066405e-05,1.142057e-05,1.285801e-05,1.451921e-05,1.535006e-05,1.815515e-05,2.128581e-05,2.235807e-05,2.475191e-05,2.714961e-05,2.856047e-05,3.254272e-05,3.271560e-05,3.721838e-05,3.854126e-05,4.206687e-05,4.513999e-05,4.725618e-05,5.232476e-05,5.277858e-05,5.862358e-05,6.007299e-05,6.477817e-05,6.835434e-05,7.122700e-05,7.713155e-05,7.795261e-05,8.493568e-05,8.636137e-05,9.215529e-05,9.599564e-05,9.958922e-05,1.059823e-04,1.072142e-04,1.150060e-04,1.162666e-04,1.229402e-04,1.267919e-04,1.309918e-04,1.375009e-04,1.391359e-04,1.473477e-04,1.483365e-04,1.556028e-04,1.592425e-04,1.638772e-04,1.701646e-04,1.721480e-04,1.803928e-04,1.810507e-04,1.885903e-04,1.918515e-04,1.967203e-04,2.025213e-04,2.047637e-04,2.127026e-04,2.130178e-04,2.205205e-04,2.233023e-04,2.282021e-04,2.333406e-04,2.357334e-04,2.431019e-04,2.502962e-04,2.525598e-04,2.573062e-04,2.616918e-04,2.641231e-04,2.704788e-04,2.707396e-04,2.771491e-04,2.789059e-04,2.833465e-04,2.869613e-04,2.893276e-04,2.946366e-04,2.950894e-04,3.006296e-04,3.019261e-04,3.059471e-04,3.088273e-04,3.110413e-04,3.153398e-04,3.159127e-04,3.205622e-04,3.214656e-04,3.249915e-04,3.272086e-04,3.292031e-04,3.325745e-04,3.331996e-04,3.369845e-04,3.375706e-04,3.405613e-04,3.422056e-04,3.439344e-04,3.464890e-04,3.471080e-04,3.500869e-04,3.504315e-04,3.528761e-04,3.540445e-04,3.554806e-04,3.573397e-04,3.579057e-04,3.601569e-04,3.603297e-04,3.622397e-04,3.630269e-04,3.641596e-04,3.654443e-04,3.659223e-04,3.675333e-04,3.675947e-04,3.689983e-04,3.694910e-04,3.703228e-04,3.711460e-04,3.715123e-04,3.725723e-04,3.737822e-04,3.747880e-04,3.756014e-04,3.762339e-04,3.766965e-04,3.770000e-04,3.771547e-04,3.771703e-04,3.770565e-04,3.768222e-04,3.764760e-04,3.760261e-04,3.754804e-04,3.748462e-04,3.741305e-04,3.733400e-04,3.724810e-04,3.715593e-04,3.705804e-04,3.695498e-04,3.684722e-04,3.673522e-04,3.661944e-04,3.650026e-04
0.000000e+00,3.918239e-13,1.899419e-12,1.659056e-11,6.356502e-11,1.153725e-10,4.049497e-10,4.234150e-10,1.125351e-09,1.424257e-09,2.465943e-09,3.703054e-09,4.755423e-09,8.022826e-09,8.370680e-09,1.373673e-08,1.533344e-08,2.128394e-08,2.661285e-08,3.140889e-08,4.273028e-08,4.446177e-08,6.075097e-08,6.442178e-08,8.054964e-08,9.231331e-08,1.040994e-07,1.269351e-07,1.316110e-07,1.632637e-07,1.687226e-07,1.992038e-07,2.180123e-07,2.395436e-07,2.750363e-07,2.843603e-07,3.336964e-07,3.399211e-07,3.875598e-07,4.126886e-07,4.459256e-07,4.932616e-07,5.087381e-07,5.759132e-07,5.814726e-07,6.473413e-07,6.770746e-07,7.228906e-07,7.797537e-07,8.024100e-07,8.857327e-07,8.891422e-07,9.726792e-07,1.004831e-06,1.063060e-06,1.126382e-06,1.156680e-06,1.253338e-06,1.352832e-06,1.385235e-06,1.454958e-06,1.521607e-06,1.559515e-06,1.661994e-06,1.666306e-06,1.775137e-06,1.805949e-06,1.885818e-06,1.953038e-06,1.998166e-06,2.102848e-06,2.112006e-06,2.227168e-06,2.254986e-06,2.343491e-06,2.409080e-06,2.460818e-06,2.564782e-06,2.579005e-06,2.697910e-06,2.721766e-06,2.817403e-06,2.879729e-06,2.937358e-06,3.038391e-06,3.057658e-06,3.178193e-06,3.197493e-06,3.298858e-06,3.356795e-06,3.419557e-06,3.516079e-06,3.540198e-06,3.660698e-06,3.675144e-06,3.780975e-06,3.833808e-06,3.900958e-06,3.991904e-06,4.020576e-06,4.139766e-06,4.149281e-06,4.258470e-06,4.305803e-06,4.376632e-06,4.461345e-06,4.494202e-06,4.611134e-06,4.615798e-06,4.727385e-06,4.769061e-06,4.842915e-06,4.921045e-06,4.957689e-06,5.071673e-06,5.184838e-06,5.220873e-06,5.297156e-06,5.368584e-06,5.408603e-06,5.514751e-06,5.519156e-06,5.628796e-06,5.659329e-06,5.737505e-06,5.802276e-06,5.845267e-06,5.943559e-06,5.952067e-06,6.057894e-06,6.083147e-06,6.162738e-06,6.221017e-06,6.266588e-06,6.357149e-06,6.369438e-06,6.471282e-06,6.491529e-06,6.572113e-06,6.624144e-06,6.671929e-06,6.754987e-06,6.770726e-06,6.868503e-06,6.884053e-06,6.965259e-06,7.011340e-06,7.060994e-06,7.136848e-06,7.155709e-06,7.249405e-06,7.260581e-06,7.342085e-06,7.382543e-06,7.433752e-06,7.502743e-06,7.524409e-06,7.614061e-06,7.621190e-06,7.702711e-06,7.737893e-06,7.790366e-06,7.852864e-06,7.877031e-06,7.962711e-06,7.966118e-06,8.047414e-06,8.077669e-06,8.131145e-06,8.187531e-06,8.213912e-06,8.295722e-06,8.402259e-06,8.507159e-06,8.610442e-06,8.712126e-06,8.812230e-06,8.910775e-06,9.007781e-06,9.103269e-06,9.197258e-06,9.289771e-06,9.380828e-06,9.470450e-06,9.558659e-06,9.645475e-06,9.730920e-06,9.815015e-06,9.897780e-06,9.979238e-06,1.005941e-05,1.013831e-05,1.021597e-05,1.029240e-05,1.036763e-05,1.044167e-05
0.000000e+00,4.351390e-12,1.320234e-11,6.915051e-11,2.083943e-10,3.460749e-10,1.040628e-09,1.082946e-09,2.626613e-09,3.262664e-09,5.433656e-09,7.960634e-09,1.008553e-08,1.660501e-08,1.729459e-08,2.787307e-08,3.100650e-08,4.265113e-08,5.304860e-08,6.238764e-08,8.437348e-08,8.772909e-08,1.192128e-07,1.262873e-07,1.572840e-07,1.798088e-07,2.023089e-07,2.457225e-07,2.545840e-07,3.143394e-07,3.246064e-07,3.817423e-07,4.168456e-07,4.568990e-07,5.226414e-07,5.398578e-07,6.306119e-07,6.420241e-07,7.291043e-07,7.748675e-07,8.352320e-07,9.209084e-07,9.488512e-07,1.069783e-06,1.079767e-06,1.197817e-06,1.250968e-06,1.332720e-06,1.433960e-06,1.474236e-06,1.622096e-06,1.628138e-06,1.776016e-06,1.832855e-06,1.935707e-06,2.047441e-06,2.100872e-06,2.271213e-06,2.446433e-06,2.503485e-06,2.626234e-06,2.743576e-06,2.810324e-06,2.990816e-06,2.998413e-06,3.190220e-06,3.244555e-06,3.385469e-06,3.504157e-06,3.583889e-06,3.769014e-06,3.785221e-06,3.989211e-06,4.038537e-06,4.195615e-06,4.312167e-06,4.404196e-06,4.589367e-06,4.614726e-06,4.826987e-06,4.869628e-06,5.040768e-06,5.152467e-06,5.255867e-06,5.437426e-06,5.472090e-06,5.689252e-06,5.724073e-06,5.907175e-06,6.011998e-06,6.125690e-06,6.300819e-06,6.344635e-06,6.563856e-06,6.590174e-06,6.783205e-06,6.879723e-06,7.002543e-06,7.169150e-06,7.221737e-06,7.440659e-06,7.458157e-06,7.659190e-06,7.746468e-06,7.877217e-06,8.033822e-06,8.094630e-06,8.311329e-06,8.319980e-06,8.527216e-06,8.604719e-06,8.742201e-06,8.887831e-06,8.956197e-06,9.169125e-06,9.380906e-06,9.448423e-06,9.591471e-06,9.725563e-06,9.800752e-06,1.000040e-05,1.000869e-05,1.021521e-05,1.027278e-05,1.042028e-05,1.054260e-05,1.062384e-05,1.080974e-05,1.082584e-05,1.102623e-05,1.107408e-05,1.122498e-05,1.133555e-05,1.142205e-05,1.159406e-05,1.161741e-05,1.181102e-05,1.184952e-05,1.200285e-05,1.210189e-05,1.219287e-05,1.235109e-05,1.238108e-05,1.256743e-05,1.259708e-05,1.275192e-05,1.283981e-05,1.293452e-05,1.307924e-05,1.311523e-05,1.329403e-05,1.331535e-05,1.347090e-05,1.354811e-05,1.364584e-05,1.377750e-05,1.381885e-05,1.398991e-05,1.400351e-05,1.415902e-05,1.422612e-05,1.432618e-05,1.444533e-05,1.449139e-05,1.465465e-05,1.466114e-05,1.481596e-05,1.487355e-05,1.497531e-05,1.508257e-05,1.513273e-05,1.528820e-05,1.549046e-05,1.568936e-05,1.588492e-05,1.607717e-05,1.626612e-05,1.645180e-05,1.663423e-05,1.681345e-05,1.698948e-05,1.716235e-05,1.733210e-05,1.749876e-05,1.766237e-05,1.782296e-05,1.798056e-05,1.813522e-05,1.828697e-05,1.843585e-05,1.858190e-05,1.872515e-05,1.886566e-05,1.900345e-05,1.913857e-05,1.927105e-05
0.000000e+00,1.605073e-16,1.841608e-15,6.863638e-14,7.474225e-13,2.221943e-12,2.307922e-11,2.510163e-11,1.596875e-10,2.497535e-10,7.077892e-10,1.527614e-09,2.448220e-09,6.531358e-09,7.070675e-09,1.780839e-08,2.185632e-08,4.028962e-08,6.122173e-08,8.361333e-08,1.498391e-07,1.616307e-07,2.943808e-07,3.297867e-07,5.095919e-07,6.659283e-07,8.441350e-07,1.251645e-06,1.345310e-06,2.071859e-06,2.213583e-06,3.094627e-06,3.714729e-06,4.496799e-06,5.955383e-06,6.373717e-06,8.832247e-06,9.171827e-06,1.198974e-05,1.363276e-05,1.597261e-05,1.963367e-05,2.091458e-05,2.695468e-05,2.748957e-05,3.423500e-05,3.752642e-05,4.289838e-05,5.007179e-05,5.308597e-05,6.493481e-05,6.544519e-05,7.857547e-05,8.394853e-05,9.412985e-05,1.058572e-04,1.117091e-04,1.314118e-04,1.533221e-04,1.608113e-04,1.775088e-04,1.942077e-04,2.040240e-04,2.317015e-04,2.329022e-04,2.641602e-04,2.733392e-04,2.977965e-04,3.191124e-04,3.337915e-04,3.689583e-04,3.721079e-04,4.126910e-04,4.227607e-04,4.554699e-04,4.803536e-04,5.003580e-04,5.415243e-04,5.472542e-04,5.960444e-04,6.060188e-04,6.466023e-04,6.735461e-04,6.987914e-04,7.437844e-04,7.524659e-04,8.074726e-04,8.163868e-04,8.636524e-04,8.909874e-04,9.208414e-04,9.672070e-04,9.788725e-04,1.037577e-03,1.044659e-03,1.096785e-03,1.122953e-03,1.156330e-03,1.201705e-03,1.216043e-03,1.275762e-03,1.280534e-03,1.335327e-03,1.359075e-03,1.394583e-03,1.436973e-03,1.453382e-03,1.511582e-03,1.513895e-03,1.569046e-03,1.589528e-03,1.625646e-03,1.663580e-03,1.681263e-03,1.735784e-03,1.789105e-03,1.805899e-03,1.841132e-03,1.873709e-03,1.891777e-03,1.939024e-03,1.940963e-03,1.988619e-03,2.001681e-03,2.034687e-03,2.061541e-03,2.079111e-03,2.118493e-03,2.121849e-03,2.162864e-03,2.172447e-03,2.202126e-03,2.223338e-03,2.239613e-03,2.271121e-03,2.275310e-03,2.309209e-03,2.315773e-03,2.341307e-03,2.357288e-03,2.371609e-03,2.395680e-03,2.400123e-03,2.426863e-03,2.430978e-03,2.451848e-03,2.463225e-03,2.475102e-03,2.492476e-03,2.496651e-03,2.516526e-03,2.518801e-03,2.534762e-03,2.542275e-03,2.551394e-03,2.562987e-03,2.566463e-03,2.580009e-03,2.581029e-03,2.592077e-03,2.596500e-03,2.602711e-03,2.609506e-03,2.611959e-03,2.619866e-03,2.620155e-03,2.626482e-03,2.628558e-03,2.631857e-03,2.634827e-03,2.636038e-03,2.639076e-03,2.641419e-03,2.641970e-03,2.640841e-03,2.638141e-03,2.633979e-03,2.628462e-03,2.621691e-03,2.613766e-03,2.604785e-03,2.594839e-03,2.584017e-03,2.572404e-03,2.560082e-03,2.547127e-03,2.533612e-03,2.519607e-03,2.505177e-03,2.490382e-03,2.475281e-03,2.459928e-03,2.444372e-03,2.428660e-03,2.412836e-03,2.396941e-03
0.000000e+00,6.631432e-16,6.552358e-15,1.795885e-13,1.483526e-12,3.796150e-12,2.694220e-11,2.885885e-11,1.271963e-10,1.804180e-10,4.015953e-10,7.161432e-10,1.015681e-09,2.075639e-09,2.197579e-09,4.240439e-09,4.897200e-09,7.501396e-09,1.001284e-08,1.239748e-08,1.842725e-08,1.939385e-08,2.897955e-08,3.125004e-08,4.163154e-08,4.956691e-08,5.777639e-08,7.429388e-08,7.776105e-08,1.018392e-07,1.060836e-07,1.301721e-07,1.453087e-07,1.628371e-07,1.920947e-07,1.998407e-07,2.411299e-07,2.463683e-07,2.866030e-07,3.079014e-07,3.361184e-07,3.763476e-07,3.895022e-07,4.465545e-07,4.512707e-07,5.070557e-07,5.321698e-07,5.707717e-07,6.185016e-07,6.374594e-07,7.068707e-07,7.097003e-07,7.787567e-07,8.051940e-07,8.528715e-07,9.044195e-07,9.289744e-07,1.006833e-06,1.086225e-06,1.111919e-06,1.166938e-06,1.219195e-06,1.248773e-06,1.328216e-06,1.331542e-06,1.415071e-06,1.438573e-06,1.499197e-06,1.549897e-06,1.583772e-06,1.661857e-06,1.668656e-06,1.753724e-06,1.774154e-06,1.838859e-06,1.886525e-06,1.923958e-06,1.998736e-06,2.008922e-06,2.093666e-06,2.110581e-06,2.178110e-06,2.221879e-06,2.262183e-06,2.332471e-06,2.345821e-06,2.428965e-06,2.442219e-06,2.511564e-06,2.551003e-06,2.593570e-06,2.658719e-06,2.674941e-06,2.755641e-06,2.765278e-06,2.835635e-06,2.870601e-06,2.914895e-06,2.974624e-06,2.993393e-06,3.071107e-06,3.077290e-06,3.148016e-06,3.178551e-06,3.224103e-06,3.278368e-06,3.299352e-06,3.373750e-06,3.376708e-06,3.447285e-06,3.473544e-06,3.519948e-06,3.568856e-06,3.591731e-06,3.662627e-06,3.732631e-06,3.754843e-06,3.801739e-06,3.845498e-06,3.869949e-06,3.934584e-06,3.937259e-06,4.003668e-06,4.022101e-06,4.069176e-06,4.108049e-06,4.133784e-06,4.192430e-06,4.197493e-06,4.260306e-06,4.275249e-06,4.322226e-06,4.356512e-06,4.383256e-06,4.436229e-06,4.443400e-06,4.502662e-06,4.514409e-06,4.561048e-06,4.591063e-06,4.618562e-06,4.666204e-06,4.675210e-06,4.730998e-06,4.739845e-06,4.785933e-06,4.812000e-06,4.840020e-06,4.882684e-06,4.893266e-06,4.945679e-06,4.951913e-06,4.997266e-06,5.019704e-06,5.048033e-06,5.086073e-06,5.097988e-06,5.147140e-06,5.151037e-06,5.195495e-06,5.214616e-06,5.243062e-06,5.276826e-06,5.289848e-06,5.335862e-06,5.337687e-06,5.381112e-06,5.397216e-06,5.425605e-06,5.455433e-06,5.469351e-06,5.512357e-06,5.568007e-06,5.622402e-06,5.675562e-06,5.727505e-06,5.778252e-06,5.827821e-06,5.876231e-06,5.923502e-06,5.969653e-06,6.014703e-06,6.058670e-06,6.101574e-06,6.143432e-06,6.184264e-06,6.224087e-06,6.262919e-06,6.300779e-06,6.337685e-06,6.373653e-06,6.408701e-06,6.442846e-06,6.476105e-06,6.508495e-06,6.540033e-06
0.000000e+00,1.438561e-17,1.670920e-16,6.381770e-15,7.094209e-14,2.131539e-13,2.270745e-12,2.472104e-12,1.607371e-11,2.527529e-11,7.252955e-11,1.579554e-10,2.544981e-10,6.859922e-10,7.432130e-10,1.887188e-09,2.319741e-09,4.293016e-09,6.536569e-09,8.937145e-09,1.603317e-08,1.729567e-08,3.148746e-08,3.526639e-08,5.442426e-08,7.104518e-08,8.995971e-08,1.331211e-07,1.430280e-07,2.197620e-07,2.347128e-07,3.275820e-07,3.928978e-07,4.752476e-07,6.288162e-07,6.728656e-07,9.318523e-07,9.676429e-07,1.264850e-06,1.438320e-06,1.685597e-06,2.073049e-06,2.208763e-06,2.849739e-06,2.906579e-06,3.624408e-06,3.975320e-06,4.548894e-06,5.316333e-06,5.639288e-06,6.911383e-06,6.966263e-06,8.380395e-06,8.960247e-06,1.006071e-05,1.133086e-05,1.196563e-05,1.410715e-05,1.649576e-05,1.731379e-05,1.914027e-05,2.097035e-05,2.204766e-05,2.509079e-05,2.522299e-05,2.866933e-05,2.968306e-05,3.238770e-05,3.474894e-05,3.637705e-05,4.028401e-05,4.063434e-05,4.515453e-05,4.627776e-05,4.993067e-05,5.271392e-05,5.495402e-05,5.957084e-05,6.021418e-05,6.569916e-05,6.682198e-05,7.139559e-05,7.443650e-05,7.728887e-05,8.237989e-05,8.336330e-05,8.960227e-05,9.061463e-05,9.598846e-05,9.910087e-05,1.025039e-04,1.077971e-04,1.091304e-04,1.158492e-04,1.166608e-04,1.226418e-04,1.256490e-04,1.294894e-04,1.347191e-04,1.363737e-04,1.432765e-04,1.438290e-04,1.501800e-04,1.529378e-04,1.570671e-04,1.620062e-04,1.639210e-04,1.707260e-04,1.709969e-04,1.774667e-04,1.798748e-04,1.841288e-04,1.886071e-04,1.906987e-04,1.971638e-04,2.035123e-04,2.055174e-04,2.097334e-04,2.136434e-04,2.158172e-04,2.215201e-04,2.217547e-04,2.275378e-04,2.291285e-04,2.331595e-04,2.364524e-04,2.386135e-04,2.434784e-04,2.438944e-04,2.489977e-04,2.501957e-04,2.539197e-04,2.565958e-04,2.586576e-04,2.626727e-04,2.632090e-04,2.675726e-04,2.684227e-04,2.717475e-04,2.738439e-04,2.757336e-04,2.789363e-04,2.795313e-04,2.831415e-04,2.837018e-04,2.865656e-04,2.881436e-04,2.898056e-04,2.922667e-04,2.928639e-04,2.957432e-04,2.960768e-04,2.984465e-04,2.995811e-04,3.009773e-04,3.027876e-04,3.033392e-04,3.055362e-04,3.057050e-04,3.075724e-04,3.083427e-04,3.094520e-04,3.107109e-04,3.111796e-04,3.127597e-04,3.128199e-04,3.141971e-04,3.146805e-04,3.154964e-04,3.163036e-04,3.166625e-04,3.177003e-04,3.188818e-04,3.198593e-04,3.206437e-04,3.212461e-04,3.216771e-04,3.219474e-04,3.220672e-04,3.220465e-04,3.218951e-04,3.216223e-04,3.212371e-04,3.207483e-04,3.201640e-04,3.194923e-04,3.187407e-04,3.179165e-04,3.170263e-04,3.160768e-04,3.150740e-04,3.140236e-04,3.129313e-04,3.118019e-04,3.106404e-04,3.094512e-04
0.000000e+00,2.422381e-12,9.374014e-12,6.336178e-11,2.145365e-10,3.716604e-10,1.199548e-09,1.250900e-09,3.147892e-09,3.935279e-09,6.625083e-09,9.745545e-09,1.235593e-08,2.028775e-08,2.112070e-08,3.379772e-08,3.752733e-08,5.134185e-08,6.366077e-08,7.473927e-08,1.009244e-07,1.049358e-07,1.427579e-07,1.512983e-07,1.888613e-07,2.162721e-07,2.437202e-07,2.967992e-07,3.076449e-07,3.808053e-07,3.933730e-07,4.632534e-07,5.061166e-07,5.549404e-07,6.348540e-07,6.557315e-07,7.654182e-07,7.791661e-07,8.837299e-07,9.384380e-07,1.010344e-06,1.111902e-06,1.144898e-06,1.286996e-06,1.298678e-06,1.436219e-06,1.497806e-06,1.592132e-06,1.708283e-06,1.754291e-06,1.922249e-06,1.929081e-06,2.095559e-06,2.159175e-06,2.273779e-06,2.397554e-06,2.456479e-06,2.643237e-06,2.833645e-06,2.895282e-06,3.027310e-06,3.152789e-06,3.223854e-06,3.414909e-06,3.422915e-06,3.624150e-06,3.680841e-06,3.827231e-06,3.949836e-06,4.031847e-06,4.221197e-06,4.237704e-06,4.444525e-06,4.494276e-06,4.652049e-06,4.768476e-06,4.860028e-06,5.043244e-06,5.068233e-06,5.276447e-06,5.318073e-06,5.484468e-06,5.592499e-06,5.692106e-06,5.866098e-06,5.899187e-06,6.105546e-06,6.138486e-06,6.311031e-06,6.409311e-06,6.515501e-06,6.678258e-06,6.718826e-06,6.920886e-06,6.945043e-06,7.121570e-06,7.209409e-06,7.320777e-06,7.471129e-06,7.518414e-06,7.714396e-06,7.730001e-06,7.908646e-06,7.985845e-06,8.101093e-06,8.238504e-06,8.291676e-06,8.480336e-06,8.487842e-06,8.667024e-06,8.733739e-06,8.851694e-06,8.976096e-06,9.034306e-06,9.214827e-06,9.393225e-06,9.449860e-06,9.569476e-06,9.681139e-06,9.743558e-06,9.908620e-06,9.915453e-06,1.008515e-05,1.013227e-05,1.025263e-05,1.035206e-05,1.041790e-05,1.056798e-05,1.058094e-05,1.074176e-05,1.078003e-05,1.090036e-05,1.098820e-05,1.105673e-05,1.119251e-05,1.121089e-05,1.136284e-05,1.139297e-05,1.151259e-05,1.158960e-05,1.166016e-05,1.178243e-05,1.180555e-05,1.194877e-05,1.197149e-05,1.208986e-05,1.215682e-05,1.222881e-05,1.233845e-05,1.236565e-05,1.250040e-05,1.251643e-05,1.263307e-05,1.269079e-05,1.276369e-05,1.286160e-05,1.289228e-05,1.301886e-05,1.302890e-05,1.314345e-05,1.319273e-05,1.326607e-05,1.335316e-05,1.338675e-05,1.350552e-05,1.351023e-05,1.362239e-05,1.366400e-05,1.373739e-05,1.381454e-05,1.385055e-05,1.396188e-05,1.410610e-05,1.424725e-05,1.438538e-05,1.452056e-05,1.465284e-05,1.478229e-05,1.490895e-05,1.503288e-05,1.515414e-05,1.527280e-05,1.538889e-05,1.550248e-05,1.561362e-05,1.572236e-05,1.582876e-05,1.593287e-05,1.603474e-05,1.613442e-05,1.623195e-05,1.632740e-05,1.642079e-05,1.651219e-05,1.660163e-05,1.668917e-05
0.000000e+00,9.706401e-12,2.961912e-11,1.560486e-10,4.712883e-10,7.829703e-10,2.351826e-09,2.447205e-09,5.910832e-09,7.329846e-09,1.214252e-08,1.769333e-08,2.232599e-08,3.639292e-08,3.787100e-08,6.041681e-08,6.707106e-08,9.181033e-08,1.139927e-07,1.340354e-07,1.817361e-07,1.890815e-07,2.587806e-07,2.746208e-07,3.446795e-07,3.961641e-07,4.479884e-07,5.488809e-07,5.695959e-07,7.101112e-07,7.343763e-07,8.699094e-07,9.535206e-07,1.049168e-06,1.206597e-06,1.247895e-06,1.465955e-06,1.493411e-06,1.703085e-06,1.813371e-06,1.958912e-06,2.165561e-06,2.232970e-06,2.524713e-06,2.548798e-06,2.833529e-06,2.961689e-06,3.158755e-06,3.402684e-06,3.499685e-06,3.855581e-06,3.870117e-06,4.225685e-06,4.362252e-06,4.609226e-06,4.877313e-06,5.005427e-06,5.413510e-06,5.832705e-06,5.969069e-06,6.262248e-06,6.542241e-06,6.701393e-06,7.131325e-06,7.149407e-06,7.605577e-06,7.734672e-06,8.069211e-06,8.350694e-06,8.539638e-06,8.977873e-06,9.016210e-06,9.498302e-06,9.614758e-06,9.985314e-06,1.025997e-05,1.047667e-05,1.091221e-05,1.097181e-05,1.147022e-05,1.157025e-05,1.197138e-05,1.223291e-05,1.247482e-05,1.289912e-05,1.298007e-05,1.348669e-05,1.356785e-05,1.399428e-05,1.423815e-05,1.450244e-05,1.490911e-05,1.501078e-05,1.551896e-05,1.557992e-05,1.602665e-05,1.624979e-05,1.653352e-05,1.691801e-05,1.703927e-05,1.754363e-05,1.758391e-05,1.804633e-05,1.824688e-05,1.854711e-05,1.890636e-05,1.904575e-05,1.954202e-05,1.956182e-05,2.003572e-05,2.021278e-05,2.052665e-05,2.085882e-05,2.101464e-05,2.149953e-05,2.198114e-05,2.213455e-05,2.245935e-05,2.276356e-05,2.293402e-05,2.338625e-05,2.340502e-05,2.387225e-05,2.400238e-05,2.433559e-05,2.461169e-05,2.479496e-05,2.521399e-05,2.525027e-05,2.570144e-05,2.580909e-05,2.614840e-05,2.639683e-05,2.659109e-05,2.697707e-05,2.702945e-05,2.746343e-05,2.754970e-05,2.789300e-05,2.811461e-05,2.831811e-05,2.867173e-05,2.873873e-05,2.915484e-05,2.922100e-05,2.956641e-05,2.976236e-05,2.997344e-05,3.029578e-05,3.037590e-05,3.077380e-05,3.082124e-05,3.116712e-05,3.133874e-05,3.155588e-05,3.184828e-05,3.194006e-05,3.231969e-05,3.234986e-05,3.269477e-05,3.284353e-05,3.306531e-05,3.332931e-05,3.343134e-05,3.379287e-05,3.380723e-05,3.414992e-05,3.427736e-05,3.450251e-05,3.473975e-05,3.485068e-05,3.519445e-05,3.564153e-05,3.608108e-05,3.651316e-05,3.693785e-05,3.735525e-05,3.776543e-05,3.816850e-05,3.856454e-05,3.895366e-05,3.933594e-05,3.971149e-05,4.008042e-05,4.044281e-05,4.079878e-05,4.114842e-05,4.149185e-05,4.182916e-05,4.216046e-05,4.248585e-05,4.280544e-05,4.311933e-05,4.342762e-05,4.373041e-05,4.402781e-05
0.000000e+00,4.581934e-17,5.350721e-16,2.067385e-14,2.321861e-13,7.014909e-13,7.577282e-12,8.253751e-12,5.437618e-11,8.580147e-11,2.483216e-10,5.444256e-10,8.809277e-10,2.396586e-09,2.598493e-09,6.659023e-09,8.202409e-09,1.527616e-08,2.336221e-08,3.204792e-08,5.785269e-08,6.245864e-08,1.144325e-07,1.283178e-07,1.989052e-07,2.603304e-07,3.303711e-07,4.905450e-07,5.273553e-07,8.127619e-07,8.684032e-07,1.214056e-06,1.457072e-06,1.763252e-06,2.333383e-06,2.496691e-06,3.454620e-06,3.586695e-06,4.680563e-06,5.316673e-06,6.220532e-06,7.630178e-06,8.122111e-06,1.043344e-05,1.063748e-05,1.320212e-05,1.444804e-05,1.647419e-05,1.916625e-05,2.029300e-05,2.469828e-05,2.488720e-05,2.972518e-05,3.169296e-05,3.540354e-05,3.964937e-05,4.175721e-05,4.880356e-05,5.655312e-05,5.918227e-05,6.500941e-05,7.079097e-05,7.416888e-05,8.361382e-05,8.402101e-05,9.454854e-05,9.761421e-05,1.057278e-04,1.127362e-04,1.175294e-04,1.289063e-04,1.299181e-04,1.428543e-04,1.460357e-04,1.562940e-04,1.640226e-04,1.701898e-04,1.827554e-04,1.844913e-04,1.991462e-04,2.021148e-04,2.141005e-04,2.219769e-04,2.292995e-04,2.422156e-04,2.446883e-04,2.602124e-04,2.627052e-04,2.758179e-04,2.833221e-04,2.914525e-04,3.039470e-04,3.070655e-04,3.226083e-04,3.244665e-04,3.380347e-04,3.447741e-04,3.533011e-04,3.647714e-04,3.683668e-04,3.831939e-04,3.843687e-04,3.977477e-04,4.034856e-04,4.119967e-04,4.220511e-04,4.259124e-04,4.394693e-04,4.400038e-04,4.526452e-04,4.572915e-04,4.654208e-04,4.738711e-04,4.777797e-04,4.897083e-04,5.011957e-04,5.047770e-04,5.122332e-04,5.190584e-04,5.228150e-04,5.325410e-04,5.329370e-04,5.425976e-04,5.452198e-04,5.517966e-04,5.570953e-04,5.605361e-04,5.681733e-04,5.688192e-04,5.766509e-04,5.784640e-04,5.840372e-04,5.879817e-04,5.909853e-04,5.967436e-04,5.975034e-04,6.036005e-04,6.047702e-04,6.092864e-04,6.120840e-04,6.145716e-04,6.187095e-04,6.194670e-04,6.239841e-04,6.246725e-04,6.281346e-04,6.300001e-04,6.319304e-04,6.347200e-04,6.353839e-04,6.385072e-04,6.388604e-04,6.413127e-04,6.424495e-04,6.438126e-04,6.455158e-04,6.460194e-04,6.479450e-04,6.480873e-04,6.496016e-04,6.501916e-04,6.510011e-04,6.518559e-04,6.521549e-04,6.530747e-04,6.531067e-04,6.537714e-04,6.539698e-04,6.542561e-04,6.544699e-04,6.545393e-04,6.546313e-04,6.544770e-04,6.540293e-04,6.533094e-04,6.523375e-04,6.511331e-04,6.497144e-04,6.480989e-04,6.463030e-04,6.443423e-04,6.422315e-04,6.399846e-04,6.376146e-04,6.351337e-04,6.325537e-04,6.298852e-04,6.271385e-04,6.243230e-04,6.214476e-04,6.185206e-04,6.155496e-04,6.125417e-04,6.095038e-04,6.064419e-04,6.033619e-04
0.000000e+00,1.253410e-12,5.817254e-12,4.825079e-11,1.803101e-10,3.242843e-10,1.120746e-09,1.171318e-09,3.087203e-09,3.901163e-09,6.735205e-09,1.010046e-08,1.296527e-08,2.188467e-08,2.283710e-08,3.761672e-08,4.204851e-08,5.870126e-08,7.378022e-08,8.746323e-08,1.200786e-07,1.250967e-07,1.725518e-07,1.832885e-07,2.305492e-07,2.650568e-07,2.996193e-07,3.664738e-07,3.801375e-07,4.723477e-07,4.881964e-07,5.763774e-07,6.305200e-07,6.922479e-07,7.934216e-07,8.198831e-07,9.591170e-07,9.765936e-07,1.109703e-06,1.179477e-06,1.271322e-06,1.401298e-06,1.443592e-06,1.626081e-06,1.641108e-06,1.818312e-06,1.897818e-06,2.019774e-06,2.170243e-06,2.229933e-06,2.448237e-06,2.457131e-06,2.674128e-06,2.757197e-06,2.907042e-06,3.069150e-06,3.146420e-06,3.391707e-06,3.642361e-06,3.723618e-06,3.897855e-06,4.063674e-06,4.157677e-06,4.410719e-06,4.421333e-06,4.688349e-06,4.763654e-06,4.958272e-06,5.121441e-06,5.230671e-06,5.483109e-06,5.505132e-06,5.781268e-06,5.847748e-06,6.058708e-06,6.214514e-06,6.337106e-06,6.582626e-06,6.616132e-06,6.895480e-06,6.951363e-06,7.174860e-06,7.320060e-06,7.454002e-06,7.688111e-06,7.732652e-06,8.010575e-06,8.054960e-06,8.287551e-06,8.420102e-06,8.563375e-06,8.783077e-06,8.837858e-06,9.110824e-06,9.143470e-06,9.382111e-06,9.500907e-06,9.651570e-06,9.855050e-06,9.919062e-06,1.018446e-05,1.020560e-05,1.044766e-05,1.055229e-05,1.070853e-05,1.089488e-05,1.096700e-05,1.122298e-05,1.123317e-05,1.147638e-05,1.156696e-05,1.172714e-05,1.189611e-05,1.197518e-05,1.222047e-05,1.246294e-05,1.253993e-05,1.270256e-05,1.285440e-05,1.293929e-05,1.316380e-05,1.317310e-05,1.340395e-05,1.346806e-05,1.363184e-05,1.376714e-05,1.385674e-05,1.406099e-05,1.407863e-05,1.429752e-05,1.434961e-05,1.451340e-05,1.463297e-05,1.472625e-05,1.491108e-05,1.493610e-05,1.514293e-05,1.518394e-05,1.534676e-05,1.545157e-05,1.554759e-05,1.571399e-05,1.574545e-05,1.594033e-05,1.597124e-05,1.613227e-05,1.622335e-05,1.632126e-05,1.647036e-05,1.650735e-05,1.669054e-05,1.671233e-05,1.687086e-05,1.694930e-05,1.704834e-05,1.718133e-05,1.722299e-05,1.739484e-05,1.740847e-05,1.756393e-05,1.763080e-05,1.773028e-05,1.784836e-05,1.789391e-05,1.805486e-05,1.806124e-05,1.821316e-05,1.826950e-05,1.836883e-05,1.847321e-05,1.852191e-05,1.867244e-05,1.886726e-05,1.905775e-05,1.924398e-05,1.942603e-05,1.960397e-05,1.977787e-05,1.994782e-05,2.011388e-05,2.027613e-05,2.043465e-05,2.058951e-05,2.074077e-05,2.088853e-05,2.103283e-05,2.117377e-05,2.131140e-05,2.144579e-05,2.157702e-05,2.170515e-05,2.183025e-05,2.195238e-05,2.207161e-05,2.218801e-05,2.230162e-05
0.000000e+00,4.137451e-17,4.511829e-16,1.509355e-14,1.485913e-13,4.175292e-13,3.739164e-12,4.042089e-12,2.213512e-11,3.323094e-11,8.496995e-11,1.688180e-10,2.564313e-10,6.077178e-10,6.513664e-10,1.453672e-09,1.734629e-09,2.929874e-09,4.178249e-09,5.429706e-09,8.804783e-09,9.368014e-09,1.519070e-08,1.662038e-08,2.333419e-08,2.861819e-08,3.418870e-08,4.563639e-08,4.807180e-08,6.521427e-08,6.827018e-08,8.575698e-08,9.684459e-08,1.097555e-07,1.314311e-07,1.371895e-07,1.679745e-07,1.718879e-07,2.019742e-07,2.179083e-07,2.390124e-07,2.690677e-07,2.788833e-07,3.213622e-07,3.248662e-07,3.662131e-07,3.847638e-07,4.131960e-07,4.482101e-07,4.620731e-07,5.126132e-07,5.146662e-07,5.645953e-07,5.836214e-07,6.178116e-07,6.546043e-07,6.720686e-07,7.271884e-07,7.830089e-07,8.009950e-07,8.393832e-07,8.756921e-07,8.961797e-07,9.509920e-07,9.532805e-07,1.010581e-06,1.026648e-06,1.067988e-06,1.102448e-06,1.125418e-06,1.178213e-06,1.182800e-06,1.240069e-06,1.253790e-06,1.297168e-06,1.329049e-06,1.354045e-06,1.403880e-06,1.410658e-06,1.466965e-06,1.478187e-06,1.522932e-06,1.551890e-06,1.578527e-06,1.624919e-06,1.633722e-06,1.688492e-06,1.697215e-06,1.742815e-06,1.768725e-06,1.796670e-06,1.839405e-06,1.850039e-06,1.902906e-06,1.909216e-06,1.955257e-06,1.978124e-06,2.007078e-06,2.046101e-06,2.058358e-06,2.109086e-06,2.113120e-06,2.159253e-06,2.179161e-06,2.208851e-06,2.244205e-06,2.257872e-06,2.306311e-06,2.308236e-06,2.354160e-06,2.371241e-06,2.401417e-06,2.433210e-06,2.448076e-06,2.494134e-06,2.539588e-06,2.554006e-06,2.584437e-06,2.612821e-06,2.628678e-06,2.670576e-06,2.672310e-06,2.715332e-06,2.727269e-06,2.757744e-06,2.782899e-06,2.799547e-06,2.837467e-06,2.840740e-06,2.881325e-06,2.890975e-06,2.921302e-06,2.943425e-06,2.960674e-06,2.994822e-06,2.999442e-06,3.037608e-06,3.045169e-06,3.075175e-06,3.094473e-06,3.112144e-06,3.142740e-06,3.148520e-06,3.184305e-06,3.189976e-06,3.219502e-06,3.236189e-06,3.254115e-06,3.281387e-06,3.288147e-06,3.321603e-06,3.325579e-06,3.354485e-06,3.368773e-06,3.386799e-06,3.410979e-06,3.418548e-06,3.449737e-06,3.452208e-06,3.480370e-06,3.492468e-06,3.510451e-06,3.531772e-06,3.539987e-06,3.568980e-06,3.570129e-06,3.597436e-06,3.607550e-06,3.625361e-06,3.644048e-06,3.652758e-06,3.679633e-06,3.714317e-06,3.748112e-06,3.781031e-06,3.813084e-06,3.844285e-06,3.874646e-06,3.904178e-06,3.932895e-06,3.960809e-06,3.987932e-06,4.014277e-06,4.039855e-06,4.064681e-06,4.088765e-06,4.112121e-06,4.134760e-06,4.156696e-06,4.177939e-06,4.198503e-06,4.218400e-06,4.237640e-06,4.256238e-06,4.274203e-06,4.291548e-06
0.000000e+00,1.922345e-12,6.210393e-12,3.471691e-11,1.077872e-10,1.809939e-10,5.553866e-10,5.783598e-10,1.423564e-09,1.774896e-09,2.983995e-09,4.407024e-09,5.614385e-09,9.367560e-09,9.768172e-09,1.597876e-08,1.783696e-08,2.479192e-08,3.104608e-08,3.668426e-08,4.999259e-08,5.202537e-08,7.108599e-08,7.536269e-08,9.406091e-08,1.076025e-07,1.210881e-07,1.469920e-07,1.522609e-07,1.876354e-07,1.936871e-07,2.272340e-07,2.477404e-07,2.710486e-07,3.091122e-07,3.190427e-07,3.711535e-07,3.776796e-07,4.272944e-07,4.532461e-07,4.873576e-07,5.355518e-07,5.512168e-07,6.187303e-07,6.242847e-07,6.897440e-07,7.190930e-07,7.640940e-07,8.195964e-07,8.416099e-07,9.221165e-07,9.253965e-07,1.005436e-06,1.036086e-06,1.091391e-06,1.151255e-06,1.179803e-06,1.270500e-06,1.363309e-06,1.393427e-06,1.458065e-06,1.519657e-06,1.554608e-06,1.648826e-06,1.652783e-06,1.752440e-06,1.780591e-06,1.853438e-06,1.914624e-06,1.955642e-06,2.050621e-06,2.058920e-06,2.163152e-06,2.188297e-06,2.268221e-06,2.327384e-06,2.374017e-06,2.467635e-06,2.480435e-06,2.587379e-06,2.608822e-06,2.694755e-06,2.750733e-06,2.802478e-06,2.893172e-06,2.910464e-06,3.018638e-06,3.035959e-06,3.126928e-06,3.178928e-06,3.235266e-06,3.321929e-06,3.343589e-06,3.451838e-06,3.464820e-06,3.559957e-06,3.607475e-06,3.667896e-06,3.749778e-06,3.775604e-06,3.883038e-06,3.891620e-06,3.990156e-06,4.032905e-06,4.096918e-06,4.173545e-06,4.203287e-06,4.309231e-06,4.313459e-06,4.414717e-06,4.452574e-06,4.519716e-06,4.590823e-06,4.624200e-06,4.728146e-06,4.831530e-06,4.864490e-06,4.934329e-06,4.999806e-06,5.036526e-06,5.134049e-06,5.138100e-06,5.239036e-06,5.267181e-06,5.339318e-06,5.399167e-06,5.438932e-06,5.529976e-06,5.537866e-06,5.636107e-06,5.659581e-06,5.733645e-06,5.787957e-06,5.830472e-06,5.915083e-06,5.926577e-06,6.021955e-06,6.040942e-06,6.116597e-06,6.165518e-06,6.210497e-06,6.288798e-06,6.303652e-06,6.396056e-06,6.410770e-06,6.487705e-06,6.531427e-06,6.578596e-06,6.650762e-06,6.668727e-06,6.758096e-06,6.768769e-06,6.846700e-06,6.885444e-06,6.934540e-06,7.000786e-06,7.021614e-06,7.107922e-06,7.114794e-06,7.193465e-06,7.227468e-06,7.278244e-06,7.338811e-06,7.362258e-06,7.445511e-06,7.448825e-06,7.528002e-06,7.557514e-06,7.609735e-06,7.664882e-06,7.690712e-06,7.770935e-06,7.875679e-06,7.979122e-06,8.081270e-06,8.182132e-06,8.281717e-06,8.380033e-06,8.477091e-06,8.572900e-06,8.667471e-06,8.760814e-06,8.852940e-06,8.943861e-06,9.033587e-06,9.122131e-06,9.209505e-06,9.295719e-06,9.380787e-06,9.464721e-06,9.547533e-06,9.629235e-06,9.709840e-06,9.789360e-06,9.867808e-06,9.945196e-06
0.000000e+00,1.666664e-12,7.597973e-12,6.176808e-11,2.288852e-10,4.106459e-10,1.417089e-09,1.481123e-09,3.919632e-09,4.962528e-09,8.620236e-09,1.300501e-08,1.676182e-08,2.851679e-08,2.977262e-08,4.915542e-08,5.491314e-08,7.629502e-08,9.533776e-08,1.123979e-07,1.524234e-07,1.585188e-07,2.155924e-07,2.283962e-07,2.844480e-07,3.251541e-07,3.658107e-07,4.442748e-07,4.602964e-07,5.684051e-07,5.869938e-07,6.905161e-07,7.541829e-07,8.268853e-07,9.463400e-07,9.776457e-07,1.142812e-06,1.163597e-06,1.322287e-06,1.405741e-06,1.515870e-06,1.672252e-06,1.723268e-06,1.944109e-06,1.962344e-06,2.177949e-06,2.275015e-06,2.424289e-06,2.609088e-06,2.682583e-06,2.952249e-06,2.963263e-06,3.232680e-06,3.336151e-06,3.523254e-06,3.726314e-06,3.823336e-06,4.132289e-06,4.449481e-06,4.552619e-06,4.774282e-06,4.985863e-06,5.106075e-06,5.430614e-06,5.444257e-06,5.788239e-06,5.885515e-06,6.137451e-06,6.349258e-06,6.491342e-06,6.820597e-06,6.849380e-06,7.211056e-06,7.298345e-06,7.575879e-06,7.781380e-06,7.943381e-06,8.268643e-06,8.313114e-06,8.684651e-06,8.759139e-06,9.057586e-06,9.251935e-06,9.431531e-06,9.746158e-06,9.806121e-06,1.018101e-05,1.024099e-05,1.055586e-05,1.073569e-05,1.093037e-05,1.122953e-05,1.130424e-05,1.167719e-05,1.172187e-05,1.204896e-05,1.221210e-05,1.241931e-05,1.269967e-05,1.278800e-05,1.315481e-05,1.318407e-05,1.351955e-05,1.366482e-05,1.388202e-05,1.414149e-05,1.424203e-05,1.459944e-05,1.461368e-05,1.495407e-05,1.508103e-05,1.530579e-05,1.554322e-05,1.565446e-05,1.599995e-05,1.634216e-05,1.645095e-05,1.668097e-05,1.689598e-05,1.701629e-05,1.733483e-05,1.734803e-05,1.767610e-05,1.776730e-05,1.800044e-05,1.819322e-05,1.832097e-05,1.861244e-05,1.863763e-05,1.895038e-05,1.902485e-05,1.925915e-05,1.943032e-05,1.956392e-05,1.982876e-05,1.986463e-05,2.016126e-05,2.022009e-05,2.045378e-05,2.060426e-05,2.074217e-05,2.098121e-05,2.102641e-05,2.130648e-05,2.135090e-05,2.158237e-05,2.171332e-05,2.185408e-05,2.206843e-05,2.212160e-05,2.238494e-05,2.241626e-05,2.264408e-05,2.275678e-05,2.289905e-05,2.309004e-05,2.314985e-05,2.339648e-05,2.341603e-05,2.363897e-05,2.373480e-05,2.387732e-05,2.404638e-05,2.411155e-05,2.434170e-05,2.435082e-05,2.456776e-05,2.464815e-05,2.478978e-05,2.493845e-05,2.500777e-05,2.522175e-05,2.549814e-05,2.576767e-05,2.603042e-05,2.628646e-05,2.653586e-05,2.677871e-05,2.701508e-05,2.724507e-05,2.746876e-05,2.768623e-05,2.789757e-05,2.810288e-05,2.830224e-05,2.849575e-05,2.868350e-05,2.886557e-05,2.904207e-05,2.921309e-05,2.937872e-05,2.953906e-05,2.969419e-05,2.984421e-05,2.998922e-05,3.012931e-05
0.000000e+00,2.233501e-12,6.889320e-12,3.670175e-11,1.113796e-10,1.853355e-10,5.578487e-10,5.804925e-10,1.401911e-09,1.737879e-09,2.874896e-09,4.181889e-09,5.269353e-09,8.554860e-09,8.898763e-09,1.411750e-08,1.564908e-08,2.131397e-08,2.635980e-08,3.089630e-08,4.162425e-08,4.326911e-08,5.880538e-08,6.232139e-08,7.782362e-08,8.917606e-08,1.005778e-07,1.227198e-07,1.272588e-07,1.580015e-07,1.633036e-07,1.928924e-07,2.111281e-07,2.319765e-07,2.662702e-07,2.752631e-07,3.227301e-07,3.287049e-07,3.743283e-07,3.983225e-07,4.299857e-07,4.749441e-07,4.896103e-07,5.530940e-07,5.583358e-07,6.203151e-07,6.482208e-07,6.911418e-07,7.442911e-07,7.654338e-07,8.430452e-07,8.462166e-07,9.238259e-07,9.536536e-07,1.007624e-06,1.066251e-06,1.094285e-06,1.183657e-06,1.275586e-06,1.305520e-06,1.369924e-06,1.431496e-06,1.466522e-06,1.561249e-06,1.565236e-06,1.665924e-06,1.694452e-06,1.768448e-06,1.830789e-06,1.872675e-06,1.969956e-06,1.978475e-06,2.085722e-06,2.111663e-06,2.194295e-06,2.255631e-06,2.304077e-06,2.401594e-06,2.414954e-06,2.526818e-06,2.549299e-06,2.639563e-06,2.698506e-06,2.753090e-06,2.848986e-06,2.867302e-06,2.982106e-06,3.000523e-06,3.097412e-06,3.152913e-06,3.213137e-06,3.305963e-06,3.329198e-06,3.445518e-06,3.459490e-06,3.562022e-06,3.613323e-06,3.678638e-06,3.767300e-06,3.795299e-06,3.911940e-06,3.921269e-06,4.028500e-06,4.075088e-06,4.144919e-06,4.228622e-06,4.261141e-06,4.377114e-06,4.381747e-06,4.492786e-06,4.534345e-06,4.608110e-06,4.686308e-06,4.723040e-06,4.837532e-06,4.951547e-06,4.987924e-06,5.065044e-06,5.137394e-06,5.177988e-06,5.285861e-06,5.290343e-06,5.402078e-06,5.433249e-06,5.513162e-06,5.579487e-06,5.623565e-06,5.724512e-06,5.733261e-06,5.842223e-06,5.868263e-06,5.950429e-06,6.010685e-06,6.057855e-06,6.151729e-06,6.164482e-06,6.270288e-06,6.291350e-06,6.375257e-06,6.429505e-06,6.479372e-06,6.566157e-06,6.582617e-06,6.684977e-06,6.701272e-06,6.786440e-06,6.834819e-06,6.886993e-06,6.966773e-06,6.986625e-06,7.085327e-06,7.097108e-06,7.183089e-06,7.225805e-06,7.279903e-06,7.352844e-06,7.375762e-06,7.470660e-06,7.478210e-06,7.564590e-06,7.601890e-06,7.657548e-06,7.723874e-06,7.749531e-06,7.840533e-06,7.844153e-06,7.930554e-06,7.962720e-06,8.019589e-06,8.079571e-06,8.107639e-06,8.194702e-06,8.308114e-06,8.419806e-06,8.529780e-06,8.638040e-06,8.744591e-06,8.849437e-06,8.952587e-06,9.054049e-06,9.153831e-06,9.251944e-06,9.348397e-06,9.443204e-06,9.536375e-06,9.627925e-06,9.717866e-06,9.806212e-06,9.892979e-06,9.978182e-06,1.006183e-05,1.014396e-05,1.022456e-05,1.030366e-05,1.038128e-05,1.045744e-05
0.000000e+00,4.165905e-16,4.315203e-15,1.300300e-13,1.166517e-12,3.118120e-12,2.462997e-11,2.649246e-11,1.286968e-10,1.871488e-10,4.421668e-10,8.248474e-10,1.202905e-09,2.604770e-09,2.770644e-09,5.638928e-09,6.587913e-09,1.043684e-08,1.424457e-08,1.792386e-08,2.743150e-08,2.897783e-08,4.457428e-08,4.832961e-08,6.575473e-08,7.932899e-08,9.358261e-08,1.228516e-07,1.290888e-07,1.732138e-07,1.811293e-07,2.267559e-07,2.559905e-07,2.903350e-07,3.487172e-07,3.643763e-07,4.491116e-07,4.600028e-07,5.445956e-07,5.899930e-07,6.507288e-07,7.383761e-07,7.672835e-07,8.939298e-07,9.044857e-07,1.030259e-06,1.087398e-06,1.175802e-06,1.286013e-06,1.330048e-06,1.492460e-06,1.499118e-06,1.662481e-06,1.725443e-06,1.839549e-06,1.963694e-06,2.023102e-06,2.212584e-06,2.407450e-06,2.470857e-06,2.607170e-06,2.737300e-06,2.811231e-06,3.010756e-06,3.019141e-06,3.230426e-06,3.290129e-06,3.444637e-06,3.574388e-06,3.661345e-06,3.862571e-06,3.880143e-06,4.100648e-06,4.153783e-06,4.322498e-06,4.447192e-06,4.545350e-06,4.742035e-06,4.768886e-06,4.992804e-06,5.037608e-06,5.216823e-06,5.333266e-06,5.440683e-06,5.628421e-06,5.664137e-06,5.886958e-06,5.922536e-06,6.108936e-06,6.215127e-06,6.329874e-06,6.505754e-06,6.549592e-06,6.767922e-06,6.794021e-06,6.984712e-06,7.079574e-06,7.199819e-06,7.362095e-06,7.413114e-06,7.624480e-06,7.641303e-06,7.833810e-06,7.916949e-06,8.041004e-06,8.188813e-06,8.245977e-06,8.448648e-06,8.456706e-06,8.648948e-06,8.720462e-06,8.846812e-06,8.979941e-06,9.042186e-06,9.235022e-06,9.425276e-06,9.485607e-06,9.612914e-06,9.731615e-06,9.797905e-06,9.972982e-06,9.980224e-06,1.015985e-05,1.020966e-05,1.033677e-05,1.044162e-05,1.051097e-05,1.066883e-05,1.068245e-05,1.085119e-05,1.089129e-05,1.101721e-05,1.110899e-05,1.118050e-05,1.132195e-05,1.134108e-05,1.149894e-05,1.153019e-05,1.165411e-05,1.173374e-05,1.180659e-05,1.193262e-05,1.195641e-05,1.210357e-05,1.212687e-05,1.224811e-05,1.231656e-05,1.239003e-05,1.250171e-05,1.252938e-05,1.266616e-05,1.268240e-05,1.280040e-05,1.285868e-05,1.293214e-05,1.303060e-05,1.306140e-05,1.318821e-05,1.319825e-05,1.331259e-05,1.336168e-05,1.343459e-05,1.352096e-05,1.355422e-05,1.367152e-05,1.367616e-05,1.378653e-05,1.382737e-05,1.389927e-05,1.397465e-05,1.400977e-05,1.411808e-05,1.425773e-05,1.439368e-05,1.452600e-05,1.465478e-05,1.478009e-05,1.490200e-05,1.502059e-05,1.513594e-05,1.524811e-05,1.535719e-05,1.546325e-05,1.556635e-05,1.566657e-05,1.576398e-05,1.585865e-05,1.595064e-05,1.604003e-05,1.612688e-05,1.621124e-05,1.629320e-05,1.637280e-05,1.645011e-05,1.652519e-05,1.659810e-05
0.000000e+00,1.046544e-13,7.675460e-13,1.218956e-11,6.627932e-11,1.387784e-10,6.375420e-10,6.724621e-10,2.136074e-09,2.812504e-09,5.318228e-09,8.501783e-09,1.133790e-08,2.068115e-08,2.171447e-08,3.834797e-08,4.350184e-08,6.330812e-08,8.165605e-08,9.852968e-08,1.393132e-07,1.456406e-07,2.059642e-07,2.197136e-07,2.805889e-07,3.253544e-07,3.704275e-07,4.582171e-07,4.762510e-07,5.987027e-07,6.198745e-07,7.383013e-07,8.115195e-07,8.954401e-07,1.033963e-06,1.070385e-06,1.263274e-06,1.287629e-06,1.474120e-06,1.572557e-06,1.702813e-06,1.888421e-06,1.949128e-06,2.212736e-06,2.234560e-06,2.493211e-06,2.610011e-06,2.790040e-06,3.013560e-06,3.102642e-06,3.430370e-06,3.443784e-06,3.772530e-06,3.899101e-06,4.128390e-06,4.377812e-06,4.497188e-06,4.878144e-06,5.270467e-06,5.398281e-06,5.673361e-06,5.936394e-06,6.086033e-06,6.490672e-06,6.507702e-06,6.937594e-06,7.059335e-06,7.374956e-06,7.640650e-06,7.819049e-06,8.232945e-06,8.269159e-06,8.724589e-06,8.834610e-06,9.184673e-06,9.444110e-06,9.648764e-06,1.005999e-05,1.011625e-05,1.058653e-05,1.068087e-05,1.105904e-05,1.130545e-05,1.153325e-05,1.193252e-05,1.200864e-05,1.248474e-05,1.256095e-05,1.296108e-05,1.318968e-05,1.343723e-05,1.381775e-05,1.391280e-05,1.438739e-05,1.444425e-05,1.486064e-05,1.506836e-05,1.533222e-05,1.568930e-05,1.580180e-05,1.626909e-05,1.630636e-05,1.673379e-05,1.691890e-05,1.719567e-05,1.752632e-05,1.765445e-05,1.810992e-05,1.812807e-05,1.856187e-05,1.872367e-05,1.901010e-05,1.931267e-05,1.945442e-05,1.989467e-05,2.033069e-05,2.046930e-05,2.076234e-05,2.103624e-05,2.118949e-05,2.159521e-05,2.161202e-05,2.202982e-05,2.214594e-05,2.244279e-05,2.268822e-05,2.285085e-05,2.322186e-05,2.325392e-05,2.365192e-05,2.374669e-05,2.404481e-05,2.426256e-05,2.443251e-05,2.476937e-05,2.481499e-05,2.519221e-05,2.526701e-05,2.556413e-05,2.575543e-05,2.593073e-05,2.623455e-05,2.629199e-05,2.664790e-05,2.670435e-05,2.699844e-05,2.716480e-05,2.734362e-05,2.761589e-05,2.768343e-05,2.801787e-05,2.805764e-05,2.834696e-05,2.849007e-05,2.867072e-05,2.891321e-05,2.898915e-05,2.930227e-05,2.932709e-05,2.961012e-05,2.973179e-05,2.991271e-05,3.012734e-05,3.021008e-05,3.050226e-05,3.051384e-05,3.078928e-05,3.089135e-05,3.107117e-05,3.125995e-05,3.134798e-05,3.161975e-05,3.197083e-05,3.231329e-05,3.264724e-05,3.297278e-05,3.329004e-05,3.359912e-05,3.390014e-05,3.419322e-05,3.447848e-05,3.475604e-05,3.502604e-05,3.528858e-05,3.554381e-05,3.579184e-05,3.603280e-05,3.626682e-05,3.649402e-05,3.671453e-05,3.692847e-05,3.713598e-05,3.733716e-05,3.753216e-05,3.772108e-05,3.790405e-05
0.000000e+00,1.631066e-13,5.053328e-13,2.693035e-12,8.142354e-12,1.351145e-11,4.033190e-11,4.195392e-11,1.004110e-10,1.241656e-10,2.041282e-10,2.954639e-10,3.711208e-10,5.984120e-10,6.221161e-10,9.803913e-10,1.085125e-09,1.471308e-09,1.814013e-09,2.121299e-09,2.845418e-09,2.956159e-09,3.998824e-09,4.233987e-09,5.267393e-09,6.020636e-09,6.774150e-09,8.228921e-09,8.525762e-09,1.052417e-08,1.086674e-08,1.276763e-08,1.393031e-08,1.525167e-08,1.740779e-08,1.796977e-08,2.091392e-08,2.128198e-08,2.407501e-08,2.553211e-08,2.744321e-08,3.013521e-08,3.100818e-08,3.475931e-08,3.506712e-08,3.868590e-08,4.030328e-08,4.277733e-08,4.581936e-08,4.702316e-08,5.141321e-08,5.159168e-08,5.593770e-08,5.759760e-08,6.058722e-08,6.381572e-08,6.535282e-08,7.022602e-08,7.519882e-08,7.680990e-08,8.026368e-08,8.355023e-08,8.541354e-08,9.043124e-08,9.064179e-08,9.594226e-08,9.743853e-08,1.013092e-07,1.045590e-07,1.067372e-07,1.117805e-07,1.122212e-07,1.177567e-07,1.190924e-07,1.233392e-07,1.264845e-07,1.289648e-07,1.339478e-07,1.346296e-07,1.403301e-07,1.414742e-07,1.460631e-07,1.490560e-07,1.518255e-07,1.566864e-07,1.576143e-07,1.634271e-07,1.643591e-07,1.692611e-07,1.720683e-07,1.751142e-07,1.798088e-07,1.809840e-07,1.868685e-07,1.875755e-07,1.927657e-07,1.953640e-07,1.986738e-07,2.031702e-07,2.045911e-07,2.105160e-07,2.109902e-07,2.164468e-07,2.188205e-07,2.223821e-07,2.266576e-07,2.283206e-07,2.342609e-07,2.344985e-07,2.402018e-07,2.423404e-07,2.461420e-07,2.501805e-07,2.520805e-07,2.580162e-07,2.639481e-07,2.658453e-07,2.698752e-07,2.736656e-07,2.757965e-07,2.814748e-07,2.817113e-07,2.876186e-07,2.892712e-07,2.935176e-07,2.970528e-07,2.994077e-07,3.048179e-07,3.052880e-07,3.111578e-07,3.125649e-07,3.170164e-07,3.202922e-07,3.228634e-07,3.279984e-07,3.286979e-07,3.345194e-07,3.356821e-07,3.403274e-07,3.433420e-07,3.461213e-07,3.509769e-07,3.519006e-07,3.576648e-07,3.585857e-07,3.634135e-07,3.661672e-07,3.691461e-07,3.737203e-07,3.748622e-07,3.805615e-07,3.812442e-07,3.862434e-07,3.887379e-07,3.919077e-07,3.962005e-07,3.975540e-07,4.031818e-07,4.036313e-07,4.087910e-07,4.110293e-07,4.143811e-07,4.183940e-07,4.199518e-07,4.255029e-07,4.257245e-07,4.310340e-07,4.330202e-07,4.365449e-07,4.402806e-07,4.420353e-07,4.475051e-07,4.546930e-07,4.618439e-07,4.689572e-07,4.760327e-07,4.830697e-07,4.900680e-07,4.970271e-07,5.039467e-07,5.108264e-07,5.176661e-07,5.244653e-07,5.312239e-07,5.379416e-07,5.446182e-07,5.512535e-07,5.578473e-07,5.643994e-07,5.709098e-07,5.773782e-07,5.838046e-07,5.901888e-07,5.965309e-07,6.028306e-07,6.090880e-07
0.000000e+00,1.562689e-12,5.499923e-12,3.363744e-11,1.087997e-10,1.853704e-10,5.816679e-10,6.060640e-10,1.501974e-09,1.872351e-09,3.135683e-09,4.600824e-09,5.827416e-09,9.562460e-09,9.955382e-09,1.594716e-08,1.771251e-08,2.425144e-08,3.007328e-08,3.529603e-08,4.758383e-08,4.945929e-08,6.706531e-08,7.102467e-08,8.838956e-08,1.010263e-07,1.136640e-07,1.380880e-07,1.430794e-07,1.767861e-07,1.825853e-07,2.148943e-07,2.347717e-07,2.574742e-07,2.947805e-07,3.045577e-07,3.561400e-07,3.626307e-07,4.121823e-07,4.382368e-07,4.726148e-07,5.214211e-07,5.373409e-07,6.062399e-07,6.119280e-07,6.791717e-07,7.094390e-07,7.559797e-07,8.135871e-07,8.364948e-07,9.205380e-07,9.239705e-07,1.007924e-06,1.040165e-06,1.098462e-06,1.161731e-06,1.191962e-06,1.288229e-06,1.387075e-06,1.419219e-06,1.488310e-06,1.554269e-06,1.591750e-06,1.692960e-06,1.697215e-06,1.804530e-06,1.834887e-06,1.913527e-06,1.979664e-06,2.024042e-06,2.126922e-06,2.135918e-06,2.249005e-06,2.276310e-06,2.363159e-06,2.427500e-06,2.478242e-06,2.580180e-06,2.594124e-06,2.710678e-06,2.734060e-06,2.827788e-06,2.888867e-06,2.945340e-06,3.044348e-06,3.063228e-06,3.181351e-06,3.200266e-06,3.299613e-06,3.356402e-06,3.417924e-06,3.512552e-06,3.536201e-06,3.654362e-06,3.668529e-06,3.772332e-06,3.824160e-06,3.890041e-06,3.979284e-06,4.007422e-06,4.124413e-06,4.133754e-06,4.240957e-06,4.287437e-06,4.356998e-06,4.440208e-06,4.472486e-06,4.587374e-06,4.591956e-06,4.701617e-06,4.742579e-06,4.815175e-06,4.891983e-06,4.928009e-06,5.040085e-06,5.151370e-06,5.186809e-06,5.261834e-06,5.332088e-06,5.371451e-06,5.475861e-06,5.480194e-06,5.588040e-06,5.618074e-06,5.694970e-06,5.758680e-06,5.800964e-06,5.897636e-06,5.906004e-06,6.010076e-06,6.034908e-06,6.113166e-06,6.170463e-06,6.215262e-06,6.304276e-06,6.316353e-06,6.416430e-06,6.436323e-06,6.515486e-06,6.566588e-06,6.613512e-06,6.695056e-06,6.710505e-06,6.806459e-06,6.821715e-06,6.901371e-06,6.946559e-06,6.995240e-06,7.069582e-06,7.088063e-06,7.179840e-06,7.190783e-06,7.270571e-06,7.310161e-06,7.360257e-06,7.427721e-06,7.448900e-06,7.536503e-06,7.543466e-06,7.623067e-06,7.657403e-06,7.708598e-06,7.769542e-06,7.793098e-06,7.876574e-06,7.879892e-06,7.959029e-06,7.988464e-06,8.040469e-06,8.095272e-06,8.120901e-06,8.200330e-06,8.303653e-06,8.405258e-06,8.505161e-06,8.603381e-06,8.699935e-06,8.794843e-06,8.888126e-06,8.979802e-06,9.069893e-06,9.158420e-06,9.245403e-06,9.330865e-06,9.414826e-06,9.497310e-06,9.578337e-06,9.657929e-06,9.736109e-06,9.812899e-06,9.888320e-06,9.962395e-06,1.003515e-05,1.010659e-05,1.017676e-05,1.024567e-05
0.000000e+00,2.116100e-16,2.177306e-15,6.482250e-14,5.756082e-13,1.530320e-12,1.192908e-11,1.282452e-11,6.155129e-11,8.922817e-11,2.092309e-10,3.880536e-10,5.638500e-10,1.211469e-09,1.287790e-09,2.601189e-09,3.033795e-09,4.781928e-09,6.504078e-09,8.163350e-09,1.243653e-08,1.313008e-08,2.011131e-08,2.178963e-08,2.957043e-08,3.562851e-08,4.199057e-08,5.506748e-08,5.785752e-08,7.764270e-08,8.120202e-08,1.017887e-07,1.150478e-07,1.306987e-07,1.574984e-07,1.647298e-07,2.041886e-07,2.093011e-07,2.493301e-07,2.710465e-07,3.003561e-07,3.431657e-07,3.574167e-07,4.206103e-07,4.259325e-07,4.899861e-07,5.194694e-07,5.655462e-07,6.237568e-07,6.472485e-07,7.350104e-07,7.386453e-07,8.287123e-07,8.638708e-07,9.282021e-07,9.990698e-07,1.033299e-06,1.143797e-06,1.259472e-06,1.297543e-06,1.380083e-06,1.459746e-06,1.505374e-06,1.629813e-06,1.635083e-06,1.768941e-06,1.807128e-06,1.906677e-06,1.991065e-06,2.048016e-06,2.180998e-06,2.192688e-06,2.340423e-06,2.376307e-06,2.490960e-06,2.576387e-06,2.644039e-06,2.780653e-06,2.799411e-06,2.956831e-06,2.988541e-06,3.116066e-06,3.199510e-06,3.276890e-06,3.413051e-06,3.439085e-06,3.602445e-06,3.628678e-06,3.766772e-06,3.845936e-06,3.931876e-06,4.064398e-06,4.097578e-06,4.263709e-06,4.283666e-06,4.430107e-06,4.503368e-06,4.596620e-06,4.723158e-06,4.763104e-06,4.929424e-06,4.942719e-06,5.095452e-06,5.161755e-06,5.261069e-06,5.379995e-06,5.426162e-06,5.590628e-06,5.597192e-06,5.754366e-06,5.813117e-06,5.917287e-06,6.027563e-06,6.079306e-06,6.240342e-06,6.400322e-06,6.451282e-06,6.559180e-06,6.660230e-06,6.716852e-06,6.867047e-06,6.873280e-06,7.028412e-06,7.071610e-06,7.182199e-06,7.273807e-06,7.334597e-06,7.473541e-06,7.485565e-06,7.635068e-06,7.670727e-06,7.783073e-06,7.865290e-06,7.929550e-06,8.057165e-06,8.074473e-06,8.217819e-06,8.246298e-06,8.359569e-06,8.432642e-06,8.499704e-06,8.616159e-06,8.638210e-06,8.775074e-06,8.796820e-06,8.910287e-06,8.974600e-06,9.043839e-06,9.149482e-06,9.175726e-06,9.305942e-06,9.321456e-06,9.434486e-06,9.490515e-06,9.561357e-06,9.656659e-06,9.686554e-06,9.810082e-06,9.819892e-06,9.931942e-06,9.980221e-06,1.005214e-05,1.013766e-05,1.017068e-05,1.028758e-05,1.029222e-05,1.040283e-05,1.044392e-05,1.051645e-05,1.059279e-05,1.062845e-05,1.073884e-05,1.088210e-05,1.102261e-05,1.116038e-05,1.129546e-05,1.142787e-05,1.155766e-05,1.168484e-05,1.180947e-05,1.193158e-05,1.205120e-05,1.216837e-05,1.228314e-05,1.239555e-05,1.250562e-05,1.261340e-05,1.271894e-05,1.282226e-05,1.292342e-05,1.302244e-05,1.311938e-05,1.321426e-05,1.330713e-05,1.339802e-05,1.348698e-05
0.000000e+00,1.258757e-16,1.352411e-15,4.389641e-14,4.206486e-13,1.164979e-12,1.005933e-11,1.085844e-11,5.740930e-11,8.537590e-11,2.131779e-10,4.154402e-10,6.230923e-10,1.435080e-09,1.534416e-09,3.325802e-09,3.942716e-09,6.534968e-09,9.212089e-09,1.188294e-08,1.908317e-08,2.028833e-08,3.286057e-08,3.598417e-08,5.086284e-08,6.281695e-08,7.564502e-08,1.026929e-07,1.085597e-07,1.508792e-07,1.586009e-07,2.037294e-07,2.331207e-07,2.680463e-07,3.282520e-07,3.445577e-07,4.337818e-07,4.453603e-07,5.360403e-07,5.852060e-07,6.514759e-07,7.480167e-07,7.800750e-07,9.216882e-07,9.335723e-07,1.076051e-06,1.141288e-06,1.242803e-06,1.370292e-06,1.421505e-06,1.611650e-06,1.619486e-06,1.812684e-06,1.887609e-06,2.024013e-06,2.173280e-06,2.245014e-06,2.475049e-06,2.713468e-06,2.791426e-06,2.959620e-06,3.120918e-06,3.212861e-06,3.462049e-06,3.472553e-06,3.738075e-06,3.813384e-06,4.008824e-06,4.173537e-06,4.284214e-06,4.541190e-06,4.563685e-06,4.846701e-06,4.915094e-06,5.132747e-06,5.294075e-06,5.421338e-06,5.677036e-06,5.712012e-06,6.004332e-06,6.062957e-06,6.297887e-06,6.450895e-06,6.592291e-06,6.839979e-06,6.887179e-06,7.182212e-06,7.229409e-06,7.477071e-06,7.618453e-06,7.771458e-06,8.006442e-06,8.065097e-06,8.357730e-06,8.392766e-06,8.649116e-06,8.776873e-06,8.939033e-06,9.158261e-06,9.227277e-06,9.513655e-06,9.536479e-06,9.797993e-06,9.911120e-06,1.008013e-05,1.028182e-05,1.035991e-05,1.063721e-05,1.064825e-05,1.091190e-05,1.101012e-05,1.118385e-05,1.136718e-05,1.145298e-05,1.171919e-05,1.198239e-05,1.206596e-05,1.224250e-05,1.240733e-05,1.249946e-05,1.274312e-05,1.275321e-05,1.300369e-05,1.307323e-05,1.325086e-05,1.339755e-05,1.349467e-05,1.371598e-05,1.373509e-05,1.397209e-05,1.402846e-05,1.420565e-05,1.433492e-05,1.443574e-05,1.463534e-05,1.466235e-05,1.488547e-05,1.492967e-05,1.510509e-05,1.521790e-05,1.532120e-05,1.550003e-05,1.553382e-05,1.574293e-05,1.577607e-05,1.594855e-05,1.604601e-05,1.615068e-05,1.630989e-05,1.634934e-05,1.654453e-05,1.656772e-05,1.673628e-05,1.681956e-05,1.692460e-05,1.706544e-05,1.710950e-05,1.729102e-05,1.730540e-05,1.746917e-05,1.753950e-05,1.764398e-05,1.776779e-05,1.781547e-05,1.798368e-05,1.799034e-05,1.814862e-05,1.820720e-05,1.831032e-05,1.841845e-05,1.846882e-05,1.862415e-05,1.882439e-05,1.901922e-05,1.920873e-05,1.939300e-05,1.957210e-05,1.974613e-05,1.991514e-05,2.007924e-05,2.023851e-05,2.039302e-05,2.054286e-05,2.068811e-05,2.082887e-05,2.096521e-05,2.109721e-05,2.122496e-05,2.134855e-05,2.146805e-05,2.158355e-05,2.169513e-05,2.180287e-05,2.190685e-05,2.200715e-05,2.210385e-05
0.000000e+00,2.800670e-16,2.713625e-15,7.158630e-14,5.727832e-13,1.441993e-12,9.851954e-12,1.053777e-11,4.498522e-11,6.331484e-11,1.384400e-10,2.437320e-10,3.430565e-10,6.905970e-10,7.303186e-10,1.391267e-09,1.602507e-09,2.436664e-09,3.237857e-09,3.997002e-09,5.914274e-09,6.221657e-09,9.275989e-09,1.000176e-08,1.333514e-08,1.590144e-08,1.857414e-08,2.400648e-08,2.515587e-08,3.321975e-08,3.465522e-08,4.287412e-08,4.809635e-08,5.419365e-08,6.447767e-08,6.722073e-08,8.196939e-08,8.385468e-08,9.843002e-08,1.062083e-07,1.165741e-07,1.314630e-07,1.363579e-07,1.577265e-07,1.595026e-07,1.806157e-07,1.901814e-07,2.049546e-07,2.233340e-07,2.306677e-07,2.576761e-07,2.587822e-07,2.858989e-07,2.963408e-07,3.152548e-07,3.358223e-07,3.456622e-07,3.770409e-07,4.093121e-07,4.198148e-07,4.423993e-07,4.639691e-07,4.762286e-07,5.093369e-07,5.107289e-07,5.458323e-07,5.557604e-07,5.814741e-07,6.030919e-07,6.175929e-07,6.511935e-07,6.541306e-07,6.910326e-07,6.999375e-07,7.282474e-07,7.492061e-07,7.657266e-07,7.988911e-07,8.034251e-07,8.413006e-07,8.488934e-07,8.793137e-07,8.991226e-07,9.174276e-07,9.494962e-07,9.556082e-07,9.938238e-07,9.999395e-07,1.032045e-06,1.050385e-06,1.070244e-06,1.100771e-06,1.108396e-06,1.146478e-06,1.151042e-06,1.184468e-06,1.201149e-06,1.222346e-06,1.251048e-06,1.260094e-06,1.297696e-06,1.300697e-06,1.335135e-06,1.350062e-06,1.372398e-06,1.399110e-06,1.409471e-06,1.446343e-06,1.447814e-06,1.483004e-06,1.496148e-06,1.519443e-06,1.544090e-06,1.555651e-06,1.591621e-06,1.627345e-06,1.638724e-06,1.662817e-06,1.685384e-06,1.698030e-06,1.731588e-06,1.732981e-06,1.767664e-06,1.777327e-06,1.802075e-06,1.822590e-06,1.836211e-06,1.867370e-06,1.870068e-06,1.903645e-06,1.911661e-06,1.936939e-06,1.955459e-06,1.969947e-06,1.998758e-06,2.002670e-06,2.035105e-06,2.041558e-06,2.067252e-06,2.083855e-06,2.099111e-06,2.125649e-06,2.130680e-06,2.161961e-06,2.166939e-06,2.192953e-06,2.207727e-06,2.223657e-06,2.248013e-06,2.254073e-06,2.284203e-06,2.287799e-06,2.314047e-06,2.327088e-06,2.343606e-06,2.365881e-06,2.372881e-06,2.401875e-06,2.404182e-06,2.430588e-06,2.441995e-06,2.459023e-06,2.479324e-06,2.487180e-06,2.515062e-06,2.516171e-06,2.542670e-06,2.552543e-06,2.570007e-06,2.588442e-06,2.597075e-06,2.623875e-06,2.658845e-06,2.693359e-06,2.727420e-06,2.761036e-06,2.794210e-06,2.826948e-06,2.859257e-06,2.891141e-06,2.922606e-06,2.953659e-06,2.984304e-06,3.014547e-06,3.044394e-06,3.073850e-06,3.102922e-06,3.131615e-06,3.159935e-06,3.187887e-06,3.215476e-06,3.242708e-06,3.269590e-06,3.296125e-06,3.322320e-06,3.348179e-06
0.000000e+00,2.905705e-14,2.361725e-13,4.480177e-12,2.760833e-11,6.113828e-11,3.137921e-10,3.321787e-10,1.132273e-09,1.511747e-09,2.935687e-09,4.757694e-09,6.380601e-09,1.169581e-08,1.228052e-08,2.163632e-08,2.452355e-08,3.562321e-08,4.595394e-08,5.551777e-08,7.891057e-08,8.257431e-08,1.179196e-07,1.260707e-07,1.625135e-07,1.896293e-07,2.171581e-07,2.713172e-07,2.825189e-07,3.591414e-07,3.724765e-07,4.474590e-07,4.941050e-07,5.477966e-07,6.368712e-07,6.603724e-07,7.852999e-07,8.011228e-07,9.225915e-07,9.868986e-07,1.072164e-06,1.193949e-06,1.233845e-06,1.407382e-06,1.421768e-06,1.592450e-06,1.669622e-06,1.788666e-06,1.936599e-06,1.995591e-06,2.212747e-06,2.221639e-06,2.439624e-06,2.523576e-06,2.675685e-06,2.841172e-06,2.920379e-06,3.173145e-06,3.433417e-06,3.518197e-06,3.700632e-06,3.875036e-06,3.974233e-06,4.242389e-06,4.253672e-06,4.538413e-06,4.619019e-06,4.827936e-06,5.003734e-06,5.121736e-06,5.395392e-06,5.419328e-06,5.720245e-06,5.792909e-06,6.024039e-06,6.195259e-06,6.330282e-06,6.601478e-06,6.638567e-06,6.948506e-06,7.010660e-06,7.259733e-06,7.421963e-06,7.571899e-06,7.834602e-06,7.884674e-06,8.197749e-06,8.247849e-06,8.510831e-06,8.661031e-06,8.823644e-06,9.073527e-06,9.135931e-06,9.447449e-06,9.484768e-06,9.757971e-06,9.894230e-06,1.006729e-05,1.030144e-05,1.037520e-05,1.068152e-05,1.070595e-05,1.098608e-05,1.110737e-05,1.128872e-05,1.150535e-05,1.158930e-05,1.188767e-05,1.189956e-05,1.218372e-05,1.228971e-05,1.247733e-05,1.267553e-05,1.276839e-05,1.305681e-05,1.334250e-05,1.343333e-05,1.362538e-05,1.380491e-05,1.390538e-05,1.417140e-05,1.418243e-05,1.445648e-05,1.453267e-05,1.472747e-05,1.488859e-05,1.499537e-05,1.523907e-05,1.526013e-05,1.552172e-05,1.558402e-05,1.578010e-05,1.592339e-05,1.603527e-05,1.625713e-05,1.628719e-05,1.653585e-05,1.658519e-05,1.678124e-05,1.690756e-05,1.702336e-05,1.722421e-05,1.726220e-05,1.749776e-05,1.753514e-05,1.773004e-05,1.784037e-05,1.795905e-05,1.813990e-05,1.818479e-05,1.840728e-05,1.843376e-05,1.862653e-05,1.872198e-05,1.884255e-05,1.900458e-05,1.905537e-05,1.926499e-05,1.928162e-05,1.947145e-05,1.955315e-05,1.967475e-05,1.981920e-05,1.987494e-05,2.007202e-05,2.007984e-05,2.026603e-05,2.033513e-05,2.045700e-05,2.058513e-05,2.064494e-05,2.082990e-05,2.106952e-05,2.130405e-05,2.153357e-05,2.175815e-05,2.197786e-05,2.219278e-05,2.240300e-05,2.260858e-05,2.280961e-05,2.300616e-05,2.319831e-05,2.338615e-05,2.356975e-05,2.374919e-05,2.392455e-05,2.409590e-05,2.426332e-05,2.442690e-05,2.458670e-05,2.474281e-05,2.489528e-05,2.504421e-05,2.518966e-05,2.533171e-05
0.000000e+00,1.607710e-13,9.028620e-13,9.524405e-12,4.019697e-11,7.565446e-11,2.825039e-10,2.959257e-10,8.131416e-10,1.035344e-09,1.812148e-09,2.735063e-09,3.518847e-09,5.943310e-09,6.200773e-09,1.016640e-08,1.134663e-08,1.575669e-08,1.972784e-08,2.332107e-08,3.186804e-08,3.318210e-08,4.560887e-08,4.842153e-08,6.081076e-08,6.986622e-08,7.894408e-08,9.652442e-08,1.001206e-07,1.244141e-07,1.285935e-07,1.518642e-07,1.661651e-07,1.824792e-07,2.092368e-07,2.162382e-07,2.530937e-07,2.577213e-07,2.929737e-07,3.114556e-07,3.357846e-07,3.702130e-07,3.814147e-07,4.297364e-07,4.337143e-07,4.806100e-07,5.016410e-07,5.338869e-07,5.736473e-07,5.894118e-07,6.470257e-07,6.493715e-07,7.065685e-07,7.284453e-07,7.678805e-07,8.105029e-07,8.308045e-07,8.951868e-07,9.608789e-07,9.821535e-07,1.027738e-06,1.071076e-06,1.095627e-06,1.161649e-06,1.164416e-06,1.233982e-06,1.253584e-06,1.304211e-06,1.346620e-06,1.374992e-06,1.440511e-06,1.446224e-06,1.517813e-06,1.535038e-06,1.589671e-06,1.629998e-06,1.661715e-06,1.725208e-06,1.733870e-06,1.806066e-06,1.820505e-06,1.878238e-06,1.915739e-06,1.950327e-06,2.010777e-06,2.022278e-06,2.094041e-06,2.105502e-06,2.165569e-06,2.199806e-06,2.236820e-06,2.293596e-06,2.307756e-06,2.378342e-06,2.386787e-06,2.448545e-06,2.479306e-06,2.518337e-06,2.571087e-06,2.587690e-06,2.656581e-06,2.662072e-06,2.724988e-06,2.752211e-06,2.792892e-06,2.841461e-06,2.860274e-06,2.927120e-06,2.929782e-06,2.993414e-06,3.017142e-06,3.059144e-06,3.103513e-06,3.124300e-06,3.188871e-06,3.252848e-06,3.273194e-06,3.316225e-06,3.356468e-06,3.378995e-06,3.438678e-06,3.441152e-06,3.502692e-06,3.519812e-06,3.563612e-06,3.599864e-06,3.623907e-06,3.678826e-06,3.683577e-06,3.742619e-06,3.756696e-06,3.801033e-06,3.833470e-06,3.858818e-06,3.909148e-06,3.915974e-06,3.972502e-06,3.983732e-06,4.028402e-06,4.057223e-06,4.083677e-06,4.129626e-06,4.138328e-06,4.192357e-06,4.200944e-06,4.245767e-06,4.271184e-06,4.298560e-06,4.340352e-06,4.350739e-06,4.402309e-06,4.408456e-06,4.453271e-06,4.475503e-06,4.503631e-06,4.541503e-06,4.553391e-06,4.602556e-06,4.606464e-06,4.651131e-06,4.670396e-06,4.699119e-06,4.733309e-06,4.746525e-06,4.793353e-06,4.795215e-06,4.839610e-06,4.856123e-06,4.885298e-06,4.916045e-06,4.930424e-06,4.974992e-06,5.032976e-06,5.090009e-06,5.146103e-06,5.201270e-06,5.255523e-06,5.308872e-06,5.361332e-06,5.412914e-06,5.463631e-06,5.513494e-06,5.562517e-06,5.610713e-06,5.658092e-06,5.704668e-06,5.750453e-06,5.795459e-06,5.839697e-06,5.883182e-06,5.925923e-06,5.967933e-06,6.009223e-06,6.049806e-06,6.089693e-06,6.128894e-06
0.000000e+00,1.990311e-12,7.689444e-12,5.188764e-11,1.756522e-10,3.044244e-10,9.855623e-10,1.027953e-09,2.604306e-09,3.264077e-09,5.539319e-09,8.215907e-09,1.048212e-08,1.749752e-08,1.824419e-08,2.979469e-08,3.324820e-08,4.619569e-08,5.788660e-08,6.847198e-08,9.362470e-08,9.748554e-08,1.338881e-07,1.420988e-07,1.781409e-07,2.043630e-07,2.305549e-07,2.810348e-07,2.913247e-07,3.605508e-07,3.724142e-07,4.382549e-07,4.785524e-07,5.243885e-07,5.992925e-07,6.188415e-07,7.214478e-07,7.342987e-07,8.319924e-07,8.830818e-07,9.502176e-07,1.045026e-06,1.075829e-06,1.208504e-06,1.219413e-06,1.347895e-06,1.405451e-06,1.493638e-06,1.602295e-06,1.645357e-06,1.802667e-06,1.809071e-06,1.965185e-06,2.024892e-06,2.132525e-06,2.248876e-06,2.304307e-06,2.480158e-06,2.659714e-06,2.717896e-06,2.842621e-06,2.961284e-06,3.028540e-06,3.209550e-06,3.217142e-06,3.408112e-06,3.461967e-06,3.601151e-06,3.717847e-06,3.795972e-06,3.976548e-06,3.992304e-06,4.189888e-06,4.237468e-06,4.388482e-06,4.500049e-06,4.587855e-06,4.763775e-06,4.787790e-06,4.988083e-06,5.028167e-06,5.188540e-06,5.292783e-06,5.388983e-06,5.557219e-06,5.589241e-06,5.789157e-06,5.821102e-06,5.988582e-06,6.084090e-06,6.187378e-06,6.345874e-06,6.385415e-06,6.582574e-06,6.606168e-06,6.778742e-06,6.864715e-06,6.973816e-06,7.121281e-06,7.167699e-06,7.360302e-06,7.375652e-06,7.551542e-06,7.627639e-06,7.741343e-06,7.877068e-06,7.929634e-06,8.116352e-06,8.123787e-06,8.301436e-06,8.367656e-06,8.484833e-06,8.608554e-06,8.666493e-06,8.846372e-06,9.024428e-06,9.081015e-06,9.200626e-06,9.312401e-06,9.374931e-06,9.540457e-06,9.547315e-06,9.717751e-06,9.765121e-06,9.886218e-06,9.986343e-06,1.005269e-05,1.020408e-05,1.021716e-05,1.037961e-05,1.041829e-05,1.054002e-05,1.062896e-05,1.069839e-05,1.083605e-05,1.085470e-05,1.100896e-05,1.103956e-05,1.116116e-05,1.123948e-05,1.131129e-05,1.143581e-05,1.145936e-05,1.160536e-05,1.162853e-05,1.174931e-05,1.181767e-05,1.189120e-05,1.200324e-05,1.203104e-05,1.216884e-05,1.218524e-05,1.230460e-05,1.236369e-05,1.243833e-05,1.253862e-05,1.257005e-05,1.269975e-05,1.271004e-05,1.282746e-05,1.287799e-05,1.295319e-05,1.304249e-05,1.307695e-05,1.319875e-05,1.320358e-05,1.331860e-05,1.336128e-05,1.343653e-05,1.351563e-05,1.355254e-05,1.366666e-05,1.381442e-05,1.395893e-05,1.410025e-05,1.423840e-05,1.437344e-05,1.450540e-05,1.463433e-05,1.476026e-05,1.488325e-05,1.500334e-05,1.512056e-05,1.523497e-05,1.534661e-05,1.545552e-05,1.556175e-05,1.566534e-05,1.576634e-05,1.586479e-05,1.596074e-05,1.605422e-05,1.614529e-05,1.623399e-05,1.632035e-05,1.640443e-05
0.000000e+00,5.081735e-18,5.914266e-17,2.266486e-15,2.526888e-14,7.604345e-14,8.135356e-13,8.858376e-13,5.787979e-12,9.115229e-12,2.627037e-11,5.744993e-11,9.284981e-11,2.523279e-10,2.735897e-10,7.022125e-10,8.656034e-10,1.617111e-09,2.480241e-09,3.410900e-09,6.189925e-09,6.687539e-09,1.232155e-08,1.383054e-08,2.151250e-08,2.820241e-08,3.582818e-08,5.323789e-08,5.723140e-08,8.808759e-08,9.408065e-08,1.311515e-07,1.570596e-07,1.895346e-07,2.495596e-07,2.666556e-07,3.661757e-07,3.798039e-07,4.919239e-07,5.565700e-07,6.478153e-07,7.888642e-07,8.377657e-07,1.065607e-06,1.085582e-06,1.335004e-06,1.455175e-06,1.649379e-06,1.905340e-06,2.011843e-06,2.425137e-06,2.442760e-06,2.891580e-06,3.072883e-06,3.413033e-06,3.799767e-06,3.990875e-06,4.625982e-06,5.318726e-06,5.552570e-06,6.068980e-06,6.579060e-06,6.876131e-06,7.703531e-06,7.739104e-06,8.656389e-06,8.922711e-06,9.626078e-06,1.023212e-05,1.064591e-05,1.162621e-05,1.171328e-05,1.282536e-05,1.309856e-05,1.397903e-05,1.464204e-05,1.517103e-05,1.624898e-05,1.639794e-05,1.765626e-05,1.791138e-05,1.894242e-05,1.962103e-05,2.025282e-05,2.136967e-05,2.158388e-05,2.293205e-05,2.314912e-05,2.429388e-05,2.495140e-05,2.566597e-05,2.676884e-05,2.704507e-05,2.842803e-05,2.859410e-05,2.981187e-05,3.042029e-05,3.119373e-05,3.224097e-05,3.257093e-05,3.394096e-05,3.405018e-05,3.530147e-05,3.584251e-05,3.665027e-05,3.761303e-05,3.798537e-05,3.930490e-05,3.935733e-05,4.060719e-05,4.107150e-05,4.189072e-05,4.275209e-05,4.315411e-05,4.439614e-05,4.561573e-05,4.600109e-05,4.681191e-05,4.756480e-05,4.798386e-05,4.908548e-05,4.913088e-05,5.025235e-05,5.056171e-05,5.134779e-05,5.199238e-05,5.241678e-05,5.337664e-05,5.345903e-05,5.447430e-05,5.471393e-05,5.546243e-05,5.600390e-05,5.642334e-05,5.724640e-05,5.735701e-05,5.826346e-05,5.844150e-05,5.914280e-05,5.958938e-05,5.999515e-05,6.069039e-05,6.082069e-05,6.161963e-05,6.174501e-05,6.239224e-05,6.275381e-05,6.313878e-05,6.371746e-05,6.385957e-05,6.455494e-05,6.463670e-05,6.522525e-05,6.551234e-05,6.587087e-05,6.634526e-05,6.649218e-05,6.708959e-05,6.713636e-05,6.766351e-05,6.788660e-05,6.821437e-05,6.859695e-05,6.874260e-05,6.924863e-05,6.926841e-05,6.973291e-05,6.990201e-05,7.019588e-05,7.049876e-05,7.063800e-05,7.105971e-05,7.158589e-05,7.207833e-05,7.253806e-05,7.296612e-05,7.336351e-05,7.373123e-05,7.407029e-05,7.438164e-05,7.466626e-05,7.492509e-05,7.515905e-05,7.536904e-05,7.555597e-05,7.572069e-05,7.586406e-05,7.598690e-05,7.609002e-05,7.617421e-05,7.624025e-05,7.628887e-05,7.632082e-05,7.633678e-05,7.633746e-05,7.632352e-05
0.000000e+00,4.704554e-17,4.744223e-16,1.354926e-14,1.160331e-13,3.026565e-13,2.252013e-12,2.416691e-12,1.112354e-11,1.595473e-11,3.647686e-11,6.637931e-11,9.533102e-11,1.999521e-10,2.121406e-10,4.192133e-10,4.866348e-10,7.566401e-10,1.019988e-09,1.272036e-09,1.916072e-09,2.020088e-09,3.061790e-09,3.311107e-09,4.463123e-09,5.356779e-09,6.293010e-09,8.211903e-09,8.620526e-09,1.151170e-08,1.203071e-08,1.502650e-08,1.695063e-08,1.921653e-08,2.308325e-08,2.412374e-08,2.978013e-08,3.051040e-08,3.620809e-08,3.928463e-08,4.342123e-08,4.943213e-08,5.142528e-08,6.021914e-08,6.095660e-08,6.979581e-08,7.384311e-08,8.014320e-08,8.806150e-08,9.124494e-08,1.030811e-07,1.035695e-07,1.156288e-07,1.203154e-07,1.288629e-07,1.382405e-07,1.427564e-07,1.572809e-07,1.724071e-07,1.773697e-07,1.881051e-07,1.984380e-07,2.043448e-07,2.204167e-07,2.210962e-07,2.383293e-07,2.432368e-07,2.560146e-07,2.668309e-07,2.741233e-07,2.911329e-07,2.926271e-07,3.114986e-07,3.160795e-07,3.307112e-07,3.416097e-07,3.502392e-07,3.676650e-07,3.700578e-07,3.901431e-07,3.941902e-07,4.104724e-07,4.211327e-07,4.310237e-07,4.484429e-07,4.517760e-07,4.727093e-07,4.760742e-07,4.938046e-07,5.039825e-07,5.150437e-07,5.321267e-07,5.364091e-07,5.578846e-07,5.604682e-07,5.794543e-07,5.889710e-07,6.011035e-07,6.176014e-07,6.228182e-07,6.445848e-07,6.463280e-07,6.663909e-07,6.751217e-07,6.882244e-07,7.039552e-07,7.100741e-07,7.319293e-07,7.328035e-07,7.537799e-07,7.616431e-07,7.756163e-07,7.904525e-07,7.974297e-07,8.192116e-07,8.409541e-07,8.479021e-07,8.626496e-07,8.765069e-07,8.842912e-07,9.050104e-07,9.058724e-07,9.273868e-07,9.333981e-07,9.488289e-07,9.616571e-07,9.701931e-07,9.897751e-07,9.914745e-07,1.012668e-06,1.017741e-06,1.033770e-06,1.045545e-06,1.054776e-06,1.073178e-06,1.075682e-06,1.096484e-06,1.100632e-06,1.117180e-06,1.127899e-06,1.137767e-06,1.154973e-06,1.158241e-06,1.178600e-06,1.181847e-06,1.198842e-06,1.208516e-06,1.218965e-06,1.234976e-06,1.238966e-06,1.258845e-06,1.261222e-06,1.278598e-06,1.287250e-06,1.298226e-06,1.313058e-06,1.317727e-06,1.337099e-06,1.338643e-06,1.356341e-06,1.364002e-06,1.375454e-06,1.389134e-06,1.394435e-06,1.413285e-06,1.414036e-06,1.432003e-06,1.438709e-06,1.450588e-06,1.463151e-06,1.469041e-06,1.487361e-06,1.511339e-06,1.535085e-06,1.558599e-06,1.581883e-06,1.604935e-06,1.627757e-06,1.650350e-06,1.672715e-06,1.694853e-06,1.716766e-06,1.738455e-06,1.759921e-06,1.781166e-06,1.802193e-06,1.823001e-06,1.843595e-06,1.863975e-06,1.884144e-06,1.904103e-06,1.923854e-06,1.943401e-06,1.962745e-06,1.981887e-06,2.000831e-06
0.000000e+00,4.429103e-18,5.077541e-17,1.885493e-15,2.041356e-14,6.043144e-14,6.189069e-13,6.726887e-13,4.199944e-12,6.530358e-12,1.820991e-11,3.873475e-11,6.144939e-11,1.599382e-10,1.727607e-10,4.228346e-10,5.152806e-10,9.283334e-10,1.386444e-09,1.867560e-09,3.253932e-09,3.496395e-09,6.162728e-09,6.858272e-09,1.031741e-08,1.324743e-08,1.652001e-08,2.379834e-08,2.543833e-08,3.784147e-08,4.020557e-08,5.458702e-08,6.443776e-08,7.660342e-08,9.866784e-08,1.048689e-07,1.403881e-07,1.451859e-07,1.841682e-07,2.063038e-07,2.371949e-07,2.842612e-07,3.004103e-07,3.746920e-07,3.811371e-07,4.608353e-07,4.987736e-07,5.595373e-07,6.387137e-07,6.713857e-07,7.968484e-07,8.021554e-07,9.362685e-07,9.899218e-07,1.089861e-06,1.202448e-06,1.257712e-06,1.439783e-06,1.635913e-06,1.701602e-06,1.845828e-06,1.987237e-06,2.069149e-06,2.295709e-06,2.305400e-06,2.554023e-06,2.625769e-06,2.814383e-06,2.975947e-06,3.085788e-06,3.344596e-06,3.367493e-06,3.658716e-06,3.729937e-06,3.958649e-06,4.130108e-06,4.266466e-06,4.543205e-06,4.581334e-06,4.902422e-06,4.967314e-06,5.228910e-06,5.400549e-06,5.559992e-06,5.841076e-06,5.894883e-06,6.232829e-06,6.287135e-06,6.573103e-06,6.737056e-06,6.915013e-06,7.189277e-06,7.257904e-06,7.601157e-06,7.642344e-06,7.944192e-06,8.094918e-06,8.286469e-06,8.545782e-06,8.627485e-06,8.966776e-06,8.993831e-06,9.303914e-06,9.438078e-06,9.638509e-06,9.877641e-06,9.970204e-06,1.029868e-05,1.031175e-05,1.062364e-05,1.073971e-05,1.094482e-05,1.116095e-05,1.126200e-05,1.157496e-05,1.188353e-05,1.198131e-05,1.218753e-05,1.237964e-05,1.248685e-05,1.276966e-05,1.278134e-05,1.307093e-05,1.315112e-05,1.335551e-05,1.352384e-05,1.363503e-05,1.388767e-05,1.390943e-05,1.417867e-05,1.424252e-05,1.444272e-05,1.458831e-05,1.470155e-05,1.492501e-05,1.495517e-05,1.520356e-05,1.525261e-05,1.544674e-05,1.557113e-05,1.568472e-05,1.588061e-05,1.591752e-05,1.614516e-05,1.618111e-05,1.636769e-05,1.647270e-05,1.658514e-05,1.675547e-05,1.679755e-05,1.700495e-05,1.702951e-05,1.720741e-05,1.729494e-05,1.740498e-05,1.755188e-05,1.759770e-05,1.778563e-05,1.780046e-05,1.796883e-05,1.804080e-05,1.814737e-05,1.827306e-05,1.832129e-05,1.849068e-05,1.849736e-05,1.865558e-05,1.871386e-05,1.881607e-05,1.892271e-05,1.897221e-05,1.912407e-05,1.931807e-05,1.950489e-05,1.968467e-05,1.985757e-05,2.002375e-05,2.018336e-05,2.033655e-05,2.048349e-05,2.062432e-05,2.075919e-05,2.088825e-05,2.101166e-05,2.112955e-05,2.124207e-05,2.134937e-05,2.145159e-05,2.154885e-05,2.164131e-05,2.172909e-05,2.181232e-05,2.189113e-05,2.196565e-05,2.203601e-05,2.210232e-05
0.000000e+00,1.143069e-12,3.987237e-12,2.412753e-11,7.775538e-11,1.325166e-10,4.196668e-10,4.375559e-10,1.110324e-09,1.396695e-09,2.404241e-09,3.621493e-09,4.670994e-09,7.969121e-09,8.321313e-09,1.371945e-08,1.530544e-08,2.111809e-08,2.619702e-08,3.067602e-08,4.095502e-08,4.249523e-08,5.664445e-08,5.975829e-08,7.316980e-08,8.271186e-08,9.209879e-08,1.098646e-07,1.134415e-07,1.371907e-07,1.412125e-07,1.633219e-07,1.766996e-07,1.917942e-07,2.162200e-07,2.225510e-07,2.555220e-07,2.596236e-07,2.906251e-07,3.067225e-07,3.277682e-07,3.573001e-07,3.668516e-07,4.077702e-07,4.111198e-07,4.504156e-07,4.679326e-07,4.946777e-07,5.274855e-07,5.404462e-07,5.876125e-07,5.895267e-07,6.360701e-07,6.538109e-07,6.857159e-07,7.201029e-07,7.364507e-07,7.881797e-07,8.408129e-07,8.578325e-07,8.942651e-07,9.288669e-07,9.484558e-07,1.001104e-06,1.003310e-06,1.058756e-06,1.074378e-06,1.114729e-06,1.148539e-06,1.171166e-06,1.223450e-06,1.228011e-06,1.285209e-06,1.298984e-06,1.342712e-06,1.375029e-06,1.400473e-06,1.451481e-06,1.458448e-06,1.516599e-06,1.528247e-06,1.574888e-06,1.605241e-06,1.633280e-06,1.682387e-06,1.691745e-06,1.750251e-06,1.759614e-06,1.808772e-06,1.836859e-06,1.867281e-06,1.914064e-06,1.925755e-06,1.984172e-06,1.991177e-06,2.042511e-06,2.068150e-06,2.100752e-06,2.144939e-06,2.158877e-06,2.216871e-06,2.221504e-06,2.274716e-06,2.297809e-06,2.332398e-06,2.373821e-06,2.389905e-06,2.447222e-06,2.449510e-06,2.504338e-06,2.524848e-06,2.561242e-06,2.599810e-06,2.617923e-06,2.674372e-06,2.730579e-06,2.748513e-06,2.786536e-06,2.822214e-06,2.842236e-06,2.895457e-06,2.897670e-06,2.952831e-06,2.968227e-06,3.007714e-06,3.040507e-06,3.062312e-06,3.112285e-06,3.116619e-06,3.170630e-06,3.183549e-06,3.224341e-06,3.254286e-06,3.277747e-06,3.324488e-06,3.330843e-06,3.383625e-06,3.394144e-06,3.436091e-06,3.463247e-06,3.488236e-06,3.531788e-06,3.540058e-06,3.591553e-06,3.599762e-06,3.642720e-06,3.667162e-06,3.693555e-06,3.733983e-06,3.744057e-06,3.794223e-06,3.800220e-06,3.844051e-06,3.865869e-06,3.893541e-06,3.930926e-06,3.942691e-06,3.991499e-06,3.995389e-06,4.039965e-06,4.059255e-06,4.088087e-06,4.122521e-06,4.135864e-06,4.183297e-06,4.185187e-06,4.230384e-06,4.247250e-06,4.277125e-06,4.308711e-06,4.323519e-06,4.369568e-06,4.429821e-06,4.489470e-06,4.548517e-06,4.606961e-06,4.664803e-06,4.722045e-06,4.778689e-06,4.834735e-06,4.890186e-06,4.945044e-06,4.999311e-06,5.052990e-06,5.106083e-06,5.158592e-06,5.210522e-06,5.261875e-06,5.312654e-06,5.362862e-06,5.412503e-06,5.461580e-06,5.510097e-06,5.558058e-06,5.605466e-06,5.652325e-06
0.000000e+00,1.109231e-11,3.399189e-11,1.798033e-10,5.439932e-10,9.044804e-10,2.723521e-09,2.834333e-09,6.874026e-09,8.537200e-09,1.420909e-08,2.080266e-08,2.634056e-08,4.329166e-08,4.508081e-08,7.242807e-08,8.049269e-08,1.103302e-07,1.368177e-07,1.605062e-07,2.159749e-07,2.244108e-07,3.032683e-07,3.209280e-07,3.981097e-07,4.540353e-07,5.097926e-07,6.171331e-07,6.390100e-07,7.862937e-07,8.115627e-07,9.520156e-07,1.038181e-06,1.136392e-06,1.297374e-06,1.339490e-06,1.561234e-06,1.589087e-06,1.801420e-06,1.912865e-06,2.059727e-06,2.267904e-06,2.335733e-06,2.628925e-06,2.653106e-06,2.938719e-06,3.067143e-06,3.264471e-06,3.508507e-06,3.605490e-06,3.961050e-06,3.975564e-06,4.330402e-06,4.466599e-06,4.712783e-06,4.979850e-06,5.107421e-06,5.513548e-06,5.930397e-06,6.065930e-06,6.357216e-06,6.635270e-06,6.793265e-06,7.219886e-06,7.237823e-06,7.690188e-06,7.818157e-06,8.149681e-06,8.428524e-06,8.615644e-06,9.049501e-06,9.087445e-06,9.564475e-06,9.679675e-06,1.004615e-05,1.031771e-05,1.053191e-05,1.096234e-05,1.102122e-05,1.151358e-05,1.161237e-05,1.200848e-05,1.226669e-05,1.250548e-05,1.292425e-05,1.300413e-05,1.350401e-05,1.358408e-05,1.400472e-05,1.424524e-05,1.450589e-05,1.490691e-05,1.500715e-05,1.550818e-05,1.556827e-05,1.600864e-05,1.622859e-05,1.650825e-05,1.688720e-05,1.700671e-05,1.750375e-05,1.754344e-05,1.799912e-05,1.819675e-05,1.849259e-05,1.884658e-05,1.898393e-05,1.947292e-05,1.949243e-05,1.995938e-05,2.013384e-05,2.044311e-05,2.077040e-05,2.092395e-05,2.140173e-05,2.187630e-05,2.202746e-05,2.234752e-05,2.264729e-05,2.281527e-05,2.326092e-05,2.327942e-05,2.373985e-05,2.386810e-05,2.419648e-05,2.446858e-05,2.464919e-05,2.506216e-05,2.509790e-05,2.554254e-05,2.564864e-05,2.598303e-05,2.622787e-05,2.641931e-05,2.679969e-05,2.685130e-05,2.727897e-05,2.736398e-05,2.770226e-05,2.792062e-05,2.812112e-05,2.846952e-05,2.853553e-05,2.894544e-05,2.901061e-05,2.935083e-05,2.954381e-05,2.975168e-05,3.006908e-05,3.014797e-05,3.053967e-05,3.058637e-05,3.092679e-05,3.109566e-05,3.130930e-05,3.159693e-05,3.168721e-05,3.206051e-05,3.209018e-05,3.242921e-05,3.257540e-05,3.279330e-05,3.305261e-05,3.315280e-05,3.350771e-05,3.352182e-05,3.385805e-05,3.398306e-05,3.420383e-05,3.443636e-05,3.454506e-05,3.488176e-05,3.531931e-05,3.574905e-05,3.617104e-05,3.658534e-05,3.699201e-05,3.739112e-05,3.778273e-05,3.816693e-05,3.854379e-05,3.891338e-05,3.927579e-05,3.963111e-05,3.997940e-05,4.032077e-05,4.065530e-05,4.098307e-05,4.130419e-05,4.161873e-05,4.192679e-05,4.222847e-05,4.252385e-05,4.281302e-05,4.309609e-05,4.337314e-05
0.000000e+00,1.186883e-11,3.616478e-11,1.901098e-10,5.738603e-10,9.539075e-10,2.879747e-09,2.997531e-09,7.325304e-09,9.124423e-09,1.532238e-08,2.262290e-08,2.881117e-08,4.792667e-08,4.995195e-08,8.090985e-08,9.001528e-08,1.235442e-07,1.530888e-07,1.793468e-07,2.403040e-07,2.495174e-07,3.350405e-07,3.540617e-07,4.367278e-07,4.962171e-07,5.552356e-07,6.681554e-07,6.910697e-07,8.445854e-07,8.708045e-07,1.015987e-06,1.104635e-06,1.205329e-06,1.369665e-06,1.412523e-06,1.637344e-06,1.665491e-06,1.879439e-06,1.991318e-06,2.138345e-06,2.346015e-06,2.413501e-06,2.704260e-06,2.728174e-06,3.009913e-06,3.136173e-06,3.329692e-06,3.568230e-06,3.662793e-06,4.008385e-06,4.022457e-06,4.365620e-06,4.496911e-06,4.733646e-06,4.989632e-06,5.111611e-06,5.498675e-06,5.894015e-06,6.022139e-06,6.296824e-06,6.558181e-06,6.706324e-06,7.105038e-06,7.121760e-06,7.542409e-06,7.661029e-06,7.967577e-06,8.224570e-06,8.396602e-06,8.794168e-06,8.828853e-06,9.263731e-06,9.368429e-06,9.700670e-06,9.946054e-06,1.013913e-05,1.052584e-05,1.057861e-05,1.101864e-05,1.110667e-05,1.145875e-05,1.168751e-05,1.189854e-05,1.226743e-05,1.233762e-05,1.277560e-05,1.284555e-05,1.321215e-05,1.342109e-05,1.364695e-05,1.399333e-05,1.407970e-05,1.451013e-05,1.456161e-05,1.493797e-05,1.512534e-05,1.536299e-05,1.568398e-05,1.578496e-05,1.620369e-05,1.623704e-05,1.661899e-05,1.678411e-05,1.703068e-05,1.732479e-05,1.743862e-05,1.784265e-05,1.785873e-05,1.824266e-05,1.838565e-05,1.863851e-05,1.890526e-05,1.903010e-05,1.941734e-05,1.980014e-05,1.992169e-05,2.017843e-05,2.041814e-05,2.055214e-05,2.090654e-05,2.092121e-05,2.128560e-05,2.138678e-05,2.164525e-05,2.185875e-05,2.200013e-05,2.232238e-05,2.235021e-05,2.269548e-05,2.277763e-05,2.303591e-05,2.322443e-05,2.337149e-05,2.366278e-05,2.370221e-05,2.402808e-05,2.409267e-05,2.434909e-05,2.451410e-05,2.466525e-05,2.492709e-05,2.497658e-05,2.528308e-05,2.533167e-05,2.558477e-05,2.572788e-05,2.588167e-05,2.611576e-05,2.617380e-05,2.646120e-05,2.649537e-05,2.674388e-05,2.686678e-05,2.702188e-05,2.723005e-05,2.729524e-05,2.756397e-05,2.758527e-05,2.782813e-05,2.793252e-05,2.808775e-05,2.827188e-05,2.834286e-05,2.859352e-05,2.860345e-05,2.883975e-05,2.892732e-05,2.908161e-05,2.924359e-05,2.931913e-05,2.955236e-05,2.985374e-05,3.014782e-05,3.043473e-05,3.071457e-05,3.098744e-05,3.125347e-05,3.151275e-05,3.176542e-05,3.201157e-05,3.225133e-05,3.248479e-05,3.271209e-05,3.293332e-05,3.314861e-05,3.335805e-05,3.356177e-05,3.375987e-05,3.395246e-05,3.413965e-05,3.432154e-05,3.449824e-05,3.466985e-05,3.483648e-05,3.499823e-05
0.000000e+00,1.921570e-16,2.029794e-15,6.371753e-14,5.926708e-13,1.615213e-12,1.339115e-11,1.443143e-11,7.337497e-11,1.079883e-10,2.627675e-10,5.016776e-10,7.425491e-10,1.661044e-09,1.771655e-09,3.727001e-09,4.387742e-09,7.117633e-09,9.879165e-09,1.259132e-08,1.974729e-08,2.092721e-08,3.300911e-08,3.595766e-08,4.978209e-08,6.067635e-08,7.220267e-08,9.607776e-08,1.011943e-07,1.376146e-07,1.441842e-07,1.822358e-07,2.067693e-07,2.357344e-07,2.853164e-07,2.986879e-07,3.715737e-07,3.810065e-07,4.547704e-07,4.947193e-07,5.485586e-07,6.270380e-07,6.531223e-07,7.685514e-07,7.782556e-07,8.948445e-07,9.483867e-07,1.031913e-06,1.137183e-06,1.179588e-06,1.337623e-06,1.344156e-06,1.505706e-06,1.568605e-06,1.683464e-06,1.809651e-06,1.870473e-06,2.066267e-06,2.270344e-06,2.337313e-06,2.482180e-06,2.621575e-06,2.701228e-06,2.917785e-06,2.926934e-06,3.158738e-06,3.224660e-06,3.396081e-06,3.540915e-06,3.638409e-06,3.865288e-06,3.885181e-06,4.135867e-06,4.196557e-06,4.389955e-06,4.533545e-06,4.646951e-06,4.875138e-06,4.906383e-06,5.167798e-06,5.220281e-06,5.430768e-06,5.567992e-06,5.694887e-06,5.917354e-06,5.959772e-06,6.225062e-06,6.267523e-06,6.490419e-06,6.617721e-06,6.755528e-06,6.967239e-06,7.020096e-06,7.283848e-06,7.315431e-06,7.546532e-06,7.661713e-06,7.807913e-06,8.005557e-06,8.067774e-06,8.325918e-06,8.346490e-06,8.582162e-06,8.684090e-06,8.836340e-06,9.017984e-06,9.088301e-06,9.337905e-06,9.347838e-06,9.585029e-06,9.673365e-06,9.829561e-06,9.994309e-06,1.007140e-05,1.031045e-05,1.054664e-05,1.062161e-05,1.077990e-05,1.092761e-05,1.101016e-05,1.122834e-05,1.123737e-05,1.146149e-05,1.152368e-05,1.168247e-05,1.181354e-05,1.190029e-05,1.209786e-05,1.211491e-05,1.232633e-05,1.237659e-05,1.253451e-05,1.264969e-05,1.273946e-05,1.291714e-05,1.294117e-05,1.313964e-05,1.317894e-05,1.333486e-05,1.343510e-05,1.352686e-05,1.368564e-05,1.371562e-05,1.390117e-05,1.393057e-05,1.408353e-05,1.416993e-05,1.426271e-05,1.440377e-05,1.443872e-05,1.461160e-05,1.463214e-05,1.478137e-05,1.485509e-05,1.494805e-05,1.507267e-05,1.511167e-05,1.527225e-05,1.528497e-05,1.542984e-05,1.549204e-05,1.558445e-05,1.569395e-05,1.573613e-05,1.588490e-05,1.589079e-05,1.603080e-05,1.608263e-05,1.617387e-05,1.626955e-05,1.631413e-05,1.645163e-05,1.662895e-05,1.680160e-05,1.696967e-05,1.713323e-05,1.729237e-05,1.744719e-05,1.759776e-05,1.774417e-05,1.788651e-05,1.802485e-05,1.815929e-05,1.828991e-05,1.841680e-05,1.854002e-05,1.865966e-05,1.877581e-05,1.888854e-05,1.899793e-05,1.910406e-05,1.920699e-05,1.930681e-05,1.940359e-05,1.949739e-05,1.958830e-05
0.000000e+00,8.853232e-12,2.743203e-11,1.469753e-10,4.478034e-10,7.467753e-10,2.262598e-09,2.355172e-09,5.739491e-09,7.136509e-09,1.191081e-08,1.747574e-08,2.216001e-08,3.655399e-08,3.807817e-08,6.149226e-08,6.843757e-08,9.427983e-08,1.173928e-07,1.381833e-07,1.872458e-07,1.947491e-07,2.653543e-07,2.812715e-07,3.512423e-07,4.023236e-07,4.535445e-07,5.529163e-07,5.732860e-07,7.113840e-07,7.352384e-07,8.686404e-07,9.511334e-07,1.045736e-06,1.202073e-06,1.243225e-06,1.461528e-06,1.489138e-06,1.700936e-06,1.813007e-06,1.961607e-06,2.173962e-06,2.243572e-06,2.546740e-06,2.571904e-06,2.870906e-06,3.006385e-06,3.215758e-06,3.476638e-06,3.580893e-06,3.965820e-06,3.981622e-06,4.369976e-06,4.520061e-06,4.792734e-06,5.090488e-06,5.233412e-06,5.691285e-06,6.165596e-06,6.320720e-06,6.655558e-06,6.976977e-06,7.160367e-06,7.658193e-06,7.679205e-06,8.211250e-06,8.362477e-06,8.755677e-06,9.087935e-06,9.311666e-06,9.832687e-06,9.878402e-06,1.045508e-05,1.059488e-05,1.104092e-05,1.137270e-05,1.163514e-05,1.216439e-05,1.223699e-05,1.284573e-05,1.296825e-05,1.346065e-05,1.378262e-05,1.408105e-05,1.460593e-05,1.470625e-05,1.533562e-05,1.543666e-05,1.596852e-05,1.627339e-05,1.660434e-05,1.711472e-05,1.724252e-05,1.788248e-05,1.795937e-05,1.852369e-05,1.880609e-05,1.916565e-05,1.965372e-05,1.980785e-05,2.044983e-05,2.050116e-05,2.109113e-05,2.134737e-05,2.173134e-05,2.219138e-05,2.237005e-05,2.300686e-05,2.303228e-05,2.364140e-05,2.386922e-05,2.427334e-05,2.470139e-05,2.490232e-05,2.552805e-05,2.615022e-05,2.634852e-05,2.676856e-05,2.716215e-05,2.738279e-05,2.796836e-05,2.799267e-05,2.859796e-05,2.876659e-05,2.919844e-05,2.955634e-05,2.979391e-05,3.033715e-05,3.038417e-05,3.096905e-05,3.110860e-05,3.154837e-05,3.187031e-05,3.212198e-05,3.262192e-05,3.268974e-05,3.325151e-05,3.336313e-05,3.380717e-05,3.409366e-05,3.435660e-05,3.481324e-05,3.489971e-05,3.543640e-05,3.552167e-05,3.596659e-05,3.621875e-05,3.649020e-05,3.690430e-05,3.700716e-05,3.751741e-05,3.757819e-05,3.802090e-05,3.824029e-05,3.851760e-05,3.889051e-05,3.900744e-05,3.949042e-05,3.952876e-05,3.996649e-05,4.015499e-05,4.043565e-05,4.076915e-05,4.089788e-05,4.135316e-05,4.137123e-05,4.180150e-05,4.196121e-05,4.224290e-05,4.253909e-05,4.267737e-05,4.310491e-05,4.365868e-05,4.420047e-05,4.473031e-05,4.524828e-05,4.575446e-05,4.624892e-05,4.673177e-05,4.720310e-05,4.766303e-05,4.811165e-05,4.854911e-05,4.897551e-05,4.939099e-05,4.979569e-05,5.018974e-05,5.057328e-05,5.094646e-05,5.130943e-05,5.166233e-05,5.200531e-05,5.233853e-05,5.266215e-05,5.297632e-05,5.328119e-05
0.000000e+00,4.711723e-12,1.457226e-11,7.800812e-11,2.379198e-10,3.972026e-10,1.208874e-09,1.258628e-09,3.088689e-09,3.849411e-09,6.467353e-09,9.547444e-09,1.215920e-08,2.026740e-08,2.113193e-08,3.451543e-08,3.851426e-08,5.346828e-08,6.690829e-08,7.902674e-08,1.076655e-07,1.120460e-07,1.532224e-07,1.624889e-07,2.031316e-07,2.326990e-07,2.622558e-07,3.193375e-07,3.309967e-07,4.096817e-07,4.232121e-07,4.985662e-07,5.449106e-07,5.978352e-07,6.848077e-07,7.076051e-07,8.279266e-07,8.430743e-07,9.587884e-07,1.019691e-06,1.100122e-06,1.214468e-06,1.251808e-06,1.413680e-06,1.427064e-06,1.585531e-06,1.657013e-06,1.767121e-06,1.903745e-06,1.958180e-06,2.158415e-06,2.166611e-06,2.367515e-06,2.444898e-06,2.585152e-06,2.737851e-06,2.810990e-06,3.044682e-06,3.285880e-06,3.364591e-06,3.534231e-06,3.696768e-06,3.789384e-06,4.040403e-06,4.050987e-06,4.318694e-06,4.394698e-06,4.592160e-06,4.758864e-06,4.871049e-06,5.132130e-06,5.155028e-06,5.443773e-06,5.513745e-06,5.736964e-06,5.902978e-06,6.034293e-06,6.299123e-06,6.335455e-06,6.640158e-06,6.701498e-06,6.948114e-06,7.109445e-06,7.259046e-06,7.522332e-06,7.572685e-06,7.888769e-06,7.939553e-06,8.207046e-06,8.360526e-06,8.527272e-06,8.784696e-06,8.849210e-06,9.172632e-06,9.211532e-06,9.497318e-06,9.640525e-06,9.823056e-06,1.007119e-05,1.014964e-05,1.047688e-05,1.050308e-05,1.080458e-05,1.093575e-05,1.113256e-05,1.136877e-05,1.146064e-05,1.178866e-05,1.180177e-05,1.211645e-05,1.223437e-05,1.244387e-05,1.266622e-05,1.277076e-05,1.309698e-05,1.342239e-05,1.352633e-05,1.374687e-05,1.395400e-05,1.407030e-05,1.437968e-05,1.439255e-05,1.471351e-05,1.480313e-05,1.503307e-05,1.522409e-05,1.535113e-05,1.564235e-05,1.566760e-05,1.598238e-05,1.605767e-05,1.629539e-05,1.646987e-05,1.660654e-05,1.687875e-05,1.691575e-05,1.722294e-05,1.728414e-05,1.752806e-05,1.768587e-05,1.783103e-05,1.808381e-05,1.813178e-05,1.843027e-05,1.847781e-05,1.872643e-05,1.886774e-05,1.902021e-05,1.925350e-05,1.931157e-05,1.960046e-05,1.963496e-05,1.988684e-05,2.001204e-05,2.017067e-05,2.038465e-05,2.045191e-05,2.073053e-05,2.075270e-05,2.100650e-05,2.111614e-05,2.127979e-05,2.147488e-05,2.155037e-05,2.181824e-05,2.182889e-05,2.208335e-05,2.217811e-05,2.234570e-05,2.252250e-05,2.260526e-05,2.286203e-05,2.319666e-05,2.352637e-05,2.385115e-05,2.417098e-05,2.448586e-05,2.479577e-05,2.510073e-05,2.540073e-05,2.569579e-05,2.598592e-05,2.627114e-05,2.655145e-05,2.682690e-05,2.709749e-05,2.736326e-05,2.762425e-05,2.788047e-05,2.813197e-05,2.837878e-05,2.862094e-05,2.885850e-05,2.909148e-05,2.931994e-05,2.954392e-05
0.000000e+00,8.783758e-15,7.688688e-14,1.670867e-12,1.143076e-11,2.662135e-11,1.526861e-10,1.622839e-10,6.046102e-10,8.249548e-10,1.686516e-09,2.842892e-09,3.909141e-09,7.569720e-09,7.984992e-09,1.487489e-08,1.707570e-08,2.576745e-08,3.409986e-08,4.195986e-08,6.157690e-08,6.468560e-08,9.498923e-08,1.020353e-07,1.336922e-07,1.573508e-07,1.814178e-07,2.288249e-07,2.386324e-07,3.056798e-07,3.173374e-07,3.828031e-07,4.234501e-07,4.701581e-07,5.474631e-07,5.678217e-07,6.757976e-07,6.894453e-07,7.940216e-07,8.492563e-07,9.223673e-07,1.026569e-06,1.060652e-06,1.208642e-06,1.220892e-06,1.366061e-06,1.431600e-06,1.532596e-06,1.657955e-06,1.707905e-06,1.891619e-06,1.899137e-06,2.083355e-06,2.154267e-06,2.282714e-06,2.422426e-06,2.489292e-06,2.702677e-06,2.922460e-06,2.994075e-06,3.148233e-06,3.295685e-06,3.379593e-06,3.606587e-06,3.616144e-06,3.857498e-06,3.925886e-06,4.103278e-06,4.252716e-06,4.353115e-06,4.586244e-06,4.606655e-06,4.863554e-06,4.925672e-06,5.123480e-06,5.270242e-06,5.386115e-06,5.619231e-06,5.651152e-06,5.918298e-06,5.971955e-06,6.187271e-06,6.327770e-06,6.457803e-06,6.686065e-06,6.729636e-06,7.002525e-06,7.046270e-06,7.276237e-06,7.407846e-06,7.550550e-06,7.770291e-06,7.825253e-06,8.100144e-06,8.133134e-06,8.375033e-06,8.495936e-06,8.649739e-06,8.858288e-06,8.924092e-06,9.197930e-06,9.219810e-06,9.471099e-06,9.580147e-06,9.743455e-06,9.938972e-06,1.001486e-05,1.028519e-05,1.029598e-05,1.055433e-05,1.065090e-05,1.082215e-05,1.100346e-05,1.108855e-05,1.135344e-05,1.161672e-05,1.170061e-05,1.187830e-05,1.204478e-05,1.213810e-05,1.238576e-05,1.239604e-05,1.265206e-05,1.272340e-05,1.290610e-05,1.305753e-05,1.315808e-05,1.338804e-05,1.340795e-05,1.365567e-05,1.371479e-05,1.390118e-05,1.403769e-05,1.414445e-05,1.435663e-05,1.438543e-05,1.462409e-05,1.467154e-05,1.486040e-05,1.498234e-05,1.509432e-05,1.528896e-05,1.532584e-05,1.555493e-05,1.559136e-05,1.578157e-05,1.588948e-05,1.600574e-05,1.618330e-05,1.622744e-05,1.644664e-05,1.647278e-05,1.666334e-05,1.675790e-05,1.687754e-05,1.703864e-05,1.708922e-05,1.729838e-05,1.731501e-05,1.750503e-05,1.758698e-05,1.770916e-05,1.785457e-05,1.791077e-05,1.810987e-05,1.811778e-05,1.830647e-05,1.837663e-05,1.850056e-05,1.863112e-05,1.869216e-05,1.888128e-05,1.912713e-05,1.936869e-05,1.960600e-05,1.983909e-05,2.006799e-05,2.029274e-05,2.051337e-05,2.072993e-05,2.094247e-05,2.115101e-05,2.135562e-05,2.155633e-05,2.175320e-05,2.194627e-05,2.213559e-05,2.232121e-05,2.250318e-05,2.268155e-05,2.285638e-05,2.302772e-05,2.319561e-05,2.336012e-05,2.352129e-05,2.367917e-05
0.000000e+00,7.921592e-16,8.897836e-15,3.183371e-13,3.352350e-12,9.799118e-12,9.794685e-11,1.063810e-10,6.569055e-10,1.020675e-09,2.853942e-09,6.113822e-09,9.767169e-09,2.599458e-08,2.814327e-08,7.115882e-08,8.746685e-08,1.621220e-07,2.473528e-07,3.387774e-07,6.094698e-07,6.576289e-07,1.197687e-06,1.340952e-06,2.063196e-06,2.684270e-06,3.385092e-06,4.962809e-06,5.321103e-06,8.054568e-06,8.579429e-06,1.179204e-05,1.400847e-05,1.675989e-05,2.178228e-05,2.320014e-05,3.136565e-05,3.247370e-05,4.151492e-05,4.667584e-05,5.390668e-05,6.498057e-05,6.879452e-05,8.642158e-05,8.795702e-05,1.070156e-04,1.161312e-04,1.307842e-04,1.499676e-04,1.579113e-04,1.885530e-04,1.898536e-04,2.228353e-04,2.360873e-04,2.608521e-04,2.888685e-04,3.026631e-04,3.482938e-04,3.977351e-04,4.143550e-04,4.509439e-04,4.869409e-04,5.078442e-04,5.658420e-04,5.683285e-04,6.322604e-04,6.507575e-04,6.994763e-04,7.413050e-04,7.697884e-04,8.370307e-04,8.429877e-04,9.188465e-04,9.374217e-04,9.971221e-04,1.041917e-03,1.077559e-03,1.149922e-03,1.159894e-03,1.243855e-03,1.260819e-03,1.329169e-03,1.373976e-03,1.415561e-03,1.488764e-03,1.502759e-03,1.590492e-03,1.604561e-03,1.678498e-03,1.720762e-03,1.766521e-03,1.836787e-03,1.854317e-03,1.941649e-03,1.952087e-03,2.028295e-03,2.066147e-03,2.114045e-03,2.178494e-03,2.198702e-03,2.282083e-03,2.288694e-03,2.364021e-03,2.396357e-03,2.444362e-03,2.501139e-03,2.522966e-03,2.599710e-03,2.602739e-03,2.674482e-03,2.700899e-03,2.747188e-03,2.795404e-03,2.817743e-03,2.886079e-03,2.952137e-03,2.972788e-03,3.015873e-03,3.055430e-03,3.077253e-03,3.133938e-03,3.136252e-03,3.192857e-03,3.208277e-03,3.247063e-03,3.278437e-03,3.298874e-03,3.344434e-03,3.348301e-03,3.395362e-03,3.406307e-03,3.440082e-03,3.464115e-03,3.482493e-03,3.517933e-03,3.522630e-03,3.560534e-03,3.567850e-03,3.596249e-03,3.613971e-03,3.629822e-03,3.656407e-03,3.661306e-03,3.690753e-03,3.695279e-03,3.718219e-03,3.730715e-03,3.743760e-03,3.762847e-03,3.767436e-03,3.789305e-03,3.791811e-03,3.809428e-03,3.817743e-03,3.827863e-03,3.840784e-03,3.844673e-03,3.859916e-03,3.861069e-03,3.873652e-03,3.878738e-03,3.885941e-03,3.893925e-03,3.896840e-03,3.906407e-03,3.906763e-03,3.914698e-03,3.917382e-03,3.921769e-03,3.925907e-03,3.927673e-03,3.932463e-03,3.937167e-03,3.940133e-03,3.941471e-03,3.941286e-03,3.939679e-03,3.936745e-03,3.932577e-03,3.927261e-03,3.920879e-03,3.913509e-03,3.905227e-03,3.896101e-03,3.886198e-03,3.875579e-03,3.864304e-03,3.852428e-03,3.840002e-03,3.827075e-03,3.813693e-03,3.799899e-03,3.785732e-03,3.771231e-03,3.756430e-03,3.741363e-03
0.000000e+00,8.145136e-13,4.138690e-12,3.837153e-11,1.517147e-10,2.788199e-10,1.002037e-09,1.048551e-09,2.833519e-09,3.600166e-09,6.290400e-09,9.510988e-09,1.226551e-08,2.086747e-08,2.178581e-08,3.596737e-08,4.018604e-08,5.588585e-08,6.991485e-08,8.252029e-08,1.122235e-07,1.167619e-07,1.594306e-07,1.690431e-07,2.112797e-07,2.420991e-07,2.729924e-07,3.328990e-07,3.451741e-07,4.283447e-07,4.427016e-07,5.229315e-07,5.724891e-07,6.292653e-07,7.229495e-07,7.475783e-07,8.780052e-07,8.944734e-07,1.020587e-06,1.087164e-06,1.175275e-06,1.300858e-06,1.341941e-06,1.520380e-06,1.535156e-06,1.710325e-06,1.789454e-06,1.911452e-06,2.062980e-06,2.123388e-06,2.345725e-06,2.354828e-06,2.578020e-06,2.663995e-06,2.819810e-06,2.989405e-06,3.070613e-06,3.329937e-06,3.597284e-06,3.684448e-06,3.872155e-06,4.051791e-06,4.154053e-06,4.430830e-06,4.442487e-06,4.736973e-06,4.820450e-06,5.037040e-06,5.219566e-06,5.342225e-06,5.627132e-06,5.652082e-06,5.966178e-06,6.042144e-06,6.284094e-06,6.463645e-06,6.605427e-06,6.890721e-06,6.929793e-06,7.256818e-06,7.322511e-06,7.586149e-06,7.758200e-06,7.917447e-06,8.197020e-06,8.250388e-06,8.584664e-06,8.638252e-06,8.919982e-06,9.081223e-06,9.256064e-06,9.525301e-06,9.592645e-06,9.929474e-06,9.969899e-06,1.026632e-05,1.041447e-05,1.060294e-05,1.085851e-05,1.093915e-05,1.127473e-05,1.130154e-05,1.160950e-05,1.174313e-05,1.194327e-05,1.218288e-05,1.227589e-05,1.260720e-05,1.262042e-05,1.293704e-05,1.305540e-05,1.326529e-05,1.348752e-05,1.359181e-05,1.391648e-05,1.423919e-05,1.434203e-05,1.455984e-05,1.476393e-05,1.487833e-05,1.518196e-05,1.519456e-05,1.550846e-05,1.559593e-05,1.581995e-05,1.600566e-05,1.612896e-05,1.641099e-05,1.643541e-05,1.673926e-05,1.681179e-05,1.704045e-05,1.720793e-05,1.733892e-05,1.759930e-05,1.763464e-05,1.792757e-05,1.798581e-05,1.821766e-05,1.836737e-05,1.850488e-05,1.874392e-05,1.878921e-05,1.907063e-05,1.911538e-05,1.934911e-05,1.948173e-05,1.962463e-05,1.984290e-05,1.989718e-05,2.016674e-05,2.019889e-05,2.043331e-05,2.054966e-05,2.069689e-05,2.089520e-05,2.095746e-05,2.121503e-05,2.123550e-05,2.146959e-05,2.157057e-05,2.172115e-05,2.190042e-05,2.196971e-05,2.221528e-05,2.222504e-05,2.245787e-05,2.254447e-05,2.269748e-05,2.285872e-05,2.293413e-05,2.316783e-05,2.347181e-05,2.377071e-05,2.406457e-05,2.435342e-05,2.463731e-05,2.491629e-05,2.519040e-05,2.545970e-05,2.572424e-05,2.598407e-05,2.623925e-05,2.648983e-05,2.673588e-05,2.697746e-05,2.721461e-05,2.744741e-05,2.767591e-05,2.790019e-05,2.812029e-05,2.833628e-05,2.854822e-05,2.875619e-05,2.896023e-05,2.916041e-05
0.000000e+00,5.870208e-19,6.783175e-18,2.565496e-16,2.825469e-15,8.444721e-15,8.869429e-14,9.650213e-14,6.182855e-13,9.682735e-13,2.750017e-12,5.939155e-12,9.517483e-12,2.535093e-11,2.743831e-11,6.885738e-11,8.441666e-11,1.549991e-10,2.347434e-10,3.196877e-10,5.693166e-10,6.135590e-10,1.108409e-09,1.239546e-09,1.901167e-09,2.471480e-09,3.116915e-09,4.577430e-09,4.910490e-09,7.466388e-09,7.959896e-09,1.099687e-08,1.310631e-08,1.573843e-08,2.057506e-08,2.194688e-08,2.989149e-08,3.097460e-08,3.984839e-08,4.493826e-08,5.209383e-08,6.309727e-08,6.689745e-08,8.451598e-08,8.605434e-08,1.051874e-07,1.143597e-07,1.291261e-07,1.484909e-07,1.565185e-07,1.875201e-07,1.888371e-07,2.222529e-07,2.356879e-07,2.608040e-07,2.892278e-07,3.032254e-07,3.495340e-07,3.997126e-07,4.165798e-07,4.537113e-07,4.902396e-07,5.114503e-07,5.702985e-07,5.728215e-07,6.376922e-07,6.564625e-07,7.059074e-07,7.483705e-07,7.772937e-07,8.456074e-07,8.516619e-07,9.288105e-07,9.477166e-07,1.008529e-06,1.054212e-06,1.090599e-06,1.164592e-06,1.174801e-06,1.260912e-06,1.278344e-06,1.348712e-06,1.394962e-06,1.437982e-06,1.513949e-06,1.528509e-06,1.620086e-06,1.634822e-06,1.712513e-06,1.757124e-06,1.805600e-06,1.880422e-06,1.899164e-06,1.993033e-06,2.004310e-06,2.087045e-06,2.128416e-06,2.181048e-06,2.252396e-06,2.274900e-06,2.368469e-06,2.375939e-06,2.461635e-06,2.498763e-06,2.554286e-06,2.620618e-06,2.646319e-06,2.737643e-06,2.741280e-06,2.828171e-06,2.860552e-06,2.917830e-06,2.978265e-06,3.006549e-06,3.094269e-06,3.180936e-06,3.208439e-06,3.266501e-06,3.320665e-06,3.350923e-06,3.430858e-06,3.434165e-06,3.516196e-06,3.538944e-06,3.596990e-06,3.644862e-06,3.676523e-06,3.748566e-06,3.754779e-06,3.831741e-06,3.850018e-06,3.907399e-06,3.949194e-06,3.981743e-06,4.046074e-06,4.054767e-06,4.126469e-06,4.140650e-06,4.196846e-06,4.232919e-06,4.265900e-06,4.322884e-06,4.333633e-06,4.400048e-06,4.410553e-06,4.465153e-06,4.495939e-06,4.528952e-06,4.579058e-06,4.591456e-06,4.652671e-06,4.659931e-06,4.712610e-06,4.738581e-06,4.771282e-06,4.815032e-06,4.828699e-06,4.884874e-06,4.889314e-06,4.939819e-06,4.961456e-06,4.993548e-06,5.031488e-06,5.046076e-06,5.097415e-06,5.099444e-06,5.147582e-06,5.165357e-06,5.196590e-06,5.229261e-06,5.244455e-06,5.291192e-06,5.351185e-06,5.409277e-06,5.465504e-06,5.519902e-06,5.572509e-06,5.623361e-06,5.672495e-06,5.719949e-06,5.765758e-06,5.809959e-06,5.852588e-06,5.893681e-06,5.933274e-06,5.971400e-06,6.008096e-06,6.043396e-06,6.077333e-06,6.109940e-06,6.141251e-06,6.171298e-06,6.200113e-06,6.227728e-06,6.254173e-06,6.279480e-06
0.000000e+00,1.428313e-17,1.575290e-16,5.411722e-15,5.457305e-14,1.553566e-13,1.437419e-12,1.555863e-12,8.776102e-12,1.327270e-11,3.451305e-11,6.936337e-11,1.060302e-10,2.539261e-10,2.723418e-10,6.109794e-10,7.295061e-10,1.233410e-09,1.759846e-09,2.288547e-09,3.723172e-09,3.964131e-09,6.485911e-09,7.114190e-09,1.011459e-08,1.253433e-08,1.514045e-08,2.066986e-08,2.187567e-08,3.064469e-08,3.225832e-08,4.177332e-08,4.804665e-08,5.557755e-08,6.874692e-08,7.235297e-08,9.236572e-08,9.499612e-08,1.158453e-07,1.273245e-07,1.429793e-07,1.661347e-07,1.739104e-07,2.087351e-07,2.116910e-07,2.475037e-07,2.641183e-07,2.902224e-07,3.234072e-07,3.368555e-07,3.873288e-07,3.894262e-07,4.415340e-07,4.619356e-07,4.993326e-07,5.406054e-07,5.605606e-07,6.250333e-07,6.925494e-07,7.147628e-07,7.628957e-07,8.093005e-07,8.358506e-07,9.081317e-07,9.111881e-07,9.886810e-07,1.010734e-06,1.068104e-06,1.116591e-06,1.149235e-06,1.225198e-06,1.231858e-06,1.315766e-06,1.336073e-06,1.400760e-06,1.448760e-06,1.486650e-06,1.562832e-06,1.573257e-06,1.660414e-06,1.677897e-06,1.747963e-06,1.793595e-06,1.835758e-06,1.909597e-06,1.923664e-06,2.011555e-06,2.025609e-06,2.099318e-06,2.141367e-06,2.186846e-06,2.256635e-06,2.274044e-06,2.360824e-06,2.371206e-06,2.447108e-06,2.484896e-06,2.532823e-06,2.597546e-06,2.617904e-06,2.702295e-06,2.709015e-06,2.785943e-06,2.819184e-06,2.868802e-06,2.927948e-06,2.950830e-06,3.031991e-06,3.035219e-06,3.112254e-06,3.140923e-06,3.191590e-06,3.244996e-06,3.269974e-06,3.347387e-06,3.423809e-06,3.448052e-06,3.499225e-06,3.546958e-06,3.573624e-06,3.644078e-06,3.646993e-06,3.719326e-06,3.739393e-06,3.790617e-06,3.832888e-06,3.860859e-06,3.924554e-06,3.930051e-06,3.998191e-06,4.014388e-06,4.065279e-06,4.102389e-06,4.131315e-06,4.188560e-06,4.196303e-06,4.260244e-06,4.272908e-06,4.323144e-06,4.355442e-06,4.385007e-06,4.436174e-06,4.445838e-06,4.505644e-06,4.515118e-06,4.564432e-06,4.592291e-06,4.622209e-06,4.667708e-06,4.678983e-06,4.734763e-06,4.741390e-06,4.789558e-06,4.813357e-06,4.843375e-06,4.883630e-06,4.896226e-06,4.948120e-06,4.952231e-06,4.999067e-06,5.019183e-06,5.049077e-06,5.084510e-06,5.098161e-06,5.146329e-06,5.148237e-06,5.193593e-06,5.210388e-06,5.239962e-06,5.270989e-06,5.285449e-06,5.330065e-06,5.387642e-06,5.443746e-06,5.498403e-06,5.551639e-06,5.603481e-06,5.653955e-06,5.703087e-06,5.750903e-06,5.797430e-06,5.842692e-06,5.886716e-06,5.929526e-06,5.971149e-06,6.011609e-06,6.050931e-06,6.089140e-06,6.126258e-06,6.162312e-06,6.197323e-06,6.231316e-06,6.264313e-06,6.296336e-06,6.327409e-06,6.357553e-06
0.000000e+00,6.960559e-18,8.209373e-17,3.233181e-15,3.697717e-14,1.128581e-13,1.252096e-12,1.365384e-12,9.244595e-12,1.469803e-11,4.336533e-11,9.659199e-11,1.579343e-10,4.399485e-10,4.779838e-10,1.256013e-09,1.556320e-09,2.952666e-09,4.576495e-09,6.343442e-09,1.168637e-08,1.265126e-08,2.370188e-08,2.669436e-08,4.209629e-08,5.570129e-08,7.139147e-08,1.078191e-07,1.162795e-07,1.827535e-07,1.958681e-07,2.782500e-07,3.369751e-07,4.117576e-07,5.530052e-07,5.938844e-07,8.368748e-07,8.707649e-07,1.154577e-06,1.321941e-06,1.562353e-06,1.942758e-06,2.076942e-06,2.716266e-06,2.773361e-06,3.499197e-06,3.856941e-06,4.445280e-06,5.238662e-06,5.574435e-06,6.906630e-06,6.964420e-06,8.461540e-06,9.079523e-06,1.025822e-05,1.162733e-05,1.231474e-05,1.464793e-05,1.727301e-05,1.817692e-05,2.020336e-05,2.224431e-05,2.345030e-05,2.687362e-05,2.702286e-05,3.092766e-05,3.208116e-05,3.516876e-05,3.787556e-05,3.974763e-05,4.425754e-05,4.466309e-05,4.991135e-05,5.121980e-05,5.548606e-05,5.874729e-05,6.137837e-05,6.681749e-05,6.757709e-05,7.406880e-05,7.540097e-05,8.083803e-05,8.446203e-05,8.786747e-05,9.395945e-05,9.513814e-05,1.026297e-04,1.038474e-04,1.103204e-04,1.140762e-04,1.181879e-04,1.245933e-04,1.262086e-04,1.343587e-04,1.353443e-04,1.426140e-04,1.462734e-04,1.509502e-04,1.573249e-04,1.593431e-04,1.677685e-04,1.684432e-04,1.762030e-04,1.795742e-04,1.846236e-04,1.906653e-04,1.930081e-04,2.013349e-04,2.016665e-04,2.095837e-04,2.125304e-04,2.177351e-04,2.232130e-04,2.257707e-04,2.336735e-04,2.414274e-04,2.438748e-04,2.490179e-04,2.537839e-04,2.564316e-04,2.633713e-04,2.636565e-04,2.706816e-04,2.726116e-04,2.774976e-04,2.814833e-04,2.840961e-04,2.899686e-04,2.904701e-04,2.966136e-04,2.980533e-04,3.025220e-04,3.057265e-04,3.081914e-04,3.129809e-04,3.136194e-04,3.188042e-04,3.198119e-04,3.237451e-04,3.262180e-04,3.284423e-04,3.322003e-04,3.328967e-04,3.371102e-04,3.377621e-04,3.410850e-04,3.429090e-04,3.448242e-04,3.476483e-04,3.483314e-04,3.516108e-04,3.519892e-04,3.546670e-04,3.559422e-04,3.575049e-04,3.595190e-04,3.601298e-04,3.625476e-04,3.627323e-04,3.647641e-04,3.655957e-04,3.667854e-04,3.681234e-04,3.686179e-04,3.702680e-04,3.703303e-04,3.717422e-04,3.722312e-04,3.730473e-04,3.738415e-04,3.741898e-04,3.751765e-04,3.762515e-04,3.770818e-04,3.776822e-04,3.780676e-04,3.782522e-04,3.782499e-04,3.780743e-04,3.777383e-04,3.772545e-04,3.766350e-04,3.758912e-04,3.750340e-04,3.740739e-04,3.730208e-04,3.718839e-04,3.706722e-04,3.693938e-04,3.680566e-04,3.666678e-04,3.652342e-04,3.637622e-04,3.622577e-04,3.607262e-04,3.591728e-04
0.000000e+00,2.038555e-18,2.351211e-17,8.859252e-16,9.722622e-15,2.900194e-14,3.030166e-13,3.296191e-13,2.100125e-12,3.283670e-12,9.286732e-12,1.998305e-11,3.194194e-11,8.456200e-11,9.147406e-11,2.278951e-10,2.788764e-10,5.089263e-10,7.670712e-10,1.040530e-09,1.837621e-09,1.978082e-09,3.537093e-09,3.947224e-09,6.002279e-09,7.758780e-09,9.733919e-09,1.416590e-08,1.517076e-08,2.282908e-08,2.429898e-08,3.329810e-08,3.951138e-08,4.723162e-08,6.134669e-08,6.533689e-08,8.836096e-08,9.149089e-08,1.170754e-07,1.317135e-07,1.522600e-07,1.838028e-07,1.946860e-07,2.451000e-07,2.494997e-07,3.042084e-07,3.304343e-07,3.726631e-07,4.280693e-07,4.510495e-07,5.398755e-07,5.436520e-07,6.395637e-07,6.781772e-07,7.504454e-07,8.323632e-07,8.727569e-07,1.006638e-06,1.152133e-06,1.201139e-06,1.309193e-06,1.415721e-06,1.477680e-06,1.649972e-06,1.657371e-06,1.847968e-06,1.903240e-06,2.049102e-06,2.174664e-06,2.260343e-06,2.463199e-06,2.481210e-06,2.711174e-06,2.767657e-06,2.949672e-06,3.086739e-06,3.196113e-06,3.419064e-06,3.449883e-06,3.710360e-06,3.763204e-06,3.976910e-06,4.117707e-06,4.248904e-06,4.481126e-06,4.525714e-06,4.806725e-06,4.852036e-06,5.091333e-06,5.229050e-06,5.378954e-06,5.610839e-06,5.669022e-06,5.960996e-06,5.996135e-06,6.254356e-06,6.383746e-06,6.548610e-06,6.772553e-06,6.843292e-06,7.137962e-06,7.161523e-06,7.432208e-06,7.549700e-06,7.725644e-06,7.936213e-06,8.017910e-06,8.308675e-06,8.320269e-06,8.597629e-06,8.701154e-06,8.884489e-06,9.078225e-06,9.168996e-06,9.450912e-06,9.730020e-06,9.818709e-06,1.000613e-05,1.018117e-05,1.027905e-05,1.053792e-05,1.054864e-05,1.081475e-05,1.088862e-05,1.107725e-05,1.123298e-05,1.133604e-05,1.157077e-05,1.159102e-05,1.184211e-05,1.190178e-05,1.208923e-05,1.222586e-05,1.233233e-05,1.254288e-05,1.257135e-05,1.280626e-05,1.285274e-05,1.303702e-05,1.315537e-05,1.326362e-05,1.345073e-05,1.348603e-05,1.370426e-05,1.373878e-05,1.391829e-05,1.401954e-05,1.412814e-05,1.429300e-05,1.433380e-05,1.453531e-05,1.455921e-05,1.473267e-05,1.481820e-05,1.492591e-05,1.507003e-05,1.511505e-05,1.530013e-05,1.531476e-05,1.548118e-05,1.555248e-05,1.565823e-05,1.578326e-05,1.583133e-05,1.600050e-05,1.600719e-05,1.616581e-05,1.622438e-05,1.632728e-05,1.643492e-05,1.648497e-05,1.663893e-05,1.683651e-05,1.702777e-05,1.721285e-05,1.739184e-05,1.756488e-05,1.773209e-05,1.789358e-05,1.804949e-05,1.819993e-05,1.834503e-05,1.848492e-05,1.861970e-05,1.874951e-05,1.887447e-05,1.899469e-05,1.911030e-05,1.922141e-05,1.932814e-05,1.943059e-05,1.952890e-05,1.962316e-05,1.971348e-05,1.979998e-05,1.988275e-05
0.000000e+00,5.764470e-18,6.758822e-17,2.634361e-15,2.983977e-14,9.057901e-14,9.906155e-13,1.079606e-12,7.203059e-12,1.140561e-11,3.330318e-11,7.354582e-11,1.195714e-10,3.288034e-10,3.568312e-10,9.247630e-10,1.142099e-09,2.144453e-09,3.298705e-09,4.545304e-09,8.275692e-09,8.944662e-09,1.653660e-08,1.857518e-08,2.898460e-08,3.808998e-08,4.851158e-08,7.245889e-08,7.798019e-08,1.209571e-07,1.293645e-07,1.817553e-07,2.187296e-07,2.654494e-07,3.527790e-07,3.778631e-07,5.255262e-07,5.459486e-07,7.156016e-07,8.146381e-07,9.557869e-07,1.176819e-06,1.254191e-06,1.619191e-06,1.651522e-06,2.059279e-06,2.258236e-06,2.582896e-06,3.016251e-06,3.198264e-06,3.913221e-06,3.943996e-06,4.735068e-06,5.058397e-06,5.670419e-06,6.374289e-06,6.725077e-06,7.903920e-06,9.210811e-06,9.656546e-06,1.064854e-05,1.163815e-05,1.221875e-05,1.385129e-05,1.392197e-05,1.575754e-05,1.629501e-05,1.772371e-05,1.896495e-05,1.981761e-05,2.185346e-05,2.203533e-05,2.437199e-05,2.494987e-05,2.682183e-05,2.824075e-05,2.937827e-05,3.171034e-05,3.203402e-05,3.478118e-05,3.534086e-05,3.761136e-05,3.911295e-05,4.051574e-05,4.300609e-05,4.348519e-05,4.651040e-05,4.699897e-05,4.958191e-05,5.106991e-05,5.269026e-05,5.519714e-05,5.582604e-05,5.897996e-05,5.935922e-05,6.214294e-05,6.353524e-05,6.530616e-05,6.770511e-05,6.846110e-05,7.159962e-05,7.184976e-05,7.471397e-05,7.595129e-05,7.779683e-05,7.999310e-05,8.084132e-05,8.384105e-05,8.396003e-05,8.679013e-05,8.783834e-05,8.968314e-05,9.161582e-05,9.251515e-05,9.528173e-05,9.797893e-05,9.882680e-05,1.006033e-04,1.022432e-04,1.031518e-04,1.055246e-04,1.056218e-04,1.080113e-04,1.086657e-04,1.103186e-04,1.116628e-04,1.125422e-04,1.145132e-04,1.146812e-04,1.167350e-04,1.172152e-04,1.187033e-04,1.197682e-04,1.205861e-04,1.221724e-04,1.223836e-04,1.240965e-04,1.244290e-04,1.257254e-04,1.265396e-04,1.272714e-04,1.285067e-04,1.287355e-04,1.301192e-04,1.303333e-04,1.314240e-04,1.320227e-04,1.326514e-04,1.335789e-04,1.338033e-04,1.348813e-04,1.350058e-04,1.358875e-04,1.363080e-04,1.368239e-04,1.374901e-04,1.376925e-04,1.384954e-04,1.385569e-04,1.392347e-04,1.395131e-04,1.399126e-04,1.403639e-04,1.405313e-04,1.410928e-04,1.411141e-04,1.415995e-04,1.417688e-04,1.420534e-04,1.423329e-04,1.424566e-04,1.428113e-04,1.432088e-04,1.435300e-04,1.437797e-04,1.439621e-04,1.440817e-04,1.441427e-04,1.441490e-04,1.441045e-04,1.440129e-04,1.438778e-04,1.437026e-04,1.434905e-04,1.432445e-04,1.429676e-04,1.426624e-04,1.423318e-04,1.419780e-04,1.416034e-04,1.412102e-04,1.408005e-04,1.403762e-04,1.399390e-04,1.394908e-04,1.390331e-04
0.000000e+00,3.336297e-18,3.906840e-17,1.529108e-15,1.740519e-14,5.297775e-14,5.836115e-13,6.362309e-13,4.276773e-12,6.786099e-12,1.992014e-11,4.418445e-11,7.204463e-11,1.994316e-10,2.165558e-10,5.652510e-10,6.992885e-10,1.320111e-09,2.038718e-09,2.817899e-09,5.162513e-09,5.584549e-09,1.039769e-08,1.169604e-08,1.835454e-08,2.421052e-08,3.094156e-08,4.649970e-08,5.010195e-08,7.829654e-08,8.384009e-08,1.185543e-07,1.432061e-07,1.745089e-07,2.334150e-07,2.504190e-07,3.511682e-07,3.651818e-07,4.822459e-07,5.510695e-07,6.497078e-07,8.053331e-07,8.601151e-07,1.120456e-06,1.143658e-06,1.438050e-06,1.582803e-06,1.820437e-06,2.140167e-06,2.275261e-06,2.810134e-06,2.833300e-06,3.432511e-06,3.679379e-06,4.149556e-06,4.694681e-06,4.968009e-06,5.894071e-06,6.933282e-06,7.290531e-06,8.090430e-06,8.894756e-06,9.369457e-06,1.071481e-05,1.077339e-05,1.230430e-05,1.275588e-05,1.396325e-05,1.502012e-05,1.575025e-05,1.750658e-05,1.766434e-05,1.970352e-05,2.021123e-05,2.186481e-05,2.312705e-05,2.414430e-05,2.624424e-05,2.653720e-05,2.903790e-05,2.955043e-05,3.164006e-05,3.303098e-05,3.433668e-05,3.666930e-05,3.712017e-05,3.998248e-05,4.044720e-05,4.291516e-05,4.434527e-05,4.590945e-05,4.834322e-05,4.895639e-05,5.204690e-05,5.242025e-05,5.517184e-05,5.655538e-05,5.832213e-05,6.072776e-05,6.148877e-05,6.466297e-05,6.491697e-05,6.783613e-05,6.910325e-05,7.099999e-05,7.326772e-05,7.414659e-05,7.726835e-05,7.739260e-05,8.035812e-05,8.146130e-05,8.340917e-05,8.545855e-05,8.641524e-05,8.937052e-05,9.226970e-05,9.318478e-05,9.510795e-05,9.689043e-05,9.788093e-05,1.004780e-04,1.005848e-04,1.032161e-04,1.039395e-04,1.057720e-04,1.072682e-04,1.082499e-04,1.104590e-04,1.106479e-04,1.129642e-04,1.135078e-04,1.151976e-04,1.164118e-04,1.173473e-04,1.191694e-04,1.194128e-04,1.213937e-04,1.217797e-04,1.232902e-04,1.242432e-04,1.251027e-04,1.265607e-04,1.268318e-04,1.284783e-04,1.287341e-04,1.300432e-04,1.307658e-04,1.315280e-04,1.326589e-04,1.329338e-04,1.342624e-04,1.344167e-04,1.355154e-04,1.360432e-04,1.366945e-04,1.375424e-04,1.378017e-04,1.388389e-04,1.389189e-04,1.398082e-04,1.401773e-04,1.407116e-04,1.413224e-04,1.415512e-04,1.423291e-04,1.423590e-04,1.430475e-04,1.432920e-04,1.437085e-04,1.441263e-04,1.443142e-04,1.448669e-04,1.455185e-04,1.460859e-04,1.465738e-04,1.469866e-04,1.473288e-04,1.476046e-04,1.478180e-04,1.479731e-04,1.480735e-04,1.481228e-04,1.481245e-04,1.480818e-04,1.479979e-04,1.478756e-04,1.477177e-04,1.475269e-04,1.473056e-04,1.470562e-04,1.467808e-04,1.464816e-04,1.461605e-04,1.458192e-04,1.454596e-04,1.450832e-04
0.000000e+00,4.792232e-15,4.458681e-14,1.087694e-12,8.163709e-12,1.990663e-11,1.266697e-10,1.351455e-10,5.476346e-10,7.624610e-10,1.633131e-09,2.847886e-09,3.997135e-09,8.066699e-09,8.536606e-09,1.646300e-08,1.902639e-08,2.920919e-08,3.900016e-08,4.823152e-08,7.120012e-08,7.482929e-08,1.100668e-07,1.182284e-07,1.547829e-07,1.820047e-07,2.096323e-07,2.639132e-07,2.751245e-07,3.516487e-07,3.649365e-07,4.394855e-07,4.857216e-07,5.388133e-07,6.266053e-07,6.497110e-07,7.721618e-07,7.876280e-07,9.060574e-07,9.685504e-07,1.051205e-06,1.168879e-06,1.207335e-06,1.374111e-06,1.387901e-06,1.551138e-06,1.624721e-06,1.737975e-06,1.878305e-06,1.934145e-06,2.139141e-06,2.147517e-06,2.352439e-06,2.431156e-06,2.573504e-06,2.727988e-06,2.801795e-06,3.036774e-06,3.277910e-06,3.356289e-06,3.524683e-06,3.685340e-06,3.776584e-06,4.022779e-06,4.033123e-06,4.293826e-06,4.367507e-06,4.558238e-06,4.718483e-06,4.825923e-06,5.074728e-06,5.096468e-06,5.369478e-06,5.435325e-06,5.644579e-06,5.799416e-06,5.921417e-06,6.166207e-06,6.199659e-06,6.478990e-06,6.534961e-06,6.759113e-06,6.904997e-06,7.039750e-06,7.275690e-06,7.320639e-06,7.601536e-06,7.646465e-06,7.882211e-06,8.016793e-06,8.162451e-06,8.386193e-06,8.442054e-06,8.720835e-06,8.754225e-06,8.998620e-06,9.120488e-06,9.275248e-06,9.484619e-06,9.550569e-06,9.824444e-06,9.846288e-06,1.009675e-05,1.020520e-05,1.036735e-05,1.056108e-05,1.063616e-05,1.090306e-05,1.091369e-05,1.116796e-05,1.126282e-05,1.143078e-05,1.160827e-05,1.169144e-05,1.194988e-05,1.220601e-05,1.228748e-05,1.245980e-05,1.262096e-05,1.271118e-05,1.295019e-05,1.296010e-05,1.320653e-05,1.327508e-05,1.345043e-05,1.359554e-05,1.369176e-05,1.391149e-05,1.393050e-05,1.416661e-05,1.422289e-05,1.440009e-05,1.452967e-05,1.463091e-05,1.483181e-05,1.485905e-05,1.508450e-05,1.512927e-05,1.530727e-05,1.542204e-05,1.552733e-05,1.571009e-05,1.574469e-05,1.595934e-05,1.599344e-05,1.617129e-05,1.627207e-05,1.638054e-05,1.654600e-05,1.658709e-05,1.679095e-05,1.681524e-05,1.699213e-05,1.707980e-05,1.719064e-05,1.733972e-05,1.738648e-05,1.757968e-05,1.759502e-05,1.777024e-05,1.784572e-05,1.795817e-05,1.809187e-05,1.814351e-05,1.832625e-05,1.833350e-05,1.850642e-05,1.857066e-05,1.868404e-05,1.880337e-05,1.885913e-05,1.903170e-05,1.925568e-05,1.947536e-05,1.969079e-05,1.990203e-05,2.010913e-05,2.031214e-05,2.051111e-05,2.070611e-05,2.089717e-05,2.108437e-05,2.126776e-05,2.144739e-05,2.162332e-05,2.179561e-05,2.196431e-05,2.212949e-05,2.229119e-05,2.244947e-05,2.260440e-05,2.275602e-05,2.290440e-05,2.304958e-05,2.319162e-05,2.333058e-05
0.000000e+00,4.678529e-18,5.293816e-17,1.912856e-15,2.019832e-14,5.897613e-14,5.828353e-13,6.325633e-13,3.812118e-12,5.870796e-12,1.598274e-11,3.334925e-11,5.225124e-11,1.323145e-10,1.425926e-10,3.394298e-10,4.110117e-10,7.262312e-10,1.069978e-09,1.426597e-09,2.437982e-09,2.613035e-09,4.514202e-09,5.004557e-09,7.419069e-09,9.439860e-09,1.167670e-08,1.659260e-08,1.769098e-08,2.591069e-08,2.746228e-08,3.681602e-08,4.315001e-08,5.090309e-08,6.479738e-08,6.866800e-08,9.059154e-08,9.352367e-08,1.171258e-07,1.303695e-07,1.486830e-07,1.762514e-07,1.856265e-07,2.282646e-07,2.319295e-07,2.768460e-07,2.979868e-07,3.315581e-07,3.748195e-07,3.925259e-07,4.598134e-07,4.626366e-07,5.334254e-07,5.614658e-07,6.133110e-07,6.711658e-07,6.993667e-07,7.914421e-07,8.893436e-07,9.218659e-07,9.928408e-07,1.061895e-06,1.101671e-06,1.210897e-06,1.215544e-06,1.334151e-06,1.368165e-06,1.457165e-06,1.532947e-06,1.584246e-06,1.704459e-06,1.715052e-06,1.849234e-06,1.881902e-06,1.986446e-06,2.064481e-06,2.126347e-06,2.251417e-06,2.268601e-06,2.412882e-06,2.441954e-06,2.558878e-06,2.635372e-06,2.706285e-06,2.830989e-06,2.854818e-06,3.004204e-06,3.028168e-06,3.154187e-06,3.226319e-06,3.304524e-06,3.424898e-06,3.454992e-06,3.605379e-06,3.623410e-06,3.755490e-06,3.821405e-06,3.905147e-06,4.018479e-06,4.054182e-06,4.202445e-06,4.214269e-06,4.349796e-06,4.408453e-06,4.496109e-06,4.600746e-06,4.641268e-06,4.785169e-06,4.790898e-06,4.927719e-06,4.978689e-06,5.068832e-06,5.163930e-06,5.208434e-06,5.346456e-06,5.482839e-06,5.526126e-06,5.617530e-06,5.702823e-06,5.750483e-06,5.876444e-06,5.881657e-06,6.011017e-06,6.046909e-06,6.138534e-06,6.214149e-06,6.264183e-06,6.378111e-06,6.387942e-06,6.509794e-06,6.538753e-06,6.629725e-06,6.696044e-06,6.747726e-06,6.849963e-06,6.863788e-06,6.977907e-06,7.000498e-06,7.090082e-06,7.147644e-06,7.200311e-06,7.291402e-06,7.308598e-06,7.414946e-06,7.431782e-06,7.519361e-06,7.568796e-06,7.621851e-06,7.702463e-06,7.722424e-06,7.821091e-06,7.832804e-06,7.917863e-06,7.959845e-06,8.012752e-06,8.083616e-06,8.105771e-06,8.196936e-06,8.204149e-06,8.286260e-06,8.321478e-06,8.373760e-06,8.435639e-06,8.459452e-06,8.543353e-06,8.546672e-06,8.625482e-06,8.654617e-06,8.705855e-06,8.759515e-06,8.784491e-06,8.861409e-06,8.960344e-06,9.056364e-06,9.149514e-06,9.239841e-06,9.327392e-06,9.412213e-06,9.494352e-06,9.573856e-06,9.650773e-06,9.725150e-06,9.797034e-06,9.866474e-06,9.933516e-06,9.998207e-06,1.006059e-05,1.012072e-05,1.017864e-05,1.023439e-05,1.028802e-05,1.033958e-05,1.038910e-05,1.043664e-05,1.048223e-05,1.052592e-05
0.000000e+00,5.666959e-18,6.687406e-17,2.640693e-15,3.027410e-14,9.252077e-14,1.030221e-12,1.123611e-12,7.638498e-12,1.215888e-11,3.598741e-11,8.038136e-11,1.316829e-10,3.685536e-10,4.005881e-10,1.058585e-09,1.313565e-09,2.503960e-09,3.895444e-09,5.415902e-09,1.004190e-08,1.088092e-08,2.054646e-08,2.317843e-08,3.679799e-08,4.890985e-08,6.295198e-08,9.578951e-08,1.034550e-07,1.640775e-07,1.761075e-07,2.520898e-07,3.066171e-07,3.764100e-07,5.091205e-07,5.477130e-07,7.784936e-07,8.108455e-07,1.083077e-06,1.244564e-06,1.477576e-06,1.848426e-06,1.979792e-06,2.609060e-06,2.665501e-06,3.386044e-06,3.743038e-06,4.332486e-06,5.131480e-06,5.470916e-06,6.824333e-06,6.883268e-06,8.415853e-06,9.051510e-06,1.026836e-05,1.168854e-05,1.240413e-05,1.484447e-05,1.760938e-05,1.856575e-05,2.071722e-05,2.289386e-05,2.418438e-05,2.786407e-05,2.802502e-05,3.225087e-05,3.350444e-05,3.687097e-05,3.983498e-05,4.189154e-05,4.686707e-05,4.731591e-05,5.314438e-05,5.460311e-05,5.937427e-05,6.303634e-05,6.599987e-05,7.215095e-05,7.301256e-05,8.040088e-05,8.192242e-05,8.815066e-05,9.231795e-05,9.624520e-05,1.032972e-04,1.046654e-04,1.133901e-04,1.148128e-04,1.223962e-04,1.268118e-04,1.316587e-04,1.392358e-04,1.411515e-04,1.508472e-04,1.520229e-04,1.607172e-04,1.651079e-04,1.707327e-04,1.784236e-04,1.808642e-04,1.910819e-04,1.919021e-04,2.013562e-04,2.054752e-04,2.116578e-04,2.190756e-04,2.219578e-04,2.322279e-04,2.326377e-04,2.424406e-04,2.460980e-04,2.525694e-04,2.593961e-04,2.625890e-04,2.724752e-04,2.822050e-04,2.852820e-04,2.917571e-04,2.977679e-04,3.011115e-04,3.098884e-04,3.102495e-04,3.191544e-04,3.216039e-04,3.278107e-04,3.328794e-04,3.362047e-04,3.436849e-04,3.443241e-04,3.521582e-04,3.539949e-04,3.596979e-04,3.637887e-04,3.669356e-04,3.730499e-04,3.738650e-04,3.804812e-04,3.817666e-04,3.867809e-04,3.899308e-04,3.927618e-04,3.975386e-04,3.984229e-04,4.037644e-04,4.045895e-04,4.087876e-04,4.110862e-04,4.134946e-04,4.170346e-04,4.178886e-04,4.219735e-04,4.224432e-04,4.257542e-04,4.273226e-04,4.292360e-04,4.316861e-04,4.324251e-04,4.353281e-04,4.355482e-04,4.379523e-04,4.389255e-04,4.403052e-04,4.418357e-04,4.423948e-04,4.442294e-04,4.442976e-04,4.458176e-04,4.463307e-04,4.471681e-04,4.479553e-04,4.482899e-04,4.491920e-04,4.500618e-04,4.505857e-04,4.507846e-04,4.506792e-04,4.502901e-04,4.496373e-04,4.487403e-04,4.476182e-04,4.462894e-04,4.447715e-04,4.430817e-04,4.412362e-04,4.392506e-04,4.371397e-04,4.349175e-04,4.325973e-04,4.301914e-04,4.277118e-04,4.251695e-04,4.225744e-04,4.199365e-04,4.172645e-04,4.145665e-04,4.118504e-04
0.000000e+00,1.007085e-17,1.178061e-16,4.561701e-15,5.133858e-14,1.552807e-13,1.682221e-12,1.832623e-12,1.210935e-11,1.912325e-11,5.546002e-11,1.217971e-10,1.972960e-10,5.380812e-10,5.835367e-10,1.499293e-09,1.847921e-09,3.448161e-09,5.280725e-09,7.251957e-09,1.312018e-08,1.416909e-08,2.602817e-08,2.920254e-08,4.537182e-08,5.948001e-08,7.560380e-08,1.126045e-07,1.211304e-07,1.874864e-07,2.004702e-07,2.814335e-07,3.386428e-07,4.110242e-07,5.466081e-07,5.856206e-07,8.158636e-07,8.477827e-07,1.113593e-06,1.269264e-06,1.491715e-06,1.841319e-06,1.964031e-06,2.545019e-06,2.596637e-06,3.249587e-06,3.569394e-06,4.092808e-06,4.794187e-06,5.089632e-06,6.254602e-06,6.304897e-06,7.601572e-06,8.133552e-06,9.143430e-06,1.030923e-05,1.089185e-05,1.285707e-05,1.504767e-05,1.579743e-05,1.747046e-05,1.914522e-05,2.013028e-05,2.290937e-05,2.302998e-05,2.617032e-05,2.709260e-05,2.954996e-05,3.169127e-05,3.316549e-05,3.669550e-05,3.701150e-05,4.108059e-05,4.208938e-05,4.536357e-05,4.785147e-05,4.984953e-05,5.395522e-05,5.452601e-05,5.937916e-05,6.036969e-05,6.439393e-05,6.706018e-05,6.955423e-05,7.398901e-05,7.484317e-05,8.024317e-05,8.111628e-05,8.573625e-05,8.840062e-05,9.130411e-05,9.579988e-05,9.692837e-05,1.025907e-04,1.032719e-04,1.082731e-04,1.107751e-04,1.139578e-04,1.182690e-04,1.196275e-04,1.252657e-04,1.257149e-04,1.308564e-04,1.330760e-04,1.363846e-04,1.403180e-04,1.418359e-04,1.471971e-04,1.474094e-04,1.524557e-04,1.543215e-04,1.576005e-04,1.610286e-04,1.626210e-04,1.675081e-04,1.722532e-04,1.737405e-04,1.768492e-04,1.797095e-04,1.812898e-04,1.854016e-04,1.855697e-04,1.896844e-04,1.908064e-04,1.936304e-04,1.959160e-04,1.974052e-04,2.007251e-04,2.010068e-04,2.044344e-04,2.052310e-04,2.076874e-04,2.094329e-04,2.107662e-04,2.133323e-04,2.136719e-04,2.164058e-04,2.169322e-04,2.189701e-04,2.202373e-04,2.213672e-04,2.232536e-04,2.236000e-04,2.256718e-04,2.259885e-04,2.275861e-04,2.284503e-04,2.293470e-04,2.306480e-04,2.309585e-04,2.324250e-04,2.325914e-04,2.337509e-04,2.342910e-04,2.349410e-04,2.357575e-04,2.360000e-04,2.369326e-04,2.370019e-04,2.377439e-04,2.380354e-04,2.384386e-04,2.388693e-04,2.390216e-04,2.394979e-04,2.395148e-04,2.398724e-04,2.399831e-04,2.401497e-04,2.402852e-04,2.403346e-04,2.404318e-04,2.404335e-04,2.403004e-04,2.400423e-04,2.396688e-04,2.391891e-04,2.386117e-04,2.379451e-04,2.371972e-04,2.363756e-04,2.354874e-04,2.345393e-04,2.335376e-04,2.324883e-04,2.313970e-04,2.302690e-04,2.291091e-04,2.279218e-04,2.267115e-04,2.254820e-04,2.242370e-04,2.229800e-04,2.217139e-04,2.204416e-04,2.191659e-04
0.000000e+00,1.075676e-12,4.399106e-12,3.156843e-11,1.099091e-10,1.923745e-10,6.320951e-10,6.595147e-10,1.677322e-09,2.101436e-09,3.553939e-09,5.243354e-09,6.658878e-09,1.096767e-08,1.142060e-08,1.831790e-08,2.034708e-08,2.785592e-08,3.453665e-08,4.052997e-08,5.464191e-08,5.679785e-08,7.707075e-08,8.163886e-08,1.017138e-07,1.163635e-07,1.310475e-07,1.595155e-07,1.653471e-07,2.048416e-07,2.116556e-07,2.497121e-07,2.732002e-07,3.000909e-07,3.444178e-07,3.560618e-07,4.176607e-07,4.254308e-07,4.848786e-07,5.162227e-07,5.576637e-07,6.166494e-07,6.359255e-07,7.195393e-07,7.264551e-07,8.083499e-07,8.452896e-07,9.021770e-07,9.727261e-07,1.000819e-06,1.104057e-06,1.108279e-06,1.211661e-06,1.251421e-06,1.323391e-06,1.401598e-06,1.439000e-06,1.558241e-06,1.680863e-06,1.720776e-06,1.806621e-06,1.888638e-06,1.935269e-06,2.061271e-06,2.066571e-06,2.200292e-06,2.238137e-06,2.336208e-06,2.418720e-06,2.474101e-06,2.602528e-06,2.613761e-06,2.754989e-06,2.789095e-06,2.897591e-06,2.977980e-06,3.041384e-06,3.168770e-06,3.186195e-06,3.331858e-06,3.361079e-06,3.478215e-06,3.554546e-06,3.625119e-06,3.748837e-06,3.772428e-06,3.920011e-06,3.943641e-06,4.067742e-06,4.138671e-06,4.215505e-06,4.333663e-06,4.363188e-06,4.510688e-06,4.528371e-06,4.657908e-06,4.722573e-06,4.804757e-06,4.916062e-06,4.951150e-06,5.097007e-06,5.108650e-06,5.242253e-06,5.300165e-06,5.386820e-06,5.490451e-06,5.530643e-06,5.673662e-06,5.679365e-06,5.815821e-06,5.866778e-06,5.957070e-06,6.052574e-06,6.097359e-06,6.236646e-06,6.374889e-06,6.418900e-06,6.512051e-06,6.599252e-06,6.648098e-06,6.777625e-06,6.782999e-06,6.916724e-06,6.953953e-06,7.049248e-06,7.128176e-06,7.180548e-06,7.300243e-06,7.310601e-06,7.439389e-06,7.470108e-06,7.566894e-06,7.637732e-06,7.693103e-06,7.803082e-06,7.818000e-06,7.941576e-06,7.966131e-06,8.063819e-06,8.126856e-06,8.184721e-06,8.285238e-06,8.304276e-06,8.422477e-06,8.441263e-06,8.539320e-06,8.594922e-06,8.654803e-06,8.746207e-06,8.768922e-06,8.881677e-06,8.895116e-06,8.993068e-06,9.041648e-06,9.103095e-06,9.185806e-06,9.211761e-06,9.319068e-06,9.327594e-06,9.425019e-06,9.467021e-06,9.529618e-06,9.604095e-06,9.632870e-06,9.734780e-06,9.738829e-06,9.835354e-06,9.871235e-06,9.934599e-06,1.000133e-05,1.003252e-05,1.012913e-05,1.025465e-05,1.037791e-05,1.049893e-05,1.061774e-05,1.073434e-05,1.084878e-05,1.096107e-05,1.107123e-05,1.117929e-05,1.128528e-05,1.138921e-05,1.149113e-05,1.159104e-05,1.168899e-05,1.178499e-05,1.187907e-05,1.197127e-05,1.206160e-05,1.215010e-05,1.223679e-05,1.232170e-05,1.240486e-05,1.248629e-05,1.256602e-05
0.000000e+00,1.215661e-16,1.396708e-15,5.220218e-14,5.702241e-13,1.698291e-12,1.773395e-11,1.929248e-11,1.234979e-10,1.935136e-10,5.511936e-10,1.195008e-09,1.921189e-09,5.164057e-09,5.594204e-09,1.420737e-08,1.747069e-08,3.239373e-08,4.941380e-08,6.766833e-08,1.217893e-07,1.314355e-07,2.400559e-07,2.690141e-07,4.159065e-07,5.433673e-07,6.883672e-07,1.018890e-06,1.094674e-06,1.680586e-06,1.794527e-06,2.500826e-06,2.996179e-06,3.619257e-06,4.777397e-06,5.108785e-06,7.050971e-06,7.318627e-06,9.535370e-06,1.082495e-05,1.265860e-05,1.552242e-05,1.652320e-05,2.123623e-05,2.165320e-05,2.690778e-05,2.946976e-05,3.364935e-05,3.922832e-05,4.157212e-05,5.078524e-05,5.118211e-05,6.139415e-05,6.557452e-05,7.349893e-05,8.263250e-05,8.719278e-05,1.025606e-04,1.196778e-04,1.255357e-04,1.386093e-04,1.517026e-04,1.594083e-04,1.811706e-04,1.821160e-04,2.067610e-04,2.140113e-04,2.333591e-04,2.502570e-04,2.619127e-04,2.899006e-04,2.924116e-04,3.248327e-04,3.328961e-04,3.591406e-04,3.791600e-04,3.952881e-04,4.285737e-04,4.332170e-04,4.728585e-04,4.809856e-04,5.141343e-04,5.362150e-04,5.569574e-04,5.940553e-04,6.012329e-04,6.468593e-04,6.542778e-04,6.937292e-04,7.166356e-04,7.417302e-04,7.808675e-04,7.907463e-04,8.406582e-04,8.467021e-04,8.913451e-04,9.138613e-04,9.426845e-04,9.820637e-04,9.945542e-04,1.046832e-03,1.051028e-03,1.099398e-03,1.120478e-03,1.152132e-03,1.190140e-03,1.204919e-03,1.257645e-03,1.259751e-03,1.310201e-03,1.329059e-03,1.362482e-03,1.397824e-03,1.414386e-03,1.465818e-03,1.516685e-03,1.532829e-03,1.566902e-03,1.598662e-03,1.616388e-03,1.663137e-03,1.665068e-03,1.712872e-03,1.726092e-03,1.759736e-03,1.787379e-03,1.805602e-03,1.846870e-03,1.850416e-03,1.894130e-03,1.904453e-03,1.936704e-03,1.960032e-03,1.978098e-03,2.013525e-03,2.018283e-03,2.057229e-03,2.064868e-03,2.094916e-03,2.114010e-03,2.131326e-03,2.160913e-03,2.166445e-03,2.200263e-03,2.205553e-03,2.232777e-03,2.247918e-03,2.263982e-03,2.288007e-03,2.293883e-03,2.322483e-03,2.325828e-03,2.349790e-03,2.361398e-03,2.375815e-03,2.394745e-03,2.400571e-03,2.424075e-03,2.425901e-03,2.446342e-03,2.454908e-03,2.467395e-03,2.481812e-03,2.487253e-03,2.505941e-03,2.506664e-03,2.523482e-03,2.529521e-03,2.539902e-03,2.550441e-03,2.555228e-03,2.569488e-03,2.586726e-03,2.602223e-03,2.616047e-03,2.628267e-03,2.638952e-03,2.648172e-03,2.655997e-03,2.662495e-03,2.667735e-03,2.671784e-03,2.674706e-03,2.676567e-03,2.677429e-03,2.677352e-03,2.676396e-03,2.674616e-03,2.672070e-03,2.668808e-03,2.664883e-03,2.660343e-03,2.655234e-03,2.649602e-03,2.643488e-03,2.636934e-03
0.000000e+00,1.381935e-16,1.588885e-15,5.951323e-14,6.511272e-13,1.940746e-12,2.029968e-11,2.208499e-11,1.415469e-10,2.218546e-10,6.322767e-10,1.371295e-09,2.205029e-09,5.928960e-09,6.422960e-09,1.631518e-08,2.006310e-08,3.720088e-08,5.674356e-08,7.769941e-08,1.398043e-07,1.508698e-07,2.754047e-07,3.085866e-07,4.767981e-07,6.226319e-07,7.884104e-07,1.165884e-06,1.252362e-06,1.920199e-06,2.049934e-06,2.853281e-06,3.415924e-06,4.122864e-06,5.434878e-06,5.809868e-06,8.004312e-06,8.306332e-06,1.080444e-05,1.225529e-05,1.431557e-05,1.752765e-05,1.864866e-05,2.391874e-05,2.438432e-05,3.024307e-05,3.309439e-05,3.773934e-05,4.392763e-05,4.652368e-05,5.670880e-05,5.714689e-05,6.840211e-05,7.300048e-05,8.170394e-05,9.171515e-05,9.670597e-05,1.134897e-04,1.321255e-04,1.384898e-04,1.526709e-04,1.668434e-04,1.751707e-04,1.986378e-04,1.996555e-04,2.261422e-04,2.339179e-04,2.546331e-04,2.726853e-04,2.851163e-04,3.148988e-04,3.175663e-04,3.519437e-04,3.604756e-04,3.881967e-04,4.092941e-04,4.262609e-04,4.611962e-04,4.660611e-04,5.075114e-04,5.159913e-04,5.505169e-04,5.734603e-04,5.949741e-04,6.333595e-04,6.407727e-04,6.877963e-04,6.954257e-04,7.359235e-04,7.593799e-04,7.850292e-04,8.249323e-04,8.349854e-04,8.856628e-04,8.917863e-04,9.369309e-04,9.596425e-04,9.886597e-04,1.028202e-03,1.040720e-03,1.092985e-03,1.097172e-03,1.145331e-03,1.166264e-03,1.197635e-03,1.235202e-03,1.249780e-03,1.301654e-03,1.303722e-03,1.353149e-03,1.371574e-03,1.404161e-03,1.438523e-03,1.454592e-03,1.504352e-03,1.553354e-03,1.568861e-03,1.601518e-03,1.631870e-03,1.648771e-03,1.693214e-03,1.695045e-03,1.740279e-03,1.752751e-03,1.784418e-03,1.810354e-03,1.827412e-03,1.865917e-03,1.869217e-03,1.909796e-03,1.919349e-03,1.949118e-03,1.970578e-03,1.987154e-03,2.019545e-03,2.023883e-03,2.059289e-03,2.066211e-03,2.093360e-03,2.110546e-03,2.126088e-03,2.152538e-03,2.157468e-03,2.187503e-03,2.192184e-03,2.216195e-03,2.229493e-03,2.243552e-03,2.264484e-03,2.269585e-03,2.294307e-03,2.297187e-03,2.317734e-03,2.327637e-03,2.339885e-03,2.355879e-03,2.360780e-03,2.380442e-03,2.381963e-03,2.398896e-03,2.405945e-03,2.416167e-03,2.427885e-03,2.432283e-03,2.447272e-03,2.447849e-03,2.461164e-03,2.465902e-03,2.473989e-03,2.482116e-03,2.485778e-03,2.496562e-03,2.509312e-03,2.520441e-03,2.530023e-03,2.538131e-03,2.544840e-03,2.550221e-03,2.554347e-03,2.557287e-03,2.559109e-03,2.559882e-03,2.559670e-03,2.558535e-03,2.556540e-03,2.553741e-03,2.550196e-03,2.545959e-03,2.541081e-03,2.535613e-03,2.529601e-03,2.523091e-03,2.516125e-03,2.508745e-03,2.500988e-03,2.492892e-03
0.000000e+00,4.321074e-13,2.479565e-12,2.698394e-11,1.160151e-10,2.200685e-10,8.347806e-10,8.749147e-10,2.432360e-09,3.105681e-09,5.471240e-09,8.297709e-09,1.070751e-08,1.819819e-08,1.899605e-08,3.131967e-08,3.499508e-08,4.873826e-08,6.111128e-08,7.229807e-08,9.887336e-08,1.029561e-07,1.415564e-07,1.502963e-07,1.888375e-07,2.170711e-07,2.454415e-07,3.005988e-07,3.119187e-07,3.887268e-07,4.020005e-07,4.762292e-07,5.221110e-07,5.746924e-07,6.614717e-07,6.842857e-07,8.050825e-07,8.203310e-07,9.370641e-07,9.986550e-07,1.080124e-06,1.196148e-06,1.234078e-06,1.398665e-06,1.412283e-06,1.573567e-06,1.646332e-06,1.758405e-06,1.897409e-06,1.952762e-06,2.156180e-06,2.164498e-06,2.368175e-06,2.446496e-06,2.588243e-06,2.742239e-06,2.815870e-06,3.050531e-06,3.291704e-06,3.370170e-06,3.538868e-06,3.699961e-06,3.791512e-06,4.038738e-06,4.049132e-06,4.311241e-06,4.385371e-06,4.577367e-06,4.738779e-06,4.847052e-06,5.097930e-06,5.119860e-06,5.395370e-06,5.461850e-06,5.673184e-06,5.829623e-06,5.952920e-06,6.200391e-06,6.234217e-06,6.516734e-06,6.573355e-06,6.800147e-06,6.947773e-06,7.084150e-06,7.322960e-06,7.368458e-06,7.652801e-06,7.698282e-06,7.936924e-06,8.073156e-06,8.220592e-06,8.447049e-06,8.503582e-06,8.785688e-06,8.819472e-06,9.066715e-06,9.189979e-06,9.346484e-06,9.558164e-06,9.624828e-06,9.901591e-06,9.923660e-06,1.017663e-05,1.028613e-05,1.044981e-05,1.064528e-05,1.072101e-05,1.099012e-05,1.100084e-05,1.125702e-05,1.135255e-05,1.152164e-05,1.170022e-05,1.178387e-05,1.204364e-05,1.230087e-05,1.238264e-05,1.255551e-05,1.271709e-05,1.280749e-05,1.304684e-05,1.305675e-05,1.330326e-05,1.337178e-05,1.354696e-05,1.369182e-05,1.378782e-05,1.400688e-05,1.402581e-05,1.426090e-05,1.431689e-05,1.449307e-05,1.462179e-05,1.472229e-05,1.492155e-05,1.494854e-05,1.517183e-05,1.521613e-05,1.539213e-05,1.550550e-05,1.560944e-05,1.578967e-05,1.582375e-05,1.603507e-05,1.606861e-05,1.624340e-05,1.634233e-05,1.644873e-05,1.661085e-05,1.665108e-05,1.685045e-05,1.687417e-05,1.704685e-05,1.713233e-05,1.724029e-05,1.738534e-05,1.743079e-05,1.761836e-05,1.763324e-05,1.780301e-05,1.787606e-05,1.798477e-05,1.811385e-05,1.816365e-05,1.833967e-05,1.834665e-05,1.851285e-05,1.857450e-05,1.868321e-05,1.879746e-05,1.885078e-05,1.901558e-05,1.922890e-05,1.943750e-05,1.964142e-05,1.984073e-05,2.003548e-05,2.022575e-05,2.041158e-05,2.059306e-05,2.077024e-05,2.094319e-05,2.111197e-05,2.127665e-05,2.143731e-05,2.159399e-05,2.174678e-05,2.189573e-05,2.204092e-05,2.218241e-05,2.232026e-05,2.245455e-05,2.258534e-05,2.271268e-05,2.283666e-05,2.295733e-05
0.000000e+00,7.820823e-13,3.956425e-12,3.647815e-11,1.438533e-10,2.641680e-10,9.491068e-10,9.932007e-10,2.689401e-09,3.420221e-09,5.994185e-09,9.092550e-09,1.175579e-08,2.014675e-08,2.104902e-08,3.512839e-08,3.936425e-08,5.527753e-08,6.964674e-08,8.263842e-08,1.134229e-07,1.181384e-07,1.625076e-07,1.724986e-07,2.163196e-07,2.481864e-07,2.800210e-07,3.414225e-07,3.539491e-07,4.383410e-07,4.528255e-07,5.333390e-07,5.827241e-07,6.389957e-07,7.311769e-07,7.552796e-07,8.820813e-07,8.979964e-07,1.019221e-06,1.082778e-06,1.166458e-06,1.284931e-06,1.323496e-06,1.489998e-06,1.503716e-06,1.665587e-06,1.738278e-06,1.849861e-06,1.987679e-06,2.042397e-06,2.242756e-06,2.250927e-06,2.450493e-06,2.526997e-06,2.665157e-06,2.814857e-06,2.886301e-06,3.113478e-06,3.346249e-06,3.421847e-06,3.584186e-06,3.738981e-06,3.826867e-06,4.063928e-06,4.073887e-06,4.324850e-06,4.395775e-06,4.579377e-06,4.733650e-06,4.837101e-06,5.076727e-06,5.097669e-06,5.360744e-06,5.424219e-06,5.626004e-06,5.775387e-06,5.893139e-06,6.129534e-06,6.161854e-06,6.431870e-06,6.486006e-06,6.702919e-06,6.844188e-06,6.974747e-06,7.203508e-06,7.247113e-06,7.519788e-06,7.563430e-06,7.792556e-06,7.923456e-06,8.065210e-06,8.283122e-06,8.337558e-06,8.609416e-06,8.641997e-06,8.880610e-06,8.999683e-06,9.150979e-06,9.355811e-06,9.420368e-06,9.688632e-06,9.710041e-06,9.955637e-06,1.006206e-05,1.022126e-05,1.041157e-05,1.048537e-05,1.074786e-05,1.075833e-05,1.100863e-05,1.110207e-05,1.126759e-05,1.144259e-05,1.152463e-05,1.177968e-05,1.203266e-05,1.211316e-05,1.228349e-05,1.244286e-05,1.253211e-05,1.276865e-05,1.277846e-05,1.302247e-05,1.309038e-05,1.326411e-05,1.340793e-05,1.350332e-05,1.372121e-05,1.374005e-05,1.397428e-05,1.403012e-05,1.420596e-05,1.433458e-05,1.443506e-05,1.463452e-05,1.466156e-05,1.488543e-05,1.492989e-05,1.510665e-05,1.522063e-05,1.532520e-05,1.550670e-05,1.554106e-05,1.575423e-05,1.578809e-05,1.596469e-05,1.606475e-05,1.617244e-05,1.633668e-05,1.637746e-05,1.657976e-05,1.660386e-05,1.677934e-05,1.686629e-05,1.697619e-05,1.712397e-05,1.717032e-05,1.736173e-05,1.737692e-05,1.755042e-05,1.762514e-05,1.773641e-05,1.786865e-05,1.791970e-05,1.810031e-05,1.810748e-05,1.827824e-05,1.834164e-05,1.845350e-05,1.857117e-05,1.862612e-05,1.879610e-05,1.901646e-05,1.923229e-05,1.944364e-05,1.965054e-05,1.985303e-05,2.005118e-05,2.024501e-05,2.043460e-05,2.061997e-05,2.080119e-05,2.097831e-05,2.115139e-05,2.132047e-05,2.148562e-05,2.164688e-05,2.180432e-05,2.195800e-05,2.210796e-05,2.225427e-05,2.239699e-05,2.253616e-05,2.267186e-05,2.280413e-05,2.293303e-05
0.000000e+00,1.890203e-12,7.530602e-12,5.244636e-11,1.798647e-10,3.129852e-10,1.017881e-09,1.061714e-09,2.686431e-09,3.363404e-09,5.685760e-09,8.397058e-09,1.067807e-08,1.767314e-08,1.841281e-08,2.976964e-08,3.314126e-08,4.571923e-08,5.702187e-08,6.723099e-08,9.144914e-08,9.516470e-08,1.302077e-07,1.381174e-07,1.728723e-07,1.981954e-07,2.235213e-07,2.724175e-07,2.823975e-07,3.496446e-07,3.611859e-07,4.253216e-07,4.646390e-07,5.094131e-07,5.826909e-07,6.018359e-07,7.024453e-07,7.150596e-07,8.110410e-07,8.612904e-07,9.273729e-07,1.020780e-06,1.051147e-06,1.182034e-06,1.192802e-06,1.319672e-06,1.376533e-06,1.463677e-06,1.571077e-06,1.613645e-06,1.769162e-06,1.775492e-06,1.929806e-06,1.988812e-06,2.095156e-06,2.210067e-06,2.264791e-06,2.438297e-06,2.615269e-06,2.672568e-06,2.795315e-06,2.911981e-06,2.978054e-06,3.155681e-06,3.163124e-06,3.350176e-06,3.402860e-06,3.538879e-06,3.652763e-06,3.728920e-06,3.904686e-06,3.920004e-06,4.111852e-06,4.157979e-06,4.304202e-06,4.412047e-06,4.496812e-06,4.666341e-06,4.689453e-06,4.881913e-06,4.920365e-06,5.073996e-06,5.173669e-06,5.265519e-06,5.425844e-06,5.456315e-06,5.646229e-06,5.676524e-06,5.835118e-06,5.925382e-06,6.022852e-06,6.172125e-06,6.209310e-06,6.394383e-06,6.416494e-06,6.577974e-06,6.658260e-06,6.759990e-06,6.897219e-06,6.940351e-06,7.118983e-06,7.133197e-06,7.295821e-06,7.366041e-06,7.470806e-06,7.595618e-06,7.643885e-06,7.815012e-06,7.821816e-06,7.984146e-06,8.044540e-06,8.151253e-06,8.263712e-06,8.316302e-06,8.479268e-06,8.640128e-06,8.691155e-06,8.798865e-06,8.899336e-06,8.955466e-06,9.103782e-06,9.109919e-06,9.262217e-06,9.304474e-06,9.412356e-06,9.501401e-06,9.560333e-06,9.694563e-06,9.706149e-06,9.849807e-06,9.883964e-06,9.991311e-06,1.006961e-05,1.013067e-05,1.025153e-05,1.026789e-05,1.040298e-05,1.042974e-05,1.053595e-05,1.060426e-05,1.066682e-05,1.077513e-05,1.079560e-05,1.092230e-05,1.094238e-05,1.104694e-05,1.110605e-05,1.116954e-05,1.126617e-05,1.129012e-05,1.140869e-05,1.142279e-05,1.152528e-05,1.157595e-05,1.163990e-05,1.172571e-05,1.175257e-05,1.186332e-05,1.187210e-05,1.197217e-05,1.201517e-05,1.207913e-05,1.215499e-05,1.218423e-05,1.228749e-05,1.229158e-05,1.238894e-05,1.242502e-05,1.248859e-05,1.255534e-05,1.258647e-05,1.268260e-05,1.280686e-05,1.292817e-05,1.304657e-05,1.316212e-05,1.327488e-05,1.338490e-05,1.349222e-05,1.359690e-05,1.369899e-05,1.379854e-05,1.389560e-05,1.399022e-05,1.408245e-05,1.417234e-05,1.425994e-05,1.434528e-05,1.442843e-05,1.450942e-05,1.458830e-05,1.466511e-05,1.473990e-05,1.481271e-05,1.488358e-05,1.495255e-05
0.000000e+00,7.806351e-13,4.000721e-12,3.753276e-11,1.494294e-10,2.754227e-10,9.954183e-10,1.041813e-09,2.824649e-09,3.590807e-09,6.277942e-09,9.490192e-09,1.223404e-08,2.079782e-08,2.171290e-08,3.590321e-08,4.015161e-08,5.607980e-08,7.045520e-08,8.346543e-08,1.143754e-07,1.191213e-07,1.639210e-07,1.740430e-07,2.185719e-07,2.510773e-07,2.836425e-07,3.466843e-07,3.595795e-07,4.467190e-07,4.617179e-07,5.452940e-07,5.967158e-07,6.554422e-07,7.519297e-07,7.772135e-07,9.105790e-07,9.273579e-07,1.055440e-06,1.122782e-06,1.211638e-06,1.337803e-06,1.378962e-06,1.557161e-06,1.571878e-06,1.745946e-06,1.824354e-06,1.945002e-06,2.094494e-06,2.153993e-06,2.372566e-06,2.381503e-06,2.600357e-06,2.684546e-06,2.836993e-06,3.002766e-06,3.082098e-06,3.335294e-06,3.596202e-06,3.681260e-06,3.864447e-06,4.039802e-06,4.139656e-06,4.410068e-06,4.421463e-06,4.709505e-06,4.791226e-06,5.003428e-06,5.182460e-06,5.302885e-06,5.582981e-06,5.607536e-06,5.917049e-06,5.992020e-06,6.231101e-06,6.408836e-06,6.549378e-06,6.832712e-06,6.871572e-06,7.197388e-06,7.262960e-06,7.526536e-06,7.698916e-06,7.858736e-06,8.139945e-06,8.193719e-06,8.531221e-06,8.585438e-06,8.870990e-06,9.034812e-06,9.212780e-06,9.487509e-06,9.556356e-06,9.901489e-06,9.942999e-06,1.024796e-05,1.040077e-05,1.059555e-05,1.086035e-05,1.094407e-05,1.129331e-05,1.132128e-05,1.164309e-05,1.178312e-05,1.199323e-05,1.224545e-05,1.234355e-05,1.269388e-05,1.270789e-05,1.304407e-05,1.317008e-05,1.339396e-05,1.363165e-05,1.374341e-05,1.409228e-05,1.444043e-05,1.455166e-05,1.478773e-05,1.500950e-05,1.513406e-05,1.546553e-05,1.547932e-05,1.582337e-05,1.591948e-05,1.616613e-05,1.637112e-05,1.650749e-05,1.682022e-05,1.684735e-05,1.718563e-05,1.726658e-05,1.752224e-05,1.770999e-05,1.785710e-05,1.815027e-05,1.819014e-05,1.852127e-05,1.858726e-05,1.885043e-05,1.902080e-05,1.917757e-05,1.945075e-05,1.950261e-05,1.982551e-05,1.987697e-05,2.014621e-05,2.029934e-05,2.046465e-05,2.071776e-05,2.078080e-05,2.109462e-05,2.113212e-05,2.140606e-05,2.154232e-05,2.171508e-05,2.194830e-05,2.202165e-05,2.232575e-05,2.234997e-05,2.262734e-05,2.274727e-05,2.292640e-05,2.314013e-05,2.322290e-05,2.351682e-05,2.352852e-05,2.380815e-05,2.391239e-05,2.409686e-05,2.429169e-05,2.438296e-05,2.466641e-05,2.503651e-05,2.540197e-05,2.576278e-05,2.611894e-05,2.647044e-05,2.681727e-05,2.715945e-05,2.749697e-05,2.782986e-05,2.815813e-05,2.848179e-05,2.880086e-05,2.911538e-05,2.942536e-05,2.973084e-05,3.003185e-05,3.032841e-05,3.062057e-05,3.090837e-05,3.119183e-05,3.147100e-05,3.174592e-05,3.201664e-05,3.228319e-05
0.000000e+00,7.656532e-16,7.513754e-15,2.032543e-13,1.661132e-12,4.227868e-12,2.964082e-11,3.173511e-11,1.384819e-10,1.959528e-10,4.337483e-10,7.703161e-10,1.089762e-09,2.215151e-09,2.344247e-09,4.499203e-09,5.189494e-09,7.917651e-09,1.053769e-08,1.301753e-08,1.926216e-08,2.026049e-08,3.013523e-08,3.246979e-08,4.313878e-08,5.130014e-08,5.976015e-08,7.686220e-08,8.046887e-08,1.057077e-07,1.101943e-07,1.358880e-07,1.522418e-07,1.713866e-07,2.038436e-07,2.125422e-07,2.596529e-07,2.657189e-07,3.129729e-07,3.384561e-07,3.727104e-07,4.225036e-07,4.390261e-07,5.120315e-07,5.181631e-07,5.917894e-07,6.255882e-07,6.783147e-07,7.447870e-07,7.715753e-07,8.714953e-07,8.756291e-07,9.779576e-07,1.017857e-06,1.090808e-06,1.171099e-06,1.209857e-06,1.334886e-06,1.465653e-06,1.508667e-06,1.601891e-06,1.691826e-06,1.743320e-06,1.883699e-06,1.889642e-06,2.040554e-06,2.083589e-06,2.195744e-06,2.290782e-06,2.354900e-06,2.504555e-06,2.517706e-06,2.683853e-06,2.724191e-06,2.853033e-06,2.948986e-06,3.024945e-06,3.178255e-06,3.199297e-06,3.375804e-06,3.411340e-06,3.554194e-06,3.647612e-06,3.734202e-06,3.886475e-06,3.915577e-06,4.098078e-06,4.127367e-06,4.281477e-06,4.369763e-06,4.465557e-06,4.613173e-06,4.650113e-06,4.834952e-06,4.857143e-06,5.019892e-06,5.101253e-06,5.204762e-06,5.345118e-06,5.389402e-06,5.573663e-06,5.588384e-06,5.757406e-06,5.830729e-06,5.940500e-06,6.071859e-06,6.122826e-06,6.304270e-06,6.311508e-06,6.484731e-06,6.549437e-06,6.664112e-06,6.785430e-06,6.842326e-06,7.019291e-06,7.194933e-06,7.250848e-06,7.369185e-06,7.479948e-06,7.541985e-06,7.706453e-06,7.713275e-06,7.883006e-06,7.930245e-06,8.051132e-06,8.151219e-06,8.217610e-06,8.369282e-06,8.382403e-06,8.545479e-06,8.584358e-06,8.706808e-06,8.796380e-06,8.866365e-06,9.005291e-06,9.024127e-06,9.180075e-06,9.211045e-06,9.334192e-06,9.413605e-06,9.486465e-06,9.612941e-06,9.636882e-06,9.785436e-06,9.809031e-06,9.932119e-06,1.000186e-05,1.007693e-05,1.019142e-05,1.021986e-05,1.036091e-05,1.037771e-05,1.050008e-05,1.056072e-05,1.063737e-05,1.074047e-05,1.077280e-05,1.090636e-05,1.091696e-05,1.103805e-05,1.109021e-05,1.116789e-05,1.126023e-05,1.129589e-05,1.142205e-05,1.142706e-05,1.154638e-05,1.159069e-05,1.166890e-05,1.175118e-05,1.178961e-05,1.190853e-05,1.206279e-05,1.221398e-05,1.236214e-05,1.250730e-05,1.264949e-05,1.278875e-05,1.292513e-05,1.305865e-05,1.318936e-05,1.331730e-05,1.344250e-05,1.356501e-05,1.368487e-05,1.380211e-05,1.391679e-05,1.402893e-05,1.413858e-05,1.424579e-05,1.435058e-05,1.445301e-05,1.455311e-05,1.465092e-05,1.474649e-05,1.483985e-05
0.000000e+00,2.417166e-12,7.335905e-12,3.839877e-11,1.158730e-10,1.928631e-10,5.873783e-10,6.117291e-10,1.521029e-09,1.905983e-09,3.253968e-09,4.868785e-09,6.248023e-09,1.050830e-08,1.095744e-08,1.773990e-08,1.970450e-08,2.683114e-08,3.298841e-08,3.837910e-08,5.064765e-08,5.247593e-08,6.917514e-08,7.282976e-08,8.849939e-08,9.958486e-08,1.104439e-07,1.308811e-07,1.349788e-07,1.620511e-07,1.666135e-07,1.915873e-07,2.066137e-07,2.234964e-07,2.506617e-07,2.576730e-07,2.940008e-07,2.984989e-07,3.323556e-07,3.498408e-07,3.726085e-07,4.043893e-07,4.146281e-07,4.582830e-07,4.618422e-07,5.034438e-07,5.219012e-07,5.499839e-07,5.842783e-07,5.977814e-07,6.467191e-07,6.486988e-07,6.966854e-07,7.149046e-07,7.475745e-07,7.826551e-07,7.992867e-07,8.517282e-07,9.048111e-07,9.219196e-07,9.584536e-07,9.930428e-07,1.012579e-06,1.064928e-06,1.067116e-06,1.121999e-06,1.137420e-06,1.177166e-06,1.210378e-06,1.232560e-06,1.283678e-06,1.288128e-06,1.343823e-06,1.357203e-06,1.399597e-06,1.430850e-06,1.455410e-06,1.504526e-06,1.511222e-06,1.566999e-06,1.578147e-06,1.622706e-06,1.651637e-06,1.678314e-06,1.724927e-06,1.733794e-06,1.789121e-06,1.797958e-06,1.844270e-06,1.870672e-06,1.899220e-06,1.943022e-06,1.953950e-06,2.008441e-06,2.014963e-06,2.062676e-06,2.086454e-06,2.116640e-06,2.157461e-06,2.170317e-06,2.223695e-06,2.227952e-06,2.276762e-06,2.297899e-06,2.329506e-06,2.367275e-06,2.381916e-06,2.433985e-06,2.436060e-06,2.485703e-06,2.504234e-06,2.537062e-06,2.571778e-06,2.588057e-06,2.638679e-06,2.688925e-06,2.704923e-06,2.738788e-06,2.770498e-06,2.788265e-06,2.835395e-06,2.837351e-06,2.886043e-06,2.899605e-06,2.934337e-06,2.963122e-06,2.982232e-06,3.025941e-06,3.029725e-06,3.076814e-06,3.088055e-06,3.123498e-06,3.149463e-06,3.169775e-06,3.210161e-06,3.215644e-06,3.261105e-06,3.270148e-06,3.306158e-06,3.329423e-06,3.350802e-06,3.387987e-06,3.395037e-06,3.438864e-06,3.445839e-06,3.482284e-06,3.502980e-06,3.525296e-06,3.559414e-06,3.567903e-06,3.610104e-06,3.615141e-06,3.651902e-06,3.670165e-06,3.693297e-06,3.724489e-06,3.734291e-06,3.774886e-06,3.778116e-06,3.815083e-06,3.831051e-06,3.854885e-06,3.883298e-06,3.894292e-06,3.933308e-06,3.934860e-06,3.971934e-06,3.985744e-06,4.010172e-06,4.035954e-06,4.048025e-06,4.085496e-06,4.134375e-06,4.182597e-06,4.230167e-06,4.277092e-06,4.323378e-06,4.369032e-06,4.414059e-06,4.458466e-06,4.502260e-06,4.545447e-06,4.588034e-06,4.630027e-06,4.671435e-06,4.712262e-06,4.752516e-06,4.792205e-06,4.831334e-06,4.869910e-06,4.907941e-06,4.945434e-06,4.982394e-06,5.018830e-06,5.054747e-06,5.090152e-06
0.000000e+00,2.116733e-13,1.070631e-12,9.865690e-12,3.887516e-11,7.134738e-11,2.557748e-10,2.676271e-10,7.221168e-10,9.171986e-10,1.601399e-09,2.419943e-09,3.119755e-09,5.305356e-09,5.538812e-09,9.148546e-09,1.022380e-08,1.422758e-08,1.780356e-08,2.101176e-08,2.854293e-08,2.968949e-08,4.040959e-08,4.280945e-08,5.328830e-08,6.086840e-08,6.841294e-08,8.289811e-08,8.584373e-08,1.056152e-07,1.089969e-07,1.277378e-07,1.391891e-07,1.521997e-07,1.734329e-07,1.789693e-07,2.079980e-07,2.116303e-07,2.392225e-07,2.536380e-07,2.725680e-07,2.992777e-07,3.079505e-07,3.452790e-07,3.483465e-07,3.844579e-07,4.006255e-07,4.253883e-07,4.558866e-07,4.679702e-07,5.121028e-07,5.138989e-07,5.576863e-07,5.744326e-07,6.046224e-07,6.372623e-07,6.528148e-07,7.021698e-07,7.525967e-07,7.689453e-07,8.040079e-07,8.373886e-07,8.563192e-07,9.073097e-07,9.094497e-07,9.633221e-07,9.785292e-07,1.017862e-06,1.050878e-06,1.073000e-06,1.124197e-06,1.128669e-06,1.184804e-06,1.198339e-06,1.241346e-06,1.273165e-06,1.298236e-06,1.348546e-06,1.355422e-06,1.412850e-06,1.424361e-06,1.470473e-06,1.500499e-06,1.528246e-06,1.576858e-06,1.586123e-06,1.644066e-06,1.653341e-06,1.702036e-06,1.729860e-06,1.759996e-06,1.806335e-06,1.817914e-06,1.875756e-06,1.882691e-06,1.933494e-06,1.958858e-06,1.991099e-06,2.034774e-06,2.048546e-06,2.105810e-06,2.110382e-06,2.162868e-06,2.185629e-06,2.219700e-06,2.260468e-06,2.276286e-06,2.332607e-06,2.334854e-06,2.388646e-06,2.408749e-06,2.444389e-06,2.482116e-06,2.499820e-06,2.554925e-06,2.609694e-06,2.627147e-06,2.664115e-06,2.698756e-06,2.718176e-06,2.769729e-06,2.771870e-06,2.825187e-06,2.840047e-06,2.878120e-06,2.909692e-06,2.930661e-06,2.978649e-06,2.982806e-06,3.034547e-06,3.046904e-06,3.085881e-06,3.114448e-06,3.136802e-06,3.181269e-06,3.187308e-06,3.237395e-06,3.247362e-06,3.287060e-06,3.312719e-06,3.336302e-06,3.377336e-06,3.385118e-06,3.433507e-06,3.441210e-06,3.481469e-06,3.504338e-06,3.529002e-06,3.566720e-06,3.576107e-06,3.622784e-06,3.628356e-06,3.669033e-06,3.689247e-06,3.714854e-06,3.749394e-06,3.760250e-06,3.805220e-06,3.808799e-06,3.849767e-06,3.867468e-06,3.893892e-06,3.925402e-06,3.937597e-06,3.980885e-06,3.982607e-06,4.023756e-06,4.039089e-06,4.066214e-06,4.094851e-06,4.108262e-06,4.149901e-06,4.204245e-06,4.257889e-06,4.310840e-06,4.363107e-06,4.414695e-06,4.465614e-06,4.515870e-06,4.565473e-06,4.614429e-06,4.662748e-06,4.710438e-06,4.757506e-06,4.803963e-06,4.849816e-06,4.895073e-06,4.939744e-06,4.983837e-06,5.027360e-06,5.070323e-06,5.112733e-06,5.154598e-06,5.195928e-06,5.236730e-06,5.277013e-06
0.000000e+00,9.924213e-13,3.048556e-12,1.617046e-11,4.896625e-11,8.140240e-11,2.444363e-10,2.543320e-10,6.124359e-10,7.584775e-10,1.251173e-09,1.814928e-09,2.282136e-09,3.684924e-09,3.831077e-09,6.035656e-09,6.678481e-09,9.042761e-09,1.113413e-08,1.300529e-08,1.740582e-08,1.807833e-08,2.441486e-08,2.584682e-08,3.216104e-08,3.679142e-08,4.145147e-08,5.053619e-08,5.240481e-08,6.512006e-08,6.732347e-08,7.967426e-08,8.733022e-08,9.612151e-08,1.106644e-07,1.144936e-07,1.348019e-07,1.373688e-07,1.570395e-07,1.674301e-07,1.811845e-07,2.007896e-07,2.072024e-07,2.350485e-07,2.373536e-07,2.646701e-07,2.770028e-07,2.960081e-07,3.195988e-07,3.289991e-07,3.635757e-07,3.649908e-07,3.996687e-07,4.130197e-07,4.372070e-07,4.635220e-07,4.761189e-07,5.163327e-07,5.577769e-07,5.712874e-07,6.003809e-07,6.282239e-07,6.440750e-07,6.869838e-07,6.887912e-07,7.344627e-07,7.474130e-07,7.810246e-07,8.093628e-07,8.284137e-07,8.726897e-07,8.765689e-07,9.254308e-07,9.372563e-07,9.749420e-07,1.002931e-06,1.025047e-06,1.069589e-06,1.075693e-06,1.126828e-06,1.137109e-06,1.178403e-06,1.205380e-06,1.230370e-06,1.274291e-06,1.282683e-06,1.335299e-06,1.343742e-06,1.388175e-06,1.413636e-06,1.441271e-06,1.483880e-06,1.494549e-06,1.547971e-06,1.554389e-06,1.601502e-06,1.625081e-06,1.655108e-06,1.695879e-06,1.708757e-06,1.762418e-06,1.766711e-06,1.816062e-06,1.837508e-06,1.869660e-06,1.908207e-06,1.923185e-06,1.976612e-06,1.978747e-06,2.029917e-06,2.049073e-06,2.083077e-06,2.119131e-06,2.136069e-06,2.188872e-06,2.241467e-06,2.258250e-06,2.293835e-06,2.327223e-06,2.345958e-06,2.395749e-06,2.397819e-06,2.449402e-06,2.463793e-06,2.500691e-06,2.531318e-06,2.551674e-06,2.598294e-06,2.602335e-06,2.652663e-06,2.664690e-06,2.702644e-06,2.730479e-06,2.752269e-06,2.795636e-06,2.801527e-06,2.850407e-06,2.860136e-06,2.898899e-06,2.923960e-06,2.946997e-06,2.987087e-06,2.994691e-06,3.041973e-06,3.049500e-06,3.088837e-06,3.111182e-06,3.135277e-06,3.172119e-06,3.181286e-06,3.226858e-06,3.232297e-06,3.271989e-06,3.291705e-06,3.316674e-06,3.350333e-06,3.360908e-06,3.404688e-06,3.408171e-06,3.448011e-06,3.465211e-06,3.490872e-06,3.521446e-06,3.533270e-06,3.575202e-06,3.576870e-06,3.616667e-06,3.631479e-06,3.657661e-06,3.685267e-06,3.698183e-06,3.738233e-06,3.790374e-06,3.841688e-06,3.892175e-06,3.941834e-06,3.990665e-06,4.038671e-06,4.085852e-06,4.132212e-06,4.177752e-06,4.222475e-06,4.266386e-06,4.309489e-06,4.351787e-06,4.393286e-06,4.433991e-06,4.473907e-06,4.513040e-06,4.551396e-06,4.588981e-06,4.625801e-06,4.661864e-06,4.697176e-06,4.731743e-06,4.765574e-06
0.000000e+00,2.684169e-18,3.105916e-17,1.176478e-15,1.297233e-14,3.879470e-14,4.079951e-13,4.439314e-13,2.846658e-12,4.458603e-12,1.266382e-11,2.734283e-11,4.380185e-11,1.165130e-10,1.260867e-10,3.156181e-10,3.866408e-10,7.079258e-10,1.069541e-09,1.453519e-09,2.576718e-09,2.775154e-09,4.985846e-09,5.569612e-09,8.506213e-09,1.102947e-08,1.387937e-08,2.031517e-08,2.178128e-08,3.302455e-08,3.519493e-08,4.855439e-08,5.784002e-08,6.943609e-08,9.077486e-08,9.683445e-08,1.319866e-07,1.367864e-07,1.761699e-07,1.988026e-07,2.306664e-07,2.797533e-07,2.967275e-07,3.755392e-07,3.824284e-07,4.681908e-07,5.093473e-07,5.756467e-07,6.626473e-07,6.987249e-07,8.380793e-07,8.439994e-07,9.941892e-07,1.054554e-06,1.167353e-06,1.294913e-06,1.357688e-06,1.565135e-06,1.789465e-06,1.864758e-06,2.030293e-06,2.192842e-06,2.287089e-06,2.548028e-06,2.559197e-06,2.845848e-06,2.928601e-06,3.146181e-06,3.332562e-06,3.459261e-06,3.757697e-06,3.784092e-06,4.119638e-06,4.201645e-06,4.464835e-06,4.661961e-06,4.818609e-06,5.136171e-06,5.179885e-06,5.547600e-06,5.621823e-06,5.920712e-06,6.116526e-06,6.298210e-06,6.617984e-06,6.679119e-06,7.062508e-06,7.124021e-06,7.447491e-06,7.632601e-06,7.833231e-06,8.141840e-06,8.218945e-06,8.603901e-06,8.650013e-06,8.987423e-06,9.155556e-06,9.368887e-06,9.657067e-06,9.747718e-06,1.012340e-05,1.015330e-05,1.049545e-05,1.064315e-05,1.086345e-05,1.112568e-05,1.122701e-05,1.158581e-05,1.160005e-05,1.193953e-05,1.206558e-05,1.228792e-05,1.252167e-05,1.263076e-05,1.296784e-05,1.329902e-05,1.340372e-05,1.362414e-05,1.382899e-05,1.394310e-05,1.424342e-05,1.425581e-05,1.456221e-05,1.464686e-05,1.486225e-05,1.503921e-05,1.515590e-05,1.542040e-05,1.544315e-05,1.572399e-05,1.579044e-05,1.599845e-05,1.614936e-05,1.626654e-05,1.649723e-05,1.652831e-05,1.678379e-05,1.683414e-05,1.703304e-05,1.716021e-05,1.727613e-05,1.747560e-05,1.751311e-05,1.774406e-05,1.778045e-05,1.796905e-05,1.807496e-05,1.818817e-05,1.835929e-05,1.840150e-05,1.860913e-05,1.863367e-05,1.881114e-05,1.889828e-05,1.900764e-05,1.915334e-05,1.919871e-05,1.938444e-05,1.939907e-05,1.956494e-05,1.963570e-05,1.974030e-05,1.986344e-05,1.991062e-05,2.007600e-05,2.008251e-05,2.023653e-05,2.029315e-05,2.039231e-05,2.049558e-05,2.054344e-05,2.069002e-05,2.087669e-05,2.105581e-05,2.122761e-05,2.139229e-05,2.155007e-05,2.170115e-05,2.184574e-05,2.198405e-05,2.211626e-05,2.224257e-05,2.236317e-05,2.247824e-05,2.258798e-05,2.269254e-05,2.279211e-05,2.288686e-05,2.297694e-05,2.306253e-05,2.314377e-05,2.322081e-05,2.329381e-05,2.336291e-05,2.342825e-05,2.348997e-05
0.000000e+00,6.317717e-17,6.994645e-16,2.418947e-14,2.454477e-13,7.012301e-13,6.552946e-12,7.095973e-12,4.048363e-11,6.143512e-11,1.612420e-10,3.267944e-10,5.025347e-10,1.221573e-09,1.311970e-09,2.997334e-09,3.595334e-09,6.170880e-09,8.904905e-09,1.168358e-08,1.934076e-08,2.063979e-08,3.438703e-08,3.784527e-08,5.448250e-08,6.800625e-08,8.264347e-08,1.138616e-07,1.206901e-07,1.704874e-07,1.796701e-07,2.338918e-07,2.696910e-07,3.127033e-07,3.879939e-07,4.086244e-07,5.232260e-07,5.383024e-07,6.579186e-07,7.238713e-07,8.139286e-07,9.473917e-07,9.922809e-07,1.193786e-06,1.210926e-06,1.419032e-06,1.515867e-06,1.668382e-06,1.862927e-06,1.941977e-06,2.239742e-06,2.252152e-06,2.561396e-06,2.682955e-06,2.906469e-06,3.154173e-06,3.274317e-06,3.664141e-06,4.075010e-06,4.210765e-06,4.505878e-06,4.791608e-06,4.955610e-06,5.403979e-06,5.422997e-06,5.906780e-06,6.045001e-06,6.405663e-06,6.711695e-06,6.918334e-06,7.401037e-06,7.443477e-06,7.979785e-06,8.110017e-06,8.525971e-06,8.835680e-06,9.080777e-06,9.575167e-06,9.642983e-06,1.021141e-05,1.032574e-05,1.078493e-05,1.108480e-05,1.136245e-05,1.184991e-05,1.194296e-05,1.252547e-05,1.261879e-05,1.310907e-05,1.338933e-05,1.369289e-05,1.415957e-05,1.427613e-05,1.485803e-05,1.492773e-05,1.543787e-05,1.569219e-05,1.601502e-05,1.645147e-05,1.658886e-05,1.715882e-05,1.720424e-05,1.772440e-05,1.794930e-05,1.828513e-05,1.868559e-05,1.884056e-05,1.939030e-05,1.941216e-05,1.993399e-05,2.012817e-05,2.047130e-05,2.083289e-05,2.100195e-05,2.152566e-05,2.204221e-05,2.220595e-05,2.255137e-05,2.287327e-05,2.305296e-05,2.352723e-05,2.354683e-05,2.403283e-05,2.416748e-05,2.451084e-05,2.479377e-05,2.498076e-05,2.540586e-05,2.544250e-05,2.589599e-05,2.600360e-05,2.634119e-05,2.658686e-05,2.677805e-05,2.715557e-05,2.720655e-05,2.762667e-05,2.770969e-05,2.803841e-05,2.824920e-05,2.844178e-05,2.877414e-05,2.883679e-05,2.922347e-05,2.928456e-05,2.960185e-05,2.978054e-05,2.997198e-05,3.026217e-05,3.033390e-05,3.068766e-05,3.072957e-05,3.103334e-05,3.118289e-05,3.137098e-05,3.162227e-05,3.170067e-05,3.202248e-05,3.204788e-05,3.233648e-05,3.245991e-05,3.264275e-05,3.285854e-05,3.294139e-05,3.323248e-05,3.324397e-05,3.351612e-05,3.361642e-05,3.379238e-05,3.397608e-05,3.406138e-05,3.432320e-05,3.465799e-05,3.498067e-05,3.529150e-05,3.559069e-05,3.587848e-05,3.615512e-05,3.642084e-05,3.667588e-05,3.692048e-05,3.715488e-05,3.737931e-05,3.759401e-05,3.779922e-05,3.799515e-05,3.818205e-05,3.836014e-05,3.852964e-05,3.869078e-05,3.884377e-05,3.898882e-05,3.912616e-05,3.925599e-05,3.937852e-05,3.949394e-05
0.000000e+00,1.078038e-15,1.144598e-14,3.728327e-13,3.675378e-12,1.042113e-11,9.758706e-11,1.057429e-10,6.199351e-10,9.509071e-10,2.577274e-09,5.386508e-09,8.467450e-09,2.172216e-08,2.344302e-08,5.699011e-08,6.940855e-08,1.250788e-07,1.871717e-07,2.527396e-07,4.433856e-07,4.769541e-07,8.497101e-07,9.478993e-07,1.441057e-06,1.864244e-06,2.341996e-06,3.421089e-06,3.667060e-06,5.556428e-06,5.921887e-06,8.177479e-06,9.751789e-06,1.172567e-05,1.538117e-05,1.642472e-05,2.252590e-05,2.336519e-05,3.030672e-05,3.433927e-05,4.006866e-05,4.901048e-05,5.213426e-05,6.684358e-05,6.814504e-05,8.454997e-05,9.255263e-05,1.056155e-04,1.230680e-04,1.304059e-04,1.592855e-04,1.605308e-04,1.926115e-04,2.057644e-04,2.307294e-04,2.595548e-04,2.739670e-04,3.226303e-04,3.769982e-04,3.956422e-04,4.373190e-04,4.791488e-04,5.038067e-04,5.736007e-04,5.766376e-04,6.559481e-04,6.793302e-04,7.418332e-04,7.965434e-04,8.343447e-04,9.253153e-04,9.334906e-04,1.039236e-03,1.065589e-03,1.151502e-03,1.217176e-03,1.270169e-03,1.379764e-03,1.395076e-03,1.526024e-03,1.552919e-03,1.662778e-03,1.736097e-03,1.805070e-03,1.928655e-03,1.952599e-03,2.105040e-03,2.129863e-03,2.262041e-03,2.338912e-03,2.423230e-03,2.554936e-03,2.588219e-03,2.756604e-03,2.777019e-03,2.927970e-03,3.004207e-03,3.101896e-03,3.235530e-03,3.277956e-03,3.455722e-03,3.470004e-03,3.634767e-03,3.706649e-03,3.814670e-03,3.944497e-03,3.995015e-03,4.175394e-03,4.182604e-03,4.355412e-03,4.420056e-03,4.534686e-03,4.655978e-03,4.712846e-03,4.889540e-03,5.064429e-03,5.119961e-03,5.237197e-03,5.346515e-03,5.407542e-03,5.568535e-03,5.575185e-03,5.739864e-03,5.785409e-03,5.901337e-03,5.996590e-03,6.059385e-03,6.201590e-03,6.213806e-03,6.364419e-03,6.399981e-03,6.511062e-03,6.591396e-03,6.653595e-03,6.775525e-03,6.791894e-03,6.925854e-03,6.952117e-03,7.055387e-03,7.120971e-03,7.180423e-03,7.281938e-03,7.300908e-03,7.416803e-03,7.434918e-03,7.528083e-03,7.579855e-03,7.634739e-03,7.716736e-03,7.736774e-03,7.834203e-03,7.845586e-03,7.927052e-03,7.966464e-03,8.015359e-03,8.079462e-03,8.099170e-03,8.178541e-03,8.184701e-03,8.253536e-03,8.282324e-03,8.324226e-03,8.372501e-03,8.390689e-03,8.453010e-03,8.455418e-03,8.511277e-03,8.531278e-03,8.565583e-03,8.600299e-03,8.616027e-03,8.662710e-03,8.718749e-03,8.768659e-03,8.812693e-03,8.851101e-03,8.884138e-03,8.912059e-03,8.935115e-03,8.953558e-03,8.967633e-03,8.977586e-03,8.983652e-03,8.986064e-03,8.985048e-03,8.980822e-03,8.973599e-03,8.963582e-03,8.950968e-03,8.935945e-03,8.918694e-03,8.899389e-03,8.878194e-03,8.855267e-03,8.830758e-03,8.804808e-03
0.000000e+00,5.536593e-16,6.209977e-15,2.218372e-13,2.334134e-12,6.819739e-12,6.803294e-11,7.388218e-11,4.540741e-10,7.041121e-10,1.955471e-09,4.157325e-09,6.601256e-09,1.727505e-08,1.867252e-08,4.619254e-08,5.646926e-08,1.028880e-07,1.551191e-07,2.106338e-07,3.734951e-07,4.023448e-07,7.252035e-07,8.108692e-07,1.244032e-06,1.618808e-06,2.044546e-06,3.014011e-06,3.236227e-06,4.954549e-06,5.288845e-06,7.362398e-06,8.818044e-06,1.065054e-05,1.406060e-05,1.503717e-05,2.076640e-05,2.155661e-05,2.810590e-05,3.191900e-05,3.734375e-05,4.582102e-05,4.878448e-05,6.274471e-05,6.398004e-05,7.954823e-05,8.713881e-05,9.952092e-05,1.160450e-04,1.229855e-04,1.502562e-04,1.514305e-04,1.816341e-04,1.939906e-04,2.174016e-04,2.443646e-04,2.578188e-04,3.031187e-04,3.535046e-04,3.707310e-04,4.091464e-04,4.475791e-04,4.701786e-04,5.339317e-04,5.366987e-04,6.087659e-04,6.299425e-04,6.864007e-04,7.356479e-04,7.695846e-04,8.509671e-04,8.582614e-04,9.523374e-04,9.757055e-04,1.051684e-03,1.109560e-03,1.156137e-03,1.252127e-03,1.265503e-03,1.379558e-03,1.402911e-03,1.498054e-03,1.561336e-03,1.620715e-03,1.726756e-03,1.747249e-03,1.877343e-03,1.898467e-03,2.010673e-03,2.075722e-03,2.146901e-03,2.257738e-03,2.285681e-03,2.426662e-03,2.443710e-03,2.569489e-03,2.632826e-03,2.713807e-03,2.824270e-03,2.859265e-03,3.005513e-03,3.017237e-03,3.152211e-03,3.210941e-03,3.299025e-03,3.404620e-03,3.445631e-03,3.591718e-03,3.597547e-03,3.736987e-03,3.789029e-03,3.881153e-03,3.978417e-03,4.023945e-03,4.165109e-03,4.304406e-03,4.348550e-03,4.441613e-03,4.528233e-03,4.576524e-03,4.703704e-03,4.708951e-03,4.838721e-03,4.874559e-03,4.965679e-03,5.040445e-03,5.089685e-03,5.201057e-03,5.210615e-03,5.328363e-03,5.356138e-03,5.442835e-03,5.505479e-03,5.553954e-03,5.648913e-03,5.661655e-03,5.765888e-03,5.786314e-03,5.866615e-03,5.917598e-03,5.963810e-03,6.042715e-03,6.057460e-03,6.147561e-03,6.161647e-03,6.234117e-03,6.274411e-03,6.317147e-03,6.381046e-03,6.396672e-03,6.472726e-03,6.481620e-03,6.545346e-03,6.576223e-03,6.614579e-03,6.664962e-03,6.680476e-03,6.743095e-03,6.747965e-03,6.802496e-03,6.825371e-03,6.858747e-03,6.897334e-03,6.911915e-03,6.962075e-03,6.964020e-03,7.009301e-03,7.025599e-03,7.053671e-03,7.082253e-03,7.095265e-03,7.134164e-03,7.181521e-03,7.224514e-03,7.263334e-03,7.298173e-03,7.329219e-03,7.356662e-03,7.380685e-03,7.401471e-03,7.419197e-03,7.434037e-03,7.446158e-03,7.455725e-03,7.462896e-03,7.467822e-03,7.470652e-03,7.471523e-03,7.470573e-03,7.467930e-03,7.463716e-03,7.458050e-03,7.451045e-03,7.442804e-03,7.433432e-03,7.423022e-03
0.000000e+00,6.689269e-12,2.043081e-11,1.077552e-10,3.259969e-10,5.424798e-10,1.641840e-09,1.709158e-09,4.186105e-09,5.216895e-09,8.767201e-09,1.293679e-08,1.645253e-08,2.717923e-08,2.830410e-08,4.527518e-08,5.020276e-08,6.817827e-08,8.386243e-08,9.772144e-08,1.297127e-07,1.345329e-07,1.791664e-07,1.890751e-07,2.320983e-07,2.630366e-07,2.937222e-07,3.524298e-07,3.643439e-07,4.441807e-07,4.578196e-07,5.333618e-07,5.795043e-07,6.319330e-07,7.175317e-07,7.398623e-07,8.570479e-07,8.717250e-07,9.833269e-07,1.041717e-06,1.118484e-06,1.226983e-06,1.262260e-06,1.414362e-06,1.426880e-06,1.574467e-06,1.640674e-06,1.742234e-06,1.867571e-06,1.917307e-06,2.099319e-06,2.106738e-06,2.287899e-06,2.357325e-06,2.482677e-06,2.618477e-06,2.683283e-06,2.889350e-06,3.100520e-06,3.169115e-06,3.316442e-06,3.456968e-06,3.536774e-06,3.752131e-06,3.761182e-06,3.989346e-06,4.053862e-06,4.220954e-06,4.361448e-06,4.455708e-06,4.674211e-06,4.693318e-06,4.933508e-06,4.991508e-06,5.176013e-06,5.312731e-06,5.420578e-06,5.637306e-06,5.666959e-06,5.914925e-06,5.964689e-06,6.164253e-06,6.294372e-06,6.414732e-06,6.625875e-06,6.666159e-06,6.918342e-06,6.958749e-06,7.171098e-06,7.292573e-06,7.424254e-06,7.626955e-06,7.677644e-06,7.931112e-06,7.961526e-06,8.184508e-06,8.295944e-06,8.437693e-06,8.629889e-06,8.690532e-06,8.942899e-06,8.963065e-06,9.194676e-06,9.295195e-06,9.445748e-06,9.626025e-06,9.696011e-06,9.945363e-06,9.955317e-06,1.019371e-05,1.028285e-05,1.044096e-05,1.060843e-05,1.068704e-05,1.093186e-05,1.117535e-05,1.125298e-05,1.141745e-05,1.157163e-05,1.165808e-05,1.188766e-05,1.189719e-05,1.213472e-05,1.220094e-05,1.237062e-05,1.251136e-05,1.260485e-05,1.281881e-05,1.283734e-05,1.306808e-05,1.312319e-05,1.329701e-05,1.342441e-05,1.352410e-05,1.372239e-05,1.374932e-05,1.397264e-05,1.401707e-05,1.419403e-05,1.430838e-05,1.441347e-05,1.459628e-05,1.463094e-05,1.484642e-05,1.488071e-05,1.505988e-05,1.516163e-05,1.527132e-05,1.543901e-05,1.548072e-05,1.568807e-05,1.571282e-05,1.589336e-05,1.598304e-05,1.609659e-05,1.624965e-05,1.629774e-05,1.649681e-05,1.651264e-05,1.669379e-05,1.677201e-05,1.688870e-05,1.702774e-05,1.708151e-05,1.727225e-05,1.727983e-05,1.746090e-05,1.752830e-05,1.764746e-05,1.777314e-05,1.783196e-05,1.801437e-05,1.825201e-05,1.848605e-05,1.871653e-05,1.894346e-05,1.916686e-05,1.938676e-05,1.960319e-05,1.981617e-05,2.002572e-05,2.023189e-05,2.043470e-05,2.063419e-05,2.083038e-05,2.102331e-05,2.121302e-05,2.139954e-05,2.158291e-05,2.176317e-05,2.194035e-05,2.211450e-05,2.228564e-05,2.245383e-05,2.261909e-05,2.278147e-05
0.000000e+00,6.792497e-14,3.767000e-13,3.918732e-12,1.646978e-11,3.099041e-11,1.161292e-10,1.216751e-10,3.367919e-10,4.298628e-10,7.574286e-10,1.149940e-09,1.485378e-09,2.531018e-09,2.642553e-09,4.365971e-09,4.879666e-09,6.797625e-09,8.520374e-09,1.007527e-08,1.376248e-08,1.432845e-08,1.967766e-08,2.088898e-08,2.623394e-08,3.015413e-08,3.409804e-08,4.178035e-08,4.335940e-08,5.409522e-08,5.595426e-08,6.636973e-08,7.282351e-08,8.023387e-08,9.249545e-08,9.572528e-08,1.128688e-07,1.150377e-07,1.316769e-07,1.404806e-07,1.521510e-07,1.688204e-07,1.742822e-07,1.980526e-07,2.000243e-07,2.234363e-07,2.340345e-07,2.504010e-07,2.707732e-07,2.789084e-07,3.089160e-07,3.101469e-07,3.403774e-07,3.520500e-07,3.732436e-07,3.963689e-07,4.074633e-07,4.429840e-07,4.797522e-07,4.917726e-07,5.177138e-07,5.426106e-07,5.568149e-07,5.953740e-07,5.970017e-07,6.382209e-07,6.499401e-07,6.804201e-07,7.061884e-07,7.235476e-07,7.640012e-07,7.675528e-07,8.123863e-07,8.232642e-07,8.579998e-07,8.838666e-07,9.043464e-07,9.457015e-07,9.513804e-07,9.990574e-07,1.008666e-06,1.047334e-06,1.072662e-06,1.096170e-06,1.137594e-06,1.145523e-06,1.195356e-06,1.203371e-06,1.245630e-06,1.269908e-06,1.296309e-06,1.337121e-06,1.347359e-06,1.398744e-06,1.404931e-06,1.450433e-06,1.473265e-06,1.502395e-06,1.542049e-06,1.554598e-06,1.607015e-06,1.611217e-06,1.659617e-06,1.680703e-06,1.712376e-06,1.750447e-06,1.765269e-06,1.818268e-06,1.820390e-06,1.871352e-06,1.890478e-06,1.924497e-06,1.960659e-06,1.977681e-06,2.030882e-06,2.084082e-06,2.101103e-06,2.137261e-06,2.171275e-06,2.190400e-06,2.241359e-06,2.243481e-06,2.296488e-06,2.311315e-06,2.349405e-06,2.381105e-06,2.402216e-06,2.450695e-06,2.454906e-06,2.507461e-06,2.520053e-06,2.559868e-06,2.589147e-06,2.612114e-06,2.657948e-06,2.664187e-06,2.716075e-06,2.726430e-06,2.767767e-06,2.794566e-06,2.819253e-06,2.862334e-06,2.870522e-06,2.921566e-06,2.929711e-06,2.972374e-06,2.996676e-06,3.022938e-06,3.063209e-06,3.073251e-06,3.123304e-06,3.129293e-06,3.173091e-06,3.194911e-06,3.222604e-06,3.260047e-06,3.271837e-06,3.320783e-06,3.324687e-06,3.369438e-06,3.388817e-06,3.417795e-06,3.452425e-06,3.465850e-06,3.513597e-06,3.515500e-06,3.561033e-06,3.578032e-06,3.608152e-06,3.640011e-06,3.654952e-06,3.701428e-06,3.762276e-06,3.822547e-06,3.882236e-06,3.941336e-06,3.999843e-06,4.057752e-06,4.115059e-06,4.171762e-06,4.227857e-06,4.283343e-06,4.338217e-06,4.392479e-06,4.446127e-06,4.499162e-06,4.551582e-06,4.603389e-06,4.654583e-06,4.705166e-06,4.755137e-06,4.804499e-06,4.853255e-06,4.901404e-06,4.948951e-06,4.995898e-06
0.000000e+00,8.417970e-18,9.875241e-17,3.847650e-15,4.356119e-14,1.322146e-13,1.446427e-12,1.576422e-12,1.053498e-11,1.669376e-11,4.886678e-11,1.082236e-10,1.763574e-10,4.881905e-10,5.301598e-10,1.387308e-09,1.717951e-09,3.256200e-09,5.048119e-09,7.002093e-09,1.293411e-08,1.400870e-08,2.637228e-08,2.973515e-08,4.711737e-08,6.255075e-08,8.041669e-08,1.220878e-07,1.317942e-07,2.082914e-07,2.234179e-07,3.185787e-07,3.864926e-07,4.730004e-07,6.363186e-07,6.835464e-07,9.637518e-07,1.002753e-06,1.328527e-06,1.519921e-06,1.793925e-06,2.225312e-06,2.376866e-06,3.094811e-06,3.158608e-06,3.965427e-06,4.360358e-06,5.006229e-06,5.870563e-06,6.234224e-06,7.665574e-06,7.727275e-06,9.315272e-06,9.965271e-06,1.119685e-05,1.261488e-05,1.332213e-05,1.570099e-05,1.834124e-05,1.924229e-05,2.124843e-05,2.325072e-05,2.442581e-05,2.773116e-05,2.787429e-05,3.159246e-05,3.268141e-05,3.557656e-05,3.809230e-05,3.982067e-05,4.394800e-05,4.431673e-05,4.905472e-05,5.022656e-05,5.402281e-05,5.690048e-05,5.920750e-05,6.393739e-05,6.459388e-05,7.016577e-05,7.130091e-05,7.590598e-05,7.895144e-05,8.179646e-05,8.684692e-05,8.781851e-05,9.395300e-05,9.494365e-05,1.001805e-04,1.031971e-04,1.064816e-04,1.115625e-04,1.128369e-04,1.192273e-04,1.199956e-04,1.256339e-04,1.284533e-04,1.320386e-04,1.368940e-04,1.384237e-04,1.447722e-04,1.452781e-04,1.510682e-04,1.535683e-04,1.572962e-04,1.617302e-04,1.634419e-04,1.694920e-04,1.697318e-04,1.754340e-04,1.775445e-04,1.812566e-04,1.851424e-04,1.869493e-04,1.925028e-04,1.979087e-04,1.996062e-04,2.031596e-04,2.064358e-04,2.082490e-04,2.129778e-04,2.131714e-04,2.179223e-04,2.192212e-04,2.224978e-04,2.251576e-04,2.268950e-04,2.307811e-04,2.311117e-04,2.351466e-04,2.360878e-04,2.389989e-04,2.410763e-04,2.426685e-04,2.457469e-04,2.461558e-04,2.494619e-04,2.501015e-04,2.525884e-04,2.541438e-04,2.555373e-04,2.578788e-04,2.583109e-04,2.609121e-04,2.613125e-04,2.633440e-04,2.644522e-04,2.656101e-04,2.673059e-04,2.677139e-04,2.696595e-04,2.698825e-04,2.714509e-04,2.721914e-04,2.730924e-04,2.742423e-04,2.745883e-04,2.759432e-04,2.760456e-04,2.771616e-04,2.776119e-04,2.782483e-04,2.789517e-04,2.792078e-04,2.800450e-04,2.800760e-04,2.807644e-04,2.809954e-04,2.813707e-04,2.817208e-04,2.818687e-04,2.822629e-04,2.826320e-04,2.828385e-04,2.828925e-04,2.828037e-04,2.825817e-04,2.822357e-04,2.817746e-04,2.812068e-04,2.805407e-04,2.797841e-04,2.789444e-04,2.780289e-04,2.770444e-04,2.759973e-04,2.748938e-04,2.737397e-04,2.725405e-04,2.713015e-04,2.700274e-04,2.687228e-04,2.673921e-04,2.660393e-04,2.646681e-04,2.632822e-04
0.000000e+00,2.936661e-15,2.503632e-14,5.172068e-13,3.393481e-12,7.735881e-12,4.215314e-11,4.471399e-11,1.589387e-10,2.141694e-10,4.242928e-10,6.969597e-10,9.419955e-10,1.753019e-09,1.842809e-09,3.289674e-09,3.739216e-09,5.477383e-09,7.106888e-09,8.623758e-09,1.236029e-08,1.294816e-08,1.864183e-08,1.995818e-08,2.584382e-08,3.021350e-08,3.463335e-08,4.326393e-08,4.503676e-08,5.704070e-08,5.910743e-08,7.060457e-08,7.765268e-08,8.567001e-08,9.875672e-08,1.021670e-07,1.200182e-07,1.222474e-07,1.391415e-07,1.479371e-07,1.594526e-07,1.756309e-07,1.808661e-07,2.032974e-07,2.051334e-07,2.266633e-07,2.362531e-07,2.508830e-07,2.688062e-07,2.758790e-07,3.015775e-07,3.026190e-07,3.279085e-07,3.375297e-07,3.548062e-07,3.733889e-07,3.822093e-07,4.100604e-07,4.383065e-07,4.474205e-07,4.668985e-07,4.853579e-07,4.957912e-07,5.237725e-07,5.249431e-07,5.543157e-07,5.625747e-07,5.838739e-07,6.016844e-07,6.135855e-07,6.410301e-07,6.434208e-07,6.733528e-07,6.805480e-07,7.033564e-07,7.201812e-07,7.334088e-07,7.598785e-07,7.634890e-07,7.935775e-07,7.995946e-07,8.236566e-07,8.392885e-07,8.537099e-07,8.789237e-07,8.837223e-07,9.136799e-07,9.184671e-07,9.435697e-07,9.578892e-07,9.733799e-07,9.971634e-07,1.003100e-06,1.032718e-06,1.036265e-06,1.062227e-06,1.075173e-06,1.091616e-06,1.113868e-06,1.120879e-06,1.150007e-06,1.152331e-06,1.178993e-06,1.190546e-06,1.207831e-06,1.228499e-06,1.236515e-06,1.265039e-06,1.266176e-06,1.293398e-06,1.303566e-06,1.321587e-06,1.340656e-06,1.349602e-06,1.377438e-06,1.405092e-06,1.413902e-06,1.432560e-06,1.450040e-06,1.459838e-06,1.485845e-06,1.486925e-06,1.513815e-06,1.521309e-06,1.540508e-06,1.556428e-06,1.567001e-06,1.591195e-06,1.593291e-06,1.619377e-06,1.625606e-06,1.645256e-06,1.659657e-06,1.670926e-06,1.693343e-06,1.696388e-06,1.721638e-06,1.726662e-06,1.746675e-06,1.759610e-06,1.771499e-06,1.792186e-06,1.796109e-06,1.820503e-06,1.824386e-06,1.844681e-06,1.856209e-06,1.868642e-06,1.887654e-06,1.892386e-06,1.915912e-06,1.918720e-06,1.939219e-06,1.949406e-06,1.962308e-06,1.979710e-06,1.985179e-06,2.007831e-06,2.009633e-06,2.030263e-06,2.039175e-06,2.052477e-06,2.068336e-06,2.074473e-06,2.096250e-06,2.097116e-06,2.117808e-06,2.125516e-06,2.139149e-06,2.153536e-06,2.160272e-06,2.181178e-06,2.208441e-06,2.235329e-06,2.261841e-06,2.287980e-06,2.313747e-06,2.339144e-06,2.364172e-06,2.388834e-06,2.413131e-06,2.437066e-06,2.460641e-06,2.483859e-06,2.506721e-06,2.529230e-06,2.551389e-06,2.573200e-06,2.594666e-06,2.615789e-06,2.636572e-06,2.657019e-06,2.677131e-06,2.696912e-06,2.716364e-06,2.735491e-06
0.000000e+00,5.743923e-15,4.157480e-14,6.452848e-13,3.451153e-12,7.171863e-12,3.245179e-11,3.421235e-11,1.076630e-10,1.415170e-10,2.668516e-10,4.262080e-10,5.683567e-10,1.037595e-09,1.089544e-09,1.925550e-09,2.184089e-09,3.173442e-09,4.082624e-09,4.911963e-09,6.889833e-09,7.193447e-09,1.004829e-08,1.068964e-08,1.349225e-08,1.551827e-08,1.753148e-08,2.138408e-08,2.216524e-08,2.738728e-08,2.827673e-08,3.318666e-08,3.617115e-08,3.954832e-08,4.503013e-08,4.645372e-08,5.388139e-08,5.480670e-08,6.180761e-08,6.544658e-08,7.020695e-08,7.689057e-08,7.905287e-08,8.831825e-08,8.907678e-08,9.797580e-08,1.019425e-07,1.079985e-07,1.154259e-07,1.183597e-07,1.290337e-07,1.294669e-07,1.399958e-07,1.440080e-07,1.512220e-07,1.589951e-07,1.626898e-07,1.743777e-07,1.862655e-07,1.901087e-07,1.983341e-07,2.061446e-07,2.105656e-07,2.224456e-07,2.229434e-07,2.354516e-07,2.389753e-07,2.480758e-07,2.557002e-07,2.608023e-07,2.725900e-07,2.736183e-07,2.865122e-07,2.896170e-07,2.994728e-07,3.067562e-07,3.124901e-07,3.239847e-07,3.255546e-07,3.386574e-07,3.412818e-07,3.517903e-07,3.586288e-07,3.649458e-07,3.760087e-07,3.781169e-07,3.912969e-07,3.934061e-07,4.044799e-07,4.108071e-07,4.176601e-07,4.281989e-07,4.308325e-07,4.439921e-07,4.455702e-07,4.571345e-07,4.629106e-07,4.702554e-07,4.802107e-07,4.833512e-07,4.964181e-07,4.974621e-07,5.094529e-07,5.146571e-07,5.224526e-07,5.317889e-07,5.354142e-07,5.483353e-07,5.488512e-07,5.612133e-07,5.658384e-07,5.740461e-07,5.827455e-07,5.868316e-07,5.995679e-07,6.122532e-07,6.163015e-07,6.248861e-07,6.329428e-07,6.374649e-07,6.494885e-07,6.499884e-07,6.624553e-07,6.659357e-07,6.748645e-07,6.822819e-07,6.872149e-07,6.985247e-07,6.995058e-07,7.117361e-07,7.146622e-07,7.239051e-07,7.306928e-07,7.360122e-07,7.466148e-07,7.480568e-07,7.600383e-07,7.624270e-07,7.719562e-07,7.781282e-07,7.838101e-07,7.937177e-07,7.955997e-07,8.073246e-07,8.091945e-07,8.189846e-07,8.245582e-07,8.305794e-07,8.398083e-07,8.421090e-07,8.535731e-07,8.549444e-07,8.649718e-07,8.699664e-07,8.763048e-07,8.848740e-07,8.875722e-07,8.987741e-07,8.996674e-07,9.099104e-07,9.143466e-07,9.209813e-07,9.289118e-07,9.319867e-07,9.429269e-07,9.433632e-07,9.538020e-07,9.577012e-07,9.646122e-07,9.719260e-07,9.753575e-07,9.860383e-07,1.000038e-06,1.013927e-06,1.027705e-06,1.041372e-06,1.054930e-06,1.068378e-06,1.081719e-06,1.094952e-06,1.108079e-06,1.121099e-06,1.134015e-06,1.146827e-06,1.159535e-06,1.172142e-06,1.184647e-06,1.197051e-06,1.209356e-06,1.221563e-06,1.233671e-06,1.245684e-06,1.257600e-06,1.269422e-06,1.281150e-06,1.292785e-06
0.000000e+00,5.482162e-15,4.690212e-14,9.761087e-13,6.448832e-12,1.475774e-11,8.123432e-11,8.620531e-11,3.095869e-10,4.183495e-10,8.347824e-10,1.379404e-09,1.871719e-09,3.514672e-09,3.697568e-09,6.664027e-09,7.591439e-09,1.119385e-08,1.458650e-08,1.775198e-08,2.556226e-08,2.679173e-08,3.870221e-08,4.145676e-08,5.378272e-08,6.295068e-08,7.224471e-08,9.046891e-08,9.422643e-08,1.198081e-07,1.242380e-07,1.490231e-07,1.643367e-07,1.818662e-07,2.107274e-07,2.182980e-07,2.582495e-07,2.632760e-07,3.016260e-07,3.217671e-07,3.483101e-07,3.859189e-07,3.981656e-07,4.510410e-07,4.553967e-07,5.067731e-07,5.298274e-07,5.651898e-07,6.088128e-07,6.261138e-07,6.893648e-07,6.919407e-07,7.547621e-07,7.787959e-07,8.221265e-07,8.689679e-07,8.912820e-07,9.620573e-07,1.034287e-06,1.057681e-06,1.107811e-06,1.155475e-06,1.182477e-06,1.255096e-06,1.258140e-06,1.334663e-06,1.356226e-06,1.411916e-06,1.458567e-06,1.489777e-06,1.561847e-06,1.568130e-06,1.646870e-06,1.665813e-06,1.725894e-06,1.770237e-06,1.805110e-06,1.874909e-06,1.884430e-06,1.963775e-06,1.979640e-06,2.043069e-06,2.084259e-06,2.122243e-06,2.188610e-06,2.201233e-06,2.279981e-06,2.292554e-06,2.358431e-06,2.395967e-06,2.436535e-06,2.498738e-06,2.514247e-06,2.591525e-06,2.600767e-06,2.668330e-06,2.701966e-06,2.744630e-06,2.802259e-06,2.820391e-06,2.895586e-06,2.901576e-06,2.970189e-06,2.999859e-06,3.044176e-06,3.097055e-06,3.117528e-06,3.190226e-06,3.193120e-06,3.262253e-06,3.288016e-06,3.333596e-06,3.381711e-06,3.404241e-06,3.474178e-06,3.543398e-06,3.565396e-06,3.611893e-06,3.655345e-06,3.679655e-06,3.744014e-06,3.746681e-06,3.812966e-06,3.831392e-06,3.878506e-06,3.917472e-06,3.943300e-06,4.002251e-06,4.007347e-06,4.070647e-06,4.085727e-06,4.133199e-06,4.167902e-06,4.195006e-06,4.248780e-06,4.256068e-06,4.316389e-06,4.328364e-06,4.375971e-06,4.406663e-06,4.434818e-06,4.483684e-06,4.492934e-06,4.550323e-06,4.559438e-06,4.606990e-06,4.633935e-06,4.662940e-06,4.707187e-06,4.718178e-06,4.772711e-06,4.779208e-06,4.826544e-06,4.850011e-06,4.879684e-06,4.919610e-06,4.932136e-06,4.983907e-06,4.988020e-06,5.035005e-06,5.055257e-06,5.085436e-06,5.121337e-06,5.135206e-06,5.184324e-06,5.186275e-06,5.232796e-06,5.250089e-06,5.280629e-06,5.312795e-06,5.327831e-06,5.374410e-06,5.434951e-06,5.494436e-06,5.552881e-06,5.610303e-06,5.666721e-06,5.722150e-06,5.776608e-06,5.830112e-06,5.882679e-06,5.934325e-06,5.985067e-06,6.034921e-06,6.083903e-06,6.132030e-06,6.179316e-06,6.225779e-06,6.271432e-06,6.316291e-06,6.360372e-06,6.403688e-06,6.446254e-06,6.488085e-06,6.529193e-06,6.569594e-06
0.000000e+00,1.699267e-15,1.774423e-14,5.640141e-13,5.480082e-12,1.544753e-11,1.431526e-10,1.550680e-10,9.039571e-10,1.385179e-09,3.747895e-09,7.827868e-09,1.230340e-08,3.157494e-08,3.407888e-08,8.296014e-08,1.010823e-07,1.824567e-07,2.734228e-07,3.696599e-07,6.502637e-07,6.997698e-07,1.250974e-06,1.396540e-06,2.129427e-06,2.760243e-06,3.474074e-06,5.091546e-06,5.461068e-06,8.307557e-06,8.859565e-06,1.227464e-05,1.466524e-05,1.766933e-05,2.324916e-05,2.484545e-05,3.420321e-05,3.549343e-05,4.618769e-05,5.241709e-05,6.128598e-05,7.516501e-05,8.002317e-05,1.029573e-04,1.049907e-04,1.306731e-04,1.432332e-04,1.637753e-04,1.912902e-04,2.028808e-04,2.486107e-04,2.505865e-04,3.015820e-04,3.225413e-04,3.623989e-04,4.085345e-04,4.316445e-04,5.098728e-04,5.976006e-04,6.277584e-04,6.953007e-04,7.632596e-04,8.033955e-04,9.172859e-04,9.222508e-04,1.052171e-03,1.090566e-03,1.193397e-03,1.283632e-03,1.346098e-03,1.496808e-03,1.510378e-03,1.686265e-03,1.730202e-03,1.873718e-03,1.983704e-03,2.072624e-03,2.256992e-03,2.282801e-03,2.504000e-03,2.549535e-03,2.735905e-03,2.860605e-03,2.978141e-03,3.189289e-03,3.230277e-03,3.491825e-03,3.534511e-03,3.762252e-03,3.895042e-03,4.040980e-03,4.269528e-03,4.327395e-03,4.620848e-03,4.656503e-03,4.920663e-03,5.054418e-03,5.226142e-03,5.461656e-03,5.536572e-03,5.851224e-03,5.876556e-03,6.169365e-03,6.297433e-03,6.490259e-03,6.722595e-03,6.813173e-03,7.137379e-03,7.150364e-03,7.462163e-03,7.579090e-03,7.786820e-03,8.007166e-03,8.110668e-03,8.433040e-03,8.753297e-03,8.855231e-03,9.070823e-03,9.272334e-03,9.385030e-03,9.683027e-03,9.695359e-03,1.000128e-02,1.008608e-02,1.030231e-02,1.048037e-02,1.059797e-02,1.086486e-02,1.088783e-02,1.117151e-02,1.123863e-02,1.144863e-02,1.160083e-02,1.171887e-02,1.195076e-02,1.198194e-02,1.223757e-02,1.228778e-02,1.248553e-02,1.261137e-02,1.272563e-02,1.292112e-02,1.295770e-02,1.318161e-02,1.321667e-02,1.339724e-02,1.349778e-02,1.360451e-02,1.376428e-02,1.380338e-02,1.399381e-02,1.401609e-02,1.417579e-02,1.425320e-02,1.434935e-02,1.447564e-02,1.451452e-02,1.467136e-02,1.468355e-02,1.481994e-02,1.487709e-02,1.496037e-02,1.505648e-02,1.509274e-02,1.521718e-02,1.522200e-02,1.533384e-02,1.537395e-02,1.544285e-02,1.551269e-02,1.554437e-02,1.563858e-02,1.575203e-02,1.585347e-02,1.594334e-02,1.602209e-02,1.609020e-02,1.614813e-02,1.619637e-02,1.623539e-02,1.626568e-02,1.628770e-02,1.630193e-02,1.630883e-02,1.630886e-02,1.630245e-02,1.629004e-02,1.627204e-02,1.624887e-02,1.622091e-02,1.618854e-02,1.615212e-02,1.611199e-02,1.606851e-02,1.602197e-02,1.597268e-02
0.000000e+00,1.220623e-17,1.435966e-16,5.627465e-15,6.405770e-14,1.949999e-13,2.149330e-12,2.343197e-12,1.577038e-11,2.503563e-11,7.360724e-11,1.635487e-10,2.670389e-10,7.420792e-10,8.061096e-10,2.115745e-09,2.621422e-09,4.974883e-09,7.716303e-09,1.070427e-08,1.976414e-08,2.140355e-08,4.023121e-08,4.534273e-08,7.171246e-08,9.506846e-08,1.220548e-07,1.848451e-07,1.994473e-07,3.143207e-07,3.370032e-07,4.795469e-07,5.811739e-07,7.105621e-07,9.547768e-07,1.025403e-06,1.444650e-06,1.503043e-06,1.991273e-06,2.278543e-06,2.690396e-06,3.340247e-06,3.568969e-06,4.655371e-06,4.752136e-06,5.978958e-06,6.581483e-06,7.569566e-06,8.896883e-06,9.456982e-06,1.167041e-05,1.176613e-05,1.423791e-05,1.525405e-05,1.718594e-05,1.942044e-05,2.053877e-05,2.431813e-05,2.854275e-05,2.999128e-05,3.322803e-05,3.647397e-05,3.838578e-05,4.378920e-05,4.402402e-05,5.014681e-05,5.194813e-05,5.675420e-05,6.094975e-05,6.384221e-05,7.078091e-05,7.140291e-05,7.942451e-05,8.141664e-05,8.789159e-05,9.282081e-05,9.678522e-05,1.049470e-04,1.060833e-04,1.157609e-04,1.177396e-04,1.257903e-04,1.311349e-04,1.361418e-04,1.450628e-04,1.467836e-04,1.576824e-04,1.594477e-04,1.688036e-04,1.742105e-04,1.801120e-04,1.892694e-04,1.915717e-04,2.031467e-04,2.045417e-04,2.148009e-04,2.199448e-04,2.264991e-04,2.353975e-04,2.382062e-04,2.498884e-04,2.508209e-04,2.615128e-04,2.661394e-04,2.730481e-04,2.812814e-04,2.844642e-04,2.957327e-04,2.961800e-04,3.068269e-04,3.107733e-04,3.177220e-04,3.250052e-04,3.283951e-04,3.388251e-04,3.489928e-04,3.521883e-04,3.588813e-04,3.650561e-04,3.684751e-04,3.773958e-04,3.777611e-04,3.867279e-04,3.891800e-04,3.953658e-04,4.003873e-04,4.036670e-04,4.110014e-04,4.116253e-04,4.192362e-04,4.210108e-04,4.264967e-04,4.304089e-04,4.334052e-04,4.391933e-04,4.399615e-04,4.461666e-04,4.473657e-04,4.520228e-04,4.549311e-04,4.575333e-04,4.618980e-04,4.627023e-04,4.675350e-04,4.682774e-04,4.720373e-04,4.740829e-04,4.762158e-04,4.793303e-04,4.800778e-04,4.836310e-04,4.840371e-04,4.868839e-04,4.882222e-04,4.898450e-04,4.919059e-04,4.925234e-04,4.949285e-04,4.951093e-04,4.970696e-04,4.978543e-04,4.989565e-04,5.001630e-04,5.005988e-04,5.020065e-04,5.020581e-04,5.031894e-04,5.035620e-04,5.041571e-04,5.046974e-04,5.049196e-04,5.054863e-04,5.059509e-04,5.061125e-04,5.059920e-04,5.056098e-04,5.049856e-04,5.041381e-04,5.030856e-04,5.018455e-04,5.004343e-04,4.988678e-04,4.971610e-04,4.953281e-04,4.933822e-04,4.913362e-04,4.892017e-04,4.869897e-04,4.847109e-04,4.823746e-04,4.799900e-04,4.775655e-04,4.751089e-04,4.726273e-04,4.701275e-04,4.676154e-04
0.000000e+00,4.776120e-18,5.603971e-17,2.186893e-15,2.478999e-14,7.528787e-14,8.245729e-13,8.987044e-13,6.006422e-12,9.515844e-12,2.782624e-11,6.153485e-11,1.001432e-10,2.760839e-10,2.996902e-10,7.792505e-10,9.632347e-10,1.814072e-09,2.797371e-09,3.862545e-09,7.064732e-09,7.640878e-09,1.420981e-08,1.598164e-08,2.506939e-08,3.306400e-08,4.225594e-08,6.351165e-08,6.843465e-08,1.069803e-07,1.145612e-07,1.620404e-07,1.957600e-07,2.385747e-07,3.191233e-07,3.423678e-07,4.800145e-07,4.991489e-07,6.588738e-07,7.526796e-07,8.869953e-07,1.098612e-06,1.173019e-06,1.526055e-06,1.557474e-06,1.955539e-06,2.150888e-06,2.471077e-06,2.900949e-06,3.082279e-06,3.798589e-06,3.829558e-06,4.629115e-06,4.957739e-06,5.582456e-06,6.304964e-06,6.666553e-06,7.888537e-06,9.254600e-06,9.723041e-06,1.076989e-05,1.181988e-05,1.243840e-05,1.418693e-05,1.426293e-05,1.624500e-05,1.682828e-05,1.838487e-05,1.974414e-05,2.068147e-05,2.293081e-05,2.313250e-05,2.573439e-05,2.638079e-05,2.848239e-05,3.008295e-05,3.137064e-05,3.402286e-05,3.439224e-05,3.753934e-05,3.818307e-05,4.080325e-05,4.254355e-05,4.417455e-05,4.708209e-05,4.764319e-05,5.119861e-05,5.177480e-05,5.482986e-05,5.659650e-05,5.852571e-05,6.152123e-05,6.227474e-05,6.606548e-05,6.652263e-05,6.988649e-05,7.157440e-05,7.372644e-05,7.665062e-05,7.757422e-05,8.141900e-05,8.172614e-05,8.525030e-05,8.677677e-05,8.905805e-05,9.177964e-05,9.283266e-05,9.656503e-05,9.671332e-05,1.002466e-04,1.015580e-04,1.038694e-04,1.062956e-04,1.074261e-04,1.109098e-04,1.143145e-04,1.153863e-04,1.176345e-04,1.197125e-04,1.208648e-04,1.238776e-04,1.240012e-04,1.270398e-04,1.278727e-04,1.299775e-04,1.316906e-04,1.328116e-04,1.353256e-04,1.355400e-04,1.381609e-04,1.387739e-04,1.406734e-04,1.420326e-04,1.430766e-04,1.451008e-04,1.453702e-04,1.475544e-04,1.479781e-04,1.496296e-04,1.506659e-04,1.515966e-04,1.531660e-04,1.534564e-04,1.552105e-04,1.554814e-04,1.568603e-04,1.576158e-04,1.584078e-04,1.595734e-04,1.598549e-04,1.612039e-04,1.613593e-04,1.624571e-04,1.629787e-04,1.636168e-04,1.644374e-04,1.646858e-04,1.656666e-04,1.657413e-04,1.665620e-04,1.668968e-04,1.673747e-04,1.679103e-04,1.681076e-04,1.687635e-04,1.687882e-04,1.693452e-04,1.695370e-04,1.698556e-04,1.701633e-04,1.702975e-04,1.706737e-04,1.710744e-04,1.713718e-04,1.715720e-04,1.716811e-04,1.717048e-04,1.716487e-04,1.715184e-04,1.713189e-04,1.710553e-04,1.707324e-04,1.703547e-04,1.699266e-04,1.694523e-04,1.689355e-04,1.683800e-04,1.677894e-04,1.671669e-04,1.665156e-04,1.658385e-04,1.651383e-04,1.644177e-04,1.636789e-04,1.629243e-04,1.621560e-04
0.000000e+00,9.837886e-18,1.159968e-16,4.567838e-15,5.222673e-14,1.593759e-13,1.767972e-12,1.927947e-12,1.305928e-11,2.076801e-11,6.132870e-11,1.367497e-10,2.237951e-10,6.250721e-10,6.792974e-10,1.792188e-09,2.223209e-09,4.234966e-09,6.586443e-09,9.156277e-09,1.697875e-08,1.839811e-08,3.476097e-08,3.921981e-08,6.230906e-08,8.285975e-08,1.067002e-07,1.624915e-07,1.755207e-07,2.786009e-07,2.990607e-07,4.282894e-07,5.210143e-07,6.396645e-07,8.651374e-07,9.306673e-07,1.322145e-06,1.376971e-06,1.837797e-06,2.110730e-06,2.504014e-06,3.128704e-06,3.349641e-06,4.405629e-06,4.500163e-06,5.704624e-06,6.299820e-06,7.280486e-06,8.605924e-06,9.167755e-06,1.140109e-05,1.149810e-05,1.401466e-05,1.505505e-05,1.704158e-05,1.935215e-05,2.051334e-05,2.445920e-05,2.890572e-05,3.043826e-05,3.387628e-05,3.734176e-05,3.939068e-05,4.521089e-05,4.546476e-05,5.211016e-05,5.407435e-05,5.933412e-05,6.394751e-05,6.713931e-05,7.483186e-05,7.552381e-05,8.448111e-05,8.671496e-05,9.400018e-05,9.957067e-05,1.040656e-04,1.133597e-04,1.146578e-04,1.257534e-04,1.280305e-04,1.373251e-04,1.435205e-04,1.493425e-04,1.597572e-04,1.617722e-04,1.745782e-04,1.766595e-04,1.877223e-04,1.941399e-04,2.011646e-04,2.121053e-04,2.148636e-04,2.287771e-04,2.304590e-04,2.428619e-04,2.491023e-04,2.570748e-04,2.679358e-04,2.713728e-04,2.857130e-04,2.868608e-04,3.000537e-04,3.057808e-04,3.143537e-04,3.246024e-04,3.285736e-04,3.426753e-04,3.432364e-04,3.566223e-04,3.615986e-04,3.703801e-04,3.796108e-04,3.839164e-04,3.972008e-04,4.102053e-04,4.143033e-04,4.229041e-04,4.308599e-04,4.352736e-04,4.468191e-04,4.472929e-04,4.589433e-04,4.621370e-04,4.702082e-04,4.767762e-04,4.810736e-04,4.907067e-04,4.915276e-04,5.015604e-04,5.039048e-04,5.111644e-04,5.163532e-04,5.203340e-04,5.280409e-04,5.290654e-04,5.373568e-04,5.389622e-04,5.452078e-04,5.491167e-04,5.526198e-04,5.585087e-04,5.595957e-04,5.661395e-04,5.671467e-04,5.722566e-04,5.750432e-04,5.779536e-04,5.822138e-04,5.832380e-04,5.881183e-04,5.886773e-04,5.926038e-04,5.944549e-04,5.967045e-04,5.995701e-04,6.004309e-04,6.037942e-04,6.040479e-04,6.068059e-04,6.079148e-04,6.094780e-04,6.111985e-04,6.118227e-04,6.138523e-04,6.139271e-04,6.155794e-04,6.161295e-04,6.170165e-04,6.178346e-04,6.181763e-04,6.190714e-04,6.198687e-04,6.202550e-04,6.202580e-04,6.199050e-04,6.192226e-04,6.182363e-04,6.169708e-04,6.154498e-04,6.136963e-04,6.117315e-04,6.095762e-04,6.072498e-04,6.047707e-04,6.021564e-04,5.994231e-04,5.965863e-04,5.936602e-04,5.906583e-04,5.875931e-04,5.844760e-04,5.813178e-04,5.781284e-04,5.749168e-04,5.716915e-04
0.000000e+00,3.740637e-16,4.272284e-15,1.579285e-13,1.709123e-12,5.066617e-12,5.236714e-11,5.694911e-11,3.620568e-10,5.666470e-10,1.611621e-09,3.496082e-09,5.628074e-09,1.521852e-08,1.649783e-08,4.237125e-08,5.227505e-08,9.805900e-08,1.509982e-07,2.083834e-07,3.809747e-07,4.120214e-07,7.654327e-07,8.605253e-07,1.346453e-06,1.771406e-06,2.257206e-06,3.370204e-06,3.626102e-06,5.608787e-06,5.994816e-06,8.388031e-06,1.006535e-05,1.217256e-05,1.607950e-05,1.719488e-05,2.370834e-05,2.460285e-05,3.198338e-05,3.625510e-05,4.230323e-05,5.169298e-05,5.495923e-05,7.024578e-05,7.159113e-05,8.845526e-05,9.662171e-05,1.098729e-04,1.274340e-04,1.347717e-04,1.634079e-04,1.646345e-04,1.960164e-04,2.087691e-04,2.328067e-04,2.603065e-04,2.739599e-04,3.196254e-04,3.699184e-04,3.870037e-04,4.249191e-04,4.626114e-04,4.846703e-04,5.465069e-04,5.491782e-04,6.184115e-04,6.386352e-04,6.923023e-04,7.388309e-04,7.707475e-04,8.468222e-04,8.536100e-04,9.407206e-04,9.622378e-04,1.031881e-03,1.084616e-03,1.126864e-03,1.213414e-03,1.225420e-03,1.327278e-03,1.348020e-03,1.432147e-03,1.487767e-03,1.539721e-03,1.631942e-03,1.649683e-03,1.761705e-03,1.779797e-03,1.875455e-03,1.930569e-03,1.990595e-03,2.083482e-03,2.106788e-03,2.223700e-03,2.237762e-03,2.340999e-03,2.392649e-03,2.458360e-03,2.547401e-03,2.575468e-03,2.692016e-03,2.701307e-03,2.807712e-03,2.853688e-03,2.922274e-03,3.003907e-03,3.035436e-03,3.146948e-03,3.151371e-03,3.256574e-03,3.295535e-03,3.364097e-03,3.435907e-03,3.469314e-03,3.572044e-03,3.672118e-03,3.703556e-03,3.769388e-03,3.830107e-03,3.863721e-03,3.951411e-03,3.955003e-03,4.043134e-03,4.067234e-03,4.128031e-03,4.177389e-03,4.209628e-03,4.281736e-03,4.287871e-03,4.362721e-03,4.380178e-03,4.434155e-03,4.472660e-03,4.502159e-03,4.559165e-03,4.566733e-03,4.627886e-03,4.639708e-03,4.685641e-03,4.714340e-03,4.740027e-03,4.783136e-03,4.791083e-03,4.838857e-03,4.846199e-03,4.883402e-03,4.903655e-03,4.924780e-03,4.955647e-03,4.963058e-03,4.998307e-03,5.002337e-03,5.030605e-03,5.043901e-03,5.060030e-03,5.080525e-03,5.086668e-03,5.110603e-03,5.112404e-03,5.131925e-03,5.139743e-03,5.150724e-03,5.162748e-03,5.167091e-03,5.181118e-03,5.181631e-03,5.192897e-03,5.196606e-03,5.202522e-03,5.207884e-03,5.210085e-03,5.215677e-03,5.220196e-03,5.221645e-03,5.220226e-03,5.216135e-03,5.209565e-03,5.200699e-03,5.189717e-03,5.176789e-03,5.162080e-03,5.145748e-03,5.127941e-03,5.108803e-03,5.088467e-03,5.067062e-03,5.044708e-03,5.021518e-03,4.997601e-03,4.973055e-03,4.947974e-03,4.922447e-03,4.896554e-03,4.870371e-03,4.843968e-03,4.817409e-03
0.000000e+00,1.336574e-15,1.263019e-14,3.174785e-13,2.441364e-12,6.024268e-12,3.930588e-11,4.197049e-11,1.725544e-10,2.406958e-10,5.157070e-10,8.950902e-10,1.249426e-09,2.475212e-09,2.614411e-09,4.915628e-09,5.646944e-09,8.522415e-09,1.127015e-08,1.386335e-08,2.037329e-08,2.141207e-08,3.166606e-08,3.408566e-08,4.512560e-08,5.355420e-08,6.227886e-08,7.988506e-08,8.359368e-08,1.095136e-07,1.141164e-07,1.404554e-07,1.572062e-07,1.768066e-07,2.100227e-07,2.189232e-07,2.671260e-07,2.733332e-07,3.216984e-07,3.477925e-07,3.828841e-07,4.339339e-07,4.508848e-07,5.258598e-07,5.321628e-07,6.079252e-07,6.427547e-07,6.971553e-07,7.658573e-07,7.935829e-07,8.972019e-07,9.014958e-07,1.007969e-06,1.049581e-06,1.125807e-06,1.209922e-06,1.250608e-06,1.382234e-06,1.520526e-06,1.566157e-06,1.665299e-06,1.761263e-06,1.816353e-06,1.967072e-06,1.973471e-06,2.136423e-06,2.183063e-06,2.304970e-06,2.408681e-06,2.478864e-06,2.643351e-06,2.657851e-06,2.841676e-06,2.886485e-06,3.030078e-06,3.137486e-06,3.222799e-06,3.395760e-06,3.419580e-06,3.620164e-06,3.660715e-06,3.824297e-06,3.931766e-06,4.031730e-06,4.208344e-06,4.242217e-06,4.455517e-06,4.489891e-06,4.671396e-06,4.775866e-06,4.889624e-06,5.065748e-06,5.109979e-06,5.332244e-06,5.359034e-06,5.556208e-06,5.655239e-06,5.781670e-06,5.953901e-06,6.008432e-06,6.236305e-06,6.254577e-06,6.465106e-06,6.556847e-06,6.694659e-06,6.860307e-06,6.924794e-06,7.155349e-06,7.164578e-06,7.386168e-06,7.469298e-06,7.617100e-06,7.774125e-06,7.848002e-06,8.078737e-06,8.309173e-06,8.382829e-06,8.539185e-06,8.686114e-06,8.768653e-06,8.988325e-06,8.997463e-06,9.225507e-06,9.289208e-06,9.452681e-06,9.588527e-06,9.678887e-06,9.886061e-06,9.904031e-06,1.012803e-05,1.018160e-05,1.035079e-05,1.047497e-05,1.057224e-05,1.076597e-05,1.079230e-05,1.101091e-05,1.105445e-05,1.122799e-05,1.134025e-05,1.144348e-05,1.162323e-05,1.165734e-05,1.186949e-05,1.190327e-05,1.207989e-05,1.218025e-05,1.228849e-05,1.245405e-05,1.249525e-05,1.270013e-05,1.272459e-05,1.290308e-05,1.299177e-05,1.310408e-05,1.325551e-05,1.330309e-05,1.350007e-05,1.351574e-05,1.369501e-05,1.377241e-05,1.388788e-05,1.402545e-05,1.407866e-05,1.426732e-05,1.427483e-05,1.445386e-05,1.452048e-05,1.463824e-05,1.476239e-05,1.482047e-05,1.500052e-05,1.523486e-05,1.546538e-05,1.569206e-05,1.591492e-05,1.613393e-05,1.634910e-05,1.656045e-05,1.676796e-05,1.697167e-05,1.717158e-05,1.736772e-05,1.756010e-05,1.774875e-05,1.793369e-05,1.811496e-05,1.829258e-05,1.846659e-05,1.863702e-05,1.880391e-05,1.896730e-05,1.912721e-05,1.928371e-05,1.943681e-05,1.958658e-05
0.000000e+00,7.394304e-17,8.602139e-16,3.295061e-14,3.674713e-13,1.106319e-12,1.185765e-11,1.291273e-11,8.460628e-11,1.333600e-10,3.852637e-10,8.442456e-10,1.366317e-09,3.724465e-09,4.039346e-09,1.040064e-08,1.283038e-08,2.402883e-08,3.692712e-08,5.087038e-08,9.269056e-08,1.002049e-07,1.857510e-07,2.087949e-07,3.268438e-07,4.305317e-07,5.495949e-07,8.243924e-07,8.879452e-07,1.384531e-06,1.482005e-06,2.091291e-06,2.522895e-06,3.069779e-06,4.095719e-06,4.391158e-06,6.135853e-06,6.377807e-06,8.392904e-06,9.572988e-06,1.125901e-05,1.390784e-05,1.483730e-05,1.923594e-05,1.962660e-05,2.456647e-05,2.698495e-05,3.094210e-05,3.624320e-05,3.847588e-05,4.727887e-05,4.765893e-05,5.745833e-05,6.147968e-05,6.911593e-05,7.793595e-05,8.234614e-05,9.723470e-05,1.138573e-04,1.195536e-04,1.322783e-04,1.450362e-04,1.525500e-04,1.737886e-04,1.747117e-04,1.987893e-04,2.058764e-04,2.247949e-04,2.413235e-04,2.527266e-04,2.801119e-04,2.825690e-04,3.142931e-04,3.221824e-04,3.478566e-04,3.674359e-04,3.832052e-04,4.157363e-04,4.202727e-04,4.589820e-04,4.669134e-04,4.992462e-04,5.207666e-04,5.409695e-04,5.770689e-04,5.840481e-04,6.283715e-04,6.355710e-04,6.738236e-04,6.960063e-04,7.202840e-04,7.580948e-04,7.676284e-04,8.157305e-04,8.215476e-04,8.644625e-04,8.860710e-04,9.136961e-04,9.513705e-04,9.633036e-04,1.013159e-03,1.017154e-03,1.063138e-03,1.083136e-03,1.113119e-03,1.149040e-03,1.162984e-03,1.212621e-03,1.214600e-03,1.261919e-03,1.279564e-03,1.310776e-03,1.343695e-03,1.359092e-03,1.406774e-03,1.453736e-03,1.468598e-03,1.499895e-03,1.528982e-03,1.545179e-03,1.587763e-03,1.589517e-03,1.632848e-03,1.644792e-03,1.675115e-03,1.699943e-03,1.716268e-03,1.753107e-03,1.756263e-03,1.795063e-03,1.804193e-03,1.832633e-03,1.853126e-03,1.868948e-03,1.899849e-03,1.903985e-03,1.937728e-03,1.944320e-03,1.970164e-03,1.986511e-03,2.001285e-03,2.026410e-03,2.031090e-03,2.059577e-03,2.064014e-03,2.086753e-03,2.099333e-03,2.112624e-03,2.132389e-03,2.137202e-03,2.160501e-03,2.163212e-03,2.182538e-03,2.191840e-03,2.203332e-03,2.218317e-03,2.222905e-03,2.241279e-03,2.242698e-03,2.258480e-03,2.265038e-03,2.274534e-03,2.285399e-03,2.289470e-03,2.303317e-03,2.303849e-03,2.316104e-03,2.320454e-03,2.327863e-03,2.335288e-03,2.338625e-03,2.348422e-03,2.359930e-03,2.369887e-03,2.378367e-03,2.385446e-03,2.391196e-03,2.395691e-03,2.399000e-03,2.401195e-03,2.402343e-03,2.402510e-03,2.401760e-03,2.400155e-03,2.397754e-03,2.394616e-03,2.390794e-03,2.386341e-03,2.381309e-03,2.375744e-03,2.369692e-03,2.363196e-03,2.356297e-03,2.349035e-03,2.341444e-03,2.333561e-03
0.000000e+00,1.432676e-16,1.678430e-15,6.522691e-14,7.367164e-13,2.233097e-12,2.434500e-11,2.652914e-11,1.766562e-10,2.796509e-10,8.165256e-10,1.804538e-09,2.936530e-09,8.103190e-09,8.797406e-09,2.294213e-08,2.838644e-08,5.365872e-08,8.301353e-08,1.149450e-07,2.115113e-07,2.289548e-07,4.288080e-07,4.829421e-07,7.615572e-07,1.007561e-06,1.291053e-06,1.948094e-06,2.100444e-06,3.294092e-06,3.528884e-06,4.998730e-06,6.041474e-06,7.363760e-06,9.845781e-06,1.056064e-05,1.478142e-05,1.536653e-05,2.023641e-05,2.308526e-05,2.715119e-05,3.352839e-05,3.576301e-05,4.631668e-05,4.725228e-05,5.906023e-05,6.482622e-05,7.424035e-05,8.681430e-05,9.209782e-05,1.128630e-04,1.137572e-04,1.367517e-04,1.461548e-04,1.639609e-04,1.844503e-04,1.946658e-04,2.290161e-04,2.671340e-04,2.801433e-04,3.091118e-04,3.380329e-04,3.550108e-04,4.027906e-04,4.048605e-04,4.586580e-04,4.744248e-04,5.163684e-04,5.528467e-04,5.779258e-04,6.378740e-04,6.432340e-04,7.121685e-04,7.292362e-04,7.845784e-04,8.265816e-04,8.602885e-04,9.294871e-04,9.391015e-04,1.020801e-03,1.037467e-03,1.105155e-03,1.149987e-03,1.191916e-03,1.266468e-03,1.280827e-03,1.371622e-03,1.386306e-03,1.464030e-03,1.508878e-03,1.557776e-03,1.633552e-03,1.652586e-03,1.748186e-03,1.759698e-03,1.844306e-03,1.886696e-03,1.940683e-03,2.013943e-03,2.037060e-03,2.133189e-03,2.140861e-03,2.228831e-03,2.266901e-03,2.323761e-03,2.391548e-03,2.417763e-03,2.510635e-03,2.514324e-03,2.602189e-03,2.634792e-03,2.692250e-03,2.752555e-03,2.780655e-03,2.867259e-03,2.951927e-03,2.978592e-03,3.034539e-03,3.086283e-03,3.114990e-03,3.190103e-03,3.193186e-03,3.269048e-03,3.289861e-03,3.342506e-03,3.385404e-03,3.413506e-03,3.476615e-03,3.482002e-03,3.547959e-03,3.563408e-03,3.611354e-03,3.645729e-03,3.672171e-03,3.723553e-03,3.730405e-03,3.786057e-03,3.796878e-03,3.839138e-03,3.865729e-03,3.889663e-03,3.930147e-03,3.937657e-03,3.983147e-03,3.990195e-03,4.026167e-03,4.045951e-03,4.066756e-03,4.097506e-03,4.104957e-03,4.140816e-03,4.144964e-03,4.174382e-03,4.188439e-03,4.205708e-03,4.228052e-03,4.234849e-03,4.261861e-03,4.263932e-03,4.286803e-03,4.296214e-03,4.309735e-03,4.325034e-03,4.330716e-03,4.349808e-03,4.350534e-03,4.367074e-03,4.372854e-03,4.382575e-03,4.392139e-03,4.396373e-03,4.408530e-03,4.422168e-03,4.433193e-03,4.441744e-03,4.447955e-03,4.451957e-03,4.453881e-03,4.453850e-03,4.451986e-03,4.448406e-03,4.443224e-03,4.436548e-03,4.428482e-03,4.419128e-03,4.408582e-03,4.396934e-03,4.384274e-03,4.370685e-03,4.356247e-03,4.341035e-03,4.325121e-03,4.308573e-03,4.291456e-03,4.273832e-03,4.255757e-03
0.000000e+00,7.831435e-15,7.045109e-14,1.610723e-12,1.145882e-11,2.718592e-11,1.619862e-10,1.723843e-10,6.572884e-10,9.002497e-10,1.849203e-09,3.113134e-09,4.266590e-09,8.145386e-09,8.578388e-09,1.560427e-08,1.779900e-08,2.631438e-08,3.433105e-08,4.182239e-08,6.041618e-08,6.336236e-08,9.223899e-08,9.900994e-08,1.297473e-07,1.530638e-07,1.770743e-07,2.251491e-07,2.352113e-07,3.049028e-07,3.171618e-07,3.866383e-07,4.302330e-07,4.806761e-07,5.648128e-07,5.870806e-07,7.057589e-07,7.208159e-07,8.364935e-07,8.977575e-07,9.789675e-07,1.094858e-06,1.132786e-06,1.297492e-06,1.311124e-06,1.472581e-06,1.545404e-06,1.657514e-06,1.796445e-06,1.851727e-06,2.054639e-06,2.062928e-06,2.265664e-06,2.343505e-06,2.484213e-06,2.636826e-06,2.709703e-06,2.941560e-06,3.179226e-06,3.256416e-06,3.422156e-06,3.580150e-06,3.669825e-06,3.911579e-06,3.921731e-06,4.177389e-06,4.249583e-06,4.436341e-06,4.593109e-06,4.698148e-06,4.941176e-06,4.962396e-06,5.228694e-06,5.292869e-06,5.496671e-06,5.647342e-06,5.765980e-06,6.003813e-06,6.036293e-06,6.307304e-06,6.361564e-06,6.578725e-06,6.719937e-06,6.850289e-06,7.078328e-06,7.121744e-06,7.392857e-06,7.436189e-06,7.663411e-06,7.793019e-06,7.933205e-06,8.148367e-06,8.202052e-06,8.469778e-06,8.501822e-06,8.736223e-06,8.853015e-06,9.001240e-06,9.201615e-06,9.264694e-06,9.526459e-06,9.547323e-06,9.786420e-06,9.889876e-06,1.004447e-05,1.022904e-05,1.030052e-05,1.055449e-05,1.056460e-05,1.080628e-05,1.089638e-05,1.105583e-05,1.122422e-05,1.130308e-05,1.154798e-05,1.179046e-05,1.186753e-05,1.203048e-05,1.218279e-05,1.226801e-05,1.249367e-05,1.250302e-05,1.273546e-05,1.280009e-05,1.296533e-05,1.310200e-05,1.319259e-05,1.339935e-05,1.341723e-05,1.363924e-05,1.369213e-05,1.385861e-05,1.398030e-05,1.407533e-05,1.426385e-05,1.428940e-05,1.450082e-05,1.454279e-05,1.470959e-05,1.481711e-05,1.491572e-05,1.508683e-05,1.511921e-05,1.532007e-05,1.535196e-05,1.551831e-05,1.561254e-05,1.571394e-05,1.586858e-05,1.590699e-05,1.609745e-05,1.612013e-05,1.628536e-05,1.636723e-05,1.647072e-05,1.660991e-05,1.665356e-05,1.683389e-05,1.684821e-05,1.701175e-05,1.708220e-05,1.718714e-05,1.731192e-05,1.736010e-05,1.753064e-05,1.753741e-05,1.769879e-05,1.775875e-05,1.786458e-05,1.797597e-05,1.802802e-05,1.818915e-05,1.839834e-05,1.860361e-05,1.880500e-05,1.900258e-05,1.919643e-05,1.938659e-05,1.957312e-05,1.975611e-05,1.993559e-05,2.011165e-05,2.028433e-05,2.045371e-05,2.061983e-05,2.078277e-05,2.094259e-05,2.109933e-05,2.125307e-05,2.140386e-05,2.155176e-05,2.169683e-05,2.183911e-05,2.197868e-05,2.211557e-05,2.224985e-05
0.000000e+00,1.078693e-16,1.260472e-15,4.870581e-14,5.471186e-13,1.653243e-12,1.787168e-11,1.946809e-11,1.284612e-10,2.028260e-10,5.881566e-10,1.292193e-09,2.094339e-09,5.724201e-09,6.209314e-09,1.601713e-08,1.976495e-08,3.703996e-08,5.693345e-08,7.843041e-08,1.428488e-07,1.544145e-07,2.859033e-07,3.212705e-07,5.021396e-07,6.606225e-07,8.422152e-07,1.259937e-06,1.356295e-06,2.106414e-06,2.253124e-06,3.166746e-06,3.810720e-06,4.623321e-06,6.138740e-06,6.573163e-06,9.122890e-06,9.474534e-06,1.238688e-05,1.408007e-05,1.648504e-05,2.023316e-05,2.154034e-05,2.767613e-05,2.821732e-05,3.501345e-05,3.831102e-05,4.366833e-05,5.077696e-05,5.374927e-05,6.535482e-05,6.585202e-05,7.857153e-05,8.373842e-05,9.347213e-05,1.045964e-04,1.101141e-04,1.285386e-04,1.487696e-04,1.556266e-04,1.708137e-04,1.858692e-04,1.946602e-04,2.192226e-04,2.202810e-04,2.476317e-04,2.555921e-04,2.766523e-04,2.948357e-04,3.072681e-04,3.367685e-04,3.393915e-04,3.729229e-04,3.811680e-04,4.077526e-04,4.277804e-04,4.437620e-04,4.763269e-04,4.808260e-04,5.188136e-04,5.265102e-04,5.575905e-04,5.780211e-04,5.970199e-04,6.305444e-04,6.369645e-04,6.772872e-04,6.837649e-04,7.178533e-04,7.373726e-04,7.585308e-04,7.910667e-04,7.991916e-04,8.397127e-04,8.445602e-04,8.799766e-04,8.975824e-04,9.198722e-04,9.498819e-04,9.592949e-04,9.981474e-04,1.001228e-03,1.036340e-03,1.051413e-03,1.073790e-03,1.100251e-03,1.110422e-03,1.146170e-03,1.147581e-03,1.180974e-03,1.193263e-03,1.214783e-03,1.237180e-03,1.247550e-03,1.279238e-03,1.309815e-03,1.319362e-03,1.339258e-03,1.357496e-03,1.367546e-03,1.393604e-03,1.394666e-03,1.420611e-03,1.427664e-03,1.445377e-03,1.459671e-03,1.468965e-03,1.489631e-03,1.491382e-03,1.512636e-03,1.517565e-03,1.532739e-03,1.543501e-03,1.551709e-03,1.567479e-03,1.569563e-03,1.586322e-03,1.589544e-03,1.602009e-03,1.609750e-03,1.616648e-03,1.628156e-03,1.630267e-03,1.642893e-03,1.644823e-03,1.654554e-03,1.659818e-03,1.665281e-03,1.673209e-03,1.675103e-03,1.684050e-03,1.685067e-03,1.692155e-03,1.695462e-03,1.699447e-03,1.704466e-03,1.705959e-03,1.711721e-03,1.712150e-03,1.716764e-03,1.718586e-03,1.721118e-03,1.723843e-03,1.724813e-03,1.727880e-03,1.727990e-03,1.730346e-03,1.731093e-03,1.732241e-03,1.733218e-03,1.733593e-03,1.734428e-03,1.734784e-03,1.734344e-03,1.733166e-03,1.731303e-03,1.728807e-03,1.725727e-03,1.722111e-03,1.718003e-03,1.713445e-03,1.708478e-03,1.703139e-03,1.697465e-03,1.691488e-03,1.685241e-03,1.678754e-03,1.672053e-03,1.665167e-03,1.658119e-03,1.650931e-03,1.643627e-03,1.636224e-03,1.628743e-03,1.621199e-03,1.613610e-03
0.000000e+00,1.256543e-18,1.478682e-17,5.801375e-16,6.615005e-15,2.016398e-14,2.234159e-13,2.436350e-13,1.653950e-12,2.633697e-12,7.815365e-12,1.752777e-11,2.882163e-11,8.160921e-11,8.880998e-11,2.388548e-10,2.978295e-10,5.772743e-10,9.100495e-10,1.278945e-09,2.423596e-09,2.633844e-09,5.093098e-09,5.771468e-09,9.319041e-09,1.250951e-08,1.623492e-08,2.501228e-08,2.706963e-08,4.339363e-08,4.663897e-08,6.714298e-08,8.184469e-08,1.006297e-07,1.362213e-07,1.465375e-07,2.079042e-07,2.164634e-07,2.880891e-07,3.302607e-07,3.907305e-07,4.861275e-07,5.196921e-07,6.790030e-07,6.931822e-07,8.727909e-07,9.608916e-07,1.105214e-06,1.298796e-06,1.380390e-06,1.702327e-06,1.716232e-06,2.074858e-06,2.222056e-06,2.501579e-06,2.824400e-06,2.985789e-06,3.530445e-06,4.138115e-06,4.346240e-06,4.810943e-06,5.276550e-06,5.550624e-06,6.324754e-06,6.358383e-06,7.234964e-06,7.492786e-06,8.180626e-06,8.781109e-06,9.195146e-06,1.018873e-05,1.027783e-05,1.142753e-05,1.171326e-05,1.264266e-05,1.335099e-05,1.392124e-05,1.509698e-05,1.526088e-05,1.665887e-05,1.694520e-05,1.811217e-05,1.888867e-05,1.961749e-05,2.091957e-05,2.117128e-05,2.276980e-05,2.302945e-05,2.440914e-05,2.520934e-05,2.608527e-05,2.744990e-05,2.779407e-05,2.953137e-05,2.974156e-05,3.129295e-05,3.207467e-05,3.307464e-05,3.443959e-05,3.487225e-05,3.668170e-05,3.682685e-05,3.849897e-05,3.922718e-05,4.032014e-05,4.163166e-05,4.214141e-05,4.395914e-05,4.403173e-05,4.576982e-05,4.641929e-05,4.757011e-05,4.878674e-05,4.935683e-05,5.112699e-05,5.287777e-05,5.343350e-05,5.460656e-05,5.570030e-05,5.631091e-05,5.792200e-05,5.798857e-05,5.963749e-05,6.009377e-05,6.125577e-05,6.221133e-05,6.284173e-05,6.427094e-05,6.439383e-05,6.591072e-05,6.626939e-05,6.739120e-05,6.820398e-05,6.883425e-05,7.007246e-05,7.023898e-05,7.160466e-05,7.187305e-05,7.293069e-05,7.360439e-05,7.421660e-05,7.526552e-05,7.546206e-05,7.666683e-05,7.685581e-05,7.783079e-05,7.837499e-05,7.895393e-05,7.982309e-05,8.003631e-05,8.107810e-05,8.120040e-05,8.207954e-05,8.250747e-05,8.304094e-05,8.374505e-05,8.396267e-05,8.484519e-05,8.491411e-05,8.568898e-05,8.601578e-05,8.649460e-05,8.705134e-05,8.726263e-05,8.799370e-05,8.802218e-05,8.868848e-05,8.892984e-05,8.934765e-05,8.977591e-05,8.997194e-05,9.056209e-05,9.129010e-05,9.196174e-05,9.257884e-05,9.314322e-05,9.365676e-05,9.412131e-05,9.453872e-05,9.491084e-05,9.523951e-05,9.552654e-05,9.577370e-05,9.598275e-05,9.615541e-05,9.629336e-05,9.639825e-05,9.647167e-05,9.651518e-05,9.653031e-05,9.651851e-05,9.648121e-05,9.641981e-05,9.633563e-05,9.622996e-05,9.610405e-05
0.000000e+00,1.020867e-17,1.197409e-16,4.665071e-15,5.280904e-14,1.602701e-13,1.752715e-12,1.910199e-12,1.275725e-11,2.021028e-11,5.911569e-11,1.308169e-10,2.130410e-10,5.886945e-10,6.391905e-10,1.668263e-09,2.064331e-09,3.902117e-09,6.035005e-09,8.353004e-09,1.535169e-08,1.661435e-08,3.105457e-08,3.495910e-08,5.502046e-08,7.269648e-08,9.303388e-08,1.400733e-07,1.509656e-07,2.361724e-07,2.529108e-07,3.575850e-07,4.317566e-07,5.257411e-07,7.020127e-07,7.527576e-07,1.052244e-06,1.093750e-06,1.439158e-06,1.641213e-06,1.929610e-06,2.382044e-06,2.540618e-06,3.289833e-06,3.356278e-06,4.195236e-06,4.605165e-06,5.274811e-06,6.169890e-06,6.546219e-06,8.026472e-06,8.090257e-06,9.731617e-06,1.040342e-05,1.167644e-05,1.314267e-05,1.387421e-05,1.633642e-05,1.907261e-05,2.000733e-05,2.209019e-05,2.417161e-05,2.539436e-05,2.883865e-05,2.898797e-05,3.287155e-05,3.401072e-05,3.704328e-05,3.968302e-05,4.149906e-05,4.584385e-05,4.623256e-05,5.123533e-05,5.247495e-05,5.649698e-05,5.955208e-05,6.200526e-05,6.704558e-05,6.774630e-05,7.370477e-05,7.492111e-05,7.986406e-05,8.314044e-05,8.620653e-05,9.166225e-05,9.271368e-05,9.936633e-05,1.004430e-04,1.061449e-04,1.094374e-04,1.130294e-04,1.185998e-04,1.199998e-04,1.270364e-04,1.278843e-04,1.341193e-04,1.372455e-04,1.412292e-04,1.466392e-04,1.483473e-04,1.554554e-04,1.560231e-04,1.625360e-04,1.653567e-04,1.695722e-04,1.746020e-04,1.765483e-04,1.834492e-04,1.837235e-04,1.902610e-04,1.926889e-04,1.969706e-04,2.014685e-04,2.035659e-04,2.100359e-04,2.163707e-04,2.183678e-04,2.225613e-04,2.264438e-04,2.285996e-04,2.342466e-04,2.344786e-04,2.401923e-04,2.417617e-04,2.457352e-04,2.489773e-04,2.511032e-04,2.558843e-04,2.562928e-04,2.613011e-04,2.624759e-04,2.661263e-04,2.687479e-04,2.707670e-04,2.746977e-04,2.752226e-04,2.794931e-04,2.803251e-04,2.835791e-04,2.856312e-04,2.874815e-04,2.906189e-04,2.912020e-04,2.947425e-04,2.952924e-04,2.981054e-04,2.996572e-04,3.012932e-04,3.037196e-04,3.043092e-04,3.071565e-04,3.074870e-04,3.098387e-04,3.109675e-04,3.123595e-04,3.141697e-04,3.147228e-04,3.169326e-04,3.171029e-04,3.189932e-04,3.197767e-04,3.209089e-04,3.222008e-04,3.226839e-04,3.243226e-04,3.243854e-04,3.258295e-04,3.263406e-04,3.272091e-04,3.280767e-04,3.284658e-04,3.296039e-04,3.309323e-04,3.320719e-04,3.330326e-04,3.338239e-04,3.344554e-04,3.349361e-04,3.352750e-04,3.354805e-04,3.355611e-04,3.355247e-04,3.353789e-04,3.351311e-04,3.347884e-04,3.343575e-04,3.338447e-04,3.332563e-04,3.325980e-04,3.318753e-04,3.310934e-04,3.302574e-04,3.293718e-04,3.284412e-04,3.274697e-04,3.264612e-04
0.000000e+00,5.416913e-18,6.192453e-17,2.285309e-15,2.460649e-14,7.262956e-14,7.384120e-13,8.023487e-13,4.976145e-12,7.724151e-12,2.145307e-11,4.550104e-11,7.205964e-11,1.869427e-10,2.018821e-10,4.929479e-10,6.004857e-10,1.080936e-09,1.613975e-09,2.174097e-09,3.790003e-09,4.072877e-09,7.188020e-09,8.001808e-09,1.205479e-08,1.549417e-08,1.934130e-08,2.791512e-08,2.984993e-08,4.451190e-08,4.731179e-08,6.437564e-08,7.609204e-08,9.059048e-08,1.169597e-07,1.243867e-07,1.670535e-07,1.728323e-07,2.199160e-07,2.467505e-07,2.843127e-07,3.417869e-07,3.615726e-07,4.529947e-07,4.609581e-07,5.598280e-07,6.071437e-07,6.832537e-07,7.830141e-07,8.243694e-07,9.841752e-07,9.909692e-07,1.163562e-06,1.233087e-06,1.363302e-06,1.511086e-06,1.584042e-06,1.826295e-06,2.090444e-06,2.179640e-06,2.376735e-06,2.571638e-06,2.685280e-06,3.002405e-06,3.016062e-06,3.368937e-06,3.471668e-06,3.743642e-06,3.978791e-06,4.139800e-06,4.522802e-06,4.556931e-06,4.994459e-06,5.102429e-06,5.451723e-06,5.716139e-06,5.927984e-06,6.362171e-06,6.422438e-06,6.934224e-06,7.038581e-06,7.462434e-06,7.743281e-06,8.006122e-06,8.474069e-06,8.564314e-06,9.136014e-06,9.228673e-06,9.720215e-06,1.000477e-05,1.031590e-05,1.080004e-05,1.092206e-05,1.153769e-05,1.161215e-05,1.216178e-05,1.243881e-05,1.279336e-05,1.327779e-05,1.343148e-05,1.407519e-05,1.412691e-05,1.472360e-05,1.498407e-05,1.537580e-05,1.584727e-05,1.603097e-05,1.668827e-05,1.671460e-05,1.734693e-05,1.758423e-05,1.800618e-05,1.845445e-05,1.866532e-05,1.932365e-05,1.998053e-05,2.019033e-05,2.063535e-05,2.105307e-05,2.128750e-05,2.191056e-05,2.193645e-05,2.258168e-05,2.276160e-05,2.322268e-05,2.360507e-05,2.385902e-05,2.443995e-05,2.449025e-05,2.511597e-05,2.526529e-05,2.573582e-05,2.608024e-05,2.634944e-05,2.688402e-05,2.695652e-05,2.755675e-05,2.767595e-05,2.814986e-05,2.845538e-05,2.873560e-05,2.922175e-05,2.931374e-05,2.988406e-05,2.997458e-05,3.044639e-05,3.071342e-05,3.100055e-05,3.143789e-05,3.154638e-05,3.208375e-05,3.214766e-05,3.261254e-05,3.284246e-05,3.313264e-05,3.352204e-05,3.364396e-05,3.414642e-05,3.418623e-05,3.463996e-05,3.483487e-05,3.512453e-05,3.546784e-05,3.560009e-05,3.606660e-05,3.608508e-05,3.652406e-05,3.668652e-05,3.697244e-05,3.727216e-05,3.741176e-05,3.784201e-05,3.839610e-05,3.893448e-05,3.945725e-05,3.996450e-05,4.045634e-05,4.093292e-05,4.139438e-05,4.184088e-05,4.227259e-05,4.268970e-05,4.309241e-05,4.348092e-05,4.385544e-05,4.421618e-05,4.456338e-05,4.489725e-05,4.521804e-05,4.552599e-05,4.582132e-05,4.610429e-05,4.637514e-05,4.663411e-05,4.688146e-05,4.711742e-05
0.000000e+00,1.434646e-17,1.687499e-16,6.620522e-15,7.542907e-14,2.297319e-13,2.535214e-12,2.764009e-12,1.861959e-11,2.956401e-11,8.694521e-11,1.931865e-10,3.153944e-10,8.758677e-10,9.513601e-10,2.493335e-09,3.087855e-09,5.850196e-09,9.060752e-09,1.255367e-08,2.311705e-08,2.502522e-08,4.689278e-08,5.281876e-08,8.334509e-08,1.103411e-07,1.415047e-07,2.139538e-07,2.307960e-07,3.632816e-07,3.894457e-07,5.539431e-07,6.713180e-07,8.208850e-07,1.103588e-06,1.185443e-06,1.672189e-06,1.740093e-06,2.308828e-06,2.644227e-06,3.125978e-06,3.888086e-06,4.156847e-06,5.436823e-06,5.551084e-06,7.002969e-06,7.718083e-06,8.893458e-06,1.047715e-05,1.114696e-05,1.380199e-05,1.391708e-05,1.689626e-05,1.812476e-05,2.046602e-05,2.318258e-05,2.454542e-05,2.916592e-05,3.435578e-05,3.614090e-05,4.013953e-05,4.416242e-05,4.653760e-05,5.327258e-05,5.356598e-05,6.123594e-05,6.349950e-05,6.955392e-05,7.485657e-05,7.852139e-05,8.734216e-05,8.813484e-05,9.838591e-05,1.009397e-04,1.092615e-04,1.156181e-04,1.207438e-04,1.313327e-04,1.328108e-04,1.454366e-04,1.480262e-04,1.585914e-04,1.656301e-04,1.722422e-04,1.840660e-04,1.863531e-04,2.008856e-04,2.032472e-04,2.157991e-04,2.230807e-04,2.310516e-04,2.434684e-04,2.465995e-04,2.623984e-04,2.643090e-04,2.784036e-04,2.854996e-04,2.945701e-04,3.069369e-04,3.108531e-04,3.272086e-04,3.285189e-04,3.435931e-04,3.501456e-04,3.599645e-04,3.717208e-04,3.762819e-04,3.925060e-04,3.931525e-04,4.085991e-04,4.143537e-04,4.245256e-04,4.352431e-04,4.402517e-04,4.557459e-04,4.709787e-04,4.757934e-04,4.859228e-04,4.953240e-04,5.005534e-04,5.142827e-04,5.148477e-04,5.287853e-04,5.326214e-04,5.423480e-04,5.502989e-04,5.555198e-04,5.672806e-04,5.682868e-04,5.806371e-04,5.835380e-04,5.925610e-04,5.990490e-04,6.040504e-04,6.137969e-04,6.150994e-04,6.257035e-04,6.277706e-04,6.358599e-04,6.409638e-04,6.455674e-04,6.533750e-04,6.548263e-04,6.636382e-04,6.650067e-04,6.720058e-04,6.758656e-04,6.799331e-04,6.859613e-04,6.874251e-04,6.944878e-04,6.953067e-04,7.011278e-04,7.039175e-04,7.073528e-04,7.118113e-04,7.131710e-04,7.185912e-04,7.190079e-04,7.236227e-04,7.255287e-04,7.282754e-04,7.313964e-04,7.325593e-04,7.364851e-04,7.366348e-04,7.400633e-04,7.412685e-04,7.433050e-04,7.453227e-04,7.462211e-04,7.488229e-04,7.517947e-04,7.542642e-04,7.562567e-04,7.577976e-04,7.589120e-04,7.596240e-04,7.599580e-04,7.599368e-04,7.595833e-04,7.589191e-04,7.579655e-04,7.567428e-04,7.552704e-04,7.535672e-04,7.516511e-04,7.495390e-04,7.472473e-04,7.447913e-04,7.421858e-04,7.394446e-04,7.365809e-04,7.336069e-04,7.305345e-04,7.273746e-04
0.000000e+00,8.751530e-15,7.987812e-14,1.878581e-12,1.368348e-11,3.286277e-11,2.017393e-10,2.149424e-10,8.433734e-10,1.164302e-09,2.441516e-09,4.184573e-09,5.806827e-09,1.142781e-08,1.206849e-08,2.274441e-08,2.616764e-08,3.973098e-08,5.278987e-08,6.515352e-08,9.618388e-08,1.011224e-07,1.495375e-07,1.608614e-07,2.120172e-07,2.505247e-07,2.899195e-07,3.681206e-07,3.843918e-07,4.964132e-07,5.160228e-07,6.268181e-07,6.961530e-07,7.763071e-07,9.100250e-07,9.454482e-07,1.134676e-06,1.158749e-06,1.344291e-06,1.443028e-06,1.574457e-06,1.763152e-06,1.825206e-06,2.096440e-06,2.119018e-06,2.387941e-06,2.510144e-06,2.699375e-06,2.935709e-06,3.030307e-06,3.380210e-06,3.394592e-06,3.748477e-06,3.885421e-06,4.134435e-06,4.406619e-06,4.537352e-06,4.956452e-06,5.390926e-06,5.533069e-06,5.839938e-06,6.134543e-06,6.302638e-06,6.758909e-06,6.778165e-06,7.265658e-06,7.404183e-06,7.764258e-06,8.068396e-06,8.273116e-06,8.749606e-06,8.791396e-06,9.318277e-06,9.445919e-06,9.852959e-06,1.015550e-05,1.039466e-05,1.087657e-05,1.094263e-05,1.149614e-05,1.160744e-05,1.205448e-05,1.234650e-05,1.261697e-05,1.309219e-05,1.318296e-05,1.375183e-05,1.384307e-05,1.432297e-05,1.459776e-05,1.489582e-05,1.535496e-05,1.546983e-05,1.604449e-05,1.611347e-05,1.661929e-05,1.687213e-05,1.719377e-05,1.762988e-05,1.776748e-05,1.834000e-05,1.838574e-05,1.891094e-05,1.913878e-05,1.947991e-05,1.988815e-05,2.004656e-05,2.061055e-05,2.063305e-05,2.117157e-05,2.137276e-05,2.172933e-05,2.210659e-05,2.228354e-05,2.283394e-05,2.338030e-05,2.355424e-05,2.392237e-05,2.426696e-05,2.445996e-05,2.497164e-05,2.499287e-05,2.552091e-05,2.566786e-05,2.604391e-05,2.635523e-05,2.656172e-05,2.703340e-05,2.707420e-05,2.758121e-05,2.770207e-05,2.808264e-05,2.836096e-05,2.857838e-05,2.900984e-05,2.906832e-05,2.955239e-05,2.964849e-05,3.003049e-05,3.027673e-05,3.050257e-05,3.089441e-05,3.096855e-05,3.142839e-05,3.150139e-05,3.188204e-05,3.209758e-05,3.232946e-05,3.268288e-05,3.277061e-05,3.320548e-05,3.325724e-05,3.363405e-05,3.382061e-05,3.405629e-05,3.437297e-05,3.447221e-05,3.488180e-05,3.491429e-05,3.528506e-05,3.544459e-05,3.568200e-05,3.596389e-05,3.607263e-05,3.645697e-05,3.647221e-05,3.683503e-05,3.696961e-05,3.720685e-05,3.745613e-05,3.757244e-05,3.793184e-05,3.839682e-05,3.885114e-05,3.929491e-05,3.972821e-05,4.015115e-05,4.056385e-05,4.096641e-05,4.135896e-05,4.174161e-05,4.211451e-05,4.247778e-05,4.283155e-05,4.317596e-05,4.351115e-05,4.383726e-05,4.415443e-05,4.446281e-05,4.476254e-05,4.505376e-05,4.533661e-05,4.561126e-05,4.587783e-05,4.613647e-05,4.638733e-05
0.000000e+00,1.622102e-15,1.770382e-14,6.030240e-13,6.129494e-12,1.762301e-11,1.699253e-10,1.843163e-10,1.104885e-09,1.703725e-09,4.674310e-09,9.857658e-09,1.558242e-08,4.045075e-08,4.369816e-08,1.074947e-07,1.312789e-07,2.386094e-07,3.592873e-07,4.874975e-07,8.633932e-07,9.299469e-07,1.674052e-06,1.871274e-06,2.867175e-06,3.727168e-06,4.702419e-06,6.917470e-06,7.424214e-06,1.133267e-05,1.209128e-05,1.678646e-05,2.007378e-05,2.420407e-05,3.187121e-05,3.406325e-05,4.689874e-05,4.866640e-05,6.329824e-05,7.180517e-05,8.389670e-05,1.027739e-04,1.093692e-04,1.404222e-04,1.431693e-04,1.777845e-04,1.946617e-04,2.221962e-04,2.589538e-04,2.743981e-04,3.351201e-04,3.377363e-04,4.050703e-04,4.326427e-04,4.849237e-04,5.452048e-04,5.753113e-04,6.768109e-04,7.899374e-04,8.286682e-04,9.151354e-04,1.001770e-03,1.052772e-03,1.196870e-03,1.203131e-03,1.366411e-03,1.414461e-03,1.542717e-03,1.654764e-03,1.732065e-03,1.917720e-03,1.934379e-03,2.149491e-03,2.202996e-03,2.377145e-03,2.509985e-03,2.616997e-03,2.837823e-03,2.868624e-03,3.131524e-03,3.185408e-03,3.405124e-03,3.551415e-03,3.688786e-03,3.934329e-03,3.981813e-03,4.283456e-03,4.332467e-03,4.592923e-03,4.744004e-03,4.909384e-03,5.167010e-03,5.231977e-03,5.559821e-03,5.599472e-03,5.892016e-03,6.039328e-03,6.227657e-03,6.484489e-03,6.565834e-03,6.905642e-03,6.932871e-03,7.246188e-03,7.382415e-03,7.586591e-03,7.831111e-03,7.925994e-03,8.263564e-03,8.277017e-03,8.598497e-03,8.718277e-03,8.930020e-03,9.153132e-03,9.257399e-03,9.579936e-03,9.896975e-03,9.997165e-03,1.020790e-02,1.040342e-02,1.051215e-02,1.079745e-02,1.080919e-02,1.109853e-02,1.117811e-02,1.137976e-02,1.154443e-02,1.165247e-02,1.189555e-02,1.191632e-02,1.217102e-02,1.223075e-02,1.241629e-02,1.254945e-02,1.265193e-02,1.285119e-02,1.287777e-02,1.309366e-02,1.313564e-02,1.329952e-02,1.340257e-02,1.349527e-02,1.365187e-02,1.368089e-02,1.385638e-02,1.388352e-02,1.402178e-02,1.409761e-02,1.417715e-02,1.429429e-02,1.432259e-02,1.445819e-02,1.447381e-02,1.458412e-02,1.463649e-02,1.470051e-02,1.478270e-02,1.480754e-02,1.490541e-02,1.491285e-02,1.499433e-02,1.502744e-02,1.507452e-02,1.512697e-02,1.514620e-02,1.520962e-02,1.521199e-02,1.526504e-02,1.528308e-02,1.531271e-02,1.534084e-02,1.535290e-02,1.538587e-02,1.541879e-02,1.544025e-02,1.545087e-02,1.545127e-02,1.544209e-02,1.542393e-02,1.539741e-02,1.536312e-02,1.532162e-02,1.527349e-02,1.521925e-02,1.515943e-02,1.509454e-02,1.502504e-02,1.495141e-02,1.487408e-02,1.479346e-02,1.470995e-02,1.462393e-02,1.453573e-02,1.444570e-02,1.435414e-02,1.426134e-02,1.416758e-02
0.000000e+00,5.023771e-12,1.609690e-11,8.929147e-11,2.764702e-10,4.639165e-10,1.422924e-09,1.481797e-09,3.649311e-09,4.550709e-09,7.650809e-09,1.128684e-08,1.435359e-08,2.374167e-08,2.472973e-08,3.972377e-08,4.410619e-08,6.018857e-08,7.432772e-08,8.689240e-08,1.161113e-07,1.205369e-07,1.617641e-07,1.709718e-07,2.111552e-07,2.402385e-07,2.692244e-07,3.250333e-07,3.364119e-07,4.130784e-07,4.262444e-07,4.995008e-07,5.445084e-07,5.958709e-07,6.802042e-07,7.022960e-07,8.188021e-07,8.334586e-07,9.453384e-07,1.004163e-06,1.081784e-06,1.191998e-06,1.227954e-06,1.383610e-06,1.396464e-06,1.548463e-06,1.616908e-06,1.722187e-06,1.852561e-06,1.904423e-06,2.094787e-06,2.102565e-06,2.292875e-06,2.365998e-06,2.498272e-06,2.641900e-06,2.710553e-06,2.929291e-06,3.154058e-06,3.227187e-06,3.384429e-06,3.534614e-06,3.619986e-06,3.850618e-06,3.860317e-06,4.105021e-06,4.174268e-06,4.353706e-06,4.504669e-06,4.605993e-06,4.840962e-06,4.861514e-06,5.119918e-06,5.182325e-06,5.380862e-06,5.527979e-06,5.644021e-06,5.877185e-06,5.909082e-06,6.175745e-06,6.229245e-06,6.443724e-06,6.583503e-06,6.712748e-06,6.939344e-06,6.982555e-06,7.252901e-06,7.296190e-06,7.523550e-06,7.653503e-06,7.794280e-06,8.010781e-06,8.064882e-06,8.335155e-06,8.367557e-06,8.604913e-06,8.723397e-06,8.873977e-06,9.077900e-06,9.142182e-06,9.409368e-06,9.430694e-06,9.675389e-06,9.781440e-06,9.940106e-06,1.012982e-05,1.020339e-05,1.046512e-05,1.047555e-05,1.072517e-05,1.081837e-05,1.098346e-05,1.115802e-05,1.123987e-05,1.149431e-05,1.174670e-05,1.182702e-05,1.199697e-05,1.215599e-05,1.224503e-05,1.248104e-05,1.249083e-05,1.273430e-05,1.280205e-05,1.297539e-05,1.311887e-05,1.321404e-05,1.343141e-05,1.345021e-05,1.368386e-05,1.373955e-05,1.391495e-05,1.404323e-05,1.414345e-05,1.434236e-05,1.436932e-05,1.459256e-05,1.463688e-05,1.481312e-05,1.492676e-05,1.503100e-05,1.521193e-05,1.524618e-05,1.545864e-05,1.549238e-05,1.566838e-05,1.576809e-05,1.587539e-05,1.603903e-05,1.607967e-05,1.628120e-05,1.630520e-05,1.648000e-05,1.656661e-05,1.667607e-05,1.682325e-05,1.686940e-05,1.706001e-05,1.707514e-05,1.724790e-05,1.732230e-05,1.743308e-05,1.756474e-05,1.761557e-05,1.779537e-05,1.780250e-05,1.797249e-05,1.803561e-05,1.814697e-05,1.826410e-05,1.831879e-05,1.848800e-05,1.870736e-05,1.892223e-05,1.913264e-05,1.933865e-05,1.954031e-05,1.973767e-05,1.993078e-05,2.011970e-05,2.030448e-05,2.048519e-05,2.066187e-05,2.083460e-05,2.100342e-05,2.116840e-05,2.132960e-05,2.148707e-05,2.164089e-05,2.179111e-05,2.193778e-05,2.208098e-05,2.222076e-05,2.235718e-05,2.249030e-05,2.262018e-05
0.000000e+00,1.154045e-11,4.873558e-11,3.640230e-10,1.299462e-09,2.302904e-09,7.823526e-09,8.174904e-09,2.164627e-08,2.746636e-08,4.814152e-08,7.341125e-08,9.543982e-08,1.663701e-07,1.741132e-07,2.970858e-07,3.347072e-07,4.777984e-07,6.087032e-07,7.279880e-07,1.012862e-06,1.056688e-06,1.470481e-06,1.563895e-06,1.974126e-06,2.272719e-06,2.571075e-06,3.146446e-06,3.263793e-06,4.053936e-06,4.189472e-06,4.942451e-06,5.403991e-06,5.929639e-06,6.790250e-06,7.015198e-06,8.198265e-06,8.346726e-06,9.477465e-06,1.007031e-05,1.085095e-05,1.195649e-05,1.231647e-05,1.387140e-05,1.399957e-05,1.551281e-05,1.619289e-05,1.723754e-05,1.852904e-05,1.904220e-05,2.092325e-05,2.100003e-05,2.287705e-05,2.359750e-05,2.489984e-05,2.631284e-05,2.698787e-05,2.913733e-05,3.134443e-05,3.206226e-05,3.360540e-05,3.507898e-05,3.591654e-05,3.817901e-05,3.827416e-05,4.067469e-05,4.135404e-05,4.311460e-05,4.459601e-05,4.559046e-05,4.789713e-05,4.809893e-05,5.063676e-05,5.124986e-05,5.320081e-05,5.464699e-05,5.578803e-05,5.808160e-05,5.839547e-05,6.102029e-05,6.154709e-05,6.365974e-05,6.503716e-05,6.631119e-05,6.854582e-05,6.897209e-05,7.164001e-05,7.206737e-05,7.431259e-05,7.559643e-05,7.698760e-05,7.912790e-05,7.966288e-05,8.233636e-05,8.265697e-05,8.500609e-05,8.617909e-05,8.767018e-05,8.969001e-05,9.032684e-05,9.297437e-05,9.318572e-05,9.561112e-05,9.666246e-05,9.823557e-05,1.001167e-04,1.008462e-04,1.034417e-04,1.035452e-04,1.060208e-04,1.069449e-04,1.085820e-04,1.103130e-04,1.111244e-04,1.136467e-04,1.161480e-04,1.169438e-04,1.186272e-04,1.202019e-04,1.210834e-04,1.234190e-04,1.235158e-04,1.259236e-04,1.265932e-04,1.283059e-04,1.297229e-04,1.306622e-04,1.328063e-04,1.329917e-04,1.352938e-04,1.358422e-04,1.375681e-04,1.388293e-04,1.398139e-04,1.417664e-04,1.420309e-04,1.442185e-04,1.446525e-04,1.463765e-04,1.474868e-04,1.485045e-04,1.502686e-04,1.506021e-04,1.526692e-04,1.529971e-04,1.547054e-04,1.556718e-04,1.567106e-04,1.582923e-04,1.586846e-04,1.606273e-04,1.608583e-04,1.625385e-04,1.633695e-04,1.644182e-04,1.658256e-04,1.662663e-04,1.680827e-04,1.682267e-04,1.698676e-04,1.705726e-04,1.716208e-04,1.728635e-04,1.733424e-04,1.750325e-04,1.750995e-04,1.766912e-04,1.772806e-04,1.783185e-04,1.794072e-04,1.799145e-04,1.814795e-04,1.834978e-04,1.854626e-04,1.873742e-04,1.892331e-04,1.910398e-04,1.927948e-04,1.944987e-04,1.961521e-04,1.977555e-04,1.993097e-04,2.008152e-04,2.022728e-04,2.036831e-04,2.050469e-04,2.063648e-04,2.076377e-04,2.088662e-04,2.100511e-04,2.111932e-04,2.122932e-04,2.133520e-04,2.143702e-04,2.153486e-04,2.162881e-04
0.000000e+00,2.377945e-17,2.766021e-16,1.058555e-14,1.178650e-13,3.544325e-13,3.783834e-12,4.119740e-12,2.685322e-11,4.225952e-11,1.215569e-10,2.653715e-10,4.283737e-10,1.160732e-09,1.258202e-09,3.218155e-09,3.963469e-09,7.383096e-09,1.129853e-08,1.551003e-08,2.804299e-08,3.028202e-08,5.556000e-08,6.231318e-08,9.661796e-08,1.264207e-07,1.603384e-07,2.376371e-07,2.553505e-07,3.921012e-07,4.186491e-07,5.828552e-07,6.976493e-07,8.416218e-07,1.108050e-06,1.184019e-06,1.627079e-06,1.687864e-06,2.189004e-06,2.478803e-06,2.888889e-06,3.525160e-06,3.746405e-06,4.781479e-06,4.872551e-06,6.013946e-06,6.566572e-06,7.463212e-06,8.651431e-06,9.147919e-06,1.108562e-05,1.116862e-05,1.329248e-05,1.415568e-05,1.578298e-05,1.764505e-05,1.856972e-05,2.166314e-05,2.507139e-05,2.622952e-05,2.880016e-05,3.135636e-05,3.285263e-05,3.704810e-05,3.722938e-05,4.192839e-05,4.330129e-05,4.694506e-05,5.010469e-05,5.227230e-05,5.743953e-05,5.790061e-05,6.381821e-05,6.527999e-05,7.001123e-05,7.359379e-05,7.646383e-05,8.234298e-05,8.315850e-05,9.007619e-05,9.148472e-05,9.719654e-05,1.009721e-04,1.044981e-04,1.107553e-04,1.119588e-04,1.195556e-04,1.207822e-04,1.272656e-04,1.309997e-04,1.350653e-04,1.413540e-04,1.429315e-04,1.508411e-04,1.517921e-04,1.587714e-04,1.622616e-04,1.667005e-04,1.727126e-04,1.746069e-04,1.824703e-04,1.830969e-04,1.902710e-04,1.933695e-04,1.979904e-04,2.034883e-04,2.056112e-04,2.131170e-04,2.134146e-04,2.204927e-04,2.231134e-04,2.277245e-04,2.325535e-04,2.347998e-04,2.417072e-04,2.484364e-04,2.505506e-04,2.549785e-04,2.590636e-04,2.613257e-04,2.672295e-04,2.674714e-04,2.734100e-04,2.750350e-04,2.791369e-04,2.824700e-04,2.846487e-04,2.895274e-04,2.899429e-04,2.950177e-04,2.962029e-04,2.998723e-04,3.024947e-04,3.045067e-04,3.084033e-04,3.089216e-04,3.131182e-04,3.139315e-04,3.170985e-04,3.190835e-04,3.208649e-04,3.238656e-04,3.244204e-04,3.277685e-04,3.282852e-04,3.309128e-04,3.323510e-04,3.338577e-04,3.360729e-04,3.366075e-04,3.391670e-04,3.394615e-04,3.415410e-04,3.425282e-04,3.437348e-04,3.452847e-04,3.457535e-04,3.476026e-04,3.477433e-04,3.492875e-04,3.499167e-04,3.508137e-04,3.518175e-04,3.521869e-04,3.534125e-04,3.534585e-04,3.544961e-04,3.548526e-04,3.554434e-04,3.560124e-04,3.562597e-04,3.569504e-04,3.576791e-04,3.582106e-04,3.585565e-04,3.587285e-04,3.587375e-04,3.585944e-04,3.583095e-04,3.578928e-04,3.573537e-04,3.567015e-04,3.559447e-04,3.550918e-04,3.541506e-04,3.531286e-04,3.520330e-04,3.508705e-04,3.496475e-04,3.483701e-04,3.470438e-04,3.456740e-04,3.442659e-04,3.428239e-04,3.413527e-04,3.398562e-04
0.000000e+00,5.499122e-15,5.875569e-14,1.930670e-12,1.912711e-11,5.433668e-11,5.104966e-10,5.532155e-10,3.249458e-09,4.986360e-09,1.352838e-08,2.829920e-08,4.451438e-08,1.143996e-07,1.234845e-07,3.009836e-07,3.668472e-07,6.629164e-07,9.944295e-07,1.345703e-06,2.372689e-06,2.554252e-06,4.581973e-06,5.119097e-06,7.831466e-06,1.017480e-05,1.283401e-05,1.888111e-05,2.026585e-05,3.095957e-05,3.303743e-05,4.590943e-05,5.493016e-05,6.626974e-05,8.732644e-05,9.334657e-05,1.285830e-04,1.334327e-04,1.735388e-04,1.968214e-04,2.298653e-04,2.813315e-04,2.992768e-04,3.835194e-04,3.909519e-04,4.843392e-04,5.296944e-04,6.034495e-04,7.014635e-04,7.424992e-04,9.030432e-04,9.099328e-04,1.086515e-03,1.158430e-03,1.294200e-03,1.449836e-03,1.527219e-03,1.786507e-03,2.072799e-03,2.170208e-03,2.386623e-03,2.602072e-03,2.728291e-03,3.082581e-03,3.097901e-03,3.495333e-03,3.611560e-03,3.920258e-03,4.188195e-03,4.372140e-03,4.811058e-03,4.850252e-03,5.353680e-03,5.478153e-03,5.881343e-03,6.186967e-03,6.432007e-03,6.934530e-03,7.004298e-03,7.596722e-03,7.717484e-03,8.207679e-03,8.532145e-03,8.835484e-03,9.374577e-03,9.478381e-03,1.013456e-02,1.024066e-02,1.080218e-02,1.112615e-02,1.147937e-02,1.202675e-02,1.216425e-02,1.285498e-02,1.293817e-02,1.354969e-02,1.385615e-02,1.424657e-02,1.477657e-02,1.494387e-02,1.563985e-02,1.569542e-02,1.633286e-02,1.660887e-02,1.702131e-02,1.751332e-02,1.770369e-02,1.837854e-02,1.840536e-02,1.904453e-02,1.928187e-02,1.970038e-02,2.013997e-02,2.034492e-02,2.097704e-02,2.159575e-02,2.179075e-02,2.220013e-02,2.257904e-02,2.278937e-02,2.334010e-02,2.336272e-02,2.391954e-02,2.407241e-02,2.445926e-02,2.477468e-02,2.498140e-02,2.544589e-02,2.548556e-02,2.597139e-02,2.608524e-02,2.643865e-02,2.669213e-02,2.688714e-02,2.726619e-02,2.731675e-02,2.772739e-02,2.780724e-02,2.811907e-02,2.831527e-02,2.849184e-02,2.879041e-02,2.884578e-02,2.918104e-02,2.923296e-02,2.949781e-02,2.964335e-02,2.979630e-02,3.002211e-02,3.007678e-02,3.033953e-02,3.036989e-02,3.058487e-02,3.068739e-02,3.081315e-02,3.097545e-02,3.102472e-02,3.121998e-02,3.123491e-02,3.139932e-02,3.146669e-02,3.156316e-02,3.167177e-02,3.171194e-02,3.184607e-02,3.185114e-02,3.196602e-02,3.200582e-02,3.207223e-02,3.213684e-02,3.216515e-02,3.224525e-02,3.233210e-02,3.239843e-02,3.244529e-02,3.247369e-02,3.248465e-02,3.247916e-02,3.245818e-02,3.242265e-02,3.237349e-02,3.231158e-02,3.223778e-02,3.215291e-02,3.205777e-02,3.195312e-02,3.183968e-02,3.171815e-02,3.158919e-02,3.145344e-02,3.131151e-02,3.116396e-02,3.101134e-02,3.085416e-02,3.069292e-02,3.052806e-02
0.000000e+00,6.578810e-18,7.708253e-17,2.995179e-15,3.382081e-14,1.024918e-13,1.116228e-12,1.216302e-12,8.084178e-12,1.278852e-11,3.725778e-11,8.214802e-11,1.334341e-10,3.663120e-10,3.974914e-10,1.029089e-09,1.270781e-09,2.385828e-09,3.670823e-09,5.059857e-09,9.223621e-09,9.971356e-09,1.847647e-08,2.076568e-08,3.248498e-08,4.277187e-08,5.458036e-08,8.183023e-08,8.813266e-08,1.373934e-07,1.470666e-07,2.075623e-07,2.504465e-07,3.048171e-07,4.068925e-07,4.363021e-07,6.100709e-07,6.341779e-07,8.349871e-07,9.525907e-07,1.120587e-06,1.384391e-06,1.476908e-06,1.914296e-06,1.953102e-06,2.443194e-06,2.682697e-06,3.073924e-06,3.596730e-06,3.816474e-06,4.680291e-06,4.717492e-06,5.674090e-06,6.065213e-06,6.805685e-06,7.657378e-06,8.081843e-06,9.508166e-06,1.108900e-05,1.162804e-05,1.282738e-05,1.402347e-05,1.472500e-05,1.669685e-05,1.678219e-05,1.899795e-05,1.964650e-05,2.137000e-05,2.286682e-05,2.389480e-05,2.634854e-05,2.656769e-05,2.938292e-05,3.007902e-05,3.233377e-05,3.404269e-05,3.541267e-05,3.822143e-05,3.861130e-05,4.192070e-05,4.259505e-05,4.533139e-05,4.714171e-05,4.883347e-05,5.183839e-05,5.241675e-05,5.607081e-05,5.666133e-05,5.978517e-05,6.158638e-05,6.354929e-05,6.658940e-05,6.735274e-05,7.118519e-05,7.164655e-05,7.503655e-05,7.673460e-05,7.889700e-05,8.183114e-05,8.275701e-05,8.660746e-05,8.691482e-05,9.043960e-05,9.196545e-05,9.424510e-05,9.696416e-05,9.801613e-05,1.017453e-04,1.018935e-04,1.054257e-04,1.067374e-04,1.090509e-04,1.114815e-04,1.126150e-04,1.161126e-04,1.195389e-04,1.206194e-04,1.228892e-04,1.249917e-04,1.261596e-04,1.292207e-04,1.293465e-04,1.324470e-04,1.332992e-04,1.354582e-04,1.372211e-04,1.383779e-04,1.409816e-04,1.412042e-04,1.439356e-04,1.445769e-04,1.465710e-04,1.480045e-04,1.491094e-04,1.512625e-04,1.515503e-04,1.538935e-04,1.543504e-04,1.561390e-04,1.572681e-04,1.582870e-04,1.600163e-04,1.603380e-04,1.622927e-04,1.625966e-04,1.641521e-04,1.650110e-04,1.659171e-04,1.672620e-04,1.675890e-04,1.691691e-04,1.693527e-04,1.706591e-04,1.712865e-04,1.720604e-04,1.730672e-04,1.733748e-04,1.746041e-04,1.746988e-04,1.757501e-04,1.761857e-04,1.768149e-04,1.775324e-04,1.778004e-04,1.787087e-04,1.787434e-04,1.795418e-04,1.798237e-04,1.803019e-04,1.807781e-04,1.809911e-04,1.816115e-04,1.823288e-04,1.829350e-04,1.834350e-04,1.838338e-04,1.841361e-04,1.843467e-04,1.844704e-04,1.845116e-04,1.844749e-04,1.843646e-04,1.841850e-04,1.839402e-04,1.836343e-04,1.832710e-04,1.828541e-04,1.823872e-04,1.818739e-04,1.813173e-04,1.807208e-04,1.800873e-04,1.794198e-04,1.787212e-04,1.779940e-04,1.772410e-04
0.000000e+00,5.310154e-12,2.242860e-11,1.669345e-10,5.919846e-10,1.043908e-09,3.483592e-09,3.636791e-09,9.378591e-09,1.179617e-08,2.016168e-08,3.003176e-08,3.840101e-08,6.434832e-08,6.711268e-08,1.099380e-07,1.227675e-07,1.709830e-07,2.146899e-07,2.544082e-07,3.493284e-07,3.639635e-07,5.027447e-07,5.342335e-07,6.731970e-07,7.749984e-07,8.772219e-07,1.075628e-06,1.116281e-06,1.391471e-06,1.438911e-06,1.703566e-06,1.866631e-06,2.053042e-06,2.359681e-06,2.440100e-06,2.864669e-06,2.918125e-06,3.326426e-06,3.541243e-06,3.824807e-06,4.227592e-06,4.359022e-06,4.928077e-06,4.975073e-06,5.530795e-06,5.781013e-06,6.165836e-06,6.642255e-06,6.831722e-06,7.526863e-06,7.555254e-06,8.249578e-06,8.516170e-06,8.998117e-06,9.520958e-06,9.770682e-06,1.056545e-05,1.138058e-05,1.164542e-05,1.221424e-05,1.275668e-05,1.306463e-05,1.389507e-05,1.392995e-05,1.480846e-05,1.505657e-05,1.569847e-05,1.623730e-05,1.659832e-05,1.743353e-05,1.750645e-05,1.842132e-05,1.864174e-05,1.934150e-05,1.985859e-05,2.026558e-05,2.108096e-05,2.119225e-05,2.212028e-05,2.230594e-05,2.304847e-05,2.353083e-05,2.397573e-05,2.475314e-05,2.490101e-05,2.582333e-05,2.597057e-05,2.674179e-05,2.718102e-05,2.765553e-05,2.838260e-05,2.856377e-05,2.946577e-05,2.957356e-05,3.036086e-05,3.075235e-05,3.124842e-05,3.191757e-05,3.212787e-05,3.299870e-05,3.306797e-05,3.386042e-05,3.420246e-05,3.471260e-05,3.532004e-05,3.555485e-05,3.638683e-05,3.641989e-05,3.720821e-05,3.750125e-05,3.801871e-05,3.856352e-05,3.881810e-05,3.960615e-05,4.038268e-05,4.062871e-05,4.114754e-05,4.163086e-05,4.190059e-05,4.261231e-05,4.264172e-05,4.337086e-05,4.357286e-05,4.408793e-05,4.451237e-05,4.479290e-05,4.543076e-05,4.548574e-05,4.616645e-05,4.632801e-05,4.683502e-05,4.720414e-05,4.749150e-05,4.805921e-05,4.813591e-05,4.876830e-05,4.889334e-05,4.938874e-05,4.970667e-05,4.999730e-05,5.049938e-05,5.059407e-05,5.117913e-05,5.127166e-05,5.175259e-05,5.202376e-05,5.231455e-05,5.275592e-05,5.286513e-05,5.340446e-05,5.346843e-05,5.393265e-05,5.416156e-05,5.444984e-05,5.483564e-05,5.495618e-05,5.545179e-05,5.549098e-05,5.593682e-05,5.612791e-05,5.641142e-05,5.674676e-05,5.687575e-05,5.732994e-05,5.734790e-05,5.777417e-05,5.793168e-05,5.820858e-05,5.849844e-05,5.863332e-05,5.904857e-05,5.958241e-05,6.010034e-05,6.060273e-05,6.108994e-05,6.156233e-05,6.202026e-05,6.246411e-05,6.289422e-05,6.331094e-05,6.371464e-05,6.410564e-05,6.448429e-05,6.485093e-05,6.520588e-05,6.554946e-05,6.588200e-05,6.620381e-05,6.651518e-05,6.681643e-05,6.710783e-05,6.738969e-05,6.766227e-05,6.792585e-05,6.818071e-05
0.000000e+00,7.801248e-19,8.949471e-18,3.326455e-16,3.603946e-15,1.067245e-14,1.093714e-13,1.188778e-13,7.424077e-13,1.154341e-12,3.218306e-12,6.843363e-12,1.085275e-11,2.821567e-11,3.047410e-11,7.445045e-11,9.068049e-11,1.630677e-10,2.431634e-10,3.271236e-10,5.684348e-10,6.105660e-10,1.072985e-09,1.193420e-09,1.791725e-09,2.298035e-09,2.863349e-09,4.120741e-09,4.404162e-09,6.549539e-09,6.958875e-09,9.451906e-09,1.116230e-08,1.327740e-08,1.712011e-08,1.820138e-08,2.440315e-08,2.524172e-08,3.206021e-08,3.593455e-08,4.134252e-08,4.958131e-08,5.240717e-08,6.539375e-08,6.651940e-08,8.042049e-08,8.702437e-08,9.758155e-08,1.112985e-07,1.169453e-07,1.385536e-07,1.394649e-07,1.624218e-07,1.715665e-07,1.885403e-07,2.075699e-07,2.168753e-07,2.473719e-07,2.799558e-07,2.908090e-07,3.145363e-07,3.376681e-07,3.510093e-07,3.876971e-07,3.892597e-07,4.291644e-07,4.406167e-07,4.705945e-07,4.961299e-07,5.134179e-07,5.539313e-07,5.575012e-07,6.027115e-07,6.137152e-07,6.489183e-07,6.751818e-07,6.959943e-07,7.380425e-07,7.438167e-07,7.922680e-07,8.020238e-07,8.412368e-07,8.668699e-07,8.906179e-07,9.323445e-07,9.403129e-07,9.902299e-07,9.982315e-07,1.040284e-06,1.064335e-06,1.090396e-06,1.130479e-06,1.140495e-06,1.190514e-06,1.196508e-06,1.240394e-06,1.262283e-06,1.290080e-06,1.327682e-06,1.339524e-06,1.388681e-06,1.392600e-06,1.437512e-06,1.456945e-06,1.485981e-06,1.520638e-06,1.534058e-06,1.581715e-06,1.583612e-06,1.628926e-06,1.645809e-06,1.675671e-06,1.707182e-06,1.721932e-06,1.767690e-06,1.812934e-06,1.827301e-06,1.857649e-06,1.885986e-06,1.901828e-06,1.943725e-06,1.945460e-06,1.988539e-06,2.000501e-06,2.031059e-06,2.056301e-06,2.073016e-06,2.111115e-06,2.114406e-06,2.155226e-06,2.164939e-06,2.195476e-06,2.217767e-06,2.235155e-06,2.269599e-06,2.274262e-06,2.312798e-06,2.320437e-06,2.350765e-06,2.370283e-06,2.388163e-06,2.419141e-06,2.424996e-06,2.461266e-06,2.467017e-06,2.496975e-06,2.513918e-06,2.532128e-06,2.559852e-06,2.566728e-06,2.600779e-06,2.604828e-06,2.634285e-06,2.648856e-06,2.667250e-06,2.691945e-06,2.699679e-06,2.731578e-06,2.734107e-06,2.762950e-06,2.775353e-06,2.793802e-06,2.815695e-06,2.824138e-06,2.853963e-06,2.855146e-06,2.883284e-06,2.893717e-06,2.912106e-06,2.931422e-06,2.940434e-06,2.968274e-06,3.004285e-06,3.039470e-06,3.073841e-06,3.107413e-06,3.140199e-06,3.172213e-06,3.203468e-06,3.233979e-06,3.263758e-06,3.292819e-06,3.321176e-06,3.348843e-06,3.375832e-06,3.402157e-06,3.427831e-06,3.452867e-06,3.477279e-06,3.501078e-06,3.524277e-06,3.546890e-06,3.568927e-06,3.590402e-06,3.611327e-06,3.631713e-06
0.000000e+00,1.571725e-17,1.739961e-16,6.005039e-15,6.077939e-14,1.733645e-13,1.612351e-12,1.745593e-12,9.904214e-12,1.500610e-11,3.922375e-11,7.922873e-11,1.215693e-10,2.941139e-10,3.157554e-10,7.181627e-10,8.606254e-10,1.473189e-09,2.122344e-09,2.781366e-09,4.594637e-09,4.901891e-09,8.146896e-09,8.961241e-09,1.286718e-08,1.602718e-08,1.943184e-08,2.663917e-08,2.820596e-08,3.953003e-08,4.159922e-08,5.370370e-08,6.159419e-08,7.097493e-08,8.715238e-08,9.153458e-08,1.155151e-07,1.186268e-07,1.429925e-07,1.561981e-07,1.739901e-07,1.998895e-07,2.084840e-07,2.464083e-07,2.495876e-07,2.876610e-07,3.050652e-07,3.321096e-07,3.660038e-07,3.795965e-07,4.299442e-07,4.320150e-07,4.829604e-07,5.026606e-07,5.384419e-07,5.774710e-07,5.961797e-07,6.559619e-07,7.175778e-07,7.376483e-07,7.808206e-07,8.220566e-07,8.454893e-07,9.087342e-07,9.113916e-07,9.783447e-07,9.972561e-07,1.046176e-06,1.087230e-06,1.114726e-06,1.178298e-06,1.183846e-06,1.253397e-06,1.270140e-06,1.323256e-06,1.362467e-06,1.393307e-06,1.455029e-06,1.463448e-06,1.533584e-06,1.547604e-06,1.603633e-06,1.639999e-06,1.673519e-06,1.732047e-06,1.743174e-06,1.812539e-06,1.823606e-06,1.881559e-06,1.914552e-06,1.950187e-06,2.004779e-06,2.018381e-06,2.086103e-06,2.094196e-06,2.153320e-06,2.182727e-06,2.220001e-06,2.270305e-06,2.286121e-06,2.351657e-06,2.356874e-06,2.416587e-06,2.442386e-06,2.480894e-06,2.526800e-06,2.544562e-06,2.607576e-06,2.610082e-06,2.669923e-06,2.692204e-06,2.731595e-06,2.773139e-06,2.792579e-06,2.852870e-06,2.912459e-06,2.931378e-06,2.971340e-06,3.008651e-06,3.029510e-06,3.084678e-06,3.086962e-06,3.143695e-06,3.159451e-06,3.199706e-06,3.232965e-06,3.254992e-06,3.305215e-06,3.309553e-06,3.363388e-06,3.376201e-06,3.416497e-06,3.445921e-06,3.468880e-06,3.514377e-06,3.520538e-06,3.571473e-06,3.581573e-06,3.621686e-06,3.647512e-06,3.671179e-06,3.712199e-06,3.719955e-06,3.768017e-06,3.775640e-06,3.815367e-06,3.837843e-06,3.862009e-06,3.898815e-06,3.907947e-06,3.953184e-06,3.958566e-06,3.997725e-06,4.017104e-06,4.041574e-06,4.074439e-06,4.084736e-06,4.127214e-06,4.130583e-06,4.169015e-06,4.185547e-06,4.210143e-06,4.239342e-06,4.250604e-06,4.290402e-06,4.291980e-06,4.329542e-06,4.343473e-06,4.368032e-06,4.393836e-06,4.405876e-06,4.443080e-06,4.491219e-06,4.538266e-06,4.584236e-06,4.629143e-06,4.673000e-06,4.715822e-06,4.757623e-06,4.798419e-06,4.838222e-06,4.877049e-06,4.914913e-06,4.951829e-06,4.987812e-06,5.022877e-06,5.057037e-06,5.090308e-06,5.122704e-06,5.154240e-06,5.184929e-06,5.214787e-06,5.243827e-06,5.272063e-06,5.299510e-06,5.326182e-06
0.000000e+00,8.868997e-18,1.018641e-16,3.812519e-15,4.164746e-14,1.239966e-13,1.292268e-12,1.405685e-12,8.969862e-12,1.404142e-11,3.989250e-11,8.631177e-11,1.385873e-10,3.716228e-10,4.025092e-10,1.020657e-09,1.254827e-09,2.325919e-09,3.548112e-09,4.859506e-09,8.749326e-09,9.442745e-09,1.724999e-08,1.933061e-08,2.987654e-08,3.901506e-08,4.939655e-08,7.300490e-08,7.840755e-08,1.200593e-07,1.281369e-07,1.780665e-07,2.129536e-07,2.567035e-07,3.376841e-07,3.607840e-07,4.956236e-07,5.141409e-07,6.669891e-07,7.555348e-07,8.810346e-07,1.076223e-06,1.144227e-06,1.463262e-06,1.491401e-06,1.844974e-06,2.016750e-06,2.296242e-06,2.668064e-06,2.823897e-06,3.434620e-06,3.460869e-06,4.134855e-06,4.410041e-06,4.930717e-06,5.529456e-06,5.827912e-06,6.831663e-06,7.946641e-06,8.327608e-06,9.176915e-06,1.002640e-05,1.052590e-05,1.193514e-05,1.199632e-05,1.359019e-05,1.405880e-05,1.530881e-05,1.640012e-05,1.715273e-05,1.895965e-05,1.912176e-05,2.121504e-05,2.173575e-05,2.343096e-05,2.472464e-05,2.576728e-05,2.792055e-05,2.822110e-05,3.078894e-05,3.131584e-05,3.346674e-05,3.490116e-05,3.624996e-05,3.866566e-05,3.913357e-05,4.211215e-05,4.259715e-05,4.517990e-05,4.668232e-05,4.833073e-05,5.090694e-05,5.155827e-05,5.485594e-05,5.525606e-05,5.821702e-05,5.971422e-05,6.163465e-05,6.426561e-05,6.510191e-05,6.861186e-05,6.889429e-05,7.215755e-05,7.358429e-05,7.573211e-05,7.831983e-05,7.932872e-05,8.294069e-05,8.308540e-05,8.656149e-05,8.786591e-05,9.018474e-05,9.264678e-05,9.380425e-05,9.741404e-05,1.010084e-04,1.021544e-04,1.045817e-04,1.068553e-04,1.081289e-04,1.115049e-04,1.116449e-04,1.151250e-04,1.160924e-04,1.185648e-04,1.206076e-04,1.219601e-04,1.250412e-04,1.253071e-04,1.286021e-04,1.293849e-04,1.318420e-04,1.336310e-04,1.350236e-04,1.377730e-04,1.381442e-04,1.412013e-04,1.418049e-04,1.441927e-04,1.457216e-04,1.471165e-04,1.495188e-04,1.499708e-04,1.527543e-04,1.531929e-04,1.554656e-04,1.567411e-04,1.581037e-04,1.601610e-04,1.606679e-04,1.631574e-04,1.634511e-04,1.655718e-04,1.666104e-04,1.679110e-04,1.696383e-04,1.701747e-04,1.723632e-04,1.725350e-04,1.744765e-04,1.753009e-04,1.765151e-04,1.779368e-04,1.784794e-04,1.803701e-04,1.804442e-04,1.821879e-04,1.828246e-04,1.839335e-04,1.850799e-04,1.856080e-04,1.872123e-04,1.892243e-04,1.911186e-04,1.928980e-04,1.945655e-04,1.961242e-04,1.975774e-04,1.989282e-04,2.001801e-04,2.013365e-04,2.024008e-04,2.033765e-04,2.042668e-04,2.050753e-04,2.058054e-04,2.064602e-04,2.070433e-04,2.075576e-04,2.080065e-04,2.083929e-04,2.087200e-04,2.089907e-04,2.092077e-04,2.093739e-04,2.094920e-04
0.000000e+00,2.319737e-12,8.615344e-12,5.561152e-11,1.839697e-10,3.158008e-10,1.002095e-09,1.044429e-09,2.600910e-09,3.244804e-09,5.441684e-09,7.990306e-09,1.012467e-08,1.662878e-08,1.731348e-08,2.776733e-08,3.085190e-08,4.229343e-08,5.249659e-08,6.165704e-08,8.320934e-08,8.649657e-08,1.172940e-07,1.242008e-07,1.543917e-07,1.762524e-07,1.980193e-07,2.398169e-07,2.483159e-07,3.053435e-07,3.150930e-07,3.690952e-07,4.020663e-07,4.395017e-07,5.005353e-07,5.164368e-07,5.997231e-07,6.101341e-07,6.891380e-07,7.303560e-07,7.844202e-07,8.605795e-07,8.852769e-07,9.913902e-07,1.000096e-06,1.102424e-06,1.148137e-06,1.218030e-06,1.303899e-06,1.337854e-06,1.461540e-06,1.466562e-06,1.588734e-06,1.635316e-06,1.719090e-06,1.809367e-06,1.852272e-06,1.987953e-06,2.125822e-06,2.170353e-06,2.265581e-06,2.355888e-06,2.406949e-06,2.543929e-06,2.549660e-06,2.693465e-06,2.733894e-06,2.838129e-06,2.925250e-06,2.983437e-06,3.117513e-06,3.129185e-06,3.275185e-06,3.310243e-06,3.421265e-06,3.503045e-06,3.567266e-06,3.695563e-06,3.713039e-06,3.858451e-06,3.887479e-06,4.003378e-06,4.078510e-06,4.147707e-06,4.268405e-06,4.291334e-06,4.434166e-06,4.456940e-06,4.576118e-06,4.643919e-06,4.717113e-06,4.829172e-06,4.857080e-06,4.995957e-06,5.012546e-06,5.133687e-06,5.193912e-06,5.270220e-06,5.373156e-06,5.405510e-06,5.539518e-06,5.550182e-06,5.672207e-06,5.724907e-06,5.803547e-06,5.897261e-06,5.933510e-06,6.062073e-06,6.067186e-06,6.189215e-06,6.234634e-06,6.314919e-06,6.399569e-06,6.439170e-06,6.561958e-06,6.683273e-06,6.721781e-06,6.803107e-06,6.879022e-06,6.921457e-06,7.033672e-06,7.038317e-06,7.153689e-06,7.185726e-06,7.267570e-06,7.335185e-06,7.379964e-06,7.482054e-06,7.490872e-06,7.600300e-06,7.626343e-06,7.708252e-06,7.768063e-06,7.814735e-06,7.907230e-06,7.919756e-06,8.023323e-06,8.043862e-06,8.125445e-06,8.177980e-06,8.226131e-06,8.309606e-06,8.325393e-06,8.423240e-06,8.438765e-06,8.519683e-06,8.565481e-06,8.614736e-06,8.689784e-06,8.708409e-06,8.800715e-06,8.811701e-06,8.891668e-06,8.931262e-06,8.981280e-06,9.048497e-06,9.069566e-06,9.156538e-06,9.163439e-06,9.242210e-06,9.276119e-06,9.326597e-06,9.386568e-06,9.409714e-06,9.491573e-06,9.494822e-06,9.572191e-06,9.600911e-06,9.651580e-06,9.704871e-06,9.729757e-06,9.806734e-06,9.906535e-06,1.000431e-05,1.010008e-05,1.019390e-05,1.028578e-05,1.037578e-05,1.046391e-05,1.055021e-05,1.063472e-05,1.071746e-05,1.079847e-05,1.087779e-05,1.095543e-05,1.103144e-05,1.110584e-05,1.117867e-05,1.124995e-05,1.131972e-05,1.138800e-05,1.145482e-05,1.152021e-05,1.158420e-05,1.164682e-05,1.170809e-05
0.000000e+00,3.882416e-14,2.770836e-13,4.205909e-12,2.217359e-11,4.578137e-11,2.039358e-10,2.148554e-10,6.632714e-10,8.661679e-10,1.601495e-09,2.507922e-09,3.295433e-09,5.794618e-09,6.064050e-09,1.027680e-08,1.154798e-08,1.634808e-08,2.072559e-08,2.472486e-08,3.436971e-08,3.586824e-08,5.023609e-08,5.353597e-08,6.827217e-08,7.924232e-08,9.040067e-08,1.124454e-07,1.170227e-07,1.485128e-07,1.540264e-07,1.852153e-07,2.047765e-07,2.274407e-07,2.653826e-07,2.754624e-07,3.295143e-07,3.364154e-07,3.897889e-07,4.183214e-07,4.564366e-07,5.114193e-07,5.295656e-07,6.092431e-07,6.159013e-07,6.954965e-07,7.318381e-07,7.883159e-07,8.591877e-07,8.876565e-07,9.934417e-07,9.978057e-07,1.105566e-06,1.147458e-06,1.223899e-06,1.307834e-06,1.348287e-06,1.478558e-06,1.614524e-06,1.659203e-06,1.755982e-06,1.849301e-06,1.902722e-06,2.048355e-06,2.054521e-06,2.211154e-06,2.255846e-06,2.372389e-06,2.471242e-06,2.537992e-06,2.694004e-06,2.707730e-06,2.881366e-06,2.923593e-06,3.058669e-06,3.159474e-06,3.239408e-06,3.401118e-06,3.423354e-06,3.610284e-06,3.648008e-06,3.799978e-06,3.899639e-06,3.992221e-06,4.155521e-06,4.186803e-06,4.383520e-06,4.415180e-06,4.582174e-06,4.678158e-06,4.782570e-06,4.944017e-06,4.984523e-06,5.187851e-06,5.212334e-06,5.392378e-06,5.482707e-06,5.597937e-06,5.754750e-06,5.804363e-06,6.011500e-06,6.028097e-06,6.219196e-06,6.302399e-06,6.427306e-06,6.577323e-06,6.635690e-06,6.844213e-06,6.852555e-06,7.052748e-06,7.127799e-06,7.261170e-06,7.402772e-06,7.469362e-06,7.677210e-06,7.884607e-06,7.950862e-06,8.091450e-06,8.223492e-06,8.297640e-06,8.494881e-06,8.503083e-06,8.707692e-06,8.764821e-06,8.911380e-06,9.033117e-06,9.114067e-06,9.299589e-06,9.315677e-06,9.516136e-06,9.564068e-06,9.715378e-06,9.826396e-06,9.913336e-06,1.008643e-05,1.010995e-05,1.030516e-05,1.034403e-05,1.049891e-05,1.059907e-05,1.069116e-05,1.085144e-05,1.088185e-05,1.107094e-05,1.110104e-05,1.125838e-05,1.134776e-05,1.144414e-05,1.159152e-05,1.162819e-05,1.181048e-05,1.183223e-05,1.199098e-05,1.206983e-05,1.216967e-05,1.230425e-05,1.234652e-05,1.252151e-05,1.253543e-05,1.269461e-05,1.276332e-05,1.286581e-05,1.298787e-05,1.303507e-05,1.320240e-05,1.320905e-05,1.336777e-05,1.342682e-05,1.353117e-05,1.364116e-05,1.369260e-05,1.385203e-05,1.405942e-05,1.426332e-05,1.446372e-05,1.466061e-05,1.485399e-05,1.504386e-05,1.523022e-05,1.541308e-05,1.559246e-05,1.576837e-05,1.594081e-05,1.610982e-05,1.627541e-05,1.643760e-05,1.659642e-05,1.675190e-05,1.690406e-05,1.705293e-05,1.719854e-05,1.734092e-05,1.748012e-05,1.761616e-05,1.774907e-05,1.787889e-05
0.000000e+00,5.323892e-18,6.041074e-17,2.195430e-15,2.330988e-14,6.827872e-14,6.808162e-13,7.391899e-13,4.500094e-12,6.951245e-12,1.907925e-11,4.010111e-11,6.315148e-11,1.619310e-10,1.747085e-10,4.220770e-10,5.129711e-10,9.171488e-10,1.363057e-09,1.829588e-09,3.166839e-09,3.399830e-09,5.948300e-09,6.609469e-09,9.878903e-09,1.262683e-08,1.567598e-08,2.239275e-08,2.389533e-08,3.515049e-08,3.727637e-08,5.009620e-08,5.877965e-08,6.941027e-08,8.846594e-08,9.377562e-08,1.238632e-07,1.278892e-07,1.603165e-07,1.785297e-07,2.037382e-07,2.417402e-07,2.546791e-07,3.136286e-07,3.187036e-07,3.810086e-07,4.104019e-07,4.571686e-07,5.175974e-07,5.423830e-07,6.368505e-07,6.408237e-07,7.406948e-07,7.803862e-07,8.539670e-07,9.363707e-07,9.766489e-07,1.108658e-06,1.249851e-06,1.296941e-06,1.400031e-06,1.500753e-06,1.558956e-06,1.719484e-06,1.726338e-06,1.901856e-06,1.952412e-06,2.085160e-06,2.198724e-06,2.275874e-06,2.457539e-06,2.473606e-06,2.677949e-06,2.727928e-06,2.888486e-06,3.008937e-06,3.104798e-06,3.299595e-06,3.326464e-06,3.553062e-06,3.598937e-06,3.784178e-06,3.906008e-06,4.019403e-06,4.219875e-06,4.258338e-06,4.500591e-06,4.539635e-06,4.745786e-06,4.864416e-06,4.993556e-06,5.193388e-06,5.243548e-06,5.495423e-06,5.525759e-06,5.748857e-06,5.860780e-06,6.003537e-06,6.197745e-06,6.259167e-06,6.515465e-06,6.535989e-06,6.772161e-06,6.874894e-06,7.029001e-06,7.213878e-06,7.285743e-06,7.542158e-06,7.552405e-06,7.798031e-06,7.889973e-06,8.053159e-06,8.226122e-06,8.307350e-06,8.560425e-06,8.812216e-06,8.892491e-06,9.062563e-06,9.221960e-06,9.311321e-06,9.548504e-06,9.558351e-06,9.803524e-06,9.871824e-06,1.004672e-05,1.019165e-05,1.028784e-05,1.050773e-05,1.052676e-05,1.076340e-05,1.081985e-05,1.099768e-05,1.112781e-05,1.122950e-05,1.143143e-05,1.145881e-05,1.168552e-05,1.173055e-05,1.190959e-05,1.202504e-05,1.213095e-05,1.231477e-05,1.234956e-05,1.256538e-05,1.259965e-05,1.277836e-05,1.287957e-05,1.298847e-05,1.315447e-05,1.319568e-05,1.339998e-05,1.342429e-05,1.360132e-05,1.368898e-05,1.379971e-05,1.394849e-05,1.399512e-05,1.418754e-05,1.420280e-05,1.437697e-05,1.445190e-05,1.456340e-05,1.469577e-05,1.474683e-05,1.492726e-05,1.493441e-05,1.510469e-05,1.516784e-05,1.527914e-05,1.539606e-05,1.545060e-05,1.561909e-05,1.583697e-05,1.604972e-05,1.625739e-05,1.646001e-05,1.665763e-05,1.685030e-05,1.703807e-05,1.722101e-05,1.739915e-05,1.757258e-05,1.774135e-05,1.790552e-05,1.806516e-05,1.822035e-05,1.837115e-05,1.851762e-05,1.865985e-05,1.879790e-05,1.893185e-05,1.906176e-05,1.918772e-05,1.930979e-05,1.942805e-05,1.954256e-05
